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JP5468318B2 - Heat treatment furnace - Google Patents

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JP5468318B2
JP5468318B2 JP2009153906A JP2009153906A JP5468318B2 JP 5468318 B2 JP5468318 B2 JP 5468318B2 JP 2009153906 A JP2009153906 A JP 2009153906A JP 2009153906 A JP2009153906 A JP 2009153906A JP 5468318 B2 JP5468318 B2 JP 5468318B2
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gas
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heat treatment
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伸 松田
周秀 藤山
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JTEKT Thermo Systems Corp
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Koyo Thermo Systems Co Ltd
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Description

本発明は、熱処理炉に関する。   The present invention relates to a heat treatment furnace.

トレイ上に搭載された、又は、容器内に収納された被処理物を熱処理する熱処理炉として、炉内にハースローラ等の搬送部が設けられ、この搬送部によって被処理物を搬送しながら熱処理を行うものがある。このような熱処理炉では、所定の処理用ガスが炉内に供給され、当該処理用ガスを含む雰囲気の中で被処理物の熱処理が行われる。   As a heat treatment furnace for heat-treating an object to be processed that is mounted on a tray or stored in a container, a conveying unit such as a hearth roller is provided in the furnace, and heat treatment is performed while conveying the object to be processed by this conveying unit. There is something to do. In such a heat treatment furnace, a predetermined processing gas is supplied into the furnace, and the heat treatment of the object to be processed is performed in an atmosphere containing the processing gas.

処理量を増やすためには前記熱処理炉を複数設置すればよいが、熱処理炉は水平方向に長い炉長を有していることから、大きな設置スペースが必要となる。
そこで、例えば特許文献1に示しているように、炉内に単一の加熱室が形成され、この単一の加熱室にハースローラ等の搬送部を上下に二段設けた熱処理炉が提案されている。この熱処理炉によれば、上下各段で被処理物を水平方向に搬送しながら熱処理を行い、処理量を増やすことができる。
In order to increase the processing amount, a plurality of heat treatment furnaces may be installed. However, since the heat treatment furnace has a long furnace length in the horizontal direction, a large installation space is required.
Therefore, for example, as shown in Patent Document 1, a heat treatment furnace has been proposed in which a single heating chamber is formed in the furnace, and a conveying unit such as a hearth roller is provided in two stages up and down in the single heating chamber. Yes. According to this heat treatment furnace, heat treatment can be performed while conveying an object to be processed in the upper and lower stages in the horizontal direction, and the amount of treatment can be increased.

特開平10−17925号公報(図3参照)Japanese Patent Laid-Open No. 10-17925 (see FIG. 3)

特許文献1に記載の熱処理炉によれば、加熱室に搬送部を上下二段設けることで、処理量を増やすことを可能としながらも、装置の設置面積を小さくして省スペース化を図ることができる。
しかし、この熱処理炉では、上下の各段の間で雰囲気ガスが強制撹拌されて混ざり合うことにより、温度及び雰囲気ガスの均一化を図る構成となる。このために、例えば上段にある被処理物に対して熱処理を行うことで反応したガスが、下段に流れると、下段に供給された処理用ガスと混ざり、下段における熱処理に影響を及ぼすおそれがある。
このような雰囲気の撹拌による炉内の温度の均一性やガス濃度の均一性の確保には限界があり、この構成では、より厳格な製品性能の要求に応じられない場合がある。さらに、被処理物が粉体、軽量物や基板等であって当該被処理物の性質上、雰囲気の撹拌が許されない場合がある。
そこで、上記のような従来の問題点を解決するために、本発明は、上下方向の複数段で熱処理できる構成でありながら、上下の各段の間でガスが混ざり合うことを防止して、厳しい要求に対応するために、均一な温度分布やガス濃度や圧力等(これらを「炉内環境」という)を確保できる熱処理炉を提供することを目的とする。
According to the heat treatment furnace described in Patent Document 1, it is possible to reduce the installation area of the apparatus by reducing the installation area of the apparatus while providing a two-stage transfer unit in the heating chamber so as to increase the processing amount. Can do.
However, in this heat treatment furnace, the ambient gas is forcibly agitated and mixed between the upper and lower stages to achieve a uniform temperature and ambient gas. For this reason, for example, if the gas reacted by performing heat treatment on the object to be processed in the upper stage flows into the lower stage, it may be mixed with the processing gas supplied to the lower stage and affect the heat treatment in the lower stage. .
There is a limit to ensuring the uniformity of the temperature in the furnace and the uniformity of the gas concentration by stirring in such an atmosphere, and this configuration may not meet the demands of more stringent product performance. Furthermore, there are cases where the object to be processed is a powder, a lightweight object, a substrate, etc., and stirring of the atmosphere is not allowed due to the properties of the object to be processed.
Therefore, in order to solve the conventional problems as described above, the present invention prevents gas from being mixed between the upper and lower stages while being configured to perform heat treatment in a plurality of stages in the vertical direction. An object of the present invention is to provide a heat treatment furnace capable of ensuring uniform temperature distribution, gas concentration, pressure, etc. (these are referred to as “in-furnace environment”) in order to meet strict requirements.

前記目的を達成するための熱処理炉は、断熱性を有する炉壁に囲まれることにより炉内に単一の加熱室が形成されている炉本体と、前記単一の加熱室に上下方向に複数段設けられ各段でワークを水平方向に搬送する搬送部と、前記搬送部によって前記ワークが搬送される搬送路毎に前記加熱室を上下方向複数段に仕切る仕切部材と、前記仕切部材によって仕切られた段毎に炉内環境を調整する調整装置と、を備えており、前記仕切部材は、炉壁におけるワークを挟んで対向する炉壁間に配置され、前記炉壁の厚さより薄く、かつ炉壁より断熱性の低い材料によって形成されていることを特徴とする。 A heat treatment furnace for achieving the object includes a furnace body in which a single heating chamber is formed in the furnace by being surrounded by a heat-insulating furnace wall, and a plurality of the heating chambers in the vertical direction in the single heating chamber. A transport unit configured to transport a workpiece in each stage in a horizontal direction; a partition member that partitions the heating chamber into a plurality of stages in the vertical direction for each transport path along which the work is transported by the transport unit; And an adjusting device that adjusts the environment in the furnace for each of the stages, and the partition member is disposed between the furnace walls facing each other across the workpiece in the furnace wall, and is thinner than the thickness of the furnace wall, and It is characterized by being formed of a material having lower heat insulation than the furnace wall .

本発明によれば、搬送部が単一の加熱室に上下方向に複数段設けられ、当該搬送部によって各段でワークを水平方向に搬送するので、加熱室の上下方向の複数段でワークを搬送しながら処理を行うことができる。そして、仕切部材が、単一の加熱室を搬送路毎に上下方向複数段に仕切ることから、複数段の搬送路の間でガスが混ざり合うことを防ぐことができる。そして、仕切部材によって加熱室が上下方向に仕切られていても、調整装置は、炉内環境を段毎に調整するので、各段で所望の処理を行うことが可能となる。   According to the present invention, the transport unit is provided in a plurality of stages in the vertical direction in a single heating chamber, and the work is transported in the horizontal direction in each stage by the transport unit. Processing can be performed while being conveyed. And since a partition member partitions a single heating chamber into the upper and lower direction several steps | paragraphs for every conveyance path, it can prevent that gas mixes between several stages of conveyance paths. And even if the heating chamber is partitioned in the vertical direction by the partition member, the adjustment device adjusts the furnace environment for each stage, so that a desired process can be performed at each stage.

また、前記熱処理炉では様々なワークを処理することができるが、例えばワークが直方体や板状等の平面視矩形の被処理物そのものでありその一辺の方向が搬送方向となる場合や、ワークが平面視矩形のトレイと当該トレイに載せられた被処理物とからなりトレイの一辺の方向が搬送方向となる場合であり、そして、このようなワークが搬送方向に密に並んで搬送される場合、前記熱処理炉が備えている前記仕切部材は、前記ワークの搬送方向に直交する前記ワークの左右側方それぞれに配置され、当該ワークが両者の間を通過する左右の部分仕切部からなる構成とするのが好ましい。
この場合、ワークと左右の部分仕切部とが左右方向に並んだ構成となり、これら部分仕切部が用いられて加熱室を上下方向に複数段に仕切ることができる。さらに、ワークと左右の部分仕切部とが左右方向に並んだ構成となるので、仕切部材を加熱室内に設けても熱処理炉を低く構成することが可能となる。
Further, in the heat treatment furnace, various workpieces can be processed. For example, when the workpiece is a rectangular object to be processed in a plan view such as a rectangular parallelepiped or a plate, and the direction of one side thereof is the conveyance direction, This is a case where a rectangular tray in plan view and an object to be processed placed on the tray are formed, and the direction of one side of the tray is the transport direction, and such workpieces are transported closely in the transport direction. The partition member provided in the heat treatment furnace is disposed on each of the left and right sides of the workpiece orthogonal to the conveyance direction of the workpiece, and the workpiece is composed of left and right partial partition portions that pass between the two. It is preferable to do this.
In this case, the workpiece and the left and right partial partition portions are arranged in the left-right direction, and the partial partition portions are used to partition the heating chamber into a plurality of stages in the vertical direction. Further, since the workpiece and the left and right partial partitioning portions are arranged in the left-right direction, the heat treatment furnace can be configured low even if the partition member is provided in the heating chamber.

また、ワークの種類が前記ワークと異なる場合や、ワークが搬送方向に間隔をもって搬送される場合、前記熱処理炉が備えている前記仕切部材は、前記搬送路に存在する前記ワークよりも上方及び下方の内の少なくとも一方に設けられ、前記加熱室を上下方向にほぼ完全に区画している仕切板からなるのが好ましい。
この場合、仕切板によって加熱室を搬送路毎に上下方向に複数段仕切ることができ、上下の搬送路の間でガスが混ざり合うことを防ぐことができる。
Further, when the type of workpiece is different from that of the workpiece, or when the workpiece is conveyed at intervals in the conveyance direction, the partition member provided in the heat treatment furnace is above and below the workpiece existing in the conveyance path. It is preferable to comprise a partition plate which is provided on at least one of the two and divides the heating chamber almost completely in the vertical direction.
In this case, the heating chamber can be divided into a plurality of stages in the vertical direction for each conveyance path by the partition plate, and gas can be prevented from being mixed between the upper and lower conveyance paths.

また、前記調整装置は、前記本体内のガスを段毎で加熱するヒータと、当該段毎の温度を検出する温度検出器と、前記温度検出器の検出結果に基づいて前記ヒータを段毎で制御する制御装置とを有しているのが好ましい。
この調整装置によれは、前記仕切部材によって仕切られた段毎に、炉内環境として炉内の温度を、調整することが可能となる。
In addition, the adjustment device includes a heater for heating the gas in the furnace body for each stage, a temperature detector for detecting the temperature for each stage, and the heater for each stage based on a detection result of the temperature detector. It is preferable to have a control device that performs control.
According to this adjustment device, it becomes possible to adjust the temperature in the furnace as the furnace environment for each stage partitioned by the partition member.

また、前記調整装置は、前記本体内の段毎にガスを供給するガス導入部と、当該各段のガスを排気するガス排気部と、前記ガス導入部からのガスの導入及び前記ガス排気部からのガスの排気を制御する制御装置とを有しているのが好ましい。
この調整装置によれは、前記仕切部材によって仕切られた段毎に、炉内環境として炉内のガス濃度を、調整することが可能となる。
The adjusting device includes a gas introduction unit that supplies a gas to each stage in the furnace body, a gas exhaust unit that exhausts the gas at each stage, the introduction of gas from the gas introduction unit, and the gas exhaust. And a control device for controlling the exhaust of gas from the section.
According to this adjusting device, it becomes possible to adjust the gas concentration in the furnace as the furnace environment for each stage partitioned by the partition member.

さらに、この調整装置は、前記本体内の段毎のガスの排気流量を調整するエジェクタと、当該段毎の圧力を検出する圧力計とを更に備え、前記制御装置は、前記圧力計の検出結果に基づいて前記エジェクタを前記段毎で制御するのが好ましい。
この場合、前記仕切部材によって仕切られた段毎に、炉内環境として炉内の圧力を、調整することが可能となる。
The adjusting device further includes an ejector that adjusts an exhaust flow rate of the gas for each stage in the furnace body, and a pressure gauge that detects a pressure for each stage, and the control device detects the pressure gauge. It is preferable to control the ejector for each stage based on the result.
In this case, it becomes possible to adjust the pressure in the furnace as the furnace environment for each stage partitioned by the partition member.

本発明の熱処理炉によれば、仕切部材が、搬送路毎に単一の加熱室を上下複数段に仕切ることから、複数段の搬送路の間でガスが混ざり合うことを防ぐことができ、各段でワークに対して所望の処理を行うことが可能となる。   According to the heat treatment furnace of the present invention, since the partition member partitions the single heating chamber into a plurality of upper and lower stages for each transport path, it is possible to prevent gas from being mixed between the transport paths of the plurality of stages, It is possible to perform desired processing on the workpiece at each stage.

本発明の熱処理炉の概略構成を示している縦断面図である。It is a longitudinal section showing the schematic structure of the heat treatment furnace of the present invention. 熱処理炉が有している炉本体の一部を示している縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows a part of furnace main body which the heat treatment furnace has. 炉本体の横断面図である。It is a cross-sectional view of a furnace body. 本発明の熱処理炉の他の実施形態の一部を示している横断面図である。It is a cross-sectional view showing a part of another embodiment of the heat treatment furnace of the present invention.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の熱処理炉の概略構成を示している縦断面図である。この熱処理炉では、様々な被処理物を処理することができるが、第一の実施の形態では、平面視矩形のトレイと当該トレイに載せられた被処理物とを含めてワークWと呼んで説明する。なお、トレイは底面及び側面を有した皿形状であり、トレイの一辺の方向が搬送方向に向けられてワークWが搬送される。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a schematic configuration of a heat treatment furnace of the present invention. In this heat treatment furnace, various objects to be processed can be processed. In the first embodiment, the workpiece including the tray having a rectangular shape in plan view and the objects to be processed placed on the tray is called a workpiece W. explain. Note that the tray has a dish shape having a bottom surface and side surfaces, and the work W is transported with the direction of one side of the tray directed in the transport direction.

熱処理炉は、一方向に長くワークWの被処理物に熱処理を施す炉本体1の他に、図1の左側から順に、ワークWを炉本体1に搬入するための搬入装置2と、炉本体1の上流側に設けられパージ室を有した第一中間装置3と、炉本体1の下流側に設けられ冷却室を有した冷却装置4と、パージ室を有した第二中間装置5と、ワークWを次の工程に搬出するための搬出装置6とを備えている。   In addition to the furnace body 1 that heat-treats the workpiece W to be processed in one direction, the heat treatment furnace includes a loading device 2 for loading the workpiece W into the furnace body 1 in order from the left side of FIG. A first intermediate device 3 provided on the upstream side of 1 and having a purge chamber, a cooling device 4 provided on the downstream side of the furnace body 1 and having a cooling chamber, a second intermediate device 5 having a purge chamber, An unloading device 6 for unloading the workpiece W to the next process is provided.

炉本体1の概略構成を説明すると、炉本体1は、断熱性を有する炉壁10に囲まれることにより炉内に単一の加熱室9が形成された構成である。そして、この単一の加熱室9には、上下方向に三段のワークWの搬送路R1,R2,R3が設けられていて、各段でワークWは搬送されながら処理が行われる。
なお、本発明において、ワークWの搬送方向(図1の左から右へ向かう方向)が前後方向前方であり、この搬送方向に直交する水平方向が左右方向である。
The schematic configuration of the furnace body 1 will be described. The furnace body 1 is configured such that a single heating chamber 9 is formed in the furnace by being surrounded by a furnace wall 10 having heat insulation properties. The single heating chamber 9 is provided with transport paths R1, R2, and R3 of three stages of workpieces W in the vertical direction, and the processing is performed while the workpieces W are transported in each stage.
In the present invention, the conveyance direction of the workpiece W (the direction from left to right in FIG. 1) is the front in the front-rear direction, and the horizontal direction orthogonal to the conveyance direction is the left-right direction.

本発明の熱処理炉の全体構成を説明する。前記搬入装置2は、搬入ステージ2a上のワークWを、前記搬送路R1,R2,R3それぞれと同じ高さの位置まで移動させる昇降機構2bを有している。昇降機構2bによって各高さ位置に移動したワークWは、第一中間装置3の上下方向に三段設けられたパージ室にそれぞれ投入される。その後、ワークWは炉本体1内に投入され、上下三段それぞれで熱処理が行われ、さらに、炉本体1の外部に設けられた冷却装置4の冷却室4aを通過する。その後、ワークWは、第二中間装置5のパージ室に投入され、搬出装置6によって搬出ステージ6aへ取り出される。なお、搬出装置6は、前記搬送路R1,R2,R3それぞれを通過してきたワークWを、第二のステージ6aへと移動させる昇降機構6bを有している。また、前記パージ室の前後には気密性を有する開閉扉が設けられている。   The overall configuration of the heat treatment furnace of the present invention will be described. The carry-in device 2 includes an elevating mechanism 2b that moves the workpiece W on the carry-in stage 2a to a position having the same height as each of the transport paths R1, R2, and R3. The workpieces W moved to the respective height positions by the elevating mechanism 2b are put into purge chambers provided in three stages in the vertical direction of the first intermediate device 3, respectively. Then, the workpiece | work W is thrown in in the furnace main body 1, heat processing is performed in each of upper and lower three steps, and also passes through the cooling chamber 4a of the cooling device 4 provided outside the furnace main body 1. Thereafter, the workpiece W is put into the purge chamber of the second intermediate device 5 and taken out to the carry-out stage 6 a by the carry-out device 6. The carry-out device 6 has an elevating mechanism 6b that moves the workpiece W that has passed through the conveyance paths R1, R2, and R3 to the second stage 6a. In addition, an airtight door is provided before and after the purge chamber.

前記第一の中間装置3から前記第二の中間装置5までの間には、後述する上中下段の搬送部31,32,33によってワークWは搬送される。熱処理炉1の前壁14及び後壁15にワークWの通過口が設けられている。搬送部31,32,33それぞれによって、ワークWは次々に炉内へと投入され、これらワークWは熱処理炉1内で処理される。すなわち、この熱処理炉は連続式である。   Between the first intermediate device 3 and the second intermediate device 5, the workpiece W is conveyed by upper, middle, and lower conveyance units 31, 32, and 33, which will be described later. The front wall 14 and the rear wall 15 of the heat treatment furnace 1 are provided with a workpiece W passage port. The workpieces W are successively put into the furnace by the transfer units 31, 32, and 33, and these workpieces W are processed in the heat treatment furnace 1. That is, this heat treatment furnace is a continuous type.

炉本体1についてさらに説明する。図2は、炉本体1の一部を示している縦断面図であり、図3は、炉本体1の横断面図である。炉本体1は、ワークWの搬送方向に長い直方体形状を有していて、前記のとおり、断熱性をそれぞれが有している上壁11、底壁12、左側壁13a、右側壁13b、前壁14(図1参照)及び後壁15(図1参照)によって六方から囲まれることで、炉内に単一の加熱室9が形成されている。   The furnace body 1 will be further described. FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a part of the furnace body 1, and FIG. 3 is a transverse sectional view of the furnace body 1. The furnace body 1 has a rectangular parallelepiped shape that is long in the conveying direction of the workpiece W. As described above, the top wall 11, the bottom wall 12, the left side wall 13 a, the right side wall 13 b, and the front side each having heat insulation properties A single heating chamber 9 is formed in the furnace by being surrounded from six sides by the wall 14 (see FIG. 1) and the rear wall 15 (see FIG. 1).

そして、この単一の加熱室に、上下方向に三段の搬送部31,32,33が設けられている。すなわち、上段の搬送部31、中段の搬送部32及び下段の搬送部33が設けられている。上段の搬送部31、中段の搬送部32及び下段の搬送部33それぞれによって、上中下の各段で、ワークWは前後方向前方に搬送される。本実施形態の搬送部31,32,33それぞれはハースローラからなる。ワークWはこれらハースローラの上に載置された状態で搬送される。
この構成により、ワークWが搬送される通路として、上段の搬送路R1、中段の搬送路R2及び下段の搬送路R3が構成される。なお、本実施形態では、図3に示しているように、搬送路R1,R2,R3それぞれにおいて、ワークWは左右方向に複数列(三列)に並んだ状態となって前後方向前方へと搬送される。
And in this single heating chamber, the three-stage conveyance parts 31, 32, and 33 are provided in the up-down direction. That is, an upper transport unit 31, an intermediate transport unit 32, and a lower transport unit 33 are provided. The workpiece W is conveyed forward in the front-rear direction in each of the upper, middle, and lower stages by the upper conveyance unit 31, the middle conveyance unit 32, and the lower conveyance unit 33, respectively. Each of the transport units 31, 32, and 33 according to the present embodiment includes a hearth roller. The workpiece W is transported while being placed on these hearth rollers.
With this configuration, an upper conveyance path R1, a middle conveyance path R2, and a lower conveyance path R3 are configured as paths through which the workpiece W is conveyed. In the present embodiment, as shown in FIG. 3, in each of the transport paths R1, R2, and R3, the workpieces W are arranged in a plurality of rows (three rows) in the left-right direction and forward in the front-rear direction. Be transported.

そして、炉本体1は、搬送路R1,R2,R3毎に加熱室9を上下方向に三段に仕切る仕切部材7a,7b,7cを備えている。仕切部材7a,7b,7cそれぞれは同じ構成であり、上段の仕切部材7aを代表として説明すると、図3において、仕切部材7aは、三列に密となって左右に並んでいるワークWの左右側方それぞれに配置された左の部分仕切部21aと右の部分仕切部22aとからなる。そして、これら左の部分仕切部21aと右の部分仕切部22aとの間を、三列のワークWが通過する。   And the furnace main body 1 is provided with the partition members 7a, 7b, and 7c which partition the heating chamber 9 into three steps | paragraphs to an up-down direction for every conveyance path R1, R2, R3. Each of the partition members 7a, 7b, and 7c has the same configuration, and the upper partition member 7a will be described as a representative. In FIG. 3, the partition members 7a are arranged on the left and right sides of the workpieces W that are densely arranged in three rows. It consists of the left partial partition part 21a and the right partial partition part 22a which are arrange | positioned at each side. Then, three rows of workpieces W pass between the left partial partition 21a and the right partial partition 22a.

左の部分仕切部21a及び右の部分仕切部22aは、左側壁13a及び右側壁13bから左右方向の中央に向かって延びるように設けられていて、図2に示しているように、前後方向に長い板状の部材である。さらに説明すると、部分仕切部21a,22aを備えた仕切部材7aは、図1に示しているように、炉本体1の前後方向全長にわたって設けられている。そして、図3において、部分仕切部21a,22aの先端縁とワークWとの間には隙間が形成される。なお、このように隙間が形成されているが、その寸法は小さいので、多くのガスが隙間を通って上下方向に流出することを防ぐ機能は十分に備えている。   The left partial partition portion 21a and the right partial partition portion 22a are provided so as to extend from the left side wall 13a and the right side wall 13b toward the center in the left-right direction, and as shown in FIG. It is a long plate-shaped member. More specifically, the partition member 7a including the partial partition portions 21a and 22a is provided over the entire length in the front-rear direction of the furnace body 1 as shown in FIG. In FIG. 3, a gap is formed between the leading edges of the partial partition portions 21 a and 22 a and the workpiece W. In addition, although the gap is formed in this way, since the dimension is small, the function of preventing a large amount of gas from flowing out in the vertical direction through the gap is sufficiently provided.

そして、本実施形態ではワークWの一部である被処理物を載せたトレイが、前後方向に密に並んで搬送されていて、このトレイの左右の側方にある前記部分仕切部21a,22aと当該トレイとによって、当該トレイ上にある被処理物が進行する搬送路R1を含む上方の空間と、その下方の空間とを仕切ることができる。   And in this embodiment, the tray which loaded the to-be-processed object which is a part of workpiece | work W is conveyed closely along with the front-back direction, The said partial partition parts 21a and 22a in the right and left sides of this tray And the tray can partition the upper space including the conveyance path R1 along which the workpieces on the tray travel and the lower space.

なお、断熱性を有する炉壁10を構成する各壁部材は、煉瓦、アルミナボード又はカーボンボード等から成り、断熱性の高い材質である。これに対して仕切部材7a,7b,7cは、炉壁10を構成する各壁部材よりも非常に薄く構成され、壁10のように高い断熱性を備えておらず、例えば、薄い断熱ボード、ガラス、石英板又は無機複合材等によって構成することができる。 In addition, each wall member which comprises the furnace wall 10 which has heat insulation consists of a brick, an alumina board, a carbon board, etc., and is a material with high heat insulation. The partition member 7a contrast, 7b, 7c is configured much thinner than the wall members constituting the furnace wall 10, not provided with a high heat insulating property as the furnace wall 10, for example, a thin insulation board , Glass, quartz plate or inorganic composite material.

また、炉本体1は、前記仕切部材7a,7b,7cによって、三つの搬送路R1,R2,R3が上下方向に区画されていて、搬送路R1,R2,R3毎に被処理物(ワークW)の周囲の雰囲気を調整することができるように構成されている。なお、調整される周囲の雰囲気としては、周囲の温度や処理用ガスの濃度や圧力がある。
このために、本発明の熱処理炉は、仕切部材7a,7b,7cによって仕切られた段毎(搬送路R1,R2,R3毎)に炉内環境を調整する調整装置8a,8b,8c(図3参照)を備えている。
Further, the furnace body 1 has three transport paths R1, R2, and R3 partitioned in the vertical direction by the partition members 7a, 7b, and 7c, and a workpiece (workpiece W) is provided for each of the transport paths R1, R2, and R3. ) Is configured so that the ambient atmosphere can be adjusted. The ambient atmosphere to be adjusted includes the ambient temperature and the concentration and pressure of the processing gas.
For this reason, the heat treatment furnace of the present invention is provided with adjusting devices 8a, 8b, 8c for adjusting the furnace environment for each stage (for each of the transport paths R1, R2, R3) partitioned by the partition members 7a, 7b, 7c (see FIG. 3).

すなわち、上段の搬送路R1用(専用)として上段の調整装置8aが設けられていて、中段の搬送路R2用(専用)として中段の調整装置8bが設けられていて、下段の搬送路R3用(専用)として下段の調整装置8cが設けられている。調整装置8a,8b,8cそれぞれは同じ構成であり、上段の調整装置8aを代表して説明する。   That is, the upper adjustment device 8a is provided for the upper conveyance path R1 (dedicated), the middle adjustment device 8b is provided for the intermediate conveyance path R2 (dedicated), and the lower conveyance path R3 is used. A lower adjustment device 8c is provided as (dedicated). The adjustment devices 8a, 8b, and 8c have the same configuration, and the upper adjustment device 8a will be described as a representative.

温度調整のために、調整装置8aは、炉内で発熱するヒータ35aと、例えば熱電対からなる温度検出器36aと、温度検出器36aの検出結果に基づいてヒータ35aの仕事量を調整する制御装置37aとを有している。
ガス濃度の調整のために、調整装置8aは、炉本体1内の段毎にガスを供給するガス導入部41a,41b,41cと、段毎のガスを排気するガス排気部42a,42b,42cと、ガスの導入及びガスの排気を制御する制御装置37aとを有している。
また、圧力の調整のために、炉本体1内の段毎のガスの排気流量を調整するエジェクタ18と、段毎の圧力を検出する圧力計とを備えている。そして、前記制御装置37aが、圧力計の検出結果に基づいてエジェクタ18による排気流量を段毎で制御する
In order to adjust the temperature, the adjusting device 8a adjusts the work amount of the heater 35a based on the detection result of the heater 35a that generates heat in the furnace, the temperature detector 36a made of, for example, a thermocouple, and the temperature detector 36a. And a device 37a.
In order to adjust the gas concentration, the adjusting device 8a includes gas introducing portions 41a, 41b, and 41c that supply gas to each stage in the furnace body 1, and gas exhaust portions 42a, 42b, and 42c that exhaust the gas for each stage. And a control device 37a for controlling gas introduction and gas exhaust.
In order to adjust the pressure, an ejector 18 that adjusts the exhaust flow rate of the gas in each stage in the furnace body 1 and a pressure gauge that detects the pressure in each stage are provided. And the said control apparatus 37a controls the exhaust gas flow volume by the ejector 18 for every step based on the detection result of a pressure gauge.

このような炉内環境の調整について、具体的に説明する。
ヒータ35a及び例えば熱電対からなる温度検出器36aは、上壁11よりも下方でかつ上段の仕切部材7a(部分仕切部21a,22a)よりも上方に設置されていて、それぞれ上段の搬送路R1における室内温度が、炉外の制御装置37aによって調整される。また、中段については、調整装置8bが備えているヒータ35b及び温度検出器36bは、上段の仕切部材7aよりも下方でかつ中段の仕切部材7bよりも上方に設置されていて、それぞれ中段の搬送路R2における室内温度が、炉外の制御装置37bによって調整される。さらに、下段については、調整装置8cが備えているヒータ35c及び温度検出器36cは、中段の仕切部材7bよりも下方でかつ下段の仕切部材7cよりも上方に設置されていて、それぞれ下段の搬送路R3における室内温度が、炉外の制御装置37cによって調整される。なお、下段の搬送部33の下方にはヒータ35dが更に設置されていて、床面からの放散熱量を補い、下段の搬送路R3における室内温度を確保するための補助的な機能を有している。
Such adjustment of the furnace environment will be specifically described.
The heater 35a and a temperature detector 36a made of, for example, a thermocouple are installed below the upper wall 11 and above the upper partition member 7a (partial partition portions 21a, 22a), and each of the upper transport paths R1. Is adjusted by a control device 37a outside the furnace. For the middle stage, the heater 35b and the temperature detector 36b provided in the adjusting device 8b are installed below the upper partition member 7a and above the middle partition member 7b, and are respectively transported at the middle stage. The room temperature in the path R2 is adjusted by the control device 37b outside the furnace. Further, for the lower stage, the heater 35c and the temperature detector 36c provided in the adjusting device 8c are installed below the middle partition member 7b and above the lower partition member 7c, and are respectively transported at the lower stage. The room temperature in the path R3 is adjusted by the control device 37c outside the furnace. A heater 35d is further installed below the lower transport section 33, and has an auxiliary function for compensating the amount of heat dissipated from the floor and ensuring the room temperature in the lower transport path R3. Yes.

前記調整装置8a,8b,8cがそれぞれ有している制御装置37aは、一つのコンピュータから構成することができ、記憶しているプログラムによって熱処理を実行する機能を備えている。
このように構成した調整装置8a,8b,8cによれば、搬送路R1,R2,R3毎で、炉内環境を、すなわち被処理物の周囲の温度を調整することができ、搬送路R1,R2,R3毎で、同じ温度となるように制御してもよいし、異なるように制御してもよい。
The control device 37a included in each of the adjusting devices 8a, 8b, and 8c can be constituted by a single computer and has a function of executing heat treatment by a stored program.
According to the adjusting devices 8a, 8b, and 8c configured as described above, the environment in the furnace, that is, the temperature around the object to be processed can be adjusted for each of the transport paths R1, R2, and R3. Control may be performed so that the temperature is the same or different for each of R2 and R3.

さらに、図1に示しているように、炉本体1は、搬送路R1,R2,R3それぞれにおいて、前後方向に複数の領域A1,A2・・・A8,A9に区画されていて、領域A1,A2・・・A8,A9毎で被処理物の周囲の雰囲気(処理用ガスの濃度等について)を調整することができるように構成されている。
そして、区画された各領域を順にワークWが進行し、被処理物は各領域の雰囲気に応じて熱処理が施される。
Further, as shown in FIG. 1, the furnace body 1 is divided into a plurality of regions A1, A2,... A8, A9 in the front-rear direction in each of the transport paths R1, R2, R3. A2... A8 and A9 are configured so that the atmosphere around the object to be processed (processing gas concentration, etc.) can be adjusted.
And the workpiece | work W advances in order in each divided area | region, and to-be-processed object is heat-processed according to the atmosphere of each area | region.

領域A1,A2・・・A8,A9毎で処理用ガスの濃度を調整する処理は、前記調整装置8a,8b,8cによって実行される。
このために、調整装置8a,8b,8cそれぞれは、マスフローコントローラとガス温度センサである前記温度検出器とを有し、さらに、図2に示しているように、各段の調整装置8a,8b,8cそれぞれは、処理用ガスを各領域に供給するガス導入部(ガス導入口)41a、及び、ガスを吸引するガス排気部(ガス排気口)42aを更に有している。そして、ガス導入口41a及びガス排気口42aは、複数の領域A1,A2・・・A8,A9それぞれに設けられている。
The process of adjusting the concentration of the processing gas in each of the areas A1, A2,... A8, A9 is executed by the adjusting devices 8a, 8b, 8c.
For this purpose, each of the adjusting devices 8a, 8b, and 8c has a mass flow controller and the temperature detector that is a gas temperature sensor. Further, as shown in FIG. 2, the adjusting devices 8a, 8b at each stage. 8c each further includes a gas introduction part (gas introduction port) 41a for supplying processing gas to each region and a gas exhaust part (gas exhaust port) 42a for sucking gas. And the gas introduction port 41a and the gas exhaust port 42a are provided in each of the plurality of regions A1, A2,... A8, A9.

さらに、炉本体1は、前後方向に間隔を有して上段に設けられた複数の部分区画壁40aを有している。なお、上壁11に設けられた前記部分区画壁40a以外に、中段に設けられた部分区画壁40b、下段に設けられた部分区画壁40c、及び、底壁12に設けられた部分区画壁40dを有している。そして、代表して上段について説明すると、前後方向で隣り合う対の部分区画壁40a,40aの間が、区画される一つの領域となる。
代表として図2の領域A2に関して説明すると、上流側の部分区画壁40aの下流側に前記ガス排気口42aが設けられていて、下流側の部分区画壁40aの上流側に前記ガス導入口41aが設けられている。ガス導入口41aから処理用ガスが領域A2に導入され、当該領域A2を通過する被処理物は、この処理用ガスを含んだ雰囲気の中で熱処理される。そして、排ガス及び熱処理されて発生した余剰の処理用ガスは、ガス排気口42から炉外へ排出される。なお、ガス導入口41a及びガス排出口42aは、加熱室9内の領域A2に設置されたパイプ部材に形成されている。
Furthermore, the furnace body 1 has a plurality of partial partition walls 40a provided in the upper stage with a space in the front-rear direction. In addition to the partial partition wall 40 a provided on the upper wall 11, the partial partition wall 40 b provided in the middle stage, the partial partition wall 40 c provided in the lower stage, and the partial partition wall 40 d provided in the bottom wall 12. have. Then, the upper stage will be described as a representative, and a region between the pair of partial partition walls 40a, 40a adjacent in the front-rear direction is a partitioned region.
The region A2 in FIG. 2 will be described as a representative. The gas exhaust port 42a is provided on the downstream side of the upstream partial partition wall 40a, and the gas inlet port 41a is provided on the upstream side of the downstream partial partition wall 40a. Is provided. A processing gas is introduced into the region A2 from the gas inlet 41a, and an object to be processed passing through the region A2 is heat-treated in an atmosphere containing the processing gas. Then, the excess processing gas generated by the exhaust gas and the heat treatment is discharged from the gas exhaust port 42 to the outside of the furnace. The gas inlet 41a and the gas outlet 42a are formed in a pipe member installed in the region A2 in the heating chamber 9.

そして領域A2の他の領域においても、同様に構成されていて、領域A1,A2・・・A8,A9それぞれにおける処理用ガスの濃度、処理用ガスの供給量、排出量は、前記調整装置8a,8b,8cが備えている制御装置37a,37b,37cの機能によって、領域毎に制御される。すなわち、制御装置37a,37b,37cは、マスフローコントローラの機能を有し、当該マスフローコントローラと、エジェクタと、圧力計とによって、排出量の制御が行われる。   The other regions A2 are similarly configured, and the concentration of the processing gas, the supply amount of the processing gas, and the discharge amount in each of the regions A1, A2,... , 8b, 8c are controlled for each area by the functions of the control devices 37a, 37b, 37c. That is, the control devices 37a, 37b, and 37c have the function of a mass flow controller, and the discharge amount is controlled by the mass flow controller, the ejector, and the pressure gauge.

すなわち、前記ガス排気口42aが形成されているパイプ部材は、炉外に設置された排気管17(図3参照)に接続されていて、この排気管17は、前記制御装置37a,37b,37cによって制御されるエジェクタ18を備えている。エジェクタ18は本体1内の段毎のガスの排気流量を調整する機能を有していて、制御装置37a,37b,37cが、段毎の圧力を検出する圧力計の検出結果に基づいて、エジェクタ18によって排気流量を調整することにより、炉内の圧力を段毎で制御することができる。また、排気管17には、排ガス浄化触媒が取り付けられている。 That is, the pipe member in which the gas exhaust port 42a is formed is connected to an exhaust pipe 17 (see FIG. 3) installed outside the furnace, and the exhaust pipe 17 is connected to the control devices 37a, 37b, 37c. Is provided with an ejector 18 controlled by. The ejector 18 has a function of adjusting the exhaust flow rate of the gas in each stage in the furnace body 1, and the control devices 37a, 37b, and 37c are based on the detection result of the pressure gauge that detects the pressure in each stage. By adjusting the exhaust gas flow rate by the ejector 18, the pressure in the furnace can be controlled for each stage. An exhaust gas purification catalyst is attached to the exhaust pipe 17.

以上の構成により、領域A1,A2・・・A8,A9毎で被処理物の周囲の処理用ガスの濃度等を調整することができる。例えば、領域A1,A2・・・A8,A9毎で、炉内環境を、すなわち被処理物の周囲の処理用ガスの濃度を、同じとなるように制御してもよいし、異なるように制御してもよい。また、前記温度検出器36aを領域A1,A2・・・A8,A9毎に設置して、被処理物の周囲の温度を領域毎で制御してもよいし、また、複数の領域を一つのグループとして分け、グループ単位で制御するようにしてもよい。   With the above configuration, the concentration of the processing gas around the workpiece can be adjusted for each of the regions A1, A2,... A8, A9. For example, in each of the areas A1, A2,... A8, A9, the furnace environment, that is, the concentration of the processing gas around the workpiece may be controlled to be the same or different. May be. Further, the temperature detector 36a may be installed for each of the areas A1, A2,... A8, A9, and the temperature around the object to be processed may be controlled for each area. They may be divided into groups and controlled in groups.

図2において、代表して上段に関して説明すると、一つの領域(例えば領域A2)に設けられたガス導入口41aと、当該一つの領域の隣りにある他の領域(領域A3)に設けられたガス導入口41aとは、これら領域(領域A2,A3)を区画する一つの部分区画壁40aを挟んで背中合わせ(隣り合わせ)の状態として設置されている。
さらに、一つの領域(例えば領域A2)に設けられたガス排出口42aと、当該一つの領域の隣りにある他の領域(領域A1)に設けられたガス排出口42aとは、これら領域(領域A2,A1)を区画する一つの部分区画壁40aを挟んで背中合わせ(隣り合わせ)の状態として設置されている。
このようなガス導入口41a及びガス排出口42aの配置及び区画壁40aの構成により、隣り合う領域間でガスの移動を防止することができ、領域毎の雰囲気を異ならせることが可能となる。また、ガスが混ざり合うことを防止できる。
さらに、図2において、ガス導入口41aとガス排出口42aとのワーク搬送面に対する高さが異なっており、この構成によれば、領域毎の分離をより確実に行えるとともに、導入後のガスをより確実に捕捉して滞留時間を少なくし迅速に排出することができる。
In FIG. 2, the upper stage will be described as a representative example. The gas inlet 41a provided in one region (for example, region A2) and the gas provided in another region (region A3) adjacent to the one region. The inlet 41a is installed in a back-to-back (adjacent) state with one partial partition wall 40a partitioning these regions (regions A2, A3).
Further, the gas exhaust port 42a provided in one region (for example, the region A2) and the gas exhaust port 42a provided in another region (region A1) adjacent to the one region are divided into these regions (regions). It is installed as a back-to-back (adjacent) state across one partial partition wall 40a that partitions A2, A1).
By such arrangement of the gas inlet 41a and the gas outlet 42a and the configuration of the partition wall 40a, it is possible to prevent the gas from moving between adjacent regions, and to make the atmosphere different for each region. Moreover, it can prevent that gas mixes.
Further, in FIG. 2, the height of the gas introduction port 41a and the gas discharge port 42a with respect to the work transfer surface is different. According to this configuration, separation for each region can be performed more reliably, and the gas after introduction can be changed. It is possible to capture more reliably and reduce the residence time to quickly discharge.

以上の実施形態の炉本体1によれば、図3において、ワークWと仕切部材7a,7b,7c(左右の部分仕切部)とが左右方向に並んだ構成となり、これら仕切部材7a,7b,7cが用いられ、かつ、ワークWの一部であるトレイの底壁及び側壁と協働して、加熱室9を上下方向に三段に仕切ることができ、ガスが上下方向に流れることを抑制している。
そして、各段で、ワークWと左右の部分仕切部とが左右方向に並んだ構成となるので、仕切部材7a,7b,7cを加熱室9内に設けても炉本体1を低く構成することが可能となる。
According to the furnace body 1 of the above embodiment, in FIG. 3, the workpiece W and the partition members 7a, 7b, 7c (left and right partial partition portions) are arranged in the left-right direction, and these partition members 7a, 7b, 7c is used, and in cooperation with the bottom wall and side wall of the tray that is a part of the workpiece W, the heating chamber 9 can be partitioned into three stages in the vertical direction, and the gas is prevented from flowing in the vertical direction. doing.
And since it becomes the structure where the workpiece | work W and the left-right partial partition part were located in the left-right direction in each step | level, even if it provides the partition members 7a, 7b, 7c in the heating chamber 9, the furnace main body 1 is comprised low. Is possible.

次に、本発明の熱処理炉の第二の実施形態を説明する。本実施形態では、ワークWの種類が前記トレイを含むワークとは異なる場合、又は、ワークWが搬送方向に間隔をもって搬送される場合に適用される。つまり、平面視において部分的に設けられた仕切部材では、上下段の分離に適さない場合に、第二の実施形態が有効である。
図4は、第二の実施形態の熱処理炉が備えている炉本体1の横断面図である。本実施形態と図3の第一の実施形態とでは、仕切部材の構成以外は、同じである。
Next, a second embodiment of the heat treatment furnace of the present invention will be described. This embodiment is applied when the type of the workpiece W is different from the workpiece including the tray, or when the workpiece W is transported at intervals in the transport direction. That is, the second embodiment is effective when the partition member partially provided in plan view is not suitable for upper and lower separation.
FIG. 4 is a cross-sectional view of the furnace body 1 provided in the heat treatment furnace of the second embodiment. This embodiment and the first embodiment of FIG. 3 are the same except for the configuration of the partition member.

すなわち、図4において、この熱処理炉は、上下方向に複数段(二段)設けられた仕切部材107a,107bを備えていて、これら仕切部材107a,107bそれぞれは、搬送路R1,R2,R3に存在するワークWよりも上方及び下方の内の少なくとも一方に設けられ、加熱室9を上下方向にほぼ完全に区画している仕切板からなる。すなわち、上段の搬送路R1と中段の搬送路R2との間に、第一の仕切板25aが設けられていて、中段の搬送路R2と下段の搬送路R3との間に、第二の仕切板25bが設けられている。   That is, in FIG. 4, this heat treatment furnace includes partition members 107a and 107b provided in a plurality of stages (two stages) in the vertical direction, and these partition members 107a and 107b are respectively connected to the transport paths R1, R2, and R3. A partition plate is provided at least one of the upper and lower sides of the existing workpiece W and substantially completely partitions the heating chamber 9 in the vertical direction. That is, the first partition plate 25a is provided between the upper transport path R1 and the middle transport path R2, and the second partition is disposed between the middle transport path R2 and the lower transport path R3. A plate 25b is provided.

これら仕切板25a,25bは、炉本体1の左側壁13aから右側壁13bにわたって左右方向に設けられていて、さらに、炉本体1の前壁14から後壁15にわたって前後方向に設けられていて、仕切板25a,25bは、平面的に見て加熱室9の内周輪郭をほぼ完全に区画し得る形状を有している。
この仕切部材107a,107bによれば、加熱室9を搬送路R1,R2,R3毎に、つまり上下方向に三段に仕切ることができ、上下の搬送路R1,R2,R3の間でガスが混ざり合うことを防ぐことができる。
These partition plates 25a, 25b are provided in the left-right direction from the left side wall 13a to the right side wall 13b of the furnace body 1, and are further provided in the front-rear direction from the front wall 14 to the rear wall 15 of the furnace body 1. The partition plates 25a and 25b have a shape that can almost completely partition the inner peripheral contour of the heating chamber 9 when viewed in plan.
According to the partition members 107a and 107b, the heating chamber 9 can be partitioned into three stages in each of the transport paths R1, R2, and R3, that is, in the vertical direction, and the gas flows between the upper and lower transport paths R1, R2, and R3. Mixing can be prevented.

以上の前記各実施形態の熱処理炉によれば、ハースローラからなる搬送部31,32,33が単一の加熱室9に上下方向三段に分かれて設けられていて、当該搬送部31,32,33によって各段でワークWを水平方向に搬送する構成が得られる。このため、加熱室9の上下方向の三段でワークWを搬送しながら処理することができる。
そして、仕切部材7a,7b,7c(107a,107b)が、単一の加熱室9を搬送路R1,R2,R3毎に上下方向の三段に仕切ることから、三段の搬送路R1,R2,R3の間でガスが混ざり合うことを防ぐことができる。
そして、仕切部材7a,7b,7c(107a,107b)によって加熱室9が上下方向に仕切られていても、調整装置8a,8b,8cは、炉内環境を段毎に調整するので、各段で被処理物に対して所望の熱処理を行うことが可能となる。この結果、所望の品質を有する被処理物を大量に得ることができる。
According to the heat treatment furnace of each of the above-described embodiments, the transport units 31, 32, 33 made of hearth rollers are provided in the single heating chamber 9 in three stages in the vertical direction, and the transport units 31, 32, The structure which conveys the workpiece | work W in a horizontal direction by each stage by 33 is obtained. For this reason, it can process, conveying the workpiece | work W by the three steps | paragraphs of the up-down direction of the heating chamber 9. FIG.
Since the partition members 7a, 7b, 7c (107a, 107b) partition the single heating chamber 9 into three stages in the vertical direction for each of the transport paths R1, R2, R3, the three-stage transport paths R1, R2 , R3 can be prevented from mixing gas.
Even if the heating chamber 9 is partitioned in the vertical direction by the partition members 7a, 7b, 7c (107a, 107b), the adjusting devices 8a, 8b, 8c adjust the furnace environment for each stage. Thus, a desired heat treatment can be performed on the workpiece. As a result, it is possible to obtain a large amount of workpieces having a desired quality.

また、搬送路が複数段設けられているので、多くのワークWを処理することができ、しかも、断熱性を有する厚い壁部材は、炉本体1を構成する外壁部材として利用されているのみであり、築造コストの低減が可能となる。なお、仮に、一段の炉本体を三段(複数段)積みにすると、段毎に炉床と炉天井との断熱材を有する構成となるために、断熱層が厚くなり、炉本体全体が巨大となってしまう。また、一段炉の炉本体を三段(複数段)積みにすると、熱放散面積が多くなり、エネルギコストが増すという問題点がある。
しかし、本発明によれば、断熱性が高く厚い中間壁部材が段毎に存在していないので、炉本体1の巨大化を防ぐことができ、また、一段炉の炉本体を三段(複数段)積みにする構成よりも熱放散面積が少なくなることから、前記問題点の発生を防ぐことが可能である。
Moreover, since a plurality of transport paths are provided, a large number of workpieces W can be processed, and the thick wall member having heat insulation is only used as an outer wall member constituting the furnace body 1. Yes, the construction cost can be reduced. In addition, if one stage of the furnace body is stacked in three stages (multiple stages), the structure has a heat insulating material of the hearth and the furnace ceiling for each stage. End up. Further, if the main body of the single-stage furnace is stacked in three stages (multiple stages), there is a problem that the heat dissipation area increases and the energy cost increases.
However, according to the present invention, since there is no thick intermediate wall member having high heat insulation for each stage, the furnace body 1 can be prevented from becoming enormous, and the three-stage furnace body (a plurality of furnace bodies) Since the heat dissipating area is smaller than that of the stacked structure, it is possible to prevent the occurrence of the above problems.

また、本発明の熱処理装置は、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。例えば、前記実施形態では、ハースローラからなる搬送部を三段設けた場合を説明したが、二段又は四段以上であってもよい。
前記各搬送路ではワークが三列となって搬送される場合を説明したが、一列であってもよい。前記実施形態では、ヒータは、ワークの上方及び下方に設けられている場合を説明したが、さらに側方に設けられていてもよい。
図1では、パージ室を有する中間装置3,5を有している場合を説明したが、これら中間装置3,5を省略することで、本発明の熱処理炉を大気雰囲気炉とすることもできる。
また、被処理物としては、金属部材、粉体、金属板、硝子板、その他の基板等があり、これにトレイを使用するか否か、更にワークの間隔をあけるか否かの搬送上の要求が加わるが、これらの要求に柔軟に対応すべく、前記第一及び第二の実施形態から適宜最適の選択が可能である。
また、前記実施形態では、調整装置8a,8b,8cが備えている制御装置37a,37b,37cが、炉内の温度及びガス雰囲気の双方の制御を行う場合を説明したが、それぞれ異なる制御装置によって行ってもよい。
In addition, the heat treatment apparatus of the present invention is not limited to the illustrated form, and may be of other forms within the scope of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the case where three stages of conveyance units made of hearth rollers are provided has been described. However, two or more stages may be used.
Although the case where the workpieces are conveyed in three rows in each of the conveyance paths has been described, a single row may be used. In the above-described embodiment, the heater is described above and below the workpiece. However, the heater may be further provided on the side.
In FIG. 1, the case where the intermediate devices 3 and 5 having the purge chamber are provided has been described. However, by omitting these intermediate devices 3 and 5, the heat treatment furnace of the present invention can be an atmospheric atmosphere furnace. .
In addition, the objects to be processed include metal members, powders, metal plates, glass plates, other substrates, etc., and whether to use a tray for this, or whether to further interval the workpieces. Although demands are added, an optimal selection from the first and second embodiments can be made as appropriate in order to flexibly respond to these demands.
In the above embodiment, the control devices 37a, 37b, and 37c included in the adjusting devices 8a, 8b, and 8c have been described to control both the temperature in the furnace and the gas atmosphere. You may go by.

1:炉本体、 7a,7b,7c:仕切部材、 107a,107b:仕切部材、 8a,8b,8c:調整装置、 9:加熱室、 10:炉壁、 18:エジェクタ、 21a,22a:部分仕切部、 21b,22b:部分仕切部、 21c,22c:部分仕切部、 25a,25b:仕切板、 31:上段の搬送部、 32:中段の搬送部、 33:下段の搬送部、 35a,35b,35c,35d:ヒータ、 36a,36b,36c:温度検出器、 37a,37b,37c:制御装置、 41a,41b,41c:ガス導入口(ガス導入部)、 42a,42b,42c:ガス排気口(ガス排気部)、 R1:上段の搬送路、 R2:中段の搬送路、 R3:下段の搬送路、 W:ワーク 1: furnace body, 7a, 7b, 7c: partition member, 107a, 107b: partition member, 8a, 8b, 8c: adjusting device, 9: heating chamber, 10: furnace wall, 18: ejector, 21a, 22a: partial partition Part, 21b, 22b: partial partition part, 21c, 22c: partial partition part, 25a, 25b: partition plate, 31: upper stage transport part, 32: middle stage transport part, 33: lower stage transport part, 35a, 35b, 35c, 35d: heater, 36a, 36b, 36c: temperature detector, 37a, 37b, 37c: control device, 41a, 41b, 41c: gas inlet (gas inlet), 42a, 42b, 42c: gas outlet ( Gas exhaust part), R1: Upper transport path, R2: Middle transport path, R3: Lower transport path, W: Workpiece

Claims (7)

断熱性を有する炉壁に囲まれることにより炉内に単一の加熱室が形成されている炉本体と、
前記単一の加熱室に上下方向に複数段設けられ各段でワークを水平方向に搬送する搬送部と、
前記搬送部によって前記ワークが搬送される搬送路毎に前記加熱室を上下方向複数段に仕切る仕切部材と、
前記仕切部材によって仕切られた段毎に炉内環境を調整する調整装置と、
を備えており、
前記仕切部材は、炉壁におけるワークを挟んで対向する炉壁間に配置され、前記炉壁の厚さより薄く、かつ炉壁より断熱性の低い材料によって形成されていることを特徴とする熱処理炉。
A furnace body in which a single heating chamber is formed in the furnace by being surrounded by a furnace wall having heat insulation properties;
A plurality of stages in the vertical direction in the single heating chamber, and a transport section for transporting a workpiece in the horizontal direction at each stage;
A partition member that partitions the heating chamber into a plurality of stages in the vertical direction for each transport path in which the workpiece is transported by the transport unit;
An adjustment device for adjusting the furnace environment for each stage partitioned by the partition member;
Equipped with a,
The partition member is disposed between opposing furnace walls across a workpiece on the furnace wall, and is formed of a material that is thinner than the thickness of the furnace wall and lower in heat insulation than the furnace wall. .
前記仕切部材は、前記ワークの搬送方向に直交し前記ワークの左右側方それぞれに配置された部分仕切部からなる請求項1に記載の熱処理炉。   2. The heat treatment furnace according to claim 1, wherein the partition member includes a partial partition portion that is orthogonal to a conveyance direction of the workpiece and is disposed on each of left and right sides of the workpiece. 前記仕切部材は、前記搬送路に存在する前記ワークよりも上方及び下方の内の少なくとも一方に設けられ、前記加熱室を上下方向に区画している仕切板からなる請求項1に記載の熱処理炉。 The partition member, the heat treatment according to claim 1, wherein said existing in the conveyance path workpiece provided on at least one of the upper and lower than, consisting partition plate that fractionating ward the heating chamber in a vertical direction Furnace. 前記調整装置は、前記本体内のガスを段毎で加熱するヒータと、当該段毎の温度を検出する温度検出器と、前記温度検出器の検出結果に基づいて前記ヒータを段毎で制御する制御装置とを有している請求項1〜3のいずれかに記載の熱処理炉。 The adjustment device controls the heater for each stage based on a heater for heating the gas in the furnace body for each stage, a temperature detector for detecting the temperature for each stage, and a detection result of the temperature detector. A heat treatment furnace according to any one of claims 1 to 3, further comprising a control device. 前記調整装置は、前記本体内の段毎にガスを供給するガス導入部と、当該各段のガスを排気するガス排気部と、前記ガス導入部からのガスの導入及び前記ガス排気部からのガスの排気を制御する制御装置とを有している請求項1〜のいずれかに記載の熱処理炉。 The adjusting device includes a gas introduction unit that supplies gas to each stage in the furnace body, a gas exhaust unit that exhausts the gas of each stage, introduction of gas from the gas introduction unit, and the gas exhaust unit A heat treatment furnace according to any one of claims 1 to 3 , further comprising a control device that controls exhaust of the gas. 前記調整装置は、前記本体内の段毎のガスの排気流量を調整するエジェクタと、当該段毎の圧力を検出する圧力計とを更に備え、前記制御装置は、前記圧力計の検出結果に基づいて前記エジェクタを前記段毎で制御する請求項5に記載の熱処理炉。 The adjusting device further includes an ejector that adjusts an exhaust flow rate of the gas in each stage in the furnace body, and a pressure gauge that detects a pressure in each stage, and the control device uses the detection result of the pressure gauge. The heat treatment furnace according to claim 5, wherein the ejector is controlled on a step-by-step basis. ワークが搬送される方向に沿って複数の領域が形成され、前記各領域ごとに雰囲気が調整される請求項1〜6のいずれかに記載の熱処理炉。The heat treatment furnace according to any one of claims 1 to 6, wherein a plurality of regions are formed along a direction in which the workpiece is conveyed, and an atmosphere is adjusted for each of the regions.
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