JP5955095B2 - 弾性波装置 - Google Patents

Description

本発明は、主として移動体通信機器等においてフィルタまたはアンテナ共用器として使用される弾性波装置に関するものである。

携帯電話の無線回路に用いられる弾性波装置は小型、低背かつ軽量であることに加え、所望の通過帯域の挿入損失が小さくかつ通過帯域外の減衰量が大きいことが求められる。挿入損失が小さい弾性波装置としては共振器を梯子型に接続した所謂ラダー型フィルタが知られている。

従来のラダー型フィルタを図１３（ａ）、（ｂ）に示す。図１３（ａ）は従来の弾性波装置１００の回路図、図１３（ｂ）は従来の弾性波装置１００の断面模式図である。図１３（ａ）、（ｂ）において、従来の弾性波装置１００は、弾性波素子を形成した圧電基板１９０を、内部に回路を有するセラミック基板１０５の上に実装し、封止体１０６で封止したものであり、セラミック基板１０５の表面には信号端子１１１、１１２と基準電位端子１８３、１８４を有する。圧電基板１９０の表面には、２つの信号端子１１１、１１２の間に接続される配線１６１を有し、配線１６１には、複数の直列腕共振器１２１、１２２、１２３、１２４、１２５が直列に接続される。配線１６１と基準電位端子１８３の間を接続する配線１６４を有し、配線１６４には、並列腕共振器１３１とインダクタ１７３が直列に接続される。配線１６１と基準電位端子１８４の間を複数の配線１６５が接続し、個々の配線１６５には、並列腕共振器１３２、１３３、１３４がそれぞれ直列に接続され、共通接続された後にインダクタ１７４を介して基準電位端子１８４に接続される。インダクタ１７３およびインダクタ１７４は、セラミック基板１０５の内部にらせん状の導体を形成して構成している。

このように、従来の弾性波装置１００は、並列腕共振器１３１にインダクタ１７３を直列に接続することにより、並列腕共振器１３１とインダクタ１７３との共振により、通過帯域外に減衰極を形成し、減衰量を確保していた。そして、基準電位端子１８３、１８４を複数個設け、並列腕共振器とインダクタと基準電位端子の直列接続を別個に複数個設けることにより、複数個の減衰極を形成し、帯域外の減衰を確保していた。

なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１、特許文献２が知られている。

国際公開第２００１／００５０３１号 特開２００４−７２５０号公報

しかしながら、前記従来の弾性波装置１００では、６ＧＨｚ以上の高い周波数に亘って広帯域に減衰量を確保するには、インダクタの数を増やすとともにインダクタンスを極めて大きくする必要があるため、弾性波装置１００の内部にこのような大きなインダクタを数多く形成することは困難であり、広帯域にわたる減衰量の確保が困難であった。

本発明は、通過帯域外おいて、広帯域にわたって良好な減衰量を確保することのできる弾性波装置を提供するものである。

上記課題を解決するために、本願発明は、２つの信号端子の間に接続され、圧電基板の表面に形成された第１の配線と、前記第１の配線に直列に接続され、一端子対弾性波素子からなる直列腕共振器と、基準電位端子の１つに接続され、前記圧電基板の表面に形成された第１の基準電極と、前記第１の配線上に設けられた接続点と前記第１の基準電極との間に接続された第２の配線と、前記第２の配線に直列に接続され、一端子対弾性波素子からなる並列腕共振器とを備え、基準電位端子の１つに接続され、前記圧電基板の表面において前記第１の基準電極と電気的に直接接続されていない第２の基準電極を設け、前記第２の基準電極と前記接続点とを接続する第３の配線を設け、前記第３の配線に直列に第１の容量素子を接続した構成としたものである。

このような構成としたことで、通過帯域外おいて、広帯域にわたって良好な減衰量を確保することのできる弾性波装置を得ることができるという優れた効果を有する。

（ａ）本発明の実施の形態１の弾性波装置の回路図、（ｂ）同弾性波装置の断面模式図 同弾性波装置のパターン図 同弾性波装置の特性図 同弾性波装置の特性図 本発明の実施の形態１の他の弾性波装置の回路図 同弾性波装置の特性図 本発明の実施の形態２の弾性波装置の回路図 同弾性波装置のパターン図 同弾性波装置の特性図 同弾性波装置の特性図 本発明の実施の形態３の弾性波装置の回路図 同弾性波装置の特性図 （ａ）従来の弾性波装置の回路図、（ｂ）同弾性波装置の断面模式図

以下、本発明の実施の形態における弾性波装置について図面を参照して説明する。

（実施の形態１）
図１（ａ）は本発明の実施の形態１における弾性波装置１０１の回路図、図１（ｂ）は弾性波装置１０１の断面模式図、図２は弾性波装置１０１のパターン図である。図１（ａ）、（ｂ）、図２において、弾性波装置１０１は、圧電基板９０の表面に、励振空間１３を介して弾性波素子を封止する封止体１４を有し、この封止体１４の表面に信号端子１１、１２と基準電位端子８１、８２を有する。信号端子１１と信号端子１２は、それぞれ、弾性波装置１０１の入力端子と出力端子、または、出力端子と入力端子として用いられる。基準電位端子８１、８２はグランド端子として用いられ、２つの基準電位端子８１、８２は電気的に直接には接続されていない。圧電基板９０上には、第１の配線６１と第２の配線６２と第３の配線６３と第１の基準電極６４と第２の基準電極６５とを有する。第１の配線６１は、信号端子１１と信号端子１２との間を接続する配線である。第１の配線６１上には、一端子対弾性波素子からなる直列腕共振器２１、２２、２３、２４、２５を直列に接続する。第２の配線６２は、第１の配線６１の上の接続点９１、９２、９３、９４と第１の基準電極６４とを接続する複数の配線である。各第２の配線６２上には、それぞれ、一端子対弾性波素子からなる並列腕共振器３１、３２、３３、３４が直列に接続される。直列腕共振器２１、２２、２３、２４、２５および並列腕共振器３１、３２、３３、３４は、それぞれ、圧電基板９０上に形成された一端子対弾性波素子であり、一対の反射器の間に挟まれた１個のＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒ Ｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｓｅｒ）からなる。第３の配線６３は、第１の配線６１の上の接続点９１、９２、９３、９４と第２の基準電極６５とを接続する複数の配線である。第３の配線６３上には、それぞれ、櫛型電極からなる容量素子４１、４２、４３、４４を直列に接続する。ここで、容量素子４１、４２、４３、４４は、各々の容量の合計が２．０５ｐＦになるように設計している。第１の基準電極６４は、封止体１４を貫通する導体からなるインダクタ７１を経由して基準電位端子８１に接続される。第２の基準電極６５は、封止体１４を貫通する導体からなるインダクタ７２を経由して基準電位端子８２に接続される。第１の基準電極６４と第２の基準電極６５は、それぞれ、圧電基板９０の互いに対向する端辺に配置し、互いに電気的に直接には接続しない。インダクタ７１およびインダクタ７２のインダクタンスは、０．１０ｎＨ程度である。

以上のように構成された弾性波装置１０１は、直列腕共振器２１、２２、２３、２４、２５と並列腕共振器３１、３２、３３、３４によりラダー型フィルタを構成し、７０４ＭＨｚ〜７１６ＭＨｚの送信帯域と７３４ＭＨｚ〜７４６ＭＨｚの受信帯域を有するＢａｎｄ１７の無線通信装置における共用器の送信フィルタとして設計したものであり、内蔵する圧電基板９０と同等レベルの占有面積を有する極めて小型で低背のウエハレベル構造を実現したものである。

本発明の実施の形態１における弾性波装置１０１の電気特性を図３、図４に示す。図３、図４において、横軸は周波数、縦軸は減衰量であり、本発明の実施の形態１における弾性波装置１０１の電気特性Ａを実線で示し、比較例の電気特性Ｅを破線で示す。図４において、通過帯域Ｓは送信帯域である７０４ＭＨｚ〜７１６ＭＨｚであり、７３４ＭＨｚ〜７４６ＭＨｚの受信帯域Ｔは、通過帯域Ｓの高域側の帯域外にある。

図３、図４における比較例は、図１３（ａ）、（ｂ）に示した従来の弾性波装置１００において、直列腕共振器１２１、１２２、１２３、１２４、１２５と並列腕共振器１３１、１３２、１３３、１３４のそれぞれを本発明の実施の形態１における弾性波装置１０１の直列腕共振器２１、２２、２３、２４、２５と並列腕共振器３１、３２、３３、３４のそれぞれと同じ設計にして構成した７０４ＭＨｚ〜７１６ＭＨｚの送信帯域を有するＢａｎｄ１７の送信フィルタである。

図３より、本発明の実施の形態１における弾性波装置１０１の電気特性Ａは、比較例の電気特性Ｅと比較して、１．３ＧＨｚより高い周波数領域において本発明の減衰特性が格段に優れていることがわかる。

比較例の減衰特性は、１．２ＧＨｚ付近の減衰極Ｅ１と３ＧＨｚ付近の減衰極Ｅ２が形成されているが、減衰極Ｅ１、Ｅ２間の幅が比較的狭く、３ＧＨｚ付近からより高い周波数に行くに従って急激に減衰量が悪化している。

本発明の実施の形態１の弾性波装置１０１は、並列腕共振器３１、３２、３３、３４のそれぞれの静電容量の総和とインダクタ７１による直列共振による２．３ＧＨｚ近辺の減衰極Ａ１が比較的広帯域かつ高減衰である。また図３より確認できるように高周波数領域（２．３ＧＨｚ〜８．５ＧＨｚ）において、良好な減衰特性が得られていることが判る。

図４からは、本発明の実施の形態１の弾性波装置１０１の電気特性Ａは、比較例の電気特性Ｅと比べて、通過帯域Ｓの高域側近傍の減衰量を良好に確保することができ、特に７３４ＭＨｚ〜７４６ＭＨｚの受信帯域Ｔの減衰特性が優れていることがわかる。

以上のように、本発明の実施の形態１の弾性波装置１０１は、容量素子４１、４２、４３、４４とインダクタ７２を直列接続することでＬＣの直列共振によるなだらかな減衰極をＧＨｚ以上の高周波領域に形成することができるため、広帯域にわたって良好な減衰特性を得ることができた。

すなわち、容量素子４１、４２、４３、４４の各々の容量の合計を２．０５ｐＦとし、インダクタ７２のインダクタンスを０．１０ｎＨとしたことにより、減衰極Ａ１を１１ＧＨｚ近辺に形成することができ、非常に高い周波数領域まで良好な減衰特性を得ることができた。そして、容量素子４１、４２、４３、４４の容量値の合計とインダクタ７２のインダクタンスを適切に設定することにより、減衰極の位置を調整することができる。

そして、本発明の実施の形態１の弾性波装置１０１は、容量素子４１、４２、４３、４４を圧電基板９０上に形成し、圧電基板９０上から基準電位端子８１、８２までを接続する導体レベルの非常に小さなインダクタンスでもって広帯域にわたる良好な減衰特性を得ることができるため、別途、インダクタを形成するための多層セラミック基板のような大掛かりな構造を必要とせずに、減衰特性の良好な弾性波装置を実現できるものであり、弾性波装置の小型化を実現できるものである。特に、ウエハレベルのように、セラミック基板等を有さない極めて小型の弾性波装置において良好な減衰特性を可能にする。

さらに、本発明の実施の形態１の弾性波装置１０１は、複数の並列腕共振器３１、３２、３３、３４を電気的に共通接続してインダクタ７１を介して基準電位端子８１に接続したことで、通過帯域の高域側近傍の減衰量を良好に確保することができ、特に７３４ＭＨｚ〜７４６ＭＨｚの受信帯域の減衰量を良好にすることができた。

さらに、本発明の実施の形態１の弾性波装置１０１は、基準電位端子８１と基準電位端子８２を電気的に直接に接続しない構成にしたことで、容量素子４１、４２、４３、４４をローパスフィルタとして機能させることができるとともに、第１の基準電極６４から第２の基準電極６５への信号の回り込みを防止することができるため、減衰量を効果的に確保することができた。

また、本発明の実施の形態１の弾性波装置１０１の構成は、回路的に見ると容量素子４１は並列腕共振器３１と実質的に並列接続されており、並列腕共振器３１の反共振周波数を低周波側にシフトさせる作用を有するため、並列腕共振器３１の共振周波数と反共振周波数の周波数差が実質的に小さくなる。同様に容量素子４２は並列腕共振器３２と並列接続されており、容量素子４３は並列腕共振器３３と並列接続されており、容量素子４４は並列腕共振器３４と並列接続されており、各々の共振器の共振周波数と反共振周波数の周波数差が実質的に小さくなる。したがって、より狭帯域のフィルタを作成することが可能であり、通過帯域が７０４ＭＨｚ〜７１６ＭＨｚであるＢａｎｄ１７の送信フィルタのように通過帯域幅／中心周波数で定義される比帯域が１．６９％と比較的狭い帯域幅のフィルタを作成した場合、通過帯域近傍の減衰特性の良好なフィルタ特性が得られる。

また、本発明の実施の形態１の弾性波装置１０１は、第１の基準電極６４と第２の基準電極６５を、それぞれ、圧電基板９０の互いに対向する端辺に配置し、互いに電気的に直接には接続しないように構成することで、電磁界結合や、グランド配線を介した信号の伝達を抑制でき、良好な減衰特性が得られる。圧電基板９０の表面上以外の部分であれば基準電位端子８１と基準電位端子８２が電気的に接続されていても本発明の効果を有するが、基準電位端子８１と基準電位端子８２が電気的に接続しない構成がより効果が大きい。

なお、本発明の実施の形態１における弾性波装置１０１は、７０４ＭＨｚ〜７１６ＭＨｚの送信帯域を有するＢａｎｄ１７の無線通信装置における送信フィルタであるが、本願発明は、他の通過帯域を有する高周波フィルタに適用してもよく、高周波フィルタを備えたデュプレクサのような装置に適用しても同様に効果を有し、１つの圧電基板の上に受信フィルタとともに設置する送信フィルタに適用しても良く、受信フィルタに適用しても良い。

しかし、本願発明は、使用しようとする周波数帯域から大きく離れた周波数帯域における不要信号を広帯域に渡って抑制することができるため、特に、送信フィルタとして使用することにより、他の周波数帯域を使用する無線通信機器に対する妨害信号を抑制することができるという効果を有する。

また、本発明の弾性波装置１０１では、全ての並列腕共振器に対して並列接続された容量素子を設けたが、少なくとも１つの並列腕共振器に対して並列接続された容量素子を有せば本願発明の効果を有する。しかし、十分な減衰量を確保するためには、できるだけ多くの並列腕共振器に容量素子を並列接続することが好ましく、全ての並列腕共振器に並列接続された容量素子を設けることがより好ましい。

また、本発明の実施の形態１の弾性波装置１０１では、インダクタ７１およびインダクタ７２は、封止体１４を貫通する導体により構成したが、封止体１４の中にスパイラル状やミアンダ状の配線を設けて使用しても良いものであり、屈曲部を有する導体により構成しても良い。

また、本発明の実施の形態１の弾性波装置１０１では、全ての並列腕共振器３１、３２、３３、３４を１つの基準電極６４に接続して第１の基準電位端子８１に接続したが、並列腕共振器に接続する基準電極を複数に分けても良い。

図５は、本発明の実施の形態１の他の弾性波装置１０２の回路図であり、図１、図２で示した本発明の実施の形態１における弾性波装置１０１と同じ構成要素については同一番号を付しており、その説明は省略する。図５に示す実施の形態１の他の弾性波装置１０２が、本発明の実施の形態１の弾性波装置１０１と異なる点は、並列腕共振器３１、３２、３３、３４に接続される基準電極とインダクタと基準電位端子を２つに分けたことである。すなわち、並列腕共振器３１は、基準電極６６とインダクタ７３を介して基準電位端子８３に接続し、並列腕共振器３２、３３、３４は、基準電極６７とインダクタ７４を介して基準電位端子８４に接続したものである。

図５に示す実施の形態１の他の弾性波装置１０２の電気特性を図６に示す。

図６において、横軸は周波数、縦軸は減衰量であり、本発明の実施の形態１における他の弾性波装置１０２の電気特性Ｂを一点破線で示し、比較例の電気特性Ｅを破線で示し、本発明の実施の形態１における弾性波装置１０１の電気特性Ａを実線で示す。

図６において、通過帯域Ｓである送信帯域は７０４ＭＨｚ〜７１６ＭＨｚであり、通過帯域外である受信帯域Ｔは７３４ＭＨｚ〜７４６ＭＨｚである。

このような構成とすることで、実施の形態１の他の弾性波装置１０２は通過帯域低域側の減衰特性を改善することができた。

（実施の形態２）
図７は本発明の実施の形態２における弾性波装置１０３を示す回路図、図８は同弾性波装置１０３のパターン図であり、図１、図２で示した本発明の実施の形態１における弾性波装置１０１と同じ構成要素については同一番号を付しており、その説明は省略する。

本発明の実施の形態２おける弾性波装置１０３が、本発明の実施の形態１における弾性波装置１０１と異なる点は、並列腕共振器３１、３２、３３、３４に並列に容量素子４５、４６、４７、４８を接続するとともに、第３の配線６３に接続した容量素子４１、４２、４３、４４の替わりに、第３の配線６３に静電容量の異なる容量素子５１、５２、５３、５４を接続したことである。

なお、本発明の実施の形態２の弾性波装置１０３における、直列腕共振器２１、２２、２３、２４、２５と、並列腕共振器３１、３２、３３、３４の各設計数値は、本発明の実施の形態１の弾性波装置１０１のものと同じ構成のものである。

そして、実施の形態２の弾性波装置１０３における容量素子５１の容量と容量素子４５の容量の合計を実施の形態１の弾性波装置１０１における容量素子４１の容量と等しく設計し、実施の形態２の弾性波装置１０３における容量素子５２の容量と容量素子４６の容量の合計を実施の形態１の弾性波装置１０１における容量素子４２の容量と等しく設計し、実施の形態２の弾性波装置１０３における容量素子５３の容量と容量素子４７の容量の合計を実施の形態１の弾性波装置１０１における容量素子４３の容量と等しく設計し、実施の形態２の弾性波装置１０３における容量素子５４の容量と容量素子４８の容量の合計を実施の形態１の弾性波装置１０１における容量素子４４の容量と等しく設計した。

本発明の実施の形態２においては、例えば並列腕共振器３１を例に説明すると、回路的に見て容量素子５１と容量素子４５は、ともに並列腕共振器３１に並列接続されており、容量素子５１と容量素子４５の容量の合計を一定にした条件下で、容量素子５１の容量と容量素子４５の容量の比率を適宜設定することにより、通過帯域幅などの特性に影響を与えることなく、高周波領域の減衰特性が改善できる。他の並列腕共振器３２、３３、３４についても同様に機能するため、実施の形態１と同じ通過帯域特性を保った状態で、減衰特性を改善でき、減衰特性の設計自由度が向上する。

次に、本発明の実施の形態２における弾性波装置１０３の電気特性を図９、図１０に示す。

図９、図１０において、横軸は周波数、縦軸は減衰量であり、本発明の実施の形態２における弾性波装置１０３の電気特性Ｃを実線で示し、本発明の実施の形態１における弾性波装置１０１の電気特性Ａを二点破線で示し、実施の形態１で説明した比較例の電気特性Ｅを破線で示す。図９、図１０において、通過帯域Ｓは送信帯域である７０４ＭＨｚ〜７１６ＭＨｚであり、７３４ＭＨｚ〜７４６ＭＨｚの受信帯域Ｔは、通過帯域Ｓの高域側の帯域外にある。

図９および図１０に示すように、本発明の実施の形態２の弾性波装置１０３の電気特性Ｃは、１．４ＧＨｚ〜３．７ＧＨｚの領域で２つの減衰極Ｃ１、Ｃ２を有し、実施の形態１の弾性波装置１０１の電気特性Ａと異なる位置に２つの減衰極を設けることができた。このように本発明の実施の形態２の弾性波装置１０３は、通過帯域特性に影響を与えることなく減衰極を追加するとともに所望の周波数に設定することが可能になり、良好な減衰特性を実現できる。

なお、本発明の実施の形態２における弾性波装置１０３では、全ての並列腕共振器に回路的に見て２つの容量素子が接続された例を示したが、全ての並列腕共振器に２つの容量素子が接続する必要はなく、並列腕共振器と容量素子が回路的に並列接続となっていない並列腕共振器や並列腕共振器に１つの容量素子が接続される並列腕共振器を有してもよい。

（実施の形態３）
図１１は本発明の実施の形態３における弾性波装置１０４を示す回路図であり、図７、図８で示した本発明の実施の形態２における弾性波装置１０３と同じ構成要素については同一番号を付しており、その説明は省略する。

本発明の実施の形態３における弾性波装置１０４が、本発明の実施の形態２における弾性波装置１０３と異なる点は、直列腕共振器２１、２２、２３、２４、２５の中で、信号端子１１に最も近い直列腕共振器２１に並列に容量素子４９を設けるとともに、信号端子１２に最も近い直列腕共振器２５に並列に容量素子５０を設けたことである。

なお、本発明の実施の形態３の弾性波装置１０４における、直列腕共振器２１、２２、２３、２４、２５と、並列腕共振器３１、３２、３３、３４と、容量素子５１、５２、５３、５４、４５、４６、４７、４８の各設計数値は、本発明の実施の形態２の弾性波装置１０３におけるものと同じである。

本発明の実施の形態３における弾性波装置１０４の電気特性を図１２に示す。図１２において、横軸は周波数、縦軸は減衰量であり、本発明の実施の形態３における弾性波装置１０４の電気特性Ｄを実線で示し、本発明の実施の形態１における弾性波装置１０１の電気特性Ａを一点破線で示し、本発明の実施の形態１で説明した比較例の電気特性Ｅを破線で示す。図１２において、通過帯域Ｓは送信帯域である７０４ＭＨｚ〜７１６ＭＨｚであり、７３４ＭＨｚ〜７４６ＭＨｚの受信帯域Ｔは、通過帯域Ｓの高域側の帯域外にある。

図１２に示すように、本発明の実施の形態３における弾性波装置１０４の電気特性Ｄは、本発明の実施の形態１における弾性波装置１０１の電気特性Ａに近い特性を有する領域もあるが、通過帯域Ｓの高域部において挿入損失をより低減することができた。

以上のように、本発明の実施の形態３における弾性波装置１０４は、信号端子１１、１２に最も近い直列腕共振器２１、２５に並列接続された容量素子４９、５０を設けることで、狭帯域なフィルタを形成した際のインピーダンスマッチングがよくなり、インピーダンスミスマッチによる損失が小さくなり、低損失な弾性波装置が得られる。

なお、実施の形態１、実施の形態２および実施の形態３の弾性波装置に用いられる容量素子は必ずしも櫛電極により構成形成される必要はなく、２枚の平行平板で誘電体を挟むように形成されてもよい。

また、実施の形態１、実施の形態２および実施の形態３の弾性波装置に用いられる弾性波素子は弾性表面波、境界波、バルク波の内、いずれかを用いたものでもよい。

本発明に係る弾性波装置は、低挿入損失かつ高周波数領域においても良好な通過帯域外減衰量を有するという優れた効果を奏するものであり、主として移動体通信機器にフィルタやアンテナ共用器として用いられる弾性波装置において有用となるものである。

１１、１２ 信号端子
２１、２２、２３、２４、２５ 直列腕共振器
３１、３２、３３、３４ 並列腕共振器
４１、４２、４３、４４、４５、４６、４７、４８、４９、５０、５１、５２、５３、５４ 容量素子
６１ 第１の配線
６２ 第２の配線
６３ 第３の配線
６４ 第１の基準電極
６５ 第２の基準電極
７１、７２、７３、７４ インダクタ
８１、８２、８３、８４ 基準電位端子
９０ 圧電基板
９１、９２、９３、９４ 接続点
１０１、１０２、１０３、１０４ 弾性波装置

Claims (20)

1. ２つの信号端子の間に接続され、圧電基板の表面に形成された第１の配線と、
   前記第１の配線に直列に接続され、一端子対弾性波素子を含む直列腕共振器と、
   第１の基準電位端子に第１のインダクタを介して接続され、前記圧電基板の表面に形成された第１の基準電極と、
   前記第１の配線上に設けられた接続点と前記第１の基準電極との間に接続された第２の配線と、
   前記第２の配線に直列に接続され、一端子対弾性波素子を含む並列腕共振器と
   を備え、
   第２の基準電位端子に第２のインダクタを介して接続され、前記圧電基板の表面において前記第１の基準電極から電気的に分離された第２の基準電極を設け、
   前記第２の基準電極と前記接続点とを接続する第３の配線を設け、
   前記第３の配線に第１の容量素子が直列接続され、
   前記第１の容量素子は前記第２の基準電極を介して前記第１のインダクタに直列接続される弾性波装置。
2. 前記第１の基準電極を前記圧電基板の表面の第１の端辺の側に形成し、
   前記第２の基準電極を前記圧電基板の表面の第１の端辺と対向する第２の端辺の側に形成した請求項１記載の弾性波装置。
3. 前記第１の基準電位端子と前記第２の基準電位端子とを、同一の電位を有する基準電位端子として形成する請求項１又は２に記載の弾性波装置。
4. 前記同一の電位はグランド電位である請求項３記載の弾性波装置。
5. 前記並列腕共振器に並列に第２の容量素子を接続した請求項１乃至４のいずれか一項記載の弾性波装置。
6. 前記直列腕共振器を複数備え、前記直列腕共振器のうち、他の直列腕共振器を介さずに前記信号端子の一方に接続された直列腕共振器に、第３の容量素子が並列接続されている請求項１乃至５のいずれか一項記載の弾性波装置。
7. 前記弾性波装置の占有面積は前記圧電基板の占有面積とほぼ等しい請求項１記載の弾性波装置。
8. 前記第１の容量素子は２枚の平行平板で誘電体を挟むように構成される請求項１記載の弾性波装置。
9. 前記第１の容量素子は櫛型電極を含む請求項１記載の弾性波装置。
10. 前記第１の容量素子は複数の容量素子を含む請求項１記載の弾性波装置。
11. 前記複数の容量素子それぞれが、前記第２の基準電極を介して前記第１のインダクタに直列接続される請求項１０記載の弾性波装置。
12. 前記第１のインダクタは１つのインダクタとして構成される請求項１乃至１１のいずれか一項記載の弾性波装置。
13. 前記第２のインダクタは１つのインダクタとして構成される請求項１乃至１２のいずれか一項記載の弾性波装置。
14. 前記直列腕共振器と前記並列腕共振器とはラダー型フィルタを形成する請求項１記載の弾性波装置。
15. 前記圧電基板の表面に、励振空間を介して前記直列腕共振器及び前記並列腕共振器を封止する封止体をさらに含む請求項１記載の弾性波装置。
16. 前記第１のインダクタ及び前記第２のインダクタの少なくとも一方は、前記封止体を貫通する導体を含む請求項１５記載の弾性波装置。
17. 前記第１の基準電極が複数の基準電極部分に分割される請求項１記載の弾性波装置。
18. 前記並列腕共振器を複数備え、前記並列腕共振器の１つが前記基準電極部分の１つに接続される請求項１７記載の弾性波装置。
19. 前記１つ以外の前記並列腕共振器が前記１つ以外の前記基準電極部分に接続される請求項１８記載の弾性波装置。
20. 弾性表面波、弾性境界波、及びバルク波のいずれか１つが用いられる請求項１乃至１９のいずれか一項記載の弾性波装置。

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