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JP5468196B2 - Semiconductor device, display device, and liquid crystal display device - Google Patents

Semiconductor device, display device, and liquid crystal display device Download PDF

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JP5468196B2
JP5468196B2 JP2007239861A JP2007239861A JP5468196B2 JP 5468196 B2 JP5468196 B2 JP 5468196B2 JP 2007239861 A JP2007239861 A JP 2007239861A JP 2007239861 A JP2007239861 A JP 2007239861A JP 5468196 B2 JP5468196 B2 JP 5468196B2
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敦司 梅崎
博之 三宅
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Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
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Description

本発明は、トランジスタを用いて構成された回路を有する表示装置に関する。特に液晶素子などの電気光学素子、もしくは発光素子などを表示媒体として用いる表示装置、およびその駆動方法に関する。   The present invention relates to a display device having a circuit formed using a transistor. In particular, the present invention relates to a display device using an electro-optical element such as a liquid crystal element or a light-emitting element as a display medium, and a driving method thereof.

近年、液晶テレビなどの大型表示装置の増加から、表示装置の開発が活発に進められている。特に、絶縁基板上に非結晶半導体(以下、アモルファスシリコンともいう)によって構成されたトランジスタを用いて、画素回路およびシフトレジスタなどを含む駆動回路(以下、内部回路ともいう)を一体形成する技術は、低消費電力化、低コスト化に大きく貢献するため、活発に開発が進められている。絶縁基板上に形成された内部回路は、FPC(Flexible Printed Circuit)などを介してコントローラICなど(以下、外部回路ともいう)に接続され、その動作が制御される。   In recent years, the development of display devices has been actively promoted due to an increase in large display devices such as liquid crystal televisions. In particular, a technique for integrally forming a drive circuit (hereinafter also referred to as an internal circuit) including a pixel circuit and a shift register using a transistor formed of an amorphous semiconductor (hereinafter also referred to as amorphous silicon) on an insulating substrate In order to greatly contribute to the reduction of power consumption and cost, development is being actively promoted. An internal circuit formed on the insulating substrate is connected to a controller IC or the like (hereinafter also referred to as an external circuit) via an FPC (Flexible Printed Circuit) or the like, and its operation is controlled.

上記示した内部回路の中でも、非結晶半導体によって構成されたトランジスタ(以下、アモルファスシリコントランジスタともいう)を用いたシフトレジスタが考案されている。従来のシフトレジスタが有するフリップフロップの構成を図100(A)に示す(特許文献1)。図100(A)のフリップフロップは、トランジスタ11(ブートストラップ用トランジスタ)、トランジスタ12、トランジスタ13、トランジスタ14、トランジスタ15、トランジスタ16およびトランジスタ17を有し、信号線21、信号線22、配線23、信号線24、電源線25、電源線26に接続されている。信号線21、信号線22、信号線24、電源線25、電源線26には、それぞれスタート信号、リセット信号、クロック信号、電源電位VDD、電源電位VSSが入力される。図100(A)のフリップフロップの動作期間は、図100(B)のタイミングチャートに示すように、セット期間、選択期間、リセット期間、非選択期間に分割される。   Among the internal circuits shown above, a shift register using a transistor formed of an amorphous semiconductor (hereinafter also referred to as an amorphous silicon transistor) has been devised. A structure of a flip-flop included in a conventional shift register is illustrated in FIG. The flip-flop in FIG. 100A includes a transistor 11 (bootstrap transistor), a transistor 12, a transistor 13, a transistor 14, a transistor 15, a transistor 16, and a transistor 17, and includes a signal line 21, a signal line 22, and a wiring 23. , Signal line 24, power supply line 25, and power supply line 26. A start signal, a reset signal, a clock signal, a power supply potential VDD, and a power supply potential VSS are input to the signal line 21, the signal line 22, the signal line 24, the power supply line 25, and the power supply line 26, respectively. The operation period of the flip-flop in FIG. 100A is divided into a set period, a selection period, a reset period, and a non-selection period as shown in the timing chart of FIG.

セット期間において、信号線21からH信号を入力し、ノード41の電位をVDD−Vth15(Vth15:トランジスタ15のしきい値電圧)に上昇させることで、トランジスタ11をオンしたままノード41を浮遊状態としている。トランジスタ16は、信号線21からH信号が入力されるときにはオンしているので、ノード41にゲート電極が接続されたトランジスタ14をオンして、ノード42の電位をLレベルとすることで、トランジスタ16をオフしている。つまり、信号線21にH信号が入力されてから、トランジスタ16がオフするまでの期間は、トランジスタ11のゲート電極から電荷が漏れていた。   In the set period, an H signal is input from the signal line 21 and the potential of the node 41 is increased to VDD−Vth15 (Vth15: threshold voltage of the transistor 15), so that the node 41 is in a floating state while the transistor 11 is on. It is said. Since the transistor 16 is turned on when an H signal is input from the signal line 21, the transistor 14 whose gate electrode is connected to the node 41 is turned on, and the potential of the node 42 is set to the L level. 16 is off. That is, charges leaked from the gate electrode of the transistor 11 during a period from when the H signal was input to the signal line 21 to when the transistor 16 was turned off.

ここで、電位がVDDである信号をH信号、電位がVSSである信号をL信号と呼ぶ。また、Lレベルとは、L信号の電位がVSSであることをいう。   Here, a signal whose potential is VDD is called an H signal, and a signal whose potential is VSS is called an L signal. The L level means that the potential of the L signal is VSS.

非特許文献1および非特許文献2の表示装置は、アモルファスシリコントランジスタで構成されるシフトレジスタを走査線駆動回路として用いて、さらにR、G、Bのサブ画素に1つの信号線からビデオ信号を入力することで、信号線の数を1/3に減らしている。こうして、非特許文献1および非特許文献2の表示装置は、表示パネルとドライバICの接続数を減らしている。
特開2004−157508号公報 Jin Young Choi, et al., ”A Compact and Cost−efficient TFT−LCD through the Triple−Gate Pixel Structure”, SOCIETY FOR INFORMATION DISPLAY 2006 INTERNATIONAL SYMPOSIUM DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, Volume XXXVII, p.274−276 Yong Soon Lee, et al., ”Advanced TFT−LCD Data Line Reduction Method”, SOCIETY FOR INFORMATION DISPLAY 2006 INTERNATIONAL SYMPOSIUM DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, Volume XXXVII, p.1083−1086
The display devices of Non-Patent Document 1 and Non-Patent Document 2 use a shift register formed of an amorphous silicon transistor as a scanning line driving circuit, and further receive a video signal from one signal line to R, G, and B sub-pixels. By inputting, the number of signal lines is reduced to 1/3. Thus, the display devices of Non-Patent Document 1 and Non-Patent Document 2 reduce the number of connections between the display panel and the driver IC.
JP 2004-157508 A Jin Young Choi, et al. , “A Compact and Cost-Efficient TFT-LCD through the Triple-Gate Pixel Structure II, SOCIETY FOR INFORMATION DISPLAY PICTURE VISION TECHNO TECHN 274-276 Yong Soon Lee, et al. , "Advanced TFT-LCD Data Line Reduction Method", SOCIETY FOR INFORMATION DISPLAY 2006 INTERNIONAL SYMPOSIUM DIGITAL OF TECHNICAL PAPERS, X. 1083-1086

従来の技術によれば、ブートストラップ用トランジスタをオンしたまま、ブートストラップ用トランジスタのゲート電極を浮遊状態としていた。しかしながら、従来の技術では、ブートストラップ用トランジスタをオンしたまま、ブートストラップ用トランジスタのゲート電極を浮遊状態とするまでに、時間を必要とするため、高速に動作できないという問題があった。さらに、トランジスタの半導体層としてアモルファスシリコンを用いた場合、トランジスタのしきい値電圧シフトを生じるという問題があった。さらに、信号線の数を1/3に減らして、表示パネルとドライバICの接点の数を削減することが提案されているが(非特許文献1および非特許文献2)、実用的にはドライバICの接点の数をさらに削減することが求められている。   According to the conventional technique, the gate electrode of the bootstrap transistor is in a floating state while the bootstrap transistor is on. However, the conventional technique has a problem that it cannot be operated at high speed because it takes time until the gate electrode of the bootstrap transistor is brought into a floating state while the bootstrap transistor is turned on. Further, when amorphous silicon is used as the semiconductor layer of the transistor, there is a problem that a threshold voltage shift of the transistor occurs. Furthermore, it has been proposed to reduce the number of signal lines to 1/3 to reduce the number of contact points between the display panel and the driver IC (Non-Patent Document 1 and Non-Patent Document 2). There is a need to further reduce the number of IC contacts.

すなわち、従来の技術で解決されないものとして、シフトレジスタが高速に動作できる回路技術、トランジスタのしきい値電圧の変動を抑制する回路技術が課題として残されている。また、表示パネルに実装するドライバICの接点数を削減する技術、表示装置の低消費電力化および表示装置の大型化または高精細化も課題として残されている。   That is, as a problem that cannot be solved by the conventional technique, a circuit technique that allows the shift register to operate at high speed and a circuit technique that suppresses fluctuations in the threshold voltage of the transistor remain as problems. In addition, a technique for reducing the number of contacts of a driver IC mounted on a display panel, a reduction in power consumption of the display device, and an increase in size or definition of the display device remain as problems.

本明細書の表示装置は、ブートストラップ用トランジスタのゲート電極に接続されるトランジスタのゲート電極に、スタート信号によって制御されるスイッチを設けている。スタート信号が入力されると、スイッチを介して当該トランジスタのゲート電極に電位が供給され、当該トランジスタはオフされる。当該トランジスタがオフされると、ブートストラップ用トランジスタのゲート電極からの電荷の漏れを防止することができる。したがって、ブートストラップ用トランジスタのゲート電極に電荷を充電するための時間を早くすることができるので、高速に動作することができる。   In the display device of this specification, a switch controlled by a start signal is provided in a gate electrode of a transistor connected to a gate electrode of a bootstrap transistor. When a start signal is input, a potential is supplied to the gate electrode of the transistor through the switch, and the transistor is turned off. When the transistor is turned off, charge leakage from the gate electrode of the bootstrap transistor can be prevented. Therefore, since the time for charging the gate electrode of the bootstrap transistor can be shortened, the operation can be performed at high speed.

本書類(明細書、特許請求の範囲または図面など)に示すスイッチは、さまざまな形態のものを用いることができる。例としては、電気的スイッチや機械的スイッチなどがある。つまり、電流の流れを制御できるものであればよく、特定のものに限定されない。例えば、スイッチとして、トランジスタ(例えば、バイポーラトランジスタ、MOSトランジスタなど)、ダイオード(例えば、PNダイオード、PINダイオード、ショットキーダイオード、MIM(Metal Insulator Metal)ダイオード、MIS(Metal Insulator Semiconductor)ダイオード、ダイオード接続のトランジスタなど)、サイリスタなどを用いることができる。また、これらを組み合わせた論理回路をスイッチとして用いることができる。   The switch shown in this document (the specification, the claims, the drawings, or the like) can have various forms. Examples include electrical switches and mechanical switches. That is, it is only necessary to be able to control the current flow, and is not limited to a specific one. For example, as a switch, a transistor (for example, bipolar transistor, MOS transistor, etc.), a diode (for example, PN diode, PIN diode, Schottky diode, MIM (Metal Insulator Metal) diode, MIS (Metal Insulator Semiconductor) diode, diode-connected Transistor), a thyristor, or the like can be used. In addition, a logic circuit combining these can be used as a switch.

スイッチとしてトランジスタを用いる場合、そのトランジスタは、単なるスイッチとして動作するため、トランジスタの極性(導電型)は特に限定されない。ただし、オフ電流を抑えたい場合、オフ電流が少ない方の極性のトランジスタを用いることが望ましい。オフ電流が少ないトランジスタとしては、LDD領域を有するトランジスタやマルチゲート構造を有するトランジスタなどがある。また、スイッチとして動作させるトランジスタのソース端子の電位が、低電位側電源(Vss、GND、0Vなど)に近い状態で動作する場合は、Nチャネル型トランジスタを用いることが望ましい。反対に、ソース端子の電位が、高電位側電源(Vddなど)に近い状態で動作する場合は、Pチャネル型トランジスタを用いることが望ましい。なぜなら、Nチャネル型トランジスタのソース端子が低電位側電源に近い状態で動作するとき、またはPチャネル型トランジスタのソース端子が高電位側電源に近い状態で動作するときは、ゲート・ソース間電圧の絶対値を大きくでき、スイッチのオンまたはオフの切り替えが容易となるからである。また、トランジスタがソースフォロワ動作をしてしまうことが少ないため、出力電圧の大きさが小さくなってしまうことが少ないからである。   In the case where a transistor is used as a switch, the transistor operates as a mere switch, and thus the polarity (conductivity type) of the transistor is not particularly limited. However, when it is desired to suppress off-state current, it is desirable to use a transistor having a polarity with smaller off-state current. Examples of a transistor with low off-state current include a transistor having an LDD region and a transistor having a multi-gate structure. In the case where the transistor operates as a switch when the potential of the source terminal of the transistor is close to a low potential power source (Vss, GND, 0 V, or the like), an N-channel transistor is preferably used. On the other hand, in the case where the source terminal operates in a state close to a high potential side power supply (Vdd or the like), it is desirable to use a P-channel transistor. This is because when the source terminal of the N-channel transistor operates in a state close to the low-potential side power supply or when the source terminal of the P-channel transistor operates in a state close to the high-potential side power supply, This is because the absolute value can be increased and the switch can be easily turned on or off. In addition, since the transistor rarely performs a source follower operation, the output voltage is less likely to decrease.

Nチャネル型トランジスタとPチャネル型トランジスタの両方を用いて、CMOS型スイッチをスイッチとして用いてもよい。CMOS型スイッチにすると、Pチャネル型トランジスタまたはNチャネル型トランジスタの、どちらか一方のトランジスタが導通すれば電流が流れるため、スイッチとして機能しやすくなる。例えば、スイッチへの入力信号の電圧が高い場合でも、低い場合でも、適切に電圧を出力させることができる。さらに、スイッチをオン・オフさせるための信号の電圧振幅値を小さくすることができるので、消費電力を小さくすることもできる。   A CMOS switch may be used as a switch by using both an N-channel transistor and a P-channel transistor. When a CMOS switch is used, a current flows when either the P-channel transistor or the N-channel transistor is turned on, so that the switch can easily function as a switch. For example, the voltage can be appropriately output regardless of whether the voltage of the input signal to the switch is high or low. Furthermore, since the voltage amplitude value of the signal for turning on / off the switch can be reduced, the power consumption can be reduced.

スイッチとしてトランジスタを用いる場合、スイッチは、入力端子(ソース端子およびドレイン端子の一方)と、出力端子(ソース端子およびドレイン端子の他方)と、導通を制御する端子(ゲート端子)と、を有している。一方、スイッチとしてダイオードを用いる場合、スイッチは、導通を制御する端子を有していない場合がある。そのため、トランジスタよりもダイオードをスイッチとして用いた方が、端子を制御するための配線を少なくすることができる。   When a transistor is used as a switch, the switch includes an input terminal (one of a source terminal and a drain terminal), an output terminal (the other of the source terminal and the drain terminal), and a terminal that controls conduction (a gate terminal). ing. On the other hand, when a diode is used as the switch, the switch may not have a terminal for controlling conduction. Therefore, the use of a diode as a switch rather than a transistor can reduce the wiring for controlling the terminal.

本明細書において、AとBが接続されている、と明示的に記載する場合は、AとBが電気的に接続されている場合と、AとBが機能的に接続されている場合と、AとBが直接接続されている場合と、を含むものとする。ここで、A、Bは、対象物(例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、など)であるとする。したがって、本明細書が開示する構成において、所定の接続関係、例えば、図または文章に示された接続関係に限定されず、図または文章に示された接続関係以外のものも含むものとする。   In this specification, when it is explicitly described that A and B are connected, A and B are electrically connected, and A and B are functionally connected , A and B are directly connected. Here, A and B are objects (for example, devices, elements, circuits, wirings, electrodes, terminals, conductive films, layers, etc.). Therefore, the configuration disclosed in this specification is not limited to a predetermined connection relationship, for example, the connection relationship illustrated in the drawing or text, and includes other than the connection relationship illustrated in the drawing or text.

例えば、AとBが電気的に接続されている場合として、AとBの電気的な接続を可能とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオードなど)が、AとBの間に1個以上配置されていてもよい。あるいは、AとBが機能的に接続されている場合として、AとBの機能的な接続を可能とする回路(例えば、論理回路(インバータ、NAND回路、NOR回路など)、信号変換回路(DA変換回路、AD変換回路、ガンマ補正回路など)、電位レベル変換回路(電源回路(昇圧回路、降圧回路など)、信号の電位レベルを変えるレベルシフタ回路など)、電圧源、電流源、切り替え回路、増幅回路(信号振幅または電流量などを大きくできる回路、オペアンプ、差動増幅回路、ソースフォロワ回路、バッファ回路など)、信号生成回路、記憶回路、制御回路など)が、AとBの間に1個以上配置されていてもよい。あるいは、AとBが直接接続されている場合として、AとBの間に他の素子や他の回路を挟まずに、AとBが直接接続されていてもよい。   For example, when A and B are electrically connected, an element (for example, a switch, a transistor, a capacitor, an inductor, a resistance element, or a diode) that enables electrical connection between A and B is A 1 or more may be arranged between B and B. Alternatively, when A and B are functionally connected, a circuit (for example, a logic circuit (an inverter, a NAND circuit, a NOR circuit, etc.), a signal conversion circuit (DA Conversion circuit, AD conversion circuit, gamma correction circuit, etc.), potential level conversion circuit (power supply circuit (boost circuit, step-down circuit, etc.), level shifter circuit that changes signal potential level), voltage source, current source, switching circuit, amplification One circuit between A and B (circuit that can increase signal amplitude or current, operational amplifier, differential amplifier circuit, source follower circuit, buffer circuit, etc.), signal generation circuit, memory circuit, control circuit, etc.) It may be arranged above. Alternatively, when A and B are directly connected, A and B may be directly connected without interposing another element or other circuit between A and B.

AとBが直接接続されている、と明示的に記載する場合は、AとBが直接接続されている場合(つまり、AとBの間に他の素子や他の回路を間に介さずに接続されている場合)と、AとBが電気的に接続されている場合(つまり、AとBの間に別の素子や別の回路を挟んで接続されている場合)と、を含むものとする。   When it is explicitly stated that A and B are directly connected, when A and B are directly connected (that is, no other element or other circuit is interposed between A and B) And A and B are electrically connected (that is, connected with another element or circuit between A and B). Shall be.

AとBが電気的に接続されている、と明示的に記載する場合は、AとBが電気的に接続されている場合(つまり、AとBの間に別の素子や別の回路を挟んで接続されている場合)と、AとBが機能的に接続されている場合(つまり、AとBの間に別の回路を挟んで機能的に接続されている場合)と、AとBが直接接続されている場合(つまり、AとBの間に別の素子や別の回路を挟まずに接続されている場合)と、を含むものとする。つまり、電気的に接続されている、と明示的に記載する場合は、単に、接続されている、とのみ明示的に記載されている場合と同じであるとする。   When it is explicitly described that A and B are electrically connected, when A and B are electrically connected (that is, another element or another circuit is connected between A and B). A) and B are functionally connected (that is, functionally connected with another circuit between A and B), and A and B The case where B is directly connected (that is, the case where A and B are connected without sandwiching another element or another circuit) is included. That is, when it is explicitly described that it is electrically connected, it is the same as when it is explicitly only described that it is connected.

表示素子、表示素子を有する装置である表示装置、発光素子、発光素子を有する装置である発光装置は、さまざまな形態に用いることができ、またさまざまな素子を有することができる。例えば、表示素子、表示装置、発光素子または発光装置としては、EL素子(有機EL素子、無機EL素子または有機物および無機物を含むEL素子)、電子放出素子、液晶素子、電子インク、電気泳動素子、グレーティングライトバルブ(GLV)、プラズマディスプレイ(PDP)、デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)、圧電セラミックディスプレイ、カーボンナノチューブなど、電気磁気的作用により、コントラスト、輝度、反射率、透過率などが変化する表示媒体を用いることができる。なお、EL素子を用いた表示装置としてはELディスプレイ、電子放出素子を用いた表示装置としてはフィールドエミッションディスプレイ(FED)やSED方式平面型ディスプレイ(SED:Surface−conduction Electron−emitter Disply)など、液晶素子を用いた表示装置としては液晶ディスプレイ(透過型液晶ディスプレイ、半透過型液晶ディスプレイ、反射型液晶ディスプレイ、直視型液晶ディスプレイ、投射型液晶ディスプレイ)、電子インクや電気泳動素子を用いた表示装置としては電子ペーパーがある。   A display element, a display device that is a device having a display element, a light-emitting element, and a light-emitting device that is a device having a light-emitting element can be used in various forms and can have various elements. For example, as a display element, a display device, a light-emitting element, or a light-emitting device, an EL element (an organic EL element, an inorganic EL element or an EL element containing an organic substance and an inorganic substance), an electron-emitting element, a liquid crystal element, electronic ink, an electrophoretic element, Display media whose contrast, brightness, reflectance, transmittance, etc. change due to electromagnetic action, such as grating light valve (GLV), plasma display (PDP), digital micromirror device (DMD), piezoelectric ceramic display, and carbon nanotube Can be used. Note that a display device using an EL element is an EL display, and a display device using an electron-emitting device is a liquid crystal display such as a field emission display (FED) or a SED type flat display (SED: Surface-conduction Electron-Emitter Display). Liquid crystal displays (transmission type liquid crystal display, transflective type liquid crystal display, reflection type liquid crystal display, direct view type liquid crystal display, projection type liquid crystal display), display devices using electronic ink and electrophoretic elements There is electronic paper.

本書類(明細書、特許請求の範囲または図面など)に記載されたトランジスタとして、さまざまな形態のトランジスタを用いることができる。よって、用いるトランジスタの種類に限定はない。例えば、非晶質シリコン、多結晶シリコン、微結晶(マイクロクリスタル、セミアモルファスともいう)シリコンなどに代表される非単結晶半導体膜を有する薄膜トランジスタ(TFT)などを用いることができる。TFTを用いる場合、さまざまなメリットがある。例えば、単結晶シリコンの場合よりも低い温度で製造できるため、製造コストの削減、または製造装置の大型化を図ることができる。製造装置の大型化により、大型基板上にトランジスタを製造できる。その結果、低コストで、同時に多くの個数の表示装置を製造できる。さらに、製造温度が低いため、耐熱性の弱い基板を用いることができる。そのため、透明基板上にトランジスタを製造できる。その結果、透明基板上のトランジスタを用いて、表示素子での光の透過を制御することができる。あるいは、トランジスタの膜厚が薄いため、トランジスタを構成する膜の一部は、光を透過させることができる。その結果、開口率を向上させることができる。   As the transistor described in this document (the specification, the claims, the drawings, or the like), various types of transistors can be used. Thus, there is no limitation on the type of transistor used. For example, a thin film transistor (TFT) including a non-single-crystal semiconductor film typified by amorphous silicon, polycrystalline silicon, microcrystalline (also referred to as semi-amorphous) silicon, or the like can be used. When using TFT, there are various advantages. For example, since manufacturing can be performed at a lower temperature than that of single crystal silicon, manufacturing cost can be reduced or a manufacturing apparatus can be increased in size. Transistors can be manufactured on a large substrate by increasing the size of the manufacturing apparatus. As a result, a large number of display devices can be manufactured at low cost at the same time. Furthermore, since the manufacturing temperature is low, a substrate with low heat resistance can be used. Therefore, a transistor can be manufactured on a transparent substrate. As a result, transmission of light through the display element can be controlled using a transistor on a transparent substrate. Alternatively, since the thickness of the transistor is small, part of the film included in the transistor can transmit light. As a result, the aperture ratio can be improved.

多結晶シリコンを製造するときに、触媒(ニッケルなど)を用いることにより、結晶性をさらに向上させ、電気特性のよいトランジスタを製造することが可能となる。その結果、ゲートドライバ回路(走査線駆動回路)やソースドライバ回路(信号線駆動回路)、信号処理回路(信号生成回路、ガンマ補正回路、DA変換回路など)を基板上に一体形成することができる。   By using a catalyst (such as nickel) when manufacturing polycrystalline silicon, it is possible to further improve crystallinity and to manufacture a transistor with good electrical characteristics. As a result, a gate driver circuit (scanning line driving circuit), a source driver circuit (signal line driving circuit), and a signal processing circuit (signal generation circuit, gamma correction circuit, DA conversion circuit, etc.) can be integrally formed on the substrate. .

微結晶シリコンを製造するときに、触媒(ニッケルなど)を用いることにより、結晶性をさらに向上させ、電気特性のよいトランジスタを製造することが可能となる。このとき、レーザを用いず、熱処理を加えるだけで、結晶性を向上させることができる。その結果、ゲートドライバ回路(走査線駆動回路)やソースドライバ回路の一部(アナログスイッチなど)を基板上に一体形成することができる。さらに、結晶化にレーザを用いない場合は、シリコンの結晶性のムラを抑えることができる。その結果、画質の向上した画像を表示することができる。   By using a catalyst (such as nickel) when manufacturing microcrystalline silicon, it is possible to further improve crystallinity and to manufacture a transistor with good electrical characteristics. At this time, crystallinity can be improved only by performing heat treatment without using a laser. As a result, part of the gate driver circuit (scanning line driving circuit) and the source driver circuit (such as an analog switch) can be formed over the substrate. Further, when a laser is not used for crystallization, unevenness in crystallinity of silicon can be suppressed. As a result, an image with improved image quality can be displayed.

ただし、触媒(ニッケルなど)を用いずに、多結晶シリコンや微結晶シリコンを製造することは可能である。   However, it is possible to produce polycrystalline silicon or microcrystalline silicon without using a catalyst (such as nickel).

半導体基板やSOI基板などを用いてトランジスタを形成することができる。その場合、MOS型トランジスタ、接合型トランジスタ、バイポーラトランジスタなどを本明細書に記載されたトランジスタとして用いることができる。これらにより、特性やサイズや形状などのバラツキが少なく、電流供給能力が高く、サイズの小さいトランジスタを製造することができる。これらのトランジスタを用いると、回路の低消費電力化、または回路の高集積化を図ることができる。   A transistor can be formed using a semiconductor substrate, an SOI substrate, or the like. In that case, a MOS transistor, a junction transistor, a bipolar transistor, or the like can be used as the transistor described in this specification. Accordingly, a transistor with small variations in characteristics, size, shape, and the like, high current supply capability, and small size can be manufactured. When these transistors are used, low power consumption of the circuit or high integration of the circuit can be achieved.

使用できるトランジスタとして、酸化亜鉛(ZnO)、アモルファス酸化物(a−InGaZnO)、シリコンゲルマニウム(SiGe)、ガリウム砒素(GaAs)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、インジウム錫酸化物(ITO)、酸化錫(SnO)などの化合物半導体、または酸化物半導体を有するトランジスタや、さらに、これらの化合物半導体または酸化物半導体を薄膜化した薄膜トランジスタなどがある。これらにより、製造温度を低くでき、例えば、室温でトランジスタを製造することが可能となる。その結果、耐熱性の低い基板、例えば、プラスチック基板やフィルム基板に直接トランジスタを形成することができる。なお、これらの化合物半導体または酸化物半導体を、トランジスタのチャネル部分に用いるだけでなく、それ以外の用途で用いることもできる。例えば、これらの化合物半導体または酸化物半導体を抵抗素子、画素電極、透明電極として用いることができる。さらに、それらをトランジスタと同時に成膜または形成できるため、コストを低減できる。   Usable transistors include zinc oxide (ZnO), amorphous oxide (a-InGaZnO), silicon germanium (SiGe), gallium arsenide (GaAs), indium zinc oxide (IZO), indium tin oxide (ITO), tin oxide There are a transistor having a compound semiconductor such as (SnO) or an oxide semiconductor, and a thin film transistor in which these compound semiconductor or oxide semiconductor is thinned. Accordingly, the manufacturing temperature can be lowered, and for example, the transistor can be manufactured at room temperature. As a result, the transistor can be formed directly on a substrate having low heat resistance, for example, a plastic substrate or a film substrate. Note that these compound semiconductors or oxide semiconductors can be used not only for a channel portion of a transistor but also for other purposes. For example, these compound semiconductors or oxide semiconductors can be used as resistance elements, pixel electrodes, and transparent electrodes. Furthermore, since they can be formed or formed simultaneously with the transistor, cost can be reduced.

使用できるトランジスタとして、インクジェットや印刷法を用いて形成したトランジスタなどがある。これらにより、トランジスタを室温で製造、低真空度で製造、または大型基板上に製造することができる。また、マスク(レチクル)を用いなくても製造することが可能となるため、トランジスタのレイアウトを容易に変更することができる。さらに、レジストを用いる必要がないので、材料費が安くなり、工程数を削減できる。さらに、必要な部分にのみ膜を付けるため、全面に成膜した後でエッチングする、という製法よりも、材料が無駄にならず、低コストにできる。   As a transistor that can be used, a transistor formed using an inkjet method or a printing method is given. Accordingly, the transistor can be manufactured at room temperature, manufactured at a low degree of vacuum, or manufactured over a large substrate. Further, since the transistor can be manufactured without using a mask (reticle), the layout of the transistor can be easily changed. Furthermore, since it is not necessary to use a resist, the material cost is reduced and the number of processes can be reduced. Further, since a film is formed only on a necessary portion, the material is not wasted and cost can be reduced as compared with a manufacturing method in which etching is performed after film formation on the entire surface.

使用できるトランジスタとして、有機半導体やカーボンナノチューブを有するトランジスタなどがある。これらにより、曲げることが可能な基板上にトランジスタを形成することができる。そのため、有機半導体やカーボンナノチューブを有するトランジスタなどを用いた装置は、衝撃に強くできる。   As a transistor that can be used, there are an organic semiconductor, a transistor having a carbon nanotube, and the like. Thus, a transistor can be formed over a substrate that can be bent. Therefore, an apparatus using a transistor having an organic semiconductor or a carbon nanotube can be strong against impact.

その他、さまざまなトランジスタを用いることができる。   In addition, various transistors can be used.

トランジスタが形成されている基板の種類は、さまざまなものを用いることができ、特定のものに限定されることはない。トランジスタが形成される基板としては、例えば、単結晶基板、SOI基板、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板、紙基板、セロファン基板、石材基板、木材基板、布基板(天然繊維(絹、綿、麻)、合成繊維(ナイロン、ポリウレタン、ポリエステル)もしくは再生繊維(アセテート、キュプラ、レーヨン、再生ポリエステル)などを含む)、皮革基板、ゴム基板、ステンレス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを有する基板などを用いることができる。あるいは、人などの動物の皮膚(皮表、真皮)または皮下組織を基板として用いてもよい。または、ある基板でトランジスタを形成し、その後、別の基板にトランジスタを転置してもよい。トランジスタが転置される基板としては、単結晶基板、SOI基板、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板、紙基板、セロファン基板、石材基板、木材基板、布基板(天然繊維(絹、綿、麻)、合成繊維(ナイロン、ポリウレタン、ポリエステル)もしくは再生繊維(アセテート、キュプラ、レーヨン、再生ポリエステル)などを含む)、皮革基板、ゴム基板、ステンレス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを有する基板などを用いることができる。あるいは、人などの動物の皮膚(皮表、真皮)または皮下組織をトランジスタが転置される基板として用いてもよい。これらの基板を用いることにより、特性のよいトランジスタの形成、消費電力の小さいトランジスタの形成、壊れにくい装置の製造、耐熱性の付与、または軽量化を図ることができる。   Various types of substrates on which transistors are formed can be used, and are not limited to specific types. As a substrate on which a transistor is formed, for example, a single crystal substrate, an SOI substrate, a glass substrate, a quartz substrate, a plastic substrate, a paper substrate, a cellophane substrate, a stone substrate, a wood substrate, a cloth substrate (natural fiber (silk, cotton, hemp) ), Synthetic fibers (nylon, polyurethane, polyester) or recycled fibers (including acetate, cupra, rayon, recycled polyester), leather substrates, rubber substrates, stainless steel substrates, substrates with stainless steel foil, etc. Can be used. Alternatively, the skin (skin surface, dermis) or subcutaneous tissue of an animal such as a human may be used as the substrate. Alternatively, a transistor may be formed using a certain substrate and then transferred to another substrate. As a substrate to which the transistor is transferred, a single crystal substrate, an SOI substrate, a glass substrate, a quartz substrate, a plastic substrate, a paper substrate, a cellophane substrate, a stone substrate, a wood substrate, a cloth substrate (natural fiber (silk, cotton, hemp), Use synthetic fibers (nylon, polyurethane, polyester) or recycled fibers (including acetate, cupra, rayon, recycled polyester), leather substrates, rubber substrates, stainless steel substrates, substrates with stainless steel foils, etc. Can do. Alternatively, the skin (skin surface, dermis) or subcutaneous tissue of an animal such as a human may be used as a substrate on which the transistor is transferred. By using these substrates, it is possible to form a transistor with good characteristics, a transistor with low power consumption, manufacture a device that is not easily broken, impart heat resistance, or reduce weight.

トランジスタの構成は、さまざまな形態をとることができ、特定の構成に限定されない。例えば、ゲート電極が2個以上のマルチゲート構造を用いてもよい。マルチゲート構造にすると、チャネル領域が直列に接続されるため、複数のトランジスタが直列に接続された構成となる。マルチゲート構造により、オフ電流の低減、トランジスタの耐圧向上による信頼性の向上を図ることができる。あるいは、マルチゲート構造により、飽和領域で動作する時に、ドレイン・ソース間電圧が変化しても、ドレイン・ソース間電流があまり変化せず、傾きがフラットである電圧・電流特性を得ることができる。傾きがフラットである電圧・電流特性を利用すると、理想的な電流源回路や、非常に高い抵抗値を持つ能動負荷を実現することができる。その結果、特性のよい差動回路やカレントミラー回路を実現することができる。また、チャネルの上下にゲート電極が配置されている構造でもよい。チャネルの上下にゲート電極が配置されている構造にすることにより、チャネル領域が増えるため、電流値の増加、または空乏層ができやすくなることによるS値の低減を図ることができる。チャネルの上下にゲート電極が配置されると、複数のトランジスタが並列に接続された構成となる。   The structure of the transistor can take various forms and is not limited to a specific structure. For example, a multi-gate structure having two or more gate electrodes may be used. When the multi-gate structure is employed, the channel regions are connected in series, so that a plurality of transistors are connected in series. With the multi-gate structure, the off-state current can be reduced and the reliability can be improved by improving the withstand voltage of the transistor. Alternatively, when operating in a saturation region, the multi-gate structure can obtain a voltage / current characteristic in which the drain-source current does not change much even if the drain-source voltage changes, and the slope is flat. . By using voltage / current characteristics with a flat slope, it is possible to realize an ideal current source circuit and an active load having a very high resistance value. As a result, a differential circuit or a current mirror circuit with good characteristics can be realized. Alternatively, a structure in which gate electrodes are arranged above and below the channel may be employed. By employing a structure in which the gate electrodes are arranged above and below the channel, the channel region increases, so that the current value can be increased or the S value can be reduced due to the ease of forming a depletion layer. When gate electrodes are provided above and below a channel, a plurality of transistors are connected in parallel.

その他、チャネル領域の上にゲート電極が配置されている構造でもよいし、チャネル領域の下にゲート電極が配置されている構造でもよい。あるいは、正スタガ構造または逆スタガ構造でもよいし、チャネル領域が複数の領域に分かれていてもよいし、チャネル領域が並列に接続されていてもよいし、チャネル領域が直列に接続されていてもよい。また、チャネル領域(もしくはその一部)にソース電極やドレイン電極が重なっていてもよい。チャネル領域(もしくはその一部)にソース電極やドレイン電極が重なる構造にすることにより、チャネル領域の一部に電荷がたまって、動作が不安定になることを防ぐことができる。また、LDD領域を設けてもよい。LDD領域を設けることにより、オフ電流の低減、またはトランジスタの耐圧向上による信頼性の向上を図ることができる。あるいは、LDD領域を設けることにより、飽和領域で動作する時に、ドレイン・ソース間電圧が変化しても、ドレイン・ソース間電流があまり変化せず、電圧・電流特性の傾きがフラットである特性にすることができる。   In addition, a structure in which a gate electrode is disposed over a channel region may be employed, or a structure in which a gate electrode is disposed under a channel region may be employed. Alternatively, a normal stagger structure or an inverted stagger structure may be used, the channel region may be divided into a plurality of regions, the channel regions may be connected in parallel, or the channel regions may be connected in series. Good. In addition, a source electrode or a drain electrode may overlap with the channel region (or a part thereof). With the structure in which the source electrode or the drain electrode overlaps with the channel region (or part thereof), it is possible to prevent electric charges from being accumulated in part of the channel region and unstable operation. Further, an LDD region may be provided. By providing the LDD region, the off-state current can be reduced or the reliability can be improved by improving the withstand voltage of the transistor. Alternatively, by providing an LDD region, when operating in the saturation region, even if the drain-source voltage changes, the drain-source current does not change so much, and the slope of the voltage-current characteristic is flat. can do.

本明細書におけるトランジスタは、さまざまなタイプを用いることができ、さまざまな基板上に形成することができる。したがって、所定の機能を実現するために必要な回路の全てが、同一基板上に形成されていてもよい。例えば、所定の機能を実現するために必要な回路の全てが、ガラス基板上、プラスチック基板上、単結晶基板上、またはSOI基板上に形成されていてもよく、その他さまざまな基板上に形成されていてもよい。所定の機能を実現するために必要な回路の全てが、同じ基板上に形成されていることにより、部品点数を減らしてコストを低減し、回路部品との接続点数を減らして信頼性を向上させることができる。あるいは、所定の機能を実現するために必要な回路の一部が、ある基板上に形成されており、所定の機能を実現させるために必要な回路の別の一部が、別の基板上に形成されていてもよい。つまり、所定の機能を実現するために必要な回路の全てが、同じ基板上に形成されていなくてもよい。例えば、所定の機能を実現するために必要な回路の一部は、ガラス基板上にトランジスタを用いて形成され、所定の機能を実現するために必要な回路の別の一部は、単結晶基板上に形成され、単結晶基板上のトランジスタで構成されたICチップを、COG(Chip On Glass)でガラス基板に接続して、ガラス基板上にそのICチップを配置してもよい。あるいは、そのICチップをTAB(Tape Automated Bonding)やプリント基板を用いてガラス基板と接続してもよい。このように、回路の一部が同じ基板上に形成されていることにより、部品点数を減らしてコストを低減し、回路部品との接続点数を減らして信頼性を向上させることができる。また、駆動電圧が高い部分や駆動周波数が高い部分の回路は、消費電力が大きくなってしまうので、そのような部分の回路は同じ基板上に形成せず、そのかわりに、単結晶基板上にその部分の回路を形成して、その回路で構成されたICチップを用いるようにすれば、消費電力の増加を防ぐことができる。   Various types of transistors can be used in this specification and can be formed over various substrates. Therefore, all the circuits necessary for realizing the predetermined function may be formed on the same substrate. For example, all the circuits necessary for realizing a predetermined function may be formed on a glass substrate, a plastic substrate, a single crystal substrate, an SOI substrate, or other various substrates. It may be. Since all the circuits necessary to realize a given function are formed on the same board, the number of parts is reduced, the cost is reduced, and the number of connection points with circuit parts is reduced, thereby improving the reliability. be able to. Alternatively, a part of the circuit necessary for realizing the predetermined function is formed on a certain substrate, and another part of the circuit necessary for realizing the predetermined function is formed on another substrate. It may be formed. That is, all the circuits necessary for realizing the predetermined function may not be formed on the same substrate. For example, a part of a circuit necessary for realizing a predetermined function is formed using a transistor over a glass substrate, and another part of a circuit required for realizing a predetermined function is a single crystal substrate. The IC chip formed on the single crystal substrate and formed of a transistor may be connected to the glass substrate by COG (Chip On Glass), and the IC chip may be arranged on the glass substrate. Alternatively, the IC chip may be connected to the glass substrate using TAB (Tape Automated Bonding) or a printed board. As described above, since a part of the circuit is formed on the same substrate, the number of parts can be reduced to reduce the cost, and the number of connection points with the circuit parts can be reduced to improve the reliability. In addition, since the power consumption of a circuit having a high driving voltage or a high driving frequency is large, such a circuit is not formed on the same substrate. Instead, the circuit is formed on a single crystal substrate. If a circuit for that portion is formed and an IC chip constituted by the circuit is used, an increase in power consumption can be prevented.

本明細書においては、一画素とは、明るさを制御できる要素1つ分を示すものとする。一例としては、一画素とは、1つの色要素を示すものとし、その色要素1つで明るさを表現する。したがって、R(赤)G(緑)B(青)の色要素からなるカラー表示装置の場合には、画像の最小単位は、Rの画素とGの画素とBの画素との三画素から構成されるものとする。なお、色要素は、3色に限定されず、3色以上を用いてもよいし、RGB以外の色を用いてもよい。例えば、W(白)を加えて、RGBWとしてもよい。また、RGBに、例えば、イエロー、シアン、マゼンタ、エメラルドグリーン、朱色などを1色以上追加してもよい。また、例えば、RGBの中の少なくとも1色に類似した色を、RGBに追加してもよい。例えば、R、G、B1、B2としてもよい。B1とB2とは、どちらも青色であるが、少し周波数が異なっている。同様に、R1、R2、G、Bとしてもよい。このような色要素を用いることにより、より実物に近く表示することができ、また消費電力を低減することができる。別の例としては、1つの色要素について、複数の領域を用いて明るさを制御する場合は、その領域1つ分を一画素としてもよい。一例として、面積階調を行う場合、または副画素(サブ画素)を有している場合、1つの色要素につき、明るさを制御する領域が複数あり、その全体で階調を表現するが、その明るさを制御する領域の1つ分を一画素としてもよい。その場合、1つの色要素は、複数の画素で構成される。あるいは、明るさを制御する領域が1つの色要素の中に複数あっても、それらをまとめて、1つの色要素を一画素としてもよい。その場合、1つの色要素は、1つの画素で構成されることとなる。また、1つの色要素について、複数の領域を用いて明るさを制御する場合、画素によって、表示に寄与する領域の大きさが異なっている場合がある。その場合、1つの色要素につき複数ある、明るさを制御する領域において、各々に供給する信号を僅かに異ならせるようにして、視野角を広げてもよい。つまり、1つの色要素について、複数個ある領域が各々有する画素電極の電位が、各々異なっていてもよい。その結果、液晶分子に加わる電圧が各画素電極によって各々異なる。よって、視野角を広くすることができる。   In this specification, one pixel represents one element whose brightness can be controlled. As an example, one pixel represents one color element, and brightness is expressed by one color element. Therefore, in the case of a color display device composed of R (red), G (green), and B (blue) color elements, the minimum unit of an image is composed of three pixels, an R pixel, a G pixel, and a B pixel. Shall be. Note that the color elements are not limited to three colors, and three or more colors may be used, or colors other than RGB may be used. For example, W (white) may be added to obtain RGBW. Further, one or more colors such as yellow, cyan, magenta, emerald green, vermilion, and the like may be added to RGB. Further, for example, a color similar to at least one of RGB may be added to RGB. For example, R, G, B1, and B2 may be used. B1 and B2 are both blue, but have slightly different frequencies. Similarly, R1, R2, G, and B may be used. By using such a color element, it is possible to display an image closer to the real object and to reduce power consumption. As another example, when brightness is controlled using a plurality of areas for one color element, one area may be used as one pixel. As an example, when area gradation is performed or when sub-pixels (sub-pixels) are provided, there are a plurality of areas for controlling brightness for each color element, and the gradation is expressed as a whole. One area for controlling the brightness may be one pixel. In that case, one color element is composed of a plurality of pixels. Alternatively, even if there are a plurality of areas for controlling the brightness in one color element, they may be combined into one pixel. In that case, one color element is composed of one pixel. When brightness is controlled using a plurality of areas for one color element, the size of the area contributing to display may be different depending on the pixel. In that case, the viewing angle may be widened by slightly varying the signals supplied to each of the areas for controlling the brightness, which are plural for each color element. That is, for one color element, the potentials of the pixel electrodes in each of a plurality of regions may be different from each other. As a result, the voltage applied to the liquid crystal molecules is different for each pixel electrode. Therefore, the viewing angle can be widened.

なお、一画素(3色分)と明示的に記載する場合は、RとGとBの三画素分を一画素と考える場合である。一画素(1色分)と明示的に記載する場合は、1つの色要素につき、複数の領域がある場合、それらをまとめて一画素と考える場合である。   Note that when explicitly described as one pixel (for three colors), three pixels of R, G, and B are considered as one pixel. When one pixel (for one color) is explicitly described, when there are a plurality of regions for one color element, they are collectively considered as one pixel.

本書類において、画素は、マトリクス状に配置(配列)されている場合がある。ここで、画素がマトリクスに配置(配列)されているとは、縦方向もしくは横方向において、画素が直線上に並んで配置されている場合や、ギザギザな線上に配置されている場合を含む。例えば、3色の色要素(例えばRGB)でフルカラー表示する場合に、ストライプ配置されている場合や、3つの色要素のドットがデルタ配置されている場合も含む。さらに、ベイヤー配置されている場合も含む。なお、色要素は、3色に限定されず、それ以上でもよい。例えば、RGBW(Wは白)や、RGBに、イエロー、シアン、マゼンタなどを1色以上追加したものなどがある。また、色要素のドットごとにその表示領域の大きさが異なっていてもよい。これにより、低消費電力化、または表示素子の長寿命化を図ることができる。   In this document, the pixels may be arranged (arranged) in a matrix. Here, the pixel being arranged (arranged) in the matrix includes a case where the pixels are arranged in a straight line or a jagged line in the vertical direction or the horizontal direction. For example, when full-color display is performed with three color elements (for example, RGB), this includes a case where stripes are arranged and a case where dots of three color elements are arranged in a delta arrangement. Furthermore, the case where a Bayer is arranged is included. The color elements are not limited to three colors and may be more than that. For example, there are RGBW (W is white) or RGB in which one or more colors of yellow, cyan, magenta, etc. are added. Further, the size of the display area may be different for each dot of the color element. This can reduce power consumption or extend the life of the display element.

本書類において、画素に能動素子を有するアクティブマトリクス方式、または、画素に能動素子を有しないパッシブマトリクス方式を用いることができる。   In this document, an active matrix method in which an active element is included in a pixel or a passive matrix method in which an active element is not included in a pixel can be used.

アクティブマトリクス方式では、能動素子(アクティブ素子、非線形素子)として、トランジスタだけでなく、さまざまな能動素子(アクティブ素子、非線形素子)を用いることができる。例えば、MIM(Metal Insulator Metal)やTFD(Thin Film Diode)などを用いることも可能である。これらの素子は、製造工程が少ないため、製造コストの低減、または歩留まりの向上を図ることができる。さらに、素子のサイズが小さいため、開口率を向上させることができ、低消費電力化や高輝度化を図ることができる。   In the active matrix system, not only transistors but also various active elements (active elements, nonlinear elements) can be used as active elements (active elements, nonlinear elements). For example, MIM (Metal Insulator Metal) or TFD (Thin Film Diode) can be used. Since these elements have few manufacturing steps, manufacturing cost can be reduced or yield can be improved. Further, since the element size is small, the aperture ratio can be improved, and power consumption and luminance can be increased.

アクティブマトリクス方式以外のものとして、能動素子(アクティブ素子、非線形素子)を用いないパッシブマトリクス型を用いることも可能である。能動素子(アクティブ素子、非線形素子)を用いないため、製造工程が少なく、製造コストの低減、または歩留まりの向上を図ることができる。また、能動素子(アクティブ素子、非線形素子)を用いないため、開口率を向上させることができ、低消費電力化や高輝度化を図ることができる。   As a method other than the active matrix method, a passive matrix type that does not use an active element (an active element or a non-linear element) can be used. Since no active element (active element or nonlinear element) is used, the number of manufacturing steps is small, and manufacturing costs can be reduced or yield can be improved. In addition, since an active element (an active element or a non-linear element) is not used, the aperture ratio can be improved, and low power consumption and high luminance can be achieved.

トランジスタとは、ゲートと、ドレインと、ソースと、を含む少なくとも3つの端子を有する素子であり、ドレイン領域とソース領域の間にチャネル領域を有しており、ドレイン領域と、チャネル領域と、ソース領域と、を介して電流を流すことができる。ここで、ソースとドレインとは、トランジスタの構造や動作条件などによって変わるため、いずれがソースまたはドレインであるかを限定することが困難である。そこで、本明細書においては、ソースおよびドレインとして機能する領域を、ソースもしくはドレインと呼ばない場合がある。その場合、それぞれを第1端子、第2端子と表記する場合がある。あるいは、それぞれを第1の電極、第2の電極と表記する場合がある。あるいは、ソース領域、ドレイン領域と表記する場合がある。   A transistor is an element having at least three terminals including a gate, a drain, and a source, and has a channel region between the drain region and the source region. The drain region, the channel region, and the source Current can flow through the region. Here, since the source and the drain vary depending on the structure and operating conditions of the transistor, it is difficult to limit which is the source or the drain. Therefore, in this specification, a region functioning as a source and a drain may not be referred to as a source or a drain. In that case, they may be referred to as a first terminal and a second terminal, respectively. Alternatively, they may be referred to as a first electrode and a second electrode, respectively. Alternatively, they may be referred to as a source region and a drain region.

トランジスタは、ベースと、エミッタと、コレクタと、を含む少なくとも3つの端子を有する素子であってもよい。この場合も同様に、エミッタとコレクタとを、第1端子、第2端子と表記する場合がある。   The transistor may be an element having at least three terminals including a base, an emitter, and a collector. Similarly in this case, the emitter and the collector may be referred to as a first terminal and a second terminal.

ゲートとは、ゲート電極と、ゲート配線(ゲート線、ゲート信号線、走査線、走査信号線などともいう)と、を含んだ全体、もしくは、それらの一部のことをいう。ゲート電極とは、チャネル領域を形成する半導体と、ゲート絶縁膜を介してオーバーラップしている部分の導電膜のことをいう。なお、ゲート電極の一部は、LDD(Lightly Doped Drain)領域、ソース領域またはドレイン領域と、ゲート絶縁膜を介してオーバーラップしている場合もある。ゲート配線とは、各トランジスタのゲート電極の間を接続するための配線、各画素の有するゲート電極の間を接続するための配線、またはゲート電極と、別の配線と、を接続するための配線のことをいう。   A gate refers to the whole or part of a gate electrode and a gate wiring (also referred to as a gate line, a gate signal line, a scanning line, a scanning signal line, or the like). A gate electrode refers to a portion of a conductive film which overlaps with a semiconductor forming a channel region with a gate insulating film interposed therebetween. Note that a part of the gate electrode may overlap an LDD (Lightly Doped Drain) region, a source region, or a drain region with a gate insulating film interposed therebetween. The gate wiring is a wiring for connecting between the gate electrodes of each transistor, a wiring for connecting between the gate electrodes of each pixel, or a wiring for connecting the gate electrode to another wiring. I mean.

ただし、ゲート電極としても機能し、ゲート配線としても機能する部分(領域、導電膜、配線など)も存在する。そのような部分(領域、導電膜、配線など)は、ゲート電極と呼んでもよいし、ゲート配線と呼んでもよい。つまり、ゲート電極とゲート配線とが、明確に区別できない領域も存在する。例えば、延伸して配置されているゲート配線の一部とチャネル領域がオーバーラップしている場合、その部分(領域、導電膜、配線など)はゲート配線として機能しているが、ゲート電極としても機能している。よって、そのような部分(領域、導電膜、配線など)は、ゲート電極と呼んでもよいし、ゲート配線と呼んでもよい。   However, there are portions (regions, conductive films, wirings, and the like) that also function as gate electrodes and function as gate wirings. Such a portion (region, conductive film, wiring, or the like) may be called a gate electrode or a gate wiring. That is, there is a region where the gate electrode and the gate wiring cannot be clearly distinguished. For example, when a part of the gate wiring extended and the channel region overlaps, the portion (region, conductive film, wiring, etc.) functions as a gate wiring, but also as a gate electrode It is functioning. Therefore, such a portion (region, conductive film, wiring, or the like) may be called a gate electrode or a gate wiring.

ゲート電極と同じ材料で形成され、ゲート電極と同じ島(アイランド)を形成してつながっている部分(領域、導電膜、配線など)も、ゲート電極と呼んでもよい。同様に、ゲート配線と同じ材料で形成され、ゲート配線と同じ島(アイランド)を形成してつながっている部分(領域、導電膜、配線など)も、ゲート配線と呼んでもよい。このような部分(領域、導電膜、配線など)は、厳密な意味では、チャネル領域とオーバーラップしていない場合、または別のゲート電極と接続させる機能を有していない場合がある。しかし、ゲート電極またはゲート配線と同じ材料で形成され、ゲート電極またはゲート配線と同じ島(アイランド)を形成してつながっている部分(領域、導電膜、配線など)もある。よって、そのような部分(領域、導電膜、配線など)もゲート電極またはゲート配線と呼んでもよい。   A portion (a region, a conductive film, a wiring, or the like) that is formed using the same material as the gate electrode and is connected to form the same island (island) as the gate electrode may be called a gate electrode. Similarly, a portion (a region, a conductive film, a wiring, or the like) that is formed using the same material as the gate wiring and is connected to form the same island (island) as the gate wiring may be called a gate wiring. In a strict sense, such a portion (region, conductive film, wiring, or the like) may not overlap with the channel region or may not have a function of being connected to another gate electrode. However, there are portions (regions, conductive films, wirings, and the like) that are formed using the same material as the gate electrode or the gate wiring and are connected by forming the same island as the gate electrode or the gate wiring. Therefore, such a portion (region, conductive film, wiring, or the like) may also be called a gate electrode or a gate wiring.

例えば、マルチゲートのトランジスタにおいて、1つのゲート電極と、別のゲート電極とは、ゲート電極と同じ材料で形成された導電膜で接続される場合が多い。そのような部分(領域、導電膜、配線など)は、ゲート電極と、ゲート電極と、を接続させるための部分(領域、導電膜、配線など)であるため、ゲート配線と呼んでもよいが、マルチゲートのトランジスタを1つのトランジスタと見なすこともできるため、ゲート電極と呼んでもよい。つまり、ゲート電極またはゲート配線と同じ材料で形成され、ゲート電極またはゲート配線と同じ島(アイランド)を形成してつながっている部分(領域、導電膜、配線など)は、ゲート電極やゲート配線と呼んでもよい。さらに、ゲート電極と、ゲート配線と、を接続させている部分の導電膜であって、ゲート電極またはゲート配線とは異なる材料で形成された導電膜も、ゲート電極と呼んでもよいし、ゲート配線と呼んでもよい。   For example, in a multi-gate transistor, one gate electrode and another gate electrode are often connected by a conductive film formed using the same material as the gate electrode. Such a portion (region, conductive film, wiring, or the like) is a portion (region, conductive film, wiring, or the like) for connecting the gate electrode and the gate electrode, and may be called a gate wiring. A multi-gate transistor can be regarded as a single transistor, and thus may be referred to as a gate electrode. That is, a portion (region, conductive film, wiring, or the like) that is formed using the same material as the gate electrode or gate wiring and is connected to form the same island (island) as the gate electrode or gate wiring is connected to the gate electrode or gate wiring. You may call it. Further, a conductive film in a portion where the gate electrode and the gate wiring are connected and formed using a material different from that of the gate electrode or the gate wiring may be referred to as a gate electrode. You may call it.

ゲート端子とは、ゲート電極の部分(領域、導電膜、配線など)、またはゲート電極と電気的に接続されている部分(領域、導電膜、配線など)について、その一部分のことをいう。   The gate terminal refers to a part of a portion of the gate electrode (region, conductive film, wiring, or the like) or a portion (region, conductive film, wiring, or the like) electrically connected to the gate electrode.

配線を、ゲート配線、ゲート線、ゲート信号線、走査線、走査信号線などと呼ぶ場合、配線にトランジスタのゲートが接続されていない場合もある。この場合、ゲート配線、ゲート線、ゲート信号線、走査線、走査信号線は、トランジスタのゲートと同じ層で形成された配線、トランジスタのゲートと同じ材料で形成された配線、またはトランジスタのゲートと同時に成膜された配線を意味している場合がある。例としては、保持容量用配線、電源線、基準電位供給配線などがある。   In the case where a wiring is called a gate wiring, a gate line, a gate signal line, a scanning line, a scanning signal line, or the like, the gate of the transistor may not be connected to the wiring. In this case, the gate wiring, the gate line, the gate signal line, the scanning line, and the scanning signal line are formed using the same layer as the gate of the transistor, the wiring formed of the same material as the gate of the transistor, or the gate of the transistor. It may mean a wiring formed at the same time. Examples include a storage capacitor wiring, a power supply line, a reference potential supply wiring, and the like.

ソースとは、ソース領域と、ソース電極と、ソース配線(ソース線、ソース信号線、データ線、データ信号線などともいう)と、を含んだ全体、もしくは、それらの一部のことをいう。ソース領域とは、P型不純物(ボロンやガリウムなど)やN型不純物(リンやヒ素など)が多く含まれる半導体領域のことをいう。したがって、少しだけP型不純物やN型不純物が含まれる領域、いわゆる、LDD(Lightly Doped Drain)領域は、ソース領域には含まれない。ソース電極とは、ソース領域とは別の材料で形成され、ソース領域と電気的に接続されて配置されている部分の導電層のことをいう。ただし、ソース電極は、ソース領域も含んでソース電極と呼ぶこともある。ソース配線とは、各トランジスタのソース電極の間を接続するための配線、各画素の有するソース電極の間を接続するための配線、またはソース電極と、別の配線と、を接続するための配線のことをいう。   A source refers to the whole or a part of a source region, a source electrode, and a source wiring (also referred to as a source line, a source signal line, a data line, a data signal line, or the like). A source region refers to a semiconductor region containing a large amount of P-type impurities (such as boron and gallium) and N-type impurities (such as phosphorus and arsenic). Therefore, a region containing a small amount of P-type impurities and N-type impurities, a so-called LDD (Lightly Doped Drain) region is not included in the source region. A source electrode refers to a portion of a conductive layer which is formed using a material different from that of a source region and is electrically connected to the source region. However, the source electrode may be referred to as a source electrode including the source region. The source wiring is a wiring for connecting the source electrodes of the transistors, a wiring for connecting the source electrodes of each pixel, or a wiring for connecting the source electrode to another wiring. I mean.

しかしながら、ソース電極としても機能し、ソース配線としても機能する部分(領域、導電膜、配線など)も存在する。そのような部分(領域、導電膜、配線など)は、ソース電極と呼んでもよいし、ソース配線と呼んでもよい。つまり、ソース電極とソース配線が、明確に区別できない領域も存在する。例えば、延伸して配置されているソース配線の一部とソース領域がオーバーラップしている場合、その部分(領域、導電膜、配線など)はソース配線として機能しているが、ソース電極としても機能していることになる。よって、そのような部分(領域、導電膜、配線など)は、ソース電極と呼んでもよいし、ソース配線と呼んでもよい。   However, there are portions (regions, conductive films, wirings, and the like) that function as source electrodes and also function as source wirings. Such a portion (region, conductive film, wiring, or the like) may be called a source electrode or a source wiring. That is, there is a region where the source electrode and the source wiring cannot be clearly distinguished. For example, when a part of the source wiring that is extended and the source region overlap, the portion (region, conductive film, wiring, etc.) functions as the source wiring, but also as the source electrode It is functioning. Thus, such a portion (region, conductive film, wiring, or the like) may be called a source electrode or a source wiring.

ソース電極と同じ材料で形成され、ソース電極と同じ島(アイランド)を形成してつながっている部分(領域、導電膜、配線など)や、ソース電極とソース電極を接続する部分(領域、導電膜、配線など)も、ソース電極と呼んでもよい。さらに、ソース領域とオーバーラップしている部分も、ソース電極と呼んでもよい。同様に、ソース配線と同じ材料で形成され、ソース配線と同じ島(アイランド)を形成してつながっている領域も、ソース配線と呼んでもよい。このような部分(領域、導電膜、配線など)は、厳密な意味では、別のソース電極と接続させる機能を有していない場合がある。しかし、ソース電極またはソース配線と同じ材料で形成され、ソース電極またはソース配線とつながっている部分(領域、導電膜、配線など)がある。よって、そのような部分(領域、導電膜、配線など)もソース電極またはソース配線と呼んでもよい。   A portion (region, conductive film, wiring, or the like) that is formed of the same material as the source electrode and forms the same island (island) as the source electrode, or a portion that connects the source electrode and the source electrode (region, conductive film) , Wiring, etc.) may also be referred to as source electrodes. Further, a portion overlapping with the source region may be called a source electrode. Similarly, a region formed of the same material as the source wiring and connected by forming the same island (island) as the source wiring may be called a source wiring. Such a portion (region, conductive film, wiring, or the like) may not have a function of connecting to another source electrode in a strict sense. However, there is a portion (a region, a conductive film, a wiring, or the like) formed of the same material as the source electrode or the source wiring and connected to the source electrode or the source wiring. Therefore, such a portion (region, conductive film, wiring, or the like) may also be referred to as a source electrode or a source wiring.

例えば、ソース電極とソース配線とを接続している部分の導電膜であって、ソース電極またはソース配線とは異なる材料で形成された導電膜も、ソース電極と呼んでもよいし、ソース配線と呼んでもよい。   For example, a conductive film that is a portion of a conductive film that connects a source electrode and a source wiring and is formed using a material different from that of the source electrode or the source wiring may be called a source electrode or a source wiring. But you can.

ソース端子とは、ソース領域の領域や、ソース電極や、ソース電極と電気的に接続されている部分(領域、導電膜、配線など)について、その一部分のことをいう。   A source terminal refers to a part of a source region, a source electrode, or a portion (region, conductive film, wiring, or the like) electrically connected to the source electrode.

配線を、ソース配線、ソース線、ソース信号線、データ線、データ信号線などと呼ぶ場合、配線にトランジスタのソース(ドレイン)が接続されていない場合もある。この場合、ソース配線、ソース線、ソース信号線、データ線、データ信号線は、トランジスタのソース(ドレイン)と同じ層で形成された配線、トランジスタのソース(ドレイン)と同じ材料で形成された配線、またはトランジスタのソース(ドレイン)と同時に成膜された配線を意味している場合がある。例としては、保持容量用配線、電源線、基準電位供給配線などがある。   In the case where a wiring is referred to as a source wiring, a source line, a source signal line, a data line, a data signal line, or the like, the source (drain) of the transistor may not be connected to the wiring. In this case, the source wiring, the source line, the source signal line, the data line, and the data signal line are the wiring formed in the same layer as the source (drain) of the transistor and the wiring formed of the same material as the source (drain) of the transistor. Or a wiring formed at the same time as the source (drain) of the transistor. Examples include a storage capacitor wiring, a power supply line, a reference potential supply wiring, and the like.

なお、ドレインについては、ソースと同様である。   The drain is the same as the source.

半導体装置とは半導体素子(トランジスタ、ダイオード、サイリスタなど)を含む回路を有する装置のことをいう。さらに、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を半導体装置と呼んでもよい。   A semiconductor device refers to a device having a circuit including a semiconductor element (a transistor, a diode, a thyristor, or the like). Furthermore, a device that can function by utilizing semiconductor characteristics may be called a semiconductor device.

表示素子とは、光学変調素子、液晶素子、発光素子、EL素子(有機EL素子、無機EL素子または有機物および無機物を含むEL素子)、電子放出素子、電気泳動素子、放電素子、光反射素子、光回折素子、DMD、などのことをいう。ただし、これらに限定されない。   Display elements include optical modulation elements, liquid crystal elements, light emitting elements, EL elements (organic EL elements, inorganic EL elements or EL elements containing organic and inorganic substances), electron emitting elements, electrophoretic elements, discharge elements, light reflecting elements, An optical diffraction element, DMD, etc. However, it is not limited to these.

表示装置とは、表示素子を有する装置のことをいう。なお、表示装置とは、表示素子を含む複数の画素、またはそれらの画素を駆動させる周辺駆動回路が同一基板上に形成された表示パネル本体のことを指す。なお、表示装置は、ワイヤボンディングやバンプなどによって基板上に配置された周辺駆動回路、いわゆる、COGで接続されたICチップ、または、TABなどで接続されたICチップを含んでいてもよい。さらに、表示装置は、ICチップ、抵抗素子、容量素子、インダクタ、トランジスタなどが取り付けられたFPCを含んでもよい。さらに、表示装置は、FPCなどを介して接続され、ICチップ、抵抗素子、容量素子、インダクタ、トランジスタなどが取り付けられたプリント配線基板(PWB)を含んでいてもよい。さらに、表示装置は、偏光板または位相差板などの光学シートを含んでいてもよい。さらに、表示装置は、照明装置、筐体、音声入出力装置、光センサなどを含んでいてもよい。ここで、バックライトユニットのような照明装置は、導光板、プリズムシート、拡散シート、反射シート、光源(LED、冷陰極管など)、冷却装置(水冷式、空冷式)などを含んでいてもよい。   A display device refers to a device having a display element. Note that a display device refers to a display panel body in which a plurality of pixels including a display element or a peripheral driver circuit for driving the pixels is formed over the same substrate. Note that the display device may include a peripheral driver circuit disposed on the substrate by wire bonding, bumps, or the like, an IC chip connected by COG, or an IC chip connected by TAB or the like. Further, the display device may include an FPC to which an IC chip, a resistor element, a capacitor element, an inductor, a transistor, and the like are attached. Further, the display device may include a printed wiring board (PWB) connected via an FPC or the like, to which an IC chip, a resistor element, a capacitor element, an inductor, a transistor, and the like are attached. Furthermore, the display device may include an optical sheet such as a polarizing plate or a retardation plate. Furthermore, the display device may include a lighting device, a housing, a voice input / output device, a light sensor, and the like. Here, the illumination device such as the backlight unit may include a light guide plate, a prism sheet, a diffusion sheet, a reflection sheet, a light source (LED, cold cathode tube, etc.), a cooling device (water cooling type, air cooling type) and the like. Good.

照明装置とは、バックライトユニット、導光板、プリズムシート、拡散シート、反射シート、光源(LED、冷陰極管、熱陰極管など)、冷却装置などを有している装置のことをいう。   The illumination device refers to a device having a backlight unit, a light guide plate, a prism sheet, a diffusion sheet, a reflection sheet, a light source (LED, cold cathode tube, hot cathode tube, etc.), a cooling device, and the like.

発光装置とは、発光素子などを有している装置のことをいう。   A light-emitting device refers to a device having a light-emitting element or the like.

反射装置とは、光反射素子、光回折素子、光反射電極などを有している装置のことをいう。   The reflection device refers to a device having a light reflection element, a light diffraction element, a light reflection electrode, and the like.

液晶表示装置とは、液晶素子を有している表示装置をいう。液晶表示装置には、直視型、投写型、透過型、反射型、半透過型などがある。   A liquid crystal display device refers to a display device having a liquid crystal element. Liquid crystal display devices include direct view type, projection type, transmission type, reflection type, and transflective type.

駆動装置とは、半導体素子、電気回路、電子回路を有する装置のことをいう。例えば、ソース信号線から画素内への信号の入力を制御するトランジスタ(選択用トランジスタ、スイッチング用トランジスタなどと呼ぶことがある)、画素電極に電圧または電流を供給するトランジスタ、発光素子に電圧または電流を供給するトランジスタなどは、駆動装置の一例である。さらに、ゲート信号線に信号を供給する回路(ゲートドライバ、ゲート線駆動回路などと呼ぶことがある)、ソース信号線に信号を供給する回路(ソースドライバ、ソース線駆動回路などと呼ぶことがある)などは、駆動装置の一例である。   A driving device refers to a device having a semiconductor element, an electric circuit, and an electronic circuit. For example, a transistor that controls input of a signal from a source signal line into a pixel (sometimes referred to as a selection transistor or a switching transistor), a transistor that supplies voltage or current to a pixel electrode, or a voltage or current to a light-emitting element A transistor that supplies the voltage is an example of a driving device. Further, a circuit for supplying a signal to the gate signal line (sometimes referred to as a gate driver or a gate line driver circuit) and a circuit for supplying a signal to the source signal line (sometimes referred to as a source driver or source line driver circuit). ) Is an example of a driving device.

表示装置、半導体装置、照明装置、冷却装置、発光装置、反射装置、駆動装置などは、互いに重複している装置もある。例えば、表示装置が、半導体装置および発光装置を有している場合がある。あるいは、半導体装置が、表示装置および駆動装置を有している場合がある。   In some cases, a display device, a semiconductor device, a lighting device, a cooling device, a light emitting device, a reflecting device, a driving device, and the like overlap each other. For example, the display device may include a semiconductor device and a light-emitting device. Alternatively, the semiconductor device may include a display device and a driving device.

本書類において、Aの上にBが形成されている、あるいは、A上にBが形成されている、と明示的に記載する場合は、Aの上にBが直接接して形成されていることに限定されない。直接接していない場合、つまり、AとBの間に別の対象物が介在する場合も含むものとする。ここで、A、Bは、対象物(例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、など)であるとする。   In this document, when it is explicitly stated that B is formed on A or B is formed on A, B must be formed on A directly in contact with A It is not limited to. The case where the object is not in direct contact, that is, the case where another object is interposed between A and B is also included. Here, A and B are objects (for example, devices, elements, circuits, wirings, electrodes, terminals, conductive films, layers, etc.).

例えば、層Aの上に(もしくは層A上に)、層Bが形成されている、と明示的に記載されている場合は、層Aの上に直接接して層Bが形成されている場合と、層Aの上に直接接して別の層(例えば層Cや層Dなど)が形成されていて、その上に層Bが形成されている場合と、を含むものとする。なお、別の層(例えば層Cや層Dなど)は、単層でもよいし、複層でもよい。   For example, when it is explicitly stated that the layer B is formed on the layer A (or on the layer A), the layer B is formed in direct contact with the layer A. And the case where another layer (for example, layer C or layer D) is formed in direct contact with the layer A and the layer B is formed thereon. Note that another layer (for example, the layer C or the layer D) may be a single layer or a multilayer.

さらに、Aの上方にBが形成されている、と明示的に記載されている場合についても同様であり、Aの上にBが直接接していることに限定されず、AとBとの間に別の対象物が介在する場合も含むものとする。例えば、層Aの上方に、層Bが形成されている、という場合は、層Aの上に直接接して層Bが形成されている場合と、層Aの上に直接接して別の層(例えば層Cや層Dなど)が形成されていて、その上に層Bが形成されている場合と、を含むものとする。なお、別の層(例えば層Cや層Dなど)は、単層でもよいし、複層でもよい。   Furthermore, the same applies to the case where B is explicitly described as being formed above A, and is not limited to the direct contact of B on A. This includes the case where another object is interposed in. For example, when the layer B is formed above the layer A, when the layer B is formed in direct contact with the layer A, another layer (directly in contact with the layer A ( For example, the layer C and the layer D) are formed, and the layer B is formed thereon. Note that another layer (for example, the layer C or the layer D) may be a single layer or a multilayer.

Aの上にBが直接接して形成されている、と明示的に記載する場合は、Aの上に直接接してBが形成されている場合のみを含み、AとBの間に別の対象物が介在する場合は含まないものとする。   When it is explicitly stated that B is formed directly on A, it includes only the case where B is formed directly on A and includes another object between A and B. It shall not be included when objects are present.

なお、Aの下にBが、あるいは、Aの下方にBが、の場合についても、同様である。   The same applies to the case where B is below A or B is below A.

本明細書に記載の構成によって、シフトレジスタを高速に動作できる。特に、トランジスタの半導体層としてアモルファスシリコンを用いた場合でも、シフトレジスタを高速に動作できる。そのため、液晶表示装置をはじめとする当該シフトレジスタを適用した半導体装置を高速に動作でき、大型化または高精細化を容易に図ることができる。   With the structure described in this specification, the shift register can operate at high speed. In particular, even when amorphous silicon is used for the semiconductor layer of the transistor, the shift register can be operated at high speed. Therefore, a semiconductor device to which the shift register such as a liquid crystal display device is applied can be operated at high speed, and can be easily increased in size or definition.

本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨およびその範囲から逸脱することなく、その形態および詳細をさまざまに変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。したがって、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。以下に説明する本発明の構成において、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。   Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following description, and it is easily understood by those skilled in the art that modes and details can be variously changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, the present invention should not be construed as being limited to the description of the embodiments below. In the structure of the present invention described below, the same portions or portions having similar functions are denoted by the same reference numerals in different drawings, and description thereof is not repeated.

(実施の形態1)
本実施の形態では、フリップフロップ、当該フリップフロップを有する駆動回路、および当該駆動回路を有する表示装置の構成ならびに駆動方法について説明する。
(Embodiment 1)
In this embodiment, a structure and a driving method of a flip-flop, a driver circuit including the flip-flop, and a display device including the driver circuit are described.

本実施の形態のフリップフロップの基本構成について、図1(A)を参照して説明する。図1(A)に示すフリップフロップは、第1のトランジスタ101、第2のトランジスタ102、第3のトランジスタ103、第4のトランジスタ104、第5のトランジスタ105、第6のトランジスタ106、第7のトランジスタ107および第8のトランジスタ108を有する。本実施の形態において、第1のトランジスタ101、第2のトランジスタ102、第3のトランジスタ103、第4のトランジスタ104、第5のトランジスタ105、第6のトランジスタ106、第7のトランジスタ107および第8のトランジスタ108は、Nチャネル型トランジスタとし、ゲート・ソース間電圧(Vgs)がしきい値電圧(Vth)を上回ったとき導通状態になるものとする。   A basic structure of the flip-flop of this embodiment is described with reference to FIG. The flip-flop illustrated in FIG. 1A includes a first transistor 101, a second transistor 102, a third transistor 103, a fourth transistor 104, a fifth transistor 105, a sixth transistor 106, and a seventh transistor. A transistor 107 and an eighth transistor 108 are included. In this embodiment, the first transistor 101, the second transistor 102, the third transistor 103, the fourth transistor 104, the fifth transistor 105, the sixth transistor 106, the seventh transistor 107, and the eighth transistor The transistor 108 is an N-channel transistor and becomes conductive when the gate-source voltage (Vgs) exceeds the threshold voltage (Vth).

本実施の形態のフリップフロップは、第1のトランジスタ101〜第8のトランジスタ108が、全てNチャネル型トランジスタで構成されていることを特徴とする。また、本実施の形態のフリップフロップは、トランジスタの半導体層として、アモルファスシリコンを用いることができる。そのため、製造工程の簡略化、製造コストの削減や歩留まりの向上を図ることができる。ただし、トランジスタの半導体層として、ポリシリコンや単結晶シリコンを用いても製造工程の簡略化を図ることができる。   The flip-flop of this embodiment is characterized in that the first transistor 101 to the eighth transistor 108 are all N-channel transistors. In the flip-flop of this embodiment, amorphous silicon can be used as a semiconductor layer of a transistor. Therefore, the manufacturing process can be simplified, the manufacturing cost can be reduced, and the yield can be improved. However, the manufacturing process can be simplified even when polysilicon or single crystal silicon is used for the semiconductor layer of the transistor.

図1(A)のフリップフロップの接続関係について説明する。第1のトランジスタ101の第1の電極(ソース電極およびドレイン電極の一方)が第5の配線125に接続され、第1のトランジスタ101の第2の電極(ソース電極およびドレイン電極の他方)が第3の配線123に接続される。第2のトランジスタ102の第1の電極が第4の配線124に接続され、第2のトランジスタ102の第2の電極が第3の配線123に接続される。第3のトランジスタ103の第1の電極が第6の配線126に接続され、第3のトランジスタ103の第2の電極が第2のトランジスタ102のゲート電極に接続され、第3のトランジスタ103のゲート電極が第6の配線126に接続される。第4のトランジスタ104の第1の電極が第8の配線128に接続され、第4のトランジスタ104の第2の電極が第2のトランジスタ102のゲート電極に接続され、第4のトランジスタ104のゲート電極が第1のトランジスタ101のゲート電極に接続される。第5のトランジスタ105の第1の電極が第7の配線127に接続され、第5のトランジスタ105の第2の電極が第1のトランジスタ101のゲート電極に接続され、第5のトランジスタ105のゲート電極が第1の配線121に接続される。第6のトランジスタ106の第1の電極が第10の配線130に接続され、第6のトランジスタ106の第2の電極が第1のトランジスタ101のゲート電極に接続され、第6のトランジスタ106のゲート電極が第2のトランジスタ102のゲート電極に接続される。第7のトランジスタ107の第1の電極が第11の配線131に接続され、第7のトランジスタ107の第2の電極が第1のトランジスタ101のゲート電極に接続され、第7のトランジスタ107のゲート電極が第2の配線122に接続される。第8のトランジスタ108の第1の電極が第9の配線129に接続され、第8のトランジスタ108の第2の電極が第2のトランジスタ102のゲート電極に接続され、第8のトランジスタ108のゲート電極が第1の配線121に接続される。   A connection relation of the flip-flop in FIG. The first electrode (one of the source electrode and the drain electrode) of the first transistor 101 is connected to the fifth wiring 125, and the second electrode (the other of the source electrode and the drain electrode) of the first transistor 101 is the first electrode. 3 wiring 123. A first electrode of the second transistor 102 is connected to the fourth wiring 124, and a second electrode of the second transistor 102 is connected to the third wiring 123. The first electrode of the third transistor 103 is connected to the sixth wiring 126, the second electrode of the third transistor 103 is connected to the gate electrode of the second transistor 102, and the gate of the third transistor 103 The electrode is connected to the sixth wiring 126. The first electrode of the fourth transistor 104 is connected to the eighth wiring 128, the second electrode of the fourth transistor 104 is connected to the gate electrode of the second transistor 102, and the gate of the fourth transistor 104 The electrode is connected to the gate electrode of the first transistor 101. The first electrode of the fifth transistor 105 is connected to the seventh wiring 127, the second electrode of the fifth transistor 105 is connected to the gate electrode of the first transistor 101, and the gate of the fifth transistor 105 The electrode is connected to the first wiring 121. The first electrode of the sixth transistor 106 is connected to the tenth wiring 130, the second electrode of the sixth transistor 106 is connected to the gate electrode of the first transistor 101, and the gate of the sixth transistor 106 The electrode is connected to the gate electrode of the second transistor 102. The first electrode of the seventh transistor 107 is connected to the eleventh wiring 131, the second electrode of the seventh transistor 107 is connected to the gate electrode of the first transistor 101, and the gate of the seventh transistor 107 The electrode is connected to the second wiring 122. The first electrode of the eighth transistor 108 is connected to the ninth wiring 129, the second electrode of the eighth transistor 108 is connected to the gate electrode of the second transistor 102, and the gate of the eighth transistor 108 The electrode is connected to the first wiring 121.

第1のトランジスタ101のゲート電極、第4のトランジスタ104のゲート電極、第5のトランジスタ105の第2の電極、第6のトランジスタ106の第2の電極および第7のトランジスタ107の第2の電極の接続箇所をノード141とする。第2のトランジスタ102のゲート電極、第3のトランジスタ103の第2の電極、第4のトランジスタ104の第2の電極、第6のトランジスタ106のゲート電極および第8のトランジスタ108の第2の電極の接続箇所をノード142とする。   The gate electrode of the first transistor 101, the gate electrode of the fourth transistor 104, the second electrode of the fifth transistor 105, the second electrode of the sixth transistor 106, and the second electrode of the seventh transistor 107 This connection location is referred to as a node 141. The gate electrode of the second transistor 102, the second electrode of the third transistor 103, the second electrode of the fourth transistor 104, the gate electrode of the sixth transistor 106, and the second electrode of the eighth transistor 108 Is a node 142.

第1の配線121、第2の配線122、第3の配線123および第5の配線125を、それぞれ第1の信号線、第2の信号線、第3の信号線、第4の信号線と呼んでもよい。また、第4の配線124、第6の配線126、第7の配線127、第8の配線128、第9の配線129、第10の配線130および第11の配線131を、それぞれ第1の電源線、第2の電源線、第3の電源線、第4の電源線、第5の電源線、第6の電源線、第7の電源線と呼んでもよい。   The first wiring 121, the second wiring 122, the third wiring 123, and the fifth wiring 125 are respectively connected to the first signal line, the second signal line, the third signal line, and the fourth signal line. You may call it. In addition, the fourth wiring 124, the sixth wiring 126, the seventh wiring 127, the eighth wiring 128, the ninth wiring 129, the tenth wiring 130, and the eleventh wiring 131 are respectively connected to the first power supply. May be referred to as a line, a second power line, a third power line, a fourth power line, a fifth power line, a sixth power line, and a seventh power line.

次に、図1(A)に示したフリップフロップの動作について、図2のタイミングチャートおよび図3を参照して説明する。さらに、図2のタイミングチャートをセット期間、選択期間、リセット期間、非選択期間に分割して説明する。ただし、セット期間、リセット期間、非選択期間を合わせて非選択期間と呼ぶこともある。   Next, operation of the flip-flop illustrated in FIG. 1A is described with reference to a timing chart of FIG. 2 and FIG. Further, the timing chart of FIG. 2 will be described by being divided into a set period, a selection period, a reset period, and a non-selection period. However, the set period, the reset period, and the non-selection period may be collectively referred to as a non-selection period.

第6の配線126および第7の配線127には、V1の電位が供給される。第4の配線124、第8の配線128、第9の配線129、第10の配線130および第11の配線131には、V2の電位が供給される。ここで、V1>V2である。また、電位がV1である信号をH信号、電位がV2である信号をL信号と呼ぶ。   The sixth wiring 126 and the seventh wiring 127 are supplied with the potential V1. The potential of V2 is supplied to the fourth wiring 124, the eighth wiring 128, the ninth wiring 129, the tenth wiring 130, and the eleventh wiring 131. Here, V1> V2. A signal having a potential V1 is referred to as an H signal, and a signal having a potential V2 is referred to as an L signal.

第1の配線121、第5の配線125、第2の配線122には、それぞれ図2に示す信号221、信号225、信号222が入力される。そして、第3の配線123からは、図2に示す信号223が出力される。ここで、信号221、信号225、信号222および信号223は、H信号の電位がV1(以下、Hレベルともいう)、L信号の電位がV2(以下、Lレベルともいう)のデジタル信号である。さらに、信号221、信号225、信号222および信号223を、それぞれスタート信号、クロック信号、リセット信号、出力信号と呼んでもよい。   Signals 221, 225, and 222 shown in FIG. 2 are input to the first wiring 121, the fifth wiring 125, and the second wiring 122, respectively. A signal 223 shown in FIG. 2 is output from the third wiring 123. Here, the signal 221, the signal 225, the signal 222, and the signal 223 are digital signals in which the potential of the H signal is V1 (hereinafter also referred to as H level) and the potential of the L signal is V2 (hereinafter also referred to as L level). . Further, the signal 221, the signal 225, the signal 222, and the signal 223 may be referred to as a start signal, a clock signal, a reset signal, and an output signal, respectively.

ただし、第1の配線121、第2の配線122、第4の配線124〜第11の配線131には、それぞれさまざまな信号、電位および電流が入力されてもよい。   Note that various signals, potentials, and currents may be input to the first wiring 121, the second wiring 122, and the fourth wiring 124 to the eleventh wiring 131, respectively.

図2(A)および図3(A)に示すセット期間において、信号221がHレベルとなり、第5のトランジスタ105および第8のトランジスタ108がオンする。また、信号222がLレベルなので、第7のトランジスタ107がオフする。このときノード141の電位(電位241)は、第5のトランジスタ105の第2の電極がソース電極となって、第7の配線127の電位から第5のトランジスタ105のしきい値電圧を引いた値となるため、V1−Vth105(Vth105:第5のトランジスタ105のしきい値電圧)となる。よって、第1のトランジスタ101および第4のトランジスタ104がオンし、第5のトランジスタ105がオフする。このときノード142の電位(電位242)は、第8の配線128の電位(V2)と第6の配線126の電位(V1)との電位差(V1−V2)が、第3のトランジスタ103、第4のトランジスタ104および第8のトランジスタ108によって分圧され、V2+β(β:任意の正の数)となる。ただし、β<Vth102(Vth102:第2のトランジスタ102のしきい値電圧)およびβ<Vth106(第6のトランジスタ106のしきい値電圧)とする。よって、第2のトランジスタ102および第6のトランジスタ106が、オフする。このように、セット期間では、第3の配線123は、L信号が入力されている第5の配線125と導通するため、第3の配線123の電位がV2となる。したがって、L信号が第3の配線123から出力される。さらに、ノード141は、電位をV1−Vth105に維持したまま浮遊状態となる。   In the set period shown in FIGS. 2A and 3A, the signal 221 becomes H level and the fifth transistor 105 and the eighth transistor 108 are turned on. Further, since the signal 222 is at the L level, the seventh transistor 107 is turned off. At this time, the potential of the node 141 (the potential 241) is obtained by subtracting the threshold voltage of the fifth transistor 105 from the potential of the seventh wiring 127 with the second electrode of the fifth transistor 105 serving as a source electrode. Therefore, V1−Vth105 (Vth105: threshold voltage of the fifth transistor 105). Accordingly, the first transistor 101 and the fourth transistor 104 are turned on, and the fifth transistor 105 is turned off. At this time, a potential difference (V1−V2) between the potential (V2) of the eighth wiring 128 and the potential (V1) of the sixth wiring 126 is the potential of the node 142 (potential 242). The voltage is divided by the fourth transistor 104 and the eighth transistor 108 to be V2 + β (β: any positive number). Note that β <Vth102 (Vth102: threshold voltage of the second transistor 102) and β <Vth106 (threshold voltage of the sixth transistor 106). Accordingly, the second transistor 102 and the sixth transistor 106 are turned off. In this manner, in the set period, the third wiring 123 is electrically connected to the fifth wiring 125 to which the L signal is input, and thus the potential of the third wiring 123 is V2. Therefore, the L signal is output from the third wiring 123. Further, the node 141 is in a floating state with the potential maintained at V1−Vth105.

第3のトランジスタ103および第4のトランジスタ104は、入力端子をノード141、出力端子をノード142とするインバータを構成している。したがって、本実施の形態のフリップフロップは、ノード141とノード142との間に、インバータとして機能する回路が配置されていればよい。   The third transistor 103 and the fourth transistor 104 constitute an inverter having a node 141 as an input terminal and a node 142 as an output terminal. Therefore, the flip-flop in this embodiment only needs to be provided with a circuit functioning as an inverter between the node 141 and the node 142.

本実施の形態のフリップフロップは、ノード142に第8のトランジスタ108を介してV2を供給し、第6のトランジスタ106がオフするタイミングを早めている。そのため、ノード142の電位が、V1−Vth105となる時間を短くできる。したがって、本実施の形態のフリップフロップは、高速動作が可能となり、より大型の表示装置またはより高精細な表示装置に適用できる。   In the flip-flop of this embodiment, V2 is supplied to the node 142 through the eighth transistor 108, and the timing at which the sixth transistor 106 is turned off is advanced. Therefore, the time during which the potential of the node 142 is V1−Vth105 can be shortened. Therefore, the flip-flop of this embodiment can operate at high speed and can be applied to a larger display device or a higher definition display device.

本実施の形態のフリップフロップは、図4(B)に示すように、第5のトランジスタ105の第1の電極が、第1の配線121に接続されても、上記説明したセット期間と同じ動作ができる。その結果、図4(B)のフリップフロップは、第7の配線127が不要となるため、歩留まりの向上を図ることができる。さらに、図4(B)のフリップフロップは、レイアウト面積の縮小を図ることができる。   As shown in FIG. 4B, the flip-flop of this embodiment operates in the same manner as the above-described set period even when the first electrode of the fifth transistor 105 is connected to the first wiring 121. Can do. As a result, the flip-flop in FIG. 4B does not require the seventh wiring 127, so that the yield can be improved. Further, the flip-flop in FIG. 4B can reduce the layout area.

ノード142の電位をV2+βとするために、第4のトランジスタ104のチャネル幅Wとチャネル長Lとの比W/Lの値は、第3のトランジスタ103のW/Lの値よりも、少なくとも10倍以上にすることが好ましい。したがって、第4のトランジスタ104のトランジスタサイズ(W×L)が大きくなってしまう。そこで、第3のトランジスタ103のチャネル長Lの値を、第4のトランジスタ104のチャネル長Lの値よりも大きく、より好ましくは2倍〜3倍とするとよい。その結果、第4のトランジスタ104のトランジスタサイズを小さくできるため、レイアウト面積の縮小を図ることができる。   In order to set the potential of the node 142 to V2 + β, the value of the ratio W / L of the channel width W to the channel length L of the fourth transistor 104 is at least 10 times higher than the value of W / L of the third transistor 103. It is preferable to make it twice or more. Therefore, the transistor size (W × L) of the fourth transistor 104 is increased. Therefore, the value of the channel length L of the third transistor 103 is preferably larger than the value of the channel length L of the fourth transistor 104, more preferably 2 to 3 times. As a result, the transistor size of the fourth transistor 104 can be reduced, so that the layout area can be reduced.

図2(B)および図3(B)に示す選択期間では、信号221がLレベルとなり、第5のトランジスタ105および第8のトランジスタ108がオフする。また、信号222がLレベルのままなので、第7のトランジスタ107はオフのままである。このときノード141は、電位をV1−Vth105に維持している。よって、第1のトランジスタ101および第4のトランジスタ104は、オンのままである。また、このときノード142は電位をV2+βに維持している。よって、第2のトランジスタ102および第6のトランジスタ106は、オフのままである。ここで、第5の配線125にH信号が入力されるので、第3の配線123の電位が上昇し始める。すると、ノード141の電位は、ブートストラップ動作によってV1−Vth105から上昇し、V1+Vth101+α(Vth101:第1のトランジスタ101のしきい値電圧、α:任意の正の数)となる。したがって、第3の配線123の電位は、第5の配線125と等しい電位V1となる。このように、選択期間では、第3の配線123はH信号が入力されている第5の配線125と導通するため、第3の配線123の電位がV1となる。したがって、H信号が第3の配線123から出力される。   In the selection period illustrated in FIGS. 2B and 3B, the signal 221 is at the L level, and the fifth transistor 105 and the eighth transistor 108 are turned off. Further, since the signal 222 remains at the L level, the seventh transistor 107 remains off. At this time, the node 141 maintains the potential at V1−Vth105. Accordingly, the first transistor 101 and the fourth transistor 104 remain on. At this time, the node 142 maintains the potential at V2 + β. Accordingly, the second transistor 102 and the sixth transistor 106 remain off. Here, since the H signal is input to the fifth wiring 125, the potential of the third wiring 123 starts to increase. Then, the potential of the node 141 rises from V1−Vth105 by the bootstrap operation, and becomes V1 + Vth101 + α (Vth101: threshold voltage of the first transistor 101, α: any positive number). Therefore, the potential of the third wiring 123 is equal to the potential V1 of the fifth wiring 125. In this manner, in the selection period, the third wiring 123 is electrically connected to the fifth wiring 125 to which the H signal is input, so that the potential of the third wiring 123 is V1. Therefore, the H signal is output from the third wiring 123.

このブートストラップ動作は、第1のトランジスタ101のゲート電極と第2の電極の間の、寄生容量の容量結合によって行われる。図1(B)に示すように、第1のトランジスタ101のゲート電極と第2の電極の間に容量素子151を配置することで、安定してブートストラップ動作ができ、第1のトランジスタ101の寄生容量を小さくできる。容量素子151は、絶縁層としてゲート絶縁膜を用いて、導電層としてゲート電極層および配線層を用いてもよい。また、絶縁層としてゲート絶縁膜を用いて、導電層としてゲート電極層および不純物が添加された半導体層を用いてもよい。あるいは、絶縁層として層間膜(絶縁膜)を用いて、導電層として配線層および透明電極層を用いてもよい。容量素子151は、導電膜としてゲート電極層および配線層を用いる場合、ゲート電極層を第1のトランジスタ101のゲート電極と接続し、配線層を第1のトランジスタ101の第2の電極と接続するとよい。より望ましくは、導電膜としてゲート電極層および配線層を用いる場合、ゲート電極層を第1のトランジスタ101のゲート電極と直接接続し、配線層を第1のトランジスタ101の第2の電極と直接接続するとよい。なぜなら、容量素子151の配置によるフリップフロップのレイアウト面積の増加が、小さくなるからである。   This bootstrap operation is performed by capacitive coupling of parasitic capacitance between the gate electrode and the second electrode of the first transistor 101. As illustrated in FIG. 1B, by providing the capacitor 151 between the gate electrode and the second electrode of the first transistor 101, a bootstrap operation can be performed stably, and the first transistor 101 Parasitic capacitance can be reduced. In the capacitor 151, a gate insulating film may be used as an insulating layer, and a gate electrode layer and a wiring layer may be used as conductive layers. Alternatively, a gate insulating film may be used as the insulating layer, and a gate electrode layer and a semiconductor layer to which an impurity is added may be used as the conductive layer. Alternatively, an interlayer film (insulating film) may be used as the insulating layer, and a wiring layer and a transparent electrode layer may be used as the conductive layer. In the case where the capacitor 151 uses a gate electrode layer and a wiring layer as the conductive film, the gate electrode layer is connected to the gate electrode of the first transistor 101 and the wiring layer is connected to the second electrode of the first transistor 101. Good. More preferably, when a gate electrode layer and a wiring layer are used as the conductive film, the gate electrode layer is directly connected to the gate electrode of the first transistor 101, and the wiring layer is directly connected to the second electrode of the first transistor 101. Good. This is because the increase in the layout area of the flip-flop due to the arrangement of the capacitor 151 is reduced.

図1(C)に示すように、容量素子151としてトランジスタ152を用いてもよい。トランジスタ152は、ゲート電極がノード141に接続され、第1の電極および第2の電極が第3の配線123に接続されることで、大きな容量成分を持つ容量素子として機能することができる。ただし、トランジスタ152は、第1の電極および第2の電極のうち、どちらか一方を浮遊状態としても容量素子として機能できる。   A transistor 152 may be used as the capacitor 151 as illustrated in FIG. The transistor 152 can function as a capacitor having a large capacitance component because the gate electrode is connected to the node 141 and the first electrode and the second electrode are connected to the third wiring 123. Note that the transistor 152 can function as a capacitor even when one of the first electrode and the second electrode is in a floating state.

第1のトランジスタ101は、第3の配線123にH信号を供給しなければならない。したがって、信号223の立ち下がり時間および立ち上がり時間を短くするために、第1のトランジスタ101のW/Lの値は、第1のトランジスタ101〜第8のトランジスタ108のそれぞれのW/Lの値の中で最大とすることが望ましい。   The first transistor 101 must supply an H signal to the third wiring 123. Therefore, in order to shorten the fall time and the rise time of the signal 223, the W / L value of the first transistor 101 is set to the W / L value of each of the first transistor 101 to the eighth transistor 108. It is desirable to maximize it.

第5のトランジスタ105は、セット期間において、ノード141(第1のトランジスタ101のゲート電極)の電位をV1−Vth105としなければならない。そのため、第5のトランジスタ105のW/Lの値は第1のトランジスタ101のW/Lの値よりも1/2倍〜1/5倍、より望ましくは1/3倍〜1/4倍とするとよい。   In the fifth transistor 105, the potential of the node 141 (the gate electrode of the first transistor 101) must be V1−Vth105 in the set period. Therefore, the value of W / L of the fifth transistor 105 is 1/2 times to 1/5 times, more preferably 1/3 times to 1/4 times the value of W / L of the first transistor 101. Good.

図2(C)および図3(C)に示すリセット期間では、信号221がLレベルのままなので、第5のトランジスタ105および第8のトランジスタ108はオフのままである。また、信号222がHレベルなので、第7のトランジスタ107がオンする。このときのノード141の電位は、第11の配線131の電位(V2)が、第7のトランジスタ107を介して供給されるためV2となる。よって、第1のトランジスタ101および第4のトランジスタ104が、オフする。このときのノード142の電位は、第3のトランジスタ103の第2の電極がソース電極となって、第6の配線126の電位(V1)から第3のトランジスタ103のしきい値電圧を引いた値となるため、V1−Vth103(Vth103:第3のトランジスタ103のしきい値電圧)となる。よって、第2のトランジスタ102および第6のトランジスタ106が、オンする。このように、リセット期間では、第3の配線123と、V2が供給されている第4の配線124が導通するため、第3の配線123の電位がV2となる。したがって、L信号が、第3の配線123から出力される。   In the reset period illustrated in FIGS. 2C and 3C, since the signal 221 remains at the L level, the fifth transistor 105 and the eighth transistor 108 remain off. Further, since the signal 222 is at the H level, the seventh transistor 107 is turned on. The potential of the node 141 at this time is V 2 because the potential (V 2) of the eleventh wiring 131 is supplied through the seventh transistor 107. Accordingly, the first transistor 101 and the fourth transistor 104 are turned off. The potential of the node 142 at this time is obtained by subtracting the threshold voltage of the third transistor 103 from the potential (V1) of the sixth wiring 126 with the second electrode of the third transistor 103 serving as a source electrode. Therefore, V1−Vth103 (Vth103: threshold voltage of the third transistor 103). Accordingly, the second transistor 102 and the sixth transistor 106 are turned on. In this manner, in the reset period, the third wiring 123 and the fourth wiring 124 to which V2 is supplied are electrically connected, so that the potential of the third wiring 123 becomes V2. Therefore, the L signal is output from the third wiring 123.

第7のトランジスタ107がオンするタイミングを遅延させることで、信号223の立ち下がり時間を短くできる。なぜなら、第5の配線125に入力されるL信号が、W/Lの値が大きい第1のトランジスタ101を介して、第3の配線123に供給されるからである。   By delaying the turn-on timing of the seventh transistor 107, the fall time of the signal 223 can be shortened. This is because the L signal input to the fifth wiring 125 is supplied to the third wiring 123 through the first transistor 101 having a large W / L value.

第7のトランジスタ107のW/Lの値を小さくして、ノード141の電位がV2となるまでの立ち下がり時間を長くしても、信号223の立ち下がり時間を短くできる。この場合は、第7のトランジスタ107のW/Lの値を、第1のトランジスタ101のW/Lの値よりも1/10〜1/40倍、より好ましくは1/20〜1/30倍とするとよい。   Even if the value of W / L of the seventh transistor 107 is reduced and the fall time until the potential of the node 141 becomes V2 is increased, the fall time of the signal 223 can be shortened. In this case, the W / L value of the seventh transistor 107 is 1/10 to 1/40 times the W / L value of the first transistor 101, more preferably 1/20 to 1/30 times. It is good to do.

図4(A)に示すように、第3のトランジスタ103の代わりに抵抗素子401を用いることで、ノード142の電位をV1にできる。そのため、第2のトランジスタ102および第6のトランジスタ106をオンしやすくでき、動作効率の向上を図ることができる。また、図4(C)に示すように、第3のトランジスタ103と並列に、トランジスタ402を接続してもよい。   As illustrated in FIG. 4A, the potential of the node 142 can be set to V1 by using the resistor 401 instead of the third transistor 103. Therefore, the second transistor 102 and the sixth transistor 106 can be easily turned on, and the operation efficiency can be improved. In addition, as illustrated in FIG. 4C, the transistor 402 may be connected in parallel to the third transistor 103.

図2(D)および図3(D)に示す非選択期間において、信号221がLレベルのままなので、第5のトランジスタ105および第8のトランジスタ108はオフのままである。また、信号222がLレベルとなるので、第7のトランジスタ107がオフする。このとき、ノード142は、電位をV1−Vth103に維持している。そのため、第2のトランジスタ102および第6のトランジスタ106は、オンのままである。このとき、ノード141の電位は、第6のトランジスタ106を介してV2が供給されるので、V2のままである。よって、第1のトランジスタ101および第4のトランジスタ104は、オフのままである。このように、非選択期間では、第3の配線123と、V2が供給されている第4の配線124が導通するため、第3の配線123の電位は、V2のままである。したがって、L信号が、第3の配線123から出力される。   In the non-selection period illustrated in FIGS. 2D and 3D, since the signal 221 remains at the L level, the fifth transistor 105 and the eighth transistor 108 remain off. Further, since the signal 222 becomes L level, the seventh transistor 107 is turned off. At this time, the node 142 maintains the potential at V1−Vth103. Therefore, the second transistor 102 and the sixth transistor 106 remain on. At this time, the potential of the node 141 remains V2 because V2 is supplied through the sixth transistor 106. Accordingly, the first transistor 101 and the fourth transistor 104 remain off. Thus, in the non-selection period, the third wiring 123 and the fourth wiring 124 to which V2 is supplied are brought into conduction, and thus the potential of the third wiring 123 remains V2. Therefore, the L signal is output from the third wiring 123.

第6の配線126に供給される電位をV1よりも小さくすることで、ノード142の電位を小さくできる。そのため、第2のトランジスタ102および第6のトランジスタ106のしきい値電圧シフトを抑制できる。したがって、本実施の形態のフリップフロップは、トランジスタの半導体層として特性劣化(しきい値電圧のシフト)が顕著に表れるアモルファスシリコンを用いても、トランジスタの特性劣化を抑制できる。   By making the potential supplied to the sixth wiring 126 smaller than V1, the potential of the node 142 can be reduced. Therefore, threshold voltage shift of the second transistor 102 and the sixth transistor 106 can be suppressed. Therefore, the flip-flop of this embodiment can suppress transistor characteristic deterioration even when amorphous silicon in which characteristic deterioration (threshold voltage shift) is noticeable is used as the semiconductor layer of the transistor.

以上のことから、本実施の形態のフリップフロップは、セット期間においてノード141の電位の立ち上がり時間を短くできるため、高速動作が可能となり、より大型の表示装置またはより高精細な表示装置に適用できる。   From the above, the flip-flop of this embodiment can shorten the rise time of the potential of the node 141 in the set period, and thus can operate at high speed and can be applied to a larger display device or a higher definition display device. .

ここで、第1のトランジスタ101〜第8のトランジスタ108が有する機能を説明する。第1のトランジスタ101は、第5の配線125の電位を、第3の配線123に供給するタイミングを選択する機能を有する。また、ノード141の電位をブートストラップ動作によって上昇させる機能を有し、ブートストラップ用トランジスタとして機能する。第2のトランジスタ102は、第4の配線124の電位を、第3の配線123に供給するタイミングを選択する機能を有し、スイッチングトランジスタとして機能する。第3のトランジスタ103は、第6の配線126の電位と、第8の配線128の電位と、を分圧する機能を有し、抵抗成分を有する素子または抵抗素子として機能する。第4のトランジスタ104は、第8の配線128の電位を、ノード142に供給するタイミングを選択する機能を有し、スイッチングトランジスタとして機能する。第5のトランジスタ105は、第7の配線127の電位を、ノード141に供給するタイミングを選択する機能を有し、入力用トランジスタとして機能する。第6のトランジスタ106は、第10の配線130の電位を、ノード141に供給するタイミングを選択する機能を有し、スイッチングトランジスタとして機能する。第7のトランジスタ107は、第11の配線131の電位を、ノード141に供給するタイミングを選択する機能を有し、スイッチングトランジスタとして機能する。第8のトランジスタ108は、第9の配線129の電位を、ノード142に供給するタイミングを選択する機能を有し、スイッチングトランジスタとして機能する。   Here, functions of the first transistor 101 to the eighth transistor 108 are described. The first transistor 101 has a function of selecting timing for supplying the potential of the fifth wiring 125 to the third wiring 123. Further, it has a function of increasing the potential of the node 141 by a bootstrap operation, and functions as a bootstrap transistor. The second transistor 102 has a function of selecting timing for supplying the potential of the fourth wiring 124 to the third wiring 123 and functions as a switching transistor. The third transistor 103 has a function of dividing the potential of the sixth wiring 126 and the potential of the eighth wiring 128 and functions as an element having a resistance component or a resistance element. The fourth transistor 104 has a function of selecting timing for supplying the potential of the eighth wiring 128 to the node 142 and functions as a switching transistor. The fifth transistor 105 has a function of selecting timing for supplying the potential of the seventh wiring 127 to the node 141 and functions as an input transistor. The sixth transistor 106 has a function of selecting timing for supplying the potential of the tenth wiring 130 to the node 141 and functions as a switching transistor. The seventh transistor 107 has a function of selecting timing for supplying the potential of the eleventh wiring 131 to the node 141 and functions as a switching transistor. The eighth transistor 108 has a function of selecting timing for supplying the potential of the ninth wiring 129 to the node 142 and functions as a switching transistor.

ただし、第1のトランジスタ101〜第8のトランジスタ108は、上記説明した機能を有していれば、トランジスタとは限定されない。例えば、スイッチングトランジスタとして機能する第2のトランジスタ102、第4のトランジスタ104、第6のトランジスタ106、第7のトランジスタ107および第8のトランジスタ108は、スイッチング機能を有する素子であれば、ダイオード、CMOSアナログスイッチまたはさまざまな論理回路などを適用してもよい。さらに、入力用トランジスタとして機能する第5のトランジスタ105は、ノード141の電位を上昇させてオフするタイミングを選択する機能を有していれば、PN接合ダイオードまたはダイオード接続したトランジスタなどを適用してもよい。   Note that the first transistor 101 to the eighth transistor 108 are not limited to transistors as long as they have the functions described above. For example, the second transistor 102, the fourth transistor 104, the sixth transistor 106, the seventh transistor 107, and the eighth transistor 108 that function as switching transistors can be diodes, CMOSs, and the like as long as they are elements having a switching function. An analog switch or various logic circuits may be applied. Further, as long as the fifth transistor 105 functioning as an input transistor has a function of increasing the potential of the node 141 and selecting a timing for turning it off, a PN junction diode or a diode-connected transistor is applied. Also good.

図1と同様に動作するものであれば、各トランジスタの配置および数などは図1に限定されない。図1(A)のフリップフロップの動作を説明した図3から分かるように、本実施の形態では、セット期間、選択期間、リセット期間、非選択期間は、それぞれ図3(A)〜図3(D)に示す実線のように導通がとれていればよい。よって、これを満たすようにトランジスタなどを配置し、動作させうる構成であれば、トランジスタ、その他の素子(抵抗素子、容量素子など)、ダイオード、スイッチ、さまざまな論理回路などを新たに配置してもよい。   As long as the transistor operates in the same manner as in FIG. 1, the arrangement and number of transistors are not limited to those in FIG. 1. As can be seen from FIG. 3 illustrating the operation of the flip-flop in FIG. 1A, in this embodiment, the set period, the selection period, the reset period, and the non-selection period are respectively shown in FIGS. It suffices that conduction is obtained as shown by the solid line in D). Therefore, transistors and other elements can be arranged and operated so as to satisfy this requirement. Transistors, other elements (such as resistance elements and capacitor elements), diodes, switches, and various logic circuits are newly arranged. Also good.

さらに、図1と同様に動作するものであれば、本実施の形態のフリップフロップの駆動タイミングは、図2のタイミングチャートに限定されない。   Furthermore, the driving timing of the flip-flop of this embodiment mode is not limited to the timing chart of FIG. 2 as long as it operates similarly to FIG.

例えば、図6のタイミングチャートに示すように、第1の配線121、第2の配線122、第5の配線125にH信号を入力する期間を短くしてもよい。図6は、図2のタイミングチャートと比較して、信号がLレベルからHレベルに切り替わるタイミングが期間Ta1だけ遅延し、信号がHレベルからLレベルに切り替わるタイミングが期間Ta2だけ早くなっている。したがって、図6のタイミングチャートを適用したフリップフロップは、各配線の瞬間電流が小さくなるため、省電力化、誤動作の抑制、動作効率の向上などを図ることができる。さらに、図6のタイミングチャートを適用したフリップフロップは、リセット期間において、第3の配線123から出力される信号の立ち下がり時間を短くできる。なぜなら、ノード141の電位がLレベルとなるタイミングが、期間Ta1+期間Ta2だけ遅延するので、第5の配線125に入力されているL信号が、電流能力の大きい(チャネル幅が大きい)第1のトランジスタ101を介して第3の配線123に供給されるからである。なお、図2のタイミングチャートと共通するところは、共通の符号を用いてその説明を省略する。   For example, as illustrated in the timing chart of FIG. 6, the period during which an H signal is input to the first wiring 121, the second wiring 122, and the fifth wiring 125 may be shortened. In FIG. 6, the timing at which the signal switches from the L level to the H level is delayed by the period Ta1, and the timing at which the signal switches from the H level to the L level is advanced by the period Ta2, as compared with the timing chart of FIG. Therefore, in the flip-flop to which the timing chart of FIG. 6 is applied, the instantaneous current of each wiring is small, so that power saving, malfunction prevention, and improvement in operation efficiency can be achieved. Further, the flip-flop to which the timing chart of FIG. 6 is applied can shorten the fall time of the signal output from the third wiring 123 in the reset period. This is because the timing at which the potential of the node 141 becomes the L level is delayed by the period Ta1 + the period Ta2, so that the L signal input to the fifth wiring 125 has a large current capability (a large channel width). This is because the voltage is supplied to the third wiring 123 through the transistor 101. Note that portions common to the timing chart of FIG. 2 are denoted by common reference numerals and description thereof is omitted.

期間Ta1、期間Ta2および期間Tbの関係は、((Ta1+Tb)/(Ta1+Ta2+Tb))×100<10[%]とすることが望ましい。より望ましくは、((Ta1+Tb)/(Ta1+Ta2+Tb))×100<5[%]とすることが望ましい。さらに、期間Ta1≒期間Ta2とすることが望ましい。   The relationship between the period Ta1, the period Ta2, and the period Tb is preferably ((Ta1 + Tb) / (Ta1 + Ta2 + Tb)) × 100 <10 [%]. More desirably, ((Ta1 + Tb) / (Ta1 + Ta2 + Tb)) × 100 <5 [%] is desirable. Further, it is desirable that the period Ta1≈the period Ta2.

図1と同様に動作するものであれば、第1の配線121〜第11の配線131は、自由に接続することができる。例えば、図5(A)に示すように、第2のトランジスタ102の第1の電極、第4のトランジスタ104の第1の電極、第6のトランジスタ106の第1の電極、第7のトランジスタ107の第1の電極および第8のトランジスタ108の第1の電極が、第6の配線506に接続されてもよい。さらに、第5のトランジスタ105の第1の電極、第3のトランジスタ103の第1の電極および第3のトランジスタ103のゲート電極が、第5の配線505に接続されてもよい。また、図5(B)に示すように、第3のトランジスタ103の第1の電極および第3のトランジスタ103のゲート電極が、第7の配線507に接続されてもよい。ここで、第1の配線501、第2の配線502、第3の配線503および第4の配線504は、図1(A)の第1の配線121、第2の配線122、第3の配線123および第5の配線125に相当する。   The first wiring 121 to the eleventh wiring 131 can be freely connected as long as they operate in the same manner as in FIG. For example, as illustrated in FIG. 5A, the first electrode of the second transistor 102, the first electrode of the fourth transistor 104, the first electrode of the sixth transistor 106, and the seventh transistor 107 The first electrode of the eighth transistor 108 and the first electrode of the eighth transistor 108 may be connected to the sixth wiring 506. Further, the first electrode of the fifth transistor 105, the first electrode of the third transistor 103, and the gate electrode of the third transistor 103 may be connected to the fifth wiring 505. In addition, as illustrated in FIG. 5B, the first electrode of the third transistor 103 and the gate electrode of the third transistor 103 may be connected to the seventh wiring 507. Here, the first wiring 501, the second wiring 502, the third wiring 503, and the fourth wiring 504 are the first wiring 121, the second wiring 122, and the third wiring in FIG. 123 and the fifth wiring 125.

図5(A)、(B)のフリップフロップは、配線数を削減できるため、歩留まりの向上およびレイアウト面積の縮小を図ることができる。さらに、図5(A)、(B)のフリップフロップは、信頼性の向上および動作効率の向上を図ることができる。さらに、図5(B)のフリップフロップは、第6の配線506に供給する電位を小さくできるため、第2のトランジスタ102および第6のトランジスタ106のしきい値電圧のシフトを抑制できる。   The flip-flops in FIGS. 5A and 5B can reduce the number of wirings, so that yield can be improved and layout area can be reduced. Further, the flip-flops in FIGS. 5A and 5B can improve reliability and operating efficiency. Further, since the flip-flop in FIG. 5B can reduce the potential supplied to the sixth wiring 506, a shift in threshold voltage of the second transistor 102 and the sixth transistor 106 can be suppressed.

図5(A)に示したフリップフロップの上面図の一例を図29に示す。導電層2901は、第1のトランジスタ101の第1の電極として機能する部分を含み、配線2951を介して第4の配線504と接続される。導電層2902は第1のトランジスタ101の第2の電極として機能する部分を含み、配線2952を介して第3の配線503と接続される。導電層2903は、第1のトランジスタ101のゲート電極、および第4のトランジスタ104のゲート電極として機能する部分を含む。導電層2904は、第2のトランジスタ102の第1の電極、第6のトランジスタ106の第1の電極、第4のトランジスタ104の第1の電極、および第8のトランジスタ108の第1の電極として機能する部分を含み、第6の配線506と接続される。導電層2905は、第2のトランジスタ102の第2の電極として機能する部分を含み、配線2954を介して第3の配線503と接続される。導電層2906は第2のトランジスタ102のゲート電極、および第6のトランジスタ106のゲート電極として機能する部分を含む。導電層2907は、第3のトランジスタ103の第1の電極として機能する部分を含み、配線2955を介して第5の配線505と接続される。導電層2908は、第3のトランジスタ103の第2の電極、および第4のトランジスタ104の第2の電極として機能する部分を含み、配線2956を介して導電層2906と接続される。導電層2909は、第3のトランジスタ103のゲート電極として機能する部分を含み、配線2955を介して第5の配線505と接続される。導電層2910は、第5のトランジスタ105の第1の電極として機能する部分を含み、配線2959を介して第5の配線505と接続される。導電層2911は、第5のトランジスタ105の第2の電極、および第7のトランジスタ107の第2の電極として機能する部分を含み、配線2958を介して導電層2903と接続される。導電層2912は、第5のトランジスタ105のゲート電極として機能する部分を含み、配線2960を介して第1の配線501と接続される。導電層2913は、第6のトランジスタ106の第2の電極として機能する部分を含み、配線2957を介して導電層2903と接続される。導電層2914は、第7のトランジスタ107のゲート電極として機能する部分を含み、配線2962を介して第2の配線502と接続される。導電層2915は、第8のトランジスタ108のゲート電極として機能する部分を含み、配線2961を介して導電層2912と接続される。導電層2916は、第8のトランジスタ108の第2の電極として機能する部分を含み、配線2953を介して導電層2906と接続される。   FIG. 29 illustrates an example of a top view of the flip-flop illustrated in FIG. The conductive layer 2901 includes a portion functioning as the first electrode of the first transistor 101 and is connected to the fourth wiring 504 through the wiring 2951. The conductive layer 2902 includes a portion functioning as the second electrode of the first transistor 101 and is connected to the third wiring 503 through the wiring 2952. The conductive layer 2903 includes a portion functioning as the gate electrode of the first transistor 101 and the gate electrode of the fourth transistor 104. The conductive layer 2904 serves as the first electrode of the second transistor 102, the first electrode of the sixth transistor 106, the first electrode of the fourth transistor 104, and the first electrode of the eighth transistor 108. It includes a functioning portion and is connected to the sixth wiring 506. The conductive layer 2905 includes a portion functioning as the second electrode of the second transistor 102 and is connected to the third wiring 503 through the wiring 2954. The conductive layer 2906 includes a portion functioning as the gate electrode of the second transistor 102 and the gate electrode of the sixth transistor 106. The conductive layer 2907 includes a portion functioning as the first electrode of the third transistor 103 and is connected to the fifth wiring 505 through the wiring 2955. The conductive layer 2908 includes a portion functioning as the second electrode of the third transistor 103 and the second electrode of the fourth transistor 104, and is connected to the conductive layer 2906 through the wiring 2956. The conductive layer 2909 includes a portion functioning as the gate electrode of the third transistor 103 and is connected to the fifth wiring 505 through the wiring 2955. The conductive layer 2910 includes a portion functioning as the first electrode of the fifth transistor 105 and is connected to the fifth wiring 505 through the wiring 2959. The conductive layer 2911 includes a portion functioning as the second electrode of the fifth transistor 105 and the second electrode of the seventh transistor 107, and is connected to the conductive layer 2903 through the wiring 2958. The conductive layer 2912 includes a portion functioning as the gate electrode of the fifth transistor 105 and is connected to the first wiring 501 through the wiring 2960. The conductive layer 2913 includes a portion functioning as the second electrode of the sixth transistor 106 and is connected to the conductive layer 2903 through the wiring 2957. The conductive layer 2914 includes a portion functioning as the gate electrode of the seventh transistor 107 and is connected to the second wiring 502 through the wiring 2962. The conductive layer 2915 includes a portion functioning as the gate electrode of the eighth transistor 108 and is connected to the conductive layer 2912 through a wiring 2961. The conductive layer 2916 includes a portion functioning as the second electrode of the eighth transistor 108 and is connected to the conductive layer 2906 through the wiring 2953.

ここで、配線2962は、配線2951、配線2952、配線2953、配線2954、配線2955、配線2956、配線2957、配線2958、配線2959、配線2960または配線2961よりも、配線の幅が小さいことを特徴とする。あるいは、配線の長さが大きいことを特徴とする。つまり、配線2962の抵抗値を大きくすることを特徴とする。こうすることで、リセット期間において、導電層2914の電位が、Hレベルになるタイミングを遅延させることができる。よって、リセット期間において、第7のトランジスタ107がオンするタイミングを遅延させることができるので、第3の配線503の信号を早くLレベルにすることができる。なぜなら、ノード141がLレベルになるタイミングが遅延し、その遅延の期間にL信号が第1のトランジスタ101を介して、第3の配線503に供給されるからである。 Here, the wiring 2962 is smaller in width than the wiring 2951, the wiring 2952, the wiring 2953, the wiring 2954, the wiring 2955, the wiring 2955, the wiring 2957, the wiring 2958, the wiring 2959, the wiring 2960, or the wiring 2961. And Alternatively, the length of the wiring is large. That is, the resistance value of the wiring 2962 is increased. Thus, the timing at which the potential of the conductive layer 2914 becomes H level can be delayed in the reset period. Accordingly, the timing at which the seventh transistor 107 is turned on can be delayed in the reset period, so that the signal of the third wiring 503 can be quickly set to the L level. This is because the timing at which the node 141 becomes L level is delayed, and the L signal is supplied to the third wiring 503 through the first transistor 101 during the delay period.

なお、配線2951、配線2952、配線2953、配線2054、配線2955、配線2956、配線2957、配線2958、配線2959、配線2960、配線2961および配線2962は、画素電極(または透明電極、反射電極ともいう)と同様なものであり、同様のプロセスおよび材料によって形成されている。 Note that the wiring 2951, the wiring 2952, the wiring 2953, the wiring 2054, the wiring 2955, the wiring 2957, the wiring 2957, the wiring 2958, the wiring 2959, the wiring 2960, the wiring 2961, and the wiring 2962 are also referred to as pixel electrodes (or transparent electrodes or reflective electrodes). ) And is formed by similar processes and materials.

第1のトランジスタ101のゲート電極、第1の電極および第2の電極として機能する部分は、それぞれを含む導電層と半導体層2981とが重なって形成される部分である。第2のトランジスタ102のゲート電極、第1の電極および第2の電極として機能する部分は、それぞれを含む導電層と半導体層2982とが重なって形成される部分である。第3のトランジスタ103のゲート電極、第1の電極および第2の電極として機能する部分は、それぞれを含む導電層と半導体層2983とが重なって形成される部分である。第4のトランジスタ104のゲート電極、第1の電極および第2の電極として機能する部分は、それぞれを含む導電層と半導体層2984とが重なって形成される部分である。第5のトランジスタ105のゲート電極、第1の電極および第2の電極として機能する部分は、それぞれを含む導電層と半導体層2985とが重なって形成される部分である。第6のトランジスタ106のゲート電極、第1の電極および第2の電極として機能する部分は、それぞれを含む導電層と半導体層2986とが重なって形成される部分である。第7のトランジスタ107のゲート電極、第1の電極および第2の電極として機能する部分は、それぞれを含む導電層と半導体層2987とが重なって形成される部分である。第8のトランジスタ108のゲート電極、第1の電極および第2の電極として機能する部分は、それぞれを含む導電層と半導体層2988とが重なって形成される部分である。   The portions functioning as the gate electrode, the first electrode, and the second electrode of the first transistor 101 are portions where a conductive layer including each of them overlaps with the semiconductor layer 2981. The portions functioning as the gate electrode, the first electrode, and the second electrode of the second transistor 102 are portions where a conductive layer including each of them overlaps with the semiconductor layer 2982. The portions functioning as the gate electrode, the first electrode, and the second electrode of the third transistor 103 are portions where a conductive layer including each of them overlaps with the semiconductor layer 2983. The portions functioning as the gate electrode, the first electrode, and the second electrode of the fourth transistor 104 are portions where a conductive layer including each of them overlaps with the semiconductor layer 2984. The portions functioning as the gate electrode, the first electrode, and the second electrode of the fifth transistor 105 are portions where a conductive layer including each of them overlaps with the semiconductor layer 2985. The portions functioning as the gate electrode, the first electrode, and the second electrode of the sixth transistor 106 are portions where a conductive layer including each of them overlaps with the semiconductor layer 2986. The portions functioning as the gate electrode, the first electrode, and the second electrode of the seventh transistor 107 are portions where a conductive layer including each of them overlaps with the semiconductor layer 2987. The portions functioning as the gate electrode, the first electrode, and the second electrode of the eighth transistor 108 are portions where a conductive layer including each of them overlaps with the semiconductor layer 2988.

続いて、上述した本実施の形態のフリップフロップを有するシフトレジスタの構成および駆動方法について説明する。   Next, a structure and driving method of the shift register including the flip-flop of this embodiment described above will be described.

本実施の形態のシフトレジスタの構成について図7を参照して説明する。図7のシフトレジスタは、n個のフリップフロップ(フリップフロップ701_1〜フリップフロップ701_n)を有する。   A structure of the shift register of this embodiment is described with reference to FIG. The shift register in FIG. 7 includes n flip-flops (flip-flops 701_1 to 701_n).

図7のシフトレジスタの接続関係について説明する。図7のシフトレジスタにおいて、i段目のフリップフロップ701_i(フリップフロップ701_1〜フリップフロップ701_nのうちいずれか一)は、図1(A)に示した第1の配線121が、第7の配線717_i−1に接続される。図1(A)に示した第2の配線122が、第7の配線717_i+1に接続される。図1(A)に示した第3の配線123が、第7の配線717_iに接続される。図1(A)に示した第4の配線124、第8の配線128、第9の配線129、第10の配線130および第11の配線131が、第5の配線715に接続される。図1(A)に示した第5の配線125が、奇数段目のフリップフロップでは第2の配線712に接続され、偶数段目のフリップフロップでは第3の配線713に接続される。図1(A)に示した第6の配線126および第7の配線127が、第4の配線714に接続される。1段目のフリップフリップ701_1の図1(A)に示す第1の配線121は、第1の配線711に接続される。また、n段目のフリップフロップ701_nの図1(A)に示す第2の配線122は、第6の配線716に接続される。   Connection relations of the shift register in FIG. 7 are described. In the shift register in FIG. 7, the i-th flip-flop 701 </ b> _i (any one of the flip-flops 701 </ b> _ <b> 1 to 701 </ b> _n) has the first wiring 121 illustrated in FIG. -1. The second wiring 122 illustrated in FIG. 1A is connected to the seventh wiring 717 — i + 1. The third wiring 123 illustrated in FIG. 1A is connected to the seventh wiring 717 — i. The fourth wiring 124, the eighth wiring 128, the ninth wiring 129, the tenth wiring 130, and the eleventh wiring 131 illustrated in FIG. 1A are connected to the fifth wiring 715. The fifth wiring 125 illustrated in FIG. 1A is connected to the second wiring 712 in the odd-numbered flip-flops and connected to the third wiring 713 in the even-numbered flip-flops. The sixth wiring 126 and the seventh wiring 127 illustrated in FIG. 1A are connected to the fourth wiring 714. The first wiring 121 illustrated in FIG. 1A of the first flip-flop 701_1 is connected to the first wiring 711. Further, the second wiring 122 illustrated in FIG. 1A of the n-th flip-flop 701 — n is connected to the sixth wiring 716.

第1の配線711、第2の配線712、第3の配線713、第6の配線716を、それぞれ第1の信号線、第2の信号線、第3の信号線、第4の信号線と呼んでもよい。さらに、第4の配線714、第5の配線715を、それぞれ第1の電源線、第2の電源線と呼んでもよい。   The first wiring 711, the second wiring 712, the third wiring 713, and the sixth wiring 716 are respectively connected to the first signal line, the second signal line, the third signal line, and the fourth signal line. You may call it. Further, the fourth wiring 714 and the fifth wiring 715 may be referred to as a first power supply line and a second power supply line, respectively.

次に、図10に示したシフトレジスタの動作について、図8のタイミングチャートおよび図9のタイミングチャートを参照して説明する。図8のタイミングチャートは、走査期間と帰線期間に分割されている。走査期間は、第7の配線717_1からの選択信号の出力が開始されて、第7の配線717_nからの選択信号の出力が終了するまでの期間である。帰線期間は、第7の配線717_nからの選択信号の出力が終了して、第7の配線717_1からの選択信号の出力が開始されるまでの期間である。   Next, operation of the shift register illustrated in FIG. 10 is described with reference to a timing chart in FIG. 8 and a timing chart in FIG. The timing chart of FIG. 8 is divided into a scanning period and a blanking period. The scan period is a period from when the selection signal is output from the seventh wiring 717_1 to when the selection signal is output from the seventh wiring 717_n. The blanking period is a period from when the output of the selection signal from the seventh wiring 717 — n is finished until the output of the selection signal from the seventh wiring 717 — 1 is started.

第4の配線714にはV1の電位が供給され、第5の配線715にはV2の電位が供給される。   The fourth wiring 714 is supplied with the potential V1, and the fifth wiring 715 is supplied with the potential V2.

第1の配線711、第2の配線712、第3の配線713および第6の配線716には、それぞれ図8に示す信号811、信号812、信号813および信号816が入力される。ここで、信号811、信号812、信号813および信号816は、H信号の電位がV1、L信号の電位がV2のデジタル信号である。さらに、信号811、信号812、信号813および信号816を、それぞれスタート信号、第1のクロック信号、第2のクロック信号(反転クロック信号)およびリセット信号と呼んでもよい。   The signal 811, the signal 812, the signal 813, and the signal 816 illustrated in FIG. 8 are input to the first wiring 711, the second wiring 712, the third wiring 713, and the sixth wiring 716, respectively. Here, the signal 811, the signal 812, the signal 813, and the signal 816 are digital signals in which the potential of the H signal is V1 and the potential of the L signal is V2. Further, the signal 811, the signal 812, the signal 813, and the signal 816 may be referred to as a start signal, a first clock signal, a second clock signal (inverted clock signal), and a reset signal, respectively.

ただし、第1の配線711〜第6の配線716には、それぞれさまざまな信号、電位および電流が入力されてもよい。   Note that various signals, potentials, and currents may be input to the first wiring 711 to the sixth wiring 716, respectively.

第7の配線717_1〜第7の配線717_nからは、それぞれH信号の電位がV1、L信号の電位がV2の、デジタル信号817_1〜817_nが出力される。ただし、図10に示すように、第7の配線717_1〜第7の配線717_nから、それぞれバッファ1001_1〜バッファ1001_nを介して信号が出力されてもよい。図10のシフトレジスタは、シフトレジスタの出力信号と、各フリップフロップの転送信号と、を分割できるので、動作させやすい。   From the seventh wiring 717_1 to the seventh wiring 717_n, digital signals 817_1 to 817_n in which the potential of the H signal is V1 and the potential of the L signal is V2 are output, respectively. Note that as illustrated in FIG. 10, signals may be output from the seventh wiring 717_1 to the seventh wiring 717_n through the buffers 1001_1 to 1001_n, respectively. The shift register in FIG. 10 can be easily operated because the output signal of the shift register and the transfer signal of each flip-flop can be divided.

図10に示すシフトレジスタが有するバッファ1001_1〜バッファ1001_nの一例について、図99(A)および図99(B)を参照して説明する。図99(A)に示すバッファ8000は、配線8011と配線8012の間にインバータ8001a、インバータ8001bおよびインバータ8001cが接続されることで、配線8011に入力される信号の反転信号が、配線8012から出力される。ただし、配線8011と配線8012の間に接続されるインバータの数に限定はなく、例えば配線8011と配線8012の間に偶数個のインバータが接続される場合は、配線8011に入力される信号と同じ極性の信号が配線8012から出力される。さらに、図99(B)のバッファ8100に示すように、直列に接続されたインバータ8002a、インバータ8002bおよびインバータ8002cと、直列に配置されたインバータ8003a、インバータ8003bおよびインバータ8003cが、並列に接続されてもよい。図99(B)のバッファ8100は、トランジスタの特性のバラツキを平均化できるため、配線8012から出力される信号の遅延およびなまりを低減できる。さらに、インバータ8002aおよびインバータ8003aの出力、ならびにインバータ8002bおよびインバータ8003bの出力は、接続されてもよい。   Examples of the buffers 1001_1 to 1001_n included in the shift register illustrated in FIG. 10 are described with reference to FIGS. 99A and 99B. In the buffer 8000 illustrated in FIG. 99A, the inverter 8001a, the inverter 8001b, and the inverter 8001c are connected between the wiring 8011 and the wiring 8012, so that an inverted signal of the signal input to the wiring 8011 is output from the wiring 8012. Is done. However, the number of inverters connected between the wiring 8011 and the wiring 8012 is not limited. For example, when an even number of inverters are connected between the wiring 8011 and the wiring 8012, the same signal as the signal input to the wiring 8011 is used. A polarity signal is output from the wiring 8012. Further, as shown in a buffer 8100 in FIG. 99B, an inverter 8002a, an inverter 8002b, and an inverter 8002c connected in series, and an inverter 8003a, an inverter 8003b, and an inverter 8003c arranged in series are connected in parallel. Also good. The buffer 8100 in FIG. 99B can average variation in transistor characteristics, so that delay and rounding of a signal output from the wiring 8012 can be reduced. Further, the outputs of inverter 8002a and inverter 8003a and the outputs of inverter 8002b and inverter 8003b may be connected.

図99(A)において、インバータ8001aが有するトランジスタのW<インバータ8001bが有するトランジスタのW<インバータ8001cが有するトランジスタのW、とすることが好ましい。なぜなら、インバータ8001aが有するトランジスタのWが小さいことで、フリップフロップの駆動能力(具体的には図1(A)のトランジスタ101のW/Lの値)を小さくできるので、本発明のシフトレジスタのレイアウト面積を小さくできるからである。同様に、図99(B)において、インバータ8002aが有するトランジスタのW<インバータ8002bが有するトランジスタのW<インバータ8002cが有するトランジスタのW、とすることが好ましい。同様に、図99(B)において、インバータ8003aが有するトランジスタのW<インバータ8003bが有するトランジスタのW<インバータ8003cが有するトランジスタのW、とすることが好ましい。さらに、インバータ8002aが有するトランジスタのW=インバータ8003aが有するトランジスタのW、インバータ8002bが有するトランジスタのW=インバータ8003bが有するトランジスタのW、インバータ8002cが有するトランジスタのW=インバータ8003cが有するトランジスタのW、とすることが好ましい。   99A, it is preferable that W of the transistor included in the inverter 8001a <W of the transistor included in the inverter 8001b <W of the transistor included in the inverter 8001c. This is because when the transistor W included in the inverter 8001a is small, the driving capability of the flip-flop (specifically, the W / L value of the transistor 101 in FIG. 1A) can be reduced. This is because the layout area can be reduced. Similarly, in FIG. 99B, it is preferable that W of the transistor included in the inverter 8002a <W of the transistor included in the inverter 8002b <W of the transistor included in the inverter 8002c. Similarly, in FIG. 99B, it is preferable that W of the transistor included in the inverter 8003a <W of the transistor included in the inverter 8003b <W of the transistor included in the inverter 8003c. Further, W of the transistor included in the inverter 8002a = W of the transistor included in the inverter 8003a, W of the transistor included in the inverter 8002b = W of the transistor included in the inverter 8003b, W of the transistor included in the inverter 8002c = W of the transistor included in the inverter 8003c, It is preferable that

図99(A)および図99(B)に示すインバータとしては、入力された信号を反転して出力できるものであれば特に限定されない。例えば、図99(C)に示すように、第1のトランジスタ8201および第2のトランジスタ8202によって、インバータを構成してもよい。さらに、第1の配線8211には信号が入力され、第2の配線8212からは信号が出力され、第3の配線8213にはV1が供給され、第4の配線8214にはV2が供給される。図99(C)のインバータは、第1の配線8211にH信号を入力すると、V1−V2を第1のトランジスタ8201と第2のトランジスタ8202で分割した電位(第1のトランジスタ8201のW/L<第2のトランジスタ8202のW/L)を、第2の配線8212から出力する。さらに、図99(C)のインバータは、第1の配線8211にL信号を入力すると、V1−Vth8201(Vth8201:第1のトランジスタ8201のしきい値電圧)を第2の配線8212から出力する。さらに、第1のトランジスタ8201は抵抗成分を有する素子であれば、PN接合ダイオードでもよいし、単に抵抗素子でもよい。   There is no particular limitation on the inverter illustrated in FIGS. 99A and 99B as long as it can output an inverted signal. For example, as illustrated in FIG. 99C, an inverter may be formed using the first transistor 8201 and the second transistor 8202. Further, a signal is input to the first wiring 8211, a signal is output from the second wiring 8212, V1 is supplied to the third wiring 8213, and V2 is supplied to the fourth wiring 8214. . In the inverter in FIG. 99C, when an H signal is input to the first wiring 8211, a potential obtained by dividing V1-V2 by the first transistor 8201 and the second transistor 8202 (W / L of the first transistor 8201 <W / L of the second transistor 8202) is output from the second wiring 8212. Further, when the L signal is input to the first wiring 8211, the inverter in FIG. 99C outputs V1−Vth8201 (Vth8201: threshold voltage of the first transistor 8201) from the second wiring 8212. Further, the first transistor 8201 may be a PN junction diode or simply a resistance element as long as it is an element having a resistance component.

図99(D)に示すように、第1のトランジスタ8301、第2のトランジスタ8302、第3のトランジスタ8303および第4のトランジスタ8304によってインバータを構成してもよい。第1の配線8311には信号が入力され、第2の配線8312からは信号が出力され、第3の配線8313および第5の配線8315にはV1が供給され、第4の配線8314および第6の配線8316にはV2が供給される。図99(D)のインバータは、第1の配線8311にH信号を入力すると、V2を第2の配線8312から出力する。このとき、ノード8341は電位をLレベルとするため、第1のトランジスタ8301はオフする。さらに、図99(D)のインバータは、第1の配線8311にL信号を入力すると、V1を第2の配線8312から出力する。このとき、ノード8341の電位が、V1−Vth8303(Vth8303:第3のトランジスタ8303のしきい値電圧)となると、ノード8341が浮遊状態となる。その結果、ノード8341の電位が、ブートストラップ動作によってV1+Vth8301(Vth8301:第1のトランジスタ8301のしきい値電圧)よりも高くなるので、第1のトランジスタ8301はオンする。さらに、第1のトランジスタ8301は、ブートストラップ用トランジスタとして機能するため、第2の電極とゲート電極との間に容量素子が配置されてもよい。   As shown in FIG. 99D, an inverter may be formed using the first transistor 8301, the second transistor 8302, the third transistor 8303, and the fourth transistor 8304. A signal is input to the first wiring 8311, a signal is output from the second wiring 8312, V1 is supplied to the third wiring 8313 and the fifth wiring 8315, and the fourth wiring 8314 and the sixth wiring 8315 The wiring 8316 is supplied with V2. The inverter in FIG. 99D outputs V2 from the second wiring 8312 when an H signal is input to the first wiring 8311. At this time, since the potential of the node 8341 is set to the L level, the first transistor 8301 is turned off. Further, when the L signal is input to the first wiring 8311, the inverter in FIG. 99D outputs V1 from the second wiring 8312. At this time, when the potential of the node 8341 becomes V1−Vth8303 (Vth8303: threshold voltage of the third transistor 8303), the node 8341 is in a floating state. As a result, the potential of the node 8341 becomes higher than V1 + Vth8301 (Vth8301: threshold voltage of the first transistor 8301) by the bootstrap operation, so that the first transistor 8301 is turned on. Further, since the first transistor 8301 functions as a bootstrap transistor, a capacitor may be provided between the second electrode and the gate electrode.

図30(A)に示すように、第1のトランジスタ8401、第2のトランジスタ8402、第3のトランジスタ8403および第4のトランジスタ8404によってインバータを構成してもよい。図30(A)のインバータは、2入力型のインバータであり、ブートストラップ動作が可能である。第1の配線8411には信号が入力され、第2の配線8412には反転信号が入力され、第3の配線8413からは信号が出力される。第4の配線8414および第6の配線8416にはV1が供給され、第5の配線8415および第7の配線8417にはV2が供給される。図30(A)のインバータは、第1の配線8411にL信号、第2の配線8412にH信号を入力すると、V2を第3の配線8413から出力する。このとき、ノード8441の電位はV2となるため、第1のトランジスタ8401はオフする。さらに、図30(A)のインバータは、第1の配線8411にH信号、第2の配線8412にL信号を入力すると、V1を第3の配線8413から出力する。このとき、ノード8441の電位がV1−Vth8403(Vth8403:第3のトランジスタ8403のしきい値電圧)となると、ノード8441が浮遊状態となる。その結果、ノード8441の電位が、ブートストラップ動作によってV1+Vth8401(Vth8401:第1のトランジスタ8401のしきい値電圧)よりも高くなるので、第1のトランジスタ8401はオンする。さらに、第1のトランジスタ8401は、ブートストラップ用トランジスタとして機能するため、第2の電極とゲート電極の間に容量素子が配置されてもよい。さらに、第1の配線8411および第2の配線8412のうち一方には、図1(A)に示す第3の配線123を接続し、他方には図1(A)に示すノード142を接続するとよい。   As shown in FIG. 30A, an inverter may be formed using the first transistor 8401, the second transistor 8402, the third transistor 8403, and the fourth transistor 8404. The inverter in FIG. 30A is a two-input inverter and can perform a bootstrap operation. A signal is input to the first wiring 8411, an inverted signal is input to the second wiring 8412, and a signal is output from the third wiring 8413. V1 is supplied to the fourth wiring 8414 and the sixth wiring 8416, and V2 is supplied to the fifth wiring 8415 and the seventh wiring 8417. The inverter in FIG. 30A outputs V2 from the third wiring 8413 when an L signal is input to the first wiring 8411 and an H signal is input to the second wiring 8412. At this time, since the potential of the node 8441 is V2, the first transistor 8401 is turned off. Further, when the H signal is input to the first wiring 8411 and the L signal is input to the second wiring 8412, the inverter in FIG. 30A outputs V1 from the third wiring 8413. At this time, when the potential of the node 8441 becomes V1−Vth8403 (Vth8403: threshold voltage of the third transistor 8403), the node 8441 is in a floating state. As a result, the potential of the node 8441 becomes higher than V1 + Vth8401 (Vth8401: threshold voltage of the first transistor 8401) by the bootstrap operation, so that the first transistor 8401 is turned on. Further, since the first transistor 8401 functions as a bootstrap transistor, a capacitor may be provided between the second electrode and the gate electrode. Further, when one of the first wiring 8411 and the second wiring 8412 is connected to the third wiring 123 illustrated in FIG. 1A and the other is connected to the node 142 illustrated in FIG. Good.

図30(B)に示すように、第1のトランジスタ8501、第2のトランジスタ8502および第3のトランジスタ8503によって、インバータを構成してもよい。図30(B)のインバータは、2入力型のインバータであり、ブートストラップ動作が可能である。第1の配線8511には信号が入力され、第2の配線8512には反転信号が入力され、第3の配線8513からは信号が出力される。第4の配線8514および第6の配線8516にはV1が供給され、第5の配線8515にはV2が供給される。図30(B)のインバータは、第1の配線8511にL信号、第2の配線8512にH信号を入力すると、V2を第3の配線8513から出力する。このとき、ノード8541の電位はV2となるため、第1のトランジスタ8501はオフする。さらに、図30(B)のインバータは、第1の配線8511にH信号、第2の配線8512にL信号を入力すると、V1を第3の配線8513から出力する。このとき、ノード8541の電位がV1−Vth8503(Vth8503:第3のトランジスタ8503のしきい値電圧)となると、ノード8541が浮遊状態となる。その結果、ノード8541の電位が、ブートストラップ動作によってV1+Vth8501(Vth8501:第1のトランジスタ8501のしきい値電圧)よりも高くなるので、第1のトランジスタ8501はオンする。さらに、第1のトランジスタ8501は、ブートストラップ用トランジスタとして機能するため、第2の電極とゲート電極との間に容量素子が配置されてもよい。さらに、第1の配線8511および第2の配線8512のうち一方には、図1(A)に示す第3の配線123を接続し、他方には図1(A)に示すノード142を接続するとよい。   As shown in FIG. 30B, an inverter may be formed using the first transistor 8501, the second transistor 8502, and the third transistor 8503. The inverter in FIG. 30B is a two-input inverter and can perform a bootstrap operation. A signal is input to the first wiring 8511, an inverted signal is input to the second wiring 8512, and a signal is output from the third wiring 8513. V1 is supplied to the fourth wiring 8514 and the sixth wiring 8516, and V2 is supplied to the fifth wiring 8515. The inverter in FIG. 30B outputs V2 from the third wiring 8513 when an L signal is input to the first wiring 8511 and an H signal is input to the second wiring 8512. At this time, since the potential of the node 8541 is V2, the first transistor 8501 is turned off. Further, when the H signal is input to the first wiring 8511 and the L signal is input to the second wiring 8512, the inverter in FIG. 30B outputs V1 from the third wiring 8513. At this time, when the potential of the node 8541 becomes V1−Vth8503 (Vth8503: the threshold voltage of the third transistor 8503), the node 8541 is in a floating state. As a result, the potential of the node 8541 becomes higher than V1 + Vth8501 (Vth8501: the threshold voltage of the first transistor 8501) by the bootstrap operation, so that the first transistor 8501 is turned on. Further, since the first transistor 8501 functions as a bootstrap transistor, a capacitor may be provided between the second electrode and the gate electrode. Further, when one of the first wiring 8511 and the second wiring 8512 is connected to the third wiring 123 illustrated in FIG. 1A and the other is connected to the node 142 illustrated in FIG. Good.

図30(C)に示すように、第1のトランジスタ8601、第2のトランジスタ8602、第3のトランジスタ8603および第4のトランジスタ8604によって、インバータを構成してもよい。図30(C)のインバータは、2入力型のインバータであり、ブートストラップ動作が可能である。さらに、第1の配線8611には信号が入力され、第2の配線8612には反転信号が入力され、第3の配線8613からは信号が出力される。第4の配線8614にはV1が供給され、第5の配線8615および第6の配線8616にはV2が供給される。図30(C)のインバータは、第1の配線8611にL信号、第2の配線8612にH信号を入力すると、V2を第3の配線8613から出力する。このとき、ノード8641の電位はV2となるため、第1のトランジスタ8601はオフする。さらに、図30(C)のインバータは、第1の配線8611にH信号、第2の配線8612にL信号を入力すると、V1を第3の配線8613から出力する。このとき、ノード8641の電位がV1−Vth8603(Vth8603:第3のトランジスタ8603のしきい値電圧)となると、ノード8641が浮遊状態となる。その結果、ノード8641の電位が、ブートストラップ動作によってV1+Vth8601(Vth8601:第1のトランジスタ8601のしきい値電圧)よりも高くなるので、第1のトランジスタ8601はオンする。第1のトランジスタ8601は、ブートストラップ用トランジスタとして機能するため、第2の電極とゲート電極の間に容量素子が配置されてもよい。さらに、第1の配線8611および第2の配線8612のうち一方には、図1(A)に示す第3の配線123を接続し、他方には図1(A)に示すノード142を接続するとよい。   As shown in FIG. 30C, an inverter may be formed using the first transistor 8601, the second transistor 8602, the third transistor 8603, and the fourth transistor 8604. The inverter in FIG. 30C is a two-input inverter and can perform a bootstrap operation. Further, a signal is input to the first wiring 8611, an inverted signal is input to the second wiring 8612, and a signal is output from the third wiring 8613. V1 is supplied to the fourth wiring 8614 and V2 is supplied to the fifth wiring 8615 and the sixth wiring 8616. The inverter in FIG. 30C outputs V2 from the third wiring 8613 when an L signal is input to the first wiring 8611 and an H signal is input to the second wiring 8612. At this time, since the potential of the node 8641 becomes V2, the first transistor 8601 is turned off. Further, when an H signal is input to the first wiring 8611 and an L signal is input to the second wiring 8612, the inverter in FIG. 30C outputs V1 from the third wiring 8613. At this time, when the potential of the node 8641 becomes V1−Vth8603 (Vth8603: the threshold voltage of the third transistor 8603), the node 8641 is in a floating state. As a result, the potential of the node 8641 becomes higher than V1 + Vth8601 (Vth8601: threshold voltage of the first transistor 8601) by the bootstrap operation, so that the first transistor 8601 is turned on. Since the first transistor 8601 functions as a bootstrap transistor, a capacitor may be provided between the second electrode and the gate electrode. Further, when one of the first wiring 8611 and the second wiring 8612 is connected to the third wiring 123 illustrated in FIG. 1A and the other is connected to the node 142 illustrated in FIG. Good.

図7において、フリップフロップ701_iのスタート信号として、第7の配線717_i−1から出力される信号を用い、リセット信号として、第7の配線717_i+1から出力される信号を用いる。フリップフロップ701_1のスタート信号は、第1の配線711から入力される。また、フリップフロップ701_nのリセット信号は、第6の配線716から入力される。ただし、フリップフロップ701_nのリセット信号として、第7の配線717_1から出力される信号を用いてもよいし、第7の配線717_2から出力される信号を用いてもよい。あるいは、ダミーのフリップフロップを新たに配置して、ダミーのフリップフロップの出力信号を用いてもよい。こうすることで、配線数および信号数を減らすことができる。   In FIG. 7, a signal output from the seventh wiring 717 — i−1 is used as a start signal of the flip-flop 701 — i and a signal output from the seventh wiring 717 — i + 1 is used as a reset signal. A start signal of the flip-flop 701_1 is input from the first wiring 711. The reset signal of the flip-flop 701 — n is input from the sixth wiring 716. Note that as the reset signal of the flip-flop 701_n, a signal output from the seventh wiring 717_1 may be used, or a signal output from the seventh wiring 717_2 may be used. Alternatively, a dummy flip-flop may be newly disposed and the output signal of the dummy flip-flop may be used. By doing so, the number of wirings and the number of signals can be reduced.

図9に示すように、例えば、フリップフロップ701_iが選択期間となると、第7の配線717_iからH信号(選択信号)が出力される。このとき、フリップフロップ701_i+1は、セット期間となる。その後、フリップフロップ701_iがリセット期間となって、第7の配線717_iからL信号が出力される。このとき、フリップフロップ701_i+1は、選択期間となる。その後、フリップフロップ701_iが非選択期間となって、第7の配線717_iからL信号が出力されたままとなる。このとき、フリップフロップ701_i+1は、リセット期間となる。   As illustrated in FIG. 9, for example, when the flip-flop 701 — i enters the selection period, an H signal (selection signal) is output from the seventh wiring 717 — i. At this time, the flip-flop 701_i + 1 is in the set period. After that, the flip-flop 701 — i enters the reset period, and the L signal is output from the seventh wiring 717 — i. At this time, the flip-flop 701_i + 1 is in a selection period. After that, the flip-flop 701_i enters a non-selection period, and the L signal remains output from the seventh wiring 717_i. At this time, the flip-flop 701_i + 1 is in the reset period.

こうして、図7のシフトレジスタは、選択信号を第7の配線717_1から順に第7の配線717_nまで出力できる。つまり、図7のシフトレジスタは、第7の配線717_1〜第7の配線717_nを走査できる。   In this manner, the shift register in FIG. 7 can output a selection signal from the seventh wiring 717_1 to the seventh wiring 717_n in order. That is, the shift register in FIG. 7 can scan the seventh wiring 717_1 to the seventh wiring 717_n.

本実施の形態のフリップフロップを適用したシフトレジスタは、高速動作が可能なので、より高精細な表示装置、またはより大型の表示装置に適用できる。さらに、本実施の形態のフリップフロップを適用したシフトレジスタは、工程の簡略化、製造コストの削減および歩留まりの向上を図ることができる。   A shift register to which the flip-flop of this embodiment is applied can operate at high speed, and thus can be applied to a higher-definition display device or a larger display device. Further, in the shift register to which the flip-flop of this embodiment is applied, the process can be simplified, the manufacturing cost can be reduced, and the yield can be improved.

続いて、上述した本実施の形態のシフトレジスタを有する表示装置の構造、および駆動方法について説明する。ただし、本実施の形態の表示装置は、少なくとも本実施の形態のフリップフロップを有していればよい。   Next, a structure and driving method of the display device including the shift register of this embodiment described above will be described. Note that the display device of this embodiment mode includes at least the flip-flop of this embodiment mode.

本実施の形態の表示装置の構成について、図11を参照して説明する。図11の表示装置は、信号線駆動回路1101、走査線駆動回路1102および画素部1104を有する。画素部1104は、信号線駆動回路1101から列方向に伸張して配置された複数の信号線S1〜Sm、走査線駆動回路1102から行方向に伸張して配置された複数の走査線G1〜Gn、および信号線S1〜Smならびに走査線G1〜Gnに対応してマトリクス状に配置された複数の画素1103を有する。そして、各画素1103は、信号線Sj(信号線S1〜Smのうちいずれか一)、走査線Gi(走査線G1〜Gnのうちいずれか一)と接続される。   A structure of the display device of this embodiment is described with reference to FIG. The display device in FIG. 11 includes a signal line driver circuit 1101, a scan line driver circuit 1102, and a pixel portion 1104. The pixel portion 1104 includes a plurality of signal lines S1 to Sm arranged extending from the signal line driver circuit 1101 in the column direction, and a plurality of scanning lines G1 to Gn arranged extending from the scanning line driver circuit 1102 in the row direction. And a plurality of pixels 1103 arranged in a matrix corresponding to the signal lines S1 to Sm and the scanning lines G1 to Gn. Each pixel 1103 is connected to a signal line Sj (any one of the signal lines S1 to Sm) and a scanning line Gi (any one of the scanning lines G1 to Gn).

走査線駆動回路1102として、本実施の形態のシフトレジスタを適用することができる。もちろん、信号線駆動回路1101にも本実施の形態のシフトレジスタを用いてもよい。   As the scan line driver circuit 1102, the shift register of this embodiment can be used. Needless to say, the shift register of this embodiment may also be used for the signal line driver circuit 1101.

走査線G1〜Gnは、図7および図10に示した第7の配線717_1〜第7の配線717_nに接続される。   The scan lines G1 to Gn are connected to the seventh wiring 717_1 to the seventh wiring 717_n illustrated in FIGS.

信号線および走査線は、単に配線と呼んでもよい。さらに、信号線駆動回路1101および走査線駆動回路1102を、それぞれを駆動回路と呼んでもよい。   The signal line and the scanning line may be simply called wiring. Further, each of the signal line driver circuit 1101 and the scan line driver circuit 1102 may be referred to as a driver circuit.

画素1103は、少なくとも1つのスイッチング素子、1つの容量素子および画素電極を有している。ただし、画素1103は、複数のスイッチング素子または複数の容量素子を有していてもよい。さらに、容量素子は、必ずしも必要ではない。画素1103は、飽和領域で動作するトランジスタを有していてもよい。画素1103は、液晶素子またはEL素子などの表示素子を有していてもよい。スイッチング素子としては、トランジスタおよびPN接合ダイオードを用いることができる。ただし、スイッチング素子としてトランジスタを用いる場合は、トランジスタが線形領域で動作することが望ましい。さらに、走査線駆動回路1102が、Nチャネル型のトランジスタのみで構成される場合は、スイッチング素子としてNチャネル型トランジスタを用いることが望ましい。さらに、走査線駆動回路1102が、Pチャネル型のトランジスタのみで構成される場合は、スイッチング素子としてPチャネル型トランジスタを用いることが望ましい。   The pixel 1103 includes at least one switching element, one capacitor element, and a pixel electrode. Note that the pixel 1103 may include a plurality of switching elements or a plurality of capacitor elements. Furthermore, the capacitive element is not always necessary. The pixel 1103 may include a transistor that operates in a saturation region. The pixel 1103 may include a display element such as a liquid crystal element or an EL element. A transistor and a PN junction diode can be used as the switching element. However, when a transistor is used as the switching element, it is preferable that the transistor operates in a linear region. Further, in the case where the scan line driver circuit 1102 includes only N-channel transistors, it is preferable to use N-channel transistors as switching elements. Further, in the case where the scan line driver circuit 1102 includes only P-channel transistors, it is preferable to use P-channel transistors as switching elements.

走査線駆動回路1102および画素部1104は、絶縁基板1105上に形成され、信号線駆動回路1101は、絶縁基板1105上に形成されない。信号線駆動回路1101は、単結晶基板上、SOI基板上または絶縁基板1105とは別の絶縁基板上に形成されている。そして、信号線駆動回路1101は、FPCなどのプリント基板を介して、信号線S1〜Smと接続される。ただし、信号線駆動回路1101は絶縁基板1105上に形成されていてもよいし、信号線駆動回路1101の一部を構成する回路が絶縁基板1105上に形成されてもよい。   The scan line driver circuit 1102 and the pixel portion 1104 are formed over the insulating substrate 1105, and the signal line driver circuit 1101 is not formed over the insulating substrate 1105. The signal line driver circuit 1101 is formed over a single crystal substrate, an SOI substrate, or an insulating substrate different from the insulating substrate 1105. The signal line driver circuit 1101 is connected to the signal lines S1 to Sm via a printed circuit board such as an FPC. Note that the signal line driver circuit 1101 may be formed over the insulating substrate 1105, or a circuit that forms part of the signal line driver circuit 1101 may be formed over the insulating substrate 1105.

信号線駆動回路1101は、信号線S1〜Smにビデオ信号として電圧または電流を入力する。ただし、ビデオ信号はデジタル信号でもよいし、アナログ信号でもよい。さらに、ビデオ信号は、1フレームごとに正極と負極が反転してもよいし(フレーム反転駆動)、1行ごとに正極と負極が反転してもよい(ゲートライン反転駆動)。あるいは、ビデオ信号は、1列ごとに正極と負極が反転してもよいし(ソースライン反転駆動)、1行および1列ごとに正極と負極が反転してもよい(ドット反転駆動)。さらに、ビデオ信号は、信号線S1〜Smに点順次駆動で入力されてもよいし、線順次駆動で入力されてもよい。さらに、信号線駆動回路1101は、ビデオ信号だけでなく、プリチャージ電圧などの一定電圧を信号線S1〜Smに入力してもよい。プリチャージ電圧などの一定電圧は、1ゲート選択期間ごと、1フレームごとに入力することが望ましい。   The signal line driver circuit 1101 inputs voltage or current as video signals to the signal lines S1 to Sm. However, the video signal may be a digital signal or an analog signal. Further, the positive and negative electrodes of the video signal may be inverted every frame (frame inversion driving), and the positive and negative electrodes may be inverted every one row (gate line inversion driving). Alternatively, in the video signal, the positive electrode and the negative electrode may be inverted for each column (source line inversion driving), and the positive electrode and the negative electrode may be inverted for each row and column (dot inversion driving). Further, the video signal may be input to the signal lines S1 to Sm by dot sequential driving or may be input by line sequential driving. Further, the signal line driver circuit 1101 may input not only a video signal but also a constant voltage such as a precharge voltage to the signal lines S1 to Sm. It is desirable to input a constant voltage such as a precharge voltage every frame selection period and every frame.

走査線駆動回路1102は、走査線G1〜Gnに信号を入力し、走査線G1〜Gnを1行目から順に選択(以下、走査するともいう)する。そして、走査線駆動回路1102は、選択された走査線に接続される複数の画素1103を選択する。ここで、1つの走査線が選択されている期間を1ゲート選択期間と呼び、当該走査線が選択されていない期間を非選択期間と呼ぶ。さらに、走査線駆動回路1102が走査線に出力する信号を、走査信号と呼ぶ。さらに、走査信号の最大値は、ビデオ信号の最大値または信号線の最大電圧よりも大きく、走査信号の最小値は、ビデオ信号の最小値または信号線の最小電圧よりも小さいことを特徴とする。   The scanning line driving circuit 1102 inputs signals to the scanning lines G1 to Gn, and selects the scanning lines G1 to Gn in order from the first row (hereinafter also referred to as scanning). Then, the scan line driver circuit 1102 selects a plurality of pixels 1103 connected to the selected scan line. Here, a period in which one scanning line is selected is referred to as one gate selection period, and a period in which the scanning line is not selected is referred to as a non-selection period. Further, a signal output from the scanning line driver circuit 1102 to the scanning line is referred to as a scanning signal. Further, the maximum value of the scanning signal is larger than the maximum value of the video signal or the maximum voltage of the signal line, and the minimum value of the scanning signal is smaller than the minimum value of the video signal or the minimum voltage of the signal line. .

画素1103が選択されている場合には、信号線駆動回路1101から信号線を介して、画素1103にビデオ信号が入力される。さらに、画素1103が選択されていない場合には、画素1103は、選択期間に入力されたビデオ信号(ビデオ信号に対応した電位)を保持している。   When the pixel 1103 is selected, a video signal is input from the signal line driver circuit 1101 to the pixel 1103 via the signal line. Further, when the pixel 1103 is not selected, the pixel 1103 holds a video signal (a potential corresponding to the video signal) input during the selection period.

図示はしないが、信号線駆動回路1101および走査線駆動回路1102には、複数の電位および複数の信号が供給されている。   Although not illustrated, a plurality of potentials and a plurality of signals are supplied to the signal line driver circuit 1101 and the scan line driver circuit 1102.

次に、図11に示した表示装置の動作について、図12のタイミングチャートを参照して説明する。図12において、1画面分の画像を表示する期間に相当する1フレーム期間を示す。1フレーム期間は特に限定はしないが、画像を見る人がちらつき(フリッカ)を感じないように、1/60秒以下とすることが好ましい。   Next, the operation of the display device illustrated in FIG. 11 will be described with reference to the timing chart of FIG. FIG. 12 shows one frame period corresponding to a period for displaying an image for one screen. The period of one frame is not particularly limited, but is preferably 1/60 second or less so that a person viewing the image does not feel flicker.

図12のタイミングチャートでは、1行目の走査線G1、i行目の走査線Gi、i+1行目の走査線Gi+1およびn行目の走査線Gnがそれぞれ選択されるタイミングを示している。   The timing chart of FIG. 12 shows the timing at which the first scanning line G1, the i-th scanning line Gi, the i + 1-th scanning line Gi + 1, and the n-th scanning line Gn are selected.

図12において、例えばi行目の走査線Giが選択され、走査線Giに接続される複数の画素1103が選択される。そして、走査線Giに接続される複数の画素1103は、それぞれビデオ信号を入力され、ビデオ信号に応じた電位を保持する。その後、i行目の走査線Giが非選択になって、i+1行目の走査線Gi+1が選択され、走査線Gi+1に接続される複数の画素1103が選択される。そして、走査線Gi+1に接続される複数の画素1103は、それぞれビデオ信号を入力され、ビデオ信号に応じた電位を保持する。このように、1フレーム期間において、走査線G1から走査線Gnまで順に選択され、各々の走査線に接続される画素1103も順に選択される。そして、各々の走査線に接続される複数の画素1103は、それぞれビデオ信号を入力され、ビデオ信号に応じた電位を保持する。   In FIG. 12, for example, the i-th scanning line Gi is selected, and a plurality of pixels 1103 connected to the scanning line Gi are selected. Each of the plurality of pixels 1103 connected to the scanning line Gi receives a video signal and holds a potential corresponding to the video signal. Thereafter, the i-th scanning line Gi is deselected, the i + 1-th scanning line Gi + 1 is selected, and the plurality of pixels 1103 connected to the scanning line Gi + 1 are selected. Each of the plurality of pixels 1103 connected to the scanning line Gi + 1 receives a video signal and holds a potential corresponding to the video signal. In this manner, in one frame period, the scanning lines G1 to Gn are sequentially selected, and the pixels 1103 connected to the respective scanning lines are also selected in order. A plurality of pixels 1103 connected to each scanning line are each input with a video signal and hold a potential corresponding to the video signal.

本実施の形態のシフトレジスタを、走査線駆動回路1102として用いた表示装置は、高速動作が可能となるので、より高精細、またはより大型化を図ることができる。さらに、本実施の形態の表示装置は、工程の簡略化、製造コストの削減および歩留まりの向上を図ることができる。   Since a display device using the shift register of this embodiment as the scan line driver circuit 1102 can operate at high speed, higher definition or a larger size can be achieved. Further, the display device in this embodiment can simplify processes, reduce manufacturing costs, and improve yield.

図11の表示装置は、高速動作が必要な信号線駆動回路1101と、走査線駆動回路1102および画素部1104と、を別々の基板上に形成する。そのため、走査線駆動回路1102が有するトランジスタの半導体層、および画素1103が有するトランジスタの半導体層として、アモルファスシリコンを用いることができる。その結果、製造工程の簡略化を図ることができ、製造コストの削減や歩留まりの向上を図ることができる。さらに、本実施の形態の表示装置は、大型化を図ることができる。あるいは、トランジスタの半導体層として、ポリシリコンや単結晶シリコンを用いても、製造工程の簡略化を図ることができる。   In the display device in FIG. 11, the signal line driver circuit 1101, which requires high-speed operation, the scan line driver circuit 1102, and the pixel portion 1104 are formed over different substrates. Therefore, amorphous silicon can be used for a semiconductor layer of a transistor included in the scan line driver circuit 1102 and a semiconductor layer of a transistor included in the pixel 1103. As a result, the manufacturing process can be simplified, and the manufacturing cost can be reduced and the yield can be improved. Further, the display device of this embodiment can be increased in size. Alternatively, even when polysilicon or single crystal silicon is used for the semiconductor layer of the transistor, the manufacturing process can be simplified.

信号線駆動回路1101と、走査線駆動回路1102および画素部1104と、を同一基板上に形成する場合は、走査線駆動回路1102が有するトランジスタの半導体層、および画素1103が有するトランジスタの半導体層として、ポリシリコンまたは単結晶シリコンを用いるとよい。   In the case where the signal line driver circuit 1101, the scan line driver circuit 1102, and the pixel portion 1104 are formed over the same substrate, a semiconductor layer of a transistor included in the scan line driver circuit 1102 and a semiconductor layer of a transistor included in the pixel 1103 Polysilicon or single crystal silicon may be used.

図11のように、画素を選択し、画素に独立してビデオ信号を書き込むことができれば、各駆動回路の数や配置などは図11に限定されない。   As shown in FIG. 11, the number and arrangement of the driver circuits are not limited to those in FIG. 11 as long as a pixel can be selected and a video signal can be written to the pixel independently.

例えば、図13に示すように、走査線G1〜走査線Gnが第1の走査線駆動回路1302aおよび第2の走査線駆動回路1302bによって走査されてもよい。第1の走査線駆動回路1302aおよび第2の駆動回路1302bは、図11に示した走査線駆動回路1102と同様の構成であり、同じタイミングで走査線G1〜走査線Gnを走査する。さらに、第1の走査線駆動回路1302aおよび第2の駆動回路1302bを、それぞれ第1の駆動回路、第2の駆動回路と呼んでもよい。   For example, as shown in FIG. 13, the scanning lines G1 to Gn may be scanned by the first scanning line driving circuit 1302a and the second scanning line driving circuit 1302b. The first scan line driver circuit 1302a and the second drive circuit 1302b have the same configuration as the scan line driver circuit 1102 shown in FIG. 11, and scan the scan lines G1 to Gn at the same timing. Further, the first scan line driver circuit 1302a and the second driver circuit 1302b may be referred to as a first driver circuit and a second driver circuit, respectively.

図13の表示装置は、第1の走査線駆動回路1302aおよび第2の走査線駆動回路1302bのうち一方に不良が生じても、走査線駆動回路1302aおよび第2の走査線駆動回路1302bのうち他方が走査線G1〜走査線Gnを走査できるため、冗長性を持つことができる。さらに、図13の表示装置は、第1の走査線駆動回路1302aの負荷(走査線の配線抵抗および走査線の寄生容量)および第2の走査線駆動回路1302bの負荷を図11に比べ半分程度にできる。そのため、走査線G1〜走査線Gnに入力される信号(第1の走査線駆動回路1302aおよび第2の駆動回路1302bの出力信号)の遅延およびなまりを低減できる。さらに、図13の表示装置は、第1の走査線駆動回路1302aの負荷および第2の走査線駆動回路1302bの負荷が低減されるので、走査線G1〜走査線Gnを高速に走査することができる。さらに、走査線G1〜走査線Gnを高速に走査することができるので、パネルの大型化またはパネルの高精細化を可能にできる。なお、図11の構成と共通するところは共通の符号を用いてその説明を省略する。   In the display device in FIG. 13, even if one of the first scan line driver circuit 1302 a and the second scan line driver circuit 1302 b is defective, the scan line driver circuit 1302 a and the second scan line driver circuit 1302 b Since the other can scan the scanning lines G1 to Gn, it can have redundancy. Further, in the display device of FIG. 13, the load of the first scan line driver circuit 1302a (the wiring resistance of the scan line and the parasitic capacitance of the scan line) and the load of the second scan line driver circuit 1302b are about half that of FIG. Can be. Therefore, delay and rounding of signals input to the scanning lines G1 to Gn (output signals of the first scanning line driver circuit 1302a and the second driving circuit 1302b) can be reduced. Further, since the load on the first scan line driver circuit 1302a and the load on the second scan line driver circuit 1302b are reduced, the display device in FIG. 13 can scan the scan lines G1 to Gn at high speed. it can. Further, since the scanning lines G1 to Gn can be scanned at high speed, the panel can be enlarged or the panel can be made high definition. Note that portions common to the configuration in FIG. 11 are denoted by common reference numerals, and description thereof is omitted.

別の例として、図14は、画素にビデオ信号を高速に書き込むことができる表示装置である。図14の表示装置は、奇数行目の画素1103には奇数列目の信号線からビデオ信号を入力し、偶数行目の画素1103には偶数列目の信号線からビデオ信号を入力する。さらに、図14の表示装置は、走査線G1〜走査線Gnのうち奇数段目の走査線が、第1の走査線駆動回路1402aによって走査され、走査線G1〜走査線Gnのうち偶数段目の走査線が、第2の走査線駆動回路1402bによって走査される。さらに、第1の走査線駆動回路1402aに入力されるスタート信号は、第2の走査線駆動回路1402bに入力されるスタート信号よりも、クロック信号の1/4周期分遅延して入力される。   As another example, FIG. 14 illustrates a display device capable of writing video signals to pixels at high speed. In the display device in FIG. 14, video signals are input to odd-numbered pixels 1103 from odd-numbered signal lines, and video signals are input to even-numbered pixels 1103 from even-numbered signal lines. Further, in the display device of FIG. 14, the odd-numbered scanning lines among the scanning lines G1 to Gn are scanned by the first scanning line driving circuit 1402a, and the even-numbered scanning lines among the scanning lines G1 to Gn. Are scanned by the second scanning line driving circuit 1402b. Further, the start signal input to the first scan line driver circuit 1402a is input with a delay of ¼ period of the clock signal from the start signal input to the second scan line driver circuit 1402b.

図14の表示装置は、1フレーム期間において各信号線、1列ごとに正極のビデオ信号と、負極のビデオ信号と、を入力するだけで、ドット反転駆動をすることができる。さらに、図14の表示装置は、1フレーム期間ごとに、各信号線に入力するビデオ信号の極性を反転することで、フレーム反転駆動をすることができる。   The display device in FIG. 14 can perform dot inversion driving only by inputting a positive video signal and a negative video signal for each column in one frame period. Further, the display device in FIG. 14 can perform frame inversion driving by inverting the polarity of a video signal input to each signal line for each frame period.

図14の表示装置の動作について、図15のタイミングチャートを参照して説明する。図15のタイミングチャートでは、1行目の走査線G1、i−1行目の走査線Gi−1、i行目の走査線Gi、i+1行目の走査線Gi+1およびn行目の走査線Gnが、それぞれ選択されるタイミングを示している。さらに、図15のタイミングチャートでは、1つの選択期間を選択期間aと選択期間bに分割している。さらに、図15のタイミングチャートでは、図14の表示装置が、ドット反転駆動およびフレーム反転駆動する場合について説明する。   The operation of the display device in FIG. 14 will be described with reference to the timing chart in FIG. In the timing chart of FIG. 15, the first scanning line G1, the i-1th scanning line Gi-1, the ith scanning line Gi, the i + 1th scanning line Gi + 1, and the nth scanning line Gn. Indicates the timing of selection. Further, in the timing chart of FIG. 15, one selection period is divided into a selection period a and a selection period b. Further, in the timing chart of FIG. 15, the case where the display device of FIG. 14 performs dot inversion driving and frame inversion driving will be described.

図15において、例えばi行目の走査線Giの選択期間aは、i−1行目の走査線Gi−1の選択期間bと重なっている。また、i行目の走査線Giの選択期間bは、i+1行目の走査線Gi+1の選択期間aと重なっている。したがって、選択期間aにおいて、i−1行j+1列目の画素1103に入力されるビデオ信号と同様のものが、i行j列目の画素1103に入力される。さらに、選択期間bにおいて、i行j列目の画素1103に入力されるビデオ信号と同様のものが、i+1行j+1列目の画素1103に入力される。なお、選択期間bにおいて画素1103に入力されるビデオ信号が、本来のビデオ信号であり、選択期間aにおいて画素1103に入力されるビデオ信号が、画素1103のプリチャージ用のビデオ信号である。したがって、画素1103それぞれは、選択期間aにおいてi−1行j+1列目の画素1103に入力されるビデオ信号によってプリチャージしたあとに、選択期間bにおいて本来(i行j列目)のビデオ信号を入力する。   In FIG. 15, for example, the selection period “a” of the i-th scanning line Gi overlaps the selection period “b” of the i−1th scanning line Gi−1. The selection period b of the i-th scanning line Gi overlaps the selection period a of the i + 1-th scanning line Gi + 1. Therefore, in the selection period a, the same video signal input to the pixel 1103 in the (i−1) th row j + 1 column is input to the pixel 1103 in the i row j column. Further, in the selection period b, the same video signal as input to the pixel 1103 in the i-th row and j-th column is input to the pixel 1103 in the i + 1-th row and j + 1-th column. Note that a video signal input to the pixel 1103 in the selection period b is an original video signal, and a video signal input to the pixel 1103 in the selection period a is a video signal for precharging the pixel 1103. Accordingly, each pixel 1103 is precharged with the video signal input to the pixel 1103 in the (i−1) th row and j + 1th column in the selection period a, and then the original video signal (ith row and jth column) is selected in the selection period b. input.

以上のことから、図14の表示装置は、画素1103に高速にビデオ信号を書き込むことができるため、大型化、高精細化を容易に実現することができる。さらに、図14の表示装置は、1フレーム期間において信号線各々は同じ極性のビデオ信号が入力されるため、各信号線の充放電が少なく、低消費電力化を実現できる。さらに、図14の表示装置は、ビデオ信号を入力するためのICの負荷が大幅に低減されるため、ICの発熱およびICの消費電力などを低減することができる。さらに、図14の表示装置は、第1の走査線駆動回路1402aおよび第2の走査線駆動回路1402bの駆動周波数を約半分にできるため、省電力化を図ることができる。   From the above, the display device in FIG. 14 can write video signals to the pixels 1103 at high speed, so that an increase in size and definition can be easily realized. Furthermore, since the video signal having the same polarity is input to each of the signal lines in one frame period, the display device in FIG. 14 can reduce the power consumption of each signal line and reduce power consumption. Further, in the display device of FIG. 14, since the load on the IC for inputting the video signal is significantly reduced, the heat generation of the IC and the power consumption of the IC can be reduced. Further, the display device in FIG. 14 can reduce power consumption of the first scan line driver circuit 1402a and the second scan line driver circuit 1402b by approximately half, so that power saving can be achieved.

本実施の形態の表示装置は、画素1103の構成および駆動方法によって、さまざまな駆動方法を行うことができる。例えば、1フレーム期間において、走査線駆動回路は、走査線を複数回走査してもよい。   The display device of this embodiment can perform various driving methods depending on the structure and driving method of the pixel 1103. For example, in one frame period, the scan line driver circuit may scan the scan line a plurality of times.

図11、図13および図14の表示装置は、画素1103の構成によって別の配線などを追加してもよい。例えば、一定の電位に保たれている電源線、容量線および新たな走査線などを追加してもよい。新たに走査線を追加する場合には、本実施の形態のシフトレジスタを適用した走査線駆動回路を、新たに追加してもよい。別の例として、ダミーの走査線、信号線、電源線または容量線が画素部に配置されていてもよい。   11, 13, and 14, another wiring or the like may be added depending on the configuration of the pixel 1103. For example, a power supply line, a capacitor line, a new scanning line, or the like maintained at a constant potential may be added. When a new scan line is added, a scan line driver circuit to which the shift register of this embodiment is applied may be newly added. As another example, dummy scanning lines, signal lines, power supply lines, or capacitor lines may be arranged in the pixel portion.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容または内容の一部を、別の図で述べた内容または内容の一部にも適用、あるいは組み合わせることができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, various drawings have been used. However, the contents described in each figure or a part of the contents may be applied to or combined with the contents described in another figure or a part of the contents. Can do. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

本実施の形態の各々の図で述べた内容または内容の一部を、別の実施の形態の図で述べた内容または内容の一部にも適用、あるいは組み合わせることができる。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   The contents or a part of the contents described in each drawing in this embodiment mode can be applied to or combined with the contents or a part of the contents described in a drawing in another embodiment mode. Further, in the drawings of this embodiment mode, more drawings can be formed by combining each portion with a portion of another embodiment.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態にも適用できる。あるいは、組み合わせることができる。   In this embodiment mode, the contents described in the other embodiment modes are described in detail as an example, an example of a slight modification, an example of a partial change, an example of an improvement, and the like. An example of a case, an example of application, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiments can be applied to this embodiment. Alternatively, they can be combined.

(実施の形態2)
本実施の形態では、実施の形態1とは別のフリップフロップ、当該フリップフロップを有する駆動回路、および当該駆動回路を有する表示装置の構成ならびに駆動方法について説明する。なお、実施の形態1と同様なものに関しては共通の符号を用いて示し、同一部分または同様な機能を有する部分の詳細な説明は省略する。
(Embodiment 2)
In this embodiment, a structure and a driving method of a flip-flop different from that in Embodiment 1, a driver circuit including the flip-flop, and a display device including the driver circuit will be described. Note that components similar to those in Embodiment 1 are denoted by common reference numerals, and detailed description of the same portions or portions having similar functions is omitted.

本実施の形態のフリップフロップの構成は、実施の形態1と同様のフリップフロップの構成を用いることができる。よって、本実施の形態では、フリップフロップの構成の説明を省略する。ただし、フリップフロップを駆動するタイミングが実施の形態1とは異なる。   As the structure of the flip-flop in this embodiment, the same flip-flop structure as in Embodiment 1 can be used. Therefore, in this embodiment mode, description of the structure of the flip-flop is omitted. However, the timing for driving the flip-flop is different from that of the first embodiment.

本実施の形態の駆動タイミングを、図1(A)に適用した場合について説明するが、本実施の形態の駆動タイミングを図1(B)、図1(C)、図4(A)、図4(B)、図4(C)、図5(A)および図5(B)のフリップフロップと自由に組み合わせて実施することもできる。さらに、本実施の形態の駆動タイミングは、実施の形態1に記載の駆動タイミングと、自由に組み合わせて実施することもできる。   Although the case where the drive timing of this embodiment is applied to FIG. 1A will be described, the drive timing of this embodiment is shown in FIG. 1B, FIG. 1C, FIG. 4 (B), FIG. 4 (C), FIG. 5 (A), and the flip-flop of FIG. Furthermore, the drive timing in this embodiment can be implemented in combination with the drive timing described in Embodiment 1 freely.

本実施の形態のフリップフロップの動作について、図1(A)のフリップフロップおよび図16のタイミングチャートを参照して説明する。さらに、図16のタイミングチャートを、セット期間、選択期間、リセット期間、非選択期間に分割して説明する。ただし、セット期間は、第1のセット期間および第2のセット期間に分割され、選択期間は第1の選択期間および第2の選択期間に分割される。   The operation of the flip-flop of this embodiment is described with reference to the flip-flop in FIG. 1A and the timing chart in FIG. Further, the timing chart of FIG. 16 will be described by being divided into a set period, a selection period, a reset period, and a non-selection period. However, the set period is divided into a first set period and a second set period, and the selection period is divided into a first selection period and a second selection period.

第1の配線121、第5の配線125および第2の配線122には、それぞれ図16に示す信号1621、信号1625および信号1622が入力される。そして、第3の配線123からは、図16に示す信号1623が出力される。ここで、信号1621、信号1625、信号1622および信号1623は、それぞれ図2に示した信号221、信号225、信号222および信号223に相当する。さらに、信号1621、信号1625、信号1622および信号1623を、それぞれスタート信号、クロック信号、リセット信号および出力信号と呼んでもよい。   A signal 1621, a signal 1625, and a signal 1622 illustrated in FIG. 16 are input to the first wiring 121, the fifth wiring 125, and the second wiring 122, respectively. A signal 1623 shown in FIG. 16 is output from the third wiring 123. Here, the signal 1621, the signal 1625, the signal 1622, and the signal 1623 correspond to the signal 221, the signal 225, the signal 222, and the signal 223 shown in FIG. 2, respectively. Further, the signal 1621, the signal 1625, the signal 1622, and the signal 1623 may be referred to as a start signal, a clock signal, a reset signal, and an output signal, respectively.

本実施の形態のフリップフロップは、基本的には実施の形態1で説明したフリップフロップと同様に動作する。ただし、本実施の形態のフリップフロップは、第1の配線121にH信号が入力されるタイミングが、クロック信号の1/4周期分遅延しているところが、実施の形態1のフリップフロップと異なる。   The flip-flop of this embodiment basically operates in the same manner as the flip-flop described in Embodiment 1. However, the flip-flop of this embodiment is different from the flip-flop of Embodiment 1 in that the timing at which the H signal is input to the first wiring 121 is delayed by ¼ period of the clock signal.

本実施の形態のフリップフロップは、図16に示す第1のセット期間(A1)、第2のセット期間(A2)、リセット期間(C)および非選択期間(D)において、それぞれ図2に示した非選択期間(D)、セット期間(A)、リセット期間(C)および非選択期間(D)と同様の動作をするので説明を省略する。   The flip-flop of this embodiment mode is shown in FIG. 2 in the first set period (A1), the second set period (A2), the reset period (C), and the non-selection period (D) shown in FIG. Since the operations are the same as those in the non-selection period (D), the set period (A), the reset period (C), and the non-selection period (D), description thereof is omitted.

図17に示すように、本実施の形態のフリップフロップは、第2の配線122にH信号を入力するタイミングを、クロック信号の1/4周期分遅延させることで、出力信号の立ち下がり時間を大幅に短くすることができる。つまり、図17を適用した本実施の形態のフリップフロップは、図17に示す第1のリセット期間において、第5の配線125にL信号が入力され、ノード141の電位がおおむねV1+Vth101まで下がる。したがって、第1のトランジスタ101はオンのままであり、L信号が第3の配線123から出力される。第3の配線123には、W/Lの値が大きい第1のトランジスタ101を介して、L信号が入力される。そのため、第3の配線123の電位が、HレベルからLレベルになるまでの時間を大幅に短くできる。その後、図17を適用した本実施の形態のフリップフロップは、図17(C2)に示す第2のリセット期間において、第7のトランジスタ107がオンして、ノード141の電位がV2となる。このときのノード142の電位(電位1642)は、V1−Vth103となって、第3のトランジスタ103がオンするため、L信号が第3の配線123から出力される。   As shown in FIG. 17, the flip-flop of this embodiment delays the fall time of the output signal by delaying the timing at which the H signal is input to the second wiring 122 by ¼ period of the clock signal. Can be significantly shortened. That is, in the flip-flop of this embodiment to which FIG. 17 is applied, the L signal is input to the fifth wiring 125 in the first reset period illustrated in FIG. 17, and the potential of the node 141 is decreased to approximately V1 + Vth101. Accordingly, the first transistor 101 remains on and the L signal is output from the third wiring 123. An L signal is input to the third wiring 123 through the first transistor 101 having a large W / L value. Therefore, the time until the potential of the third wiring 123 changes from the H level to the L level can be significantly shortened. After that, in the flip-flop of this embodiment to which FIG. 17 is applied, the seventh transistor 107 is turned on and the potential of the node 141 becomes V2 in the second reset period illustrated in FIG. At this time, the potential of the node 142 (the potential 1642) is V1−Vth103, and the third transistor 103 is turned on, so that the L signal is output from the third wiring 123.

本実施の形態のフリップフロップは、実施の形態1に示したフリップフロップと同様の効果を得ることができる。   The flip-flop of this embodiment can obtain the same effect as that of the flip-flop described in Embodiment 1.

続いて、上述した本実施の形態のフリップフロップを有するシフトレジスタの構成および駆動方法について説明する。   Next, a structure and driving method of the shift register including the flip-flop of this embodiment described above will be described.

本実施の形態のシフトレジスタの構成について、図18を参照して説明する。図18のシフトレジスタは、n個のフリップフロップ(フリップフロップ1801_1〜フリップフロップ1801_n)を有する。   A structure of the shift register of this embodiment is described with reference to FIG. The shift register in FIG. 18 includes n flip-flops (flip-flops 1801_1 to 1801_n).

図18のシフトレジスタの接続関係について説明する。図18のシフトレジスタにおいて、i段目のフリップフロップ1801_i(フリップフロップ1801_1〜フリップフロップ1801_nのうちいずれか一)では、図1(A)に示した第1の配線121が、第10の配線1820_i−1に接続される。図1(A)に示した第2の配線122が、第10の配線1820_i+2に接続される。図1(A)に示した第3の配線123が、第10の配線1820_iに接続される。図1(A)に示した第4の配線124、第8の配線128、第9の配線129、第10の配線130および第11の配線131が、第7の配線1817に接続される。図1(A)に示した第5の配線125が、4N−3(Nは1以上の自然数)段目のフリップフロップでは第2の配線1812に接続され、4N−2段目のフリップフロップでは第3の配線1813に接続され、4N−1段目のフリップフロップでは第4の配線1814に接続され、4N段目のフリップフロップでは第5の配線1815に接続される。図1(A)に示す第6の配線126および第7の配線127が、第6の配線1816に接続される。ただし、1段目のフリップフロップ1801_1において、図1(A)に示す第1の配線121が、第1の配線1811に接続される。n−1段目のフリップフロップ1801_n−1において、図1(A)に示す第2の配線122が、第9の配線1819に接続される。n段目のフリップフロップ1801_nにおいて、図1(A)に示す第2の配線122が、第8の配線1818に接続される。   Connection relations of the shift register in FIG. 18 are described. In the i-th flip-flop 1801_i (any one of the flip-flops 1801_1 to 1801_n) in the shift register in FIG. 18, the first wiring 121 illustrated in FIG. 1A is the tenth wiring 1820_i. -1. The second wiring 122 illustrated in FIG. 1A is connected to the tenth wiring 1820_i + 2. The third wiring 123 illustrated in FIG. 1A is connected to the tenth wiring 1820_i. The fourth wiring 124, the eighth wiring 128, the ninth wiring 129, the tenth wiring 130, and the eleventh wiring 131 illustrated in FIG. 1A are connected to the seventh wiring 1817. The fifth wiring 125 shown in FIG. 1A is connected to the second wiring 1812 in the 4N-3 (N is a natural number of 1 or more) stage flip-flop, and in the 4N-2 stage flip-flop. The fourth wiring 1813 is connected to the third wiring 1813, the fourth wiring 1814 is connected to the 4N−1 stage flip-flop, and the fifth wiring 1815 is connected to the 4Nth flip-flop. The sixth wiring 126 and the seventh wiring 127 illustrated in FIG. 1A are connected to the sixth wiring 1816. Note that in the first-stage flip-flop 1801_1, the first wiring 121 illustrated in FIG. 1A is connected to the first wiring 1811. In the n−1-th flip-flop 1801 — n−1, the second wiring 122 illustrated in FIG. 1A is connected to the ninth wiring 1819. In the n-th flip-flop 1801 </ b> _n, the second wiring 122 illustrated in FIG. 1A is connected to the eighth wiring 1818.

本実施の形態のフリップフロップに、図17のタイミングチャートを適用した場合は、i段目のフリップフロップ1801_iにおいて、図1に示す第2の配線122は、第10の配線1820_i+3と接続される。したがって、n−3段目のフリップフロップ1801_n−3において、図1(A)に示す第2の配線122には、新たに追加した配線が接続される。   When the timing chart of FIG. 17 is applied to the flip-flop of this embodiment, the second wiring 122 illustrated in FIG. 1 is connected to the tenth wiring 1820_i + 3 in the i-th flip-flop 1801_i. Therefore, in the n-3th flip-flop 1801_n-3, a newly added wiring is connected to the second wiring 122 illustrated in FIG.

第1の配線1811、第2の配線1812、第3の配線1813、第4の配線1814、第5の配線1815、第8の配線1818および第9の配線1819を、それぞれ第1の信号線、第2の信号線、第3の信号線、第4の信号線、第5の信号線、第6の信号線および第7の配線と呼んでもよい。さらに、第6の配線1816および第7の配線1817を、それぞれ第1の電源線および第2の電源線と呼んでもよい。   The first wiring 1811, the second wiring 1812, the third wiring 1813, the fourth wiring 1814, the fifth wiring 1815, the eighth wiring 1818, and the ninth wiring 1819 are respectively connected to the first signal line, You may call the 2nd signal line, the 3rd signal line, the 4th signal line, the 5th signal line, the 6th signal line, and the 7th wiring. Further, the sixth wiring 1816 and the seventh wiring 1817 may be referred to as a first power supply line and a second power supply line, respectively.

次に、図18に示したシフトレジスタの動作について、図19のタイミングチャートおよび図20のタイミングチャートを参照して説明する。ここで、図19のタイミングチャートは、走査期間と帰線期間とに分割されている。   Next, operation of the shift register illustrated in FIG. 18 is described with reference to a timing chart of FIG. 19 and a timing chart of FIG. Here, the timing chart of FIG. 19 is divided into a scanning period and a blanking period.

第6の配線1816には、V1の電位が供給される。また、第7の配線1817には、V2の電位が供給される。   The sixth wiring 1816 is supplied with the potential of V1. The seventh wiring 1817 is supplied with the potential of V2.

第1の配線1811、第2の配線1812、第3の配線1813、第4の配線1814、第5の配線1815、第8の配線1818および第9の配線1819には、それぞれ図19に示す信号1911、信号1912、信号1913、信号1914、信号1915、信号1918および信号1919が入力される。ここで、信号1911、信号1912、信号1913、信号1914、信号1915、信号1918および信号1919は、H信号の電位がV1、L信号の電位がV2のデジタル信号である。さらに、信号1911、信号1912、信号1913、信号1914、信号1915、信号1918および信号1919を、それぞれスタート信号、第1のクロック信号、第2のクロック信号、第3のクロック信号、第4のクロック信号、第1のリセット信号および第2のリセット信号と呼んでもよい。   The first wiring 1811, the second wiring 1812, the third wiring 1813, the fourth wiring 1814, the fifth wiring 1815, the eighth wiring 1818, and the ninth wiring 1819 have signals shown in FIG. 1911, signal 1912, signal 1913, signal 1914, signal 1915, signal 1918 and signal 1919 are input. Here, the signal 1911, the signal 1912, the signal 1913, the signal 1914, the signal 1915, the signal 1918, and the signal 1919 are digital signals in which the potential of the H signal is V1 and the potential of the L signal is V2. Further, the signal 1911, the signal 1912, the signal 1913, the signal 1914, the signal 1915, the signal 1918, and the signal 1919 are respectively converted into a start signal, a first clock signal, a second clock signal, a third clock signal, and a fourth clock. You may call a signal, a 1st reset signal, and a 2nd reset signal.

ただし、第1の配線1811〜第9の配線1819には、それぞれさまざまな信号、電位および電流が入力されてもよい。   Note that various signals, potentials, and currents may be input to the first wiring 1811 to the ninth wiring 1819, respectively.

第10の配線1820_1〜1820_nからは、それぞれH信号の電位がV1、L信号の電位がV2のデジタル信号1920_1〜1920_nが出力される。さらに、実施の形態1と同様に、第10の配線1820_1〜1820_nにそれぞれバッファ接続することで、動作させやすくできる。   From the tenth wirings 1820_1 to 1820_n, digital signals 1920_1 to 1920_n having an H signal potential V1 and an L signal potential V2 are output, respectively. Further, similarly to Embodiment 1, it can be easily operated by buffer connection to the tenth wirings 1820_1 to 1820_n.

フリップフロップ1801_iのスタート信号として、第10の配線1820_i−1から出力される信号を用い、リセット信号として、第10の配線1820_i+2から出力される信号を用いる。ここで、フリップフロップ1801_1のスタート信号は、第1の配線1811から入力される。フリップフロップ1801_n−1の第2のリセット信号は、第9の配線1819から入力される。フリップフロップ1801_nの第1のリセット信号は、第8の配線1818から入力される。ただし、フリップフロップ1801_n−1の第2のリセット信号として、第10の配線1820_1から出力される信号を用い、フリップフロップ1801_nの第1のリセット信号として、第10の配線1820_2から出力される信号を用いてもよい。あるいは、フリップフロップ1801_n−1の第2のリセット信号として、第10の配線1820_2から出力される信号を用い、フリップフロップ1801_nの第1のリセット信号として、第10の配線1820_3から出力される信号を用いてもよい。あるいは、第1のダミーのフリップフロップおよび第2のダミーのフリップフロップを新たに配置して、第1のダミーのフリップフロップの出力信号および第2のダミーのフリップフロップの出力信号を、それぞれ第1のリセット信号および第2のリセット信号として用いてもよい。こうすることで、配線数および信号数を減らすことができる。   A signal output from the tenth wiring 1820_i-1 is used as a start signal of the flip-flop 1801_i, and a signal output from the tenth wiring 1820_i + 2 is used as a reset signal. Here, a start signal of the flip-flop 1801_1 is input from the first wiring 1811. The second reset signal of the flip-flop 1801_n−1 is input from the ninth wiring 1819. The first reset signal of the flip-flop 1801 — n is input from the eighth wiring 1818. However, a signal output from the tenth wiring 1820_1 is used as the second reset signal of the flip-flop 1801_n-1, and a signal output from the tenth wiring 1820_2 is used as the first reset signal of the flip-flop 1801_n. It may be used. Alternatively, a signal output from the tenth wiring 1820_2 is used as the second reset signal of the flip-flop 1801_n-1, and a signal output from the tenth wiring 1820_3 is used as the first reset signal of the flip-flop 1801_n. It may be used. Alternatively, a first dummy flip-flop and a second dummy flip-flop are newly arranged, and the output signal of the first dummy flip-flop and the output signal of the second dummy flip-flop are respectively changed to the first dummy flip-flop and the second dummy flip-flop. The reset signal and the second reset signal may be used. By doing so, the number of wirings and the number of signals can be reduced.

図20に示すように、例えば、フリップフロップ1801_iが、第1の選択期間となると、第10の配線1820_iからH信号(選択信号)が出力される。このとき、フリップフロップ1801_i+1は、第2のセット期間となる。その後、フリップフロップ1801_iが、第2の選択期間となっても、第10の配線1820_iからは、H信号が出力されたままである。このとき、フリップフロップ1801_i+1は、第1の選択期間となる。その後、フリップフロップ1801_iが、リセット期間となると、第10の配線1820_iからL信号が出力される。このとき、フリップフロップ1801_i+1は、第2の選択期間となる。その後、フリップフロップ1801_iが、非選択期間となっても、第10の配線1820_iからは、L信号が出力されたままである。このとき、フリップフロップ1801_i+1は、リセット期間となる。   As illustrated in FIG. 20, for example, when the flip-flop 1801_i enters the first selection period, an H signal (selection signal) is output from the tenth wiring 1820_i. At this time, the flip-flop 1801_i + 1 is in the second set period. After that, even when the flip-flop 1801_i enters the second selection period, the H signal is still output from the tenth wiring 1820_i. At this time, the flip-flop 1801_i + 1 is in the first selection period. After that, when the flip-flop 1801_i enters a reset period, an L signal is output from the tenth wiring 1820_i. At this time, the flip-flop 1801_i + 1 is in the second selection period. After that, even when the flip-flop 1801_i enters the non-selection period, the L signal is still output from the tenth wiring 1820_i. At this time, the flip-flop 1801_i + 1 is in the reset period.

こうして、図18のシフトレジスタは、選択信号を、第10の配線1820_1から順に第10の配線1820_nまで出力できる。さらに、図18のシフトレジスタは、フリップフロップ1801_iの第2の選択期間と、フリップフリップ1801_i+1の第1の選択期間とが同一の期間となるため、同じ期間に第10の配線1820_iと第10の配線1820_i+1から選択信号を出力できる。   In this manner, the shift register in FIG. 18 can output a selection signal from the tenth wiring 1820_1 to the tenth wiring 1820_n in order. Further, in the shift register in FIG. 18, since the second selection period of the flip-flop 1801_i and the first selection period of the flip-flop 1801_i + 1 are the same period, the tenth wiring 1820_i and the tenth period are the same in the same period. A selection signal can be output from the wiring 1820 — i + 1.

本実施の形態のフリップフロップを適用したシフトレジスタは、高精細な表示装置または大型表示装置に適用できる。さらに、本実施の形態のシフトレジスタは、実施の形態1に示したシフトレジスタと同様の効果を得ることができる。   The shift register to which the flip-flop of this embodiment is applied can be applied to a high-definition display device or a large display device. Further, the shift register of this embodiment can obtain the same effects as those of the shift register described in Embodiment 1.

続いて、上述した本実施の形態のシフトレジスタを有する表示装置の構成および駆動方法について説明する。ただし、本実施の形態の表示装置は、少なくとも本実施の形態のフリップフロップを有していればよい。   Next, a structure and driving method of the display device including the shift register of this embodiment described above will be described. Note that the display device of this embodiment mode includes at least the flip-flop of this embodiment mode.

本実施の形態の表示装置の構成について、図21を参照して説明する。図21の表示装置は、走査線G1〜走査線Gnが、走査線駆動回路2102によって走査される。さらに、図21の表示装置は、奇数行目の画素1103には、奇数行目の信号線からビデオ信号を入力し、偶数行目の画素1103には、偶数行目の信号線からビデオ信号を入力する。なお、図11の構成と共通するところは、共通の符号を用いてその説明を省略する。   The structure of the display device of this embodiment will be described with reference to FIG. In the display device in FIG. 21, the scanning lines G <b> 1 to Gn are scanned by the scanning line driving circuit 2102. Further, in the display device in FIG. 21, video signals are input from odd-numbered signal lines to odd-numbered pixels 1103, and video signals are input to even-numbered pixels 1103 from even-numbered signal lines. input. Note that portions common to the configuration in FIG. 11 are denoted by common reference numerals and description thereof is omitted.

図21の表示装置は、走査線駆動回路2102に、本実施の形態のシフトレジスタを適用することによって、1つの走査線駆動回路によって、図14の表示装置と同様の動作ができる。その結果、図14の表示装置と同様の効果を得ることができる。   The display device in FIG. 21 can operate similarly to the display device in FIG. 14 with one scan line driver circuit by applying the shift register of this embodiment to the scan line driver circuit 2102. As a result, the same effect as that of the display device of FIG. 14 can be obtained.

図13と同様に、走査線G1〜走査線Gnが、第1の走査線駆動回路2202aおよび第2の走査線駆動回路2202bによって走査されてもよい。その結果、図13の表示装置と同様の効果を得ることができる。その場合の構成を図22に示す。   Similarly to FIG. 13, the scanning lines G1 to Gn may be scanned by the first scanning line driving circuit 2202a and the second scanning line driving circuit 2202b. As a result, the same effect as that of the display device of FIG. 13 can be obtained. The configuration in that case is shown in FIG.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容または内容の一部を、別の図で述べた内容または内容の一部にも適用、あるいは組み合わせることができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, various drawings have been used. However, the contents described in each figure or a part of the contents may be applied to or combined with the contents described in another figure or a part of the contents. Can do. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

本実施の形態の各々の図で述べた内容または内容の一部を、別の実施の形態の図で述べた内容または内容の一部にも適用、あるいは、組み合わせることができる。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   The contents or a part of the contents described in each drawing in this embodiment mode can be applied to or combined with the contents or a part of the contents described in a drawing in another embodiment mode. Further, in the drawings of this embodiment mode, more drawings can be formed by combining each portion with a portion of another embodiment.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態にも適用、あるいは、組み合わせることができる。   In this embodiment mode, the contents described in the other embodiment modes are described in detail as an example, an example of a slight modification, an example of a partial change, an example of an improvement, and the like. An example of a case, an example of application, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiments can be applied to or combined with this embodiment.

(実施の形態3)
本実施の形態では、実施の形態1および実施の形態2とは別のフリップフロップ、当該フリップフロップを有する駆動回路、および当該駆動回路を有する表示装置の構成ならびに駆動方法について説明する。本実施の形態のフリップフロップは、フリップフロップの出力信号と、フリップフロップの転送信号と、を別々のトランジスタによって別々の配線から出力することを特徴とする。なお、実施の形態1および実施の形態2と同様なものに関しては共通の符号を用いて示し、同一部分または同様な機能を有する部分の詳細な説明は省略する。
(Embodiment 3)
In this embodiment, a structure and a driving method of a flip-flop different from those in Embodiments 1 and 2, a driving circuit including the flip-flop, and a display device including the driving circuit will be described. The flip-flop of this embodiment is characterized in that the output signal of the flip-flop and the transfer signal of the flip-flop are output from different wirings by different transistors. Note that components similar to those in Embodiments 1 and 2 are denoted by common reference numerals, and detailed description of the same portions or portions having similar functions is omitted.

本実施の形態のフリップフロップの基本構成について、図23を参照して説明する。図23に示すフリップフロップは、図1(A)のフリップフロップに、第9のトランジスタ109および第10のトランジスタ110を追加したものと同様である。   A basic structure of the flip-flop of this embodiment is described with reference to FIG. The flip-flop illustrated in FIG. 23 is similar to the flip-flop illustrated in FIG. 1A in which a ninth transistor 109 and a tenth transistor 110 are added.

図23のフリップフロップの接続関係について説明する。第9のトランジスタ109の第1の電極が、第13の配線133に接続され、第9のトランジスタ109の第2の電極が、第12の配線132に接続され、第9のトランジスタ109のゲート電極が、ノード141に接続されている。第10のトランジスタ110の第1の電極が、第14の配線134に接続され、第10のトランジスタ110の第2の電極が、第12の配線132に接続され、第10のトランジスタ110のゲート電極がノード142に接続されている。その他の接続関係は、図1(A)と同様である。   A connection relation of the flip-flop of FIG. 23 will be described. The first electrode of the ninth transistor 109 is connected to the thirteenth wiring 133, the second electrode of the ninth transistor 109 is connected to the twelfth wiring 132, and the gate electrode of the ninth transistor 109 Are connected to the node 141. The first electrode of the tenth transistor 110 is connected to the fourteenth wiring 134, the second electrode of the tenth transistor 110 is connected to the twelfth wiring 132, and the gate electrode of the tenth transistor 110 Is connected to the node 142. Other connection relationships are the same as those in FIG.

第13の配線133および第14の配線134を、それぞれ第5の信号線および第8の電源線と呼んでもよい。   The thirteenth wiring 133 and the fourteenth wiring 134 may be referred to as a fifth signal line and an eighth power supply line, respectively.

次に、図23に示したフリップフロップの動作について、図24のタイミングチャートを参照して説明する。ここで、図24のタイミングチャートを、セット期間、選択期間、リセット期間および非選択期間に分割して説明する。ただし、セット期間、リセット期間および非選択期間を合わせて非選択期間と呼ぶこともある。   Next, the operation of the flip-flop shown in FIG. 23 will be described with reference to the timing chart of FIG. Here, the timing chart of FIG. 24 will be described by being divided into a set period, a selection period, a reset period, and a non-selection period. However, the set period, the reset period, and the non-selection period may be collectively referred to as a non-selection period.

第3の配線123および第12の配線132からは、それぞれ信号223、信号232が出力される。信号232はフリップフロップの出力信号であり、信号223はフリップフロップの転送信号である。ただし、信号223をフリップフロップの出力信号、信号232をフリップフロップの転送信号としてもよい。   A signal 223 and a signal 232 are output from the third wiring 123 and the twelfth wiring 132, respectively. Signal 232 is an output signal of the flip-flop, and signal 223 is a transfer signal of the flip-flop. However, the signal 223 may be the output signal of the flip-flop, and the signal 232 may be the transfer signal of the flip-flop.

信号232をフリップフロップの出力信号、信号223をフリップフロップの転送信号として用いる場合は、第9のトランジスタ109のW/Lの値を、第1のトランジスタ101〜第10のトランジスタ110のW/Lの中で最大とするとよい。また、信号223をフリップフロップの出力信号、信号232をフリップフロップの転送信号として用いる場合は、第1のトランジスタ101のW/Lの値を、第1のトランジスタ101〜第10のトランジスタ110のW/Lの中で最大とするとよい。   In the case where the signal 232 is used as an output signal of the flip-flop and the signal 223 is used as a transfer signal of the flip-flop, the value of W / L of the ninth transistor 109 is set as W / L of the first transistor 101 to the tenth transistor 110. It is best to make it the largest of all. In the case where the signal 223 is used as an output signal of the flip-flop and the signal 232 is used as a transfer signal of the flip-flop, the value of W / L of the first transistor 101 is set as W of the first transistor 101 to the tenth transistor 110. / L should be the maximum.

本実施の形態では、すでに述べたように、フリップフロップの出力信号と、フリップフロップの転送信号と、を別々のトランジスタによって別々の配線から出力することを特徴とする。つまり、図23のフリップフロップは、第1のトランジスタ101および第2のトランジスタ102によって、第3の配線123から信号を出力する。また、第9のトランジスタ109および第10のトランジスタ110によって、第12の配線132から信号を出力する。さらに、第9のトランジスタ109および第10のトランジスタ110は、第1のトランジスタ101および第2のトランジスタ102と同じように接続されるため、図24に示すように、第12の配線132から出力される信号(信号232)は、第3の配線123から出力される信号(信号223)とおおむね同じ波形である。   In this embodiment mode, as described above, the output signal of the flip-flop and the transfer signal of the flip-flop are output from different wirings by different transistors. That is, the flip-flop in FIG. 23 outputs a signal from the third wiring 123 by the first transistor 101 and the second transistor 102. In addition, a signal is output from the twelfth wiring 132 by the ninth transistor 109 and the tenth transistor 110. Further, since the ninth transistor 109 and the tenth transistor 110 are connected in the same manner as the first transistor 101 and the second transistor 102, they are output from the twelfth wiring 132 as shown in FIG. The signal (signal 232) has substantially the same waveform as the signal (signal 223) output from the third wiring 123.

第1のトランジスタ101は、次の段の第5のトランジスタ105のゲート電極、および第8のトランジスタ108のゲート電極に電荷を供給できればよいので、第1のトランジスタ101のW/Lの値は、第5のトランジスタ105のW/Lの値の2倍以下とすることが好ましい。より好ましくは第5のトランジスタ105のW/Lの値以下とするとよい。   The first transistor 101 only needs to be able to supply electric charge to the gate electrode of the fifth transistor 105 and the gate electrode of the eighth transistor 108 in the next stage, so the value of W / L of the first transistor 101 is It is preferable that the W / L value of the fifth transistor 105 be twice or less. More preferably, the W / L value of the fifth transistor 105 or less is set.

第9のトランジスタ109および第10のトランジスタ110は、それぞれ第1のトランジスタ101および第2のトランジスタ102と同様の機能を有する。さらに、第9のトランジスタ109および第10のトランジスタ110をバッファ部と呼んでもよい。   The ninth transistor 109 and the tenth transistor 110 have functions similar to those of the first transistor 101 and the second transistor 102, respectively. Further, the ninth transistor 109 and the tenth transistor 110 may be referred to as a buffer portion.

以上のことから、図23のフリップフロップは、第12の配線132に大きな負荷が接続され、信号232に遅延、なまりなどが生じても、誤動作を防止することができる。なぜなら、図23のフリップフロップは、フリップフロップの出力信号と、フリップフロップの転送信号と、を別々のトランジスタによって別々の配線から出力することによって、出力信号の遅延、なまりなどの影響を受けないからである。   From the above, the flip-flop in FIG. 23 can prevent malfunction even when a large load is connected to the twelfth wiring 132 and a delay or a rounding occurs in the signal 232. This is because the flip-flop in FIG. 23 is not affected by delay or rounding of the output signal by outputting the output signal of the flip-flop and the transfer signal of the flip-flop from different wirings by different transistors. It is.

図23のフリップフロップは、実施の形態1および実施の形態2で説明したフリップフロップと同様の効果を得ることができる。   The flip-flop of FIG. 23 can obtain the same effect as the flip-flop described in Embodiments 1 and 2.

本実施の形態のフリップフロップは、図1(B)、図1(C)、図4(A)、図4(B)、図4(C)、図5(A)および図5(B)と自由に組み合わせて実施することができる。さらに、本実施の形態のフリップフロップは、実施の形態1に記載の駆動タイミングおよび実施の形態2に記載の駆動タイミングと、自由に組み合わせて実施することができる。   The flip-flop of this embodiment includes the flip-flops illustrated in FIGS. 1B, 1C, 4A, 4B, 4C, 5A, and 5B. And can be combined freely. Furthermore, the flip-flop of this embodiment can be implemented by freely combining the driving timing described in Embodiment 1 and the driving timing described in Embodiment 2.

続いて、上述した本実施の形態のフリップフロップを有するシフトレジスタの構成および駆動方法について説明する。   Next, a structure and driving method of the shift register including the flip-flop of this embodiment described above will be described.

本実施の形態のシフトレジスタの構成について、図25を参照して説明する。図25のシフトレジスタは、n個のフリップフロップ(フリップフロップ2501_1〜フリップフロップ2501_n)を有する。   A structure of the shift register of this embodiment is described with reference to FIG. The shift register in FIG. 25 includes n flip-flops (flip-flops 2501_1 to 2501_n).

フリップフロップ2501_1〜フリップフロップ2501_n、第1の配線2511、第2の配線2512、第3の配線2513、第4の配線2514、第5の配線2515および第6の配線2516は、図7のフリップフロップ701_1〜フリップフロップ701_n、第1の配線711、第2の配線712、第3の配線713、第4の配線714、第5の配線715および第6の配線716に相当し、同様の信号または同様の電源電圧が入力される。そして、第7の配線2517_1〜第7の配線2517_nと第8の配線2518_1〜第8の配線2518_nは、図7の第7の配線717_1〜第7の配線717_nに相当する。   The flip-flops 2501_1 to 2501_n, the first wiring 2511, the second wiring 2512, the third wiring 2513, the fourth wiring 2514, the fifth wiring 2515, and the sixth wiring 2516 are the flip-flops in FIG. 701_1 to flip-flop 701_n, corresponding to the first wiring 711, the second wiring 712, the third wiring 713, the fourth wiring 714, the fifth wiring 715, and the sixth wiring 716, similar signals or similar The power supply voltage is input. The seventh wiring 2517_1 to the seventh wiring 2517_n and the eighth wiring 2518_1 to the eighth wiring 2518_n correspond to the seventh wiring 717_1 to the seventh wiring 717_n in FIG.

次に、図25に示したシフトレジスタの動作について、図26のタイミングチャートを参照して説明する。   Next, operation of the shift register illustrated in FIG. 25 is described with reference to a timing chart in FIG.

図25に示すシフトレジスタの動作は、図7に示したシフトレジスタの動作と比較して、出力信号と、転送信号とを、別々の配線に出力するところが異なる。具体的には、出力信号は、第8の配線2518_1〜第8の配線2518_nそれぞれに出力され、転送信号は、第7の配線2517_1〜第7の配線2517_nそれぞれに出力される。   The operation of the shift register illustrated in FIG. 25 is different from the operation of the shift register illustrated in FIG. 7 in that the output signal and the transfer signal are output to different wirings. Specifically, the output signal is output to each of the eighth wiring 2518_1 to the eighth wiring 2518_n, and the transfer signal is output to each of the seventh wiring 2517_1 to the seventh wiring 2517_n.

図25のシフトレジスタは、第8の配線2518_1〜第8の配線2518_nに大きな負荷(抵抗および容量など)が接続されても、負荷の影響を受けずに動作することができる。さらに、図25のシフトレジスタは、第8の配線2518_1〜第8の配線2518_nのいずれかが、電源線または信号線とショートしても、正常動作を続けることができる。したがって、図25のシフトレジスタは、動作効率の向上、信頼性の向上および歩留まりの向上を図ることができる。なぜなら、図25のシフトレジスタは、各フリップフロップの転送信号と、各フリップフロップの出力信号と、を分割しているからである。   The shift register in FIG. 25 can operate without being affected by the load even when a large load (such as a resistor and a capacitor) is connected to the eighth wiring 2518_1 to the eighth wiring 2518_n. In addition, the shift register in FIG. 25 can continue normal operation even when any of the eighth wirings 2518_1 to 2518_n is short-circuited to a power supply line or a signal line. Therefore, the shift register in FIG. 25 can improve operation efficiency, reliability, and yield. This is because the shift register of FIG. 25 divides the transfer signal of each flip-flop and the output signal of each flip-flop.

本実施の形態のフリップフロップを適用したシフトレジスタは、実施の形態1および実施の形態2で説明したシフトレジスタと同様の効果を得ることができる。   The shift register to which the flip-flop of this embodiment is applied can achieve the same effect as the shift register described in Embodiments 1 and 2.

本実施の形態のシフトレジスタは、図7および図10のシフトレジスタと自由に組み合わせて実施することができる。さらに、本実施の形態のシフトレジスタは、実施の形態1および実施の形態2の記載と自由に組み合わせて実施することができる。   The shift register of this embodiment can be implemented by being freely combined with the shift registers of FIGS. Further, the shift register of this embodiment can be implemented by being freely combined with the description in Embodiment 1 and Embodiment 2.

本実施の形態の表示装置として、図11、図13、図14、図21および図22の表示装置を用いることができる。したがって、本実施の形態の表示装置は、実施の形態1および実施の形態2で説明した表示装置と同様の効果を得ることができる。   As the display device of this embodiment, the display devices of FIGS. 11, 13, 14, 21, and 22 can be used. Therefore, the display device of this embodiment can obtain the same effects as those of the display devices described in Embodiments 1 and 2.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容または内容の一部を、別の図で述べた内容または内容の一部にも適用、あるいは、組み合わせることができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, description is made using various drawings. However, the contents or part of the contents described in each figure can be applied to or combined with the contents or part of the contents described in another figure. be able to. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

本実施の形態の各々の図で述べた内容または内容の一部を、別の実施の形態の図で述べた内容または内容の一部にも適用、あるいは、組み合わせることができる。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   The contents or a part of the contents described in each drawing in this embodiment mode can be applied to or combined with the contents or a part of the contents described in a drawing in another embodiment mode. Further, in the drawings of this embodiment mode, more drawings can be formed by combining each portion with a portion of another embodiment.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態にも適用、あるいは、組み合わせることができる。   In this embodiment mode, the contents described in the other embodiment modes are described in detail as an example, an example of a slight modification, an example of a partial change, an example of an improvement, and the like. An example of a case, an example of application, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiments can be applied to or combined with this embodiment.

(実施の形態4)
本実施の形態では、本明細書のフリップフロップが有するトランジスタに、Pチャネル型トランジスタを適用した場合について説明する。さらに、当該フリップフロップを有する駆動回路、および当該駆動回路を有する表示装置の構成ならびに駆動方法について説明する。
(Embodiment 4)
In this embodiment, the case where a p-channel transistor is used as a transistor included in the flip-flop of this specification will be described. Further, a structure and a driving method of a driving circuit including the flip-flop and a display device including the driving circuit are described.

本実施の形態のフリップフロップは、図1(A)のフリップフロップが有するトランジスタの極性を、Pチャネル型とした場合について説明する。したがって、図27のフリップフロップは、図1のフリップフロップと同様の効果を得ることができる。なお、図1(B)、図1(C)、図4(A)、図4(B)、図4(C)、図5(A)、図5(B)および図23に示したフリップフロップが有するトランジスタの極性を、Pチャネル型とすることもできる。なお、本実施の形態のフリップフロップは、実施の形態1乃至実施の形態3の記載と自由に組み合わせて実施することもできる。   In the flip-flop of this embodiment, the case where the polarity of the transistor included in the flip-flop in FIG. Therefore, the flip-flop of FIG. 27 can obtain the same effect as the flip-flop of FIG. 1B, FIG. 1C, FIG. 4A, FIG. 4B, FIG. 4C, FIG. 5A, FIG. 5B, and FIG. The polarity of the transistor included in the transistor can be a P-channel type. Note that the flip-flop of this embodiment can be freely combined with the description in Embodiments 1 to 3.

本実施の形態のフリップフロップの基本構成について、図27を参照して説明する。図27に示すフリップフロップは、第1のトランジスタ2701〜第8のトランジスタ2708を有する。そして、第1のトランジスタ2701〜第8のトランジスタ2708は、図1(A)の第1のトランジスタ101〜第8のトランジスタ108にそれぞれ対応する。ただし、第1のトランジスタ2701〜第8のトランジスタ2708は、Pチャネル型トランジスタとし、ゲート・ソース間電圧の絶対値(|Vgs|)が、しきい値電圧の絶対値(|Vth|)を上回ったとき(VgsがVthを下回ったとき)、導通状態になるものとする。   A basic structure of the flip-flop of this embodiment is described with reference to FIG. The flip-flop illustrated in FIG. 27 includes a first transistor 2701 to an eighth transistor 2708. The first transistor 2701 to the eighth transistor 2708 correspond to the first transistor 101 to the eighth transistor 108 in FIG. Note that the first transistor 2701 to the eighth transistor 2708 are P-channel transistors, and the absolute value of the gate-source voltage (| Vgs |) exceeds the absolute value of the threshold voltage (| Vth |). (When Vgs is less than Vth), the conductive state is assumed.

本実施の形態のフリップフロップは、第1のトランジスタ2701〜第8のトランジスタ2708が、全てPチャネル型トランジスタで構成されていることを特徴とする。したがって、本実施の形態のフリップフロップは、製造工程の簡略化、製造コストの削減および歩留まりの向上を図ることができる。   The flip-flop of this embodiment is characterized in that the first transistor 2701 to the eighth transistor 2708 are all P-channel transistors. Therefore, the flip-flop of this embodiment can simplify the manufacturing process, reduce the manufacturing cost, and improve the yield.

図27のフリップフロップの接続関係は、図1(A)と同様なので省略する。   The connection relation of the flip-flop in FIG. 27 is the same as that in FIG.

図27の第1の配線2721〜第11の配線2731は、図1の第1の配線121〜第11の配線131にそれぞれ相当する。   The first wiring 2721 to the eleventh wiring 2731 in FIG. 27 correspond to the first wiring 121 to the eleventh wiring 131 in FIG. 1, respectively.

次に、図27に示したフリップフロップの動作について、図28のタイミングチャートを参照して説明する。ここで、図28のタイミングチャートをセット期間、選択期間、リセット期間および非選択期間に分割して説明する。ただし、セット期間、リセット期間および非選択期間を合わせて非選択期間と呼ぶこともある。   Next, the operation of the flip-flop shown in FIG. 27 will be described with reference to the timing chart of FIG. Here, the timing chart of FIG. 28 is divided into a set period, a selection period, a reset period, and a non-selection period. However, the set period, the reset period, and the non-selection period may be collectively referred to as a non-selection period.

図28のタイミングチャートは、図2のタイミングチャートのHレベルとLレベルを反転したものと、同様である。つまり、図27のフリップフロップは、図1(A)のフリップフロップと比較して、入力信号および出力信号のHレベルとLレベルとが反転しただけである。なお、信号2821、信号2825、信号2841、信号2842、信号2822および信号2823は、図2の信号221、信号225、信号241、信号242、信号222および信号223にそれぞれ相当する。   The timing chart of FIG. 28 is the same as that obtained by inverting the H level and the L level of the timing chart of FIG. That is, in the flip-flop in FIG. 27, the H level and the L level of the input signal and the output signal are only inverted as compared with the flip-flop in FIG. Note that the signal 2821, the signal 2825, the signal 2841, the signal 2842, the signal 2822, and the signal 2823 correspond to the signal 221, the signal 225, the signal 241, the signal 242, the signal 222, and the signal 223 in FIG. 2, respectively.

なお、図27のフリップフロップに供給されている電源電圧は、図1(A)のフリップフロップと比較して、V1とV2とが反転している。   Note that the power supply voltage supplied to the flip-flop in FIG. 27 is inverted between V1 and V2 as compared with the flip-flop in FIG.

まず、図28の(A)に示すセット期間における、フリップフロップの動作を説明する。ノード2741の電位2841がV2+|Vth2705|となる。そして、ノード2741は、電位をV2+|Vth2705|に維持したまま浮遊状態となる。このとき、ノード2742では、電位2842がV1−θ(θ:任意の正の数)となる。なお、第1のトランジスタ2701および第2のトランジスタ2702がオンしているため、H信号が第3の配線2723から出力される。   First, the operation of the flip-flop in the set period shown in FIG. The potential 2841 of the node 2741 becomes V2 + | Vth2705 |. The node 2741 is in a floating state with the potential maintained at V2 + | Vth2705 |. At this time, at the node 2742, the potential 2842 becomes V1−θ (θ is an arbitrary positive number). Note that since the first transistor 2701 and the second transistor 2702 are on, an H signal is output from the third wiring 2723.

図28の(B)に示す選択期間における、フリップフロップの動作を説明する。ノード2741の電位2841がブートストラップ動作によって、V2−|Vth2701|−γ(Vth2701:第1のトランジスタ2701のしきい値電圧、γ:任意の正の数)となる。よって、第1のトランジスタ2701がオンするので、L信号が第3の配線2723から出力される。   The operation of the flip-flop in the selection period shown in FIG. The potential 2841 of the node 2741 becomes V2− | Vth2701 | −γ (Vth2701: threshold voltage of the first transistor 2701, γ: any positive number) by the bootstrap operation. Accordingly, the first transistor 2701 is turned on, so that the L signal is output from the third wiring 2723.

図28の(C)に示すリセット期間における、フリップフロップの動作を説明する。第7のトランジスタ2707がオンするため、ノード2741の電位2841は、V1となる。よって、第1のトランジスタ2701がオフする。このとき、ノード2742の電位2842は、V2+|Vth2703|となり、第2のトランジスタ2702がオンする。よって、H信号が、第3の配線2723から出力される。   The operation of the flip-flop in the reset period shown in FIG. Since the seventh transistor 2707 is turned on, the potential 2841 of the node 2741 is V1. Accordingly, the first transistor 2701 is turned off. At this time, the potential 2842 of the node 2742 becomes V2 + | Vth2703 |, and the second transistor 2702 is turned on. Accordingly, the H signal is output from the third wiring 2723.

図28の(D)に示す非選択期間における、フリップフロップの動作を説明する。ノード2741の電位2841はV1のままである。そして、ノード2742の電位2842もV2+|Vth2703|のままなので、第2のトランジスタ2702はオンのままである。よって、H信号が、第3の配線2723から出力される。   The operation of the flip-flop in the non-selection period shown in FIG. The potential 2841 of the node 2741 remains at V1. Since the potential 2842 of the node 2742 is also V2 + | Vth2703 |, the second transistor 2702 remains on. Accordingly, the H signal is output from the third wiring 2723.

本実施の形態のシフトレジスタは、本実施の形態のフリップフロップを、実施の形態1乃至実施の形態3に記載のシフトレジスタと、自由に組み合わせて実施することができる。例えば、本実施の形態のシフトレジスタは、本実施の形態のフリップフロップを図7、図10および図25のシフトレジスタと、自由に組み合わせて実施することができる。ただし、本実施の形態のシフトレジスタは、実施の形態1乃至実施の形態3に記載のシフトレジスタと比較して、HレベルとLレベルが反転している。   The shift register of this embodiment can be implemented by freely combining the flip-flop of this embodiment with the shift register described in any of Embodiments 1 to 3. For example, the shift register of this embodiment mode can be implemented by freely combining the flip-flops of this embodiment mode with the shift registers of FIGS. However, in the shift register of this embodiment, the H level and the L level are inverted as compared with the shift register described in any of Embodiments 1 to 3.

本実施の形態の表示装置は、本実施の形態のシフトレジスタを、実施の形態1乃至実施の形態3に記載の表示装置と、自由に組み合わせて実施することができる。例えば、本実施の形態の表示装置は、図11、図13、図14、図21および図22の表示装置と、自由に組み合わせて実施することができる。ただし、本実施の形態の表示装置は、実施の形態1乃至実施の形態3に記載の表示装置と比較して、HレベルとLレベルが反転している。   The display device of this embodiment can be implemented by freely combining the shift register of this embodiment with the display device described in any of Embodiments 1 to 3. For example, the display device of this embodiment mode can be implemented by being freely combined with the display devices of FIGS. 11, 13, 14, 21, and 22. However, in the display device of this embodiment, the H level and the L level are inverted as compared with the display devices described in Embodiments 1 to 3.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容または内容の一部を、別の図で述べた内容または内容の一部にも適用、あるいは、組み合わせることができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, description is made using various drawings. However, the contents or part of the contents described in each figure can be applied to or combined with the contents or part of the contents described in another figure. be able to. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

本実施の形態の各々の図で述べた内容、または内容の一部を、別の実施の形態の図で述べた内容、または内容の一部にも適用、あるいは、組み合わせることができる。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   The contents described in each drawing of this embodiment mode or a part of the contents can be applied to or combined with the contents described in the drawings of another embodiment mode or a part of the contents. Further, in the drawings of this embodiment mode, more drawings can be formed by combining each portion with a portion of another embodiment.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態にも適用、あるいは、組み合わせることができる。   In this embodiment mode, the contents described in the other embodiment modes are described in detail as an example, an example of a slight modification, an example of a partial change, an example of an improvement, and the like. An example of a case, an example of application, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiments can be applied to or combined with this embodiment.

(実施の形態5)
本実施の形態では、実施の形態1乃至実施の形態4に示した表示装置が有する信号線駆動回路について説明する。
(Embodiment 5)
In this embodiment, a signal line driver circuit included in the display device described in any of Embodiments 1 to 4 is described.

図31の信号線駆動回路について説明する。図31に示す信号線駆動回路は、ドライバIC5601、スイッチ群5602_1〜5602_M、第1の配線5611、第2の配線5612、第3の配線5613および配線5621_1〜5621_Mを有する。スイッチ群5602_1〜5602_Mそれぞれは、第1のスイッチ5603a、第2のスイッチ5603bおよび第3のスイッチ5603cを有する。   The signal line driver circuit of FIG. 31 will be described. The signal line driver circuit illustrated in FIG. 31 includes a driver IC 5601, switch groups 5602_1 to 5602_M, a first wiring 5611, a second wiring 5612, a third wiring 5613, and wirings 5621_1 to 5621_M. Each of the switch groups 5602_1 to 5602_M includes a first switch 5603a, a second switch 5603b, and a third switch 5603c.

ドライバIC5601は、第1の配線5611、第2の配線5612、第3の配線5613および配線5621_1〜5621_Mに接続される。そして、スイッチ群5602_1〜5602_Mそれぞれは、第1の配線5611、第2の配線5612、第3の配線5613およびスイッチ群5602_1〜5602_Mそれぞれに対応した配線5621_1〜5621_Mのうちいずれかに接続される。そして、配線5621_1〜5621_Mそれぞれは、第1のスイッチ5603a、第2のスイッチ5603bおよび第3のスイッチ5603cを介して、3つの信号線に接続される。例えば、J列目の配線5621_J(配線5621_1〜配線5621_Mのうちいずれか一)は、スイッチ群5602_Jが有する第1のスイッチ5603a、第2のスイッチ5603bおよび第3のスイッチ5603cを介して、信号線Sj−1、信号線Sjおよび信号線Sj+1に接続される。   The driver IC 5601 is connected to the first wiring 5611, the second wiring 5612, the third wiring 5613, and the wirings 5621_1 to 5621_M. Each of the switch groups 5602_1 to 5602_M is connected to any of the first wiring 5611, the second wiring 5612, the third wiring 5613, and the wirings 5621_1 to 5621_M corresponding to the switch groups 5602_1 to 5602_M. Each of the wirings 5621_1 to 5621_M is connected to three signal lines through the first switch 5603a, the second switch 5603b, and the third switch 5603c. For example, the wiring 5621_J (any one of the wirings 5621_1 to 5621_M) in the J-th column is connected to the signal line through the first switch 5603a, the second switch 5603b, and the third switch 5603c included in the switch group 5602_J. Sj−1, signal line Sj and signal line Sj + 1 are connected.

第1の配線5611、第2の配線5612および第3の配線5613には、それぞれ信号が入力される。   Signals are input to the first wiring 5611, the second wiring 5612, and the third wiring 5613, respectively.

ドライバIC5601は、単結晶基板もしくは多結晶半導体を用いたガラス基板上に形成されていることが望ましい。さらに、スイッチ群5602_1〜5602_Mは、実施の形態1および実施の形態2に示した画素部と、同一基板上に形成されていることが望ましい。したがって、ドライバIC5601とスイッチ群5602_1〜5602_MとはFPCなどを介して接続するとよい。   The driver IC 5601 is preferably formed over a single crystal substrate or a glass substrate using a polycrystalline semiconductor. Further, the switch groups 5602_1 to 5602_M are preferably formed over the same substrate as the pixel portion described in Embodiments 1 and 2. Therefore, the driver IC 5601 and the switch groups 5602_1 to 5602_M are preferably connected through an FPC or the like.

次に、図31に示した信号線駆動回路の動作について、図32のタイミングチャートを参照して説明する。なお、図32のタイミングチャートは、i行目の走査線Giが選択されている場合のタイミングチャートを示している。さらに、i行目の走査線Giの選択期間は、第1のサブ選択期間T1、第2のサブ選択期間T2および第3のサブ選択期間T3に分割されている。さらに、図31の信号線駆動回路は、他の行の走査線が選択されている場合でも、図32と同様の動作をする。   Next, operation of the signal line driver circuit illustrated in FIG. 31 is described with reference to a timing chart of FIG. Note that the timing chart of FIG. 32 shows the timing chart when the i-th scanning line Gi is selected. Further, the selection period of the i-th scanning line Gi is divided into a first sub-selection period T1, a second sub-selection period T2, and a third sub-selection period T3. Further, the signal line driver circuit in FIG. 31 operates in the same manner as in FIG. 32 even when a scan line in another row is selected.

図32のタイミングチャートは、J列目の配線5621_Jが、第1のスイッチ5603a、第2のスイッチ5603bおよび第3のスイッチ5603cを介して、信号線Sj−1、信号線Sjおよび信号線Sj+1に接続される場合について示している。   In the timing chart of FIG. 32, the wiring 5621_J in the J-th column is connected to the signal line Sj-1, the signal line Sj, and the signal line Sj + 1 through the first switch 5603a, the second switch 5603b, and the third switch 5603c. It shows the case of connection.

図32のタイミングチャートは、i行目の走査線Giが選択されるタイミング、第1のスイッチ5603aのオン・オフのタイミング5703a、第2のスイッチ5603bのオン・オフのタイミング5703b、第3のスイッチ5603cのオン・オフのタイミング5703cおよびJ列目の配線5621_Jに入力される信号5721_Jを示している。   The timing chart of FIG. 32 shows the timing at which the i-th scanning line Gi is selected, the on / off timing 5703a of the first switch 5603a, the on / off timing 5703b of the second switch 5603b, and the third switch. An ON / OFF timing 5703c of 5603c and a signal 5721_J input to the wiring 5621_J in the J-th column are shown.

配線5621_1〜配線5621_Mには、第1のサブ選択期間T1、第2のサブ選択期間T2および第3のサブ選択期間T3において、それぞれ別のビデオ信号が入力される。例えば、第1のサブ選択期間T1において、配線5621_Jに入力されるビデオ信号は、信号線Sj−1に入力される。第2のサブ選択期間T2において、配線5621_Jに入力されるビデオ信号は、信号線Sjに入力される。第3のサブ選択期間T3において、配線5621_Jに入力されるビデオ信号は、信号線Sj+1に入力される。さらに、第1のサブ選択期間T1、第2のサブ選択期間T2および第3のサブ選択期間T3において、配線5621_Jに入力されるビデオ信号を、それぞれDataj−1、DatajおよびDataj+1とする。   Different video signals are input to the wirings 5621_1 to 5621_M in the first sub-selection period T1, the second sub-selection period T2, and the third sub-selection period T3. For example, in the first sub-selection period T1, the video signal input to the wiring 5621_J is input to the signal line Sj-1. In the second sub-selection period T2, the video signal input to the wiring 5621_J is input to the signal line Sj. In the third sub-selection period T3, the video signal input to the wiring 5621_J is input to the signal line Sj + 1. Further, video signals input to the wiring 5621_J in the first sub-selection period T1, the second sub-selection period T2, and the third sub-selection period T3 are Dataj-1, Dataj, and Dataj + 1, respectively.

図32に示すように、第1のサブ選択期間T1において、第1のスイッチ5603aがオンし、第2のスイッチ5603bおよび第3のスイッチ5603cがオフする。このとき、配線5621_Jに入力されるDataj−1が、第1のスイッチ5603aを介して信号線Sj−1に入力される。第2のサブ選択期間T2では、第2のスイッチ5603bがオンし、第1のスイッチ5603aおよび第3のスイッチ5603cがオフする。このとき、配線5621_Jに入力されるDatajが、第2のスイッチ5603bを介して信号線Sjに入力される。第3のサブ選択期間T3では、第3のスイッチ5603cがオンし、第1のスイッチ5603aおよび第2のスイッチ5603bがオフする。このとき、配線5621_Jに入力されるDataj+1が、第3のスイッチ5603cを介して信号線Sj+1に入力される。   As shown in FIG. 32, in the first sub-selection period T1, the first switch 5603a is turned on, and the second switch 5603b and the third switch 5603c are turned off. At this time, Dataj-1 input to the wiring 5621_J is input to the signal line Sj-1 through the first switch 5603a. In the second sub-selection period T2, the second switch 5603b is turned on, and the first switch 5603a and the third switch 5603c are turned off. At this time, Dataj input to the wiring 5621_J is input to the signal line Sj through the second switch 5603b. In the third sub-selection period T3, the third switch 5603c is turned on, and the first switch 5603a and the second switch 5603b are turned off. At this time, Dataj + 1 input to the wiring 5621_J is input to the signal line Sj + 1 through the third switch 5603c.

以上のことから、図31の信号線駆動回路は、1ゲート選択期間を3つに分割することで、1ゲート選択期間中に、1つの配線5621から、3つの信号線にビデオ信号を入力することができる。したがって、図31の信号線駆動回路は、ドライバIC5601が形成される基板と、画素部が形成されている基板との接続数を、信号線の数に比べて約1/3にすることができる。接続数が約1/3になることによって、図31の信号線駆動回路は、信頼性、歩留まりなどを向上できる。   From the above, the signal line driver circuit in FIG. 31 divides one gate selection period into three to input video signals from one wiring 5621 to three signal lines during one gate selection period. be able to. Therefore, in the signal line driver circuit in FIG. 31, the number of connections between the substrate on which the driver IC 5601 is formed and the substrate on which the pixel portion is formed can be reduced to about 1/3 of the number of signal lines. . When the number of connections is about 3, the signal line driver circuit in FIG. 31 can improve reliability, yield, and the like.

本実施の形態の信号線駆動回路を、実施の形態1乃至実施の形態4に示した表示装置に適用することによって、さらに画素部が形成されている基板と、外部基板との接続数を減らすことができる。したがって、本発明の表示装置は、信頼性の向上および歩留まりの向上を図ることができる。   By applying the signal line driver circuit of this embodiment mode to the display device described in Embodiment Modes 1 to 4, the number of connections between the substrate over which the pixel portion is formed and the external substrate is further reduced. be able to. Therefore, the display device of the present invention can improve reliability and yield.

次に、第1のスイッチ5603a、第2のスイッチ5603bおよび第3のスイッチ5603cに、Nチャネル型のトランジスタを適用した場合について、図33を参照して説明する。なお、図31と同様なものに関しては、共通の符号を用いて示し、同一部分または同様な機能を有する部分の詳細な説明は省略する。   Next, the case where N-channel transistors are used for the first switch 5603a, the second switch 5603b, and the third switch 5603c will be described with reference to FIGS. Note that components similar to those in FIG. 31 are denoted by common reference numerals, and detailed description of the same portions or portions having similar functions is omitted.

図33における第1のトランジスタ5903aは、図31における第1のスイッチ5603aに相当する。図33における第2のトランジスタ5903bは、図31における第2のスイッチ5603bに相当する。図33における第3のトランジスタ5903cは、図31における第3のスイッチ5603cに相当する。   The first transistor 5903a in FIG. 33 corresponds to the first switch 5603a in FIG. The second transistor 5903b in FIG. 33 corresponds to the second switch 5603b in FIG. The third transistor 5903c in FIG. 33 corresponds to the third switch 5603c in FIG.

例えば、スイッチ群5602_Mの場合、第1のトランジスタ5903aは、第1の電極が配線5621_Jに接続され、第2の電極が信号線Sj−1に接続され、ゲート電極が第1の配線5611に接続される。第2のトランジスタ5903bは、第1の電極が配線5621_Jに接続され、第2の電極が信号線Sjに接続され、ゲート電極が第2の配線5612に接続される。第3のトランジスタ5903cは、第1の電極が配線5621_Jに接続され、第2の電極が信号線Sj+1に接続され、ゲート電極が第3の配線5613に接続される。   For example, in the case of the switch group 5602_M, the first transistor 5903a includes a first electrode connected to the wiring 5621_J, a second electrode connected to the signal line Sj-1, and a gate electrode connected to the first wiring 5611. Is done. In the second transistor 5903b, the first electrode is connected to the wiring 5621_J, the second electrode is connected to the signal line Sj, and the gate electrode is connected to the second wiring 5612. In the third transistor 5903c, the first electrode is connected to the wiring 5621_J, the second electrode is connected to the signal line Sj + 1, and the gate electrode is connected to the third wiring 5613.

第1のトランジスタ5903a、第2のトランジスタ5903bおよび第3のトランジスタ5903cは、それぞれスイッチングトランジスタとして機能する。さらに、第1のトランジスタ5903a、第2のトランジスタ5903bおよび第3のトランジスタ5903cはそれぞれ、ゲート電極に入力される信号がHレベルのときにオンとなり、ゲート電極に入力される信号がLレベルのときにオフとなる。   The first transistor 5903a, the second transistor 5903b, and the third transistor 5903c each function as a switching transistor. Further, each of the first transistor 5903a, the second transistor 5903b, and the third transistor 5903c is turned on when a signal input to the gate electrode is at an H level, and when the signal input to the gate electrode is at an L level. Turned off.

第1のスイッチ5603a、第2のスイッチ5603bおよび第3のスイッチ5603cとして、Nチャネル型のトランジスタを用いることによって、トランジスタの半導体層として、アモルファスシリコンを用いることができるため、製造工程の簡略化、製造コストの削減や歩留まりの向上を図ることができる。さらに、大型の表示パネルなどの半導体装置を、作製することも可能となる。また、トランジスタの半導体層として、ポリシリコンや多結晶シリコンを用いても、製造工程の簡略化を図ることができる。   By using N-channel transistors as the first switch 5603a, the second switch 5603b, and the third switch 5603c, amorphous silicon can be used as the semiconductor layer of the transistor, which simplifies the manufacturing process. Manufacturing cost can be reduced and yield can be improved. Further, a semiconductor device such as a large display panel can be manufactured. Further, even when polysilicon or polycrystalline silicon is used for the semiconductor layer of the transistor, the manufacturing process can be simplified.

図33の信号線駆動回路では、第1のトランジスタ5903a、第2のトランジスタ5903bおよび第3のトランジスタ5903cとして、Nチャネル型のトランジスタを用いた場合について説明したが、第1のトランジスタ5903a、第2のトランジスタ5903bおよび第3のトランジスタ5903cとして、Pチャネル型のトランジスタを用いてもよい。このときトランジスタは、ゲート電極に入力される信号がLレベルのときにオンとなり、ゲート電極に入力される信号がHレベルのときにオフとなる。   In the signal line driver circuit in FIG. 33, the case where N-channel transistors are used as the first transistor 5903a, the second transistor 5903b, and the third transistor 5903c has been described; however, the first transistor 5903a, P-channel transistors may be used as the transistor 5903b and the third transistor 5903c. At this time, the transistor is turned on when the signal input to the gate electrode is at L level, and is turned off when the signal input to the gate electrode is at H level.

図31のように、1ゲート選択期間を複数のサブ選択期間に分割し、複数のサブ選択期間それぞれにおいてある1つの配線から、複数の信号線それぞれにビデオ信号を入力することができれば、スイッチの配置や数、駆動方法などは限定されない。   As shown in FIG. 31, if one gate selection period is divided into a plurality of sub-selection periods and a video signal can be input to each of a plurality of signal lines from one wiring in each of the plurality of sub-selection periods, The arrangement, number, driving method, etc. are not limited.

例えば、3つ以上のサブ選択期間それぞれにおいて、1つの配線から3つ以上の信号線それぞれに、ビデオ信号を入力する場合は、スイッチおよびスイッチを制御するための配線を追加すればよい。ただし、1ゲート選択期間を4つ以上のサブ選択期間に分割すると、1つのサブ選択期間が短くなりすぎる。したがって、1ゲート選択期間は、2つまたは3つのサブ選択期間に分割されることが望ましい。   For example, when a video signal is input from one wiring to each of three or more signal lines in each of three or more sub-selection periods, a switch and a wiring for controlling the switch may be added. However, if one gate selection period is divided into four or more sub selection periods, one sub selection period becomes too short. Therefore, it is desirable that one gate selection period is divided into two or three sub selection periods.

別の例として、図34のタイミングチャートに示すように、1つの選択期間をプリチャージ期間Tp、第1のサブ選択期間T1、第2のサブ選択期間T2および第3の選択期間T3に分割してもよい。さらに、図34のタイミングチャートは、i行目の走査線Giが選択されるタイミング、第1のスイッチ5603aのオン・オフのタイミング5803a、第2のスイッチ5603bのオン・オフのタイミング5803b、第3のスイッチ5603cのオン・オフのタイミング5803cおよびJ列目の配線5621_Jに入力される信号5821_Jを示している。図34に示すように、プリチャージ期間Tpにおいて、第1のスイッチ5603a、第2のスイッチ5603bおよび第3のスイッチ5603cがオンする。このとき、配線5621_Jに入力されるプリチャージ電圧Vpが、第1のスイッチ5603a、第2のスイッチ5603bおよび第3のスイッチ5603cを介して、それぞれ信号線Sj−1、信号線Sj、信号線Sj+1に入力される。第1のサブ選択期間T1において、第1のスイッチ5603aがオンし、第2のスイッチ5603bおよび第3のスイッチ5603cがオフする。このとき、配線5621_Jに入力されるDataj−1が、第1のスイッチ5603aを介して、信号線Sj−1に入力される。第2のサブ選択期間T2では、第2のスイッチ5603bがオンし、第1のスイッチ5603aおよび第3のスイッチ5603cがオフする。このとき、配線5621_Jに入力されるDatajが、第2のスイッチ5603bを介して、信号線Sjに入力される。第3のサブ選択期間T3では、第3のスイッチ5603cがオンし、第1のスイッチ5603aおよび第2のスイッチ5603bがオフする。このとき、配線5621_Jに入力されるDataj+1が、第3のスイッチ5603cを介して、信号線Sj+1に入力される。   As another example, as shown in the timing chart of FIG. 34, one selection period is divided into a precharge period Tp, a first sub selection period T1, a second sub selection period T2, and a third selection period T3. May be. Further, in the timing chart of FIG. 34, the timing at which the i-th scanning line Gi is selected, the on / off timing 5803a of the first switch 5603a, the on / off timing 5803b of the second switch 5603b, The ON / OFF timing 5803c of the switch 5603c and the signal 5821_J input to the wiring 5621_J in the J-th column are shown. As shown in FIG. 34, in the precharge period Tp, the first switch 5603a, the second switch 5603b, and the third switch 5603c are turned on. At this time, the precharge voltage Vp input to the wiring 5621_J is supplied to the signal line Sj−1, the signal line Sj, and the signal line Sj + 1 through the first switch 5603a, the second switch 5603b, and the third switch 5603c, respectively. Is input. In the first sub-selection period T1, the first switch 5603a is turned on, and the second switch 5603b and the third switch 5603c are turned off. At this time, Dataj-1 input to the wiring 5621_J is input to the signal line Sj-1 through the first switch 5603a. In the second sub-selection period T2, the second switch 5603b is turned on, and the first switch 5603a and the third switch 5603c are turned off. At this time, Dataj input to the wiring 5621_J is input to the signal line Sj through the second switch 5603b. In the third sub-selection period T3, the third switch 5603c is turned on, and the first switch 5603a and the second switch 5603b are turned off. At this time, Dataj + 1 input to the wiring 5621_J is input to the signal line Sj + 1 through the third switch 5603c.

以上のことから、図34のタイミングチャートを適用した図31の信号線駆動回路は、サブ選択期間の前にプリチャージ選択期間を設けることによって、信号線をプリチャージできる。そのため、画素へビデオ信号を高速に書き込みできる。なお、図32と同様なものに関しては共通の符号を用いて示し、同一部分または同様な機能を有する部分の詳細な説明は省略する。   From the above, the signal line driver circuit in FIG. 31 to which the timing chart in FIG. 34 is applied can precharge the signal line by providing the precharge selection period before the sub selection period. Therefore, a video signal can be written to the pixel at high speed. Note that components similar to those in FIG. 32 are denoted by common reference numerals, and detailed description of the same portions or portions having similar functions is omitted.

図35においても、図31のように、1ゲート選択期間を複数のサブ選択期間に分割し、複数のサブ選択期間それぞれにおいてある1つの配線から、複数の信号線それぞれにビデオ信号を入力することができる。なお、図35は、信号線駆動回路のうち、J列目のスイッチ群6022_Jのみを示している。スイッチ群6022_Jは、第1のトランジスタ6001、第2のトランジスタ6002、第3のトランジスタ6003、第4のトランジスタ6004、第5のトランジスタ6005および第6のトランジスタ6006を有している。第1のトランジスタ6001、第2のトランジスタ6002、第3のトランジスタ6003、第4のトランジスタ6004、第5のトランジスタ6005および第6のトランジスタ6006は、Nチャネル型のトランジスタである。スイッチ群6022_Jは、第1の配線6011、第2の配線6012、第3の配線6013、第4の配線6014、第5の配線6015、第6の配線6016、配線5621_J、信号線Sj−1、信号線Sjおよび信号線Sj+1に接続される。   Also in FIG. 35, as shown in FIG. 31, one gate selection period is divided into a plurality of sub-selection periods, and a video signal is input to each of a plurality of signal lines from one wiring in each of the plurality of sub-selection periods. Can do. Note that FIG. 35 illustrates only the switch group 6022_J in the J column in the signal line driver circuit. The switch group 6022_J includes a first transistor 6001, a second transistor 6002, a third transistor 6003, a fourth transistor 6004, a fifth transistor 6005, and a sixth transistor 6006. The first transistor 6001, the second transistor 6002, the third transistor 6003, the fourth transistor 6004, the fifth transistor 6005, and the sixth transistor 6006 are N-channel transistors. The switch group 6022_J includes a first wiring 6011, a second wiring 6012, a third wiring 6013, a fourth wiring 6014, a fifth wiring 6015, a sixth wiring 6016, a wiring 5621_J, a signal line Sj-1, Connected to signal line Sj and signal line Sj + 1.

第1のトランジスタ6001の第1の電極は、配線5621_Jに接続され、第2の電極は、信号線Sj−1に接続され、ゲート電極は、第1の配線6011に接続される。第2のトランジスタ6002の第1の電極は、配線5621_Jに接続され、第2の電極は、信号線Sj−1に接続され、ゲート電極は、第2の配線6012に接続される。第3のトランジスタ6003の第1の電極は、配線5621_Jに接続され、第2の電極は、信号線Sjに接続され、ゲート電極は、第3の配線6013に接続される。第4のトランジスタ6004の第1の電極は、配線5621_Jに接続され、第2の電極は、信号線Sjに接続され、ゲート電極は、第4の配線6014に接続される。第5のトランジスタ6005の第1の電極は、配線5621_Jに接続され、第2の電極は、信号線Sj+1に接続され、ゲート電極は、第5の配線6015に接続される。第6のトランジスタ6006の第1の電極は、配線5621_Jに接続され、第2の電極は、信号線Sj+1に接続され、ゲート電極は、第6の配線6016に接続される。   A first electrode of the first transistor 6001 is connected to the wiring 5621_J, a second electrode is connected to the signal line Sj-1, and a gate electrode is connected to the first wiring 6011. A first electrode of the second transistor 6002 is connected to the wiring 5621_J, a second electrode is connected to the signal line Sj-1, and a gate electrode is connected to the second wiring 6012. A first electrode of the third transistor 6003 is connected to the wiring 5621_J, a second electrode is connected to the signal line Sj, and a gate electrode is connected to the third wiring 6013. A first electrode of the fourth transistor 6004 is connected to the wiring 5621_J, a second electrode is connected to the signal line Sj, and a gate electrode is connected to the fourth wiring 6014. A first electrode of the fifth transistor 6005 is connected to the wiring 5621_J, a second electrode is connected to the signal line Sj + 1, and a gate electrode is connected to the fifth wiring 6015. A first electrode of the sixth transistor 6006 is connected to the wiring 5621_J, a second electrode is connected to the signal line Sj + 1, and a gate electrode is connected to the sixth wiring 6016.

第1のトランジスタ6001、第2のトランジスタ6002、第3のトランジスタ6003、第4のトランジスタ6004、第5のトランジスタ6005および第6のトランジスタ6006は、それぞれスイッチングトランジスタとして機能する。さらに、第1のトランジスタ6001、第2のトランジスタ6002、第3のトランジスタ6003、第4のトランジスタ6004、第5のトランジスタ6005および第6のトランジスタ6006はそれぞれ、ゲート電極に入力される信号がHレベルのときにオンとなり、ゲート電極に入力される信号がLレベルのときにオフとなる。   The first transistor 6001, the second transistor 6002, the third transistor 6003, the fourth transistor 6004, the fifth transistor 6005, and the sixth transistor 6006 each function as a switching transistor. Further, in each of the first transistor 6001, the second transistor 6002, the third transistor 6003, the fourth transistor 6004, the fifth transistor 6005, and the sixth transistor 6006, a signal input to the gate electrode is at an H level. Is turned on when the signal is input, and is turned off when the signal input to the gate electrode is at the L level.

図35の第1の配線6011および第2の配線6012は、図33の第1の配線5611に相当する。図35の第3の配線6013および第4の配線6014は、図33の第2の配線5612に相当する。図35の第5の配線6015および第6の配線6016は、図33の第3の配線5613に相当する。なお、図35の第1のトランジスタ6001および第2のトランジスタ6002は、図33の第1のトランジスタ5903aに相当する。図35の第3のトランジスタ6003および第4のトランジスタ6004は、図33の第2のトランジスタ5903bに相当する。図35の第5のトランジスタ6005および第6のトランジスタ6006は、図33の第3のトランジスタ5903cに相当する。   The first wiring 6011 and the second wiring 6012 in FIG. 35 correspond to the first wiring 5611 in FIG. The third wiring 6013 and the fourth wiring 6014 in FIG. 35 correspond to the second wiring 5612 in FIG. The fifth wiring 6015 and the sixth wiring 6016 in FIG. 35 correspond to the third wiring 5613 in FIG. Note that the first transistor 6001 and the second transistor 6002 in FIG. 35 correspond to the first transistor 5903a in FIG. The third transistor 6003 and the fourth transistor 6004 in FIG. 35 correspond to the second transistor 5903b in FIG. The fifth transistor 6005 and the sixth transistor 6006 in FIG. 35 correspond to the third transistor 5903c in FIG.

図35では、図32に示した第1のサブ選択期間T1において、第1のトランジスタ6001または第2のトランジスタ6002のどちらかがオンする。第2のサブ選択期間T2において、第3のトランジスタ6003または第4のトランジスタ6004のどちらかがオンする。第3のサブ選択期間T3において、第5のトランジスタ6005または第6のトランジスタ6006のどちらかがオンする。さらに、図34に示したプリチャージ期間Tpにおいて、第1のトランジスタ6001、第3のトランジスタ6003および第5のトランジスタ6005か、第2のトランジスタ6002、第4のトランジスタ6004および第6のトランジスタ6006のどちらかがオンする。   35, in the first sub-selection period T1 shown in FIG. 32, either the first transistor 6001 or the second transistor 6002 is turned on. In the second sub-selection period T2, either the third transistor 6003 or the fourth transistor 6004 is turned on. In the third sub-selection period T3, either the fifth transistor 6005 or the sixth transistor 6006 is turned on. Further, in the precharge period Tp illustrated in FIG. 34, the first transistor 6001, the third transistor 6003, and the fifth transistor 6005, or the second transistor 6002, the fourth transistor 6004, and the sixth transistor 6006 Either one turns on.

したがって、図35では、各トランジスタのオン時間を短くすることができるため、各トランジスタの特性劣化を抑制することができる。なぜなら、例えば、図32に示した第1のサブ選択期間T1においては、第1のトランジスタ6001または第2のトランジスタ6002のどちらかがオンしていれば、ビデオ信号を信号線Sj−1に入力することができるからである。ここで、図32に示した第1のサブ選択期間T1において、第1のトランジスタ6001および第2のトランジスタ6002を同時にオンすることによって、高速にビデオ信号を信号線Sj−1に入力することもできる。   Therefore, in FIG. 35, since the on-time of each transistor can be shortened, deterioration of characteristics of each transistor can be suppressed. This is because, for example, in the first sub-selection period T1 shown in FIG. 32, if either the first transistor 6001 or the second transistor 6002 is on, a video signal is input to the signal line Sj-1. Because it can be done. Here, in the first sub-selection period T1 shown in FIG. 32, by simultaneously turning on the first transistor 6001 and the second transistor 6002, a video signal can be input to the signal line Sj-1 at high speed. it can.

図35では、2つのトランジスタを、配線5621と、信号線の間に並列に接続する場合について説明した。しかし、これに限定されず、3つ以上のトランジスタを、配線5621と、信号線の間に並列に接続してもよい。こうすることで、さらに各トランジスタの特性劣化を抑制することができる。   FIG. 35 illustrates the case where two transistors are connected in parallel between the wiring 5621 and the signal line. However, the invention is not limited to this, and three or more transistors may be connected in parallel between the wiring 5621 and the signal line. By doing so, it is possible to further suppress the characteristic deterioration of each transistor.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容または内容の一部を、別の図で述べた内容または内容の一部にも適用、あるいは、組み合わせることができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, description is made using various drawings. However, the contents or part of the contents described in each figure can be applied to or combined with the contents or part of the contents described in another figure. be able to. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

本実施の形態の各々の図で述べた内容または内容の一部を、別の実施の形態の図で述べた内容または内容の一部にも適用、あるいは、組み合わせることができる。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   The contents or a part of the contents described in each drawing in this embodiment mode can be applied to or combined with the contents or a part of the contents described in a drawing in another embodiment mode. Further, in the drawings of this embodiment mode, more drawings can be formed by combining each portion with a portion of another embodiment.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態にも適用、あるいは、組み合わせることができる。   In this embodiment mode, the contents described in the other embodiment modes are described in detail as an example, an example of a slight modification, an example of a partial change, an example of an improvement, and the like. An example of a case, an example of application, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiments can be applied to or combined with this embodiment.

(実施の形態6)
本実施の形態では、実施の形態1乃至実施の形態4に示した表示装置の、静電破壊による不良を防止するための構成について説明する。
(Embodiment 6)
In this embodiment, a structure for preventing a defect due to electrostatic breakdown of the display device described in any of Embodiments 1 to 4 will be described.

静電破壊とは、人体または物体に蓄積された、正または負の電荷が、半導体デバイスに触れた時にデバイスの入出力端子を介して瞬時に放電されることで、デバイス内部に大電流が流れて発生する破壊のことである。   In electrostatic breakdown, positive or negative charges accumulated in the human body or object are instantaneously discharged through the input / output terminals of the device when it touches the semiconductor device, causing a large current to flow inside the device. It is destruction that occurs.

図36(A)は、保護ダイオードによって、走査線に発生する静電破壊を防止するための構成を示す。図36(A)は、保護ダイオードを、配線6111と走査線の間に配置した構成である。なお、図示はしないが、i行目の走査線Giには複数の画素が接続される。保護ダイオードとしては、トランジスタ6101を用いる。なお、トランジスタ6101は、Nチャネル型のトランジスタである。ただし、Pチャネル型のトランジスタを用いてもよく、トランジスタ6101の極性は、走査線駆動回路や画素が有するトランジスタの極性と同様なものを用いればよい。   FIG. 36A shows a structure for preventing electrostatic breakdown generated in the scanning line by the protective diode. FIG. 36A illustrates a structure in which the protective diode is provided between the wiring 6111 and the scan line. Although not shown, a plurality of pixels are connected to the i-th scanning line Gi. A transistor 6101 is used as the protective diode. Note that the transistor 6101 is an N-channel transistor. Note that a p-channel transistor may be used, and the transistor 6101 may have a polarity similar to that of the transistor included in the scan line driver circuit or the pixel.

保護ダイオードは1つだけ配置されているが、複数個の保護ダイオードが直列に配置されていてもよいし、並列に配置されていてもよいし、直並列に配置されていてもよい。   Although only one protective diode is arranged, a plurality of protective diodes may be arranged in series, may be arranged in parallel, or may be arranged in series-parallel.

トランジスタ6101は、第1の電極が、i行目の走査線Giに接続され、第2の電極が、配線6111に接続され、ゲート電極が、i行目の走査線Giに接続される。   In the transistor 6101, the first electrode is connected to the i-th scanning line Gi, the second electrode is connected to the wiring 6111, and the gate electrode is connected to the i-th scanning line Gi.

図36(A)の動作について説明する。配線6111にはある電位が入力されており、その電位は、i行目の走査線Giに入力される信号のLレベルよりも低い電位である。正または負の電荷がi行目の走査線Giに放電されていない場合、i行目の走査線Giの電位は、HレベルもしくはLレベルであるため、トランジスタ6101はオフしている。一方、負の電荷がi行目の走査線Giに放電された場合、i行目の走査線Giの電位は瞬間的に下がる。このとき、i行目の走査線Giの電位が、配線6111の電位から、トランジスタ6101のしきい値電圧を引いた値よりも低くなると、トランジスタ6101がオンする。その結果、トランジスタ6101を介して、電流が配線6111に流れる。したがって、図36(A)に示した構成によって、大電流が画素に流れ込むことを防ぐことができる。そのため、画素の静電破壊を防止することができる。   The operation of FIG. 36A will be described. A certain potential is input to the wiring 6111, and the potential is lower than the L level of the signal input to the i-th scanning line Gi. When positive or negative charges are not discharged to the i-th scanning line Gi, the transistor 6101 is off because the potential of the i-th scanning line Gi is at the H level or the L level. On the other hand, when negative charges are discharged to the i-th scanning line Gi, the potential of the i-th scanning line Gi drops instantaneously. At this time, when the potential of the i-th scanning line Gi is lower than the value obtained by subtracting the threshold voltage of the transistor 6101 from the potential of the wiring 6111, the transistor 6101 is turned on. As a result, current flows to the wiring 6111 through the transistor 6101. Therefore, the structure illustrated in FIG. 36A can prevent a large current from flowing into the pixel. Therefore, electrostatic breakdown of the pixel can be prevented.

図36(B)は、正の電荷が、i行目の走査線Giに放電された場合に、静電破壊を防止するための構成である。保護ダイオードとして機能するトランジスタ6102が、走査線と配線6112の間に配置されている。なお、保護ダイオードは1つだけ配置されているが、複数個の保護ダイオードが直列に配置されていてもよいし、並列に配置されていてもよいし、直並列に配置されていてもよい。なお、トランジスタ6102は、Nチャネル型のトランジスタである。ただし、Pチャネル型のトランジスタを用いてもよい。トランジスタ6102の極性は、走査線駆動回路や画素が有するトランジスタの極性と同様なものを用いればよい。トランジスタ6102は、第1の電極がi行目の走査線Giに接続され、第2の電極が、配線6112に接続され、ゲート電極が、配線6112に接続される。なお、配線6112には、i行目の走査線Giに入力される信号のHレベルよりも高い電位が入力されている。したがって、トランジスタ6102は、電荷がi行目の走査線Giに放電されていない場合には、オフしている。一方、正の電荷がi行目の走査線Giに放電された場合、i行目の走査線Giの電位は瞬間的に上昇する。このとき、i行目の走査線Giの電位が、配線6112の電位とトランジスタ6102のしきい値電圧との和よりも高くなると、トランジスタ6102がオンする。その結果、トランジスタ6102を介して、電流が配線6112に流れる。したがって、図36(B)に示した構成によって、大電流が画素に流れ込むことを防ぐことができる。そのため、画素の静電破壊を防止することができる。   FIG. 36B shows a structure for preventing electrostatic breakdown when positive charges are discharged to the i-th scanning line Gi. A transistor 6102 functioning as a protective diode is provided between the scan line and the wiring 6112. Although only one protective diode is arranged, a plurality of protective diodes may be arranged in series, may be arranged in parallel, or may be arranged in series-parallel. Note that the transistor 6102 is an N-channel transistor. However, a P-channel transistor may be used. The polarity of the transistor 6102 may be similar to that of the transistor included in the scan line driver circuit or the pixel. The transistor 6102 has a first electrode connected to the i-th scanning line Gi, a second electrode connected to the wiring 6112, and a gate electrode connected to the wiring 6112. Note that a potential higher than the H level of the signal input to the i-th scanning line Gi is input to the wiring 6112. Therefore, the transistor 6102 is turned off when the electric charge is not discharged to the i-th scanning line Gi. On the other hand, when positive charges are discharged to the i-th scanning line Gi, the potential of the i-th scanning line Gi rises instantaneously. At this time, when the potential of the i-th scanning line Gi becomes higher than the sum of the potential of the wiring 6112 and the threshold voltage of the transistor 6102, the transistor 6102 is turned on. As a result, current flows to the wiring 6112 through the transistor 6102. Therefore, the structure illustrated in FIG. 36B can prevent a large current from flowing into the pixel. Therefore, electrostatic breakdown of the pixel can be prevented.

図36(C)に示すように、図36(A)と、図36(B)と、を組み合わせた構成にすることで、正の電荷がi行目の走査線Giに放電された場合でも、負の電荷がi行目の走査線Giに放電された場合でも、画素の静電破壊を防止することができる。なお、図36(A)、(B)と同様なものに関しては、共通の符号を用いて示し、同一部分または同様な機能を有する部分の詳細な説明は省略する。   As shown in FIG. 36C, by combining FIG. 36A and FIG. 36B, even when positive charges are discharged to the i-th scanning line Gi. Even when negative charges are discharged to the i-th scanning line Gi, electrostatic breakdown of the pixels can be prevented. Note that components similar to those in FIGS. 36A and 36B are denoted by common reference numerals, and detailed description of the same portions or portions having similar functions is omitted.

図37(A)は、保護ダイオードとして機能するトランジスタ6201を、走査線と保持容量線の間に接続した場合の構成を示す。なお、保護ダイオードは1つだけ配置されているが、複数個の保護ダイオードが直列に配置されていてもよいし、並列に配置されていてもよいし、直並列に配置されていてもよい。なお、トランジスタ6201は、Nチャネル型のトランジスタである。ただし、Pチャネル型のトランジスタを用いてもよい。トランジスタ6201の極性は、走査線駆動回路や画素が有するトランジスタの極性と同様なものを用いればよい。なお、配線6211は、保持容量線として機能する。トランジスタ6201の第1の電極は、i行目の走査線Giに接続され、第2の電極は、配線6211に接続され、ゲート電極は、i行目の走査線Giに接続される。なお、配線6211には、i行目の走査線Giに入力される信号の、Lレベルよりも低い電位が入力されている。したがって、トランジスタ6201は、電荷がi行目の走査線Giに放電されていない場合には、オフしている。一方、負の電荷がi行目の走査線Giに放電された場合、i行目の走査線Giの電位は瞬間的に下がる。このとき、i行目の走査線Giの電位が、配線6211の電位からトランジスタ6201のしきい値電圧を引いた値よりも低くなると、トランジスタ6201がオンする。その結果、トランジスタ6201を介して、電流が配線6211に流れる。したがって、図37(A)に示した構成によって、大電流が画素に流れ込むことを防ぐことができる。そのため、画素の静電破壊を防止することができる。さらに、図37(A)に示した構成では、保持容量線を、電荷を逃がす配線として利用しているので、新たに配線を追加する必要がない。   FIG. 37A illustrates a structure in the case where a transistor 6201 functioning as a protective diode is connected between a scan line and a storage capacitor line. Although only one protective diode is arranged, a plurality of protective diodes may be arranged in series, may be arranged in parallel, or may be arranged in series-parallel. Note that the transistor 6201 is an N-channel transistor. However, a P-channel transistor may be used. The polarity of the transistor 6201 may be similar to that of the transistor included in the scan line driver circuit or the pixel. Note that the wiring 6211 functions as a storage capacitor line. A first electrode of the transistor 6201 is connected to the i-th scanning line Gi, a second electrode is connected to the wiring 6211, and a gate electrode is connected to the i-th scanning line Gi. Note that a potential lower than an L level of a signal input to the i-th scanning line Gi is input to the wiring 6211. Accordingly, the transistor 6201 is turned off when the electric charge is not discharged to the i-th scanning line Gi. On the other hand, when negative charges are discharged to the i-th scanning line Gi, the potential of the i-th scanning line Gi drops instantaneously. At this time, when the potential of the i-th scanning line Gi becomes lower than a value obtained by subtracting the threshold voltage of the transistor 6201 from the potential of the wiring 6211, the transistor 6201 is turned on. As a result, current flows to the wiring 6211 through the transistor 6201. Therefore, the structure illustrated in FIG. 37A can prevent a large current from flowing into the pixel. Therefore, electrostatic breakdown of the pixel can be prevented. Further, in the structure illustrated in FIG. 37A, since the storage capacitor line is used as a wiring for releasing charge, it is not necessary to add a new wiring.

図37(B)は、正の電荷がi行目の走査線Giに放電された場合に、静電破壊を防止するための構成である。ここでは、配線6211には、i行目の走査線Giに入力される信号のHレベルよりも高い電位が入力されている。したがって、トランジスタ6202は、電荷がi行目の走査線Giに放電されていない場合には、オフしている。一方、正の電荷がi行目の走査線Giに放電された場合、i行目の走査線Giの電位は瞬間的に上昇する。このとき、i行目の走査線Giの電位が、配線6211の電位と、トランジスタ6202のしきい値電圧との和よりも高くなると、トランジスタ6202がオンする。その結果、トランジスタ6202を介して、電流が配線6211に流れる。したがって、図37(B)に示した構成によって、大電流が画素に流れ込むことを防ぐことができる。そのため、画素の静電破壊を防止することができる。さらに、図37(B)に示した構成では、保持容量線を、電荷を逃がす配線として利用しているので、新たに配線を追加する必要がない。なお、図37(A)と同様なものに関しては、共通の符号を用いて示し、同一部分または同様な機能を有する部分の詳細な説明は省略する。   FIG. 37B shows a structure for preventing electrostatic breakdown when positive charges are discharged to the i-th scanning line Gi. Here, a potential higher than the H level of the signal input to the i-th scanning line Gi is input to the wiring 6211. Therefore, the transistor 6202 is off when the electric charge is not discharged to the i-th scanning line Gi. On the other hand, when positive charges are discharged to the i-th scanning line Gi, the potential of the i-th scanning line Gi rises instantaneously. At this time, when the potential of the i-th scanning line Gi becomes higher than the sum of the potential of the wiring 6211 and the threshold voltage of the transistor 6202, the transistor 6202 is turned on. As a result, current flows to the wiring 6211 through the transistor 6202. Accordingly, the structure illustrated in FIG. 37B can prevent a large current from flowing into the pixel. Therefore, electrostatic breakdown of the pixel can be prevented. Further, in the structure illustrated in FIG. 37B, since the storage capacitor line is used as a wiring for releasing charge, it is not necessary to add a new wiring. Note that components similar to those in FIG. 37A are denoted by common reference numerals, and detailed description of the same portions or portions having similar functions is omitted.

次に、保護ダイオードによって信号線に発生する静電破壊を、防止するための構成を図38(A)に示す。図38(A)は、保護ダイオードを、配線6411と信号線の間に配置した場合の構成である。なお、図示はしないが、j列目の信号線Sjには複数の画素が接続される。保護ダイオードとしては、トランジスタ6401を用いる。トランジスタ6401は、Nチャネル型のトランジスタである。ただし、Pチャネル型のトランジスタを用いてもよい。トランジスタ6401の極性は、信号線駆動回路や画素が有するトランジスタの極性と同様なものを用いればよい。   Next, FIG. 38A illustrates a structure for preventing electrostatic breakdown generated in the signal line by the protective diode. FIG. 38A illustrates a structure in the case where a protective diode is provided between the wiring 6411 and the signal line. Although not shown, a plurality of pixels are connected to the signal line Sj in the j-th column. A transistor 6401 is used as the protective diode. The transistor 6401 is an N-channel transistor. However, a P-channel transistor may be used. The polarity of the transistor 6401 may be similar to that of the signal line driver circuit or the transistor included in the pixel.

保護ダイオードは1つだけ配置されているが、複数個の保護ダイオードが直列に配置されていてもよいし、並列に配置されていてもよいし、直並列に配置されていてもよい。   Although only one protective diode is arranged, a plurality of protective diodes may be arranged in series, may be arranged in parallel, or may be arranged in series-parallel.

トランジスタ6401は、第1の電極が、j列目の信号線Sjに接続され、第2の電極が、配線6411に接続され、ゲート電極が、配線6411に接続される。   The transistor 6401 has a first electrode connected to the signal line Sj in the j-th column, a second electrode connected to the wiring 6411, and a gate electrode connected to the wiring 6411.

図38(A)の動作について説明する。配線6411には、ある電位が入力されており、その電位は、j列目の信号線Sjに入力されるビデオ信号の最小値よりも低い電位である。正または負の電荷がj列目の信号線Sjに放電されていない場合、j列目の信号線Sjの電位は、ビデオ信号と同電位であるため、トランジスタ6401はオフしている。一方、負の電荷がj行目の信号線Sjに放電された場合、j列目の信号線Sjの電位は、瞬間的に下がる。このとき、j列目の信号線Sjの電位が、配線6411の電位からトランジスタ6401のしきい値電圧を引いた値よりも低くなると、トランジスタ6401がオンする。その結果、トランジスタ6401を介して、電流が配線6411に流れる。したがって、図38(A)に示した構成によって、大電流が画素に流れ込むことを防ぐことができる。そのため、画素の静電破壊を防止することができる。   The operation of FIG. 38A will be described. A certain potential is input to the wiring 6411, and the potential is lower than the minimum value of the video signal input to the signal line Sj in the j-th column. When positive or negative charges are not discharged to the signal line Sj in the j-th column, the potential of the signal line Sj in the j-th column is the same as that of the video signal, so that the transistor 6401 is off. On the other hand, when negative charges are discharged to the signal line Sj in the j-th row, the potential of the signal line Sj in the j-th column drops instantaneously. At this time, when the potential of the signal line Sj in the j-th column is lower than the value obtained by subtracting the threshold voltage of the transistor 6401 from the potential of the wiring 6411, the transistor 6401 is turned on. As a result, current flows to the wiring 6411 through the transistor 6401. Therefore, the structure illustrated in FIG. 38A can prevent a large current from flowing into the pixel. Therefore, electrostatic breakdown of the pixel can be prevented.

図38(B)は、正の電荷が、j列目の信号線Sjに放電された場合に、静電破壊を防止するための構成である。保護ダイオードとして機能するトランジスタ6402が、信号線と配線6412の間に配置されている。なお、保護ダイオードは1つだけ配置されているが、複数個の保護ダイオードが直列に配置されていてもよいし、並列に配置されていてもよいし、直並列に配置されていてもよい。トランジスタ6402は、Nチャネル型のトランジスタである。ただし、Pチャネル型のトランジスタを用いてもよい。トランジスタ6402の極性は、信号線駆動回路や画素が有するトランジスタの極性と同様なものを用いればよい。トランジスタ6402は、第1の電極が、j列目の信号線Sjに接続され、第2の電極が、配線6412に接続され、ゲート電極が、j列目の信号線Sjに接続される。なお、配線6412には、j列目の信号線Sjに入力されるビデオ信号の最大値よりも、高い電位が入力されている。したがって、トランジスタ6402は、電荷がj列目の信号線Sjに放電されていない場合には、オフしている。一方、正の電荷がj列目の信号線Sjに放電された場合、j列目の信号線Sjの電位は瞬間的に上昇する。このとき、j列目の信号線Sjの電位が配線6412の電位と、トランジスタ6402のしきい値電圧との和よりも高くなると、トランジスタ6402がオンする。その結果、トランジスタ6402を介して、電流が配線6412に流れる。したがって、図38(B)に示した構成によって、大電流が画素に流れ込むことを防ぐことができる。そのため、画素の静電破壊を防止することができる。   FIG. 38B shows a structure for preventing electrostatic breakdown when positive charges are discharged to the signal line Sj in the j-th column. A transistor 6402 functioning as a protective diode is provided between the signal line and the wiring 6412. Although only one protective diode is arranged, a plurality of protective diodes may be arranged in series, may be arranged in parallel, or may be arranged in series-parallel. The transistor 6402 is an N-channel transistor. However, a P-channel transistor may be used. The polarity of the transistor 6402 may be similar to that of the signal line driver circuit or the transistor included in the pixel. The transistor 6402 has a first electrode connected to the signal line Sj in the jth column, a second electrode connected to the wiring 6412, and a gate electrode connected to the signal line Sj in the jth column. Note that a potential higher than the maximum value of the video signal input to the j-th signal line Sj is input to the wiring 6412. Therefore, the transistor 6402 is off when the electric charge is not discharged to the signal line Sj in the j-th column. On the other hand, when positive charges are discharged to the j-th signal line Sj, the potential of the j-th signal line Sj rises instantaneously. At this time, when the potential of the signal line Sj in the j-th column becomes higher than the sum of the potential of the wiring 6412 and the threshold voltage of the transistor 6402, the transistor 6402 is turned on. As a result, current flows to the wiring 6412 through the transistor 6402. Accordingly, the structure illustrated in FIG. 38B can prevent a large current from flowing into the pixel. Therefore, electrostatic breakdown of the pixel can be prevented.

図38(C)に示すように、図38(A)と、図38(B)と、を組み合わせた構成にすることで、正の電荷が、j列目の信号線Sjに放電された場合でも、負の電荷が、j列目の信号線Sjに放電された場合でも、画素の静電破壊を防止することができる。なお、図38(A)、(B)と同様なものに関しては共通の符号を用いて示し、同一部分または同様な機能を有する部分の詳細な説明は省略する。   As shown in FIG. 38C, when a configuration in which FIG. 38A and FIG. 38B are combined, positive charges are discharged to the signal line Sj in the j-th column. However, even when negative charges are discharged to the signal line Sj in the j-th column, the electrostatic breakdown of the pixel can be prevented. Note that components similar to those in FIGS. 38A and 38B are denoted by common reference numerals, and detailed description of the same portions or portions having similar functions is omitted.

本実施の形態では、走査線および信号線に接続された画素の静電破壊を防止するための構成を説明した。しかし、本実施の形態の構成は、走査線および信号線に接続された画素の静電破壊の防止だけに適用されるものではない。例えば、実施の形態1乃至実施の形態4に示した走査線駆動回路および信号線駆動回路に接続される信号または電位が入力された配線に、本実施の形態を適用する場合は、走査線駆動回路および信号線駆動回路の静電破壊を防止することができる。   In this embodiment mode, a configuration for preventing electrostatic breakdown of a pixel connected to a scan line and a signal line has been described. However, the configuration of this embodiment is not applied only to prevention of electrostatic breakdown of pixels connected to the scanning lines and signal lines. For example, in the case where this embodiment is applied to the scan line driver circuit described in Embodiments 1 to 4 and a wiring to which a signal or a potential connected to the signal line driver circuit is input, the scan line driver is used. The electrostatic breakdown of the circuit and the signal line driving circuit can be prevented.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容または内容の一部を、別の図で述べた内容または内容の一部にも適用、あるいは、組み合わせることができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, description is made using various drawings. However, the contents or part of the contents described in each figure can be applied to or combined with the contents or part of the contents described in another figure. be able to. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

本実施の形態の各々の図で述べた内容、または内容の一部を、別の実施の形態の図で述べた内容または内容の一部にも適用、あるいは、組み合わせることができる。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   The contents described in each drawing in this embodiment mode or a part of the contents can be applied to or combined with the contents described in the drawings in another embodiment mode or a part of the contents. Further, in the drawings of this embodiment mode, more drawings can be formed by combining each portion with a portion of another embodiment.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態にも適用、あるいは、組み合わせることができる。   In this embodiment mode, the contents described in the other embodiment modes are described in detail as an example, an example of a slight modification, an example of a partial change, an example of an improvement, and the like. An example of a case, an example of application, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiments can be applied to or combined with this embodiment.

(実施の形態7)
本実施の形態では、実施の形態1乃至実施の形態4に示した表示装置に適用できる表示装置の新たな構成について説明する。
(Embodiment 7)
In this embodiment, a new structure of a display device which can be applied to the display devices described in Embodiments 1 to 4 will be described.

図39(A)は、ダイオード接続されたトランジスタを、ある走査線と別の走査線の間に配置した場合の構成である。図39(A)では、i−1行目の走査線Gi−1と、i行目の走査線Giの間に、ダイオード接続されたトランジスタ6301aを配置し、i行目の走査線Giとi+1行目の走査線Gi+1との間にダイオード接続されたトランジスタ6301bを配置した場合の構成を示している。なお、トランジスタ6301aおよびトランジスタ6301bは、Nチャネル型のトランジスタである。ただし、Pチャネル型のトランジスタを用いてもよい。トランジスタ6301aおよびトランジスタ6301bの極性は、走査線駆動回路や画素が有するトランジスタの極性と同様なものを用いればよい。   FIG. 39A illustrates a structure in which a diode-connected transistor is provided between one scan line and another scan line. In FIG. 39A, a diode-connected transistor 6301a is arranged between the (i-1) th scanning line Gi-1 and the ith scanning line Gi, and the ith scanning line Gi and i + 1 are arranged. A configuration in which a diode-connected transistor 6301b is arranged between the scanning line Gi + 1 in the row is shown. Note that the transistors 6301a and 6301b are N-channel transistors. However, a P-channel transistor may be used. The polarity of the transistor 6301a and the transistor 6301b may be similar to that of the transistor included in the scan line driver circuit or the pixel.

図39(A)では、代表してi−1行目の走査線Gi−1、i行目の走査線Giおよびi+1行目の走査線Gi+1を示しているが、他の走査線も同様にダイオード接続されたトランジスタが配置されている。   In FIG. 39A, the i-1th scanning line Gi-1, the ith scanning line Gi, and the i + 1th scanning line Gi + 1 are shown as representatives, but the other scanning lines are similarly shown. A diode-connected transistor is arranged.

トランジスタ6301aの第1の電極は、i行目の走査線Giに接続され、第2の電極は、i−1行目の走査線Gi−1に接続され、ゲート電極は、Gi−1行目の走査線Gi−1に接続される。トランジスタ6301bの第1の電極は、i+1行目の走査線Gi+1に接続され、第2の電極は、i行目の走査線Giに接続され、ゲート電極は、i行目の走査線Giに接続される。   The first electrode of the transistor 6301a is connected to the i-th scanning line Gi, the second electrode is connected to the i-1th scanning line Gi-1, and the gate electrode is connected to the Gi-1th row. Connected to the scanning line Gi-1. The first electrode of the transistor 6301b is connected to the (i + 1) th scanning line Gi + 1, the second electrode is connected to the ith scanning line Gi, and the gate electrode is connected to the ith scanning line Gi. Is done.

図39(A)の動作について説明する。実施の形態1乃至実施の形態4に示した走査線駆動回路では、非選択期間において、i−1行目の走査線Gi−1、i行目の走査線Giおよびi+1行目の走査線Gi+1はLレベルを維持している。したがって、トランジスタ6301aおよびトランジスタ6301bは、オフしている。しかしながら、例えばノイズなどによって、i行目の走査線Giの電位が上昇した場合、i行目の走査線Giが画素を選択してしまい、画素に不正なビデオ信号が書き込まれてしまう。そこで、図39(A)のように、ダイオード接続したトランジスタを走査線間に配置しておくことで、画素に不正なビデオ信号が書き込まれることを防止することができる。なぜなら、i行目の走査線Giの電位がi−1行目の走査線Gi−1の電位と、トランジスタ6301aのしきい値電圧との和以上に上昇すると、トランジスタ6301aがオンして、i行目の走査線Giの電位が下がる。したがって、i行目の走査線Giによって画素が選択されることはないからである。   The operation of FIG. 39A will be described. In the scanning line driver circuit described in any of Embodiments 1 to 4, in the non-selection period, the i−1th scanning line Gi−1, the ith scanning line Gi, and the i + 1th scanning line Gi + 1. Maintains the L level. Accordingly, the transistor 6301a and the transistor 6301b are off. However, when the potential of the i-th scanning line Gi increases due to noise or the like, for example, the i-th scanning line Gi selects a pixel, and an invalid video signal is written to the pixel. Therefore, as shown in FIG. 39A, an illegal video signal can be prevented from being written to a pixel by arranging a diode-connected transistor between scan lines. This is because when the potential of the i-th scanning line Gi rises above the sum of the potential of the (i-1) th scanning line Gi-1 and the threshold voltage of the transistor 6301a, the transistor 6301a is turned on and i The potential of the scanning line Gi in the row is lowered. Therefore, no pixel is selected by the i-th scanning line Gi.

図39(A)の構成は、特に走査線駆動回路と、画素部と、を同一基板上に一体形成した場合に有利である。なぜなら、Nチャネル型のトランジスタ、またはPチャネル型のトランジスタだけで構成されている走査線駆動回路では、走査線が浮遊状態になることがあり、走査線にノイズが発生しやすいからである。   The structure in FIG. 39A is particularly advantageous when the scan line driver circuit and the pixel portion are formed over the same substrate. This is because in a scan line driver circuit including only an N-channel transistor or a P-channel transistor, the scan line may be in a floating state, and noise is easily generated in the scan line.

図39(B)は、走査線間に配置するダイオード接続されたトランジスタの向きを、逆にした場合の構成である。なお、トランジスタ6302aおよびトランジスタ6302bは、Nチャネル型のトランジスタである。ただし、Pチャネル型のトランジスタを用いてもよい。トランジスタ6302aおよびトランジスタ6302bの極性は、走査線駆動回路や画素が有するトランジスタの極性と同様なものを用いればよい。図39(B)では、トランジスタ6302aの第1の電極が、i行目の走査線Giに接続され、第2の電極が、i−1行目の走査線Gi−1に接続され、ゲート電極が、i行目の走査線Giに接続される。トランジスタ6302bの第1の電極が、i+1行目の走査線Gi+1に接続され、第2の電極が、i行目の走査線Giに接続され、ゲート電極が、i+1行目の走査線Gi+1に接続される。図39(B)は、図38(A)と同様に、i行目の走査線Giの電位が、i−1行目の走査線Gi+1の電位と、トランジスタ6302bのしきい値電圧との和以上に上昇すると、トランジスタ6302bがオンして、i行目の走査線Giの電位が下がる。したがって、i行目の走査線Giによって画素が選択されることはなく、画素に不正なビデオ信号が書き込まれることを防止することができる。   FIG. 39B illustrates a structure in which the direction of the diode-connected transistor provided between the scan lines is reversed. Note that the transistors 6302a and 6302b are N-channel transistors. However, a P-channel transistor may be used. The polarity of the transistor 6302a and the transistor 6302b may be similar to that of the transistor included in the scan line driver circuit or the pixel. In FIG. 39B, the first electrode of the transistor 6302a is connected to the i-th scanning line Gi, the second electrode is connected to the i-1th scanning line Gi-1, and the gate electrode Are connected to the i-th scanning line Gi. The first electrode of the transistor 6302b is connected to the (i + 1) th scanning line Gi + 1, the second electrode is connected to the ith scanning line Gi, and the gate electrode is connected to the (i + 1) th scanning line Gi + 1. Is done. In FIG. 39B, similarly to FIG. 38A, the potential of the i-th scanning line Gi is the sum of the potential of the i−1th scanning line Gi + 1 and the threshold voltage of the transistor 6302b. When increased above, the transistor 6302b is turned on, and the potential of the i-th scanning line Gi is decreased. Therefore, the pixel is not selected by the i-th scanning line Gi, and an illegal video signal can be prevented from being written to the pixel.

図39(C)に示すように、図39(A)と、図39(B)と、を組み合わせた構成にすることで、i行目の走査線Giの電位が上昇しても、トランジスタ6301aおよびトランジスタ6302bがオンするので、i行目の走査線Giの電位が下がる。なお、図39(C)では、2つのトランジスタを介して、電流が流れるので、より大きいノイズを除去することが可能である。なお、図39(A)、(B)と同様なものに関しては共通の符号を用いて示し、同一部分または同様な機能を有する部分の詳細な説明は省略する。   As shown in FIG. 39C, the structure of FIG. 39A and FIG. 39B is combined so that the transistor 6301a can be used even when the potential of the i-th scanning line Gi rises. Since the transistor 6302b is turned on, the potential of the i-th scanning line Gi is lowered. Note that in FIG. 39C, current flows through two transistors, so that larger noise can be removed. Note that components similar to those in FIGS. 39A and 39B are denoted by common reference numerals, and detailed description of the same portions or portions having similar functions is omitted.

図37(A)および(B)に示すように、走査線と保持容量線の間に、ダイオード接続したトランジスタを配置しても図39(A)、(B)および(C)と同様の効果を得ることができる。   As shown in FIGS. 37A and 37B, even if a diode-connected transistor is arranged between the scanning line and the storage capacitor line, the same effect as in FIGS. 39A, 39B, and 39C. Can be obtained.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容または内容の一部を、別の図で述べた内容または内容の一部にも適用、あるいは、組み合わせることができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, description is made using various drawings. However, the contents or part of the contents described in each figure can be applied to or combined with the contents or part of the contents described in another figure. be able to. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

本実施の形態の各々の図で述べた内容、または内容の一部を、別の実施の形態の図で述べた内容または内容の一部にも適用、あるいは、組み合わせることができる。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   The contents described in each drawing in this embodiment mode or a part of the contents can be applied to or combined with the contents described in the drawings in another embodiment mode or a part of the contents. Further, in the drawings of this embodiment mode, more drawings can be formed by combining each portion with a portion of another embodiment.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態にも適用、あるいは、組み合わせることができる。   In this embodiment mode, the contents described in the other embodiment modes are described in detail as an example, an example of a slight modification, an example of a partial change, an example of an improvement, and the like. An example of a case, an example of application, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiments can be applied to or combined with this embodiment.

(実施の形態8)
本実施の形態においては、トランジスタの構造および作製方法について説明する。
(Embodiment 8)
In this embodiment, a structure and a manufacturing method of a transistor will be described.

図40(A)は、トランジスタの構造の例を示す図である。図40(B)〜図40(G)は、トランジスタの作製方法の例を示す図である。   FIG. 40A illustrates an example of a transistor structure. 40B to 40G illustrate an example of a method for manufacturing a transistor.

なお、トランジスタの構造および作製方法は、図40(A)〜図40(G)に示すものに限定されず、さまざまな構造および作製方法を用いることができる。   Note that the structure and manufacturing method of the transistor are not limited to those illustrated in FIGS. 40A to 40G, and various structures and manufacturing methods can be used.

まず、図40(A)を参照し、トランジスタの構造の例について説明する。図40(A)は、複数の異なる構造を有するトランジスタの断面図である。ここで、図40(A)においては、複数の異なる構造を有するトランジスタを並置して示しているが、これは、トランジスタの構造を説明するための表現である。よって、トランジスタが、実際に図40(A)のように並置されている必要はなく、必要に応じてつくり分けることができる。   First, an example of a transistor structure is described with reference to FIG. FIG. 40A is a cross-sectional view of a plurality of transistors having different structures. Here, in FIG. 40A, a plurality of transistors having different structures are shown side by side, but this is an expression for describing the structure of the transistors. Therefore, the transistors do not actually have to be juxtaposed as shown in FIG. 40A, and can be formed as needed.

次に、トランジスタを構成する各層の特徴について説明する。   Next, characteristics of each layer constituting the transistor will be described.

基板110111には、バリウムホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラスなどのガラス基板、石英基板、セラミック基板またはステンレスを含む金属基板などを用いることができる。他にも、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)に代表されるプラスチック、またはアクリルなどの可撓性を有する合成樹脂からなる基板を用いることも可能である。可撓性を有する基板を用いることによって、折り曲げが可能である半導体装置を作製することが可能となる。可撓性を有する基板であれば、基板の面積および基板の形状に大きな制限はないため、基板110111として、例えば、1辺が1メートル以上であって、矩形状のものを用いれば、生産性を格段に向上させることができる。このような利点は、円形のシリコン基板を用いる場合と比較すると、大きな優位点である。   As the substrate 110111, a glass substrate such as barium borosilicate glass or alumino borosilicate glass, a quartz substrate, a ceramic substrate, a metal substrate including stainless steel, or the like can be used. In addition, it is also possible to use a plastic substrate represented by polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyethersulfone (PES), or a substrate made of flexible synthetic resin such as acrylic. is there. By using a flexible substrate, a semiconductor device that can be bent can be manufactured. If the substrate has flexibility, the area of the substrate and the shape of the substrate are not greatly limited. For example, if the substrate 110111 is a rectangular substrate having a side of 1 meter or more, the productivity is improved. Can be significantly improved. Such an advantage is a great advantage compared to the case of using a circular silicon substrate.

絶縁膜110112は、下地膜として機能する。基板110111から、Naなどのアルカリ金属またはアルカリ土類金属が、半導体素子の特性に悪影響を及ぼすのを防ぐために設ける。絶縁膜110112は、酸化珪素(SiOx)、窒化珪素(SiNx)、酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y)、窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)などの酸素または窒素を有する絶縁膜の単層構造、もしくはこれらの積層構造で設けることができる。例えば、絶縁膜110112を2層構造で設ける場合、1層目の絶縁膜として窒化酸化珪素膜を設け、2層目の絶縁膜として酸化窒化珪素膜を設けるとよい。別の例として、絶縁膜110112を3層構造で設ける場合、1層目の絶縁膜として酸化窒化珪素膜を設け、2層目の絶縁膜として窒化酸化珪素膜を設け、3層目の絶縁膜として酸化窒化珪素膜を設けるとよい。   The insulating film 110112 functions as a base film. An alkali metal such as Na or an alkaline earth metal is provided from the substrate 110111 in order to prevent adverse effects on the characteristics of the semiconductor element. The insulating film 110112 is an insulating film containing oxygen or nitrogen such as silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiOxNy) (x> y), or silicon nitride oxide (SiNxOy) (x> y). A single-layer structure or a stacked structure thereof can be used. For example, in the case where the insulating film 110112 is provided with a two-layer structure, a silicon nitride oxide film may be provided as a first insulating film and a silicon oxynitride film may be provided as a second insulating film. As another example, in the case where the insulating film 110112 is provided in a three-layer structure, a silicon oxynitride film is provided as a first insulating film, a silicon nitride oxide film is provided as a second insulating film, and a third insulating film A silicon oxynitride film is preferably provided.

半導体層110113、半導体層110114および半導体層110115は、非晶質(アモルファス)半導体、微結晶(マイクロクリスタル)半導体、またはセミアモルファス半導体(SAS)で形成することができる。あるいは、多結晶半導体層を用いてもよい。SASは、非晶質と結晶構造(単結晶、多結晶を含む)の中間的な構造を有し、自由エネルギー的に安定な第3の状態を有する半導体であって、短距離秩序を持ち、格子歪みを有する結晶質な領域を含んでいる。少なくとも膜中の一部の領域には、0.5〜20nmの結晶領域を観測することができ、珪素を主成分とする場合にはラマンスペクトルが520cm−1よりも低波数側にシフトしている。X線回折では、珪素結晶格子に由来するとされる(111)、(220)の回折ピークが観測される。未結合手(ダングリングボンド)を補償するものとして、水素またはハロゲンを少なくとも1原子%またはそれ以上含ませている。SASは、材料ガスをグロー放電分解(プラズマCVD)して形成する。材料ガスとしては、SiH、Si、SiHCl、SiHCl、SiCl、SiFなどを用いることが可能である。あるいは、GeFを混合させてもよい。この材料ガスをH、あるいはHとHe、Ar、KrおよびNeから選ばれた一種または複数種の希ガス元素で希釈してもよい。希釈率は2〜1000倍の範囲とする。圧力は概略0.1Pa〜133Paの範囲、電源周波数は1MHz〜120MHz、好ましくは13MHz〜60MHzとする。基板加熱温度は、300℃以下でよい。膜中の不純物元素として、酸素、窒素、炭素などの大気成分の不純物は1×1020cm−1以下とすることが望ましい。特に、酸素濃度は5×1019/cm以下、好ましくは1×1019/cm以下とする。ここでは、スパッタ法、LPCVD法、プラズマCVD法などを用いてシリコン(Si)を主成分とする材料(例えばSi(x)Ge(1−x)(0<x<1)など)で非晶質半導体層を形成し、当該非晶質半導体層をレーザ結晶化法、RTAまたはファーネスアニール炉を用いる熱結晶化法、結晶化を助長する金属元素を用いる熱結晶化法などの結晶化法により結晶化させる。 The semiconductor layer 110113, the semiconductor layer 110114, and the semiconductor layer 110115 can be formed using an amorphous semiconductor, a microcrystalline semiconductor, or a semi-amorphous semiconductor (SAS). Alternatively, a polycrystalline semiconductor layer may be used. SAS is a semiconductor having an intermediate structure between an amorphous structure and a crystalline structure (including a single crystal and a polycrystal) and having a third state that is stable in terms of free energy, and has a short-range order. It includes a crystalline region having lattice distortion. A crystal region of 0.5 to 20 nm can be observed in at least a part of the film, and when silicon is a main component, the Raman spectrum is shifted to a lower wave number side than 520 cm −1. Yes. In X-ray diffraction, diffraction peaks of (111) and (220) that are derived from the silicon crystal lattice are observed. As a compensation for dangling bonds (dangling bonds), hydrogen or halogen is contained at least 1 atomic% or more. The SAS is formed by glow discharge decomposition (plasma CVD) of a material gas. As the material gas, SiH 4 , Si 2 H 6 , SiH 2 Cl 2 , SiHCl 3 , SiCl 4 , SiF 4, or the like can be used. Alternatively, GeF 4 may be mixed. This material gas may be diluted with H 2 , or H 2 and one or more kinds of rare gas elements selected from He, Ar, Kr and Ne. The dilution rate is in the range of 2 to 1000 times. The pressure is in the range of approximately 0.1 Pa to 133 Pa, and the power supply frequency is 1 MHz to 120 MHz, preferably 13 MHz to 60 MHz. The substrate heating temperature may be 300 ° C. or less. As impurity elements in the film, impurities of atmospheric components such as oxygen, nitrogen, and carbon are preferably 1 × 10 20 cm −1 or less. In particular, the oxygen concentration is 5 × 10 19 / cm 3 or less, preferably 1 × 10 19 / cm 3 or less. Here, a material containing silicon (Si) as a main component (e.g., Si (x) Ge (1-x) (0 <x <1) or the like) using a sputtering method, an LPCVD method, a plasma CVD method, or the like is amorphous. The amorphous semiconductor layer is formed by a crystallization method such as a laser crystallization method, a thermal crystallization method using an RTA or furnace annealing furnace, or a thermal crystallization method using a metal element that promotes crystallization. Crystallize.

絶縁膜110116は、酸化珪素(SiOx)、窒化珪素(SiNx)、酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y)、窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)などの酸素または窒素を有する絶縁膜の単層構造、もしくはこれらの積層構造で設けることができる。   The insulating film 110116 is an insulating film containing oxygen or nitrogen such as silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiOxNy) (x> y), or silicon nitride oxide (SiNxOy) (x> y). A single-layer structure or a stacked structure thereof can be used.

ゲート電極110117は、単層の導電膜、または二層、三層の導電膜の積層構造とすることができる。ゲート電極110117の材料としては、例えば、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、クロム(Cr)、シリコン(Si)などの元素の単体膜、あるいは前記元素の窒化膜(代表的には窒化タンタル膜、窒化タングステン膜、窒化チタン膜)、あるいは前記元素を組み合わせた合金膜(代表的にはMo−W合金、Mo−Ta合金)、あるいは前記元素のシリサイド膜(代表的にはタングステンシリサイド膜、チタンシリサイド膜)などを用いることができる。なお、上述した単体膜、窒化膜、合金膜、シリサイド膜などは、単層で用いてもよいし、積層して用いてもよい。   The gate electrode 110117 can have a single-layer conductive film or a stacked structure of two-layer or three-layer conductive films. As a material of the gate electrode 110117, for example, a simple film of an element such as tantalum (Ta), titanium (Ti), molybdenum (Mo), tungsten (W), chromium (Cr), silicon (Si), or the like Nitride film (typically tantalum nitride film, tungsten nitride film, titanium nitride film), alloy film combining the above elements (typically Mo—W alloy, Mo—Ta alloy), or silicide film of the above elements (Typically, a tungsten silicide film, a titanium silicide film) or the like can be used. Note that the single film, nitride film, alloy film, silicide film, and the like described above may be used as a single layer or may be stacked.

絶縁膜110118は、スパッタ法またはプラズマCVD法などによって、酸化珪素(SiOx)、窒化珪素(SiNx)、酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y)、窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)などの酸素または窒素を有する絶縁膜やDLC(ダイヤモンドライクカーボン)などの炭素を含む膜の単層構造、もしくはこれらの積層構造で設けることができる。   The insulating film 110118 is formed using silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiOxNy) (x> y), silicon nitride oxide (SiNxOy) (x> y), or the like by sputtering or plasma CVD. A single-layer structure of an insulating film containing oxygen or nitrogen or a film containing carbon such as DLC (diamond-like carbon), or a stacked structure thereof.

絶縁膜110119は、シロキサン樹脂、あるいは酸化珪素(SiOx)、窒化珪素(SiNx)、酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y)、窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)などの、酸素または窒素を有する絶縁膜や、DLC(ダイヤモンドライクカーボン)などの炭素を含む膜、あるいはエポキシ、ポリイミド、ポリアミド、ポリビニルフェノール、ベンゾシクロブテン、アクリルなどの有機材料からなる単層、もしくは積層構造で設けることができる。なお、シロキサン樹脂とは、Si−O−Si結合を含む樹脂に相当する。シロキサンは、シリコン(Si)と酸素(O)との結合で骨格構造が構成される。置換基として、少なくとも水素を含む有機基(例えばアルキル基、アリール基)が用いられる。置換基として、フルオロ基を用いることもできる。あるいは、置換基として、少なくとも水素を含む有機基と、フルオロ基とを用いてもよい。なお、絶縁膜110118を設けずに、ゲート電極110117を覆うように直接、絶縁膜110119を設けることも可能である。   The insulating film 110119 is formed using siloxane resin or oxygen or nitrogen such as silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiOxNy) (x> y), or silicon nitride oxide (SiNxOy) (x> y). An insulating film having carbon, a film containing carbon such as DLC (diamond-like carbon), or a single layer made of an organic material such as epoxy, polyimide, polyamide, polyvinylphenol, benzocyclobutene, or acrylic, or a laminated structure. it can. Note that a siloxane resin corresponds to a resin including a Si—O—Si bond. Siloxane has a skeleton structure formed of a bond of silicon (Si) and oxygen (O). As a substituent, an organic group containing at least hydrogen (for example, an alkyl group or an aryl group) is used. A fluoro group can also be used as a substituent. Alternatively, an organic group containing at least hydrogen and a fluoro group may be used as a substituent. Note that the insulating film 110119 can be provided directly so as to cover the gate electrode 110117 without providing the insulating film 110118.

導電膜110123は、Al、Ni、C、W、Mo、Ti、Pt、Cu、Ta、Au、Mnなどの元素の単体膜、前記元素の窒化膜、前記元素を組み合わせた合金膜、あるいは前記元素のシリサイド膜などを用いることができる。例えば、前記元素を複数含む合金として、CおよびTiを含有したAl合金、Niを含有したAl合金、CおよびNiを含有したAl合金、CおよびMnを含有したAl合金などを用いることができる。例えば、積層構造で導電膜を設ける場合、AlをMoまたはTiなどで挟み込んだ構造とすることができる。こうすることで、Alの熱や化学反応に対する耐性を向上することができる。   The conductive film 110123 includes a single element film of an element such as Al, Ni, C, W, Mo, Ti, Pt, Cu, Ta, Au, and Mn, a nitride film of the element, an alloy film in which the elements are combined, or the element A silicide film or the like can be used. For example, as an alloy containing a plurality of the elements, an Al alloy containing C and Ti, an Al alloy containing Ni, an Al alloy containing C and Ni, an Al alloy containing C and Mn, and the like can be used. For example, when a conductive film is provided with a stacked structure, a structure in which Al is sandwiched between Mo, Ti, or the like can be employed. By carrying out like this, the tolerance with respect to the heat | fever and chemical reaction of Al can be improved.

次に、図40(A)に示した、複数の異なる構造を有するトランジスタの断面図を参照して、各々の構造の特徴について説明する。   Next, characteristics of each structure will be described with reference to cross-sectional views of a plurality of transistors having different structures shown in FIG.

トランジスタ110101は、シングルドレイントランジスタであり、簡便な方法で製造できるため、製造コストが低く、歩留まりを高く製造できる利点がある。ここで、半導体層110113、半導体層110115は、それぞれ不純物の濃度が異なり、半導体層110113はチャネル領域、半導体層110115はソース領域およびドレイン領域として用いる。このように、不純物の濃度を制御することで、半導体層の抵抗率を制御できる。そのため、半導体層と導電膜110123との電気的な接続状態を、オーミック接続に近づけることができる。なお、不純物の濃度の異なる半導体層を作り分ける方法としては、ゲート電極110117をマスクとして半導体層に不純物をドーピングする方法を用いることができる。   The transistor 110101 is a single drain transistor and can be manufactured by a simple method, and thus has an advantage of low manufacturing cost and high yield. Here, the semiconductor layer 110113 and the semiconductor layer 110115 have different impurity concentrations, the semiconductor layer 110113 is used as a channel region, and the semiconductor layer 110115 is used as a source region and a drain region. Thus, the resistivity of the semiconductor layer can be controlled by controlling the impurity concentration. Therefore, the electrical connection state between the semiconductor layer and the conductive film 110123 can be brought close to ohmic connection. Note that as a method of separately forming semiconductor layers having different impurity concentrations, a method of doping impurities into the semiconductor layer using the gate electrode 110117 as a mask can be used.

トランジスタ110102は、ゲート電極110117にテーパ角を有する。ここで、テーパ角は、45°以上95°未満、より好ましくは60°以上95°未満となるような形状である。ただし、テーパ角を45°未満の形状とすることも可能である。ここで、半導体層110113、半導体層110114および半導体層110115は、それぞれ不純物濃度が異なっている。半導体層110113はチャネル領域、半導体層110114は低濃度不純物領域(Lightly Doped Drain:LDD)、半導体層110115はソース領域およびドレイン領域として用いる。このように、不純物の濃度を制御することで、半導体層の抵抗率を制御できる。そのため、半導体層と導電膜110123との電気的な接続状態を、オーミック接続に近づけることができる。LDD領域を有するため、トランジスタ内部に高電界がかかりにくく、ホットキャリアによる素子の劣化を抑制することができる。なお、不純物の濃度の異なる半導体層を作り分ける方法としては、ゲート電極110117をマスクとして半導体層に不純物をドーピングする方法を用いることができる。トランジスタ110102においては、ゲート電極110117がテーパ角を有しているため、ゲート電極110117を通過して半導体層にドーピングされる不純物の濃度に勾配を持たせることができ、簡便にLDD領域を形成することができる。これにより、製造コストが低く、歩留まりを高く製造できる利点がある。   The transistor 110102 has a taper angle at the gate electrode 110117. Here, the taper angle is 45 ° or more and less than 95 °, more preferably 60 ° or more and less than 95 °. However, the taper angle may be less than 45 °. Here, the semiconductor layer 110113, the semiconductor layer 110114, and the semiconductor layer 110115 have different impurity concentrations. The semiconductor layer 110113 is used as a channel region, the semiconductor layer 110114 is used as a lightly doped impurity region (LDD), and the semiconductor layer 110115 is used as a source region and a drain region. Thus, the resistivity of the semiconductor layer can be controlled by controlling the impurity concentration. Therefore, the electrical connection state between the semiconductor layer and the conductive film 110123 can be brought close to ohmic connection. Since the LDD region is included, a high electric field is hardly applied to the inside of the transistor, and deterioration of the element due to hot carriers can be suppressed. Note that as a method of separately forming semiconductor layers having different impurity concentrations, a method of doping impurities into the semiconductor layer using the gate electrode 110117 as a mask can be used. In the transistor 110102, since the gate electrode 110117 has a taper angle, the concentration of impurities doped in the semiconductor layer through the gate electrode 110117 can be given a gradient, so that an LDD region can be easily formed. be able to. As a result, there are advantages that the manufacturing cost is low and the yield can be increased.

トランジスタ110103は、ゲート電極110117が少なくとも2層で構成され、下層のゲート電極が上層のゲート電極よりも長い形状を有する。本明細書中においては、このような上層のゲート電極および下層のゲート電極の形状を、帽子型と呼ぶ。ゲート電極110117の形状が帽子型であることによって、フォトマスクを追加することなく、LDD領域を形成することができる。なお、トランジスタ110103のように、LDD領域がゲート電極110117と重なっている構造を、特にGOLD構造(Gate Overlapped LDD)と呼ぶ。なお、ゲート電極110117の形状を帽子型とする方法としては、次のような方法を用いてもよい。   In the transistor 110103, the gate electrode 110117 includes at least two layers, and the lower gate electrode has a longer shape than the upper gate electrode. In the present specification, such shapes of the upper gate electrode and the lower gate electrode are referred to as a hat shape. When the gate electrode 110117 has a hat shape, an LDD region can be formed without adding a photomask. Note that a structure in which the LDD region overlaps with the gate electrode 110117 like the transistor 110103 is particularly referred to as a GOLD structure (Gate Overlapped LDD). Note that the following method may be used as a method of making the shape of the gate electrode 110117 into a hat shape.

まず、ゲート電極110117をパターニングする際に、ドライエッチングにより、下層のゲート電極および上層のゲート電極をエッチングして側面に傾斜(テーパ)のある形状にする。続いて、異方性エッチングにより上層のゲート電極の傾斜を垂直に近くなるように加工する。これにより、断面形状が帽子型のゲート電極が形成される。その後、2回、不純物元素をドーピングすることによって、チャネル領域として用いる半導体層110113、LDD領域として用いる半導体層110114、ソース電極およびドレイン電極として用いる半導体層110115が形成される。   First, when the gate electrode 110117 is patterned, the lower gate electrode and the upper gate electrode are etched by dry etching so that the side surfaces are inclined (tapered). Subsequently, the upper-layer gate electrode is processed to be nearly vertical by anisotropic etching. Thereby, a gate electrode having a hat-shaped cross section is formed. After that, by doping the impurity element twice, a semiconductor layer 110113 used as a channel region, a semiconductor layer 110114 used as an LDD region, and a semiconductor layer 110115 used as a source electrode and a drain electrode are formed.

なお、ゲート電極110117と重なっているLDD領域をLov領域、ゲート電極110117と重なっていないLDD領域をLoff領域と呼ぶことにする。Loff領域はオフ電流値を抑える効果は高いが、ドレイン近傍の電界を緩和して、ホットキャリアによるオン電流値の劣化を防ぐ効果は低い。一方、Lov領域はドレイン近傍の電界を緩和し、オン電流値の劣化の防止には有効であるが、オフ電流値を抑える効果は低い。よって、種々の回路ごとに、求められる特性に応じた構造のトランジスタを作製することが好ましい。例えば、半導体装置を表示装置として用いる場合、画素トランジスタは、オフ電流値を抑えるために、Loff領域を有するトランジスタを用いることが好適である。一方、周辺回路におけるトランジスタは、ドレイン近傍の電界を緩和し、オン電流値の劣化を防止するために、Lov領域を有するトランジスタを用いることが好適である。   Note that an LDD region overlapping with the gate electrode 110117 is referred to as a Lov region, and an LDD region not overlapping with the gate electrode 110117 is referred to as a Loff region. The Loff region has a high effect of suppressing the off-current value, but has a low effect of relaxing the electric field near the drain and preventing the deterioration of the on-current value due to hot carriers. On the other hand, the Lov region relaxes the electric field near the drain and is effective in preventing deterioration of the on-current value, but has a low effect of suppressing the off-current value. Therefore, it is preferable to manufacture a transistor having a structure corresponding to a required characteristic for each of various circuits. For example, in the case where a semiconductor device is used as a display device, it is preferable to use a transistor having a Loff region as the pixel transistor in order to suppress an off-state current value. On the other hand, as the transistor in the peripheral circuit, it is preferable to use a transistor having a Lov region in order to relax the electric field in the vicinity of the drain and prevent deterioration of the on-current value.

トランジスタ110104は、ゲート電極110117の側面に接して、サイドウォール110121を有する。サイドウォール110121を有することによって、サイドウォール110121と重なる領域をLDD領域とすることができる。   The transistor 110104 includes a sidewall 110121 in contact with a side surface of the gate electrode 110117. By including the sidewall 110121, a region overlapping with the sidewall 110121 can be an LDD region.

トランジスタ110105は、半導体層にマスクを用いてドーピングすることにより、LDD(Loff)領域が形成されている。こうすることにより、確実にLDD領域を形成することができ、トランジスタのオフ電流値を低減することができる。   In the transistor 110105, an LDD (Loff) region is formed by doping a semiconductor layer using a mask. Thus, the LDD region can be formed reliably and the off-state current value of the transistor can be reduced.

トランジスタ110106は、半導体層にマスクを用いてドーピングすることにより、LDD(Lov)領域が形成されている。こうすることにより、確実にLDD領域を形成することができ、トランジスタのドレイン近傍の電界を緩和し、オン電流値の劣化を低減することができる。   In the transistor 110106, an LDD (Lov) region is formed by doping a semiconductor layer using a mask. Thus, the LDD region can be formed reliably, the electric field in the vicinity of the drain of the transistor can be relaxed, and the deterioration of the on-current value can be reduced.

次に、トランジスタの作製方法の例を、図40(B)〜図40(G)に示す。   Next, an example of a method for manufacturing the transistor is illustrated in FIGS.

本実施の形態においては、基板110111の表面、絶縁膜110112の表面、半導体層110113の表面、110114の表面、110115の表面、絶縁膜110116の表面、絶縁膜110118の表面または絶縁膜110119の表面に、プラズマ処理を用いて酸化または窒化を行うことにより、半導体層または絶縁膜を、酸化または窒化することができる。このように、プラズマ処理を用いて、半導体層または絶縁膜を、酸化または窒化することによって、当該半導体層または当該絶縁膜の表面を改質し、CVD法やスパッタ法により形成した絶縁膜と比較して、より緻密な絶縁膜を形成することができる。そのため、ピンホールなどの欠陥を抑制し半導体装置の特性などを向上させることが可能となる。   In this embodiment, the surface of the substrate 110111, the surface of the insulating film 110112, the surface of the semiconductor layer 110113, the surface of 110110, the surface of 110110, the surface of the insulating film 110116, the surface of the insulating film 110118, or the surface of the insulating film 110119 By performing oxidation or nitridation using plasma treatment, the semiconductor layer or the insulating film can be oxidized or nitrided. In this manner, the surface of the semiconductor layer or the insulating film is modified by oxidizing or nitriding the semiconductor layer or the insulating film by using plasma treatment, and compared with the insulating film formed by a CVD method or a sputtering method. Thus, a denser insulating film can be formed. Therefore, defects such as pinholes can be suppressed and the characteristics of the semiconductor device can be improved.

サイドウォール110121は、酸化珪素(SiOx)または窒化珪素(SiNx)を用いることができる。サイドウォール110121を、ゲート電極110117の側面に形成する方法としては、例えば、ゲート電極110117を形成した後、酸化珪素(SiOx)または窒化珪素(SiNx)を成膜した後に、異方性エッチングによって酸化珪素(SiOx)膜または窒化珪素(SiNx)膜をエッチングする方法を用いることができる。こうすることで、ゲート電極110117の側面にのみ、酸化珪素(SiOx)膜または窒化珪素(SiNx)膜を残すことができるので、ゲート電極110117の側面にサイドウォール110121を形成することができる。   For the sidewall 110121, silicon oxide (SiOx) or silicon nitride (SiNx) can be used. As a method of forming the sidewall 110121 on the side surface of the gate electrode 110117, for example, after forming the gate electrode 110117, a silicon oxide (SiOx) film or a silicon nitride (SiNx) film is formed, and then oxidized by anisotropic etching. A method of etching a silicon (SiOx) film or a silicon nitride (SiNx) film can be used. By doing so, a silicon oxide (SiOx) film or a silicon nitride (SiNx) film can be left only on the side surface of the gate electrode 110117, so that the sidewall 110121 can be formed on the side surface of the gate electrode 110117.

図44は、ボトムゲート型のトランジスタの断面構造および容量素子の断面構造を示す図である。   FIG. 44 illustrates a cross-sectional structure of a bottom-gate transistor and a cross-sectional structure of a capacitor.

基板110501上に、第1の絶縁膜(絶縁膜110502)が全面に形成されている。ただし、これに限定されず、第1の絶縁膜(絶縁膜110502)を形成しないことも可能である。第1の絶縁膜は、基板側からの不純物が、半導体層に影響を及ぼし、トランジスタの性質が変化してしまうことを防ぐ機能を有する。つまり、第1の絶縁膜は、下地膜としての機能を有する。したがって、信頼性の高いトランジスタを作製することができる。なお、第1の絶縁膜としては、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜(SiOxNy)などの単層、またはこれらの積層を用いることができる。   A first insulating film (insulating film 110502) is formed over the entire surface of the substrate 110501. However, the present invention is not limited to this, and the first insulating film (the insulating film 110502) can be omitted. The first insulating film has a function of preventing impurities from the substrate side from affecting the semiconductor layer and changing the characteristics of the transistor. That is, the first insulating film functions as a base film. Therefore, a highly reliable transistor can be manufactured. Note that as the first insulating film, a single layer such as a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a silicon oxynitride film (SiOxNy), or a stacked layer thereof can be used.

第1の絶縁膜上に、第1の導電層(導電層110503および導電層110504)が形成されている。導電層110503は、トランジスタ110520のゲート電極として機能する部分を含む。導電層110504は、容量素子110521の第1の電極として機能する部分を含む。なお、第1の導電層としては、Ti、Mo、Ta、Cr、W、Al、Nd、Cu、Ag、Au、Pt、Nb、Si、Zn、Fe、Ba、Geなどの元素、またはこれらの合金を用いることができる。あるいは、これらの元素(合金も含む)の積層を用いることができる。   A first conductive layer (a conductive layer 110503 and a conductive layer 110504) is formed over the first insulating film. The conductive layer 110503 includes a portion functioning as the gate electrode of the transistor 110520. The conductive layer 110504 includes a portion functioning as the first electrode of the capacitor 110521. As the first conductive layer, elements such as Ti, Mo, Ta, Cr, W, Al, Nd, Cu, Ag, Au, Pt, Nb, Si, Zn, Fe, Ba, and Ge, or these elements can be used. Alloys can be used. Alternatively, a stack of these elements (including alloys) can be used.

少なくとも第1の導電層を覆うように、第2の絶縁膜(絶縁膜110514)が形成されている。第2の絶縁膜は、ゲート絶縁膜としての機能を有する。なお、第2の絶縁膜としては、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜(SiOxNy)などの単層、またはこれらの積層を用いることができる。   A second insulating film (insulating film 110514) is formed so as to cover at least the first conductive layer. The second insulating film functions as a gate insulating film. Note that as the second insulating film, a single layer such as a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a silicon oxynitride film (SiOxNy), or a stacked layer thereof can be used.

半導体層に接する部分の第2の絶縁膜としては、酸化シリコン膜を用いることが望ましい。なぜなら、半導体層と、第2の絶縁膜が接する界面におけるトラップ準位が少なくなるからである。   As the second insulating film in contact with the semiconductor layer, it is desirable to use a silicon oxide film. This is because the trap level at the interface between the semiconductor layer and the second insulating film is reduced.

第2の絶縁膜がMoと接する場合、Moと接する部分の第2の絶縁膜としては、酸化シリコン膜を用いることが望ましい。なぜなら、酸化シリコン膜はMoを酸化させないからである。   When the second insulating film is in contact with Mo, it is desirable to use a silicon oxide film as the second insulating film in the portion in contact with Mo. This is because the silicon oxide film does not oxidize Mo.

第2の絶縁膜上の、第1の導電層と重なって形成されている部分の一部に、フォトリソグラフィ法、インクジェット法または印刷法などによって、半導体層が形成されている。そして、半導体層の一部は、第2の絶縁膜上の、第1の導電層と重なって形成されていない部分まで延長している。半導体層は、チャネル形成領域(チャネル形成領域110510)、LDD領域(LDD領域110508、LDD領域110509)、不純物領域(不純物領域110505、不純物領域110506、不純物領域110507)を有している。チャネル形成領域110510は、トランジスタ110520のチャネル形成領域として機能する。LDD領域110508およびLDD領域110509は、トランジスタ110520のLDD領域として機能する。なお、LDD領域110508およびLDD領域110509は、必ずしも必要ではない。不純物領域110505は、トランジスタ110520のソース電極およびドレイン電極の一方として機能する部分を含む。不純物領域100506は、トランジスタ110520のソース電極およびドレイン電極の他方として機能する部分を含む。不純物領域110507は、容量素子110521の第2の電極として機能する部分を含む。   A semiconductor layer is formed by a photolithography method, an inkjet method, a printing method, or the like on part of a portion of the second insulating film that overlaps with the first conductive layer. A part of the semiconductor layer extends to a portion on the second insulating film that is not formed so as to overlap the first conductive layer. The semiconductor layer includes a channel formation region (channel formation region 110510), an LDD region (LDD region 110508, LDD region 110509), and impurity regions (impurity region 110505, impurity region 110506, and impurity region 110507). The channel formation region 110510 functions as a channel formation region of the transistor 110520. The LDD region 110508 and the LDD region 110509 function as an LDD region of the transistor 110520. Note that the LDD region 110508 and the LDD region 110509 are not necessarily required. The impurity region 110505 includes a portion functioning as one of the source electrode and the drain electrode of the transistor 110520. The impurity region 100506 includes a portion functioning as the other of the source electrode and the drain electrode of the transistor 110520. The impurity region 110507 includes a portion functioning as the second electrode of the capacitor 110521.

不純物領域110505、LDD領域110508、チャネル形成領域110510、LDD領域110509、不純物領域110506、第2の絶縁膜110514および不純物領域110507上の全面に、第3の絶縁膜(絶縁膜110511)が形成されている。第3の絶縁膜の一部には、選択的にコンタクトホールが形成されている。絶縁膜110511は、層間膜としての機能を有する。第3の絶縁膜としては、無機材料(酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコンなど)あるいは、低誘電率の有機化合物材料(感光性または非感光性の有機樹脂材料)などを用いることができる。あるいは、シロキサンを含む材料を用いることもできる。なお、シロキサンは、シリコン(Si)と酸素(O)との結合で骨格構造が構成される材料である。置換基として、少なくとも水素を含む有機基(例えばアルキル基、アリール基)が用いられる。あるいは、置換基としてフルオロ基を用いてもよい。あるいは、置換基として、少なくとも水素を含む有機基と、フルオロ基とを用いてもよい。   A third insulating film (insulating film 110511) is formed over the entire surface over the impurity region 110505, the LDD region 110508, the channel formation region 110510, the LDD region 110509, the impurity region 110506, the second insulating film 110514, and the impurity region 110507. Yes. A contact hole is selectively formed in a part of the third insulating film. The insulating film 110511 has a function as an interlayer film. As the third insulating film, an inorganic material (silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, or the like), a low dielectric constant organic compound material (photosensitive or non-photosensitive organic resin material), or the like can be used. Alternatively, a material containing siloxane can be used. Siloxane is a material in which a skeleton structure is formed by a bond of silicon (Si) and oxygen (O). As a substituent, an organic group containing at least hydrogen (for example, an alkyl group or an aryl group) is used. Alternatively, a fluoro group may be used as a substituent. Alternatively, an organic group containing at least hydrogen and a fluoro group may be used as a substituent.

第3の絶縁膜上に、第2の導電層(導電層110512および導電層110513)が形成されている。導電層110512は、第3の絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して、トランジスタ110520のソース電極およびドレイン電極の他方と接続されている。したがって、導電層110512は、トランジスタ110520のソース電極およびドレイン電極の他方として機能する部分を含む。導電層110513が、導電層110504と電気的に接続されている場合は、導電層110513は、容量素子110521の第1の電極として機能する部分を含む。あるいは、導電層110513が、導電層110507と電気的に接続されている場合は、導電層110513は、容量素子110521の第2の電極として機能する部分を含む。あるいは、導電層110513が、導電層110504および導電層110507と接続されていない場合は、容量素子110521とは別の容量素子が形成される。この容量素子は、導電層110513、導電層110507および絶縁膜110511が、それぞれ容量素子の第1の電極、第2の電極、絶縁膜として用いられる構成である。なお、第2の導電層としては、Ti、Mo、Ta、Cr、W、Al、Nd、Cu、Ag、Au、Pt、Nb、Si、Zn、Fe、Ba、Geなど、またはこれらの合金を用いることができる。あるいは、これらの元素(合金も含む)の積層を用いることができる。   A second conductive layer (a conductive layer 110512 and a conductive layer 110513) is formed over the third insulating film. The conductive layer 110512 is connected to the other of the source electrode and the drain electrode of the transistor 110520 through a contact hole formed in the third insulating film. Therefore, the conductive layer 110512 includes a portion functioning as the other of the source electrode and the drain electrode of the transistor 110520. In the case where the conductive layer 110513 is electrically connected to the conductive layer 110504, the conductive layer 110513 includes a portion functioning as the first electrode of the capacitor 110521. Alternatively, in the case where the conductive layer 110513 is electrically connected to the conductive layer 110507, the conductive layer 110513 includes a portion functioning as the second electrode of the capacitor 110521. Alternatively, in the case where the conductive layer 110513 is not connected to the conductive layer 110504 and the conductive layer 110507, a capacitor other than the capacitor 110521 is formed. In this capacitor, the conductive layer 110513, the conductive layer 110507, and the insulating film 110511 are used as the first electrode, the second electrode, and the insulating film of the capacitor, respectively. As the second conductive layer, Ti, Mo, Ta, Cr, W, Al, Nd, Cu, Ag, Au, Pt, Nb, Si, Zn, Fe, Ba, Ge, or an alloy thereof is used. Can be used. Alternatively, a stack of these elements (including alloys) can be used.

第2の導電層が形成された後の工程として、さまざまな絶縁膜、またはさまざまな導電膜が形成されていてもよい。   As a process after the second conductive layer is formed, various insulating films or various conductive films may be formed.

次に、トランジスタの半導体層に、アモルファスシリコン(a−Si:H)膜またはマイクロクリスタルシリコン膜などを用いた場合の、トランジスタおよび容量素子の構造について説明する。   Next, the structure of the transistor and the capacitor in the case where an amorphous silicon (a-Si: H) film, a microcrystal silicon film, or the like is used for the semiconductor layer of the transistor will be described.

図41は、トップゲート型のトランジスタの断面構造および容量素子の断面構造を示す図である。   FIG. 41 illustrates a cross-sectional structure of a top-gate transistor and a cross-sectional structure of a capacitor.

基板110201上に、第1の絶縁膜(絶縁膜110202)が全面に形成されている。第1の絶縁膜は、基板側からの不純物が半導体層に影響を及ぼし、トランジスタの性質が変化してしまうことを防ぐ機能を有する。つまり、第1の絶縁膜は、下地膜としての機能を有する。したがって、信頼性の高いトランジスタを作製することができる。なお、第1の絶縁膜としては、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜(SiOxNy)などの単層、またはこれらの積層を用いることができる。   A first insulating film (insulating film 110202) is formed over the entire surface of the substrate 110201. The first insulating film has a function of preventing impurities from the substrate side from affecting the semiconductor layer and changing the characteristics of the transistor. That is, the first insulating film functions as a base film. Therefore, a highly reliable transistor can be manufactured. Note that as the first insulating film, a single layer such as a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a silicon oxynitride film (SiOxNy), or a stacked layer thereof can be used.

なお、第1の絶縁膜を必ずしも形成する必要はない。この場合は、工程数の削減および製造コストの削減を図ることができる。また、構造を簡単にできるので、歩留まりの向上を図ることができる。   Note that the first insulating film is not necessarily formed. In this case, the number of processes and the manufacturing cost can be reduced. Further, since the structure can be simplified, the yield can be improved.

第1の絶縁膜上に、第1の導電層(導電層110203、導電層110204および導電層110205)が形成されている。導電層110203は、トランジスタ110220のソース電極およびドレイン電極の一方の電極として機能する部分を含む。導電層110204は、トランジスタ110220のソース電極およびドレイン電極の他方の電極として機能する部分を含む。導電層110205は、容量素子110221の第1の電極として機能する部分を含む。なお、第1の導電層としては、Ti、Mo、Ta、Cr、W、Al、Nd、Cu、Ag、Au、Pt、Nb、Si、Zn、Fe、Ba、Geなどの元素、またはこれらの合金を用いることができる。あるいは、これらの元素(合金も含む)の積層を用いることができる。   A first conductive layer (a conductive layer 110203, a conductive layer 110204, and a conductive layer 110205) is formed over the first insulating film. The conductive layer 110203 includes a portion functioning as one of a source electrode and a drain electrode of the transistor 110220. The conductive layer 110204 includes a portion functioning as the other of the source electrode and the drain electrode of the transistor 110220. The conductive layer 110205 includes a portion functioning as the first electrode of the capacitor 110221. As the first conductive layer, elements such as Ti, Mo, Ta, Cr, W, Al, Nd, Cu, Ag, Au, Pt, Nb, Si, Zn, Fe, Ba, and Ge, or these elements can be used. Alloys can be used. Alternatively, a stack of these elements (including alloys) can be used.

導電層110203および導電層110204の上部に、第1の半導体層(半導体層110206および半導体層110207)が形成されている。半導体層110206は、ソース電極およびドレイン電極の一方の電極として機能する部分を含む。半導体層110207は、ソース電極およびドレイン電極の他方の電極として機能する部分を含む。なお、第1の半導体層としては、リンなどを含んだシリコンなどを用いることができる。   A first semiconductor layer (semiconductor layer 110206 and semiconductor layer 110207) is formed over the conductive layer 110203 and the conductive layer 110204. The semiconductor layer 110206 includes a portion functioning as one of a source electrode and a drain electrode. The semiconductor layer 110207 includes a portion functioning as the other of the source electrode and the drain electrode. Note that as the first semiconductor layer, silicon containing phosphorus or the like can be used.

導電層110203と導電層110204との間であって、かつ第1の絶縁膜上に、第2の半導体層(半導体層110208)が形成されている。そして、半導体層110208の一部は、導電層110203上および導電層110204上まで延長されている。半導体層110208は、トランジスタ110220のチャネル領域として機能する部分を含む。なお、第2の半導体層としては、アモルファスシリコン(a−Si:H)などの非結晶性を有する半導体層、または微結晶半導体(μ−Si:H)などの半導体層などを用いることができる。   A second semiconductor layer (semiconductor layer 110208) is formed between the conductive layer 110203 and the conductive layer 110204 and over the first insulating film. A part of the semiconductor layer 110208 extends to the conductive layer 110203 and the conductive layer 110204. The semiconductor layer 110208 includes a portion functioning as a channel region of the transistor 110220. Note that as the second semiconductor layer, an amorphous semiconductor layer such as amorphous silicon (a-Si: H) or a semiconductor layer such as a microcrystalline semiconductor (μ-Si: H) can be used. .

少なくとも半導体層110208および導電層110205を覆うように、第2の絶縁膜(絶縁膜110209および絶縁膜110210)が形成されている。第2の絶縁膜は、ゲート絶縁膜としての機能を有する。なお、第2の絶縁膜としては、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜(SiOxNy)などの単層、またはこれらの積層を用いることができる。   A second insulating film (the insulating film 110209 and the insulating film 110210) is formed so as to cover at least the semiconductor layer 110208 and the conductive layer 110205. The second insulating film functions as a gate insulating film. Note that as the second insulating film, a single layer such as a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a silicon oxynitride film (SiOxNy), or a stacked layer thereof can be used.

第2の半導体層に接する部分の第2の絶縁膜としては、酸化シリコン膜を用いることが望ましい。なぜなら、第2の半導体層と第2の絶縁膜とが接する界面における、トラップ準位が少なくなるからである。   As the second insulating film in contact with the second semiconductor layer, it is desirable to use a silicon oxide film. This is because trap levels at the interface between the second semiconductor layer and the second insulating film are reduced.

なお、第2の絶縁膜がMoと接する場合、Moと接する部分の第2の絶縁膜としては、酸化シリコン膜を用いることが望ましい。なぜなら、酸化シリコン膜はMoを酸化させないからである。   Note that when the second insulating film is in contact with Mo, it is desirable to use a silicon oxide film as the second insulating film in a portion in contact with Mo. This is because the silicon oxide film does not oxidize Mo.

第2の絶縁膜上に、第2の導電層(導電層110211および導電層110212)が形成されている。導電層110211は、トランジスタ110220のゲート電極として機能する部分を含む。導電層110212は、容量素子110221の第2の電極、または配線としての機能を有する。なお、第2の導電層としては、Ti、Mo、Ta、Cr、W、Al、Nd、Cu、Ag、Au、Pt、Nb、Si、Zn、Fe、Ba、Geなどの元素、またはこれらの合金を用いることができる。あるいは、これらの元素(合金も含む)の積層を用いることができる。   A second conductive layer (a conductive layer 110211 and a conductive layer 110212) is formed over the second insulating film. The conductive layer 110211 includes a portion functioning as a gate electrode of the transistor 110220. The conductive layer 110212 functions as the second electrode or the wiring of the capacitor 110221. As the second conductive layer, elements such as Ti, Mo, Ta, Cr, W, Al, Nd, Cu, Ag, Au, Pt, Nb, Si, Zn, Fe, Ba, and Ge, or these elements can be used. Alloys can be used. Alternatively, a stack of these elements (including alloys) can be used.

第2の導電層が形成された後の工程として、さまざまな絶縁膜、またはさまざまな導電膜が形成されていてもよい。   As a process after the second conductive layer is formed, various insulating films or various conductive films may be formed.

図42は、逆スタガ型(ボトムゲート型)のトランジスタの断面構造および容量素子の断面構造を示す図である。特に、図42に示すトランジスタは、チャネルエッチ型と呼ばれる構造である。   FIG. 42 illustrates a cross-sectional structure of an inverted staggered (bottom gate) transistor and a cross-sectional structure of a capacitor. In particular, the transistor illustrated in FIG. 42 has a structure called a channel etch type.

基板110301上に、第1の絶縁膜(絶縁膜110302)が全面に形成されている。第1の絶縁膜は、基板側からの不純物が半導体層に影響を及ぼし、トランジスタの性質が変化してしまうことを防ぐ機能を有する。つまり、第1の絶縁膜は下地膜としての機能を有する。したがって、信頼性の高いトランジスタを作製することができる。なお、第1の絶縁膜としては、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜(SiOxNy)などの単層、またはこれらの積層を用いることができる。   A first insulating film (insulating film 110302) is formed over the entire surface of the substrate 110301. The first insulating film has a function of preventing impurities from the substrate side from affecting the semiconductor layer and changing the characteristics of the transistor. That is, the first insulating film functions as a base film. Therefore, a highly reliable transistor can be manufactured. Note that as the first insulating film, a single layer such as a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a silicon oxynitride film (SiOxNy), or a stacked layer thereof can be used.

なお、第1の絶縁膜を必ずしも形成する必要はない。この場合は、工程数の削減および製造コストの削減を図ることができる。また、構造を簡単にできるので、歩留まりの向上を図ることができる。   Note that the first insulating film is not necessarily formed. In this case, the number of processes and the manufacturing cost can be reduced. Further, since the structure can be simplified, the yield can be improved.

第1の絶縁膜上に、第1の導電層(導電層110303および導電層110304)が形成されている。導電層110303は、トランジスタ110320のゲート電極として機能する部分を含む。導電層110304は、容量素子110321の第1の電極として機能する部分を含む。なお、第1の導電層としては、Ti、Mo、Ta、Cr、W、Al、Nd、Cu、Ag、Au、Pt、Nb、Si、Zn、Fe、Ba、Geなどの元素、またはこれらの合金を用いることができる。あるいは、これらの元素(合金も含む)の積層を用いることができる。   A first conductive layer (a conductive layer 110303 and a conductive layer 110304) is formed over the first insulating film. The conductive layer 110303 includes a portion functioning as the gate electrode of the transistor 110320. The conductive layer 110304 includes a portion functioning as the first electrode of the capacitor 110321. As the first conductive layer, elements such as Ti, Mo, Ta, Cr, W, Al, Nd, Cu, Ag, Au, Pt, Nb, Si, Zn, Fe, Ba, and Ge, or these elements can be used. Alloys can be used. Alternatively, a stack of these elements (including alloys) can be used.

少なくとも第1の導電層を覆うように、第2の絶縁膜(絶縁膜110305)が形成されている。第2の絶縁膜は、ゲート絶縁膜としての機能を有する。なお、第2の絶縁膜としては、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜(SiOxNy)などの単層、またはこれらの積層を用いることができる。   A second insulating film (insulating film 110305) is formed so as to cover at least the first conductive layer. The second insulating film functions as a gate insulating film. Note that as the second insulating film, a single layer such as a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a silicon oxynitride film (SiOxNy), or a stacked layer thereof can be used.

半導体層に接する部分の第2の絶縁膜としては、酸化シリコン膜を用いることが望ましい。なぜなら、半導体層と第2の絶縁膜が接する界面における、トラップ準位が少なくなるからである。   As the second insulating film in contact with the semiconductor layer, it is desirable to use a silicon oxide film. This is because trap levels at the interface between the semiconductor layer and the second insulating film are reduced.

第2の絶縁膜がMoと接する場合、Moと接する部分の第2の絶縁膜としては酸化シリコン膜を用いることが望ましい。なぜなら、酸化シリコン膜は、Moを酸化させないからである。   When the second insulating film is in contact with Mo, it is desirable to use a silicon oxide film as the second insulating film in the portion in contact with Mo. This is because the silicon oxide film does not oxidize Mo.

第2の絶縁膜上のうち、第1の導電層と重なって形成されている部分の一部に、フォトリソグラフィ法、インクジェット法または印刷法などによって、第1の半導体層(半導体層110306)が形成されている。そして、半導体層110306の一部は、第2の絶縁膜上のうち、第1の導電層と重なって形成されていない部分まで延長されている。半導体層110306は、トランジスタ110320のチャネル領域として機能する部分を含む。なお、半導体層110306としては、アモルファスシリコン(a−Si:H)などの非結晶性を有する半導体層、または微結晶半導体(μ−Si:H)などの半導体層などを用いることができる。   The first semiconductor layer (semiconductor layer 110306) is formed on a part of the second insulating film which overlaps with the first conductive layer by a photolithography method, an inkjet method, a printing method, or the like. Is formed. A part of the semiconductor layer 110306 is extended to a portion of the second insulating film which is not formed so as to overlap with the first conductive layer. The semiconductor layer 110306 includes a portion functioning as a channel region of the transistor 110320. Note that as the semiconductor layer 110306, an amorphous semiconductor layer such as amorphous silicon (a-Si: H) or a semiconductor layer such as a microcrystalline semiconductor (μ-Si: H) can be used.

第1の半導体層上の一部に、第2の半導体層(半導体層110307および半導体層110308)が形成されている。半導体層110307は、ソース電極およびドレイン電極の一方の電極として機能する部分を含む。半導体層110308は、ソース電極およびドレイン電極の他方の電極として機能する部分を含む。なお、第2の導体層としては、リンなどを含んだシリコンなどを用いることができる。   A second semiconductor layer (semiconductor layer 110307 and semiconductor layer 110308) is formed over part of the first semiconductor layer. The semiconductor layer 110307 includes a portion that functions as one of a source electrode and a drain electrode. The semiconductor layer 110308 includes a portion functioning as the other of the source electrode and the drain electrode. Note that as the second conductor layer, silicon containing phosphorus or the like can be used.

第2の半導体層上および第2の絶縁膜上に、第2の導電層(導電層110309、導電層110310および導電層110311)が形成されている。導電層110309は、トランジスタ110320のソース電極およびドレイン電極の一方として機能する部分を含む。導電層110310は、トランジスタ110320のソース電極およびドレイン電極の他方として機能する部分を含む。導電層110311は、容量素子110321の第2の電極として機能する部分を含む。なお、第2の導電層としては、Ti、Mo、Ta、Cr、W、Al、Nd、Cu、Ag、Au、Pt、Nb、Si、Zn、Fe、Ba、Geなど、またはこれらの合金を用いることができる。あるいは、これらの元素(合金も含む)の積層を用いることができる。   A second conductive layer (a conductive layer 110309, a conductive layer 110310, and a conductive layer 1103111) is formed over the second semiconductor layer and the second insulating film. The conductive layer 110309 includes a portion functioning as one of a source electrode and a drain electrode of the transistor 110320. The conductive layer 110310 includes a portion functioning as the other of the source electrode and the drain electrode of the transistor 110320. The conductive layer 1103111 includes a portion functioning as the second electrode of the capacitor 110321. As the second conductive layer, Ti, Mo, Ta, Cr, W, Al, Nd, Cu, Ag, Au, Pt, Nb, Si, Zn, Fe, Ba, Ge, or an alloy thereof is used. Can be used. Alternatively, a stack of these elements (including alloys) can be used.

なお、第2の導電層が形成された後の工程として、さまざまな絶縁膜、またはさまざまな導電膜が形成されていてもよい。   Note that as a process after the second conductive layer is formed, various insulating films or various conductive films may be formed.

ここで、チャネルエッチ型のトランジスタが特徴とする、工程の一例を説明する。同じマスクを用いて、第1の半導体層および第2の半導体層を形成できる。具体的には、第1の半導体層と第2の半導体層が、連続して成膜される。その際、第1の半導体層および第2の半導体層は、同じマスクを用いて形成される。   Here, an example of a process that is characterized by a channel-etched transistor will be described. The first semiconductor layer and the second semiconductor layer can be formed using the same mask. Specifically, the first semiconductor layer and the second semiconductor layer are continuously formed. At that time, the first semiconductor layer and the second semiconductor layer are formed using the same mask.

チャネルエッチ型のトランジスタが特徴とする、工程の別の一例を説明する。新たなマスクを用いることなく、トランジスタのチャネル領域を形成することができる。具体的には、第2の導電層が形成された後で、第2の導電層をマスクとして用いて、第2の半導体層の一部を除去する。あるいは、第2の導電層と同じマスクを用いて、第2の半導体層の一部を除去する。そして、除去された第2の半導体層の下部に形成されている第1の半導体層が、トランジスタのチャネル領域となる。   Another example of a process characterized by a channel-etched transistor will be described. The channel region of the transistor can be formed without using a new mask. Specifically, after the second conductive layer is formed, part of the second semiconductor layer is removed using the second conductive layer as a mask. Alternatively, part of the second semiconductor layer is removed using the same mask as the second conductive layer. Then, the first semiconductor layer formed under the removed second semiconductor layer becomes a channel region of the transistor.

図43は、逆スタガ型(ボトムゲート型)のトランジスタの断面構造および容量素子の断面構造を示す図である。特に、図43に示すトランジスタは、チャネル保護型(チャネルストップ型)と呼ばれる構造である。   FIG. 43 illustrates a cross-sectional structure of an inverted staggered (bottom gate) transistor and a cross-sectional structure of a capacitor. In particular, the transistor illustrated in FIG. 43 has a structure called a channel protection type (channel stop type).

基板110401上に、第1の絶縁膜(絶縁膜110402)が全面に形成されている。第1の絶縁膜は、基板側からの不純物が半導体層に影響を及ぼし、トランジスタの性質が変化してしまうことを防ぐ機能を有する。つまり、第1の絶縁膜は、下地膜としての機能を有する。したがって、信頼性の高いトランジスタを作製することができる。なお、第1の絶縁膜としては、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜(SiOxNy)などの単層、またはこれらの積層を用いることができる。   A first insulating film (insulating film 110402) is formed over the entire surface of the substrate 110401. The first insulating film has a function of preventing impurities from the substrate side from affecting the semiconductor layer and changing the characteristics of the transistor. That is, the first insulating film functions as a base film. Therefore, a highly reliable transistor can be manufactured. Note that as the first insulating film, a single layer such as a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a silicon oxynitride film (SiOxNy), or a stacked layer thereof can be used.

なお、第1の絶縁膜を必ずしも形成する必要はない。この場合は、工程数の削減および製造コストの削減を図ることができる。また、構造を簡単にできるので、歩留まりの向上を図ることができる。   Note that the first insulating film is not necessarily formed. In this case, the number of processes and the manufacturing cost can be reduced. Further, since the structure can be simplified, the yield can be improved.

第1の絶縁膜上に、第1の導電層(導電層110403および導電層110404)が形成されている。導電層110403は、トランジスタ110420のゲート電極として機能する部分を含む。導電層110404は、容量素子110421の第1の電極として機能する部分を含む。なお、第1の導電層としては、Ti、Mo、Ta、Cr、W、Al、Nd、Cu、Ag、Au、Pt、Nb、Si、Zn、Fe、Ba、Geなどの元素、またはこれらの合金を用いることができる。あるいは、これらの元素(合金も含む)の積層を用いることができる。   A first conductive layer (a conductive layer 110403 and a conductive layer 110404) is formed over the first insulating film. The conductive layer 110403 includes a portion functioning as the gate electrode of the transistor 110420. The conductive layer 110404 includes a portion functioning as the first electrode of the capacitor 110421. As the first conductive layer, elements such as Ti, Mo, Ta, Cr, W, Al, Nd, Cu, Ag, Au, Pt, Nb, Si, Zn, Fe, Ba, and Ge, or these elements can be used. Alloys can be used. Alternatively, a stack of these elements (including alloys) can be used.

少なくとも第1の導電層を覆うように、第2の絶縁膜(絶縁膜110405)が形成されている。第2の絶縁膜は、ゲート絶縁膜としての機能を有する。なお、第2の絶縁膜としては、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜(SiOxNy)などの単層、またはこれらの積層を用いることができる。   A second insulating film (insulating film 110405) is formed so as to cover at least the first conductive layer. The second insulating film functions as a gate insulating film. Note that as the second insulating film, a single layer such as a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a silicon oxynitride film (SiOxNy), or a stacked layer thereof can be used.

半導体層に接する部分の第2の絶縁膜としては、酸化シリコン膜を用いることが望ましい。なぜなら、半導体層と第2の絶縁膜が接する界面における、トラップ準位が少なくなるからである。   As the second insulating film in contact with the semiconductor layer, it is desirable to use a silicon oxide film. This is because trap levels at the interface between the semiconductor layer and the second insulating film are reduced.

第2の絶縁膜がMoと接する場合、Moと接する部分の第2の絶縁膜としては酸化シリコン膜を用いることが望ましい。なぜなら、酸化シリコン膜はMoを酸化させないからである。   When the second insulating film is in contact with Mo, it is desirable to use a silicon oxide film as the second insulating film in the portion in contact with Mo. This is because the silicon oxide film does not oxidize Mo.

第2の絶縁膜上のうち、第1の導電層と重なって形成されている部分の一部に、フォトリソグラフィ法、インクジェット法または印刷法などによって、第1の半導体層(半導体層110406)が形成されている。そして、半導体層110406の一部は、第2の絶縁膜上のうち、第1の導電層と重なって形成されていない部分まで延長されている。半導体層110406は、トランジスタ110420のチャネル領域として機能する部分を含む。なお、半導体層110406としては、アモルファスシリコン(C−Si:H)などの非結晶性を有する半導体層、または微結晶半導体(μ−Si:H)などの半導体層などを用いることができる。   The first semiconductor layer (semiconductor layer 110406) is formed on part of the second insulating film which overlaps with the first conductive layer by a photolithography method, an inkjet method, a printing method, or the like. Is formed. A part of the semiconductor layer 110406 is extended to a portion of the second insulating film that is not formed so as to overlap with the first conductive layer. The semiconductor layer 110406 includes a portion functioning as a channel region of the transistor 110420. Note that as the semiconductor layer 110406, an amorphous semiconductor layer such as amorphous silicon (C—Si: H) or a semiconductor layer such as a microcrystalline semiconductor (μ-Si: H) can be used.

第1の半導体層上の一部に、第3の絶縁膜(絶縁膜110412)が形成されている。絶縁膜110412は、トランジスタ110420のチャネル領域がエッチングによって除去されることを防止する機能を有する。つまり、絶縁膜110412は、チャネル保護膜(チャネルストップ膜)として機能する。なお、第3の絶縁膜としては、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜(SiOxNy)などの単層、またはこれらの積層を用いることができる。   A third insulating film (insulating film 110412) is formed over part of the first semiconductor layer. The insulating film 110412 has a function of preventing the channel region of the transistor 110420 from being removed by etching. That is, the insulating film 110412 functions as a channel protective film (channel stop film). Note that as the third insulating film, a single layer such as a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a silicon oxynitride film (SiOxNy), or a stacked layer thereof can be used.

第1の半導体層上の一部および第3の絶縁膜上の一部に、第2の半導体層(半導体層110407および半導体層110408)が形成されている。半導体層110407は、ソース電極およびドレイン電極の一方の電極として機能する部分を含む。半導体層110408は、ソース電極およびドレイン電極の他方の電極として機能する部分を含む。なお、第2の導体層としては、リンなどを含んだシリコンなどを用いることができる。   A second semiconductor layer (semiconductor layer 110407 and semiconductor layer 110408) is formed over part of the first semiconductor layer and part of the third insulating film. The semiconductor layer 110407 includes a portion functioning as one of a source electrode and a drain electrode. The semiconductor layer 110408 includes a portion functioning as the other of the source electrode and the drain electrode. Note that as the second conductor layer, silicon containing phosphorus or the like can be used.

第2の半導体層上に、第2の導電層(導電層110409、導電層110410および導電層110411)が形成されている。導電層110409は、トランジスタ110420のソース電極およびドレイン電極の一方として機能する部分を含む。導電層110410は、トランジスタ110420のソース電極およびドレイン電極の他方として機能する部分を含む。導電層110411は、容量素子110421の第2の電極として機能する部分を含む。なお、第2の導電層としては、Ti、Mo、Ta、Cr、W、Al、Nd、Cu、Ag、Au、Pt、Nb、Si、Zn、Fe、Ba、Geなど、またはこれらの合金を用いることができる。あるいは、これらの元素(合金も含む)の積層を用いることができる。   A second conductive layer (a conductive layer 110409, a conductive layer 110410, and a conductive layer 110411) is formed over the second semiconductor layer. The conductive layer 110409 includes a portion functioning as one of a source electrode and a drain electrode of the transistor 110420. The conductive layer 110410 includes a portion functioning as the other of the source electrode and the drain electrode of the transistor 110420. The conductive layer 110411 includes a portion functioning as the second electrode of the capacitor 110421. As the second conductive layer, Ti, Mo, Ta, Cr, W, Al, Nd, Cu, Ag, Au, Pt, Nb, Si, Zn, Fe, Ba, Ge, or an alloy thereof is used. Can be used. Alternatively, a stack of these elements (including alloys) can be used.

第2の導電層が形成された後の工程として、さまざまな絶縁膜、またはさまざまな導電膜が形成されていてもよい。   As a process after the second conductive layer is formed, various insulating films or various conductive films may be formed.

ここまで、トランジスタの構造およびトランジスタの作製方法について説明した。ここで、配線、電極、導電層、導電膜、端子、ビア、プラグなどは、アルミニウム(Al)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、ネオジム(Nd)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、マグネシウム(Mg)、スカンジウム(Sc)、コバルト(Co)、亜鉛(Zn)、ニオブ(Nb)、シリコン(Si)、リン(P)、ボロン(B)、ヒ素(As)、ガリウム(Ga)、インジウム(In)、錫(Sn)、酸素(O)で構成された群から選ばれた一つもしくは複数の元素、または、前記群から選ばれた一つもしくは複数の元素を成分とする化合物、合金材料(例えば、インジウム錫酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物(ITSO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化錫(SnO)、酸化錫カドミウム(CTO)、アルミネオジム(Al−Nd)、マグネシウム銀(Mg−Ag)、モリブデンニオブ(Mo−Nb)など)で形成されることが望ましい。または、配線、電極、導電層、導電膜、端子などは、これらの化合物を組み合わせた物質などを有して形成されることが望ましい。もしくは、前記群から選ばれた一つもしくは複数の元素と、シリコンの化合物(シリサイド)(例えば、アルミシリコン、モリブデンシリコン、ニッケルシリサイドなど)、前記群から選ばれた一つもしくは複数の元素と窒素の化合物(例えば、窒化チタン、窒化タンタル、窒化モリブデンなど)を有して形成されることが望ましい。 Up to this point, the structure of the transistor and the method for manufacturing the transistor have been described. Here, wiring, electrodes, conductive layers, conductive films, terminals, vias, plugs, and the like are made of aluminum (Al), tantalum (Ta), titanium (Ti), molybdenum (Mo), tungsten (W), neodymium (Nd). , Chromium (Cr), nickel (Ni), platinum (Pt), gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), magnesium (Mg), scandium (Sc), cobalt (Co), zinc (Zn) , Niobium (Nb), Silicon (Si), Phosphorus (P), Boron (B), Arsenic (As), Gallium (Ga), Indium (In), Tin (Sn), Oxygen (O) Or one or more elements selected from the above, or a compound or alloy material (for example, indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO) containing one or more elements selected from the above group as a component) ) Indium tin oxide containing silicon oxide (ITSO), zinc oxide (ZnO), tin oxide (SnO), tin cadmium oxide (CTO), aluminum neodymium (Al-Nd), magnesium silver (Mg-Ag), molybdenum niobium ( Mo—Nb) and the like. Alternatively, the wiring, the electrode, the conductive layer, the conductive film, the terminal, and the like are preferably formed using a substance in which these compounds are combined. Or one or more elements selected from the above group and a silicon compound (silicide) (eg, aluminum silicon, molybdenum silicon, nickel silicide, etc.), one or more elements selected from the above group and nitrogen It is desirable to form the above compound (for example, titanium nitride, tantalum nitride, molybdenum nitride, or the like).

シリコン(Si)には、n型不純物(リンなど)またはp型不純物(ボロンなど)を含んでいてもよい。シリコンが不純物を含むことにより、導電率が向上し、通常の導体と同様な振る舞いをすることが可能となる。従って、配線、電極などとして利用しやすくなる。   Silicon (Si) may contain an n-type impurity (such as phosphorus) or a p-type impurity (such as boron). When silicon contains impurities, the conductivity is improved and the same behavior as a normal conductor can be achieved. Therefore, it becomes easy to use as wiring, electrodes, and the like.

シリコンは、単結晶、多結晶(ポリシリコン)、微結晶(マイクロクリスタルシリコン)など、さまざまな結晶性を有するシリコンを用いることができる。あるいは、非晶質(アモルファスシリコン)などの、結晶性を有さないシリコンを用いることができる。単結晶シリコンまたは多結晶シリコンを用いることにより、配線、電極、導電層、導電膜、端子などの抵抗を小さくすることができる。非晶質シリコンまたは微結晶シリコンを用いることにより、簡単な工程で配線などを形成することができる。   As the silicon, silicon having various crystallinity such as single crystal, polycrystal (polysilicon), and microcrystal (microcrystal silicon) can be used. Alternatively, silicon having no crystallinity such as amorphous (amorphous silicon) can be used. By using single crystal silicon or polycrystalline silicon, resistance of a wiring, an electrode, a conductive layer, a conductive film, a terminal, or the like can be reduced. By using amorphous silicon or microcrystalline silicon, a wiring or the like can be formed by a simple process.

アルミニウムまたは銀は、導電率が高いため、信号遅延を低減することができる。さらに、エッチングしやすいので、パターニングしやすく、微細加工することができる。   Since aluminum or silver has high conductivity, signal delay can be reduced. Further, since etching is easy, patterning is easy and fine processing can be performed.

銅は、導電率が高いため、信号遅延を低減することができる。銅を用いる場合は、密着性を向上させるため、積層構造にすることが望ましい。   Since copper has high conductivity, signal delay can be reduced. When copper is used, it is desirable to have a laminated structure in order to improve adhesion.

モリブデンまたはチタンは、酸化物半導体(ITO、IZOなど)またはシリコンと接触しても、不良を起こさず、エッチングしやすく、耐熱性が高いなどの利点を有するため、望ましい。   Molybdenum or titanium is desirable because it does not cause defects even when in contact with an oxide semiconductor (ITO, IZO, or the like) or silicon, and is easily etched and has high heat resistance.

タングステンは、耐熱性が高いなどの利点を有するため、望ましい。   Tungsten is desirable because it has advantages such as high heat resistance.

ネオジムは、耐熱性が高いなどの利点を有するため、望ましい。特に、ネオジムとアルミニウムの合金にすると、耐熱性が向上し、アルミニウムがヒロックをおこしにくくなる。   Neodymium is desirable because it has advantages such as high heat resistance. In particular, when an alloy of neodymium and aluminum is used, heat resistance is improved, and aluminum is less likely to cause hillocks.

シリコンは、トランジスタが有する半導体層と同時に形成できる。耐熱性が高いなどの利点を有するため、望ましい。   Silicon can be formed at the same time as a semiconductor layer included in the transistor. This is desirable because it has advantages such as high heat resistance.

ITO、IZO、ITSO、酸化亜鉛(ZnO)、シリコン(Si)、酸化錫(SnO)、酸化錫カドミウム(CTO)は、透光性を有しているため、光を透過させる部分に用いることができる。例えば、画素電極や共通電極として用いることができる。   ITO, IZO, ITSO, zinc oxide (ZnO), silicon (Si), tin oxide (SnO), and tin cadmium oxide (CTO) have translucency, so they are used for light transmitting parts. it can. For example, it can be used as a pixel electrode or a common electrode.

IZOは、エッチングしやすく、加工しやすいため、望ましい。また、IZOは、エッチングしたときに、残渣が残ってしまう、ということも起こりにくい。したがって、画素電極としてIZOを用いると、液晶素子や発光素子に不具合(ショート、配向乱れなど)をもたらすことを低減できる。   IZO is desirable because it is easy to etch and process. In addition, it is difficult for IZO to leave a residue when it is etched. Therefore, when IZO is used as the pixel electrode, it is possible to reduce the occurrence of defects (short circuit, alignment disorder, etc.) in the liquid crystal element and the light emitting element.

配線、電極、導電層、導電膜、端子、ビアおよびプラグなどは、単層構造でもよいし、多層構造でもよい。単層構造にすることにより、配線、電極、導電層、導電膜および端子などの製造工程を簡略化し、工程数を少なくし、さらにコストを低減することができる。あるいは、多層構造にすることにより、それぞれの材料のメリットを生かしつつ、デメリットを低減させ、性能の良い配線および電極などを形成することができる。例えば、低抵抗材料(アルミニウムなど)を多層構造の中に含むことにより、配線の低抵抗化を図ることができる。別の例として、低耐熱性の材料を、高耐熱性の材料で挟む積層構造にすることにより、低耐熱性の材料の持つメリットを生かしつつ、配線および電極などの耐熱性を高くすることができる。例えば、アルミニウムを含む層を、モリブデン、チタンまたはネオジムなどを含む層で挟む積層構造にすると望ましい。   The wiring, electrode, conductive layer, conductive film, terminal, via, plug, and the like may have a single-layer structure or a multilayer structure. With a single-layer structure, the manufacturing process of wiring, electrodes, conductive layers, conductive films, terminals, and the like can be simplified, the number of steps can be reduced, and costs can be reduced. Alternatively, by using a multilayer structure, it is possible to reduce the demerits while making use of the merits of each material, and to form wirings and electrodes having good performance. For example, by including a low resistance material (such as aluminum) in the multilayer structure, the resistance of the wiring can be reduced. As another example, a laminated structure in which a low heat-resistant material is sandwiched between high heat-resistant materials can increase the heat resistance of wiring and electrodes while taking advantage of the low heat-resistant material. it can. For example, a layered structure in which a layer containing aluminum is sandwiched between layers containing molybdenum, titanium, neodymium, or the like is preferable.

配線、電極など同士が、直接接する場合、お互いに悪影響を及ぼすことがある。例えば、一方の配線、電極などが、他方の配線、電極などの材料の中に入りその性質を変えてしまい、本来の目的を果たせなくなることがある。別の例として、高抵抗な部分を形成または製造するときに、問題が生じて、正常に製造できなくなることがある。そのような場合、積層構造により、反応しやすい材料を、反応しにくい材料で挟んだり、覆ったりするとよい。例えば、ITOとアルミニウムを接続させる場合は、ITOとアルミニウムの間に、チタン、モリブデンまたはネオジム合金を挟むことが望ましい。別の例として、シリコンとアルミニウムを接続させる場合は、シリコンとアルミニウムの間に、チタン、モリブデンまたはネオジム合金を挟むことが望ましい。   When wires, electrodes, etc. are in direct contact with each other, they may adversely affect each other. For example, one wiring, electrode, or the like may enter the material of the other wiring, electrode, or the like and change its properties, so that the original purpose cannot be achieved. As another example, when forming or manufacturing a high-resistance portion, a problem may occur that prevents normal manufacture. In such a case, it is preferable to sandwich or cover a material that easily reacts with a material that does not easily react by a laminated structure. For example, when ITO and aluminum are connected, it is desirable to sandwich titanium, molybdenum, or a neodymium alloy between ITO and aluminum. As another example, when silicon and aluminum are connected, it is desirable to sandwich titanium, molybdenum, or a neodymium alloy between silicon and aluminum.

配線とは、導電体が配置されているものをいう。線状に伸びていてもよいし、伸びずに短く配置されていてもよい。したがって、電極は、配線に含まれている。   Wiring means that a conductor is arranged. It may extend linearly or may be arranged short without extending. Therefore, the electrode is included in the wiring.

配線、電極、導電層、導電膜、端子、ビアおよびプラグなどとして、カーボンナノチューブを用いてもよい。さらに、カーボンナノチューブは、透光性を有しているため、光を透過させる部分に用いることができる。例えば、画素電極や共通電極として用いることができる。 Carbon nanotubes may be used as wirings, electrodes, conductive layers, conductive films, terminals, vias, plugs, and the like. Furthermore, since the carbon nanotube has translucency, it can be used in a portion that transmits light. For example, it can be used as a pixel electrode or a common electrode.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, various drawings have been used. However, the contents (or part of the contents) described in each figure may be applied to the contents (or part of the contents) described in another figure. , Can be freely combined or replaced. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

同様に、本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、本実施の形態の図の各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   Similarly, the contents (may be a part) described in each drawing of this embodiment are applied, combined, or replaced with the contents (may be a part) described in the figure of another embodiment. Can be done freely. Further, with respect to each part of the drawings in this embodiment mode, a larger number of diagrams can be formed by combining parts of different embodiment modes.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合わせまたは置き換えを自由に行うことができる。   This embodiment is an example in which the content (may be a part) described in other embodiments is embodied, an example in which the content is slightly modified, an example in which a part is changed, and an improvement An example, an example when it is described in detail, an example when it is applied, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiment modes can be freely applied to, combined with, or replaced with this embodiment mode.

(実施の形態9)
本実施の形態においては、表示装置の構成について説明する。
(Embodiment 9)
In this embodiment, a structure of a display device is described.

図47(A)を参照して、表示装置の構成について説明する。図47(A)は、表示装置の上面図である。   A structure of the display device is described with reference to FIG. FIG. 47A is a top view of a display device.

画素部170101、走査線側入力端子170103および信号線側入力端子170104が基板170100上に形成されている。また、走査線が、走査線側入力端子170103から行方向に延在して基板170100上に形成され、信号線が、信号線側入力端子170104から列方向に延在して基板170100上に形成されている。そして、画素170102が、画素部170101に、走査線と信号線が交差する領域に、マトリクス状に配置されている。   A pixel portion 170101, a scanning line side input terminal 170103, and a signal line side input terminal 170104 are formed over the substrate 170100. In addition, a scan line extends from the scan line side input terminal 170103 in the row direction and is formed over the substrate 170100, and a signal line extends from the signal line side input terminal 170104 in the column direction and formed over the substrate 170100. Has been. Pixels 170102 are arranged in a matrix in the pixel portion 170101 in regions where scanning lines and signal lines intersect.

ここまで、外付けの駆動回路によって信号を入力する場合について説明してきた。ただし、これに限定されず、ICチップを表示装置に実装することができる。   Up to this point, the case where a signal is input by an external drive circuit has been described. However, the present invention is not limited to this, and an IC chip can be mounted on a display device.

例えば、図48(A)に示すように、COG(Chip On Glass)方式によって、ICチップ170201を、基板170100に実装することができる。この場合、ICチップ170201を、基板170100に実装する前に検査できるので、表示装置の歩留まりの向上を図り、信頼性を高めることができる。なお、図47(A)の構成と共通するところは共通の符号を用いて、その説明を省略する。   For example, as illustrated in FIG. 48A, the IC chip 170201 can be mounted on the substrate 170100 by a COG (Chip On Glass) method. In this case, since the IC chip 170201 can be inspected before being mounted on the substrate 170100, the yield of the display device can be improved and the reliability can be increased. Note that portions common to the structure in FIG. 47A are denoted by common reference numerals, and description thereof is omitted.

別の例として、図48(B)に示すように、TAB(Tape Automated Bonding)方式によって、ICチップ170201を、FPC(Flexible Printed Circuit)170200に実装することができる。この場合、ICチップ170201を、FPC170200に実装する前に検査できるので、表示装置の歩留まりの向上を図り、信頼性を高めることができる。なお、図47(A)の構成と共通するところは共通の符号を用いて、その説明を省略する。   As another example, as shown in FIG. 48B, the IC chip 170201 can be mounted on an FPC (Flexible Printed Circuit) 170200 by a TAB (Tape Automated Bonding) method. In this case, since the IC chip 170201 can be inspected before being mounted on the FPC 170200, the yield of the display device can be improved and the reliability can be increased. Note that portions common to the structure in FIG. 47A are denoted by common reference numerals, and description thereof is omitted.

ICチップを基板170100に実装するだけでなく、駆動回路を基板170100上に形成することができる。   In addition to mounting an IC chip on the substrate 170100, a driver circuit can be formed over the substrate 170100.

例えば、図47(B)に示すように、走査線駆動回路170105を、基板170100上に形成することができる。この場合、部品点数の削減による、コストの低減を図ることができる。また、回路部品との接続点数の低減による、信頼性の向上を図ることができる。また、走査線駆動回路170105は、駆動周波数が低い。そのため、トランジスタの半導体層として、非結晶シリコンまたは微結晶シリコンを用いて、走査線駆動回路170105を容易に形成することができる。なお、信号線に信号を出力するためのICチップを、基板170100にCOG方式で実装してもよい。あるいは、信号線に信号を出力するためのICチップが、TAB方式で実装されたFPCを、基板170100に配置してもよい。また、走査線駆動回路170105を制御するためのICチップを、基板170100にCOG方式で実装してもよい。あるいは、走査線駆動回路170105を制御するためのICチップが、TAB方式で実装されたFPCを、基板170100に配置してもよい。なお、図47(A)の構成と共通するところは共通の符号を用いて、その説明を省略する。   For example, the scan line driver circuit 170105 can be formed over the substrate 170100 as shown in FIG. In this case, the cost can be reduced by reducing the number of parts. In addition, reliability can be improved by reducing the number of connection points with circuit components. In addition, the scanning line driver circuit 170105 has a low driving frequency. Therefore, the scan line driver circuit 170105 can be easily formed using amorphous silicon or microcrystalline silicon as the semiconductor layer of the transistor. Note that an IC chip for outputting a signal to the signal line may be mounted on the substrate 170100 by a COG method. Alternatively, an FPC on which an IC chip for outputting a signal to a signal line is mounted by a TAB method may be provided on the substrate 170100. An IC chip for controlling the scan line driver circuit 170105 may be mounted on the substrate 170100 by a COG method. Alternatively, an FPC on which an IC chip for controlling the scan line driver circuit 170105 is mounted by a TAB method may be provided over the substrate 170100. Note that portions common to the structure in FIG. 47A are denoted by common reference numerals, and description thereof is omitted.

別の例として、図47(C)に示すように、走査線駆動回路170105および信号線駆動回路170106を、基板170100上に形成することができる。その結果、部品点数の削減による、コストの低減を図ることができる。また、回路部品との接続点数の低減による、信頼性の向上を図ることができる。なお、走査線駆動回路170105を制御するためのICチップを、基板170100にCOG方式で実装してもよい。あるいは、走査線駆動回路170105を制御するためのICチップが、TAB方式で実装されたFPCを、基板170100に配置してもよい。また、信号線駆動回路170106を制御するためのICチップを、基板170100にCOG方式で実装してもよい。あるいは、信号線駆動回路170106を制御するためのICチップが、TAB方式で実装されたFPCを、基板170100に配置してもよい。なお、図47(A)の構成と共通するところは共通の符号を用いて、その説明を省略する。   As another example, the scan line driver circuit 170105 and the signal line driver circuit 170106 can be formed over a substrate 170100 as shown in FIG. As a result, the cost can be reduced by reducing the number of parts. In addition, reliability can be improved by reducing the number of connection points with circuit components. Note that an IC chip for controlling the scan line driver circuit 170105 may be mounted on the substrate 170100 by a COG method. Alternatively, an FPC on which an IC chip for controlling the scan line driver circuit 170105 is mounted by a TAB method may be provided over the substrate 170100. Further, an IC chip for controlling the signal line driver circuit 170106 may be mounted on the substrate 170100 by a COG method. Alternatively, an FPC on which an IC chip for controlling the signal line driver circuit 170106 is mounted by a TAB method may be provided over the substrate 170100. Note that portions common to the structure in FIG. 47A are denoted by common reference numerals, and description thereof is omitted.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, various drawings have been used. However, the contents (or part of the contents) described in each figure may be applied to the contents (or part of the contents) described in another figure. , Can be freely combined or replaced. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

同様に、本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、本実施の形態の図の各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   Similarly, the contents (may be a part) described in each drawing of this embodiment are applied, combined, or replaced with the contents (may be a part) described in the figure of another embodiment. Can be done freely. Further, with respect to each part of the drawings in this embodiment mode, a larger number of diagrams can be formed by combining parts of different embodiment modes.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合わせまたは置き換えを自由に行うことができる。   This embodiment is an example in which the content (may be a part) described in other embodiments is embodied, an example in which the content is slightly modified, an example in which a part is changed, and an improvement An example, an example when it is described in detail, an example when it is applied, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiment modes can be freely applied to, combined with, or replaced with this embodiment mode.

(実施の形態10)
本実施の形態においては、表示装置の駆動方法について説明する。特に、液晶表示装置の駆動方法について説明する。
(Embodiment 10)
In this embodiment, a method for driving a display device is described. In particular, a method for driving a liquid crystal display device will be described.

本実施の形態において説明する液晶表示装置に用いることのできる液晶パネルは、液晶材料を2枚の基板によって挟んだ構造であるとする。2枚の基板は、それぞれ、液晶材料に印加する電界を制御するための電極を備えている。液晶材料は、外部から印加される電界によって、光学的および電気的な性質が、変化する材料である。したがって、液晶パネルは、基板が有する電極を用いて、液晶材料に印加する電圧を制御することによって、所望の光学的および電気的な性質を得ることができるデバイスである。そして、多数の電極を平面的に並置することで、それぞれを画素とし、画素に印加する電圧を個別に制御することにより、精細な画像を液晶パネルに表示できる。   A liquid crystal panel that can be used for the liquid crystal display device described in this embodiment has a structure in which a liquid crystal material is sandwiched between two substrates. Each of the two substrates includes an electrode for controlling an electric field applied to the liquid crystal material. A liquid crystal material is a material whose optical and electrical properties are changed by an electric field applied from the outside. Therefore, a liquid crystal panel is a device that can obtain desired optical and electrical properties by controlling a voltage applied to a liquid crystal material using an electrode of a substrate. Then, by arranging a large number of electrodes side by side, each pixel is a pixel, and a voltage applied to the pixel is individually controlled, whereby a fine image can be displayed on the liquid crystal panel.

ここで、電界の変化に対する液晶材料の応答時間は、2枚の基板の間隔(セルギャップ)および液晶材料の種類等に依存するが、一般的に数ミリ秒から数十ミリ秒である。さらに、電界の変化量が小さい場合は、液晶材料の応答時間はさらに長くなる。この性質は、液晶パネルによって動きのある画像を表示する場合に、残像、尾引きおよびコントラストの低下といった画像表示上の障害を引き起こし、特に中間調から別の中間調へ変化する場合(電界の変化が小さい)場合に、前述の障害の程度が著しくなる。   Here, the response time of the liquid crystal material with respect to the change in the electric field is generally several milliseconds to several tens of milliseconds, although it depends on the distance between the two substrates (cell gap), the type of the liquid crystal material, and the like. Furthermore, when the change amount of the electric field is small, the response time of the liquid crystal material is further increased. This property causes obstacles in image display such as afterimages, tailing and lowering of contrast when displaying moving images with a liquid crystal panel, especially when changing from halftone to another halftone (change in electric field). Is small), the above-mentioned degree of failure becomes significant.

一方、アクティブマトリクスを用いた液晶パネルに特有の問題として、定電荷駆動による書き込み電圧の変化がある。以下に、本実施の形態における、定電荷駆動について説明する。   On the other hand, a problem peculiar to a liquid crystal panel using an active matrix is a change in write voltage due to constant charge driving. Hereinafter, constant charge driving in the present embodiment will be described.

アクティブマトリクスにおける画素回路は、書き込みを制御するスイッチと、電荷を保持する容量素子を含む。アクティブマトリクスにおける画素回路の駆動方法は、スイッチをオン状態として所定の電圧を画素回路に書き込んだ後、直ちにスイッチをオフ状態として画素回路内の電荷を保持する(ホールド状態)というものである。ホールド状態時、画素回路の内部と外部では、電荷のやり取りが行なわれない(定電荷)。通常、スイッチがオン状態となっている期間に比べて、オフ状態となっている期間は数百(走査線本数)倍程度長い。そのため、画素回路のスイッチは、ほとんどオフ状態となっていると考えてよい。以上より、本実施の形態における定電荷駆動とは、液晶パネルの駆動時、画素回路はほとんどの期間においてホールド状態である駆動方法であるとする。   A pixel circuit in the active matrix includes a switch for controlling writing and a capacitor for holding charge. The driving method of the pixel circuit in the active matrix is that the switch is turned on and a predetermined voltage is written in the pixel circuit, and then the switch is turned off and the charge in the pixel circuit is held (hold state). In the hold state, no charge is exchanged between the inside and outside of the pixel circuit (constant charge). Usually, the period in which the switch is off is several hundred times (the number of scanning lines) times longer than the period in which the switch is on. Therefore, it can be considered that the switch of the pixel circuit is almost off. From the above, it is assumed that the constant charge driving in this embodiment is a driving method in which the pixel circuit is in a hold state in almost all periods when the liquid crystal panel is driven.

次に、液晶材料の電気的特性について説明する。液晶材料は、外部から印加される電界が変化すると、光学的性質が変化するのと同時に、誘電率も変化する。すなわち、液晶パネルの各画素を2枚の電極に挟まれた容量素子(液晶素子)として考えたとき、当該容量素子は、印加される電圧によって静電容量が変化する容量素子である。この現象を、ダイナミックキャパシタンスと呼ぶこととする。   Next, electrical characteristics of the liquid crystal material will be described. In the liquid crystal material, when the electric field applied from the outside changes, the optical properties change and the dielectric constant also changes. That is, when each pixel of the liquid crystal panel is considered as a capacitive element (liquid crystal element) sandwiched between two electrodes, the capacitive element is a capacitive element whose capacitance changes according to an applied voltage. This phenomenon is called dynamic capacitance.

このように、印加される電圧によって静電容量が変化する容量素子を、上述した定電荷駆動によって駆動する場合、次のような問題が生じる。電荷の移動が行なわれないホールド状態において、液晶素子の静電容量が変化すると、印加される電圧も変化してしまうという問題である。これは、(電荷量)=(静電容量)×(印加電圧)という関係式において、電荷量が一定であるということから理解できる。   As described above, when the capacitive element whose capacitance is changed by the applied voltage is driven by the above-described constant charge driving, the following problem occurs. When the capacitance of the liquid crystal element changes in the hold state where no charge is transferred, the applied voltage also changes. This can be understood from the fact that the charge amount is constant in the relational expression (charge amount) = (capacitance) × (applied voltage).

以上の理由により、アクティブマトリクスを用いた液晶パネルでは、定電荷駆動であることによって、ホールド状態時における電圧が、書き込み時における電圧から変化してしまう。その結果、液晶素子の透過率の変化は、ホールド状態を取らない駆動法における変化とは異なったものとなる。この様子を示したのが、図45である。図45(A)は、横軸に時間、縦軸に電圧の絶対値をとり、画素回路に書き込む電圧の制御例を表したものである。図45(B)は、横軸に時間、縦軸に電圧をとった場合の、画素回路に書き込む電圧の制御例を表したものである。図45(C)は、横軸に時間、縦軸に液晶素子の透過率をとり、図45(A)または図45(B)によって表した電圧を画素回路に書き込んだ場合の、液晶素子の透過率の時間変化を表したものである。図45(A)〜図45(C)において、期間Fは電圧の書き換え周期を表し、電圧を書き換える時刻をt、t、t、tとして説明する。 For the above reasons, in the liquid crystal panel using the active matrix, the voltage in the hold state changes from the voltage in the writing state due to the constant charge driving. As a result, the change in the transmittance of the liquid crystal element is different from the change in the driving method that does not take the hold state. This state is shown in FIG. FIG. 45A shows a control example of the voltage written in the pixel circuit, with time on the horizontal axis and absolute value of voltage on the vertical axis. FIG. 45B shows a control example of the voltage written to the pixel circuit when the horizontal axis represents time and the vertical axis represents voltage. FIG. 45C illustrates the time when the horizontal axis represents time, the vertical axis represents the transmittance of the liquid crystal element, and the voltage shown in FIG. 45A or 45B is written in the pixel circuit. It shows the change in transmittance over time. In FIGS. 45A to 45C, a period F represents a voltage rewriting period, and the time for rewriting the voltage is described as t 1 , t 2 , t 3 , and t 4 .

ここで、液晶表示装置に入力される画像データに対応する書き込み電圧は、時刻0における書き換えでは|V|、時刻t、t、t、tにおける書き換えでは|V|であるとする(図45(A)参照)。 Here, the writing voltage corresponding to the image data input to the liquid crystal display device is | V 1 | for rewriting at time 0, and | V 2 | for rewriting at times t 1 , t 2 , t 3 , and t 4 . (See FIG. 45A).

液晶表示装置に入力される画像データに対応する書き込み電圧は、その極性を周期的に入れ替えてもよい(反転駆動:図45(B)参照)。この方法によって、液晶に直流電圧をできるだけ印加しないようにすることができるので、液晶素子の劣化による焼きつきなどを防ぐことができる。なお、極性を入れ替える周期(反転周期)は、電圧の書き換え周期と同じでもよい。この場合は、反転周期が短いので、反転駆動によるフリッカの発生を低減することができる。さらに、反転周期は、電圧の書き換え周期の整数倍の周期であってもよい。この場合は、反転周期が長く、極性を変えて電圧を書き込む頻度を減少させることができるため、消費電力を低減することができる。   The polarity of the writing voltage corresponding to the image data input to the liquid crystal display device may be periodically switched (inversion driving: see FIG. 45B). By this method, it is possible to prevent a direct current voltage from being applied to the liquid crystal as much as possible, so that it is possible to prevent image sticking due to deterioration of the liquid crystal element. Note that the polarity switching period (inversion period) may be the same as the voltage rewriting period. In this case, since the inversion cycle is short, occurrence of flicker due to inversion driving can be reduced. Further, the inversion cycle may be a cycle that is an integral multiple of the voltage rewrite cycle. In this case, since the inversion period is long and the frequency of writing the voltage by changing the polarity can be reduced, the power consumption can be reduced.

そして、図45(A)または図45(B)に示したような電圧を液晶素子に印加したときの液晶素子の透過率の時間変化を、図45(C)に示す。ここで、液晶素子に電圧|V|が印加され、十分時間が経過した後の液晶素子の透過率をTRとする。同様に、液晶素子に電圧|V|が印加され、十分時間が経過した後の液晶素子の透過率をTRとする。時刻tにおいて、液晶素子に印加される電圧が|V|から|V|に変化すると、液晶素子の透過率は、破線30401に示したように、すぐにTRとはならず、ゆっくりと変化する。たとえば、電圧の書き換え周期が、60Hzの画像信号のフレーム周期(16.7ミリ秒)と同じであるとき、透過率がTRに変化するまでは、数フレーム程度の時間が必要となる。 FIG. 45C shows a change over time in the transmittance of the liquid crystal element when a voltage as shown in FIG. 45A or 45B is applied to the liquid crystal element. Here, the voltage | V 1 | is applied to the liquid crystal element, and the transmittance of the liquid crystal element after a sufficient time has elapsed is defined as TR 1 . Similarly, the transmissivity of the liquid crystal element after the voltage | V 2 | is applied to the liquid crystal element and a sufficient time has elapsed is defined as TR 2 . When the voltage applied to the liquid crystal element changes from | V 1 | to | V 2 | at time t 1 , the transmittance of the liquid crystal element does not immediately become TR 2 as indicated by a broken line 30401, It changes slowly. For example, the rewriting period of the voltage, when the same as the frame period of the image signal of 60 Hz (16.7 msec), until the transmittance is changed to TR 2, it is necessary to time of several frames.

ただし、破線30401に示したような、滑らかな透過率の時間変化は、液晶素子に正確に電圧|V|が印加されたときのものである。実際の液晶パネル、たとえば、アクティブマトリクスを用いた液晶パネルでは、定電荷駆動であることによって、ホールド状態時における電圧が、書き込み時における電圧から変化してしまうため、液晶素子の透過率は破線30401に示したような時間変化とはならず、かわりに、実線30402に示したような、段階的な時間変化となる。これは、定電荷駆動であることによって電圧が変化してしまうため、1回の書き込みでは目的の電圧に到達することができないためである。その結果、液晶素子の透過率の応答時間は、本来の応答時間(破線30401)よりも、見かけ上、さらに長くなってしまい、残像、尾引きおよびコントラストの低下といった画像表示上の障害を顕著に引き起こしてしまうということになる。 However, the smooth transmittance change with time as indicated by a broken line 30401 is obtained when the voltage | V 2 | is accurately applied to the liquid crystal element. In an actual liquid crystal panel, for example, a liquid crystal panel using an active matrix, the voltage in the hold state changes from the voltage in the writing state due to constant charge driving. Instead of the time change as shown in FIG. 2, instead of the time change as shown by the solid line 30402. This is because the voltage changes due to the constant charge driving, and the target voltage cannot be reached by one writing. As a result, the response time of the transmissivity of the liquid crystal element is apparently longer than the original response time (broken line 30401), and noticeable image display problems such as afterimage, tailing, and contrast decrease are remarkable. It will cause.

オーバードライブ駆動を用いることによって、液晶素子の本来の応答時間の長さと、ダイナミックキャパシタンスおよび定電荷駆動による書き込み不足に起因する、見かけ上の応答時間がさらに長くなる現象を、同時に解決することができる。この様子を示したのが、図46である。図46(A)は、横軸に時間、縦軸に電圧の絶対値をとり、画素回路に書き込む電圧の制御例を表したものである。図46(B)は、横軸に時間、縦軸に電圧をとった場合の、画素回路に書き込む電圧の制御例を表したものである。図46(C)は、横軸に時間、縦軸に液晶素子の透過率をとり、図46(A)または図46(B)によって表した電圧を画素回路に書き込んだ場合の、液晶素子の透過率の時間変化を表したものである。図46(A)〜図46(C)において、期間Fは電圧の書き換え周期を表し、電圧を書き換える時刻をt、t、t、tとして説明する。 By using the overdrive drive, it is possible to simultaneously solve the problem of the longer response time due to the inherent response time of the liquid crystal element and insufficient writing due to dynamic capacitance and constant charge drive. . This is shown in FIG. FIG. 46A shows a control example of the voltage written in the pixel circuit, with the horizontal axis representing time and the vertical axis representing absolute voltage. FIG. 46B shows a control example of the voltage written to the pixel circuit when the horizontal axis represents time and the vertical axis represents voltage. In FIG. 46C, time is plotted on the horizontal axis and the transmittance of the liquid crystal element is plotted on the vertical axis, and the voltage shown in FIG. 46A or 46B is written in the pixel circuit. It shows the change in transmittance over time. In FIG. 46A to FIG. 46C, a period F represents a voltage rewriting cycle, and the time for rewriting the voltage is described as t 1 , t 2 , t 3 , and t 4 .

ここで、液晶表示装置に入力される画像データに対応する書き込み電圧は、時刻0における書き換えでは|V|、時刻tにおける書き換えでは|V|、時刻t、t、tにおける書き換えでは|V|であるとする(図46(A)参照)。 Here, the writing voltage corresponding to the image data input to the liquid crystal display device is | V 1 | for rewriting at time 0, | V 3 | for rewriting at time t 1 , and at times t 2 , t 3 , t 4 In rewriting, it is assumed that | V 2 | (see FIG. 46A).

液晶表示装置に入力される画像データに対応する書き込み電圧は、その極性を周期的に入れ替えてもよい(反転駆動:図46(B)参照)。この方法によって、液晶に直流電圧をできるだけ印加しないようにすることができるので、液晶素子の劣化による焼きつきなどを防ぐことができる。なお、極性を入れ替える周期(反転周期)は、電圧の書き換え周期と同じでもよい。この場合は、反転周期が短いので、反転駆動によるフリッカの発生を低減することができる。さらに、反転周期は、電圧の書き換え周期の整数倍の周期であってもよい。この場合は、反転周期が長く、極性を変えて電圧を書き込む頻度を減少させることができるため、消費電力を低減することができる。   The polarity of the writing voltage corresponding to the image data input to the liquid crystal display device may be periodically switched (inversion driving: see FIG. 46B). By this method, it is possible to prevent a direct current voltage from being applied to the liquid crystal as much as possible, so that it is possible to prevent image sticking due to deterioration of the liquid crystal element. Note that the polarity switching period (inversion period) may be the same as the voltage rewriting period. In this case, since the inversion cycle is short, occurrence of flicker due to inversion driving can be reduced. Further, the inversion cycle may be a cycle that is an integral multiple of the voltage rewrite cycle. In this case, since the inversion period is long and the frequency of writing the voltage by changing the polarity can be reduced, the power consumption can be reduced.

そして、図46(A)または図46(B)に示したような電圧を液晶素子に印加したときの液晶素子の透過率の時間変化を、図46(C)に示す。ここで、液晶素子に電圧|V|が印加され、十分時間が経過した後の液晶素子の透過率をTRとする。同様に、液晶素子に電圧|V|が印加され、十分時間が経過した後の液晶素子の透過率をTRとする。同様に、液晶素子に電圧|V|が印加され、十分時間が経過した後の液晶素子の透過率をTRとする。時刻tにおいて、液晶素子に印加される電圧が|V|から|V|に変化すると、液晶素子の透過率は、破線30501に示したように、数フレームをかけて透過率をTRまで変化しようとする。しかし、電圧|V|の印加は時刻tで終わり、時刻tより後は、電圧|V|が印加される。そのため、液晶素子の透過率は破線30501に示したようにはならず、実線30502に示したようになる。ここで、時刻tの時点において、透過率が概ねTRとなっているように、電圧|V|の値を設定するのが好ましい。ここで、電圧|V|を、オーバードライブ電圧とも呼ぶこととする。 FIG. 46C shows a change over time in the transmittance of the liquid crystal element when a voltage as illustrated in FIG. 46A or FIG. 46B is applied to the liquid crystal element. Here, the voltage | V 1 | is applied to the liquid crystal element, and the transmittance of the liquid crystal element after a sufficient time has elapsed is defined as TR 1 . Similarly, the transmissivity of the liquid crystal element after the voltage | V 2 | is applied to the liquid crystal element and a sufficient time has elapsed is defined as TR 2 . Similarly, the voltage | V 3 | is applied to the liquid crystal element, and the transmittance of the liquid crystal element after a sufficient time has elapsed is defined as TR 3 . When the voltage applied to the liquid crystal element changes from | V 1 | to | V 3 | at time t 1 , the transmittance of the liquid crystal element takes several frames as shown by the broken line 30501, and the transmittance is changed to TR. Try to change up to 3 . However, the voltage | V 3 | applied at the end at time t 2, later than time t 2, the voltage | V 2 | is applied. Therefore, the transmittance of the liquid crystal element is not as indicated by the broken line 30501 but as indicated by the solid line 30502. Here, it is preferable to set the value of the voltage | V 3 | so that the transmittance is approximately TR 2 at the time t 2 . Here, the voltage | V 3 | is also referred to as an overdrive voltage.

オーバードライブ電圧である|V|を変化させれば、液晶素子の応答時間をある程度制御することができる。なぜならば、液晶素子の応答時間は、電界の強さによって変化するからである。具体的には、電界が強いほど、液晶素子の応答時間は短くなり、電界が弱いほど、液晶素子の応答時間は長くなる。 If the overdrive voltage | V 3 | is changed, the response time of the liquid crystal element can be controlled to some extent. This is because the response time of the liquid crystal element changes depending on the strength of the electric field. Specifically, the stronger the electric field, the shorter the response time of the liquid crystal element, and the weaker the electric field, the longer the response time of the liquid crystal element.

オーバードライブ電圧である|V|は、電圧の変化量、すなわち、目的とする透過率TRおよびTRを与える電圧|V|および|V|、にしたがって変化させるのが好ましい。なぜならば、液晶素子の応答時間が電圧の変化量によって変わってしまっても、オーバードライブ電圧である|V|をそれに合わせて変化させれば、常に最適な応答時間を得ることができるからである。 The overdrive voltage | V 3 | is preferably changed according to the amount of voltage change, that is, the voltages | V 1 | and | V 2 | that give the desired transmittances TR 1 and TR 2 . This is because even if the response time of the liquid crystal element changes depending on the amount of change in voltage, the optimum response time can always be obtained by changing the overdrive voltage | V 3 | accordingly. is there.

オーバードライブ電圧である|V|は、TN、VA、IPS、OCB等の液晶素子のモードによって変化させるのが好ましい。なぜならば、液晶素子の応答速度が液晶のモードによって異なってしまっても、オーバードライブ電圧である|V|をそれに合わせて変化させれば、常に最適な応答時間を得ることができるからである。 The overdrive voltage | V 3 | is preferably changed according to the mode of the liquid crystal element such as TN, VA, IPS, OCB. This is because even if the response speed of the liquid crystal element varies depending on the mode of the liquid crystal, an optimal response time can always be obtained by changing the overdrive voltage | V 3 | accordingly. .

電圧書き換え周期Fは、入力信号のフレーム周期と同じでもよい。この場合は、液晶表示装置の周辺駆動回路を簡単にできるため、製造コストの低い液晶表示装置を得ることができる。   The voltage rewriting period F may be the same as the frame period of the input signal. In this case, since the peripheral drive circuit of the liquid crystal display device can be simplified, a liquid crystal display device with low manufacturing cost can be obtained.

電圧書き換え周期Fは、入力信号のフレーム周期よりも短くてもよい。例えば、電圧書き換え周期Fは入力信号のフレーム周期の1/2倍でもよいし、1/3倍でもよいし、それ以下でもよい。この方法は、黒挿入駆動、バックライト点滅、バックライトスキャン、動き補償による中間画像挿入駆動など、液晶表示装置のホールド駆動に起因する動画品質の低下の対策法と合わせて用いるのが効果的である。すなわち、液晶表示装置のホールド駆動に起因する動画品質の低下の対策法は、要求される液晶素子の応答時間が短いため、本実施の形態で説明したオーバードライブ駆動法を用いることで、比較的容易に液晶素子の応答時間を短くすることができる。液晶素子の応答時間は、セルギャップ、液晶材料および液晶素子のモードなどによって本質的に短くすることは可能ではあるが、技術的に困難である。そのため、オーバードライブのような駆動方法で液晶素子の応答時間を短くする方法を用いることは、非常に重要である。   The voltage rewriting period F may be shorter than the frame period of the input signal. For example, the voltage rewriting period F may be 1/2 times, 1/3 times, or less than the frame period of the input signal. This method is effective when used in combination with measures for reducing the quality of moving images caused by hold driving of liquid crystal display devices, such as black insertion driving, backlight blinking, backlight scanning, and intermediate image insertion driving by motion compensation. is there. That is, since the response time of the required liquid crystal element is short as a countermeasure against the degradation of the moving image quality caused by the hold driving of the liquid crystal display device, the overdrive driving method described in this embodiment can be used relatively. The response time of the liquid crystal element can be easily shortened. The response time of the liquid crystal element can be essentially shortened by the cell gap, the liquid crystal material, the mode of the liquid crystal element, etc., but is technically difficult. Therefore, it is very important to use a method of shortening the response time of the liquid crystal element by a driving method such as overdrive.

電圧書き換え周期Fは、入力信号のフレーム周期よりも長くてもよい。たとえば、電圧書き換え周期Fは入力信号のフレーム周期の2倍でもよいし、3倍でもよいし、それ以上でもよい。この方法は、長期間電圧の書き換えが行なわれないか否かを判断する手段(回路)と合わせて用いるのが効果的である。すなわち、長期間電圧の書き換えが行なわれない場合は、電圧の書き換え動作自体を行わないことによって、回路の動作をその期間中は停止させることができるので、消費電力の低い液晶表示装置を得ることができる。   The voltage rewriting period F may be longer than the frame period of the input signal. For example, the voltage rewrite period F may be twice, three times, or more than the frame period of the input signal. This method is effective when used in combination with means (circuit) for determining whether or not voltage rewriting is not performed for a long period of time. That is, when the voltage is not rewritten for a long time, the operation of the circuit can be stopped during the period by not performing the voltage rewriting operation itself, so that a liquid crystal display device with low power consumption is obtained. Can do.

次に、オーバードライブ電圧|V|を、目的とする透過率TRおよびTRを与える電圧|V|および|V|にしたがって変化させるための具体的な方法について説明する。 Next, a specific method for changing the overdrive voltage | V 3 | according to the voltages | V 1 | and | V 2 | that give the desired transmittances TR 1 and TR 2 will be described.

オーバードライブ回路は、目的とする透過率TRおよびTRを与える電圧|V|および|V|にしたがって、オーバードライブ電圧|V|を適切に制御するための回路であるため、オーバードライブ回路に入力される信号は、透過率TRを与える電圧|V|に関係する信号と、透過率TRを与える電圧|V|に関係する信号であり、オーバードライブ回路から出力される信号は、オーバードライブ電圧|V|に関係する信号となる。ここで、これらの信号としては、液晶素子に印加する電圧(|V|、|V|、|V|)のようなアナログの電圧値であってもよいし、液晶素子に印加する電圧を与えるためのデジタル信号であってもよい。ここでは、オーバードライブ回路に関係する信号はデジタル信号であるとして説明する。 The overdrive circuit is a circuit for appropriately controlling the overdrive voltage | V 3 | according to the voltages | V 1 | and | V 2 | that give the desired transmittances TR 1 and TR 2. Signals input to the drive circuit are a signal related to the voltage | V 1 | giving the transmittance TR 1 and a signal related to the voltage | V 2 | giving the transmittance TR 2 , and are outputted from the overdrive circuit. Is a signal related to the overdrive voltage | V 3 |. Here, these signals may be analog voltage values such as voltages (| V 1 |, | V 2 |, | V 3 |) applied to the liquid crystal element, or may be applied to the liquid crystal element. It may be a digital signal for applying a voltage. Here, it is assumed that the signal related to the overdrive circuit is a digital signal.

まず、図82(A)を参照して、オーバードライブ回路の全体的な構成について説明する。ここでは、オーバードライブ電圧を制御するための信号として、入力画像信号30101aおよび30101bを用いる。これらの信号を処理した結果、オーバードライブ電圧を与える信号として、出力画像信号30104が出力されるとする。   First, the overall structure of the overdrive circuit will be described with reference to FIG. Here, input image signals 30101a and 30101b are used as signals for controlling the overdrive voltage. As a result of processing these signals, an output image signal 30104 is output as a signal for giving an overdrive voltage.

目的とする透過率TRおよびTRを与える電圧|V|および|V|は、互いに隣り合ったフレームにおける画像信号であるため、入力画像信号30101aおよび30101bも、同様に互いに隣り合ったフレームにおける画像信号であることが好ましい。このような信号を得るためには、入力画像信号30101aを、図82(A)における遅延回路30102に入力し、その結果出力される信号を、入力画像信号30101bとすることができる。遅延回路30102としては、たとえば、メモリが挙げられる。すなわち、入力画像信号30101aを1フレーム分遅延させるために、メモリに当該入力画像信号30101aを記憶させておき、同時に、1つ前のフレームにおいて記憶させておいた信号を、入力画像信号30101bとしてメモリから取り出し、入力画像信号30101aと、入力画像信号30101bを、同時に補正回路30103に入力することで、互いに隣り合ったフレームにおける画像信号を扱えるようにすることができる。そして、互いに隣り合ったフレームにおける画像信号を、補正回路30103に入力することで、出力画像信号30104を得ることができる。なお、遅延回路30102としてメモリを用いたときは、1フレーム分遅延させるために、1フレーム分の画像信号を記憶できる容量を持ったメモリ(すなわち、フレームメモリ)とすることができる。こうすることで、メモリ容量の過不足なく、遅延回路としての機能を有することができる。 Since the voltages | V 1 | and | V 2 | that give the desired transmittances TR 1 and TR 2 are image signals in frames adjacent to each other, the input image signals 30101a and 30101b are also adjacent to each other. An image signal in a frame is preferable. In order to obtain such a signal, the input image signal 30101a can be input to the delay circuit 30102 in FIG. 82A, and the output signal can be used as the input image signal 30101b. An example of the delay circuit 30102 is a memory. That is, in order to delay the input image signal 30101a by one frame, the input image signal 30101a is stored in the memory, and at the same time, the signal stored in the previous frame is stored in the memory as the input image signal 30101b. The input image signal 30101a and the input image signal 30101b are input to the correction circuit 30103 at the same time, so that image signals in adjacent frames can be handled. Then, by inputting image signals in adjacent frames to the correction circuit 30103, an output image signal 30104 can be obtained. Note that when a memory is used as the delay circuit 30102, a memory having a capacity capable of storing an image signal for one frame (that is, a frame memory) can be used in order to delay by one frame. By doing so, it is possible to have a function as a delay circuit without excessive or insufficient memory capacity.

次に、メモリの容量を削減することを主な目的として構成された遅延回路30102について説明する。遅延回路30102としてこのような回路を用いることで、メモリの容量を削減することができるため、製造コストを低減することができる。   Next, a delay circuit 30102 configured mainly for the purpose of reducing the memory capacity will be described. By using such a circuit as the delay circuit 30102, the memory capacity can be reduced, so that the manufacturing cost can be reduced.

このような特徴を持つ遅延回路30102として、具体的には、図82(B)に示すようなものを用いることができる。図82(B)に示す遅延回路30102は、エンコーダ30105、メモリ30106およびデコーダ30107を有する。   As the delay circuit 30102 having such characteristics, specifically, a circuit as illustrated in FIG. 82B can be used. A delay circuit 30102 illustrated in FIG. 82B includes an encoder 30105, a memory 30106, and a decoder 30107.

図82(B)に示す遅延回路30102の動作としては、次のようなものとなる。まず、入力画像信号30101aを、メモリ30106に記憶させる前に、エンコーダ30105によって、圧縮処理を行なう。これによって、メモリ30106に記憶させるべきデータのサイズを減らすことができる。その結果、メモリの容量を削減することができるため、製造コストを低減することができる。そして、圧縮処理を施された画像信号は、デコーダ30107に送られ、ここで伸張処理を行なう。これによって、エンコーダ30105によって圧縮処理された前の信号を復元することができる。ここで、エンコーダ30105およびデコーダ30107によって行なわれる圧縮伸張処理は、可逆的な処理であってもよい。こうすることで、圧縮伸張処理を行なった後でも画像信号の劣化がないため、最終的に装置に表示される画像の品質を落とすことなく、メモリの容量を削減することができる。さらに、エンコーダ30105およびデコーダ30107によって行なわれる圧縮伸張処理は、非可逆的な処理であってもよい。こうすることで、圧縮後の画像信号のデータのサイズを非常に小さくすることができるため、メモリの容量を大幅に削減することができる。   The operation of the delay circuit 30102 shown in FIG. 82 (B) is as follows. First, before the input image signal 30101a is stored in the memory 30106, the encoder 30105 performs compression processing. As a result, the size of data to be stored in the memory 30106 can be reduced. As a result, since the memory capacity can be reduced, the manufacturing cost can be reduced. Then, the compressed image signal is sent to the decoder 30107 where the decompression process is performed. As a result, the previous signal compressed by the encoder 30105 can be restored. Here, the compression / decompression process performed by the encoder 30105 and the decoder 30107 may be a reversible process. In this way, since the image signal is not deteriorated even after the compression / decompression process, the memory capacity can be reduced without degrading the quality of the image finally displayed on the apparatus. Further, the compression / decompression process performed by the encoder 30105 and the decoder 30107 may be an irreversible process. By doing so, the data size of the image signal after compression can be made very small, so that the memory capacity can be greatly reduced.

メモリの容量を削減するための方法としては、上に挙げたもの以外にも、さまざまな方法を用いることができる。エンコーダによって画像圧縮するのではなく、画像信号が有する色情報を削減する(たとえば、26万色から6万5千色に減色する)、またはデータ量を削減する(解像度を小さくする)、などの方法を用いることができる。   As a method for reducing the memory capacity, various methods can be used in addition to the above-described methods. Rather than compressing the image by the encoder, the color information of the image signal is reduced (for example, the color is reduced from 260,000 colors to 65,000 colors), or the data amount is reduced (the resolution is reduced). The method can be used.

次に、補正回路30103の具体例について、図82(C)〜図82(E)を参照して説明する。補正回路30103は、2つの入力画像信号から、ある値の出力画像信号を出力するための回路である。ここで、2つの入力画像信号と、出力画像信号の関係が非線形であり、簡単な演算で求めることが難しい場合には、補正回路30103として、ルックアップテーブル(LUT)を用いてもよい。LUTには、2つの入力画像信号と、出力画像信号の関係が、測定によってあらかじめ求められているため、2つの入力画像信号に対応する出力画像信号を、LUTを参照するだけで求めることができる(図82(C)参照)。補正回路30103として、LUT30108を用いることで、複雑な回路設計等を行なうことなく、補正回路30103を実現することができる。   Next, specific examples of the correction circuit 30103 will be described with reference to FIGS. The correction circuit 30103 is a circuit for outputting an output image signal having a certain value from two input image signals. Here, when the relationship between the two input image signals and the output image signal is nonlinear and it is difficult to obtain by a simple calculation, a lookup table (LUT) may be used as the correction circuit 30103. In the LUT, the relationship between the two input image signals and the output image signal is obtained in advance by measurement. Therefore, the output image signals corresponding to the two input image signals can be obtained simply by referring to the LUT. (See FIG. 82C). By using the LUT 30108 as the correction circuit 30103, the correction circuit 30103 can be realized without performing complicated circuit design or the like.

LUT30108はメモリの1つであるため、メモリ容量をできるだけ削減することが、製造コストを低減する上で、好ましい。それを実現するための補正回路30103の例として、図82(D)に示す回路が考えられる。図82(D)に示す補正回路30103は、LUT30109および加算器30110を有する。LUT30109には、入力画像信号30101aと、出力するべき出力画像信号30104の差分データが格納されている。つまり、入力画像信号30101aおよび入力画像信号30101bから、対応する差分データをLUT30109から取り出し、取り出した差分データと入力画像信号30101aを、加算器30110によって加算することで、出力画像信号30104を得ることができる。なお、LUT30109に格納するデータを差分データとすることで、LUT30109のメモリ容量の削減が実現できる。なぜならば、そのままの出力画像信号30104よりも、差分データの方がデータサイズは小さいため、LUT30109に必要なメモリ容量を小さくできるからである。   Since the LUT 30108 is one of the memories, it is preferable to reduce the memory capacity as much as possible in order to reduce the manufacturing cost. As an example of the correction circuit 30103 for realizing this, a circuit shown in FIG. 82D can be considered. A correction circuit 30103 illustrated in FIG. 82D includes an LUT 30109 and an adder 30110. The LUT 30109 stores difference data between the input image signal 30101a and the output image signal 30104 to be output. That is, corresponding difference data is extracted from the LUT 30109 from the input image signal 30101a and the input image signal 30101b, and the output image signal 30104 is obtained by adding the extracted difference data and the input image signal 30101a by the adder 30110. it can. Note that the memory capacity of the LUT 30109 can be reduced by using the difference data as the data stored in the LUT 30109. This is because the data size of the difference data is smaller than that of the output image signal 30104 as it is, so that the memory capacity required for the LUT 30109 can be reduced.

さらに、出力画像信号が、2つの入力画像信号の四則演算等の簡単な演算によって求められるならば、加算器、減算器、乗算器などの簡単な回路の組み合わせによって実現できる。その結果、LUTを用いる必要が無くなり、製造コストを大幅に低減することができる。このような回路としては、図82(E)に示す回路を挙げることができる。図82(E)に示す補正回路30103は、減算器30111、乗算器30112および加算器30113を有する。まず、入力画像信号30101aと、入力画像信号30101bの差分を、減算器30111によって求める。その後、乗算器30112によって、適切な係数を差分値に乗ずる。そして、入力画像信号30101aに、適切な係数を乗じた差分値を、加算器30113によって加算することで、出力画像信号30104を得ることができる。このような回路を用いることによって、LUTを用いる必要が無くなり、製造コストを大幅に低減することができる。   Furthermore, if the output image signal is obtained by a simple operation such as four arithmetic operations of two input image signals, it can be realized by a combination of simple circuits such as an adder, a subtracter, and a multiplier. As a result, it is not necessary to use an LUT, and the manufacturing cost can be greatly reduced. As such a circuit, a circuit shown in FIG. 82E can be given. A correction circuit 30103 illustrated in FIG. 82E includes a subtractor 30111, a multiplier 30112, and an adder 30113. First, a subtracter 30111 obtains a difference between the input image signal 30101a and the input image signal 30101b. Thereafter, the multiplier 30112 multiplies the difference value by an appropriate coefficient. Then, an output image signal 30104 can be obtained by adding a difference value obtained by multiplying the input image signal 30101a by an appropriate coefficient by the adder 30113. By using such a circuit, it is not necessary to use an LUT, and the manufacturing cost can be greatly reduced.

ある条件の下で、図82(E)に示す補正回路30103を用いることによって、不適切な出力画像信号30104を出力することを防止することができる。その条件とは、オーバードライブ電圧を与える出力画像信号30104と、入力画像信号30101aおよび入力画像信号30101bの差分値に、線形性があることである。そして、この線形性の傾きを、乗算器30112によって乗ずる係数とする。すなわち、このような性質を持つ液晶素子に、図82(E)に示す補正回路30103を用いることが好ましい。このような性質を持つ液晶素子としては、応答速度の階調依存性の小さい、IPSモードの液晶素子が挙げられる。このように、例えば、IPSモードの液晶素子に図82の(E)に示す補正回路30103を用いることによって、製造コストを大幅に低減でき、かつ、不適切な出力画像信号30104を出力することを防止することができるオーバードライブ回路を得ることができる。   By using the correction circuit 30103 illustrated in FIG. 82E under certain conditions, output of an inappropriate output image signal 30104 can be prevented. The condition is that the difference value between the output image signal 30104 giving the overdrive voltage and the input image signal 30101a and the input image signal 30101b has linearity. Then, the linearity gradient is used as a coefficient multiplied by the multiplier 30112. That is, it is preferable to use a correction circuit 30103 illustrated in FIG. 82E for a liquid crystal element having such properties. As a liquid crystal element having such properties, an IPS mode liquid crystal element in which the response speed is small in gradation dependency can be given. As described above, for example, by using the correction circuit 30103 shown in FIG. 82E for the liquid crystal element in the IPS mode, the manufacturing cost can be significantly reduced, and an inappropriate output image signal 30104 can be output. An overdrive circuit that can be prevented can be obtained.

図82(A)〜図82(E)に示した回路と同等の働きを、ソフトウェア処理によって実現してもよい。遅延回路に用いるメモリについては、液晶表示装置が有する他のメモリ、液晶表示装置に表示する画像を送り出す側の装置(たとえば、パーソナルコンピュータやそれに準じた装置が有するビデオカード等)が有するメモリ等を流用することができる。こうすることで、製造コストを低減できるだけでなく、オーバードライブの強さや利用する状況などを、ユーザが好みに応じて選択できるようにすることができる。   Functions equivalent to the circuits shown in FIGS. 82A to 82E may be realized by software processing. As for the memory used for the delay circuit, other memory included in the liquid crystal display device, memory included in a device that sends an image to be displayed on the liquid crystal display device (for example, a video card included in a personal computer or a similar device, etc.) Can be diverted. By doing so, not only can the manufacturing cost be reduced, but also the user can select the strength of overdrive, the situation of use, etc. according to his / her preference.

次に、コモン線の電位を操作する駆動について、図83を参照して説明する。図83(A)は、液晶素子のような容量的な性質を持つ表示素子を用いた表示装置において、走査線一本に対し、コモン線が一本配置されているときの、複数の画素回路を表した図である。図83(A)に示す画素回路は、トランジスタ30201、補助容量30202、表示素子30203、映像信号線30204、走査線30205およびコモン線30206を備えている。   Next, driving for manipulating the potential of the common line will be described with reference to FIG. FIG. 83A illustrates a plurality of pixel circuits when one common line is arranged for one scanning line in a display device using a display element having a capacitive property such as a liquid crystal element. FIG. A pixel circuit illustrated in FIG. 83A includes a transistor 30201, an auxiliary capacitor 30202, a display element 30203, a video signal line 30204, a scanning line 30205, and a common line 30206.

トランジスタ30201のゲート電極は、走査線30205に電気的に接続され、トランジスタ30201のソース電極およびドレイン電極の一方は、映像信号線30204に電気的に接続され、トランジスタ30201のソース電極およびドレイン電極の他方は、補助容量30202の一方の電極、および表示素子30203の一方の電極に電気的に接続されている。また、補助容量30202の他方の電極は、コモン線30206に電気的に接続されている。   The gate electrode of the transistor 30201 is electrically connected to the scan line 30205, one of the source electrode and the drain electrode of the transistor 30201 is electrically connected to the video signal line 30204, and the other of the source electrode and the drain electrode of the transistor 30201 Are electrically connected to one electrode of the auxiliary capacitor 30202 and one electrode of the display element 30203. The other electrode of the auxiliary capacitor 30202 is electrically connected to the common line 30206.

まず、走査線30205によって選択された画素は、トランジスタ30201がオンとなるため、それぞれ、映像信号線30204を介して、表示素子30203および補助容量30202に映像信号に対応した電圧がかかる。このとき、その映像信号が、コモン線30206に接続された全ての画素に対して最低階調を表示させるものだった場合、あるいは、コモン線30206に接続された全ての画素に対して最高階調を表示させるものだった場合は、画素にそれぞれ映像信号線30204を介して、映像信号を書き込む必要はない。映像信号線30204を介して映像信号を書き込む代わりに、コモン線30206の電位を動かすことで、表示素子30203にかかる電圧を変えることができる。   First, since the transistor 30201 is turned on in the pixel selected by the scanning line 30205, a voltage corresponding to the video signal is applied to the display element 30203 and the auxiliary capacitor 30202 through the video signal line 30204, respectively. At this time, when the video signal is to display the lowest gradation for all the pixels connected to the common line 30206, or the highest gradation for all the pixels connected to the common line 30206. Is displayed, it is not necessary to write a video signal to each pixel via the video signal line 30204. Instead of writing a video signal through the video signal line 30204, the voltage applied to the display element 30203 can be changed by moving the potential of the common line 30206.

次に、図83(B)は、液晶素子のような容量的な性質を持つ表示素子を用いた表示装置において、走査線一本に対し、コモン線が2本配置されているときの、複数の画素回路を表した図である。図83(B)に示す画素回路は、トランジスタ30211、補助容量30212、表示素子30213、映像信号線30214、走査線30215、第1のコモン線30216および第2のコモン線30217を備えている。   Next, FIG. 83B illustrates a plurality of cases where two common lines are arranged for one scanning line in a display device using a display element having a capacitive property such as a liquid crystal element. It is a figure showing this pixel circuit. A pixel circuit illustrated in FIG. 83B includes a transistor 30211, an auxiliary capacitor 30212, a display element 30213, a video signal line 30214, a scanning line 30215, a first common line 30216, and a second common line 30217.

トランジスタ30211のゲート電極は、走査線30215に電気的に接続され、トランジスタ30211のソース電極およびドレイン電極の一方は、映像信号線30214に電気的に接続され、トランジスタ30211のソース電極およびドレイン電極の他方は、補助容量30212の一方の電極、および表示素子30213の一方の電極に電気的に接続されている。また、補助容量30212の他方の電極は、第1のコモン線30216に電気的に接続されている。また、当該画素と隣接する画素においては、補助容量30212の他方の電極は、第2のコモン線30217に電気的に接続されている。   The gate electrode of the transistor 30211 is electrically connected to the scan line 30215, one of the source electrode and the drain electrode of the transistor 30211 is electrically connected to the video signal line 30214, and the other of the source electrode and the drain electrode of the transistor 30211 Is electrically connected to one electrode of the auxiliary capacitor 30212 and one electrode of the display element 30213. In addition, the other electrode of the auxiliary capacitor 30212 is electrically connected to the first common line 30216. In the pixel adjacent to the pixel, the other electrode of the auxiliary capacitor 30212 is electrically connected to the second common line 30217.

図83(B)に示す画素回路は、コモン線一本に対し電気的に接続されている画素が少ないため、映像信号線30214を介して映像信号を書き込む代わりに、第1のコモン線30216または第2のコモン線30217の電位を動かすことで、表示素子30213にかかる電圧を変えることができる頻度が、顕著に大きくなる。また、ソース反転駆動またはドット反転駆動が可能になる。ソース反転駆動またはドット反転駆動により、素子の信頼性を向上させつつ、フリッカを抑えることができる。   Since the pixel circuit illustrated in FIG. 83B has few pixels that are electrically connected to one common line, instead of writing a video signal through the video signal line 30214, the first common line 30216 or The frequency at which the voltage applied to the display element 30213 can be changed by moving the potential of the second common line 30217 is significantly increased. Further, source inversion driving or dot inversion driving is possible. By source inversion driving or dot inversion driving, flicker can be suppressed while improving the reliability of the element.

次に、走査型バックライトについて、図84を参照して説明する。図84(A)は、冷陰極管を並置した、走査型バックライトを示す図である。図84(A)に示す走査型バックライトは、拡散板30301と、N個の冷陰極管30302―1から30302―Nと、を備える。N個の冷陰極管30302―1から30302―Nを、拡散板30301の後ろに並置することで、N個の冷陰極管30302―1から30302―Nは、その輝度を変化させて走査することができる。   Next, a scanning backlight will be described with reference to FIG. FIG. 84A is a diagram showing a scanning backlight in which cold cathode tubes are juxtaposed. The scanning backlight shown in FIG. 84A includes a diffusion plate 30301 and N cold cathode fluorescent lamps 30302-1 to 30302-N. N cold cathode tubes 30302-1 to 30302 -N are juxtaposed behind the diffuser plate 30301, so that the N cold cathode tubes 30302-1 to 30302 -N scan with varying luminance. Can do.

走査するときの各冷陰極管の輝度の変化を、図84(C)を用いて説明する。まず、冷陰極管30302―1の輝度を、一定時間変化させる。その後、冷陰極管30302―1の隣に配置された冷陰極管30302―2の輝度を、同じ時間だけ変化させる。このように、冷陰極管30302―1から30302―Nまで、輝度を順に変化させる。なお、図84(C)においては、一定時間変化させる輝度は、元の輝度より小さいものとしたが、元の輝度より大きくてもよい。また、冷陰極管30302―1から30302―Nまで走査するとしたが、逆方向に冷陰極管30302―Nから30302―1まで走査してもよい。   A change in luminance of each cold cathode tube during scanning will be described with reference to FIG. First, the luminance of the cold cathode fluorescent lamp 30302-1 is changed for a certain time. Thereafter, the luminance of the cold cathode tube 30302-2 arranged next to the cold cathode tube 30302-1 is changed for the same time. In this way, the luminance is changed in order from the cold cathode fluorescent lamps 30302-1 to 30302-N. Note that in FIG. 84C, the luminance to be changed for a certain period of time is smaller than the original luminance, but may be larger than the original luminance. Further, although the cold cathode fluorescent lamps 30302-1 to 30302-N are scanned, the cold cathode fluorescent lamps 30302-N to 30302-1 may be scanned in the reverse direction.

図84(C)のように駆動することで、バックライトの平均輝度を小さくすることができる。したがって、液晶表示装置の消費電力の大部分を占める、バックライトの消費電力を低減することができる。   By driving as shown in FIG. 84C, the average luminance of the backlight can be reduced. Therefore, the power consumption of the backlight, which accounts for most of the power consumption of the liquid crystal display device, can be reduced.

走査型バックライトの光源として、LEDを用いてもよい。その場合の走査型バックライトは、図84(B)のようになる。図84(B)に示す走査型バックライトは、拡散板30311と、LEDを並置した光源30312―1から30312―Nと、を備える。走査型バックライトの光源として、LEDを用いた場合、バックライトを薄く、軽くできる利点がある。また、色再現範囲を広げることができるという利点がある。さらに、LEDを並置した光源30312―1から30312―Nのそれぞれに並置したLEDも、同様に走査することができるので、点走査型のバックライトとすることもできる。点走査型とすれば、動画像の画質をさらに向上させることができる。   An LED may be used as the light source of the scanning backlight. The scanning backlight in that case is as shown in FIG. A scanning backlight shown in FIG. 84B includes a diffusion plate 30311 and light sources 30312-1 to 30312 -N in which LEDs are juxtaposed. When an LED is used as the light source of the scanning backlight, there is an advantage that the backlight can be made thin and light. Further, there is an advantage that the color reproduction range can be expanded. Furthermore, since the LEDs juxtaposed in each of the light sources 30312-1 to 30312 -N in which the LEDs are juxtaposed can also be scanned in the same manner, a point scanning backlight can also be obtained. If the point scanning type is adopted, the image quality of the moving image can be further improved.

バックライトの光源としてLEDを用いた場合も、図84(C)に示すように輝度を変化させて駆動することができる。   Even when an LED is used as the light source of the backlight, it can be driven by changing the luminance as shown in FIG.

次に、高周波駆動について、図85を参照して説明する。図85(A)は、1フレーム期間30400に1つの画像および1つの中間画像を表示するときの図である。30401は当該フレームの画像、30402は当該フレームの中間画像、30403は次フレームの画像、30404は次フレームの中間画像である。   Next, high frequency driving will be described with reference to FIG. FIG. 85A is a diagram when one image and one intermediate image are displayed in one frame period 30400. 30401 is an image of the frame, 30402 is an intermediate image of the frame, 30403 is an image of the next frame, and 30404 is an intermediate image of the next frame.

当該フレームの中間画像30402は、当該フレームおよび次フレームの映像信号を元に作成された画像であってもよい。また、当該フレームの中間画像30402は、当該フレームの画像30401から作成された画像であってもよい。また、当該フレームの中間画像30402は、黒画像であってもよい。こうすることで、ホールド型表示装置の動画像の画質を向上できる。また、1フレーム期間30400に1つの画像および1つの中間画像を表示する場合は、映像信号のフレームレートと整合性が取り易く、画像処理回路が複雑にならないという利点がある。   The intermediate image 30402 of the frame may be an image created based on the video signal of the frame and the next frame. Further, the intermediate image 30402 of the frame may be an image created from the image 30401 of the frame. Further, the intermediate image 30402 of the frame may be a black image. By doing so, the image quality of the moving image of the hold type display device can be improved. In the case where one image and one intermediate image are displayed in one frame period 30400, there is an advantage that consistency with the frame rate of the video signal can be easily obtained and the image processing circuit is not complicated.

図85(B)は、1フレーム期間30400が2つ連続する期間(2フレーム期間)に1つの画像および2つの中間画像を表示するときの図である。30411は当該フレームの画像、30412は当該フレームの中間画像、30413は次フレームの中間画像、30414は次々フレームの画像である。   FIG. 85B is a diagram when one image and two intermediate images are displayed in a period in which two one-frame periods 30400 are continuous (two-frame periods). Reference numeral 30411 denotes an image of the frame, 30412 denotes an intermediate image of the frame, 30413 denotes an intermediate image of the next frame, and 30414 denotes an image of the next frame.

当該フレームの中間画像30412および次フレームの中間画像30413は、当該フレーム、次フレーム、次々フレームの映像信号を元に作成された画像であってもよい。また、当該フレームの中間画像30412および次フレームの中間画像30413は、黒画像であってもよい。2フレーム期間に1つの画像および2つの中間画像を表示する場合は、周辺駆動回路の動作周波数をそれほど高速化することなく、効果的に動画像の画質を向上できるという利点がある。   The intermediate image 30412 of the frame and the intermediate image 30413 of the next frame may be images created based on the video signals of the frame, the next frame, and the next frame. Further, the intermediate image 30412 of the frame and the intermediate image 30413 of the next frame may be black images. When one image and two intermediate images are displayed in two frame periods, there is an advantage that the image quality of the moving image can be effectively improved without significantly increasing the operating frequency of the peripheral drive circuit.

本実施の形態において、様々な図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことが出来る。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, various drawings have been used. However, the contents (may be a part) described in each figure are applied to the contents (may be a part) described in another figure. , Can be freely combined or replaced. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図で述べた内容(一部でもよい)対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことが出来る。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   The contents (or part of the contents) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (or part of the contents) described in the figure of another embodiment. I can do it. Further, in the drawings of this embodiment mode, more drawings can be formed by combining each portion with a portion of another embodiment.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合わせまたは置き換えを自由に行うことができる。   This embodiment is an example in which the content (may be a part) described in other embodiments is embodied, an example in which the content is slightly modified, an example in which a part is changed, and an improvement An example, an example when it is described in detail, an example when it is applied, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiment modes can be freely applied to, combined with, or replaced with this embodiment mode.

(実施の形態11)
本実施の形態においては、液晶パネルの周辺部について説明する。
(Embodiment 11)
In the present embodiment, the peripheral portion of the liquid crystal panel will be described.

図49は、エッジライト式と呼ばれるバックライトユニット20101と、液晶パネル20107と、を有している液晶表示装置の一例を示す図である。エッジライト式とは、バックライトユニットの端部に光源を配置し、その光源の蛍光を発光面全体から放射する方式である。エッジライト式のバックライトユニット20101は、薄型で省電力化を図ることができる。   FIG. 49 is a diagram illustrating an example of a liquid crystal display device including a backlight unit 20101 called an edge light type and a liquid crystal panel 20107. The edge light type is a method in which a light source is arranged at the end of the backlight unit and the fluorescence of the light source is emitted from the entire light emitting surface. The edge light type backlight unit 20101 is thin and can save power.

バックライトユニット20101は、拡散板20102、導光板20103、反射板20104、ランプリフレクタ20105および光源20106によって構成される。   The backlight unit 20101 includes a diffusing plate 20102, a light guide plate 20103, a reflecting plate 20104, a lamp reflector 20105, and a light source 20106.

光源20106は必要に応じて発光する機能を有している。例えば、光源20106としては冷陰極管、熱陰極管、発光ダイオード、無機EL素子または有機EL素子などが用いられる。   The light source 20106 has a function of emitting light as necessary. For example, as the light source 20106, a cold cathode tube, a hot cathode tube, a light emitting diode, an inorganic EL element, an organic EL element, or the like is used.

図50(A)、(B)、(C)および(D)は、エッジライト式のバックライトユニットの詳細な構成を示す図である。なお、拡散板、導光板および反射板などはその説明を省略する。   50A, 50B, 50C, and 50D are diagrams showing a detailed configuration of an edge light type backlight unit. Note that description of the diffusion plate, the light guide plate, the reflection plate, and the like is omitted.

図50(A)に示すバックライトユニット20201は、光源として冷陰極管20203を用いた構成である。冷陰極管20203からの光を効率よく反射させるため、ランプリフレクタ20202が設けられている。このような構成は、冷陰極管20203からの輝度が高いため、大型表示装置に用いることが多い。   A backlight unit 20201 illustrated in FIG. 50A has a structure in which a cold cathode tube 20203 is used as a light source. A lamp reflector 20202 is provided in order to reflect light from the cold cathode tube 20203 efficiently. Such a structure has high luminance from the cold cathode fluorescent lamp 20203 and is therefore often used for a large display device.

図50(B)に示すバックライトユニット20211は、光源として発光ダイオード(LED)20213を用いた構成である。例えば、白色に発する発光ダイオード(LED)20213が、所定の間隔に配置される。そして、発光ダイオード(LED)20213からの光を効率よく反射させるため、ランプリフレクタ20212が設けられている。   A backlight unit 20211 illustrated in FIG. 50B includes a light-emitting diode (LED) 20213 as a light source. For example, light emitting diodes (LEDs) 20213 that emit white light are arranged at predetermined intervals. In order to efficiently reflect light from the light emitting diode (LED) 20213, a lamp reflector 20212 is provided.

図50(C)に示すバックライトユニット20221は、光源として各色RGBの発光ダイオード(LED)20223、発光ダイオード(LED)20224および発光ダイオード(LED)20225を用いた構成である。各色RGBの発光ダイオード(LED)20223、発光ダイオード(LED)20224および発光ダイオード(LED)20225は、それぞれ所定の間隔に配置される。各色RGBの発光ダイオード(LED)20223、発光ダイオード(LED)20224および発光ダイオード(LED)20225を用いることによって、色再現性を高くすることができる。そして、発光ダイオードからの光を効率よく反射させるため、ランプリフレクタ20222が設けられている。   A backlight unit 20221 illustrated in FIG. 50C includes a light-emitting diode (LED) 20223, a light-emitting diode (LED) 20224, and a light-emitting diode (LED) 20225 for each color RGB as a light source. The light emitting diodes (LEDs) 20223, the light emitting diodes (LEDs) 20224, and the light emitting diodes (LEDs) 20225 of each color RGB are arranged at predetermined intervals. By using the light emitting diode (LED) 20223, the light emitting diode (LED) 20224, and the light emitting diode (LED) 20225 for each color RGB, color reproducibility can be improved. A lamp reflector 20222 is provided to efficiently reflect light from the light emitting diode.

図50(D)に示すバックライトユニット20231は、光源として各色RGBの発光ダイオード(LED)20233、発光ダイオード(LED)20234および発光ダイオード(LED)20235を用いた構成である。例えば、各色RGBの発光ダイオード(LED)20233、発光ダイオード(LED)20234および発光ダイオード(LED)20235のうち、発光強度の低い色(例えば緑)は他の発光ダイオードよりも多く配置されている。各色RGBの発光ダイオード(LED)20233、発光ダイオード(LED)20234および発光ダイオード(LED)20235を用いることによって、色再現性を高くすることができる。そして、発光ダイオードからの光を効率よく反射させるため、ランプリフレクタ20232が設けられている。   A backlight unit 20231 illustrated in FIG. 50D includes a light-emitting diode (LED) 20233, a light-emitting diode (LED) 20234, and a light-emitting diode (LED) 20235 for each color RGB as a light source. For example, among the light emitting diodes (LEDs) 20233, the light emitting diodes (LEDs) 20234, and the light emitting diodes (LEDs) 20235 of the respective colors RGB, a color having a lower light emission intensity (for example, green) is arranged more than the other light emitting diodes. By using the light emitting diode (LED) 20233, the light emitting diode (LED) 20234, and the light emitting diode (LED) 20235 for each color RGB, color reproducibility can be improved. A lamp reflector 20232 is provided to efficiently reflect light from the light emitting diode.

図53は、直下型と呼ばれるバックライトユニットと、液晶パネルと、を有する液晶表示装置の一例を示す図である。直下式とは、発光面の直下に光源を配置することで、その光源の蛍光を発光面全体から放射する方式である。直下式のバックライトユニットは、発光光量を効率よく利用することができる。   FIG. 53 is a diagram illustrating an example of a liquid crystal display device including a backlight unit called a direct type and a liquid crystal panel. The direct type is a method in which a light source is arranged directly under a light emitting surface to emit fluorescence of the light source from the entire light emitting surface. The direct type backlight unit can efficiently use the amount of emitted light.

バックライトユニット20500は、拡散板20501、遮光板20502、ランプリフレクタ20503、光源20504および液晶パネル20505によって構成される。   The backlight unit 20500 includes a diffusion plate 20501, a light shielding plate 20502, a lamp reflector 20503, a light source 20504, and a liquid crystal panel 20505.

光源20504は、必要に応じて発光する機能を有している。例えば、光源20504としては、冷陰極管、熱陰極管、発光ダイオード、無機EL素子または有機EL素子などが用いられる。   The light source 20504 has a function of emitting light as necessary. For example, as the light source 20504, a cold cathode tube, a hot cathode tube, a light emitting diode, an inorganic EL element, an organic EL element, or the like is used.

図51は、偏光板(偏光フィルムともいう)の構成の一例を示す図である。   FIG. 51 is a diagram illustrating an example of a configuration of a polarizing plate (also referred to as a polarizing film).

偏光フィルム20300は、保護フィルム20301、基板フィルム20302、PVA偏光フィルム20303、基板フィルム20304、粘着剤層20305および離型フィルム20306を有する。   The polarizing film 20300 includes a protective film 20301, a substrate film 20302, a PVA polarizing film 20303, a substrate film 20304, an adhesive layer 20305, and a release film 20306.

PVA偏光フィルム20303は、両側を基材となるフィルム(基板フィルム20302および基板フィルム20304)で挟むことで、信頼性を増すことができる。なお、PVA偏光フィルム20303は、高透明性、高耐久性のトリアセチルセルロース(TAC)フィルムに挟まれていてもよい。なお、基板フィルムおよびTACフィルムは、PVA偏光フィルム20303が有する偏光子の保護層として機能する。   The reliability of the PVA polarizing film 20303 can be increased by sandwiching both sides with films (substrate film 20302 and substrate film 20304) serving as base materials. The PVA polarizing film 20303 may be sandwiched between highly transparent and highly durable triacetyl cellulose (TAC) films. In addition, a board | substrate film and a TAC film function as a protective layer of the polarizer which the PVA polarizing film 20303 has.

一方の基板フィルム(基板フィルム20304)には、液晶パネルのガラス基板に貼るための粘着剤層20305が貼られている。なお、粘着剤層20305は、粘着剤を片側の基板フィルム(基板フィルム20304)に塗布することで形成される。粘着剤層20305には、離形フィルム20306(セパレートフィルム)が備えられている。   One substrate film (substrate film 20304) has an adhesive layer 20305 attached to a glass substrate of a liquid crystal panel. Note that the adhesive layer 20305 is formed by applying an adhesive to a substrate film (substrate film 20304) on one side. The pressure-sensitive adhesive layer 20305 is provided with a release film 20306 (separate film).

他方の基板フィルム(基板フィルム20302)には、保護フィルム20301が備えられている。   The other substrate film (substrate film 20302) is provided with a protective film 20301.

偏光フィルム20300表面に、ハードコート散乱層(アンチグレア層)が備えられていてもよい。ハードコート散乱層は、AG処理によって表面に微細な凹凸が形成されており、外光を散乱させる防眩機能を有するため、液晶パネルへの外光の映り込みを防ぐことができる。また、表面反射を防ぐことができる。   A hard coat scattering layer (anti-glare layer) may be provided on the surface of the polarizing film 20300. The hard coat scattering layer has fine irregularities formed on the surface by AG treatment, and has an antiglare function for scattering external light, so that reflection of external light on the liquid crystal panel can be prevented. Moreover, surface reflection can be prevented.

偏光フィルム20300表面に、複数の屈折率の異なる光学薄膜層を多層化(アンチリフレクション処理、もしくはAR処理ともいう)してもよい。多層化された複数の屈折率の異なる光学薄膜層は、光の干渉効果によって表面の反射率を低減することができる。   A plurality of optical thin film layers having different refractive indexes may be formed on the surface of the polarizing film 20300 (also referred to as anti-reflection treatment or AR treatment). A plurality of multilayered optical thin film layers having different refractive indexes can reduce the reflectance of the surface due to the interference effect of light.

図52は、液晶表示装置のシステムブロックの一例を示す図である。   FIG. 52 is a diagram illustrating an example of a system block of the liquid crystal display device.

画素部20405には、信号線20412が、信号線駆動回路20403から延伸して配置されている。画素部20405には、走査線20410が、走査線駆動回路20404から延伸して配置されている。そして、信号線20412と走査線20410との交差領域に、複数の画素がマトリクス状に配置されている。なお、複数の画素それぞれは、スイッチング素子を有している。したがって、複数の画素それぞれに、液晶分子の傾きを制御するための電圧を独立して入力することができる。このように各交差領域にスイッチング素子が設けられた構造を、アクティブマトリクス型と呼ぶ。ただし、このようなアクティブマトリクス型に限定されず、パッシブマトリクス型の構成でもよい。パッシブマトリクス型は、各画素にスイッチング素子がないため、工程が簡便である。   In the pixel portion 20405, a signal line 20412 is extended from the signal line driver circuit 20403. In the pixel portion 20405, a scan line 20410 is arranged extending from the scan line driver circuit 20404. A plurality of pixels are arranged in a matrix in the intersection region between the signal line 20412 and the scanning line 20410. Note that each of the plurality of pixels has a switching element. Therefore, a voltage for controlling the tilt of the liquid crystal molecules can be independently input to each of the plurality of pixels. Such a structure in which switching elements are provided in each crossing region is called an active matrix type. However, it is not limited to such an active matrix type, and may be a passive matrix type configuration. The passive matrix type has a simple process because each pixel has no switching element.

駆動回路部20408は、制御回路20402、信号線駆動回路20403および走査線駆動回路20404を有する。制御回路20402には、映像信号20401が入力されている。制御回路20402は、この映像信号20401に応じて、信号線駆動回路20403および走査線駆動回路20404を制御する。制御回路20402は、信号線駆動回路20403および走査線駆動回路20404に、それぞれ制御信号を入力する。そして、この制御信号に応じて、信号線駆動回路20403は、ビデオ信号を信号線20412に入力し、走査線駆動回路20404は、走査信号を走査線20410に入力する。そして、画素が有するスイッチング素子が走査信号に応じて選択され、画素の画素電極にビデオ信号が入力される。   The driver circuit portion 20408 includes a control circuit 20402, a signal line driver circuit 20403, and a scan line driver circuit 20404. A video signal 20401 is input to the control circuit 20402. The control circuit 20402 controls the signal line driver circuit 20403 and the scanning line driver circuit 20404 in accordance with the video signal 20401. The control circuit 20402 inputs control signals to the signal line driver circuit 20403 and the scan line driver circuit 20404, respectively. In response to this control signal, the signal line driver circuit 20403 inputs a video signal to the signal line 20412, and the scan line driver circuit 20404 inputs a scan signal to the scan line 20410. Then, a switching element included in the pixel is selected according to the scanning signal, and a video signal is input to the pixel electrode of the pixel.

制御回路20402は、映像信号20401に応じて、電源20407も制御している。電源20407は、照明手段20406へ電力を供給する手段を有している。照明手段20406としては、エッジライト式のバックライトユニット、または直下型のバックライトユニットを用いることができる。ただし、照明手段20406として、フロントライトを用いてもよい。フロントライトとは、画素部の前面側に取りつけ、全体を照らす発光体および導光体で構成された板状のライトユニットである。このような照明手段により、低消費電力で、均等に画素部を照らすことができる。   The control circuit 20402 also controls the power supply 20407 in accordance with the video signal 20401. The power supply 20407 has means for supplying power to the lighting means 20406. As the lighting unit 20406, an edge light type backlight unit or a direct type backlight unit can be used. However, a front light may be used as the illumination unit 20406. The front light is a plate-like light unit that is mounted on the front side of the pixel portion and is composed of a light emitter and a light guide that illuminate the whole. Such illumination means can illuminate the pixel portion evenly with low power consumption.

図52(B)に示すように走査線駆動回路20404は、シフトレジスタ20441、レベルシフタ20442およびバッファ20443として機能する回路を有する。シフトレジスタ20441にはゲートスタートパルス(GSP)、ゲートクロック信号(GCK)などの信号が入力される。   As illustrated in FIG. 52B, the scan line driver circuit 20404 includes circuits that function as a shift register 20441, a level shifter 20442, and a buffer 20443. Signals such as a gate start pulse (GSP) and a gate clock signal (GCK) are input to the shift register 20441.

図52(C)に示すように信号線駆動回路20403は、シフトレジスタ20431、第1のラッチ20432、第2のラッチ20433、レベルシフタ20434およびバッファ20435として機能する回路を有する。バッファ20435として機能する回路とは、弱い信号を増幅させる機能を有する回路であり、オペアンプなどを有する。レベルシフタ20434には、スタートパルス(SSP)などの信号が、第1のラッチ20432には、ビデオ信号などのデータ(DATA)が入力される。第2のラッチ20433には、ラッチ(LAT)信号を一時保持することができ、一斉に画素部20405へ入力させる。これを線順次駆動と呼ぶ。そのため、線順次駆動ではなく、点順次駆動を行う画素であれば、第2のラッチは不要とすることができる。   As shown in FIG. 52C, the signal line driver circuit 20403 includes circuits functioning as a shift register 20431, a first latch 20432, a second latch 20433, a level shifter 20434, and a buffer 20435. A circuit functioning as the buffer 20435 is a circuit having a function of amplifying a weak signal and includes an operational amplifier or the like. A signal such as a start pulse (SSP) is input to the level shifter 20434, and data (DATA) such as a video signal is input to the first latch 20432. A latch (LAT) signal can be temporarily stored in the second latch 20433 and is input to the pixel portion 20405 all at once. This is called line sequential driving. Therefore, the second latch can be omitted if the pixel performs dot sequential driving instead of line sequential driving.

本実施の形態において、液晶パネルは、さまざまなものを用いることができる。例えば、液晶パネルとして、2つの基板の間に液晶層が封止された構成を用いることができる。一方の基板上には、トランジスタ、容量素子、画素電極または配向膜などが形成されている。一方の基板の上面と反対側には、偏光板、位相差板またはプリズムシートが配置されていてもよい。他方の基板上には、カラーフィルタ、ブラックマトリクス、対向電極または配向膜などが形成されている。他方の基板の上面と反対側には、偏光板または位相差板が配置されていてもよい。なお、カラーフィルタおよびブラックマトリクスは、一方の基板の上面に形成されてもよい。また、一方の基板の上面側またはその反対側にスリット(格子)を配置することで、3次元表示ができる。   In this embodiment mode, various liquid crystal panels can be used. For example, a configuration in which a liquid crystal layer is sealed between two substrates can be used as the liquid crystal panel. On one substrate, a transistor, a capacitor, a pixel electrode, an alignment film, or the like is formed. A polarizing plate, a phase difference plate, or a prism sheet may be disposed on the side opposite to the upper surface of one substrate. On the other substrate, a color filter, a black matrix, a counter electrode, an alignment film, or the like is formed. A polarizing plate or a retardation plate may be disposed on the side opposite to the upper surface of the other substrate. Note that the color filter and the black matrix may be formed on the upper surface of one of the substrates. Further, three-dimensional display can be performed by arranging slits (lattices) on the upper surface side of one substrate or the opposite side thereof.

偏光板、位相差板およびプリズムシートをそれぞれ、2つの基板の間に配置することが可能である。あるいは、2つの基板のうちのいずれかと一体とすることが可能である。   Each of the polarizing plate, the retardation film and the prism sheet can be disposed between the two substrates. Alternatively, it can be integrated with either of the two substrates.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, various drawings have been used. However, the contents (or part of the contents) described in each figure may be applied to the contents (or part of the contents) described in another figure. , Can be freely combined or replaced. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

同様に、本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、本実施の形態の図の各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   Similarly, the contents (may be a part) described in each drawing of this embodiment are applied, combined, or replaced with the contents (may be a part) described in the figure of another embodiment. Can be done freely. Further, with respect to each part of the drawings in this embodiment mode, a larger number of diagrams can be formed by combining parts of different embodiment modes.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合わせまたは置き換えを自由に行うことができる。   This embodiment is an example in which the content (may be a part) described in other embodiments is embodied, an example in which the content is slightly modified, an example in which a part is changed, and an improvement An example, an example when it is described in detail, an example when it is applied, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiment modes can be freely applied to, combined with, or replaced with this embodiment mode.

(実施の形態12)
本実施の形態においては、液晶表示装置に適用できる画素の構成および画素の動作について説明する。
(Embodiment 12)
In this embodiment, a pixel structure and a pixel operation which can be applied to the liquid crystal display device will be described.

本実施の形態において、液晶素子の動作モードとして、TN(Twisted Nematic)モード、IPS(In−Plane−Switching)モード、FFS(Fringe Field Switching)モード、MVA(Multi−domain Vertical Alignment)モード、PVA(Patterned Vertical Alignment)モード、ASM(Axially Symmetric aligned Micro−cell)モード、OCB(Optical Compensated Birefringence)モード、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)モードおよびAFLC(AntiFerroelectric Liquid Crystal)モードなどを用いることができる。   In this embodiment mode, the operation mode of the liquid crystal element includes a TN (Twisted Nematic) mode, an IPS (In-Plane-Switching) mode, an FFS (Fringe Field Switching) mode, an MVA (Multi-domain Vertical Alignment) mode, and a PV. Patterned Vertical Alignment (ASM) mode, Asymmetrically Aligned Micro-cell (ASM) mode, Optical Compensated Bireflective Liquid (Cr) mode, and FLC (Ferroelectric Liquid AF) mode Crystal) mode or the like can be used.

図54(A)は、液晶表示装置に適用できる画素構成の一例を示す図である。   FIG. 54A illustrates an example of a pixel structure which can be applied to the liquid crystal display device.

画素40100は、トランジスタ40101、液晶素子40102および容量素子40103を有している。トランジスタ40101のゲートは、配線40105に接続されている。トランジスタ40101の第1端子は、配線40104に接続されている。トランジスタ40101の第2端子は、液晶素子40102の第1電極および容量素子40103の第1電極に接続される。液晶素子40102の第2電極は、対向電極40107に相当する。容量素子40103の第2の電極は、配線40106に接続される。   The pixel 40100 includes a transistor 40101, a liquid crystal element 40102, and a capacitor 40103. A gate of the transistor 40101 is connected to the wiring 40105. A first terminal of the transistor 40101 is connected to the wiring 40104. A second terminal of the transistor 40101 is connected to the first electrode of the liquid crystal element 40102 and the first electrode of the capacitor 40103. The second electrode of the liquid crystal element 40102 corresponds to the counter electrode 40107. A second electrode of the capacitor 40103 is connected to the wiring 40106.

配線40104は、信号線として機能する。配線40105は、走査線として機能する。配線40106は、容量線として機能する。トランジスタ40101は、スイッチとして機能する。容量素子40103は、保持容量として機能する。   The wiring 40104 functions as a signal line. The wiring 40105 functions as a scanning line. The wiring 40106 functions as a capacitor line. The transistor 40101 functions as a switch. The capacitor 40103 functions as a storage capacitor.

トランジスタ40101は、スイッチとして機能すればよい。また、トランジスタ40101の極性は、Pチャネル型でもよいし、Nチャネル型でもよい。   The transistor 40101 may function as a switch. The polarity of the transistor 40101 may be a P-channel type or an N-channel type.

図54(B)は、液晶表示装置に適用できる画素構成の一例を示す図である。特に、図54(B)は、横電界モード(IPSモード、FFSモードを含む)に適した液晶表示装置に適用できる画素構成の一例を示す図である。   FIG. 54B illustrates an example of a pixel structure which can be applied to the liquid crystal display device. In particular, FIG. 54B illustrates an example of a pixel structure which can be applied to a liquid crystal display device suitable for a horizontal electric field mode (including an IPS mode and an FFS mode).

画素40110は、トランジスタ40111、液晶素子40112および容量素子40113を有している。トランジスタ40111のゲートは、配線40115に接続されている。トランジスタ40111の第1端子は、配線40114に接続されている。トランジスタ40111の第2端子は、液晶素子40112の第1電極および容量素子40113の第1電極に接続される。液晶素子40112の第2電極は、配線40116と接続されている。容量素子40113の第2の電極は、配線40116に接続されている。   The pixel 40110 includes a transistor 40111, a liquid crystal element 40112, and a capacitor 40113. A gate of the transistor 40111 is connected to the wiring 40115. A first terminal of the transistor 40111 is connected to the wiring 40114. A second terminal of the transistor 40111 is connected to the first electrode of the liquid crystal element 40112 and the first electrode of the capacitor 40113. A second electrode of the liquid crystal element 40112 is connected to the wiring 40116. A second electrode of the capacitor 40113 is connected to the wiring 40116.

配線40114は、信号線として機能する。配線40115は、走査線として機能する。配線40116は、容量線として機能する。トランジスタ40111は、スイッチとして機能する。容量素子40113は、保持容量として機能する。   The wiring 40114 functions as a signal line. The wiring 40115 functions as a scanning line. The wiring 40116 functions as a capacitor line. The transistor 40111 functions as a switch. The capacitor 40113 functions as a storage capacitor.

トランジスタ40111は、スイッチとして機能すればよい。また、トランジスタ40111の極性はPチャネル型でもよいし、Nチャネル型でもよい。   The transistor 40111 may function as a switch. The polarity of the transistor 40111 may be a P-channel type or an N-channel type.

図55は、液晶表示装置に適用できる画素構成の一例を示す図である。特に、図55は、配線数を減らして画素の開口率を大きくできる画素構成の一例である。   FIG. 55 is a diagram illustrating an example of a pixel configuration applicable to the liquid crystal display device. In particular, FIG. 55 illustrates an example of a pixel configuration in which the number of wirings can be reduced and the pixel aperture ratio can be increased.

図55は、同じ列方向に配置された二つの画素(画素40200および画素40210)を示す。例えば、画素40200がN行目に配置されている場合、画素40210はN+1行目に配置されている。   FIG. 55 shows two pixels (pixel 40200 and pixel 40210) arranged in the same column direction. For example, when the pixel 40200 is arranged in the Nth row, the pixel 40210 is arranged in the N + 1th row.

画素40200は、トランジスタ40201、液晶素子40202および容量素子40203を有している。トランジスタ40201のゲートは、配線40205に接続されている。トランジスタ40201の第1端子は、配線40204に接続されている。トランジスタ40201の第2端子は、液晶素子40202の第1電極および容量素子40203の第1電極に接続される。液晶素子40202の第2電極は、対向電極40207に相当する。容量素子40203の第2電極は、前行のトランジスタのゲートと同じ配線に接続されている。   The pixel 40200 includes a transistor 40201, a liquid crystal element 40202, and a capacitor 40203. A gate of the transistor 40201 is connected to the wiring 40205. A first terminal of the transistor 40201 is connected to the wiring 40204. A second terminal of the transistor 40201 is connected to the first electrode of the liquid crystal element 40202 and the first electrode of the capacitor 40203. The second electrode of the liquid crystal element 40202 corresponds to the counter electrode 40207. A second electrode of the capacitor 40203 is connected to the same wiring as the gate of the transistor in the previous row.

画素40210は、トランジスタ40211、液晶素子40212および容量素子40213を有している。トランジスタ40211のゲートは、配線40215に接続されている。トランジスタ40211の第1端子は、配線40204に接続されている。トランジスタ40211の第2端子は、液晶素子40212の第1電極および容量素子40213の第1電極に接続される。液晶素子40212の第2電極は、対向電極40217に相当する。容量素子40213の第2電極は、前行のトランジスタのゲートと同じ配線(配線40205)に接続されている。   A pixel 40210 includes a transistor 40211, a liquid crystal element 40212, and a capacitor 40213. A gate of the transistor 40211 is connected to the wiring 40215. A first terminal of the transistor 40211 is connected to the wiring 40204. A second terminal of the transistor 40211 is connected to the first electrode of the liquid crystal element 40212 and the first electrode of the capacitor 40213. The second electrode of the liquid crystal element 40212 corresponds to the counter electrode 40217. The second electrode of the capacitor 40213 is connected to the same wiring (wiring 40205) as the gate of the preceding transistor.

配線40204は、信号線として機能する。配線40205は、N行目の走査線として機能する。そして、配線40205は、N+1段目の容量線としても機能する。トランジスタ40201は、スイッチとして機能する。容量素子40203は、保持容量として機能する。   The wiring 40204 functions as a signal line. The wiring 40205 functions as an Nth row scanning line. The wiring 40205 also functions as an N + 1 stage capacitor line. The transistor 40201 functions as a switch. The capacitor 40203 functions as a storage capacitor.

配線40215は、N+1行目の走査線として機能する。そして、配線40215は、N+2段目の容量線としても機能する。トランジスタ40211は、スイッチとして機能する。容量素子40213は、保持容量として機能する。   The wiring 40215 functions as a scan line in the (N + 1) th row. The wiring 40215 also functions as an N + 2 stage capacitor line. The transistor 40211 functions as a switch. The capacitor 40213 functions as a storage capacitor.

トランジスタ40201およびトランジスタ40211は、スイッチとして機能すればよい。また、トランジスタ40201の極性およびトランジスタ40211の極性は、Pチャネル型でもよいし、Nチャネル型でもよい。   The transistor 40201 and the transistor 40211 may function as switches. Further, the polarity of the transistor 40201 and the polarity of the transistor 40211 may be a P-channel type or an N-channel type.

図56は、液晶表示装置に適用できる画素構成の一例を示す図である。特に、図56は、サブ画素を用いることで視野角を向上できる画素構成の一例である。   FIG. 56 is a diagram illustrating an example of a pixel configuration applicable to the liquid crystal display device. In particular, FIG. 56 shows an example of a pixel configuration in which the viewing angle can be improved by using sub-pixels.

画素40320は、サブ画素40300と、サブ画素40310と、を有している。以下、画素40320が、2つのサブ画素を有している場合について説明するが、画素40320は3つ以上のサブ画素を有していてもよい。   The pixel 40320 includes a sub-pixel 40300 and a sub-pixel 40310. Hereinafter, a case where the pixel 40320 includes two sub-pixels will be described; however, the pixel 40320 may include three or more sub-pixels.

サブ画素40300は、トランジスタ40301、液晶素子40302および容量素子40303を有している。トランジスタ40301のゲートは、配線40305に接続されている。トランジスタ40301の第1端子は、配線40304に接続されている。トランジスタ40301の第2端子は、液晶素子40302の第1電極および容量素子40303の第1電極に接続されている。液晶素子40302の第2電極は、対向電極40307に相当する。容量素子40303の第2の電極は、配線40306に接続されている。   The subpixel 40300 includes a transistor 40301, a liquid crystal element 40302, and a capacitor 40303. A gate of the transistor 40301 is connected to the wiring 40305. A first terminal of the transistor 40301 is connected to the wiring 40304. A second terminal of the transistor 40301 is connected to the first electrode of the liquid crystal element 40302 and the first electrode of the capacitor 40303. The second electrode of the liquid crystal element 40302 corresponds to the counter electrode 40307. A second electrode of the capacitor 40303 is connected to the wiring 40306.

サブ画素40310は、トランジスタ40311、液晶素子40312および容量素子40313を有している。トランジスタ40311のゲートは、配線40315に接続されている。トランジスタ40311の第1端子は、配線40304に接続されている。トランジスタ40311の第2端子は、液晶素子40312の第1電極および容量素子40313の第1電極に接続されている。液晶素子40312の第2電極は、対向電極40317に相当する。容量素子40313の第2の電極は、配線40306に接続されている。   The subpixel 40310 includes a transistor 40311, a liquid crystal element 40312, and a capacitor 40313. A gate of the transistor 40311 is connected to the wiring 40315. A first terminal of the transistor 40311 is connected to the wiring 40304. A second terminal of the transistor 40311 is connected to the first electrode of the liquid crystal element 40312 and the first electrode of the capacitor 40313. A second electrode of the liquid crystal element 40312 corresponds to the counter electrode 40317. A second electrode of the capacitor 40313 is connected to the wiring 40306.

配線40304は、信号線として機能する。配線40305は、走査線として機能する。配線40315は、信号線として機能する。配線40306は、容量線として機能する。トランジスタ40301は、スイッチとして機能する。トランジスタ40311は、スイッチとして機能する。容量素子40303は、保持容量として機能する。容量素子40313は、保持容量として機能する。   The wiring 40304 functions as a signal line. The wiring 40305 functions as a scanning line. The wiring 40315 functions as a signal line. The wiring 40306 functions as a capacitor line. The transistor 40301 functions as a switch. The transistor 40311 functions as a switch. The capacitor 40303 functions as a storage capacitor. The capacitor 40313 functions as a storage capacitor.

トランジスタ40301は、スイッチとして機能すればよい。また、トランジスタ40301の極性は、Pチャネル型でもよいし、Nチャネル型でもよい。トランジスタ40311は、スイッチとして機能すればよい。また、トランジスタ40311の極性は、Pチャネル型でもよいし、Nチャネル型でもよい。   The transistor 40301 may function as a switch. The polarity of the transistor 40301 may be a P-channel type or an N-channel type. The transistor 40311 may function as a switch. The polarity of the transistor 40311 may be a P-channel type or an N-channel type.

サブ画素40300に入力するビデオ信号は、サブ画素40310に入力するビデオ信号と異なる値としてもよい。この場合、液晶素子40302の液晶分子の配向が、液晶素子40312の液晶分子の配向と異なるため、視野角を広くすることができる。   The video signal input to the sub-pixel 40300 may have a value different from the video signal input to the sub-pixel 40310. In this case, the alignment angle of the liquid crystal molecules of the liquid crystal element 40302 is different from the alignment of the liquid crystal molecules of the liquid crystal element 40312, so that the viewing angle can be widened.

なお、本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   Note that in this embodiment mode, description has been made with reference to various drawings. However, the contents described in each drawing (may be a part) are different from the contents described in another figure (may be a part). , Application, combination or replacement can be performed freely. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

同様に、本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、本実施の形態の図の各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   Similarly, the contents (may be a part) described in each drawing of this embodiment are applied, combined, or replaced with the contents (may be a part) described in the figure of another embodiment. Can be done freely. Further, with respect to each part of the drawings in this embodiment mode, a larger number of diagrams can be formed by combining parts of different embodiment modes.

なお、本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合わせまたは置き換えを自由に行うことができる。   Note that the present embodiment is an example in which the contents (may be part) described in other embodiments are embodied, an example in which the content is slightly modified, an example in which a part is changed, and an improvement. An example of a case, an example of a case where it is described in detail, an example of a case where it is applied, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiment modes can be freely applied to, combined with, or replaced with this embodiment mode.

(実施の形態13)
本実施の形態においては、各種液晶モードについて説明する。
(Embodiment 13)
In this embodiment, various liquid crystal modes will be described.

まず、断面図を用いて各種液晶モードについて説明する。   First, various liquid crystal modes will be described with reference to cross-sectional views.

図57(A)、(B)は、TNモードの断面の模式図である。   FIGS. 57A and 57B are schematic views of cross sections of a TN mode.

互いに対向するように配置された第1の基板50101および第2の基板50102に、液晶層50100が挟持されている。第1の基板50101の上面には、第1の電極50105が形成されている。第2の基板50102の上面には、第2の電極50106が形成されている。第1の基板50101の液晶層50100と反対側には、第1の偏光板50103が配置されている。第2の基板50102の液晶層50100と反対側には、第2の偏光板50104が配置されている。なお、第1の偏光板50103と第2の偏光板50104とは、クロスニコルになるように配置されている。   A liquid crystal layer 50100 is sandwiched between a first substrate 50101 and a second substrate 50102 which are arranged to face each other. A first electrode 50105 is formed on the top surface of the first substrate 50101. A second electrode 50106 is formed on the top surface of the second substrate 50102. A first polarizing plate 50103 is provided on the opposite side of the first substrate 50101 from the liquid crystal layer 50100. On the opposite side of the second substrate 50102 from the liquid crystal layer 50100, a second polarizing plate 50104 is provided. Note that the first polarizing plate 50103 and the second polarizing plate 50104 are arranged to be crossed Nicols.

第1の偏光板50103は、第1の基板50101の上面、つまり、第1の基板50101と液晶層50100との間に配置されてもよい。第2の偏光板50104は、第2の基板50102の上面、つまり、第2の基板50102と液晶層50100との間に配置されてもよい。   The first polarizing plate 50103 may be disposed on the top surface of the first substrate 50101, that is, between the first substrate 50101 and the liquid crystal layer 50100. The second polarizing plate 50104 may be disposed on the upper surface of the second substrate 50102, that is, between the second substrate 50102 and the liquid crystal layer 50100.

第1の電極50105および第2の電極50106のうち、少なくとも一方の電極が透光性を有していればよい(透過型または反射型)。あるいは、両方の電極が透光性を有し、かつ一方の電極の一部が反射性を有していてもよい(半透過型)。   It is sufficient that at least one of the first electrode 50105 and the second electrode 50106 has a light-transmitting property (a transmission type or a reflection type). Or both electrodes may have translucency and a part of one electrode may have reflectivity (semi-transmissive type).

図57(A)は、第1の電極50105および第2の電極50106に、電圧が印加(縦電界方式と呼ぶ)された場合の断面の模式図である。   FIG. 57A is a schematic view of a cross section when voltage is applied to the first electrode 50105 and the second electrode 50106 (referred to as a vertical electric field mode).

図57(B)は、第1の電極50105および第2の電極50106に、電圧が印加されていない場合の断面の模式図である。   FIG. 57B is a schematic view of a cross section when voltage is not applied to the first electrode 50105 and the second electrode 50106.

図58(A)、(B)は、VAモードの断面の模式図である。VAモードは、無電界の時に液晶分子が基板に垂直となるように配向されているモードである。   58A and 58B are schematic views of cross sections of the VA mode. The VA mode is a mode in which liquid crystal molecules are aligned so as to be perpendicular to the substrate when there is no electric field.

互いに対向するように配置された第1の基板50201および第2の基板50202に、液晶層50200が挟持されている。第1の基板50201の上面には、第1の電極50205が形成されている。第2の基板50202の上面には、第2の電極50206が形成されている。第1の基板50201の液晶層50200と反対側には、第1の偏光板50203が配置されている。第2の基板50202の液晶層50200と反対側には、第2の偏光板50204が配置されている。なお、第1の偏光板50203と第2の偏光板50204とは、クロスニコルになるように配置されている。   A liquid crystal layer 50200 is sandwiched between a first substrate 50201 and a second substrate 50202 which are arranged to face each other. A first electrode 50205 is formed on the top surface of the first substrate 50201. A second electrode 50206 is formed on the top surface of the second substrate 50202. A first polarizing plate 50203 is provided on the opposite side of the first substrate 50201 from the liquid crystal layer 50200. A second polarizing plate 50204 is provided on the opposite side of the second substrate 50202 from the liquid crystal layer 50200. Note that the first polarizing plate 50203 and the second polarizing plate 50204 are arranged so as to be crossed Nicols.

第1の偏光板50203は、第1の基板50201の上面、つまり、第1の基板50201と液晶層50200との間に配置されてもよい。第2の偏光板50204は、第2の基板50202の上面、つまり、第2の基板50202と液晶層50200との間に配置されてもよい。   The first polarizing plate 50203 may be disposed on the top surface of the first substrate 50201, that is, between the first substrate 50201 and the liquid crystal layer 50200. The second polarizing plate 50204 may be disposed on the upper surface of the second substrate 50202, that is, between the second substrate 50202 and the liquid crystal layer 50200.

第1の電極50205および第2の電極50206のうち、少なくとも一方の電極が透光性を有していればよい(透過型または反射型)。あるいは、両方の電極が透光性を有し、かつ一方の電極の一部が反射性を有していてもよい(半透過型)。   It is sufficient that at least one of the first electrode 50205 and the second electrode 50206 has a light-transmitting property (a transmission type or a reflection type). Or both electrodes may have translucency and a part of one electrode may have reflectivity (semi-transmissive type).

図58(A)は、第1の電極50205および第2の電極50206に、電圧が印加(縦電界方式と呼ぶ)された場合の断面の模式図である。   FIG. 58A is a schematic view of a cross section when voltage is applied to the first electrode 50205 and the second electrode 50206 (referred to as a vertical electric field mode).

図58(B)は、第1の電極50205および第2の電極50206に、電圧が印加されていない場合の断面の模式図である。   FIG. 58B is a schematic view of a cross section when voltage is not applied to the first electrode 50205 and the second electrode 50206.

図58(C)、(D)は、MVAモードの断面の模式図である。MVAモードは、それぞれの部分の視野角依存性を互いに補償する方法である。   58C and 58D are schematic views of cross sections of the MVA mode. The MVA mode is a method for mutually compensating the viewing angle dependency of each part.

互いに対向するように配置された第1の基板50211および第2の基板50212に、液晶層50210が挟持されている。第1の基板50211の上面には、第1の電極50215が形成されている。第2の基板50212の上面には、第2の電極50216が形成されている。第1の電極50215上には、配向制御用に第1の突起物50217が形成されている。第2の電極50216上には、配向制御用に第2の突起物50218が形成されている。第1の基板50211の液晶層50210と反対側には、第1の偏光板50213が配置されている。第2の基板50212の液晶層50210と反対側には、第2の偏光板50214が配置されている。なお、第1の偏光板50213と第2の偏光板50214とは、クロスニコルになるように配置されている。   A liquid crystal layer 50210 is sandwiched between a first substrate 50211 and a second substrate 50212 which are arranged to face each other. A first electrode 50215 is formed on the top surface of the first substrate 50211. A second electrode 50216 is formed on the top surface of the second substrate 50212. A first protrusion 50217 is formed over the first electrode 50215 for alignment control. A second protrusion 50218 is formed over the second electrode 50216 for alignment control. A first polarizing plate 50213 is provided on the opposite side of the first substrate 50211 from the liquid crystal layer 50210. A second polarizing plate 50214 is provided on the side of the second substrate 50212 opposite to the liquid crystal layer 50210. Note that the first polarizing plate 50213 and the second polarizing plate 50214 are arranged so as to be crossed Nicols.

第1の偏光板50213は、第1の基板50211の上面、つまり、第1の基板50211と液晶層50210との間に配置されてもよい。第2の偏光板50214は、第2の基板50212の上面、つまり、第2の基板50212と液晶層50210との間に配置されてもよい。   The first polarizing plate 50213 may be disposed on the top surface of the first substrate 50211, that is, between the first substrate 50211 and the liquid crystal layer 50210. The second polarizing plate 50214 may be disposed on the upper surface of the second substrate 50212, that is, between the second substrate 50212 and the liquid crystal layer 50210.

第1の電極50215および第2の電極50216のうち、少なくとも一方の電極が透光性を有していればよい(透過型または反射型)。あるいは、両方の電極が透光性を有し、かつ一方の電極の一部が反射性を有していてもよい(半透過型)。   It is sufficient that at least one of the first electrode 50215 and the second electrode 50216 has a light-transmitting property (a transmission type or a reflection type). Or both electrodes may have translucency and a part of one electrode may have reflectivity (semi-transmissive type).

図58(C)は、第1の電極50215および第2の電極50216に、電圧が印加(縦電界方式と呼ぶ)された場合の断面の模式図である。   FIG. 58C is a schematic view of a cross section in the case where voltage is applied to the first electrode 50215 and the second electrode 50216 (referred to as a vertical electric field mode).

図58(D)は、第1の電極50215および第2の電極50216に、電圧が印加されていない場合の断面の模式図である。   FIG. 58D is a schematic view of a cross section when voltage is not applied to the first electrode 50215 and the second electrode 50216.

図59(A)、(B)は、OCBモードの断面の模式図である。OCBモードは、液晶層内で液晶分子の配列が光学的に補償状態を形成しているため、視野角依存が少ない。この液晶分子の状態は、ベンド配向と呼ばれる。   FIGS. 59A and 59B are schematic views of cross sections of the OCB mode. In the OCB mode, the alignment of the liquid crystal molecules forms an optically compensated state in the liquid crystal layer, and thus the viewing angle dependency is small. This state of the liquid crystal molecules is called bend alignment.

互いに対向するように配置された第1の基板50301および第2の基板50302に、液晶層50300が挟持されている。第1の基板50301の上面には、第1の電極50305が形成されている。第2の基板50302の上面には、第2の電極50306が形成されている。第1の基板50301の液晶層50300と反対側には、第1の偏光板50303が配置されている。第2の基板50302の液晶層50300と反対側には、第2の偏光板50304が配置されている。なお、第1の偏光板50303と第2の偏光板50304とは、クロスニコルになるように配置されている。   A liquid crystal layer 50300 is sandwiched between a first substrate 50301 and a second substrate 50302 which are arranged to face each other. A first electrode 50305 is formed on the top surface of the first substrate 50301. A second electrode 50306 is formed on the top surface of the second substrate 50302. A first polarizing plate 50303 is provided on the opposite side of the first substrate 50301 from the liquid crystal layer 50300. A second polarizing plate 50304 is disposed on the opposite side of the second substrate 50302 from the liquid crystal layer 50300. Note that the first polarizing plate 50303 and the second polarizing plate 50304 are arranged so as to be crossed Nicols.

第1の偏光板50303は、第1の基板50301の上面、つまり、第1の基板50301と液晶層50300との間に配置されてもよい。第2の偏光板50304は、第2の基板50302の上面、つまり、第2の基板50302と液晶層50300との間に配置されてもよい。   The first polarizing plate 50303 may be disposed on the top surface of the first substrate 50301, that is, between the first substrate 50301 and the liquid crystal layer 50300. The second polarizing plate 50304 may be disposed on the upper surface of the second substrate 50302, that is, between the second substrate 50302 and the liquid crystal layer 50300.

第1の電極50305および第2の電極50306のうち、少なくとも一方の電極が透光性を有していればよい(透過型または反射型)。あるいは、両方の電極が透光性を有し、かつ一方の電極の一部が反射性を有していてもよい(半透過型)。   It is sufficient that at least one of the first electrode 50305 and the second electrode 50306 has a light-transmitting property (a transmission type or a reflection type). Or both electrodes may have translucency and a part of one electrode may have reflectivity (semi-transmissive type).

図59(A)は、第1の電極50305および第2の電極50306に、電圧が印加(縦電界方式と呼ぶ)された場合の断面の模式図である。   FIG. 59A is a schematic view of a cross section when voltage is applied to the first electrode 50305 and the second electrode 50306 (referred to as a vertical electric field mode).

図59(B)は、第1の電極50305および第2の電極50306に、電圧が印加されていない場合の断面の模式図である。   FIG. 59B is a schematic view of a cross section when voltage is not applied to the first electrode 50305 and the second electrode 50306.

図59(C)、(D)は、FLCモードまたはAFLCモードの断面の模式図である。   FIGS. 59C and 59D are schematic views of cross sections of the FLC mode or the AFLC mode.

互いに対向するように配置された第1の基板50311および第2の基板50312に、液晶層50310が挟持されている。第1の基板50311の上面には、第1の電極50315が形成されている。第2の基板50312の上面には、第2の電極50316が形成されている。第1の基板50311の液晶層50310と反対側には、第1の偏光板50313が配置されている。第2の基板50312の液晶層50310と反対側には、第2の偏光板50314が配置されている。なお、第1の偏光板50313と第2の偏光板50314とは、クロスニコルになるように配置されている。   A liquid crystal layer 50310 is sandwiched between a first substrate 50311 and a second substrate 50312 which are arranged to face each other. A first electrode 50315 is formed on the top surface of the first substrate 50311. A second electrode 50316 is formed on the top surface of the second substrate 5031. A first polarizing plate 50313 is provided on the opposite side of the first substrate 50311 from the liquid crystal layer 50310. A second polarizing plate 50314 is provided on the opposite side of the second substrate 5031 from the liquid crystal layer 50310. Note that the first polarizing plate 50313 and the second polarizing plate 50314 are arranged so as to be crossed Nicols.

第1の偏光板50313は、第1の基板50311の上面、つまり、第1の基板50311と液晶層50310との間に配置されてもよい。第2の偏光板50314は、第2の基板50312の上面、つまり、第2の基板50312と液晶層50310との間に配置されてもよい。   The first polarizing plate 50313 may be disposed on the top surface of the first substrate 50311, that is, between the first substrate 50311 and the liquid crystal layer 50310. The second polarizing plate 50314 may be disposed on the top surface of the second substrate 5031, that is, between the second substrate 5031 and the liquid crystal layer 50310.

第1の電極50315および第2の電極50316のうち、少なくとも一方の電極が透光性を有していればよい(透過型または反射型)。あるいは、両方の電極が透光性を有し、かつ一方の電極の一部が反射性を有していてもよい(半透過型)。   It is sufficient that at least one of the first electrode 50315 and the second electrode 50316 has a light-transmitting property (a transmission type or a reflection type). Or both electrodes may have translucency and a part of one electrode may have reflectivity (semi-transmissive type).

図59(C)は、第1の電極50315および第2の電極50316に、電圧が印加(縦電界方式と呼ぶ)された場合の断面の模式図である。   FIG. 59C is a schematic view of a cross section when voltage is applied to the first electrode 50315 and the second electrode 50316 (referred to as a vertical electric field mode).

図59(D)は、第1の電極50315および第2の電極50316に、電圧が印加されていない場合の断面の模式図である。   FIG. 59D is a schematic view of a cross section when voltage is not applied to the first electrode 50315 and the second electrode 50316.

図60(A)、(B)は、IPSモードの断面の模式図である。IPSモードは、液晶層内で液晶分子の配列を光学的に補償でき、液晶分子を基板に対して常に平面内で回転させるモードであり、電極を一方の基板側のみに設けた横電界方式をとる。   60A and 60B are schematic views of cross sections of the IPS mode. The IPS mode is a mode in which the alignment of liquid crystal molecules can be optically compensated in the liquid crystal layer, and the liquid crystal molecules are always rotated in a plane with respect to the substrate. A lateral electric field method in which electrodes are provided only on one substrate side is used. Take.

互いに対向するように配置された第1の基板50401および第2の基板50402に、液晶層50400が挟持されている。第2の基板50402の上面には、第1の電極50405および第2の電極50406が形成されている。第1の基板50401の液晶層50400と反対側には、第1の偏光板50403が配置されている。第2の基板50402の液晶層50400と反対側には、第2の偏光板50404が配置されている。なお、第1の偏光板50403と第2の偏光板50404とは、クロスニコルになるように配置されている。   A liquid crystal layer 50400 is sandwiched between a first substrate 50401 and a second substrate 50402 which are arranged to face each other. A first electrode 50405 and a second electrode 50406 are formed on the top surface of the second substrate 50402. A first polarizing plate 50403 is provided on the opposite side of the first substrate 50401 from the liquid crystal layer 50400. A second polarizing plate 50404 is provided on the opposite side of the second substrate 50402 from the liquid crystal layer 50400. Note that the first polarizing plate 50403 and the second polarizing plate 50404 are arranged so as to be crossed Nicols.

第1の偏光板50403は、第1の基板50401の上面、つまり、第1の基板50401と液晶層との間に配置されてもよい。第2の偏光板50404は、第2の基板50402の上面、つまり、第2の基板50402と液晶層との間に配置されてもよい。   The first polarizing plate 50403 may be disposed on the top surface of the first substrate 50401, that is, between the first substrate 50401 and the liquid crystal layer. The second polarizing plate 50404 may be disposed on the upper surface of the second substrate 50402, that is, between the second substrate 50402 and the liquid crystal layer.

第1の電極50405および第2の電極50406のうち、少なくとも一方の電極が透光性を有していればよい(透過型または反射型)。あるいは、両方の電極が透光性を有し、かつ一方の電極の一部が反射性を有していてもよい(半透過型)。   It is sufficient that at least one of the first electrode 50405 and the second electrode 50406 has a light-transmitting property (a transmission type or a reflection type). Or both electrodes may have translucency and a part of one electrode may have reflectivity (semi-transmissive type).

図60(A)は、第1の電極50405および第2の電極50406に、電圧が印加(縦電界方式と呼ぶ)された場合の断面の模式図である。   FIG. 60A is a schematic view of a cross section when voltage is applied to the first electrode 50405 and the second electrode 50406 (referred to as a vertical electric field mode).

図60(B)は、第1の電極50405および第2の電極50406に、電圧が印加されていない場合の断面の模式図である。   FIG. 60B is a schematic view of a cross section when voltage is not applied to the first electrode 50405 and the second electrode 50406.

図60(C)、(D)は、FFSモードの断面の模式図である。FFSモードは、液晶層内で液晶分子の配列を光学的に補償でき、液晶分子を基板に対して常に平面内で回転させるモードであり、電極を一方の基板側のみに設けた横電界方式をとる。   60C and 60D are schematic views of cross sections of the FFS mode. The FFS mode is a mode in which the alignment of liquid crystal molecules can be optically compensated in the liquid crystal layer, and the liquid crystal molecules are always rotated in a plane with respect to the substrate. Take.

互いに対向するように配置された第1の基板50411および第2の基板50412に、液晶層50410が挟持されている。第2の基板50412の上面には、第2の電極50416が形成されている。第2の電極50416の上面には、絶縁膜50417が形成されている。絶縁膜50417上には、第1の電極50415が形成されている。第1の基板50411の液晶層50410と反対側には、第1の偏光板50413が配置されている。第2の基板50412の液晶層50410と反対側には、第2の偏光板50414が配置されている。なお、第1の偏光板50413と第2の偏光板50414とは、クロスニコルになるように配置されている。   A liquid crystal layer 50410 is sandwiched between a first substrate 50411 and a second substrate 50412 which are arranged to face each other. A second electrode 50416 is formed on the top surface of the second substrate 50412. An insulating film 50417 is formed on the top surface of the second electrode 50416. A first electrode 50415 is formed over the insulating film 50417. A first polarizing plate 50413 is provided on the opposite side of the first substrate 50411 from the liquid crystal layer 50410. A second polarizing plate 50414 is provided on the opposite side of the second substrate 50412 from the liquid crystal layer 50410. Note that the first polarizing plate 50413 and the second polarizing plate 50414 are arranged so as to be crossed Nicols.

第1の偏光板50413は、第1の基板50411の上面、つまり、第1の基板50411と液晶層50410との間に配置されてもよい。第2の偏光板50414は、第2の基板50412の上面、つまり、第2の基板50412と液晶層50410との間に配置されてもよい。   The first polarizing plate 50413 may be disposed on the top surface of the first substrate 50411, that is, between the first substrate 50411 and the liquid crystal layer 50410. The second polarizing plate 50414 may be disposed on the upper surface of the second substrate 50412, that is, between the second substrate 50412 and the liquid crystal layer 50410.

第1の電極50415および第2の電極50416のうち、少なくとも一方の電極が透光性を有していればよい(透過型または反射型)。あるいは、両方の電極が透光性を有し、かつ一方の電極の一部が反射性を有していてもよい(半透過型)。   It is sufficient that at least one of the first electrode 50415 and the second electrode 50416 has a light-transmitting property (a transmission type or a reflection type). Or both electrodes may have translucency and a part of one electrode may have reflectivity (semi-transmissive type).

図60(C)は、第1の電極50415および第2の電極50416に、電圧が印加(縦電界方式と呼ぶ)された場合の断面の模式図である。   FIG. 60C is a schematic view of a cross section when voltage is applied to the first electrode 50415 and the second electrode 50416 (referred to as a vertical electric field mode).

図60(D)は、第1の電極50415および第2の電極50416に、電圧が印加されていない場合の断面の模式図である。   FIG. 60D is a schematic view of a cross section when voltage is not applied to the first electrode 50415 and the second electrode 50416.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, various drawings have been used. However, the contents (or part of the contents) described in each figure may be applied to the contents (or part of the contents) described in another figure. , Can be freely combined or replaced. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、本実施の形態の図の各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   The contents (may be a part) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (may be a part) described in the figure of another embodiment. It can be carried out. Further, with respect to each part of the drawings in this embodiment mode, a larger number of diagrams can be formed by combining parts of different embodiment modes.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合わせまたは置き換えを自由に行うことができる。   This embodiment is an example in which the content (may be a part) described in other embodiments is embodied, an example in which the content is slightly modified, an example in which a part is changed, and an improvement An example, an example when it is described in detail, an example when it is applied, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiment modes can be freely applied to, combined with, or replaced with this embodiment mode.

(実施の形態14)
本実施の形態においては、表示装置の画素構造について説明する。特に、液晶表示装置の画素構造について説明する。
(Embodiment 14)
In this embodiment mode, a pixel structure of a display device is described. In particular, a pixel structure of a liquid crystal display device will be described.

各液晶モードとトランジスタとを組み合わせた場合の画素構造について、画素の断面図を参照して説明する。   A pixel structure in which each liquid crystal mode and a transistor are combined will be described with reference to a cross-sectional view of the pixel.

トランジスタとしては、非晶質シリコン、多結晶シリコン、微結晶(マイクロクリスタル、セミアモルファスとも言う)シリコンなどに代表される、非単結晶半導体層を有する薄膜トランジスタ(TFT)などを用いることができる。   As the transistor, a thin film transistor (TFT) including a non-single-crystal semiconductor layer typified by amorphous silicon, polycrystalline silicon, microcrystalline (also referred to as microcrystalline or semi-amorphous) silicon, or the like can be used.

トランジスタの構造としては、トップゲート型またはボトムゲート型などを用いることができる。ボトムゲート型のトランジスタとしては、チャネルエッチ型またはチャネル保護型などを用いることができる。   As a structure of the transistor, a top gate type, a bottom gate type, or the like can be used. As the bottom-gate transistor, a channel etch type, a channel protection type, or the like can be used.

図61は、TN方式とトランジスタとを組み合わせた場合の、画素の断面図の一例である。第1の基板10101と、第2の基板10116とが、液晶分子10118を有する液晶10111を挟持している。第1の基板10101には、トランジスタ、画素電極および配向膜などが配置され、第2の基板10116には、遮光膜10114、カラーフィルタ10115、対向電極および配向膜などが配置されている。そして、第1の基板10101と、第2の基板10116との間には、スペーサ10117が配置されている。図61に示す画素構造を液晶表示装置に適用することによって、安価に液晶表示装置を製造することができる。   FIG. 61 is an example of a cross-sectional view of a pixel in the case where a TN mode and a transistor are combined. The first substrate 10101 and the second substrate 10116 sandwich the liquid crystal 10111 including the liquid crystal molecules 10118. A transistor, a pixel electrode, an alignment film, and the like are arranged on the first substrate 10101, and a light-shielding film 10114, a color filter 10115, a counter electrode, an alignment film, and the like are arranged on the second substrate 10116. A spacer 10117 is provided between the first substrate 10101 and the second substrate 10116. By applying the pixel structure shown in FIG. 61 to a liquid crystal display device, the liquid crystal display device can be manufactured at low cost.

図62(A)は、MVA(Multi−domain Vertical Alignment)方式と、トランジスタとを組み合わせた場合の、画素の断面図の一例である。第1の基板10201と、第2の基板10216とが、液晶分子10218を有する液晶10211を挟持している。第1の基板10201には、トランジスタ、画素電極および配向膜などが配置され、第2の基板10216には、遮光膜10214、カラーフィルタ10215、対向電極、配向制御用突起10219および配向膜などが配置されている。そして、第1の基板10201と、第2の基板10216との間には、スペーサ10217が配置されている。図62(A)に示す画素構造を、液晶表示装置に適用することによって、視野角が大きく、応答速度が速く、コントラストの大きい液晶表示装置を得ることができる。   FIG. 62A illustrates an example of a cross-sectional view of a pixel in the case where a multi-domain vertical alignment (MVA) method and a transistor are combined. The first substrate 10201 and the second substrate 10216 sandwich the liquid crystal 10211 including the liquid crystal molecules 10218. A transistor, a pixel electrode, an alignment film, and the like are provided on the first substrate 10201, and a light-shielding film 10214, a color filter 10215, a counter electrode, an alignment control protrusion 10219, an alignment film, and the like are provided on the second substrate 10216. Has been. A spacer 10217 is provided between the first substrate 10201 and the second substrate 10216. By applying the pixel structure shown in FIG. 62A to a liquid crystal display device, a liquid crystal display device with a wide viewing angle, a high response speed, and a high contrast can be obtained.

図62(B)は、PVA(Patterned Vertical Alignment)方式と、トランジスタとを組み合わせた場合の、画素の断面図の一例である。第1の基板10231と、第2の基板10246とが、液晶分子10248を有する液晶10241を挟持している。第1の基板10231には、トランジスタ、画素電極および配向膜などが配置され、第2の基板10231には、遮光膜10244、カラーフィルタ10245、対向電極および配向膜などが配置されている。なお、画素電極は、電極切り欠け部10249を有している。そして、第1の基板10231と、第2の基板10246との間には、スペーサ10247が配置されている。図62(B)に示す画素構造を、液晶表示装置に適用することによって、視野角が大きく、応答速度が速く、コントラストの大きい液晶表示装置を得ることができる。   FIG. 62B is an example of a cross-sectional view of a pixel in the case where a PVA (Patterned Vertical Alignment) method and a transistor are combined. The first substrate 10231 and the second substrate 10246 sandwich the liquid crystal 10241 including the liquid crystal molecules 10248. A transistor, a pixel electrode, an alignment film, and the like are provided on the first substrate 10231, and a light-shielding film 10244, a color filter 10245, a counter electrode, an alignment film, and the like are provided on the second substrate 10231. Note that the pixel electrode has an electrode cutout portion 10249. A spacer 10247 is provided between the first substrate 10231 and the second substrate 10246. By applying the pixel structure shown in FIG. 62B to a liquid crystal display device, a liquid crystal display device with a wide viewing angle, a high response speed, and a high contrast can be obtained.

図63(A)は、IPS(In−Plane−Switching)方式と、トランジスタとを組み合わせた場合の、画素の断面図の一例である。第1の基板10301と、第2の基板10316とが、液晶分子10318を有する液晶10311を挟持している。第1の基板10301には、トランジスタ、画素電極、共通電極および配向膜などが形成され、第2の基板10316には、遮光膜10314、カラーフィルタ10315および配向膜などが形成されている。そして、第1の基板10301と、第2の基板10316との間には、スペーサ10317が形成されている。図63(A)に示す画素構造を、液晶表示装置に適用することによって、原理的に視野角が大きく、応答速度の階調依存性の小さい液晶表示装置を得ることができる。   FIG. 63A is an example of a cross-sectional view of a pixel in the case where an IPS (In-Plane-Switching) method and a transistor are combined. The first substrate 10301 and the second substrate 10316 sandwich the liquid crystal 10311 including the liquid crystal molecules 10318. A transistor, a pixel electrode, a common electrode, an alignment film, and the like are formed over the first substrate 10301, and a light shielding film 10314, a color filter 10315, an alignment film, and the like are formed over the second substrate 10316. A spacer 10317 is formed between the first substrate 10301 and the second substrate 10316. By applying the pixel structure shown in FIG. 63A to a liquid crystal display device, a liquid crystal display device having a large viewing angle in principle and a small dependence of response speed on gray scale can be obtained.

図63(B)は、FFS(Fringe Field Switching)方式と、トランジスタとを組み合わせた場合の、画素の断面図の一例である。第1の基板10331と、第2の基板10346とが、液晶分子10348を有する液晶10341を挟持している。第1の基板10331には、トランジスタ、画素電極、共通電極および配向膜などが配置され、第2の基板10346には、遮光膜10344、カラーフィルタ10345および配向膜などが配置されている。そして、第1の基板10331と、第2の基板10346との間には、スペーサ10347が配置されている。図63(B)に示す画素構造を、液晶表示装置に適用することによって、原理的に視野角が大きく、応答速度の階調依存性の小さい液晶表示装置を得ることができる。 FIG. 63B is an example of a cross-sectional view of a pixel in the case where an FFS (Fringe Field Switching) method and a transistor are combined. The first substrate 10331 and the second substrate 10346 sandwich the liquid crystal 10341 including the liquid crystal molecules 10348. A transistor, a pixel electrode, a common electrode, an alignment film, and the like are provided on the first substrate 10331, and a light-shielding film 10344, a color filter 10345, an alignment film, and the like are provided on the second substrate 10346. A spacer 10347 is provided between the first substrate 10331 and the second substrate 10346. By applying the pixel structure shown in FIG. 63B to a liquid crystal display device, a liquid crystal display device having a large viewing angle in principle and a small dependence of response speed on gray scale can be obtained.

ここで、各導電層または各絶縁膜に用いることができる材料について説明する。   Here, materials that can be used for each conductive layer or each insulating film will be described.

図61の第1の絶縁膜10102、図62(A)の第1の絶縁膜10202、図62(B)の第1の絶縁膜10232、図63(A)の第1の絶縁膜10302および図63(B)の第1の絶縁膜10332としては、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン(SiOxNy)膜などの絶縁膜を用いることができる。あるいは、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン(SiOxNy)膜などのうち、2つ以上の膜を組み合わせた積層構造の絶縁膜を用いることができる。   The first insulating film 10102 in FIG. 61, the first insulating film 10202 in FIG. 62A, the first insulating film 10232 in FIG. 62B, the first insulating film 10302 in FIG. As the first insulating film 10332 of 63 (B), an insulating film such as a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a silicon oxynitride (SiOxNy) film can be used. Alternatively, an insulating film having a stacked structure in which two or more films of a silicon oxide film, a silicon nitride film, a silicon oxynitride (SiOxNy) film, and the like are combined can be used.

図61の第1の導電層10103、図62(A)の第1の導電層10203、図62(B)の第1の導電層10233、図63(A)の第1の導電層10303および図63(B)の第1の導電層10333としては、Mo、Ti、Al、Nd、Crなどを用いることができる。あるいは、Mo、Ti、Al、Nd、Crなどのうち、2つ以上を組み合わせた積層構造を用いることもできる。   The first conductive layer 10103 in FIG. 61, the first conductive layer 10203 in FIG. 62A, the first conductive layer 10233 in FIG. 62B, the first conductive layer 10303 in FIG. As the first conductive layer 10333 of 63 (B), Mo, Ti, Al, Nd, Cr, or the like can be used. Alternatively, a stacked structure in which two or more of Mo, Ti, Al, Nd, Cr, and the like are combined can be used.

図61の第2の絶縁膜10104、図62(A)の第2の絶縁膜10204、図62(B)の第2の絶縁膜10234、図63(A)の第2の絶縁膜10304および図63(B)の第2の絶縁膜10334としては、熱酸化膜、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜などを用いることができる。あるいは、熱酸化膜、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜などのうち、2つ以上を組み合わせた積層構造などを用いることができる。なお、半導体層と接する部分は、酸化シリコン膜であることが好ましい。なぜなら、酸化シリコン膜にすると、半導体層との界面におけるトラップ準位が少なくなるからである。なお、Moと接する部分は、窒化シリコン膜であることが好ましい。なぜなら、窒化シリコン膜は、Moを酸化させないからである。   The second insulating film 10104 in FIG. 61, the second insulating film 10204 in FIG. 62A, the second insulating film 10234 in FIG. 62B, the second insulating film 10304 in FIG. As the second insulating film 10334 in FIG. 63B, a thermal oxide film, a silicon oxide film, a silicon nitride film, a silicon oxynitride film, or the like can be used. Alternatively, a stacked structure in which two or more of thermal oxide films, silicon oxide films, silicon nitride films, silicon oxynitride films, or the like are combined can be used. Note that the portion in contact with the semiconductor layer is preferably a silicon oxide film. This is because the trap level at the interface with the semiconductor layer is reduced when a silicon oxide film is used. Note that the portion in contact with Mo is preferably a silicon nitride film. This is because the silicon nitride film does not oxidize Mo.

図61の第1の半導体層10105、図62(A)の第1の半導体層10205、図62(B)の第1の半導体層10235、図63(A)の第1の半導体層10305および図63(B)の第1の半導体層10335としては、シリコンまたはシリコンゲルマニウム(SiGe)などを用いることができる。   The first semiconductor layer 10105 in FIG. 61, the first semiconductor layer 10205 in FIG. 62A, the first semiconductor layer 10235 in FIG. 62B, the first semiconductor layer 10305 in FIG. As the first semiconductor layer 10335 of 63 (B), silicon, silicon germanium (SiGe), or the like can be used.

図61の第2の半導体層10106、図62(A)の第2の半導体層10206、図62(B)の第2の半導体層10236、図63(A)の第2の半導体層10306および図63(B)の第2の半導体層10336としては、リンなどを含んだシリコンなどを用いることができる。   The second semiconductor layer 10106 in FIG. 61, the second semiconductor layer 10206 in FIG. 62A, the second semiconductor layer 10236 in FIG. 62B, the second semiconductor layer 10306 in FIG. As the second semiconductor layer 10336 of 63 (B), silicon containing phosphorus or the like can be used.

図61の第2の導電層10107、第3の導電層10109および第4の導電層10113、図62(A)の第2の導電層10207、第3の導電層10209および第4の導電層10213、図62(B)の第2の導電層10237、第3の導電層10239および第4の導電層10243、図63(A)の第2の導電層10307および第3の導電層10309、もしくは図63(B)の第2の導電層10337、第3の導電層10339および第4の導電層10343の透明性を有する材料としては、酸化インジウムに酸化スズを混ぜたインジウムスズ酸化物(ITO)膜、インジウムスズ酸化物(ITO)に酸化珪素を混ぜたインジウムスズ珪素酸化物(ITSO)膜、酸化インジウムに酸化亜鉛を混ぜたインジウム亜鉛酸化物(IZO)膜、酸化亜鉛膜または酸化スズ膜などを用いることができる。なお、IZOとは、ITOに2〜20wt%の酸化亜鉛(ZnO)を混合させたターゲットを用いてスパッタリングにより形成される透明導電材料である。   The second conductive layer 10107, the third conductive layer 10109, and the fourth conductive layer 10113 in FIG. 61, the second conductive layer 10207, the third conductive layer 10209, and the fourth conductive layer 10213 in FIG. 62B, the second conductive layer 10237, the third conductive layer 10239, and the fourth conductive layer 10243, the second conductive layer 10307 and the third conductive layer 10309 in FIG. 63A, or FIG. As the transparent material of the second conductive layer 10337, the third conductive layer 10339, and the fourth conductive layer 10343 of 63 (B), an indium tin oxide (ITO) film in which tin oxide is mixed with indium oxide is used. Indium tin oxide (ITSO) film in which silicon oxide is mixed with indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (ISO) in which zinc oxide is mixed with indium oxide (I O) film, such as a zinc oxide film or tin oxide film may be used. Note that IZO is a transparent conductive material formed by sputtering using a target in which 2 to 20 wt% of zinc oxide (ZnO) is mixed with ITO.

図61の第2の導電層10107および第3の導電層10109、図62(A)の第2の導電層10207および第3の導電層10209、図62(B)の第2の導電層10237および第3の導電層10239、図63(A)の第2の導電層10307および第3の導電層10309、もしくは図63(B)の第2の導電層10337、第3の導電層10339および第4の導電層10343の反射性を有する材料としては、Ti、Mo、Ta、Cr、W、Alなどを用いることができる。あるいは、Ti、Mo、Ta、CrおよびWと、Alを積層させた2層構造、AlをTi、Mo、Ta、Cr、Wなどの金属で挟んだ3層積層構造としてもよい。   The second conductive layer 10107 and the third conductive layer 10109 in FIG. 61, the second conductive layer 10207 and the third conductive layer 10209 in FIG. 62A, the second conductive layer 10237 in FIG. The third conductive layer 10239, the second conductive layer 10307 and the third conductive layer 10309 in FIG. 63A, or the second conductive layer 10337, the third conductive layer 10339, and the fourth in FIG. As the reflective material of the conductive layer 10343, Ti, Mo, Ta, Cr, W, Al, or the like can be used. Alternatively, a two-layer structure in which Ti, Mo, Ta, Cr, and W and Al are stacked, or a three-layer stack structure in which Al is sandwiched between metals such as Ti, Mo, Ta, Cr, and W may be used.

図61の第3の絶縁膜10108、図62(A)の第3の絶縁膜10208、図62(B)の第3の絶縁膜10238、図62(B)の第3の導電層10239、図63(A)の第3の絶縁膜10308、図63(B)の第3の絶縁膜10338および第4の絶縁膜10349としては、無機材料(酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコンなど)あるいは、低誘電率の有機化合物材料(感光性または非感光性の有機樹脂材料)などを用いることができる。あるいは、シロキサンを含む材料を用いることもできる。なお、シロキサンは、シリコン(Si)と酸素(O)との結合で骨格構造が構成される材料である。置換基として、少なくとも水素を含む有機基(例えばアルキル基、アリール基)が用いられる。あるいは、置換基としてフルオロ基を用いてもよい。あるいは、置換基として、少なくとも水素を含む有機基と、フルオロ基とを用いてもよい。   The third insulating film 10108 in FIG. 61, the third insulating film 10208 in FIG. 62A, the third insulating film 10238 in FIG. 62B, the third conductive layer 10239 in FIG. As the third insulating film 10308 in FIG. 63A, the third insulating film 10338, and the fourth insulating film 10349 in FIG. 63B, an inorganic material (such as silicon oxide, silicon nitride, or silicon oxynitride) or A low dielectric constant organic compound material (photosensitive or non-photosensitive organic resin material) or the like can be used. Alternatively, a material containing siloxane can be used. Siloxane is a material in which a skeleton structure is formed by a bond of silicon (Si) and oxygen (O). As a substituent, an organic group containing at least hydrogen (for example, an alkyl group or an aryl group) is used. Alternatively, a fluoro group may be used as a substituent. Alternatively, an organic group containing at least hydrogen and a fluoro group may be used as a substituent.

図61の第1の配向膜10110および第2の配向膜10112、図62(A)の第1の配向膜10210および第2の配向膜10212、図62(B)の第1の配向膜10240および第2の配向膜10242、図63(A)の第1の配向膜10310および第2の配向膜10312、図63(B)の第1の配向膜10340および第2の配向膜10342としては、ポリイミドなどの高分子膜を用いることができる。   The first alignment film 10110 and the second alignment film 10112 in FIG. 61, the first alignment film 10210 and the second alignment film 10212 in FIG. 62A, the first alignment film 10240 in FIG. As the second alignment film 10242, the first alignment film 10310 and the second alignment film 10312 in FIG. 63A, and the first alignment film 10340 and the second alignment film 10342 in FIG. A polymer film such as can be used.

次に、各液晶モードと、トランジスタとを、組み合わせた場合の画素構造について、画素の上面図(レイアウト図)を参照して説明する。   Next, a pixel structure in which each liquid crystal mode and a transistor are combined will be described with reference to a top view (layout diagram) of the pixel.

なお、液晶モードとしては、TN(Twisted Nematic)モード、IPS(In−Plane−Switching)モード、FFS(Fringe Field Switching)モード、MVA(Multi−domain Vertical Alignment)モード、PVA(Patterned Vertical Alignment)モード、ASM(Axially Symmetric aligned Micro−cell)モード、OCB(Optical Compensated Birefringence)モード、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)モード、AFLC(AntiFerroelectric Liquid Crystal)モードなどを用いることができる。   As the liquid crystal mode, a TN (Twisted Nematic) mode, an IPS (In-Plane-Switching) mode, an FFS (Fringe Field Switching) mode, an MVA (Multi-domain Vertical Alignment) mode, and a PVA (Pertified Pattern) mode are used. ASM (Axial Symmetrical Aligned Micro-cell) mode, OCB (Optically Compensated Birefringence) mode, FLC (Ferroelectric Liquid Crystal) mode, AFLC (Antirefractive Liquid mode) It can be used.

図64は、TN方式とトランジスタとを組み合わせた場合の画素の上面図の一例である。図64に示す画素構造を液晶表示装置に適用することによって、安価に液晶表示装置を製造することができる。   FIG. 64 is an example of a top view of a pixel in the case where a TN mode and a transistor are combined. By applying the pixel structure shown in FIG. 64 to a liquid crystal display device, the liquid crystal display device can be manufactured at low cost.

図64に示す画素は、走査線10401、映像信号線10402、容量線10403、トランジスタ10404、画素電極10405および画素容量10406を有している。   The pixel shown in FIG. 64 includes a scan line 10401, a video signal line 10402, a capacitor line 10403, a transistor 10404, a pixel electrode 10405, and a pixel capacitor 10406.

図65(A)は、MVA方式とトランジスタとを組み合わせた場合の、画素の上面図の一例である。図65(A)に示す画素構造を、液晶表示装置に適用することによって、視野角が大きく、応答速度が速く、コントラストの大きい液晶表示装置を得ることができる。   FIG. 65A is an example of a top view of a pixel in the case where an MVA method and a transistor are combined. By applying the pixel structure illustrated in FIG. 65A to a liquid crystal display device, a liquid crystal display device with a wide viewing angle, a high response speed, and a high contrast can be obtained.

図65(A)に示す画素は、走査線10501、映像信号線10502、容量線10503、トランジスタ10504、画素電極10505、画素容量10506および配向制御用突起10507を有する。   A pixel illustrated in FIG. 65A includes a scan line 10501, a video signal line 10502, a capacitor line 10503, a transistor 10504, a pixel electrode 10505, a pixel capacitor 10506, and an alignment control protrusion 10507.

図65(B)は、PVA方式とトランジスタとを組み合わせた場合の画素の上面図の一例である。図65(B)に示す画素構造を液晶表示装置に適用することによって、視野角が大きく、応答速度が速く、コントラストの大きい液晶表示装置を得ることができる。   FIG. 65B is an example of a top view of a pixel in the case where a PVA method and a transistor are combined. By applying the pixel structure shown in FIG. 65B to a liquid crystal display device, a liquid crystal display device with a wide viewing angle, a high response speed, and a high contrast can be obtained.

図65(B)に示す画素は、走査線10511、映像信号線10512、容量線10513、トランジスタ10514、画素電極10515、画素容量10516および電極切り欠き部10517を有する。   A pixel illustrated in FIG. 65B includes a scan line 10511, a video signal line 10512, a capacitor line 10513, a transistor 10514, a pixel electrode 10515, a pixel capacitor 10516, and an electrode notch portion 10517.

図66(A)は、IPS方式とトランジスタとを組み合わせた場合の、画素の上面図の一例である。図66(A)に示す画素構造を液晶表示装置に適用することによって、原理的に視野角が大きく、応答速度の階調依存性の小さい液晶表示装置を得ることができる。   FIG. 66A is an example of a top view of a pixel in the case where an IPS mode and a transistor are combined. By applying the pixel structure shown in FIG. 66A to a liquid crystal display device, a liquid crystal display device with a large viewing angle in principle and a small dependence of response speed on gray scale can be obtained.

図66(A)に示す画素は、走査線10601、映像信号線10602、共通電極10603、トランジスタ10604および画素電極10605を有する。   A pixel illustrated in FIG. 66A includes a scan line 10601, a video signal line 10602, a common electrode 10603, a transistor 10604, and a pixel electrode 10605.

図66(B)は、FFS方式とトランジスタとを組み合わせた場合の、画素の上面図である。図66(B)に示す画素構造を液晶表示装置に適用することによって、原理的に視野角が大きく、応答速度の階調依存性の小さい液晶表示装置を得ることができる。   FIG. 66B is a top view of a pixel in the case where the FFS method and a transistor are combined. By applying the pixel structure shown in FIG. 66B to a liquid crystal display device, a liquid crystal display device having a large viewing angle in principle and a small dependence of response speed on gray scale can be obtained.

図66(B)に示す画素は、走査線10611、映像信号線10612、共通電極10613、トランジスタ10614および画素電極10615を有する。   A pixel illustrated in FIG. 66B includes a scan line 10611, a video signal line 10612, a common electrode 10613, a transistor 10614, and a pixel electrode 10615.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, various drawings have been used. However, the contents (or part of the contents) described in each figure may be applied to the contents (or part of the contents) described in another figure. , Can be freely combined or replaced. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、本実施の形態の図の各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   The contents (may be a part) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (may be a part) described in the figure of another embodiment. It can be carried out. Further, with respect to each part of the drawings in this embodiment mode, a larger number of diagrams can be formed by combining parts of different embodiment modes.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合わせまたは置き換えを自由に行うことができる。   This embodiment is an example in which the content (may be a part) described in other embodiments is embodied, an example in which the content is slightly modified, an example in which a part is changed, and an improvement An example, an example when it is described in detail, an example when it is applied, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiment modes can be freely applied to, combined with, or replaced with this embodiment mode.

(実施の形態15)
本実施の形態においては、表示装置の画素の構成および画素の動作について説明する。
(Embodiment 15)
In this embodiment mode, a structure of a pixel of a display device and an operation of the pixel will be described.

図67(A)、(B)は、デジタル時間階調駆動の一例を示すタイミングチャートである。図67(A)のタイミングチャートは、画素への信号書き込み期間(アドレス期間)と、発光期間(サステイン期間)とが、分離されている場合の駆動方法を示す。   67A and 67B are timing charts showing an example of digital time grayscale driving. The timing chart in FIG. 67A shows a driving method in the case where the signal writing period (address period) to the pixel and the light emission period (sustain period) are separated.

1表示領域分の画像を、完全に表示するための期間を1フレーム期間という。1フレーム期間は、複数のサブフレーム期間を有し、1サブフレーム期間は、アドレス期間とサステイン期間とを有する。アドレス期間Ta1〜Ta4は、全行分の画素への信号書き込みにかかる時間を示し、期間Tb1〜Tb4は一行分の画素(または一画素分)への信号書き込みにかかる時間を示している。サステイン期間Ts1〜Ts4は、画素へ書き込まれたビデオ信号にしたがって点灯または非点灯状態を維持する時間を示し、その長さの比をTs1:Ts2:Ts3:Ts4=2:2:2:2=8:4:2:1としている。また、どのサステイン期間で発光するかによって、階調を表現している。 A period for completely displaying an image for one display area is called one frame period. One frame period has a plurality of subframe periods, and one subframe period has an address period and a sustain period. The address periods Ta1 to Ta4 indicate the time required for signal writing to pixels for all rows, and the periods Tb1 to Tb4 indicate the time required for signal writing to pixels for one row (or one pixel). The sustain periods Ts1 to Ts4 indicate the time during which the lighting or non-lighting state is maintained according to the video signal written to the pixel, and the ratio of the lengths is Ts1: Ts2: Ts3: Ts4 = 2 3 : 2 2 : 2 1 : 2 0 = 8: 4: 2: 1. The gradation is expressed by the sustain period during which light is emitted.

ここで、図67(B)を参照して、i行目の画素行に着目して説明する。まず、アドレス期間Ta1において、1行目から順に、走査線に画素選択信号が入力され、アドレス期間Ta1のうち期間Tb1(i)において、i行目の画素が選択される。そして、i行目の画素が選択されているときに、信号線からi行目の画素へ、ビデオ信号が入力される。そして、i行目の画素にビデオ信号が書き込まれると、i行目の画素は再び信号が入力されるまでその信号を保持する。この書き込まれたビデオ信号によって、サステイン期間Ts1におけるi行目の画素の点灯、非点灯が制御される。同様に、アドレス期間Ta2、Ta3、Ta4においてi行目の画素へビデオ信号が入力され、そのビデオ信号によってサステイン期間Ts2、Ts3、Ts4におけるi行目の画素の点灯、非点灯が制御される。そして、それぞれのサブフレーム期間において、アドレス期間中は点灯せず、アドレス期間が終了した後、サステイン期間が始まり、点灯させるための信号が書き込まれている画素が点灯する。   Here, with reference to FIG. 67B, description will be made focusing on the i-th pixel row. First, in the address period Ta1, a pixel selection signal is input to the scanning line in order from the first row, and in the address period Ta1, a pixel in the i-th row is selected in the period Tb1 (i). Then, when the i-th row pixel is selected, a video signal is input from the signal line to the i-th row pixel. When a video signal is written to the i-th row pixel, the i-th row pixel holds the signal until the signal is input again. By this written video signal, lighting and non-lighting of the pixel in the i-th row in the sustain period Ts1 are controlled. Similarly, a video signal is input to the i-th row pixel in the address periods Ta2, Ta3, and Ta4, and lighting and non-lighting of the i-th row pixel in the sustain periods Ts2, Ts3, and Ts4 are controlled by the video signal. In each subframe period, the pixel is not lit during the address period, and after the address period ends, the sustain period starts, and the pixel in which a signal for lighting is written is lit.

ここでは4ビット階調を表現する場合について説明したが、ビット数および階調数はこれに限定されない。なお、点灯の順番はTs1、Ts2、Ts3、Ts4である必要はなく、ランダムでもよいし、複数に分割して発光をさせてもよい。なお、Ts1、Ts2、Ts3、Ts4の点灯時間は、2のべき乗にする必要はなく、同じ長さの点灯時間にしてもよいし、2のべき乗から少しだけずらしてもよい。   Here, the case where a 4-bit gradation is expressed has been described, but the number of bits and the number of gradations are not limited thereto. Note that the order of lighting does not have to be Ts1, Ts2, Ts3, and Ts4, and may be random or may be divided into a plurality of light sources. Note that the lighting times of Ts1, Ts2, Ts3, and Ts4 do not need to be a power of 2, but may be the same length of lighting time or may be slightly shifted from the power of 2.

続いて、画素への信号書き込み期間(アドレス期間)と、発光期間(サステイン期間)とが、分離されていない場合の駆動方法について説明する。ビデオ信号の書き込み動作が完了した行の画素は、次に画素へ信号が書き込まれるまで(または消去されるまで)、信号を保持する。書き込み動作から、次にこの画素へ信号が書き込まれるまでの期間を、データ保持時間という。そして、このデータ保持時間中は、画素に書き込まれたビデオ信号に従って、画素が点灯または非点灯となる。同じ動作が、最終行まで行われ、アドレス期間が終了する。そして、データ保持時間が終了した行から順に、次のサブフレーム期間の信号書き込み動作へ移る。   Next, a driving method in the case where the signal writing period (address period) to the pixel and the light emission period (sustain period) are not separated will be described. The pixels in the row where the video signal writing operation is completed hold the signal until the signal is written (or erased) to the pixel next time. The period from the writing operation to the next signal writing to this pixel is called the data holding time. During this data holding time, the pixel is turned on or off according to the video signal written to the pixel. The same operation is performed up to the last line, and the address period ends. Then, the signal writing operation in the next subframe period is started in order from the row where the data holding time has ended.

このように、信号書き込み動作が完了し、データ保持時間となると、画素へ書き込まれたビデオ信号に従って、直ちに画素が点灯または非点灯となる駆動方法の場合には、同時に2行に信号を入力できない。そのため、アドレス期間を重ならないようにしなければならないので、データ保持時間を、アドレス期間より短くすることができない。その結果、高階調表示が困難になる。   As described above, when the signal writing operation is completed and the data retention time is reached, in the driving method in which the pixels are immediately turned on or off according to the video signal written to the pixels, signals cannot be input to two rows at the same time. . Therefore, since the address periods must not overlap, the data holding time cannot be made shorter than the address period. As a result, high gradation display becomes difficult.

よって、消去期間を設けることにより、アドレス期間より短い、データ保持時間を設定する。消去期間を設け、アドレス期間より短いデータ保持時間を設定する場合の駆動方法について、図68(A)に示す。   Therefore, by providing an erasing period, a data holding time shorter than the address period is set. FIG. 68A shows a driving method in the case where an erasing period is provided and a data holding time shorter than the address period is set.

ここで、図68(B)を参照して、i行目の画素行に着目して説明する。アドレス期間Ta1において、1行目から順に、走査線に画素走査信号が入力され、画素が選択される。そして、期間Tb1(i)においてi行目の画素が選択されているときに、i行目の画素にビデオ信号が入力される。そして、i行目の画素にビデオ信号が書き込まれると、i行目の画素は、再び信号が入力されるまでその信号を保持する。この書き込まれたビデオ信号によって、サステイン期間Ts1(i)におけるi行目の画素の点灯、非点灯が制御される。つまり、i行目にビデオ信号の書き込み動作が完了したら、直ちに書き込まれたビデオ信号にしたがって、i行目の画素が点灯または非点灯の状態となる。同様に、アドレス期間Ta2、Ta3、Ta4においてi行目の画素へビデオ信号が入力され、そのビデオ信号によってサステイン期間Ts2、Ts3、Ts4におけるi行目の画素の点灯、非点灯が制御される。そして、サステイン期間Ts4(i)は、その終期を消去動作の開始によって設定される。なぜなら、i行目の消去時間Te(i)において、i行目の画素に書き込まれたビデオ信号に関わらず、強制的に非点灯となるからである。つまり、消去時間Te(i)が始まるとi行目の画素のデータ保持時間が終了する。   Here, the i-th pixel row will be described with reference to FIG. In the address period Ta1, a pixel scanning signal is input to the scanning line in order from the first row, and a pixel is selected. Then, when the i-th row pixel is selected in the period Tb1 (i), a video signal is input to the i-th row pixel. When a video signal is written to the i-th row pixel, the i-th row pixel holds the signal until the signal is input again. By the written video signal, lighting and non-lighting of the pixel in the i-th row in the sustain period Ts1 (i) are controlled. That is, when the video signal writing operation is completed in the i-th row, the pixel in the i-th row is turned on or off in accordance with the written video signal. Similarly, a video signal is input to the i-th row pixel in the address periods Ta2, Ta3, and Ta4, and lighting and non-lighting of the i-th row pixel in the sustain periods Ts2, Ts3, and Ts4 are controlled by the video signal. The end of the sustain period Ts4 (i) is set by starting the erase operation. This is because, during the erasing time Te (i) of the i-th row, the light is forcibly turned off regardless of the video signal written to the pixel of the i-th row. That is, when the erasing time Te (i) starts, the data holding time of the pixel in the i-th row ends.

よって、アドレス期間とサステイン期間とを分離せずに、アドレス期間より短いデータ保持時間を持つ、高階調かつデューティー比(1フレーム期間中の点灯期間の割合)の高い表示装置を提供することができる。瞬間輝度を低くすることが可能であるため、表示素子の信頼性の向上を図ることが可能である。   Therefore, it is possible to provide a display device having a high gradation and a high duty ratio (the ratio of the lighting period in one frame period) having a data retention time shorter than the address period without separating the address period and the sustain period. . Since the instantaneous luminance can be lowered, the reliability of the display element can be improved.

ここでは4ビット階調を表現する場合について説明したが、ビット数および階調数はこれに限定されない。また、点灯の順番はTs1、Ts2、Ts3、Ts4である必要はなく、ランダムでもよいし、複数に分割して発光をしてもよい。また、Ts1、Ts2、Ts3、Ts4の点灯時間は、2のべき乗にする必要はなく、同じ長さの点灯時間にしてもよいし、2のべき乗からずらしてもよい。   Here, the case where a 4-bit gradation is expressed has been described, but the number of bits and the number of gradations are not limited thereto. Further, the lighting order need not be Ts1, Ts2, Ts3, and Ts4, and may be random or may be divided into a plurality of light emission. Further, the lighting times of Ts1, Ts2, Ts3, and Ts4 do not need to be a power of 2, but may be the same lighting time or may be shifted from a power of 2.

デジタル時間階調駆動を適用可能な画素の構成および画素の動作について説明する。   A structure and operation of a pixel to which digital time gray scale driving can be applied will be described.

図69は、デジタル時間階調駆動を適用可能な画素構成の一例を示す図である。   FIG. 69 is a diagram illustrating an example of a pixel configuration to which digital time gray scale driving can be applied.

画素80300は、スイッチング用トランジスタ80301、駆動用トランジスタ80302、発光素子80304および容量素子80303を有している。スイッチング用トランジスタ80301は、ゲートが、走査線80306に接続され、第1電極(ソース電極およびドレイン電極の一方)が、信号線80305に接続され、第2電極(ソース電極およびドレイン電極の他方)が、駆動用トランジスタ80302のゲートに接続されている。駆動用トランジスタ80302は、ゲートが、容量素子80303を介して電源線80307に接続され、第1電極が、電源線80307に接続され、第2電極が、発光素子80304の第1電極(画素電極)に接続されている。発光素子80304の第2電極は、共通電極80308に相当する。   The pixel 80300 includes a switching transistor 80301, a driving transistor 80302, a light-emitting element 80304, and a capacitor 80303. The switching transistor 80301 has a gate connected to the scan line 80306, a first electrode (one of the source electrode and the drain electrode) connected to the signal line 80305, and a second electrode (the other of the source electrode and the drain electrode). Are connected to the gate of the driving transistor 80302. The driving transistor 80302 has a gate connected to the power supply line 80307 through the capacitor 80303, a first electrode connected to the power supply line 80307, and a second electrode connected to the first electrode (pixel electrode) of the light emitting element 80304. It is connected to the. The second electrode of the light emitting element 80304 corresponds to the common electrode 80308.

発光素子80304の第2電極(共通電極80308)には、低電源電位が設定されている。低電源電位とは、電源線80307に設定される高電源電位を基準にして、低電源電位<高電源電位を満たす電位であり、低電源電位としては例えばGND、0Vなどが設定されていてもよい。この高電源電位と、低電源電位との電位差を、発光素子80304に印加して、発光素子80304に電流を流す。ここで、発光素子80304を発光させるため、高電源電位と、低電源電位との電位差が、発光素子80304の順方向しきい値電圧以上となるように、それぞれの電位を設定する。   A low power supply potential is set for the second electrode (the common electrode 80308) of the light-emitting element 80304. The low power supply potential is a potential that satisfies the low power supply potential <the high power supply potential with reference to the high power supply potential set in the power supply line 80307. Even if GND, 0V, or the like is set as the low power supply potential, for example. Good. A potential difference between the high power supply potential and the low power supply potential is applied to the light emitting element 80304 so that a current flows through the light emitting element 80304. Here, in order to cause the light-emitting element 80304 to emit light, each potential is set so that the potential difference between the high power supply potential and the low power supply potential is equal to or higher than the forward threshold voltage of the light-emitting element 80304.

容量素子80303は、駆動用トランジスタ80302のゲート容量を代用して省略することも可能である。駆動用トランジスタ80302のゲート容量については、ソース領域、ドレイン領域またはLDD領域などと、ゲート電極とが重なって、オーバーラップしている領域で容量が形成されていてもよい。あるいは、チャネル領域と、ゲート電極との間で、容量が形成されていてもよい。   The capacitor 80303 can be omitted by using the gate capacitance of the driving transistor 80302 instead. With respect to the gate capacitance of the driving transistor 80302, the source region, the drain region, the LDD region, or the like may overlap with the gate electrode, and the capacitance may be formed in an overlapping region. Alternatively, a capacitor may be formed between the channel region and the gate electrode.

電圧入力電圧駆動方式の場合には、駆動用トランジスタ80302のゲートには、駆動用トランジスタ80302が十分にオンするか、オフするかの、2つの状態となるビデオ信号を入力する。つまり、駆動用トランジスタ80302は、線形領域で動作する。   In the case of the voltage input voltage driving method, a video signal that is in two states, that is, whether the driving transistor 80302 is sufficiently turned on or off is input to the gate of the driving transistor 80302. That is, the driving transistor 80302 operates in a linear region.

駆動用トランジスタ80302が、飽和領域で動作するようなビデオ信号を入力することで、発光素子80304に電流を流すことができる。発光素子80304が、電流に応じて輝度を決定するような素子であれば、発光素子80304の劣化による輝度の低下を抑制することができる。さらに、ビデオ信号をアナログとすることで、発光素子80304にビデオ信号に応じた電流を流すことができる。この場合、アナログ階調駆動ができる。   When the driving transistor 80302 inputs a video signal that operates in a saturation region, a current can flow through the light-emitting element 80304. If the light-emitting element 80304 is an element that determines luminance in accordance with current, reduction in luminance due to deterioration of the light-emitting element 80304 can be suppressed. Further, when the video signal is analog, current corresponding to the video signal can flow through the light-emitting element 80304. In this case, analog gradation driving can be performed.

しきい値電圧補正型と呼ばれる、画素の構成および動作について説明する。しきい値電圧補正型の画素は、デジタル時間階調駆動およびアナログ階調駆動に適用することができる。   A configuration and operation of a pixel called a threshold voltage correction type will be described. The threshold voltage correction type pixel can be applied to digital time gray scale driving and analog gray scale driving.

図70は、しきい値電圧補正型と呼ばれる画素の構成の一例を示す図である。   FIG. 70 is a diagram illustrating an example of a configuration of a pixel called a threshold voltage correction type.

図70に示す画素は、駆動用トランジスタ80600、第1のスイッチ80601、第2のスイッチ80602、第3のスイッチ80603、第1の容量素子80604、第2の容量素子80605および発光素子80620を有している。駆動用トランジスタ80600のゲートは、第1の容量素子80604と、第1のスイッチ80601とを、順に介して信号線80611と接続されている。また、駆動用トランジスタ80600のゲートは、第2の容量素子80605を介して、電源線80612と接続されている。駆動用トランジスタ80600の第1電極は、電源線80612と接続されている。駆動用トランジスタ80600の第2電極は、第3のスイッチ80603を介して、発光素子80620の第1の電極と接続されている。また、駆動用トランジスタ80600の第2電極は、第2のスイッチ80602を介して、駆動用トランジスタ80600のゲートと接続されている。発光素子80620の第2の電極は、共通電極80621に相当する。なお、第1のスイッチ80601、第2のスイッチ80602および第3のスイッチ80603は、それぞれ第1の走査線80613に入力される信号、第2の走査線80615に入力される信号および第3の走査線80614に入力される信号によって、オンとオフが制御されている。   70 includes a driving transistor 80600, a first switch 80601, a second switch 80602, a third switch 80603, a first capacitor element 80604, a second capacitor element 80605, and a light-emitting element 80620. ing. The gate of the driving transistor 80600 is connected to the signal line 80611 through the first capacitor 80604 and the first switch 80601 in this order. In addition, the gate of the driving transistor 80600 is connected to the power supply line 80612 through the second capacitor element 80605. A first electrode of the driving transistor 80600 is connected to the power supply line 80612. The second electrode of the driving transistor 80600 is connected to the first electrode of the light-emitting element 80620 through the third switch 80603. The second electrode of the driving transistor 80600 is connected to the gate of the driving transistor 80600 via the second switch 80602. The second electrode of the light-emitting element 80620 corresponds to the common electrode 80621. Note that the first switch 80601, the second switch 80602, and the third switch 80603 are a signal input to the first scan line 80613, a signal input to the second scan line 80615, and a third scan, respectively. On / off is controlled by a signal input to the line 80614.

図70に示す画素構成は、これに限定されない。例えば、図70に示す画素に新たにスイッチ、抵抗素子、容量素子、トランジスタまたは論理回路などを追加してもよい。例えば、第2のスイッチ80602を、Pチャネル型トランジスタまたはNチャネル型のトランジスタで構成し、第3のスイッチ80603を、第2のスイッチ80602とは別の極性のトランジスタで構成し、第2のスイッチ80602および第3のスイッチ80603を、同じ走査線で制御してもよい。   The pixel configuration illustrated in FIG. 70 is not limited to this. For example, a switch, a resistor, a capacitor, a transistor, a logic circuit, or the like may be newly added to the pixel illustrated in FIG. For example, the second switch 80602 is a P-channel transistor or an N-channel transistor, the third switch 80603 is a transistor having a polarity different from that of the second switch 80602, and the second switch The 80602 and the third switch 80603 may be controlled by the same scanning line.

電流入力型と呼ばれる画素の構成および動作について説明する。電流入力型の画素は、デジタル階調駆動およびアナログ階調駆動に適用することができる。   A structure and operation of a pixel called a current input type will be described. The current input type pixel can be applied to digital gradation driving and analog gradation driving.

図71は、電流入力型と呼ばれる画素の構成の一例を示す図である。   FIG. 71 is a diagram illustrating an example of a configuration of a pixel called a current input type.

図71に示す画素は、駆動用トランジスタ80700、第1のスイッチ80701、第2のスイッチ80702、第3のスイッチ80703、容量素子80704および発光素子80730を有している。駆動用トランジスタ80700のゲートは、第2のスイッチ80702と、第1のスイッチ80701とを順に介して、信号線80711に接続されている。駆動用トランジスタ80700のゲートは、容量素子80704を介して、電源線80712に接続されている。駆動用トランジスタ80700の第1電極は、電源線80712に接続されている。駆動用トランジスタ80700の第2電極は、第1のスイッチ80701を介して、信号線80711に接続されている。駆動用トランジスタ80700の第2電極は、第3のスイッチ80703を介して発光素子80730の第1の電極に接続されている。発光素子80730の第2の電極は、共通電極80731に相当する。なお、第1のスイッチ80701、第2のスイッチ80702および第3のスイッチ80703は、それぞれ第1の走査線80713に入力される信号、第2の走査線80714に入力される信号および第3の走査線80715に入力される信号によって、オンとオフが制御されている。   A pixel shown in FIG. 71 includes a driving transistor 80700, a first switch 80701, a second switch 80702, a third switch 80703, a capacitor 80704, and a light-emitting element 80730. The gate of the driving transistor 80700 is connected to the signal line 80711 through the second switch 80702 and the first switch 80701 in this order. The gate of the driving transistor 80700 is connected to the power supply line 80712 through the capacitor 80704. A first electrode of the driving transistor 80700 is connected to the power supply line 80712. A second electrode of the driving transistor 80700 is connected to the signal line 80711 through the first switch 80701. The second electrode of the driving transistor 80700 is connected to the first electrode of the light-emitting element 80730 through the third switch 80703. The second electrode of the light-emitting element 80730 corresponds to the common electrode 80731. Note that the first switch 80701, the second switch 80702, and the third switch 80703 are a signal input to the first scan line 80713, a signal input to the second scan line 80714, and a third scan, respectively. On / off is controlled by a signal input to a line 80715.

図71に示す画素構成は、これに限定されない。例えば、図71に示す画素に新たにスイッチ、抵抗素子、容量素子、トランジスタまたは論理回路などを追加してもよい。例えば、第1のスイッチ80701を、Pチャネル型トランジスタまたはNチャネル型トランジスタで構成し、第2のスイッチ80702を、第1のスイッチ80701と同じ極性のトランジスタで構成し、第1のスイッチ80701および第2のスイッチ80702を、同じ走査線で制御してもよい。第2のスイッチ80702は、駆動用トランジスタ80700のゲートと信号線80711との間に配置されていてもよい。   The pixel configuration illustrated in FIG. 71 is not limited to this. For example, a switch, a resistor, a capacitor, a transistor, a logic circuit, or the like may be newly added to the pixel illustrated in FIG. For example, the first switch 80701 is formed using a P-channel transistor or an N-channel transistor, the second switch 80702 is formed using a transistor having the same polarity as the first switch 80701, and the first switch 80701 and the second switch 80701 Two switches 80702 may be controlled by the same scanning line. The second switch 80702 may be disposed between the gate of the driving transistor 80700 and the signal line 80711.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, various drawings have been used. However, the contents (or part of the contents) described in each figure may be applied to the contents (or part of the contents) described in another figure. , Can be freely combined or replaced. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、本実施の形態の図の各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   The contents (may be a part) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (may be a part) described in the figure of another embodiment. It can be carried out. Further, with respect to each part of the drawings in this embodiment mode, a larger number of diagrams can be formed by combining parts of different embodiment modes.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合わせまたは置き換えを自由に行うことができる。   This embodiment is an example in which the content (may be a part) described in other embodiments is embodied, an example in which the content is slightly modified, an example in which a part is changed, and an improvement An example, an example when it is described in detail, an example when it is applied, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiment modes can be freely applied to, combined with, or replaced with this embodiment mode.

(実施の形態16)
本実施の形態においては、表示装置の画素構造について説明する。特に、有機EL素子を用いた表示装置の画素構造について説明する。
(Embodiment 16)
In this embodiment mode, a pixel structure of a display device is described. In particular, a pixel structure of a display device using an organic EL element will be described.

図72(A)は、1つの画素に、2つのトランジスタを有する画素の上面図(レイアウト図)の一例である。図72(B)は、図72(A)に示すX−X’の部分の断面図の一例である。   FIG. 72A is an example of a top view (layout diagram) of a pixel having two transistors in one pixel. FIG. 72B is an example of a cross-sectional view taken along line X-X ′ illustrated in FIG.

図72(A)は、第1のトランジスタ60105、第1の配線60106、第2の配線60107、第2のトランジスタ60108、第3の配線60111、対向電極60112、コンデンサ60113、画素電極60115、隔壁60116、有機導電体膜60117、有機薄膜60118および基板60119を示している。なお、第1のトランジスタ60105は、スイッチング用トランジスタとして、第2のトランジスタ60108は駆動用トランジスタとして、それぞれ用いられるのが好適である。また、第1の配線60106はゲート信号線として、第2の配線60107はソース信号線として、第3の配線60111は電流供給線として、それぞれ用いられるのが好適である。   FIG. 72A illustrates a first transistor 60105, a first wiring 60106, a second wiring 60107, a second transistor 60108, a third wiring 60111, a counter electrode 60112, a capacitor 60113, a pixel electrode 60115, and a partition wall 60116. , An organic conductor film 60117, an organic thin film 60118, and a substrate 60119 are shown. Note that the first transistor 60105 is preferably used as a switching transistor, and the second transistor 60108 is preferably used as a driving transistor. The first wiring 60106 is preferably used as a gate signal line, the second wiring 60107 is used as a source signal line, and the third wiring 60111 is preferably used as a current supply line.

第1のトランジスタ60105のゲート電極は、第1の配線60106と電気的に接続され、第1のトランジスタ60105のソース電極およびドレイン電極の一方は、第2の配線60107と電気的に接続され、第1のトランジスタ60105のソース電極およびドレイン電極の他方は、第2のトランジスタ60108のゲート電極およびコンデンサ60113の一方の電極と電気的に接続されている。なお、第1のトランジスタ60105のゲート電極は、複数のゲート電極によって構成されている。こうすることで、第1のトランジスタ60105の、オフ状態におけるリーク電流を低減することができる。   The gate electrode of the first transistor 60105 is electrically connected to the first wiring 60106. One of the source electrode and the drain electrode of the first transistor 60105 is electrically connected to the second wiring 60107. The other of the source electrode and the drain electrode of one transistor 60105 is electrically connected to the gate electrode of the second transistor 60108 and one electrode of the capacitor 60113. Note that the gate electrode of the first transistor 60105 includes a plurality of gate electrodes. Thus, leakage current in the off state of the first transistor 60105 can be reduced.

第2のトランジスタ60108のソース電極およびドレイン電極の一方は、第3の配線60111と電気的に接続され、第2のトランジスタ60108のソース電極およびドレイン電極の他方は、画素電極60115と電気的に接続されている。こうすることで、画素電極60115に流れる電流を、第2のトランジスタ60108によって制御することができる。   One of a source electrode and a drain electrode of the second transistor 60108 is electrically connected to the third wiring 60111, and the other of the source electrode and the drain electrode of the second transistor 60108 is electrically connected to the pixel electrode 60115. Has been. Accordingly, the current flowing through the pixel electrode 60115 can be controlled by the second transistor 60108.

画素電極60115上には、有機導電体膜60117が設けられ、さらに有機薄膜60118(有機化合物層)が設けられている。有機薄膜60118(有機化合物層)上には、対向電極60112が設けられている。なお、対向電極60112は、全ての画素で共通に接続されるように形成されていてもよく、シャドーマスクなどを用いてパターン形成されていてもよい。   An organic conductor film 60117 is provided over the pixel electrode 60115, and an organic thin film 60118 (organic compound layer) is further provided. A counter electrode 60112 is provided over the organic thin film 60118 (organic compound layer). Note that the counter electrode 60112 may be formed so as to be commonly connected to all the pixels, or may be patterned using a shadow mask or the like.

有機薄膜60118(有機化合物層)から発せられた光は、画素電極60115または対向電極60112のうちいずれかを透過して発せられる。   Light emitted from the organic thin film 60118 (organic compound layer) is emitted through either the pixel electrode 60115 or the counter electrode 60112.

図72(B)において、画素電極側、すなわちトランジスタなどが形成されている側に光が発せられる場合を下面放射、対向電極側に光が発せられる場合を上面放射と呼ぶ。   In FIG. 72B, the case where light is emitted to the pixel electrode side, that is, the side where a transistor or the like is formed is called bottom emission, and the case where light is emitted to the counter electrode side is called top emission.

下面放射の場合、画素電極60115は透明導電膜によって形成されるのが好適である。逆に、上面放射の場合、対向電極60112は透明導電膜によって形成されるのが好適である。   In the case of bottom emission, the pixel electrode 60115 is preferably formed using a transparent conductive film. Conversely, in the case of top emission, the counter electrode 60112 is preferably formed using a transparent conductive film.

カラー表示の発光装置においては、R,G,Bそれぞれの発光色を持つEL素子を作り分けてもよいし、単色のEL素子を全体一様に作り、カラーフィルタによってR,G,Bの発光を得るようにしてもよい。   In a light emitting device for color display, EL elements having emission colors of R, G, and B may be created separately, or monochromatic EL elements are formed uniformly and light emission of R, G, and B is performed by a color filter. May be obtained.

図72に示した構成はあくまで一例であり、画素レイアウト、断面構成、EL素子の電極の積層順などに関して、図72に示した構成以外にも、さまざまな構成をとることができる。また、発光素子は、図示した有機薄膜で構成される素子の他に、LEDのような結晶性の素子、無機薄膜で構成される素子など、さまざまな素子を用いることができる。   The configuration illustrated in FIG. 72 is merely an example, and various configurations other than the configuration illustrated in FIG. 72 can be taken with respect to the pixel layout, the cross-sectional configuration, the stacking order of the electrodes of the EL element, and the like. As the light emitting element, various elements such as a crystalline element such as an LED and an element composed of an inorganic thin film can be used in addition to the element composed of the illustrated organic thin film.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, various drawings have been used. However, the contents (or part of the contents) described in each figure may be applied to the contents (or part of the contents) described in another figure. , Can be freely combined or replaced. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、本実施の形態の図の各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   The contents (may be a part) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (may be a part) described in the figure of another embodiment. It can be carried out. Further, with respect to each part of the drawings in this embodiment mode, a larger number of diagrams can be formed by combining parts of different embodiment modes.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合わせまたは置き換えを自由に行うことができる。   This embodiment is an example in which the content (may be a part) described in other embodiments is embodied, an example in which the content is slightly modified, an example in which a part is changed, and an improvement An example, an example when it is described in detail, an example when it is applied, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiment modes can be freely applied to, combined with, or replaced with this embodiment mode.

(実施の形態17)
本実施の形態においては、EL素子の構造について説明する。特に、有機EL素子の構造について説明する。
(Embodiment 17)
In this embodiment, the structure of an EL element will be described. In particular, the structure of the organic EL element will be described.

混合接合型のEL素子の構成について説明する。その一例として、正孔注入材料からなる正孔注入層、正孔輸送材料からなる正孔輸送層、発光材料からなる発光層、電子輸送材料からなる電子輸送層、電子注入材料からなる電子注入層などが、明確に区別されるような積層構造ではなく、正孔注入材料、正孔輸送材料、発光材料、電子輸送材料、電子注入材料などの材料のうち、複数の材料が混合された層(混合層)を有する構成(以下、混合接合型のEL素子と表記する)について説明する。   The structure of the mixed junction type EL element will be described. For example, a hole injection layer made of a hole injection material, a hole transport layer made of a hole transport material, a light emitting layer made of a light emitting material, an electron transport layer made of an electron transport material, an electron injection layer made of an electron injection material It is not a layered structure that clearly distinguishes, but a layer in which a plurality of materials are mixed among materials such as a hole injection material, a hole transport material, a light emitting material, an electron transport material, and an electron injection material ( A structure having a mixed layer (hereinafter referred to as a mixed junction type EL element) will be described.

図73(A)、(B)、(C)、(D)および(E)は、混合接合型のEL素子の構造を示す模式図である。なお、陽極190101と陰極190102の間に挟まれた層が、EL層に相当する。   73A, 73B, 73C, 73D, and 73E are schematic views illustrating the structure of a mixed junction EL element. Note that a layer sandwiched between the anode 190101 and the cathode 190102 corresponds to an EL layer.

図73(A)に示される構成は、EL層が正孔輸送材料からなる正孔輸送領域190103と、電子輸送材料からなる電子輸送領域190104とを含んでいる。正孔輸送領域190103は、電子輸送領域190104よりも陽極側に位置している。また、正孔輸送領域190103と、電子輸送領域190104の間に、正孔輸送材料および電子輸送材料の両方を含む混合領域190105が設けられている。   The structure shown in FIG. 73A includes a hole transport region 190103 in which the EL layer is made of a hole transport material and an electron transport region 190104 made of an electron transport material. The hole transport region 190103 is located on the anode side with respect to the electron transport region 190104. In addition, a mixed region 190105 including both a hole transport material and an electron transport material is provided between the hole transport region 190103 and the electron transport region 190104.

陽極190101から陰極190102の方向に、混合領域190105内の正孔輸送材料の濃度が減少し、混合領域190105内の電子輸送材料の濃度が増加することを特徴とする。   In the direction from the anode 190101 to the cathode 190102, the concentration of the hole transport material in the mixed region 190105 decreases and the concentration of the electron transport material in the mixed region 190105 increases.

濃度勾配の設定の仕方は、自由に設定することが可能である。例えば、正孔輸送材料のみからなる正孔輸送領域190103が存在せず、正孔輸送材料および電子輸送材料の両方を含む混合領域190105内部で、各機能材料の濃度の割合が変化する(濃度勾配を有する)構成であってもよい。あるいは、正孔輸送材料のみからなる正孔輸送領域190103および電子輸送材料のみからなる電子輸送領域190104が存在せず、正孔輸送材料および電子輸送材料の両方を含む混合領域190105内部で、各機能材料の濃度の割合が変化する(濃度勾配を有する)構成であってもよい。あるいは、濃度の割合は、陽極または陰極からの距離に依存して変化する構成であってもよい。なお、濃度の割合の変化は連続的であってもよい。   The method of setting the concentration gradient can be set freely. For example, the hole transport region 190103 made of only the hole transport material does not exist, and the concentration ratio of each functional material changes in the mixed region 190105 including both the hole transport material and the electron transport material (concentration gradient). It may have a configuration. Alternatively, the hole transport region 190103 made only of the hole transport material and the electron transport region 190104 made only of the electron transport material do not exist, and each function is performed inside the mixed region 190105 including both the hole transport material and the electron transport material. A configuration in which the ratio of the concentration of the material changes (has a concentration gradient) may be employed. Alternatively, the concentration ratio may be changed depending on the distance from the anode or the cathode. The change in the concentration ratio may be continuous.

混合領域190105内に、発光材料が添加された領域190106を有する。発光材料によって、EL素子の発光色を制御することができる。また、発光材料によって、キャリアをトラップすることができる。発光材料としては、キノリン骨格を含む金属錯体、ベンゾオキサドール骨格を含む金属錯体、ベンゾチアゾ−ル骨格を含む金属錯体などの他、各種蛍光色素を用いることができる。これらの発光材料を添加することによって、EL素子の発光色を制御することができる。   In the mixed region 190105, a region 190106 to which a light-emitting material is added is provided. The emission color of the EL element can be controlled by the light emitting material. Further, carriers can be trapped by the light emitting material. As the light-emitting material, various fluorescent dyes can be used in addition to a metal complex including a quinoline skeleton, a metal complex including a benzoxador skeleton, a metal complex including a benzothiazol skeleton, and the like. By adding these light emitting materials, the light emission color of the EL element can be controlled.

陽極190101としては、効率よく正孔を注入するため、仕事関数の大きな電極材料を用いることが好ましい。例えば、インジウム錫酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、ZnO、SnOまたはInなどの透明電極を用いることができる。あるいは、透光性を有する必要が無いならば、陽極190101は、不透明の金属材料でもよい。 As the anode 190101, an electrode material having a high work function is preferably used in order to inject holes efficiently. For example, a transparent electrode such as indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), ZnO, SnO 2, or In 2 O 3 can be used. Alternatively, if it is not necessary to have a light-transmitting property, the anode 190101 may be an opaque metal material.

正孔輸送材料としては、芳香族アミン系の化合物などを用いることができる。   As the hole transport material, an aromatic amine compound or the like can be used.

電子輸送材料としては、キノリン誘導体、8−キノリノールまたはその誘導体を配位子とする金属錯体(特に、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(Alq))などを用いることができる。 As the electron transporting material, a metal complex having a quinoline derivative, 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand (particularly, tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq 3 )) or the like can be used.

陰極190102としては、効率よく電子を注入するため、仕事関数の小さな電極材料を用いることが好ましい。例えば、アルミニウム、インジウム、マグネシウム、銀、カルシウム、バリウム、リチウムなどの金属を単体で用いることができる。あるいは、これらの金属の合金であってもよいし、これらの金属と他の金属との合金であってもよい。   As the cathode 190102, an electrode material having a low work function is preferably used in order to inject electrons efficiently. For example, metals such as aluminum, indium, magnesium, silver, calcium, barium, and lithium can be used alone. Or the alloy of these metals may be sufficient and the alloy of these metals and another metal may be sufficient.

図73(A)とは異なる構成のEL素子の模式図を、図73(B)に示す。なお、図73(A)と同じ部分は同じ符号を用いて示し、説明は省略する。   A schematic view of an EL element having a structure different from that in FIG. 73A is illustrated in FIG. Note that the same portions as those in FIG. 73A are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図73(B)では、発光材料が添加された領域を有さない。しかし、電子輸送領域190104に添加する材料として、電子輸送性および発光性の両方を有する材料(電子輸送発光材料)、例えば、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(Alq)を用いる構成とすることによって、発光させることができる。 In FIG. 73B, there is no region to which the light-emitting material is added. However, as a material added to the electron transporting region 190104, a material having both electron transporting properties and light emitting properties (electron transporting light emitting material), for example, tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq 3 ) is used. , Can emit light.

あるいは、正孔輸送領域190103に添加する材料として、正孔輸送性および発光性の両方を有する材料(正孔輸送発光材料)を用いてもよい。   Alternatively, as a material added to the hole transporting region 190103, a material having both hole transporting properties and light emitting properties (hole transporting light emitting material) may be used.

図73(A)および図73(B)とは異なる構成のEL素子の模式図を図73(C)に示す。なお、図73(A)および図73(B)と同じ部分は同じ符号を用いて示し、説明は省略する。   FIG. 73C shows a schematic diagram of an EL element having a structure different from those in FIGS. 73A and 73B. Note that the same portions as those in FIGS. 73A and 73B are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図73(C)において、正孔輸送材料に比べて、最高被占分子軌道と最低空分子軌道とのエネルギー差が大きい正孔ブロッキング性材料が、混合領域190105内に添加された領域190107を有する。正孔ブロッキング性材料が添加された領域190107を、混合領域190105内の発光材料が添加された領域190106より、陰極190102側に配置することによって、キャリアの再結合率を上げ、発光効率を上げることができる。上記、正孔ブロッキング性材料が添加された領域190107を設ける構成は、特に、三重項励起子による発光(燐光)を利用するEL素子において有効である。   In FIG. 73C, a hole blocking material having a larger energy difference between the highest occupied molecular orbital and the lowest unoccupied molecular orbital than the hole transporting material has a region 190107 added in the mixed region 190105. . The region 190107 to which the hole blocking material is added is disposed closer to the cathode 190102 than the region 190106 to which the light emitting material is added in the mixed region 190105, thereby increasing the carrier recombination rate and increasing the light emission efficiency. Can do. The above structure in which the region 190107 to which a hole blocking material is added is provided is particularly effective in an EL element using light emission (phosphorescence) by triplet excitons.

図73(A)、図73(B)および図73(C)とは異なる構成のEL素子の模式図を図73(D)に示す。なお、図73(A)、図73(B)および図73(C)と同じ部分は同じ符号を用いて示し、説明は省略する。   FIG. 73D shows a schematic diagram of an EL element having a structure different from those in FIGS. 73A, 73B, and 73C. Note that the same portions as those in FIGS. 73A, 73B, and 73C are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図73(D)において、電子輸送材料に比べて、最高被占分子軌道と最低空分子軌道とのエネルギー差が大きい電子ブロッキング性材料が、混合領域190105内に添加された領域190108を有する。電子ブロッキング性材料が添加された領域190108を、混合領域190105内の発光材料が添加された領域190106より、陽極190101側に配置することによって、キャリアの再結合率を上げ、発光効率を上げることができる。上記、電子ブロッキング性材料が添加された領域190108を設ける構成は、特に、三重項励起子による発光(燐光)を利用するEL素子において有効である。   In FIG. 73D, an electron blocking material having a larger energy difference between the highest occupied molecular orbital and the lowest unoccupied molecular orbital than the electron transporting material has a region 190108 added in the mixed region 190105. By arranging the region 190108 to which the electron blocking material is added closer to the anode 190101 than the region 190106 to which the light emitting material is added in the mixed region 190105, the carrier recombination rate can be increased and the light emission efficiency can be increased. it can. The above structure in which the region 190108 to which an electron blocking material is added is provided is particularly effective in an EL element using light emission (phosphorescence) by triplet excitons.

図73(E)は、図73(A)、図73(B)、図73(C)および図73(D)とは異なる混合接合型のEL素子の構成を示す模式図である。図73(E)では、EL素子の電極に接するEL層の部分に、金属材料を添加した領域190109を有する構成の例を示す。図73(E)において、図73(A)〜図73(D)と同じ部分は同じ符号を用いて示し説明は省略する。図73(E)に示す構成は、例えば、陰極190102としてMgAg(Mg―Ag合金)を用い、電子輸送材料が添加された電子輸送領域190104の、陰極190102に接する領域にAl(アルミニウム)合金を添加した領域190109を有する構成であってもよい。上記構成によって、陰極の酸化を防止し、かつ、陰極からの電子の注入効率を高めることができる。こうして、混合接合型のEL素子では、その寿命を長くすることができる。また、駆動電圧も低くすることができる。   FIG. 73E is a schematic diagram illustrating a structure of a mixed-junction EL element which is different from those in FIGS. 73A, 73B, 73C, and 73D. FIG. 73E illustrates an example of a structure including a region 190109 to which a metal material is added in the portion of the EL layer in contact with the electrode of the EL element. 73E, the same portions as those in FIGS. 73A to 73D are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. The structure shown in FIG. 73E uses, for example, MgAg (Mg—Ag alloy) as the cathode 190102 and an Al (aluminum) alloy in a region in contact with the cathode 190102 in the electron transport region 190104 to which the electron transport material is added. A structure including the added region 190109 may be used. With the above structure, the cathode can be prevented from being oxidized and the efficiency of electron injection from the cathode can be increased. Thus, the life of the mixed junction type EL element can be extended. Further, the drive voltage can be lowered.

上記混合接合型のEL素子を作製する手法としては、共蒸着法などを用いることができる。   As a method for manufacturing the mixed junction type EL element, a co-evaporation method or the like can be used.

図73(A)〜図73(E)に示したような混合接合型のEL素子では、明確な層の界面が存在せず、電荷の蓄積を低減することができる。こうして、その寿命を長くすることができる。また、駆動電圧も低くすることができる。   In the mixed junction type EL element as shown in FIGS. 73A to 73E, there is no clear layer interface, and charge accumulation can be reduced. In this way, the lifetime can be extended. Further, the drive voltage can be lowered.

図73(A)〜図73(E)に示した構成は、自由に組み合わせて実施することが可能である。   The structures shown in FIGS. 73A to 73E can be implemented in any combination.

混合接合型のEL素子の構成は、これに限定されず、さまざまな構成を自由に用いることができる。   The structure of the mixed junction type EL element is not limited to this, and various structures can be freely used.

EL素子のEL層を構成する有機材料としては、低分子材料でも高分子材料でもよい。あるいは、これらの材料を両方用いてもよい。有機化合物材料として低分子材料を用いる場合は、蒸着法によって成膜することができる。一方、EL層として高分子材料を用いる場合では、高分子材料を溶媒に溶かし、スピン塗布法またはインクジェット方式で成膜することができる。   The organic material constituting the EL layer of the EL element may be a low molecular material or a high molecular material. Alternatively, both of these materials may be used. When a low molecular material is used as the organic compound material, the film can be formed by an evaporation method. On the other hand, in the case where a polymer material is used for the EL layer, the polymer material can be dissolved in a solvent and formed into a film by a spin coating method or an inkjet method.

EL層は、中分子材料によって構成されていてもよい。本明細書中において、中分子系有機発光材料とは、昇華性を有さず、かつ、重合度が20程度以下の有機発光材料を示すものとする。EL層として中分子材料を用いる場合では、インクジェット方式などで成膜することができる。   The EL layer may be made of a medium molecular material. In the present specification, the medium molecular organic light-emitting material refers to an organic light-emitting material having no sublimation property and having a degree of polymerization of about 20 or less. In the case where a medium molecular material is used for the EL layer, the EL layer can be formed by an inkjet method or the like.

低分子材料と、高分子材料と、中分子材料とを組み合わせて用いてもよい。   A low molecular material, a high molecular material, and a medium molecular material may be used in combination.

EL素子は、一重項励起子からの発光(蛍光)を利用するものでも、三重項励起子からの発光(燐光)を利用するものでも、どちらでもよい。   The EL element may be either one that uses light emission (fluorescence) from singlet excitons or one that uses light emission (phosphorescence) from triplet excitons.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, various drawings have been used. However, the contents (or part of the contents) described in each figure may be applied to the contents (or part of the contents) described in another figure. , Can be freely combined or replaced. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、本実施の形態の図の各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   The contents (may be a part) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (may be a part) described in the figure of another embodiment. It can be carried out. Further, with respect to each part of the drawings in this embodiment mode, a larger number of diagrams can be formed by combining parts of different embodiment modes.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合わせまたは置き換えを自由に行うことができる。   This embodiment is an example in which the content (may be a part) described in other embodiments is embodied, an example in which the content is slightly modified, an example in which a part is changed, and an improvement An example, an example when it is described in detail, an example when it is applied, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiment modes can be freely applied to, combined with, or replaced with this embodiment mode.

(実施の形態18)
本実施の形態においては、EL素子の構造について説明する。特に、無機EL素子の構造について説明する。
(Embodiment 18)
In this embodiment, the structure of an EL element will be described. In particular, the structure of the inorganic EL element will be described.

発光材料に用いる母体材料としては、硫化物、酸化物、窒化物を用いることができる。硫化物としては、例えば、硫化亜鉛(ZnS)、硫化カドミウム(CdS)、硫化カルシウム(CaS)、硫化イットリウム(Y)、硫化ガリウム(Ga)、硫化ストロンチウム(SrS)、硫化バリウム(BaS)などを用いることができる。酸化物としては、例えば、酸化亜鉛(ZnO)、酸化イットリウム(Y)などを用いることができる。窒化物としては、例えば、窒化アルミニウム(AlN)、窒化ガリウム(GaN)、窒化インジウム(InN)などを用いることができる。さらに、セレン化亜鉛(ZnSe)、テルル化亜鉛(ZnTe)なども用いることができる。また、硫化カルシウム−ガリウム(CaGa)、硫化ストロンチウム−ガリウム(SrGa)、硫化バリウム−ガリウム(BaGa)、などの3元系の混晶であってもよい。 As a base material used for the light-emitting material, sulfide, oxide, or nitride can be used. Examples of the sulfide include zinc sulfide (ZnS), cadmium sulfide (CdS), calcium sulfide (CaS), yttrium sulfide (Y 2 S 3 ), gallium sulfide (Ga 2 S 3 ), strontium sulfide (SrS), sulfide. Barium (BaS) or the like can be used. As the oxide, for example, zinc oxide (ZnO), yttrium oxide (Y 2 O 3 ), or the like can be used. As the nitride, for example, aluminum nitride (AlN), gallium nitride (GaN), indium nitride (InN), or the like can be used. Furthermore, zinc selenide (ZnSe), zinc telluride (ZnTe), or the like can also be used. Alternatively, a ternary mixed crystal such as calcium sulfide-gallium (CaGa 2 S 4 ), strontium sulfide-gallium (SrGa 2 S 4 ), or barium sulfide-gallium (BaGa 2 S 4 ) may be used.

局在型発光の発光中心として、マンガン(Mn)、銅(Cu)、サマリウム(Sm)、テルビウム(Tb)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)、ユーロピウム(Eu)、セリウム(Ce)、プラセオジウム(Pr)などを用いることができる。なお、電荷補償として、フッ素(F)、塩素(Cl)などのハロゲン元素が添加されていてもよい。   As emission centers of localized emission, manganese (Mn), copper (Cu), samarium (Sm), terbium (Tb), erbium (Er), thulium (Tm), europium (Eu), cerium (Ce), praseodymium (Pr) or the like can be used. Note that a halogen element such as fluorine (F) or chlorine (Cl) may be added as charge compensation.

一方、ドナー−アクセプター再結合型発光の発光中心として、ドナー準位を形成する第1の不純物元素およびアクセプター準位を形成する第2の不純物元素を含む、発光材料を用いることができる。第1の不純物元素は、例えば、フッ素(F)、塩素(Cl)、アルミニウム(Al)などを用いることができる。第2の不純物元素としては、例えば、銅(Cu)、銀(Ag)などを用いることができる。   On the other hand, a light-emitting material including a first impurity element that forms a donor level and a second impurity element that forms an acceptor level can be used as the emission center of donor-acceptor recombination light emission. For example, fluorine (F), chlorine (Cl), aluminum (Al), or the like can be used as the first impurity element. For example, copper (Cu), silver (Ag), or the like can be used as the second impurity element.

図74(A)〜図74(C)に発光素子として用いることのできる、薄膜型無機EL素子の一例を示す。図74(A)〜図74(C)において、発光素子は、第1の電極層120100、電界発光層120102および第2の電極層120103を含む。   74A to 74C illustrate an example of a thin-film inorganic EL element that can be used as a light-emitting element. 74A to 74C, the light-emitting element includes a first electrode layer 120100, an electroluminescent layer 120102, and a second electrode layer 120103.

図74(B)および図74(C)に示す発光素子は、図74(A)の発光素子において、電極層と、電界発光層との間に、絶縁膜を設ける構造である。図74(B)に示す発光素子は、第1の電極層120100と、電界発光層120102との間に、絶縁膜120104を有している。図74(C)に示す発光素子は、第1の電極層120100と、電界発光層120102との間に、絶縁膜120105を有し、第2の電極層120103と、電界発光層120102との間に、絶縁膜120106を有している。このように、絶縁膜は、電界発光層を挟持する一対の電極層のうち、一方の間にのみ設けてもよいし、両方の間に設けてもよい。また、絶縁膜は単層でもよいし、複数層を有する積層でもよい。   74B and 74C each have a structure in which an insulating film is provided between the electrode layer and the electroluminescent layer in the light-emitting element in FIG. 74A. A light-emitting element illustrated in FIG. 74B includes an insulating film 120104 between the first electrode layer 120100 and the electroluminescent layer 120102. A light-emitting element illustrated in FIG. 74C includes an insulating film 120105 between the first electrode layer 120100 and the electroluminescent layer 120102, and between the second electrode layer 120103 and the electroluminescent layer 120102. In addition, an insulating film 120106 is provided. Thus, the insulating film may be provided only between one of the pair of electrode layers sandwiching the electroluminescent layer, or may be provided between both. The insulating film may be a single layer or a stacked layer having a plurality of layers.

図75(A)〜図75(C)に、発光素子として用いることのできる分散型無機EL素子の一例を示す。図75(A)における発光素子は、第1の電極層120200、電界発光層120202および第2の電極層120203の積層構造を有し、電界発光層120202中に、バインダによって保持された発光材料120201を含む。   75A to 75C illustrate an example of a dispersion-type inorganic EL element that can be used as a light-emitting element. A light-emitting element in FIG. 75A has a stacked structure of a first electrode layer 120200, an electroluminescent layer 120202, and a second electrode layer 120203, and a light-emitting material 120201 held in the electroluminescent layer 120202 by a binder. including.

図75(B)および図75(C)に示す発光素子は、図75(A)の発光素子において、電極層と、電界発光層との間に、絶縁膜を設ける構造である。図75(B)に示す発光素子は、第1の電極層120200と、電界発光層120202との間に、絶縁膜120204を有している。図75(C)に示す発光素子は、第1の電極層120200と、電界発光層120202との間に、絶縁膜120205を有し、第2の電極層120203と、電界発光層120202との間に、絶縁膜120206を有している。このように、絶縁膜は、電界発光層を挟持する一対の電極層のうち、一方の間にのみ設けてもよいし、両方の間に設けてもよい。また、絶縁膜は、単層でもよいし、複数層を有する積層でもよい。 The light-emitting element illustrated in FIGS. 75B and 75C has a structure in which an insulating film is provided between the electrode layer and the electroluminescent layer in the light-emitting element in FIG. 75A. A light-emitting element illustrated in FIG. 75B includes an insulating film 120204 between the first electrode layer 120200 and the electroluminescent layer 120202. A light-emitting element illustrated in FIG. 75C includes an insulating film 120205 between the first electrode layer 120200 and the electroluminescent layer 120202, and between the second electrode layer 120203 and the electroluminescent layer 120202. In addition, an insulating film 120206 is provided. Thus, the insulating film may be provided only between one of the pair of electrode layers sandwiching the electroluminescent layer, or may be provided between both. The insulating film may be a single layer or a stacked layer including a plurality of layers.

図75(B)では、第1の電極層120200に接するように、絶縁膜120204が設けられているが、絶縁膜と電界発光層の順番を逆にして、第2の電極層120203に接するように絶縁膜120204を設けてもよい。   75B, the insulating film 120204 is provided so as to be in contact with the first electrode layer 120200; however, the order of the insulating film and the electroluminescent layer is reversed so as to be in contact with the second electrode layer 120203. An insulating film 120204 may be provided.

図74(B)における絶縁膜120104、図75(B)における絶縁膜120204のような、絶縁膜に用いることのできる材料は、絶縁耐圧が高く、緻密な膜質であることが好ましい。さらには、誘電率が高いことが好ましい。例えば、酸化シリコン(SiO)、酸化イットリウム(Y)、酸化チタン(TiO)、酸化アルミニウム(Al)、酸化ハフニウム(HfO)、酸化タンタル(Ta)、チタン酸バリウム(BaTiO)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)、チタン酸鉛(PbTiO)、窒化シリコン(Si)または酸化ジルコニウム(ZrO)など、もしくはこれらの混合膜または2種以上の積層膜を用いることができる。これらの絶縁膜は、スパッタリング、蒸着、CVDなどにより成膜することができる。絶縁膜は、これら絶縁材料の粒子を、バインダ中に分散して成膜してもよい。バインダ材料は、電界発光層に含まれるバインダと同様な材料、方法を用いて形成すればよい。膜厚は特に限定されることはないが、好ましくは10〜1000nmの範囲である。 A material that can be used for the insulating film, such as the insulating film 120104 in FIG. 74B and the insulating film 120204 in FIG. 75B, preferably has high withstand voltage and a dense film quality. Furthermore, it is preferable that the dielectric constant is high. For example, silicon oxide (SiO 2 ), yttrium oxide (Y 2 O 3 ), titanium oxide (TiO 2 ), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), hafnium oxide (HfO 2 ), tantalum oxide (Ta 2 O 5 ), Barium titanate (BaTiO 3 ), strontium titanate (SrTiO 3 ), lead titanate (PbTiO 3 ), silicon nitride (Si 3 N 4 ), zirconium oxide (ZrO 2 ), or a mixed film thereof or two or more kinds The laminated film can be used. These insulating films can be formed by sputtering, vapor deposition, CVD, or the like. The insulating film may be formed by dispersing particles of these insulating materials in a binder. The binder material may be formed using the same material and method as the binder contained in the electroluminescent layer. The film thickness is not particularly limited, but is preferably in the range of 10 to 1000 nm.

発光素子は、電界発光層を挟持する、一対の電極層間に電圧を印加することで発光が得られるが、直流駆動または交流駆動のいずれにおいても動作することができる。   The light emitting element emits light by applying a voltage between a pair of electrode layers sandwiching the electroluminescent layer, but can operate in either DC driving or AC driving.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, various drawings have been used. However, the contents (or part of the contents) described in each figure may be applied to the contents (or part of the contents) described in another figure. , Can be freely combined or replaced. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、本実施の形態の図の各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   The contents (may be a part) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (may be a part) described in the figure of another embodiment. It can be carried out. Further, with respect to each part of the drawings in this embodiment mode, a larger number of diagrams can be formed by combining parts of different embodiment modes.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合わせまたは置き換えを自由に行うことができる。   This embodiment is an example in which the content (may be a part) described in other embodiments is embodied, an example in which the content is slightly modified, an example in which a part is changed, and an improvement An example, an example when it is described in detail, an example when it is applied, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiment modes can be freely applied to, combined with, or replaced with this embodiment mode.

(実施の形態19)
本実施の形態においては、表示装置の一例、特に光学的な取り扱いを行なう場合について説明する。
(Embodiment 19)
In this embodiment, an example of a display device, particularly a case where optical handling is performed will be described.

図76(A)および(B)に示す背面投影型表示装置130100は、プロジェクタユニット130111、ミラー130112およびスクリーンパネル130101を備えている。その他に、スピーカ130102および操作スイッチ類130104を備えていてもよい。このプロジェクタユニット130111は、背面投影型表示装置130100の筐体130110の下部に配設され、映像信号に基づいて映像を映し出す投射光をミラー130112に向けて投射する。背面投影型表示装置130100は、スクリーンパネル130101の背面から投影される映像を表示する構成となっている。   A rear projection display device 130100 shown in FIGS. 76A and 76B includes a projector unit 130111, a mirror 130112, and a screen panel 130101. In addition, a speaker 130102 and operation switches 130104 may be provided. The projector unit 130111 is disposed below the casing 130110 of the rear projection display device 130100, and projects projection light that projects an image based on the image signal toward the mirror 130112. The rear projection display device 130100 is configured to display an image projected from the rear surface of the screen panel 130101.

一方、図77は、前面投影型表示装置130200を示している。前面投影型表示装置130200は、プロジェクタユニット130111および投射光学系130201を備えている。この投射光学系130201は、前面に配設するスクリーンなどに映像を投影する構成となっている。   On the other hand, FIG. 77 shows a front projection display device 130200. The front projection display device 130200 includes a projector unit 130111 and a projection optical system 130201. The projection optical system 130201 is configured to project an image on a screen or the like disposed on the front surface.

図76に示す背面投影型表示装置130100、図77に示す前面投影型表示装置130200に適用される、プロジェクタユニット130111の構成を以下に説明する。   The configuration of the projector unit 130111 applied to the rear projection display device 130100 shown in FIG. 76 and the front projection display device 130200 shown in FIG. 77 will be described below.

図78は、プロジェクタユニット130111の一構成例を示している。このプロジェクタユニット130111は、光源ユニット130301および変調ユニット130304を備えている。光源ユニット130301は、レンズ類を含んで構成される光源光学系130303と、光源ランプ130302を備えている。光源ランプ130302は、迷光が拡散しないように筐体内に収納されている。光源ランプ130302としては、大光量の光を放射可能な、例えば、高圧水銀ランプまたはキセノンランプなどが用いられる。光源光学系130303は、光学レンズ、偏光機能を有するフィルム、位相差を調節するためのフィルム、IRフィルムなどを適宜設けて構成される。そして、光源ユニット130301は、放射光が変調ユニット130304に入射するように配設されている。変調ユニット130304は、複数の表示パネル130308、カラーフィルタ、ダイクロイックミラー130305、全反射ミラー130306、位相差板130307、プリズム130309および投射光学系130310を備えている。光源ユニット130301から放射された光は、ダイクロイックミラー130305で複数の光路に分離される。   FIG. 78 shows a configuration example of the projector unit 130111. The projector unit 130111 includes a light source unit 130301 and a modulation unit 130304. The light source unit 130301 includes a light source optical system 130303 including lenses and a light source lamp 130302. The light source lamp 130302 is housed in the housing so that stray light does not diffuse. As the light source lamp 130302, for example, a high-pressure mercury lamp or a xenon lamp that can emit a large amount of light is used. The light source optical system 130303 is configured by appropriately providing an optical lens, a film having a polarization function, a film for adjusting a phase difference, an IR film, and the like. The light source unit 130301 is disposed so that the emitted light is incident on the modulation unit 130304. The modulation unit 130304 includes a plurality of display panels 130308, a color filter, a dichroic mirror 130305, a total reflection mirror 130306, a phase difference plate 130307, a prism 130309, and a projection optical system 130310. Light emitted from the light source unit 130301 is separated into a plurality of optical paths by the dichroic mirror 130305.

各光路には、所定の波長もしくは波長帯の光を透過するカラーフィルタと、表示パネル130308が備えられている。透過型である表示パネル130308は、映像信号に基づいて透過光を変調する。表示パネル130308を透過した各色の光は、プリズム130309に入射し投射光学系130310を通して、スクリーン上に映像を表示する。なお、フレネルレンズがミラーおよびスクリーンの間に配設されていてもよい。そして、プロジェクタユニット130111によって投射されミラーで反射される投影光は、フレネルレンズによって概略平行光に変換され、スクリーンに投影される。平行光は、主光線と光軸のずれが±10°以下であることが好ましい。より好ましくは、光線と光軸のずれが±5°以下であることが好ましい。   Each optical path is provided with a color filter that transmits light of a predetermined wavelength or wavelength band, and a display panel 130308. The transmissive display panel 130308 modulates transmitted light based on the video signal. The light of each color transmitted through the display panel 130308 enters the prism 130309, and displays an image on the screen through the projection optical system 130310. A Fresnel lens may be disposed between the mirror and the screen. The projection light projected by the projector unit 130111 and reflected by the mirror is converted into substantially parallel light by the Fresnel lens and projected onto the screen. The parallel light preferably has a deviation between the principal ray and the optical axis of ± 10 ° or less. More preferably, the deviation between the light beam and the optical axis is preferably ± 5 ° or less.

図79で示すプロジェクタユニット130111は、反射型表示パネル130407、反射型表示パネル130408および反射型表示パネル130409を備えた構成を示している。   A projector unit 130111 shown in FIG. 79 has a configuration including a reflective display panel 130407, a reflective display panel 130408, and a reflective display panel 130409.

図79で示すプロジェクタユニット130111は、光源ユニット130301と、変調ユニット130400を備えている。光源ユニット130301は、図78と同様の構成であってもよい。光源ユニット130301からの光は、ダイクロイックミラー130401、ダイクロイックミラー130402および全反射ミラー130403により、複数の光路に分けられて、偏光ビームスプリッタ130404、偏光ビームスプリッタ130405および偏光ビームスプリッタ130406に入射する。偏光ビームスプリッタ130404、偏光ビームスプリッタ130405および偏光ビームスプリッタ130406は、各色に対応する反射型表示パネル130407、反射型表示パネル130408および反射型表示パネル130409に対応して設けられている。反射型表示パネル130407、反射型表示パネル130408および反射型表示パネル130409は、映像信号に基づいて反射光を変調する。反射型表示パネル130407、反射型表示パネル130408および反射型表示パネル130409で反射された各色の光は、プリズム130410に入射することで合成されて、投射光学系130411を通して投射される。   A projector unit 130111 shown in FIG. 79 includes a light source unit 130301 and a modulation unit 130400. The light source unit 130301 may have the same configuration as that in FIG. The light from the light source unit 130301 is divided into a plurality of optical paths by the dichroic mirror 130401, the dichroic mirror 130402, and the total reflection mirror 130403, and is incident on the polarization beam splitter 130404, the polarization beam splitter 130405, and the polarization beam splitter 130406. The polarizing beam splitter 130404, the polarizing beam splitter 130405, and the polarizing beam splitter 130406 are provided corresponding to the reflective display panel 130407, the reflective display panel 130408, and the reflective display panel 130409 corresponding to each color. The reflective display panel 130407, the reflective display panel 130408, and the reflective display panel 130409 modulate reflected light based on the video signal. Light of each color reflected by the reflective display panel 130407, the reflective display panel 130408, and the reflective display panel 130409 is combined by being incident on the prism 130410, and is projected through the projection optical system 130411.

光源ユニット130301から放射された光は、ダイクロイックミラー130401で赤の波長領域の光のみを透過し、緑および青の波長領域の光を反射する。さらに、ダイクロイックミラー130402では、緑の波長領域の光のみが反射される。ダイクロイックミラー130401を透過した赤の波長領域の光は、全反射ミラー130403で反射され、偏光ビームスプリッタ130404へ入射する。また、青の波長領域の光は、偏光ビームスプリッタ130405へ入射し、緑の波長領域の光は偏光ビームスプリッタ130406に入射する。偏光ビームスプリッタ130404、偏光ビームスプリッタ130405および偏光ビームスプリッタ130406は、入射光をP偏光と、S偏光とに分離する機能を有し、かつP偏光のみを透過させる機能を有している。反射型表示パネル130407、反射型表示パネル130408および反射型表示パネル130409は、映像信号に基づいて、入射した光を偏光する。   Light emitted from the light source unit 130301 is transmitted through the dichroic mirror 130401 only in the red wavelength region and reflects in the green and blue wavelength regions. Further, the dichroic mirror 130402 reflects only light in the green wavelength region. The light in the red wavelength region that has passed through the dichroic mirror 130401 is reflected by the total reflection mirror 130403 and enters the polarization beam splitter 130404. Further, light in the blue wavelength region enters the polarization beam splitter 130405, and light in the green wavelength region enters the polarization beam splitter 130406. The polarizing beam splitter 130404, the polarizing beam splitter 130405, and the polarizing beam splitter 130406 have a function of separating incident light into P-polarized light and S-polarized light, and have a function of transmitting only P-polarized light. The reflective display panel 130407, the reflective display panel 130408, and the reflective display panel 130409 polarize incident light based on the video signal.

各色に対応する反射型表示パネル130407、反射型表示パネル130408および反射型表示パネル130409には、各色に対応するS偏光のみが入射する。なお、反射型表示パネル130407、反射型表示パネル130408および反射型表示パネル130409は、液晶パネルであってもよい。このとき、液晶パネルは、電界制御複屈折モード(ECB)で動作する。そして、液晶分子は、基板に対してある角度をもって垂直配向している。よって、反射型表示パネル130407、反射型表示パネル130408および反射型表示パネル130409は、画素がオフ状態にある時は、入射光の偏光状態を変化させないで反射させるように、表示分子が配向している。そして、画素がオン状態にある時は、表示分子の配向状態が変化し、入射光の偏光状態が変化する。   Only S-polarized light corresponding to each color is incident on the reflective display panel 130407, the reflective display panel 130408, and the reflective display panel 130409 corresponding to each color. Note that the reflective display panel 130407, the reflective display panel 130408, and the reflective display panel 130409 may be liquid crystal panels. At this time, the liquid crystal panel operates in an electric field controlled birefringence mode (ECB). The liquid crystal molecules are vertically aligned with a certain angle with respect to the substrate. Therefore, the reflective display panel 130407, the reflective display panel 130408, and the reflective display panel 130409 are arranged such that when the pixel is in the off state, the display molecules are aligned so that the incident light is reflected without changing the polarization state. Yes. When the pixel is in the on state, the orientation state of the display molecules changes, and the polarization state of incident light changes.

図79に示すプロジェクタユニット130111は、図76に示す背面投影型表示装置130100、および図77に示す前面投影型表示装置130200に適用することができる。   The projector unit 130111 shown in FIG. 79 can be applied to the rear projection display device 130100 shown in FIG. 76 and the front projection display device 130200 shown in FIG.

図80で示すプロジェクタユニットは、単板式の構成を示している。図80(A)に示したプロジェクタユニット130111は、光源ユニット130301、表示パネル130507、投射光学系130511および位相差板130504を備えている。投射光学系130511は、1つまたは複数のレンズにより構成されている。表示パネル130507には、カラーフィルタが備えられていてもよい。   The projector unit shown in FIG. 80 has a single-plate configuration. A projector unit 130111 shown in FIG. 80A includes a light source unit 130301, a display panel 130507, a projection optical system 130511, and a phase difference plate 130504. The projection optical system 130511 includes one or more lenses. The display panel 130507 may be provided with a color filter.

図80(B)は、フィールドシーケンシャル方式で動作する、プロジェクタユニット130111の構成を示している。フィールドシーケンシャル方式は、赤、緑、青などの各色の光を時間的にずらして順次表示パネルに入射させて、カラーフィルタ無しでカラー表示する方式である。特に、入力信号変化に対する応答速度の大きい表示パネルと組み合わせると、高精細な映像を表示することができる。図80(B)では、光源ユニット130301と、表示パネル130508の間に、赤、緑、青などの複数のカラーフィルタが備えられた回動式のカラーフィルタ板130505を備えている。   FIG. 80B shows the configuration of a projector unit 130111 that operates in a field sequential manner. The field sequential method is a method in which light of each color such as red, green, and blue is sequentially shifted and incident on a display panel to perform color display without a color filter. In particular, when combined with a display panel having a high response speed with respect to input signal changes, a high-definition image can be displayed. In FIG. 80B, a rotary color filter plate 130505 provided with a plurality of color filters such as red, green, and blue is provided between the light source unit 130301 and the display panel 130508.

図80(C)で示すプロジェクタユニット130111は、カラー表示の方式として、マイクロレンズを使った色分離方式の構成を示している。この方式は、マイクロレンズアレイ130506を、表示パネル130509の光入射側に備え、各色の光をそれぞれの方向から照明することで、カラー表示を実現する方式である。この方式を採用するプロジェクタユニット130111は、カラーフィルタによる光の損失が少ないので、光源ユニット130301からの光を有効に利用することができるという特徴を有している。図80(C)に示すプロジェクタユニット130111は、表示パネル130509に対して各色の光をそれぞれの方向から照明するように、ダイクロイックミラー130501、ダイクロイックミラー130502およびダイクロイックミラー130503を備えている。   A projector unit 130111 shown in FIG. 80C has a configuration of a color separation system using a microlens as a color display system. In this method, a microlens array 130506 is provided on the light incident side of the display panel 130509, and color display is realized by illuminating light of each color from each direction. The projector unit 130111 that employs this method has a feature that light from the light source unit 130301 can be effectively used because light loss due to the color filter is small. A projector unit 130111 shown in FIG. 80C includes a dichroic mirror 130501, a dichroic mirror 130502, and a dichroic mirror 130503 so as to illuminate the display panel 130509 with light of each color from each direction.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, various drawings have been used. However, the contents (or part of the contents) described in each figure may be applied to the contents (or part of the contents) described in another figure. , Can be freely combined or replaced. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   The contents (may be a part) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (may be a part) described in the figure of another embodiment. It can be carried out. Further, in the drawings of this embodiment mode, more drawings can be formed by combining each portion with a portion of another embodiment.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合わせまたは置き換えを自由に行うことができる。   This embodiment is an example in which the content (may be a part) described in other embodiments is embodied, an example in which the content is slightly modified, an example in which a part is changed, and an improvement An example, an example when it is described in detail, an example when it is applied, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiment modes can be freely applied to, combined with, or replaced with this embodiment mode.

(実施の形態20)
本実施の形態においては、電子機器の例について説明する。
(Embodiment 20)
In this embodiment, examples of electronic devices are described.

図81は表示パネル900101と、回路基板900111を組み合わせた表示パネルモジュールを示している。表示パネル900101は、画素部900102、走査線駆動回路900103および信号線駆動回路900104を有している。回路基板900111には、例えば、コントロール回路900112および信号分割回路900113などが形成されている。表示パネル900101と、回路基板900111とは、接続配線900114によって接続されている。接続配線には、FPCなどを用いることができる。   FIG. 81 shows a display panel module in which a display panel 900101 and a circuit board 900111 are combined. The display panel 900101 includes a pixel portion 900102, a scan line driver circuit 900103, and a signal line driver circuit 900104. On the circuit board 900111, for example, a control circuit 900112 and a signal dividing circuit 900113 are formed. The display panel 900101 and the circuit board 900111 are connected by a connection wiring 900114. An FPC or the like can be used for the connection wiring.

図86は、テレビ受像機の主要な構成を示すブロック図である。チューナ900201は、映像信号と音声信号を受信する。映像信号は、映像信号増幅回路900202と、映像信号増幅回路900202から出力される信号を、赤、緑、青の各色に対応した色信号に変換する、映像信号処理回路900203と、その映像信号を、駆動回路の入力仕様に変換するためのコントロール回路900212により処理される。コントロール回路900212は、走査線駆動回路900214と、信号線駆動回路900204に、それぞれ信号を出力する。そして、走査線駆動回路900214と、信号線駆動回路900204が、表示パネル900211を駆動する。デジタル駆動する場合には、信号線側に、信号分割回路900213を設け、入力デジタル信号をm個(mは正の整数)に分割して供給する構成としてもよい。   FIG. 86 is a block diagram illustrating a main configuration of a television receiver. A tuner 900201 receives a video signal and an audio signal. The video signal includes a video signal amplification circuit 900202, a video signal processing circuit 900203 that converts a signal output from the video signal amplification circuit 900202 into a color signal corresponding to each color of red, green, and blue, and the video signal. , And processed by the control circuit 900212 for conversion to the input specification of the drive circuit. The control circuit 900212 outputs signals to the scan line driver circuit 900214 and the signal line driver circuit 900204, respectively. Then, the scan line driver circuit 900214 and the signal line driver circuit 900204 drive the display panel 900211. In the case of digital driving, a signal dividing circuit 900213 may be provided on the signal line side, and an input digital signal may be divided into m pieces (m is a positive integer) and supplied.

チューナ900201で受信した信号のうち、音声信号は、音声信号増幅回路900205に送られ、その出力は音声信号処理回路900206を経て、スピーカ900207に供給される。制御回路900208は、受信局(受信周波数)および音量の制御情報を入力部900209から受け、チューナ900201または音声信号処理回路900206に信号を送出する。   Of the signals received by the tuner 900201, the audio signal is sent to the audio signal amplifier circuit 900205, and the output is supplied to the speaker 900207 via the audio signal processing circuit 900206. The control circuit 900208 receives the receiving station (reception frequency) and volume control information from the input unit 9000020, and sends a signal to the tuner 900201 or the audio signal processing circuit 900206.

図86とは別の形態の、表示パネルモジュールを組み込んだテレビ受像器について、図87(A)に示す。図87(A)において、筐体900301内に収められた表示画面900302は、表示パネルモジュールで形成される。なお、スピーカ900303、入力手段(操作キー900304、接続端子900305、センサ900306(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン900307)などが適宜備えられていてもよい。   A television receiver incorporating a display panel module, which is different from that in FIG. 86, is illustrated in FIG. In FIG. 87A, a display screen 900302 housed in a housing 900301 is formed using a display panel module. Note that the speaker 900303, input means (operation keys 900304, connection terminals 900305, sensors 900306 (force, displacement, position, velocity, acceleration, angular velocity, rotation speed, distance, light, liquid, magnetism, temperature, chemical substance, sound, time) , Including a function of measuring hardness, electric field, current, voltage, power, radiation, flow rate, humidity, gradient, vibration, odor, or infrared)), a microphone 930307), and the like.

図87(B)に、ワイヤレスでディスプレイのみを持ち運び可能なテレビ受像器を示す。このテレビ受像器には、表示部900313、スピーカ部900317、入力手段(操作キー900316、接続端子900318、センサ900319(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン900320)などが適宜備えられている。筐体900312には、バッテリーおよび信号受信器が収められており、そのバッテリーで表示部900313、スピーカ部900317、センサ900319およびマイクロフォン900320を駆動させる。バッテリーは、充電器900310で繰り返し充電が可能となっている。充電器900310は、映像信号を送受信することが可能で、その映像信号を、ディスプレイの信号受信器に送信することができる。図87(B)に示す装置は、操作キー900316によって制御される。あるいは、図87(B)に示す装置は、操作キー900316を操作することによって、充電器900310に信号を送ることが可能である。つまり、映像音声双方向通信装置であってもよい。あるいは、図87(B)に示す装置は、操作キー900316を操作することによって、充電器900310に信号を送り、さらに充電器900310が送信できる信号を、他の電子機器に受信させることによって、他の電子機器の通信制御も可能である。つまり、汎用遠隔制御装置であってもよい。なお、本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)を、表示部900313に適用することができる。   FIG. 87B illustrates a television receiver that can carry only a display wirelessly. This television receiver includes a display portion 900313, a speaker portion 900317, input means (operation keys 900316, a connection terminal 900318, a sensor 900319 (force, displacement, position, speed, acceleration, angular velocity, rotation speed, distance, light, liquid, Magnetic, temperature, chemical substance, sound, time, hardness, electric field, current, voltage, power, radiation, flow rate, humidity, gradient, vibration, odor or infrared, etc.), microphone 900320) etc. are provided as appropriate It has been. A housing 900312 houses a battery and a signal receiver, and the display portion 900313, the speaker portion 900317, the sensor 900319, and the microphone 900320 are driven by the battery. The battery can be repeatedly charged by the charger 900310. The charger 900310 can transmit and receive a video signal, and can transmit the video signal to a signal receiver of the display. The device illustrated in FIG. 87B is controlled by an operation key 900316. Alternatively, the device illustrated in FIG. 87B can send a signal to the charger 900310 by operating the operation keys 900316. That is, it may be a video / audio bidirectional communication device. Alternatively, the device illustrated in FIG. 87B operates by operating the operation key 900316 to transmit a signal to the charger 900310 and further cause the other electronic device to receive a signal that can be transmitted by the charger 900310. It is also possible to control communication of electronic devices. That is, a general-purpose remote control device may be used. Note that the contents (or part of the contents) described in each drawing of this embodiment mode can be applied to the display portion 900313.

次に、図88を参照して、携帯電話の構成例について説明する。   Next, a configuration example of a mobile phone will be described with reference to FIG.

表示パネル900501は、ハウジング900530に脱着自在に組み込まれる。ハウジング900530は、表示パネル900501のサイズに合わせて、形状または寸法を適宜変更することができる。表示パネル900501を固定したハウジング900530は、プリント基板900531に嵌入され、モジュールとして組み立てられる。   The display panel 900501 is incorporated in a housing 900530 so as to be detachable. The shape or dimension of the housing 900530 can be changed as appropriate in accordance with the size of the display panel 900501. A housing 900530 to which the display panel 900501 is fixed is fitted into the printed circuit board 900531 and assembled as a module.

表示パネル900501は、FPC900513を介して、プリント基板900531に接続される。プリント基板900531には、スピーカ900532、マイクロフォン900533、送受信回路900534、CPU、コントローラなどを含む信号処理回路900535およびセンサ900541(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)が形成されている。このようなモジュールと、操作キー900536、バッテリー900537、アンテナ900540を組み合わせ、筐体900539に収納する。表示パネル900501の画素部は、筐体900539に形成された開口窓から視認できように配置する。   The display panel 900501 is connected to the printed circuit board 900531 through the FPC 900531. A printed circuit board 900531 includes a speaker 900532, a microphone 900533, a transmission / reception circuit 900534, a signal processing circuit 900555 including a CPU, a controller, and a sensor 900541 (force, displacement, position, speed, acceleration, angular velocity, rotation speed, distance, light, liquid , Magnetic, temperature, chemical substance, sound, time, hardness, electric field, current, voltage, power, radiation, flow rate, humidity, gradient, vibration, smell or infrared). Such a module is combined with the operation key 90056, the battery 900577, and the antenna 900540 and housed in the housing 900539. The pixel portion of the display panel 900501 is arranged so as to be visible from an opening window formed in the housing 9000053.

表示パネル900501は、画素部と一部の周辺駆動回路(複数の駆動回路のうち動作周波数の低い駆動回路)を基板上にトランジスタを用いて一体形成し、一部の周辺駆動回路(複数の駆動回路のうち動作周波数の高い駆動回路)をICチップ上に形成し、そのICチップをCOG(Chip On Glass)で表示パネル900501に実装してもよい。あるいは、そのICチップを、TAB(Tape Automated Bonding)またはプリント基板を用いて、ガラス基板と接続してもよい。このような構成とすることで、表示装置の低消費電力化を図り、携帯電話機の一回の充電による使用時間を長くすることができる。また、携帯電話機の低コスト化を図ることができる。   In the display panel 900501, a pixel portion and some peripheral driver circuits (a driver circuit having a low operating frequency among a plurality of driver circuits) are formed over a substrate using transistors, and some peripheral driver circuits (a plurality of driver circuits) are formed. A driving circuit having a high operating frequency among the circuits) may be formed over the IC chip, and the IC chip may be mounted on the display panel 900501 using COG (Chip On Glass). Alternatively, the IC chip may be connected to the glass substrate using TAB (Tape Automated Bonding) or a printed circuit board. With such a structure, the power consumption of the display device can be reduced, and the usage time by one charge of the mobile phone can be extended. In addition, the cost of the mobile phone can be reduced.

図88に示した携帯電話は、さまざまな情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示する機能を有する。カレンダー、日付または時刻などを、表示部に表示する機能を有する。表示部に表示した情報を、操作または編集する機能を有する。さまざまなソフトウェア(プログラム)によって、処理を制御する機能を有する。無線通信機能を有する。無線通信機能を用いて、他の携帯電話、固定電話または音声通信機器と通話する機能を有する。無線通信機能を用いて、さまざまなコンピュータネットワークに接続する機能を有する。無線通信機能を用いて、さまざまなデータを送信または受信する機能を有する。着信、データの受信またはアラームに応じて、バイブレータが動作する機能を有する。着信、データの受信またはアラームに応じて、音が発生する機能を有する。なお、図88に示した携帯電話が有する機能はこれらに限定されず、さまざまな機能を有することができる。   The mobile phone shown in FIG. 88 has a function of displaying various information (still images, moving images, text images, and the like). It has a function of displaying a calendar, date or time on the display unit. It has a function of operating or editing information displayed on the display unit. It has a function of controlling processing by various software (programs). Has a wireless communication function. It has a function of making a call with another mobile phone, a fixed phone, or a voice communication device using a wireless communication function. It has a function of connecting to various computer networks using a wireless communication function. It has a function of transmitting or receiving various data using a wireless communication function. The vibrator has a function to operate in response to an incoming call, data reception or an alarm. It has a function to generate sound in response to an incoming call, data reception or alarm. Note that the functions of the cellular phone illustrated in FIG. 88 are not limited to these, and the cellular phone can have various functions.

図89(A)はディスプレイであり、筐体900711、支持台900712、表示部900713、スピーカ900717、LEDランプ900719、入力手段(接続端子900714、センサ900715(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン900716、操作キー900718)などを含む。図89(A)に示すディスプレイは、さまざまな情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能を有する。なお、図89(A)に示すディスプレイが有する機能はこれに限定されず、さまざまな機能を有することができる。   FIG. 89A shows a display, which includes a housing 900711, a support base 900712, a display portion 900713, a speaker 900717, an LED lamp 900719, input means (a connection terminal 900714, a sensor 900715 (force, displacement, position, velocity, acceleration, angular velocity). Includes functions to measure speed, distance, light, liquid, magnetism, temperature, chemical, sound, time, hardness, electric field, current, voltage, power, radiation, flow rate, humidity, gradient, vibration, odor or infrared 1), a microphone 900716, an operation key 900718) and the like. The display illustrated in FIG. 89A has a function of displaying various information (still images, moving images, text images, and the like) on the display portion. Note that the function of the display illustrated in FIG. 89A is not limited to this, and the display can have a variety of functions.

図89(B)はカメラであり、本体900731、表示部900732、シャッターボタン900736、スピーカ900740、LEDランプ900741、入力手段(受像部900733、操作キー900734、外部接続ポート900735、接続端子900737、センサ900738(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン900739)などを含む。図89(B)に示すカメラは、静止画を撮影する機能を有する。動画を撮影する機能を有する。撮影した画像(静止画、動画)を自動で補正する機能を有する。撮影した画像を、記録媒体(外部またはカメラに内臓)に保存する機能を有する。撮影した画像を、表示部に表示する機能を有する。なお、図89(B)に示すカメラが有する機能はこれに限定されず、さまざまな機能を有することができる。   FIG. 89B shows a camera, which includes a main body 900731, a display portion 900732, a shutter button 9000073, a speaker 900740, an LED lamp 900741, input means (an image receiving portion 900733, operation keys 900734, an external connection port 900735, a connection terminal 900737, a sensor 900738. (Force, displacement, position, velocity, acceleration, angular velocity, rotation speed, distance, light, liquid, magnetism, temperature, chemical substance, voice, time, hardness, electric field, current, voltage, power, radiation, flow rate, humidity, gradient , Including a function of measuring vibration, odor, or infrared)), a microphone 900739) and the like. The camera illustrated in FIG. 89B has a function of shooting a still image. Has a function to shoot movies. It has a function of automatically correcting captured images (still images, moving images). It has a function of storing captured images in a recording medium (externally or built in a camera). It has a function of displaying a photographed image on a display unit. Note that the function of the camera illustrated in FIG. 89B is not limited to this, and the camera can have a variety of functions.

図89(C)はコンピュータであり、本体900751、筐体900752、表示部900753、スピーカ900760、LEDランプ900761、リーダ/ライタ900762、入力手段(キーボード900754、外部接続ポート900755、ポインティングデバイス900756、接続端子900757、センサ900758(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン900759)などを含む。図89(C)に示すコンピュータは、さまざまな情報(静止画、動画、テキスト画像など)を、表示部に表示する機能を有する。さまざまなソフトウェア(プログラム)によって、処理を制御する機能を有する。無線通信または有線通信などの通信機能を有する。通信機能を用いて、さまざまなコンピュータネットワークに接続する機能を有する。通信機能を用いて、さまざまなデータを送信または受信する機能を有する。なお、図89(C)に示すコンピュータが有する機能はこれに限定されず、さまざまな機能を有することができる。   FIG. 89C shows a computer, which is a main body 900751, a housing 900722, a display portion 900733, a speaker 900760, an LED lamp 900761, a reader / writer 900762, input means (a keyboard 900754, an external connection port 900755, a pointing device 9000075, a connection terminal 900777, sensor 900780 (force, displacement, position, velocity, acceleration, angular velocity, rotation speed, distance, light, liquid, magnetism, temperature, chemical substance, sound, time, hardness, electric field, current, voltage, power, radiation, flow rate , Including the function of measuring humidity, gradient, vibration, odor or infrared)), and microphone 9000075). The computer illustrated in FIG. 89C has a function of displaying a variety of information (still images, moving images, text images, and the like) on a display portion. It has a function of controlling processing by various software (programs). It has a communication function such as wireless communication or wired communication. It has a function of connecting to various computer networks using a communication function. It has a function of transmitting or receiving various data using a communication function. Note that the function of the computer illustrated in FIG. 89C is not limited thereto, and the computer can have various functions.

図96(A)はモバイルコンピュータであり、本体901411、表示部901412、スイッチ901413、スピーカ901419、LEDランプ901420、入力手段(操作キー901414、赤外線ポート901415、接続端子901416、センサ901417(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン901418)などを含む。図96(A)に示すモバイルコンピュータは、さまざまな情報(静止画、動画、テキスト画像など)を、表示部に表示する機能を有する。表示部にタッチパネルの機能を有する。カレンダー、日付または時刻などを、表示する機能を表示部に有する。さまざまなソフトウェア(プログラム)によって、処理を制御する機能を有する。無線通信機能を有する。無線通信機能を用いて、さまざまなコンピュータネットワークに接続する機能を有する。無線通信機能を用いて、さまざまなデータを送信または受信する機能を有する。なお、図96(A)に示すモバイルコンピュータが有する機能はこれに限定されず、さまざまな機能を有することができる。   FIG. 96A illustrates a mobile computer, which includes a main body 901411, a display portion 901411, a switch 901413, a speaker 901419, an LED lamp 901420, input means (operation keys 901414, an infrared port 901415, a connection terminal 901416, a sensor 901417 (force, displacement, Position, velocity, acceleration, angular velocity, rotation speed, distance, light, liquid, magnetism, temperature, chemical, sound, time, hardness, electric field, current, voltage, power, radiation, flow rate, humidity, gradient, vibration, smell or Including a function of measuring infrared rays), a microphone 901418) and the like. A mobile computer illustrated in FIG. 96A has a function of displaying various kinds of information (a still image, a moving image, a text image, and the like) on a display portion. The display unit has a touch panel function. The display unit has a function of displaying a calendar, date or time. It has a function of controlling processing by various software (programs). Has a wireless communication function. It has a function of connecting to various computer networks using a wireless communication function. It has a function of transmitting or receiving various data using a wireless communication function. Note that the function of the mobile computer illustrated in FIG. 96A is not limited to this, and the mobile computer can have various functions.

図96(B)は記録媒体を備えた携帯型の画像再生装置(例えば、DVD再生装置)であり、本体901431、筐体901432、表示部A901433、表示部B901434、スピーカ部901437、LEDランプ901441、入力手段(記録媒体(DVDなど)読み込み部901435、操作キー901436、接続端子901438、センサ901439(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン901440)などを含む。表示部A901433は、主として画像情報を表示し、表示部B901434は、主として文字情報を表示する。   FIG. 96B illustrates a portable image playback device (eg, a DVD playback device) provided with a recording medium, which includes a main body 901431, a housing 901432, a display portion A901433, a display portion B901434, a speaker portion 901437, an LED lamp 901441, Input means (recording medium (DVD etc.) reading unit 901435, operation key 901436, connection terminal 901438, sensor 901439 (force, displacement, position, velocity, acceleration, angular velocity, rotation speed, distance, light, liquid, magnetism, temperature, chemical Materials, sound, time, hardness, electric field, current, voltage, power, radiation, flow rate, humidity, gradient, vibration, odor or infrared, etc.), microphone 901440) and the like. The display unit A901433 mainly displays image information, and the display unit B901434 mainly displays character information.

図96(C)はゴーグル型ディスプレイであり、本体901451、表示部901452、イヤホン901453、支持部901454、LEDランプ901459、スピーカ901458、入力手段(接続端子901455、センサ901456(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン901457)などを含む。図96(C)に示すゴーグル型ディスプレイは、外部から取得した画像(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能を有する。なお、図96(C)に示すゴーグル型ディスプレイが有する機能はこれに限定されず、さまざまな機能を有することができる。   FIG. 96C shows a goggle type display, which is a main body 901451, a display portion 901452, an earphone 901453, a support portion 901454, an LED lamp 901455, a speaker 901458, input means (a connection terminal 901455, a sensor 901456 (force, displacement, position, speed). Measure acceleration, angular velocity, rotational speed, distance, light, liquid, magnetism, temperature, chemical, voice, time, hardness, electric field, current, voltage, power, radiation, flow rate, humidity, gradient, vibration, smell or infrared A microphone 901457) and the like. The goggle type display shown in FIG. 96C has a function of displaying an externally acquired image (a still image, a moving image, a text image, or the like) on a display portion. Note that the function of the goggle display illustrated in FIG. 96C is not limited thereto, and the display can have a variety of functions.

図97(A)は携帯型遊技機であり、筐体901511、表示部901512、スピーカ部901513、記録媒体挿入部901515、LEDランプ901519、入力手段(操作キー901514、接続端子901516、センサ901517(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン901518)などを含む。図97(A)に示す携帯型遊技機は、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出して、表示部に表示する機能を有する。他の携帯型遊技機と無線通信して、情報を共有する機能を有する。なお、図97(A)に示す携帯型遊技機が有する機能はこれに限定されず、さまざまな機能を有することができる。   FIG. 97A illustrates a portable game machine, which includes a housing 901511, a display portion 901512, a speaker portion 901513, a recording medium insertion portion 901515, an LED lamp 901519, input means (operation keys 901514, a connection terminal 901516, a sensor 901517 (force , Displacement, position, velocity, acceleration, angular velocity, rotation speed, distance, light, liquid, magnetism, temperature, chemical, voice, time, hardness, electric field, current, voltage, power, radiation, flow rate, humidity, gradient, vibration , Including the function of measuring odors or infrared rays), microphones 901518) and the like. A portable game machine shown in FIG. 97A has a function of reading a program or data recorded in a recording medium and displaying the program or data on a display portion. It has a function of wirelessly communicating with other portable game machines and sharing information. Note that the portable game machine illustrated in FIG. 97A is not limited to this, and can have a variety of functions.

図97(B)はテレビ受像機能付きデジタルカメラであり、本体901531、表示部901532、スピーカ901534、シャッターボタン901535、LEDランプ901541、入力手段(操作キー901533、受像部901536、アンテナ901537、接続端子901538、センサ901539(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン901540)などを含む。図97(B)に示すテレビ受像機能付きデジタルカメラは、静止画を撮影する機能を有する。動画を撮影する機能を有する。撮影した画像を、自動で補正する機能を有する。アンテナから、さまざまな情報を取得する機能を有する。撮影した画像、またはアンテナから取得した情報を、保存する機能を有する。撮影した画像、またはアンテナから取得した情報を、表示部に表示する機能を有する。なお、図97(B)に示すテレビ受像機能付きデジタルカメラが有する機能はこれに限定されず、さまざまな機能を有することができる。   FIG. 97B illustrates a digital camera with a television receiving function, which includes a main body 901531, a display portion 901532, a speaker 901534, a shutter button 901535, an LED lamp 901541, input means (operation keys 901533, an image receiving portion 901536, an antenna 901537, a connection terminal 901538. , Sensor 901539 (force, displacement, position, velocity, acceleration, angular velocity, rotation speed, distance, light, liquid, magnetism, temperature, chemical substance, sound, time, hardness, electric field, current, voltage, power, radiation, flow rate, Including a function of measuring humidity, inclination, vibration, odor or infrared rays), a microphone 901540) and the like. The digital camera with a television reception function illustrated in FIG. 97B has a function of shooting a still image. Has a function to shoot movies. It has a function of automatically correcting a photographed image. It has a function to acquire various information from the antenna. It has a function of storing captured images or information acquired from an antenna. It has a function of displaying a photographed image or information acquired from an antenna on a display unit. Note that the function of the digital camera with a television reception function illustrated in FIG. 97B is not limited to this, and the digital camera can have a variety of functions.

図98は携帯型遊技機であり、筐体901611、第1表示部901612、第2表示部901613、スピーカ部901614、記録媒体挿入部901616、LEDランプ901620、入力手段(操作キー901615、接続端子901617、センサ901618(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン901619)などを含む。図98に示す携帯型遊技機は、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出して、表示部に表示する機能を有する。他の携帯型遊技機と無線通信して、情報を共有する機能を有する。なお、図98に示す携帯型遊技機が有する機能はこれに限定されず、さまざまな機能を有することができる。   FIG. 98 shows a portable game machine, which includes a chassis 901611, a first display portion 901612, a second display portion 901613, a speaker portion 901614, a recording medium insertion portion 901616, an LED lamp 901620, input means (operation keys 901615, connection terminals 901617). , Sensor 901618 (force, displacement, position, velocity, acceleration, angular velocity, rotation speed, distance, light, liquid, magnetism, temperature, chemical, sound, time, hardness, electric field, current, voltage, power, radiation, flow rate, Including a function of measuring humidity, gradient, vibration, odor or infrared light), microphone 901619) and the like. The portable game machine shown in FIG. 98 has a function of reading a program or data recorded on a recording medium and displaying the program or data on a display unit. It has a function of wirelessly communicating with other portable game machines and sharing information. Note that the functions of the portable game machine illustrated in FIG. 98 are not limited thereto, and the portable game machine can have various functions.

図89(A)〜図89(C)、図96(A)〜図96(C)、図97(A)〜図97(B)、および図98に示したように、電子機器は、何らかの情報を表示するための表示部を有することを特徴とする。   89 (A) to 89 (C), 96 (A) to 96 (C), 97 (A) to 97 (B), and 98, as shown in FIG. A display portion for displaying information is provided.

次に、半導体装置の応用例を説明する。   Next, application examples of the semiconductor device will be described.

図90に、半導体装置を、建造物と一体にして設けた例について示す。図90は、筐体900810、表示部900811、操作部であるリモコン装置900812、スピーカ部900813などを含む。半導体装置は、壁かけ型として建物と一体となっており、設置するスペースを広く必要とすることなく設置可能である。   FIG. 90 illustrates an example in which a semiconductor device is provided so as to be integrated with a building. FIG. 90 includes a housing 900810, a display portion 900811, a remote control device 900812 as an operation portion, a speaker portion 9000081, and the like. The semiconductor device is integrated with the building as a wall-hanging type, and can be installed without requiring a large installation space.

図91に、建造物内に半導体装置を、建造物と一体にして設けた別の例について示す。表示パネル900901は、ユニットバス900902と一体に取り付けられており、入浴者は表示パネル900901の視聴が可能になる。表示パネル900901は、入浴者が操作することで情報を表示する機能を有する。広告または娯楽手段として利用できる機能を有する。   FIG. 91 shows another example in which a semiconductor device is provided integrally with a building in the building. The display panel 900901 is integrally attached to the unit bath 900902, so that the bather can view the display panel 900901. The display panel 900901 has a function of displaying information when operated by a bather. It has a function that can be used as an advertising or entertainment means.

半導体装置は、図91で示したユニットバス900902の側壁だけではなく、さまざまな場所に設置することができる。例えば、鏡面の一部または浴槽自体と一体にするなどとしてもよい。このとき、表示パネル900901の形状は、鏡面または浴槽の形状に合わせたものとなっていてもよい。   The semiconductor device can be installed not only on the side wall of the unit bus 900902 shown in FIG. For example, it may be integrated with a part of the mirror surface or the bathtub itself. At this time, the shape of the display panel 900901 may be adapted to the shape of the mirror surface or the bathtub.

図92に、半導体装置を、建造物と一体にして設けた別の例について示す。表示パネル901002は、柱状体901001の曲面に合わせて湾曲させて取り付けられている。ここでは、柱状体901001を電柱として説明する。   FIG. 92 illustrates another example in which the semiconductor device is provided so as to be integrated with a building. The display panel 901002 is attached so as to be curved according to the curved surface of the columnar body 901001. Here, the columnar body 901001 is described as a utility pole.

図92に示す表示パネル901002は、人間の視点より高い位置に設けられている。電柱のように、屋外で林立している建造物に表示パネル901002を設置することで、不特定多数の視認者に広告を行なうことができる。表示パネル901002は、外部からの制御により、同じ画像を表示させること、および瞬時に画像を切替えることが容易であるため、極めて効率的な情報表示、および広告効果が期待できる。表示パネル901002に自発光型の表示素子を設けることで、夜間であっても、視認性の高い表示媒体として有用であるといえる。電柱に設置することで、表示パネル901002の電力供給手段の確保が容易である。災害発生時などの非常事態の際には、被災者に素早く正確な情報を伝達する手段ともなり得る。   A display panel 901002 shown in FIG. 92 is provided at a position higher than the human viewpoint. By installing the display panel 901002 on a building that stands outdoors like a utility pole, an advertisement can be made to an unspecified number of viewers. The display panel 901002 can easily display the same image and instantaneously switch the image by external control, so that highly efficient information display and advertising effect can be expected. By providing a self-luminous display element in the display panel 901002, it can be said that the display panel 901002 is useful as a display medium with high visibility even at night. By installing it on the utility pole, it is easy to secure the power supply means of the display panel 901002. In the event of an emergency such as a disaster, it can also be a means of quickly and accurately communicating information to the victims.

表示パネル901002としては、例えば、フィルム状の基板に有機トランジスタなどのスイッチング素子を設けて、表示素子を駆動することにより、画像を表示する表示パネルを用いることができる。   As the display panel 901002, for example, a display panel which displays an image by providing a switching element such as an organic transistor on a film-like substrate and driving the display element can be used.

本実施の形態において、建造物として壁、柱状体、ユニットバスを例としたが、本実施の形態はこれに限定されず、さまざまな建造物に半導体装置を設置することができる。   In this embodiment, a wall, a columnar body, and a unit bus are taken as examples of buildings, but this embodiment is not limited to this, and semiconductor devices can be installed in various buildings.

次に、半導体装置を、移動体と一体にして設けた例について示す。   Next, an example in which the semiconductor device is provided integrally with the moving body is described.

図93は、半導体装置を、自動車と一体にして設けた例について示した図である。表示パネル901102は、自動車の車体901101と一体に取り付けられており、車体の動作または車体内外から入力される情報を、オンデマンドに表示することができる。なお、ナビゲーション機能を有していてもよい。   FIG. 93 is a diagram illustrating an example in which a semiconductor device is provided integrally with an automobile. A display panel 901102 is attached integrally with a vehicle body 901101 of an automobile, and can display on-demand information on the operation of the vehicle body or information input from inside or outside the vehicle body. Note that a navigation function may be provided.

半導体装置は、図93で示した車体901101だけではなく、さまざまな場所に設置することができる。例えば、ガラス窓、ドア、ハンドル、シフトレバー、座席シート、ルームミラーなどと一体にしてもよい。このとき、表示パネル901102の形状は、設置するものの形状に合わせたものとなっていてもよい。   The semiconductor device can be installed not only in the vehicle body 901101 shown in FIG. For example, it may be integrated with a glass window, a door, a handle, a shift lever, a seat, a room mirror, and the like. At this time, the shape of the display panel 901102 may be adapted to the shape of what is to be installed.

図94は、半導体装置を、列車車両と一体にして設けた例について示した図である。   FIG. 94 is a diagram showing an example in which a semiconductor device is provided integrally with a train car.

図94(A)は、列車車両のドア901201のガラスに、表示パネル901202を設けた例について示した図である。従来の紙による広告に比べて、広告切替えの際に必要となる人件費がかからないという利点がある。表示パネル901202は、外部からの信号により表示部で表示される画像の切り替えを瞬時に行なうことが可能であるため、例えば、電車の乗降客の客層が入れ替わる時間帯ごとに表示パネルの画像を切り替えることができ、より効果的な広告効果が期待できる。   FIG. 94A is a diagram showing an example in which a display panel 901202 is provided on the glass of a door 901201 of a train car. Compared to conventional paper advertisements, there is an advantage that labor costs required for advertisement switching are not incurred. Since the display panel 901202 can instantaneously switch the image displayed on the display unit by a signal from the outside, for example, the display panel image is switched every time period when the customer class of passengers on the train is switched. More effective advertising effect can be expected.

図94(B)は、列車車両のドア901201のガラスの他に、ガラス窓901203、および天井901204に、表示パネル901202を設けた例について示した図である。このように、半導体装置は、従来では設置が困難であった場所に容易に設置することが可能であるため、効果的な広告効果を得ることができる。半導体装置は、外部からの信号により表示部で表示される画像の切り替えを瞬時に行なうことが可能であるため、広告切替え時のコストおよび時間が削減でき、より柔軟な広告の運用および情報伝達が可能となる。   FIG. 94B is a diagram showing an example in which a display panel 901202 is provided on a glass window 901203 and a ceiling 901204 in addition to the glass of the door 901201 of the train car. As described above, since the semiconductor device can be easily installed in a place where it has been difficult to install in the past, an effective advertising effect can be obtained. Since the semiconductor device can instantaneously switch the image displayed on the display unit by a signal from the outside, the cost and time at the time of advertisement switching can be reduced, and more flexible advertisement operation and information transmission can be achieved. It becomes possible.

半導体装置は、図94で示したドア901201、ガラス窓901203、および天井901204だけではなく、さまざまな場所に設置することができる。例えば、つり革、座席シート、てすり、床などと一体にしてもよい。このとき、表示パネル901202の形状は、設置するもの形状に合わせたものとなっていてもよい。   The semiconductor device can be installed not only in the door 901201, the glass window 901203, and the ceiling 901204 shown in FIG. For example, it may be integrated with a strap, a seat, a rail, a floor, or the like. At this time, the shape of the display panel 901202 may be matched with the shape of the display panel.

図95は、半導体装置を、旅客用飛行機と一体にして設けた例について示した図である。   FIG. 95 is a diagram illustrating an example in which a semiconductor device is provided integrally with a passenger airplane.

図95(A)は、旅客用飛行機の座席上部の天井901301に、表示パネル901302を設けたときの、使用時の形状について示した図である。表示パネル901302は、天井901301とヒンジ部901303を介して一体に取り付けられており、ヒンジ部901303の伸縮により乗客は表示パネル901302の視聴が可能になる。表示パネル901302は、乗客が操作することで情報を表示する機能を有する。また、広告または娯楽手段として、利用できる機能を有する。図95(B)に示すように、ヒンジ部を折り曲げて天井901301に格納することにより、離着陸時の安全に配慮することができる。なお、緊急時に表示パネルの表示素子を点灯させることで、情報伝達手段および誘導灯としても利用可能である。   FIG. 95A is a diagram showing a shape in use when a display panel 901302 is provided on the ceiling 901301 above the seat of a passenger airplane. The display panel 901302 is integrally attached via a ceiling 901301 and a hinge part 901303, and the passenger can view the display panel 901302 by expansion and contraction of the hinge part 901303. The display panel 901302 has a function of displaying information when operated by a passenger. Also, it has a function that can be used as an advertisement or entertainment means. As shown in FIG. 95 (B), safety at the time of takeoff and landing can be considered by folding the hinge part and storing it in the ceiling 901301. In addition, by turning on the display element of the display panel in an emergency, it can be used as an information transmission means and a guide light.

半導体装置は、図95で示した天井901301だけではなく、さまざまな場所に設置することができる。例えば、座席シート、座席テーブル、肘掛、窓などと一体にしてもよい。多数の人が同時に視聴できる大型の表示パネルを、機体の壁に設置してもよい。このとき、表示パネル901302の形状は、設置するもの形状に合わせたものとなっていてもよい。   The semiconductor device can be installed not only on the ceiling 901301 shown in FIG. For example, it may be integrated with a seat seat, a seat table, an armrest, a window and the like. A large display panel that can be viewed simultaneously by a large number of people may be installed on the wall of the aircraft. At this time, the shape of the display panel 901302 may be adapted to the shape of the object to be installed.

本実施の形態において、移動体としては電車車両本体、自動車車体、飛行機車体について例示したがこれに限定されず、自動二輪車、自動四輪車(自動車、バスなどを含む)、電車(モノレール、鉄道などを含む)、船舶など、さまざまなものに設置することができる。半導体装置は、外部からの信号により、移動体内における表示パネルの表示を瞬時に切り替えることが可能であるため、移動体に半導体装置を設置することにより、移動体を不特定多数の顧客を対象とした広告表示板、災害発生時の情報表示板、などの用途に用いることが可能となる。   In this embodiment, examples of the moving body include a train car body, an automobile body, and an airplane body. However, the present invention is not limited to this, and a motorcycle, an automobile (including an automobile, a bus, etc.), a train (monorail, railway) Etc.), and can be installed on various things such as ships. Since the semiconductor device can instantly switch the display of the display panel in the moving body by an external signal, installing the semiconductor device in the moving body targets a large number of unspecified customers. It can be used for applications such as advertisement display boards and information display boards in the event of a disaster.

本実施の形態において、さまざまな図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、これまでに述べた図において、各々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   In this embodiment mode, various drawings have been used. However, the contents (or part of the contents) described in each figure may be applied to the contents (or part of the contents) described in another figure. , Can be freely combined or replaced. Further, in the drawings described so far, more parts can be formed by combining each part with another part.

本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせまたは置き換えなどを自由に行うことができる。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成できる。   The contents (may be a part) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (may be a part) described in the figure of another embodiment. It can be carried out. Further, in the drawings of this embodiment mode, more drawings can be formed by combining each portion with a portion of another embodiment.

本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例および関連がある部分についての一例などを示している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合わせまたは置き換えを自由に行うことができる。   This embodiment is an example in which the content (may be a part) described in other embodiments is embodied, an example in which the content is slightly modified, an example in which a part is changed, and an improvement An example, an example when it is described in detail, an example when it is applied, an example of a related part, and the like are shown. Therefore, the contents described in other embodiment modes can be freely applied to, combined with, or replaced with this embodiment mode.

(実施の形態21)
以上に説明したように、本明細書には少なくとも以下の発明が含まれている。
(Embodiment 21)
As described above, the present specification includes at least the following inventions.

本発明の一は、液晶素子を有する画素と、駆動回路と、を有する液晶表示装置である。駆動回路は、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、第3のトランジスタと、第4のトランジスタと、第5のトランジスタと、第6のトランジスタと、第7のトランジスタと、第8のトランジスタと、を有している。なお、この駆動回路は、少なくとも一部に以下の接続関係を含んでいる。第1のトランジスタの第1の電極が、第4の配線に電気的に接続され、第1のトランジスタの第2の電極が、第3の配線に電気的に接続されている。第2のトランジスタの第1の電極が、第6の配線に電気的に接続され、第2のトランジスタの第2の電極が、第3の配線に電気的に接続されている。第3のトランジスタの第1の電極が、第5の配線に電気的に接続され、第3のトランジスタの第2の電極が、第2のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第3のトランジスタのゲート電極が、第5の配線に電気的に接続されている。第4のトランジスタの第1の電極が、第6の配線に電気的に接続され、第4のトランジスタの第2の電極が、第2のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第4のトランジスタのゲート電極が、第1のトランジスタのゲート電極に電気的に接続されている。第5のトランジスタの第1の電極が、第5の配線に電気的に接続され、第5のトランジスタの第2の電極が、第1のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第5のトランジスタのゲート電極が、第1の配線に電気的に接続されている。第6のトランジスタの第1の電極が、第6の配線に電気的に接続され、第6のトランジスタの第2の電極が、第1のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第6のトランジスタのゲート電極が、第2のトランジスタのゲート電極に電気的に接続されている。第7のトランジスタの第1の電極が、第6の配線に電気的に接続され、第7のトランジスタの第2の電極が、第1のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第7のトランジスタのゲート電極が、第2の配線に電気的に接続されている。第8のトランジスタの第1の電極が、第6の配線に電気的に接続され、第8のトランジスタの第2の電極が、第2のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第8のトランジスタのゲート電極が、第1の配線に電気的に接続されている。   One embodiment of the present invention is a liquid crystal display device including a pixel including a liquid crystal element and a driver circuit. The driver circuit includes a first transistor, a second transistor, a third transistor, a fourth transistor, a fifth transistor, a sixth transistor, a seventh transistor, and an eighth transistor. And have. This drive circuit includes at least a part of the following connection relationship. The first electrode of the first transistor is electrically connected to the fourth wiring, and the second electrode of the first transistor is electrically connected to the third wiring. The first electrode of the second transistor is electrically connected to the sixth wiring, and the second electrode of the second transistor is electrically connected to the third wiring. The first electrode of the third transistor is electrically connected to the fifth wiring, the second electrode of the third transistor is electrically connected to the gate electrode of the second transistor, and the third electrode A gate electrode of the transistor is electrically connected to the fifth wiring. The first electrode of the fourth transistor is electrically connected to the sixth wiring, the second electrode of the fourth transistor is electrically connected to the gate electrode of the second transistor, and the fourth electrode The gate electrode of the transistor is electrically connected to the gate electrode of the first transistor. The first electrode of the fifth transistor is electrically connected to the fifth wiring, the second electrode of the fifth transistor is electrically connected to the gate electrode of the first transistor, and the fifth electrode A gate electrode of the transistor is electrically connected to the first wiring. The first electrode of the sixth transistor is electrically connected to the sixth wiring, the second electrode of the sixth transistor is electrically connected to the gate electrode of the first transistor, and the sixth electrode The gate electrode of the transistor is electrically connected to the gate electrode of the second transistor. The first electrode of the seventh transistor is electrically connected to the sixth wiring, the second electrode of the seventh transistor is electrically connected to the gate electrode of the first transistor, and the seventh electrode A gate electrode of the transistor is electrically connected to the second wiring. The first electrode of the eighth transistor is electrically connected to the sixth wiring, the second electrode of the eighth transistor is electrically connected to the gate electrode of the second transistor, and the eighth electrode A gate electrode of the transistor is electrically connected to the first wiring.

上記液晶素子を有する画素と、駆動回路と、を有する液晶表示装置は、第1のトランジスタ乃至第8のトランジスタのチャネル長Lとチャネル幅Wの比W/Lの値の中で、第1のトランジスタのW/Lの値が最大となる駆動回路を含む構成であってもよい。   A liquid crystal display device including a pixel having the above liquid crystal element and a driver circuit has a first ratio of the channel length L to the channel width W of the first to eighth transistors. A configuration including a drive circuit that maximizes the value of W / L of the transistor may be used.

上記液晶素子を有する画素と、駆動回路と、を有する液晶表示装置は、第1のトランジスタのチャネル長Lとチャネル幅Wの比W/Lの値は、第5のトランジスタのチャネル長Lとチャネル幅Wの比W/Lの値の2倍以上5倍以下となる駆動回路を含む構成であってもよい。   In the liquid crystal display device including the pixel including the liquid crystal element and the driver circuit, the ratio W / L of the channel length L to the channel width W of the first transistor is equal to the channel length L and the channel of the fifth transistor. A configuration including a drive circuit that is not less than 2 times and not more than 5 times the value of the ratio W / L of the width W may be employed.

上記液晶素子を有する画素と、駆動回路と、を有する液晶表示装置は、第3のトランジスタのチャネル長Lは、第4のトランジスタのチャネル長Lよりも大きい場合を含む構成であってもよい。   The liquid crystal display device including the pixel including the liquid crystal element and the driver circuit may include a case where the channel length L of the third transistor is larger than the channel length L of the fourth transistor.

上記液晶素子を有する画素と、駆動回路と、を有する液晶表示装置は、第1のトランジスタの第2の電極と、第1のトランジスタのゲート電極との間に、容量素子が配置されているものを含む構成であってもよい。   In a liquid crystal display device including a pixel having the above liquid crystal element and a driver circuit, a capacitor element is disposed between the second electrode of the first transistor and the gate electrode of the first transistor. The structure containing these may be sufficient.

上記液晶素子を有する画素と、駆動回路と、を有する液晶表示装置は、第1のトランジスタ乃至第8のトランジスタは、Nチャネル型トランジスタであるものを含む構成であってもよい。   The liquid crystal display device including the pixel including the liquid crystal element and the driver circuit may include a structure in which the first transistor to the eighth transistor are N-channel transistors.

上記液晶素子を有する画素と、駆動回路と、を有する液晶表示装置は、第1のトランジスタ乃至第8のトランジスタは、半導体層としてアモルファスシリコンを用いるものを含む構成であってもよい。   The liquid crystal display device including the pixel including the liquid crystal element and the driver circuit may have a structure in which the first to eighth transistors include one using amorphous silicon as a semiconductor layer.

本発明の一は、液晶素子を有する画素と、第1の駆動回路と、第2の駆動回路と、を有する液晶表示装置である。第1の駆動回路と第2の駆動回路は少なくとも一部に以下の接続関係を含んでいる。第1の駆動回路は、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、第3のトランジスタと、第4のトランジスタと、第5のトランジスタと、第6のトランジスタと、第7のトランジスタと、第8のトランジスタと、を有している。第1のトランジスタの第1の電極が、第4の配線に電気的に接続され、第1のトランジスタの第2の電極が、第3の配線に電気的に接続されている。第2のトランジスタの第1の電極が、第6の配線に電気的に接続され、第2のトランジスタの第2の電極が、第3の配線に電気的に接続されている。第3のトランジスタの第1の電極が、第5の配線に電気的に接続され、第3のトランジスタの第2の電極が、第2のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第3のトランジスタのゲート電極が、第5の配線に電気的に接続されている。第4のトランジスタの第1の電極が、第6の配線に電気的に接続され、第4のトランジスタの第2の電極が、第2のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第4のトランジスタのゲート電極が、第1のトランジスタのゲート電極に電気的に接続されている。第5のトランジスタの第1の電極が、第5の配線に電気的に接続され、第5のトランジスタの第2の電極が、第1のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第5のトランジスタのゲート電極が、第1の配線に電気的に接続されている。第6のトランジスタの第1の電極が、第6の配線に電気的に接続され、第6のトランジスタの第2の電極が、第1のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第6のトランジスタのゲート電極が、第2のトランジスタのゲート電極に電気的に接続されている。第7のトランジスタの第1の電極が、第6の配線に電気的に接続され、第7のトランジスタの第2の電極が、第1のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第7のトランジスタのゲート電極が、第2の配線に電気的に接続されている。第8のトランジスタの第1の電極が、第6の配線に電気的に接続され、第8のトランジスタの第2の電極が、第2のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第8のトランジスタのゲート電極が、第1の配線に電気的に接続されている。また、第2の駆動回路は、第9のトランジスタと、第10のトランジスタと、第11のトランジスタと、第12のトランジスタと、第13のトランジスタと、第14のトランジスタと、第15のトランジスタと、第16のトランジスタと、を有している。第9のトランジスタの第1の電極が、第10の配線に電気的に接続され、第9のトランジスタの第2の電極が第9の配線に電気的に接続されている。第10のトランジスタの第1の電極が、第12の配線に電気的に接続され、第10のトランジスタの第2の電極が、第9の配線に電気的に接続されている。第11のトランジスタの第1の電極が、第11の配線に電気的に接続され、第11のトランジスタの第2の電極が、第10のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第11のトランジスタのゲート電極が、第11の配線に電気的に接続されている。第12のトランジスタの第1の電極が、第12の配線に電気的に接続され、第12のトランジスタの第2の電極が、第10のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第12のトランジスタのゲート電極が、第9のトランジスタのゲート電極に電気的に接続されている。第13のトランジスタの第1の電極が、第11の配線に電気的に接続され、第13のトランジスタの第2の電極が、第9のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第13のトランジスタのゲート電極が、第7の配線に電気的に接続されている。第14のトランジスタの第1の電極が、第12の配線に電気的に接続され、第14のトランジスタの第2の電極が、第9のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第14のトランジスタのゲート電極が、第10のトランジスタのゲート電極に電気的に接続されている。第15のトランジスタの第1の電極が、第12の配線に電気的に接続され、第15のトランジスタの第2の電極が、第9のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第15のトランジスタのゲート電極が、第8の配線に電気的に接続されている。第16のトランジスタの第1の電極が、第12の配線に電気的に接続され、第16のトランジスタの第2の電極が、第10のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第16のトランジスタのゲート電極が、第7の配線に電気的に接続されている。   One embodiment of the present invention is a liquid crystal display device including a pixel including a liquid crystal element, a first driver circuit, and a second driver circuit. The first drive circuit and the second drive circuit at least partially include the following connection relationship. The first driver circuit includes a first transistor, a second transistor, a third transistor, a fourth transistor, a fifth transistor, a sixth transistor, a seventh transistor, 8 transistors. The first electrode of the first transistor is electrically connected to the fourth wiring, and the second electrode of the first transistor is electrically connected to the third wiring. The first electrode of the second transistor is electrically connected to the sixth wiring, and the second electrode of the second transistor is electrically connected to the third wiring. The first electrode of the third transistor is electrically connected to the fifth wiring, the second electrode of the third transistor is electrically connected to the gate electrode of the second transistor, and the third electrode A gate electrode of the transistor is electrically connected to the fifth wiring. The first electrode of the fourth transistor is electrically connected to the sixth wiring, the second electrode of the fourth transistor is electrically connected to the gate electrode of the second transistor, and the fourth electrode The gate electrode of the transistor is electrically connected to the gate electrode of the first transistor. The first electrode of the fifth transistor is electrically connected to the fifth wiring, the second electrode of the fifth transistor is electrically connected to the gate electrode of the first transistor, and the fifth electrode A gate electrode of the transistor is electrically connected to the first wiring. The first electrode of the sixth transistor is electrically connected to the sixth wiring, the second electrode of the sixth transistor is electrically connected to the gate electrode of the first transistor, and the sixth electrode The gate electrode of the transistor is electrically connected to the gate electrode of the second transistor. The first electrode of the seventh transistor is electrically connected to the sixth wiring, the second electrode of the seventh transistor is electrically connected to the gate electrode of the first transistor, and the seventh electrode A gate electrode of the transistor is electrically connected to the second wiring. The first electrode of the eighth transistor is electrically connected to the sixth wiring, the second electrode of the eighth transistor is electrically connected to the gate electrode of the second transistor, and the eighth electrode A gate electrode of the transistor is electrically connected to the first wiring. The second driver circuit includes a ninth transistor, a tenth transistor, an eleventh transistor, a twelfth transistor, a thirteenth transistor, a fourteenth transistor, and a fifteenth transistor. , And a sixteenth transistor. The first electrode of the ninth transistor is electrically connected to the tenth wiring, and the second electrode of the ninth transistor is electrically connected to the ninth wiring. The first electrode of the tenth transistor is electrically connected to the twelfth wiring, and the second electrode of the tenth transistor is electrically connected to the ninth wiring. The first electrode of the eleventh transistor is electrically connected to the eleventh wiring, the second electrode of the eleventh transistor is electrically connected to the gate electrode of the tenth transistor, A gate electrode of the transistor is electrically connected to the eleventh wiring. The first electrode of the twelfth transistor is electrically connected to the twelfth wiring, the second electrode of the twelfth transistor is electrically connected to the gate electrode of the tenth transistor, The gate electrode of the transistor is electrically connected to the gate electrode of the ninth transistor. The first electrode of the thirteenth transistor is electrically connected to the eleventh wiring, the second electrode of the thirteenth transistor is electrically connected to the gate electrode of the ninth transistor, and the thirteenth A gate electrode of the transistor is electrically connected to the seventh wiring. The first electrode of the fourteenth transistor is electrically connected to the twelfth wiring, the second electrode of the fourteenth transistor is electrically connected to the gate electrode of the ninth transistor, and the fourteenth electrode The gate electrode of the transistor is electrically connected to the gate electrode of the tenth transistor. The first electrode of the fifteenth transistor is electrically connected to the twelfth wiring, the second electrode of the fifteenth transistor is electrically connected to the gate electrode of the ninth transistor, and the fifteenth A gate electrode of the transistor is electrically connected to the eighth wiring. The first electrode of the sixteenth transistor is electrically connected to the twelfth wiring, the second electrode of the sixteenth transistor is electrically connected to the gate electrode of the tenth transistor, and the sixteenth transistor A gate electrode of the transistor is electrically connected to the seventh wiring.

液晶素子を有する画素と、第1の駆動回路と、第2の駆動回路と、を有する液晶表示装置は、第4の配線と第10の配線とが電気的に接続され、第5の配線と第11の配線とが電気的に接続され、第6の配線と第12の配線とが電気的に接続されているものを含む構成であってもよい。   In a liquid crystal display device including a pixel including a liquid crystal element, a first driver circuit, and a second driver circuit, the fourth wiring and the tenth wiring are electrically connected, and the fifth wiring The configuration may include a configuration in which the eleventh wiring is electrically connected and the sixth wiring and the twelfth wiring are electrically connected.

液晶素子を有する画素と、第1の駆動回路と、第2の駆動回路と、を有する液晶表示装置は、第4の配線と第10の配線とは同一の配線であり、第5の配線と第11の配線とは同一の配線であり、第6の配線と第12の配線とは同一の配線であるものを含む構成であってもよい。   In a liquid crystal display device including a pixel including a liquid crystal element, a first driver circuit, and a second driver circuit, the fourth wiring and the tenth wiring are the same wiring, and the fifth wiring The eleventh wiring may be the same wiring, and the sixth wiring and the twelfth wiring may include the same wiring.

液晶素子を有する画素と、第1の駆動回路と、第2の駆動回路と、を有する液晶表示装置は、第3の配線と第9の配線とが、電気的に接続されているものを含む構成であってもよい。   A liquid crystal display device including a pixel having a liquid crystal element, a first driver circuit, and a second driver circuit includes a device in which a third wiring and a ninth wiring are electrically connected. It may be a configuration.

液晶素子を有する画素と、第1の駆動回路と、第2の駆動回路と、を有する液晶表示装置は、第3の配線と第9の配線とは同一の配線であるものを含む構成であってもよい。   A liquid crystal display device including a pixel having a liquid crystal element, a first driver circuit, and a second driver circuit includes a configuration in which the third wiring and the ninth wiring are the same wiring. May be.

液晶素子を有する画素と、第1の駆動回路と、第2の駆動回路と、を有する液晶表示装置は、第1のトランジスタ乃至第8のトランジスタのチャネル長Lとチャネル幅Wの比W/Lの値の中で、第1のトランジスタのW/Lの値が最大となり、第9のトランジスタ乃至第16のトランジスタのチャネル長Lとチャネル幅Wの比W/Lの値の中で、第9のトランジスタのW/Lの値が最大となるものを含む構成であってもよい。   A liquid crystal display device including a pixel having a liquid crystal element, a first driver circuit, and a second driver circuit has a ratio W / L of the channel length L to the channel width W of the first to eighth transistors. Among the values of the first transistor, the W / L value of the first transistor is the largest, and the value of the ratio W / L of the channel length L to the channel width W of the ninth to sixteenth transistors is the ninth. The transistor including the transistor having the maximum W / L value may be used.

液晶素子を有する画素と、第1の駆動回路と、第2の駆動回路と、を有する液晶表示装置は、第1のトランジスタのチャネル長Lとチャネル幅Wの比W/Lの値は、第5のトランジスタのチャネル長Lとチャネル幅Wの比W/Lの値の2倍以上5倍以下となり、第9のトランジスタのチャネル長Lとチャネル幅Wの比W/Lの値は、第13のトランジスタのチャネル長Lとチャネル幅Wの比W/Lの値の2倍以上5倍以下となるものを含む構成であってもよい。   In a liquid crystal display device having a pixel having a liquid crystal element, a first driver circuit, and a second driver circuit, the ratio W / L of the channel length L to the channel width W of the first transistor is 5 to 2 times the value of the ratio W / L of the channel length L and the channel width W of the transistor No. 5, and the value of the ratio W / L of the channel length L to the channel width W of the ninth transistor is The transistor may include a transistor having a ratio W / L of the channel length L to the channel width W of 2 to 5 times.

液晶素子を有する画素と、第1の駆動回路と、第2の駆動回路と、を有する液晶表示装置は、第3のトランジスタのチャネル長Lは、第4のトランジスタのチャネル長Lよりも大きく、第11のトランジスタのチャネル長Lは、第12のトランジスタのチャネル長Lよりも大きいものを含む構成であってもよい。   In a liquid crystal display device including a pixel having a liquid crystal element, a first driver circuit, and a second driver circuit, the channel length L of the third transistor is larger than the channel length L of the fourth transistor. The eleventh transistor may have a channel length L that is greater than the channel length L of the twelfth transistor.

液晶素子を有する画素と、第1の駆動回路と、第2の駆動回路と、を有する液晶表示装置は、第1のトランジスタの第2の電極と、第1のトランジスタのゲート電極との間に容量素子が配置され、第9のトランジスタの第2の電極と、第9のトランジスタのゲート電極との間に容量素子が配置されているものを含む構成であってもよい。   A liquid crystal display device including a pixel having a liquid crystal element, a first driver circuit, and a second driver circuit is provided between a second electrode of the first transistor and a gate electrode of the first transistor. A structure including a capacitor element and a capacitor element disposed between the second electrode of the ninth transistor and the gate electrode of the ninth transistor may be employed.

液晶素子を有する画素と、第1の駆動回路と、第2の駆動回路と、を有する液晶表示装置は、第1のトランジスタ乃至第16のトランジスタは、Nチャネル型トランジスタであるものを含む構成であってもよい。   A liquid crystal display device including a pixel having a liquid crystal element, a first driver circuit, and a second driver circuit includes a structure in which the first to sixteenth transistors are N-channel transistors. There may be.

液晶素子を有する画素と、第1の駆動回路と、第2の駆動回路と、を有する液晶表示装置は、第1のトランジスタ乃至第16のトランジスタは、半導体層としてアモルファスシリコンを用いるものを含む構成であってもよい。   A liquid crystal display device including a pixel having a liquid crystal element, a first driver circuit, and a second driver circuit includes a structure in which the first to sixteenth transistors use amorphous silicon as a semiconductor layer. It may be.

上述した液晶表示装置は、さまざまな電子機器に具備することができる。   The liquid crystal display device described above can be included in various electronic devices.

本実施の形態に示す液晶表示装置は、本明細書に記載されているものであり、したがって他の実施の形態と同様の作用効果を有する。   The liquid crystal display device described in this embodiment is described in this specification, and thus has the same effect as that of the other embodiments.

実施の形態1に示すフリップフロップの構成を説明する図。3A and 3B illustrate a structure of a flip-flop described in Embodiment 1. 図1で示したフリップフロップの動作を説明するタイミングチャート。2 is a timing chart illustrating the operation of the flip-flop illustrated in FIG. 1. 図1で示したフリップフロップの動作を説明する図。3A and 3B illustrate operation of the flip-flop illustrated in FIG. 1. 実施の形態1に示すフリップフロップの構成を説明する図。3A and 3B illustrate a structure of a flip-flop described in Embodiment 1. 実施の形態1に示すフリップフロップの構成を説明する図。3A and 3B illustrate a structure of a flip-flop described in Embodiment 1. 実施の形態1に示すフリップフロップの動作を説明するタイミングチャート。3 is a timing chart illustrating operation of the flip-flop described in Embodiment 1; 実施の形態1に示すシフトレジスタの構成を説明する図。FIG. 5 illustrates a structure of a shift register shown in Embodiment 1; 図7に示したシフトレジスタの動作を説明するタイミングチャート。8 is a timing chart illustrating operation of the shift register illustrated in FIG. 図7に示したシフトレジスタの動作を説明するタイミングチャート。8 is a timing chart illustrating operation of the shift register illustrated in FIG. 実施の形態1に示すシフトレジスタの構成を説明する図。FIG. 5 illustrates a structure of a shift register shown in Embodiment 1; 実施の形態1に示す表示装置の構成を説明する図。3A and 3B each illustrate a structure of a display device shown in Embodiment 1; 図11で示した表示装置の書き込み動作を説明するタイミングチャート。12 is a timing chart illustrating a writing operation of the display device illustrated in FIG. 11. 実施の形態1に示す表示装置の構成を説明する図。3A and 3B each illustrate a structure of a display device shown in Embodiment 1; 実施の形態1に示す表示装置の構成を説明する図。3A and 3B each illustrate a structure of a display device shown in Embodiment 1; 図14で示した表示装置の書き込み動作を説明するタイミングチャート。FIG. 15 is a timing chart illustrating a writing operation of the display device illustrated in FIG. 14. 実施の形態2に示すフリップフロップの動作を説明するタイミングチャート。6 is a timing chart illustrating operation of the flip-flop described in Embodiment 2. 実施の形態2に示すフリップフロップの動作を説明するタイミングチャート。6 is a timing chart illustrating operation of the flip-flop described in Embodiment 2. 実施の形態2に示すシフトレジスタの構成を説明する図。FIG. 5 illustrates a structure of a shift register described in Embodiment 2; 図18で示したシフトレジスタの動作を説明するタイミングチャート。FIG. 19 is a timing chart illustrating operation of the shift register illustrated in FIG. 18. 図18で示したシフトレジスタの動作を説明するタイミングチャート。FIG. 19 is a timing chart illustrating operation of the shift register illustrated in FIG. 18. 実施の形態2に示す表示装置の構成を説明する図。FIG. 6 illustrates a structure of a display device described in Embodiment 2; 実施の形態2に示す表示装置の構成を説明する図6A and 6B illustrate a structure of a display device described in Embodiment 2. 実施の形態3に示すフリップフロップの構成を説明する図。4A and 4B illustrate a structure of a flip-flop shown in Embodiment 3. 図23で示したフリップフロップの動作を説明するタイミングチャート。24 is a timing chart illustrating operation of the flip-flop illustrated in FIG. 実施の形態3に示すシフトレジスタの構成を説明する図。FIG. 5 illustrates a structure of a shift register shown in Embodiment 3; 図25で示したシフトレジスタの動作を説明するタイミングチャート。26 is a timing chart illustrating operation of the shift register illustrated in FIG. 実施の形態4に示すフリップフロップの構成を説明する図。FIG. 5 illustrates a structure of a flip-flop shown in Embodiment 4; 図27で示したフリップフロップの動作を説明するタイミングチャート。28 is a timing chart illustrating the operation of the flip-flop illustrated in FIG. 図5(A)に示したフリップフロップの上面図。FIG. 6 is a top view of the flip-flop illustrated in FIG. 図10に示したバッファの構成を説明する図。FIG. 11 is a diagram illustrating a configuration of a buffer illustrated in FIG. 10. 実施の形態5に示す信号線駆動回路の構成を説明する図。7A and 7B illustrate a structure of a signal line driver circuit described in Embodiment 5. 図31で示した信号線駆動回路の動作を説明するタイミングチャート。FIG. 32 is a timing chart illustrating operation of the signal line driver circuit illustrated in FIG. 31. FIG. 実施の形態5に示す信号線駆動回路の構成を説明する図。7A and 7B illustrate a structure of a signal line driver circuit described in Embodiment 5. 図33で示した信号線駆動回路の動作を説明するタイミングチャート。34 is a timing chart illustrating operation of the signal line driver circuit illustrated in FIG. 実施の形態5に示す信号線駆動回路の構成を説明する図。7A and 7B illustrate a structure of a signal line driver circuit described in Embodiment 5. 実施の形態6に示す保護ダイオードの構成を説明する図。7A and 7B illustrate a structure of a protection diode described in Embodiment 6. 実施の形態6に示す保護ダイオードの構成を説明する図。7A and 7B illustrate a structure of a protection diode described in Embodiment 6. 実施の形態6に示す保護ダイオードの構成を説明する図。7A and 7B illustrate a structure of a protection diode described in Embodiment 6. 実施の形態7に示す表示装置の構成を説明する図。8A and 8B illustrate a structure of a display device described in Embodiment 7. 本発明に係る半導体装置を製造するプロセスを説明する図。8A and 8B illustrate a process for manufacturing a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の構造を説明する図。6A and 6B illustrate a structure of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置の構造を説明する図。6A and 6B illustrate a structure of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置の構造を説明する図。6A and 6B illustrate a structure of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置の構造を説明する図。6A and 6B illustrate a structure of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置の駆動方法の一を説明する図。8A and 8B illustrate one method for driving a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の駆動方法の一を説明する図。8A and 8B illustrate one method for driving a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の表示装置の構成を説明する図。6A and 6B illustrate a structure of a display device of a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の周辺回路構成を説明する図。FIG. 6 illustrates a peripheral circuit configuration of a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の周辺構成部材を説明する図。8A and 8B illustrate a peripheral component member of a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の周辺構成部材を説明する図。8A and 8B illustrate a peripheral component member of a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の周辺構成部材を説明する図。8A and 8B illustrate a peripheral component member of a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の周辺回路構成を説明する図。FIG. 6 illustrates a peripheral circuit configuration of a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の周辺構成部材を説明する図。8A and 8B illustrate a peripheral component member of a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置のパネル回路構成を説明する図。4A and 4B illustrate a panel circuit configuration of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置のパネル回路構成を説明する図。4A and 4B illustrate a panel circuit configuration of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置のパネル回路構成を説明する図。4A and 4B illustrate a panel circuit configuration of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置の表示素子の断面図。Sectional drawing of the display element of the semiconductor device which concerns on this invention. 本発明に係る半導体装置の表示素子の断面図。Sectional drawing of the display element of the semiconductor device which concerns on this invention. 本発明に係る半導体装置の表示素子の断面図。Sectional drawing of the display element of the semiconductor device which concerns on this invention. 本発明に係る半導体装置の表示素子の断面図。Sectional drawing of the display element of the semiconductor device which concerns on this invention. 本発明に係る半導体装置の画素の上面図。FIG. 6 is a top view of a pixel of a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の画素の上面図。FIG. 6 is a top view of a pixel of a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の画素の上面図。FIG. 6 is a top view of a pixel of a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の画素レイアウト例。4 illustrates a pixel layout example of a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の画素レイアウト例。4 illustrates a pixel layout example of a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の画素レイアウト例。4 illustrates a pixel layout example of a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の駆動方法の一を説明する図。8A and 8B illustrate one method for driving a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の駆動方法の一を説明する図。8A and 8B illustrate one method for driving a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の画素の構成を説明する図。4A and 4B each illustrate a structure of a pixel of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置の画素の構成を説明する図。4A and 4B each illustrate a structure of a pixel of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置の画素の構成を説明する図。4A and 4B each illustrate a structure of a pixel of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置の画素レイアウト例と断面図。4A and 4B are a pixel layout example and a cross-sectional view of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置の表示素子の断面図。Sectional drawing of the display element of the semiconductor device which concerns on this invention. 本発明に係る半導体装置の表示素子の断面図。Sectional drawing of the display element of the semiconductor device which concerns on this invention. 本発明に係る半導体装置の表示素子の断面図。Sectional drawing of the display element of the semiconductor device which concerns on this invention. 本発明に係る半導体装置の構造を説明する図。6A and 6B illustrate a structure of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置の構造を説明する図。6A and 6B illustrate a structure of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置の構造を説明する図。6A and 6B illustrate a structure of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置の構造を説明する図。6A and 6B illustrate a structure of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置の構造を説明する図。6A and 6B illustrate a structure of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置の構造を説明する図。6A and 6B illustrate a structure of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置の駆動方法の一を説明する図。8A and 8B illustrate one method for driving a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の駆動方法の一を説明する図。8A and 8B illustrate one method for driving a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の駆動方法の一を説明する図。8A and 8B illustrate one method for driving a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の駆動方法の一を説明する図。8A and 8B illustrate one method for driving a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る半導体装置の構造を説明する図。6A and 6B illustrate a structure of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置を用いた電子機器を説明する図。4A and 4B each illustrate an electronic device including a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置の構造を説明する図。6A and 6B illustrate a structure of a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置を用いた電子機器を説明する図。4A and 4B each illustrate an electronic device including a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置を用いた電子機器を説明する図。4A and 4B each illustrate an electronic device including a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置を用いた電子機器を説明する図。4A and 4B each illustrate an electronic device including a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置を用いた電子機器を説明する図。4A and 4B each illustrate an electronic device including a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置を用いた電子機器を説明する図。4A and 4B each illustrate an electronic device including a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置を用いた電子機器を説明する図。4A and 4B each illustrate an electronic device including a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置を用いた電子機器を説明する図。4A and 4B each illustrate an electronic device including a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置を用いた電子機器を説明する図。4A and 4B each illustrate an electronic device including a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置を用いた電子機器を説明する図。4A and 4B each illustrate an electronic device including a semiconductor device according to the invention. 本発明に係る半導体装置を用いた電子機器を説明する図。4A and 4B each illustrate an electronic device including a semiconductor device according to the invention. 図10に示したバッファの構成を説明する図。FIG. 11 is a diagram illustrating a configuration of a buffer illustrated in FIG. 10. 従来技術のフリップフロップの構成とタイミングを説明する図。The figure explaining the structure and timing of the flip-flop of a prior art.

符号の説明Explanation of symbols

101 トランジスタ
102 トランジスタ
103 トランジスタ
104 トランジスタ
105 トランジスタ
106 トランジスタ
107 トランジスタ
108 トランジスタ
109 トランジスタ
110 トランジスタ
141 ノード
142 ノード
501 配線
502 配線
503 配線
504 配線
505 配線
506 配線
507 配線
101 transistor 102 transistor 103 transistor 104 transistor 105 transistor 106 transistor 107 transistor 108 transistor 109 transistor 110 transistor 141 node 142 node 501 wiring 502 wiring 503 wiring 504 wiring 505 wiring 506 wiring 507 wiring

Claims (8)

第1乃至第8のトランジスタと、第1乃至第6の配線と、を有し、
前記第1のトランジスタの第1の電極が前記第5の配線と直接接続され、前記第1のトランジスタの第2の電極が前記第3の配線と直接接続され、
前記第2のトランジスタの第1の電極が前記第4の配線と直接接続され、前記第2のトランジスタの第2の電極が前記第3の配線と直接接続され、
前記第3のトランジスタの第1の電極が前記第6の配線と直接接続され、前記第3のトランジスタの第2の電極が前記第2のトランジスタのゲート電極と直接接続され、前記第3のトランジスタのゲート電極が前記第6の配線と直接接続され、
前記第4のトランジスタの第1の電極が前記第4の配線と直接接続され、前記第4のトランジスタの第2の電極が前記第2のトランジスタのゲート電極と直接接続され、前記第4のトランジスタのゲート電極が前記第1のトランジスタのゲート電極と直接接続され、
前記第5のトランジスタの第1の電極が前記第1の配線と直接接続され、前記第5のトランジスタの第2の電極が前記第1のトランジスタのゲート電極と直接接続され、前記第5のトランジスタのゲート電極が前記第1の配線と直接接続され、
前記第6のトランジスタの第1の電極が前記第4の配線と直接接続され、前記第6のトランジスタの第2の電極が前記第1のトランジスタのゲート電極と直接接続され、前記第6のトランジスタのゲート電極が前記第2のトランジスタのゲート電極と直接接続され、
前記第7のトランジスタの第1の電極が前記第4の配線と直接接続され、前記第7のトランジスタの第2の電極が前記第1のトランジスタのゲート電極と直接接続され、前記第7のトランジスタのゲート電極が前記第2の配線と直接接続され、
前記第のトランジスタの第1の電極が前記第の配線と直接接続され、前記第8のトランジスタの第2の電極が前記第2のトランジスタのゲート電極と直接接続され、前記第8のトランジスタのゲート電極が前記第1の配線と直接接続され
前記第7のトランジスタのW/L(Wはチャネル幅、Lはチャネル長)の値は、前記第1のトランジスタのW/Lの値の1/40倍以上、且つ1/10倍以下の値を有することを特徴とする半導体装置。
Having first to eighth transistors and first to sixth wirings;
A first electrode of the first transistor is directly connected to the fifth wiring; a second electrode of the first transistor is directly connected to the third wiring;
A first electrode of the second transistor is directly connected to the fourth wiring; a second electrode of the second transistor is directly connected to the third wiring;
A first electrode of the third transistor is directly connected to the sixth wiring; a second electrode of the third transistor is directly connected to a gate electrode of the second transistor; and Are directly connected to the sixth wiring,
A first electrode of the fourth transistor is directly connected to the fourth wiring; a second electrode of the fourth transistor is directly connected to a gate electrode of the second transistor; and A gate electrode of the first transistor is directly connected to the gate electrode of the first transistor;
The first electrode of the fifth transistor is directly connected to the first wiring, the second electrode of the fifth transistor is directly connected to the gate electrode of the first transistor, and the fifth transistor The gate electrode is directly connected to the first wiring,
The first electrode of the sixth transistor is directly connected to the fourth wiring, the second electrode of the sixth transistor is directly connected to the gate electrode of the first transistor, and the sixth transistor Is directly connected to the gate electrode of the second transistor,
A first electrode of the seventh transistor is directly connected to the fourth wiring; a second electrode of the seventh transistor is directly connected to a gate electrode of the first transistor; and The gate electrode is directly connected to the second wiring,
A first electrode of the eighth transistor is directly connected to the fourth wiring, a second electrode of the eighth transistor is directly connected to a gate electrode of the second transistor, and the eighth transistor The gate electrode is directly connected to the first wiring ,
The value of W / L (W is the channel width and L is the channel length) of the seventh transistor is a value that is not less than 1/40 times and not more than 1/10 times the W / L value of the first transistor. A semiconductor device comprising:
請求項1において、
第9及び第10のトランジスタと、第7乃至第9の配線と、を有し、
前記第9のトランジスタの第1の電極が前記第8の配線と直接接続され、前記第9のトランジスタの第2の電極が前記第7の配線と直接接続され、前記第9のトランジスタのゲート電極が前記第1のトランジスタのゲート電極と直接接続され、
前記第10のトランジスタの第1の電極が前記第9の配線と直接接続され、前記第10のトランジスタの第2の電極が前記第7の配線と直接接続され、前記第10のトランジスタのゲート電極が前記第2のトランジスタのゲート電極と直接接続されていることを特徴とする半導体装置。
In claim 1,
Having ninth and tenth transistors and seventh to ninth wirings;
The first electrode of the ninth transistor is directly connected to the eighth wiring, the second electrode of the ninth transistor is directly connected to the seventh wiring, and the gate electrode of the ninth transistor Is directly connected to the gate electrode of the first transistor,
The first electrode of the tenth transistor is directly connected to the ninth wiring, the second electrode of the tenth transistor is directly connected to the seventh wiring, and the gate electrode of the tenth transistor Is directly connected to the gate electrode of the second transistor.
請求項1又は請求項において、
前記第1のトランジスタのW/L(Wはチャネル幅、Lはチャネル長)の値は、前記第1乃至第8のトランジスタのW/Lの値の中で最も大きいことを特徴とする半導体装置。
In claim 1 or claim 2 ,
The value of W / L (W is the channel width and L is the channel length) of the first transistor is the largest of the W / L values of the first to eighth transistors. .
請求項1乃至請求項3のいずれか一項において、In any one of Claims 1 thru | or 3,
前記第1乃至第8のトランジスタのそれぞれは、酸化物半導体を有することを特徴とする半導体装置。Each of the first to eighth transistors includes an oxide semiconductor.
請求項1乃至請求項3のいずれか一項において、In any one of Claims 1 thru | or 3,
前記第1乃至第8のトランジスタのそれぞれは、ZnOを有することを特徴とする半導体装置。Each of the first to eighth transistors includes ZnO.
請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の半導体装置と、画素と、を有し、
前記画素は、表示素子を有し、
前記画素は、前記第3の配線と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置。
A semiconductor device according to any one of claims 1 to 5 and a pixel,
The pixel has a display element,
The display device is characterized in that the pixel is electrically connected to the third wiring.
請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の半導体装置と、画素と、を有し、
前記画素は、発光素子を有し、
前記画素は、前記第3の配線と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置。
A semiconductor device according to any one of claims 1 to 5 and a pixel,
The pixel has a light emitting element,
The display device is characterized in that the pixel is electrically connected to the third wiring.
請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の半導体装置と、画素と、を有し、
前記画素は、液晶素子を有し、
前記画素は、前記第3の配線と電気的に接続されていることを特徴とする液晶表示装置。
A semiconductor device according to any one of claims 1 to 5 and a pixel,
The pixel has a liquid crystal element,
The liquid crystal display device, wherein the pixel is electrically connected to the third wiring.
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