JP5597148B2 - ハニカムフィルタ製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、多孔質体からなる基材と、その基材の表面に設けられた、微粒子を捕集するための捕集層と、を有するハニカムフィルタを製造する装置に関する。

ディーゼルエンジン等の内燃機関や各種の燃焼装置等から排出されるガスには、スート（黒鉛）を主体とする粒子状物質（パティキュレートマター（ＰＭ））が、多量に含まれている。このＰＭがそのまま大気中に放出されると、環境汚染を引き起こすため、排出ガスの流路には、ＰＭを捕集するためのディーゼルパティキュレートフィルタ（ＤＰＦ）を備えたフィルタ装置が搭載される。

このようなフィルタ装置の中心となるそのＤＰＦ（エレメント）として、例えば、ハニカム構造を有するハニカムフィルタが知られている。このハニカムフィルタは、多数の細孔を有するセラミックの多孔質体からなる隔壁によって区画された、ガスの流路となる複数のセルを有し（ハニカム構造を呈し）、隣接する複数のセルの、一方の開口端と他方の開口端とを、互い違いに目封止してなるものである。このハニカムフィルタをキャニングし、一のセルの開口端から排出ガスを流入させると、排出ガスは、隔壁を通過して隣接するセルの他方の開口端から流出し、その際にＰＭが隔壁に捕集され除去されて、浄化される。

しかし、このようなハニカムフィルタでは、ＰＭが堆積することに伴って、圧力損失が急激に増加し易い。そこで、圧力損失の抑制を図るべく、例えば、特許文献１〜３には、新たな構造のハニカムフィルタが開示されている。これらのハニカムフィルタに共通する特徴は、多孔質体であるハニカム構造体をハニカムフィルタの基材（支持体）とし、その基材の表面に、ＰＭを捕集するための捕集層を設けたところにあり、特許文献１〜３には、その新たなハニカムフィルタの製造方法も開示されている。

特開平１０−２４９１２４号公報 特開２００６−６８５号公報 特開平１０−２６３３４０号公報

本発明は、このような背景の下でなされたものであり、その課題とするところは、多孔質体からなる基材の表面に、漏れなく均一な厚さの捕集層を形成してなる、品質の優れたハニカムフィルタを、高い生産性、高い歩留まりで作製可能な手段を提供することである。研究が重ねられた結果、以下の手段によって、この課題が解決されることが見出され、本発明の完成に至った。

即ち、先ず、本発明によれば、ハニカムフィルタの製造に使用する装置であって、ハニカムフィルタの基材を固定するためのワーク固定部と、そのワーク固定部の一の側に配設され、加圧気体を用いて粉体を気流に乗せて搬送する粉体搬送部と、その粉体搬送部とワーク固定部の間に設けられた閉じていない空間であり、粉体搬送部から気流に乗って搬送された粉体を他の気体と更に混合して上記装置使用時に上記ワーク固定部に固定される基材へ導入する導入部と、上記ワーク固定部の他の側に配設され、吸引手段を用いて、上記ワーク固定部の他の側を上記ワーク固定部の一の側に対して減圧にして、上記ワーク固定部に固定される基材を通過した気体を吸引する吸引部と、を有するハニカムフィルタ製造装置が提供される。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の製造対象であるハニカムフィルタは、外形が周面と２つの端面とからなる柱状（好ましくは円柱状又は四角柱状）を呈する基材を備え、その基材は、一の端面から他の端面まで延びる複数のセルを有し、流体の流路となるそのセルは多孔質体からなる隔壁によって区画され、隣接する複数のセルは、一方の開口端と他方の開口端とを互い違いに目封止されているとともに、その基材の内表面に捕集層が形成されてなるものである。

ワーク固定部のワークとは、処理の対象であり、本明細書においては、ハニカムフィルタの基材（多孔質体）のことを指す。ワーク固定部とは、本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の使用時に、ワークが（ハニカムフィルタの基材が）固定される部分である。ワークであるハニカムフィルタの基材において、捕集層が形成される基材の内表面は、基材の表面のうち、セルを形成する表面であり、これをセル内面ともいう。セルを形成する基材の部分を、隔壁又はセル壁とよぶ。基材の内表面、セル内面、隔壁の表面、及びセル壁の表面は、何れも同じ部分を指す。又、粉体搬送部が配設されるワーク固定部の一の側を入口側ともいい、吸引部が配設されるワーク固定部の他の側を出口側ともいう。

導入部は、粉体搬送部から気流に乗って搬送された粉体を他の気体（気流）と更に混合しワーク固定部に固定される基材へ導入する部分であり、これは閉じていない空間である。即ち、本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、ワーク固定部と、そのワーク固定部の一の側に配設される粉体搬送部と、を備え、それら粉体搬送部とワーク固定部の間に、開放された空間（即ち、導入部）を有する、と表現することも出来る。導入部の寸法は、換言すれば、ワーク固定部と粉体搬送部との距離（厳密にはワーク固定部に固定した基材と粉体搬送部との距離）は、粉体搬送部の側における基材の端面の、粉体搬送部の側における基材の端面を内包する最小の円の、直径以上であることが好ましく、直径の３倍以上であればより好ましい。尚、粉体搬送部の側における基材の端面を内包する最小の円とは、粉体搬送部の側における基材の端面の形状が円形である場合は、その端面の形状・寸法と合致する円（その端面の直径と同一の直径を持つ円）であり、粉体搬送部の側における基材の端面の形状が非円形である場合（例えば多角形である場合）は、図１２に示されるような、粉体搬送部の側における基材の端面１１ａに外接する、最小の円８０である。そして、直径は、円８０の直径ｒである。本発明に係るハニカムフィルタ製造装置において、１つの導入部に対し、２つ以上の粉体搬送部を設けてもよい。

分散した粉体を含む気体、及び粉体を分散させる加圧気体は、何れも通常は空気であればよい。加圧気体の圧力は、特に制限されないが、１．５〜５気圧程度の圧力を、好ましく用いることが出来る。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、この基材の内表面に捕集層が形成されてなるハニカムフィルタを製造する装置である。本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、気体中に分散した粉体（エアロゾルともいう）を用いて対象物（基材）に製膜可能であるから、乾式の製膜装置ということが出来る。本発明に係るハニカムフィルタ製造装置では、粉体を気流に乗せて粉体搬送部から噴射し、導入部において他の気体と混合し、その混合した気体（混合気体ともいう）を、基材のセルに送り込み、基材の反対側から吸引する。このとき、気体は基材の隔壁を通過するが、粉体は通過せず、その通過しない粉体がセル内面に（基材の内表面に）堆積し、その後の熱処理によって基材と粉体とを結合させ、捕集層となる。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置においては、上記粉体搬送部が、加圧気体を用いた粉体分散手段を備えることが好ましい。粉体分散手段としては、エジェクタやエアロゾル化室を挙げることが出来るが、粉体分散手段は、エジェクタであることが特に好ましい。そのエジェクタは、粉体を気流によって吸引し、加圧気体とともに粉体を排出して、気体中へ分散するものであることが好ましい。即ち、この場合、エジェクタは、粉体を気体中に分散させ、気流に乗せて（気体とともに）噴射する機器であり、加圧気体による高速の気流によって生じた負圧を利用して粉体を吸引し、これを加圧気体とともに気体中へ噴射するもの、ということが出来る。このエジェクタは、１つだけ備わっていてもよく、２以上備わっていてもよい。加えて、そのエジェクタにおける粉体の吸引方向と排出方向とが、略平行であることが好ましい。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置においては、上記粉体搬送部が、定量の粉体を供給するための粉体供給手段を備えることが好ましい。エジェクタを備える場合には、そのエジェクタの粉体吸引側に、複数の粉体供給手段を設けてもよい。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置においては、上記導入部が、粉体を、ワーク固定部に固定される基材へ案内するガイド部材を有することが好ましい。このガイド部材の形状は、基材が柱状である場合に、基材（ワーク）の外形（特に端面の形状）に合わせたものとすればよい。ガイド部材の形状は、基材の外形（特に端面の形状）とほぼ相似な断面をもつ筒状であるのが好ましく、円筒状や角パイプ状であってもよい。基材が円柱状である場合には、基材の端面を内包する最小の円の直径とほぼ同じ径、あるいは、その直径より大きな径を持つ円筒形であることが好ましい。ガイド部材の長さは、粉体搬送部の側における基材の端面の、基材の端面を内包する最小の円の直径以上、より好ましくは、その直径の３倍以上、の長さである。このガイド部材は、ワーク固定部とは反対側が、開放されているものである。又、ワーク固定部の側は、ワーク固定部に固定したときの基材の端面あるいは外周と近接していることが好ましく、それらと接触してシールされていることが、より好ましい。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置がガイド部材を有する場合においては、粉体がガイド部材の内周面に付着することを防止する観点から、ガイド部材が、筒状の多孔質体であることが好ましい。又、同様の観点から、ガイド部材が、筒状の外筒部と、その内側に所定の間隔を置いて配置された、多数の孔を有する筒状の内筒部とからなるものであるとともに、導入部が、前記外筒部と前記内筒部との間の空隙に気体を供給する気体供給手段を有することが好ましい。更に、同様の観点から、ガイド部材が、筒状を呈するものであるとともに、導入部が、ガイド部材の内周面近傍に気体を吐出する吐出ノズルを有することが好ましい。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置においては、粉体搬送部から気流に乗って搬送された粉体を旋回させてその速度を調整する速度調整手段が、上記導入部に備わることが好ましい。その速度とは、粉体を搬送する気流の速度であり、粉体の速度にも等しい。速度調整手段としては、例えば、２つの開口の大きさの異なる、円筒部材を挙げることが出来る。このような円筒部材は、例えば一方の開口がテーパー状に狭められた円筒部材である。その円筒部材の軸方向に対して、概ね垂直な方向から、粉体を搬送する気流が入ると、その気流は旋回し、速度は調整される(速度が低下する)。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置においては、ハニカムフィルタの基材は柱状を呈し、使用時において、ワーク固定部に固定される基材の軸方向が、略鉛直であり、気流が下から上へ流れるものが好ましい。即ち、本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、使用時に、基材を縦置きにして、気流を基材の下から基材を通し基材の上へ通り抜けさせるものが好ましい。基材の軸方向が略鉛直とは、重力の方向から３０度以内に収まる範囲をいう。重力の方向から１５度以内に収めることが、より好ましい。この態様は、換言すれば、本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の好ましい使用方法ということが出来るが、装置としても、基材を縦置きにして使用出来るようになっていることが好ましい、ということである。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置においては、上記粉体搬送部又は導入部に、（粉体の）分級手段を備えることが好ましい。分級手段としては、例えば、遠心分級、重力分級等が好ましく用いられる。当該部において、管径を太くしたり、曲線部分を形成してもよいし、気流が下から上へ流れる部分を設けてもよい。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置においては、ワーク固定部が、基材の側面を覆うカバーを備えることが好ましい。カバーの形状は、基材の外形に合わせたものとすればよい。又、本発明に係るハニカムフィルタ製造装置においては、吸引部が、流量計を備えることが好ましい。吸引対象は、粉体が（セル内面に付着して）抜けた気体であるので、流量計の代わりに風速計を用いることが出来る。更に、本発明に係るハニカムフィルタ製造装置においては、吸引部が、整流板を備えることが好ましい。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置においては、ワーク固定部に基材を固定したときに、その基材の粉体搬送部の側における端面を内包する最小の円の直径ｒと、その端面から粉体搬送部の噴射端（エジェクタの噴射端）までの距離ｄとが、ｒ＜ｄの関係を満たすことが好ましい。又、本発明に係るハニカムフィルタ製造装置においては、ワーク固定部に基材を固定したときに、基材の粉体搬送部の側における端面から粉体搬送部の噴射端までの距離ｄと、ガイド部材の長さＬとが、０．５ｄ＜Ｌの関係を満たすことが好ましい。

次に、本発明によれば、上記した何れかのハニカムフィルタ製造装置を用い、吸引部が吸引する気体ａの流量Ａ、粉体搬送部から噴射される気体ｂの流量Ｂ、導入部において気体ｂと混合される前記他の気体である気体ｃの流量Ｃが、Ａ＝Ｂ＋Ｃ、且つ、Ｃ＞０の関係を満たすように流量を調節して、ハニカムフィルタの基材の内表面に、粉体を堆積させる過程を有するハニカムフィルタの製造方法が提供される。

例えば、粉体搬送部から噴射される気体の流量Ｂを一定にして、その流量Ｂより、吸引部が吸引する流量Ａを、流量Ｃだけ多くすればよい。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、ワーク固定部の一の側に配設され、加圧気体を用いて粉体を気流に乗せて搬送する粉体搬送部と、ワーク固定部の他の側に配設され、吸引手段を用いて他の側を一の側に対して減圧にする吸引部と、を有し、吸引部によって基材を通過した気体が吸引されるので、気流が整流される。そして、その整流された気流の軌道に乗って、粉体は、基材が有する多数のセルへ、均一且つ安定に、供給される。従って、本発明に係るハニカムフィルタ製造装置によれば、セル内面に、漏れなく、均一の厚さで、粉体を堆積することが出来、そして、セル内面に、漏れなく、均一の厚さで、捕集層を形成することが可能である。又、整流されることによって、粉体が周りに飛散し難くなり、良好な作業環境が保持される。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置では、粉体を気流に乗せて粉体搬送部から噴射し、導入部において他の気体と混合し、その混合した気体（気流）を基材のセルに送り込むので、混合の過程で粉体が拡散するため、その粉体が、基材の端面の一部だけでなく全体に広がってセル内に導入されるようになるので、製膜分布の均一性が向上する。加えて、基材を通過する気流の流速と、粉体搬送部を流れる気流の流速と、を独立に制御可能となる。捕集層の微構造や製膜量分布は、セル内に導入する混合気体に含まれる粉体の密度や気体の流速によって変化することが、研究によって明らかとなってきた。これらは、吸引部からの吸引流量や、粉体搬送部から供給する混合気体中の粉体の密度によって、制御することが出来る。一方、粉体搬送部にて粉体を気中に分散させるために必要な流速がある。従って、これらを両立させるには、２つの流速を独立に制御可能なことが、極めて有効である。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置では、粉体を気体中に分散させるに際し、加圧気体を用いているので、流速を大きくし速度勾配を形成することが出来、粉体に十分な衝撃力やせん断力を与えることが出来る。そのため、粉体が均一に気体中に分散する。粒子径が概ね２０μｍ以下の微粉体は、静置した状態では凝集して、それより大きな粒子を形成している場合があり、それによって、粉体が均一に気体中に分散し難くなるおそれがあるが、本発明に係るハニカムフィルタ製造装置では、加圧気体によって解砕されるので、このような問題は生じない。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、既述の通り、乾式の製膜装置ということが出来、堆積させる粉体は、乾燥した状態で、セル内面（隔壁の表面）に供給されるので、水やバインダ等の添加剤を使用する場合に必要となる乾燥工程や脱脂工程は必要なく、基材（隔壁）の上に、欠陥のない良好な捕集層を形成することが出来る。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、その好ましい態様において、粉体搬送部が加圧気体を用いた粉体分散手段を備え、それがエジェクタであるので、時間あたりに大量の粉体を気体に分散させ、噴射することが出来る。例えば、０．１ｍ^３／分の気体に対し５０ｇ／分の粉体を分散し噴射することが可能である。又、所定の量の粉体を、粗粒子を解砕しながら搬送することが出来、それをセルへ送り込むことが可能である。従って、本発明に係るハニカムフィルタ製造装置によれば、短時間で、セル内面に、漏れなく、均一の厚さで、粉体を堆積することが出来、そして、短時間で、セル内面に、漏れなく、均一の厚さで、捕集層を形成することが可能である。粉体搬送部が複数のエジェクタを備えている場合にも、基材を通過する気体の流量を制御し易いので、セル内面に、漏れなく、均一の厚さで、捕集層を形成することが出来る。更に、エジェクタが発生する負圧で吸引する気流を形成し、粉体を吸引するように用いることで、エジェクタへの粉の供給も気流に乗せて行うことが出来る。こうすることで、エジェクタに加圧気体を供給していない間（負圧の発生しない間、従って吸引する気流の形成されていない間）は、管路に粉が触れないようにすることが出来る。これにより、粉が管路に堆積して粗大粒子の発生源となったり、ブリッジによる供給不良が発生することを防止することが可能である。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、その好ましい態様において、ワーク固定部に基材を固定したときに、その基材の粉体搬送部の側における端面を内包する最小の円の直径ｒと、その端面から粉体搬送部の噴射端までの距離ｄとが、ｒ＜ｄの関係を満たすので、基材の径方向に均一に、粉体がセル内面に堆積する。噴射された粉体は、無駄なく、基材のセルの全面に、均一に入り込む。加えて、装置のサイズも大きくならない。この関係を満たす場合に比して、端面と粉体搬送部の噴射端（エジェクタの噴射端）とが近ければ（距離ｄが小さければ）、エジェクタから噴射された粉体が基材のセルの一部にしか入らず、遠ければ（距離ｄが大きければ）、基材のセルに到達せず別の部材に付着したり落下する。何れにしても、無駄が多くなる。基材の粉体搬送部の側における端面を内包する最小の円の直径ｒと、その端面から粉体搬送部の噴射端（エジェクタの噴射端）までの距離ｄとは、３ｒ＜ｄの関係を満たすことが、より好ましい。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、その好ましい態様において、導入部が、エアロゾルを基材に案内するガイド部材を有するので、エアロゾルの広がり、拡散が抑えられ、気流は整流され、収率が向上する。又、例えば、周辺環境からの気流流入等の外乱や、基材の外周形状の状態等の影響を受け難くなる。そして、基材の最外周のセルも含め、基材の径方向の全面にわたって均一に、粉体がセル内面に堆積する。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、その好ましい態様において、ガイド部材は、ワーク固定部とは反対側が開放されているので、その開放部分は、基材を通過する（エジェクタから噴射されるエアロゾル以外の）気体を吸引するための開口として機能する。又、その開放部分は、基材に付着しなかった粉体を排出する開口としても機能する。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、その好ましい態様において、ワーク固定部に基材を固定したときに、基材の粉体搬送部の側における端面から粉体搬送部の噴射端までの距離ｄと、ガイド部材の長さＬとが、０．５ｄ＜Ｌの関係を満たすので、十分に、上記効果を発現する。即ち、エアロゾルの広がり、拡散が十分に抑えられ、気流の整流効果は大きい。加えて、装置のサイズも抑制される。この関係を満たす場合に比して、基材の粉体搬送部の側における端面と粉体搬送部の噴射端（エジェクタの噴射端）とが近ければ（距離ｄが小さければ）、上記効果は十分に発現せず、遠ければ（距離ｄが大きければ）、装置が大きくなってしまう。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、その好ましい態様において、粉体搬送部が、定量の粉体を供給するための粉体供給手段を備えるので、定量（一定質量）の粉体をエジェクタから吸引させて、容易にエアロゾルの密度を制御することが可能であり、エアロゾルの密度を一定にすることが出来る。そして、そのような密度一定のエアロゾルをセルへ送り込めば、セル内面に、漏れなく、均一の厚さで、粉体を堆積することが出来、更には、セル内面に、漏れなく、均一の厚さで、捕集層を形成することが可能となる。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、その好ましい態様において、ワーク固定部が、基材の側面を覆うカバーを備えるので、基材が、その側面（外周）に気孔を有するハニカム構造体である場合でも、最外周のセルも含めて、基材の径方向の全面にわたって均一に、粉体をセル内面に堆積させることが出来る。基材の側面に気孔が有ると、その外周の気孔から最外のセルに気体が流入する結果、正常に端面の開口からセルに流入するエアロゾルが減少してしまい、セル内面に付着する粉体が減少するおそれがあるが、基材の側面を覆うカバーがあれば、そのようなおそれは排除される。側面からの気体の流入は防止され、所望の気流を実現することが出来る。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、その好ましい態様において、吸引部が、流量計を備えるので、基材を通過する気体の流速を制御することが出来、その結果、セル内面に、漏れなく、均一の厚さで、粉体を堆積することが出来、更には、セル内面に、漏れなく、均一の厚さで、捕集層を形成することが可能となる。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、その好ましい態様において、吸引部が、整流板を備えるので、基材に多数のセルがある場合にも、そこを通過する流量を、整流版が無い場合に比して、より均一化することが出来る。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、その好ましい態様において、エジェクタにおける粉体の吸引方向と排出方向とが、略平行であるので、エジェクタにおける気流の方向変化が殆どなく、そうしない場合より大量の粉体を供給することが出来る。又、エジェクタの磨耗が少ない。更には、ブリッジ（アーチ）やラットホールが抑制され、粉体不供給という問題が生じ難くなる。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、その好ましい態様において、粉体搬送部から気流に乗って搬送された粉体を旋回させてその速度を調整する速度調整手段が、上記導入部に備わるので、粉体の解砕効果を維持しつつ、粉体を搬送する気流の速度を、任意に調整する(低下させる)ことが出来る。そして、粉体を搬送する気流の速度の調整によって、粉体が分級され、粗大粒子のワークへの導入を抑制する。又、粉体を搬送する気流の速度を低下させることによって、基材（ワーク）を通過する気流の速度が遅くなり、粉体を基材の表面付近に付着させることが可能となる。即ち、捕集層用の基材の細孔内部に粉体が入ることなく、基材表面において、ブリッジ状に、粉体を付着させることが出来る。又、気孔率や平均細孔径の異なる基材（ワーク）へ製膜する場合に、気流の速度調整によって、この効果が最適に得られるようになる。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置において、装置使用時にワーク固定部に固定されるハニカムフィルタの基材は、好ましくは、柱状を呈し、使用時において、ワーク固定部に固定される基材の軸方向が、略鉛直であり、気流が下から上へ流れる（即ち、使用時に、基材が縦置きになり、その状態で、気流が基材の下から上に向けて通過する）ので、先ず、導入部が分布均一性のある重力分級機能を備えるようになり、製膜分布の均一性が向上する。横置きにすると（即ち、使用時においてワーク固定部に固定される基材の軸方向が略水平であると）、粉体が重力の影響を受け、セル内で下側になった隔壁表面に、上側になった隔壁表面より、多くの粉体が付着してしまう。このことは、気流の流速が遅い場合に顕著である。次に、使用時に基材を縦置きにすることによって、製膜不良を引き起こす粗大粒子が、セル内へ流入することを抑制出来る。仮に、粗大粒子が、一旦、セル内に入っても、重力の効果によって、気流に乗らない粗大粒子は失速して落下するため、隔壁表面に付着せず、製品不良を防止出来る場合がある。横置きの場合には、粗大粒子のセル内へ流入抑制を図るには、導入部の寸法を大きくする（ワーク固定部と粉体搬送部の距離を長くする）必要があるとともに、粗大粒子が、一旦、セル内に入ってしまえば、製膜不良は避けられない。又、適切な大きさであってもセル内面に付着しなかった粒子は、導入部に戻り、再び、気流と混合され、再度、セル内へ導入される。よって、収率が向上する。更には、縦置きによれば、未付着粉体の回収が容易である。例えば、製品の直下に、受け台を設けておけば、容易に粉体を回収することが出来る。ガイド部材を設ける場合は、ガイド部材の開口を未付着粉の排出口とすることによって、ガイド部材がない場合より、容易に粉体を回収可能である。横置きでは、ガイド部材があっても、ガイド部材に粉体が堆積してしまい、回収に手間がかかるし、気流によって粉体が、再度、飛散し、予期せずに、製品に飛び込んでしまい、製品不良が発生するおそれがある。

上記のような縦置きの効果によって、品質を確保可能な制御範囲が広く取れるため、装置が複雑になることなく、高品質で安定した製膜が可能となる。又、縦置きの効果は、複数の種類の粉体を供給する場合に、より顕著となる。

尚、使用時に、柱状の基材を縦置きにする場合、基材の軸方向と、導入部で形成する気流の方向とは、概ね同方向とするのが好ましい。これら方向が異なっていると、粉体が一方向に偏って堆積してしまうおそれがある。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、その好ましい態様において、粉体搬送部又は導入部に、分級手段を備えるので、粗大粒子を除外することが出来、製膜不良の発生が抑制される。尚、本明細書において、粗大粒子とは、粉体の粒子のうち、解砕されずに大きな粒子のままのものや、管内に付着、凝集したものが剥離して搬送されたもの等を指す。

本発明に係るハニカムフィルタ製造方法は、本発明に係るハニカムフィルタ製造装置を用い、吸引部が吸引する気体ａの流量Ａ、粉体搬送部から噴射される気体ｂの流量Ｂ、導入部において気体ｂと混合される気体ｃの流量Ｃが、Ａ＝Ｂ＋Ｃ、且つ、Ｃ＞０の関係を満たすように流量を調節して、ハニカムフィルタの基材の内表面に、粉体を堆積させる過程を有するので、基材を通過する気体へ、エジェクタで気体と混合された粉体を、良好に分散させることが可能であり、基材のセルへ、粉体を均一に送り込むことが出来る。従って、本発明に係るハニカムフィルタ製造方法によれば、セル内面に、漏れなく、均一の厚さで、粉体を堆積することが出来、セル内面に、漏れなく、均一の厚さで、捕集層を形成することが可能である。気体ａの流量Ａに対する気体ｂの流量Ｂの比（＝Ｂ／Ａ）は、１より小さくする。この比は、好ましくは、１／３以下、より好ましくは１／１０以下である。粉体搬送部から噴射される気流は、大量の粉の搬送に伴い脈動を生じる場合があるが、この比を１／３以下にすると、ワークを通過する気流の流速分布に対し、その影響を小さくすることが出来る。尚、本明細書において、流量Ａ〜流量Ｃは時間あたりの流量であり、即ち流速のことである。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の一の実施形態を示す模式図である。 本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の他の実施形態を示す模式図である。 本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の更に他の実施形態を示す模式図である。 本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の更に他の実施形態を示す模式図である。 本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の更に他の実施形態を示す模式図である。 本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の更に他の実施形態を示す模式図である。 本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の更に他の実施形態を示す模式図である。 本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の更に他の実施形態を示す模式図である。 図５Ａに示されるハニカムフィルタ製造装置において、ワーク固定部へワークを固定する様子を表した模式図である。 本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の更に他の実施形態を示す模式図である。 図６Ａに示されるハニカムフィルタ製造装置において、ワーク固定部へワークを固定する様子を表した模式図である。 本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の更に他の実施形態を示す模式図である。 本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の更に他の実施形態を示す模式図である。 本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の更に他の実施形態を示す模式図である。 本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の更に他の実施形態を示す模式図である。 図７Ｃ及び図７Ｄに示されるハニカムフィルタ製造装置において使用される吐出ノズルを示す斜視図である。 本発明に係るハニカムフィルタ製造装置で製造されるハニカムフィルタの利点を説明する図であり、（表面）捕集層が設けられていないハニカムフィルタの１／４を切り取って内部を表した斜視図である。 本発明に係るハニカムフィルタ製造装置で製造されるハニカムフィルタの利点を説明する図であり、（表面）捕集層が設けられていないハニカムフィルタの一部分（隔壁とセル）を拡大して表した断面図である。 本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の更に他の実施形態を示す模式図である。 本発明に係るハニカムフィルタ製造装置の効果を説明するための図であり、（表面）捕集層が設けられていないハニカムフィルタの一部分（隔壁とセル）を拡大して表した断面図である。 基材(ワーク)の端面を表す図であり、粉体搬送部の側における基材の端面を内包する最小の円の一例を示す説明図である。

以下、本発明の実施の形態について、適宜、図面を参酌しながら説明するが、本発明はこれらに限定されて解釈されるべきものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良を加え得るものである。例えば、図面は、好適な本発明の実施の形態を表すものであるが、本発明は図面に表される態様や図面に示される情報により制限されない。本発明を実施し又は検証する上では、本明細書中に記述されたものと同様の手段若しくは均等な手段が適用され得るが、好適な手段は以下に記述される手段である。

先ず、本発明に係るハニカムフィルタ製造装置で製造される、捕集層が形成された（製膜された）ハニカムフィルタの利点について、図９Ａ及び図９Ｂを参照しながら説明する。ハニカムフィルタを、ＰＭ除去用のフィルタとして使用した場合、捕集層の設けられていないハニカムフィルタ２０１であっても、ＰＭ２０５を含む排出ガス２０６は、一のセル２０３ａ内へ導入され、ハニカムフィルタ２０１の隔壁２０４を通過して、隣接するセル２０３ｂの他方の開口端から流出する。その際にＰＭ２０５は、隔壁２０４に捕集され、排出ガス２０６は浄化されるのである（図９Ａ、図９Ｂを参照）。しかし、このとき、隔壁２０４の表面に捕集層がないと、ＰＭ２０５が隔壁２０４（基材）の細孔内へ侵入し、細孔を閉塞させるので、初期に圧損が急上昇してしまう。捕集層があれば、ＰＭ２０５が隔壁２０４（基材）の細孔内へ侵入することを防止出来るので、細孔がＰＭ２０５で閉塞することはなく、従って、初期に圧損が上昇することもなく、圧損の低減が図れる。本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、このような優れた（捕集層の付いた）ハニカムフィルタを製造する手段である。

次に、本発明に係るハニカムフィルタ製造装置について、その構成と材料を説明する。図１Ａに示されるハニカムフィルタ製造装置１は、ワーク固定部１０、粉体搬送部２０、吸引部３０、及び導入部４０を有する。図１Ａは模式図であり、この図１Ａでは、ワーク固定部１０の周辺は断面図として描かれ、ワーク１１である基材（ハニカムフィルタ前駆体）が表されている。ハニカムフィルタ前駆体とは、製膜することによって捕集層が設けられたハニカムフィルタとなるハニカムフィルタ用の基材である。図１Ａは、製膜時の状態を表しており、図１Ａに示される矢印は、粉体、エアロゾル、気体（空気）の流れを示している。これらのことは、後述の図１Ｂ〜図４、図５Ａ、図６Ａにおいても同様である。

ハニカムフィルタ製造装置１のワーク固定部１０は、ワーク１１（基材）を固定する部分であり、ワーク１１であるハニカムフィルタ前駆体は、セラミック製の目封止ハニカム構造体である。即ち、ワーク１１は、その外形が、周面と２つの端面とからなる略円柱状を呈しており、一の端面から他の端面まで延びる複数のセルを有し、そのセルは、多数の細孔を有するセラミックの多孔質体からなる隔壁によって区画されていて、ハニカム構造を呈している。セルは、ガス（流体）の流路となるものである。そして、ワーク１１は、その隣接する複数のセルが、一方の開口端と他方の開口端とを互い違いに目封止されていて、一の端面と他の端面を見ると、ともに千鳥模様ないし市松模様のようになっている。

ハニカムフィルタ製造装置１において、ワーク固定部１０は、ワークチャック１３（１３ｂ）を有する。図示しない支柱、枠体等に支持されたワークチャック１３（１３ｂ）が、ワーク１１を把持することによって、ワーク１１は固定される。ワークチャック１３（１３ｂ）は、ウレタンゴムやシリコンゴム等の柔軟な材料からなるパッキン１４（シール材）を介して、ワーク１１の周面の端を締め付け固定するとともに、ワーク１１の一方の端面と周面とを遮断する。

粉体搬送部２０は、ワーク固定部１０の一の側に配設され、ワーク１１に捕集層を形成するための粉体を用いて、これを気体中に分散させてエアロゾルを作製し、そのエアロゾルをワーク１１へ導く部分である。ここでエアロゾルを作製するのであるから、ワーク固定部１０からみて、エアロゾルの入口側となる。この粉体搬送部２０は、主に、エジェクタ２１、定量の粉体を供給するための粉体供給装置２４で構成される。ワーク１１（基材）の粉体搬送部２０の側における端面から、エジェクタ２１（粉体搬送部２０）の噴射端までは、距離ｄだけ離れている。

エジェクタ２１は、気流とともに粉体を噴射させる装置である。好ましくは、高速の気流によって生じた負圧を利用して、粉体を吸引し、気流とともに、排出する機構を有するものである。即ち、先ず、このエジェクタ２１で、エアロゾルが作製される。高速の気流は、図１Ａには具体的に示されない加圧気体供給機２３（コンプレッサ等）から、流量計２６及び調節弁２７が設けられた配管２８を通して、所定の流量で、エジェクタ２１へ供給される。粉体は、重量計２５（質量計）が付属した粉体供給装置２４によって、チューブ２９を介し、所定の送り量で、エジェクタ２１へ供給される。図１Ａに示されるように、エジェクタ２１は、粉体を吸引していることが好ましい。配管やエジェクタ内でのブリッジ（アーチ）やラットホールが抑制され、粉体不供給という問題が生じ難くなるからである。捕集層を形成する（セラミック）粉体は、微粒子であり、凝集し易い性質があり、このような粉体を、セル内面に確実に付着させるとともに、その反対に気流で搬送される間は配管等に付着させないことが必要であるが、エジェクタ２１は、これらに対し効果的なものである。又、粉体の吸引方向とエアロゾルの排出方向とが略平行であることが、更に好ましい。

エジェクタ２１は、粉体との接触のよる摩擦で磨耗するのを低減するために、粉体と接する面に、ダイヤモンド、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、窒化チタン（ＴｉＮ）、炭窒化チタン（ＴｉＣＮ）、炭窒化珪素（ＳｉＣＮ）、炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化珪素（ＳｉＮ）や超硬材料、又はこれらの合金や組合せからなる材料が用いられていることも好ましく、コーティング、メッキ、ライニング等によって形成してもよい。

エジェクタ２１として市販されているものを用い、その本体に配管を接続して、噴射端を延ばしてもよい。又、噴射時の流速を低減させるため、噴射端自体あるいは接続した配管の径を、大きくしてもよい。粉体から粗大粒子を除去するために、エジェクタ２１本体又は接続する配管との間に、分離機能を付与することも好ましい。その分離機能は、具体的には、接続する配管を部分的に太くしたり、渦流を形成したり、配管を縦にして下から上への気流を形成したり、スクリーンメッシュを挿入することによって、実現される。

粉体供給装置２４は、エジェクタ２１における粉体の吸引側に粉体を落下させて、エジェクタ２１へ粉体を供給する装置であり、定量の粉体を供給することを可能とする自動供給装置である。粉体供給装置２４には、重量計２５（質量計）が付属しているのが望ましく、重量計の代わりに容積計を用いることも可能である。粉体供給装置２４の供給機構は、例えばスクリュー式であるが、他にロータリー式、振動式、テーブル式、ベルト式等の機構のものを採用することが出来る。粉体供給装置２４は、タイムスケジュールに合わせた自動供給や、供給重量（質量）の変更等が可能なものであり、更に、供給速度（供給量／供給時間）の制御も容易に行うことが出来るものである。

吸引部３０は、ワーク固定部１０の他の側に配設され、エジェクタ２１から噴射されるエアロゾルに新たな気体（空気）が混合されたエアロゾルをワーク１１（ハニカムフィルタ前駆体）へ吸引する部分である。エアロゾルをワーク１１へ吸引するのであるから、ワーク固定部１０からみて、ワーク１１の出口側となる。

この吸引部３０は、主に、吸引機３３とダクト３４で構成される。ダクト３４は、ワークチャック１３ｂと接続されている。吸引機３３は（例えば）ファンであるが、他にブロワ、集塵機を用いることが出来る。吸引部３０として、吸引流量を制御可能であることが好ましい。例えば、吸引機３３にかかる電動機の回転数を可変とし、あるいは、バルブ等でダクト３４（流路）の径を調整して、吸引流量を制御することが可能である。好ましい吸引流量は、ワーク１１が、例えば自動車に搭載されるＤＰＦとして使用されるハニカムフィルタ前駆体である場合には、０．１〜４００ｍ^３／ｍｉｎ程度である。

吸引部３０のダクト３４（流路）には、風速計３２が設けられ、吸引流量を監視するとともに、制御のためのデータを提供する。風速計３２は熱線式のものであるが、他に機械式、ピトー管式等のものを採用することが出来る。ワーク１１を通過してしまった粉体から保護するために、フィルタを前置してもよい。又、エアロゾルが導入されている間は、保護のためのカバーを設けたり、ダクト３４内から退避させる機構を設けてもよい。更に風速計３２に付着した粉体を取り除くためのブローノズルを配置してもよい。

ハニカムフィルタ製造装置１では、粉体搬送部２０が下側に位置し、吸引部３０が上側に位置する。即ち、エアロゾルがワーク１１へ導入される側が下であり、排出される側が上であり、気流の方向は下から上である。そのため、付着しなかった粉体は下へ落下し、セル内面に付着しなかった粉体の回収が容易である。

ハニカムフィルタ製造装置１においては、導入部４０は、粉体搬送部２０とワーク固定部１０の間に、開放された空間である。この導入部４０において、粉体搬送部２０から気流に乗って搬送された粉体は、他の気体と更に混合され、ワーク固定部１０に固定されたワーク１１へ導入される。

次に、図１Ｂに示されるハニカムフィルタ製造装置１１０について説明する。これは、既述のハニカムフィルタ製造装置１と同様に、ワーク固定部１０、粉体搬送部２０、吸引部３０、及び導入部４０を有するものであるが、ワーク固定部１０と導入部４０の態様が異なる。それ以外は、ハニカムフィルタ製造装置１と同様な構成である（説明を省略する）。

ハニカムフィルタ製造装置１１０において、ワーク固定部１０は、ワークチャック１３ａ，１３ｂ、及びカバー１２を有する。ハニカムフィルタ製造装置１に準じて、図示しない支柱、枠体等に支持されたワークチャック１３ａ，１３ｂが、ワーク１１を把持することによって、ワーク１１は固定される。カバー１２は、ワーク１１の周面（側面）を覆い、ワーク１１の外周側から気体が侵入することを防止する。カバー１２の形状は、略円柱状のワーク１１に合わせて、略円筒状である。カバー１２の材料としては特に限定はなく、好適なものは、金属、樹脂等である。

ワークチャック１３ａ，１３ｂは、ウレタンゴムやシリコンゴム等の柔軟な材料からなるパッキン１４（シール材）を介して、ワーク１１の周面の端を締め付け固定するとともに、ワーク１１の両端面と周面とを遮断する。これによって、ワーク１１の外周まで（全ての端面で）、気流が安定する。パッキン１４を用いる代わりに、空気圧でバルーンを膨らます方法で遮断してもよい。又、捕集層を形成すべきセルがワーク１１の端面から見て中央部分のみである場合には、ドーナツ状のステージ部材を用いることによって、ワーク１１の両端面で把持し、併せてワーク１１の両端面と周面とを遮断することも可能である。尚、吸引によって気流を形成していることから、シールが完全でない場合であっても、粉体が外部に漏れて環境を害することなく、気流に対する影響、捕集層の形成に対する影響も、小さい。

導入部４０に設けられたガイド部材４２は、略円柱状のワーク１１に合わせて、略円筒状であり、この長さＬのガイド部材４２は、ワーク固定部１０に取り付けられ、ワークチャック１３ａ，１３ｂを用いる場合には、それに接続される。そして、ガイド部材４２は、エジェクタ２１から噴射されたエアロゾルを、無駄なくワーク１１へ導く役割を果たす。一方、ガイド部材４２のワーク固定部１０とは反対側は、開放されており、ここから、エジェクタ２１を通過する気体とは別に、気体が吸引される。即ち、エジェクタ２１から噴射されるエアロゾルに、新たな気体（空気）が混合されて新たなエアロゾルになり、この新たなエアロゾルがワーク１１のセル内へ導入される。

ガイド部材４２の材料として好適なものは、カバー１２と同様に、金属、樹脂である。具体的には、アルミニウム、ステンレス、真鍮、鉄、アクリル、塩化ビニル、ナイロン（ポリアミド樹脂）、ベークライト（フェノール樹脂）等を挙げることが出来る。ガイド部材４２の材料として導電性を有するものを用い、ガイド部材４２をアースしておくことが、特に好ましい。又、エジェクタと同様に、粉体との接触のよる摩擦で磨耗するを低減するために、粉体と接する面に、ダイヤモンド、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＳｉＣＮ、又はこれらの合金や組合せからなる材料を用いて、コーティング、メッキ、ライニングを施すことも好ましく、更に、粉体と接する部分の材料として、ＳｉＣや所謂超硬材料を用いることも好ましい。

次に、図１Ｃに示されるハニカムフィルタ製造装置１２０について説明する。これは、既述のハニカムフィルタ製造装置１１０において、エジェクタ２１か１台であるのに対し、粉体搬送部２０に粉体供給装置２４を２台（あるいは３台以上）設けた態様である。それ以外は、ハニカムフィルタ製造装置１１０と同様な構成である（説明を省略する）。こうすると、予め混合されていない２種の（あるいは３種以上の）粉体を供給して、エジェクタ２１で混合し、ワーク１１へ導入することが可能である。

次に、図１Ｄに示されるハニカムフィルタ製造装置１３０について説明する。これは、既述のハニカムフィルタ製造装置１１０において、エジェクタ２１及び粉体供給装置２４の代わりに、エアロゾル化室１２５を設けた態様である。それ以外は、ハニカムフィルタ製造装置１１０と同様な構成である（説明を省略する）。エアロゾル化室１２５は、主に、撹拌用ビーズ１２６と粉体を収めた容器１２４で構成され、そこでは、図１Ｄには具体的に示されない加圧気体供給機１２３（コンプレッサ等）から、配管を通して、加圧気体が吹き込まれ撹拌されることによって、粉体が気体中に浮遊し分散して、エアロゾルが形成される。そして、そのエアロゾルは、チューブ２９を介し、吸引部３０の吸引力によって、ワーク１１へ導入される。

次に、図２〜図４、及び図１０に示されるハニカムフィルタ製造装置について、その構成と材料を、順次、説明する。これらのハニカムフィルタ製造装置は、ワーク固定部、粉体搬送部、吸引部、及び導入部を有し、ハニカムフィルタ製造装置１に準ずる装置であるので、既述のハニカムフィルタ製造装置１に準ずる構成要素については、説明を省略する。

図２に示されるハニカムフィルタ製造装置３００は、ワーク固定部３１０、粉体搬送部３２０、吸引部３３０、及び導入部３４０を有する。ハニカムフィルタ製造装置３００のワーク固定部３１０は、ワーク３１１（基材）を固定する部分であり、ワークチャック３１３ａ，３１３ｂによって、ワーク３１１を固定する。ワーク３１１であるハニカムフィルタ前駆体は、（例えば）円柱状でコージェライト製の目封止ハニカムセグメントである。

粉体搬送部３２０は、主に、エジェクタ３２１と、粉体を収める容器３２４で構成される。エジェクタ３２１は、高速の気流によって生じた負圧を利用して、粉体を吸引し、気流とともに、排出する機構を有する。即ち、先ず、このエジェクタ３２１で、エアロゾルが作製される。高速の気流は、図２には具体的に示されない加圧気体供給機３２３から、エジェクタ３２１へ供給される。粉体は、容器３２４から、チューブ３２９を介し、エジェクタ３２１へ供給される。

容器３２４には、所望の質量の粉体が計量されて収められ、その粉体は全てエジェクタ３２１で吸引される。チューブ３２９を動かして走査することによって、又は、容器３２４を動かして走査することによって、粉体を吸引する構成としてもよい。この走査はマニュアルでもよいし、自動ステージを設けてもよい。走査速度を制御して、粉体の供給速度を可変としてもよい。

導入部３４０におけるガイド部材３４２は、径が大きい円柱状のワーク３１１に合わせて、略円筒状である。ガイド部材３４２は、ワーク固定部３１０に取り付けられ、ワークチャック３１３ａ，３１３ｂを用いる場合には、それに接続される。絞られてはいても、ガイド部材３４２のワーク固定部３１０とは反対側は、開放されており、ここから、エジェクタ３２１を通過する気体とは別に、気体が吸引される。即ち、エジェクタ３２１から噴射されるエアロゾルに、新たな気体（空気）が混合されて新たなエアロゾルになり、この新たなエアロゾルがワーク３１１のセル内へ導入される。

吸引部３３０は、主に、（図２では省略されているが）吸引機３３３、ダクト３３４、及び整流板３３１で構成される。円柱状のワーク３１１に合わせて略円筒状のダクト３３４は、ワーク固定部３１０に取り付けられ、ワークチャック３１３ｂを用いる場合には、それに接続される。整流板３３１は、ダクト３３４の中で、気流に対し垂直に、設けられる。この整流板３３１は、ワーク３１１の出口側の端面において全てのセルを通過する流量を、これを設けない場合より均一化する役割を果たす。整流板３３１は、パンチングメタルからなるものであるが、他にスクリーンメッシュ等を用いてもよい。

図３に示されるハニカムフィルタ製造装置５００は、ワーク固定部５１０、粉体搬送部５２０、吸引部５３０、及び導入部５４０を有する。ハニカムフィルタ製造装置５００のワーク固定部５１０は、ワーク５１１（基材）を固定する部分であり、ワークチャック５１３ａ，５１３ｂによって、ワーク５１１を固定する。ワーク５１１であるハニカムフィルタ前駆体は、既述のワーク３１１と同様に、（例えば）円柱状でコージェライト製の目封止ハニカムセグメントであり、軸方向（セルの長さ方向）に比して、径が大きい。

粉体搬送部５２０は、主に、２つのエジェクタ５２１ａ，５２１ｂと、２つの粉体供給装置５２４ａ，５２４ｂで構成される。エジェクタ５２１ａ，５２１ｂは、高速の気流によって生じた負圧を利用して、それぞれの粉体を吸引し、気流とともに、排出する機構を有する。即ち、エジェクタ５２１ａ，５２１ｂで、２つのエアロゾルが作製される。高速の気流は、図５には具体的に示されない加圧気体供給機５２３ａ，５２３ｂから、それぞれ、エジェクタ５２１ａ，５２１２ｂへ供給される。それぞれの粉体は、粉体供給装置５２４ａ，５２４ｂによって、それぞれ、ラッパ口（投入口）の付いたチューブ５２９ａ，５２９ｂを介し、エジェクタ５２１ａ，５２１ｂへ供給される。このように、２つのエジェクタ５２１ａ，５２１ｂと、２つの粉体供給装置５２４ａ，５２４ｂを用いれば、異なるセラミック材料からなる粉体を供給する際に、偏析や粒度分布時間変化等の不具合を防止することが出来る。又、２つの粉体供給装置５２４ａ，５２４ｂからの供給速度を互いに時間的に変化させ、割合を制御することも可能である。又、１つのエジェクタと粉体供給装置を用いる場合より、短時間に、多くの粉体を供給することが可能である。尚、既述のように、一つの投入口へ、２つの粉体供給装置から、粉体を供給するようにしてもよい。

導入部５４０におけるガイド部材５４２は、円柱状のワーク５１１に合わせて、略円筒状である。ガイド部材５４２は、ワーク固定部５１０に取り付けられる。ガイド部材５４２のワーク固定部５１０とは反対側は、開放されており、ここから、エジェクタ５２１ａ，５２１ｂを通過する気体とは別に、気体が吸引される。即ち、エジェクタ５２１ａ，５２１ｂのそれぞれから噴射されるエアロゾルが混合され、更に新たな気体（空気）が混合されて、新たなエアロゾル５０２になり、この新たなエアロゾル５０２がワーク５１１のセル内へ導入される。尚、図３及び図４では、図中にエアロゾルを表しているが、他の図では省略している。

吸引部５３０は、主に、吸引機５３３とダクト５３４で構成される。ダクト５３４は、ワーク固定部５１０（ワークチャック５１３ｂ）に取り付けられる。このダクト５３４は、ワーク固定部５１０に取り付けられる部分では、円柱状のワーク５１１に合わせた大きさの略円筒状を呈する。

図４に示されるハニカムフィルタ製造装置６００は、ワーク固定部６１０、粉体搬送部６２０、吸引部６３０、及び導入部６４０を有する。ハニカムフィルタ製造装置６００のワーク固定部６１０は、ワーク６１１（基材）を固定する部分であり、ワークチャック６１３ａ，６１３ｂによって、ワーク６１１を固定する。ワーク６１１であるハニカムフィルタ前駆体は、（例えば）角柱状でＳｉＣ製の目封止ハニカムセグメントである。

粉体搬送部６２０は、主に、エジェクタ６２１と、粉体供給装置６２４で構成される。エジェクタ６２１は、高速の気流によって生じた負圧を利用して粉体を吸引し、気流とともに、排出する機構を有する。即ち、エジェクタ６２１でエアロゾルが作製される。高速の気流は、図４には具体的に示されない加圧気体供給機６２３から、エジェクタ６２１へ供給される。粉体は、粉体供給装置６２４によって、ラッパ口の付いたチューブ６２９を介し、エジェクタ６２１へ供給される。

導入部６４０におけるガイド部材６４２は、角柱状のワーク６１１に合わせて、略角筒状である。ガイド部材６４２は、ワーク固定部６１０に取り付けられる。ガイド部材６４２のワーク固定部６１０とは反対側は、粉体回収容器６４３が取り付けられ、その横面に空気取入口６４１が設けられている。エジェクタ６２１を通過する気体とは別の気体は、空気取込口６４１から吸引される。即ち、エジェクタ６２１から噴射されるエアロゾルに新たな気体（空気）が混合されて、新たなエアロゾル６０２になり、この新たなエアロゾル６０２がワーク６１１のセル内へ導入される。そして、ワーク６１１に付着しなかった粉体は、粉体回収容器６４３で回収される。空気取込口６４１には、例えばバルブ等の、気体の流量を制御する機構や流量の測定器を備えていてもよい。

吸引部６３０は、主に、（図示しない）吸引機６３３と、ダクト６３４で、構成される。ダクト６３４は、ワーク固定部６１０に（ワークチャック６１３ｂで）取り付けられる。

図１０に示されるハニカムフィルタ製造装置４００は、ワーク固定部４１０、粉体搬送部４２０、吸引部４３０、及び導入部４４０を有する。ハニカムフィルタ製造装置４００のワーク固定部４１０は、ワーク４１１（基材）を固定する部分であり、ワークチャック４１３ａ，４１３ｂによって、ワーク４１１を固定する。ワーク４１１であるハニカムフィルタ前駆体は、既述のワーク３１１，５１１と同様に、（例えば）円柱状でコージェライト製の目封止ハニカムセグメントである。

粉体搬送部４２０は、主に、エジェクタ４２１と、粉体供給装置４２４で構成される。エジェクタ４２１は、高速の気流によって生じた負圧を利用して粉体を吸引し、気流とともに、排出する機構を有する。即ち、エジェクタ４２１でエアロゾルが作製される。高速の気流は、図１０には具体的に示されない加圧気体供給機４２３から、エジェクタ４２１へ供給される。粉体は、粉体供給装置４２４によって、ラッパ口の付いたチューブ４２９を介し、エジェクタ４２１へ供給される。

導入部４４０におけるガイド部材４４２は、円柱状のワーク４１１に合わせて、略円筒状である。ガイド部材４４２は、（ワークチャック４１３ｂによって）ワーク固定部４１０に取り付けられる。ガイド部材４４２の内側には、速度調整筒４４３（速度調整手段）が設けられている。この速度調整筒４４３は、一方の開口（図１０における下側の開口）がテーパー状に狭められた円筒部材である。そして、速度調整筒４４３の軸方向に対して、概ね垂直な方向から（図１０における横方向から）粉体を搬送する気流が入るように、速度調整筒４４３とエジェクタ４２１とが、接続される。こうすると、エジェクタ６２１から噴射されるエアロゾル（粉体を搬送する気流）は、速度調整筒４４３内で旋回し、その速度が調整される(低下する)。この速度調整によって、粉体は分級され、粗大粒子は落下して分離される。一方、エジェクタ４２１を通過する気体とは別の気体は、ガイド部材４４２の開口（図１０における下側）から吸引され、エジェクタ４２１から噴射されるエアロゾルに新たな気体（空気）が混合されて、新たなエアロゾルになり、この新たなエアロゾルがワーク４１１のセル内へ導入される。

上記のように、エアロゾル（粉体を搬送する気流）の速度が低下すると、ワーク４１１を通過する気流の速度も遅くなる。そして、この気流の速度の調整（低下の程度）によって、図１１に示されるように、ワーク４１１（基材）の隔壁１２０４に形成された細孔１２０７の内部に粉体１２０８が入ることなく、（図１１において）細孔１２０７の上方で隔壁１２０４の表面と表面とを架け渡すように（即ちブリッジ状に）、粉体１２０８が付着するようになる。

吸引部４３０は、主に、（図示しない）吸引機４３３とダクト４３４で構成される。ダクト４３４は、ワーク固定部４１０に（ワークチャック４１３ｂで）取り付けられる。

以上説明した図１Ａ〜図４、及び図１０に示されるハニカムフィルタ製造装置において、使用時にワークをワーク固定部に固定する手段としては、手作業による取付、ロボットハンドによる自動移載、移送装置をワーク固定部に組み込んだ態様による連続自動移載等を挙げることが出来る。

例えば、既述のハニカムフィルタ製造装置１１０においては、ワークチャック１３ａ，１３ｂを緩めて、ワーク１１を組み込んだ後、ワークチャック１３ａ，１３ｂを締めて、固定することで、手作業による取付を行うことが出来る。又、ハニカムフィルタ製造装置１１０においては、ワークチャック１３ａ，１３ｂは、支柱、枠体等に支持されているものとしたが、これらワーク固定部１０を構成するワークチャック１３ａ，１３ｂは、吸引部３０及び導入部４０に取付られていてもよい。ワークチャック１３ａを取り付けた導入部４０と、ワークチャック１３ｂを取り付けた吸引部３０とが、互いに離隔して空間を形成し、そこへワーク１１を置いた後に、ワークチャック１３ａを取り付けた導入部４０と、ワークチャック１３ｂを取り付けた吸引部３０とを、互いに接近させれば、ワークチャック１３ａ，１３ｂによってワーク１１を固定することが出来る。

以下、図５Ａ〜図６Ｂを参照して、本発明に係るハニカムフィルタ製造装置にかかり、ロボットハンドによる自動移載、移送装置をワーク固定部に組み込んだ態様による連続自動移載について、具体的に説明する。尚、図５Ａ〜図６Ｂに示されるハニカムフィルタ製造装置は、ワーク固定部、粉体搬送部、吸引部、及び導入部を有し、既述のハニカムフィルタ製造装置１１０に準ずる装置である。

図５Ａ、図５Ｂに示されるハニカムフィルタ製造装置７００は、ワーク固定部７１０、粉体搬送部７２０、吸引部７３０、及び導入部７４０を有する。図５Ｂは、ロボットハンドによる自動移載を表した図である。ハニカムフィルタ製造装置７００の粉体搬送部７２０は、主に、エジェクタ７２１、粉体供給装置７２４で構成される。高速の気流が、加圧気体供給機７２３（コンプレッサ等）から、調節弁７２７が設けられた配管７２８を通して、所定の流量で、エジェクタ７２１へ供給され、一方、粉体が、粉体供給装置７２４によって、チューブ７２９を介して、所定の送り量で、エジェクタ７２１へ供給され、そして、エジェクタ２１から、気流とともに粉体が噴射される。吸引部７３０は、主に、吸引機７３３、ダクト７３４で構成され、エジェクタ７２１から噴射されるエアロゾルに新たな気体（空気）が混合されたエアロゾルをワーク７１１（ハニカムフィルタ前駆体）へ吸引する。導入部７４０は、ガイド部材で構成される。

ハニカムフィルタ製造装置７００のワーク固定部７１０は、ワーク７１１（基材）を固定する部分であり、ワーク置台７７１に載置されて製膜の順番を待っているワーク７１１は、順次、ロボットハンド７７２によって把持され、ワーク固定部７１０に移載され、そこで、導入部７４０に取り付けられたワークチャック７１３ａが下から上昇し、吸引部７３０に取り付けられたワークチャック７１３ｂが上から降下することによって、ワーク７１１は固定される（図５Ｂを参照）。ワーク７１１であるハニカムフィルタ前駆体は、円柱状でコージェライト製の目封止ハニカムセグメントである。

図６Ａ、図６Ｂに示されるハニカムフィルタ製造装置８００は、ワーク固定部８１０と、ハニカムフィルタ製造装置７００と同様の粉体搬送部７２０、吸引部７３０、及び導入部７４０と、を有する。図６Ｂは、移送装置をワーク固定部に組み込んだ態様による連続自動移載を表した図である。

ハニカムフィルタ製造装置８００のワーク固定部８１０は、ワーク８１１（基材）を固定する部分であり、移送装置８７１の上で並んで載置されて製膜の順番を待っている複数のワーク８１１は、順次、移送装置８７１によって、ワーク固定部８１０に移動する。移送装置８７１の上には、パレット８７２が設けられ、そのパレット８７２にワークチャック８１３ａが取り付けられている。そして、移送装置８７１の上のワーク８１１は、予めワークチャック８１３ａで把持されている。ハニカムフィルタ製造装置８００では、製膜対象となるワーク８１１がワーク固定部８１０に入ったところで、移送装置８７１が停止し、吸引部７３０に取り付けられたワークチャック８１３ｂが上から降りてきて、ワークチャック８１３ａ，８１３ｂによってワーク８１１が固定される。製膜が終ったら、ワークチャック８１３ｂは上へ上昇し（戻り）、移送装置８７１が動作して、製膜を行うべく、次のワーク８１１をワーク固定部８１０に移動させる（これらが繰り返される）。移送装置は、例えばコンベアであり、他にレールと台車の組み合せであってもよい。ワーク８１１であるハニカムフィルタ前駆体は、円柱状でコージェライト製の目封止ハニカムセグメントである。

本発明のハニカムフィルタ製造装置において、導入部が筒状のガイド部材を有する場合、捕集層を形成するための粉体が、ガイド部材の内周面に付着しないような対策を施すことが好ましい。捕集層を形成するための粉体が、ガイド部材の内周面に付着すると、それが製膜中に意図しないタイミングで剥離してワークに吸引され、ワーク毎の製膜量（粉体の堆積量）にバラツキが生じるおそれが有る。又、本来、ワークのセル内面（隔壁の表面）に付着（堆積）させるべき粉体が、ガイド部材の内周面に付着してしまうことにより、原料収率が低下したり、ワーク毎の原料収率にバラツキが生じたりする。

図７Ａ〜図７Ｄに示すハニカムフィルタ製造装置は、捕集層を形成するための粉体が、ガイド部材の内周面に付着するのを防止する対策を施した実施形態である。以下、これらの実施形態について、順次、説明する。

図７Ａに示すハニカムフィルタ製造装置９００は、図６Ａ、６Ｂに示される既述のハニカムフィルタ製造装置８００と同様に、ワーク固定部８１０、粉体搬送部７２０、吸引部７３０、及び導入部７４０を有するものであるが、導入部７４０のガイド部材８４２として、筒状の多孔質体を用いている。それ以外は、ハニカムフィルタ製造装置８００と同様な構成である（説明を省略する）。

このハニカムフィルタ製造装置９００のように、導入部７４０が筒状のガイド部材を有する場合において、そのガイド部材８４２が多孔質体であると、捕集層を形成するための粉体が、ガイド部材の内周面に付着するのを効果的に防止することが可能となる。具体的には、このハニカムフィルタ製造装置９００を用いて、捕集層を形成するための粉体を、ワーク８１１のセル内面（隔壁の表面）に堆積させる工程において、ガイド部材８４２の外部からガイド部材８４２の外周面に微量の気体（空気等）を吹き付ける。ガイド部材８４２は多孔質体であるので、その外周面に吹き付けられた気体の一部は、ガイド部材８４２の細孔を通ってガイド部材８４２の内周面から内部に吐出する。こうして、ガイド部材８４２の内周面から内部に吐出した気体によって、捕集層を形成するための粉体（エジェクタ７２１から噴射されたエアロゾル中の粉体）は、ガイド部材８４２の内周面に付着することを妨げられる。

このように、捕集層を形成するための粉体が、ガイド部材８４２の内周面に付着することを防止することにより、ワーク毎の製膜量のバラツキを抑えるとともに、原料収率を向上させることが出来る。

尚、ガイド部材８４２の内周面から内部に吐出した気体は、エジェクタ７２１から噴射されたエアロゾルと混合されて新たなエアロゾル７０２となり、ワーク８１１に吸引される。このハニカムフィルタ製造装置９００において、筒状の多孔質体であるガイド部材８４２を構成する材料としては、炭化珪素等のセラミックスが好適なものとして挙げられる。

図７Ｂに示すハニカムフィルタ製造装置９１０は、図６Ａ、６Ｂに示される既述のハニカムフィルタ製造装置８００と同様に、ワーク固定部８１０、粉体搬送部７２０、吸引部７３０、及び導入部７４０を有するものであるが、導入部７４０のガイド部材９４２が、筒状の外筒部９４２ａと、その内側に所定の間隔を置いて配置された、多数の孔８７５を有する筒状の内筒部９４２ｂとからなるものであるとともに、導入部７４０が、ガイド部材９４２の外部から外筒部９４２ａと内筒部９４２ｂとの間の空隙８７３に気体（空気等）を供給する気体供給手段を有する態様となっている。それ以外は、ハニカムフィルタ製造装置８００と同様な構成である（説明を省略する）。

このハニカムフィルタ製造装置９１０において、気体供給手段は、ガイド部材９４２の外部からガイド部材９４２を構成する外筒部９４２ａと内筒部９４２ｂとの間の空隙８７３に通じる配管８２８と、その配管８２８を通じて、ガイド部材９４２の外部から空隙８７３に気体を送り込むためのポンプ８７４とを備える。

このハニカムフィルタ製造装置９１０を用いて、捕集層を形成するための粉体を、ワーク８１１のセル内面（隔壁の表面）に堆積させる工程において、ポンプ８７４の駆動により、配管８２８を通じて、ガイド部材９４２の外部から空隙８７３に微量の気体を供給すると、供給された気体は、内筒部９４２ｂの多数の孔８７５から、ガイド部材９４２の内部に吐出する。こうして、ガイド部材９４２の内部に吐出した気体によって、捕集層を形成するための粉体（エジェクタ７２１から噴射されたエアロゾル中の粉体）は、ガイド部材９４２の内周面（内筒部９４２ｂの内周面）に付着することを妨げられる。

このように、捕集層を形成するための粉体が、ガイド部材９４２の内周面に付着することを防止することにより、ワーク毎の製膜量のバラツキを抑えるとともに、原料収率を向上させることが出来る。

尚、内筒部９４２ｂの孔８７５からガイド部材９４２の内部に吐出した気体は、エジェクタ７２１から噴射されたエアロゾルと混合されて新たなエアロゾル７０２となり、ワーク８１１に吸引される。このハニカムフィルタ製造装置９１０において、ガイド部材９４２の外筒部９４２ａを構成する材料としては、金属、樹脂等が好適なものとして挙げられる。又、ガイド部材９４２の内筒部９４２ｂは、パンチングメタル、スクリーンメッシュ等の多数の孔を有する材料を用いて形成することが好ましい。

図７Ｃに示すハニカムフィルタ製造装置９２０は、図６Ａ、６Ｂに示される既述のハニカムフィルタ製造装置８００と同様に、ワーク固定部８１０、粉体搬送部７２０、吸引部７３０、及び導入部７４０を有するものであるが、追加の構成要素として、更に、導入部７４０が、ガイド部材７４２の内周面近傍に気体（空気等）を吐出する吐出ノズル８７６を有する。それ以外は、ハニカムフィルタ製造装置８００と同様な構成である（説明を省略する）。

このハニカムフィルタ製造装置９２０において、吐出ノズル８７６は、図８に示すように複数のノズル孔８７８が環状に配置されたものである。図７Ｃに示すように、この吐出ノズル８７６は、ガイド部材７４２の下側（ワーク固定部８１０とは反対側）の開口端に、ノズル孔８７８の軸線がガイド部材７４２の内周面と平行になるように配設されている。

このハニカムフィルタ製造装置９２０を用いて、捕集層を形成するための粉体を、ワーク８１１のセル内面（隔壁の表面）に堆積させる工程において、吐出ノズル８７６に外部から気体を供給すると、供給された気体は、環状に配置されたノズル孔８７８からガイド部材７４２の内周面近傍に吐出され、その際の吐出力と吸引部７３０の吸引力とにより、ガイド部材７４２の内周面に沿って内周面と平行に上昇する上昇流となる。この上昇流によって、捕集層を形成するための粉体（エジェクタ７２１から噴射されたエアロゾル中の粉体）は、ガイド部材７４２の内周面に付着することを妨げられる。

このように、捕集層を形成するための粉体が、ガイド部材７４２の内周面に付着することを防止することにより、ワーク毎の製膜量のバラツキを抑えるとともに、原料収率を向上させることが出来る。尚、吐出ノズル８７６から吐出された気体は、エジェクタ７２１から噴射されたエアロゾルと混合されて新たなエアロゾル７０２となり、ワーク８１１に吸引される。

図７Ｄに示すハニカムフィルタ製造装置９３０は、図７Ｃに示される既述のハニカムフィルタ製造装置９２０において、吐出ノズル８７６に加え、更に別個の吐出ノズル８７７を有する。それ以外は、ハニカムフィルタ製造装置９２０と同様な構成である（説明を省略する）。

このハニカムフィルタ製造装置９３０において、吐出ノズル８７７は、ガイド部材７４２の下側（ワーク固定部８１０とは反対側）の開口端に、そのノズル孔の軸線がガイド部材７４２の内周面に対し傾斜するように配設されている。

このハニカムフィルタ製造装置９３０を用いて、捕集層を形成するための粉体を、ワーク８１１のセル内面（隔壁の表面）に堆積させる工程において、吐出ノズル８７６と吐出ノズル８７７とに外部から気体を供給すると、吐出ノズル８７６からガイド部材７４２の内周面と平行に吐出された気体と、吐出ノズル８７７からガイド部材７４２の内周面に対し傾斜して吐出された気体とが合わさり、更にそれらの気体に、吸引部７３０の吸引力が作用して、ガイド部材７４２の内周面に沿って旋回しながら上昇する旋回流が生じる。この旋回流によって、捕集層を形成するための粉体（エジェクタ７２１から噴射されたエアロゾル中の粉体）は、ガイド部材７４２の内周面（内筒部９４２ｂの内周面）に付着することを妨げられる。

このように、捕集層を形成するための粉体が、ガイド部材７４２の内周面に付着することを防止することにより、ワーク毎の製膜量のバラツキを抑えるとともに、原料収率を向上させることが出来る。尚、吐出ノズル８７６と吐出ノズル８７７とから吐出された気体は、エジェクタ７２１から噴射されたエアロゾルと混合されて新たなエアロゾル７０２となり、ワーク８１１に吸引される。

以上、種々のハニカムフィルタ製造装置の構成と材料について説明したが、これらの本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、市販の機器や部品を利用し、市販の材料を加工して、適宜、組み合せることによって、作製することが出来る。

次に、本発明に係るハニカムフィルタ製造方法について、説明する。本発明に係るハニカムフィルタ製造方法は、本発明に係るハニカムフィルタ製造装置を用いて、外形が略柱状の多孔質体からなる基材を備え、その基材が、一の端面から他の端面まで延びるセルを有するとともに、その基材の内表面に、捕集層が形成されてなるハニカムフィルタを製造する方法である。

先ず、セラミック原料を含有する成形原料を押出成形することによって、外形が略柱状であって流体の流路となる一の端面から他の端面まで延びる複数のセルを有する成形体を得る。より詳細には、好ましくは、コージェライト、炭化珪素、アルミナ、ムライト、チタン酸アルミニウム、又は窒化珪素のうちの何れかからなる骨材粒子、水、有機バインダ（ヒドロキシプロポキシルメチルセルロース、メチルセルロース等）、造孔材（グラファイト、澱粉、合成樹脂等）、界面活性剤（エチレングリコール、脂肪酸石鹸等）等を混合し、ニーダ、真空土練機等を用いて混練することによって坏土を得て、その坏土を、所望のセル形状、隔壁厚さ、セル密度を有する口金を備えた押出成形機を用いて、押出成形して、所望の形状に成形し、その後、マイクロ波乾燥機及び熱風乾燥機で乾燥することによって、成形体を得る。

次いで、その成形体の隣接する複数のセルに対し、成形体の一の端面と他の端面を見ると、ともに千鳥模様ないし市松模様のようになるように、一方の開口端と他方の開口端とを互い違いに目封止し、その後、焼成して、基材を得る。より詳細には、好ましくは上記骨材粒子と同じ材料からなる目封止用のスラリーを、容器に貯留しておき、成形体の一方の端面において、千鳥模様ないし市松模様のようになるように、概ね半数のセルをマスクし、その側を、容器中に浸漬して、マスクしていないセルの開口にスラリーを充填して、目封止する。成形体の他方の端面については、一方の端面において目封止されたセルについてマスクを施し（当然に千鳥模様ないし市松模様のようになる）、その側を、容器中に浸漬して、マスクしていないセルの開口にスラリーを充填して、目封止する。こうすると、一方の端面において目封止されていないセルは、他方の端面において目封止され、他方の端面において目封止されていないセルは、一方の端面において目封止され、両端面において千鳥模様ないし市松模様のようにセルが交互に塞がれた構造となる。そして、目封止された成形体を仮焼きして脱脂し、その後、焼成（本焼成）を行えば、基材が得られる。有機バインダの燃焼温度は１００〜３００℃程度、造孔材の燃焼温度は２００〜８００℃程度であるので、仮焼の温度は２００〜１０００℃程度とすればよい。焼成温度は、骨材粒子の原料により異なるため、それに応じて適当な条件を選択すればよい。一般に、１４００〜１５００℃程度である。

次に、得られた基材を、好ましくは分解能１０ｍｇ以下の計量器を用いて計量し（製膜前計量工程）、その後、本発明に係るハニカムフィルタ製造装置を用いて、基材のセル内へエアロゾルを導入し、基材のセル内面に粉体を堆積させる（製膜工程）。粉体（粒子）の平均粒径は、隔壁の平均細孔径によって異なるが、１〜１５μｍであることが好ましい。粉体の材料として、炭化珪素、窒化珪素、コージェライト、アルミナ、ジルコニア、チタニア、シリカ、チタン酸アルミニウム、等が、好ましく用いられる。特に好ましい材料は、（基材の）上記骨材粒子と同じ材料である。

粉体は、より詳細には、上記材料を分粒した後、ジェットミル（乾式）、ポットミル（湿式）によって、粗粒子を更に粉砕し、微粒、且つシャープな粒子径分布を持つ粉砕粒子として、得ることが出来る。尚、粉体として、基材における隔壁の平均細孔径より小さいものを用いても、粉体は、隔壁の表面（厳密には表層（隔壁の厚さ方向において隔壁の表面から２０％までの範囲））に堆積する。これは、隔壁の細孔よりも粉体（粒子）の方が小さいが、粉体を含むエアロゾルが隔壁を通過する際に、粉体の拡散やさえぎりの粒子捕集メカニズムによって気流の流線に乗らず、隔壁の表面（表層）に堆積するためと考えられる。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置を用いて、基材の隔壁に、粉体を付着させ堆積させるに際しては、基材（ワーク）をワーク固定部に固定し、粉体搬送部で、供給すべき粉体の量、及び加圧気体供給機からの気流（空気）の流量を、それぞれ所定の値に設定するとともに、吸引部における吸引流量を所定の値に設定する。この吸引部の吸引流量の設定に際しては、セル内面（隔壁の表面）に、漏れなく、均一の厚さで、粉体を堆積させるために、エジェクタを通過する流量より、基材（の隔壁）を通過する流量が、多くなるようにすることが肝要である。

基材の隔壁に、粉体を付着させ堆積させたら、その後、エアノズル等を用いて、基材の、エアロゾルが導入された側（入口側）の端面に残存した粉体を除去する（清掃工程）。そして、粉体が堆積した（製膜された）基材を、好ましくは分解能１０ｍｇ以下の計量器を用いて計量し（製膜後計量工程）、製膜の成否を確認する。

最後に、焼成して、セル内面に堆積させた粉体を焼結させ安定させれば、ハニカムフィルタが得られる。このときの焼成温度は、基材を得た際の焼成温度よりも低いことが好ましい。粉体を焼結固定させるために必要な温度が加熱されればよい。粉体の材料によって異なるが、一般に、焼成温度は１２５０〜１３５０℃であることが好ましい。

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。

（実施例１）骨材粒子として炭化珪素を用い、四角柱状の目封止ハニカム構造体を作製し、その目封止ハニカム構造体について、図１Ｂに示されるハニカムフィルタ製造装置１１０を使用して、目封止ハニカム構造体（基材）のセル内面に粉体を堆積させた。ワーク固定部１０に目封止ハニカム構造体を固定したときに、目封止ハニカム構造体の端面からエジェクタ２１の噴射端までの距離は２９０ｍｍであり、ガイド部材４２の長さは３００ｍｍ、内寸は５０ｍｍ角である。又、四角柱状の目封止ハニカム構造体の軸長は１５２．４ｍｍ、軸に垂直な断面の大きさは３６．２ｍｍ×３６．２ｍｍであり、セル密度は３００ｃｐｓｉ（セル／平方インチ）、隔壁の厚さは１２ミル（１ミルは約０．０２５４ｍｍ）である。吸引部３０が吸引する気体の流量を０．４ｍ^３／ｍｉｎとし、粉体搬送部２０から噴射される気体の流量を０．１ｍ^３／ｍｉｎとし、導入部４０において新たに混合される気体の流量を０．３ｍ^３／ｍｉｎとした。又、粉体の供給量を１．２ｇとし、供給時間を３秒とし、供給速度を２４ｇ／ｍｉｎとした。そして、目封止ハニカム構造体への、粉体の付着量／供給量によって収率を求めたところ、８９％であった。尚、付着量［ｇ］は、製膜前計量工程での重量と製膜後計量工程での重量との差により求め、供給量［ｇ］は、粉体供給装置からの供給量によって求めた。

（実施例２）骨材粒子としてコージェライト（コージェライト化材料）を用い、円柱状の目封止ハニカム構造体を作製し、その目封止ハニカム構造体について、図２に示されるハニカムフィルタ製造装置３００を使用して、目封止ハニカム構造体（基材）のセル内面に粉体を堆積させた。ワーク固定部３１０に目封止ハニカム構造体を固定したときに、目封止ハニカム構造体の端面からエジェクタ３２１の噴射端までの距離は８００ｍｍであり、ガイド部材３４２の長さは７５０ｍｍ、内径は２４０ｍｍである。円柱状の目封止ハニカム構造体の軸長は１５２．４ｍｍ、軸に垂直な断面の大きさはφ１４４ｍｍであり、セル密度は３００ｃｐｓｉ（セル／平方インチ）、隔壁の厚さは１２ミル（１ミルは約０．０２５４ｍｍ）である。吸引部３３０が吸引する気体の流量を２．８ｍ^３／ｍｉｎとし、粉体搬送部３２０から噴射される気体の流量を０．１ｍ^３／ｍｉｎとし、導入部４０において新たに混合される気体の流量を２．７ｍ^３／ｍｉｎとした。又、粉体の供給量を２８ｇとし、供給時間を５６秒とし、供給速度を３０ｇ／ｍｉｎとした。そして、目封止ハニカム構造体への、粉体の付着量／供給量によって収率を、実施例１と同様にして求めたところ、７３％であった。尚、目封止ハニカム構造体への付着量は、２０．４ｇであった。

（実施例３）骨材粒子としてコージェライト（コージェライト化材料）を用い、円柱状の目封止ハニカム構造体を５個作製し、それらの目封止ハニカム構造体について、図７Ｂに示されるハニカムフィルタ製造装置９１０を使用して、目封止ハニカム構造体（基材）のセル内面に粉体を堆積させた。ワーク固定部８１０に目封止ハニカム構造体を固定したときに、目封止ハニカム構造体の端面からエジェクタ７２１の噴射端までの距離は８００ｍｍであり、ガイド部材９４２の長さは７５０ｍｍ、外筒部９４２ａの内径は２４０ｍｍ、内筒部９４２ｂの内径は２１０ｍｍである。円柱状の目封止ハニカム構造体の軸長は１５２．４ｍｍ、軸に垂直な断面の大きさはφ１４４ｍｍであり、セル密度は３００ｃｐｓｉ（セル／平方インチ）、隔壁の厚さは１２ミル（１ミルは約０．０２５４ｍｍ）である。吸引部７３０が吸引する気体の流量を２．８ｍ^３／ｍｉｎとし、粉体搬送部７２０から噴射される気体の流量を０．１ｍ^３／ｍｉｎとし、導入部７４０において新たに混合される気体の流量を２．７ｍ^３／ｍｉｎとした。又、粉体の供給量を３０ｇとし、供給時間を６０秒とし、供給速度を３０ｇ／ｍｉｎとした。又、ポンプ８７４により、配管８２８を通じて、ガイド部材９４２の外部から空隙８７３に空気を供給した。この空気の供給は、内筒部９４２ｂの孔８７５から、ガイド部材９４２の内部に吐出する空気の流速が５ｍ／ｓｅｃとなるように調整して行った。そして、目封止ハニカム構造体への、粉体の付着量／供給量によって収率を、実施例１と同様にして求めたところ、９０〜９５％であった。尚、各目封止ハニカム構造体への粉体の付着量（製膜量）は、２７〜２８．５ｇであり、付着量のバラツキは±１０％であった。

（実施例４）骨材粒子としてコージェライト（コージェライト化材料）を用い、円柱状の目封止ハニカム構造体を１０個作製し、それらの目封止ハニカム構造体について、図７Ｄに示されるハニカムフィルタ製造装置９３０を使用して、目封止ハニカム構造体（基材）のセル内面に粉体を堆積させた。ワーク固定部８１０に目封止ハニカム構造体を固定したときに、目封止ハニカム構造体の端面からエジェクタ７２１の噴射端までの距離は８００ｍｍであり、ガイド部材７４２の長さは７５０ｍｍ、内径は２４０ｍｍである。円柱状の目封止ハニカム構造体の軸長は１５２．４ｍｍ、軸に垂直な断面の大きさはφ１４４ｍｍであり、セル密度は３００ｃｐｓｉ（セル／平方インチ）、隔壁の厚さは１２ミル（１ミルは約０．０２５４ｍｍ）である。吸引部７３０が吸引する気体の流量を２．８ｍ^３／ｍｉｎとし、粉体搬送部７２０から噴射される気体の流量を０．１ｍ^３／ｍｉｎとし、導入部７４０において新たに混合される気体の流量を２．７ｍ^３／ｍｉｎとした。又、粉体の供給量を３０ｇとし、供給時間を６０秒とし、供給速度を３０ｇ／ｍｉｎとした。又、吐出ノズル８７６と吐出ノズル８７７とに外部から空気を供給し、それら吐出ノズルから吐出された空気が、ガイド部材７４２の内周面に沿って上昇する旋回流となるようにした。そして、目封止ハニカム構造体への、粉体の付着量／供給量によって収率を、実施例１と同様にして求めたところ、８０％であった。尚、各目封止ハニカム構造体への粉体の付着量（製膜量）は、２４．０〜２５．３ｇであり、付着量のバラツキは±１０％であった。

（実施例５）実施例１〜４により製膜した目封止ハニカム構造体を焼成して、捕集層が形成された目封止ハニカム構造体を得た。得られた各目封止ハニカム構造体について、ＰＭを堆積させた状態で圧力損失を測定したところ、捕集層のない場合と比較して、圧力損失が低下しており、捕集層の効果が確認された。更に、これらの目封止ハニカム構造体に対し、中央付近（中心軸を含む部分）と外周付近とから、それぞれ同じ大きさで切り出し、それぞれの圧力損失を測定したところ、両者に有意な差異は認められなかった。更に、それぞれの捕集層（セル内面）を走査型電子顕微鏡で観察したところ、両者の捕集層に外観上の差異はなく、未製膜部分も認められなかった。以上によって、均一な捕集層が形成されていることが確認出来た。

本発明に係るハニカムフィルタ製造装置は、ＤＰＦとして用いられるハニカムフィルタを製造する手段として、好適に利用される。ＤＰＦは、ディーゼルエンジンをはじめとする内燃機関や、各種燃焼装置から排出されるガス中に含まれるパティキュレートを捕集し、ガスを浄化するために使用されるフィルタである。

１，１１０，１２０，１３０，３００，４００，５００，６００，７００，８００，９００，９１０，９２０，９３０：ハニカムフィルタ製造装置
１０，３１０，４１０，５１０，６１０，７１０，８１０：ワーク固定部
１１，３１１，４１１，５１１，６１１，７１１，８１１：ワーク
１１ａ：粉体搬送部の側における基材（ワーク）の端面
１２：カバー
１３，１３ａ，１３ｂ，３１３ａ，３１３ｂ，４１３ａ，４１３ｂ，５１３ａ，５１３ｂ，６１３ａ，６１３ｂ，７１３ａ，７１３ｂ，８１３ａ，８１３ｂ：ワークチャック
１４：パッキン
２０，３２０，４２０，５２０，６２０，７２０：粉体搬送部
２１，３２１，４２１，５２１ａ，５２１ｂ，６２１，７２１：エジェクタ
２３，１２３，３２３，４２３，５２３ａ，５２３ｂ，６２３，７２３：加圧気体供給機
２４，４２４，５２４ａ，５２４ｂ，６２４，７２４：粉体供給装置
２５：重量計
２６：流量計
２７，７２７：調節弁
２８，７２８，８２８：配管
２９，３２９，４２９，５２９ａ，５２９ｂ，６２９，７２９：チューブ
３０，３３０，４３０，５３０，６３０，７３０：吸引部
３２：風速計
３３，３３３，４３３，５３３，６３３，７３３：吸引機
３４，３３４，４３４，５３４，６３４，７３４：ダクト
４０，３４０，４４０，５４０，６４０，７４０：導入部
４２，３４２，４４２，５４２，６４２，７４２，８４２，９４２：ガイド部材
８０：粉体搬送部の側における基材の端面を内包する最小の円
１２４：容器
１２５：エアロゾル化室
１２６：撹拌用ビーズ
２０１：ハニカムフィルタ
２０３ａ，２０３ｂ，１２０３ａ，１２０３ｂ：セル
２０４，１２０４：隔壁
２０５：ＰＭ（パティキュレートマター、粒子状物質）
２０６：（ＰＭを含む）排出ガス
３２４：容器
３３１：整流板
４４３：速度調整筒
５０２，６０２，７０２：エアロゾル
６４３：粉体回収容器
７７１：ワーク置台
７７２：ロボットハンド
８７１：移送装置
８７２：パレット
８７３：空隙
８７４：ポンプ
８７５：孔
８７６，８７７：吐出ノズル
８７８：ノズル孔
１２０７：細孔
１２０８：粉体

Claims (14)

1. ハニカムフィルタの製造に使用する装置であって、
   ハニカムフィルタの基材を固定するためのワーク固定部と、
   そのワーク固定部の一の側に配設され、加圧気体を用いて粉体を気流に乗せて搬送する粉体搬送部と、
   その粉体搬送部と前記ワーク固定部の間に設けられた閉じていない空間であり、前記粉体搬送部から気流に乗って搬送された粉体を他の気体と更に混合して前記装置使用時に前記ワーク固定部に固定される基材へ導入する導入部と、
   前記ワーク固定部の他の側に配設され、吸引手段を用いて、前記ワーク固定部の他の側を前記ワーク固定部の一の側に対して減圧にして、前記ワーク固定部に固定される基材を通過した気体を吸引する吸引部と、
   を有するハニカムフィルタ製造装置。
2. 前記粉体搬送部が、加圧気体を用いた粉体分散手段を備える請求項１に記載のハニカムフィルタ製造装置。
3. 前記粉体分散手段は、エジェクタである請求項２に記載のハニカムフィルタ製造装置。
4. 前記エジェクタは、粉体を気流によって吸引し、加圧気体とともに粉体を排出して、気体中へ分散する請求項３に記載のハニカムフィルタ製造装置。
5. 前記エジェクタにおける粉体の吸引方向と排出方向とが、略平行である請求項４に記載のハニカムフィルタ製造装置。
6. 前記粉体搬送部が、定量の粉体を供給するための粉体供給手段を備える請求項１〜５の何れか一項に記載のハニカムフィルタ製造装置。
7. 前記導入部が、前記粉体を、前記ワーク固定部に固定される基材へ案内するガイド部材を有する請求項１〜６の何れか一項に記載のハニカムフィルタ製造装置。
8. 前記ガイド部材が、筒状の多孔質体である請求項７に記載のハニカムフィルタ製造装置。
9. 前記ガイド部材が、筒状の外筒部と、その内側に所定の間隔を置いて配置された、多数の孔を有する筒状の内筒部とからなるものであるとともに、前記導入部が、前記外筒部と前記内筒部との間の空隙に気体を供給する気体供給手段を有する請求項７に記載のハニカムフィルタ製造装置。
10. 前記ガイド部材が、筒状を呈するものであるとともに、前記導入部が、前記ガイド部材の内周面近傍に気体を吐出する吐出ノズルを有する請求項７に記載のハニカムフィルタ製造装置。
11. 前記粉体搬送部から気流に乗って搬送された粉体を旋回させてその速度を調整する速度調整手段が、前記導入部に備わる請求項１〜１０の何れか一項に記載のハニカムフィルタ製造装置。
12. 前記装置使用時にワーク固定部に固定されるハニカムフィルタの基材は、柱状を呈し、使用時において、ワーク固定部に固定される基材の軸方向が、略鉛直であり、前記気流が下から上へ流れる請求項１〜１１の何れか一項に記載のハニカムフィルタ製造装置。
13. 前記粉体搬送部又は導入部に、分級手段を備える請求項１〜１２の何れか一項に記載のハニカムフィルタ製造装置。
14. 請求項１〜１３の何れか一項に記載のハニカムフィルタ製造装置を用い、前記吸引部が吸引する気体ａの流量Ａ、前記粉体搬送部から噴射される気体ｂの流量Ｂ、前記導入部において前記気体ｂと混合される前記他の気体である気体ｃの流量Ｃが、Ａ＝Ｂ＋Ｃ、且つ、Ｃ＞０の関係を満たすように流量を調節して、
    ハニカムフィルタの基材の内表面に、前記粉体を堆積させる過程を有するハニカムフィルタの製造方法。

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