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JP6236280B2 - Photo spacer - Google Patents

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JP6236280B2
JP6236280B2 JP2013215380A JP2013215380A JP6236280B2 JP 6236280 B2 JP6236280 B2 JP 6236280B2 JP 2013215380 A JP2013215380 A JP 2013215380A JP 2013215380 A JP2013215380 A JP 2013215380A JP 6236280 B2 JP6236280 B2 JP 6236280B2
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photospacer
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meth
acrylate
reaction vessel
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田中 晋介
晋介 田中
加原 浩二
浩二 加原
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Nippon Shokubai Co Ltd
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Nippon Shokubai Co Ltd
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Description

本発明は、フォトスペーサーに関する。   The present invention relates to a photospacer.

液晶表示装置の液晶セルは、一対の基板間に液晶層が形成されており、この基板間隔を一定にするために、スペーサーが配置される。近年、このスペーサーとして、ガラスビーズ、樹脂ビーズ等のスペーサー粒子に代えて、フォトリソグラフィにより形成される柱状のスペーサー(フォトスペーサー)が用いられるようになっている(例えば、特許文献1、2)。フォトスペーサーは、感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、所定のマスクをした上で露光し、その後、現像することにより、略柱状に形成される。フォトスペーサーは、任意の位置に形成させることができるので、例えば、ブラックマトリックス上にのみ形成させて、スペーサーを要因とした表示特性の低下を防止することができる。   In a liquid crystal cell of a liquid crystal display device, a liquid crystal layer is formed between a pair of substrates, and a spacer is disposed in order to keep the distance between the substrates constant. In recent years, columnar spacers (photo spacers) formed by photolithography have been used as spacers instead of spacer particles such as glass beads and resin beads (for example, Patent Documents 1 and 2). The photospacer is formed in a substantially columnar shape by applying a photosensitive resin composition on a substrate, exposing it to a predetermined mask, and then developing it. Since the photo spacer can be formed at an arbitrary position, for example, it can be formed only on the black matrix to prevent the display characteristics from deteriorating due to the spacer.

フォトスペーサーに求められる特性としては、基板間隔を一定に維持するための高弾性回復性、破壊強度、基板に対する密着性等が挙げられる。これらの特性は、液晶表示装置の高品位化が進む中、より高レベルで満足することが求められている。また、液晶表示装置の高品位化に伴い、フォトスペーサーは、細く微細な形状であることが求められており、通常、その水平断面径を10μm〜20μm程度として設計される(例えば、特許文献3)。   The characteristics required for the photospacer include high elastic recovery for maintaining the substrate spacing constant, breaking strength, adhesion to the substrate, and the like. These characteristics are required to be satisfied at a higher level as the quality of liquid crystal display devices increases. In addition, with the increase in quality of liquid crystal display devices, photo spacers are required to have a thin and fine shape, and are usually designed with a horizontal sectional diameter of about 10 μm to 20 μm (for example, Patent Document 3). ).

しかしながら、細すぎる場合には、高弾性回復性、破壊強度、密着性等が不十分となり、そのため、フォトスペーサーの水平断面径をさらに小さくすることは、困難である。   However, if it is too thin, high elastic recovery, fracture strength, adhesion and the like become insufficient, and it is therefore difficult to further reduce the horizontal cross-sectional diameter of the photo spacer.

特開2009−53663号公報JP 2009-53663 A 特開2009−175647号公報JP 2009-175647 A 特開2006−84629号公報JP 2006-84629 A

本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、水平断面の直径が小さく、かつ、高弾性回復性、破壊強度および基板密着性に優れるフォトスペーサーを提供することにある。   The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and its object is to provide a photospacer having a small horizontal section diameter and excellent in high elastic recovery, fracture strength and substrate adhesion. There is to do.

本発明のフォトスペーサーは、アルカリ可溶性樹脂と、多官能モノマーとを含む、感光性樹脂組成物から形成される、柱状のフォトスペーサーであって、
該フォトスペーサーの下部から高さ方向に(フォトスペーサーの高さ×1/2)離れた部分の水平断面積A1が、該フォトスペーサーの下部から高さ方向に(フォトスペーサーの高さ×1/4)離れた部分の水平断面積A2以下であり、該フォトスペーサーの最下部における径が、8μm以下である。
好ましい実施形態においては、本発明のフォトスペーサーは、破壊強度が、160mN〜300mNである。
好ましい実施形態においては、上記感光性樹脂組成物が、2種以上の光重合開始剤をさらに含む。
好ましい実施形態においては、上記多官能モノマーが、ペンタエリスリトール骨格を有する。
好ましい実施形態においては、上記感光性樹脂組成物が、波長290nm〜380nmに極大吸収波長を有する第1の光重合開始剤と、波長230nm〜290nmに極大吸収波長を有する第2の光重合開始剤とを含む。
好ましい実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂が、主鎖に環構造を有する繰り返し単位と、側鎖に炭素二重結合を有する繰り返し単位とを有する。
好ましい実施形態においては、上記主鎖に環構造を有する繰り返し単位が、一般式(1)〜(7)で表される繰り返し単位から選ばれる少なくとも1種である:

Figure 0006236280

式(4)〜(7)中、R、R、R、R、RおよびRはそれぞれ独立して、水素原子または炭素数が1〜30の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基である。
好ましい実施形態においては、上記水平断面積A1と上記水平断面積A2との比(A2/A1)が、1〜1.3である。
本発明の別の局面によれば、液晶ディスプレイが提供される。この液晶ディスプレイは、上記フォトスペーサーを含む。 The photospacer of the present invention is a columnar photospacer formed from a photosensitive resin composition containing an alkali-soluble resin and a polyfunctional monomer,
The horizontal cross-sectional area A1 of the portion away from the lower part of the photospacer in the height direction (height of photospacer × 1/2) is equal to the height direction from the lower part of the photospacer (height of photospacer × 1 / 4) The horizontal cross-sectional area A2 or less at the distant portion, and the diameter at the bottom of the photospacer is 8 μm or less.
In a preferred embodiment, the photo spacer of the present invention has a breaking strength of 160 mN to 300 mN.
In preferable embodiment, the said photosensitive resin composition further contains 2 or more types of photoinitiators.
In a preferred embodiment, the polyfunctional monomer has a pentaerythritol skeleton.
In a preferred embodiment, the photosensitive resin composition includes a first photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength at a wavelength of 290 nm to 380 nm, and a second photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength at a wavelength of 230 nm to 290 nm. Including.
In a preferred embodiment, the alkali-soluble resin has a repeating unit having a ring structure in the main chain and a repeating unit having a carbon double bond in the side chain.
In a preferred embodiment, the repeating unit having a ring structure in the main chain is at least one selected from repeating units represented by the general formulas (1) to (7):
Figure 0006236280

In formulas (4) to (7), R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 and R 6 are each independently a hydrogen atom or a linear or branched group having 1 to 30 carbon atoms. It is an alkyl group.
In a preferred embodiment, the ratio (A2 / A1) of the horizontal cross-sectional area A1 and the horizontal cross-sectional area A2 is 1 to 1.3.
According to another aspect of the present invention, a liquid crystal display is provided. This liquid crystal display includes the photo spacer.

本発明によれば、非逆テーパー形状とすることにより、高弾性回復性、破壊強度および基板密着性を低下させることなく、水平断面の直径が小さいフォトスペーサーを得ることができる。   According to the present invention, it is possible to obtain a photospacer having a small diameter in the horizontal cross section without reducing the high elastic recovery property, the breaking strength, and the substrate adhesion by adopting a non-inverted taper shape.

また、非逆テーパー形状のフォトスペーサーは、液晶層への気泡の混入を防いで、表示装置の表示性能の向上に寄与し得る。   Further, the non-reverse tapered photo spacer can prevent bubbles from being mixed into the liquid crystal layer and can contribute to the improvement of the display performance of the display device.

(a)および(b)は、本発明の好ましい実施形態によるフォトスペーサーの概略断面図である。(A) And (b) is a schematic sectional drawing of the photospacer by preferable embodiment of this invention. 逆テーパー形状のフォトスペーサーを説明する概略断面図である。It is a schematic sectional drawing explaining the photo spacer of a reverse taper shape.

A.フォトスペーサー
本発明のフォトスペーサーは、感光性樹脂組成物から形成される柱状のフォトスペーサーである。なお、本明細書において「柱状」とは、円柱状、楕円柱状、角柱状、円錐台形状、角錐台形状を含む概念である。図1(a)は、本発明の好ましい実施形態によるフォトスペーサーの概略断面図である。このフォトスペーサー10は、高さ方向で実質的に径差がなく、実質的に矩形状である。図1(b)は、本発明の別の好ましい実施形態によるフォトスペーサーの概略断面図である。このフォトスペーサー20は、下部より上部の方が細い台形である。本発明のフォトスペーサーは、図1(a)および(b)に例示されるように、フォトスペーサーの下部から高さ方向に(フォトスペーサーの高さL×1/2)離れた部分H1の水平断面積A1が、該フォトスペーサーの下部から高さ方向に(フォトスペーサーの高さL×1/4)離れた部分H2の水平断面積A2以下である。なお、本明細書においては、このように水平断面積A1と水平断面積A2とがA2≧A1の関係にある形状を、「非逆テーパー形状」と称する。また、水平断面積A1と水平断面積A2とがA2<A1の関係にある形状(例えば、図2に示す形状)を「逆テーパー形状」と称する。本発明においては、このような非逆テーパー形状とすることにより、径が細くとも(具体的には、後述のように、最下部における径が8μm以下)、弾性回復率、破壊強度等の機械的特性および基板密着性に優れるフォトスペーサーを得ることができる。
A. Photospacer The photospacer of the present invention is a columnar photospacer formed from a photosensitive resin composition. In the present specification, “columnar” is a concept including a columnar shape, an elliptical columnar shape, a prismatic shape, a truncated cone shape, and a truncated pyramid shape. FIG. 1A is a schematic cross-sectional view of a photospacer according to a preferred embodiment of the present invention. The photo spacer 10 has substantially no diameter difference in the height direction and is substantially rectangular. FIG. 1B is a schematic cross-sectional view of a photospacer according to another preferred embodiment of the present invention. The photo spacer 20 has a trapezoid shape that is thinner at the top than at the bottom. As illustrated in FIGS. 1A and 1B, the photospacer of the present invention has a horizontal portion H1 that is separated from the lower part of the photospacer in the height direction (height L × 1/2 of the photospacer). The cross-sectional area A1 is equal to or less than the horizontal cross-sectional area A2 of the portion H2 that is separated from the lower part of the photo spacer in the height direction (height L × 1/4 of the photo spacer). In the present specification, the shape in which the horizontal cross-sectional area A1 and the horizontal cross-sectional area A2 have a relationship of A2 ≧ A1 is referred to as “non-reverse tapered shape”. A shape in which the horizontal cross-sectional area A1 and the horizontal cross-sectional area A2 are in a relationship of A2 <A1 (for example, the shape shown in FIG. 2) is referred to as an “inverse tapered shape”. In the present invention, by adopting such a non-inverted taper shape, even if the diameter is small (specifically, the diameter at the lowermost portion is 8 μm or less, as will be described later), the mechanical properties such as the elastic recovery rate and breaking strength are obtained. A photo spacer having excellent physical properties and substrate adhesion can be obtained.

フォトスペーサーの下部から高さ方向に(フォトスペーサーの高さL×1/2)離れた部分H1の水平断面積A1と、フォトスペーサーの下部から高さ方向に(フォトスペーサーの高さL×1/4)離れた部分H2の水平断面積A2との比(A2/A1)は、好ましくは1〜1.3であり、より好ましくは1〜1.2であり、さらに好ましくは1〜1.15であり、特に好ましくは1〜1.1である。A2/A1がこのような範囲のフォトスペーサーは、基板密着性に優れ、かつ、弾性回復率および破壊強度が高い。また、該フォトスペーサーは、液晶層への気泡の混入を防いで、表示装置の表示性能の向上に寄与し得る。   The horizontal cross-sectional area A1 of the portion H1 separated from the lower part of the photo spacer in the height direction (height L × 1/2 of the photo spacer) and in the height direction from the lower part of the photo spacer (height L × 1 of the photo spacer / 4) The ratio (A2 / A1) of the distant portion H2 to the horizontal cross-sectional area A2 is preferably 1-1.3, more preferably 1-1.2, and still more preferably 1-1. 15, particularly preferably 1 to 1.1. A photospacer having such a range of A2 / A1 has excellent substrate adhesion, and has a high elastic recovery rate and high fracture strength. Further, the photospacer can prevent bubbles from being mixed into the liquid crystal layer, and can contribute to the improvement of the display performance of the display device.

フォトスペーサーの最下部における径(水平断面の径)は、8μm以下であり、好ましくは5μm〜8μmであり、さらに好ましくは6μm〜8μmであり、特に好ましくは6μm〜7.5μmである。このような範囲であれば、表示装置の高精細化に対応し得るフォトスペーサーを得ることができる。なお、本明細書において「径」とは、最下部面の周上の2点を結び、最下部面の重心を通る直線の長さを意味する。したがって、フォトスペーサーが円柱状または円錐台形状である場合(すなわち、最下部面が円状の場合)は最下部面の直径を意味する。   The diameter of the lowermost part of the photo spacer (the diameter of the horizontal cross section) is 8 μm or less, preferably 5 μm to 8 μm, more preferably 6 μm to 8 μm, and particularly preferably 6 μm to 7.5 μm. If it is such a range, the photo spacer which can respond to the high definition of a display apparatus can be obtained. In this specification, “diameter” means a length of a straight line that connects two points on the circumference of the lowermost surface and passes through the center of gravity of the lowermost surface. Therefore, when the photo spacer has a cylindrical shape or a truncated cone shape (that is, when the lowermost surface is circular), it means the diameter of the lowermost surface.

フォトスペーサーの最下部における太さは、フォトスペーサーの水平断面積でいえば、好ましくは3μm〜50μmであり、より好ましくは3μm〜45μmであり、さらに好ましくは12μm〜45μmであり、特に好ましくは20μm〜45μmである。 Thickness at the bottom of the photo spacers, in terms of the horizontal cross-sectional area of the photo spacers, preferably 3μm 2 ~50μm 2, more preferably 3μm 2 ~45μm 2, further preferably 12μm 2 ~45μm 2 There, particularly preferably 20μm 2 ~45μm 2.

フォトスペーサーの高さは、所望とする基板間隔に応じて、任意の適切な高さに設定され得る。フォトスペーサーの高さは、例えば、1μm〜10μmである。   The height of the photo spacer can be set to any appropriate height depending on the desired substrate interval. The height of the photo spacer is, for example, 1 μm to 10 μm.

1つの実施形態においては、本発明のフォトスペーサーの圧縮率は、10%〜90%である。圧縮率の評価方法は後述する。   In one embodiment, the compression ratio of the photospacer of the present invention is 10% to 90%. A method for evaluating the compression rate will be described later.

本発明のフォトスペーサーの弾性回復率の下限は、好ましくは55%以上であり、より好ましくは60%以上であり、さらに好ましくは65%以上であり、さらに好ましくは70%以上であり、さらに好ましくは75%以上であり、さらに好ましくは80%以上であり、特に好ましくは90%以上である。弾性回復率は大きければ大きいほど好ましく、本発明のフォトスペーサーの弾性回復率の上限は、例えば、100%である。弾性回復率の評価方法は後述する。   The lower limit of the elastic recovery rate of the photospacer of the present invention is preferably 55% or more, more preferably 60% or more, still more preferably 65% or more, still more preferably 70% or more, and further preferably Is 75% or more, more preferably 80% or more, and particularly preferably 90% or more. The larger the elastic recovery rate, the better. The upper limit of the elastic recovery rate of the photospacer of the present invention is, for example, 100%. The method for evaluating the elastic recovery rate will be described later.

1つの実施形態においては、フォトスペーサーの最下部における径が6μm〜8μmである場合、本発明のフォトスペーサーの弾性回復率は、好ましくは70%〜100%であり、より好ましくは80%〜95%である。   In one embodiment, when the diameter at the bottom of the photo spacer is 6 μm to 8 μm, the elastic recovery rate of the photo spacer of the present invention is preferably 70% to 100%, more preferably 80% to 95%. %.

本発明のフォトスペーサーの弾性回復率b(%)と、フォトスペーサーの最下部における径a(μm)との関係は、実用的な径aの範囲において、好ましくは、b>3.1a+45であり、より好ましくはb>3.1a+50であり、さらに好ましくはb>3.1a+53である。   The relationship between the elastic recovery rate b (%) of the photospacer of the present invention and the diameter a (μm) at the lowermost part of the photospacer is preferably b> 3.1a + 45 in the range of the practical diameter a. More preferably, b> 3.1a + 50, and more preferably b> 3.1a + 53.

本発明のフォトスペーサーの破壊強度の下限は、好ましくは20mN以上であり、より好ましくは50mN以上であり、さらに好ましくは100mN以上であり、さらに好ましくは130mN以上であり、さらに好ましくは145mN以上であり、さらに好ましくは160mN以上であり、特に好ましくは175mN以上であり、最も好ましくは190mN以上である。破壊強度は大きければ大きいほど好ましく、本発明のフォトスペーサーの破壊強度の上限値は、例えば、好ましくは300mNである。破壊強度の評価方法は後述する。   The lower limit of the breaking strength of the photospacer of the present invention is preferably 20 mN or more, more preferably 50 mN or more, further preferably 100 mN or more, further preferably 130 mN or more, and further preferably 145 mN or more. More preferably, it is 160 mN or more, particularly preferably 175 mN or more, and most preferably 190 mN or more. The higher the breaking strength, the better. The upper limit value of the breaking strength of the photospacer of the present invention is, for example, preferably 300 mN. A method for evaluating the fracture strength will be described later.

1つの実施形態においては、フォトスペーサーの最下部における径が6μm〜8μmである場合、本発明のフォトスペーサーの破壊強度は、好ましくは160mN〜300mNであり、より好ましくは160mN〜250mNであり、さらに好ましくは175mN〜200mNである。   In one embodiment, when the diameter at the bottom of the photospacer is 6 μm to 8 μm, the breaking strength of the photospacer of the present invention is preferably 160 mN to 300 mN, more preferably 160 mN to 250 mN, Preferably, it is 175 mN to 200 mN.

B.感光性樹脂組成物
上記感光性樹脂組成物は、バインダーポリマーとしてのアルカリ可溶性樹脂と、多官能モノマーとを含む。実用的には、上記感光性樹脂組成物は、光重合開始剤、溶剤および添加剤をさらに含み得る。
B. Photosensitive resin composition The photosensitive resin composition contains an alkali-soluble resin as a binder polymer and a polyfunctional monomer. Practically, the photosensitive resin composition may further include a photopolymerization initiator, a solvent, and an additive.

B−1.アルカリ可溶性樹脂
上記アルカリ可溶性樹脂としては、本発明の効果が得られる限りにおいて、任意の適切な樹脂が用いられ得る。アルカリ可溶性樹脂は、好ましくはアクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリエーテル系樹脂であり、より好ましくはアクリル系樹脂である。
B-1. Alkali-soluble resin Any appropriate resin can be used as the alkali-soluble resin as long as the effects of the present invention are obtained. The alkali-soluble resin is preferably an acrylic resin, a polyester resin, or a polyether resin, and more preferably an acrylic resin.

上記アクリル系樹脂は、好ましくは、主鎖に環構造を有する繰り返し単位(A)を有する。主鎖に環構造を有する繰り返し単位(A)を有するアクリル系樹脂を用いることにより、現像液に対する溶解性が高い感光性樹脂組成物を得ることができる。このような感光性樹脂組成物を用いれば、現像残渣を生じさせることなく、フォトスペーサーを形成することができる。また、主鎖に環構造を有する繰り返し単位(A)を有するアクリル系樹脂を用いれば、径が細くとも、基板密着性に優れるフォトスペーサーを得ることができる。   The acrylic resin preferably has a repeating unit (A) having a ring structure in the main chain. By using an acrylic resin having a repeating unit (A) having a cyclic structure in the main chain, a photosensitive resin composition having high solubility in a developer can be obtained. If such a photosensitive resin composition is used, a photo spacer can be formed without generating a development residue. Further, when an acrylic resin having a repeating unit (A) having a cyclic structure in the main chain is used, a photospacer excellent in substrate adhesion can be obtained even if the diameter is small.

主鎖に環構造を有する繰り返し単位(A)としては、例えば、マレイミド構造、N−置換マレイミド構造、ラクトン環構造、グルタル酸無水物構造、無水マレイン酸構造等を有する繰り返し単位が挙げられる。なかでも好ましくは、マレイミド構造またはN−置換マレイミド構造である。主鎖にマレイミド構造またはN−置換マレイミド構造を有する繰り返し単位を有するアクリル系樹脂を用いることにより、現像液に対する溶解性がより高い感光性樹脂組成物を得ることができる。具体的には、主鎖に環構造を有する繰り返し単位(A)は、一般式(1)〜(3)で表される繰り返し単位から選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、一般式(1)で表される繰り返し単位であることがより好ましい。一般式(1)で表される繰り返し単位を有するアクリル系樹脂を用いれば、より破壊強度の高いフォトスペーサーを得ることができる。

Figure 0006236280
Examples of the repeating unit (A) having a ring structure in the main chain include a repeating unit having a maleimide structure, an N-substituted maleimide structure, a lactone ring structure, a glutaric anhydride structure, a maleic anhydride structure, and the like. Of these, a maleimide structure or an N-substituted maleimide structure is preferable. By using an acrylic resin having a repeating unit having a maleimide structure or an N-substituted maleimide structure in the main chain, a photosensitive resin composition having higher solubility in a developer can be obtained. Specifically, the repeating unit (A) having a ring structure in the main chain is preferably at least one selected from repeating units represented by the general formulas (1) to (3). It is more preferable that it is a repeating unit represented by. If an acrylic resin having a repeating unit represented by the general formula (1) is used, a photospacer with higher breaking strength can be obtained.
Figure 0006236280

主鎖に環構造を有する繰り返し単位(A)は、一般式(4)〜(7)で表される繰り返し単位から選ばれる少なくとも1種であってもよい。なかでも好ましくは、一般式(4)または(7)で表される繰り返し単位である。

Figure 0006236280

式(4)〜(7)中、R、R、R、R、RおよびRはそれぞれ独立して、水素原子または炭素数が1〜30の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり、好ましくは水素原子または炭素数が1〜10の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり、より好ましくは水素原子または炭素数が1〜5の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり、さらに好ましくはメチル基である。 The repeating unit (A) having a ring structure in the main chain may be at least one selected from repeating units represented by the general formulas (4) to (7). Among them, the repeating unit represented by the general formula (4) or (7) is preferable.
Figure 0006236280

In formulas (4) to (7), R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 and R 6 are each independently a hydrogen atom or a linear or branched group having 1 to 30 carbon atoms. An alkyl group, preferably a hydrogen atom or a linear or branched alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and more preferably a hydrogen atom or a linear or branched alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. Group, more preferably a methyl group.

主鎖に環構造を有する繰り返し単位(A)を有するアクリル系樹脂は、主鎖に環構造を有するモノマー(a)を含むモノマー組成物を重合して得ることができる。主鎖に環構造を有するモノマー(a)としては、例えば、マレイミド、ベンジルマレイミド、フェニルマレイミド、ナフチルマレイミド、N−o−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−m−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−o−クロロフェニルマレイミド、N−m−クロロフェニルマレイミド、N−p−クロロフェニルマレイミド、N−o−メチルフェニルマレイミド、N−m−メチルフェニルマレイミド、N−p−メチルフェニルマレイミド、N−o−メトキシフェニルマレイミド、N−m−メトキシフェニルマレイミド、N−p−メトキシフェニルマレイミド等の芳香族置換マレイミド類;シクロヘキシルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、プロピルマレイミド、イソプロピルマレイミド等のアルキル置換マレイミド類等が挙げられる。これらのモノマーは、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。なかでも好ましくは、マレイミド、ベンジルマレイミド、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミドであり、より好ましくはベンジルマレイミド、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミドであり、さらに好ましくはベンジルマレイミドである。一般式(4)〜(7)で表される繰り返し単位を構成するモノマー(a)としては、例えば、一般式(8)または(9)で表される1,6−ジエン類が挙げられる。

Figure 0006236280

式(8)および(9)中、R、RおよびRは上記で説明したとおりである。 The acrylic resin having the repeating unit (A) having a ring structure in the main chain can be obtained by polymerizing a monomer composition containing the monomer (a) having a ring structure in the main chain. Examples of the monomer (a) having a ring structure in the main chain include maleimide, benzylmaleimide, phenylmaleimide, naphthylmaleimide, N-o-hydroxyphenylmaleimide, Nm-hydroxyphenylmaleimide, Np-hydroxyphenylmaleimide. N-o-chlorophenylmaleimide, Nm-chlorophenylmaleimide, Np-chlorophenylmaleimide, No-methylphenylmaleimide, Nm-methylphenylmaleimide, Np-methylphenylmaleimide, N-o- Aromatic substituted maleimides such as methoxyphenylmaleimide, Nm-methoxyphenylmaleimide, Np-methoxyphenylmaleimide; cyclohexylmaleimide, methylmaleimide, ethylmaleimide, propylmaleimide, isopropyl Alkyl-substituted maleimides such as Rumareimido like. These monomers may be used alone or in combination of two or more. Among these, maleimide, benzylmaleimide, phenylmaleimide, and cyclohexylmaleimide are preferable, benzylmaleimide, phenylmaleimide, and cyclohexylmaleimide are more preferable, and benzylmaleimide is more preferable. Examples of the monomer (a) constituting the repeating unit represented by the general formulas (4) to (7) include 1,6-dienes represented by the general formula (8) or (9).
Figure 0006236280

In formulas (8) and (9), R 1 , R 2 and R 3 are as described above.

上記モノマー組成物中、主鎖に環構造を有する繰り返し単位(A)を構成するモノマー(a)の含有割合は、モノマー組成物中のモノマーの全量に対して、好ましくは5重量%〜50重量%であり、より好ましくは8重量%〜30重量%であり、さらに好ましくは10重量%〜20重量%である。   In the monomer composition, the content of the monomer (a) constituting the repeating unit (A) having a cyclic structure in the main chain is preferably 5% by weight to 50% by weight with respect to the total amount of monomers in the monomer composition. %, More preferably 8 to 30% by weight, and still more preferably 10 to 20% by weight.

好ましくは、上記アクリル系樹脂は、側鎖に酸基を有する繰り返し単位(B)を有する。アクリル系樹脂が側鎖に酸基を有する繰り返し単位(B)を有していれば、アルカリ現像性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。側鎖に酸基を有する繰り返し単位(B)を構成するモノマー(b)としては、例えば、(メタ)アクリル酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルコハク酸、イタコン酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレート等のカルボキシル基を有するモノマー;無水マレイン酸、無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマー等が挙げられる。なかでも好ましくは(メタ)アクリル酸である。   Preferably, the acrylic resin has a repeating unit (B) having an acid group in the side chain. If the acrylic resin has a repeating unit (B) having an acid group in the side chain, a photosensitive resin composition having excellent alkali developability can be obtained. Examples of the monomer (b) constituting the repeating unit (B) having an acid group in the side chain include (meth) acrylic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl succinic acid, itaconic acid, ω-carboxy-poly Monomers having a carboxyl group such as caprolactone monoacrylate; monomers having a carboxylic anhydride group such as maleic anhydride and itaconic anhydride. Of these, (meth) acrylic acid is preferred.

上記モノマー組成物中、側鎖に酸基を有する繰り返し単位(B)を構成するモノマー(b)の含有割合は、モノマー組成物中のモノマーの全量に対して、好ましくは10重量%〜90重量%であり、より好ましくは15重量%〜85重量%であり、さらに好ましくは20重量%〜80重量%である。   In the monomer composition, the content of the monomer (b) constituting the repeating unit (B) having an acid group in the side chain is preferably 10% by weight to 90% by weight with respect to the total amount of monomers in the monomer composition. %, More preferably 15% by weight to 85% by weight, and still more preferably 20% by weight to 80% by weight.

好ましくは、上記アクリル系樹脂は、側鎖に炭素二重結合を有する繰り返し単位(C)を有する。アクリル系樹脂が側鎖に炭素二重結合を有する繰り返し単位(C)を有していれば、露光感度が高く、かつ、弾性回復率および破壊強度が高いフォトスペーサーを得ることができる。側鎖に炭素二重結合を有する繰り返し単位(C)は、側鎖に酸基を有する繰り返し単位(B)の酸基の一部または全部(好ましくは、一部)を反応点として、炭素二重結合を有する化合物を付加することにより、得ることができる。   Preferably, the acrylic resin has a repeating unit (C) having a carbon double bond in the side chain. If the acrylic resin has a repeating unit (C) having a carbon double bond in the side chain, a photospacer having high exposure sensitivity and high elastic recovery and breaking strength can be obtained. The repeating unit (C) having a carbon double bond in the side chain is composed of a part of or all (preferably a part) of the acid group of the repeating unit (B) having an acid group in the side chain as a reaction point. It can be obtained by adding a compound having a heavy bond.

側鎖に酸基を有する繰り返し単位(B)の酸基がカルボキシル基である場合、炭素二重結合を有する化合物として、エポキシ基と二重結合とを有する化合物、イソシアネート基と二重結合とを有する化合物等が用いられ得る。エポキシ基と二重結合とを有する化合物としては、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル等が挙げられる。イソシアネート基と二重結合とを有する化合物としては2−イソシアナトエチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。側鎖に酸基を有する繰り返し単位(B)の酸基がカルボン酸無水物基である場合、炭素二重結合を有する化合物として、水酸基と二重結合とを有する化合物が用いられ得る。水酸基と二重結合とを有する化合物としては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。   When the acid group of the repeating unit (B) having an acid group in the side chain is a carboxyl group, the compound having a carbon double bond is a compound having an epoxy group and a double bond, an isocyanate group and a double bond. Or the like. Examples of the compound having an epoxy group and a double bond include glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, and p-vinyl. Examples include benzyl glycidyl ether and 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether. Examples of the compound having an isocyanate group and a double bond include 2-isocyanatoethyl (meth) acrylate. When the acid group of the repeating unit (B) having an acid group in the side chain is a carboxylic anhydride group, a compound having a hydroxyl group and a double bond can be used as the compound having a carbon double bond. Examples of the compound having a hydroxyl group and a double bond include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate.

上記アクリル系樹脂は、好ましくは、側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する繰り返し単位(D)をさらに有する。上記アクリル系樹脂が、側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する繰り返し単位(D)を有することにより、架橋密度が高く、弾性回復率および破壊強度の高いフォトスペーサーを得ることができる。側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する繰り返し単位(D)としては、例えば、一般式(10)で表される繰り返し単位が挙げられる。

Figure 0006236280

式(10)中、R、RおよびRはそれぞれ独立して、水素原子またはメチル基であり、好ましくは水素原子である。R10は、炭素数が1〜20の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、炭素数が2〜20の直鎖状もしくは分岐状のアルケニル基または炭素数が6〜20の芳香族炭化水素基であり、好ましくは水素原子、炭素数が1〜20の直鎖状のアルキル基、炭素数が2〜20の直鎖状のアルケニル基または炭素数が6〜20の芳香族炭化水素基であり、より好ましくは炭素数が1〜10の直鎖状のアルキル基または炭素数が6〜12の芳香族炭化水素基であり、さらに好ましくは炭素数が1〜5の直鎖状のアルキル基、フェニル基またはビフェニル基であり、特に好ましくはメチル基、フェニル基またはビフェニル基である。なお、アルキル基、アルケニル基および芳香族炭化水素基は、置換基を有していてもよい。AOは、オキシアルキレン基を表す。AOで表されるオキシアルキレン基の炭素数は2〜20であり、好ましくは2〜10であり、より好ましくは2〜5であり、さらに好ましくは2である。繰り返し単位(D)は1種または2種以上のオキシアルキレン基を含み得る。xは0〜2の整数を表す。yは0または1を表す。nは、オキシアルキレン基の平均付加モル数を表し、2以上であり、好ましくは2〜100であり、より好ましくは2〜50であり、さらに好ましくは2〜15である。 The acrylic resin preferably further has a repeating unit (D) having two or more oxyalkylene groups in the side chain. When the acrylic resin has a repeating unit (D) having two or more oxyalkylene groups in the side chain, a photospacer having a high crosslinking density, a high elastic recovery rate and a high breaking strength can be obtained. Examples of the repeating unit (D) having two or more oxyalkylene groups in the side chain include a repeating unit represented by the general formula (10).
Figure 0006236280

In formula (10), R 7 , R 8 and R 9 are each independently a hydrogen atom or a methyl group, preferably a hydrogen atom. R 10 is a linear or branched alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a linear or branched alkenyl group having 2 to 20 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms. And preferably a hydrogen atom, a linear alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a linear alkenyl group having 2 to 20 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms. More preferably a linear alkyl group having 1 to 10 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, and still more preferably a linear alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, A phenyl group or a biphenyl group, particularly preferably a methyl group, a phenyl group or a biphenyl group. In addition, the alkyl group, the alkenyl group, and the aromatic hydrocarbon group may have a substituent. AO represents an oxyalkylene group. The oxyalkylene group represented by AO has 2 to 20 carbon atoms, preferably 2 to 10 carbon atoms, more preferably 2 to 5 carbon atoms, and even more preferably 2. The repeating unit (D) may contain one or more oxyalkylene groups. x represents an integer of 0-2. y represents 0 or 1; n represents the average addition mole number of an oxyalkylene group and is 2 or more, preferably 2 to 100, more preferably 2 to 50, and further preferably 2 to 15.

側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する繰り返し単位(D)は、側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有するモノマー(d)により構成される。モノマー(d)としては、例えば、一般式(11)で表されるモノマーが挙げられる。

Figure 0006236280

式(11)中、R、R、R、R10、AO、x、yおよびnは、上記で説明したとおりである。 The repeating unit (D) having two or more oxyalkylene groups in the side chain is composed of a monomer (d) having two or more oxyalkylene groups in the side chain. As a monomer (d), the monomer represented by General formula (11) is mentioned, for example.
Figure 0006236280

In formula (11), R 7 , R 8 , R 9 , R 10 , AO, x, y and n are as described above.

モノマー(d)としては、例えば、エトキシ化o−フェニルフェノール(メタ)アクリレート(EO2モル)、フェノキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO4モル)、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO9モル)、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO13モル)、メトキシトリエチレングリコール(メタ)アクリレート、エトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、ブトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシルジエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO4―17モル)、ノニルフェノキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート(PO5モル)、EO変性クレゾール(メタ)アクリレート(EO2モル)等が挙げられる。これらのモノマーは、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。なかでも好ましくは、エトキシ化o−フェニルフェノール(メタ)アクリレート(EO2モル)、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO9モル)、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO13モル)である。さらに好ましくは、エトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート(EO2モル)、メトキシポリエチレングリコールアクリレート(EO9モル)、メトキシポリエチレングリコールアクリレート(EO13モル)である。これらのモノマー(d)を用いれば、弾性回復率の優れたフォトスペーサーを容易に得ることができる。なお、本明細書において、例えば「EO2モル」、「PO5モル」等の表記は、オキシアルキレン基の平均付加モル数を表す。   Examples of the monomer (d) include ethoxylated o-phenylphenol (meth) acrylate (EO 2 mol), phenoxydiethylene glycol (meth) acrylate, phenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate (EO 4 mol), and methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate. (EO 9 mol), methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate (EO 13 mol), methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, ethoxydiethylene glycol (meth) acrylate, butoxydiethylene glycol (meth) acrylate, 2-ethylhexyldiethylene glycol (meth) acrylate, methoxy Dipropylene glycol (meth) acrylate, methoxypolypropylene glycol (meth) acrylate DOO, nonyl phenoxy polyethylene glycol (meth) acrylate (EO4-17 moles), nonylphenoxy polypropylene glycol (meth) acrylate (PO5 mol), EO-modified cresol (meth) acrylate (EO2 mol), and the like. These monomers may be used alone or in combination of two or more. Among them, ethoxylated o-phenylphenol (meth) acrylate (EO 2 mol), methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate (EO 9 mol), and methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate (EO 13 mol) are preferable. More preferred are ethoxylated o-phenylphenol acrylate (EO 2 mol), methoxy polyethylene glycol acrylate (EO 9 mol), and methoxy polyethylene glycol acrylate (EO 13 mol). If these monomers (d) are used, a photo spacer having an excellent elastic recovery rate can be easily obtained. In the present specification, for example, “EO2 mole”, “PO5 mole” and the like represent the average number of moles added of the oxyalkylene group.

上記モノマー組成物中、側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する繰り返し単位(D)を構成するモノマー(d)の含有割合は、モノマー組成物中のモノマーの全量に対して、好ましくは0.5重量%〜55重量%であり、より好ましくは1重量%〜50重量%であり、さらに好ましくは1重量%〜45重量%である。   In the monomer composition, the content ratio of the monomer (d) constituting the repeating unit (D) having two or more oxyalkylene groups in the side chain is preferably 0. 0 relative to the total amount of monomers in the monomer composition. It is 5 to 55% by weight, more preferably 1 to 50% by weight, and further preferably 1 to 45% by weight.

上記アクリル系樹脂は、上記モノマー(a)、モノマー(b)および/またはモノマー(c)と共重合可能なその他のモノマー(e)由来のその他の繰り返し単位(E)をさらに有し得る。その他のモノマー(e)は、エポキシ基を有さないことが好ましい。エポキシ基を有さないその他のモノマー(e)を用いることにより、すなわち、アルカリ可溶性樹脂としてエポキシ基を有さないアクリル系樹脂を用いることにより、保存安定性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。   The acrylic resin may further have another repeating unit (E) derived from another monomer (e) copolymerizable with the monomer (a), the monomer (b) and / or the monomer (c). The other monomer (e) preferably has no epoxy group. By using another monomer (e) having no epoxy group, that is, by using an acrylic resin having no epoxy group as an alkali-soluble resin, a photosensitive resin composition having excellent storage stability is obtained. Can do.

その他のモノマー(e)としては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ビフェニル(メタ)アクリレート、メトキシエチル(メタ)アクリレート、エトキシエチル(メタ)アクリレート、ブトキシエチレングリコールル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシルエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシプロピレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、ビフェノキシエチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、トリシクロデシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、トリシクロデシルオキシエチル(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシエチレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシプロピレングリコール、ベンジル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、エトキシ化o−フェニルフェノール(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類、(メタ)アクリロイルモルホリン(モルホリノ(メタ)アクリレート)、(メタ)アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミド、N−イソプロピル(メタ)アクリルアミド、N−ブチル(メタ)アクリルアミド、N−イソブチル(メタ)アクリルアミド、N−t−ブチル(メタ)アクリルアミド、N−t−オクチル(メタ)アクリルアミド、ダイアセトン(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド、N−シクロヘキシル(メタ)アクリルアミド、N−フェニル(メタ)アクリルアミド、N−ベンジル(メタ)アクリルアミド、N−トリフェニルメチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド等の(メタ)アクリル酸アミド類、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン等の芳香族ビニル化合物、ブタジエン、イソプレン等のブタジエンまたは置換ブタジエン化合物、エチレン、プロピレン、塩化ビニル、アクリロニトリル等のエチレンまたは置換エチレン化合物;酢酸ビニル等のビニルエステル類等が挙げられる。これらのモノマーは、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。   Examples of the other monomer (e) include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, and isobutyl (meth) acrylate. , T-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, biphenyl (meth) acrylate, methoxyethyl ( (Meth) acrylate, ethoxyethyl (meth) acrylate, butoxyethylene glycol (meth) acrylate, 2-ethylhexyl ethylene glycol (meth) acrylate, methoxypropylene glycol (Meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, biphenoxyethyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, tricyclodecyl (meth) acrylate, dicyclopentanyloxyethyl (meth) acrylate, tricyclo Such as decyloxyethyl (meth) acrylate, nonylphenoxyethylene glycol (meth) acrylate, nonylphenoxypropylene glycol, benzyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, ethoxylated o-phenylphenol (meth) acrylate ( (Meth) acrylic acid esters, (meth) acryloylmorpholine (morpholino (meth) acrylate), (meth) acrylamide, N-methyl (meth) acrylamide, N-iso Lopyl (meth) acrylamide, N-butyl (meth) acrylamide, N-isobutyl (meth) acrylamide, Nt-butyl (meth) acrylamide, Nt-octyl (meth) acrylamide, diacetone (meth) acrylamide, N -Hydroxymethyl (meth) acrylamide, N-hydroxyethyl (meth) acrylamide, N-cyclohexyl (meth) acrylamide, N-phenyl (meth) acrylamide, N-benzyl (meth) acrylamide, N-triphenylmethyl (meth) acrylamide , (Meth) acrylic acid amides such as N, N-dimethyl (meth) acrylamide, aromatic vinyl compounds such as styrene, vinyltoluene and α-methylstyrene, butadiene or substituted butadiene compounds such as butadiene and isoprene, Styrene, propylene, vinyl chloride, ethylene or substituted ethylene compound such as acrylonitrile, vinyl esters such as vinyl acetate and the like. These monomers may be used alone or in combination of two or more.

上記モノマー組成物中、その他の繰り返し単位(E)を構成するモノマー(e)の含有割合は、モノマー組成物中のモノマーの全量に対して、好ましくは0重量%〜55重量%であり、より好ましくは5重量%〜50重量%であり、さらに好ましくは10重量%〜45重量%である。   The content ratio of the monomer (e) constituting the other repeating unit (E) in the monomer composition is preferably 0% by weight to 55% by weight with respect to the total amount of monomers in the monomer composition, and more Preferably they are 5 weight%-50 weight%, More preferably, they are 10 weight%-45 weight%.

上記アクリル系樹脂は、ランダム共重合体であってもよく、ブロック共重合体であってもよい。   The acrylic resin may be a random copolymer or a block copolymer.

上記アクリル系樹脂の重量平均分子量は、好ましくはテトラヒドロフラン(THF)溶媒によるゲル・パーミエーション・クロマトグラフ法(GPC)で測定した値が、好ましくは3,000〜200,000であり、より好ましくは4,000〜100,000であり、さらに好ましくは5,000〜50,000である。このような範囲であれば、耐熱性を確保し、かつ、塗膜形成に適切な粘度を有する感光性樹脂組成物を得ることができる。   The weight average molecular weight of the acrylic resin is preferably a value measured by gel permeation chromatography (GPC) with a tetrahydrofuran (THF) solvent, preferably 3,000 to 200,000, more preferably It is 4,000-100,000, More preferably, it is 5,000-50,000. If it is such a range, the photosensitive resin composition which can ensure heat resistance and has a viscosity suitable for coating film formation can be obtained.

上記アクリル系樹脂の酸価は、好ましくは20mgKOH/g〜300mgKOH/gであり、より好ましくは25mgKOH/g〜200mgKOH/gであり、さらに好ましくは30mgKOH/g〜150mgKOH/gである。このような範囲であれば、アルカリ現像性に優れ、現像残渣の発生が少なく、かつ、密着性に優れるフォトスペーサーを得ることができる。   The acid value of the acrylic resin is preferably 20 mgKOH / g to 300 mgKOH / g, more preferably 25 mgKOH / g to 200 mgKOH / g, and further preferably 30 mgKOH / g to 150 mgKOH / g. If it is such a range, the photo spacer which is excellent in alkali developability, there is little generation | occurrence | production of a development residue, and is excellent in adhesiveness can be obtained.

上記アクリル系樹脂は、モノマー組成物を、任意の適切な方法で重合して得ることができる。重合方法としては、例えば、溶液重合法が挙げられる。   The acrylic resin can be obtained by polymerizing the monomer composition by any appropriate method. Examples of the polymerization method include a solution polymerization method.

上記モノマー組成物は、任意の適切な溶媒を含み得る。溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート等のエステル類;メタノール、エタノール等のアルコール類;トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;クロロホルム;ジメチルスルホキシド等が挙げられる。これらの溶媒は、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。上記モノマー組成物を重合する際の重合濃度は、好ましくは5重量%〜90重量%であり、より好ましくは5重量%〜50重量%であり、さらに好ましくは10重量%〜50重量%である。   The monomer composition can include any suitable solvent. Examples of the solvent include ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, and propylene glycol monomethyl ether; ketones such as acetone and methyl ethyl ketone; ethyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and 3-methoxybutyl. Examples include esters such as acetate; alcohols such as methanol and ethanol; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and ethylbenzene; chloroform; dimethyl sulfoxide and the like. These solvents may be used alone or in combination of two or more. The polymerization concentration when polymerizing the monomer composition is preferably 5% by weight to 90% by weight, more preferably 5% by weight to 50% by weight, and further preferably 10% by weight to 50% by weight. .

上記モノマー組成物は、任意の適切な重合開始剤を含み得る。重合開始剤としては、例えば、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、t−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、t−アミルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート等の有機過酸化物;2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)、1,1’−アゾビス(シクロヘキサンカルボニトリル)、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、ジメチル2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)等のアゾ化合物等が挙げられる。重合開始剤の含有割合は、モノマー組成物中の全モノマー100重量部に対して、好ましくは0.1重量部〜15重量部、より好ましくは0.5重量部〜10重量部である。   The monomer composition can include any suitable polymerization initiator. Examples of the polymerization initiator include cumene hydroperoxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, di-t-butyl peroxide, lauroyl peroxide, benzoyl peroxide, t-butyl peroxyisopropyl carbonate, and t-amyl peroxy-2. Organic peroxides such as ethylhexanoate and t-butylperoxy-2-ethylhexanoate; 2,2′-azobis (isobutyronitrile), 1,1′-azobis (cyclohexanecarbonitrile), Examples thereof include azo compounds such as 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and dimethyl 2,2′-azobis (2-methylpropionate). The content ratio of the polymerization initiator is preferably 0.1 parts by weight to 15 parts by weight, more preferably 0.5 parts by weight to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total monomer in the monomer composition.

上記アクリル系樹脂を溶液重合法により重合する際の重合温度は、好ましくは40℃〜150℃であり、より好ましくは60℃〜130℃である。   The polymerization temperature when the acrylic resin is polymerized by the solution polymerization method is preferably 40 ° C to 150 ° C, more preferably 60 ° C to 130 ° C.

側鎖に炭素二重結合を有する繰り返し単位(C)を有するアクリル系樹脂を得る場合、上記重合後、得られたアクリル系樹脂に上記炭素二重結合を有する化合物を付加する。炭素二重結合を有する化合物を付加する方法としては、任意の適切な方法が採用され得る。例えば、重合禁止剤および触媒の存在下で、炭素二重結合を有する化合物を、側鎖に酸基を有する繰り返し単位(B)の酸基の一部または全部(好ましくは、一部)に反応させて付加することにより、側鎖に炭素二重結合を有する繰り返し単位(C)を形成させることができる。   When obtaining the acrylic resin which has a repeating unit (C) which has a carbon double bond in a side chain, the compound which has the said carbon double bond is added to the obtained acrylic resin after the said superposition | polymerization. Any appropriate method can be adopted as a method for adding a compound having a carbon double bond. For example, in the presence of a polymerization inhibitor and a catalyst, a compound having a carbon double bond is reacted with part or all (preferably part) of the acid group of the repeating unit (B) having an acid group in the side chain. Thus, the repeating unit (C) having a carbon double bond in the side chain can be formed.

上記炭素二重結合を有する化合物の付加量は、上記重合後のアクリル系樹脂(すなわち、炭素二重結合を有する化合物を付加する前のアクリル系樹脂)100重量部に対して、好ましくは5重量部以上であり、より好ましくは10重量部以上であり、さらに好ましくは15重量部以上であり、特に好ましくは20重量部以上である。このような範囲であれば、露光感度に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。このような感光性樹脂組成物を用いれば、緻密な硬化塗膜を形成して、基板密着性に優れ、弾性回復率および破壊強度が高いフォトスペーサーを形成することができる。また、炭素二重結合を有する化合物の付加量が上記範囲であれば、炭素二重結合を有する化合物の付加により水酸基が十分に生成され、アルカリ現像液に対する溶解性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。上記炭素二重結合を有する化合物の付加量の上限は、上記重合後のアクリル系樹脂(すなわち、炭素二重結合を有する化合物を付加する前のアクリル系樹脂)100重量部に対して、好ましくは170重量部以下であり、より好ましくは150重量部以下であり、さらに好ましくは140重量部以下である。炭素二重結合を有する化合物の付加量が多すぎる場合、感光性樹脂組成物の保存安定性および溶解性が低下するおそれがある。   The addition amount of the compound having a carbon double bond is preferably 5% with respect to 100 parts by weight of the acrylic resin after the polymerization (that is, the acrylic resin before adding the compound having a carbon double bond). Part or more, more preferably 10 parts by weight or more, still more preferably 15 parts by weight or more, and particularly preferably 20 parts by weight or more. If it is such a range, the photosensitive resin composition excellent in exposure sensitivity can be obtained. If such a photosensitive resin composition is used, a dense cured coating film can be formed, and a photospacer having excellent substrate adhesion, high elastic recovery rate and high breaking strength can be formed. In addition, if the addition amount of the compound having a carbon double bond is within the above range, a photosensitive resin composition in which hydroxyl groups are sufficiently generated by the addition of the compound having a carbon double bond and the solubility in an alkali developer is excellent. Can be obtained. The upper limit of the amount of the compound having a carbon double bond is preferably 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the acrylic resin after polymerization (that is, the acrylic resin before adding the compound having a carbon double bond). It is 170 parts by weight or less, more preferably 150 parts by weight or less, and still more preferably 140 parts by weight or less. When there is too much addition amount of the compound which has a carbon double bond, there exists a possibility that the storage stability and solubility of a photosensitive resin composition may fall.

重合禁止剤としては、例えば、6−tert−ブチル−2,4−キシレノール等のアルキルフェノール化合物が挙げられる。触媒としては、例えば、ジメチルベンジルアミン、トリエチルアミン等の3級アミンが挙げられる。   Examples of the polymerization inhibitor include alkylphenol compounds such as 6-tert-butyl-2,4-xylenol. Examples of the catalyst include tertiary amines such as dimethylbenzylamine and triethylamine.

B−2.多官能モノマー
上記感光性樹脂組成物は、多官能モノマーをさらに含み得る。多官能モノマーとしては、例えば、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジアリルベンゼンホスホネート等の多官能芳香族ビニル系モノマー;(ジ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレート類;これらのモノマーをカプロラクトン変性またはアルキレンオキサイド変性した多官能モノマー等が挙げられる。これらの多官能モノマーを用いれば、官能基数が多いので架橋密度の高いフォトスペーサーを得ることができる。
B-2. Multifunctional monomer The photosensitive resin composition may further contain a polyfunctional monomer. Examples of the polyfunctional monomer include polyfunctional aromatic vinyl monomers such as divinylbenzene, diallyl phthalate, and diallylbenzene phosphonate; (di) ethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (Meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol di (meth) acrylate, dipentaerythritol Tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol Hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol di (meth) acrylate, tripentaerythritol tri (meth) acrylate, tripentaerythritol tetra (meth) acrylate, tripentaerythritol penta (meth) acrylate, tripentaerythritol hexa (meth) acrylate , Tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, tripentaerythritol octa (meth) acrylate, trifunctional (meth) acrylates such as tris (hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylate; these monomers are modified with caprolactone or alkylene Examples thereof include oxide-modified polyfunctional monomers. When these polyfunctional monomers are used, a photo spacer having a high crosslinking density can be obtained because of the large number of functional groups.

上記多官能モノマーは、好ましくはペンタエリスリトール骨格を有する。ペンタエリスリトール骨格を有する多官能モノマーとしては、例えば、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート等が挙げられる。ペンタエリスリトール骨格を有する多官能モノマーを用いれば、径が細くとも、弾性回復率の高いフォトスペーサーを得ることができる。   The polyfunctional monomer preferably has a pentaerythritol skeleton. Examples of the polyfunctional monomer having a pentaerythritol skeleton include pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol di (meth) acrylate, and dipentaerythritol tris. (Meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol di (meth) acrylate, tripentaerythritol tri (meth) acrylate, Tripentaerythritol tetra (meth) acrylate, tripentaerythritol penta (meth) acrylate, tripentaerythritol Ruhekisa (meth) acrylate, tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, tripentaerythritol octa (meth) acrylate. If a polyfunctional monomer having a pentaerythritol skeleton is used, a photo spacer having a high elastic recovery rate can be obtained even if the diameter is small.

上記多官能モノマーの含有割合は、上記アルカリ可溶性樹脂と該多官能モノマーとの合計重量100重量部に対して、好ましくは10重量部〜90重量部であり、より好ましくは30重量部〜85重量部であり、さらに好ましくは50重量部〜85重量部である。   The content ratio of the polyfunctional monomer is preferably 10 parts by weight to 90 parts by weight, more preferably 30 parts by weight to 85 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total weight of the alkali-soluble resin and the polyfunctional monomer. Parts, more preferably 50 parts by weight to 85 parts by weight.

B−3.光重合開始剤
上記感光性樹脂組成物は、好ましくは、2種以上の光重合開始剤を含む。
B-3. Photopolymerization initiator The photosensitive resin composition preferably contains two or more photopolymerization initiators.

1つの実施形態においては、光重合開始剤として、異なる波長範囲に極大吸収波長を有する第1の光重合開始剤および第2の光重合開始剤を用いる。異なる波長範囲に極大吸収波長を有する2種以上の光重合開始剤を用いることにより、露光時に紫外光を効率的に利用することができる。その結果、下部が上部よりも細くならない、すなわち非逆テーパー形状のフォトスペーサーが形成される。非逆テーパー形状のフォトスペーサーは、径が細くとも、基板密着性に優れ、弾性回復率および破壊強度が高い。また、該フォトスペーサーは、液晶層への気泡の混入を防いで、表示装置の表示性能の向上に寄与し得る。   In one embodiment, as a photoinitiator, the 1st photoinitiator and the 2nd photoinitiator which have maximum absorption wavelength in a different wavelength range are used. By using two or more kinds of photopolymerization initiators having maximum absorption wavelengths in different wavelength ranges, ultraviolet light can be used efficiently during exposure. As a result, a photo spacer having a lower portion that is not thinner than the upper portion, that is, a non-reverse tapered shape, is formed. The non-reverse tapered photo spacer has excellent substrate adhesion, high elastic recovery rate and high breaking strength even if the diameter is small. Further, the photospacer can prevent bubbles from being mixed into the liquid crystal layer, and can contribute to the improvement of the display performance of the display device.

上記第1の光重合開始剤は、好ましくは波長290nm〜380nmに極大吸収波長を有し、より好ましくは波長295nm〜350nmに極大吸収波長を有し、さらに好ましくは295nm〜340nmに極大吸収波長を有する。このような第1の光重合開始剤を用いることにより、非逆テーパー形状のフォトスペーサーを得ることができる。なお、380nmより高波長側に極大吸収波長を有する光重合開始剤を用いた場合、フォトスペーサーの太さを制御することが困難となり、太すぎるフォトスペーサーが形成されるおそれがある。本発明において、「極大吸収波長」とは、濃度が0.001重量%の光重合開始剤溶液について、光路長1cmで測定した吸光度が0.5以上となる極大吸収の波長をいう。   The first photopolymerization initiator preferably has a maximum absorption wavelength at a wavelength of 290 nm to 380 nm, more preferably has a maximum absorption wavelength at a wavelength of 295 nm to 350 nm, and more preferably has a maximum absorption wavelength at a wavelength of 295 nm to 340 nm. Have. By using such a first photopolymerization initiator, a non-reverse tapered photo spacer can be obtained. When a photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength on the wavelength side higher than 380 nm is used, it is difficult to control the thickness of the photo spacer, and a photo spacer that is too thick may be formed. In the present invention, the “maximum absorption wavelength” refers to the wavelength of maximum absorption at which the absorbance measured at an optical path length of 1 cm is 0.5 or more for a photopolymerization initiator solution having a concentration of 0.001% by weight.

上記第1の光重合開始剤として、好ましくはα−アミノケトン系化合物が用いられ、より好ましくは、一般式(12)で表されるα−アミノケトン系化合物が用いられる。このような化合物を用いれば、非逆テーパー形状であり、かつ、径が細いフォトスペーサーを得ることができる。

Figure 0006236280
式(12)中、XおよびXはそれぞれ独立して、メチル基、エチル基、ベンジル基または4−メチルベンジル基であり、好ましくはメチル基である。−NXはジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基またはモルフォリノ基であり、好ましくはジメチルアミノ基またはモルフォリノ基であり、より好ましくはモルフォリノ基である。Xは、水素原子、炭素数が1〜8のアルキル基、炭素数が1〜8のアルコキシ基、炭素数が1〜8のアルキルチオ基、ジメチルアミノ基、またはモルフォリノ基であり、好ましくは炭素数が1〜8のアルキルチオ基またはモルフォリノ基であり、より好ましくは炭素数が1〜3のアルキルチオ基またはモルフォリノ基であり、さらに好ましくはメチルチオ基である。 As the first photopolymerization initiator, an α-aminoketone compound is preferably used, and more preferably an α-aminoketone compound represented by the general formula (12) is used. If such a compound is used, a photo spacer having a non-inverted taper shape and a small diameter can be obtained.
Figure 0006236280
In formula (12), X 1 and X 2 are each independently a methyl group, an ethyl group, a benzyl group or a 4-methylbenzyl group, preferably a methyl group. —NX 3 X 4 is a dimethylamino group, a diethylamino group or a morpholino group, preferably a dimethylamino group or a morpholino group, more preferably a morpholino group. X 5 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an alkylthio group having 1 to 8 carbon atoms, a dimethylamino group, or a morpholino group, preferably carbon It is an alkylthio group or morpholino group having 1 to 8 carbon atoms, more preferably an alkylthio group or morpholino group having 1 to 3 carbon atoms, and further preferably a methylthio group.

上記α−アミノケトン系化合物の具体例としては、2−ジメチルアミノ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ジエチルアミノ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−メチル−2−モルホリノ−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ジメチルアミノ−2−メチル−1−(4−メチルフェニル)プロパン−1−オン、2−ジメチルアミノ−1−(4−エチルフェニル)−2−メチルプロパン−1−オン、2−ジメチルアミノ−1−(4−イソプロピルフェニル)−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−ブチルフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−メチルプロパン−1−オン、2−ジメチルアミノ−1−(4−メトキシフェニル)−2−メチルプロパン−1−オン、2−ジメチルアミノ−2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−ジメチルアミノフェニル)−ブタン−1−オン、2−ジメチルアミノ−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルフォルニル)フェニル]−1−ブタノン等が挙げられる。これらの化合物は、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。なかでも好ましくは、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンまたは2−ジメチルアミノ−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルフォルニル)フェニル]−1−ブタノンであり、より好ましくは2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オンである。第1の光重合開始剤として、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オンを用いれば、非逆テーパー形状であり、かつ径が細いフォトスペーサーを得ることができる。   Specific examples of the α-aminoketone compound include 2-dimethylamino-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 2-diethylamino-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, and 2-methyl. 2-morpholino-1-phenylpropan-1-one, 2-dimethylamino-2-methyl-1- (4-methylphenyl) propan-1-one, 2-dimethylamino-1- (4-ethylphenyl) 2-methylpropan-1-one, 2-dimethylamino-1- (4-isopropylphenyl) -2-methylpropan-1-one, 1- (4-butylphenyl) -2-dimethylamino-2-methyl Propan-1-one, 2-dimethylamino-1- (4-methoxyphenyl) -2-methylpropan-1-one, 2-dimethylamino-2-methyl-1 (4-methylthiophenyl) propan-1-one, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpho Linophenyl) -butan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-dimethylaminophenyl) -butan-1-one, 2-dimethylamino-2-[(4-methylphenyl) methyl ] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone and the like. These compounds may be used alone or in combination of two or more. Among them, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane-1 is preferable. -One or 2-dimethylamino-2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone, more preferably 2-methyl-1- (4 -Methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one. If 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one is used as the first photopolymerization initiator, a photospacer having a non-reverse taper shape and a small diameter is obtained. be able to.

上記第1の光重合開始剤は、市販品を用いてもよい。市販の第1の光重合開始剤としては、例えば、BASFジャパン社製の商品名「イルガキュア907」、「イルガキュア369」、「イルガキュア379」等が挙げられる。   A commercially available product may be used as the first photopolymerization initiator. Examples of the commercially available first photopolymerization initiator include trade names “Irgacure 907”, “Irgacure 369”, and “Irgacure 379” manufactured by BASF Japan.

上記第1の光重合開始剤の含有割合は、上記アルカリ可溶性樹脂と上記多官能モノマーとの合計重量100重量部に対して、好ましくは0.1重量部〜30重量部、より好ましくは0.5重量部〜10重量部であり、さらに好ましくは1.0重量部〜5重量部である。   The content ratio of the first photopolymerization initiator is preferably 0.1 parts by weight to 30 parts by weight, more preferably 0.1 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total weight of the alkali-soluble resin and the polyfunctional monomer. 5 to 10 parts by weight, more preferably 1.0 to 5 parts by weight.

上記第2の光重合開始剤は、好ましくは波長230nm〜290nmに極大吸収波長を有し、より好ましくは波長240nm〜280nmに極大吸収波長を有し、さらに好ましくは波長250nm〜270nmに極大吸収波長を有する。   The second photopolymerization initiator preferably has a maximum absorption wavelength at a wavelength of 230 nm to 290 nm, more preferably has a maximum absorption wavelength at a wavelength of 240 nm to 280 nm, and more preferably a maximum absorption wavelength at a wavelength of 250 nm to 270 nm. Have

上記第2の光重合開始剤として、好ましくはα−ヒドロキシケトン系化合物が用いられ、より好ましくは一般式(13)または一般式(14)で表されるα−ヒドロキシケトン系化合物が用いられ、さらに好ましくは一般式(14)で表されるα−ヒドロキシケトン系化合物が用いられる。このような化合物を用いれば、非逆テーパー形状であり、かつ、径が細いフォトスペーサーを得ることができる。

Figure 0006236280
式(13)中、Xは水素原子、炭素数が1〜10のアルキル基、または炭素数が1〜10のアルコキシ基であり、好ましくは水素原子、炭素数が1〜5のアルキル基または炭素数が1〜5のアルコキシ基であり、より好ましくは水素原子または炭素数が1〜2のアルコキシ基である。XおよびXはそれぞれ独立して、水素原子または炭素数が1〜10のアルキル基であり、好ましくは炭素数が1〜5のアルキル基であり、より好ましくはメチル基である。また、XとXとが結合して炭素数が4〜8(好ましくは6〜8、より好ましくは6)のシクロアルキル基を形成していてもよい。
式(14)中、X〜X12はそれぞれ独立して、水素原子または炭素数が1〜10のアルキル基であり、好ましくは炭素数が1〜5のアルキル基であり、より好ましくはメチル基である。また、XとX10、および/またはX11とX12とが結合して炭素数が4〜8のシクロアルキル基を形成していてもよい。
上記アルキル基、アルコキシ基、アルキル基およびシクロアルキル基は、置換基を有していてもよい。該置換基としては、例えば、水酸基、カルボキシル基、スルホ基、シアノ基、ハロゲン原子等が挙げられる。 As the second photopolymerization initiator, an α-hydroxyketone compound is preferably used, more preferably an α-hydroxyketone compound represented by the general formula (13) or the general formula (14) is used. More preferably, an α-hydroxyketone compound represented by the general formula (14) is used. If such a compound is used, a photo spacer having a non-inverted taper shape and a small diameter can be obtained.
Figure 0006236280
In Formula (13), X 6 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, or an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, preferably a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or It is a C1-C5 alkoxy group, More preferably, it is a hydrogen atom or a C1-C2 alkoxy group. X 7 and X 8 are each independently a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, preferably an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and more preferably a methyl group. X 7 and X 8 may be bonded to each other to form a cycloalkyl group having 4 to 8 carbon atoms (preferably 6 to 8, more preferably 6).
In formula (14), X 9 to X 12 are each independently a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, preferably an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, more preferably methyl. It is a group. X 9 and X 10 and / or X 11 and X 12 may be bonded to each other to form a cycloalkyl group having 4 to 8 carbon atoms.
The alkyl group, alkoxy group, alkyl group and cycloalkyl group may have a substituent. Examples of the substituent include a hydroxyl group, a carboxyl group, a sulfo group, a cyano group, and a halogen atom.

上記α−ヒドロキシケトン系化合物の具体例としては、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルブタン−1−オン、1−(4−メチルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−ブチルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−(4−オクチルフェニル)プロパン−1−オン、1−(4−ドデシルフェニル)−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−メトキシフェニル)−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−クロロフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−ブロモフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−(4−ヒドロキシフェニル)−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−カルボエトキシフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒロドキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オンなどが挙げられる。これらの化合物は、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。なかでも好ましくは、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オンまたは2−ヒロドキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オンであり、より好ましくは2−ヒロドキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オンである。第2の光重合開始剤として、2−ヒロドキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オンを用いれば、非逆テーパー形状であり、かつ、径が細いフォトスペーサーを得ることができる。   Specific examples of the α-hydroxyketone compound include 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylbutan-1-one, 1- ( 4-methylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4-isopropylphenyl) -2-methylpropan-1-one, 1- (4-butylphenyl) -2-hydroxy- 2-methylpropan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1- (4-octylphenyl) propan-1-one, 1- (4-dodecylphenyl) -2-methylpropan-1-one, 1 -(4-methoxyphenyl) -2-methylpropan-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-methylpropan-1-one, 1- (4-chlorophenyl)- -Hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4-bromophenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 2-hydroxy-1- (4-hydroxyphenyl) -2-methyl Propan-1-one, 1- (4-dimethylaminophenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4-carboethoxyphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropane-1- ON, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-hydroxy-1- {4- [ 4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one and the like. These compounds may be used alone or in combination of two or more. Among them, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, or 2-hydroxy-1- { 4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one, more preferably 2-hydroxy-1- {4- [4- ( 2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one. If 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one is used as the second photopolymerization initiator A photo spacer having a non-inverted taper shape and a small diameter can be obtained.

上記第2の光重合開始剤は、市販品を用いてもよい。市販の第2の光重合開始剤としては、例えば、BASFジャパン社製の商品名「イルガキュア184」、「イルガキュア2959」、「イルガキュア127」、「ダロキュア1173」等が挙げられる。   A commercially available product may be used as the second photopolymerization initiator. Examples of the commercially available second photopolymerization initiator include trade names “Irgacure 184”, “Irgacure 2959”, “Irgacure 127”, and “Darocure 1173” manufactured by BASF Japan.

上記第2の光重合開始剤の含有割合は、上記アルカリ可溶性樹脂と上記多官能モノマーとの合計重量100重量部に対して、好ましくは0.01重量部〜30重量部であり、より好ましくは0.05重量部〜10重量部であり、さらに好ましくは0.07重量部〜1重量部である。   The content ratio of the second photopolymerization initiator is preferably 0.01 parts by weight to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total weight of the alkali-soluble resin and the polyfunctional monomer, and more preferably It is 0.05 weight part-10 weight part, More preferably, it is 0.07 weight part-1 weight part.

また、上記第2の光重合開始剤の含有割合は、上記第1の光重合開始剤と該第2の光重合開始剤の合計重量に対して、好ましくは5重量%〜40重量%であり、より好ましくは5重量%〜30重量%であり、さらに好ましくは5重量%〜20重量%である。このような範囲であれば、基板密着性に優れ、弾性回復率および破壊強度が高いフォトスペーサーを得ることができる。   The content ratio of the second photopolymerization initiator is preferably 5% by weight to 40% by weight with respect to the total weight of the first photopolymerization initiator and the second photopolymerization initiator. More preferably, it is 5 to 30% by weight, and further preferably 5 to 20% by weight. If it is such a range, the photo-spacer which is excellent in board | substrate adhesiveness, and has a high elastic recovery factor and fracture strength can be obtained.

上記第1の光重合開始剤および第2の光重合開始剤の合計含有割合は、上記アルカリ可溶性樹脂と上記多官能モノマーとの合計重量100重量部に対して、好ましくは0.5重量部〜50重量部であり、より好ましくは1重量部〜10重量部であり、さらに好ましくは1.5重量部〜5重量部である。   The total content of the first photopolymerization initiator and the second photopolymerization initiator is preferably 0.5 parts by weight to 100 parts by weight of the total weight of the alkali-soluble resin and the polyfunctional monomer. 50 parts by weight, more preferably 1 part by weight to 10 parts by weight, still more preferably 1.5 parts by weight to 5 parts by weight.

第1の光重合開始剤および第2の光重合開始剤に加えて光重合開始助剤を組み合わせて用いることもでき、光重合開始助剤を複数の組み合わせで用いることもできる。光重合開始助剤の具体例としては、1,3,5−トリス(3−メルカプトプロピオニルオキシエチル)−イソシアヌレート、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−イソシアヌレート(昭和電工社製、カレンズMT(登録商標)NR1)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート等の3官能チオール化合物;ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工社製、カレンズMT(登録商標)PE1)等の4官能チオール化合物;ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−プロピオネート)等の6官能チオール化合物等の多官能チオールが挙げられる。   In addition to the first photopolymerization initiator and the second photopolymerization initiator, a photopolymerization initiation assistant can be used in combination, and the photopolymerization initiation assistant can be used in a plurality of combinations. Specific examples of the photopolymerization initiation assistant include 1,3,5-tris (3-mercaptopropionyloxyethyl) -isocyanurate, 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -isocyanurate (Showa Electric Works, Karenz MT (registered trademark) NR1), trimethylolpropane tris (trifunctional thiol compounds such as 3-mercaptopropionate; pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercapto) (Butylate) (Showa Denko Co., Ltd., Karenz MT (registered trademark) PE1) and other tetrafunctional thiol compounds; difunctional thiol compounds such as dipentaerythritol hexakis (3-propionate)

B−4.溶剤
上記感光性樹脂組成物は、任意の適切な溶剤を含み得る。溶剤としては、例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート等のエステル類;メタノール、エタノール、イソプロパノール、n−ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール類;トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;クロロホルム、ジメチルスルホキシド等が挙げられる。溶剤の量は、所望とする感光性樹脂組成物の粘度に応じて、任意の適切な量に設定され得る。
B-4. Solvent The photosensitive resin composition may contain any appropriate solvent. Examples of the solvent include ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether, and diethylene glycol dimethyl ether; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone; ethyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, 3-methoxy Esters such as butyl acetate; Alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, n-butanol, ethylene glycol monomethyl ether, and propylene glycol monomethyl ether; Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, and ethylbenzene; Chloroform, dimethyl sulfoxide, and the like Can be mentioned. The amount of the solvent can be set to any appropriate amount depending on the desired viscosity of the photosensitive resin composition.

B−5.添加剤
上記感光性樹脂組成物は、必要に応じて、任意の適切な添加剤を含み得る。添加剤としては、例えば、水酸化アルミニウム、タルク、クレー、硫酸バリウム等の充填材、染料、顔料、消泡剤、カップリング剤、レベリング剤、増感剤、離型剤、滑剤、可塑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤、重合抑制剤、増粘剤、分散剤等が挙げられる。
B-5. Additives The photosensitive resin composition may contain any appropriate additive as required. As additives, for example, fillers such as aluminum hydroxide, talc, clay, barium sulfate, dyes, pigments, antifoaming agents, coupling agents, leveling agents, sensitizers, mold release agents, lubricants, plasticizers, Antioxidants, ultraviolet absorbers, flame retardants, polymerization inhibitors, thickeners, dispersants and the like can be mentioned.

1つの実施形態においては、感光性樹脂組成物は、UV吸収剤を含む。UV吸収剤を含む感光性樹脂組成物を用いれば、上下で径の差が小さいフォトスペーサーを得ることができ、フォトスペーサーを細い柱状することができる。本発明のフォトスペーサーは、細くとも、十分な破壊強度を有する。   In one embodiment, the photosensitive resin composition includes a UV absorber. If a photosensitive resin composition containing a UV absorber is used, a photo spacer having a small difference in diameter between the upper and lower sides can be obtained, and the photo spacer can be formed into a thin column. The photospacer of the present invention has a sufficient breaking strength even if it is thin.

上記感光性樹脂組成物がUV吸収剤を含む場合、UV吸収剤の含有割合は、上記アルカリ可溶性樹脂と上記多官能モノマーとの合計重量100重量部に対して、好ましくは0.05重量部〜10重量部、より好ましくは0.1重量部〜5重量部であり、さらに好ましくは0.2重量部〜3重量部である。UV吸収剤の含有割合が、10重量部を越える場合、非逆テーパー形状のフォトスペーサーが得られないおそれがある。   When the photosensitive resin composition contains a UV absorber, the content of the UV absorber is preferably 0.05 parts by weight to 100 parts by weight of the total weight of the alkali-soluble resin and the polyfunctional monomer. 10 parts by weight, more preferably 0.1 parts by weight to 5 parts by weight, and still more preferably 0.2 parts by weight to 3 parts by weight. When the content ratio of the UV absorber exceeds 10 parts by weight, a non-reverse tapered photo spacer may not be obtained.

C.フォトスペーサーの形成方法
本発明のフォトスペーサーは、上記感光性樹脂組成物を用いて得ることができる。上記感光性樹脂組成物を用いれば、基板密着性に優れ、弾性回復率および破壊強度が高いフォトスペーサーを形成することができる。
C. Method for Forming Photospacer The photospacer of the present invention can be obtained using the above photosensitive resin composition. If the said photosensitive resin composition is used, it is excellent in board | substrate adhesiveness and can form a photo spacer with a high elastic recovery rate and a high fracture strength.

上記フォトスペーサーは、フォトリソグラフィにより形成することができる。具体的には、上記感光性樹脂組成物を基板に塗布した後に乾燥させ、得られた塗膜上にフォトマスクを配置して露光し、塗膜を硬化させ、その後、現像することにより、フォトスペーサーを形成することができる。フォトリソグラフィによれば、任意の位置にフォトスペーサーを形成することができるので、例えば、液晶表示装置において、ブラックマトリックス上にのみフォトスペーサーを形成して、スペーサーを要因とした表示特性の低下を防止することができる。   The photospacer can be formed by photolithography. Specifically, after the photosensitive resin composition is applied to a substrate and dried, a photomask is placed on the obtained coating film to expose it, the coating film is cured, and then developed to obtain a photo Spacers can be formed. According to photolithography, a photo spacer can be formed at an arbitrary position. For example, in a liquid crystal display device, a photo spacer is formed only on a black matrix to prevent display characteristics from being deteriorated due to the spacer. can do.

上記感光性樹脂組成物の塗布方法としては、例えば、スピンコーター、バーコーター、グラビアコーター、ロールコーター、ナイフコーター、アプリケーター等を用いる方法が挙げられる。乾燥温度は、好ましくは40℃〜200℃であり、より好ましくは70℃〜100℃である。乾燥時間は、好ましくは1分間〜30分間であり、より好ましくは2分間〜10分間である。   Examples of the method for applying the photosensitive resin composition include a method using a spin coater, bar coater, gravure coater, roll coater, knife coater, applicator and the like. The drying temperature is preferably 40 ° C to 200 ° C, more preferably 70 ° C to 100 ° C. The drying time is preferably 1 minute to 30 minutes, more preferably 2 minutes to 10 minutes.

上記フォトマスクの配置位置は、所望とするフォトスペーサーのサイズに応じて、任意の適切な位置に配置される。フォトマスクは塗膜の上部に配置され、塗膜とフォトマスクとの距離は、好ましくは0μm〜500μmであり、より好ましく10μm〜400μmであり、さらに好ましくは20μm〜300μmであり、特に好ましくは30μm〜200μmである。   The photomask is arranged at any appropriate position depending on the desired size of the photospacer. The photomask is disposed on the top of the coating film, and the distance between the coating film and the photomask is preferably 0 μm to 500 μm, more preferably 10 μm to 400 μm, still more preferably 20 μm to 300 μm, and particularly preferably 30 μm. ~ 200 μm.

上記露光時のUV照射強度(365nm照度換算)は、好ましくは10mJ/cm〜200mJ/cmであり、より好ましくは20mJ/cm〜150mJ/cmであり、さらに好ましくは30mJ/cm〜100mJ/cmである。 UV radiation intensity during the exposure (365 nm intensity equivalent), preferably 10mJ / cm 2 ~200mJ / cm 2 , more preferably 20mJ / cm 2 ~150mJ / cm 2 , more preferably 30 mJ / cm 2 ˜100 mJ / cm 2 .

上記現像に際しては、アルカリ水溶液を用いることが好ましい。環境への負荷が少なく高感度の現像を行うことができるからである。アルカリ成分としては、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム等が用いられる。アルカリ水溶液のアルカリ濃度は、好ましくは0.01重量%〜5重量%であり、より好ましくは0.02重量%〜3重量%であり、さらに好ましくは0.03重量%〜1重量%である。このような範囲であれば、上記感光性樹脂組成物を適切に溶解して、現像性よくフォトスペーサーを形成することができる。アルカリ水溶液には界面活性剤をさらに添加してもよい。   In the development, an alkaline aqueous solution is preferably used. This is because high-sensitivity development can be performed with less environmental burden. As the alkaline component, for example, potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate or the like is used. The alkali concentration of the aqueous alkali solution is preferably 0.01% to 5% by weight, more preferably 0.02% to 3% by weight, and still more preferably 0.03% to 1% by weight. . If it is such a range, the said photosensitive resin composition can be melt | dissolved appropriately and a photo spacer can be formed with sufficient developability. A surfactant may be further added to the alkaline aqueous solution.

現像後に、ポストベークを行ってもよい。ポストベーク時の加熱温度は、好ましくは150℃〜300℃である、より好ましくは180℃〜250℃である。加熱時間は、好ましくは10分〜90分であり、より好ましくは20分〜60分である。上記感光性樹脂組成物が、側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する繰り返し単位(B)を有するアクリル系樹脂を含む場合、ポストベークにより、架橋密度の高いフォトスペーサーを形成することができる。   You may post-bake after image development. The heating temperature during post-baking is preferably 150 ° C to 300 ° C, more preferably 180 ° C to 250 ° C. The heating time is preferably 10 minutes to 90 minutes, more preferably 20 minutes to 60 minutes. When the said photosensitive resin composition contains the acrylic resin which has a repeating unit (B) which has a 2 or more oxyalkylene group in a side chain, a photo spacer with a high crosslinking density can be formed by post-baking.

本発明のフォトスペーサーは、液晶ディスプレイ、より具体的には液晶ディスプレイの液晶セルのスペーサーとして好適に利用することができる。   The photospacer of the present invention can be suitably used as a spacer for a liquid crystal display, more specifically, a liquid crystal cell of a liquid crystal display.

以下に、実施例により、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらにより何ら限定されるものではない。実施例における評価方法は以下のとおりである。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically by way of examples. However, the present invention is not limited to these examples. The evaluation methods in the examples are as follows.

(1)重量平均分子量:Mw
GPC(HLC−8220GPC、東ソー社製)にてTHFを溶離液とし、カラムにTSKgel SuperHZM−N(東ソー社製)を用いて測定し、標準ポリスチレン換算にて算出した。
(2)固形分
製造例で調製した共重合体溶液をアルミカップに約0.3gはかり取り、アセトン約1gを加えて溶解させた後、常温で自然乾燥させた。その後、熱風乾燥機(商品名:PHH−101、エスペック株社製)を用い、140℃で3時間乾燥した後、デシケータ内で放冷し、重量を測定した。その重量減少量から、ポリマー溶液の固形分(アクリル系樹脂)の重量を計算した。
(3)酸価
製造例で調製した共重合体溶液を1.5g精秤し、アセトン90gと水10gの混合溶媒に溶解させ、0.1NのKOH水溶液で滴定した。滴定は、自動滴定装置(商品名:COM−555、平沼産業社製)を用いて行い、固形分濃度から、ポリマー1g当たりの酸価を求めた(mgKOH/g)。
(1) Weight average molecular weight: Mw
GPC (HLC-8220GPC, manufactured by Tosoh Corporation) was used as an eluent, and TSKgel SuperHZM-N (manufactured by Tosoh Corporation) was used as a column for the measurement.
(2) Solid content About 0.3 g of the copolymer solution prepared in the production example was weighed into an aluminum cup, dissolved by adding about 1 g of acetone, and then naturally dried at room temperature. Thereafter, using a hot air dryer (trade name: PHH-101, manufactured by ESPEC Corp.), it was dried at 140 ° C. for 3 hours, then allowed to cool in a desiccator, and the weight was measured. From the weight loss, the weight of the solid content (acrylic resin) of the polymer solution was calculated.
(3) Acid value 1.5 g of the copolymer solution prepared in the production example was precisely weighed, dissolved in a mixed solvent of 90 g of acetone and 10 g of water, and titrated with a 0.1 N aqueous KOH solution. Titration was performed using an automatic titrator (trade name: COM-555, manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd.), and the acid value per 1 g of polymer was determined from the solid content concentration (mgKOH / g).

(4)現像残渣
現像後、感光性樹脂組成物のとけ残りの有無を目視観察にて評価した。
(5)フォトスペーサーの密着性
形成されたフォトスペーサーの欠損の有無を目視にて観察し、以下の基準で評価した。
○:欠損無く、密着性が非常に優れる
△:一部に欠損あり、密着性がよい
×:全欠損、密着性が悪い
(6)フォトスペーサーの圧縮率
フォトスペーサーの圧縮率を、微小圧縮試験機(商品名:HM2000、フィッシャー・インストルメンツ社製)を用いて測定した。100μm角の平面圧子により、負荷速度および徐荷速度をともに4.7mN/秒として、80mNまでの荷重を負荷したのち0.49mNまで除荷して、負荷時の荷重−変形量曲線および徐荷時の荷重−変形量曲線を作成した。このとき、負荷時の荷重80mNでの変形量をL1とて、下記式により、圧縮率を算出した。
圧縮率(%)=L1×100/スペーサー高さ
(7)フォトスペーサーの弾性回復率
フォトスペーサーの弾性回復率を、微小圧縮試験機(商品名:HM2000、フィッシャー・インストルメンツ社製)を用いて測定した。100μm角の平面圧子により、負荷速度および徐荷速度をともに4.7mN/秒として、80mNまでの荷重を負荷したのち0.49mNまで除荷して、負荷時の荷重−変形量曲線および徐荷時の荷重−変形量曲線を作成した。このとき、負荷時の荷重80mNでの変形量をL1とし、除荷時の荷重0.49mNでの変形量をL2として、下記式により、弾性回復率を算出した。
弾性回復率(%)=(L1−L2)×100/L1
(8)フォトスペーサーの破壊強度
フォトスペーサーの破壊強度を、微小圧縮試験機(商品名:HM2000、フィッシャー・インストルメンツ社製)を用いて測定した。100μm角の平面圧子により、負荷速度および徐荷速度をともに4.7mN/秒として、300mNまでの荷重を負荷し、スペーサーが破壊されるときの荷重を荷重−変形量曲線から読み取った。
(9)フォトスペーサーの太さ(最下部における水平方向断面の直径)および高さ
フォトスペーサーの最下部における直径および高さは、レーザー顕微鏡(商品名「VK−9700」、キーエンス社製)を用いて測定した。
(10)フォトスペーサーの形状(非逆テーパー形状/逆テーパー形状)
フォトスペーサーの形状が非逆テーパー形状であるか、あるいは逆テーパー形状であるかの評価は、FE−SEM(商品名「S−4800」、日立製作所製)を用いて、(フォトスペーサーの高さL×1/2)離れた部分H1の直径D1、および(フォトスペーサーの高さL×1/4)離れた部分H2の直径D2を測定し、該直径D1、D2から、H1での水平断面積A1、およびH2での水平断面積A2を算出して行った。A2/A1が1以上となる場合が、非逆テーパー形状である。
(4) Development residue After development, the presence or absence of undissolved residue of the photosensitive resin composition was evaluated by visual observation.
(5) Adhesiveness of photo spacer The presence or absence of defects in the formed photo spacer was visually observed and evaluated according to the following criteria.
○: No defect and very good adhesion △: Partial defect and good adhesion ×: All defects and poor adhesion (6) Compression ratio of photospacer Measurement was performed using a machine (trade name: HM2000, manufactured by Fisher Instruments). With a 100 μm square planar indenter, both the loading speed and the unloading speed are set to 4.7 mN / sec, the load up to 80 mN is loaded, the load is unloaded to 0.49 mN, and the load-deformation curve and the unloading during loading are applied. A load-deformation curve at the time was created. At this time, the amount of deformation at a load of 80 mN at the time of loading was L1, and the compression rate was calculated by the following formula.
Compression rate (%) = L1 × 100 / Spacer height (7) Elastic recovery rate of the photo spacer The elastic recovery rate of the photo spacer was measured using a micro compression tester (trade name: HM2000, manufactured by Fisher Instruments). It was measured. With a 100 μm square planar indenter, both the loading speed and the unloading speed are set to 4.7 mN / sec, the load up to 80 mN is loaded, the load is unloaded to 0.49 mN, and the load-deformation curve and the unloading during loading are applied. A load-deformation curve at the time was created. At this time, the amount of deformation at a load of 80 mN during loading was L1, and the amount of deformation at a load of 0.49 mN during unloading was L2, and the elastic recovery rate was calculated by the following equation.
Elastic recovery rate (%) = (L1-L2) × 100 / L1
(8) Fracture strength of the photo spacer The break strength of the photo spacer was measured using a micro compression tester (trade name: HM2000, manufactured by Fisher Instruments). Using a 100 μm square planar indenter, the load speed and the unloading speed were both set to 4.7 mN / sec, a load up to 300 mN was applied, and the load when the spacer was broken was read from the load-deformation curve.
(9) Thickness (horizontal cross-sectional diameter at the bottom) and height of the photospacer The diameter and height at the bottom of the photospacer were measured using a laser microscope (trade name “VK-9700”, manufactured by Keyence Corporation). Measured.
(10) Shape of photo spacer (non-reverse tapered shape / reverse tapered shape)
The evaluation of whether the shape of the photo spacer is a non-reverse tapered shape or a reverse tapered shape is performed using FE-SEM (trade name “S-4800”, manufactured by Hitachi, Ltd.) L × 1/2) The diameter D1 of the separated portion H1 and (the height of the photospacer L × 1/4) the diameter D2 of the separated portion H2 are measured, and the horizontal section at H1 is measured from the diameters D1 and D2. The calculation was performed by calculating the horizontal cross-sectional area A2 at the areas A1 and H2. A case where A2 / A1 is 1 or more is a non-inverted taper shape.

[製造例1]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、ベンジルマレイミド(BzMI)15g、アクリル酸(AA)44.5g、1モルエトキシ化フェニルフェノールアクリレートと2モルエトキシ化フェニルフェノールアクリレートとの1:1(モル比)混合物(商品名「OPPE」、第一工業製薬社製、以下OPPEともいう)40.5g、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート(商品名「パーブチル(登録商標)O」、日本油脂社製、以下PBOともいう)2g、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)42gおよびプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、ドデシルメルカプタン(nDM)2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、メタクリル酸グリシジル(GMA)69g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてジメチルベンジルアミン(DMBA)0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.4重量%を含む共重合体溶液(A−1)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は17200、酸価は55mgKOH/gであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)および酸価を、製造例2〜17とともに、表1に示す。
[Production Example 1]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, in the monomer dropping tank, as a monomer composition, 15 g of benzylmaleimide (BzMI), 44.5 g of acrylic acid (AA), 1: 1 (molar ratio) of 1 mol ethoxylated phenylphenol acrylate and 2 mol ethoxylated phenylphenol acrylate ) Mixture (trade name “OPPE”, manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., hereinafter also referred to as OPPE) 40.5 g, t-butylperoxy-2-ethylhexanoate (trade name “Perbutyl (registered trademark) O”, Japan 2 g manufactured by Yushi Co., Ltd. (hereinafter also referred to as “PBO”), 42 g of propylene glycol methyl ether acetate (PGMEA) and 18 g of propylene glycol monomethyl ether (PGME) were added and mixed with stirring. Further, 2 g of dodecyl mercaptan (nDM), 18 g of PGMEA and 8 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank and mixed with stirring.
The reaction vessel was charged with 98 g of PGMEA and 42 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of glycidyl methacrylate (GMA) in the reaction vessel, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and dimethylbenzyl as a catalyst Amine (DMBA) 0.5 g, PGMEA 16 g and PGME 6 g were charged and reacted at 110 ° C. for 1 hour and 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-1) containing 39.4 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 17200, and the acid value was 55 mgKOH / g. The production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw) and acid value of the copolymer solution are shown in Table 1 together with Production Examples 2 to 17.

Figure 0006236280
Figure 0006236280

[製造例2]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA55g、OPPE30g、PBO2g、PGMEA30gおよびPGME30gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA13gおよびPGME13gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA11g、PGME11gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.3重量%を含む共重合体溶液(A−2)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は18000、酸価は103mgKOH/gであった。
[Production Example 2]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, 15 g of BzMI, 55 g of AA, 30 g of OPPE, 2 g of PBO, 30 g of PGMEA, and 30 g of PGME were added as a monomer composition into the monomer dropping tank and mixed with stirring. Moreover, nDM2g, PGMEA13g, and PGMME13g were thrown into the chain transfer agent dripping tank as a chain transfer agent solution, and it stirred and mixed.
The reaction vessel was charged with 98 g of PGMEA and 42 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA, 11 g of PGMEA, and 11 g of PGME as catalysts are placed in a reaction vessel. The reaction was performed at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-2) containing 39.3 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 18000, and the acid value was 103 mgKOH / g.

[製造例3]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA42g、OPPE43g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.0重量%を含む共重合体溶液(A−3)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は18200、酸価は44mgKOH/gであった。
[Production Example 3]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, as a monomer composition, 15 g of BzMI, 42 g of AA, 43 g of OPPE, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA, and 18 g of PGME were stirred and mixed in the monomer dropping tank. Further, 2 g of nDM, 18 g of PGMEA, and 8 g of PGME were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.
The reaction vessel was charged with 98 g of PGMEA and 42 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME as a catalyst are added to the reaction vessel. The reaction was performed at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-3) containing 39.0 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 18200, and the acid value was 44 mgKOH / g.

[製造例4]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、OPPE40.5g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM1.2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.5重量%を含む共重合体溶液(A−4)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は25200、酸価は56mgKOH/gであった。
[Production Example 4]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, as a monomer composition, 15 g of BzMI, 44.5 g of AA, 40.5 g of OPPE, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA, and 18 g of PGME were stirred and mixed in the monomer dropping tank. Moreover, nDM1.2g, PGMEA18g, and PGMEA8g were thrown into the chain transfer agent dripping tank as a chain transfer agent solution, and it stirred and mixed.
The reaction vessel was charged with 98 g of PGMEA and 42 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME as a catalyst are added to the reaction vessel. The reaction was performed at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-4) containing 39.5 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 25200, and the acid value was 56 mgKOH / g.

[製造例5]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、OPPE40.5g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM5g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂38.8重量%を含む共重合体溶液(A−5)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は10400、酸価は55mgKOH/gであった。
[Production Example 5]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, as a monomer composition, 15 g of BzMI, 44.5 g of AA, 40.5 g of OPPE, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA, and 18 g of PGME were stirred and mixed in the monomer dropping tank. Moreover, nDM5g, PGMEA18g, and PGME8g were thrown into the chain transfer agent dripping tank as a chain transfer agent solution, and it stirred and mixed.
The reaction vessel was charged with 98 g of PGMEA and 42 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME as a catalyst are added to the reaction vessel. The reaction was performed at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-5) containing 38.8 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 10400, and the acid value was 55 mgKOH / g.

[製造例6]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI10g、AA76g、OPPE14g、PBO2g、PGMEA18gおよびPGME42gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM1.5g、PGMEA8gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA42gとPGME98gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA124g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてDMBA0.7g、PGMEA32g、PGME74gを仕込み、110℃で1時間、115℃で12時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.6重量%を含む共重合体溶液(A−6)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は19300、酸価は54mgKOH/gであった。
[Production Example 6]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, 10 g of BzMI, 76 g of AA, 14 g of OPPE, 2 g of PBO, 18 g of PGMEA, and 42 g of PGME were added as a monomer composition into the monomer dropping tank and mixed with stirring. Further, 1.5 g of nDM, 8 g of PGMEA and 18 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank and mixed with stirring.
The reaction vessel was charged with 42 g of PGMEA and 98 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 124 g of GMA, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and 0.7 g of DMBA, 0.7 g of PGMEA, 32 g of PGMEA, and 74 g of PGME are used as a reaction vessel. The reaction was performed at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 12 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-6) containing 39.6 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 19300, and the acid value was 54 mgKOH / g.

[製造例7]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA23g、OPPE62g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA30g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてDMBA0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂35.0重量%を含む共重合体溶液(A−7)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は17000、酸価は56mgKOH/gであった。
[Production Example 7]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, 15 g of BzMI, 23 g of AA, 62 g of OPPE, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA, and 18 g of PGME were added as a monomer composition to the monomer dropping tank and mixed with stirring. Further, 2 g of nDM, 18 g of PGMEA, and 8 g of PGME were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.
The reaction vessel was charged with 98 g of PGMEA and 42 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 30 g of GMA, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor and 0.5 g of DMBA as a catalyst were charged in a reaction vessel at 110 ° C. For 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-7) containing 35.0 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 17000, and the acid value was 56 mgKOH / g.

[製造例8]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、シクロヘキシルマレイミド(CHMI)15g、AA44.5g、OPPE40.5g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.0重量%を含む共重合体溶液(A−8)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は17500、酸価は54mgKOH/gであった。
[Production Example 8]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, 15 g of cyclohexylmaleimide (CHMI), 44.5 g of AA, 40.5 g of OPPE, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA, and 18 g of PGME were added as a monomer composition to the monomer dropping tank and mixed with stirring. Further, 2 g of nDM, 18 g of PGMEA, and 8 g of PGME were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.
The reaction vessel was charged with 98 g of PGMEA and 42 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME as a catalyst are added to the reaction vessel. The reaction was performed at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-8) containing 39.0 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 17500, and the acid value was 54 mgKOH / g.

[製造例9]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、ジメチル−2、2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート(MD)15g、AA44.5g、OPPE40.5g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂38.8重量%を含む共重合体溶液(A−9)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は17000、酸価は53mgKOH/gであった。
[Production Example 9]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, in a monomer dropping tank, 15 g of dimethyl-2,2 ′-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate (MD), 44.5 g of AA, 40.5 g of OPPE, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA and 18 g of PGME were used as a monomer composition. The mixture was stirred and mixed. Further, 2 g of nDM, 18 g of PGMEA, and 8 g of PGME were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.
The reaction vessel was charged with 98 g of PGMEA and 42 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME as a catalyst are added to the reaction vessel. The reaction was performed at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-9) containing 38.8 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 17000, and the acid value was 53 mgKOH / g.

[製造例10]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、(α−アリルオキシメチル)アクリル酸メチル(AMA)15g、AA44.5g、OPPE40.5g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂38.9重量%を含む共重合体溶液(A−10)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は17500、酸価は54mgKOH/gであった。
[Production Example 10]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, 15 g of (α-allyloxymethyl) methyl acrylate (AMA), 44.5 g of AA, 40.5 g of OPPE, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA and 18 g of PGME were added as a monomer composition and mixed with stirring. Further, 2 g of nDM, 18 g of PGMEA, and 8 g of PGME were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.
The reaction vessel was charged with 98 g of PGMEA and 42 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME as a catalyst are added to the reaction vessel. The reaction was performed at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-10) containing 38.9 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 17500, and the acid value was 54 mgKOH / g.

[製造例11]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、OPPE20.5g、1モルエトキシ化フェニルフェノールアクリレート(商品名「A−LEN−10」、新中村化学社製、以下A−LEN−10ともいう)20g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.1重量%を含む共重合体溶液(A−11)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は18100、酸価は54mgKOH/gであった。
[Production Example 11]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, as a monomer composition in a monomer dropping tank, BzMI 15 g, AA 44.5 g, OPPE 20.5 g, 1 mol ethoxylated phenylphenol acrylate (trade name “A-LEN-10”, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., hereinafter A-LEN 20 g) (also referred to as −10), 2 g of PBO, 42 g of PGMEA, and 18 g of PGMEA were added and mixed with stirring. Further, 2 g of nDM, 18 g of PGMEA, and 8 g of PGME were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.
The reaction vessel was charged with 98 g of PGMEA and 42 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME as a catalyst are added to the reaction vessel. The reaction was performed at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-11) containing 39.1 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 18100, and the acid value was 54 mgKOH / g.

[製造例12]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、A−LEN−10を38.5g、メトキシポリエチレングリコール(400)アクリレート(商品名「ライトアクリレート130A」、共栄社化学社製、エチレンオキサイドモル数n=9、以下130Aともいう)2g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.4重量%を含む共重合体溶液(A−12)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は17500、酸価は55mgKOH/gであった。
[Production Example 12]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, in the monomer dropping tank, as a monomer composition, 15 g of BzMI, 44.5 g of AA, 38.5 g of A-LEN-10, methoxypolyethylene glycol (400) acrylate (trade name “Light acrylate 130A”, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., 2 g of ethylene oxide moles n = 9, hereinafter also referred to as 130A), 2 g of PBO, 42 g of PGMEA, and 18 g of PGMEA were added and mixed with stirring. Further, 2 g of nDM, 18 g of PGMEA, and 8 g of PGME were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.
The reaction vessel was charged with 98 g of PGMEA and 42 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME as a catalyst are added to the reaction vessel. The reaction was performed at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-12) containing 39.4 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 17500, and the acid value was 55 mgKOH / g.

[製造例13]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、A−LEN−10を38.5g、メトキシポリエチレングリコール(550)アクリレート(商品名「CD550」、巴工業社製、エチレンオキサイドモル数n=12〜13、以下CD550ともいう)2g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.0重量%を含む共重合体溶液(A−13)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は18000、酸価は53mgKOH/gであった。
[Production Example 13]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, 15 g of BzMI, 44.5 g of AA, 38.5 g of A-LEN-10, methoxypolyethylene glycol (550) acrylate (trade name “CD550”, manufactured by Sakai Kogyo Co., Ltd., ethylene oxide) as a monomer composition in the monomer dropping tank 2 g of mole number n = 12 to 13 (hereinafter also referred to as CD550), 2 g of PBO, 42 g of PGMEA, and 18 g of PGMEA were added and mixed with stirring. Further, 2 g of nDM, 18 g of PGMEA, and 8 g of PGME were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.
The reaction vessel was charged with 98 g of PGMEA and 42 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME as a catalyst are added to the reaction vessel. The reaction was performed at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-13) containing 39.0 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 18000, and the acid value was 53 mgKOH / g.

[製造例14]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、OPPE20.5g、ジシクロペンタニルアクリレート(DCPA)20g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.1重量%を含む共重合体溶液(A−14)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は17800、酸価は56mgKOH/gであった。
[Production Example 14]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, 15 g of BzMI, 44.5 g of AA, 20.5 g of OPPE, 20 g of dicyclopentanyl acrylate (DCPA), 2 g of PBO, 42 g of PGMEA and 18 g of PGME were added to the monomer dropping tank and mixed with stirring. Further, 2 g of nDM, 18 g of PGMEA, and 8 g of PGME were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.
The reaction vessel was charged with 98 g of PGMEA and 42 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME as a catalyst are added to the reaction vessel. The reaction was performed at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-14) containing 39.1 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 17800, and the acid value was 56 mgKOH / g.

[製造例15]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、A−LEN−10を40.5g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.4重量%を含む共重合体溶液(A−15)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は17400、酸価は54mgKOH/gであった。
[Production Example 15]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, 15 g of BzMI, 44.5 g of AA, 40.5 g of A-LEN-10, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA and 18 g of PGMEA were added as a monomer composition into the monomer dropping tank, and mixed with stirring. Further, 2 g of nDM, 18 g of PGMEA, and 8 g of PGME were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.
The reaction vessel was charged with 98 g of PGMEA and 42 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME as a catalyst are added to the reaction vessel. The reaction was performed at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-15) containing 39.4 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 17400, and the acid value was 54 mgKOH / g.

[製造例16]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、フェノキシジエチレングリコールアクリレート(商品名「ライトアクリレートP2HA」、共栄社化学社製、以下P2HAともいう)40.5g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂38.8重量%を含む共重合体溶液(A−16)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は18100、酸価は56mgKOH/gであった。
[Production Example 16]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, in the monomer dropping tank, BzMI 15 g, AA 44.5 g, phenoxydiethylene glycol acrylate (trade name “light acrylate P2HA”, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., hereinafter also referred to as P2HA), 40.5 g, PBO 2 g, PGMEA 42 g, and PGME 18 g Was stirred and mixed. Further, 2 g of nDM, 18 g of PGMEA, and 8 g of PGME were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.
The reaction vessel was charged with 98 g of PGMEA and 42 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME as a catalyst are added to the reaction vessel. The reaction was performed at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-16) containing 38.8 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 18100, and the acid value was 56 mgKOH / g.

[製造例17]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、DCPA40.5g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.6重量%を含む共重合体溶液(A−17)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は18500、酸価は55mgKOH/gであった。
[Production Example 17]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, as a monomer composition, 15 g of BzMI, 44.5 g of AA, 40.5 g of DCPA, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA and 18 g of PGME were added to the monomer dropping tank and mixed. Further, 2 g of nDM, 18 g of PGMEA, and 8 g of PGME were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.
The reaction vessel was charged with 98 g of PGMEA and 42 g of PGME, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. PBO 0.5g was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME as a catalyst are added to the reaction vessel. The reaction was performed at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-17) containing 39.6 weight% of acrylic resins. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 18500, and the acid value was 55 mgKOH / g.

[実施例1]
上記共重合体溶液(A−1)89g(すなわち、アクリル系樹脂35g)、多官能モノマーとしてトリペンタエリスリトールオクタアクリレート(商品名「ビスコート#802」、大坂有機化学社製)65g、および波長290nm〜380nmに極大吸収波長を有する光重合開始剤(第1の光重合開始剤)として2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノ−プロパン−1−オン(商品名「IRGACURE(登録商標)907」、BASFジャパン社製)1.75g、波長230nm〜290nmに極大吸収波長を有する光重合開始剤(第2の光重合開始剤)として2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]−フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン(商品名「IRGACURE(登録商標)127」、BASFジャパン社製、)0.25g、UV吸収剤として2−(2−ヒドロキシ−4−オクトキシフェニル)−2H−ベンゾトリアゾール(商品名「SEESORB707」、シプロ化成社製、以下SB707という)0.5gの混合物に、固形分濃度が35重量%となるようにPGMEAを加え、孔径0.5μmのフィルタでろ過し、フォトスペーサー用感光性樹脂組成物を調製した。
10cm角のガラス基板上に、上記感光性樹脂組成物をスピンコーターにより塗布し、オーブンで80℃で3分間乾燥した。乾燥後、塗膜から100μmの距離にフォトマスクを配置して2.0kWの超高圧水銀ランプを装着したUVアライナ(商品名「TME−150RNS」、TOPCON社製)によって50mJ/cmの強度(365nm照度換算)で紫外線を照射した。紫外線照射後、塗膜に0.05%の水酸化カリウム水溶液をスピン現像機にて40秒間散布し、未露光部を溶解、除去し、残った露光部を純水で10秒間水洗することにより現像して、円柱状のフォトスペーサーを形成した。現像残渣の有無を確認し(評価(4))、得られたフォトスペーサーを上記評価(5)〜(10)に供した。結果を表2に示す。
[Example 1]
89 g of the copolymer solution (A-1) (that is, 35 g of acrylic resin), 65 g of tripentaerythritol octaacrylate (trade name “Biscoat # 802”, manufactured by Osaka Organic Chemical Co., Ltd.) as a polyfunctional monomer, and a wavelength of 290 nm to 2-Methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propan-1-one (trade name “IRGACURE” as a photopolymerization initiator (first photopolymerization initiator) having a maximum absorption wavelength at 380 nm (Registered trademark) 907 ", manufactured by BASF Japan Ltd.) 1.75 g, 2-hydroxy-1- {4- [as a photopolymerization initiator (second photopolymerization initiator) having a maximum absorption wavelength at a wavelength of 230 nm to 290 nm 4- (2-Hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] -phenyl} -2-methyl-propan-1-one (trade name) IRGACURE (registered trademark) 127 ”(manufactured by BASF Japan, Inc.) 0.25 g, 2- (2-hydroxy-4-octoxyphenyl) -2H-benzotriazole (trade name“ SEESORB707 ”, Sipro Kasei Co., Ltd.) as UV absorber PGMEA was added to 0.5 g of a mixture (hereinafter referred to as “SB707”) so that the solid concentration was 35% by weight, and the mixture was filtered with a filter having a pore diameter of 0.5 μm to prepare a photosensitive resin composition for photospacers.
The photosensitive resin composition was applied onto a 10 cm square glass substrate with a spin coater and dried in an oven at 80 ° C. for 3 minutes. After drying, the strength (50 mJ / cm 2 ) by a UV aligner (trade name “TME-150RNS”, manufactured by TOPCON) with a photomask placed at a distance of 100 μm from the coating film and equipped with a 2.0 kW super high pressure mercury lamp. Ultraviolet rays were irradiated at 365 nm illuminance conversion). After UV irradiation, 0.05% potassium hydroxide aqueous solution is sprayed on the coating film with a spin developing machine for 40 seconds to dissolve and remove the unexposed area, and the remaining exposed area is washed with pure water for 10 seconds. Development was performed to form a cylindrical photospacer. The presence or absence of a development residue was confirmed (evaluation (4)), and the obtained photospacer was subjected to the evaluations (5) to (10). The results are shown in Table 2.

[実施例2〜27]
感光性樹脂組成物の組成を表2に示す組成とした以外は、実施例1と同様にしてフォトスペーサーを形成し、実施例1と同様の評価に供した。結果を表2に示す。
なお、表2中、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(共栄社化学社製)を「DPHA」と、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(共栄社化学社製)を「PETA」と表記する。
UV吸収剤については、表2において、BASFジャパン社製の商品名「チヌビン479」を「T479」と表記する。
第2の光重合開始剤については表2において、BASFジャパン社製の商品名「IRGACURE(登録商標)2959」を「I2959」、「IRGACURE(登録商標)184」を「I184」と表記する。
[Examples 2 to 27]
Except that the composition of the photosensitive resin composition was changed to the composition shown in Table 2, a photospacer was formed in the same manner as in Example 1 and subjected to the same evaluation as in Example 1. The results are shown in Table 2.
In Table 2, dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) is represented as “DPHA”, and pentaerythritol tetraacrylate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) is represented as “PETA”.
Regarding the UV absorber, in Table 2, the trade name “Tinuvin 479” manufactured by BASF Japan Ltd. is expressed as “T479”.
Regarding the second photopolymerization initiator, in Table 2, the trade name “IRGACURE (registered trademark) 2959” manufactured by BASF Japan is represented as “I2959” and “IRGACURE (registered trademark) 184” as “I184”.

[比較例1〜5]
感光性樹脂組成物の組成を表3に示す組成とした以外は、実施例1と同様にしてフォトスペーサーを形成し、実施例1と同様の評価に供した。結果を表3に示す。
光重合開始剤については表3において、BASFジャパン社製の商品名「IRGACURE(登録商標)651」を「I651」、「IRGACURE(登録商標)819」を「I851」と表記する。なお、「I651」および「I819」は、波長230nm〜290nmに極大吸収波長を有さない。
[Comparative Examples 1-5]
A photospacer was formed in the same manner as in Example 1 except that the composition of the photosensitive resin composition was changed to the composition shown in Table 3, and was subjected to the same evaluation as in Example 1. The results are shown in Table 3.
Regarding the photopolymerization initiator, in Table 3, the trade name “IRGACURE (registered trademark) 651” manufactured by BASF Japan is represented as “I651” and “IRGACURE (registered trademark) 819” as “I851”. “I651” and “I819” do not have a maximum absorption wavelength at wavelengths of 230 nm to 290 nm.

Figure 0006236280
Figure 0006236280

Figure 0006236280
Figure 0006236280

表2および3から明らかなように、本発明のフォトスペーサーは、径と機械的特性のバランスに優れ、圧縮率、弾性回復率および破壊強度に優れる。   As is clear from Tables 2 and 3, the photospacer of the present invention is excellent in the balance between the diameter and the mechanical properties, and is excellent in the compression rate, the elastic recovery rate, and the breaking strength.

本発明のフォトスペーサーは、液晶セルのスペーサーとして好適に利用することができる。   The photospacer of the present invention can be suitably used as a liquid crystal cell spacer.

10、20 フォトスペーサー   10, 20 Photo spacer

Claims (5)

アルカリ可溶性樹脂と、
多官能モノマーと
波長290nm〜380nmに極大吸収波長を有する第1の光重合開始剤と、
波長230nm〜290nmに極大吸収波長を有する第2の光重合開始剤とを含む、感光性樹脂組成物から形成される、柱状のフォトスペーサーであって、
該アルカリ可溶性樹脂が、主鎖に環構造を有する繰り返し単位および側鎖に炭素二重結合を有する繰り返し単位を有し、該主鎖に環構造を有する繰り返し単位が、一般式(1)〜(7)で表される繰り返し単位から選ばれる少なくとも1種であり、
該フォトスペーサーの下部から高さ方向に(フォトスペーサーの高さ×1/2)離れた部分の水平断面積A1が、該フォトスペーサーの下部から高さ方向に(フォトスペーサーの高さ×1/4)離れた部分の水平断面積A2以下であり、
該フォトスペーサーの最下部における径が、8μm以下である、
フォトスペーサー:
Figure 0006236280
式(4)〜(7)中、R、R、R、R、RおよびRはそれぞれ独立して、水素原子または炭素数が1〜30の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基である。
An alkali-soluble resin;
A polyfunctional monomer ;
A first photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength at a wavelength of 290 nm to 380 nm;
A columnar photospacer formed from a photosensitive resin composition comprising a second photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength at a wavelength of 230 nm to 290 nm ,
The alkali-soluble resin has a repeating unit having a ring structure in the main chain and a repeating unit having a carbon double bond in the side chain, and the repeating unit having a ring structure in the main chain is represented by formulas (1) to ( 7) at least one selected from repeating units represented by
The horizontal cross-sectional area A1 of the portion away from the lower part of the photospacer in the height direction (height of photospacer × 1/2) is equal to the height direction from the lower part of the photospacer (height of photospacer × 1 / 4) The horizontal cross-sectional area A2 of the distant part is less than,
The diameter at the bottom of the photospacer is 8 μm or less,
Photo spacer:
Figure 0006236280
In formulas (4) to (7), R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 and R 6 are each independently a hydrogen atom or a linear or branched group having 1 to 30 carbon atoms. It is an alkyl group.
破壊強度が、160mN〜300mNである、請求項1に記載のフォトスペーサー。   The photospacer according to claim 1, wherein the breaking strength is 160 mN to 300 mN. 上記多官能モノマーが、ペンタエリスリトール骨格を有する、請求項1または2に記載のフォトスペーサー。 The photospacer according to claim 1 or 2 , wherein the polyfunctional monomer has a pentaerythritol skeleton. 前記水平断面積A1と前記水平断面積A2との比(A2/A1)が、1〜1.3である、請求項1からのいずれかに記載のフォトスペーサー。 The photospacer according to any one of claims 1 to 3 , wherein a ratio (A2 / A1) of the horizontal sectional area A1 to the horizontal sectional area A2 is 1 to 1.3. 請求項1からのいずれかに記載のフォトスペーサーを含む、液晶ディスプレイ。
Claims 1 comprises a photo spacer according to any one of 4, a liquid crystal display.
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