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JP5308409B2 - Method for producing sheet-shaped epoxy resin composition material for electronic component sealing and electronic component - Google Patents

Method for producing sheet-shaped epoxy resin composition material for electronic component sealing and electronic component Download PDF

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JP5308409B2
JP5308409B2 JP2010168498A JP2010168498A JP5308409B2 JP 5308409 B2 JP5308409 B2 JP 5308409B2 JP 2010168498 A JP2010168498 A JP 2010168498A JP 2010168498 A JP2010168498 A JP 2010168498A JP 5308409 B2 JP5308409 B2 JP 5308409B2
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Description

本発明は、ガラス基材を含有しない電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の製造方法とそれを用いた電子部品である多層回路基板、部品内蔵回路基板、IC封止パッケージ、および放熱用インシュレーターに関するものである。   The present invention relates to a method for producing a sheet-like epoxy resin composition material for encapsulating electronic components that does not contain a glass substrate, and a multilayer circuit board, a component-embedded circuit board, an IC encapsulating package, and a heat dissipation that are electronic components using the same. It is related to the insulator.

近年、電子機器の小型化、高機能化の要求に伴い、多層回路基板においては配線距離の短縮化、小型化を目的として、ビルドアップ工法等による製造が盛んに行われている。   In recent years, with the demand for downsizing and high functionality of electronic devices, multilayer circuit boards are actively manufactured by a build-up method or the like for the purpose of shortening the wiring distance and downsizing.

さらに、近年では能動部品間や受動部品間の配線距離を短くすることで小型化やノイズ低減を図るとともに部品間の配置の設計の自由度を増すことを目的として部品内蔵回路基板の開発が注目されてきている。(例えば、特許文献1参照)。   Furthermore, in recent years, the development of circuit boards with built-in components has attracted attention for the purpose of miniaturization and noise reduction by increasing the wiring distance between active components and passive components and increasing the degree of freedom in designing the layout between components. Has been. (For example, refer to Patent Document 1).

これらの多層回路基板や部品内蔵回路基板の基板用の成形材料は、実装信頼性の面においては高いガラス転移温度(Tg)および低い線膨張係数を有することが望ましい。また、IC等の電子部品との応力緩和性を考慮すると、さらに弾性率が低く、かつ異方性のない等方性の物性であることが望ましい。   The molding materials for these multilayer circuit boards and component-embedded circuit boards desirably have a high glass transition temperature (Tg) and a low linear expansion coefficient in terms of mounting reliability. Further, in view of stress relaxation with an electronic component such as an IC, it is desirable that the elastic property is an isotropic physical property having a lower elastic modulus and no anisotropy.

従来、多層回路基板や部品内蔵回路基板においては、ガラス基材にエポキシ樹脂を含浸させた材料であるプリプレグを基板用の成形材料として用いている。このプリプレグは、成形後は薄くても割れない十分な機械的な強度を有し、かつXY方向の線膨張係数を下げてICや電子部品の実装信頼性を確保することができる。   Conventionally, in multilayer circuit boards and component-embedded circuit boards, a prepreg, which is a material in which a glass base material is impregnated with an epoxy resin, is used as a molding material for the board. This prepreg has sufficient mechanical strength that does not break even if it is thin after molding, and can reduce the linear expansion coefficient in the XY directions to ensure the mounting reliability of ICs and electronic components.

しかしながら、このようなプリプレグを部品内蔵回路基板の基板用の成形材料として用いる場合、次のような問題点があった。すなわち、プリプレグを部品内蔵回路基板の基板用の成形材料として用いるためには予め内蔵部品の箇所を打ち抜いておく必要があるが、ガラス基材と樹脂という硬い部分と柔らかい部分を同時に打ち抜く必要性があることから作業が困難になる。また、内蔵された部品周辺にはガラス基材の割合が少ないことから基板全体としての線膨張率等の物性にムラが生じ、高い信頼性を有する基板を得ることが難しい。   However, when such a prepreg is used as a molding material for a substrate of a component built-in circuit board, there are the following problems. That is, in order to use the prepreg as a molding material for a circuit board with a built-in component, it is necessary to punch out the parts of the built-in component in advance, but it is necessary to punch out the hard part and the soft part of the glass base material and the resin at the same time. This makes it difficult to work. In addition, since the ratio of the glass base material is small around the built-in components, the physical properties such as the linear expansion coefficient as a whole of the substrate are uneven, and it is difficult to obtain a highly reliable substrate.

この問題点に対処する技術として、ガラス基材を用いずに線膨張係数の低い無機充填剤(無機フィラー)を用いて複合化した電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料をプリプレグの代わりに基板用の成形材料として用いることが知られている(例えば、特許文献1参照)。この技術によれば、低い線膨張係数の材料が得られるとともに、シートを
打ち抜きせずに部品を封止して容易に部品内蔵回路基板を得ることが可能となる。
As a technology to cope with this problem, a sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing, which is compounded using an inorganic filler (inorganic filler) having a low linear expansion coefficient without using a glass substrate, is used instead of a prepreg. It is known to be used as a molding material for a substrate (for example, see Patent Document 1). According to this technique, a material having a low coefficient of linear expansion can be obtained, and a component-embedded circuit board can be easily obtained by sealing a component without punching a sheet.

また、仮に打ち抜きをするとしても従来のプリプレグのような材料とは異なり、打ち抜き易い材料となることから、部品内蔵回路基板には理想的な材料である。   Even if punching is performed, it is an ideal material for a circuit board with a built-in component because it is easy to punch unlike a material such as a conventional prepreg.

特許3375555号公報Japanese Patent No. 3375555

しかしながら、この電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料は、次のような点
が要求される。まず、部品の内蔵を行うために少なくとも半硬化後のシート状エポキシ樹脂組成物材料の厚みが150〜500μm、さらには300〜500μmであることが望ましい。
However, this sheet-shaped epoxy resin composition material for encapsulating electronic components is required to have the following points. First, in order to incorporate the components, it is desirable that the thickness of at least the semi-cured sheet-like epoxy resin composition material is 150 to 500 μm, more preferably 300 to 500 μm.

また、電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の成形時において、ボイドを発生させずに短時間のタクトで真空成形(クイック成形)するためにシート内の揮発分(加熱減量成分)が少ないことが望ましい。   In addition, when forming a sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing, the volatile matter (heat loss component) in the sheet is reduced in order to perform vacuum forming (quick molding) in a short time without generating voids. Less is desirable.

また、シート表面と深部(キャリア材側)との乾燥の度合いの差が小さく残存する揮発分(加熱減量)も差が小さいことが望ましい。   In addition, it is desirable that the difference in the degree of drying between the sheet surface and the deep part (on the carrier material side) is small and the remaining volatile content (heat loss) is also small.

また、上述の厚みを確保しながら短時間で生産効率よくシートを生産できることが望ましい。   In addition, it is desirable that the sheet can be produced efficiently in a short time while ensuring the above-described thickness.

ところが、従来の技術においては上述の性質を全て満足することは技術的に容易ではなかった。   However, it has not been technically easy in the prior art to satisfy all of the above properties.

さらに、電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を部品内蔵回路基板の基板用の成形材料に用いる場合、無機充填剤としてシリカでは体積として55vol%以上(質量として70質量%以上)が必要である。しかしながら、従来の積層板用の樹脂にこのレベルまで無機充填剤を配合して半硬化状態(Bステージ状態)にまで乾燥させた場合において、均一な乾燥状態で厚いシートを得ることは容易ではなかった。   Furthermore, when the sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing is used as a molding material for a circuit board having a built-in component, silica as an inorganic filler requires a volume of 55 vol% or more (mass of 70 mass% or more). It is. However, when a conventional laminate resin is blended with an inorganic filler to this level and dried to a semi-cured state (B stage state), it is not easy to obtain a thick sheet in a uniform dry state. It was.

本発明は、以上の通りの事情に鑑みてなされたものであり、揮発分の少ない均一な乾燥状態の厚い電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を短時間で作製することが可能な電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の製造方法とそれにより得られる電子部品を提供することを課題としている。   The present invention has been made in view of the circumstances as described above, and it is possible to produce a sheet-like epoxy resin composition material for encapsulating thick electronic components in a uniform dry state with a small amount of volatile matter in a short time. It aims at providing the manufacturing method of the sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing, and the electronic component obtained by it.

本発明の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の製造方法は、エポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤、および無機充填剤を必須成分とし固形分濃度5〜95質量%で溶剤に希釈したエポキシ樹脂組成物をキャリア材に塗布、乾燥して得た半硬化状態のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料を少なくとも2枚用意する工程と、これらのキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料のうち2枚をシート状エポキシ樹脂組成物材料同士が接するように重ね合わせ、必要に応じてこの重ね合わせを複数回行うことにより、最終的にシート状エポキシ樹脂組成物材料を2枚のキャリア材の内側に全て重ね合わせてシート状エポキシ樹脂組成物材料の合計厚みが150〜500μmとなるように厚膜化させる工程とを含むことを特徴とする。   The method for producing a sheet-like epoxy resin composition material for encapsulating electronic components according to the present invention comprises an epoxy resin, a curing agent, a curing accelerator, and an inorganic filler as essential components, and diluted in a solvent at a solid content concentration of 5 to 95% by mass. A step of preparing at least two semi-cured sheet-like epoxy resin composition materials with a carrier material obtained by applying the dried epoxy resin composition to a carrier material and drying, and these sheet-like epoxy resin compositions with a carrier material Two sheets of the material are overlapped so that the sheet-like epoxy resin composition materials are in contact with each other, and this overlap is performed a plurality of times as necessary, so that the sheet-like epoxy resin composition material is finally transferred to two carriers. And a step of increasing the thickness so that the total thickness of the sheet-like epoxy resin composition material is 150 to 500 μm by superimposing them all inside the material. To.

この電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の製造方法において、エポキシ樹脂組成物を乾燥後の厚みが75〜250μmとなるようにキャリア材に塗布、乾燥して得た半硬化状態のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料を2枚用意し、これらのキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料をシート状エポキシ樹脂組成物材料同士が接するように重ね合わせてシート状エポキシ樹脂組成物材料の合計厚みが150〜500μmとなるように厚膜化させることが好ましい。   In the method for producing a sheet-like epoxy resin composition material for encapsulating electronic components, a semi-cured carrier obtained by applying the epoxy resin composition to a carrier material and drying it so that the thickness after drying is 75 to 250 μm Two sheet-like epoxy resin composition materials with a material are prepared, and these sheet-like epoxy resin composition materials with a carrier material are overlapped so that the sheet-like epoxy resin composition materials are in contact with each other. It is preferable to increase the film thickness so that the total thickness of the film becomes 150 to 500 μm.

この電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の製造方法において、2枚のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料として、シート状エポキシ樹脂組成物材料の成形温度での流動性が互いに異なるものを用いることが好ましい。   In this method for producing a sheet-like epoxy resin composition material for encapsulating electronic components, the two sheet-like epoxy resin composition materials with a carrier material are different in fluidity at the molding temperature of the sheet-like epoxy resin composition material. It is preferable to use one.

この電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の製造方法において、2枚のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料のうち一方のもののシート状エポキシ樹脂組成物材料に、重量平均分子量20000〜1000000のニトリルブタジエンゴムまたはブタジエンゴムを0.1〜2質量%配合することが好ましい。   In this method for producing an electronic component sealing sheet-like epoxy resin composition material, one of the two sheet-like epoxy resin composition materials with a carrier material has a weight-average molecular weight of 20000 to one sheet-like epoxy resin composition material. It is preferable to blend 0.1 to 2% by mass of 1000000 nitrile butadiene rubber or butadiene rubber.

この電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の製造方法において、シート状エポキシ樹脂組成物材料の各々は、無機充填剤として、シリカ、酸化アルミニウム、チタン酸バリウム、およびフェライトから選ばれる少なくとも1種をエポキシ樹脂組成物の全量に対して50〜95質量%配合することが好ましい。   In this method for producing a sheet-like epoxy resin composition material for sealing electronic parts, each of the sheet-like epoxy resin composition materials is at least one selected from silica, aluminum oxide, barium titanate, and ferrite as an inorganic filler. It is preferable to blend 50 to 95% by mass of the seed with respect to the total amount of the epoxy resin composition.

本発明の多層回路基板は、前記の方法により得られた電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を用いて成形されたものであることを特徴とする。   The multilayer circuit board of the present invention is formed by using the sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing obtained by the above method.

本発明の部品内蔵回路基板は、前記の方法により得られた電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を用いて成形されたものであることを特徴とする。   The component-embedded circuit board of the present invention is formed using the sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing obtained by the above method.

本発明のIC封止パッケージは、前記の方法により得られた電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を用いて成形されたものであることを特徴とする。   The IC sealed package of the present invention is characterized in that it is molded using the sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing obtained by the above method.

本発明の放熱用インシュレーターは、前記の方法により得られた電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を用いて成形されたものであることを特徴とする。   The heat dissipating insulator of the present invention is characterized by being molded using the sheet-shaped epoxy resin composition material for electronic component sealing obtained by the above method.

本発明によれば、揮発分の少ない均一な乾燥状態の厚い電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を短時間で作製することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the sheet-like epoxy resin composition material for thick electronic component sealing of a uniform dry state with little volatile matter can be produced in a short time.

本発明の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の製造方法の一例を示した図である。It is the figure which showed an example of the manufacturing method of the sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing of this invention.

以下に、本発明を詳細に説明する。   The present invention is described in detail below.

本発明においてエポキシ樹脂組成物に配合されるエポキシ樹脂としては、特に限定されるものではないが、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、アルキルフェノールノボラック型エポキシ樹脂、アラルキル型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、フェノール類とフェノール性水酸基を有する芳香族アルデヒドとの縮合物のエポキシ化物、トリグリシジルイソシアヌレート、脂環式エポキシ樹脂等を用いることができる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   Although it does not specifically limit as an epoxy resin mix | blended with an epoxy resin composition in this invention, For example, a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, a bisphenol S type epoxy resin, a phenol novolak type epoxy resin , Alkylphenol novolac type epoxy resin, aralkyl type epoxy resin, biphenol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, epoxidized product of condensate of phenol and aromatic aldehyde having phenolic hydroxyl group, triglycidyl Isocyanurate, alicyclic epoxy resin, and the like can be used. These may be used alone or in combination of two or more.

中でも、液状エポキシ樹脂、特に、軟化温度が好ましくは80℃以下、より好ましくは60℃以下のエポキシ樹脂を好適に用いることができる。このようなエポキシ樹脂は、無機充填剤の高充填化に適している。   Among them, a liquid epoxy resin, in particular, an epoxy resin having a softening temperature of preferably 80 ° C. or lower, more preferably 60 ° C. or lower can be suitably used. Such an epoxy resin is suitable for increasing the filling of the inorganic filler.

また、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂を用いると、優れた信頼性を得ることができるとともに、耐落下衝撃性を高めることができる。   Moreover, when biphenyl aralkyl type epoxy resin is used, excellent reliability can be obtained and drop impact resistance can be enhanced.

本発明においてエポキシ樹脂組成物に配合される硬化剤としては、例えば、フェノール
系硬化剤、ジシアンジアミド、アミン系硬化剤、酸無水物系硬化剤、チオール系硬化剤等を用いることができる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
As a hardening | curing agent mix | blended with an epoxy resin composition in this invention, a phenol type hardening | curing agent, a dicyandiamide, an amine type hardening | curing agent, an acid anhydride type hardening | curing agent, a thiol type hardening | curing agent etc. can be used, for example. These may be used alone or in combination of two or more.

フェノール系硬化剤としては、例えば、ノボラック型、アラルキル型、テルペン型等のフェノール系硬化剤等を用いることができる。   As a phenol type hardening | curing agent, phenol type hardening | curing agents, such as a novolak type, an aralkyl type, a terpene type, etc. can be used, for example.

中でも、無機充填剤の高充填化等を考慮すると、フェノール系硬化剤としてフェノールノボラック樹脂を用いることが好ましく、その軟化温度が80℃以下のものがより好ましい。   Among them, in view of increasing the filling of the inorganic filler and the like, it is preferable to use a phenol novolac resin as the phenolic curing agent, and it is more preferable that the softening temperature is 80 ° C. or less.

また、フェノール系硬化剤として、アラルキル型フェノール樹脂、特に、フェノールフェニルアラルキル樹脂またはフェノールビフェニルアラルキル樹脂を用いる場合には、耐衝撃性を著しく向上させることができる。また、低吸湿率を併せ持ち、信頼性の高い成形品(硬化物)を得ることができる。   Further, when an aralkyl type phenol resin, particularly, a phenol phenyl aralkyl resin or a phenol biphenyl aralkyl resin is used as the phenolic curing agent, impact resistance can be remarkably improved. In addition, a highly reliable molded product (cured product) having a low moisture absorption rate can be obtained.

本発明においてエポキシ樹脂組成物に配合される硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、有機りん系硬化促進剤、オニウム塩系硬化促進剤、金属キレート系硬化促進剤、マイクロカプセル化した硬化促進剤等を用いることができる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   Examples of the curing accelerator blended in the epoxy resin composition in the present invention include, for example, an imidazole curing accelerator, an amine curing accelerator, an organophosphorus curing accelerator, an onium salt curing accelerator, and a metal chelate curing accelerator. An agent, a microencapsulated curing accelerator, and the like can be used. These may be used alone or in combination of two or more.

中でも、イミダゾール系硬化促進剤は高いガラス転移温度と潜在性を付与する際に有効である。イミダゾール系硬化促進剤としては、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾールが好ましい。   Of these, imidazole-based curing accelerators are effective in imparting a high glass transition temperature and latency. As the imidazole curing accelerator, 2-ethyl-4-methylimidazole and 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole are preferable.

本発明においてエポキシ樹脂組成物に配合される無機充填剤としては、特に限定されるものではないが、例えば、溶融シリカ、結晶シリカ等のシリカ(SiO2)、酸化アルミ
ニウム(Al23)、酸化マグネシウム(MgO)、窒化ホウ素(BN)、窒化アルミニ
ウム(AlN)、酸化亜.鉛(ZnO)等を用いることができる。これらは1種単独で用
いてもよく、2種以上を併用してもよい。
The inorganic filler blended in the epoxy resin composition in the present invention is not particularly limited. For example, silica (SiO 2 ) such as fused silica and crystalline silica, aluminum oxide (Al 2 O 3 ), Magnesium oxide (MgO), boron nitride (BN), aluminum nitride (AlN), zinc oxide (ZnO), or the like can be used. These may be used alone or in combination of two or more.

また、チタン酸バリウムや酸化チタン等の高誘電率フィラー、フェライト(ソフトフェライトやハードフェライト)等の磁性フィラー、あるいは水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、三酸化アンチモン、五酸化アンチモン、グアニジン塩、ホウ酸亜鉛、モリブデン化合物、スズ酸亜鉛等の無機系難燃剤、その他、タルク、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、雲母粉等を無機充填剤として用いることもできる。これらの無機充填剤は、熱伝導性、比誘電率、難燃性、粒度分布、または色調の自由度が高く、所望の機能を選択的に発揮させる場合に適宜に配合および粒度設計を行って高充填化も容易に行うことができる。   Also, high dielectric constant fillers such as barium titanate and titanium oxide, magnetic fillers such as ferrite (soft ferrite and hard ferrite), magnesium hydroxide, aluminum hydroxide, antimony trioxide, antimony pentoxide, guanidine salt, boric acid Inorganic flame retardants such as zinc, molybdenum compounds and zinc stannate, talc, barium sulfate, calcium carbonate, mica powder and the like can also be used as inorganic fillers. These inorganic fillers have a high degree of freedom in thermal conductivity, relative permittivity, flame retardancy, particle size distribution, or color tone, and are appropriately formulated and designed for particle size design when desired functions are selectively exhibited. High filling can be easily performed.

また、無機充填剤としては、最大粒径が20μm以下、好ましくは10μm以下のものを用いると、レーザー加工やドリル加工により貫通孔を精度良く正確に形成することができるとともに、ドリルの磨耗を防止することができる。   In addition, when an inorganic filler having a maximum particle size of 20 μm or less, preferably 10 μm or less, through holes can be accurately and accurately formed by laser processing or drilling, and drill wear is prevented. can do.

本発明において、無機充填剤としては、シリカ、酸化アルミニウム、チタン酸バリウム、およびフェライトから選ばれる少なくとも1種を用いるのが好ましい。シリカを用いる場合には、低線膨張化、低吸湿化、低誘電率化、低誘電正接化、高強度・高弾性率化を図ることができるとともに、耐熱性、表面平滑性を高く得ることができる。また、酸化アルミニウムを用いる場合には、シリカと同様の効果を得ることができる他、放熱性を高く得ることができる。また、チタン酸バリウムを用いる場合には、高誘電率化を図ることができ、コンデンサを内蔵した基板を製造することができる。すなわちコンデンサ層を基板内に付与することができる。フェライトを用いる場合には、高い電磁シールド特性を確保す
ることができる。
In the present invention, as the inorganic filler, it is preferable to use at least one selected from silica, aluminum oxide, barium titanate, and ferrite. When silica is used, low linear expansion, low moisture absorption, low dielectric constant, low dielectric loss tangent, high strength and high elastic modulus can be achieved, and high heat resistance and surface smoothness can be obtained. Can do. Moreover, when using aluminum oxide, the effect similar to a silica can be acquired, and heat dissipation can be acquired highly. In addition, when barium titanate is used, the dielectric constant can be increased and a substrate with a built-in capacitor can be manufactured. That is, a capacitor layer can be provided in the substrate. When ferrite is used, high electromagnetic shielding characteristics can be ensured.

無機充填剤の配合量は、エポキシ樹脂組成物の全量(溶剤を除く)に対して、好ましくは50〜95質量%以上、より好ましくは70〜95質量%である。無機充填剤の配合量をこの範囲内にすることで、電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の線膨張係数が小さくなり、導通信頼性や実装信頼性が向上する。例えば、このように無機充填剤を高配合することで、シリカでは高い絶縁信頼性や耐熱信頼性を確保することができる。また、酸化アルミニウムでは高い放熱性を確保することができ、チタン酸バリウムでは高い誘電特性を確保することができ、フェライトでは高い電磁シールド特性を確保することができる。   The compounding amount of the inorganic filler is preferably 50 to 95% by mass or more, more preferably 70 to 95% by mass with respect to the total amount of the epoxy resin composition (excluding the solvent). By making the compounding quantity of an inorganic filler into this range, the linear expansion coefficient of the sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing becomes small, and conduction | electrical_connection reliability and mounting reliability improve. For example, high insulation reliability and heat resistance reliability can be ensured with silica by highly blending the inorganic filler in this way. Moreover, high heat dissipation can be ensured with aluminum oxide, high dielectric properties can be ensured with barium titanate, and high electromagnetic shielding properties can be ensured with ferrite.

本発明において、エポキシ樹脂組成物には、無機充填剤の分散性を向上させるために、分散剤を配合することが好ましい。分散剤としては、例えば、エポキシシラン系、メルカプトシラン系、アミノシラン系、ビニルシラン系、スチリルシラン系、メタクリロキシシラン系、アクリロキシシラン系、チタネート系等のカップリング剤や、アルキルエーテル系、ソルビタンエステル系、アルキルポリエーテルアミン系、高分子系等の分散剤等を用いることができる。   In the present invention, it is preferable to add a dispersant to the epoxy resin composition in order to improve the dispersibility of the inorganic filler. Examples of the dispersant include coupling agents such as epoxy silane, mercapto silane, amino silane, vinyl silane, styryl silane, methacryloxy silane, acryloxy silane, titanate, alkyl ethers, and sorbitan esters. Dispersing agents such as those based on alkyl, polyether ether amines, and polymers can be used.

そして、上述したエポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤、無機充填剤、および必要に応じて無機充填剤の表面処理剤、レベリング剤、分散剤等を配合してエポキシ樹脂組成物を調製することができる。   Then, the epoxy resin composition can be prepared by blending the above-described epoxy resin, curing agent, curing accelerator, inorganic filler, and surface treatment agent, leveling agent, dispersant, etc. of the inorganic filler as necessary. it can.

そしてこのエポキシ樹脂組成物をメチルエチルケトン(MEK)やN,N−ジメチルホルムアミド(DMF)等の溶剤に溶解・分散させて希釈することによりスラリー状ワニスを調製することができる。このとき、本発明では固形分濃度(エポキシ樹脂組成物の濃度)が5〜95質量%となるように溶剤で希釈してスラリー状ワニスを調製する。   A slurry varnish can be prepared by dissolving and diluting the epoxy resin composition in a solvent such as methyl ethyl ketone (MEK) or N, N-dimethylformamide (DMF). At this time, in this invention, it dilutes with a solvent so that solid content concentration (concentration of an epoxy resin composition) may be 5-95 mass%, and a slurry-like varnish is prepared.

次に、この溶剤でエポキシ樹脂組成物を希釈して得られたスラリー状ワニスを、離型処理を施したキャリア材の片面に塗布した後、これを熱風吹き付け等により加熱することにより、半硬化状態になるまで乾燥させる。これによりキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料を得ることができる。   Next, the slurry-like varnish obtained by diluting the epoxy resin composition with this solvent is applied to one side of the carrier material that has been subjected to the mold release treatment, and then heated by hot air spraying or the like to be semi-cured Allow to dry. Thereby, a sheet-like epoxy resin composition material with a carrier material can be obtained.

ここで、キャリア材(ベースフィルム)としては、例えば、片面または両面に離型処理を施した高分子フィルムや金属フィルム等を用いることができる。高分子フィルムとしては、例えば、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のポリエステル、ポリカーボネート、アセチルセルロース、テトラフルオロエチレン、ポリフェニレンサルファイド等のフィルムを用いることができる。また、金属フィルムとしては、例えば、銅箔、アルミニウム箔、ニッケル箔等の金属箔等を用いることができる。   Here, as a carrier material (base film), for example, a polymer film, a metal film, or the like that has been subjected to a release treatment on one or both sides can be used. Examples of the polymer film that can be used include polyolefins such as polypropylene and polyvinyl chloride, polyesters such as polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate, acetyl cellulose, tetrafluoroethylene, and polyphenylene sulfide. Moreover, as a metal film, metal foils, such as copper foil, aluminum foil, nickel foil, etc. can be used, for example.

キャリア材としては、価格、耐熱性の面で、ポリエステル、特にポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムを用いるのが好ましい。   As the carrier material, it is preferable to use a polyester, particularly a polyethylene terephthalate (PET) film, in terms of cost and heat resistance.

キャリア材の厚みは、通常は10〜200μmである。   The thickness of the carrier material is usually 10 to 200 μm.

また、離型処理は、例えば、オルガノポリシロキサン、変性オルガノポリシロキサン、フッ素系ポリマー等をキャリア材の表面にコートすることにより施すことができる。   The mold release treatment can be performed, for example, by coating the surface of the carrier material with organopolysiloxane, modified organopolysiloxane, fluorine-based polymer or the like.

キャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料のシート状エポキシ樹脂組成物材料は、離型処理を施したキャリア材の表面上において半硬化状態である。半硬化状態とは、い
わゆるBステージ状態のことであり、エポキシ樹脂組成物を加熱することにより、エポキシ樹脂組成物の反応を一部行わせた状態である。従って、シート状エポキシ樹脂組成物材料は、従来のプリプレグと同様に、積層成形の加熱加圧により一旦溶融した後に硬化する性質を備えている。
The sheet-like epoxy resin composition material of the sheet-like epoxy resin composition material with a carrier material is in a semi-cured state on the surface of the carrier material subjected to the release treatment. The semi-cured state is a so-called B-stage state, which is a state in which the epoxy resin composition is partially reacted by heating the epoxy resin composition. Accordingly, the sheet-like epoxy resin composition material has the property of being once melted by the heat and pressure of lamination molding and then cured, as in the case of the conventional prepreg.

また、シート状エポキシ樹脂組成物材料全量に対して、乾燥後に残存する溶剤の量を0.5質量%未満とするのが好ましい。溶剤の量が多くなると成形時にボイドが発生し易くなる。   Moreover, it is preferable that the amount of the solvent remaining after drying is less than 0.5% by mass with respect to the total amount of the sheet-like epoxy resin composition material. When the amount of the solvent increases, voids are likely to occur during molding.

以上のようにして、溶剤に希釈したエポキシ樹脂組成物をキャリア材に塗布、乾燥して得た半硬化状態のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料を少なくとも2枚用意する。   As described above, at least two sheet-shaped epoxy resin composition materials with a carrier material in a semi-cured state obtained by applying an epoxy resin composition diluted in a solvent to a carrier material and drying are prepared.

次の工程として、これらのキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料のうち2枚をシート状エポキシ樹脂組成物材料同士が接するように重ね合わせ、必要に応じてこの重ね合わせを複数回行う。そして最終的にシート状エポキシ樹脂組成物材料を2枚のキャリア材の内側に全て重ね合わせてシート状エポキシ樹脂組成物材料の合計厚みが150〜500μmとなるように厚膜化させる。これにより、揮発分の少ない均一な乾燥状態の厚い電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を短時間で作製することが可能となる。   As the next step, two of the sheet-like epoxy resin composition materials with a carrier material are superposed so that the sheet-like epoxy resin composition materials are in contact with each other, and this superposition is performed a plurality of times as necessary. Finally, all the sheet-like epoxy resin composition materials are overlapped on the inside of the two carrier materials to increase the thickness so that the total thickness of the sheet-like epoxy resin composition materials becomes 150 to 500 μm. Thereby, it becomes possible to produce a sheet-shaped epoxy resin composition material for encapsulating thick electronic components with a small volatile content in a uniform dry state in a short time.

キャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料の厚みは、エポキシ樹脂組成物の乾燥後の厚みで75〜250μmとすることが好ましい。この厚みが小さ過ぎると、最終的な厚みの150〜500μmにするために重ね合わせ枚数が大量に必要になることから工程的に複雑となり、また補材の消耗も多くなる場合がある。一方、この厚みが大き過ぎると、均一に乾燥させることが困難となり、生産性の面で不十分となる場合がある。   The thickness of the sheet-like epoxy resin composition material with a carrier material is preferably 75 to 250 μm as the thickness after drying of the epoxy resin composition. If this thickness is too small, a large number of overlapping sheets are required to obtain a final thickness of 150 to 500 μm, which complicates the process, and the consumption of auxiliary materials may increase. On the other hand, if this thickness is too large, it may be difficult to dry uniformly, which may be insufficient in terms of productivity.

好ましい態様では、エポキシ樹脂組成物を乾燥後の厚みが75〜250μmとなるようにキャリア材に塗布、乾燥して得た半硬化状態のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料を2枚用意する。そしてこれらのキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料をシート状エポキシ樹脂組成物材料同士が接するように重ね合わせてシート状エポキシ樹脂組成物材料の合計厚みが150〜500μmとなるように厚膜化させる。これにより、揮発分の少ない均一な乾燥状態の厚い電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料をより効率よく作製することが可能となる。   In a preferred embodiment, two sheets of a semi-cured sheet-like epoxy resin composition material with a carrier material obtained by applying and drying the epoxy resin composition on a carrier material so that the thickness after drying becomes 75 to 250 μm are prepared. . Then, these sheet-like epoxy resin composition materials with a carrier material are stacked so that the sheet-like epoxy resin composition materials are in contact with each other, and the sheet-like epoxy resin composition material is thickened so that the total thickness of the sheet-like epoxy resin composition materials is 150 to 500 μm. Let This makes it possible to more efficiently produce a thick electronic component sealing sheet-like epoxy resin composition material having a small volatile content and a uniform dry state.

この場合、2枚のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料として、シート状エポキシ樹脂組成物材料の成形温度での流動性が互いに異なるものを用いると、絶縁性の確保と電子部品を内蔵する層の確保とを適切に両立させることができる。例えば、2枚のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料のうち一方のもののシート状エポキシ樹脂組成物材料に、重量平均分子量20000〜1000000のニトリルブタジエンゴムまたはブタジエンゴムを0.1〜2質量%配合することが好ましい。このようにすることで、2枚のシート状エポキシ樹脂組成物材料の組成をほとんど変えずに流動性の高い層と低い層とを重ね合わせることが可能となる。   In this case, as the two sheet-like epoxy resin composition materials with a carrier material, those having different flow properties at the molding temperature of the sheet-like epoxy resin composition material are used, ensuring insulation and incorporating electronic components. It is possible to appropriately balance the securing of the layer. For example, 0.1 to 2% by mass of nitrile butadiene rubber or butadiene rubber having a weight average molecular weight of 20,000 to 1,000,000 is added to one of the two sheet-like epoxy resin composition materials with a carrier material. It is preferable to mix. By doing in this way, it becomes possible to superimpose a high fluidity layer and a low fluidity layer almost without changing the composition of two sheet-like epoxy resin composition materials.

本発明において、キャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料同士の重ね合わせは、ロールラミネーターを用いて行うことができる。ロールラミネーターの圧力条件は、特に限定されるものではないが、例えば、常圧で行うことができる。   In the present invention, the sheet-like epoxy resin composition material with a carrier material can be superposed using a roll laminator. Although the pressure conditions of a roll laminator are not specifically limited, For example, it can carry out at a normal pressure.

また、ロールラミネーターによる重ね合わせの他に、切断したキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料同士を重ね合わせてもよい。   Moreover, you may superimpose the sheet-like epoxy resin composition material with a cut | disconnected carrier material other than the superimposition by a roll laminator.

キャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料のロールラミネーターによる重ね合わせは、例えば、一方のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料のエポキシ樹脂組成物の塗布、乾燥直後のインラインで、予め用意した他方のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料を供給して連続的に行うことができる。   Superposition of a sheet-like epoxy resin composition material with a carrier material by a roll laminator is, for example, in-line immediately after application of the epoxy resin composition of one sheet-like epoxy resin composition material with a carrier material and the other prepared in advance. It can carry out continuously by supplying the sheet-like epoxy resin composition material with a carrier material.

あるいは、エポキシ樹脂組成物の塗布、乾燥後に一旦、それぞれのキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料を別途のロールに別工程として巻回しておき、その後、これら2本のロールから巻き出してさらに別工程として重ね合わせてもよい。   Alternatively, after the application and drying of the epoxy resin composition, each sheet-like epoxy resin composition material with a carrier material is wound around a separate roll as a separate process, and then unwound from these two rolls. You may superimpose as a separate process.

予めロールに巻回したキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料には、キャリア材とは反対の面にカバーフィルムを被せておくことが好ましい。そして重ね合わせの直前でカバーフィルムを剥離することにより、異物の混入を防ぐことができる。カバーフィルムは、予め離型処理が施されているフィルムやポリオレフィン系の易剥離性のフィルムを好ましく用いることができる。これらを用いることで、シート状エポキシ樹脂組成物材料を加熱することなくキャリア材から容易に剥離することができる。その結果、重ねる枚数を調整することにより、厚みを調整することが容易となる。   The sheet-like epoxy resin composition material with a carrier material wound in advance on a roll is preferably covered with a cover film on the surface opposite to the carrier material. Then, by removing the cover film immediately before the overlapping, it is possible to prevent foreign matters from being mixed. As the cover film, a film that has been subjected to a release treatment in advance or a polyolefin-based easily peelable film can be preferably used. By using these, the sheet-like epoxy resin composition material can be easily peeled off from the carrier material without heating. As a result, it is easy to adjust the thickness by adjusting the number of stacked sheets.

また、3枚以上のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料同士を重ね合わせる際には、その重ね合わせ順は任意であり、予め重ね合わせたもの同士をさらに重ね合わせてもよい。   In addition, when the three or more sheet-like epoxy resin composition materials with a carrier material are superposed, the superposition order is arbitrary, and the superposed ones may be further superposed.

図1は、本発明の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の製造方法の一例を示した図である。この例では、一方のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料1aは、シート状エポキシ樹脂組成物材料10a、キャリア材11a、およびカバーフィルム12aから構成され、予め不図示のロールに別工程として巻回しておいたものを用いている。   FIG. 1 is a diagram showing an example of a method for producing a sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing according to the present invention. In this example, one sheet-like epoxy resin composition material 1a with a carrier material is composed of a sheet-like epoxy resin composition material 10a, a carrier material 11a, and a cover film 12a, and is previously wound around a roll (not shown) as a separate process. The one that has been turned is used.

他方のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料1bは、キャリア材11b、およびエポキシ樹脂組成物を塗布、乾燥した直後のシート状エポキシ樹脂組成物材料10bから構成されている。   The other sheet-like epoxy resin composition material 1b with a carrier material is composed of a carrier material 11b and a sheet-like epoxy resin composition material 10b immediately after the epoxy resin composition is applied and dried.

そしてロール23、24を備えたロールラミネーター30により次のようにしてキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料1aとキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料1bとをラミネートする。エポキシ樹脂組成物の塗布、乾燥直後のインラインで連続的に、キャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料1bをロール22を経由してロールラミネーター30に供給する。一方、ロール20の下流にあるロール21でキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料1aからカバーフィルム12aを剥離した後、キャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料1bをロールラミネーター30に供給する。そしてこれらのキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料1aとキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料1bとをシート状エポキシ樹脂組成物材料10aおよびシート状エポキシ樹脂組成物材料10b同士が接するように重ね合わせてロールラミネーター30のロール23、24によりラミネートする。   And the sheet-like epoxy resin composition material 1a with a carrier material and the sheet-like epoxy resin composition material 1b with a carrier material are laminated by the roll laminator 30 provided with the rolls 23 and 24 as follows. The sheet-like epoxy resin composition material 1b with a carrier material is continuously supplied to the roll laminator 30 via the roll 22 in-line immediately after application and drying of the epoxy resin composition. On the other hand, after peeling the cover film 12a from the sheet-like epoxy resin composition material 1a with a carrier material with the roll 21 downstream of the roll 20, the sheet-like epoxy resin composition material 1b with a carrier material is supplied to the roll laminator 30. The sheet-like epoxy resin composition material 1a with a carrier material and the sheet-like epoxy resin composition material 1b with a carrier material are brought into contact with each other so that the sheet-like epoxy resin composition material 10a and the sheet-like epoxy resin composition material 10b are in contact with each other. Lamination is performed by rolls 23 and 24 of a roll laminator 30.

本発明では、以上のようにして最終的にシート状エポキシ樹脂組成物材料を2枚のキャリア材の内側に全て重ね合わせてシート状エポキシ樹脂組成物材料の合計厚みが150〜500μmとなるように厚膜化させる。この厚みが150μmよりも小さいとICや受動部品を埋め込んだ絶縁層を確保することが困難となる場合がある。一方、この厚みが500μmを超えると成形後の絶縁層が厚くなり価格面でのコスト高や重量面での重さの問題が生じる他、品質面では絶縁層を貫通するビア形成によるペーストの埋め込みが困難となる場合がある。   In the present invention, as described above, the sheet-like epoxy resin composition material is finally overlapped inside the two carrier materials so that the total thickness of the sheet-like epoxy resin composition material becomes 150 to 500 μm. Increase the film thickness. If the thickness is smaller than 150 μm, it may be difficult to secure an insulating layer in which an IC or a passive component is embedded. On the other hand, if this thickness exceeds 500 μm, the insulating layer after molding becomes thick, resulting in high cost and weight problems, and in terms of quality, embedding paste by forming vias that penetrate the insulating layer. May be difficult.

このように本発明では複数枚のシート状エポキシ樹脂組成物材料を重ね合わせて厚膜化を容易に行うことができるので、高さのある受動部品やICの封止に特に有効である。また、最終的に得られる電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料内の揮発分が少なく、例えば加熱減量が160℃、15分間で0.5%以下のものを得ることができる。さらに、揮発分が厚みに対して均一な低揮発分の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を得ることができる。   As described above, in the present invention, a plurality of sheet-like epoxy resin composition materials can be stacked to easily increase the film thickness, and thus is particularly effective for sealing a passive component having a height or an IC. Moreover, the volatile matter in the finally obtained sheet-like epoxy resin composition material for encapsulating electronic parts is small, and for example, a loss of 0.5% or less can be obtained at 160 ° C. for 15 minutes. Furthermore, it is possible to obtain a sheet-like epoxy resin composition material for encapsulating an electronic component having a low volatile content with a uniform volatile content with respect to the thickness.

このようにして製造された電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を基板の成形材料として用い、例えば既に知られている方法を適用して、多層回路基板、部品内蔵基板、IC封止パッケージ、放熱用インシュレーター等を製造することができる。電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を用いた成形品は、電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を含む材料のプレス成形、あるいはロールラミネーター、真空ラミネーター等による成形を行った後、必要に応じて後硬化を行うことで硬化物として得ることができる。このような成形は、例えば、圧力0.1〜10MPa、温度150〜200℃、時間10〜240分の条件で行うことができる。   The thus produced sheet-shaped epoxy resin composition material for encapsulating electronic components is used as a molding material for a substrate. For example, a known method is applied to a multilayer circuit board, a component-embedded substrate, an IC encapsulation. Packages, heat insulators, etc. can be manufactured. The molded product using the sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing was formed by press molding of a material containing the sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing, or by roll laminator, vacuum laminator, or the like. Then, it can obtain as hardened | cured material by performing post-hardening as needed. Such molding can be performed, for example, under conditions of a pressure of 0.1 to 10 MPa, a temperature of 150 to 200 ° C., and a time of 10 to 240 minutes.

以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。
<実施例1>
エポキシ樹脂として、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC(株)製、「850S」)を用いた。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these Examples at all.
<Example 1>
A bisphenol A type epoxy resin (manufactured by DIC Corporation, “850S”) was used as the epoxy resin.

硬化剤として、フェノールノボラック樹脂(明和化成工業(株)製、「DL92」)を用いた。   A phenol novolac resin (Maywa Kasei Kogyo Co., Ltd., “DL92”) was used as a curing agent.

硬化促進剤として、イミダゾール(四国化成工業(株)製、「2E4MZ」)を用いた。     As a curing accelerator, imidazole (manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd., “2E4MZ”) was used.

無機充填剤として、シリカ((株)アドマテックス製、「SO25R」)を用いた。   Silica (manufactured by Admatechs, “SO25R”) was used as the inorganic filler.

エポキシ樹脂を33質量部、硬化剤を33質量部、硬化促進剤を1質量部、無機充填剤を400質量部、その他の成分としてカップリング剤を4質量部配合し、これらをプラネタリーミキサーにて混練しエポキシ樹脂組成物を得た。   33 parts by mass of an epoxy resin, 33 parts by mass of a curing agent, 1 part by mass of a curing accelerator, 400 parts by mass of an inorganic filler, and 4 parts by mass of a coupling agent as other components are blended into a planetary mixer. And kneaded to obtain an epoxy resin composition.

これに溶剤のメチルエチルケトンを70質量部配合して希釈することによりスラリー状ワニスを得た。   The slurry varnish was obtained by mix | blending and diluting 70 mass parts of methyl ethyl ketone of a solvent to this.

次に、このスラリー状ワニスを厚み75μmの東レフィルム加工(株)製フィルムからなるキャリア材に塗布した。なお、キャリア材の表面には予めシリコーンで離型処理が施されているものを用いた。   Next, this slurry-like varnish was applied to a carrier material made of a film made by Toray Film Processing Co., Ltd. having a thickness of 75 μm. In addition, the surface of the carrier material used in advance was subjected to a release treatment with silicone.

その後、スラリー状ワニスを塗布したキャリア材を150℃で10分間加熱乾燥することにより、キャリア材の片面に半硬化状態の厚み150μmのシート状エポキシ樹脂組成物材料を有するキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料を得た。キャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料は2枚作製し、キャリア材とは反対の面にはカバーフィルムを被せた。   Thereafter, the carrier material coated with the slurry-like varnish is heated and dried at 150 ° C. for 10 minutes, whereby a sheet-like epoxy resin with a carrier material having a semi-cured sheet-like epoxy resin composition material on one side of the carrier material is provided. A composition material was obtained. Two sheet-like epoxy resin composition materials with a carrier material were produced, and a cover film was covered on the surface opposite to the carrier material.

これら2枚のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料を、カバーフィルムを剥
離した後、シート状エポキシ樹脂組成物材料同士が接するようにロールラミネーターで常圧で重ね合わせ、シート状エポキシ樹脂組成物材料の合計厚みが300μmとなるように厚膜化させた。このようにして電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を得た。<比較例1>
実施例1において、スラリー状ワニスを塗布したキャリア材を加熱乾燥することにより、キャリア材の片面に半硬化状態の厚み300μmの電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を得た。なお、乾燥温度は実施例1と同一で乾燥時間をそれぞれ15分、20分、25分として行った。
[評価]
実施例1および比較例1の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料について、加熱減量と可とう性の評価を行った。なお、加熱減量は、電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を165℃/15分で乾燥させその前後での重量を測定することにより測定した。
These two sheet-like epoxy resin composition materials with a carrier material are peeled off the cover film, and then overlapped at normal pressure with a roll laminator so that the sheet-like epoxy resin composition materials are in contact with each other. The film was thickened so that the total thickness of the material was 300 μm. Thus, an electronic component sealing sheet-like epoxy resin composition material was obtained. <Comparative Example 1>
In Example 1, the carrier material coated with the slurry varnish was heated and dried to obtain a sheet-like epoxy resin composition material for sealing an electronic component having a thickness of 300 μm in a semi-cured state on one side of the carrier material. The drying temperature was the same as in Example 1, and the drying times were 15 minutes, 20 minutes, and 25 minutes, respectively.
[Evaluation]
About the sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing of Example 1 and Comparative Example 1, heat loss and flexibility were evaluated. The loss on heating was measured by drying the sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing at 165 ° C./15 minutes and measuring the weight before and after the drying.

評価の結果、加熱減量は、実施例1の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料では0.15%であった。これに対して比較例1の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料では乾燥時間15分、20分、25分のそれぞれについて0.35%、0.20%、0.13%であった。   As a result of the evaluation, the heat loss was 0.15% in the sheet-shaped epoxy resin composition material for sealing an electronic component of Example 1. In contrast, the sheet-shaped epoxy resin composition material for sealing an electronic component of Comparative Example 1 had 0.35%, 0.20%, and 0.13% for the drying time of 15 minutes, 20 minutes, and 25 minutes, respectively. It was.

また、可とう性は、実施例1の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料では、ロールでの巻き取りも可能である上にカッターでの切断も粉落ちがなく容易であった。これに対して比較例1の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料では、乾燥時間15分のものは柔軟性があったが乾燥時間20分のものは加熱減量分が多い(0.2%)割には柔軟性に乏しく、ロールでの巻き取りは可能であったが、カッターでの切断の際の粉落ちが激しいものであった。また、乾燥時間25分のものはロールで巻き取りする際にヒビ割れするほど可とう性に問題が生じた。   In addition, the flexibility of the sheet-like epoxy resin composition material for encapsulating an electronic component of Example 1 was easy to wind with a roll and was also easy to cut with a cutter without falling off. On the other hand, in the sheet-like epoxy resin composition material for sealing an electronic component of Comparative Example 1, a material having a drying time of 15 minutes was flexible, but a material having a drying time of 20 minutes had a large amount of heat loss (0. 2%), however, it was poor in flexibility and could be wound up with a roll, but the powder was severely fallen during cutting with a cutter. Moreover, the thing with a drying time of 25 minutes had a problem in flexibility, so that it cracked when winding with a roll.

このように、キャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料をシート状エポキシ樹脂組成物材料同士が接するように重ね合わせて合計厚みが150〜500μmとなるように厚膜化させた実施例1の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料は、加熱減量が非常に小さく可とう性(柔軟性)も有するものであった。そして、このような揮発分の少ない均一な乾燥状態の厚いシートを短時間で作製することができた。   Thus, the electron of Example 1 which made the sheet-like epoxy resin composition material with a carrier material overlap so that sheet-like epoxy resin composition materials may contact | connect, and was thickened so that total thickness might be 150-500 micrometers. The sheet-like epoxy resin composition material for component sealing has a very small loss on heating and also has flexibility (flexibility). And the thick sheet | seat of the uniform dry state with such a small volatile content was able to be produced in a short time.

Claims (9)

エポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤、および無機充填剤を必須成分とし固形分濃度5〜95質量%で溶剤に希釈したエポキシ樹脂組成物をキャリア材に塗布、乾燥して得た半硬化状態のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料を少なくとも2枚用意する工程と、これらの前記キャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料のうち2枚を前記シート状エポキシ樹脂組成物材料同士が接するように重ね合わせ、必要に応じてこの重ね合わせを複数回行うことにより、最終的に前記シート状エポキシ樹脂組成物材料を2枚の前記キャリア材の内側に全て重ね合わせて前記シート状エポキシ樹脂組成物材料の合計厚みが150〜500μmとなるように厚膜化させる工程とを含むことを特徴とする電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の製造方法。   A semi-cured state obtained by applying an epoxy resin, a curing agent, a curing accelerator, and an inorganic filler as essential components to a carrier material and drying the epoxy resin composition diluted in a solvent at a solid content concentration of 5 to 95% by mass. A step of preparing at least two sheet-like epoxy resin composition materials with a carrier material, and two of the sheet-like epoxy resin composition materials with the carrier material so that the sheet-like epoxy resin composition materials are in contact with each other. The sheet-like epoxy resin composition material is finally superposed on the inner side of the two sheets of carrier material by overlapping and performing this overlapping a plurality of times as necessary. A sheet-like epoxy resin composition for encapsulating electronic components, comprising a step of increasing the film thickness to a total thickness of 150 to 500 μm Method of manufacturing the material. 前記エポキシ樹脂組成物を乾燥後の厚みが75〜250μmとなるようにキャリア材に塗布、乾燥して得た半硬化状態のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料を2枚用意し、これらの前記キャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料を前記シート状エポキシ樹脂組成物材料同士が接するように重ね合わせて前記シート状エポキシ樹脂組成物材料の合計厚みが150〜500μmとなるように厚膜化させることを特徴とする請求項1に記載の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の製造方法。   Two sheets of a semi-cured sheet-like epoxy resin composition material with a carrier material obtained by applying and drying the epoxy resin composition on a carrier material so that the thickness after drying becomes 75 to 250 μm are prepared. The sheet-like epoxy resin composition material with carrier material is overlapped so that the sheet-like epoxy resin composition materials are in contact with each other, and the total thickness of the sheet-like epoxy resin composition material is increased to 150 to 500 μm. The manufacturing method of the sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 前記2枚のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料として、前記シート状エポキシ樹脂組成物材料の成形温度での流動性が互いに異なるものを用いることを特徴とする請求項2に記載の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の製造方法。   3. The electronic component according to claim 2, wherein the two sheet-like epoxy resin composition materials with a carrier material are different in fluidity at the molding temperature of the sheet-like epoxy resin composition material. The manufacturing method of the sheet-like epoxy resin composition material for sealing. 前記2枚のキャリア材付きシート状エポキシ樹脂組成物材料のうち一方のものの前記シート状エポキシ樹脂組成物材料に、重量平均分子量20000〜1000000のニトリルブタジエンゴムまたはブタジエンゴムを0.1〜2質量%配合することを特徴とする請求項3に記載の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の製造方法。   0.1 to 2% by mass of nitrile butadiene rubber or butadiene rubber having a weight average molecular weight of 20,000 to 1,000,000 is added to one of the two sheet-like epoxy resin composition materials with a carrier material. The manufacturing method of the sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing of Claim 3 characterized by the above-mentioned. 前記シート状エポキシ樹脂組成物材料の各々は、無機充填剤として、シリカ、酸化アルミニウム、チタン酸バリウム、およびフェライトから選ばれる少なくとも1種を前記エポキシ樹脂組成物の全量に対して50〜95質量%配合することを特徴とする請求項1ないし4いずれか一項に記載の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の製造方法。   Each of the sheet-like epoxy resin composition materials includes, as an inorganic filler, at least one selected from silica, aluminum oxide, barium titanate, and ferrite in an amount of 50 to 95% by mass based on the total amount of the epoxy resin composition. The method for producing a sheet-like epoxy resin composition material for sealing an electronic component according to any one of claims 1 to 4, wherein the composition is blended. 請求項1ないし5いずれか一項に記載の方法により得られた電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を用いて成形されたものであることを特徴とする多層回路基板。   A multilayer circuit board formed by using a sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing obtained by the method according to any one of claims 1 to 5. 請求項1ないし5いずれか一項に記載の方法により得られた電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を用いて成形されたものであることを特徴とする部品内蔵回路基板。   A circuit board with a built-in component, which is molded using the sheet-like epoxy resin composition material for sealing an electronic component obtained by the method according to any one of claims 1 to 5. 請求項1ないし5いずれか一項に記載の方法により得られた電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を用いて成形されたものであることを特徴とするIC封止パッケージ。   An IC sealing package, which is molded using the sheet-like epoxy resin composition material for electronic component sealing obtained by the method according to any one of claims 1 to 5. 請求項1ないし5いずれか一項に記載の方法により得られた電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を用いて成形されたものであることを特徴とする放熱用インシュレーター。   A heat dissipating insulator, which is molded using the sheet-shaped epoxy resin composition material for electronic component sealing obtained by the method according to any one of claims 1 to 5.
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