JP5730497B2

JP5730497B2 - X-ray generator

Info

Publication number: JP5730497B2
Application number: JP2010103746A
Authority: JP
Inventors: 鈴木　智之; 智之鈴木
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 2010-04-28
Filing date: 2010-04-28
Publication date: 2015-06-10
Anticipated expiration: 2030-04-28
Also published as: JP2011233411A; CN102237242B; KR20110120204A; CN102237242A; TW201145342A; TWI511175B; KR101830971B1

Description

本発明は、光照射式静電気除去装置等に適用されるＸ線発生装置に関する。 The present invention relates to an X-ray generator applied to a light irradiation type static eliminator or the like.

上記技術分野におけるＸ線発生装置として、Ｘ線を出力するＸ線管と、Ｘ線管に駆動電圧を入力する回路部と、Ｘ線管及び回路部を収容するケースと、を備えるものが知られている（例えば特許文献１参照）。更に、Ｘ線管として、駆動電圧が印加されることにより電子を放出する電子放出部と、その電子が照射されることによりＸ線を放出するＸ線放出部と、電子放出部を収容するバルブと、バルブの開口部に接続されてＸ線放出部を保持する筒状体と、を有するものが知られている（例えば特許文献１，２参照）。 As an X-ray generator in the above technical field, an X-ray tube that outputs X-rays, a circuit unit that inputs a driving voltage to the X-ray tube, and a case that houses the X-ray tube and the circuit unit are known. (See, for example, Patent Document 1). Further, as an X-ray tube, an electron emission portion that emits electrons when a drive voltage is applied, an X-ray emission portion that emits X-rays when irradiated with the electrons, and a valve that houses the electron emission portion And a cylindrical body that is connected to the opening of the valve and holds the X-ray emission part is known (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

特許第４２２３８６３号公報Japanese Patent No. 4223863 国際公開第２００５／０２９５３１号International Publication No. 2005/029531

ところで、上述したようなＸ線発生装置においては、例えば静電気除去装置の除電範囲を広くするために、Ｘ線照射角を広くすることが望まれている。その一方で、特に軟Ｘ線を使用する場合にはＸ線放出部が高温になるので、Ｘ線放出部を効率良く冷却することが望まれている。 By the way, in the X-ray generator as described above, it is desired to widen the X-ray irradiation angle in order to widen the static elimination range of the static eliminator, for example. On the other hand, particularly when soft X-rays are used, the X-ray emission part becomes high temperature, and therefore it is desired to cool the X-ray emission part efficiently.

そこで、本発明は、Ｘ線照射角を広くすることができると共に、Ｘ線放出部を効率良く冷却することができるＸ線発生装置を提供することを課題とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide an X-ray generator that can widen the X-ray irradiation angle and can efficiently cool the X-ray emission part.

上記課題を解決するために、本発明に係るＸ線発生装置は、Ｘ線を出力するＸ線管と、Ｘ線管に駆動電圧を入力する回路部と、Ｘ線管及び回路部を収容するケースと、を備えるＸ線発生装置であって、Ｘ線管は、駆動電圧が印加されることにより電子を放出する電子放出部と、電子が照射されることによりＸ線を放出するＸ線放出部と、電子放出部を収容するバルブと、フランジ部、フランジ部から一方の側へ突出しかつＸ線放出部を保持する第１の開口端部、及びフランジ部から他方の側へ突出しかつバルブの開口部に接続された第２の開口端部を含む筒状体と、を有し、ケースにおいてＸ線管が取り付けられた前面パネル、及びＸ線管の筒状体は、導電性及び熱伝導性を有しており、筒状体の第１の開口端部は、前面パネルの貫通孔内に配置されており、筒状体のフランジ部は、前面パネルに接触しており、Ｘ線放出部は、前面パネルの外表面と略同一平面上に位置している、ことを特徴とする。 In order to solve the above problems, an X-ray generator according to the present invention accommodates an X-ray tube that outputs X-rays, a circuit unit that inputs a drive voltage to the X-ray tube, and an X-ray tube and a circuit unit. An X-ray generator comprising: a case, wherein the X-ray tube has an electron emitting portion that emits electrons when a driving voltage is applied; and an X-ray emission that emits X-rays when irradiated with electrons , A valve accommodating the electron emission part, a flange part, a first opening end projecting from the flange part to one side and holding the X-ray emission part, and a flange part projecting to the other side and A cylindrical body including a second opening end connected to the opening, and the front panel to which the X-ray tube is attached in the case, and the cylindrical body of the X-ray tube are electrically conductive and thermally conductive. The first opening end of the cylindrical body is in the through hole of the front panel. Are location, the flange portion of the cylindrical body is in contact with the front panel, X-rays emitting portion is positioned on the outer surface substantially flush with the front panel, it is characterized.

このＸ線発生装置では、筒状体においてフランジ部から一方の側へ突出する第１の開口端部がＸ線放出部を保持しており、その第１の開口端部が前面パネルの貫通孔内に配置されている。これにより、Ｘ線放出部が前面パネルの外表面近傍に位置することになる。従って、このＸ線発生装置によれば、Ｘ線照射角を広くすることができる。更に、前面パネル及び筒状体が導電性及び熱伝導性を有しており、筒状体のフランジ部が前面パネルに接触している。これにより、Ｘ線放出部で発生した熱がフランジ部を介して前面パネルに逃がされることになる。従って、このＸ線発生装置によれば、Ｘ線放出部を効率良く冷却することができる。 In this X-ray generator, the first opening end projecting from the flange portion to one side of the cylindrical body holds the X-ray emitting portion, and the first opening end is a through hole of the front panel. Is placed inside. Thereby, the X-ray emission part is located near the outer surface of the front panel. Therefore, according to this X-ray generator, the X-ray irradiation angle can be widened. Furthermore, the front panel and the cylindrical body have conductivity and thermal conductivity, and the flange portion of the cylindrical body is in contact with the front panel. Thereby, the heat generated in the X-ray emission part is released to the front panel via the flange part. Therefore, according to this X-ray generator, the X-ray emission part can be efficiently cooled.

ここで、筒状体は、第１の開口端部を含みかつ他方の端部に第１のフランジが形成された第１の筒状部材、及び第２の開口端部を含みかつ一方の端部に第２のフランジが形成された第２の筒状部材を有し、フランジ部は、第１のフランジと第２のフランジとが接合されることにより形成されている、ことが好ましい。この構成によれば、フランジ部、第１の開口端部及び第２の開口端部を含む筒状体を、容易にかつ精度良く形成することができる。 Here, the cylindrical body includes a first cylindrical member including a first opening end portion and a first flange formed on the other end portion, and a second opening end portion and one end. It is preferable to have a second cylindrical member in which a second flange is formed at the part, and the flange part is formed by joining the first flange and the second flange. According to this structure, the cylindrical body including the flange portion, the first opening end portion, and the second opening end portion can be easily and accurately formed.

また、第１の開口端部は、前面パネルの前側から見た場合に第２の開口端部に含まれる外形を有している、ことが好ましい。この構成によれば、フランジ部を広くして、Ｘ線放出部をより効率良く冷却することができる。 Moreover, it is preferable that the 1st opening edge part has the external shape contained in a 2nd opening edge part when it sees from the front side of a front panel. According to this configuration, the X-ray emission part can be cooled more efficiently by widening the flange part.

或いは、第１の開口端部は、前面パネルの前側から見た場合に第２の開口端部を含む外形を有している、ことが好ましい。この構成によれば、Ｘ線放出部を広くして、Ｘ線照射角をより広くすることができる。 Or it is preferable that the 1st opening edge part has the external shape containing a 2nd opening edge part, when it sees from the front side of a front panel. According to this configuration, the X-ray emission part can be widened and the X-ray irradiation angle can be further widened.

また、第１の開口端部の外面は、前面パネルの貫通孔の内面に接触している、ことが好ましい。この構成によれば、Ｘ線放出部で発生した熱が、フランジ部だけでなく第１の開口端部を介しも前面パネルに逃がされるので、Ｘ線放出部をより効率良く冷却することができる。 Moreover, it is preferable that the outer surface of a 1st opening edge part is contacting the inner surface of the through-hole of a front panel. According to this configuration, the heat generated in the X-ray emission part is released to the front panel not only through the flange part but also through the first opening end part, so that the X-ray emission part can be cooled more efficiently. .

或いは、第１の開口端部の外面と、前面パネルの貫通孔の内面との間には、導電性樹脂材が充填されている、ことが好ましい。この構成によれば、Ｘ線放出部で発生した熱が、フランジ部だけでなく第１の開口端部及び導電性樹脂材を介しも前面パネルに逃がされるので、Ｘ線放出部をより効率良く冷却することができる。 Alternatively, it is preferable that a conductive resin material is filled between the outer surface of the first opening end and the inner surface of the through hole of the front panel. According to this configuration, the heat generated in the X-ray emission part is released to the front panel not only through the flange part but also through the first opening end part and the conductive resin material, so that the X-ray emission part can be more efficiently performed. Can be cooled.

本発明によれば、Ｘ線照射角を広くすることができると共に、Ｘ線放出部を効率良く冷却することができる。 According to the present invention, the X-ray irradiation angle can be widened and the X-ray emission part can be efficiently cooled.

本発明の一実施形態のＸ線発生装置の斜視図である。It is a perspective view of the X-ray generator of one embodiment of the present invention. 図１のII−II線に沿っての断面図である。It is sectional drawing along the II-II line of FIG. 図２のIII−III線に沿っての断面図である。It is sectional drawing along the III-III line of FIG. 図１のＸ線発生装置におけるＸ線管周辺の断面図である。It is sectional drawing of the X-ray tube periphery in the X-ray generator of FIG. 本発明の他の実施形態のＸ線発生装置におけるＸ線管周辺の断面図である。It is sectional drawing of the X-ray tube periphery in the X-ray generator of other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態のＸ線発生装置におけるＸ線管周辺の断面図である。It is sectional drawing of the X-ray tube periphery in the X-ray generator of other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態のＸ線発生装置におけるＸ線管周辺の断面図である。It is sectional drawing of the X-ray tube periphery in the X-ray generator of other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態のＸ線発生装置におけるＸ線管周辺の拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the X-ray tube periphery in the X-ray generator of other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態のＸ線発生装置におけるＸ線管周辺の断面図である。It is sectional drawing of the X-ray tube periphery in the X-ray generator of other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態のＸ線発生装置におけるＸ線管周辺の断面図である。It is sectional drawing of the X-ray tube periphery in the X-ray generator of other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態のＸ線発生装置におけるＸ線管周辺の断面図である。It is sectional drawing of the X-ray tube periphery in the X-ray generator of other embodiment of this invention.

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, in each figure, the same code | symbol is attached | subjected to the same or an equivalent part, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図１及び図２に示されるように、Ｘ線発生装置１は、導電性及び熱伝導性を有する材料（例えばアルミニウム等の金属材料）からなるケース２を備えている。ケース２は、矩形筒状のケース本体３、矩形板状の前面パネル４及び背面パネル５を含んでいる。ケース本体３の下面には、例えばステンレス鋼からなる取付ベース６が小ねじ７によって固定されている。ケース２は、Ｘ線を出力するＸ線管２０、及びＸ線管２０に駆動電圧を入力する回路部８を収容している。 As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the X-ray generator 1 includes a case 2 made of a material having conductivity and thermal conductivity (for example, a metal material such as aluminum). The case 2 includes a rectangular cylindrical case body 3, a rectangular plate-like front panel 4 and a back panel 5. An attachment base 6 made of, for example, stainless steel is fixed to the lower surface of the case main body 3 with a machine screw 7. The case 2 houses an X-ray tube 20 that outputs X-rays and a circuit unit 8 that inputs a drive voltage to the X-ray tube 20.

回路部８は、例えば−９．５ｋＶという高電位の駆動電圧をＸ線管２０に入力する。回路部８においては、端子９を介して外部電源と電気的に接続された低電圧発生部８ａで例えば−１ｋＶまで電位が上昇させられ、その後、高電圧発生部８ｂで例えば−９．５ｋＶｋまで電位が上昇させられる。 The circuit unit 8 inputs, for example, a high drive voltage of −9.5 kV to the X-ray tube 20. In the circuit unit 8, the potential is increased to, for example, −1 kV by the low voltage generation unit 8 a electrically connected to the external power supply via the terminal 9, and then, for example, to −9.5 kVk by the high voltage generation unit 8 b The potential is raised.

低電圧発生部８ａと高電圧発生部８ｂとは、ケース２内において、ステンレス鋼製のシールドプレート１１によって電磁的に隔てられている。ケース２内の底面には、ステンレス鋼製のベースプレート１２が回路部８と共に小ねじによって固定されている。ベースプレート１２は、前端においてＬ字状に立ち上げられ、前面パネル４に固定されている。 The low voltage generator 8 a and the high voltage generator 8 b are electromagnetically separated in the case 2 by a stainless steel shield plate 11. A base plate 12 made of stainless steel is fixed to the bottom surface in the case 2 together with the circuit portion 8 with a machine screw. The base plate 12 is raised in an L shape at the front end and is fixed to the front panel 4.

図３に示されるように、Ｘ線管２０は、例えばコバールガラスからなる円筒状のバルブ２１を有している。バルブ２１の前端部（一方の端部）は開いており、開口部２１ａとなっている。バルブ２１の後端部（他方の端部）は閉じており、ステム２１ｂとなっている。なお、ステム２１ｂには、Ｘ線管２０の製造時においてバルブ２１内の真空引き後に封止された排気管２１ｃが残っている。 As shown in FIG. 3, the X-ray tube 20 has a cylindrical bulb 21 made of, for example, Kovar glass. The front end portion (one end portion) of the valve 21 is open and serves as an opening 21a. The rear end portion (the other end portion) of the valve 21 is closed and serves as a stem 21b. In the stem 21b, the exhaust pipe 21c that is sealed after evacuation of the bulb 21 remains when the X-ray tube 20 is manufactured.

ステム２１ｂには、一対のステムピン２２が貫通して固定されている。各ステムピン２２の後端部は、回路部８の高電圧発生部８ｂと電気的に接続されている。一対のステムピン２２の前端部には、カソードとしてのフィラメント（電子放出部）２３が掛け渡されている。フィラメント２３は、ステムピン２２を介して、回路部８によって駆動電圧が印加されることにより電子を放出する。更に、一方のステムピン２２には、フィラメント２３を包囲するように円筒状のフォーカス２４が固定されている。バルブ２１は、フィラメント２３及びフォーカス２４を収容している。 A pair of stem pins 22 penetrates and is fixed to the stem 21b. The rear end portion of each stem pin 22 is electrically connected to the high voltage generating portion 8 b of the circuit portion 8. A filament (electron emission portion) 23 serving as a cathode is stretched over the front end portions of the pair of stem pins 22. The filament 23 emits electrons when a driving voltage is applied by the circuit unit 8 via the stem pin 22. Furthermore, a cylindrical focus 24 is fixed to one stem pin 22 so as to surround the filament 23. The valve 21 contains a filament 23 and a focus 24.

バルブ２１の開口部２１ａには、導電性及び熱伝導性を有する材料（例えばコバール金属等の金属材料）からなる円筒状の筒状体２５が固定されている。筒状体２５は、前側の筒状部材（第１の筒状部材）２５ａと後側の筒状部材（第２の筒状部材）２５ｂとが接続されることにより形成されている。筒状部材２５ａは、前側の開口端部（第１の開口端部）２７を含みかつ後端部にフランジ（第１のフランジ）２６ａが形成されたものである。筒状部材２５ｂは、後側の開口端部（第２の開口端部）２８を含みかつ前端部にフランジ（第２のフランジ）２６ｂが形成されたものである。筒状体２５においては、筒状部材２５ａのフランジ２６ａと筒状部材２５ｂのフランジ２６ｂとがスポット溶接によって接合されることによりフランジ部２６が形成されている。 A cylindrical tubular body 25 made of a material having conductivity and heat conductivity (for example, a metal material such as Kovar metal) is fixed to the opening 21a of the valve 21. The cylindrical body 25 is formed by connecting a front cylindrical member (first cylindrical member) 25a and a rear cylindrical member (second cylindrical member) 25b. The cylindrical member 25a includes a front opening end (first opening end) 27 and a flange (first flange) 26a formed at the rear end. The cylindrical member 25b includes a rear opening end (second opening end) 28, and a flange (second flange) 26b is formed at the front end. In the tubular body 25, the flange portion 26 is formed by joining the flange 26a of the tubular member 25a and the flange 26b of the tubular member 25b by spot welding.

これにより、筒状体２５は、フランジ部２６、フランジ部２６から前側（一方の側）へ突出する開口端部２７、及びフランジ部２６から後側（他方の側）へ突出する開口端部２８を含むことになる。後側の開口端部２８は、開口同士が接続されるように、ガラス融着によってバルブ２１の開口部２１ａに固定されている。ここで、前側の開口端部２７の径は、後側の開口端部２８の径よりも小さくなっている。つまり、前側の開口端部２７は、前面パネル４の前側から見た場合に後側の開口端部２８に含まれる外形を有している。 Thereby, the cylindrical body 25 includes a flange portion 26, an opening end portion 27 protruding from the flange portion 26 to the front side (one side), and an opening end portion 28 protruding from the flange portion 26 to the rear side (the other side). Will be included. The rear opening end 28 is fixed to the opening 21a of the bulb 21 by glass fusion so that the openings are connected to each other. Here, the diameter of the front opening end portion 27 is smaller than the diameter of the rear opening end portion 28. That is, the front opening end 27 has an outer shape included in the rear opening end 28 when viewed from the front side of the front panel 4.

前側の開口端部２７には、その開口が塞がれるように、例えばベリリウムからなる円板状の窓部材２９が銀ロウ付けによって固定されている。窓部材２９の内面には、例えばタングステンからなるターゲット（Ｘ線放出部）３１が蒸着によって形成されている。このように、ターゲット３１は、筒状体２５の開口端部２７に保持されている。ターゲット３１は、フィラメント２３で放出されてフォーカス２４で収束された電子ビームが照射されることによりＸ線を放出する。そして、ターゲット３１で放出されたＸ線は、窓部材２９を介して外部に出射される。 A disk-like window member 29 made of beryllium, for example, is fixed to the front opening end 27 by silver brazing so that the opening is closed. A target (X-ray emission part) 31 made of tungsten, for example, is formed on the inner surface of the window member 29 by vapor deposition. Thus, the target 31 is held by the open end 27 of the cylindrical body 25. The target 31 emits X-rays by being irradiated with an electron beam emitted by the filament 23 and converged by the focus 24. Then, the X-rays emitted from the target 31 are emitted to the outside through the window member 29.

次に、前面パネル４に対するＸ線管２０の取付構造について説明する。図４に示されるように、前面パネル４は、Ｘ線管２０が取り付けられる取付部１３を含んでいる。取付部１３は、前面パネル４の一部が内側に向かって肉厚にされることにより形成されている。取付部１３の後面１３ａには、断面円形状の凹部１４が形成されている。凹部１４の底面１４ａには、前面パネル４を貫通する貫通孔４ａが形成されている。 Next, the attachment structure of the X-ray tube 20 to the front panel 4 will be described. As shown in FIG. 4, the front panel 4 includes an attachment portion 13 to which the X-ray tube 20 is attached. The attachment portion 13 is formed by thickening a part of the front panel 4 toward the inside. A recess 14 having a circular cross section is formed on the rear surface 13a of the attachment portion 13. A through hole 4 a that penetrates the front panel 4 is formed in the bottom surface 14 a of the recess 14.

Ｘ線管２０は、取付部１３の凹部１４に対して後側から挿入されている。ここで、筒状体２５の前側の開口端部２７は、前面パネル４の貫通孔４ａ内に配置されており、筒状体２５のフランジ部２６は、凹部１４の底面１４ａ（すなわち、前面パネル４の内面）に接触している。Ｘ線管２０は、この状態で、Ｏリング１５を介して固定ナット１６により取付部１３に固定されている。 The X-ray tube 20 is inserted into the concave portion 14 of the attachment portion 13 from the rear side. Here, the opening end 27 on the front side of the cylindrical body 25 is disposed in the through hole 4a of the front panel 4, and the flange portion 26 of the cylindrical body 25 is connected to the bottom surface 14a of the recess 14 (that is, the front panel). 4 (inner surface). In this state, the X-ray tube 20 is fixed to the attachment portion 13 by the fixing nut 16 via the O-ring 15.

より具体的には、Ｏリング１５及び固定ナット１６の貫通孔１６ａにＸ線管２０のバルブ２１が挿通させられて、凹部１４の内面の雌ねじ１４ｂに、固定ナット１６の雄ねじ１６ｂが螺合されている。これにより、筒状体２５のフランジ部２６が凹部１４の底面１４ａに押圧されて、Ｘ線管２０が前面パネル４に固定されている。なお、固定ナット１６は、例えば黄銅からなり、円柱状の胴部１７及び六角ヘッド部１８を含んでいる。雄ねじ１６ｂは、円柱状の胴部１７の外面に形成されている。 More specifically, the valve 21 of the X-ray tube 20 is inserted into the through-hole 16 a of the O-ring 15 and the fixing nut 16, and the male screw 16 b of the fixing nut 16 is screwed into the female screw 14 b on the inner surface of the recess 14. ing. Thereby, the flange part 26 of the cylindrical body 25 is pressed against the bottom surface 14 a of the recess 14, and the X-ray tube 20 is fixed to the front panel 4. The fixing nut 16 is made of brass, for example, and includes a cylindrical body portion 17 and a hexagonal head portion 18. The male screw 16 b is formed on the outer surface of the cylindrical body portion 17.

以上のように構成されたＸ線発生装置１においては、ケース２の前面パネル４及びＸ線管２０の筒状体２５が導電性及び熱伝導性を有しており、互いに接触している。そのため、Ｘ線管２０のターゲット３１は、窓部材２９、筒状体２５及び前面パネル４を介して、接地電位に維持される。これにより、例えば−９．５ｋＶという高電位の駆動電圧がフィラメント２３に印加されると、フィラメント２３で電子が放出され、その放出された電子がターゲット３１に向かって加速されつつフォーカス２４で収束される。そして、その加速されつつ収束された電子がターゲット３１に照射されると、ターゲット３１でＸ線が放出され、その放出されたＸ線が窓部材２９を介して外部に出射される。 In the X-ray generator 1 configured as described above, the front panel 4 of the case 2 and the cylindrical body 25 of the X-ray tube 20 have electrical conductivity and thermal conductivity, and are in contact with each other. Therefore, the target 31 of the X-ray tube 20 is maintained at the ground potential via the window member 29, the cylindrical body 25, and the front panel 4. Thus, for example, when a driving voltage having a high potential of −9.5 kV is applied to the filament 23, electrons are emitted from the filament 23, and the emitted electrons are accelerated toward the target 31 and converged at the focus 24. The When the accelerated and converged electrons are irradiated onto the target 31, X-rays are emitted from the target 31, and the emitted X-rays are emitted to the outside through the window member 29.

このとき、Ｘ線発生装置１では、筒状体２５においてフランジ部２６から前側へ突出する開口端部２７がターゲット３１を保持しており、その開口端部２７が前面パネル４の貫通孔４ａ内に配置されている。これにより、ターゲット３１が前面パネル４の外表面近傍（ここでは、略同一平面上）に位置することになる。従って、Ｘ線の進路が前面パネル４によって遮られるのを防止して、例えば１５０°というように（図４参照）、Ｘ線照射角を広くすることができる。更に、前面パネル４及び筒状体２５が熱伝導性を有しており、筒状体２５のフランジ部２６が前面パネル４に接触している。これにより、ターゲット３１で発生した熱がフランジ部２６を介して前面パネル４に逃がされることになる。従って、特に軟Ｘ線を使用する場合に高温になり易いターゲット３１を効率良く冷却することができる。 At this time, in the X-ray generator 1, the opening end 27 protruding forward from the flange portion 26 in the cylindrical body 25 holds the target 31, and the opening end 27 is in the through hole 4 a of the front panel 4. Is arranged. Thereby, the target 31 is located in the vicinity of the outer surface of the front panel 4 (here, on substantially the same plane). Therefore, the X-ray path can be prevented from being blocked by the front panel 4, and the X-ray irradiation angle can be increased, for example, 150 ° (see FIG. 4). Further, the front panel 4 and the cylindrical body 25 have thermal conductivity, and the flange portion 26 of the cylindrical body 25 is in contact with the front panel 4. As a result, heat generated in the target 31 is released to the front panel 4 via the flange portion 26. Therefore, particularly when soft X-rays are used, the target 31 that tends to become high temperature can be efficiently cooled.

また、Ｘ線管２０においては、筒状部材２５ａのフランジ２６ａと筒状部材２５ｂのフランジ２６ｂとがスポット溶接によって接合されることにより筒状体２５が形成されている。この構成によれば、フランジ部２６及び開口端部２７，２８を含む筒状体２５を、容易にかつ精度良く形成することができる。しかも、次のようにＸ線管２０を製造することが可能になるので、製造時にターゲット３１が熱損傷を受けるのを防止することができる。 Moreover, in the X-ray tube 20, the cylindrical body 25 is formed by joining the flange 26a of the cylindrical member 25a and the flange 26b of the cylindrical member 25b by spot welding. According to this configuration, the cylindrical body 25 including the flange portion 26 and the open end portions 27 and 28 can be easily and accurately formed. And since it becomes possible to manufacture the X-ray tube 20 as follows, it can prevent that the target 31 receives a thermal damage at the time of manufacture.

すなわち、ターゲット３１が形成された窓部材２９を、筒状部材２５ａの前側の開口端部２７に銀ロウ付けで固定する。その一方で、筒状部材２５ｂの後側の開口端部２８を、バルブ２１の開口部２１ａにガラス融着で固定する。その後、筒状部材２５ａのフランジ２６ａと筒状部材２５ｂのフランジ２６ｂとをスポット溶接で固定する。これにより、最も高温となるガラス融着時にターゲット３１が加熱されることがなくなる。 That is, the window member 29 on which the target 31 is formed is fixed to the opening end 27 on the front side of the cylindrical member 25a by silver brazing. On the other hand, the opening end 28 on the rear side of the cylindrical member 25b is fixed to the opening 21a of the bulb 21 by glass fusion. Thereafter, the flange 26a of the cylindrical member 25a and the flange 26b of the cylindrical member 25b are fixed by spot welding. Thereby, the target 31 is not heated at the time of the glass fusing at the highest temperature.

また、Ｘ線管２０においては、前側の開口端部２７は、前面パネル４の前側から見た場合に後側の開口端部２８に含まれる外形を有している。これにより、前面パネル４に対するフランジ部２６の接触面積が広くなるので、この構成は、ターゲット３１の冷却性能をより一層向上させている。 Further, in the X-ray tube 20, the front opening end 27 has an outer shape included in the rear opening end 28 when viewed from the front side of the front panel 4. Thereby, since the contact area of the flange part 26 with respect to the front panel 4 becomes large, this structure further improves the cooling performance of the target 31.

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、バルブ２１や筒状体２５は、断面円形状の円筒体に限定されず、他の断面形状の筒体であってもよい。 Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment. For example, the bulb 21 and the cylindrical body 25 are not limited to a cylindrical body having a circular cross section, and may be a cylindrical body having another cross sectional shape.

また、図５〜図７に示されるように、ターゲット３１が形成された窓部材２９は、窓部材２９を保護する観点から、前面パネル４の外表面から所定距離だけ内側に位置していてもよい。その場合、図５に示されるように、貫通孔４ａの前側の開口部４ｂを前側に向かって末広がりとなるテーパ孔としたり、図６に示されるように、貫通孔４ａの前側の開口部４ｂを前側に向かってステップ状に拡大する段付き孔としたりすれば、Ｘ線の進路が前面パネル４によって遮られるのを防止することができる。更に、図７に示されるように、貫通孔４ａの前側の開口部４ｂの高さを低く抑えれば、同様の効果が奏される。 As shown in FIGS. 5 to 7, the window member 29 on which the target 31 is formed may be located on the inner side from the outer surface of the front panel 4 by a predetermined distance from the viewpoint of protecting the window member 29. Good. In that case, as shown in FIG. 5, the opening 4b on the front side of the through-hole 4a is a tapered hole that widens toward the front side, or the opening 4b on the front side of the through-hole 4a as shown in FIG. Can be prevented from being obstructed by the front panel 4 by making a stepped hole expanding stepwise toward the front side. Furthermore, as shown in FIG. 7, the same effect can be obtained if the height of the opening 4b on the front side of the through hole 4a is kept low.

また、前側の開口端部２７の外面２７ａは、前面パネル４の貫通孔４ａの内面に接触していてもよい（例えば図５〜図７参照）。この構成によれば、ターゲット３１で発生した熱が、フランジ部２６だけでなく開口端部２７を介しも前面パネル４に逃がされるので、ターゲット３１をより効率良く冷却することができる。更に、前面パネル４に対するＸ線管２０の取付状態を安定化させることができる。 Further, the outer surface 27a of the front opening end 27 may be in contact with the inner surface of the through hole 4a of the front panel 4 (see, for example, FIGS. 5 to 7). According to this configuration, the heat generated in the target 31 is released to the front panel 4 not only through the flange portion 26 but also through the opening end portion 27, so that the target 31 can be cooled more efficiently. Furthermore, the attachment state of the X-ray tube 20 to the front panel 4 can be stabilized.

或いは、図８に示されるように、前側の開口端部２７の外面２７ａと、前面パネル４の貫通孔４ａの内面との間に、導電性樹脂材１９が充填されていてもよい。この構成によれば、ターゲット３１で発生した熱が、フランジ部２６だけでなく開口端部２７及び導電性樹脂材１９を介しも前面パネル４に逃がされるので、ターゲット３１をより効率良く冷却することができる。更に、前面パネル４に対するＸ線管２０の取付状態を安定化させることができる。 Alternatively, as shown in FIG. 8, a conductive resin material 19 may be filled between the outer surface 27 a of the opening end 27 on the front side and the inner surface of the through hole 4 a of the front panel 4. According to this configuration, heat generated in the target 31 is released to the front panel 4 not only through the flange portion 26 but also through the opening end portion 27 and the conductive resin material 19, so that the target 31 can be cooled more efficiently. Can do. Furthermore, the attachment state of the X-ray tube 20 to the front panel 4 can be stabilized.

また、ケース２においては、少なくとも前面パネル４のうちＸ線管２０が取り付けられる部分が導電性及び熱伝導性を有していればよい。更に、図９に示されるように、前面パネル４において少なくともＸ線管２０のフランジ部２６が接触する部分を着脱自在な別部材４ｃとしてもよい。この構成によれば、別部材４ｃに、導電性や熱伝導性がより高い材料を用いることができる。 Further, in the case 2, it is only necessary that at least a portion of the front panel 4 to which the X-ray tube 20 is attached has conductivity and thermal conductivity. Furthermore, as shown in FIG. 9, at least a portion of the front panel 4 that contacts the flange portion 26 of the X-ray tube 20 may be a detachable separate member 4 c. According to this configuration, a material having higher conductivity and thermal conductivity can be used for the separate member 4c.

また、図１０に示されるように、前側の開口端部２７の径は、後側の開口端部２８の径よりも大きくなっていてもよい。つまり、前側の開口端部２７は、前面パネル４の前側から見た場合に後側の開口端部２８を含む外形を有していてもよい。この構成によれば、ターゲット３１を広くして、Ｘ線照射角をより広くすることができる。更に、図１１に示されるように、前側の開口端部２７の径と後側の開口端部２８の径とが略等しくなっていてもよい。つまり、前面パネル４の前側から見た場合に、前側の開口端部２７の外形と後側の開口端部２８の外形とが略同じであってもよい。 Further, as shown in FIG. 10, the diameter of the front opening end 27 may be larger than the diameter of the rear opening end 28. That is, the front opening end 27 may have an outer shape including the rear opening end 28 when viewed from the front side of the front panel 4. According to this configuration, the target 31 can be made wider and the X-ray irradiation angle can be made wider. Further, as shown in FIG. 11, the diameter of the front opening end 27 and the diameter of the rear opening end 28 may be substantially equal. That is, when viewed from the front side of the front panel 4, the outer shape of the front opening end portion 27 and the outer shape of the rear opening end portion 28 may be substantially the same.

１…Ｘ線発生装置、２…ケース、４…前面パネル、４ａ…貫通孔、８…回路部、１９…導電性樹脂材、２０…Ｘ線管、２１…バルブ、２１ａ…開口部、２３…フィラメント（電子放出部）、２５…筒状体、２５ａ…筒状部材（第１の筒状部材）、２５ｂ…筒状部材（第２の筒状部材）、２６…フランジ部、２６ａ…フランジ（第１のフランジ）、２６ｂ…フランジ（第２のフランジ）、２７…開口端部（第１の開口端部）、２８…開口端部（第２の開口端部）、２９…ターゲット（Ｘ線放出部）。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... X-ray generator, 2 ... Case, 4 ... Front panel, 4a ... Through-hole, 8 ... Circuit part, 19 ... Conductive resin material, 20 ... X-ray tube, 21 ... Valve, 21a ... Opening part, 23 ... Filament (electron emission part), 25 ... cylindrical body, 25a ... cylindrical member (first cylindrical member), 25b ... cylindrical member (second cylindrical member), 26 ... flange part, 26a ... flange ( First flange) 26b Flange (second flange) 27 Open end (first open end) 28 Open end (second open end) 29 Target (X-ray) Discharge part).

Claims

An X-ray generator comprising: an X-ray tube that outputs X-rays; a circuit unit that inputs a driving voltage to the X-ray tube; and a case that houses the X-ray tube and the circuit unit,
The X-ray tube is
An electron emitting portion that emits electrons when the driving voltage is applied;
An X-ray emission part that emits the X-rays when irradiated with the electrons;
A valve for accommodating the electron emission portion;
A flange portion, a first opening end portion projecting from the flange portion to one side and holding the X-ray emission portion, and a second portion projecting from the flange portion to the other side and connected to the opening portion of the valve A cylindrical body including the opening end of
The front panel to which the X-ray tube is attached in the case, and the cylindrical body of the X-ray tube have conductivity and thermal conductivity,
The first opening end of the cylindrical body is disposed in the through hole of the front panel, and the flange portion of the cylindrical body is in contact with the front panel,
The X-ray generator according to claim 1, wherein the first opening end portion has an outer shape included in the second opening end portion when viewed from the front side of the front panel.

An X-ray generator comprising: an X-ray tube that outputs X-rays; a circuit unit that inputs a driving voltage to the X-ray tube; and a case that houses the X-ray tube and the circuit unit,
The X-ray tube is
An electron emitting portion that emits electrons when the driving voltage is applied;
An X-ray emission part that emits the X-rays when irradiated with the electrons;
A valve for accommodating the electron emission portion;
A flange portion, a first opening end portion projecting from the flange portion to one side and holding the X-ray emission portion, and a second portion projecting from the flange portion to the other side and connected to the opening portion of the valve A cylindrical body including the opening end of
The front panel to which the X-ray tube is attached in the case, and the cylindrical body of the X-ray tube have conductivity and thermal conductivity,
The first opening end of the cylindrical body is disposed in the through hole of the front panel, and the flange portion of the cylindrical body is in contact with the front panel,
The X-ray generator according to claim 1, wherein the first opening end portion has an outer shape including the second opening end portion when viewed from the front side of the front panel.

The cylindrical body includes a first cylindrical member including the first opening end and a first flange formed at the other end, and includes the second opening end and one end. A second cylindrical member having a second flange formed on the portion;
Said flange portion, said first flange and said second flange is formed by being bonded, it X-ray generator according to claim 1 or 2 wherein.

The outer surface of the first open end, the contact with the inner surface of the through-holes are, that X-ray generating apparatus of any one of claims 1-3, characterized in the front panel.

And the outer surface of said first open end, said between the inner surface of the through hole of the front panel, a conductive resin material is filled, claim 1-3, characterized in that one The X-ray generator according to Item.