JP5554136B2

JP5554136B2 - 監視システム及び監視方法

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Publication number: JP5554136B2
Application number: JP2010105566A
Authority: JP
Inventors: 健司尾崎; 晃生隅田; 俊一郎牧野
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2010-04-30
Filing date: 2010-04-30
Publication date: 2014-07-23
Anticipated expiration: 2030-04-30
Also published as: JP2011233108A

Description

本発明は、プラント及びプラントを構成する機器等の運転状況や状態を監視するための監視システム及び監視方法に関する。

プラント及びプラントを構成する機器、配管など、プラント機器における異常の発生を早期に検知し、それに適正に対応、処置することにより健全性を確保することを目的として、機器等の振動やプロセス値など、運転状況、状態をオンラインで常時監視したり、あるいはオフラインで定期的に監視したりすることが行われている。

オンラインでの監視の場合、監視対象物に検出器を設置すると共に、検出器から中央制御室等に設置されているデータ収集監視装置まで信号ケーブルを敷設し、検出器の検出データをデータ収集監視装置に送信して保存、解析処理を行うことで監視を行ったり、またプラント内に設置されているＰＨＳ（ＰｅｒｓｏｎａｌＨａｎｄｙ−ｐｈｏｎｅＳｙｓｔｅｍ）等の電話通信回線を利用した遠隔監視を行ったりもしている。一方、オフライン監視の場合は、点検員が携帯型記録端末装置を携行し、監視対象物が設置された現場で計器の読み値を記録したり、検出器を仮設して携帯型記録端末装置に記録したりすることが行われている。

そして、上記のような監視を行う中で、機器等の振動を計測し、予め設定した監視閾値と計測データとの比較を行うことで、機器等に発生した異常を早期に検知し、場合によっては振動データを詳細に分析し、評価して異常事象の原因の解析を行い、対策を検討することが行われている。

しかし、オンラインでの監視では、検出器とデータ収集監視装置とが信号ケーブルで接続されているため、監視する範囲や数が限られてしまい、監視点数が多かったり、広範囲の監視を必要としたりする場合は、監視システムの規模を大規模なものにしなければならなくなる。また、ＰＨＳ等の電話通信回線を利用する場合においては、本来の目的がプラント内等での通話を主とするものであるから回線数が限られており、データ通信で占有することは望ましくなく、さらに、多数の検出器を設置するために、検出器と設置場所とを関連付ける関連付け作業におけるミスが発生する虞があった。

こうした点を解決するため、例えば、センサと小型の無線通信機を組み合わせた無線センサと呼ばれるデータ収録器を多数配置し、無線伝送によりデータを収集するシステムが考えられる（例えば、特許文献１参照）。この無線伝送によるデータ収集システムでは、無線によるデータ収集であるため、各センサからデータを収集するためのケーブルの敷設を必要とせず、広範囲の監視と監視点数を多数とすることが可能となる。

また、オフラインの監視でも、点検員の巡視による場合で計測すべき対象が多く広範囲に分布しているときには、予め監視対象の機器等に無線センサを設置しておき、巡回中に点検員が無線センサに近づいた時に、点検員が携帯している記録端末装置が自動的にデータを受信するようにすることが考えられる（例えば、特許文献２参照）。

そして、こうした監視で用いられる無線センサは、電池を搭載して電源としたり、あるいは外部エネルギを変換して電源としたりすることが大部分で、電池電源の場合には、電池の容量に制限があるために電池交換が必要となってくる。また外部エネルギを変換する電源の場合にも、十分な電源容量を確保するために変換部を大型化する必要があったり、発電容量が不足していたりする。こうしたことを解消すべく、無線センサの省電力化や発電機能を持つセンサとすることが考えられる（例えば、特許文献３参照）。

特開２００５−１６４３１５号公報特開２００５−３０８５４０号公報特開２００８−２９２３１９号公報

上述したように、無線センサは、ケーブル敷設が不要で、低コストで設置でき、ケーブルがないために設置の自由度が高く、設置が容易であるが、電源確保に課題があり、センサの動作制御による省電力化や発電機能を持たせることが考えられている。しかし、設置対象機器の振動による振動発電では、機器の振動値が小さいと十分な発電ができず、電源を確保することができない虞が生じる。

また、振動計測による機器の診断を考えた場合、診断の精度をあげるためには、振動データのサンプリング周波数を高くする、Ａ／Ｄ変換のビット数を上げる、収録する時間（データ量）を多くすることが望まれる。このような場合、無線センサの電子回路には処理能力の高い電子部品等が必要になるが、一般に処理能力が高くなるほど電子部品等の消費電力は大きくなってしまう傾向があり、より大きな容量の電源を確保しなければならなくなる。

一方、無線センサを用いた監視システムでは、膨大な数の無線センサを設置することができるものの、それぞれの無線センサが正常に機能しているか否か、無線センサの動作確認を遠隔的に行えるようにする必要がある。

こうした状況に鑑みて本発明はなされたもので、その目的とするところは、無線センサにおいて、電子回路の省電力化を図ることができると共に発電手段を設け、電源用の電池の交換等を不要としながら継続動作させることができる監視システム及び監視方法を提供することにある。

この発明は上記目的を達成するものであって、監視システムは、プラント機器に設置したセンサによって計測した振動データに基づいて、前記プラント機器の状態を監視装置で判断する監視システムであって、少なくとも１つ以上の前記センサを設けて前記プラント機器の振動を検出し、計測する計測手段と、前記プラント機器の振動により発電する発電手段が設けられた発電部からの電力供給を受けて前記計測手段で計測した振動データを収録する記録部を有すると共に、前記監視装置との間で、該監視装置からの制御信号のもとに前記記録部に収録した振動データを無線通信によって送受信する無線送受信部を有し、かつ前記センサより低い周波数の振動を検知する振動検知センサを設けて前記発電手段に加わる振動を計測する検知手段を有し、該検知手段の計測データに基づいて振動データの収録を開始する収録装置を備えている。

また、監視方法は、プラント機器の通常運転時の振動により発電した電力の供給を受けることで検知手段及び計測手段の電子回路を動作させながら、該プラント機器の状態の監視を行う監視方法であって、前記プラント機器の振動を定期的に振動検知センサで計測し、計測で得た前記検知手段の計測データと予め設定した閾値とを比較し、計測データが閾値を超えた時点で、前記振動検知センサより高い周波数の振動を計測するセンサにより前記プラント機器の振動の計測を開始し、前記センサで計測して得た前記計測手段の振動データを予め設定した判断基準に基づいて判断することにより前記プラント機器の状態の監視を行う。

本発明によれば、無線センサにおいて、電子回路の省電力化を図ることができ、無線センサに設けた発電手段で継続動作させることができ、電源用電池の交換等も不要とすることができる。

本発明の第１の実施形態の監視システムを示す構成図である。図１に示す監視システムにおける収録装置のブロック図である。図２に示す収録装置における発電部の正面図である。図１に示す監視システムにおける収録装置の変形形態のブロック図である。図４に示す収録装置の変形形態における発電部の正面図である。本発明の第２の実施形態の監視システムを示す構成図である。

以下本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。

（第１の実施形態）
先ず本発明の第１の実施形態を図１乃至図３により説明する。また、本実施形態における収録装置の変形形態を図４及び図５により説明する。

図１乃至図３に示すように、第１の実施形態の監視システム１は、監視対象である図示しないプラントの機器、配管などのプラント機器Ａ、例えば回転機器に設置され、振動Ｙ１を計測する少なくとも１つの計測手段のセンサ２と、センサ２の計測した振動データ等を収録する少なくとも１つの収録装置３とで無線センサが構成されている。

さらに、監視システム１には、収録装置３と無線通信を行う無線送受信部（不図示）が設けられた情報伝送装置である基地局４と、基地局４を介して制御信号を送受信して収録装置３の動作制御を行うと共に収録装置３が収録した振動データ等の入力を受け、入力した振動データ等と、記憶部（不図示）に予め設定されて記憶されている判断基準、例えば警報となるレベルであるか否かの基準に基づいてプラント機器Ａの状態を判断部（不図示）で判断する監視装置５を備えるようにして構成されている。なお、監視装置５は、判断結果や入力した振動データ等を点検者が確認することができるように、表示部等の確認手段を設けてもよい。

無線センサを構成する収録装置３は、収録装置３を制御するＣＰＵ（中央演算装置）６と、収録装置３が収録した振動データや予め設定された制御プログラム、収録装置３の識別ＩＤ、収録装置３の動作のトリガーとなる閾値を保存する記録部７と、センサ２が計測した振動Ｙ１のアナログ信号をデジタル信号へ変換する計測手段を構成する第１のＡ／Ｄ変換部８と、基地局４を介して監視装置５と、あるいは他の収録装置３との無線通信を行う無線送受信部９と、動作時刻を管理する計時部１０と、収録装置３を動作させるための電力を供給する電源部１１を備えている。

さらに収録装置３には、電源部１１に電力を供給する発電部１２を備えている。なお、電源部１１には、バッテリ等を備えた電源（不図示）が設けられており、発電部１２で発電した電力が蓄えられるようになっている。

また、発電部１２は、例えば角棒状に形成した圧電体１３を発電手段とし、プラント機器Ａの振動によって発電するようにしている。圧電体１３は、監視対象のプラント機器Ａの表面に設置したセンサケース１４に設けた支持台１５上に片端部（根元部）が固定され、片支持梁状態に取り付けられており、さらに自由端である他端部（先端部）には所定質量のおもり１６が固着されている。

またさらに、おもり１６の上には、おもり１６の振動Ｙ２を検出し、計測する検知手段の振動検知センサ１７が固着されている。なお、振動検知センサ１７が検出し計測した振動Ｙ２のアナログ信号をデジタル信号へ変換する検知手段を構成する第２のＡ／Ｄ変換部１８が、収録装置３には設けられている。またプラント機器Ａの振動Ｙ１を計測するセンサ２も、例えばセンサケース１４に取り付けられていることによって、センサケース１４をプラント機器Ａに固着することでプラント機器Ａへの設置が行われる。

発電部１２の圧電体１３については、例えば回転機器であるプラント機器Ａの振動による発電効率をよくするために、例えばプラント機器Ａで通常の運転時に発生する振動周波数と固有振動数とが一致するように、その寸法や固着するおもり１６の重量の調整がなされている。また圧電体１３の寸法等の調整については、場合によって、プラント機器Ａに劣化や異常が生じた際に発生する振動周波数を予め把握しておき、その振動周波数と固有振動数とが一致するようにし、プラント機器Ａの劣化や異常を明確にするようにしてもよい。

基地局４については、不図示の無線送受信部の他に、図示しないが、監視装置５と収録装置３との間で収録装置３の動作を制御する制御信号、収録装置３が収録した振動データ等の送受を行うための送受信部と、無線通信等の動作を制御するためのプログラムや、基地局４を識別する識別ＩＤ、通信する振動データや収録装置３の情報を一時的に保持するための記録部を備え、さらに収録装置３と同様に動作時刻を管理するための計時部を備えている。

そして、このように構成された監視システム１での監視は、例えば、先ず点検員が携行して監視のための移動が可能であるように、例えば一体に、あるいは一体とすることが可能な形態、両者を同時携帯可能な形態をしている基地局４と監視装置５を、携行して監視域に移動する。なお、基地局４と監視装置５には、携行可能とするためにバッテリ等の電源が内蔵されている。

点検員が基地局４と監視装置５を携行し、移動することによって基地局４と収録装置３との無線通信が可能な範囲に入ると、基地局４と収録装置３の間での通信が自動的に、あるいは手動で行われるようになり、監視装置５が出力する制御信号の送受信、収録装置３が収録した振動データ等の送受が行われる。これによって得られた振動データ等に基づいて、監視装置５でのプラント機器Ａの状態の判断が実行される。

なお、基地局４、監視装置５をプラント等の中央制御室、事務所などに据え置いた状態で、外部電源を用いて基地局４の無線通信能力を増し、通信可能範囲を拡大させプラント全体をカバー可能なものとすれば、随時、遠隔地から各プラント機器Ａの状態を、それぞれの振動データ等を集中して得て判断することができ、さらに、プラントあるいは各プラント機器Ａの運転スケジュールを基づいて、各プラント機器Ａの状態を把握することができる。

また、プラント機器Ａに設置され、プラント機器Ａの振動Ｙ１を計測するセンサ２と、圧電体１３に固着したおもり１６の振動Ｙ２を計測する振動検知センサ１７の機能については、例えば２種類の振動計測用センサのセンサ２と振動検知センサ１７を用いて、プラント機器Ａの回転機器の振動監視を行う場合について説明する。

一般に、回転機器においては、軸の回転により振動が発生するが、軸受や回転軸、その他支持状態の変化などにより振動レベルや発生する振動周波数が変化することが知られており、加速度計等の振動計を用いて異常の検知が行われている。振動周波数は、数百Ｈｚまでの場合もあるが、転がり軸受の劣化検知等には数十ｋＨｚまでの計測が必要とされている。そして、数十ｋＨｚの振動を計測して精度の高い診断をするためには、この周波数に対応できるセンサやＡ／Ｄ変換器が必要になり、比較的消費電力の多い電子部品等を用いているＡ／Ｄ変換器を動作させることになるために消費電力が多くなってしまう。

こうした状況であるから、プラント機器Ａの振動の増加を検知するためには、Ａ／Ｄ変換器の消費電力が比較的少なくてすむ１ｋＨｚ程度の低い周波数を検知できるセンサを振動検知センサ１７として用いる。またプラント機器Ａの状態を判断するための振動Ｙ１を計測するセンサ２には、振動検知センサ１７が検知する周波数よりも高い周波数である数十ｋＨｚの振動を計測するセンサを用いると共に、Ａ／Ｄ変換器には、消費電力が振動検知センサ１７に用いる第２のＡ／Ｄ変換器１８よりも大きい第１のＡ／Ｄ変換器８を用いる。

すなわち、プラント機器Ａの振動増加の検知は、消費電力が比較的少なくてすむ低い周波数を検知する振動検知センサ１７と第２のＡ／Ｄ変換器１８の検知手段で行い、プラント機器Ａの状態を判断するための振動の計測は、検知手段よりも消費電力が多い高い周波数の計測が行えるセンサ２と第１のＡ／Ｄ変換器８の計測手段で行うようにする。

そして、プラント機器Ａの状態判断の過程は、先ず、圧電体１３の振動しやすい先端部に固着されたおもり１６に固着してプラント機器Ａに設置した検知手段の振動検知センサ１７により、プラント機器Ａの通常運転時の振動Ｙ２を設定されたプログラムに従い定期的に計測する。

次に、定期的に計測した振動検知センサ１７の計測データを、検知手段を構成する第２のＡ／Ｄ変換部１８でアナログ信号をデジタル信号へと変換し、収録装置３の記録部７に保存されている予め設定した閾値と比較部（不図示）で比較し、計測データが閾値を超えなかった場合には、そのまま計測を継続する。また計測データが閾値を超えた場合には、計測手段のセンサ２によりプラント機器Ａの振動Ｙ１を計測する。

さらに、センサ２の計測した振動Ｙ１の振動データは、収録装置３に入力されて計測手段を構成する第１のＡ／Ｄ変換部８でアナログ信号がデジタル信号へと変換され、収録開始時間と共に記録部７に収録、保存される。記録部７では、振動Ｙ１の振動データのピーク値や複数回の入力のうちのピーク値が最大となった時の振動データも保存される。また保存された振動データ等は無線通信により基地局４を介して監視装置５に出力される。そして、監視装置５では、入力した振動データと、記憶部に予め設定されて記憶されている判断基準に基づいてプラント機器Ａの状態を判断部で判断する。

また、プラント機器Ａの状態監視のために収録装置３で消費する電力は、プラント機器Ａの通常運転時の振動により発電部１２の発電手段である圧電体１６で発電した電力が、電源部１１のバッテリ等の電源に蓄えながら供給される。

以上の通り本実施形態を構成し、監視対象のプラント機器Ａにセンサ２と収録装置３を設置し、プラント機器Ａの通常運転時の振動により発電部１２の発電手段で発電した電力を供給して、常時、プラント機器Ａの定期的な振動のチェックを低消費電力ですむ検知手段の振動検知センサ１７で計測した計測データと閾値とを比較して行い、振動検知センサ１７で計測した計測データが閾値を超えた時点で、計測手段のセンサ２によるプラント機器Ａの振動Ｙ１の計測を行い、振動データを収録、保存すると共に、例えば点検員が基地局４と監視装置５を携行して無線通信が可能範囲に入れば、収録装置３と基地局４を介しての監視装置５との情報の送受信が行われ、プラント機器Ａの状態の判断が、監視装置５において振動Ｙ１の振動データを判断基準に基づく判断によりなされるようにしたので、センサ２、収録装置３で構成される無線センサの消費電力を少なくすることができる。また、プラント機器Ａの状態監視に要する電力供給も、取替えを要する電池や外部電源を用いることなく行うことができ、常時プラント機器Ａの振動データを収録、保存して、プラント機器Ａの運転状況と共に状態の監視を容易に実行することができる。

なお、本実施形態におけるセンサ２や振動検知センサ１７の校正を行うために、図４及び図５に示す変形形態のように構成してもよい。

すなわち、収録装置３ａは、監視装置５からの制御信号を受け圧電体１３に振動Ｙを発生させる電圧入力部１９を振動生起手段として備えており、センサ２や振動検知センサ１７の校正は、先ず監視装置５から電圧入力動作を行う電圧入力動作制御信号を、基地局４を介して収録装置３ａに送信することにより行われる。電圧入力動作制御信号を受信した収録装置３ａでは、受信した電圧入力動作制御信号に基づき電圧入力部１９が圧電体１３に所定の校正用の電圧を印加し、圧電体１３に校正用の振動Ｙを生起させる。

圧電体１３が校正用の振動Ｙで振動することで、振動検知センサ１７が振動Ｙに対応する計測データを出力し、またセンサ２も対応する振動データを出力する。出力された各データは、それぞれ第１のＡ／Ｄ変換部８、第２のＡ／Ｄ変換部１８でＡ／Ｄ変換がなされ、記録部７に収録、保存され、さらに無線送受信部９から送信され、基地局４経由で監視装置５に伝送される。

そして監視装置５では、伝送された対応の計測データや振動データの振動波形を確認し、両センサ２，１７が正常に動作しているか否かの動作確認がなされる。また、このとき、センサ２や振動検知センサ１７における入力する電圧信号により発生する振動信号レベルを予め計測し、これを基準振動信号レベルとして記憶させておくことにより、予め得ていた基準振動信号レベルと今回測定して得た振動信号レベルを比較することで、両センサ２，１７における感度変化の有無を確認することができる。この感度変化の有無の確認で信号レベルに変化がある場合には、予め得ていた基準振動信号レベルになるように補正を加えることで、変化があったセンサの校正を行うことができ、さらに、記憶された基準振動信号レベルに基づいて、自動センサ校正を行わせることができる。

以上のように、本変形形態のように構成することで、上述の本実施形態と同様の効果が得られると共に、センサ２や振動検知センサ１７の感度変化の有無の確認や校正を行うことができる。

なおまた、本実施形態では振動Ｙ１を計測するセンサ２のみを設けたが、他にプラント機器Ａの状態を判断するために、温度や圧力などを計測する他のセンサを設置するようにしてもよい。

（第２の実施形態）
次に本発明の第２の実施形態を図６により説明する。なお、第１の実施形態と同一の部分には同一符号を付して説明を省略し、第１の実施形態と異なる本実施形態の構成について説明する。

図６に示すように、第２の実施形態の監視システム２１は、監視対象である図示しないプラントのプラント機器Ａに設置され、振動Ｙ１を計測するセンサ２と、振動検知センサ１７で通常運転時の振動Ｙ２を定期的に計測し、計測データが閾値を超えた際にセンサ２の計測した振動データ等を収録、保存する収録装置３と、収録装置３と無線通信を行う基地局４と、入力した収録装置３が収録した振動データ等を判断基準に照らしプラント機器Ａの状態を判断する監視装置５と、少なくとも１つの基地局４と監視装置５とを接続して振動データ等を伝送する、例えばプラント内の有線ＬＡＮ（ＬｏｃａｌＡｒｅａＮｅｔｗｏｒｋ）等の通信回線２２を備えて構成されている。

このように構成された監視システム２１では、複数の基地局４によって複数の無線通信が可能な範囲を分担し、各範囲にある通信回線２２の接続箇所に接続することで、各範囲にある複数の収録装置３から得た対応するプラント機器Ａの振動データ等を伝送し、１つの監視装置５に集中させるようになっている。そして監視装置５では、伝送された振動データ等を判断基準に基づいて判断し、各プラント機器Ａの運転状況と共に状態を監視することができるようになっている。

その結果、本実施形態においても第１の実施形態と同様の効果を得ることができ、また基地局４の無線通信可能範囲を大きくしなくても、１つの監視装置５で集中してプラント内の各プラント機器Ａの運転状況と状態を監視することができる。

１，２１…監視システム、２…センサ、３，３ａ…収録装置、４…基地局、５…監視装置、６…ＣＰＵ、７…記録部、８…第１のＡ／Ｄ変換器、９…無線送受信部、１０…計時部、１１…電源部、１２…発電部、１３…圧電体、１４…センサケース、１５…支持台、１６…おもり、１７…振動検知センサ、１８…第２のＡ／Ｄ変換器、１９…電圧入力部、２２…通信回線

Claims

プラント機器に設置したセンサによって計測した振動データに基づいて、前記プラント機器の状態を監視装置で判断する監視システムであって、
少なくとも１つ以上の前記センサを設けて前記プラント機器の振動を検出し、計測する計測手段と、
前記プラント機器の振動により発電する発電手段が設けられた発電部からの電力供給を受けて前記計測手段で計測した振動データを収録する記録部を有すると共に、前記監視装置との間で、該監視装置からの制御信号のもとに前記記録部に収録した振動データを無線通信によって送受信する無線送受信部を有し、かつ前記センサより低い周波数の振動を検知する振動検知センサを設けて前記発電手段に加わる振動を計測する検知手段を有し、該検知手段の計測データに基づいて振動データの収録を開始する収録装置を備えていることを特徴とする監視システム。
前記発電手段が圧電体によるものであり、前記圧電体の固有振動数と前記プラント機器の運転により発生する振動周波数とが等しいことを特徴とする請求項１記載の監視システム。
前記発電手段が圧電体によるものであり、前記圧電体の固有振動数と前記プラント機器の異常時に発生する振動周波数とが等しいことを特徴とする請求項１または請求項２記載の監視システム。
前記発電手段に設置した前記振動検知センサが、前記プラント機器の異常を検知するために予め設定した閾値を超える振動を検知した場合に、前記プラント機器の振動を前記センサにより計測した振動データを前記記録部に収録することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の監視システム。
前記振動検知センサが、前記プラント機器の異常を検知するために予め設定した閾値を超える振動を検知した場合に、前記記録部に振動データの収録開始時間と振動データのピーク値を保持すると共に、複数回の入力のうちのピーク値が最大となったときの振動データを前記記録部に保持することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の監視システム。
プラントまたは前記プラント機器の運転スケジュールに基づいて、該プラント機器の振動を前記収録装置に収録することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の監視システム。
前記監視装置と前記収録装置との無線通信を行う基地局が備えられ、前記基地局を中継して前記収録装置が、他の収録装置との間で無線通信により情報伝送することを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の機器監視システム。
前記収録装置が、前記発電部に振動を発生させる振動生起手段を有することを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の監視システム。
前記振動生起手段により発生した振動を、前記センサまたは前記振動検知センサにより計測し、前記センサまたは前記振動検知センサの動作確認を行うことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の監視システム。
前記振動生起手段により発生した振動を、前記センサまたは前記振動検知センサにより計測し、前記センサまたは前記振動検知センサによって収録した各振動信号レベルと、予め用意された基準振動信号レベルとを比較して、前記センサまたは前記振動検知センサの校正を行うことを特徴とする請求項９記載の監視システム。
プラント機器の通常運転時の振動により発電した電力の供給を受けることで検知手段及び計測手段の電子回路を動作させながら、該プラント機器の状態の監視を行う監視方法であって、
前記プラント機器の振動を定期的に振動検知センサで計測し、計測で得た前記検知手段の計測データと予め設定した閾値とを比較し、計測データが閾値を超えた時点で、前記振動検知センサより高い周波数の振動を計測するセンサにより前記プラント機器の振動の計測を開始し、前記センサで計測して得た前記計測手段の振動データを予め設定した判断基準に基づいて判断することにより前記プラント機器の状態の監視を行うようにしたことを特徴とする監視方法。