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JP5400078B2 - Planar lightwave circuit connection device - Google Patents

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JP5400078B2 JP2011023943A JP2011023943A JP5400078B2 JP 5400078 B2 JP5400078 B2 JP 5400078B2 JP 2011023943 A JP2011023943 A JP 2011023943A JP 2011023943 A JP2011023943 A JP 2011023943A JP 5400078 B2 JP5400078 B2 JP 5400078B2
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Description

本発明は、平面光波回路接続装置に関する。   The present invention relates to a planar lightwave circuit connection device.

光通信システムの高度化に伴い、高機能な光モジュール(光部品)の需要が高まっている。平面光波回路は、基板上に光導波路を形成することによって様々な光波回路を実現することができ、光モジュールの構成部品として用いられている。光モジュールの更なる高機能化のために、異なる機能を有する平面光波回路を集積化したり、レンズ・空間位相変調器等の空間光学系部品と平面光波回路とを集積化したハイブリッド光モジュールが実現されている。具体的な光モジュールの例としては、(1)アレイ導波路格子(AWG)と可変光減衰器(VOA)を異なる平面光波回路基板上に形成した後、それらを光結合したV−AWGモジュール、(2)石英系ガラスとニオブ酸リチウム(LN)のように異なる材料で構成された平面光波回路を光結合したRZ−DQPSK(Return to Zero Differential Quadrature Phase Shift Keying)モジュール等が挙げられる。   With the advancement of optical communication systems, the demand for highly functional optical modules (optical components) is increasing. A planar lightwave circuit can realize various lightwave circuits by forming an optical waveguide on a substrate, and is used as a component of an optical module. Realizing a hybrid optical module that integrates planar lightwave circuits with different functions, or integrates spatial optical components such as lenses and spatial phase modulators, and planar lightwave circuits to further enhance the functionality of optical modules Has been. Specific examples of the optical module include: (1) a V-AWG module in which an arrayed waveguide grating (AWG) and a variable optical attenuator (VOA) are formed on different planar lightwave circuit boards and then optically coupled to each other; (2) An RZ-DQPSK (Return to Zero Differential Phase Shift Keying) module in which a planar lightwave circuit composed of different materials such as quartz glass and lithium niobate (LN) is optically coupled.

特開平10−227936号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-227936 特開2001−264576号公報JP 2001-264576 A

しかしながら、ハイブリッド光モジュールを小さなサイズで作製するためには、作成工程から見直す必要がある。たとえば、特許文献1の技術(図1参照)では、異なる種類の平面光波回路を簡便に接続するために、折り返し構造の導波路16とは別に少なくとも2本の接続用光導波路15を設けているが、第1の平面光波回路11と第2の平面光波回路12とを調心して接続するには、あらかじめ光ファイバ部品17を第1の平面光波回路11に接着固定する必要がある。ここで、光ファイバ部品17は光ファイバ14を1つの光ファイバ固定用ブロック13に配置して作製されている。また、特許文献2の技術(図2参照)には、光ファイバ部品121と光デバイス111との間の調心を高精度、高速に行って、低コストでAWGデバイスを製造することのできるAWG製造装置が開示されているが、ここでも、光ファイバを導波した光を用いた調心が行われている。簡単に調心方法を説明する。アレイ導波路116と、スラブ導波路114、115と、入力用導波路112と、光導波路113から形成された光デバイス111が光デバイス固定手段141に保持され、光ファイバテープ122を整列されている光ファイバ部品121が光デバイス固定手段142に把持されている。受光器134は受光器移動手段143によって移動させることができる。入射光150を光ファイバテープ122に入射し、光導波路112との調心は、両者の光軸がほぼ一致すると信号光152とは別に出射されるモニター光151を受光器134で検出し、この検出結果を制御装置144に入力することによって行われる。   However, in order to produce a hybrid optical module with a small size, it is necessary to review from the production process. For example, in the technique of Patent Document 1 (see FIG. 1), in order to easily connect different types of planar lightwave circuits, at least two connection optical waveguides 15 are provided in addition to the waveguide 16 having a folded structure. However, in order to align and connect the first planar lightwave circuit 11 and the second planar lightwave circuit 12, it is necessary to bond and fix the optical fiber component 17 to the first planar lightwave circuit 11 in advance. Here, the optical fiber component 17 is manufactured by arranging the optical fiber 14 in one optical fiber fixing block 13. Further, in the technique of Patent Document 2 (see FIG. 2), an AWG capable of manufacturing an AWG device at low cost by performing alignment between the optical fiber component 121 and the optical device 111 with high accuracy and high speed. Although a manufacturing apparatus is disclosed, alignment using light guided through an optical fiber is also performed here. Briefly explain the alignment method. The optical device 111 formed from the arrayed waveguide 116, the slab waveguides 114 and 115, the input waveguide 112, and the optical waveguide 113 is held by the optical device fixing means 141, and the optical fiber tape 122 is aligned. The optical fiber component 121 is held by the optical device fixing means 142. The light receiver 134 can be moved by the light receiver moving means 143. The incident light 150 is incident on the optical fiber tape 122, and the alignment with the optical waveguide 112 is performed by detecting the monitor light 151 emitted separately from the signal light 152 by the light receiver 134 when the optical axes of the both are substantially coincident with each other. This is done by inputting the detection result to the control device 144.

このような従来の技術には、次のような問題がある。図3に、従来技術の問題を説明するための図を示す。図3は、第1から第3の平面光波回路301、302、303が突き合わせ接続され、その両端に第1及び第2のファイバ整列部材311、312により第1及び第2の光ファイバ321、322がそれぞれ固定された光部品を、気密封止用ケース330に収納してハイブリッド光モジュール300を作製する状況を示している。図示の気密封止用ケース330のようにファイバ取り出し口331がケースと一体となっている場合、複数の平面光波回路を接続した光部品とケースとの間に第1のファイバ321に許容される曲げ径以上の余地がないと第1のファイバ321にダメージを与え、断線の恐れがあるため、光部品を収納することができない。ファイバに許容される曲げ半径rは一般に半径10mm以上と考えられるため、ケース内寸は複数の平面光波回路を接続した光波回路よりも20mm以上長くする必要があり、光部品を小型化する際の制約となっていた。   Such conventional techniques have the following problems. FIG. 3 is a diagram for explaining the problems of the prior art. In FIG. 3, first to third planar lightwave circuits 301, 302, and 303 are connected to each other, and first and second optical fibers 321 and 322 are connected to both ends by first and second fiber alignment members 311 and 312. 8 shows a situation in which the optical components fixed respectively are housed in an airtight sealing case 330 to produce the hybrid optical module 300. When the fiber outlet 331 is integrated with the case as in the case of the hermetic sealing case 330 shown in the figure, the first fiber 321 is allowed between the case and the optical component to which a plurality of planar lightwave circuits are connected. If there is no room for the bending diameter or more, the first fiber 321 is damaged and there is a risk of disconnection, so that the optical component cannot be accommodated. Since the bending radius r allowed for the fiber is generally considered to be a radius of 10 mm or more, the inner size of the case needs to be 20 mm or more longer than the light wave circuit in which a plurality of planar light wave circuits are connected. It was a restriction.

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数の平面光波回路が接続された光部品の小型化を図ることのできる平面光波回路接続装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a planar lightwave circuit connection device capable of downsizing an optical component to which a plurality of planar lightwave circuits are connected. It is in.

このような目的を達成するために、本発明の第1の態様は、第1の平面光波回路と第2の平面光波回路とを接続するための平面光波回路接続装置であって、前記第1の平面光波回路を保持するための、少なくとも1つの光入射手段を有する第1の保持治具と、前記第2の平面光波回路を保持するための第2の保持治具と、前記少なくとも1つの光入射手段から前記第1の平面光波回路が有する調心用導波路に入射され、前記第2の平面光波回路が有する調心用導波路から出射される、調心のための光を受光する光受光手段と備え、前記第1の平面光波回路が有する調心用導波路と、前記第2の平面光波回路が有する調心用導波路とを調心可能な移動ステージをさらに備えることを特徴とする。 In order to achieve such an object, a first aspect of the present invention is a planar lightwave circuit connecting device for connecting a first planar lightwave circuit and a second planar lightwave circuit, wherein for holding a planar lightwave circuit, and at least one of the first holding jig having a light incident means, the second holding jig for holding said second planar lightwave circuit, with the least 1 Receives light for alignment that is incident on the alignment waveguide of the first planar lightwave circuit from one light incident means and is emitted from the alignment waveguide of the second planar lightwave circuit. A moving stage capable of aligning the alignment waveguide included in the first planar lightwave circuit and the alignment waveguide included in the second planar lightwave circuit. Features.

また、本発明の第2の態様は、第1の態様において、前記第2の保持治具および前記光受光手段が、前記移動ステージ上に配置されており、前記光受光手段の受光径は、前記第2の平面光波回路が有する調心用光導波路から出射される前記調心のための光のビーム径よりも大きいことを特徴とする。   Further, according to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the second holding jig and the light receiving means are disposed on the moving stage, and the light receiving diameter of the light receiving means is: It is characterized by being larger than the beam diameter of the light for alignment emitted from the alignment optical waveguide of the second planar lightwave circuit.

また、本発明の第3の態様は、第1又は第2の態様において、前記第1の保持治具が、前記第1の平面光波回路の位置基準となる位置決め部材と、前記第1の平面光波回路を挟持する押さえ部材とを備え、前記光入射手段は、光入射用ファイバまたは光入射用レーザと、前記光入射用ファイバまたは前記光入射用レーザを固定する保持部材とを備え、前記保持部材は、前記第1の平面光波回路の厚さ方向に可動であることを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the first holding jig is a positioning member that serves as a position reference for the first planar lightwave circuit, and the first plane. A holding member for holding the light wave circuit, and the light incident means includes a light incident fiber or a light incident laser, and a holding member for fixing the light incident fiber or the light incident laser. The member is movable in the thickness direction of the first planar lightwave circuit.

本発明によれば、第1の平面光波回路と第2の平面光波回路とを接続するための平面光波回路接続装置において、第1の平面光波回路を保持するための第1の保持治具に少なくとも1つの光入射手段を設け、第1の平面光波回路が有する調心用導波路と、第2の平面光波回路が有する調心用導波路とを調心可能な移動ステージを備えることにより、複数の平面光波回路を接続する際に、平面光波回路に直接光ファイバを接続することが不要となる。この事によって、例えば、気密封止用ケースに収納する際に、複数の平面光波回路を接続した光部品に光ファイバが接続されておらず、光モジュール(光部品)の小型化を図ることができる。   According to the present invention, in the planar lightwave circuit connection device for connecting the first planar lightwave circuit and the second planar lightwave circuit, the first holding jig for holding the first planar lightwave circuit is provided. By providing a moving stage capable of aligning the aligning waveguide of the first planar lightwave circuit and the aligning waveguide of the second planar lightwave circuit by providing at least one light incident means, When connecting a plurality of planar lightwave circuits, it is not necessary to connect an optical fiber directly to the planar lightwave circuit. As a result, for example, when housed in a hermetic sealing case, an optical fiber is not connected to an optical component to which a plurality of planar lightwave circuits are connected, and the optical module (optical component) can be downsized. it can.

特許文献1の従来技術を示す図である。It is a figure which shows the prior art of patent document 1. FIG. 特許文献2の従来技術を示す図である。It is a figure which shows the prior art of patent document 2. FIG. 従来技術の問題を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the problem of a prior art. 本発明の実施形態に係る平面光波回路接続装置を示す図である。It is a figure which shows the planar lightwave circuit connection apparatus which concerns on embodiment of this invention. (a)は、第1から第3の平面光波回路を、本発明による平面光波回路接続装置400により接続して、気密封止用ケースに収納した例を示す図であり、(b)は、気密封止用ケースに収納した光部品に光ファイバを接続した例を示す図である。(A) is a figure which shows the example which connected the 1st-3rd planar lightwave circuit by the planar lightwave circuit connection apparatus 400 by this invention, and accommodated in the case for airtight sealing, (b), It is a figure which shows the example which connected the optical fiber to the optical component accommodated in the case for airtight sealing. 図4の平面光波回路接続装置の変形形態を示す図である。It is a figure which shows the modification of the planar lightwave circuit connection apparatus of FIG. (a)は、第1の保持治具の一部の詳細を示す図であり、(b)は、b−b線に沿った断面図である。(A) is a figure which shows the detail of a part of 1st holding jig, (b) is sectional drawing along the bb line. 第1の平面光波回路450の詳細を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing details of a first planar lightwave circuit 450.

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図4に、本発明の実施形態に係る平面光波回路接続装置を示す。平面光波回路接続装置400は、第1の平面光波回路450と第2の平面光波回路460とを接続する。第1の平面光波回路450が、第1の保持治具410により保持され、第2の平面光波回路460が第2の保持治具420により保持される。第1の保持治具410は、移動ステージ430(例えば、6軸移動ステージ)の上に配置されており、第1の平面光波回路450に形成された光導波路と、第2の平面光波回路460に形成された光導波路とを調心することができる。   FIG. 4 shows a planar lightwave circuit connection device according to an embodiment of the present invention. The planar lightwave circuit connection device 400 connects the first planar lightwave circuit 450 and the second planar lightwave circuit 460. The first planar lightwave circuit 450 is held by the first holding jig 410, and the second planar lightwave circuit 460 is held by the second holding jig 420. The first holding jig 410 is disposed on a moving stage 430 (for example, a six-axis moving stage), and the optical waveguide formed in the first planar lightwave circuit 450 and the second planar lightwave circuit 460. It is possible to align with the optical waveguide formed on the substrate.

本発明に係る平面光波回路接続装置400では、第1の平面光波回路450に光ファイバ部品を接続固定するのではなく、第1の保持治具410に設けられた第1及び第2の光入射手段411、412により、調心に必要な光を第1の平面光波回路450に形成された第1及び第2の調心用光導波路451、452に入射する。そして、第2の平面光波回路460から出射される光を、光受光手段440で受光することで、第1の平面光波回路450と第2の平面光波回路460を調心、接続することが可能となる。第1及び第2の光入射手段411、412と光受光手段440が対応しないように配置してあるのは、第1及び第2の光入射手段411、412からの光の内、第1及び第2の調心用光導波路451、452に結合しなかった漏れ光が光受光手段440にノイズとして入射するのを抑制する効果がある。   In the planar lightwave circuit connection device 400 according to the present invention, the first and second light incidents provided on the first holding jig 410 are not connected and fixed to the first planar lightwave circuit 450. By means 411, 412, light necessary for alignment is incident on the first and second alignment optical waveguides 451, 452 formed in the first planar lightwave circuit 450. Then, by receiving the light emitted from the second planar lightwave circuit 460 by the light receiving means 440, the first planar lightwave circuit 450 and the second planar lightwave circuit 460 can be aligned and connected. It becomes. The first and second light incident means 411, 412 and the light receiving means 440 are arranged so as not to correspond to each other in the first and second light incident means 411, 412. There is an effect of suppressing leakage light that has not been coupled to the second aligning optical waveguides 451 and 452 from entering the light receiving means 440 as noise.

図4は、2つの平面光波回路の接続の様子を示しているが、同様の手順を繰り返すことによって、光ファイバを接続することなく、複数の平面光波回路を接続して光部品を作製することが可能である。   FIG. 4 shows the connection state of two planar lightwave circuits. By repeating the same procedure, a plurality of planar lightwave circuits are connected to produce an optical component without connecting optical fibers. Is possible.

このようにして作製した複数の平面光波回路を接続した光部品には光ファイバが接続されていないので、ファイバ取り出し口がケースと一体となっている気密封止用ケースに光部品を容易に収納できる。図5(a)に、第1から第3の平面光波回路401、402、403を、本発明による平面光波回路接続装置400により接続して、気密封止用ケース430に収納した例を示す。そして、第1から第3の平面光波回路を接続した光部品を気密封止用ケースに収納した後に光ファイバ421、422をそれぞれ配置したファイバ整列部材511、512を接続することによって、小型のハイブリッド光モジュールを作製することが可能となる。図5(a)は、光ファイバ421、422をあらかじめファイバ取り出し口431に通した後、第1から第3の平面光波回路を接続した光部品を気密封止用ケース430に収納している。ファイバ整列部材が取り出し口を通る大きさであれば、第1から第3の平面光波回路を接続した光部品を先に気密封止用ケースに収納することも可能であり、光部品を気密封止用ケースに収納、固定する際に、光ファイバが邪魔にならないという利点がある。図5(b)に、気密封止用ケースに収納した光部品に光ファイバを接続した例を示す。光部品と光ファイバの接続は、従来の調心工程と同様に一方の光ファイバ421に光を入射し、他方の光ファイバ422からの出射する光が最大になるように調心することで可能となる。   Since no optical fiber is connected to the optical component to which a plurality of planar lightwave circuits thus manufactured are connected, the optical component can be easily stored in an airtight sealing case in which the fiber outlet is integrated with the case. it can. FIG. 5A shows an example in which the first to third planar lightwave circuits 401, 402, and 403 are connected by the planar lightwave circuit connection device 400 according to the present invention and stored in the hermetic sealing case 430. Then, after the optical components connected with the first to third planar lightwave circuits are stored in the hermetic sealing case, the fiber alignment members 511 and 512 having the optical fibers 421 and 422 disposed therein are connected to thereby realize a small hybrid. An optical module can be manufactured. In FIG. 5A, after optical fibers 421 and 422 have been passed through the fiber outlet 431 in advance, the optical components to which the first to third planar lightwave circuits are connected are accommodated in an airtight sealing case 430. If the fiber alignment member is large enough to pass through the extraction port, it is possible to first store the optical component connected with the first to third planar lightwave circuits in the hermetic sealing case. There is an advantage that the optical fiber does not get in the way when being stored and fixed in the stop case. FIG. 5B shows an example in which an optical fiber is connected to an optical component housed in a hermetic sealing case. The connection between the optical component and the optical fiber is possible by aligning light so that light enters one optical fiber 421 and the light emitted from the other optical fiber 422 is maximized as in the conventional alignment process. It becomes.

上述の説明では、第1及び第2の平面光波回路450、460に調心用光導波路がそれぞれ2本あり、それに対応して、第1の保持治具410にも2つの光入射手段が設けられている例を挙げて説明したが、第1の保持治具410が備える光入射手段の数を2つに限定する意図はないことに留意されたい。すなわち、光入射手段が1つであっても、θz方向に第1の平面光波回路と第2の平面光波回路がずれないように、第1の保持治具と第2の保持治具が調整されていれば、第1の平面光波回路と第2の平面光波回路を調心接続することは可能である。   In the above description, the first and second planar lightwave circuits 450 and 460 each have two aligning optical waveguides, and correspondingly, the first holding jig 410 is also provided with two light incident means. However, it should be noted that the first holding jig 410 has no intention of limiting the number of light incident means to two. That is, even if there is only one light incident means, the first holding jig and the second holding jig are adjusted so that the first planar lightwave circuit and the second planar lightwave circuit do not shift in the θz direction. If so, it is possible to align the first planar lightwave circuit and the second planar lightwave circuit.

図6は、図4の平面光波回路接続装置の変形形態である。移動ステージ430の上に第1の平面光波回路450を配置するのではなく、第2の保持治具420と光受光手段440を配置している。ここで、光受光手段440の受光径は、第2の平面光波回路460に形成された第1及び第2の調心用光導波路461、462からの出射光のビーム径よりも大きくする。   FIG. 6 is a modification of the planar lightwave circuit connection device of FIG. Rather than arranging the first planar lightwave circuit 450 on the moving stage 430, the second holding jig 420 and the light receiving means 440 are arranged. Here, the light receiving diameter of the light receiving means 440 is made larger than the beam diameter of the emitted light from the first and second aligning optical waveguides 461 and 462 formed in the second planar lightwave circuit 460.

第1及び第2の光入射手段411、412と第1の平面光波回路450との光結合強度は、移動ステージ430が移動する際の振動で僅かに変動する場合がある。光受光手段440の受光径を第2の平面光波回路460の第1及び第2の調心用光導波路461、462からの出射光のビーム径よりも十分大きくし、第2の保持治具420と光受光手段440を6軸移動ステージ430に固定しておけば、6軸移動ステージ430の移動による第1及び第2の調心用光導波路461、462と光受光手段440との光結合強度の変動は十分小さくできる。   The optical coupling strength between the first and second light incident means 411 and 412 and the first planar lightwave circuit 450 may slightly fluctuate due to vibration when the moving stage 430 moves. The light receiving diameter of the light receiving means 440 is made sufficiently larger than the beam diameter of the emitted light from the first and second aligning optical waveguides 461 and 462 of the second planar lightwave circuit 460, and the second holding jig 420. If the light receiving means 440 is fixed to the six-axis moving stage 430, the optical coupling strength between the first and second aligning optical waveguides 461 and 462 and the light receiving means 440 due to the movement of the six-axis moving stage 430. Fluctuations can be made sufficiently small.

図7に、第1の保持治具の詳細を示す。第1の保持治具410は、第1の平面光波回路450の位置基準となる位置決め部材413と、第1の平面光波回路450を挟持する押さえ部材414とを備える。図7(a)には、第1の平面光波回路450の片方の側面付近の第1の保持治具410のみを示してあるが、同様の構造が他方の側面付近にも設けられている。第1の光入射手段411は、光入射用ファイバ411Aと、光入射用ファイバ411Aを固定する保持部材411Bとを備える。そして、光入射用ファイバ保持部材411Bは、第1の平面光波回路450の厚さ方向に可動である(図7(b)参照)。   FIG. 7 shows details of the first holding jig. The first holding jig 410 includes a positioning member 413 that serves as a position reference for the first planar lightwave circuit 450 and a pressing member 414 that sandwiches the first planar lightwave circuit 450. FIG. 7A shows only the first holding jig 410 near one side surface of the first planar lightwave circuit 450, but the same structure is also provided near the other side surface. The first light incident means 411 includes a light incident fiber 411A and a holding member 411B that fixes the light incident fiber 411A. The light incident fiber holding member 411B is movable in the thickness direction of the first planar lightwave circuit 450 (see FIG. 7B).

第1の調心用導波路451と光入射用ファイバ411Aとの光結合強度は、両者の光軸ずれ量に依存する。各軸の光軸ずれを小さくするために、x方向は、押さえ部材414が第1の平面光波回路450と接する面と光入射用ファイバ411Aの端面との距離で、y方向は、光入射用ファイバ保持部材411Bを可動としていることで調整できる。z方向は、第1の平面光波回路450を位置決め部材413に突き当てたときに第1の調心用導波路451と光入射用ファイバ411Aとの光結合強度が最大となるように、第1の平面光波回路450のz方向の長さを精度良くあらかじめ加工することで光軸ずれを抑制可能である。   The optical coupling strength between the first aligning waveguide 451 and the light incident fiber 411A depends on the amount of optical axis misalignment between them. In order to reduce the optical axis deviation of each axis, the x direction is the distance between the surface where the pressing member 414 contacts the first planar lightwave circuit 450 and the end surface of the light incident fiber 411A, and the y direction is for light incidence. Adjustment is possible by making the fiber holding member 411B movable. The z direction is such that the optical coupling strength between the first alignment waveguide 451 and the light incident fiber 411A is maximized when the first planar lightwave circuit 450 is abutted against the positioning member 413. The optical axis deviation can be suppressed by processing the length of the planar lightwave circuit 450 in the z direction in advance with high accuracy.

なお、光入射用ファイバ411Aの代わりに、光入射用レーザを用いてもよい。また、光入射用ファイバ411Aと端面450Aの間にレンズを配置して、光結合強度を改善することも可能である。   Instead of the light incident fiber 411A, a light incident laser may be used. It is also possible to improve the optical coupling strength by arranging a lens between the light incident fiber 411A and the end face 450A.

図8に、第1の平面光波回路450の詳細を示す。第1の光入射手段411に面する第1の平面光波回路450の端面450Aに向かって、第1の調心用導波路451の導波路幅が徐々に広くなっている。第2の調心用導波路452についても同様の構造が考えられる。   FIG. 8 shows details of the first planar lightwave circuit 450. The waveguide width of the first aligning waveguide 451 gradually increases toward the end face 450A of the first planar lightwave circuit 450 facing the first light incident means 411. A similar structure can be considered for the second alignment waveguide 452.

調心用導波路の導波路幅を拡大することによって、z方向の光軸ずれトレランスも拡大することが可能となる。   By increasing the waveguide width of the aligning waveguide, it is possible to increase the tolerance of the optical axis deviation in the z direction.

400 平面光波回路接続装置
410 第1の保持治具
411 第1の光入射手段
411A 光入射用ファイバ
411B 保持部材
412 第2の光入射手段
413 位置決め部材
414 押さえ部材
420 第2の保持治具
430 6軸移動ステージ
440 光受光手段
450 第1の平面光波回路
450A 第1の平面光波回路450の端面
451 第1の調心用導波路
452 第2の調心用導波路
460 第2の平面光波回路
461 第1の調心用導波路
462 第2の調心用導波路
400 Planar lightwave circuit connection device 410 First holding jig 411 First light incident means 411A Light incident fiber 411B Holding member 412 Second light incident means 413 Positioning member 414 Holding member 420 Second holding jig 430 6 Axis moving stage 440 Light receiving means 450 First planar lightwave circuit 450A End surface of first planar lightwave circuit 450 451 First alignment waveguide 452 Second alignment waveguide 460 Second planar lightwave circuit 461 First aligning waveguide 462 Second aligning waveguide

Claims (3)

第1の平面光波回路と第2の平面光波回路とを接続するための平面光波回路接続装置であって、
前記第1の平面光波回路を保持するための、少なくとも1つの光入射手段を有する第1の保持治具と、
前記第2の平面光波回路を保持するための第2の保持治具と、
前記少なくとも1つの光入射手段から前記第1の平面光波回路が有する調心用導波路に入射され、前記第2の平面光波回路が有する調心用導波路から出射される、調心のための光を受光する光受光手段と
を備え、
前記第1の平面光波回路が有する調心用導波路と、前記第2の平面光波回路が有する調心用導波路とを調心可能な移動ステージをさらに備えることを特徴とする平面光波回路接続装置。
A planar lightwave circuit connecting device for connecting a first planar lightwave circuit and a second planar lightwave circuit,
A first holding jig having at least one light incident means for holding the first planar lightwave circuit;
A second holding jig for holding the second planar lightwave circuit;
Wherein at least incident on one of the first alignment waveguide having a planar lightwave circuit from the light projecting means, said second planar lightwave circuit is emitted from the alignment waveguide having, for aligning Light receiving means for receiving the light of
The planar lightwave circuit connection further comprising a moving stage capable of aligning the aligning waveguide of the first planar lightwave circuit and the aligning waveguide of the second planar lightwave circuit. apparatus.
前記第2の保持治具および前記光受光手段は、前記移動ステージ上に配置されており、
前記光受光手段の受光径は、前記第2の平面光波回路が有する調心用光導波路から出射される前記調心のための光のビーム径よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の平面光波回路接続装置。
The second holding jig and the light receiving means are disposed on the moving stage,
The light receiving diameter of the light receiving means is larger than a beam diameter of the light for alignment emitted from the alignment optical waveguide included in the second planar lightwave circuit. Planar lightwave circuit connection device.
前記第1の保持治具は、
前記第1の平面光波回路の位置基準となる位置決め部材と、
前記第1の平面光波回路を挟持する押さえ部材と
を備え、
前記光入射手段は、
光入射用ファイバまたは光入射用レーザと、前記光入射用ファイバまたは前記光入射用レーザを固定する保持部材と
を備え、
前記保持部材は、前記第1の平面光波回路の厚さ方向に可動であることを特徴とする請求項1または2に記載の平面光波回路接続装置。
The first holding jig is
A positioning member serving as a position reference for the first planar lightwave circuit;
A pressing member for sandwiching the first planar lightwave circuit,
The light incident means is
A light incident fiber or light incident laser, and a holding member for fixing the light incident fiber or the light incident laser,
The planar lightwave circuit connecting device according to claim 1 or 2, wherein the holding member is movable in a thickness direction of the first planar lightwave circuit.
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