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JP6267673B2 - Method for producing ferroelectric ceramics - Google Patents

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JP6267673B2 JP2015107352A JP2015107352A JP6267673B2 JP 6267673 B2 JP6267673 B2 JP 6267673B2 JP 2015107352 A JP2015107352 A JP 2015107352A JP 2015107352 A JP2015107352 A JP 2015107352A JP 6267673 B2 JP6267673 B2 JP 6267673B2
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Description

本発明は、例えば車載用や航空宇宙用等、過酷な環境下での利用を想定したキャパシタに用いられる強誘電体セラミックス及びその作製方法に関するものである。   The present invention relates to a ferroelectric ceramic used for a capacitor assumed to be used in a harsh environment such as in-vehicle or aerospace, and a method for manufacturing the same.

従来、この種の強誘電体セラミックスとして、コア材にシェル材を添加し焼成してなるコアシェル構造のセラミックスにおいて、上記コア材としてBaTiO(チタン酸バリウム)、上記シェル材としてZrO(二酸化ジルコニウム)がそれぞれ用いられ、このBaTiO粉末に少量のZrOを添加して焼成することにより作製されたものが知られている。 Conventionally, as this kind of ferroelectric ceramic, in a core-shell structure ceramic obtained by adding a shell material to a core material and firing, the core material is BaTiO 3 (barium titanate), and the shell material is ZrO 2 (zirconium dioxide). ) Are used, and those prepared by adding a small amount of ZrO 2 to this BaTiO 3 powder and baking it are known.

すなわち、上記BaTiO粉末に少量の上記ZrOを添加して焼成することによりジルコニウム成分がBaTiOの周囲から拡散し、BaZrTi1−Xで与えられる相がBaTiO粒子の周囲に形成され、図4の如く、BaTiO粒子をコアとし、BaZrTi1−Xをシェルとするコアシェル構造の強誘電体セラミックスが作製されることになる。 That is, by adding a small amount of ZrO 2 to the BaTiO 3 powder and firing, the zirconium component diffuses from the surroundings of BaTiO 3 , and the phase given by BaZr X Ti 1-X O 3 is present around the BaTiO 3 particles. As shown in FIG. 4, a core-shell ferroelectric ceramic having BaTiO 3 particles as a core and BaZr X Ti 1-X O 3 as a shell is produced.

ここに、上記強誘電体セラミックスの化学組成は、表面に近づくほど、BaZrTi1−X中の変数が高く(Zr成分濃度が高く)、中心に近づくほど純粋なBaTiOに近くなる状態となる。 Here, the chemical composition of the ferroelectric ceramic is such that the closer to the surface, the higher the variable X in BaZr X Ti 1-X O 3 (the higher the Zr component concentration), and the closer to the center, the closer to pure BaTiO 3 . It becomes a state.

一方、上記BaTiO粒子をコアとし、BaZrTi1−Xをシェルとするコアシェル構造のセラミックスにあっては、リラクサ誘電体としても知られ、このようなリラクサ誘電体にあっては、幅広なピークを有した比誘電率温度特性を示すと共に、化学組成(BaZrTi1−X)中の変数の変化に従いピーク位置も連続的に変化する特徴を有し、誘電率温度特性における最高温度はコア材のキュリー温度によって定まることから、約−55℃の低温度からコア材のキュリー温度である約150℃に至る温度範囲において平坦な温度特性が得られることが知られている。 On the other hand, in the ceramic of the core-shell structure having the BaTiO 3 particles as a core and the BaZr X Ti 1-X O 3 as a shell, it is also known as a relaxor dielectric, and in such a relaxor dielectric, In addition to exhibiting a relative dielectric constant temperature characteristic having a wide peak, the peak position also changes continuously according to the change of the variable X in the chemical composition (BaZr X Ti 1-X O 3 ), and the dielectric constant temperature Since the maximum temperature in the characteristics is determined by the Curie temperature of the core material, it is known that a flat temperature characteristic can be obtained in a temperature range from a low temperature of about −55 ° C. to about 150 ° C. which is the Curie temperature of the core material. Yes.

T.R.Armstrong et al.J.Am.Ceram.Soc.72(1989)605T.A. R. Armstrong et al. J. et al. Am. Ceram. Soc. 72 (1989) 605

しかしながら、上記BaTiO粉末に少量のZrOを添加して焼成することにより作製された従来の強誘電体セラミックスの場合、図5に示す比誘電率温度特性の如く、温度が150℃以上になると、誘電率の安定性が著しく低下することになり、このような従来の強誘電体セラミックスを車載用や航空宇宙用のキャパシタ材においては、EIA規格X8R特性、すなわち、−55℃から150℃の温度範囲において比誘電率のばらつきが±15%以内の特性以上の高温域特性をもつ強誘電体セラミックスは現在入手可能ではあるが、温度が150℃以上になると誘電率の安定性が著しく低下することになるため、より厳しい要求に応えることができないことがあるという不都合を有している。 However, in the case of the conventional ferroelectric ceramics produced by adding a small amount of ZrO 2 to the BaTiO 3 powder and firing, the temperature becomes 150 ° C. or more as shown in the relative dielectric constant temperature characteristic shown in FIG. As a result, the stability of the dielectric constant is significantly reduced, and in such a capacitor material for in-vehicle or aerospace use of such conventional ferroelectric ceramics, EIA standard X8R characteristics, that is, −55 ° C. to 150 ° C. Ferroelectric ceramics with high-temperature characteristics that have a variation in relative dielectric constant within ± 15% in the temperature range are currently available, but when the temperature exceeds 150 ° C, the stability of the dielectric constant decreases significantly. Therefore, there is a disadvantage that it may not be possible to meet more stringent requirements.

本発明はこのような不都合を解決することを目的とするもので、本発明のうち、請求項1記載の発明は、コア材にシェル材を添加し焼成してなるコアシェル構造のセラミックスの作製方法であって、上記コア材はタングステンブロンズ型酸化物であり、該タングステンブロンズ型酸化物はKSr Nb 15 であり、上記シェル材はZrO であることを特徴とする強誘電体セラミックスの作製方法にある。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above disadvantages. Among the present inventions, the invention according to claim 1 is a method for producing a ceramic having a core-shell structure in which a shell material is added to a core material and fired. a is, the core material is Ri tungsten bronze-type oxide der, the tungsten bronze-type oxide is KSr 2 Nb 5 O 15, ferroelectric ceramics, wherein said shell material is ZrO 2 It is in the manufacturing method .

又、請求項2記載の発明は、コア材にシェル材を添加し焼成してなるコアシェル構造のセラミックスの作製方法であって、上記コア材はタングステンブロンズ型酸化物であり、該タングステンブロンズ型酸化物はKBa Nb 15 であり、上記シェル材はZrO であることを特徴とする強誘電体セラミックスの作製方法にある。 Further, a second aspect of the present invention, a method for manufacturing a ceramic core-shell structure formed by the addition of shell material to the core material firing, the core material is Ri tungsten bronze-type oxide der, the tungsten bronze-type oxide is KBa 2 Nb 5 O 15, the shell material is in the strong manufacturing method of a dielectric ceramic, which is a ZrO 2.

又、請求項3記載の発明は、コア材にシェル材を添加し焼成してなるコアシェル構造のセラミックスの作製方法であって、上記コア材はタングステンブロンズ型酸化物であり、該タングステンブロンズ型酸化物はNaBa Nb 15 であり、上記シェル材はZrO であることを特徴とする強誘電体セラミックスの作製方法にある。 Also, third aspect of the present invention, a method for manufacturing a ceramic core-shell structure formed by the addition of shell material to the core material firing, the core material is Ri tungsten bronze-type oxide der, the tungsten bronze-type oxide is NaBa 2 Nb 5 O 15, the shell material is in the strong manufacturing method of a dielectric ceramic, which is a ZrO 2.

本発明は上述の如く、請求項1記載の発明にあっては、コア材にシェル材を添加し焼成してなるコアシェル構造のセラミックスの作製方法であって、上記コア材をタングステンブロンズ型酸化物としたから、150℃以上の温度条件下においても、比誘電率のばらつきが±15%以内に維持可能な安定した高温域特性をもつ強誘電体セラミックスを得ることができ、高温域特性が要求される車載用や航空宇宙用のキャパシタ材等に用いることができ、かつ、上記タングステンブロンズ型酸化物はKSr Nb 15 であるから、最大195℃までの広い温度範囲においても、比誘電率のばらつきが±15%以内に維持可能な安定した高温域特性をもつ強誘電体セラミックスを得ることができ、さらに、上記シェル材としてZrO を用いてなるから、コア材をタングステンブロンズ型酸化物とするコアシェル構造の強誘電体セラミックスを低コストで得ることができる。 As described above, the present invention provides a method for producing a ceramic having a core-shell structure in which a shell material is added to a core material and fired. The core material is a tungsten bronze oxide. Therefore, it is possible to obtain a ferroelectric ceramic with stable high temperature characteristics that can maintain a variation in relative permittivity within ± 15% even under temperature conditions of 150 ° C. or higher, and high temperature characteristics are required. The tungsten bronze type oxide is KSr 2 Nb 5 O 15 , so that it can be used in a wide temperature range up to 195 ° C. Ferroelectric ceramics with stable high temperature characteristics that can maintain a variation in rate within ± 15% can be obtained, and ZrO 2 is used as the shell material. Therefore, a ferroelectric ceramic having a core-shell structure in which the core material is a tungsten bronze type oxide can be obtained at low cost.

又、請求項2記載の発明にあっては、コア材にシェル材を添加し焼成してなるコアシェル構造のセラミックスの作製方法であって、上記コア材をタングステンブロンズ型酸化物としたから、150℃以上の温度条件下においても、比誘電率のばらつきが±15%以内に維持可能な安定した高温域特性をもつ強誘電体セラミックスを得ることができ、高温域特性が要求される車載用や航空宇宙用のキャパシタ材等に用いることができ、かつ、上記タングステンブロンズ型酸化物をKBaNb15とすることにより、KBaNb15のキュリー温度に至る150℃以上の温度条件下においても、比誘電率のばらつきが±15%以内に維持可能な安定した高温域特性をもつ強誘電体セラミックスを得ることができ、さらに、上記シェル材としてZrO を用いてなるから、コア材をタングステンブロンズ型酸化物とするコアシェル構造の強誘電体セラミックスを低コストで得ることができる。 The invention according to claim 2 is a method for producing a ceramic having a core-shell structure in which a shell material is added to a core material and fired, and the core material is made of a tungsten bronze type oxide. Ferroelectric ceramics with stable high temperature characteristics that can maintain a variation in relative permittivity within ± 15% even under temperature conditions of ℃ or higher can be obtained. It can be used for aerospace capacitor materials and the like, and by using the tungsten bronze type oxide as KBa 2 Nb 5 O 15 , a temperature condition of 150 ° C. or higher reaching the Curie temperature of KBa 2 Nb 5 O 15 even under, it is the variation of the dielectric constant to obtain a ferroelectric ceramic having a stable high temperature range characteristics can be maintained within 15% ±, further, the Since made using ZrO 2 as the E sealing material, it is possible to obtain a ferroelectric ceramics of the core-shell structure that a core material with tungsten bronze-type oxide at low cost.

又、請求項3記載の発明にあっては、コア材にシェル材を添加し焼成してなるコアシェル構造のセラミックスの作製方法であって、上記コア材をタングステンブロンズ型酸化物としたから、150℃以上の温度条件下においても、比誘電率のばらつきが±15%以内に維持可能な安定した高温域特性をもつ強誘電体セラミックスを得ることができ、高温域特性が要求される車載用や航空宇宙用のキャパシタ材等に用いることができ、かつ、上記タングステンブロンズ型酸化物をNaBaNb15とすることにより、NaBaNb15のキュリー温度に至る150℃以上の温度条件下においても、比誘電率のばらつきが±15%以内に維持可能な安定した高温域特性をもつ強誘電体セラミックスを得ることができ、さらに、上記シェル材としてZrO を用いてなるから、コア材をタングステンブロンズ型酸化物とするコアシェル構造の強誘電体セラミックスを低コストで得ることができる。 In the invention according to claim 3, since the core material is made of a tungsten bronze type oxide, it is a method for producing a ceramic of a core shell structure in which a shell material is added to the core material and fired. Ferroelectric ceramics with stable high temperature characteristics that can maintain a variation in relative permittivity within ± 15% even under temperature conditions of ℃ or higher can be obtained. It can be used for aerospace capacitor materials and the like, and the tungsten bronze type oxide is NaBa 2 Nb 5 O 15 , so that the temperature condition is 150 ° C. or higher to reach the Curie temperature of NaBa 2 Nb 5 O 15 even under, it is the variation of the dielectric constant to obtain a ferroelectric ceramic having a stable high temperature range characteristics can be maintained within 15% ±, further, Since made using ZrO 2 as the serial shell material, it is possible to obtain a ferroelectric ceramics of the core-shell structure that a core material with tungsten bronze-type oxide at low cost.

本発明の実施の形態例の製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of the example of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態例の説明正断面図である。It is an explanation front sectional view of an example of an embodiment of the invention. 本発明の実施の形態例の比誘電率温度特性図である。It is a dielectric constant temperature characteristic figure of the example of an embodiment of the invention. 従来品の実施の形態例の説明正断面図である。It is an explanatory front sectional view of an embodiment of a conventional product. 従来品の実施の形態例の比誘電率温度特性図である。It is a dielectric constant temperature characteristic figure of the example of an embodiment of the conventional product.

図1乃至図3は本発明の実施の形態例を示し、コア材Sに少量のシェル材Mを添加して焼成することによりコアシェル構造の強誘電体セラミックスGが作製され、コア材Sとしてタングステンブロンズ型酸化物を用いている。   FIG. 1 to FIG. 3 show an embodiment of the present invention. A small amount of shell material M is added to core material S and fired to produce a core-shell structure ferroelectric ceramic G. As core material S, tungsten is used. Bronze type oxide is used.

この場合、上記タングステンブロンズ型酸化物としてKSrNb15が用いられ、上記シェル材MとしてZrOが用いられている。 In this case, KSr 2 Nb 5 O 15 is used as the tungsten bronze oxide, and ZrO 2 is used as the shell material M.

この場合、強誘電体セラミックスGの作製に際し、図1の如く、先ず、タングステンブロンズ型酸化物の原料として、高純度の酸化物KCO、SrCO、Nb15を化学量論比で秤量し、これら原料を遊星ボールミルを用いて24時間混合し、1,150℃で8時間かけて仮焼して、コア材Sとしてのタングステンブロンズ型酸化物を作製することになる。 In this case, when producing the ferroelectric ceramic G, as shown in FIG. 1, first, a high-purity oxide K 2 CO 3 , SrCO 3 , Nb 5 O 15 is used as a raw material for the tungsten bronze type oxide. The raw materials are mixed for 24 hours using a planetary ball mill and calcined at 1,150 ° C. for 8 hours to produce a tungsten bronze type oxide as the core material S.

そして、この作製されたタングステンブロンズ型酸化物の仮焼粉末がKSrNb15単相であることをX線回折法で確認することになる。 The produced tungsten bronze oxide calcined powder is confirmed to be a KSr 2 Nb 5 O 15 single phase by an X-ray diffraction method.

次いで、上記コア材Sとしてのタングステンブロンズ型酸化物の仮焼粉末に上記シェル材MとしてのZrO(二酸化ジルコニウム)を添加することになり、この場合、ジルコニウムテトラプロポキシド、その他のジルコニウム化合物を例えばエタノールやプロピルアルコール等の溶剤に溶解し、その溶解液中にタングステンブロンズ型酸化物としてのKSrNb15の仮焼粉末を投入し、例えば、遊星ボールミルを用いて十分に攪拌処理し、これによりタングステンブロンズ型酸化物としてのKSrNb15粉末の表面にシェル材MとしてのZrO(二酸化ジルコニウム)層を形成し、このタングステンブロンズ型酸化物の表面にシェル材Mが形成された粉末を圧力196MPa程度で加圧してペレットを作り、このペレットを焼成温度としての炉内温度1250℃〜1300℃の加熱炉内に投入し、加熱炉内の酸素雰囲気中で4時間かけて焼成し、これによりZrOからイオン交換が起こり、図2に示す如く、上記タングステンブロンズ型酸化物をコアとし、K1−XSr2+XNb5−XZr15をシェルとするコアシェル構造の強誘電体セラミックスGが作製されることになる。 Next, ZrO 2 (zirconium dioxide) as the shell material M is added to the calcined powder of tungsten bronze type oxide as the core material S. In this case, zirconium tetrapropoxide and other zirconium compounds are added. For example, it is dissolved in a solvent such as ethanol or propyl alcohol, and KSr 2 Nb 5 O 15 calcined powder as a tungsten bronze type oxide is put into the solution, and is sufficiently stirred using, for example, a planetary ball mill. Thus, a ZrO 2 (zirconium dioxide) layer as the shell material M is formed on the surface of the KSr 2 Nb 5 O 15 powder as the tungsten bronze type oxide, and the shell material M is formed on the surface of the tungsten bronze type oxide Pressed the powder at a pressure of about 196 MPa to make pellets, Pellets were charged into the furnace temperature 1250 ° C. to 1300 ° C. in a heating furnace as baking temperature, and calcined for 4 hours in an oxygen atmosphere in the heating furnace, thereby ion exchange from ZrO 2 occurs, FIG. 2 As shown in FIG. 5, a ferroelectric ceramic G having a core-shell structure using the tungsten bronze oxide as a core and K 1-X Sr 2 + X Nb 5 -X Zr X O 15 as a shell is manufactured.

尚、上記作製工程中のジルコニウムテトラプロポキシド、その他のジルコニウム化合物を溶剤に溶解する工程に代えて、タングステンブロンズ型酸化物の仮焼粉末に上記シェル材MとしてのZrOを溶剤で溶解せずにそのまま投入することもあり、又、遊星ボールミルを用いて攪拌処理することにより上記焼成温度よりも低い温度条件で十分緻密なセラミックスGを得ることができるため、低い焼成温度で焼成することもある。 In place of the step of dissolving zirconium tetrapropoxide and other zirconium compounds in the above-described production process, ZrO 2 as the shell material M is not dissolved in the calcined powder of tungsten bronze type oxide with the solvent. In addition, since the ceramic G can be sufficiently dense under a temperature condition lower than the above firing temperature by stirring with a planetary ball mill, it may be fired at a low firing temperature. .

この実施の形態例にあっては、コア材Sにシェル材Mを添加し焼成してなるコアシェル構造のセラミックスGであって、上記コア材Sをタングステンブロンズ型酸化物としたから、タングステンブロンズ型酸化物からなるコア材Sの中心部から表面部に向かうほどシェル材Mの成分濃度が高くなるコアシェル構造のセラミックスGが作製され、150℃以上の温度条件下においても、比誘電率のばらつきが±15%以内に維持可能な安定した高温域特性をもつ強誘電体セラミックスGを得ることができ、高温域特性が要求される車載用や航空宇宙用のキャパシタ材等に用いることができる。   In this embodiment, since the core shell S is a ceramic G having a core-shell structure formed by adding the shell material M to the core material S and firing, the tungsten bronze type oxide is used as the core material S. A core-shell structure ceramic G in which the concentration of the component of the shell material M increases from the center of the core material S made of oxide toward the surface portion, and the variation in the relative dielectric constant even under a temperature condition of 150 ° C. or higher. Ferroelectric ceramics G having stable high-temperature characteristics that can be maintained within ± 15% can be obtained, and can be used for on-vehicle and aerospace capacitor materials that require high-temperature characteristics.

この場合、上記タングステンブロンズ型酸化物はKSrNb15であるから、最大195℃までの広い温度範囲においても、比誘電率のばらつきが±15%以内に維持可能な安定した高温域特性をもつ強誘電体セラミックスGを得ることができる。 In this case, since the tungsten bronze type oxide is KSr 2 Nb 5 O 15 , stable high-temperature characteristics capable of maintaining variation in relative dielectric constant within ± 15% even in a wide temperature range up to 195 ° C. Can be obtained.

又、この場合、上記シェル材MがZrOであるから、シェル材Mがイオンの拡散によりコア材Sに固溶することで、リラクサ性を有し、コア材Sをタングステンブロンズ型酸化物とするコアシェル構造の強誘電体セラミックスGを低コストで得ることができる。 Further, in this case, since the shell material M is ZrO 2 , the shell material M is dissolved in the core material S by diffusion of ions so that the shell material M is relaxed, and the core material S is made of tungsten bronze oxide. The core-shell structure ferroelectric ceramic G can be obtained at low cost.

すなわち、図3に示す横軸を温度(℃)、縦軸を比誘電率とし、周波数10kHzの条件でのKSrNb15が示す比誘電率温度特性図の如く、比誘電率は最大で1,500程度を示し、氷点下において、温度の上昇と共に比誘電率は上昇し、約−55℃において比誘電率は1,500−15%程度に達し、約0℃において比誘電率は約1,500となり、温度150℃程度までは比誘電率の値は安定して変化せず、温度150℃を超えた頃から比誘電率は低下傾向を見せ、温度約195℃を以て比誘電率は1,500−15%を下回った。 That is, the relative permittivity is the maximum as shown in the relative permittivity temperature characteristic diagram shown by KSr 2 Nb 5 O 15 under the condition of frequency 10 kHz, where the horizontal axis shown in FIG. 3 is temperature (° C.) and the vertical axis is the relative permittivity. The relative dielectric constant increases with increasing temperature at a temperature below freezing point. The relative dielectric constant reaches about 1,500-15% at about -55 ° C, and the relative dielectric constant is about 0 ° C. The value of the dielectric constant does not change stably until the temperature reaches about 150 ° C., and the relative dielectric constant tends to decrease from the time when the temperature exceeds 150 ° C., and the relative dielectric constant becomes about 195 ° C. Below 1,500-15%.

この図3の比誘電率温度特性図により150℃以上の温度条件下においても、比誘電率のばらつきが±15%以内に維持可能な安定した高温域特性をもつ強誘電体セラミックスGを得ることが確認された。   3 to obtain a ferroelectric ceramic G having a stable high temperature range characteristic in which variation in relative permittivity can be maintained within ± 15% even under a temperature condition of 150 ° C. or higher. Was confirmed.

この場合、他の実施の形態例として、上記実施の形態例における上記タングステンブロンズ型酸化物としての上記KSrNb15に代えて、KBaNb15を用いたり、あるいは、NaBaNb15を用いたり、あるいは、NaSr2−XCaNb15を用いたりすることもある。 In this case, as a form other exemplary, instead of the KSr 2 Nb 5 O 15 as the tungsten bronze-type oxide in the form the examples, or using KBa 2 Nb 5 O 15, or, NABA 2 or with Nb 5 O 15, or sometimes or using NaSr 2-X Ca X Nb 5 O 15.

これら三つの他の実施の形態例において、上記タングステンブロンズ型酸化物をKBaNb15とすることにより、KBaNb15のキュリー温度に至る150℃以上の温度条件下においても、比誘電率のばらつきが±15%以内に維持可能な安定した高温域特性をもつ強誘電体セラミックスGを得ることができ、又、上記タングステンブロンズ型酸化物をNaBaNb15とすることにより、NaBaNb15のキュリー温度に至る150℃以上の温度条件下においても、比誘電率のばらつきが±15%以内に維持可能な安定した高温域特性をもつ強誘電体セラミックスGを得ることができ、又、上記タングステンブロンズ型酸化物をNaSr2−XCaNb15とすることにより、NaSr2−XCaNb15のキュリー温度に至る150℃以上の温度条件下においても、比誘電率のばらつきが±15%以内に維持可能な安定した高温域特性をもつ強誘電体セラミックスGを得ることができる。 In these three other embodiments, the tungsten bronze type oxide is KBa 2 Nb 5 O 15 , so that even under a temperature condition of 150 ° C. or higher up to the Curie temperature of KBa 2 Nb 5 O 15 , Ferroelectric ceramics G having stable high-temperature characteristics that can maintain a variation in relative dielectric constant within ± 15% can be obtained, and the tungsten bronze oxide is NaBa 2 Nb 5 O 15. Thus, a ferroelectric ceramic G having a stable high temperature characteristic that can maintain a variation in relative dielectric constant within ± 15% even under a temperature condition of 150 ° C. or higher up to the Curie temperature of NaBa 2 Nb 5 O 15 is obtained. In addition, when the tungsten bronze type oxide is NaSr 2-X Ca X Nb 5 O 15 , Na Ferroelectric ceramics with stable high temperature characteristics that can maintain a variation in relative dielectric constant within ± 15% even under temperature conditions of 150 ° C. or higher up to the Curie temperature of Sr 2 -X Ca X Nb 5 O 15 G can be obtained.

尚、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、コア材S及びシェル材Mの内容により作製条件は適宜変更して設計されるものである。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and the production conditions are appropriately changed depending on the contents of the core material S and the shell material M.

以上の如く、所期の目的を充分達成することができる。   As described above, the intended purpose can be sufficiently achieved.

S コア材
G セラミックス
M シェル材
S Core material G Ceramics M Shell material

Claims (3)

コア材にシェル材を添加し焼成してなるコアシェル構造のセラミックスの作製方法であって、上記コア材はタングステンブロンズ型酸化物であり、該タングステンブロンズ型酸化物はKSr Nb 15 であり、上記シェル材はZrO であることを特徴とする強誘電体セラミックスの作製方法A was added to the shell material in the core substrate fabrication method of ceramics fired to become core-shell structure, the core material is Ri tungsten bronze-type oxide der, the tungsten bronze-type oxide in KSr 2 Nb 5 O 15 There, a method for manufacturing a ferroelectric ceramic, wherein said shell material is ZrO 2. コア材にシェル材を添加し焼成してなるコアシェル構造のセラミックスの作製方法であって、上記コア材はタングステンブロンズ型酸化物であり、該タングステンブロンズ型酸化物はKBa Nb 15 であり、上記シェル材はZrO であることを特徴とする強誘電体セラミックスの作製方法A was added to the shell material in the core substrate fabrication method of ceramics fired to become core-shell structure, the core material is Ri tungsten bronze-type oxide der, the tungsten bronze-type oxide in KBa 2 Nb 5 O 15 There, a method for manufacturing a ferroelectric ceramic, wherein said shell material is ZrO 2. コア材にシェル材を添加し焼成してなるコアシェル構造のセラミックスの作製方法であって、上記コア材はタングステンブロンズ型酸化物であり、該タングステンブロンズ型酸化物はNaBa Nb 15 であり、上記シェル材はZrO であることを特徴とする強誘電体セラミックスの作製方法A was added to the shell material in the core substrate fabrication method of ceramics fired to become core-shell structure, the core material is Ri tungsten bronze-type oxide der, the tungsten bronze-type oxide in NaBa 2 Nb 5 O 15 There, a method for manufacturing a ferroelectric ceramic, wherein said shell material is ZrO 2.
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