JP6277780B2 - Manufacturing method of resin molding - Google Patents
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Description
本発明は、熱硬化性樹脂部材の表面の一部を熱可塑性樹脂部材で封止し、熱硬化性樹脂部材の表面の残部を熱可塑性樹脂部材より露出させてなる樹脂成形体の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for producing a resin molded body in which a part of the surface of a thermosetting resin member is sealed with a thermoplastic resin member and the remainder of the surface of the thermosetting resin member is exposed from the thermoplastic resin member. .
従来より、この種の樹脂成形体として、部品が実装された基板等よりなる被封止部品と、被封止部品を封止する熱硬化性樹脂よりなる熱硬化性樹脂部材と、熱硬化性樹脂部材の表面を封止する熱可塑性樹脂よりなる熱可塑性樹脂部材と、を備える樹脂成形体が提案されている(たとえば特許文献1参照)。ここで、熱可塑性樹脂部材は、熱硬化性樹脂部材の表面の一部である封止面を封止し、当該表面の残部である露出面を露出させている。 Conventionally, as this type of resin molded body, a sealed component made of a substrate on which the component is mounted, a thermosetting resin member made of a thermosetting resin that seals the sealed component, and thermosetting There has been proposed a resin molded body including a thermoplastic resin member made of a thermoplastic resin that seals the surface of the resin member (see, for example, Patent Document 1). Here, the thermoplastic resin member seals the sealing surface which is a part of the surface of the thermosetting resin member, and exposes the exposed surface which is the remaining part of the surface.
このような樹脂成形体は、熱硬化性樹脂については、被封止部品に対する高密着性や低応力性の点で好ましく、熱可塑性樹脂については、成形物の寸法精度や靭性がよい、という各利点を生かしたものである。たとえば、熱硬化性樹脂としてはエポキシ樹脂等が挙げられ、熱可塑性樹脂としては、PPS(ポリフェニレンサルファイド)やPBT(ポリブチレンテレフタレート)等が挙げられる。 Such a resin molded body is preferable for the thermosetting resin in terms of high adhesion and low stress to the sealed component, and for the thermoplastic resin, each of the dimensional accuracy and toughness of the molded product is good. It takes advantage of it. For example, an epoxy resin etc. are mentioned as a thermosetting resin, PPS (polyphenylene sulfide), PBT (polybutylene terephthalate) etc. are mentioned as a thermoplastic resin.
このような樹脂成形体の一般的な製造方法は、次の通りである。まず、被封止部品を、熱硬化性樹脂部材の原料である熱硬化性樹脂素材で被覆し、これを加熱して硬化完了させて熱硬化性樹脂部材を形成する硬化モールド工程、つまり一次成形を行う。 The general manufacturing method of such a resin molding is as follows. First, the part to be sealed is covered with a thermosetting resin material that is a raw material of the thermosetting resin member, and this is heated to complete the curing to form a thermosetting resin member, that is, primary molding. I do.
次に、熱可塑性樹脂部材の原料である熱可塑性樹脂素材にて熱硬化性樹脂部材の表面のうちの封止面を被覆するように射出成形を行うことで、加熱することにより熱可塑性樹脂部材を形成する可塑モールド工程、つまり二次成形を行う。こうして、樹脂成形体ができあがる。 Next, the thermoplastic resin member is heated by performing injection molding so as to cover the sealing surface of the surface of the thermosetting resin member with the thermoplastic resin material that is a raw material of the thermoplastic resin member. The plastic molding process for forming the film, that is, secondary molding is performed. Thus, a resin molded body is completed.
しかしながら、このような樹脂成形体においては、熱硬化性樹脂に対する熱可塑性樹脂の密着性が悪いため、熱硬化性樹脂部材と熱可塑性樹脂部材との界面で剥離が生じやすい。 However, in such a resin molding, since the adhesiveness of the thermoplastic resin to the thermosetting resin is poor, peeling is likely to occur at the interface between the thermosetting resin member and the thermoplastic resin member.
この種の樹脂成形体においては、上記したように、熱硬化性樹脂部材の表面の一部である封止面は、熱可塑性樹脂部材で封止されるが、当該表面の残部である露出面は、熱可塑性樹脂部材より露出する。 In this type of resin molded body, as described above, the sealing surface that is a part of the surface of the thermosetting resin member is sealed with the thermoplastic resin member, but the exposed surface that is the remainder of the surface. Is exposed from the thermoplastic resin member.
そのため、上記界面で剥離が発生すると、たとえば、上記界面のうち外部に露出する部分、すなわち、上記界面のうち熱硬化性樹脂部材における封止面と露出面との境界に位置する端部から、外部の水分や汚染物質等が、上記界面に沿って樹脂成形体の内部に侵入することになる。 Therefore, when peeling occurs at the interface, for example, from the portion exposed to the outside of the interface, that is, from the end located at the boundary between the sealing surface and the exposed surface of the thermosetting resin member of the interface, External moisture, contaminants, and the like enter the resin molded body along the interface.
このような上記界面での剥離の問題に対して、上記従来公報では、熱可塑モールド工程後に、上記界面のうち上記封止面と露出面との境界に位置する端部に、別の充填材料を配置することで、上記界面の端部を被覆し、上記界面の剥離を防止するようにしている。しかし、この場合、充填材料を別途用いる必要が生じることから、樹脂成形体の形状の制約やコストアップ等の点で問題がある。 In order to deal with such a problem of peeling at the interface, in the conventional publication, after the thermoplastic molding process, another filling material is provided at the end located at the boundary between the sealing surface and the exposed surface of the interface. Is arranged so as to cover the end portion of the interface and prevent peeling of the interface. However, in this case, since it is necessary to use a filling material separately, there is a problem in terms of restrictions on the shape of the resin molded body and cost increase.
本発明は、上記した問題に鑑みてなされたものであり、熱硬化性樹脂部材の表面の一部を熱可塑性樹脂部材で封止してなる樹脂成形体において、熱硬化性樹脂部材と熱可塑性樹脂部材との密着性の向上を図ることを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems. In a resin molded body formed by sealing a part of the surface of a thermosetting resin member with a thermoplastic resin member, the thermosetting resin member and the thermoplastic resin are obtained. It aims at improving the adhesiveness with a resin member.
上記目的を達成するため、請求項1ないし4に記載の発明では、熱硬化性樹脂よりなる熱硬化性樹脂部材(10)と、熱硬化性樹脂部材の表面の一部である封止面(11)を封止する熱可塑性樹脂よりなる熱可塑性樹脂部材(20)と、を備え、熱硬化性樹脂部材の表面の残部である露出面(12)は、熱可塑性樹脂部材より露出する樹脂成形体の製造方法であって、さらに、以下の各工程を備えるものである。
In order to achieve the above object, in the inventions according to
すなわち、請求項1ないし4の製造方法においては、熱硬化性樹脂部材の原料である熱硬化性樹脂材料を用い、熱硬化性樹脂材料を加熱して硬化完了させることにより、熱硬化性樹脂部材を形成する硬化モールド工程と、熱硬化性樹脂部材における封止面の少なくとも一部において、最表面に位置する表面層(13)を除去することで封止面の少なくとも一部を官能基が存在する新生面(14)とする表面層除去工程と、新生面が形成された熱硬化性樹脂部材に対して、熱可塑性樹脂部材の原料である熱可塑性樹脂材料として新生面に存在する官能基と化学結合する官能基を含有する官能基含有添加剤(20a)を添加した材料を射出成形することにより、新生面に存在する官能基と熱可塑性樹脂材料に添加した官能基含有添加剤に存在する官能基とを化学結合させつつ、熱硬化性樹脂部材における封止面を熱可塑性樹脂部材で封止する可塑モールド工程と、を備えることを特徴とする。
That is, in the manufacturing method of
このように、熱硬化性樹脂部材における封止面と当該封止面を封止する熱可塑性樹脂部材との界面では、封止面上の汚染物が除去された新生面が形成されるようにしている。そして、この新生面において官能基を介した熱硬化性樹脂部材と熱可塑性樹脂部材との化学結合が実現される。この化学結合によって、熱硬化性樹脂部材と熱可塑性樹脂部材との間において高密着性を得ることができる。そのため、熱硬化性樹脂部材と熱可塑性樹脂部材との密着性の向上が実現できる。 Thus, a new surface from which contaminants on the sealing surface are removed is formed at the interface between the sealing surface of the thermosetting resin member and the thermoplastic resin member that seals the sealing surface. Yes. And in this new surface, the chemical bond of the thermosetting resin member and the thermoplastic resin member through the functional group is realized. By this chemical bond, high adhesion can be obtained between the thermosetting resin member and the thermoplastic resin member. Therefore, it is possible to improve the adhesion between the thermosetting resin member and the thermoplastic resin member.
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係の一例を示すものである。 In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each said means shows an example of a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, parts that are the same or equivalent to each other will be described with the same reference numerals.
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態にかかる樹脂成形体について、図1、図2を参照して述べる。なお、図1では、後述する熱硬化性樹脂部材10の表面に形成された粗化面11aの凹凸形状、段差11bの高さについては、わかりやすくするために、大きくデフォルメして示してある。また、図2では、熱硬化性樹脂部材10の表面に形成された粗化面11aについて、その表面に斜線ハッチングを施して示している。
(First embodiment)
The resin molded body according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. In FIG. 1, the uneven shape of the roughened
この樹脂成形体は、たとえば自動車などの車両に搭載され、車両用の各種電子装置を駆動するための半導体装置として適用されるものである。本実施形態の樹脂成形体としての半導体装置は、熱硬化性樹脂部材10と熱硬化性樹脂部材10の表面の一部を封止する熱可塑性樹脂部材20とを備えて構成されている。
This resin molded body is mounted on a vehicle such as an automobile, and is applied as a semiconductor device for driving various electronic devices for the vehicle. The semiconductor device as the resin molded body of the present embodiment includes a
熱硬化性樹脂部材10は、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂よりなるもので、必要に応じて、当該樹脂中にシリカやアルミナ等の絶縁性材料よりなるフィラーが含有されていてもよい。このような熱硬化性樹脂部材10は、トランスファー成形、コンプレッション成形、あるいは、ポッティング法等による成形および熱硬化処理を行うことで、形成されたものである。
The
また、熱可塑性樹脂部材20は、PPS(ポリフェニレンサルファイド)やPBT(ポリフェニレンテレフタレート)等の熱可塑性樹脂よりなるもので、熱硬化性樹脂部材10の一部を封止するように射出成形を行うことにより、形成されたものである。この熱可塑性樹脂部材20内には、官能基含有添加剤20aが添加されている。官能基含有添加剤20aは、水酸基、エポキシ基、アミノ基、カルボニル基などのいずれか1つもしくは複数を有するポリマーよりなるものである。この官能基含有添加剤20aが熱硬化性樹脂部材10の粗化面11aに存在する官能基と化学反応して、高密着性な熱硬化性樹脂−熱可塑性樹脂接合を可能としている。
The
このような官能基含有添加剤20aが添加された熱可塑性樹脂部材20が熱硬化性樹脂部材10の表面の一部を封止することにより、熱硬化性樹脂部材10の表面の一部は、熱可塑性樹脂部材20により封止された封止面11とされている。そして、熱硬化性樹脂部材10の表面のうち封止面11以外の部分である残部は、熱可塑性樹脂部材20より露出する露出面12とされている。
When the
ここでは、図1および図2に示されるように、熱硬化性樹脂部材10は、直方体状のブロック形状をなすものとして構成されている。そして、この熱硬化性樹脂部材10の長手方向の一端10a側における熱硬化性樹脂部材10の表面の一部が、封止面11とされ、当該長手方向の他端10b側における熱硬化性樹脂部材の表面の残部が、露出面12とされている。
Here, as shown in FIG. 1 and FIG. 2, the
さらに具体的に言うならば、図1、図2に示される熱硬化性樹脂部材10は、長手方向の一端面とこれに対向する他端面、および、長手方向に延びる4個の側面を有する直方体をなしている。そして、熱硬化性樹脂部材10の封止面11は、当該長手方向の一端面と4個の側面のうちの当該長手方向の一端10a側の部位とされ、一方、熱硬化性樹脂部材10の露出面12は、当該長手方向の他端面と4個の側面のうちの当該長手方向の他端10b側の部位とされている。
More specifically, the
熱硬化性樹脂部材10は、その内部に、熱硬化性樹脂部材10により封止された第1の被封止部品としての半導体素子30、第2の被封止部品としての電気接続部材40を有している。
The
第1の被封止部品である半導体素子30は、磁気センサや光センサ、あるいは、圧力センサ等に用いられるシリコン半導体等よりなるセンサチップである。このような半導体素子30は、通常の半導体プロセスにより形成されるものである。
The
たとえば、磁気センサ用の半導体素子30の場合、半導体素子30の全体が熱硬化性樹脂部材10により封止されており、半導体素子30は、熱硬化性樹脂部材10を介して外部の磁気を検出するようにしている。
For example, in the case of the
また、光センサや圧力センサ用の半導体素子30の場合、半導体素子30の一部を開口させる図示しない開口部が、熱硬化性樹脂部材10に形成され、半導体素子30は、当該開口部を介して光や圧力を検出するようになっている。
In the case of the
一方、第2の被封止部品である電気接続部材40は、半導体素子30と半導体装置の外部の図示しない配線部材とを電気的に接続するためのものである。ここでは、電気接続部材40の一部41は熱硬化性樹脂部材10に被覆されて、残部42は熱硬化性樹脂部材10における封止面11より突出する。また、電気接続部材40の残部42は、熱硬化性樹脂部材10の外部にて熱可塑性樹脂部材20により封止され、かつ、その先端部が熱可塑性樹脂部材20から露出させられている。
On the other hand, the
ここで、電気接続部材40の一部41は、熱硬化性樹脂部材10内にて、半導体素子30と電気接続されている。この半導体素子30との接続手法は特に限定するものではないが、ここでは、AlやAu等のボンディングワイヤ50により接続されている。
Here, a
一方、熱可塑性樹脂部材20は、電気接続部材40の残部42を封止しているが、熱可塑性樹脂部材20には開口部21が形成されている。そして、この開口部21において、電気接続部材40の残部42のうちのさらに一部が、熱可塑性樹脂部材20の外部に露出している。
On the other hand, the
この熱可塑性樹脂部材20の開口部21は、図示しない外部の配線部材、たとえばコネクタ部材等が挿入されて接続される部位であり、それにより、この外部の配線部材と電気接続部材40とが、電気的に接続されるようになっている。
The
つまり、電気接続部材40は、半導体素子30の検出や出力等の用をなすものとして機能し、半導体素子30は、電気接続部材40を介して、装置の外部との電気的なやり取りを可能としている。このような電気接続部材40として、本実施形態では、CuやAl等の棒状部材よりなるターミナル端子を用いているが、その他、回路基板などを電気接続部材40として用いてもよい。
That is, the
そして、本実施形態の半導体装置においては、熱硬化性樹脂部材10における封止面11の一部は、粗化された粗化面11aとされている。粗化面11aは、後述する製造方法のうちの表面層除去工程により形成されるものであり、この粗化面11aの粗化度合(表面粗さRa)は、粗化面11a以外の封止面11および露出面12よりも大きくされている。具体的には、この粗化面11aの表面粗さRaは、数μm以上(たとえば3μm以上)とされている。逆に言えば、粗化面11a以外の封止面11および露出面12は、後述する表面層13(図3参照)が存在する面に相当する。なお、表面粗さRaは、JIS(日本工業規格の略称)に定義されている算術平均粗さRaである。
In the semiconductor device of this embodiment, a part of the sealing
また、上述したように、第2の被封止部品である電気接続部材40の残部42は、熱硬化性樹脂部材10における封止面11より突出し、熱可塑性樹脂部材20により封止されている。
Further, as described above, the remaining
熱硬化性樹脂部材10において露出面12と電気接続部材40の残部42との間に位置する封止面11には、上記した粗化面11aが、電気接続部材40の残部42の周りに連続した閉環形状をなすように設けられている。
In the sealing
ここでは、図2に示されるように、電気接続部材40の残部42は、直方体状の熱硬化性樹脂部材10の一端面から突出している。そして、粗化面11aの配置パターンは、直方体状の熱硬化性樹脂部材10における4個の側面に渡って連続する閉環状のパターンとされている。
Here, as shown in FIG. 2, the remaining
また、本実施形態では、図1、図2に示されるように、粗化面11aは、熱硬化性樹脂部材10における封止面11内にのみ、つまり熱可塑性樹脂部材20の内側にのみ形成されている。このため、粗化面11aの端部は、熱可塑性樹脂部材20の内側に位置している。
In this embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, the roughened
ここで、上述したように、粗化面11aは封止面11の表面層13(図3参照)を全面除去した面であり、熱硬化性樹脂部材10の表面のうち粗化面11a以外の部分に対して粗化面11aが凹むように、これらの間には段差11bが形成されている。この段差11bの高さは、数μm以上(たとえば5μm以上)である。
Here, as described above, the roughened
次に、本実施形態の半導体装置の製造方法について、図3〜図6も参照して述べる。まず、図3に示される硬化モールド工程では、熱硬化性樹脂部材10の原料である熱硬化性樹脂材料を用い、この熱硬化性樹脂材料を加熱して硬化完了させることにより、熱硬化性樹脂部材10を形成する。
Next, the manufacturing method of the semiconductor device of this embodiment will be described with reference to FIGS. First, in the curing mold step shown in FIG. 3, a thermosetting resin material that is a raw material of the
具体的に、この硬化モールド工程では、半導体素子30と電気接続部材40とをボンディングワイヤ50で接続したものを、トランスファー成形、コンプレッション成形あるいはポッティング等により封止し、さらに、このものを加熱、硬化する。こうして、熱硬化性樹脂部材10ができあがる。
Specifically, in this curing mold process, the
この硬化モールド工程で形成された熱硬化性樹脂部材10の最表面には、汚染物よりなる表面層13が存在する。汚染物は、熱硬化性樹脂部材10の構成材料中に存在するが、加熱成形時に最表面に浮き出てきて、それよりも内側にはあまり存在しない状態となる。ここで、汚染物とは、たとえば離型剤や工程中に熱硬化性樹脂部材10の表面に付着した異物等である。離型剤とは、上記成形において型離れ性を確保するために、金型表面に設けられたり、熱硬化性樹脂材料自身に混合されたりするもので、たとえばシロキサンや脂肪酸等よりなる。
On the outermost surface of the
次に、図4に示されるように、熱硬化性樹脂部材10に対して表面層除去工程を行う。この工程では、熱硬化性樹脂部材10における封止面11の一部、すなわち封止面11のうちの粗化面11aを形成する部位において、最表面に位置する表面層13を除去することで当該部位を新生面14とする。
Next, as shown in FIG. 4, a surface layer removing step is performed on the
具体的には、封止面11のうちの粗化面11aの形成予定位置に対して、レーザ照射、ショットブラスト、研磨等の手法を用い、表面層13を除去する。これら手法は、処理表面を削って凹凸を形成するものであり、レーザ照射が最も望ましい手法である。粗化面11aを形成する際の封止面11の除去深さは、表面層13を除去できる程度で良く、数μm以上(たとえば5μm以上)とされていれば良い。
Specifically, the
これら手法により、汚染物としての表面層13が除去されるとともに、表面層13の下地としての新生面14が粗化される。それによって、新生面14は、アンカー効果が付与されて熱可塑性樹脂部材20との密着性に優れた粗化面11aとされる。また、この粗化面11aとしての新生面14には、実際には図5に示すように、熱硬化性樹脂部材10を構成する熱硬化性樹脂における水酸基やエポキシ基等のいずれか1つもしくは複数が官能基として存在している。
By these methods, the
なお、表面層除去工程においては、特にレーザ照射を用いると、新生面14が焼けて酸化された部分に存在する官能基がさらに化学反応を促進して高密着性を実現することが可能となるため好ましい。また、OH基などの官能基をより新生面14に多く存在させるために、熱硬化性樹脂部材10の新生面14に、コロナ放電処理を施すことも望ましい。
In the surface layer removal step, particularly when laser irradiation is used, the functional group present in the portion where the
こうして、表面層除去工程を行った後、図6に示される可塑モールド工程を行う。この工程では、官能基が存在する熱硬化性樹脂部材10の新生面14に対して、熱可塑性樹脂部材20の原料である官能基含有添加剤20aを添加した熱可塑性樹脂材料を射出成形する。例えば、官能基含有添加剤20aとなる官能基を有するポリマーを母材となる熱可塑性樹脂材料に混練することにより、官能基含有添加剤20aを添加した熱可塑性樹脂材料を得ることができる。これにより、新生面14に存在する官能基と熱可塑性樹脂材料に含まれる官能基含有添加剤20aに存在する官能基とが化学結合しつつ、熱硬化性樹脂部材10における封止面11が熱可塑性樹脂部材20で封止される。
Thus, after performing the surface layer removing step, the plastic molding step shown in FIG. 6 is performed. In this step, a thermoplastic resin material to which a functional group-containing
この可塑モールド工程における化学結合としては、たとえば熱硬化性樹脂部材10がエポキシ樹脂である場合、エポキシ樹脂中の水酸基やエポキシ基が官能基含有添加剤20aに存在する水酸基、エポキシ基、アミノ基、カルボニル基と化学結合することになる。そして、水酸基同士の結合やエポキシ基同士の結合などとされる場合、共有結合となるため、より強度の高い化学結合となる。つまり、官能基含有添加剤20aの構成材料として、熱硬化性樹脂部材10の構成材料に含まれる官能基と同じ官能基を少なくとも1つ含む材料を用いることで共有結合を実現できる。
As the chemical bond in this plastic molding step, for example, when the
そして、この化学結合により、熱硬化性樹脂部材10における新生面14(つまり粗化面11a)と熱可塑性樹脂部材20との間の高密着性を得ることができるのである。こうして、本実施形態の樹脂成形体としての半導体装置ができあがる。
And by this chemical bond, the high adhesiveness between the new surface 14 (namely, roughening
なお、上記の表面層形成工程以降の各工程は、熱硬化性樹脂部材10の表面の一部に対して選択的に処理を行うものであるため、処理を行わない表面には適宜マスキング等を施したうえで、当該各工程を行うようにする。
In addition, since each process after said surface layer formation process processes selectively with respect to a part of surface of the
ところで、上記製造方法によれば、熱硬化性樹脂部材10における封止面11と当該封止面11を封止する熱可塑性樹脂部材20との界面では、封止面11上の汚染物が除去された新生面14が形成される。この新生面14において上記官能基を介した熱硬化性樹脂部材10と熱可塑性樹脂部材20との化学結合が実現される。
By the way, according to the manufacturing method, contaminants on the sealing
そして、この化学結合によって、熱硬化性樹脂部材10と熱可塑性樹脂部材20との間において高密着性を得ることができる。そのため、本実施形態によれば、熱硬化性樹脂部材10と熱可塑性樹脂部材20との密着性の向上が実現できる。
And by this chemical bond, high adhesiveness can be obtained between the
また、本実施形態のような熱可塑性樹脂部材20の封止形態では、熱硬化性樹脂部材10と熱可塑性樹脂部材20との界面のうち、封止面11と露出面12との境界に位置する端部から、外部の水分や汚染物等の侵入物質が、当該界面に沿って装置内に侵入するおそれがある。特に、本実施形態のような車載用の半導体装置の場合、たとえば使用環境中に存在する水分やオイル等の汚染物が侵入してくるおそれがある。
Moreover, in the sealing form of the
このとき、本実施形態のように、被封止部品である電気接続部材40の残部42が熱硬化性樹脂部材10における封止面11より突出して熱可塑性樹脂部材20で封止されている場合、上記の侵入物質が、電気接続部材40の残部に付着し、特性等に悪影響を及ぼす可能性がある。
At this time, when the remaining
その点、本実施形態では、熱硬化性樹脂部材10における封止面11のうち、露出面12と封止面11より突出する電気接続部材40の残部42との間に位置する部位に、粗化面11aを、上記閉環形状をなすように設けている。
In this respect, in the present embodiment, a portion of the sealing
そして、この閉環形状の部分は、上述のように高密着性が得られていて、剥離が防止される部位となる。そのため、本実施形態によれば、上記の侵入物質が、露出面12側から両樹脂部材10、20の界面を介して電気接続部材40の残部42へ到達するのを極力防止することができる。
And this closed-ring-shaped part is the site | part from which peeling is prevented since the high adhesiveness is acquired as mentioned above. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to prevent the intruding substance from reaching the remaining
ここで、上記した表面層13の除去および化学結合による両樹脂部材10、20の密着性向上の効果について、図7〜図9を参照して、より具体的に述べる。なお、この図7〜図9に示される例は、あくまで当該密着性向上の効果を示す一例であり、当該効果は、これに限定されるものではない。
Here, the effect of improving the adhesion between the two
図7〜図9の例では、熱硬化性樹脂部材10に相当する熱硬化性樹脂よりなる矩形板状の試験片と、熱可塑性樹脂部材20に相当する熱可塑性樹脂よりなる矩形板状の試験片とが貼り合わせられた状態となるように、上記製造方法に基づいて、樹脂成形体を作製した。そして、これら両試験片の貼り合わせ部分のせん断強度(単位:MPa)を測定したものである。
In the examples of FIGS. 7 to 9, a rectangular plate-shaped test piece made of a thermosetting resin corresponding to the
図7の例における実験では、まず、一般的な半導体封止用エポキシ樹脂をトランスファー成形したのち、表面をレーザ照射することで粗化面11aにて構成される新生面14を形成した。そして、熱可塑性樹脂材料となるPPSを射出成形することで熱可塑性樹脂部材20を形成するようにし、熱可塑性樹脂材料として、官能基含有添加剤20aとなるエポキシ樹脂を添加した場合と添加していない場合それぞれについて、せん断強度を評価した。図7は、その評価結果を示している。
In the experiment in the example of FIG. 7, first, a general semiconductor sealing epoxy resin was transfer molded, and then the surface was irradiated with laser to form a
この図に示されるように、官能基含有添加剤20aを添加していない場合と比較して、本実施形態のように官能基含有添加剤20aを添加した場合、せん断強度の大幅な向上、つまり両樹脂部材10、20の密着性の飛躍的な向上が確認された。具体的には、官能基含有添加剤20aを添加していない場合にはせん断強度が5MPa程度に留まるのに対して、添加した場合にはせん断強度が27MPaと高強度化していた。このように、官能基含有添加剤20aを添加していない場合は官能基による化学結合がなされず、密着性向上が実現できていないが、添加した場合は官能基による化学結合がなされ、密着性向上ができていたと考えられる。
As shown in this figure, when the functional group-containing
次に、図8および図9はそれぞれ、表面層除去工程に用いる手法として、レーザ照射を用いた場合の粗化面11aの表面粗さRa(単位:μm)とせん断強度との関係、加工深さZ(単位:μm)とせん断強度との関係を調査したものである。図中丸印は個々の実験結果、棒印は同じ表面粗さRaもしくは加工深さZのときの実験結果の平均値をそれぞれ表している。なお、加工深さZは、上記段差11bの高さに相当するものである。レーザ照射では、レーザを表面にスキャンすることによって表面層13を除去した。
Next, FIG. 8 and FIG. 9 respectively show the relationship between the surface roughness Ra (unit: μm) of the roughened
図8、図9に示されるように、レーザ照射であれば、Ra≧3μm、Z≧5μm、となるように、表面層除去工程において加工を行えば、十分な密着強度が得られるものと推定できる。 As shown in FIGS. 8 and 9, it is estimated that sufficient adhesion strength can be obtained if processing is performed in the surface layer removing step so that Ra ≧ 3 μm and Z ≧ 5 μm when laser irradiation is performed. it can.
また、レーザ照射以外にも、ショットブラストや研磨によって同様の実験を行った。ショットブラストでは、アランダム(アルミナ粉♯80)を表面に吹き付けることによって表面層13を除去した。また、研磨では、研磨紙(♯80)による手研磨(人手による手研磨)によって表面層13を除去した。これらの場合であっても、表面除去工程においてレーザ照射の場合と同様の加工を行うことで、十分な密着強度が得られることが確認された。
In addition to laser irradiation, similar experiments were performed by shot blasting and polishing. In shot blasting, the
また、実験結果によれば、密着性については、レーザ照射>ショットブラスト>研磨の順となった。これは、レーザ照射を用いると、新生面14が焼けて酸化された部分に存在する官能基がさらに化学反応を促進して高密着性を実現することが可能となるためと考えられる。したがって、表面層13が除去可能であれば手法は問わないが、高い密着強度が必要となる場合であれば、レーザ照射が好ましいと言える。また、ショットブラストや研磨についても、レーザ照射と同等の表面粗さRaおよび加工深さZが実現できるならば、採用可能であることはもちろんである。
Further, according to the experimental results, the adhesion was in the order of laser irradiation> shot blast> polishing. This is presumably because, when laser irradiation is used, the functional group present in the portion where the
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態にかかる樹脂成形体としての半導体装置の要部について、図10を参照して述べる。本実施形態は、上記第1実施形態に比べて、熱硬化性樹脂部材10における粗化面11aの配置パターンを変えたところが相違するものであり、ここでは、その相違点を中心に述べることとする。
(Second Embodiment)
The principal part of the semiconductor device as a resin molded body according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment is different from the first embodiment in that the arrangement pattern of the roughened
上記第1実施形態では、上記図2に示したように、粗化面11aの配置パターンは、直方体状の熱硬化性樹脂部材10における4個の側面に渡って連続する閉環状パターンとされていた。
In the said 1st Embodiment, as shown in the said FIG. 2, the arrangement pattern of the
これに対して、本実施形態では、図10に示されるように、粗化面11aは、直方体状の熱硬化性樹脂部材10における一端10a側の端面すなわち一端面のみに配置されている。
On the other hand, in this embodiment, as shown in FIG. 10, the roughened
この場合も、粗化面11aの配置パターンは、封止面11である当該一端面より突出する電気接続部材40の残部42の周りを取り囲む閉環形状とされている。そして、この場合も、上記第1実施形態と同様、当該閉環状のパターンによる効果が発揮される。
Also in this case, the arrangement pattern of the roughened
(他の実施形態)
なお、上記した各実施形態では、上記図1、図2、図10に示したように、粗化面11aは、熱硬化性樹脂部材10における封止面11の一部に設けられていたが、封止面11の全体に設けられていてもよい。つまり、粗化面11aは、封止面11の少なくとも一部に設けられたものであればよい。
(Other embodiments)
In each of the above-described embodiments, the roughened
また、粗化面11aは、封止面11に加えて露出面12まで形成されていても何ら問題ない。さらに、粗化面11aは、熱硬化性樹脂部材10の表面全体に形成されていてもよい。
Further, there is no problem even if the roughened
また、粗化面11aを封止面11の一部に設ける場合、上記したように連続する閉環状の配置パターンが好ましいが、それ以外にも、粗化面11aを、封止面11に対して島状に配置してもよい。
Moreover, when providing the
また、上記図1では、粗化面11aを封止面11の範囲内に設けた構造としたため、段差11bは、熱可塑性樹脂部材20の内側に封止されたものとされていた。これに対して、粗化面11aは、熱硬化性樹脂部材10における封止面11を超えて露出面12の一部まで連続して形成された構造であっても良く、その場合、段差11bは、熱可塑性樹脂部材より露出し、目視可能なものとされる。
Further, in FIG. 1, since the roughened
また、第1の被封止部品および第2の被封止部品としては、熱硬化性樹脂部材10で封止されることが可能なものであればよく、上記した半導体素子30や電気接続部材40あるいは回路基板に限定されるものではない。
Further, the first sealed component and the second sealed component may be anything as long as they can be sealed with the
また、熱硬化性樹脂部材10の形状は、上記した直方体状のものに限定されるものではなく、球状、その他、不定形状などであってもよい。また、熱可塑性樹脂部材20の封止形態は、熱硬化性樹脂部材10の表面の一部が封止され残部が露出するものであればよく、上記図示例のような熱硬化性樹脂部材10の一端10a側が封止面11、他端10b側が露出面とされたものに限定するものではない。
Moreover, the shape of the
また、上記実施形態では、樹脂成形体は半導体装置であり、熱硬化性樹脂部材10の内部には、熱硬化性樹脂部材10で封止された被封止部品となる半導体素子30などが設けられたものであった。しかし、樹脂成形体としては、このような半導体装置に限定されるものではなく、たとえば熱硬化性樹脂部材10として被封止部品を持たない構成のものであってもよい。
Moreover, in the said embodiment, the resin molding is a semiconductor device, The
また、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能であり、また、上記各実施形態は、上記の図示例に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。 Further, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed within the scope described in the claims. The above embodiments are not irrelevant to each other, and can be combined as appropriate unless the combination is clearly impossible, and the above embodiments are not limited to the illustrated examples. Absent. In each of the above-described embodiments, it is needless to say that elements constituting the embodiment are not necessarily indispensable except for the case where it is clearly indicated that the element is essential and the case where the element is clearly considered essential in principle. Yes. Further, in each of the above embodiments, when numerical values such as the number, numerical value, quantity, range, etc. of the constituent elements of the embodiment are mentioned, it is clearly limited to a specific number when clearly indicated as essential and in principle. The number is not limited to the specific number except for the case. Further, in each of the above embodiments, when referring to the shape, positional relationship, etc. of the component, etc., the shape, unless otherwise specified and in principle limited to a specific shape, positional relationship, etc. It is not limited to the positional relationship or the like.
10 熱硬化性樹脂部材
11 熱硬化性樹脂部材における封止面
11a 粗化面
12 熱硬化性樹脂部材における露出面
13 表面層
14 新生面
20 熱可塑性樹脂部材
20a 官能基含有添加剤
30 半導体素子
40 電気接続部材
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記熱硬化性樹脂部材の表面の一部である封止面(11)を封止する熱可塑性樹脂よりなる熱可塑性樹脂部材(20)と、を備え、
前記熱硬化性樹脂部材の表面の残部である露出面(12)は、前記熱可塑性樹脂部材より露出する樹脂成形体の製造方法であって、
前記熱硬化性樹脂部材の原料である熱硬化性樹脂材料を用い、前記熱硬化性樹脂材料を加熱して硬化完了させることにより、前記熱硬化性樹脂部材を形成する硬化モールド工程と、
前記熱硬化性樹脂部材における前記封止面の少なくとも一部において、最表面に位置する表面層(13)を除去することで前記封止面の少なくとも一部を官能基が存在する新生面(14)とする表面層除去工程と、
前記新生面が形成された前記熱硬化性樹脂部材に対して、前記熱可塑性樹脂部材の原料である熱可塑性樹脂材料として前記新生面に存在する官能基と化学結合する官能基を含有する官能基含有添加剤(20a)を添加した材料を射出成形することにより、前記新生面に存在する官能基と前記熱可塑性樹脂材料に添加した官能基含有添加剤に存在する官能基とを化学結合させつつ、前記熱硬化性樹脂部材における前記封止面を前記熱可塑性樹脂部材で封止する可塑モールド工程と、を備えることを特徴とする樹脂成形体の製造方法。 A thermosetting resin member (10) made of a thermosetting resin;
A thermoplastic resin member (20) made of a thermoplastic resin that seals a sealing surface (11) that is a part of the surface of the thermosetting resin member,
The exposed surface (12) which is the remaining part of the surface of the thermosetting resin member is a method for producing a resin molded body exposed from the thermoplastic resin member,
Using a thermosetting resin material that is a raw material of the thermosetting resin member, by heating the thermosetting resin material to complete the curing, a curing mold step for forming the thermosetting resin member;
In at least a part of the sealing surface in the thermosetting resin member, a surface layer (13) located at the outermost surface is removed to remove at least a part of the sealing surface as a new surface (14). A surface layer removing step,
A functional group-containing addition containing a functional group chemically bonded to a functional group present on the new surface as a thermoplastic resin material that is a raw material of the thermoplastic resin member to the thermosetting resin member on which the new surface is formed The material added with the agent (20a) is injection-molded to chemically bond the functional group present on the nascent surface and the functional group present in the functional group-containing additive added to the thermoplastic resin material. And a plastic molding step of sealing the sealing surface of the curable resin member with the thermoplastic resin member.
前記可塑モールド工程では、前記官能基含有添加剤の構成材料として、水酸基、エポキシ基、アミノ基、カルボニル基のいずれか1つもしくは複数を官能基として含む材料を用いることを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂成形体の製造方法。 In the curing mold step, as a constituent material of the thermosetting resin member, a material including any one or more of a hydroxyl group and an epoxy group as a functional group is used.
2. The plastic molding step is characterized in that a material containing any one or more of a hydroxyl group, an epoxy group, an amino group, and a carbonyl group as a functional group is used as a constituent material of the functional group-containing additive. Or the manufacturing method of the resin molding of 2.
前記可塑モールド工程では、前記官能基含有添加剤の構成材料として、前記熱硬化性樹脂部材の構成材料に含まれる官能基と同じ官能基を少なくとも1つ含む材料を用いることで、前記熱硬化性樹脂部材の構成材料に含まれる官能基と共有結合させることを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂成形体の製造方法。 In the curing mold step, as a constituent material of the thermosetting resin member, a material including any one or more of a hydroxyl group and an epoxy group as a functional group is used.
In the plastic molding step, as the constituent material of the functional group-containing additive, a material containing at least one functional group that is the same as the functional group contained in the constituent material of the thermosetting resin member is used. The method for producing a resin molded body according to claim 1, wherein the resin group is covalently bonded to a functional group contained in a constituent material of the resin member.
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