JP6019310B1

JP6019310B1 - 蒸着装置及び蒸着装置による成膜工程を含む製造方法

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Publication number: JP6019310B1
Application number: JP2015084205A
Authority: JP
Inventors: 樋口　俊郎; 俊郎樋口; 上野　博; 博上野; 木村　仁; 仁木村
Original assignee: Nalux Co Ltd
Current assignee: Nalux Co Ltd
Priority date: 2015-04-16
Filing date: 2015-04-16
Publication date: 2016-11-02
Anticipated expiration: 2035-04-16
Also published as: CN106048550B; CN106048550A; US20160303607A1; JP2016204681A; US10507488B2

Abstract

【課題】立体的な形状を有するワークのそれぞれの面の蒸着量のばらつきを小さくすることのできるトレイ保持具を提供する。【解決手段】トレイ保持具は、蒸着装置のドームに固定される固定部（１１００）と、該固定部に回転可能に支えられた第１の内部伝達軸（１１２１）と、該固定部に回転可能に支えられた揺動軸（１１０９）に固定され、揺動するように構成された揺動部（１２００）と、該第１の内部伝達軸にユニバーサルジョイント（１１２３）で結合され、該揺動部に回転可能に支えられた第２の内部伝達軸（１１２５）と、該第２の内部伝達軸によって支えられ、トレイを保持するように構成された回転部（１３００）と、を備え、該第１の内部伝達軸が外部から回転されると、該回転部が、該第２の内部伝達軸とともに回転し、該揺動部とともに揺動するように構成されている。【選択図】図７

Description

本発明は、蒸着装置及び蒸着装置による成膜工程を含む製造方法に関する。

蒸着装置は、一例として、レンズや回折格子などの光学素子の表面に膜を形成するために使用される。蒸着装置は、膜を形成する物質を放出するための蒸着源と、蒸着源を覆い中心軸の周りに回転可能なドームと、を含む。ドームにはトレイ保持具によって複数のトレイが取り付けられ、それぞれのトレイには、複数のワーク、たとえば、レンズや回折格子が取り付けられる。

ワークへの均一な蒸着量を実現するために、蒸着源の周りにトレイを回転させる（公転）とともに、トレイ自体を自身の中心軸の周りに回転させる（自転）蒸着装置が既に開発されている（たとえば、特許文献１及び特許文献２）。

しかし、ドームに設置された多数のトレイを確実に自転させるには、上記の従来技術の蒸着装置の機構は十分ではない。また、立体的な形状を有するワークのそれぞれの面の蒸着量のばらつきを小さくにするには、上述の公転及び自転動作だけでは十分ではない。他方、製造及び維持コストの観点から、蒸着装置の構造はできるだけ簡単であるのが好ましい。

このように、ドームに設置された多数のトレイを確実に自転させることができ、立体的な形状を有するワークのそれぞれの面の蒸着量のばらつきを小さくすることのできる蒸着装置及びトレイ保持具は開発されていない。

特開昭６２−２７０７６８号公報特開平４−３２９８６９号公報

したがって、ドームに設置された多数のトレイを確実に自転させることができ、立体的な形状を有するワークのそれぞれの面の蒸着量のばらつきを小さくすることのできる蒸着装置及びトレイ保持具に対するニーズがある。

本発明の第１の態様のトレイ保持具は、蒸着装置のドームに固定される固定部と、該固定部に回転可能に支えられた第１の内部伝達軸と、該固定部に回転可能に支えられた揺動軸に固定され、揺動するように構成された揺動部と、該第１の内部伝達軸にユニバーサルジョイントで結合され、該揺動部に回転可能に支えられた第２の内部伝達軸と、該第２の内部伝達軸によって支えられ、トレイを保持するように構成された回転部と、を備え、該第１の内部伝達軸が外部から回転されると、該回転部が、該第２の内部伝達軸とともに回転し、該揺動部とともに揺動するように構成されている。

本態様のトレイ保持具に保持されたトレイは、該第１の内部伝達軸が回転されると、該回転部とともに回転し、該回転部は、該揺動部とともに揺動する。このように、トレイを回転（自転）させ揺動させることにより、トレイに取り付けられた立体的な形状を有するワークのそれぞれの面の蒸着量のばらつきを小さくすることができる。

本発明の第１の態様の第１の実施形態のトレイ保持具は、クランク回転板とクランクロッドを含むクランク機構を備え、該クランク回転板は、該第１の内部伝達軸の回転によって回転するように構成され、該クランクロッドは、該クランク回転板と該揺動部を結合し、該１の内部伝達軸の回転によって該揺動部を揺動させるように構成されている。

本実施形態のトレイ保持具においては、クランク機構により、該第１の内部伝達軸の回転運動から該揺動部の揺動を生じさせることができる。

本発明の第１の態様の第２の実施形態のトレイ保持具は、前記第１の実施形態のトレイ保持具であって、揺動による、基準位置からのトレイの面の傾き角度の最大値を変えることができるように、該クランクロッドの、該クランク回転板への結合位置の該クランク回転板の中心位置からの距離を変更することができるように構成されている。

本実施形態のトレイ保持具においては、該クランクロッドの、該クランク回転板への結合位置の該クランク回転板の中心位置からの距離を変更することによって、揺動による、基準位置からのトレイの面の傾き角度の最大値を容易に変えることができる。

本発明の第２の態様の蒸着装置は、中心軸の周りに回転するように構成されたドームと、該中心軸を囲んで該ドーム上に配置される環状のチェーンと、該ドームの回転運動を伝達する伝達軸と、該ドームの回転運動を該伝達軸の回転運動に変換する第１のギヤ部と、チェーン駆動スプロケットを備え、該伝達軸の回転運動を該チェーン駆動スプロケットの回転運動に変換する第２のギヤ部と、該ドーム上に該環状のチェーンに沿って配置された、上記第１の態様のトレイ保持具と、を備えている。本蒸着装置は、該ドームの回転によって、該チェーン駆動スプロケットを回転させて該環状のチェーンを駆動し、該環状のチェーンの運動によって該トレイ保持具の該第１の内部伝達軸を回転させるように構成されている。

本態様の蒸着装置は、ドームの回転によって、該ドーム上に配置される該環状のチェーンを駆動し、該ドーム上に該環状のチェーンに沿って配置されたトレイの該第１の内部伝達軸を回転させる。したがって、該ドーム上に該環状のチェーンに沿って配置されたトレイを回転（自転）させ揺動させることにより、トレイに取り付けられた立体的な形状を有するワークのそれぞれの面の蒸着量のばらつきを小さくすることができる。

本発明の第２の態様の第１の実施形態の蒸着装置は、複数の環状のチェーンと、該複数の環状のチェーンのそれぞれに対応する複数の伝達軸と、を備えている。

本態様の蒸着装置によれば、複数の環状のチェーンに沿って配置された多数のトレイを回転（自転）させ揺動させることにより、該多数のトレイに取り付けられた立体的な形状を有するワークのそれぞれの面の蒸着量のばらつきを小さくすることができる。

本発明の蒸着装置の構成を示す図である。本発明の蒸着装置のドームの平面図である。本発明の蒸着装置のドームの中心軸を含む断面図である。第１のギヤ部を説明するための図である。第２のギヤ部を説明するための図である。第２のギヤ部を説明するための図である。トレイ保持具を説明するための図である。トレイ保持具の固定部及び揺動部の内部の機構を説明するための図である。トレイ上のワークの位置の、蒸着装置によるワークへの蒸着量への影響を説明するための図である。

図１は、本発明の蒸着装置３００の構成を示す図である。蒸着装置３００は、蒸着源３２０と、ドーム３１０と、これらを取り囲むチャンバー３３０とを含む。チャンバー３３０は、排気口３３５を使用して排気することにより所定の真空度に保持される。ドーム３１０は、その内面にワーク４００を取り付けられるように構成され、蒸着源３２０を覆うように設置される。ワーク４００は、一例として回折格子などの光学素子であり、ドーム３１０の内面に図示しないトレイ保持具によって保持された、図示しないトレイに取り付けられる。蒸着源３２０から放出された物質は、蒸着源３２０を覆うドーム３１０の内面に取り付けられたワーク４００に到達し、その表面に蒸着される。ドーム３１０の内面に取り付けられた複数のワーク４００に一様に物質が蒸着されるように、蒸着プロセス中にドーム３１０は、図示しない駆動部によってその中心軸の周りに回転させられる。上記の記述は、本発明の蒸着装置３００及び従来の蒸着装置に共通にあてはまるものである。本発明の蒸着装置３００の特徴的な構成については、以下に説明する。

図２は、本発明の蒸着装置３００のドーム３１０の平面図である。本発明の蒸着装置３００は、ドーム３１０の回転運動によって、ドーム３１０上に設置されたトレイ保持具１０００の一部を回転させることによってトレイ保持具１０００に取り付けられたトレイを回転させるように構成されている。

ドーム３１０の回転運動をトレイ保持具１０００に伝達するために、蒸着装置３００は、ドーム３１０上に、第１のギヤ部１５０と、第２のギヤ部１６０Ａ及び１６０Ｂと、回転伝達軸１５５Ａ及び１５５Ｂを備える。第１のギヤ部１５０は、ドーム３１０の回転軸軸受部に取り付けられた固定ギヤ３１０１と係合し、ドーム３１０が回転すると、回転伝達軸１５５Ａの回転運動を生じさせる。第２のギヤ部１６０Ａは、回転伝達軸１５５Ａの回転運動をスプロケットの回転運動に変換し、スプロケットの回転運動によって環状チェーン２０５を駆動する。その結果、環状チェーン２０５に連結された、複数のトレイ保持具１０００の回転部分が回転する。さらに、回転伝達軸１５５Ａの回転運動は、回転伝達軸１５５Ｂに伝えられる。第２のギヤ部１６０Ｂは、回転伝達軸１５５Ｂの回転運動をスプロケットの回転運動に変換し、スプロケットの回転運動によって環状チェーン２１０を駆動する。その結果、環状チェーン２１０に連結された、複数のトレイ保持具１０００の回転部分が回転する。

図３は、本発明の蒸着装置３００のドーム３１０の中心軸を含む断面図である。ドーム３１０は、チャンバー３３０の天井から吊り下げられ、図示しない駆動装置によって中心軸の周りに回転するように構成されている。ドーム３１０の回転数は、たとえば、１分間に１０回転から２０回転の範囲で調整することができるように構成してもよい。ドーム３１０が、中心軸の周りに回転すると、上述のように、第１のギヤ部１５０は、ドーム３１０の回転運動によって回転伝達軸１５５Ａの回転運動を生じさせる。第２のギヤ部１６０Ａは、回転伝達軸１５５Ａの回転運動によって、スプロケットの回転運動を生じさせるとともに、回転伝達軸１５５Ｂの回転運動を生じさせる。第２のギヤ部１６０Ｂは、回転伝達軸１５５Ｂの回転運動をスプロケットの回転運動に変換する。

トレイ保持具１０００は固定部１１００と揺動部１２００とを含む。固定部１１００の回転部分が、環状チェーン２０５または２１０によって回転させられる。トレイ保持具１０００については後で詳細に説明する。

図４は第１のギヤ部１５０を説明するための図である。図４（ａ）は、第１のギヤ部１５０及びドーム３１０の回転軸軸受部に取り付けられた固定ギヤ３１０１の平面図である。図４（ｂ）は、第１のギヤ部１５０の側面図である。図４（ｃ）は、第１のギヤ部１５０及びドーム３１０の回転軸軸受部に取り付けられた固定ギヤ３１０１の側面図である。
図４（ａ）及び図４（ｃ）に示すように、第１のギヤ部１５０のアイドラーギヤ１５０１は、一方でドーム３１０の回転軸軸受部に取り付けられた固定ギヤ３１０１に係合し、他方で第１のギヤ部１５０の駆動ギヤ１５０３に係合している。第１のギヤ部１５０はドーム３１０上に固定されているので、ドーム３１０が中心軸の周りに回転すると、固定ギヤ３１０１に係合したアイドラーギヤ１５０１が回転させられる。さらに、アイドラーギヤ１５０１が回転すると、アイドラーギヤ１５０１に係合した駆動ギヤ１５０３が回転させられる。駆動ギヤ１５０３の回転運動は、スパイラルギヤ１５０５によって回転伝達軸１５５Ａの回転運動に変換される。このように、第１のギヤ部１５０は、ドーム３１０の回転運動から、回転伝達軸１５５Ａの回転運動を生じさせる。

図５は第２のギヤ部１６０Ａを説明するための図である。図５（ａ）は、第２のギヤ部１６０Ａ及び回転伝達軸１５５Ａの平面図である。図５（ｂ）は、第２のギヤ部１６０Ａの側面図である。図５（ｃ）は、第２のギヤ部１６０Ａ、及び回転伝達軸１５５Ｂの側面図である。

図５（ａ）に示すように、回転伝達軸１５５Ａの回転運動は、ユニバーサルジョイント１５７Ａ２を介して第２のギヤ部１６０Ａに伝達される。

図５（ｂ）及び図５（ｃ）に示すように、ユニバーサルジョイント１５７Ａ２を介して第２のギヤ部１６０Ａに伝達された回転伝達軸１５５Ａの回転運動は、ヘリカルギヤ１６０１Ａによってスプロケット１６０３Ａの回転運動に変換される。スプロケット１６０３Ａ及び１６０５Ａには環状チェーン２０５が係合され、スプロケット１６０３Ａの回転運動によって環状チェーン２０５が駆動される。スプロケット１６０３Ａの他にスプロケット１６０５Ａを設けた理由は、スプロケット１６０３Ａと環状チェーン２０５との係合を強化するためである。このように、第２のギヤ部１６０Ａは、回転伝達軸１５５Ａの回転運動によって環状チェーン２０５を駆動させる。

図５（ｃ）に示すように、回転伝達軸１５５Ａの回転運動は、ユニバーサルジョイント１５７Ａ２及びユニバーサルジョイント１５７Ｂ１を介して回転伝達軸１５５Ｂにさらに伝達される。

図６は第２のギヤ部１６０Ｂを説明するための図である。図６（ａ）は、第２のギヤ部１６０Ｂ及び回転伝達軸１５５Ｂの平面図である。図６（ｂ）は、第２のギヤ部１６０Ｂの側面図である。図６（ｃ）は、第２のギヤ部１６０Ｂ、及び回転伝達軸１５５Ｂの側面図である。

図６（ａ）に示すように、回転伝達軸１５５Ｂの回転運動は、ユニバーサルジョイント１５７Ｂ２を介して第２のギヤ部１６０Ｂに伝達される。

図６（ｂ）及び図６（ｃ）に示すように、ユニバーサルジョイント１５７Ｂ２を介して第２のギヤ部１６０Ｂに伝達された回転伝達軸１５５Ｂの回転運動は、ヘリカルギヤ１６０１Ｂによってスプロケット１６０３Ｂの回転運動に変換される。スプロケット１６０３Ｂ及び１６０５Ｂには環状チェーン２１０が係合され、スプロケット１６０３Ｂの回転運動によって環状チェーン２１０が駆動される。スプロケット１６０３Ｂの他にスプロケット１６０５Ｂを設けた理由は、スプロケット１６０３Ｂと環状チェーン２１０との係合を強化するためである。このように、第２のギヤ部１６０Ｂは、回転伝達軸１５５Ｂの回転運動によってスプロケット１６０３Ｂの回転運動を生じさせ、環状チェーン２１０を駆動させる。

図７は、トレイ保持具１０００を説明するための図である。図７（ａ）は、ドーム３１０に設置されたトレイ保持具１０００の、ドーム３１０の径方向の側面図である。図７（ｂ）は、図７（ａ）の側面と直交する側面の側面図である。トレイ保持具１０００は、固定部１１００と揺動部１２００と回転部１３００とを含む。固定部１１００は、ドーム３１０の面に固定される。その際、固定部１１００は、固定部１１００の中心軸がドーム３１０の中心軸と平行となるように固定される。揺動部１２００の揺動中心軸１１０９は、固定部１１００に回転可能に取り付けられる。揺動中心軸１１０９と固定部１１００の中心軸とのなす角度が直角であるように構成してもよい。さらに、揺動中心軸１１０９は、ドーム３１０の中心軸及び固定部１１００の中心軸を含む平面に直交するように構成してもよい。

回転部１３００は、チャックによってトレイ１４００Ａ、またはトレイ１４００Ｂを保持するように構成されている。チャックは、サイズの異なるトレイ１４００Ａ、及びトレイ１４００Ｂのサイズに合わせて、移動させることができるように構成されている。

図８は、トレイ保持具１０００の固定部１１００及び揺動部１２００の内部の機構を説明するための図である。図８（ａ）は、図７（ａ）に対応する図であり、図８（ｂ）は、図７（ｂ）に対応する図である。

固定部１１００の内部には第１の回転軸１１２１が備わる。第１の回転軸１１２１の一方の端部にはスプロケット１１０１が結合され、第１の回転軸１１２１は、スプロケット１１０１が環状チェーン２１０によって回転すると、回転するように構成されている。揺動部１２００の内部には第２の回転軸１１２５が備わる。第２の回転軸１１２５は、ユニバーサルジョイント１１２３によって第１の回転軸１１２１の他方の端部に結合され、第１の回転軸１１２１が回転すると回転するように構成されている。第２の回転軸１１２５は、回転部１３００に結合されている。したがって、環状チェーン２１０によってスプロケット１１０１が回転すると、第１の回転軸１１２１及び第２の回転軸１１２５が回転し、トレイを保持した回転部１３００が回転する。

このように、ドーム３１０が回転し、チェーンが駆動されてスプロケット１１０１が回転させられると、トレイを保持した回転部１３００が回転する。たとえば、ドーム３１０の１回転の間に回転部１３００が１０回転するようにギヤ比を設定する。

図７（ａ）に示すように、固定部１１００は、クランク回転板１１０３を備える。クランク回転板１１０３の中心からｄの位置に第１のロッド１１０５の第１の端部が結合される。第１のロッド１１０５の第２の端部は第２のロッド１１０７の第１の端部に結合される。第２のロッド１１０７の第２の端部は揺動部１２００に結合される。図８（ａ）に示すように、第１の回転軸１１２１にはウォーム１１２７が取り付けられている。ウォーム１１２７はウォームホイール１１２９と係合し、ウォームホイール１１２９の回転軸にはクランク回転板１１０３が取り付けられている。したがって、第１の回転軸１１２１が回転すると、ウォーム１１２７及びウォームホイール１１２９が回転し、さらにクランク回転板１１０３が回転する。クランク回転板１１０３が回転すると、第１のロッド１１０５及び第２のロッド１１０７の運動により、揺動部１２００が揺動中心軸１１０９の周りに揺動する。回転部１３００の保持するトレイの面が、固定部１１００の中心軸の位置におけるドーム３１０の接平面に平行な状態を基準として、ドーム３１０の径方向の断面におけるトレイの面の傾きの最大値を振り角度と呼称する。すなわち、振り角度とは、揺動による、基準位置からのトレイの面の傾き角度の最大値であり、図７（ａ）においてθで示される角度である。第１のロッド１１０５の第１の端部の、クランク回転板１１０３における固定値の中心からの距離ｄを変更することにより振り角度θを変更することができる。距離ｄを大きくするほど振り角度θは大きくなる。振り角度θが、たとえば、±１０度となるように距離ｄを設定する。

このように、ドーム３１０が回転し、チェーンが駆動されてスプロケット１１０１が回転させられると、揺動部１２００の揺動が行われる。たとえば、ドーム３１０の１回転で揺動の１周期が実施されるようにギヤ比を設定する。

上述のように、ドーム３１０の回転中に、回転部１３００が第２の回転軸１１２５によって回転する。さらに、第２の回転軸１１２５は、揺動部１２００の内部に支持されているので、揺動部１２００が揺動中心軸１１０９の周りに揺動されると、第２の回転軸１１２５に結合された回転部１３００も同様に揺動される。このようにして、回転部１３００に保持されたトレイは、回転及び揺動を受ける。

図９は、トレイ上のワークの位置の、蒸着装置によるワークへの蒸着量への影響を説明するための図である。ここで、トレイは、ドームに固定されているものとする。ドーム３１０が球状であり、球の中心に蒸着源が配置されているとする。図９において、ワーク４００ａは、トレイ１４００の左側に配置され、ワーク４００ｂは、トレイ１４００の中央に配置され、ワーク４００ｃは、トレイ１４００の右側に配置されている。この場合に、ワークには、ワークの位置におけるドーム３１０の面の法線に沿って、蒸着物質が飛来する。図９は、ドームの球の中心及び上記の法線を含む断面図である。トレイ１４００に垂直でワークの中心を通るワークの中心軸に対して、蒸着物が飛来する方向である法線のなす角度を成膜角度と呼称する。成膜角度は、図９において一点鎖線で示すワークの中心軸を基準として時計回りに測定する。図９において、ワーク４００ａの成膜角度をωとすると、ワーク４００ｃの成膜角度は、−ωである。また、ワーク４００ｂ成膜角度は０である。ドーム３１０が回転しても上記の成膜角度は変わらない。この結果、ワーク４００ａでは、右側の側面の蒸着量が、左側の側面の成膜量よりも大きくなる。また、ワーク４００ｃでは、左側の側面の蒸着量が、右側の側面の成膜量よりも大きくなる。

そこで、トレイ１４００の中心軸、すなわちワーク４００ｂの中心軸の周りにトレイ１４００を回転させると、この回転によってワーク４００ａ及びワーク４００ｃの成膜角度が変化し、それぞれのワークの各部の成膜量のばらつきが減少する。

さらに、トレイ１４００の揺動動作を実施することにより、トレイ１４００に設置されたワークが立体的な形状をしている場合にも、ワークの各部の成膜量のばらつきを減少させることができる。

単位時間当たりのドームの回転数に対する、単位時間当たりのトレイの回転（自転）数の比、及び単位時間当たりのドームの回転数に対する、揺動の周期を決定する単位時間当たりのクランク回転板１１０３の回転数の比は、ギヤ比を変えることによって望ましい値に設定することができる。また、上述のように、第１のロッド１１０５の第１の端部の、クランク回転板１１０３における固定値の中心からの距離ｄを変更することにより振り角度θを変更することができる。このように、ワークの仕様に合わせてトレイの自転の周期、揺動の周期及び振り角度を適切に調整することができる。

Claims

中心軸の周りに回転するように構成されたドームと、
該中心軸を囲んで該ドーム上に配置される環状のチェーンと、
該ドームの回転運動を伝達する伝達軸と、
該ドームの回転運動を該伝達軸の回転運動に変換する第１のギヤ部と、
チェーン駆動スプロケットを備え、該伝達軸の回転運動を該チェーン駆動スプロケットの回転運動に変換する第２のギヤ部と、
該ドーム上に該環状のチェーンに沿って配置され、該ドームに固定される固定部と、該固定部に回転可能に支えられた第１の内部伝達軸と、該固定部に回転可能に支えられた揺動軸に固定され、揺動するように構成された揺動部と、該第１の内部伝達軸にユニバーサルジョイントで結合され、該揺動部に回転可能に支えられた第２の内部伝達軸と、該第２の内部伝達軸によって支えられ、トレイを保持するように構成された回転部とを備えたトレイ保持具と、を備えた蒸着装置であって、
該ドームの回転によって、該チェーン駆動スプロケットを回転させて該環状のチェーンを駆動し、該環状のチェーンの運動によって該トレイ保持具の該第１の内部伝達軸を回転させ、該第１の内部伝達軸の回転によって、該回転部が、該第２の内部伝達軸とともに回転し、該揺動部とともに揺動するように構成された蒸着装置。
複数の環状のチェーンと、該複数の環状のチェーンのそれぞれに対応する複数の伝達軸と、を備えた請求項１に記載の蒸着装置。
該トレイ保持具は、クランク回転板とクランクロッドを含むクランク機構を備え、該クランク回転板は、該第１の内部伝達軸の回転によって回転するように構成され、該クランクロッドは、該クランク回転板と該揺動部を結合し、該第１の内部伝達軸の回転によって該揺動部を揺動させるように構成された請求項１に記載の蒸着装置。
該トレイ保持具は、揺動による、基準位置からのトレイの面の傾き角度の最大値を変えることができるように、該クランクロッドの、該クランク回転板への結合位置の該クランク回転板の中心位置からの距離を変更することができるように構成された請求項３に記載の蒸着装置。
中心軸の周りに回転するように構成されたドームと、
該中心軸を囲んで該ドーム上に配置された環状のチェーンと、
該ドームの回転運動を伝達する伝達軸と、
該ドームの回転運動を該伝達軸の回転運動に変換する第１のギヤ部と、
チェーン駆動スプロケットを備え、該伝達軸の回転運動を該チェーン駆動スプロケットの回転運動に変換する第２のギヤ部と、
該ドーム上に該環状のチェーンに沿って配置され、蒸着装置のドームに固定される固定部と、該固定部に回転可能に支えられた第１の内部伝達軸と、該固定部に回転可能に支えられた揺動軸に固定され、揺動するように構成された揺動部と、該第１の内部伝達軸にユニバーサルジョイントで結合され、該揺動部に回転可能に支えられた第２の内部伝達軸と、該第２の内部伝達軸によって支えられ、トレイを保持するように構成された回転部とを備えたトレイ保持具と、を備えた蒸着装置による成膜工程を含む製造方法であって、
該ドームの回転によって、該チェーン駆動スプロケットを回転させて該環状のチェーンを駆動し、該環状のチェーンの運動によって該トレイ保持具の該第１の内部伝達軸を回転させ、該第１の内部伝達軸の回転によって、該回転部が、該第２の内部伝達軸とともに回転し、該揺動部とともに揺動するようにしながら、該トレイ保持具に保持されたトレイに取り付けられたワークに蒸着によって膜を生成する、蒸着装置による成膜工程を含む製造方法。