JP5291354B2 - Gas nitriding furnace and gas soft nitriding furnace - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、鋼製機械部品などの被処理物をバッチ式にガス窒化処理するためのガス窒化炉およびガス軟窒化炉に関するものである。 The present invention relates to a gas nitriding furnace and a gas soft nitriding furnace for batch-type gas nitriding treatment of workpieces such as steel machine parts.
従来、機械金属部品などの表面硬化処理法の1つである窒化処理のうち、窒素ガス(N2)雰囲気中にアンモニア(NH3)ガスと炭酸(CO2)ガスを所定の割合で添加したガスを原料ガスとして用いたガス軟窒化処理は、炭素の存在によって窒素の拡散が促進されることから、NH3のみによる窒化などに比べて優れた耐摩耗性・耐焼付性・耐疲労性などを発揮することが知られている。 Conventionally, ammonia (NH 3 ) gas and carbonic acid (CO 2 ) gas are added at a predetermined ratio in a nitrogen gas (N 2 ) atmosphere in nitriding treatment, which is one of surface hardening treatment methods for machine metal parts and the like. Gas soft nitriding using gas as a source gas promotes the diffusion of nitrogen due to the presence of carbon, so it has superior wear resistance, seizure resistance, fatigue resistance, etc. compared to nitriding with NH 3 alone, etc. It is known to exert.
このようなガス軟窒化処理などを行うための熱処理装置(炉)としては、従来から様々な構成のものが提案されている。例えば、以下の特許文献1には、被熱物を加熱処理するための加熱室に冷却室とパージ室を付設し、この被熱物を昇降台によってこれら冷却室とパージ室間を移動させることでバッチ式に処理するようにしたものが開示されている。また、以下の特許文献2には、加熱室間と冷却室間に搬送機構を備えることで効率的な処理を行うようにしたものなどが開示されている。
ところで、前述したように処理ガスとして窒素ガス(N2)にアンモニア(NH3)ガスと炭酸(CO2)ガスを混合したガスなどを用いた場合、これらのガスが反応して炭酸アンモニウム((NH4)2CO3)などのアンモニア化合物のガスが生成する。
また、被処理物の表面を活性化させるなどの目的で適宜硝酸アンモニウム(NH4NO3)や塩化アンモニウム(NH4Cl)などを上述のガスに加えて処理する場合もこれらアンモニア化合物ガスを生ずる。
そして、これが加熱室から搬出入室などに流れ出て冷却されることで固化(気体→固体)し、搬出入室などに粉状となって堆積する。
そのため、このような現象が発生した場合には、堆積した固化物を除去するために炉を一旦停止してその除去作業や清掃作業を行わなければならず、処理炉全体の処理効率の低下を招くといった問題がある。
そこで、本発明はこのような課題を有効に解決するために案出されたものであり、その目的は、処理ガスの流出による固化物の発生を未然に防止できる新規なガス窒化炉およびガス軟窒化炉を提供するものである。
By the way, as described above, when a gas obtained by mixing ammonia (NH 3 ) gas and carbonic acid (CO 2 ) gas with nitrogen gas (N 2 ) is used as a processing gas, these gases react to react with ammonium carbonate (( A gas of ammonia compound such as NH 4 ) 2 CO 3 ) is generated.
Further, when ammonia nitrate (NH 4 NO 3 ), ammonium chloride (NH 4 Cl) or the like is appropriately added to the above gas for the purpose of activating the surface of the object to be processed, these ammonia compound gases are also generated.
Then, it flows out from the heating chamber to the carry-in / out chamber etc. and is cooled to solidify (gas → solid), and accumulates as powder in the carry-in / out chamber.
Therefore, when such a phenomenon occurs, the furnace must be temporarily stopped to remove the accumulated solid matter, and the removal work and cleaning work must be performed, thereby reducing the processing efficiency of the entire processing furnace. There is a problem of inviting.
Therefore, the present invention has been devised in order to effectively solve such problems, and an object of the present invention is to provide a novel gas nitriding furnace and gas softening which can prevent generation of solidified substances due to outflow of processing gas. A nitriding furnace is provided.
前記課題を解決するために請求項1の発明は、
被処理物を窒化処理する加熱室と前記被処理物の前後処理を行う前後処理室との間に、前記被処理物を待機させる待機室を備えたガス窒化炉であって、前記待機室に、当該待機室内の前後処理室側の底部付近に設けられ、前記待機室内をアンモニア化合物の固化温度よりも高い温度以上に加熱し、前記加熱室から前記待機室内に流れ出てきたアンモニア化合物のガスを加熱する加熱手段と、前記待機室内のガスを排気する排気手段とを備えたことを特徴とするガス窒化炉である。
また、請求項2のガス窒化炉は、
請求項1に記載のガス窒化炉において、前記待機室は垂直方向に昇降動可能な昇降台を備え、前記昇降台は被処理物を搬送可能に構成された底部及び上部を有するとともに、当該昇降台の底部及び上部のそれぞれが、前記加熱室と前記前後処理室とを水平に接続するように構成されたことを特徴とするガス窒化炉である。
また、請求項3のガス軟窒化炉は、
被処理物を窒化処理する加熱室と前記被処理物の前後処理を行う前後処理室との間に、前記被処理物を通過および待機させる待機室を備えたガス軟窒化炉であって、前記待機室に、当該待機室内の前後処理室側の底部付近に設けられ、前記待機室内を炭酸アンモニウム((NH4)2CO3)ガスの固化温度以上に加熱し、前記加熱室から前記待機室内に流れ出てきた炭酸アンモニウム((NH4)2CO3)ガスを加熱する加熱手段と、前記待機室内の炭酸アンモニウム((NH4)2CO3)ガスを排気する排気手段とを備えたことを特徴とするものである。
In order to solve the above-mentioned problem, the invention of claim 1
A gas nitriding furnace comprising a standby chamber for waiting for the object to be processed between a heating chamber for nitriding the object to be processed and a pre- and post-processing chamber for performing pre- and post-processing of the object to be processed. Provided in the vicinity of the bottom of the waiting chamber on the front and rear processing chamber side, heating the waiting chamber to a temperature higher than the solidification temperature of the ammonia compound, and the ammonia compound gas flowing out from the heating chamber into the waiting chamber. heating means for heating a gas nitriding furnace, characterized in that an exhaust means for exhausting the waiting room of the gas.
The gas nitriding furnace according to claim 2 is:
2. The gas nitriding furnace according to claim 1, wherein the standby chamber includes a lifting platform that is vertically movable, and the lifting platform has a bottom and an upper portion that are configured to convey an object to be processed. Each of the bottom part and the upper part of the base is a gas nitriding furnace configured to horizontally connect the heating chamber and the front and rear processing chambers .
The gas soft nitriding furnace of claim 3 is:
A gas soft nitriding furnace provided with a standby chamber for passing and waiting for the object to be processed between a heating chamber for nitriding the object to be processed and a pre- and post-processing chamber for performing pre- and post-processing of the object, The standby chamber is provided near the bottom of the standby chamber on the front and rear processing chamber side , heats the standby chamber above the solidification temperature of ammonium carbonate ((NH4) 2CO3) gas, and flows out of the heating chamber into the standby chamber. heating means for heating the ammonium carbonate ((NH4) 2CO3) gas, the ammonium carbonate waiting room ((NH4) 2CO3) is characterized in that an exhaust means for exhausting gas.
本発明のガス窒化炉およびガス軟窒化炉によれば、加熱室に隣接する待機室に加熱手段を設けたことから、その待機室内を所定温度、具体的には、少なくとも炭酸アンモニウム((NH4)2CO3)などのアンモニア化合物の固化温度よりも高い温度以上に加熱することができる。
これによって、加熱室から待機室に炭酸アンモニウム((NH4)2CO3)などのアンモニア化合物のガスが流出してきてもこのガスが固化して固化物となって待機室内に堆積するようなことがなくなるため、処理炉全体の処理効率の低下を未然に防止できる。
また、さらにこの待機室に排気手段を備えたことから、待機室に流出してきたガスをこの排気手段によって安全に排気することができるため、有害なガスがこの待機室から外部に漏れ出すようなこともない。
According to the gas nitriding furnace and the gas soft nitriding furnace of the present invention, since the heating means is provided in the standby chamber adjacent to the heating chamber, the standby chamber has a predetermined temperature, specifically, at least ammonium carbonate ((NH 4 ) It can be heated to a temperature higher than the solidification temperature of the ammonia compound such as 2 CO 3 ).
As a result, even if an ammonia compound gas such as ammonium carbonate ((NH 4 ) 2 CO 3 ) flows out from the heating chamber to the standby chamber, the gas is solidified to be solidified and deposited in the standby chamber. Therefore, it is possible to prevent a reduction in the processing efficiency of the entire processing furnace.
Further, since the standby chamber is further provided with exhaust means, the gas flowing into the standby chamber can be safely exhausted by the exhaust means, so that harmful gas leaks out from the standby chamber. There is nothing.
以下、本発明を実施するための最良の形態を添付図面を参照しながら詳述する。
(構成)
図1は本発明に係るガス軟窒化炉100の実施の一形態を示したものである。
図示するように、このガス軟窒化炉100は、機械金属部品などの被処理物Sをガス軟窒化処理する加熱室10と、被処理物Sの前後処理を行う真空パージ兼冷却室(前後処理室)20と、これら加熱室10と真空パージ兼冷却室20との間に位置する待機室30と、これら加熱室10、真空パージ兼冷却室20、待機室30における一連の処理を制御する制御部40とから主に構成されている。
Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
(Constitution)
FIG. 1 shows an embodiment of a gas nitrocarburizing
As shown in the figure, the gas nitrocarburizing
先ず、真空パージ兼冷却室20は、密閉可能な出入口22,23を備えた処理室本体21に、被処理物Sを水平搬送するローラコンベア24と、このハウジング21内を冷却する熱交換器25と、この処理室本体21内の雰囲気を攪拌する攪拌ファン26と、この処理室本体1内を真空パージする真空パージラインL1などを主に備えたものであり、被処理物Sを加熱室10側に搬出入すると共に、この被処理物Sの搬出入に際して必要な前後処理を実施するようになっている。
First, the vacuum purging /
具体的に説明すると、被処理物Sを加熱室10で処理する前には、この被処理物Sを一旦この真空パージ兼冷却室20に収容した後、その出入口22,23を昇降式の開閉蓋22a、23aによって密閉した状態で真空パージラインL1によって所定時間真空パージして酸素などの不純物を除去するようになっている。
この真空パージラインL1には、真空ポンプP1とサージタンク50と分解炉60などが順に付設されており、真空ポンプP1によって真空パージ兼冷却室20内のガス(空気やアンモニアガスなど)を強制的に抜き出してサージタンク50に一旦貯めると共に、このサージタンク50に貯められた有害なアンモニアガスを分解炉60によって窒素と水素に分解して燃焼排気するようになっている。なお、この分解炉60にはNi触媒が充填されており、比較的低温でもアンモニアを効率良く分解処理できる構造となっている。
More specifically, before processing the object to be processed S in the
A vacuum pump P1, a surge tank 50, a decomposition furnace 60, and the like are sequentially attached to the vacuum purge line L1, and the gas (air, ammonia gas, etc.) in the vacuum purge /
一方、この被処理物Sを加熱室10で処理した後は、再びこの被処理物Sを真空パージ兼冷却室20に戻し、同じく昇降式の開閉蓋22a、23aによって密閉した状態で熱交換器25に冷却水などの冷媒を流しながら攪拌ファン26を駆動してその雰囲気を攪拌させることで、この被処理物Sを例えば約100℃乃至室温付近まで冷却するようになっている。
On the other hand, after the object to be processed S is processed in the
なお、この真空パージ兼冷却室20の出入口22,23を開閉する開閉蓋22a、23aは、それぞれエアーシリンダ機構22b、23bによって昇降動すると共に、リンク機構22c、23cによって出入口22,23を密閉できるようになっている。また、このローラコンベア24には、図示しない駆動モータが備えられており、被処理物Sを出入口22,23方向に搬送できるようになっている。
また、この被処理物Sは、通常、例えばギヤーやシャフト、リング、プレートなどといった小さな機械金属部品(バラ物)が殆どであるため、サイズなどが規格化された搬送用のトレー(図示せず)上に複数上下多段に載置されてトレー単位で各室間を搬送されてバッチ式に各処理がなされるようになっている。
The open /
Further, since the object to be processed S is usually mostly small mechanical metal parts (separate objects) such as gears, shafts, rings, plates, etc., a transport tray (not shown) whose size is standardized is not shown. ) Are placed in a plurality of upper and lower stages, and are transported between the chambers in units of trays so that each process is performed in a batch manner.
次に、加熱室10は、耐火物で構成された加熱室本体11に、被処理物Sを搬出入する搬出入口12と、被処理物Sを水平搬送するローラコンベア13と、ラジアントヒータなどからなる複数の加熱器14と、この加熱室10内の雰囲気を攪拌する攪拌ファン15と、原料ガスを供給する原料ガス供給ラインL2などを備えたものである。
Next, the
そして、加熱室本体11内に被処理物Sを搬入した後、その搬出入口12を開閉蓋12aによって閉じてからその内部に原料ガス供給ラインL2からN2とNH3とCO2の混合ガスなどの原料ガスを供給すると共にその雰囲気を攪拌ファン15によって攪拌しながら加熱器14によってその雰囲気を例えば400〜600℃×1.5〜2時間程度均一に加熱にすることで被処理物Sをガス軟窒化処理するようになっている。
Then, after loading the object to be treated S in the
なお、加熱室本体11の搬出入口12の開閉蓋12aも耐火物で構成されていると共に、エアーシリンダ機構12bによって昇降動して搬出入口12を開閉するようになっている。
次に、待機室30は、この加熱室10と真空パージ兼冷却室20間を連通するように位置する待機室本体31と、この待機室本体31内を昇降する昇降機構32と、この待機室本体31内を加熱すべく電熱線などからなる加熱手段38と、この待機室本体31内のガスを排気する排気ライン(排気手段)L3とを主に備えた構成となっている。
The opening /
Next, the
この昇降機構32は、被処理物Sを搬送する矩形状の昇降台33と、この矩形状の昇降台33を垂直方向に昇降動する昇降用シリンダ34およびシリンダロッド35とから構成されている。
この昇降台33の底部および上部は、それぞれローラコンベア36、37で構成されており、図示するようにこの昇降台33が昇降することで加熱室10側のローラコンベア13と真空パージ兼冷却室20側のローラコンベア24に対してそれぞれ同じ高さに位置し、これらいずれか一方のローラコンベア36、37によってローラコンベア13とローラコンベア24間を同じレベルで接続するようになっている。
The
The bottom and top of the lift 33 are respectively constituted by
すなわち、図中実線に示すようにこの昇降台33が降下したときは、その上部のローラコンベア36がローラコンベア13とローラコンベア24間に位置してこれらを水平に接続し、また、図中破線に示すようにこの昇降台33が上昇したときは、その下部のローラコンベア37がローラコンベア13とローラコンベア24間に位置してこれらを水平に接続するようになっている。
That is, as shown by the solid line in the figure, when the elevator platform 33 is lowered, the
一方、加熱手段38は、通常運転時において待機室本体31内で最も温度が低くなる部分、すなわち図示するように真空パージ兼冷却室20側に近い待機室本体31内底部付近に設けられており、その待機室30内を常時所定温度以上、具体的には、窒素ガス、アンモニアガス、炭酸ガスのみによる場合は、炭酸アンモニウム((NH4)2CO3)の固化温度である約60℃よりも高い温度(80〜90℃程度)に、また、硝酸アンモニウム(NH4NO3)や塩化アンモニウム(NH4Cl)などを添加した場合にはさらに高い温度(150〜250℃程度)に加熱するようになっている。
On the other hand, the heating means 38 is provided in the portion where the temperature is lowest in the standby chamber
他方、排気ライン(排気手段)L3は、分解炉60に接続し、待機室本体31内に流れ込んだアンモニアやアンモニア化合物のガスを分解し燃焼して排気するようになっている。
次に、制御部40は、図示しない制御パネルを備えた制御盤内に所定の制御回路や制御用シーケンサなどを収容した制御機構であり、オペレータによる被処理物Sの処理温度や処理時間の調整、および前述した各室10,20,30の各部の機能や動作を所定のシーケンスなどに沿って制御するようになっている。
On the other hand, the exhaust line (exhaust means) L3 is connected to the cracking furnace 60, and decomposes, burns and discharges ammonia and ammonia compound gas flowing into the
Next, the
(作用および効果)
このような構成をした本発明のガス軟窒化炉100にあっては、加熱室10での被処理物Sのガス軟窒化処理が終了したならば、この加熱室10の搬出入口12を開いて待機室30に取り出し、さらにこの待機室30を通過させて真空パージ兼冷却室20側に搬送し、ここで冷却処理されることになる。
この加熱室10に窒素ガス、アンモニアガス、炭酸ガスおよび必要に応じて硝酸アンモニウム(NH4NO3)などが供給されると、加熱室10内で発生した炭酸アンモニウム((NH4)2CO3)や硝酸アンモニウム(NH4NO3)などのアンモニア化合物のガスが待機室30内に流れ出てくることになる。
しかしながら、前述したようにこの待機室30内は、加熱手段38によって常時これらのアンモニア化合物の固化温度よりも高い温度に加熱しているため、これらアンモニア化合物がこの待機室30内で固化するようなことはない。
(Function and effect)
In the gas
When nitrogen gas, ammonia gas, carbon dioxide gas and, if necessary, ammonium nitrate (NH 4 NO 3 ) are supplied to the
However, as described above, since the inside of the
図2は、この待機室30内の各部の温度分布(上下箇所平均値)を示したものである。
図示するように、本発明のような加熱手段38を備えていない従来例(図中破線)にあっては、加熱室10側の温度が最も高く、真空パージ兼冷却室20側にいくにしたがってその温度が低くなっている。これは、前述したように加熱室10側では高温でのガス軟窒化処理が行われるのに対し、真空パージ兼冷却室20側では熱交換器25による冷却処理が行われるからである。
FIG. 2 shows the temperature distribution (upper and lower part average value) of each part in the
As shown in the figure, in the conventional example (dotted line in the figure) that does not include the heating means 38 as in the present invention, the temperature on the
従って、従来例ではその待機室30の中央部あたりから真空パージ兼冷却室20側の温度がアンモニア化合物の固化温度(約60℃)を下回ってしまい、流出してきたアンモニア化合物が固化してこの待機室30内に堆積してしまう結果となっていた。
これに対し、本発明では、待機室30内で最も温度が低くなる箇所(パージ兼冷却室20)を電熱線などの加熱手段38によって常時加熱するようにしたことから、図中実線に示すようにその待機室30内の温度がいずれの箇所でもアンモニア化合物の固化温度を超えることになる。
Therefore, in the conventional example, the temperature on the vacuum purge / cooling
On the other hand, in the present invention, the portion (purge / cooling chamber 20) where the temperature is lowest in the
これによって、この待機室30内に流出してきたアンモニア化合物が固化して昇降台33に付着したり、待機室30の底部に堆積するといった不都合を未然に防止することができる。
また、さらに本発明はこの待機室30に排気手段(排気ラインL3)を備えたことから、固化せず待機室30に滞留しているアンモニア化合物のガスを排気ラインL3から迅速に排気して分解炉60に送って分解処理することができ、有害がガスがこの待機室30から外部に漏れ出すこともない。
As a result, it is possible to prevent inconveniences such as the ammonia compound flowing out into the
Further, according to the present invention, the
このように本発明のガス軟窒化炉100にあっては、待機室30に流出してきたガスの固化を未然に防止できることから、固化物による不都合や固化物の除去・清掃作業が不要となり、ガス軟窒化炉の信頼性および稼働効率を向上させることができる。
なお、本実施の形態では、ガス軟窒化処理を実施するガス軟窒化炉100を例に説明したが、その他の各種ガス窒化炉などにも同様に適用できることは勿論である。
As described above, in the
In the present embodiment, the gas
100…ガス(軟)窒化炉
10…加熱室
20…真空パージ兼冷却室(前後処理室)
30…待機室
38…加熱手段
40…制御部
L1…真空パージライン
L2…原料ガス供給ライン
L3…排気ライン(排気手段)
S…被処理物
DESCRIPTION OF
DESCRIPTION OF
S: Object to be processed
Claims (3)
前記待機室に、当該待機室内の前後処理室側の底部付近に設けられ、前記待機室内をアンモニア化合物の固化温度よりも高い温度以上に加熱し、前記加熱室から前記待機室内に流れ出てきたアンモニア化合物のガスを加熱する加熱手段と、前記待機室内のガスを排気する排気手段とを備えたことを特徴とするガス窒化炉。 A gas nitriding furnace provided with a standby chamber for passing and waiting for the object to be processed between a heating chamber for nitriding the object to be processed and a pre- and post-processing chamber for performing pre- and post-processing of the object to be processed,
Ammonia that is provided in the standby chamber near the bottom of the standby chamber on the front and rear processing chamber side , heats the standby chamber to a temperature higher than the solidification temperature of the ammonia compound, and flows out from the heating chamber into the standby chamber A gas nitriding furnace comprising heating means for heating a compound gas and exhaust means for exhausting the gas in the standby chamber.
前記待機室は垂直方向に昇降動可能な昇降台を備え、 The waiting room includes a lifting platform that can move up and down in a vertical direction,
前記昇降台は被処理物を搬送可能に構成された底部及び上部を有するとともに、当該昇降台の底部及び上部のそれぞれが、前記加熱室と前記前後処理室とを水平に接続するように構成されたことを特徴とするガス窒化炉。 The lifting platform has a bottom portion and an upper portion configured to convey an object to be processed, and each of the bottom portion and the upper portion of the lifting platform is configured to horizontally connect the heating chamber and the front and rear processing chambers. A gas nitriding furnace characterized by that.
前記待機室に、当該待機室内の前後処理室側の底部付近に設けられ、前記待機室内を炭酸アンモニウム((NH4)2CO3)ガスの固化温度以上に加熱し、前記加熱室から前記待機室内に流れ出てきた炭酸アンモニウム((NH4)2CO3)ガスを加熱する加熱手段と、前記待機室内の炭酸アンモニウム((NH4)2CO3)ガスを排気する排気手段とを備えたことを特徴とするガス軟窒化炉。 A gas soft nitriding furnace provided with a standby chamber for passing and waiting for the object to be processed between a heating chamber for nitriding the object to be processed and a pre- and post-processing chamber for performing pre- and post-processing of the object to be processed,
The standby chamber is provided near the bottom of the standby chamber on the front and rear processing chamber side, and heats the standby chamber to a temperature higher than the solidification temperature of ammonium carbonate ((NH4) 2CO3) gas and flows out of the heating chamber into the standby chamber. A gas soft nitriding furnace comprising heating means for heating the ammonium carbonate ((NH4) 2CO3) gas and exhaust means for exhausting the ammonium carbonate ((NH4) 2CO3) gas in the standby chamber.
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