JP5686578B2 - Geometric error measurement system - Google Patents
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Description
本発明は、多軸工作機械において幾何誤差を計測し補正するための幾何誤差計測システムに関するものである。 The present invention relates to a geometric error measurement system for measuring and correcting a geometric error in a multi-axis machine tool.
工作機械として、能率の高い加工や複雑な形状のワークの加工を行う目的で従来の3軸マシニングセンタに回転軸や旋回軸を付加した5軸マシニングセンタ等の多軸工作機械が知られており、そのような多軸工作機械における加工精度の向上が望まれている。 As machine tools, multi-axis machine tools such as a 5-axis machining center in which a rotary axis and a turning axis are added to a conventional 3-axis machining center for the purpose of performing highly efficient machining and workpieces with complicated shapes are known. Improvement of machining accuracy in such a multi-axis machine tool is desired.
多軸工作機械においては、一般的に、軸数が増えると、組み付けの精度が悪化し、加工精度が悪くなる傾向にあるが、組み付けの精度の向上には限界があるため、隣り合う軸間の傾きや位置誤差といった所謂幾何誤差を計測し、その幾何誤差を補正することによって加工精度を向上させる補正システムが開発されている。 In multi-axis machine tools, as the number of axes increases, the assembly accuracy tends to deteriorate and the machining accuracy tends to deteriorate. However, there is a limit to the improvement in assembly accuracy, so there is a limit between adjacent axes. A correction system has been developed that measures so-called geometric errors such as tilt and position error and corrects the geometric errors to improve machining accuracy.
そして、そのような補正システムにおける幾何誤差の計測(同定)方法として、工作機械の主軸にタッチプローブを付け、テーブルにターゲット(被計測治具)となる球を設置して、自動で旋回軸や回転軸の割出動作を複数回行い、各割出条件でターゲットの位置を計測し、それらの計測結果に基づいて幾何誤差を自動的に求める(同定する)方法が考案されている。 As a geometric error measurement (identification) method in such a correction system, a touch probe is attached to the spindle of the machine tool, a sphere that is a target (a jig to be measured) is installed on the table, and a turning axis or A method has been devised in which the indexing operation of the rotating shaft is performed a plurality of times, the position of the target is measured under each indexing condition, and the geometric error is automatically obtained (identified) based on the measurement results.
しかしながら、上記した計測システムにおいては、ターゲットの位置ずれや機械の損傷等の要因により、計測結果に不測の誤差が入り込む事態も起こり得る。それゆえ、当該計測システムに、幾何誤差補正パラメータを自動更新する機能を搭載すると、不測の計測誤差が含まれている場合でも、そのまま幾何誤差補正パラメータを自動更新し、その自動更新された幾何誤差補正パラメータを用いて主軸や回転軸の補正を行ってしまうため、加工精度を向上させることができないばかりか、却って悪化させてしまう事態も起こり得る。 However, in the measurement system described above, an unexpected error may occur in the measurement result due to factors such as target misalignment and mechanical damage. Therefore, if the measurement system is equipped with a function that automatically updates the geometric error correction parameter, even if an unexpected measurement error is included, the geometric error correction parameter is automatically updated, and the automatically updated geometric error is updated. Since the correction of the main axis and the rotation axis is performed using the correction parameter, not only the machining accuracy cannot be improved, but also a situation where it is deteriorated may occur.
本発明の目的は、上記従来の計測システムが有する問題点を解消し、幾何誤差補正パラメータを自動更新する機能を搭載した場合に、外乱等に基づいて不適切な幾何誤差が計測されても、そのような不適切な幾何誤差に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、きわめて効果的に防止することが可能な幾何誤差計測システムを提供することにある。 The purpose of the present invention is to solve the problems of the conventional measurement system described above, and when equipped with a function for automatically updating the geometric error correction parameter, even if an inappropriate geometric error is measured based on disturbance or the like, An object of the present invention is to provide a geometric error measurement system capable of extremely effectively preventing a situation in which the machining accuracy of a multi-axis machine tool is lowered due to execution of such correction based on an inappropriate geometric error.
本発明の内、請求項1に記載された発明は、複数の直線軸と回転軸とを具備した多軸工作機械において、主軸にセンサを設けるとともにテーブルに測定ターゲットを設置し、複数の位置決め条件にて前記測定ターゲットの座標を前記センサにより計測し、それらの計測値を用いて、隣り合う軸間に存在する幾何誤差を同定する幾何誤差計測システムであって、工作機械の幾何誤差を補正するための幾何誤差補正システムを備えており、幾何誤差を同定した後には、その同定した数値に前回の同定後の幾何誤差を加算した加算値を新たな幾何誤差として更新し、次回の幾何誤差の同定を、その幾何誤差の更新からの変化分として求めるものであり、予め幾何誤差の閾値を設定可能な閾値設定手段と、同定した幾何誤差が閾値設定手段に設定されている閾値を上回っている場合に、その事態を報知する報知手段とを有することを特徴とするものである。
Among the present inventions, the invention described in
請求項2に記載された発明は、請求項1に記載された発明において、新たな幾何誤差設定値が、閾値設定手段に設定されている閾値を上回っている場合には、報知手段が、その事態を報知することを特徴とするものである。
In the invention described in
請求項3に記載された発明は、請求項1、または請求項2に記載された発明において、新たに計測された幾何誤差およびその幾何誤差から算出された新たな幾何誤差設定値がいずれも閾値を下回っている場合には、幾何誤差更新手段において、算出された新たな幾何誤差設定値を新たな幾何誤差設定値として自動更新することを特徴とするものである。
The invention described in
請求項4に記載された発明は、請求項1〜3のいずれかに記載された発明において、新たに計測された幾何誤差あるいはその幾何誤差から算出された新たな幾何誤差設定値の内のいずれか一方が閾値を上回っている場合には、幾何誤差更新手段において、算出された新たな幾何誤差設定値を新たな幾何誤差設定値として自動更新せず、手動による新たな幾何誤差設定値の設定を可能とすることを特徴とするものである。
The invention described in
請求項5に記載された発明は、請求項1〜4のいずれかに記載された発明において、閾値設定手段が、複数の幾何誤差補正パラメータを含む分類毎に(たとえば、XYZ直角度誤差、主軸傾き誤差、回転軸・旋回軸の傾き誤差や位置誤差等の分類毎に)、別々に閾値を設定可能であることを特徴とするものである。
The invention described in
請求項1に記載の幾何誤差計測システムは、同定(計測)した幾何誤差が予め設定されている閾値(許容値)を上回っている場合に、報知手段によってその事態が報知されるので、経時変化に関連した機械の状態を容易に把握することができる。それゆえ、請求項1に記載の幾何誤差計測システムによれば、機械の経時的変化や計測ミスに起因した不適切な同定結果に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、効果的に防止することができる。
In the geometric error measurement system according to
請求項2に記載の幾何誤差計測システムは、同定した幾何誤差に基づいて算出された新たな幾何誤差設定値が、予め設定されている閾値を上回っている場合に、報知手段によってその事態が報知されるので、損傷の蓄積と関連した機械の状態を容易に把握することができる。それゆえ、請求項2に記載の幾何誤差計測システムによれば、機械の損傷の蓄積や計測ミスに起因した不適切な同定結果に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、効果的に防止することができる。
In the geometric error measurement system according to
請求項3に記載の幾何誤差計測システムは、新たに計測された幾何誤差およびその幾何誤差から算出された新たな幾何誤差設定値がいずれも閾値を下回っている場合に、幾何誤差設定値が自動更新されるので、機械のトラブルや計測ミスに起因した不適切な同定に基づいて幾何誤差設定値が真の数値からかけ離れてしまう事態が生じない。それゆえ、請求項3に記載の幾何誤差計測システムによれば、不適切な幾何誤差設定値に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、非常に効果的に防止することができる。
The geometric error measurement system according to
請求項4に記載の幾何誤差計測システムは、新たに計測された幾何誤差およびその幾何誤差から算出された新たな幾何誤差設定値の内のいずれか一方が閾値を上回っている場合に、幾何誤差設定値を自動更新せず、手動による幾何誤差設定値の設定を可能とするので、新たに同定された幾何誤差の評価結果をユーザに確実に認識させることができる。
The geometric error measurement system according to
請求項5に記載の幾何誤差計測システムは、複数の幾何誤差補正パラメータを含む分類毎に、別々に閾値を設定可能であるので、短時間の内に容易に適切な閾値の設定をすることができる。たとえば、XYZ直角度誤差や主軸傾き誤差は、機械の組立精度による影響が最も支配的であるため、機械が衝実等しない限り大きく変化することはない。それゆえ、それらの幾何誤差の閾値は、小さくても問題ない。一方、回転軸・旋回軸の傾き誤差や位置誤差は、機械の熱変位等で容易に変化する可能性があり、機種や構造によっても変化するため、比較的に大きな閾値を設定する必要がある場合が多い。請求項5に記載の幾何誤差計測システムによれば、そのような事情を考慮して、幾何誤差の各分類に合った適切な閾値を短時間の内に容易に設定することが可能となる。
The geometric error measurement system according to
以下、本発明に係る幾何誤差計測システムの一実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。なお、本実施形態に係る幾何誤差計測システムは、幾何誤差補正システムと連携しており、計測(同定)した結果に基づいて、新しい幾何誤差補正パラメータを算出し、当該幾何誤差補正パラメータを新たな幾何誤差設定値(補正値)として自動更新することができるようになっている。 Hereinafter, an embodiment of a geometric error measurement system according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The geometric error measurement system according to the present embodiment is linked to the geometric error correction system, calculates a new geometric error correction parameter based on the measurement (identification) result, and sets the geometric error correction parameter to a new one. It can be automatically updated as a geometric error setting value (correction value).
<多軸工作機械の構成>
図1は、多軸工作機械の一例である5軸制御マシニングセンタ(テーブル旋回型5軸機)を示したものである(以下、単にマシニングセンタMという)。マシニングセンタMのベッド(基台)1には、正面視略U字状のトラニオン5が、Y軸に沿ってスライド可能に設けられており、当該トラニオン5には、正面視略U字状のクレードル4が、A軸(回転軸)を中心として、回転可能に設けられている。さらに、クレードル4には、円盤状のテーブル3が、A軸と直交するC軸(回転軸)を中心として、回転可能に設けられている。また、ベッド1の上部には、工具を装着可能な主軸頭2が、Y軸と直交するX軸、および、それらのX,Y軸と直交するZ軸に沿ってスライド可能に設けられている。当該主軸頭2は、装着した工具をZ軸を中心として回転させることができるようになっている。
<Configuration of multi-axis machine tool>
FIG. 1 shows a 5-axis control machining center (table turning type 5-axis machine) which is an example of a multi-axis machine tool (hereinafter simply referred to as a machining center M). The bed (base) 1 of the machining center M is provided with a substantially U-shaped
上記マシニングセンタMは、主軸頭2に装着された工具を回転させた状態で、テーブル3に固定された被加工物(ワーク)に対して、当該主軸頭2を相対的にアプローチさせることによって、被加工物と工具との相対位置および相対姿勢を制御しながら、被加工物に対して種々の加工を施すことができるようになっている。また、マシニングセンタMは、上記の如く構成されているため、被加工物から工具までの軸のつながりが、C軸→A軸→Y軸→X軸→Z軸の順番になっている。
The machining center M causes the
<マシニングセンタの幾何誤差>
次に、上記したマシニングセンタMの幾何誤差について説明する。ここでは、幾何誤差が、各軸間の相対並進誤差3方向および相対回転誤差3方向の合計6成分(δx,δy,δz,α,β,γ)からなるものであると仮定する。また、各幾何誤差は、挟まれた2つの軸名称を添えて示すものとする。たとえば、C軸とA軸との間のY方向の並進誤差は、δyCA,Y軸とX軸との間のZ軸周りの回転誤差は、γYXと表記する。また、工具を示す記号はTとする。
<Machining center geometric error>
Next, the geometric error of the machining center M will be described. Here, it is assumed that the geometric error is composed of a total of six components (δx, δy, δz, α, β, γ) in the three directions of the relative translation error between the axes and the three directions of the relative rotation error. Each geometric error is indicated with two sandwiched axis names. For example, a translation error in the Y direction between the C axis and the A axis is expressed as δy CA , and a rotation error around the Z axis between the Y axis and the X axis is expressed as γ YX . The symbol indicating the tool is T.
マシニングセンタMにおける被加工物から工具までの軸のつながりは、C軸,A軸,Y軸,X軸,Z軸の順番であるため、Z軸と工具間も考慮すると合計30個の幾何誤差が存在するが、冗長の関係となるものにおいて1つを残し他を除外すると、最終的な幾何誤差は、δxCA,δyCA,αCA,βCA,δyAY,δzAY,βAY,γAY,γYX,αXZ,βXZ,αZT,βZTの合計13個となる。なお、それらの内のγYX,αXZ,βXZ,αZT,βZTの5つは、直進軸に関する幾何誤差であり、それぞれ、X−Y軸間直角度,Y−Z軸間直角度,Z−X軸間直角度,工具−Y軸間直角度,工具−X軸間直角度である。他の8つは、回転軸に関する幾何誤差であり、それぞれ、C軸中心位置X方向誤差,C−A軸間オフセット誤差,A軸角度オフセット誤差,C−A軸間直角度,A軸中心位置Y方向誤差,A軸中心位置Z方向誤差,A−X軸間直角度,A−Y軸間直角度である。それゆえ、マシニングセンタMにおける幾何誤差は、下記の表1の如く、δxCA,δyCA,αCA,βCA,δyAY,δzAY,βAY,γAY,γYX,αXZ,βXZ,αZT,βZTの合計13個のパラメータを求めることによって同定される。 Since the connection of the axis from the workpiece to the tool in the machining center M is the order of the C-axis, A-axis, Y-axis, X-axis, and Z-axis, there are a total of 30 geometric errors when considering the gap between the Z-axis and the tool. If one exists in the redundant relationship but the other is excluded, the final geometric error is δx CA , δy CA , α CA , β CA , δy AY , δz AY , β AY , γ AY. , Γ YX , α XZ , β XZ , α ZT , β ZT in total. Of these, five of γ YX , α XZ , β XZ , α ZT , and β ZT are geometric errors related to the linear axis, and the XY inter-axis perpendicular angle and the Y-Z inter-axis perpendicular angle, respectively. , Z-X axis perpendicularity, tool-Y axis perpendicularity, tool-X axis perpendicularity. The other eight are geometric errors related to the rotation axis, which are the C-axis center position X-direction error, the CA-axis offset error, the A-axis angle offset error, the CA-axis perpendicularity, and the A-axis center position, respectively. The Y-direction error, the A-axis center position Z-direction error, the A-X axis perpendicularity, and the A-Y axis perpendicularity. Hence, geometric errors in the machining center M is as in Table 1 below, δx CA, δy CA, α CA, β CA, δy AY, δz AY, β AY, γ AY, γ YX, α XZ, β XZ, It is identified by obtaining a total of 13 parameters of α ZT and β ZT .
上記した幾何誤差補正パラメータは、下記の表2の如く、基本となる直交3軸におけるXYZ直角度誤差、回転軸・旋回軸に関する傾き誤差、旋回軸・回転軸に関する位置誤差、主軸の傾きに関する主軸傾き誤差の4つに分類することができる。 The above-mentioned geometric error correction parameters are as follows, as shown in Table 2 below: XYZ squareness error in three orthogonal axes, tilt error with respect to the rotation axis / swivel axis, position error with respect to the swing axis / rotation axis, and spindle with respect to the tilt of the spindle There are four types of tilt errors.
<マシニングセンタの制御機構>
図2は、上記したマシニングセンタMの制御機構を示すブロック図であり、トラニオン5、主軸頭2を並進させるための各サーボモータ、および、クレードル4、テーブル3を回転させるための各サーボモータは、制御装置(数値制御装置)21によって駆動制御されるようになっている。また、制御装置21には、割出位置(割出条件)や幾何誤差の閾値(許容値)等を設定するための入力手段31、後述する閾値判定の結果等を出力する(報知する)ためのモニタやスピーカ等の出力手段32等が接続されている。
<Control mechanism of machining center>
FIG. 2 is a block diagram showing a control mechanism of the machining center M described above. The servo motors for translating the
さらに、制御装置21には、記憶手段22が設けられており、当該記憶手段22内には、図3の如く、各種のプログラムを記憶するためのプログラム記憶領域23、各種の演算に用いる変数等を記憶するための変数記憶領域24、予め設定された各種の閾値を記憶するための閾値記憶領域25、各幾何誤差補正パラメータを記憶するためのパラメータ記憶領域26等が設けられている。
Further, the
そして、プログラム記憶領域23には、同定された幾何誤差に基づいて当該幾何誤差の補正に用いる幾何誤差補正パラメータを算出するための補正パラメータ算出プログラムや、幾何誤差補正パラメータを算出する毎に、算出後の幾何誤差補正パラメータを新たな幾何誤差補正パラメータとして自動更新するためのパラメータ更新プログラム等が記憶されている。また、閾値記憶領域25には、図4の如く、直交3軸におけるXYZ直角度誤差、回転軸・旋回軸に関する傾き誤差、回転軸・旋回軸に関する位置誤差、主軸の傾きに関する主軸傾き誤差の4つの分類毎に、それぞれ、予め入力された閾値(予めメーカが出荷段階で設定した数値や、ユーザが任意に設定した数値)が記憶されている。さらに、パラメータ記憶領域26には、前回の幾何誤差の計測に基づいて更新された各幾何誤差補正パラメータ(あるいは作業者によってマニュアルで設定された各幾何誤差補正パラメータ)が記憶されている。
The
かかる制御装置21、トラニオン5、主軸頭2を並進させるための各サーボモータ、および、クレードル4、テーブル3を回転させるための各サーボモータによって、マシニングセンタMの幾何誤差を補正するための幾何誤差補正システムを備えた幾何誤差計測システムSが構成された状態になっている。
Geometric error correction for correcting the geometric error of the machining center M by the
<幾何誤差の計測処理>
図5は、幾何誤差計測システムSによる幾何誤差の計測処理(同定処理)の内容を示すフローチャートである。幾何誤差を同定する場合には、図6の如く、主軸頭2に、工具の代わりにタッチプローブ11を装着させ、テーブル3にターゲットであるターゲット球12を固定させる(ターゲット球12の土台に組み付けられた磁石等によって固定させる)。なお、タッチプローブ11は、ターゲット球12に接触したことを感知するセンサ(図示せず)を有しており、接触を感知した場合に赤外線や電波等で信号を発することができるようになっている。一方、マシニングセンタMの制御装置21は、接続された受信機によりタッチプローブ11から発せられた信号を受信した瞬間(もしくは遅れ分を考慮した時点)の各軸の現在位置を、測定値として記憶手段22に記憶することができるようになっている。
<Measuring process of geometric error>
FIG. 5 is a flowchart showing the content of the geometric error measurement process (identification process) by the geometric error measurement system S. When identifying the geometric error, as shown in FIG. 6, a
そして、ステップ(以下、単にSで示す)1で、制御装置21からの指令により、回転軸(C軸)と旋回軸(A軸)とを複数の条件で割り出し、それそれの割出条件において、タッチプローブ11によりターゲット球12の中心位置等を計測し、その計測値に基づいて、S2で、以下に述べる算出方法を利用して、幾何誤差の同定(計測)を実行する。
In step (hereinafter simply indicated by S) 1, the rotation axis (C axis) and the turning axis (A axis) are determined under a plurality of conditions in accordance with a command from the
[幾何誤差の算出方法]
ここで、ターゲット球12の中心位置の計測値と幾何誤差との関係について説明する。ターゲット球12の中心位置がテーブル座標系(幾何誤差がない理想な状態でA軸とC軸との交点を原点とし、そのX軸がマシニングセンタMのX軸に平行であるテーブル3上の座標系)で(R,0,H)であるとする。幾何誤差がない場合のターゲット球12の中心位置計測値(x,y,z)は、A軸角度をa、C軸角度をcとすると、次に示す[数1]で表すことができる。
[Calculation method of geometric error]
Here, the relationship between the measured value of the center position of the
一方、ターゲット球12の取付位置の誤差(δxWC,δyWC,δzWC)を含めた幾何誤差が存在する場合のターゲット球12の中心位置の計測値(x’,y’,z’)に関する行列関係式は、次の[数2]となる。ただし、幾何誤差が微小であるとして近似している。
On the other hand, the measurement value (x ′, y ′, z ′) of the center position of the
この[数2]を展開すると次の[数3]となる。ここで、式の簡略化のため、幾何誤差同士の積は微小であるとして0に近似している。 When this [Equation 2] is expanded, the following [Equation 3] is obtained. Here, in order to simplify the equation, the product of geometric errors is assumed to be minute and approximated to zero.
幾何誤差を同定する際には、初めに、テーブル3の上面が主軸頭2(Z軸)と垂直になる状態(A軸角度a=0°)にA軸を割り出し、C軸角度cを0°から任意の角度ピッチで割り出して1周分nヶ所のターゲット球12の中心位置の計測を行う。たとえば、角度ピッチを30°とすると、図7に示すように0°から330°まで12ヶ所の計測を行う(以下、この計測を割出計測という)。これにより、i=1〜nとするとn個の球中心位置計測値(xi’,yi’,zi’)が得られ、計測値は円軌跡を描くことになる。なお、幾何誤差の同定におけるA軸、C軸の割出位置(割出条件)は、予め、制御装置21の記憶手段22内に記憶されている。
When identifying the geometric error, first, the A axis is determined in a state where the upper surface of the table 3 is perpendicular to the spindle head 2 (Z axis) (A axis angle a = 0 °), and the C axis angle c is set to 0. The center positions of the
ここで、計測値のXY平面上での半径、すなわち、C軸の中心位置から各中心位置計測値までの距離は、幾何誤差がない場合はRであり、幾何誤差がある場合には半径誤差ΔRXYが加わる。このΔRXYは[数3]を変形して近似することで、次の[数4]に示すように算出することができる。 Here, the radius of the measurement value on the XY plane, that is, the distance from the center position of the C axis to each center position measurement value is R when there is no geometric error, and the radius error when there is a geometric error. ΔR XY is added. This ΔR XY can be calculated as shown in the following [Equation 4] by modifying and approximating [Equation 3].
この[数4]に[数3]を代入すると、次の[数5]が得られる。したがって、ΔRXYは0次(半径誤差),1次(中心偏差),2次(楕円形状)の成分を含んだ円軌跡となる。 Substituting [Equation 3] into [Equation 4], the following [Equation 5] is obtained. Therefore, ΔR XY is a circular locus including zero-order (radius error), first-order (center deviation), and second-order (elliptical shape) components.
また、360°を等間隔でn個に分割した角度θ1〜θnの正弦・余弦関数には次の[数6]のような性質がある。 Also, the sine-cosine function of n to the divided angle theta 1 through? N at regular intervals 360 ° has the following properties: [Expression 6].
そして、[数5]の2次正弦成分に着目し、この[数6]の性質を利用する。各中心位置計測値に対応するΔRXYiに、それぞれ割り出したときのC軸角度ciの2次の正弦値を掛け合わせて平均を取ることで2次正弦成分rb2が得られ、これを変形すると次に示す[数7]となり、X−Y軸間直角度γYXを求めることができる。
Then, paying attention to the secondary sine component of [Equation 5], the property of [Equation 6] is used. The [Delta] R xyi corresponding to each center position measurement values, C
さらに1次成分を抽出する。ΔRXYiにC軸角度ciの1次の余弦値もしくは正弦値を掛け合わせることで1次余弦成分ra1および1次正弦成分rb1が得られ、これを変形して次の[数8]が得られる。 Further, the primary component is extracted. By multiplying ΔR XYi by the primary cosine value or sine value of the C-axis angle c i, a primary cosine component r a1 and a primary sine component r b1 are obtained, which are transformed into the following [Equation 8] Is obtained.
なお、[数3]を変形して各中心位置計測値のX座標x’、Y座標y’の平均をそれぞれ求めることで[数9]が得られる。この[数9]は円軌跡の中心、すなわち1次成分を求めるものであり、[数8]の代わりに用いることができる。 [Formula 3] is obtained by transforming [Formula 3] and obtaining the average of the X coordinate x ′ and the Y coordinate y ′ of each center position measurement value. This [Equation 9] is for obtaining the center of the circular locus, that is, the primary component, and can be used instead of [Equation 8].
一方、[数3]の中心位置計測値のZ座標の式からわかるように、Z座標値はC軸角度ciに対して0次、1次余弦・正弦成分を持った円である。この円の1次成分を抽出するため、各中心位置計測値のZ座標に、それぞれ割り出したときのC軸角度ciの余弦値、正弦値を掛け合わせると、次の[数10]が得られる。βAYは別の方法もしくは後述の測定および式から求めて代入することにより、C軸の傾き誤差に関する幾何誤差であるβCA,αCAを求めることができる。 On the other hand, as can be seen from the equation Z coordinates of the center position measurement values of the number 3], Z coordinate values 0 next to the C-axis angle c i, is a circle having a primary cosine-sine component. In order to extract the primary component of this circle, the following [Equation 10] is obtained by multiplying the Z coordinate of each center position measurement value by the cosine value and sine value of the C-axis angle c i when calculated. It is done. β AY can be obtained from another method or from the measurement and formula described later and substituted to obtain β CA and α CA which are geometrical errors related to the C axis inclination error.
次に、A軸を0°以外の任意の角度atに傾けて、C軸角度cを0°から任意の角度ピッチで割り出して1周分nヶ所でターゲット球12の中心位置の計測を行う(割出計測)。先と同様に、中心位置計測値は円軌跡を描くが、その半径、すなわち、A軸とC軸との交点から各中心位置計測値までの距離は、幾何誤差がない場合はRであり、幾何誤差がある場合は半径誤差ΔRが加わる。ΔRは[数3]を変形して近似することで得られる次の[数11]で示される。
Next, the A-axis is tilted at any angle a t other than 0 °, to measure the center position of the
この[数11]に[数3]を代入すると次の[数12]が得られる(なお、ra0,ra1,rb1,ra2の詳細な式については省略する)。 Substituting [Equation 3] into this [Equation 11] yields the following [Equation 12] ( note that detailed equations of r a0 , r a1 , r b1 , and r a2 are omitted).
この[数12]は[数5]と同様に、0〜2次成分を含んだ円軌跡である。2次正弦成分に着目し、各中心位置計測値に対応するΔRiに、それぞれ割り出したときのC軸角度ciの2次の正弦値を掛け合わせると、次に示す[数13]が得られる。この[数13]に対し[数7]や別の方法で求めたγYXを代入することで、βXZを求めることができる。 Similar to [Equation 5], [Equation 12] is a circular locus including 0-secondary components. Focusing on the quadratic sine component and multiplying ΔR i corresponding to each center position measurement value by the quadratic sine value of the C-axis angle c i obtained respectively, the following [Equation 13] is obtained. It is done. By substituting [Equation 7] or γ YX obtained by another method for this [Equation 13], β XZ can be obtained.
ここで、A軸の割り出し角度によっては、主軸頭2とテーブル3等との干渉や、各軸の可動範囲の制限等により、1周分測定できない場合がある。1周分の中心位置計測値がない場合は[数13]を使うことができない。その場合、複数の中心位置計測値を用いて[数12]の係数を最小自乗法等で解くことにより次の[数14]が得られる。
Here, depending on the index angle of the A axis, it may not be possible to measure for one round due to interference between the
次に、図8に示すように、C軸角度ctを90°もしくは−90°に割り出し、A軸を任意の複数の角度に割り出してmヶ所のターゲット球12の中心位置の計測を行う(割出計測)。A軸は機構的に1周回転することができない場合が多く、できたとしてもタッチプローブ11により計測できないため、1周分ではなく、ある角度範囲の間で計測を行う。中心位置計測値のX座標に着目すると、[数3]から次に示す[数15]が得られる。
Next, as shown in FIG. 8, indexing the C-axis angle c t to 90 ° or -90 °, to measure the center position of the target ball 12 m locations by indexing the A-axis to any of a plurality of angles ( Indexing measurement). In many cases, the A-axis cannot mechanically rotate once, and even if it can, it cannot be measured by the
すなわち、[数15]は、0,1次成分を含んだ円弧を示しているといえる。ただし、C軸角度ctを90°,−90°と変えて混在させると、ctに依存した0次成分も加わる。[数12]の各成分の係数を変数として最小自乗法等で求めることで次の[数16]が得られる。したがって、βXZを上述の方法もしくは別の方法で求めて代入することで、A軸の傾き誤差に関する幾何誤差γAYとβAYとを求めることができる。 That is, it can be said that [Equation 15] indicates an arc including 0th and 1st order components. However, 90 ° C-axis angle c t, Mixing changed and -90 °, also adds zero-order component which is dependent on c t. The following [Equation 16] is obtained by obtaining the coefficient of each component of [Equation 12] by using the least square method or the like as a variable. Therefore, the geometric errors γ AY and β AY related to the tilt error of the A axis can be obtained by obtaining and substituting β XZ by the above method or another method.
次に、中心位置計測値のY,Z座標に着目する。幾何誤差による円軌跡の半径誤差、すなわち、A軸中心から球中心までの距離の誤差ΔRYZは次の[数17]から得られる。 Next, attention is paid to the Y and Z coordinates of the center position measurement value. The radius error of the circular locus due to the geometric error, that is, the error ΔR YZ of the distance from the center of the A axis to the sphere center can be obtained from the following [ Equation 17].
この[数17]に[数3]を代入すると次の[数18]となる。なお、ra0,rc0の詳細な式については省略する。 Substituting [Equation 3] into this [Equation 17] gives the following [Equation 18]. Detailed expressions of r a0 and r c0 are omitted.
したがって、ΔRYZは0〜2次成分を含んだ円弧軌跡であり、各成分の係数を最小自乗法等で解くことにより、次の[数19]が得られる。 Therefore, ΔR YZ is an arc locus including 0-second order components, and the following [Equation 19] is obtained by solving the coefficient of each component by the least square method or the like.
ここで、[数18]の係数を求めることは、円弧の半径と中心位置、および円弧に含まれる楕円成分の大きさを求めることと同じである。一般的に、円弧の中心位置や楕円成分を求めることは、円弧角度が小さいほど精度が悪くなる。そこで、図8に示すように、C軸を90°(ターゲット球12の中心位置がep1〜ep4)と−90°(ターゲット球12の中心位置がen1〜en4)の両方に割り出して計測する。これにより円弧角度を広くすることができ、同定精度を上げることができる。なお、αXZを求める必要がない場合は、[数19]において、2次成分であるra2、rb2を0として無視して計算を行っても良い。
Here, obtaining the coefficient of [Equation 18] is the same as obtaining the radius and center position of the arc and the size of the elliptic component included in the arc. In general, the accuracy of obtaining the center position and elliptical component of an arc becomes worse as the arc angle is smaller. Therefore, as shown in FIG. 8, indexed to both the C-axis 90 ° (the center position of the
以上から、前述の方法でターゲット球12の中心位置を複数箇所測定し、上述の数式を用いて計算することで、回転軸(A軸、C軸)に関する幾何誤差8個に加えて、直進軸(Y軸、X軸、Z軸)に関する3個も併せて11個の幾何誤差を同定することが可能である。なお、残りの2つは別の方法で同定しておく必要がある。
From the above, by measuring the center position of the
上記した方法で得られる計測結果(同定値)は、パラメータ記憶領域26に記憶されている幾何誤差補正パラメータの数値(設定値)にかかわらず、前回の計測結果に基づく幾何誤差補正パラメータの更新からの変化分となる。当該変化分の評価は、経時変化や、衝突等によりダメージを受けたか(損傷したか否か)否かのチェック等に利用することができる。
The measurement result (identification value) obtained by the above method is obtained from the update of the geometric error correction parameter based on the previous measurement result , regardless of the numerical value (set value) of the geometric error correction parameter stored in the
また、上記の如く、幾何誤差を同定した後には、S3以降のステップにより、設定されている幾何誤差補正パラメータを更新する。すなわち、幾何誤差を同定した後には、まず、S3で、パラメータ記憶領域26に記憶されている各幾何誤差補正パラメータの数値(設定値)を参照する(なお、幾何誤差計測システムの作動開始直後には、幾何誤差補正パラメータの設定値は“0”となっている)。そして、続くS4で、同定した数値に、パラメータ記憶領域26に記憶されている各幾何誤差補正パラメータの設定値を加算することによって、各幾何誤差補正パラメータを算出し直す。このように、計測した結果として得られる同定値に、設定されていた各幾何誤差補正パラメータを加算したものが、新たに設定(更新)される各幾何誤差補正パラメータ(設定値)となる。なお、当該更新後の設定値は、マシニングセンタMの幾何誤差そのものを表す。そして、当該更新後の設定値の評価は、ダメージが蓄積しているか否かのチェック等に利用することができる。
In addition, as described above, after the geometric error is identified, the set geometric error correction parameter is updated in steps after S3. That is, after the geometric error is identified, first, in S3, the numerical value (setting value) of each geometric error correction parameter stored in the
上記の如く、幾何誤差補正パラメータを算出した後には、S5で、同定結果(幾何誤差補正パラメータの算出結果)に対して、閾値判定(同定結果の評価)を実施する。図9は、閾値判定処理の内容を示すフローチャートである。なお、閾値判定は、すべての幾何誤差補正パラメータに対して実行する。 As described above, after calculating the geometric error correction parameter, in S5, threshold determination (evaluation of the identification result) is performed on the identification result (calculation result of the geometric error correction parameter). FIG. 9 is a flowchart showing the contents of the threshold determination process. The threshold determination is executed for all geometric error correction parameters.
閾値を判定する場合には、S21以下の手順によって幾何誤差補正パラメータの評価ループを実行する。すなわち、幾何誤差補正パラメータの評価ループにおいては、まず、S22で、幾何誤差の計測によって得られた幾何誤差補正パラメータの同定値を取得する。しかる後、S23で、記憶手段22の閾値記憶領域25の内容を参照して、閾値判定を行う幾何誤差補正パラメータの該当する幾何誤差分類を確認し、S24で、当該幾何誤差分類において設定されている閾値を取得する。
When determining the threshold value, a geometric error correction parameter evaluation loop is executed according to the procedure from S21. That is, in the geometric error correction parameter evaluation loop, first, in S22, the identification value of the geometric error correction parameter obtained by measuring the geometric error is acquired. Thereafter, in S23, the contents of the threshold
そして、S25で、S24において取得した幾何誤差補正パラメータの閾値と、計測によって得られた幾何誤差補正パラメータの同定値とを比較し、同定値が閾値を上回っていると判断した場合(S25で“NO”の場合)には、S26で、該当する幾何誤差補正パラメータに対してアラームフラグを有効にする。しかる後、S27で、幾何誤差補正パラメータの評価ループを終了する。 Then, in S25, when the geometric error correction parameter threshold acquired in S24 is compared with the identification value of the geometric error correction parameter obtained by measurement, and it is determined that the identification value exceeds the threshold (in S25, “ If “NO”, the alarm flag is validated for the corresponding geometric error correction parameter in S26. Thereafter, in S27, the geometric error correction parameter evaluation loop is terminated.
一方、S25で、同定値が閾値を下回っていると判断した場合(S25で“YES”の場合)には、アラームフラグを有効にすることなく、幾何誤差補正パラメータの評価ループを終了する。 On the other hand, if it is determined in S25 that the identification value is below the threshold value (if "YES" in S25), the geometric error correction parameter evaluation loop is terminated without enabling the alarm flag.
閾値判定処理においては、上記の如き閾値判定(幾何誤差補正パラメータの評価ループ)を、すべての幾何誤差補正パラメータに対して実行する。そして、すべての幾何誤差補正パラメータに対して閾値判定を実行した後には、幾何誤差の計測処理(図5)におけるS6で、新たに算出されたすべての幾何誤差補正パラメータ(すなわち、前回の計測結果に基づいて更新された幾何誤差補正パラメータに今回計測された同定値を加算して算出したもの)に対しても、同様な閾値判定を実行し、新たな幾何誤差補正パラメータが設定されている閾値を上回っている場合には、当該幾何誤差補正パラメータに対してアラームフラグを有効にする。 In the threshold determination process, the above threshold determination (geometric error correction parameter evaluation loop) is executed for all geometric error correction parameters. After threshold determination is performed for all geometric error correction parameters, all geometric error correction parameters newly calculated in S6 in the geometric error measurement process (FIG. 5) (that is, previous measurement results). Threshold value for which a new geometric error correction parameter is set by executing the same threshold determination for the geometric error correction parameter updated based on the above (calculated by adding the currently measured identification value) If the value exceeds the value, the alarm flag is enabled for the geometric error correction parameter.
上記したような同定値および新たな幾何誤差補正パラメータの閾値判定が終了した後には、S7で、アラームフラグの確認を行う。すなわち、S7で、アラームフラグが1つも存在しないと判断した場合には、S8で、各幾何誤差補正パラメータを自動更新し(すなわち、今回の計測に基づいて算出された各幾何誤差補正パラメータを新たな幾何誤差補正パラメータとして設定し)、出力手段32であるモニタの画面上に、幾何誤差の補正作業を完了した旨のメッセージを出力して、処理を終了する。 After the threshold value determination of the identification value and the new geometric error correction parameter as described above is completed, an alarm flag is confirmed in S7. That is, if it is determined in S7 that there is no alarm flag, each geometric error correction parameter is automatically updated in S8 (that is, each geometric error correction parameter calculated based on the current measurement is updated). A message indicating that the geometric error correction operation has been completed is output on the monitor screen, which is the output means 32, and the processing is terminated.
一方、S7で、アラームフラグが存在すると判断した場合には、S10で、出力手段32であるモニタの画面上で、閾値を上回った幾何誤差補正パラメータ(同定値あるいは新たに算出された幾何誤差補正パラメータ)の表示を他の幾何誤差補正パラメータの表示と区別することにより(たとえば、異なる色で発光させたり、点滅させたりすることにより)、閾値を上回った幾何誤差補正パラメータが存在する旨を報知する。さらに、モニタの画面上に、閾値を上回った幾何誤差補正パラメータ(同定値あるいは新たに算出された幾何誤差補正パラメータ)が含まれる幾何誤差分類(閾値記憶領域25に記憶されているもの)を表示する。また、この場合には、出力手段32であるスピーカからアラーム音を出力する。かかる場合には、各幾何誤差補正パラメータの自動更新は実行せず、S11で、ユーザがマニュアル(手動)で各幾何誤差補正パラメータを更新できるように制御し、モニタの画面上に、マニュアル更新が可能である旨を表示して、処理を終了する。 On the other hand, if it is determined in S7 that an alarm flag is present, in S10, the geometric error correction parameter (identified value or newly calculated geometric error correction) exceeding the threshold value is displayed on the monitor screen as the output means 32. By distinguishing the display of (parameter) from the display of other geometric error correction parameters (for example, by emitting light or blinking in a different color), it is notified that there is a geometric error correction parameter that exceeds the threshold. To do. Further, the geometric error classification (stored in the threshold storage area 25) including the geometric error correction parameter (identified value or newly calculated geometric error correction parameter) exceeding the threshold is displayed on the monitor screen. To do. In this case, an alarm sound is output from the speaker which is the output means 32. In such a case, automatic update of each geometric error correction parameter is not executed, and in step S11, control is performed so that the user can update each geometric error correction parameter manually (manually), and the manual update is performed on the monitor screen. A message indicating that it is possible is displayed and the process is terminated.
上記の如く、幾何誤差計測システムSは、計測結果(同定値)の重要度を考慮し、当該計測結果に対して閾値判定を行い、判定に問題がない場合に限って幾何誤差補正パラメータを自動更新し、判定に問題があった場合には、自動更新を実行することなく、メッセージ出力やアラーム出力等によって、その旨をユーザに報知する。 As described above, the geometric error measurement system S considers the importance of the measurement result (identification value), performs threshold determination on the measurement result, and automatically sets the geometric error correction parameter only when there is no problem in the determination. If there is a problem in the update and determination, the user is informed by a message output, an alarm output, or the like without executing the automatic update.
<幾何誤差計測システムによる効果>
幾何誤差計測システムSは、上記の如く、予め幾何誤差の閾値を設定可能な閾値設定手段である閾値記憶領域25と、同定した幾何誤差が閾値記憶領域25に設定されている閾値を上回っている場合に、その事態を報知する報知手段である出力手段32とを有しているため、経時変化に関連した機械の状態を容易に把握することができ、機械の経時的変化や計測ミスに起因した不適切な同定結果に基づく補正の実行によりマシニングセンタMの加工精度が低下する事態を、効果的に防止することができる。
<Effects of geometric error measurement system>
As described above, the geometric error measurement system S has a
また、幾何誤差計測システムSは、幾何誤差設定値を更新記憶可能な幾何誤差更新手段であるパラメータ記憶領域26を有しており、新たな幾何誤差の計測後(同定後)に、その計測値に、パラメータ記憶領域26に記憶されている幾何誤差設定値を加算することによって、新たな幾何誤差設定値を算出するとともに、その新たな幾何誤差設定値が、閾値記憶領域25に設定されている閾値を上回っている場合には、出力手段32が、その事態を報知するため、損傷の蓄積と関連した機械の状態を容易に把握することができる。それゆえ、幾何誤差計測システムSによれば、機械の損傷の蓄積や計測ミスに起因した不適切な同定結果に基づく補正の実行によりマシニングセンタMの加工精度が低下する事態を、効果的に防止することができる。
Further, the geometric error measurement system S has a
さらに、幾何誤差計測システムSは、新たな幾何誤差の計測後に、その計測値に、パラメータ記憶領域26に記憶されている幾何誤差設定値を加算することによって、新たな幾何誤差設定値を算出するとともに、新たに計測された幾何誤差およびその幾何誤差から算出された新たな幾何誤差設定値がいずれも閾値を下回っている場合には、パラメータ記憶領域26において、算出された新たな幾何誤差設定値を新たな幾何誤差設定値として自動更新する。したがって、幾何誤差計測システムSによれば、機械のトラブルや計測ミスに起因した不適切な同定に基づいて幾何誤差設定値が真の数値からかけ離れてしまう事態が起こらず、不適切な幾何誤差設定値に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、非常に効果的に防止することができる。
Furthermore, the geometric error measurement system S calculates a new geometric error setting value by adding the geometric error setting value stored in the
また、幾何誤差計測システムSは、新たな幾何誤差の計測後に、その計測値に、パラメータ記憶領域26に記憶されている幾何誤差設定値を加算することによって、新たな幾何誤差設定値を算出するとともに、新たに計測された幾何誤差あるいはその幾何誤差から算出された新たな幾何誤差設定値の内のいずれか一方が閾値を上回っている場合には、パラメータ記憶領域26において、算出された新たな幾何誤差設定値を新たな幾何誤差設定値として自動更新せず、手動による新たな幾何誤差設定値の設定を可能とする。したがって、幾何誤差計測システムSによれば、新たに同定された幾何誤差の評価結果をユーザに確実に認識させることができる。
The geometric error measurement system S calculates a new geometric error setting value by adding the geometric error setting value stored in the
加えて、幾何誤差計測システムSは、閾値記憶領域25が、複数の幾何誤差補正パラメータを含む分類毎に、別々に閾値を設定可能であるため、幾何誤差の各分類に合った適切な閾値を、短時間の内に容易に設定することができる。
In addition, in the geometric error measurement system S, the threshold
<幾何誤差計測システムの変更例>
本発明に係る幾何誤差計測システムは、上記実施形態の態様に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて適宜変更することができる。たとえば、幾何誤差の計測システムは、モニタの画面上への表示やスピーカからのアラーム出力により計測値が閾値を上回っている事態を報知するものに限定されず、LEDやランプ等の発光手段を各種の態様で点灯、点滅させることにより当該事態を報知するもの等に変更することも可能である。
<Example of geometric error measurement system change>
The geometric error measurement system according to the present invention is not limited to the aspect of the above embodiment, and can be appropriately changed as necessary without departing from the gist of the present invention. For example, the measurement system for geometric errors is not limited to a system for notifying that a measured value exceeds a threshold value by displaying on a monitor screen or outputting an alarm from a speaker. Various light emitting means such as LEDs and lamps are used. It is also possible to change to the one that notifies the situation by turning on and blinking in the mode.
また、幾何誤差の計測システムは、上記実施形態の如く、閾値設定手段が複数の幾何誤差補正パラメータを含む分類毎に、別々に閾値を設定可能なものに限定されず、幾何誤差補正パラメータ毎に、閾値を設定可能なものに変更することも可能である。 In addition, the geometric error measurement system is not limited to one in which the threshold setting unit can set a threshold separately for each classification including a plurality of geometric error correction parameters, as in the above embodiment, and for each geometric error correction parameter. It is also possible to change the threshold value to one that can be set.
一方、幾何誤差計測システムを用いた幾何誤差の計測方法も、上記実施形態の態様に何ら限定されるものではなく、必要に応じて適宜変更することができる。たとえば、幾何誤差の計測方法は、上記実施形態の如く、球状のターゲット(被計測治具)を用い、その直径や位置を計測することにより幾何誤差を求める方法に限定されず、直方体状等の他の形状のターゲットを用い、その直方体状のターゲットの所定の辺の長さや所定の面同士の間隔を計測することにより幾何誤差を求める方法等に変更することも可能である。 On the other hand, the geometric error measurement method using the geometric error measurement system is not limited to the embodiment described above, and can be appropriately changed as necessary. For example, the geometric error measurement method is not limited to a method of obtaining a geometric error by measuring the diameter and position of a spherical target (a jig to be measured) as in the above-described embodiment. It is also possible to change to a method for obtaining a geometric error by using a target having another shape and measuring a length of a predetermined side of the rectangular parallelepiped target or a distance between predetermined surfaces.
また、ターゲットの設置位置(中心位置)や直径の測定は、上記実施形態の如く、タッチプローブをターゲットに接触させる方法に限定されず、非接触で距離が測定できるレーザ変位計を利用した方法や、3つ以上の変位センサを同時にターゲットに接触させて各変位センサの計測値からターゲットの中心位置や直径を求める方法等に変更することも可能である。 Further, the measurement of the target installation position (center position) and diameter is not limited to the method of bringing the touch probe into contact with the target as in the above embodiment, and a method using a laser displacement meter that can measure the distance in a non-contact manner, It is also possible to change to a method of obtaining the center position and diameter of the target from the measured values of each displacement sensor by bringing three or more displacement sensors into contact with the target at the same time.
本発明に係る幾何誤差計測システムは、上記の如く優れた効果を奏するものであるから、各種の多軸工作機械における幾何誤差計測用(同定用)のシステムとして好適に用いることができる。 Since the geometric error measurement system according to the present invention has excellent effects as described above, it can be suitably used as a geometric error measurement (identification) system in various multi-axis machine tools.
S・・幾何誤差計測システム
M・・マシニングセンタ
1・・ベッド
2・・主軸頭
3・・テーブル
4・・クレードル
5・・トラニオン
11・・タッチプローブ
12・・ターゲット球
21・・制御装置
22・・記憶手段
25・・閾値記憶領域(閾値設定手段)
26・・パラメータ記憶領域(幾何誤差更新手段)
S ·· Geometric error measurement system M · ·
26 .. Parameter storage area (geometric error update means)
Claims (5)
工作機械の幾何誤差を補正するための幾何誤差補正システムを備えており、
幾何誤差設定値を更新記憶可能な幾何誤差更新手段を有しており、幾何誤差を同定した後には、その同定した数値に前回の同定後の幾何誤差を加算した加算値を新たな幾何誤差設定値として更新するとともに、次回の幾何誤差の同定を、その幾何誤差の更新からの変化分として求めるものであり、
予め幾何誤差の閾値を設定可能な閾値設定手段と、
同定した幾何誤差が閾値設定手段に設定されている閾値を上回っている場合に、その事態を報知する報知手段とを有することを特徴とする幾何誤差計測システム。 In a multi-axis machine tool having a plurality of linear axes and rotating axes, a sensor is provided on the spindle and a measurement target is installed on the table, and the coordinates of the measurement target are measured by the sensor under a plurality of positioning conditions. A geometric error measurement system for identifying a geometric error existing between adjacent axes using the measured value of
It is equipped with a geometric error correction system for correcting geometric errors of machine tools,
It has a geometric error update means that can update and store the geometric error setting value. After identifying the geometric error, add the geometric error after the previous identification to the identified numerical value and set the new geometric error setting. Update as a value , and identify the next geometric error as a change from the update of the geometric error ,
Threshold setting means capable of setting a geometric error threshold in advance;
A geometric error measurement system comprising: an informing means for informing the situation when the identified geometric error exceeds a threshold set in the threshold setting means.
幾何誤差更新手段において、算出された新たな幾何誤差設定値を新たな幾何誤差設定値として自動更新することを特徴とする請求項1、または請求項2に記載の幾何誤差計測システム。 If both the newly measured geometric error and the new geometric error setting value calculated from the geometric error are below the threshold,
The geometric error measurement system according to claim 1 or 2, wherein the geometric error update means automatically updates the calculated new geometric error set value as a new geometric error set value.
幾何誤差更新手段において、算出された新たな幾何誤差設定値を新たな幾何誤差設定値として自動更新せず、手動による新たな幾何誤差設定値の設定を可能とすることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の幾何誤差計測システム。 If one of the newly measured geometric error or the new geometric error setting value calculated from the geometric error exceeds the threshold,
2. The geometric error updating means is capable of manually setting a new geometric error setting value without automatically updating the calculated new geometric error setting value as a new geometric error setting value. The geometric error measurement system according to any one of?
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