JP6309939B2

JP6309939B2 - ワークが加工される空間を画定するエンクロージャを備える加工システム

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Publication number: JP6309939B2
Application number: JP2015230920A
Authority: JP
Inventors: 勝好鈴木
Original assignee: Fanuc Corp
Current assignee: Fanuc Corp
Priority date: 2015-11-26
Filing date: 2015-11-26
Publication date: 2018-04-11
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Description

本発明は、ワークが加工される空間を画定するエンクロージャを備える加工システムに関する。

エンクロージャ内に発生した切削液等を含むミストを吸引装置で吸引する技術が開示されている（例えば、特許文献１）。

特開２００６−１９２３６２号公報

従来、エンクロージャからミストが外部へ漏出するのを確実に防止する技術が求められている。

加工システムは、開口部を有し、ワークが加工される第１の空間を画定する第１のエンクロージャと、第１のエンクロージャに隣接して設置され、開口部を通して第１の空間と連通する第２の空間を画定する第２のエンクロージャを備える。

第２の空間には、開口部を通して第１の空間に進退可能なロボットが設置される。また、加工システムは、第２の空間の気圧を第１の空間の気圧よりも高くする気圧調整装置を備える。

気圧調整装置は、第２の空間の気圧を上昇させるように第２の空間に給気する給気装置を有してもよい。加工システムは、給気装置によって第２の空間に供給される気体の温度を調整する温度調整装置をさらに備えてもよい。

加工システムは、第２の空間の温度を検出する温度センサをさらに備えてもよい。温度調整装置は、温度センサが検出した温度に基づいて、第２の空間に供給される気体の温度を調整してもよい。

気圧調整装置は、第１の空間の気圧を降下させるように第１の空間から排気する排気装置を有してもよい。第２のエンクロージャは、第２の開口部を有してもよい。加工システムは、第２の空間に出し入れ可能となるように第２の開口部に設置され、ワークを支持可能な支持部をさらに備えてもよい。

支持部は、第２の空間へ押し入れられたときに第２の開口部を密閉するように構成されてもよい。加工システムは、開口部を開閉する扉と、扉を駆動する扉駆動部と、気圧調整装置および扉駆動部を制御する制御部とをさらに備えてもよい。

制御部は、扉が閉じられているときに、第２の空間の気圧が第１の空間の気圧よりも高くなるように気圧調整装置を動作させてもよい。制御部は、第２の空間の気圧が第１の空間の気圧よりも高くなったときに、扉駆動部を動作させて扉を開いてもよい。制御部は、扉が開いている間、気圧調整装置を動作させてもよい。

本発明の一実施形態に係る加工システムの図である。図１に示す加工システムにおいて、第２のエンクロージャを点線にて示した図である。図１に示す加工システムを水平面で切断して上方から見た断面図である。図１に示す加工システムのブロック図である。図１に示す加工システムの動作フローの一例を示すフローチャートである。本発明の他の実施形態に係る加工システムの図である。図６に示す加工システムを水平面で切断して上方から見た断面図である。図６に示す加工システムのブロック図である。図６に示す加工システムの動作フローの一例を示すフローチャートである。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。まず、図１〜図３を参照して、本発明の一実施形態に係る加工システム１０について説明する。加工システム１０は、加工機１２およびロボット１４を備える。

加工機１２は、加工ヘッド１５（図３）、ワークテーブル１６（図３）、第１のエンクロージャ１８、扉２０、および扉駆動部２２を有する。加工機１２は、フライス削り、中ぐり、および穿孔等の複数の種類の加工プロセスを実行することができる。加工ヘッド１５は、実行される加工プロセスに応じて自動で交換される工具を有し、ワークテーブル１６に設置されたワークＷを加工する。

第１のエンクロージャ１８は、第１の空間２４（図３）を画定する。加工ヘッド１５およびワークテーブル１６は、第１の空間２４に設置され、該第１の空間２４において、ワークＷは、加工ヘッド１５によって加工される。第１のエンクロージャ１８の、ロボット１４に面する壁２６には、開口部２８が形成されている。

扉２０は、壁２６に沿って摺動可能となるように、壁２６に設けられている。扉２０は、開口部２８を開放する開放位置と、開口部２８を閉鎖する閉鎖位置との間で摺動する。

扉駆動部２２は、サーボモータ３０および開閉機構３２を有する。サーボモータ３０は、出力シャフトを含み、該出力シャフトを回転駆動する。開閉機構３２は、例えばボール螺子機構を含み、出力シャフトの回転運動を、壁２６に沿った往復運動へ変換する。扉２０は、開閉機構３２に連結されており、サーボモータ３０は、該開閉機構３２を介して、出力シャフトの回転数に応じた速度で、扉２０を開閉する。

ロボット１４は、例えば垂直多関節ロボットであり、壁２６に隣接して設置されている。ロボット１４は、床に固定されたベース３４と、該ベース３４に鉛直軸周りに旋回可能に連結された旋回胴３５と、該旋回胴３５に回動可能に連結されたロボットアーム３６と、ロボットアーム３６の先端部に設けられたロボットハンド３８とを有する。

ロボットハンド３８は、開閉可能な複数の指部を有し、ワークを把持したり、開放したりする。ロボットハンド３８は、ロボットアーム３６の動作によって、開口部２８を通して、第１の空間２４に対して進退される。

加工システム１０は、第２のエンクロージャ４０、給気装置４１（図１）、ならびに、支持部４４および４８をさらに備える。第２のエンクロージャ４０は、第１のエンクロージャ１８に隣接して設置され、第２の空間４２（図３）を画定している。この第２の空間４２は、扉２０が開いているときに、開口部２８を通して、第１の空間２４と連通する。ロボット１４は、第２の空間４２に設置される。

給気装置４１は、第２のエンクロージャ４０の上壁４６に設置されている。給気装置４１は、例えば電動ファンを有し、上壁４６に形成された開口部（図示せず）を通して、第２の空間４２に外気を導入する。これにより、給気装置４１は、第２の空間４２の気圧を上昇させる。

支持部４４は、第２のエンクロージャ４０の側壁５０に形成された開口部（第２の開口部）５２に設置されている。支持部４４は、底板５４と、該底板５４の前縁から上方に立ち上がる前板５６とを有する。前板は、開口部５２の外形に一致する形状を有している。

支持部４４は、第２の空間４２に出し入れ可能となるように、開口部５２に設置されている。加工機１２によって加工されるべきワークＷをワークテーブル１６に設置するとき、使用者は、図１に示すように、支持部４４を第２の空間４２の外部へ引き出して、加工されるべきワークＷを、底板５４の上に載置する。

そして、使用者は、図３に示すように、支持部４４を第２の空間４２内へ押し入れる。このとき、前板５６は、開口部５２を気密に閉鎖する。こうして、ワークＷは、支持部４４によって支持されつつ、使用者によって第２の空間４２内に導入される。

ロボット１４は、支持部４４によって支持されたワークＷをロボットハンド３８によって把持し、扉２０の開扉時に、開口部２８を通して第１の空間２４に搬入し、ワークテーブル１６上に設置する。

支持部４８は、支持部４４と同様の構成を有する。具体的には、支持部４８は、第２の空間４２に出し入れ可能となるように、側壁５０に形成された開口部（第２の開口部）５８に設置されている。

支持部４８は、ワークＷが載置される底板６０と、底板６０の前縁から上方に立ち上がる前板６２とを有する。前板６２は、開口部５８の外形に一致する形状を有する。図１および図３に示すように支持部４８が第２の空間４２に押し入れられたとき、前板６２は、開口部５８を気密に閉鎖する。

本実施形態においては、支持部４８には、加工済みのワークＷが載置される。具体的には、加工済みのワークＷを加工機１２から搬出するとき、ロボット１４は、扉２０の開扉時に、ワークテーブル１６に設置されている加工済みのワークＷをロボットハンド３８によって把持し、開口部２８を通して第１の空間２４から第２の空間４２へ搬出する。

このとき、支持部４８は、図１および図３に示すように第２の空間４２に押し入れられている。ロボット１４は、第１の空間２４から搬出したワークＷを、支持部４８の底板６０上に載置する。そして、使用者は、支持部４８を第２の空間４２の外部へ引き出して、加工済みのワークＷを取り出す。

支持部４４および４８が第２の空間４２に押し入れられ、且つ、扉２０が開放されているとき、第１のエンクロージャ１８および第２のエンクロージャ４０は、外部から気密に閉鎖されるように、第１の空間２４および第２の空間４２を画定する。

図４は、加工システム１０のブロック図を示す。加工システム１０は、加工機制御部６４およびロボット制御部６６をさらに備える。加工機制御部６４およびロボット制御部６６は、互いに通信可能に接続されている。

加工機制御部６４は、ＣＰＵおよび記憶部等を有し、扉駆動部２２および給気装置４１の動作を制御する。具体的には、加工機制御部６４は、扉駆動部２２のサーボモータ３０に指令を送り、扉２０を開閉する。また、加工機制御部６４は、給気装置４１に内蔵されたモータ（図示せず）に指令を送り、給気装置４１を動作させて、第２の空間４２に外気を導入する。

ロボット制御部６６は、ＣＰＵおよび記憶部等を有し、ロボット１４に内蔵されたサーボモータ（図示せず）に指令を送り、ロボット１４を動作させる。加工機制御部６４およびロボット制御部６６は、互いに通信しつつ、ワークＷを交換するワーク交換プロセスを実行する。

次に、図５を参照して、加工システム１０の動作について説明する。図５に示すフローは、加工機制御部６４またはロボット制御部６６が、使用者、上位コントローラ、または加工プログラムから、加工済みのワークＷを交換するワーク交換指令を受け付けたときに、開始する。

図５に示すフローが開始されたとき、扉２０は、閉鎖位置に配置されている。また、支持部４４および４８は、第２の空間４２に押し入れられ、開口部５２および５８は、前板５６および６２によって、それぞれ閉鎖されている。

ステップＳ１において、加工機制御部６４は、給気装置４１を起動する。具体的には、加工機制御部６４は、給気装置４１に内蔵されたモータに指令を送り、給気装置４１を動作させて、第２の空間４２に外気を供給する。

上述したように、このステップＳ１の開始時には、扉２０は閉鎖位置に配置されている。したがって、給気装置４１によって第２の空間４２に外気を供給すると、第２の空間４２の気圧Ｐ_２が上昇する。

ここで、給気装置４１は、第２の空間４２の気圧Ｐ_２が、第１の空間２４の気圧Ｐ_１よりも高くなる（すなわち、Ｐ_２＞Ｐ_１）ように、第２の空間４２に外気を導入する。このように、本実施形態においては、給気装置４１は、第２の空間４２の気圧Ｐ_２を第１の空間２４の気圧Ｐ_１よりも高くする気圧調整装置６８（図４）を構成する。

ステップＳ２において、加工機制御部６４は、扉２０を開く。具体的には、加工機制御部６４は、扉駆動部２２のサーボモータ３０に指令を送り、扉２０を閉鎖位置から開放位置へ移動させる。

ここで、上述のステップＳ１において、給気装置４１によって、第２の空間４２の気圧Ｐ_２が第１の空間２４の気圧Ｐ_１よりも高くなっている。したがって、このステップＳ２にて扉２０を開いたとき、開口部２８を通して、第２の空間４２から第１の空間２４へ流入する気流が発生する。

ステップＳ３において、ロボット制御部６６は、ワークＷを交換する。具体的には、ロボット制御部６６は、ロボット１４を動作させて、ワークテーブル１６に設置されている加工済みのワークＷを把持し、開口部２８を通して第１の空間２４から搬出し、支持部４８の底板６０上に載置する。

次いで、ロボット制御部６６は、ロボット１４を動作させて、支持部４４の底板５４上に載置されたワークＷを把持し、開口部２８を通して第１の空間２４に搬入し、ワークテーブル１６上に設置する。そして、ロボット制御部６６は、ロボット１４を第１の空間２４から第２の空間４２へ退避させる。

ステップＳ４において、加工機制御部６４は、扉２０を閉じる。具体的には、加工機制御部６４は、扉駆動部２２のサーボモータ３０に指令を送り、扉２０を開放位置から閉鎖位置まで移動させる。

ステップＳ５において、加工機制御部６４は、給気装置４１を停止する。具体的には、加工機制御部６４は、給気装置４１に内蔵されたモータに指令を送り、給気装置４１を停止する。これにより、第２の空間４２への外気の導入が停止される。

上述したように、本実施形態においては、ステップＳ２にて扉２０を開いたとき、開口部２８を通して、第２の空間４２から第１の空間２４へ流入する気流が発生する。この構成によれば、加工ヘッド１５によってワークＷを加工するときに第１の空間２４にて発生した切削液等を含むミストが、開口部２８を通して第１の空間２４から外部へ漏出してしまうのを防止することができる。

また、本実施形態においては、加工機制御部６４は、ステップＳ２〜Ｓ４において扉２０を開いている期間に亘って、給気装置４１を継続して動作させて、第２の空間４２の気圧Ｐ_２を第１の空間２４の気圧Ｐ_１よりも高くなるように維持している。

この構成によれば、扉２０を開いている期間に亘って、開口部２８を通して第２の空間４２から第１の空間２４へ流入する気流を継続的に発生させることができるので、切削液等のミストが開口部２８を通して第１の空間２４から外部へ漏出してしまうのを、確実に防止することができる。

また、第２の空間４２から第１の空間２４へ流入する気流を発生させる必要があるときだけ給気装置４１を稼働することにより、加工システム１０の消費電力を抑えることもできる。

また、本実施形態においては、第２の空間４２を気密に閉鎖可能な支持部４４および４８によって、加工されるべきワークＷの供給、および、加工済みのワークＷの取り出しを実行できる。

この構成によれば、ステップＳ３の実行時には、第２の空間４２の密閉状態を維持し、これにより、開口部２８を通して第２の空間４２から第１の空間２４へ流入する気流を効果的に発生させることができる。その一方で、使用者は、支持部４４および４８によって、加工されるべきワークＷの供給、および、加工済みのワークＷの取り出しを容易に行うことができる。

次に、図６および図７を参照して、他の実施形態に係る加工システム７０について説明する。なお、以下に説明する種々の実施形態において、既述の実施形態と同様の要素には同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。

加工システム７０は、上述の加工システム１０と以下の点で相違する。すなわち、加工システム７０は、排気装置７２、温度調整装置７４、温度センサ７６、第１の気圧センサ７８、および第２の気圧センサ８０をさらに備える。

排気装置７２は、第１のエンクロージャ１８の上壁１９に設置されている。排気装置７２は、例えば電動ファンを有し、上壁１９に形成された開口部（図示せず）を通して、第１の空間２４から排気する。これにより、排気装置７２は、第１の空間２４の気圧を降下させる。

温度調整装置７４は、例えばエアコンディショナであって、第１のエンクロージャ１８および第２のエンクロージャ４０の外部の雰囲気の温度を調整する。本実施形態においては、温度調整装置７４は、調整した温度の気体を給気装置４１に供給するように、配置されている。

温度センサ７６は、第２の空間４２に設置され、該第２の空間４２の温度を計測する。第１の気圧センサ７８は、第１の空間２４に設置されており、該第１の空間２４の気圧Ｐ_１を計測する。一方、第２の気圧センサ８０は、第２の空間４２に設置されており、該第２の空間４２の気圧Ｐ_２を計測する。

図８は、加工システム７０のブロック図を示す。加工システム７０は、加工機制御部８２およびロボット制御部６６を備える。加工機制御部８２およびロボット制御部６６は、互いに通信可能に接続されている。

加工機制御部８２は、ＣＰＵおよび記憶部等を有し、扉駆動部２２、給気装置４１、排気装置７２、温度調整装置７４、温度センサ７６、第１の気圧センサ７８、および第２の気圧センサ８０の動作を制御する。

具体的には、加工機制御部８２は、扉駆動部２２のサーボモータ３０に指令を送り、扉２０を開閉する。また、加工機制御部８２は、給気装置４１に内蔵されたモータ（図示せず）に指令を送り、給気装置４１を動作させて第２の空間４２に外気を導入する。

また、加工機制御部８２は、排気装置７２に内蔵されたモータ（図示せず）に指令を送り、排気装置７２を動作させて第１の空間２４から排気する。また、加工機制御部８２は、温度調整装置７４に指令を送り、温度調整装置７４を動作させて、第１のエンクロージャ１８および第２のエンクロージャ４０の外部の雰囲気の温度を調整する。

また、加工機制御部８２は、温度センサ７６に指令を送り、第２の空間４２の温度を計測させ、計測した温度に係るデータを温度センサ７６から取得する。また、加工機制御部８２は、第１の気圧センサ７８および第２の気圧センサ８０に指令を送り、第１の空間２４および第２の空間４２の気圧をそれぞれ計測させ、計測した気圧に係るデータを第１の気圧センサ７８および第２の気圧センサ８０から取得する。

次に、図９を参照して、加工システム７０の動作について説明する。なお、図９に示すフローにおいて、図５に示すフローと同様のプロセスには同じステップ番号を付し、詳細な説明を省略する。

図９に示すフローは、加工機制御部８２またはロボット制御部６６が、使用者、上位コントローラ、または加工プログラムから、加工済みのワークＷを交換するワーク交換指令を受け付けたときに、開始する。

図９に示すフローが開始されたとき、扉２０は、閉鎖位置に配置されている。また、支持部４４および４８は、第２の空間４２に押し入れられ、開口部５２および５８は、前板５６および６２によって、それぞれ閉鎖されている。

ステップＳ１１において、加工機制御部８２は、気圧調整装置を起動する。具体的には、加工機制御部８２は、給気装置４１に内蔵されたモータに指令を送り、給気装置４１を動作させて第２の空間４２に外気を供給する。これとともに、加工機制御部８２は、排気装置７２に内蔵されたモータ（図示せず）に指令を送り、排気装置７２を動作させて第１の空間２４から排気する。

上述したように、このステップＳ１１の開始時には、扉２０は閉鎖位置に配置されている。したがって、給気装置４１によって第２の空間４２に外気を供給するとともに、排気装置７２によって第１の空間２４から排気すると、第２の空間４２の気圧Ｐ_２が、第１の空間２４の気圧Ｐ_１に対して上昇する。

給気装置４１および排気装置７２は、第２の空間４２の気圧Ｐ_２が、第１の空間２４の気圧Ｐ_１よりも高くなるように、第２の空間４２への給気、および第１の空間２４からの排気を行う。

このように、本実施形態においては、給気装置４１および排気装置７２は、第２の空間４２の気圧Ｐ_２を第１の空間２４の気圧Ｐ_１よりも高くする気圧調整装置８４（図８）を構成する。

ステップＳ１２において、加工機制御部８２は、第２の空間４２の温度を計測する。具体的には、加工機制御部８２は、温度センサ７６に指令を送り、第２の空間４２の温度Ｔを計測し、計測した温度Ｔに係るデータを温度センサ７６から取得する。

ステップＳ１３において、加工機制御部８２は、ステップＳ１２にて取得した第２の空間４２の温度Ｔが、予め定められた許容範囲［Ｔ_１，Ｔ_２］内であるか否かを判定する。この許容範囲は、第１の空間２４にて実行される加工プロセスに応じて、使用者によって予め設定され、記憶部に記憶される。

加工機制御部８２は、温度Ｔが許容範囲内（すなわち、Ｔ_１≦Ｔ≦Ｔ_２）である場合、ＹＥＳと判定し、ステップＳ１５へ進む。一方、加工機制御部８２は、温度Ｔが許容範囲外（すなわち、Ｔ＜Ｔ_１、またはＴ_２＜Ｔ）である場合、ＮＯと判定し、ステップＳ１４へ進む。

ステップＳ１４において、加工機制御部８２は、温度調整装置７４に指令を送り、温度調整装置７４を動作させる。一例として、ステップＳ１３において、温度Ｔが閾値Ｔ_１よりも小さかった場合（すなわち、Ｔ＜Ｔ_１）、温度調整装置７４は、第１のエンクロージャ１８および第２のエンクロージャ４０の外部の雰囲気を暖房する。

一方、ステップＳ１３において、温度Ｔが閾値Ｔ_２よりも大きかった場合（すなわち、Ｔ_２＜Ｔ）、温度調整装置７４は、第１のエンクロージャ１８および第２のエンクロージャ４０の外部の雰囲気を冷房する。

このように外部の雰囲気を暖房または冷房することによって、給気装置４１が第２の空間４２に導入する外気の温度が、上昇または低下することになり、その結果、第２の空間４２の温度を上昇または低下させることができる。こうして、温度調整装置７４は、給気装置４１によって第２の空間４２に供給される気体の温度を調整する。

ステップＳ１５において、加工機制御部８２は、第１の空間２４の気圧Ｐ_１、および第２の空間４２の気圧Ｐ_２を計測する。具体的には、加工機制御部８２は、第１の気圧センサ７８および第２の気圧センサ８０に指令を送り、気圧Ｐ_１および気圧Ｐ_２をそれぞれ計測させ、計測した気圧に係るデータを取得する。

ステップＳ１６において、加工機制御部８２は、第１の空間２４と第２の空間４２との間で、予め定められた気圧差δＰが形成されたか否かを判定する。具体的には、加工機制御部８２は、ステップＳ１５にて取得した気圧Ｐ_１と気圧Ｐ_２との差δＰ＝Ｐ_２−Ｐ_１を算出する。

そして、加工機制御部８２は、算出した差δＰが、予め定められた閾値αを超えた（すなわち、δＰ≧α）か否かを判定する。この閾値αは、扉２０を開いた場合に開口部２８を通して第２の空間４２から第１の空間２４へ流入する十分な気流を発生させることのできる値として、使用者によって予め定められ、記憶部に記憶される。

加工機制御部８２は、差δＰが閾値αを超えた場合、ＹＥＳと判定し、ステップＳ２へ進む。一方、差δＰが閾値αを超えていない（すなわち、δＰ＜α）場合、ＮＯと判定し、ステップＳ１６をループする。

ステップＳ１６にてＹＥＳと判定した後、加工機制御部８２またはロボット制御部６６は、図５に示すフローと同様のステップＳ２〜Ｓ４を実行する。

ステップＳ４の後、ステップＳ１７において、加工機制御部８２は、気圧調整装置８４を停止する。具体的には、加工機制御部８２は、給気装置４１および排気装置７２に指令を送り、給気装置４１および排気装置７２を停止する。

本実施形態においては、ステップＳ１１において、気圧調整装置８４によって、第２の空間４２の気圧Ｐ_２が第１の空間２４の気圧Ｐ_１よりも高く維持されている。したがって、ステップＳ２にて扉２０を開いたとき、開口部２８を通して、第２の空間４２から第１の空間２４へ流入する気流が発生する。

この構成によれば、加工ヘッド１５によってワークＷを加工するときに第１の空間２４にて発生した切削液等を含むミストが、開口部２８を通して第１の空間２４から外部へ漏出してしまうのを防止することができる。

また、本実施形態においては、気圧調整装置８４を、給気装置４１と排気装置７２によって構成している。この構成によれば、気圧Ｐ_２が気圧Ｐ_１よりも高くなるように、気圧Ｐ_１に対して気圧Ｐ_２を迅速に変化させることができる。

また、本実施形態においては、第２の空間４２の温度Ｔが許容範囲外であった場合（すなわち、ステップＳ１３にてＮＯと判定）に、第１の空間２４にて実行される加工プロセスに応じて、第２の空間４２に供給される気体の温度（すなわち、第２の空間４２の温度Ｔ）を、温度調整装置７４によって調整している。

この構成によれば、ステップＳ２にて扉２０を開いたとしても、第１の空間２４の温度を加工プロセスに応じて適切に調整できるので、加工プロセスの精度を維持することができる。

また、本実施形態においては、第１の空間２４と第２の空間４２との間で所定の気圧差δＰが形成された場合（すなわち、ステップＳ１６にてＹＥＳと判定）に、扉２０を開いている（ステップＳ２）。

この構成によれば、ステップＳ２にて扉２０を開いたとき、開口部２８を通して第２の空間４２から第１の空間２４へ流入する十分な気流を発生させることができるので、切削液等を含むミストが第１の空間２４から外部へ漏出してしまうのを、より効果的に防止することができる。

なお、図９に示すステップＳ１６において、加工機制御部８２は、ステップＳ１１の開始時点からの経過時間に基づいて、第１の空間２４と第２の空間４２との間で気圧差δＰが形成されたか否かを判定してもよい。

一例として、加工機制御部８２は、予め定められた時点からの経過時間を計時する計時部を有し、ステップＳ１１にて給気装置４１または排気装置７２に指令を発信した時点からの経過時間ｔを計時する。

そして、ステップＳ１６において、加工機制御部８２は、計時部が経時した経過時間ｔが、予め定められた時間ｔ_１に到達したか否かを判定する。この予め定められた時間ｔ_１は、気圧調整装置８４を起動後に気圧差δＰが形成されるのに十分な値として、使用者によって予め設定され、記憶部に記憶される。

加工機制御部８２は、経過時間ｔが予め定められた時間ｔ_１に到達した場合に、ＹＥＳと判定し、ステップＳ２へ進む。一方、加工機制御部８２は、経過時間ｔが予め定められた時間ｔ_１に到達していない場合に、ＮＯと判定し、ステップＳ１６をループする。

また、上述の実施形態においては、給気装置４１が第２の空間４２に外気を供給する場合について述べた。しかしながら、給気装置は、ある種類の気体を第２の空間４２に供給してもよい。

この場合、給気装置は、ある種類の気体を貯蔵する貯蔵部と、貯蔵部から気体を吐出するポンプと、該ポンプから吐出された気体を第２の空間４２に導入する通気ダクトとを有してもよい。この通気ダクトは、第２の空間４２の如何なる位置にて開口していてもよい。

また、図１に示す加工システム１０において、給気装置４１を省略する一方、上述の排気装置７２を第１のエンクロージャ１８に設置してもよい。この場合、図５中のステップＳ１およびＳ５においては、加工機制御部６４は、排気装置７２を起動および停止する。

以上、発明の実施形態を通じて本発明を説明したが、上述の実施形態は、特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、本発明の実施形態の中で説明されている特徴を組み合わせた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得るが、これら特徴の組み合わせの全てが、発明の解決手段に必須であるとは限らない。さらに、上述の実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることも当業者に明らかである。

また、特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、工程、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」、「次いで」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

１０，７０加工システム
１２加工機
１４ロボット
１８，４０エンクロージャ
２０扉
４１給気装置
６４，８２加工機制御部
６６ロボット制御部
７２排気装置

Claims

開口部を有し、ワークが加工される第１の空間を画定する第１のエンクロージャと、
前記第１のエンクロージャに隣接して設置され、前記開口部を通して前記第１の空間と連通する第２の空間を画定する第２のエンクロージャであって、該第２の空間には、前記開口部を通して前記第１の空間に進退可能なロボットが設置される、第２のエンクロージャと、
前記第２の空間の気圧を前記第１の空間の気圧よりも高くする気圧調整装置であって、前記第２の空間の気圧を上昇させるように該第２の空間に給気する給気装置を有する、気圧調整装置と、
前記第２の空間の温度を検出する温度センサと、
前記温度センサが検出した前記温度に基づいて、前記給気装置によって前記第２の空間に供給される気体の温度を調整する温度調整装置と、を備える、加工システム。
前記気圧調整装置は、前記第１の空間の気圧を降下させるように前記第１の空間から排気する排気装置を有する、請求項１に記載の加工システム。
開口部を有し、ワークが加工される第１の空間を画定する第１のエンクロージャと、
第２の開口部を有し、前記第１のエンクロージャに隣接して設置され、前記開口部を通して前記第１の空間と連通する第２の空間を画定する第２のエンクロージャであって、該第２の空間には、前記開口部を通して前記第１の空間に進退可能なロボットが設置される、第２のエンクロージャと、
前記第２の空間の気圧を前記第１の空間の気圧よりも高くする気圧調整装置と、
前記第２の空間に出し入れ可能となるように前記第２の開口部に設置され、前記ワークを支持可能な支持部であって、前記第２の空間へ押し入れられたときに前記第２の開口部を密閉するように構成される、支持部と、を備える、加工システム。
前記開口部を開閉する扉と、
前記扉を駆動する扉駆動部と、
前記気圧調整装置および前記扉駆動部を制御する制御部と、をさらに備え、
前記制御部は、
前記扉が閉じられているときに、前記第２の空間の気圧が前記第１の空間の気圧よりも高くなるように前記気圧調整装置を動作させ、
前記第２の空間の気圧が前記第１の空間の気圧よりも高くなったときに、前記扉駆動部を動作させて前記扉を開く、請求項１〜３のいずれか１項に記載の加工システム。
前記制御部は、前記扉が開いている間、前記気圧調整装置を動作させる、請求項４に記載の加工システム。