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JP6131544B2 - Optical wiring component manufacturing method - Google Patents

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JP6131544B2
JP6131544B2 JP2012170595A JP2012170595A JP6131544B2 JP 6131544 B2 JP6131544 B2 JP 6131544B2 JP 2012170595 A JP2012170595 A JP 2012170595A JP 2012170595 A JP2012170595 A JP 2012170595A JP 6131544 B2 JP6131544 B2 JP 6131544B2
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Description

本発明は、光配線部品の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing an optical wiring component.

光搬送波を使用してデータを移送する光通信技術が開発され、近年、この光搬送波を、一地点から他地点に導くための手段として、光導波路や光ファイバーが普及しつつある。このうち光導波路は、線状のコア部と、その周囲を覆うように設けられたクラッド部とを有している。コア部は、光搬送波の光に対して実質的に透明な材料によって構成され、クラッド部は、コア部より屈折率が低い材料によって構成されている。   An optical communication technique for transferring data using an optical carrier wave has been developed. In recent years, optical waveguides and optical fibers have been widely used as means for guiding the optical carrier wave from one point to another point. Among these, the optical waveguide has a linear core portion and a clad portion provided so as to cover the periphery thereof. The core part is made of a material that is substantially transparent to the light of the optical carrier wave, and the cladding part is made of a material having a refractive index lower than that of the core part.

光導波路は一般に短距離の光通信を担うのに対し、長距離の光通信には光ファイバーが用いられる。したがって、これらを接続することにより、ローカルネットワークと基幹系ネットワークとを接続することが可能になる。   Optical waveguides are generally responsible for short-distance optical communications, whereas optical fibers are used for long-distance optical communications. Therefore, by connecting these, it becomes possible to connect the local network and the backbone network.

光導波路と光ファイバーとの接続には、例えば、光導波路の端面と光ファイバーの端面とを突き合わされた状態で保持する形態がとられる(例えば、特許文献1参照)。特許文献1の場合、この保持には互いに嵌合可能な結合機構が用いられている。具体的には、光導波路の端部を保持する第1フェルールと光ファイバーの端部を保持する第2フェルールとの間が、第2フェルールから突出するアライメントピンと第1フェルールの表面を凹没させた嵌合孔とを嵌合させることにより接続されている。   For the connection between the optical waveguide and the optical fiber, for example, a form in which the end face of the optical waveguide and the end face of the optical fiber are held in contact with each other is used (see, for example, Patent Document 1). In the case of Patent Document 1, a coupling mechanism that can be fitted to each other is used for this holding. Specifically, between the first ferrule that holds the end of the optical waveguide and the second ferrule that holds the end of the optical fiber, the surface of the alignment pin protruding from the second ferrule and the surface of the first ferrule is recessed. It is connected by fitting the fitting hole.

上記形態による接続では、光導波路中のコア部と第1フェルールの嵌合孔との位置関係があらかじめ定められた関係を満たしている必要がある。この「定められた関係」とは、第1フェルールを接続しようとする相手である第2フェルールにおける光ファイバーとアライメントピンとの位置関係である。したがって、上記形態における接続が成立するためには、第1フェルール側におけるコア部と嵌合孔との位置関係と、第2フェルール側における光ファイバーとアライメントピンとの位置関係と、が互いに正確に対応している必要がある。この位置関係のずれは、接続部における光結合効率に直接反映されるため、光通信の品質に大きな影響を及ぼす。   In the connection according to the above embodiment, the positional relationship between the core portion in the optical waveguide and the fitting hole of the first ferrule needs to satisfy a predetermined relationship. This “predetermined relationship” is the positional relationship between the optical fiber and the alignment pin in the second ferrule that is the counterpart to which the first ferrule is to be connected. Therefore, in order to establish the connection in the above embodiment, the positional relationship between the core portion and the fitting hole on the first ferrule side and the positional relationship between the optical fiber and the alignment pin on the second ferrule side accurately correspond to each other. Need to be. Since this positional relationship difference is directly reflected in the optical coupling efficiency at the connection portion, it greatly affects the quality of optical communication.

このような背景から、第1フェルールと光導波路とを固定するときには、第1フェルールに対して光導波路の位置を正確に合わせる必要がある。ところが、従来の方法では、第1フェルールに対して光導波路の位置を正確にかつ効率よく合わせることができなかった。   From such a background, when fixing the first ferrule and the optical waveguide, it is necessary to accurately align the position of the optical waveguide with respect to the first ferrule. However, in the conventional method, the position of the optical waveguide cannot be accurately and efficiently aligned with the first ferrule.

特開2011−75688号公報JP 2011-75688 A

本発明の目的は、光コネクターと光導波路との位置が正確に合っている光配線部品を効率よく製造する方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a method for efficiently producing the optical wiring part article that matches exactly the position of the optical connector and the optical waveguide.

このような目的は、下記(1)〜(10)の本発明により達成される。
(1) 光導波路挿入孔と、前記光導波路挿入孔の内面と前記内面とは反対側の面とにそれぞれ開口し前記光導波路挿入孔と外部とを連通する窓部からなる複数の位置認識マークと、を備える光コネクターと、
前記光導波路挿入孔に一方の端部が挿入されている層状の光導波路と、
前記光コネクターと前記光導波路とを接着する接着剤と、
を有し、
前記光導波路の2つの主面と前記光導波路挿入孔の内面とがそれぞれ摺接しており、
前記光導波路挿入孔は、その幅が前記光導波路の幅よりも大きくなるよう構成されている光配線部品を製造する方法であって、
前記光導波路の長手方向をY方向とし、前記光導波路の厚さ方向をZ方向とし、前記Y方向と前記Z方向とにそれぞれ直交する方向をX方向としたとき、
前記光導波路挿入孔の全部に前記光導波路を挿入していない状態において、前記位置認識マークと前記光導波路との位置関係が所定の関係を満たすよう、前記X方向における前記光導波路の位置を調整する第1の工程と、
前記X方向における前記光導波路の位置を維持しつつ、前記光導波路の2つの主面を前記光導波路挿入孔の内面にそれぞれ摺接させながら前記光導波路挿入孔に前記光導波路を挿入する第2の工程と、
接着剤により、前記光コネクターと前記光導波路とを接着する第3の工程と、
を有することを特徴とする光配線部品の製造方法。
Such an object is achieved by the present inventions (1) to (10) below.
(1) A plurality of position recognition marks each including an optical waveguide insertion hole and a window portion that opens to an inner surface of the optical waveguide insertion hole and a surface opposite to the inner surface and communicates the optical waveguide insertion hole with the outside. An optical connector comprising:
A layered optical waveguide having one end inserted in the optical waveguide insertion hole; and
An adhesive for bonding the optical connector and the optical waveguide;
Have
The two main surfaces of the optical waveguide are in sliding contact with the inner surface of the optical waveguide insertion hole,
The optical waveguide insertion hole is directed to a method of its width to produce the optical wiring component that is configured to be greater than the width of the optical waveguide,
When the longitudinal direction of the optical waveguide is the Y direction, the thickness direction of the optical waveguide is the Z direction, and the direction perpendicular to the Y direction and the Z direction is the X direction,
The position of the optical waveguide in the X direction is adjusted so that the positional relationship between the position recognition mark and the optical waveguide satisfies a predetermined relationship when the optical waveguide is not inserted into the entire optical waveguide insertion hole. A first step of:
A second optical waveguide is inserted into the optical waveguide insertion hole while maintaining the position of the optical waveguide in the X direction and sliding the two principal surfaces of the optical waveguide to the inner surface of the optical waveguide insertion hole, respectively. And the process of
A third step of bonding the optical connector and the optical waveguide with an adhesive;
A method of manufacturing an optical wiring component, comprising:

(2) 前記光コネクターは、前記光導波路挿入孔の延伸方向に沿って配置されている複数の前記位置認識マークと、前記延伸方向に直交する直交方向に沿って配置されている複数の前記位置認識マークと、を備えている上記(1)に記載の光配線部品の製造方法(2) The optical connector includes a plurality of the position recognition marks arranged along an extending direction of the optical waveguide insertion hole, and a plurality of the positions arranged along an orthogonal direction orthogonal to the extending direction. An optical wiring component manufacturing method according to (1), further comprising a recognition mark.

(3) 前記光導波路挿入孔の幅は、前記光導波路の幅の101〜150%である上記(1)または(2)に記載の光配線部品の製造方法(3) The method for manufacturing an optical wiring component according to (1) or (2), wherein the width of the optical waveguide insertion hole is 101 to 150% of the width of the optical waveguide.

(4) 前記複数の位置認識マークは、前記光導波路の延伸方向と平行でかつ前記光導波路の幅の中点を通過するように引かれる中心線に対して対称に配置されている2つの前記位置認識マークを含む上記(1)ないし(3)のいずれかに記載の光配線部品の製造方法(4) The plurality of position recognition marks are arranged in parallel with the extending direction of the optical waveguide and symmetrically with respect to a center line drawn so as to pass through a midpoint of the width of the optical waveguide. The method for manufacturing an optical wiring component according to any one of (1) to (3), including a position recognition mark.

(5) 前記光導波路挿入孔のうち、前記光導波路が挿入されている側の端部を基端部としたとき、前記基端部は、その高さが基端面に向かって漸増するよう構成されている上記(1)ないし(4)のいずれかに記載の光配線部品の製造方法(5) Of the optical waveguide insertion hole, when the end portion on the side where the optical waveguide is inserted is used as a base end portion, the base end portion is configured such that its height gradually increases toward the base end surface. The manufacturing method of the optical wiring component in any one of said (1) thru | or (4) currently performed.

(6) 前記基端部は、その高さの増加率が前記基端面に向かって徐々に上昇するよう構成されている上記(5)に記載の光配線部品の製造方法(6) The optical wiring component manufacturing method according to (5), wherein the base end portion is configured such that an increasing rate of the height gradually increases toward the base end surface.

(7) 前記第1の工程において、前記光コネクターと前記光導波路とを含む画像を取得し、前記画像から認識される前記光コネクターの像と前記光導波路との像との位置関係が所定の関係を満たすよう、前記X方向における前記光導波路の位置を調整する上記(1)ないし(6)のいずれかに記載の光配線部品の製造方法。 (7) In the first step, an image including the optical connector and the optical waveguide is acquired, and a positional relationship between an image of the optical connector recognized from the image and an image of the optical waveguide is predetermined. The method for manufacturing an optical wiring component according to any one of (1) to (6) , wherein the position of the optical waveguide in the X direction is adjusted so as to satisfy the relationship.

(8) 前記光導波路は、前記Y方向に延伸する光回路パターンを備えたものであり、
前記第1の工程における前記位置認識マークと前記光導波路との位置関係は、前記光導波路側の位置基準として前記光回路パターンを用いるものである上記(7)に記載の光配線部品の製造方法。
(8) The optical waveguide is provided with an optical circuit pattern extending in the Y direction,
The optical wiring component manufacturing method according to (7) , wherein the positional relationship between the position recognition mark and the optical waveguide in the first step uses the optical circuit pattern as a position reference on the optical waveguide side. .

(9) 前記第3の工程において、前記窓部を介して未硬化の前記接着剤を前記光導波路挿入孔内に供給し、その後、前記未硬化の接着剤を硬化させる上記(1)ないし(8)のいずれかに記載の光配線部品の製造方法。 (9) In the third step, the window portion supplying the uncured adhesive to the optical waveguide insertion hole through, then to the above (1) curing the uncured adhesive ( 8) The manufacturing method of the optical wiring component in any one of.

(10) 前記第3の工程において、前記窓部を介して光を照射し、未硬化の前記接着剤を光硬化させる上記(9)に記載の光配線部品の製造方法。 (10) The method for manufacturing an optical wiring component according to (9) , wherein in the third step, light is irradiated through the window portion and the uncured adhesive is photocured.

本発明によれば、光コネクターと光導波路との位置が正確に合っている光配線部品を得ることができる。また、このような光配線部品は、他の光学部品と高い結合効率で接続可能なものとなる。   According to the present invention, an optical wiring component in which the positions of the optical connector and the optical waveguide are accurately matched can be obtained. Further, such an optical wiring component can be connected to other optical components with high coupling efficiency.

また、本発明によれば、光コネクターと光導波路との位置が正確に合っている光配線部品を効率よく製造することができる。   Further, according to the present invention, an optical wiring component in which the positions of the optical connector and the optical waveguide are accurately matched can be efficiently manufactured.

本発明の光配線部品の第1実施形態を備えた光電気混載基板を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the opto-electric hybrid board provided with 1st Embodiment of the optical wiring component of this invention. 図1に示す光配線部品の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the optical wiring component shown in FIG. 図1中のA−A線断面図である。It is the sectional view on the AA line in FIG. 図1に示す光配線部品の先端面(光コネクターの先端)を示す図である。It is a figure which shows the front end surface (tip of an optical connector) of the optical wiring component shown in FIG. 光コネクターと光導波路との位置関係の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the positional relationship of an optical connector and an optical waveguide. 本発明の光配線部品の製造方法の第1実施形態を説明するための側面図である。It is a side view for demonstrating 1st Embodiment of the manufacturing method of the optical wiring component of this invention. 光導波路の主面を平面視するように製造途中の光配線部品を撮像した画像の一例である。It is an example of the image which imaged the optical wiring component in the middle of manufacture so that the main surface of an optical waveguide may be planarly viewed. フリップチップボンダーを用いて光導波路の位置合わせを行いつつ光配線部品を製造する方法を説明するための図であり、光導波路の主面を平面視するように示した図、および光導波路を側面から見た図である。It is a figure for demonstrating the method of manufacturing an optical wiring component, aligning an optical waveguide using a flip chip bonder, the figure shown so that the main surface of an optical waveguide might be planarly viewed, and an optical waveguide side It is the figure seen from. 第2実施形態に用いられる光コネクターの他の構成例を示す平面図である。It is a top view which shows the other structural example of the optical connector used for 2nd Embodiment. 光導波路の主面を平面視するように第2実施形態に係る製造方法による工程途中の光配線部品を撮像した画像の一例である。It is an example of the image which imaged the optical wiring component in the middle of the process by the manufacturing method which concerns on 2nd Embodiment so that the main surface of an optical waveguide may be planarly viewed. 光導波路の主面を平面視するように第3実施形態に係る製造方法による工程途中の光配線部品を撮像した画像の一例である。It is an example of the image which imaged the optical wiring component in the middle of the process by the manufacturing method which concerns on 3rd Embodiment so that the main surface of an optical waveguide may be planarly viewed.

以下、本発明の光配線部品および光配線部品の製造方法について添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
≪第1実施形態≫
<光配線部品>
まず、本発明の光配線部品の第1実施形態について説明する。
Hereinafter, the optical wiring component and the method for manufacturing the optical wiring component of the present invention will be described in detail based on preferred embodiments shown in the accompanying drawings.
<< First Embodiment >>
<Optical wiring parts>
First, a first embodiment of the optical wiring component of the present invention will be described.

図1は、本発明の光配線部品の第1実施形態を備えた光電気混載基板を示す斜視図、図2は、図1に示す光配線部品の分解斜視図、図3は、図1中のA−A線断面図である。なお、以下の説明では、図1〜3中の上側を「上」、下側を「下」という。また、図1〜3の左側を「先端」、右側を「基端」という。   FIG. 1 is a perspective view showing an opto-electric hybrid board provided with the first embodiment of the optical wiring component of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of the optical wiring component shown in FIG. 1, and FIG. It is an AA sectional view taken on the line. In the following description, the upper side in FIGS. 1 to 3 is referred to as “upper” and the lower side is referred to as “lower”. In addition, the left side of FIGS.

図1に示す光電気混載基板1は、板状をなす回路基板7と、回路基板7に配置された光配線部品2と、光を出射する発光素子(光素子)11と、を備えている。このうち、光配線部品2は、帯状(長尺状)をなす光導波路3と、光導波路3に装着される光コネクター5と、を備えている。また、光コネクター5には、光導波路3の先端部32が挿入され、その挿入状態でコネクター部53が構成される。コネクター部53は、接続される相手体である光配線部品2’のコネクター部53と接続されることにより、光結合を可能にする。   An opto-electric hybrid board 1 shown in FIG. 1 includes a circuit board 7 having a plate shape, an optical wiring component 2 disposed on the circuit board 7, and a light emitting element (optical element) 11 that emits light. . Among these, the optical wiring component 2 includes an optical waveguide 3 having a strip shape (long shape) and an optical connector 5 attached to the optical waveguide 3. The optical connector 5 is inserted with the distal end portion 32 of the optical waveguide 3, and the connector portion 53 is configured in the inserted state. The connector part 53 enables optical coupling by being connected to the connector part 53 of the optical wiring component 2 ′ which is a counterpart to be connected.

以下、各部の構成について詳述する。
(回路基板)
回路基板7は、図示しない絶縁層や導体パターン等を備えており、これらが積層された積層体で構成されている。また、回路基板7上には発光素子11が載置され、回路基板7の導体パターンと発光素子11とが電気的に接続されることにより、発光素子11が動作する。また、この発光素子11と光配線部品2とが光学的に接続されている。これにより、回路基板7における電気信号が発光素子11において光信号に変換され、この光信号が光配線部品2へと送出されることとなる。そして、図1に示すように、光配線部品2と光配線部品2’とが接続されている場合には、この光信号が光配線部品2’側へと送出され、さらには図示しない受光素子で受光され、再び電気信号に変換されることによって光通信が行われる。
Hereinafter, the configuration of each part will be described in detail.
(Circuit board)
The circuit board 7 includes an insulating layer, a conductor pattern, and the like (not shown), and is configured by a laminated body in which these are laminated. Further, the light emitting element 11 is placed on the circuit board 7, and the light emitting element 11 is operated by electrically connecting the conductor pattern of the circuit board 7 and the light emitting element 11. The light emitting element 11 and the optical wiring component 2 are optically connected. As a result, the electrical signal in the circuit board 7 is converted into an optical signal in the light emitting element 11, and this optical signal is sent to the optical wiring component 2. As shown in FIG. 1, when the optical wiring component 2 and the optical wiring component 2 ′ are connected, this optical signal is sent to the optical wiring component 2 ′ side, and further, a light receiving element (not shown) The optical communication is performed by receiving the light and converting it to an electric signal again.

(光素子)
発光素子11としては、例えば、面発光レーザー(VCSEL)、発光ダイオード(LED)等が挙げられる。なお、光導波路3の基端部31が受光側である場合には、発光素子11に代えて、フォトダイオード(PD、APD)のような受光素子が用いられる。
(Optical element)
Examples of the light emitting element 11 include a surface emitting laser (VCSEL), a light emitting diode (LED), and the like. When the proximal end portion 31 of the optical waveguide 3 is on the light receiving side, a light receiving element such as a photodiode (PD, APD) is used instead of the light emitting element 11.

(光導波路)
回路基板7の上面には、帯状をなす光導波路3の基端部31が固定されている。
(Optical waveguide)
A base end portion 31 of the optical waveguide 3 having a strip shape is fixed to the upper surface of the circuit board 7.

図2、3に示すように、光導波路3は、クラッド層40aとコア層4とクラッド層40bとが、下方からこの順で積層されてなるものである。このうち、コア層4には、長尺状をなす複数本(本実施形態では2本)のコア部41a、41bと、長尺状をなす複数本(本実施形態では3本)の側面クラッド部42a、42b、42cと、が形成されており、これらが光導波路3の幅方向に交互に配置されている。これにより、コア部41a、41bはクラッド部(側面クラッド部42a、42b、42cおよび各クラッド層40a、40b)で囲まれることとなり、コア部41a、41bに光を閉じ込めて伝搬することができる。なお、本実施形態に係る光導波路3は、2本のコア部を有するマルチチャンネルのものになっている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the optical waveguide 3 is formed by laminating a cladding layer 40a, a core layer 4, and a cladding layer 40b in this order from below. Among them, the core layer 4 includes a plurality of long (two in the present embodiment) core portions 41a and 41b and a plurality of long (three in the present embodiment) side cladding. Portions 42 a, 42 b, 42 c are formed, and these are alternately arranged in the width direction of the optical waveguide 3. Thereby, the core parts 41a and 41b are surrounded by the clad parts (side clad parts 42a, 42b and 42c and the clad layers 40a and 40b), and light can be confined and propagated in the core parts 41a and 41b. Note that the optical waveguide 3 according to the present embodiment is a multi-channel one having two core portions.

コア部41a、41bと側面クラッド部42a〜42cとは、互いに光の屈折率が異なり、コア部41a、41bの屈折率は、クラッド部の屈折率より大きければよい。   The core portions 41a and 41b and the side cladding portions 42a to 42c have different light refractive indexes, and the core portions 41a and 41b may have a refractive index larger than that of the cladding portion.

また、コア部41a、41bの幅および高さ(コア層4の厚さ)は、特に限定されないが、それぞれ、1〜200μm程度であるのが好ましく、5〜100μm程度であるのがより好ましく、10〜70μm程度であるのがさらに好ましい。   Further, the width and height of the core portions 41a and 41b (the thickness of the core layer 4) are not particularly limited, but are preferably about 1 to 200 μm, more preferably about 5 to 100 μm, More preferably, it is about 10-70 micrometers.

一方、図2に示すように複数のコア部41a、41bが並列しているとき、コア部41a、41b同士の間に位置する側面クラッド部42a、42b、42cの幅は、5〜250μm程度であるのが好ましく、10〜200μm程度であるのがより好ましく、10〜120μm程度であるのがさらに好ましい。   On the other hand, as shown in FIG. 2, when the plurality of core portions 41a and 41b are arranged in parallel, the widths of the side cladding portions 42a, 42b and 42c located between the core portions 41a and 41b are about 5 to 250 μm. It is preferably about 10 to 200 μm, more preferably about 10 to 120 μm.

上述したようなコア層4の構成材料(主材料)は、例えば、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ系樹脂やオキセタン系樹脂のような環状エーテル系樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシラン、ポリシラザン、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリウレタン、ポリオレフィン系樹脂、ポリブタジエン、ポリイソプレン、ポリクロロプレン、PETやPBTのようなポリエステル、ポリエチレンサクシネート、ポリサルフォン、ポリエーテル、また、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂のような各種樹脂材料等を用いることができる。なお、樹脂材料は、異なる組成のものを組み合わせた複合材料であってもよい。このような樹脂材料で構成されることにより、光導波路3は十分な可撓性を有するものとなる。   The constituent material (main material) of the core layer 4 as described above is, for example, acrylic resin, methacrylic resin, polycarbonate, polystyrene, cyclic ether resin such as epoxy resin or oxetane resin, polyamide, polyimide, poly Benzoxazole, polysilane, polysilazane, silicone resin, fluorine resin, polyurethane, polyolefin resin, polybutadiene, polyisoprene, polychloroprene, polyester such as PET and PBT, polyethylene succinate, polysulfone, polyether, benzocyclo Various resin materials such as cyclic olefin resins such as butene resin and norbornene resin can be used. Note that the resin material may be a composite material in which materials having different compositions are combined. By comprising such a resin material, the optical waveguide 3 has sufficient flexibility.

一方、クラッド層40a、40bは、コア層4の下部および上部に位置する。
クラッド層40a、40bの平均厚さは、コア層4の平均厚さの0.05〜1.5倍程度であるのが好ましく、0.1〜1.25倍程度であるのがより好ましい。具体的には、クラッド層40a、40bの平均厚さは、それぞれ1〜200μm程度であるのが好ましく、3〜100μm程度であるのがより好ましく、5〜60μm程度であるのがさらに好ましい。これにより、光導波路3が必要以上に厚膜化するのを防止しつつ、クラッド部としての機能が確保される。
On the other hand, the clad layers 40 a and 40 b are located below and above the core layer 4.
The average thickness of the clad layers 40a and 40b is preferably about 0.05 to 1.5 times the average thickness of the core layer 4, and more preferably about 0.1 to 1.25 times. Specifically, the average thickness of the cladding layers 40a and 40b is preferably about 1 to 200 μm, more preferably about 3 to 100 μm, and further preferably about 5 to 60 μm. Thereby, the function as a clad part is ensured, preventing the optical waveguide 3 from becoming thicker than necessary.

また、クラッド層40a、40bの構成材料としては、例えば、前述したコア層4の構成材料と同様の材料を用いることができる。   Further, as the constituent material of the cladding layers 40a and 40b, for example, the same material as the constituent material of the core layer 4 described above can be used.

光導波路3の幅は、特に限定されないが、2〜100mm程度であるのが好ましく、5〜50mm程度であるのがより好ましい。   The width of the optical waveguide 3 is not particularly limited, but is preferably about 2 to 100 mm, and more preferably about 5 to 50 mm.

また、光導波路3中に形成されるコア部41a、41bの数は、特に限定されないが、1〜100本程度であるのが好ましい。なお、コア部41a、41bの数が多い場合は、必要に応じて、光導波路3を多層化してもよい。具体的には、図1〜3に示す光導波路3の上に、さらにコア層とクラッド層とを交互に重ねることにより多層化することができる。   The number of core portions 41a and 41b formed in the optical waveguide 3 is not particularly limited, but is preferably about 1 to 100. In addition, when there are many core parts 41a and 41b, you may multilayer the optical waveguide 3 as needed. Specifically, the optical waveguide 3 shown in FIGS. 1 to 3 can be multilayered by alternately stacking core layers and cladding layers.

また、必要に応じて、光導波路3の下面には支持フィルムが、上面にはカバーフィルムが、それぞれ必要に応じて設けられていてもよい。   If necessary, a support film may be provided on the lower surface of the optical waveguide 3 and a cover film may be provided on the upper surface, if necessary.

支持フィルムおよびカバーフィルムの構成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレン、ポリプロピレンのようなポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド等の各種樹脂材料が挙げられる。   Examples of the constituent material of the support film and the cover film include various resin materials such as polyethylene terephthalate (PET), polyolefin such as polyethylene and polypropylene, polyimide, and polyamide.

また、支持フィルムおよびカバーフィルムの平均厚さは、特に限定されないが、5〜500μm程度であるのが好ましく、10〜400μm程度であるのがより好ましい。   Moreover, although the average thickness of a support film and a cover film is not specifically limited, It is preferable that it is about 5-500 micrometers, and it is more preferable that it is about 10-400 micrometers.

また、光導波路3の基端部31は回路基板7の上面に接着されている。この接着には接着剤、粘着剤、接着シート、粘着シート等、熱圧着を用いることができる。このうち、接着層としては、例えば、エポキシ系接着剤、アクリル系接着剤、ウレタン系接着剤、シリコーン系接着剤の他、各種ホットメルト接着剤(ポリエステル系、変性オレフィン系)等が挙げられる。   The base end portion 31 of the optical waveguide 3 is bonded to the upper surface of the circuit board 7. For this adhesion, thermocompression bonding such as an adhesive, an adhesive, an adhesive sheet, and an adhesive sheet can be used. Among these, examples of the adhesive layer include epoxy adhesives, acrylic adhesives, urethane adhesives, silicone adhesives, and various hot melt adhesives (polyester and modified olefins).

また、接着層の平均厚さは、特に限定されないが、1〜100μm程度であるのが好ましく、5〜60μm程度であるのがより好ましい。   Moreover, although the average thickness of an contact bonding layer is not specifically limited, It is preferable that it is about 1-100 micrometers, and it is more preferable that it is about 5-60 micrometers.

(光コネクター)
光コネクター5は、図2、3に示すように、先端506から基端507まで貫通形成された収納部52を有する筐体で構成されている。この光コネクター5は、1つの部材で構成されていてもよいが、図2に示すように、本体50と蓋体51との2つの部材で構成されていてもよい。図1に示す光コネクター5は、本体50と蓋体51とを組み立てた状態のものである。
(Optical connector)
As shown in FIGS. 2 and 3, the optical connector 5 includes a housing having a storage portion 52 that is formed so as to penetrate from the distal end 506 to the proximal end 507. The optical connector 5 may be composed of one member, but may be composed of two members of a main body 50 and a lid 51 as shown in FIG. The optical connector 5 shown in FIG. 1 is a state in which a main body 50 and a lid 51 are assembled.

本体50は、板状をなす底板500と、互いに離間して底板500から立設された一対の側壁部501a、501bと、を有する。側壁部501aは側壁面502aを有し、側壁部502bは側壁面502bを有している。側壁面502aと側壁面502bとは互いに対向している。また、側壁部501aの側壁面502aと、側壁部501bの側壁面502bと、底板500と、で囲まれる部分が溝504となる。溝504は上側に開放された開放部505を有する。   The main body 50 includes a bottom plate 500 having a plate shape, and a pair of side wall portions 501a and 501b that are erected from the bottom plate 500 so as to be separated from each other. The side wall portion 501a has a side wall surface 502a, and the side wall portion 502b has a side wall surface 502b. The side wall surface 502a and the side wall surface 502b are opposed to each other. A portion surrounded by the side wall surface 502 a of the side wall portion 501 a, the side wall surface 502 b of the side wall portion 501 b, and the bottom plate 500 is a groove 504. The groove 504 has an open portion 505 opened on the upper side.

光コネクター5では、板部材で構成される蓋体51が開放部505を塞ぐように組み立てられている。このような光コネクター5では、溝504の開放部505を蓋体51で塞いだ状態(組み立て状態)で、蓋体51の下側の面である裏面510と、溝504の底面503と、一対の側壁面502a、502bの4つの面で画成された収納部52が形成される。   In the optical connector 5, the lid 51 formed of a plate member is assembled so as to close the opening 505. In such an optical connector 5, in a state where the open portion 505 of the groove 504 is closed (assembled state) with the lid 51, a back surface 510 which is a lower surface of the lid 51, a bottom surface 503 of the groove 504, and a pair The storage portion 52 defined by four surfaces of the side wall surfaces 502a and 502b is formed.

また、図2、3に示す収納部52の基端部520には、基端開口部521が形成されている。基端開口部521では、収納部52の高さ(光導波路3の厚さ方向における長さ)が基端に向かって漸増するよう構成されている。また、底面503の基端開口部521に臨む部分には傾斜部522aが形成され、裏面510の基端開口部521に臨む部分に傾斜部522bが形成されている。すなわち、傾斜部522aおよび傾斜部522bは、基端方向に向かって互いの離間距離が漸増するよう構成されている。   A proximal end opening 521 is formed in the proximal end portion 520 of the storage portion 52 shown in FIGS. The base end opening 521 is configured such that the height of the storage portion 52 (the length in the thickness direction of the optical waveguide 3) gradually increases toward the base end. Further, an inclined portion 522a is formed at a portion facing the base end opening 521 of the bottom surface 503, and an inclined portion 522b is formed at a portion facing the base end opening 521 of the back surface 510. That is, the inclined portion 522a and the inclined portion 522b are configured such that the distance between them is gradually increased toward the proximal direction.

傾斜部522aは湾曲した形状になっており、その曲率Rは基端に向かって漸増している。傾斜部522aの曲率Rの平均は、例えば1〜4程度であるのが好ましく、2〜3程度であるのがより好ましい。   The inclined portion 522a has a curved shape, and its curvature R gradually increases toward the proximal end. The average curvature R of the inclined portion 522a is preferably about 1 to 4, for example, and more preferably about 2 to 3.

一方、傾斜部522bは、傾斜部522aと同様の形状をなしている。傾斜部522a、522bが設けられていることにより、光導波路3には、外力が付与されていない自然状態において、傾斜部522aとの間には間隙524aが、傾斜部522bとの間には間隙524bが、それぞれ形成される。   On the other hand, the inclined portion 522b has the same shape as the inclined portion 522a. By providing the inclined portions 522a and 522b, in the natural state where no external force is applied to the optical waveguide 3, there is a gap 524a between the inclined portion 522a and a gap between the inclined portion 522b. 524b is formed respectively.

ここで、図3に示すように、光導波路3に対して矢印A方向に外力が付与された場合、光導波路3は、間隙524aの範囲だけ湾曲することができる。すなわち、光導波路3は、傾斜部522aに当接するまで湾曲変形が許容されることとなる。一方、光導波路3に対して矢印B方向に外力が付与された場合、光導波路3は、間隙524bの範囲だけ湾曲することができる。すなわち、光導波路3は、傾斜部522bに当接するまで湾曲変形が許容されることとなる。これにより、いかなる方向に外力が付与された場合でも、急峻な曲率での光導波路3の屈曲を確実に抑制することができる。その結果、屈曲に伴う光導波路3の断線や伝送効率の低下等を抑制することができる。   Here, as shown in FIG. 3, when an external force is applied to the optical waveguide 3 in the direction of the arrow A, the optical waveguide 3 can be bent by the range of the gap 524a. That is, the optical waveguide 3 is allowed to be curved and deformed until it comes into contact with the inclined portion 522a. On the other hand, when an external force is applied to the optical waveguide 3 in the direction of arrow B, the optical waveguide 3 can be bent by the range of the gap 524b. That is, the optical waveguide 3 is allowed to be curved and deformed until it comes into contact with the inclined portion 522b. Thereby, even when an external force is applied in any direction, the bending of the optical waveguide 3 with a steep curvature can be reliably suppressed. As a result, it is possible to suppress disconnection of the optical waveguide 3 due to bending, a decrease in transmission efficiency, and the like.

なお、前述したように、傾斜部522aおよび傾斜部522bの曲率Rは、基端に向かって漸増しているが、これはすなわち、基端部520における収納部52の高さが、基端507に向かって徐々に増加しており、その増加率が基端507に向かって徐々に上昇するよう構成されていることに等しい。このような形状であれば、光導波路3の屈曲をより確実に抑制することができるので、光導波路3の断線や伝送効率の低下等を特に確実に抑制し得る光導波路3が得られる。   As described above, the curvature R of the inclined portion 522a and the inclined portion 522b gradually increases toward the base end, which means that the height of the storage portion 52 at the base end portion 520 is equal to the base end 507. It is equivalent to being configured so that the rate of increase gradually increases toward the base end 507. With such a shape, the bending of the optical waveguide 3 can be more reliably suppressed, so that the optical waveguide 3 that can particularly reliably suppress disconnection of the optical waveguide 3 and a decrease in transmission efficiency can be obtained.

また、図3において、傾斜部522a、522bの中心軸523方向に沿った長さL2は、例えば、収納部52の中心軸523方向に沿った長さL1の10〜50%が好ましく、20〜40%がより好ましい。これにより、光導波路3は、湾曲したとしても十分に緩やかな曲率で湾曲することになるため、急峻な曲率での屈曲をより確実に抑制し得るものとなる。また、光導波路3と本体50の底面503および光導波路3と蓋体51の裏面510がそれぞれ接着剤を介して固定されている場合、接着面積を十分に確保することができる。これにより、光導波路3から光コネクター5が不本意に抜けてしまうのを防止することができる。   3, the length L2 along the direction of the central axis 523 of the inclined portions 522a and 522b is, for example, preferably 10 to 50% of the length L1 along the direction of the central axis 523 of the storage portion 52. 40% is more preferable. As a result, even if the optical waveguide 3 is curved, the optical waveguide 3 is curved with a sufficiently gentle curvature, so that bending with a steep curvature can be more reliably suppressed. In addition, when the optical waveguide 3 and the bottom surface 503 of the main body 50 and the optical waveguide 3 and the back surface 510 of the lid 51 are respectively fixed via an adhesive, a sufficient adhesion area can be secured. Thereby, it is possible to prevent the optical connector 5 from being unintentionally disconnected from the optical waveguide 3.

また、光コネクター5の一対の側壁部501a、501bには、先端506から基端507まで貫通したガイド孔508がそれぞれ形成されている。ガイド孔508は、光配線部品2’のコネクター部53に接続する際に用いられるガイドピン60が挿入されるよう用いられる(図1参照)。なお、ガイド孔508は必ずしも光コネクター5を貫通していなくてもよく、先端506に開口し、基端507には開口していない凹部(ガイド穴)であって、ガイドピン60の挿入長さよりも深いものであってもよい。   Further, guide holes 508 penetrating from the distal end 506 to the proximal end 507 are formed in the pair of side wall portions 501a and 501b of the optical connector 5, respectively. The guide hole 508 is used so that a guide pin 60 used when connecting to the connector portion 53 of the optical wiring component 2 ′ is inserted (see FIG. 1). The guide hole 508 does not necessarily pass through the optical connector 5, and is a recess (guide hole) that opens at the distal end 506 and does not open at the proximal end 507, and is longer than the insertion length of the guide pin 60. May also be deep.

さらに、光コネクター5は、蓋体51に設けられ、収納部(光導波路挿入孔)52と外部とを連通するよう構成された2つ(複数)の貫通孔(窓部)57を備えている。これらの貫通孔57は、一方の端部が収納部52に開口し、他方の端部が蓋体51の表面に開口している。なお、図1、2に示す貫通孔57は、開口が真円である円柱状をなしている。   Furthermore, the optical connector 5 includes two (a plurality of) through holes (window portions) 57 provided on the lid 51 and configured to communicate the storage portion (optical waveguide insertion hole) 52 with the outside. . These through holes 57 have one end opened to the storage portion 52 and the other end opened to the surface of the lid 51. 1 and 2 has a cylindrical shape whose opening is a perfect circle.

また、図2に示す2つの貫通孔57は、これらを繋ぐ線分が光コネクター5の先端506(蓋体51の先端)と平行になるよう設けられている。なお、光コネクター5の先端506(蓋体51の先端)と蓋体51の側面509とは直角に交わっている。すなわち、2つの貫通孔57は、収納部52の延伸方向と直交する直交方向に沿って配置されている。また、光コネクター5の本体50において、側壁部501aの側壁面502aおよび側壁部501bの側壁面502bは、それぞれガイド孔508の軸線と平行になっている。したがって、2つの貫通孔57を繋ぐ線分は、ガイド孔508の軸線と光導波路3の光軸とを平行にするための位置基準として有効なものとなる。   Also, the two through holes 57 shown in FIG. 2 are provided so that the line segment connecting them is parallel to the tip 506 of the optical connector 5 (tip of the lid 51). The tip 506 of the optical connector 5 (tip of the lid 51) and the side surface 509 of the lid 51 intersect at a right angle. That is, the two through holes 57 are arranged along an orthogonal direction orthogonal to the extending direction of the storage portion 52. Further, in the main body 50 of the optical connector 5, the side wall surface 502a of the side wall portion 501a and the side wall surface 502b of the side wall portion 501b are parallel to the axis of the guide hole 508, respectively. Accordingly, the line segment connecting the two through holes 57 is effective as a position reference for making the axis of the guide hole 508 and the optical axis of the optical waveguide 3 parallel to each other.

さらに、2つの貫通孔57と蓋体51の側面509とのそれぞれの離間距離、すなわち図7に示す離間距離Laおよび離間距離Lbは、互いに等しくなっている。貫通孔57は、光コネクター5を成形後、別途加工して形成されることが多いものであるため、比較的寸法精度が高く、この点においても光コネクター5側の位置基準として有効である。   Furthermore, the separation distance between the two through holes 57 and the side surface 509 of the lid 51, that is, the separation distance La and the separation distance Lb shown in FIG. 7 are equal to each other. Since the through-hole 57 is often formed by separately processing the optical connector 5 after being molded, it has a relatively high dimensional accuracy, and this point is also effective as a position reference on the optical connector 5 side.

図2に示す収納部52の光導波路3の長手方向における長さ(収納部52の長さ)L1は、特に限定されず、例えば、1.0〜7.5mmであるのが好ましく、3.0〜6.0mmであるのがより好ましい。また、収納部52の光導波路3の幅方向における長さ(収納部52の幅)W1は、特に限定されず、例えば、2.5〜4.0mmであるのが好ましく、2.9〜3.6mmであるのがより好ましい。また、図3に示す収納部52の光導波路3の厚さ方向における長さ(収納部52の高さ)t1は、特に限定されず、例えば、0.04〜0.25mmであるのが好ましく、0.08〜0.16mmであるのがより好ましい。   The length L1 of the storage portion 52 shown in FIG. 2 in the longitudinal direction of the optical waveguide 3 (length of the storage portion 52) L1 is not particularly limited, and is preferably 1.0 to 7.5 mm, for example. More preferably, it is 0 to 6.0 mm. Moreover, the length (width of the accommodating part 52) W1 in the width direction of the optical waveguide 3 of the accommodating part 52 is not specifically limited, For example, it is preferable that it is 2.5-4.0 mm, 2.9-3 More preferably, it is 6 mm. Moreover, the length (height of the storage part 52) t1 in the thickness direction of the optical waveguide 3 of the storage part 52 shown in FIG. 3 is not particularly limited, and is preferably 0.04 to 0.25 mm, for example. 0.08 to 0.16 mm is more preferable.

このような本体50と、蓋体51の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、無機充填物が充填された樹脂材料が挙げられ、この樹脂材料としては、例えば、熱硬化性エポキシ樹脂、PPS(ポリフェニレンサルファイド)が用いられる。また、無機充填物としては、例えば、粒状シリカやガラスフィラー、アルミナ、ホワイトカーボン、ベントナイト等が用いられる。   The constituent material of the main body 50 and the lid 51 is not particularly limited, and examples thereof include a resin material filled with an inorganic filler. Examples of the resin material include a thermosetting epoxy resin, PPS (polyphenylene sulfide) is used. Moreover, as an inorganic filler, granular silica, a glass filler, an alumina, white carbon, bentonite etc. are used, for example.

以上のような構成の光配線部品2を有する光電気混載基板1は、例えば、携帯電話、ゲーム機、ルーター装置、WDM装置、パソコン、テレビ、ホーム・サーバー等の電子機器類等に搭載することができる。   The opto-electric hybrid board 1 having the optical wiring component 2 configured as described above is mounted on, for example, electronic devices such as a mobile phone, a game machine, a router device, a WDM device, a personal computer, a TV, and a home server. Can do.

次に光配線部品2’について説明する。
図1に示すように、光配線部品2’は、光導波路3’と、光導波路3’の基端部31に装着される光コネクター5’と、を有している。光コネクター5’は、傾斜部522a、522bが省略されていること以外は前述した光コネクター5と同様である。
Next, the optical wiring component 2 ′ will be described.
As shown in FIG. 1, the optical wiring component 2 ′ has an optical waveguide 3 ′ and an optical connector 5 ′ attached to the proximal end portion 31 of the optical waveguide 3 ′. The optical connector 5 ′ is the same as the optical connector 5 described above except that the inclined portions 522a and 522b are omitted.

光コネクター5’は、光コネクター5と同様に収納部52を有する。光コネクター5’の収納部52には、光導波路3’の基端部31が挿入される。光配線部品2’では、光コネクター5’の収納部52に挿入された光導波路3’の基端部31と光コネクター5’とでコネクター部53が構成される。   Similar to the optical connector 5, the optical connector 5 ′ has a storage portion 52. The base end portion 31 of the optical waveguide 3 ′ is inserted into the storage portion 52 of the optical connector 5 ′. In the optical wiring component 2 ′, a connector portion 53 is configured by the base end portion 31 of the optical waveguide 3 ′ inserted into the housing portion 52 of the optical connector 5 ′ and the optical connector 5 ′.

光コネクター5のコネクター部53と光コネクター5’のコネクター部53とを接続する際には、まず、ガイドピン60を光コネクター5’の各ガイド孔508にそれぞれ長手方向の途中まで挿入する。このとき、ガイドピン60は、ガイド孔508に挿入されていない残りの部分がガイド孔508から突出している(以下、この部分を突出部600という。)。次に、突出部600を、光コネクター5に設けられたガイド孔508に挿入する。これにより、光コネクター5のコネクター部53と、光コネクター5’のコネクター部53とが接続された接続状態となる。この接続状態で、光配線部品2の光導波路3のコア部41a、41bが、光配線部品2’の光導波路3’のコア部41a、41bと正対し、それぞれ光学的に接続される。   When connecting the connector portion 53 of the optical connector 5 and the connector portion 53 of the optical connector 5 ′, first, the guide pins 60 are inserted into the respective guide holes 508 of the optical connector 5 ′ halfway in the longitudinal direction. At this time, the remaining portion of the guide pin 60 that is not inserted into the guide hole 508 protrudes from the guide hole 508 (hereinafter, this portion is referred to as a protruding portion 600). Next, the protrusion 600 is inserted into a guide hole 508 provided in the optical connector 5. As a result, the connector 53 of the optical connector 5 and the connector 53 of the optical connector 5 ′ are connected. In this connected state, the core portions 41a and 41b of the optical waveguide 3 of the optical wiring component 2 face the core portions 41a and 41b of the optical waveguide 3 'of the optical wiring component 2' and are optically connected to each other.

なお、図示の構成では、ガイドピン60は、先に光コネクター5’に挿入されるが、これに限らず光コネクター5に先に挿入されて接続されていてもよい。   In the configuration shown in the figure, the guide pin 60 is inserted into the optical connector 5 ′ first, but not limited to this, the guide pin 60 may be inserted into and connected to the optical connector 5 first.

また、光配線部品2’は他の光学部品であってもよく、例えば光コネクター付き光ファイバー等が挙げられる。   The optical wiring component 2 ′ may be other optical components, such as an optical fiber with an optical connector.

ここで、図4は、図1に示す光配線部品2の先端面(光コネクター5の先端506)を示す図である。   Here, FIG. 4 is a view showing the front end surface (the front end 506 of the optical connector 5) of the optical wiring component 2 shown in FIG.

光配線部品2では、図4に示すように、光コネクター5の収納部52が左右に細長い矩形に開口している。この収納部52の先端開口部526には光導波路3の先端面が露出している。光導波路3の先端面の高さは、収納部52の先端開口部526の高さとほぼ一致している。このため、光導波路3は収納部52内において、図4の上下方向に移動する余地はほとんどなく、その結果、収納部52の上下方向における光導波路3の位置はほぼ一意に決められる。   In the optical wiring component 2, as shown in FIG. 4, the storage portion 52 of the optical connector 5 is opened in a rectangular shape that is elongated to the left and right. The distal end surface of the optical waveguide 3 is exposed at the distal end opening 526 of the storage portion 52. The height of the distal end surface of the optical waveguide 3 substantially matches the height of the distal end opening 526 of the storage portion 52. For this reason, there is almost no room for the optical waveguide 3 to move in the vertical direction in FIG. 4 in the storage portion 52, and as a result, the position of the optical waveguide 3 in the vertical direction of the storage portion 52 is almost uniquely determined.

なお、収納部52とガイド孔508との位置関係は、光配線部品2の接続相手先である光配線部品2’における収納部52とガイド孔508との位置関係に対応するよう構成されている。このため、ガイドピン60がそれぞれのガイド孔508に挿入されることにより、光導波路3と光導波路3’の上下方向における位置が必然的に揃うこととなる。   The positional relationship between the storage portion 52 and the guide hole 508 is configured to correspond to the positional relationship between the storage portion 52 and the guide hole 508 in the optical wiring component 2 ′, which is a connection partner of the optical wiring component 2. . For this reason, when the guide pins 60 are inserted into the respective guide holes 508, the positions of the optical waveguide 3 and the optical waveguide 3 'in the vertical direction are necessarily aligned.

一方、光導波路3の先端面の幅は、収納部52の先端開口部526の幅より小さくなっている。すなわち、収納部52の幅は、光導波路3の幅より大きくなっている。このため、光導波路3は、収納部52内において図4の左右方向に移動可能になっている。その結果、光導波路3の接続相手先である光導波路3’の光軸に合わせて、収納部52内における光導波路3の位置を調整し得るようになっている。   On the other hand, the width of the tip surface of the optical waveguide 3 is smaller than the width of the tip opening 526 of the storage portion 52. That is, the width of the storage portion 52 is larger than the width of the optical waveguide 3. For this reason, the optical waveguide 3 is movable in the left-right direction in FIG. As a result, the position of the optical waveguide 3 in the storage portion 52 can be adjusted in accordance with the optical axis of the optical waveguide 3 ′, which is the connection partner of the optical waveguide 3.

収納部52の幅は、光導波路3の幅の101〜150%程度であるのが好ましく、110〜130%程度であるのがより好ましい。収納部52の幅を前記範囲内に設定することにより、光導波路3の位置調整幅を十分確保しつつ、光コネクター5の大型化を避けることができる。   The width of the storage portion 52 is preferably about 101 to 150% of the width of the optical waveguide 3, and more preferably about 110 to 130%. By setting the width of the storage portion 52 within the above range, it is possible to avoid an increase in the size of the optical connector 5 while ensuring a sufficient position adjustment width of the optical waveguide 3.

そして、収納部52と光導波路3との間隙には接着剤が充填され、光導波路3が固定されている。   The gap between the storage portion 52 and the optical waveguide 3 is filled with an adhesive, and the optical waveguide 3 is fixed.

光導波路3の位置合わせにあたっては、光コネクター5と光導波路3との位置関係が、光配線部品2の接続相手先である光配線部品2’における光コネクター5’と光導波路3’との位置関係に対応するように設定される。   When aligning the optical waveguide 3, the positional relationship between the optical connector 5 and the optical waveguide 3 is such that the position of the optical connector 5 ′ and the optical waveguide 3 ′ in the optical wiring component 2 ′ to which the optical wiring component 2 is connected. Set to correspond to the relationship.

図5は、光コネクター5と光導波路3との位置関係の一例を示す図である。なお、図5は図4と同様、光配線部品2の先端面(光コネクター5の先端506)を示す図である。   FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a positional relationship between the optical connector 5 and the optical waveguide 3. 5 is a view showing the front end surface of the optical wiring component 2 (the front end 506 of the optical connector 5) as in FIG.

図5に示す例では、光コネクター5に設けられたガイド孔508の中心同士を繋ぐ線分S1を引き、光導波路3中に形成されているコア部41aの中心とコア部41bの中心とを繋ぐ線分S2を引いたとき、線分S1と線分S2とが重なり、かつ、線分S1の中点M1と線分S2の中点M2とが重なっている。このような位置関係は、光配線部品2のX方向およびZ方向における配置のバランスが最適であるため、例えば熱影響や接着剤の硬化収縮等に由来した変形に伴う光結合効率の低下を最小限に抑えることができる。また、光配線部品2は、汎用的な光コネクターに対して適合可能なものとなるため、使い勝手が向上する。   In the example shown in FIG. 5, a line segment S1 connecting the centers of the guide holes 508 provided in the optical connector 5 is drawn, and the center of the core portion 41a and the center of the core portion 41b formed in the optical waveguide 3 are drawn. When the connecting line segment S2 is drawn, the line segment S1 and the line segment S2 overlap, and the midpoint M1 of the line segment S1 and the midpoint M2 of the line segment S2 overlap. Such a positional relationship is optimal in the balance of the arrangement of the optical wiring component 2 in the X direction and the Z direction, so that the decrease in optical coupling efficiency due to deformation caused by, for example, thermal influence or curing shrinkage of adhesive is minimized. To the limit. Moreover, since the optical wiring component 2 can be adapted to a general-purpose optical connector, usability is improved.

なお、図5では、図が煩雑になるのを避けるため、線分S1および線分S2を平行移動させて示している。また、光導波路3中に3つ以上のコア部が形成されている場合には、最外の2つの中心同士を繋ぐように線分S2を設定するようにすればよい。   In FIG. 5, the line segment S <b> 1 and the line segment S <b> 2 are shown translated in order to avoid the figure from becoming complicated. Further, when three or more core portions are formed in the optical waveguide 3, the line segment S2 may be set so as to connect the two outermost centers.

また、図5に示す例では、光コネクター5側の位置基準としてガイド孔508を用いているが、このようなガイド孔508は、光コネクター5を成形後、別途加工して形成されることが多いものであるため、比較的寸法精度が高く、位置基準として有効である。さらには、このガイド孔508を介して光配線部品2と光配線部品2’とを接続するという観点からも、ガイド孔508を位置基準として用いることは有効である。   In the example shown in FIG. 5, the guide hole 508 is used as a position reference on the optical connector 5 side. However, such a guide hole 508 may be formed by separately processing the optical connector 5 after molding. Since there are many, it has comparatively high dimensional accuracy and is effective as a position reference. Further, from the viewpoint of connecting the optical wiring component 2 and the optical wiring component 2 ′ through the guide hole 508, it is effective to use the guide hole 508 as a position reference.

なお、図5では、収納部52の先端開口部526と基端開口部521とが重なるようにあらかじめカメラ831の配置を調整しておくことが好ましい。これにより、撮像された画像の平面は、ガイド孔508の軸線に対して直交する平面となるため、光配線部品2’との光結合効率を検討するにあたって、画像上における位置関係の解析精度をより高めることができる。   In FIG. 5, it is preferable to adjust the arrangement of the camera 831 in advance so that the distal end opening 526 and the proximal end opening 521 of the storage unit 52 overlap each other. As a result, the plane of the captured image is a plane orthogonal to the axis of the guide hole 508, and therefore, when examining the optical coupling efficiency with the optical wiring component 2 ′, the analysis accuracy of the positional relationship on the image is improved. Can be increased.

<光配線部品の製造方法>
次に、本発明の光配線部品の製造方法の第1実施形態について説明する。
<Optical wiring component manufacturing method>
Next, a first embodiment of the optical wiring component manufacturing method of the present invention will be described.

図6は、本発明の光配線部品の製造方法の第1実施形態を説明するための側面図である。   FIG. 6 is a side view for explaining the first embodiment of the method for producing an optical wiring component of the present invention.

図1に示す光配線部品2は、光コネクター5の収納部(光導波路挿入孔)52に光導波路3を挿入することにより製造される。この際、収納部52内において光導波路3の位置を調整することにより、光導波路3の光軸を、接続相手先である光配線部品2’における光導波路3’の光軸に合わせることができ、両者の光結合効率を高めることができる。   The optical wiring component 2 shown in FIG. 1 is manufactured by inserting the optical waveguide 3 into the housing portion (optical waveguide insertion hole) 52 of the optical connector 5. At this time, by adjusting the position of the optical waveguide 3 in the storage portion 52, the optical axis of the optical waveguide 3 can be matched with the optical axis of the optical waveguide 3 ′ in the optical wiring component 2 ′ that is the connection partner. The optical coupling efficiency between the two can be increased.

ここで、図6では、光導波路3の長手方向(図6の左右方向)をY方向とし、光導波路3の厚さ方向(図6の紙面厚さ方向)をZ方向とし、Y方向とZ方向とにそれぞれ直交する方向(図6の上下方向)をX方向とする。   Here, in FIG. 6, the longitudinal direction of the optical waveguide 3 (left-right direction in FIG. 6) is the Y direction, the thickness direction of the optical waveguide 3 (the thickness direction in FIG. 6) is the Z direction, and the Y direction and Z A direction (vertical direction in FIG. 6) orthogonal to each direction is defined as an X direction.

光配線部品2の製造方法は、収納部52内における光導波路3の位置を調整する工程と、接着剤により光コネクター5と光導波路3とを接着する工程と、を有する。以下、各工程について順次説明する。   The method for manufacturing the optical wiring component 2 includes a step of adjusting the position of the optical waveguide 3 in the storage portion 52 and a step of bonding the optical connector 5 and the optical waveguide 3 with an adhesive. Hereinafter, each process will be described sequentially.

[1]
まず、収納部52内における光導波路3の位置を調整する。この調整に際しては、光導波路3の2つの主面が収納部52内の上下面(蓋体51の裏面510と溝504の底面503)に摺接するように、収納部52に光導波路3を挿入する。これにより、Z方向における光導波路3の位置が自ずと調整される。その結果、光コネクター5におけるガイド孔508と収納部52との位置関係に基づき、ガイド孔508の位置に対してZ方向における光導波路3の位置を正確に調整することができる。したがって、収納部52は、このような位置合わせがなされることを前提に、ガイド孔508との位置関係を考慮しつつ形成されている。
[1]
First, the position of the optical waveguide 3 in the storage portion 52 is adjusted. In this adjustment, the optical waveguide 3 is inserted into the storage portion 52 so that the two main surfaces of the optical waveguide 3 are in sliding contact with the upper and lower surfaces in the storage portion 52 (the back surface 510 of the lid 51 and the bottom surface 503 of the groove 504). To do. Thereby, the position of the optical waveguide 3 in the Z direction is automatically adjusted. As a result, the position of the optical waveguide 3 in the Z direction can be accurately adjusted with respect to the position of the guide hole 508 based on the positional relationship between the guide hole 508 and the storage portion 52 in the optical connector 5. Accordingly, the storage portion 52 is formed in consideration of the positional relationship with the guide hole 508 on the assumption that such alignment is performed.

また、収納部52に光導波路3を挿入する際には、X方向における光導波路3の位置を調整しながら挿入する。このとき、光導波路3の主面を平面視したとき、光コネクター5と光導波路3との位置関係が所定の関係を満たすように、X方向における光導波路3の位置を調整する。そして、光導波路3の先端面が収納部52の先端開口部526と一致したとき、光導波路3の挿入を止める。これにより、光導波路3の位置合わせが完了する。その後、接着剤で光導波路3を固定することにより、光配線部品2が得られる。なお、X方向における光導波路3の位置の調整とは、X方向における光導波路3のシフトずれの調整と、光導波路3がX−Y平面内において回転する回転ずれの調整と、を含むものである。   Further, when the optical waveguide 3 is inserted into the storage portion 52, the optical waveguide 3 is inserted while adjusting the position of the optical waveguide 3 in the X direction. At this time, when the main surface of the optical waveguide 3 is viewed in plan, the position of the optical waveguide 3 in the X direction is adjusted so that the positional relationship between the optical connector 5 and the optical waveguide 3 satisfies a predetermined relationship. Then, when the distal end surface of the optical waveguide 3 coincides with the distal end opening 526 of the storage portion 52, the insertion of the optical waveguide 3 is stopped. Thereby, the alignment of the optical waveguide 3 is completed. Thereafter, the optical waveguide part 2 is obtained by fixing the optical waveguide 3 with an adhesive. The adjustment of the position of the optical waveguide 3 in the X direction includes adjustment of the shift deviation of the optical waveguide 3 in the X direction and adjustment of the rotational deviation in which the optical waveguide 3 rotates in the XY plane.

このような位置合わせ方法によれば、Z方向における光導波路3の位置は、収納部52に光導波路3を挿入するだけで自ずと決められるため、本発明ではX方向における光導波路3の位置を調整するだけで済む。このため、光導波路3の位置合わせ作業を極めて容易にかつ正確に行うことができ、光コネクター5に対して光導波路3の位置が正確に合わせられた光配線部品2が得られる。   According to such an alignment method, since the position of the optical waveguide 3 in the Z direction can be determined by simply inserting the optical waveguide 3 into the storage portion 52, the position of the optical waveguide 3 in the X direction is adjusted in the present invention. Just do it. Therefore, the alignment operation of the optical waveguide 3 can be performed very easily and accurately, and the optical wiring component 2 in which the position of the optical waveguide 3 is accurately aligned with respect to the optical connector 5 is obtained.

光導波路3の主面を平面視するように製造途中の光配線部品を視認する際、作業者が目視で視認するようにしてもよいが、好ましくはカメラ等の撮像手段により画像を撮影し、この画像上で光コネクター5と光導波路3との位置関係を確認する。   When viewing the optical wiring component in the middle of production so as to view the main surface of the optical waveguide 3 in plan view, the operator may visually confirm the optical wiring component, but preferably an image is taken by an imaging means such as a camera, The positional relationship between the optical connector 5 and the optical waveguide 3 is confirmed on this image.

図6は、フリップチップボンダーを用いて光導波路3の位置合わせをする方法を説明するための図であり、光導波路3を側面から見るように示した図である。   FIG. 6 is a view for explaining a method of aligning the optical waveguide 3 using a flip chip bonder, and is a view showing the optical waveguide 3 as viewed from the side.

図6に示すフリップチップボンダー8は、光導波路3を吸着、固定する第1吸着部81と、光コネクター5を吸着、固定する第2吸着部82と、光コネクター5や光導波路3を撮像し、相互の位置を認識する画像認識部83と、を備えている。第1吸着部81は、図6の左右方向および紙面厚さ方向に自在に移動するとともに、第1吸着部81の中心部を回転軸として自在に回転し得るよう構成されている。また、フリップチップボンダー8は、この第1吸着部81の動作を制御する制御部84を備えている。制御部84は、画像認識部83により認識された光コネクター5と光導波路3との位置関係に基づき、第1吸着部81を駆動し、光コネクター5と光導波路3との位置関係を調整する。   The flip chip bonder 8 shown in FIG. 6 images the first suction part 81 for sucking and fixing the optical waveguide 3, the second suction part 82 for sucking and fixing the optical connector 5, and the optical connector 5 and the optical waveguide 3. And an image recognition unit 83 for recognizing mutual positions. The first suction unit 81 is configured to freely move in the left-right direction and the sheet thickness direction in FIG. 6 and to freely rotate about the central portion of the first suction unit 81 as a rotation axis. Further, the flip chip bonder 8 includes a control unit 84 that controls the operation of the first suction unit 81. The control unit 84 drives the first suction unit 81 based on the positional relationship between the optical connector 5 and the optical waveguide 3 recognized by the image recognition unit 83 and adjusts the positional relationship between the optical connector 5 and the optical waveguide 3. .

また、画像認識部83は、カメラ831と、カメラ831が撮像した画像を解析する解析部832と、を備えている。カメラ831で捉えた光コネクター5および光導波路3の画像について、解析部832では光コネクター5の像と光導波路3の像との位置関係を解析し、光導波路3を移動させるべきX方向における移動方向と移動量および回転方向と回転角を算出する。   In addition, the image recognition unit 83 includes a camera 831 and an analysis unit 832 that analyzes an image captured by the camera 831. With respect to the images of the optical connector 5 and the optical waveguide 3 captured by the camera 831, the analysis unit 832 analyzes the positional relationship between the image of the optical connector 5 and the image of the optical waveguide 3 and moves in the X direction to move the optical waveguide 3. The direction and amount of movement and the rotation direction and rotation angle are calculated.

そして、この算出に基づき、制御部84は、光コネクター5や光導波路3を移動させる指令を出し、光コネクター5の像と光導波路3の像との画像上の位置関係が所定の関係になった時点でその移動を終了する。これにより、光コネクター5と光導波路3との位置関係は、設計通りのものとなる。そして、このような光導波路3の位置合わせがなされた光配線部品2は、光配線部品2’と接続されたとき、優れた光結合効率を示し、高品質の光通信を実現し得るものとなる。   Based on this calculation, the control unit 84 issues a command to move the optical connector 5 and the optical waveguide 3, and the positional relationship on the image between the image of the optical connector 5 and the image of the optical waveguide 3 becomes a predetermined relationship. At that point, the movement ends. Thereby, the positional relationship between the optical connector 5 and the optical waveguide 3 is as designed. Then, the optical wiring component 2 in which the optical waveguide 3 is aligned as described above exhibits excellent optical coupling efficiency when connected to the optical wiring component 2 ′, and can realize high-quality optical communication. Become.

なお、フリップチップボンダー8では、上記のように第1吸着部81のみを移動するようにしてもよいが、第1吸着部81と第2吸着部82の双方を移動するようにしてもよい。前者のようにすれば、移動の制御が容易になる。また、第2吸着部82が固定されることにより、カメラ831の撮像画像における光コネクター5の像が一定に維持されるため、光コネクター5に対する光導波路3の相対的な移動を正確に認識し易いという利点もある。   In the flip chip bonder 8, only the first suction part 81 may be moved as described above, but both the first suction part 81 and the second suction part 82 may be moved. If the former is used, the movement can be easily controlled. In addition, since the image of the optical connector 5 in the captured image of the camera 831 is kept constant by fixing the second suction portion 82, the relative movement of the optical waveguide 3 with respect to the optical connector 5 is accurately recognized. There is also an advantage that it is easy.

光コネクター5と光導波路3との位置関係は、光配線部品2の接続相手先である光配線部品2’における光コネクター5’と光導波路3’との位置関係に対応して設定される。   The positional relationship between the optical connector 5 and the optical waveguide 3 is set in correspondence with the positional relationship between the optical connector 5 ′ and the optical waveguide 3 ′ in the optical wiring component 2 ′ that is the connection partner of the optical wiring component 2.

図7は、光導波路3の主面を平面視するように製造途中の光配線部品を撮像した画像の一例である。   FIG. 7 is an example of an image obtained by imaging an optical wiring component being manufactured so that the main surface of the optical waveguide 3 is viewed in plan.

本実施形態に係る光配線部品の製造方法では、X方向における光導波路3の位置を調整しながら挿入するが、このとき、図7に示す例のように、光導波路3を平面視するように光コネクター5および光導波路3を撮像する。そして、得られた画像上において光コネクター5の貫通孔(窓部)57の像と光導波路3のコア部41a、41b(光回路パターン)の像との位置関係を解析する。図7に示す例では、2つの貫通孔57の像同士を繋ぐ線分S3を引く。この線分S3は、蓋体51の貫通孔57が呈する色とその周囲が呈する色との違いを認識し、各貫通孔57の中心を求めるとともに、中心同士を仮想的に繋ぐ線分を引くことにより求められる。すなわち、貫通孔57は、光コネクター5の位置を認識する際のマーク(位置認識マーク)として機能する。   In the optical wiring component manufacturing method according to the present embodiment, the optical waveguide 3 is inserted while adjusting the position of the optical waveguide 3 in the X direction. At this time, as shown in FIG. The optical connector 5 and the optical waveguide 3 are imaged. Then, on the obtained image, the positional relationship between the image of the through hole (window portion) 57 of the optical connector 5 and the images of the core portions 41a and 41b (optical circuit pattern) of the optical waveguide 3 is analyzed. In the example shown in FIG. 7, a line segment S3 that connects the images of the two through holes 57 is drawn. This line segment S3 recognizes the difference between the color that the through-hole 57 of the lid 51 exhibits and the color that the surrounding area presents, obtains the center of each through-hole 57, and draws a line segment that virtually connects the centers. Is required. That is, the through hole 57 functions as a mark (position recognition mark) for recognizing the position of the optical connector 5.

また、各コア部41a、41bの中心に沿って線分S4、S5を引く。この線分S4、S5は、光導波路3のコア部41a、41bが呈する色と側面クラッド部42a、42b、42cが呈する色との違いを認識し、コア部41a、41bと側面クラッド部42a、42b、42cとの境界線を求めるとともに、この境界線に基づいて各コア部41a、41bの中心を貫く線分を仮想的に引くことにより求められる。   Further, line segments S4 and S5 are drawn along the centers of the core portions 41a and 41b. The line segments S4 and S5 recognize the difference between the color of the core portions 41a and 41b of the optical waveguide 3 and the color of the side cladding portions 42a, 42b and 42c, and the core portions 41a and 41b and the side cladding portions 42a, While calculating | requiring the boundary line with 42b and 42c, based on this boundary line, it calculates | requires by drawing the line segment which penetrates the center of each core part 41a and 41b virtually.

さらに、線分S3と直交し、かつ貫通孔57の中心を通過するように、2つの線分S6、S7を引く。   Further, two line segments S6 and S7 are drawn so as to be orthogonal to the line segment S3 and pass through the center of the through hole 57.

その上で、線分S3と線分S4との交角θ1および線分S3と線分S5との交角θ2が所定の角度になるように、第1吸着部81を駆動して光導波路3を移動させる。所定の角度は85〜95°程度に設定されるが、好ましくは90°に設定される。この場合、交角θ1、θ2がそれぞれ90°になるように、第1吸着部81を回転させ、光導波路3を回転させる。   Then, the first adsorption portion 81 is driven to move the optical waveguide 3 so that the intersection angle θ1 between the line segment S3 and the line segment S4 and the intersection angle θ2 between the line segment S3 and the line segment S5 become predetermined angles. Let The predetermined angle is set to about 85 to 95 °, preferably 90 °. In this case, the first suction portion 81 is rotated and the optical waveguide 3 is rotated so that the crossing angles θ1 and θ2 are 90 °.

また、線分S4と線分S6との離間距離L3および線分S5と線分S7との離間距離L4がそれぞれ所定の距離になるように、第1吸着部81を駆動して光導波路3を移動させる。所定の距離は特に限定されず、離間距離L3と離間距離L4が互いに異なっていてもよいが、好ましくは互いに等しくなるように光導波路3を移動させる。   In addition, the first suction portion 81 is driven so that the separation distance L3 between the line segment S4 and the line segment S6 and the separation distance L4 between the line segment S5 and the line segment S7 are predetermined distances, respectively. Move. The predetermined distance is not particularly limited, and the separation distance L3 and the separation distance L4 may be different from each other, but the optical waveguide 3 is preferably moved so as to be equal to each other.

このように交角θ1、θ2がそれぞれ90°に、かつ離間距離L3、L4が互いに等しくなるように、光導波路3を移動させることにより、X方向における光導波路3の位置は、図7に示す位置関係を満たすこととなる。図7に示す位置関係とは、すなわち、ガイド孔508の中心同士を繋ぐ線分S1とコア部41a、41bの中心同士を繋ぐ線分S2とが重なり、かつ、線分S1の中点M1と線分S2の中点M2とが重なる関係である。   Thus, the optical waveguide 3 is moved in the X direction so that the crossing angles θ1 and θ2 are 90 ° and the separation distances L3 and L4 are equal to each other. It will satisfy the relationship. The positional relationship shown in FIG. 7 means that the line segment S1 connecting the centers of the guide holes 508 and the line segment S2 connecting the centers of the core portions 41a and 41b overlap with each other and the midpoint M1 of the line segment S1. This is a relationship in which the middle point M2 of the line segment S2 overlaps.

以上のような方法で位置合わせをすることにより、特に光導波路3の回転ずれを認識し易くなるため、X方向におけるシフトずれと回転ずれの双方をより正確に認識し、光導波路3の位置を正確に調整することができる。   By aligning with the above method, it becomes easy to recognize the rotational deviation of the optical waveguide 3 in particular. Therefore, both the shift deviation and the rotational deviation in the X direction are recognized more accurately, and the position of the optical waveguide 3 is determined. It can be adjusted accurately.

また、貫通孔57の開口が真円であることにより、画像上において貫通孔57の中心を求め易い。このため、位置合わせの精度をより高めることができる。なお、貫通孔57の開口の形状は真円に限定されず、例えば楕円形、長円形のようなその他の円形、四角形、六角形のような多角形、十字形、星形等であってもよい。   Further, since the opening of the through hole 57 is a perfect circle, the center of the through hole 57 can be easily obtained on the image. For this reason, the precision of alignment can be improved more. The shape of the opening of the through hole 57 is not limited to a perfect circle, and may be, for example, an ellipse, another circle such as an oval, a polygon such as a rectangle or a hexagon, a cross, a star, or the like. Good.

なお、光導波路3側の位置基準としては、上述したコア部41a、41bの他、側面クラッド部42a、42b、42c(光回路パターン)も用いることができる。   As the position reference on the optical waveguide 3 side, side clad portions 42a, 42b, and 42c (optical circuit patterns) can be used in addition to the core portions 41a and 41b described above.

図8は、フリップチップボンダーを用いて光導波路3の位置合わせを行いつつ光配線部品を製造する方法を説明するための図であり、光導波路の主面を平面視するように示した図、および光導波路を側面から見た図である。   FIG. 8 is a diagram for explaining a method of manufacturing an optical wiring component while aligning the optical waveguide 3 using a flip chip bonder, and is a diagram showing the main surface of the optical waveguide as viewed in plan view. It is the figure which looked at the optical waveguide from the side.

光コネクター5の収納部52に光導波路3を挿入する際、まず、収納部52の全部に光導波路3を挿入していない状態、すなわち、光導波路3が収納部52に全く挿入されていない状態か、収納部52の一部に光導波路3が挿入されている状態において、上述したようにして光コネクター5に対する光導波路3のX方向における位置を合わせる。図8には、光導波路3が収納部52に全く挿入されていない状態を示している。このような状態で位置合わせを行うことにより、摩擦抵抗が全くない状態または摩擦抵抗が少ない状態で光導波路3を移動させることができるので、厳密な位置合わせが可能になる。なお、収納部52の一部に光導波路3が挿入されている状態とは、収納部52の全長のうち、光導波路3が好ましくは95%未満、より好ましくは50%以下の割合で挿入されている状態をいう。   When the optical waveguide 3 is inserted into the storage portion 52 of the optical connector 5, first, the optical waveguide 3 is not inserted into the entire storage portion 52, that is, the optical waveguide 3 is not inserted into the storage portion 52 at all. Alternatively, in the state where the optical waveguide 3 is inserted into a part of the storage portion 52, the position of the optical waveguide 3 in the X direction with respect to the optical connector 5 is aligned as described above. FIG. 8 shows a state where the optical waveguide 3 is not inserted into the storage portion 52 at all. By performing the alignment in such a state, the optical waveguide 3 can be moved in a state where there is no frictional resistance or in a state where there is little frictional resistance, so that it is possible to perform exact alignment. The state in which the optical waveguide 3 is inserted into a part of the storage portion 52 means that the optical waveguide 3 is inserted in a ratio of preferably less than 95%, more preferably 50% or less, out of the total length of the storage portion 52. The state that is.

また、画像認識部83では、各部の発色の違いや反射光量の違い等に基づいて、各部の位置を認識する。例えば、光導波路3では、コア部とクラッド部の呈する色が異なることから、この色の違いに基づいてコア部の輪郭を認識し、コア部の中心を求めるようにすればよい。このようにして光導波路3側の位置基準としてコア部の中心を用いることにより、位置合わせの対象であるコア部の光軸を直接的に位置合わせの基準とすることができるので、光配線部品2と光配線部品2’とを接続したときの光結合効率を特に高めることができる。   In addition, the image recognition unit 83 recognizes the position of each unit based on the difference in color development or the amount of reflected light of each unit. For example, in the optical waveguide 3, since the colors exhibited by the core portion and the clad portion are different, the outline of the core portion may be recognized based on the difference in color and the center of the core portion may be obtained. By using the center of the core portion as a position reference on the optical waveguide 3 side in this way, the optical axis of the core portion that is the object of alignment can be directly used as a reference for alignment. In particular, the optical coupling efficiency when connecting 2 and the optical wiring component 2 ′ can be enhanced.

また、取得した画像において光コネクター5と光導波路3の双方に対して同時に焦点を合わせることができない場合もある。このような場合は、光コネクター5側に焦点を合わせた画像と光導波路3側に焦点を合わせた画像とを交互に取得し、両者を合成することにより、光コネクター5と光導波路3との位置関係を求めるようにしてもよい。   In some cases, the acquired image cannot be focused on both the optical connector 5 and the optical waveguide 3 at the same time. In such a case, an image focused on the optical connector 5 side and an image focused on the optical waveguide 3 side are alternately obtained, and the two are synthesized, whereby the optical connector 5 and the optical waveguide 3 are combined. The positional relationship may be obtained.

このようにしてX方向における位置を合わせた後、そのX方向における位置を保持しながらY方向に移動させ、収納部52の全部に光導波路3を挿入する。これによりZ方向の位置も自ずと合い、光導波路3の先端面と収納部52の先端506とが一致したとき、光導波路3の挿入を終了する。その結果、X方向、Y方向およびZ方向における位置合わせを正確に行うことができる。   After aligning the position in the X direction in this manner, the optical waveguide 3 is inserted into the entire storage portion 52 by moving in the Y direction while maintaining the position in the X direction. As a result, the position in the Z direction naturally matches, and when the tip surface of the optical waveguide 3 and the tip 506 of the storage portion 52 coincide with each other, the insertion of the optical waveguide 3 is finished. As a result, alignment in the X direction, Y direction, and Z direction can be performed accurately.

なお、フリップチップボンダー8では、第1吸着部81のX方向における移動およびY方向における移動をそれぞれリニアアクチュエーター等の直線駆動装置により行う。直線駆動装置では、高い直線性を保ちながら第1吸着部81を駆動し得るため、例えば一旦X方向の位置を合わせた後は、その位置を正確に維持しながら光導波路3をY方向に移動することができる。直線駆動装置としては、リニアアクチュエーターの他にXYZステージ、産業用ロボット、ベルトコンベアー等が用いられる。   In the flip chip bonder 8, the movement of the first suction portion 81 in the X direction and the movement in the Y direction is performed by a linear drive device such as a linear actuator. In the linear drive device, since the first suction unit 81 can be driven while maintaining high linearity, for example, after the position in the X direction is once adjusted, the optical waveguide 3 is moved in the Y direction while accurately maintaining the position. can do. As the linear drive device, an XYZ stage, an industrial robot, a belt conveyor and the like are used in addition to the linear actuator.

また、このX方向およびY方向における位置合わせの最中、画像認識部83では、光コネクター5と光導波路3との位置関係をモニターし続けるようにしてもよい。これにより、目的とする位置関係と現在の位置関係とのずれ量を常時監視することができるため、このずれ量を制御部84にフィードバックすることができる。これにより、例えばずれ量に応じて移動速度を変化させる等の制御が可能になり、より短時間で正確な位置合わせが可能になる。   Further, during the alignment in the X direction and the Y direction, the image recognition unit 83 may continue to monitor the positional relationship between the optical connector 5 and the optical waveguide 3. Thereby, since the deviation | shift amount of the target positional relationship and the present positional relationship can be always monitored, this deviation | shift amount can be fed back to the control part 84. FIG. As a result, for example, control such as changing the moving speed in accordance with the amount of deviation can be performed, and accurate alignment can be performed in a shorter time.

また、図3に示す光コネクター5では、収納部52の基端開口部521に傾斜部522aおよび傾斜部522bが形成されている。このため、収納部52に光導波路3を挿入するとき、光導波路3のZ方向における位置が多少ずれている場合でも、光導波路3が傾斜部522a、522bに沿って滑ることにより、そのずれを矯正することができる。その結果、Z方向における光導波路3の位置を簡単に合わせることができる。   Further, in the optical connector 5 shown in FIG. 3, the inclined portion 522 a and the inclined portion 522 b are formed in the proximal end opening 521 of the storage portion 52. For this reason, when the optical waveguide 3 is inserted into the storage portion 52, even if the position of the optical waveguide 3 in the Z direction is slightly shifted, the optical waveguide 3 is slipped along the inclined portions 522a and 522b, so that the shift is reduced. It can be corrected. As a result, the position of the optical waveguide 3 in the Z direction can be easily adjusted.

なお、画像認識部83の解析部832および制御部84としては、それぞれ、例えばIC、LSI、パソコン、マイコン等が用いられる。また、解析部832は、制御部84に内蔵されていてもよい。   As the analysis unit 832 and the control unit 84 of the image recognition unit 83, for example, an IC, LSI, personal computer, microcomputer or the like is used. The analysis unit 832 may be built in the control unit 84.

また、収納部52の全長の全てに対して光導波路3が挿入されていなくてもよく、例えば光導波路3の先端面が、光コネクター5の先端506からわずかに内側に位置するよう挿入されていてもよい。この場合、光コネクター5の先端506から光導波路3の先端面までの距離は、収納部52の全長の5%以下とされる。   Further, the optical waveguide 3 may not be inserted into the entire length of the storage portion 52, and for example, the front end surface of the optical waveguide 3 is inserted so as to be positioned slightly inward from the front end 506 of the optical connector 5. May be. In this case, the distance from the tip 506 of the optical connector 5 to the tip surface of the optical waveguide 3 is set to 5% or less of the total length of the storage portion 52.

[2]
このように位置合わせをした後、接着剤により光コネクター5と光導波路3とを接着する。収納部52と光導波路3との間隙に液状の接着剤を浸透させ、硬化させることにより、収納部52に対して光導波路3を固定することができる。
[2]
After the alignment as described above, the optical connector 5 and the optical waveguide 3 are bonded with an adhesive. The optical waveguide 3 can be fixed to the storage portion 52 by allowing a liquid adhesive to penetrate into the gap between the storage portion 52 and the optical waveguide 3 and curing.

接着剤はいかなる方法で供給されてもよい。例えば、収納部52の先端開口部526から供給する方法、基端開口部521から供給する方法、貫通孔を備えた蓋体51を用い、その貫通孔を介して供給する方法、光導波路3の先端部を一旦、収納部52の先端開口部526から飛び出させ、先端部に接着剤を塗布し、再び光導波路3を収納部52内に引き込むことで接着剤も一緒に引き込む方法等が挙げられる。このうち、貫通孔(窓部)57を介して接着剤を供給するのが好ましい。これにより、収納部52と光導波路3との間隙に対して直接に接着剤を供給することができるので、接着剤をムラなく浸透させることができ、均質な接着剤層を形成することができる。特に図7に示す光配線部品2の場合、光導波路3に対して2つの貫通孔57が均等配置されているので、この傾向が顕著である。その結果、光導波路3を強固に固定することができ、かつ硬化収縮に伴って光導波路3の位置がずれてしまうのを防止することができる。なお、「光導波路3に対して2つの貫通孔57が均等配置されている」とは、収納部52に光導波路3が挿入されたとき、光導波路3の延伸方向と平行でかつ光導波路3の幅の中点を通過するよう引かれた中心線に対して、2つの貫通孔57が対称に配置されている状態を指す。   The adhesive may be supplied by any method. For example, a method of supplying from the distal end opening 526 of the storage unit 52, a method of supplying from the proximal end opening 521, a method of supplying via the through hole using the lid 51 provided with the through hole, the optical waveguide 3 For example, a method may be used in which the tip portion is once protruded from the tip opening portion 526 of the storage portion 52, an adhesive is applied to the tip portion, and the optical waveguide 3 is drawn back into the storage portion 52 so that the adhesive is also drawn together. . Among these, it is preferable to supply an adhesive via the through hole (window portion) 57. Thereby, since an adhesive agent can be directly supplied with respect to the gap | interval of the accommodating part 52 and the optical waveguide 3, an adhesive agent can be penetrate | infiltrated uniformly, and a homogeneous adhesive bond layer can be formed. . In particular, in the case of the optical wiring component 2 shown in FIG. 7, since the two through holes 57 are evenly arranged with respect to the optical waveguide 3, this tendency is remarkable. As a result, the optical waveguide 3 can be firmly fixed, and it is possible to prevent the position of the optical waveguide 3 from being displaced due to curing shrinkage. Note that “two through holes 57 are evenly arranged with respect to the optical waveguide 3” means that the optical waveguide 3 is parallel to the extending direction of the optical waveguide 3 when the optical waveguide 3 is inserted into the storage portion 52. The two through-holes 57 are symmetrically arranged with respect to the center line drawn so as to pass through the midpoint of the width.

また、貫通孔57を介して接着剤を供給することにより、貫通孔57を接着剤の液溜まりとして利用することができる。このため、毛細管現象により接着剤が浸透する際、その浸透を促進することができる。その結果、収納部52と光導波路3との間隙が極めて薄い場合でも、接着剤を浸透させることができる。   Further, by supplying the adhesive through the through hole 57, the through hole 57 can be used as a liquid reservoir for the adhesive. For this reason, when the adhesive permeates through capillary action, the permeation can be promoted. As a result, the adhesive can be penetrated even when the gap between the storage portion 52 and the optical waveguide 3 is extremely thin.

さらに、接着剤が光硬化性のものである場合には、貫通孔57を介して間隙に浸透した接着剤に光を照射することができる。貫通孔57を介して光を照射すると、接着剤の硬化反応が貫通孔57を起点に進展する。ここで、図7の場合、2つの貫通孔57は、光導波路3に対して均等配置になっているため、貫通孔57を介して光を照射することにより、硬化反応をバランスよく進展させることができる。その結果、硬化収縮も比較的均一になり、硬化収縮に伴う光導波路3の位置ずれを最小限に抑えることができる。   Further, when the adhesive is photo-curable, light can be irradiated to the adhesive that has penetrated into the gap through the through hole 57. When light is irradiated through the through hole 57, the curing reaction of the adhesive progresses starting from the through hole 57. Here, in the case of FIG. 7, the two through holes 57 are evenly arranged with respect to the optical waveguide 3, so that the curing reaction is advanced in a balanced manner by irradiating light through the through holes 57. Can do. As a result, the curing shrinkage becomes relatively uniform, and the positional deviation of the optical waveguide 3 accompanying the curing shrinkage can be minimized.

このように貫通孔57は、位置認識マークとしての機能のみでなく、接着剤の液溜まりとしての機能や、光照射における窓部としての機能も併せ持つものである。そして、貫通孔57を適切に配置することによって、位置認識の精度が高まるとともに、接着剤を均一に供給し、かつ、光硬化を均一に進展させることができる。その結果、高精度に位置合わせがなされた光配線部品2が得られる。   As described above, the through hole 57 has not only a function as a position recognition mark but also a function as a liquid reservoir for an adhesive and a function as a window portion in light irradiation. And by arranging the through-holes 57 appropriately, the accuracy of position recognition can be increased, the adhesive can be supplied uniformly, and photocuring can be progressed uniformly. As a result, the optical wiring component 2 that has been aligned with high accuracy is obtained.

なお、貫通孔57は、必ずしも貫通していなくてもよく、有底の凹部であってもよい。この場合も、凹部は、光コネクター5の位置を認識する際のマーク(位置認識マーク)として機能する。一方、貫通孔57の開口からは、収納部52の内面が見えることから、貫通していない場合に比べて色や明るさのコントラストが付き易いという利点がある。したがって、必要に応じて収納部52の内面に蓋体51の構成材料とは異なる色を付することにより、このコントラストをさらに高めることができる。   The through-hole 57 does not necessarily have to penetrate, and may be a bottomed recess. Also in this case, the concave portion functions as a mark (position recognition mark) for recognizing the position of the optical connector 5. On the other hand, since the inner surface of the storage portion 52 can be seen from the opening of the through hole 57, there is an advantage that a contrast of color and brightness is easily given compared to the case where the through hole 57 is not penetrated. Therefore, this contrast can be further enhanced by applying a color different from the constituent material of the lid 51 to the inner surface of the storage portion 52 as necessary.

また、貫通孔57は、3つ以上形成されていてもよい。図9は、本実施形態に用いられる光コネクターの他の構成例を示す平面図である。図9に示す光コネクター5は、3つの貫通孔57が形成されている以外、図7に示す光コネクター5と同様である。   Further, three or more through holes 57 may be formed. FIG. 9 is a plan view showing another configuration example of the optical connector used in this embodiment. The optical connector 5 shown in FIG. 9 is the same as the optical connector 5 shown in FIG. 7 except that three through holes 57 are formed.

図9において追加された貫通孔57は、図7の線分S7の延長線上であって、光コネクター5の基端507側に形成されている。その結果、3つの貫通孔57の配置は、図9に示すように、直角三角形の頂点に対応した配置になっている。このように貫通孔57の数を増やすことにより、光コネクター5の位置や姿勢を認識するために用いる線分の数が増えることになる。具体的には、貫通孔57の数が2つの場合、貫通孔57同士を繋ぐ線分は1つしかないのに対し、貫通孔57の数を3つに増やした場合、貫通孔57同士を繋ぐ線分は3つに増えることとなる。このため、これらの線分をフリップチップボンダー8の画像認識部83に認識させることによって、光コネクター5の位置と姿勢をより正確に認識させることができ、ひいては、光導波路3の位置を正確に合わせることができる。
以上のようにして光配線部品2が得られる。
A through hole 57 added in FIG. 9 is formed on the base end 507 side of the optical connector 5 on the extension line of the line segment S7 in FIG. As a result, the arrangement of the three through holes 57 is an arrangement corresponding to the apex of the right triangle as shown in FIG. Thus, by increasing the number of through holes 57, the number of line segments used for recognizing the position and posture of the optical connector 5 increases. Specifically, when the number of through holes 57 is two, there is only one line segment connecting the through holes 57, whereas when the number of through holes 57 is increased to three, the through holes 57 are The connecting line segment will increase to three. For this reason, by making the image recognition unit 83 of the flip chip bonder 8 recognize these line segments, the position and posture of the optical connector 5 can be recognized more accurately. As a result, the position of the optical waveguide 3 can be accurately determined. Can be matched.
The optical wiring component 2 is obtained as described above.

なお、接着剤の硬化後、必要に応じて、光コネクター5の先端面ごと光導波路3の先端面を研磨するようにしてもよい。これにより、光導波路3の先端面の清浄化が図られるとともに、収納部52からはみ出た余分な接着剤を除去することができる。その結果、光結合効率のさらなる向上が図られる。   In addition, after hardening | curing of an adhesive agent, you may make it grind | polish the front end surface of the optical waveguide 3 with the front end surface of the optical connector 5 as needed. As a result, the front end surface of the optical waveguide 3 can be cleaned, and excess adhesive protruding from the storage portion 52 can be removed. As a result, the optical coupling efficiency can be further improved.

≪第2実施形態≫
次に、本発明の光配線部品の第2実施形態および本発明の光配線部品の製造方法の第2実施形態について説明する。
<< Second Embodiment >>
Next, a second embodiment of the optical wiring component of the present invention and a second embodiment of the manufacturing method of the optical wiring component of the present invention will be described.

図10は、光導波路3の主面を平面視するように本実施形態に係る製造方法による工程途中の光配線部品を撮像した画像の一例である。   FIG. 10 is an example of an image obtained by imaging an optical wiring component in the middle of a process by the manufacturing method according to the present embodiment so that the main surface of the optical waveguide 3 is viewed in plan.

以下、第2実施形態について説明するが、以下の説明では第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
第2実施形態は、光コネクター5の形状が異なる以外、第1実施形態と同様である。
Hereinafter, although 2nd Embodiment is described, in the following description, it demonstrates centering around difference with 1st Embodiment, The description is abbreviate | omitted about the same matter.
The second embodiment is the same as the first embodiment except that the shape of the optical connector 5 is different.

[1]
本実施形態に係る光コネクター5は、図10に示すように、蓋体51に設けられ、収納部(光導波路貫通孔)52と外部とを連通するよう構成された1つの貫通孔58を備えている。この貫通孔58は、開口が十字形をなしている。そして、この十字形の貫通孔58のうち、収納部52の延伸方向に沿う成分の貫通孔581は、蓋体51の側面509と平行になるよう設けられている。また、十字形の貫通孔58のうち、貫通孔581と直交する成分の貫通孔582は、光コネクター5の先端506(蓋体51の先端)の面と平行になるよう設けられている。なお、光コネクター5の先端506(蓋体51の先端)の面と蓋体51の側面509とは直角に交わっている。
[1]
As shown in FIG. 10, the optical connector 5 according to the present embodiment includes one through hole 58 provided in the lid 51 and configured to communicate the storage portion (optical waveguide through hole) 52 and the outside. ing. The opening of the through hole 58 has a cross shape. In the cross-shaped through hole 58, a through hole 581 having a component along the extending direction of the storage portion 52 is provided so as to be parallel to the side surface 509 of the lid 51. In addition, among the cross-shaped through holes 58, a through hole 582 having a component orthogonal to the through hole 581 is provided in parallel with the surface of the tip 506 of the optical connector 5 (tip of the lid 51). Note that the surface of the tip 506 of the optical connector 5 (tip of the lid 51) and the side surface 509 of the lid 51 intersect at a right angle.

また、貫通孔581と蓋体51の側面509とのそれぞれの離間距離、すなわち図10に示す離間距離Lcおよび離間距離Ldは、互いに等しくなっている。貫通孔58は、光コネクター5を成形後、別途加工して形成されることが多いため、比較的寸法精度が高く、この点においても光コネクター5側の位置基準として有効である。   Further, the separation distance between the through hole 581 and the side surface 509 of the lid 51, that is, the separation distance Lc and the separation distance Ld shown in FIG. 10 are equal to each other. Since the through-hole 58 is often formed by separately processing the optical connector 5 after being molded, it has a relatively high dimensional accuracy, and this is also effective as a position reference on the optical connector 5 side.

本実施形態に係る光導波路の位置合わせ方法では、図10に示す例のように、光導波路3を平面視するように光コネクター5および光導波路3を撮像する。そして、得られた画像上において光コネクター5の貫通孔58の像と光導波路3のコア部41a、41bの像との位置関係を解析する。図10に示す例では、貫通孔581の中心に沿って線分S8を引く。また、貫通孔582の中心に沿って線分S9を引く。   In the optical waveguide alignment method according to the present embodiment, the optical connector 5 and the optical waveguide 3 are imaged so that the optical waveguide 3 is viewed in plan as in the example shown in FIG. Then, on the obtained image, the positional relationship between the image of the through hole 58 of the optical connector 5 and the image of the core portions 41a and 41b of the optical waveguide 3 is analyzed. In the example illustrated in FIG. 10, a line segment S <b> 8 is drawn along the center of the through hole 581. Further, a line segment S9 is drawn along the center of the through hole 582.

その上で、線分S9と線分S4との交角θ3および線分S9と線分S5との交角θ4が所定の角度になるように、第1吸着部81を駆動して光導波路3を移動させる。例えば、交角θ3、θ4がそれぞれ90°になるように、第1吸着部81を回転させ、光導波路3を回転させる。   Then, the first suction portion 81 is driven to move the optical waveguide 3 so that the intersection angle θ3 between the line segment S9 and the line segment S4 and the intersection angle θ4 between the line segment S9 and the line segment S5 become predetermined angles. Let For example, the first adsorption portion 81 is rotated and the optical waveguide 3 is rotated so that the intersection angles θ3 and θ4 are 90 °.

また、線分S4と線分S8との離間距離L5および線分S5と線分S8との離間距離L6がそれぞれ所定の距離になるように、第1吸着部81を駆動して光導波路3を移動させる。例えば、離間距離L5と離間距離L6が互いに等しくなるように光導波路3を移動させる。   In addition, the first adsorption portion 81 is driven so that the separation distance L5 between the line segment S4 and the line segment S8 and the separation distance L6 between the line segment S5 and the line segment S8 are respectively predetermined distances. Move. For example, the optical waveguide 3 is moved so that the separation distance L5 and the separation distance L6 are equal to each other.

このように交角θ3、θ4がそれぞれ90°に、かつ離間距離L5、L6が互いに等しくなるように、光導波路3を移動させることにより、X方向における光導波路3の位置は、図5に示す位置関係を満たすこととなる。   By moving the optical waveguide 3 so that the intersection angles θ3 and θ4 are 90 ° and the separation distances L5 and L6 are equal to each other, the position of the optical waveguide 3 in the X direction is the position shown in FIG. It will satisfy the relationship.

以上のような方法で位置合わせをすることにより、1つの貫通孔58(位置認識マーク)であっても、X方向におけるシフトずれと回転ずれの双方を認識し、光導波路3の位置を正確に調整することができる。   By aligning with the above method, even with one through hole 58 (position recognition mark), both shift shift and rotation shift in the X direction are recognized, and the position of the optical waveguide 3 is accurately determined. Can be adjusted.

[2]
次いで、第1実施形態と同様にして光コネクター5と光導波路3とを接着することにより、光配線部品2が得られる。
[2]
Next, the optical wiring component 2 is obtained by bonding the optical connector 5 and the optical waveguide 3 in the same manner as in the first embodiment.

≪第3実施形態≫
次に、本発明の光配線部品の第3実施形態および本発明の光配線部品の製造方法の第3実施形態について説明する。
«Third embodiment»
Next, a third embodiment of the optical wiring component of the present invention and a third embodiment of the method of manufacturing the optical wiring component of the present invention will be described.

図11は、光導波路3の主面を平面視するように本実施形態に係る製造方法による工程途中の光配線部品を撮像した画像の一例である。   FIG. 11 is an example of an image obtained by imaging an optical wiring component in the middle of a process by the manufacturing method according to the present embodiment so that the main surface of the optical waveguide 3 is viewed in plan.

以下、第3実施形態について説明するが、以下の説明では第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
第3実施形態は、光導波路3の形状が異なる以外、第1実施形態と同様である。
Hereinafter, the third embodiment will be described. In the following description, differences from the first embodiment will be mainly described, and description of similar matters will be omitted.
The third embodiment is the same as the first embodiment except that the shape of the optical waveguide 3 is different.

[1]
本実施形態に係る光配線部品は、2つのアライメントマーク(位置認識マーク)43を備えている。これらのアライメントマーク43は、位置合わせにおける光導波路3側の位置基準として用いられる。
[1]
The optical wiring component according to the present embodiment includes two alignment marks (position recognition marks) 43. These alignment marks 43 are used as a position reference on the optical waveguide 3 side in alignment.

アライメントマーク43は、光導波路3の位置を視覚的に認識し得るマークであればいかなる材質、形状のものであってもよく、また、光導波路3のいかなる場所に形成されたものであってもよいが、その一例として、図11に示すアライメントマーク43は、コア層4の側面クラッド部42a、42c内に形成されたものであり、コア部41a、41bと同じ材料で構成されている。このため、アライメントマーク43もコア部41a、41bと同様、側面クラッド部42a、42cと異なる色を呈し、位置認識マークとして機能する。   The alignment mark 43 may be of any material and shape as long as it can visually recognize the position of the optical waveguide 3, and may be formed at any location of the optical waveguide 3. As an example, the alignment mark 43 shown in FIG. 11 is formed in the side cladding portions 42a and 42c of the core layer 4, and is made of the same material as the core portions 41a and 41b. For this reason, the alignment mark 43 also has a color different from that of the side clad portions 42a and 42c, and functions as a position recognition mark, like the core portions 41a and 41b.

また、図11に示すアライメントマーク43は、平面視形状が十字形をなしている。この十字形のアライメントマーク43のうち、図11の左右方向に沿う線状の部位は、コア部41a、41bの延伸方向と平行になるよう設けられている。一方、アライメントマーク43のうち、図11の上下方向に沿う線状の部位は、前記延伸方向と直交する方向と平行になるよう設けられている。このように図11に示すアライメントマーク43の形状は、コア部41a、41bの延伸方向と正確に対応したものであるため、例えば光導波路3がこのマークを1つだけ備えたものであっても、光導波路3の回転ずれを容易に検出することができる。なお、アライメントマーク43の形状は、これに限定されず、例えば真円、楕円形、長円形のような円形、四角形、六角形のような多角形、星形等であってもよい。   Further, the alignment mark 43 shown in FIG. 11 has a cross shape in plan view. Among the cross-shaped alignment marks 43, linear portions along the left-right direction in FIG. 11 are provided so as to be parallel to the extending direction of the core portions 41a and 41b. On the other hand, a linear portion of the alignment mark 43 along the vertical direction in FIG. 11 is provided so as to be parallel to a direction orthogonal to the extending direction. As described above, since the shape of the alignment mark 43 shown in FIG. 11 accurately corresponds to the extending direction of the core portions 41a and 41b, for example, even if the optical waveguide 3 has only one such mark. The rotational deviation of the optical waveguide 3 can be easily detected. The shape of the alignment mark 43 is not limited to this, and may be, for example, a perfect circle, an ellipse, a circle such as an oval, a polygon such as a quadrangle, a hexagon, or a star.

また、アライメントマーク43は、コア部41a、41bと同じ製造プロセスを経て形成されたものであるのが好ましい。例えば、露光処理を伴う製造プロセスによりコア部41a、41bが形成される場合、同時にアライメントマーク43も形成されるため、両者の位置関係は高い確率で設計通りのものとなる。このため、アライメントマーク43は、コア部41a、41bとの間で設計通りの位置関係を有するものとなり、その結果、アライメントマーク43は、光導波路3側の位置基準として有効なものとなる。   Moreover, it is preferable that the alignment mark 43 is formed through the same manufacturing process as the core parts 41a and 41b. For example, when the core portions 41a and 41b are formed by a manufacturing process involving exposure processing, the alignment mark 43 is also formed at the same time, so that the positional relationship between the two becomes as designed with a high probability. For this reason, the alignment mark 43 has a designed positional relationship with the core portions 41a and 41b. As a result, the alignment mark 43 is effective as a position reference on the optical waveguide 3 side.

本実施形態に係る光導波路の位置合わせ方法でも、X方向における光導波路3の位置を調整しながら挿入するが、このとき、図11に示す例のように、光導波路3を平面視するように光コネクター5および光導波路3を撮像する。そして、得られた画像上において光コネクター5の貫通孔57の像と光導波路3のアライメントマーク43の像との位置関係を解析する。図11に示す例では、2つの貫通孔57の像同士を繋ぐ線分S3を引く。   Also in the optical waveguide alignment method according to the present embodiment, the optical waveguide 3 is inserted while adjusting the position of the optical waveguide 3 in the X direction. At this time, as in the example shown in FIG. The optical connector 5 and the optical waveguide 3 are imaged. Then, the positional relationship between the image of the through hole 57 of the optical connector 5 and the image of the alignment mark 43 of the optical waveguide 3 is analyzed on the obtained image. In the example shown in FIG. 11, a line segment S3 that connects the images of the two through holes 57 is drawn.

また、アライメントマーク43のうち、コア部41a、41bの延伸方向に沿う線状の部位に沿って線分S4’、S5’を引く。この線分S4’、S5’は、アライメントマーク43が呈する色とその周囲が呈する色との違いを認識し、アライメントマーク43の形状を求めるとともに、この形状から導かれる前記線状の部位に沿って線分を仮想的に引くことにより求められる。   Further, line segments S4 'and S5' are drawn along alignment portions of the alignment mark 43 along the extending direction of the core portions 41a and 41b. The line segments S4 ′ and S5 ′ recognize the difference between the color exhibited by the alignment mark 43 and the color exhibited by the periphery thereof, obtain the shape of the alignment mark 43, and follow the linear portion derived from this shape. This is obtained by virtually drawing a line segment.

さらに、線分S3と直交し、かつ貫通孔57の中心を通過するように、2つの線分S6、S7を引く。   Further, two line segments S6 and S7 are drawn so as to be orthogonal to the line segment S3 and pass through the center of the through hole 57.

その上で、線分S3と線分S4’との交角θ1’および線分S3と線分S5’との交角θ2’が所定の角度になるように、第1吸着部81を駆動して光導波路3を移動させる。所定の角度は85〜95°程度に設定されるが、好ましくは90°に設定される。この場合、交角θ1’、θ2’がそれぞれ90°になるように、第1吸着部81を回転させ、光導波路3を回転させる。   In addition, the first suction portion 81 is driven so that the intersection angle θ1 ′ between the line segment S3 and the line segment S4 ′ and the intersection angle θ2 ′ between the line segment S3 and the line segment S5 ′ become predetermined angles. The waveguide 3 is moved. The predetermined angle is set to about 85 to 95 °, preferably 90 °. In this case, the first adsorption portion 81 is rotated and the optical waveguide 3 is rotated so that the intersection angles θ1 ′ and θ2 ′ are 90 °.

また、線分S4’と線分S6との離間距離L3’および線分S5’と線分S7との離間距離L4’がそれぞれ所定の距離になるように、第1吸着部81を駆動して光導波路3を移動させる。所定の距離は特に限定されず、離間距離L3’と離間距離L4’が互いに異なっていてもよいが、好ましくは互いに等しくなるように光導波路3を移動させる。   Further, the first suction unit 81 is driven so that the separation distance L3 ′ between the line segment S4 ′ and the line segment S6 and the separation distance L4 ′ between the line segment S5 ′ and the line segment S7 are respectively predetermined distances. The optical waveguide 3 is moved. The predetermined distance is not particularly limited, and the separation distance L3 'and the separation distance L4' may be different from each other, but the optical waveguide 3 is preferably moved so as to be equal to each other.

このように交角θ1’、θ2’がそれぞれ90°に、かつ離間距離L3’、L4’が互いに等しくなるように、光導波路3を移動させることにより、X方向における光導波路3の位置は、図5に示す位置関係を満たすこととなる。   Thus, by moving the optical waveguide 3 so that the intersection angles θ1 ′ and θ2 ′ are 90 ° and the separation distances L3 ′ and L4 ′ are equal to each other, the position of the optical waveguide 3 in the X direction is as shown in FIG. The positional relationship shown in FIG.

以上のような方法で位置合わせをすることにより、特に光導波路3の回転ずれを認識し易くなるため、X方向におけるシフトずれと回転ずれの双方をより正確に認識し、光導波路3の位置を正確に調整することができる。   By aligning with the above method, it becomes easy to recognize the rotational deviation of the optical waveguide 3 in particular. Therefore, both the shift deviation and the rotational deviation in the X direction are recognized more accurately, and the position of the optical waveguide 3 is determined. It can be adjusted accurately.

[2]
次いで、第1実施形態と同様にして光コネクター5と光導波路3とを接着することにより、光配線部品2が得られる。
[2]
Next, the optical wiring component 2 is obtained by bonding the optical connector 5 and the optical waveguide 3 in the same manner as in the first embodiment.

以上、本発明の光配線部品および光配線部品の製造方法を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。   As mentioned above, although the optical wiring component of this invention and the manufacturing method of the optical wiring component were demonstrated based on embodiment of illustration, this invention is not limited to these.

例えば、フリップチップボンダーは、光導波路や光コネクターを吸着し、移動させる機能を有するものであれば、他の装置(例えばチップマウンター等)で代替することができる。   For example, the flip chip bonder can be replaced by another device (for example, a chip mounter) as long as it has a function of attracting and moving the optical waveguide and the optical connector.

また、本発明に係る実施形態は、上記3つの実施形態のうち、任意の2つ以上を組み合わせたものであってもよい。   In addition, the embodiment according to the present invention may be a combination of any two or more of the above three embodiments.

また、光導波路側の位置基準として光導波路の外縁を採用するようにしてもよく、コア部と外縁の双方を採用するようにしてもよい。同様に、光コネクター側の位置基準として位置認識マークと光コネクターの外縁の双方を採用するようにしてもよい。   Further, the outer edge of the optical waveguide may be adopted as the position reference on the optical waveguide side, or both the core part and the outer edge may be adopted. Similarly, both the position recognition mark and the outer edge of the optical connector may be adopted as the position reference on the optical connector side.

1 光電気混載基板
2、2’ 光配線部品
3、3’ 光導波路
31 基端部
32 先端部
40a、40b クラッド層
4 コア層
41a、41b コア部
42a、42b、42c 側面クラッド部
43 アライメントマーク
5、5’ 光コネクター
50 本体
500 底板
501a、501b 側壁部
502a、502b 側壁面
503 底面
504 溝
505 開放部
506 先端
507 基端
508 ガイド孔
509 側面
51 蓋体
510 裏面
52 収納部
520 基端部
521 基端開口部
522a、522b 傾斜部
523 中心軸
524a、524b 間隙
526 先端開口部
53 コネクター部
57、58、581、582 貫通孔
60 ガイドピン
600 突出部
7 回路基板(基板)
8 フリップチップボンダー
81 第1吸着部
82 第2吸着部
83 画像認識部
831 カメラ
832 解析部
84 制御部
11 発光素子(光素子)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Opto-electric hybrid board 2, 2 'Optical wiring component 3, 3' Optical waveguide 31 Base end part 32 End part 40a, 40b Clad layer 4 Core layer 41a, 41b Core part 42a, 42b, 42c Side surface clad part 43 Alignment mark 5 5 'Optical connector 50 Main body 500 Bottom plate 501a, 501b Side wall portion 502a, 502b Side wall surface 503 Bottom surface 504 Groove 505 Opening portion 506 Tip 507 Base end 508 Guide hole 509 Side surface 51 Cover 510 Back surface 52 Storage portion 520 Base end portion 521 Base End opening 522a, 522b Inclined portion 523 Center axis 524a, 524b Gap 526 End opening 53 Connector portion 57, 58, 581, 582 Through hole 60 Guide pin 600 Projection 7 Circuit board (board)
8 Flip Chip Bonder 81 First Adsorption Unit 82 Second Adsorption Unit 83 Image Recognition Unit 831 Camera 832 Analysis Unit 84 Control Unit 11 Light Emitting Element (Optical Element)

Claims (10)

光導波路挿入孔と、前記光導波路挿入孔の内面と前記内面とは反対側の面とにそれぞれ開口し前記光導波路挿入孔と外部とを連通する窓部からなる複数の位置認識マークと、を備える光コネクターと、
前記光導波路挿入孔に一方の端部が挿入されている層状の光導波路と、
前記光コネクターと前記光導波路とを接着する接着剤と、
を有し、
前記光導波路の2つの主面と前記光導波路挿入孔の内面とがそれぞれ摺接しており、
前記光導波路挿入孔は、その幅が前記光導波路の幅よりも大きくなるよう構成されている光配線部品を製造する方法であって、
前記光導波路の長手方向をY方向とし、前記光導波路の厚さ方向をZ方向とし、前記Y方向と前記Z方向とにそれぞれ直交する方向をX方向としたとき、
前記光導波路挿入孔の全部に前記光導波路を挿入していない状態において、前記位置認識マークと前記光導波路との位置関係が所定の関係を満たすよう、前記X方向における前記光導波路の位置を調整する第1の工程と、
前記X方向における前記光導波路の位置を維持しつつ、前記光導波路の2つの主面を前記光導波路挿入孔の内面にそれぞれ摺接させながら前記光導波路挿入孔に前記光導波路を挿入する第2の工程と、
接着剤により、前記光コネクターと前記光導波路とを接着する第3の工程と、
を有することを特徴とする光配線部品の製造方法。
A plurality of position recognition marks each comprising an optical waveguide insertion hole, and an inner surface of the optical waveguide insertion hole and a window portion that opens to the surface opposite to the inner surface and communicates the optical waveguide insertion hole and the outside. An optical connector, and
A layered optical waveguide having one end inserted in the optical waveguide insertion hole; and
An adhesive for bonding the optical connector and the optical waveguide;
Have
The two main surfaces of the optical waveguide are in sliding contact with the inner surface of the optical waveguide insertion hole,
The optical waveguide insertion hole is directed to a method of its width to produce the optical wiring component that is configured to be greater than the width of the optical waveguide,
When the longitudinal direction of the optical waveguide is the Y direction, the thickness direction of the optical waveguide is the Z direction, and the direction perpendicular to the Y direction and the Z direction is the X direction,
The position of the optical waveguide in the X direction is adjusted so that the positional relationship between the position recognition mark and the optical waveguide satisfies a predetermined relationship when the optical waveguide is not inserted into the entire optical waveguide insertion hole. A first step of:
A second optical waveguide is inserted into the optical waveguide insertion hole while maintaining the position of the optical waveguide in the X direction and sliding the two principal surfaces of the optical waveguide to the inner surface of the optical waveguide insertion hole, respectively. And the process of
A third step of bonding the optical connector and the optical waveguide with an adhesive;
A method of manufacturing an optical wiring component, comprising:
前記光コネクターは、前記光導波路挿入孔の延伸方向に沿って配置されている複数の前記位置認識マークと、前記延伸方向に直交する直交方向に沿って配置されている複数の前記位置認識マークと、を備えている請求項1に記載の光配線部品の製造方法The optical connector includes a plurality of the position recognition marks arranged along an extending direction of the optical waveguide insertion hole, and a plurality of the position recognition marks arranged along an orthogonal direction orthogonal to the extending direction. The manufacturing method of the optical wiring component of Claim 1 provided with these. 前記光導波路挿入孔の幅は、前記光導波路の幅の101〜150%である請求項1または2に記載の光配線部品の製造方法The method of manufacturing an optical wiring component according to claim 1, wherein the width of the optical waveguide insertion hole is 101 to 150% of the width of the optical waveguide. 前記複数の位置認識マークは、前記光導波路の延伸方向と平行でかつ前記光導波路の幅の中点を通過するように引かれる中心線に対して対称に配置されている2つの前記位置認識マークを含む請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光配線部品の製造方法The plurality of position recognition marks are arranged in parallel to the extending direction of the optical waveguide and symmetrically with respect to a center line drawn so as to pass through a midpoint of the width of the optical waveguide. The manufacturing method of the optical wiring component of any one of Claim 1 thru | or 3 containing these. 前記光導波路挿入孔のうち、前記光導波路が挿入されている側の端部を基端部としたとき、前記基端部は、その高さが基端面に向かって漸増するよう構成されている請求項1ないし4のいずれか1項に記載の光配線部品の製造方法Of the optical waveguide insertion hole, when the end portion on the side where the optical waveguide is inserted is used as a base end portion, the base end portion is configured such that its height gradually increases toward the base end surface. The manufacturing method of the optical wiring component of any one of Claim 1 thru | or 4. 前記基端部は、その高さの増加率が前記基端面に向かって徐々に上昇するよう構成されている請求項5に記載の光配線部品の製造方法The method for manufacturing an optical wiring component according to claim 5, wherein the base end portion is configured such that a rate of increase in height gradually increases toward the base end surface. 前記第1の工程において、前記光コネクターと前記光導波路とを含む画像を取得し、前記画像から認識される前記光コネクターの像と前記光導波路との像との位置関係が所定の関係を満たすよう、前記X方向における前記光導波路の位置を調整する請求項1ないし6のいずれか1項に記載の光配線部品の製造方法。 In the first step, an image including the optical connector and the optical waveguide is acquired, and a positional relationship between an image of the optical connector recognized from the image and an image of the optical waveguide satisfies a predetermined relationship. as method of manufacturing an optical wiring component according to any one of claims 1 to 6 for adjusting the position of the optical waveguide in the X-direction. 前記光導波路は、前記Y方向に延伸する光回路パターンを備えたものであり、
前記第1の工程における前記位置認識マークと前記光導波路との位置関係は、前記光導波路側の位置基準として前記光回路パターンを用いるものである請求項に記載の光配線部品の製造方法。
The optical waveguide is provided with an optical circuit pattern extending in the Y direction,
8. The method of manufacturing an optical wiring component according to claim 7 , wherein the positional relationship between the position recognition mark and the optical waveguide in the first step uses the optical circuit pattern as a position reference on the optical waveguide side.
前記第3の工程において、前記窓部を介して未硬化の前記接着剤を前記光導波路挿入孔内に供給し、その後、前記未硬化の接着剤を硬化させる請求項ないしのいずれか1項に記載の光配線部品の製造方法。 In the third step, through the window portion supplying the uncured adhesive to the optical waveguide insertion hole, then any one of claims 1 to 8 to cure the adhesive of the uncured 1 The manufacturing method of the optical wiring component as described in a term. 前記第3の工程において、前記窓部を介して光を照射し、未硬化の前記接着剤を光硬化させる請求項に記載の光配線部品の製造方法。 The method of manufacturing an optical wiring component according to claim 9 , wherein, in the third step, light is irradiated through the window portion to photocur the uncured adhesive.
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