JP6180750B2

JP6180750B2 - Board work system

Info

Publication number: JP6180750B2
Application number: JP2013025066A
Authority: JP
Inventors: 高橋　大輔; 大輔高橋
Original assignee: Juki Corp
Current assignee: Juki Corp
Priority date: 2012-02-22
Filing date: 2013-02-13
Publication date: 2017-08-16
Anticipated expiration: 2033-02-13
Also published as: JP2013201425A; CN103298324B; CN103298324A

Description

本発明は、対基板作業システムに関する。 The present invention relates to an on-board working system.

例えば、電子部品実装装置などの対基板作業装置と、当該対基板作業装置に対して基板を搬送する基板搬送装置とを備えた対基板作業システムが知られている。このような対基板作業システムにおいては、システム全体を制御する制御部が、対基板作業装置や基板搬送装置の駆動部を直接制御するようになっている（例えば特許文献１参照）。
そして、対基板作業装置に不具合が生じた場合においては、基板に対する作業は中断したまま基板搬送装置のみを駆動させることで、基板の搬出だけを実行し、生産ライン全体の停止を防止する機能が搭載されていた。 For example, there is known an on-board working system including an on-board working apparatus such as an electronic component mounting apparatus and a board carrying device that carries a board to the against-board working apparatus. In such an on-board work system, a control unit that controls the entire system directly controls a drive unit of the on-board work apparatus or the substrate transfer apparatus (see, for example, Patent Document 1).
And, when a problem occurs in the substrate working device, the function of performing only the substrate unloading and driving the entire production line by driving only the substrate transfer device while the work on the substrate is interrupted. It was installed.

特開２０１０−１６１４１４号公報JP 2010-161414 A

ところで、対基板作業システム全体を制御する制御部に異常があった場合、または対基板作業システム全体を制御する制御部と基板搬送装置との間に通信異常が発生した場合には、制御部からの制御信号が基板搬送装置に伝達されず、結果的に生産ライン全体が停止してしまい、稼働率が大幅に低下するおそれがあった。
本発明の課題は、制御部と基板搬送装置との間に通信異常が発生したとしても、基板搬送装置による基板搬送を実行可能とすることで、生産ライン全体の停止を防止することである。 By the way, when there is an abnormality in the control unit that controls the entire substrate work system, or when a communication abnormality occurs between the control unit that controls the entire substrate work system and the substrate transfer device, the control unit This control signal is not transmitted to the substrate transfer apparatus, and as a result, the entire production line is stopped, and the operation rate may be significantly reduced.
An object of the present invention is to prevent the entire production line from being stopped by enabling execution of substrate conveyance by the substrate conveyance device even if communication abnormality occurs between the control unit and the substrate conveyance device.

請求項１記載の発明は、
基板に対して所定の作業を施す対基板作業装置と、前記対基板作業装置に対して前記基板を搬送する基板搬送装置とを備える対基板作業システムにおいて、
前記対基板作業装置を直接制御するとともに前記基板搬送装置を通信により間接的に制御する主制御部と、
前記主制御部からの通信により受信した制御信号に基づいて、前記基板搬送装置を制御する副制御部と、
前記主制御部から受信した制御信号に基づいて前記基板搬送装置を制御させるための従動指示か、独立して前記基板搬送装置を制御させるための独立指示のいずれか一方を前記副制御部に入力する指示入力部とを備えることを特徴としている。 The invention described in claim 1
In a substrate working system comprising a substrate working apparatus that performs a predetermined operation on a substrate, and a substrate conveying device that conveys the substrate to the substrate working apparatus,
A main control unit that directly controls the substrate working apparatus and indirectly controls the substrate transfer apparatus by communication;
Based on a control signal received by communication from the main control unit, a sub-control unit that controls the substrate transfer device;
Either a follow instruction for controlling the substrate transfer apparatus based on a control signal received from the main control section or an independent instruction for controlling the substrate transfer apparatus independently is input to the sub-control section. And an instruction input unit.

請求項２記載の発明は、請求項１記載の対基板作業システムにおいて、
前記副制御部は、前記対基板作業システムの搬送方向上流側若しくは搬送方向下流側に配列される外部装置に対し、電子回路を介してＳＭＥＭＡインターフェースにより接続されていて、
前記ＳＭＥＭＡインターフェースは、前記外部装置が接続される第一端子部及び第二端子部を備え、前記外部装置が前記対基板作業システムの搬送方向上流側になる場合には、前記第一端子部が出力端子、第二端子部が入力端子となって、前記外部装置が前記対基板作業システムの搬送方向下流側になる場合には、前記第一端子部が入力端子、第二端子部が出力端子となって、
前記電子回路には、
前記外部装置が前記対基板作業システムに対して搬送方向上流側である場合に、前記副制御部の出力回路を前記第一端子部に接続し、前記副制御部の入力回路を前記第二端子部に接続し、なおかつ前記外部装置が前記対基板作業システムに対して搬送方向下流側である場合に、前記副制御部の出力回路を前記第二端子部に接続し、前記副制御部の入力回路を前記第一端子部に接続する切替回路が設けられていることを特徴としている。 A second aspect of the present invention provides the substrate working system according to the first aspect,
The sub-control unit is connected to an external device arranged on the upstream side in the transport direction or the downstream side in the transport direction of the substrate work system via an electronic circuit via a SMEMA interface,
The SMEMA interface includes a first terminal portion and a second terminal portion to which the external device is connected. When the external device is on the upstream side in the transport direction of the substrate work system, the first terminal portion is When the output terminal and the second terminal portion are input terminals, and the external device is on the downstream side in the transport direction of the substrate work system, the first terminal portion is the input terminal, and the second terminal portion is the output terminal. Become
The electronic circuit includes
When the external device is on the upstream side in the transfer direction with respect to the substrate working system, the output circuit of the sub-control unit is connected to the first terminal unit, and the input circuit of the sub-control unit is connected to the second terminal And when the external device is downstream in the transport direction with respect to the substrate work system, the output circuit of the sub-control unit is connected to the second terminal unit, and the input of the sub-control unit A switching circuit for connecting a circuit to the first terminal portion is provided.

請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の対基板作業システムにおいて、
前記副制御部は、前記基板搬送装置に搭載されていることを特徴としている。 The invention according to claim 3 is the substrate-to-board working system according to claim 1 or 2,
The sub-control unit is mounted on the substrate transfer apparatus.

請求項４記載の発明は、請求項１〜３のいずれか一項に記載の対基板作業システムにおいて、
前記基板を検出するための基板位置センサを備え、当該基板位置センサの検出結果に基づいて前記基板を搬送することを特徴としている。 Invention of Claim 4 is a board | substrate working system as described in any one of Claims 1-3 ,
A substrate position sensor for detecting the substrate is provided, and the substrate is transported based on a detection result of the substrate position sensor.

本発明によれば、主制御部と基板搬送装置との間に通信異常が発生したとしても、基板搬送装置による基板搬送を実行することができ、生産ライン全体の停止を防止することが可能となる。 According to the present invention, even if a communication abnormality occurs between the main control unit and the substrate transfer device, the substrate transfer by the substrate transfer device can be executed, and the entire production line can be prevented from being stopped. Become.

本実施形態に係る対基板作業システムの概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view showing a schematic structure of a substrate working system concerning this embodiment. 図１の対基板作業システムの主制御構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the main control structure of the to-board work system of FIG. 本実施形態に係るショートコネクタからなる指示入力部の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the instruction | indication input part which consists of a short connector which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る電子回路の回路構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the circuit structure of the electronic circuit which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る対基板作業システムの上流側に外部装置がある場合のリレーの接点を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the contact of a relay when there exists an external device in the upstream of the to-board work system which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る対基板作業システムの下流側に外部装置がある場合のリレーの接点を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the contact of a relay in case there exists an external device in the downstream of the to-board work system which concerns on this embodiment. 本実施形態の対基板作業システムで実行される搬送処理の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the conveyance process performed with the on-board work system of this embodiment. 本実施形態の対基板作業システムで実行される従動モードの流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the driven mode performed with the on-board work system of this embodiment. 本実施形態の対基板作業システムで実行されるＳＭＥＭＡ不使用モードの流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the SMEMA non-use mode performed with the on-board work system of this embodiment. 本実施形態の対基板作業システムで実行されるＳＭＥＭＡ適用モードの流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the SMEMA application mode performed with the on-board work system of this embodiment.

図１は本実施形態に係る対基板作業システムの概略構成を示す斜視図であり、図２は対基板作業システムの主制御構成を示すブロック図である。この図１及び図２に示すように対基板作業システム１には、図示しない基板に対して所定の作業を施す対基板作業装置２と、対基板作業装置２に対して基板を搬送する基板搬送装置３とが備えられている。 FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of the substrate working system according to the present embodiment, and FIG. 2 is a block diagram showing a main control configuration of the substrate working system. As shown in FIGS. 1 and 2, the substrate work system 1 includes a substrate work device 2 that performs a predetermined work on a substrate (not shown), and a substrate transport that transports the substrate to the substrate work device 2. A device 3 is provided.

対基板作業装置２としては、例えば基板に電子部品を実装する電子部品実装装置、基板にクリーム半田を印刷する半田印刷装置、基板に接着剤を塗布する接着剤塗布装置などが挙げられる。対基板作業装置２には、対基板作業装置２の各駆動源を直接制御するとともに、基板搬送装置３を通信により間接的に制御する主制御部２１が設けられている。この主制御部２１には、ＣＰＵ２２、ＲＡＭ２３、ＲＯＭ２４を備えて構成されており、ＣＰＵ２２がＲＯＭ２４中の制御プラグロムをＲＡＭ２３に展開し実行することにより、対基板作業装置２及び基板搬送装置３の各部を制御するようになっている。 Examples of the substrate working device 2 include an electronic component mounting device for mounting electronic components on a substrate, a solder printing device for printing cream solder on the substrate, and an adhesive application device for applying an adhesive to the substrate. The substrate work apparatus 2 is provided with a main control unit 21 that directly controls each drive source of the substrate work apparatus 2 and indirectly controls the substrate transfer apparatus 3 through communication. The main control unit 21 includes a CPU 22, a RAM 23, and a ROM 24, and the CPU 22 expands and executes the control program in the ROM 24 on the RAM 23, whereby each unit of the substrate work apparatus 2 and the substrate transfer apparatus 3. Is to control.

基板搬送装置３は、対基板作業装置２の作業領域を形成する中央搬送ユニット４と、中央搬送ユニット４の一側方（図１では左側）に配置された第一搬送ユニット５と、中央搬送ユニット４の他側方（図１では右側）に配置された第二搬送ユニット６とを備えている。各搬送ユニット４，５，６には、互いに対向した一対のコンベアレール４１，５１，６１が設けられており、各対のコンベアレール４１，５１，６１は基板の大きさに応じてその間隔が調整自在となっている。各コンベアレール４１，５１，６１には、基板を下方から支持し搬送するコンベアベルト（図示省略）が備えられており、各搬送ユニット４，５，６のコンベアベルトはそれぞれ独立した駆動モータ４２，５２，６２によって駆動するようになっている。これら駆動モータ４２，５２，６２のうち、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２にはエンコーダ４４が設けられている。
また、各搬送ユニット４，５，６には基板を検出するための基板位置センサ４３，５３，６３が設けられている。具体的には、第一搬送ユニット５の基板位置センサ５３は、第一搬送ユニット５の外側端部に配置されている。同様に、第二搬送ユニット６の基板位置センサ６３は、第二搬送ユニット６の外側端部に配置されている。そして、中央搬送ユニット４の基板位置センサ４３は、中央搬送ユニット４の中央に配置されている。 The substrate transfer device 3 includes a central transfer unit 4 that forms a work area of the substrate work apparatus 2, a first transfer unit 5 that is disposed on one side (left side in FIG. 1) of the central transfer unit 4, And a second transport unit 6 disposed on the other side of the unit 4 (right side in FIG. 1). Each transport unit 4, 5, 6 is provided with a pair of conveyor rails 41, 51, 61 facing each other, and the distance between each pair of conveyor rails 41, 51, 61 depends on the size of the substrate. It is adjustable. Each of the conveyor rails 41, 51, 61 is provided with a conveyor belt (not shown) for supporting and transporting the substrate from below, and the conveyor belts of the respective transport units 4, 5, 6 are independent drive motors 42, 52 and 62 are used for driving. Of these drive motors 42, 52, 62, the drive motor 42 of the central transport unit 4 is provided with an encoder 44.
Each of the transport units 4, 5, and 6 is provided with substrate position sensors 43, 53, and 63 for detecting the substrate. Specifically, the substrate position sensor 53 of the first transport unit 5 is disposed at the outer end of the first transport unit 5. Similarly, the substrate position sensor 63 of the second transport unit 6 is disposed at the outer end of the second transport unit 6. The substrate position sensor 43 of the central transport unit 4 is disposed at the center of the central transport unit 4.

また、基板搬送装置３には、主制御部２１からの通信により受信した制御信号に基づいて、基板搬送装置３の各部を制御する副制御部３１と、主制御部２１から受信した制御信号に基づいて基板搬送装置３の各部を制御させるための従動指示か、独立して基板搬送装置３の各部を制御させるための独立指示のいずれか一方を副制御部３１に入力する指示入力部３５と、対基板作業システム１の左側の外部装置（図示省略）が電気的に接続される第一ＳＭＥＭＡインターフェース７と、対基板作業システム１の右側の外部装置（図示省略）が電気的に接続される第二ＳＭＥＭＡインターフェース８とが設けられている。図２に示すように前記副制御部３１は、前記基板搬送装置３に搭載されている。
副制御部３１には、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２、基板位置センサ４３及びエンコーダ４４と、第一搬送ユニット５の駆動モータ５２及び基板位置センサ５３と、第二搬送ユニット６の駆動モータ６２及び基板位置センサ６３とが電気的に接続されている。また、副制御部３１は、対基板作業システム１の右側及び左側に配列される外部装置に対し、電子回路９を介してＳＭＥＭＡインターフェース７，８により接続されている。さらに、副制御部３１は、ＣＰＵ３２、ＲＡＭ３３、ＲＯＭ３４を備えて構成されており、ＣＰＵ３２がＲＯＭ３４中の制御プラグロムをＲＡＭ３３に展開し実行することにより、基板搬送装置３の各部を制御するようになっている。具体的には、指示入力部３５から従動指示が入力されている場合には、副制御部３１は、主制御部２１からの制御信号に基づく制御プログラムをＲＯＭ３４から選択し、その制御プログラムをＲＡＭ３３に展開し実行するようになっている。一方、指示入力部３５から独立指示が入力されている場合には、副制御部３１は、独立指示用の制御プログラムをＲＯＭ３４から選択し、その制御プログラムをＲＡＭ３３に展開し実行するようになっている。 Further, the substrate transfer device 3 includes a sub-control unit 31 that controls each unit of the substrate transfer device 3 based on a control signal received by communication from the main control unit 21, and a control signal received from the main control unit 21. An instruction input unit 35 for inputting, to the sub-control unit 31, either a follow instruction for controlling each part of the substrate transfer apparatus 3 based on the above or an independent instruction for independently controlling each part of the substrate transfer apparatus 3; The first SMEMA interface 7 to which an external device (not shown) on the left side of the substrate work system 1 is electrically connected and an external device (not shown) on the right side of the substrate work system 1 are electrically connected. A second SMEMA interface 8 is provided. As shown in FIG. 2, the sub control unit 31 is mounted on the substrate transfer device 3.
The sub-control unit 31 includes a drive motor 42 of the central transfer unit 4, a substrate position sensor 43 and an encoder 44, a drive motor 52 and a substrate position sensor 53 of the first transfer unit 5, and a drive motor 62 of the second transfer unit 6. And the substrate position sensor 63 are electrically connected. Further, the sub control unit 31 is connected to external devices arranged on the right side and the left side of the substrate work system 1 via the electronic circuit 9 via the SMEMA interfaces 7 and 8. Further, the sub-control unit 31 includes a CPU 32, a RAM 33, and a ROM 34, and the CPU 32 develops and executes the control program in the ROM 34 on the RAM 33, thereby controlling each unit of the substrate transport apparatus 3. ing. Specifically, when a follow instruction is input from the instruction input unit 35, the sub control unit 31 selects a control program based on the control signal from the main control unit 21 from the ROM 34, and the control program is stored in the RAM 33. To expand and run. On the other hand, when an independent instruction is input from the instruction input unit 35, the sub-control unit 31 selects a control program for independent instruction from the ROM 34, and develops and executes the control program in the RAM 33. Yes.

指示入力部３５は、ユーザーからの操作に基づく指示を副制御部３１に出力するものならばいかなるものでもよく、例えばスイッチ、ジャンパコネクタ、ショートコネクタ等が挙げられる。本実施形態では、指示入力部３５としてショートコネクタを用いた場合を例示して説明する。図３は、ショートコネクタからなる指示入力部３５の一例を示す説明図である。 The instruction input unit 35 may be any unit as long as it outputs an instruction based on an operation from the user to the sub-control unit 31, and examples thereof include a switch, a jumper connector, and a short connector. In the present embodiment, a case where a short connector is used as the instruction input unit 35 will be described as an example. FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating an example of the instruction input unit 35 including a short connector.

この指示入力部３５は、３つのショートコネクタ３５１ａ，３５２ａ，３５３ａを備えている。ショートコネクタ３５１ａ，３５２ａ，３５３ａは、それぞれ独立して副制御部３１に接続された第一コネクタ３５１ｂ、第二コネクタ３５２ｂ、第三コネクタ３５３ｂに接続されている。なお、図中の番号はピンアサインの一例を示している。第一コネクタ３５１ｂ、第二コネクタ３５２ｂ、第三コネクタ３５３ｂからショートコネクタ３５１ａ，３５２ａ，３５３ａを着脱することで、副制御部３１に異なる指示が入力されるようになっている。 The instruction input unit 35 includes three short connectors 351a, 352a, 353a. The short connectors 351a, 352a, 353a are connected to the first connector 351b, the second connector 352b, and the third connector 353b that are independently connected to the sub-control unit 31, respectively. The numbers in the figure show an example of pin assignment. By attaching / detaching the short connectors 351a, 352a, 353a from the first connector 351b, the second connector 352b, and the third connector 353b, different instructions are input to the sub-control unit 31.

例えば、第一コネクタ３５１ｂでは、ショートコネクタ３５１ａの装着時であると従属指示が副制御部３１に入力され、ショートコネクタ３５１ａの取り外し時であると独立指示が副制御部３１に入力される。
また、第二コネクタ３５２ｂでは、ショートコネクタ３５２ａの装着時であると、基板搬送装置３の搬送方向を第一搬送ユニット５から第二搬送ユニット６に向けた第一方向とする第一方向指示が副制御部３１に入力され、ショートコネクタ３５２の取り外し時であると、基板搬送装置３の搬送方向を第二搬送ユニット６から第一搬送ユニット５に向けた第二方向とする第二方向指示が副制御部３１に入力される。
そして、第三コネクタ３５３ｂでは、ショートコネクタ３５３ａの装着時であると、ＳＭＥＭＡ（Surface Mount Equipment Manufacturers Association）を適用するＳＭＥＭＡ適用指示が副制御部３１に入力され、ショートコネクタ３５３ａの取り外し時であると、ＳＭＥＭＡを適用しないＳＭＥＭＡ不使用指示が副制御部３１に入力される。ここで、ＳＭＥＭＡとは、表面実装基板の製造で使用される設備のインターフェースを容易にするために開発された規格であり、このＳＭＥＭＡを適用することで、対基板作業システム１の上流側或いは／及び下流側の外部装置（例えば製造装置等）との連携をスムーズに行うことができるようになっている。つまり、ＳＭＥＭＡを適用する場合には、副制御部３１自体が上流側或いは／及び下流側の外部装置と通信可能とする必要がある。 For example, in the first connector 351b, a subordinate instruction is input to the sub-control unit 31 when the short connector 351a is attached, and an independent instruction is input to the sub-control unit 31 when the short connector 351a is detached.
Further, in the second connector 352b, when the short connector 352a is attached, a first direction instruction for setting the transport direction of the substrate transport device 3 as the first direction from the first transport unit 5 toward the second transport unit 6 is given. When the short connector 352 is removed when being input to the sub-control unit 31, a second direction instruction for setting the transport direction of the substrate transport device 3 as the second direction from the second transport unit 6 toward the first transport unit 5 is issued. Input to the sub-control unit 31.
Then, in the third connector 353b, when the short connector 353a is attached, a SMEMA application instruction to apply SMEMA (Surface Mount Equipment Manufacturers Association) is input to the sub-control unit 31 and the short connector 353a is removed. , SMEMA non-use instruction that does not apply SMEMA is input to the sub-control unit 31. Here, SMEMA is a standard developed for facilitating the interface of equipment used in the manufacture of surface mount substrates. By applying this SMEMA, the upstream side of the substrate working system 1 or / In addition, it is possible to smoothly perform cooperation with an external device (for example, a manufacturing device) on the downstream side. That is, when applying SMEMA, it is necessary for the sub-control unit 31 itself to be able to communicate with an upstream or / and downstream external device.

図４は、電子回路９の回路構成を示す回路図である。図４に示すように、対基板作業システム１の左側に配列された外部装置及び右側に配列された外部装置のそれぞれのコネクタ１０，１１は、ＳＭＥＭＡ規格に対応している。具体的には、コネクタ１０，１１の１４極の端子のうち４つの端子が対基板作業システム１に対する入出力用端子である。第一ＳＭＥＭＡインターフェース７の４端子のうち、第一端子７１、第二端子７２が左側の外部装置におけるコネクタ１０の第一端子１０１、第二端子１０２に接続されている。第一ＳＭＥＭＡインターフェース７の４端子のうち、第三端子７３、第四端子７４が左側の外部装置におけるコネクタ１０の第三端子１０３、第四端子１０４に接続されている。
一方、第二ＳＭＥＭＡインターフェース８の４端子のうち、第一端子８１、第二端子８２が左側の外部装置におけるコネクタ１１の第一端子１１１、第二端子１１２に接続されている。第二ＳＭＥＭＡインターフェース８の４端子のうち、第三端子８３、第四端子８４が左側の外部装置におけるコネクタ１０の第三端子１１３、第四端子１１４に接続されている。 FIG. 4 is a circuit diagram showing a circuit configuration of the electronic circuit 9. As shown in FIG. 4, the connectors 10 and 11 of the external device arranged on the left side and the external device arranged on the right side of the substrate-to-board working system 1 correspond to the SMEMA standard. Specifically, four of the 14-pole terminals of the connectors 10 and 11 are input / output terminals for the on-board work system 1. Of the four terminals of the first SMEMA interface 7, the first terminal 71 and the second terminal 72 are connected to the first terminal 101 and the second terminal 102 of the connector 10 in the left external device. Of the four terminals of the first SMEMA interface 7, the third terminal 73 and the fourth terminal 74 are connected to the third terminal 103 and the fourth terminal 104 of the connector 10 in the left external device.
On the other hand, among the four terminals of the second SMEMA interface 8, the first terminal 81 and the second terminal 82 are connected to the first terminal 111 and the second terminal 112 of the connector 11 in the left external device. Of the four terminals of the second SMEMA interface 8, the third terminal 83 and the fourth terminal 84 are connected to the third terminal 113 and the fourth terminal 114 of the connector 10 in the left external device.

電子回路９には、左側の外部装置用の第一回路部９１と、右側の外部装置用の第二回路部９２とが設けられている。なお、第一回路部９１及び第二回路部９２は同じ構成となっているので、以下の説明においては第一回路部９１について詳述し、第二回路部９２の同一部分には同じ符号を付してその説明を省略する。 The electronic circuit 9 is provided with a first circuit portion 91 for the left external device and a second circuit portion 92 for the right external device. In addition, since the 1st circuit part 91 and the 2nd circuit part 92 are the same structures, in the following description, the 1st circuit part 91 is explained in full detail, and the same code | symbol is attached to the same part of the 2nd circuit part 92. A description thereof will be omitted.

第一回路部９１は、第一ＳＭＥＭＡインターフェース７の各端子７１，７２，７３，７４に接続された複数のリレー９３からなる切替回路９４を備えている。なお、第二回路部９２の複数のリレー９３は、第二ＳＭＥＭＡインターフェース８の各端子８１，８２，８３，８４に接続されている。
また、第一回路部９１は、副制御部３１の出力回路が接続された第一フォトカプラ９５と、副制御部３１の入力回路が接続された第二フォトカプラ９６とを備えている。第一フォトカプラ９５及び第二フォトカプラ９６のそれぞれの受光素子側には、保護回路としての発光ダイオード９７が接続されている。 The first circuit unit 91 includes a switching circuit 94 including a plurality of relays 93 connected to the terminals 71, 72, 73 and 74 of the first SMEMA interface 7. The plurality of relays 93 of the second circuit unit 92 are connected to the respective terminals 81, 82, 83, 84 of the second SMEMA interface 8.
The first circuit unit 91 includes a first photocoupler 95 to which the output circuit of the sub control unit 31 is connected, and a second photocoupler 96 to which the input circuit of the sub control unit 31 is connected. A light emitting diode 97 serving as a protection circuit is connected to the light receiving element side of each of the first photocoupler 95 and the second photocoupler 96.

ＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第一端子７１，８１に接続された第一リレー９３１のａ接点９３１ａ及びＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第三端子７３，８３に接続された第三リレー９３３のａ接点９３３ａは、第一フォトカプラ９５の受光側の陽極に接続されている。また、ＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第一端子７１，８１に接続された第一リレー９３１のｂ接点９３１ｂ及びＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第三端子７３に接続された第三リレー９３３のｂ接点９３３ｂは、第二フォトカプラ９６の発光側の陽極に接続されている。ＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第二端子７２，８２に接続された第二リレー９３２のａ接点９３２ａ及びＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第四端子７４に接続された第四リレー９３４のａ接点９３４ａは、第一フォトカプラ９５の受光側の陰極に接続されている。また、ＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第二端子７２に接続された第二リレー９３２のｂ接点９３２ｂ及びＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第四端子７４に接続された第四リレー９３４のｂ接点９３４ｂは、第二フォトカプラ９６の発光側の陰極に接続されている。 The a contact 931a of the first relay 931 connected to the first terminals 71 and 81 of the SMEMA interfaces 7 and 8 and the a contact 933a of the third relay 933 connected to the third terminals 73 and 83 of the SMEMA interfaces 7 and 8 are The first photocoupler 95 is connected to the light receiving side anode. The b contact 931b of the first relay 931 connected to the first terminals 71 and 81 of the SMEMA interfaces 7 and 8 and the b contact 933b of the third relay 933 connected to the third terminal 73 of the SMEMA interfaces 7 and 8 are The second photocoupler 96 is connected to the light emitting side anode. The a contact 932a of the second relay 932 connected to the second terminals 72 and 82 of the SMEMA interfaces 7 and 8 and the a contact 934a of the fourth relay 934 connected to the fourth terminal 74 of the SMEMA interfaces 7 and 8 are The photocoupler 95 is connected to the light receiving side cathode. The b contact 932b of the second relay 932 connected to the second terminal 72 of the SMEMA interfaces 7 and 8 and the b contact 934b of the fourth relay 934 connected to the fourth terminal 74 of the SMEMA interfaces 7 and 8 are The two photocouplers 96 are connected to the light emitting side cathode.

切替回路９４の各リレー９３１，９３２，９３３，９３４は、図示しないコイルによって接触する接点が切り替わるようになっている。コイルに対しては、主制御部２１から副制御部３１に入力された搬送方向決定指示に基づいて電流が印加されるようになっている。なお、コイルに対する電流の印加は上述した指示入力部３５のようにスイッチ、ジャンパコネクタ、ショートコネクタ等で切り替えてもよい。
ここで、ＳＭＥＭＡ規格であると、対基板作業システム１に対して上流側の外部装置に接続されたＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第一端子７１，８１及び第二端子７２，８２からなる第一端子部が出力端子となり、第三端子７３，８３及び第四端子７４，８４からなる第二端子部が入力端子となる。他方、対基板作業システム１に対して下流側の外部装置に接続されたＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第一端子部が入力端子となり、第二端子部が出力端子となる。
このため、外部装置が対基板作業システム１の上流側にあるか下流側になるかで、第一端子部に接続される副制御部の入出力回路を切り替えなければならない。この切替を切替回路９４が実行している。 The relays 931, 932, 933, and 934 of the switching circuit 94 are configured to switch contacts that are contacted by coils (not shown). A current is applied to the coil based on a conveyance direction determination instruction input from the main control unit 21 to the sub-control unit 31. The application of current to the coil may be switched by a switch, a jumper connector, a short connector or the like as in the instruction input unit 35 described above.
Here, in the case of the SMEMA standard, the first terminal including the first terminals 71 and 81 and the second terminals 72 and 82 of the SMEMA interfaces 7 and 8 connected to the external device on the upstream side with respect to the substrate working system 1. The portion serves as an output terminal, and the second terminal portion including the third terminals 73 and 83 and the fourth terminals 74 and 84 serves as an input terminal. On the other hand, the first terminal portion of the SMEMA interfaces 7 and 8 connected to the external device downstream of the substrate work system 1 is an input terminal, and the second terminal portion is an output terminal.
For this reason, the input / output circuit of the sub-control unit connected to the first terminal unit must be switched depending on whether the external device is on the upstream side or the downstream side of the substrate work system 1. This switching is performed by the switching circuit 94.

図５は、対基板作業システム１の上流側に外部装置がある場合のリレーの接点を示す回路図である。この図５に示すように、第一リレー９３１はａ接点９３１ａに接続され、第二リレー９３２はａ接点９３２ａに接続され、第三リレー９３３はｂ接点９３３ｂに接続され、第四リレー９３４はｂ接点９３４ｂに接続されている。これにより、副制御部３１の出力回路は、ＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第一端子部（第一端子７１，８１及び第二端子７２，８２）に通信可能な状態となる（図５中、一点鎖線参照）。他方、副制御部３１の入力回路は、ＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第二端子部（第三端子７３，８３及び第四端子７４，８４）に通信可能な状態となる（図５中、二点鎖線参照）。 FIG. 5 is a circuit diagram showing the contact of the relay when there is an external device on the upstream side of the substrate working system 1. As shown in FIG. 5, the first relay 931 is connected to the a contact 931a, the second relay 932 is connected to the a contact 932a, the third relay 933 is connected to the b contact 933b, and the fourth relay 934 is connected to the b contact 933a. It is connected to the contact 934b. As a result, the output circuit of the sub-control unit 31 can communicate with the first terminal portions (first terminals 71 and 81 and second terminals 72 and 82) of the SMEMA interfaces 7 and 8 (one point in FIG. 5). (See chain line). On the other hand, the input circuit of the sub-control unit 31 becomes communicable with the second terminal portions (third terminals 73 and 83 and fourth terminals 74 and 84) of the SMEMA interfaces 7 and 8 (two points in FIG. 5). (See chain line).

図６は、対基板作業システム１の下流側に外部装置がある場合のリレーの接点を示す回路図である。この図６に示すように、第一リレー９３１はｂ接点９３１ｂに接続され、第二リレー９３２はｂ接点９３２ｂに接続され、第三リレー９３３はａ接点９３３ａに接続され、第四リレー９３４はａ接点９３４ａに接続されている。これにより、副制御部３１の出力回路は、ＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第二端子部（第三端子７３，８３及び第四端子７４，８４）に通信可能な状態となる（図６中、二点鎖線参照）。他方、副制御部３１の入力回路は、ＳＭＥＭＡインターフェース７，８の第一端子部（第一端子７１，８１及び第二端子７２，８２）に通信可能な状態となる（図６中、二点鎖線参照）。 FIG. 6 is a circuit diagram showing the contact points of the relay when there is an external device on the downstream side of the substrate working system 1. As shown in FIG. 6, the first relay 931 is connected to the b contact 931b, the second relay 932 is connected to the b contact 932b, the third relay 933 is connected to the a contact 933a, and the fourth relay 934 is connected to the a It is connected to the contact 934a. As a result, the output circuit of the sub-control unit 31 can communicate with the second terminal portions (third terminals 73 and 83 and fourth terminals 74 and 84) of the SMEMA interfaces 7 and 8 (in FIG. (See dotted line). On the other hand, the input circuit of the sub-control unit 31 becomes communicable with the first terminal portions (first terminals 71 and 81 and second terminals 72 and 82) of the SMEMA interfaces 7 and 8 (two points in FIG. 6). (See chain line).

このため、図５の場合では、対基板作業システム１に対して左側の外部装置が上流側であり、右側の外部装置が下流側となっている場合が例示されている。 For this reason, in the case of FIG. 5, the case where the left external device is on the upstream side and the right external device is on the downstream side with respect to the substrate work system 1 is illustrated.

次に、本実施形態の作用について図７〜図１０に示すフローチャートに基づき説明する。なお、以下の説明においては、副制御部３１を主体にして説明する。
搬送処理が開始されると、図７に示すように、副制御部３１は、第一コネクタ３５１ｂからの指示が従属指示であるか独立指示であるかを判断し、従属指示である場合にはステップＳ２に移行し、独立指示である場合にはステップＳ３に移行する。 Next, the effect | action of this embodiment is demonstrated based on the flowchart shown in FIGS. In the following description, the sub-control unit 31 will be mainly described.
When the conveyance process is started, as shown in FIG. 7, the sub-control unit 31 determines whether the instruction from the first connector 351b is a subordinate instruction or an independent instruction. The process proceeds to step S2, and if an independent instruction is given, the process proceeds to step S3.

副制御部３１は、ステップＳ２に移行すると図８に示す従動モードを実行する。従動モードの実行時は、主制御部２１と副制御部３１間に通信異常が発生していない場合であり、この場合、主制御部２１からの指示に基づいて基本的な制御が行われるため、第二コネクタ３５２ｂや第三コネクタ３５３ｂからの入力指示は考慮しないようになっている。したがって、基板搬送装置３の搬送方向は事前に決まっている。以下の説明においては、上流側を第一搬送ユニット５とし、下流側を第二搬送ユニット６とした場合を例示して説明するが、搬送方向が反転する場合ももちろんある。 When the sub control unit 31 proceeds to step S2, the sub control unit 31 executes a driven mode shown in FIG. When the driven mode is executed, there is no communication abnormality between the main control unit 21 and the sub control unit 31, and in this case, basic control is performed based on an instruction from the main control unit 21. Input instructions from the second connector 352b and the third connector 353b are not taken into consideration. Accordingly, the transport direction of the substrate transport device 3 is determined in advance. In the following description, the case where the upstream side is the first transport unit 5 and the downstream side is the second transport unit 6 will be described as an example. However, the transport direction may of course be reversed.

ステップＳ２１では、副制御部３１は、上流側である第一搬送ユニット５の基板位置センサ５３がＯＮであるか否かを判断し、ＯＮでない場合にはその状態を維持し、ＯＮである場合にはステップＳ２２に移行する。 In step S21, the sub-control unit 31 determines whether or not the substrate position sensor 53 of the first transport unit 5 on the upstream side is ON. If not, the sub-control unit 31 maintains that state and is ON. Then, the process proceeds to step S22.

ステップＳ２２では、基板が第一搬送ユニット５に搬入可能な状態となっているので、副制御部３１は、上流側である第一搬送ユニット５の駆動モータ５２と、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２とをＯＮとして、基板を第一搬送ユニット５から中央搬送ユニット４まで搬送する。 In step S 22, since the substrate can be carried into the first transport unit 5, the sub-control unit 31 controls the drive motor 52 of the first transport unit 5 on the upstream side and the drive motor of the central transport unit 4. 42 is turned on, and the substrate is transported from the first transport unit 5 to the central transport unit 4.

ステップＳ２３では、副制御部３１は、中央搬送ユニット４の基板位置センサ４３がＯＮであるか否かを判断し、ＯＮでない場合にはそのまま基板の搬送を継続し、ＯＮである場合にはステップＳ２４に移行する。 In step S23, the sub-control unit 31 determines whether or not the substrate position sensor 43 of the central transport unit 4 is ON. If not, the sub-control unit 31 continues to transport the substrate. The process proceeds to S24.

ステップＳ２４では、基板が中央搬送ユニット４内に搬入されているが作業領域内の正確な位置までは位置調整がされていないので、副制御部３１は、エンコーダ４４からの検出結果に基づいて中央搬送ユニット４の駆動モータ４２を制御する。具体的には、副制御部３１は、エンコーダ４４の検出結果が所定値未満、つまり正確な位置まで基板が達していない場合は駆動モータ４２の駆動を継続し、前記検出結果が所定値に達した場合、つまり正確な位置まで基板が到着した場合にはステップＳ２５に移行する。 In step S24, the substrate is carried into the central transport unit 4, but the position is not adjusted to the exact position in the work area. Therefore, the sub-control unit 31 determines the center based on the detection result from the encoder 44. The drive motor 42 of the transport unit 4 is controlled. Specifically, the sub-control unit 31 continues to drive the drive motor 42 when the detection result of the encoder 44 is less than a predetermined value, that is, when the substrate has not reached the correct position, and the detection result reaches the predetermined value. If this is the case, that is, if the substrate has reached the correct position, the process proceeds to step S25.

ステップＳ２５では、副制御部３１は、上流側である第一搬送ユニット５の駆動モータ４２と、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２とをＯＦＦとして、基板の搬送を停止する。その後、副制御部３１は、図示しないロック機構を駆動して基板をロックし、主制御部２１に対して作業要求信号を出力する。これにより主制御部２１は、対基板作業装置２の各部を制御することで基板に対する作業を実施する。 In step S25, the sub-control unit 31 turns off the drive motor 42 of the first transport unit 5 and the drive motor 42 of the central transport unit 4 on the upstream side, and stops the substrate transport. Thereafter, the sub control unit 31 drives a lock mechanism (not shown) to lock the substrate, and outputs a work request signal to the main control unit 21. Thus, the main control unit 21 performs operations on the substrate by controlling each unit of the substrate work apparatus 2.

ステップＳ２６では、主制御部２１から作業完了指示が入力されると、副制御部３１は、ロック機構による基板のロックを解除してから、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２と、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２とをＯＮとして、基板を中央搬送ユニット４から第二搬送ユニット６まで搬送する。 In step S 26, when an operation completion instruction is input from the main control unit 21, the sub-control unit 31 releases the lock of the substrate by the lock mechanism, and then the drive motor 42 of the central transport unit 4 and the downstream side. The drive motor 62 of the second transport unit 6 is turned on to transport the substrate from the central transport unit 4 to the second transport unit 6.

ステップＳ２７では、副制御部３１は、下流側である第二搬送ユニット６の基板位置センサ６３がＯＮであるか否かを判断し、ＯＮでない場合にはその状態を維持し、ＯＮである場合にはステップＳ２７に移行する。 In step S27, the sub-control unit 31 determines whether or not the substrate position sensor 63 of the second transport unit 6 on the downstream side is ON. If not, the sub-control unit 31 maintains that state. Then, the process proceeds to step S27.

ステップＳ２８では、基板が第二搬送ユニット６から搬出可能な状態となっているので、副制御部３１は、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２と、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２とをＯＦＦとし、従動モードを終了する。
従動モードの終了後には、主制御部２１が下流側の外部装置に基板搬出許可指示を出力する。 In step S28, since the substrate can be unloaded from the second transport unit 6, the sub-control unit 31 controls the drive motor 42 of the central transport unit 4 and the drive motor of the second transport unit 6 on the downstream side. 62 is turned OFF and the driven mode is terminated.
After completion of the driven mode, the main control unit 21 outputs a substrate carry-out permission instruction to the external device on the downstream side.

そして、図７に示すステップＳ３に移行すると、副制御部３１は第三コネクタ３５３ｂからの指示がＳＭＥＭＡ不使用指示であるかＳＭＥＭＡ適用指示であるかを判断し、ＳＭＥＭＡ不使用指示である場合にはステップＳ４に移行し、ＳＭＥＭＡ適用指示である場合にはステップＳ５に移行する。 Then, when the process proceeds to step S3 shown in FIG. 7, the sub control unit 31 determines whether the instruction from the third connector 353b is a SMEMA non-use instruction or a SMEMA application instruction. Shifts to step S4, and if it is a SMEMA application instruction, shifts to step S5.

副制御部３１は、ステップＳ４に移行すると図９に示すＳＭＥＭＡ不使用モードを実行する。ＳＭＥＭＡ不使用モードの実行時は、主制御部２１と副制御部３１間に通信異常が発生している場合であり、第二コネクタ３５２ｂからの指示に基づいて基板搬送装置３の搬送方向を決定する。 When the sub control unit 31 proceeds to step S4, it executes the SMEMA non-use mode shown in FIG. When the SMEMA non-use mode is executed, a communication abnormality has occurred between the main control unit 21 and the sub control unit 31, and the transport direction of the substrate transport device 3 is determined based on an instruction from the second connector 352b. To do.

ステップＳ４１では、副制御部３１は、第二コネクタ３５２ｂからの指示に基づいて搬送方向を決定する。具体的には、第二コネクタ３５２ｂから第一方向指示が入力されている場合に搬送方向を第一方向とし、第二方向指示が入力されている場合に第二方向とする。以下の説明においては、第一方向指示が入力された場合を挙げ、上流側を第一搬送ユニット５とし、下流側を第二搬送ユニット６として説明する。 In step S41, the sub control unit 31 determines the transport direction based on an instruction from the second connector 352b. Specifically, the transport direction is the first direction when the first direction instruction is input from the second connector 352b, and the second direction is when the second direction instruction is input. In the following description, a case where the first direction instruction is input will be described, and the upstream side will be described as the first transport unit 5 and the downstream side will be described as the second transport unit 6.

ステップＳ４２では、副制御部３１は、上流側である第一搬送ユニット５の基板位置センサ５３がＯＮであるか否かを判断し、ＯＮでない場合にはその状態を維持し、ＯＮである場合にはステップＳ４３に移行する。 In step S42, the sub-control unit 31 determines whether or not the substrate position sensor 53 of the first transport unit 5 on the upstream side is ON. If the substrate position sensor 53 is not ON, the sub-control unit 31 maintains that state. Then, the process proceeds to step S43.

ステップＳ４３では、基板が第一搬送ユニット５に搬入可能な状態となっているので、副制御部３１は、上流側である第一搬送ユニット５の駆動モータ５２と、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２と、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２とをＯＮとして、基板を第一搬送ユニット５から中央搬送ユニット４を介して第二搬送ユニット６まで搬送する。 In step S43, since the substrate is ready to be loaded into the first transport unit 5, the sub-control unit 31 controls the drive motor 52 of the first transport unit 5 on the upstream side and the drive motor of the central transport unit 4. 42 and the drive motor 62 of the second transport unit 6 on the downstream side are turned on to transport the substrate from the first transport unit 5 to the second transport unit 6 via the central transport unit 4.

ステップＳ４４では、下流側である第二搬送ユニット６の基板位置センサ６３まで基板が達すると、当該基板位置センサ６３がＯＮとなる。
ステップＳ４５では、副制御部３１は、下流側である第二搬送ユニット６の基板位置センサがＯＦＦになったか否かを判断し、ＯＦＦでない場合にはそのまま基板の搬送を継続し、ＯＦＦである場合にはステップＳ４６に移行する。 In step S44, when the substrate reaches the substrate position sensor 63 of the second transport unit 6 on the downstream side, the substrate position sensor 63 is turned on.
In step S45, the sub-control unit 31 determines whether or not the substrate position sensor of the second transport unit 6 on the downstream side has been turned off. If not, the sub-control unit 31 continues to transport the substrate and is turned off. In this case, the process proceeds to step S46.

ステップＳ４６では、下流側である第二搬送ユニット６から基板が搬出されたとみなし、副制御部３１は、上流側である第一搬送ユニット５の駆動モータ５２と、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２と、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２とをＯＦＦとして、ＳＭＥＭＡ不使用モードを終了する。 In step S46, it is considered that the substrate has been carried out from the second transport unit 6 on the downstream side, and the sub-control unit 31 drives the drive motor 52 of the first transport unit 5 on the upstream side and the drive motor 42 of the central transport unit 4. And the drive motor 62 of the 2nd conveyance unit 6 which is a downstream is turned off, and SMEMA non-use mode is complete | finished.

また、図７に示すステップＳ５に移行すると、副制御部３１は図１０に示すＳＭＥＭＡ適用モードを実行する。ＳＭＥＭＡ適用モードの実行時は、主制御部２１と副制御部３１間に通信異常が発生している場合であり、第二コネクタ３５２ｂからの指示に基づいて基板搬送装置３の搬送方向を決定する。 When the process proceeds to step S5 shown in FIG. 7, the sub-control unit 31 executes the SMEMA application mode shown in FIG. When the SMEMA application mode is executed, a communication abnormality has occurred between the main control unit 21 and the sub-control unit 31, and the transport direction of the substrate transport device 3 is determined based on an instruction from the second connector 352b. .

ステップＳ５１では、副制御部３１は、第二コネクタ３５２ｂからの指示に基づいて搬送方向を決定する。以下の説明においては、第一方向指示が入力された場合を挙げ、上流側を第一搬送ユニット５とし、下流側を第二搬送ユニット６として説明する。また、以降のステップＳ５２〜ステップＳ５７までの工程と、ステップＳ５８〜ステップＳ６３までの工程は、ステップＳ５１から並列に実行される。 In step S51, the sub control unit 31 determines the transport direction based on an instruction from the second connector 352b. In the following description, a case where the first direction instruction is input will be described, and the upstream side will be described as the first transport unit 5 and the downstream side will be described as the second transport unit 6. The subsequent steps S52 to S57 and steps S58 to S63 are executed in parallel from step S51.

ステップＳ５２では、副制御部３１は、中央搬送ユニット４の基板位置センサ４３がＯＮであるか否かを判断し、ＯＮである場合にはそのままの状態を維持し、ＯＮでない場合にはステップＳ５３に移行する。 In step S52, the sub-control unit 31 determines whether or not the substrate position sensor 43 of the central transport unit 4 is ON. If the substrate position sensor 43 is ON, the sub-control unit 31 maintains the state as it is. If not, step S53 is performed. Migrate to

ステップＳ５３では、副制御部３１は、基板の搬出を要求する基板搬出要求信号を、上流側の外部装置に対して出力する。
ステップＳ５４では、副制御部３１は、上流側の外部装置から搬出許可信号が入力されたか否かを判断し、入力されていない場合にはそのままの状態を維持し、入力された場合にはステップＳ５５に移行する。
ステップＳ５５では、上流側の外部装置から基板が搬出されてくるので、副制御部３１は、上流側である第一搬送ユニット５の駆動モータ５２と、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２とをＯＮにして、上流側の外部装置からの基板を搬入し、中央搬送ユニット４まで搬送する。 In step S 53, the sub control unit 31 outputs a substrate carry-out request signal for requesting the carry-out of the substrate to the upstream external device.
In step S54, the sub-control unit 31 determines whether or not a carry-out permission signal has been input from the upstream side external device. If not, the sub-control unit 31 maintains the same state. The process proceeds to S55.
In step S55, since the substrate is unloaded from the upstream external device, the sub-control unit 31 turns on the drive motor 52 of the first transport unit 5 and the drive motor 42 of the central transport unit 4 on the upstream side. Then, the substrate from the upstream external device is carried in and conveyed to the central conveyance unit 4.

ステップＳ５６では、副制御部３１は、中央搬送ユニット４の基板位置センサ４３がＯＮとなったか否かを判断し、ＯＮでない場合にはその状態を維持し、ＯＮになった場合にはステップＳ５７に移行する。
ステップＳ５７では、副制御部３１は、上流側である第一搬送ユニット５の駆動モータ５２と、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２とをＯＦＦにするとともに、上流側の外部装置に対する搬出要求信号もＯＦＦとし、その後ステップＳ６４に移行する。 In step S56, the sub-control unit 31 determines whether or not the substrate position sensor 43 of the central transport unit 4 is turned on. If not, the sub-control unit 31 maintains that state. If it is turned on, step S57 is performed. Migrate to
In step S57, the sub control unit 31 turns off the drive motor 52 of the first transport unit 5 on the upstream side and the drive motor 42 of the central transport unit 4, and also outputs a carry-out request signal to the external device on the upstream side. Then, the process proceeds to step S64.

ステップＳ５８では、副制御部３１は、下流側である第二搬送ユニット６の基板位置センサ６３がＯＮとなったか否かを判断し、ＯＮでない場合にはその状態を維持し、ＯＮとなった場合にはステップＳ５９に移行する。
ステップＳ５９では、副制御部３１は、下流側の外部装置に対して搬出の準備が完了したとして搬出許可信号を出力する。 In step S58, the sub-control unit 31 determines whether or not the substrate position sensor 63 of the second transport unit 6 on the downstream side is turned on. If not, the sub-control unit 31 maintains that state and turns on. In this case, the process proceeds to step S59.
In step S59, the sub control unit 31 outputs a carry-out permission signal to the downstream side external device as preparation for carrying out is completed.

ステップＳ６０では、副制御部３１は、下流側の外部装置から搬出要求信号が入力されたか否かを判断し、入力されていない場合はそのままの状態を維持し、入力された場合にはステップＳ６１に移行する。
ステップＳ６１では、副制御部３１は、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２をＯＮとし、待機したままであった基板を下流側の外部装置に向けて搬出する。 In step S60, the sub-control unit 31 determines whether or not a carry-out request signal has been input from the downstream side external device. If not, the sub-control unit 31 maintains the state as it is, and if input, step S61. Migrate to
In step S 61, the sub control unit 31 turns on the drive motor 62 of the second transport unit 6 on the downstream side, and carries the substrate that has been on standby toward an external device on the downstream side.

ステップＳ６２では、副制御部３１は、下流側である第二搬送ユニット６の基板位置センサ６３がＯＦＦになったか否かを判断し、ＯＦＦでない場合にはそのままの状態を維持し、ＯＦＦになった場合にはステップＳ６３に移行する。
ステップＳ６３では、副制御部３１は、下流側で待機中であった基板が搬出されたとみなし、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２と、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２とをＯＮとする。これにより、中央搬送ユニット４で待機中であった基板が搬送される。同時に、副制御部３１は、下流側の外部装置に対する搬出許可信号をＯＦＦとする。その後、副制御部３１は、ステップＳ６４に移行する。 In step S62, the sub-control unit 31 determines whether the substrate position sensor 63 of the second transport unit 6 on the downstream side is turned off. If not, the sub-control unit 31 maintains the state as it is and is turned off. If yes, the process proceeds to step S63.
In step S63, the sub-control unit 31 considers that the substrate that has been waiting on the downstream side has been unloaded, and causes the drive motor 42 of the central transport unit 4 and the drive motor 62 of the second transport unit 6 on the downstream side. Set to ON. As a result, the substrate that has been waiting in the central transport unit 4 is transported. At the same time, the sub-control unit 31 turns off the carry-out permission signal for the external device on the downstream side. Thereafter, the sub control unit 31 proceeds to step S64.

ステップＳ６４では、副制御部３１は、中央搬送ユニット４の基板位置センサ４３がＯＮとなったか否かを判断し、ＯＮでない場合にはその状態を維持し、ＯＮになった場合にはステップＳ６５に移行する。
ステップＳ６５では、副制御部３１は、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２と、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ５２とをＯＮとする。 In step S64, the sub-control unit 31 determines whether or not the substrate position sensor 43 of the central transport unit 4 is turned on. If not, the sub-control unit 31 maintains that state. If it is turned on, step S65 is performed. Migrate to
In step S65, the sub-control unit 31 turns on the drive motor 42 of the central transport unit 4 and the drive motor 52 of the second transport unit 6 on the downstream side.

ステップＳ６６では、副制御部３１は、下流側である第二搬送ユニット６の基板位置センサ６３がＯＮとなったか否かを判断し、ＯＮでない場合にはその状態を維持し、ＯＮになった場合にはステップＳ６７に移行する。
ステップＳ６７では、副制御部３１は、中央搬送ユニット４で待機中であった基板が下流側に到着したとみなして、中央搬送ユニット４の駆動モータ４２と、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２とをＯＦＦとし、基板の搬送を停止する。同時に、副制御部３１は、下流側の外部装置に対して搬出許可信号を出力する。 In step S66, the sub-control unit 31 determines whether the substrate position sensor 63 of the second transport unit 6 on the downstream side is turned on. If not, the sub-control unit 31 maintains that state and is turned on. In this case, the process proceeds to step S67.
In step S67, the sub-control unit 31 considers that the substrate that has been waiting in the central transport unit 4 has arrived downstream, and drives the drive motor 42 of the central transport unit 4 and the second transport unit 6 on the downstream side. The drive motor 62 is turned off, and the substrate transport is stopped. At the same time, the sub-control unit 31 outputs a carry-out permission signal to the downstream external device.

ステップＳ６８は、副制御部３１は、下流側の外部装置から搬出要求信号が入力されたか否かを判断し、入力されていない場合はそのままの状態を維持し、入力された場合にはステップＳ６９に移行する。
ステップＳ６９は、副制御部３１は、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２をＯＮとし、第二搬送ユニット６で待機中であった基板を下流側の外部装置に向けて搬出する。 In step S68, the sub-control unit 31 determines whether or not a carry-out request signal has been input from the downstream side external device. If not, the sub-control unit 31 maintains the state as it is, and if input, step S69. Migrate to
In step S 69, the sub control unit 31 turns on the drive motor 62 of the second transport unit 6 on the downstream side, and unloads the substrate waiting in the second transport unit 6 toward the external device on the downstream side. .

ステップＳ７０では、副制御部３１は、下流側である第二搬送ユニット６の基板位置センサ６３がＯＮとなったか否かを判断し、ＯＮでない場合にはその状態を維持し、ＯＮになった場合にはステップＳ７１に移行する。
ステップＳ７１では、副制御部３１は、第二搬送ユニット６で待機中であった基板が搬出されたとみなして、下流側である第二搬送ユニット６の駆動モータ６２をＯＦＦとし、基板の搬送を停止する。同時に、副制御部３１は、下流側の外部装置に対する搬出許可信号をＯＦＦとし、ＳＭＥＭＡ適用モードを終了する。 In step S70, the sub-control unit 31 determines whether or not the substrate position sensor 63 of the second transport unit 6 on the downstream side is turned on. If not, the sub-control unit 31 maintains that state and is turned on. In this case, the process proceeds to step S71.
In step S71, the sub-control unit 31 considers that the substrate that has been waiting in the second transport unit 6 has been unloaded, turns off the drive motor 62 of the second transport unit 6 on the downstream side, and transports the substrate. Stop. At the same time, the sub-control unit 31 turns off the carry-out permission signal for the downstream external device, and ends the SMEMA application mode.

このＳＭＥＭＡ適用モードであれば、下流側の外部装置が搬入困難な場合であっても、搬入許可が出力されるまで、下流側である第二搬送ユニット６や、中央搬送ユニット４で基板を待機させることができる。 In this SMEMA application mode, even if it is difficult to carry in the downstream external apparatus, the second transport unit 6 on the downstream side or the central transport unit 4 waits until the carry-in permission is output. Can be made.

以上のように、本実施形態によれば、指示入力部３５から独立指示が副制御部３１に入力されれば、副制御部３１が独立して基板搬送装置３を制御させることができるので、主制御部２１と基板搬送装置３との間に通信異常が発生したとしても、基板搬送装置３による基板搬送を実行することができ、生産ライン全体の停止を防止することが可能となる。したがって、生産ライン全体の停止を回避することができ、稼働率の低下を抑制することができる。 As described above, according to the present embodiment, if an independent instruction is input from the instruction input unit 35 to the sub-control unit 31, the sub-control unit 31 can control the substrate transfer apparatus 3 independently. Even if a communication abnormality occurs between the main controller 21 and the substrate transfer device 3, the substrate transfer by the substrate transfer device 3 can be executed, and the entire production line can be prevented from being stopped. Therefore, the stop of the whole production line can be avoided, and the fall of an operation rate can be suppressed.

ここで、従来の対基板作業システムにおいては、搬送方向がユーザの要望により異なるために、左から右に向かう搬送方向か、右から左に向かう搬送方向かのいずれかの方向が決定した後に、決定された搬送方向に対応するように各部の構成を調整する必要があった。つまり、対基板作業システムの組み立て中であっても出荷先の搬送方向の仕様が決まっていなければ、中途半端な状態で対基板作業システム１の組み立てを行わなければならない場合がある。
このため、搬送方向が確定していなくても、対基板作業システムの組み立てを完了させたいという要望がある。 Here, in the conventional substrate-to-board work system, since the transport direction varies depending on the user's request, after the direction of either the transport direction from left to right or the transport direction from right to left is determined, It was necessary to adjust the configuration of each part so as to correspond to the determined conveyance direction. In other words, even if the anti-substrate work system is being assembled, the anti-substrate work system 1 may need to be assembled in a halfway state if the specifications of the shipping direction of the shipping destination are not determined.
For this reason, there is a desire to complete the assembly of the substrate work system even if the transport direction is not fixed.

上述した本実施形態の対基板作業システム１であると、外部装置との接続がＳＭＥＭＡインターフェース７，８を介して接続されているので、外部装置との接続の容易化を図ることができる。
なお、ＳＭＥＭＡインターフェース７，８では、外部装置が対基板作業システム１の搬送方向上流側になる場合には、第一端子部（第一端子７１，８１及び第二端子７２，８２）が出力端子、第二端子部（第三端子７３，８３及び第四端子７４，８４）が入力端子となって、外部装置が対基板作業システム１の搬送方向下流側になる場合には、第一端子部が入力端子、第二端子部が出力端子となるという、搬送方向の異なりにより第一端子部と第二端子部の用途が切り替わってしまう。そこで、本実施形態に係る対基板作業システム１では、副制御部３１とＳＭＥＭＡインターフェース７，８との間に介在する電子回路９に切替回路９４を設けている。この切替回路９４は、外部装置が対基板作業システム１に対して搬送方向上流側である場合に、副制御部３１の出力回路を第一端子部に接続し、副制御部３１の入力回路を第二端子部に接続する。他方、切替回路９４は外部装置が対基板作業システム１に対して搬送方向下流側である場合に、副制御部３１の出力回路を第二端子部に接続し、副制御部３１の入力回路を第一端子部に接続する。このような切替回路９４が設けられているために、搬送方向が決まっていなくとも対基板作業システム１の組み立てを完成段階まで進めることができる。そして、完成後であっても搬送方向が確定すれば、切替回路９４を動作させることでＳＭＥＭＡ規格に応じた入出力端子の切替が容易に行うことができる。 In the substrate-to-board working system 1 of the present embodiment described above, since the connection with the external device is connected through the SMEMA interfaces 7 and 8, the connection with the external device can be facilitated.
In addition, in the SMEMA interfaces 7 and 8, when the external device is on the upstream side in the conveyance direction of the substrate work system 1, the first terminal portions (first terminals 71 and 81 and second terminals 72 and 82) are output terminals. When the second terminal portion (third terminals 73 and 83 and fourth terminals 74 and 84) is an input terminal and the external device is downstream in the transport direction of the substrate working system 1, the first terminal portion The use of the first terminal portion and the second terminal portion is switched depending on the difference in the conveying direction, in which the input terminal and the second terminal portion become the output terminal. Therefore, in the substrate work system 1 according to the present embodiment, the switching circuit 94 is provided in the electronic circuit 9 interposed between the sub control unit 31 and the SMEMA interfaces 7 and 8. This switching circuit 94 connects the output circuit of the sub-control unit 31 to the first terminal unit when the external device is on the upstream side in the transport direction with respect to the substrate work system 1, and the input circuit of the sub-control unit 31 Connect to the second terminal. On the other hand, the switching circuit 94 connects the output circuit of the sub-control unit 31 to the second terminal unit when the external device is on the downstream side in the transport direction with respect to the substrate work system 1, and the input circuit of the sub-control unit 31 is connected. Connect to the first terminal. Since such a switching circuit 94 is provided, the assembly of the substrate working system 1 can be advanced to the completion stage even if the conveying direction is not determined. And even if it is after completion, if a conveyance direction is decided, the switching of the input / output terminal according to the SMEMA standard can be easily performed by operating the switching circuit 94.

また、基板位置センサ４３，５３，６３の検出結果に基づいて基板が搬送されているので、各搬送ユニット４，５，６間での基板の受け渡しを確実に行うことができる。 Further, since the substrate is transported based on the detection results of the substrate position sensors 43, 53, and 63, the substrate can be reliably transferred between the transport units 4, 5, and 6.

なお、本発明は上記実施形態に限らず適宜変更可能である。
例えば、上記実施形態では、ユーザーが指示入力部３５を操作することで、従動指示及び独立指示が副制御部３１に入力される場合を例示して説明したが、通信異常を自動で検知する通信センサを設け、この通信センサが検出結果に基づいて従動指示及び独立指示を副制御部３１に入力するようにしてもよい。この構成であれば、通信センサが指示入力部として機能するために、ユーザーの手を煩わさなくとも自動で、通信異常後の基板搬送装置による基板搬送を実行することができる。 Note that the present invention is not limited to the above embodiment, and can be modified as appropriate.
For example, in the above-described embodiment, the case where the driven instruction and the independent instruction are input to the sub control unit 31 by the user operating the instruction input unit 35 has been described as an example. However, the communication that automatically detects the communication abnormality is described. A sensor may be provided, and the communication sensor may input a driven instruction and an independent instruction to the sub-control unit 31 based on the detection result. With this configuration, since the communication sensor functions as an instruction input unit, the substrate transfer by the substrate transfer device after the communication abnormality can be automatically executed without bothering the user.

また、上記実施形態では、上流側の搬送ユニットとして第一搬送ユニット５を、下流側の搬送ユニットとして第二搬送ユニット６を例示して説明したが、上流側の搬送ユニットを第二搬送ユニット６、下流側の搬送ユニットを第一搬送ユニット５とすることも可能である。この場合、上述した各ステップの制御対象が入れ替わることになる。 In the above embodiment, the first transport unit 5 is illustrated as the upstream transport unit and the second transport unit 6 is illustrated as the downstream transport unit. However, the upstream transport unit is illustrated as the second transport unit 6. The downstream transport unit can be the first transport unit 5. In this case, the control target of each step described above is switched.

１対基板作業システム
２対基板作業装置
３基板搬送装置
４中央搬送ユニット
５第一搬送ユニット
６第二搬送ユニット
７第一ＳＭＥＭＡインターフェース
８第二ＳＭＥＭＡインターフェース
９電子回路
２１主制御部
３１副制御部
３５指示入力部
７１，８１第一端子（第一端子部）
７２，８２第二端子（第一端子部）
７３，８３第三端子（第二端子部）
７４，８４第四端子（第二端子部）
９４切替回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate work system 2 Substrate work device 3 Substrate transport device 4 Central transport unit 5 First transport unit 6 Second transport unit 7 First SMEMA interface 8 Second SMEMA interface 9 Electronic circuit 21 Main control unit 31 Sub control unit 35 Instruction input part 71, 81 First terminal (first terminal part)
72,82 Second terminal (first terminal part)
73,83 Third terminal (second terminal part)
74,84 Fourth terminal (second terminal part)
94 switching circuit

Claims

In a substrate working system comprising a substrate working apparatus that performs a predetermined operation on a substrate, and a substrate conveying device that conveys the substrate to the substrate working apparatus,
A main control unit that directly controls the substrate working apparatus and indirectly controls the substrate transfer apparatus by communication;
Based on a control signal received by communication from the main control unit, a sub-control unit that controls the substrate transfer device;
Either a follow instruction for controlling the substrate transfer apparatus based on a control signal received from the main control section or an independent instruction for controlling the substrate transfer apparatus independently is input to the sub-control section. And an instruction input unit for performing the above-described substrate operation system.

The on-board working system according to claim 1,
The sub-control unit is connected to an external device arranged on the upstream side in the transport direction or the downstream side in the transport direction of the substrate work system via an electronic circuit via a SMEMA interface,
The SMEMA interface includes a first terminal portion and a second terminal portion to which the external device is connected. When the external device is on the upstream side in the transport direction of the substrate work system, the first terminal portion is When the output terminal and the second terminal portion are input terminals, and the external device is on the downstream side in the transport direction of the substrate work system, the first terminal portion is the input terminal, and the second terminal portion is the output terminal. Become
The electronic circuit includes
When the external device is on the upstream side in the transfer direction with respect to the substrate working system, the output circuit of the sub-control unit is connected to the first terminal unit, and the input circuit of the sub-control unit is connected to the second terminal And when the external device is downstream in the transport direction with respect to the substrate work system, the output circuit of the sub-control unit is connected to the second terminal unit, and the input of the sub-control unit A board-to-board working system, wherein a switching circuit for connecting a circuit to the first terminal portion is provided.

The on-board working system according to claim 1 or 2,
The substrate control system, wherein the sub-control unit is mounted on the substrate transfer apparatus.

In the board | substrate working system as described in any one of Claims 1-3 ,
A substrate work system comprising a substrate position sensor for detecting the substrate, and transporting the substrate based on a detection result of the substrate position sensor.