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JP6009836B2 - Cleaning method for goods - Google Patents

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JP6009836B2 JP2012145953A JP2012145953A JP6009836B2 JP 6009836 B2 JP6009836 B2 JP 6009836B2 JP 2012145953 A JP2012145953 A JP 2012145953A JP 2012145953 A JP2012145953 A JP 2012145953A JP 6009836 B2 JP6009836 B2 JP 6009836B2
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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Description

本発明は、物品の洗浄方法に関する。   The present invention relates to a method for cleaning an article.

従来、例えば、準水系洗浄剤、エマルジョン系洗浄剤など、非水系の溶剤と水とを含む洗浄剤を用いて被洗浄物から汚れを除去する物品の洗浄方法が知られている。このような洗浄方法では、被洗浄物を洗浄した後、井水や純水、あるいは炭化水素などの溶剤単体、あるいは溶剤の混合物を用いて被洗浄物をすすぎ、これにより被洗浄物に付着する洗浄剤成分を除去することが知られている。
この洗浄方法に用いられる洗浄剤は、非水系の溶剤を含むため、水によるすすぎでは除去性能がよくない。このため、井水や純水を用いて洗浄剤成分を除去する場合には、大量の井水や純水などの水資源を必要とする。
また、これにより多量の排水が発生するが、この排水には、洗剤成分、特に溶剤が多く含まれるため、活性汚泥など用いた大掛かりな排水処理を行わないと河川に放流することができない。
このため、例えば、特許文献1には、排水処理設備の小型化や処理効率の向上を目的として、すすぎ水の排水に、水に難溶もしくは不溶性の水処理剤を接触させ、すすぎ水の排水に含まれる非水成分と水とを分離する水処理方法が提案されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, there is known a method for cleaning an article that removes dirt from an object to be cleaned using a cleaning agent containing a non-aqueous solvent and water, such as a semi-aqueous cleaning agent and an emulsion cleaning agent. In such a cleaning method, after cleaning an object to be cleaned, the object to be cleaned is rinsed with a single solvent or a mixture of solvents such as well water, pure water, or hydrocarbon, and thereby adheres to the object to be cleaned. It is known to remove detergent components.
Since the cleaning agent used in this cleaning method contains a non-aqueous solvent, the removal performance is not good by rinsing with water. For this reason, when removing a cleaning agent component using well water or pure water, water resources, such as a large amount of well water and pure water, are required.
In addition, a large amount of wastewater is generated by this, but since this wastewater contains a lot of detergent components, particularly solvents, it cannot be discharged into the river unless a large-scale wastewater treatment using activated sludge is performed.
For this reason, for example, in Patent Document 1, for the purpose of downsizing the wastewater treatment facility and improving the treatment efficiency, a water treatment agent that is hardly soluble or insoluble in water is brought into contact with the drainage of the rinse water to drain the rinse water. A water treatment method for separating non-water components contained in water and water has been proposed.

特許第3471155号公報Japanese Patent No. 3471155

しかしながら、上記のような従来技術の物品の洗浄方法には、以下のような問題があった。
被洗浄物のすすぎに井水や純水を用いる場合、特許文献1によれば、活性汚泥など用いる排水処理に比べると、より小型の設備での排水処理が可能となるものの、処理すべき排水量そのものは変わらない。したがって、ある程度は小型化できると言っても大量の排水量を処理する水処理施設が必要になるという問題がある。
However, the above-described conventional methods for cleaning articles have the following problems.
When well water or pure water is used for rinsing an object to be cleaned, according to Patent Document 1, wastewater treatment using a smaller facility is possible compared to wastewater treatment using activated sludge, but the amount of wastewater to be treated. It does not change. Therefore, there is a problem that even if it can be downsized to some extent, a water treatment facility for treating a large amount of wastewater is required.

本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、非水系の溶剤と水を含む洗浄剤を用いる場合に、効率的に被洗浄物のすすぎを行うことができ、リンス液の使用量を抑制することができる物品の洗浄方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and when a cleaning agent containing a non-aqueous solvent and water is used, the object to be cleaned can be efficiently rinsed. It aims at providing the washing | cleaning method of the articles | goods which can suppress the usage-amount.

上記の課題を解決するために、本発明の物品の洗浄方法は、被洗浄物を、非水系の溶剤と水とを少なくとも含む洗浄剤に接触させて洗浄する洗浄工程と、アルコールと水とを含む溶液からなる共沸組成であるリンス液を用いて、前記洗浄工程で洗浄された前記被洗浄物をすすぐすすぎ工程と、前記すすぎ工程で使用された前記リンス液を回収して蒸留し、未使用の前記リンス液と同じ成分を有する再生リンス液を形成する再生処理工程と、を備える方法とする。 In order to solve the above problems, a method for cleaning an article according to the present invention includes a cleaning step of cleaning an object to be cleaned by bringing it into contact with a cleaning agent containing at least a non-aqueous solvent and water, and alcohol and water. Rinse the object to be cleaned that has been washed in the washing step with a rinse solution that has an azeotropic composition comprising a solution that contains the collected rinse solution used in the rinse step, and distill it. And a regeneration treatment step of forming a regeneration rinse liquid having the same components as the rinse liquid used .

また、本発明の物品の洗浄方法は、前記すすぎ工程では、前記再生リンス液が形成された場合に、前記再生リンス液を含む前記リンス液によって前記被洗浄物をすすぐことが可能である。 Further, the method of cleaning an article of the present invention, the pre-Symbol rinsing process, when the reproduction rinsing liquid is formed, it is possible to rinse the cleaning object by the rinsing liquid containing the regeneration rinse solution.

また、本発明の物品の洗浄方法は、前記リンス液におけるアルコール濃度は、引火点測定によって引火点が発現する濃度未満であることが可能である。   In the method for cleaning an article of the present invention, the alcohol concentration in the rinsing liquid can be less than a concentration at which a flash point appears by flash point measurement.

本発明の物品の洗浄方法によれば、すすぎ工程においてアルコールと水とを含む溶液からなるリンス液を用いるため、非水系の溶剤と水を含む洗浄剤を用いる場合に、効率的に被洗浄物のすすぎを行うことができ、リンス液の使用量を抑制することができるという効果を奏する。   According to the method for cleaning an article of the present invention, since a rinsing liquid comprising a solution containing alcohol and water is used in the rinsing step, an object to be cleaned can be efficiently used when a cleaning agent containing a non-aqueous solvent and water is used. Rinsing can be performed, and the amount of use of the rinse liquid can be suppressed.

本発明の第1の実施形態の物品の洗浄方法に用いる洗浄システムの模式的なシステム構成図である。It is a typical system block diagram of the washing | cleaning system used for the washing | cleaning method of the articles | goods of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態の物品の洗浄方法に用いる洗浄システムの模式的なシステム構成図である。It is a typical system block diagram of the washing | cleaning system used for the washing | cleaning method of the articles | goods of the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態の物品の洗浄方法に用いる洗浄システムの模式的なシステム構成図である。It is a typical system block diagram of the washing | cleaning system used for the washing | cleaning method of the articles | goods of the 3rd Embodiment of this invention.

以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In all the drawings, even if the embodiments are different, the same or corresponding members are denoted by the same reference numerals, and common description is omitted.

[第1の実施形態]
本発明の第1の実施形態の物品の洗浄方法について説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態の物品の洗浄方法に用いる洗浄システムの模式的なシステム構成図である。
[First Embodiment]
A method for cleaning an article according to the first embodiment of the present invention will be described.
FIG. 1 is a schematic system configuration diagram of a cleaning system used in the article cleaning method according to the first embodiment of the present invention.

本実施形態の物品の洗浄方法は、被洗浄物の汚れが油分を含む等の理由で非水系の溶剤と水を含む洗浄剤を用いた洗浄を行う必要がある場合に、この洗浄により、被洗浄物に付着する非水系の溶剤剤を効率的にすすぐことができる方法である。
まず、図1を参照して、本実施形態の物品の洗浄方法を実施することができる洗浄システム1のシステム構成について説明する。
The cleaning method for an article according to the present embodiment is a method for cleaning the object to be cleaned when it is necessary to perform cleaning using a cleaning agent containing a non-aqueous solvent and water because the soil of the object to be cleaned contains oil. This is a method capable of efficiently rinsing the non-aqueous solvent agent adhering to the cleaning object.
First, with reference to FIG. 1, a system configuration of a cleaning system 1 capable of performing the article cleaning method of the present embodiment will be described.

洗浄システム1によって洗浄する被洗浄物W(物品)は、後述する洗浄剤10によって洗浄することができ、後述するリンス液11を用いてすすぎを行うことができるものであれば、特に限定されない。被洗浄物Wの例としては、例えば、研磨加工されたレンズ等の光学素子、切削加工油が付着した金属加工部品、フラックスが付着した実装基板等を挙げることができる。   The article to be cleaned W (article) to be cleaned by the cleaning system 1 is not particularly limited as long as it can be cleaned by the cleaning agent 10 described later and can be rinsed by using the rinse liquid 11 described later. Examples of the object to be cleaned W include, for example, optical elements such as polished lenses, metal processed parts to which cutting oil is attached, mounting substrates to which flux is attached, and the like.

本実施形態で用いる洗浄剤10は、非水系の溶剤と水とを含む液状の洗浄剤である。
非水系の溶剤は、被洗浄物Wの汚れ成分が、フラックス、ワックス、グリース等の油分の汚れを含む場合、これらの汚れ成分を溶解して被洗浄物Wから除去するための成分であり、被洗浄物Wの汚れの種類に応じて適宜の溶剤を採用することができる。
洗浄剤10の種類は、非水系の溶剤と水とを含んでいれば、特に限定されない。洗浄剤10の具体例としては、いわゆる準水系洗浄剤、エマルジョン系洗浄剤などを挙げることができる。
準水系洗浄剤とは、5wt%〜20wt%程度の水を含み、例えば、グリコール系溶剤、石油系溶剤、非水溶性溶剤、アルコール系溶剤、界面活性剤などを混合した洗浄剤である。具体的には、例えば、クリンスルー(登録商標)750HN(商品名;花王(株)製)などを挙げることができる。
エマルジョン系洗浄剤とは、界面活性剤の作用により石油系溶剤等の非水系溶剤と水とを乳化させた洗浄剤である。具体的には、例えば、サンウォッシュ(登録商標)LHシリーズ(商品名;)ライオン(株)製)などを挙げることができる。
以下では、一例として、洗浄剤10が、水を7%含む準水系洗浄剤、例えば、クリンスルー(登録商標)750HNの場合の例で説明する。
The cleaning agent 10 used in the present embodiment is a liquid cleaning agent containing a non-aqueous solvent and water.
The non-aqueous solvent is a component for dissolving and removing these dirt components from the article to be cleaned W when the dirt component of the article to be cleaned W includes oil dirt such as flux, wax, grease, etc. An appropriate solvent can be employed according to the type of dirt on the article W to be cleaned.
The type of the cleaning agent 10 is not particularly limited as long as it contains a non-aqueous solvent and water. Specific examples of the cleaning agent 10 include so-called semi-aqueous cleaning agents and emulsion cleaning agents.
The semi-aqueous detergent is a detergent containing about 5 wt% to 20 wt% of water and mixed with, for example, a glycol solvent, a petroleum solvent, a water-insoluble solvent, an alcohol solvent, a surfactant and the like. Specific examples include CLEANTHROUGH (registered trademark) 750HN (trade name; manufactured by Kao Corporation).
The emulsion-based detergent is a detergent obtained by emulsifying a non-aqueous solvent such as a petroleum solvent and water by the action of a surfactant. Specifically, for example, Sunwash (registered trademark) LH series (trade name; manufactured by Lion Corporation) can be used.
Below, the cleaning agent 10 demonstrates as an example the example in the case of the semi-aqueous type cleaning agent which contains 7% of water, for example, CLEAN THROUGH (trademark) 750HN.

本実施形態で用いるリンス液11は、被洗浄物Wに付着した洗浄剤10を除去するためのもので、アルコールと水とを含む溶液からなる。
リンス液11に使用するアルコールは、25℃で液体であって、水と溶液を形成することができる液体のアルコールであれば、特に限定されない。
ただし、炭素数が大きくなると、非水溶性になるため、アルコールの、炭素数は、1〜7が好ましい。例えば、1価アルコールの場合、好適なアルコールの例としては、メタノール、エタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、1−ブタノール、2−ブタノール、1−ペンタノール、2−ペンタノール、1−ヘキサノール、1−ヘプタノールなどを挙げることができる。
The rinsing liquid 11 used in the present embodiment is for removing the cleaning agent 10 attached to the article W to be cleaned, and is made of a solution containing alcohol and water.
The alcohol used for the rinse liquid 11 is not particularly limited as long as it is liquid at 25 ° C. and can form a solution with water.
However, since it becomes water-insoluble when the carbon number increases, the carbon number of the alcohol is preferably 1-7. For example, in the case of monohydric alcohol, examples of suitable alcohol include methanol, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, 1-butanol, 2-butanol, 1-pentanol, 2-pentanol, 1-hexanol, Examples thereof include 1-heptanol.

洗浄剤10によって洗浄された被洗浄物Wの表面には、被洗浄物Wから除去した油分等の汚れ成分を含む非水系の溶剤が付着している。この非水系の溶剤は水に溶解しないため、水のみですすぐ場合、大量の水が必要となる。
本実施形態では、リンス液11がアルコールを含有するため、非水系の溶剤がアルコール中に溶解することで、被洗浄物Wの表面から容易に除去される。これにより、水をリンス液としてすすぐ場合に比べると、リンス液11の液量を低減することができる。
A non-aqueous solvent containing dirt components such as oil removed from the object to be cleaned W adheres to the surface of the object to be cleaned W that has been cleaned by the cleaning agent 10. Since this non-aqueous solvent does not dissolve in water, a large amount of water is required when rinsing with water alone.
In the present embodiment, since the rinsing liquid 11 contains alcohol, the non-aqueous solvent is easily removed from the surface of the article W to be cleaned by dissolving it in the alcohol. Thereby, compared with the case where water is rinsed as a rinse liquid, the liquid quantity of the rinse liquid 11 can be reduced.

アルコールと水との濃度比は、被洗浄物Wに付着する洗浄剤10が良好に除去できれば、特に限定されない。ただし、アルコールの濃度が低すぎると、非水系の溶剤を溶解する能力が不十分となる。このため、アルコール濃度は、20wt%以上であることが好ましく、40wt%以上であることがより好ましい。
なお、リンス液11は、アルコールと水以外の成分を含んでいてもよい。例えば、グリコールエーテルなどの両媒性の物質を含んでいてもよい。この場合、両媒性の物質自身が洗浄剤中の溶剤成分を溶解することができ、リンス液のリンス能力が向上するため、好ましい。
The concentration ratio of alcohol and water is not particularly limited as long as the cleaning agent 10 adhering to the object to be cleaned W can be satisfactorily removed. However, if the alcohol concentration is too low, the ability to dissolve the non-aqueous solvent becomes insufficient. For this reason, it is preferable that alcohol concentration is 20 wt% or more, and it is more preferable that it is 40 wt% or more.
The rinse liquid 11 may contain components other than alcohol and water. For example, an amphoteric substance such as glycol ether may be included. In this case, the amphoteric substance itself can dissolve the solvent component in the cleaning agent, and the rinsing ability of the rinsing liquid is improved, which is preferable.

また、リンス液11は、共沸組成を有することが好ましい。下記表1に、リンス液11が、アルコールと水とからなる場合の、共沸点、共沸組成を、アルコールの沸点、アルコールの炭素数とともに示す。なお、メタノールは、共沸組成を有しないが、メタノールと水との溶液もリンス液11として使用可能である。そこで参考までに沸点の情報を示している。   Moreover, it is preferable that the rinse liquid 11 has an azeotropic composition. Table 1 below shows the azeotropic point and azeotropic composition when the rinsing liquid 11 is composed of alcohol and water, together with the boiling point of the alcohol and the number of carbons of the alcohol. Although methanol does not have an azeotropic composition, a solution of methanol and water can also be used as the rinse liquid 11. Therefore, boiling point information is shown for reference.

Figure 0006009836
Figure 0006009836

リンス液11が共沸組成であると、すすぎに使用した後のリンス液11を蒸留することによってリンス液11に含まれる不純物の除去することができるとともに、蒸留液の組成がやはり共沸組成になる。このため、蒸留液の濃度比は、未使用のリンス液11の濃度比と同一になる。
このため、蒸留液は、濃度調整などを行うことなく、直ちに未使用のリンス液11に混合して再利用することが可能になる。
When the rinsing liquid 11 has an azeotropic composition, impurities contained in the rinsing liquid 11 can be removed by distilling the rinsing liquid 11 after being used for rinsing, and the composition of the distilling liquid also has an azeotropic composition. Become. For this reason, the concentration ratio of the distilled liquid is the same as the concentration ratio of the unused rinse liquid 11.
For this reason, the distilled liquid can be immediately mixed with the unused rinse liquid 11 and reused without adjusting the concentration.

また、リンス液11のアルコール濃度は、引火点測定によって引火点が発現する濃度未満であることが、より好ましい。
リンス液11のアルコール濃度が低いと、引火点測定によって引火点が発現しなくなるため、例えば、消防法が定める「危険物」に該当しなくなる。このため、取り扱いが容易となり、防火対策も軽減することができるため、洗浄システム1の装置構成を簡素化し、低コスト化することができる。
特に、炭素数1〜3のアルコールは、法令によれば、アルコール濃度が60wt%未満では非危険物に該当する。このため、炭素数1〜3のアルコールは、アルコール濃度60%未満として用いることが好ましい。
非危険物に該当しかつ共沸組成となる例としては、1−ブタノールと水との共沸組成(アルコール濃度59.5wt%)、1−ペンタノールと水との共沸組成(アルコール濃度45.6wt%)、1−ヘキサノールと水との共沸組成(アルコール濃度32.8wt%)、1−ヘプタノールと水との共沸組成(アルコール濃度27.0wt%)などの例を挙げることができる。
Moreover, it is more preferable that the alcohol concentration of the rinsing liquid 11 is less than the concentration at which the flash point is expressed by the flash point measurement.
When the alcohol concentration of the rinsing liquid 11 is low, the flash point is not expressed by the flash point measurement, and therefore, for example, it does not correspond to the “dangerous goods” defined by the Fire Service Law. For this reason, since handling becomes easy and fire prevention measures can be reduced, the apparatus configuration of the cleaning system 1 can be simplified and the cost can be reduced.
In particular, alcohols having 1 to 3 carbon atoms fall under the category of non-dangerous substances when the alcohol concentration is less than 60 wt% according to the law. For this reason, it is preferable to use C1-C3 alcohol as alcohol concentration less than 60%.
Examples that correspond to non-hazardous materials and have an azeotropic composition include azeotropic compositions of 1-butanol and water (alcohol concentration 59.5 wt%), azeotropic compositions of 1-pentanol and water (alcohol concentration 45). .6 wt%), azeotropic composition of 1-hexanol and water (alcohol concentration 32.8 wt%), azeotropic composition of 1-heptanol and water (alcohol concentration 27.0 wt%), and the like. .

以下では、リンス液11は、一例として、1−ブタノールと水とを、それぞれ59.5wt%、40.5wt%の濃度となるように混合した共沸組成の溶液であるとして説明する。   Hereinafter, the rinse liquid 11 will be described as an example of an azeotropic composition solution in which 1-butanol and water are mixed to have concentrations of 59.5 wt% and 40.5 wt%, respectively.

次に、洗浄システム1の装置構成について説明する。
洗浄システム1の概略構成は、洗浄槽2、第1すすぎ槽3、第2すすぎ槽4、蒸留器9、乾燥槽5、および搬送機構8を備える。
本実施形態では、洗浄槽2、第1すすぎ槽3、第2すすぎ槽4、および乾燥槽5は、水平方向に沿ってこの順に並べて配置されている。
Next, the apparatus configuration of the cleaning system 1 will be described.
The schematic configuration of the cleaning system 1 includes a cleaning tank 2, a first rinse tank 3, a second rinse tank 4, a distiller 9, a drying tank 5, and a transport mechanism 8.
In the present embodiment, the cleaning tank 2, the first rinsing tank 3, the second rinsing tank 4, and the drying tank 5 are arranged in this order along the horizontal direction.

洗浄槽2は、被洗浄物Wの汚れを除去するために洗浄剤10の原液を貯留している上方に開口した貯留槽であり、この開口を通して、被洗浄物Wを上方から出し入れすることが可能である。
洗浄槽2には、洗浄槽2内の洗浄剤10に超音波振動を印加する超音波振動子20が装着されている。このため、洗浄槽2内の洗浄剤10に浸漬された被洗浄物Wは超音波洗浄される。
被洗浄物Wは単品でもよいし、図示略の保持治具に複数のものが保持されていてもよい。
また、洗浄槽2には、回収管路6aと供給管路6bとを介して、使用済みの洗浄剤10を一時的に貯留する予備槽6が接続されている。
The cleaning tank 2 is a storage tank opened upward for storing a stock solution of the cleaning agent 10 in order to remove dirt on the object to be cleaned W, and the object to be cleaned W can be taken in and out from above through this opening. Is possible.
The cleaning tank 2 is equipped with an ultrasonic vibrator 20 that applies ultrasonic vibrations to the cleaning agent 10 in the cleaning tank 2. For this reason, the workpiece W immersed in the cleaning agent 10 in the cleaning tank 2 is ultrasonically cleaned.
The article to be cleaned W may be a single item or a plurality of items may be held by a holding jig (not shown).
Further, the cleaning tank 2 is connected to a spare tank 6 for temporarily storing the used cleaning agent 10 through a recovery line 6a and a supply line 6b.

予備槽6は、洗浄剤10の液温を適温に保つヒータ21を備えている。回収管路6aを通して回収された洗浄剤10は、保温された状態で予備槽6に貯留される。本実施形態におけるヒータ21の温度は、一例として、洗浄槽2内の洗浄剤10の液温が50℃に保たれるように調整されている。
供給管路6bには、予備槽6に貯留された洗浄剤10を洗浄槽2に送り出すポンプ22と、ポンプ22によって送り出された使用済みの洗浄剤10を濾過して、洗浄剤10に含まれる不純物を除去する濾過フィルタ23とが配置されている。
このような構成により、洗浄槽2には、濾過された洗浄剤10が供給管路6bを通して供給される。そして、供給量と同量の使用済みの洗浄剤10が洗浄槽2の開口からオーバーフローする(あふれる)と、回収管路6aを通して予備槽6に回収されることにより、洗浄剤10が循環使用される。
The preliminary tank 6 includes a heater 21 that keeps the temperature of the cleaning agent 10 at an appropriate temperature. The cleaning agent 10 recovered through the recovery pipe line 6a is stored in the preliminary tank 6 in a state of being kept warm. As an example, the temperature of the heater 21 in the present embodiment is adjusted so that the liquid temperature of the cleaning agent 10 in the cleaning tank 2 is maintained at 50 ° C.
The supply pipe 6 b includes the pump 22 that sends the cleaning agent 10 stored in the preliminary tank 6 to the cleaning tank 2, and the used cleaning agent 10 sent out by the pump 22 is filtered and included in the cleaning agent 10. A filtration filter 23 for removing impurities is disposed.
With such a configuration, the filtered cleaning agent 10 is supplied to the cleaning tank 2 through the supply pipe 6b. When the same amount of used cleaning agent 10 as the supply amount overflows (overflows) from the opening of the cleaning tank 2, the cleaning agent 10 is circulated and used by being recovered in the preliminary tank 6 through the recovery pipe 6 a. The

第1すすぎ槽3および第2すすぎ槽4は、いずれもリンス液11を貯留している上方に開口した貯留槽である。被洗浄物Wは、これら開口をそれぞれ通して上方から出し入れすることが可能である。
第1すすぎ槽3(第2すすぎ槽4)には、第1すすぎ槽3(第2すすぎ槽4)内のリンス液11b(11a)に超音波振動を印加する超音波振動子20が装着されている。このため、第1すすぎ槽3(第2すすぎ槽4)内のリンス液11b(11a)に浸漬された被洗浄物Wは超音波洗浄される。
The first rinsing tank 3 and the second rinsing tank 4 are both storage tanks that open upward and store the rinse liquid 11. The workpiece W can be taken in and out from above through the openings.
The first rinsing tank 3 (second rinsing tank 4) is equipped with an ultrasonic vibrator 20 that applies ultrasonic vibrations to the rinsing liquid 11b (11a) in the first rinsing tank 3 (second rinsing tank 4). ing. For this reason, the to-be-cleaned object W immersed in the rinse liquid 11b (11a) in the 1st rinse tank 3 (2nd rinse tank 4) is ultrasonically cleaned.

第1すすぎ槽3および第2すすぎ槽4は、互いに隣接された状態で、洗浄槽2側からこの順に配置されている。第1すすぎ槽3の上部の開口は、第2すすぎ槽4の上部の開口よりも低い位置で隣接している。このため、リンス液11は、第2すすぎ槽4の開口からオーバーフローすると、第1すすぎ槽3の開口を通して、第1すすぎ槽3内に移動する。
以下では、第1すすぎ槽3、第2すすぎ槽4にそれぞれ貯留されているリンス液11を互いに区別する必要がある場合に、それぞれ、リンス液11b、11aと称する。
The 1st rinse tank 3 and the 2nd rinse tank 4 are arrange | positioned in this order from the washing tank 2 side in the state adjacent to each other. The upper opening of the first rinsing tank 3 is adjacent to the upper opening of the second rinsing tank 4 at a lower position. For this reason, when the rinsing liquid 11 overflows from the opening of the second rinsing tank 4, the rinsing liquid 11 moves into the first rinsing tank 3 through the opening of the first rinsing tank 3.
Hereinafter, when it is necessary to distinguish the rinse liquids 11 respectively stored in the first rinse tank 3 and the second rinse tank 4 from each other, they are referred to as rinse liquids 11b and 11a, respectively.

第1すすぎ槽3には、リンス液11を循環させるため、第1すすぎ槽3の開口からオーバーフローした使用済みのリンス液11を回収するための回収管路7aの一端が接続されている。回収管路7aの他端は、回収管路7aを介して回収された使用済みのリンス液11を一時的に貯留する貯槽7が接続されている。
貯槽7は、第1すすぎ槽3および第2すすぎ槽4におけるリンス液11の液温を適温に保つヒータ24を備えており、回収管路7aを通して回収されたリンス液11は、保温された状態で貯留される。本実施形態におけるヒータ24の温度は、一例として、第1すすぎ槽3および第2すすぎ槽4内のリンス液11の液温が40℃に保たれるように調整されている。
以下では、貯槽7に貯留されているリンス液11を他のリンス液11と区別する必要がある場合には、リンス液11cと称する。
In order to circulate the rinse liquid 11, one end of a recovery line 7 a for recovering the used rinse liquid 11 overflowing from the opening of the first rinse tank 3 is connected to the first rinse tank 3. The other end of the recovery pipe line 7a is connected to a storage tank 7 for temporarily storing the used rinse liquid 11 recovered through the recovery pipe line 7a.
The storage tank 7 includes a heater 24 that keeps the temperature of the rinsing liquid 11 in the first rinsing tank 3 and the second rinsing tank 4 at an appropriate temperature, and the rinsing liquid 11 recovered through the recovery pipe line 7a is in a state of being kept warm. It is stored at. As an example, the temperature of the heater 24 in the present embodiment is adjusted so that the temperature of the rinsing liquid 11 in the first rinsing tank 3 and the second rinsing tank 4 is maintained at 40 ° C.
Hereinafter, when it is necessary to distinguish the rinse liquid 11 stored in the storage tank 7 from other rinse liquids 11, the rinse liquid 11 is referred to as a rinse liquid 11 c.

供給管路7bには、貯槽7に貯留されたリンス液11cを第2すすぎ槽4に送り出すポンプ25と、ポンプ25によって送り出された使用済みのリンス液11cを濾過して、リンス液11cに含まれる不純物を除去する濾過フィルタ26とが配置されている。
このような構成により、第2すすぎ槽4には、濾過済みリンス液11dが供給管路7bを通して供給される。
このため、第1すすぎ槽3および第2すすぎ槽4におけるリンス液11の一部は、回収管路7a、貯槽7、および供給管路7bを経由する循環経路(濾過経路と称する)を通して、循環使用される。
The supply pipe line 7b includes a pump 25 for sending the rinse liquid 11c stored in the storage tank 7 to the second rinse tank 4, and a used rinse liquid 11c sent by the pump 25, which is filtered and included in the rinse liquid 11c. A filter 26 for removing impurities is disposed.
With such a configuration, the filtered rinse liquid 11d is supplied to the second rinse tank 4 through the supply pipe line 7b.
For this reason, a part of the rinsing liquid 11 in the first rinsing tank 3 and the second rinsing tank 4 is circulated through a circulation path (referred to as a filtration path) via the recovery pipe line 7a, the storage tank 7, and the supply pipe line 7b. used.

蒸留器9は、回収管路9aを介して貯槽7と接続されるとともに、供給管路9bを介して第2すすぎ槽4と接続されている。これにより、蒸留器9は、回収管路9aを通して貯槽7から送出されるリンス液11cを蒸留して蒸留済みリンス液11e(再生リンス液)を形成し、供給管路9bを通して第2すすぎ槽4に蒸留済みリンス液11eを供給することができる。
蒸留器9の構成としては、蒸留釜の液面を監視し液面が低下した際に汚液を供給する連続蒸留装置、蒸留釜の液面の他に釜内の液温や蒸気の温度を監視し、多成分より成る混合液の蒸留をすることができる連続蒸留装置、再生した液の比重や屈折率などの物性を監視し、不足する成分を補充する機能を備えた蒸留装置などの例を挙げることができる。
このため、貯槽7のリンス液11cは、第1すすぎ槽3および第2すすぎ槽4において、回収管路7a、貯槽7、回収管路9a、蒸留器9、および供給管路9bを経由する循環経路(再生経路と称する)を通して、循環使用される。
The distiller 9 is connected to the storage tank 7 through a recovery pipe line 9a, and is connected to the second rinsing tank 4 through a supply pipe line 9b. Thereby, the distiller 9 distills the rinse liquid 11c sent from the storage tank 7 through the recovery pipe line 9a to form a distilled rinse liquid 11e (regenerated rinse liquid), and the second rinse tank 4 through the supply pipe line 9b. The rinsed liquid 11e after distillation can be supplied.
The structure of the distiller 9 is a continuous distillation device that monitors the liquid level of the distillation kettle and supplies the sewage liquid when the liquid level drops. In addition to the liquid level of the distillation kettle, the temperature of the liquid and steam in the kettle Examples of continuous distillation equipment that can monitor and distill mixed liquids consisting of multiple components, distillation equipment that has the function of monitoring the physical properties such as specific gravity and refractive index of the regenerated liquid and replenishing insufficient components Can be mentioned.
For this reason, the rinsing liquid 11c in the storage tank 7 is circulated in the first rinse tank 3 and the second rinse tank 4 via the recovery pipeline 7a, the storage tank 7, the recovery pipeline 9a, the distiller 9, and the supply pipeline 9b. It is circulated through a route (referred to as a regeneration route).

乾燥槽5は、第1すすぎ槽3、第2すすぎ槽4のリンス液11b、11aに浸漬してすすぎを行った後の被洗浄物Wを収容し、被洗浄物Wに熱風をあてることにより被洗浄物Wの表面に付着したリンス液11を除去するものである。本実施形態では、被洗浄物Wの出し入れ口は、乾燥槽5の上部に設けられている。
乾燥槽5における熱風の温度は、リンス液11の種類によって適宜設定することができる。本実施形態では、リンス液11が1−ブタノールと水との共沸組成の溶液であることに対応して80℃に設定している。
The drying tank 5 accommodates the article W to be cleaned after being immersed in the rinsing liquids 11b and 11a of the first rinsing tank 3 and the second rinsing tank 4 and applying hot air to the article W to be cleaned. The rinse liquid 11 adhering to the surface of the article W to be cleaned is removed. In the present embodiment, the inlet / outlet for the object to be cleaned W is provided in the upper part of the drying tank 5.
The temperature of the hot air in the drying tank 5 can be appropriately set depending on the type of the rinsing liquid 11. In the present embodiment, the temperature is set to 80 ° C. corresponding to the fact that the rinsing liquid 11 is a solution having an azeotropic composition of 1-butanol and water.

搬送機構8は、被洗浄物Wを、洗浄槽2、第1すすぎ槽3、および第2すすぎ槽4にこの順に浸漬させた後、乾燥槽5の内部に搬入し、乾燥後に乾燥槽5から搬出するものである。搬送機構8は、被洗浄物Wを保持する複数の保持部8aと、各保持部8aを水平方向に移動する搬送移動部8bとを備える。
各保持部8aは、鉛直方向に昇降移動可能に設けられており、洗浄槽2、第1すすぎ槽3、および第2すすぎ槽4内で、鉛直方向に沿って揺動させることができる。
なお、保持部8aは、被洗浄物Wが保持治具に保持されている場合には、保持治具を保持するようになっている。
The transport mechanism 8 immerses the object W to be cleaned in the cleaning tank 2, the first rinsing tank 3, and the second rinsing tank 4 in this order, and then carries them into the drying tank 5, and after drying, from the drying tank 5. It is to be taken out. The transport mechanism 8 includes a plurality of holding units 8a that hold the article to be cleaned W, and a transport moving unit 8b that moves each holding unit 8a in the horizontal direction.
Each holding portion 8 a is provided so as to be movable up and down in the vertical direction, and can be swung along the vertical direction in the cleaning tank 2, the first rinse tank 3, and the second rinse tank 4.
The holding unit 8a holds the holding jig when the object to be cleaned W is held by the holding jig.

次に、洗浄システム1の動作について、洗浄システム1を用いて行う本実施形態の物品の洗浄方法を中心に説明する。
本実施形態の物品の洗浄方法は、洗浄工程、すすぎ工程、乾燥工程、および再生処理工程を備える。
ここで、洗浄工程、すすぎ工程、および乾燥工程は、各被洗浄物Wを洗浄システム1の洗浄槽2、第1すすぎ槽3、第2すすぎ槽4、乾燥槽5に順次移動して行われる。
一方、再生処理工程は、蒸留器9によってこれらの工程と並行して行われる。
Next, the operation of the cleaning system 1 will be described focusing on the article cleaning method of the present embodiment performed using the cleaning system 1.
The article cleaning method of the present embodiment includes a cleaning process, a rinsing process, a drying process, and a regeneration process process.
Here, the cleaning process, the rinsing process, and the drying process are performed by sequentially moving the objects to be cleaned W to the cleaning tank 2, the first rinsing tank 3, the second rinsing tank 4, and the drying tank 5 of the cleaning system 1. .
On the other hand, the regeneration treatment process is performed in parallel with these processes by the distiller 9.

洗浄工程は、被洗浄物Wを洗浄剤10に接触させて洗浄する工程である。
本工程は、搬送機構8の保持部8aに保持された被洗浄物Wを、洗浄槽2内に移動して行う。
洗浄槽2には、濾過フィルタ23によって濾過され液温が調整された洗浄剤10が供給されている。このため、洗浄槽2には供給管路6bから回収管路6aに向かう流れが形成されている。
洗浄槽2内の洗浄剤10は、超音波振動子20により超音波振動が印加されている。
The cleaning process is a process of cleaning the article to be cleaned W by bringing it into contact with the cleaning agent 10.
This step is performed by moving the workpiece W held in the holding unit 8 a of the transport mechanism 8 into the cleaning tank 2.
The cleaning agent 10 filtered by the filter 23 and adjusted in liquid temperature is supplied to the cleaning tank 2. For this reason, a flow from the supply line 6b toward the recovery line 6a is formed in the cleaning tank 2.
Ultrasonic vibration is applied to the cleaning agent 10 in the cleaning tank 2 by the ultrasonic vibrator 20.

被洗浄物Wを洗浄槽2内に移動したら、保持部8aを昇降させて、洗浄槽2内で被洗浄物Wを鉛直方向に沿って揺動させる。この状態で、被洗浄物Wは、5分間、洗浄剤10に浸漬される。
被洗浄物Wの表面に付着した汚れは、洗浄剤10と接触するとともに洗浄剤10を介して超音波振動を受けることにより、被洗浄物Wから剥離され、洗浄剤10に溶解していく。これにより、汚れが被洗浄物Wの表面から除去される。
5分経過したら、保持部8aを上昇させて被洗浄物Wを洗浄槽2の上方に引き上げる。
以上で、洗浄工程が終了する。
When the article to be cleaned W is moved into the cleaning tank 2, the holding portion 8 a is moved up and down to swing the article to be cleaned W in the vertical direction in the cleaning tank 2. In this state, the workpiece W is immersed in the cleaning agent 5 for 5 minutes.
The dirt adhering to the surface of the object to be cleaned W comes into contact with the cleaning agent 10 and is subjected to ultrasonic vibration through the cleaning agent 10, thereby being peeled from the object to be cleaned W and dissolved in the cleaning agent 10. Thereby, dirt is removed from the surface of the article W to be cleaned.
When 5 minutes have elapsed, the holding portion 8a is raised and the object to be cleaned W is pulled up above the cleaning tank 2.
This completes the cleaning process.

次に、すすぎ工程を行う。本工程は、リンス液11を用いて、洗浄工程で洗浄された被洗浄物Wをすすぐ工程である。
本工程は、搬送機構8の保持部8aに保持された被洗浄物Wを、第1すすぎ槽3、第2すすぎ槽4に順次移動することにより行う。
第2すすぎ槽4には、濾過フィルタ23によって濾過された濾過済みリンス液11dと、蒸留器9から供給された蒸留済みリンス液11eとが供給されている。
第2すすぎ槽4の開口からオーバーフローしたリンス液11aは、第1すすぎ槽3に移動してリンス液11bとして一時的に貯留される。第1すすぎ槽3からオーバーフローしたリンス液11bは、回収管路7aによって貯槽7に回収され、貯槽7にリンス液11cとして一時的に貯留される。
第2すすぎ槽4内の液温、および第1すすぎ槽3内の液温は、貯槽7におけるヒータ21による温度調整によって40℃になっている。
第1すすぎ槽3および第2すすぎ槽4のリンス液11b、11aは、それぞれ超音波振動子20により超音波振動が印加されている。
Next, a rinsing step is performed. This process is a process of rinsing the article W to be cleaned that has been cleaned in the cleaning process using the rinse liquid 11.
This step is performed by sequentially moving the article W to be cleaned held in the holding portion 8a of the transport mechanism 8 to the first rinsing tank 3 and the second rinsing tank 4.
The second rinse tank 4 is supplied with the filtered rinse liquid 11 d filtered by the filter 23 and the distilled rinse liquid 11 e supplied from the distiller 9.
The rinse liquid 11a overflowing from the opening of the second rinse tank 4 moves to the first rinse tank 3 and is temporarily stored as the rinse liquid 11b. The rinsing liquid 11b overflowed from the first rinsing tank 3 is recovered in the storage tank 7 by the recovery pipe line 7a and temporarily stored in the storage tank 7 as the rinsing liquid 11c.
The liquid temperature in the second rinsing tank 4 and the liquid temperature in the first rinsing tank 3 are 40 ° C. due to temperature adjustment by the heater 21 in the storage tank 7.
Ultrasonic vibration is applied to the rinse liquids 11 b and 11 a in the first rinsing tank 3 and the second rinsing tank 4 by the ultrasonic vibrator 20, respectively.

まず、被洗浄物Wを第1すすぎ槽3内に移動させたら、保持部8aを昇降させて、第1すすぎ槽3内で被洗浄物Wを鉛直方向に揺動させる。この状態で、被洗浄物Wは、5分間、リンス液11bに浸漬される。
被洗浄物Wの表面に付着した洗浄剤10は、リンス液11bと接触するとともにリンス液11bを介して超音波振動を受けることにより、被洗浄物Wから剥離され、リンス液11bに溶解していく。これにより、被洗浄物Wの表面に付着した洗浄剤10が被洗浄物Wの表面から除去される。
5分経過したら、保持部8aを上昇させて被洗浄物Wを第1すすぎ槽3の上方に引き上げる。
First, after the article to be cleaned W is moved into the first rinse tank 3, the holding portion 8 a is moved up and down to swing the article to be cleaned W in the vertical direction within the first rinse tank 3. In this state, the article W to be cleaned is immersed in the rinsing liquid 11b for 5 minutes.
The cleaning agent 10 adhering to the surface of the object to be cleaned W comes into contact with the rinsing liquid 11b and receives ultrasonic vibration through the rinsing liquid 11b, so that it is peeled from the object to be cleaned W and dissolved in the rinsing liquid 11b. Go. Thereby, the cleaning agent 10 attached to the surface of the article to be cleaned W is removed from the surface of the article to be cleaned W.
When 5 minutes have elapsed, the holding portion 8a is raised and the object to be cleaned W is pulled up above the first rinsing tank 3.

次に、被洗浄物Wを第2すすぎ槽4内に移動させ、第1すすぎ槽3におけると同様に、保持部8aを昇降させて、第2すすぎ槽4内で被洗浄物Wを鉛直方向に沿って揺動させる。この状態で、被洗浄物Wは、5分間、リンス液11aに浸漬される。
第2すすぎ槽4のリンス液11aは、リンス液11bよりも清浄度が高いため、第1すすぎ槽3におけるすすぎでは除去しきれなかった洗浄剤10や、リンス液11bに残存する汚れ成分の再付着物が、リンス液11aと超音波振動との作用により、さらに除去されていく。
5分経過したら、保持部8aを上昇させて被洗浄物Wを第2すすぎ槽4の上方に引き上げる。
以上で、すすぎ工程が終了する。
Next, the object to be cleaned W is moved into the second rinsing tank 4, and the holding part 8 a is moved up and down in the same manner as in the first rinsing tank 3 to move the object to be cleaned W in the vertical direction in the second rinsing tank 4. Swing along. In this state, the article W to be cleaned is immersed in the rinsing liquid 11a for 5 minutes.
Since the rinsing liquid 11a in the second rinsing tank 4 has a higher degree of cleanliness than the rinsing liquid 11b, the cleaning agent 10 that could not be removed by rinsing in the first rinsing tank 3 and the contamination component remaining in the rinsing liquid 11b were re-applied. The deposits are further removed by the action of the rinse liquid 11a and ultrasonic vibration.
When 5 minutes have elapsed, the holding portion 8a is raised and the object to be cleaned W is pulled up above the second rinsing tank 4.
The rinsing process is thus completed.

ここで、すすぎ工程と並行して行われる本実施形態の再生処理工程について説明する。
再生処理工程は、すすぎ工程で使用されたリンス液11cを回収して蒸留し未使用のリンス液11と同じ成分を有する再生リンス液を形成する工程である。
本実施形態では、リンス液11cを回収管路9aで回収して、蒸留器9で蒸留する。
リンス液11は、共沸組成を有するため共沸点で沸騰する。このため、リンス液11の蒸気を凝縮させると1―ブタノールと水とが分離されることなく共沸組成の溶液として凝縮して、蒸留済みリンス液11eが得られる。
このため、蒸留済みリンス液11eは、リンス液11cに含まれる不純物が除去され、かつ未使用のリンス液11と同じ成分を有する再生リンス液になっている。
Here, the reproduction processing process of this embodiment performed in parallel with the rinsing process will be described.
The regeneration treatment step is a step of recovering and distilling the rinse liquid 11c used in the rinsing process to form a regenerated rinse liquid having the same components as the unused rinse liquid 11.
In the present embodiment, the rinsing liquid 11 c is recovered by the recovery pipe 9 a and distilled by the distiller 9.
Since the rinsing liquid 11 has an azeotropic composition, it boils at the azeotropic point. Therefore, when the vapor of the rinsing liquid 11 is condensed, 1-butanol and water are condensed as a solution having an azeotropic composition without being separated, and a distilled rinsing liquid 11e is obtained.
For this reason, the distilled rinse liquid 11e is a regenerated rinse liquid from which impurities contained in the rinse liquid 11c are removed and having the same components as the unused rinse liquid 11.

このような再生処理工程を有することにより、本実施形態では、リンス液11cから、アルコールと水とを分離して、未使用のリンス液11と同様の成分(濃度比)を有する混合溶液を調整する手間をかけることなく、第2すすぎ槽4に直に蒸留済みリンス液11eを投入できる。このため、蒸留のみの簡素な工程により、リンス液11を再生して循環利用することができる。この結果、蒸留器9もコンパクトな構成とすることができ、洗浄システム1の小型化、省スペース化が可能である。
また、蒸留済みリンス液11eは、共沸組成の溶液であり、未使用のリンス液11と同じ溶液である。したがって、リンス液11c中に含まれる、濾過フィルタ26によって取りきれない不純物も除去されており、濾過済みリンス液11dに比べて清浄である。
By having such a regeneration treatment step, in the present embodiment, alcohol and water are separated from the rinsing liquid 11c, and a mixed solution having the same components (concentration ratio) as the unused rinsing liquid 11 is prepared. The distilled rinse liquid 11e can be put directly into the second rinsing tank 4 without taking the trouble of performing. For this reason, the rinse solution 11 can be regenerated and reused by a simple process of only distillation. As a result, the distiller 9 can also have a compact configuration, and the cleaning system 1 can be reduced in size and space.
The distilled rinse liquid 11e is a solution having an azeotropic composition and is the same solution as the unused rinse liquid 11. Therefore, impurities contained in the rinsing liquid 11c that cannot be removed by the filtration filter 26 are also removed, and the rinsing liquid 11c is cleaner than the filtered rinsing liquid 11d.

第2すすぎ槽4から取り出された被洗浄物Wは、乾燥工程を行う。
本工程は、被洗浄物Wの表面に付着したリンス液11を蒸発させて被洗浄物Wの表面を乾燥させる工程である。
本工程は、搬送機構8の保持部8aに保持された被洗浄物Wを、乾燥槽5に移動させることにより行う。
乾燥槽5に移動された被洗浄物Wは、80℃の熱風が吹き付けられるため、被洗浄物Wの表面に付着したリンス液11の液滴は、吹き飛ばされるか、または蒸発して、被洗浄物Wから除去される。これにより、被洗浄物Wが乾燥される。
以上で、乾燥工程が終了する。
乾燥された被洗浄物Wは、搬送機構8によって乾燥槽5の外部に移動され、洗浄システム1の外部に搬出される。
以上で、本実施形態の物品の洗浄方法が終了する。
保持部8aに保持された各被洗浄物Wは、搬送機構8によって順次移動されることにより、それぞれ、上記に説明した洗浄工程、すすぎ工程、および乾燥工程が行われる。これにより、他の被洗浄物Wも上記と同様の工程を経て洗浄されていく。
The to-be-cleaned object W taken out from the second rinsing tank 4 performs a drying process.
This step is a step of evaporating the rinsing liquid 11 attached to the surface of the object to be cleaned W and drying the surface of the object to be cleaned W.
This step is performed by moving the object to be cleaned W held by the holding unit 8 a of the transport mechanism 8 to the drying tank 5.
Since the object to be cleaned W moved to the drying tank 5 is sprayed with hot air of 80 ° C., the droplets of the rinsing liquid 11 attached to the surface of the object to be cleaned W are blown off or evaporated to be cleaned. It is removed from the object W. Thereby, the to-be-cleaned object W is dried.
This is the end of the drying process.
The dried article W to be cleaned is moved to the outside of the drying tank 5 by the transport mechanism 8 and carried out of the cleaning system 1.
The article cleaning method of this embodiment is thus completed.
The objects to be cleaned W held in the holding unit 8a are sequentially moved by the transport mechanism 8, whereby the cleaning process, the rinsing process, and the drying process described above are performed. As a result, the other objects to be cleaned W are also cleaned through the same process as described above.

本実施形態の物品の洗浄方法によれば、すすぎ工程においてリンス液11を用いるため、非水系の溶剤と水を含む洗浄剤10を用いる場合に、非水系の溶剤がアルコールに溶解して、被洗浄物Wから容易に除去される。このため、非水系の溶剤が溶解しない水のみによってすすぎを行う場合に比べると、洗浄剤10を効率的にすすぎ落とすことができる。また、すすぎに要する液量がより少なくて済むため、リンス液11の使用量を抑制することができる。また、本実施形態では、リンス液11を再生利用するため、最終的に排水処理すべき液量を格段に低減することができる。
このように、水のみによってすすぎを行う場合に比べて、リンス液11の使用量が少なくて済むため、洗浄システム1がより小型のシステムになる。
また、特に、リンス液11を共沸組成とすることで、リンス液11を再生する蒸留器9を小型化することができる。
また、本実施形態では、リンス液11は、アルコール濃度が低濃度であるため、引火するおそれがない。このため、洗浄システム1は、リンス液11の引火を防ぐための防火対策を施す必要がない点でも、装置構成を簡素化することができる。例えば、不活性ガス雰囲気下ですすぎを行う必要がないため、装置構成が簡素となる。また、作業者の作業性が良好となる。
According to the article cleaning method of the present embodiment, since the rinsing liquid 11 is used in the rinsing step, when the cleaning agent 10 containing a non-aqueous solvent and water is used, the non-aqueous solvent dissolves in the alcohol, It is easily removed from the cleaning object W. For this reason, compared with the case where it rinses only with the water which a non-aqueous solvent does not melt | dissolve, the cleaning agent 10 can be rinsed off efficiently. Further, since the amount of liquid required for rinsing is smaller, the amount of the rinsing liquid 11 used can be suppressed. In the present embodiment, since the rinse liquid 11 is recycled, the amount of liquid to be finally drained can be significantly reduced.
As described above, since the amount of the rinsing liquid 11 used is smaller than in the case of rinsing with only water, the cleaning system 1 becomes a smaller system.
In particular, the distiller 9 that regenerates the rinse liquid 11 can be downsized by setting the rinse liquid 11 to an azeotropic composition.
Moreover, in this embodiment, since the rinse liquid 11 has a low alcohol concentration, there is no risk of ignition. For this reason, the cleaning system 1 can simplify the apparatus configuration in that it is not necessary to take fire prevention measures for preventing the rinsing liquid 11 from being ignited. For example, since it is not necessary to perform rinsing under an inert gas atmosphere, the apparatus configuration is simplified. In addition, the workability of the worker is improved.

[第2の実施形態]
次に、本発明の第2の実施形態の物品の洗浄方法について説明する。
図2は、本発明の第2の実施形態の物品の洗浄方法に用いる洗浄システムの模式的なシステム構成図である。
[Second Embodiment]
Next, a method for cleaning an article according to the second embodiment of the present invention will be described.
FIG. 2 is a schematic system configuration diagram of a cleaning system used in the article cleaning method according to the second embodiment of the present invention.

本実施形態の物品の洗浄方法は、上記第1の実施形態の物品の洗浄方法が共沸組成のリンス液を用いるのに対して、共沸組成でないリンス液を用いる点が異なる。
以下、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
The article cleaning method according to the present embodiment is different from the article cleaning method according to the first embodiment in that a rinse liquid having an azeotropic composition is used, whereas a rinse liquid having an azeotropic composition is used.
Hereinafter, a description will be given centering on differences from the first embodiment.

まず、図2を参照して、本実施形態の物品の洗浄方法を実施することができる洗浄システム51のシステム構成について説明する。
洗浄システム51では、上記第1の実施形態のリンス液11に代えて、リンス液31を用いる。
リンス液31は、上記第1の実施形態のリンス液11と同様、アルコールと水とを含む溶液からなり、共沸組成でない点が相違する。
本実施形態では、一例として、1−プロパノールと水とを、それぞれ50.0wt%、50.0wt%の濃度となるように混合した溶液を採用している。
このような構成によれば、アルコール濃度が60wt%未満であるため、リンス液31は引火点が測定されない。このため、リンス液31は、例えば消防法が定める「危険物」に該当しない。
First, with reference to FIG. 2, a system configuration of a cleaning system 51 capable of performing the article cleaning method of the present embodiment will be described.
In the cleaning system 51, a rinsing liquid 31 is used instead of the rinsing liquid 11 of the first embodiment.
The rinse liquid 31 is made of a solution containing alcohol and water, like the rinse liquid 11 of the first embodiment, and is different in that it is not an azeotropic composition.
In this embodiment, as an example, a solution in which 1-propanol and water are mixed so as to have a concentration of 50.0 wt% and 50.0 wt%, respectively, is employed.
According to such a configuration, since the alcohol concentration is less than 60 wt%, the flash point of the rinse liquid 31 is not measured. For this reason, the rinse liquid 31 does not correspond to the “dangerous goods” defined by the Fire Service Act, for example.

洗浄システム51は、上記第1の実施形態の洗浄システム1に、インライン濃度計32と、純水供給部33とが追加されている。インライン濃度計32と純水供給部33とは、貯槽7から排出されるリンス液31の1−プロパノールと水との濃度比を未使用のリンス液31の濃度比と一致させるために設けられた構成である。
以下では、リンス液31の貯留場所を区別する場合、上記第1の実施形態のリンス液11a、11b、11cに対応して、それぞれリンス液31a、31b、31cと称する。
In the cleaning system 51, an in-line densitometer 32 and a pure water supply unit 33 are added to the cleaning system 1 of the first embodiment. The in-line concentration meter 32 and the pure water supply unit 33 are provided in order to make the concentration ratio of 1-propanol and water of the rinse liquid 31 discharged from the storage tank 7 coincide with the concentration ratio of the unused rinse liquid 31. It is a configuration.
Hereinafter, when the storage locations of the rinse liquid 31 are distinguished, the rinse liquids 31a, 31b, and 31c are referred to as corresponding to the rinse liquids 11a, 11b, and 11c of the first embodiment, respectively.

インライン濃度計32は、貯槽7に貯留されたリンス液31cの1−プロパノールの濃度を測定するものである。
純水供給部33は、貯槽7における1−プロパノールの濃度が50.0wt%を保つために希釈する純水34を供給するもので、自動開閉弁33bを備える供給管路33aを介して貯槽7に接続されている。
自動開閉弁33bは、図示略の制御装置によって、インライン濃度計32の1−プロパノールの濃度の測定値が50.0wt%となるように、開閉動作が制御される。
なお、本実施形態では、供給管路7b、回収管路9a、および供給管路33aは、いずれもインライン濃度計32の近傍に接続されている。このため、供給管路7b、回収管路9aによってそれぞれ第2すすぎ槽4、蒸留器9に導かれるリンス液31cの1−プロパノールの濃度は、インライン濃度計32で測定される濃度と一致する。
The in-line densitometer 32 measures the concentration of 1-propanol in the rinsing liquid 31 c stored in the storage tank 7.
The pure water supply unit 33 supplies pure water 34 that is diluted to keep the concentration of 1-propanol in the storage tank 7 at 50.0 wt%, and the storage tank 7 is provided via a supply line 33a including an automatic opening / closing valve 33b. It is connected to the.
The opening / closing operation of the automatic opening / closing valve 33b is controlled by a control device (not shown) so that the measured value of the concentration of 1-propanol in the in-line concentration meter 32 becomes 50.0 wt%.
In the present embodiment, the supply line 7b, the recovery line 9a, and the supply line 33a are all connected in the vicinity of the inline densitometer 32. For this reason, the concentration of 1-propanol in the rinsing liquid 31c guided to the second rinsing tank 4 and the distiller 9 by the supply line 7b and the recovery line 9a, respectively, matches the concentration measured by the inline densitometer 32.

次に、洗浄システム51の動作について、洗浄システム51を用いて行う本実施形態の物品の洗浄方法を中心に説明する。ただし、上記第1の実施形態と同様な説明は適宜省略し、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。   Next, the operation of the cleaning system 51 will be described focusing on the article cleaning method of the present embodiment performed using the cleaning system 51. However, a description similar to that of the first embodiment will be omitted as appropriate, and a description will be given focusing on differences from the first embodiment.

本実施形態の物品の洗浄方法は、洗浄工程、すすぎ工程、乾燥工程、および再生処理工程を備える。
ここで、洗浄工程、すすぎ工程、および乾燥工程は、各被洗浄物Wを洗浄システム51の洗浄槽2、第1すすぎ槽3、第2すすぎ槽4、乾燥槽5に順次移動して行われる。
一方、再生処理工程は、蒸留器9によってこれらの工程と並行して行われる。
The article cleaning method of the present embodiment includes a cleaning process, a rinsing process, a drying process, and a regeneration process process.
Here, the cleaning process, the rinsing process, and the drying process are performed by sequentially moving the objects to be cleaned W to the cleaning tank 2, the first rinsing tank 3, the second rinsing tank 4, and the drying tank 5 of the cleaning system 51. .
On the other hand, the regeneration treatment process is performed in parallel with these processes by the distiller 9.

本実施形態の洗浄工程は、上記第1の実施形態の洗浄工程とまったく同様な工程である。   The cleaning process of this embodiment is exactly the same as the cleaning process of the first embodiment.

次に、本実施形態のすすぎ工程を行う。本工程が上記第1の実施形態のすすぎ工程と異なるのは、洗浄工程で洗浄された被洗浄物Wをすすぐ際にリンス液31を用いる点のみである。
本実施形態における第2すすぎ槽4には、濾過フィルタ26によって濾過された濾過済みリンス液31dと、蒸留器9から供給された蒸留済みリンス液31eとが供給されている。第2すすぎ槽4のリンス液31aはオーバーフローして第1すすぎ槽3に移動し(リンス液31b)、さらに貯槽7に回収される(リンス液31c)。
第2すすぎ槽4内の液温、および第1すすぎ槽3内の液温は、上記第1の実施形態と同様にして40℃になっている。
Next, the rinsing process of this embodiment is performed. This step is different from the rinsing step of the first embodiment only in that the rinse liquid 31 is used when rinsing the article W to be cleaned that has been cleaned in the cleaning step.
The second rinse tank 4 in the present embodiment is supplied with the filtered rinse liquid 31d filtered by the filter 26 and the distilled rinse liquid 31e supplied from the distiller 9. The rinsing liquid 31a in the second rinsing tank 4 overflows and moves to the first rinsing tank 3 (rinsing liquid 31b), and is further collected in the storage tank 7 (rinsing liquid 31c).
The liquid temperature in the 2nd rinse tank 4 and the liquid temperature in the 1st rinse tank 3 are 40 degreeC similarly to the said 1st Embodiment.

上記第1の実施形態と同様に、搬送機構8の保持部8aに保持された被洗浄物Wは、第1すすぎ槽3、第2すすぎ槽4に順次移動される。第1すすぎ槽3、第2すすぎ槽4で行われるすすぎ動作は上記第1の実施形態とまったく同様である。
それぞれにおいて、被洗浄物Wに付着した洗浄剤10の非水系の溶剤は、リンス液31の1−プロパノールに溶解して被洗浄物Wから除去される。
Similar to the first embodiment, the article to be cleaned W held by the holding unit 8a of the transport mechanism 8 is sequentially moved to the first rinsing tank 3 and the second rinsing tank 4. The rinsing operation performed in the first rinsing tank 3 and the second rinsing tank 4 is exactly the same as in the first embodiment.
In each case, the non-aqueous solvent of the cleaning agent 10 adhering to the cleaning object W is dissolved in 1-propanol of the rinsing liquid 31 and removed from the cleaning object W.

ここで、すすぎ工程と並行して行われる本実施形態の再生処理工程について説明する。
再生処理工程は、すすぎ工程で使用されたリンス液31cを回収して蒸留し未使用のリンス液31と同じ成分を有する再生リンス液を形成する工程である。
本工程では、上記第1の実施形態と同様に、リンス液31cを回収管路9aで回収し、蒸留器9で蒸留する。
蒸留器9では、1−プロパノールおよび水と、これらに溶解した不純物とが分離できるような温度設定によって蒸留を行う。こうして形成された蒸留済みリンス液31eは、蒸留によりリンス液31c中に含まれる、濾過フィルタ26によって取りきれない不純物も除去されており、濾過済みリンス液31dに比べて清浄である。
ただし、蒸留器9から供給される蒸留済みリンス液31eは共沸組成であるため、1−プロパノールの濃度は71.5wt%になる。したがって、蒸留器9のみでは、再生リンス液を形成できない。
そこで、本実施形態では、貯槽7に設けられたインライン濃度計32によって1−プロパノールの濃度測定を行い、この測定値に基づいて、1−プロパノールの濃度が50.0wt%となるように、純水供給部33から純水34を供給する。
供給管路7bによって供給される濾過済みリンス液31dは、第2すすぎ槽4内のリンス液31aを攪拌しており、これによりリンス液31a、31bの1−プロパノールの濃度が均一化される。このため、第2すすぎ槽4、第1すすぎ槽3内のリンス液31の成分が、1−プロパノールと水の濃度がそれぞれ50.0wt%となるように制御され、リンス液31の初期と同じ成分に保たれる。
Here, the reproduction processing process of this embodiment performed in parallel with the rinsing process will be described.
The regeneration treatment step is a step of collecting and distilling the rinse liquid 31c used in the rinsing process to form a regenerated rinse liquid having the same components as the unused rinse liquid 31.
In this step, as in the first embodiment, the rinsing liquid 31c is recovered by the recovery conduit 9a and distilled by the distiller 9.
In the distiller 9, distillation is performed at a temperature setting such that 1-propanol and water can be separated from impurities dissolved therein. Distilled rinse liquid 31e formed in this way is free of impurities contained in rinse liquid 31c that cannot be removed by filtration filter 26 by distillation, and is cleaner than filtered rinse liquid 31d.
However, since the distilled rinse liquid 31e supplied from the distiller 9 has an azeotropic composition, the concentration of 1-propanol is 71.5 wt%. Therefore, the regenerated rinse liquid cannot be formed only by the distiller 9.
Therefore, in this embodiment, the concentration of 1-propanol is measured by the in-line densitometer 32 provided in the storage tank 7, and based on this measurement value, the concentration of 1-propanol is 50.0 wt%. Pure water 34 is supplied from the water supply unit 33.
The filtered rinsing liquid 31d supplied by the supply pipe line 7b agitates the rinsing liquid 31a in the second rinsing tank 4, so that the concentration of 1-propanol in the rinsing liquids 31a and 31b is made uniform. For this reason, the components of the rinsing liquid 31 in the second rinsing tank 4 and the first rinsing tank 3 are controlled so that the concentrations of 1-propanol and water are 50.0 wt%, respectively, and are the same as the initial stage of the rinsing liquid 31. Ingredients are kept.

このように、本実施形態では、1−プロパノールの濃度が高い蒸留済みリンス液31eと、濾過済みリンス液31dに含まれる純水34とが、第2すすぎ槽4内で混合されることにより、再生リンス液が形成されている。
本実施形態では、純水34は、インライン濃度計32の測定値に応じて自動的に供給されるため、蒸留済みリンス液31eを形成した後に純水を追加して成分を調整した混合溶液を調製する工程や装置を設ける必要がない。このため、簡素な工程により、リンス液31を再生して循環利用することができる。この結果、蒸留器9もコンパクトな構成とすることができ、洗浄システム51の小型化、省スペース化が可能である。
Thus, in the present embodiment, the distilled rinse liquid 31e having a high 1-propanol concentration and the pure water 34 contained in the filtered rinse liquid 31d are mixed in the second rinse tank 4, A regenerative rinse is formed.
In this embodiment, the pure water 34 is automatically supplied according to the measurement value of the in-line densitometer 32. Therefore, after forming the distilled rinse liquid 31e, a pure solution is added to adjust the components. There is no need to provide a preparation process or apparatus. For this reason, the rinse liquid 31 can be regenerated and recycled by a simple process. As a result, the distiller 9 can also have a compact configuration, and the cleaning system 51 can be reduced in size and space.

乾燥工程は、上記第1の実施形態とまったく同様の工程である。
以上で、本実施形態の物品の洗浄方法が終了する。
The drying process is exactly the same as that in the first embodiment.
The article cleaning method of this embodiment is thus completed.

本実施形態の物品の洗浄方法によれば、すすぎ工程においてリンス液31を用いるため、非水系の溶剤と水を含む洗浄剤10を用いる場合に、非水系の溶剤が、アルコールに溶解して、被洗浄物Wから容易に除去される。このため、非水系の溶剤が溶解しない水のみによってすすぎを行う場合に比べると、洗浄剤10を効率的にすすぎ落とすことができる。また、すすぎに要する液量がより少なくて済むため、リンス液31の使用量を抑制することができる。また、本実施形態では、リンス液31を再生利用するため、最終的に排水処理すべき液量を格段に低減することができる。
このように、水のみによってすすぎを行う場合に比べて、リンス液31の使用量が少なくて済むため、洗浄システム51がより小型のシステムになる。
また、本実施形態では、リンス液31は、アルコール濃度が低濃度であるため、引火するおそれがない。このため、洗浄システム51は、リンス液31の引火を防ぐための防火対策を施す必要がない点でも、装置構成を簡素化することができる。
According to the method for cleaning an article of the present embodiment, since the rinse liquid 31 is used in the rinsing step, when the cleaning agent 10 containing a non-aqueous solvent and water is used, the non-aqueous solvent is dissolved in alcohol, It is easily removed from the object W to be cleaned. For this reason, compared with the case where it rinses only with the water which a non-aqueous solvent does not melt | dissolve, the cleaning agent 10 can be rinsed off efficiently. Further, since the amount of liquid required for rinsing is smaller, the amount of the rinsing liquid 31 used can be suppressed. Further, in the present embodiment, since the rinse liquid 31 is recycled, the amount of liquid to be finally drained can be significantly reduced.
As described above, since the amount of the rinsing liquid 31 used is small as compared with the case of rinsing with only water, the cleaning system 51 becomes a smaller system.
Moreover, in this embodiment, since the rinse liquid 31 has a low alcohol concentration, there is no risk of ignition. For this reason, the cleaning system 51 can simplify the apparatus configuration in that it is not necessary to take fire prevention measures for preventing the rinsing liquid 31 from being ignited.

[第3の実施形態]
次に、本発明の第3の実施形態の物品の洗浄方法について説明する。
図3は、本発明の第3の実施形態の物品の洗浄方法に用いる洗浄システムの模式的なシステム構成図である。
[Third Embodiment]
Next, a method for cleaning an article according to the third embodiment of the present invention will be described.
FIG. 3 is a schematic system configuration diagram of a cleaning system used in the article cleaning method according to the third embodiment of the present invention.

本実施形態の物品の洗浄方法は、上記第1の実施形態の物品の洗浄方法が共沸組成のリンス液を用いるとともにリンス液を再生利用するのに対して、共沸組成でないリンス液を用い、再生利用を行わない点が異なる。
以下、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
The article cleaning method of the present embodiment uses a rinse liquid that is not an azeotropic composition, whereas the article cleaning method of the first embodiment uses a rinse liquid having an azeotropic composition and recycles the rinse liquid. The difference is that no recycling is used.
Hereinafter, a description will be given centering on differences from the first embodiment.

まず、図3を参照して、本実施形態の物品の洗浄方法を実施することができる洗浄システム61のシステム構成について説明する。
洗浄システム61では、上記第1の実施形態のリンス液11に代えて、リンス液41を用いる。
リンス液41は、上記第1の実施形態のリンス液11と同様、アルコールと水とを含む溶液からなり、共沸組成でない点が相違する。
本実施形態では、一例として、エタノールと水とを、それぞれ30.0wt%、70.0wt%の濃度となるように混合した溶液を採用している。
このような構成によれば、アルコール濃度が60wt%未満であるため、リンス液41は引火点が測定されない。このため、リンス液41は、例えば消防法が定める「危険物」に該当しない。
First, with reference to FIG. 3, a system configuration of a cleaning system 61 capable of implementing the article cleaning method of the present embodiment will be described.
In the cleaning system 61, a rinsing liquid 41 is used instead of the rinsing liquid 11 of the first embodiment.
The rinsing liquid 41 is different from the rinsing liquid 11 of the first embodiment in that it is made of a solution containing alcohol and water and is not an azeotropic composition.
In the present embodiment, as an example, a solution in which ethanol and water are mixed so as to have concentrations of 30.0 wt% and 70.0 wt%, respectively, is employed.
According to such a configuration, since the alcohol concentration is less than 60 wt%, the flash point of the rinse liquid 41 is not measured. For this reason, the rinse liquid 41 does not correspond to “dangerous goods” defined by, for example, the Fire Service Law.

洗浄システム61の概略構成は、上記第1の実施形態の洗浄システム1の蒸留器9、回収管路9a、供給管路9bを削除し、第1すすぎ槽3、第2すすぎ槽4に代えて、第1すすぎ槽63、第2すすぎ槽64を備え、貯槽68を追加したものである。   The schematic configuration of the cleaning system 61 is that the distiller 9, the recovery pipe 9a, and the supply pipe 9b of the cleaning system 1 of the first embodiment are deleted and replaced with the first rinsing tank 3 and the second rinsing tank 4. The first rinse tank 63 and the second rinse tank 64 are provided, and a storage tank 68 is added.

第1すすぎ槽63および第2すすぎ槽64は、いずれもリンス液41を貯留している上方に開口した貯留槽である。被洗浄物Wは、これら開口をそれぞれ通して上方から出し入れすることが可能である。
第1すすぎ槽63および第2すすぎ槽64は、互いに隣り合うように洗浄槽2側からこの順に配置されている。
第1すすぎ槽63(第2すすぎ槽64)には、内部のリンス液41に超音波振動を印加する超音波振動子20が装着されている。このため、第1すすぎ槽63(第2すすぎ槽64)内のリンス液41に浸漬された被洗浄物Wは超音波洗浄される。
以下では、第1すすぎ槽63、第2すすぎ槽64にそれぞれ貯留されているリンス液41を互いに区別する必要がある場合には、それぞれ、リンス液41b、41aと称する。
The first rinsing tank 63 and the second rinsing tank 64 are both storage tanks that open upward and store the rinse liquid 41. The workpiece W can be taken in and out from above through the openings.
The 1st rinse tank 63 and the 2nd rinse tank 64 are arrange | positioned in this order from the washing tank 2 side so that it may mutually adjoin.
The first rinsing tank 63 (second rinsing tank 64) is equipped with an ultrasonic transducer 20 that applies ultrasonic vibrations to the internal rinse liquid 41. For this reason, the to-be-cleaned object W immersed in the rinse liquid 41 in the 1st rinse tank 63 (2nd rinse tank 64) is ultrasonically cleaned.
Hereinafter, when it is necessary to distinguish the rinse liquid 41 stored in the first rinse tank 63 and the second rinse tank 64 from each other, they are referred to as rinse liquids 41b and 41a, respectively.

第1すすぎ槽63には、リンス液41を循環させるため、上記第1の実施形態と同様、第1すすぎ槽63の開口からオーバーフローした使用済みのリンス液41を回収する回収管路7aを介して貯槽7が接続されている。以下では、貯槽7に貯留されているリンス液41を他のリンス液41と区別する必要がある場合には、リンス液41cと称する。   In order to circulate the rinsing liquid 41 in the first rinsing tank 63, as in the first embodiment, the recovery line 7 a that collects the used rinsing liquid 41 overflowing from the opening of the first rinsing tank 63 is used. The storage tank 7 is connected. Hereinafter, when it is necessary to distinguish the rinse liquid 41 stored in the storage tank 7 from the other rinse liquids 41, the rinse liquid 41 is referred to as a rinse liquid 41c.

貯槽7は、上記第1の実施形態と同様、ヒータ24を備えている。ただし、本実施形態におけるヒータ24は、第1すすぎ槽63におけるリンス液41bの液温を適温に保つものである。本実施形態におけるヒータ24の温度は、一例として、第1すすぎ槽63内のリンス液41bの液温が40℃に保たれるように調整されている。
貯槽7に貯留されたリンス液41cは、貯槽7と第1すすぎ槽63との間に設けられた供給管路67bを通して、第1すすぎ槽63に戻される。
The storage tank 7 includes a heater 24 as in the first embodiment. However, the heater 24 in the present embodiment maintains the liquid temperature of the rinsing liquid 41b in the first rinsing tank 63 at an appropriate temperature. The temperature of the heater 24 in this embodiment is adjusted so that the liquid temperature of the rinse liquid 41b in the 1st rinse tank 63 may be maintained at 40 degreeC as an example.
The rinse liquid 41 c stored in the storage tank 7 is returned to the first rinse tank 63 through a supply pipe 67 b provided between the storage tank 7 and the first rinse tank 63.

供給管路67b上には、貯槽7側から、上記第1の実施形態と同様のポンプ25、濾過フィルタ26がこの順に設けられている。
このような構成により、第1すすぎ槽63には、濾過フィルタ26によって濾過された濾過済みリンス液41dが供給管路67bを通して供給される。
また、ポンプ25には、貯槽7内のリンス液41cを排出するための排出管路67cが接続されている。排出管路67cには、開閉弁27が設けられており、この開閉弁27が開かれた場合に、貯槽7内のリンス液41cが排出される。
On the supply line 67b, the pump 25 and the filtration filter 26 similar to those in the first embodiment are provided in this order from the storage tank 7 side.
With such a configuration, the first rinse tank 63 is supplied with the filtered rinse liquid 41d filtered by the filter 26 through the supply line 67b.
The pump 25 is connected to a discharge pipe 67c for discharging the rinse liquid 41c in the storage tank 7. The discharge pipe 67c is provided with an on-off valve 27. When the on-off valve 27 is opened, the rinse liquid 41c in the storage tank 7 is discharged.

第2すすぎ槽64には、リンス液41を循環させるため、第2すすぎ槽64の開口からオーバーフローした使用済みのリンス液41を回収する回収管路68aを介して貯槽68が接続されている。以下では、貯槽68に貯留されているリンス液41を他のリンス液41と区別する必要がある場合には、リンス液41eと称する。
回収管路68aの中間部には、リンス液41eを貯槽7に導くため、貯槽7に接続された分岐管路68cが接続されている。
分岐管路68c上、および回収管路68aにおいて分岐管路68cの接続位置よりも貯槽68側の位置には、それぞれ開閉弁29、28が設けられている。
すすぎ工程が行われる間は、開閉弁28が開かれ、開閉弁29は閉じられている。一方、後述するように、リンス液41aを貯槽7に移動する際には、開閉弁28が閉じられて開閉弁29は開かれる。
A storage tank 68 is connected to the second rinsing tank 64 through a collection pipe 68 a that collects the used rinsing liquid 41 that has overflowed from the opening of the second rinsing tank 64 in order to circulate the rinsing liquid 41. Hereinafter, when it is necessary to distinguish the rinse liquid 41 stored in the storage tank 68 from other rinse liquids 41, the rinse liquid 41 is referred to as a rinse liquid 41e.
A branch pipe 68c connected to the storage tank 7 is connected to the intermediate portion of the recovery pipe 68a to guide the rinse liquid 41e to the storage tank 7.
On-off valves 29 and 28 are provided on the branch pipe 68c and on the collection pipe 68a at positions closer to the storage tank 68 than the connection position of the branch pipe 68c.
During the rinsing process, the on-off valve 28 is opened and the on-off valve 29 is closed. On the other hand, as will be described later, when the rinsing liquid 41a is moved to the storage tank 7, the on-off valve 28 is closed and the on-off valve 29 is opened.

貯槽68は、ヒータ24と同様の構成を有するヒータ30を備えている。ヒータ30は、第2すすぎ槽64におけるリンス液41aの液温を適温に保つものである。本実施形態におけるヒータ30の温度は、一例として、第2すすぎ槽64内のリンス液41aの液温が40℃に保たれるように調整されている。
貯槽68に貯留されたリンス液41eは、貯槽68と第2すすぎ槽64との間に設けられた供給管路68bを通して、第2すすぎ槽64に戻される。
The storage tank 68 includes a heater 30 having the same configuration as the heater 24. The heater 30 maintains the temperature of the rinsing liquid 41a in the second rinsing tank 64 at an appropriate temperature. The temperature of the heater 30 in this embodiment is adjusted so that the liquid temperature of the rinse liquid 41a in the 2nd rinse tank 64 may be maintained at 40 degreeC as an example.
The rinse liquid 41e stored in the storage tank 68 is returned to the second rinse tank 64 through a supply pipe 68b provided between the storage tank 68 and the second rinse tank 64.

供給管路68b上には、貯槽68側から、ポンプ25、濾過フィルタ26と同様の構成を有するポンプ31、濾過フィルタ32がこの順に設けられている。
このような構成により、第2すすぎ槽64には、濾過フィルタ32によって濾過された濾過済みリンス液41fが供給管路68bを通して供給される。
On the supply pipe 68b, a pump 31 and a filtration filter 32 having the same configuration as the pump 25 and the filtration filter 26 are provided in this order from the storage tank 68 side.
With such a configuration, the rinse solution 41f that has been filtered by the filter 32 is supplied to the second rinse tank 64 through the supply pipe 68b.

次に、洗浄システム51の動作について、洗浄システム51を用いて行う本実施形態の物品の洗浄方法を中心に説明する。ただし、上記第1の実施形態と同様な説明は省略し、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。   Next, the operation of the cleaning system 51 will be described focusing on the article cleaning method of the present embodiment performed using the cleaning system 51. However, the description similar to that of the first embodiment is omitted, and the description will be focused on differences from the first embodiment.

本実施形態の物品の洗浄方法は、洗浄工程、すすぎ工程、および乾燥工程を備える。
ここで、洗浄工程、すすぎ工程、および乾燥工程は、各被洗浄物Wを洗浄システム61の洗浄槽2、第1すすぎ槽63、第2すすぎ槽64、乾燥槽5に順次移動して行われる。
なお、洗浄システム61は、蒸留器等の再生処理工程を行う装置部分を有しないため、以下では、再生処理工程は行われない場合の例で説明する。ただし、洗浄システム61とは別の設置された排水再生装置によって、オフラインで再生処理工程を行うことも可能である。
The method for cleaning an article according to the present embodiment includes a cleaning process, a rinsing process, and a drying process.
Here, the cleaning process, the rinsing process, and the drying process are performed by sequentially moving the objects to be cleaned W to the cleaning tank 2, the first rinsing tank 63, the second rinsing tank 64, and the drying tank 5 of the cleaning system 61. .
Since the cleaning system 61 does not have an apparatus portion that performs a regeneration process such as a distiller, an example in which the regeneration process is not performed will be described below. However, it is also possible to perform the regeneration process step off-line with a wastewater regeneration apparatus installed separately from the cleaning system 61.

本実施形態の洗浄工程は、上記第1の実施形態の洗浄工程とまったく同様な工程である。   The cleaning process of this embodiment is exactly the same as the cleaning process of the first embodiment.

次に、本実施形態のすすぎ工程を行う。本工程は、リンス液41を用いて、洗浄工程で洗浄された被洗浄物Wをすすぐ点が、上記第1の実施形態のすすぎ工程と異なる。
本実施形態では、第1すすぎ槽63(第2すすぎ槽64)には、濾過フィルタ26(32)によって濾過された濾過済みリンス液41d(41f)が、供給されている。
第1すすぎ槽63(第2すすぎ槽64)内の液温は、上記第1の実施形態と同様の40℃になっている。
Next, the rinsing process of this embodiment is performed. This step is different from the rinsing step of the first embodiment in that the rinsing liquid 41 is used to rinse the article W to be cleaned in the cleaning step.
In this embodiment, the filtered rinse liquid 41d (41f) filtered by the filter 26 (32) is supplied to the first rinse tank 63 (second rinse tank 64).
The liquid temperature in the 1st rinse tank 63 (2nd rinse tank 64) is 40 degreeC similar to the said 1st Embodiment.

上記第1の実施形態と同様に、搬送機構8の保持部8aに保持された被洗浄物Wは、第1すすぎ槽63、第2すすぎ槽64に順次移動される第1すすぎ槽63、第2すすぎ槽64で行われるすすぎ動作は、上記第1の実施形態における第1すすぎ槽3、第2すすぎ槽4におけるすすぎ動作とまったく同様である。
それぞれにおいて、被洗浄物Wに付着した洗浄剤10の非水系溶剤は、リンス液41のエタノールに溶解して被洗浄物Wから除去される。
Similar to the first embodiment, the article W to be cleaned held by the holding portion 8a of the transport mechanism 8 is moved to the first rinse tank 63 and the second rinse tank 64 in order, the first rinse tank 63 and the first rinse tank 63. The rinsing operation performed in the two rinsing tanks 64 is exactly the same as the rinsing operation in the first rinsing tank 3 and the second rinsing tank 4 in the first embodiment.
In each case, the non-aqueous solvent of the cleaning agent 10 adhering to the object to be cleaned W is dissolved in ethanol of the rinse liquid 41 and removed from the object to be cleaned W.

第1すすぎ槽63、第2すすぎ槽64のリンス液41b、41aは、このような循環使用により、濾過フィルタ26、32で除去しきれない汚れ成分が蓄積する結果、すすぎ性能が徐々に劣化していく。
そこで、本実施形態では、第2すすぎ槽64のリンス液41aの劣化度合いを、定期的に測定し、許容限度を超える劣化が見られた場合には、洗浄工程、およびすすぎ工程を一時停止する。劣化度合いの測定方法としては、屈折率測定を採用している。
この一時停止中に、リンス液41aの入れ替えを行う。その際、リンス液41aは、仕上げリンスとして許容限度を超えてもリンス液41b、41cに比べると清浄である。このため、本実施形態では、清浄度が低いリンス液41b、41cを排出し、このリンス液41b、41cの代わりに、使用済みのリンス液41aを、第1すすぎ槽63および貯槽7において循環するリンス液41として再活用する。
すなわち、排出管路67cの開閉弁27を開いて貯槽7のリンス液41bを排出管路67cから排出し、排出終了後に開閉弁27を閉じる。次に、開閉弁28を閉じるとともに開閉弁29を開くことにより、第2すすぎ槽64内のリンス液41aを貯槽7内に移送する。移送終了後、開閉弁28は開き、開閉弁29は閉じる。
排出管路67cから排出した使用済みのリンス液41b、41cは、図示略の排水処理設備によって、排水処理を行う。
空になった第2すすぎ槽64、貯槽68には、未使用のリンス液41を満たして、循環を開始する。
以上で、リンス液41aの入れ替えが終了するため、洗浄工程、すすぎ工程を再開する。
The rinse liquids 41b and 41a in the first rinsing tank 63 and the second rinsing tank 64 accumulate dirt components that cannot be removed by the filtration filters 26 and 32 due to such circulation use, and as a result, the rinsing performance gradually deteriorates. To go.
Therefore, in the present embodiment, the degree of deterioration of the rinsing liquid 41a in the second rinsing tank 64 is periodically measured, and when the deterioration exceeding the allowable limit is observed, the cleaning process and the rinsing process are temporarily stopped. . Refractive index measurement is adopted as a method for measuring the degree of deterioration.
During this temporary stop, the rinse liquid 41a is replaced. At that time, the rinsing liquid 41a is clean as compared with the rinsing liquids 41b and 41c even if it exceeds the allowable limit as the final rinsing. For this reason, in this embodiment, the rinse liquids 41b and 41c having low cleanliness are discharged, and the used rinse liquid 41a is circulated in the first rinse tank 63 and the storage tank 7 instead of the rinse liquids 41b and 41c. Reuse as rinse solution 41.
That is, the on-off valve 27 of the discharge pipe 67c is opened to discharge the rinsing liquid 41b in the storage tank 7 from the discharge pipe 67c, and the on-off valve 27 is closed after the discharge is completed. Next, the rinsing liquid 41 a in the second rinsing tank 64 is transferred into the storage tank 7 by closing the on-off valve 28 and opening the on-off valve 29. After the transfer is completed, the on-off valve 28 is opened and the on-off valve 29 is closed.
The used rinse liquids 41b and 41c discharged from the discharge pipe 67c are subjected to wastewater treatment by a wastewater treatment facility (not shown).
The empty second rinse tank 64 and storage tank 68 are filled with unused rinsing liquid 41 and circulation is started.
Since the replacement of the rinsing liquid 41a is thus completed, the cleaning process and the rinsing process are restarted.

乾燥工程は、上記第1の実施形態とまったく同様の工程である。
以上で、本実施形態の物品の洗浄方法が終了する。
The drying process is exactly the same as that in the first embodiment.
The article cleaning method of this embodiment is thus completed.

本実施形態の物品の洗浄方法によれば、すすぎ工程においてリンス液41を用いるため、非水系の溶剤と水を含む洗浄剤10を用いる場合に、非水系の溶剤が、アルコールに溶解して、被洗浄物Wから容易に除去される。このため、非水系の溶剤が溶解しない水のみによってすすぎを行う場合に比べると、洗浄剤10を効率的にすすぎ落とすことができる。また、すすぎに要する液量がより少なくて済むため、リンス液41の使用量を抑制することができる。
このように、水のみによってすすぎを行う場合に比べて、リンス液41の使用量が少なくて済むため、洗浄システム61がより小型のシステムになる。
また、本実施形態では、リンス液41は、アルコール濃度が低濃度であるため、引火するおそれがない。このため、洗浄システム61は、リンス液41の引火を防ぐための防火対策を施す必要がない点でも、装置構成を簡素化することができる。
According to the cleaning method for an article of the present embodiment, since the rinse liquid 41 is used in the rinsing step, when the cleaning agent 10 containing a non-aqueous solvent and water is used, the non-aqueous solvent is dissolved in alcohol, It is easily removed from the object W to be cleaned. For this reason, compared with the case where it rinses only with the water which a non-aqueous solvent does not melt | dissolve, the cleaning agent 10 can be rinsed off efficiently. Further, since the amount of liquid required for rinsing is smaller, the amount of the rinsing liquid 41 used can be suppressed.
As described above, since the amount of the rinse liquid 41 used is small as compared with the case of rinsing with only water, the cleaning system 61 becomes a smaller system.
In the present embodiment, the rinsing liquid 41 has a low alcohol concentration, so there is no risk of ignition. For this reason, the cleaning system 61 can simplify the apparatus configuration in that it is not necessary to take fire prevention measures for preventing the rinsing liquid 41 from being ignited.

なお、上記の各実施形態の説明では、洗浄工程を行う洗浄槽が1槽、すすぎ工程を行うすすぎ槽が2槽からなる場合の例で説明したが、これは、一例であって、洗浄槽を2槽以上設けることも可能である。また、すすぎ槽を3槽以上設けることも可能である。   In the description of each of the above embodiments, an example in which the cleaning tank that performs the cleaning process is composed of one tank and the rinsing tank that performs the rinsing process includes two tanks is described as an example. It is also possible to provide two or more tanks. It is also possible to provide three or more rinsing tanks.

また、上記の各実施形態の説明では、すすぎ液が、一種類のアルコールを含む場合の例で説明したが、複数種類のアルコールを含む溶液を採用することも可能である。   In the description of each of the above embodiments, the example in which the rinsing liquid includes one type of alcohol has been described. However, a solution including a plurality of types of alcohol may be employed.

また、上記第1および第2の実施形態の説明では、すすぎ槽におけるすすぎ液の循環経路として、濾過経路と再生経路とを含む場合の例で説明したが、濾過経路を省略し、再生経路のみですすぎ液を循環させることも可能である。この場合、第2すすぎ槽4に再生リンス液のみが供給されるため、清浄度が向上し、すすぎ性能をより向上することができる。   In the description of the first and second embodiments, the example in which the filtration path and the regeneration path are included as the rinse liquid circulation path in the rinse tank has been described. However, the filtration path is omitted, and only the regeneration path is provided. It is also possible to circulate the rinse liquid. In this case, since only the regenerative rinsing liquid is supplied to the second rinsing tank 4, the cleanliness is improved and the rinsing performance can be further improved.

また、上記第1および第2の実施形態の説明では、蒸留によって、ただちに未使用のリンス液と同じ成分を有する再生リンス液を形成することができる場合の例で説明したが、蒸留によって未使用のリンス液の成分と異なる成分のリンス液を形成した後、不足した成分を追加して、再生リンス液を調製することも可能である。   In the description of the first and second embodiments, an example in which a regenerated rinsing liquid having the same components as an unused rinsing liquid can be immediately formed by distillation has been described. It is also possible to prepare a regenerated rinse liquid by adding a deficient component after forming a rinse liquid of a component different from the rinse liquid component.

また、上記の各実施形態の説明では、リンス液に含まれるアルコールとして、1価アルコールの場合の例で説明したが、多価アルコールを採用することも可能である。   In the description of each of the above embodiments, the example in the case of a monohydric alcohol is used as the alcohol contained in the rinsing liquid. However, a polyhydric alcohol may be employed.

また、上記の各実施形態の説明では、リンス液のアルコール濃度が、引火点測定により引火点が発現しない濃度になる場合の例で説明したが、例えば、洗浄システム内に、不活性ガスを充填する等の、周知の防火対策を施すことにより、高アルコール濃度のリンス液を使用することも可能である。   In the description of each of the above embodiments, the alcohol concentration of the rinsing liquid has been described as an example in which the flash point is not expressed by the flash point measurement. For example, the cleaning system is filled with an inert gas. It is also possible to use a rinse solution with a high alcohol concentration by taking a well-known fire prevention measure such as.

また、上記の各実施形態、および各変形例で説明した構成要素は、本発明の技術的思想の範囲で適宜組み合わせたり、削除したりして実施することができる。   In addition, the components described in the above embodiments and modifications can be implemented by appropriately combining or deleting them within the scope of the technical idea of the present invention.

1、51、61 洗浄システム
2 洗浄槽
3、63 第1すすぎ槽
4、64 第2すすぎ槽
5 乾燥槽
7、67、68 貯槽
7a、9a、68a 回収管路
7b、9b、68b 供給管路
8 搬送機構
9 蒸留器
10 洗浄剤
11、11a、11b、11c、31、31a、31b、31c、41、41a、41b、41c リンス液
11d、31d、41d、41f 濾過済みリンス液
11e 蒸留済みリンス液(再生リンス液)
31e 蒸留済みリンス液
20 超音波振動子
21、24、30 ヒータ
22、25 ポンプ
23、26、32 濾過フィルタ
32 インライン濃度計
33 純水供給部
34 純水
W 被洗浄物(物品)
1, 51, 61 Cleaning system 2 Cleaning tank 3, 63 First rinsing tank 4, 64 Second rinsing tank 5 Drying tank 7, 67, 68 Storage tank 7a, 9a, 68a Recovery line 7b, 9b, 68b Supply line 8 Conveying mechanism 9 Distiller 10 Cleaning agent 11, 11a, 11b, 11c, 31, 31a, 31b, 31c, 41, 41a, 41b, 41c Rinse solution 11d, 31d, 41d, 41f Filtered rinse solution 11e Distilled rinse solution ( Recycle rinse solution)
31e Distilled rinse solution 20 Ultrasonic vibrator 21, 24, 30 Heater 22, 25 Pump 23, 26, 32 Filtration filter 32 In-line concentration meter 33 Pure water supply unit 34 Pure water W Object to be cleaned (article)

Claims (3)

被洗浄物を、非水系の溶剤と水とを少なくとも含む洗浄剤に接触させて洗浄する洗浄工程と、
アルコールと水とを含む溶液からなる共沸組成であるリンス液を用いて、前記洗浄工程で洗浄された前記被洗浄物をすすぐすすぎ工程と、
前記すすぎ工程で使用された前記リンス液を回収して蒸留し、未使用の前記リンス液と同じ成分を有する再生リンス液を形成する再生処理工程と、
を備えることを特徴とする、物品の洗浄方法。
A cleaning step of cleaning the object to be cleaned by bringing it into contact with a cleaning agent containing at least a non-aqueous solvent and water;
Rinsing the object to be cleaned, which has been cleaned in the cleaning step, using a rinsing liquid that is an azeotropic composition comprising a solution containing alcohol and water;
A regeneration treatment step of recovering and distilling the rinse solution used in the rinse step to form a regenerated rinse solution having the same components as the unused rinse solution;
A method for cleaning an article.
記すすぎ工程では、
前記再生リンス液が形成された場合に、前記再生リンス液を含む前記リンス液によって前記被洗浄物をすすぐ
ことを特徴とする、請求項1に記載の物品の洗浄方法。
In the previous Symbol rinsing step,
The method for cleaning an article according to claim 1, wherein when the regenerated rinse liquid is formed, the object to be cleaned is rinsed with the rinse liquid containing the regenerated rinse liquid.
前記リンス液におけるアルコール濃度は、引火点測定によって引火点が発現する濃度未満である
ことを特徴とする、請求項1または2に記載の物品の洗浄方法。
The method for cleaning an article according to claim 1 or 2 , wherein the alcohol concentration in the rinse liquid is less than a concentration at which a flash point is expressed by flash point measurement.
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