[go: up one dir, main page]

JP5883641B2 - 粒子数計数装置 - Google Patents

粒子数計数装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5883641B2
JP5883641B2 JP2011282102A JP2011282102A JP5883641B2 JP 5883641 B2 JP5883641 B2 JP 5883641B2 JP 2011282102 A JP2011282102 A JP 2011282102A JP 2011282102 A JP2011282102 A JP 2011282102A JP 5883641 B2 JP5883641 B2 JP 5883641B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
porous member
housing
flow path
hydraulic fluid
working
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2011282102A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013130547A (ja
Inventor
篠原 政良
政良 篠原
和郎 花田
和郎 花田
喜則 大槻
喜則 大槻
謙次 近藤
謙次 近藤
スティーブ ケリガン
スティーブ ケリガン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Horiba Ltd
Original Assignee
Horiba Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Horiba Ltd filed Critical Horiba Ltd
Priority to JP2011282102A priority Critical patent/JP5883641B2/ja
Priority to EP12008563.4A priority patent/EP2607882B1/en
Priority to CN201210564468.4A priority patent/CN103175767B/zh
Priority to US13/723,371 priority patent/US9170180B2/en
Publication of JP2013130547A publication Critical patent/JP2013130547A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5883641B2 publication Critical patent/JP5883641B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/40Concentrating samples
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/06Investigating concentration of particle suspensions
    • G01N15/065Investigating concentration of particle suspensions using condensation nuclei counters

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)

Description

本発明は、計測対象となる試料粒子を核として作動液を凝縮させ、大径化した後に、その数をレーザ光学系、信号処理系等によってカウントする粒子数計数装置に関するものである。
この種の粒子数計数装置は、特許文献1に示すように、作動液(エタノールやイソプロパノール、ブタノールをはじめとするアルコール類)が飽和蒸気となって拡散している流路に試料粒子を含んだ測定対象ガスを流し、その後、これを冷却することによって試料粒子を核として作動液を凝縮させて作動液滴を生成し、この作動液滴をカウントすることで、試料粒子の数を計数し、その濃度を測定するものである。
そして従来は、前記流路を作動液の飽和蒸気で充満させるために、例えば図9に示すように、円筒状の筐体に前記流路を上下に貫通させたポーラス部材(多孔質部材)を嵌め入れ、このポーラス部材の下端部を作動液に浸すことによって、作動液がポーラス部材全体に浸みわたり、その結果、このポーラス部材に貫通させた前記流路が作動液蒸気で飽和状態となるように構成してある。
特開2010−164566号公報
しかしながら、上述した構成において、入口圧力が変化すると、未知の内的な原因によって、試料粒子を導入していない状態でも粒子がカウントされて測定誤差が生じる場合がある。
本発明者は、鋭意検討の結果、ポーラス部材の外側周面と筐体の内側周面との間で毛細管現象のような現象が発生し、この場合、同図の矢印に示すルートで作動液がポーラス部材の上面にまで達し、液体状態のまま流路に漏れ出して液滴となりカウントされることを突き止めた。通常は、ポーラス部材は多孔質であり作動液を湿潤させるから、その外側周面と筐体の内側周面との間で毛細管現象のような作用が営まれるとは非常に考えにくい。
本発明は、かかる知見に基づいてなされたものであって、入口圧力が変動するときでも、この種の粒子数計数装置における測定精度、特にオフセット誤差を可及的に低減することをその主たる所期課題とするものである。
すなわち、本発明に係る粒子数計数装置は、作動液が蒸気となって拡散している流路を有し、この流路を測定対象ガスに含まれる試料粒子が流れるように構成されたサチュレータ部と、前記流路から試料粒子及び作動液蒸気を導入するとともに、該試料粒子を核として作動液を凝縮させて作動液滴を生成するコンデンサ部と、前記作動液滴を計数するカウンタ部とを具備したものであって、
前記サチュレータ部が、下側が入口、上側が出口となるように前記流路が貫通させてあるとともに所定部位に作動液が供給されて毛細管現象によって全体に該作動液が浸潤するように構成されたポーラス部材と、該ポーラス部材を収容する収容空間を有した筐体とを具備したものであり、作動液が供給される前記所定部位と前記流路の出口との間における前記ポーラス部材の外周面と前記筐体収容空間の内周面との間に間隙が設けられていることを特徴とする。
このようなものであれば、作動液が筐体の内周面とポーラス部材の外周面との間を毛細管現象的な作用によって上昇することを前記間隙が防止する。したがって、入口圧力が変動するときでも、従来のようにかかるルートから作動液が上昇して液体のまま流路に漏れ出し飛沫となって計数誤差を生み出すといった現象を防ぐことができ、従来装置に比べて測定精度の向上を図れる。
前記間隙は、途切れることなく周回していることがより好ましい。
装置のガス導入ポートが下がって作動液が導入される作動液導入ポートの相対的な圧力が何らかの要因で上昇し、前記測定対象ガスが導入されるガス導入ポートよりも圧力が大きくなると、上述した作動液漏洩現象が生じやすくなり得るが、前記作動液導入ポートと測定ガス導入ポートとを接続し、各ポートの圧力を等しくさせる接続配管を設けておけば、そのような要因による従来装置のような作動液漏洩現象を低減させることができる。また、この発明によれば、仮に過渡的に作動液導入ポートの圧力が上昇したとしても、前記間隙の空間が圧力クッション的な役割を果たすので、この点でも作動液漏洩現象をより確実に防止できる。
前記ポーラス部材の内部にノンポーラス部材を配置しているものであれば、このノンポーラス部材によってポーラス部材の体積が低減されるので、ポーラス部材が作動液を不必要に多く吸収することを防止でき、このポーラス部材内での気泡の膨張による作動液の漏洩も減少させることが可能になる。
このように本発明によれば、作動液が筐体の内周面とポーラス部材の外周面との間を毛細管現象的な作用によって上昇することを前記間隙が防止できるので、作動液が上昇して液体のまま流路に漏れ出し計数誤差を生み出すといった現象を防ぐことができ、測定精度の向上を図れる。
本発明の一実施形態における粒子数計数装置の内部構造を示す模式的断面図。 同実施形態におけるポーラス部材の斜視図。 本発明の他の実施形態におけるサチュレート部を示す模式的断面図。 本発明のさらに他の実施形態におけるサチュレート部を示す模式的断面図。 本発明のさらに他の実施形態におけるサチュレート部を示す模式的断面図。 本発明のさらに他の実施形態におけるサチュレート部を示す模式的断面図。 本発明のさらに他の実施形態におけるサチュレート部を示す模式的断面図。 本発明のさらに他の実施形態におけるポーラス部材を示す模式的断面図。 従来の粒子数計数装置の内部構造を示す模式的断面図。
以下に、本実施形態に係る粒子数計数装置100を、図面を参照して説明する。
この粒子数計数装置100は、測定対象ガス(例えば大気や排出ガス)に含まれる微小粒子の濃度を測定すべく、その数を計数するものであって、図1に示すように、前記微小粒子を含んだ測定対象ガスを導入する導入部1と、この測定対象ガスとエタノールやブタノールをはじめとするアルコール類、水等の作動液の飽和蒸気とを混合するサチュレート部2と、この混合ガスを冷却して微小粒子の周りに作動液を凝縮させ、該微小粒子を核とした作動液滴を形成するコンデンサ部3と、この作動液滴を計数するカウンタ部4とを備えている。
各部を説明する。
導入部1は例えばブロック状をなすものであり、内部には、一端をガス導入ポート11aとして側面に開口させ、他端をガス導出ポート11bとして上面に開口させたガス流通路11が形成してある。
サチュレート部2は、前記導入部1の上に配設した柱状のものであり、上下に延びる筒状の筐体21と、この筐体21の内部収容空間に収容された多孔質のポーラス部材22とを備えている。このポーラス部材22には、上下に貫通する流路23が形成してあり、この流路23の下端に開口する入口23aが前記ガス流通路11のガス導出ポート11bに接続されている。また、筐体21の下端部には、側方に開口する作動液導入ポート21aが設けてある。この作動液導入ポート21aは図示しない作動液タンクが接続されており、該作動液導入ポート21aから導入された作動液が、前記ポーラス部材22の下端部に供給され、そこから毛細管現象によってポーラス部材22全体に浸みわたるように構成してある。
より具体的には、作動液導入ポート21aの上端よりもポーラス部材22の下端が下に位置するように設定してあって、前記ポーラス部材22の下端よりも上の高さにまで常に作動液の液面が存在し、当該ポーラス部材22の下端部が常に作動液に浸っている状態となるように設定してある。
また、この筐体21には図示しない温調器が設けられてその内部が所定の第1温度に保たれており、前記流路23には、気体となった作動液(以下、作動液蒸気とも言う。)が飽和状態で拡散するようにしてある。
コンデンサ部3は、前記サチュレート部2の上に配設した柱状のものであり、前記ポーラス部材22を収容する筐体としての役割も果たす。その内部には、前記流路23の上端出口23bに接続された凝縮管31が設けてあり、この凝縮管31は、前記サチュレート部2の内部温度よりも低い第2温度に設定してある。したがって、前記流路23から流入してくる作動液蒸気は、この凝縮管31において、同様に流入してくる微小粒子を核として凝縮・液化し、前述したように微小粒子が肥大してこれよりも大径の作動液滴が形成される。この作動液滴は、当該凝縮管31の先端に形成されたノズル32から順次重ならないように吹き出される。
カウンタ部4は、例えばレーザやLED等の光を射出する光射出部41とその光を受光する光センサ等の光受光部42とを具備するもので、その間の光軸上をノズル32から吹き出された作動液滴が通過するように配置してある。そして作動液滴が前記光軸上を通過する度に光が散乱して、光受光部42での光強度に変化が生じることから、この光強度の変化を図示しない情報処理部でカウントすることによって、作動液滴を計数する。
しかしてこの実施形態では、前記ポーラス部材22に作動液が供給される所定部位、すなわちポーラス部材22での作動液の液面よりも少なくとも上側における、当該ポーラス部材22の外側周面22aと前記筐体収容空間の内側周面21bとの間に、周回する間隙Sを設けている。より具体的に説明すると、この実施形態では、図1、図2に示すように、ポーラス部材22の上半部を小径、下半部を大径とし、前記下半部を筐体1の収容空間に嵌め込むとともに、前記上半部の外側周面22aと筐体収容空間の内側周面21bとの間に毛細管現象が生じ得ない幅の前記間隙Sが形成されるようにしている。
また、この実施形態では、ポーラス部材22の中心軸部分に複数の貫通孔を設け、そこに作動液を内部に吸収しない所定の性質を有した柱状のノンポーラス部材24をがたなく嵌め込んでいる。このノンポーラス部材24は所定の剛性を有する例えば樹脂製のものであり、前記導入部1の上面に図示しないネジ等で固着してある。
さらに、ここでは、前記ガス導入ポート11aと作動液導入ポート21aの圧力が等しくなるように、この間を接続配管5で接続している。
このような構成によれば、図1の矢印に示すように、作動液が筐体21の内側周面21bとポーラス部材22の外側周面22aとの間を毛細管現象的な作用によって上昇することを前記間隙Sが防止する。
したがって、従来のようにかかる不測のルートから作動液が上昇して液体のまま流路23に漏れ出し、飛沫となって計数誤差を生み出すといった現象を防ぐことができ、測定精度の向上を図れる。
また、作動液導入ポート21aの圧力が何らかの要因で上昇し、ガス導入ポート11aよりも圧力が大きくなると、上述した作動液漏洩現象が生じやすくなるかもしれないが、本実施形態では、作動液導入ポート21aとガス導入ポート11aとを接続して圧力差をほとんど生じさせないようにしているうえ、仮に過渡的に作動液導入ポート21aの圧力が上昇したとしても、この装置によれば、前記間隙Sの空間が圧力クッション的な役割を果たすので、作動液漏洩現象をより確実に防止できる。
さらに、ノンポーラス部材24によってポーラス部材22の体積が低減されるので、ポーラス部材22が作動液を不必要に多く吸収することを防止でき、このポーラス部材22内での気泡の膨張による作動液の漏洩も減少させることが可能になる。また、このノンポーラス部材24は、ポーラス部材22を確実に位置決めし、ポーラス部材22の外側周面22aと筐体21の内側周面21bとの間の隙間を適正に保つ役割も果たす。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば間隙Sは、図3に示すように、ポーラス部材22の下半部に設けてもよいし、図4に示すように、ポーラス部材22の上端から下端に至るまで設けてもよい。また、このような間隙Sを、図5に示すように、複数重に設けてもよい。ポーラス部材側ではなく、図6に示すように、筐体21の内側周面21bに周回する溝を設けて間隙Sを形成しても構わない。さらに、図7に示すように、ポーラス部材22の上面における流路23よりも外周側に間隙Sを周回形成してもよい。このように間隙Sは周回して途切れないようにしてあること、すなわち、筐体21の内周面とポーラス部材22の外周面との密着面が、ポーラス部材22の作動液浸漬面から流路出口23bに至るまでの間で途切れるように構成してあることが好ましい。
ただし、一部で間隙Sが途切れていても一定の効果を得ることはできる。例えば、図8に示すように、間隙Sの途切れた部分がずれるように、間隙Sを多重化してもよい。要は、前記密着面の作動液浸漬部位から流路出口23bまでの作動液が沿って上がるための距離が長くなるように、あるいは前記密着面の面積が小さくなるように、間隙Sが所要箇所に設けられていればよい。
また、上記図3〜図8に示すように、必ずしもノンポーラス部材や接続配管は必要ではなく、これらがなくとも、従来装置に比べ大幅に測定精度を向上できる。
円筒形のポーラス部材22の場合(図4)、0.5mmから2.0mm程度、より好ましくは1mm程度の間隙Sを形成することが好ましい。また、上半部と下半部とで構成し、上半部を小径、下半部を大径にするような形状のポーラス部材22(図2参照)においては、毛細管現象防止のための間隙Sを、例えば6.0mm程度まで拡大することができる。ポーラス部材22の径方向の厚みがあまりに薄くなると、筐体21の収容空間に嵌め込み保持する場合の嵌合部(下端部分)の強度を確保できず作動液漏洩現象が発生する場合も考えられるが、下半部を大径にするなどして径を上半部のみ小さくなるように調整すれば、単純に円筒形にする場合に比べ、嵌合部(下端部分)での強度を確保しつつ、さらに間隙Sも拡大できるので毛細管現象の発生を確実に防止しうる。なお、ここで2.0mmとか6.0mmという間隙Sの値は、嵌め込み保持する部分の強度、ポーラス部材22の径方向の厚み、作動液を含浸可能な量等を考慮した値であって、ポーラス部材22の形状や構造を種々工夫することによりこれらを確保することができれば、発明の趣旨にしたがい、さらに間隙Sを拡大させてもよい。
その他、本発明は前記実施形態に限られず、前述した実施形態や変形実施形態の一部を適宜組み合わせてよいし、その他、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
100・・・粒子数計数装置
2・・・サチュレータ部
21・・筐体
21b・・・筐体収容空間の内周面
22・・・ポーラス部材
22a・・・ポーラス部材の外周面
23・・・流路
23a・・・入口
23b・・・出口
24・・・ノンポーラス部材
3・・・コンデンサ部
4・・・カウンタ部
5・・・接続配管
S・・・間隙

Claims (6)

  1. 作動液が蒸気となって拡散している流路を有し、この流路を測定対象ガスに含まれる試料粒子が流れるように構成されたサチュレータ部と、前記流路から試料粒子及び作動液蒸気を導入するとともに、該試料粒子を核として作動液を凝縮させて作動液滴を生成するコンデンサ部と、前記作動液滴を計数するカウンタ部とを具備したものであって、
    前記サチュレータ部は、
    下側が入口、上側が出口となるように前記流路が貫通させてあるとともに所定部位に作動液が供給されて毛細管現象によって全体に該作動液が浸潤するように構成されたポーラス部材と、該ポーラス部材を収容する収容空間を有した筐体とを具備し、
    作動液が供給される前記所定部位よりも少なくとも上側における前記ポーラス部材の外側周面と前記筐体収容空間の内側周面との間に間隙が設けられていることを特徴とする粒子数計数装置。
  2. 前記間隙が途切れることなく周回している請求項1記載の粒子数計数装置。
  3. 前記作動液が導入される作動液導入ポートと、前記測定対象ガスが導入される測定ガス導入ポートとを接続し、各ポートの圧力を等しくさせる接続配管をさらに備えている請求項1又は2記載の粒子数計数装置。
  4. 前記ポーラス部材の内部にノンポーラス部材を配置している請求項1乃至3いずれか記載の粒子数計数装置。
  5. 作動液が蒸気となって拡散している流路を有し、この流路を測定対象ガスに含まれる試料粒子が流れるように構成されたサチュレータ部と、前記流路から試料粒子及び作動液蒸気を導入するとともに、該試料粒子を核として作動液を凝縮させて作動液滴を生成するコンデンサ部と、前記作動液滴を計数するカウンタ部とを具備した粒子数計数装置に適用される前記サチュレータ部であって、
    下側が入口、上側が出口となるように前記流路が貫通させてあるとともに所定部位に作動液が供給されて毛細管現象によって全体に該作動液が浸潤するように構成されたポーラス部材と、
    このポーラス部材を収容する収容空間を有した筐体とを具備し、
    作動液が供給される前記所定部位よりも少なくとも上側における前記ポーラス部材の外側周面と前記筐体収容空間の内側周面との間に間隙が設けられていることを特徴とするサチュレータ部。
  6. 作動液が蒸気となって拡散している流路を有し、この流路を測定対象ガスに含まれる試料粒子が流れるように構成されたサチュレータ部と、前記流路から試料粒子及び作動液蒸気を導入するとともに、該試料粒子を核として作動液を凝縮させて作動液滴を生成するコンデンサ部と、前記作動液滴を計数するカウンタ部とを具備したものであって、
    前記サチュレータ部は、
    下側が入口、上側が出口となるように前記流路が貫通させてあるとともに所定部位に作動液が供給されて全体に該作動液が浸潤するように構成されたポーラス部材と、該ポーラス部材を収容する収容空間を有した筐体とを具備し、
    作動液が供給される前記所定部位よりも少なくとも上側における前記ポーラス部材の外側周面と前記筐体収容空間の内側周面との間に間隙が設けられており、
    前記ポーラス部材の内部にノンポーラス部材を配置していることを特徴とする粒子数計数装置。
JP2011282102A 2011-12-22 2011-12-22 粒子数計数装置 Active JP5883641B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011282102A JP5883641B2 (ja) 2011-12-22 2011-12-22 粒子数計数装置
EP12008563.4A EP2607882B1 (en) 2011-12-22 2012-12-21 Particle number counting apparatus
CN201210564468.4A CN103175767B (zh) 2011-12-22 2012-12-21 颗粒数计数装置和饱和部
US13/723,371 US9170180B2 (en) 2011-12-22 2012-12-21 Particle number counting apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011282102A JP5883641B2 (ja) 2011-12-22 2011-12-22 粒子数計数装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013130547A JP2013130547A (ja) 2013-07-04
JP5883641B2 true JP5883641B2 (ja) 2016-03-15

Family

ID=47754256

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011282102A Active JP5883641B2 (ja) 2011-12-22 2011-12-22 粒子数計数装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9170180B2 (ja)
EP (1) EP2607882B1 (ja)
JP (1) JP5883641B2 (ja)
CN (1) CN103175767B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11686660B2 (en) 2018-06-07 2023-06-27 Sensors, Inc. Particle concentration analyzing system and method

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10352844B2 (en) 2013-03-15 2019-07-16 Particles Plus, Inc. Multiple particle sensors in a particle counter
US9677990B2 (en) 2014-04-30 2017-06-13 Particles Plus, Inc. Particle counter with advanced features
US10983040B2 (en) 2013-03-15 2021-04-20 Particles Plus, Inc. Particle counter with integrated bootloader
US11579072B2 (en) 2013-03-15 2023-02-14 Particles Plus, Inc. Personal air quality monitoring system
US12044611B2 (en) 2013-03-15 2024-07-23 Particles Plus, Inc. Particle counter with integrated bootloader
AT514774B1 (de) * 2013-08-30 2016-08-15 Avl List Gmbh Betriebsmittel für einen Kondensationskernzähler für Abgase von Verbrennungsmotoren
AT515941B1 (de) * 2014-07-29 2016-01-15 Avl List Gmbh Kondensationspartikelzähler mit einer Sättigungseinheit und einer nachgeschalteten Kondensationseinheit
JP6441195B2 (ja) 2015-09-14 2018-12-19 東芝メモリ株式会社 粒子検知装置
CN105334146B (zh) * 2015-10-16 2018-01-12 华津航(武汉)科技有限公司 一种直接测量发动机尾气颗粒物数目浓度的检测装置
DE102016122111A1 (de) 2015-11-17 2017-05-18 Avl List Gmbh Kondensationspartikelzähler mit Sättigungsabschnitt
AT517948B1 (de) 2015-11-17 2017-06-15 Avl List Gmbh Kondensationspartikelzähler mit Flutungsschutz
AT517949B1 (de) 2015-11-17 2017-06-15 Avl List Gmbh Kondensationspartikelzähler mit Überführabschnitt
KR102722024B1 (ko) * 2016-01-08 2024-10-24 티에스아이 아이엔씨 웨어러블 마스크 핏 모니터
JP6955385B2 (ja) * 2017-07-14 2021-10-27 株式会社堀場製作所 粒子分析装置における光照射を調整するためのモニター装置
CN111122419A (zh) * 2019-12-05 2020-05-08 中国科学院合肥物质科学研究院 一种冷凝粒子计数器
TWI838771B (zh) * 2019-12-26 2024-04-11 韓國延世大學校產學協力團 粒子計數器
JP7446905B2 (ja) * 2020-04-24 2024-03-11 キヤノンメディカルシステムズ株式会社 自動分析装置
US11988591B2 (en) 2020-07-01 2024-05-21 Particles Plus, Inc. Modular optical particle counter sensor and apparatus

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4790650A (en) * 1987-04-17 1988-12-13 Tsi Incorporated Condensation nucleus counter
US5026155A (en) * 1989-09-06 1991-06-25 Air Products And Chemicals, Inc. Process for sizing particles using condensation nucleus counting
DE4019676C1 (ja) * 1990-06-20 1991-12-19 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev, 8000 Muenchen, De
US5239356A (en) * 1990-06-20 1993-08-24 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung Ev Condensation nucleus counter
US5118959A (en) * 1991-05-03 1992-06-02 Tsi Incorporated Water separation system for condensation particle counter
JPH0744775U (ja) * 1992-05-12 1995-11-28 株式会社クボタ 壁板の縦目地構造
US5872622A (en) 1996-08-12 1999-02-16 Met One, Inc. Condensation nucleus counter having vapor stabilization and working fluid recovery
KR100383547B1 (ko) 2000-09-25 2003-05-12 학교법인 한양학원 초미세입자 응축핵계수기
US6639671B1 (en) * 2002-03-01 2003-10-28 Msp Corporation Wide-range particle counter
US6829044B2 (en) * 2002-04-24 2004-12-07 Msp Corporation Compact, high-efficiency condensation nucleus counter
KR100865712B1 (ko) * 2006-07-12 2008-10-28 안강호 입자 측정 시스템 및 그 방법
JP5103004B2 (ja) * 2006-11-15 2012-12-19 株式会社トプコン レーザ測量機
US7777867B2 (en) * 2006-12-22 2010-08-17 Thermo Fisher Scientific Devices, methods, and systems for detecting particles in aerosol gas streams
GB0808385D0 (en) * 2008-05-08 2008-06-18 Naneum Ltd A condensation apparatus
AT10542U3 (de) * 2009-01-19 2009-10-15 Avl List Gmbh Kondensationskern-zähler
US8459572B2 (en) * 2009-10-24 2013-06-11 Aerosol Dynamics Inc. Focusing particle concentrator with application to ultrafine particles
JP2011243552A (ja) * 2010-05-20 2011-12-01 Tateishi Kobisha Co Ltd 面発光装置
US9610531B2 (en) * 2010-08-27 2017-04-04 Aerosol Dynamics Inc. Wick wetting for water condensation systems
WO2012142297A1 (en) 2011-04-13 2012-10-18 Tsi, Incorporated Apparatus and method for improving particle count accuracy in low pressure applications

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11686660B2 (en) 2018-06-07 2023-06-27 Sensors, Inc. Particle concentration analyzing system and method

Also Published As

Publication number Publication date
CN103175767A (zh) 2013-06-26
US20130180321A1 (en) 2013-07-18
US9170180B2 (en) 2015-10-27
EP2607882A3 (en) 2017-12-13
JP2013130547A (ja) 2013-07-04
EP2607882A2 (en) 2013-06-26
CN103175767B (zh) 2016-08-24
EP2607882B1 (en) 2019-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5883641B2 (ja) 粒子数計数装置
US9222859B2 (en) Apparatus and method for improving particle count accuracy in low pressure applications
JPH08261984A (ja) 膜付センサ、流れ制御部材及び分析方法
KR20050067407A (ko) 라인 내의 유동 매질의 적어도 하나의 파라미터 검출 장치
US5979219A (en) Probe for measuring volatile components in an aqueous solution
US9903847B2 (en) Sensor device for detecting a moisture content of a flowing fluid medium
JP2012233744A (ja) 漏液検出装置及び漏液検出装置の基台
KR102453182B1 (ko) 저소음 파티클 카운팅을 위한 복합 윅
JP2008070165A (ja) センサ装置
JP4120459B2 (ja) ガス濃度計測装置
JP2014025735A (ja) センサ装置
JP5421298B2 (ja) 液体サンプル容器
JP6279220B2 (ja) 蒸気量測定装置
JP2000162100A (ja) 液体脱気装置
JP3134927U (ja) 透過量測定装置用セル及び透過量測定装置
JPH09133566A (ja) 液位測定装置
JP2007240159A (ja) 超音波流体計測装置
JP6476150B2 (ja) 微小気泡発生装置
JP2001201391A (ja) 流量計校正システム
KR100955660B1 (ko) 탱크 내에 저장된 액체의 레벨측정장치
JP2006058239A (ja) 粒子検出器
KR20180023487A (ko) 막증발 모듈 성능시험장치
JP4885610B2 (ja) 蒸気トラップの消湯気器
JP2020159883A (ja) 参照電極
CN106979936A (zh) 一种用于水质检测的无管壁流通池装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140616

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150213

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150305

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20150605

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150630

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160114

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160208

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5883641

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250