JP5380980B2 - ワーク移動テーブルおよびこれを備えた液滴吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、ワークを非接触で浮上搬送するワーク移動テーブルおよびこれを備えた液滴吐出装置に関するものである。

従来、大型の基板（ワーク）の移動機構（ワーク移動テーブル）を備えた基板加工装置（液滴吐出装置）として、Ｘ軸方向に沿う両側に延在するエアーパッドに吸着固定されたワークをＸ軸方向に搬送させるＸ方向移動支持装置と、ワークの周縁をＹ軸方向に粗位置決めするストッパおよびプッシャと、ワークの中間部を支持し搬送をサポートするローラと、加工装置による加工が行われる加工支持装置と、加工装置をＹ軸方向に移動させるＹ方向移動装置と、を備えたものが知られている（特許文献１参照）。この液滴吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルタ等を製造するものであり、ストッパおよびプッシャにより粗位置決めされた所定の大きさのワークをアライメントした後、Ｘ方向移動支持装置により加工支持装置上に搬送する。加工支持装置はエアーフロートであり、空気圧で浮上または吸着のいずれかによりワークのＺ軸方向の精度を維持しつつ、加工装置によりワークに対して加工処理（描画）を行うようになっている。
特開２００７−１５０２８０号公報

このような液滴吐出装置では、ワークの周囲温度が変化するとワークが熱膨張或いは熱収縮し、高精度の描画処理が不可能となるため、液滴吐出装置を温度管理されたチャンバ（クリーンルーム）に収容することが行われる。一方、ワークをエアー浮上させるための圧縮エアーは、工場の圧縮エアー設備から供給される。このため、ワークの周囲温度（チャンバ内の雰囲気）が適切に温度管理されていても、この管理温度と供給される圧縮エアーの温度が異なると、ワークに熱膨張や熱収縮が生じてしまう問題があった。特に、圧縮エアーのエアー配管は、温水配管や冷却水配管（純水配管も同じ）等のように保温や被覆が行われないため、配管経路の周囲温度の影響を受けて温度変化する。

本発明は、ワークに対する浮上気体の気体調和的な影響を排除することができるワーク移動テーブルおよびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題としている。

本発明のワーク移動テーブルは、テーブルベースと、テーブルベースの上面に分布させて上向きに設けられ、テーブルベース上にワークを気体浮上させる複数のベルヌーイチャックを有する気体浮上手段と、気体浮上手段に、浮上のための作動気体を供給する作動気体供給手段と、気体浮上させたワークを、水平面内で移動させる移動手段と、複数のベルヌーイチャックによる浮上間隙を存して複数のベルヌーイチャックの上方に配設され、ワークがセットされるワークセットプレートと、備え、ワークセットプレートには、複数のベルヌーイチャックの負圧をワークに作用させる複数の負圧連通孔が形成されていることを特徴とする。

この構成によれば、ベルヌーイチャックから吹き出された作動気体が、テーブルベースとワークとの間隙（浮上間隙）を円滑に通り抜けることにより、ワークは、テーブルベース側へ吸引されつつ、テーブルベースの表面から一定の位置に浮上する。これにより、ワークを、歪みを生じることなく安定して浮上し、円滑に水平平面内を移動させることができる。
また、ベルヌーイチャックから吹き出された作動気体により、ワークセットプレートは、テーブルベース側へ吸引されつつ、テーブルベースの表面から一定の位置に浮上すると共に、ワークセットプレートに形成された複数の負圧連通孔を介して、その上に載置されたワークに対しても吸引力を作用させることができる。これにより、ワークセットプレートは、高い平面精度で安定して浮上保持されるため、その上に載置されたワークも、高い平面精度で歪みを生じることなく吸着されることとなり、円滑に水平平面内を移動させることができる。

この場合、気体浮上手段と作動気体供給手段との間の気体供給流路に介設され、作動気体を所望の気体調和状態に調整する気体調和手段を、更に備えることが好ましい。

さらにこの場合、気体調和手段は、作動気体の温度を調整する温度調整手段を有していることが好ましい。

これらの構成によれば、気体調和（温度調整）された作動気体を用いてワークを浮上させることができるため、作動気体によりワークの温度を一定に保つことができる。すなわち、ワークを浮上させる作動気体に、ワークを温度管理する機能を併せ持たせることができる。これにより、温度変化によるワークの変形（膨張または収縮）を防止することができるため、ワークに対する高精度な処理を行うことができる。また、ワーク移動テーブル全体に対して空気調和を図る必要がないため、ワーク移動テーブル全体を収容するチャンバ等は、不要（または簡単なもの）とすることができる。これにより、装置全体として構造の単純化および小型化を図ることができる。なお、ワークによっては、温度の他、湿度の調整も行うことが好ましい。

この場合、移動手段は、ワークセットプレートを介してワークをＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構を有し、Ｘ軸移動機構は、テーブルベースのＸ軸方向に沿う両側に配設した一対のガイドレールと、各ガイドレール上をスライド自在に移動する一対のスライダを有する一対のリニアモータと、から成ることが好ましい。

この構成によれば、回転モータのような軸受け部が存在しないため、移動手段（駆動系）を単純化することができると共に、高精度で円滑な移動（搬送）を行うことができる。

この場合、テーブルベースの上面には、各ベルヌーイチャックから流出した作動気体を逃がす逃げ溝が形成されていることが好ましい。

また、この場合、逃げ溝は、各ベルヌーイチャックを囲繞するように配設されていることが好ましい。

これらの構成によれば、各ベルヌーイチャックから、浮上間隙に流出した作動気体は、逃げ溝に沿うように流れる。このため、複数のベルヌーイチャックが広い面積のワークセットプレートに覆われていても、各ベルヌーイチャックの浮上性能が損なわれることがない。

さらに、この場合、逃げ溝には、真空吸引手段が連通していることが好ましい。

この構成によれば、逃げ溝に沿うように流れた作動気体は、真空吸引手段により吸引されるため、各ベルヌーイチャックから流出した作動気体を効率よく逃がすことができる。

この場合、複数のベルヌーイチャックは、テーブルベースの上面に千鳥状に分布していることが好ましい。

この構成によれば、テーブルベースの上面におけるベルヌーイチャックの配設密度を増加させることができる。これにより、ワーク（またはワークセットプレート）に十分な吸引力と浮上力とを与えることができる。また、負圧連通孔が形成されたワークセットプレートを備えている場合には、ワークセットプレートの移動に伴い、一の負圧連通孔が移動してベルヌーイチャックの負圧発生部分からずれたとしても、別の負圧連通孔が、別の負圧発生部分に臨むため、ワークに対し、安定した吸引力を作用させ続けることができる。

また、テーブルベースにおけるワークの移動方向の中間部が、ワークに処理を行なう処理エリアとなっており、処理エリアにおいて、複数のベルヌーイチャックに代えて設けられ、ワークセットプレートを気体浮上させる複数の浮上ブローノズル、を更に備えていることが好ましい。

この構成によれば、ワーク（またはワークセットプレート）は、その下面に対して複数の浮上ブローノズルから吹き付けられた気体により浮上した状態で、処理エリアに臨むこととなる。これにより、処理エリアにおいて圧力分布を均一な状態に安定化することができ、高い平面精度のワークに対して処理を行うことができる。

この場合、複数の浮上ブローノズルと作動気体供給手段とを接続する供給流路に介設され、複数の浮上ブローノズルへの気体供給量を個別に調整する複数の流量調整手段と、複数の流量調整手段を制御するコントローラと、処理エリアに配設され、処理エリアにおけるワークの各部の高さレベルを検出する検出手段と、を更に備え、コントローラは、検出手段の検出結果に基づいて、処理エリアにおけるワークセットプレート上のワークが平坦になるように複数の流量調整手段を制御することが好ましい。

この構成によれば、処理エリアにおいてワークの処理面に歪みのない高精度な平面状態で浮上させ、維持することができるため、ワークに対し高精度な処理を実施することができる。

本発明の液滴吐出装置は、上記したワーク移動テーブルと、ワーク移動テーブルに上側から臨むインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドと、を備え、ワーク移動テーブルによりＸ軸方向である主走査方向に移動するワークに対し、機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルから機能液滴を選択的に吐出して描画処理を行なうことを特徴とする。

この構成によれば、空気調和された作動気体を用いたワークの変形を防止しつつ、装置全体を空調管理するチャンバ等を省略（または簡素化）することができる。これにより、温度変化によるワークの変形（膨張または収縮）を防止し、ワークに対する高精度な処理を行うことができると共に、液滴吐出装置全体を小型化することができる。

以下、添付の図面を参照して、本発明のワーク移動テーブルを適用した液滴吐出装置（第１実施形態）について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、有機ＥＬ装置の各画素となる発光層やカラーフィルタのフィルタエレメント等を成膜するものである。

図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、機台となるＸ軸支持ベース２１と、Ｘ軸支持ベース２１上に配設され、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル（ワーク移動テーブル）２と、複数本の支柱１１を介してＸ軸テーブル２を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース３ａ上に配設され、Ｙ軸方向に延在するＹ軸テーブル３と、Ｙ軸テーブル３に移動自在に吊設され、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１３が搭載された１３個のキャリッジユニット４と、Ｘ軸テーブル２に搬送（給材）したワークＷの各方向のずれを補正するワークアライメント装置５と、から構成されている。また、液滴吐出装置１は、Ｘ軸支持ベース２１のＸ軸方向外側に隣接して、ワークＷを給除材するコンベヤ装置２６を備えている（図２参照）。

さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を、外気の影響を受けることのない雰囲気内に収容するチャンバＣＨと、チャンバＣＨを貫通して、機能液滴吐出ヘッド１３に機能液を供給する機能液供給装置６と、液滴吐出装置１を統括制御するメインコントローラ１２（図８参照）と、を備えており、チャンバＣＨの側壁の一部には、機能液供給装置６の主要部を為すメインタンク６ａ等を収納するタンクキャビネット６ｂが設けられている。液滴吐出装置１は、Ｘ軸テーブル２による主走査およびＹ軸テーブル３による副走査に同期して機能液滴吐出ヘッド１３を吐出駆動させることにより、機能液供給装置６から供給された６色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンを描画する。

また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１５、吸引ユニット１６、ワイピングユニット１７、吐出検査ユニット１８から成るメンテナンス装置７を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１３の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１３の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、Ｘ軸テーブル２上に位置する１３個のキャリッジユニット４の直下位置が、描画を行なう描画エリアＤＡ（処理エリア）となっており、この描画エリアＤＡからＹ軸方向に外れ、且つＹ軸テーブル３によりキャリッジユニット４が移動可能な位置が、メンテナンスエリアＭＡとなっている。そして、吸引ユニット１６およびワイピングユニット１７は、このメンテナンスエリアＭＡに設けられた架台上に配設されている。また、フラッシングユニット１５および吐出検査ユニット１８は、Ｘ軸テーブル２に搭載されている。

フラッシングユニット１５は、描画前フラッシングユニット６１と定期フラッシングユニット６２とから成り、描画前フラッシングユニット６１は描画処理直前に機能液滴吐出ヘッド１３からの捨て吐出を受け、定期フラッシングユニット６２はワークＷの載せ替え時等の非描画処理時に行われる機能液滴吐出ヘッド１３の捨て吐出を受ける（詳細は、後述する）。吸引ユニット１６は、１３台のキャップユニット１６０を有し、各機能液滴吐出ヘッド１３の吐出ノズル５７から機能液を強制的に吸引すると共に、キャッピングを行う。ワイピングユニット１７は、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１３のノズル面を拭取る。吐出検査ユニット１８は、機能液滴吐出ヘッド１３からの吐出の有無および飛行曲りを検査すると共に、機能液滴の着弾ドットＤの直径から吐出量（重量）を測定する。

図１ないし図３に示すように、Ｘ軸テーブル２は、Ｘ軸支持ベース２１上に搭載されたテーブルベース２２と、テーブルベース２２の上面に組み込まれ、上方にエアーを吹き出すエアー浮上手段２３（図８参照）と、テーブルベース２２上方に浮上間隙を存して配設され、ワークＷを吸着セットするための複数の負圧連通孔２４０が形成されたワークセットプレート２４と、ワークセットプレート２４をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構２５と、から構成されている。詳細は後述するが、テーブルベース２２には、エアー浮上手段２３を構成し、テーブルベース２２とワークセットプレート２４との間に一定の浮上間隙を形成するためのベルヌーイチップ３３（ベルヌーイチャック）、搬送ブローチップ３４および浮上ブローチップ３５が、各々複数個配設されている（いずれも図８参照）。なお、以下では、Ｘ軸移動機構２５によるワークセットプレート２４（ワークＷ）の往復移動のうち、図２の上側から下側への移動を「往動」とし、下側から上側への移動を「復動」として説明を進める。

このＸ軸テーブル２では、描画エリアＤＡを挟んで、Ｘ軸方向に２つのエリアに分かれており、一方が主にワークＷの給除材を行う載替えエリアＳＡ（図２では上側）、他方が主にフラッシングユニット１５や吐出検査ユニット１８の移動を行う移動エリアＴＡとなっている（図８参照）。

また、載替えエリアＳＡは、略中央で２つのエリアに分かれており、上記のコンベヤ装置２６側から順に、第１エリアＡ１、第２エリアＡ２、となっている（図８参照）。同様に、移動エリアＴＡは、略中央で２つのエリアに分かれており、描画エリアＤＡ側から順に、第３エリアＡ３、第４エリアＡ４、となっている（図８参照）。

図２および図３に示すように、コンベヤ装置２６は、水平にワークＷを移動可能に設置されており、コンベヤ装置２６の外観を形成するコンベヤフレーム２６０と、ワークＷを下方から支持しＸ軸方向に向かって搬送するための複数のコンベヤローラ２６１と、各コンベヤローラ２６１を回転駆動するコンベヤモータ（図示省略）とから構成されている。各コンベヤローラ２６１は、Ｘ軸テーブル２の幅と略同一幅を有しており、給材および除材に合せて正逆回転する。なお、給材に際しワークＷは、プリアライメントされた状態でコンベヤ装置２６に導入されることが、好ましい。

図１ないし図３に示すように、Ｙ軸テーブル３は、１３個のキャリッジユニット４をそれぞれ吊設した１３個のブリッジプレート３ｂと、１３個のブリッジプレート３ｂを両持ちで支持する１３組のＹ軸スライダ（図示省略）と、一対のＹ軸支持ベース３ａ上に設置され、ブリッジプレート３ｂをＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル３は、各キャリッジユニット４を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１３を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１３を吸引ユニット１６およびワイピングユニット１７に臨ませる。この場合、各キャリッジユニット４を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１３個のキャリッジユニット４を一体として移動させることも可能である。

各キャリッジユニット４は、Ｒ・Ｇ・Ｂ・Ｃ・Ｍ・Ｙの６色、各２個（計１２個）の機能液滴吐出ヘッド１３と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１３を６個ずつ２群に分けて支持するヘッドプレート４１と、から成るヘッドユニット４２を備えている（図４参照）。また、各キャリッジユニット４は、ヘッドユニット４２をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構４３と、θ回転機構４３を介して、ヘッドユニット４２をブリッジプレート３ｂに支持させる吊設部材４４と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット４は、その上部にサブタンク４５が配設されており（実際には、ブリッジプレート３ｂ上に配設）、このサブタンク４５から自然水頭を利用し、且つ圧力調整弁（図示省略）を介して各機能液滴吐出ヘッド１３に機能液が供給されるようになっている。なお、本実施形態においては、キャリッジユニット４の個数および各キャリッジユニット４に搭載される機能液滴吐出ヘッド１３の個数は任意である。

図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１３は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針５４を有する機能液導入部５１と、機能液導入部５１に連なる２連のヘッド基板５２と、ヘッド基板５２の下方に連なり機能液滴を吐出するヘッド本体５３と、を備えている（図５（ａ）参照）。そして、ヘッド本体５３のノズルプレート５６には、多数の吐出ノズル５７が、相互に平行、且つ半ノズルピッチ位置ズレして列設されている（図５（ｂ）参照）。

図４および図６に示すように、各ヘッドユニット４２には、描画エリアＤＡにおけるワークＷ（ワークセットプレート２４）の複数部分（複数ポイント）の高さレベルを検出するためのレベル検出装置４６が搭載されている。レベル検出装置４６は、レーザ距離計測器等の非接触型の距離計測器であり、各ヘッドユニット４２のヘッドプレート４１に貫通形成された検出貫通孔４７から検出面４８を下方に向けて配設されている。

各レベル検出装置４６は、ワークＷの載せ替え時等の非描画処理時に、各ヘッドユニット４２とワークＷの各部分との距離（ワークギャップ）を計測し、その計測結果は、上記したメインコントローラ１２に送られる。メインコントローラ１２は、その計測結果に基づいて、ワークＷが平坦（水平）になるように、描画エリアＤＡにおけるエアー浮上手段２３（の浮上ブローチップ３５）による圧空の供給圧力（流量）をコントロールする（詳細は後述）。なお、レベル検出装置４６によるワークＷのレベル計測は、自動で定期的に行うことが好ましいが、操作者のマニュアル操作等により行ってもよい。また、レベル検出装置４６は、１３個全てのヘッドユニット４２に搭載せず、例えば、メンテナンスエリアＭＡから奇数個（または偶数個）目のヘッドユニット４２にのみ搭載してもよいし、両端と中央とにのみ搭載してもよい。すなわち、ワークＷの高さレベルを検出する部分の数は、任意である。

また、レベル検出装置４６の搭載方式の別の実施形態として、レベル検出装置４６を搭載するための専用のキャリッジユニット４（レベル検出キャリッジ（図示省略））を追加して、これをメンテナンスエリアＭＡから最も遠い位置に、１４個目のブリッジプレート３ｂを介してＹ軸テーブル３に吊設してもよい。この場合のワークＷのレベル計測は、非描画処理時に、吸引ユニット１６およびワイピングユニット１７に臨ませるべく、１３個のキャリッジユニット４を一体としてメンテナンスエリアＭＡへと移動させる際、レベル検出キャリッジも共に移動させる。そして、吸引処理等が終了し、再び描画エリアＤＡに移動する際に、レベル検出キャリッジを移動しながら搭載したレベル検出装置４６により、ワークＷの各部のレベルを計測する。この形態では、レベル検出装置４６は、１台のみ搭載すればよく、部品点数を少なくすることができると共に、非描画処理時のような遊休時に効率良くワークＷのレベル計測を行うことができる。

図１ないし図３、図７に示すように、ワークアライメント装置５は、給材されたワークＷのアライメントマーク（図示省略）を撮像し認識するものであり、Ｘ軸テーブル２を跨ぐように架け渡された一対のアライメントブリッジ５ａと、アライメントブリッジ５ａに支持され、上方からワークＷ表面の一対のアライメントマークを上方から撮像する複数のアライメントカメラ５ｂと、アライメントのためにＸ軸テーブル２のＸ軸移動機構２５を駆動させるアライメントコントローラ（図示省略）と、から構成されている。

アライメントカメラ５ｂは、様々なワークＷのサイズや、ワークＷの縦置き横置きにも対応できるように、一対のアライメントブリッジ５ａの９箇所に配設されている。一対のアライメントマークに対応する一対（または１つ）のアライメントカメラ５ｂは、給材されたワークＷの一対のアライメントマークを撮像する。この撮像結果に基づいて、メインコントローラ１２に組み込まれたアライメントコントローラは、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθ方向のずれを認識し補正量を算出する。そして、詳細は後述するが、算出された補正量に基づきＸ軸移動機構２５を駆動してワークＷのθ方向のずれの補正を行うと共に、Ｘ軸方向の補正を行う（アライメント）。また、Ｙ軸方向の補正は相対的なものとなり、Ｙ軸テーブル３によりキャリッジユニット４を微小移動して行う。なお、Ｙ軸方向中央の１台のアライメントカメラ５ｂは、この１台で一対のアライメントマークを撮像可能となっている。

チャンバＣＨは、液滴吐出装置１全体を収容し、内部の雰囲気が外気の影響を受けることのないように空気調和機器（図示省略）により簡易な温度と湿度の管理を行っている。なお、詳細は後述するが、ワークＷ（およびワークセットプレート２４）の直接的な温度管理は、エアー浮上手段２３から吹き出されたエアーに対する温度調整により行っている。また、有機ＥＬ装置等を製造する場合には、チャンバＣＨ内を、不活性ガス（窒素ガス）の雰囲気で構成することが好ましい。かかる場合には、エアー浮上手段２３に供給する作動気体も、不活性ガスとする。

次に、上記したＸ軸テーブル２（ワーク移動テーブル）について詳細に説明する。図８ないし図１２に示すように、テーブルベース２２は、やや厚みのある板状の部材であり、その上面（表面）には、ワークセットプレート２４を安定浮上させるためのエアーを吹き出すエアー浮上手段２３が組み込まれている。エアー浮上手段２３は、ワークセットプレート２４を一定位置にエアー浮上させると共にその上に載置したワークＷを吸着セットする複数のベルヌーイチップ３３（ベルヌーイチャック）と、載替えエリアＳＡにおいてワークＷにエアーを斜めに吹き付ける複数の搬送ブローチップ３４と、描画エリアＤＡにおいてワークセットプレート２４をエアー浮上させる複数の浮上ブローチップ３５と、を有している。

また、エアー浮上手段２３は、テーブルベース２２内に形成され、ベルヌーイチップ３３、搬送ブローチップ３４および浮上ブローチップ３５にそれぞれ連通する複数の連通流路２７と、各チップ３３，３４，３５にそれぞれ圧空を供給するエアー供給機構３６と、使用済みの圧空（作動エアー、ブローエアー）を吸引排気するエアー排気機構３７と、を有している。なお、これらベルヌーイチップ３３、搬送ブローチップ３４および浮上ブローチップ３５は、それぞれ単一の部品で構成し、テーブルベース２２に組み込んでもよいし、テーブルベース２２自体に、これらチップ３３，３４，３５を作り込むようにしてもよい。

複数のベルヌーイチップ３３は、描画エリアＤＡ以外のテーブルベース２２の上面全域に広く分布しており、第１エリアＡ１において、Ｙ軸方向に沿って７個（行）が等間隔で１列に配設され、この列がＸ軸方向に沿って等間隔で４列配設されることでマトリクス状を成している（合計２８個）。なお、以下では、テーブルベース２２の上面において、Ｘ軸方向の１列の並びを「行」とし、Ｙ軸方向の１列の並びを「列」として説明する。

同様に、第２エリアＡ２における複数のベルヌーイチップ３３は、７行×４列配設され、さらに、描画エリアＤＡ近傍の２列の間には、Ｙ軸方向に半ピッチずれて６個（行）の列が１列配設されることで略マトリクス状を成している（合計３４個）。すなわち、描画エリアＤＡ側から３列は（７行・６行・７行の）千鳥状を成している。同様に、移動エリアＴＡにおける複数のベルヌーイチップ３３は、７個（行）が等間隔で配設された列と、Ｙ軸方向に半ピッチずれて６個（行）が等間隔で配設された列とが、交互に配設されることで千鳥状を成している。複数のベルヌーイチップ３３は、第３エリアＡ３において、７行×４列、６行×３列（合計４６個）が配設され、第４エリアＡ４において、７行×４列、６行×４列（合計５２個）が配設されている。以上より、テーブルベース２２全体では、１６０個のベルヌーイチップ３３が配設されている。

複数の搬送ブローチップ３４は、載替えエリアＳＡの全域に分布しており、第１エリアＡ１および第２エリアＡ２において、各々６行×３列（合計１８個（両エリアで３６個））が配設され、マトリクス状を成している。なお、上記した載替えエリアＳＡのベルヌーイチップ３３の列と搬送ブローチップ３４の列とが交互に配設されることで、全体として千鳥状を成している。

複数の浮上ブローチップ３５は、上記の複数のベルヌーイチップ３３と同様に、描画エリアＤＡの全域において、千鳥状に配設されており、詳細には、７行×２列、６行×３列、合計３２個の浮上ブローチップ３５が配設されている。

なお、図８に示すように、本実施形態では、テーブルベース２２に配設された複数の各チップ３３，３４，３５は、Ｘ軸方向に３５列、Ｙ軸方向に１３行の千鳥状を形成しているが、各チップ３３，３４，３５の個数、配設位置等は任意である。

図９ないし図１３に示すように、各ベルヌーイチップ３３は、導電性樹脂材等の部材で薄手の円環状に形成されており、ワークセットプレート２４に非接触で対面する非接触保持面３３０と、非接触保持面３３０に上端が開放された円錐台形状に窪入形成された旋回流発生室３３１と、旋回流発生室３３１にエアーを吹き出し旋回流を発生させる一対の旋回流ノズル３３２と、一対の旋回流ノズル３３２に連なり圧空（作動エアー）を供給する一対のエアー流入流路３３３と、から構成されている。旋回流発生室３３１の下端部には、Ｘ軸方向に沿って一対の旋回流ノズル３３２が、旋回流発生室３３１の内周面３３５の接線方向に一方の端部を、対称位置に開口し、他方の端部を、各旋回流ノズル３３２の下側から垂直に形成された一対のエアー流入流路３３３に連通している（図１３（ｂ）参照）。

旋回流ノズル３３２から吹き出された作動エアーは、旋回流発生室３３１の内周面３３５に沿って流れ、強い旋回流となって非接触保持面３３０の表面に形成された渦流ガイド流路３３４に沿って内周側から外周側に向って流れ出す。このとき、旋回流の中心部には、ベルヌーイの定理に従って負圧が生じ、この負圧と作動エアー（正圧）とが拮抗することで、非接触保持面３３０の上方に存するワークセットプレート２４が浮上すると共に、ワークセットプレート２４に複数形成された負圧連通孔２４０を介して、ワークＷに吸着力を作用させることができる。

図９、図１０および図１４（ａ）に示すように、各搬送ブローチップ３４は、導電性樹脂材等の部材で薄手の円柱状に形成されており、ワークセットプレート２４に非接触で対面する非接触搬送面３４０と、非接触搬送面３４０に開口し、給材方向に向けて斜め上方にエアーを吹き出す３本の給材ブローノズル３４１と、各給材ブローノズル３４１に連なり圧空（ブローエアー）を供給する３本の給材ブロー流路３４２と、非接触搬送面３４０に開口し、除材方向に向けて斜め上方にエアーを吹き出す３本の除材ブローノズル３４３と、各除材ブローノズル３４３に連なりブローエアーを供給する３本の除材ブロー流路３４４と、から構成されている。

３本の給材ブローノズル３４１は、一方の端部を、非接触搬送面３４０の描画エリアＤＡ側でＹ軸方向に沿って等間隔に開口しており、他方の端部を、搬送ブローチップ３４のＸ軸方向中央に向かって斜め下方に延在し、非接触搬送面３４０に対して垂直に形成された各給材ブロー流路３４２に連通している（図１４（ｃ）参照）。同様に、３本の除材ブローノズル３４３は、一方の端部を、非接触搬送面３４０のコンベヤ装置２６側でＹ軸方向に沿って等間隔に開口しており、他方の端部を、搬送ブローチップ３４のＸ軸方向中央に向かって斜め下方に延在し、非接触搬送面３４０に対して垂直に形成された各除材ブロー流路３４４に連通している。なお、各給材ブローノズル３４１または各除材ブローノズル３４３の数、配置位置等は任意である。また、一種のブローノズルを水平平面内で回転自在に構成し、ブローノズルを任意の方向に回転させることで給材方向および除材方向に圧空を吹き出すようにしてもよい。

複数の搬送ブローチップ３４は、ワークセットプレート２４に複数形成された負圧連通孔２４０に相対的に臨むようになっており、負圧連通孔２４０を介してワークＷの底面（裏面）に対し、斜めにブローエアーを吹き付けることで、給材方向または除材方向に向かって浮上搬送が行われる。これにより、ワークＷの給除材に際し、ワークＷを持ち上げる必要がなく、ワークＷをその姿勢を維持したまま、非接触で円滑に行うことができる。

図１１、図１２および図１４（ｂ）に示すように、浮上ブローチップ３５は、導電性樹脂材等の部材で薄手の円柱状に形成されており、ワークセットプレート２４に非接触で対面する非接触浮上面３５０と、非接触浮上面３５０に開口した２個の浮上ブローノズル３５２からＹ軸方向の両外側斜め上方にエアーを吹き出す複数のノズルセット３５１と、各浮上ブローノズル３５２に連なり圧空（ブローエアー）を供給する複数の浮上ブロー流路３５３と、から構成されている。

１組のノズルセット３５１は、Ｘ軸方向に並んだ２本の浮上ブローノズル３５２から構成されており、各ノズルセット３５１は、非接触浮上面３５０の四隅に配設されている（４組を９０°点対称に配設）。２本の浮上ブローノズル３５２は、一方の端部を、非接触浮上面３５０上にＸ軸方向に並んで開口しており、他方の端部を、浮上ブローチップ３５のＹ軸方向中央に向かって斜め下方に延在し、各浮上ブロー流路３５３に連通している（図１４（ｃ）参照）。すなわち、４組の浮上ブローノズル３５２は、２組ずつ、Ｙ軸方向において逆向きに且つ斜めにエアーを吹き出し、この斜めに吹き出すエアーをバランスさせて、ワークセットプレート２４を上方に浮上させる。なお、各ノズルセット３５１または各浮上ブローノズル３５２の数、配置位置等は任意である。

複数の浮上ブローチップ３５によるエアー浮上は、描画エリアＤＡにおいて、ワークセットプレート２４の底面（裏面）に、複数の浮上ブローチップ３５（浮上ブローノズル３５２）から斜めにブローエアーを吹き付けることで行われる。これにより、圧力分布を均一な状態に安定化させることができ、高い平面精度でワークＷを浮上させておくことができる。詳細は後述するが、ブローエアーは、ワークセットプレート２４に形成された複数の負圧連通孔２４０を避けるように吹き付けられるため、ワークセットプレート２４上のワークＷは、浮き上がることがない。

図９ないし図１２に示すように、テーブルベース２２の上面（表面）には、エアー浮上手段２３から吹き出された圧空（作動エアー、ブローエアー）を逃がすための逃げ溝３１が形成されている。この逃げ溝３１は、断面半円形状に形成され、上記した各チップ３３，３４，３５の一つ一つを囲繞するように平面視六角形に且つ連設するように形成されている。すなわち、逃げ溝３１は、千鳥状に配設された複数の各チップ３３，３４，３５を囲繞するようにハニカム状に形成されている。また、ベルヌーイチップ３３または浮上ブローチップ３５が７個（行）配設された列において、各逃げ溝３１のＹ軸方向の一対の頂点には、後述するエアー排気連通流路２７４に連通する吸引孔３２がそれぞれ形成されている。すなわち、全体としてハニカム状の逃げ溝３１には、複数の吸引孔３２がマトリクス状に連通している。

この場合、エアー排気連通流路２７４により複数の吸引孔３２には吸引力が作用するため、複数の各チップ３３，３４，３５から吹き出された圧空（作動エアー、ブローエアー）は、逃げ溝３１に沿うように流れ、テーブルベース２２上から効果的に排気される。このため、テーブルベース２２上面がワークセットプレート２４に覆われていても、各チップ３３，３４，３５の浮上性能が損なわれることがない。なお、逃げ溝３１の形状（断面の形状含む）、大きさ、配置等は任意であり、吸引孔３２の形状、大きさ、形成位置等は任意である。

図８ないし図１２に示すように、複数の連通流路２７は、各々Ｙ軸方向に沿って形成されており、描画エリアＤＡを除くテーブルベース２２の上面全域において、複数のベルヌーイチップ３３に圧空（作動エアー）を供給するための複数（４８本）の作動エアー連通流路２７０と、載替えエリアＳＡにおいて、複数の搬送ブローチップ３４に圧空（ブローエアー）を供給するための複数（６本）の給材エアー連通流路２７１および複数（６本）の除材エアー連通流路２７２と、描画エリアＤＡにおいて、浮上ブローチップ３５に圧空（ブローエアー）を供給するための複数（１０本）の浮上エアー連通流路２７３と、逃げ溝３１に形成された複数の吸引孔３２からテーブルベース２２上の圧空を排気するエアー排気連通流路２７４と、から構成されている。なお、図８では、作動エアー連通流路２７０および浮上エアー連通流路２７３は、上記した本数の半分のみを図示している。

作動エアー連通流路２７０は、１列の複数のベルヌーイチップ３３の下側において、１列につき、２本が連通しており、各作動エアー連通流路２７０は、上記した、各エアー流入流路３３３に連通し、各ベルヌーイチップ３３に作動エアーを供給している。
また、給材エアー連通流路２７１および除材エアー連通流路２７２は、１列の複数の搬送ブローチップ３４の下側において、１列につき、各１本が連通しており、各給材エアー連通流路２７１および各除材エアー連通流路２７２は、上記した、各給材ブロー流路３４２および各除材ブロー流路３４４に連通し、各搬送ブローチップ３４にブローエアーを供給している。
さらに、浮上エアー連通流路２７３は、１列の複数の浮上ブローチップ３５の下側において、１列につき、２本が連通しており、各浮上エアー連通流路２７３は、上記した、Ｙ軸方向に並んだ２組のノズルセット３５１（４本の浮上ブローノズル３５２）に接続された４本の浮上ブロー流路３５３に連通し、各浮上ブローチップ３５にブローエアーを供給している。

作動エアー連通流路２７０、給材エアー連通流路２７１および浮上エアー連通流路２７３は、それぞれ、各流路端をテーブルベース２２のＹ軸方向、一方の側面に開口している。なお、連通流路２７の本数、開口位置等は任意である。また、テーブルベース２２の大型化により一方の側面からの穿孔による連通流路２７の形成が困難な場合には、テーブルベース２２の両側面から穿孔して一の流路を形成するようにしてもよい。或いは、テーブルベース２２を、上部および下部の２重構造として、下部の表面に各流路となる溝を形成し、その溝の上に上部を重ねることで連通流路２７を構成してもよい。

エアー排気連通流路２７４は、上記した複数の吸引孔３２が形成された各列の下側において、１列につき、１本が複数の吸引孔３２に連通しており、描画エリアＤＡに２本、その他のエリアＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４に各４本、合計１８本で構成されている。各エアー排気連通流路２７４は、上記した各連通流路２７０，２７１，２７２，２７３とは、反対側のＹ軸方向側面に開口している。

次に、図８に示すように、エアー供給機構３６は、ベルヌーイチップ３３等に圧空を供給する圧空源３６０と、上流端を圧空源３６０に連通した圧空流路３６１と、圧空流路３６１の下流端に連なり、圧空の温度を調整するエアー温度調節装置３６２と、上流端をエアー温度調節装置３６２に接続した温調流路３６３と、テーブルベース２２の作動エアー連通流路２７０等に連通するエアー供給流路系３６４と、温調流路３６３の下流端とエアー供給流路系３６４とを接続する供給側マニホールド３６５と、から構成されている。

圧空流路３６１は、上流端を圧空源３６０に接続し、圧空源３６０の近傍には、上流側から、圧空流路３６１の開閉を行う圧空バルブ３８０と、圧空の供給圧力を調整する圧空レギュレータ３８１と、が介設されている。

エアー温度調節装置３６２は、上流側から、供給する圧空を冷却する冷却器３８２と、供給する圧空を加熱する加熱器３８３と、冷却または加熱された圧空の温度を検出する温調センサ３８４と、を有しており、これらの機器には、温調コントローラ３８５が接続されている。Ｙ軸支持ベース３ａには、複数の非接触型温度センサ（図示省略）が吊設され、描画エリアＤＡに臨むワークＷ（またはワークセットプレート２４）の表面温度を測定することができるようになっており、温調コントローラ３８５は、非接触型温度センサの検出結果から冷却器３８２および加熱器３８３をフィードバック制御するようになっている。温調センサ３８４は、予備的に設けられたものであり、冷却器３８２および加熱器３８３が正常動作しているか否かを検出する。なお、非接触型温度センサの設置数は、任意であり、設置位置も、例えば、ヘッドユニット４２に搭載するようにしてもよい。また、ワークセットプレート２４の温度を計測する場合には、非接触型温度センサに変えて、接触型の温度センサを用いてもかまわない。

このエアー温度調節装置３６２では、非接触型温度センサが、温度変化を検出すると、メインコントローラ１２から温調コントローラ３８５に制御信号が送られる。温調コントローラ３８５は、この制御信号に基づいて冷却器３８２または加熱器３８３を作動させ、温度調整を行った圧空を浮上間隙に供給することで、ワークＷ等を設定した温度に維持するようになっている。なお、冷却器３８２、加熱器３８３および温調センサ３８４の配置の仕方は任意である。例えば、冷却器３８２と加熱器３８３とを並列に配管してもよいし、冷却器３８２と加熱器３８３とを経由せずに圧空を温調流路３６３に連通させるようなバイパス（バルブ付き）を設けるようにしてもよい。

エアー供給流路系３６４は、複数のベルヌーイチップ３３に作動エアーを供給する複数の作動エアー供給流路３８６と、搬送ブローチップ３４に給材用のブローエアーを供給する給材エアー供給流路３８７と、除材用のブローエアーを供給する除材エアー供給流路３８８と、浮上ブローチップ３５にブローエアーを供給する浮上エアー供給流路３８９と、から構成されている。

複数の作動エアー供給流路３８６は、描画エリアＤＡを除くテーブルベース２２上全域の４つのエリアＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４に対応するように４本の流路で構成されている。各作動エアー供給流路３８６は、上流端を供給側マニホールド３６５に接続しており、供給側マニホールド３６５の近傍には、上流側から、作動エアーの供給圧力を調整する電空レギュレータ３６ａと、各作動エアー供給流路３８６の開閉を行う供給側ソレノイドバルブ３６ｂと、が介設されている。

第１エリアＡ１の作動エアー供給流路３８６は、下流側で８分岐されて、分岐された各流路の下流端を、第１エリアＡ１の側面に開口した８本の作動エアー連通流路２７０に各々接続されている。同様に、第２エリアＡ２、第３エリアＡ３および第４エリアＡ４の各作動エアー供給流路３８６は、それぞれ下流側で１０分岐、１４分岐および１６分岐されて、各々の分岐された流路の下流端を、対応するエリアＡ２，Ａ３，Ａ４の側面に開口した各作動エアー連通流路２７０に接続されている。なお、図８では、各エリアＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４の作動エアー供給流路３８６の分岐数は、上記した分岐数の半分のみを図示している。

給材エアー供給流路３８７および除材エアー供給流路３８８は、各々、上流端を供給側マニホールド３６５に接続しており、供給側マニホールド３６５の近傍には、上流側から、ブローエアーの供給圧力を調整する電空レギュレータ３６ａと、各流路３８７，３８８の開閉を行う供給側ソレノイドバルブ３６ｂと、が介設されている。
給材エアー供給流路３８７は、下流側で６分岐されて、分岐された各流路の下流端を、第１エリアＡ１および第２エリアＡ２の側面に開口した６本の給材エアー連通流路２７１に各々接続されている。同様に、除材エアー供給流路３８８も、下流側で６分岐されて、第１エリアＡ１および第２エリアＡ２の側面に開口した６本の除材エアー連通流路２７２に各々接続されている。

浮上エアー供給流路３８９は、上流端を供給側マニホールド３６５に接続しており、供給側マニホールド３６５の近傍には、浮上エアー供給流路３８９の開閉を行う供給側ソレノイドバルブ３６ｂが介設されている。
また、浮上エアー供給流路３８９は、下流側で１０分岐されており、分岐された各流路には、ブローエアーの供給圧力を調整する電空レギュレータ３６ａが介設され、分岐された流路の下流端を描画エリアＤＡの側面に開口した１０本の浮上エアー連通流路２７３に各々接続されている。この１０個の電空レギュレータ３６ａは、上記したレベル検出装置４６の計測結果に基づくブローエアーの供給圧力（流量）のコントロールに用いられる。なお、図８では、浮上エアー供給流路３８９の分岐数は、上記した分岐数の半分（５分岐）のみを図示している。

なお、メインコントローラ１２は、上記したレベル検出装置４６の計測結果に基づいて、各電空レギュレータ３６ａを制御する。これにより、Ｙ軸方向に沿って形成された任意の１本の浮上エアー連通流路２７３に供給するブローエアーの供給圧力（流量）を調整することができるため、浮上ブローチップ３５のＹ軸方向に並んだ２組のノズルセット３５１からのブローエアーの吹き出し量をコントロールすることができる。このため、描画エリアＤＡにおけるワークＷの平面精度を良好に維持することができる。

以上のように、各供給流路に介設された供給側ソレノイドバルブ３６ｂを操作することで、ワークセットプレート２４が臨んだエリアにのみ圧空（作動エアー、ブローエアー）の供給を行うことができる。このため、ワークセットプレート２４（ワークＷ）を、圧空源３６０からの最小限のエアー流量で、効率良く安定して浮上させることができる。

図８に示すように、エアー排気機構３７は、ベルヌーイチップ３３等に供給した圧空（作動エアー、ブローエアー）を吸引し排気する真空吸引源３７０と、テーブルベース２２の複数のエアー排気連通流路２７４に連通する複数のエアー排気流路３７１と、下流端を真空吸引源３７０に接続した排気本流路３７２と、排気本流路３７２の上流端と複数のエアー排気流路３７１とを接続する排気側マニホールド３７３と、から構成されている。

複数のエアー排気流路３７１は、複数のエアー排気連通流路２７４に連通し、テーブルベース２２上に供給された圧空を逃げ溝３１に形成された複数の吸引孔３２から真空吸引源３７０へと吸引排気するための流路となっている。描画エリアＤＡの２本のエアー排気連通流路２７４には、各々エアー排気流路３７１が連通しており、この２本のエアー排気流路３７１は、２分岐継手（図示省略）により１本に合流して、その合流した下流端を排気側マニホールド３７３に接続している。同様に、描画エリアＤＡを除くエリアＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４における各々４本のエアー排気連通流路２７４には、各々エアー排気流路３７１が連通しており、この４本のエアー排気流路３７１は、４分岐継手（図示省略）により各々１本に合流して、その合流した下流端を排気側マニホールド３７３に接続している。すなわち、複数のエアー排気連通流路２７４に連通した複数（１８本）のエアー排気流路３７１は、５つのエリアＡ１，Ａ２，ＤＡ，Ａ３，Ａ４ごとに合流し、下流側で５本の流路となり、その下流端を排気側マニホールド３７３に接続している。

各エアー排気流路３７１の排気側マニホールド３７３の近傍には、下流側から、圧空の排気圧力を調整する真空レギュレータ３７ａと、各エアー排気流路３７１の開閉を行う排気側ソレノイドバルブ３７ｂと、が介設されている。５本のエアー排気流路３７１は、下流端で排気側マニホールド３７３により合流し、排気本流路３７２を介して真空吸引源３７０に接続されている。これにより、一の真空吸引源３７０と、排気側ソレノイドバルブ３７ｂを開閉制御とで、圧空源３６０から供給された圧空の吸引処理を行うエリアを任意に選択することができるため、小さな吸引力で効率よく吸引処理を行うことができる。

図１５に示すように、ワークセットプレート２４は、薄板状の軽量な部材で構成され、その全域に、テーブルベース２２の上面に複数個配設された各チップ３３，３４，３５に上方から臨むように、複数の負圧連通孔２４０が貫通形成されている。また、ワークセットプレート２４の往動方向には、Ｙ軸方向に沿って、コンベヤ装置２６から搬送（給材）されてきたワークＷの度当りとなる一対の位置決めピンＰが出没自在に設けられている。一対の位置決めピンＰは、Ｙ軸方向に沿った中央付近に配設されており、搬送されてきたワークＷは、ワークセットプレート２４上に突出した一対の位置決めピンＰに突き当たることでＸ軸方向への搬送が停止されると共に、ワークセットプレート２４上でのθ方向のプリアライメントが行われる。

各負圧連通孔２４０は、複数の小穴２４１を千鳥状に配設して形成された複数組の小穴群２４２から構成されている。各小穴２４１は、Ｘ軸方向に延在する長穴であり、等間隔にＸ軸方向に並んで、垂直に貫通形成されている。各小穴群２４２は、Ｘ軸方向に等間隔に並んだ１行の小穴２４１が、千鳥状となるようにＹ軸方向に５行配設されて１組を成しており、テーブルベース２２の上面の各チップ３３，３４，３５に対応するように、Ｙ軸方向に等間隔に並んで１３組が配設されている。なお、小穴２４１の形状（丸穴、長穴等）、大きさは任意であり、また、小穴群２４２における小穴２４１の個数（行数）、配設位置（千鳥状、マトリクス状等）等も任意である。

したがって、載替えエリアＳＡおよび移動エリアＴＡにおいて、ある行の複数のベルヌーイチップ３３上の１組の小穴群２４２（負圧連通孔２４０）は、各ベルヌーイチップ３３の負圧発生部分に臨むこととなる。これにより、ワークセットプレート２４は、テーブルベース２２の表面から一定の位置に浮上すると共に、ワークセットプレート２４上に載置されたワークＷには、小穴群２４２を介して吸引力を作用させることができる。同様に、載替えエリアＳＡにおいて、ある行（偶数行）の複数の搬送ブローチップ３４上の１組の小穴群２４２は、給材ブローノズル３４１および除材ブローノズル３４３に臨むこととなる。これにより、給材ブローノズル３４１または除材ブローノズル３４３からのブローエアーを小穴群２４２を介して直接ワークＷに作用させることができるため、ワークＷをエアー浮上させ、移動させることができる。

一方、描画エリアＤＡにおいて、上記したように、浮上ブローチップ３５の各浮上ブローノズル３５２は、Ｙ軸方向両端側に位置しているため、浮上ブローチップ３５の上方の負圧連通孔２４０（小穴群２４２）は、各浮上ブローノズル３５２からのブローエアーが当らない位置に臨むこととなる。つまり、負圧連通孔２４０を避けた位置にブローエアーが吹き付けられるため、ブローエアーは、ワークセットプレート２４のみに作用する。これにより、ワークセットプレート２４上のワークＷは、浮き上がることなく安定してワークセットプレート２４上にセットされつつ、ワークセットプレート２４は、ブローエアーにより形成された安定した圧力分布の浮上間隙を存して安定して浮上することとなる。

図１ないし図３、図１５に示すように、Ｘ軸移動機構２５は、テーブルベース２２のＸ軸方向に沿う両側に配設された一対のＸ軸ガイドレール２５０と、各Ｘ軸ガイドレール２５０上をスライド自在に移動する片側３個のＸ軸スライダ２５１と、各Ｘ軸スライダ２５１とワークセットプレート２４とを、それぞれ連結する連結ブロック２５２と、各Ｘ軸スライダ２５１を介してワークセットプレート２４（ワークＷ）を移動させるＸ軸リニアモータ（図示省略）と、から構成されている。

片側のＸ軸ガイドレール２５０には、ワークセットプレート２４のスライド方向の中間位置および両端位置に設けた３個のＸ軸スライダ２５１が、等間隔で並べられている。連結ブロック２５２は、片側のＸ軸ガイドレール２５０につき、ワークセットプレート２４のスライド方向の中間位置に設けた基準連結ブロック２５３と、両端位置に設けた一対の調整連結ブロック２５４と、から構成されており、これらのブロック２５３，２５４は、３個のＸ軸スライダ２５１に、各々搭載されている。すなわち、ワークセットプレート２４は、両側で６点により支持されている。

一対の基準連結ブロック２５３は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の微小移動を許容する硬質ゴム等の弾性材で構成されている。
各調整連結ブロック２５４は、Ｘ軸スライダ２５１上にＹ軸方向に沿って配設されたＹ軸微小ガイドレール２５６と、Ｙ軸微小ガイドレール２５６上をスライド自在に移動するＹ軸微小スライダ２５７と、Ｙ軸微小スライダ２５７とワークセットプレート２４とを連結する微小スライダベース２５８と、から成るＹ軸微小移動機構２５５を備えている。微小スライダベース２５８は、硬質ゴム等の弾性材で構成されており、Ｘ軸方向への移動を許容している。Ｙ軸微小移動機構２５５は、このＸ軸方向への移動の許容とＹ軸微小スライダ２５７のＹ軸方向への移動とにより、滑らかなθ方向へ移動を行うことができる。なお、各調整連結ブロック２５４は、Ｙ軸微小移動機構２５５を省略して、各基準連結ブロック２５３と同様に、硬質ゴム等の弾性材で構成してもよい。

ここで、ワークセットプレート２４にセットされたワークＷのθ方向およびＸ軸方向のアライメントについて説明する。給材（搬送）されてきたワークＷは、一対の位置決めピンＰにより給材搬送が停止され、ワークセットプレート２４上にプリアライメントされた状態で吸着セットされる。その後、一対の位置決めピンＰを没入させ、上記したワークアライメント装置５により各方向の補正量を算出する。θ方向のアライメントは、補正量に応じてワークセットプレート２４の両側の各Ｘ軸リニアモータを互いに反対方向に駆動させることで行われる。これにより、ワークセットプレート２４の水平平面に垂直な中心軸に対して回転し、ずれの補正量（移動距離）が両側に振り分けられるため、最小限の移動距離でアライメントを実施することができる。また、各連結ブロック２５２によりθ方向のねじれを吸収することができるため、無理なくワークセットプレート２４（ワークＷ）のθ方向のアライメントを実施することができる。また、両側のＸ軸リニアモータを並行移動することによりＸ軸方向の補正も行われる。このようにアライメントを行うことで、ワークＷに対して高精度な描画処理を施すことができる。なお、移動距離が大きくなるが、ワークセットプレート２４の片側の移動手段のみを駆動させて、θ方向のアライメントを実施してもかまわない。

図１ないし図３、図１６および図１７を参照して、フラッシングユニット１５について詳細に説明する。上述したように、フラッシングユニット１５は、描画処理直前に機能液滴吐出ヘッド１３からの捨て吐出を受ける描画前フラッシングユニット６１と、ワークＷの載せ替え時等の非描画処理時に行われる機能液滴吐出ヘッド１３の捨て吐出を受ける定期フラッシングユニット６２と、から構成されている。

描画前フラッシングユニット６１および定期フラッシングユニット６２は、ほぼ同一の構成となっており、機能液滴吐出ヘッド１３の捨て吐出を受けるロール状に巻回された受液シート６３と、受液シート６３を下側から水平に支持するＦＬ支持プレート６４と、受液シート６３をＦＬ支持プレート６４に添わせて繰り出すと共にＦＬ支持プレート６４から巻き取る受液シート供給装置６５と、Ｘ軸移動機構２５の一対のＸ軸ガイドレール２５０上をスライド自在に移動する一対のＦＬスライダ６６と、から構成されている。ＦＬ支持プレート６４（受液シート６３および受液シート供給装置６５）は、各ＦＬスライダ６６を介してＸ軸リニアモータによりＸ軸方向にスライド自在に移動する。なお、定期フラッシングユニット６２は、受ける機能液の量が多いため、描画前フラッシングユニット６１よりも、厚手の受液シート６３を用いている。しかし、両ユニット６１，６２とも同一の受液シート６３を用いてもかまわない。

ＦＬ支持プレート６４には、上記したワークセットプレート２４と同様に、複数のベルヌーイチップ３３の負圧を受液シート６３に作用させる複数のＦＬ用負圧連通孔６４０が形成されている。この各ＦＬ用負圧連通孔６４０は、ワークセットプレート２４に形成された負圧連通孔２４０と同様に、Ｘ軸方向に向けた長穴から成る複数のＦＬ用小穴６４１が、千鳥状に配設されて１組のＦＬ用小穴群６４２を構成しており、ＦＬ用小穴群６４２は、テーブルベース２２の上面の各チップ３３，３４，３５に対応するように、Ｙ軸方向に等間隔に並んで１３組が配設されている。なお、ＦＬ用小穴６４１の形状（丸穴、長穴等）、大きさ等およびＦＬ用小穴群６４２におけるＦＬ用小穴６４１の個数（行数）、配設位置（千鳥状、マトリクス状等）等は任意である。

移動エリアＴＡおよび載替えエリアＳＡにおいて、ある行の複数のベルヌーイチップ３３上の１組のＦＬ用小穴群６４２（ＦＬ用負圧連通孔６４０）は、各ベルヌーイチップ３３の負圧発生部分に臨むため、ＦＬ支持プレート６４は、テーブルベース２２の表面から一定の位置に浮上すると共に、ＦＬ支持プレート６４上に載置された受液シート６３には、ＦＬ用小穴群６４２を介して吸着力を作用させることができる。一方、描画エリアＤＡにおいては、上記したように、ＦＬ用負圧連通孔６４０を避けた位置にブローエアーが吹き付けられるため、受液シート６３は浮き上がることがなく、且つＦＬ支持プレート６４を安定浮上させることができる。

受液シート供給装置６５は、巻回した受液シート６３をＦＬ支持プレート６４上に繰り出す受液シート供給リール６５０と、受液シート供給リール６５０を駆動する受液シート供給モータ６５１と、受液シート供給リール６５０側に配設され、ＦＬ支持プレート６４上の受液シート６３にテンションを与える受液シートテンションモータ６５２と、受液シート供給リール６５０から繰り出された受液シート６３を巻き取る受液シート巻取リール６５３と、受液シート巻取リール６５３を駆動する受液シート巻取モータ６５４と、受液シート巻取リール６５３側に配設され、ＦＬ支持プレート６４上の受液シート６３にテンションを与える受液シート送りモータ６５５と、から構成されている。

受液シート供給リール６５０および受液シート巻取リール６５３は、各々、Ｘ軸ガイドレール２５０のＹ軸方向両側端側においてＸ軸方向に沿って配設されており、巻回中心部分に設けられた受液シート供給モータ６５１および受液シート巻取モータ６５４により、受液シート供給リール６５０からＸ軸を渡すように繰り出された受液シート６３を、受液シート巻取リール６５３に巻き取るように回転する。また、各リール６５０，６５３には、各モータの停止時に巻かれた受液シート６３の巻き戻りや弛みを防止するため、各リール６５０，６５３の回転を規制する制動機構（図示省略）が各々組み込まれている。

受液シートテンションモータ６５２および受液シート送りモータ６５５は、ギヤードモータ等の角度保持可能なモータであり、受液シートテンションモータ６５２を繰り出し方向とは逆方向に回転すると共に、受液シート送りモータ６５５を巻き取り方向に回転して、ＦＬ支持プレート６４上に繰り出された受液シート６３に張り（テンション）を与えるようになっている。なお、ＦＬ支持プレート６４上に繰り出した受液シート６３に対し、受液シート供給装置６５により、十分なテンションを与えることができるのであれば、移動時にＦＬ支持プレート６４上の受液シート６３は、ずれることがないため、上記したＦＬ支持プレート６４のＦＬ用負圧連通孔６４０は不要である。

ここで、描画前フラッシングおよび定期フラッシングについて説明する。描画前フラッシングユニット６１は、描画処理に移る前に、移動エリアＴＡの往動方向外端部側（待機位置）から載替えエリアＳＡに位置するワークセットプレート２４に添うように移動する。そして、描画前フラッシングユニット６１は、ワークセットプレート２４の移動に同期するようにして共に往動し、ワークＷが各ヘッドユニット４２に臨む直前に全機能液滴吐出ヘッド１３から吐出された機能液滴を受ける（描画前フラッシング）。すなわち、描画のために相対的に移動する複数の機能液滴吐出ヘッド１３のうち、描画前フラッシングユニット６１の直上に達したものから描画前フラッシングを行う。これにより、描画直前の機能液滴吐出ヘッド１３の吐出を安定させることができ、ワークＷに対して精度良い描画処理を行うことができる。
定期フラッシングユニット６２は、描画処理時には、描画前フラッシングユニット６１の待機位置の更に外側で待機しており、非描画処理時には、描画エリアＤＡに移動し、各ヘッドユニット４２の全機能液滴吐出ヘッド１３から吐出された機能液滴を受ける（定期フラッシング）。これにより、非描画処理時の機能液滴吐出ヘッド１３の吐出ノズル５７の詰りを予防することができる。
なお、描画前フラッシングと定期フラッシングとを、１つのユニットで受けるように構成してもかまわない。

続いて、図１ないし図３、図１６ないし図１８を参照して、吐出検査ユニット１８について詳細に説明する。吐出検査ユニット１８は、各機能液滴吐出ヘッド１３から検査吐出された機能液滴が着弾し、Ｘ軸方向にスライド自在に移動する受液移動部７１と、受液移動部７１に着弾した機能液滴の着弾ドットＤを画像認識して吐出性能を検査すると共に吐出された機能液量を測定する検査測定部８１と、から構成されている。

受液移動部７１は、図１６および図１７に示したフラッシングユニット１５と同様の構成であり、機能液滴吐出ヘッド１３からの検査吐出を受けるロール状に巻回された検査シート７２と、検査シート７２を下側から水平に支持する検査支持プレート７３と、検査シート７２を検査支持プレート７３に添わせて繰り出すと共に検査支持プレート７３から巻き取る検査シート供給装置７４と、一対のＸ軸ガイドレール２５０上をスライド自在に移動する一対の検査スライダ７５と、から構成されている。検査支持プレート７３（検査シート７２および検査シート供給装置７４）は、各検査スライダ７５を介してＸ軸リニアモータによりＸ軸方向にスライド自在に移動する。

検査支持プレート７３には、上記したＦＬ支持プレート６４と同様に、複数の検査用小穴７３１を千鳥状に配設して形成された複数組の検査用小穴群７３２から構成された複数の検査用負圧連通孔７３０が形成されている。
検査シート供給装置７４は、上記した受液シート供給装置６５と同様に、検査シート供給リール７４０、検査シート供給モータ７４１および検査シートテンションモータ７４２と、検査シート巻取リール７４３、検査シート巻取モータ７４４および検査シート送りモータ７４５と、から構成されている。なお、各検査用負圧連通孔７３０および検査シート供給装置７４の構成、作用および効果は、上記したＦＬ用負圧連通孔６４０および受液シート供給装置６５のそれと同様であるため説明は省略する。

検査測定部８１は、移動エリアＴＡの往動方向外側端部において、Ｘ軸テーブル２を跨ぐように架け渡されたブリッジフレーム８２と、ブリッジフレーム８２に移動自在に吊設され、上方から検査シート７２上に検査吐出された着弾ドットＤを画像認識する２台の撮像ユニット８３と、各撮像ユニット８３をＹ軸方向に移動させる撮像移動機構８４と、メインコントローラ１２に組み込まれ、各撮像ユニット８３の認識結果から機能液滴吐出ヘッド１３の吐出性能および機能液量を評価および算定する評価算定手段（図示省略）と、から構成されている。

各撮像ユニット８３は、機能液滴吐出ヘッド１３からの吐出の有無および飛行曲り（着弾位置）の検査をするための撮像を行う吐出検査カメラ８３０と、吐出された機能液量を測定するための撮像を行う吐出量測定カメラ８３１と、吐出量測定カメラ８３１の自動焦点距離合わせに用いるレーザ測長器８３２と、から構成されている。
吐出検査カメラ８３０には、同軸落射照明器（図示省略）が組み込まれており、同軸落射照明の下で着弾ドットＤを撮像する。一方、吐出検査カメラ８３０には、切替式リング照明器８３３（３色に切り替え可能）が備えられており、機能液の種類（色種）に応じて適切な色に切り替えた照明の下で着弾ドットＤを撮像する。

撮像移動機構８４は、各撮像ユニット８３をＹ軸方向にスライド自在に移動する撮像スライダ８６と、撮像リニアモータ（図示省略）と、から構成されている。このように、撮像移動機構８４により各撮像ユニット８３を移動させることで、最小限のカメラ８３０，８３１の配置台数で、吐出検査測定における時間を短縮することができる。

ここで、吐出検査ユニット１８における検査・測定について説明する。受液移動部７１は、ワークＷに対する描画処理時には、定期フラッシングユニット６２の待機位置の更に外側で待機しており、非描画処理時には、描画エリアＤＡに移動して、検査シート７２上に、ヘッドユニット４２の全機能液滴吐出ヘッド１３から機能液滴の検査吐出を受ける。検査吐出後、受液移動部７１は、検査測定部８１の撮像ユニット８３に臨む位置に移動し、２台の撮像ユニット８３をＹ軸方向に走査させることにより着弾ドットＤを撮像する。この撮像結果に基づいて、メインコントローラ１２に組み込まれた評価算定手段により、機能液滴吐出ヘッド１３からの吐出の有無および飛行曲りを検査すると共に、機能液滴の着弾ドットＤの直径から吐出量（重量）を算出（測定）する。

具体的には、図１９に示すように、撮像した着弾ドットＤと、評価算定手段がデータとして保持する吐出基準マークＭとが、一致している場合（図１９（ａ）参照）、機能液滴を吐出した吐出ノズル５７は、正常に吐出していると判断される。一方、着弾ドットＤが、吐出基準マークＭから外れている場合（図１９（ｂ）参照）には飛行曲がりと判断され、また、着弾ドットＤが小さい場合や円形でない場合（図１９（ｃ）参照）には不良吐出と判断される。さらに、着弾ドットＤが無い場合には不吐出と判断される。なお、図１９では、判断しやすいように吐出基準マークＭを着弾ドットＤよりひと回り大きな円で表示している。
また、評価算定手段は、予め実験的に求めた、着弾ドットＤの直径と機能液滴の吐出量（重量）との関係をデータとして保持しており、撮像した着弾ドットＤの直径を測定・算出することにより、機能液滴の吐出量を算出することができるようになっている。

ここで、本実施形態のメインコントローラ１２による液滴吐出装置１のワークＷの給材から描画までの処理手順について説明する。まず、コンベヤ装置２６から搬送されてきたワークＷを、複数の搬送ブローチップ３４の各給材ブローノズル３４１からのブローエアーにより、ワークセットプレート２４上に給材搬送する。そして、ブローエアーを停止させると共に、載替えエリアＳＡにおける各ベルヌーイチップ３３に作動エアーを供給し、ワークＷを吸着セットして、各方向のアライメントを行う。なお、このアライメント位置が、ワークセットプレート２４のホーム位置となっている。アライメントの実施中に、移動エリアＴＡにおける各ベルヌーイチップ３３に作動エアーを供給すると共に、描画エリアＤＡにおける浮上ブローチップ３５にブローエアーを供給し、待機位置のフラッシングユニット１５および受液移動部７１（吐出検査ユニット１８）を復動させる。そして、先ず、受液移動部７１が各ヘッドユニット４２に臨み、全機能液滴吐出ヘッド１３からの検査吐出を受ける。その後、吐出検査ユニット１８は、往動して検査測定部８１に臨み、所定の検査・測定が実施される。受液移動部７１に代えて、定期フラッシングユニット６２は、各ヘッドユニット４２に臨み、全機能液滴吐出ヘッド１３からの定期フラッシングを受ける。描画前フラッシングユニット６１は、ホーム位置のワークセットプレート２４に添う位置に存している。なお、圧空の供給時には、同時にエアー排気機構３７によるエアー吸引も行われている。

アライメント終了後、定期フラッシングユニット６２は、待機位置に復動すると共に、ワークＷをセットしたワークセットプレート２４は、描画処理を開始する前に、Ｘ軸方向（主走査方向）に往復移動し、各レベル検出装置４６により、描画エリアＤＡにおけるワークＷの各部のレベルを計測される。なお、このレベル計測は、規定数のワークＷに描画処理を行った後に自動で実施することが好ましいが、ワークＷへの描画処理の度に実施してもよいし、液滴吐出装置１の稼動開始時に1度だけ実施してもよい。なお、本実施形態では、往復移動時にレベル計測を実施しているが、往動または復動、どちらか一方でのみレベル計測を実施してもよい。

レベル計測の後、ワークセットプレート２４および描画前フラッシングユニット６１は、共にＸ軸方向に往復移動する。往動する際、各機能液滴吐出ヘッド１３には、ワークＷに先立って、描画前フラッシングユニット６１が臨んで描画前フラッシングを受け、その後、ワークＷが臨んで所定の描画処理を受ける。往動が終了すると各キャリッジユニット４（ヘッドユニット４２）は、Ｙ軸方向に所定の移動を行い、復動する際にも描画処理が行われる。本実施形態では、その構成から、往動時にのみ描画前フラッシングユニット６１による描画前フラッシングを受けることとなる。なお、ワークＷに対する描画処理は、往動または復動、いずれか一方でのみ実施してもよい。また、描画前フラッシングユニット６１をワークセットプレート２４のＸ軸方向両側に添設するようにし、往動および復動での描画処理に先立ち描画前フラッシングを受けるようにしてもよい。

以上の構成によれば、気体調和（温度調整）された圧空を用いてワークＷを浮上させることができるため、圧空によりワークＷの温度を一定に保つことができる。これにより、温度変化によるワークＷの変形（膨張または収縮）を防止することができるため、ワークＷに対する高精度な処理を行うことができる。また、Ｘ軸テーブル２全体に対して空気調和を図る必要がないため、Ｘ軸テーブル２全体を収容するチャンバＣＨを簡単なものとすることができる。これにより、液滴吐出装置１全体の単純化および小型化を図ることができる。

次に、本発明のワーク移動テーブルを適用した、他の液滴吐出装置１（第２実施形態）について説明する。この液滴吐出装置１では、ワークセットプレート２４を省略し、Ｘ軸移動機構２５の連結ブロック２５２に代えて、各Ｘ軸ガイドレール２５０上をスライド自在に移動する３個のＸ軸スライダ２５１に各々搭載され、ワークＷを吸着セットする吸着プレート２８０を有している。また、吸着プレート２８０は、ワークＷに吸引力を作用させるための真空吸引流路系２８４を介して真空吸引源３７０に連通している。その他の構成は、上述した液滴吐出装置１（第１実施形態）と同様であるため説明は省略し、以下、第１実施形態と異なる構成についてのみ説明する。

図２０および図２１に示すように、各Ｘ軸ガイドレール２５０には、３個のＸ軸スライダ２５１が連続して並べられており、各Ｘ軸スライダ２５１には、分割吸着プレート２８１が搭載されている。すなわち、一対のＸ軸ガイドレール２５０には、６個の分割吸着プレート２８１がＸ軸方向にスライド自在に備えられている。各分割吸着プレート２８１は、ワークＷに吸引力を作用させるための複数（９個）の真空吸着溝２８２と、各真空吸着溝２８２に連通する複数（９本）の個別吸引連通流路２８３と、から構成されている。

真空吸着溝２８２は、Ｘ軸方向に長いトラック状に形成されており、各分割吸着プレート２８１の上面（表面）に、ＸおよびＹ軸方向に各々３個、合計９個が、マトリクス状に配設されている。このように、真空吸着溝２８２をトラック状に形成することで、ワークＷの移動方向を考慮しつつ、吸引力を均一に作用させることができる。なお、ワークＷが，対応する複数の真空吸着溝２８２を塞ぐことができずに生じる吸引エアーの漏れがないように、各真空吸着溝２８２は、ワークＷの規定単位寸法（モジュール）に対応するように配設されていることが好ましい。

図２１（ｂ）に示すように、９本の個別吸引連通流路２８３は、各分割吸着プレート２８１において、各々Ｙ軸方向に向かって形成されており、且つＸ軸方向に等間隔に並んで配設され、下流端を分割吸着プレート２８１の外側側面に各々開口している。また、各個別吸引連通流路２８３は、上流側で２分岐されて、分岐された各流路の下流端を各真空吸着溝２８２に各々連通している。

真空吸引流路系２８４は、上流端を各分割吸着プレート２８１の外側側面に開口した各個別吸引連通流路２８３に接続する複数の個別吸引流路２８５と、複数の個別吸引流路２８５を分割吸着プレート２８１ごとに合流させる６個の個別マニホールド２８６と、各個別マニホールド２８６とエアー排気機構３７の排気側マニホールド３７３とを接続する複数の個別排気流路２８７と、から構成されている。すなわち、吸着プレート２８０は、真空吸引流路系２８４を介してエアー排気機構３７の真空吸引源３７０に連通し、吸着プレート２８０上のワークＷに吸引力を作用させることができるようになっている。

個別吸引流路２８５は、各分割吸着プレート２８１あたり９本、合計５４本で構成されており、その上流端を、各々個別吸引連通流路２８３に接続しており、その下流端を、分割吸着プレート２８１ごとに９本ずつ一の個別マニホールド２８６に接続している。また、個別吸引流路２８５には、個別マニホールド２８６の近傍、下流側から、吸引圧力を調整する個別レギュレータ２５ａと、各個別吸引流路２８５の開閉を行う個別ソレノイドバルブ２５ｂと、が介設されている。この各個別ソレノイドバルブ２５ｂの開閉を制御することにより、任意の真空吸着溝２８２から真空吸引を行うことができるため、吸着プレート２８０上の任意の位置にエアーのリークを生ずることなく、ワークＷを吸着セットすることができる。これにより、ワークＷのセット位置の自由度が増すと共に、必要最小限の吸引力でワークＷを有効に吸着セットすることができる。なお、本実施形態では、作動エアー等の吸引を行うエアー排気機構３７の真空吸引源３７０によりワークＷを吸着セットしているが、別途専用の真空吸引手段を設けてもかまわない。また、個別ソレノイドバルブ２５ｂの開閉は、自動であってもよいし、手動であってもよい。

ここで、各分割吸着プレート２８１にセットされたワークＷのθ方向およびＸ軸方向のアライメントについて説明する。第２実施形態では、一対の位置決めピンＰは、テーブルベース２２の載替えエリアＳＡにＹ軸方向に沿って出没自在に設けられており、給材（搬送）されてきたワークＷは、一対の位置決めピンＰにより給材搬送が停止され、ワークＷのＹ軸方向両端部を、一対の吸着プレート２８０上にプリアライメントされた状態で支持される。その後、一対の位置決めピンＰを埋没させ、一対のＸ軸ガイドレール２５０の中央に位置する一対の分割吸着プレート２８１の最も内側の真空吸着溝２８２に連なる個別吸引連通流路２８３を開放して、ワークＷを仮吸着セットして、上記したワークアライメント装置５により、各方向の補正量を算出する。θ方向のアライメントは、補正量に応じて両側の各Ｘ軸スライダ２５１の各Ｘ軸リニアモータを互いに反対方向に駆動させることで行われる。これにより、ワークＷの水平平面に垂直な中心軸に対して回転し、ずれの補正量（移動距離）が両側に振り分けられるため、最小限の移動距離でアライメントを実施することができる。また、一部の真空吸着溝２８２により仮セットされているだけのため、無理なくワークＷのθ方向のアライメントを実施することができる。また、両側のＸ軸リニアモータを並行移動することによりＸ軸方向の補正も行われる。このようにアライメントを行うことで、ワークＷに対して高精度な描画処理を施すことができる。なお、移動距離が大きくなるが、ワークＷの片側の移動手段のみを駆動させて、θ方向のアライメントを実施してもかまわない。

以上の構成によれば、第１実施形態と同様に、空気調和された圧空を用いてワークＷの変形を防止することができ、ワークＷに直接吸着力を作用させつつ浮上移動させることができる。これにより、温度変化によるワークＷの変形（膨張または収縮）を防止し、ワークＷに対する高精度な処理を行うことができると共に、液滴吐出装置１全体を小型化することができる。

第1実施形態における液滴吐出装置（主にＸ軸テーブル）の外観斜視図である。 第1実施形態における液滴吐出装置の平面図である。 第1実施形態における液滴吐出装置の側面図である。 機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットを模式的に表した平面図である。 機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。 機能液滴吐出ヘッドとレベル検出装置とを搭載したヘッドプレートを模式的に表した平面図（ａ）、側面図（ｂ）およびレベル検出装置の斜視図（ｃ）である。 ワークアライメント装置の平面図および断面図である。 テーブルベースの上面に組み込まれたエアー浮上機構を模式的に表した系統図である。 テーブルベースの載替えエリアの一部におけるベルヌーイチップ、搬送ブローチップおよび連通流路の斜視図である。 テーブルベースの載替えエリアの一部におけるベルヌーイチップ、搬送ブローチップおよび連通流路の平面図および断面図である。 テーブルベースの描画エリアの一部におけるベルヌーイチップ、浮上ブローチップおよび連通流路の斜視図である。 テーブルベースの描画エリアの一部におけるベルヌーイチップ、浮上ブローチップおよび連通流路の平面図および断面図である。 ベルヌーイチップの平面図（ａ）および断面図（ｂ）である。 搬送ブローチップ（ａ）および浮上ブローチップ（ｂ）の平面図およびこれらの断面図（ｃ）である。 ワークセットプレートおよびＸ軸移動機構の三面図である。 フラッシングユニットおよび吐出検査ユニットの受液移動部の外観斜視図である。 フラッシングユニットおよび吐出検査ユニットの受液移動部の三面図である。 吐出検査ユニットの検査測定部の斜視図である。 着弾ドットの撮像結果を示す説明図である。 第２実施形態におけるＸ軸移動機構の斜視図および真空吸引流路系を模式的に表した系統図である。 第２実施形態におけるＸ軸移動機構の三面図（ａ）および分割吸着プレートの部分拡大図（ｂ）である。

符号の説明

１：液滴吐出装置、２：Ｘ軸テーブル、１２：メインコントローラ、１３：機能液滴吐出ヘッド、２２：テーブルベース、２３：エアー浮上機構、２５：Ｘ軸移動機構、２５ａ：個別レギュレータ、２５ｂ：個別ソレノイドバルブ、２６：コンベヤ装置、３１：逃げ溝、３２：吸引孔、３３：ベルヌーイチップ、３４：搬送ブローチップ、３５：浮上ブローチップ、３６：エアー供給機構、３６ａ：電空レギュレータ、３６ｂ：供給側ソレノイドバルブ、４６：レベル検出装置、５７：吐出ノズル、２５０：Ｘ軸ガイドレール、２５１：Ｘ軸スライダ、２８０：吸着プレート、２８１：分割吸着プレート、２８２：真空吸着溝、２８３：個別吸引連通流路、２８５：個別吸引流路、３４１：給材ブローノズル、３４３：除材ブローノズル、３５２：浮上ブローノズル、３６０：圧空源、３６２：エアー温度調節装置、３７０：真空吸引源、ＤＡ：描画エリア、ＳＡ：載替えエリア、Ｗ：ワーク

Claims (11)

1. テーブルベースと、
   前記テーブルベースの上面に分布させて上向きに設けられ、前記テーブルベース上にワークを気体浮上させる複数のベルヌーイチャックを有する気体浮上手段と、
   前記気体浮上手段に、浮上のための作動気体を供給する作動気体供給手段と、
   気体浮上させた前記ワークを、水平面内で移動させる移動手段と、
   前記複数のベルヌーイチャックによる浮上間隙を存して前記複数のベルヌーイチャックの上方に配設され、前記ワークがセットされるワークセットプレートと、備え、
   前記ワークセットプレートには、前記複数のベルヌーイチャックの負圧を前記ワークに作用させる複数の負圧連通孔が形成されていることを特徴とするワーク移動テーブル。
2. 前記気体浮上手段と前記作動気体供給手段との間の気体供給流路に介設され、前記作動気体を所望の気体調和状態に調整する気体調和手段を、更に備えたことを特徴とする請求項１に記載のワーク移動テーブル。
3. 前記気体調和手段は、前記作動気体の温度を調整する温度調整手段を有していることを特徴とする請求項２に記載のワーク移動テーブル。
4. 前記移動手段は、前記ワークセットプレートを介して前記ワークをＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構を有し、
   前記Ｘ軸移動機構は、前記テーブルベースのＸ軸方向に沿う両側に配設した一対のガイドレールと、
   前記各ガイドレール上をスライド自在に移動する一対のスライダを有する一対のリニアモータと、から成ることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のワーク移動テーブル。
5. 前記テーブルベースの上面には、前記各ベルヌーイチャックから流出した作動気体を逃がす逃げ溝が形成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のワーク移動テーブル。
6. 前記逃げ溝は、前記各ベルヌーイチャックを囲繞するように配設されていることを特徴とする請求項５に記載のワーク移動テーブル。
7. 前記逃げ溝には、真空吸引手段が連通していることを特徴とする請求項５または６に記載のワーク移動テーブル。
8. 前記複数のベルヌーイチャックは、前記テーブルベースの上面に千鳥状に分布していることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載のワーク移動テーブル。
9. 前記テーブルベースにおける前記ワークの移動方向の中間部が、前記ワークに処理を行なう処理エリアとなっており、
   前記処理エリアにおいて、前記複数のベルヌーイチャックに代えて設けられ、前記ワークセットプレートを気体浮上させる複数の浮上ブローノズル、を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のワーク移動テーブル。
10. 前記複数の浮上ブローノズルと前記作動気体供給手段とを接続する供給流路に介設され、前記複数の浮上ブローノズルへの気体供給量を個別に調整する複数の流量調整手段と、
    前記複数の流量調整手段を制御するコントローラと、
    前記処理エリアに配設され、前記処理エリアにおける前記ワークの各部の高さレベルを検出する検出手段と、を更に備え、
    前記コントローラは、前記検出手段の検出結果に基づいて、前記処理エリアにおける前記ワークセットプレート上の前記ワークが平坦になるように前記複数の流量調整手段を制御することを特徴とする請求項９に記載のワーク移動テーブル。
11. 請求項１ないし１０のいずれかに記載のワーク移動テーブルと、
    前記ワーク移動テーブルに上側から臨むインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドと、を備え、
    前記ワーク移動テーブルによりＸ軸方向である主走査方向に移動する前記ワークに対し、前記機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルから機能液滴を選択的に吐出して描画処理を行なうことを特徴とする液滴吐出装置。

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