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JP5799206B2 - Mounting component inspection apparatus, component mounting system, and component mounting method - Google Patents

Mounting component inspection apparatus, component mounting system, and component mounting method Download PDF

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JP5799206B2 JP2011180153A JP2011180153A JP5799206B2 JP 5799206 B2 JP5799206 B2 JP 5799206B2 JP 2011180153 A JP2011180153 A JP 2011180153A JP 2011180153 A JP2011180153 A JP 2011180153A JP 5799206 B2 JP5799206 B2 JP 5799206B2
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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Description

本発明は、部品を基板に実装する部品実装装置で実装された部品実装済み基板の検査を行う実装部品検査装置、部品実装システム及び部品実装方法に関するものである。   The present invention relates to a mounting component inspection apparatus, a component mounting system, and a component mounting method for inspecting a component mounted board mounted by a component mounting apparatus for mounting components on a substrate.

部品実装装置は、電子部品等の部品を吸着保持した吸着ノズルを基板に対して下降させることにより、基板の上面に設けられた複数の部品実装位置に部品を実装する。ここで、基板に対する吸着ノズルの下降距離は、吸着ノズルに吸着させた部品と電極表面との間隔に基いて予め設定されており、吸着ノズルの下降動作によって部品が必要以上に基板に押し付けられて部品が破損するようなことが起きないようになっている。   The component mounting apparatus mounts components at a plurality of component mounting positions provided on the upper surface of the substrate by lowering a suction nozzle that sucks and holds components such as electronic components with respect to the substrate. Here, the lowering distance of the suction nozzle with respect to the substrate is set in advance based on the distance between the component adsorbed by the suction nozzle and the electrode surface, and the component is pushed more than necessary by the lowering operation of the suction nozzle. Parts are prevented from being damaged.

その一方で、近年における電子機器の小型化・高機能化の進展に伴って基板の薄型化が進んでおり、このような薄型の基板は反り変形を生じやすい。このため、吸着ノズルの下降距離が反り変形を生じていないフラットな基板を前提として設定されている場合には、吸着ノズルの下降動作時に部品が基板に対して必要以上に押圧されて部品が破損したり、部品が基板に接触しないうちに吸着ノズルによる部品の吸着が解除されてしまって電極に対する部品の位置ずれが起きたりする場合があった。   On the other hand, with the progress of downsizing and higher functionality of electronic devices in recent years, the thickness of substrates has been reduced. Such thin substrates are likely to be warped and deformed. For this reason, when the lowering distance of the suction nozzle is set on the premise of a flat substrate that does not warp and deform, the component is pressed more than necessary against the substrate during the lowering operation of the suction nozzle and the component is damaged. In some cases, the component is not attracted by the suction nozzle before the component comes into contact with the substrate, and the component is displaced with respect to the electrode.

このため従来では、部品の実装作業を実行する前に、任意に設定した基板上の複数の計測点の高さを計測して基板の反り変形状態を検出し、その検出した基板の反り変形状態に応じて吸着ノズルの下降距離を補正する方法が提案されている(例えば特許文献1を参照)。これにより、基板に反り変形が生じている場合であっても部品を部品実装位置に対して精度良く実装することができる。部品が実装された実装基板はその後、検査装置によって基板上の各部品実装位置における実装の良否についての検査を受け、検査結果がモニタ等の表示手段によって表示される。   For this reason, conventionally, before executing the component mounting operation, the height of a plurality of measurement points on the board set arbitrarily is measured to detect the warp deformation state of the board, and the warp deformation state of the detected board is detected. A method of correcting the descending distance of the suction nozzle according to the above has been proposed (see, for example, Patent Document 1). Thereby, even if it is a case where curvature deformation | transformation has arisen in the board | substrate, components can be mounted with sufficient precision with respect to a component mounting position. Thereafter, the mounting board on which the component is mounted is inspected by the inspection device for the quality of mounting at each component mounting position on the board, and the inspection result is displayed by a display means such as a monitor.

特開2000―299597号公報JP 2000-299597 A

基板の反り変形状態の検出精度が不十分である場合には、検出した反り変形状態に基づいて吸着ノズルの下降距離を設定しても、部品の破損や実装位置ずれ等の実装不良が発生する場合があった。また、基板の反り変形状態の検出精度が不十分なまま部品の実装作業が継続されると、ある部品実装位置において連続的に実装不良の検査結果があらわれる場合がある。しかしながら、部品実装装置を取り扱う作業員が経験の浅い者である場合には、このような実装不良の原因として基板の反り変形状態の検出精度が不十分であることに気づき得ず、迅速な実装不良の対策を講じることができなかった。   If the detection accuracy of the warp deformation state of the board is insufficient, even if the lowering distance of the suction nozzle is set based on the detected warp deformation state, mounting defects such as component breakage and mounting position deviation occur. There was a case. Further, if the component mounting operation is continued while the detection accuracy of the warped deformation state of the substrate is insufficient, there may be a case where a mounting failure inspection result is continuously displayed at a certain component mounting position. However, if the worker who handles the component mounting device is an inexperienced person, he / she can not realize that the accuracy of detection of the warp deformation state of the board is insufficient as a cause of such mounting failure, and quick mounting I couldn't take measures against the defect.

そこで本発明は、基板上のある部品実装位置において連続的に実装不良が検出された場合、経験の浅い作業員でも迅速な実装不良対策を講じることができる実装部品検査装置、部品実装システム及び部品実装方法を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention provides a mounting component inspection apparatus, a component mounting system, and a component that can be quickly taken by a worker with little experience when a mounting failure is continuously detected at a certain component mounting position on a substrate. The purpose is to provide an implementation method.

請求項1記載の本発明の実装部品検査装置は、基板上における複数の計測点の高さを計測することによって基板の反り変形状態を検出し、基板の反り変形状態に応じて部品実装高さを補正して基板上に設定された複数の部品実装位置に部品の実装を行う部品実装装置から搬出される部品実装済み基板を対象として実装状態の検査を行う実装部品検査装置であって、部品実装後の基板において部品実装位置を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段による撮像結果に基づいて実装状態の良否を判定して判定結果を出力する判定手段と、前記判定結果を複数の基板について部品実装位置毎に累積記憶する記憶手段と、基板における部品実装位置を部品実装位置マップとして視覚的に画像表示する部品実装位置マップ表示手段と、前記部品実装位置マップ上において部品実装位置毎に累積記憶された判定結果を表示する判定結果累積表示手段と、前記判定手段において実装不良と判定された割合又は回数が所定の条件を満たしたか否かを部品実装位置毎に判断する判断手段と、前記判断手段において実装不良と判定された割合又は回数が所定の条件を満たしたと判断された部品実装位置について、当該部品実装位置の近傍の計測点の設定状況を確認する旨の報知を行う報知手段とを備えた。   The mounted component inspection apparatus according to the first aspect of the present invention detects the warped deformation state of the substrate by measuring the height of a plurality of measurement points on the substrate, and the component mounting height according to the warped deformation state of the substrate. A mounting component inspection apparatus that inspects a mounting state for a component mounted board that is unloaded from a component mounting apparatus that mounts components at a plurality of component mounting positions set on the board by correcting An imaging unit that images a component mounting position on a substrate after mounting, a determination unit that determines whether the mounting state is good or not based on an imaging result of the imaging unit, and outputs a determination result, and the determination result for a plurality of substrates Storage means for accumulating and storing each mounting position, component mounting position map display means for visually displaying the component mounting position on the board as a component mounting position map, and the component mounting position map A determination result accumulation display means for displaying a determination result accumulated and stored for each component mounting position on the component, and whether or not the ratio or number of times that the determination means determines that the mounting is defective satisfies a predetermined condition. Check the setting status of measurement points in the vicinity of the component mounting position for each component mounting position that is determined to be determined each time, and for the component mounting position at which the ratio or number of times determined as defective mounting by the determining means satisfies a predetermined condition An informing means for informing the user to do so.

請求項2記載の本発明の部品実装システムは、基板上における複数の計測点の高さを計測することによって基板の反り変形状態を検出し、基板の反り変形状態に応じて部品実装高さを補正して基板上に設定された複数の部品実装位置に部品の実装を行う部品実装装置と、請求項1記載の実装部品検査装置を含む部品実装システムであって、前記部品実装装置は、前記実装部品検査装置により報知された部品実装位置の近傍に、新たに計測点を追加して設定する計測点設定手段を備えた。   In the component mounting system according to the second aspect of the present invention, the warp deformation state of the substrate is detected by measuring the heights of a plurality of measurement points on the substrate, and the component mounting height is determined according to the warp deformation state of the substrate. A component mounting system including a component mounting apparatus that corrects and mounts components at a plurality of component mounting positions set on a board, and the mounting component inspection apparatus according to claim 1, wherein the component mounting apparatus includes: Measurement point setting means for newly adding and setting a measurement point in the vicinity of the component mounting position notified by the mounting component inspection apparatus is provided.

請求項3記載の本発明の部品実装方法は、基板上における複数の計測点の高さを計測することによって基板の反り変形状態を検出し、基板の反り変形状態に応じて部品実装高さを補正して基板上に設定された複数の部品実装位置に部品の実装を行う部品実装方法であって、部品実装後の基板において部品実装位置を撮像する撮像工程と、撮像工程における撮像結果に基づいて実装状態の良否を判定して判定結果を出力する判定工程と、判定結果を複数の基板について部品実装位置毎に累積記憶する記憶工程と、基板における部品実装位置を部品実装位置マップとして視覚的に画像表示する部品実装位置マップ表示工程と、前記部品実装位置マップ上において部品実装位置毎に累積記憶された判定結果を表示する判定結果累積表示工程と、前記判定工程において実装不良と判定された割合又は回数が所定の条件を満たしたか否かを部品実装位置毎に判断する判断工程と、前記判断工程において実装不良と判定された割合又は回数が所定の条件を満たしたと判断された部品実装位置について、当該部品実装位置の近傍の計測点の設定状況を確認する旨の報知を行う報知工程と、報知された部品実装位置の近傍に、新たに計測点を追加して設定する高さ計測設定工程を含む。   According to a third aspect of the present invention, the component mounting method of the present invention detects the warp deformation state of the substrate by measuring the height of a plurality of measurement points on the substrate, and determines the component mounting height according to the warp deformation state of the substrate. A component mounting method for performing component mounting at a plurality of component mounting positions corrected and set on a board, based on an imaging process for imaging a component mounting position on a board after component mounting, and an imaging result in the imaging process A determination process for determining whether the mounting state is good and outputting a determination result, a storage process for accumulating and storing the determination results for each component mounting position for a plurality of boards, and a component mounting position on the board as a component mounting position map A component mounting position map display step of displaying an image on the component mounting position, a determination result cumulative display step of displaying a determination result accumulated and stored for each component mounting position on the component mounting position map, A determination step for determining, for each component mounting position, whether or not a ratio or number of times determined to be mounting failure in a predetermined step satisfies a predetermined condition; and a ratio or number of times determined as mounting failure in the determination step is a predetermined condition For the component mounting position determined to satisfy the above, a notification step for notifying that the setting state of the measurement point in the vicinity of the component mounting position is confirmed, and a new measurement point in the vicinity of the notified component mounting position are provided. It includes a height measurement setting process that is additionally set.

本発明によれば、実装不良と判定された割合又は回数が所定の条件を満たした部品実装位置がある場合には、当該部品実装位置の近傍の計測点の設定状況を確認する旨の報知が行われることから、部品実装分野での経験が浅い作業員でも実装不良の原因として計測点の設定状況がよくなかったために基板の反り変形状態の検出精度が不十分であったことに気づくことができ、当該部品実装位置の近傍に新たに計測点を追加して設定する等、迅速な実装不良対策を講じることできる。その結果、実装不良基板の発生を抑制して実装基板の生産性を向上せさることができる。   According to the present invention, when there is a component mounting position in which the ratio or the number of times determined as mounting failure satisfies a predetermined condition, a notification that the setting status of measurement points in the vicinity of the component mounting position is confirmed is notified. Therefore, even workers with little experience in the parts mounting field may notice that the detection accuracy of the warped deformation state of the board was insufficient because the measurement point setting status was not good as the cause of mounting failure. In addition, it is possible to take quick countermeasures against mounting defects, such as adding a new measurement point in the vicinity of the component mounting position. As a result, it is possible to improve the productivity of the mounting substrate by suppressing the generation of the mounting defective substrate.

本発明の一実施の形態の部品実装ラインの平面図The top view of the component mounting line of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品実装装置の平面図The top view of the component mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品実装装置の断面図Sectional drawing of the component mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実装の形態の部品実装装置の制御系の構成を示すブロック図The block diagram which shows the structure of the control system of the component mounting apparatus of the one mounting form of this invention (a)本発明の一実施の形態の部品実装装置において基板上に設定された計測点を計測する状態を示す図(b)本発明の一実施の形態の部品実装装置において基板上に計測点が設定された画像をタッチパネルに表示した状態を示す図(A) The figure which shows the state which measures the measurement point set on the board | substrate in the component mounting apparatus of one embodiment of this invention (b) The measurement point on a board | substrate in the component mounting apparatus of one embodiment of this invention The figure which shows the state which displayed the picture where is set on the touch panel (a),(b)本発明の一実施の形態の部品実装装置にて基板に電子部品を実装する状態を示す図(A), (b) The figure which shows the state which mounts an electronic component on a board | substrate with the component mounting apparatus of one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態の実装部品検査装置の(a)平面図(b)側面図BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS (a) Top view (b) Side view of mounting component inspection apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の実装部品検査装置の制御系の構成を示すブロック図The block diagram which shows the structure of the control system of the mounted component inspection apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の実装部品検査装置のタッチパネルに表示される画像を示す図The figure which shows the image displayed on the touchscreen of the mounting component inspection apparatus of one embodiment of this invention (a)本発明の一実施の形態の部品実装装置にて設定された計測点の位置と実装部品検査装置にて実装不良が検出された部品実装位置を示す図(b)本発明の一実施の形態の部品実装装置にて計測点を新たに追加設定した状態を示す図(A) The figure which shows the position of the measurement point set with the component mounting apparatus of one embodiment of this invention, and the component mounting position where the mounting defect was detected with the mounting component inspection apparatus (b) One implementation of this invention The figure which shows the state which added and set the measurement point newly in the component mounting apparatus of the form of 本発明の一実施の形態の実装部品検査方法のフロー図The flowchart of the mounting component inspection method of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の実装部品検査方法のフロー図The flowchart of the mounting component inspection method of one embodiment of this invention

まず図1を参照して、本発明の部品実装検査装置を含んだ部品実装システムについて説明する。この部品実装システムを形成する部品実装ライン1は、基板2上に設定された複数の部品実装位置としての電極3のそれぞれに、部品としての電子部品4を実装した部品実装済み基板5(以下、「実装基板」と称する)を製造・検査するための各装置を連結して成る。   First, a component mounting system including a component mounting inspection apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. A component mounting line 1 forming this component mounting system includes a component mounted substrate 5 (hereinafter referred to as a component mounted substrate 5) in which an electronic component 4 as a component is mounted on each of electrodes 3 as a plurality of component mounting positions set on the substrate 2. Each device for manufacturing and inspecting (referred to as a “mounting substrate”) is connected.

図1に示すように、部品実装ライン1は上流側(図1において左側)から印刷装置M1、印刷状態検査装置M2、複数の部品実装装置M3〜M5、及び実装部品検査装置M6の各装置を、基板搬送方向であるX方向に連結して構成されている。印刷装置M1は、基板2上に設定された複数の電極3上に接合材料としてのクリーム半田を印刷する機能を有する。印刷状態検査装置M2は、電極3上にクリーム半田が印刷された基板2の印刷状態を検査する機能を有する。部品実装装置M3〜M5は、クリーム半田が印刷された基板2上に電子部品4を実装する機能を有する。実装部品検査装置M6は、電子部品4が実装された実装基板5を対象として電子部品4の実装状態の検査を行う機能を有する。これらの各装置は通信ネットワーク6を介して管理コンピュータ7に接続され、管理コンピュータ7は部品実装ライン1の各装置による実装・検査作業を統括して制御する。   As shown in FIG. 1, the component mounting line 1 includes a printing device M1, a printing state inspection device M2, a plurality of component mounting devices M3 to M5, and a mounting component inspection device M6 from the upstream side (left side in FIG. 1). , And connected in the X direction, which is the substrate transport direction. The printing apparatus M1 has a function of printing cream solder as a bonding material on the plurality of electrodes 3 set on the substrate 2. The printing state inspection apparatus M2 has a function of inspecting the printing state of the substrate 2 on which the cream solder is printed on the electrode 3. The component mounting apparatuses M3 to M5 have a function of mounting the electronic component 4 on the substrate 2 on which cream solder is printed. The mounting component inspection apparatus M6 has a function of inspecting the mounting state of the electronic component 4 for the mounting substrate 5 on which the electronic component 4 is mounted. Each of these devices is connected to a management computer 7 via a communication network 6, and the management computer 7 controls the mounting / inspection work by each device on the component mounting line 1 in an integrated manner.

また図1に示すように、本実施の形態における印刷状態検査装置M2、部品実装装置M3〜M5、実装部品検査装置M6は、それぞれ後述する一対の搬送コンベアを各装置の前側、後側にそれぞれ備えており、各装置の前側(図1における下側)において一の搬送コンベアが連結して形成される第1搬送ラインL1、各装置の後側(図1における上側)において他の搬送コンベアが連結して形成される第2搬送ラインL2上で各装置における所定の作業が同時並行的に行うことができるようになっている。このような構成を採用することで、実装基板の生産性を向上させることができる。   As shown in FIG. 1, the printing state inspection device M2, the component mounting devices M3 to M5, and the mounting component inspection device M6 according to the present embodiment each have a pair of transport conveyors described later on the front side and the rear side of each device, respectively. A first conveyor line L1 formed by connecting one conveyor on the front side (lower side in FIG. 1) of each apparatus, and another conveyor on the rear side (upper side in FIG. 1) of each apparatus. Predetermined operations in the respective apparatuses can be performed simultaneously on the second transport line L2 formed by being connected. By adopting such a configuration, the productivity of the mounting substrate can be improved.

次に、図1を用いて印刷装置M1について説明する。基台10の上面にはそれぞれ個別に制御され独立して印刷動作が可能な第1の印刷機構11A、第2の印刷機構11Bが、基板2の搬送方向であるX方向と直交するY方向に並んで配置されている。各印刷機構11A,11Bは主としてマスクプレート12と、マスクプレート12の上方に配設され対向する2つのスキージ部材を備えたスキージヘッド(不図示)から成っている。マスクプレート12上にはクリーム半田供給装置(不図示)によってクリーム半田(不図示)が供給される。また、基台10の上面であって各印刷機構11A,11Bの下方には、基板2をX方向に搬送する一対の基板搬送コンベア13がX,Y方向に対して移動自在に設けられている。   Next, the printing apparatus M1 will be described with reference to FIG. A first printing mechanism 11A and a second printing mechanism 11B that are individually controlled and can perform printing operations individually on the upper surface of the base 10 are arranged in the Y direction orthogonal to the X direction that is the transport direction of the substrate 2. They are arranged side by side. Each of the printing mechanisms 11A and 11B mainly includes a mask plate 12 and a squeegee head (not shown) provided with two squeegee members disposed above and opposed to the mask plate 12. Cream solder (not shown) is supplied onto the mask plate 12 by a cream solder supply device (not shown). A pair of substrate transport conveyors 13 for transporting the substrate 2 in the X direction are provided on the upper surface of the base 10 and below the printing mechanisms 11A and 11B so as to be movable in the X and Y directions. .

印刷装置M1の上流側に設けられた一対の基板搬送コンベア14によって搬入される基板2は基板搬送コンベア13に受け渡された後、所定の印刷位置まで搬送される。所定の印刷位置まで搬送された基板2は、基板保持部(不図示)が基板2の下方から上昇することによって当該基板保持部の上面にて下受け保持され、さらに基板保持部が上昇することによって基板2の上面がマスクプレート12の下面に接触し、この状態でクリーム半田が供給されたマスクプレート12上でスキージ部材がY方向に摺動することより、マスクプレート12に形成されたパターン孔(不図示)を介して基板2上の各電極3にはクリーム半田が転写(印刷)される。各電極3にクリーム半田が転写されたら、基板保持部がマスクプレート12に対して下降することによって基板2がマスクプレート12から離版する。各電極3上にクリーム半田が印刷された基板2は、印刷装置M1の下流側に設けられた一対の基板搬送コンベア15に受け渡され、下流の印刷状態検査装置M2に搬送される。   The substrate 2 carried in by the pair of substrate transport conveyors 14 provided on the upstream side of the printing apparatus M1 is transferred to the substrate transport conveyor 13 and then transported to a predetermined printing position. The substrate 2 transported to a predetermined printing position is held by the upper surface of the substrate holding unit when the substrate holding unit (not shown) rises from below the substrate 2, and the substrate holding unit further rises. As a result, the upper surface of the substrate 2 comes into contact with the lower surface of the mask plate 12, and the squeegee member slides in the Y direction on the mask plate 12 to which the cream solder is supplied. Cream solder is transferred (printed) to each electrode 3 on the substrate 2 via (not shown). When the cream solder is transferred to each electrode 3, the substrate holder is lowered with respect to the mask plate 12, whereby the substrate 2 is released from the mask plate 12. The substrate 2 on which cream solder is printed on each electrode 3 is transferred to a pair of substrate transport conveyors 15 provided on the downstream side of the printing apparatus M1, and is transported to the downstream printing state inspection apparatus M2.

次に、図1を用いて印刷状態検査装置M2について説明する。印刷状態検査装置M2は基台20上にY軸方向に延びたY軸移動テーブル21と、Y軸移動テーブル21に対してY方向に移動自在な2つのX軸移動テーブル22と、X軸移動テーブル22に対してX軸方向に移動自在な2つのプレート23から成るヘッド移動機構を有し、このヘッド移動機構の各プレート23には、撮像視野を下方に向けた検査カメラを備えた印刷状態検査ヘッド24がそれぞれ設けられている。また基台20の上面の中央には、第1搬送ラインL1、第2搬送ラインL2の一部を構成して印刷装置M1から受け渡された基板2を基板搬送方向(X方向)に搬送する一対の基板搬送コンベア25が、印刷状態検査装置M2の前後にそれぞれ設けられている。   Next, the printing state inspection apparatus M2 will be described with reference to FIG. The printing state inspection apparatus M2 includes a Y-axis movement table 21 extending in the Y-axis direction on the base 20, two X-axis movement tables 22 movable in the Y direction with respect to the Y-axis movement table 21, and an X-axis movement. A print state having a head moving mechanism composed of two plates 23 movable in the X-axis direction with respect to the table 22, and each plate 23 of the head moving mechanism having an inspection camera with the imaging field of view facing downward Each inspection head 24 is provided. Further, in the center of the upper surface of the base 20, the substrate 2 that is part of the first transport line L1 and the second transport line L2 and is delivered from the printing apparatus M1 is transported in the substrate transport direction (X direction). A pair of board | substrate conveyance conveyors 25 are each provided before and after the printing state inspection apparatus M2.

印刷状態検査装置M2は、上流側の印刷装置M1から受け渡された基板2を基板搬送コンベア25によって搬送して位置決めし、ヘッド移動機構によって検査カメラを移動させて基板2上の各電極3を上方から撮像する。そして、撮像された各電極3の画像に基づいて画像認識を行い、各電極3にクリーム半田が正常に印刷されているか否かの印刷状態検査を行う。   The printing state inspection apparatus M2 conveys and positions the substrate 2 delivered from the upstream printing apparatus M1 by the substrate conveyance conveyor 25, moves the inspection camera by the head moving mechanism, and moves the electrodes 3 on the substrate 2 to each other. Take an image from above. Then, image recognition is performed based on the captured image of each electrode 3, and a print state inspection is performed to determine whether or not the cream solder is normally printed on each electrode 3.

次に、図2〜図5を参照して部品実装装置M3〜M5の構成を説明する。なお、部品実装装置M3〜M5は同一構造であるので、代表して部品実装装置M3について説明する。図2、図3において、基台30の上面の中央には、第1搬送ラインL1、第2搬送ラインL2を構成してX方向に延びた一対の基板搬送コンベア31が部品実装装置M3の前側・後側にそれぞれ設けられている。一対の基板搬送コンベア31は、基台30上にてY軸方向に対向して設けられた一対のコンベア支持部材32によって支持されている。各コンベア支持部材32の上端には、基板搬送コンベア31の上方に張り出して位置する一対の基板端部押え部材32aが設けられている。   Next, the configuration of the component mounting apparatuses M3 to M5 will be described with reference to FIGS. Since the component mounting apparatuses M3 to M5 have the same structure, the component mounting apparatus M3 will be described as a representative. 2 and 3, in the center of the upper surface of the base 30, a pair of board transfer conveyors 31 constituting the first transfer line L1 and the second transfer line L2 and extending in the X direction are on the front side of the component mounting apparatus M3.・ Each is provided on the rear side. A pair of board | substrate conveyance conveyors 31 are supported on the base 30 by the pair of conveyor support member 32 provided facing the Y-axis direction. At the upper end of each conveyor support member 32, a pair of substrate end pressing members 32 a are provided so as to project over the substrate transfer conveyor 31.

図3に示すように、一対の基板搬送コンベア31上に基板2が保持された状態において、当該基板2の下方には基板支持機構33が配設されている。基板支持機構33は、昇降駆動部34によって昇降する下受け基部35に複数の下受けピン36を垂直姿勢で立設させた構成となっている。この下受けピン36は下受け基部35に対して着脱自在となっている。   As shown in FIG. 3, in a state where the substrate 2 is held on a pair of substrate transfer conveyors 31, a substrate support mechanism 33 is disposed below the substrate 2. The substrate support mechanism 33 has a configuration in which a plurality of receiving pins 36 are erected in a vertical posture on a receiving base 35 that is moved up and down by a lifting drive unit 34. The lower receiving pin 36 is detachable from the lower receiving base 35.

図3において、昇降駆動部34を駆動して下受け基部35を基板2に対して下方から上昇させると(矢印a)、複数の下受けピン36の上端部に基板2の下面2aが当接し、さらに下受け基部35を上昇させると、基板2はその上面が基板端部押え部材32aの下面に当接した位置で停止する。これにより基板2は実装作業高さ位置に保持される。   In FIG. 3, when the elevating drive unit 34 is driven and the lower receiving base 35 is raised from below with respect to the substrate 2 (arrow a), the lower surface 2 a of the substrate 2 comes into contact with the upper ends of the plurality of receiving pins 36. When the lower receiving base 35 is further raised, the substrate 2 stops at a position where the upper surface thereof is in contact with the lower surface of the substrate end pressing member 32a. Thereby, the board | substrate 2 is hold | maintained in the mounting work height position.

図2において、部品実装装置M3の両側には、それぞれ部品供給部としての複数のテープフィーダ37が装着されている。テープフィーダ37は電子部品4を保持したキャリアテープ(不図示)をピッチ送りすることにより、電子部品4を部品取出位置37aに供給する機能を有する。   In FIG. 2, a plurality of tape feeders 37 as component supply units are mounted on both sides of the component mounting apparatus M3. The tape feeder 37 has a function of supplying the electronic component 4 to the component extraction position 37a by pitch-feeding a carrier tape (not shown) holding the electronic component 4.

図2および図3において、基台30上にはY軸方向に延びたY軸移動テーブル38と、Y軸移動テーブル38に対してY方向に移動自在な2つのX軸移動テーブル39と、X軸移動テーブル39に対してX軸方向に移動自在な2つのプレート40から成るヘッド移動機構41が配設されており、2つのプレート40のそれぞれには実装ヘッド42が装着されている。実装ヘッド42は複数の保持ヘッドを備えた多連型ヘッドであり、それぞれの保持ヘッドの下端部には電子部品4を吸着して保持し個別に昇降可能な吸着ノズル42aが装着されている。   2 and 3, a Y-axis movement table 38 extending in the Y-axis direction, two X-axis movement tables 39 movable in the Y direction with respect to the Y-axis movement table 38, and X A head moving mechanism 41 including two plates 40 that are movable in the X-axis direction with respect to the axis moving table 39 is disposed, and a mounting head 42 is mounted on each of the two plates 40. The mounting head 42 is a multiple-type head including a plurality of holding heads, and suction nozzles 42a capable of sucking and holding the electronic component 4 and individually moving up and down are attached to lower end portions of the respective holding heads.

また、実装ヘッド42にはX軸移動テーブル39の下面側に位置して一体的に移動し上方から基板を撮像する基板認識カメラ43と、レーザ変位計など計測軸方向(Z軸方向)の変位を非接触で検出可能な計測器である高さセンサ45が装着されている。さらに、テープフィーダ37と基板搬送コンベア31との間には、吸着ノズル42aに吸着保持された電子部品4を撮像する部品認識カメラ44が設けられている。   In addition, the mounting head 42 is positioned on the lower surface side of the X-axis moving table 39 and moves integrally to image the substrate from above, and a displacement in the measurement axis direction (Z-axis direction) such as a laser displacement meter. A height sensor 45, which is a measuring instrument that can detect non-contact, is mounted. Furthermore, a component recognition camera 44 that captures an image of the electronic component 4 sucked and held by the suction nozzle 42 a is provided between the tape feeder 37 and the substrate transport conveyor 31.

次に、図4を参照して制御系の構成を説明する。部品実装装置M3に備えられた制御部46は、機構制御部47、演算処理部48、計測点設定部49及び記憶部50を備えており、またヘッド移動機構41、実装ヘッド42、テープフィーダ37、基板搬送コンベア31、基板支持機構33、高さセンサ45、通信部51、タッチパネル52及びマウスポインタ53と接続されている。   Next, the configuration of the control system will be described with reference to FIG. The control unit 46 provided in the component mounting apparatus M3 includes a mechanism control unit 47, an arithmetic processing unit 48, a measurement point setting unit 49, and a storage unit 50, and a head moving mechanism 41, a mounting head 42, and a tape feeder 37. , The substrate transfer conveyor 31, the substrate support mechanism 33, the height sensor 45, the communication unit 51, the touch panel 52, and the mouse pointer 53.

制御部46は、機構制御部47を介してヘッド移動機構41、実装ヘッド42、テープフィーダ37及び基板支持機構33の動作を制御し、これにより基板2の位置決め及び基板2に対する部品実装作業が実行される。また図5(a)に示すように、制御部46は機構制御部47を介して基板2に対して高さセンサ45をヘッド移動機構41によって水平方向に移動させながら、基板2上の任意の位置に設定した複数の計測点Mの高さH(基板2に反りがない場合を基準とした基板2のZ軸方向の変位)を高さセンサ45によって計測する(矢印b)。   The control unit 46 controls the operations of the head moving mechanism 41, the mounting head 42, the tape feeder 37, and the board support mechanism 33 through the mechanism control unit 47, thereby performing the positioning of the board 2 and the component mounting work on the board 2. Is done. Further, as shown in FIG. 5A, the control unit 46 moves any height sensor 45 on the substrate 2 while moving the height sensor 45 in the horizontal direction by the head moving mechanism 41 with respect to the substrate 2 via the mechanism control unit 47. Height H (displacement in the Z-axis direction of the substrate 2 with reference to the case where the substrate 2 is not warped) is measured by the height sensor 45 (arrow b).

計測結果は演算処理部48に送られ、当該演算処理部48が送られてきた計測結果に基づいて計測点Mの高さを演算処理することによって基板2上面の三次元形状、すなわち基板2の反り変形状態が検出される。このように本実施の形態において、機構制御部47、ヘッド移動機構41及び高さセンサ45は、基板2上に設定された複数の計測点Mの高さHを計測する高さ計測手段となっている。また演算処理部48は、高さ計測手段による計測結果に基づいて基板2の反り変形状態を検出する検出手段となっている。   The measurement result is sent to the arithmetic processing unit 48, and the three-dimensional shape of the upper surface of the substrate 2, that is, the substrate 2 is processed by calculating the height of the measurement point M based on the measurement result sent by the arithmetic processing unit 48. A warp deformation state is detected. As described above, in the present embodiment, the mechanism control unit 47, the head moving mechanism 41, and the height sensor 45 serve as a height measuring unit that measures the height H of a plurality of measurement points M set on the substrate 2. ing. The arithmetic processing unit 48 serves as a detection unit that detects a warp deformation state of the substrate 2 based on a measurement result obtained by the height measurement unit.

そして、制御部46は基板2の反り変形状態の検出結果に応じて部品実装動作時における部品実装高さを補正する。ここで部品実装高さとは、吸着ノズル42aの下降動作前における、吸着ノズル42aに吸着保持された電子部品4の下面と基板2の上面との距離、換言すれば基板2に対する吸着ノズル42aの下降距離(図6に示す部品実装高さL)をいう。   And the control part 46 correct | amends the component mounting height at the time of component mounting operation | movement according to the detection result of the curvature deformation state of the board | substrate 2. FIG. Here, the component mounting height is the distance between the lower surface of the electronic component 4 sucked and held by the suction nozzle 42a and the upper surface of the substrate 2 before the suction nozzle 42a is lowered, in other words, the lowering of the suction nozzle 42a with respect to the substrate 2. This is the distance (component mounting height L shown in FIG. 6).

図5(b)に示すように、制御部46はタッチパネル52に基板2の画像を表示し、作業者は制御部46によって表示された基板2の画像上で計測点Mの設定を行うことができる。計測点Mの設定は、例えばマウスポインタ53で画像上の所望の位置をクリックすることで行う。計測点設定部49は、作業者によって基板2上の計測点Mが設定されたら、その設定された位置から計測点Mの座標を算出して記憶する。このような計測点の設定方法は公知である。記憶部50は、基板搬送動作や部品実装動作を実行するための必要な実装プログラムや生産情報を記憶する。   As shown in FIG. 5B, the control unit 46 displays the image of the substrate 2 on the touch panel 52, and the operator can set the measurement point M on the image of the substrate 2 displayed by the control unit 46. it can. The measurement point M is set by clicking a desired position on the image with the mouse pointer 53, for example. When the measurement point M on the substrate 2 is set by the operator, the measurement point setting unit 49 calculates and stores the coordinates of the measurement point M from the set position. Such a measuring point setting method is known. The storage unit 50 stores a mounting program and production information necessary for executing a board transfer operation and a component mounting operation.

通信部51は図1に示す通信ネットワーク6を介して他装置との間で制御信号やデータの授受を行う。タッチパネル52は前述した計測点Mの設定を含めた装置稼働のための操作入力、生産データに用いられ、また制御部46からの出力情報を表示する。   The communication unit 51 exchanges control signals and data with other devices via the communication network 6 shown in FIG. The touch panel 52 is used for operation input and production data for operating the apparatus including the setting of the measurement point M described above, and displays output information from the control unit 46.

次に、部品実装装置M3における動作について説明する。制御部46は上流側の装置から基板2が送られてきたことを検知すると、基板搬送コンベア31を動作させて基板2を受け取って搬送し、所定の部品実装位置に基板2を位置決めする。次いで、制御部46は昇降駆動部34を駆動して下受けピン36が装着された下受け基部35を基板2に対して下方から上昇させることで、基板2の下面に下受けピン36の上端を当接させる。この状態でさらに下受け基部35が上昇すると、基板2は下受けピン36により下面を支持された状態のままその上面が基板端部押え部材32aの下面に当接した位置で停止する。   Next, the operation in the component mounting apparatus M3 will be described. When the control unit 46 detects that the board 2 has been sent from the upstream apparatus, it operates the board transfer conveyor 31 to receive and transfer the board 2, and positions the board 2 at a predetermined component mounting position. Next, the control unit 46 drives the elevating drive unit 34 to raise the lower receiving base 35 to which the lower receiving pin 36 is attached from below, so that the upper end of the lower receiving pin 36 is placed on the lower surface of the substrate 2. Abut. When the lower receiving base 35 further rises in this state, the substrate 2 stops at a position where the upper surface abuts on the lower surface of the substrate end pressing member 32a while the lower surface is supported by the lower receiving pins 36.

基板2の上面が基板端部押え部材32aの下面に当接した位置で停止したならば、制御部46はヘッド移動機構41を駆動することにより基板認識カメラ43を基板2の上方に移動させて基板2を撮像し、基板2の位置ずれを検出する。基板2の位置ずれを検出後、制御部46は基板2に対して高さセンサ45を水平方向に移動させながら、基板2上にて設定された複数の計測点Mの高さを高さセンサ45によって計測する。計測結果は演算処理部48に送られ、計測点Mの高さを当該演算処理部48が演算処理することで、基板2の反り変形状態が検出される。   If the upper surface of the substrate 2 stops at a position where it contacts the lower surface of the substrate end pressing member 32a, the control unit 46 drives the head moving mechanism 41 to move the substrate recognition camera 43 above the substrate 2. The board | substrate 2 is imaged and the position shift of the board | substrate 2 is detected. After detecting the displacement of the substrate 2, the control unit 46 moves the height sensor 45 in the horizontal direction with respect to the substrate 2, and determines the heights of the plurality of measurement points M set on the substrate 2 as height sensors. Measure by 45. The measurement result is sent to the calculation processing unit 48, and the calculation processing unit 48 calculates the height of the measurement point M, thereby detecting the warped deformation state of the substrate 2.

次いで、制御部46は実装ヘッド42をテープフィーダ37の部品取出位置37a上に移動させ、部品取出位置37a上にて吸着ノズル42aを下降させることにより吸着ノズル42aに電子部品4を吸着保持させる。電子部品4の吸着保持後、制御部46は電子部品4を保持した実装ヘッド42を部品認識カメラ44の上方に移動させ、部品認識カメラ44にて吸着ノズル42aに吸着保持された電子部品4を撮像して認識し、電子部品4の吸着ノズル42aに対する位置ずれを検出する。   Next, the control unit 46 moves the mounting head 42 onto the component extraction position 37a of the tape feeder 37, and lowers the suction nozzle 42a on the component extraction position 37a, thereby holding the electronic component 4 on the suction nozzle 42a. After sucking and holding the electronic component 4, the control unit 46 moves the mounting head 42 holding the electronic component 4 above the component recognition camera 44, and moves the electronic component 4 sucked and held by the suction nozzle 42 a by the component recognition camera 44. An image is captured and recognized, and a positional shift of the electronic component 4 with respect to the suction nozzle 42a is detected.

位置ずれ検出後、制御部46は実装ヘッド42を基板2の上方に移動させて位置合わせし、吸着ノズル42aを基板2に対して下降(図6(a)、(b)に示す矢印c)させることにより電子部品4を基板2に実装する。このとき、制御部46は基板2の反り変形状態の検出結果に応じて部品実装高さLを補正するとともに、部品認識カメラ44による電子部品4の認識結果と、基板認識カメラ43による基板2の認識結果とを加味した実装位置補正をしたうえで、電子部品4の実装作業を行う。   After detecting the displacement, the control unit 46 moves the mounting head 42 above the substrate 2 to align it, and lowers the suction nozzle 42a relative to the substrate 2 (arrow c shown in FIGS. 6A and 6B). As a result, the electronic component 4 is mounted on the substrate 2. At this time, the control unit 46 corrects the component mounting height L according to the detection result of the warped deformation state of the substrate 2, and also recognizes the recognition result of the electronic component 4 by the component recognition camera 44 and the substrate 2 by the substrate recognition camera 43. The mounting operation of the electronic component 4 is performed after correcting the mounting position in consideration of the recognition result.

図6(a)、(b)を用いて部品実装高さLの補正について具体的に説明する。図6(a)に示すように、基板2の反り変形状態が上に凸である場合、反り変形がないと仮定した基板2に対する吸着ノズル42aの部品実装高さL0から、検出した基板2の反り形状から得られる実装点Δh1の高さを差し引いて求めた高さが補正後の部品実装高さLとなる。また図6(b)に示すように、基板2の反り変形状態が下に凸である場合、反り変形がないと仮定した基板2に対する吸着ノズル42aの部品実装高さL0に、検出した基板2の反り形状から得られる実装点Δh2の高さを加算した高さが補正後の部品実装高さLとなる。部品実装装置M3〜M5のうち最下流に配設された部品実装装置M5にて実装作業を終えた実装基板5は、下流の実装部品検査装置M6に搬送される。   The correction of the component mounting height L will be specifically described with reference to FIGS. 6 (a) and 6 (b). As shown in FIG. 6A, when the warped deformation state of the substrate 2 is convex upward, the detected component of the substrate 2 is detected from the component mounting height L0 of the suction nozzle 42a with respect to the substrate 2 that is assumed not to be warped. The height obtained by subtracting the height of the mounting point Δh1 obtained from the warped shape is the component mounting height L after correction. Further, as shown in FIG. 6B, when the warped deformation state of the substrate 2 is convex downward, the detected substrate 2 is set to the component mounting height L0 of the suction nozzle 42a with respect to the substrate 2 assuming that there is no warp deformation. The height obtained by adding the height of the mounting point Δh2 obtained from the warped shape is the component mounting height L after correction. The mounting substrate 5 that has been mounted by the component mounting apparatus M5 disposed at the most downstream of the component mounting apparatuses M3 to M5 is transported to the downstream mounting component inspection apparatus M6.

上記構成において、本実施の形態における部品実装装置M3〜M5は、基板上における複数の計測点の高さを計測することによって基板の反り変形状態を検出し、基板の反り変形状態に応じて部品実装高さを補正して基板上に設定された複数の部品実装位置に部品の実装を行う機能を有する。   In the above configuration, the component mounting apparatuses M3 to M5 in the present embodiment detect the warped deformation state of the substrate by measuring the height of a plurality of measurement points on the substrate, and the components according to the warped deformation state of the substrate. It has a function of mounting a component at a plurality of component mounting positions set on the substrate by correcting the mounting height.

次に、実装部品検査装置M6について、図7〜図12を用いて説明する。図7および図8において実装部品検査装置M6は、基台60と、基台60に設けられ電子部品4が実装された実装基板5の搬送及び実装基板5を検査位置に位置決めする一対の基板搬送コンベア61と、基台60に設けられたヘッド移動機構62と、ヘッド移動機構62によって移動される実装状態検査ヘッド63を備えて成る。また、基台60には入出力装置としてのタッチパネル64が備えられている。   Next, the mounting component inspection apparatus M6 will be described with reference to FIGS. 7 and 8, the mounting component inspection apparatus M6 includes a base 60, a transport of the mounting substrate 5 on which the electronic component 4 is mounted, and a pair of substrate transports that position the mounting substrate 5 at the inspection position. A conveyor 61, a head moving mechanism 62 provided on the base 60, and a mounting state inspection head 63 moved by the head moving mechanism 62 are provided. The base 60 is provided with a touch panel 64 as an input / output device.

一対の基板搬送コンベア61はX方向に延びた状態で実装部品検査装置M6の前側・後側にそれぞれ設けられており、各基板搬送コンベア61はそれぞれ第1搬送ラインL1、第2搬送ラインL2の一部を構成している。ヘッド移動機構62は基台60上にY軸方向に延びたY軸移動テーブル65と、Y軸移動テーブル65に対してY方向に移動自在な2つのX軸移動テーブル66と、X軸移動テーブル66に対してX軸方向に移動自在な2つのプレート67から成る。実装状態検査ヘッド63は各プレート67に取り付けられており、また撮像視野を下方に向けた検査カメラ63aを備えている。このため実装状態検査ヘッド63は、ヘッド移動機構62を構成するY軸移動テーブル65に対するX軸移動テーブル66のY方向への移動動作と、X軸移動テーブル66に対するプレート67のX方向への移動動作とを組み合わせることによって水平面内で移動させることができる。   The pair of board transfer conveyors 61 are provided on the front side and the rear side of the mounting component inspection apparatus M6 in a state extending in the X direction, and each board transfer conveyor 61 has a first transfer line L1 and a second transfer line L2, respectively. Part of it. The head moving mechanism 62 includes a Y-axis moving table 65 extending on the base 60 in the Y-axis direction, two X-axis moving tables 66 that are movable in the Y direction with respect to the Y-axis moving table 65, and an X-axis moving table. It consists of two plates 67 that are movable in the X-axis direction with respect to 66. The mounting state inspection head 63 is attached to each plate 67 and includes an inspection camera 63a with the imaging field of view facing downward. For this reason, the mounting state inspection head 63 moves the X-axis movement table 66 in the Y direction relative to the Y-axis movement table 65 constituting the head movement mechanism 62 and moves the plate 67 in the X direction relative to the X-axis movement table 66. It can be moved in the horizontal plane by combining with movement.

基板搬送コンベア61による実装基板5の搬送動作は、実装部品検査装置M6が備える制御部68が有する機構制御部69が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送コンベア駆動部の作動制御を行うことによってなされ、また実装状態検査ヘッド63の移動動作は、同じく機構制御部69が前述のヘッド移動機構62の作動制御を行うことによってなされる。   The operation of transporting the mounting substrate 5 by the substrate transporting conveyor 61 is performed by the mechanism control unit 69 included in the control unit 68 included in the mounting component inspection apparatus M6 performing operation control of a substrate transporting conveyor driving unit including an actuator (not shown). Similarly, the movement operation of the mounting state inspection head 63 is performed by the mechanism control unit 69 controlling the operation of the head movement mechanism 62 described above.

次に図8を参照して、実装部品検査装置M6の制御系の構成について説明する。制御部68は機構制御部69、検査処理部70、記憶部71を有している。検査処理部70は画像処理部70a、良否検査部70b、カウント部70c、統計処理部70d、判断部70e、表示処理部70fから構成されている。また記憶部71はプログラム記憶部72、検査用データ記憶部73、検査済実装基板目標枚数記憶部74、実装不良累積データ記憶部75、実装不良判定割合しきい値記憶部76から構成されている。   Next, the configuration of the control system of the mounted component inspection apparatus M6 will be described with reference to FIG. The control unit 68 includes a mechanism control unit 69, an inspection processing unit 70, and a storage unit 71. The inspection processing unit 70 includes an image processing unit 70a, a pass / fail inspection unit 70b, a count unit 70c, a statistical processing unit 70d, a determination unit 70e, and a display processing unit 70f. The storage unit 71 includes a program storage unit 72, an inspection data storage unit 73, an inspected mounting board target number storage unit 74, a mounting failure cumulative data storage unit 75, and a mounting failure determination ratio threshold value storage unit 76. .

制御部68には前述のタッチパネル64が接続されており、タッチパネル64からの入力信号が制御部68に入力され、タッチパネル64には制御部68からの出力情報が表示される。即ち、タッチパネル64の出力動作は制御部68によって制御される。   The above-described touch panel 64 is connected to the control unit 68, an input signal from the touch panel 64 is input to the control unit 68, and output information from the control unit 68 is displayed on the touch panel 64. That is, the output operation of the touch panel 64 is controlled by the control unit 68.

次に、記憶部71について説明する。プログラム記憶部72には、ヘッド移動機構62、実装状態検査ヘッド63による検査動作のための処理プログラムが記憶されている。検査用データ記憶部73には部品実装位置データ73a、実装部品データ73b、及び検査しきい値データ73cが記憶されている。部品実装位置データ73aは、基板2において電子部品4が実装される部品実装位置の基板2における座標位置を示すデータである。実装部品データ73bは、各部品実装位置に実装される電子部品4の種類を示すデータである。検査しきい値データ73cは、電子部品4の正規位置に対する許容位置ずれ量を定めたデータである。検査済実装基板目標枚数記憶部74は、後述する実装不良判定割合の算出に必要な検査済み実装基板5の目標となる枚数を記憶する。実装不良累積データ記憶部75は、統計処理部70dにて統計処理された各部品実装位置における実装不良累積データを記憶する。実装不良判定割合しきい値記憶部76は、後述する実装不良詳細画像83にて推定不良要因を表示するか否かのしきい値を記憶する。   Next, the storage unit 71 will be described. The program storage unit 72 stores a processing program for an inspection operation by the head moving mechanism 62 and the mounting state inspection head 63. The inspection data storage unit 73 stores component mounting position data 73a, mounting component data 73b, and inspection threshold data 73c. The component mounting position data 73a is data indicating the coordinate position on the board 2 of the component mounting position where the electronic component 4 is mounted on the board 2. The mounted component data 73b is data indicating the type of the electronic component 4 mounted at each component mounting position. The inspection threshold data 73c is data that defines an allowable positional deviation amount with respect to the normal position of the electronic component 4. The inspected mounting board target number storage unit 74 stores the target number of inspected mounting boards 5 necessary for the calculation of a mounting defect determination ratio described later. The mounting failure accumulation data storage unit 75 stores mounting failure accumulation data at each component mounting position subjected to statistical processing by the statistical processing unit 70d. The mounting failure determination ratio threshold value storage unit 76 stores a threshold value as to whether or not to display an estimated failure factor in a mounting failure detail image 83 to be described later.

次に、機構制御部69について説明する。機構制御部69は、基板搬送コンベア61、ヘッド移動機構62、検査カメラ63aを含む実装状態検査ヘッド63、及び実装状態検査ヘッド63の撮像制御を行うCCU(カメラコントロールユニット)77の検査処理実行に供する機構部78を制御する。   Next, the mechanism control unit 69 will be described. The mechanism control unit 69 executes inspection processing of a substrate transport conveyor 61, a head moving mechanism 62, a mounting state inspection head 63 including an inspection camera 63a, and a CCU (camera control unit) 77 that performs imaging control of the mounting state inspection head 63. The mechanism 78 to be provided is controlled.

次に、検査処理部70について説明する。画像処理部70aはCCU77を介して実装状態検査ヘッド63によって撮像された実装基板5の画像データを受信し、所定の部品実装位置に対する電子部品4の位置ずれ検出等の所定の画像処理を行う。良否検査部70bは画像処理部70aによって処理された画像処理結果と、検査用データ記憶部73に記憶された各データとを比較することによって電極3に電子部品4が正常に実装されているか否かの部品実装状態の良否を判定し、判定結果を統計処理部70dに出力する。具体的には、電子部品4の所定の部品実装位置に対するずれ量が検査しきい値データ73cに記憶されているしきい値を超えている場合には実装不良と判定する。即ち、画像処理部70a及び良否検査部70bは、撮像手段による撮像結果に基づいて実装状態の良否を判定して判定結果を出力する判定手段となっている。   Next, the inspection processing unit 70 will be described. The image processing unit 70a receives the image data of the mounting board 5 imaged by the mounting state inspection head 63 via the CCU 77, and performs predetermined image processing such as detection of positional deviation of the electronic component 4 with respect to a predetermined component mounting position. The pass / fail inspection unit 70b compares the image processing result processed by the image processing unit 70a with each data stored in the inspection data storage unit 73 to determine whether or not the electronic component 4 is normally mounted on the electrode 3. The quality of the component mounting state is determined, and the determination result is output to the statistical processing unit 70d. Specifically, if the amount of deviation of the electronic component 4 from the predetermined component mounting position exceeds the threshold value stored in the inspection threshold value data 73c, it is determined that the mounting is defective. That is, the image processing unit 70a and the quality inspection unit 70b are determination units that determine the quality of the mounting state based on the imaging result of the imaging unit and output the determination result.

この判定手段による判定結果の出力に際しては実装不良の判定のみならず、実装不良の種類も併せて出力する。具体的には、判定手段は電子部品4の実装位置が正規位置から外れた場合には「部品位置ずれNG」と判定し、部品実装位置に電子部品4が実装されていない場合には「部品無しNG」と判定し、電子部品4が表裏反転して実装された場合には「反転NG」と判定し、電子部品4の実装方向が誤った状態で実装された場合には「極性NG」と判定し、部品実装位置に異物が混入している場合には「異物NG」と判定する。   When the determination result is output by this determination means, not only the mounting failure is determined but also the type of mounting failure is output together. Specifically, the determination means determines “component position deviation NG” when the mounting position of the electronic component 4 deviates from the normal position, and “parts” when the electronic component 4 is not mounted at the component mounting position. If the electronic component 4 is mounted upside down, it is determined as “reversed NG”, and if the electronic component 4 is mounted in the wrong mounting direction, “polarity NG” is determined. If foreign matter is mixed in the component mounting position, it is judged as “foreign matter NG”.

カウント部70cは、判定手段によって実装状態の良否の判定を終えた検査済み実装基板5の枚数をカウントし、検査済み実装基板5の枚数が検査済実装基板目標枚数記憶部74に記憶された枚数に達したと判断した場合、統計処理部70dに対して後述する実装不良判定割合を算出するよう指令を出す。   The counting unit 70c counts the number of inspected mounting boards 5 that have been determined by the determination unit to determine whether the mounting state is good, and the number of inspected mounting boards 5 is stored in the inspected mounting board target number storage unit 74. When it is determined that the value has reached, a command is issued to the statistical processing unit 70d so as to calculate a mounting failure determination ratio described later.

統計処理部70dは判定手段による実装基板5毎の判定結果を累積集計し、所定の統計処理を行う。具体的には、部品実装位置毎に実装不良と判定された回数をカウントするとともに、実装基板5の各部品実装位置における実装不良の種類の割合を算出する。さらに統計処理部70dは、カウント部70cからの指令を受けて統計処理結果を実装不良累積データ記憶部75に出力するとともに、各部品実装位置において実装不良と判定された割合を算出し、算出結果を実装不良累積データ記憶部75に出力する。実装不良の判定割合は、各部品実装位置において実装不良と判定された回数から検査を終えた実装基板5の枚数を除算することによって算出される。即ち統計処理部70dは、判定手段において実装不良と判定された割合を部品実装位置毎に算出する実装不良判定割合算出手段となっている。   The statistical processing unit 70d accumulates and aggregates the determination results for each mounting board 5 by the determination unit, and performs predetermined statistical processing. Specifically, the number of times that mounting failure is determined for each component mounting position is counted, and the proportion of types of mounting failures at each component mounting position on the mounting substrate 5 is calculated. Further, the statistical processing unit 70d receives a command from the counting unit 70c, outputs the statistical processing result to the mounting failure accumulated data storage unit 75, calculates the proportion determined to be mounting failure at each component mounting position, and calculates the result. Is output to the mounting failure accumulation data storage unit 75. The mounting failure determination ratio is calculated by dividing the number of mounted substrates 5 that have been inspected from the number of mounting failures determined at each component mounting position. That is, the statistical processing unit 70d serves as a mounting failure determination ratio calculation unit that calculates the ratio determined as mounting failure by the determination unit for each component mounting position.

判断部70eは、統計処理部70dによって算出された各部品実装位置における実装不良の判定割合が、実装不良判定割合しきい値記憶部76に記憶されているしきい値を超えているか否かを判断する。そして、実装不良判定割合がしきい値を超えたと判断した場合、当該しきい値を超えたと判断された部品実装位置に対して後述する推定不良要因の表示処理を行うよう表示処理部70fに指令を出す。即ち判断部70eは、判定手段において実装不良と判定された割合が所定の条件を満たしたか否かを部品実装位置毎に判断する判断手段となっている。   The determination unit 70e determines whether or not the mounting failure determination rate at each component mounting position calculated by the statistical processing unit 70d exceeds the threshold value stored in the mounting failure determination rate threshold storage unit 76. to decide. When it is determined that the mounting defect determination ratio exceeds the threshold value, the display processing unit 70f is instructed to perform a display process of an estimated defect factor described later on the component mounting position determined to exceed the threshold value. Put out. That is, the determination unit 70e is a determination unit that determines, for each component mounting position, whether or not the ratio determined as a mounting failure by the determination unit satisfies a predetermined condition.

表示処理部70fは、検査を受けた実装基板5の部品実装位置を示す画像をタッチパネル64に表示する。また、実装不良累積データ記憶部75に記憶された各部品実装位置における統計処理データを表示処理し、タッチパネル64に出力する。さらに、判断部70eによって実装不良判定割合が所定のしきい値を超えたと判断された部品実装位置に対して、後述する推定不良要因の表示処理を行う。   The display processing unit 70 f displays on the touch panel 64 an image indicating the component mounting position of the mounting board 5 that has been inspected. Further, the statistical processing data at each component mounting position stored in the mounting failure accumulation data storage unit 75 is displayed and output to the touch panel 64. Further, an estimated defect factor display process, which will be described later, is performed on the component mounting position at which the determination unit 70e determines that the mounting defect determination ratio has exceeded a predetermined threshold.

図9は、実装不良累積データ記憶部75に記憶されたデータを表示処理部70fによって表示処理してタッチパネル64に表示した画像を示している。タッチパネル64に表示される画像には基板2上にて実装不良と判定された箇所を部品実装位置毎に表示する部品実装位置マップ79が含まれている。   FIG. 9 shows an image displayed on the touch panel 64 by display processing of the data stored in the mounting failure accumulation data storage unit 75 by the display processing unit 70f. The image displayed on the touch panel 64 includes a component mounting position map 79 that displays, for each component mounting position, a portion determined to be defective on the board 2.

制御部68が行う部品実装位置マップ79における実装不良箇所の表示方法について詳しく説明する。タッチパネル64に表示された累積表示ボタン80を作業員が操作すると、表示処理部70fは部品実装位置マップ79に表示された実装基板の画像上において、実装不良が発生した部品実装位置に対して実装不良判定データを表示する。本実施の形態では実装不良判定データの表示方法として、部品実装位置マップ79にて実装不良と判定された部品実装位置にプロットマークPを用いて表示し、且つ実装不良の判定割合に応じてプロットマークPの色を異ならしめている。プロットマークPの色の割り当ては、タッチパネル64に表示されるカラー参照欄81によって確認することができる。これにより作業員は、部品実装位置マップ79上に表示されたプロットマークPの色をカラー参照欄81と対比することにより、実装不良の判定割合を視覚的に知ることができる。   The display method of the mounting failure location in the component mounting position map 79 performed by the control unit 68 will be described in detail. When the operator operates the cumulative display button 80 displayed on the touch panel 64, the display processing unit 70f is mounted on the component mounting position where the mounting defect has occurred on the image of the mounting board displayed on the component mounting position map 79. Display defect determination data. In the present embodiment, as a method for displaying mounting failure determination data, display is made using a plot mark P at a component mounting position determined as a mounting failure in the component mounting position map 79, and plotting is performed according to a mounting failure determination ratio. The color of the mark P is made different. The color assignment of the plot mark P can be confirmed by the color reference column 81 displayed on the touch panel 64. Thus, the worker can visually know the mounting failure determination ratio by comparing the color of the plot mark P displayed on the component mounting position map 79 with the color reference field 81.

なお、実装不良の判定割合に応じて割り当てられるプロットマークPの色、プロットマークPの色を割り当てる数値の範囲等は任意に設定可能である。そして制御部68は、作業員によってタッチパネル64に表示された累積リセットボタン82が操作された場合には、記憶した実装不良累積データをリセットし、その時点から判定結果の累積記憶を新たに開始する。   The color of the plot mark P assigned in accordance with the mounting failure determination ratio, the range of numerical values to which the color of the plot mark P is assigned, etc. can be arbitrarily set. When the cumulative reset button 82 displayed on the touch panel 64 is operated by the worker, the control unit 68 resets the stored mounting failure cumulative data, and newly starts the cumulative storage of the determination result from that point. .

上記構成において、実装不良累積データ記憶部75は、判定結果を複数の実装基板5について部品実装位置毎に累積記憶する記憶手段となっており、表示処理部70f及びタッチパネル64は、実装基板5における部品実装位置を部品実装位置マップ79として視覚的に画像表示する部品実装位置マップ表示手段となっている。また統計処理部70d及び表示処理部70fは、部品実装位置マップ79上において部品実装位置毎に累積記憶された判定結果を表示する判定結果累積表示手段を構成する。   In the above configuration, the mounting failure accumulation data storage unit 75 is a storage unit that accumulates and stores the determination results for each of the component mounting positions for the plurality of mounting boards 5, and the display processing unit 70 f and the touch panel 64 are provided on the mounting board 5. The component mounting position map display means visually displays the component mounting position as a component mounting position map 79. The statistical processing unit 70d and the display processing unit 70f constitute a determination result accumulation display unit that displays the determination result accumulated and stored for each component mounting position on the component mounting position map 79.

部品実装位置マップ79上にて表示されるプロットマークPを作業員が選択すると、制御部68は当該プロットマークPにおける実装不良の詳細な情報を表示する実装不良詳細画像83をタッチパネル64に表示する。実装不良詳細画像83には、部品実装位置マップ79に表示された検査対象である実装基板5の品種を示す「基板No.」、多面取り基板の場合には、当該部品実装位置が属するパターンを示す「パターンNo.」、選択した部品実装位置において実装された電子部品4の基板2における実装順序を示す「ブロックNo.」、選択した部品実装位置において電子部品4の実装作業を行った部品実装装置M3〜M5を示す「実装マシンNo.」、前記「実装マシンNo.」にて示された部品実装装置M3〜M5に備えられた複数の吸着ノズル42aのうち、選択した部品実装位置に実装された電子部品4の実装作業に用いられた吸着ノズル42aを示す「使用ノズルNo.」、選択した部品実装位置に実装された電子部品4を供給したテープフィーダ37を示す「供給フィーダNo.」、選択した部品実装位置における電子部品4の位置ずれや部品無し等、実装不良の具体的な内容を示す「不良内容」、及び「推定不良要因:基板の反り変形状態の検出不良。計測点の設定状況を確認。」という文言が含まれる。   When the operator selects a plot mark P displayed on the component mounting position map 79, the control unit 68 displays a mounting defect detailed image 83 on the touch panel 64, which displays detailed information on the mounting defect in the plot mark P. . In the mounting failure detailed image 83, “board No.” indicating the type of the mounting board 5 to be inspected displayed on the component mounting position map 79, and in the case of a multi-sided board, a pattern to which the component mounting position belongs is displayed. “Pattern No.”, “Block No.” indicating the mounting order of the electronic component 4 mounted at the selected component mounting position on the substrate 2, and component mounting where the electronic component 4 is mounted at the selected component mounting position Mounted at the selected component mounting position among the plurality of suction nozzles 42a provided in the component mounting apparatuses M3 to M5 indicated by the “mounting machine No.” indicating the devices M3 to M5 and the “mounting machine No.”. “Use nozzle No.” indicating the suction nozzle 42a used for the mounting operation of the electronic component 4 that was mounted, and the tape cartridge that supplied the electronic component 4 mounted at the selected component mounting position. "Supplier Feeder No." indicating the feeder 37, "Defective content" indicating the specific content of mounting failure such as misalignment of the electronic component 4 at the selected component mounting position or no component, etc., and "Estimated failure factor: board "The detection state of the warp deformation state is poor. Check the measurement point setting status."

上述した実装不良詳細画像83のうち「不良内容」については、選択した部品実装位置における実装不良の内容は単位実装基板毎に異なる場合があるので、「部品位置ずれNG」、「部品無しNG」、「反転NG」、「極性NG」、「異物混入NG」の発生比率が円グラフとして表示される。これにより、各部品実装位置における実装不良の詳細を容易に把握することができる。また「推定不良要因:基板の反り変形状態の検出不良。計測点の設定状況を確認。」の文言は、プロットマークPが表示された部品実装位置のうち、実装不良と判定された割合が、実装不良判定割合しきい値記憶部76に記憶されているしきい値を超えたと判断部70eが判断した部品実装位置に対して表示される。例えば、ある部品実装位置における実装不良の判定割合が41%を超えたと判断部70eが判断した場合、判断部70eはその判断結果を表示処理部70fに出力し、表示処理部70fが当該判断結果に基づきタッチパネル64に上記文言の表示処理を行う。なお、しきい値は作業員が任意に設定するようにしてもよい。   Regarding the “defect content” in the detailed mounting defect image 83 described above, since the content of the mounting defect at the selected component mounting position may be different for each unit mounting board, “component misalignment NG”, “no component NG”. , “Inversion NG”, “Polarity NG”, and “Foreign matter mixed NG” occurrence ratios are displayed as a pie chart. Thereby, it is possible to easily grasp the details of the mounting failure at each component mounting position. In addition, the phrase “estimated failure factor: detection failure of the warp deformation state of the substrate. Check the setting state of the measurement point.” Is the ratio of the component mounting position where the plot mark P is displayed is determined as mounting failure. Displayed for the component mounting position determined by the determination unit 70e that the threshold stored in the mounting failure determination rate threshold storage unit 76 has been exceeded. For example, when the determination unit 70e determines that the mounting failure determination ratio at a certain component mounting position exceeds 41%, the determination unit 70e outputs the determination result to the display processing unit 70f, and the display processing unit 70f outputs the determination result. Based on the above, the above-mentioned wording is displayed on the touch panel 64. The threshold value may be arbitrarily set by the worker.

上述のように、基板2に電子部品4を実装して実装基板5を製造する電子部品実装においては、複数の部品実装位置にて実装不良が発生し得る。また、部品実装位置毎における実装不良の判定割合や実装不良の具体的な内容も様々である。このような実装不良の発生は実装基板5の品質に重大な影響を及ぼすので、実装不良の判定割合が高い部品実装位置が発生した場合、作業員は実装不良と判定された原因をつきとめて迅速な対策をとる必要がある。ここで、制御部68によって実装不良詳細画像83に推定不良要因が表示されるのは、実装不良と判定された原因の一つとして基板2の反り変形状態の検出が不十分であることが考えられるものの、経験の浅い作業員はその原因を容易に理解することができず、具体的な対策を講じることができない傾向にあり、上記文言の表示に接した作業者は速やかにプロットマークPが表示された箇所の部品実装位置近傍における計測点Mの設定状況を確認し、計測点Mが設定されていなかったならば当該部品実装位置近傍に計測点Mを新たに追加して設定する等の対策をとることができる。以下、基板の反り変形状態の検出不良によって発生し得る実装不良の内容とその対策方法について説明する。   As described above, in electronic component mounting in which the electronic component 4 is mounted on the substrate 2 and the mounting substrate 5 is manufactured, mounting defects may occur at a plurality of component mounting positions. In addition, there are various mounting failure determination ratios and specific contents of mounting failures for each component mounting position. The occurrence of such a mounting defect has a significant effect on the quality of the mounting board 5. Therefore, when a component mounting position having a high mounting failure determination ratio occurs, the worker quickly identifies the cause of the mounting defect and determines the cause. It is necessary to take appropriate measures. Here, the reason why the estimated defective factor is displayed in the mounting defect detailed image 83 by the control unit 68 is considered to be insufficient detection of the warped deformation state of the substrate 2 as one of the causes determined to be mounting defects. However, inexperienced workers cannot easily understand the cause and tend to be unable to take concrete measures. The setting state of the measurement point M in the vicinity of the component mounting position of the displayed location is confirmed. If the measurement point M is not set, a measurement point M is newly added and set in the vicinity of the component mounting position. Measures can be taken. Hereinafter, the contents of mounting defects that may occur due to the detection failure of the warped deformation state of the substrate and countermeasures for them will be described.

前述のとおり、基板2の反り変形状態は作業員によって設定された計測点Mでの基板2の高さに基づいて検出されるが、計測点M以外の高さは補完式に基づいた推定値にすぎない。このため、ある部品実装位置にて局部的な反り変形が生じており、且つ当該位置若しくはその近傍に計測点Mが設定されていない場合、当該部品実装位置における反り変形状態は精密に検出されない。図10(a)に示すプロットマークP1は、計測点Mがその近傍に設定されていないために部品実装高さLが適切に設定されず、実装不良が連続的に発生した部品実装位置を示す。このプロットマークP1で示される部品実装位置でのより正確な高さを求めるためには、その位置若しくはその近傍領域に新たに計測点MAを追加設定して反り変形状態の検出をやり直す必要がある。   As described above, the warped deformation state of the substrate 2 is detected based on the height of the substrate 2 at the measurement point M set by the worker, but the heights other than the measurement point M are estimated values based on a complementary expression. Only. For this reason, when a local warpage deformation has occurred at a certain component mounting position and the measurement point M is not set at or near the position, the warpage deformation state at the component mounting position is not accurately detected. A plot mark P1 shown in FIG. 10A indicates a component mounting position where the component mounting height L is not appropriately set because the measurement point M is not set in the vicinity thereof, and mounting defects continuously occur. . In order to obtain a more accurate height at the component mounting position indicated by the plot mark P1, it is necessary to newly set a measurement point MA at the position or the vicinity thereof and detect the warped deformation state again. .

図10(b)は、作業員がプロットマークP1の近傍に新たに計測点MAを追加設定した状態を示している。これにより、部品実装装置M3〜M5の制御部46は既に設定されている計測点Mに加え、新たに追加設定した計測点MAも含めて基板2の反り変形状態を改めて検出し、以後の部品実装においてはこの改めて検出した基板2の反り変形状態に基づいて高さの補正を行って電子部品4を基板2に実装する。   FIG. 10B shows a state in which the worker newly sets a measurement point MA in the vicinity of the plot mark P1. As a result, the control unit 46 of the component mounting apparatuses M3 to M5 detects the warped deformation state of the board 2 again including the newly set measurement point MA in addition to the measurement point M that has already been set. In mounting, the electronic component 4 is mounted on the board 2 by correcting the height based on the warped deformation state of the board 2 detected again.

上記構成において、タッチパネル64及びその制御を行う制御部68は、判断手段において実装不良と判定された割合が所定の条件を満たしたと判断された部品実装位置について、当該部品実装位置の近傍の計測点の設定状況を確認する旨の報知を行う報知手段となっている。また、部品実装装置M3〜M5が備える制御部46、タッチパネル52及びマウスポインタ53は、実装部品検査装置M6により報知された部品実装位置の近傍に、新たに計測点を追加して設定する計測点設定手段となっている。そして本実施の形態における部品実装システムは、上述した部品実装装置M3〜M5と実装部品検査装置M6を含んだ形態となっている。   In the above-described configuration, the touch panel 64 and the control unit 68 that controls the touch panel 64 measure points in the vicinity of the component mounting position for the component mounting position determined by the determination unit that the ratio determined to be mounting failure satisfies a predetermined condition. It is an informing means for informing to confirm the setting status of. In addition, the control unit 46, the touch panel 52, and the mouse pointer 53 included in the component mounting apparatuses M3 to M5 are newly set at a measurement point in the vicinity of the component mounting position notified by the mounting component inspection apparatus M6. It is a setting means. The component mounting system according to the present embodiment includes the above-described component mounting apparatuses M3 to M5 and the mounted component inspection apparatus M6.

次に、実装部品検査の実行フローについて図11、図12を用いて説明する。まず、制御部68は実装不良の判定割合を算出するために必要となる所定枚数分の実装基板5の検査データを取得する(ST1)。この実装基板5の検査データ取得のための実行フローについて、図12を用いて説明する。   Next, a mounting component inspection execution flow will be described with reference to FIGS. First, the control unit 68 acquires inspection data of the predetermined number of mounting boards 5 necessary for calculating the mounting failure determination ratio (ST1). An execution flow for acquiring inspection data of the mounting board 5 will be described with reference to FIG.

図12に示すように、まず、機構制御部69が基板搬送コンベア61を制御することによって実装基板5を実装部品検査装置M6内に搬入する(ST11)。次いで、機構制御部69はヘッド移動機構62を駆動して実装状態検査ヘッド63を実装基板5上に移動させ、検査カメラ63aによって検査対象となる1つあるいは検査カメラの撮像範囲に含まれる複数の部品実装位置を撮像することで実装基板5の実装部品画像を取得する(ST12)。即ち、実装状態検査ヘッド63は部品実装後の基板2において部品実装位置を撮像する撮像手段となっている。この実装部品画像を画像処理部70aによって画像処理し、この処理結果に基づいて良否検査部70bによって部品実装位置における実装状態の良否検査を行う(ST13)。   As shown in FIG. 12, first, the mechanism control unit 69 controls the board transport conveyor 61 to carry the mounting board 5 into the mounting component inspection apparatus M6 (ST11). Next, the mechanism control unit 69 drives the head moving mechanism 62 to move the mounting state inspection head 63 onto the mounting substrate 5, and the inspection camera 63 a or a plurality of inspection images included in the imaging range of the inspection camera. A mounting component image of the mounting substrate 5 is acquired by imaging the component mounting position (ST12). That is, the mounting state inspection head 63 serves as an imaging unit that images the component mounting position on the substrate 2 after component mounting. The mounted component image is subjected to image processing by the image processing unit 70a, and based on the processing result, the pass / fail inspection unit 70b performs a pass / fail inspection of the mounting state at the component mounting position (ST13).

そして、良否検査部70bによって部品実装位置の実装状態の良否を判定し(ST14)、実装不良と判定した場合、良否検査部70bは当該部品実装位置及び実装不良の内容を含めた実装基板5の検査データを統計処理部70dに出力する(ST15)。そして、制御部68は1枚の実装基板5における全ての部品実装位置についての良否検査が終了したか否かを判断し(ST16)、全ての部品実装位置についての良否検査が終了していなければ、(ST12)に戻って未だ良否検査を行っていない他の部品実装位置における実装部品画像を取得して同様の処理を実行する。そして、制御部68は全ての部品実装位置の検査についての良否検査が終了したと判断した場合、実装基板5を実装部品検査装置M6から搬出する(ST17)。搬出された実装基板5はカウント部70cによってカウントされ、検査済実装基板目標枚数記憶部74に記憶された所定枚数分の実装基板5についての検査データを統計処理部70dが取得したか否かが判断される(ST18)。所定枚数分に達していなければ(ST11)に戻って実装基板5の検査を続行する。このように実装基板5の検査処理を反復実行することで、統計処理部70dは所定枚数分の実装基板の検査データを取得する。   Then, the pass / fail inspection unit 70b determines whether the mounting state of the component mounting position is good (ST14). If it is determined that the mounting is defective, the pass / fail inspection unit 70b determines whether the mounting substrate 5 includes the component mounting position and the content of the mounting failure. The inspection data is output to the statistical processing unit 70d (ST15). Then, the control unit 68 determines whether or not the pass / fail inspection for all the component mounting positions on one mounting board 5 is completed (ST16), and if the pass / fail inspection for all the component mounting positions is not ended. Returning to (ST12), mounting component images at other component mounting positions that have not yet been checked for pass / fail are acquired and similar processing is executed. If the control unit 68 determines that the quality inspection for all component mounting positions has been completed, the control unit 68 carries the mounting board 5 out of the mounting component inspection apparatus M6 (ST17). The carried-out mounting board 5 is counted by the counting unit 70c, and whether or not the statistical processing unit 70d has acquired the inspection data for the predetermined number of mounting boards 5 stored in the inspected mounting board target number storage unit 74. Judgment is made (ST18). If the predetermined number of sheets has not been reached, the process returns to ST11 and the inspection of the mounting board 5 is continued. By repeatedly executing the inspection process of the mounting board 5 in this way, the statistical processing unit 70d acquires the inspection data of the predetermined number of mounting boards.

図11に示すように、カウント部70cは所定枚数分の実装基板5についての検査データを統計処理部70dが取得したと判断したならば、統計処理部70dに対して実装基板5の各部品実装位置における実装不良の判定割合を算出するよう指令を出す。この指令を受けて統計処理部70dは実装不良の判定割合を算出し(ST2)、算出した各部品実装位置における実装不良の判定割合、各部品実装位置の実装不良回数、各部品実装位置における実装不良の種類の割合を含め、統計処理した実装不良の累積データを実装不良累積データ記憶部75に出力し、実装不良累積データ記憶部75はこれを記憶する。そして、表示処理部70fは実装不良累積データ記憶部75に記憶されたデータに基づいて、部品実装位置を含めた実装基板5の画像を部品実装位置マップ79上に表示する。   As shown in FIG. 11, when the count unit 70c determines that the statistical processing unit 70d has acquired inspection data for a predetermined number of mounting boards 5, each component mounting of the mounting board 5 on the statistical processing unit 70d is performed. A command is issued to calculate a mounting failure determination ratio at the position. In response to this instruction, the statistical processing unit 70d calculates a mounting failure determination ratio (ST2), calculates the mounting failure determination ratio at each component mounting position, the number of mounting failures at each component mounting position, and the mounting at each component mounting position. The statistically processed mounting failure cumulative data including the proportion of types of failures is output to the mounting failure cumulative data storage unit 75, and the mounting failure cumulative data storage unit 75 stores this. Then, the display processing unit 70 f displays an image of the mounting board 5 including the component mounting position on the component mounting position map 79 based on the data stored in the mounting failure accumulation data storage unit 75.

そして作業員がタッチパネル64上に表示される累積表示ボタン80を操作すると、表示処理部70fは実装不良累積データ記憶部75に記憶されたデータを、プロットマークPを用いて部品実装位置マップ79上に表示処理する。そして作業員が部品実装位置マップ79上に表示されたプロットマークPを操作すると、上述した実装不良詳細画像83が表示処理部70fによってタッチパネル64上に表示処理される。   When the operator operates the cumulative display button 80 displayed on the touch panel 64, the display processing unit 70f uses the plot mark P to store the data stored in the mounting failure cumulative data storage unit 75 on the component mounting position map 79. Display processing. When the operator operates the plot mark P displayed on the component mounting position map 79, the above-described mounting failure detailed image 83 is displayed on the touch panel 64 by the display processing unit 70f.

この表示処理部70fによる実装不良詳細画像83の表示処理に際しては、判断部70eによってプロットマークPが表示された部品実装位置における実装不良の判定割合が所定のしきい値を超えているか否かが部品実装位置毎に判断され(ST3)、判断部70eがしきい値を超えていると判断した場合、判断結果は表示処理部70fに出力される。そして、表示処理部70fはこの判断結果を受けて実装不良詳細画像83にて推定不良要因を表示する処理を行う(ST4)。   In the display processing of the mounting failure detailed image 83 by the display processing unit 70f, it is determined whether or not the mounting failure determination ratio at the component mounting position where the plot mark P is displayed by the determination unit 70e exceeds a predetermined threshold value. When it is determined for each component mounting position (ST3) and the determination unit 70e determines that the threshold value is exceeded, the determination result is output to the display processing unit 70f. Then, the display processing unit 70f receives the determination result and performs a process of displaying the estimated failure factor in the mounting failure detailed image 83 (ST4).

実装不良詳細画像83上で上記文言の報知がなされたら、作業員は検出不良の指摘を受けている部品実装装置M3〜M5における計測点Mの設定状況を確認する。そして、上記文言が表示された部品実装位置近傍に計測点Mが設定されていない場合、その近傍に計測点MAを新たに追加して設定する等の措置をとる。実装部品検査を終え、不良が検出されなかった実装基板5は、下流側に接続されたリフロー装置84(図1参照)に搬入され、ここで実装基板5を加熱することにより基板2と電子部品4は半田接合される。   When the above-mentioned wording is notified on the mounting failure detailed image 83, the worker confirms the setting state of the measurement point M in the component mounting apparatuses M3 to M5 that have received the indication of the detection failure. When the measurement point M is not set near the component mounting position where the above wording is displayed, measures such as newly adding a measurement point MA near the component mounting position are taken. The mounting board 5 in which the mounting component inspection has been completed and no defect has been detected is carried into a reflow device 84 (see FIG. 1) connected to the downstream side. 4 is soldered.

即ち、基板上における複数の計測点の高さを計測することによって基板の反り変形状態を検出し、基板の反り変形状態に応じて部品実装高さを補正して基板上に設定された複数の部品実装位置に部品の実装を行う部品実装方法においては、部品実装後の基板において部品実装位置を撮像する撮像工程と、撮像工程における撮像結果に基づいて実装状態の良否を判定して判定結果を出力する判定工程と、判定結果を複数の基板について部品実装位置毎に累積記憶する記憶工程と、基板における部品実装位置を部品実装位置マップとして視覚的に画像表示する部品実装位置マップ表示工程と、部品実装位置マップ上において部品実装位置毎に累積記憶された判定結果を表示する判定結果累積表示工程と、判定工程において実装不良と判定された割合が所定の条件を満たしたか否かを部品実装位置毎に判断する判断工程と、判断工程において実装不良と判定された割合が所定の条件を満たしたと判断された部品実装位置について、当該部品実装位置の近傍の計測点の設定状況を確認する旨の報知を行う報知工程と、報知された部品実装位置の近傍に、新たに計測点を追加して設定する高さ計測設定工程を含む形態となっている。   In other words, the warp deformation state of the substrate is detected by measuring the heights of a plurality of measurement points on the substrate, and the component mounting height is corrected according to the warp deformation state of the substrate to set a plurality of the set points on the substrate. In a component mounting method for mounting a component at a component mounting position, an imaging process for imaging the component mounting position on the board after component mounting, and whether the mounting state is good or not is determined based on the imaging result in the imaging process. A determination step for outputting, a storage step for accumulating and storing determination results for each component mounting position for a plurality of substrates, a component mounting position map display step for visually displaying a component mounting position on the substrate as a component mounting position map, A judgment result cumulative display process that displays the judgment results accumulated and stored for each part mounting position on the part mounting position map, and a percentage that is determined to be a mounting failure in the judgment process. For each component mounting position, and a component mounting position for which it is determined that the proportion determined to be defective in the determination step satisfies the predetermined condition. A notification step for notifying that the setting state of measurement points in the vicinity of the device is confirmed, and a height measurement setting step for newly adding and setting a measurement point in the vicinity of the notified component mounting position. ing.

これにより、部品実装分野での経験が浅い作業員でも、実装不良の原因が基板の反り変形状態の検出不良によるものであることを容易且つ迅速に理解し、当該不良が指摘された部品実装位置若しくはその近傍に対して計測点を新たに追加する等の措置を速やかにとることができる。その結果、実装不良基板の発生を抑制して実装基板の生産性を向上せさることができる。   As a result, even a worker with little experience in the component mounting field can easily and quickly understand that the cause of the mounting failure is due to the detection failure of the warp deformation state of the board, and the component mounting position where the failure has been pointed out Alternatively, it is possible to quickly take measures such as adding a new measurement point to the vicinity thereof. As a result, it is possible to improve the productivity of the mounting substrate by suppressing the generation of the mounting defective substrate.

前述した本実施の形態では、実装不良詳細画像83における推定不良要因の表示は、プロットマークPが表示された部品実装位置において実装不良と判定された割合が所定の条件を満たした場合に行うようにしているが、実装不良と判定された回数が所定の条件を満たした場合に行うようにしてもよい。つまり、検査済み実装基板5の枚数が検査済実装基板目標枚数記憶部74に記憶された枚数に達したとカウント部70cが判断したならば、統計処理部70dによって統計処理された各部品実装位置における実装不良と判定された回数が所定のしきい値を超えているか否かを判断部70eが判断し、所定のしきい値を超えていると判断したならば、表示処理部70fは実装不良詳細画像83にて上記推定不良要因を表示する処理を行う。即ち、本発明における判定手段(判定工程)は、実装不良と判定された割合又は回数が所定の条件を満たしたか否かを部品実装位置毎に判断するよう構成され、また報知手段(報知工程)は、判断手段(判断工程)において実装不良と判定された割合又は回数が所定の条件を満たしたと判断された部品実装位置について、当該部品実装位置の近傍の計測点の設定状況を確認する旨の報知を行うよう構成される。   In the present embodiment described above, the display of the estimated failure factor in the mounting failure detailed image 83 is performed when the ratio determined to be mounting failure at the component mounting position where the plot mark P is displayed satisfies a predetermined condition. However, it may be performed when the number of times determined as mounting failure satisfies a predetermined condition. That is, if the count unit 70c determines that the number of inspected mounting boards 5 has reached the number stored in the inspected mounting board target number storage unit 74, each component mounting position statistically processed by the statistical processing unit 70d. The determination unit 70e determines whether or not the number of times the mounting failure is determined exceeds the predetermined threshold value. If the determination unit 70e determines that the mounting threshold value is exceeded, the display processing unit 70f The detailed image 83 is used to display the estimated failure factor. That is, the determination means (determination step) according to the present invention is configured to determine, for each component mounting position, whether or not the ratio or the number of times determined as mounting failure satisfies a predetermined condition, and also provides notification means (notification step). Is for confirming the setting status of measurement points in the vicinity of the component mounting position for the component mounting position where it is determined that the ratio or number of times determined as defective mounting in the determination means (determination step) satisfies a predetermined condition. It is configured to perform notification.

本発明の実装部品検査装置および実装部品検査方法は、実装部品検査において求められた検査結果情報を有効に活用して計測点の設定を是正し、実装部品検査の有用性を向上させることができるという効果を有し、基板に実装された部品の実装状態を検査する分野に有用である。   The mounting component inspection apparatus and the mounting component inspection method of the present invention can effectively use the inspection result information obtained in the mounting component inspection, correct the setting of the measurement point, and improve the usefulness of the mounting component inspection. This is effective in the field of inspecting the mounting state of components mounted on a board.

2 基板
4 電子部品
5 実装済み基板
45 高さセンサ
46,68 制御部
52,64 タッチパネル
53 マウスポインタ
63 実装状態検査ヘッド
70 検査処理部
70a 画像処理部
70b 良否検査部
70c カウント部
70d 統計処理部
70e 判断部
70f 表示処理部
75 実装不良累積データ記憶部
79 部品実装位置マップ
83 実装不良詳細画像
M3〜M5 部品実装装置
M6 実装部品検査装置
2 substrate 4 electronic component 5 mounted substrate 45 height sensor 46, 68 control unit 52, 64 touch panel 53 mouse pointer 63 mounting state inspection head 70 inspection processing unit 70a image processing unit 70b pass / fail inspection unit 70c count unit 70d statistical processing unit 70e Judgment unit 70f Display processing unit 75 Mounting failure accumulated data storage unit 79 Component mounting position map 83 Mounting failure detailed image M3 to M5 Component mounting device M6 Mounting component inspection device

Claims (3)

基板上における複数の計測点の高さを計測することによって基板の反り変形状態を検出し、基板の反り変形状態に応じて部品実装高さを補正して基板上に設定された複数の部品実装位置に部品の実装を行う部品実装装置から搬出される部品実装済み基板を対象として実装状態の検査を行う実装部品検査装置であって、
部品実装後の基板において部品実装位置を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて実装状態の良否を判定して判定結果を出力する判定手段と、
前記判定結果を複数の基板について部品実装位置毎に累積記憶する記憶手段と、
基板における部品実装位置を部品実装位置マップとして視覚的に画像表示する部品実装位置マップ表示手段と、
前記部品実装位置マップ上において部品実装位置毎に累積記憶された判定結果を表示する判定結果累積表示手段と、
前記判定手段において実装不良と判定された割合又は回数が所定の条件を満たしたか否かを部品実装位置毎に判断する判断手段と、
前記判断手段において実装不良と判定された割合又は回数が所定の条件を満たしたと判断された部品実装位置について、当該部品実装位置の近傍の計測点の設定状況を確認する旨の報知を行う報知手段とを備えたことを特徴とする実装部品検査装置。
Measure the height of multiple measurement points on the board to detect the warp deformation state of the board, correct the component mounting height according to the warp deformation state of the board, and mount multiple parts set on the board A mounting component inspection device that inspects a mounting state for a component-mounted substrate that is unloaded from a component mounting device that mounts a component at a position,
Imaging means for imaging the component mounting position on the substrate after component mounting;
A determination unit that determines the quality of the mounting state based on an imaging result of the imaging unit and outputs a determination result;
Storage means for accumulating and storing the determination results for each of the component mounting positions for a plurality of boards;
Component mounting position map display means for visually displaying the component mounting position on the board as a component mounting position map;
Determination result accumulation display means for displaying the determination result accumulated and stored for each component mounting position on the component mounting position map;
A determination unit that determines, for each component mounting position, whether or not the ratio or the number of times determined as mounting failure in the determination unit satisfies a predetermined condition;
Informing means for informing the component mounting position where it is determined that the ratio or the number of times determined as defective mounting satisfies the predetermined condition in the determining means to confirm the setting status of measurement points in the vicinity of the component mounting position. And a mounting component inspection apparatus.
基板上における複数の計測点の高さを計測することによって基板の反り変形状態を検出し、基板の反り変形状態に応じて部品実装高さを補正して基板上に設定された複数の部品実装位置に部品の実装を行う部品実装装置と、請求項1記載の実装部品検査装置を含む部品実装システムであって、
前記部品実装装置は、前記実装部品検査装置により報知された部品実装位置の近傍に、新たに計測点を追加して設定する計測点設定手段を備えたことを特徴とする部品実装システム。
Measure the height of multiple measurement points on the board to detect the warp deformation state of the board, correct the component mounting height according to the warp deformation state of the board, and mount multiple parts set on the board A component mounting system that includes a component mounting device that mounts a component at a position, and a mounting component inspection device according to claim 1,
The component mounting apparatus includes a measurement point setting means for newly adding and setting a measurement point in the vicinity of the component mounting position notified by the mounted component inspection apparatus.
基板上における複数の計測点の高さを計測することによって基板の反り変形状態を検出し、基板の反り変形状態に応じて部品実装高さを補正して基板上に設定された複数の部品実装位置に部品の実装を行う部品実装方法であって、
部品実装後の基板において部品実装位置を撮像する撮像工程と、
前記撮像工程における撮像結果に基づいて実装状態の良否を判定して判定結果を出力する判定工程と、
前記判定結果を複数の基板について部品実装位置毎に累積記憶する記憶工程と、
基板における部品実装位置を部品実装位置マップとして視覚的に画像表示する部品実装位置マップ表示工程と、
前記部品実装位置マップ上において部品実装位置毎に累積記憶された判定結果を表示する判定結果累積表示工程と、
前記判定工程において実装不良と判定された割合又は回数が所定の条件を満たしたか否かを部品実装位置毎に判断する判断工程と、
前記判断工程において実装不良と判定された割合又は回数が所定の条件を満たしたと判断された部品実装位置について、当該部品実装位置の近傍の計測点の設定状況を確認する旨の報知を行う報知工程と、
報知された部品実装位置の近傍に、新たに計測点を追加して設定する高さ計測設定工程を含むことを特徴とする部品実装方法。
Measure the height of multiple measurement points on the board to detect the warp deformation state of the board, correct the component mounting height according to the warp deformation state of the board, and mount multiple parts set on the board A component mounting method for mounting a component at a position,
An imaging process for imaging the component mounting position on the substrate after component mounting;
A determination step of determining the quality of the mounting state based on the imaging result in the imaging step and outputting the determination result;
A storage step of accumulating and storing the determination results for each of the component mounting positions for a plurality of boards;
A component mounting position map display step for visually displaying the component mounting position on the board as a component mounting position map;
A determination result accumulation display step of displaying a determination result accumulated and stored for each component mounting position on the component mounting position map;
A determination step of determining, for each component mounting position, whether or not the ratio or number of times determined as mounting failure in the determination step satisfies a predetermined condition;
An informing process for informing that the setting state of the measurement points in the vicinity of the component mounting position is confirmed for the component mounting position at which the ratio or the number of times determined as mounting failure in the determining step satisfies a predetermined condition. When,
A component mounting method comprising a height measurement setting step of newly adding and setting a measurement point in the vicinity of the notified component mounting position.
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