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JP5503048B2 - Semiconductor integrated circuit having power controllable region - Google Patents

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JP5503048B2 JP2013085356A JP2013085356A JP5503048B2 JP 5503048 B2 JP5503048 B2 JP 5503048B2 JP 2013085356 A JP2013085356 A JP 2013085356A JP 2013085356 A JP2013085356 A JP 2013085356A JP 5503048 B2 JP5503048 B2 JP 5503048B2
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Description

本発明は、電源制御可能領域を有する半導体集積回路に関する。詳しくは、電源をON/OFF制御できる領域を有する半導体集積回路において、テスト回路を組み込んだ半導体集積回路およびその設計法に関する。   The present invention relates to a semiconductor integrated circuit having a power controllable region. Specifically, the present invention relates to a semiconductor integrated circuit in which a test circuit is incorporated in a semiconductor integrated circuit having a region where power supply can be controlled on and off, and a design method thereof.

近年、電子機器の低消費電力化が強く要請されていることから、電源制御機能を有する半導体集積回路の利用が進んでいる。図14は、電源制御可能領域を有する半導体集積回路のレイアウト図である。半導体集積回路10には、PAD供給電源としての電源VDDと、PAD供給GNDとしての接地電源GNDと、が配線されている。そして、半導体集積回路10は、常時電源ONである常時ON領域11と、電源制御によって電源ON/OFF可能な電源制御可能領域12と、を有している。電源制御可能領域12には供給電源として電源VSDが配線されており、電源制御可能領域12はこの電源VSDからの供給電源によって動作する。電源VDDと電源VSDとの間には電源制御スイッチ13A、13Bが設けられ、電源制御可能領域12の外部から入力される電源制御信号CTLによって電源制御スイッチ13A、13BはON/OFF制御される。   In recent years, there has been a strong demand for low power consumption of electronic devices, and therefore, semiconductor integrated circuits having a power supply control function are being used. FIG. 14 is a layout diagram of a semiconductor integrated circuit having a power controllable region. The semiconductor integrated circuit 10 is wired with a power supply VDD as a PAD supply power supply and a ground power supply GND as a PAD supply GND. The semiconductor integrated circuit 10 has an always-on area 11 in which the power is always on, and a power controllable area 12 in which the power can be turned on / off by power control. A power supply VSD is wired as a power supply in the power controllable area 12, and the power controllable area 12 is operated by the power supply from the power supply VSD. Power supply control switches 13A and 13B are provided between the power supply VDD and the power supply VSD, and the power supply control switches 13A and 13B are ON / OFF controlled by a power supply control signal CTL input from the outside of the power supply controllable region 12.

図15は、電源制御の回路図である。電源VDDと電源VSDとの間に複数の半導体スイッチ14(ここではpMOSトランジスタ)が設けられ、電源制御信号CTLが各半導体スイッチ14のゲートに印加されるように制御信号線16が配線されている。また、半導体スイッチ14間にはタイミング調整用のバッファ15が挿入されている。   FIG. 15 is a circuit diagram of power supply control. A plurality of semiconductor switches 14 (here, pMOS transistors) are provided between the power supply VDD and the power supply VSD, and the control signal line 16 is wired so that the power supply control signal CTL is applied to the gate of each semiconductor switch 14. . Further, a buffer 15 for timing adjustment is inserted between the semiconductor switches 14.

このような構成において、電源制御信号CTLによって電源制御スイッチ13A、13BをON/OFF制御することにより、電源VSDの電圧が制御される。これにより、電源制御可能領域中の論理回路18の動作レベルに応じて適切な電圧が電源VSDに供給され、また、電源制御可能領域12が停止している場合には電源VSDへの電力供給が停止される。すると、電源VDDから接地電源GNDへのリーク電流を防ぎ、低消費電力を実現することができる。   In such a configuration, the voltage of the power supply VSD is controlled by ON / OFF control of the power supply control switches 13A and 13B by the power supply control signal CTL. As a result, an appropriate voltage is supplied to the power supply VSD in accordance with the operation level of the logic circuit 18 in the power controllable area, and when the power controllable area 12 is stopped, power supply to the power supply VSD is performed. Stopped. Then, leakage current from the power supply VDD to the ground power supply GND can be prevented, and low power consumption can be realized.

なお、電源制御機能または電源遮断機能を有するLSIが特許文献1に開示されている。   An LSI having a power control function or a power shutdown function is disclosed in Patent Document 1.

特開2006−170663号公報JP 2006-170663 A

従来の電源制御可能な領域は小さな領域であったため、電源制御スイッチを構成する半導体スイッチの数も極少数(例えば、1つ、2つ)でよかった。これに対し、近年では、電源制御可能領域も大きくなり、また、動作も複雑化しているため、電源制御スイッチの構成も多くの半導体スイッチを要するものとなっている。しかし、電源制御スイッチを構成する半導体スイッチ数が増加したことに伴い、次のような問題が生じてきた。   Since the conventional power controllable area is a small area, the number of semiconductor switches constituting the power control switch can be very small (for example, one or two). On the other hand, in recent years, the power controllable area has become larger and the operation has become complicated, so that the configuration of the power control switch requires many semiconductor switches. However, with the increase in the number of semiconductor switches constituting the power control switch, the following problems have arisen.

例えば、図16に示すように、制御信号線16が途中で断線し、断線した箇所における信号線の電位が不定となる。この不定の電位によって、半導体スイッチ14が常時OFFになる状態に固定されてしまう不良が生じる場合があり得る。この場合、正常に動作するのは図16中の左側のスイッチだけになり、電源VSDに必要な電圧が供給されないことになる。すると、電源制御可能領域12の動作時にIRドロップが生じて電源VSDの電位が下がってしまう。
この場合は、常時OFFとなるスイッチが存在することによって、各スイッチが正常に動作している場合と比較して電源ラインVDDとVSD間の電圧降下(IRドロップ)の量が多くなる。そのため、論理回路18に供給する電圧の値が十分な値ではなくなることがあり、論理回路18に誤作動が生じたり、論理回路18が規定の動作周波数で動作しなくなるといった問題が生じる。
For example, as shown in FIG. 16, the control signal line 16 is disconnected halfway, and the potential of the signal line at the disconnected position becomes indefinite. This indefinite potential may cause a defect that the semiconductor switch 14 is fixed in a state in which it is always OFF. In this case, only the switch on the left side in FIG. 16 operates normally, and the voltage necessary for the power supply VSD is not supplied. Then, an IR drop occurs during the operation of the power controllable area 12, and the potential of the power supply VSD is lowered.
In this case, the presence of switches that are always OFF increases the amount of voltage drop (IR drop) between the power supply lines VDD and VSD as compared to when each switch operates normally. Therefore, the value of the voltage supplied to the logic circuit 18 may not be a sufficient value, causing a problem that the logic circuit 18 malfunctions or the logic circuit 18 does not operate at a specified operating frequency.

または、図17に示すように、制御信号線16が途中で断線し、断線箇所の電位が不定となることで、半導体スイッチ14が常時ONになる状態に固定されてしまう不良が生じる場合があり得る。この場合、電源制御可能領域12の論理回路18が動作を停止するときに電源制御スイッチ13A、13Bを所定数または全部OFFにしてリーク電流を抑えようとした場合でも、故障した常時ONスイッチから電流が流れてしまうことになり、電源制御13A、13Bスイッチを導入した本来の目的が達成できないことになってしまう。   Alternatively, as shown in FIG. 17, the control signal line 16 may be disconnected in the middle, and the potential at the disconnection portion may become unstable, which may cause a defect in which the semiconductor switch 14 is fixed in a constantly ON state. obtain. In this case, even when the logic circuit 18 in the power controllable area 12 stops operating, the power control switches 13A and 13B are turned off by a predetermined number or all to suppress the leakage current. Therefore, the original purpose of introducing the power control 13A, 13B switch cannot be achieved.

また、電源制御スイッチ13A、13Bを構成する半導体スイッチ14の数が多くなれば、断線によって常時ONとなるスイッチの数、あるいは断線によって常時OFFとなるスイッチの数が多くなり、IRドロップの量やリーク電流の量がより増大する。   Further, if the number of semiconductor switches 14 constituting the power control switches 13A and 13B increases, the number of switches that are always ON due to disconnection or the number of switches that are always OFF due to disconnection increases. The amount of leakage current is further increased.

ここで、従来は、仮に電源制御スイッチ13A、13Bを制御する制御信号線に故障が生じていたとしても、原因を特定するのは非常に困難であった。たとえば、図16の場合、IRドロップによって電源制御可能領域12の誤作動や動作周波数の低速化などが生じた場合、エラーは検出される。しかし、その原因として、制御信号線16に断線が生じているのか、電源制御信号CTLの論理がそもそも誤っているのか、または、電源制御可能領域12のトランジスタに不良があるのか、具体的に特定することは困難である。また、図17の場合、リーク電流があることは検出されるが、常時ON領域11でリーク電流が生じているのか、制御信号線16の断線により、電源制御可能領域12でリーク電流が生じているのか、具体的に特定することは困難である。したがって、従来の技術では、制御信号線16の断線が原因となって回路の誤動作やリーク電流の増大等が発生しているということを特定できなかったという解決すべき課題があった。   Here, conventionally, even if a failure has occurred in the control signal line that controls the power control switches 13A and 13B, it is very difficult to identify the cause. For example, in the case of FIG. 16, if an IR drop causes a malfunction of the power controllable region 12 or a reduction in operating frequency, an error is detected. However, it is specifically determined whether the control signal line 16 is broken, whether the logic of the power control signal CTL is wrong, or whether the transistor in the power controllable region 12 is defective. It is difficult to do. In the case of FIG. 17, it is detected that there is a leakage current. However, a leakage current is always generated in the ON region 11, or a leakage current is generated in the power controllable region 12 due to disconnection of the control signal line 16. It is difficult to specify whether or not there is. Therefore, the conventional technique has a problem to be solved that it has not been possible to specify that the malfunction of the circuit, the increase in the leakage current, or the like has occurred due to the disconnection of the control signal line 16.

一実施の形態によれば、半導体集積回路は、第1の電源ラインと第2の電源ラインの間に接続されており所定の回路に接続されている第1のスイッチと、第1の電源ラインと第2の電源ラインの間に接続されており所定の回路に接続されている第2のスイッチと、第1のスイッチに接続される第1の制御信号線と、第2のスイッチに接続される第2の制御信号線と、第1の制御信号線及び第2の制御信号線からの制御信号がそれぞれ入力される論理ゲートと、論理ゲートと接続されこの論理ゲートの出力を外部に出力する端子と、を有する。そして、第1の制御信号線は、第1の電源ラインと交差する方向に延在している。   According to one embodiment, a semiconductor integrated circuit includes a first switch connected between a first power supply line and a second power supply line and connected to a predetermined circuit, and a first power supply line. And a second switch connected to a predetermined circuit, a first control signal line connected to the first switch, and a second switch. A second control signal line, a logic gate to which control signals from the first control signal line and the second control signal line are respectively input, and a logic gate connected to the output of the logic gate. And a terminal. The first control signal line extends in a direction intersecting with the first power supply line.

このような構成によれば、電源制御信号の値を外部から観測可能となる。これにより、スイッチに対する制御信号線の断線により、論理回路の誤動作やリーク電流の増大が発生しているのか、それ以外の要因でこれらの問題が発生しているのか、を特定することができる。   According to such a configuration, the value of the power control signal can be observed from the outside. As a result, it is possible to identify whether a malfunction of the logic circuit or an increase in leakage current occurs due to disconnection of the control signal line with respect to the switch, or whether these problems occur due to other factors.

第1実施形態に係る電源制御可能領域を有する半導体集積回路のレイアウト図。1 is a layout diagram of a semiconductor integrated circuit having a power controllable region according to a first embodiment. 第1実施形態の変形例1を示す図。The figure which shows the modification 1 of 1st Embodiment. 第1実施形態の変形例2を示す図。The figure which shows the modification 2 of 1st Embodiment. 第1実施形態の変形例3を示す図。The figure which shows the modification 3 of 1st Embodiment. 第2実施形態を示す図。The figure which shows 2nd Embodiment. 観測用FFを示す図。The figure which shows FF for observation. 第3実施形態において、電源制御スイッチのテストを実行する様子を示す図。The figure which shows a mode that the test of a power supply control switch is performed in 3rd Embodiment. 第3実施形態において、電源制御スイッチ以外の回路のロジックテストを行う様子を示す図。The figure which shows a mode that the logic test of circuits other than a power supply control switch is performed in 3rd Embodiment. 従来の設計手法の手順を示す図。The figure which shows the procedure of the conventional design method. 電源階層を示す図。The figure which shows a power supply hierarchy. 従来の設計手法の手順を示す図。The figure which shows the procedure of the conventional design method. 第4実施形態において、電源制御スイッチのスキャンテストを挿入するための設計手順を示す図。The figure which shows the design procedure for inserting the scan test of a power supply control switch in 4th Embodiment. 第4実施形態において、出力ノードの追加と、スイッチ観測用FFを挿入した様子を示す図。The figure which shows a mode that the addition of the output node and the FF for switch observation were inserted in 4th Embodiment. 背景技術において、電源制御可能領域を有する半導体集積回路のレイアウト図。In background art, the layout diagram of the semiconductor integrated circuit which has a power supply controllable area. 電源制御スイッチの構成を示す図。The figure which shows the structure of a power supply control switch. 電源制御スイッチの不良の一例を示す図。The figure which shows an example of the defect of a power supply control switch. 電源制御スイッチの不良の一例を示す図。The figure which shows an example of the defect of a power supply control switch.

以下、本発明の実施の形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態について説明する。
図1は、第1実施形態に係る電源制御可能領域を有する半導体集積回路のレイアウト図である。
図1において、半導体集積回路100は、常時ON領域200と、電源制御可能領域300と、を有する。そして、電源VDDと電源VSDとの間には電源制御スイッチ310A、310Bが設けられ、電源制御可能領域300の外部から入力される電源制御信号CTLによって電源制御スイッチ310A、310BはON/OFF制御される。
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be illustrated and described with reference to reference numerals attached to respective elements in the drawings.
(First embodiment)
A first embodiment of the present invention will be described.
FIG. 1 is a layout diagram of a semiconductor integrated circuit having a power controllable region according to the first embodiment.
In FIG. 1, the semiconductor integrated circuit 100 has a constantly ON region 200 and a power controllable region 300. Power control switches 310A and 310B are provided between the power supply VDD and the power supply VSD, and the power control switches 310A and 310B are ON / OFF controlled by a power control signal CTL input from the outside of the power controllable area 300. The

電源制御スイッチ310A、310Bは、複数本の系列により構成されている。電源制御スイッチの各系列は、図15で説明したように、電源VDDと電源VSDとの間をスイッチングする半導体トランジスタ14とタイミング調整のバッファ15との組からなるスイッチセル17を有する。電源制御信号線320は、電源制御スイッチの系列310A、310Bごとに分岐され、各分岐線320A、320Bが電源制御可能領域300内に配線されている。そして、分岐された電源制御信号線320A、320Bごとにスイッチセル17が並べられ、電源制御スイッチの各系列310A、310Bをそれぞれ構成している。   The power control switches 310A and 310B are composed of a plurality of lines. As described with reference to FIG. 15, each power supply control switch group includes a switch cell 17 including a pair of a semiconductor transistor 14 that switches between a power supply VDD and a power supply VSD and a timing adjustment buffer 15. The power supply control signal line 320 is branched for each of the power supply control switch groups 310 </ b> A and 310 </ b> B, and the branch lines 320 </ b> A and 320 </ b> B are wired in the power supply controllable region 300. Then, the switch cells 17 are arranged for each of the branched power control signal lines 320A and 320B, and constitute the power control switch series 310A and 310B, respectively.

ここで、第1実施形態においては、制御信号線320の信号を外部に取り出すための出力ノード330A、330Bおよび出力端子340A、340Bを備えている。
出力ノード330A、330Bおよび出力端子340A、340Bは、分岐された制御信号線320A、320Bごと、すなわち、電源制御スイッチ310A、310Bの系列ごとに設けられている。
出力ノード330A、330Bは、電源制御スイッチの系列ごとに電源制御スイッチの最終段の出力を電源制御可能領域300の外部に出力可能とする。出力端子340A、340Bは、出力ノード330A、330Bから引き出された線とそれぞれ配線接続されている。出力端子340A、340Bは、電源制御スイッチの系列ごとに電源制御スイッチの最終段の出力をチップの外部に出力する。
Here, in the first embodiment, output nodes 330A and 330B and output terminals 340A and 340B for taking out the signal of the control signal line 320 to the outside are provided.
The output nodes 330A and 330B and the output terminals 340A and 340B are provided for each of the branched control signal lines 320A and 320B, that is, for each series of the power control switches 310A and 310B.
The output nodes 330 </ b> A and 330 </ b> B enable the output of the last stage of the power control switch to be output to the outside of the power controllable area 300 for each power control switch series. The output terminals 340A and 340B are connected to lines drawn from the output nodes 330A and 330B, respectively. The output terminals 340A and 340B output the output of the last stage of the power control switch to the outside of the chip for each power control switch series.

このような構成において、電源制御スイッチ310A、310Bの動作確認を行うことができる。具体的には、下記のように、制御信号線の断線の有無を判定する。   In such a configuration, the operation of the power control switches 310A and 310B can be confirmed. Specifically, the presence or absence of disconnection of the control signal line is determined as described below.

ここで例えば、制御信号線320A、320Bが途中で断線していた場合、図15ないし図17の記載からも分かる通り、断然が生じた箇所の配線の電位は不定となるため、その箇所の論理値は断線の状況に応じてハイレベルまたはローレベルのいずれかに固定される。そうすると、断然した箇所と出力端子340Aあるいは340Bの間にあるスイッチの状態は常時ONか常時OFFのいずれかとなり、各スイッチの接続状態を制御する制御信号CTLの論理値の変化には一切応答しなくなる。本実施形態では、この現象を利用する。すなわち、例えば出力端子340Aにテスト装置を接続し、出力端子340Aの論理値を観測する場合、制御信号線320Aに対して入力した信号CTLの論理値の変化に応答して、出力端子340Aから出力される論理値が変化している場合には、制御信号線340Aに断線は生じていない。一方、制御信号線320Aに対して入力した信号CTLの論理値を変化させた場合において、出力端子340Aから出力される信号の論理値が変化せず固定されている場合、制御信号線320Aは、その信号線のいずれかの箇所で断線が生じていることになる。以上は出力端子340Aを用いて制御信号線320Aの断線の有無を判定する場合の説明であるが、出力端子340Bを用いて制御信号線320Bの断線の有無を判定する場合も同様である。従来技術においては、上述したとおり、IRドロップに起因した論理回路18の誤動作やチップ上の所定の領域のリーク電流の増大が、複数の発生要因の内のどの要因によって生じているのかを分離することができなかった。しかし、本実施の形態によれば、各スイッチを制御するための制御信号線の断線の有無を判定することができる。したがって、本実施の形態では、IRドロップに基づく論理回路18の誤動作や所定の領域のリーク電流の増大が、電源制御可能領域300への電圧の供給を制御するスイッチに対する制御信号の断線によるものなのか、それ以外の要因によるものなのか、を分離することができる。   Here, for example, when the control signal lines 320A and 320B are disconnected in the middle, as can be understood from the description of FIGS. The value is fixed at either high level or low level depending on the disconnection situation. Then, the state of the switch between the determined location and the output terminal 340A or 340B is either always ON or always OFF, and responds to any change in the logical value of the control signal CTL that controls the connection state of each switch. Disappear. In this embodiment, this phenomenon is used. That is, for example, when a test device is connected to the output terminal 340A and the logical value of the output terminal 340A is observed, the output is output from the output terminal 340A in response to a change in the logical value of the signal CTL input to the control signal line 320A. When the logic value to be changed is changed, the control signal line 340A is not disconnected. On the other hand, when the logic value of the signal CTL input to the control signal line 320A is changed and the logic value of the signal output from the output terminal 340A is fixed without changing, the control signal line 320A is The disconnection has occurred in any part of the signal line. The above is a description of determining whether or not the control signal line 320A is disconnected using the output terminal 340A, but the same applies to determining whether or not the control signal line 320B is disconnected using the output terminal 340B. In the prior art, as described above, it is separated from which of a plurality of generation factors the malfunction of the logic circuit 18 due to the IR drop and the increase of the leakage current in a predetermined region on the chip are caused. I couldn't. However, according to the present embodiment, it is possible to determine whether or not the control signal line for controlling each switch is disconnected. Therefore, in this embodiment, the malfunction of the logic circuit 18 based on the IR drop and the increase in the leakage current in the predetermined region are due to the disconnection of the control signal to the switch that controls the supply of voltage to the power controllable region 300. Or whether it is due to other factors.

また、動作テストを行うにあたっては半導体スイッチセル17ごとに外部出力端子を設ける考え方もあるが、電源制御スイッチを構成する半導体スイッチが多いためテストポイントも非常に多くなってしまうという問題があり、現実的ではない。この点、本実施形態では、電源制御スイッチの系列310A、310Bごとに出力ノード330A、330Bおよび出力端子340A、340Bを設ければよいので、観測ポイントが非常に少なくてすむ。   Further, when performing an operation test, there is a concept of providing an external output terminal for each semiconductor switch cell 17, but there is a problem that the number of test points increases because there are many semiconductor switches constituting the power control switch. Not right. In this regard, in this embodiment, the output nodes 330A and 330B and the output terminals 340A and 340B may be provided for each of the power supply control switch groups 310A and 310B, so that the number of observation points is very small.

(変形例)
変形例1として、図2に示すように、電源制御スイッチの各系列310A〜310Eを通過した信号をAND、OR、XORの論理ゲート211、212、213に入力するようにし、それらの各出力信号を各出力端子340C〜340Eに出力させるようにしてもよい。なお、図2におけるXORは、多入力のXORが示されているが、実際には、2入力のXORを多段で構成したものである。つまりANDゲートによって、制御信号線が示す値が全て“1”の場合を検査することができ、ORゲートによって制御信号線が示す値が全て“0”の場合を検査することができる。たとえばCTLがハイレベルの場合においてANDゲートの出力がハイレベルにならなければ信号線は断線している。またCTLがローレベルの場合においてORゲートの出力がローレベルにならなければ、信号線は断線していると判定できる。また2入力のXORを多段構成にしたものについては、CTLがローレベルのときもハイレベルのときもローレベルの信号がXORから出力されれば信号線は断線していないが、CTLがローまたはハイの状態でXORからハイレベルの信号が出力されれば信号線が断線していると判断できる。
(Modification)
As a first modification, as shown in FIG. 2, signals that have passed through the power supply control switch series 310A to 310E are input to AND, OR, and XOR logic gates 211, 212, and 213, and their respective output signals. May be output to the output terminals 340C to 340E. Note that the XOR in FIG. 2 is a multi-input XOR, but actually, a 2-input XOR is configured in multiple stages. In other words, the AND gate can inspect the case where all the values indicated by the control signal line are “1”, and the OR gate can inspect the case where all the values indicated by the control signal line are “0”. For example, when the CTL is at a high level, the signal line is disconnected unless the output of the AND gate becomes a high level. If the output of the OR gate does not become low level when CTL is at low level, it can be determined that the signal line is disconnected. Also, in the case of a two-input XOR having a multi-stage configuration, the signal line is not disconnected if a low level signal is output from the XOR regardless of whether the CTL is at a low level or a high level. If a high level signal is output from XOR in the high state, it can be determined that the signal line is disconnected.

また、変形例2として、図3に示すように、電源制御スイッチの各系列310A〜310Eを通過した信号をそれぞれフリップフロップ(FF)221〜225に入力させ、それらの出力をマルチプレクサ230を介して選択的に出力端子340Fに出力させるようにしてもよい。この場合、CTLを伝搬する各制御信号線の出力を、一旦、各FF221ないし225に保持させておく。そして、MUX230に対する信号selectの値を切替えることで、各FFが保持した値を端子340Fに出力する。なお、FF221ないしFF225を設けず、MUX230の出力をselectの値に基づき切替えて、CTLを伝搬する各制御信号線出力を外部に出力する構成であってもよい。このような構成によれば、電源制御スイッチの系列が多い場合であっても観測点を減らすことができる。また、変形例3として、図4に示すように、電源制御スイッチを一連の数珠つなぎに構成することにより、出力ノードおよび出力端子の数を少なくしてもよい。   Further, as a second modification, as shown in FIG. 3, signals that have passed through the power supply control switch series 310 </ b> A to 310 </ b> E are respectively input to flip-flops (FF) 221 to 225, and their outputs are passed through a multiplexer 230. You may make it selectively output to the output terminal 340F. In this case, the output of each control signal line propagating through the CTL is temporarily held in each FF 221 to 225. Then, by switching the value of the signal select for the MUX 230, the value held by each FF is output to the terminal 340F. Note that the FF 221 to FF 225 may not be provided, and the output of the MUX 230 may be switched based on the value of select, and each control signal line output propagating through the CTL may be output to the outside. According to such a configuration, the number of observation points can be reduced even when there are many power control switches. Further, as a third modification, as shown in FIG. 4, the number of output nodes and output terminals may be reduced by configuring the power control switch in a series of daisy chains.

(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
第2実施形態は、スキャンテストによって電源スイッチを含む回路テストを実施するための構成である。図5に第2実施形態を示す。第2実施形態では、スキャンパステストを実行するため、所定のフリップフロップはスキャンフリップフロップ(以後、観測用FFと呼ぶ)の構成になっている。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
The second embodiment is a configuration for performing a circuit test including a power switch by a scan test. FIG. 5 shows a second embodiment. In the second embodiment, in order to execute a scan path test, the predetermined flip-flop is configured as a scan flip-flop (hereinafter referred to as an observation FF).

観測用FFは、図6に示すように、通常のフリップフロップ400の入力にマルチプレクサ410を付加した構成である。このマルチプレクサ410によりフリップフロップ400のデータ入力ピンへの入力信号を通常のデータ入力(DIN)とスキャンイン(SIN)とで切り替える。マルチプレクサ410は、ShiftEnable信号により、通常動作とテストモードとを切り替え、テストモードのときにスキャンイン(SIN)を取り込んでフリップフロップのデータ端子に与える。そして、前段のフリップフロップ400のスキャンアウトが次段のフリップフロップ400のスキャンイン(SIN)になるようにフリップフロップ400同士は接続されている。これにより、スキャンパステストのスキャンチェーンが構成される。   As shown in FIG. 6, the observation FF has a configuration in which a multiplexer 410 is added to an input of a normal flip-flop 400. The multiplexer 410 switches the input signal to the data input pin of the flip-flop 400 between normal data input (DIN) and scan-in (SIN). The multiplexer 410 switches between the normal operation and the test mode in response to the ShiftEnable signal, captures the scan-in (SIN) in the test mode, and supplies it to the data terminal of the flip-flop. The flip-flops 400 are connected to each other so that the scan-out (SIN) of the next-stage flip-flop 400 becomes the scan-out of the previous-stage flip-flop 400. Thereby, a scan chain of a scan path test is configured.

なお、図5中においては、見やすくするため、観測用FFのマルチプレクサ410は省略し、データ端子としてDとSINとを示している。また、ShiftEnable信号が各フリップフロップのマルチプレクサに入力されるが、図5ではShiftEnable信号の配線は省略している。また、各観測用FFの通常動作時における通常のデータ入力ラインは省略し、主としてスキャンチェーンの配線を示している。また、図5中において通常動作に必要な論理回路としては一つ(符号19)のみを例示し、その他は省略している。   In FIG. 5, the multiplexer 410 of the observation FF is omitted for easy understanding, and D and SIN are shown as data terminals. Further, the ShiftEnable signal is input to the multiplexer of each flip-flop, but the wiring of the ShiftEnable signal is omitted in FIG. Also, normal data input lines during normal operation of each observation FF are omitted, and scan chain wiring is mainly shown. In FIG. 5, only one (symbol 19) is illustrated as a logic circuit necessary for normal operation, and the others are omitted.

図5において、まず、電源制御スイッチ310A、310Bの接続状態を制御する信号線のそれぞれのテストを行うスキャンチェーンについて説明する。
電源制御スイッチ310A、310Bの接続状態を制御する信号線のそれぞれのテストを行うスキャンチェーンはSIN1からSO1のラインである。このスキャンチェーンSIN1はさらに、例えば、FF503よりSO1側に設けられたFF(フリップフロップ)のデータ端子と、別のスキャンチェーンであるSIN3に設けられたFF507よりSO3側に設けられたFFのデータ端子との間に接続された論理回路の動作のテストにも用いられる。このテストは公知の技術として知られているスキャンパステストである。つまり、SIN1は、半導体集積回路100に設けられた論理回路の動作をテストすることに加え、電源制御スイッチ310A、310Bの接続状態を制御するための信号線をテストするために設けられている。
In FIG. 5, first, a scan chain for testing each of the signal lines that control the connection state of the power control switches 310A and 310B will be described.
The scan chain for testing each of the signal lines that control the connection state of the power control switches 310A and 310B is the line from SIN1 to SO1. The scan chain SIN1 further includes, for example, a data terminal of FF (flip-flop) provided on the SO1 side from the FF503, and a data terminal of FF provided on the SO3 side from the FF507 provided in SIN3 which is another scan chain. It is also used for testing the operation of the logic circuit connected between the two. This test is a scan path test known as a known technique. That is, SIN1 is provided for testing signal lines for controlling the connection state of the power supply control switches 310A and 310B in addition to testing the operation of the logic circuit provided in the semiconductor integrated circuit 100.

一方、SIN1とは別のスキャンチェーンであるSIN2、SIN3も、図5の半導体集積回路100には設けられている。SIN2とSIN3は、常時ON領域200に設けられている論理回路や電源制御可能領域300内に設けられている論理回路をテストするためのスキャンチェーンである。図5においては、SIN3は、常時ON領域200に設けられた論理回路19のテストに用いられるが、実際には、電源遮断可能領域300内に設けられた論理回路のテストにも用いられる。特にFF508やFF509、FF510やFF511は、電源制御可能領域300内の論理回路のテストのために使用されるFFである。SIN2もSIN3と同様に常時ON領域200および電源遮断可能領域300に設けられた論理回路のテストに用いられるスキャンチェーンである。   On the other hand, SIN2 and SIN3, which are scan chains different from SIN1, are also provided in the semiconductor integrated circuit 100 of FIG. SIN2 and SIN3 are scan chains for testing a logic circuit provided in the always-on area 200 and a logic circuit provided in the power controllable area 300. In FIG. 5, SIN 3 is used for testing the logic circuit 19 provided in the always-on area 200, but actually, it is also used for testing the logic circuit provided in the power shut-off area 300. In particular, FF508, FF509, FF510, and FF511 are FFs used for testing a logic circuit in the power controllable area 300. Similarly to SIN3, SIN2 is a scan chain used for testing a logic circuit provided in the always-on area 200 and the power-off possible area 300.

図5では、通常動作時に電源制御信号CTLが入力される観測用FF501が配設され、この観測用FF501のスキャンイン端子にチップ外部のスキャンイン端子からスキャンパステストのテストデータSIN1が入力される。観測用FF501のデータ出力は、OR回路241を介して電源制御スイッチ310A,310Bに入力されるようになっている。   In FIG. 5, an observation FF 501 to which a power supply control signal CTL is input during normal operation is provided, and scan path test test data SIN 1 is input to the scan-in terminal of the observation FF 501 from a scan-in terminal outside the chip. . The data output of the observation FF 501 is input to the power supply control switches 310A and 310B via the OR circuit 241.

ここで、本実施の形態では、電源制御スイッチ310A、あるいは310Bがオンであるかオフであるかの接続状態を制御する制御信号CTLを伝搬する制御信号線のテストを下記のように行う。   Here, in the present embodiment, the test of the control signal line that propagates the control signal CTL that controls the connection state of whether the power control switch 310A or 310B is on or off is performed as follows.

まず、制御信号ShiftEnableを活性化する。例えばShiftEnableをハイレベルにする。
この場合、SIN1,SIN2、SIN3に含まれる各FFは上述したとおり、ハイレベルになったShiftEnableに応答して、各FFにおけるSIN側の入力信号を取り込む。そして、ShiftEnableがハイレベルであるため、OR回路241が出力する信号の論理値もハイレベルで固定される。ここで、OR回路241は、CTLを伝搬させる制御信号線に接続されている(図5参照)。つまり、OR回路241がハイレベルで固定されているため、電源制御可能領域300に対する電源の供給を制御する各スイッチのオン・オフ状態も固定されることになる。
ここで、本実施の形態では、ShiftEnableがハイレベルになっている場合、各スイッチはON状態に固定されるものとする。例えば図15における各MOSトランジスタがn型のMOSトランジスタであるとすればよい。
この状態においては、電源制御可能領域300に電圧が供給されているため、SIN2,SIN3のスキャンチェーンもSIN1のスキャンチェーンと合わせて動作させることができる。つまり、具体的に例示すれば、SIN2およびSIN3のFF508ないし511に電圧が供給されているため、SIN2とSIN3の全体を、SIN1と合わせてスキャンパステストに用いることができる。
First, the control signal ShiftEnable is activated. For example, ShiftEnable is set to high level.
In this case, as described above, each FF included in SIN1, SIN2, and SIN3 takes in the input signal on the SIN side in each FF in response to ShiftEnable having become high level. Since Shift Enable is at a high level, the logical value of the signal output from the OR circuit 241 is also fixed at a high level. Here, the OR circuit 241 is connected to a control signal line for propagating CTL (see FIG. 5). That is, since the OR circuit 241 is fixed at a high level, the on / off state of each switch that controls the supply of power to the power controllable region 300 is also fixed.
Here, in the present embodiment, it is assumed that each switch is fixed to the ON state when ShiftEnable is at a high level. For example, each MOS transistor in FIG. 15 may be an n-type MOS transistor.
In this state, since the voltage is supplied to the power controllable area 300, the scan chains of SIN2 and SIN3 can be operated together with the scan chain of SIN1. That is, as a specific example, since the voltages are supplied to the FFs 508 to 511 of the SIN2 and SIN3, the entire SIN2 and SIN3 can be used in the scan path test together with the SIN1.

この状況において、スキャンチェーンSIN1、SIN2、SIN3のそれぞれに対してテストパターンを供給する。すなわち、SIN1、SIN2、SIN3のそれぞれはShifEnableの活性化に応答してシフトレジスタを形成しており、SIN1、SIN2、SIN3のそれぞれに対してテストパターンを形成するビット列をシリアルに入力する。具体的には、SIN1、SIN2、SIN3を形成する各FFは、入力されるクロック信号のエッジに応答してシリアルに入力されるテストパターンを後段のFFにシフトする。この動作によって、SIN1ないしSIN3の各FFにテストパターンが設定される。なお、SIN1におけるFF501にセットされるテストパターンのビットは、ここでは、ハイレベルを示す“1”とする。そうすると、この時点で、FF501は、端子Q側からハイレベルの信号を出力していることになる。また、SIN1,SIN2,SIN3の他のそれぞれのFFも、設定されたテストパターンの論理値を示す信号を、それぞれの出力端子Qから出力している。そうすると、例えばSIN3のFF506は端子Qから設定されたテストパターンが示すビットを出力しているので、論理回路19はFF506が出力した信号に応答して演算を行い、その演算結果をSIN1のFF503のデータ端子Dに向かって出力している。具体的には、この時点において、図6におけるマルチプレクサ410のDIN側の入力に、論理回路19の出力した信号が到達している。SIN1ないしSIN3に設けられ、他の論路回路のテストに用いられる各FFに関しても同様である。   In this situation, a test pattern is supplied to each of the scan chains SIN1, SIN2, and SIN3. That is, each of SIN1, SIN2, and SIN3 forms a shift register in response to the activation of ShiftEnable, and serially inputs a bit string that forms a test pattern for each of SIN1, SIN2, and SIN3. Specifically, each FF forming SIN1, SIN2, and SIN3 shifts a test pattern input serially in response to an edge of the input clock signal to a subsequent FF. By this operation, a test pattern is set in each FF of SIN1 to SIN3. Note that the bit of the test pattern set in the FF 501 in SIN 1 is “1” indicating a high level here. Then, at this time, the FF 501 outputs a high level signal from the terminal Q side. In addition, each of the other FFs of SIN1, SIN2, and SIN3 outputs a signal indicating the logic value of the set test pattern from each output terminal Q. Then, for example, since the FF 506 of the SIN 3 outputs a bit indicated by the test pattern set from the terminal Q, the logic circuit 19 performs an operation in response to the signal output from the FF 506, and the operation result is output to the FF 503 of the SIN 1. Output toward data terminal D. Specifically, at this time, the signal output from the logic circuit 19 has reached the input on the DIN side of the multiplexer 410 in FIG. The same applies to each FF provided in SIN1 to SIN3 and used for testing other logic circuits.

次に、活性化していたShiftEnableを非活性化する。例えば、ShiftEnableの論理値をローレベルにする。そうすると、OR回路241の出力する信号の論理値はSIN1のFF501が出力する信号の論理値そのものを示すことになる。上述したように、FF501に設定されたテストパターンのビットがハイレベルであったため、OR回路241の出力はShiftEnableの非活性化に影響されずハイレベルを維持する。OR回路241の出力する信号は、観測用FFであるFF502AおよびFF502Bの端子Dまで到達する。具体的には図6に示したマルチプレクサのDIN側の入力までOR回路241の出力信号が到達する。このOR回路241の出力信号がFF502AおよびFF502Bに到達した後に、SIN1ないしSIN3のそれぞれのFFに対してクロック信号のエッジ(例えば立ち上がりエッジ)が供給される。そうすると、SIN1ないしSIN3の各FFは、端子D(具体的には図6のDIN)に到達していた信号の論理値を保持して端子Qから出力する。特に、FF502AおよびFF502Bは、OR回路241から出力された信号を保持して端子Qから出力する。また、FF501は、制御信号CTLを保持して端子Qから出力する。ここで、この例ではCTLはハイレベルであり、FF501がハイレベルの論理値を保持して端子Qから出力するものとする。そうすると、OR回路241の出力は引き続きハイレベルとなる。なおCTLは、半導体集積回路100の外部から入力される場合もあれば、内部の論理回路から出力される場合もある。   Next, the activated ShiftEnable is deactivated. For example, the logical value of ShiftEnable is set to a low level. Then, the logical value of the signal output from the OR circuit 241 indicates the logical value of the signal output from the FF 501 of SIN1. As described above, since the bit of the test pattern set in the FF 501 is at a high level, the output of the OR circuit 241 is maintained at a high level without being affected by the deactivation of ShiftEnable. The signal output from the OR circuit 241 reaches the terminal D of FF502A and FF502B which are observation FFs. Specifically, the output signal of the OR circuit 241 reaches the input on the DIN side of the multiplexer shown in FIG. After the output signal of the OR circuit 241 reaches the FFs 502A and FF502B, an edge (for example, a rising edge) of the clock signal is supplied to each FF of SIN1 to SIN3. Then, each FF of SIN1 to SIN3 holds the logical value of the signal that has reached the terminal D (specifically, DIN in FIG. 6) and outputs it from the terminal Q. In particular, FF 502A and FF 502B hold the signal output from OR circuit 241 and output it from terminal Q. The FF 501 holds the control signal CTL and outputs it from the terminal Q. Here, in this example, it is assumed that CTL is at a high level and the FF 501 holds a logic value at a high level and outputs it from the terminal Q. Then, the output of the OR circuit 241 continues to be high level. The CTL may be input from the outside of the semiconductor integrated circuit 100 or may be output from an internal logic circuit.

その後、再びShiftEnableを活性化し、SIN1ないしSIN3の各FFを直列に接続し、シフトレジスタが形成されるようする。そして各FFに対してクロックを供給し、SO1、SO2、SO3から、各FFがキャプチャしたデータが出力される。SO1ないしSON3から出力されるデータは、図示しないテスト装置に取り込まれ、検証される。   Thereafter, ShiftEnable is activated again, and the FFs of SIN1 to SIN3 are connected in series so that a shift register is formed. Then, a clock is supplied to each FF, and data captured by each FF is output from SO1, SO2, and SO3. Data output from SO1 to SON3 is taken into a test apparatus (not shown) and verified.

ここで、OR回路241とFF502AおよびFF502Bを接続する制御信号線、すなわち、電源制御可能領域300に設けられた各スイッチ(図15参照)のオン・オフを制御するCTLを伝搬する信号線が断線していなければ、OR回路241の出力した信号の論理値が正しくFF502AおよびFF502Bに保持されている。しかし、例えばFF502A側の係る信号線が断線していれば、上述したとおり、FF502Aの端子Dには、OR回路241の出力する信号の論理値に関わらず、固定の論理値が入力される。同様に、FF502B側の係る信号線が断線していれば、FF502Bの端子Dには固定の論理値が入力される。したがって、係る信号線の断線の有無を判別するためには、もう一度、スキャンパステストを行う必要がある。   Here, the control signal line connecting the OR circuit 241 and the FFs 502A and FF502B, that is, the signal line propagating through the CTL for controlling on / off of each switch (see FIG. 15) provided in the power controllable region 300 is disconnected. If not, the logical value of the signal output from the OR circuit 241 is correctly held in the FF 502A and FF 502B. However, for example, if the signal line on the FF 502A side is disconnected, as described above, a fixed logic value is input to the terminal D of the FF 502A regardless of the logic value of the signal output from the OR circuit 241. Similarly, if the signal line on the FF 502B side is disconnected, a fixed logical value is input to the terminal D of the FF 502B. Therefore, in order to determine whether or not the signal line is disconnected, it is necessary to perform a scan path test again.

なお、上記の説明では、FF501に設定されるテストパターンはハイレベルを示すビット“1”であり、FF501にキャプチャされるCTLの論理値もハイレベルであった。この場合は、ShiftEnableが非活性化された後においてもOR回路241の出力がハイレベルであり続けるため、電源遮断可能領域300における各スイッチの内、OR回路241に最も近い一のスイッチとOR回路241の間の制御信号線が断線し、各スイッチがすべて常時OFFとなるような特殊な場合を除いて、原則的には電源遮断可能領域300には電源が供給され続けることになる。そうすると、FF508ないしFF511は駆動し続けるため、FF508ないしFF511を用いたスキャンパステストを行うことが可能となる。具体的にはFF508ないしFF511がキャプチャした論理値を、そのままSO2およびSO3からテスト装置に取り込んで検証に用いることができる。したがって、ANDゲート242および243には、OR回路241の出力と同じであるハイレベルの信号が入力され、FF508およびFF509がキャプチャした値と、FF510とFF511がキャプチャした値とがそのままANDゲート242および243から出力される。   In the above description, the test pattern set in the FF 501 is the bit “1” indicating the high level, and the logical value of the CTL captured in the FF 501 is also the high level. In this case, since the output of the OR circuit 241 continues to be at a high level even after the Shift Enable is deactivated, one switch and the OR circuit that are closest to the OR circuit 241 among the switches in the power shutoff possible region 300 Except for the special case where the control signal line between 241 is disconnected and all the switches are always OFF, in principle, power is continuously supplied to the power shut-off possible region 300. Then, since the FF 508 to FF 511 continue to be driven, a scan path test using the FF 508 to FF 511 can be performed. Specifically, the logical values captured by the FFs 508 to 511 can be directly taken from the SO2 and SO3 into the test apparatus and used for verification. Therefore, the AND gates 242 and 243 receive the same high level signal as the output of the OR circuit 241, and the values captured by the FF 508 and FF 509 and the values captured by the FF 510 and FF 511 are used as they are. 243.

さて、上述したように、制御信号線の断線の有無を判別するためにはもう一度スキャンパステストを行う必要がある。通常、論理回路のテストを行うためにはスキャンチェーンの各FFに複数回、テストパターンを設定してスキャンパステストを行うため、この論理回路のスキャンパステストと並行して、CTLを伝播する信号線のテストも行う。   As described above, in order to determine whether or not the control signal line is disconnected, it is necessary to perform a scan path test again. Normally, in order to perform a test of a logic circuit, a test pattern is set in each FF of the scan chain a plurality of times and a scan path test is performed. Therefore, a signal that propagates the CTL in parallel with the scan path test of the logic circuit. Also do line testing.

上記の説明と同様に、まずShiftEnableを活性化する。例えばShiftEnableをハイレベルにする。図5において、各FFは、シフトレジスタを形成し、スキャンチェーンSIN1ないしSIN3が形成される。この状態で、テストパターンを、各SIN1ないしSIN3に供給する。ここで、今回のテストパターンの供給においては、FF501に設定されるテストパターンのビットがローレベルを示すビット“0”になるようにする。そうすると、FF501は、端子Qからローレベルを示す信号を出力していることになる。   Similar to the above description, first, ShiftEnable is activated. For example, ShiftEnable is set to high level. In FIG. 5, each FF forms a shift register, and scan chains SIN1 to SIN3 are formed. In this state, a test pattern is supplied to each SIN1 to SIN3. Here, in the supply of the test pattern this time, the bit of the test pattern set in the FF 501 is set to the bit “0” indicating the low level. Then, the FF 501 outputs a signal indicating a low level from the terminal Q.

そして上記の説明と同様にShiftEnableを非活性化し、OR回路241の出力がFF501からの出力信号を示すようにする。この時点でOR回路241の出力する信号はローレベルの論理値を示す。そして、係るOR回路241の出力した信号がFF502AおよびFF502Bに到達した後で、クロック信号のエッジがSIN1ないしSIN3の各FFに供給される。このクロックのエッジに応答して、上記の説明と同様に、各FFは、それぞれの端子Dに到達している信号の値を保持してそれぞれの端子Qから出力する。特に観測用FF502Aと観測用FF502Bは、OR回路241が出力した信号の値を保持する(CTLを伝搬する制御信号線が断線していなければ)。また、FF501は、CTL信号の論理値を保持する。なお、このときFF501に保持されるCTL信号の論理値はローレベルとする。   Similarly to the above description, ShiftEnable is deactivated so that the output of the OR circuit 241 indicates the output signal from the FF 501. At this time, the signal output from the OR circuit 241 indicates a low-level logic value. Then, after the signal output from the OR circuit 241 reaches FF502A and FF502B, the edge of the clock signal is supplied to each FF of SIN1 to SIN3. In response to this clock edge, each FF holds the value of the signal reaching the respective terminal D and outputs it from the respective terminal Q in the same manner as described above. In particular, the observation FF 502A and the observation FF 502B hold the value of the signal output from the OR circuit 241 (unless the control signal line propagating through the CTL is disconnected). The FF 501 holds the logical value of the CTL signal. At this time, the logical value of the CTL signal held in the FF 501 is set to a low level.

そしてShiftEnableを再び活性化することで、SIN1ないしSIN3のそれぞれに設けられた各FFがシフトレジスタとなり、保持していた値をクロック信号に応答してSO1ないしSO3へ出力する。出力されたこれらの値は、テスト装置に取り込まれ、検証される。   By activating ShiftEnable again, each FF provided in each of SIN1 to SIN3 becomes a shift register, and the held value is output to SO1 to SO3 in response to the clock signal. These output values are taken into the test apparatus and verified.

ここで、FF501に設定されたテストパターンはローレベルを示す“0”であった。CTLを伝播する制御信号線に断線が生じていなければ、FF502AおよびFF502Bにキャプチャされる値も“0”である。しかし、FF502AとOR回路241を接続する信号線に断線が生じていれば、FF502Aがキャプチャした信号の値は、前回、FF501にハイレベルを示す“1”を設定した場合のスキャンパステストの時と同じ値を示すことになる。また、同様に、FF502BとOR回路241を接続する信号線に断線が生じていれば、FF502Bがキャプチャした信号の値は、前記FF501にハイレベルを示す“1”を設定した場合のスキャンパステストの時と同じ値を示すことになる。   Here, the test pattern set in the FF 501 is “0” indicating a low level. If no disconnection occurs in the control signal line propagating through the CTL, the values captured by the FF 502A and the FF 502B are also “0”. However, if the signal line connecting the FF 502A and the OR circuit 241 is disconnected, the value of the signal captured by the FF 502A is the time of the scan path test when “1” indicating a high level is previously set in the FF 501. Will show the same value. Similarly, if the signal line connecting the FF 502B and the OR circuit 241 is disconnected, the value of the signal captured by the FF 502B is a scan path test when “1” indicating a high level is set in the FF 501. The same value as in the case of.

つまり、上述した2回のスキャンパステストを行うことで、CTL信号を伝播する制御信号に断線が生じているか否かを判別することができる。なお、上記した2回目のスキャンパステストでは、途中でFF508ないしFF511に電源が供給されなくなっている。これはFF501にローレベルを示すビット“0”をテストパターンとして設定したことによるものである。したがって、FF508ないしFF511が2回目のスキャンパステストにおいてキャプチャした値は、検証に用いるべきものではない。FF508ないし511への電源の供給が、FF508ないしFF511へテストパターンを設定した後のShiftEnableの非活性化に応答して停止しているため、FF508ないしFF511がその後のShiftEnableの活性化に応答して端子Qから出力する信号の値は不定の値であるためである。そのため、FF501がキャプチャしたCTL信号の値がローレベルとなっており、ANDゲート242およびANDゲート243が出力する信号がローレベルに固定されるようになっている。つまり、ANDゲート242および243は、電源制御可能領域300内のFF508ないし511の出力するデータをSO2ないしSO3へ出力させないようにするマスク回路の役割を果たす。   That is, it is possible to determine whether or not a disconnection has occurred in the control signal that propagates the CTL signal by performing the above-described two scan path tests. In the second scan path test described above, power is not supplied to the FF 508 to FF 511 midway. This is because bit “0” indicating a low level is set in the FF 501 as a test pattern. Therefore, the values captured by the FF 508 to FF 511 in the second scan path test should not be used for verification. Since the supply of power to the FFs 508 to 511 is stopped in response to the deactivation of ShiftEnable after setting the test pattern to the FF508 to FF511, the FF508 to FF511 responds to the subsequent activation of ShiftEnable. This is because the value of the signal output from the terminal Q is an indefinite value. For this reason, the value of the CTL signal captured by the FF 501 is at a low level, and signals output from the AND gate 242 and the AND gate 243 are fixed at a low level. That is, the AND gates 242 and 243 serve as a mask circuit that prevents the data output from the FFs 508 to 511 in the power controllable area 300 from being output to SO2 to SO3.

本実施の形態では、半導体集積回路100に設けられた論理回路を試験するためのスキャンチェーンの中にCTLを伝播する制御信号線のテストを行うためのFFを設けている。このことで、上述したように、試験すべき論理回路のスキャンパステストと並行して、CTLを伝播する制御信号の断線についての試験も行うことができるため、試験の効率化が図れる。
また、第1の実施の形態では、CTLを伝搬する制御信号線の信号の値を、直接外部の端子に出力する必要があった。テストのために外部端子を使用することは、ピン数の増大にもつながり、必ずしも好ましくない。しかし、本第2実施形態においては、係る制御信号線のテスト結果を、外部端子ではなく、スキャンチェーンを使って外部に出力することができる。これによりピン数の増加を招くことなく、制御信号線の断線の有無を特定できる。ひいては、回路の誤動作やリーク電流の増大等の要因が、係る制御信号線の断線によるものなのか、それ以外の要因なのかをピン数の増大なく特定することができる。
In the present embodiment, an FF for testing a control signal line that propagates CTL is provided in a scan chain for testing a logic circuit provided in the semiconductor integrated circuit 100. Accordingly, as described above, a test for disconnection of the control signal propagating through the CTL can be performed in parallel with the scan path test of the logic circuit to be tested, so that the efficiency of the test can be improved.
In the first embodiment, the signal value of the control signal line propagating through the CTL needs to be directly output to an external terminal. Use of external terminals for testing leads to an increase in the number of pins, which is not always preferable. However, in the second embodiment, the test result of the control signal line can be output to the outside using the scan chain instead of the external terminal. Thereby, the presence or absence of disconnection of the control signal line can be specified without increasing the number of pins. As a result, it is possible to specify whether a factor such as a malfunction of the circuit or an increase in leakage current is due to disconnection of the control signal line or other factors without increasing the number of pins.

なお、CTLを伝搬する信号線のテストを行うスキャンチェーンを構成する観測用FF501、502A、502B、503は、電源制御スイッチ310A、310Bの動作とは関係のない電源VDDで動作することが必要であるため、図5中では電源制御可能領域300の外部に観測用FFを配置する場合を例示したが、電源VDDで動作するように配線しておけば観測用FFを電源制御可能領域300に配置していてもよい。   Note that the observation FFs 501, 502 A, 502 B, and 503 constituting the scan chain for testing the signal line that propagates the CTL need to operate with the power supply VDD unrelated to the operation of the power control switches 310 A and 310 B. For this reason, FIG. 5 illustrates the case where the observation FF is arranged outside the power controllable region 300. However, if the observation FF is wired to operate with the power supply VDD, the observation FF is arranged in the power controllable region 300. You may do it.

またスキャンパステストを行うためのテストパターンの供給に際して、ShiftEnable信号を活性化させており、ShiftEnable信号はOR回路241を介して電源制御スイッチ310A、310Bに投入される。すると、テストパターンが示すビット列の状態によらず、OR回路241の出力はハイレベルで固定されるので、電源制御スイッチ310A、310BをばたつくことなくONにすることができる。   Also, when supplying a test pattern for performing a scan path test, the ShiftEnable signal is activated, and the ShiftEnable signal is input to the power control switches 310A and 310B via the OR circuit 241. Then, the output of the OR circuit 241 is fixed at a high level regardless of the state of the bit string indicated by the test pattern, so that the power supply control switches 310A and 310B can be turned on without fluttering.

(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態について説明する。
第3実施形態は、電源制御スイッチのオン・オフ状態を制御する信号CTLを伝搬する信号線の状態のテストとその他の論理回路のテストとを分離して行うための構成である。
第3実施形態では、第2実施形態と比較して、スキャンチェーンに入力するテストパターンの作成が容易になること、そしてテスト時間が短縮されるということ、さらにはテストパターンをツールによる自動生成により行えるということ、の三つの優位点がある。これらの優位点が得られる理由は後述する。
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the present invention will be described.
The third embodiment is a configuration for performing separately the test of the state of the signal line that propagates the signal CTL that controls the on / off state of the power control switch and the test of other logic circuits.
Compared to the second embodiment, the third embodiment makes it easier to create a test pattern to be input to the scan chain, reduces the test time, and further automatically generates the test pattern by a tool. There are three advantages: The reason why these advantages are obtained will be described later.

以下、第3実施形態において、どのようにテストが行われるのかを、図7および図8を用いて順を追って説明する。まず、制御信号CTLを伝搬する信号線が断線しているか否かのテストを行う。図7を参照して、最初にShiftEnable1を活性化する。例えばShiftEnable1をハイレベルにする。ShiftEnable1はこの実施の形態においては、FF501、FF502A、FF502Bに入力されている。また、ShiftEnable2は非活性化されており、SW_TESTは活性化され、ハイレベルとなっている。   Hereinafter, how the test is performed in the third embodiment will be described in order with reference to FIGS. 7 and 8. First, a test is performed to determine whether a signal line that propagates the control signal CTL is broken. Referring to FIG. 7, first, ShiftEnable1 is activated. For example, ShiftEnable1 is set to high level. In this embodiment, ShiftEnable1 is input to FF501, FF502A, and FF502B. Also, ShiftEnable2 is inactivated and SW_TEST is activated and is at a high level.

ShiftEnable1がハイレベルになったことで、OR回路244の出力がハイレベルとなり、FF501、FF502A、FF502Bは第2実施形態で説明したように、シフトレジスタを形成し、スキャンチェーンSIN1となる。なお、セレクタ231は、SW_TESTがハイレベルであることにより、SIN1に入力される信号をFF501に出力する。また、OR回路245の出力もハイレベルとなるため、OR回路241の出力はハイレベルとなり、電源制御可能領域300は電源が供給されている状態で固定される。   As ShiftEnable1 becomes high level, the output of the OR circuit 244 becomes high level, and the FF501, FF502A, and FF502B form a shift register and become the scan chain SIN1 as described in the second embodiment. Note that the selector 231 outputs a signal input to SIN1 to the FF 501 when SW_TEST is at a high level. Further, since the output of the OR circuit 245 is also at a high level, the output of the OR circuit 241 is at a high level, and the power controllable area 300 is fixed in a state where power is supplied.

次に、SIN1に対してテストパターンを入力する。
このときのテストパターンは、制御信号CTLを伝搬する信号線をテストするためにFF501に入力するテストパターンのみを考慮して作成される。FF502Aおよび502Bに対してテストパターンを設定する必要はない。テストパターンがFF501に設定された後、第2実施形態と同様にShiftEnable1を非活性化、例えばローレベルにする。なお、FF501に設定されるテストパターンは、ここではハイレベルを示す“1”とする。なお、この実施の形態では、SIN1を用いたスキャンパステストにおいては電源制御可能領域300の内部に設けられた論理回路のテストは行わない。係る論理回路のテストは、後述する別のスキャンチェーンSIN2を用いたスキャンパステストの際に行う。したがって、ここでFF501に設定されるテストパターンが“1”または“0”でも、第2実施形態のようにその後のテストに影響することはないが、ここではFF501には“1”が設定されたものとする。
Next, a test pattern is input to SIN1.
The test pattern at this time is created considering only the test pattern input to the FF 501 in order to test the signal line that propagates the control signal CTL. It is not necessary to set a test pattern for the FFs 502A and 502B. After the test pattern is set to FF501, ShiftEnable1 is deactivated, for example, at a low level, as in the second embodiment. Note that the test pattern set in the FF 501 is “1” indicating a high level here. In this embodiment, the test of the logic circuit provided in the power controllable area 300 is not performed in the scan path test using SIN1. The test of the logic circuit is performed at the time of a scan path test using another scan chain SIN2 described later. Therefore, even if the test pattern set in the FF 501 is “1” or “0”, it does not affect the subsequent test as in the second embodiment, but “1” is set in the FF 501 here. Shall be.

その後、ShiftEnable1が非活性化され、SIN1に含まれる各FFは、第2実施形態で詳細に説明したように、データ端子Dに到達しているデータを保持して端子Qから出力する。このとき、FF502Aおよび502Bは、OR回路241が出力した信号の論理値を保持して端子Qから出力する(信号線が断線していなければ)ことも、第2実施形態と同様である。
なお、FF501に設定されたテストパターンが“1”であったため、ShiftEnable1の非活性化の際にはOR回路241の出力はハイレベルのままである。しかし、SIN1に含まれる各FFがその後に端子Dに到達しているデータを保持した際のOR回路241の出力は、CTL信号の論理値がハイレベルかローレベルかに依存して変化する。しかし、上述したように、このSIN1を用いたスキャンパステストにおいては、電源制御可能領域300内の論理回路をテストしないため、ここでは議論しないこととする。
After that, ShiftEnable1 is deactivated, and each FF included in SIN1 holds the data reaching the data terminal D and outputs it from the terminal Q as described in detail in the second embodiment. At this time, the FFs 502A and 502B hold the logical value of the signal output from the OR circuit 241 and output it from the terminal Q (if the signal line is not disconnected), as in the second embodiment.
Since the test pattern set in the FF 501 is “1”, the output of the OR circuit 241 remains at the high level when the ShiftEnable1 is deactivated. However, the output of the OR circuit 241 when each FF included in SIN1 holds the data that subsequently reaches the terminal D changes depending on whether the logical value of the CTL signal is high level or low level. However, as described above, in the scan path test using this SIN1, the logic circuit in the power controllable area 300 is not tested, so it will not be discussed here.

続いて、ShiftEnable1を再び活性化して、SIN1に含まれる各FFがシフトレジスタを形成するようにする。SIN1の各FFにクロックが供給され、各FFが保持している信号の値が端子SO1から出力される。SO1から出力された値は、テスト装置に取り込まれ、検証される。   Subsequently, ShiftEnable1 is activated again so that each FF included in SIN1 forms a shift register. A clock is supplied to each FF of SIN1, and the value of the signal held by each FF is output from the terminal SO1. The value output from SO1 is taken into the test apparatus and verified.

ここで、FF502A,FF502BがSO1に出力した信号の値は、制御信号CTLを伝搬する信号線が断線していなければ、OR回路241が出力したデータであるが、当該信号線が断線していれば、断線によって生じる固定の論理値に過ぎない。したがって、第2実施形態と同様に、上記のスキャンパステストを再度行う必要がある。   Here, the value of the signal output to SO1 by the FF 502A and FF 502B is the data output by the OR circuit 241 unless the signal line that propagates the control signal CTL is disconnected, but the signal line is disconnected. For example, it is only a fixed logical value caused by disconnection. Therefore, as in the second embodiment, it is necessary to perform the scan path test again.

次のスキャンパステストでは、FF501に設定するテストパターンをローレベルを示す“0”にすればよい。この結果、上記と同様に処理を進めて、SO1からそのテスト結果を取得する。その結果、1回目と2回目とで、FF502AがSO1に出力した信号値が変化していれば、OR回路241とFF502Aを接続する制御信号線は断線していない。一方1回目と2回目で、FF502AがSO1に出力した信号値が変化せず、固定の論理値であれば、OR回路241とFF502Aを接続する制御信号線は断線している。FF502BとOR回路241を結ぶ信号線についても同様に判定できる。   In the next scan path test, the test pattern set in the FF 501 may be set to “0” indicating a low level. As a result, the process proceeds in the same manner as described above, and the test result is acquired from SO1. As a result, if the signal value output from the FF 502A to SO1 changes between the first time and the second time, the control signal line connecting the OR circuit 241 and the FF 502A is not disconnected. On the other hand, if the signal value output from FF 502A to SO1 does not change in the first and second times and the logic value is fixed, the control signal line connecting OR circuit 241 and FF 502A is disconnected. The same determination can be made for the signal line connecting the FF 502B and the OR circuit 241.

以上で、制御信号線CTLを伝搬する信号線が断線しているか否かは判別できる。そこで、続いて、半導体集積回路上に設けられた論理回路のテストを行う。そのために、本実施の形態では、SIN1とは別に設けられたスキャンチェーンSIN2を用いる。なお、SIN2は、図7および図8においては、常時電源が供給される領域200のみに張られているが、実際には電源制御可能領域300にも張られており、電源制御可能領域300内に設けられた論理回路のテストを行うためにも用いられる。   From the above, it can be determined whether or not the signal line propagating through the control signal line CTL is disconnected. Therefore, subsequently, the logic circuit provided on the semiconductor integrated circuit is tested. Therefore, in this embodiment, a scan chain SIN2 provided separately from SIN1 is used. In FIG. 7 and FIG. 8, SIN2 is stretched only in the region 200 to which power is always supplied, but is actually stretched also in the power controllable region 300, and in the power controllable region 300 It is also used for testing a logic circuit provided in the circuit.

図8を参照して、まず、ShiftEnable2を活性化する。例えばハイレベルにする。そしてSW_TESTを、非活性化、例えばローレベルに固定する。ここで、ShiftEnable1は、非活性化されているままである。ShiftEnable2の活性化に応答して、FF501、FF512ないし515がシフトレジスタを形成し、スキャンチェーンSIN2が形成される。なお、セレクタ231は、SW_TESTの非活性化に伴いFF513の端子Qから出力されるデータをFF501に出力する。ここで、このSIN2を用いる場合においては、SW_TESTが非活性化されていることによってOR回路245の出力はハイレベルとなるため、OR回路241の出力もハイレベルとなる。つまり、電源制御可能領域300は、電圧が供給されているON状態に固定されることになる。   Referring to FIG. 8, first, ShiftEnable2 is activated. For example, a high level is set. Then, SW_TEST is deactivated, for example, fixed to a low level. Here, ShiftEnable1 remains inactivated. In response to the activation of ShiftEnable2, FF501 and FF512 to 515 form a shift register, and a scan chain SIN2 is formed. Note that the selector 231 outputs data output from the terminal Q of the FF 513 to the FF 501 in accordance with the deactivation of SW_TEST. Here, in the case of using this SIN2, since the output of the OR circuit 245 becomes high level due to the inactivation of SW_TEST, the output of the OR circuit 241 also becomes high level. That is, the power controllable area 300 is fixed to an ON state in which a voltage is supplied.

ここで、図8には図示されていないが、電源制御可能領域300内にもSIN2が張られている。すなわち電源制御可能領域300内に設けられた論理回路のテストもSIN2を用いて並行して合わせて行う。これは、電源制御可能領域300が、SW_TESTが非活性化されている場合にはオン状態で固定されるため、電源制御可能領域300内に設けられたスキャンチェーンを構成する各FFに対する電圧供給が遮断されることがないためである。つまり、この場合においては、係る電源制御可能領域300内のSIN2に含まれるFFが出力するテスト結果が、第2実施形態の場合のような不定の値になるケースが存在しないので、常時ONの領域と電源制御可能領域300内の論理回路のテストをあわせて行っても信頼できる検証が行える。   Here, although not shown in FIG. 8, SIN 2 is also extended in the power controllable area 300. In other words, the logic circuit provided in the power controllable area 300 is also tested in parallel using SIN2. This is because the power supply controllable region 300 is fixed in an ON state when SW_TEST is inactivated, so that the voltage supply to each FF constituting the scan chain provided in the power supply controllable region 300 is performed. This is because it is not blocked. That is, in this case, there is no case where the test result output by the FF included in the SIN2 in the power controllable area 300 has an indefinite value as in the second embodiment. Reliable verification can be performed even when the logic circuit in the area and the power controllable area 300 is tested together.

以降は、これまでの説明と同様である。すなわち、ShiftEnable2が活性化されているため、SIN2の各FFに対してテストパターンを設定する。そして、ShiftEnable2を非活性化し、SIN2の各FFが端子Dに到達しているデータをキャプチャする。その後、ShiftEnable2を再び活性化し、SO2から論理回路のテスト結果を出力する。そして、出力された結果を検証する。   The subsequent steps are the same as described above. That is, since ShiftEnable2 is activated, a test pattern is set for each FF of SIN2. Then, ShiftEnable2 is deactivated, and data in which each FF of SIN2 reaches the terminal D is captured. Thereafter, ShiftEnable2 is activated again, and the test result of the logic circuit is output from SO2. Then, the output result is verified.

この第3実施形態では、制御信号CTLを伝搬する信号線の断線を判別するためのスキャンパステストと、論理回路のテストを行うためのスキャンパステストと、を分離して行った。これにより、テストパターンを、信号線のテストのためのパターンと、論理回路をテストするためのパターンと、に分けて作成することができる。第2実施形態では、信号線の断線と論理回路のテストを同時に行っていたため、複雑なテストパターンの生成が必要となるが、第3実施形態はこの点で優位である。   In the third embodiment, the scan path test for determining the disconnection of the signal line that propagates the control signal CTL and the scan path test for testing the logic circuit are performed separately. As a result, the test pattern can be created separately for the pattern for testing the signal line and the pattern for testing the logic circuit. In the second embodiment, since the disconnection of the signal line and the test of the logic circuit are performed at the same time, it is necessary to generate a complicated test pattern, but the third embodiment is advantageous in this respect.

また、第3実施形態では、テストパターンの作成を自動生成ツールで行うことができる。テストパターンを作成するツールは、電源制御可能領域300に対する電源の供給が停止することを考慮してテストパターンを作成することができない。言い換えれば、ツールは、すべて電源が常時ONであることを前提として、テストパターンを生成する。第2実施形態では、図5におけるFF501に設定されるテストパターンの値やFF501にキャプチャされる値を決定するCTLの値によって、電源制御可能領域300に対する電源の供給が途中で停止される場合があった。特に、CTLが第2実施形態において外部入力の場合はハイレベルで固定すればよいので大きな問題とはならないが、図7や図8のように所定の論理回路が出力する信号CTLとなる場合には、当該論理回路の出力であるCTLを様々なテストパターンで検証する必要があり、CTLがローレベルとなるケースが数多く発生する。そうすると、図5のような第2実施形態においては、CTLを伝搬する信号線のテストの後に行う論理回路のテストにおいて、各FFがキャプチャを行う際に電源制御可能領域300がオフ状態となるケースが多発する(ShiftEnableは非活性であることに留意)。このような状況においてスキャンパステストのテストパターンを作成しようとする場合、自動生成ツールを用いることはできない。したがって、第2実施形態では、テストパターンの作成を手作業で行わざるを得なくなるということになる。その点、第3実施形態では、論理回路のテストを行う場合には電源制御可能領域300には常時電源が供給されている。つまり、この場合においては、テストパターンを自動生成ツールによって作成することができる。したがって、第3実施形態は、第2実施形態と比較して、開発期間の大幅な短縮という優れた効果を発揮する。   In the third embodiment, a test pattern can be created with an automatic generation tool. A tool for creating a test pattern cannot create a test pattern in consideration of the fact that power supply to the power controllable area 300 is stopped. In other words, all the tools generate test patterns on the assumption that the power supply is always on. In the second embodiment, the supply of power to the power controllable region 300 may be stopped halfway depending on the value of the test pattern set in the FF 501 and the value of CTL that determines the value captured in the FF 501 in FIG. there were. In particular, when the CTL is an external input in the second embodiment, it is only necessary to fix it at a high level, which is not a big problem. However, when the signal CTL is output from a predetermined logic circuit as shown in FIGS. Therefore, it is necessary to verify the CTL that is the output of the logic circuit with various test patterns, and there are many cases where the CTL becomes a low level. Then, in the second embodiment as shown in FIG. 5, in the test of the logic circuit that is performed after the test of the signal line that propagates the CTL, the power controllable region 300 is turned off when each FF performs the capture. Occur frequently (note that ShiftEnable is inactive). When trying to create a test pattern for a scan path test in such a situation, the automatic generation tool cannot be used. Therefore, in the second embodiment, the test pattern must be manually created. In that respect, in the third embodiment, when the logic circuit is tested, the power controllable area 300 is always supplied with power. That is, in this case, the test pattern can be created by the automatic generation tool. Therefore, the third embodiment exhibits an excellent effect of greatly shortening the development period compared to the second embodiment.

さらに、第3実施形態は、第2実施形態と比較して、テスト時間が短縮されるという効果を発揮する。第2実施形態では、上述したように、CTLが論理回路の出力である場合、スキャンパステストの際に電源制御可能領域300に対する電源の供給が停止され、その後に再開されることが多発する場合があった。スキャンパステスト中に電源の供給が停止され、その後に電源の供給が開始されると、電源が供給する電圧の値が安定するまでの間、スキャンチェーンの各FFが端子Dに到達している値をキャプチャするのを待たなければならないという制約が課される。一方、第3実施形態では、信号線の断線のテストと論理回路のテストを分離して行っている。論理回路のテストでは、電源の供給が停止されることがないため、上記の制約は発生しない。その分、論理回路に対するスキャンパステストに必要となる時間が短縮される。   Furthermore, the third embodiment exhibits an effect that the test time is shortened as compared with the second embodiment. In the second embodiment, as described above, when the CTL is the output of the logic circuit, the supply of power to the power controllable region 300 is stopped and frequently restarted after the scan path test. was there. When the power supply is stopped during the scan path test and then the power supply is started, each FF of the scan chain reaches the terminal D until the value of the voltage supplied by the power supply stabilizes. The constraint is that you have to wait for the value to be captured. On the other hand, in the third embodiment, the signal line disconnection test and the logic circuit test are performed separately. In the test of the logic circuit, since the power supply is not stopped, the above restriction does not occur. Accordingly, the time required for the scan path test for the logic circuit is shortened.

以上、第3の実施の形態を説明したが、例えば、論理回路のスキャンパステストを行った後に、信号線の断線の有無を検査するためのスキャンパステストを行ってもよい。   Although the third embodiment has been described above, for example, after performing a scan path test of a logic circuit, a scan path test for inspecting whether or not a signal line is disconnected may be performed.

(第4実施形態)
次に、上記第2実施形態および第3実施形態で説明した電源制御スイッチのテスト回路を備える半導体集積回路の設計方法について説明する。
まず、従来の設計手法およびその課題について説明する。
図9、図11は、従来の設計手法の手順を示す図である。
図9は、電源制御スイッチを備える半導体集積回路において、電源制御スイッチのスキャンテストを挿入しない場合の設計手法の手順を示すフローチャートである。
図9を参照して、電源制御スイッチを備える半導体集積回路において、電源制御スイッチのスキャンテストを挿入しない場合の設計手順を説明する。
(Fourth embodiment)
Next, a method for designing a semiconductor integrated circuit including the power control switch test circuit described in the second and third embodiments will be described.
First, a conventional design method and its problems will be described.
9 and 11 are diagrams showing a procedure of a conventional design method.
FIG. 9 is a flowchart showing a procedure of a design method when a scan test of the power control switch is not inserted in a semiconductor integrated circuit including the power control switch.
With reference to FIG. 9, a design procedure when a scan test of the power control switch is not inserted in a semiconductor integrated circuit including the power control switch will be described.

まず、レイアウト処理(ST100)として、回路接続情報の生成を行い(ST101)、さらに、電源階層を決める(ST102)。
ここで、電源階層の決定(ST102)では、例えば図10に示すように、常時ON領域とする回路ブロックと電源制御可能領域の回路ブロックとを切り分ける。
First, as layout processing (ST100), circuit connection information is generated (ST101), and a power supply hierarchy is determined (ST102).
Here, in the determination of the power supply hierarchy (ST102), for example, as shown in FIG. 10, the circuit block that is always in the ON region and the circuit block in the power controllable region are separated.

続いて、DFT処理(Design For Testability)として、スキャンパスの挿入を行う。ここでは、電源制御スイッチのテストを行わないため、従来通り、回路内のフリップフロップをスキャンFFに置き換えてスキャンチェーンを構成するようにする。   Subsequently, a scan path is inserted as a DFT process (Design For Testability). Here, since the test of the power control switch is not performed, the scan chain is configured by replacing the flip-flop in the circuit with the scan FF as usual.

そして、レイアウト処理(ST300)として、フロアプランを生成し(ST301)、さらに、電源制御スイッチを挿入する(ST302)。最後に、配置・配線を行う(ST500)。   Then, as a layout process (ST300), a floor plan is generated (ST301), and a power control switch is inserted (ST302). Finally, placement and wiring are performed (ST500).

このように電源制御スイッチを備える半導体集積回路において、電源制御スイッチのスキャンテストを挿入しない場合には通常のDFT処理が一回だけであり、スムーズな設計が行われる。しかし、電源制御スイッチのスキャンテストが挿入されていないので、できた製品に不良があった場合には原因特定が困難になる。   Thus, in a semiconductor integrated circuit including a power control switch, when a scan test of the power control switch is not inserted, a normal DFT process is performed only once, and a smooth design is performed. However, since a scan test of the power control switch is not inserted, it is difficult to identify the cause if the product is defective.

次に、図11は、電源制御スイッチを備える半導体集積回路において、電源制御スイッチのスキャンテストを挿入する場合の設計手順を示す図である。
この場合、レイアウト処理(ST100)、スキャン挿入(ST200)、レイアウト処理(ST300)は図9で説明した工程と同じである。
ここで、電源制御スイッチのスキャンパスを挿入するため、電源制御スイッチの挿入(ST302)を行った後、再び、DFT処理(ST400)を行う。すなわち、スイッチ観測用FFを挿入し(ST401)、スイッチ観測用FFを含むスキャンパスを挿入する(ST402)。そして、最後に、レイアウト処理として、配置・配線を行う(ST500)。
Next, FIG. 11 is a diagram showing a design procedure when a scan test of the power control switch is inserted in a semiconductor integrated circuit including the power control switch.
In this case, the layout process (ST100), scan insertion (ST200), and layout process (ST300) are the same as the steps described in FIG.
Here, in order to insert the scan path of the power control switch, after the power control switch is inserted (ST302), the DFT processing (ST400) is performed again. That is, a switch observation FF is inserted (ST401), and a scan path including the switch observation FF is inserted (ST402). Finally, placement and wiring are performed as layout processing (ST500).

この手順によれば、電源制御スイッチのスキャン挿入を行える。
しかし、DFT処理を二回に分けて行っているため、DFT処理とレイアウト処理との間でデータのやり取り回数が多くなり、回路設計にかかる手間と時間が非常に多くなってしまう。
また、レイアウト処理は、最後の配置・配線が最適になるように何回かフロアプランを修正しながら行うことになる。すると、フロアプランを修正するたびに電源制御スイッチのためのDFT処理(ST400)も繰り返さなければならなくなる。そのため、電源制御スイッチのためのスキャン挿入を行うには飛躍的な工程の増加が必要となる。
According to this procedure, the power supply control switch can be scanned and inserted.
However, since the DFT process is performed twice, the number of data exchanges between the DFT process and the layout process increases, and the labor and time required for circuit design become very large.
The layout process is performed while correcting the floor plan several times so that the final placement / wiring is optimized. Then, every time the floor plan is corrected, the DFT processing (ST400) for the power control switch must be repeated. Therefore, a dramatic increase in the number of steps is required to perform scan insertion for the power control switch.

これに対し、本発明の回路設計方法としての第4実施形態について説明する。
図12は、電源制御スイッチを備える半導体集積回路において、電源制御スイッチのスキャンテストを挿入する場合の設計手順を示す図である。
図12においては、レイアウト処理(ST100)として電源階層を決めた後、DFT処理によるスキャン挿入(ST200)を行う前に、電源制御可能領域に出力ノードを追加し(ST111)、さらに、スイッチ観測用FFを挿入して前記出力ノードとの接続を行う。すなわち、図13に示すように、電源制御可能領域300に出力ノード330A、330Bを追加し、スイッチ観測用FF502A,502Bを挿入して前記出力ノード330A、330Bとの接続を行う。そして、通常のDFT処理としてスキャン挿入(ST200)を行う。
In contrast, a fourth embodiment as a circuit design method of the present invention will be described.
FIG. 12 is a diagram showing a design procedure when a scan test of the power control switch is inserted in a semiconductor integrated circuit including the power control switch.
In FIG. 12, after determining the power supply hierarchy as the layout process (ST100), before performing the scan insertion (ST200) by the DFT process, an output node is added to the power controllable area (ST111), and further for switch observation An FF is inserted to connect to the output node. That is, as shown in FIG. 13, output nodes 330A and 330B are added to the power controllable area 300, and switch observation FFs 502A and 502B are inserted to connect to the output nodes 330A and 330B. Then, scan insertion (ST200) is performed as normal DFT processing.

レイアウト処理(ST300)として、フロアプラン(ST301)、電源制御スイッチ挿入(ST302)を行った後、電源制御スイッチの最終段を出力ノードに接続する(ST310)。すると、電源制御スイッチのテストが可能な回路になる。最後に配置・配線を行う(ST500)。   As layout processing (ST300), after performing a floor plan (ST301) and power supply control switch insertion (ST302), the final stage of the power supply control switch is connected to the output node (ST310). Then, it becomes a circuit which can test the power supply control switch. Finally, placement and wiring are performed (ST500).

このような手順にすることにより、DFT処理(ST200)は一回で済む。また、DFT処理(ST200)の前に、出力ノードおよびスイッチ観測用FFを挿入しているので、DFT処理(ST200)は通常のスキャン挿入とほとんど変わりなく行え、回路設計を容易にすることができる。   By adopting such a procedure, the DFT process (ST200) can be performed only once. Since the output node and the switch observation FF are inserted before the DFT processing (ST200), the DFT processing (ST200) can be performed almost the same as the normal scan insertion, and the circuit design can be facilitated. .

なお、第4実施形態における設計方法は、CPUおよびメモリを備えたコンピュータに半導体集積回路のレイアウトプログラムを実行させて、上記各工程を自動処理によって実行させてもよいことはもちろんである。   In the design method according to the fourth embodiment, it is needless to say that a computer having a CPU and a memory can execute a layout program for a semiconductor integrated circuit, and the above processes can be executed automatically.

本発明は上述した実施の形態のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることは勿論である。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

10…半導体集積回路、11…常時ON領域、12…電源制御可能領域、13A、13B…電源制御スイッチ、14…半導体スイッチ、15…バッファ、16…制御信号線、17…スイッチセル、18、19…論理回路、100…半導体集積回路、200…常時ON領域、211、212、213…論理ゲート、230、231…マルチプレクサ、241…OR回路、242、243…論理ゲート、244、245…OR回路、300…電源制御可能領域、310A、310B…電源制御スイッチ、320…電源制御信号線、330A、330B…出力ノード、340A〜340F…出力端子、350…スキャンアウト端子、400…フリップフロップ、410…マルチプレクサ、501〜515…観測用FF。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Semiconductor integrated circuit, 11 ... Always ON area | region, 12 ... Power supply controllable area | region, 13A, 13B ... Power supply control switch, 14 ... Semiconductor switch, 15 ... Buffer, 16 ... Control signal line, 17 ... Switch cell, 18, 19 ... logic circuit, 100 ... semiconductor integrated circuit, 200 ... always ON region, 211, 212, 213 ... logic gate, 230, 231 ... multiplexer, 241 ... OR circuit, 242, 243 ... logic gate, 244, 245 ... OR circuit, 300 ... Power controllable area, 310A, 310B ... Power control switch, 320 ... Power control signal line, 330A, 330B ... Output node, 340A-340F ... Output terminal, 350 ... Scan-out terminal, 400 ... Flip-flop, 410 ... Multiplexer , 501 to 515 ... FF for observation.

Claims (23)

第1の電源ラインと、
第2の電源ラインと、
前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインの間に接続されており、所定の回路に接続されている第1のスイッチと、
前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインの間に接続されており、所定の回路に接続されている第2のスイッチと、
前記第1のスイッチに接続される第1の制御信号線と、
前記第2のスイッチに接続される第2の制御信号線と、
前記第1の制御信号線及び前記第2の制御信号線からの制御信号がそれぞれ入力される論理ゲートと、
前記論理ゲートと接続され、前記論理ゲートの出力を外部に出力する端子と、を有し、
前記第1の制御信号線は、前記第1の電源ラインと交差する方向に延在している
ことを特徴とする半導体集積回路。
A first power line;
A second power line;
A first switch connected between the first power supply line and the second power supply line and connected to a predetermined circuit;
A second switch connected between the first power supply line and the second power supply line and connected to a predetermined circuit;
A first control signal line connected to the first switch;
A second control signal line connected to the second switch;
Logic gates to which control signals from the first control signal line and the second control signal line are respectively input;
A terminal connected to the logic gate and outputting the output of the logic gate to the outside;
The semiconductor integrated circuit, wherein the first control signal line extends in a direction intersecting with the first power supply line.
前記第1の制御信号線は、前記第2の電源ラインとも交差する方向に延在している
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the first control signal line extends in a direction intersecting with the second power supply line.
前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインは、略平行に延在している
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the first power supply line and the second power supply line extend substantially in parallel.
グランドラインをさらに有し、
前記第2の電源ラインは、平面視において、前記第1の電源ラインと前記グランドラインとの間で延在している
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
A ground line,
The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the second power supply line extends between the first power supply line and the ground line in a plan view.
前記グランドラインは、前記第1及び第2の電源ラインと略平行に延在している
ことを特徴とする請求項4に記載の半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 4, wherein the ground line extends substantially parallel to the first and second power supply lines.
前記第2の制御信号線は、前記第1の電源ラインと交差する方向に延在している
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the second control signal line extends in a direction intersecting with the first power supply line.
前記第2の制御信号線は、前記第2の電源ラインとも交差する方向に延在している
ことを特徴とする請求項6に記載の半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 6, wherein the second control signal line extends in a direction intersecting with the second power supply line.
前記第1の制御信号線及び前記第2の制御信号線は、略平行に延在している
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the first control signal line and the second control signal line extend substantially in parallel.
第3の電源ラインと、別のグランドラインと、を有し、平面視において、前記第3の電源ラインと前記別のグランドラインとの間には電源ラインが延在していない
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
A third power supply line and another ground line, and the power supply line does not extend between the third power supply line and the other ground line in plan view. The semiconductor integrated circuit according to claim 1.
前記第1のスイッチは複数設けられており、
前記第2のスイッチは複数設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
A plurality of the first switches are provided,
The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein a plurality of the second switches are provided.
前記論理ゲートは、ANDゲート、ORゲートおよびEX−ORゲートのいずれかである
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the logic gate is an AND gate, an OR gate, or an EX-OR gate.
第1の電源ラインと、
第2の電源ラインと、
前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインの間に接続されており、所定の回路に接続されているスイッチと、
前記スイッチと接続される制御信号線と、
前記制御信号線が接続されるスキャンチェーンと、
前記制御信号線に接続される論理和演算部と、
前記スキャンチェーンの出力を外部に出力する端子と、を有する
ことを特徴とする半導体集積回路。
A first power line;
A second power line;
A switch connected between the first power supply line and the second power supply line and connected to a predetermined circuit;
A control signal line connected to the switch;
A scan chain to which the control signal line is connected;
An OR operation unit connected to the control signal line;
And a terminal for outputting the output of the scan chain to the outside.
前記制御信号線は、前記第1の電源ラインと交差する方向に延在している
ことを特徴とする請求項12に記載の半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 12, wherein the control signal line extends in a direction intersecting with the first power supply line.
前記制御信号線は、前記第2の電源ラインとも交差する方向に延在している
ことを特徴とする請求項13に記載の半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 13, wherein the control signal line extends in a direction intersecting with the second power supply line.
前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインは、略平行に延在している
ことを特徴とする請求項12に記載の半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 12, wherein the first power supply line and the second power supply line extend substantially in parallel.
グランドラインをさらに有し、
前記第2の電源ラインは、前記第1の電源ラインと前記グランドラインの間で延在している
ことを特徴とする請求項12に記載の半導体集積回路。
A ground line,
The semiconductor integrated circuit according to claim 12, wherein the second power supply line extends between the first power supply line and the ground line.
前記グランドラインは、前記第1及び第2の電源ラインと略平行に延在している
ことを特徴とする請求項16に記載の半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 16, wherein the ground line extends substantially parallel to the first and second power supply lines.
前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインとの間に接続され、所定の回路に接続されており、前記スイッチとは別のスイッチと、
前記別のスイッチと接続され、前記制御信号線とは別の制御信号線と、をさらに有する
ことを特徴とする請求項12に記載の半導体集積回路。
Connected between the first power supply line and the second power supply line, connected to a predetermined circuit, and a switch different from the switch;
The semiconductor integrated circuit according to claim 12, further comprising a control signal line connected to the another switch and different from the control signal line.
前記別の制御信号線は、前記スキャンチェーン及び前記論理和演算部に接続されている
ことを特徴とする請求項18に記載の半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 18, wherein the another control signal line is connected to the scan chain and the OR operation unit.
前記制御信号線と前記別の制御信号線とは、略平行に延在している
ことを特徴とする請求項18に記載の半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 18, wherein the control signal line and the another control signal line extend substantially in parallel.
前記制御信号線と交差する方向に、前記スキャンチェーンとは別のスキャンチェーンが設けられている
ことを特徴とする請求項12に記載の半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 12, wherein a scan chain different from the scan chain is provided in a direction crossing the control signal line.
論理積演算部を有し、
前記論理和演算部の入力と、前記論理積演算部の入力が、接続されている
ことを特徴とする請求項21に記載の半導体集積回路。
An AND operation unit,
The semiconductor integrated circuit according to claim 21, wherein an input of the logical sum operation unit and an input of the logical product operation unit are connected.
前記スイッチは複数設けられている
ことを特徴とする請求項12に記載の半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 12, wherein a plurality of the switches are provided.
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