JP5781245B2 - センサーおよび聴診器 - Google Patents

Description

本発明は、センサーおよび当該センサーを備えた電子聴診器に関する。

センサーやトランスデューサーは特定の感知の役割を果たすために製造され、それらの設計は、所定の応用のために最適化される。例えば、センサーは振動や音などによる力や力の変化を検知するよう配置することができる。

所望のセンサー信号を向上させる必要および/または望ましくないセンサー信号の影響を軽減する必要が常にある。

本発明の目的は、センサー膜を備えたセンサーからの不必要な信号を低減することである。

一態様によれば、センサープレート、基片、それぞれが正極側および負極側を有する第一センサー膜および第二センサー膜を備えたセンサーが提示される。第一センサー膜および第二センサー膜はそれぞれ、取付片に対するセンサープレートの移動を可能にしながら、センサープレートと基片との間に取り付けられ、第一センサー膜および第二センサー膜は、それらの正極側がそれぞれ向かい合うか互いに反対を向くように取り付けられる。

各センサー膜は、力感応膜であってよい。

各センサー膜は、センサー膜の側面に沿ったセンサー膜の面に垂直な力成分に基づいてセンサー信号を生成するよう構成されてもよい。

第一センサー膜および第二センサー膜は、それらの負極側がそれぞれ向かい合うか互いに反対を向くように取り付けられてもよい。

センサーは、それぞれが正極側および負極側を有する第三センサー膜および第四センサー膜を更に備えていてもよい。この場合、第三センサー膜および第四センサー膜はそれぞれ、取付片に関連したセンサープレートの動作を可能にしながら、センサープレートと基片との間に取り付けられ、第三センサー膜および第四センサー膜は、それらの正極側がそれぞれ向かい合うか互いに反対を向くように取り付けられる。

センサー膜は、基片に関連したセンサープレートの平面移動が、センサープレートに沿った第二方向と比べて、センサープレートに沿った第一方向においてより制限されるように配置されてもよい。

第三センサー膜および第四センサー膜はそれぞれ、センサープレートと基片との間のそれぞれのセンサー膜に沿って測定した場合、第一センサー膜および第二センサー膜のそれぞれより長くてもよい。このように、第三センサー膜および第四センサー膜は、第一センサー膜および第二センサー膜よりも湾曲する。

第一センサー膜と第二センサー膜との間の最短線は、第三センサー膜と第四センサー膜との間の最短線に対して実質的に垂直でよい。実質的に垂直とは、ここでは９０度から、３０度より少ないずれと解釈できる。一実施形態では、実質的に垂直とは、９０度から、１０度より少ないずれと解釈される。

第一センサー膜と第二センサー膜との間の最短線は、第三センサー膜および第四センサー膜との間の最短線に実質的に平行でよい。

センサーは、他のセンサー膜と同じタイプの第五センサー膜および第六センサー膜を更に備えてもよく、第五センサー膜および第六センサー膜は、第五センサー膜と第六センサー膜との間の最短線が第三センサー膜と第四センサー膜との間の最短線に実質的に平行になるよう、基片とセンサープレートとの間に取り付けられる。

第一センサー膜および第二センサー膜は第一剛性を有してもよく、第三センサー膜および第二センサー膜は第一剛性と異なる第二剛性を有していてもよい。

センサーは、各センサー膜からの信号を合成して、合成された信号出力にするコンバイナーを更に有していてもよい。

コンバイナーは加算増幅器であってもよい。

各センサー膜は圧電膜を備えていてもよい。

センサーは、ベースプレートとセンサープレートとの間に配置されたダンプナーを更に備えていてもよい。

第二の態様によれば、先行する請求項のいずれかに記載のセンサーを備えた電子聴診器を提示する。

全体として、請求の範囲で用いられるすべての文言は、明細書で明示的に別の定義がされない限り、当該技術分野における通常の意味で解釈される。要素、装置、成分、手段、工程等についてのすべての言及は、明示的に別の記載がされない限り、要素、装置、成分、手段、工程等の少なくとも一つの意味で率直に解釈される。本明細書で開示されるいかなる方法の工程も、明示的に記載されない限り、開示されたそのままの順序で行う必要はない。

ここで、例として添付の図面を参照して、本発明について説明する。

多重センサーの一般的な応用を示す概略図。 多重センサーの一般的な応用を示す概略図。 一実施形態によるセンサーを示す概略側面図。 図２のセンサーが歪んだ場合を示す概略側面図。 発生するセンサー信号を示す概略図表。 図２のセンサーが基片に関してねじれた場合を示す概略上面図。 発生するセンサー信号を示す概略図表。 図２、３Ａ、４Ａ、６−１４に用いられるセンサー膜の概略図。 図２、３Ａ、４Ａのセンサーが伸長した一実施形態を示す概略側面図であり、四つのセンサー膜が採用されている。 図６のセンサーを示す概略上面図。 図２のセンサーの概略側面図であり、力がどのようにセンサーに感知されるかを示す。 図８のセンサーの概略上面図であり、コンバイナーも備えたものである。 図２、３Ａ、４Ａのセンサーが伸長した一実施形態を示す概略側面図であり、四つのセンサー膜が採用されている。 図２、３Ａ、４Ａのセンサーが伸長した一実施形態を示す概略側面図であり、四つのセンサー膜が採用されている。 図８のセンサーが伸長した一実施形態を示す概略側面図であり、ダンプナーも備えたものである。 図２、３Ａ、４Ａのセンサーが伸長した一実施形態を示す概略側面図であり、六つのセンサー膜が採用されている。 図２、３Ａ、４Ａおよび図６−１３の、筐体内に設けられるセンサーの概略側面図。 図２、３Ａ、４Ａおよび図６−１３の、電子聴診器４０の一部を形成するセンサーを示す概略図。

以下、本発明について添付の図面を参照してより詳細に説明する。図面には、本発明の特定の実施形態を示す。しかし、本発明は、多くの異なる形体で実施されてもよく、本明細書中に記載の実施形態に限定されると解釈すべきでない。これらの実施形態は、開示が完全に完成するよう、また本発明の範囲が完全に当業者に伝わるよう、例として提供されるものである。本明細書全体を通して、同じ数字は同じ要素を示す。

図１Ａ−Ｂは、多重センサーの一般的な応用を示す概略図である。図１Ａには、試験対象物２のパラメータを検出するために配置された第一センサー１ａおよび第二センサー１ｂを示す。パラメータは、例えば、人間に聴こえる周波数の範囲内および／または範囲外の振動のような力の変動であり得る。試験対象物２は、人または他の対象物であり得る。二つのセンサー１ａおよび１ｂからの信号は、加算増幅器のようなコンバイナー３で合成追加され、合成された信号出力５に供給される。加算増幅器をコンバイナーとして使用する場合、高ゲイン増幅によって生成される電子ノイズを低減することができる。図１Ａでは、二つのセンサー１Ａおよび１Ｂは、当該二つのセンサーの出力がお互いの最高値に追加されるように配置される。

図１Ｂには、一方のセンサー（本例では第二センサー１ｂ）と加算増幅器３との間の反転増幅器６を示す。つまり、二つのセンサーは、それらの出力の極性と逆に結合する。この場合、採用される電子装置６は、反対のセンサーからの信号を、合算する前に反転させる。この設計は、コモンモードの電子ノイズが各センサー通路に発生する状況において有益である。すなわち、もしセンサー構成が雑音をピックアップする傾向にあれば、信号が反転されて加算される際に、雑音のキャンセルが生じる。ある状況では、センサーは二次筐体に取り付けられるか二次筐体に位置し、不必要なピックアップを減らすための措置が取られてもよい。例えば、マイクは、その感知素子緩衝装置に弾性材料またはゴムを搭載させてもよい。接触センサーではないが、マイクはその点を図示している。

不必要な信号の拒否の背景にある原理
本明細書で提示される実施形態は、一組以上のセンサーを備える。各組は、逆の極性で取り付けられるセンサーを含む。センサー膜は、圧電膜、ピエゾ抵抗材、もしくは同様のセンサー膜を備えることができる。一組では一面の動きに対する不必要な信号が低減され、二組は優先軸上の感知および別の軸上での不必要な信号の拒否のために採用することができる。

このような状況では、センサーは、それらが感知する信号について同様の方法で配向される。この場合、個別のセンサーからの信号は電子的に合算され、各センサーで発生するランダムな雑音の加算および少なくとも部分的なキャンセルにより、増加した出力および改良された信号対雑音比を提供する。

図２、３Ａ−Ｂおよび４Ａ−Ｂでは、センサーの移動による不必要な信号のキャンセルを達成しつつ、なお必要な信号をピックアップするための方法を示す。

図２は、センサーの一実施形態を示す概略図である。センサー１０は、基片１５およびセンサープレート１４を備える。基片１５とセンサープレート１４との間には、第一センサー膜７ａおよび第二センサー膜７ｂを備えた第一組のセンサー膜がある。第一センサー膜７ａおよび第二センサー膜７ｂから出力されたセンサー信号は、第一センサー膜７ａおよび第二センサー膜７ｂからの二つの信号を合成できる加算増幅器または他の適切な装置のようなコンバイナー３で合算される。各センサー膜７ａ―ｂの他端子は、各接地端子である（負端子としても知られる）。本実施例の機械構造のため、センサー膜７ａ―ｂに実質的に垂直である垂直方向１１の動きには比較的低い抵抗がある。逆に、センサー膜７ａ―ｂに実質的に平行である平行方向１２の動きには比較的高い抵抗がある。

図３Ａは、図２のセンサーが歪んだ場合の概略図である。センサー膜７ａ−ｂは、硬いが可撓性の圧電膜であり、主に一つの方向に可撓性があるが、更なる詳細は下記に示す。ここでのセンサー膜７ａ−ｂは、膜の面に垂直な方向に撓んだ場合に最大の電気出力を与えるよう設計された圧電膜を備える。したがって、各センサーは、動きに対して低い抵抗がある方向に最大の出力を与える（図２の垂直方向１１参照）。なお、圧電膜は相対する電極に配向されている。すなわち、各正極側は互いに向かい合うか、または互いと反対を向く。それはつまり、各負極側は互いに向かい合うか、または互いと反対を向くとも表すことができる。センサー膜はセンサープレート１４と基片１５との間に配置され（任意にその両方に取り付けられ）、それはたとえば、聴診器のような、センサーから信号を集める装置に取り付けることができる。センサープレート１４は、実質的に平らな構造で湾曲していてもよく、凹状もしくは凸状か、その両方でもよい。

図３Ｂは、アセンブリのセンサープレート１４が基片１５に対して横方向に動く場合の、図３Ａの二つの各センサー膜７ａ−ｂからのセンサー電気出力を示す。第一電気信号９ａは、第一センサー膜７aに由来し、第二電気信号９ｂは、第二センサー膜７ｂに由来する。センサー膜に、センサー膜の側面に幾何学的に逆の極性が取り付けられる構成により、横移動による電気出力の変動は同じであるが、逆の極性を有する。第一電気信号９ａおよび第二電気信号９ｂがコンバイナー３で合成される場合、横移動による効果は、したがって実質的にキャンセルされる。

図４ａは、アセンブリの上面が基片に対してねじれた状況を示し、図４Ｂは、対応する電気信号９ａ−ｂを示す。図３Ａ−Ｂに示した場合から類推すると、逆の極性の電気信号が、各センサー膜７ａ−ｂによって発生する。なぜなら、それらの各正極側が互いに向かい合うか、互いの反対を向くためである。センサーの製造公差が似ており、アセンブリが左右多少であるなら、センサー７ａ−ｂによって発生する信号は合算される際に大部分が相殺される。

図５、６および図７は一実施形態を示す。

図５は、図２、３Ａ、４Ａ、および図６−１４で用いられるセンサー膜の概要図である。ここでのすべてのセンサー膜は、単一のセンサー膜７で示される。センサー膜７は、力および／または振動のような力の変動に敏感であり、例えば、二つのコンタクト膜がセンサーの表面を形成する圧電膜センサーであり得る。一方の面の一方のコンタクト膜は、正端子と呼ばれ、他方の面の他方のコンタクト膜は、負端子もしくは接地端子と呼ばれる。すなわち、センサー膜７は、正極側と、負極側とを有する。膜は、膜全体を覆うプラスチックのカバーリングで任意に保護されることで、所望の凹凸および剛性を付与する。

図６および図７は、四つのセンサー膜がどのように一実施形態に採用されるかを示す。この実施形態は、極性が逆の二組のセンサーを備える。第一組のセンサー膜は、第一センサー膜７ａおよび第二センサー膜７ｂを備える。第二組のセンサー膜は、第三センサー膜７ｃおよび第四センサー膜７ｄを備える。これが最も容易に見られるのは図７であり、外側を向いている全ての膜７ａ−ｄの極性は同じであることを示している（本例では正極であるが、同様に負極でもあり得る）。任意で、第一および第二のセンサー膜の外側の極性は一つの極性であり、第三および第四センサー膜の外側の極性は別の極性であり得る。センサー膜７ａ−ｄは、センサープレート１４およびベースプレート１５の四辺の縁に、もしくはその近くに固定される。センサープレート１４およびベースプレート１５は、ここでは正方形状に図示されるが、適切なものであれば、円、楕円形、長方形、六角形、八角形等を含めた、いかなる形状であっても良い。センサー膜７ａ−ｂの固定は、センサープレート１４との接触角度がセンサーを曲げるように行われる。その形状は、湾曲力が、センサーを平面位置に戻そうとする膜の剛性と平衡に達した際に、自然に形成される。

センサー膜７ａ−ｂの形状は、センサープレートの、基片に対する平面移動が、センサープレートに沿った第二方向に比べてセンサープレートに沿った第一方向においてより制限されるように構成される。これは、例えば、センサープレートと基片との間のそれぞれのセンサー膜に沿って測った場合、第三センサー膜および第四センサー膜のそれぞれが、第一センサー膜および第二センサー膜のそれぞれより長いことによって可能になる。

図６および７のセンサーのセンサー膜７ａ−ｄは、クロス方向の二組に配置される。すなわち、第一センサー膜７ａと第二センサー膜７ｂとの間の最短線は、第三センサー膜７ｃと第四センサー膜７ｄとの間の最短線に実質的に垂直である。

基片１５は、センサーアセンブリを聴診器のような装置もしくは他の構造に固定するために用いられる。センサープレート１４は、プレートに垂直な力を感知するために用いられる。これらの力により、向かい合うセンサー膜に同じ極性の信号が発生し、第一組および／または第二組のセンサー膜の逆の極性によってキャンセルされない。図では、正方形のセンサープレート１４、ベースプレート１５、および長方形のセンサー７ａ−ｄを示す。実際上、センサープレート１４およびベースプレート１５は、どのような形状でもよい。しかしながら、不必要な信号をうまくキャンセルするためには、どの組のセンサー膜も（極性において）互いの鏡像であり、構造は左右対称である。センサープレートはまた、センサー膜を結合する連続した外膜によって実現されてもよい。

図８は、感知プレート／リング（信号ピックアップのための好適な軸）に垂直な力を感知するためのセンサーの応用を示す。加えられた力は、センサー膜７ａ−ｄを同様に歪め、その出力は、図９に示されるように加算増幅器で合算できる。このことにより、増幅器からの信号出力が増加し、またランダムな電気ノイズが少なくとも部分的にキャンセルされる。図３Ａ−Ｂおよび図４Ａ−Ｂから、感知プレート／リングの横力もしくはねじる力が、合算される際に実質的にキャンセルされる電気出力を引き起こすことがわかる。さらに、曲げによるセンサー膜のプレストレスにより、感度が増し、いくつかの利点をもたらす。第一に、所望の感知の方向の軸外の不必要な信号のピックアップが低減する。第二に、所望の感知の方向（矢印で示す）への感度が向上する。所望の感知の方向は、センサープレート１４の表面に垂直な方向であり得る。第三に、信号対ノイズ比が向上する。

代替構成では、センサーの出力は、一つの増幅器出力で直接合算されてもよく、電子装置の大幅な簡素化につながる。

センサーアセンブリの大きさは変更でき、その限界は、製造できる最大および最小の膜の大きさである。

図８は、奥行きの小さいセンサーアセンブリに適したセンサー配置の１つの形体を図示する。図１０および１１は、センサーの要求幅を減らす二つの代替配置を示す。これらの第一の変形例である図１０は、より細い帯片として形成されるセンサー膜を示し、プレートの寸法内に曲げを収めることができる。第二の変形例である図１１は、一方のプレート／リングへの膜の固定角度を変えたもので、図６のより幅の広い解決案と図１０の幅の狭い解決案との間をとった折衷案である。膜の帯片が狭くなればなるほど、アセンブリが横移動に対して安定しなくなるため、図１１のセンサー１０の第二変形例は、この点でより優れており、また全体の幅もなお減らすことができる。

図８のアセンブリは、力が感知プレート／リングに加わった際にスプリングのような作用を呈する。したがって、この構造は共鳴特性を有していてよく、共振特性は場合によっては、それらを不必要にする周波数の範囲にある。共振の制御は、ベースプレートとセンサープレートとの間に配置されるダンプナー１８の追加によって提供することができる。ダンプナー１８は、上下のプレート／リングを結合する共振を減衰できる材料を備える。ダンプナー１８は、図１２において、共振制御のための柱として図示され、共振を減衰しつつ撓みを許容する発泡／ゴム材料もしくは他の材料であり得る。ダンプナー１８は、センサープレートの、ベースプレートに向けた動きの減衰を提供する共振材料であれば、どのようなものでもよい。

図１２の構成は、効果的な共振制御を提供しながら、センサーアセンブリの最終電気出力を低減する。なぜなら、例えば図８の実施形態と比較して、構造を撓ませるために要する力が増えるためである。共振制御材料は、共振制御への要求が増えるほど剛性を増す必要がある。

図１３は、センサー１０の一実施形態を示す。本例では、センサー膜は、すべての利用可能なスペースが利用できる点に対し同心状に複製される構成に配置される。本例では、センサー膜の第一組７ａ、７ｂ、第二組７ａ’、７ｂ’、および第三組７ａ”、７ｂ”を示す。各追加センサーは、曲げ半径または膜強度のいずれかの変化によって、異なる剛性の特性を呈してもよい。追加センサーの出力は、電子加算増幅器に供給される。この方法により、各組の追加センサーは他方に対して異なる共振特性を有し、したがってセンサーの組はお互いに減衰するため、共振を制御できる。各組の追加センサーは最終出力に合算できる超過信号を生成するので、たとえ構造の剛性がより強くなっても、電気出力の全体的な損失は低減される。適当な数であれば、何組採用してもよい。一実施形態では、四つのセンサーが各同心状層に追加され、各組は長方形の対辺で互いに向かい合う。

図１３のセンサーでは、センサー膜は、徐々にセンサーの中心から離れる対によって、一直線に配置される。これはまた、第一の四つのセンサー膜において、第一センサー膜７ａと第二センサー膜７ｂとの間の最短線が、第三センサー膜７ａ’と第四センサー膜７ｂ’との間の最短線に実質的に平行であると表現できる。第五センサー膜７ａ”と第六センサー膜７ｂ”も考慮すると、第五センサー膜７ａ”と第六センサー膜７ｂ”との間の最短線もまた、第三センサー膜７ａ’と第四センサー膜７ｂ’との間の最短線に実質的に平行である。実質的に平行とは、ここでは３０度より少ない偏差と解釈できる。一実施形態においては、実質的に平行とは、１０度より少ない偏差と解釈できる。

図１４は、筐体３０の中に設けられたセンサー１０を示した概略図である。ここでは、センサー１０はシェル構造に収容されている。シェルとセンサーは、一面で接触して設置され、その振動プロファイルをとらえる。この状況では、センサーに接触する面にシェルを通して伝わる振動によって、不必要な信号が生成される可能性がある。この場合、追加センサー２７ａ−ｂが筐体に取り付けられ、それらの出力が全体のセンサー出力に加算される。これらのセンサー２７ａ−ｂは、図５に示すタイプかまたは他の接触センサーであってよい。追加センサー２７ａ−ｂは、シェル発生ノイズを反転させるために配向することができる。もしくは合算の前に反転増幅器を用いてシェルノイズをキャンセルすることができる。

本明細書で提示する実施形態は、関連のセンサーのように広く応用することができる。その使用は、肺、心臓および腸の音をとらえるための、電子聴診器のような医療環境に及ぶ。それは、振動感知の産業において汎用的に利用することができる。主に接触センサーを意図しているが、その感度の高さにより、改善した方向性を維持しつつ、気体および液体環境における圧力波感知に用いることが可能である。

図１５は、本明細書に記載する実施形態のいずれか一つによる、電子聴診器４０の一部を形成するセンサー１０を示した概略図である。聴診器は、ここに示さない、スピーカー／ヘッドセット、プロセッサー、フィルター、プロセッサー等の、他の部品を備えてもよい。

以下、挙げた実施形態のリストを示す。

Ｉ. センサープレートと、基片と、それぞれが前記センサープレートと前記基片との間に結合される第一組のセンサー膜と、を備え、前記センサー膜は、取付片に対して前記センサープレートが移動することを可能にする、センサー。

ＩＩ．第二組のセンサー膜をさらに備えた、実施形態Ｉに記載のセンサー。

ＩＩＩ．前記第一組および第二組のセンサー膜は、前記センサープレートの、前記基片に対する平面移動が、前記センサープレートに沿った第二方向に比べて前記センサープレートに沿った第一方向についてより制限されるように配置される、実施形態ＩＩに記載のセンサー。

ＩＶ．前記第一組のセンサー膜は、前記センサープレートと前記基片との間で測ると前記第二組のセンサー膜より長く、それによって前記第一組のセンサー膜は前記第二組のセンサー膜よりも湾曲する、実施形態ＩＩＩに記載のセンサー。

Ｖ．実施形態ＩからＩＶのいずれか一つに記載のセンサーを備えた聴診器。

本発明は、数個の実施形態を参照して、主に上記のように説明される。しかし、当業者に既に認識されるように、上記した以外の他の実施形態も、添付の特許請求の範囲で明示される発明の範囲内で同様に可能である。

Claims (16)

1. センサープレート（１４）と、
   基片（１５）と、
   それぞれが正極側および負極側を有する第一センサー膜（７ａ）および第二センサー膜（７ｂ）と、を備え、
   前記第一センサー膜（７ａ）および前記第二センサー膜（７ｂ）はそれぞれ、前記基片（１５）に対する前記センサープレート（１４）の移動を可能にしながら前記センサープレート（１４）と前記基片（１５）との間に取り付けられ、
   前記第一センサー膜（７ａ）および前記第二センサー膜（７ｂ）は、それらの各正極側が互いに向かい合うかまたは互いに反対を向くように取り付けられる、センサー（１０）。
2. 各センサー膜は力感知膜である、請求項１に記載のセンサー。
3. 各センサー膜は、前記センサー膜の側面に沿ったセンサー膜の平面に垂直な力成分に基づいてセンサー信号を発生するように構成される、請求項１または２に記載のセンサー。
4. 前記第一センサー膜（７ａ）および前記第二センサー膜（７ｂ）は、それらの各負極側が互いに向かい合うかまたは互いに反対を向くように取り付けられる、請求項１から３のいずれか一項に記載のセンサー。
5. それぞれが正極側および負極側を有する第三センサー膜（７ｃ，７ａ’）および第四センサー膜（７ｄ,７ｂ’）をさらに備え、
   前記第三センサー膜（７ｃ,７ａ’）および前記第四センサー膜（７ｄ,７ｂ’）はそれぞれ、前記基片（１５）に対する前記センサープレート（１４）の移動を可能にしながら前記センサープレート（１４）と前記基片（１５）との間に取り付けられ、
   前記第三センサー膜（７ｃ,７ａ’）および前記第四センサー膜（７ｄ,７ｂ’）は、それらの各正極側が互いに向かい合うか、互いの反対を向くように取り付けられる、請求項１から４のいずれか一項に記載のセンサー。
6. 前記センサー膜は、前記基片に対する前記センサープレートの平面移動が、前記センサープレートに沿った第二方向に比べて前記センサープレートに沿った第一方向についてより制限されるように配置される、請求項５に記載のセンサー。
7. 前記第三センサー膜（７ｃ）および前記第四センサー膜（７ｄ）はそれぞれ、前記センサープレートと前記基片との間の前記各センサー膜に沿って測定すると、前記第一センサー膜（７ａ）および前記第二センサー膜（７ｂ）のそれぞれよりも長い、請求項５または６に記載のセンサー。
8. 前記第一センサー膜（７ａ）と前記第二センサー膜（７ｂ）との間の最短線は、前記第三センサー膜（７ｃ）と前記第四センサー膜（７ｄ）との間の最短線に垂直である、請求項５乃至７のいずれか一項に記載のセンサー。
9. 前記第一センサー膜（７ａ）と前記第二センサー膜（７ｂ）との間の最短線は、前記第三センサー膜（７ａ’）と前記第四センサー膜（７ｂ’）との間の最短線に平行である、請求項５に記載のセンサー。
10. 他のセンサー膜（７ａ、７ｂ、７ａ’、７ｂ’）と同じタイプの第五センサー膜（７ａ”）および第六センサー膜（７ｂ”）をさらに備え、前記第五センサー膜（７ａ”）および前記第六センサー膜（７ｂ”）は、前記第五センサー膜（７ａ”）と前記第六センサー膜（７ｂ”）との間の最短線が前記第三センサー膜（７ａ’）と前記第四センサー膜（７ｂ’）との間の前記最短線に実質的に平行になるように、前記基片（１５）と前記センサープレート（１４）との間に取り付けられる、請求項９に記載のセンサー。
11. 前記第一センサー膜（７ａ）および前記第二センサー膜（７ｂ）は第一剛性を有し、前記第三センサー膜（７ａ’）および前記第四センサー膜（７ｂ’）は前記第一剛性と異なる第二剛性を有する、請求項９または１０に記載のセンサー。
12. 前記各センサー膜からの信号を合成して、合成された信号出力にするコンバイナー（３）をさらに備えた、請求項１乃至１１のいずれか一項に記載のセンサー。
13. 前記コンバイナー（３）は、加算増幅器である、請求項１２に記載のセンサー。
14. 前記各センサー膜は、圧電膜を備えた、請求項１乃至１３のいずれか一項に記載のセンサー。
15. 前記基片と前記センサープレートとの間に配置されたダンプナー（１８）をさらに備えた、請求項１乃至１４のいずれか一項に記載のセンサー。
16. 請求項１乃至１５のいずれか一項に記載のセンサーを備えた電子聴診器。

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