JP5338695B2

JP5338695B2 - Fluid pressure cylinder dust removal mechanism

Info

Publication number: JP5338695B2
Application number: JP2010020825A
Authority: JP
Inventors: 直樹新庄
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2010-02-02
Filing date: 2010-02-02
Publication date: 2013-11-13
Anticipated expiration: 2030-02-02
Also published as: JP2011158039A

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve improvement in durability while achieving smooth operation of a piston including a piston rod by preventing dust deposited on the piston rod from entering into a cylinder body by surely removing the dust in a fluid-pressure cylinder. <P>SOLUTION: A fluid-pressure cylinder 10 is configured as follows. A rod cover 14 is provided with a sub-port 44 supplied with pressure fluid. The pressure fluid supplied to the sub-port 44 is supplied to an annular groove 40 facing a piston rod 18 and mounted with rod packing 42. The pressure fluid is circulated to the inner-peripheral side through a passage 64 formed in the rod packing 42, and is introduced into a space 66 provided against the outer-peripheral face of the piston rod 18. By this, dust or the like deposited on the outer-peripheral face of the piston rod 18 is blocked by the space 66 so as to prevent the dust from entering into the side of a cylinder tube 12. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、圧力流体の供給作用下にピストンを軸線方向に沿って変位させる流体圧シリンダにおいて、塵埃の内部への進入を防止するための流体圧シリンダの塵埃除去機構に関する。 The present invention relates to a dust removing mechanism of a fluid pressure cylinder for preventing dust from entering the inside of a fluid pressure cylinder that displaces a piston along an axial direction under a pressure fluid supply action.

従来から、ワーク等の搬送手段として、例えば、圧力流体の供給作用下に変位するピストンを有する流体圧シリンダが用いられている。 2. Description of the Related Art Conventionally, a fluid pressure cylinder having a piston that is displaced under the action of supplying a pressure fluid has been used as a conveying means for a workpiece or the like.

このような流体圧シリンダでは、筒状のシリンダ本体の内部に画成されたシリンダ室にピストンが変位自在に設けられると共に、前記シリンダ本体の両端部にそれぞれヘッドカバー及びロッドカバーが装着され、前記シリンダ室を閉塞している。また、ピストンには、軸状のピストンロッドが連結され、ロッドカバーに挿通されることによって変位自在に支持されている（例えば、特許文献１参照）。 In such a fluid pressure cylinder, a piston is slidably provided in a cylinder chamber defined inside a cylindrical cylinder body, and a head cover and a rod cover are respectively attached to both ends of the cylinder body. The room is blocked. Further, an axial piston rod is connected to the piston, and is supported so as to be displaceable by being inserted through a rod cover (see, for example, Patent Document 1).

特開２０００−７４００７号公報JP 2000-740007 A

このような流体圧シリンダでは、ピストンがロッドカバー側へ変位した際に、ピストンロッドが前記ロッドカバーを通じて外部に突出して露呈する構成としているため、前記ピストンロッドの外周面に塵埃等が付着することがある。そして、ピストンが再びヘッドカバー側へと変位し、ピストンロッドがシリンダチューブ内に引き込まれる際、ロッドカバーの内部に設けられたスクレーパによって前記ピストンロッドの外周面に付着した塵埃等を除去している。 In such a fluid pressure cylinder, when the piston is displaced to the rod cover side, the piston rod protrudes to the outside through the rod cover and is exposed, so that dust or the like adheres to the outer peripheral surface of the piston rod. There is. When the piston is again displaced toward the head cover and the piston rod is pulled into the cylinder tube, dust or the like attached to the outer peripheral surface of the piston rod is removed by a scraper provided inside the rod cover.

しかしながら、上述した塵埃が粉体等の微粒子や、水、溶剤等の液体である場合には、スクレーパで前記塵埃を完全に除去することが困難であり、残存した塵埃がピストンロッドと共にシリンダチューブ内へと進入し、前記塵埃が、例えば、ピストンロッドとロッドパッキン及び軸受との間や、前記シリンダチューブとピストンとの間に入り込むことにより動作不良を引き起こすことが懸念される。 However, when the above-mentioned dust is a fine particle such as powder, or a liquid such as water or a solvent, it is difficult to completely remove the dust with a scraper, and the remaining dust is contained in the cylinder tube together with the piston rod. There is a concern that the dust may enter a gap and cause malfunction due to, for example, entering between the piston rod and the rod packing and the bearing, or between the cylinder tube and the piston.

本発明は、前記の課題を考慮してなされたものであり、ピストンロッドに付着した塵埃を確実に排除し、シリンダ本体への進入を防止することにより、該ピストンロッドを含むピストンを円滑に作動させると共に耐久性の向上を図ることが可能な流体圧シリンダの塵埃除去機構を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of the above-mentioned problems, and by reliably removing dust adhering to the piston rod and preventing entry into the cylinder body, the piston including the piston rod operates smoothly. An object of the present invention is to provide a dust removing mechanism for a fluid pressure cylinder that can be improved in durability and improved in durability.

前記の目的を達成するために、本発明は、圧力流体が供給される一組のポートと、該ポートから前記圧力流体の導入されるシリンダ室とを有するシリンダ本体と、
前記シリンダ室の内部に軸線方向に沿って変位自在に設けられるピストンと、
前記シリンダ本体に支持され、前記ピストンロッドに連結され前記シリンダ本体の外部へ突出するように変位するピストンロッドと、
前記シリンダ本体に設けられ、前記ピストンロッドの外周面に摺接するロッドパッキンと、
前記圧力流体を前記ピストンロッド側に向けて供給し、該ピストンロッドに付着した塵埃の前記シリンダ本体側への進入を防止する塵埃進入防止手段と、
を備え、
前記塵埃進入防止手段は、前記ロッドパッキンと前記ピストンロッドとの間に設けられ、前記圧力流体が供給され保持される保持部と、前記保持部に前記圧力流体を供給する供給部とを有することを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention provides a cylinder body having a set of ports to which pressure fluid is supplied and a cylinder chamber into which the pressure fluid is introduced from the ports.
A piston provided inside the cylinder chamber so as to be displaceable along the axial direction;
A piston rod supported by the cylinder body, connected to the piston rod, and displaced so as to protrude outside the cylinder body;
A rod packing provided in the cylinder body and in sliding contact with the outer peripheral surface of the piston rod;
Dust entry preventing means for supplying the pressure fluid toward the piston rod and preventing dust adhering to the piston rod from entering the cylinder body;
With
The dust entry preventing means includes a holding portion that is provided between the rod packing and the piston rod and that is supplied and held with the pressure fluid, and a supply portion that supplies the pressure fluid to the holding portion. It is characterized by.

本発明によれば、流体圧シリンダにおいて、ピストンロッドに付着した塵埃の前記シリンダ本体側への進入を防止する塵埃進入防止手段を備え、前記塵埃進入防止手段が、圧力流体を前記ピストンロッド側に向けて供給する供給部と、供給された前記圧力流体の保持される保持部とから構成される。そして、シリンダ本体の外部に突出しているピストンロッドを、ピストンの変位作用下にシリンダ本体の内部に収容する方向へと変位させる際、ピストンロッドと共に保持部へと進入しようとした塵埃が、該保持部に保持された圧力流体によってその進入が阻止されると共に、該保持部に進入した場合でも前記圧力流体によって外部へと確実に排出される。 According to the present invention, the fluid pressure cylinder further includes dust entry preventing means for preventing dust adhering to the piston rod from entering the cylinder body, and the dust entry preventing means is configured to cause the pressure fluid to flow toward the piston rod side. It is comprised from the supply part supplied toward and the holding | maintenance part by which the supplied said pressure fluid is hold | maintained. When the piston rod protruding outside the cylinder body is displaced in the direction of being accommodated inside the cylinder body under the displacement of the piston, the dust that has entered the holding portion together with the piston rod is retained. The pressure fluid held in the part prevents the entry, and even when it enters the holding part, the pressure fluid surely discharges it to the outside.

従って、ピストンロッドに付着した塵埃が、ロッドパッキンと該ピストンロッドとの間を通じてシリンダ本体の内部へと進入することが確実に阻止され、該塵埃が進入した際に懸念される流体圧シリンダの動作不良が確実に回避される。その結果、ピストン及びピストンロッドを常に円滑に変位させることができると共に、前記流体圧シリンダの耐久性を向上させることができる。 Therefore, it is possible to reliably prevent dust adhering to the piston rod from entering the inside of the cylinder body through between the rod packing and the piston rod, and the operation of the hydraulic cylinder which is a concern when the dust enters. Defects are reliably avoided. As a result, the piston and the piston rod can always be smoothly displaced, and the durability of the fluid pressure cylinder can be improved.

また、例えば、塵埃が、従来の流体圧シリンダにおけるスクレーパ等で完全に除去することが困難な粉体等の微粒子や、水、溶剤等の液体である場合にも、保持部に保持され大気圧に対して高圧の圧力流体によって確実且つ容易に進入が遮断することが可能であり、より一層好適である。 In addition, for example, when the dust is fine particles such as powder or liquid such as water and solvent that are difficult to completely remove with a scraper or the like in a conventional fluid pressure cylinder, the atmospheric pressure is maintained in the holding unit. On the other hand, the entry can be reliably and easily blocked by the high-pressure fluid, which is more preferable.

さらに、供給部は、シリンダ本体の端部に設けられピストンロッドを軸線方向に沿って変位自在に支持するロッドカバーに設けられた供給ポートと、前記供給ポートと前記保持部とを連通する連通路とを備えるとよい。 Further, the supply portion is provided at an end portion of the cylinder body and provided at a rod cover that supports the piston rod so as to be displaceable along the axial direction, and a communication path that communicates the supply port and the holding portion. It is good to have.

さらにまた、供給部は、一組のポートのいずれか一方に供給される圧力流体を選択的に保持部へと供給する切換機構を備えるとよい。 Furthermore, the supply unit may include a switching mechanism that selectively supplies the pressure fluid supplied to any one of the set of ports to the holding unit.

またさらに、切換機構は、シリンダ本体の端部に設けられピストンロッドを軸線方向に沿って変位自在に支持するロッドカバーに設けられ、圧力流体の供給作用下に変位する切換弁と、前記切換弁の変位作用に前記ポートのいずれか一方と前記保持部とを連通する連通路とを備えるとよい。 Furthermore, the switching mechanism is provided at a rod cover provided at an end of the cylinder body and movably supports the piston rod along the axial direction, and is switched under a pressure fluid supply action, and the switching valve. It is preferable to provide a communication path that communicates either one of the ports and the holding portion with the displacement action.

また、連通路は、ロッドパッキンの外周面から内周面に向かって貫通し、前記内周面に臨むように設けられた保持部と連通させるとよい。 Further, the communication path may penetrate from the outer peripheral surface of the rod packing toward the inner peripheral surface and communicate with a holding portion provided so as to face the inner peripheral surface.

さらに、連通路を、環状に形成されたロッドパッキンの周方向に沿って複数設けるとよい。 Furthermore, it is good to provide multiple communicating paths along the circumferential direction of the rod packing formed cyclically | annularly.

さらにまた、保持部は、ロッドパッキンの内周面と、該ロッドパッキンの一側面に設けられピストンロッドの外周面に摺接するリップ部と、該内周面に形成され前記ピストンロッドの外周面に当接するシール部と、前記ピストンロッドの外周面によって囲まれた空間とするとよい。 Furthermore, the holding portion includes an inner peripheral surface of the rod packing, a lip portion that is provided on one side surface of the rod packing and that is in sliding contact with the outer peripheral surface of the piston rod, and is formed on the inner peripheral surface of the piston rod. It is good to make it the space enclosed by the seal | sticker part which contact | abuts, and the outer peripheral surface of the said piston rod.

またさらに、ロッドカバーには、ピストンロッドの挿通される孔部を有し、前記孔部には、塵埃を捕捉して保持可能な塵埃捕捉部材を設けるとよい。 Furthermore, the rod cover may have a hole through which the piston rod is inserted, and the hole may be provided with a dust capturing member capable of capturing and holding dust.

また、ロッドカバーには、ピストンロッドの挿通される孔部を有し、前記孔部には、ピストンロッドの潤滑を行う潤滑保持部材を設けるとよい。 Further, the rod cover may have a hole portion through which the piston rod is inserted, and a lubrication holding member for lubricating the piston rod may be provided in the hole portion.

さらに、ロッドカバーには、孔部と外部とを連通し、塵埃を外部に排出可能な排出ポートを備えるとよい。 Furthermore, the rod cover may be provided with a discharge port that allows the hole portion and the outside to communicate with each other and discharge dust to the outside.

さらにまた、ロッドパッキンには、ピストンロッド側に流通する圧力流体の圧力を減圧自在な減圧機構を備えるとよい。 Furthermore, the rod packing may be provided with a pressure reducing mechanism capable of reducing the pressure of the pressure fluid flowing to the piston rod side.

本発明によれば、以下の効果が得られる。 According to the present invention, the following effects can be obtained.

すなわち、シリンダ本体の外部に突出しているピストンロッドを、ピストンの変位作用下にシリンダ本体の内部に収容する方向へと変位させる際、ピストンロッドと共に保持部へと進入しようとした塵埃が、供給部から前記保持部へと供給されて保持された圧力流体によってその進入が阻止されると共に、該保持部に進入した場合でも前記圧力流体によって外部へと確実に排出される。その結果、塵埃がシリンダ本体の内部に進入した際に懸念される流体圧シリンダの動作不良が確実に回避されるため、ピストン及びピストンロッドを常に円滑に変位させることができると共に、前記流体圧シリンダの耐久性を向上させることが可能となる。 That is, when the piston rod protruding outside the cylinder body is displaced in a direction to be accommodated inside the cylinder body under the displacement action of the piston, dust that tries to enter the holding portion together with the piston rod is The pressure fluid supplied to and held by the holding portion is prevented from entering, and even when it enters the holding portion, it is reliably discharged to the outside by the pressure fluid. As a result, the malfunction of the fluid pressure cylinder, which is a concern when dust enters the inside of the cylinder body, is reliably avoided, so that the piston and the piston rod can always be smoothly displaced, and the fluid pressure cylinder It becomes possible to improve the durability.

また、例えば、塵埃が、従来の流体圧シリンダにおけるスクレーパ等で完全に除去することが困難な粉体等の微粒子や、水、溶剤等の液体である場合にも、保持部に保持された大気圧に対して高圧の圧力流体によって確実且つ容易に進入が遮断することが可能であり、より一層好適である。 In addition, for example, when the dust is fine particles such as powder or liquid such as water and solvent that are difficult to remove completely with a scraper or the like in a conventional fluid pressure cylinder, The entry can be surely and easily blocked by a pressure fluid having a high pressure relative to the atmospheric pressure, which is more preferable.

本発明の第１の実施の形態に係る塵埃除去機構の適用された流体圧シリンダの全体縦断面図である。1 is an overall longitudinal sectional view of a fluid pressure cylinder to which a dust removing mechanism according to a first embodiment of the present invention is applied. 図１の流体圧シリンダにおけるサブポート近傍を示す拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing the vicinity of a subport in the fluid pressure cylinder of FIG. 1. 図２のロッドパッキン近傍を示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view which shows the rod packing vicinity of FIG. 図１のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the IV-IV line of FIG. 図１の流体圧シリンダにおいてピストンがロッドカバー側へと変位した状態を示す全体縦断面図である。FIG. 2 is an overall longitudinal sectional view showing a state where a piston is displaced toward a rod cover in the fluid pressure cylinder of FIG. 1. 図５の流体圧シリンダにおけるサブポート近傍を示す拡大断面図である。FIG. 6 is an enlarged sectional view showing the vicinity of a subport in the fluid pressure cylinder of FIG. 5. 本発明の第２の実施の形態に係る塵埃除去機構の適用された流体圧シリンダの全体縦断面図である。It is a whole longitudinal cross-sectional view of the fluid pressure cylinder to which the dust removal mechanism which concerns on the 2nd Embodiment of this invention was applied. 図７の流体圧シリンダにおいてピストンがロッドカバー側へと変位した状態を示す全体縦断面図である。FIG. 8 is an overall longitudinal sectional view showing a state in which the piston is displaced toward the rod cover in the fluid pressure cylinder of FIG. 7. 図７の流体圧シリンダに潤滑部材を設けた変形例を示す全体縦断面図である。FIG. 8 is an overall longitudinal sectional view showing a modified example in which a lubricating member is provided in the fluid pressure cylinder of FIG. 7. 図９の流体圧シリンダに塵埃吸収部材を設けた変形例を示す全体縦断面図である。FIG. 10 is an overall longitudinal sectional view showing a modified example in which a dust absorbing member is provided in the fluid pressure cylinder of FIG. 9. 図９の流体圧シリンダに対して塵埃を外部に排出可能な排出ポートがロッドカバーに設けられた変形例を示す全体縦断面図である。FIG. 10 is an overall longitudinal sectional view showing a modified example in which a rod cover is provided with a discharge port capable of discharging dust to the outside with respect to the fluid pressure cylinder of FIG. 9. 図９の流体圧シリンダに対して減圧機構を備えたロッドパッキンを設けた場合の変形例である。FIG. 10 is a modified example when a rod packing having a pressure reducing mechanism is provided for the fluid pressure cylinder of FIG. 9. 図１２のロッドパッキンの一部省略正面図である。FIG. 13 is a partially omitted front view of the rod packing of FIG. 12. 図１４Ａは、図１２におけるロッドパッキン近傍を示す拡大断面図であり、図１４Ｂは、図１４Ａのロッドパッキンに対して圧力流体が供給された状態を示す拡大断面図である。14A is an enlarged sectional view showing the vicinity of the rod packing in FIG. 12, and FIG. 14B is an enlarged sectional view showing a state in which a pressure fluid is supplied to the rod packing in FIG. 14A.

本発明に係る流体圧シリンダの塵埃除去機構について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。 A preferred embodiment of a dust removing mechanism for a fluid pressure cylinder according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

図１において、参照符号１０は、本発明の第１の実施の形態に係る塵埃除去機構が適用された流体圧シリンダを示す。 In FIG. 1, reference numeral 10 indicates a fluid pressure cylinder to which the dust removing mechanism according to the first embodiment of the present invention is applied.

この流体圧シリンダ１０は、図１〜図６に示されるように、有底筒状のシリンダチューブ（シリンダ本体）１２と、前記シリンダチューブ１２の一端部に装着されるロッドカバー１４と、前記シリンダチューブ１２の内部に変位自在に設けられるピストン１６と、前記ピストン１６に連結されて前記ロッドカバー１４に変位自在に支持されるピストンロッド１８と、前記ピストンロッド１８に付着した塵埃Ｓ（図６参照）を除去可能な塵埃除去機構（塵埃進入防止手段）２０とを含む。 1 to 6, the fluid pressure cylinder 10 includes a bottomed cylindrical cylinder tube (cylinder main body) 12, a rod cover 14 attached to one end of the cylinder tube 12, and the cylinder A piston 16 provided inside the tube 12 so as to be displaceable, a piston rod 18 connected to the piston 16 and supported so as to be displaceable by the rod cover 14, and dust S adhering to the piston rod 18 (see FIG. 6). ) Can be removed, and a dust removal mechanism (dust entry preventing means) 20 is included.

シリンダチューブ１２は、その中央部に軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って貫通したシリンダ孔２２を有し、前記シリンダ孔２２は、前記シリンダチューブ１２の一端部側（矢印Ａ方向）で開口している。一方、シリンダチューブ１２の他端部には、壁部２４が一体的に形成されて前記シリンダ孔２２を閉塞している。 The cylinder tube 12 has a cylinder hole 22 penetrating along the axial direction (arrows A and B directions) at the center thereof, and the cylinder hole 22 is on one end side (arrow A direction) of the cylinder tube 12. It is open. On the other hand, a wall 24 is integrally formed at the other end of the cylinder tube 12 to close the cylinder hole 22.

また、シリンダチューブ１２の一端部には、その外側面に圧力流体の供給・排出される第１ポート２６が形成され、他端部の外側面には、同様に、前記圧力流体の供給・排出される第２ポート２８が形成される。この第１及び第２ポート２６、２８は、例えば、図示しない配管及び切換装置を介して圧力流体源（図示せず）に接続されている。また、第１及び第２ポート２６、２８は、それぞれ第１及び第２連通路３０、３２を介してシリンダ孔２２と連通している。 Further, a first port 26 for supplying and discharging pressure fluid is formed on the outer surface of one end of the cylinder tube 12, and the supply and discharge of pressure fluid is similarly performed on the outer surface of the other end. A second port 28 is formed. The first and second ports 26 and 28 are connected to a pressure fluid source (not shown) via, for example, a pipe and a switching device (not shown). The first and second ports 26 and 28 communicate with the cylinder hole 22 via the first and second communication passages 30 and 32, respectively.

ロッドカバー１４は、その一端部に形成され軸線方向に沿って突出した凸部３４を有し、シリンダチューブ１２のシリンダ孔２２に挿入されて固定される。また、凸部３４の外周面には、環状溝を介してＯリング３６が装着され、シリンダ孔２２の内周面との間に挟持されることにより、前記シリンダ孔２２とロッドカバー１４との間を通じた圧力流体の漏出を防止している。 The rod cover 14 has a convex portion 34 formed at one end portion thereof and protruding along the axial direction, and is inserted into the cylinder hole 22 of the cylinder tube 12 and fixed. Further, an O-ring 36 is mounted on the outer peripheral surface of the convex portion 34 via an annular groove, and is sandwiched between the inner peripheral surface of the cylinder hole 22 so that the cylinder hole 22 and the rod cover 14 are connected. Prevents leakage of pressure fluid through the gap.

また、ロッドカバー１４の中央部には、軸線方向に沿って貫通したロッド孔（孔部）３８が形成され、該ロッド孔３８にはピストンロッド１８が変位自在に挿通される。そして、ロッド孔３８の内周面に設けられ、周方向に沿って延在した環状溝４０にはリング状のロッドパッキン４２が装着される。 Further, a rod hole (hole) 38 penetrating along the axial direction is formed in the center portion of the rod cover 14, and the piston rod 18 is inserted into the rod hole 38 so as to be displaceable. A ring-shaped rod packing 42 is attached to an annular groove 40 provided on the inner peripheral surface of the rod hole 38 and extending along the circumferential direction.

さらに、ロッドカバー１４の外側面には、図示しない圧力流体供給源から圧力流体が供給され、塵埃除去機構２０を構成するサブポート（供給ポート）４４（後述する）が形成される。 Further, a pressure fluid is supplied from a pressure fluid supply source (not shown) on the outer surface of the rod cover 14 to form a subport (supply port) 44 (described later) constituting the dust removing mechanism 20.

ピストン１６は、断面円形状に形成され、その外周面には環状溝を介してピストンパッキン４６が装着され、前記ピストンパッキン４６がシリンダ孔２２の内周面に摺接することにより、該シリンダ孔２２とピストン１６との間を通じた圧力流体の漏出が防止される。 The piston 16 is formed in a circular cross section, and a piston packing 46 is mounted on the outer peripheral surface of the piston 16 via an annular groove. The piston packing 46 is in sliding contact with the inner peripheral surface of the cylinder hole 22, whereby the cylinder hole 22. Leakage of pressure fluid through between the piston 16 and the piston 16 is prevented.

また、ピストン１６の中央部には、軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って貫通した孔部にピストンロッド１８の一端部が挿通されて加締められている。ピストンロッド１８は、ピストン１６の端部から突出することがないように連結されている。 In addition, one end portion of the piston rod 18 is inserted into a central portion of the piston 16 through a hole extending along the axial direction (directions of arrows A and B) and crimped. The piston rod 18 is connected so as not to protrude from the end of the piston 16.

塵埃除去機構２０は、ロッドカバー１４に形成され、圧力流体の供給されるサブポート４４と、前記サブポート４４に連通し、ピストンロッド１８に臨む環状溝４０と、前記環状溝４０に設けられる環状のロッドパッキン４２とを備える。 The dust removing mechanism 20 is formed in the rod cover 14 and is connected to the subport 44 to which the pressure fluid is supplied, the annular groove 40 that communicates with the subport 44 and faces the piston rod 18, and the annular rod provided in the annular groove 40. A packing 42.

サブポート４４は、ロッドカバー１４の外側面に開口し、該ロッドカバー１４の軸線と直交するようにロッド孔３８側に向かって所定深さで延在している。そして、サブポート４４は、連通路４８を介して環状溝４０と連通している。また、サブポート４４には、図示しない圧力流体源から常に一定圧の圧力流体が供給されている。 The subport 44 opens on the outer surface of the rod cover 14 and extends at a predetermined depth toward the rod hole 38 so as to be orthogonal to the axis of the rod cover 14. The subport 44 communicates with the annular groove 40 via the communication path 48. The sub port 44 is always supplied with a constant pressure fluid from a pressure fluid source (not shown).

ロッドパッキン４２は、例えば、ゴム等の弾性材料や樹脂製材料から形成され、断面略矩形状の本体部５０と、該本体部５０の一側面から側方に向かって突出してピストンロッド１８の外周面に当接するリップ部５２と、前記本体部５０の他側面から断面Ｕ字状に突出したヨーク５４と、前記本体部５０の内周面、一側面及び外周面にそれぞれ設けられる第１〜第３シール部５６、５８、６０と、前記本体部５０を半径方向に貫通する複数の通路（連通路）６４とを有する。 The rod packing 42 is formed of, for example, an elastic material such as rubber or a resin material, and has a main body portion 50 having a substantially rectangular cross section, and protrudes from one side surface of the main body portion 50 sideward to the outer periphery of the piston rod 18. A lip portion 52 that contacts the surface, a yoke 54 that protrudes in a U-shaped cross section from the other side surface of the main body portion 50, and first to first surfaces provided on the inner peripheral surface, one side surface, and the outer peripheral surface of the main body portion 50, respectively. 3 seal portions 56, 58, 60 and a plurality of passages (communication passages) 64 penetrating the main body portion 50 in the radial direction.

リップ部５２は、ロッドカバー１４の他端部側（矢印Ａ方向）となる本体部５０の一側面に設けられ、徐々に下方に向かって傾斜し、その先端部がピストンロッド１８の外周面に当接すると共に、前記本体部５０との接続部位を支点としてロッドパッキン４２の半径方向へ撓曲自在に設けられる。 The lip portion 52 is provided on one side surface of the main body portion 50 that is the other end portion side (arrow A direction) of the rod cover 14, and gradually inclines downward, and its tip end portion is on the outer peripheral surface of the piston rod 18. In addition to being in contact with each other, it is provided so as to be able to bend in the radial direction of the rod packing 42 with the connection portion with the main body 50 as a fulcrum.

すなわち、リップ部５２は、その弾性作用下に先端部がピストンロッド１８の外周面に当接するように形成されている。 In other words, the lip portion 52 is formed so that the tip portion thereof abuts on the outer peripheral surface of the piston rod 18 under the elastic action.

ヨーク５４は、ロッドカバー１４の他端部側（矢印Ａ方向）となる本体部５０の他側面において、側方に向かってそれぞれ突出し、外周面側及び内周面側に所定間隔離間して設けられる。外周側に設けられた一方のヨーク５４が、環状溝４０の底面に当接し、内周側に設けられた他方のヨーク５４が、ピストンロッド１８の外周面に当接する。 The yoke 54 protrudes laterally on the other side surface of the main body 50 which is the other end side (arrow A direction) of the rod cover 14 and is provided at a predetermined interval on the outer peripheral surface side and the inner peripheral surface side. It is done. One yoke 54 provided on the outer peripheral side contacts the bottom surface of the annular groove 40, and the other yoke 54 provided on the inner peripheral side contacts the outer peripheral surface of the piston rod 18.

また、ヨーク５４の間に設けられる凹部６２には、シリンダ孔２２側から押し出された圧力流体が溜まることにより広がるように形成され、該圧力流体が環状溝４０を通じて外部へと漏出することを防止する。 Further, the recessed portion 62 provided between the yokes 54 is formed so that the pressure fluid pushed out from the cylinder hole 22 side is spread and is prevented from leaking to the outside through the annular groove 40. To do.

第１〜第３シール部５６、５８、６０は、本体部５０の内周面、一側面及び外周面に対して所定高さで突出するように形成され、前記内周面に形成された第１シール部５６は、リップ部５２と同様にピストンロッド１８の外周面に当接し、該リップ部５２に対して所定間隔離間して設けられる。このように、第１シール部５６が、ピストンロッド１８の外周面に当接することにより、ロッド孔３８と前記ピストンロッド１８の外周面との間を通じた圧力流体の外部への漏出が防止される。 The first to third seal portions 56, 58, 60 are formed to protrude at a predetermined height with respect to the inner peripheral surface, one side surface, and the outer peripheral surface of the main body portion 50, and are formed on the inner peripheral surface. Similar to the lip portion 52, the one seal portion 56 abuts on the outer peripheral surface of the piston rod 18 and is provided at a predetermined interval from the lip portion 52. In this way, the first seal portion 56 abuts on the outer peripheral surface of the piston rod 18, thereby preventing the pressure fluid from leaking outside between the rod hole 38 and the outer peripheral surface of the piston rod 18. .

また、本体部５０の一側面に形成された第２シール部５８が前記環状溝４０の側面に当接し、外周面に形成された一組の第３シール部６０が前記環状溝４０の底面に当接する。 Further, the second seal portion 58 formed on one side surface of the main body portion 50 abuts on the side surface of the annular groove 40, and a set of third seal portions 60 formed on the outer peripheral surface is formed on the bottom surface of the annular groove 40. Abut.

すなわち、ロッドパッキン４２を構成する本体部５０は、リップ部５２及び第１シール部５６がピストンロッド１８の外周面に当接し、第２シール部５８が環状溝４０の側面に当接し、且つ、第３シール部６０が、前記環状溝４０の底面に当接しているため、本体部５０は、前記ピストンロッド１８、環状溝４０に対して接触することなく、それぞれ所定間隔離間して設けられている。 That is, in the main body portion 50 constituting the rod packing 42, the lip portion 52 and the first seal portion 56 are in contact with the outer peripheral surface of the piston rod 18, the second seal portion 58 is in contact with the side surface of the annular groove 40, and Since the third seal portion 60 is in contact with the bottom surface of the annular groove 40, the main body portion 50 is provided at a predetermined distance from each other without contacting the piston rod 18 and the annular groove 40. Yes.

通路６４は、図４に示されるように、本体部５０の周方向に沿って等間隔離間して複数（例えば、４本）設けられ、前記本体部５０の外周面と内周面との間を貫通すると共に、前記外周面においては、一組の第３シール部６０の間となる位置に通路６４が開口し、一方、前記内周面においては、リップ部５２と第１シール部５６との間となる位置に開口している。 As shown in FIG. 4, a plurality of (for example, four) passages 64 are provided at regular intervals along the circumferential direction of the main body portion 50, and are provided between the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the main body portion 50. And the passage 64 opens at a position between the pair of third seal portions 60 on the outer peripheral surface, while the lip portion 52 and the first seal portion 56 are formed on the inner peripheral surface. It is opened at a position between.

また、通路６４は、ロッドパッキン４２を環状溝４０に装着した際、連通路４８及びサブポート４４と一直線上となる位置に形成される。すなわち、第３シール部６０を、通路６４の両側に設けることにより、サブポート４４から通路６４へと供給される圧力流体が、ロッドパッキン４２と環状溝４０との間から漏出してしまうことを防止する。 The passage 64 is formed at a position that is in line with the communication passage 48 and the subport 44 when the rod packing 42 is mounted in the annular groove 40. That is, by providing the third seal portion 60 on both sides of the passage 64, the pressure fluid supplied from the subport 44 to the passage 64 is prevented from leaking from between the rod packing 42 and the annular groove 40. To do.

そして、本体部５０の内周側には、リップ部５２及び第１シール部５６に囲まれ、且つ、通路６４に連通した空間部（保持部）６６が設けられる。 A space portion (holding portion) 66 surrounded by the lip portion 52 and the first seal portion 56 and communicating with the passage 64 is provided on the inner peripheral side of the main body portion 50.

本発明の第１の実施の形態に係る塵埃除去機構２０が適用された流体圧シリンダ１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、図１に示されるピストン１６がシリンダチューブ１２の壁部２４側（矢印Ｂ方向）に変位した状態を初期位置として説明する。 The fluid pressure cylinder 10 to which the dust removing mechanism 20 according to the first embodiment of the present invention is applied is basically configured as described above. Next, its operation and effects will be described. . The state where the piston 16 shown in FIG. 1 is displaced toward the wall portion 24 side (arrow B direction) of the cylinder tube 12 will be described as an initial position.

先ず、この初期位置において圧力流体供給源（図示せず）から圧力流体を第２ポート２８へと導入することにより、第２連通路３２を通じてシリンダ孔２２へと圧力流体が供給され、該圧力流体による押圧作用下にピストン１６がロッドカバー１４側（矢印Ａ方向）に向かって変位する。それに伴って、ピストンロッド１８がロッドカバー１４の他端部から外部へと徐々に突出するように変位していく。 First, by introducing the pressure fluid from the pressure fluid supply source (not shown) into the second port 28 at this initial position, the pressure fluid is supplied to the cylinder hole 22 through the second communication passage 32, and the pressure fluid The piston 16 is displaced toward the rod cover 14 (in the direction of arrow A) under the pressing action of. Accordingly, the piston rod 18 is displaced so as to gradually protrude from the other end of the rod cover 14 to the outside.

この際、同時に、図示しない圧力流体供給源からサブポート４４へと圧力流体が供給され、連通路４８を通じて環状溝４０に導入された後、ロッドパッキン４２の通路６４を経て空間部６６へと供給される。この空間部６６は、圧力流体が供給され外部に導出されることがないため、所定圧力に加圧された状態で維持されている。 At this time, simultaneously, a pressure fluid is supplied from a pressure fluid supply source (not shown) to the subport 44, introduced into the annular groove 40 through the communication passage 48, and then supplied to the space 66 through the passage 64 of the rod packing 42. The The space 66 is maintained in a state of being pressurized to a predetermined pressure because the pressure fluid is not supplied and led out to the outside.

換言すれば、空間部６６は、常に大気圧と比較して高圧となる一定圧で維持されている。 In other words, the space 66 is always maintained at a constant pressure that is higher than the atmospheric pressure.

そして、ピストン１６がさらにロッドカバー１４側（矢印Ａ方向）へと変位し、該ピストン１６が前記ロッドカバー１４の一端部に当接することにより、図５に示されるように、その変位が停止した変位終端位置となる。 Then, the piston 16 is further displaced toward the rod cover 14 (in the direction of arrow A), and the piston 16 abuts against one end of the rod cover 14, whereby the displacement is stopped as shown in FIG. This is the displacement end position.

次に、ピストン１６を、図５に示される変位終端位置から再び初期位置へと復帰させる場合には、第２ポート２８に供給されていた圧力流体を、図示しない切換装置を介して第１ポート２６へと供給することにより、シリンダ孔２２へと供給された圧力流体によってピストン１６がロッドカバー１４から離間する方向（矢印Ｂ方向）に向かって徐々に押圧される。この場合、第２ポート２８は大気開放状態にある。 Next, when the piston 16 is returned from the displacement end position shown in FIG. 5 to the initial position again, the pressure fluid supplied to the second port 28 is supplied to the first port via a switching device (not shown). By being supplied to 26, the piston 16 is gradually pressed in the direction away from the rod cover 14 (direction of arrow B) by the pressure fluid supplied to the cylinder hole 22. In this case, the second port 28 is open to the atmosphere.

そして、ピストン１６の変位に伴ってピストンロッド１８が徐々にロッドカバー１４及びシリンダチューブ１２の内部に引き込まれるように変位する。この際、外部に露呈していたピストンロッド１８の外周面には、大気中の塵埃等（例えば、粉体）が付着しているが、ピストンロッド１８の変位に伴ってロッドパッキン４２のリップ部５２によって除去されると共に、除去されずに残存した塵埃の一部は、リップ部５２の内部に進入した際、空間部６６に充填された圧力流体によって該リップ部５２側（矢印Ａ方向）に向かって押し出される。すなわち、例えば、粉体等の塵埃が、ロッドパッキン４２のリップ部５２によって除去されると共に、該リップ部５２の端部に堆積した塵埃によって前記リップ部５２がピストンロッド１８から離間する方向へと押し開かれた際に、空間部６６内に充填された圧力流体が導出されることによって吹き飛ばされさらなる進入が阻止される。 As the piston 16 is displaced, the piston rod 18 is gradually displaced so as to be pulled into the rod cover 14 and the cylinder tube 12. At this time, dust or the like (for example, powder) in the atmosphere adheres to the outer peripheral surface of the piston rod 18 exposed to the outside, but the lip portion of the rod packing 42 is accompanied by the displacement of the piston rod 18. Part of the dust that has been removed by the nozzle 52 and that has not been removed moves into the lip portion 52 side (in the direction of arrow A) by the pressure fluid filled in the space 66 when entering the inside of the lip portion 52. Pushed out. That is, for example, dust such as powder is removed by the lip portion 52 of the rod packing 42, and the lip portion 52 is separated from the piston rod 18 by dust accumulated on the end portion of the lip portion 52. When pushed open, the pressure fluid filled in the space 66 is led out and blown off to prevent further entry.

最後に、ピストン１６が壁部２４側（矢印Ｂ方向）に向かって変位し続けている間にも、サブポート４４からロッドパッキン４２の空間部６６に対して圧力流体が連続的に供給され続けているので、該空間部６６内に進入した塵埃が確実且つ好適に外部へと排除され、シリンダチューブ１２側（矢印Ｂ方向）へと進入することがない。そして、図１に示されるようにピストン１６が壁部２４に当接することにより、第１ポート２６からの圧力流体の供給が停止して初期位置となる。 Finally, the pressure fluid is continuously supplied from the subport 44 to the space portion 66 of the rod packing 42 while the piston 16 continues to be displaced toward the wall 24 side (arrow B direction). Therefore, the dust that has entered the space 66 is reliably and preferably excluded to the outside, and does not enter the cylinder tube 12 (in the direction of arrow B). Then, as shown in FIG. 1, when the piston 16 abuts against the wall portion 24, the supply of the pressure fluid from the first port 26 is stopped and the initial position is obtained.

以上のように、第１の実施の形態では、ロッドカバー１４において、圧力流体が常に供給されるサブポート４４を設け、該サブポート４４に供給された圧力流体をロッドパッキン４２に設けられた空間部６６へと導入している。このような構成とすることにより、ピストンロッド１８がロッドカバー１４内へと引き込まれるように変位する際、該ピストンロッド１８の外周面に付着した塵埃が、空間部６６内に進入することが防止することができ、しかも、前記塵埃がリップ部５２に溜まった場合に、堆積した塵埃によって前記リップ部５２がピストンロッド１８から離間する方向へと押し開かれることにより、該空間部６６内に供給されている圧力流体によって吹き飛ばされて外部へと確実に排出することができる。 As described above, in the first embodiment, the rod cover 14 is provided with the sub port 44 to which pressure fluid is constantly supplied, and the pressure fluid supplied to the sub port 44 is provided in the space 66 provided in the rod packing 42. Has been introduced. With this configuration, when the piston rod 18 is displaced so as to be drawn into the rod cover 14, dust adhering to the outer peripheral surface of the piston rod 18 is prevented from entering the space 66. In addition, when the dust accumulates in the lip portion 52, the lip portion 52 is pushed and opened in a direction away from the piston rod 18 by the accumulated dust, and is supplied into the space portion 66. It can be reliably discharged to the outside by being blown off by the pressurized fluid.

その結果、ピストンロッド１８の外周面に付着した塵埃が、ロッドカバー１４を通じてシリンダチューブ１２の内部へと進入することが確実に阻止され、該塵埃が進入した際に懸念される流体圧シリンダ１０の動作不良を確実に回避することができるため、常にピストン１６及びピストンロッド１８を円滑に変位させることができ、しかも、その耐久性を向上させることが可能となる。 As a result, the dust adhering to the outer peripheral surface of the piston rod 18 is reliably prevented from entering the cylinder tube 12 through the rod cover 14, and the fluid pressure cylinder 10 is a concern when the dust enters. Since malfunctions can be reliably avoided, the piston 16 and the piston rod 18 can always be displaced smoothly, and the durability can be improved.

また、例えば、塵埃が、従来のスクレーパ等で完全に除去することが困難な粉体等の微粒子や、水、溶剤等の液体である場合でも、大気圧に対して高圧に維持された空間部６６と大気圧である外部との圧力差で前記塵埃の進入を阻止する構造であるため、前記塵埃の進入をより一層確実に阻止することが可能となる。 In addition, for example, even when the dust is fine particles such as powder that is difficult to remove completely with a conventional scraper or the like, or liquid such as water or a solvent, the space is maintained at a high pressure with respect to atmospheric pressure. Since the structure prevents the dust from entering due to a pressure difference between 66 and the atmospheric pressure, the dust can be more reliably prevented from entering.

次に、第２の実施の形態に係る塵埃除去機構１０２が適用された流体圧シリンダ１００を図７及び図８に示す。なお、上述した第１の実施の形態に係る塵埃除去機構２０が適用された流体圧シリンダ１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。 Next, a fluid pressure cylinder 100 to which the dust removing mechanism 102 according to the second embodiment is applied is shown in FIGS. The same components as those of the fluid pressure cylinder 10 to which the dust removing mechanism 20 according to the first embodiment described above is applied are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

この第２の実施の形態に係る塵埃除去機構１０２では、ロッドパッキン４２へ供給される圧力流体の供給状態を切換可能な切換機構１０４を備えている点で、第１の実施の形態に係る塵埃除去機構２０と相違している。 The dust removing mechanism 102 according to the second embodiment is provided with a switching mechanism 104 that can switch the supply state of the pressure fluid supplied to the rod packing 42, and therefore the dust according to the first embodiment. This is different from the removal mechanism 20.

この塵埃除去機構１０２は、第１ポート２６に連通した第１バイパス通路１０６と、第２ポート２８に連通した第２バイパス通路１０８と、前記第１バイパス通路１０６と前記第２バイパス通路１０８との間に設けられたバルブ室１１０と、前記バルブ室１１０の軸線方向に沿って変位自在に設けられ切換機構１０４を構成する切換バルブ（切換弁）１１２と、前記バルブ室１１０とロッドパッキン４２の装着された環状溝４０とを接続する導出通路１１４とを含む。 The dust removing mechanism 102 includes a first bypass passage 106 that communicates with the first port 26, a second bypass passage 108 that communicates with the second port 28, and the first bypass passage 106 and the second bypass passage 108. A valve chamber 110 provided between them, a switching valve (switching valve) 112 which is provided so as to be displaceable along the axial direction of the valve chamber 110 and constitutes a switching mechanism 104, and mounting of the valve chamber 110 and the rod packing 42 And a lead-out passage 114 connecting the annular groove 40 formed.

第１バイパス通路１０６は、第１ポート２６の側方に接続され、ロッドカバー１４側（矢印Ａ方向）に向かって延在し、第２バイパス通路１０８は、第２ポート２８に接続された第２連通路３２の途中からロッドカバー１４側（矢印Ａ方向）に向かって延在している。なお、第２バイパス通路１０８は、第１ポート２６に接続された第１連通路３０とは非連通に形成される。 The first bypass passage 106 is connected to the side of the first port 26 and extends toward the rod cover 14 (in the direction of arrow A), and the second bypass passage 108 is connected to the second port 28. It extends from the middle of the two communicating passages 32 toward the rod cover 14 side (in the direction of arrow A). The second bypass passage 108 is formed so as not to communicate with the first communication passage 30 connected to the first port 26.

バルブ室１１０は、ロッドカバー１４に形成され、軸線方向に沿って所定長さを有し、シリンダ本体側（矢印Ｂ方向）となる一端部には、第１バイパス通路１０６に接続された第１接続通路１１６が接続されると共に、他端部には、第２バイパス通路１０８に接続された第２接続通路１１８が接続される。 The valve chamber 110 is formed in the rod cover 14 and has a predetermined length along the axial direction. A first end connected to the first bypass passage 106 is connected to the cylinder body side (arrow B direction) at one end. The connection passage 116 is connected, and a second connection passage 118 connected to the second bypass passage 108 is connected to the other end.

また、バルブ室１１０の下部には、軸線方向に沿った略中央部となる位置に導出通路１１４が接続され、ロッドカバー１４の内周側に向かって延在している。なお、この導出通路１１４は、第２接続通路１１８に対して非連通となるように形成される。 In addition, a lead-out passage 114 is connected to a lower portion of the valve chamber 110 at a position that is a substantially central portion along the axial direction, and extends toward the inner peripheral side of the rod cover 14. The lead-out passage 114 is formed so as not to communicate with the second connection passage 118.

一方、バルブ室１１０の内部には、一端部と他端部との間を自在に変位する切換バルブ１１２が設けられ、第１接続通路１１６を通じてバルブ室１１０へと圧力流体が供給された場合には、該圧力流体によって押圧されて他端部側（第２接続通路１１８側）へと変位し、反対に、第２接続通路１１８を通じて前記バルブ室１１０へと圧力流体が供給された場合には、該圧力流体によって押圧されて一端部側（第１接続通路１１６側）へと変位する。これにより、第２接続通路１１８、又は、第１接続通路１１６が閉塞され、バルブ室１１０との連通が遮断されることとなる。 On the other hand, a switching valve 112 that freely displaces between one end and the other end is provided inside the valve chamber 110, and when pressure fluid is supplied to the valve chamber 110 through the first connection passage 116. Is pressed by the pressure fluid and displaced to the other end side (second connection passage 118 side), and conversely, when pressure fluid is supplied to the valve chamber 110 through the second connection passage 118, Then, it is pressed by the pressure fluid and displaced to one end side (first connection passage 116 side). Thereby, the 2nd connection passage 118 or the 1st connection passage 116 is obstruct | occluded, and the communication with the valve chamber 110 will be interrupted | blocked.

上述した塵埃除去機構１０２を備えた流体圧シリンダ１００では、図７に示される初期位置において、この初期位置において圧力流体供給源（図示せず）から圧力流体を第２ポート２８へと導入することにより、第２連通路３２を通じてシリンダ孔２２へと圧力流体が供給され、該圧力流体による押圧作用下にピストン１６がロッドカバー１４側（矢印Ａ方向）に向かって変位し、それに伴って、ピストンロッド１８がロッドカバー１４の他端部から外部へと徐々に突出するように変位していく。この場合、第１ポート２６は大気開放状態にある。 In the fluid pressure cylinder 100 provided with the dust removing mechanism 102 described above, at the initial position shown in FIG. 7, the pressure fluid is introduced from the pressure fluid supply source (not shown) into the second port 28 at this initial position. Accordingly, the pressure fluid is supplied to the cylinder hole 22 through the second communication passage 32, and the piston 16 is displaced toward the rod cover 14 (in the direction of arrow A) under the pressing action of the pressure fluid. The rod 18 is displaced so as to gradually protrude outward from the other end of the rod cover 14. In this case, the first port 26 is open to the atmosphere.

また、同時に、圧力流体の一部が、第２ポート２８から第２バイパス通路１０８及び第２接続通路１１８を通じてバルブ室１１０へと供給され、切換バルブ１１２を軸線方向に沿って一端部側（矢印Ｂ方向）へと押圧して変位させる。これにより、バルブ室１１０を介して第２接続通路１１８と導出通路１１４とが連通するため、圧力流体が前記導出通路１１４を通じてロッドパッキン４２側へと流通し、通路６４を通じて空間部６６に導入されていく。 At the same time, a part of the pressure fluid is supplied from the second port 28 to the valve chamber 110 through the second bypass passage 108 and the second connection passage 118, and the switching valve 112 is moved to one end side (arrow) along the axial direction. (B direction) is pressed and displaced. As a result, the second connection passage 118 and the outlet passage 114 communicate with each other via the valve chamber 110, and therefore, the pressure fluid flows to the rod packing 42 side through the outlet passage 114 and is introduced into the space 66 through the passage 64. To go.

そして、ピストン１６がさらにロッドカバー１４側へと変位し、該ピストン１６が前記ロッドカバー１４の一端部に当接することにより、その変位が停止した変位終端位置となる。 Then, when the piston 16 is further displaced toward the rod cover 14 and the piston 16 comes into contact with one end portion of the rod cover 14, the displacement end position is reached where the displacement is stopped.

次に、ピストン１６を図８に示される変位終端位置から再び初期位置へと復帰させる場合には、第２ポート２８に供給されていた圧力流体を、図示しない切換装置を介して第１ポート２６へと供給することにより、図７に示されるように、シリンダ孔２２へと供給された圧力流体によってピストン１６がロッドカバー１４から離間する方向（矢印Ｂ方向）に向かって徐々に押圧される。それに伴って、ピストンロッド１８がロッドカバー１４の内部へと徐々に引き込まれるように徐々に変位していく。この場合、第２ポート２８は大気開放状態にある。 Next, when the piston 16 is returned from the displacement end position shown in FIG. 8 to the initial position again, the pressure fluid supplied to the second port 28 is supplied to the first port 26 via a switching device (not shown). 7, as shown in FIG. 7, the pressure fluid supplied to the cylinder hole 22 gradually pushes the piston 16 in the direction away from the rod cover 14 (arrow B direction). Accordingly, the piston rod 18 is gradually displaced so as to be gradually drawn into the rod cover 14. In this case, the second port 28 is open to the atmosphere.

これと同時に、第１ポート２６に供給される圧力流体の一部が、該第１ポート２６から第１バイパス通路１０６及び第１接続通路１１６を通じてバルブ室１１０へと供給され、切換バルブ１１２を軸線方向に沿って他端部側、すなわち、第２接続通路１１８側（矢印Ａ方向）へと押圧して変位させる。これにより、バルブ室１１０を介して第１接続通路１１６と導出通路１１４とが連通するため、圧力流体が前記導出通路１１４を通じてロッドパッキン４２側へと流通し、通路６４を通じて空間部６６に導入される。 At the same time, a part of the pressure fluid supplied to the first port 26 is supplied from the first port 26 to the valve chamber 110 through the first bypass passage 106 and the first connection passage 116, and the switching valve 112 is connected to the axis line. It is pushed and displaced along the direction toward the other end side, that is, the second connection passage 118 side (arrow A direction). As a result, the first connection passage 116 and the outlet passage 114 communicate with each other through the valve chamber 110, so that the pressure fluid flows to the rod packing 42 side through the outlet passage 114 and is introduced into the space 66 through the passage 64. The

このように、ピストンロッド１８が徐々にロッドカバー１４及びシリンダチューブ１２の内部に引き込まれるように変位する際、外部に露呈していた前記ピストンロッド１８の外周面には、大気中の塵埃等が付着しているが、ピストンロッド１８の変位に伴ってロッドパッキン４２のリップ部５２によって除去されると共に、除去されずに残存した塵埃の一部は、リップ部５２の内部に進入した際、空間部６６に充填された圧力流体によって該リップ部５２側に向かって押し出される。すなわち、粉体等の塵埃が、ロッドパッキン４２のリップ部５２によって除去されると共に、該リップ部５２の端部に堆積した塵埃によって前記リップ部５２がピストンロッド１８から離間する方向へと押し開かれた際に、空間部６６内に充填された圧力流体が導出されることによって吹き飛ばされさらなる進入が阻止される。 In this way, when the piston rod 18 is gradually displaced into the rod cover 14 and the cylinder tube 12, dust or the like in the atmosphere is exposed on the outer peripheral surface of the piston rod 18 exposed to the outside. Although adhering, it is removed by the lip portion 52 of the rod packing 42 in accordance with the displacement of the piston rod 18, and part of the dust remaining without being removed enters the space inside the lip portion 52. The pressure fluid filled in the portion 66 is pushed out toward the lip portion 52 side. That is, dust such as powder is removed by the lip portion 52 of the rod packing 42, and the lip portion 52 is pushed away in a direction away from the piston rod 18 by dust accumulated on the end portion of the lip portion 52. When this occurs, the pressurized fluid filled in the space 66 is led out and blown away, preventing further entry.

そして、ピストン１６がさらに壁部２４側に向かって変位し続けている間にも、第１ポート２６からロッドパッキン４２の空間部６６に対して圧力流体が連続的に供給され続けているため、前記空間部６６内に塵埃等が進入することが防止され、且つ、該空間部６６内に進入した塵埃も確実且つ好適に外部へと排除されてシリンダチューブ１２側へと進入することがない。そして、図７に示されるようにピストン１６が壁部２４に当接することにより、第１ポート２６からの圧力流体の供給が停止して初期位置となる。 Since the pressure fluid is continuously supplied from the first port 26 to the space portion 66 of the rod packing 42 even while the piston 16 continues to be displaced toward the wall portion 24 side, Dust or the like is prevented from entering the space 66, and the dust that has entered the space 66 is reliably and preferably excluded to the outside and does not enter the cylinder tube 12 side. Then, as shown in FIG. 7, when the piston 16 comes into contact with the wall portion 24, the supply of the pressure fluid from the first port 26 is stopped and the initial position is obtained.

以上のように、第２の実施の形態では、第１及び第２ポート２６、２８に供給される圧力流体の一部を、切換バルブ１１２の切換作用下にロッドパッキン４２側へと供給し、該ロッドパッキン４２の空間部６６へと導入している。このような構成とすることにより、ピストンロッド１８がロッドカバー１４内へと引き込まれるように変位する際、該ピストンロッド１８の外周面に付着した塵埃が、空間部６６内に進入することを防止することができ、しかも、前記塵埃が前記空間部６６内に進入した場合には、該空間部６６内に供給されている圧力流体によって外部へと確実に排出することができる。 As described above, in the second embodiment, a part of the pressure fluid supplied to the first and second ports 26 and 28 is supplied to the rod packing 42 side under the switching action of the switching valve 112. The rod packing 42 is introduced into the space 66. With this configuration, when the piston rod 18 is displaced so as to be pulled into the rod cover 14, dust attached to the outer peripheral surface of the piston rod 18 is prevented from entering the space 66. In addition, when the dust enters the space portion 66, it can be reliably discharged to the outside by the pressure fluid supplied into the space portion 66.

その結果、ピストンロッド１８の外周面に付着した塵埃が、ロッドカバー１４を通じてシリンダチューブ１２の内部へと進入することが確実に阻止され、該塵埃が進入した際に懸念される流体圧シリンダ１００の動作不良を確実に回避することができるため、常にピストン１６及びピストンロッド１８を円滑に変位させることができ、しかも、その耐久性を向上させることが可能となる。 As a result, the dust adhering to the outer peripheral surface of the piston rod 18 is reliably prevented from entering the cylinder tube 12 through the rod cover 14, and the fluid pressure cylinder 100 is a concern when the dust enters. Since malfunctions can be reliably avoided, the piston 16 and the piston rod 18 can always be displaced smoothly, and the durability can be improved.

また、上述した構成では、ピストン１６を変位させるための第１及び第２ポート２６、２８へと供給される圧力流体の一部を利用して塵埃等の除去を行うことができるため、該塵埃等の除去を行うための別のポート、圧力流体源及び配管等を準備する必要がなく、設備の簡素化を図ることができ、それに伴って、コストの削減を図ることができる。 Further, in the above-described configuration, since dust or the like can be removed using a part of the pressure fluid supplied to the first and second ports 26 and 28 for displacing the piston 16, the dust is removed. Therefore, it is not necessary to prepare another port, a pressure fluid source, a pipe, and the like for removing the above, and the equipment can be simplified, and accordingly, the cost can be reduced.

さらに、例えば、塵埃が、従来のスクレーパ等で完全に除去することが困難な粉体等の微粒子や、水、溶剤等の液体である場合でも、大気圧に対して高圧に維持された空間部６６と大気圧である外部との圧力差で前記塵埃の進入を阻止する構造であるため、前記塵埃の進入をより一層確実に阻止することが可能となる。 Furthermore, for example, even when the dust is fine particles such as powder that is difficult to remove completely with a conventional scraper or the like, or a liquid such as water or a solvent, the space is maintained at a high pressure with respect to atmospheric pressure. Since the structure prevents the dust from entering due to a pressure difference between 66 and the atmospheric pressure, the dust can be more reliably prevented from entering.

さらに、図９に示される流体圧シリンダ１２０のように、ロッドカバー１４のロッド孔３８に、環状溝を介して潤滑剤の含有された潤滑部材１２２を設けるようにしてもよい。この潤滑部材１２２は、繊維が織り込まれた部材からなり、ロッドパッキン４２の装着される環状溝４０に対してシリンダチューブ１２側に設けられる。そして、ピストンロッド１８の外周面に摺接することによって好適に潤滑する。 Further, as in the fluid pressure cylinder 120 shown in FIG. 9, a lubricating member 122 containing a lubricant may be provided in the rod hole 38 of the rod cover 14 via an annular groove. The lubricating member 122 is a member in which fibers are woven, and is provided on the cylinder tube 12 side with respect to the annular groove 40 in which the rod packing 42 is mounted. And it lubricates suitably by slidingly contacting the outer peripheral surface of the piston rod 18.

そのため、潤滑部材１２２を、ロッドパッキン４２とシリンダチューブ１２との間に設けることにより、例えば、粉体等の塵埃によって失われたピストンロッド１８の潤滑性を保持することができる。 Therefore, by providing the lubricating member 122 between the rod packing 42 and the cylinder tube 12, the lubricity of the piston rod 18 lost due to dust such as powder can be maintained, for example.

さらにまた、図１０に示される流体圧シリンダ１３０のように、ロッドカバー１４のロッド孔３８に、ロッドパッキン４２を挟むように潤滑保持部材１３２ａと、塵埃吸収部材１３２ｂを設けるようにしてもよい。このような構成とすることにより、ピストンロッド１８の外周面に付着した塵埃が、塵埃吸収部材１３２ｂによって捕捉されると共に、ロッドパッキン４２のリップ部５２に溜まり、該リップ部５２がピストンロッド１８から離間する方向に押し開かれることによって空間部６６内に充填された圧力流体で吹き飛ばされた塵埃が、前記塵埃吸収部材１３２ｂによって確実に確保される。そのため、塵埃が、ロッド孔３８を通じて流体圧シリンダ１３０の外部に排出されることが確実に回避され、例えば、前記流体圧シリンダ１３０をクリーンルーム等で用いる際に好適である。 Furthermore, as in the fluid pressure cylinder 130 shown in FIG. 10, a lubricant holding member 132 a and a dust absorbing member 132 b may be provided in the rod hole 38 of the rod cover 14 so as to sandwich the rod packing 42. With such a configuration, dust adhering to the outer peripheral surface of the piston rod 18 is captured by the dust absorbing member 132b and collected in the lip portion 52 of the rod packing 42, and the lip portion 52 is separated from the piston rod 18. The dust blown away by the pressure fluid filled in the space 66 by being pushed open in the separating direction is reliably secured by the dust absorbing member 132b. Therefore, dust is reliably avoided from being discharged to the outside of the fluid pressure cylinder 130 through the rod hole 38, which is suitable when the fluid pressure cylinder 130 is used in a clean room or the like, for example.

またさらに、さらにまた、図１０に示される流体圧シリンダ１４０のように、上述した流体圧シリンダ１３０における潤滑保持部材１３２ａと塵埃吸収部材１３２ｂの間となる位置に、排出ポート１４２を設けるようにしてもよい。この排出ポート１４２は、ロッドカバー１４において、導出通路１１４の形成される側とは反対側となる外側面に開口し、該外側面からロッド孔３８まで貫通している。 Furthermore, as in the fluid pressure cylinder 140 shown in FIG. 10, a discharge port 142 is provided at a position between the lubrication holding member 132a and the dust absorbing member 132b in the fluid pressure cylinder 130 described above. Also good. The discharge port 142 opens on the outer surface of the rod cover 14 opposite to the side on which the lead-out passage 114 is formed, and penetrates from the outer surface to the rod hole 38.

このように、ロッド孔３８と連通し、ロッドカバー１４の外部まで延在する排出ポート１４２を設けることにより、ピストンロッド１８が前記ロッドカバー１４の内部に収容されるように変位し、前記ピストンロッド１８の外周面に付着した塵埃を、ロッドパッキン４２の内部へと進入させることなく、排出ポート１４２を通じて前記ロッドカバー１４の外部へと排出することができる。そのため、塵埃が、ロッド孔３８の内部に堆積してしまうことが回避され好適である。 Thus, by providing the discharge port 142 communicating with the rod hole 38 and extending to the outside of the rod cover 14, the piston rod 18 is displaced so as to be accommodated inside the rod cover 14, and the piston rod The dust adhering to the outer peripheral surface 18 can be discharged outside the rod cover 14 through the discharge port 142 without entering the inside of the rod packing 42. Therefore, it is preferable that dust is prevented from accumulating inside the rod hole 38.

また、例えば、排出ポート１４２に対して図示しない配管を接続することにより、流体圧シリンダ１４０をクリーンルーム等で用いる場合に、室内に塵埃が排出されることを回避できて好適である。 Further, for example, by connecting a pipe (not shown) to the discharge port 142, when the fluid pressure cylinder 140 is used in a clean room or the like, it is preferable that dust can be prevented from being discharged into the room.

一方、図１２〜図１４に示される流体圧シリンダ１５０を構成するロッドパッキン１５２は、上方に向かって開口した第１通路１５４と、該第１通路１５４に対して直交するように横方向に延在する第２通路１５６と、前記第２通路１５６に接続され、該ロッドパッキン１５２の略中央部で下方に向かって折曲して延在する第３通路１５８と、前記第１通路１５４と第２通路１５６との接続部位に変位自在に設けられるボール１６０とを有する。なお、第１通路１５４は、導出通路１１４と連通している。 On the other hand, the rod packing 152 constituting the fluid pressure cylinder 150 shown in FIGS. 12 to 14 extends in the lateral direction so as to be orthogonal to the first passage 154 opened upward. A second passage 156 that is present, a third passage 158 that is connected to the second passage 156 and bends downward at a substantially central portion of the rod packing 152, and the first passage 154 and the second passage 156. And a ball 160 which is movably provided at a connection site with the two passages 156. Note that the first passage 154 communicates with the outlet passage 114.

ボール１６０は、例えば、樹脂製材料から形成され、その第２通路１５６の内壁面１６２に対してその一部が挿入されるように設けられ、第１通路１５４と一直線上となる位置に配置される。また、ボール１６０には、前記内壁面１６２から上方への弾発力が付勢されているため、該弾発力によって上方へと押圧され、第１通路１５４の開口部に当接することによって該第１通路１５４と第２通路１５６との連通を遮断している。 The ball 160 is formed of, for example, a resin material, and is provided so that a part of the ball 160 is inserted into the inner wall surface 162 of the second passage 156, and is disposed at a position that is in line with the first passage 154. The Further, since the ball 160 is urged upward by the elastic force from the inner wall surface 162, the ball 160 is pressed upward by the elastic force and comes into contact with the opening of the first passage 154. The communication between the first passage 154 and the second passage 156 is blocked.

また、ロッドパッキン１５２には、第２通路１５６とリップ部５２との間に窪み部１６４が設けられ、該窪み部１６４には、ロッドパッキン１５２の周方向に沿って等間隔離間した複数のリブ１６６が設けられている。このリブ１６６は、空間部６６において第２通路１５６の内壁面１６２とリップ部５２とを接続するように形成される。 Further, the rod packing 152 is provided with a recess 164 between the second passage 156 and the lip portion 52, and the recess 164 includes a plurality of ribs spaced at equal intervals along the circumferential direction of the rod packing 152. 166 is provided. The rib 166 is formed so as to connect the inner wall surface 162 of the second passage 156 and the lip 52 in the space 66.

そして、上述したロッドパッキン１５２を備えた流体圧シリンダ１５０では、導出通路１１４から第１通路１５４へと圧力流体が供給されていない場合には、図１４Ａに示されるように、ボール１６０が前記第１通路１５４の開口部に当接して該第１通路１５４と第２通路１５６との連通状態が遮断されており、該導出通路１１４に前記圧力流体が供給され、その圧力が高まるのに伴って、図１４Ｂに示されるようにボール１６０が弾発力に抗して下方へと押圧され、第２通路１５６の内壁面１６２が窪み部１６４を挟んで下方へと変形することにより、第１通路１５４と第２通路１５６との連通遮断状態が解除される。これにより、第１通路１５４に供給された圧力流体が第２通路１５６、第３通路１５８を経て空間部６６へと供給されることとなる。この際、ボール１６０に対する押圧力は、第１通路１５４から供給される圧力流体の圧力Ｐ１に対して第１通路１５４の断面積を乗した大きさとなる。 In the fluid pressure cylinder 150 including the rod packing 152 described above, when no pressure fluid is supplied from the outlet passage 114 to the first passage 154, the ball 160 is moved to the first passage 154 as shown in FIG. 14A. The communication state between the first passage 154 and the second passage 156 is cut off by contacting the opening of the first passage 154, and the pressure fluid is supplied to the lead-out passage 114, and the pressure increases. As shown in FIG. 14B, the ball 160 is pressed downward against the elastic force, and the inner wall surface 162 of the second passage 156 is deformed downward across the recess 164, whereby the first passage The communication cut-off state between 154 and the second passage 156 is released. As a result, the pressure fluid supplied to the first passage 154 is supplied to the space 66 through the second passage 156 and the third passage 158. At this time, the pressing force on the ball 160 has a magnitude obtained by multiplying the pressure P1 of the pressurized fluid supplied from the first passage 154 by the cross-sectional area of the first passage 154.

そして、第１通路１５４に供給される圧力流体の圧力Ｐ１が低下することにより、第２通路１５６の内壁面１６２から付勢される弾発力Ｆ（図１４Ｂ参照）と第２通路１５６内に導入された圧力流体の圧力Ｐ２（図１４Ｂ参照）とが、前記圧力流体の圧力Ｐ１に打ち勝って、ボール１６０が上方へと押し上げられ、該ボール１６０によって第１通路１５４と前記第２通路１５６との間の間隙が徐々に絞られる。これにより、第１通路１５４から第２通路１５６を経て第３通路１５８、空間部６６へと流通する圧力流体の流量が減少することとなる。 Then, when the pressure P1 of the pressurized fluid supplied to the first passage 154 decreases, the elastic force F (see FIG. 14B) urged from the inner wall surface 162 of the second passage 156 and the second passage 156. The pressure P2 (see FIG. 14B) of the introduced pressure fluid overcomes the pressure P1 of the pressure fluid, and the ball 160 is pushed upward, and the ball 160 causes the first passage 154 and the second passage 156 to The gap between is gradually reduced. As a result, the flow rate of the pressure fluid flowing from the first passage 154 to the third passage 158 and the space 66 through the second passage 156 decreases.

このように、ロッドパッキン１５２の内部に、供給される圧力流体の圧力に応じて空間部６６へ供給される該圧力流体の圧力を調整可能な減圧機構１６８を設けることにより、第１又は第２ポートに供給され、ピストンを変位させるための圧力流体を減圧してロッドパッキン１５２の空間部６６へと供給することが可能となる。その結果、シリンダ孔２２に供給される圧力流体の圧力と、ロッドパッキン１５２の空間部６６へと供給される圧力流体とをそれぞれ別に設定することができて好適である。 In this way, by providing the pressure reducing mechanism 168 capable of adjusting the pressure of the pressure fluid supplied to the space portion 66 in accordance with the pressure of the pressure fluid supplied to the inside of the rod packing 152, the first or second The pressure fluid supplied to the port to displace the piston can be depressurized and supplied to the space 66 of the rod packing 152. As a result, it is preferable that the pressure of the pressure fluid supplied to the cylinder hole 22 and the pressure fluid supplied to the space 66 of the rod packing 152 can be set separately.

また、ロッドパッキン１５２において、ボール１６０の形状、リブ１６６の形状、第１通路１５４の断面積等を自在に変更することにより、空間部６６へと供給される圧力流体の圧力を自在に調整することができる。 In the rod packing 152, the pressure of the pressure fluid supplied to the space 66 is freely adjusted by freely changing the shape of the ball 160, the shape of the rib 166, the cross-sectional area of the first passage 154, and the like. be able to.

なお、本発明に係る流体圧シリンダの塵埃除去機構は、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。 The dust removal mechanism of the fluid pressure cylinder according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it goes without saying that various configurations can be adopted without departing from the gist of the present invention.

１０、１００、１２０、１３０、１４０、１５０…流体圧シリンダ
１２…シリンダチューブ１４…ロッドカバー
１６…ピストン１８…ピストンロッド
２０、１０２…塵埃除去機構２２…シリンダ孔
２６…第１ポート２８…第２ポート
３８…ロッド孔４０…環状溝
４２、１５２…ロッドパッキン４４…サブポート
５０…本体部５２…リップ部
６４…通路６６…空間部
１０４…切換機構１０６…第１バイパス通路
１０８…第２バイパス通路１１０…バルブ室
１１２…切換バルブ１１４…導出通路
１２２…潤滑部材１３２ａ…潤滑保持部材
１３２ｂ…塵埃吸収部材１４２…排出ポート
１６０…ボール１６８…減圧機構 10, 100, 120, 130, 140, 150 ... Fluid pressure cylinder 12 ... Cylinder tube 14 ... Rod cover 16 ... Piston 18 ... Piston rod 20, 102 ... Dust removal mechanism 22 ... Cylinder hole 26 ... First port 28 ... Second Port 38 ... Rod hole 40 ... Annular groove 42, 152 ... Rod packing 44 ... Sub port 50 ... Main body 52 ... Lip part 64 ... Passage 66 ... Space part 104 ... Switching mechanism 106 ... First bypass passage 108 ... Second bypass passage 110 ... Valve chamber 112 ... Switching valve 114 ... Derivation passage 122 ... Lubrication member 132a ... Lubrication holding member 132b ... Dust absorbing member 142 ... Discharge port 160 ... Ball 168 ... Pressure reducing mechanism

Claims

A cylinder body having a pair of ports to which pressure fluid is supplied and a cylinder chamber into which the pressure fluid is introduced from the ports;
A piston provided inside the cylinder chamber so as to be displaceable along the axial direction;
Supported by the cylinder body, a piston rod which is displaced to be coupled to the piston rod protrudes to the outside of the cylinder body,
A rod cover provided at an end of the cylinder body and supporting the piston rod so as to be displaceable along an axial direction;
Provided in the rod cover, and a rod packing having a lip portion extending aforementioned sliding contact with the outer peripheral surface of the piston rod, in a direction away from the piston,
Dust entry preventing means for supplying the pressure fluid toward the piston rod and preventing dust adhering to the piston rod from entering the cylinder body;
With
The dust intrusion preventing means includes a holding portion provided et been pre Symbol pressure fluid is supplied and held between the rod packing and the piston rod, the pressure of a constant pressure in the holding portion provided in the rod cover when possess a supply port for supplying the fluid, and a communication passage for communicating the holding portion and said supply port, displaced in a direction in which the piston rod is retracted into the rod cover side, the outer peripheral surface by the lip portion The dust removing mechanism of the fluid pressure cylinder is characterized in that when the lip portion is separated from the outer peripheral surface by the dust, the pressure fluid of the holding portion is pushed out and blows off the dust. .

In the dust removal mechanism according to claim 1,
The dust removal mechanism for a fluid pressure cylinder, wherein the supply port includes a switching mechanism that selectively supplies pressure fluid supplied to one of the pair of ports to the holding unit.

In the dust removal mechanism according to claim 2 ,
The switching mechanism is provided at a rod cover that is provided at an end of the cylinder body and supports the piston rod so as to be displaceable along an axial direction. The switching valve is displaced under the action of supplying the pressure fluid; A dust removing mechanism for a fluid pressure cylinder, comprising: a communication passage that communicates either one of the ports and the holding portion with a displacement action of a valve.

In the dust removal mechanism according to any one of claims 1 to 3 ,
The dust removal mechanism for a fluid pressure cylinder, wherein the communication passage penetrates from the outer peripheral surface of the rod packing toward the inner peripheral surface and communicates with the holding portion provided to face the inner peripheral surface. .

In the dust removal mechanism according to claim 4 ,
A dust removing mechanism for a fluid pressure cylinder, wherein a plurality of the communication passages are provided along a circumferential direction of the rod packing formed in an annular shape.

In the dust removal mechanism according to any one of claims 1 to 5 ,
The holding portion is a space that is formed on an inner peripheral surface of the rod packing and that is surrounded by a seal portion that contacts the outer peripheral surface of the piston rod, and the outer peripheral surface of the lip portion and the piston rod. Dust removal mechanism of fluid pressure cylinder.

In the dust removal mechanism according to any one of claims 1, 3 to 6,
The rod cover has a hole portion through which the piston rod is inserted, and the hole portion is provided with a dust capturing member capable of capturing and holding the dust. Removal mechanism.

According to claim 1, 3-7 dust removing mechanism according to any one of,
The rod cover has a hole through which the piston rod is inserted, and the hole is provided with a lubrication holding member that lubricates the piston rod. .

The dust removing mechanism according to claim 7 or 8 ,
A dust removing mechanism for a fluid pressure cylinder, wherein the rod cover is provided with a discharge port that allows the hole to communicate with the outside and discharge the dust to the outside.

The dust removing mechanism according to claim 7 or 8 ,
A dust removing mechanism for a fluid pressure cylinder, wherein the rod packing is provided with a pressure reducing mechanism capable of reducing the pressure of the pressure fluid flowing to the piston rod side.