JP5559923B1 - 割りベルトおよび分割装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 さらなる歩留の向上が可能な割りベルトおよび分割装置を提供する。
【解決手段】 無端状の割りベルトにおいて、合成樹脂シートから成る基材層１０Ａに、織物から成る表面層１０Ｂが重ねて設けられ、織物の経糸と緯糸とがそれぞれベルトの周回方向と幅方向とに沿うように配置される。この織物の少なくとも緯糸が弾性糸を含んでいる。緯糸が弾性糸を含むことで、セラミック基板表面との間に適度な摩擦力が生じ、弾性糸の変形により分割位置でのセラミック基板の横ずれを軽減でき、セラミック基板をシャープに分割することができるので歩留が向上する。
【選択図】 図３

Description

本発明は、割り溝が設けられたセラミック基板を分割するためのローラ部材に巻き掛けられる無端状の割りベルトおよび分割装置に関する。

従来、複数本の割り溝が形成されたセラミック基板を割り溝に沿って分割し、チップ状のセラミック製電子部品を製作している。この割り溝に沿って分割するときは、セラミック基板を挟み込んで荷重を加え狭圧によって分割している。セラミック基板を狭持する手段としては、一対の無端状ベルトを用いる。一対の無端状ベルトでセラミック基板を挟持し、ベルトを走行させてセラミック基板を搬送するとともに、ベルトで挟持された状態で一対のローラにより圧力を加えて溝に沿ってセラミック基板を分割する。

しかし、セラミックス基板をチップ部品に分割するときにチップ部品のエッジなどによって狭持しているベルトの表面を傷つけてしまい表面状態が劣化して、たとえば割れない溝があるなど分割不良が生じ、歩留が低下する。したがって、表面状態が劣化し始めるとベルトの交換が必要となり、結果的にベルトの寿命が短くなる。

このような問題点を改善すべく種々の構成のセラミックチップ分割用ベルトが考案されている。

たとえば、特許文献１記載のチップ粉砕ベルトは、粉砕時のベルトの変形を少なくする手段として芯線を有し、粉砕面が不飽和カルボン酸金属塩を含有した水素化ニトリルゴムから成る。

さらに、近年はチップサイズが小さくなり、たとえば０．４ｍｍ×０．２ｍｍのサイズにまで小さくなっている。このような小さなサイズのチップに分割するために、たとえば特許文献２記載のチップ粉砕ベルトは、ゴム層に埋設される心線のベルト幅方向の間隔を０．２ｍｍ以下としている。

特開２００４−４２０２０号公報 特開２０１２−１５２６９４号公報

上記のような課題は改善されつつあるが、依然として十分な歩留や寿命が得られているとは言えない。

本発明の目的は、さらなる歩留の向上が可能な割りベルトおよび分割装置を提供することである。

本発明の他の目的は、さらなる長寿命化が可能な割りベルトおよび分割装置を提供することである。

本発明は、分割溝が形成されたセラミック基板を分割する割りベルトにおいて、ベルトは少なくとも弾性繊維を含む織糸で織られた織物を有し、前記セラミック基板に、前記織物の前記弾性繊維が接するように構成したことを特徴とする割りベルトである。

また本発明は、前記織物は、少なくとも前記弾性繊維を含む糸又は前記弾性繊維から成る糸を含み、且つ、非弾性繊維から成る糸を含む複数の糸より織られた織物であり、前記非弾性繊維から成る糸は、モノフィラメントまたはマルチフィラメントの糸から成り、該非弾性繊維から成る糸は前記弾性繊維から成る糸よりも細く、または前記非弾性繊維から成る糸が甘撚りされ前記非弾性繊維から成る糸が扁平し前記非弾性繊維が広がるように構成され前記弾性繊維を含む糸又は前記弾性繊維から成る糸よりも厚み方向に薄く構成され、且つ、前記弾性繊維が、前記非弾性繊維よりも太い繊維径を有し、ベルト表面には、織目、前記非弾性繊維から成る糸の変形または前記弾性繊維と前記非弾性繊維の断面形状の少なくともいずれかに起因する凹凸部分が形成され、前記凹凸部分のうちの凸部分が前記弾性繊維から成り、該凸部分が前記セラミック基板に接するように構成されることを特徴とする割りベルトである。

また本発明は、前記織物は、前記織物の前記セラミック基板に接する側の面が、前記弾性繊維を含む糸又は前記弾性繊維から成る糸が少なくとも非弾性繊維の糸を２本以上乗越えて織られた織組織で構成され、織物の織糸である前記弾性繊維を含む糸又は前記弾性繊維から成る糸の露出が多い面であり、該面がセラミックス基板と接するように構成されていることを特徴とする割りベルトである。

また本発明は、割りベルトが、少なくとも合成樹脂シートからなり、前記織物である表面層が重ねて設けられる基材層をさらに含む無端状ベルトであり、前記表面層は、前記織物の経糸と緯糸とがそれぞれベルトの周回方向と幅方向とに沿うように配置されていることを特徴とする割りベルトである。

また本発明は、前記緯糸は、非弾性繊維から成る糸と前記弾性繊維を含む糸又は前記弾性繊維から成る糸とを含み、前記弾性繊維又は前記非弾性繊維の少なくともどちらか一方が異型断面形状を有し、前記弾性繊維はポリウレタン繊維であることを特徴とする割りベルトである。

また本発明は、上記の割りベルトを備え、割りベルトの前記表面層を分割溝が形成されたセラミック基板に当接させて複数のセラミックチップに分割することを特徴とするチップ分割装置である。

本発明によれば、ベルトは少なくとも弾性繊維を含む織糸で織られた織物を有して、前記セラミック基板に、前記織物の前記弾性繊維が接するように構成される。

織物に用いられる織糸にストレッチ性の弾性繊維から成る糸と、非弾性繊維から成る糸とを含む。ベルト表面には、織目、前記非弾性繊維から成る糸の変形または前記弾性繊維と前記非弾性繊維の断面形状の少なくともいずれかに起因する凹凸部分が形成され、前記凹凸部分のうちの凸部分が前記弾性繊維から成る。分割時に該凸部分が前記セラミック基板に接するように構成される。

凸部分が前記弾性繊維から成ることにより、セラミック基板表面との間に適度な摩擦力が生じ、弾性糸の変形により分割位置でのセラミック基板の横ずれを軽減でき、セラミック基板をシャープに分割することができるので歩留が向上する。さらにセラミック基板の分割溝に沿う様に他の糸よりも太い弾性繊維を設けることで糸の切断が抑制され、歩留が低下しないので、ベルトの交換時期が延びて長寿命化が達成できる。

また、セラミック基板に当接する表面に適度な凹凸を設けることができ、弾性糸から成る凸部分がセラミック基板表面に接触する部分に荷重が集中して割り溝での分割を確実に行うことができる。また、弾性糸の糸径の大きさや弾性糸を含む緯糸のピッチなどを調整することで、小サイズチップの分割にも対応することができる。さらに凸部分が弾性糸で構成され、該弾性糸が復元性を有していることでベルト上でのチップの食込みを防止し、ベルトへの付着を軽減することができ、ベルト上から容易にチップを取り外すことができる。

また本発明によれば、前記織物は、前記織物の前記セラミック基板に接する側の面であって、弾性繊維を含む糸又は弾性繊維から成る糸が少なくとも非弾性繊維の糸を２本以上乗越えて織られた織組織で構成し、織物の織糸である前記弾性繊維を含む糸又は弾性繊維から成る糸で弾性繊維の露出が多い面を、セラミック基板と接するように構成し、セラミック基板との間に容易に適度な摩擦力が生じさせることができ、セラミック基板のベルト搬送時のズレおよび分割時のズレを抑制でき、セラミック基板をシャープに分割することができる。

また本発明によれば、割りベルトは、合成樹脂シートから成る基材層に、織物から成る表面層が重ねて設けられた無端状ベルトであり、前記表面層は、前記織物の経糸と緯糸とがそれぞれベルトの周回方向と幅方向とに沿うように配置され、樹脂シートを基材としたことによりベルトの引張り強度を向上させている。

また本発明によれば、前記緯糸は、非弾性繊維から成る糸と前記弾性繊維から成る糸とを含むので、ベルトの幅方向への織物の伸縮が規制され、分割されたセラミックチップが表面層に噛み込まれることを防ぐことができる。また、基板の分割溝に沿う様に、緯糸として他の糸よりも太い弾性繊維が設けられており、これにより織糸の切断が抑制され長寿命化が可能となる。

さらに前記非弾性繊維又は弾性繊維が、異型断面形状を有する形状であるので、繊維形状による凹凸が形成でき小サイズのチップの分割を容易にし、且つ、弾性繊維にポリウレタン繊維を用いることで耐摩耗性を向上させてさらなる長寿命化が可能となる。

また本発明によれば、上記の割りベルトを備えることにより、セラミック基板をシャープに分割することができ、歩留が向上することができる分割装置を実現できる。

本発明の実施形態であるチップ分割装置１００の構成を示す概略図である。 チップ分割装置１００の分割領域近傍を示す拡大図である。 チップ分割ベルトの第１態様を示す断面図である。 チップ分割ベルトの第２態様を示す断面図である。 表面層１０Ｂに用いる織物３０の組織を説明するための図である。 セラミック基板Ｃを搬送している状態の下側ベルト２０を示す横断面図である。

図１は、本発明の実施形態であるチップ分割装置１００の構成を示す概略図である。チップ分割装置１００は、２つの割りベルトによって、割り溝が設けられたセラミック基板を挟み込み、セラミック基板を搬送しながらローラで加圧することにより、割り溝に沿って個別のセラミックチップに分割するものである。なお、チップ分割装置１００の構成は、既存の装置と同様の構成であり、チップ分割用ベルトに特徴を有するものであるので、装置全体の動作などについての詳細な説明は省略する。

チップ分割装置１００は、上下２つの部分からなり、上側には、上側チップ分割用無端状ベルト（以下では「上側ベルト」という）１０と、この上側ベルト１０を回転走行させるための駆動ローラ１１、アイドルローラ１２およびテンションローラ１３と、セラミック基板Ｃを加圧するための加圧ローラ１４とが設けられる。チップ分割装置１００の下側には、下側チップ分割用無端状ベルト（以下では「下側ベルト」という）２０と、この下側ベルト２０を回転走行させるための駆動ローラ２１、アイドルローラ２２およびテンションローラ２３と、加圧ローラ１４に対向して設けられる分割ローラ２４とが設けられる。

上側ベルト１０は、駆動ローラ１１、アイドルローラ１２およびテンションローラ１３に架張され、駆動ローラ１１によって与えられる回転駆動力によって上側ベルト１０が周回走行する。下側ベルト２０は、駆動ローラ２１、アイドルローラ２２およびテンションローラ２３に架張され、駆動ローラ２１によって与えられる回転駆動力によって下側ベルト２０が周回走行する。

加圧ローラ１４と分割ローラ２４とは互いに対向する位置に設けられ、上下２つのベルトが水平方向に平行に走行する搬送領域において、上下２つのベルトを上側と下側とから挟み込む。搬送領域では、下側ベルト２０上にセラミック基板Ｃが載置された状態で搬送され、加圧ローラ１４と分割ローラ２４とが設けられた分割位置でセラミック基板Ｃが上側ベルト１０と下側ベルト２０とに挟持された状態で、加圧ローラ１４によってセラミック基板Ｃに溝割りのための圧力が印加される。

図２は、チップ分割装置１００の分割領域近傍を示す拡大図である。割り溝が設けられたセラミック基板Ｃは、分割位置において上下のベルトに狭持された状態で加圧ローラ１４によって鉛直下方向きに圧力を受け、分割ローラ２４がこれを支持することにより力点Ｆに下向きの力が加わり、てこの原理によって作用点Ｗで上向きの力が生じるが、加圧ローラ１４によって作用点Ｗでの上向きの変位が抑制され、支点Ｏに力が集中する。搬送されるセラミック基板Ｃの割り溝が設けられた部分が支点Ｏに到達したとき、この割り溝に沿ってセラミック基板Ｃが割れる。割れた断面部分のエッジによって特に下側ベルト２０の表面に傷がつく。またベルトの粘着力またはグリップ力とチップ分割のための圧力によりベルトに凹みが生じてベルト表面に分割されたセラミックチップが噛み込んでしまい、ベルトから容易に剥離できなくなる。さらに分割時に生じる粉砕粉が、研磨剤となってベルト表面を削り取り、ベルトの寿命が低下する。

本発明のチップ分割用ベルトは、このような傷を生じ難くし、また分割されたセラミックチップの噛み込みによる付着を抑制して、さらには凹凸の凹み部および異型断面繊維の凹み部で粉砕粉を受ける構造とし、セラミック基板に接する凸部への影響を軽減し、分割不良を生じ難くするとともに、ベルトの長寿命化を達成しようとするものである。

図３は、チップ分割ベルトの第１態様を示す断面図である。上側ベルト１０と下側ベルト２０のうち少なくとも下側ベルト２０は、本発明のチップ分割用ベルトを使用する。上側ベルト１０は、本発明のチップ分割用ベルトを使用することが必須ではないが、本発明のチップ分割用ベルトを用いることがより好ましい。また、本発明のチップ分割用ベルトを上側ベルトに用いる場合は下側ベルトよりもベルト厚みを厚くすることがより好ましい。

図３では、本発明のチップ分割用ベルトを下側ベルト２０として説明する。第１態様の下側ベルト２０は、基材層２０Ａ、表面層２０Ｂおよび接着剤２０Ｃを有する。基材層２０Ａは、合成樹脂シートからなり、たとえばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンシ（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリ塩化ビニル、ポリイミド、アクリルニトリル、ポリカーボネート、ナイロンなどの合成樹脂をシート状に形成して得られる。

表面層２０Ｂは、織物から成る層であって、基材層２０Ａに重ねて設けられる。本発明は、セラミック基板Ｃと直接的に接触する表面層２０Ｂに織物を用いたことが特徴であり、さらに織物は、経糸と緯糸とがそれぞれベルトの周回方向と幅方向とに沿うように基材層２０Ａ表面に配置されており、織糸については、ストレッチ性の弾性繊維またはストレッチ性の弾性繊維から成る糸を含んでいる。

織物から成る表面層２０Ｂと合成樹脂シートから成る基材層２０Ａとは、接着剤２０Ｃによって接合されている。接着剤２０Ｃは、基材層２０Ａと表面層２０Ｂとを接合することが可能なものであればよく、特に限定されない。また、本実施形態では、接着剤による接合としたが、接合強度を十分に確保できれば、接着剤に限らず粘着剤を用いてもよい。

図４は、チップ分割ベルトの第２態様を示す断面図である。図４でも図３に示した第１態様と同様に、本発明のチップ分割用ベルトを下側ベルト２０として説明する。第２態様の下側ベルト２０は、基材層２０Ａ、表面層２０Ｂ、接着剤２０Ｃ、裏面層２０Ｄおよび接着剤２０Ｅを有する。第２態様の下側ベルト２０は、第１態様のベルトにさらに織物から成る裏面層２０Ｄを加えたものである。

第２態様における裏面層２０Ｄの織物は、表面層２０Ｂの織物と同じであってもよいが、セラミック基板Ｃと接触するものではないので、異なる織物であってもよい。裏面層２０Ｄは、駆動ローラ２１との摩擦力によって、駆動ローラ２１からの回転駆動力が伝達されるので、駆動ローラ２１と裏面層２０Ｄとの間に適度な摩擦抵抗を生じさせるものであればよい。したがって、摩擦抵抗が生じるのであれば、裏面層２０Ｄの織物は、非弾性糸のみから成るものであってもよく、経糸または緯糸に弾性糸を含むものであってもよい。さらに、裏面層２０Ｄの駆動ローラ２１と接する側の表面に、駆動ローラ２１との適度な摩擦抵抗を生じさせるためのコーティング処理などを施してもよい。

織物から成る裏面層２０Ｄと合成樹脂シートから成る基材層２０Ａとは、接着剤２０Ｅによって接合されている。接着剤２０Ｅは、接着剤２０Ｃと同じく基材層２０Ａと裏面層２０Ｄとを接合することが可能なものであればよく、特に限定されない。また、本実施形態では、接着剤による接合としたが、接合強度を十分に確保できれば、接着剤に限らず粘着剤を用いてもよい。

このように、第１，第２態様において、セラミック基板Ｃに当接する表面層２０Ｂについては織物からなり、この織物の織糸が弾性繊維を含むことで、セラミック基板Ｃ表面との間に適度な摩擦力が生じ、弾性糸の変形により分割位置でのセラミック基板の横ずれを軽減でき、セラミック基板Ｃを各割り溝でシャープに分割することができるので歩留が向上する。歩留が低下しないので、ベルトの交換時期が延びて長寿命化が達成できる。

図５は、表面層２０Ｂに用いる織物３０の組織を説明するための図である。図５（ａ）は、平面図であり、図５（ｂ）は背面図である。なお。図５では、セラミック基板Ｃに当接する側から見た図を平面図、平面図とは反対側、すなわち基材層２０Ａ側から見た図を底面図としている。また、紙面に向かって上下方向がベルトの周回方向（搬送方向）であり、左右方向がベルトの幅方向である。

織物３０を構成する織糸のうち、ベルトの搬送方向に沿った経糸３１には、非弾性繊維から成る糸であるマルチフィラメント糸を用いる。ベルトの幅方向に沿った緯糸３２には、弾性糸と非弾性糸であるマルチフィラメント糸とを組合わせて用いる。マルチフィラメント糸は、甘撚りされた糸から成り、該甘撚りされた糸が扁平状であるか、または該甘撚りされた糸を構成する繊維が広がるように構成され、糸径の太い弾性糸がセラミック基板と接するように構成される。

経糸３１および緯糸３２のマルチフィラメント糸は合成樹脂製であり、合成樹脂の種類は、チップ分割用ベルトに要求される特性を満たすように選択すればよい。一例として、経糸３１のマルチフィラメント糸がナイロン製であり、緯糸３２のマルチフィラメント糸がポリエステル製である。

経糸３１および緯糸３２に甘撚りされたマルチフィラメントの非弾性糸３２ｂを用いることで、ベルトの搬送方向および幅方向への伸縮を規制している。これにより、表面層２０Ｂが必要以上に伸縮しないので、分割されたセラミックチップが表面層２０Ｂに噛み込まれることを防ぐと同時に弾性糸がセラミックス基板と接することができる。また、経糸３１および緯糸３２は弾性糸３２ａより細い径であればモノフィラメントを用いても良い構成である。

非弾性糸とともに緯糸３２を構成する弾性糸３２ａは、合成樹脂製であり、弾性を有し、摩擦係数が０．５以上であれば特に樹脂の種類は限定されず、チップ分割用ベルトに要求される特性を満たすように選択すればよい。弾性糸の一例としては、ポリウレタン弾性糸を用いる。ポリウレタン樹脂は、耐摩耗性に優れ、ポリウレタン弾性糸を用いることで、さらにベルトの寿命を延ばすことができる。

さらに、織物３０の組織を、よこ二重織りとしている。よこ二重織りは、経糸３１が一重であり、緯糸３２が二重であって、緯糸３２の種類を変えることで、緯糸３２については、織物３０の表裏で露出する糸が異なる。織物３０の緯糸３２を、非弾性糸と弾性糸との二重糸としているので、織物３０の一方の表面には、弾性糸が多く露出し、織物３０の他方の表面には非弾性糸が多く露出する。表面層２０Ｂにおいて、弾性糸が多く露出する側の表面をセラミック基板Ｃに当接する側の表面とし、非弾性糸が多く露出する側の表面を基材層２０Ａの接合する側の表面とする。図５（ａ）の平面図に表れる側の表面では、緯糸３２として弾性糸３２ａが露出し、図５（ｂ）の底面図に表れる側の面では、緯糸３２として非弾性糸３２ｂが露出している。また、本発明のベルトは一重で構成しても良い構成である。

また、表面層２０Ｂの織物３０の織組織としては平織以外に綾織、繻子織さらには特殊な織組織でもよく、弾性繊維の露出が目的とする露出の程度となる織組織であれば良い。さらに繻子織に織られることがより好ましい。表面層２０Ｂのセラミック基板Ｃに当接する側の表面の摩擦係数が０．５以上となるように、織組織を適宜選択して織物３０を構成することが好ましい。

裏面層２０Ｄの織物については、ローラとの擦れにより糸が磨耗するためコーティング処理を施すことがより好ましい。さらに、比較的大きな摩擦係数を必要とする場合は裏面にも弾性糸を含ませ摩擦係数を向上させてもよい。

次に、本発明のチップ分割用ベルトに異型断面形状の弾性糸を用いた下側ベルト２０の場合について説明する。以下では下側ベルト２０が第２態様、すなわち裏面層を備える態様で説明するが、裏面層を備えない第１態様の下側ベルト２０も実施可能である。

図６は、セラミック基板Ｃを搬送している状態の下側ベルト２０を示す横断面図である。下側ベルト２０は、基材層２０Ａ、表面層２０Ｂ、接着剤２０Ｃ、裏面層２０Ｄおよび接着剤２０Ｅを有し、これらは、上記の基材層１０Ａ、表面層１０Ｂ、接着剤１０Ｃ、裏面層１０Ｄおよび接着剤１０Ｅとそれぞれ同様のものであるので説明は省略する。

割り溝が設けられたセラミック基板Ｃが直接的に載置される表面層２０Ｂは、織物４０からなり、織物４０は、非弾性糸から成る経糸４１と、非弾性糸および弾性糸から成る緯糸４２とから成る。

緯糸４２は二重糸であり、弾性糸および非弾性糸のいずれも、複数本の糸が面方向に並んで設けられる。弾性糸については、面方向にその断面形状がいわゆるメガネ型の異型断面形状となっている。このような異型断面形状の弾性糸は、紡糸時の口金の形状を所望の断面形状とすることで形成してもよく、また、複数本の弾性糸を溶着させて形成してもよい。なお、このように凹凸を形成する異型断面形状であれば良くメガネ型の形状以外の形状であってもよい。さらには、非弾性繊維の断面形状が、異型断面形状であってもよい。

ベルト表面、具体的には表面層の表面には、織目、非弾性糸の変形または弾性糸と非弾性糸の断面形状の違いの少なくともいずれかに起因する凹凸部分が形成される。さらに弾性糸が、上記のような異型断面形状を有することにより、表面層２０Ｂの表面には、弾性糸そのものによる小ピッチの凹凸と、織物の織組織による大ピッチの凹凸の２種類の凹凸が規則的に形成される。図２で説明したように、分割位置において、セラミック基板Ｃは、てこの原理によって割り溝で割れて個別のチップに分割されるが、分割時に生じるセラミック材料の粉体が、この凹凸の凹部に入り、セラミック基板Ｃの表面に力を作用させる凸部への粉体の付着を防止することができるので、安定した基板搬送とベルト表面の摩擦力を保つことができる。さらに、経糸４１には甘撚りされたマルチフィラメント糸を用いており、マルチフィラメント糸の各フィラメントがベルト幅方向に広がるので、織組織の凹部をより凹んだ状態にして弾性糸との段差をさらに大きくすることが可能となる。段差が大きいと、セラミック基板Ｃのエッジ部分が、凹部の経糸４１に接触する接触圧をより小さくすることができ、経糸４１の糸切れを防止することができる。

上側ベルト１０は、加圧ローラ１４によってセラミック基板Ｃの割り溝が設けられた側の表面に対して力を作用させ、このとき表面層１０Ｂの凸部分に力が集中する。また下側ベルト２０は、加圧ローラ１４によって加えられた力の反作用でセラミック基板Ｃの割り溝が無い側の表面に対して力を加えることになるが、このとき表面層２０Ｂの凸部分に力が集中する。

これら上下から加わる力によって、セラミック基板Ｃは割り溝で分割される。したがって、表面層１０Ｂ，２０Ｂの凸部分のピッチ、すなわち緯糸のピッチＰ１が、セラミック基板Ｃに設けられた割り溝のピッチＰ２よりも小さければ、てこの原理により確実に全ての割り溝でセラミック基板Ｃを分割することができるが、Ｐ１がＰ２よりも大きくなると、一部の割り溝には十分に力が作用せずに割れない溝が生じるおそれがある。本発明のベルトでは、非弾性繊維又は弾性糸が異型断面形状を有しており、緯糸内部でさらに小ピッチの凹凸が存在するので、この非弾性繊維又は弾性糸による凸部分によってセラミック基板Ｃに対して力を作用させることができる。非弾性繊維又は弾性糸による凸部分のピッチＰ３は、当然に緯糸のピッチＰ１よりも小さいので、セラミック基板Ｃに設けられた全ての割り溝に対してより確実に力を作用させることができ、分割不良の発生を抑制できる。

また、上下に本発明のベルトを用いて、てこの原理により割り溝に沿って分割を行う方法において、特に小サイズのチップ分割では、基板の割り溝が形成されていない側の面を支持する分割ローラ２４の径を小さくすることが好ましく、分割力が基板に作用し易いように下側ベルト２０の厚みを薄くすることが好ましい。さらに分割ローラ２４が支点となるため、上側ベルト１０は作用点となる領域を有するために下側ベルト２０よりも高い剛性が得られるように構成することがより好ましい。

本発明のベルトは基材層１０Ａ、２０Ａを容易に変更することが可能であり基材層２０Ａよりも基材層１０Ａを厚くすることで容易に上側ベルト１０の剛性を下側ベルト２０よりも高くすることができる。

さらに、非弾性繊維又は弾性糸による凹凸のピッチは、非弾性繊維又は弾性糸の糸径並みに小さくすることができるので、小サイズのチップであっても十分に分割することができる。

本発明の実施例のベルトと従来構成のベルトとの比較結果を表１に示す。
（実施例１）
表面層を構成する織物として、経糸にナイロン繊維から成る甘撚りされた非弾性糸であるマルチフィラメント糸を用い、緯糸には異型断面形状のウレタン弾性糸と、ポリエステル繊維から成る甘撚りされたマルチフィラメント糸との二重糸を用い、ニードル織機により所定の幅に製織した。

この織物の裏面に接着剤を介して織幅と約同等の幅のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム（厚み７５μｍ）を基材層として設け、さらに、接着剤を介して弾性糸を含まない繻子織から成る織物を裏面層として配置し、無端状のベルトを製作した。

（実施例２）
表面層を構成する織物として、経糸にナイロン繊維から成る甘撚りされた非弾性糸であるマルチフィラメント糸を用い、緯糸には異型断面形状のウレタン弾性糸と、ポリエステル繊維から成る甘撚りされたマルチフィラメント糸との二重糸を用い、ニードル織機により所定の幅に製織した。

この織物の裏面から合成樹脂材料のコート剤を塗布し、織物の経糸と緯糸とがずれ難いように構成した。

この織物の裏面に接着剤を介して織幅と約同等の幅のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム（厚み７５μｍ）を基材層として設け、さらに、接着剤を介して弾性糸を含まない繻子織から成る織物を裏面層として配置し、無端状のベルトを製作した。

（実施例３）
表面層を構成する織物として、経糸にナイロン繊維から成る甘撚りされた非弾性糸であるマルチフィラメント糸を用い、緯糸には異型断面形状のウレタン弾性糸と、ポリエステル繊維から成る甘撚りされたマルチフィラメント糸との二重糸を用い、ニードル織機により所定の幅に製織した。

この織物の裏面から合成樹脂材料のコート剤を塗布し、織物の経糸と緯糸とがずれ難いように構成した。

この織物の裏面に接着剤を介して織幅と約同等の幅のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム（厚み７５μｍ）を基材層として設け、さらに、接着剤を介して弾性糸を含まない平織から成る織物で実施例２の裏面層よりも厚みが薄い裏面層として配置し、無端状のベルトを製作した。

（実施例４）
表面層を構成する織物として、経糸に異型断面形状のウレタン弾性糸を用い、緯糸にはナイロン繊維から成る甘撚りされたマルチフィラメント糸を用い、ニードル織機により所定の幅に製織した。

この織物の表面からゴム材料のコート剤を塗布し、スキージを用いて織物の経糸と緯糸とが接着するように構成した。

この織物の裏面に接着剤を介して織幅と約同等の幅のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム（厚み７５μｍ）を基材層として設け、さらに、接着剤を介して弾性糸を含まない繻子織から成る織物を裏面層として配置し、無端状のベルトを製作した。

従来構成の成形品のベルトを比較例１，２とした。ゴム材料のコート剤を塗布しないこと以外は実施例４と同様にして、比較例３の無端状のベルトを製作した。

製作した実施例および比較例のベルトを用い、図１の構成であるチップ分割装置（図１参照）にて圧力０．１５ＭＰｓで、溝ピッチが０．５ｍｍ、幅１ｍｍの割り溝付きセラミック基板を分割した。

実施例および比較例について割れ易さ、割れ形状および寿命について評価した。
割れ易さについては、双子割れ以上のもの（２個以上のチップが連なった状態の不良）を×とし、全て問題無く分割されたものを○とした。割れ形状については、割り溝以外の箇所で割れたもの（形状不良）を×とし、全て溝に沿って割れたものを○として。寿命については、ベルトの同じ箇所にセラミック基板を通した回数が５０回未満で割れ形状に変化があったものを×とし、５０回以上２００回未満で割れ形状に変化があったものを△とし、２００回以上でも割れ形状に変化が無かったものを○とした。

表１に示すように実施例１〜４は全て割れ易さ、割れ形状、寿命が問題の無い結果となった。さらに圧力を下げて確認した結果、従来ベルトと比較するとより低い圧力でも分割が可能であることが確認された。

実施例１では緯糸に異型断面形状のポリウレタン弾性糸と幅方向への伸縮を規制する非弾性糸であるポリエステル繊維のマルチフィラメント糸を用い、経糸とのずれ防止の措置を施していない状態であってもポリウレタン弾性糸の搬送方向へのズレは見られたがチップ割れの状態については問題の無い結果となった。

実施例２では実施例１の弾性糸の搬送方向へのずれを規制する目的として織物の裏面からコーティングを行った結果、ずれが抑制され且つベルトの同じ位置にて繰返し分割を行ってもベルト表面の変化が少ない結果となった。

実施例３では圧力の伝達を良くする目的でベルトの厚みを薄くするために裏面層の織物を、甘撚りされたマルチフィラメント糸を経糸と緯糸に用いた平織で構成し、織物の厚みを０．１ｍｍ以下になるよう構成した。その結果、実施例２よりもよりシャープに分割することができた。

実施例４ではセラミック基板と接する表面からゴム材料のコーティング剤を塗布して経糸と緯糸をより接着するようにしたものである。比較例３は、この比較としてコーティング剤を塗布していないものである。比較例３は、セラミック基板をベルトの同じ箇所で１０回程度繰返し通して分割させただけでポリウレタン弾性糸が切断され、さらには切断が繰り返されることで小さくウレタン繊維が切断されて経糸のウレタン繊維が欠落し、チップ割れ形状が著しく変化することが確認された。

これに対し、実施例４ではポリウレタン弾性糸に切断が生じてもコーティング剤によって保持され、ウレタン繊維の欠落はなくチップ割れ形状は良好な結果となった。

また、従来の成形品である比較例１，２は、剛性を向上させたベルトである比較例１の摩擦係数が低く、チップの割れ形状が良好ではなかった。また、摩擦係数の高い比較例２は、良好な結果となっているが、必要最低圧力は０．１５ＭＰｓと高い結果となった。

上記の実施例より表面層の織物は、基板の分割性および製造工程などを考慮した場合には経糸に弾性糸を用いるよりも緯糸に用いるのがより好ましいことがわかった。

織物に対するコーティング処理についてはコーティング処理無しよりもコーティング処理有りの方が好ましく、擦れなどによる糸ズレ、糸切れに対してより好ましい。

また、コーティング剤については織物の裏面からコーティングする場合は樹脂材料が好ましく表面側からコーティングする場合はゴム材料が好ましい。

さらに実施例には記載していないが中間層の合成樹脂シートの厚みが薄過ぎると分割時に樹脂シートに変形が生じるため適度の変形の生じ難い厚みにすることが好ましい。

以上のように、本発明の割りベルトは、従来の成型品から成るゴムベルトと比較して、より機能の向上を図ることが出来、且つ、従来に無い割りベルトとなっている。さらにはこのようにベルトの表面に、従来には無い凹凸部分を形成し、且つ、摩擦係数を有するベルトを構成していることより、他の産業分野への転用も可能としているベルトである。

１０ 上側チップ分割用無端状ベルト
１１ 駆動ローラ
１２ アイドルローラ
１３ テンションローラ
１４ 加圧ローラ
２０ 下側チップ分割用無端状ベルト
２０Ａ 基材層
２０Ｂ 表面層
２０Ｃ 接着剤
２０Ｄ 裏面層
２０Ｅ 接着剤
２１ 駆動ローラ
２２ アイドルローラ
２３ テンションローラ
２４ 分割ローラ
３０，４０ 織物
３１，４１ 経糸
３２，４２ 緯糸
３２ａ 異型断面の弾性糸の緯糸
３２ｂ 非弾性糸の緯糸
１００ チップ分割装置
Ｃ セラミック基板

Claims (6)

1. 分割溝が形成されたセラミック基板を分割する割りベルトにおいて、ベルトは少なくとも弾性繊維を含む織糸で織られた織物を有し、前記セラミック基板に、前記織物の前記弾性繊維が接するように構成したことを特徴とする割りベルト。
2. 前記織物は、少なくとも前記弾性繊維を含む糸又は前記弾性繊維から成る糸を含み、且つ、非弾性繊維から成る糸を含む複数の糸より織られた織物であり、前記非弾性繊維から成る糸は、モノフィラメントまたはマルチフィラメントの糸から成り、該非弾性繊維から成る糸は前記弾性繊維から成る糸よりも細く、または前記非弾性繊維から成る糸が甘撚りされ前記非弾性繊維から成る糸が扁平し前記非弾性繊維が広がるように構成され前記弾性繊維を含む糸又は前記弾性繊維から成る糸よりも厚み方向に薄く構成され、且つ、前記弾性繊維が、前記非弾性繊維よりも太い繊維径を有し、ベルト表面には、織目、前記非弾性繊維から成る糸の変形または前記弾性繊維と前記非弾性繊維の断面形状の少なくともいずれかに起因する凹凸部分が形成され、前記凹凸部分のうちの凸部分が前記弾性繊維から成り、該凸部分が前記セラミック基板に接するように構成されることを特徴とする請求項１記載の割りベルト。
3. 前記織物は、前記織物の前記セラミック基板に接する側の面が、前記弾性繊維を含む糸又は前記弾性繊維から成る糸が少なくとも非弾性繊維の糸を２本以上乗越えて織られた織組織で構成され、織物の織糸である前記弾性繊維を含む糸又は前記弾性繊維から成る糸の露出が多い面であり、該面がセラミックス基板と接するように構成されていることを特徴とする請求項１または２記載の割りベルト。
4. 割りベルトは、少なくとも合成樹脂シートからなり、前記織物である表面層が重ねて設けられる基材層をさらに含む無端状ベルトであり、前記表面層は、前記織物の経糸と緯糸とがそれぞれベルトの周回方向と幅方向とに沿うように配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の割りベルト。
5. 前記緯糸は、非弾性繊維から成る糸と前記弾性繊維を含む糸又は前記弾性繊維から成る糸とを含み、前記弾性繊維又は前記非弾性繊維の少なくともどちらか一方が異型断面形状を有し、前記弾性繊維はポリウレタン繊維であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の割りベルト。
6. 請求項１〜５のいずれか１つに記載の割りベルトを備え、割りベルトの前記表面層を分割溝が形成されたセラミック基板に当接させて複数のセラミックチップに分割することを特徴とするチップ分割装置。

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