JP6091970B2 - 検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、転がり軸受の検査装置に関し、より詳細には、転がり軸受の回転時（転がり軸受を構成する外方部材と内方部材の相対回転時）に生じる振動を検出し、この検出値に基づいて検査対象の転がり軸受が合格品であるか否かを判定するために使用する検査装置に関する。

高い軸受性能を有すると共に耐久寿命に優れた信頼性に富む転がり軸受を提供すべく、転がり軸受の製造工程では、通常、転がり軸受の振動特性が検査される。例えば、下記の特許文献１には、複列の外側転走面を有する外方部材としての外輪と、複列の内側転走面を有する内方部材としての内輪と、対をなす外側転走面と内側転走面の間に介在される転動体とを備えた複列の転がり軸受（複列軸受）の振動特性を検査するための技術手段が記載されている。

具体的に述べると、特許文献１には、外輪を固定し、内輪を軸方向に加圧した（外輪の側に押し付けた）状態で内輪を回転させ、内輪の回転中に外輪の軸方向一端部側の転走面における振動を測定する第１測定工程と、外輪を固定し、内輪を軸方向に加圧した状態で内輪を回転させ、内輪の回転中に外輪の軸方向他端部側の転走面における振動を測定する第２測定工程とを備えた検査方法が記載されている。この検査方法は、例えば、外輪の軸方向端部側を着脱可能に固定する固定手段と、内輪に対して軸方向の加圧力を付与する加圧手段と、この加圧手段にて加圧された内輪をその軸心回りに回転させる回転駆動手段と、内輪の回転中に、固定手段にて固定されていない外輪の軸方向端部側の転走面における振動を測定する振動測定手段とを備えた検査装置を用いることで実現される。

特開２０１０−１７５５１１号公報

特許文献１の技術手段は、信頼性に富む転がり軸受を提供可能とし得る有用なものであるが、改良の余地がある。詳述すると、まず、内輪に嵌合される嵌合部を有するシリンダロッド（加圧手段）が、トルク検出手段を介してモータ（回転駆動手段）の出力軸に連結されている関係上、モータの回転に伴って生じる振動が検査対象である転がり軸受に伝達され易い。また、この種の検査装置は、現実には、組立装置をはじめとする他の製造装置と隣接配置された状態で使用されるため、他の製造装置が作動するのに伴って生じる振動が検査装置、ひいてはこれに保持された検査対象の転がり軸受に伝達され易い。このため、特許文献１の技術手段では転がり軸受の振動特性を正確に検査することが難しく、合格基準に満たない不合格品が合格品の群の中に混入する場合があった。またこれとは逆に、本来合格品と判定されるべき転がり軸受が不合格品と判定される場合があった。この場合、本来不必要の再検査や手直し等が実行されるため、生産効率が低下する。

かかる実情に鑑み、本発明の目的は、転がり軸受の振動特性を精度良く検査することができる検査装置を提供し、もって信頼性に富む転がり軸受を効率良く製造可能とすることにある。

上記の目的を達成するために創案された本発明は、転動体と、転動体を介して相対回転する外方部材および内方部材とを備えた転がり軸受のうち、支持部材により下方側から接触支持された外方部材又は内方部材の何れか一方を加圧手段により他方側に加圧し、その状態で、加圧手段とは分離して設けた回転駆動手段により上記他方をその軸心回りに回転させるのに伴って上記一方に生じる振動を支持部材を介して検出手段で検出し、この検出値に基づいて転がり軸受が合格品であるか否かを判定する検査装置であって、加圧手段および回転駆動手段を固定的に保持した枠体と回転駆動手段を構成するモータとの間、および支持部材と加圧手段との間に制振手段がそれぞれ介在しており、支持部材と加圧手段との間に介在する上記制振手段は、制振部材と、制振部材と接触した状態で制振部材の上下両側にそれぞれ配置された第１および第２の保持部材とを備え、検出手段は、その一端部が第１の保持部材によって固定的に保持されると共に、その他端部が第２の保持部材によって固定的に保持されていることを特徴とする。

なお、本発明でいう「転がり軸受」とは、外方部材および内方部材が転動体を介して相対回転可能な状態に組み付けられているものであれば良い。すなわち、ここでいう「転がり軸受」とは、完成品（最終製品）としての転がり軸受のみならず、外方部材および内方部材が転動体を介して相対回転可能な状態に組み付けられたアセンブリも含む概念である。

本発明に係る検査装置では、外方部材又は内方部材の何れか一方を他方側に加圧する加圧手段と、上記他方をその軸心回りに回転させる回転駆動手段とを分離して設け、また、上記一方と加圧手段との間に制振手段を介在させたので、回転駆動手段が駆動されるのに伴って生じる振動、および当該検査装置に隣接配置される他の装置で生じる振動が、検査対象である上記一方に伝わり難くなる。これに加え、上記制振手段に設けた保持部で検出手段を固定的に保持したので、検出手段自体が振れるのも可及的に防止することができる。このように、本発明に係る検査装置によれば、検査対象の転がり軸受のうち実質的な検査対象である上記一方と、検出手段の双方が外乱振動の影響を受けるのを効果的に抑制することができるので、転がり軸受の振動特性を精度良く検査することが可能となる。

本発明に係る検査装置には、上記一方を支持するための支持部材を設けることができ、この場合、検出手段は、その検出子を支持部材に接触もしくは近接させた状態で制振手段の保持部で固定的に保持することができる。このように、上記一方に生じる振動を支持部材を介して検出するようにした場合、支持部材は、上記一方を周方向の複数箇所（例えば三箇所）で支持可能な形状を有するものとするのが好ましい。上記一方を全周に亘って支持する場合に比べ、支持部材に検査対象の転がり軸受の振動が伝達され易くなり、振動検出精度を高めることができるからである。

回転駆動手段は、上記他方の回転を静止側に対して非接触で支持する流体動圧軸受（例えば、エアスピンドル）を備えるものとすることができる。上記他方の回転は、例えば転がり軸受で支持することも可能であるが、この場合には、転がり軸受が作動するのに伴って生じる振動により、検査対象の転がり軸受の振動特性を正確に検査することが難しくなるおそれがあるからである。

本発明に係る検査装置は、加圧手段および回転駆動手段を固定的に保持した枠体と、この枠体を下方側から支持した支持ベースとをさらに備えるものとすることができる。この場合、枠体と支持ベースとの間には、他の制振手段を介在させることができる。このようにすれば、特に、当該検査装置の外部で生じる振動を上記他の制振手段で減衰することができるので、検査対象の転がり軸受や検出手段に外乱振動が一層伝わり難くなる。従って、転がり軸受の振動特性を一層精度良く検査することができる。

振動を定量的に捉えるためには、加速度［ｍ／ｓ²］、速度［ｍ／ｓ］又は変位［ｍ］の何れかの物理量が使用され、これらの物理量は、微分又は積分することによって相互に変換可能である。従って、検出手段として、加速度を検出可能な加速度センサ、速度を検出可能な速度センサ又は変位を検出可能な変位センサの何れかを使用すれば、振動を定量的に捉えることができる。

本発明に係る検査装置の構成上、加圧手段は、上記一方を他方側に加圧可能な機構、すなわち検査対象の転がり軸受の軸線と平行に伸縮動する機構を備えている必要があり、この種の機構としては、ばね機構やシリンダ機構を採用することができる。特に、シリンダ機構であれば、ロッドの伸縮量（静止位置）を調整するだけで上記一方に付与すべき加圧力を調整することができるので、例えば検査対象の転がり軸受が変更された場合でも、この変更に容易に対応することができるという利点がある。

本発明に係る検査装置は、転動体と、転動体を介して相対回転する外方部材および内方部材とを備えた転がり軸受全てを検査対象とすることができる。すなわち、本発明に係る検査装置は、単列又は複列を問わず、玉軸受、針状ころ軸受、円筒ころ軸受、円錐ころ軸受などの転がり軸受を検査対象とすることができる。

以上に示すように、本発明に係る検査装置によれば、転がり軸受の振動特性を精度良く検査することができる。これにより、信頼性に富む転がり軸受を効率良く製造することが可能となる。

本発明の一実施形態に係る検査装置の全体該略図である。 検査対象とされる転がり軸受の一例を示す断面図である。 図１に示す検査装置の要部を分解した状態の拡大図である。 他の実施形態に係る検査装置の要部拡大図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

図１に、本発明の実施形態に係る検査装置１の全体概略構造を示す。同図に示す検査装置１は、図２に例示する転がり軸受１００の外方部材１１０および内方部材１２０がその軸心回りに相対回転する（本実施形態では、外方部材１１０の回転が規制された状態で内方部材１２０が回転する）のに伴って生じる振動を測定・検出し、この検出値に基づいて転がり軸受が合格品であるか否かを判定するために使用されるものであり、構造体２と、回転駆動手段１０と、加圧手段２０と、検出手段４０およびこれに接続された合否判定手段５０とを主な構成として備える。詳細な図示は省略するが、この検査装置１は、転がり軸受を量産するための製造ラインに設置された状態で使用される。従って、検査装置１を実使用する際には、この検査装置１の周辺に、組立装置等の他の製造装置が隣接設置される。

ここで、検査装置１の詳細構造を説明する上での便宜から、検査対象とされる転がり軸受の一例を図２に基づいて詳細に説明する。同図に示す転がり軸受１００は、自動車等の車両において、車輪を車体に対して回転自在に支持するための車輪用軸受装置を構成する複列玉軸受であり、内周に複列の外側軌道面１１１，１１２を有する外方部材１１０と、外周に複列の内側軌道面１２１，１２２を有する内方部材１２０と、対をなす軌道面間に介在する転動体としてのボール１３０と、ボール１３０を円周方向所定間隔で保持する保持器１４０とを備える。外方部材１１０は、径方向外向きに延びるフランジ１１３を一体に有し、フランジ１１３には、当該外方部材１１０を車体に取り付ける際にボルト等の締結部材が装着される孔部１１４が設けられている。内方部材１２０は、径方向外向きに延びるフランジ１２５を有する第１の内方部材（ハブ輪とも称される）１２３の外周に第２の内方部材１２４を嵌合することで形成され、第１および第２の内方部材１２３，１２４の外径面に、内側軌道面１２１，１２２がそれぞれ設けられている。第１の内方部材１２３のフランジ１２５には、内方部材１２０を車輪に固定する際にボルト等の締結部材が装着される孔部１２６が設けられている。

以下、図１に示す検査装置１の詳細構造を、図３も参照しながら説明する。なお、図１および図３中には、図２に示す検査対象の一例としての転がり軸受１００を描いているが、図１においては同転がり軸受１００を概念的に示している。

構造体２は、回転駆動手段１０および加圧手段２０を固定的に保持した枠体５と、床面上に設置され、枠体５を下方側から支持した支持ベース３と、支持ベース３と枠体５との間に介設された「他の制振手段」としての制振手段４とを備える。枠体５は、制振手段４の一端（上端）に固定された下側フレーム６と、下側フレーム６のコーナー部に立設された支柱７と、各支柱７の上端部に固定された上側フレーム８とを備える。

「他の制振手段」としての制振手段４は、ここでは、互いに離間して配置されると共に、互いに異なる対象物に取り付けられる二つの取付部と、両取付部間に介在して両取付部を連結し、せん断、圧縮および引っ張り方向へ変形可能なゴム部とを備えた、いわゆる防振ゴムである。防振ゴムを構成する一方および他方の取付部は、支持ベース３および枠体５（下側フレーム６）にそれぞれ取り付けられている。制振手段４としては、防振ゴム以外にも、例えばエアダンパやオイルダンパを使用することもできる。

回転駆動手段１０は、検査対象の転がり軸受１００のうち外方部材１１０又は内方部材１２０の何れか一方（本実施形態では内方部材１２０）をその軸心（転がり軸受１００の軸線）回りに回転させるためのものであり、内方部材１２０をその軸心回りに回転可能に保持する回転保持機構１１と、モータ１５と、モータ１５の出力を回転保持機構１１の従動軸１２に伝達する動力伝達機構１６とを備える。回転保持機構１１は、転がり軸受１００と同軸配置され、モータ１５の出力を受けて回転する従動軸１２と、従動軸１２の下端部に装着され、内方部材１２０を従動軸１２と一体回転可能に保持する保持部材１３と、従動軸１２（内方部材１２０）の回転を静止側に対して非接触で支持する流体動圧軸受（例えば、エアスピンドル）１４とを備える。モータ１５としては、汎用モータ、サーボモータあるいはステッピングモータを使用することができる。動力伝達機構１６は、モータ１５の出力軸に設けられた第１プーリ１７と、従動軸１２に設けられた第２プーリ１８と、両プーリ１７，１８に巻き回された無端状の動力伝達部材１９とを備える。動力伝達部材１９としては、例えばベルト部材、チェーン又はワイヤを使用することができ、ここでは両プーリ１７，１８との摩擦抵抗が少ないベルト部材（いわゆる丸ベルト）を使用している。

以上の構成を有する回転駆動手段１０は、その全体が検査対象の転がり軸受１００の上方に配置されており、回転保持機構１１およびモータ１５は、それぞれ、ブラケット９ａ，９ｂを介して枠体５の上側フレーム８に固定的に保持されている。なお、本実施形態において、モータ１５は、防振ゴム等の制振手段９ｃを介してブラケット９ｂに取り付け固定されている。

加圧手段２０は、回転駆動手段１０とは分離して設けられ、ここでは、その全体が検査対象の転がり軸受１００の下方に配置される。加圧手段２０は、下側フレーム６上に立設され、検査対象の転がり軸受１００の軸線（上下方向）に沿って伸縮動するロッド２２を備えたシリンダ機構２１と、ロッド２２の上端に取り付け固定された支持体２４（検査対象の転がり軸受１００）の姿勢変化を規制しつつ、ロッド２２の伸縮動を案内する案内機構２３とを備える。本実施形態のシリンダ機構２１は、図示しないボールねじ、リニアガイドおよびＡＣサーボモータなどを備えた電動シリンダで構成される。

支持体２４は、ロッド２２の先端（上端）に取り付け固定されたベースプレート２６と、外方部材１１０を下方側から接触支持する支持部材２５と、ベースプレート２６と支持部材２５の間に介在して両者を連結する連結部とを備える。連結部は、ベースプレート２６上に設置された筒状の中間部材２７と、中間部材２７と支持部材２５の間に介設された制振手段３０とを備える（図３を併せて参照）。

支持部材２５は、検査対象の転がり軸受１００の外方部材１１０を下方側から接触支持する部材であり、本実施形態の支持部材２５は、転がり軸受１００の外方部材１１０を周方向の三箇所で支持（接触支持）可能な形状を有している。具体的に延べると、支持部材２５は、上下方向に延び、転がり軸受１００（外方部材１１０）の周方向三箇所に離間して設けられた軸方向部２５ａを有する。従って、転がり軸受１００の外方部材１１０は、その周方向三箇所に離間して設けられた軸方向部２５ａにより下方側から接触支持される。

制振手段３０は、制振部材３１と、制振部材３１の上下両側にそれぞれ設けられた第１および第２の保持部材３２，３３とを備える。第１の保持部材３２は、制振部材３１と支持部材２５の間に介在して検出手段４０の略一端部を保持し、第２の保持部材３３は制振部材３１と中間部材２６の間に介在して検出手段４０の略他端部を保持している。従って、第１および第２の保持部材３２，３３が、検出手段４０を固定的に保持するための保持部を構成している。制振部材３１は、制振機能（振動の減衰機能／緩衝機能）を発揮し得るものであれば任意のものを使用することができる。例えば、上述したいわゆる防振ゴムの他、円環状をなした弾性体（例えば、ゴムや軟質樹脂を円環状に形成したもの）を使用することができる。

本実施形態では、検出手段４０として、加速度を検出する加速度センサが使用される。使用する加速度センサは、機械式、光学式又は半導体式の何れでも構わないが、半導体式の加速度センサは、機械式の加速度センサや光学式の加速度センサに比べて小型・軽量で、かつ精密な検出が可能であることから好ましい。半導体式の加速度センサには、位置変化を静電容量の変化として検出する静電容量検出型の他、ピエゾ抵抗効果を利用するピエゾ抵抗型、ガス温度分布型などがある。検出手段４０としての加速度センサは、その一端部に設けられた検出子４０ａ（加速度ピックアップ）を測定対象に接触させる接触型であっても良いし、測定対象に近接配置される非接触型であっても良いが、ここでは、検出子４０ａを、外方部材１１０を下方側から接触支持する支持部材２５に接触もしくは近接させるようにして、制振手段３０の保持部で固定的に保持されている。検出手段４０としての加速度センサには、配線を介して合否判定手段５０が接続される。合否判定手段５０は、検出手段４０が検出した検出値に基づいて、検査対象の転がり軸受１００が合格品（良品）であるか、もしくは、不合格品（不良品）であるかを判定する。

なお、検出手段４０としては、上記した加速度センサに替えて、速度を検出する速度センサ、あるいは変位を検出する変位センサを使用しても良い。使用可能な速度センサとしては、例えばレーザドップラ振動計を挙げることができる。また、使用可能な変位センサとしては、例えばレーザ変位センサ、渦電流式変位センサ、接触式変位センサなどを挙げることができる。すなわち、振動を定量的に捉えるためには、加速度［ｍ／ｓ²］、速度［ｍ／ｓ］又は変位［ｍ］の何れかの物理量が使用され、各物理量は、微分又は積分することによって相互に変換することができる。そのため、検出手段４０としては、上述したように、加速度センサに替えて、速度センサ又は変位センサを使用しても良い。

以上の構成を有する検査装置１は、例えば以下のようにして使用される。

まず、検査対象の転がり軸受１００を、その軸線がシリンダ機構２１のロッド２２の伸縮方向と平行になるような姿勢とした上で、外方部材１１０を支持部材２５の軸方向部２５ａ上に載置する。これにより、転がり軸受１００（外方部材１１０）は、支持部材２５により下方側から接触支持される。次いで、シリンダ機構２１のロッド２２を、内方部材１２０のフランジ１２５端面が回転保持機構１１の保持部材１３に当接するまで伸長移動させる。そして、ロッド２２の伸長量を調整して外方部材１１０を上側（内方部材１２０の側）に加圧し、外方部材１１０を内方部材１２０に対して所定の力（例えば２５０Ｎ程度）で押し付ける。この状態で、モータ１５を駆動して回転保持機構１１の従動軸１２および保持部材１３を一体に回転させる。これにより、外方部材１１０の軸心回りの回転が規制された状態で、内方部材１２０がその軸心回りに回転する。そして、内方部材１２０が回転するのに伴って外方部材１１０に生じる振動が、支持部材２５を介して検出手段４０としての加速度センサで測定・検出されると、その検出値（測定値）が合否判定手段５０に入力される。合否判定手段５０では、所定の周波数における加速度が予め設定されている合格基準の範囲内（閾値以下）であるか否かが判別され、合否判定手段５０に入力された加速度が閾値以下であれば“合格”の判定を出力する一方、加速度が閾値を超えているときには“不合格”の判定を出力する。

以上で説明した本発明に係る検査装置１では、外方部材１１０を内方部材１２０の側に加圧する加圧手段２０と、内方部材１２０をその軸心回りに回転させる回転駆動手段１０とを分離して設け、また、外方部材１１０と加圧手段２０との間に制振手段３０を介在させたので、回転駆動手段１０が駆動されるのに伴って生じる振動、および当該検査装置１に隣接配置される他の装置で生じる振動が、実質的な検査対象である外方部材１１０に伝達し難くなる。これに加え、制振手段３０に設けた保持部で検出手段４０を固定的に保持したので、検出手段４０自体が振れるのも可及的に防止することができる。このように、本発明の構成では、検査対象の転がり軸受１００（外方部材１１０）および検出手段４０の双方が外乱振動の影響を受けるのを効果的に抑制することができるので、転がり軸受１００の振動特性を精度良く検査することが可能となる。

本実施形態では、外方部材１１０を支持する支持部材２５を介して外方部材１１０に生じる振動を検出手段４０で検出するようにしているが、外方部材１１０として、周方向の複数箇所（ここでは三箇所）で外方部材１１０を接触支持するものを使用しているので、支持部材２５に転がり軸受１００の振動が伝達され易く、振動検出精度を高めることができる。

また、本実施形態では、内方部材１２０（従動軸１２）の回転を、エアスピンドル等の流体動圧軸受で支持するようにしたので、従動軸１２を転がり軸受で回転可能に支持する場合に懸念される振動特性の検査精度低下を可及的に防止することができる。さらに、従動軸１２（内方部材１２０）にモータ１５の出力を伝達するための動力伝達機構１６において、プーリ１７，１８との摩擦抵抗の少ない動力伝達部材１９（無端状のベルト部材）を使用したので、動力伝達機構１６が振動発生源となる可能性を可及的に低減し、振動特性の検査精度を高めることができる。

さらに本実施形態では、加圧手段２０および回転駆動手段１０を固定的に保持した枠体５と、この枠体５を下方側から支持した支持ベース３との間に、他の制振手段（制振手段４）を介在させ、また、回転駆動手段１０を構成するモータ１５を、制振手段９ｃを介してブラケット９ｃ（枠体５）に取り付け固定したので、検査対象の転がり軸受１００や検出手段４０に、検査装置１の外部および内部で生じる振動が一層伝わり難くなる。従って、転がり軸受の振動特性を一層精度良く検査することができる。

以上、本発明の一実施形態に係る振動検査装置１について説明したが、振動検査装置１には、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜の変更を施すことが可能である。例えば、上記の実施形態では、加圧手段２０を構成するシリンダ機構２１として電動シリンダを採用したが、電動シリンダに替えてエアシリンダや油圧シリンダを採用しても良い。また、加圧手段２０を構成し、実質的に外方部材１１０に加圧力を付与するための機構としては、シリンダ機構２１に替えて、コイルばね等を備えたばね機構を採用しても良い。但し、シリンダ機構２１であれば、ロッド２２の伸縮量（静止位置）を調整するだけで外方部材１１０に付与すべき加圧力を調整することができるので、例えば検査対象の転がり軸受１００の型式が変更された場合でも、この変更に容易に対応することができるという利点がある。

また、検出手段４０による転がり軸受１００の振動検出は、支持部材２５を介して間接的に行うのではなく、検出子４０ａを転がり軸受１００（外方部材１１０）に接触もしくは近接配置することによって直接的に行うようにしても良い。この場合には、支持部材２５として、円筒状の軸方向部２５ａを有するものを使用し、外方部材１１０をその全周に亘って接触支持するようにしても良い。

また、本発明に係る振動検査装置１は、図２に例示したような複列玉軸受の振動特性を検査する際にのみ使用可能なわけではなく、複列針状ころ軸受や複列円筒ころ軸受等、その他公知の複列転がり軸受の振動特性を検査する際にも好ましく使用し得る。さらに、本発明に係る振動検査装置１は、単列の転がり軸受の振動特性を検査する際にも好ましく使用し得る。

一例として、図４に、単列の転がり軸受（図示例は深溝玉軸受）２００の振動特性を検査するための振動検査装置１の要部拡大図を示す。同図に示す転がり軸受２００は、内周に外側軌道面を有する外方部材としての外輪２１０と、外周に内側軌道面を有する内方部材としての内輪２２０と、対をなす軌道面間に介在する転動体としてのボール２３０とを備えている。この実施形態の検査装置１では、内輪２２０を従動軸１２と共回り可能に保持する保持部材１３として、内輪２２０の内周に圧入される圧入部を有するものを使用している。

以上で説明した検査装置１は、外方部材を内方部材の側に加圧した状態（外方部材の回転を規制した状態）で内方部材を回転駆動させ、これに伴って生じる振動を検出手段４０で検出するように構成されたものであるが、これとは逆に、内方部材を外方部材の側に加圧した状態（内方部材の回転を規制した状態）で外方部材を回転駆動させることにより生じる振動を検出手段４０で検出するように構成することも可能である。このような構成を採用する場合には、支持部材２５を、内方部材を下方側から接触支持可能な形状に変更すると共に、保持部材１３を、外方部材を保持可能な形状に変更すれば良い。

１ 検査装置
２ 構造体
３ 支持ベース
４ 制振手段（他の制振手段）
５ 枠体
１０ 回転駆動手段
１１ 回転保持機構
１４ 流体動圧軸受
１５ モータ
１６ 動力伝達機構
２０ 加圧手段
２１ シリンダ機構
２２ ロッド
２５ 支持部材
３０ 制振手段
４０ 検出手段
４０ａ 検出子
５０ 合否判定手段
１００ 転がり軸受
１１０ 外方部材
１２０ 内方部材
１３０ ボール（転動体）

Claims (7)

1. 転動体と、該転動体を介して相対回転する外方部材および内方部材とを備えた転がり軸受のうち、支持部材により下方側から接触支持された前記外方部材又は前記内方部材の何れか一方を加圧手段により他方側に加圧し、その状態で、前記加圧手段とは分離して設けた回転駆動手段により前記他方をその軸心回りに回転させるのに伴って前記一方に生じる振動を前記支持部材を介して検出手段で検出し、この検出値に基づいて前記転がり軸受が合格品であるか否かを判定する検査装置であって、
   前記加圧手段および前記回転駆動手段を固定的に保持した枠体と前記回転駆動手段を構成するモータとの間、および前記支持部材と前記加圧手段との間に制振手段がそれぞれ介在しており、
   前記支持部材と前記加圧手段との間に介在する前記制振手段は、制振部材と、該制振部材と接触した状態で前記制振部材の上下両側にそれぞれ配置された第１および第２の保持部材とを備え、
   前記検出手段は、その一端部が前記第１の保持部材によって固定的に保持されると共に、その他端部が前記第２の保持部材によって固定的に保持されていることを特徴とする検査装置。
2. 前記検出手段は、その検出子が前記支持部材に接触もしくは近接している請求項１記載の検査装置。
3. 前記支持部材は、前記一方を周方向の複数箇所で支持可能な形状を有する請求項１又は２記載の検査装置。
4. 前記回転駆動手段は、前記他方の回転を静止側に対して非接触で支持する流体動圧軸受を備える請求項１〜３の何れか一項に記載の検査装置。
5. 前記枠体を下方側から支持した支持ベースをさらに備え、前記枠体と前記支持ベースとの間に他の制振手段を介在させた請求項１〜４の何れか一項に記載の検査装置。
6. 前記検出手段が、加速度センサ、速度センサ又は変位センサの何れかである請求項１〜５の何れか一項に記載の検査装置。
7. 前記加圧手段は、前記転がり軸受の軸線に沿って伸縮動するシリンダ機構を有する請求項１〜６の何れか一項に記載の検査装置。

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