JP5306741B2 - 並列吸気ポンプ及びそれを用いた真空装置 - Google Patents

Description

本発明は、２つの吸気口からの気体をそれぞれ圧縮して共通の排気口より排気する並列吸気ポンプ及びそれを用いた真空装置に関する。

真空機器、原子力施設等の高気密性が要求される容器のリークを検出する装置が知られている（特許文献１）。この装置は、特許文献１の図２に示すように、メインチャンバ（Ｃ）に吸気口が接続される第１ポンプ（Ｐ１）と、リーク検出器（Ｍ）に吸気口が接続される第２ポンプ（Ｐ２）と、第１，第２ポンプ（Ｐ１，Ｐ２）の排気側（背圧側）に流量調整弁（Ｖ２）を介して補助ポンプ（Ｐ４）を接続している。この装置では、メインチャンバ（Ｃ）に微小孔があると、その周囲に用意したプローブガスがメインチャンバ（Ｃ）に侵入する。メインチャンバ（Ｃ）に接続された第１ポンプ（Ｐ１）と背圧側を共通とする第２ポンプ（Ｐ２）では、その排気方向とは逆にプローブガスを含むガスが移動するカウンターフロー現象が生ずる。この現象を利用して、リーク検出器（Ｍ）にてメインチャンバ（Ｃ）のリークを検出できる。第２ポンプ（Ｐ２）は、第１ポンプ（Ｐ１）よりも圧縮率が低く、さらに、第１，第２ポンプ（Ｐ１，Ｐ２）の背圧側に接続される補助ポンプの排気速度を極端に絞って低コンダクタンスとしている。こうして、プローブガスのＳ／Ｎを向上して高精度でのリーク検出が可能となる。

特許文献２は、特許文献１に示す第２ポンプ（Ｐ２）に相当するターボ分子ポンプ（４）の背圧側に、ターボ分子ポンプ（４）よりもコンダクタンスの小さなねじシール（５）を設け、このねじシール（５）により特許文献１の流量調整弁（Ｖ２）及び補助ポンプ（Ｐ４）の機能を実現している。

また、この種のポンプに用いられるラジアル軸受け及びスラスト軸受けとして、ベアリング等のように機械的接触に頼った軸受け以外に、流体軸受け、気体軸受けまたは磁気軸受等の非接触な軸受けが知られている。

軸とそれに挿通されるスリーブのラジアル方向及び軸受けを流体軸受けにて形成することは、例えば特許文献３に開示されている。気体を用いた動圧軸受けは、特許文献４に開示されている。磁気軸受けとして、スラスト方向の軸受けが特許文献５−７に開示されている。
特開平８−１２２１９４号公報 特開平１１−２１１６０４号公報 特開２００７−１３９１９９号公報 特開２００７−１７０５７８号公報 特開平１１−２３００８６号公報 特公平７−８５６３８号公報 特開２００３−９７５５５号公報

特許文献１に示すリーク検出装置を備えた真空装置は、メインチャンバのリークを高Ｓ／Ｎを確保して検出できる点で優れている。しかし、リーク検出のためだけに、圧縮率の異なる第１，第２ポンプ（Ｐ１，Ｐ２）が必要な上に補助ポンプ（Ｐ４）も必要となり、装置が大型かつ高価となる。

ここで、特許文献１に特許文献２を組み合わせると、特許文献１の第２ポンプ（Ｐ２）、流量調整弁（Ｖ２）及び補助ポンプ（Ｐ４）を、特許文献２に示すように背圧側にねじシール（５）を備えた一つのターボ分子ポンプ（４）にて代用することができる。

しかしこの場合でも、特許文献１の第１ポンプ（Ｐ１）と、特許文献２のねじシール（５）を備えたターボ分子ポンプ（４）とが必要であり、計２台のポンプが必要となる。

これらのポンプに用いられる軸受けについて考察する。特許文献３の技術では、特許文献１の図１に示すように、軸（２８）とスリーブ（２６）との隙間に循環油等の循環流体（６２）を圧送するものであるので、油による汚染は避けられない。

特許文献４の技術では、特許文献４の図１に示すように、ラジアル軸受け（Ｒ）は、軸（６１）に動圧溝（Ｒａ，Ｒｂ）を形成して、軸（６１）と筒部（５０）との間の隙間に空気による動圧を発生させている。このラジアル軸受けは気体による動圧軸受けを利用した非接触軸受けである。しかし、スラスト軸受け（Ｓ）は、筒部（５０）の底部（５２）に半球面状の凸部を設け、軸端部を凸部に点接触させるピボット型軸受けであり、非接触軸受けではない。

特許文献５−７には、スラスト方向に磁気軸受けを採用することで、スラスト方向で非接触にて軸受けしている。特許文献５に示すスラスト軸受け（１１）は、特許文献５の図１に示すように、主軸（４）の一端に主軸（４）よりも大径のターゲットディスク（９）を設け、その両面側に所定の間隔をあけて電磁石（１０ａ，１０ｂ）を配置したものである。この場合、電磁石（１０ａ，１０ｂ）の電気的制御が必要であると共に、大径のターゲットディスク（９）は装置の小型化を阻む。また、特許文献５では、緊急用ベアリング（２１，２２）を配置する必要があるため、完全な非接触軸受けは実現できない。

特許文献６に示すスラスト軸受け（５）は、特許文献６の図１、図３または図４に示すように、軸（１）に磁性体または永久磁石（５１）を設け、それと対向する周囲にコア付きコイルまたはソレノイド等の複数の磁力部（５２，５２ａ，５２ｂ）をリング状またはスパイラル状に設けたものである。そして、複数の磁力部（５２，５２ａ，５２ｂ）を独立して、増磁または減磁させ、あるいは励磁または消磁させることで、軸（４）をスラスト方向に駆動しながら非接触軸受けを実現している。特許文献７に示すスラスト軸受けも特許文献４と同様であり、特許文献７の図１に示すように、回転軸（３）に永久磁石（１ａ）を配置し、それと対向する周囲にヨーク（６）で磁気結合された複数のボイスコイル（５ａ，５ｂ）を配置している。そして、ボイスコイル（５ａ，５ｂ）に流す電流を制御することで、回転軸（３）のスラスト方向の位置制御を高精度に行なうことを可能としている。

しかし、特許文献６，７のいずれも、回転軸は水平であり、スラスト方向には回転軸の荷重が作用せず、しかも、コイル等に流す電流制御が必須である。

本発明の目的は、排気側（背圧側）を共通とし、２つの吸気口からの気体をそれぞれ独立して圧縮することができる並列吸気ポンプ及びそれを用いた真空装置を提供することにある。

本発明の他の目的は、電流制御が不要であり、かつ、スラスト方向でフリーである被回転駆動部のスラスト荷重と吊り合った力を作用させながらスラスト方向の軸受けを行うことができる軸受け装置を用いた並列吸気ポンプ及びそれを用いた真空装置を提供することにある。

本発明の一態様に係る並列吸気ポンプは、
ケーシングと、
前記ケーシングに固定され、前記ケーシング内を内室と外室とに区画する筒状隔壁と、
前記内室に連通する第１吸気口と、
前記外室に連通する第２吸気口と、
前記第１吸気口から取り込まれた気体を、前記内室にて回転する第１回転部により圧縮する第１ポンプと、
前記第２吸気口から取り込まれた気体を、前記外室にて回転する第２回転部により圧縮する第２ポンプと、
前記第１及び第２回転部と連結された回転軸部と、
前記ケーシングに設けられ、前記第１及び第２ポンプでそれぞれ圧縮された気体を排気する排気口と、
を有することを特徴とする。

本発明の一態様によれば、筒状隔壁にて区画された内室及び外室にそれぞれ連通する第１，第２吸気口の各々からの気体を、それぞれ独立して第１，第２ポンプにて圧縮して共通の排気口に排気できる。よって、第１，第２吸気口の一方から他方に影響を与えることを低減しながら、排気側（背圧側）を共通して真空引きできる。しかも、第１ポンプの第１回転部と第２ポンプの第２回転部とし、共に回転軸部に連結されて回転駆動源を共用できるので、装置が小型化する。この並列吸気ポンプは、従来２台必要であった真空ポンプの代用として用いられるので、２台の真空ポンプと比較すれば低価格化が図れる。

本発明の一態様では、前記第１ポンプ及び前記第２ポンプは互いに排気速度が異なるポンプとすることができる。第１，第２のポンプの組み合わせてとして、双方をターボ分子ポンプとするもの、一方をターボ分子ポンプとして他方を分子ドラックポンプとするなど、用途に応じて種々の選択が可能である。

本発明の一態様では、前記回転軸部は、固定軸に挿通される円筒部材であり、前記円筒部材、前記第１，第２回転部を含んだ被回転駆動が一体的を回転することができる。回転軸部を中心軸とするよりも円筒部材とした方が、被回転駆動部の総重量が軽くなって軸受けの負荷が少なくなり、小型化が図れると共に、第１，第２回転部との連結の自由度が高まる。

本発明の一態様では、前記第２回転部は、前記円筒部材に連結される連結板を含み、前記連結板により、前記ケーシング室内が、前記第１，第２吸気口を有するポンプ室と、前記排気口を有する排気室とに区画され、前記連結板には、前記ポンプ室と前記排気室とを連通させる少なくとも一つの貫通孔を形成することができる。こうすると、第２回転部と円筒部材とを連結する連結板によりケーシング室内がポンプ室と排気室とに仕切られるが、連結板に貫通孔を設けることでポンプ室と排気室とを連通させることができる。

本発明の一態様では、前記排気室に配置され、前記筒状部材に固定されたロータと、前記排気室に配置され、前記ケーシングに固定されて前記ロータを回転駆動するステータと、をさらに有することができる。

ロータ及びステータからなる回転モータを排気室に配置することで、装置が小型化し、ポンプ室に不必要なスペースを確保する必要がなくなる。なお、ロータは被回転駆動部の一部となる。

本発明の一態様では、前記固定軸と前記円筒部材との隙間に気体圧を発生させて、前記固定軸と前記円筒部材とをラジアル方向にて非接触に維持する少なくとも一つのラジアル軸受けと、
前記固定軸スラスト方向に沿って間隔をおいて、かつ、スラスト方向でＮ極とＳ極の異極同士が隣り合うように配置された複数の永久磁石リングを含む第１部材と、前記円筒部材にて前記第１部材に対向して配置されて磁性を帯びる第２部材とを含み、スラスト方向にてフリーの前記被回転駆動部を、該被回転駆動部のスラスト方向の荷重と吊り合ったスラスト方向での所定位置に維持する少なくとも一つのスラスト軸受けと、
をさらに有することができる。

こうすると、被回転駆動部をガイド部材に対してラジアル方向でもスラスト方向でも非接触で支持することができる。つまり、ラジアル軸受けでは、回転時に軸と円筒部材との隙間に気体圧を発生させて軸受けすることができる。スラスト軸受けでは、磁気軸受により、スラスト方向にてフリーの被回転駆動部を、該被回転駆動部のスラスト方向の荷重と吊り合ったスラスト方向での所定位置に維持することができる。つまり、鉛直方向に自重が作用する被回転駆動部に対して、その自重と吊り合った力をスラスト方向に発生させて、非接触での軸受けを可能とした。しかも、スラスト軸受けは電磁石でなく永久磁石を用いているので、電流制御も不要である。このように、ラジアル方向及びスラスト方向にて非接触な軸受けとしたので、軸受けにて発生する熱は少なく自然空冷による放熱も可能である。

本発明の一態様では、前記ケーシングの排気側に臨む前記固定軸の一端側に開口する縦孔と、
前記縦孔に連通して前記固定軸の外周面に開口する横孔と、
前記ケーシングの排気側に臨む前記固定軸及び前記円筒部材の一端側に形成され、第１，第２ポンプで圧縮された気体が導入されて、前記固定軸と前記円筒部材との間の隙間にて圧縮して前記横孔に排気するねじシール部と、
をさらに含み、
前記排気口を前記固定軸の前記縦孔に連通させることができる。

こうすると、ねじシール部を排気側の補助ポンプとして利用できる。

本発明の他の態様に係る真空装置は、メインチャンバと、メインチャンバにゲートバルブを介して接続されるサブチャンバと、上述の並列吸気ポンプと、有し、前記並列吸気ポンプの前記第１吸気口が前記メインチャンバに接続され、前記第２吸気口が前記サブチャンバに接続されていることを特徴とする。

こうすると、従来２台必要であった真空ポンプを、１台の並列吸気ポンプで代用することができ、真空装置の小型化と低価格化を図ることができる。

ここで、サブチャンバはロードロックチャンバとすることができる。あるいは、メインチャンバが成膜装置である場合には、サブチャンバはＲＨＥＥＤ電子銃を備えたチャンバとすることができる。

本発明のさらに他の態様に係る真空装置は、メインチャンバと、排気側にねじシール部を備えた上述の並列吸気ポンプと、リーク検出器と、有し、前記並列吸気ポンプの前記第１吸気口が前記メインチャンバに接続され、前記第２吸気口が前記リーク検出器に接続されることを特徴とする。

こうすると、特許文献１に開示されたリーク検出装置の第１、第２ポンプ（Ｐ１，Ｐ２）、流量調整弁（Ｖ２）及び補助ポンプ（Ｐ４）を、一つの並列吸気ポンプで代用することができる。このため、装置の小型化、低価格化が図れる。

以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお以下に説明する本実施形態は特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。

（第１実施形態）
図１は、本実施形態に係る並列吸気ポンプ１０の断面図である。この並列吸気ポンプ１０は、第１，第２および第３ケーシング２０，３０，４０を有する。第１ケーシング２０は、第１吸気口２２と、筒状隔壁２４とを有して全体的に筒状を呈している。第１吸気口２２側にはメインチャンバ等と連結される第１フランジ２６が形成され、筒状隔壁２４の外周には第２ケーシング３０の上端に固定される第２フランジ２８が形成されている。

第２ケーシング３０は、上端側の開口が第２フランジ２８にて封止され、側面に第２吸気口３２が連結され、下端側の開口には第３ケーシング４０に固定される第３フランジ３４を有する。第３ケーシング４０の側面には排気口４２が連結され、上端側の開口に第３フランジ３４と締結される第４フランジ４４を有し、下端側には軸受け壁部４６が形成されている。また、第３ケーシングの側面には放冷用のフィン４８が形成されている。

筒状隔壁２４は、第１，第２ケーシング２０，３０で囲まれたポンプ室５０を内室５２と外室５４とに区画するものである。そして、第１吸気口２２から取り込まれた気体を内室５２にて回転する第１回転部６２により圧縮する第１ポンプ６０と、第２吸気口３２から取り込まれた気体を外室５４にて回転する第２回転部７２により圧縮する第２ポンプ７０とを有する。

本実施形態では、第１ポンプ６０は例えば高排気速度（高排気量）のターボ分子ポンプであり、第２ポンプ７０は例えば低排気速度（低排気量）のターボ分子ポンプである。このため、第１ポンプ６０の第１回転部６２は、筒状隔壁２４との隙間で気体を圧縮するためにねじ溝６３を有する。一方、第２ポンプ７０の第２回転部７２には第１のねじ溝７２Ａが、筒状隔壁２４の外周面には第２のねじ溝２４Ａが形成され、第１，第２のねじ溝７２Ａ，２４Ａにより気体を圧縮して排気側に導く。なお、第１回転部６２の上部に複合型ポンプを一体的に配置しても良い。

内室５２には、固定軸１００と、この固定軸１００に挿通される円筒部材１１０とが、配置されている。固定軸１００の端部には第５フランジ１０２が設けられている。この第５フランジ１０２は、第３ケーシング４０の軸受け壁部４６にＯリングを介してボルトにより気密に締結されている。

円筒部材１１０は、内室５２に位置するように、第１回転部６２をボルトにて固定している。また、第２回転部７２の下端には、円筒部材１１０に形成された第６フランジ１１２にボルト固定される連結板７４が設けられている。この連結板７４により、第１〜第３ケーシング２０，３０，４０で囲まれた空間が、第１，第２吸気口２２，３２を有するポンプ室５０と、排気口４２を有する排気室５８とに区画されてしまう。そこで、連結板７４には、ポンプ室５０と排気室５６とを連通させる少なくとも一つ、例えば８個の貫通孔７４Ａが形成されている。つまり、本実施形態の第１，第２ポンプ６０，７０は、それぞれ独立した第１，第２吸気口２２，３２を有する並列吸気型であり、この第１，第２ポンプ６０，７０に共用される一つの排気口４２を有することで、排気側（背圧側）は共通している。

円筒部材１１０は、第３ケーシング４０の排気室５８に位置するようにロータ１２２を固着している。ロータ１２２の周囲には、第３ケーシング４０に固定されたステータ１２４が設けられている。ロータ１２２とステータ１２４とによりモータ１２０が構成される。モータ１２０は、ステータ１２４のコイルに電流が供給されることで、ステータ１２４とロータ１２２との相互磁気作用によってロータ１２２を回転させる。ロータ１２２の回転により円筒部材１１０と共に第１，第２回転部６２，７２が回転され、第１，第２吸気口２２，３２より並列的に取り込まれた気体を第１，第２ポンプ６０，７０にてそれぞれ圧縮して排気することができる。なお、コイルを含むステータ１２４が排気室（真空室）に配置されるので、ガス放出対策としてステータ１２４はモールド等で覆われていることが好ましい。

なお、被回転駆動部である円筒部材１１０、第１回転部６２及びロータ１２２は、スラスト方向ではフリーであり、後述するスラスト軸受け１４０によってスラスト方向の所定位置に維持される。

（回転部の軸受け装置の概要）
図１に示す実施形態では、固定軸１００が固定されたガイド部材とされ、円筒部材１１０とその付属品である第１回転部６２及びロータ１２２にて被回転駆動部が形成され、被回転駆動部６２，１１０，１２２を回転駆動する回転駆動部がステータ１２４である。

固定軸１００とその廻りを回転する円筒部材１１０のための軸受け装置として、少なくとも一つ例えば２つの第１，第２ラジアル軸受け１３０Ａ，１３０Ｂと、少なくとも一つのスラスト軸受け１４０とが設けられている。本実施形態では、第１，第２ラジアル軸受け１３０Ａ，１３０Ｂの双方を気体軸受けにて形成している。

また、図１に示すように、スラスト方向にて隣り合う２つの第１，第２ラジアル軸受け１３０Ａ，１３０Ｂの間に、スラスト軸受け１４０を配置している。本実施形態では、スラスト軸受け１４０を磁気軸受にて形成している。

（ラジアル軸受け）
第１，第２ラジアル軸受け１３０Ａ，１３０Ｂの各々は、被回転駆動部６２，１１０，１２２の回転時に固定軸１００と円筒部材１１０との隙間に流体圧を発生させて、固定軸１００と円筒部材１１０とをラジアル方向にて非接触に維持するものである。この種の軸受けとしてグルーブ軸受けが知られている。グルーブ軸受とは、軸または軸受けの表面に多数の溝を設けたもので、回転時に多数の溝にて発生する流体圧にて被回転駆動部を支持するものである。グルーブ軸受けは大別して２種類あり、一つは静圧気体軸受けであり、他の一つは動圧気体軸受けである。本実施形態の第１，第２ラジアル軸受け１３０Ａ，１３０Ｂの各々はそれら２つのいずれか一つが採用されるが、本実施形態では動圧気体軸受けを採用している。このために、第１，第２ラジアル軸受け１３０Ａ，１３０Ｂの各々は、図２に示すように、固定軸１００の外周面に例えばヘリングボーン型の多数の動圧溝１３２を形成して構成している。

固定軸１００には、第５フランジ１０２に開口する縦孔である中心孔１３４が形成され、この中心孔１３４は第２ラジアル軸受け１３０Ｂを経て第１ラジアル軸受け１３０Ａまで達している。この中心孔１３４は、図２に示すIV−IV断面（第１，第２ラジアル軸受け１３０Ａ，１３０Ｂの２箇所）である図４に示すように、周方向にて複数例えば５つ設けられ、各々がラジアル方向に延びて固定軸１００の外周面に開口する第１横孔１３５と連通している。また、中心孔１３４の下端は、第３ケーシング４０の軸受け壁部４６に形成された孔４６Ａを介して大気に連通している。

さらに、固定軸１００には、第５フランジ１０２側の端面１０２Ａにて開口する第１偏心孔１３７Ａが、第２ラジアル軸受け１３０Ｂの上方位置まで達するように形成されている。固定軸１００の第５フランジ１０２とは反対側の端面１００Ａにて開口する第２偏心孔１３７Ｂが、第１ラジアル軸受け１３０Ａの下方位置まで達するように形成されている。第１，第２偏心孔１３７Ａ，１３７Ｂは、第１ラジアル軸受け１３０Ａの下方位置、第２ラジアル軸受け１３０Ｂの上方位置及び下方位置の計３箇所にて、固定軸１００の外周面に開口する第２横孔１３６と連通している。なお、第１偏心孔１３７Ａの下端側は気密シール部材１３７Ｃにより塞がれている（図２参照）。

第５フランジ１０２には、第１偏心孔１３７Ａに連通するバイパス孔１３８が形成され、このバイパイ孔１３８は端面１０２Ａにて開口している。なお、第５フランジ１０２には、図２の底面図である図３に示すように、図１に示すボルトにより固定軸１００を第３ケーシング４０の軸受け壁部４６と締結するためのねじ孔１３９が複数個形成されている。

（ラジアル軸受けの作用）
先ず、第１，第２ラジアル軸受け１３０Ａ，１３０Ｂの作用について説明する。モータ１２０のうちステータ１２４のコイルに通電すると、ロータ１２２及びステータ１２４間での相互磁気作用により、ロータ１２２が回転駆動される。ロータ１２２の回転により円筒部材１１０と共に第１回転部６２が回転され、第１吸気口２２より気体を吸引して、ターボ分子ポンプ１０が作動する。

第１，第２ラジアル１３０Ａ，１３０Ｂでは、固定軸１００に形成されたヘリングボーン型の多数の動圧溝１３２が、固定軸１００と円筒部材１１０との間の僅かな隙間（例えば５〜１０μｍ）にて露出して回転されることになる。こうすると、空気の粘性に基づくせん断力によって、中心孔１３４から第１横孔１３５を介して、固定軸１００と円筒部材１１０との間の僅かな隙間に空気を引き込み、それによって動圧を発生させる。この動圧は、被回転駆動部としての円筒部材１１０を、ガイド部材である固定軸１００に対してラジアル方向にて非接触で支持する支持力となる。こうして、第１，第２ラジアル軸受け１３０Ａ，１３０Ｂは、スラスト方向で離れた２箇所にてラジアル軸受けとして機能して、被回転駆動部としての円筒部材１１０をラジアル方向にて安定して支持することができる。しかも、非接触軸受けであるので、騒音や磨耗の低減を図ることができ、オイルによる汚染の心配もない。なお、固定軸１００と円筒部材１１０との間の僅かな隙間に引き込まれて動圧を発生させた空気は、第２横孔１３６と偏心孔１３７Ａ，１３７Ｂを介して排気することができる。

（スラスト軸受け）
図１に示すように、第１，第２ラジアル軸受け１３０Ａ，１３０Ｂの間にて固定軸１００に形成されるスラスト軸受け１４０は、図２に示すように固定軸１００の直径を他の箇所よりも小径とされた磁石配列部１４２を有する。この磁石配列部１４２には、図５及び図６に示す第１部材１４３が配置される。この第１部材１４３は、スラスト方向に沿って間隔をおいて、かつ、スラスト方向で異極同士が隣り合うように配置された複数の永久磁石１４４，１４６を含んでいる。永久磁石１４４，１４６は互いに着磁方向が異なり、永久磁石１４４をＳ極リングと称し、永久磁石１４６をＮ極リングと称する。

Ｓ極リング１４４とは、図６に示すように外周面がＳ極で内周面がＮ極となるように着磁されたリング状永久磁石である。Ｎ極リング１４６とは、Ｓ極リング１４４とは着磁方向が異なり、図６に示すように外周面がＮ極で内周面がＳ極となるように着磁されたリング状永久磁石である。なお、Ｓ極リング１４４及びＮ極リング１４６は、固定軸１００の磁石配列部１４２への取り付け上の便宜等から、周方向で分割された複数の円弧状ピースを、ギャップを介して組み合わせて全体としてリング状とすることができる。このとき、円弧状ピース間のギャップは、周方向での磁場作用に悪影響がない範囲で設定できる。

この第１部材１４３では、スラスト方向隣り合うＮ極またはＳ極リング１４４，１４６を隔離するために、非磁性体リング１４５を挿入配置することができる。各リング１４４−１４６の厚さＴは例えば１．５ｍｍであり、各リング１４４−１４６のリング部分の幅Ｗ＝（外径−内径）／２は例えば２ｍｍである。

ここで、第１部材１４３では、複数のＮ極リング１４４と複数のＳ極リング１４６とは、スラスト方向にて隣り合う２つが異極同士と同極同士とを交互に繰り返す配置関係にて配置されている。つまり、本実施形態では、スラスト方向にて両端に２つのＳ極リング１４６が配置され、その２つのＳ極リング１４４のそれぞれの内側に２つ、計４つのＮ極リング１４６が配置され、さらにそのＮ極リング１４６の内側に２つのＳ極リング１４４が配置されている。これに代えて、スラスト方向の両端にＮ極リング１４６を配置してもよく、Ｓ極及びＮ極リング１４４，１４６の総数は８個を超える数でも良い。

一方、円筒部材１１０には、固定軸１００に取付けられた第１部材１４３に対して周方向の少なくとも一部にて対向して配置されて磁性を帯びる第２部材１４８が配置されている。この第２部材１４８は、図７に示すように、例えば非磁性体にて形成された円筒部材６０の内面側に配置され、リング状に形成された磁性体１４９を有する。この第２部材１４８をスラスト方向で見ると、図１に示すように、第１部材１４３のうちＳ極リング１４４とＮ極リング１４６とにラジアル方向で対向する各位置にて、スラスト方向で間隔をおいて磁性体１４９が配置されている。

なお、第２部材１４８を磁性体でなく、スラスト方向で分割され、かつ、第１部材１４３と対向して磁気吸引するように着磁された永久磁石としても良い。この場合、第２部材１４８は、Ｓ極リングに対向する位置にＮ極リングが、Ｎ極リングに対向する位置にＳ極リングを配置すれば良い。さらに、第２部材１４８は、リング状に形成せずに、例えば直径方向の線上で相対向する２箇所であって、各箇所にて角度θ（例えばθ＝６０゜）に亘って磁性体または永久磁石１４９を円筒部材１１０に配置してもよい。

本実施形態の固定軸１００と円筒部材１１０との間の隙間は、固定軸１００の第５フランジ１０２と第２ラジアル軸受け１３０Ｂとの間にあっては、隙間シール部１５０により気密にシールされている。

（ポンプの組立方法とスラスト軸受けの作用）
排気口４２とステータ１２４が固定された第３ケーシング４０の上方より、第１部材１４３が取付けられた固定軸１００を挿入する。固定軸１００の下端の第５フランジ１０２が、第３ケーシング４０の軸受け壁部４６にＯリングを介してボルトにより気密に締結される。

次に、第２吸気口３２を有する第２ケーシング３０を第３ケーシング４０に固定した後に、第１回転部６２、第２回転部７２及びロータ１２２が固定された円筒部材１１０が固定軸１００に上方から挿入される。最後に第１吸気口２２及び筒状隔壁２４を有する第１ケーシング２０が第２ケーシング３０に締結されて、並列吸気ポンプ１０が完成する。

ここで、第１回転部６２、第２回転部７２及びロータ１２２が固定された円筒部材１１０は、固定軸１００の上方から挿入されるだけで良く、組立は格段に容易である。このとき、円筒部材１１０に設けられた第２部材１４８が、固定軸１００に設けられた第１部材１４３と対向することで、第２部材１４８の磁性体１４９が磁性を帯び、相対向する異極同士が磁気吸引される。このスラスト軸受け１４０の作用により、スラスト方向にてフリーの被回転駆動部６２，１１０，１２２を、該被回転駆動部６２，１１０，１２２の自重と吊り合ったスラスト方向での所定位置に維持することができる。

この意味で、本実施形態はスラスト方向を水平方向とするよりもむしろ鉛直方向とするものに好適である。スラスト方向が水平方向であると、被回転部６２，１１０，１２２の自重は、ラジアル軸受けにて受け持たれるからである。つまり本実施形態は、被回転部６２，１１０，１２２の自重またはその一部がスラスト方向に作用するように、スラスト方向が鉛直方向であるか、あるいは鉛直方向に対して傾斜してものにも好適である。

スラスト方向での軸受け作用を、図８（Ａ）（Ｂ）を参照して説明する。図８（Ａ）は、第１部材１４３の例えばＳ極リング１４４の中心線ＣＬ１に第２部材１４８の磁性体１４９の中心線が完全に一致した正対状態を示す。磁性体１４９の対向面はＮ極を帯びる。被回転駆動部６２，１１０，１２２が無荷重であると図８（Ａ）の位置でスラスト位置が決まるが、実際には被回転駆動部６２，１１０，１２２のスラスト方向の荷重（図１での鉛直荷重である自重）が作用するのでそうならない。図８（Ｂ）は、第１部材１４３のＳ極リング１４４の中心線ＣＬ１に対して、第２部材１４８の磁性体１４９の中心線ＣＬ２が完全正対位置よりも下方に変位量ｄｙだけずれた状態を示している。図８（Ａ）の完全正対位置ではＮ極からＳ極に磁束が流れ易い一方で、図８（Ｂ）では変位量ｄｙだけずれること磁束が流れ難くなり、図８（Ａ）側に復元しようとする復元力Ｆｙが生じている。図８（Ｂ）は、被回転駆動部６２，１１０，１２２の重量と復元力Ｆｙとが吊り合った状態であり、これにより定常時の被回転駆動部６２，１１０，１２２のスラスト位置が所定位置に定まる。

図９に示す実線は、図１のスラスト軸受け１４０（磁石の材質：Ｎｄ４２ＢＨ）を用いて計算した、変位量ｄｙと復元力Ｆｙとの関係のシミュレーション結果を示している。同図の実線から明らかなように、変位量ｄｙがある範囲内（図９ではｄｙの最大値１ｍｍまで算出）であれば、復元力Ｆｙは変位量ｄｙに対して比例的に増大している。

ただし、図８（Ｂ）において変位量ｄｙがさらに増大して、例えばＳ極リング１４４と磁性体１４９とが非対向となると、復元力Ｆｙは作用しなくなる。被回転駆動部６２，１１０，１２２は、定常時には被回転駆動部６２，１１０，１２２の重量と復元力Ｆｙとが吊り合った状態であり、これにより定常時の被回転駆動部６２，１１０，１２２の自重と吊り合った所定位置に維持されるため、大きな外力が作用しない限り、変位量ｄｙが１ｍｍにも達することはない。しかし、本実施形態は並列吸気ポンプ１０に適用したもので、図１の第１吸気口２２、第２吸気口３２または排気口４２側が一気に大気圧になった非定常時には、被回転駆動部６２，１１０，１２２に大きな外力が作用することがある。そこで、円筒部材１１０の下限・上限ストッパを設けている。

図１０は、ピボット型の下限・上限ストッパの一例を示している。図１０に示すように、図１に示す第１回転部６２には、その下面に臨んで半球状に形成された第１凹部６２Ａと、その上面に臨んで半球状に形成された第２凹部６２Ｂとが設けられている。一方、固定軸１００の上端には先端が半球面状の下限ストッパ１０４が設けられると共に、第１ケーシング２０には下端が半球面状の上限ストッパ２９が設けられている。図１０において、第１回転部６２のスラスト方向の位置が図８（Ｂ）に示す所定位置であるとすると、第１凹部６２Ａと下限ストッパ１０４との間の許容クリアランスＣＬＬと、第２凹部６２Ｂと上限ストッパ２９との間の許容クリアランスＣＬＵとは共に例えば１ｍｍに設定されている。

本実施形態では、図６に示すように、スラスト方向で互いに異極（Ｓ−Ｎ）の永久磁石であるＳ極リング１４４及びＮ極リング１４６が隣り合うように、複数の永久磁石リング１４４，１４６を配列している。しかも、スラスト方向にて隣り合う２つが互いに異極（Ｓ−Ｎ）の永久磁石であるＳ極リング１４４及びＮ極リング１４６同士の組と、互いに同極（Ｓ−ＳまたはＮ−Ｎ）の永久磁石であるＳ極リング１４４同士またはＮ極リング１４６同士の組とを、交互に繰り返す配置関係にて配置されている。

図６では、スラスト方向で隣り合う互いに異極（Ｓ−Ｎ）の永久磁石である、４組のＳ極リング１４４及びＮ極リング１４６にて磁気回路が閉鎖されている。この実施形態の第１部材１４３を用いると、図９の実線で示す変位量ｄｙ−復元力Ｆｙの特性を得ることができる。

一方、図６の配置とは異なり、スラスト方向でＮ極とＳ極の異極同士１４４，１４６が必ず隣り合うように、複数の永久磁石リング１４４，１４６を配列することもできる。例えば、Ｓ極リング１４４、Ｎ極リング１４６、Ｓ極リング１４４、Ｎ極リング１４６、…の順で配列することもできる。ただし、この場合には、図６にて破線で示す変位量ｄｙ−復元力Ｆｙの特性となり、実線の特性より復元力Ｆｙは小さくなることが分かった。しかも、スラスト方向の両端側にてＳ極リング１４４の磁気回路が閉じないので、スラスト方向での漏れ磁界も大きくなる。この点で、図６に示す磁石配列の方が優れている。

上述した実施形態によれば、鉛直方向に自重が作用する被回転駆動部６２，１１０，１２２に対して、その自重と吊り合った力をスラスト方向に発生させて、非接触での軸受けが可能となる。しかも、スラスト軸受け１４０は電磁石でなく永久磁石１４４，１４６を用いているので、電流制御も不要である。このように、ラジアル方向は気体軸受けとし、スラスト方向では磁気軸受として、両方向を非接触な軸受けとしたので、軸受け１３０Ａ，１３０Ｂ，１４０にて発生する熱は、図１に示す冷却フィン４８による自然空冷により放熱させることができる。

（軸及び円筒部材の変形例）
図１１は、スラスト軸受け１４０の組み立て上の便宜から、固定軸１００の第１ラジアル軸受け１３０Ａの領域を小径部１０１に形成している。小径部１０１を有する図１１に示す固定軸１００が図２とさらに異なる点は、スラスト軸受け１４０を形成する８個の永久磁石１４４，１４６を固定軸１００に挿入した後、その上端に抜け止めのＣリング１０１Ａを圧入した点である。よって、図２に示す固定軸１００を用いた場合のように、８個の永久磁石１４４，１４６を円周方向で半割りピース状として装着しなくても良い。図１１に示す円筒部材１１０は、Ｃリング１０１Ａと干渉しないための逃げ孔１１４を有すると共に、固定軸１００の小径部１０１にフィットさせるための厚肉部１１６を有する。

（第２実施形態）
図１２は、図１とは異なる並列吸気ポンプ１６０を示している。図１２に示す並列吸気ポンプ１６０が図１と異なる点は、排気口４２が第３ケーシングの軸受け壁部４６に固定され、図２及び図３に示すバイパス孔１３８と連通させた点である。この場合、図１に示す隙間シール部１５０に代えてねじシール部１６２が形成されている。

このねじシール部１６２は、第１ポンプ６０及び第２ポンプ７０に対して低排気速度となる排出段側の補助ポンプとして機能する。第１，第２ポンプ６０，７０によって圧縮排気された気体は、排気室５８から直ちに排気されない。排気室５８の気体は、ねじシール部１６２による補助ポンプにてさらに圧縮され、さらに固定軸１００の第２横孔１３６、偏心孔１３７Ａ、バイパス孔１３８及び軸受け壁部４６に形成した孔（図示せず）を介して、排気口４２に排気される。

（真空装置の実施形態）
次に、図１または図１２に示す並列吸気ポンプを用いた真空装置について説明する。図１３は、特許文献１に示すリーク検出装置を備えた真空装置に本発明を適用した実施形態である。

この真空装置は、被処理体を真空処理するメインチャンバ２００を有する。このメインチャンバ２００には高真空ポンプ２１０が接続され、高真空ポンプ２１０によりメインチャンバ２００内が真空引きされる。メインチャンバ２００に微小孔２０２が存在すると、メインチャンバ２００の周囲に用意したプローブガス２０４がメインチャンバ２００内に侵入するようになっている。

メインチャンバ２００内にプローブガス２０４が侵入したことを検知してリーク検出を行う装置２２０が、メインチャンバ２００に接続されている。このリーク装置２２０は、図１６に示すねじシール部１６２を備えた並列吸気ポンプ１６０と、リーク検出器２３０とを有する。

並列吸気ポンプ１６０は、第１吸気口２２がメインチャンバ２００に接続され、第２吸気口３２がリーク検出器２３０に接続され、排気口４２は大気に開放されている。このように、本実施形態では、特許文献１に示す第１、第２ポンプ（Ｐ１，Ｐ２）、流量調整弁（Ｖ２）及び補助ポンプ（Ｐ４）を、一つの並列吸気ポンプ１６０で代用することができる。このため、装置の小型化、低価格化が図れる。

この装置では、メインチャンバ２００に微小孔２０２が存在すると、その周囲に用意したプローブガス２０４がメインチャンバ２００に侵入する。このプローブガス２０４を含む気体は、メインチャンバ２００に接続された並列吸気ポンプ１６０の第１ポンプ６０の作動により、第１吸気口２２から吸引され、高圧縮されて背圧側に導かれる。この第１ポンプ６０と背圧側を共通とする第２ポンプ７０では、その排気方向とは逆にプローブガス２０４を含む気体が移動するカウンターフロー現象が生ずる。この現象を利用して、リーク検出器２３０にてメインチャンバ２００のリークを検出できる。第２ポンプ（Ｐ２）は、第１ポンプ（Ｐ１）よりも圧縮率が低く、さらに、第１，第２ポンプ（Ｐ１，Ｐ２）の背圧側に接続される補助ポンプの排気速度を極端に絞って低コンダクタンスとしている。こうして、プローブガスのＳ／Ｎを向上して高精度でのリーク検出が可能となる。

次に、図１に示す並列吸気ポンプ１０を用いた真空装置について、図１４及び図１５を参照して説明する。図１４では、一般の真空装置の基本的構成として、メインチャンバ２４０とゲートバルブ２４２を介して接続されるサブチャンバ例えばロードロックチャンバ２５０を示している。従来は、メインチャンバ２４０を真空引きする真空ポンプと、ロードロックチャンバ２５０を真空引きする真空ポンプとの少なくとも２台のポンプが用意される。

本実施形態では、従来必要であった２台の真空ポンプを１台の並列吸気ポンプ１０にて代用している。つまり、図１に示す並列吸気ポンプ１０の第１吸気口２２がメインチャンバ２４０に接続され、第２吸気口３２がロードロックチャンバ２５０に接続され、排気口４２は図示しないロータリーポンプ等の荒引きポンプに接続されている。ロードロックチャンバ２５０よりも容積が大きいメインチャンバ２４０は並列吸気ポンプ１０のうちの高排気速度（高排気量）の第１ポンプ６０で真空引きし、メインチャンバ２４０よりも容積の小さいロードロックチャンバ２５０は並列吸気ポンプ１０のうちの低排気速度（低排気量）の第２ポンプ７０で真空引きできる。なお、ロードロックチャンバ２５０が大気開放された後に真空引きする際には、バルブ切り換えによりロードロックチャンバ２５０をロータリーポンプ等の荒引きポンプで排気することが好ましい。

図１５は、成膜用のメインチャンバ２６０にゲートバルブ２６２を介して、ＲＨＥＥＤ電子銃を備えたサブチャンバ２７０を接続した真空装置を示している。サブチャンバ２７０内に備えたＲＨＥＥＤ電子銃にて、メインチャンバ２６０の被処理体に成膜された膜の特性を観測するものである。この際、サブチャンバ２７０はメインチャンバ２６０と連結されるが、サブチャンバ２７０内のアパーチャより上流側（電子銃側）をメインチャンバ２６０内よりも高真空度とする必要がある。従来は、メインチャンバ２６０を真空引きする真空ポンプと、サブチャンバ２７０を差動排気する真空ポンプとの少なくとも２台のポンプが用意される。

本実施形態では、従来必要であった２台の真空ポンプを１台の並列吸気ポンプ１０にて代用している。つまり、図１に示す並列吸気ポンプ１０の第１吸気口２２がメインチャンバ２６０に接続され、第２吸気口３２がサブチャンバ２７０に接続され、排気口４２は図示しないロータリーポンプ等の荒引きポンプに接続されている。こうして、メインチャンバ２６０を真空引きするポンプと、サブチャンバ２７０を差動排気するポンプとを、一つの並列吸気ポンプ１０で構成できる。なお、サブチャンバ２７０はガス負荷や差動圧力等はメインチャンバ２６０での処理圧力で決定されるため、操作手順を適切にすれば電子銃チャンバ２７０に荒引きポンプを直結させる必要はなくなる。

なお、一つのポンプに二つ以上の吸気口を有するポンプとして、アルカテル製のＡＴＨ２０／４０がある。このポンプは、主吸気口のほかに分子ドラック部に二つの吸気口が設けられている。

しかし、この三つの吸気口は一つのポンプを形成している部分に配置されるため、一つの吸気口の状況が他の二つの吸気口にも影響するという欠点がある。

なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるものである。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。

例えば、本実施形態では第１ポンプ６０および第２ポンプ７０を共にターボ分子ポンプとしたが、これに限定されない。第１，第２ポンプ６０，７０は、用途に応じて選択でき、第１，第２回転部６２，７２を同一の駆動源で回転する限りポンプの種別は適宜変更できる。

また、回転停止時に、ラジアル軸受け１３０Ａ，１３０Ｂを、動圧軸受けから静圧軸受けに切り替えてもよい。ラジアル軸受け１３０Ａ，１３０Ｂを静圧軸受けとして作用させるためには、別途に用意したガスを中心孔１０４に圧送して供給すればよい。

第１実施形態に係る並列吸気ポンプの概略断面図である。 図１に示す並列吸気ポンプの軸を示す図である。 図１に示す軸の底面図である。 図２に示すIV−IV断面図である。 図１に示す軸に第１部材を取付けた状態を示す図である。 図５に示す第１部材を示す図である。 図１に示す第２部材を示す図である。 図８（Ａ）は第１，第２部材が完全に正対した状態を、図８（Ｂ）は第１，第２部材がセンターずれして対向した状態をそれぞれ示す図である。 第１，第２部材の変位量とそれに応じて発生する復元力との関係を示す特性図である。 被回転駆動部の下限・上限ストッパを示す図である。 図２に示す第１ラジアル軸受けの領域を小径部に形成した軸の変形例を示す図である。 第２実施形態に係る並列吸気ポンプの概略断面図である。 第２実施形態に係る並列吸気ポンプを用いた真空装置の一例を示す図である。 第１実施形態に係る並列吸気ポンプを用いた真空装置の一例を示す図である。 第１実施形態に係る並列吸気ポンプを用いた真空装置の他の一例を示す図である。

符号の説明

１０ 並列吸気ポンプ、２０ 第１ケーシング、２２ 第１吸気口、２４ 筒状隔壁、２４Ａ 第２のねじ溝、２６ 第１フランジ、２８ 第２フランジ、２９ 上限ストッパ、３０ 第２ケーシング、３２ 第２吸気口、３４ 第３フランジ、４０ 第３ケーシング、４２ 排気口、４４ 第４フランジ、４６ 軸受け壁部、４８ 冷却フィン、５０ ポンプ室、５２ 内室、５４ 外室、５８ 排気室、６０ 第１ポンプ（ターボ分子ポンプ）、６２ 第１回転部、６２Ａ 第１凹部、６２Ｂ 第２凹部、６３ ねじ溝、７０ 第２ポンプ（ターボ分子ポンプ）、７２ 第２回転部、７２Ａ 第１のねじ溝、７４ 連結板、７４Ａ 貫通孔、１００ 固定軸、１０１ 小径部、１０１Ａ Ｃリング、１００Ａ 端面、１０２ 第５フランジ、１０２Ａ 端面、１０４ 下限ストッパ、１１０ 円筒部材、１１６ 厚肉部、１２０ モータ、１２２ ロータ、１２４ ステータ、１３０Ａ，１３０Ｂ 第１，第２ラジアル軸受け、１３２ ヘリングボーン溝、１３４ 中心孔、１３５ 第１横孔、１３６ 第２横孔、１３７Ａ，１３７Ｂ 第１，第２偏心孔、１３８ バイパス孔、１４０ スラスト軸受け、１４２ 磁石配列部、１４３ 第１部材、１４４ Ｓ極リング、１４５ 非磁性体リング、１４６ Ｎ極リング、１４８ 第２部材、１４９ 磁性体、１５０ 隙間シール部、１６０ 並列吸気ポンプ、１６２ねじシール部、２００ メインチャンバ、２０２ 微小孔、２０４ プローブガス、２１０ 高真空ポンプ、２２０ リーク検出装置、２３０ リーク検出器、２４０ メインチャンバ、２５０ ロードロックチャンバ（サブチャンバ）、２６０ メインチャンバ、２７０ サブチャンバ

Claims (11)

1. ケーシングと、
   前記ケーシングに固定され、前記ケーシング内を内室と外室とに区画する筒状隔壁と、
   前記内室に連通する第１吸気口と、
   前記外室に連通する第２吸気口と、
   前記第１吸気口から取り込まれた気体を、前記内室にて回転する第１回転部により圧縮する第１ポンプと、
   前記第２吸気口から取り込まれた気体を、前記外室にて回転する第２回転部により圧縮する第２ポンプと、
   前記第１及び第２回転部と連結された回転軸部と、
   前記ケーシングに設けられ、前記第１及び第２ポンプでそれぞれ圧縮された気体を排気する排気口と、
   を有することを特徴とする並列吸気ポンプ。
2. 請求項１において、
   前記第１ポンプ及び前記第２ポンプは、互いに排気速度が異なるポンプであることを特徴とする並列吸気ポンプ。
3. 請求項１または２において、
   前記回転軸部は、固定軸に挿通される円筒部材であり、
   前記円筒部材、前記第１，第２回転部を含んだ被回転駆動が一体的に回転されることを特徴とする並列吸気ポンプ。
4. 請求項３において、
   前記第２回転部は、前記円筒部材に連結される連結板を含み、前記連結板により、前記ケーシング室内が、前記第１，第２吸気口を有するポンプ室と、前記排気口を有する排気室とに区画され、
   前記連結板には、前記ポンプ室と前記排気室とを連通させる少なくとも一つの貫通孔が形成されていることを特徴とする並列吸気ポンプ。
5. 請求項３または４において、
   前記排気室に配置され、前記筒状部材に固定されたロータと、
   前記排気室に配置され、前記ケーシングに固定されて前記ロータを回転駆動するステータと、
   をさらに有することを特徴とする並列吸気ポンプ。
6. 請求項３乃至５のいずれかにおいて、
   前記固定軸と前記円筒部材との隙間に気体圧を発生させて、前記固定軸と前記円筒部材とをラジアル方向にて非接触に維持する少なくとも一つのラジアル軸受けと、
   前記固定軸スラスト方向に沿って間隔をおいて、かつ、スラスト方向でＮ極とＳ極の異極同士が隣り合うように配置された複数の永久磁石リングを含む第１部材と、前記円筒部材にて前記第１部材に対向して配置されて磁性を帯びる第２部材とを含み、スラスト方向にてフリーの前記被回転駆動部を、該被回転駆動部のスラスト方向の荷重と吊り合ったスラスト方向での所定位置に維持する少なくとも一つのスラスト軸受けと、
   をさらに有することを特徴とする並列吸気ポンプ。
7. 請求項３乃至６のいずれかにおいて、
   前記ケーシングの排気側に臨む前記固定軸の一端側に開口する縦孔と、
   前記縦孔に連通して前記固定軸の外周面に開口する横孔と、
   前記ケーシングの排気側に臨む前記固定軸及び前記円筒部材の一端側に形成され、第１，第２ポンプで圧縮された気体が導入されて、前記固定軸と前記円筒部材との間の隙間にて圧縮して前記横孔に排気するねじシール部と、
   をさらに含み、
   前記排気口は前記固定軸の前記縦孔に連通していることを特徴とする並列吸気ポンプ。
8. メインチャンバと、
   メインチャンバにゲートバルブを介して接続されるサブチャンバと、
   請求項１乃至６のいずれかに記載の並列吸気ポンプと、
   を有し、
   前記並列吸気ポンプの前記第１吸気口が前記メインチャンバに接続され、前記第２吸気口が前記サブチャンバに接続されていることを特徴とする真空装置。
9. 請求項８において、
   前記サブチャンバはロードロックチャンバであることを特徴とする真空装置。
10. 請求項８において、
    前記メインチャンバは成膜装置であり、前記サブチャンバはＲＨＥＥＤ電子銃を備えたチャンバであることを特徴とする真空装置。
11. メインチャンバと、
    請求項７に記載の並列吸気ポンプと、
    リーク検出器と、
    を有し、
    前記並列吸気ポンプの前記第１吸気口が前記メインチャンバに接続され、前記第２吸気口が前記リーク検出器に接続されることを特徴とする真空装置。

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