JP5653323B2 - Molded body and multi-cavity wiring board - Google Patents
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- Structure Of Printed Boards (AREA)
Description
本発明は、半導体素子や発光素子等の電子部品を搭載するための配線基板を製作するための成形体および多数個取り配線基板に関するものである。 The present invention relates to a molded body and a multi-cavity wiring board for manufacturing a wiring board for mounting electronic components such as semiconductor elements and light emitting elements.
従来から、電子部品を搭載し、電子機器に組み込まれる配線基板としてセラミック製のものが用いられており、配線基板の表面および内部には、配線導体が配置されている。配線基板上に搭載された電子部品と配線導体とを電気的に接続することによって、電子装置が作製される。 2. Description of the Related Art Conventionally, a ceramic substrate is used as a wiring board on which electronic components are mounted and incorporated in an electronic device, and wiring conductors are arranged on the surface and inside of the wiring board. An electronic device is manufactured by electrically connecting an electronic component mounted on a wiring board and a wiring conductor.
このような配線基板には、例えば、放熱用等の目的で金属体が埋設されているものがある(例えば、特許文献1を参照。)。このような金属体は、例えば、配線基板に実装される電子部品が発する熱を配線基板の外に逃がして、放熱性を高めるためのものである。 Some of such wiring boards have a metal body embedded for the purpose of heat dissipation or the like (see, for example, Patent Document 1). Such a metal body is, for example, for releasing heat generated by an electronic component mounted on the wiring board to the outside of the wiring board to improve heat dissipation.
また、このような配線基板は、近年の電子装置の薄型化および小型化の要求に伴って、その大きさが小さくなってきており、複数の配線基板を効率よく製作するために、多数個取り配線基板を分割することによって製作することが行なわれている。多数個取り配線基板は、広面積の母基板に配線基板となる複数の配線基板領域が縦横に配列形成されたものである。なお、このような多数個取り配線基板は、セラミックスの焼成収縮によって凸または凹となるように反っていることがあった。また、配線基板において、金属体が平面視で配線基板の中央から上下左右のいずれかの辺側に偏って配置されることがあった。 In addition, with the recent demand for thinner and smaller electronic devices, the size of such wiring boards has been reduced. In order to efficiently manufacture a plurality of wiring boards, a large number of such wiring boards can be obtained. Manufacturing is performed by dividing the wiring board. The multi-cavity wiring board is obtained by arranging a plurality of wiring board regions to be a wiring board on a large-area mother board in the vertical and horizontal directions. Note that such multi-cavity wiring boards sometimes warp so as to be convex or concave due to firing shrinkage of ceramics. Further, in the wiring board, the metal body may be arranged to be biased from the center of the wiring board to one of the upper, lower, left and right sides in a plan view.
しかしながら、金属体が偏って配置された配線基板を得るための多数個取り配線基板を作製すると、多数個取り配線基板が反って、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域が、多数個取り配線基板の中央から金属体の偏っている方向にずれることがあった。このような多数個取り配線基板では、電子部品素子を搭載する際や、樹脂モールドする際に、多数個取り配線基板に金型を載置すると、多数個取り配線基板が割れてしまうことがあった。 However, when a multi-cavity wiring board is manufactured to obtain a wiring board in which metal bodies are arranged in an uneven manner, the multi-cavity wiring board is warped and becomes the most recessed area or the most convex of the multi-cavity wiring board. The region sometimes deviated from the center of the multi-piece wiring board in the direction in which the metal body is biased. In such a multi-cavity wiring board, when mounting electronic components or resin molding, placing a mold on the multi-cavity wiring board may cause the multi-cavity wiring board to break. It was.
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的は多数個取り配線基板が反って、凹または凸となったとしても、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域が中央部に位置する多数個取り配線基板および、このような多数個取り配線基板を作製するための成形体を提供することにある。 The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems of the prior art, and its purpose is to form the most concave of the multi-cavity wiring board even if the multi-cavity wiring board is warped and becomes concave or convex. An object of the present invention is to provide a multi-cavity wiring board in which the area or the most convex area is located at the center, and a molded body for producing such a multi-cavity wiring board.
本発明の成形体は、平面視において矩形状を有しており、縦方向および横方向に配列された複数の配線基板領域を含んでいる複数のセラミックグリーンシートと、前記複数の配線基板領域のそれぞれに埋設されており、前記複数の配線基板領域のそれぞれにおいて前記縦方向に偏在して設けられている金属体とを備えており、前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の上端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記金属体から前記セラミックグリーンシートの上辺までの距離が、前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の
下端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記金属体から前記セラミックグリーンシートの下辺までの距離に等しいことを特徴とするものである。
The molded body of the present invention has a rectangular shape in plan view, and includes a plurality of ceramic green sheets including a plurality of wiring board regions arranged in the vertical direction and the horizontal direction, and the plurality of wiring board regions. Embedded in each of the plurality of wiring board regions, and provided with a metal body that is unevenly distributed in the vertical direction, and is disposed at an upper end in the vertical direction of the plurality of wiring board regions. The distance from the metal body provided in the wiring board area to the upper side of the ceramic green sheet is provided in the wiring board area disposed at the lower end in the vertical direction among the plurality of wiring board areas. It is equal to the distance from the said metal body to the lower side of the said ceramic green sheet.
本発明の多数個取り配線基板は、平面視において矩形状を有しており、縦方向および横方向に配列された複数の配線基板領域を含んでいる母基板と、前記複数の配線基板領域のそれぞれに埋設されており、前記複数の配線基板領域のそれぞれにおいて前記縦方向に偏在して設けられている金属焼結体とを備えており、前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の上端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記金属焼結体から前記母基板の上辺までの距離が、前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の下端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記金属焼結体から前記母基板の下辺までの距離に等しいものである。 The multi-cavity wiring board of the present invention has a rectangular shape in plan view, and includes a mother board including a plurality of wiring board areas arranged in the vertical direction and the horizontal direction, and the plurality of wiring board areas. A metal sintered body that is embedded in each of the plurality of wiring board regions and is provided in a localized manner in the vertical direction, and has an upper end in the vertical direction among the plurality of wiring board regions. The distance from the metal sintered body provided in the wiring board region disposed in the upper side of the mother board to the wiring board region disposed at the lower end in the vertical direction among the plurality of wiring board regions. It is equal to the distance from the provided metal sintered body to the lower side of the mother substrate.
本発明の成形体によれば、複数の配線基板領域のうち縦方向の上端に配置された配線基板領域に設けられた金属体からセラミックグリーンシートの上辺までの距離が、複数の配線基板領域のうち縦方向の下端に配置された配線基板領域に設けられた金属体からセラミックグリーンシートの下辺までの距離に等しいことから、セラミックグリーンシートを焼成して多数個取り配線基板としたときに、多数個取り配線基板が仮に反ったとしても、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域を多数個取り配線基板の中央に位置させることができる。 According to the molded body of the present invention, the distance from the metal body provided on the wiring board region disposed at the upper end in the vertical direction among the plurality of wiring board regions to the upper side of the ceramic green sheet is equal to the plurality of wiring board regions. Among them, since it is equal to the distance from the metal body provided in the wiring board region arranged at the lower end in the vertical direction to the lower side of the ceramic green sheet, when the ceramic green sheet is fired to obtain a multi-piece wiring board, many Even if the multi-cavity wiring board is warped, the most recessed area or the most convex area of the multi-cavity wiring board can be positioned at the center of the multi-cavity wiring board.
本発明の多数個取り配線基板によれば、複数の配線基板領域のうち縦方向の上端に配置された配線基板領域に設けられた金属体から母基板の上辺までの距離が、複数の配線基板領域のうち縦方向の下端に配置された配線基板領域に設けられた金属体から母基板の下辺までの距離に等しいことから、多数個取り配線基板が仮に反ったとしても、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域を多数個取り配線基板の中央に位置させることができる。 According to the multi-cavity wiring board of the present invention, the distance from the metal body provided in the wiring board area disposed at the upper end in the vertical direction among the plurality of wiring board areas to the upper side of the mother board is a plurality of wiring boards. Since it is equal to the distance from the metal body provided in the wiring board area disposed at the lower end in the vertical direction to the lower side of the mother board, even if the multi-cavity wiring board warps, the multi-cavity wiring board The most concave region or the most convex region can be placed in the center of the wiring board.
本発明のいくつかの例示的な実施形態について、添付の図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、図1〜図6において、上方向とは仮想のy軸の正方向のことをいう。 Several exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 to 6, the upward direction refers to the positive direction of the virtual y axis.
(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態における成形体は、図1〜図5に示す例のように、平面視において矩形状を有しており、縦方向および横方向に配列された複数の配線基板領域1aを含んでいる複数のセラミックグリーンシート1と、複数の配線基板領域1aのそれぞれに埋設されており、複数の配線基板領域1aのそれぞれにおいて縦方向に偏在しており、セラミックグリーンシート1に複数設けられている金属体2とを備えており、複数の配線基板領域1aのうち縦方向の上端に配置された配線基板領域1aに設けられた金属体2からセラミックグリーンシート1の上辺までの距離L1が、複数の配線基板領域1aのうち縦方向の下端に配置された配線基板領域1aに設けられた金属体2からセラミックグリーンシート1の下辺までの距離L2に等しいものである。
(First embodiment)
The molded body in the first embodiment of the present invention has a rectangular shape in plan view as in the examples shown in FIGS. 1 to 5, and a plurality of wiring board regions arranged in the vertical direction and the horizontal direction Embedded in each of the plurality of ceramic
なお、第1の実施形態における金属体2からセラミックグリーンシート1の上辺までの距離L1と金属体2からセラミックグリーンシート1の下辺までの距離L2とは等しい長さであるが、製造時のばらつきによって生じる0.1mm程度の誤差は含むものとする。
Note that the distance L1 from the
また、第1の実施形態の成形体は、上記構成において、図1に示す例のように、金属体2が、平面視でセラミックグリーンシート1の中央を通って横方向(x方向)に伸びた仮想直線(C−C線)を挟んで線対称に配置されているときには、成形体を焼成して多数個取り配線基板を作製する際に、焼成収縮による応力がC−C線を挟んで略均等に加わるので、多数個取り配線基板が反ったときに、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域をC−C線上に位置させるのに有効である。
Further, in the molded body of the first embodiment, in the above configuration, the
また、第1の実施形態の成形体は、上記構成において、図2に示す例のように、金属体2が、縦方向(y方向)に等間隔に配置されているときには、成形体を焼成して多数個取り配線基板を作製する際に、焼成収縮による応力が配線基板領域1aに略均等に分布するので、多数個取り配線基板が反ったときに、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域を多数個取り配線基板の中央に位置させるのに有効である。
Further, the molded body of the first embodiment is fired when the
また、第1の実施形態の成形体は、上記構成において、図3に示す例のように、平面視において縦方向(y方向)の上端に配置された配線基板領域1aから下端に配置された配線基板領域1aにかけて、縦方向(y方向)に隣り合って配置された複数の配線基板領域1aにおいて金属体2が複数の配線基板領域1aの境界を挟んで線対称に配置されているときには、成形体を焼成して多数個取り配線基板を作製する際に、隣接する配線基板領域1aに焼成収縮による応力が略均等に加わるので、多数個取り配線基板が反ったときに、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域を多数個取り配線基板の中央に位置させるのに有効である。
Further, in the above configuration, the molded body according to the first embodiment is arranged at the lower end from the wiring board region 1a arranged at the upper end in the vertical direction (y direction) in plan view as in the example shown in FIG. When the
セラミックグリーンシート1は、セラミック粉末に有機バインダおよび有機溶剤、また必要に応じて所定量の可塑剤や分散剤を加えたスラリーを得て、これをPET(ポリエチレンテレフタレート)等の樹脂や紙製の支持体上にドクターブレード法,リップコーター法またはダイコーター法等の成形方法によって塗布してシート状に成形し、温風乾燥,真空乾燥または遠赤外線乾燥等の乾燥方法によって乾燥することによって作製する。
The ceramic
セラミック粉末としては、例えば、酸化アルミニウム(Al2O3)粉末,窒化アルミニウム(AlN)粉末,ガラスセラミック粉末等が挙げられ、配線基板7に要求される特性に合わせて適宜選択される。 Examples of the ceramic powder include aluminum oxide (Al 2 O 3 ) powder, aluminum nitride (AlN) powder, glass ceramic powder, and the like, which are appropriately selected according to the characteristics required for the wiring board 7.
セラミック粉末が酸化アルミニウム粉末や窒化アルミニウム粉末の場合は、酸化珪素(SiO2)や酸化マグネシウム(MgO)等の焼結助剤となる成分の粉末が加えられ、ま
た、着色剤として酸化マンガン(MnO)等の粉末を加えてもよい。
When the ceramic powder is an aluminum oxide powder or aluminum nitride powder, a powder of a component serving as a sintering aid such as silicon oxide (SiO 2 ) or magnesium oxide (MgO) is added, and manganese oxide (MnO) is used as a colorant. ) Etc. may be added.
セラミック粉末がガラスセラミック粉末の場合は、ガラス粉末とフィラー粉末とを10:90乃至99:1、好ましくは40:60乃至80:20の質量比で混合する。ガラスセラミック粉末のガラス粉末としては、従来からガラスセラミックスに用いられているものを用いればよく、例えばSiO2−B2O3系,SiO2−B2O3−Al2O3系,SiO2−B2O3−Al2O3−MO系(ただし、MはCa,Sr,Mg,BaまたはZnを示す。),SiO2−Al2O3−M1O−M2O系(ただし、M1およびM2は同じまたは異なってCa,Sr,Mg,BaまたはZnを示す。),SiO2−B2O3−Al2O3−M1O−M2O系(ただし、M1およびM2は上記と同じである。),SiO2−B2O3−M32O系(ただし、M3はLi、NaまたはKを示す。),SiO2−B2O3−Al2O3−M32O系(ただし、M3は上記と同じである。),Pb系,Bi系等のガラスの粉末が用いられる。
When the ceramic powder is a glass ceramic powder, the glass powder and the filler powder are mixed at a mass ratio of 10:90 to 99: 1, preferably 40:60 to 80:20. The glass powder of the glass ceramic powder, may be used those conventionally used in glass ceramics, for example, SiO 2 -B 2 O 3 based, SiO 2 -B 2 O 3 -Al 2
また、ガラスセラミック粉末のフィラー粉末としては、従来からガラスセラミックスに用いられているものを用いればよく、例えばAl2O3とSiO2とZrO2とアルカリ土類金属酸化物との複合酸化物,TiO2とアルカリ土類金属酸化物との複合酸化物,Al2O3およびSiO2(クリストバライト,クオーツ)の少なくとも1種を含む複合酸化物(例えばスピネル,ムライト,コージェライト)等のセラミック粉末が挙げられる。 Further, as the filler powder of the glass ceramic powder, what is conventionally used for glass ceramics may be used, for example, a composite oxide of Al 2 O 3 , SiO 2 , ZrO 2 and an alkaline earth metal oxide, Ceramic powders such as composite oxides of TiO 2 and alkaline earth metal oxides, composite oxides containing at least one of Al 2 O 3 and SiO 2 (cristobalite, quartz) (for example, spinel, mullite, cordierite) Can be mentioned.
有機バインダとしては、従来からセラミックグリーンシートに用いられているものを用いればよく、例えばアクリル系(アクリル酸,メタクリル酸またはそれらのエステルの単独集合体または共重合体、具体的にはアクリル酸エステル共重合体,メタクリル酸エステル共重合体,アクリル酸エステル−メタクリル酸エステル共重合体等),ポリビニルブチラール系,ポリビニルアルコール系,アクリル−スチレン系,ポリプロピレンカーボネート系,セルロース系等の単独共重合体または共重合体が挙げられる。焼成工程での分解性や揮発性を考慮すると、アクリル系バインダがより好ましい。また、有機バインダの添加量はセラミック粉末によって異なるが、焼成時に分解・除去されやすく、かつセラミック粉末が分散され、グリーンシートのハンドリング性や加工性が良好な量であればよく、セラミック粉末に対して10乃至20質量%程度が望ましい。 As the organic binder, those conventionally used for ceramic green sheets may be used. For example, acrylic (acrylic acid, methacrylic acid or a single aggregate or copolymer of esters thereof, specifically, acrylic ester. Copolymer, methacrylic acid ester copolymer, acrylic acid ester-methacrylic acid ester copolymer, etc.), polyvinyl butyral type, polyvinyl alcohol type, acrylic-styrene type, polypropylene carbonate type, cellulose type homopolymer or the like A copolymer is mentioned. In view of decomposability and volatility in the firing step, an acrylic binder is more preferable. Also, the amount of organic binder added varies depending on the ceramic powder, but it may be an amount that is easy to be decomposed and removed during firing and that the ceramic powder is dispersed and the green sheet is easy to handle and process. About 10 to 20% by mass is desirable.
スラリーに含まれる溶剤は、セラミック粉末および有機バインダを分散させ、グリーンシート成形に適した粘度のスラリーが得られるように、例えば炭化水素類,エーテル類,エステル類,ケトン類,アルコール類等の有機溶剤や水が挙げられる。これらの中で、トルエン,メチルエチルケトン,イソプロピルアルコール等の蒸発係数の高い溶剤は、スラリー塗布後の乾燥工程が短時間で終了できるので好ましい。溶剤の量は、セラミック粉末に対して30乃至100質量%の量で加えることによって、スラリーを良好に支持体上に塗布
することができるような粘度、具体的には3cps乃至100cps程度となるようにする
ことが望ましい。
The solvent contained in the slurry is made of organic materials such as hydrocarbons, ethers, esters, ketones, alcohols, etc. so that a slurry having a viscosity suitable for green sheet molding can be obtained by dispersing ceramic powder and organic binder. A solvent and water are mentioned. Among these, solvents having a high evaporation coefficient such as toluene, methyl ethyl ketone, and isopropyl alcohol are preferable because the drying process after slurry application can be completed in a short time. The solvent is added in an amount of 30 to 100% by mass with respect to the ceramic powder, so that the viscosity is such that the slurry can be satisfactorily coated on the support, specifically about 3 to 100 cps. It is desirable to make it.
なお、セラミックグリーンシート1は、複数のセラミックグリーンシートを積層したものも含まれる。このような複数層からなるセラミックグリーンシート1は、複数枚のセラミックグリーンシートを準備し、これらを積層して加圧することにより形成される。
The ceramic
次に、図1〜図5に示す例のように、セラミックグリーンシート1の配線基板領域1aに金属体2を埋設するとともに、配線導体パターン3を配置する。なお、金属体2の埋設と配線導体パターン3の配置とはどちらを先に行ってもよい。
Next, as in the example shown in FIGS. 1 to 5, the
金属体2をセラミックグリーンシート1に埋設するには、セラミックグリーンシート1に穴を設けて、この穴に金属体2を配置しておけばよい。
In order to embed the
金属体2が埋設される穴は、金型やパンチングによる打ち抜き加工またはレーザ加工によって形成できる。このとき、金属体2は成形体の上面または下面あるいは上下の両方の面に露出されていてもよい。例えば、平面視で角部が円弧状の矩形状や円形の底面を有する柱状に形成されているときには、柱状の金属体2の底面が成形体の上面または下面に露出されていてもよい。金属体2が成形体の上面または下面に露出されていると、金属体2が露出していない場合に比べて、成形体を焼成する際に、金属体2が成形体の厚み方向にも変形しやすくなるので、成形体の面方向への変形を抑制するのに有効である。
The hole in which the
金属体2は、金属シートまたは金属ペーストからなり、金属シートまたは金属ペーストをセラミックグリーンシート1の穴に充填することで配置できる。
The
金属体2が金属シートからなる場合には、金属シートは、平面視でセラミックグリーンシート1の穴と同じ形状で、セラミックグリーンシート1の穴の深さと同じ厚みに形成されて、セラミックグリーンシート1の穴を充填するように埋設されていればよい。
When the
なお、金属シートは、セラミックグリーンシート1に打ち抜き加工で穴を設けると同時に埋設されると成形体を効率よく作製できる。
When the metal sheet is embedded in the ceramic
例えば、貫通孔の形成されたセラミックグリーンシート1の上面に金属シートを載置し、セラミックグリーンシート1に貫通孔を形成する打ち抜き金型を用いて、金属シート側から金属シートとセラミックグリーンシートとに貫通孔を打抜くと、セラミックグリーンシート1の貫通孔内に、この貫通孔と同サイズに打ち抜かれた金属シートを嵌め込むことができる。
For example, a metal sheet is placed on the upper surface of the ceramic
また、金属体2が金属ペーストからなる場合には、金属ペーストは、セラミックグリーンシート1の穴に充填されて配置されていればよい。また、金属ペーストを用いる場合には、金属ペーストはセラミックグリーンシート1の穴に保持されるような粘度に調整されていればよいが、セラミックグリーンシート1の穴を底のあるものとしておくことが好ましい。
Moreover, when the
金属体2として金属シートを用いる場合には、金属シートは金属粉末に有機バインダおよび有機溶剤を、また必要に応じて所定量の可塑剤や分散剤を加えてスラリーを得て、これをPET(ポリエチレンテレフタレート)等の樹脂や紙製の支持体上にドクターブレード法,リップコーター法またはダイコーター法等の成形方法によって塗布してシート状に成形し、温風乾燥,真空乾燥または遠赤外線乾燥等の乾燥方法によって乾燥することによって作製する。
In the case of using a metal sheet as the
金属粉末としては、例えば、タングステン(W),モリブデン(Mo),マンガン(Mn),金(Au),銀(Ag),銅(Cu),パラジウム(Pd),白金(Pt)等の1種または2種以上からなる粉末が挙げられ、要求される特性に合わせて適宜選択される。なお、金属粉末が、2種以上からなる場合は混合,合金,コーティング等のいずれの形態であってもかまわない。例えば、Cu粉末とW粉末とを混合した金属体2を用いると、放熱性に優れた銅タングステン(CuW)からなる金属焼結体12とすることができる。
Examples of the metal powder include tungsten (W), molybdenum (Mo), manganese (Mn), gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), palladium (Pd), and platinum (Pt). Or the powder which consists of 2 or more types is mentioned, According to the characteristic requested | required, it selects suitably. In addition, when a metal powder consists of 2 or more types, any form, such as mixing, an alloy, and a coating, may be sufficient. For example, when a
金属シートに用いられる有機バインダおよび、スラリーに含まれる溶剤としては、上記のセラミックグリーンシートに用いられた材料を用いることができる。 As the organic binder used for the metal sheet and the solvent contained in the slurry, the materials used for the ceramic green sheet can be used.
有機バインダの添加量は金属粉末によって異なるが、焼成時に分解・除去されやすく、かつ金属粉末が分散され、グリーンシートのハンドリング性や加工性が良好な量であれば
よく、金属粉末に対して10乃至20質量%程度が望ましい。
The amount of the organic binder to be added varies depending on the metal powder, but it may be an amount that can be easily decomposed and removed during firing, is dispersed in the metal powder, and has good handling and workability of the green sheet. From about 20% by mass is desirable.
溶剤の量は、金属粉末に対して30乃至100質量%の量で加えることによって、スラリー
を良好に支持体上に塗布することができるような粘度、具体的には3cps乃至100cp
s程度となるようにすることが望ましい。
The amount of the solvent is 30 to 100% by mass based on the metal powder, so that the slurry can be satisfactorily coated on the support, specifically 3 to 100 cps.
It is desirable to be about s.
金属ペーストに用いられる有機バインダとしては、従来から金属ペーストに使用されているものが使用可能であり、例えばアクリル系(アクリル酸,メタクリル酸またはそれらのエステルの単独重合体または共重合体,具体的にはアクリル酸エステル共重合体,メタクリル酸エステル共重合体,アクリル酸エステル−メタクリル酸エステル共重合体等),ポリビニルブチラール系,アクリル−スチレン系,ポリプロピレンカーボネート系,セルロース系等の単独重合体または共重合体が挙げられる。焼成工程での分解性や揮発性を考慮すると、アクリル系,アルキド系の有機バインダがより好ましい。 As the organic binder used for the metal paste, those conventionally used for the metal paste can be used. For example, acrylic (acrylic acid, methacrylic acid or their homopolymers or copolymers, specifically Acrylic ester copolymer, methacrylic ester copolymer, acrylic ester-methacrylic ester copolymer, etc.), polyvinyl butyral, acrylic-styrene, polypropylene carbonate, cellulose and other homopolymers or A copolymer is mentioned. In view of decomposability and volatility in the firing step, acrylic and alkyd organic binders are more preferable.
また、有機バインダの添加量としては、金属粉末によって異なるが、焼成時に分解・除去されやすく、かつ金属粉末を分散できる量であればよく、金属粉末に対して5乃至20質量%程度の量であることが望ましい。 The amount of the organic binder added varies depending on the metal powder, but may be any amount that can be easily decomposed and removed during firing and can disperse the metal powder. It is desirable to be.
金属ペーストに用いる溶剤としては、金属粉末と有機バインダとを良好に分散させて混合できるようなものであればよく、テルピネオールやブチルカルビトールアセテートなどが挙げられる。印刷後の形成性,乾燥性を考慮し、低沸点溶剤を用いることが好ましい。溶剤は金属粉末に対して4乃至15質量%の量で加えられ、15000乃至40000cps程度となるように調整される。 The solvent used for the metal paste is not particularly limited as long as the metal powder and the organic binder can be well dispersed and mixed, and examples thereof include terpineol and butyl carbitol acetate. In view of formability after printing and drying properties, it is preferable to use a low boiling point solvent. The solvent is added in an amount of 4 to 15% by mass with respect to the metal powder, and is adjusted to about 15000 to 40000 cps.
なお、金属ペーストには、焼成時のセラミックグリーンシート1の焼成収縮挙動や収縮率と合わせるため、または焼成後の配線導体13の接合強度を確保するために、ガラスやセラミックスの粉末を添加してもよい。
In addition, in order to match the firing shrinkage behavior and shrinkage rate of the ceramic
また、図4に示す例のように、金属体2は、平面視で成形体の上面側と下面側との大きさが異なっており、上面側と下面側との間に段差を設けることで、成形体を焼成した際に、母基板11と金属焼結体12との接触面積を大きくできる。このような形状の金属焼結体12を作製するには、セラミックグリーンシート1を複数のセラミックグリーンシートで形成し、上側のセラミックグリーンシートに第1貫通孔を形成し、下側のセラミックグリーンシートに第1貫通孔よりも径の大きい第2貫通孔を形成し、これらの貫通孔のそれぞれに合わせた大きさの金属体2を埋設し、上側と下側のセラミックグリーンシートを積層して加圧することによって形成することができる。
Further, as in the example shown in FIG. 4, the
成形体の上面側と下面側とで金属体2の大きさが異なる場合には、上面側における金属体2からセラミックグリーンシート1の上辺までの距離L1と金属体2からセラミックグリーンシート1の下辺までの距離L2はL1=L2とされ、下面側における金属体2からセラミックグリーンシート1の上辺までの距離L3と金属体2からセラミックグリーンシート1の下辺までの距離L4はL3=L4とされる。
When the size of the
また、金属体2は、図5に示す例のように、横方向にも偏在していてもよい。この場合には、平面視で、金属体2からセラミックグリーンシート1の左辺までの距離L5と金属体2からセラミックグリーンシート1の右辺までの距離L6とは、L5=L6とされる。なお、L3=L4,L5=L6の場合もL1=L2の場合と同様に、それぞれの距離は製造工程における0.1mm程度のばらつきによる誤差は含むものとする。
Further, the
配線導体パターン3は、電子部品のワイヤボンディング等の接続手段によって各電極と
電気的に接続される接続電極となる配線導体13、半田等の接合材を介して外部回路基板の配線導体13と電気的に接続される接続パッドとなる配線導体13、接続電極と接続パッドとを電気的に接続するための貫通導体や基板内で引き回される内部配線層となる配線導体13となるものである。
The
このような配線導体パターン3は、例えば、セラミックグリーンシート1にパンチングや金型による打ち抜き加工やレーザ加工によって貫通導体となる配線導体パターン3用の貫通孔を形成し、この貫通孔に貫通導体となる配線導体パターン3用の導体ペーストをスクリーン印刷法やプレス充填によって埋め込んで貫通導体となる配線導体パターン3を形成し、セラミックグリーンシート1の上面または下面の貫通導体となる配線導体パターン3が露出した部分の上に配線導体層となる配線導体パターン3用の導体ペーストをスクリーン印刷法、グラビア印刷法等の印刷法によって所定パターン形状で印刷することによって、10μm〜20μm程度の厚みで形成される。
Such a
導体ペーストは、金属粉末に適当な有機バインダおよび溶剤を加えてボールミルやプラネタリーミキサー等の混練手段によって均質に分散させて混練した後、溶剤を必要量添加することによって、印刷や貫通孔の充填に適した粘度に調整することによって作製される。 Conductor paste is filled with metal paste by adding an appropriate organic binder and solvent, and uniformly dispersed by a kneading means such as a ball mill or a planetary mixer. It is produced by adjusting the viscosity to be suitable for.
このような導体ペーストは、上記した金属ペーストと同様の材料を用いて、同様の方法で作製できる。 Such a conductor paste can be manufactured by the same method using the same material as the metal paste described above.
次に、主面および内部に配線導体パターン3が形成されたセラミックグリーンシート1を加圧することによって、成形体を作製する。積層する際は、それぞれの貫通孔同士が平面視で重なるように積層される。このときの成形体への加圧は必要に応じて加熱しながら行なう。加圧および加熱の条件は用いる有機バインダ等の種類や量によって異なるが、概ね2〜20MPaの圧力および30〜100℃の温度である。また、ステンレス等からなる金属
体の上に、これらのセラミックグリーンシート1を載置し、これらのセラミックグリーンシート1の上方に配置されたステンレス等からなる金属体やゴム等からなる弾性体によって加圧される。
Next, a compact is produced by pressurizing the ceramic
なお、図1〜図5に示す例においては、成形体は、1枚のセラミックグリーンシート1に金属体2および配線導体パターン3を配置することよって作製されているが、複数枚のセラミックグリーンシート1を準備して積層することによって成形体を作製してもよい。積層する際はセラミックグリーンシート1同士の接着性を向上させるために、溶剤と有機バインダや可塑剤等とを混合した接着剤を用いてもよい。
In the examples shown in FIGS. 1 to 5, the molded body is produced by arranging the
また、複数枚のセラミックグリーンシート1を積層して成形体を作製する場合には、貫通導体となる配線導体パターン3同士は直接接続されていればよいが、配線導体パターン3同士の接続をより良好なものとするために、貫通導体となる配線導体パターン3同士の間にこれらのパターンよりも幅広の配線導体パターン3を形成しておくことが好ましい。
Further, when a molded body is produced by laminating a plurality of ceramic
このようにして作製した成形体を焼成することで、図6に示す例のような多数個取り配線基板を作製できる。なお、成形体は、焼成することによって、セラミックグリーンシート1が母基板11に、金属体2が金属焼結体12に、配線導体パターン3が配線導体13、金属枠体パターン4は金属枠体14になる。また、図6に示す例においては、電子部品17を搭載した状態の多数個取り配線基板を示す。
By firing the molded body thus produced, a multi-cavity wiring board such as the example shown in FIG. 6 can be produced. By firing the molded body, the ceramic
第1の実施形態における多数個取り配線基板は、平面視において矩形状を有しており、縦方向および横方向に配列された複数の配線基板領域を含んでいる母基板11と、複数の配
線基板領域のそれぞれに埋設されており、複数の配線基板領域のそれぞれにおいて縦方向に偏在して設けられている金属焼結体12とを備えており、複数の配線基板領域のうち縦方向の上端に配置された配線基板領域に設けられた金属焼結体12から母基板11の上辺までの距離L11が、複数の配線基板領域のうち縦方向の下端に配置された配線基板領域に設けられた金属焼結体12から母基板11の下辺までの距離L12に等しいものである。このような構成であることから、多数個取り配線基板が反って凹または凸となっている領域を多数個取り配線基板の中央に位置させることができる。
The multi-cavity wiring board in the first embodiment has a rectangular shape in plan view, and includes a
なお、図6に示す例のように、多数個取り配線基板の上面側と下面側とで金属焼結体12の大きさが異なる場合には、上面側における金属焼結体12から母基板11の上辺までの距離L11と金属焼結体12から母基板11の下辺までの距離L12はL11=L12とされ、下面側における金属焼結体12から母基板11の上辺までの距離L13と金属焼結体12から母基板11の下辺までの距離L14はL13=L14とされる。
In the case where the size of the metal sintered body 12 is different between the upper surface side and the lower surface side of the multi-piece wiring substrate as in the example shown in FIG. The distance L11 from the metal sintered body 12 to the lower side of the
焼成する工程は有機成分の除去とセラミック粉末および金属粉末の焼結とから成る。有機成分の除去は100〜1000℃程度の温度範囲で成形体を加熱することによって行ない有機
成分を分解し、揮発させる。焼結温度はセラミックの組成および金属の組成によって異なり、800〜1600℃程度の範囲内で行なう。また、焼成雰囲気はセラミック粉末や導体材料
によって異なり、大気中あるいは還元雰囲気中あるいは非酸化性雰囲気中等で行なわれ、有機成分の除去を効果的に行なうために雰囲気中に水蒸気等を含ませてもよい。
The firing process consists of removing organic components and sintering ceramic and metal powders. The organic component is removed by heating the molded body in a temperature range of about 100 to 1000 ° C. to decompose and volatilize the organic component. The sintering temperature varies depending on the ceramic composition and metal composition, and is performed within a range of about 800 to 1600 ° C. In addition, the firing atmosphere varies depending on the ceramic powder and the conductor material, and is performed in the air, in a reducing atmosphere, or in a non-oxidizing atmosphere, etc. Even if water or the like is included in the atmosphere in order to effectively remove organic components. Good.
多数個取り配線基板を、配線基板領域1a同士の境界線1cまたは配線基板領域1aとダミー領域1bとの境界線1cに沿って分割することによって、配線基板が製作される。多数個取り配線基板を、配線基板領域1a同士の境界線1cまたは配線基板領域1aとダミー領域1bとの境界線1cに沿って分割する方法としては、境界線1c上に分割溝1dを形成しておき、この分割溝1dに沿って撓折して分割する方法、またはスライシング法等によって境界線1cに沿って切断する方法等を用いることができる。分割溝1dは、焼成前の成形体にカッター刃を押し当てたり、スライシング装置によって成形体の厚みより小さく切込んだりすることによって形成するか、焼成後の多数個取り配線基板にスライシング装置によって多数個取り配線基板の厚みより小さく切込むことによって形成できる。 The wiring board is manufactured by dividing the multi-cavity wiring board along the boundary line 1c between the wiring board regions 1a or the boundary line 1c between the wiring substrate region 1a and the dummy region 1b. As a method of dividing a multi-piece wiring board along the boundary line 1c between the wiring board areas 1a or the boundary line 1c between the wiring board area 1a and the dummy area 1b, a dividing groove 1d is formed on the boundary line 1c. In addition, a method of bending and dividing along the dividing groove 1d, a method of cutting along the boundary line 1c by a slicing method, or the like can be used. The dividing grooves 1d are formed by pressing the cutter blade against the molded body before firing, or by cutting it with a slicing device to be smaller than the thickness of the molded body, or by using a slicing device on the multi-piece wiring board after firing. It can be formed by cutting smaller than the thickness of the individual wiring board.
なお、配線導体パターン3が焼結した配線導体13の露出する表面には、電解めっき法あるいは無電解めっき法によってめっき層が被着される。これによって、配線導体13と電子部品との固着、配線導体13と外部回路基板の配線導体との接合、配線導体13とボンディングワイヤとの接合を強固にできる。めっき層は、ニッケル,金等の耐蝕性に優れる金属や銀等の反射性に優れる金属、銅等の放熱性にすぐれる金属から成るものである。例えば、厚さ1〜10μm程度のニッケルめっき層と厚さ0.1〜3μm程度の金めっき層とを順次被
着させる。また、例えば、電子部品17として発光素子が搭載される場合には、金めっき層の表面に、さらに銀めっき層が被着されていると、発光装置としたときに発光素子の発光する光を良好に反射できる。また、平面視で電子部品17が搭載される領域において、配線導体13とニッケルめっき層との間に銅めっき層が被着されていると、放熱性に優れた配線基板を得ることができる。
The exposed surface of the
このような多数個取り配線基板には、多数個取り配線基板の一方主面の配線基板領域1aに電子部品を収納するための凹部を備えていても構わない。凹部は、例えば金型やパンチングによる打ち抜き方法によって凹部用の貫通孔を形成したセラミックグリーンシート1と、凹部の底面となる貫通孔を形成していないセラミックグリーンシート1とを積層することによって形成できる。また、凹部は、複数の階段状であっても良いし、多数個取り配線基板の両主面に形成されても構わない。
Such a multi-cavity wiring board may be provided with a recess for storing electronic components in the wiring board region 1a on one main surface of the multi-cavity wiring board. The concave portion can be formed by laminating the ceramic
また、多数個取り配線基板は、縦または横の少なくとも一方の並びに複数の配線基板領域1aが配列されているものである。このような配線基板領域1aの配置は、多数個取り配線基板や配線基板領域1aの大きさ、配線基板領域1aに搭載される電子部品や配線導体13の配置等に合わせて設定される。
In addition, the multi-piece wiring board has a plurality of wiring board regions 1a arranged in at least one of the vertical and horizontal directions. Such an arrangement of the wiring board area 1a is set in accordance with the size of the multi-piece wiring board or the wiring board area 1a, the arrangement of the electronic components or
また、配線基板領域1a同士の間にもダミー領域1bが配置されていても良い。このようなときには、平面視で隣り合って配置された配線基板領域1aの左右または上下に非対称な切り欠きとなる穴を設ける場合に有効である。 Further, a dummy region 1b may be arranged between the wiring board regions 1a. In such a case, it is effective to provide asymmetrical cutout holes on the left and right or top and bottom of the wiring board region 1a arranged adjacent to each other in plan view.
ここで、図6に示す例においては、電子部品17はワイヤボンディング型の半導体素子である場合を示しており、半導体素子を接合材によって配線基板領域1aに固定した後、接続部材18であるボンディングワイヤを介して半導体素子の電極と配線導体13とを電気的に接続している。
Here, the example shown in FIG. 6 shows a case where the
また、電子部品17は、フリップチップ型の半導体素子である場合には、はんだバンプや金バンプ、または導電性樹脂(異方性導電樹脂等)等の接合材を介して、半導体素子の電極と配線導体13とを電気的および機械的に接続および接合できる。このような場合には、接合材によって電子部品17を各配線基板領域1aに接合した後に、電子部品17と配線基板との間にアンダーフィルを注入してもよい。
Further, when the
本実施形態の成形体は上記構成であることから、成形体を焼成して多数個取り配線基板を作製する際に、多数個取り配線基板が反ったときに、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域を多数個取り配線基板の縦方向(y軸方向)において中央に位置させることができる。 Since the molded body of this embodiment has the above-described configuration, when the multi-cavity wiring board is warped when the molded body is baked to produce the multi-cavity wiring board, the most concave of the multi-cavity wiring board is formed. Multiple areas or the most convex areas can be placed in the center in the longitudinal direction (y-axis direction) of the wiring board.
なお、図6に示す例のように、金属焼結体12が等間隔に配置されていると、多数個取り配線基板の配線基板領域1a上に電子部品を搭載する効率を高めるのに有効である。 Note that, as in the example shown in FIG. 6, when the metal sintered bodies 12 are arranged at equal intervals, it is effective to increase the efficiency of mounting electronic components on the wiring board region 1 a of the multi-piece wiring board. is there.
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態による成形体について、図7を参照しつつ説明する。
(Second Embodiment)
Next, a molded body according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
本発明の第2の実施形態における成形体において、上記した第1の実施形態の成形体と異なる部分は、図7に示す例のように、複数の配線基板領域1aのうち縦方向の上端に配置された配線基板領域1aに設けられた複数の金属体2を囲む仮想円4のうち最小の仮想円4の中心からセラミックグリーンシート1の上辺までの距離が、複数の配線基板領域1aのうち縦方向の下端に配置された配線基板領域1aに設けられた複数の金属体2を囲む仮想円のうち最小の仮想円4の中心からセラミックグリーンシート1の下辺までの距離に等しい点である。その他の構成については、上記した第1の実施形態による成形体と同様である。なお仮想円4は、金属体2を元に設定される領域であり、図7においては破線で示す。
In the molded body according to the second embodiment of the present invention, a portion different from the molded body according to the first embodiment described above is formed at the upper end in the vertical direction of the plurality of wiring board regions 1a as in the example shown in FIG. The distance from the center of the smallest
本実施形態の成形体においても、成形体を焼成して多数個取り配線基板を作製する際に、多数個取り配線基板が反ったときに、多数個取り配線基板の最も凹んだ領域または最も凸となった領域を多数個取り配線基板の縦方向(y軸方向)において中央に位置させることができる。 Also in the molded body of this embodiment, when the multi-cavity wiring board is warped when the molded body is fired to produce the multi-cavity wiring board, the most recessed area or the most convex of the multi-cavity wiring board. A large number of the regions thus obtained can be positioned in the center in the vertical direction (y-axis direction) of the wiring board.
最小の仮想円4は、平面視で配線基板領域1aに設けられた複数の金属体2を囲んで描ける仮想円のうち最小のものである。このような最小の仮想円4は、複数の金属体2の少なくとも2つに接して描いた円となる。なお、図7に示す例では、仮想直線(C−C線)を挟んで線対称に配置されているが、最小の仮想円4が縦方向に等間隔に配置されていて
も構わない。
The smallest
また、第2の実施形態における多数個取り配線基板において、上記した第1の実施形態の多数個取り配線基板と異なる部分は、図8に示す例のように、複数の配線基板領域1aのうち縦方向の上端に配置された配線基板領域1aに設けられた複数の金属焼結体12を囲む仮想円のうち最小の仮想円4の中心から母基板の上辺までの距離が、複数の配線基板領域1aのうち縦方向の下端に配置された配線基板領域1aに設けられた複数の金属焼結体12を囲む仮想円のうち最小の仮想円4の中心から母基板11の下辺までの距離に等しい点である。その他の構成については、上記した第1の実施形態による多数個取り配線基板と同様である。
Further, in the multi-cavity wiring board according to the second embodiment, the portion different from the multi-cavity wiring board of the first embodiment described above is a portion of the plurality of wiring board regions 1a as in the example shown in FIG. The distance from the center of the smallest
本実施形態の多数個取り配線基板においても、多数個取り配線基板が反って凹または凸となっている領域を多数個取り配線基板の縦方向(y軸方向)において中央に位置させることができる。なお、図8に示す例のように、最小の仮想円4が等間隔に同一方向に配置されていると、多数個取り配線基板の配線基板領域1a上に電子部品を搭載する効率を高めるのに有効である。
Also in the multi-cavity wiring board of the present embodiment, a region where the multi-cavity wiring board is warped or convex can be positioned in the center in the vertical direction (y-axis direction) of the multi-cavity wiring board. . In addition, when the minimum
また、本実施形態の多数個取り配線基板は、金属焼結体12を1つ配置する場合と比較して、平面視で複数の金属焼結体12のそれぞれを小さくできるので、配線導体13の配置の自由度を高めて、配線導体13の偏りによる多数個取り配線基板の変形を抑制するのに有効である。
In addition, since the multi-piece wiring board of this embodiment can reduce each of the plurality of metal sintered bodies 12 in a plan view as compared with the case where one metal sintered body 12 is disposed, This is effective in increasing the degree of freedom of arrangement and suppressing the deformation of the multi-piece wiring board due to the bias of the
なお、本発明は、上記の実施の形態の例に限定されるものではなく、種々の変更は可能である。例えば、配線基板領域1aの境界に、多数個取り配線基板を分割した際に溝となる穴を形成し、穴の内面に導体を形成して、多数個取り配線基板を分割した際に、いわゆるキャスタレーション導体を形成してもかまわない。 In addition, this invention is not limited to the example of said embodiment, A various change is possible. For example, at the boundary of the wiring board region 1a, when a multi-cavity wiring board is divided, a hole that becomes a groove is formed, and a conductor is formed on the inner surface of the hole so that the multi-cavity wiring board is divided, so-called A castellation conductor may be formed.
また、図4に示す例のように、それぞれの配線基板領域1aの外周部に、配線導体パターン3を囲むような金属枠体パターン4を配置しておいてもよい。金属枠体パターン4は、配線導体パターン3と同様の材料を用いて製作できる。このような金属枠体パターン4が燒結されることによって、図6に示す例のような金属枠体14が形成できる。金属枠体14は、配線導体13と同様の材料からなり、電子部品17を樹脂モールドする際の樹脂固定部や、電子部品17として発光素子を搭載する場合には発光素子の光を反射させる反射層として用いることができる。なお、金属枠体14の表面に銀めっき層を被着しておくと、発光素子17から側面方向に放射された光を良好に反射できる。
Further, as in the example shown in FIG. 4, a
また、電子部品17が発光素子である場合には、図6に示す例のように、金属焼結体12は、平面視で電子部品17よりも大きくしておくと、発光素子が発する熱を金属焼結体12の全面にわたって放熱できるので好ましい。
When the
また、図1または図3に示す例のように、金属体2が成形体の上面または下面の少なくとも一方に露出していてもよい。このような成形体を用いると、焼成されて多数個取り配線基板を分割して得た配線基板の放熱性を良好にするのに有効である。
Further, as in the example shown in FIG. 1 or FIG. 3, the
また、図2および図4〜図6に示す例のように、金属体2が成形体の上面および下面に露出されず、セラミックグリーンシート1の内部に埋設されていてもよい。このような成形体を焼成して得た多数個取り配線基板を分割した配線基板を用いて電子装置とすると、配線基板の上面または下面に形成された表面電極が金属焼結体12を介して短絡することを防止できる。よって、平面視で表面電極を大きくできる。
Further, as in the examples shown in FIGS. 2 and 4 to 6, the
また、母基板11の配線基板領域1aの下面に放熱体が配置されていても良い。このような放熱体は、多数個取り配線基板を分割した配線基板を用いた電子装置を外部回路基板に実装したときに、放熱体と外部回路基板とが接合または当接することによって放熱性を高めることができる。
A heat radiator may be disposed on the lower surface of the wiring board region 1a of the
また、金属焼結体12は平面視で角部が円弧状とした矩形状であることが好ましい。矩形状の電子部品17であるときには、配線基板領域1aにおいて、平面視で電子部品と重なる面積を小さくすることなく、金属焼結体12の大きさを小さくできるので、金属焼結体12と表面電極との短絡を低減できる。
In addition, the sintered metal body 12 preferably has a rectangular shape with corners arcuate in plan view. In the case of the rectangular
また、電子部品17は、部分的に放熱性を高くしたい場合には、平面視で放熱性を高めたい部分と金属焼結体12とが重なるように配置すればよい。例えば、電子部品17が撮像素子であれば、金属焼結体12は、撮像素子に設けられたDSP(Digital Signal Processor)等の信号処理回路の部分と重なるように配置しておくとよい。信号処理回路で発生した熱を金属焼結体12に伝わりやすくし、受光部側に熱が伝わりにくくなるので、撮像素子の受光部が熱によって歪むことを抑制することができるとともに、消費電力を低減できる。
Further, when it is desired to partially increase the heat dissipation property, the
第2の実施形態の多数個取り配線基板において、複数の金属焼結体12は母基板1の内部で金属部材を介して互いにつながっていてもよい。このような多数個取り配線基板を分割して得られる配線基板に電子部品を実装した場合において、金属焼結体12を放熱体として用いると、電子部品で生じる熱が複数の金属焼結体12から均等に放熱されやすい。
In the multi-cavity wiring board of the second embodiment, the plurality of metal sintered bodies 12 may be connected to each other through a metal member inside the
1・・・・セラミックグリーンシート
1a・・・配線基板領域
1b・・・ダミー領域
1c・・・配線基板領域1aの境界線
1d・・・分割溝
2・・・・金属体
3・・・・配線導体パターン
4・・・・最小の仮想円
11・・・・母基板
12・・・・金属焼結体
13・・・・配線導体
14・・・・金属枠体
17・・・・電子部品
18・・・・接続部材
DESCRIPTION OF
11 ... Mother board
12 ... Metal sintered body
13 ... Wiring conductor
14 ... Metal frame
17 ... Electronic components
18 ・ ・ ・ ・ Connection member
Claims (7)
前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の上端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記複数の金属体を囲む仮想円のうち最小の仮想円の中心から前記セラミックグリーンシートの上辺までの距離が、前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の下端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記複数の金属体を囲む仮想円のうち最小の仮想円の中心から前記セラミックグリーンシートの下辺までの距離に等しいことを特徴とする成形体。 It has a rectangular shape in plan view, and is embedded in each of the plurality of ceramic green sheets including a plurality of wiring board regions arranged in the vertical and horizontal directions, and each of the plurality of wiring board regions, A plurality of metal bodies provided unevenly in the vertical direction in each of the plurality of wiring board regions,
From the center of the smallest virtual circle to the upper side of the ceramic green sheet among the virtual circles surrounding the plurality of metal bodies provided in the wiring substrate region arranged at the upper end in the vertical direction among the plurality of wiring substrate regions Of the ceramic green from the center of the smallest virtual circle among the virtual circles surrounding the plurality of metal bodies provided in the wiring substrate region disposed at the lower end in the vertical direction among the plurality of wiring substrate regions A molded body characterized by being equal to the distance to the lower side of the sheet.
前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の上端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記複数の金属焼結体を囲む仮想円のうち最小の仮想円の中心から前記母基板の上辺までの距離が、前記複数の配線基板領域のうち前記縦方向の下端に配置された前記配線基板領域に設けられた前記複数の金属焼結体を囲む仮想円のうち最小の仮想円の中心から前
記母基板の下辺までの距離に等しいことを特徴とする多数個取り配線基板。 The substrate has a rectangular shape in plan view, and is embedded in each of the plurality of wiring board regions and a mother board that includes a plurality of wiring board regions arranged in the vertical direction and the horizontal direction. A plurality of metal sintered bodies provided unevenly in the longitudinal direction in each of the wiring board regions,
The upper side of the mother substrate from the center of the smallest virtual circle among the virtual circles surrounding the plurality of sintered metal bodies provided in the wiring substrate region disposed at the upper end in the vertical direction among the plurality of wiring substrate regions The distance from the center of the smallest virtual circle among the virtual circles surrounding the plurality of metal sintered bodies provided in the wiring substrate region disposed at the lower end in the vertical direction among the plurality of wiring substrate regions A multi-piece wiring board characterized by being equal to a distance to a lower side of the mother board.
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