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JP5653323B2 - Molded body and multi-cavity wiring board - Google Patents

Molded body and multi-cavity wiring board Download PDF

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JP5653323B2 JP2011187278A JP2011187278A JP5653323B2 JP 5653323 B2 JP5653323 B2 JP 5653323B2 JP 2011187278 A JP2011187278 A JP 2011187278A JP 2011187278 A JP2011187278 A JP 2011187278A JP 5653323 B2 JP5653323 B2 JP 5653323B2
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Description

本発明は、半導体素子や発光素子等の電子部品を搭載するための配線基板を製作するための成形体および多数個取り配線基板に関するものである。   The present invention relates to a molded body and a multi-cavity wiring board for manufacturing a wiring board for mounting electronic components such as semiconductor elements and light emitting elements.

従来から、電子部品を搭載し、電子機器に組み込まれる配線基板としてセラミック製のものが用いられており、配線基板の表面および内部には、配線導体が配置されている。配線基板上に搭載された電子部品と配線導体とを電気的に接続することによって、電子装置が作製される。   2. Description of the Related Art Conventionally, a ceramic substrate is used as a wiring board on which electronic components are mounted and incorporated in an electronic device, and wiring conductors are arranged on the surface and inside of the wiring board. An electronic device is manufactured by electrically connecting an electronic component mounted on a wiring board and a wiring conductor.

このような配線基板には、例えば、放熱用等の目的で金属体が埋設されているものがある(例えば、特許文献1を参照。)。このような金属体は、例えば、配線基板に実装される電子部品が発する熱を配線基板の外に逃がして、放熱性を高めるためのものである。   Some of such wiring boards have a metal body embedded for the purpose of heat dissipation or the like (see, for example, Patent Document 1). Such a metal body is, for example, for releasing heat generated by an electronic component mounted on the wiring board to the outside of the wiring board to improve heat dissipation.

また、このような配線基板は、近年の電子装置の薄型化および小型化の要求に伴って、その大きさが小さくなってきており、複数の配線基板を効率よく製作するために、多数個取り配線基板を分割することによって製作することが行なわれている。多数個取り配線基板は、広面積の母基板に配線基板となる複数の配線基板領域が縦横に配列形成されたものである。なお、このような多数個取り配線基板は、セラミックスの焼成収縮によって凸または凹となるように反っていることがあった。また、配線基板において、金属体が平面視で配線基板の中央から上下左右のいずれかの辺側に偏って配置されることがあった。   In addition, with the recent demand for thinner and smaller electronic devices, the size of such wiring boards has been reduced. In order to efficiently manufacture a plurality of wiring boards, a large number of such wiring boards can be obtained. Manufacturing is performed by dividing the wiring board. The multi-cavity wiring board is obtained by arranging a plurality of wiring board regions to be a wiring board on a large-area mother board in the vertical and horizontal directions. Note that such multi-cavity wiring boards sometimes warp so as to be convex or concave due to firing shrinkage of ceramics. Further, in the wiring board, the metal body may be arranged to be biased from the center of the wiring board to one of the upper, lower, left and right sides in a plan view.

特開2009−71013号公報JP 2009-71013 A

しかしながら、金属体が偏って配置された配線基板を得るための多数個取り配線基板を作製すると、多数個取り配線基板が反って、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域が、多数個取り配線基板の中央から金属体の偏っている方向にずれることがあった。このような多数個取り配線基板では、電子部品素子を搭載する際や、樹脂モールドする際に、多数個取り配線基板に金型を載置すると、多数個取り配線基板が割れてしまうことがあった。   However, when a multi-cavity wiring board is manufactured to obtain a wiring board in which metal bodies are arranged in an uneven manner, the multi-cavity wiring board is warped and becomes the most recessed area or the most convex of the multi-cavity wiring board. The region sometimes deviated from the center of the multi-piece wiring board in the direction in which the metal body is biased. In such a multi-cavity wiring board, when mounting electronic components or resin molding, placing a mold on the multi-cavity wiring board may cause the multi-cavity wiring board to break. It was.

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的は多数個取り配線基板が反って、凹または凸となったとしても、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域が中央部に位置する多数個取り配線基板および、このような多数個取り配線基板を作製するための成形体を提供することにある。   The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems of the prior art, and its purpose is to form the most concave of the multi-cavity wiring board even if the multi-cavity wiring board is warped and becomes concave or convex. An object of the present invention is to provide a multi-cavity wiring board in which the area or the most convex area is located at the center, and a molded body for producing such a multi-cavity wiring board.

本発明の成形体は、平面視において矩形状を有しており、縦方向および横方向に配列された複数の配線基板領域を含んでいる複数のセラミックグリーンシートと、前記複数の配線基板領域のそれぞれに埋設されており、前記複数の配線基板領域のそれぞれにおいて前記縦方向に偏在して設けられている金属体とを備えており、前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の上端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記金属体から前記セラミックグリーンシートの上辺までの距離が、前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の
下端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記金属体から前記セラミックグリーンシートの下辺までの距離に等しいことを特徴とするものである。
The molded body of the present invention has a rectangular shape in plan view, and includes a plurality of ceramic green sheets including a plurality of wiring board regions arranged in the vertical direction and the horizontal direction, and the plurality of wiring board regions. Embedded in each of the plurality of wiring board regions, and provided with a metal body that is unevenly distributed in the vertical direction, and is disposed at an upper end in the vertical direction of the plurality of wiring board regions. The distance from the metal body provided in the wiring board area to the upper side of the ceramic green sheet is provided in the wiring board area disposed at the lower end in the vertical direction among the plurality of wiring board areas. It is equal to the distance from the said metal body to the lower side of the said ceramic green sheet.

本発明の多数個取り配線基板は、平面視において矩形状を有しており、縦方向および横方向に配列された複数の配線基板領域を含んでいる母基板と、前記複数の配線基板領域のそれぞれに埋設されており、前記複数の配線基板領域のそれぞれにおいて前記縦方向に偏在して設けられている金属焼結体とを備えており、前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の上端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記金属焼結体から前記母基板の上辺までの距離が、前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の下端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記金属焼結体から前記母基板の下辺までの距離に等しいものである。   The multi-cavity wiring board of the present invention has a rectangular shape in plan view, and includes a mother board including a plurality of wiring board areas arranged in the vertical direction and the horizontal direction, and the plurality of wiring board areas. A metal sintered body that is embedded in each of the plurality of wiring board regions and is provided in a localized manner in the vertical direction, and has an upper end in the vertical direction among the plurality of wiring board regions. The distance from the metal sintered body provided in the wiring board region disposed in the upper side of the mother board to the wiring board region disposed at the lower end in the vertical direction among the plurality of wiring board regions. It is equal to the distance from the provided metal sintered body to the lower side of the mother substrate.

本発明の成形体によれば、複数の配線基板領域のうち縦方向の上端に配置された配線基板領域に設けられた金属体からセラミックグリーンシートの上辺までの距離が、複数の配線基板領域のうち縦方向の下端に配置された配線基板領域に設けられた金属体からセラミックグリーンシートの下辺までの距離に等しいことから、セラミックグリーンシートを焼成して多数個取り配線基板としたときに、多数個取り配線基板が仮に反ったとしても、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域を多数個取り配線基板の中央に位置させることができる。   According to the molded body of the present invention, the distance from the metal body provided on the wiring board region disposed at the upper end in the vertical direction among the plurality of wiring board regions to the upper side of the ceramic green sheet is equal to the plurality of wiring board regions. Among them, since it is equal to the distance from the metal body provided in the wiring board region arranged at the lower end in the vertical direction to the lower side of the ceramic green sheet, when the ceramic green sheet is fired to obtain a multi-piece wiring board, many Even if the multi-cavity wiring board is warped, the most recessed area or the most convex area of the multi-cavity wiring board can be positioned at the center of the multi-cavity wiring board.

本発明の多数個取り配線基板によれば、複数の配線基板領域のうち縦方向の上端に配置された配線基板領域に設けられた金属体から母基板の上辺までの距離が、複数の配線基板領域のうち縦方向の下端に配置された配線基板領域に設けられた金属体から母基板の下辺までの距離に等しいことから、多数個取り配線基板が仮に反ったとしても、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域を多数個取り配線基板の中央に位置させることができる。   According to the multi-cavity wiring board of the present invention, the distance from the metal body provided in the wiring board area disposed at the upper end in the vertical direction among the plurality of wiring board areas to the upper side of the mother board is a plurality of wiring boards. Since it is equal to the distance from the metal body provided in the wiring board area disposed at the lower end in the vertical direction to the lower side of the mother board, even if the multi-cavity wiring board warps, the multi-cavity wiring board The most concave region or the most convex region can be placed in the center of the wiring board.

(a)は、本発明の成形体の第1の実施形態の一例を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図である。(A) is a top view which shows an example of 1st Embodiment of the molded object of this invention, (b) is sectional drawing in the AA of (a). (a)は、本発明の成形体の第1の実施形態の他の例を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図である。(A) is a top view which shows the other example of 1st Embodiment of the molded object of this invention, (b) is sectional drawing in the AA of (a). (a)は、本発明の成形体の第1の実施形態の他の例を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図である。(A) is a top view which shows the other example of 1st Embodiment of the molded object of this invention, (b) is sectional drawing in the AA of (a). (a)は、本発明の成形体の第1の実施形態の他の例を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図である。(A) is a top view which shows the other example of 1st Embodiment of the molded object of this invention, (b) is sectional drawing in the AA of (a). (a)は、本発明の成形体の第1の実施形態の他の例を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図であり、(c)は(a)のB−B線における断面図である。(A) is a top view which shows the other example of 1st Embodiment of the molded object of this invention, (b) is sectional drawing in the AA of (a), (c) is ( It is sectional drawing in the BB line of a). (a)は、本発明の多数個取り配線基板の第1の実施形態の一例を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図である。(A) is a top view which shows an example of 1st Embodiment of the multi-piece wiring board of this invention, (b) is sectional drawing in the AA of (a). (a)は、本発明の成形体の第2の実施形態の一例を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図である。(A) is a top view which shows an example of 2nd Embodiment of the molded object of this invention, (b) is sectional drawing in the AA of (a). (a)は、本発明の多数個取り配線基板の第2の実施形態の一例を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図である。(A) is a top view which shows an example of 2nd Embodiment of the multi-piece wiring board of this invention, (b) is sectional drawing in the AA of (a).

本発明のいくつかの例示的な実施形態について、添付の図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、図1〜図6において、上方向とは仮想のy軸の正方向のことをいう。   Several exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 to 6, the upward direction refers to the positive direction of the virtual y axis.

(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態における成形体は、図1〜図5に示す例のように、平面視において矩形状を有しており、縦方向および横方向に配列された複数の配線基板領域1aを含んでいる複数のセラミックグリーンシート1と、複数の配線基板領域1aのそれぞれに埋設されており、複数の配線基板領域1aのそれぞれにおいて縦方向に偏在しており、セラミックグリーンシート1に複数設けられている金属体2とを備えており、複数の配線基板領域1aのうち縦方向の上端に配置された配線基板領域1aに設けられた金属体2からセラミックグリーンシート1の上辺までの距離L1が、複数の配線基板領域1aのうち縦方向の下端に配置された配線基板領域1aに設けられた金属体2からセラミックグリーンシート1の下辺までの距離L2に等しいものである。
(First embodiment)
The molded body in the first embodiment of the present invention has a rectangular shape in plan view as in the examples shown in FIGS. 1 to 5, and a plurality of wiring board regions arranged in the vertical direction and the horizontal direction Embedded in each of the plurality of ceramic green sheets 1 including 1a and the plurality of wiring board regions 1a, and unevenly distributed in the vertical direction in each of the plurality of wiring substrate regions 1a. The distance from the metal body 2 provided in the wiring board area | region 1a arrange | positioned at the upper end of the vertical direction among several wiring board area | regions 1a to the upper side of the ceramic green sheet 1 is provided. L1 is a distance L2 from the metal body 2 provided in the wiring board region 1a disposed at the lower end in the vertical direction among the plurality of wiring board regions 1a to the lower side of the ceramic green sheet 1. Shii is intended.

なお、第1の実施形態における金属体2からセラミックグリーンシート1の上辺までの距離L1と金属体2からセラミックグリーンシート1の下辺までの距離L2とは等しい長さであるが、製造時のばらつきによって生じる0.1mm程度の誤差は含むものとする。   Note that the distance L1 from the metal body 2 to the upper side of the ceramic green sheet 1 and the distance L2 from the metal body 2 to the lower side of the ceramic green sheet 1 in the first embodiment are equal in length, but variations in manufacturing. An error of about 0.1 mm caused by the above is included.

また、第1の実施形態の成形体は、上記構成において、図1に示す例のように、金属体2が、平面視でセラミックグリーンシート1の中央を通って横方向(x方向)に伸びた仮想直線(C−C線)を挟んで線対称に配置されているときには、成形体を焼成して多数個取り配線基板を作製する際に、焼成収縮による応力がC−C線を挟んで略均等に加わるので、多数個取り配線基板が反ったときに、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域をC−C線上に位置させるのに有効である。   Further, in the molded body of the first embodiment, in the above configuration, the metal body 2 extends in the lateral direction (x direction) through the center of the ceramic green sheet 1 in a plan view as in the example shown in FIG. When the imaginary straight line (CC line) is arranged symmetrically with respect to the line, the stress due to the shrinkage of firing is sandwiched between the CC line when the molded body is fired to produce a multi-piece wiring board. Since the multi-cavity wiring board is warped, it is effective to position the most recessed area or the most convex area on the CC line when the multi-cavity wiring board warps.

また、第1の実施形態の成形体は、上記構成において、図2に示す例のように、金属体2が、縦方向(y方向)に等間隔に配置されているときには、成形体を焼成して多数個取り配線基板を作製する際に、焼成収縮による応力が配線基板領域1aに略均等に分布するので、多数個取り配線基板が反ったときに、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域を多数個取り配線基板の中央に位置させるのに有効である。   Further, the molded body of the first embodiment is fired when the metal bodies 2 are arranged at equal intervals in the vertical direction (y direction) as in the example shown in FIG. When the multi-cavity wiring board is manufactured, the stress due to the firing shrinkage is distributed substantially evenly in the wiring board region 1a. Therefore, when the multi-cavity wiring board is warped, the multi-cavity wiring board is most recessed. It is effective to place a large number of regions or the most convex regions at the center of the wiring board.

また、第1の実施形態の成形体は、上記構成において、図3に示す例のように、平面視において縦方向(y方向)の上端に配置された配線基板領域1aから下端に配置された配線基板領域1aにかけて、縦方向(y方向)に隣り合って配置された複数の配線基板領域1aにおいて金属体2が複数の配線基板領域1aの境界を挟んで線対称に配置されているときには、成形体を焼成して多数個取り配線基板を作製する際に、隣接する配線基板領域1aに焼成収縮による応力が略均等に加わるので、多数個取り配線基板が反ったときに、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域を多数個取り配線基板の中央に位置させるのに有効である。   Further, in the above configuration, the molded body according to the first embodiment is arranged at the lower end from the wiring board region 1a arranged at the upper end in the vertical direction (y direction) in plan view as in the example shown in FIG. When the metal bodies 2 are arranged symmetrically across the boundaries of the plurality of wiring board regions 1a in the plurality of wiring board regions 1a arranged adjacent to each other in the vertical direction (y direction) over the wiring board region 1a, When the molded body is fired to produce a multi-cavity wiring board, stress due to firing shrinkage is applied to the adjacent wiring board region 1a substantially evenly, so that when the multi-cavity wiring board warps, the multi-cavity wiring This is effective for positioning the most concave region or the most convex region of the substrate at the center of the wiring substrate.

セラミックグリーンシート1は、セラミック粉末に有機バインダおよび有機溶剤、また必要に応じて所定量の可塑剤や分散剤を加えたスラリーを得て、これをPET(ポリエチレンテレフタレート)等の樹脂や紙製の支持体上にドクターブレード法,リップコーター法またはダイコーター法等の成形方法によって塗布してシート状に成形し、温風乾燥,真空乾燥または遠赤外線乾燥等の乾燥方法によって乾燥することによって作製する。   The ceramic green sheet 1 obtains a slurry obtained by adding an organic binder and an organic solvent to a ceramic powder, and a predetermined amount of a plasticizer or a dispersant as required, and this is made of a resin such as PET (polyethylene terephthalate) or paper. It is prepared by applying onto a support by a forming method such as a doctor blade method, a lip coater method or a die coater method, forming it into a sheet, and drying it by a drying method such as hot air drying, vacuum drying or far-infrared drying. .

セラミック粉末としては、例えば、酸化アルミニウム(Al)粉末,窒化アルミニウム(AlN)粉末,ガラスセラミック粉末等が挙げられ、配線基板7に要求される特性に合わせて適宜選択される。 Examples of the ceramic powder include aluminum oxide (Al 2 O 3 ) powder, aluminum nitride (AlN) powder, glass ceramic powder, and the like, which are appropriately selected according to the characteristics required for the wiring board 7.

セラミック粉末が酸化アルミニウム粉末や窒化アルミニウム粉末の場合は、酸化珪素(SiO)や酸化マグネシウム(MgO)等の焼結助剤となる成分の粉末が加えられ、ま
た、着色剤として酸化マンガン(MnO)等の粉末を加えてもよい。
When the ceramic powder is an aluminum oxide powder or aluminum nitride powder, a powder of a component serving as a sintering aid such as silicon oxide (SiO 2 ) or magnesium oxide (MgO) is added, and manganese oxide (MnO) is used as a colorant. ) Etc. may be added.

セラミック粉末がガラスセラミック粉末の場合は、ガラス粉末とフィラー粉末とを10:90乃至99:1、好ましくは40:60乃至80:20の質量比で混合する。ガラスセラミック粉末のガラス粉末としては、従来からガラスセラミックスに用いられているものを用いればよく、例えばSiO−B系,SiO−B−Al系,SiO−B−Al−MO系(ただし、MはCa,Sr,Mg,BaまたはZnを示す。),SiO−Al−M1O−MO系(ただし、M1およびM2は同じまたは異なってCa,Sr,Mg,BaまたはZnを示す。),SiO−B−Al−M1O−M2O系(ただし、M1およびM2は上記と同じである。),SiO−B−M3O系(ただし、M3はLi、NaまたはKを示す。),SiO−B−Al−M3O系(ただし、M3は上記と同じである。),Pb系,Bi系等のガラスの粉末が用いられる。 When the ceramic powder is a glass ceramic powder, the glass powder and the filler powder are mixed at a mass ratio of 10:90 to 99: 1, preferably 40:60 to 80:20. The glass powder of the glass ceramic powder, may be used those conventionally used in glass ceramics, for example, SiO 2 -B 2 O 3 based, SiO 2 -B 2 O 3 -Al 2 O 3 system, SiO 2 -B 2 O 3 -Al 2 O 3 -MO -based (where, M represents Ca, Sr, Mg, Ba, or Zn.), SiO 2 -Al 2 O 3 -M1O-M 2 O system (however, M1 And M2 are the same or different and each represents Ca, Sr, Mg, Ba or Zn.), SiO 2 —B 2 O 3 —Al 2 O 3 —M 1 O—M 2 O system (where M 1 and M 2 are the same as above) ), SiO 2 —B 2 O 3 —M3 2 O system (where M3 represents Li, Na or K), SiO 2 —B 2 O 3 —Al 2 O 3 —M3 2 O system (provided that M3 and above Flip it.), Pb-based, powder glass Bi system and the like are used.

また、ガラスセラミック粉末のフィラー粉末としては、従来からガラスセラミックスに用いられているものを用いればよく、例えばAlとSiOとZrOとアルカリ土類金属酸化物との複合酸化物,TiOとアルカリ土類金属酸化物との複合酸化物,AlおよびSiO(クリストバライト,クオーツ)の少なくとも1種を含む複合酸化物(例えばスピネル,ムライト,コージェライト)等のセラミック粉末が挙げられる。 Further, as the filler powder of the glass ceramic powder, what is conventionally used for glass ceramics may be used, for example, a composite oxide of Al 2 O 3 , SiO 2 , ZrO 2 and an alkaline earth metal oxide, Ceramic powders such as composite oxides of TiO 2 and alkaline earth metal oxides, composite oxides containing at least one of Al 2 O 3 and SiO 2 (cristobalite, quartz) (for example, spinel, mullite, cordierite) Can be mentioned.

有機バインダとしては、従来からセラミックグリーンシートに用いられているものを用いればよく、例えばアクリル系(アクリル酸,メタクリル酸またはそれらのエステルの単独集合体または共重合体、具体的にはアクリル酸エステル共重合体,メタクリル酸エステル共重合体,アクリル酸エステル−メタクリル酸エステル共重合体等),ポリビニルブチラール系,ポリビニルアルコール系,アクリル−スチレン系,ポリプロピレンカーボネート系,セルロース系等の単独共重合体または共重合体が挙げられる。焼成工程での分解性や揮発性を考慮すると、アクリル系バインダがより好ましい。また、有機バインダの添加量はセラミック粉末によって異なるが、焼成時に分解・除去されやすく、かつセラミック粉末が分散され、グリーンシートのハンドリング性や加工性が良好な量であればよく、セラミック粉末に対して10乃至20質量%程度が望ましい。   As the organic binder, those conventionally used for ceramic green sheets may be used. For example, acrylic (acrylic acid, methacrylic acid or a single aggregate or copolymer of esters thereof, specifically, acrylic ester. Copolymer, methacrylic acid ester copolymer, acrylic acid ester-methacrylic acid ester copolymer, etc.), polyvinyl butyral type, polyvinyl alcohol type, acrylic-styrene type, polypropylene carbonate type, cellulose type homopolymer or the like A copolymer is mentioned. In view of decomposability and volatility in the firing step, an acrylic binder is more preferable. Also, the amount of organic binder added varies depending on the ceramic powder, but it may be an amount that is easy to be decomposed and removed during firing and that the ceramic powder is dispersed and the green sheet is easy to handle and process. About 10 to 20% by mass is desirable.

スラリーに含まれる溶剤は、セラミック粉末および有機バインダを分散させ、グリーンシート成形に適した粘度のスラリーが得られるように、例えば炭化水素類,エーテル類,エステル類,ケトン類,アルコール類等の有機溶剤や水が挙げられる。これらの中で、トルエン,メチルエチルケトン,イソプロピルアルコール等の蒸発係数の高い溶剤は、スラリー塗布後の乾燥工程が短時間で終了できるので好ましい。溶剤の量は、セラミック粉末に対して30乃至100質量%の量で加えることによって、スラリーを良好に支持体上に塗布
することができるような粘度、具体的には3cps乃至100cps程度となるようにする
ことが望ましい。
The solvent contained in the slurry is made of organic materials such as hydrocarbons, ethers, esters, ketones, alcohols, etc. so that a slurry having a viscosity suitable for green sheet molding can be obtained by dispersing ceramic powder and organic binder. A solvent and water are mentioned. Among these, solvents having a high evaporation coefficient such as toluene, methyl ethyl ketone, and isopropyl alcohol are preferable because the drying process after slurry application can be completed in a short time. The solvent is added in an amount of 30 to 100% by mass with respect to the ceramic powder, so that the viscosity is such that the slurry can be satisfactorily coated on the support, specifically about 3 to 100 cps. It is desirable to make it.

なお、セラミックグリーンシート1は、複数のセラミックグリーンシートを積層したものも含まれる。このような複数層からなるセラミックグリーンシート1は、複数枚のセラミックグリーンシートを準備し、これらを積層して加圧することにより形成される。   The ceramic green sheet 1 includes a laminate of a plurality of ceramic green sheets. Such a ceramic green sheet 1 composed of a plurality of layers is formed by preparing a plurality of ceramic green sheets, laminating them and pressing them.

次に、図1〜図5に示す例のように、セラミックグリーンシート1の配線基板領域1aに金属体2を埋設するとともに、配線導体パターン3を配置する。なお、金属体2の埋設と配線導体パターン3の配置とはどちらを先に行ってもよい。   Next, as in the example shown in FIGS. 1 to 5, the metal body 2 is embedded in the wiring board region 1 a of the ceramic green sheet 1 and the wiring conductor pattern 3 is disposed. Note that either the embedding of the metal body 2 or the arrangement of the wiring conductor pattern 3 may be performed first.

金属体2をセラミックグリーンシート1に埋設するには、セラミックグリーンシート1に穴を設けて、この穴に金属体2を配置しておけばよい。   In order to embed the metal body 2 in the ceramic green sheet 1, a hole is provided in the ceramic green sheet 1, and the metal body 2 may be disposed in the hole.

金属体2が埋設される穴は、金型やパンチングによる打ち抜き加工またはレーザ加工によって形成できる。このとき、金属体2は成形体の上面または下面あるいは上下の両方の面に露出されていてもよい。例えば、平面視で角部が円弧状の矩形状や円形の底面を有する柱状に形成されているときには、柱状の金属体2の底面が成形体の上面または下面に露出されていてもよい。金属体2が成形体の上面または下面に露出されていると、金属体2が露出していない場合に比べて、成形体を焼成する際に、金属体2が成形体の厚み方向にも変形しやすくなるので、成形体の面方向への変形を抑制するのに有効である。   The hole in which the metal body 2 is embedded can be formed by punching by a die or punching or laser processing. At this time, the metal body 2 may be exposed on the upper surface, the lower surface, or both the upper and lower surfaces of the molded body. For example, when the corner portion is formed in a rectangular shape having a circular arc shape or a circular bottom surface in plan view, the bottom surface of the columnar metal body 2 may be exposed on the upper surface or the lower surface of the molded body. When the metal body 2 is exposed on the upper surface or the lower surface of the molded body, the metal body 2 is deformed in the thickness direction of the molded body when the molded body is baked as compared with the case where the metal body 2 is not exposed. Therefore, it is effective for suppressing deformation in the surface direction of the molded body.

金属体2は、金属シートまたは金属ペーストからなり、金属シートまたは金属ペーストをセラミックグリーンシート1の穴に充填することで配置できる。   The metal body 2 is made of a metal sheet or a metal paste, and can be arranged by filling the hole of the ceramic green sheet 1 with the metal sheet or the metal paste.

金属体2が金属シートからなる場合には、金属シートは、平面視でセラミックグリーンシート1の穴と同じ形状で、セラミックグリーンシート1の穴の深さと同じ厚みに形成されて、セラミックグリーンシート1の穴を充填するように埋設されていればよい。   When the metal body 2 is made of a metal sheet, the metal sheet is formed in the same shape as the hole of the ceramic green sheet 1 in a plan view and the same thickness as the depth of the hole of the ceramic green sheet 1. It suffices if it is buried so as to fill the holes.

なお、金属シートは、セラミックグリーンシート1に打ち抜き加工で穴を設けると同時に埋設されると成形体を効率よく作製できる。   When the metal sheet is embedded in the ceramic green sheet 1 by punching and simultaneously embedded, a molded body can be produced efficiently.

例えば、貫通孔の形成されたセラミックグリーンシート1の上面に金属シートを載置し、セラミックグリーンシート1に貫通孔を形成する打ち抜き金型を用いて、金属シート側から金属シートとセラミックグリーンシートとに貫通孔を打抜くと、セラミックグリーンシート1の貫通孔内に、この貫通孔と同サイズに打ち抜かれた金属シートを嵌め込むことができる。   For example, a metal sheet is placed on the upper surface of the ceramic green sheet 1 in which a through hole is formed, and a metal mold and a ceramic green sheet are formed from the metal sheet side using a punching die that forms a through hole in the ceramic green sheet 1. When a through hole is punched into the metal sheet, a metal sheet punched in the same size as the through hole can be fitted into the through hole of the ceramic green sheet 1.

また、金属体2が金属ペーストからなる場合には、金属ペーストは、セラミックグリーンシート1の穴に充填されて配置されていればよい。また、金属ペーストを用いる場合には、金属ペーストはセラミックグリーンシート1の穴に保持されるような粘度に調整されていればよいが、セラミックグリーンシート1の穴を底のあるものとしておくことが好ましい。   Moreover, when the metal body 2 consists of a metal paste, the metal paste should just be filled and arrange | positioned at the hole of the ceramic green sheet 1. FIG. Moreover, when using a metal paste, the metal paste should just be adjusted to the viscosity hold | maintained at the hole of the ceramic green sheet 1, However, The hole of the ceramic green sheet 1 should have a bottom. preferable.

金属体2として金属シートを用いる場合には、金属シートは金属粉末に有機バインダおよび有機溶剤を、また必要に応じて所定量の可塑剤や分散剤を加えてスラリーを得て、これをPET(ポリエチレンテレフタレート)等の樹脂や紙製の支持体上にドクターブレード法,リップコーター法またはダイコーター法等の成形方法によって塗布してシート状に成形し、温風乾燥,真空乾燥または遠赤外線乾燥等の乾燥方法によって乾燥することによって作製する。   In the case of using a metal sheet as the metal body 2, the metal sheet is obtained by adding an organic binder and an organic solvent to the metal powder, and adding a predetermined amount of a plasticizer and a dispersant as required to obtain a slurry. Polyethylene terephthalate) and other paper or paper supports are coated by a molding method such as the doctor blade method, lip coater method or die coater method, and then molded into a sheet, warm air drying, vacuum drying, far infrared drying, etc. It is produced by drying by the drying method.

金属粉末としては、例えば、タングステン(W),モリブデン(Mo),マンガン(Mn),金(Au),銀(Ag),銅(Cu),パラジウム(Pd),白金(Pt)等の1種または2種以上からなる粉末が挙げられ、要求される特性に合わせて適宜選択される。なお、金属粉末が、2種以上からなる場合は混合,合金,コーティング等のいずれの形態であってもかまわない。例えば、Cu粉末とW粉末とを混合した金属体2を用いると、放熱性に優れた銅タングステン(CuW)からなる金属焼結体12とすることができる。   Examples of the metal powder include tungsten (W), molybdenum (Mo), manganese (Mn), gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), palladium (Pd), and platinum (Pt). Or the powder which consists of 2 or more types is mentioned, According to the characteristic requested | required, it selects suitably. In addition, when a metal powder consists of 2 or more types, any form, such as mixing, an alloy, and a coating, may be sufficient. For example, when a metal body 2 in which Cu powder and W powder are mixed is used, a sintered metal body 12 made of copper tungsten (CuW) having excellent heat dissipation can be obtained.

金属シートに用いられる有機バインダおよび、スラリーに含まれる溶剤としては、上記のセラミックグリーンシートに用いられた材料を用いることができる。   As the organic binder used for the metal sheet and the solvent contained in the slurry, the materials used for the ceramic green sheet can be used.

有機バインダの添加量は金属粉末によって異なるが、焼成時に分解・除去されやすく、かつ金属粉末が分散され、グリーンシートのハンドリング性や加工性が良好な量であれば
よく、金属粉末に対して10乃至20質量%程度が望ましい。
The amount of the organic binder to be added varies depending on the metal powder, but it may be an amount that can be easily decomposed and removed during firing, is dispersed in the metal powder, and has good handling and workability of the green sheet. From about 20% by mass is desirable.

溶剤の量は、金属粉末に対して30乃至100質量%の量で加えることによって、スラリー
を良好に支持体上に塗布することができるような粘度、具体的には3cps乃至100cp
s程度となるようにすることが望ましい。
The amount of the solvent is 30 to 100% by mass based on the metal powder, so that the slurry can be satisfactorily coated on the support, specifically 3 to 100 cps.
It is desirable to be about s.

金属ペーストに用いられる有機バインダとしては、従来から金属ペーストに使用されているものが使用可能であり、例えばアクリル系(アクリル酸,メタクリル酸またはそれらのエステルの単独重合体または共重合体,具体的にはアクリル酸エステル共重合体,メタクリル酸エステル共重合体,アクリル酸エステル−メタクリル酸エステル共重合体等),ポリビニルブチラール系,アクリル−スチレン系,ポリプロピレンカーボネート系,セルロース系等の単独重合体または共重合体が挙げられる。焼成工程での分解性や揮発性を考慮すると、アクリル系,アルキド系の有機バインダがより好ましい。   As the organic binder used for the metal paste, those conventionally used for the metal paste can be used. For example, acrylic (acrylic acid, methacrylic acid or their homopolymers or copolymers, specifically Acrylic ester copolymer, methacrylic ester copolymer, acrylic ester-methacrylic ester copolymer, etc.), polyvinyl butyral, acrylic-styrene, polypropylene carbonate, cellulose and other homopolymers or A copolymer is mentioned. In view of decomposability and volatility in the firing step, acrylic and alkyd organic binders are more preferable.

また、有機バインダの添加量としては、金属粉末によって異なるが、焼成時に分解・除去されやすく、かつ金属粉末を分散できる量であればよく、金属粉末に対して5乃至20質量%程度の量であることが望ましい。   The amount of the organic binder added varies depending on the metal powder, but may be any amount that can be easily decomposed and removed during firing and can disperse the metal powder. It is desirable to be.

金属ペーストに用いる溶剤としては、金属粉末と有機バインダとを良好に分散させて混合できるようなものであればよく、テルピネオールやブチルカルビトールアセテートなどが挙げられる。印刷後の形成性,乾燥性を考慮し、低沸点溶剤を用いることが好ましい。溶剤は金属粉末に対して4乃至15質量%の量で加えられ、15000乃至40000cps程度となるように調整される。   The solvent used for the metal paste is not particularly limited as long as the metal powder and the organic binder can be well dispersed and mixed, and examples thereof include terpineol and butyl carbitol acetate. In view of formability after printing and drying properties, it is preferable to use a low boiling point solvent. The solvent is added in an amount of 4 to 15% by mass with respect to the metal powder, and is adjusted to about 15000 to 40000 cps.

なお、金属ペーストには、焼成時のセラミックグリーンシート1の焼成収縮挙動や収縮率と合わせるため、または焼成後の配線導体13の接合強度を確保するために、ガラスやセラミックスの粉末を添加してもよい。   In addition, in order to match the firing shrinkage behavior and shrinkage rate of the ceramic green sheet 1 during firing, or to ensure the bonding strength of the wiring conductor 13 after firing, the metal paste is added with glass or ceramic powder. Also good.

また、図4に示す例のように、金属体2は、平面視で成形体の上面側と下面側との大きさが異なっており、上面側と下面側との間に段差を設けることで、成形体を焼成した際に、母基板11と金属焼結体12との接触面積を大きくできる。このような形状の金属焼結体12を作製するには、セラミックグリーンシート1を複数のセラミックグリーンシートで形成し、上側のセラミックグリーンシートに第1貫通孔を形成し、下側のセラミックグリーンシートに第1貫通孔よりも径の大きい第2貫通孔を形成し、これらの貫通孔のそれぞれに合わせた大きさの金属体2を埋設し、上側と下側のセラミックグリーンシートを積層して加圧することによって形成することができる。   Further, as in the example shown in FIG. 4, the metal body 2 is different in size between the upper surface side and the lower surface side of the molded body in a plan view, and by providing a step between the upper surface side and the lower surface side. When the molded body is fired, the contact area between the mother substrate 11 and the metal sintered body 12 can be increased. In order to produce the metal sintered body 12 having such a shape, the ceramic green sheet 1 is formed of a plurality of ceramic green sheets, a first through hole is formed in the upper ceramic green sheet, and the lower ceramic green sheet is formed. A second through-hole having a diameter larger than that of the first through-hole is formed in the first through-hole, a metal body 2 having a size corresponding to each of these through-holes is embedded, and upper and lower ceramic green sheets are stacked and added. It can be formed by pressing.

成形体の上面側と下面側とで金属体2の大きさが異なる場合には、上面側における金属体2からセラミックグリーンシート1の上辺までの距離L1と金属体2からセラミックグリーンシート1の下辺までの距離L2はL1=L2とされ、下面側における金属体2からセラミックグリーンシート1の上辺までの距離L3と金属体2からセラミックグリーンシート1の下辺までの距離L4はL3=L4とされる。   When the size of the metal body 2 is different between the upper surface side and the lower surface side of the formed body, the distance L1 from the metal body 2 to the upper side of the ceramic green sheet 1 on the upper surface side and the lower side of the ceramic green sheet 1 from the metal body 2 The distance L2 from the metal body 2 to the upper side of the ceramic green sheet 1 on the lower surface side and the distance L4 from the metal body 2 to the lower side of the ceramic green sheet 1 are set to L3 = L4. .

また、金属体2は、図5に示す例のように、横方向にも偏在していてもよい。この場合には、平面視で、金属体2からセラミックグリーンシート1の左辺までの距離L5と金属体2からセラミックグリーンシート1の右辺までの距離L6とは、L5=L6とされる。なお、L3=L4,L5=L6の場合もL1=L2の場合と同様に、それぞれの距離は製造工程における0.1mm程度のばらつきによる誤差は含むものとする。   Further, the metal body 2 may be unevenly distributed in the lateral direction as in the example shown in FIG. In this case, in a plan view, the distance L5 from the metal body 2 to the left side of the ceramic green sheet 1 and the distance L6 from the metal body 2 to the right side of the ceramic green sheet 1 are L5 = L6. In the case of L3 = L4 and L5 = L6, as in the case of L1 = L2, each distance includes an error due to a variation of about 0.1 mm in the manufacturing process.

配線導体パターン3は、電子部品のワイヤボンディング等の接続手段によって各電極と
電気的に接続される接続電極となる配線導体13、半田等の接合材を介して外部回路基板の配線導体13と電気的に接続される接続パッドとなる配線導体13、接続電極と接続パッドとを電気的に接続するための貫通導体や基板内で引き回される内部配線層となる配線導体13となるものである。
The wiring conductor pattern 3 is electrically connected to the wiring conductor 13 which becomes a connection electrode electrically connected to each electrode by connection means such as wire bonding of electronic components, and the wiring conductor 13 of the external circuit board via a bonding material such as solder. Wiring conductor 13 to be a connection pad to be connected, a through conductor for electrically connecting the connection electrode and the connection pad, and a wiring conductor 13 to be an internal wiring layer routed in the substrate .

このような配線導体パターン3は、例えば、セラミックグリーンシート1にパンチングや金型による打ち抜き加工やレーザ加工によって貫通導体となる配線導体パターン3用の貫通孔を形成し、この貫通孔に貫通導体となる配線導体パターン3用の導体ペーストをスクリーン印刷法やプレス充填によって埋め込んで貫通導体となる配線導体パターン3を形成し、セラミックグリーンシート1の上面または下面の貫通導体となる配線導体パターン3が露出した部分の上に配線導体層となる配線導体パターン3用の導体ペーストをスクリーン印刷法、グラビア印刷法等の印刷法によって所定パターン形状で印刷することによって、10μm〜20μm程度の厚みで形成される。   Such a wiring conductor pattern 3 is formed, for example, by forming a through-hole for the wiring conductor pattern 3 to be a through conductor in the ceramic green sheet 1 by punching, punching with a mold, or laser processing. A conductive paste for the wiring conductor pattern 3 is embedded by screen printing or press filling to form the wiring conductor pattern 3 to be a through conductor, and the wiring conductor pattern 3 to be a through conductor on the upper surface or the lower surface of the ceramic green sheet 1 is exposed. A conductor paste for the wiring conductor pattern 3 to be a wiring conductor layer is printed in a predetermined pattern shape by a printing method such as a screen printing method or a gravure printing method on the formed portion, thereby forming a thickness of about 10 μm to 20 μm. .

導体ペーストは、金属粉末に適当な有機バインダおよび溶剤を加えてボールミルやプラネタリーミキサー等の混練手段によって均質に分散させて混練した後、溶剤を必要量添加することによって、印刷や貫通孔の充填に適した粘度に調整することによって作製される。   Conductor paste is filled with metal paste by adding an appropriate organic binder and solvent, and uniformly dispersed by a kneading means such as a ball mill or a planetary mixer. It is produced by adjusting the viscosity to be suitable for.

このような導体ペーストは、上記した金属ペーストと同様の材料を用いて、同様の方法で作製できる。   Such a conductor paste can be manufactured by the same method using the same material as the metal paste described above.

次に、主面および内部に配線導体パターン3が形成されたセラミックグリーンシート1を加圧することによって、成形体を作製する。積層する際は、それぞれの貫通孔同士が平面視で重なるように積層される。このときの成形体への加圧は必要に応じて加熱しながら行なう。加圧および加熱の条件は用いる有機バインダ等の種類や量によって異なるが、概ね2〜20MPaの圧力および30〜100℃の温度である。また、ステンレス等からなる金属
体の上に、これらのセラミックグリーンシート1を載置し、これらのセラミックグリーンシート1の上方に配置されたステンレス等からなる金属体やゴム等からなる弾性体によって加圧される。
Next, a compact is produced by pressurizing the ceramic green sheet 1 on which the wiring conductor pattern 3 is formed on the main surface and inside. When laminating, the respective through holes are laminated so as to overlap each other in plan view. Pressurization to the compact at this time is performed while heating as necessary. The pressure and heating conditions vary depending on the type and amount of the organic binder used, but are generally a pressure of 2 to 20 MPa and a temperature of 30 to 100 ° C. Further, these ceramic green sheets 1 are placed on a metal body made of stainless steel or the like, and are added by an elastic body made of metal or rubber made of stainless steel or the like disposed above the ceramic green sheet 1. Pressed.

なお、図1〜図5に示す例においては、成形体は、1枚のセラミックグリーンシート1に金属体2および配線導体パターン3を配置することよって作製されているが、複数枚のセラミックグリーンシート1を準備して積層することによって成形体を作製してもよい。積層する際はセラミックグリーンシート1同士の接着性を向上させるために、溶剤と有機バインダや可塑剤等とを混合した接着剤を用いてもよい。   In the examples shown in FIGS. 1 to 5, the molded body is produced by arranging the metal body 2 and the wiring conductor pattern 3 on one ceramic green sheet 1. You may produce a molded object by preparing 1 and laminating | stacking. When laminating, in order to improve the adhesion between the ceramic green sheets 1, an adhesive obtained by mixing a solvent with an organic binder, a plasticizer, or the like may be used.

また、複数枚のセラミックグリーンシート1を積層して成形体を作製する場合には、貫通導体となる配線導体パターン3同士は直接接続されていればよいが、配線導体パターン3同士の接続をより良好なものとするために、貫通導体となる配線導体パターン3同士の間にこれらのパターンよりも幅広の配線導体パターン3を形成しておくことが好ましい。   Further, when a molded body is produced by laminating a plurality of ceramic green sheets 1, the wiring conductor patterns 3 as the through conductors may be directly connected to each other, but the wiring conductor patterns 3 are more connected to each other. In order to make it favorable, it is preferable to form the wiring conductor pattern 3 wider than these patterns between the wiring conductor patterns 3 to be the through conductors.

このようにして作製した成形体を焼成することで、図6に示す例のような多数個取り配線基板を作製できる。なお、成形体は、焼成することによって、セラミックグリーンシート1が母基板11に、金属体2が金属焼結体12に、配線導体パターン3が配線導体13、金属枠体パターン4は金属枠体14になる。また、図6に示す例においては、電子部品17を搭載した状態の多数個取り配線基板を示す。   By firing the molded body thus produced, a multi-cavity wiring board such as the example shown in FIG. 6 can be produced. By firing the molded body, the ceramic green sheet 1 is the mother substrate 11, the metal body 2 is the sintered metal body 12, the wiring conductor pattern 3 is the wiring conductor 13, and the metal frame pattern 4 is the metal frame body. Become 14. Further, the example shown in FIG. 6 shows a multi-piece wiring board on which the electronic component 17 is mounted.

第1の実施形態における多数個取り配線基板は、平面視において矩形状を有しており、縦方向および横方向に配列された複数の配線基板領域を含んでいる母基板11と、複数の配
線基板領域のそれぞれに埋設されており、複数の配線基板領域のそれぞれにおいて縦方向に偏在して設けられている金属焼結体12とを備えており、複数の配線基板領域のうち縦方向の上端に配置された配線基板領域に設けられた金属焼結体12から母基板11の上辺までの距離L11が、複数の配線基板領域のうち縦方向の下端に配置された配線基板領域に設けられた金属焼結体12から母基板11の下辺までの距離L12に等しいものである。このような構成であることから、多数個取り配線基板が反って凹または凸となっている領域を多数個取り配線基板の中央に位置させることができる。
The multi-cavity wiring board in the first embodiment has a rectangular shape in plan view, and includes a mother board 11 including a plurality of wiring board regions arranged in the vertical direction and the horizontal direction, and a plurality of wirings. A metal sintered body 12 embedded in each of the substrate regions and provided to be unevenly distributed in the vertical direction in each of the plurality of wiring substrate regions, and the upper end in the vertical direction of the plurality of wiring substrate regions A distance L11 from the sintered metal body 12 provided in the wiring board region disposed in the upper area to the upper side of the mother substrate 11 is provided in the wiring board region disposed at the lower end in the vertical direction among the plurality of wiring board regions. This is equal to the distance L12 from the sintered metal body 12 to the lower side of the mother board 11. With such a configuration, a region in which the multi-cavity wiring board is warped or convex can be positioned at the center of the multi-cavity wiring board.

なお、図6に示す例のように、多数個取り配線基板の上面側と下面側とで金属焼結体12の大きさが異なる場合には、上面側における金属焼結体12から母基板11の上辺までの距離L11と金属焼結体12から母基板11の下辺までの距離L12はL11=L12とされ、下面側における金属焼結体12から母基板11の上辺までの距離L13と金属焼結体12から母基板11の下辺までの距離L14はL13=L14とされる。   In the case where the size of the metal sintered body 12 is different between the upper surface side and the lower surface side of the multi-piece wiring substrate as in the example shown in FIG. The distance L11 from the metal sintered body 12 to the lower side of the mother board 11 is L11 = L12, and the distance L13 from the metal sintered body 12 to the upper side of the mother board 11 on the lower surface side and the metal firing The distance L14 from the bonded body 12 to the lower side of the mother board 11 is L13 = L14.

焼成する工程は有機成分の除去とセラミック粉末および金属粉末の焼結とから成る。有機成分の除去は100〜1000℃程度の温度範囲で成形体を加熱することによって行ない有機
成分を分解し、揮発させる。焼結温度はセラミックの組成および金属の組成によって異なり、800〜1600℃程度の範囲内で行なう。また、焼成雰囲気はセラミック粉末や導体材料
によって異なり、大気中あるいは還元雰囲気中あるいは非酸化性雰囲気中等で行なわれ、有機成分の除去を効果的に行なうために雰囲気中に水蒸気等を含ませてもよい。
The firing process consists of removing organic components and sintering ceramic and metal powders. The organic component is removed by heating the molded body in a temperature range of about 100 to 1000 ° C. to decompose and volatilize the organic component. The sintering temperature varies depending on the ceramic composition and metal composition, and is performed within a range of about 800 to 1600 ° C. In addition, the firing atmosphere varies depending on the ceramic powder and the conductor material, and is performed in the air, in a reducing atmosphere, or in a non-oxidizing atmosphere, etc. Even if water or the like is included in the atmosphere in order to effectively remove organic components. Good.

多数個取り配線基板を、配線基板領域1a同士の境界線1cまたは配線基板領域1aとダミー領域1bとの境界線1cに沿って分割することによって、配線基板が製作される。多数個取り配線基板を、配線基板領域1a同士の境界線1cまたは配線基板領域1aとダミー領域1bとの境界線1cに沿って分割する方法としては、境界線1c上に分割溝1dを形成しておき、この分割溝1dに沿って撓折して分割する方法、またはスライシング法等によって境界線1cに沿って切断する方法等を用いることができる。分割溝1dは、焼成前の成形体にカッター刃を押し当てたり、スライシング装置によって成形体の厚みより小さく切込んだりすることによって形成するか、焼成後の多数個取り配線基板にスライシング装置によって多数個取り配線基板の厚みより小さく切込むことによって形成できる。   The wiring board is manufactured by dividing the multi-cavity wiring board along the boundary line 1c between the wiring board regions 1a or the boundary line 1c between the wiring substrate region 1a and the dummy region 1b. As a method of dividing a multi-piece wiring board along the boundary line 1c between the wiring board areas 1a or the boundary line 1c between the wiring board area 1a and the dummy area 1b, a dividing groove 1d is formed on the boundary line 1c. In addition, a method of bending and dividing along the dividing groove 1d, a method of cutting along the boundary line 1c by a slicing method, or the like can be used. The dividing grooves 1d are formed by pressing the cutter blade against the molded body before firing, or by cutting it with a slicing device to be smaller than the thickness of the molded body, or by using a slicing device on the multi-piece wiring board after firing. It can be formed by cutting smaller than the thickness of the individual wiring board.

なお、配線導体パターン3が焼結した配線導体13の露出する表面には、電解めっき法あるいは無電解めっき法によってめっき層が被着される。これによって、配線導体13と電子部品との固着、配線導体13と外部回路基板の配線導体との接合、配線導体13とボンディングワイヤとの接合を強固にできる。めっき層は、ニッケル,金等の耐蝕性に優れる金属や銀等の反射性に優れる金属、銅等の放熱性にすぐれる金属から成るものである。例えば、厚さ1〜10μm程度のニッケルめっき層と厚さ0.1〜3μm程度の金めっき層とを順次被
着させる。また、例えば、電子部品17として発光素子が搭載される場合には、金めっき層の表面に、さらに銀めっき層が被着されていると、発光装置としたときに発光素子の発光する光を良好に反射できる。また、平面視で電子部品17が搭載される領域において、配線導体13とニッケルめっき層との間に銅めっき層が被着されていると、放熱性に優れた配線基板を得ることができる。
The exposed surface of the wiring conductor 13 in which the wiring conductor pattern 3 is sintered is coated with a plating layer by an electrolytic plating method or an electroless plating method. As a result, it is possible to firmly fix the wiring conductor 13 and the electronic component, the bonding between the wiring conductor 13 and the wiring conductor of the external circuit board, and the bonding between the wiring conductor 13 and the bonding wire. The plating layer is made of a metal excellent in corrosion resistance such as nickel or gold, a metal excellent in reflectivity such as silver, or a metal excellent in heat dissipation such as copper. For example, a nickel plating layer having a thickness of about 1 to 10 μm and a gold plating layer having a thickness of about 0.1 to 3 μm are sequentially deposited. Also, for example, when a light emitting element is mounted as the electronic component 17, if a silver plating layer is further deposited on the surface of the gold plating layer, the light emitted from the light emitting element when the light emitting device is used Reflects well. Further, if a copper plating layer is deposited between the wiring conductor 13 and the nickel plating layer in a region where the electronic component 17 is mounted in a plan view, a wiring board having excellent heat dissipation can be obtained.

このような多数個取り配線基板には、多数個取り配線基板の一方主面の配線基板領域1aに電子部品を収納するための凹部を備えていても構わない。凹部は、例えば金型やパンチングによる打ち抜き方法によって凹部用の貫通孔を形成したセラミックグリーンシート1と、凹部の底面となる貫通孔を形成していないセラミックグリーンシート1とを積層することによって形成できる。また、凹部は、複数の階段状であっても良いし、多数個取り配線基板の両主面に形成されても構わない。   Such a multi-cavity wiring board may be provided with a recess for storing electronic components in the wiring board region 1a on one main surface of the multi-cavity wiring board. The concave portion can be formed by laminating the ceramic green sheet 1 in which the through hole for the concave portion is formed by, for example, a die or punching method by punching, and the ceramic green sheet 1 in which the through hole serving as the bottom surface of the concave portion is not formed. . Further, the concave portions may have a plurality of steps, or may be formed on both main surfaces of the multi-cavity wiring board.

また、多数個取り配線基板は、縦または横の少なくとも一方の並びに複数の配線基板領域1aが配列されているものである。このような配線基板領域1aの配置は、多数個取り配線基板や配線基板領域1aの大きさ、配線基板領域1aに搭載される電子部品や配線導体13の配置等に合わせて設定される。   In addition, the multi-piece wiring board has a plurality of wiring board regions 1a arranged in at least one of the vertical and horizontal directions. Such an arrangement of the wiring board area 1a is set in accordance with the size of the multi-piece wiring board or the wiring board area 1a, the arrangement of the electronic components or wiring conductors 13 mounted on the wiring board area 1a, and the like.

また、配線基板領域1a同士の間にもダミー領域1bが配置されていても良い。このようなときには、平面視で隣り合って配置された配線基板領域1aの左右または上下に非対称な切り欠きとなる穴を設ける場合に有効である。   Further, a dummy region 1b may be arranged between the wiring board regions 1a. In such a case, it is effective to provide asymmetrical cutout holes on the left and right or top and bottom of the wiring board region 1a arranged adjacent to each other in plan view.

ここで、図6に示す例においては、電子部品17はワイヤボンディング型の半導体素子である場合を示しており、半導体素子を接合材によって配線基板領域1aに固定した後、接続部材18であるボンディングワイヤを介して半導体素子の電極と配線導体13とを電気的に接続している。   Here, the example shown in FIG. 6 shows a case where the electronic component 17 is a wire bonding type semiconductor element. After the semiconductor element is fixed to the wiring board region 1a with a bonding material, the bonding component 18 is bonded. The electrode of the semiconductor element and the wiring conductor 13 are electrically connected via a wire.

また、電子部品17は、フリップチップ型の半導体素子である場合には、はんだバンプや金バンプ、または導電性樹脂(異方性導電樹脂等)等の接合材を介して、半導体素子の電極と配線導体13とを電気的および機械的に接続および接合できる。このような場合には、接合材によって電子部品17を各配線基板領域1aに接合した後に、電子部品17と配線基板との間にアンダーフィルを注入してもよい。   Further, when the electronic component 17 is a flip chip type semiconductor element, it is connected to the electrode of the semiconductor element via a bonding material such as a solder bump, a gold bump, or a conductive resin (anisotropic conductive resin, etc.). The wiring conductor 13 can be electrically and mechanically connected and joined. In such a case, an underfill may be injected between the electronic component 17 and the wiring substrate after the electronic component 17 is bonded to each wiring board region 1a with a bonding material.

本実施形態の成形体は上記構成であることから、成形体を焼成して多数個取り配線基板を作製する際に、多数個取り配線基板が反ったときに、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域を多数個取り配線基板の縦方向(y軸方向)において中央に位置させることができる。   Since the molded body of this embodiment has the above-described configuration, when the multi-cavity wiring board is warped when the molded body is baked to produce the multi-cavity wiring board, the most concave of the multi-cavity wiring board is formed. Multiple areas or the most convex areas can be placed in the center in the longitudinal direction (y-axis direction) of the wiring board.

なお、図6に示す例のように、金属焼結体12が等間隔に配置されていると、多数個取り配線基板の配線基板領域1a上に電子部品を搭載する効率を高めるのに有効である。   Note that, as in the example shown in FIG. 6, when the metal sintered bodies 12 are arranged at equal intervals, it is effective to increase the efficiency of mounting electronic components on the wiring board region 1 a of the multi-piece wiring board. is there.

(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態による成形体について、図7を参照しつつ説明する。
(Second Embodiment)
Next, a molded body according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

本発明の第2の実施形態における成形体において、上記した第1の実施形態の成形体と異なる部分は、図7に示す例のように、複数の配線基板領域1aのうち縦方向の上端に配置された配線基板領域1aに設けられた複数の金属体2を囲む仮想円4のうち最小の仮想円4の中心からセラミックグリーンシート1の上辺までの距離が、複数の配線基板領域1aのうち縦方向の下端に配置された配線基板領域1aに設けられた複数の金属体2を囲む仮想円のうち最小の仮想円4の中心からセラミックグリーンシート1の下辺までの距離に等しい点である。その他の構成については、上記した第1の実施形態による成形体と同様である。なお仮想円4は、金属体2を元に設定される領域であり、図7においては破線で示す。   In the molded body according to the second embodiment of the present invention, a portion different from the molded body according to the first embodiment described above is formed at the upper end in the vertical direction of the plurality of wiring board regions 1a as in the example shown in FIG. The distance from the center of the smallest virtual circle 4 among the virtual circles 4 surrounding the plurality of metal bodies 2 provided in the arranged wiring board region 1a to the upper side of the ceramic green sheet 1 is within the plurality of wiring substrate regions 1a. This is a point equal to the distance from the center of the smallest virtual circle 4 to the lower side of the ceramic green sheet 1 among the virtual circles surrounding the plurality of metal bodies 2 provided in the wiring board region 1 a arranged at the lower end in the vertical direction. About another structure, it is the same as that of the molded object by the above-mentioned 1st Embodiment. The virtual circle 4 is an area set based on the metal body 2 and is indicated by a broken line in FIG.

本実施形態の成形体においても、成形体を焼成して多数個取り配線基板を作製する際に、多数個取り配線基板が反ったときに、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域を多数個取り配線基板の縦方向(y軸方向)において中央に位置させることができる。   Also in the molded body of this embodiment, when the multi-cavity wiring board is warped when the molded body is fired to produce the multi-cavity wiring board, the most recessed area or the most convex of the multi-cavity wiring board. A large number of the regions thus obtained can be positioned in the center in the vertical direction (y-axis direction) of the wiring board.

最小の仮想円4は、平面視で配線基板領域1aに設けられた複数の金属体2を囲んで描ける仮想円のうち最小のものである。このような最小の仮想円4は、複数の金属体2の少なくとも2つに接して描いた円となる。なお、図7に示す例では、仮想直線(C−C線)を挟んで線対称に配置されているが、最小の仮想円4が縦方向に等間隔に配置されていて
も構わない。
The smallest virtual circle 4 is the smallest virtual circle that can be drawn surrounding the plurality of metal bodies 2 provided in the wiring board region 1a in plan view. Such a minimum virtual circle 4 is a circle drawn in contact with at least two of the plurality of metal bodies 2. In the example illustrated in FIG. 7, the virtual lines 4 are arranged symmetrically with respect to the virtual straight line (CC line), but the smallest virtual circles 4 may be arranged at equal intervals in the vertical direction.

また、第2の実施形態における多数個取り配線基板において、上記した第1の実施形態の多数個取り配線基板と異なる部分は、図8に示す例のように、複数の配線基板領域1aのうち縦方向の上端に配置された配線基板領域1aに設けられた複数の金属焼結体12を囲む仮想円のうち最小の仮想円4の中心から母基板の上辺までの距離が、複数の配線基板領域1aのうち縦方向の下端に配置された配線基板領域1aに設けられた複数の金属焼結体12を囲む仮想円のうち最小の仮想円4の中心から母基板11の下辺までの距離に等しい点である。その他の構成については、上記した第1の実施形態による多数個取り配線基板と同様である。   Further, in the multi-cavity wiring board according to the second embodiment, the portion different from the multi-cavity wiring board of the first embodiment described above is a portion of the plurality of wiring board regions 1a as in the example shown in FIG. The distance from the center of the smallest virtual circle 4 to the upper side of the mother board among the virtual circles surrounding the plurality of sintered metal bodies 12 provided in the wiring board region 1a arranged at the upper end in the vertical direction is a plurality of wiring boards. The distance from the center of the smallest virtual circle 4 to the lower side of the mother substrate 11 among the virtual circles surrounding the plurality of sintered metal bodies 12 provided in the wiring board region 1a arranged at the lower end in the vertical direction in the region 1a. It is an equal point. Other configurations are the same as those of the multi-cavity wiring board according to the first embodiment.

本実施形態の多数個取り配線基板においても、多数個取り配線基板が反って凹または凸となっている領域を多数個取り配線基板の縦方向(y軸方向)において中央に位置させることができる。なお、図8に示す例のように、最小の仮想円4が等間隔に同一方向に配置されていると、多数個取り配線基板の配線基板領域1a上に電子部品を搭載する効率を高めるのに有効である。   Also in the multi-cavity wiring board of the present embodiment, a region where the multi-cavity wiring board is warped or convex can be positioned in the center in the vertical direction (y-axis direction) of the multi-cavity wiring board. . In addition, when the minimum virtual circles 4 are arranged at equal intervals in the same direction as in the example shown in FIG. 8, the efficiency of mounting electronic components on the wiring board region 1a of the multi-cavity wiring board is increased. It is effective for.

また、本実施形態の多数個取り配線基板は、金属焼結体12を1つ配置する場合と比較して、平面視で複数の金属焼結体12のそれぞれを小さくできるので、配線導体13の配置の自由度を高めて、配線導体13の偏りによる多数個取り配線基板の変形を抑制するのに有効である。   In addition, since the multi-piece wiring board of this embodiment can reduce each of the plurality of metal sintered bodies 12 in a plan view as compared with the case where one metal sintered body 12 is disposed, This is effective in increasing the degree of freedom of arrangement and suppressing the deformation of the multi-piece wiring board due to the bias of the wiring conductor 13.

なお、本発明は、上記の実施の形態の例に限定されるものではなく、種々の変更は可能である。例えば、配線基板領域1aの境界に、多数個取り配線基板を分割した際に溝となる穴を形成し、穴の内面に導体を形成して、多数個取り配線基板を分割した際に、いわゆるキャスタレーション導体を形成してもかまわない。   In addition, this invention is not limited to the example of said embodiment, A various change is possible. For example, at the boundary of the wiring board region 1a, when a multi-cavity wiring board is divided, a hole that becomes a groove is formed, and a conductor is formed on the inner surface of the hole so that the multi-cavity wiring board is divided, so-called A castellation conductor may be formed.

また、図4に示す例のように、それぞれの配線基板領域1aの外周部に、配線導体パターン3を囲むような金属枠体パターン4を配置しておいてもよい。金属枠体パターン4は、配線導体パターン3と同様の材料を用いて製作できる。このような金属枠体パターン4が燒結されることによって、図6に示す例のような金属枠体14が形成できる。金属枠体14は、配線導体13と同様の材料からなり、電子部品17を樹脂モールドする際の樹脂固定部や、電子部品17として発光素子を搭載する場合には発光素子の光を反射させる反射層として用いることができる。なお、金属枠体14の表面に銀めっき層を被着しておくと、発光素子17から側面方向に放射された光を良好に反射できる。   Further, as in the example shown in FIG. 4, a metal frame pattern 4 surrounding the wiring conductor pattern 3 may be arranged on the outer peripheral portion of each wiring board region 1 a. The metal frame pattern 4 can be manufactured using the same material as the wiring conductor pattern 3. When such a metal frame pattern 4 is sintered, a metal frame 14 like the example shown in FIG. 6 can be formed. The metal frame 14 is made of the same material as the wiring conductor 13 and is a resin fixing portion when the electronic component 17 is resin-molded, or a reflection that reflects the light of the light emitting device when the light emitting device is mounted as the electronic component 17. Can be used as a layer. If a silver plating layer is applied to the surface of the metal frame 14, light emitted from the light emitting element 17 in the side surface direction can be favorably reflected.

また、電子部品17が発光素子である場合には、図6に示す例のように、金属焼結体12は、平面視で電子部品17よりも大きくしておくと、発光素子が発する熱を金属焼結体12の全面にわたって放熱できるので好ましい。   When the electronic component 17 is a light emitting element, as shown in the example shown in FIG. 6, if the sintered metal body 12 is made larger than the electronic component 17 in plan view, the heat generated by the light emitting element is generated. This is preferable because heat can be dissipated over the entire surface of the sintered metal body 12.

また、図1または図3に示す例のように、金属体2が成形体の上面または下面の少なくとも一方に露出していてもよい。このような成形体を用いると、焼成されて多数個取り配線基板を分割して得た配線基板の放熱性を良好にするのに有効である。   Further, as in the example shown in FIG. 1 or FIG. 3, the metal body 2 may be exposed on at least one of the upper surface or the lower surface of the molded body. Use of such a molded body is effective in improving the heat dissipation of a wiring board obtained by firing and dividing a multi-piece wiring board.

また、図2および図4〜図6に示す例のように、金属体2が成形体の上面および下面に露出されず、セラミックグリーンシート1の内部に埋設されていてもよい。このような成形体を焼成して得た多数個取り配線基板を分割した配線基板を用いて電子装置とすると、配線基板の上面または下面に形成された表面電極が金属焼結体12を介して短絡することを防止できる。よって、平面視で表面電極を大きくできる。   Further, as in the examples shown in FIGS. 2 and 4 to 6, the metal body 2 may be embedded in the ceramic green sheet 1 without being exposed on the upper surface and the lower surface of the molded body. When an electronic device is formed by using a wiring board obtained by dividing a multi-piece wiring board obtained by firing such a molded body, a surface electrode formed on the upper surface or the lower surface of the wiring board is interposed through a metal sintered body 12. A short circuit can be prevented. Therefore, the surface electrode can be enlarged in plan view.

また、母基板11の配線基板領域1aの下面に放熱体が配置されていても良い。このような放熱体は、多数個取り配線基板を分割した配線基板を用いた電子装置を外部回路基板に実装したときに、放熱体と外部回路基板とが接合または当接することによって放熱性を高めることができる。   A heat radiator may be disposed on the lower surface of the wiring board region 1a of the mother board 11. Such a radiator improves heat dissipation by bonding or abutting between the radiator and the external circuit board when an electronic device using a wiring board obtained by dividing a multi-piece wiring board is mounted on the external circuit board. be able to.

また、金属焼結体12は平面視で角部が円弧状とした矩形状であることが好ましい。矩形状の電子部品17であるときには、配線基板領域1aにおいて、平面視で電子部品と重なる面積を小さくすることなく、金属焼結体12の大きさを小さくできるので、金属焼結体12と表面電極との短絡を低減できる。   In addition, the sintered metal body 12 preferably has a rectangular shape with corners arcuate in plan view. In the case of the rectangular electronic component 17, the size of the metal sintered body 12 can be reduced without reducing the area overlapping the electronic component in plan view in the wiring board region 1a. Short circuit with the electrode can be reduced.

また、電子部品17は、部分的に放熱性を高くしたい場合には、平面視で放熱性を高めたい部分と金属焼結体12とが重なるように配置すればよい。例えば、電子部品17が撮像素子であれば、金属焼結体12は、撮像素子に設けられたDSP(Digital Signal Processor)等の信号処理回路の部分と重なるように配置しておくとよい。信号処理回路で発生した熱を金属焼結体12に伝わりやすくし、受光部側に熱が伝わりにくくなるので、撮像素子の受光部が熱によって歪むことを抑制することができるとともに、消費電力を低減できる。   Further, when it is desired to partially increase the heat dissipation property, the electronic component 17 may be disposed so that the portion where the heat dissipation property is to be increased in plan view and the metal sintered body 12 overlap. For example, if the electronic component 17 is an image sensor, the metal sintered body 12 may be disposed so as to overlap a signal processing circuit portion such as a DSP (Digital Signal Processor) provided in the image sensor. Heat generated in the signal processing circuit is easily transferred to the sintered metal body 12, and heat is less likely to be transferred to the light receiving part, so that the light receiving part of the image sensor can be prevented from being distorted by heat and power consumption can be reduced. Can be reduced.

第2の実施形態の多数個取り配線基板において、複数の金属焼結体12は母基板1の内部で金属部材を介して互いにつながっていてもよい。このような多数個取り配線基板を分割して得られる配線基板に電子部品を実装した場合において、金属焼結体12を放熱体として用いると、電子部品で生じる熱が複数の金属焼結体12から均等に放熱されやすい。   In the multi-cavity wiring board of the second embodiment, the plurality of metal sintered bodies 12 may be connected to each other through a metal member inside the mother board 1. In the case where electronic components are mounted on a wiring board obtained by dividing such a multi-piece wiring board, when the metal sintered body 12 is used as a heat sink, heat generated in the electronic parts is generated by a plurality of metal sintered bodies 12. It is easy to dissipate heat evenly.

1・・・・セラミックグリーンシート
1a・・・配線基板領域
1b・・・ダミー領域
1c・・・配線基板領域1aの境界線
1d・・・分割溝
2・・・・金属体
3・・・・配線導体パターン
4・・・・最小の仮想円
11・・・・母基板
12・・・・金属焼結体
13・・・・配線導体
14・・・・金属枠体
17・・・・電子部品
18・・・・接続部材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ceramic green sheet 1a ... Wiring board area | region 1b ... Dummy area | region 1c ... Boundary line 1d of the wiring board area | region 1a ... Dividing groove 2 ... Metal body 3 ... Wiring conductor pattern 4 ... Minimum virtual circle
11 ... Mother board
12 ... Metal sintered body
13 ... Wiring conductor
14 ... Metal frame
17 ... Electronic components
18 ・ ・ ・ ・ Connection member

Claims (7)

平面視において矩形状を有しており、縦方向および横方向に配列された複数の配線基板領域を含んでいる複数のセラミックグリーンシートと、前記複数の配線基板領域のそれぞれに埋設されており、前記複数の配線基板領域のそれぞれにおいて前記縦方向に偏在して設けられている金属体とを備えており、前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の上端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記金属体から前記セラミックグリーンシートの上辺までの距離が、前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の下端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記金属体から前記セラミックグリーンシートの下辺までの距離に等しいことを特徴とする成形体。   It has a rectangular shape in plan view, and is embedded in each of the plurality of ceramic green sheets including a plurality of wiring board regions arranged in the vertical and horizontal directions, and each of the plurality of wiring board regions, Each of the plurality of wiring board regions, and a metal body that is unevenly distributed in the vertical direction, and the wiring board region disposed at an upper end in the vertical direction among the plurality of wiring board regions. The distance from the provided metal body to the upper side of the ceramic green sheet is from the metal body provided in the wiring board region disposed at the lower end in the vertical direction among the plurality of wiring board regions to the ceramic green. A molded body characterized by being equal to the distance to the lower side of the sheet. 平面視において矩形状を有しており、縦方向および横方向に配列された複数の配線基板領域を含んでいる複数のセラミックグリーンシートと、前記複数の配線基板領域のそれぞれに埋設されており、前記複数の配線基板領域のそれぞれにおいて前記縦方向に偏在して設けられている複数の金属体とを備えており、
前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の上端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記複数の金属体を囲む仮想円のうち最小の仮想円の中心から前記セラミックグリーンシートの上辺までの距離が、前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の下端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記複数の金属体を囲む仮想円のうち最小の仮想円の中心から前記セラミックグリーンシートの下辺までの距離に等しいことを特徴とする成形体。
It has a rectangular shape in plan view, and is embedded in each of the plurality of ceramic green sheets including a plurality of wiring board regions arranged in the vertical and horizontal directions, and each of the plurality of wiring board regions, A plurality of metal bodies provided unevenly in the vertical direction in each of the plurality of wiring board regions,
From the center of the smallest virtual circle to the upper side of the ceramic green sheet among the virtual circles surrounding the plurality of metal bodies provided in the wiring substrate region arranged at the upper end in the vertical direction among the plurality of wiring substrate regions Of the ceramic green from the center of the smallest virtual circle among the virtual circles surrounding the plurality of metal bodies provided in the wiring substrate region disposed at the lower end in the vertical direction among the plurality of wiring substrate regions A molded body characterized by being equal to the distance to the lower side of the sheet.
前記金属体が、平面視で前記セラミックグリーンシートの中央を通って前記横方向に伸びた仮想直線を挟んで線対称に配置されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の成形体。   3. The metal body according to claim 1, wherein the metal bodies are arranged symmetrically with respect to a virtual straight line extending in the lateral direction through the center of the ceramic green sheet in plan view. Molded body. 前記金属体が、前記縦方向に等間隔に配置されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の成形体。   The molded body according to claim 1, wherein the metal bodies are arranged at equal intervals in the longitudinal direction. 平面視において前記縦方向の上端に配置された前記配線基板領域から下端に配置された前記配線基板領域にかけて、前記縦方向に隣り合って配置された前記複数の配線基板領域において前記金属体が前記複数の配線基板領域の境界を挟んで線対称に配置されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の成形体。   In the plurality of wiring board regions arranged adjacent to each other in the vertical direction from the wiring board region arranged at the upper end in the vertical direction to the wiring board region arranged at the lower end in plan view, the metal body is The molded body according to claim 1, wherein the molded body is arranged symmetrically with respect to a boundary between a plurality of wiring board regions. 平面視において矩形状を有しており、縦方向および横方向に配列された複数の配線基板領域を含んでいる母基板と、前記複数の配線基板領域のそれぞれに埋設されており、前記複数の配線基板領域のそれぞれにおいて前記縦方向に偏在して設けられている金属焼結体とを備えており、前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の上端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記金属焼結体から前記母基板の上辺までの距離が、前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の下端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記金属焼結体から前記母基板の下辺までの距離に等しいことを特徴とする多数個取り配線基板。   The substrate has a rectangular shape in plan view, and is embedded in each of the plurality of wiring board regions and a mother board that includes a plurality of wiring board regions arranged in the vertical direction and the horizontal direction. Each of the wiring board regions is provided with a metal sintered body that is unevenly distributed in the vertical direction, and is provided in the wiring board region arranged at the upper end in the vertical direction among the plurality of wiring board regions. The distance from the metal sintered body to the upper side of the mother board is from the metal sintered body provided in the wiring board region disposed at the lower end in the vertical direction among the plurality of wiring board regions. A multi-piece wiring board characterized by being equal to the distance to the lower side of the mother board. 平面視において矩形状を有しており、縦方向および横方向に配列された複数の配線基板領域を含んでいる母基板と、前記複数の配線基板領域のそれぞれに埋設されており、前記複数の配線基板領域のそれぞれにおいて前記縦方向に偏在して設けられている複数の金属焼結体とを備えており、
前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の上端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記複数の金属焼結体を囲む仮想円のうち最小の仮想円の中心から前記母基板の上辺までの距離が、前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の下端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記複数の金属焼結体を囲む仮想円のうち最小の仮想円の中心から前
記母基板の下辺までの距離に等しいことを特徴とする多数個取り配線基板。
The substrate has a rectangular shape in plan view, and is embedded in each of the plurality of wiring board regions and a mother board that includes a plurality of wiring board regions arranged in the vertical direction and the horizontal direction. A plurality of metal sintered bodies provided unevenly in the longitudinal direction in each of the wiring board regions,
The upper side of the mother substrate from the center of the smallest virtual circle among the virtual circles surrounding the plurality of sintered metal bodies provided in the wiring substrate region disposed at the upper end in the vertical direction among the plurality of wiring substrate regions The distance from the center of the smallest virtual circle among the virtual circles surrounding the plurality of metal sintered bodies provided in the wiring substrate region disposed at the lower end in the vertical direction among the plurality of wiring substrate regions A multi-piece wiring board characterized by being equal to a distance to a lower side of the mother board.
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JP2005026341A (en) * 2003-06-30 2005-01-27 Ngk Spark Plug Co Ltd Wiring board
JP2008041910A (en) * 2006-08-04 2008-02-21 Ngk Spark Plug Co Ltd Wiring substrate and multicavity wiring substrate
JP2012039028A (en) * 2010-08-11 2012-02-23 Asahi Glass Co Ltd Wiring board and coupling substrate
JP6121099B2 (en) * 2011-05-11 2017-04-26 株式会社ダイワ工業 Light-emitting element mounting substrate and manufacturing method thereof

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