[go: up one dir, main page]

JP5358412B2 - Method for producing thermal conductive sheet and thermal conductive sheet - Google Patents

Method for producing thermal conductive sheet and thermal conductive sheet Download PDF

Info

Publication number
JP5358412B2
JP5358412B2 JP2009272933A JP2009272933A JP5358412B2 JP 5358412 B2 JP5358412 B2 JP 5358412B2 JP 2009272933 A JP2009272933 A JP 2009272933A JP 2009272933 A JP2009272933 A JP 2009272933A JP 5358412 B2 JP5358412 B2 JP 5358412B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sheet
film
conductive sheet
heat conductive
elastic film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2009272933A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2011116806A (en
Inventor
充 太田
泰佳 渡部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Polymatech Co Ltd
Original Assignee
Polymatech Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Polymatech Co Ltd filed Critical Polymatech Co Ltd
Priority to JP2009272933A priority Critical patent/JP5358412B2/en
Publication of JP2011116806A publication Critical patent/JP2011116806A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5358412B2 publication Critical patent/JP5358412B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for efficiently and easily producing a thermally conductive sheet in which a thermally conductive filler is dispersed in a sheet-like polymer base material. <P>SOLUTION: A thermally conductive sheet 11, whose lateral faces along the thickness direction are made of an elastic film 12a, is formed by carrying out a step of allowing a film forming agent to adhere to surfaces of a block molded body 16 comprising a thermally conductive composition prepared by blending a polymer base material with a thermally conductive filler to form a nonsticky elastic film 16a of the film forming agent, and a step of dividing the block molded body 16 by slicing into sheets 12 in which the elastic film 16a forms outer edges. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、発熱する電子部品に固着し、その電子部品の放熱や冷却という熱対策部材として用いられる熱伝導性シートの製造方法及び熱伝導性シートに関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a heat conductive sheet and a heat conductive sheet which are fixed to a heat generating electronic component and used as a heat countermeasure member for heat dissipation and cooling of the electronic component.

電子機器に実装されるICやCPUなどは使用中(実行中)に発熱する電子部品であって、このような発熱体の電子部品を冷却するために、電子機器の内部にはヒートシンクやヒートパイプなどの放熱体が装備されている。そして発熱体から放熱体へ熱を効率よく伝えるために、発熱体と放熱体との間には熱伝導性シートが介装されている。この熱伝導性シートの利用により、発熱体と放熱体との間の伝熱面積が増大し、発熱体の熱を放熱体へ効率良く逃がすことができる。   An IC or CPU mounted on an electronic device is an electronic component that generates heat during use (during execution). In order to cool the electronic component of such a heating element, a heat sink or heat pipe is provided inside the electronic device. Equipped with a radiator. A heat conductive sheet is interposed between the heat generating body and the heat radiating body in order to efficiently transfer heat from the heat generating body to the heat radiating body. By using this heat conductive sheet, the heat transfer area between the heat generating body and the heat radiating body is increased, and the heat of the heat generating body can be efficiently released to the heat radiating body.

熱伝導性シートは、発熱体や放熱体などの被着体に対する追従性や密着性を高めて熱を伝え易くしている。このため熱伝導性シートには柔軟性が要求されるが、柔軟性が高くなると粘着性も高くなってしまう。そして粘着性が高まると、熱伝導性シートどうしが粘着したり、被着体への取付作業が困難になることがある。また、熱伝導性シートは肉厚を薄くすれば熱伝導性を高めることができるが、薄肉にすると破れ易くなって取扱い難くなってしまう。   The heat conductive sheet improves the followability and adhesion to an adherend such as a heating element and a heat radiating element to facilitate heat transfer. For this reason, the heat conductive sheet is required to have flexibility, but if the flexibility is increased, the adhesiveness is also increased. And when adhesiveness increases, heat conductive sheets may adhere, and the attachment operation | work to a to-be-adhered body may become difficult. In addition, if the thickness of the thermally conductive sheet is reduced, the thermal conductivity can be increased. However, if the thickness of the thermally conductive sheet is reduced, it is easily broken and difficult to handle.

上記のような問題の対策として、例えば、特開平02−196453号公報(特許文献1)には、柔らかく変形し易い第1のシリコーン樹脂層(ゲル層)と、取扱いに必要な強度を有する第2のシリコーン樹脂層(ゴム層)と、を積層した熱伝導性シート複合体が開示されている。また、特開平10−183110号公報(特許文献2)には、熱伝導性充填材を配合したシリコーンゲル層と、ゴム状の薄膜補強層と、を積層した熱伝導性シリコーンゲル成形シートが開示されている。このような熱伝導性シートによれば、シートの厚み方向にはゲル層で柔らかく、シートの面方向にはゴム層で強度があり、熱を伝え易くて実装作業時の取扱い性が良いというメリットが得られる。
これら熱伝導性シートは、被着体の間に介装して実装する熱伝導性シートに比べて大きい寸法の大判熱伝導性シートを樹脂フィルム上に成形した後、被着体の大きさに合わせて裁断するという製造方法が多く採用されている。この製造方法により、熱伝導性シートを効率良く製造することができる。
As a countermeasure against the above problems, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 02-196453 (Patent Document 1) discloses a first silicone resin layer (gel layer) that is soft and easily deformed and has a strength necessary for handling. A thermally conductive sheet composite in which two silicone resin layers (rubber layers) are laminated is disclosed. JP-A-10-183110 (Patent Document 2) discloses a thermally conductive silicone gel molded sheet in which a silicone gel layer containing a thermally conductive filler and a rubbery thin film reinforcing layer are laminated. Has been. According to such a heat conductive sheet, the gel layer is soft in the thickness direction of the sheet, the rubber layer is strong in the surface direction of the sheet, and it is easy to conduct heat and is easy to handle during mounting work. Is obtained.
These heat conductive sheets are formed on a resin film after forming a large heat conductive sheet having a size larger than that of the heat conductive sheet interposed between the adherends and mounted. Many manufacturing methods of cutting together are employed. By this manufacturing method, a heat conductive sheet can be manufactured efficiently.

特開平02−196453号公報Japanese Patent Laid-Open No. 02-196453 特開平10−183110号公報JP-A-10-183110

ところで、特許文献1、特許文献2に開示される熱伝導性シートは、被着体への装着作業を容易にすことができるが、少なくとも片面にゴム層を積層しているため、少なくとも一方の被着体にゴム層が接触することになり、ゲル層の柔軟性に起因した密着力及びそれによって生じる低熱抵抗という熱伝導性能を最大限に発揮できなくなるという問題がある。   By the way, although the heat conductive sheet disclosed by patent document 1 and patent document 2 can make the mounting | wearing operation | work to a to-be-adhered body easy, since the rubber layer is laminated | stacked at least on one side, The rubber layer comes into contact with the adherend, and there is a problem that the heat conduction performance of the adhesion force resulting from the flexibility of the gel layer and the resulting low thermal resistance cannot be exhibited to the maximum.

以上のような従来技術を背景としてなされたのが本発明である。すなわち、本発明の目的は、柔軟性に起因した熱伝導性能を発揮することができ、さらに取扱い性に優れる技術を提供することにある。また、このような熱伝導性シートを効率良く、容易に製造することができる技術を提供することにある。   The present invention has been made against the background of the prior art as described above. That is, an object of the present invention is to provide a technique that can exhibit heat conduction performance due to flexibility and is excellent in handleability. Moreover, it is providing the technique which can manufacture such a heat conductive sheet efficiently and easily.

上記目的を達成すべく本発明は以下のように構成される。
すなわち、シート状の高分子基材中に熱伝導性充填材が分散する熱伝導性シートの製造方法について、高分子基材に熱伝導性充填材を配合した熱伝導性組成物から形成される塊状成形体の表面に、皮膜形成剤を付着させて、該皮膜形成剤による非粘着性の弾性皮膜を形成する工程と、塊状成形体をスライス加工して、弾性皮膜が外縁を形成するシートに分割する工程と、を実行し、厚さ方向に沿う側面が弾性皮膜でなる熱伝導性シートを形成することを特徴とする熱伝導性シートの製造方法を提供する。
In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.
That is, a method for producing a heat conductive sheet in which a heat conductive filler is dispersed in a sheet-like polymer base material is formed from a heat conductive composition in which a heat conductive filler is blended with a polymer base material. A process for forming a non-adhesive elastic film with the film forming agent by attaching a film forming agent to the surface of the massive molded body, and slicing the massive molded body so that the elastic film forms an outer edge. And a step of dividing, and forming a heat conductive sheet having a side surface along the thickness direction made of an elastic film.

本発明では、塊状成形体の表面に非粘着性の弾性皮膜を形成した後に、その塊状成形体を外縁が弾性皮膜でなるようスライス加工してシートを形成する。このため厚さ方向に沿う側面が弾性皮膜でなる熱伝導性シートを容易に形成することができる。そして塊状成形体をスライス加工して製造するため、側面が弾性皮膜でなる熱伝導性シートを複数得ることができ、効率よく製造することができる。そして厚さの異なる熱伝導性シートも金型を起工せずに製造することができる。さらに弾性皮膜が外縁を形成するようにスライス加工するため、塊状成形体を弾性皮膜の剛性によって変形し難くすることができ、スライス加工の精度を高めることができる。このように形成した熱伝導性シートは、側面の弾性皮膜によってシートの剛性を高めることができ、取扱い性を高めることができる。また、弾性皮膜はシートの外縁に形成されているため、シートの面内は柔軟性を確保することができ、柔軟性に起因した密着力及びそれによって生じる低熱抵抗という熱伝導性能を発揮することができる。
なお、スライス加工とは、塊状成形体をかんな削りの要領で平板に分割する加工を意味する。また、高分子基材には、高分子材料の主剤と硬化剤の他に、耐候性、耐熱性などの性質や生産性を考慮して、可塑剤、補強材、着色剤、耐熱向上剤、カップリング剤、難燃剤、粘着剤、触媒、硬化遅延剤、劣化防止剤などを適量含有することができる。
In the present invention, after a non-adhesive elastic film is formed on the surface of the bulk molded body, the bulk molded body is sliced so that the outer edge is made of an elastic film to form a sheet. For this reason, the heat conductive sheet which the side surface along a thickness direction becomes an elastic film can be formed easily. And since the lump-shaped molded object is manufactured by slicing, a plurality of heat conductive sheets whose side surfaces are made of an elastic film can be obtained, and can be manufactured efficiently. And the heat conductive sheet from which thickness differs can also be manufactured, without starting a metal mold | die. Further, since the elastic film is sliced so as to form the outer edge, the massive molded body can be hardly deformed by the rigidity of the elastic film, and the accuracy of the slicing process can be increased. The heat conductive sheet formed in this way can increase the rigidity of the sheet by the elastic film on the side surface, and can improve the handleability. In addition, since the elastic coating is formed on the outer edge of the sheet, the sheet surface can ensure flexibility, and exhibits heat conduction performance such as adhesion due to flexibility and low thermal resistance caused thereby. Can do.
In addition, slicing means the process which divides | segments a block-shaped molded object into a flat plate in the way of cutting. In addition to the main component and curing agent of the polymer material, the polymer base material, in consideration of properties such as weather resistance and heat resistance and productivity, plasticizer, reinforcing material, colorant, heat improver, An appropriate amount of a coupling agent, a flame retardant, an adhesive, a catalyst, a curing retarder, a deterioration inhibitor, and the like can be contained.

塊状成形体の表面に弾性皮膜を形成する工程を、熱伝導性組成物を充填する成形金型のキャビティ内に皮膜形成剤を塗布する工程と、この成形金型のキャビティに熱伝導性組成物を充填する工程と、キャビティ内で熱伝導性組成物から塊状成形体を成形すると同時に、皮膜形成剤により弾性皮膜を形成する工程と、を順次実行するものとすることもできる。このように塊状成形体の成形と同時に弾性皮膜を形成すれば、製造効率を高めることができる。
なお、本発明の「金型のキャビティ内に皮膜形成剤を塗布する」とは、金型のキャビティ壁面に直接皮膜形成剤を塗布すること、皮膜形成剤を塗布した部材を金型のキャビティ内にインサートすること、を意味する。このうち皮膜形成剤を塗布する部材には、例えば、シート物、筒物などが挙げられる。特にフィルムや金属箔などのシート物は、シート状態で皮膜形成剤を塗布した後に、折り曲げて金型にインサートすることができる。このようにシート物に皮膜形成剤を塗布する場合は、塊状成形体に皮膜形成剤を塗布する場合、金型のキャビティ壁面に皮膜形成剤を塗布する場合、金型にインサートする筒物の内側に皮膜形成剤を塗布する場合などに比べて、皮膜形成剤を容易にムラ無く塗布できるため、塊状成形体に対してムラ無く均一に皮膜形成剤を付着させることができ、安定した物性の弾性皮膜を形成することができる。
The step of forming an elastic film on the surface of the bulk molded body, the step of applying a film forming agent in the cavity of the molding die filled with the heat conductive composition, and the heat conductive composition in the cavity of the molding die And a step of forming an elastic film with a film forming agent at the same time as forming a lump-shaped molded body from the thermally conductive composition in the cavity. Thus, if an elastic film is formed simultaneously with the molding of the massive molded body, the production efficiency can be increased.
In the present invention, “applying a film-forming agent into the mold cavity” means that the film-forming agent is directly applied to the cavity wall surface of the mold, and the member to which the film-forming agent is applied is placed in the mold cavity. It means to insert into. Of these, examples of the member to which the film forming agent is applied include a sheet and a cylinder. In particular, a sheet material such as a film or a metal foil can be folded and inserted into a mold after a film forming agent is applied in a sheet state. Thus, when applying a film-forming agent to a sheet, when applying a film-forming agent to a bulk molded body, when applying a film-forming agent to the cavity wall surface of a mold, the inside of a cylinder that is inserted into the mold Compared to the case where a film-forming agent is applied to the film, the film-forming agent can be applied easily and without unevenness, so that the film-forming agent can be uniformly attached to a lump-shaped molded product without causing unevenness, and stable physical properties can be obtained. A film can be formed.

塊状成形体の表面に弾性皮膜を形成する工程を、熱伝導性組成物を成形金型のキャビティに充填する工程と、キャビティ内で熱伝導性組成物から塊状成形体を成形する工程と、塊状成形体の表面に皮膜形成剤を付着させる工程と、該皮膜形成剤による弾性皮膜を形成する工程と、を順次実行するものとすることができる。このよう塊状成形体を成形した後に皮膜形成剤を付着させれば、塊状成形体に対して皮膜形成剤を確実に付着させることができ、弾性皮膜を正確に形成することができる。   The step of forming an elastic film on the surface of the bulk molded body, the step of filling the cavity of the molding die with the thermal conductive composition, the step of molding the bulk molded body from the thermal conductive composition in the cavity, and the bulk The step of attaching a film forming agent to the surface of the molded body and the step of forming an elastic film with the film forming agent can be sequentially performed. If the film forming agent is attached after forming the massive molded body in this manner, the film forming agent can be reliably adhered to the massive molded body, and the elastic film can be formed accurately.

塊状成形体の表面に弾性皮膜を形成する工程にて、塊状成形体を柱体形状に成形し、該柱体形状の側面に弾性皮膜が形成され、塊状成形体をシートに分割する工程にて、柱体形状の塊状成形体を柱軸と交差方向にスライス加工することができる。このように塊状成形体を柱体形状とすれば、この柱体形状の側面に弾性皮膜を形成するため、皮膜形成剤を付着させ易くすることができ、弾性皮膜を正確に形成することができる。そして柱体形状の塊状成形体を柱軸と交差方向にスライス加工するため、各シートのスライスカット面を略同形状とすることができ、加工精度を高めることができる。   In the step of forming an elastic film on the surface of the bulk molded body, forming the bulk molded body into a columnar shape, forming an elastic film on the side surface of the columnar shape, and dividing the bulk molded body into sheets In addition, the columnar-shaped massive molded body can be sliced in the direction intersecting the column axis. If the block-shaped body is formed in a columnar shape in this way, an elastic film is formed on the side surface of the columnar shape, so that a film forming agent can be easily attached, and the elastic film can be formed accurately. . And since the columnar-shaped lump-shaped molded object is sliced in the direction intersecting with the column axis, the slice cut surface of each sheet can be made substantially the same shape, and the processing accuracy can be increased.

皮膜形成剤が前記高分子基材の主剤と反応する硬化剤とすることができる。このようにすれば、高分子基材の主剤と硬化剤である皮膜形成剤によって塊状成形体の表面に非粘着性の弾性皮膜を形成することができる。このため塊状成形体の表面に形成された非粘着性の弾性皮膜と塊状成形体内部の粘着性のある部位との間で明確な界面を形成することなく、表面から内部にかけて漸次性質が変わる塊状成形体とすることができる。よって弾性皮膜の剥離を起こり難くすることができる。また、表面と内部との間での柔軟性、熱伝導性、その他の性質の急激な変化を抑えることができる。   The film forming agent can be a curing agent that reacts with the main component of the polymer substrate. If it does in this way, a non-adhesive elastic film can be formed on the surface of a lump-shaped molded object by the film forming agent which is the main ingredient of a polymer base material, and a hardening | curing agent. For this reason, a lump that gradually changes its properties from the surface to the inside without forming a clear interface between the non-adhesive elastic film formed on the surface of the lump and the sticky part inside the lump. It can be set as a molded body. Therefore, peeling of the elastic film can be made difficult to occur. In addition, rapid changes in flexibility, thermal conductivity, and other properties between the surface and the inside can be suppressed.

皮膜形成剤が前記高分子基材と固着する高分子材料とすることができる。このようにすれば、高分子基材でなる塊状成形体の表面に皮膜形成剤による弾性皮膜を容易に固着形成することができる。   The film forming agent can be a polymer material that adheres to the polymer substrate. If it does in this way, the elastic film by a film formation agent can be easily fixedly formed on the surface of the block molding object which consists of a polymer substrate.

また、本発明は、高分子基材中に熱伝導性充填材が分散する熱伝導性シートであって、シートの厚さ方向に沿う側面が非粘着性の弾性皮膜でなる熱伝導性シートを提供する。   The present invention also relates to a thermally conductive sheet in which a thermally conductive filler is dispersed in a polymer base material, wherein the side surface along the thickness direction of the sheet is a non-adhesive elastic film. provide.

本発明の熱伝導性シートでは、側面の弾性皮膜によってシートの剛性を高めることができ、取扱い性を高めることができる。また、弾性皮膜はシートの外縁に形成されているため、シートの面内は柔軟性を確保することができ、柔軟性に起因した密着力及びそれによって生じる低熱抵抗という熱伝導性能を発揮することができる。   In the heat conductive sheet of this invention, the rigidity of a sheet | seat can be improved with the elastic film of a side surface, and handleability can be improved. In addition, since the elastic coating is formed on the outer edge of the sheet, the sheet surface can ensure flexibility, and exhibits heat conduction performance such as adhesion due to flexibility and low thermal resistance caused thereby. Can do.

本発明の前記熱伝導性シートについては、シートの面方向に沿う表面又は裏面のうち少なくとも一方がスライスカット面でなるものとすることができる。金型成形による成形体のキャビティとの接触面(いわゆる表面)は、ある程度の深さまで高分子基材の主剤によって覆われ熱伝導性充填材は表出し難い。これに対しスライスカット面は、熱伝導性充填材が均一分散している成形体の内部を露出させた面であるため、スライスカット面には熱伝導性充填材が表出し易い。このようにスライスカット面は金型成形におけるキャビティとの接触面と異なり、面際や面上に熱伝導性充填材が分散しているため、金型との接触面と比べて熱伝導性を高めることができる。よってシートの表面又は裏面のうち少なくとも一方をスライスカット面とすれば、高熱伝導性の熱伝導性シートを実現することができる。なお、スライスカット面とは、スライス加工により削られて表出した面を意味する。   About the heat conductive sheet of the present invention, at least one of the front surface or the back surface along the surface direction of the sheet may be a slice cut surface. The contact surface (so-called surface) with the cavity of the molded body by die molding is covered to a certain depth by the main ingredient of the polymer base material, and the heat conductive filler is difficult to be exposed. On the other hand, since the slice cut surface is a surface exposing the inside of the molded body in which the heat conductive filler is uniformly dispersed, the heat conductive filler is easily exposed on the slice cut surface. In this way, the slice cut surface is different from the contact surface with the cavity in mold molding, and the heat conductive filler is dispersed on the surface and on the surface, so the thermal conductivity is higher than the contact surface with the mold. Can be increased. Therefore, if at least one of the front surface or the back surface of the sheet is a slice cut surface, a highly heat conductive heat conductive sheet can be realized. Note that the slice cut surface means a surface that is cut and exposed by slicing.

本発明の前記熱伝導性シートについては、弾性皮膜を形成する高分子基材の引張弾性率が、シート面の略中央部分を形成する高分子基材の引張弾性率より高い値であるものとすることができる。このようにすれば、シートの外縁側からシートの剛性を高めることができる。   For the thermally conductive sheet of the present invention, the tensile elastic modulus of the polymer base material forming the elastic film is higher than the tensile elastic modulus of the polymer base material forming the substantially central portion of the sheet surface. can do. If it does in this way, the rigidity of a sheet can be raised from the outer edge side of a sheet.

本発明の前記熱伝導性シートについては、弾性皮膜を、シートの厚さ方向に沿う側面に付着した皮膜形成剤における硬化剤と高分子基材の主剤との反応皮膜とすることができる。このようにすれば、熱伝導性シートの側面に形成された非粘着性の弾性皮膜と熱伝導性シート内部の粘着性のある部位との間で明確な界面を形成することなく、側面から内部にかけて漸次性質が変わる熱伝導性シートとすることができる。よって弾性皮膜の剥離を起こり難くすることができる。また、側面と内部との間での柔軟性、熱伝導性、その他の性質の急激な変化を抑えることができる。   About the said heat conductive sheet of this invention, an elastic film can be made into the reaction film of the hardening | curing agent in the film formation agent adhering to the side surface along the thickness direction of a sheet | seat, and the main ingredient of a polymer base material. In this way, the inside of the thermal conductive sheet is formed from the side without forming a clear interface between the non-adhesive elastic film formed on the side of the thermal conductive sheet and the sticky part inside the thermal conductive sheet. It can be set as the heat conductive sheet from which a property changes gradually. Therefore, peeling of the elastic film can be made difficult to occur. In addition, rapid changes in flexibility, thermal conductivity, and other properties between the side surface and the inside can be suppressed.

弾性皮膜を皮膜形成剤における硬化剤と高分子基材の主剤との反応皮膜とする熱伝導性シートについては、高分子基材の引張弾性率が、外縁を最大値にして内方に向けて徐々に低くなるものとすることができる。即ち、高分子基材の引張弾性率を外縁から内方に向かって傾斜的に小さくすることができる。このようにすれば、引張弾性率の差による偏った変形や破損を防ぐことができ、耐久性の高い熱伝導性シートを実現することができる。   For thermal conductive sheets that use an elastic film as a reaction film between the curing agent in the film-forming agent and the main component of the polymer substrate, the tensile modulus of the polymer substrate is inward with the outer edge at the maximum value. It can be gradually lowered. That is, the tensile elastic modulus of the polymer base material can be decreased in an inclined manner from the outer edge toward the inner side. In this way, it is possible to prevent uneven deformation and breakage due to the difference in tensile elastic modulus, and it is possible to realize a highly durable heat conductive sheet.

本発明の前記熱伝導性シートについては、弾性皮膜がシートにおける側面の周方向に対し断続的に形成されているものとすることができる。つまり、側面の全面に連続する弾性皮膜を形成したものと異なり、側面に断続的に弾性皮膜を形成することができる。このようにすれば、シートを圧縮した際に、弾性皮膜を形成していない側面部分が外方へ膨出し易くなるため、連続する弾性皮膜を形成したシートと比べてシートを潰れ易くすることができ、圧縮荷重を小さくすることができる。   About the said heat conductive sheet of this invention, the elastic membrane | film | coat shall be formed intermittently with respect to the circumferential direction of the side surface in a sheet | seat. That is, unlike the case where the continuous elastic film is formed on the entire side surface, the elastic film can be intermittently formed on the side surface. In this way, when the sheet is compressed, the side surface portion on which the elastic film is not formed easily bulges outward, so that the sheet can be more easily crushed than a sheet on which a continuous elastic film is formed. The compression load can be reduced.

本発明の熱伝導性シートの製造方法によれば、厚さ方向に沿う側面が弾性皮膜でなる熱伝導性シートを容易に形成することができる。そして側面が弾性皮膜でなる熱伝導性シートを複数得ることができ、効率よく製造することができる。さらに塊状成形体を弾性皮膜の剛性によって変形し難くすることができ、スライス加工の精度を高めることができる。
このように製造した熱伝導性シートは、側面の弾性皮膜によってシートの剛性を高めることができ、取扱い性を高めることができる。また、シートの面内は柔軟性を確保することができ、柔軟性に起因した密着力及びそれによって生じる低熱抵抗という熱伝導性能を発揮することができる。
According to the manufacturing method of the heat conductive sheet of this invention, the heat conductive sheet which the side surface along a thickness direction becomes an elastic film can be formed easily. A plurality of heat conductive sheets whose side surfaces are made of an elastic film can be obtained, and can be manufactured efficiently. Furthermore, it is possible to make it difficult for the bulk molded body to be deformed by the rigidity of the elastic film, and to increase the accuracy of slicing.
The heat conductive sheet manufactured in this way can increase the rigidity of the sheet by the elastic film on the side surface, and can improve the handleability. In addition, flexibility within the surface of the sheet can be ensured, and heat conduction performance such as adhesion due to flexibility and low thermal resistance caused thereby can be exhibited.

第1実施形態の熱伝導性シートを示す平面図。The top view which shows the heat conductive sheet of 1st Embodiment. 図1のSA−SA線断面図。FIG. 3 is a sectional view taken along line SA-SA in FIG. 1. 第1実施形態の熱伝導性シートにおける第1の製造方法であって塊状成形体を成形する金型を示す斜視図。The perspective view which shows the metal mold | die which is a 1st manufacturing method in the heat conductive sheet of 1st Embodiment, and shape | molds a block-shaped molded object. 第1実施形態の熱伝導性シートにおける第1の製造方法であってフィルムを金型にインサートする際の説明図。Explanatory drawing when it is a 1st manufacturing method in the heat conductive sheet of 1st Embodiment, and a film is inserted in a metal mold | die. 第1実施形態の熱伝導性シートにおける第1の製造方法であって熱伝導性組成物を金型に注入する際の説明図。Explanatory drawing when it is a 1st manufacturing method in the heat conductive sheet of 1st Embodiment, and inject | pours a heat conductive composition into a metal mold | die. 第1実施形態の熱伝導性シートにおける第1の製造方法であって熱伝導性組成物の金型への注入を終えた際の説明図。Explanatory drawing when it is the 1st manufacturing method in the heat conductive sheet of 1st Embodiment, and the injection | pouring to the metal mold | die of a heat conductive composition is finished. 第1実施形態の熱伝導性シートにおける第1の製造方法であって金型で塊状成形体を成形した際の説明図。Explanatory drawing when it is the 1st manufacturing method in the heat conductive sheet of 1st Embodiment, and shape | molded the block-shaped molded object with the metal mold | die. 第1実施形態の熱伝導性シートにおける第1の製造方法であって塊状成形体をフィルムから取り出す際の説明図。Explanatory drawing when it is a 1st manufacturing method in the heat conductive sheet of 1st Embodiment, and takes out a lump-shaped molded object from a film. 第1実施形態の熱伝導性シートにおける第1の製造方法であって塊状成形体をスライス加工する際の説明図。Explanatory drawing at the time of slicing a lump-shaped molded object which is the 1st manufacturing method in the heat conductive sheet of 1st Embodiment. 第1実施形態の熱伝導性シートにおける第1の製造方法の変形例であってフィルムをインサートせずに熱伝導性組成物を金型に注入する際の説明図。Explanatory drawing when it is a modification of the 1st manufacturing method in the heat conductive sheet of 1st Embodiment, and inject | pours a heat conductive composition into a metal mold | die, without inserting a film. 第1実施形態の熱伝導性シートにおける第2の製造方法であって熱伝導性組成物を金型に注入する際の説明図。Explanatory drawing when it is a 2nd manufacturing method in the heat conductive sheet of 1st Embodiment, and inject | pours a heat conductive composition into a metal mold | die. 第1実施形態の熱伝導性シートにおける第2の製造方法であって金型で塊状成形体を成形した際の説明図。Explanatory drawing when it is a 2nd manufacturing method in the heat conductive sheet of 1st Embodiment, and shape | molded the block-shaped molded object with the metal mold | die. 第1実施形態の熱伝導性シートにおける第2の製造方法であって塊状成形体に硬化剤を塗布する際の説明図。Explanatory drawing at the time of apply | coating a hardening | curing agent to the lump-shaped molded object which is the 2nd manufacturing method in the heat conductive sheet of 1st Embodiment. 第2実施形態の熱伝導性シートを示す図2相当断面図。Sectional drawing equivalent to FIG. 2 which shows the heat conductive sheet of 2nd Embodiment. 第2実施形態の熱伝導性シートにおける第1の製造方法であってフィルムを金型にインサートする際の説明図。Explanatory drawing at the time of inserting a film in a metal mold | die in the 1st manufacturing method in the heat conductive sheet of 2nd Embodiment. 第2実施形態の熱伝導性シートにおける第1の製造方法であって熱伝導性組成物を金型に注入する際の説明図。Explanatory drawing when it is a 1st manufacturing method in the heat conductive sheet of 2nd Embodiment, and inject | pours a heat conductive composition into a metal mold | die. 第2実施形態の熱伝導性シートにおける第1の製造方法であって熱伝導性組成物の金型への注入を終えた際の説明図。Explanatory drawing at the time of finishing the injection | pouring to the metal mold | die of the heat conductive composition which is the 1st manufacturing method in the heat conductive sheet of 2nd Embodiment. 第2実施形態の熱伝導性シートにおける第1の製造方法であって金型で塊状成形体を成形した際の説明図。Explanatory drawing when it is the 1st manufacturing method in the heat conductive sheet of 2nd Embodiment, and shape | molded the block-shaped molded object with the metal mold | die. 第2実施形態の熱伝導性シートにおける第1の製造方法であって塊状成形体をフィルムから取り出す際の説明図。Explanatory drawing when it is a 1st manufacturing method in the heat conductive sheet of 2nd Embodiment, and takes out a lump-shaped molded object from a film. 第2実施形態の熱伝導性シートにおける第1の製造方法であって塊状成形体をスライス加工する際の説明図。Explanatory drawing at the time of carrying out the slice process of the lump-shaped molded object which is the 1st manufacturing method in the heat conductive sheet of 2nd Embodiment. 第2実施形態の熱伝導性シートにおける第2の製造方法であって弾性皮膜を金型にインサートする際の説明図。Explanatory drawing when it is a 2nd manufacturing method in the heat conductive sheet of 2nd Embodiment, and inserts an elastic film in a metal mold | die. 第2実施形態の熱伝導性シートにおける第2の製造方法であって熱伝導性組成物を金型に注入する際の説明図。Explanatory drawing when it is a 2nd manufacturing method in the heat conductive sheet of 2nd Embodiment, and inject | pours a heat conductive composition into a metal mold | die. 第2実施形態の熱伝導性シートにおける第2の製造方法であって熱伝導性組成物の金型への注入を終えた際の説明図。Explanatory drawing when it is the 2nd manufacturing method in the heat conductive sheet of 2nd Embodiment, and injection | pouring to the metal mold | die of a heat conductive composition is finished. 第2実施形態の熱伝導性シートにおける第2の製造方法であって金型で塊状成形体を成形した際の説明図。Explanatory drawing when it is a 2nd manufacturing method in the heat conductive sheet of 2nd Embodiment, and shape | molded the block-shaped molded object with the metal mold | die. 各実施形態の熱伝導性シートにおける変形例を示す平面図。The top view which shows the modification in the heat conductive sheet of each embodiment. 塊状成形体をスライス加工して試験用熱伝導性シートを作製する際の説明図であり、分図(A)は塊状成形体をスライス加工する際の説明図、分図(B)はスライス加工した試験用熱伝導性シートの説明図。It is explanatory drawing at the time of producing a test heat conductive sheet by slicing a lump-shaped molded body, a part (A) is an explanatory view when slicing a lump-shaped formed body, and a part (B) is a slicing Explanatory drawing of the heat conductive sheet for a test. 塊状成形体をスライス加工して引張弾性率を測定する各試料を作製する際の説明図。Explanatory drawing at the time of producing each sample which slices a block-shaped molded object and measures a tensile elasticity modulus.

本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、各実施形態で共通する構成については、同一の符号を付して重複説明を省略する。さらに、共通する材質、作用、効果についても同様に省略する。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, about the structure which is common in each embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and duplication description is abbreviate | omitted. Further, common materials, actions, and effects are also omitted.

第1実施形態〔図1〜図13〕
第1実施形態の熱伝導性シート11とその製造方法を図1〜図13に示す。図1は熱伝導性シート11の平面図であり、図2は熱伝導性シート11のSA−SA線断面図、図3〜図9は熱伝導性シート11における第1の製造方法を示す説明図、図10は熱伝導性シート11における第1の製造方法の変形例を示す説明図、図11〜図13は熱伝導性シート11における第2の製造方法を示す説明図である。本実施形態の熱伝導性シート11は、平板状のシート12で構成されている。
First Embodiment [FIGS. 1 to 13] :
The heat conductive sheet 11 of 1st Embodiment and its manufacturing method are shown in FIGS. FIG. 1 is a plan view of the heat conductive sheet 11, FIG. 2 is a cross-sectional view of the heat conductive sheet 11 taken along the line SA-SA, and FIGS. 3 to 9 are diagrams illustrating a first manufacturing method for the heat conductive sheet 11. FIG. 10 is an explanatory view showing a modified example of the first manufacturing method in the heat conductive sheet 11, and FIGS. 11 to 13 are explanatory views showing a second manufacturing method in the heat conductive sheet 11. The heat conductive sheet 11 of this embodiment is composed of a flat sheet 12.

シート12はICやCPUなどの発熱体やヒートシンクやヒートパイプなどの放熱体と良好な密着性を有する「熱伝導性層」の単層構造である。そしてシート12の形状は、平面視で矩形状であり、均一な厚みに形成されている。「熱伝導性層」は熱伝導性充填材が分散した高分子基材で形成されている。この高分子基材は柔軟で粘着性を有するためシート12の面内は粘着性を発現するが、シート12の厚さ方向に沿う四方の全側面には非粘着性の弾性皮膜12aが形成されている。
「非粘着性」とは弾性皮膜12aどうしを加圧することなく接触させた場合にそれらが付着し難い性質をいう。また作業者の手に触れた際にも粘着し難い性質をいう。これに対し「粘着性」とは、シート12どうしを加圧することなく接触させた場合にそれらが付着し合う性質をいう。また作業者の手に触れた際にも粘着する性質をいう。シート12の「面内」とは、シート12における一対の表面(表裏面)における外縁を除く部分を意味する。
The sheet 12 has a single-layer structure of a “thermal conductive layer” having good adhesion to a heat generator such as an IC or a CPU or a heat radiator such as a heat sink or a heat pipe. And the shape of the sheet | seat 12 is rectangular shape by planar view, and is formed in uniform thickness. The “thermally conductive layer” is formed of a polymer base material in which a thermally conductive filler is dispersed. Since this polymer base material is flexible and sticky, the surface of the sheet 12 exhibits stickiness, but a non-sticky elastic film 12a is formed on all four sides along the thickness direction of the sheet 12. ing.
“Non-tacky” refers to the property that when the elastic films 12a are brought into contact with each other without being pressurized, they are difficult to adhere. It also means that it is difficult to stick when touched by the operator's hand. On the other hand, “adhesiveness” refers to the property that the sheets 12 adhere to each other when they are brought into contact with each other without being pressurized. It also refers to the property of sticking when touched by an operator's hand. “In-plane” of the sheet 12 means a portion excluding outer edges of a pair of front surfaces (front and back surfaces) of the sheet 12.

シート12が発熱体や放熱体などの被着体と良好な密着性を確保するために、高分子基材は、JIS K 6253で規定するタイプE硬度(以下、単に「E硬度」という。)で60以下であることが好ましい。E硬度が60を超えるとシート12が柔軟性を失って硬くなり、被着体との密着性が悪く、装着時に圧縮され難くなって熱伝導性が悪くなるおそれがある。一方で、高分子基材のE硬度が0に近似するような、低硬度ゲル状、粘土質状、ペースト状のものは、被着体との密着性が高まり、熱伝導性能を高めることができる。即ち、高分子基材のE硬度が0に近似するようなものであれば、その柔軟性、粘着性などから被着体に対して良好に密着することができるとともに、装着時に圧縮されて熱伝導性を高めることができる。なお、E硬度が0に近似するものについて、別の性質を用いて表すと、JIS K 2220に従って1/4円錐を用いて測定される不混和ちょう度で表すことができ、その不混和ちょう度が1〜100のものを用いることができる。   In order for the sheet 12 to ensure good adhesion to an adherend such as a heating element or a heat radiating member, the polymer base material has a type E hardness (hereinafter, simply referred to as “E hardness”) defined by JIS K 6253. And preferably 60 or less. When the E hardness exceeds 60, the sheet 12 loses its flexibility and becomes hard, and the adhesion with the adherend is poor, and it is difficult to be compressed at the time of mounting and the thermal conductivity may be deteriorated. On the other hand, a low-hardness gel-like, clay-like, or paste-like material whose E hardness of the polymer base material is close to 0 increases the adhesion to the adherend and improves the heat conduction performance. it can. That is, if the E hardness of the polymer base material is close to 0, it can be adhered to the adherend satisfactorily because of its flexibility, adhesiveness, etc. Conductivity can be increased. In addition, when the E hardness approximates to 0, it can be expressed by using another property, and it can be expressed by an immiscible consistency measured using a ¼ cone according to JIS K 2220. 1 to 100 can be used.

そうした高分子基材は、熱伝導性充填材を成形体内に保持できるもので、熱可塑性エラストマー、熱硬化性エラストマーなどの高分子材料が使用できる。例えば、熱可塑性エラストマーとしては、スチレン−ブタジエンブロック共重合体及びその水添ポリマー、スチレン−イソプレンブロック共重合体及びその水添ポリマー、スチレン系熱可塑性エラストマー、オレフィン系熱可塑性エラストマー、塩化ビニル系熱可塑性エラストマー、ポリエステル系熱可塑性エラストマー、ポリウレタン系熱可塑性エラストマー、ポリアミド系熱可塑性エラストマーなどが挙げられる。熱硬化性エラストマーとしては、天然ゴム、シリコーンゴム、アクリルゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合ゴム、ニトリルゴム、水添ニトリルゴム、クロロプレンゴム、エチレン−プロピレン共重合ゴム、塩素化ポリエチレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、ブチルゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴムなどが挙げられる。
こうした高分子基材は、混合した後に硬化して前記高分子材料となる主剤と硬化剤のような混合系から生じるものとすることができる。例えば、未架橋ゴムと架橋剤であったり、架橋剤を含む未架橋ゴムと架橋促進剤であったりすることができ、また、その硬化反応も常温硬化であっても熱硬化であっても良い。シリコーンゴムであればシリコーンゴム主剤と硬化剤であってビニル基含有シリコーン生ゴムと過酸化物などが例示できる。また、ポリエステル系熱可塑性エラストマーやポリアミド系熱可塑性エラストマーであれば、ジオールとジカルボン酸とすることができ、ポリウレタン系熱可塑性エラストマーであれば、ジイソシアネートとジオールとすることができる。
これら高分子基材には、高分子材料となる主剤や硬化剤の他に、生産性、耐候性、耐熱性などの諸特性を高めるために、例えば、可塑剤、補強材、着色剤、耐熱向上剤、カップリング剤、難燃剤、粘着剤、触媒、硬化遅延剤、劣化防止剤などを適量含有することができる。
Such a polymer base material can hold a thermally conductive filler in a molded body, and a polymer material such as a thermoplastic elastomer or a thermosetting elastomer can be used. For example, thermoplastic elastomers include styrene-butadiene block copolymers and their hydrogenated polymers, styrene-isoprene block copolymers and their hydrogenated polymers, styrene-based thermoplastic elastomers, olefin-based thermoplastic elastomers, vinyl chloride-based heat. Examples thereof include a thermoplastic elastomer, a polyester-based thermoplastic elastomer, a polyurethane-based thermoplastic elastomer, and a polyamide-based thermoplastic elastomer. Thermosetting elastomers include natural rubber, silicone rubber, acrylic rubber, butadiene rubber, isoprene rubber, styrene-butadiene copolymer rubber, nitrile rubber, hydrogenated nitrile rubber, chloroprene rubber, ethylene-propylene copolymer rubber, chlorinated polyethylene. Examples thereof include rubber, chlorosulfonated polyethylene rubber, butyl rubber, fluorine rubber, and urethane rubber.
Such a polymer base material can be generated from a mixed system such as a main agent and a curing agent which are cured after mixing and become the polymer material. For example, it can be an uncrosslinked rubber and a crosslinking agent, or it can be an uncrosslinked rubber containing a crosslinking agent and a crosslinking accelerator, and the curing reaction can be room temperature curing or heat curing. . Examples of the silicone rubber include silicone rubber main ingredients and curing agents, such as vinyl group-containing silicone raw rubber and peroxide. In addition, a diol and a dicarboxylic acid can be used for a polyester-based thermoplastic elastomer or a polyamide-based thermoplastic elastomer, and a diisocyanate and a diol can be used for a polyurethane-based thermoplastic elastomer.
These polymer base materials include, for example, a plasticizer, a reinforcing material, a colorant, a heat resistance, in order to enhance various properties such as productivity, weather resistance, and heat resistance, in addition to the main agent and the curing agent that become the polymer material. An appropriate amount of an improver, a coupling agent, a flame retardant, a pressure-sensitive adhesive, a catalyst, a curing retarder, a deterioration inhibitor, and the like can be contained.

また高分子基材中に分散する熱伝導性充填材としては、熱伝導性の高い充填材が使用できる。例えば、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、金属水酸化物、炭素繊維などが挙げられる。具体例としては、金属酸化物では、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、石英が挙げられる。金属窒化物では、窒化ホウ素、窒化アルミニウムなどが挙げられる。金属炭化物では、炭化ケイ素が挙げられる。金属水酸化物では、水酸化アルミニウムが挙げられる。炭素繊維では、ピッチ系炭素繊維、PAN系炭素繊維、樹脂繊維を炭化処理した繊維、樹脂繊維を黒鉛化処理した繊維などが挙げられる。なお、炭素繊維などの繊維状の熱伝導性充填材は、従来技術に見られるようにシート12に対して一定方向に配向する技術を採用することもできる。   Further, as the heat conductive filler dispersed in the polymer base material, a filler having high heat conductivity can be used. For example, a metal oxide, a metal nitride, a metal carbide, a metal hydroxide, a carbon fiber, etc. are mentioned. Specific examples of the metal oxide include aluminum oxide, magnesium oxide, zinc oxide, and quartz. Examples of the metal nitride include boron nitride and aluminum nitride. Examples of the metal carbide include silicon carbide. An example of the metal hydroxide is aluminum hydroxide. Examples of carbon fibers include pitch-based carbon fibers, PAN-based carbon fibers, fibers obtained by carbonizing resin fibers, fibers obtained by graphitizing resin fibers, and the like. In addition, as for fibrous heat conductive fillers, such as carbon fiber, the technique of orienting in a fixed direction with respect to the sheet | seat 12 can also be employ | adopted like the conventional technology.

弾性皮膜12aは高分子基材となる主剤とその主剤と反応する硬化剤15からなる「皮膜形成剤」との反応で形成されたものであり、シート12の面内よりも硬質である。製造方法の詳細については後述するが、本発明の弾性皮膜12aは高分子基材の主剤とその高分子基材に付着し浸透した硬化剤15との反応で形成されたものであるから、シート12の面内と弾性皮膜12aとの間で明確な境界ができず、シート12は内部から側面に向かって徐々に硬くなる。換言すれば、シート12は外縁から内方へ徐々に粘着性を発現する傾斜材料であり、弾性皮膜12aもシート12の一部となる。したがって、図面の記載を補足すれば、図1や図2において弾性皮膜12aと面内との間に界面があるように実線で表示しているが、こうした明確な界面は実際には存在しない。
このように弾性皮膜12aはシート12の面内よりも硬質であるが、シート12の厚さ方向に沿う側面という僅かな部分に形成され、しかもシート12の側面自体に形成されているため、前記E硬度のような厳密な測定は困難である。よって弾性皮膜12aの硬さを数値によって示すことができず、シート12の面内と弾性皮膜12aとを硬度の数値で比較することができない。そこで硬度以外の指標を用いると、弾性皮膜12aとシート12の面内との硬さについては、引張弾性率の数値で比較することができる。弾性皮膜12aの引張弾性率がシート12の面内の引張弾性率に比べて高い数値を示す。具体的な数値については後述の実施例で示すが、ここでの引張弾性率の数値は、JIS K 6251の規定に厳密に準拠して測定されるものではなく、弾性皮膜12a部分とシート12の面内部分との相対比較が行えるように測定したものである。この引張弾性率の数値は、シート12の側面部分が最大値で、面内の中央(内方)に向けて徐々に低くなる。
The elastic film 12 a is formed by a reaction between a main agent that is a polymer base material and a “film forming agent” that includes a curing agent 15 that reacts with the main agent, and is harder than the in-plane of the sheet 12. Although details of the production method will be described later, the elastic coating 12a of the present invention is formed by a reaction between the main agent of the polymer base material and the curing agent 15 that has adhered to and penetrated the polymer base material. No clear boundary is formed between the in-plane 12 and the elastic film 12a, and the sheet 12 gradually becomes harder from the inside toward the side. In other words, the sheet 12 is a gradient material that gradually develops adhesiveness from the outer edge to the inside, and the elastic coating 12 a also becomes a part of the sheet 12. Accordingly, if the description of the drawings is supplemented, in FIG. 1 and FIG. 2, the solid film is shown as an interface between the elastic film 12a and the in-plane, but such a clear interface does not actually exist.
As described above, the elastic coating 12a is harder than the in-plane of the sheet 12, but is formed on a small portion of the side surface along the thickness direction of the sheet 12, and is formed on the side surface of the sheet 12 itself. Exact measurement such as E hardness is difficult. Therefore, the hardness of the elastic film 12a cannot be indicated by a numerical value, and the in-plane of the sheet 12 and the elastic film 12a cannot be compared by a numerical value of hardness. Therefore, if an index other than hardness is used, the hardness between the elastic film 12a and the sheet 12 can be compared with the numerical value of the tensile elastic modulus. The elastic modulus of the elastic film 12a is higher than the tensile elastic modulus in the plane of the sheet 12. Although specific numerical values will be shown in the examples described later, the numerical values of the tensile elastic modulus here are not measured strictly in accordance with the provisions of JIS K 6251, and the elastic film 12a portion and the sheet 12 are not measured. It was measured so that relative comparison with the in-plane portion could be performed. The numerical value of the tensile elastic modulus is the maximum value at the side surface portion of the sheet 12, and gradually decreases toward the center (inward) in the surface.

熱伝導性シート11の製造方法について代表的な3例を説明する。
第1の製造方法は、先ず、高分子基材と熱伝導性充填材を攪拌機で混合して熱伝導性組成物13を用意する。なお、混合では空気の混入を防ぐために真空下により攪拌、混練することが好ましい。
次に図3で示すように、矩形柱体形状の塊状成形体を成形する金型1を用意する。この金型1は、矩形筒形状の筒金型1aとこの金型1aの両端部をそれぞれ塞ぐ2つの矩形板状の板金型1bから構成されている。
そして、筒金型1aの内壁面(キャビティ面)に沿って矩形筒形になるフィルム14を用意し、矩形筒形とした際に内側となる表面14aに対してシート状態で高分子基材の主剤と反応する「皮膜形成剤」としての硬化剤15を塗布する。このフィルム14を矩形筒形にして、図4で示すように、金型1にインサートする。その後図5で示すように、熱伝導性組成物13を金型1内に充填する。この充填の際は、フィルム14の表面14aに塗布した硬化剤15を流れ落とさないように、筒金型1aの略軸心に沿って熱伝導性組成物13を充填することが好ましい。このように熱伝導性組成物13を金型1内に充填すると、図6で示すように、フィルム14の表面14aに塗布した硬化剤15は熱伝導性組成物13に浸透してしまう。このような硬化剤15の浸透によってキャビティ内の熱伝導性組成物13では、筒金型1aの内壁面に近づくにつれて硬化剤15の含有割合が徐々に多くなっている。
次に、金型1のキャビティ内で熱伝導性組成物13から熱伝導性で矩形柱体形状の塊状成形体16を成形すると同時に、熱伝導性組成物13に浸透した硬化剤15と高分子基材の主剤とを反応させて弾性皮膜16aを形成する。そして塊状成形体16をフィルム14ごと金型1から取り出した後、図8で示すように、塊状成形体16をフィルム14から外す。
最後に図9で示すように、側面に弾性皮膜16aを形成した矩形柱体形状の塊状成形体16をその側面に交差する方向で刃物2を用いてスライス加工し、シート化する。このようにして、シート12の厚さ方向に沿う側面が弾性皮膜12aでなる熱伝導性シート11を得ることができる。なお、スライス加工は、自動切断機を用いることにより容易に行うことができる。
Three typical examples of the manufacturing method of the heat conductive sheet 11 will be described.
In the first production method, first, a polymer substrate and a thermally conductive filler are mixed with a stirrer to prepare a thermally conductive composition 13. In mixing, it is preferable to stir and knead under vacuum in order to prevent mixing of air.
Next, as shown in FIG. 3, the metal mold | die 1 which shape | molds the block-shaped block-shaped molded object is prepared. This metal mold 1 is composed of a rectangular cylindrical metal mold 1a and two rectangular plate-shaped metal molds 1b that respectively close both ends of the metal mold 1a.
And the film 14 which becomes a rectangular cylinder shape is prepared along the inner wall surface (cavity surface) of the cylinder die 1a, and when it is set as a rectangular cylinder shape, it is a sheet | seat state with respect to the inner surface 14a. A curing agent 15 as a “film forming agent” that reacts with the main agent is applied. The film 14 is formed into a rectangular cylinder and inserted into the mold 1 as shown in FIG. Thereafter, as shown in FIG. 5, the thermally conductive composition 13 is filled into the mold 1. At the time of filling, it is preferable to fill the thermally conductive composition 13 along the substantially axial center of the cylindrical mold 1a so that the curing agent 15 applied to the surface 14a of the film 14 does not flow down. When the heat conductive composition 13 is filled in the mold 1 as described above, the curing agent 15 applied to the surface 14a of the film 14 penetrates into the heat conductive composition 13 as shown in FIG. In the thermally conductive composition 13 in the cavity due to the penetration of the curing agent 15, the content of the curing agent 15 gradually increases as it approaches the inner wall surface of the cylindrical mold 1 a.
Next, at the same time as forming the thermally conductive rectangular column-shaped lump shaped body 16 from the thermally conductive composition 13 in the cavity of the mold 1, the curing agent 15 and the polymer that have penetrated the thermally conductive composition 13. The elastic film 16a is formed by reacting with the base material of the substrate. And after taking out the lump-shaped molded object 16 from the metal mold | die 1 with the film 14, the lump-shaped molded object 16 is removed from the film 14, as shown in FIG.
Finally, as shown in FIG. 9, the rectangular column-shaped massive molded body 16 having the elastic film 16 a formed on the side surface is sliced using the blade 2 in a direction intersecting the side surface, and formed into a sheet. Thus, the heat conductive sheet 11 in which the side surface along the thickness direction of the sheet 12 is the elastic film 12a can be obtained. Note that the slicing can be easily performed by using an automatic cutting machine.

第1の製造方法の変形例として、金型1にフィルム14をインサートせず、図10で示すように、筒金型1aの内壁面に硬化剤15を直接塗布することもできる。このようにすれば、フィルムを無くすことができ、製造中に用いる部材を削減することができる。   As a modification of the first manufacturing method, the film 14 is not inserted into the mold 1 and the curing agent 15 can be directly applied to the inner wall surface of the cylindrical mold 1a as shown in FIG. If it does in this way, a film can be lose | eliminated and the member used during manufacture can be reduced.

第2の製造方法は、先ず第1の製造方法と同様に、熱伝導性組成物13と金型1を用意する。
次に図11で示すように、金型1内に熱伝導性組成物13を充填する。そして図12で示すように、金型1のキャビティ内に充填された熱伝導性組成物13から熱伝導性で矩形柱体形状の塊状成形体16を成形する。この塊状成形体16を金型1から脱型し、図13で示すように、塗装機3を用いて矩形柱体形状の塊状成形体16の側面に「皮膜形成剤」としての硬化剤15を塗布し、塊状成形体16に硬化剤15を浸透させる。なお、塗布方法には、刷毛塗りや印刷などの方法も用いることができる。その後塊状成形体16に浸透した硬化剤15と高分子基材の主剤とを反応させて弾性皮膜16aを形成する。
最後に、側面に弾性皮膜16aを形成した矩形柱体形状の塊状成形体16をその側面に交差する方向で刃物2を用いてスライス加工し(図9参照)、シート化する。このようにして、シート12の厚さ方向に沿う側面が弾性皮膜12aでなる熱伝導性シート11を得ることができる。
In the second production method, first, the thermally conductive composition 13 and the mold 1 are prepared in the same manner as in the first production method.
Next, as shown in FIG. 11, the mold 1 is filled with a heat conductive composition 13. Then, as shown in FIG. 12, a heat-conductive composition 13 filled in the cavity of the mold 1 is molded into a block 16 having a rectangular columnar shape. The massive molded body 16 is removed from the mold 1 and, as shown in FIG. 13, a curing agent 15 as a “film forming agent” is applied to the side surface of the rectangular pillar-shaped massive molded body 16 using the coating machine 3. It is applied and the hardener 15 is infiltrated into the lump shaped body 16. In addition, methods, such as brush coating and printing, can also be used for the application method. Thereafter, the curing agent 15 that has penetrated into the bulk molded body 16 is reacted with the main component of the polymer base material to form the elastic film 16a.
Finally, the rectangular column-shaped massive molded body 16 having the elastic film 16a formed on the side surface is sliced using the blade 2 in a direction intersecting the side surface (see FIG. 9) to form a sheet. Thus, the heat conductive sheet 11 in which the side surface along the thickness direction of the sheet 12 is the elastic film 12a can be obtained.

第3の製造方法は、塊状成形体16を成形せずに、金型で1枚物のシート12を成形することができる。この製造方法でも、第1の製造方法のように金型のキャビティ内に硬化剤を塗布する製法で熱伝導性シート11を製造でき、また第2の製造方法のように脱型した1枚物のシート12に硬化剤を塗布する製法で熱伝導性シート11を製造することもできる。このような製造方法でも、シート12の成形ごとにその側面を弾性皮膜12aとした熱伝導性シート11を得ることができる。そして第3の製造方法による熱伝導性シート11では、シートの面方向に沿う表裏面が金型接触面であるため、これら表裏面に熱伝導性充填材を露出し難くすることができ、熱伝導性充填材を脱落し難くすることができる。   According to the third manufacturing method, a single sheet 12 can be formed with a mold without forming the massive molded body 16. Also in this manufacturing method, the heat conductive sheet 11 can be manufactured by a manufacturing method in which a curing agent is applied in the cavity of the mold as in the first manufacturing method, and the single sheet is removed from the mold as in the second manufacturing method. The heat conductive sheet 11 can also be manufactured by the manufacturing method which apply | coats a hardening | curing agent to the sheet | seat 12 of this. Even in such a manufacturing method, the thermal conductive sheet 11 having the elastic film 12a on the side surface can be obtained every time the sheet 12 is molded. And in the heat conductive sheet 11 by a 3rd manufacturing method, since the front and back along the surface direction of a sheet | seat are die contact surfaces, it can make it difficult to expose a heat conductive filler to these front and back, The conductive filler can be made difficult to fall off.

熱伝導性シート11と熱伝導性シート11の第1,第2の製造方法の作用、効果について説明する。
熱伝導性シート11によれば、側面の弾性皮膜12aによってシート12の剛性を高めることができ、取扱い性を高めることができる。また、弾性皮膜12aはシート12の外縁に形成されているため、シート12の面内は柔軟性を確保することができ、柔軟性に起因した密着力及びそれによって生じる低熱抵抗という熱伝導性能を発揮することができる。
The operation and effect of the first and second manufacturing methods of the heat conductive sheet 11 and the heat conductive sheet 11 will be described.
According to the heat conductive sheet 11, the rigidity of the sheet 12 can be increased by the elastic film 12a on the side surface, and the handleability can be improved. In addition, since the elastic coating 12a is formed on the outer edge of the sheet 12, the in-plane of the sheet 12 can ensure flexibility, and the heat conduction performance of the adhesion due to the flexibility and the resulting low thermal resistance. It can be demonstrated.

第1,第2の製造方法によるシート12は塊状成形体16をスライス加工して製造されたため、シート12の面方向に沿う表面又は裏面のうち少なくとも一方がスライスカット面となり、面際や面上に熱伝導性充填材が露出している。即ち、スライス加工を施さなければ、シート12の表面では熱伝導性充填材が高分子基材中に埋もれてしまっているのに対し、スライス加工を施すためスライスカット面に熱伝導性充填材が表出するのである。よって、表面に表出した熱伝導性充填材が発熱体や放熱体に直接接触するため、第3の製造方法による金型接触面と比べて熱伝導性を高めることができ、高熱伝導性の熱伝導性シート11を実現することができる。   Since the sheet 12 produced by the first and second production methods is produced by slicing the massive molded body 16, at least one of the front surface and the back surface along the surface direction of the sheet 12 becomes a slice cut surface, and is close to the surface or surface. The heat conductive filler is exposed. That is, if the slice processing is not performed, the heat conductive filler is buried in the polymer base material on the surface of the sheet 12, whereas the slice cut surface has a heat conductive filler in order to perform the slice processing. It expresses. Therefore, since the thermally conductive filler exposed on the surface is in direct contact with the heating element and the radiator, the thermal conductivity can be increased compared to the mold contact surface by the third manufacturing method, and the high thermal conductivity The heat conductive sheet 11 can be realized.

熱伝導性シート11の第1,第2の製造方法によれば、塊状成形体16の表面に非粘着性の弾性皮膜16aを形成した後に、その塊状成形体16を外縁が弾性皮膜16aでなるようスライス加工してシート12を形成するため、厚さ方向に沿う側面が弾性皮膜12aでなる熱伝導性シート11を容易に形成することができる。そして塊状成形体16をスライス加工して製造するため、このような熱伝導性シート11を複数得ることができ、効率よく製造することができる。さらに弾性皮膜16aが外縁を形成するようにスライス加工するため、塊状成形体16を弾性皮膜16aの剛性によって変形し難くすることができ、スライス加工の精度を高めることができる。   According to the first and second manufacturing methods of the heat conductive sheet 11, after the non-adhesive elastic film 16a is formed on the surface of the massive molded body 16, the outer edge of the massive molded body 16 is formed by the elastic film 16a. Since the sheet 12 is formed by slicing as described above, the heat conductive sheet 11 having the elastic film 12a on the side surface along the thickness direction can be easily formed. And since the lump-shaped molded body 16 is sliced and manufactured, a plurality of such heat conductive sheets 11 can be obtained, and can be manufactured efficiently. Further, since the elastic film 16a is sliced so as to form the outer edge, the massive molded body 16 can be hardly deformed by the rigidity of the elastic film 16a, and the accuracy of the slicing process can be improved.

塊状成形体16を矩形柱体形状としてこの塊状成形体16の側面に弾性皮膜16aを形成するため、硬化剤15を付着させ易くすることができ、弾性皮膜16aを正確に形成することができる。そして矩形柱体形状の塊状成形体16を柱軸と交差方向にスライス加工するため、各シート12のスライスカット面を略同形状とすることができ、加工精度を高めることができる。   Since the bulk molded body 16 has a rectangular columnar shape and the elastic film 16a is formed on the side surface of the bulk molded body 16, the curing agent 15 can be easily attached, and the elastic film 16a can be formed accurately. Since the rectangular column-shaped lump-shaped molded body 16 is sliced in the direction intersecting with the column axis, the slice cut surfaces of the respective sheets 12 can have substantially the same shape, and the processing accuracy can be improved.

第1の製造方法では、塊状成形体16の成形と同時に弾性皮膜16aを形成するため、製造効率を高めることができる。さらに硬化剤15を塗布したフィルム14を金型1のキャビティ内にインサートするため、塊状成形体16に対してムラ無く均一に硬化剤15を付着させることができ、安定した物性の弾性皮膜16aを形成することができる。   In the first manufacturing method, since the elastic film 16a is formed simultaneously with the molding of the massive molded body 16, the manufacturing efficiency can be increased. Furthermore, since the film 14 coated with the curing agent 15 is inserted into the cavity of the mold 1, the curing agent 15 can be uniformly attached to the bulk molded body 16 without unevenness, and an elastic film 16 a having stable physical properties can be formed. Can be formed.

第2の製造方法では、塊状成形体16を成形した後に硬化剤15を付着させるため、塊状成形体16に対して硬化剤15を確実に付着させることができ、弾性皮膜16aを正確に形成することができる。   In the second manufacturing method, since the curing agent 15 is adhered after the massive molded body 16 is molded, the curing agent 15 can be reliably adhered to the massive molded body 16, and the elastic film 16a is accurately formed. be able to.

以上説明した熱伝導性シート11の取扱いについて説明する。
熱伝導性シート11は、シート12の側面を弾性皮膜12aとしているため、製造時、梱包時、運搬時、使用時などにおいて、弾性皮膜の無いシートのみの熱伝導性シートに比べ、取扱い性に優れている。例えば、装着時においては、被着体に容易に取付けることができる。そして発熱体と放熱体との間に介装され、発熱体から発生する熱を放熱体へ効率良く伝導することができる。そして弾性皮膜12aはシート12の側面であるため、弾性皮膜12aの形成によって熱伝導性能を損なうことはない。また、熱伝導性シート11を被着体よりもわずかに大きい外形を有する寸法に形成して、弾性皮膜12aをそれら被着体に接触させないように載置して使用することも可能である。
The handling of the heat conductive sheet 11 demonstrated above is demonstrated.
Since the side surface of the sheet 12 is made of an elastic film 12a, the heat conductive sheet 11 is easier to handle than a sheet having no elastic film at the time of manufacture, packaging, transportation, and use. Are better. For example, at the time of mounting, it can be easily attached to the adherend. And it is interposed between the heat generating body and the heat radiating body, and heat generated from the heat generating body can be efficiently conducted to the heat radiating body. And since the elastic membrane | film | coat 12a is a side surface of the sheet | seat 12, heat conductive performance is not impaired by formation of the elastic membrane | film | coat 12a. It is also possible to form the thermally conductive sheet 11 with a dimension having a slightly larger outer shape than the adherend, and use it by placing the elastic coating 12a so as not to contact the adherend.

第2実施形態〔図14〜図24〕
第2実施形態の熱伝導性シート21とその製造方法を図14〜図24に示す。図14は熱伝導性シート21の断面図であり、図15〜図20は熱伝導性シート21における第1の製造方法を示す説明図、図21〜図24は熱伝導性シート21における第2の製造方法を示す説明図である。第2実施形態の熱伝導性シート21は第1実施形態の熱伝導性シート11と異なり、シート22と弾性皮膜27とが別部材で形成されている。
Second Embodiment (FIGS. 14 to 24) :
The heat conductive sheet 21 of 2nd Embodiment and its manufacturing method are shown in FIGS. FIG. 14 is a cross-sectional view of the heat conductive sheet 21, FIGS. 15 to 20 are explanatory views showing a first manufacturing method in the heat conductive sheet 21, and FIGS. 21 to 24 are second views in the heat conductive sheet 21. It is explanatory drawing which shows this manufacturing method. Unlike the heat conductive sheet 11 of the first embodiment, the heat conductive sheet 21 of the second embodiment has a sheet 22 and an elastic film 27 formed as separate members.

シート22はシート12と同様に「熱伝導性層」の単層構造であり、平面視で矩形状の均一な厚みに形成されている。このシート22も高分子基材で形成されており、内部には熱伝導性充填材が分散している。そしてこの高分子基材も柔軟で粘着性を有し、面内は粘着性を発現している。シート12と異なるのは、厚さ方向に沿う全側面に、高分子基材の主剤と「皮膜形成剤」として付着した硬化剤との反応で形成される弾性皮膜が形成されていない点である。   Like the sheet 12, the sheet 22 has a single-layer structure of a “thermally conductive layer”, and is formed in a rectangular uniform thickness in plan view. The sheet 22 is also formed of a polymer substrate, and a heat conductive filler is dispersed inside. And this polymer base material is also flexible and has adhesiveness, and the in-plane expresses adhesiveness. The difference from the sheet 12 is that an elastic film formed by the reaction between the main component of the polymer base material and the curing agent attached as the “film forming agent” is not formed on all side surfaces along the thickness direction. .

弾性皮膜27は先の実施形態で示した弾性皮膜12aと異なり、高分子基材と固着する皮膜形成剤25によって形成されており、この皮膜形成剤25は、基剤と硬化剤との硬化反応で形成されるものである。このためシート22の厚さ方向に沿う側面と弾性皮膜27との間には明確な境界が在り、平面視で矩形の環形状に形成されている。
弾性皮膜27における基剤の材質は、高分子基材と固着する熱可塑性エラストマー、熱硬化性エラストマーなどの高分子材料が使用できる。弾性皮膜27の高分子材料とシート22の高分子基材とを同材質にすれば、固着性を高めることができる。
Unlike the elastic film 12a shown in the previous embodiment, the elastic film 27 is formed of a film forming agent 25 that adheres to the polymer substrate. The film forming agent 25 is a curing reaction between the base and the curing agent. Is formed. For this reason, there is a clear boundary between the side surface along the thickness direction of the sheet 22 and the elastic film 27, and it is formed in a rectangular ring shape in plan view.
As the material of the base in the elastic film 27, a polymer material such as a thermoplastic elastomer or a thermosetting elastomer that is fixed to the polymer substrate can be used. If the polymer material of the elastic film 27 and the polymer substrate of the sheet 22 are made of the same material, the adhesion can be improved.

熱伝導性シート21の製造方法について代表的な2例を説明する。
第1の製造方法は、熱伝導性シート11における第1の製造方法と略同様である。先ず、高分子基材と熱伝導性充填材を攪拌機で混合して熱伝導性組成物13を用意する。
次に、矩形柱体形状の塊状成形体を成形する金型1を用意する(図3参照)。
そしてフィルム14を用意し、矩形筒形とした際に内側となる表面14aに対して、高分子基材の主剤と固着する基剤と硬化剤とを含む皮膜形成剤25を塗布する。このフィルム14を矩形筒形にして、図15で示すように、金型1にインサートする。その後図16で示すように、熱伝導性組成物13を金型1内に充填する。このように熱伝導性組成物13を金型1内に充填すると、図17で示すように、フィルム14の表面14aに塗布した皮膜形成剤25と熱伝導性組成物13との間には界面が存在する。
次に、金型1のキャビティ内で熱伝導性組成物13から熱伝導性で矩形柱体形状の塊状成形体26を成形すると同時に、皮膜形成剤25の硬化による弾性皮膜27を一体形成する。そして塊状成形体26をフィルム14ごと金型1から取り出した後、図19で示すように、塊状成形体26と弾性皮膜27をフィルム14から外す。
最後に図20で示すように、側面に弾性皮膜27を形成した矩形柱体形状の塊状成形体26をその側面に交差する方向で刃物2を用いてスライス加工し、シート化する。このようにして、シート22の厚さ方向に沿う側面が弾性皮膜27でなる熱伝導性シート21を得ることができる。
Two typical examples of the method for producing the heat conductive sheet 21 will be described.
The first manufacturing method is substantially the same as the first manufacturing method for the heat conductive sheet 11. First, a polymer substrate and a thermally conductive filler are mixed with a stirrer to prepare a thermally conductive composition 13.
Next, the metal mold | die 1 which shape | molds the block-shaped block-shaped molded object is prepared (refer FIG. 3).
Then, the film 14 is prepared, and a film forming agent 25 containing a base material and a curing agent that adheres to the base material of the polymer base material is applied to the inner surface 14a when the film 14 is formed into a rectangular cylinder. The film 14 is formed into a rectangular cylinder and inserted into the mold 1 as shown in FIG. Thereafter, as shown in FIG. 16, the heat conductive composition 13 is filled in the mold 1. When the heat conductive composition 13 is filled in the mold 1 in this way, an interface is formed between the film forming agent 25 applied to the surface 14a of the film 14 and the heat conductive composition 13, as shown in FIG. Exists.
Next, a thermally conductive rectangular column-shaped massive molded body 26 is molded from the thermal conductive composition 13 in the cavity of the mold 1, and at the same time, an elastic film 27 is formed integrally by curing the film forming agent 25. Then, after the bulk molded body 26 is taken out from the mold 1 together with the film 14, the bulk molded body 26 and the elastic film 27 are removed from the film 14, as shown in FIG.
Finally, as shown in FIG. 20, a rectangular column-shaped massive molded body 26 in which an elastic film 27 is formed on the side surface is sliced using the blade 2 in a direction intersecting the side surface, and formed into a sheet. In this way, the heat conductive sheet 21 having the elastic film 27 on the side surface along the thickness direction of the sheet 22 can be obtained.

第1の製造方法の変形例として、金型1にフィルム14をインサートせずに、筒金型1aの内壁面に皮膜形成剤25を直接塗布することもできる。このようにすれば、フィルムを無くすことができ、製造中に用いる部材を削減することができる。   As a modification of the first manufacturing method, the film forming agent 25 can be directly applied to the inner wall surface of the cylindrical mold 1a without inserting the film 14 into the mold 1. If it does in this way, a film can be lose | eliminated and the member used during manufacture can be reduced.

第2の製造方法は、先ず、熱伝導性組成物13と金型1を用意する。
次に図21で示すように、高分子基材の主剤と固着する基剤と硬化剤とを含む皮膜形成剤25でなる矩形の筒形状の弾性皮膜27を金型1にインサートする。
次に図22で示すように、金型1内に熱伝導性組成物13を充填する。このように熱伝導性組成物13を金型1内に充填すると、図23で示すように、弾性皮膜27と熱伝導性組成物13との間には界面が存在する。そして金型1のキャビティ内に充填された熱伝導性組成物13から熱伝導性で矩形柱体形状の塊状成形体26を成形し、弾性皮膜27と一体化する。その後、この塊状成形体26と弾性皮膜27を金型1から脱型する。
最後に、側面に弾性皮膜27を形成した矩形柱体形状の塊状成形体26をその側面に交差する方向で刃物2を用いてスライス加工し(図20参照)、シート化する。このようにして、シート22の厚さ方向に沿う側面に弾性皮膜27が一体化する熱伝導性シート21を得ることができる。
In the second manufacturing method, first, a heat conductive composition 13 and a mold 1 are prepared.
Next, as shown in FIG. 21, a rectangular cylindrical elastic film 27 made of a film forming agent 25 containing a base material that adheres to the base material of the polymer base material and a curing agent is inserted into the mold 1.
Next, as shown in FIG. 22, the thermally conductive composition 13 is filled in the mold 1. When the heat conductive composition 13 is filled in the mold 1 as described above, an interface exists between the elastic film 27 and the heat conductive composition 13 as shown in FIG. Then, a heat-conductive composition 13 filled in the cavity of the mold 1 is molded into a block-shaped mass 26 having a rectangular columnar shape and integrated with the elastic film 27. Thereafter, the massive molded body 26 and the elastic film 27 are removed from the mold 1.
Finally, the rectangular column-shaped massive molded body 26 in which the elastic film 27 is formed on the side surface is sliced by using the blade 2 in a direction intersecting the side surface (see FIG. 20) to form a sheet. In this way, the heat conductive sheet 21 in which the elastic film 27 is integrated with the side surface along the thickness direction of the sheet 22 can be obtained.

熱伝導性シート21によれば、熱伝導性シート11と同様に、側面の弾性皮膜27によってシート22の剛性を高めることができ、取扱い性を高めることができる。また、弾性皮膜27はシート22の外縁に形成されているため、シート22の面内は柔軟性を確保することができ、柔軟性に起因した密着力及びそれによって生じる低熱抵抗という熱伝導性能を発揮することができる。
また、第1,第2の製造方法によるシート22は塊状成形体26をスライス加工して製造されたため、シート22の面方向に沿う表面又は裏面のうち少なくとも一方がスライスカット面となり、面際や面上に熱伝導性充填材が分散している。よって高熱伝導性の熱伝導性シート21を実現することができる。
According to the heat conductive sheet 21, like the heat conductive sheet 11, the rigidity of the sheet 22 can be increased by the elastic film 27 on the side surface, and the handleability can be improved. In addition, since the elastic coating 27 is formed on the outer edge of the sheet 22, it is possible to ensure flexibility within the surface of the sheet 22, and to achieve heat conduction performance such as adhesion due to flexibility and low thermal resistance caused thereby. It can be demonstrated.
In addition, since the sheet 22 by the first and second manufacturing methods is manufactured by slicing the massive molded body 26, at least one of the front surface or the back surface along the surface direction of the sheet 22 becomes a slice cut surface, Thermally conductive filler is dispersed on the surface. Therefore, the heat conductive sheet 21 with high heat conductivity can be realized.

弾性皮膜27を高分子基材の主剤と固着する基剤と硬化剤との硬化反応で形成するため、シート22と弾性皮膜27との固着力を高めることができ、弾性皮膜27が剥離し難い熱伝導性シート21を実現することができる。   Since the elastic film 27 is formed by a curing reaction between a base material that adheres to the base material of the polymer base material and a curing agent, the adhesive force between the sheet 22 and the elastic film 27 can be increased, and the elastic film 27 is difficult to peel off. The heat conductive sheet 21 can be realized.

各実施形態の変形例〔図25〕
各実施形態の熱伝導性シート11,21ではシート12,22における側面の全面に連続する弾性皮膜12a,27を形成したが、弾性皮膜を側面に対し断続的に形成することができる。
例えば、熱伝導性シート11で例示すると、図25(A)で示す変形例1の熱伝導性シート111では、シート12における外縁の一方の対辺に弾性皮膜12aを形成している。図25(B)で示す変形例2の熱伝導性シート112では、シート12における外縁の各辺の中央付近を除いて弾性皮膜12aを形成している。図25(C)で示す変形例3の熱伝導性シート113では、シート12における外縁の一方の対辺に対し中央付近に弾性皮膜12aを形成しもう一方の対辺に中央付近を除いて弾性皮膜12aを形成している。
このようにすれば、熱伝導性シート111,112,113を圧縮した際に、弾性皮膜12aを形成していない側面部分が外方へ膨出し易くなるため、シート12を潰れ易くすることができ、圧縮荷重を小さくすることができる。
Modification of each embodiment (FIG. 25) :
In the heat conductive sheets 11 and 21 of each embodiment, the continuous elastic films 12a and 27 are formed on the entire side surfaces of the sheets 12 and 22, but the elastic films can be intermittently formed on the side surfaces.
For example, in the case of the heat conductive sheet 11, in the heat conductive sheet 111 of Modification 1 shown in FIG. 25A, the elastic film 12 a is formed on one side of the outer edge of the sheet 12. In the heat conductive sheet 112 of Modification 2 shown in FIG. 25 (B), the elastic film 12a is formed except for the vicinity of the center of each side of the outer edge of the sheet 12. In the thermal conductive sheet 113 of Modification 3 shown in FIG. 25 (C), an elastic film 12a is formed near the center with respect to one opposite side of the outer edge of the sheet 12, and the elastic film 12a is formed on the other opposite side except for the vicinity of the center. Is forming.
In this way, when the heat conductive sheets 111, 112, and 113 are compressed, the side surface portion on which the elastic coating 12a is not formed easily bulges outward, so that the sheet 12 can be easily crushed. The compression load can be reduced.

前記実施形態においては、熱伝導性シート11,21,111,112,113のうち、弾性皮膜12a,16a,27の形成されていないシート12,22の表面は粘着性であるとして説明したが、こうした熱伝導性層の表面を非粘着性の表面に形成することができる。
高分子基材を構成する高分子材料は柔軟で粘着性を有するが、熱伝導性充填材の種類や添加量、配向の程度等によっては、熱伝導性充填材が含まれる高分子基材が粘着性ではなく非粘着性となる場合もあり得るからである。例えば、炭素繊維を配向させて含む高分子基材はシート12の表面が非粘着性となりやすい。したがって、シート12,22の表面は原則として粘着性であるが、非粘着性である場合を排除するものではない。
In the said embodiment, although the surface of the sheet | seats 12 and 22 in which the elastic membrane | film | coats 12a, 16a, and 27 are not formed among heat conductive sheets 11, 21, 111, 112, and 113 was demonstrated as adhesiveness, The surface of such a heat conductive layer can be formed on a non-adhesive surface.
The polymer material constituting the polymer substrate is flexible and sticky, but depending on the type and amount of the thermally conductive filler, the degree of orientation, etc., the polymer substrate containing the thermally conductive filler may be It is because it may become non-adhesive rather than adhesive. For example, the surface of the sheet 12 of the polymer base material containing carbon fibers oriented is likely to be non-adhesive. Therefore, the surfaces of the sheets 12 and 22 are basically sticky, but this does not exclude the case where they are non-sticky.

以下に、第1実施形態の熱伝導性シート11に関する実施例を挙げて「引張弾性率」を説明するが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, examples of the thermal conductive sheet 11 of the first embodiment will be described to explain “tensile elastic modulus”, but the present invention is not limited to these examples.

1.試料の製造
高分子基材として熱硬化性の液状シリコーンゴム、粉末状熱伝導性充填材として酸化アルミニウム、繊維状熱伝導性充填材としてポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール(PBO)繊維を前駆体とする炭素繊維(以下、単に「炭素繊維」という。)を用いた。
液状シリコーン組成物100重量部に対して、酸化アルミニウム480重量部、炭素繊維120重量部を配合し、攪拌及び真空脱泡の工程を経て熱伝導性組成物(13)を調整した。
次に、耐熱性を有するポリイミドフィルム(14)の表面(14a)に前記液状シリコーン組成物の主剤と反応するSi−H基を有する硬化剤(15)のみを「皮膜形成剤」として塗布し、このフィルム(14)を筒金型(1a)の軸心方向(高さ方向)に沿う内壁面に沿うようにインサートする。そして、金型(1)に熱伝導性組成物(13)を充填した後、筒金型(1a)の軸心方向に平行な磁場を印加して、その方向に炭素繊維を配向させる。その後金型(1)を加熱して液状シリコーン組成物の主剤と硬化剤(15)を反応させた。これにより、高さ方向に炭素繊維が配向し、高さ方向に沿う側面を弾性皮膜(16a)とした縦横高さ100mmの塊状成形体(16)を製造した。
1. Sample manufacture :
Carbon fiber with precursor of thermosetting liquid silicone rubber as polymer base material, aluminum oxide as powder thermal conductive filler, and polyparaphenylenebenzobisoxazole (PBO) fiber as fibrous thermal conductive filler ( Hereinafter, simply referred to as “carbon fiber”).
To 100 parts by weight of the liquid silicone composition, 480 parts by weight of aluminum oxide and 120 parts by weight of carbon fiber were blended, and the thermally conductive composition (13) was prepared through the steps of stirring and vacuum defoaming.
Next, only the curing agent (15) having a Si-H group that reacts with the main component of the liquid silicone composition is applied to the surface (14a) of the polyimide film (14) having heat resistance as a "film forming agent", This film (14) is inserted along the inner wall surface along the axial direction (height direction) of the cylindrical mold (1a). Then, after filling the mold (1) with the heat conductive composition (13), a magnetic field parallel to the axial direction of the cylindrical mold (1a) is applied to orient the carbon fibers in that direction. Thereafter, the mold (1) was heated to react the main component of the liquid silicone composition with the curing agent (15). Thereby, carbon fibers were oriented in the height direction, and a lump-shaped molded body (16) having a vertical and horizontal height of 100 mm having an elastic film (16a) on the side surface along the height direction was produced.

その後、図26(A)で示すように、塊状成形体(16)の高さ方向に沿う側面と垂直方向のカットライン(CL)に沿って刃物(2)で厚さ1mmにスライス加工し、試験用熱伝導性シート(11)を得た。この試験用熱伝導性シート(11)を、図27で示すように、さらに刃物(2)で幅1mmにカットして、試料サイズが厚さ1mm×幅1mm×長さ100mmの試料1〜試料5を製造した。
試料1は、試験用熱伝導性シート(11)における弾性皮膜(12a)の表面から1mm幅にカットして得た(TP1)。
試料2は試料1をカットした後さらに1mm幅にカットして、つまり試験用熱伝導性シート(11)における弾性皮膜(12a)の表面より1mm内側から1mm幅にカットして得た(TP2)。
試料3は試料2をカットした後さらに1mm幅にカットして、つまり試験用熱伝導性シート(11)における弾性皮膜(12a)の表面より2mm内側から1mm幅にカットして得た(TP3)。
試料4は試料3をカットした後に、試験用熱伝導性シート(11)における弾性皮膜(12a)の表面より9mm内側から1mm幅にカットして得た(TP4)。
試料5は試料4をカットした後に、試験用熱伝導性シート(11)における弾性皮膜(12a)の表面より54mm内側から1mm幅にカットして得た(TP5)。
Thereafter, as shown in FIG. 26 (A), sliced to a thickness of 1 mm with the blade (2) along the side surface along the height direction of the massive molded body (16) and the cut line (CL) in the vertical direction, A test thermal conductive sheet (11) was obtained. As shown in FIG. 27, the test thermal conductive sheet (11) was further cut into a width of 1 mm with a blade (2), and the sample size was 1 mm thick × 1 mm wide × 100 mm long. 5 was produced.
Sample 1 was obtained by cutting to a width of 1 mm from the surface of the elastic coating (12a) in the test thermal conductive sheet (11) (TP1).
Sample 2 was obtained by cutting Sample 1 and further cutting it to 1 mm width, that is, cutting 1 mm from the inside of the surface of the elastic coating (12a) in the test thermal conductive sheet (11) to 1 mm width (TP2). .
Sample 3 was obtained by cutting sample 2 and then cutting to 1 mm width, that is, cutting to 1 mm width from the inside of 2 mm from the surface of the elastic coating (12a) in the test thermal conductive sheet (11) (TP3) .
The sample 4 was obtained by cutting the sample 3 and then cutting it to a width of 1 mm from the inner side of 9 mm from the surface of the elastic film (12a) in the test thermal conductive sheet (11) (TP4).
The sample 5 was obtained by cutting the sample 4 and then cutting it to a width of 1 mm from the inner side of 54 mm from the surface of the elastic coating (12a) in the test thermal conductive sheet (11) (TP5).

2.試験方法
試料1〜試料5を引張速度100mm/min(24℃空気下)にて引張試験し、得られた荷重値を各試料の断面積の値で除して、本試験下の引張弾性率を算出した。その結果を表1に示す。なお、全ての試料の両端(上端及び下端)には弾性皮膜(12a)が存在するが、両端からそれぞれ20mmまでをチャッキング代として試験を行うため、測定した荷重値には両端の弾性皮膜(12a)の影響をほとんど受けない。
2. Test method :
Samples 1 to 5 are subjected to a tensile test at a tensile speed of 100 mm / min (at 24 ° C. in air), and the obtained load value is divided by the value of the cross-sectional area of each sample to calculate the tensile modulus under this test did. The results are shown in Table 1. Note that there are elastic coatings (12a) at both ends (upper and lower ends) of all the samples, but since the test is performed with a chucking allowance of 20 mm from both ends, the measured load value includes the elastic coatings ( Little affected by 12a).

3.試験結果
試料1は試料2〜試料5に比べて引張弾性率が最も高く、試料1から試料4や試料5に向けて徐々に弾性率が低下していくことが確認された。すなわち、試験用熱伝導性シート(11)における弾性皮膜(12a)の表面が硬質に形成され、試験用熱伝導性シート(11)の側面側から剛性を高めていることが確認された。また、試験用熱伝導性シート(11)の引張弾性率が、側面側の引張弾性率を最大として徐々に低下していくものであることが確認された。
3. Test results :
Sample 1 had the highest tensile elastic modulus compared to Samples 2 to 5, and it was confirmed that the elastic modulus gradually decreased from Sample 1 toward Sample 4 and Sample 5. That is, it was confirmed that the surface of the elastic film (12a) in the test heat conductive sheet (11) was formed hard and the rigidity was increased from the side surface side of the test heat conductive sheet (11). Further, it was confirmed that the tensile elastic modulus of the test thermal conductive sheet (11) gradually decreased with the maximum tensile elastic modulus on the side surface side.

Figure 0005358412
Figure 0005358412

1 金型
1a 筒金型
1b 板金型
2 刃物
3 塗装機
11 熱伝導性シート(第1実施形態)
12 シート(熱伝導性層)
12a 弾性皮膜
13 熱伝導性組成物
14 フィルム
15 硬化剤(皮膜形成剤)
16 塊状成形体
16a 弾性皮膜
21 熱伝導性シート(第2実施形態)
22 シート(熱伝導性層)
25 皮膜形成剤
26 塊状成形体
27 弾性皮膜
111 熱伝導性シート(第1実施形態の変形例1)
112 熱伝導性シート(第1実施形態の変形例2)
113 熱伝導性シート(第1実施形態の変形例3)
CL カットライン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Mold 1a Tube mold 1b Sheet metal mold 2 Cutlery 3 Coating machine 11 Thermally conductive sheet (1st Embodiment)
12 sheet (thermally conductive layer)
12a Elastic coating 13 Thermally conductive composition 14 Film 15 Curing agent (film forming agent)
16 Bulk molded body 16a Elastic coating 21 Thermally conductive sheet (second embodiment)
22 Sheet (thermally conductive layer)
25 Film Forming Agent 26 Mass Molded Body 27 Elastic Film 111 Thermal Conductive Sheet (Modification 1 of First Embodiment)
112 Thermally conductive sheet (Modification 2 of the first embodiment)
113 Thermally conductive sheet (Modification 3 of the first embodiment)
CL cut line

Claims (12)

シート状の高分子基材中に熱伝導性充填材が分散する熱伝導性シートの製造方法において、
高分子基材に熱伝導性充填材を配合した熱伝導性組成物でなる塊状成形体の表面に、皮膜形成剤を付着させて、該皮膜形成剤による非粘着性の弾性皮膜を形成する工程と、
塊状成形体をスライス加工して、弾性皮膜が外縁を形成するシートに分割する工程と、
を実行し、厚さ方向に沿う側面が弾性皮膜でなる熱伝導性シートを形成することを特徴とする熱伝導性シートの製造方法。
In the method for producing a thermally conductive sheet in which a thermally conductive filler is dispersed in a sheet-like polymer substrate,
A process of forming a non-adhesive elastic film by adhering a film forming agent to the surface of a massive molded body made of a heat conductive composition in which a heat conductive filler is blended with a polymer substrate. When,
A step of slicing the massive molded body and dividing the elastic film into sheets forming the outer edge;
And forming a thermally conductive sheet having a side surface along the thickness direction made of an elastic film.
塊状成形体の表面に弾性皮膜を形成する工程が、
熱伝導性組成物を充填する成形金型のキャビティ内に皮膜形成剤を塗布する工程と、
この成形金型のキャビティに熱伝導性組成物を充填する工程と、
キャビティ内で熱伝導性組成物から塊状成形体を成形すると同時に、皮膜形成剤により弾性皮膜を形成する工程と、
を順次実行する請求項1記載の熱伝導性シートの製造方法。
The process of forming an elastic film on the surface of the massive molded body
Applying a film-forming agent into the cavity of the molding die filled with the thermally conductive composition;
Filling the cavity of this mold with a thermally conductive composition;
Forming a bulk molded body from the thermally conductive composition in the cavity and simultaneously forming an elastic film with a film forming agent;
The manufacturing method of the heat conductive sheet of Claim 1 which performs sequentially.
塊状成形体の表面に弾性皮膜を形成する工程が、
熱伝導性組成物を成形金型のキャビティに充填する工程と、
キャビティ内で熱伝導性組成物から塊状成形体を成形する工程と、
塊状成形体の表面に皮膜形成剤を付着させる工程と、
該皮膜形成剤による弾性皮膜を形成する工程と、
を順次実行する請求項1記載の熱伝導性シートの製造方法。
The process of forming an elastic film on the surface of the massive molded body
Filling the cavity of the mold with the thermally conductive composition;
Forming a massive molded body from the thermally conductive composition in the cavity;
A step of attaching a film-forming agent to the surface of the massive molded body;
Forming an elastic film with the film forming agent;
The manufacturing method of the heat conductive sheet of Claim 1 which performs sequentially.
塊状成形体の表面に弾性皮膜を形成する工程にて、
塊状成形体を柱体形状に成形し、該柱体形状の側面に弾性皮膜が形成され、
塊状成形体をシートに分割する工程にて、
柱体形状の塊状成形体を柱軸と交差方向にスライス加工する請求項1〜請求項3何れか1項記載の熱伝導性シートの製造方法。
In the process of forming an elastic film on the surface of the massive molded body,
A massive molded body is molded into a columnar shape, and an elastic film is formed on the side surface of the columnar shape,
In the step of dividing the massive molded body into sheets,
The manufacturing method of the heat conductive sheet of any one of Claims 1-3 which slice-processes a column-shaped block-shaped molded object to a column axis | shaft.
皮膜形成剤が前記高分子基材の主剤と反応する硬化剤である請求項1〜請求項4何れか1項記載の熱伝導性シートの製造方法。   The method for producing a thermally conductive sheet according to any one of claims 1 to 4, wherein the film forming agent is a curing agent that reacts with the main component of the polymer substrate. 皮膜形成剤が前記高分子基材と固着する高分子材料でなる請求項1〜請求項4何れか1項記載の熱伝導性シートの製造方法。   The method for producing a thermally conductive sheet according to any one of claims 1 to 4, wherein the film forming agent is made of a polymer material that adheres to the polymer substrate. 高分子基材中に熱伝導性充填材が分散する熱伝導性シートであって、
シートの厚さ方向に沿う側面が非粘着性の弾性皮膜でなる熱伝導性シート。
A thermally conductive sheet in which a thermally conductive filler is dispersed in a polymer substrate,
The heat conductive sheet which the side surface along the thickness direction of a sheet | seat consists of a non-adhesive elastic film.
シートの面方向に沿う表面又は裏面のうち少なくとも一方がスライスカット面でなる請求項7記載の熱伝導性シート。   The thermally conductive sheet according to claim 7, wherein at least one of the front surface and the back surface along the surface direction of the sheet is a slice cut surface. 弾性皮膜を形成する高分子基材の引張弾性率が、シート面の略中央部分を形成する高分子基材の引張弾性率より高い値である請求項7または請求項8記載の熱伝導性シート。   The thermal conductive sheet according to claim 7 or 8, wherein the tensile elastic modulus of the polymer base material forming the elastic film is higher than the tensile elastic modulus of the polymer base material forming the substantially central portion of the sheet surface. . 弾性皮膜が、シートの厚さ方向に沿う側面に付着した皮膜形成剤に含まれる硬化剤と高分子基材の主剤との反応皮膜である請求項7〜請求項9何れか1項記載の熱伝導性シート。   The heat according to any one of claims 7 to 9, wherein the elastic film is a reaction film of a curing agent contained in a film forming agent attached to a side surface along the thickness direction of the sheet and a main ingredient of the polymer base material. Conductive sheet. 高分子基材の引張弾性率が、外縁を最大値にして内方に向けて徐々に低くなる請求項10記載の熱伝導性シート。   The heat conductive sheet according to claim 10, wherein the tensile elastic modulus of the polymer base material gradually decreases inward with the outer edge as a maximum value. 弾性皮膜がシートにおける側面の周方向に対し断続的に形成されている請求項7〜請求項11何れか1項記載の熱伝導性シート。   The heat conductive sheet according to any one of claims 7 to 11, wherein the elastic film is formed intermittently in the circumferential direction of the side surface of the sheet.
JP2009272933A 2009-11-30 2009-11-30 Method for producing thermal conductive sheet and thermal conductive sheet Active JP5358412B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009272933A JP5358412B2 (en) 2009-11-30 2009-11-30 Method for producing thermal conductive sheet and thermal conductive sheet

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009272933A JP5358412B2 (en) 2009-11-30 2009-11-30 Method for producing thermal conductive sheet and thermal conductive sheet

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011116806A JP2011116806A (en) 2011-06-16
JP5358412B2 true JP5358412B2 (en) 2013-12-04

Family

ID=44282518

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009272933A Active JP5358412B2 (en) 2009-11-30 2009-11-30 Method for producing thermal conductive sheet and thermal conductive sheet

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5358412B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014216398A (en) * 2013-04-24 2014-11-17 デクセリアルズ株式会社 Method for producing heat conducting sheet and heat conducting sheet
JP2014216399A (en) * 2013-04-24 2014-11-17 デクセリアルズ株式会社 Heat conduction sheet and manufacturing method of the same
JP7328184B2 (en) * 2020-08-06 2023-08-16 信越化学工業株式会社 Thermally conductive two-liquid addition-curable silicone composition and its production method

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60120042A (en) * 1983-12-01 1985-06-27 Uchiyama Mfg Corp Manufacture of sealing material for bearing
FR2607750B1 (en) * 1986-12-04 1989-05-19 Gunther Sa METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING A COMPOSITE ARTICLE OF CONSTANT SECTION INCLUDING A CORE AND OUTER SHELL AND COMPOSITE ARTICLE THEREOF
JPH0955456A (en) * 1995-08-15 1997-02-25 Shin Etsu Polymer Co Ltd Semiconductor device cooling structure
JP3679721B2 (en) * 2001-03-05 2005-08-03 富士高分子工業株式会社 Semiconductor cooling structure
JP4897360B2 (en) * 2006-06-08 2012-03-14 ポリマテック株式会社 Thermally conductive molded body and method for producing the same
JP2009149831A (en) * 2007-11-26 2009-07-09 Hitachi Chem Co Ltd Thermoconductive sheet, manufacturing method thereof, and heat-radiating device using thermoconductive sheet
JP4966915B2 (en) * 2008-05-09 2012-07-04 株式会社タイカ Thermally conductive sheet, thermal conductive sheet laminate and method for producing the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP2011116806A (en) 2011-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI393772B (en) Thermally conductive sheet composite and method for manufacturing the same
CN105378914B (en) Heat conductive sheet
JP2004080040A (en) Flexible surface layer film for providing highly filled or less bridged thermally conductive interface pads
TW201621256A (en) Thermal conductive sheet, method of manufacturing thermally conductive sheet, heat dissipating member, and semiconductor device
TWI834752B (en) Thermal conductive composition, thermal conductive member, manufacturing method of thermal conductive member, heat dissipation structure, heat generating composite member, heat dissipation composite member
TW201520329A (en) Method of manufacturing heat conductive sheet, heat conductive sheet, and heat dissipation member
US11597196B2 (en) Method for producing thermally conductive sheet
CN112368827B (en) Thermally conductive sheet and method for manufacturing the same, and method for mounting the thermally conductive sheet
CN107004655B (en) Thermal sheet
JP7384560B2 (en) Thermal conductive sheets, mounting methods for thermal conductive sheets, manufacturing methods for electronic devices
JPWO2018078436A1 (en) Three-dimensional shape heat conductive molded body and manufacturing method thereof
JP5358412B2 (en) Method for producing thermal conductive sheet and thermal conductive sheet
JP2020013872A (en) Manufacturing method of heat conductive sheet
JP2022000903A (en) Thermally conductive sheet and method for producing the same, and method for mounting thermally conductive sheet
US11987686B2 (en) Thermally conductive sheet
JP5517191B2 (en) Method for producing thermal conductive sheet and thermal conductive sheet
JP2012245664A (en) Heat conductive sheet
JP6244128B2 (en) Thermally conductive sheet and thermally conductive sheet with release sheet
JP2011082423A (en) Heat conductive sheet
JP4530283B2 (en) Thermally conductive sheet and method for producing the same
JP2021160237A (en) Method for manufacturing heat-conductive sheet
JP7339073B2 (en) Heat dissipation sheet and its manufacturing method
WO2022172782A1 (en) Supply form of thermally conductive sheet, and thermally conductive sheet
JP2001110963A (en) Manufacturing method of heat radiation spacer
JP6272746B2 (en) Method for manufacturing shape retaining sheet and shape retaining sheet

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20121127

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130731

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130806

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130902

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5358412

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250