JP6310724B2 - 樹脂成形装置及び樹脂成形方法 - Google Patents

Description

本発明は、トランジスタ、集積回路（Integrated Circuit ：ＩＣ）、発光ダイオード（Light Emitting Diode：ＬＥＤ）などの電子部品を、液状樹脂を用いて樹脂封止する場合などに使用される、樹脂成形装置及び樹脂成形方法に関するものである。本出願書類においては、「液状」という用語は常温において液状であって流動性を有することを意味しており、流動性の高低、言い換えれば粘度の程度を問わない。

従来から、ＬＥＤなどの光素子は、液状樹脂として熱硬化性で光を透過する液状樹脂、例えば、シリコーン樹脂やエポキシ樹脂などを用いて樹脂封止される。樹脂封止する技術としては、圧縮成形、トランスファ成形などの樹脂成形技術が使用される。樹脂成形においては、主剤となる液状樹脂に、硬化剤などの補助剤となる液状樹脂を混合させ、混合された液状樹脂を加熱することによって硬化させる。以下、主剤となる液状樹脂を「主剤」、主剤と硬化剤とを混合させて生成された液状樹脂を「混合液状樹脂」という。

液状樹脂を使用する樹脂成形装置には、実際に使用する際に主剤と硬化剤とからなる２種の液状樹脂（以下「２液」という。）を混合して混合液状樹脂を生成し、その混合液状樹脂を使用する２液混合タイプの装置と、予め主剤と硬化剤とを混合して１液に生成された混合液状樹脂を使用する１液タイプの装置とがある。製品や用途に応じて、２液混合タイプ又は１液タイプの装置が用いられる。

製品や用途に応じて使用される液状樹脂の種類は多種多様である。第１の場合として、異なる液状樹脂を使用する場合を説明する。液状樹脂に含まれる樹脂材料の種類、粘度、比重などがそれぞれ異なる。樹脂成形装置において、使用する液状樹脂を変更する場合には、それまで使用していた液状樹脂の影響を取り除かないといけない。したがって、新たな液状樹脂を使用する場合には、それまで使用していた液状樹脂が流動した構成部材の内部を洗浄して、初期の状態に戻す必要がある。具体的には、樹脂成形装置において、液状樹脂を保管する容器、液状樹脂を吐出する吐出装置、液状樹脂が流動する配管の内部などを洗浄して、それまで使用していた液状樹脂の影響をなくす必要がある。

第２の場合として、同じ液状樹脂を使用する場合を説明する。液状樹脂は常温の状態で、主剤と硬化剤とが別々の容器に保管される。主剤と硬化剤とが混合されると化学反応が進行する。樹脂成形装置の構成部材、例えば、ヒーターなどから熱の影響を受けると、液状樹脂の一部が硬化を始めることがある。液状樹脂が硬化を始めると、硬化した液状樹脂が容器や配管、吐出装置などの内部に残る。そのため、同じ液状樹脂を使用している場合であっても、硬化を始めた液状樹脂を取り除くために、定期的に液状樹脂が流動する構成部材の内部を洗浄する必要がある。

どちらの場合においても、樹脂成形装置の構成部材の内部を洗浄するために、樹脂成形装置から液状樹脂が流動する構成部材を取り外して、その構成部材の内部を洗浄しなければならない。したがって、樹脂成形装置から構成部材を取り外す作業、構成部材の内部を洗浄する作業、樹脂成形装置に構成部材を取り付ける作業などが生じる。この間は、樹脂成形装置の稼働を止めて構成部材の内部を洗浄しなければならないので、稼働率が低下する。

洗浄操作等を容易にする樹脂モールド装置として、「液材を収容するシリンダ部、該シリンダ部と液材を供給する容器とを連絡する流路、およびシリンダ部と吐出用のノズルとを連絡する流路が設けられたシリンダブロックと、（略）、前記シリンダ部内で摺動するプランジャと、（略）、各々前記シリンダブロックに設けられた供給バルブおよび吐出バルブと、（略）、前記シリンダブロックを一方向に抜き差しする操作により、前記プランジャ、前記供給バルブおよび吐出バルブの連結基部と前記駆動部の連結端とが脱着嵌合する」ディスペンサを用いた樹脂モールド装置が提案されている（例えば、特許文献１の段落〔０００９〜００１０〕、図１〜図３参照）。

特開２００７−８３４７３号公報

しかしながら、特許文献１に開示された樹脂モールド装置では、次のような問題が発生する。特許文献１の図３で示されるように、ディスペンサ４１ａを構成するプランジャ１２や供給バルブ１４および吐出バルブ１６の取り外し、取り付けを容易にして、構成部材を洗浄するようにしている。液状樹脂を吐出するディスペンサ４１ａの構成部材を容易に脱着できる構成にしているが、やはりプランジャ１２や供給バルブ１４および吐出バルブ１６を樹脂モールド装置から取り外して洗浄しなければならない。したがって、構成部材の取り外し、洗浄、取り付けといった作業を行うので、作業に要する時間が増え、樹脂モールド装置の稼働率を低下させる。

本発明は上記の課題を解決するもので、樹脂成形装置において、液状樹脂を貯蔵する容器や液状樹脂を吐出する吐出装置、及びそれらを接続する配管などを樹脂成形装置から取り外すことなく、自動的に洗浄することができる樹脂成形装置及び樹脂成形方法を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明に係る樹脂成形装置は、上型と、該上型に相対向して設けられた下型と、上型と下型との少なくとも一方に設けられたキャビティと、キャビティにおいて硬化して硬化樹脂になるはずの原料樹脂が収容される収容部と、上型と下型とを少なくとも有する成形型を型締めする型締め機構とを備え、硬化樹脂を含む成形品を成形する樹脂成形装置であって、原料樹脂に含まれる第１の液状樹脂を保管する第１の容器と、第１の容器に接続された第１の配管と、第１の配管に接続され原料樹脂を収容部に向かって吐出する吐出部と、洗浄剤を保管する洗浄剤用容器と、洗浄剤用容器と第１の配管とを接続する洗浄剤用配管と、第１の配管において洗浄剤用配管が接続された接続部を含む該接続部から上流側に設けられた第１の開閉弁と、第１の配管において接続部を含む該接続部から下流側に設けられた第２の開閉弁と、洗浄剤用配管において接続部を含む該接続部から上流側に設けられた第３の開閉弁と、洗浄剤を加圧する加圧機構とを備え、加圧された洗浄剤が洗浄剤用配管と第１の配管とを順次経由して、少なくとも第１の容器、又は、吐出部のいずれか一方の構成要素に移送されることによって前記構成要素が洗浄されることを特徴とする。

また、本発明に係る樹脂成形装置は、上述の樹脂成形装置において、原料樹脂に含まれる第２の液状樹脂を保管する第２の容器と、第２の容器と第１の配管とを接続する第２の配管と、第２の配管において接続部を含む該接続部から上流側に設けられた第４の開閉弁とを備え、加圧された洗浄剤が洗浄剤用配管と第２の配管とを順次経由して第２の容器に移送されることによって第２の容器が洗浄されることを特徴とする。

また、本発明に係る樹脂成形装置は、上述の樹脂成形装置において、第１の配管と第２の配管との少なくとも一方に設けられた混合部材を備え、混合部材によって第１の液状樹脂と第２の液状樹脂との少なくとも一方が攪拌されることを特徴とする。

また、本発明に係る樹脂成形装置は、上述の樹脂成形装置において、少なくとも第１の開閉弁と第２の開閉弁と第３の開閉弁と第４の開閉弁として機能する切替弁を備えることを特徴とする。

また、本発明に係る樹脂成形装置は、上述の樹脂成形装置において、第１の液状樹脂と第２の液状樹脂とは同じ種類であることを特徴とする。

また、本発明に係る樹脂成形装置は、上述の樹脂成形装置において、第１の液状樹脂と第２の液状樹脂とは異なる種類であることを特徴とする。

また、本発明に係る樹脂成形装置は、上述の樹脂成形装置において、成形型と型締め機構とを有する少なくとも１個の成形モジュールと、少なくとも第１の液状樹脂を１個の成形モジュールに供給する供給モジュールとを備え、供給モジュールと１個の成形モジュールとが着脱可能であり、１個の成形モジュールが他の成形モジュールに対して着脱可能であることを特徴とする。

上記の課題を解決するために、本発明に係る樹脂成形方法は、上型と該上型に相対向して設けられた下型とを少なくとも有する成形型を準備する工程と、上型と下型との少なくとも一方に設けられたキャビティにおいて硬化して硬化樹脂になるはずの原料樹脂を第１の配管を経由して吐出部から吐出することによって収容部に収容する工程と、収容部に収容された原料樹脂を使用してキャビティを満たされた状態にする工程と、成形型を型締めする工程と、キャビティにおいて原料樹脂を硬化させて硬化樹脂を形成する工程とを備える樹脂成形方法であって、第１の配管に接続された第１の容器に、原料樹脂に含まれる第１の液状樹脂を保管する工程と、洗浄剤用容器に洗浄剤を保管する工程と、洗浄剤を加圧することによって、洗浄剤用容器から洗浄剤用配管と第１の配管とを経由して、少なくとも第１の容器、又は、吐出部のいずれか一方の構成要素に洗浄剤を移送する工程と、構成要素において洗浄剤を流動させることによって構成要素を洗浄する工程とを備えることを特徴とする。

また、本発明に係る樹脂成形方法は、上述の樹脂成形方法において、第１の配管に第２の配管を介して接続された第２の容器に、原料樹脂に含まれる第２の液状樹脂を保管する工程を備え、移送する工程では、第１の容器、第２の容器、又は、吐出部のうち少なくとも１つの構成要素に洗浄剤を移送することを特徴とする。

また、本発明に係る樹脂成形方法は、上述の樹脂成形方法において、第１の配管と第２の配管との少なくとも一方に設けられた混合部材を使用して、第１の液状樹脂と第２の液状樹脂との少なくとも一方を攪拌する工程を備えることを特徴とする。

また、本発明に係る樹脂成形方法は、上述の樹脂成形方法において、洗浄剤を移送する経路を、洗浄剤用容器から洗浄剤用配管と第１の配管とを経由して少なくとも第１の容器までの経路と、洗浄剤用容器から洗浄剤用配管と第１の配管とを経由して吐出部までの経路とのいずれかに、切り替える工程を備えることを特徴とする。

また、本発明に係る樹脂成形方法は、上述の樹脂成形方法において、第１の液状樹脂と第２の液状樹脂とは同じ種類であることを特徴とする。

また、本発明に係る樹脂成形方法は、上述の樹脂成形方法において、第１の液状樹脂と第２の液状樹脂とは異なる種類であることを特徴とする。

また、本発明に係る樹脂成形方法は、上述の樹脂成形方法において、成形型と該成形型を型締めする型締め機構とを有する少なくとも１個の成形モジュールを準備する工程と、少なくとも第１の液状樹脂を供給する供給モジュールを準備する工程と、供給モジュールと１個の成形モジュールとを取り付ける工程とを備えるとともに、供給モジュールと１個の成形モジュールとを取り外すことができ、１個の成形モジュールと他の成形モジュールとを着脱することができることを特徴とする。

本発明によれば、樹脂成形装置において、第１の液状樹脂を保管する第１の容器と、第１の容器と吐出部とを接続する第１の配管と、洗浄剤を保管する洗浄剤用容器と、洗浄剤用容器と第１の配管とを接続する洗浄剤用配管とを備える。洗浄剤用配管及び第１の配管を経由して、洗浄剤を第１の容器又は吐出部に移送する。洗浄剤によって、第１の容器又は吐出部の構成要素の内部を洗浄する。したがって、樹脂成形装置から、構成部材を取り外すことなく、第１の容器又は吐出部を洗浄することができるので、樹脂成形装置の稼働率や生産性を向上させることができる。

本発明に係る樹脂成形装置において、液状樹脂保管機構の実施例１を示す概略図である。 本発明に係る樹脂成形装置において、液状樹脂保管機構の実施例２を示す概略図である。 本発明に係る樹脂成形装置の概要を示す平面図である。 本発明に係る樹脂成形装置の実施例３における供給機構を示す概略図である。図４（ａ）は、供給機構が可動下型のキャビティに混合液状樹脂を供給する状態を示す概略部分断面図、図４（ｂ）は供給機構を示す概略平面図である。 本発明に係る樹脂成形装置の実施例４における供給機構を示す概略図である。図５（ａ）は、供給機構が可動下型のキャビティに混合液状樹脂を供給する状態を示す概略部分断面図、図５（ｂ）は供給機構を示す概略平面図である。

図１に示されるように、液状樹脂保管機構１に、混合液状樹脂２を貯蔵する液状樹脂用のカートリッジ３と、液状の洗浄剤４を貯蔵する洗浄剤用のカートリッジ５とを備える。液状樹脂用のカートリッジ３を、樹脂チューブ８Ａ、開閉弁１２、接続部１０、樹脂チューブ８Ｚを介して、ディスペンサ９に設けられた貯留部１６に接続する。洗浄剤用のカートリッジ５を、開閉弁１４、樹脂チューブ１１を介して接続部１０に接続する。コンプレッサ２０を使用して、洗浄剤用のカートリッジ５に貯蔵された洗浄剤４を、液状樹脂用のカートリッジ３又はディスペンサ９の貯留部１６に移送する。移送された洗浄剤４によって、カートリッジ３又はディスペンサ９の構成部材の内部を自動的に洗浄する。

本発明に係る樹脂成形装置が有する液状樹脂保管機構の実施例１について、図１を参照して説明する。本出願書類におけるいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。

図１に示される液状樹脂保管機構１には、混合液状樹脂２を貯蔵する液状樹脂用のカートリッジ３と、液状の洗浄剤４を貯蔵する洗浄剤用のカートリッジ５とが設けられる。液状樹脂用のカートリッジ３内には混合液状樹脂２を押圧して送出するためのプランジャ６が設けられる。洗浄剤用のカートリッジ５には洗浄剤４を押圧して送出するためのプランジャ７が設けられる。

液状樹脂用のカートリッジ３には、主剤になる液状樹脂と硬化剤になる液状樹脂とが予め混合されて生成された混合液状樹脂、更に蛍光体などの添加剤が加えられた混合液状樹脂などが用途に応じて貯蔵される。したがって、「液状樹脂」という場合には、これらのうちいずれかの液状樹脂を示す。主剤になる液状樹脂としては、例えば、熱硬化性で光を透過するシリコーン樹脂やエポキシ樹脂などが用いられる。洗浄剤用のカートリッジ５には、使用する液状樹脂を洗浄するのに適した洗浄剤４が貯蔵される。洗浄剤としては、例えば、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）などの液状樹脂を溶解する又は分解する性質を有する有機溶剤が用いられる。

液状樹脂用のカートリッジ３は、樹脂チューブ８Ａと、樹脂チューブ８Ａの一端である接続部１０に接続される樹脂チューブ８Ｚとを順次介して、液状樹脂供給機構であるディスペンサ９に接続される。洗浄剤用のカートリッジ５は、樹脂チューブ１１を介して接続部１０に接続される。樹脂チューブ８Ａ、８Ｚ、１１は、耐熱性、耐圧性、柔軟性などを有するフッ素樹脂チューブであることが好ましい。本出願書類においては、接続部１０から見て容器側（液状樹脂用のカートリッジ３及び洗浄剤用のカートリッジ５の側）を上流側、ディスペンサ９の側を下流側と呼ぶ。

液状樹脂用のカートリッジ３と接続部１０との間における樹脂チューブ８Ａには開閉弁１２が設けられる。ディスペンサ９と接続部１０との間における樹脂チューブ８Ｚには開閉弁１３が設けられる。洗浄剤用のカートリッジ５と接続部１０との間における樹脂チューブ１１には開閉弁１４が設けられる。また、混合液状樹脂２の種類に応じて、液状樹脂用のカートリッジ３と接続部１０との間には、カートリッジ３から送出される混合液状樹脂２を静的又は動的に攪拌して混合させる混合部材として、例えば、静的混合部材であるスタティックミキサ１５を設けることができる。スタティックミキサ１５は、開閉弁１２と接続部１０との間に設けることが好ましい。

図１においては、ディスペンサ９として、主剤となる液状樹脂と硬化剤となる液状樹脂とが予め混合されて１液に生成された混合液状樹脂２を使用する１液タイプのディスペンサを示す。ディスペンサ９は、樹脂チューブ８Ｚに接続され混合液状樹脂２を貯留する貯留部１６と、貯留部１６の一端に設けられた計量送出機構１７と、貯留部１６の他端に設けられたスタティックミキサ１８とを有する。スタティックミキサ１８の先端には、混合液状樹脂２を吐出する吐出部であるノズル１９が取り付けられる。

加圧機構であるコンプレッサ２０は、例えば、ナイロンチューブなどの柔軟性を有する樹脂チューブ２１を介して、液状樹脂用のカートリッジ３と洗浄剤用のカートリッジ５とに次のようにして接続される。コンプレッサ２０は電空レギュレータ２２を介して切替弁２３に接続される。切替弁２３は、２系統の樹脂チューブ２１をそれぞれ介して、液状樹脂用のカートリッジ３と洗浄剤用のカートリッジ５とに接続される。

コンプレッサ２０から樹脂チューブ２１を通って、カートリッジ３又はカートリッジ５のいずれかに圧縮空気がそれぞれ供給される。切替弁２３を切り替えることによって、コンプレッサ２０から供給される圧縮空気が、液状樹脂用のカートリッジ３又は洗浄剤用のカートリッジ５のいずれかに供給される。電空レギュレータ２２を使用して、コンプレッサ２０から供給される圧縮空気の圧力を多段階に制御することができる。

以下、本発明に係る樹脂成形装置が有する液状樹脂保管機構１において、洗浄剤用のカートリッジ５に貯蔵された洗浄剤４によって、液状樹脂用のカートリッジ３の内部を洗浄する動作について説明する。液状樹脂保管機構１において、樹脂チューブ８Ａ、８Ｚ、１１にそれぞれ設けられた開閉弁１２、１３、１４は、通常はすべて閉じられている。

液状樹脂用のカートリッジ３に貯蔵されていた混合液状樹脂２が使用されて空になった状態において、樹脂チューブ８Ｚに設けられた開閉弁１３を閉じた状態のままで、樹脂チューブ８Ａ及び樹脂チューブ１１に設けられた開閉弁１２、１４をそれぞれ開く。次に、コンプレッサ２０から切替弁２３を使用して、圧縮空気を洗浄剤用のカートリッジ５に供給する。カートリッジ５に供給された圧縮空気を使用して、プランジャ７を押圧する。押圧されたプランジャ７は、下降して洗浄剤４を押圧し、洗浄剤４をカートリッジ５から樹脂チューブ１１に送出する。

更にプランジャ７を押圧することによって、開閉弁１４、接続部１０、樹脂チューブ８Ａ、スタティックミキサ１５、開閉弁１２を順次経由して、洗浄剤４を液状樹脂用のカートリッジ３に向かって移動させる。スタティックミキサ１５によって洗浄剤４を攪拌する。攪拌された洗浄剤４を、樹脂チューブ８Ａを経由して液状樹脂用のカートリッジ３の内部に注入する。カートリッジ３の内部に注入された洗浄剤４によって、カートリッジ３の内部を洗浄する。洗浄剤４によって、カートリッジ３の内部に残存していた混合液状樹脂２を溶解又は分解する。

次に、コンプレッサ２０から供給する圧縮空気の供給先を、切替弁２３を使用して洗浄剤用のカートリッジ５から液状樹脂用のカートリッジ３に切り替える。液状樹脂用のカートリッジ３に供給された圧縮空気を使用して、プランジャ６を押圧し、カートリッジ３の内部に注入された洗浄剤４をカートリッジ３から樹脂チューブ８Ａに送出する。送出された洗浄剤４を、スタティックミキサ１５によって攪拌する。攪拌された洗浄剤４を、接続部１０、樹脂チューブ１１、開閉弁１４を順次経由して洗浄剤用のカートリッジ５の内部に注入する。この状態で、洗浄剤４は元のカートリッジ５の内部に戻される。

次に、コンプレッサ２０から供給する圧縮空気の供給先を、切替弁を使用して液状樹脂用のカートリッジ３から洗浄剤用のカートリッジ５に切り替える。洗浄剤用のカートリッジ５に供給された圧縮空気を使用して、プランジャ７を押圧し、カートリッジ５の内部に戻された洗浄剤４を再び樹脂チューブ１１に送出する。このような動作を繰り返すことによって、液状樹脂用のカートリッジ３、樹脂チューブ８Ａ、開閉弁１２、スタティックミキサ１５の内部を洗浄剤４によってそれぞれ洗浄することができる。

次に、洗浄剤用のカートリッジ５に貯蔵された洗浄剤４によって、ディスペンサ９の構成部材の内部を洗浄する動作について説明する。まず、樹脂チューブ８Ａに設けられた開閉弁１２を閉じた状態で、樹脂チューブ８Ｚ及び樹脂チューブ１１にそれぞれ設けられた開閉弁１３、１４をそれぞれ開く。次に、コンプレッサ２０から圧縮空気を洗浄剤用のカートリッジ５に供給する。カートリッジ５に供給された圧縮空気を使用して、プランジャ７を押圧し、洗浄剤４をカートリッジ５から樹脂チューブ１１に送出する。更にプランジャ７を押圧することによって、接続部１０、樹脂チューブ８Ｚ、開閉弁１３を順次経由してディスペンサ９の貯留部１６に洗浄剤４を移送する。

ディスペンサ９において、計量送出機構１７を使用して、貯留部１６からスタティックミキサ１８に洗浄剤４を送出する。スタティックミキサ１８の内部に洗浄剤４を流動させて、ノズル１９から外部に向かって洗浄剤４を吐出する。樹脂チューブ８Ｚ及びディスペンサ９の構成部材の内部に洗浄剤４を流動させることによって、樹脂チューブ８Ｚ及びディスペンサ９の構成部材の内部を洗浄剤４によって洗浄することができる。混合液状樹脂２をディスペンサ９に移送することに代えて、洗浄剤４をディスペンサ９に移送することによって、樹脂成形装置からディスペンサ９を取り外すことなく、樹脂チューブ８Ｚ及びディスペンサ９の構成部材の内部を自動的に洗浄することができる。

本実施例によれば、洗浄剤用のカートリッジ５に貯蔵された洗浄剤４を、圧縮空気を使用して液状樹脂用のカートリッジ３の内部に注入する。このことによって、液状樹脂用のカートリッジ３を取り外すことなく、カートリッジ３、樹脂チューブ８Ａ、開閉弁１２、スタティックミキサ１５の内部を洗浄剤４によって自動的に洗浄することができる。

また、洗浄剤用のカートリッジ５からディスペンサ９の貯留部１６に洗浄剤４を移送する。ディスペンサ９の貯留部１６からスタティックミキサ１８を経由して洗浄剤４を移送してノズル１９から吐出する。したがって、ディスペンサ９を樹脂成形装置から取り外すことなく、ディスペンサ９の構成部材や樹脂チューブ８Ｚの内部などを洗浄剤４によって自動的に洗浄することができる。

また、液状樹脂保管機構１において、使用する混合液状樹脂２に対応して洗浄剤４を選択することができる。したがって、主剤と硬化剤とが予め混合されて生成された混合液状樹脂、更に蛍光体などの添加剤が加えられた混合液状樹脂など、どのような混合液状樹脂２に対しても、最適な洗浄剤４を使用することができる。

このように、本実施例によれば、樹脂成形装置からカートリッジやディスペンサを取り外すことなく、混合液状樹脂が貯蔵されるカートリッジやディスペンサの構成部材の内部、及びカートリッジとディスペンサとを接続する樹脂チューブの内部などを、洗浄剤によって自動的に洗浄することができる。したがって、構成部材を取り外したり、取り付けたりする作業を不要とし、作業効率を向上させることができる。加えて、樹脂成形装置の構成部材の内部を自動的に洗浄することができるので、樹脂成形装置の稼働率や生産性を向上させることができる。

なお、本実施例においては、樹脂チューブ８Ａ、８Ｚ、１１に、開閉弁１２、１３、１４をそれぞれ設けた場合を示した。これに限らず、接続部１０において、開閉弁１２、１３、１４の機能を統合する切替弁を設けることができる。

本発明に係る樹脂成形装置が有する液状樹脂保管機構１の実施例２について、図２を参照して説明する。実施例１との違いは、液状樹脂保管機構１として、混合液状樹脂２を貯蔵するカートリッジを２個設けたことである。図２に示される液状樹脂保管機構１には、液状樹脂２を貯蔵する液状樹脂用の２個のカートリッジ３Ａ、３Ｂと、洗浄剤４を貯蔵する洗浄剤用のカートリッジ５とが設けられる。混合液状樹脂用の２個のカートリッジ３Ａ、３Ｂ内には混合液状樹脂２を押圧して送出するためのプランジャ６Ａ、６Ｂがそれぞれ設けられる。洗浄剤用のカートリッジ５には洗浄剤４を押圧して送出するためのプランジャ７が設けられる。

液状樹脂用のカートリッジ３Ｂは、樹脂チューブ８Ｂを介して接続部１０に接続される。したがって、液状樹脂用のカートリッジ３Ｂは、樹脂チューブ８Ｂ、接続部１０、樹脂チューブ８Ａを介して液状樹脂用のカートリッジ３Ａに接続される。また、液状樹脂用のカートリッジ３Ｂは、樹脂チューブ８Ｂ、接続部１０、樹脂チューブ１１を介して洗浄剤用のカートリッジ５に接続される。更に、カートリッジ３Ｂは、樹脂チューブ８Ｂ、接続部１０、樹脂チューブ８Ｚを介してディスペンサ９に接続される。カートリッジ３Ｂと接続部１０との間における樹脂チューブ８Ｂには、開閉弁１２Ｂが設けられる。また、カートリッジ３Ｂと接続部１０との間には、スタティックミキサ１５Ｂを設けることができる。

ディスペンサ９や加圧機構２０の構成は、実施例１で示したものと同じであるので、説明は省略する。なお、液状樹脂保管機構１やディスペンサ９において、同一の構成要素については、適宜Ａ、Ｂ、Ｍ、Ｈなどの符号を付して説明する。

以下、本実施例の液状樹脂保管機構１において、液状樹脂用の各カートリッジ３Ａ、３Ｂの内部を、洗浄剤用のカートリッジ５に貯蔵された洗浄剤４によって洗浄する動作について説明する。通常、各樹脂チューブ８Ａ、８Ｂ、８Ｚ、１１に設けられた開閉弁１２Ａ、１２Ｂ、１３、１４はすべて閉じられた状態である。

例えば、液状樹脂用の２個のカートリッジ３Ａ、３Ｂに貯蔵されていた混合液状樹脂２が、どちらも使用されて空になった状態において、各カートリッジ３Ａ、３Ｂの内部を洗浄する場合について説明する。まず、樹脂チューブ８Ｚに設けられた開閉弁１３を閉じた状態で、樹脂チューブ８Ａ、８Ｂ、１１に設けられた開閉弁１２Ａ、１２Ｂ、１４をそれぞれ開く。次に、切替弁２３を使用して、コンプレッサ２０から洗浄剤用のカートリッジ５に圧縮空気を供給する。カートリッジ５に供給された圧縮空気を使用して、プランジャ７を押圧する。押圧されたプランジャ７は、下降して洗浄剤４を押圧し、カートリッジ５から樹脂チューブ１１に洗浄剤４を送出する。

更にプランジャ７を押圧することによって、開閉弁１４、接続部１０を経由し、接続部１０からは２系統の経路（樹脂チューブ８Ａ、スタティックミキサ１５Ａ、開閉弁１２Ａ、及び、樹脂チューブ８Ｂ、スタティックミキサ１５Ｂ、開閉弁１２Ｂ）を経由して、洗浄剤４を液状樹脂用のカートリッジ３Ａ及び３Ｂに向かって移動させる。スタティックミキサ１５Ａ、１５Ｂによって洗浄剤４を攪拌する。攪拌された洗浄剤４を各カートリッジ３Ａ、３Ｂの内部に注入する。各カートリッジ３Ａ、３Ｂの内部に注入された洗浄剤４によって、各カートリッジ３Ａ、３Ｂの内部を洗浄する。洗浄剤４によって、各カートリッジ３Ａ、３Ｂの内部に残存していた混合液状樹脂２を溶解又は分解する。

次に、コンプレッサ２０から供給する圧縮空気の供給先を、切替弁２３を使用して洗浄剤用のカートリッジ５から２個の液状樹脂用のカートリッジ３Ａ、３Ｂに切り替える。各カートリッ３Ａ、３Ｂに供給された圧縮空気を使用して、プランジャ６Ａ、６Ｂを押圧し、各カートリッジ３Ａ、３Ｂの内部に注入された洗浄剤４を各カートリッジ３Ａ、３Ｂから樹脂チューブ８Ａ、８Ｂに送出する。送出された洗浄剤４をスタティックミキサ１５Ａ、１５Ｂによって攪拌する。攪拌された洗浄剤４を、接続部１０、樹脂チューブ１１、開閉弁１４を順次経由して洗浄剤用のカートリッジ５の内部に注入する。この状態で、洗浄剤４は元のカートリッジ５の内部に戻される。

次に、コンプレッサ２０から供給する圧縮空気の供給先を、切替弁２３を使用して２個の液状樹脂用のカートリッジ３Ａ、３Ｂから洗浄剤用のカートリッジ５に切り替える。カートリッジ５に供給された圧縮空気を使用して、プランジャ７を押圧し、カートリッジ５の内部に戻された洗浄剤４を再び樹脂チューブ１１に送出する。このような動作を繰り返すことによって、カートリッジ３Ａ、３Ｂ、樹脂チューブ８Ａ、８Ｂ、開閉弁１２Ａ、１２Ｂ、スタティックミキサ１５Ａ、１５Ｂの内部をそれぞれ洗浄することができる。

この場合には、空になった２個の液状樹脂用のカートリッジ３Ａ、３Ｂの内部を、１回の処理によって同時に洗浄した。これに限らず、２個のカートリッジ３Ａ、３Ｂのうち空になったどちらか一方のカートリッジだけを、１回の処理によって洗浄することもできる。この場合には、樹脂チューブ８Ａ、８Ｂに設けられた開閉弁１２Ａ、１２Ｂを適宜操作する。また、液状樹脂用のカートリッジを３個以上設けて場合でも、各カートリッジをそれぞれ洗浄することができる。

ディスペンサ９の構成部材及び樹脂チューブ８Ｚの内部を洗浄する動作については、実施例１と同様であるので、説明は省略する。

本実施例によれば、洗浄剤用のカートリッジ５内に貯蔵された洗浄剤４を、樹脂チューブ１１、開閉弁１４、接続部１０、樹脂チューブ８Ａ、８Ｂ、スタティックミキサ１５Ａ、１５Ｂ、開閉弁１２Ａ、１２Ｂを経由して、２個の液状樹脂用のカートリッジ３Ａ、３Ｂの内部に注入する。このことによって、２個の液状樹脂用のカートリッジ３Ａ、３Ｂを取り外すことなく、２個のカートリッジ３Ａ、３Ｂ、樹脂チューブ８Ａ、８Ｂ、開閉弁１２Ａ、１２Ｂ、スタティックミキサ１５Ａ、１５Ｂの内部を、洗浄剤４によって自動的に洗浄することができる。

なお、本実施例においては、樹脂チューブ８Ａ、８Ｂ、８Ｚ、１１に、開閉弁１２Ａ、１２Ｂ、１３、１４をそれぞれ設けた場合を示した。これに限らず、接続部１０において、開閉弁１２Ａ、１２Ｂ、１３、１４の機能を統合する切替弁を設けることができる。

図３と図４とを参照して、本発明に係る樹脂成形装置の実施例３を説明する。図３に示される樹脂成形装置２４は、基板供給・収納モジュール２５と、４つの成形モジュール２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄと、液状樹脂供給モジュール２７とを、それぞれ構成要素として有する。構成要素である基板供給・収納モジュール２５と、成形モジュール２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄと、液状樹脂供給モジュール２７とは、それぞれ他の構成要素に対して、互いに着脱されることができ、かつ、交換されることができる。例えば、基板供給・収納モジュール２５と成形モジュール２６Ａとが装着された状態において、成形モジュール２６Ａに成形モジュール２６Ｂが装着され、成形モジュール２６Ｂに液状樹脂供給モジュール２７が装着されることができる。

基板供給・収納モジュール２５には、封止前基板２８を供給する封止前基板供給部２９と封止済基板３０を収納する封止済基板収納部３１とが設けられる。基板供給・収納モジュール２５には、ローダ３２とアンローダ３３とが設けられ、ローダ３２とアンローダ３３とを支えるレール３４がＸ方向に沿って設けられる。ローダ３２とアンローダ３３とは、レール３４に沿って移動する。

レール３４に支えられたローダ３２及びアンローダ３３は、基板供給・収納モジュール２５と各成形モジュール２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄと液状樹脂供給モジュール２７との間を、Ｘ方向に移動する。したがって、基板供給・収納モジュール２５と成形モジュール２６Ａとが装着された状態において、ローダ３２及びアンローダ３３は、基板供給・収納モジュール２５と成形モジュール２６Ａとが並ぶ方向（Ｘ方向）に沿って移動する。

加えて、ローダ３２及びアンローダ３３はＹ方向に移動する。すなわち、ローダ３２及びアンローダ３３は水平方向に移動する。なお、本出願書類においては、水平方向及び垂直方向という用語は、厳密な水平方向及び垂直方向の他に、移動する構成要素の動作を妨げない程度に方向が傾いている場合を含む。

各成形モジュール２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄには、昇降可能な可動下型３５と、可動下型３５に相対向して配置された固定上型（図示なし、図４参照）とが設けられる。固定上型と可動下型３５とは成形型を構成する。各成形モジュールは、固定上型と可動下型３５とを型締め及び型開きする型締め機構３６（二点鎖線で示す円形の部分）を有する。混合液状樹脂が供給されるキャビティ３７が可動下型３５に設けられ、キャビティ３７が離型フィルム３８（二点鎖線で示す矩形の部分）によって被覆される。なお、可動下型３５と固定上型とは、相対的に移動して型締め及び型開きできればよい。

液状樹脂供給モジュール２７には、供給機構３９が設けられる。供給機構３９は、レール３４に支えられ、レール３４に沿って移動する。したがって、液状樹脂供給モジュール２７と成形モジュール２６Ｄとが装着された状態において、供給機構３９は、液状樹脂供給モジュール２７と成形モジュール２６Ｄとが並ぶ方向（Ｘ方向）に沿って移動する。

実施例３に示される供給機構３９は、液状樹脂保管機構１とディスペンサ９とが一体化されて構成される。液状樹脂保管機構１には、液状樹脂用の２個のカートリッジ３Ａ、３Ｂと、洗浄剤用のカートリッジ５とが設けられる。２個のカートリッジ３Ａ、３Ｂには、ディスペンサ９の構成に対応した液状樹脂が貯蔵される。本実施例においては、ディスペンサ９が１液タイプのディスペンサであり、２個のカートリッジ３Ａ、３Ｂには混合液状樹脂２がそれぞれ貯蔵される。２液混合タイプのディスペンサを使用する場合については後述する。２個の液状樹脂用のカートリッジ３Ａ、３Ｂとディスペンサ９とは、接続部１０を介して、樹脂チューブ８Ａ、８Ｂ、８Ｚによって接続される（図２参照）。

なお、本出願書類においては、「一体化されて構成される」、「一体化して」などの文言は、複数の構成要素がひとまとまりになってそのひとまとまりが移動できることを意味する。「一体化されて構成される」、「一体化して」などの文言は、ひとまとまりになって移動できる複数の構成要素が互いに分離できる場合を含む。加えて、「ＡとＢとが一体化されたＣ」などの表現は、ＣにＡ及びＢ以外の構成要素が含まれることを排除しない。

液状樹脂供給モジュール２７には移動機構４０が設けられる。レール３４に支えられた供給機構３９は、移動機構４０によってレール３４に沿ってＸ方向に移動する。具体的に説明すれば、供給機構３９は、液状樹脂供給モジュール２７と各成形モジュール２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄとの間を移動する。ディスペンサ９はＹ方向に移動する。加えて、供給機構３９をＹ方向にも移動するようにしてもよい。

液状樹脂供給モジュール２７には、成形モジュール２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄにおいて固定上型と可動下型３５とを型締めした状態のキャビティ３７から空気を強制的に吸引して排出する真空引き機構４１が設けられる。液状樹脂供給モジュール２７には、樹脂成形装置２４全体の動作を制御する制御部４２が設けられる。図３においては、真空引き機構４１と制御部４２とを液状樹脂供給モジュール２７に設けた場合を示した。これに限らず、真空引き機構４１と制御部４２とを他のモジュールに設けてもよい。なお、実施例１、２で示した液状樹脂保管機構１の開閉弁１２、１２Ａ、１２Ｂ、１３、１４の開閉についても、この制御部４２によって制御される。

図３と図４とを用いて、供給機構３９が可動下型３５に設けられたキャビティ３７に混合液状樹脂２を供給する機構について説明する。図４（ａ）に示すように、各成形モジュール２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ（図３参照）には、固定上型４３と可動下型３５とフィルム押え部材４４とが設けられる。少なくとも固定上型４３と可動下型３５とは成形型を構成する。各成形モジュール２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄは、成形型を型締めし型開きする型締め機構３６（図３参照）を有する。

離型フィルム３８は、キャビティ３７及びその周囲を被覆する。フィルム押え部材４４は、キャビティ３７の周囲において、離型フィルム３８を可動下型３５の型面に押さえ付けて固定するための部材である。フィルム押え部材４４は中央部に開口を有し、その開口の内部に成形型が位置する。固定上型４３には、例えば、ＬＥＤチップ４５などが装着された封止前基板２８が、吸着又はクランプなどによって固定されて配置される。可動下型３５には、全体キャビティ３７と、全体キャビティ３７の中においてそれぞれのＬＥＤチップ４５に対応する個別キャビティ４６とが、設けられる。

全体キャビティ３７の全面を覆うようにして、離型フィルム３８が供給される。全体キャビティ３７の周囲において、離型フィルム３８が、フィルム押え部材４４によって可動下型３５の型面に押さえ付けられて固定される。各個別キャビティ４６における型面に沿うようにして、離型フィルム３８が吸着される。なお、図４（ａ）においては、離型フィルム３８とフィルム押え部材４４とを用いる場合を示した。これに限らず、離型フィルム３８とフィルム押え部材４４とを使用しなくてもよい。

図３と図４（ｂ）とに示されるように、供給機構３９は、液状樹脂保管機構１とディスペンサ９とが一体化されて構成される。２個の液状樹脂用のカートリッジ３Ａ、３Ｂは、樹脂チューブ８Ａ、８Ｂを介して接続部１０に接続される。洗浄剤用のカートリッジ５は、樹脂チューブ１１を介して、接続部１０に接続される。接続部１０は、樹脂チューブ８Ｚを介してディスペンサ９に設けられた貯留部１６に接続される。したがって、２個の液状樹脂用のカートリッジ３Ａ、３Ｂ及び洗浄剤用のカートリッジ５は、樹脂チューブ８Ａ、８Ｂ及び樹脂チューブ１１、接続部１０、樹脂チューブ８Ｚを介してディスペンサ９の貯留部１６に接続される。

ディスペンサ９は、混合液状樹脂２を貯留する貯留部１６と、混合液状樹脂２を所定量だけ送出する計量送出機構１７と、混合液状樹脂２を攪拌するスタティックミキサ１８と、攪拌された混合液状樹脂２を吐出するノズル１９とが一体化されて構成される。この場合には、ノズル１９から混合液状樹脂２が真下（−Ｚ方向）に吐出される。このようにディスペンサ９の構成を一体化することによって、ディスペンサ９を小型化することができる。ディスペンサ９を小型化することができるので、ディスペンサ９と液状樹脂保管機構１とが一体化された供給機構３９を小型化することができる。

供給機構３９には、供給機構３９が有するディスペンサ９をＹ方向に移動させる移動機構４７が設けられる。ディスペンサ９は、上下方向（Ｚ方向）にも移動させることができる。図４（ａ）に示されたディスペンサ９を、鉛直面内（Ｙ軸とＺ軸とを含む面内）又は水平面内（Ｘ軸とＹ軸とを含む面内）において、ある１点を中心にして部分的に回転するように往復動させることができる。

また、ディスペンサ９の構成部材（貯留部１６、計量送出機構１７、スタティックミキサ１８、ノズル１９）を互いに着脱することができ、交換することができる。ノズル１９を交換することによって、混合液状樹脂２を吐出する方向を、真下、真横、斜め下など任意の方向に設定することができる。加えて、予め１液に混合された混合液状樹脂２を使用する場合にはスタティックミキサ１８を設けなくてもよい。この場合には、ディスペンサ９をいっそう小型化することができる。

液状樹脂保管機構１の構成や動作については、実施例１と同様であり、ここでは説明を省略する。

なお、図３と図４（ｂ）においては、供給機構３９が、液状樹脂保管機構１とディスペンサ９とが一体化されて構成される場合を示した。これに限らず、液状樹脂保管機構１とディスペンサ９とを各別に構成することもできる。この場合には、ディスペンサ９のみが設けられた供給機構３９が、レール３４に支えられ、レール３４に沿って移動する。

本実施例によれば、洗浄剤用のカートリッジ５に貯蔵された洗浄剤４を、樹脂チューブ１１、接続部１０、樹脂チューブ８Ａ、８Ｂを経由して、２個の液状樹脂用のカートリッジ３Ａ、３Ｂの内部に注入することができる。このことによって、２個の液状樹脂用のカートリッジ３Ａ、３Ｂを取り外すことなく、２個のカートリッジ３Ａ、３Ｂやフッ素樹脂用のチューブ８Ａ、８Ｂの内部を洗浄剤４によって自動的に洗浄することができる。

また、液状樹脂保管機構１において、洗浄剤用のカートリッジ５は、樹脂チューブ１１、接続部１０、樹脂チューブ８Ｚを介して、ディスペンサ９の貯留部１６に接続される。混合液状樹脂２をディスペンサ９に移送することに代えて、洗浄剤用のカートリッジ５から樹脂チューブ１１、接続部１０、樹脂チューブ８Ｚを経由してディスペンサ９の貯留部１６に洗浄剤４を移送することができる。貯留部１６からスタティックミキサ１８を経由して洗浄剤４を移送してノズル１９から吐出する。このようにして、ディスペンサ９を樹脂成形装置２４から取り外すことなく、ディスペンサ９の構成部材や樹脂チューブ８Ｚの内部を洗浄剤４によって自動的に洗浄することができる。

このように、樹脂成形装置２４から２個の液状樹脂用のカートリッジ３Ａ、３Ｂやディスペンサ９を取り外すことなく、混合液状樹脂２が貯蔵される２個のカートリッジ３Ａ、３Ｂやディスペンサ９の構成部材の内部、及び２個のカートリッジ３Ａ、３Ｂとディスペンサ９とを接続する樹脂チューブ８Ａ、８Ｂ、８Ｚの内部を、洗浄剤４によって自動的に洗浄することができる。したがって、樹脂成形装置２４の構成部材を取り外したり、取り付けたりする作業を不要とし、作業効率を向上させることができる。加えて、樹脂成形装置２４の構成部材の内部を自動的に洗浄することができるので、樹脂成形装置２４の稼働率や生産性を向上させることができる。

本実施例によれば、供給機構３９は、液状樹脂保管機構１とディスペンサ９とが一体化されて構成される。このことにより、ディスペンサ９の移動距離は、可動下型３５の近傍から可動下型３５の上方における所定の位置までという短距離になる。したがって、樹脂チューブ８Ｚの距離を短くすることができる。供給機構３９全体を−Ｙ方向に移動させて可動下型３５の近傍の所定の位置まで移動させる場合には、ディスペンサ９自体を−Ｙ方向に移動させることがなくなるので、樹脂チューブ８Ｚの距離をいっそう短くすることができる。

樹脂チューブ８Ｚの距離を短くすることによって、第１に、供給機構３９を小型化することができる。このことによって、図３に示された液状樹脂供給モジュール２７と各成形モジュール２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄとの間において、レール３４を介して供給機構３９を容易に移動させることができる。

第２に、ディスペンサ９の移動に伴って樹脂チューブ８Ｚに湾曲や折れ曲がりが発生することを抑制することができる。このことによって、樹脂チューブ８Ｚにおいて、湾曲部において混合液状樹脂２や空気が溜まることを抑制することができる。したがって、ディスペンサ９の貯留部１６に混合液状樹脂２を安定して移送することができる。

図５を参照して、本発明に係る樹脂成形装置２４の実施例４を説明する。実施例３との違いは、ディスペンサ９として２液混合タイプのディスペンサを使用することである。２液混合タイプのディスペンサ９には、主剤を保管する液状樹脂保管機構１Ｍと硬化剤を保管する液状樹脂保管機構１Ｈとがそれぞれ設けられる。液状樹脂保管機構１Ｍには、主剤を貯蔵する２個のカートリッジ３Ｍと、主剤用の洗浄剤を貯蔵するカートリッジ５Ｍとが設けられる。硬化剤を保管する液状樹脂保管機構１Ｈには、硬化剤を貯蔵する２個のカートリッジ３Ｈと、硬化剤用の洗浄剤を貯蔵するカートリッジ５Ｈとが設けられる。主剤用の洗浄剤を貯蔵するカートリッジ５Ｍには、主剤の洗浄に適した洗浄剤が貯蔵される。硬化剤用の洗浄剤を貯蔵するカートリッジ５Ｈには、硬化剤の洗浄に適した洗浄剤が貯蔵される。

なお、図５においては、主剤に関係する構成部材には「Ｍ」、硬化剤に関係する構成部材には「Ｈ」の符号を付して区別する。主剤を移送する樹脂チューブ及び硬化剤を移送する樹脂チューブについては、図２で示した符号「８Ａ、８Ｂ、８Ｚ」を、洗浄剤を移送する樹脂チューブについては符号「１１」を、接続部については符号「１０」を同様に使用する。

ディスペンサ９には、主剤を貯留する貯留部１６Ｍと硬化剤を貯留する貯留部１６Ｈとが設けられる。主剤用の貯留部１６Ｍは、樹脂チューブ８Ｚ、接続部１０、樹脂チューブ８Ａ、８Ｂを介して主剤を貯蔵する２個のカートリッジ３Ｍに接続される。更に、樹脂チューブ８Ｚ、接続部１０、樹脂チューブ１１を介して、主剤用の洗浄剤を貯蔵するカートリッジ５Ｍに接続される。硬化剤用の貯留部１６Ｈは、樹脂チューブ８Ｚ、接続部１０、樹脂チューブ８Ａ、８Ｂを介して、硬化剤を貯蔵する２個のカートリッジ３Ｈに接続される。更に、樹脂チューブ８Ｚ、接続部１０、樹脂チューブ１１を介して、硬化剤用の洗浄剤を貯蔵するカートリッジ５Ｈに接続される。

ディスペンサ９において、主剤の計量送出機構１７Ｍが主剤の貯留部１６Ｍに接続される。硬化剤の計量送出機構１７Ｈが硬化剤の貯留部１６Ｈに接続される。主剤の貯留部１６Ｍと硬化剤の貯留部１６Ｈとは、ともに混合室４８という共通する空間に接続される。混合室４８には、主剤と硬化剤とを混合するスタティックミキサ１８が接続される。混合室４８とスタティックミキサ１８とは、併せて、主剤と硬化剤とを混合する混合部を構成する。スタティックミキサ１８の先端には、ノズル１９が取り付けられる。ノズル１９から、混合された混合液状樹脂４９が真下に吐出される。

供給機構３９には、供給機構３９が有するディスペンサ９をＹ方向に移動させる移動機構５０が設けられる。実施例３と同様に、ディスペンサ９は、上下方向（Ｚ方向）にも移動させることができる。また、ある１点を中心にして部分的に回転するように往復動させることができる。

本実施例によれば、液状樹脂保管機構１Ｍには、主剤を貯蔵する２個のカートリッジ３Ｍと主剤用の洗浄剤を貯蔵するカートリッジ５Ｍとが、液状樹脂保管機構１Ｈには、硬化剤を貯蔵する２個のカートリッジ３Ｈと硬化剤用の洗浄剤を貯蔵するカートリッジ５Ｈとが、それぞれ設けられる。洗浄剤用のカートリッジ５Ｍ、５Ｈを設けることによって、主剤用の２個のカートリッジ３Ｍ及び硬化剤用の２個のカートリッジ３Ｈを取り外すことなく、洗浄剤によって主剤用のカートリッジ３Ｍ及び硬化剤用のカートリッジ３Ｈの内部を自動的に洗浄することができる。

また、液状樹脂保管機構１Ｍにおいて、主剤用の洗浄剤を貯蔵するカートリッジ５Ｍは、樹脂チューブ１１、接続部１０、樹脂チューブ８Ｚを介して、ディスペンサ９の主剤用の貯留部１６Ｍに接続される。液状樹脂保管機構１Ｈにおいて、硬化剤用の洗浄剤を貯蔵するカートリッジ５Ｈは、樹脂チューブ１１、接続部１０、樹脂チューブ８Ｚを介して、ディスペンサ９の硬化剤用の貯留部１６Ｈに接続される。主剤又は硬化剤をディスペンサ９に移送することに代えて、洗浄剤用のカートリッジ５Ｍ又は５Ｈからディスペンサ９の貯留部１６Ｍ又は１６Ｈに洗浄剤を移送することができる。したがって、ディスペンサ９を樹脂成形装置２４から取り外すことなく、ディスペンサ９の構成部材や樹脂チューブ８Ｚの内部などを洗浄剤によって自動的に洗浄することができる。

このように、樹脂成形装置２４から主剤用の２個のカートリッジ３Ｍ、硬化剤用の２個のカートリッジ３Ｈ、及び、ディスペンサ９を取り外すことなく、主剤用のカートリッジ３Ｍ、硬化剤用のカートリッジ３Ｈ、及び、ディスペンサ９の構成部材の内部を自動的に洗浄することができる。したがって、樹脂成形装置２４の構成部材を取り外したり、組み立てたりする作業を不要とし、作業効率を向上させることができる。加えて、樹脂成形装置２４の構成部材の内部を自動的に洗浄することができるので、樹脂成形装置２４の稼働率や生産性を向上させることができる。

また、実施例３と同様に、供給機構３９は、液状樹脂保管機構１Ｍ、１Ｈとディスペンサ９とが一体化されて構成される。このことにより、ディスペンサ９の移動距離は、可動下型３５の近傍から可動下型３５の上方における所定の位置までという短距離になる。したがって、樹脂チューブ８Ｚの距離を短くすることができる。したがって、実施例３と同様に、供給機構３９を小型化することができる。加えて、樹脂チューブ８Ｚに湾曲や折れ曲がりが発生することを抑制することができる。

実施例３、４においては、液状樹脂保管機構に液状樹脂を保管するカートリッジを２個設けた場合を示した。これに限らず、液状樹脂を保管するカートリッジを１個又は３個以上設けてもよい。

また、実施例３、４においては、液状樹脂保管機構とディスペンサとを一体化して供給機構を小型化する構成とした。これに限らず、液状樹脂保管機構とディスペンサとを一体化せずに、各別に構成することもできる。この場合においても、本発明によれば、樹脂成形装置の構成部材を取り外したり、組み立てたりすることなく、自動的に構成部材の内部を洗浄することができる。

また、実施例３においては、基板供給・収納モジュール２５と液状樹脂供給モジュール２７との間に、４個の成形モジュール２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６ＤをＸ方向に並べて装着した。基板供給・収納モジュール２５と液状樹脂供給モジュール２７とを１つのモジュールにして、そのモジュールに１個の成形モジュール２６ＡをＸ方向に並べて装着してもよい。さらに、その１つのモジュールに成形モジュール２６ＡをＸ方向に並べて装着し、成形モジュール２６Ａに他の成形モジュール２６Ｂを装着してもよい。したがって、生産形態や生産量に対応して、樹脂成形装置２４の構成を最適にすることができ、生産性の向上を図ることができる。

また、実施例３、４においては、ディスペンサ９自体を水平方向に沿って配置、言い換えれば横向きに配置した。このことによって、樹脂成形装置２４の高さを小さくすることができる。ディスペンサ９自体を鉛直方向に沿って配置、言い換えれば縦向きに配置してもよい。このことによって、樹脂成形装置２４の平面積を小さくすることができる。加えて、ディスペンサ９自体を斜め下向きに配置してもよい。

なお、実施例３、４においては、ＬＥＤチップを樹脂封止する際に使用される樹脂成形装置及び樹脂成形方法を説明した。樹脂封止する対象はＩＣ、トランジスタなどの半導体チップでもよく、受動素子でもよい。プリント基板、セラミックス基板などの基板に装着された１個又は複数個の電子部品を樹脂封止する際に本発明を適用することができる。

加えて、電子部品を樹脂封止する場合に限らず、レンズ、リフレクタ（反射板）、導光板、光学モジュールなどの光学部品、その他の樹脂製品を樹脂成形によって製造する場合に、本発明を適用することができる。

実施例３、４においては、圧縮成形による樹脂成形装置及び樹脂成形方法を説明した。加えて、トランスファ成形による樹脂成形装置及び樹脂成形方法に本発明を適用することができる。この場合には、成形型に設けられた円筒状の空間からなる樹脂収納部（下方にプランジャと呼ばれる昇降部材が配置され、通常は固形樹脂からなる円柱状の樹脂材料が収納される部分であって、ポットと呼ばれる）に、混合液状樹脂からなる原料樹脂が供給される。

実施例３、４においては、下型に設けられたキャビティを収容部として、そのキャビティに混合液状樹脂からなる原料樹脂（以下「原料樹脂」という。）を供給する例を説明した。キャビティの他に、収容部は次のいずれであってもよい。第１に、収容部は、下型に設けられたポット（上述）である。

第２に、収容部は、基板の上面を含む空間であってその基板の上面に実装されているチップ（半導体チップ、受動部品のチップなどの電子部品のチップ）を含む空間である。原料樹脂は、基板の上面に実装されているチップを覆うようにして供給される。この場合には、チップと基板との間の電気的な接続をフリップチップによって行うことが好ましい。

第３に、収容部は、シリコンウェーハなどの半導体基板の上面を含む空間である。原料樹脂は、半導体基板に形成されている半導体回路などの機能部を覆うようにして供給される。この場合には、半導体基板の上面に突起状電極（bump）が形成されていることが好ましい。

第４に、収容部は、最終的に成形型のキャビティに収容されるはずのフィルムにおける上面を含む空間である。この場合における収容部は、例えば、フィルムがくぼむことによって形成される凹部である。原料樹脂は、フィルムがくぼむことによって形成された凹部に供給される。このフィルムの目的としては、離型性の向上、フィルムの表面における凹凸からなる形状の転写、フィルムに予め形成された図柄の転写などが挙げられる。フィルムの凹部に収容された原料樹脂を、フィルムとともに、適切な搬送機構を使用して搬送して最終的に成形型のキャビティに収容する。

第１〜第４の場合のいずれにおいても、収容部に収容された原料樹脂は、最終的に成形型のキャビティの内部に収容されて、キャビティの内部において硬化する。

第２〜第４の場合のいずれにおいても、相対向する１対の成形型の外部において収容部に原料樹脂を供給し、その収容部を少なくとも含む構成要素を成形型の間に搬送することができる。

本発明は、上述した各実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に組み合わせ、変更し、又は選択して採用できるものである。例えば、実施例３において、図３に示された成形モジュール２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄが着脱されることに関する構成と他の実施例に示された液状樹脂保管機構１、１Ｍ、１Ｈとを組み合わせることができる。

１、１Ｍ、１Ｈ 液状樹脂保管機構
２ 混合液状樹脂（原料樹脂、第１の液状樹脂、第２の液状樹脂）
３、３Ａ 液状樹脂用のカートリッジ（第１の容器）
３Ｂ 液状樹脂用のカートリッジ（第２の容器）
３Ｍ 主剤用のカートリッジ
３Ｈ 硬化剤用のカートリッジ
４ 洗浄剤
５、５Ｍ、５Ｈ 洗浄剤用のカートリッジ（洗浄剤用容器）
６、６Ａ、６Ｂ プランジャ
７ プランジャ
８Ａ、８Ｚ 樹脂チューブ（第１の配管）
８Ｂ 樹脂チューブ（第２の配管）
９ ディスペンサ（吐出部）
１０ 接続部
１１ 樹脂チューブ（洗浄剤用配管）
１２、１２Ａ 開閉弁（第１の開閉弁）
１２Ｂ 開閉弁（第４の開閉弁）
１３ 開閉弁（第２の開閉弁）
１４ 開閉弁（第３の開閉弁）
１５、１５Ａ、１５Ｂ スタティックミキサ（混合部材）
１６、１６Ｍ、１６Ｈ 貯留部
１７、１７Ｍ、１７Ｈ 計量送出機構
１８ スタティックミキサ
１９ ノズル
２０ コンプレッサ（加圧機構）
２１ 樹脂チューブ
２２ 電空レギュレータ
２３ 切替弁
２４ 樹脂成形装置
２５ 基板供給・収納モジュール
２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ 成形モジュール
２７ 液状樹脂供給モジュール（供給モジュール）
２８ 封止前基板
２９ 封止前基板供給部
３０ 封止済基板（成形品）
３１ 封止済基板収納部
３２ ローダ
３３ アンローダ
３４ レール
３５ 可動下型（下型、成形型）
３６ 型締め機構
３７ キャビティ、全体キャビティ（キャビティ、収容部）
３８ 離型フィルム
３９ 供給機構
４０ 移動機構
４１ 真空引き機構
４２ 制御部
４３ 固定上型（上型、成形型）
４４ フィルム押さえ部材
４５ ＬＥＤチップ
４６ 個別キャビティ
４７ 移動機構
４８ 混合室
４９ 混合液状樹脂（原料樹脂）
５０ 移動機構

Claims (14)

1. 上型と、該上型に相対向して設けられた下型と、前記上型と前記下型との少なくとも一方に設けられたキャビティと、前記キャビティにおいて硬化して硬化樹脂になるはずの原料樹脂が収容される収容部と、前記上型と前記下型とを少なくとも有する成形型を型締めする型締め機構とを備え、前記硬化樹脂を含む成形品を成形する樹脂成形装置であって、
   前記原料樹脂に含まれる第１の液状樹脂を保管する第１の容器と、
   前記第１の容器に接続された第１の配管と、
   前記原料樹脂に含まれる第２の液状樹脂を保管する第２の容器と、
   前記第２の容器と前記第１の配管とを接続する第２の配管と、
   前記第１の配管に接続され前記原料樹脂を前記収容部に向かって吐出する吐出部と、
   洗浄剤を保管する洗浄剤用容器と、
   前記洗浄剤用容器と前記第１の配管とを接続する洗浄剤用配管と、
   前記第１の配管において前記洗浄剤用配管が接続された接続部を含む該接続部から上流側に設けられた第１の開閉弁と、
   前記第１の配管において前記接続部を含む該接続部から下流側に設けられた第２の開閉弁と、
   前記洗浄剤用配管において前記接続部を含む該接続部から上流側に設けられた第３の開閉弁と、
   前記第２の配管において前記接続部を含む該接続部から上流側に設けられた第４の開閉弁と、
   前記洗浄剤を加圧する加圧機構とを備え、
   加圧された前記洗浄剤が、前記洗浄剤用配管と前記第１の配管とを順次経由して前記第１の容器を含む構成要素に移送されて流動し、又は、前記洗浄剤用配管と前記第２の配管とを順次経由して前記吐出部を含む構成要素に移送されて流動し、
   流動した前記洗浄剤が前記吐出部から吐出されることによって前記第１の容器を含む構成要素又は前記吐出部を含む構成要素が洗浄されることを特徴とする樹脂成形装置。
2. 請求項１に記載された樹脂成形装置において、
   加圧された前記洗浄剤が前記洗浄剤用配管と前記第２の配管とを順次経由して前記第２の容器に移送されることによって前記第２の容器が洗浄されることを特徴とする樹脂成形装置。
3. 請求項１又は２に記載された樹脂成形装置において、
   前記第１の配管と前記第２の配管との少なくとも一方に設けられた混合部材を備え、
   前記混合部材によって前記第１の液状樹脂と前記第２の液状樹脂との少なくとも一方が攪拌されることを特徴とする樹脂成形装置。
4. 請求項１〜３のいずれか１つに記載された樹脂成形装置において、
   少なくとも前記第１の開閉弁と前記第２の開閉弁と前記第３の開閉弁と前記第４の開閉弁として機能する切替弁を備えることを特徴とする樹脂成形装置。
5. 請求項１〜４のいずれか１つに記載された樹脂成形装置において、
   前記第１の液状樹脂と前記第２の液状樹脂とは同じ種類であることを特徴とする樹脂成形装置。
6. 請求項１〜４のいずれか１つに記載された樹脂成形装置において、
   前記第１の液状樹脂と前記第２の液状樹脂とは異なる種類であることを特徴とする樹脂成形装置。
7. 請求項１〜６のいずれかに記載された樹脂成形装置において、
   前記成形型と前記型締め機構とを有する少なくとも１個の成形モジュールと、
   少なくとも前記第１の液状樹脂を前記１個の成形モジュールに供給する供給モジュールとを備え、
   前記供給モジュールと前記１個の成形モジュールとが着脱可能であり、
   前記１個の成形モジュールが他の成形モジュールに対して着脱可能であることを特徴とする樹脂成形装置。
8. 上型と該上型に相対向して設けられた下型とを少なくとも有する成形型を準備する工程と、前記上型と前記下型との少なくとも一方に設けられたキャビティにおいて硬化して硬化樹脂になるはずの原料樹脂を第１の配管を経由して吐出部から吐出することによって収容部に収容する工程と、前記収容部に収容された前記原料樹脂を使用して前記キャビティを満たされた状態にする工程と、前記成形型を型締めする工程と、前記キャビティにおいて前記原料樹脂を硬化させて前記硬化樹脂を形成する工程とを備える樹脂成形方法であって、
   前記第１の配管に接続された第１の容器に、前記原料樹脂に含まれる第１の液状樹脂を保管する工程と、
   前記第１の配管に第２の配管を介して接続された第２の容器に、前記原料樹脂に含まれる第２の液状樹脂を保管する工程と、
   洗浄剤用容器に洗浄剤を保管する工程と、
   前記洗浄剤を加圧することによって、前記洗浄剤用容器から洗浄剤用配管と前記第１の配管とを順次経由して前記第１の容器を含む構成要素に前記洗浄剤を移送し、又は、前記洗浄剤用容器から前記洗浄剤用配管と前記第２の配管とを順次経由して前記吐出部を含む構成要素に前記洗浄剤を移送する工程と、
   移送された前記洗浄剤を流動させる工程と、
   流動した後の前記洗浄剤を前記吐出部から吐出することによって前記第１の容器を含む構成要素又は前記吐出部を含む構成要素を洗浄する工程とを備えることを特徴とする樹脂成形方法。
9. 請求項８に記載された樹脂成形方法において、
   前記移送する工程では、前記第１の容器、前記第２の容器、又は、前記吐出部のうち少なくとも１つの構成要素に前記洗浄剤を移送することを特徴とする樹脂成形方法。
10. 請求項８又は９に記載された樹脂成形方法において、
    前記第１の配管と前記第２の配管との少なくとも一方に設けられた混合部材を使用して、前記第１の液状樹脂と前記第２の液状樹脂との少なくとも一方を攪拌する工程を備えることを特徴とする樹脂成形方法。
11. 請求項８〜１０のいずれか１つに記載された樹脂成形方法において、
    前記洗浄剤を移送する経路を、前記洗浄剤用容器から前記洗浄剤用配管と前記第１の配管とを経由して少なくとも前記第１の容器までの経路と、前記洗浄剤用容器から前記洗浄剤用配管と前記第１の配管とを経由して前記吐出部までの経路とのいずれかに、切り替える工程を備えることを特徴とする樹脂成形方法。
12. 請求項８〜１１のいずれか１つに記載された樹脂成形方法において、
    前記第１の液状樹脂と前記第２の液状樹脂とは同じ種類であることを特徴とする樹脂成形方法。
13. 請求項８〜１１のいずれか１つに記載された樹脂成形方法において、
    前記第１の液状樹脂と前記第２の液状樹脂とは異なる種類であることを特徴とする樹脂成形方法。
14. 請求項８〜１３のいずれか１つに記載された樹脂成形方法において、
    前記成形型と該成形型を型締めする型締め機構とを有する少なくとも１個の成形モジュールを準備する工程と、
    少なくとも前記第１の液状樹脂を供給する供給モジュールを準備する工程と、
    前記供給モジュールと前記１個の成形モジュールとを取り付ける工程とを備えるとともに、
    前記供給モジュールと前記１個の成形モジュールとを取り外すことができ、
    前記１個の成形モジュールと他の成形モジュールとを着脱することができることを特徴とする樹脂成形方法。

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