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JP5492757B2 - Filter device for ink jet printer, method of manufacturing filter device, and filter - Google Patents

Filter device for ink jet printer, method of manufacturing filter device, and filter Download PDF

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JP5492757B2 JP2010273250A JP2010273250A JP5492757B2 JP 5492757 B2 JP5492757 B2 JP 5492757B2 JP 2010273250 A JP2010273250 A JP 2010273250A JP 2010273250 A JP2010273250 A JP 2010273250A JP 5492757 B2 JP5492757 B2 JP 5492757B2
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Description

本発明の実施形態は、インクジェットプリンタ用のフィルタ装置、フィルタ装置の製造方法、およびフィルタに関する。   Embodiments described herein relate generally to a filter device for an inkjet printer, a method for manufacturing the filter device, and a filter.

インクジェットプリンタは、インクジェットヘッドに供給されるインクを濾過するためのフィルタ装置を備える。このフィルタ装置は、インクタンクとインクジェットヘッドとの間に介在し、例えば金属メッシュや不織布のようなフィルタによってインク中の不純物を取り除く。   The ink jet printer includes a filter device for filtering ink supplied to the ink jet head. This filter device is interposed between the ink tank and the inkjet head, and removes impurities in the ink by a filter such as a metal mesh or a nonwoven fabric.

金属膜フィルタの一例として、電鋳によって形成されたニッケル薄膜がある。電鋳によってフィルタを形成することにより、フィルタにバリが発生せず、フィルタの孔を小さく形成できる。このため、濾過特性の優れたフィルタを形成できる。   An example of the metal film filter is a nickel thin film formed by electroforming. By forming the filter by electroforming, no burr is generated in the filter, and the filter hole can be formed small. For this reason, a filter having excellent filtration characteristics can be formed.

フィルタ装置は、樹脂製のホルダの内部に上述のフィルタを配置して形成される。ホルダは例えばインクタンクに通じる部材とインクジェットヘッドに通じる部材とによって構成され、この2つの部材がフィルタを挟み込むことでフィルタがホルダの内部に固定される。フィルタを挟み込んだ2つの部材を例えば超音波溶接によって溶着することにより、フィルタ装置が形成される。   The filter device is formed by arranging the above-described filter inside a resin holder. The holder is composed of, for example, a member that communicates with the ink tank and a member that communicates with the ink jet head, and the two members sandwich the filter so that the filter is fixed inside the holder. A filter device is formed by welding two members sandwiching the filter, for example, by ultrasonic welding.

特開2002−210960号公報JP 2002-210960 A

金属膜によって形成されるフィルタの線膨張係数は、樹脂で形成されるホルダの線膨張係数との間に差がある。このため、例えば溶着時の発熱によるホルダの膨張および収縮のため、ホルダに固定されたフィルタに皺が生じるおそれがある。   There is a difference between the linear expansion coefficient of the filter formed of the metal film and the linear expansion coefficient of the holder formed of resin. For this reason, there exists a possibility that a wrinkle may arise in the filter fixed to the holder, for example because of expansion and contraction of the holder by the heat generated at the time of welding.

フィルタに生じた皺によって、フィルタとホルダとの間に隙間ができる。この隙間がフィルタの孔より大きいと、隙間を通って未濾過のインクがインクジェットヘッドに供給されてしまう。このため、フィルタに皺が生じた場合、そのフィルタは不良品として廃棄することとなり、歩留まりが悪化してしまう。   A gap is formed between the filter and the holder due to wrinkles generated in the filter. If this gap is larger than the hole of the filter, unfiltered ink is supplied to the inkjet head through the gap. For this reason, when wrinkles occur in the filter, the filter is discarded as a defective product, and the yield deteriorates.

本発明の目的は、フィルタの皺を抑制できるインクジェットプリンタ用のフィルタ装置、その製造方法、および皺の発生を抑制できるインクジェットプリンタ用のフィルタを提供することにある。   The objective of this invention is providing the filter apparatus for inkjet printers which can suppress the wrinkle of a filter, its manufacturing method, and the filter for inkjet printers which can suppress generation | occurrence | production of wrinkles.

一つの実施の形態に係るインクジェットプリンタ用のフィルタ装置は、
第1のホルダ部材と、前記第1のホルダ部材に固定される第2のホルダ部材と、前記第1のホルダ部材と前記第2のホルダ部材とに囲まれたフィルタ室と、を有したホルダと、複数の孔が形成された濾過部と、前記濾過部と一体に設けられるとともに前記濾過部を囲んだ外周部と、を有し、前記フィルタ室を仕切った金属膜であるフィルタと、を具備し、前記フィルタの前記外周部は、前記濾過部よりも厚く形成され、互いに隙間を介して配置されるとともに前記第1のホルダ部材と前記第2のホルダ部材とに挟持された複数の第1の部分と、前記複数の第1の部分の間で潰れることで、前記複数の第1の部分の間の隙間の前記フィルタ室に開口する断面積を前記濾過部の前記孔の断面積よりも狭くする第2の部分と、を含む。
A filter device for an ink jet printer according to one embodiment includes:
A holder having a first holder member, a second holder member fixed to the first holder member, and a filter chamber surrounded by the first holder member and the second holder member And a filter that is a metal film that has a filtration part in which a plurality of holes are formed, and an outer peripheral part that is provided integrally with the filtration part and surrounds the filtration part, and that partitions the filter chamber. And the outer peripheral portion of the filter is formed to be thicker than the filtering portion, and is arranged with a gap therebetween and is sandwiched between the first holder member and the second holder member. The cross-sectional area that opens into the filter chamber in the gap between the plurality of first portions by being crushed between the first portion and the plurality of first portions is defined as the cross-sectional area of the hole of the filtration unit. A second portion that is narrower than the second portion.

第1の実施の形態に係るフィルタ装置とインクタンクとインクジェットヘッドとを概略的に示す斜視図。1 is a perspective view schematically showing a filter device, an ink tank, and an inkjet head according to a first embodiment. 第1の実施形態のフィルタ装置を図1のF2−F2線に沿って示す断面図。Sectional drawing which shows the filter apparatus of 1st Embodiment along the F2-F2 line of FIG. 第1の実施形態のフィルタ装置が組立てられる前のフィルタを示す平面図。The top view which shows the filter before the filter apparatus of 1st Embodiment is assembled. 第1の実施形態のフィルタの製造工程の一部を概略的に示す断面図。Sectional drawing which shows a part of manufacturing process of the filter of 1st Embodiment roughly. 図4の状態の後における第1の実施形態のフィルタの製造工程の一部を概略的に示す断面図。Sectional drawing which shows a part of manufacturing process of the filter of 1st Embodiment after the state of FIG. 4 schematically. 図5の状態の後における第1の実施形態のフィルタの製造工程の一部を概略的に示す断面図。Sectional drawing which shows schematically a part of manufacturing process of the filter of 1st Embodiment after the state of FIG. 図6の状態の後における第1の実施形態のフィルタの製造工程の一部を概略的に示す断面図。Sectional drawing which shows schematically a part of manufacturing process of the filter of 1st Embodiment after the state of FIG. 図7の状態の後における第1の実施形態のフィルタの製造工程の一部を概略的に示す断面図。Sectional drawing which shows schematically a part of manufacturing process of the filter of 1st Embodiment after the state of FIG. 図8の状態の後における第1の実施形態のフィルタの製造工程の一部を概略的に示す断面図。FIG. 9 is a cross-sectional view schematically showing a part of the manufacturing process of the filter of the first embodiment after the state of FIG. 8. 第1の実施形態のフィルタ装置の製造工程の一部を概略的に示す断面図。Sectional drawing which shows schematically a part of manufacturing process of the filter apparatus of 1st Embodiment. 図10の後の状態における第1の実施形態のフィルタ装置の製造工程の一部を概略的に示す断面図。Sectional drawing which shows schematically a part of manufacturing process of the filter apparatus of 1st Embodiment in the state after FIG. 第2の実施の形態に係るフィルタ装置が組立てられる前のフィルタの一部を概略的に示す平面図。The top view which shows roughly a part of filter before the filter apparatus which concerns on 2nd Embodiment is assembled. 第2の実施形態のフィルタの一部を図12のF13−F13線に沿って概略的に示す断面図。Sectional drawing which shows a part of filter of 2nd Embodiment schematically along the F13-F13 line | wire of FIG. 第2の実施形態のホルダ装置の製造工程の一部を概略的に示す断面図。Sectional drawing which shows a part of manufacturing process of the holder apparatus of 2nd Embodiment roughly. 図14の状態の後における第2の実施形態のフィルタ装置の製造工程の一部を概略的に示す断面図。FIG. 15 is a cross-sectional view schematically showing a part of the manufacturing process of the filter device of the second embodiment after the state of FIG. 14.

以下に、第1の実施の形態について、図1から図11を参照して説明する。図1は、インクジェットプリンタ用のフィルタ装置10と、インクタンク11と、インクジェットヘッド12とを概略的に示す斜視図である。フィルタ装置10と、インクタンク11と、インクジェットヘッド12とは、インクジェットプリンタに内蔵されている。   A first embodiment will be described below with reference to FIGS. 1 to 11. FIG. 1 is a perspective view schematically showing a filter device 10 for an ink jet printer, an ink tank 11, and an ink jet head 12. As shown in FIG. The filter device 10, the ink tank 11, and the ink jet head 12 are built in the ink jet printer.

フィルタ装置10は、インクタンク11からインクジェットヘッド12にインクを供給する配管13の途中に配置されている。インクタンク11に貯蔵されたインクは、フィルタ装置10によって濾過されてインクジェットヘッド12に供給される。   The filter device 10 is disposed in the middle of a pipe 13 that supplies ink from the ink tank 11 to the inkjet head 12. The ink stored in the ink tank 11 is filtered by the filter device 10 and supplied to the inkjet head 12.

インクタンク11には、例えばオイル系のインクが貯蔵されている。なお、インクはこれに限らず、他の種類のインクでも良い。   For example, oil-based ink is stored in the ink tank 11. The ink is not limited to this, and other types of ink may be used.

インクジェットヘッド12は、いわゆるエッジシュータ式のインクジェットヘッドである。インクジェットヘッド12は、圧電素子によって形成された複数の圧力室を有しており、これらの圧力室に供給されたインクを複数のノズル12aからそれぞれ吐出する。   The inkjet head 12 is a so-called edge shooter type inkjet head. The inkjet head 12 has a plurality of pressure chambers formed by piezoelectric elements, and ejects ink supplied to these pressure chambers from the plurality of nozzles 12a, respectively.

図2は、フィルタ装置10を図1のF2−F2線に沿って示す断面図である。図2に示すように、フィルタ装置10は、ホルダ21と、フィルタ22とを備えている。ホルダ21は、第1のホルダ部材25と、第2のホルダ部材26と、フィルタ室27とを有している。フィルタ室27は、第1のホルダ部材25と第2のホルダ部材26とに囲まれている。   FIG. 2 is a sectional view showing the filter device 10 along the line F2-F2 of FIG. As shown in FIG. 2, the filter device 10 includes a holder 21 and a filter 22. The holder 21 has a first holder member 25, a second holder member 26, and a filter chamber 27. The filter chamber 27 is surrounded by the first holder member 25 and the second holder member 26.

第1のホルダ部材25に、流入口31と、上流室32と、第1の圧接部33と、第1の固定部34とが設けられている。流入口31は上流室32に開口するとともに、配管13を介してインクタンク11に接続されている。インクタンク11に貯蔵されたインクは、配管13を通って流入口31から上流室32に流入する。上流室32は、フィルタ室27の一部である。   The first holder member 25 is provided with an inlet 31, an upstream chamber 32, a first pressure contact portion 33, and a first fixing portion 34. The inflow port 31 opens to the upstream chamber 32 and is connected to the ink tank 11 via the pipe 13. The ink stored in the ink tank 11 flows into the upstream chamber 32 from the inlet 31 through the pipe 13. The upstream chamber 32 is a part of the filter chamber 27.

第1の圧接部33は、上流室32を囲むような枠状の面であり、高い平面度を有している。第1の圧接部33は、フィルタ22を保持するために形成されている。第1の固定部34は、第1の圧接部33を囲むような枠状の面である。   The first pressure contact portion 33 is a frame-like surface surrounding the upstream chamber 32 and has high flatness. The first pressure contact portion 33 is formed to hold the filter 22. The first fixing portion 34 is a frame-like surface that surrounds the first pressure contact portion 33.

第2のホルダ部材26に、流出口36と、下流室37と、第2の圧接部38とが設けられている。流出口36は下流室37に開口するとともに、配管13を介してインクジェットヘッド12に接続されている。下流室37は、フィルタ室27の一部であり、フィルタ22を挟んで上流室32の反対側に設けられている。言い換えると、ホルダ21内のフィルタ室27は、フィルタ22によって上流室32と下流室37とに仕切られている。   The second holder member 26 is provided with an outflow port 36, a downstream chamber 37, and a second press contact portion 38. The outlet 36 opens to the downstream chamber 37 and is connected to the inkjet head 12 via the pipe 13. The downstream chamber 37 is a part of the filter chamber 27 and is provided on the opposite side of the upstream chamber 32 with the filter 22 in between. In other words, the filter chamber 27 in the holder 21 is partitioned into an upstream chamber 32 and a downstream chamber 37 by the filter 22.

第2の圧接部38は、下流室37を囲むような枠状の面であり、高い平面度を有している。第2の圧接部38は、フィルタ22を保持するために形成されており、フィルタ22を間に挟んで第1の圧接部33と対向している。第2の固定部39は、第2の圧接部38を囲むような枠状の面であり、第1の固定部34に例えば溶着されて固定されている。   The second pressure contact portion 38 is a frame-like surface surrounding the downstream chamber 37 and has high flatness. The second pressure contact portion 38 is formed to hold the filter 22, and faces the first pressure contact portion 33 with the filter 22 interposed therebetween. The second fixing portion 39 is a frame-like surface that surrounds the second press-contact portion 38 and is fixed to the first fixing portion 34 by, for example, welding.

図3は、フィルタ装置10が組立てられる前のフィルタ22を示す平面図である。フィルタ22は、金属膜の一種であるニッケル薄膜によって略矩形状に形成されており、濾過部41と、外周部42とを有している。   FIG. 3 is a plan view showing the filter 22 before the filter device 10 is assembled. The filter 22 is formed in a substantially rectangular shape by a nickel thin film which is a kind of metal film, and has a filtering part 41 and an outer peripheral part 42.

図3に示すように、濾過部41には、複数の孔45が設けられている。孔45の直径は、例えば5μmである。なお、インクタンク11に貯蔵されたインクの粒子径は孔45の直径よりも小さく、インクは孔45を通過できる。一方、インクに混ざっている除去されるべき不純物は、この濾過部41に捕獲されて取り除かれる。   As shown in FIG. 3, the filter portion 41 is provided with a plurality of holes 45. The diameter of the hole 45 is, for example, 5 μm. Note that the particle diameter of the ink stored in the ink tank 11 is smaller than the diameter of the hole 45, and the ink can pass through the hole 45. On the other hand, impurities to be removed that are mixed in the ink are captured by the filtration unit 41 and removed.

外周部42は、濾過部41と一体に設けられており、濾過部41を囲んでいる。外周部42は、複数の第1の部分47と、複数の第2の部分48とを有している。   The outer peripheral part 42 is provided integrally with the filtering part 41 and surrounds the filtering part 41. The outer peripheral portion 42 has a plurality of first portions 47 and a plurality of second portions 48.

第1の部分47は、濾過部41よりも厚く形成され、図2に示すように第1のホルダ部材25に向かって張り出している。第1の部分47の厚みは、例えば10μmである。複数の第1の部分47は、互いに隙間49を介して配置されている。   The first portion 47 is formed to be thicker than the filtering portion 41 and projects toward the first holder member 25 as shown in FIG. The thickness of the first portion 47 is, for example, 10 μm. The plurality of first portions 47 are disposed with a gap 49 therebetween.

図2に示すように、第1の部分47は、第1のホルダ部材25の第1の圧接部33と、第2のホルダ部材26の第2の圧接部38によって挟持されている。これにより、フィルタ22がホルダ21の内部に固定されている。   As shown in FIG. 2, the first portion 47 is sandwiched between the first pressure contact portion 33 of the first holder member 25 and the second pressure contact portion 38 of the second holder member 26. Thereby, the filter 22 is fixed inside the holder 21.

図3に示すように、複数の第1の部分47の間に形成された複数の隙間49は、それぞれ溝状に形成されている。複数の隙間49は、外周部42の外縁42aから濾過部41に向かう方向にそれぞれ延びている。   As shown in FIG. 3, the plurality of gaps 49 formed between the plurality of first portions 47 are each formed in a groove shape. The plurality of gaps 49 respectively extend in the direction from the outer edge 42 a of the outer peripheral portion 42 toward the filtering portion 41.

複数の第2の部分48は、複数の第1の部分47の間にそれぞれ配置されている。フィルタ装置10が組立てられる前の第2の部分48は、濾過部41と同一平面を形成している。第2の部分48の厚さは、濾過部41の厚さと同じく5μmである。すなわち、第2の部分48は、第1の部分47よりも薄く形成されている。   The plurality of second portions 48 are respectively disposed between the plurality of first portions 47. The second portion 48 before the filter device 10 is assembled forms the same plane as the filtering portion 41. The thickness of the second part 48 is 5 μm, which is the same as the thickness of the filtration part 41. That is, the second portion 48 is formed thinner than the first portion 47.

図2に示すように、フィルタ装置10が組立てられた状態において、第2の部分48は隣り合う第1の部分47どうしが近づく方向に潰れている。第2の部分48は潰れることで、隙間49を狭め、または隙間49を分割する。潰れた第2の部分48により、上流室32に開口する隙間49の断面積は、濾過部41の孔45の断面積よりも狭くなる。   As shown in FIG. 2, in a state where the filter device 10 is assembled, the second portion 48 is crushed in a direction in which the adjacent first portions 47 approach each other. The second portion 48 is crushed to narrow the gap 49 or divide the gap 49. Due to the crushed second portion 48, the cross-sectional area of the gap 49 that opens to the upstream chamber 32 becomes narrower than the cross-sectional area of the hole 45 of the filtration part 41.

以下に、フィルタ装置10の製造方法の一例について説明する。図4は、フィルタ22の製造工程の一部を概略的に示す断面図である。フィルタ22は、電鋳によって製造される。図4に示すように、まず、導電性の基板51の表面51aに、第1のレジスト52を均一に塗布する。塗布された第1のレジスト52の厚さは、製造されるフィルタ22の濾過部41の厚さおよび外周部42の第2の部分48の厚さと同じ5μmである。   Below, an example of the manufacturing method of the filter apparatus 10 is demonstrated. FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a part of the manufacturing process of the filter 22. The filter 22 is manufactured by electroforming. As shown in FIG. 4, first, the first resist 52 is uniformly applied to the surface 51 a of the conductive substrate 51. The thickness of the applied first resist 52 is 5 μm, which is the same as the thickness of the filtration part 41 of the manufactured filter 22 and the thickness of the second part 48 of the outer peripheral part 42.

次に、第1のレジスト52を第1のパターンフィルム53で覆い、第1のレジスト52にパターンを焼き付ける。第1のパターンフィルム53には、濾過部41の複数の孔45に対応した複数の第1のパターン孔54が設けられており、第1のレジスト52の一部を露出している。パターンを焼き付けることにより、第1のパターン孔54に対応した位置の第1のレジスト52がそれぞれ硬化する。   Next, the first resist 52 is covered with the first pattern film 53, and the pattern is baked on the first resist 52. The first pattern film 53 is provided with a plurality of first pattern holes 54 corresponding to the plurality of holes 45 of the filtration part 41, and a part of the first resist 52 is exposed. By baking the pattern, the first resist 52 at the position corresponding to the first pattern hole 54 is cured.

図5は、図4の状態の後におけるフィルタ22の製造工程の一部を概略的に示す断面図である。第1のレジスト52を硬化させた後、硬化した箇所以外の第1のレジスト52を除去する。第1のパターンフィルム53によって覆われることで硬化しなかった第1のレジスト52は、例えばアルカリ溶液のような現像液によって溶かされ、除去される。これにより、硬化した複数の第1のレジスト52が基板51の表面51aに残る。この複数の硬化済みの第1のレジスト52は、第1のパターン孔54に対応した柱状に形成されている。   FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing a part of the manufacturing process of the filter 22 after the state of FIG. After the first resist 52 is cured, the first resist 52 other than the cured portion is removed. The first resist 52 that has not been cured by being covered with the first pattern film 53 is dissolved and removed by a developer such as an alkaline solution. Thereby, the hardened first resists 52 remain on the surface 51 a of the substrate 51. The plurality of hardened first resists 52 are formed in columnar shapes corresponding to the first pattern holes 54.

次に、硬化済みの第1のレジスト52が残った基板51の表面51aにニッケルを電鋳する。ニッケルは硬化済みの第1のレジスト52が残った以外の箇所で成長し、ニッケル薄膜であるフィルタ22の第1層22aを形成する。   Next, nickel is electroformed on the surface 51a of the substrate 51 on which the first cured resist 52 remains. Nickel grows in places other than the cured first resist 52 remaining, and forms the first layer 22a of the filter 22 that is a nickel thin film.

第1層22aは、フィルタ22の中間生産物であり、濾過部41と、外周部42の第1の部分47の一部および第2の部分48とを含んでいる。第1層22aの厚さは、第1のレジスト52の厚さと同じ5μmである。   The first layer 22 a is an intermediate product of the filter 22, and includes the filtering part 41, a part of the first part 47 and the second part 48 of the outer peripheral part 42. The thickness of the first layer 22 a is 5 μm, which is the same as the thickness of the first resist 52.

図6は、図5の状態の後におけるフィルタ22の製造工程の一部を概略的に示す断面図である。フィルタ22の第1層22aが形成された後、第1層22aおよび残った第1のレジスト52の上に、第2のレジスト61を均一に塗布する。塗布された第2のレジスト61の厚さは、製造されるフィルタ22の外周部42の第1の部分47の厚さと第2の部分48の厚さとの差である5μmである。   FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing a part of the manufacturing process of the filter 22 after the state shown in FIG. After the first layer 22 a of the filter 22 is formed, the second resist 61 is uniformly applied on the first layer 22 a and the remaining first resist 52. The thickness of the applied second resist 61 is 5 μm, which is the difference between the thickness of the first portion 47 and the thickness of the second portion 48 of the outer peripheral portion 42 of the produced filter 22.

次に、第2のレジスト61を第2のパターンフィルム62で覆い、第2のレジスト61にパターンを焼き付ける。第2のパターンフィルム62には、第2のパターン孔63が設けられ、第2のレジスト61の一部を露出している。第2のパターン孔63は、濾過部41と、外周部42の第2の部分48に対応している。パターンを焼き付けることにより、第2のパターン孔63に対応した位置の第2のレジスト61が硬化する。   Next, the second resist 61 is covered with the second pattern film 62, and the pattern is baked on the second resist 61. A second pattern hole 63 is provided in the second pattern film 62 and a part of the second resist 61 is exposed. The second pattern hole 63 corresponds to the filtering portion 41 and the second portion 48 of the outer peripheral portion 42. By baking the pattern, the second resist 61 at a position corresponding to the second pattern hole 63 is cured.

図7は、図6の状態の後におけるフィルタ22の製造工程の一部を概略的に示す断面図である。パターンを焼き付けた後、硬化した箇所以外の第2のレジスト61を除去する。第2のパターンフィルム62によって覆われることで硬化しなかった第2のレジスト61は、例えばアルカリ溶液のような現像液によって溶かされ、除去される。これにより、硬化した第2のレジスト61がフィルタ22の第1層22aの上に残る。この硬化済みの第2のレジスト61は、第2のパターン孔63に対応した形状に形成されている。   FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing a part of the manufacturing process of the filter 22 after the state of FIG. After baking the pattern, the second resist 61 other than the cured portion is removed. The second resist 61 that is not cured by being covered with the second pattern film 62 is dissolved and removed by a developer such as an alkaline solution. As a result, the cured second resist 61 remains on the first layer 22 a of the filter 22. The cured second resist 61 is formed in a shape corresponding to the second pattern hole 63.

図8は、図7の状態の後におけるフィルタ22の製造工程の一部を概略的に示す断面図である。硬化しなかった第2のレジスト61を除去した後、硬化済みの第2のレジスト61が残ったフィルタ22の第1層22aに、ニッケルを電鋳する。ニッケルは硬化済みの第2のレジスト61が残った以外の箇所で成長する。これにより、第1層22aによって一部が生成されていた外周部42の第1の部分47を形成する。第1層22aによって生成されていた第1の部分47の一部と、後のメッキによって生成された第1の部分47の一部とは、一体に設けられる。   FIG. 8 is a cross-sectional view schematically showing a part of the manufacturing process of the filter 22 after the state of FIG. After removing the uncured second resist 61, nickel is electroformed on the first layer 22a of the filter 22 where the cured second resist 61 remains. Nickel grows in places other than where the hardened second resist 61 remains. Thereby, the 1st part 47 of the outer peripheral part 42 in which one part was produced | generated by the 1st layer 22a is formed. A part of the first part 47 generated by the first layer 22a and a part of the first part 47 generated by the subsequent plating are integrally provided.

図9は、図8の状態の後におけるフィルタ22の製造工程の一部を概略的に示す断面図である。外周部42の第1の部分47が形成された後、硬化済みの第1のレジスト52および第2のレジスト61を除去する。第1および第2のレジスト52,61は、例えばアルカリ溶液のような剥離液によって溶かされ、除去される。   FIG. 9 is a cross-sectional view schematically showing a part of the manufacturing process of the filter 22 after the state of FIG. After the first portion 47 of the outer peripheral portion 42 is formed, the cured first resist 52 and second resist 61 are removed. The first and second resists 52 and 61 are dissolved and removed by a stripping solution such as an alkaline solution.

次に、フィルタ22を基板51から取り外す。以上の手順により、フィルタ22が形成される。   Next, the filter 22 is removed from the substrate 51. The filter 22 is formed by the above procedure.

図10は、フィルタ装置10の製造工程の一部を概略的に示す断面図である。なお、図10において、フィルタ22は側面図として示されている。図10に示すように、形成されたフィルタ22を、第1のホルダ部材25と第2のホルダ部材26との間に配置する。フィルタ装置10が組立てられる前の第2のホルダ部材26の第2の固定部39には、突出部66が設けられている。突出部66は、第1のホルダ部材25の第1の固定部34に向かって突出している。   FIG. 10 is a cross-sectional view schematically showing a part of the manufacturing process of the filter device 10. In FIG. 10, the filter 22 is shown as a side view. As shown in FIG. 10, the formed filter 22 is disposed between the first holder member 25 and the second holder member 26. A protrusion 66 is provided on the second fixing portion 39 of the second holder member 26 before the filter device 10 is assembled. The protruding portion 66 protrudes toward the first fixing portion 34 of the first holder member 25.

第1のホルダ部材25の第1の圧接部33と、第2のホルダ部材26の第2の圧接部38とで、フィルタ22の外周部42の第1の部分47を挟み込む。第1の部分47が第1および第2の圧接部33,38に挟まれると、第2の固定部39の突出部66が、第1の固定部34に当接する。   The first pressure contact portion 33 of the first holder member 25 and the second pressure contact portion 38 of the second holder member 26 sandwich the first portion 47 of the outer peripheral portion 42 of the filter 22. When the first portion 47 is sandwiched between the first and second pressure contact portions 33 and 38, the protruding portion 66 of the second fixing portion 39 comes into contact with the first fixing portion 34.

突出部66が第1の固定部34に接触した状態で、第1の固定部34と第2の固定部39とを超音波溶接によって溶着する。突出部66は、超音波溶接によって溶け、第1の固定部34を第2の固定部39に固定する。これにより、第2のホルダ部材26が第1のホルダ部材25に固定され、ホルダ21が形成される。超音波溶接による発熱のため、ホルダ21とフィルタ22とが加熱され、それぞれ膨張する。   With the protrusion 66 in contact with the first fixing portion 34, the first fixing portion 34 and the second fixing portion 39 are welded by ultrasonic welding. The protrusion 66 melts by ultrasonic welding and fixes the first fixing part 34 to the second fixing part 39. Thereby, the 2nd holder member 26 is fixed to the 1st holder member 25, and the holder 21 is formed. Due to the heat generated by the ultrasonic welding, the holder 21 and the filter 22 are heated and each expands.

図11は、図10の状態の後におけるフィルタ装置10の製造工程の一部を概略的に示す断面図である。図11の矢印で示すように、超音波溶接の後、ホルダ21とフィルタ22とが冷却されて収縮する。樹脂製のホルダ21は、金属製のフィルタ22よりも線膨張係数が大きいので、フィルタ22よりも大きく収縮する。   FIG. 11 is a cross-sectional view schematically showing a part of the manufacturing process of the filter device 10 after the state of FIG. As shown by the arrows in FIG. 11, after ultrasonic welding, the holder 21 and the filter 22 are cooled and contracted. Since the resin holder 21 has a larger linear expansion coefficient than the metal filter 22, the resin holder 21 contracts more than the filter 22.

ホルダ21とフィルタ22との収縮量の差によって、フィルタ22の外周部42の第2の部分48は、隣り合う第1の部分47が互いに近づく方向に圧縮される。第2の部分48は、第1の部分47よりも薄く形成されているため、この圧縮により変形して潰れる。第2の部分48が潰れることにより、第1の部分47の間の隙間49が狭まる。これにより、上流室32に開口する隙間49の断面積が、濾過部41の孔45の断面積よりも狭くなる。以上により、フィルタ装置10が製造される。   Due to the difference in shrinkage between the holder 21 and the filter 22, the second portion 48 of the outer peripheral portion 42 of the filter 22 is compressed in a direction in which the adjacent first portions 47 approach each other. Since the second portion 48 is formed thinner than the first portion 47, it is deformed and crushed by this compression. When the second portion 48 is crushed, the gap 49 between the first portions 47 is narrowed. As a result, the cross-sectional area of the gap 49 that opens to the upstream chamber 32 is narrower than the cross-sectional area of the hole 45 of the filtration part 41. Thus, the filter device 10 is manufactured.

上記構成のフィルタ装置10によれば、ホルダ21とフィルタ22とが収縮した際に、フィルタ22の外周部42の第2の部分48が、第1の部分47の間で潰れる。すなわち、第2の部分48は、ホルダ21とフィルタ22との線膨張係数の差によってフィルタ22にかかる外力についての緩衝帯となる。これにより、ホルダ21とフィルタ22との収縮量の差によってフィルタ22に皺が生じ、この皺によってできる隙間を通ってフィルタ22の濾過部41によって取り除かれるべき不純物が下流室37に流れ込むことを抑制できる。したがって、フィルタ装置10の歩留まりを改善できる。   According to the filter device 10 configured as described above, when the holder 21 and the filter 22 contract, the second portion 48 of the outer peripheral portion 42 of the filter 22 is crushed between the first portions 47. That is, the second portion 48 serves as a buffer band for the external force applied to the filter 22 due to the difference in coefficient of linear expansion between the holder 21 and the filter 22. As a result, the filter 22 is wrinkled due to the difference in contraction amount between the holder 21 and the filter 22, and the impurities to be removed by the filter part 41 of the filter 22 through the gap formed by the wrinkle are prevented from flowing into the downstream chamber 37. it can. Therefore, the yield of the filter device 10 can be improved.

さらに、フィルタ22の外周部42の第1の部分の間の隙間49は、潰れた第2の部分48によって狭められる。これにより、フィルタ22の濾過部41によって取り除かれるべき不純物が、隙間49を通って下流室37に流れ込むことが防止される。   Further, the gap 49 between the first portions of the outer peripheral portion 42 of the filter 22 is narrowed by the crushed second portion 48. This prevents impurities that should be removed by the filtration part 41 of the filter 22 from flowing into the downstream chamber 37 through the gap 49.

一方、このフィルタ22以外のフィルタにも使用できる汎用のホルダ21を使用する場合、第1の圧接部33と第2の圧接部38との間の距離によって、使用できるフィルタの厚さが決定される。このフィルタ22において、濾過部41よりも厚く形成された外周部42の第1の部分47が、第1および第2の圧接部33,38によって挟持される。このため、汎用のホルダ21に使用される規定のフィルタの厚さに対し、濾過部41を薄く形成することができる。濾過部41の孔45の直径は濾過部41の厚さによって決まるため、孔45を小さくすることができる。   On the other hand, when the general-purpose holder 21 that can be used for a filter other than the filter 22 is used, the thickness of the usable filter is determined by the distance between the first pressure contact portion 33 and the second pressure contact portion 38. The In the filter 22, the first portion 47 of the outer peripheral portion 42 formed to be thicker than the filtering portion 41 is sandwiched between the first and second pressure contact portions 33 and 38. For this reason, the filtration part 41 can be formed thinly with respect to the thickness of the prescribed filter used for the general-purpose holder 21. Since the diameter of the hole 45 of the filtration part 41 is determined by the thickness of the filtration part 41, the hole 45 can be made small.

さらに、濾過部41よりも厚く形成された外周部42を設けることによって、フィルタ22の強度を向上させるとともに、第1のホルダ部材25と第2のホルダ部材26との溶着を容易にすることができる。   Furthermore, by providing the outer peripheral part 42 formed thicker than the filtering part 41, it is possible to improve the strength of the filter 22 and facilitate welding of the first holder member 25 and the second holder member 26. it can.

なお、図2ないし図11において、第2の部分48および隙間49は、フィルタ22の各辺に数個ずつ設けられているが、第2の部分48および隙間49の個数はこれに限らない。例えば、第2の部分48および隙間49は、外周部42の全周に満遍なく設けられても良い。   In FIGS. 2 to 11, several second portions 48 and gaps 49 are provided on each side of the filter 22, but the number of the second portions 48 and gaps 49 is not limited thereto. For example, the second portion 48 and the gap 49 may be provided uniformly over the entire circumference of the outer peripheral portion 42.

次に、図12ないし図15を参照して、第2の実施の形態について説明する。なお、以下に開示する実施形態において、第1の実施形態のフィルタ装置10と同一の機能を有する構成部分には同一の参照符号を付してその説明を省略する。   Next, a second embodiment will be described with reference to FIGS. Note that, in the embodiment disclosed below, the same reference numerals are assigned to components having the same functions as those of the filter device 10 of the first embodiment, and the description thereof is omitted.

図12は、第2の実施形態におけるフィルタ装置10が組立てられる前のフィルタ22の一部を概略的に示す平面図である。図13は、図12のF13−F13線に沿ってフィルタ22の一部を概略的に示す断面図である。フィルタ22は、第1のホルダ部材25に向く第1の面22bと、第2のホルダ部材26に向く第2の面22cとを有している。第2の面22cは、第1の面22bの反対側に位置している。   FIG. 12 is a plan view schematically showing a part of the filter 22 before the filter device 10 according to the second embodiment is assembled. FIG. 13 is a cross-sectional view schematically showing a part of the filter 22 along line F13-F13 in FIG. The filter 22 has a first surface 22 b facing the first holder member 25 and a second surface 22 c facing the second holder member 26. The second surface 22c is located on the opposite side of the first surface 22b.

フィルタ22の外周部42の第1の部分47は、マトリクス状に配置されるとともに、第1の凸部71と、第2の凸部72とを含んでいる。第1の凸部71と第2の凸部72とは、互いに隣り合って配置されている。フィルタ装置10が組立てられる前において、第1の凸部71は、フィルタ22の第1の面22bから張り出している。フィルタ装置10が組立てられる前において、第2の凸部72は、フィルタ22の第2の面22cから張り出している。   The first portion 47 of the outer peripheral portion 42 of the filter 22 is arranged in a matrix and includes a first convex portion 71 and a second convex portion 72. The 1st convex part 71 and the 2nd convex part 72 are arrange | positioned adjacent to each other. Before the filter device 10 is assembled, the first protrusion 71 projects from the first surface 22 b of the filter 22. Before the filter device 10 is assembled, the second protrusion 72 protrudes from the second surface 22 c of the filter 22.

以下に、第2の実施形態のフィルタ装置10の製造方法の一例について説明する。図14は、フィルタ装置の製造工程の一部を概略的に示す断面図である。なお、図14において、フィルタ22は側面図として示されている。図14に示すように、形成されたフィルタ22を、第1のホルダ部材25と第2のホルダ部材26との間に配置する。   Below, an example of the manufacturing method of the filter apparatus 10 of 2nd Embodiment is demonstrated. FIG. 14 is a cross-sectional view schematically showing a part of the manufacturing process of the filter device. In FIG. 14, the filter 22 is shown as a side view. As shown in FIG. 14, the formed filter 22 is disposed between the first holder member 25 and the second holder member 26.

図15は、図14の状態の後におけるフィルタ装置10の製造工程の一部を概略的に示す断面図である。第1のホルダ部材25の第1の圧接部33と、第2のホルダ部材26の第2の圧接部38とで、フィルタ22の外周部42の第1の部分47を挟み込む。図15に示すように、第1の部分47が第1および第2の圧接部33,38に挟まれると、第2の部分48が変形し、フィルタ22の厚み方向に潰れる。   15 is a cross-sectional view schematically showing a part of the manufacturing process of the filter device 10 after the state shown in FIG. The first pressure contact portion 33 of the first holder member 25 and the second pressure contact portion 38 of the second holder member 26 sandwich the first portion 47 of the outer peripheral portion 42 of the filter 22. As shown in FIG. 15, when the first portion 47 is sandwiched between the first and second pressure contact portions 33 and 38, the second portion 48 is deformed and crushed in the thickness direction of the filter 22.

第2の部分48が潰れることで、第1の凸部71と第2の凸部72とは、フィルタ22の厚み方向において揃う。言い換えると、第1の凸部71と第2の凸部72とは、第1および第2の圧接部33,38との間に並んで配置される。これにより、第1および第2の凸部71,72が、第1および第2の圧接部33,38にそれぞれ挟持される。さらに、第1の部分47の間の隙間49が狭まる。   As the second portion 48 is crushed, the first convex portion 71 and the second convex portion 72 are aligned in the thickness direction of the filter 22. In other words, the first convex portion 71 and the second convex portion 72 are arranged side by side between the first and second press contact portions 33 and 38. Thereby, the 1st and 2nd convex parts 71 and 72 are clamped by the 1st and 2nd press-contact parts 33 and 38, respectively. Further, the gap 49 between the first portions 47 is narrowed.

第1および第2の圧接部33,38の平面度が低い場合であっても、第2の部分48は、第1および第2の圧接部33,38の形状に応じて柔軟に変形する。このため、第1および第2の凸部71,72は、第1および第2の圧接部33,38の平面度にかかわらず挟持される。   Even when the flatness of the first and second press contact portions 33 and 38 is low, the second portion 48 is flexibly deformed according to the shape of the first and second press contact portions 33 and 38. For this reason, the first and second convex portions 71 and 72 are clamped regardless of the flatness of the first and second pressure contact portions 33 and 38.

第1および第2の凸部71,72が挟持された状態で、第1の固定部34と第2の固定部39とを超音波溶接によって溶着する。これにより、ホルダ21が形成される。超音波溶接によって、ホルダ21とフィルタ22とが加熱され、それぞれ膨張する。   In a state where the first and second convex portions 71 and 72 are sandwiched, the first fixing portion 34 and the second fixing portion 39 are welded by ultrasonic welding. Thereby, the holder 21 is formed. By ultrasonic welding, the holder 21 and the filter 22 are heated and expanded.

超音波溶接の後、ホルダ21とフィルタ22とが冷却されて収縮する。樹脂製のホルダ21は、金属製のフィルタ22よりも線膨張係数が大きいので、フィルタ22よりも大きく収縮する。   After the ultrasonic welding, the holder 21 and the filter 22 are cooled and contracted. Since the resin holder 21 has a larger linear expansion coefficient than the metal filter 22, the resin holder 21 contracts more than the filter 22.

フィルタ22の外周部42の第2の部分48は、第1の部分47よりも薄く形成されている。このため、ホルダ21とフィルタ22との収縮量の差によって、第2の部分48が変形し、隣り合う第1の部分47どうしが近づく方向に潰れる。第2の部分48が潰れることにより、第1の凸部71と第2の凸部72との間の隙間49が狭まる。これにより、上流室32に開口する隙間49の断面積が、濾過部41の孔45の断面積よりも狭くなる。以上により、フィルタ装置10が製造される。   The second portion 48 of the outer peripheral portion 42 of the filter 22 is formed thinner than the first portion 47. For this reason, the second portion 48 is deformed by the difference in contraction amount between the holder 21 and the filter 22 and is crushed in the direction in which the adjacent first portions 47 approach each other. When the second portion 48 is crushed, the gap 49 between the first convex portion 71 and the second convex portion 72 is narrowed. As a result, the cross-sectional area of the gap 49 that opens to the upstream chamber 32 is narrower than the cross-sectional area of the hole 45 of the filtration part 41. Thus, the filter device 10 is manufactured.

前記構成のフィルタ装置10によれば、第1のホルダ部材25の第1の圧接部33と第2のホルダ部材26の第2の圧接部38とで、フィルタ22の外周部42の第1の部分47を挟み込むことにより、第2の部分48がフィルタ22の厚み方向につぶれる。第1の部分47の第1および第2の凸部71,72は、第1および第2の圧接部33,38の平面度にかかわらず挟持される。言い換えると、フィルタ22は、擬似的な弾性を有し、厚み方向に潰れる。これにより、第1および第2の圧接部33,38の平面度が低い場合であっても、フィルタ22と第1および第2の圧接部33,38との間に、濾過部41の孔45よりも大きい隙間が生ずることを抑制できる。   According to the filter device 10 having the above-described configuration, the first pressure contact portion 33 of the first holder member 25 and the second pressure contact portion 38 of the second holder member 26 are used to form the first outer peripheral portion 42 of the filter 22. By sandwiching the portion 47, the second portion 48 is crushed in the thickness direction of the filter 22. The first and second convex portions 71 and 72 of the first portion 47 are held regardless of the flatness of the first and second press contact portions 33 and 38. In other words, the filter 22 has pseudo elasticity and is crushed in the thickness direction. Thereby, even if the flatness of the first and second pressure contact portions 33 and 38 is low, the hole 45 of the filtration portion 41 is interposed between the filter 22 and the first and second pressure contact portions 33 and 38. It is possible to suppress the generation of a larger gap.

なお、上記の実施形態において、第1の固定部34と第2の固定部39とは超音波溶接によって固定されていたが、これに限らず接着剤のような他の手段によって固定されても良い。   In the above embodiment, the first fixing portion 34 and the second fixing portion 39 are fixed by ultrasonic welding. However, the first fixing portion 34 and the second fixing portion 39 are not limited to this, and may be fixed by other means such as an adhesive. good.

さらに、上記の実施形態において、超音波溶接時の発熱による膨張および収縮により第2の部分48が潰れていたが、これに限らず振動やその他の要因によって第2の部分48が潰れても良い。   Furthermore, in the above embodiment, the second portion 48 is crushed due to expansion and contraction due to heat generation during ultrasonic welding. However, the present invention is not limited to this, and the second portion 48 may be crushed due to vibration or other factors. .

加えて、上記の実施形態において、フィルタ22は電鋳により形成されていたが、これに限らず、ハーフエッチングや拡散接合のような他の手段によってフィルタ22を形成しても良い。   In addition, in the above embodiment, the filter 22 is formed by electroforming. However, the present invention is not limited to this, and the filter 22 may be formed by other means such as half etching or diffusion bonding.

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1] 第1のホルダ部材と、前記第1のホルダ部材に固定される第2のホルダ部材と、前記第1のホルダ部材と前記第2のホルダ部材とに囲まれたフィルタ室と、を有したホルダと、
複数の孔が形成された濾過部と、前記濾過部と一体に設けられるとともに前記濾過部を囲んだ外周部と、を有し、前記フィルタ室を仕切った金属膜であるフィルタと、
を具備し、
前記フィルタの前記外周部は、
前記濾過部よりも厚く形成され、互いに隙間を介して配置されるとともに前記第1のホルダ部材と前記第2のホルダ部材とに挟持された複数の第1の部分と、
前記複数の第1の部分の間で潰れることで、前記複数の第1の部分の間の隙間の断面積を前記濾過部の前記孔の断面積よりも狭くする第2の部分と、
を含むことを特徴とするインクジェットプリンタ用のフィルタ装置。
[2] 前記複数の第1の部分の間の隙間は、前記外周部の外縁から前記濾過部に向かう方向に延びた溝状に形成されたことを特徴とする[1]に記載のインクジェットプリンタ用のフィルタ装置。
[3] 前記フィルタは、前記第1のホルダ部材に向いた第1の面と、前記第2のホルダ部材に向いた第2の面とを有し、
前記外周部の前記第1の部分は、前記第1の面から張り出した第1の凸部と、前記第1の凸部と隣り合って配置されるとともに前記第2の面から張り出した第2の凸部と、を含み、
前記外周部の前記第2の部分が潰れることで、前記第1の凸部と前記第2の凸部とが揃って前記第1のホルダ部材と前記第2のホルダ部材とに挟持され、前記第1の凸部と前記第2の凸部との間の隙間の断面積が前記濾過部の前記孔の断面積よりも狭く形成されたことを特徴とする[1]に記載のインクジェットプリンタ用のフィルタ装置。
[4] 第1のホルダ部材と、前記第1のホルダ部材に固定される第2のホルダ部材と、前記第1のホルダ部材と前記第2のホルダ部材とに囲まれたフィルタ室と、を有したホルダと、
複数の孔が形成された濾過部と、前記濾過部と一体に設けられるとともに前記濾過部を囲んだ外周部と、を有し、前記フィルタ室を仕切った金属膜であるフィルタと、
を備え、
前記フィルタの前記外周部は、
前記濾過部よりも厚く形成され、互いに隙間を介して配置された複数の第1の部分と、
前記複数の第1の部分の間に設けられた前記第1の部分よりも薄い第2の部分と、
を含んだインクジェットプリンタ用のフィルタ装置の製造方法であって、
前記外周部の前記第1の部分を、前記第1のホルダ部材と前記第2のホルダ部材とで挟持し、
前記外周部の前記第2の部分を潰すことで、前記第1の部分の間の隙間の断面積を前記濾過部の前記孔の断面積よりも狭くすることを特徴とするインクジェットプリンタ用のフィルタ装置の製造方法。
[5] 電鋳によって、前記濾過部と、前記外周部の前記第1の部分の一部と、前記第2の部分とを含む前記フィルタの中間生産物である第1層を形成し、
前記第1層の上に電鋳することにより前記フィルタを形成することを特徴とする[4]に記載のインクジェットプリンタ用のフィルタ装置の製造方法。
[6] 前記フィルタは、前記第1のホルダ部材に向いた第1の面と、前記第2のホルダ部材に向いた第2の面とを有し、
前記外周部の前記第1の部分は、前記第1の面から張り出した第1の凸部と、前記第1の凸部と隣り合って配置されるとともに前記第2の面から張り出した第2の凸部と、を含み、
前記第1の部分を前記第1のホルダ部材と前記第2のホルダ部材とで挟持することで前記第2の部分を潰し、前記第1の凸部と前記第2の凸部とを揃えることを特徴とする[4]に記載のインクジェットプリンタ用のフィルタ装置の製造方法。
[7] 複数の孔が形成された金属膜である濾過部と、
前記濾過部と一体に形成されるとともに前記濾過部を囲んだ外周部と、
を具備し、
前記外周部は、
前記濾過部よりも厚く形成され、互いに隙間を介して配置された複数の第1の部分と、
前記第1の部分よりも薄く形成され、隣り合う第1の部分どうしが近づく方向に圧縮されたときに潰れる第2の部分と、
を備えることを特徴とするインクジェットプリンタ用のフィルタ。
[8] 前記複数の第1の部分の間の隙間は、前記外周部の外縁から前記濾過部に向かう方向に延びた溝状に形成されたことを特徴とする[7]に記載のインクジェットプリンタ用のフィルタ。
[9] 前記フィルタは、第1の面と、前記第1の面の反対側に位置する第2の面とを有し、
前記外周部の前記第1の部分は、前記第1の面から張り出した第1の凸部と、前記第1の凸部と隣り合って配置されるとともに前記第2の面から張り出した第2の凸部と、を含み、
前記外周部の前記第2の部分が前記フィルタの厚み方向に潰れると、前記第1の凸部と前記第2の凸部とが揃い、前記第1の凸部と前記第2の凸部との間の隙間の断面積が前記濾過部の前記孔の断面積よりも狭くなることを特徴とする[7]に記載のインクジェットプリンタ用のフィルタ。
Although several embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.
Hereinafter, the invention described in the scope of claims of the present application will be appended.
[1] A first holder member, a second holder member fixed to the first holder member, and a filter chamber surrounded by the first holder member and the second holder member. A holder with
A filter that is a metal film that has a filtration part in which a plurality of holes are formed, an outer peripheral part that is provided integrally with the filtration part and surrounds the filtration part, and partitions the filter chamber;
Comprising
The outer periphery of the filter is
A plurality of first portions that are formed thicker than the filtering portion and are arranged with a gap between each other and sandwiched between the first holder member and the second holder member,
A second portion that is crushed between the plurality of first portions so that a cross-sectional area of a gap between the plurality of first portions is narrower than a cross-sectional area of the hole of the filtration unit;
A filter device for an ink jet printer, comprising:
[2] The ink jet printer according to [1], wherein the gap between the plurality of first portions is formed in a groove shape extending in a direction from the outer edge of the outer peripheral portion toward the filtration portion. Filter device.
[3] The filter has a first surface facing the first holder member, and a second surface facing the second holder member,
The first portion of the outer peripheral portion includes a first protrusion protruding from the first surface and a second protrusion protruding from the second surface while being disposed adjacent to the first protrusion. And a convex portion of
When the second portion of the outer peripheral portion is crushed, the first convex portion and the second convex portion are aligned and sandwiched between the first holder member and the second holder member, [1] The inkjet printer according to [1], wherein a cross-sectional area of a gap between the first convex portion and the second convex portion is formed to be narrower than a cross-sectional area of the hole of the filtering portion. Filter device.
[4] A first holder member, a second holder member fixed to the first holder member, and a filter chamber surrounded by the first holder member and the second holder member. A holder with
A filter that is a metal film that has a filtration part in which a plurality of holes are formed, an outer peripheral part that is provided integrally with the filtration part and surrounds the filtration part, and partitions the filter chamber;
With
The outer periphery of the filter is
A plurality of first parts formed thicker than the filtration part and arranged with a gap therebetween;
A second portion thinner than the first portion provided between the plurality of first portions;
A method of manufacturing a filter device for an ink jet printer including:
Sandwiching the first portion of the outer peripheral portion between the first holder member and the second holder member;
A filter for an ink jet printer, wherein a cross-sectional area of a gap between the first parts is made smaller than a cross-sectional area of the hole of the filtering part by crushing the second part of the outer peripheral part. Device manufacturing method.
[5] By electroforming, a first layer that is an intermediate product of the filter including the filtration part, a part of the first part of the outer peripheral part, and the second part is formed;
The method for producing a filter device for an ink jet printer according to [4], wherein the filter is formed by electroforming on the first layer.
[6] The filter has a first surface facing the first holder member, and a second surface facing the second holder member,
The first portion of the outer peripheral portion includes a first protrusion protruding from the first surface and a second protrusion protruding from the second surface while being disposed adjacent to the first protrusion. And a convex portion of
The second portion is crushed by sandwiching the first portion between the first holder member and the second holder member, and the first convex portion and the second convex portion are aligned. [4] A method for manufacturing a filter device for an ink jet printer according to [4].
[7] A filtration part which is a metal film in which a plurality of holes are formed;
An outer peripheral part formed integrally with the filtration part and surrounding the filtration part;
Comprising
The outer periphery is
A plurality of first parts formed thicker than the filtration part and arranged with a gap therebetween;
A second part that is formed thinner than the first part and collapses when compressed in a direction in which adjacent first parts approach each other;
A filter for an ink jet printer, comprising:
[8] The inkjet printer according to [7], wherein the gap between the plurality of first portions is formed in a groove shape extending in a direction from the outer edge of the outer peripheral portion toward the filtration portion. Filter for.
[9] The filter has a first surface and a second surface located on the opposite side of the first surface,
The first portion of the outer peripheral portion includes a first protrusion protruding from the first surface and a second protrusion protruding from the second surface while being disposed adjacent to the first protrusion. And a convex portion of
When the second portion of the outer peripheral portion is crushed in the thickness direction of the filter, the first convex portion and the second convex portion are aligned, and the first convex portion and the second convex portion are The filter for an ink jet printer according to [7], wherein a cross-sectional area of a gap between the filters is narrower than a cross-sectional area of the hole of the filtration portion.

10…フィルタ装置,21…ホルダ,22…フィルタ,22b…第1の面,22c…第2の面,25…第1のホルダ部材,26…第2のホルダ部材,27…フィルタ室,41…濾過部,42…外周部,42a…外縁,45…孔,47…第1の部分,48…第2の部分,49…隙間,71…第1の凸部,72…第2の凸部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Filter apparatus, 21 ... Holder, 22 ... Filter, 22b ... 1st surface, 22c ... 2nd surface, 25 ... 1st holder member, 26 ... 2nd holder member, 27 ... Filter chamber, 41 ... Filter part 42 ... outer peripheral part 42a ... outer edge 45 ... hole 47 ... first part 48 ... second part 49 ... gap, 71 ... first convex part, 72 ... second convex part.

Claims (9)

第1のホルダ部材と、前記第1のホルダ部材に固定される第2のホルダ部材と、前記第1のホルダ部材と前記第2のホルダ部材とに囲まれたフィルタ室と、を有したホルダと、
複数の孔が形成された濾過部と、前記濾過部と一体に設けられるとともに前記濾過部を囲んだ外周部と、を有し、前記フィルタ室を仕切った金属膜であるフィルタと、
を具備し、
前記フィルタの前記外周部は、
前記濾過部よりも厚く形成され、互いに隙間を介して配置されるとともに前記第1のホルダ部材と前記第2のホルダ部材とに挟持された複数の第1の部分と、
前記複数の第1の部分の間で潰れることで、前記複数の第1の部分の間の隙間の前記フィルタ室に開口する断面積を前記濾過部の前記孔の断面積よりも狭くする第2の部分と、
を含むことを特徴とするインクジェットプリンタ用のフィルタ装置。
A holder having a first holder member, a second holder member fixed to the first holder member, and a filter chamber surrounded by the first holder member and the second holder member When,
A filter that is a metal film that has a filtration part in which a plurality of holes are formed, an outer peripheral part that is provided integrally with the filtration part and surrounds the filtration part, and partitions the filter chamber;
Comprising
The outer periphery of the filter is
A plurality of first portions that are formed thicker than the filtering portion and are arranged with a gap between each other and sandwiched between the first holder member and the second holder member,
By collapsing between said plurality of first portions, the cross-sectional area opening into the filter chamber of the gap between the plurality of first portions, the narrower than the cross-sectional area of the holes of the filtration unit 2 part,
A filter device for an ink jet printer, comprising:
前記複数の第1の部分の間の隙間は、前記外周部の外縁から前記濾過部に向かう方向に延びた溝状に形成されたことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリンタ用のフィルタ装置。   2. The ink jet printer filter according to claim 1, wherein the gap between the plurality of first portions is formed in a groove shape extending in a direction from the outer edge of the outer peripheral portion toward the filtration portion. apparatus. 前記フィルタは、前記第1のホルダ部材に向いた第1の面と、前記第2のホルダ部材に向いた第2の面とを有し、
前記外周部の前記第1の部分は、前記第1の面から張り出した第1の凸部と、前記第1の凸部と隣り合って配置されるとともに前記第2の面から張り出した第2の凸部と、を含み、
前記外周部の前記第2の部分が潰れることで、前記第1の凸部と前記第2の凸部とが揃って前記第1のホルダ部材と前記第2のホルダ部材とに挟持され、前記第1の凸部と前記第2の凸部との間の隙間の前記フィルタ室に開口する断面積が前記濾過部の前記孔の断面積よりも狭く形成されたことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリンタ用のフィルタ装置。
The filter has a first surface facing the first holder member and a second surface facing the second holder member;
The first portion of the outer peripheral portion includes a first protrusion protruding from the first surface and a second protrusion protruding from the second surface while being disposed adjacent to the first protrusion. And a convex portion of
When the second portion of the outer peripheral portion is crushed, the first convex portion and the second convex portion are aligned and sandwiched between the first holder member and the second holder member, claim the cross-sectional area which is open to the filter chamber of the gap between the first protrusion and the second protrusion, characterized in that formed narrower than the cross-sectional area of the holes of the filtration unit 2. A filter device for an ink jet printer according to 1.
第1のホルダ部材と、前記第1のホルダ部材に固定される第2のホルダ部材と、前記第1のホルダ部材と前記第2のホルダ部材とに囲まれたフィルタ室と、を有したホルダと、
複数の孔が形成された濾過部と、前記濾過部と一体に設けられるとともに前記濾過部を囲んだ外周部と、を有し、前記フィルタ室を仕切った金属膜であるフィルタと、
を備え、
前記フィルタの前記外周部は、
前記濾過部よりも厚く形成され、互いに隙間を介して配置された複数の第1の部分と、
前記複数の第1の部分の間に設けられた前記第1の部分よりも薄い第2の部分と、
を含んだインクジェットプリンタ用のフィルタ装置の製造方法であって、
前記外周部の前記第1の部分を、前記第1のホルダ部材と前記第2のホルダ部材とで挟持し、
前記外周部の前記第2の部分を潰すことで、前記第1の部分の間の隙間の前記フィルタ室に開口する断面積を前記濾過部の前記孔の断面積よりも狭くすることを特徴とするインクジェットプリンタ用のフィルタ装置の製造方法。
A holder having a first holder member, a second holder member fixed to the first holder member, and a filter chamber surrounded by the first holder member and the second holder member When,
A filter that is a metal film that has a filtration part in which a plurality of holes are formed, an outer peripheral part that is provided integrally with the filtration part and surrounds the filtration part, and partitions the filter chamber;
With
The outer periphery of the filter is
A plurality of first parts formed thicker than the filtration part and arranged with a gap therebetween;
A second portion thinner than the first portion provided between the plurality of first portions;
A method of manufacturing a filter device for an ink jet printer including:
Sandwiching the first portion of the outer peripheral portion between the first holder member and the second holder member;
By crushing the second portion of the outer peripheral portion, characterized in that the cross-sectional area opening into the filter chamber of the gap between the first portion and narrower than the cross-sectional area of the holes of the filtration unit A method for manufacturing a filter device for an inkjet printer.
電鋳によって、前記濾過部と、前記外周部の前記第1の部分の一部と、前記第2の部分とを含む前記フィルタの中間生産物である第1層を形成し、
前記第1層の上に電鋳することにより前記フィルタを形成することを特徴とする請求項4に記載のインクジェットプリンタ用のフィルタ装置の製造方法。
By electroforming, a first layer which is an intermediate product of the filter including the filtering part, a part of the first part of the outer peripheral part, and the second part is formed,
The method for manufacturing a filter device for an ink jet printer according to claim 4, wherein the filter is formed by electroforming on the first layer.
前記フィルタは、前記第1のホルダ部材に向いた第1の面と、前記第2のホルダ部材に向いた第2の面とを有し、
前記外周部の前記第1の部分は、前記第1の面から張り出した第1の凸部と、前記第1の凸部と隣り合って配置されるとともに前記第2の面から張り出した第2の凸部と、を含み、
前記第1の部分を前記第1のホルダ部材と前記第2のホルダ部材とで挟持することで前記第2の部分を潰し、前記第1の凸部と前記第2の凸部とを揃えることを特徴とする請求項4に記載のインクジェットプリンタ用のフィルタ装置の製造方法。
The filter has a first surface facing the first holder member and a second surface facing the second holder member;
The first portion of the outer peripheral portion includes a first protrusion protruding from the first surface and a second protrusion protruding from the second surface while being disposed adjacent to the first protrusion. And a convex portion of
The second portion is crushed by sandwiching the first portion between the first holder member and the second holder member, and the first convex portion and the second convex portion are aligned. The manufacturing method of the filter apparatus for inkjet printers of Claim 4 characterized by these.
複数の孔が形成された金属膜である濾過部と、
前記濾過部と一体に形成されるとともに前記濾過部を囲んだ外周部と、
を具備し、
前記外周部は、
前記濾過部よりも厚く形成され、互いに隙間を介して配置された複数の第1の部分と、
前記第1の部分よりも薄く形成され、隣り合う第1の部分どうしが近づく方向に圧縮されたときに潰れる第2の部分と、
を備えることを特徴とするインクジェットプリンタ用のフィルタ。
A filtration part which is a metal film in which a plurality of holes are formed;
An outer peripheral part formed integrally with the filtration part and surrounding the filtration part;
Comprising
The outer periphery is
A plurality of first parts formed thicker than the filtration part and arranged with a gap therebetween;
A second part that is formed thinner than the first part and collapses when compressed in a direction in which adjacent first parts approach each other;
A filter for an ink jet printer, comprising:
前記複数の第1の部分の間の隙間は、前記外周部の外縁から前記濾過部に向かう方向に延びた溝状に形成されたことを特徴とする請求項7に記載のインクジェットプリンタ用のフィルタ。   8. The filter for an ink jet printer according to claim 7, wherein the gap between the plurality of first portions is formed in a groove shape extending in a direction from the outer edge of the outer peripheral portion toward the filtration portion. . 前記フィルタは、第1の面と、前記第1の面の反対側に位置する第2の面とを有し、
前記外周部の前記第1の部分は、前記第1の面から張り出した第1の凸部と、前記第1の凸部と隣り合って配置されるとともに前記第2の面から張り出した第2の凸部と、を含み、
前記外周部の前記第2の部分が前記フィルタの厚み方向に潰れると、前記第1の凸部と前記第2の凸部とが揃い、前記第1の凸部と前記第2の凸部との間の隙間の前記フィルタ室に開口する断面積が前記濾過部の前記孔の断面積よりも狭くなることを特徴とする請求項7に記載のインクジェットプリンタ用のフィルタ。
The filter has a first surface and a second surface located on the opposite side of the first surface;
The first portion of the outer peripheral portion includes a first protrusion protruding from the first surface and a second protrusion protruding from the second surface while being disposed adjacent to the first protrusion. And a convex portion of
When the second portion of the outer peripheral portion is crushed in the thickness direction of the filter, the first convex portion and the second convex portion are aligned, and the first convex portion and the second convex portion are The filter for an ink jet printer according to claim 7 , wherein a cross-sectional area that opens into the filter chamber in a gap between the two is narrower than a cross-sectional area of the hole of the filtering portion.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN105620047B (en) * 2014-11-26 2017-11-24 杭州费尔过滤技术有限公司 A kind of ink filter
WO2024180932A1 (en) * 2023-03-02 2024-09-06 株式会社村田製作所 Filter and filter device

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11277758A (en) * 1998-03-27 1999-10-12 Seiko Epson Corp Ink jet recording device
JP4282244B2 (en) * 2001-01-24 2009-06-17 株式会社リコー Inkjet head and inkjet recording apparatus
JP4186884B2 (en) * 2004-06-30 2008-11-26 ブラザー工業株式会社 Inkjet printer head
JP2009012358A (en) * 2007-07-06 2009-01-22 Ricoh Co Ltd Liquid discharge head unit and image forming device
JP2009154417A (en) * 2007-12-27 2009-07-16 Ricoh Co Ltd Liquid discharge head, head cartridge, image forming apparatus, manufacturing method of liquid discharge head, joint member, and manufacturing method of joint member

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