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JP5326722B2 - Functional droplet discharge head wiping device and droplet discharge device equipped with the same - Google Patents

Functional droplet discharge head wiping device and droplet discharge device equipped with the same Download PDF

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JP5326722B2
JP5326722B2 JP2009073204A JP2009073204A JP5326722B2 JP 5326722 B2 JP5326722 B2 JP 5326722B2 JP 2009073204 A JP2009073204 A JP 2009073204A JP 2009073204 A JP2009073204 A JP 2009073204A JP 5326722 B2 JP5326722 B2 JP 5326722B2
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wiping sheet
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To remove foreign matters floating around during wiping. <P>SOLUTION: In the wiping unit 17 of a functional liquid droplet discharge head 14, a pressurizing roller 53 for relatively pressurizing a wiping sheet S made of cloth to the nozzle surface 38 of the inkjet functional liquid droplet discharge head 14 is disposed in a sheet feed path 54 from a sheet delivery reel 51 which delivers the wiping sheet S to a sheet winding reel 52 which winds the wiping sheet S, and the nozzle surface 38 is wiped by pressing the traveling wiping sheet S to the nozzle surface 38 by the pressurizing roller 53. A tension roller 61 is provided which faces the feed path of the sheet feed path 54 from the sheet delivery reel 51 to the pressurizing roller 53 and charges the traveling wiping sheet S so as to adsorb the foreign matters floating around. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、走行するワイピングシートを機能液滴吐出ヘッドのノズル面に押し付けて当該ノズル面を払拭する機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置およびこれを備えた液滴吐出装置に関するものである。   The present invention relates to a wiping apparatus for a functional liquid droplet ejection head that presses a traveling wiping sheet against a nozzle surface of a functional liquid droplet ejection head and wipes the nozzle surface, and a liquid droplet ejection apparatus having the same.

従来、この種の機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置として、カラーフィルターや有機ELデバイスなどの各種成膜処理に用いる液滴吐出装置に搭載したものが知られている(特許文献1参照)。このワイピング装置は、ワイピングシートを繰り出す繰出しリールと、ワイピングシートを巻き取る巻取りリールと、両リール間のワイピングシートを、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に押圧する押圧ローラーと、繰出しリール側のワイピングシートに対して制動回転して、ワイピングシートに一定の張力を付加するトルクリミッター付のテンションローラーと、を備えている。   Conventionally, as this type of functional liquid droplet ejection head wiping device, one mounted on a liquid droplet ejection device used for various film forming processes such as a color filter and an organic EL device is known (see Patent Document 1). This wiping device includes a feeding reel that feeds out the wiping sheet, a take-up reel that winds up the wiping sheet, a pressing roller that presses the wiping sheet between both reels against the nozzle surface of the functional liquid droplet ejection head, and a reel on the feeding reel side. A tension roller with a torque limiter that brakes and rotates with respect to the wiping sheet and applies a constant tension to the wiping sheet.

特開2007−307915号公報JP 2007-307915 A

しかしながら、このようなワイピング装置では、機能液滴吐出ヘッドのノズル面以外の部位(機能液滴吐出ヘッドの側面や基板等)に付着した異物(ゴミ)が、ワイピング処理の際に浮遊し、ワイピング処理後のノズル面に付着してしまうという問題があった。また、ワイピング処理の際、ワイピングシートから発生した異物(ケバ)が浮遊し、ワイピング処理後のノズル面に付着してしまうという問題もある。これらの結果、ノズル面に異物が付着してしまうと、液滴吐出動作を精度良く行うことができない。特に、カラーフィルターや有機ELデバイスなどの各種成膜処理に用いる液滴吐出装置では、機能液滴吐出ヘッドとワークとの間隙を極力狭めて、描画処理を実施するため、ノズル面に付着した異物の先端が、ワーク上の着弾液滴を引き伸ばしてしまい、広域に亘ってワークを不良にしてしまう。   However, in such a wiping apparatus, foreign matter (dust) adhering to a portion other than the nozzle surface of the functional liquid droplet ejection head (the side surface of the functional liquid droplet ejection head, the substrate, etc.) floats during the wiping process and is wiped. There was a problem that it adhered to the nozzle surface after processing. In addition, there is a problem in that foreign matter (blemish) generated from the wiping sheet floats during the wiping process and adheres to the nozzle surface after the wiping process. As a result, if foreign matter adheres to the nozzle surface, the droplet discharge operation cannot be performed with high accuracy. In particular, in a droplet discharge apparatus used for various film forming processes such as a color filter and an organic EL device, foreign matter adhering to the nozzle surface is used to perform the drawing process by narrowing the gap between the functional droplet discharge head and the work as much as possible. The tip of the ink stretches the landing droplet on the workpiece, and makes the workpiece defective over a wide area.

本発明は、ワイピング処理の際、周囲に浮遊する異物を除去することができる機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題としている。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a wiping device for a functional liquid droplet ejection head that can remove foreign matters floating around in the wiping process and a liquid droplet ejection device including the wiping device.

本発明の機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置は、布製のワイピングシートを繰り出すシート繰出しリールからワイピングシートを巻き取るシート巻取りリールに至るシート送り経路に、ワイピングシートを、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面に相対的に押圧する押圧ローラーを配置し、押圧ローラーにより、走行するワイピングシートをノズル面に押し付けてノズル面に付着した機能液を払拭する機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置であって、シート繰出しリールから押圧ローラーに至るシート送り経路の送り込み経路に臨み、周囲に浮遊した異物を吸着するように、走行するワイピングシートを帯電する帯電手段を、備えたことを特徴とする。 The functional liquid droplet ejection head wiping device according to the present invention is configured to eject a wiping sheet from a sheet feeding reel that feeds a cloth wiping sheet to a sheet take-up reel that winds up the wiping sheet. This is a functional liquid droplet ejection head wiping device in which a pressure roller that presses against the nozzle surface of the head is disposed, and the functional liquid adhering to the nozzle surface is wiped by pressing the traveling wiping sheet against the nozzle surface with the pressure roller. And a charging means for charging the traveling wiping sheet so as to attract the foreign matter floating around the sheet feeding path of the sheet feeding path from the sheet feeding reel to the pressing roller.

この構成によれば、ワイピングシートを、周囲に浮遊する異物を吸着するように帯電させることで、ワイピング処理の際に浮遊した異物を、ワイピングシートに吸着させることができる。これにより、ワイピング処理の際に機能液滴吐出ヘッドから浮遊した異物や、ワイピング処理の際にワイピングシートから発生した異物を除去することができるため、ワイピング処理後のノズル面に異物が付着することがなく、液滴吐出動作を精度良く行うことができる。なお、帯電手段は、ワイピングシートを帯電するものであれば、例えば、摩擦(接触)により、自由電子を移動させるものであっても良いし、イオナイザーのように、正イオンや負イオン、ひいては帯電した媒体(気体や液体等)を、ワイピングシートに付与して、ワイピングシートの自由電子を授受するものであっても良い。   According to this configuration, by charging the wiping sheet so as to attract foreign substances floating around, the foreign substances floating during the wiping process can be attracted to the wiping sheet. As a result, foreign matter floating from the functional liquid droplet ejection head during the wiping process and foreign matter generated from the wiping sheet during the wiping process can be removed, so that the foreign matter adheres to the nozzle surface after the wiping process. The droplet discharge operation can be performed with high accuracy. In addition, as long as the charging means charges the wiping sheet, for example, it may be one that moves free electrons by friction (contact), or, like an ionizer, positive ions, negative ions, and thus charging. The medium (gas, liquid, or the like) may be applied to the wiping sheet, and free electrons of the wiping sheet may be transferred.

上記の機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置において、帯電手段は、走行するワイピングシートに摺接する摺接部材で構成されていることが好ましい。   In the above-described wiping device for a functional liquid droplet ejection head, it is preferable that the charging means is composed of a sliding contact member that is in sliding contact with the traveling wiping sheet.

この構成によれば、ワイピングシートの走行を利用した摩擦帯電によって、ワイピングシートを帯電することにより、ワイピングシートの帯電に、特段の駆動部を必要とせず、帯電手段を簡単な構成とすることができる。   According to this configuration, by charging the wiping sheet by frictional charging using the traveling of the wiping sheet, a special driving unit is not required for charging the wiping sheet, and the charging unit can be configured simply. it can.

上記の機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置において、帯電手段は、走行するワイピングシートに摺接してバックテンションを付与するテンションローラーで構成されていることが好ましい。   In the above-described functional liquid droplet ejection head wiping device, it is preferable that the charging means is composed of a tension roller that slides on the traveling wiping sheet and applies back tension.

この構成によれば、バックテンションを付与して、ワイピングシートに一定の張力を与えるためのバックテンション機構(テンションローラー)を利用した摩擦帯電によって、ワイピングシートを帯電することにより、ワイピングシートの帯電に、特段の機構を必要とせず、ワイピング装置を簡単な構成とすることができる。   According to this configuration, the wiping sheet is charged by friction charging using a back tension mechanism (tension roller) for applying a back tension and applying a constant tension to the wiping sheet. The wiping device can be configured simply without requiring any special mechanism.

本発明の液滴吐出装置は、上記の機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置と、機能液滴吐出ヘッドと、を備え、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行うことを特徴とする。   A droplet discharge device of the present invention includes the above-described functional droplet discharge head wiping device and a functional droplet discharge head, and moves the functional droplet discharge head relative to the workpiece while moving the functional droplet discharge head on the workpiece. Drawing is performed by discharging a functional liquid.

この構成によれば、ワイピング処理の際、周囲に浮遊する異物を除去できるワイピング装置を用いることで、簡単な構成で、描画処理を精度良く行うことができる。   According to this configuration, by using the wiping device that can remove the foreign matters floating around in the wiping process, the drawing process can be accurately performed with a simple configuration.

本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。1 is a perspective view of a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention. 液滴吐出装置の平面図である。It is a top view of a droplet discharge device. 液滴吐出装置の側面図である。It is a side view of a droplet discharge device. キャリッジの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of a carriage. 機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。It is a front and back external perspective view of a functional liquid droplet ejection head. ワイピングユニットの断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of a wiping unit. 第1変形例のワイピングユニットにおける断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram in the wiping unit of a 1st modification. 第2変形例のワイピングユニットにおける断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram in the wiping unit of a 2nd modification.

以下、添付した図面を参照して、本発明の一実施形態に係るワイピング装置を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルターや有機EL装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。特に、この液滴吐出装置は、ワイピング処理の際、周囲の異物を除去することができるワイピングユニット(ワイピング装置)を用いることで、精度良く描画処理を行うことができる。   Hereinafter, a liquid droplet ejection apparatus to which a wiping apparatus according to an embodiment of the present invention is applied will be described with reference to the accompanying drawings. This droplet discharge device is incorporated in a flat panel display production line, and uses, for example, a function droplet discharge head into which a special ink or a functional liquid that is a light-emitting resin liquid is introduced, and the color of a liquid crystal display device A light emitting element to be a pixel of each filter or organic EL device is formed. In particular, this droplet discharge device can perform drawing processing with high accuracy by using a wiping unit (wiping device) that can remove surrounding foreign matters during wiping processing.

図1ないし図3に示すように、液滴吐出装置1は、石定盤に支持されたX軸支持ベース11上に配設され、主走査方向となるX軸方向に延在してワークWをX軸方向に移動させるX軸テーブル2と、複数本の支柱12を介してX軸テーブル2を跨ぐように架け渡された1対のY軸支持ベース13上に配設され、副走査方向となるY軸方向に延在するY軸テーブル3と、Y軸テーブル3に移動自在に吊設され、複数(12個)の機能液滴吐出ヘッド14が搭載された13個のキャリッジユニット4と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置1は、これらの装置を温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー5と、チャンバー5を貫通して、機能液滴吐出ヘッド14に機能液を供給する機能液供給ユニット6と、各部を制御する制御装置58(図6参照)と、を備えている。また、チャンバー5の側壁の一部には、機能液を貯留するメインタンク49等を収納するタンクキャビネット7が設けられている。液滴吐出装置1は、X軸テーブル2およびY軸テーブル3の駆動と同期して、機能液滴吐出ヘッド14を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット6から供給された機能液を吐出させ、ワークWに所定の描画パターンを描画する。   As shown in FIGS. 1 to 3, the droplet discharge device 1 is disposed on an X-axis support base 11 supported by a stone surface plate, and extends in the X-axis direction, which is the main scanning direction, to extend a workpiece W. Is disposed on a pair of Y-axis support bases 13 that are bridged across the X-axis table 2 via a plurality of columns 12 and in the sub-scanning direction. A Y-axis table 3 extending in the Y-axis direction, and 13 carriage units 4 suspended in a movable manner on the Y-axis table 3 and mounted with a plurality (twelve) functional liquid droplet ejection heads 14; , Is composed of. Further, the droplet discharge device 1 includes a chamber 5 that houses these devices in an atmosphere in which temperature and humidity are controlled, and a functional liquid that passes through the chamber 5 and supplies the functional liquid to the functional droplet discharge head 14. A supply unit 6 and a control device 58 (see FIG. 6) for controlling each part are provided. In addition, a tank cabinet 7 for storing a main tank 49 and the like for storing the functional liquid is provided on a part of the side wall of the chamber 5. The droplet discharge device 1 discharges the functional liquid supplied from the functional liquid supply unit 6 by discharging the functional droplet discharge head 14 in synchronization with the driving of the X-axis table 2 and the Y-axis table 3. Then, a predetermined drawing pattern is drawn on the workpiece W.

また、液滴吐出装置1は、フラッシングユニット15、吸引ユニット16、ワイピングユニット17(詳細は後述する。)および吐出性能検査ユニット18から成るメンテナンス装置8を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド14の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド14の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置1では、X軸テーブル2とY軸テーブル3とが交わる領域にキャリッジユニット4を臨ませてワークWの描画を行う。また、Y軸テーブル3とメンテナンス装置8(吸引ユニット16およびワイピングユニット17)が交わる領域にキャリッジユニット4を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド14の機能維持および機能回復を行う。なお、ワイピングユニット17によるワイピング動作は、吸引ユニット16による吸引動作後毎に行ってもよいし、定期的に行ってもよい。   In addition, the droplet discharge device 1 includes a maintenance device 8 including a flushing unit 15, a suction unit 16, a wiping unit 17 (details will be described later), and a discharge performance inspection unit 18. For the maintenance of the head 14, the function of the functional liquid droplet ejection head 14 is maintained and recovered. In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, the work W is drawn with the carriage unit 4 facing the area where the X-axis table 2 and the Y-axis table 3 intersect. Further, the carriage unit 4 faces the area where the Y-axis table 3 and the maintenance device 8 (the suction unit 16 and the wiping unit 17) intersect, and the function of the functional liquid droplet ejection head 14 is maintained and restored. The wiping operation by the wiping unit 17 may be performed every time after the suction operation by the suction unit 16 or may be performed periodically.

図2および図3に示すように、X軸テーブル2は、ワークWを吸着セットするセットテーブル21と、セットテーブル21をX軸方向にスライド自在に支持するX軸第1スライダー22と、上記したフラッシングユニット15および吐出性能検査ユニット18をX軸方向にスライド自在に支持するX軸第2スライダー23と、X軸方向に延在し、X軸第1スライダー22およびX軸第2スライダー23をX軸方向に移動させる左右一対のX軸リニアモーター(図示省略)と、を備えている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the X-axis table 2 includes a set table 21 that sucks and sets the workpiece W, an X-axis first slider 22 that slidably supports the set table 21 in the X-axis direction, and the above-described configuration. An X-axis second slider 23 that slidably supports the flushing unit 15 and the discharge performance inspection unit 18 in the X-axis direction, and extends in the X-axis direction, and the X-axis first slider 22 and the X-axis second slider 23 are X A pair of left and right X-axis linear motors (not shown) that move in the axial direction.

Y軸テーブル3は、13個のキャリッジユニット4をそれぞれ吊設した13個のブリッジプレート24と、各ブリッジプレート24を両持ちで支持する13組のY軸スライダー(図示省略)と、一対のY軸支持ベース13上に設置され、ブリッジプレート24をY軸方向に移動させる一対のY軸リニアモーター(図示省略)と、を備えている。また、Y軸テーブル3は、各キャリッジユニット4を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド14を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド14を吸引ユニット16およびワイピングユニット17に臨ませる。この場合、各キャリッジユニット4を独立させて個別に移動させることも可能であるし、13個のキャリッジユニット4を一体として移動させることも可能である。   The Y-axis table 3 includes 13 bridge plates 24 each having 13 carriage units 4 suspended therein, 13 sets of Y-axis sliders (not shown) that support the bridge plates 24 in both ends, and a pair of Y-axis tables. A pair of Y-axis linear motors (not shown) are provided on the shaft support base 13 and move the bridge plate 24 in the Y-axis direction. In addition, the Y-axis table 3 performs sub-scanning of the functional liquid droplet ejection head 14 during drawing via each carriage unit 4 and causes the functional liquid droplet ejection head 14 to face the suction unit 16 and the wiping unit 17. In this case, the carriage units 4 can be moved independently and individually, or the 13 carriage units 4 can be moved together.

図4に示すように、各キャリッジユニット4は、R・G・Bの3色、各4個(計12個)の機能液滴吐出ヘッド14と、12個の機能液滴吐出ヘッド14を6個ずつ2群に分けて、各機能液滴吐出ヘッド14が同一の水平面内に配設されるように支持するヘッドプレート25と、から成るヘッドユニット26を備えている。また、各キャリッジユニット4は、機能液滴吐出ヘッド14に機能液を大気圧基準で減圧供給する圧力調整弁27と、ヘッドユニット26をθ補正(θ回転)可能に支持するθ回転機構28(図3参照)と、θ回転機構28を介して、ヘッドユニット26をブリッジプレート24に支持させる吊設部材29(図3参照)と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット4は、機能液を一時的に貯留するサブタンク46(図1参照)が配設されており(実際には、ブリッジプレート24上に配設)、このサブタンク46および圧力調整弁27により、各機能液滴吐出ヘッド14に対して一定圧力で機能液が供給されるようになっている。なお、キャリッジユニット4をZ軸方向に昇降させるZテーブル(図示省略)を、さらに備えていてもよい。   As shown in FIG. 4, each carriage unit 4 includes three color droplets of R, G, and B, each of four (total 12) functional droplet ejection heads 14 and 12 functional droplet ejection heads 14. Each is divided into two groups, and a head unit 26 including a head plate 25 that supports each functional liquid droplet ejection head 14 so as to be disposed in the same horizontal plane is provided. Each carriage unit 4 has a pressure adjusting valve 27 that supplies the functional liquid to the functional liquid droplet ejection head 14 under reduced pressure, and a θ rotation mechanism 28 that supports the head unit 26 so that it can be θ-corrected (θ rotation). 3) and a suspension member 29 (see FIG. 3) for supporting the head unit 26 on the bridge plate 24 via the θ rotation mechanism 28. In addition, each carriage unit 4 is provided with a sub-tank 46 (see FIG. 1) for temporarily storing the functional liquid (actually provided on the bridge plate 24). A functional liquid is supplied to each functional liquid droplet ejection head 14 at a constant pressure by the valve 27. Note that a Z table (not shown) for raising and lowering the carriage unit 4 in the Z-axis direction may be further provided.

図5に示すように、機能液滴吐出ヘッド14は、いわゆる2連のインクジェットヘッド(インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド14)であり、2連の接続針34を有する機能液導入部31と、機能液導入部31に連なる2連のヘッド基板32と、ヘッド基板32の下方に連なり機能液を吐出するヘッド本体33と、を備えている(図5(a)参照)。機能液導入部31は、ノズル列39の数に対応した2連の接続針34を有しており、サブタンク46からの機能液が供給されるようになっている。また、ヘッド本体33は、ピエゾ素子等で構成される2連のポンプ部35と、複数の吐出ノズル37が形成されたノズル面38を有するノズルプレート36と、を有している。ノズルプレート36のノズル面38に形成された多数の吐出ノズル37は、相互に平行且つ半ノズルピッチ位置ズレして列設された2列のノズル列39を構成しており、各ノズル列39は、等ピッチで並べた180個の吐出ノズル37で構成されている(図5(b)参照)。そして、制御装置58(図6参照)から出力された駆動波形が各ポンプ部35(圧電素子)に印加されることで、各吐出ノズル37から機能液が吐出される。   As shown in FIG. 5, the functional liquid droplet ejection head 14 is a so-called double ink jet head (ink jet type functional liquid droplet ejection head 14), and includes a functional liquid introduction unit 31 having two continuous connection needles 34. Two head substrates 32 connected to the functional liquid introduction unit 31 and a head body 33 that discharges the functional liquid connected below the head substrate 32 are provided (see FIG. 5A). The functional liquid introduction section 31 has two connection needles 34 corresponding to the number of nozzle rows 39 so that the functional liquid is supplied from the sub tank 46. The head main body 33 includes a double pump unit 35 composed of a piezoelectric element or the like, and a nozzle plate 36 having a nozzle surface 38 on which a plurality of discharge nozzles 37 are formed. A large number of discharge nozzles 37 formed on the nozzle surface 38 of the nozzle plate 36 constitute two nozzle rows 39 arranged in parallel with each other and shifted by a half nozzle pitch position. , 180 discharge nozzles 37 arranged at an equal pitch (see FIG. 5B). The functional waveform is discharged from each discharge nozzle 37 by applying the drive waveform output from the control device 58 (see FIG. 6) to each pump unit 35 (piezoelectric element).

ここで図6を参照して、ワイピングユニット17について、詳細に説明する。ワイピングユニット17は、布製のワイピングシートSを適宜繰出すシート繰出しリール51と、シート繰出しリール51から繰出されたワイピングシートSを巻取るシート巻取りリール52と、両リール51,52間に掛け渡されたワイピングシートSを機能液滴吐出ヘッド14に押圧する押圧ローラー53と、両リール51,52間において、押圧ローラー53を経由するシート送り経路54を構成する各種のローラー(詳細は後述する。)と、これら構成装置を支持する装置フレーム(図示省略)と、をカバーボックス55に収容して構成されている。ワイピングシートSをシート送り経路54に沿って繰り出しつつ、巻き取ることで、ワイピングシートSが走行する。   Here, the wiping unit 17 will be described in detail with reference to FIG. The wiping unit 17 includes a sheet feeding reel 51 that appropriately feeds the cloth wiping sheet S, a sheet take-up reel 52 that winds the wiping sheet S fed from the sheet feeding reel 51, and a span between the reels 51 and 52. A pressing roller 53 that presses the wiping sheet S against the functional liquid droplet ejection head 14 and various rollers that constitute a sheet feeding path 54 that passes through the pressing roller 53 between the reels 51 and 52 (details will be described later). ) And a device frame (not shown) that supports these components are housed in a cover box 55. The wiping sheet S travels by winding up the wiping sheet S along the sheet feeding path 54.

また、ワイピングユニット17は、シート繰出しリール51と押圧ローラー53との間に掛け渡されたワイピングシートSに臨み、ワイピングシートSのシートエンドを検出するシートエンド検出装置56と、押圧ローラー53とシート巻取りリール52との間に掛け渡されたワイピングシートSに臨み、ワイピングシートSの送り速度を検出する送り速度検出装置57と、を備えている。シートエンド検出装置56および送り速度検出装置57は、上記の制御装置58に接続されており、それぞれ検出信号を制御装置58に出力する。   The wiping unit 17 faces the wiping sheet S stretched between the sheet feeding reel 51 and the pressing roller 53, detects the sheet end of the wiping sheet S, the pressing roller 53, and the sheet. A feed speed detection device 57 that faces the wiping sheet S stretched between the take-up reel 52 and detects the feed speed of the wiping sheet S is provided. The sheet end detection device 56 and the feed speed detection device 57 are connected to the control device 58 described above, and each outputs a detection signal to the control device 58.

さらに、シートエンド検出装置56と押圧ローラー53との間には、シート繰出しリール51から繰出されたワイピングシートSに一定のバックテンションを付与すると共に、ワイピングシートSを帯電するテンションローラー(帯電手段)61が配設されている。詳細は後述するが、ワイピングシートSを帯電することで、ワイピング動作の際、周囲に浮遊する異物をワイピングシートSに吸着することができる。   Further, a tension roller (charging means) that applies a constant back tension to the wiping sheet S fed from the sheet feeding reel 51 and charges the wiping sheet S between the sheet end detection device 56 and the pressing roller 53. 61 is disposed. Although details will be described later, by charging the wiping sheet S, foreign matters floating around can be adsorbed to the wiping sheet S during the wiping operation.

またさらに、押圧ローラー53と送り速度検出装置57との間には、太径の第1経路変更ローラー62、細径の第2経路変更ローラー63、第3経路変更ローラー64、第4経路変更ローラー65および送り速度検出装置57が連結された第5経路変更ローラー66が上流側から順番に配設されている。なお、図6における矢印は、各ローラーの回転方向を示している。   Further, between the pressing roller 53 and the feed speed detection device 57, the first path changing roller 62 having a large diameter, the second path changing roller 63 having a small diameter, the third path changing roller 64, and the fourth path changing roller. A fifth path changing roller 66 to which 65 and the feed speed detecting device 57 are connected is sequentially arranged from the upstream side. In addition, the arrow in FIG. 6 has shown the rotation direction of each roller.

ワイピングシートSは、ヘッドユニット26に対応する幅を有し、ポリエステルやポリプロピレン等の化学繊維(不織布)で構成されている。ワイピングシートSは、リールコア67に巻回した状態で搬入され、シート繰出しリール51の装着軸68に軸方向から装着される。この場合、ワイピングシートSのシートエンド(巻回開始端)は、粘着テープ等でリールコア67に粘着されており、ワイピングシートSを使い切る直前には、この粘着テープがリールコア67から剥がれることにより、ワイピングシートSのシートエンドがシート繰出しリール51から外れる。言うまでもないが、ワイピングシートSは、シート繰出しリール51から繰り出され、シート送り経路54に沿って、シートエンド検出装置56、テンションローラー61、押圧ローラー53、第1経路変更ローラー62、第2経路変更ローラー63、第3経路変更ローラー64、第4経路変更ローラー65および送り速度検出装置57、を順に経由して、回転駆動するシート巻取りリール52に巻取られる。   The wiping sheet S has a width corresponding to the head unit 26 and is made of chemical fibers (nonwoven fabric) such as polyester or polypropylene. The wiping sheet S is carried in a state of being wound around the reel core 67 and mounted on the mounting shaft 68 of the sheet feeding reel 51 from the axial direction. In this case, the sheet end (winding start end) of the wiping sheet S is adhered to the reel core 67 with an adhesive tape or the like, and the adhesive tape is peeled off from the reel core 67 immediately before the wiping sheet S is used up. The sheet end of the sheet S is detached from the sheet feeding reel 51. Needless to say, the wiping sheet S is fed from the sheet feeding reel 51 and along the sheet feeding path 54, the sheet end detection device 56, the tension roller 61, the pressing roller 53, the first path changing roller 62, and the second path changing. The sheet is wound around the sheet take-up reel 52 that is rotationally driven through the roller 63, the third path changing roller 64, the fourth path changing roller 65, and the feed speed detecting device 57 in order.

シート繰出しリール51の装着軸68には、繰出されてゆくワイピングシートSに対しバックテンションを付与するトルクコントローラー(図示省略)が組みこまれている。一方、シート巻取りリール52の駆動軸71には、巻取りモーター72が連結されており、巻取りモーター72は、送り速度検出装置57の検出結果に基づいて、ワイピングシートSの走行速度が一定になるように制御される。これにより、ワイピングシートSは、シート送り経路54上を、一定の張りを与えた状態で且つ一定の速度で送られる(走行させる)。   A torque controller (not shown) for applying a back tension to the wiping sheet S being fed is incorporated in the mounting shaft 68 of the sheet feeding reel 51. On the other hand, a winding motor 72 is connected to the drive shaft 71 of the sheet winding reel 52, and the winding motor 72 has a constant traveling speed of the wiping sheet S based on the detection result of the feed speed detection device 57. It is controlled to become. As a result, the wiping sheet S is fed (runs) on the sheet feeding path 54 at a constant speed with a constant tension.

押圧ローラー53は、テンションローラー61と第1経路変更ローラー62との間に位置して装置の頂部に配設されており、軸端に連結された一対のエアーシリンダー75により、カバーボックス55のワイプ開口76から出没自在に構成されている。そして、ワイプ開口76から突出した払拭位置でワイピングシートSを複数の機能液滴吐出ヘッド14のノズル面38に押し付けて、付着した機能液を払拭する。なお、上記したZ軸方向に移動するZテーブルにより機能液滴吐出ヘッド14を下降させることで、ノズル面38を押圧ローラー53に押し当てるようにしてもよい。   The pressing roller 53 is located between the tension roller 61 and the first path changing roller 62 and is disposed on the top of the apparatus. The pair of air cylinders 75 connected to the shaft ends wipe the cover box 55. It is configured to be able to appear and disappear from the opening 76. Then, the wiping sheet S is pressed against the nozzle surfaces 38 of the plurality of functional liquid droplet ejection heads 14 at the wiping position protruding from the wipe opening 76 to wipe off the adhered functional liquid. Note that the nozzle surface 38 may be pressed against the pressing roller 53 by lowering the functional liquid droplet ejection head 14 with the Z table moving in the Z-axis direction.

送り速度検出装置57は、第5経路変更ローラー66に連結しており、第5経路変更ローラー66の回転速度を検出するいわゆるエンコーダーで構成されている。エンコーダーは、第5経路変更ローラー66の軸端に連結した回転軸と、スリット円板と、透過形フォトセンサと、を有している(いずれも図示省略)。そして、エンコーダーの検出結果から算出された第5経路変更ローラー66の回転速度に基づいて、ワイピングシートSの送り速度が算出される。そして、その検出信号は制御装置58に出力され、入力した検出信号に基づいて、制御装置58がワイピングシートSの送り速度が一定になるように巻取りモーター72の回転数を制御する。   The feed speed detection device 57 is connected to the fifth path change roller 66 and is configured by a so-called encoder that detects the rotation speed of the fifth path change roller 66. The encoder has a rotating shaft connected to the shaft end of the fifth path changing roller 66, a slit disk, and a transmission photosensor (all not shown). Then, the feeding speed of the wiping sheet S is calculated based on the rotation speed of the fifth path changing roller 66 calculated from the detection result of the encoder. Then, the detection signal is output to the control device 58, and the control device 58 controls the rotation speed of the winding motor 72 so that the feeding speed of the wiping sheet S is constant based on the input detection signal.

テンションローラー61は、押圧ローラー53の送り方向の上流側近傍(送り込み経路)に配設されており、いわゆるニップローラーで構成されている。テンションローラー61は、シート送り経路54の内側に配設されると共に、トルクリミッターが組み込まれたフリーローラーである第1ローラー73と、シート送り経路54の外側に配設されると共に、第1ローラー73に向かって付勢されたフリーローラーである第2ローラー74と、を備えている。第2ローラー74は、ワイピングシートSの繰出し端部を通過させ得るように、第1ローラー73に対し離接自在に構成されている。すなわち、ワイピングユニット17に、ワイピングシートSをセットする際には、第2ローラー74を第1ローラー73から離間する。一方、ワイピングユニット17の駆動時には、ワイピングシートSに介して、第1ローラー73を第2ローラー74に接触させる。この一対のローラー73,74によって、ワイピングシートSを挟むと共に、ワイピングシートSの走行に伴って、第1ローラー73を制動回転させることで、第1ローラー73がワイピングシートSに摺接する。これによって、ワイピングシートSに一定のバックテンションを付与する。   The tension roller 61 is disposed in the vicinity of the upstream side (feeding path) of the pressing roller 53 in the feeding direction, and is constituted by a so-called nip roller. The tension roller 61 is disposed on the inner side of the sheet feeding path 54, and is disposed on the outer side of the first roller 73, which is a free roller incorporating a torque limiter, and the first roller. And a second roller 74 which is a free roller biased toward 73. The second roller 74 is configured to be detachable from the first roller 73 so that the feeding end portion of the wiping sheet S can pass therethrough. That is, when setting the wiping sheet S in the wiping unit 17, the second roller 74 is separated from the first roller 73. On the other hand, when the wiping unit 17 is driven, the first roller 73 is brought into contact with the second roller 74 via the wiping sheet S. The pair of rollers 73 and 74 sandwich the wiping sheet S, and the first roller 73 is brought into sliding contact with the wiping sheet S by causing the first roller 73 to perform braking rotation as the wiping sheet S travels. Thereby, a constant back tension is applied to the wiping sheet S.

そして、テンションローラー61は、ワイピングシートSを帯電させる機能をも担っている。すなわち、ワイピングシートSの走行に伴って、第1ローラー73がワイピングシートSに摺動すると、摩擦帯電によって、ワイピングシートSが所定帯電量で帯電する。そのため、第1ローラー73は、ワイピングシートSに対し、所定の帯電量(の範囲)で摩擦帯電する材質で構成されている。すなわち、ワイピングシートSの材質に対し、帯電列に基づいて、第1ローラー73の材質を決定する。なお、所定の帯電量とは、周囲に浮遊する異物(ゴミやケバ等)を吸着(静電吸着)する帯電量である。また、第1ローラー73は、絶縁体で構成されることが好ましい。   The tension roller 61 also has a function of charging the wiping sheet S. That is, as the wiping sheet S travels, when the first roller 73 slides on the wiping sheet S, the wiping sheet S is charged with a predetermined charge amount by frictional charging. Therefore, the first roller 73 is made of a material that frictionally charges the wiping sheet S with a predetermined charge amount (range). That is, for the material of the wiping sheet S, the material of the first roller 73 is determined based on the charge train. Note that the predetermined charge amount is a charge amount that attracts (electrostatically attracts) foreign substances (dust, debris, etc.) floating around. Moreover, it is preferable that the 1st roller 73 is comprised with an insulator.

このようなワイピングユニット17を用いた機能液滴吐出ヘッド14のワイピング動作では、先ず、機能液滴吐出ヘッド14をY軸テーブル3によりワイピングユニット17の直上部に移動させる。一方、ワイピングユニット17側では、押圧ローラー53を上動させてワイピングシートSをワイプ開口76から突出させ、機能液滴吐出ヘッド14のノズル面38の端に接触させる。続いて、機能液滴吐出ヘッド14をY軸テーブル3によりY軸方向に移動させると共に、ワイピングシートSを送ることによりノズル面38を払拭する。この際、ワイピングシートSを送ることによって、テンションローラー61の第1ローラー73が制動回転する。これにより、第1ローラー73とワイピングシートSとの間で摩擦帯電が起り、上記所定の帯電量でワイピングシートSを帯電する。そのため、帯電したワイピングシートSが、機能液滴吐出ヘッド14(特に、そのノズル面38)の周囲に浮遊するゴミやケバ等の異物を吸着し、これらの異物を除去しつつ、ノズル面38が払拭される。   In the wiping operation of the functional liquid droplet ejection head 14 using such a wiping unit 17, first, the functional liquid droplet ejection head 14 is moved directly above the wiping unit 17 by the Y-axis table 3. On the other hand, on the wiping unit 17 side, the pressing roller 53 is moved upward to cause the wiping sheet S to protrude from the wiping opening 76 and contact the end of the nozzle surface 38 of the functional liquid droplet ejection head 14. Subsequently, the functional liquid droplet ejection head 14 is moved in the Y-axis direction by the Y-axis table 3, and the nozzle surface 38 is wiped by feeding the wiping sheet S. At this time, by feeding the wiping sheet S, the first roller 73 of the tension roller 61 is rotated by braking. Thereby, frictional charging occurs between the first roller 73 and the wiping sheet S, and the wiping sheet S is charged with the predetermined charge amount. Therefore, the charged wiping sheet S adsorbs foreign matters such as dust and debris floating around the functional liquid droplet ejection head 14 (particularly, the nozzle surface 38), and the nozzle surface 38 is removed while removing these foreign matters. Wiped out.

このような構成によれば、バックテンションを付与して、ワイピングシートSに一定の張力を与えるためのバックテンション機構(テンションローラー61)を利用した摩擦帯電によって、ワイピングシートSを帯電することにより、ワイピングシートSの帯電に特段の機構を必要とせず、ワイピングユニット17を簡単な構成とすることができる。   According to such a configuration, by charging the wiping sheet S by friction charging using a back tension mechanism (tension roller 61) for applying a back tension and applying a constant tension to the wiping sheet S, A special mechanism for charging the wiping sheet S is not required, and the wiping unit 17 can be configured simply.

ここで図7を参照して、第1変形例のワイピングユニット17について、特に異なる部分を主に説明する。図7に示すように、第1変形例のワイピングユニット17では、摺接部材(帯電手段)81を用いて、ワイピングシートSを摩擦帯電する構成である。ワイピングユニット17は、図6に記載の各装置に加え、シートエンド検出装置56とテンションローラー61との間に配設されると共にワイピングシートSに摺接する摺接部材81を備えている。摺接部材81は、ワイピングシートSを挟み込む一対の摺接パッド82で構成されており、ワイピングシートSの走行に伴ってワイピングシートSに摺接し、この摩擦帯電によってワイピングシートSを上記所定の帯電量で帯電する。各摺接パッド82は、頂部をワイピングシートSに当接する半円形に形成されており、一方の摺接パッド82は、他方の摺接パッド82側に付勢されている。また、各摺接パッド82は、上記所定の帯電量で、ワイピングシートSを摩擦帯電する材質で構成されている。この構成によれば、ワイピングシートSの走行を利用した摩擦帯電によって、ワイピングシートSを帯電することにより、ワイピングシートSの帯電に特段の駆動部を必要とせず、帯電手段を簡単な構成とすることができる。   Here, with reference to FIG. 7, especially a different part is mainly demonstrated about the wiping unit 17 of a 1st modification. As shown in FIG. 7, the wiping unit 17 of the first modified example is configured to frictionally charge the wiping sheet S using a sliding contact member (charging means) 81. The wiping unit 17 includes a sliding contact member 81 that is disposed between the sheet end detection device 56 and the tension roller 61 and that is in sliding contact with the wiping sheet S, in addition to the devices illustrated in FIG. 6. The sliding contact member 81 includes a pair of sliding contact pads 82 that sandwich the wiping sheet S. The sliding contact member 81 is in sliding contact with the wiping sheet S as the wiping sheet S travels, and the wiping sheet S is charged to the predetermined charge by this frictional charging. Charge in quantity. Each sliding contact pad 82 is formed in a semicircular shape whose top is in contact with the wiping sheet S, and one sliding contact pad 82 is biased toward the other sliding contact pad 82. Each sliding contact pad 82 is made of a material that frictionally charges the wiping sheet S with the predetermined charge amount. According to this configuration, by charging the wiping sheet S by frictional charging using the running of the wiping sheet S, a special driving unit is not required for charging the wiping sheet S, and the charging unit has a simple configuration. be able to.

次に図8を参照して、第2変形例のワイピングユニット17について、特に異なる部分を主に説明する。図8に示すように、第2変形例のワイピングユニット17では、イオナイザー(帯電手段)83(イオン発生装置)を用いて、ワイピングシートSを帯電する構成である。ワイピングユニット17は、図6に記載の各装置に加え、テンションローラー61と押圧ローラー53との間に位置するワイピングシートSに向かって、イオンを放出するイオナイザー83を備えている。このイオナイザー83は、正イオンおよび負イオンのいずれか一方のみをワイピングシートSに放出して、ワイピングシートSを帯電する。なお、イオナイザー83の出力は、ワイピングシートSが、上記所定の帯電量に帯電されるように調整される。   Next, with reference to FIG. 8, especially a different part is mainly demonstrated about the wiping unit 17 of a 2nd modification. As shown in FIG. 8, the wiping unit 17 of the second modified example is configured to charge the wiping sheet S using an ionizer (charging means) 83 (ion generator). The wiping unit 17 includes an ionizer 83 that emits ions toward the wiping sheet S positioned between the tension roller 61 and the pressing roller 53 in addition to the devices illustrated in FIG. 6. The ionizer 83 discharges only one of positive ions and negative ions to the wiping sheet S to charge the wiping sheet S. The output of the ionizer 83 is adjusted so that the wiping sheet S is charged to the predetermined charge amount.

以上のような構成によれば、ワイピングシートSを、周囲に浮遊する異物を吸着するように帯電させることで、ワイピング動作の際に浮遊した異物を、ワイピングシートSに吸着させることができる。これにより、ワイピング動作の際に機能液滴吐出ヘッド14から浮遊した異物や、ワイピング動作の際にワイピングシートSから発生した異物を除去することができるため、ワイピング処理後のノズル面38に異物が付着することがなく、液滴吐出動作を精度良く行うことができる。特に、他の部材(各種ローラー等)に接触し、ワイピングシートの帯電が、押圧ローラー53に臨む前に除去されてしまう可能性を考慮して、押圧ローラー53に繰り出される直前に、ワイピングシートSを帯電することが好ましい。   According to the configuration as described above, the wiping sheet S is charged so as to adsorb foreign matter floating around it, so that the foreign matter floating during the wiping operation can be adsorbed to the wiping sheet S. As a result, foreign matter floating from the functional liquid droplet ejection head 14 during the wiping operation and foreign matter generated from the wiping sheet S during the wiping operation can be removed, so that foreign matter is present on the nozzle surface 38 after the wiping process. The liquid droplet ejection operation can be performed with high accuracy without adhesion. In particular, in consideration of the possibility that the charging of the wiping sheet comes into contact with other members (such as various rollers) and is removed before facing the pressing roller 53, the wiping sheet S is immediately before being fed out to the pressing roller 53. Is preferably charged.

なお、上記実施形態においては、第1ローラー73全体や摺接パッド82全体を上記所定の帯電量を摩擦帯電する材質で構成したが、ワイピングシートSへの当接部(第1ローラー73であれば、その外周部)のみを当該材質で構成しても良い。   In the above-described embodiment, the entire first roller 73 and the entire sliding contact pad 82 are made of a material that frictionally charges the predetermined charge amount. However, the contact portion with the wiping sheet S (the first roller 73 may be used). For example, only the outer peripheral portion may be made of the material.

また、上記実施形態においては、第1ローラー73や摺接パッド82の材質によって、帯電量を調整したが、ワイピングシートSへの接触面積によって、帯電量を調整するものであっても良いし、これらを組み合わせて、帯電量を調整するものであっても良い。   In the above embodiment, the charge amount is adjusted by the material of the first roller 73 and the sliding contact pad 82. However, the charge amount may be adjusted by the contact area to the wiping sheet S. These may be combined to adjust the charge amount.

さらに、上記実施形態においては、周囲に浮遊する異物を吸着する帯電量となるように、ワイピングシートSを帯電したが、機能液滴吐出ヘッド14のノズル面38以外の部位(ヘッド本体33の側面やヘッド基板32等)に付着した異物(ゴミ)をワイピングシートSに吸着する帯電量としても良い。また、上限として、機能液滴吐出ヘッド14の駆動に支障をきたさない範囲の帯電量とすることが好ましい。   Furthermore, in the above-described embodiment, the wiping sheet S is charged so as to have a charge amount that adsorbs the foreign matters floating around, but a portion other than the nozzle surface 38 of the functional liquid droplet ejection head 14 (side surface of the head main body 33). Or a foreign substance (dust) adhering to the head substrate 32 or the like) may be used as a charge amount for adsorbing the wiping sheet S. In addition, the upper limit is preferably set to a charge amount in a range that does not hinder the driving of the functional liquid droplet ejection head 14.

またさらに、上記実施形態においては、摩擦帯電する帯電の極性については記載を省略したが、正負いずれの極性に帯電しても良い。なお、例えば、ワイピング動作(ワイピングシートSの摺接)によるノズル面38の帯電の極性に対応して、ワイピングシートSの帯電の極性を設定するものであっても良い。   Furthermore, in the above-described embodiment, the description of the polarity of the triboelectric charge is omitted, but the charge may be positive or negative. For example, the charging polarity of the wiping sheet S may be set in accordance with the charging polarity of the nozzle surface 38 by the wiping operation (sliding contact of the wiping sheet S).

また、上記実施形態においては、押圧ローラー53をノズル面38に押圧した状態で、ワイピングシートSを走行しつつ、機能液滴吐出ヘッド14を移動することにより、ワイピング動作を実施したが、ワイピングシートSの走行を停止し、機能液滴吐出ヘッド14の移動だけで、ワイピング動作を実施しても良いし、逆に、押圧面積を広くし、ワイピングシートSの走行だけで、ワイピング動作を実施しても良い。   In the above embodiment, the wiping operation is performed by moving the functional liquid droplet ejection head 14 while traveling the wiping sheet S while the pressing roller 53 is pressed against the nozzle surface 38. The wiping operation may be performed simply by stopping the travel of S and moving the functional liquid droplet ejection head 14, and conversely, the wiping operation is performed only by traveling the wiping sheet S with a wider pressing area. May be.

1:液滴吐出装置、 14:機能液滴吐出ヘッド、 17:ワイピングユニット、 38:ノズル面、 51:シート繰出しリール、 52:シート巻取りリール、 53:押圧ローラー、 54:シート送り経路、 61:テンションローラー、 81:摺接部材、 83:イオナイザー、 S:ワイピングシート、 W:ワーク   1: droplet ejection device, 14: functional droplet ejection head, 17: wiping unit, 38: nozzle surface, 51: sheet feeding reel, 52: sheet take-up reel, 53: pressing roller, 54: sheet feeding path, 61 : Tension roller, 81: Sliding member, 83: Ionizer, S: Wiping sheet, W: Workpiece

Claims (4)

布製のワイピングシートを繰り出すシート繰出しリールから前記ワイピングシートを巻き取るシート巻取りリールに至るシート送り経路に、前記ワイピングシートを、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面に相対的に押圧する押圧ローラーを配置し、前記押圧ローラーにより、走行する前記ワイピングシートを前記ノズル面に押し付けて前記ノズル面に付着した機能液を払拭する機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置であって、
前記シート繰出しリールから前記押圧ローラーに至る前記シート送り経路の送り込み経路に臨み、周囲に浮遊する異物を吸着するように、走行する前記ワイピングシートを帯電する帯電手段を、備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置。
A pressure that presses the wiping sheet relatively to the nozzle surface of an ink jet type functional liquid droplet ejection head in a sheet feeding path from a sheet feeding reel that feeds a cloth wiping sheet to a sheet take-up reel that winds the wiping sheet. A functional liquid droplet ejection head wiping device that disposes a functional liquid that adheres to the nozzle surface by pressing the wiping sheet that travels against the nozzle surface by disposing a roller,
Charging means for charging the wiping sheet that travels so as to adsorb foreign substances floating around the sheet feeding path of the sheet feeding path from the sheet feeding reel to the pressing roller. Functional droplet discharge head wiping device.
前記帯電手段は、走行する前記ワイピングシートに摺接する摺接部材で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置。   The wiping device for a functional liquid droplet ejection head according to claim 1, wherein the charging unit is configured by a sliding contact member that is in sliding contact with the traveling wiping sheet. 前記帯電手段は、走行する前記ワイピングシートに摺接してバックテンションを付与するテンションローラーで構成されていることを特徴とする請求項1に記載の機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置。   2. The wiping device for a functional liquid droplet ejection head according to claim 1, wherein the charging means is configured by a tension roller that slides on the traveling wiping sheet to apply a back tension. 請求項1ないし3のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置と、
前記機能液滴吐出ヘッドと、を備え、
ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に機能液を吐出して描画を行うことを特徴とする液滴吐出装置。
A wiping device for a functional liquid droplet ejection head according to any one of claims 1 to 3,
The functional liquid droplet ejection head,
A droplet discharge apparatus for performing drawing by discharging a functional liquid onto the workpiece while moving the functional droplet discharge head relative to the workpiece.
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