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JP6277780B2 - Manufacturing method of resin molding - Google Patents

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JP6277780B2
JP6277780B2 JP2014037230A JP2014037230A JP6277780B2 JP 6277780 B2 JP6277780 B2 JP 6277780B2 JP 2014037230 A JP2014037230 A JP 2014037230A JP 2014037230 A JP2014037230 A JP 2014037230A JP 6277780 B2 JP6277780 B2 JP 6277780B2
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Description

本発明は、熱硬化性樹脂部材の表面の一部を熱可塑性樹脂部材で封止し、熱硬化性樹脂部材の表面の残部を熱可塑性樹脂部材より露出させてなる樹脂成形体の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for producing a resin molded body in which a part of the surface of a thermosetting resin member is sealed with a thermoplastic resin member and the remainder of the surface of the thermosetting resin member is exposed from the thermoplastic resin member. .

従来より、この種の樹脂成形体として、部品が実装された基板等よりなる被封止部品と、被封止部品を封止する熱硬化性樹脂よりなる熱硬化性樹脂部材と、熱硬化性樹脂部材の表面を封止する熱可塑性樹脂よりなる熱可塑性樹脂部材と、を備える樹脂成形体が提案されている(たとえば特許文献1参照)。ここで、熱可塑性樹脂部材は、熱硬化性樹脂部材の表面の一部である封止面を封止し、当該表面の残部である露出面を露出させている。   Conventionally, as this type of resin molded body, a sealed component made of a substrate on which the component is mounted, a thermosetting resin member made of a thermosetting resin that seals the sealed component, and thermosetting There has been proposed a resin molded body including a thermoplastic resin member made of a thermoplastic resin that seals the surface of the resin member (see, for example, Patent Document 1). Here, the thermoplastic resin member seals the sealing surface which is a part of the surface of the thermosetting resin member, and exposes the exposed surface which is the remaining part of the surface.

このような樹脂成形体は、熱硬化性樹脂については、被封止部品に対する高密着性や低応力性の点で好ましく、熱可塑性樹脂については、成形物の寸法精度や靭性がよい、という各利点を生かしたものである。たとえば、熱硬化性樹脂としてはエポキシ樹脂等が挙げられ、熱可塑性樹脂としては、PPS(ポリフェニレンサルファイド)やPBT(ポリブチレンテレフタレート)等が挙げられる。   Such a resin molded body is preferable for the thermosetting resin in terms of high adhesion and low stress to the sealed component, and for the thermoplastic resin, each of the dimensional accuracy and toughness of the molded product is good. It takes advantage of it. For example, an epoxy resin etc. are mentioned as a thermosetting resin, PPS (polyphenylene sulfide), PBT (polybutylene terephthalate) etc. are mentioned as a thermoplastic resin.

このような樹脂成形体の一般的な製造方法は、次の通りである。まず、被封止部品を、熱硬化性樹脂部材の原料である熱硬化性樹脂素材で被覆し、これを加熱して硬化完了させて熱硬化性樹脂部材を形成する硬化モールド工程、つまり一次成形を行う。   The general manufacturing method of such a resin molding is as follows. First, the part to be sealed is covered with a thermosetting resin material that is a raw material of the thermosetting resin member, and this is heated to complete the curing to form a thermosetting resin member, that is, primary molding. I do.

次に、熱可塑性樹脂部材の原料である熱可塑性樹脂素材にて熱硬化性樹脂部材の表面のうちの封止面を被覆するように射出成形を行うことで、加熱することにより熱可塑性樹脂部材を形成する可塑モールド工程、つまり二次成形を行う。こうして、樹脂成形体ができあがる。   Next, the thermoplastic resin member is heated by performing injection molding so as to cover the sealing surface of the surface of the thermosetting resin member with the thermoplastic resin material that is a raw material of the thermoplastic resin member. The plastic molding process for forming the film, that is, secondary molding is performed. Thus, a resin molded body is completed.

特許第3620184号公報Japanese Patent No. 3620184

しかしながら、このような樹脂成形体においては、熱硬化性樹脂に対する熱可塑性樹脂の密着性が悪いため、熱硬化性樹脂部材と熱可塑性樹脂部材との界面で剥離が生じやすい。   However, in such a resin molding, since the adhesiveness of the thermoplastic resin to the thermosetting resin is poor, peeling is likely to occur at the interface between the thermosetting resin member and the thermoplastic resin member.

この種の樹脂成形体においては、上記したように、熱硬化性樹脂部材の表面の一部である封止面は、熱可塑性樹脂部材で封止されるが、当該表面の残部である露出面は、熱可塑性樹脂部材より露出する。   In this type of resin molded body, as described above, the sealing surface that is a part of the surface of the thermosetting resin member is sealed with the thermoplastic resin member, but the exposed surface that is the remainder of the surface. Is exposed from the thermoplastic resin member.

そのため、上記界面で剥離が発生すると、たとえば、上記界面のうち外部に露出する部分、すなわち、上記界面のうち熱硬化性樹脂部材における封止面と露出面との境界に位置する端部から、外部の水分や汚染物質等が、上記界面に沿って樹脂成形体の内部に侵入することになる。   Therefore, when peeling occurs at the interface, for example, from the portion exposed to the outside of the interface, that is, from the end located at the boundary between the sealing surface and the exposed surface of the thermosetting resin member of the interface, External moisture, contaminants, and the like enter the resin molded body along the interface.

このような上記界面での剥離の問題に対して、上記従来公報では、熱可塑モールド工程後に、上記界面のうち上記封止面と露出面との境界に位置する端部に、別の充填材料を配置することで、上記界面の端部を被覆し、上記界面の剥離を防止するようにしている。しかし、この場合、充填材料を別途用いる必要が生じることから、樹脂成形体の形状の制約やコストアップ等の点で問題がある。   In order to deal with such a problem of peeling at the interface, in the conventional publication, after the thermoplastic molding process, another filling material is provided at the end located at the boundary between the sealing surface and the exposed surface of the interface. Is arranged so as to cover the end portion of the interface and prevent peeling of the interface. However, in this case, since it is necessary to use a filling material separately, there is a problem in terms of restrictions on the shape of the resin molded body and cost increase.

本発明は、上記した問題に鑑みてなされたものであり、熱硬化性樹脂部材の表面の一部を熱可塑性樹脂部材で封止してなる樹脂成形体において、熱硬化性樹脂部材と熱可塑性樹脂部材との密着性の向上を図ることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems. In a resin molded body formed by sealing a part of the surface of a thermosetting resin member with a thermoplastic resin member, the thermosetting resin member and the thermoplastic resin are obtained. It aims at improving the adhesiveness with a resin member.

上記目的を達成するため、請求項1ないしに記載の発明では、熱硬化性樹脂よりなる熱硬化性樹脂部材(10)と、熱硬化性樹脂部材の表面の一部である封止面(11)を封止する熱可塑性樹脂よりなる熱可塑性樹脂部材(20)と、を備え、熱硬化性樹脂部材の表面の残部である露出面(12)は、熱可塑性樹脂部材より露出する樹脂成形体の製造方法であって、さらに、以下の各工程を備えるものである。 In order to achieve the above object, in the inventions according to claims 1 to 4 , a thermosetting resin member (10) made of a thermosetting resin and a sealing surface (a part of the surface of the thermosetting resin member) 11) and a thermoplastic resin member (20) made of a thermoplastic resin for sealing, and the exposed surface (12) which is the remaining part of the surface of the thermosetting resin member is exposed from the thermoplastic resin member. It is a manufacturing method of a body, Comprising: Furthermore, the following processes are provided.

すなわち、請求項1ないしの製造方法においては、熱硬化性樹脂部材の原料である熱硬化性樹脂材料を用い、熱硬化性樹脂材料を加熱して硬化完了させることにより、熱硬化性樹脂部材を形成する硬化モールド工程と、熱硬化性樹脂部材における封止面の少なくとも一部において、最表面に位置する表面層(13)を除去することで封止面の少なくとも一部を官能基が存在する新生面(14)とする表面層除去工程と、新生面が形成された熱硬化性樹脂部材に対して、熱可塑性樹脂部材の原料である熱可塑性樹脂材料として新生面に存在する官能基と化学結合する官能基を含有する官能基含有添加剤(20a)を添加した材料を射出成形することにより、新生面に存在する官能基と熱可塑性樹脂材料に添加した官能基含有添加剤に存在する官能基とを化学結合させつつ、熱硬化性樹脂部材における封止面を熱可塑性樹脂部材で封止する可塑モールド工程と、を備えることを特徴とする。 That is, in the manufacturing method of Claims 1 thru | or 4, a thermosetting resin member is used by using the thermosetting resin material which is a raw material of a thermosetting resin member, heating the thermosetting resin material, and complete | finishing hardening. In at least a part of the sealing surface in the thermosetting resin member and the hardening mold step for forming the functional group, at least a part of the sealing surface is present by removing the surface layer (13) located at the outermost surface. The surface layer removing step of forming the new surface (14) and the thermosetting resin member on which the new surface is formed are chemically bonded to the functional group present on the new surface as a thermoplastic resin material that is a raw material of the thermoplastic resin member. By injection molding the material containing the functional group-containing additive (20a) containing the functional group, the functional group present on the new surface and the functional group-containing additive added to the thermoplastic resin material are present. While the a is chemically bonded functional group, the sealing surface in the thermosetting resin member, characterized in that it comprises a plasticizer molding step of sealing with a thermoplastic resin member.

このように、熱硬化性樹脂部材における封止面と当該封止面を封止する熱可塑性樹脂部材との界面では、封止面上の汚染物が除去された新生面が形成されるようにしている。そして、この新生面において官能基を介した熱硬化性樹脂部材と熱可塑性樹脂部材との化学結合が実現される。この化学結合によって、熱硬化性樹脂部材と熱可塑性樹脂部材との間において高密着性を得ることができる。そのため、熱硬化性樹脂部材と熱可塑性樹脂部材との密着性の向上が実現できる。   Thus, a new surface from which contaminants on the sealing surface are removed is formed at the interface between the sealing surface of the thermosetting resin member and the thermoplastic resin member that seals the sealing surface. Yes. And in this new surface, the chemical bond of the thermosetting resin member and the thermoplastic resin member through the functional group is realized. By this chemical bond, high adhesion can be obtained between the thermosetting resin member and the thermoplastic resin member. Therefore, it is possible to improve the adhesion between the thermosetting resin member and the thermoplastic resin member.

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係の一例を示すものである。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each said means shows an example of a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.

本発明の第1実施形態にかかる樹脂成形体としての半導体装置を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the semiconductor device as a resin molding concerning 1st Embodiment of this invention. 図1中の半導体装置における熱硬化性樹脂部材を模式的に示した外観斜視図である。It is the external appearance perspective view which showed typically the thermosetting resin member in the semiconductor device in FIG. 図1に示される半導体装置の製造工程中の断面のうち図1中の領域Rを拡大した図である。It is the figure which expanded the area | region R in FIG. 1 among the cross sections in the manufacturing process of the semiconductor device shown by FIG. 図3に続く製造工程中の断面のうち図1中の領域Rを拡大した図である。It is the figure which expanded the area | region R in FIG. 1 among the cross sections in the manufacturing process following FIG. 図4に続く製造工程中の断面のうち図1中の領域Rを拡大した図である。It is the figure which expanded the area | region R in FIG. 1 among the cross sections in the manufacturing process following FIG. 図5に続く製造工程中の断面のうち図1中の領域Rを拡大した図である。It is the figure which expanded the area | region R in FIG. 1 among the cross sections in the manufacturing process following FIG. 上記第1実施形態にかかる半導体装置の製造方法における効果を示すグラフである。It is a graph which shows the effect in the manufacturing method of the semiconductor device concerning the said 1st Embodiment. 上記第1実施形態にかかる半導体装置の製造方法における効果を示すグラフである。It is a graph which shows the effect in the manufacturing method of the semiconductor device concerning the said 1st Embodiment. 上記第1実施形態にかかる半導体装置の製造方法における効果を示すグラフである。It is a graph which shows the effect in the manufacturing method of the semiconductor device concerning the said 1st Embodiment. 本発明の第2実施形態にかかる樹脂成形体としての半導体装置に含まれる熱硬化性樹脂部材を模式的に示した外観斜視図である。It is the external appearance perspective view which showed typically the thermosetting resin member contained in the semiconductor device as a resin molding concerning 2nd Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, parts that are the same or equivalent to each other will be described with the same reference numerals.

(第1実施形態)
本発明の第1実施形態にかかる樹脂成形体について、図1、図2を参照して述べる。なお、図1では、後述する熱硬化性樹脂部材10の表面に形成された粗化面11aの凹凸形状、段差11bの高さについては、わかりやすくするために、大きくデフォルメして示してある。また、図2では、熱硬化性樹脂部材10の表面に形成された粗化面11aについて、その表面に斜線ハッチングを施して示している。
(First embodiment)
The resin molded body according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. In FIG. 1, the uneven shape of the roughened surface 11a formed on the surface of the thermosetting resin member 10 to be described later and the height of the step 11b are greatly deformed for easy understanding. In FIG. 2, the roughened surface 11 a formed on the surface of the thermosetting resin member 10 is shown by hatching the surface.

この樹脂成形体は、たとえば自動車などの車両に搭載され、車両用の各種電子装置を駆動するための半導体装置として適用されるものである。本実施形態の樹脂成形体としての半導体装置は、熱硬化性樹脂部材10と熱硬化性樹脂部材10の表面の一部を封止する熱可塑性樹脂部材20とを備えて構成されている。   This resin molded body is mounted on a vehicle such as an automobile, and is applied as a semiconductor device for driving various electronic devices for the vehicle. The semiconductor device as the resin molded body of the present embodiment includes a thermosetting resin member 10 and a thermoplastic resin member 20 that seals a part of the surface of the thermosetting resin member 10.

熱硬化性樹脂部材10は、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂よりなるもので、必要に応じて、当該樹脂中にシリカやアルミナ等の絶縁性材料よりなるフィラーが含有されていてもよい。このような熱硬化性樹脂部材10は、トランスファー成形、コンプレッション成形、あるいは、ポッティング法等による成形および熱硬化処理を行うことで、形成されたものである。   The thermosetting resin member 10 is made of a thermosetting resin such as an epoxy resin, and a filler made of an insulating material such as silica or alumina may be contained in the resin as necessary. Such a thermosetting resin member 10 is formed by performing transfer molding, compression molding, molding by a potting method, and thermosetting treatment.

また、熱可塑性樹脂部材20は、PPS(ポリフェニレンサルファイド)やPBT(ポリフェニレンテレフタレート)等の熱可塑性樹脂よりなるもので、熱硬化性樹脂部材10の一部を封止するように射出成形を行うことにより、形成されたものである。この熱可塑性樹脂部材20内には、官能基含有添加剤20aが添加されている。官能基含有添加剤20aは、水酸基、エポキシ基、アミノ基、カルボニル基などのいずれか1つもしくは複数を有するポリマーよりなるものである。この官能基含有添加剤20aが熱硬化性樹脂部材10の粗化面11aに存在する官能基と化学反応して、高密着性な熱硬化性樹脂−熱可塑性樹脂接合を可能としている。   The thermoplastic resin member 20 is made of a thermoplastic resin such as PPS (polyphenylene sulfide) or PBT (polyphenylene terephthalate), and injection molding is performed so as to seal a part of the thermosetting resin member 10. Is formed. In this thermoplastic resin member 20, a functional group-containing additive 20a is added. The functional group-containing additive 20a is made of a polymer having one or more of a hydroxyl group, an epoxy group, an amino group, a carbonyl group, and the like. This functional group-containing additive 20a chemically reacts with a functional group present on the roughened surface 11a of the thermosetting resin member 10 to enable highly adhesive thermosetting resin-thermoplastic resin bonding.

このような官能基含有添加剤20aが添加された熱可塑性樹脂部材20が熱硬化性樹脂部材10の表面の一部を封止することにより、熱硬化性樹脂部材10の表面の一部は、熱可塑性樹脂部材20により封止された封止面11とされている。そして、熱硬化性樹脂部材10の表面のうち封止面11以外の部分である残部は、熱可塑性樹脂部材20より露出する露出面12とされている。   When the thermoplastic resin member 20 to which such a functional group-containing additive 20a is added seals a part of the surface of the thermosetting resin member 10, a part of the surface of the thermosetting resin member 10 is The sealing surface 11 is sealed with the thermoplastic resin member 20. And the remainder which is parts other than the sealing surface 11 among the surfaces of the thermosetting resin member 10 is the exposed surface 12 exposed from the thermoplastic resin member 20.

ここでは、図1および図2に示されるように、熱硬化性樹脂部材10は、直方体状のブロック形状をなすものとして構成されている。そして、この熱硬化性樹脂部材10の長手方向の一端10a側における熱硬化性樹脂部材10の表面の一部が、封止面11とされ、当該長手方向の他端10b側における熱硬化性樹脂部材の表面の残部が、露出面12とされている。   Here, as shown in FIG. 1 and FIG. 2, the thermosetting resin member 10 is configured to have a rectangular parallelepiped block shape. A part of the surface of the thermosetting resin member 10 on the one end 10a side in the longitudinal direction of the thermosetting resin member 10 is used as a sealing surface 11, and the thermosetting resin on the other end 10b side in the longitudinal direction. The remainder of the surface of the member is an exposed surface 12.

さらに具体的に言うならば、図1、図2に示される熱硬化性樹脂部材10は、長手方向の一端面とこれに対向する他端面、および、長手方向に延びる4個の側面を有する直方体をなしている。そして、熱硬化性樹脂部材10の封止面11は、当該長手方向の一端面と4個の側面のうちの当該長手方向の一端10a側の部位とされ、一方、熱硬化性樹脂部材10の露出面12は、当該長手方向の他端面と4個の側面のうちの当該長手方向の他端10b側の部位とされている。   More specifically, the thermosetting resin member 10 shown in FIGS. 1 and 2 has a rectangular parallelepiped shape having one end surface in the longitudinal direction, the other end surface facing the one end surface, and four side surfaces extending in the longitudinal direction. I am doing. The sealing surface 11 of the thermosetting resin member 10 is a portion on the one end 10a side in the longitudinal direction among the one end surface in the longitudinal direction and the four side surfaces. The exposed surface 12 is the other end surface in the longitudinal direction and a portion on the other end 10b side in the longitudinal direction among the four side surfaces.

熱硬化性樹脂部材10は、その内部に、熱硬化性樹脂部材10により封止された第1の被封止部品としての半導体素子30、第2の被封止部品としての電気接続部材40を有している。   The thermosetting resin member 10 includes therein a semiconductor element 30 as a first sealed component sealed by the thermosetting resin member 10 and an electrical connection member 40 as a second sealed component. Have.

第1の被封止部品である半導体素子30は、磁気センサや光センサ、あるいは、圧力センサ等に用いられるシリコン半導体等よりなるセンサチップである。このような半導体素子30は、通常の半導体プロセスにより形成されるものである。   The semiconductor element 30 which is the first sealed component is a sensor chip made of a silicon semiconductor or the like used for a magnetic sensor, an optical sensor, a pressure sensor, or the like. Such a semiconductor element 30 is formed by a normal semiconductor process.

たとえば、磁気センサ用の半導体素子30の場合、半導体素子30の全体が熱硬化性樹脂部材10により封止されており、半導体素子30は、熱硬化性樹脂部材10を介して外部の磁気を検出するようにしている。   For example, in the case of the semiconductor element 30 for a magnetic sensor, the entire semiconductor element 30 is sealed with the thermosetting resin member 10, and the semiconductor element 30 detects external magnetism via the thermosetting resin member 10. Like to do.

また、光センサや圧力センサ用の半導体素子30の場合、半導体素子30の一部を開口させる図示しない開口部が、熱硬化性樹脂部材10に形成され、半導体素子30は、当該開口部を介して光や圧力を検出するようになっている。   In the case of the semiconductor element 30 for an optical sensor or a pressure sensor, an opening (not shown) for opening a part of the semiconductor element 30 is formed in the thermosetting resin member 10, and the semiconductor element 30 is interposed through the opening. It detects light and pressure.

一方、第2の被封止部品である電気接続部材40は、半導体素子30と半導体装置の外部の図示しない配線部材とを電気的に接続するためのものである。ここでは、電気接続部材40の一部41は熱硬化性樹脂部材10に被覆されて、残部42は熱硬化性樹脂部材10における封止面11より突出する。また、電気接続部材40の残部42は、熱硬化性樹脂部材10の外部にて熱可塑性樹脂部材20により封止され、かつ、その先端部が熱可塑性樹脂部材20から露出させられている。   On the other hand, the electrical connection member 40, which is the second sealed component, is for electrically connecting the semiconductor element 30 and a wiring member (not shown) outside the semiconductor device. Here, a part 41 of the electrical connection member 40 is covered with the thermosetting resin member 10, and the remaining part 42 protrudes from the sealing surface 11 of the thermosetting resin member 10. Further, the remaining part 42 of the electrical connection member 40 is sealed by the thermoplastic resin member 20 outside the thermosetting resin member 10, and the tip portion thereof is exposed from the thermoplastic resin member 20.

ここで、電気接続部材40の一部41は、熱硬化性樹脂部材10内にて、半導体素子30と電気接続されている。この半導体素子30との接続手法は特に限定するものではないが、ここでは、AlやAu等のボンディングワイヤ50により接続されている。   Here, a part 41 of the electrical connection member 40 is electrically connected to the semiconductor element 30 in the thermosetting resin member 10. Although the connection method with this semiconductor element 30 is not specifically limited, Here, it connects with the bonding wires 50, such as Al and Au.

一方、熱可塑性樹脂部材20は、電気接続部材40の残部42を封止しているが、熱可塑性樹脂部材20には開口部21が形成されている。そして、この開口部21において、電気接続部材40の残部42のうちのさらに一部が、熱可塑性樹脂部材20の外部に露出している。   On the other hand, the thermoplastic resin member 20 seals the remaining portion 42 of the electrical connection member 40, but the thermoplastic resin member 20 has an opening 21. In the opening 21, a part of the remaining portion 42 of the electrical connection member 40 is exposed to the outside of the thermoplastic resin member 20.

この熱可塑性樹脂部材20の開口部21は、図示しない外部の配線部材、たとえばコネクタ部材等が挿入されて接続される部位であり、それにより、この外部の配線部材と電気接続部材40とが、電気的に接続されるようになっている。   The opening 21 of the thermoplastic resin member 20 is a portion to which an external wiring member (not shown) such as a connector member is inserted and connected, whereby the external wiring member and the electrical connection member 40 are connected to each other. It is designed to be electrically connected.

つまり、電気接続部材40は、半導体素子30の検出や出力等の用をなすものとして機能し、半導体素子30は、電気接続部材40を介して、装置の外部との電気的なやり取りを可能としている。このような電気接続部材40として、本実施形態では、CuやAl等の棒状部材よりなるターミナル端子を用いているが、その他、回路基板などを電気接続部材40として用いてもよい。   That is, the electrical connection member 40 functions as a device for detecting and outputting the semiconductor element 30, and the semiconductor element 30 can be electrically exchanged with the outside of the apparatus via the electrical connection member 40. Yes. In this embodiment, a terminal terminal made of a rod-shaped member such as Cu or Al is used as such an electrical connection member 40, but a circuit board or the like may be used as the electrical connection member 40.

そして、本実施形態の半導体装置においては、熱硬化性樹脂部材10における封止面11の一部は、粗化された粗化面11aとされている。粗化面11aは、後述する製造方法のうちの表面層除去工程により形成されるものであり、この粗化面11aの粗化度合(表面粗さRa)は、粗化面11a以外の封止面11および露出面12よりも大きくされている。具体的には、この粗化面11aの表面粗さRaは、数μm以上(たとえば3μm以上)とされている。逆に言えば、粗化面11a以外の封止面11および露出面12は、後述する表面層13(図3参照)が存在する面に相当する。なお、表面粗さRaは、JIS(日本工業規格の略称)に定義されている算術平均粗さRaである。   In the semiconductor device of this embodiment, a part of the sealing surface 11 in the thermosetting resin member 10 is a roughened rough surface 11a. The roughened surface 11a is formed by a surface layer removing step in the manufacturing method described later, and the roughening degree (surface roughness Ra) of the roughened surface 11a is a sealing other than the roughened surface 11a. It is larger than the surface 11 and the exposed surface 12. Specifically, the surface roughness Ra of the roughened surface 11a is several μm or more (for example, 3 μm or more). In other words, the sealing surface 11 and the exposed surface 12 other than the roughened surface 11a correspond to surfaces on which a surface layer 13 (see FIG. 3) described later exists. The surface roughness Ra is an arithmetic average roughness Ra defined in JIS (abbreviation for Japanese Industrial Standards).

また、上述したように、第2の被封止部品である電気接続部材40の残部42は、熱硬化性樹脂部材10における封止面11より突出し、熱可塑性樹脂部材20により封止されている。   Further, as described above, the remaining portion 42 of the electrical connection member 40 that is the second sealed component protrudes from the sealing surface 11 of the thermosetting resin member 10 and is sealed by the thermoplastic resin member 20. .

熱硬化性樹脂部材10において露出面12と電気接続部材40の残部42との間に位置する封止面11には、上記した粗化面11aが、電気接続部材40の残部42の周りに連続した閉環形状をなすように設けられている。   In the sealing surface 11 located between the exposed surface 12 and the remaining portion 42 of the electrical connection member 40 in the thermosetting resin member 10, the roughened surface 11 a described above is continuous around the remaining portion 42 of the electrical connection member 40. It is provided to make a closed ring shape.

ここでは、図2に示されるように、電気接続部材40の残部42は、直方体状の熱硬化性樹脂部材10の一端面から突出している。そして、粗化面11aの配置パターンは、直方体状の熱硬化性樹脂部材10における4個の側面に渡って連続する閉環状のパターンとされている。   Here, as shown in FIG. 2, the remaining portion 42 of the electrical connection member 40 protrudes from one end face of the rectangular parallelepiped thermosetting resin member 10. The arrangement pattern of the roughened surface 11a is a closed ring pattern continuous over the four side surfaces of the rectangular parallelepiped thermosetting resin member 10.

また、本実施形態では、図1、図2に示されるように、粗化面11aは、熱硬化性樹脂部材10における封止面11内にのみ、つまり熱可塑性樹脂部材20の内側にのみ形成されている。このため、粗化面11aの端部は、熱可塑性樹脂部材20の内側に位置している。   In this embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, the roughened surface 11 a is formed only within the sealing surface 11 of the thermosetting resin member 10, that is, only inside the thermoplastic resin member 20. Has been. For this reason, the edge part of the roughening surface 11a is located inside the thermoplastic resin member 20.

ここで、上述したように、粗化面11aは封止面11の表面層13(図3参照)を全面除去した面であり、熱硬化性樹脂部材10の表面のうち粗化面11a以外の部分に対して粗化面11aが凹むように、これらの間には段差11bが形成されている。この段差11bの高さは、数μm以上(たとえば5μm以上)である。   Here, as described above, the roughened surface 11a is a surface from which the surface layer 13 (see FIG. 3) of the sealing surface 11 has been completely removed, and the surface of the thermosetting resin member 10 other than the roughened surface 11a. A step 11b is formed between them so that the roughened surface 11a is recessed with respect to the portion. The height of the step 11b is several μm or more (for example, 5 μm or more).

次に、本実施形態の半導体装置の製造方法について、図3〜図6も参照して述べる。まず、図3に示される硬化モールド工程では、熱硬化性樹脂部材10の原料である熱硬化性樹脂材料を用い、この熱硬化性樹脂材料を加熱して硬化完了させることにより、熱硬化性樹脂部材10を形成する。   Next, the manufacturing method of the semiconductor device of this embodiment will be described with reference to FIGS. First, in the curing mold step shown in FIG. 3, a thermosetting resin material that is a raw material of the thermosetting resin member 10 is used, and the thermosetting resin material is heated to complete the curing. The member 10 is formed.

具体的に、この硬化モールド工程では、半導体素子30と電気接続部材40とをボンディングワイヤ50で接続したものを、トランスファー成形、コンプレッション成形あるいはポッティング等により封止し、さらに、このものを加熱、硬化する。こうして、熱硬化性樹脂部材10ができあがる。   Specifically, in this curing mold process, the semiconductor element 30 and the electrical connection member 40 connected by the bonding wire 50 are sealed by transfer molding, compression molding, potting, etc., and this is heated and cured. To do. Thus, the thermosetting resin member 10 is completed.

この硬化モールド工程で形成された熱硬化性樹脂部材10の最表面には、汚染物よりなる表面層13が存在する。汚染物は、熱硬化性樹脂部材10の構成材料中に存在するが、加熱成形時に最表面に浮き出てきて、それよりも内側にはあまり存在しない状態となる。ここで、汚染物とは、たとえば離型剤や工程中に熱硬化性樹脂部材10の表面に付着した異物等である。離型剤とは、上記成形において型離れ性を確保するために、金型表面に設けられたり、熱硬化性樹脂材料自身に混合されたりするもので、たとえばシロキサンや脂肪酸等よりなる。   On the outermost surface of the thermosetting resin member 10 formed in this curing mold process, there is a surface layer 13 made of contaminants. Contaminants are present in the constituent material of the thermosetting resin member 10, but are raised on the outermost surface at the time of thermoforming, and are not so much present inside. Here, the contaminant is, for example, a release agent or a foreign matter attached to the surface of the thermosetting resin member 10 during the process. The mold release agent is provided on the mold surface or mixed with the thermosetting resin material itself in order to ensure mold release in the molding, and is made of, for example, siloxane or fatty acid.

次に、図4に示されるように、熱硬化性樹脂部材10に対して表面層除去工程を行う。この工程では、熱硬化性樹脂部材10における封止面11の一部、すなわち封止面11のうちの粗化面11aを形成する部位において、最表面に位置する表面層13を除去することで当該部位を新生面14とする。   Next, as shown in FIG. 4, a surface layer removing step is performed on the thermosetting resin member 10. In this step, a part of the sealing surface 11 in the thermosetting resin member 10, that is, a portion of the sealing surface 11 where the roughened surface 11 a is formed is removed by removing the surface layer 13 positioned at the outermost surface. This part is defined as a new surface 14.

具体的には、封止面11のうちの粗化面11aの形成予定位置に対して、レーザ照射、ショットブラスト、研磨等の手法を用い、表面層13を除去する。これら手法は、処理表面を削って凹凸を形成するものであり、レーザ照射が最も望ましい手法である。粗化面11aを形成する際の封止面11の除去深さは、表面層13を除去できる程度で良く、数μm以上(たとえば5μm以上)とされていれば良い。   Specifically, the surface layer 13 is removed by using a method such as laser irradiation, shot blasting, and polishing with respect to the formation planned position of the roughened surface 11 a in the sealing surface 11. In these methods, the processing surface is cut to form irregularities, and laser irradiation is the most desirable method. The removal depth of the sealing surface 11 when forming the roughened surface 11a may be such that the surface layer 13 can be removed, and may be several μm or more (for example, 5 μm or more).

これら手法により、汚染物としての表面層13が除去されるとともに、表面層13の下地としての新生面14が粗化される。それによって、新生面14は、アンカー効果が付与されて熱可塑性樹脂部材20との密着性に優れた粗化面11aとされる。また、この粗化面11aとしての新生面14には、実際には図5に示すように、熱硬化性樹脂部材10を構成する熱硬化性樹脂における水酸基やエポキシ基等のいずれか1つもしくは複数が官能基として存在している。   By these methods, the surface layer 13 as a contaminant is removed, and the new surface 14 as a base of the surface layer 13 is roughened. As a result, the new surface 14 is provided with a roughened surface 11a to which an anchor effect is imparted and which has excellent adhesion to the thermoplastic resin member 20. Further, the new surface 14 as the roughened surface 11a is actually one or a plurality of hydroxyl groups, epoxy groups, etc. in the thermosetting resin constituting the thermosetting resin member 10, as shown in FIG. Exists as a functional group.

なお、表面層除去工程においては、特にレーザ照射を用いると、新生面14が焼けて酸化された部分に存在する官能基がさらに化学反応を促進して高密着性を実現することが可能となるため好ましい。また、OH基などの官能基をより新生面14に多く存在させるために、熱硬化性樹脂部材10の新生面14に、コロナ放電処理を施すことも望ましい。   In the surface layer removal step, particularly when laser irradiation is used, the functional group present in the portion where the new surface 14 is burned and oxidized can further promote the chemical reaction and achieve high adhesion. preferable. It is also desirable to subject the new surface 14 of the thermosetting resin member 10 to corona discharge treatment so that more functional groups such as OH groups are present on the new surface 14.

こうして、表面層除去工程を行った後、図6に示される可塑モールド工程を行う。この工程では、官能基が存在する熱硬化性樹脂部材10の新生面14に対して、熱可塑性樹脂部材20の原料である官能基含有添加剤20aを添加した熱可塑性樹脂材料を射出成形する。例えば、官能基含有添加剤20aとなる官能基を有するポリマーを母材となる熱可塑性樹脂材料に混練することにより、官能基含有添加剤20aを添加した熱可塑性樹脂材料を得ることができる。これにより、新生面14に存在する官能基と熱可塑性樹脂材料に含まれる官能基含有添加剤20aに存在する官能基とが化学結合しつつ、熱硬化性樹脂部材10における封止面11が熱可塑性樹脂部材20で封止される。   Thus, after performing the surface layer removing step, the plastic molding step shown in FIG. 6 is performed. In this step, a thermoplastic resin material to which a functional group-containing additive 20a that is a raw material of the thermoplastic resin member 20 is added is injection-molded on the new surface 14 of the thermosetting resin member 10 in which a functional group exists. For example, a thermoplastic resin material to which the functional group-containing additive 20a is added can be obtained by kneading a polymer having a functional group that becomes the functional group-containing additive 20a into a thermoplastic resin material as a base material. Thereby, the sealing surface 11 in the thermosetting resin member 10 is thermoplastic while the functional group present on the new surface 14 and the functional group present in the functional group-containing additive 20a contained in the thermoplastic resin material are chemically bonded. Sealed with the resin member 20.

この可塑モールド工程における化学結合としては、たとえば熱硬化性樹脂部材10がエポキシ樹脂である場合、エポキシ樹脂中の水酸基やエポキシ基が官能基含有添加剤20aに存在する水酸基、エポキシ基、アミノ基、カルボニル基と化学結合することになる。そして、水酸基同士の結合やエポキシ基同士の結合などとされる場合、共有結合となるため、より強度の高い化学結合となる。つまり、官能基含有添加剤20aの構成材料として、熱硬化性樹脂部材10の構成材料に含まれる官能基と同じ官能基を少なくとも1つ含む材料を用いることで共有結合を実現できる。   As the chemical bond in this plastic molding step, for example, when the thermosetting resin member 10 is an epoxy resin, the hydroxyl group or epoxy group in the epoxy resin is a hydroxyl group, epoxy group, amino group, It will be chemically bonded to the carbonyl group. And when it is set as the coupling | bonding of hydroxyl groups, the coupling | bonding of epoxy groups, etc., since it becomes a covalent bond, it becomes a chemical bond with higher intensity | strength. That is, as a constituent material of the functional group-containing additive 20a, a covalent bond can be realized by using a material containing at least one functional group that is the same as the functional group contained in the constituent material of the thermosetting resin member 10.

そして、この化学結合により、熱硬化性樹脂部材10における新生面14(つまり粗化面11a)と熱可塑性樹脂部材20との間の高密着性を得ることができるのである。こうして、本実施形態の樹脂成形体としての半導体装置ができあがる。   And by this chemical bond, the high adhesiveness between the new surface 14 (namely, roughening surface 11a) and the thermoplastic resin member 20 in the thermosetting resin member 10 can be obtained. Thus, the semiconductor device as the resin molded body of this embodiment is completed.

なお、上記の表面層形成工程以降の各工程は、熱硬化性樹脂部材10の表面の一部に対して選択的に処理を行うものであるため、処理を行わない表面には適宜マスキング等を施したうえで、当該各工程を行うようにする。   In addition, since each process after said surface layer formation process processes selectively with respect to a part of surface of the thermosetting resin member 10, masking etc. are suitably performed on the surface which does not process. After applying, each step is performed.

ところで、上記製造方法によれば、熱硬化性樹脂部材10における封止面11と当該封止面11を封止する熱可塑性樹脂部材20との界面では、封止面11上の汚染物が除去された新生面14が形成される。この新生面14において上記官能基を介した熱硬化性樹脂部材10と熱可塑性樹脂部材20との化学結合が実現される。   By the way, according to the manufacturing method, contaminants on the sealing surface 11 are removed at the interface between the sealing surface 11 of the thermosetting resin member 10 and the thermoplastic resin member 20 that seals the sealing surface 11. The formed new surface 14 is formed. On this new surface 14, a chemical bond between the thermosetting resin member 10 and the thermoplastic resin member 20 is realized via the functional group.

そして、この化学結合によって、熱硬化性樹脂部材10と熱可塑性樹脂部材20との間において高密着性を得ることができる。そのため、本実施形態によれば、熱硬化性樹脂部材10と熱可塑性樹脂部材20との密着性の向上が実現できる。   And by this chemical bond, high adhesiveness can be obtained between the thermosetting resin member 10 and the thermoplastic resin member 20. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to improve the adhesion between the thermosetting resin member 10 and the thermoplastic resin member 20.

また、本実施形態のような熱可塑性樹脂部材20の封止形態では、熱硬化性樹脂部材10と熱可塑性樹脂部材20との界面のうち、封止面11と露出面12との境界に位置する端部から、外部の水分や汚染物等の侵入物質が、当該界面に沿って装置内に侵入するおそれがある。特に、本実施形態のような車載用の半導体装置の場合、たとえば使用環境中に存在する水分やオイル等の汚染物が侵入してくるおそれがある。   Moreover, in the sealing form of the thermoplastic resin member 20 like this embodiment, it is located in the boundary of the sealing surface 11 and the exposed surface 12 among the interfaces of the thermosetting resin member 10 and the thermoplastic resin member 20. Intruding substances such as external moisture and contaminants may enter the apparatus along the interface from the end portion. In particular, in the case of an in-vehicle semiconductor device like this embodiment, there is a risk that contaminants such as moisture and oil existing in the use environment may enter.

このとき、本実施形態のように、被封止部品である電気接続部材40の残部42が熱硬化性樹脂部材10における封止面11より突出して熱可塑性樹脂部材20で封止されている場合、上記の侵入物質が、電気接続部材40の残部に付着し、特性等に悪影響を及ぼす可能性がある。   At this time, when the remaining part 42 of the electrical connection member 40 which is a part to be sealed protrudes from the sealing surface 11 of the thermosetting resin member 10 and is sealed with the thermoplastic resin member 20 as in the present embodiment. The above intruding substances may adhere to the remaining part of the electrical connection member 40 and adversely affect the characteristics and the like.

その点、本実施形態では、熱硬化性樹脂部材10における封止面11のうち、露出面12と封止面11より突出する電気接続部材40の残部42との間に位置する部位に、粗化面11aを、上記閉環形状をなすように設けている。   In this respect, in the present embodiment, a portion of the sealing surface 11 of the thermosetting resin member 10 that is located between the exposed surface 12 and the remaining portion 42 of the electrical connection member 40 protruding from the sealing surface 11 is rough. The chemical surface 11a is provided so as to form the above-described closed ring shape.

そして、この閉環形状の部分は、上述のように高密着性が得られていて、剥離が防止される部位となる。そのため、本実施形態によれば、上記の侵入物質が、露出面12側から両樹脂部材10、20の界面を介して電気接続部材40の残部42へ到達するのを極力防止することができる。   And this closed-ring-shaped part is the site | part from which peeling is prevented since the high adhesiveness is acquired as mentioned above. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to prevent the intruding substance from reaching the remaining portion 42 of the electrical connection member 40 from the exposed surface 12 side through the interface between the two resin members 10 and 20 as much as possible.

ここで、上記した表面層13の除去および化学結合による両樹脂部材10、20の密着性向上の効果について、図7〜図9を参照して、より具体的に述べる。なお、この図7〜図9に示される例は、あくまで当該密着性向上の効果を示す一例であり、当該効果は、これに限定されるものではない。   Here, the effect of improving the adhesion between the two resin members 10 and 20 by the removal of the surface layer 13 and the chemical bonding will be described more specifically with reference to FIGS. The examples shown in FIGS. 7 to 9 are merely examples showing the effect of improving the adhesion, and the effect is not limited to this.

図7〜図9の例では、熱硬化性樹脂部材10に相当する熱硬化性樹脂よりなる矩形板状の試験片と、熱可塑性樹脂部材20に相当する熱可塑性樹脂よりなる矩形板状の試験片とが貼り合わせられた状態となるように、上記製造方法に基づいて、樹脂成形体を作製した。そして、これら両試験片の貼り合わせ部分のせん断強度(単位:MPa)を測定したものである。   In the examples of FIGS. 7 to 9, a rectangular plate-shaped test piece made of a thermosetting resin corresponding to the thermosetting resin member 10 and a rectangular plate-shaped test made of a thermoplastic resin corresponding to the thermoplastic resin member 20. Based on the said manufacturing method, the resin molding was produced so that it might be in the state by which the piece was bonded together. And the shear strength (unit: MPa) of the bonding part of these both test pieces is measured.

図7の例における実験では、まず、一般的な半導体封止用エポキシ樹脂をトランスファー成形したのち、表面をレーザ照射することで粗化面11aにて構成される新生面14を形成した。そして、熱可塑性樹脂材料となるPPSを射出成形することで熱可塑性樹脂部材20を形成するようにし、熱可塑性樹脂材料として、官能基含有添加剤20aとなるエポキシ樹脂を添加した場合と添加していない場合それぞれについて、せん断強度を評価した。図7は、その評価結果を示している。   In the experiment in the example of FIG. 7, first, a general semiconductor sealing epoxy resin was transfer molded, and then the surface was irradiated with laser to form a new surface 14 constituted by the roughened surface 11 a. Then, the thermoplastic resin member 20 is formed by injection molding of PPS which becomes the thermoplastic resin material, and the case where the epoxy resin which becomes the functional group-containing additive 20a is added as the thermoplastic resin material is added. For each case, the shear strength was evaluated. FIG. 7 shows the evaluation result.

この図に示されるように、官能基含有添加剤20aを添加していない場合と比較して、本実施形態のように官能基含有添加剤20aを添加した場合、せん断強度の大幅な向上、つまり両樹脂部材10、20の密着性の飛躍的な向上が確認された。具体的には、官能基含有添加剤20aを添加していない場合にはせん断強度が5MPa程度に留まるのに対して、添加した場合にはせん断強度が27MPaと高強度化していた。このように、官能基含有添加剤20aを添加していない場合は官能基による化学結合がなされず、密着性向上が実現できていないが、添加した場合は官能基による化学結合がなされ、密着性向上ができていたと考えられる。   As shown in this figure, when the functional group-containing additive 20a is added as in this embodiment, compared with the case where the functional group-containing additive 20a is not added, the shear strength is greatly improved, that is, It was confirmed that the adhesion of both the resin members 10 and 20 was dramatically improved. Specifically, when the functional group-containing additive 20a is not added, the shear strength remains at about 5 MPa, whereas when added, the shear strength increases to 27 MPa. As described above, when the functional group-containing additive 20a is not added, chemical bonding by the functional group is not performed and adhesion improvement is not realized, but when added, the chemical bonding by the functional group is performed and the adhesion is not achieved. It is thought that the improvement was made.

次に、図8および図9はそれぞれ、表面層除去工程に用いる手法として、レーザ照射を用いた場合の粗化面11aの表面粗さRa(単位:μm)とせん断強度との関係、加工深さZ(単位:μm)とせん断強度との関係を調査したものである。図中丸印は個々の実験結果、棒印は同じ表面粗さRaもしくは加工深さZのときの実験結果の平均値をそれぞれ表している。なお、加工深さZは、上記段差11bの高さに相当するものである。レーザ照射では、レーザを表面にスキャンすることによって表面層13を除去した。   Next, FIG. 8 and FIG. 9 respectively show the relationship between the surface roughness Ra (unit: μm) of the roughened surface 11a and the shear strength when laser irradiation is used as a method used in the surface layer removal step, and the processing depth. The relationship between the thickness Z (unit: μm) and the shear strength is investigated. In the figure, circles represent the results of individual experiments, and bars represent the average values of the results of experiments when the surface roughness Ra or machining depth Z is the same. The processing depth Z corresponds to the height of the step 11b. In laser irradiation, the surface layer 13 was removed by scanning the surface of the laser.

図8、図9に示されるように、レーザ照射であれば、Ra≧3μm、Z≧5μm、となるように、表面層除去工程において加工を行えば、十分な密着強度が得られるものと推定できる。   As shown in FIGS. 8 and 9, it is estimated that sufficient adhesion strength can be obtained if processing is performed in the surface layer removing step so that Ra ≧ 3 μm and Z ≧ 5 μm when laser irradiation is performed. it can.

また、レーザ照射以外にも、ショットブラストや研磨によって同様の実験を行った。ショットブラストでは、アランダム(アルミナ粉♯80)を表面に吹き付けることによって表面層13を除去した。また、研磨では、研磨紙(♯80)による手研磨(人手による手研磨)によって表面層13を除去した。これらの場合であっても、表面除去工程においてレーザ照射の場合と同様の加工を行うことで、十分な密着強度が得られることが確認された。   In addition to laser irradiation, similar experiments were performed by shot blasting and polishing. In shot blasting, the surface layer 13 was removed by spraying alundum (alumina powder # 80) on the surface. In the polishing, the surface layer 13 was removed by manual polishing (manual polishing by hand) with polishing paper (# 80). Even in these cases, it was confirmed that sufficient adhesion strength can be obtained by performing the same processing as in the case of laser irradiation in the surface removal step.

また、実験結果によれば、密着性については、レーザ照射>ショットブラスト>研磨の順となった。これは、レーザ照射を用いると、新生面14が焼けて酸化された部分に存在する官能基がさらに化学反応を促進して高密着性を実現することが可能となるためと考えられる。したがって、表面層13が除去可能であれば手法は問わないが、高い密着強度が必要となる場合であれば、レーザ照射が好ましいと言える。また、ショットブラストや研磨についても、レーザ照射と同等の表面粗さRaおよび加工深さZが実現できるならば、採用可能であることはもちろんである。   Further, according to the experimental results, the adhesion was in the order of laser irradiation> shot blast> polishing. This is presumably because, when laser irradiation is used, the functional group present in the portion where the new surface 14 is burned and oxidized can further promote the chemical reaction and achieve high adhesion. Therefore, the method is not limited as long as the surface layer 13 can be removed, but it can be said that laser irradiation is preferable if high adhesion strength is required. Of course, shot blasting and polishing can be employed as long as surface roughness Ra and processing depth Z equivalent to laser irradiation can be realized.

(第2実施形態)
本発明の第2実施形態にかかる樹脂成形体としての半導体装置の要部について、図10を参照して述べる。本実施形態は、上記第1実施形態に比べて、熱硬化性樹脂部材10における粗化面11aの配置パターンを変えたところが相違するものであり、ここでは、その相違点を中心に述べることとする。
(Second Embodiment)
The principal part of the semiconductor device as a resin molded body according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment is different from the first embodiment in that the arrangement pattern of the roughened surface 11a in the thermosetting resin member 10 is changed, and here, the difference will be mainly described. To do.

上記第1実施形態では、上記図2に示したように、粗化面11aの配置パターンは、直方体状の熱硬化性樹脂部材10における4個の側面に渡って連続する閉環状パターンとされていた。   In the said 1st Embodiment, as shown in the said FIG. 2, the arrangement pattern of the roughening surface 11a is made into the closed annular pattern which continues over four side surfaces in the rectangular parallelepiped thermosetting resin member 10. FIG. It was.

これに対して、本実施形態では、図10に示されるように、粗化面11aは、直方体状の熱硬化性樹脂部材10における一端10a側の端面すなわち一端面のみに配置されている。   On the other hand, in this embodiment, as shown in FIG. 10, the roughened surface 11 a is arranged only on the end surface on the one end 10 a side, that is, on one end surface of the rectangular parallelepiped thermosetting resin member 10.

この場合も、粗化面11aの配置パターンは、封止面11である当該一端面より突出する電気接続部材40の残部42の周りを取り囲む閉環形状とされている。そして、この場合も、上記第1実施形態と同様、当該閉環状のパターンによる効果が発揮される。   Also in this case, the arrangement pattern of the roughened surface 11a has a closed ring shape surrounding the remaining portion 42 of the electrical connection member 40 protruding from the one end surface which is the sealing surface 11. In this case as well, the effect of the closed ring pattern is exhibited as in the first embodiment.

(他の実施形態)
なお、上記した各実施形態では、上記図1、図2、図10に示したように、粗化面11aは、熱硬化性樹脂部材10における封止面11の一部に設けられていたが、封止面11の全体に設けられていてもよい。つまり、粗化面11aは、封止面11の少なくとも一部に設けられたものであればよい。
(Other embodiments)
In each of the above-described embodiments, the roughened surface 11a is provided on a part of the sealing surface 11 of the thermosetting resin member 10 as shown in FIGS. 1, 2, and 10. The sealing surface 11 may be provided on the entire surface. That is, the roughened surface 11 a may be provided on at least a part of the sealing surface 11.

また、粗化面11aは、封止面11に加えて露出面12まで形成されていても何ら問題ない。さらに、粗化面11aは、熱硬化性樹脂部材10の表面全体に形成されていてもよい。   Further, there is no problem even if the roughened surface 11 a is formed up to the exposed surface 12 in addition to the sealing surface 11. Furthermore, the roughened surface 11 a may be formed on the entire surface of the thermosetting resin member 10.

また、粗化面11aを封止面11の一部に設ける場合、上記したように連続する閉環状の配置パターンが好ましいが、それ以外にも、粗化面11aを、封止面11に対して島状に配置してもよい。   Moreover, when providing the roughening surface 11a in a part of the sealing surface 11, the continuous closed ring arrangement pattern as described above is preferable, but in addition, the roughening surface 11a is disposed on the sealing surface 11. It may be arranged in an island shape.

また、上記図1では、粗化面11aを封止面11の範囲内に設けた構造としたため、段差11bは、熱可塑性樹脂部材20の内側に封止されたものとされていた。これに対して、粗化面11aは、熱硬化性樹脂部材10における封止面11を超えて露出面12の一部まで連続して形成された構造であっても良く、その場合、段差11bは、熱可塑性樹脂部材より露出し、目視可能なものとされる。   Further, in FIG. 1, since the roughened surface 11 a is provided within the range of the sealing surface 11, the step 11 b is sealed inside the thermoplastic resin member 20. On the other hand, the roughened surface 11a may have a structure formed continuously from the sealing surface 11 in the thermosetting resin member 10 to a part of the exposed surface 12, and in this case, the step 11b. Is exposed from the thermoplastic resin member and is visible.

また、第1の被封止部品および第2の被封止部品としては、熱硬化性樹脂部材10で封止されることが可能なものであればよく、上記した半導体素子30や電気接続部材40あるいは回路基板に限定されるものではない。   Further, the first sealed component and the second sealed component may be anything as long as they can be sealed with the thermosetting resin member 10, and the semiconductor element 30 and the electrical connection member described above. It is not limited to 40 or a circuit board.

また、熱硬化性樹脂部材10の形状は、上記した直方体状のものに限定されるものではなく、球状、その他、不定形状などであってもよい。また、熱可塑性樹脂部材20の封止形態は、熱硬化性樹脂部材10の表面の一部が封止され残部が露出するものであればよく、上記図示例のような熱硬化性樹脂部材10の一端10a側が封止面11、他端10b側が露出面とされたものに限定するものではない。   Moreover, the shape of the thermosetting resin member 10 is not limited to the above-mentioned rectangular parallelepiped shape, and may be spherical, other shapes, and the like. The thermoplastic resin member 20 may be sealed as long as a part of the surface of the thermosetting resin member 10 is sealed and the remaining part is exposed. The one end 10a side is not limited to the sealing surface 11 and the other end 10b side is an exposed surface.

また、上記実施形態では、樹脂成形体は半導体装置であり、熱硬化性樹脂部材10の内部には、熱硬化性樹脂部材10で封止された被封止部品となる半導体素子30などが設けられたものであった。しかし、樹脂成形体としては、このような半導体装置に限定されるものではなく、たとえば熱硬化性樹脂部材10として被封止部品を持たない構成のものであってもよい。   Moreover, in the said embodiment, the resin molding is a semiconductor device, The semiconductor element 30 etc. which become the to-be-sealed components sealed with the thermosetting resin member 10 etc. are provided in the thermosetting resin member 10 inside. It was what was done. However, the resin molded body is not limited to such a semiconductor device. For example, the thermosetting resin member 10 may have a configuration without a sealed component.

また、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能であり、また、上記各実施形態は、上記の図示例に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。   Further, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed within the scope described in the claims. The above embodiments are not irrelevant to each other, and can be combined as appropriate unless the combination is clearly impossible, and the above embodiments are not limited to the illustrated examples. Absent. In each of the above-described embodiments, it is needless to say that elements constituting the embodiment are not necessarily indispensable except for the case where it is clearly indicated that the element is essential and the case where the element is clearly considered essential in principle. Yes. Further, in each of the above embodiments, when numerical values such as the number, numerical value, quantity, range, etc. of the constituent elements of the embodiment are mentioned, it is clearly limited to a specific number when clearly indicated as essential and in principle. The number is not limited to the specific number except for the case. Further, in each of the above embodiments, when referring to the shape, positional relationship, etc. of the component, etc., the shape, unless otherwise specified and in principle limited to a specific shape, positional relationship, etc. It is not limited to the positional relationship or the like.

10 熱硬化性樹脂部材
11 熱硬化性樹脂部材における封止面
11a 粗化面
12 熱硬化性樹脂部材における露出面
13 表面層
14 新生面
20 熱可塑性樹脂部材
20a 官能基含有添加剤
30 半導体素子
40 電気接続部材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Thermosetting resin member 11 Sealing surface in thermosetting resin member 11a Roughening surface 12 Exposed surface in thermosetting resin member 13 Surface layer 14 New surface 20 Thermoplastic resin member 20a Functional group containing additive 30 Semiconductor element 40 Electricity Connecting member

Claims (4)

熱硬化性樹脂よりなる熱硬化性樹脂部材(10)と、
前記熱硬化性樹脂部材の表面の一部である封止面(11)を封止する熱可塑性樹脂よりなる熱可塑性樹脂部材(20)と、を備え、
前記熱硬化性樹脂部材の表面の残部である露出面(12)は、前記熱可塑性樹脂部材より露出する樹脂成形体の製造方法であって、
前記熱硬化性樹脂部材の原料である熱硬化性樹脂材料を用い、前記熱硬化性樹脂材料を加熱して硬化完了させることにより、前記熱硬化性樹脂部材を形成する硬化モールド工程と、
前記熱硬化性樹脂部材における前記封止面の少なくとも一部において、最表面に位置する表面層(13)を除去することで前記封止面の少なくとも一部を官能基が存在する新生面(14)とする表面層除去工程と、
前記新生面が形成された前記熱硬化性樹脂部材に対して、前記熱可塑性樹脂部材の原料である熱可塑性樹脂材料として前記新生面に存在する官能基と化学結合する官能基を含有する官能基含有添加剤(20a)を添加した材料を射出成形することにより、前記新生面に存在する官能基と前記熱可塑性樹脂材料に添加した官能基含有添加剤に存在する官能基とを化学結合させつつ、前記熱硬化性樹脂部材における前記封止面を前記熱可塑性樹脂部材で封止する可塑モールド工程と、を備えることを特徴とする樹脂成形体の製造方法。
A thermosetting resin member (10) made of a thermosetting resin;
A thermoplastic resin member (20) made of a thermoplastic resin that seals a sealing surface (11) that is a part of the surface of the thermosetting resin member,
The exposed surface (12) which is the remaining part of the surface of the thermosetting resin member is a method for producing a resin molded body exposed from the thermoplastic resin member,
Using a thermosetting resin material that is a raw material of the thermosetting resin member, by heating the thermosetting resin material to complete the curing, a curing mold step for forming the thermosetting resin member;
In at least a part of the sealing surface in the thermosetting resin member, a surface layer (13) located at the outermost surface is removed to remove at least a part of the sealing surface as a new surface (14). A surface layer removing step,
A functional group-containing addition containing a functional group chemically bonded to a functional group present on the new surface as a thermoplastic resin material that is a raw material of the thermoplastic resin member to the thermosetting resin member on which the new surface is formed The material added with the agent (20a) is injection-molded to chemically bond the functional group present on the nascent surface and the functional group present in the functional group-containing additive added to the thermoplastic resin material. And a plastic molding step of sealing the sealing surface of the curable resin member with the thermoplastic resin member.
前記表面層除去工程は、前記熱硬化性樹脂部材における前記封止面の少なくとも一部に対して、レーザ照射することにより行うものであることを特徴とする請求項1に記載の樹脂成形体の製造方法。   The said surface layer removal process is performed by irradiating a laser with respect to at least one part of the said sealing surface in the said thermosetting resin member, The resin molding of Claim 1 characterized by the above-mentioned. Production method. 前記硬化モールド工程では、前記熱硬化性樹脂部材の構成材料として、水酸基とエポキシ基のいずれか1つもしくは複数を官能基として含む材料を用い、
前記可塑モールド工程では、前記官能基含有添加剤の構成材料として、水酸基、エポキシ基、アミノ基、カルボニル基のいずれか1つもしくは複数を官能基として含む材料を用いることを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂成形体の製造方法。
In the curing mold step, as a constituent material of the thermosetting resin member, a material including any one or more of a hydroxyl group and an epoxy group as a functional group is used.
2. The plastic molding step is characterized in that a material containing any one or more of a hydroxyl group, an epoxy group, an amino group, and a carbonyl group as a functional group is used as a constituent material of the functional group-containing additive. Or the manufacturing method of the resin molding of 2.
前記硬化モールド工程では、前記熱硬化性樹脂部材の構成材料として、水酸基とエポキシ基のいずれか1つもしくは複数を官能基として含む材料を用い、
前記可塑モールド工程では、前記官能基含有添加剤の構成材料として、前記熱硬化性樹脂部材の構成材料に含まれる官能基と同じ官能基を少なくとも1つ含む材料を用いることで、前記熱硬化性樹脂部材の構成材料に含まれる官能基と共有結合させることを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂成形体の製造方法。
In the curing mold step, as a constituent material of the thermosetting resin member, a material including any one or more of a hydroxyl group and an epoxy group as a functional group is used.
In the plastic molding step, as the constituent material of the functional group-containing additive, a material containing at least one functional group that is the same as the functional group contained in the constituent material of the thermosetting resin member is used. The method for producing a resin molded body according to claim 1, wherein the resin group is covalently bonded to a functional group contained in a constituent material of the resin member.
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