JP5639341B2 - Simulation system and program - Google Patents
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Description
本発明は、半導体製造設備に備わる処理装置に半導体ウェハを搬送する搬送ロボットの搬送動作をシミュレーションするシミュレーションシステム、及びそれを実行するためのプログラムに関する。 The present invention relates to a simulation system for simulating a transfer operation of a transfer robot for transferring a semiconductor wafer to a processing apparatus provided in a semiconductor manufacturing facility, and a program for executing the simulation system.
半導体製造設備には、半導体ウェハに熱処理、不純物導入処理、薄膜形成処理、リソグラフィー処理、洗浄処理または平坦化処理等のプロセス処理を行なうための複数の処理装置と、これら複数の処理装置の処理動作を制御するための制御装置とを備えている。また、半導体製造設備内には、半導体ウェハを各処理装置に搬送するための搬送ロボットが設けられている。搬送ロボットは、制御装置とシリアル通信ケーブル又はパラレル通信ケーブルを介して通信可能に接続されており、制御装置から与えられる制御指令を受けて、移動、取り動作及び置き動作等の搬送動作をするようになっている。 A semiconductor manufacturing facility includes a plurality of processing apparatuses for performing process processing such as heat treatment, impurity introduction processing, thin film formation processing, lithography processing, cleaning processing, or planarization processing on a semiconductor wafer, and processing operations of the plurality of processing apparatuses. And a control device for controlling. In the semiconductor manufacturing facility, a transfer robot for transferring the semiconductor wafer to each processing apparatus is provided. The transfer robot is communicably connected to the control device via a serial communication cable or a parallel communication cable, and receives a control command given from the control device so as to perform a transfer operation such as a moving operation, a taking operation, and a placing operation. It has become.
半導体製造設備の制御装置と搬送ロボットとは製造者が異なっていることが多く、各々の装置内で使用される通信プロトコルが特に決められていない。各製造者は、各装置において独自の通信プロトコルを採用していることが多い。そのため、各装置の通信プロトコルを何れか一方の通信プロトコルに合わせる必要があり、通信プロトコルを合わせる方の装置において、プログラムを修正する必要がある。 In many cases, a manufacturer of a control device of a semiconductor manufacturing facility and a transfer robot are different from each other, and a communication protocol used in each device is not particularly determined. Each manufacturer often employs a unique communication protocol in each device. For this reason, it is necessary to match the communication protocol of each device to one of the communication protocols, and it is necessary to modify the program in the device that matches the communication protocol.
各装置の通信プロトコルの確認等、各装置で使用されるプログラムにより搬送ロボットを動作させることができるか否かの確認（つまりプログラムの動作確認）は、完成した半導体製造設備及び搬送ロボットで確認する必要がある。また、プログラムの修正は、プログラムの動作確認をしながら修正箇所を特定する必要があり、プログラムの修正に多大な時間が必要である。それ故、半導体製造設備が稼働できるまでに多大な時間を要し、工期が長くなってしまう。また、プログラムの動作確認を実機で行なうと、プログラムに不具合等がある場合、搬送ロボットが半導体製造設備内の干渉部材に干渉して、搬送ロボット及び干渉部材が損傷するおそれがある。 Confirmation of whether or not the transfer robot can be operated by the program used by each device, such as confirmation of the communication protocol of each device (that is, confirmation of the operation of the program) is confirmed by the completed semiconductor manufacturing facility and the transfer robot. There is a need. Further, in order to correct a program, it is necessary to specify a correction location while checking the operation of the program, and it takes a lot of time to correct the program. Therefore, it takes a long time until the semiconductor manufacturing facility can be operated, resulting in a long construction period. Further, when the operation check of the program is performed with an actual machine, if there is a problem in the program, the transfer robot may interfere with the interference member in the semiconductor manufacturing facility, and the transfer robot and the interference member may be damaged.
そこで本発明の目的は、半導体製造設備及び搬送ロボットが稼働できるまでの工期を短縮できるシミュレーションシステムを提供することである。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a simulation system that can shorten the work period until the semiconductor manufacturing facility and the transfer robot can be operated.
また、本発明の他の目的は、搬送ロボットによる稼動テスト時において、搬送ロボットが半導体製造設備内の干渉部材と干渉することを抑えることができるシミュレーションシステムを提供することである。 Another object of the present invention is to provide a simulation system capable of suppressing the transfer robot from interfering with an interference member in a semiconductor manufacturing facility during an operation test by the transfer robot.
本発明のシミュレーションシステムは、半導体製造設備に備わる処理装置を制御し、且つ前記処理装置に半導体ウェハを搬送する搬送ロボットに制御指令を与えて前記搬送ロボットの動作を制御する制御装置と、前記制御指令を前記動作指令として入力することができ、前記動作指令に応じて実行する前記搬送ロボットの搬送動作をシミュレーションするシミュレーション装置と、前記制御装置と前記シミュレーション装置とを通信させる通信手段とを備え、前記制御装置は、前記通信手段を介して前記制御指令をシミュレーション装置に送信し、前記シミュレーション装置は、送信された前記制御指令が前記動作指令に対応している場合、対応する前記動作指令に応じて実行する搬送動作をシミュレーションし、前記制御指令と前記動作指令とで指令内容が異なる場合、前記制御指令に対して不所望な搬送動作をシミュレーションするようになっているものである。 The simulation system of the present invention controls a processing apparatus provided in a semiconductor manufacturing facility , and gives a control command to a transfer robot that transfers a semiconductor wafer to the processing apparatus to control the operation of the transfer robot, and the control A simulation device that can input a command as the motion command and that simulates the transport motion of the transport robot to be executed in response to the motion command; and a communication unit that communicates the control device with the simulation device. the control device sends said control command before SL system via the communication means to the simulation apparatus, the simulation apparatus, when the control command transmitted corresponds to the operation command, said corresponding operation command simulating the transport operation performed in response to the operation finger and the control instruction If the command contents are different between, but adapted to simulate undesirable transport operation to the control command.
本発明に従えば、制御指令がシミュレーション装置に送信されると、その制御指令が前記動作指令に対応している場合、対応する動作指令に応じて実行される搬送動作をシミュレーション装置がシミュレーションする。搬送動作のシミュレーションが実行されると、前記制御指令に応じて搬送ロボットの搬送動作を実行可能であることが確認できる。逆に、搬送動作のシミュレーションが実行されない場合、制御装置からの制御指令では、搬送ロボットの搬送動作を実行することができないことが確認できる。このように、半導体製造設備の制御装置及びシミュレーション装置があれば、半導体製造設備及び搬送ロボットの製造と並行して制御指令に応じて搬送ロボットが動作するか否かを確認することができる。これにより、半導体製造設備及び搬送ロボットが稼動できるまでの工期が短縮される。 According to the present invention, when a control command is transmitted to the simulation device, the simulation device simulates a transport operation that is executed according to the corresponding operation command when the control command corresponds to the operation command. When the transfer operation simulation is executed, it can be confirmed that the transfer operation of the transfer robot can be executed in accordance with the control command. On the contrary, when the simulation of the transfer operation is not executed, it can be confirmed that the transfer operation of the transfer robot cannot be executed by the control command from the control device. Thus, if there is a control device and a simulation device for semiconductor manufacturing equipment, it is possible to confirm whether or not the transfer robot operates according to the control command in parallel with the manufacture of the semiconductor manufacturing equipment and transfer robot. This shortens the work period until the semiconductor manufacturing facility and the transfer robot can be operated.
上記発明において、前記シミュレーション装置は、前記半導体製造設備に備わる干渉部材の位置を入力可能になっており、搬送動作をシミュレーションする際に、入力された前記干渉部材の位置に基づいて前記干渉部材が配置される半導体製造設備内における搬送ロボットの搬送動作をシミュレーションするようになっていることが好ましい。 In the above invention, the simulation apparatus can input the position of the interference member provided in the semiconductor manufacturing facility, and the simulation of the interference member based on the input position of the interference member when simulating the transport operation. It is preferable to simulate the transfer operation of the transfer robot in the semiconductor manufacturing facility.
上記構成に従えば、予め干渉部材の位置をシミュレーション装置に入力しておくことで、半導体製造設備内を搬送ロボットがどのように動作するかをシミュレーションにより確認することができる。これにより、搬送ロボット及び半導体ウェハが半導体製造設備内の干渉部材に干渉するか否かを予め確認しておくができ、搬送ロボットの稼動テスト時において、搬送ロボットが半導体製造設備の干渉部材に干渉することを抑えることができる。従って、搬送ロボットの稼動テスト時に、搬送ロボット及び半導体製造設備が損傷することを抑えることができる。 If the said structure is followed, the position of an interference member will be previously input into a simulation apparatus, and it can be confirmed by simulation how a conveyance robot operate | moves within the semiconductor manufacturing equipment. This makes it possible to confirm in advance whether the transfer robot and the semiconductor wafer interfere with the interference member in the semiconductor manufacturing facility, and the transfer robot interferes with the interference member of the semiconductor manufacturing facility during the operation test of the transfer robot. Can be suppressed. Therefore, it is possible to prevent the transfer robot and the semiconductor manufacturing facility from being damaged during the operation test of the transfer robot.
上記発明において、前記シミュレーション装置は、前記搬送ロボットの搬送動作を表示する表示部を有することが好ましい。上記構成に従えば、搬送ロボットの搬送動作の確認が視覚的に可能となり、制御指令及び搬送動作との関係が把握しやすくなる。 In the above invention, it is preferable that the simulation apparatus includes a display unit that displays a transfer operation of the transfer robot. According to the above configuration, the transfer operation of the transfer robot can be visually confirmed, and the relationship between the control command and the transfer operation can be easily grasped.
本発明のプログラムは、半導体製造設備に備わる処理装置に半導体ウェハを搬送する搬送ロボットが動作指令に応じて実行される搬送動作をシミュレーション装置にてシミュレーションさせるためのプログラムであって、前記処理装置の処理動作を制御し、且つ前記搬送ロボットに制御指令を与えて前記搬送ロボットの動作を制御する制御装置から前記制御指令が通信手段を介してシミュレーション装置に送信されて前記動作指令として入力されると、送信された前記制御指令が前記動作指令に対応する場合、対応する前記動作指令に応じて実行される前記搬送動作を前記シミュレーション装置にシミュレーションさせ、前記制御指令と前記動作指令とで指令内容が異なる場合、前記制御指令に対して不所望な搬送動作を前記シミュレーション装置にシミュレーションさせるようになっているものである。 Program of the present invention is a program for simulating the transport operation by the simulation apparatus conveying robot for conveying the semiconductor wafer processing apparatus included in semiconductor manufacturing equipment is executed in response to an operation command, the processing device to control the processing operation, when and the control command from the control device for controlling the operation of the conveyor the conveying robot gives a control command to the robot are entered as the operation command is transmitted to the simulation device via the communication means , when the control command transmitted corresponds to the operation command, the conveyance operation to be performed in response to the operation command corresponding to the simulation to the simulation apparatus, the command contents and the operation command and the control command If they are different from each other, the simulation may cause an undesired transfer operation with respect to the control command. In which has become so that by simulation device.
上記構成に従えば、制御指令がシミュレーション装置に送信されると、その制御指令が前記動作指令に対応している場合、対応する動作指令に応じて実行される搬送動作をシミュレーション装置にシミュレーションさせることができる。搬送動作のシミュレーションが実行されると、前記制御指令に応じて搬送ロボットの搬送動作を実行可能であることが確認できる。逆に、搬送動作のシミュレーションが実行されない場合、制御装置からの制御指令では、搬送ロボットの搬送動作を実行することができないことが確認できる。このように、半導体製造設備の制御装置及びシミュレーション装置があれば、半導体製造設備及び搬送ロボットの製造と並行して制御指令に応じて搬送ロボットが動作するか否かを確認することができる。これにより、半導体製造設備及び搬送ロボットが稼動できるまでの工期が短縮される。 According to the above configuration, when a control command is transmitted to the simulation device, if the control command corresponds to the operation command, the simulation device is caused to simulate a conveyance operation executed according to the corresponding operation command. Can do. When the transfer operation simulation is executed, it can be confirmed that the transfer operation of the transfer robot can be executed in accordance with the control command. On the contrary, when the simulation of the transfer operation is not executed, it can be confirmed that the transfer operation of the transfer robot cannot be executed by the control command from the control device. Thus, if there is a control device and a simulation device for semiconductor manufacturing equipment, it is possible to confirm whether or not the transfer robot operates according to the control command in parallel with the manufacture of the semiconductor manufacturing equipment and transfer robot. This shortens the work period until the semiconductor manufacturing facility and the transfer robot can be operated.
上記発明において、前記搬送動作のシミュレーション時において、前記シミュレーション装置に入力される前記半導体製造設備に備わる干渉部材の位置に基づいて、前記干渉部材が配置される半導体製造設備内における搬送ロボットの搬送動作を前記シミュレーション装置にシミュレーションさせることが好ましい。 In the above invention, during the simulation of the transfer operation, the transfer operation of the transfer robot in the semiconductor manufacturing facility in which the interference member is arranged based on the position of the interference member provided in the semiconductor manufacturing facility input to the simulation apparatus Is preferably simulated by the simulation apparatus.
上記構成に従えば、予め干渉部材の位置をシミュレーション装置に入力しておくことで、半導体製造設備内を搬送ロボットがどのように動作するかをシミュレーション装置にシミュレーションさせることができる。これにより、搬送ロボット及び半導体ウェハが半導体製造設備内の干渉部材に干渉するか否かを予め確認しておくができ、搬送ロボットの稼動テスト時において、搬送ロボットが半導体製造設備の干渉部材に干渉することを抑えることができる。従って、搬送ロボットの稼動テスト時に、搬送ロボット及び半導体製造設備が損傷することを抑えることができる。 According to the above configuration, by inputting the position of the interference member into the simulation apparatus in advance, it is possible to cause the simulation apparatus to simulate how the transfer robot operates in the semiconductor manufacturing facility. This makes it possible to confirm in advance whether the transfer robot and the semiconductor wafer interfere with the interference member in the semiconductor manufacturing facility, and the transfer robot interferes with the interference member of the semiconductor manufacturing facility during the operation test of the transfer robot. Can be suppressed. Therefore, it is possible to prevent the transfer robot and the semiconductor manufacturing facility from being damaged during the operation test of the transfer robot.
本発明によれば、半導体製造設備及び搬送ロボットの製造と並行して製造装置からの制御指令に応じて搬送ロボットが動作するか否かを確認でき、半導体製造設備及び搬送ロボットが稼働できるまでの工期を短縮できる。 According to the present invention, it is possible to confirm whether or not the transfer robot operates according to the control command from the manufacturing apparatus in parallel with the manufacture of the semiconductor manufacturing facility and the transfer robot, and until the semiconductor manufacturing facility and the transfer robot can be operated. The construction period can be shortened.
図１は、本発明の実施形態に係るシミュレーションシステム１を概略的に示す図面である。図２は、シミュレーションシステム１の電気的な構成を示すブロック図である。半導体製造設備は、半導体ウェハに電子回路等を実装して半導体を製造するための装置であり、熱処理、不純物導入処理、薄膜形成処理、リソグラフィー処理、洗浄処理または平坦化処理等のプロセス処理を行なうための複数の処理装置と、これら複数の処理装置の処理動作を制御するための制御装置とを備えている。また、半導体製造設備には、半導体ウェハを各処理装置へと搬送するための搬送ロボットが備わっている。搬送ロボットは、入力される動作指令に応じて搬送動作をするようになっている。搬送ロボットは、制御装置と通信可能に接続されており、制御装置から送信される制御指令を受け、この制御指令が何れかの動作指令に対応していると、その対応する動作指令に応じた搬送動作をするようになっている。 FIG. 1 is a diagram schematically showing a simulation system 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a block diagram showing an electrical configuration of the simulation system 1. A semiconductor manufacturing facility is an apparatus for manufacturing a semiconductor by mounting an electronic circuit or the like on a semiconductor wafer, and performs process processing such as heat treatment, impurity introduction processing, thin film formation processing, lithography processing, cleaning processing, or planarization processing. A plurality of processing devices for controlling the processing operations of the plurality of processing devices. Further, the semiconductor manufacturing facility is equipped with a transfer robot for transferring the semiconductor wafer to each processing apparatus. The transport robot is configured to perform a transport operation in accordance with an input operation command. The transfer robot is communicably connected to the control device, receives a control command transmitted from the control device, and if this control command corresponds to one of the operation commands, the transfer robot responds to the corresponding operation command. It is designed to perform a transport operation.
図１に示すシミュレーションシステム１は、上記のような搬送ロボットの搬送動作をシミュレーションするためのシステムであり、シミュレーション装置２と、半導体製造設備の制御装置３とを備える。シミュレーション装置２と制御装置３とは、シリアル通信ケーブル４により通信可能に接続されている。なお、シミュレーション装置２と制御装置３とを通信可能に接続する通信手段は、シリアル通信ケーブル４に限定するものではなく、パラレル通信ケーブルであってもよい。またこれらケーブルのように有線通信による通信手段に限定するものでもなく、赤外線及びブルートゥース等の無線通信が可能な通信手段であってもよい。
A simulation system 1 shown in FIG. 1 is a system for simulating the transfer operation of the transfer robot as described above, and includes a
シミュレーション装置２は、搬送ロボットの搬送動作をシミュレーションし、その搬送動作を表示するための装置である。シミュレーション装置２は、例えばパーソナルコンピュータであり、ＣＰＵ（Central Processing Unit；中央演算処理ユニット）１１と、記憶部１２と、表示部１３と、入力部１４と、通信部１５とを備え、記憶部１２、表示部１３、入力部１４及び通信部１５がＣＰＵ１１と電気的に接続されている。
The
ＣＰＵ１１は、記憶部１２に記憶される種々のデータ及びプログラムに基づいて、後述する仮想搬送ロボット３０を表示部１３に表示させると共に、入力部１４又は通信部１５から入力される動作指令に応じて搬送ロボットの搬送動作をシミュレーションし、シミュレーションの結果を表示部１３に表示するようになっている。「仮想搬送ロボット３０」とは、シミュレーション上の搬送ロボットであり、搬送ロボットの実機については、単に「搬送ロボット」という。
The
表示部１３は、本実施形態において、液晶ディスプレイで構成され、入力部１４は、キーボードで構成されている。但し、表示部１３は、ＣＲＴディスプレイであってもよく、シミュレーション結果を表示可能なものであればよい。また入力部１４は、バーコードリーダであってもよく、動作指令を入力可能なものであればよい。通信部１５には、シリアル通信ケーブル４が機械的及び電気的に接続されている。ＣＰＵ１１は、シリアル通信ケーブル４を介して、制御装置３に通信できるようになっている。
In the present embodiment, the
制御装置３は、前述の通り、図示しない半導体製造設備の各処理装置の処理動作を制御するための装置である。また、制御装置３は、搬送ロボットに制御指令を与えて搬送ロボットの搬送動作を制御し、各処理装置間における半導体ウェハの移動を制御するようになっている。制御装置３は、パーソナルコンピュータであり、演算部２１と、制御装置側記憶部２２と、制御装置側入力部２３と、制御装置側通信部２４とを備え、制御装置側記憶部２２、制御装置側入力部２３及び制御装置側通信部２４が演算部２１に電気的に接続されている。
As described above, the control device 3 is a device for controlling the processing operation of each processing device of a semiconductor manufacturing facility (not shown). In addition, the control device 3 gives a control command to the transfer robot to control the transfer operation of the transfer robot, and controls the movement of the semiconductor wafer between the processing devices. The control device 3 is a personal computer, and includes a
演算部２１は、制御装置側記憶部２２に記憶される種々のデータ及びプログラムに基づいて各処理装置に処理指令を送信し、各処理装置を作動させるようになっている。制御装置側入力部２３は、種々の指令を演算部２１に入力可能になっている。制御装置側通信部２４は、シリアル通信ケーブル４を機械的及び電気的に接続可能になっており、このシリアル通信ケーブル４によって演算部２１がシミュレーション装置２に通信可能に接続される。
The
このシリアル通信ケーブル４は、シミュレーション装置２に代えて搬送ロボットと接続可能になっている。演算部２１は、制御装置側記憶部２２に記憶される種々のデータ及びプログラムに基づいて、搬送ロボットの搬送動作を制御するための制御指令をこのシリアル通信ケーブル４を介して搬送ロボットに送信するようになっている。搬送ロボットは、送信される制御指令に応じて搬送動作を実行するようになっている。
The
図３は、シミュレーションシステム１でシミュレーションされる仮想搬送ロボット３０の斜視図である。図４は、図３に示す仮想搬送ロボット３０の平面図である。シミュレーション装置２では、種々の搬送ロボットに関するデータが記憶部１２に記憶されている。シミュレーション装置２では、記憶される種々の搬送ロボット中から１つの搬送ロボットを入力部１４により選択することで、前記仮想搬送ロボット３０が図１に示すような形で表示部１３に表示される。シミュレーション装置２では、選択された搬送ロボットの搬送動作をシミュレーションすることができるようになっている。本実施形態では、図３及び４で示すような仮想搬送ロボット３０について説明するが、仮想搬送ロボット３０は、一例に過ぎず、本実施形態のロボットに限定するものではない。
FIG. 3 is a perspective view of the
仮想搬送ロボット３０は、所謂水平３軸ロボットであり、基台３１を備えている。基台３１には、図示しない昇降装置が設けられている。この昇降装置には、第１リンク３２が軸線Ｌ１を中心に回動可能に設けられている。また、昇降装置は、軸線Ｌ１に沿って第１リンク３２を昇降するようになっている。
The
第１リンク３２は、長尺に形成され、その長手方向一端部が昇降装置に連結されている。第１リンク３２の長手方向他端部には、第２リンク３３が軸線Ｌ２を中心に回動可能に設けられている。第２リンク３３もまた、長尺に形成され、長手方向一端部が第１リンク３２に回動可能に連結されている。第２リンク３３の長手方向他端部には、第３リンク３４が軸線Ｌ３を中心に回動可能に連結されている。第３リンク３４は、その基端部に第２リンク３３の長手方向他端部に連結されており、先端部に二股状になっているハンド部３５を有する。仮想搬送ロボット３０は、このハンド部３５に後述する半導体ウェハ４２を載せて搬送するようになっている。
The
また、シミュレーション装置２では、搬送ロボットの搬送動作をシミュレーションする際、搬送ロボットが設置される周辺環境、即ち半導体製造設備内の一部の部材（以下、単に「構成部材」ともいう）と共にシミュレーションすることができるようになっている。半導体製造設備内の構成部材として、本実施形態では、８つの干渉部材４１と搬送対象である６つの半導体ウェハ４２があり、シミュレーション装置２の入力部１４により前記構成部材４１，４２の形状及び位置（例えば、搬送ロボットとの相対位置）を入力することでＣＰＵ１１に前記構成部材４１，４２の形状及び位置を認識させることができる。これにより、ＣＰＵ１１は、搬送ロボットが設置される周辺環境を表示部１３に表示させる。なお、本実施形態において、シミュレーション上の半導体製造設備を「仮想半導体製造設備４０」ともいい、半導体製造設備の実機を単に「半導体製造設備」ともいう。
Further, in the
このように構成される仮想搬送ロボット３０は、記憶部１２に記憶されるプログラムを実行してシミュレーション用のアプリケーションを起動させることで表示部１３に表示される。前記アプリケーションを起動すると、シミュレーション装置２は、シリアル通信ケーブル４からＣＰＵ１１に入力される指令、例えば、制御装置３からの制御指令に対応する動作指令が記憶部１２に記憶されているかをＣＰＵ１１が判断する。対応する動作指令がある場合、その動作指令に応じた搬送動作を前記仮想搬送ロボット３０に実行させる、つまりシミュレーションさせるようになっている。このように、シミュレーション装置２では、制御装置３からの制御指令により搬送ロボットの搬送動作をシミュレーションできるようになっている。
The
図５では、シミュレーション装置２における通信プロトコルの概略を説明するための図面である。次に、本実施形態のシミュレーション装置２で採用される通信プロトコルについて説明する。シミュレーション装置２で採用される通信プロトコル及び記憶部１２に記憶される動作指令は、搬送ロボットで実際に使用される通信プロトコル及び動作指令と同じに設定されている。シミュレーション装置２の通信プロトコルでは、制御装置３からシミュレーション装置２に制御指令であるＣｏｍｍａｎｄ信号（例えばＳＥＲＶ信号、ＨＯＭＡ信号、ＭＯＶＰ信号、ＧＥＴＳ信号及びＰＵＴＳ信号）が送信されると、このＣｏｍｍａｎｄ信号に対応する動作指令が記憶されていないか、ＣＰＵ１１が判断する。対応する動作指令が記憶されていないとＣＰＵ１１が判断すると、ＣＰＵ１１がシリアル通信ケーブル４を介して制御装置３に動作指令でないことを示すＮａｋ信号を返信する。逆に、対応する動作指令が記憶されているとＣＰＵ１１が判断すると、ＣＰＵ１１がシリアル通信ケーブル４を介して制御装置３に動作指令を受けたことを示すＡｃｋ信号を返信する。
FIG. 5 is a diagram for explaining an outline of a communication protocol in the
ＣＰＵ１１は、Ａｃｋ信号を返信した後、Ｃｏｍｍａｎｄ信号に応じた搬送動作（Ａｃｔｉｏｎ）を仮想搬送ロボット３０に実行させる。Ｃｏｍｍａｎｄ信号に応じた搬送動作が終了すると、ＣＰ１１は、搬送動作が終了したことを示すＲｅｓｐｏｎｓｅ信号を制御装置３へと送信する。さらに制御装置３が仮想搬送ロボット３０を動作させる場合、Ｒｅｓｐｏｎｓｅ信号を受信した後、再びＣｏｍｍａｎｄ信号が制御装置３の演算部２１からシミュレーション装置２に送信される。
After returning the Ack signal, the
このような通信プロトコルにおいて、受信するＣｏｍｍａｎｄ信号に含まれる文字の送信間隔が予め定められる時間Ｔ１を超える場合、Ｃｏｍｍａｎｄ信号を送信してからＡｃｋ信号を受信するまでの返信間隔が予め定められる時間Ｔ２を越える場合、及びＡｃｋ信号を受信してからＲｅｓｐｏｎｓｅ信号を受信するまでの動作間隔が予め定められる時間Ｔ３を超える場合、ＣＰＵ１１及び演算部２１では、通信不能であると判断し、シミュレーション装置２での搬送動作のシミュレーションが中断される。
In such a communication protocol, when the transmission interval of the characters included in the received Command signal exceeds a predetermined time T1, the reply interval from the transmission of the Command signal to the reception of the Ack signal is a predetermined time T2. And when the operation interval from receiving the Ack signal to receiving the Response signal exceeds a predetermined time T3, the
以下では、制御装置３から制御指令の一例であるＳＥＲＶ信号、ＨＯＭＡ信号、ＭＯＶＰ信号、ＧＥＴＳ信号及びＰＵＴＳ信号が送信された場合にシミュレーション装置２で得られるシミュレーション結果について説明する。以下の例では、シミュレーション装置２と制御装置３とで同じ通信プロトコルが採用され、制御装置３からの制御指令がシミュレーション装置２における動作指令と対応付けられているものとし、各制御指令に対応する動作指令が記憶部１２に記憶されているものとする。
Hereinafter, simulation results obtained by the
図６は、制御装置３からシミュレーション装置２にＳＥＲＶ信号が送信されたときの通信状態を示す図である。ＳＥＲＶ信号は、第１乃至第３リンク３２〜３４を夫々回動させるための３つのサーボモータ（図示せず）の電源を入れるための制御指令である。制御装置３からシミュレーション装置２にＳＥＲＶ信号が送信されると、ＣＰＵ１１は、ＳＥＲＶ信号を受信し、そのＳＥＲＶ信号に対応する動作指令が記憶されていると判断し、Ａｃｋ信号を制御装置３に返信する。次にＣＰＵ１１は、仮想搬送ロボット３０において、ＳＥＲＶ信号に応じて３つのサーボモータが駆動可能状態になったとし、サーボモータを駆動可能状態にした旨のＲｅｓｐｏｎｓｅ信号を制御装置３に送信する。
FIG. 6 is a diagram illustrating a communication state when a SERV signal is transmitted from the control device 3 to the
図７は、制御装置３からシミュレーション装置２にＨＯＭＡ信号が送信されたときの通信状態等を示す図である。図７（ａ）は、ＨＯＭＡ信号が送信されたときの通信状態を示す図面であり、図７（ｂ）は、ＨＯＭＡ信号に応じたハンド部３５の搬送動作を示す斜視図であり、図７（ｃ）は、ＨＯＭＡ信号に応じた搬送動作をした後の仮想搬送ロボット３０の姿勢を示す平面図である。ＨＯＭＡ信号は、第１乃至第３リンク３２〜３４を原点へと復帰させるための制御指令である。原点とは、第１乃至３リンク３２〜３４を各軸線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３を中心に夫々回動させる際の基準となる姿勢である。本実施形態において、原点は、図７（ｃ）に示すように、平面視で第１乃至第３リンク３２〜３４が重なるような姿勢（位置）である。
FIG. 7 is a diagram illustrating a communication state and the like when a HOMA signal is transmitted from the control device 3 to the
制御装置３からシミュレーション装置２にＨＯＭＡ信号が送信されると、ＣＰＵ１１は、ＳＥＲＶ信号の場合と同様に、制御装置３からのＨＯＭＡ信号に対応する動作指令が記憶されていると判断し、Ａｃｋ信号を制御装置３に返信する。次にＣＰＵ１１は、ＨＯＭＡ信号に応じて復帰動作のシミュレーションを実行し、その復帰動作を表示部１３で表示する。復帰動作とは、第１乃至第３リンク３２〜３４を回動させて原点に復帰させる動作である。
When the HOMA signal is transmitted from the control device 3 to the
更に具体的に説明すると、復帰動作では、図３及び４に示すような状態から図７（ｂ）のように軸線Ｌ３を中心に第３リンク３４を回動させて第３リンク３４を原点へと復帰させ、図７（ｃ）に示すように全てのリンク３２〜３４を原点に復帰させる動作である。復帰動作が終了すると、ＣＰＵ１１は、復帰動作が終了した旨のＲｅｓｐｏｎｓｅ信号を制御装置３に送信する。
More specifically, in the return operation, the
図８は、制御装置３からシミュレーション装置２にＭＯＶＰ信号が送信されたときの通信状態等を示す図である。図８（ａ）は、ＭＯＶＰ信号が送信されたときの通信状態を示す図面であり、図８（ｂ）は、ＭＯＶＰ信号に応じたハンド部３５の搬送動作を示す斜視図であり、図８（ｃ）は、ＭＯＶＰ信号に応じた搬送動作をした後の仮想搬送ロボット３０の姿勢を示す平面図である。ＭＯＶＰ信号は、ハンド部３５を所定の位置まで移動させるための制御指令である。所定の位置とは、例えばハンド部３５により半導体ウェハ４２を取る前及びハンド部３５に載せられた半導体ウェハ４２を置く前に待機する位置である。
FIG. 8 is a diagram illustrating a communication state and the like when a MOVP signal is transmitted from the control device 3 to the
ＭＯＶＰ信号は、ポート名、ロケーション名及びカセット名から成るパラメータを有している。ポート名は、半導体ウェハを格納可能なポートの名称又は番号であり、半導体ウェハを取りに行く又は置きに行くポートを示すものである。ロケーション名は、ハンド部３５を移動させる目的が半導体ウェハを取りに行くのか置きに行くのかを示すものである。カセット名は、半導体ウェハを格納する段の名称であり、ポート内に形成される複数の段のうち何れの段を対象としているのかを示すものである。
The MOVP signal has parameters consisting of a port name, a location name, and a cassette name. The port name is a name or a number of a port capable of storing a semiconductor wafer, and indicates a port where the semiconductor wafer is taken or put. The location name indicates whether the purpose of moving the
制御装置３からシミュレーション装置２にＭＯＶＰ信号が送信されると、ＣＰＵ１１は、ＳＥＲＶ信号等の場合と同様に、制御装置３からのＭＯＶＰ信号に対応する動作指令と判断し、Ａｃｋ信号を制御装置３に返信する。次にＣＰＵ１１は、ＭＯＶＰ信号に応じて移動動作のシミュレーションを実行し、移動動作を表示部１３で表示する。移動動作とは、第１乃至第３リンク３２〜３４を回動させ、図８（ｂ）示すように、パラメータに応じた位置にハンド部３５を移動させる動作である。
When the MOVP signal is transmitted from the control device 3 to the
更に具体的に説明すると、移動動作では、例えば、図７（ｃ）で示すような原点姿勢から全てのリンク３２〜３４を回動させて、図８（ｃ）に示すようにハンド部３５を半導体ウェハに正対する位置へと移動させる動作である。移動動作が完了した後、ＣＰＵ１１は、移動動作が完了した旨のＲｅｓｐｏｎｓｅ信号を制御装置３に送信する。
More specifically, in the moving operation, for example, all the
図９は、制御装置３からシミュレーション装置２にＧＥＴＳ信号が送信されたときの通信状態等を示す図である。図９（ａ）は、ＧＥＴＳ信号が送信されたときの通信状態を示す図面であり、図９（ｂ）は、ＧＥＴＳ信号に応じたハンド部３５の搬送動作を示す斜視図であり、図９（ｃ）は、ＧＥＴＳ信号に応じた搬送動作をした後の仮想搬送ロボット３０の姿勢を示す平面図である。ＧＥＴＳ信号は、ハンド部３５により半導体ウェハ４２を取らせるための制御指令である。ＧＥＴＳ信号は、ポート名、カセット名から成るパラメータを有している。
FIG. 9 is a diagram illustrating a communication state and the like when a GETS signal is transmitted from the control device 3 to the
制御装置３からシミュレーション装置２にＧＥＴＳ信号が送信されると、ＣＰＵ１１は、ＳＥＲＶ信号等の場合と同様に、制御装置３からのＧＥＴＳ信号に対応する動作指令があると判断し、Ａｃｋ信号を制御装置３に返信する。次にＣＰＵ１１は、ＧＥＴＳ信号に応じて取り動作のシミュレーションを実行し、その動作を表示部１３で表示する。取り動作とは、パラメータにより指定されるポートの段に配置された半導体ウェハ４２を取るための動作である。
When the GETS signal is transmitted from the control device 3 to the
更に具体的に説明すると、取り動作では、図９（ｂ）示すように、まず第１乃至第３リンク３２〜３４を回動させ、パラメータにより指定されるポートの段に配置された半導体ウェハ４２の下方にハンド部３５を移動させる。次に、ハンド部３５を昇降装置により上昇させてハンド部３５の上に半導体ウェハ４２を載せる。そして、第１乃至第３リンク３２〜３４を回動させて、ハンド部３５を引き戻す。具体的には、図８（ｃ）で示すような所定の位置から全てのリンク３２〜３４を回動させて、図９（ｃ）に示すようにハンド部３５を半導体ウェハの下方へと移動させ、その後、前記ハンド部３５を上昇させて半導体ウェハ４２を取る。取り動作が完了した後、ＣＰＵ１１は、取り動作が終了した旨のＲｅｓｐｏｎｓｅ信号を制御装置３に送信する。
More specifically, in the taking operation, as shown in FIG. 9B, the first to
図１０は、制御装置３からシミュレーション装置２にＰＵＴＳ信号が送信されたときの通信状態等を示す図である。図１０（ａ）は、ＰＵＴＳ信号が送信されたときの通信状態を示す図面であり、図１０（ｂ）は、ＰＵＴＳ信号に応じたハンド部３５の搬送動作を示す斜視図であり、図１０（ｃ）は、ＰＵＴＳ信号に応じた搬送動作をした後の仮想搬送ロボット３０の姿勢を示す平面図である。ＰＵＴＳ信号は、ハンド部３５により半導体ウェハ４２を取らせるための制御指令である。ＰＵＴＳ信号は、ポート名、カセット名から成るパラメータを有している。
FIG. 10 is a diagram illustrating a communication state and the like when a PUTS signal is transmitted from the control device 3 to the
制御装置３からシミュレーション装置２にＰＵＴＳ信号が送信されると、ＣＰＵ１１は、ＳＥＲＶ信号等の場合と同様に、ＰＵＴＳ信号に対応する動作指令が記憶されていると判断し、Ａｃｋ信号を制御装置３に返信する。次にＣＰＵ１１は、ＰＵＴＳ信号に応じて取り動作のシミュレーションを実行し、その動作を表示部１３で表示する。置き動作とは、ハンド部３５に載せられた半導体ウェハ４２をパラメータにより指定されたポートの段に置くための動作である。
When the PUTS signal is transmitted from the control device 3 to the
更に具体的に説明すると、置き動作では、図１０（ｂ）に示すように、まず第１乃至第３リンク３２〜３４を回動させ、パラメータにより指定されるポートの段の上方にハンド部３５を移動させる。次に、ハンド部３５を昇降装置により下降させてハンド部３５上の半導体ウェハ４２を指定された段に置く。そして、第１乃至第３リンク３２〜３４を回動させて、ハンド部３５を引き戻す。このような置き動作により、所定の位置から全てのリンク３２〜３４を回動させて、例えば図１０（ｃ）に示すように、ハンド部３５を指定された段の上方へと移動させてから下降させ、指定された段に半導体ウェハ４２を置く。置き動作が完了した後、ＣＰＵ１１は、ハンド部３５を所定の位置へと移動させた旨のＲｅｓｐｏｎｓｅ信号を制御装置３に送信する。
More specifically, in the placement operation, as shown in FIG. 10B, first, the first to
シミュレーション装置２では、このように、各種の制御指令に応じて搬送ロボットの搬送動作のシミュレーションが実行され、その搬送動作が表示部１３に表示される。このように搬送動作のシミュレーションが実行されて搬送動作が表示部１３に表示されるのは、制御装置３とシミュレーション装置２で採用される通信プロトコルが同じであり、且つ制御指令に対応する動作指令が記憶部１２に記憶されている場合だけである。即ち、所望の搬送動作のシミュレーションが実行されて表示部１３に表示されると、制御装置３とシミュレーション装置２で採用される通信プロトコルが同じであり、且つ制御指令に対応する動作指令が記憶部１２に記憶されていることが判断できる。例えば、制御装置３からのＰＵＴ信号に対して仮想搬送ロボット３０が置き動作をすることを表示部１３により確認できれば、制御装置３とシミュレーション装置２で採用される通信プロトコルが同じであり、また、シミュレーション装置２において、ＰＵＴ信号に対応する動作指令が置き動作を指令するものであることが確認できる。
In the
他方、制御装置３からの制御指令を送信する前に制御指令を送信する旨の信号を予め送信する等、制御装置３とシミュレーション装置２とで採用される通信プロトコルが異なる場合や制御指令に対応する動作指令が記憶部１２に記憶されていない場合、制御指令が送信されても、ＣＰＵ１１が前記制御指令を動作指令として認識せず、搬送ロボットの搬送動作のシミュレーションが実行されない。それ故、表示部１３にて仮想搬送ロボット３０が動かない。
On the other hand, if the communication protocol adopted between the control device 3 and the
また、送信間隔、前記返信間隔及び前記動作間隔の何れかが予め定められる時間Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３を越える場合についても、同様にシミュレーション装置２での搬送動作のシミュレーションが実行されず、表示部１３にて仮想搬送ロボット３０が動かない。
Similarly, when any of the transmission interval, the reply interval, and the operation interval exceeds a predetermined time T1, T2, T3, the simulation of the conveyance operation in the
更に、制御指令及びそれに対応する動作指令において、各々のパラメータのポート名、ロケーション名及びカセット名を規定する順序が異なっている場合、仮想搬送ロボット３０が意図しない動作をする、例えば意図しない位置に移動する。
Further, in the control command and the corresponding operation command, when the order of specifying the port name, location name, and cassette name of each parameter is different, the
このようにシミュレーション装置２では、制御装置３とシミュレーション装置２で採用される通信プロトコルが異なる、又は制御指令と動作指令とが対応していない場合、制御装置３からの制御指令に対して仮想搬送ロボット３０が不所望な動作をする。即ち、制御装置３からの制御指令に対して仮想搬送ロボット３０が不所望な動作をすることを表示部１３で確認されると、制御装置３とシミュレーション装置２とで採用される通信プロトコルが異なるか、又は制御指令と動作指令とが対応していないことが判断できる。
As described above, in the
シミュレーション装置２では、搬送ロボットのシミュレーションにおいて、搬送ロボットと同じ通信プロトコル及び動作指令を採用している。また、シミュレーション装置２では、動作指令に対して搬送ロボットが実行する動作と同じ動作を仮想搬送ロボット３０がするようになっている。それ故、前述のように制御装置３からの制御指令を仮想搬送ロボット３０及び搬送ロボットに送信した場合、仮想搬送ロボット３０及び搬送ロボットで同じ動作をする。つまり、制御装置３からの制御指令に対して仮想搬送ロボット３０が所望の動作をすると、搬送ロボットでも所望の動作をし、逆に、仮想搬送ロボット３０が不所望な動作をすると、搬送ロボットでも不所望な動作をする。
The
従って、シミュレーション装置２及び制御装置３により搬送ロボットの搬送動作のシミュレーションをすれば、搬送ロボットがなくても、制御指令に対して搬送ロボットがどのような動作をするかを確認することができる。これにより、半導体製造設備内に搬送ロボットが完成する前であっても、制御指令に対する搬送ロボットの動作を確認することができ、更に通信プロトコル及び制御指令を含めた制御装置３に組み込まれるプログラム及び搬送ロボットに組み込まれるプログラムの互換性を確認してそれらのプログラムを修正することができる。それ故、半導体製造設備及び搬送ロボットの製造と並行して、制御装置３又は搬送ロボットのプログラムの修正を行うことができ、半導体製造設備及び搬送ロボット完成から稼働までの時間を短縮できる。従って、半導体製造設備及び搬送ロボットの工期を従来よりも短縮することができる。
Therefore, by simulating the transfer operation of the transfer robot by the
制御装置３により搬送ロボットを動作させる場合、前述のように１つの制御指令を独立して搬送ロボットに送信することは少なく、複数の制御指令が組み合わせることが多い。シミュレーション装置２では、このような複数の制御指令が組み合わされて送信される場合についてもシミュレーションすることができる。以下では、３つのサーボモータが起動し、その後半導体ウェハ４２を取りに行かせ、更にその半導体ウェハ４２を所定位置に置きに行かせるような動作を搬送ロボットに実行させる場合を例に挙げて説明する。なお、上記のような動作は、単に一例であり、前述する複数の制御指令を組み合わせることによって、様々な動作を搬送ロボットに実行させることができ、またその搬送動作をシミュレーション装置２でシミュレーションすることができる。
When the transport robot is operated by the control device 3, as described above, one control command is rarely transmitted to the transport robot independently, and a plurality of control commands are often combined. The
図１１は、制御装置３からシミュレーション装置２に複数の制御指令が順に送信されたときの通信状態を示す図である。図１２は、仮想搬送ロボット３０が干渉部材４１に干渉したときの状態を示す平面図である。上記のような動作をさせるために、制御装置３の制御装置側記憶部２２には、まずＳＥＲＶ信号が送信し、その後、ＨＯＭＡ信号、ＭＯＶＰ信号、ＧＥＴＳ信号及びＰＵＴＳ信号を順に送信するプログラムが記憶されており、このプログラムが演算部２１で実行される。
FIG. 11 is a diagram illustrating a communication state when a plurality of control commands are sequentially transmitted from the control device 3 to the
前記プログラムが実行されると、シミュレーション装置２にＳＥＲＶ信号が送信される。シミュレーション装置２は、このＳＥＲＶ信号を受けると、Ａｃｋ信号を返信し、仮想搬送ロボット３０の３つのサーボモータが起動する。そして、シミュレーション装置２は、Ｒｅｓｐｏｓｅ信号を制御装置３に送信する。
When the program is executed, a SERV signal is transmitted to the
制御装置３は、Ｒｅｓｐｏｓｅ信号を受けると、次に、ＨＯＭＡ信号をシミュレーション装置２に送信する。シミュレーション装置２は、このＨＯＭＡ信号を受けると、Ａｃｋ信号を返信し、仮想搬送ロボット３０の第１乃至第３リンク３２〜３４を原点に戻す。そして、シミュレーション装置２は、Ｒｅｓｐｏｓｅ信号を制御装置３に送信する。
Upon receiving the response signal, the control device 3 next transmits a HOMA signal to the
同様の流れで、制御装置３は、ＭＯＶＰ信号を送信し、Ｒｅｓｐｏｓｅ信号を受けると、ＧＥＴＳ信号を送信する。シミュレーション装置２は、ＭＯＶＰ信号及びＧＥＴＳ信号を受けると、Ａｃｋ信号を夫々返信し、仮想搬送ロボット３０のハンド部３５を所定の位置まで移動させた後、取り動作を行う。更に、制御装置３は、ＧＥＴＳ信号に伴うＲｅｓｐｏｎｓｅ信号を受けると、ＰＵＴＳ信号を送信する。シミュレーション装置２は、ＰＵＴＳ信号を受けると、Ａｃｋ信号を夫々返信し、仮想搬送ロボット３０に置き動作をさせる。
In the same flow, the control device 3 transmits a MOVP signal and, upon receiving a response signal, transmits a GETS signal. Upon receiving the MOVP signal and the GETS signal, the
このような連続的な動作を仮想搬送ロボット３０に行わせた場合、パラメータの入力値の間違い及び移動時の慣性力が作用する等して、第１乃至第３リンク３２〜３４が意図しない動作をすることがある。半導体製造設備４０内には種々の構成部材４１，４２が設けられており、第１乃至第３リンク３２〜３４が意図しない動作をすることにより前記構成部材４１，４２に干渉することがある。例えば、ＭＯＶＰ信号に応じて移動した際にハンド部３５の先端が干渉部材４１に干渉することがある。この干渉がシミュレーションされた場合、シミュレーション装置２では、ＭＯＶＰ信号に基づいてＣＰＵ１１により演算された軌跡上を移動するハンド部３５の先端部が干渉部材４１に干渉し、干渉した地点でハンド部３５が移動を止める（図１２参照）。これにより、表示部１３に表示されるハンド部３５から移動中にハンド部３５が干渉部材４１に干渉することを知らせることができ、また干渉時の状況を知らせることができる。これにより、制御装置３からの制御指令では、半導体製造設備内において、搬送ロボットも同様の干渉が起こり得ることを知らせることができ、プログラム等を修正しなければならないことを半導体製造設備及び搬送ロボットが完成する前に確認することができる。
When the
このように搬送ロボットと半導体製造設備内の構成部材との干渉が、搬送ロボットを用いずとも確認することができるので、搬送ロボットと前記構成部材との干渉及びこの干渉に伴う半導体製造設備及び搬送ロボットの損傷を抑えることができる。 As described above, since the interference between the transfer robot and the components in the semiconductor manufacturing facility can be confirmed without using the transfer robot, the interference between the transfer robot and the components and the semiconductor manufacturing facility and transfer associated with the interference. Robot damage can be suppressed.
また、半導体製造設備内の構成部材の形状及び位置をシミュレーション装置２に入力することで、構成部材と搬送ロボットとの干渉を確認することができる。従って、半導体製造設備内のレイアウトを変更した場合でも、構成部材の形状及び位置を入力し直すだけで、前記構成部材と搬送ロボットとの干渉を容易に確認することができる。
Further, by inputting the shape and position of the constituent member in the semiconductor manufacturing facility to the
更に、半導体製造設備及び搬送ロボットを稼動中に搬送ロボットが構成部材に干渉などした場合、そのときに実行されたプログラムに基づいて搬送動作のシミュレーションをすることにより、干渉時の状況を把握することが容易にできる。 In addition, if the transfer robot interferes with a component while the semiconductor manufacturing equipment and transfer robot are operating, the transfer operation is simulated based on the program executed at that time to grasp the situation at the time of the interference. Can be easily done.
本実施形態では、シミュレーション装置２及び制御装置３がパーソナルコンピュータであるが、ワークステーションなどであってもよく、シミュレーション
及び制御指令を送信可能な装置であればよい。また、上述した通信プロトコル、制御指令及び動作指令は、一例に過ぎず、上記以外の通信プロトコル、制御指令及び動作指令であっても、同様に作用効果を得ることができる。
In the present embodiment, the
本実施形態では、仮想搬送ロボット３０が水平３軸ロボットであるが、垂直３軸ロボット及び６軸ロボット等の多軸ロボット又は直動ロボットであってもよく、半導体製造設備に設けられる搬送ロボットであればよい。
In this embodiment, the
本実施形態では、表示部１３の仮想搬送ロボット３０の搬送動作により、制御装置３とシミュレーション装置２と信号のやり取りを確認可能になっているが、より具体的なやり取りの確認を可能にするために、通信履歴等を含む通信ログを表示部１３に表示してもよい。
In the present embodiment, the transfer operation of the
なお、本発明は、実施の形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で追加、削除、変更が可能である。 The present invention is not limited to the embodiments, and can be added, deleted, and changed without departing from the spirit of the invention.
１ シミュレーションシステム
２ シミュレーション装置
３ 制御装置
４ シリアル通信ケーブル
３０ 搬送ロボット
４０ 半導体製造設備
４１ 干渉部材
４２ 半導体ウェハ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (5)
前記処理装置に半導体ウェハを搬送する搬送ロボットが動作指令に応じて実行する搬送動作をシミュレーションするシミュレーション装置と、
前記制御装置と前記シミュレーション装置とを通信させる通信手段とを備え、
前記制御装置は、前記搬送ロボットの搬送動作を制御するために前記搬送ロボットに送信する制御指令をシミュレーション装置に送信し、
前記シミュレーション装置は、動作指令を記憶し、前記制御装置から送信された前記制御指令に対応している動作指令が記憶されているか否かを判断し、対応している前記動作指令が記憶されていない場合は制御装置に動作指令でない旨の信号を返信し、送信された前記制御指令に対応する前記動作指令が記憶され且つ前記制御指令と前記動作指令とで指令内容が異なる場合、前記制御指令に対して不所望な搬送動作をシミュレーションするようになっていることを特徴とするシミュレーションシステム。 A control device for controlling the processing operation of the processing device provided in the semiconductor manufacturing facility;
A simulation apparatus for simulating a transfer operation performed by a transfer robot that transfers a semiconductor wafer to the processing apparatus according to an operation command;
Communication means for communicating the control device and the simulation device;
The control device transmits a control command to be transmitted to the transfer robot to control the transfer operation of the transfer robot to the simulation device,
The simulation device stores an operation command, determines whether an operation command corresponding to the control command transmitted from the control device is stored, and stores the corresponding operation command. If not, a signal indicating that it is not an operation command is returned to the control device, and when the operation command corresponding to the transmitted control command is stored and the command content differs between the control command and the operation command, the control command A simulation system characterized by simulating an undesired transport operation.
半導体製造設備に備わる処理装置の処理動作を制御する制御装置から前記搬送ロボットに送信して前記搬送ロボットの搬送動作を制御する制御指令が通信手段を介してシミュレーション装置に送信されると、シミュレーション装置は、前記制御装置から送信された前記制御指令に対応している動作指令が記憶されているか否かを判断し、前記動作指令が記憶されていない場合は制御装置に動作指令でない旨の信号を返信し、送信された前記制御指令に対応する前記動作指令が記憶され且つ前記制御指令と前記動作指令とで指令内容が異なる場合、前記制御指令に対して不所望な搬送動作をシミュレーションさせるようになっていることを特徴とするプログラム。 A program for simulating a transfer operation performed by a transfer robot in response to an operation command by a transfer apparatus that transfers a semiconductor wafer to a processing apparatus provided in a semiconductor manufacturing facility,
When the control command for controlling the processing operation of the processing apparatus provided in the semiconductor manufacturing facility is transmitted from the control device to the transport robot and the transport operation of the transport robot is transmitted to the simulation device via the communication means, the simulation device Determines whether or not an operation command corresponding to the control command transmitted from the control device is stored. If the operation command is not stored, a signal indicating that the operation command is not an operation command is sent to the control device. When the operation command corresponding to the transmitted control command is stored and the command content is different between the control command and the operation command, an undesired conveyance operation is simulated for the control command. A program characterized by
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