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JP5985266B2 - Measuring method, atmospheric pressure ionization mass spectrometer and destructive inspection device - Google Patents

Measuring method, atmospheric pressure ionization mass spectrometer and destructive inspection device Download PDF

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JP5985266B2 JP2012139230A JP2012139230A JP5985266B2 JP 5985266 B2 JP5985266 B2 JP 5985266B2 JP 2012139230 A JP2012139230 A JP 2012139230A JP 2012139230 A JP2012139230 A JP 2012139230A JP 5985266 B2 JP5985266 B2 JP 5985266B2
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Description

本発明は、質量分析装置及びその使用方法、並びに破壊試験装置に関するものである。   The present invention relates to a mass spectrometer, a method of using the same, and a destructive test apparatus.

従来、高感度質量分析装置として大気圧イオン化質量分析装置(APIMS)が知られている。大気圧イオン化質量分析装置(APIMS)は、例えばアルゴン等のガスをイオン源に通流させながらコロナ放電により、アルゴンの親イオン（Ａｒ＋，Ａｒ２ ＋）を作って不純物成分である水分・酸素等を親イオン（Ａｒ＋，Ａｒ２ ＋）と衝突させることにより、イオン化させて不純物成分を高感度に測定する分析手法である。 Conventionally, an atmospheric pressure ionization mass spectrometer (APIMS) is known as a high sensitivity mass spectrometer. Atmospheric pressure ionization mass spectrometer (APIMS), for example, argon parent ions (Ar + , Ar 2 + ) are produced by corona discharge while flowing a gas such as argon through an ion source, and moisture and oxygen as impurity components Etc. are collided with parent ions (Ar + , Ar 2 + ), and are ionized to measure impurity components with high sensitivity.

この分析では、大気圧のイオン源内のガス中でイオンを作り、ピンホールを通して真空中にイオンを引き込み、真空中の質量分析ユニットで質量を分離して、二次電子増倍管等を使ってイオンを増幅している。   In this analysis, ions are created in a gas in an ion source at atmospheric pressure, ions are drawn into the vacuum through a pinhole, the mass is separated by a mass analysis unit in vacuum, and a secondary electron multiplier is used. Ions are amplified.

ところが、大気圧と真空の間のピンホールは、長時間使用すると汚染物が堆積し、イオン量が低減していくことが知られており、さらに二次電子増倍管も長時間使用すると劣化により増幅率が悪くなることが知られている。   However, pinholes between atmospheric pressure and vacuum are known to accumulate contaminants and reduce ion content when used for a long time, and secondary electron multipliers deteriorate when used for a long time. It is known that the amplification factor deteriorates due to the above.

この様に不純物イオンＸの絶対イオン強度（Ａ）による測定方法は、長時間使用するとイオン量が徐々に減少してしまうため、頻繁に校正を行わなければならないという問題があった。   As described above, the measurement method based on the absolute ion intensity (A) of the impurity ions X has a problem that the amount of ions gradually decreases when used for a long time, so that calibration must be frequently performed.

一方、全イオンにおける不純物イオンのピークの相対的な値は、長時間使用してもその比は一定であることが知られており、不純物イオンを全イオンで除算して濃度を算定する相対イオン測定の方法も開発されている。   On the other hand, the relative value of the peak of impurity ions in all ions is known to be constant even when used for a long time. Relative ions that calculate the concentration by dividing impurity ions by total ions Measurement methods have also been developed.

この測定方法は、質量スペクトルをスキャンして測定した全イオンＴ（Ａ）で、不純物成分のイオンＸ（Ａ）を除算して求めた相対イオン強度Ｘ（Ａ）／Ｔ（Ａ）＝Ｙ(％)を用いて濃度の算定を行う方法で、長期間安定して測定できるため、現在、大気圧イオン化質量分析装置（APIMS）では、不純物成分のイオン強度（Ａ）を全イオン強度（Ａ）で除算して求めた相対イオン強度（％）が用いられている。   In this measurement method, the relative ion intensity X (A) / T (A) = Y () obtained by dividing the impurity component ion X (A) by the total ion T (A) measured by scanning the mass spectrum. %)), The concentration can be measured stably over a long period of time. At present, the atmospheric pressure ionization mass spectrometer (APIMS) uses the ionic strength (A) of the impurity component as the total ionic strength (A). The relative ionic strength (%) obtained by dividing by is used.

また、大気圧イオン化質量分析装置(APIMS)は、半導体工場等の高純度ガスの管理に用いられおり、Ｍ／ｚ＝3〜200を１回のスキャンに６０秒程度かけてゆっくり測定していたが、感度が重視されていた為、問題とはならなかった。   The atmospheric pressure ionization mass spectrometer (APIMS) is used for managing high-purity gases in semiconductor factories and the like, and slowly measured M / z = 3 to 200 over about 60 seconds per scan. However, it was not a problem because sensitivity was important.

さらにいえば、どのような不純物が増えるかわからないため、全イオンをスキャンして測定することも必要だった。   Furthermore, it was necessary to scan and measure all ions because it was not clear what impurities would increase.

特開平６−７４９４０号JP-A-6-74940 特開平９−３１８４１５号JP-A-9-318415

しかしながら、本発明者による研究のようにサンプルを破壊して短時間に発生する極微量の不純物成分を高感度測定する場合、６０秒の低速スキャンでは、1回のスキャンの間に不純物成分がなくなってしまうこともあり、ピークを検出できたとしても、ピークの最大値を検出できない場合もあり、問題となることが判明した。   However, when the extremely small amount of impurity components generated in a short time by destroying the sample as in the research by the present inventors is measured with high sensitivity, the low-speed scan of 60 seconds eliminates the impurity components during one scan. Even if the peak can be detected, the maximum value of the peak may not be detected, which is a problem.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、高感度かつ高速で不純物成分を測定できる方法を提供できることを目的とする。   This invention is made | formed in view of such a situation, and it aims at providing the method of measuring an impurity component with high sensitivity and high speed.

前記課題を解決するために、以下の各態様を提示する。第一の態様による質量分析方法は、アルゴンガス中の不純物成分の高感度高速測定を可能にするため、全イオンは測定せず、Ｍ／ｚ＝４０（Ａｒ＋）、Ｍ／ｚ＝８０（Ａｒ２ ＋）を加算したイオン強度を分母とし、たとえば、Ｍ／ｚ＝１８（Ｈ２Ｏ＋）、Ｍ／ｚ＝３２（Ｏ２ ＋）等の不純物成分の各イオン強度を除算して相対イオン強度を求めるものである。 In order to solve the above problems, the following aspects are presented. The mass spectrometry method according to the first aspect enables high-sensitivity and high-speed measurement of impurity components in argon gas, and therefore does not measure all ions, and M / z = 40 (Ar + ), M / z = 80 ( The ion intensity obtained by adding Ar 2 + ) is used as the denominator. For example, each ion intensity of impurity components such as M / z = 18 (H 2 O + ) and M / z = 32 (O 2 + ) is divided to obtain a relative value. The ionic strength is obtained.

第一の態様によれば、全イオンをスキャンする必要がないため、1回のスキャンタイムが６０秒から１秒程度で可能となり、高感度かつ高速スキャンが可能となる。   According to the first aspect, since it is not necessary to scan all the ions, a single scan time can be from about 60 seconds to about 1 second, and high-sensitivity and high-speed scanning is possible.

第二の態様による質量分析方法は、窒素ガス中の不純物成分の高感度高速測定を可能にするため、全イオンは測定せず、Ｍ／ｚ＝２８（Ｎ２ ＋）、Ｍ／ｚ＝４２（Ｎ３ ＋）、Ｍ／ｚ＝５６（Ｎ４ ＋）を加算したイオン強度を分母とし、たとえば、Ｍ／ｚ＝１８（Ｈ２Ｏ＋）、Ｍ／ｚ＝３２（Ｏ２ ＋）等の不純物成分の各イオン強度を除算して相対イオン強度を求めるものである。 The mass spectrometric method according to the second aspect enables high-sensitivity and high-speed measurement of impurity components in nitrogen gas, so that all ions are not measured, and M / z = 28 (N 2 + ), M / z = 42. The ion intensity obtained by adding (N 3 + ) and M / z = 56 (N 4 + ) is used as the denominator. For example, M / z = 18 (H 2 O + ), M / z = 32 (O 2 + ), etc. The relative ionic strength is obtained by dividing the ionic strength of each impurity component.

第二の態様によれば、第一の態様同様に、全イオンをスキャンする必要がないため、1回のスキャンタイムが６０秒から１秒程度で可能となり、高感度かつ高速スキャンが可能となる。   According to the second aspect, as in the first aspect, since it is not necessary to scan all the ions, a single scan time is possible in about 60 seconds to 1 second, and high sensitivity and high speed scanning are possible. .

第三の態様による質量分析方法は、ヘリウムガス中の不純物成分の高感度高速測定を可能にするため、全イオンは測定せず、Ｍ／ｚ＝４（Ｈｅ＋）、Ｍ／ｚ＝８（Ｈｅ２ ＋）を加算したイオン強度を分母とし、たとえば、Ｍ／ｚ＝１８（Ｈ２Ｏ＋）、Ｍ／ｚ＝３２（Ｏ２ ＋）等の不純物成分の各イオン強度を除算して相対イオン強度を求めるものである。 The mass spectrometric method according to the third aspect enables high-sensitivity and high-speed measurement of impurity components in helium gas. Therefore, all ions are not measured, and M / z = 4 (He + ), M / z = 8 ( the He 2 +) as the denominator the ionic strength obtained by adding, for example, M / z = 18 (H 2 O +), M / z = 32 (O 2 +) each ionic strength of the impurity component by dividing relative etc. The ionic strength is obtained.

第三の態様によれば、第一、第二の態様同様に、全イオンをスキャンする必要がないため、1回のスキャンタイムが６０秒から１秒程度で可能となり、高感度かつ高速スキャンが可能となる。   According to the third aspect, as in the first and second aspects, since it is not necessary to scan all the ions, a single scan time is possible from about 60 seconds to about 1 second, and high sensitivity and high speed scanning are possible. It becomes possible.

第四の態様による質量分析方法は、水素ガス中の不純物成分の高感度高速測定を可能にするため、全イオンは測定せず、Ｍ／ｚ＝３（Ｈ２・Ｈ＋）のイオン強度を分母とし、たとえば、Ｍ／ｚ＝１８（Ｈ２Ｏ＋）、Ｍ／ｚ＝３２（Ｏ２ ＋）等の不純物成分の各イオン強度を除算して相対イオン強度を求めるものである。 The mass spectrometry method according to the fourth aspect enables high-sensitivity and high-speed measurement of impurity components in hydrogen gas, so that all ions are not measured, and the ionic strength of M / z = 3 (H 2 · H + ) is obtained. For example, the relative ionic strength is obtained by dividing the ionic strength of impurity components such as M / z = 18 (H 2 O + ) and M / z = 32 (O 2 + ).

第四の態様によれば、第一、第二、第三の態様同様に、全イオンをスキャンする必要がないため、1回のスキャンタイムが６０秒から１秒程度で可能となり、高感度かつ高速スキャンが可能となる。
前記課題を解決するための手段として、以下の各態様も提示する。第１の面による測定方法は、大気圧イオン化質量分析装置を用いてアルゴンガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する測定方法であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝４０及びＭ／ｚ＝８０におけるイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得るものである。
第２の面による測定方法は、大気圧イオン化質量分析装置を用いて窒素ガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する測定方法であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝２８、Ｍ／ｚ＝４２及びＭ／ｚ＝５６におけるイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得るものである。
第３の面による測定方法は、大気圧イオン化質量分析装置を用いてヘリウムガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する測定方法であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝４及びＭ／ｚ＝８におけるイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得るものである。
第４の面による測定方法は、大気圧イオン化質量分析装置を用いて水素ガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する測定方法であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝３におけるイオン強度で除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得るものである。
第５の面による測定方法は、大気圧イオン化質量分析装置を用いてアルゴンガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する測定方法であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝４０及びＭ／ｚ＝８０におけるイオン強度並びに前記測定対象不純物成分のイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得るものである。
第６の面による測定方法は、大気圧イオン化質量分析装置を用いて窒素ガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する測定方法であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝２８、Ｍ／ｚ＝４２及びＭ／ｚ＝５６におけるイオン強度並びに前記測定対象不純物成分のイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得るものである。
第７の面による測定方法は、大気圧イオン化質量分析装置を用いてヘリウムガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する測定方法であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝４及びＭ／ｚ＝８におけるイオン強度並びに前記測定対象不純物成分のイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得るものである。
第８の面による測定方法は、大気圧イオン化質量分析装置を用いて水素ガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する測定方法であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝３におけるイオン強度及び前記測定対象不純物成分のイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得るものである。
第９の面による測定方法は、前記第１乃至第８のいずれかの面による測定方法において、前記測定対象不純物成分が、Ｍ／ｚ＝１８（Ｈ ２ Ｏ ＋ ）、Ｍ／ｚ＝３２（Ｏ ２ ＋ ）のいずれかで示される成分であるものである。
第１０の面による大気圧イオン化質量分析装置は、アルゴンガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝４０及びＭ／ｚ＝８０におけるイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求める相対イオン強度取得部と、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る濃度取得部とを備えたものである。
第１１の面による大気圧イオン化質量分析装置は、窒素ガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝２８、Ｍ／ｚ＝４２及びＭ／ｚ＝５６におけるイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求める相対イオン強度取得部と、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る濃度取得部とを備えたものである。
第１２の面による大気圧イオン化質量分析装置は、ヘリウムガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝４及びＭ／ｚ＝８におけるイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求める相対イオン強度取得部と、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る濃度取得部とを備えたものである。
第１３の面による大気圧イオン化質量分析装置は、水素ガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝３におけるイオン強度で除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求める相対イオン強度取得部と、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る濃度取得部とを備えたものである。
第１４の面による大気圧イオン化質量分析装置は、アルゴンガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝４０及びＭ／ｚ＝８０におけるイオン強度並びに前記測定対象不純物成分のイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求める相対イオン強度取得部と、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る濃度取得部とを備えたものである。
第１５の面による大気圧イオン化質量分析装置は、窒素ガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝２８、Ｍ／ｚ＝４２及びＭ／ｚ＝５６におけるイオン強度並びに前記測定対象不純物成分のイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求める相対イオン強度取得部、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る濃度取得部とを備えたものである。
第１６の面による大気圧イオン化質量分析装置は、ヘリウムガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝４及びＭ／ｚ＝８におけるイオン強度並びに前記測定対象不純物成分のイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求める相対イオン強度取得部と、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る濃度取得部とを備えたものである。
第１７の面による大気圧イオン化質量分析装置は、水素ガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝３におけるイオン強度及び前記測定対象不純物成分のイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求める相対イオン強度取得部と、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る濃度取得部とを備えたものである。
第１８の面による大気圧イオン化質量分析装置は、前記第１０乃至第１７のいずれかの面による大気圧イオン化質量分析装置において、前記測定対象不純物成分が、Ｍ／ｚ＝１８（Ｈ ２ Ｏ ＋ ）、Ｍ／ｚ＝３２（Ｏ ２ ＋ ）のいずれかで示される成分であるものである。
第１９の面による破壊検査装置は、ガス導入口及びガス排出口を有し、前記ガス導入口及び前記ガス排出口を除いて気密に保たれた状態で内部に検査対象物を収納しうる検査室と、前記検査室の前記気密状態を保ちながら、前記検査室内に収容された前記検査対象物を破壊する破壊部と、前記ガス導入口から所定ガスを供給するガス供給部であって、前記所定ガス中の不純物濃度を所定の濃度以下に低下させるガス純化部を有するガス供給部と、前記第１０乃至第１８のいずれかの面による大気圧イオン化質量分析装置と、を備え、前記大気圧イオン化質量分析装置は、前記ガス供給部により前記所定ガスを前記ガス導入口に供給することで、前記検査室内を通流して前記ガス排出口から排出されるガスであって、少なくとも前記検査対象物が前記破壊部により破壊された後に前記ガス排出口から排出されるガスについて、当該ガス中の前記測定対象不純物成分の濃度を測定するものである。 According to the fourth aspect, as in the first, second, and third aspects, since it is not necessary to scan all ions, a single scan time is possible in about 60 seconds to 1 second, and high sensitivity and High-speed scanning is possible.
The following aspects are also presented as means for solving the problems. The measurement method according to the first aspect is a measurement method for measuring the concentration of an impurity component to be measured in argon gas using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is expressed as M / z. = 40 and M / z = 80 are divided by the sum of the ionic strengths to obtain the relative ionic strength of the measurement target impurity component, and the concentration of the measurement target impurity component is obtained from the relative ionic strength.
The measurement method according to the second aspect is a measurement method for measuring the concentration of an impurity component to be measured in nitrogen gas using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is expressed as M / z. = 28, M / z = 42, and M / z = 56 divided by the sum of the ionic strengths to obtain the relative ionic strength of the measurement target impurity component, and the concentration of the measurement target impurity component from the relative ionic strength Is what you get.
The measurement method according to the third aspect is a measurement method for measuring the concentration of an impurity component to be measured in helium gas using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is expressed as M / z. = 4 and M / z = 8 are divided by the sum of the ionic strengths to obtain the relative ionic strength of the measurement target impurity component, and the concentration of the measurement target impurity component is obtained from the relative ionic strength.
The measurement method according to the fourth aspect is a measurement method for measuring the concentration of the impurity component to be measured in hydrogen gas using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is expressed as M / z. The relative ionic strength of the impurity component to be measured is obtained by dividing by the ionic strength at = 3, and the concentration of the impurity component to be measured is obtained from the relative ionic strength.
The measurement method according to the fifth aspect is a measurement method for measuring the concentration of an impurity component to be measured in argon gas using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is expressed as M / z. = 40 and M / z = 80 and the ionic strength of the measurement target impurity component is divided by adding the ionic strength to obtain the relative ionic strength of the measurement target impurity component, and the measurement target impurity is calculated from the relative ionic strength. The component concentration is obtained.
The measurement method according to the sixth aspect is a measurement method for measuring the concentration of an impurity component to be measured in nitrogen gas using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is expressed as M / z. = 28, M / z = 42 and M / z = 56 and the ionic strength of the measurement target impurity component is divided by adding the ionic strength to obtain the relative ionic strength of the measurement target impurity component. The concentration of the impurity component to be measured is obtained from the intensity.
The measurement method according to the seventh aspect is a measurement method for measuring the concentration of an impurity component to be measured in helium gas using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is expressed as M / z. = 4 and M / z = 8 and the ionic strength of the measurement target impurity component is divided and added to obtain the relative ionic strength of the measurement target impurity component, and the measurement target impurity is calculated from the relative ionic strength. The component concentration is obtained.
A measurement method according to an eighth aspect is a measurement method for measuring the concentration of a measurement target impurity component in hydrogen gas using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer, wherein the ion intensity of the measurement target impurity component is expressed as M / z. = Dividing by the sum of the ion intensity at 3 and the ion intensity of the impurity element to be measured to obtain the relative ion intensity of the impurity element to be measured, and obtaining the concentration of the impurity element to be measured from the relative ion intensity It is.
The measurement method according to the ninth aspect is the measurement method according to any one of the first to eighth aspects, wherein the impurity component to be measured is M / z = 18 (H 2 O + ), M / z = 32 ( are those wherein component represented by any one of O 2 +).
An atmospheric pressure ionization mass spectrometer according to a tenth aspect is an atmospheric pressure ionization mass spectrometer that measures the concentration of an impurity component to be measured in argon gas, and the ion intensity of the impurity component to be measured is expressed as M / z = 40 and M / z = 80 is divided by the sum of the ionic strengths to obtain the relative ionic strength acquisition unit for obtaining the relative ionic strength of the measurement target impurity component, and the concentration of the measurement target impurity component from the relative ionic strength. And a concentration acquisition unit to be obtained.
An atmospheric pressure ionization mass spectrometer according to an eleventh aspect is an atmospheric pressure ionization mass spectrometer that measures the concentration of an impurity component to be measured in nitrogen gas, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is expressed as M / z = 28, a relative ionic strength acquisition unit for obtaining the relative ionic strength of the impurity component to be measured by dividing by the sum of the ionic strengths at M / z = 42 and M / z = 56, and the measurement from the relative ionic strength. And a concentration acquisition unit that obtains the concentration of the target impurity component.
An atmospheric pressure ionization mass spectrometer according to a twelfth aspect is an atmospheric pressure ionization mass spectrometer that measures the concentration of an impurity component to be measured in helium gas, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is expressed as M / z = 4 and dividing by the sum of the ionic strengths at M / z = 8 to obtain a relative ionic strength acquisition unit for obtaining the relative ionic strength of the impurity component to be measured, and the concentration of the impurity component to be measured from the relative ionic strength. And a concentration acquisition unit to be obtained.
An atmospheric pressure ionization mass spectrometer according to a thirteenth aspect is an atmospheric pressure ionization mass spectrometer that measures the concentration of an impurity component to be measured in hydrogen gas, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is expressed as M / z = 3 is provided with a relative ionic strength acquisition unit that obtains the relative ionic strength of the measurement target impurity component by dividing by the ionic strength in 3, and a concentration acquisition unit that obtains the concentration of the measurement target impurity component from the relative ionic strength. is there.
An atmospheric pressure ionization mass spectrometer according to a fourteenth aspect is an atmospheric pressure ionization mass spectrometer that measures the concentration of an impurity component to be measured in argon gas, and the ion intensity of the impurity component to be measured is expressed as M / z = A relative ionic strength acquisition unit that calculates the relative ionic strength of the measurement target impurity component by dividing the ionic strength at 40 and M / z = 80 and the ionic strength of the measurement target impurity component, and the relative ionic strength. To a concentration acquisition unit for obtaining the concentration of the impurity component to be measured.
An atmospheric pressure ionization mass spectrometer according to a fifteenth aspect is an atmospheric pressure ionization mass spectrometer that measures the concentration of an impurity component to be measured in nitrogen gas, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is expressed as M / z = 28, a relative ionic strength acquisition unit that obtains the relative ionic strength of the measurement target impurity component by dividing the sum of the ionic strength at M / z = 42 and M / z = 56 and the ionic strength of the measurement target impurity component. And a concentration acquisition unit that obtains the concentration of the impurity component to be measured from the relative ionic strength.
An atmospheric pressure ionization mass spectrometer according to a sixteenth aspect is an atmospheric pressure ionization mass spectrometer that measures the concentration of an impurity component to be measured in helium gas, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is expressed as M / z = A relative ionic strength acquisition unit that obtains a relative ionic strength of the measurement target impurity component by dividing the ionic strength at 4 and M / z = 8 and the ionic strength of the measurement target impurity component, and the relative ionic strength To a concentration acquisition unit for obtaining the concentration of the impurity component to be measured.
An atmospheric pressure ionization mass spectrometer according to a seventeenth aspect is an atmospheric pressure ionization mass spectrometer that measures the concentration of an impurity component to be measured in hydrogen gas, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is expressed as M / z = And the relative ion intensity acquisition unit for obtaining the relative ion intensity of the measurement target impurity component by dividing by the sum of the ion intensity of 3 and the ion intensity of the measurement target impurity component, and the measurement target impurity component from the relative ion intensity And a density acquisition unit for obtaining the density of.
The atmospheric pressure ionization mass spectrometer according to the eighteenth aspect is the atmospheric pressure ionization mass spectrometer according to any one of the tenth to seventeenth aspects, wherein the impurity component to be measured is M / z = 18 (H 2 O + ), M / z = 32 (O 2 + ).
A destructive inspection apparatus according to a nineteenth aspect has a gas inlet and a gas outlet, and can inspect an inspection object inside while being kept airtight except for the gas inlet and the gas outlet. A gas supply unit that supplies a predetermined gas from the gas inlet, and a destruction unit that destroys the inspection object stored in the inspection chamber while maintaining the airtight state of the inspection chamber, A gas supply unit having a gas purification unit for reducing an impurity concentration in a predetermined gas to a predetermined concentration or less, and an atmospheric pressure ionization mass spectrometer according to any one of the tenth to eighteenth surfaces, the atmospheric pressure The ionization mass spectrometer is a gas that flows through the inspection chamber and is discharged from the gas discharge port by supplying the predetermined gas to the gas introduction port by the gas supply unit, and at least the inspection object For gas discharged from the gas discharge port after being destroyed by the destruction unit, which measures the concentration of the measurement target impurity components of the gas.

本発明によれば、Ｍ／ｚ＝３〜１００までの全イオンをスキャンする必要がなく、絶対イオン強度（Ａ）より長期間安定して使える相対イオン強度（％）の簡易測定が可能となるため、サンプルを破壊して短時間に発生する極微量の不純物成分の高感度高速測定を可能とする測定方法を提供することが可能となる。   According to the present invention, it is not necessary to scan all ions up to M / z = 3 to 100, and simple measurement of relative ion intensity (%) that can be used stably for a longer period than absolute ion intensity (A) becomes possible. Therefore, it is possible to provide a measurement method that enables high-sensitivity and high-speed measurement of an extremely small amount of impurity components that are generated in a short time by destroying a sample.

本発明の第一の態様による相対イオン算出方法のフロー図である。It is a flowchart of the relative ion calculation method by the 1st aspect of this invention. 従来の相対イオン強度算出方法のフロー図である。It is a flowchart of the conventional relative ion intensity calculation method. 本発明装置の破壊検査装置を模式的に示す概略説明図である。It is a schematic explanatory drawing which shows typically the destructive inspection apparatus of this invention apparatus. 本発明装置を用いて測定した破壊検査のグラフである。It is a graph of the destructive inspection measured using the device of the present invention.

以下、本発明による検量線の作成方法及び破壊試験装置について、図面を参照して説明する。   Hereinafter, a method for creating a calibration curve and a destructive testing apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、本発明の第一の態様を示す相対イオン算出方法のフロー図であるである。   FIG. 1 is a flowchart of a relative ion calculation method showing the first embodiment of the present invention.

本実施の形態による相対イオン強度の算定方法は、アルゴンガス中で不純物成分を測定するもので、アルゴンガス中の全イオンを全スキャンして測定するのではなく、親イオンＭ／ｚ＝４０（Ａｒ＋），８０（Ａｒ２ ＋）及び測定対象不純物のイオンだけをスキャンして、測定対象不純物のイオン強度を親イオン強度の積算値で除算して相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度に濃度のファクターを掛けて濃度を算出するものである。 The calculation method of the relative ion intensity according to the present embodiment measures the impurity component in the argon gas, and does not scan all the ions in the argon gas, but measures the parent ion M / z = 40 ( Ar + ), 80 (Ar 2 + ) and only the ions of the measurement target impurity are scanned, and the relative ion intensity is obtained by dividing the ion intensity of the measurement target impurity by the integrated value of the parent ion intensity. The density is calculated by multiplying the density factor.

図２は、従来の測定方法を説明するもので、Ｍ／ｚ＝３〜２００までの全イオンを全てスキャンするためにスキャン時間に６０秒を要していた。これに対し、第一の態様の測定方法では、スキャンする成分を限定して行うためにスキャン時間が１秒となり、スキャン時間を１／６０に低減できた。   FIG. 2 illustrates a conventional measurement method, and it took 60 seconds to scan all the ions from M / z = 3 to 200. On the other hand, in the measurement method of the first aspect, since the scanning component is limited, the scanning time is 1 second, and the scanning time can be reduced to 1/60.

しかも、被測定物だけの絶対イオン強度で測定する手法に比べ、イオン源や二次電子増倍管の劣化が起こってイオン量が変動しても、変動を受けにくい測定が可能となる。   Moreover, even when the ion source or the secondary electron multiplier tube is deteriorated and the ion amount fluctuates as compared with the method of measuring with the absolute ion intensity of only the object to be measured, measurement that is less susceptible to fluctuation is possible.

本実施の形態では、アルゴンガスで説明したが、窒素ガス、ヘリウムガス、水素ガスでも同様の測定が可能となる。   Although the present embodiment has been described using argon gas, the same measurement can be performed using nitrogen gas, helium gas, and hydrogen gas.

図３は、破壊検査装置１を模式的に示す概略説明図である。本実施の形態による破壊検査装置１は、ガス導入口１２及びガス排出口１３を有する検査室１１を有している。検査室１１は、ガス導入口１２及びガス排出口１３を除いて気密に保たれた状態で、内部に検査対象物２を収容しうるようになっている。本実施の形態では、検査室１１は、側方にガス導入口１２及びガス排出口１３を有するとともに上部が開口したカップ状の容器本体１４の上部開口を取り外し可能に閉塞するＩＣＦフランジ１５とによって、構成されている。検査対象物２を検査室１１内に出し入れする場合には、ＩＣＦフランジ１５が容器本体１４から取り外される。容器１４とＩＣＦフランジ１５の間には金属パッキン１６が設置され検査室１１の気密性が保たれるようになっている。検査対象物２から発生する成分が極力拡散しないように、検査室１１は、検査対象物２が収容することができる程度に小さくすることが望ましい。   FIG. 3 is a schematic explanatory view schematically showing the destructive inspection apparatus 1. The destructive inspection apparatus 1 according to the present embodiment has an inspection chamber 11 having a gas inlet 12 and a gas outlet 13. The inspection chamber 11 can accommodate the inspection object 2 inside while being kept airtight except for the gas inlet 12 and the gas outlet 13. In the present embodiment, the examination chamber 11 includes a gas inlet 12 and a gas outlet 13 on the side and an ICF flange 15 that removably closes the upper opening of the cup-shaped container body 14 having an upper opening. ,It is configured. When the inspection object 2 is put in and out of the inspection chamber 11, the ICF flange 15 is removed from the container body 14. A metal packing 16 is installed between the container 14 and the ICF flange 15 so that the airtightness of the inspection chamber 11 is maintained. It is desirable that the inspection chamber 11 be made small enough to accommodate the inspection object 2 so that components generated from the inspection object 2 do not diffuse as much as possible.

ＩＣＦフランジ１５には、直線導入機１７が設けられている。直線導入機１７の先端には、検査室１１の気密状態を保ちながら検査室１１内に収容された検査対象物を破壊する破壊部としての突起状の工具１８が設けられている。突起状の工具１８としては、例えば針状、剣山状、刃状などの工具を用いることが出来る。   The ICF flange 15 is provided with a straight line introduction machine 17. At the tip of the straight line introduction machine 17, a protruding tool 18 is provided as a breaking portion for breaking the inspection object accommodated in the inspection chamber 11 while keeping the airtight state of the inspection chamber 11. As the protrusion-shaped tool 18, for example, a needle-shaped tool, a sword mountain-shaped tool, a blade-shaped tool, or the like can be used.

本実施の形態では、直線導入機１７を用いることで、検査室１１の気密状態を保ちながら、突起状の工具１８を検査対象物２に進出させて検査対象物２を破壊することが出来るようになっている。   In the present embodiment, by using the straight line introduction machine 17, it is possible to advance the protruding tool 18 to the inspection object 2 and destroy the inspection object 2 while maintaining the airtight state of the inspection room 11. It has become.

本実施の形態では、検査室１１を加熱する加熱手段として加熱シート１９が、取り外し可能に検査室１１を覆うように設けられている。加熱シート１９は、検査対象物２を検査室１１に出し入れする際には取り外される。加熱シート１９は、例えば、ガラスウール等の断熱材や電熱線等を用いて構成され、更に熱電対等の温度検出器が設けられ、指定される一定の温度に加熱して維持しうるようになっている。   In the present embodiment, a heating sheet 19 is provided as a heating means for heating the examination room 11 so as to detachably cover the examination room 11. The heating sheet 19 is removed when the inspection object 2 is taken in and out of the inspection room 11. The heating sheet 19 is configured using, for example, a heat insulating material such as glass wool, a heating wire, and the like, and further provided with a temperature detector such as a thermocouple, and can be heated and maintained at a specified constant temperature. ing.

本実施の形態では、高純度のアルゴンガスを収容した高圧ボンベ（図示せず）からの所定ガスとしてのアルゴンガスが配管２１を介して導入される。前記高圧ボンベに代えて、例えば、液体アルゴンを蒸発させて作ったアルゴンガスを配管２１を介して導入するようにしても良い。前記所定ガスは、アルゴンガスに限らず、窒素、ヘリウム、水素を用いても良い。   In the present embodiment, argon gas as a predetermined gas from a high-pressure cylinder (not shown) containing high-purity argon gas is introduced through the pipe 21. Instead of the high-pressure cylinder, for example, argon gas produced by evaporating liquid argon may be introduced through the pipe 21. The predetermined gas is not limited to argon gas, and nitrogen, helium, or hydrogen may be used.

配管２１は、開閉弁２２を介してゲッター純化器等のガス純化器２３のガス導入口２３ａに接続されている。ガス純化器２３の純化ガス排出口２３ｂは、開閉弁２４、流量制御器２５及びモレキュラシーブス等のガス純化器２６を介して、検査室１１のガス導入口１２に接続されている。本実施の形態では、前記高圧ボンベ及び前記要素２１〜２６が、検査室１１のガス導入口１２から検査室１１内へアルゴンガスを供給するガス供給部を構成している。また、本実施の形態では、ガス純化器２３、２６が、検査室１１内へ供給されるアルゴンガス中の不純物濃度を所定濃度以下（例えば、１ｐｐｂ以下）に低下させるガス純化部を構成している。   The pipe 21 is connected to a gas inlet 23 a of a gas purifier 23 such as a getter purifier via an on-off valve 22. The purified gas discharge port 23b of the gas purifier 23 is connected to the gas inlet 12 of the examination room 11 via a gas purifier 26 such as an on-off valve 24, a flow rate controller 25, and molecular sieves. In the present embodiment, the high-pressure cylinder and the elements 21 to 26 constitute a gas supply unit that supplies argon gas from the gas inlet 12 of the inspection chamber 11 into the inspection chamber 11. Further, in the present embodiment, the gas purifiers 23 and 26 constitute a gas purification unit that lowers the impurity concentration in the argon gas supplied into the inspection chamber 11 to a predetermined concentration or less (for example, 1 ppb or less). Yes.

検査室１１のガス排出口１３は、開閉弁２７及び配管３５を介して、公知の大気圧イオン化質量分析装置２８のガス導入口２８ａに接続されている。検査対象物２から発生する成分が極力拡散しないように、配管３５は細い方が好ましい。また、検査室１１のガス排出口１３は、開閉弁２９を介して大気に開放されている。大気圧イオン化質量分析装置２８のガス排出口２８ｂは、排気管３０を介して大気に開放されている。   The gas discharge port 13 of the examination chamber 11 is connected to a gas introduction port 28 a of a known atmospheric pressure ionization mass spectrometer 28 via an on-off valve 27 and a pipe 35. The pipe 35 is preferably thin so that the components generated from the inspection object 2 do not diffuse as much as possible. In addition, the gas discharge port 13 of the inspection chamber 11 is opened to the atmosphere via an on-off valve 29. A gas discharge port 28 b of the atmospheric pressure ionization mass spectrometer 28 is opened to the atmosphere via an exhaust pipe 30.

本実施の形態では、大気圧イオン化質量分析装置２８が、前記ガス供給部により所定ガス（本実施の形態では、アルゴンガス）を検査室１１のガス導入口１２に供給することで、検査室１１内のガス排出口１３から排出されるガスを、少なくとも検査対象物２が前記破壊部により破壊された後に、分析するガス分析部を構成している。   In the present embodiment, the atmospheric pressure ionization mass spectrometer 28 supplies a predetermined gas (argon gas in the present embodiment) to the gas inlet 12 of the inspection chamber 11 by the gas supply unit, whereby the inspection chamber 11. The gas analysis part which analyzes the gas discharged | emitted from the gas discharge port 13 of the inside after at least the test object 2 is destroyed by the said destruction part is comprised.

また、本実施の形態では、ガス純化器２３の純化ガス排出口２３ｂは、開閉弁３１、流量制御器３２及びモレキュラシーブス等のガス純化器３３を介して、大気圧イオン化質量分析装置２８のガス導入口２８ａに接続されている。   In the present embodiment, the purified gas discharge port 23b of the gas purifier 23 is connected to the gas of the atmospheric pressure ionization mass spectrometer 28 via the open / close valve 31, the flow rate controller 32, and the gas purifier 33 such as molecular sieves. It is connected to the introduction port 28a.

本実施の形態による破壊検査装置１を用いて検査対象物２の破壊検査を行う場合、まず、開閉弁２４，２７を閉じるとともに開閉弁２２，２９，３１を開いた状態とし、一旦加熱シート１９及びＩＣＦフランジ１５を取り外して検査室１１内に検査対象物２を収容したのちに、ＩＣＦフランジ１５を装着して検査室１１を気密状態とし、更に加熱シート１９を装着する。   When performing the destructive inspection of the inspection object 2 using the destructive inspection apparatus 1 according to the present embodiment, first, the on-off valves 24, 27 are closed and the on-off valves 22, 29, 31 are opened. After the ICF flange 15 is removed and the inspection object 2 is accommodated in the inspection chamber 11, the ICF flange 15 is attached to make the inspection chamber 11 airtight, and the heating sheet 19 is attached.

次に、加熱シート１９により検査室１１を室温よりも高い温度（例えば１００℃）に昇温させた状態で、開閉弁２２，２４，２９を開くとともに開閉弁２７を閉じることで、高純度のアルゴンガスを検査室１１のガス導入口１２に供給して検査室内１１内を通流させることにより、検査室１１及び検査対象物２をクリーニングするクリーニング段階を行う。このクリーニング段階では、開閉弁３１を開いて高純度アルゴンガスを大気圧イオン化質量分析装置２８のガス導入口２８ａに流すことで、大気圧イオン化質量分析装置２８のイオン源に大気が流入しないようにしておく。   Next, in a state where the temperature of the examination room 11 is raised to a temperature higher than room temperature (for example, 100 ° C.) by the heating sheet 19, the open / close valves 22, 24, 29 are opened and the open / close valve 27 is closed, thereby achieving high purity. By supplying argon gas to the gas inlet 12 of the inspection chamber 11 and flowing through the inspection chamber 11, a cleaning stage for cleaning the inspection chamber 11 and the inspection object 2 is performed. In this cleaning stage, the air is prevented from flowing into the ion source of the atmospheric pressure ionization mass spectrometer 28 by opening the on-off valve 31 and flowing high purity argon gas to the gas inlet 28a of the atmospheric pressure ionization mass spectrometer 28. Keep it.

このクリーニング段階の後、開閉弁２９を閉じて開閉弁２７を開いて、検査室１１内を通流したガスを大気圧イオン化質量分析装置２８に導入する。この時、検査室１１内の圧力はほぼ大気圧となる。   After this cleaning stage, the on-off valve 29 is closed and the on-off valve 27 is opened, and the gas flowing through the examination chamber 11 is introduced into the atmospheric pressure ionization mass spectrometer 28. At this time, the pressure in the examination room 11 is almost atmospheric pressure.

この状態で、直線導入機１７の先端の突起状の工具１８で、検査対象物２を破壊する。この破壊により、検査対象物２から発生する成分は、検査室１１内を通流するアルゴンガスに含まれて、大気圧イオン化質量分析装置２８により分析される。   In this state, the inspection object 2 is destroyed by the protruding tool 18 at the tip of the straight line introduction machine 17. Due to this destruction, components generated from the inspection object 2 are included in the argon gas flowing through the inspection chamber 11 and analyzed by the atmospheric pressure ionization mass spectrometer 28.

図４は、破壊した際に発生した酸素を大気圧イオン化質量分析装置２８を用いて測定した例である。この際、Ｍ／ｚ＝３〜２００までの全イオンを測定せずに、親イオンＭ／ｚ＝４０，８０及びＭ／ｚ＝３２（Ｏ２：酸素）に限定して測定した。測定するイオンを限定したために、測定間隔が約６０秒から１秒ごとになり、短時間で発生する微量不純物も検出が可能となった。 FIG. 4 shows an example in which oxygen generated at the time of destruction is measured using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer 28. At this time, the measurement was performed by limiting to the parent ions M / z = 40, 80 and M / z = 32 (O 2 : oxygen) without measuring all the ions from M / z = 3 to 200. Since the ions to be measured are limited, the measurement interval is about every 60 seconds to 1 second, and it is possible to detect even a small amount of impurities generated in a short time.

また、本発明では、主成分ガス中の親イオン強度を加算した値を、分母にして不純物成分のイオン強度を除算して相対イオン強度を求めたが、主成分ガスの親イオン強度に不純物成分のイオン強度を加算した値を、分母として不純物成分のイオン強度を除算して相対イオン強度を求めても良い。   In the present invention, the relative ionic strength is obtained by dividing the ionic strength of the impurity component by using the value obtained by adding the parent ionic strength in the main component gas as the denominator. The relative ionic strength may be obtained by dividing the ionic strength of the impurity component by using the value obtained by adding the ionic strengths of the two as the denominator.

１ 破壊検査装置
２ 検査対象物
１１ 検査室
１２ ガス導入口
１３ ガス排出口
１８ 突起状の工具
１９ 加熱シート DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Destructive inspection apparatus 2 Inspection object 11 Inspection room 12 Gas inlet 13 Gas outlet 18 Projection-shaped tool 19 Heating sheet

Claims (19)

大気圧イオン化質量分析装置を用いてアルゴンガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する測定方法であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝４０及びＭ／ｚ＝８０におけるイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る測定方法。 A measuring method for measuring the concentration of measurement target impurity component in argon gas using atmospheric pressure ionization mass spectrometer, the ionic strength of the measurement target impurity components, M / z = 4 0 and M / z = 8 0 is divided by the result of the addition of the ionic strength of, obtaining the relative ionic strength of the measurement target impurity components, the measuring method of obtaining the concentration of the measurement target impurity components from the relative ionic strength. 大気圧イオン化質量分析装置を用いて窒素ガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する測定方法であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝２８、Ｍ／ｚ＝４２及びＭ／ｚ＝５６におけるイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る測定方法。 A measurement method for measuring a concentration of an impurity component to be measured in nitrogen gas using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer , wherein the ionic strength of the impurity component to be measured is M / z = 2 8, M / z = 4 the ionic strength of 2 and M / z = 5 6 is divided by the result of the addition to obtain the relative ionic strength of the measurement target impurity components, the measuring method of obtaining the concentration of the measurement target impurity components from the relative ionic strength. 大気圧イオン化質量分析装置を用いてヘリウムガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する測定方法であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝４及びＭ／ｚ＝８におけるイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る測定方法。 A measurement method for measuring the concentration of an impurity component to be measured in helium gas using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer , wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is M / z = 4 and M / z = 8 is divided by the result of the addition of ionic strength, determined the relative ionic strength of the measurement target impurity components, the measuring method of obtaining the concentration of the measurement target impurity components from the relative ionic strength. 大気圧イオン化質量分析装置を用いて水素ガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する測定方法であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝３におけるイオン強度で除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る測定方法。 A measuring method for measuring the concentration of measurement target impurity components in the hydrogen gas using atmospheric pressure ionization mass spectrometer, the ionic strength of the measurement target impurity components, is divided by the ionic strength of M / z = 3 The measuring method which calculates | requires the relative ionic strength of the said measurement object impurity component, and obtains the density | concentration of the said measurement object impurity component from the said relative ionic strength . 大気圧イオン化質量分析装置を用いてアルゴンガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する測定方法であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝４０及びＭ／ｚ＝８０におけるイオン強度並びに前記測定対象不純物成分のイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る測定方法。A measurement method for measuring the concentration of an impurity component to be measured in argon gas using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is measured at M / z = 40 and M / z = 80 A measuring method of dividing the ionic strength and the ionic strength of the measurement target impurity component to obtain a relative ionic strength of the measurement target impurity component and obtaining a concentration of the measurement target impurity component from the relative ionic strength. 大気圧イオン化質量分析装置を用いて窒素ガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する測定方法であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝２８、Ｍ／ｚ＝４２及びＭ／ｚ＝５６におけるイオン強度並びに前記測定対象不純物成分のイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る測定方法。A measurement method for measuring a concentration of an impurity component to be measured in nitrogen gas using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is M / z = 28, M / z = 42 and Dividing by the sum of the ionic strength at M / z = 56 and the ionic strength of the measurement target impurity component to obtain the relative ionic strength of the measurement target impurity component, and the concentration of the measurement target impurity component from the relative ionic strength Get the measuring method. 大気圧イオン化質量分析装置を用いてヘリウムガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する測定方法であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝４及びＭ／ｚ＝８におけるイオン強度並びに前記測定対象不純物成分のイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る測定方法。A measurement method for measuring a concentration of an impurity component to be measured in helium gas using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is M / z = 4 and M / z = 8 A measuring method of dividing the ionic strength and the ionic strength of the measurement target impurity component to obtain a relative ionic strength of the measurement target impurity component and obtaining a concentration of the measurement target impurity component from the relative ionic strength. 大気圧イオン化質量分析装置を用いて水素ガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する測定方法であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝３におけるイオン強度及び前記測定対象不純物成分のイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求め、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る測定方法。A measurement method for measuring a concentration of an impurity component to be measured in hydrogen gas using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is expressed as an ion intensity at M / z = 3 and the measurement target. A measurement method for obtaining the concentration of the impurity component to be measured from the relative ion intensity by dividing the sum of the ionic strengths of the impurity components to obtain the relative ion strength of the impurity component to be measured. 前記測定対象不純物成分が、Ｍ／ｚ＝１８（Ｈ２Ｏ＋）、Ｍ／ｚ＝３２（Ｏ２ ＋）のいずれかで示される成分であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の測定方法。 The measurement target impurity component, M / z = 18 (H 2 O +), one of the claims 1 to 8, characterized in that the component represented by any of M / z = 32 (O 2 +) The measuring method of crab . アルゴンガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝４０及びＭ／ｚ＝８０におけるイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求める相対イオン強度取得部と、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る濃度取得部とを備えた大気圧イオン化質量分析装置。An atmospheric pressure ionization mass spectrometer that measures the concentration of an impurity component to be measured in argon gas, the ionic strength of the impurity component to be measured being added to the ionic strength at M / z = 40 and M / z = 80 An atmospheric pressure ionization mass spectrometry comprising: a relative ionic strength acquisition unit that obtains a relative ionic strength of the impurity component to be measured by dividing by a thing; and a concentration acquisition unit that obtains the concentration of the impurity component to be measured from the relative ionic strength apparatus. 窒素ガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝２８、Ｍ／ｚ＝４２及びＭ／ｚ＝５６におけるイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求める相対イオン強度取得部と、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る濃度取得部とを備えた大気圧イオン化質量分析装置。An atmospheric pressure ionization mass spectrometer that measures the concentration of an impurity component to be measured in nitrogen gas, wherein the ionic strength of the impurity component to be measured is M / z = 28, M / z = 42, and M / z = 56 A relative ionic strength acquisition unit that obtains the relative ionic strength of the impurity component to be measured by dividing by the sum of the ionic strengths in the sample, and a concentration acquisition unit that obtains the concentration of the impurity component to be measured from the relative ionic strength. Atmospheric pressure ionization mass spectrometer. ヘリウムガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝４及びＭ／ｚ＝８におけるイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求める相対イオン強度取得部と、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る濃度取得部とを備えた大気圧イオン化質量分析装置。 An atmospheric pressure ionization mass spectrometer that measures the concentration of an impurity component to be measured in helium gas, the ion intensity of the impurity component to be measured being added to the ion intensity at M / z = 4 and M / z = 8 An atmospheric pressure ionization mass spectrometry comprising: a relative ionic strength acquisition unit that obtains a relative ionic strength of the impurity component to be measured by dividing by a thing; and a concentration acquisition unit that obtains the concentration of the impurity component to be measured from the relative ionic strength Equipment . 水素ガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝３におけるイオン強度で除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求める相対イオン強度取得部と、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る濃度取得部とを備えた大気圧イオン化質量分析装置。 An atmospheric pressure ionization mass spectrometer that measures the concentration of an impurity component to be measured in hydrogen gas, the ion intensity of the impurity component to be measured divided by an ion intensity at M / z = 3, and the impurity to be measured An atmospheric pressure ionization mass spectrometer comprising: a relative ionic strength acquisition unit for obtaining a relative ionic strength of a component; and a concentration acquisition unit for obtaining a concentration of the impurity component to be measured from the relative ionic strength . アルゴンガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝４０及びＭ／ｚ＝８０におけるイオン強度並びに前記測定対象不純物成分のイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求める相対イオン強度取得部と、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る濃度取得部とを備えた大気圧イオン化質量分析装置。An atmospheric pressure ionization mass spectrometer for measuring a concentration of an impurity component to be measured in argon gas, the ion intensity of the impurity component to be measured being measured at M / z = 40 and M / z = 80, and the measurement Relative ion intensity acquisition unit for obtaining the relative ion intensity of the measurement target impurity component by dividing by the sum of the ion intensity of the target impurity component, and a concentration acquisition unit for obtaining the concentration of the measurement target impurity component from the relative ion intensity An atmospheric pressure ionization mass spectrometer. 窒素ガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝２８、Ｍ／ｚ＝４２及びＭ／ｚ＝５６におけるイオン強度並びに前記測定対象不純物成分のイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求める相対イオン強度取得部、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る濃度取得部とを備えた大気圧イオン化質量分析装置。An atmospheric pressure ionization mass spectrometer that measures the concentration of an impurity component to be measured in nitrogen gas, wherein the ionic strength of the impurity component to be measured is M / z = 28, M / z = 42, and M / z = 56 The relative ion intensity acquisition unit for obtaining the relative ion intensity of the measurement target impurity component by dividing by the sum of the ion intensity of the measurement target impurity component and the ion intensity of the measurement target impurity component, the concentration of the measurement target impurity component from the relative ion intensity An atmospheric pressure ionization mass spectrometer equipped with a concentration acquisition unit for obtaining ヘリウムガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝４及びＭ／ｚ＝８におけるイオン強度並びに前記測定対象不純物成分のイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求める相対イオン強度取得部と、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る濃度取得部とを備えた大気圧イオン化質量分析装置。An atmospheric pressure ionization mass spectrometer that measures the concentration of an impurity component to be measured in helium gas, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is measured at M / z = 4 and M / z = 8 and the measurement Relative ion intensity acquisition unit for obtaining the relative ion intensity of the measurement target impurity component by dividing by the sum of the ion intensity of the target impurity component, and a concentration acquisition unit for obtaining the concentration of the measurement target impurity component from the relative ion intensity An atmospheric pressure ionization mass spectrometer. 水素ガス中の測定対象不純物成分の濃度を測定する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記測定対象不純物成分のイオン強度を、Ｍ／ｚ＝３におけるイオン強度及び前記測定対象不純物成分のイオン強度を加算したもので除算して、前記測定対象不純物成分の相対イオン強度を求める相対イオン強度取得部と、前記相対イオン強度から前記測定対象不純物成分の濃度を得る濃度取得部とを備えた大気圧イオン化質量分析装置。An atmospheric pressure ionization mass spectrometer that measures the concentration of an impurity component to be measured in hydrogen gas, wherein the ion intensity of the impurity component to be measured is the ion intensity at M / z = 3 and the ion intensity of the impurity component to be measured The atmospheric pressure is provided with a relative ionic strength acquisition unit that obtains the relative ionic strength of the measurement target impurity component by dividing by the sum of the above and a concentration acquisition unit that obtains the concentration of the measurement target impurity component from the relative ionic strength. Ionization mass spectrometer. 前記測定対象不純物成分が、Ｍ／ｚ＝１８（ＨThe impurity component to be measured is M / z = 18 (H ２2 ＯO ＋+ ）、Ｍ／ｚ＝３２（Ｏ), M / z = 32 (O ２2 ＋+ ）のいずれかで示される成分であることを特徴とする請求項１０乃至１７のいずれかに記載の大気圧イオン化質量分析装置。The atmospheric pressure ionization mass spectrometer according to claim 10, wherein the component is a component represented by any one of ガス導入口及びガス排出口を有し、前記ガス導入口及び前記ガス排出口を除いて気密に保たれた状態で内部に検査対象物を収納しうる検査室と、
前記検査室の前記気密状態を保ちながら、前記検査室内に収容された前記検査対象物を破壊する破壊部と、
前記ガス導入口から所定ガスを供給するガス供給部であって、前記所定ガス中の不純物濃度を所定の濃度以下に低下させるガス純化部を有するガス供給部と、
請求項１０乃至１８のいずれかに記載の大気圧イオン化質量分析装置と、
を備え、
前記大気圧イオン化質量分析装置は、前記ガス供給部により前記所定ガスを前記ガス導入口に供給することで、前記検査室内を通流して前記ガス排出口から排出されるガスであって、少なくとも前記検査対象物が前記破壊部により破壊された後に前記ガス排出口から排出されるガスについて、当該ガス中の前記測定対象不純物成分の濃度を測定する、
ことを特徴とする破壊検査装置。 An inspection room that has a gas inlet and a gas outlet, and can store an inspection object inside in a state of being kept airtight except for the gas inlet and the gas outlet;
While maintaining the airtight state of the inspection room, a destruction part for destroying the inspection object accommodated in the inspection room,
A gas supply unit for supplying a predetermined gas from the gas introduction port, the gas supply unit having a gas purification unit for reducing an impurity concentration in the predetermined gas to a predetermined concentration or less;
An atmospheric pressure ionization mass spectrometer according to any one of claims 10 to 18,
With
The atmospheric pressure ionization mass spectrometer is a gas discharged from the gas discharge port through the inspection chamber by supplying the predetermined gas to the gas introduction port by the gas supply unit, For the gas discharged from the gas outlet after the inspection object is destroyed by the destruction part, the concentration of the measurement target impurity component in the gas is measured.
Destructive inspection device characterized by that.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107608262A (en) * 2017-09-05 2018-01-19 无锡吉兴汽车声学部件科技有限公司 A kind of laboratory vehicle exhaust concentration intelligence control system

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3138009B2 (en) * 1991-05-30 2001-02-26 忠弘 大見 Method and apparatus for evaluating impurity adsorption amount
JPH06318446A (en) * 1993-05-07 1994-11-15 Hitachi Ltd Analytical method and device
JP4394131B2 (en) * 1996-08-08 2010-01-06 株式会社日本エイピーアイ Surface cleaning component construction method
JP2907176B2 (en) * 1997-02-20 1999-06-21 日本電気株式会社 Calibration curve creation method and device
JP3683740B2 (en) * 1999-04-12 2005-08-17 株式会社リコー Gas analyzer for bubbles in liquid crystal cell and gas analysis method for bubbles in liquid crystal cell using the gas analyzer
US6598463B2 (en) * 2001-05-02 2003-07-29 Du Pont Method for determining gas accumulation rates
JP3699474B2 (en) * 2003-02-28 2005-09-28 鹿毛 剛 Gas barrier property measurement method for plastic moldings
JP2006064416A (en) * 2004-08-24 2006-03-09 Takeshi Kage Method and apparatus for measuring gas barrier property of plastic molded body

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107608262A (en) * 2017-09-05 2018-01-19 无锡吉兴汽车声学部件科技有限公司 A kind of laboratory vehicle exhaust concentration intelligence control system
CN107608262B (en) * 2017-09-05 2020-10-09 无锡吉兴汽车声学部件科技有限公司 Intelligent control system for concentration of automobile exhaust in laboratory

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