JP5446472B2 - 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 - Google Patents
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Description
互いに異なるピーク波長で発光する複数の発光層と、
前記複数の発光層のうちの1層に隣接して設けられる隣接層と、
陽極および陰極のうちの他方の第2電極とを有する有機エレクトロルミネッセンス素子であり、
前記複数の発光層および隣接層が前記第1電極と第2電極との間に配置され、
前記隣接層が、複数の発光層のうちで最も第1電極寄りに配置される発光層の第1電極側の表面に接して配置される構成の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
前記第1電極が設けられた基板を用意する基板用意工程と、
前記基板上に隣接層を形成する隣接層形成工程と、
前記複数の発光層のなかで前記ピーク波長が長い発光層ほど、前記第1および第2電極のうちで前記陽極として機能する電極寄りの配置となる順序で、塗布法により各発光層を順次形成する発光層形成工程と、
第2電極を形成する第2電極形成工程とをこの順で含み、
隣接層形成工程の開始から発光層形成工程の終了までの前記基板雰囲気中の酸素濃度および水分濃度を、体積比でそれぞれ大気濃度未満に保つことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法に関する。
前記発光層形成工程は、発光層となる材料を含むインキを塗布成膜する工程と、該工程で成膜した膜を加熱する工程とを含み、
前記インキを塗布成膜する各工程では、不活性ガスを含む雰囲気中で前記インキを塗布成膜することを特徴とする前記有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法に関する。
基板用意工程では第1電極3が設けられた基板2を用意する。本工程では基板2上に第1電極3を形成することにより電極付基板を用意してもよく、また第1電極3が予め形成された基板2を入手することにより電極付基板を用意してもよい。
基板は、有機EL素子を製造する工程において変化しないものが好適に用いられ、例えばガラス、プラスチック、高分子フィルム、およびシリコン板、並びにこれらを積層したものなどが用いられる。なお基板としては有機EL素子を駆動する回路が予め形成されたものを用いることが好ましく、このような基板として例えばTFT(Thin Film Transistor)基板を用いることができる。発光層から放射される光が第1電極および基板を通って出射する構成のいわゆるボトムエミッション型の素子では、基板は可視光の光透過率が高い方が好ましい。
本実施形態では第1電極として陽極を形成する。発光層から放射される光が陽極を通って出射する構成の有機EL素子の場合、陽極には光透過性を示す電極が用いられる。光透過性を示す電極としては、金属酸化物、金属硫化物および金属などの薄膜を用いることができ、電気伝導度および光透過率の高いものが好適に用いられる。具体的には酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、ITO、インジウム亜鉛酸化物(Indium Zinc Oxide:略称IZO)、金、白金、銀、および銅などから成る薄膜が用いられ、これらの中でもITO、IZO、または酸化スズから成る薄膜が好適に用いられる。陽極の作製方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、メッキ法などを挙げることができる。またポリアニリンもしくはその誘導体、ポリチオフェンもしくはその誘導体などの有機の透明導電膜を陽極として用いてもよい。
隣接層は求められる特性および工程の簡易さなどを勘案して、湿式法または乾式法などの所定の方法によって形成される。
本工程では、前記複数の発光層のなかで前記ピーク波長が長い発光層ほど、前記第1および第2電極のうちで前記陽極として機能する電極寄りの配置となる順序で、塗布法により各発光層を順次形成する。本実施形態では第1電極3が陽極として設けられるので、ピーク波長が長い発光層ほど第1電極寄りに配置される。そのためピーク波長が長い発光層から順に各発光層を形成する。すなわち本実施形態では赤色発光層5R、緑色発光層5G、青色発光層5Bの順に各発光層を形成する。本明細書においてピーク波長は、各発光層が発光する光を波長領域で見たときに最も強い光強度となる波長を意味する。
第2電極形成工程では、第2電極6を発光層上に形成する。本実施形態では第2電極として陰極を形成する。
陰極の材料としては、仕事関数が小さく、発光層への電子注入が容易で、電気伝導度の高い材料が好ましい。また陽極側から光を取出す構成の有機EL素子では、発光層から放射される光を陰極で陽極側に反射するために、陰極の材料としては可視光反射率の高い材料が好ましい。陰極には、例えばアルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移金属および周期表13族金属などを用いることができる。陰極の材料としては、例えばリチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、アルミニウム、スカンジウム、バナジウム、亜鉛、イットリウム、インジウム、セリウム、サマリウム、ユーロピウム、テルビウム、イッテルビウムなどの金属、前記金属のうちの2種以上の合金、前記金属のうちの1種以上と、金、銀、白金、銅、マンガン、チタン、コバルト、ニッケル、タングステン、錫のうちの1種以上との合金、またはグラファイト若しくはグラファイト層間化合物などが用いられる。合金の例としては、マグネシウム−銀合金、マグネシウム−インジウム合金、マグネシウム−アルミニウム合金、インジウム−銀合金、リチウム−アルミニウム合金、リチウム−マグネシウム合金、リチウム−インジウム合金、カルシウム−アルミニウム合金などを挙げることができる。また、陰極としては導電性金属酸化物および導電性有機物などから成る透明導電性電極を用いることができる。具体的には、導電性金属酸化物として酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、ITO、およびIZOを挙げることができ、導電性有機物としてポリアニリンもしくはその誘導体、ポリチオフェンもしくはその誘導体などを挙げることができる。なお陰極は、2層以上を積層した積層体で構成されていてもよい。
a)陽極/正孔注入層/発光部/陰極
b)陽極/正孔注入層/発光部/電子注入層/陰極
c)陽極/正孔注入層/発光部/電子輸送層/陰極
d)陽極/正孔注入層/発光部/電子輸送層/電子注入層/陰極
e)陽極/正孔輸送層/発光部/陰極
f)陽極/正孔輸送層/発光部/電子注入層/陰極
g)陽極/正孔輸送層/発光部/電子輸送層/陰極
h)陽極/正孔輸送層/発光部/電子輸送層/電子注入層/陰極
i)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光部/陰極
j)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光部/電子注入層/陰極
k)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光部/電子輸送層/陰極
l)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光部/電子輸送層/電子注入層/陰極
m)陽極/発光部/電子注入層/陰極
n)陽極/発光部/電子輸送層/陰極
o)陽極/発光部/電子輸送層/電子注入層/陰極
ここで記号「/」は、記号「/」を挟む各層が隣接して積層されていることを示す。以下同じ。また発光部は複数の発光層が積層された積層体を意味する。例えば図1では赤色発光層と緑色発光層と青色発光層とが積層された積層体が発光部に相当する。なお前述したように発光層間に所定の層が介在していてもよいため、発光部は複数の発光層のみによって構成されていてもよく、また所定の層が発光層間に介在していてもよい。
発光層と第1電極の間に、発光層に隣接して正孔注入層が設けられる場合、この正孔注入層が隣接層として設けられる。
発光層と第1電極の間に、発光層に隣接して正孔輸送層が設けられる場合、この正孔輸送層が隣接層として設けられる。
発光層は蛍光及び/又はりん光を発光する有機物を発光材料として含む。なお発光層は、発光材料として低分子有機物及び/又は高分子有機物を含む。なお塗布液への溶解性の観点などから、高分子有機物を発光材料として用いることが好ましい。また必要に応じてドーパントや無機材料を発光層は含んでいてもよい。なお本明細書において高分子とはポリスチレン換算の数平均分子量が103以上の分子を意味する。なお分子量の上限は特に規定する必要はないが通常はポリスチレン換算の数平均分子量は108以下である。各発光層を構成する発光材料としては例えば以下に示すものが挙げられる。
発光層と第1電極の間に、発光層に隣接して電子輸送層が設けられる場合、この電子輸送層が隣接層として設けられる。
発光層と第1電極の間に、発光層に隣接して電子注入層が設けられる場合、この電子注入層が隣接層として設けられる。
以下では所定の雰囲気中で有機EL素子を作製することにより素子特性が向上することを確認するために、ガスの濃度を制御した雰囲気中において有機EL素子を作製した。
「ガラス基板/ITO(150nm)/Baytron P(65nm)/高分子化合物1(20nm)/高分子化合物2(65nm)/Ba(5nm)/Al(80nm)」
まずスパッタ法によって膜厚150nmのITO膜(陽極)がその表面上に形成されたガラス基板を用意した。このガラス基板に、ポリ(3,4)エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルホン酸(スタルク製;Baytron P)の懸濁液をスピンコート法により塗布し、厚みが65nmの塗膜を成膜し、さらにホットプレート上で200℃、10分間乾燥することによって正孔注入層を得た。なお正孔注入層の形成は大気雰囲気中でおこなった。
以下の構成の有機EL素子を作製した。
「ガラス基板/ITO(150nm)/Baytron P(65nm)/高分子化合物1(20nm)/高分子化合物2(65nm)/Ba(5nm)/Al(80nm)」
まずスパッタ法によって膜厚150nmのITO膜(陽極)がその表面上に形成されたガラス基板を用意した。このガラス基板に、ポリ(3,4)エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルホン酸(スタルク製;Baytron P)の懸濁液をスピンコート法により塗布し、厚みが65nmの塗膜を成膜し、さらにホットプレート上で200℃、10分間乾燥することによって正孔注入層を得た。なお正孔注入層の形成は大気雰囲気中でおこなった。
以下の構成の有機EL素子を作製した。
「ガラス基板/ITO(150nm)/Baytron P(65nm)/高分子化合物1(20nm)/高分子化合物2(65nm)/Ba(5nm)/Al(80nm)」
まずスパッタ法によって膜厚150nmのITO膜(陽極)がその表面上に形成されたガラス基板を用意した。この基板上にポリ(3,4)エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルホン酸(スタルク製;Baytron P)の懸濁液をスピンコート法により塗布し、厚みが65nmの塗膜を成膜し、さらにホットプレート上で200℃、10分間乾燥することによって正孔注入層を得た。なお正孔注入層の形成は大気雰囲気中でおこなった。
以下の構成の有機EL素子を作製した。
「ガラス基板/ITO(150nm)/Baytron P(65nm)/高分子化合物1(20nm)/高分子化合物2(65nm)/Ba(5nm)/Al(80nm)」
まずスパッタ法によって膜厚150nmのITO膜(陽極)がその表面上に形成されたガラス基板を用意した。このガラス基板に、ポリ(3,4)エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルホン酸(スタルク製;Baytron P)の懸濁液をスピンコート法により塗布し、厚みが65nmの塗膜を成膜し、さらにホットプレート上で200℃、10分間乾燥することによって正孔注入層を得た。なお正孔注入層の形成は大気雰囲気中でおこなった。
以下の構成の有機EL素子を作製した。
「ガラス基板/ITO(150nm)/Baytron P(65nm)/高分子化合物1(20nm)/高分子化合物2(65nm)/Ba(5nm)/Al(80nm)」
まずスパッタ法によって膜厚150nmのITO膜(陽極)がその表面上に形成されたガラス基板を用意した。このガラス基板に、ポリ(3,4)エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルホン酸(スタルク製;Baytron P)の懸濁液をスピンコート法により塗布し、厚みが65nmの塗膜を成膜し、さらにホットプレート上で200℃、10分間乾燥することによって正孔注入層を得た。なお正孔注入層の形成は大気雰囲気中でおこなった。
以下のようにして有機EL素子を作製した。ガラス基板を基板として用い、このガラス基板上にスパッタリング法によって成膜されたITO薄膜(膜厚150nm)を陽極として用いた。陽極が形成された基板をアルカリ洗剤および超純水で洗浄し、乾燥させた後に、UV−O3装置(テクノビジョン株式会社製、商品名「モデル312 UV−O3クリーニングシステム」)を用いてUV−O3処理を行った。
1層の発光層を備える有機EL素子を作成した。発光層以外の製造工程は作製例3と同じなので重複する説明を省略して、発光層の製造工程についてのみ説明する。
比較例5として、赤色発光層、緑色発光層、および青色発光層の3層の積層順のみが、実施例の有機EL素子とは異なる有機EL素子を作製した。陽極に最も近い位置に青色発光層を配置し、真中に緑色発光層を配置し、陰極に最も近い位置に赤色発光層を配置した。発光層以外の製造工程は作製例3と同じなので重複する説明を省略して、発光層の製造工程についてのみ説明する。
2 基板
3 第1電極
4 隣接層
5R 赤色発光層
5G 緑色発光層
5B 青色発光層
6 第2電極
Claims (11)
- 陽極および陰極のうちの一方の第1電極と、
互いに異なるピーク波長で発光する複数の発光層と、
前記複数の発光層のうちの1層に隣接して設けられる隣接層と、
陽極および陰極のうちの他方の第2電極とを有する有機エレクトロルミネッセンス素子であり、
前記複数の発光層および隣接層が前記第1電極と第2電極との間に配置され、
前記隣接層が、複数の発光層のうちで最も第1電極寄りに配置される発光層の第1電極
側の表面に接して配置される構成の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であっ
て、
前記第1電極が設けられた基板を用意する基板用意工程と、
前記基板上に隣接層を形成する隣接層形成工程と、
前記複数の発光層のなかで前記ピーク波長が長い発光層ほど、かつ最高占有分子軌道の絶対値に負号を付した値および最低非占有分子軌道の絶対値に負号を付した値が低い発光層ほど、前記第1および第2電極のうちで前記陽極として機能する電極寄りの配置となる順序で、塗布法により各発光層を順次形成する発光層形成工程と、
第2電極を形成する第2電極形成工程とをこの順で含み、
隣接層形成工程の開始から発光層形成工程の終了までの基板雰囲気中の酸素濃度および水分濃度を、体積比でそれぞれ大気濃度未満に保つことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 - 隣接層形成工程の開始から発光層形成工程の終了までの前記基板雰囲気中の酸素濃度および水分濃度を、体積比でそれぞれ1000ppm以下に保つことを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
- 隣接層形成工程の開始から発光層形成工程の終了までの前記基板雰囲気中の酸素濃度および水分濃度を、体積比でそれぞれ10ppm以下に保つことを特徴とする請求項1または2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
- 前記隣接層形成工程は、隣接層となる材料を含むインキを塗布成膜する工程と、該工程で成膜した膜を加熱する工程とを含み、
前記発光層形成工程は、発光層となる材料を含むインキを塗布成膜する工程と、該工程で成膜した膜を加熱する工程とを含み、
前記インキを塗布成膜する各工程では、不活性ガスを含む雰囲気中で前記インキを塗布成膜することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 - 前記膜を加熱する各工程では、不活性ガスを含む雰囲気中で膜を加熱することを特徴とする請求項4記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
- 前記膜を加熱する各工程では、10Pa以下の雰囲気中において膜を加熱することを特徴とする請求項4または5記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
- 前記発光層形成工程では、赤色発光する発光層と、緑色発光する発光層と、青色発光する発光層とを形成することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
- 前記発光層形成工程では、複数の発光層を順次塗布法で形成する際に、後に形成される発光層の形成に使用されるインキに対して、先に形成される発光層を予め不溶化することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
- 前記発光層を予め不溶化する際に、エネルギーを加えることによって、発光層を構成する材料を重合することを特徴とする請求項8記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
- 請求項1〜9のいずれか1つに記載の製造方法によって製造された有機エレクトロルミネッセンス素子を備える照明装置。
- 請求項1〜9のいずれか1つに記載の製造方法によって製造された有機エレクトロルミネッセンス素子を備える表示装置。
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