[go: up one dir, main page]

JP5281427B2 - Oscillator - Google Patents

Oscillator Download PDF

Info

Publication number
JP5281427B2
JP5281427B2 JP2009023814A JP2009023814A JP5281427B2 JP 5281427 B2 JP5281427 B2 JP 5281427B2 JP 2009023814 A JP2009023814 A JP 2009023814A JP 2009023814 A JP2009023814 A JP 2009023814A JP 5281427 B2 JP5281427 B2 JP 5281427B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diaphragm
giant magnetostrictive
housing
oscillator
casing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2009023814A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2010182804A (en
Inventor
三千緒 松本
裕道 宮崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taisei Corp
Original Assignee
Taisei Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taisei Corp filed Critical Taisei Corp
Priority to JP2009023814A priority Critical patent/JP5281427B2/en
Publication of JP2010182804A publication Critical patent/JP2010182804A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5281427B2 publication Critical patent/JP5281427B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Investigation Of Foundation Soil And Reinforcement Of Foundation Soil By Compacting Or Drainage (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

本発明は、音波等の圧力波を発する発振器に関し、特に、水中や土中の深度の深い場所で使用するのに好適な発振器に関する。   The present invention relates to an oscillator that generates a pressure wave such as a sound wave, and more particularly to an oscillator suitable for use in a deep place in water or soil.

従来、海洋工事や土木工事において、音波を位置決め等に利用することは一般的に行われている(例えば、特許文献1)。水中で音波等を発振させる装置としては、セラミック発振器が多く使用されており、潜水艦のソナーや海洋工事での位置決め等に広く用いられている。また、水中で使用する音波発振器としては、他にも、水中スピーカーが挙げられる。   Conventionally, the use of sound waves for positioning and the like is generally performed in offshore construction and civil engineering (for example, Patent Document 1). Ceramic oscillators are often used as devices that oscillate sound waves in the water, and are widely used for submarine sonar and positioning in offshore construction. Other examples of the sound wave oscillator used in water include an underwater speaker.

特開2004−151036号公報JP 2004-151036 A 特開2005−192361号公報JP-A-2005-192361

ところで、近年、工事の大深度化が進んでいるが、水中や土中では深度が深くなるほど外圧は増大する。よって、図6(a)及び(b)に示すように、音波発振器60の振動板61の内側が密閉された構造では、振動板61には深度に応じた外圧(水圧)がかかる。このような密閉構造の場合、内部から振動板を外側へ向かって押し出そうとするためには、振動板の剛性に加えて外圧を超える力が必要とされるため、深度が深くなるにつれて大きな力が必要になってくる。従来においても水中スピーカーのようにプール等で使用する音波発振器は存在するが、水深が数m程度までしか使用できない。   By the way, in recent years, the depth of construction has been increasing, but the external pressure increases as the depth increases in water or soil. Therefore, as shown in FIGS. 6A and 6B, in the structure in which the inside of the diaphragm 61 of the sound wave oscillator 60 is sealed, an external pressure (water pressure) corresponding to the depth is applied to the diaphragm 61. In the case of such a sealed structure, in order to push the diaphragm outward from the inside, a force exceeding the external pressure is required in addition to the rigidity of the diaphragm. Power is needed. Conventionally, there is a sound wave oscillator used in a pool or the like like an underwater speaker, but it can only be used up to a depth of several meters.

また、従来のセラミック発振器は、超音波のような高い周波数の音波を発振するには向いているが、土中のように音波の周波数が高いほど減衰が大きくなる場所には不向きである。また、4kHz以下の比較的低い周波数の音波を発振するにはスピーカーのような電磁力方式が適しているが、コイルと永久磁石の反発力を利用した機構であるため、大深度の水中や土中において振動板を内部から外側へ向かって押す力を大きくするには音波発振器を大型化せざるを得ない。しかしながら、音波発振器をボーリング孔内に沈めて利用する場合等は、極力小型であることが望まれる。   Further, the conventional ceramic oscillator is suitable for generating a high-frequency sound wave such as an ultrasonic wave, but is not suitable for a place where attenuation increases as the frequency of the sound wave increases, such as in the soil. In addition, an electromagnetic force system such as a speaker is suitable for oscillating a sound wave having a relatively low frequency of 4 kHz or less. However, since the mechanism uses the repulsive force of a coil and a permanent magnet, In order to increase the force pushing the diaphragm from the inside to the outside, the sound wave oscillator must be enlarged. However, it is desirable that the acoustic oscillator is as small as possible when it is used by being submerged in the borehole.

そこで、本発明は、上記課題を解決するために、水中や土中の深度の深い場所でも使用可能であり、低い周波数の圧力波を発振することが可能な発振器を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide an oscillator that can be used in a deep place in water or soil and can oscillate a low-frequency pressure wave. .

上記課題を解決するために、本発明は、筐体と、この筐体内に配設された振動板と、超磁歪素子及びこれに巻きつけられたコイルからなり、前記振動板を振動させる一対の超磁歪アクチュエータと、これら一対の超磁歪アクチュエータを駆動する制御手段と、を備え、前記一対の超磁歪アクチュエータの一方は、前記筐体内の前記振動板を挟んだ一方の領域においてその振動板と前記筐体との間に、その伸縮方向が前記振動板の振動方向に一致するように配設され、他方は、前記筐体内の前記振動板を挟んだ他方の領域においてその振動板と前記筐体との間に、その伸縮方向が前記振動板の振動方向に一致するように配設されていて、前記制御手段によって前記一対の超磁歪アクチュエータが互いに逆相で伸縮することにより前記振動板が振動するようになっており、そして、前記筐体には、前記一方の領域と筐体外部とを連通させる第一の開口部と、前記他方の領域と筐体外部とを連通させる第二の開口部と、が形成されていることを特徴とする発振器を提案する。 In order to solve the above problems, the present invention comprises a pair of a casing, a diaphragm disposed in the casing, a giant magnetostrictive element and a coil wound around the casing, and vibrates the diaphragm. A giant magnetostrictive actuator, and a control means for driving the pair of giant magnetostrictive actuators, wherein one of the pair of giant magnetostrictive actuators is arranged in a region between the diaphragm and the diaphragm in the casing. Between the casing and the casing , the expansion and contraction direction is arranged to coincide with the vibration direction of the diaphragm , and the other is the diaphragm and the casing in the other region sandwiching the diaphragm in the casing. between, the stretch direction have been arranged to coincide with the vibration direction of the vibrating plate, the vibrating plate is vibrating by the pair of the super magnetostrictive actuator expands and contracts in opposite phase to each other by said control means And a first opening for communicating the one region with the outside of the housing, and a second opening for communicating the other region with the outside of the housing. And an oscillator characterized in that a part is formed.

この構成により、開口部から筐体内に外部の水などが出入り自由となるため振動板の両面にかかる圧力は外圧と同等になる。よって、発振器を外圧の大きい大深度の場所で使用する場合でも、振動板は外圧とは無関係に、振動板自体の剛性に応じた力で振動することができる。さらに、発生応力の大きい超磁歪アクチュエータによって振動板を振動させることで、大深度においても低周波数の圧力波を発信することが可能であり、かつ、発振器を小型化することができる。   With this configuration, since external water and the like can freely enter and exit from the opening into the housing, the pressure applied to both surfaces of the diaphragm is equal to the external pressure. Therefore, even when the oscillator is used at a large depth where the external pressure is large, the diaphragm can vibrate with a force corresponding to the rigidity of the diaphragm itself regardless of the external pressure. Furthermore, by vibrating the diaphragm by a giant magnetostrictive actuator having a large generated stress, a low-frequency pressure wave can be transmitted even at a large depth, and the oscillator can be downsized.

また、前記一対の超磁歪アクチュエータは、前記振動板の振動方向に平行な同一直線に伸縮方向を一致させて配置してもよい。   Further, the pair of giant magnetostrictive actuators may be arranged such that the expansion and contraction directions coincide with the same straight line parallel to the vibration direction of the diaphragm.

この構成により、超磁歪アクチュエータによってさらに効率的に振動板を振動させることができる。   With this configuration, the diaphragm can be more efficiently vibrated by the giant magnetostrictive actuator.

また、前記一対の超磁歪アクチュエータを複数対有していてもよい。   Further, a plurality of pairs of the giant magnetostrictive actuators may be provided.

この構成により、振動板を振動させる力が強くなり、振動板をよりスムーズに振動させることができる。   With this configuration, the force for vibrating the diaphragm is increased, and the diaphragm can be vibrated more smoothly.

また、前記超磁歪アクチュエータは伸縮方向の長さが同一長であってもよい。   The giant magnetostrictive actuator may have the same length in the expansion / contraction direction.

この構成により、一対の超磁歪アクチュエータのそれぞれの駆動コイルに実効値が同じ逆相の電流を流せばそれら超磁歪素子の伸び量と縮み量とが等しくなるので、複雑な電流制御をしなくても、振動板をスムーズに振動させることが可能となる。   With this configuration, if a current of opposite phase having the same effective value is supplied to each drive coil of a pair of giant magnetostrictive actuators, the amount of expansion and contraction of the giant magnetostrictive elements becomes equal, so complicated current control is not required. In addition, the diaphragm can be vibrated smoothly.

また、前記振動板は円形であり、前記振動板の振動方向に沿った方向の前記筐体の全長は、前記振動板の直径の2倍以上が望ましい。   The diaphragm is circular, and the total length of the casing in the direction along the vibration direction of the diaphragm is preferably at least twice the diameter of the diaphragm.

この構成により、圧力の還流による影響を低減することができ、効率良く圧力波を発振することができる。   With this configuration, the influence of pressure recirculation can be reduced, and a pressure wave can be efficiently oscillated.

また、前記筐体は、金属で構成されていてもよい。   Moreover, the said housing | casing may be comprised with the metal.

この構成により、大深度の場所で発振器を使用しても、発振器自体が外圧によって破壊される可能性が低減される。   With this configuration, even when the oscillator is used in a deep place, the possibility of the oscillator itself being destroyed by external pressure is reduced.

また、前記コイルは、その周囲が防錆材で包囲されていてもよい。   The coil may be surrounded by a rust preventive material.

この構成により、水などによってコイルが錆びて腐食することを防止することができる。   With this configuration, the coil can be prevented from being rusted and corroded by water or the like.

また、発振器が複数対の超磁歪アクチュエータを有する場合、前記振動板は円形であり、前記複数対の超磁歪アクチュエータは、前記振動板の半分の半径を有する仮想同心円上に等間隔に配置されていてもよい。   Further, when the oscillator has a plurality of pairs of giant magnetostrictive actuators, the diaphragm is circular, and the plurality of pairs of giant magnetostrictive actuators are arranged at equal intervals on virtual concentric circles having a half radius of the diaphragm. May be.

この構成により、複数の超磁歪アクチュエータが振動板全体をバランス良く押すことができるため、振動板が超磁歪アクチュエータによって押されることで破損する可能性が低減される。   With this configuration, since the plurality of giant magnetostrictive actuators can press the entire diaphragm in a well-balanced manner, the possibility that the diaphragm is damaged by being pushed by the giant magnetostrictive actuator is reduced.

以上説明したように、本発明によれば、大深度の外圧に耐えることができるとともに、低周波数の圧力波を発信することができ、さらに小型化することが可能な発振器を提供することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to provide an oscillator that can withstand external pressure at a deep depth, can transmit a low-frequency pressure wave, and can be further downsized. .

第1の実施形態に係る発振器を示す図である。1 is a diagram illustrating an oscillator according to a first embodiment. 駆動コイル13a、13bに加える電気信号を表す図である。It is a figure showing the electric signal added to the drive coils 13a and 13b. 側面部11cの長さと圧力の還流との関係について説明する図である。It is a figure explaining the relationship between the length of the side part 11c, and the recirculation | reflux of a pressure. 第2の実施形態に係る発振器を示す図である。It is a figure which shows the oscillator which concerns on 2nd Embodiment. 3対の超磁歪アクチュエータが仮想同心円上に等間隔に配置されている状態を示す図である。It is a figure which shows the state by which three pairs of giant magnetostrictive actuators are arrange | positioned at equal intervals on a virtual concentric circle. 外圧と振動板にかかる力との関係を説明する図である。It is a figure explaining the relationship between an external pressure and the force concerning a diaphragm.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1の実施形態)
図1は、本実施形態に係る発振器を示す図である。図1(a)は発振器の右側面図であり、図1(b)は発振器の縦断面図である。
(First embodiment)
FIG. 1 is a diagram illustrating an oscillator according to the present embodiment. FIG. 1A is a right side view of the oscillator, and FIG. 1B is a longitudinal sectional view of the oscillator.

本実施形態に係る発振器は、円筒形状の金属製の筐体11を有している。ここで、筐体11の互いに対向する両端を、右端11a、左端11bと称し、円筒形状の周面を側面部11cと称する。   The oscillator according to the present embodiment includes a cylindrical metal casing 11. Here, the opposite ends of the housing 11 are referred to as a right end 11a and a left end 11b, and a cylindrical peripheral surface is referred to as a side surface portion 11c.

右端11a、左端11bは、いずれも大きく開口している。具体的には、それら右端11a、左端11bには、十字型の金属製の支持部11d、11eが、その十字型の中心を筐体11の軸心上に位置させた姿勢で固定されていて、支持部11a、11bの十字の腕の間が、扇形の開口部16となっている。なお、側面部11cには開口部は形成されていない。従って、筐体11の内部と外部とは、その右端11a、左端11bに形成された開口部16を介して連通しており、水などの出入りが自由となっている。   Both the right end 11a and the left end 11b are greatly open. Specifically, cruciform metal support portions 11d and 11e are fixed to the right end 11a and the left end 11b in a posture in which the center of the cruciform is positioned on the axis of the housing 11. The fan-shaped opening 16 is formed between the cross arms of the support portions 11a and 11b. In addition, the opening part is not formed in the side part 11c. Therefore, the inside and the outside of the housing 11 communicate with each other through the openings 16 formed at the right end 11a and the left end 11b, and water and the like can freely enter and exit.

なお、支持部11d、11eは、図1(a)に示すように、各腕部分の幅は側面部11cの厚みに比べて薄くなっているが、図1(b)に示すように、各腕部分の厚みは側面部11cよりも厚くなっており、これにより、支持部11d、11eの強度を極端に落とすことなく、開口部16の開口面積を大きくしている。   In addition, as shown in FIG. 1A, the support portions 11d and 11e have a width of each arm portion that is thinner than the thickness of the side surface portion 11c, but as shown in FIG. The thickness of the arm portion is thicker than that of the side surface portion 11c, thereby increasing the opening area of the opening portion 16 without extremely reducing the strength of the support portions 11d and 11e.

一方、筐体11内部の軸方向のほぼ中央部には、振動板15を備えている。振動板15は、筐体11に備えられたレール14a、14bに沿って自由にスライドして振動できるようになっている。振動板15は、一般的なスピーカー等の振動板と同様、軽量であり剛性が高く、適度な内部損失があり、圧力波の伝搬速度が高い素材であることが理想である。具体的には、木材パルプ、合成樹脂素材、チタンやアルミ等の金属素材、等が挙げられる。   On the other hand, a diaphragm 15 is provided in a substantially central portion in the axial direction inside the housing 11. The diaphragm 15 can freely slide and vibrate along rails 14 a and 14 b provided in the housing 11. The diaphragm 15 is ideally made of a material that is lightweight, has high rigidity, has an appropriate internal loss, and has a high pressure wave propagation speed, like a diaphragm such as a general speaker. Specific examples include wood pulp, synthetic resin materials, metal materials such as titanium and aluminum, and the like.

また、上述したように、右端11a、左端11bに形成されている開口部16によって外部の水などが筐体11の内部に出入り可能となっているため、筐体11の内部に備えられている振動板15の両面にかかる圧力は外圧と等しくなり、振動板15は外圧とは無関係に、振動板自体の剛性に応じた力だけで振動することができる。   Further, as described above, since the outside water and the like can enter and exit the housing 11 through the openings 16 formed at the right end 11a and the left end 11b, they are provided inside the housing 11. The pressure applied to both surfaces of the diaphragm 15 becomes equal to the external pressure, and the diaphragm 15 can vibrate only with a force corresponding to the rigidity of the diaphragm itself, regardless of the external pressure.

また、筐体11の内部には、超磁歪素子12a、12b、及び、これらの外周面に駆動コイル13a、13bが互いに相対変位可能に隙間を空けて巻きつけられて構成される一対の超磁歪アクチュエータが、その変位方向が筐体11の右端11aと左端11bの対向方向と一致するように、振動板15を挟んで対向して配置されている。また、その超磁歪素子12a、12bの基端は、支持部11d、11eの十字の中心部分に固定されている。   In addition, inside the casing 11, a pair of giant magnetostrictive elements are configured such that the giant magnetostrictive elements 12a and 12b and the drive coils 13a and 13b are wound around the outer peripheral surfaces of the giant magnetostrictive elements 12a and 12b with a gap therebetween so that they can be displaced relative to each other. The actuators are arranged opposite to each other with the diaphragm 15 therebetween so that the displacement direction thereof coincides with the opposing direction of the right end 11a and the left end 11b of the housing 11. The base ends of the giant magnetostrictive elements 12a and 12b are fixed to the center portions of the crosses of the support portions 11d and 11e.

また、筐体11は剛性の高い材質であることが好ましく、鉄などの金属から構成されることにより、発振器を大深度の場所で使用する場合でも、筐体自体も外圧に耐えうる。   Further, the casing 11 is preferably made of a material having high rigidity, and the casing itself can withstand external pressure even when the oscillator is used at a deep location by being made of a metal such as iron.

ところで、本実施形態に係る発振器は、上述したように超磁歪素子を利用して構成される。一般に、磁性体には磁場を受けると変形する「磁歪」という性質があるが、磁歪による磁性体の寸法変化は、100万分の1〜10万分の1(1〜10ppm)程度で、素子の長さが100mであれば磁歪による変位量は0.1〜1mm程度である。   Incidentally, the oscillator according to the present embodiment is configured using a giant magnetostrictive element as described above. In general, a magnetic material has a property called “magnetostriction” that is deformed when subjected to a magnetic field, but the dimensional change of the magnetic material due to magnetostriction is about 1 to 1 / 1,000,000 (1 to 10 ppm), and the length of the element If the length is 100 m, the displacement due to magnetostriction is about 0.1 to 1 mm.

しかし、磁歪による変位量が従来の磁性体の1000倍(1000ppm)以上の、例えば、テルビウム、ディスプロシウム及び鉄等により形成される超磁歪素子が開発された。超磁歪素子では、素子の長さが1mで数mmの変位が得られる。また、超磁歪素子の発生応力は400kgf/cmと非常に大きいため、1cm四方の面積の超磁歪素子で、400kgの重量の物を動かすことができる。 However, there has been developed a giant magnetostrictive element formed of, for example, terbium, dysprosium, iron, or the like whose displacement due to magnetostriction is 1000 times (1000 ppm) or more that of a conventional magnetic material. In the giant magnetostrictive element, the element length is 1 m and a displacement of several mm is obtained. In addition, since the generated stress of the giant magnetostrictive element is as large as 400 kgf / cm 2 , an object weighing 400 kg can be moved with a giant magnetostrictive element having an area of 1 cm square.

このように、発生応力の大きい超磁歪素子を利用して発振器を構成することで、外圧の大きい大深度においても低周波数の圧力波を発振し、かつ、小型化することができる。   Thus, by configuring the oscillator using a giant magnetostrictive element having a large generated stress, a low-frequency pressure wave can be oscillated and miniaturized even at a large depth with a large external pressure.

また、駆動コイル13a、13bは、駆動回路(図示しない)に接続されており、この駆動回路により駆動コイル13a、13bに流す電流についての制御が行われる。   The drive coils 13a and 13b are connected to a drive circuit (not shown), and the drive circuit controls the current flowing through the drive coils 13a and 13b.

つまり、本実施形態に係る発振器は、駆動コイル13a、13bに電流が流れると超磁歪素子12a、12bが伸長して振動板15が押されることで振動板15が振動する仕組みである。より具体的には、超磁歪素子12a、12bのいずれか一方が伸長している時には他方が収縮し、他方が伸長している時には一方が収縮するように駆動コイル13a、13bに流す電流を駆動回路によって制御することにより、振動板15が超磁歪素子12a、12bによって左右方向に交互に押されて振動する。   That is, the oscillator according to the present embodiment has a mechanism in which when the current flows through the drive coils 13a and 13b, the giant magnetostrictive elements 12a and 12b are extended and the diaphragm 15 is pressed to vibrate the diaphragm 15. More specifically, the current flowing through the drive coils 13a and 13b is driven so that when one of the giant magnetostrictive elements 12a and 12b is extended, the other contracts, and when the other is extended, the other contracts. By controlling with a circuit, the diaphragm 15 is alternately pushed in the left-right direction by the giant magnetostrictive elements 12a and 12b and vibrates.

また、超磁歪素子12a、12bは、駆動コイル13a、13bに電流が流れていない状態において、それぞれの先端が振動板15との間に微少な隙間が空くように配置される。具体的には、駆動コイル13a、13bに振動板15を振動させる時の中間の電流であるバイアス電流を流して超磁歪素子12a、12bが伸長した時に、超磁歪素子12a、12bの先端が振動板に接するように配置される。つまり、駆動コイル13a、13bに電流が流れていない時には、超磁歪素子12a、12bの先端は振動板15とは接していない状態となる。   In addition, the giant magnetostrictive elements 12a and 12b are arranged such that a minute gap is left between the tip of each of the giant magnetostrictive elements 12a and 12b and the diaphragm 15 in a state where no current flows through the drive coils 13a and 13b. Specifically, when the giant magnetostrictive elements 12a and 12b are extended by applying a bias current that is an intermediate current when the diaphragm 15 is vibrated to the drive coils 13a and 13b, the tips of the giant magnetostrictive elements 12a and 12b vibrate. It arrange | positions so that a board may be touched. That is, when no current flows through the drive coils 13a and 13b, the tips of the giant magnetostrictive elements 12a and 12b are not in contact with the diaphragm 15.

さらに、図2を用いて、振動板15の振動方法について詳細に説明する。図2(a)は駆動コイル13aに加える電気信号を表す図であり、図2(b)は駆動コイル13bに加える電気信号を表す図である。   Furthermore, the vibration method of the diaphragm 15 will be described in detail with reference to FIG. FIG. 2A is a diagram illustrating an electrical signal applied to the drive coil 13a, and FIG. 2B is a diagram illustrating an electrical signal applied to the drive coil 13b.

超磁歪素子12a、12bは、磁場がかかると磁場の極性にかかわらず伸長する性質がある。つまり、図2(a)及び(b)に示すように駆動コイル13a、13bに電気信号が加えられると、それぞれ、バイアス電流によって所定長伸長した状態が平常時の長さであって、そのバイアス電流以上の電気信号が加えられている時(斜線部分)に伸長し、バイアス電流未満の電気信号が加えられているときには短縮する。   The giant magnetostrictive elements 12a and 12b have the property of extending regardless of the polarity of the magnetic field when a magnetic field is applied. That is, as shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b), when an electric signal is applied to the drive coils 13a and 13b, the normal length is a state in which a predetermined length is extended by the bias current, It expands when an electrical signal greater than the current is applied (shaded area), and shortens when an electrical signal less than the bias current is applied.

また、駆動コイル13a、13bには、バイアス電流を中心に互いに逆相の電気信号を加える。これにより、振動板15と超磁歪素子12a、12bは、一方が伸長している時には他方が収縮し、他方が伸長している時には一方が収縮するので、双方は常に密着した状態で振動板15を左右から交互に押すことになる。これにより、振動板15はバイアス位置(バイアス電流を駆動コイル13a、13bに流した時の位置)を中心に振動する。   The drive coils 13a and 13b are applied with electrical signals having opposite phases with a bias current as a center. As a result, the diaphragm 15 and the giant magnetostrictive elements 12a and 12b contract one when the other is extended, and the other contracts when the other is extended. Therefore, the diaphragm 15 is always in close contact with each other. Will be pressed alternately from left and right. As a result, the diaphragm 15 vibrates around the bias position (position when the bias current is passed through the drive coils 13a and 13b).

ただし、振動板15は逆相の振動を放出するため、図3(a)に示すように、筐体11の円筒形の側面部11cの長さL1が短い場合には正圧と負圧による互いの出力を打ち消し合い(圧力が還流される)、発振器全体としての圧力波の出力が減少する可能性がある。従って、側面部11cの長さL1は圧力が還流されないような十分な長さとする必要がある。なお、この適当な長さは発振器の周辺の媒質の性状や筐体の底面の大きさとの関係から算出されるが、例えば、振動板15の直径の2倍程度であれば圧力の還流の影響は無視できる程度となり、効率よく圧力波を外部に発することができる。   However, since the diaphragm 15 emits vibrations in opposite phases, as shown in FIG. 3A, when the length L1 of the cylindrical side surface portion 11c of the housing 11 is short, positive and negative pressure is applied. The outputs of each other may cancel each other out (pressure is recirculated), and the pressure wave output of the oscillator as a whole may decrease. Accordingly, the length L1 of the side surface portion 11c needs to be long enough so that the pressure is not recirculated. This appropriate length is calculated from the relationship between the properties of the medium around the oscillator and the size of the bottom surface of the housing. For example, if the length is about twice the diameter of the diaphragm 15, the effect of pressure reflux Is negligible, and a pressure wave can be efficiently emitted to the outside.

また、図3(b)に示すように、右端11aと左端11bとの間の長さを長くしなくとも、筐体11の側面部11cのみが右端11a(もしくは左端11b)の周辺から突出するようになっていれば、圧力の還流は低減することができる。   Further, as shown in FIG. 3 (b), only the side surface portion 11c of the housing 11 protrudes from the periphery of the right end 11a (or the left end 11b) without increasing the length between the right end 11a and the left end 11b. If so, the reflux of pressure can be reduced.

また、上述したように、振動板15が右端11aと左端11bから等距離の位置に備えられている場合、超磁歪素子12a、12bはその伸縮方向の長さは双方とも同一となり、双方の磁歪による変位量も等しくなるので、後述する駆動コイル13a、13bに流す電流についての制御が容易となるため好適である。ただし、この構成は必須ではなく、振動板15は右端11a又は左端11bのいずれか一方に近い位置に備えられていてもよい。この場合には、超磁歪素子12a、12bの長さが異なることになり磁歪による変位量もそれぞれ異なってくるが、駆動コイル13a、13bに流す電流を調整して、双方の超磁歪素子の変位量が同じ量になるよう駆動回路にて制御すればよい。   As described above, when the diaphragm 15 is provided at a position equidistant from the right end 11a and the left end 11b, the super magnetostrictive elements 12a and 12b have the same length in the expansion / contraction direction, and both magnetostrictions are the same. This is also preferable because the amount of displacement due to the above becomes equal, which makes it easy to control the current flowing in the drive coils 13a and 13b described later. However, this configuration is not essential, and the diaphragm 15 may be provided at a position close to either the right end 11a or the left end 11b. In this case, the lengths of the giant magnetostrictive elements 12a and 12b are different, and the amount of displacement due to the magnetostriction is also different, but the currents flowing through the drive coils 13a and 13b are adjusted to change the displacement of both giant magnetostrictive elements. What is necessary is just to control with a drive circuit so that quantity may become the same quantity.

また、本実施形態に係る発振器は、水中や土中などで使用される場合を想定しているため、筐体11、超磁歪素子12a、12b、駆動コイル13a、13b、並びに、振動板15は、防水加工や耐水加工が施されていることが望ましい。また、駆動コイル13a、13bは、油などの防錆材によりその周辺を包囲されていてもよい。これにより、海水中などで発振器を使用しても駆動コイル13a等が錆びて腐食することを防止することができる。   In addition, since the oscillator according to the present embodiment is assumed to be used in water or soil, the casing 11, the giant magnetostrictive elements 12a and 12b, the drive coils 13a and 13b, and the diaphragm 15 It is desirable that waterproofing or water-proofing is applied. Further, the periphery of the drive coils 13a and 13b may be surrounded by a rust preventive material such as oil. Thereby, even if an oscillator is used in seawater etc., it can prevent that the drive coil 13a etc. rust and corrode.

以上のように、本実施形態に係る発振器は、従来の圧力波発振器と異なり、開口部16を備えることにより筐体11の内部に外部の水などが出入り自由となるため、振動板15の両面にかかる圧力は外圧と等しくなり、振動板15は外圧とは無関係に、振動板自体の剛性に応じた力で振動することができる。また、振動板15は超磁歪アクチュエータにより振動するため、外圧の大きい大深度の場所でも圧力波を発振することができ、かつ、発振器の小型化が可能である。   As described above, unlike the conventional pressure wave oscillator, the oscillator according to the present embodiment is provided with the opening 16 so that external water and the like can freely enter and exit from the inside of the casing 11. Is equal to the external pressure, and the diaphragm 15 can vibrate with a force corresponding to the rigidity of the diaphragm itself regardless of the external pressure. In addition, since the diaphragm 15 is vibrated by the giant magnetostrictive actuator, a pressure wave can be oscillated even at a large depth where the external pressure is large, and the size of the oscillator can be reduced.

(第2の実施形態)
図4は、本実施形態に係る発振器を示す図である。図4(a)は発振器の右側面図であり、図4(b)は発振器をA−A’面で切断した場合の縦断面図である。
(Second Embodiment)
FIG. 4 is a diagram illustrating the oscillator according to the present embodiment. FIG. 4A is a right side view of the oscillator, and FIG. 4B is a longitudinal sectional view when the oscillator is cut along an AA ′ plane.

本実施形態に係る発振器は、第1の実施形態に係る発振器と同様に、円筒形状の金属製の筐体41を有している。ここで、筐体41の互いに対向する両端を、右端41a、左端41bと称し、円筒形状の周面を側面部41cと称する。   The oscillator according to the present embodiment has a cylindrical metal casing 41 as in the oscillator according to the first embodiment. Here, the opposite ends of the housing 41 are referred to as a right end 41a and a left end 41b, and a cylindrical peripheral surface is referred to as a side surface portion 41c.

右端41a、左端41bは、いずれも大きく開口している。具体的には、右端41aには、支持部41d、41f、41hが、右端41aの周端に側面部41cと一体に形成されており、左端41bには、支持部41e、41g、41iが、左端41bの周端に側面部41cと一体に形成されている。また、右端41a、左端41bにおいて、支持部41d等以外の部分が、開口部46となっている。なお、側面部41cには開口部は形成されていない。従って、筐体41の内部と外部とは、その右端41a、左端41bに形成された開口部46を介して連通しており、水などの出入りが自由となっている。   Both the right end 41a and the left end 41b are greatly open. Specifically, support portions 41d, 41f, and 41h are formed at the right end 41a integrally with the side surface portion 41c at the peripheral end of the right end 41a, and support portions 41e, 41g, and 41i are formed at the left end 41b. The side end 41c is formed integrally with the peripheral end of the left end 41b. In addition, at the right end 41a and the left end 41b, portions other than the support portion 41d and the like are openings 46. In addition, the opening part is not formed in the side part 41c. Therefore, the inside and the outside of the housing 41 communicate with each other through the openings 46 formed at the right end 41a and the left end 41b, and water and the like can freely enter and exit.

なお、図4(b)に示すように、支持部41d等の厚みは側面部41cよりも厚くなっており、これにより、支持部41d等の強度を極端に落とすことなく、開口部46の開口面積を大きくしている。   As shown in FIG. 4B, the thickness of the support portion 41d and the like is thicker than that of the side surface portion 41c, so that the opening of the opening portion 46 can be formed without significantly reducing the strength of the support portion 41d and the like. The area is increased.

一方、筐体41内部の軸方向のほぼ中央部には、振動板45を備えている。振動板45は、筐体41に備えられたレール44a、44bに沿って自由にスライドして振動できるようになっている。振動板45は、一般的なスピーカー等の振動板と同様、軽量であり剛性が高く、適度な内部損失があり、圧力波の伝搬速度が高い素材であることが理想である。具体的には、木材パルプ、合成樹脂素材、チタンやアルミ等の金属素材、等が挙げられる。   On the other hand, a diaphragm 45 is provided at a substantially central portion in the axial direction inside the housing 41. The diaphragm 45 can freely slide and vibrate along rails 44 a and 44 b provided in the housing 41. The diaphragm 45 is ideally made of a material that is lightweight, has high rigidity, has an appropriate internal loss, and has a high propagation velocity of pressure waves, like a diaphragm such as a general speaker. Specific examples include wood pulp, synthetic resin materials, metal materials such as titanium and aluminum, and the like.

また、上述したように、右端41a、左端41bに形成されている開口部46によって外部の水などが筐体41の内部に出入り可能となっているため、筐体41の内部に備えられている振動板45の両面にかかる圧力は外圧と等しくなり、振動板45は外圧とは無関係に、振動板自体の剛性に応じた力だけで振動することができる。   Further, as described above, since the outside water and the like can enter and exit from the inside of the casing 41 through the openings 46 formed at the right end 41a and the left end 41b, they are provided inside the casing 41. The pressure applied to both surfaces of the diaphragm 45 becomes equal to the external pressure, and the diaphragm 45 can vibrate only with a force corresponding to the rigidity of the diaphragm itself, regardless of the external pressure.

また、筐体41の内部には、超磁歪素子42a、42b、42c、42d、42e、42f、及び、これらの外周面に駆動コイル43a、43b、43c、43d、43e、43fが互いに相対変位可能に隙間を空けて巻きつけられて構成される3対の超磁歪アクチュエータが、その変位方向が筐体41の右端41aと左端41bの対向方向と一致するように、振動板45を挟んで対向して配置されている。また、その超磁歪素子42a、42b、42c、42d、42e、42fの基端は、それぞれ、支持部41d、41e、41f、41g、41h、41iに固定されている。   Also, inside the casing 41, the giant magnetostrictive elements 42a, 42b, 42c, 42d, 42e, 42f, and the drive coils 43a, 43b, 43c, 43d, 43e, 43f can be displaced relative to each other on their outer peripheral surfaces. Three pairs of giant magnetostrictive actuators that are wound around each other are opposed to each other with the diaphragm 45 interposed therebetween so that the displacement direction thereof coincides with the opposing direction of the right end 41a and the left end 41b of the housing 41. Are arranged. The base ends of the giant magnetostrictive elements 42a, 42b, 42c, 42d, 42e, and 42f are fixed to the support portions 41d, 41e, 41f, 41g, 41h, and 41i, respectively.

なお、駆動コイル43a等は、駆動回路(図示しない)に接続されており、この駆動回路により駆動コイル43a等に流す電流についての制御が行われる。   Note that the drive coil 43a and the like are connected to a drive circuit (not shown), and the current applied to the drive coil 43a and the like is controlled by this drive circuit.

すなわち、本実施形態に係る発振器は、基本的な構成及び動作方法は第1の実施形態に係る発振器と同様であるが、超磁歪素子42a等と駆動コイル43a等とにより構成される超磁歪アクチュエータが3対備えられている点が特徴である。これにより、振動板45を両面から押す力が強くなり、振動板をよりスムーズに振動させることができる。   That is, the basic configuration and operation method of the oscillator according to this embodiment is the same as that of the oscillator according to the first embodiment, but a giant magnetostrictive actuator constituted by the giant magnetostrictive element 42a and the drive coil 43a and the like. The feature is that three pairs are provided. Thereby, the force which presses the diaphragm 45 from both surfaces becomes strong, and a diaphragm can be vibrated more smoothly.

また、図5に示すように、3対の超磁歪アクチュエータは、円板である振動板45の半径の半分の半径を有する仮想同心円51上に等間隔に配置されていてもよい。これにより、3対の超磁歪アクチュエータが振動板45を押す際に、振動板全体をバランス良く押すことができるため、振動板45が超磁歪アクチュエータによって押されることで破損する可能性が低減される。   As shown in FIG. 5, the three pairs of giant magnetostrictive actuators may be arranged at equal intervals on virtual concentric circles 51 having a radius that is half the radius of diaphragm 45 that is a disc. As a result, when the three pairs of giant magnetostrictive actuators press the diaphragm 45, the entire diaphragm can be pushed in a well-balanced manner, so that the possibility of breakage due to the diaphragm 45 being pushed by the giant magnetostrictive actuator is reduced. .

なお、本実施形態においては3対の超磁歪アクチュエータを使用する場合を示したが、2対の超磁歪アクチュエータを用いてもよいし、より多くの超磁歪アクチュエータを用いてもよい。   In the present embodiment, the case where three pairs of giant magnetostrictive actuators are used is shown, but two pairs of giant magnetostrictive actuators may be used, or more giant magnetostrictive actuators may be used.

以上のように、本実施形態に係る発振器は、発振器に大きい外圧がかかっても圧力波を発振することができ、かつ、小型化が可能であることに加えて、3対の超磁歪アクチュエータを有することで振動板45を振動させる力が強くなり、振動板をよりスムーズに振動させることができる。   As described above, the oscillator according to the present embodiment can oscillate a pressure wave even when a large external pressure is applied to the oscillator and can be downsized. By having it, the force which vibrates the diaphragm 45 becomes strong, and a diaphragm can be vibrated more smoothly.

(他の実施形態)
また、上記の実施形態においては、開口部16等が右端11a等と左端11b等とに設けられている場合を示したが、開口部16等は、振動板15等を挟んで右端11a等側の領域内及び左端11b等側の領域内であれば、例えば側面部11cなどに形成されていてもよい。
(Other embodiments)
In the above-described embodiment, the case where the opening 16 and the like are provided at the right end 11a and the left end 11b is shown. As long as it is within the region and the region on the left end 11b or the like side, it may be formed on the side surface portion 11c, for example.

また、上記の実施形態においては、開口部16等が振動板15等を挟んで右端11a等側の領域と左端11b等側の領域とに1つずつ形成されていることとしたが、複数形成されていてもよい。   Further, in the above embodiment, the openings 16 and the like are formed one by one in the region on the right end 11a side and the region on the left end 11b side with the diaphragm 15 and the like interposed therebetween. May be.

また、上記の実施形態においては、対向する超磁歪アクチュエータ同士は、振動板15等の振動方向に平行な同一直線上に配置されているが、必ずしもこのように構成されていなくともよい。特に、第2の実施形態のように3対の超磁歪アクチュエータを使用する場合には、例えば、対向する超磁歪アクチュエータが、それぞれ仮想同心円51の円周上で異なる位置に配置されていてもよい。振動板45を押す超磁歪アクチュエータが多くなるほど、振動板全体を偏りなく押すこととなるため、対向する超磁歪アクチュエータの位置がずれていても振動板15等が振動することに対する影響は少ないからである。   In the above embodiment, the opposing giant magnetostrictive actuators are arranged on the same straight line parallel to the vibration direction of the diaphragm 15 or the like, but it is not always necessary to be configured in this way. In particular, when using three pairs of giant magnetostrictive actuators as in the second embodiment, for example, opposing giant magnetostrictive actuators may be arranged at different positions on the circumference of the virtual concentric circle 51, respectively. . As the number of giant magnetostrictive actuators that press the diaphragm 45 increases, the entire diaphragm is pushed evenly. Therefore, even if the position of the opposing giant magnetostrictive actuator is shifted, the influence on the vibration of the diaphragm 15 is small. is there.

また、上記の実施形態においては、振動板15等は筐体11等に備えられているレール14a、14b等に沿って自由にスライドして振動できるようになっているが、振動板15等がより薄いもの(振動膜)であって、振動板15等の円周が筐体11等の内周面に固定されているようになっていてもよい。   In the above embodiment, the vibration plate 15 and the like can freely slide and vibrate along the rails 14a and 14b provided in the housing 11 and the like. It may be a thinner one (vibration membrane), and the circumference of the diaphragm 15 or the like may be fixed to the inner circumferential surface of the housing 11 or the like.

また、上記の実施形態においては、発振器の筐体11等が円柱形状である場合を示したが、他の形状であってもよい。例えば、三角柱、四角柱、等の形状であってもよい。また、振動板15等の形状についても、上記の実施形態においては円形である場合を示したが、他の形状であってもよい。例えば、三角形、四角形、等の形状であってもよい。   Further, in the above-described embodiment, the case where the casing 11 of the oscillator or the like has a cylindrical shape is shown, but other shapes may be used. For example, the shape may be a triangular prism, a quadrangular prism, or the like. Further, the shape of the diaphragm 15 and the like is also shown in the above embodiment as being circular, but may be other shapes. For example, the shape may be a triangle, a quadrangle, or the like.

(まとめ)
以上説明したように、本発明によれば、以上説明したように、本発明によれば、大深度の外圧に耐えることができるとともに、低周波数の圧力波を発信することができ、さらに小型化することが可能な発振器を提供することができる。
(Summary)
As described above, according to the present invention, as described above, according to the present invention, it is possible to withstand a large depth of external pressure and to transmit a low-frequency pressure wave, and further downsizing. An oscillator that can be provided can be provided.

11 筐体
12 超磁歪素子
13 電磁コイル
14 皿バネ
15 駆動ノブ
11 筐体
11a 右端
11b 左端
11c 側面部
11d、11e 支持部
12a、12b 超磁歪素子
13a、13b 駆動コイル
14a、14b レール
15 振動板
16 開口部
41 筐体
41a 右端
41b 左端
41c 側面部
41d、41e 支持部
42a、42b、42c、42d、42e、42f 超磁歪素子
43a、43b、43c、43d、43e、43f 駆動コイル
44a、44b レール
45 振動板
46 開口部
51 仮想同心円
60 音波発振器
61 振動板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Housing | casing 12 Giant magnetostrictive element 13 Electromagnetic coil 14 Disc spring 15 Driving knob 11 Housing | casing 11a Right end 11b Left end 11c Side surface part 11d, 11e Support part 12a, 12b Giant magnetostrictive element 13a, 13b Driving coil 14a, 14b Rail 15 Diaphragm 16 Opening 41 Housing 41a Right end 41b Left end 41c Side surface 41d, 41e Supporting part 42a, 42b, 42c, 42d, 42e, 42f Giant magnetostrictive element 43a, 43b, 43c, 43d, 43e, 43f Drive coil 44a, 44b Rail 45 Vibration Plate 46 Opening 51 Virtual concentric circle 60 Sound wave oscillator 61 Vibration plate

Claims (8)

筐体と、
この筐体内に配設された振動板と、
超磁歪素子及びこれに巻きつけられたコイルからなり、前記振動板を振動させる一対の超磁歪アクチュエータと、
これら一対の超磁歪アクチュエータを駆動する制御手段と、を備え、
前記一対の超磁歪アクチュエータの一方は、前記筐体内の前記振動板を挟んだ一方の領域においてその振動板と前記筐体との間に、その伸縮方向が前記振動板の振動方向に一致するように配設され、他方は、前記筐体内の前記振動板を挟んだ他方の領域においてその振動板と前記筐体との間に、その伸縮方向が前記振動板の振動方向に一致するように配設されていて、前記制御手段によって前記一対の超磁歪アクチュエータが互いに逆相で伸縮することにより前記振動板が振動するようになっており、
そして、前記筐体には、前記一方の領域と筐体外部とを連通させる第一の開口部と、前記他方の領域と筐体外部とを連通させる第二の開口部と、が形成されていることを特徴とする発振器。
A housing,
A diaphragm disposed in the housing;
A pair of giant magnetostrictive actuators comprising a giant magnetostrictive element and a coil wound around the element, and for vibrating the diaphragm;
Control means for driving the pair of giant magnetostrictive actuators,
One of the pair of giant magnetostrictive actuators has an expansion / contraction direction that coincides with a vibration direction of the diaphragm between the diaphragm and the casing in one region sandwiching the diaphragm in the casing. The other is arranged between the diaphragm and the casing in the other region sandwiching the diaphragm in the casing so that the expansion and contraction direction thereof coincides with the vibration direction of the diaphragm. The diaphragm is vibrated by extending and contracting the pair of giant magnetostrictive actuators in opposite phases by the control means,
The housing is formed with a first opening for communicating the one region with the outside of the housing, and a second opening for communicating the other region with the outside of the housing. An oscillator characterized by having
前記一対の超磁歪アクチュエータは、前記振動板の振動方向に平行な同一直線にその伸縮方向を一致させて配置されていることを特徴とする請求項1に記載の発振器。   2. The oscillator according to claim 1, wherein the pair of giant magnetostrictive actuators are arranged such that their expansion and contraction directions coincide with the same straight line parallel to the vibration direction of the diaphragm. 前記一対の超磁歪アクチュエータを複数対有する請求項1又は2に記載の発振器。   The oscillator according to claim 1 or 2, comprising a plurality of pairs of the pair of giant magnetostrictive actuators. 前記一対の超磁歪アクチュエータは伸縮方向の長さが同一長であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一に記載の発振器。   The oscillator according to any one of claims 1 to 3, wherein the pair of giant magnetostrictive actuators have the same length in the expansion and contraction direction. 前記振動板は円形であり、
前記振動板の振動方向に沿った方向の前記筐体の全長は、前記振動板の直径の2倍以上であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一に記載の発振器。
The diaphragm is circular,
5. The oscillator according to claim 1, wherein a total length of the casing in a direction along a vibration direction of the diaphragm is at least twice the diameter of the diaphragm.
前記筐体は、金属で構成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一に記載の発振器。   The oscillator according to claim 1, wherein the housing is made of metal. 前記コイルは、その周囲が防錆材で包囲されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか一に記載の発振器。   The oscillator according to claim 1, wherein the coil is surrounded by a rust preventive material. 前記振動板は円形であり、
前記複数対の超磁歪アクチュエータは、前記振動板の半分の半径を有する仮想同心円上に等間隔に配置されていることを特徴とする請求項3に記載の発振器。
The diaphragm is circular,
4. The oscillator according to claim 3, wherein the plurality of pairs of giant magnetostrictive actuators are arranged at equal intervals on virtual concentric circles having a radius that is half of the diaphragm.
JP2009023814A 2009-02-04 2009-02-04 Oscillator Active JP5281427B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009023814A JP5281427B2 (en) 2009-02-04 2009-02-04 Oscillator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009023814A JP5281427B2 (en) 2009-02-04 2009-02-04 Oscillator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010182804A JP2010182804A (en) 2010-08-19
JP5281427B2 true JP5281427B2 (en) 2013-09-04

Family

ID=42764156

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009023814A Active JP5281427B2 (en) 2009-02-04 2009-02-04 Oscillator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5281427B2 (en)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04231750A (en) * 1990-12-28 1992-08-20 Nissan Motor Co Ltd Vibration-proof supporting device
JPH06264864A (en) * 1993-03-10 1994-09-20 Toshiba Corp Compression device
JP4284917B2 (en) * 2002-03-22 2009-06-24 パナソニック電工株式会社 Giant magnetostrictive linear actuator
JP5214382B2 (en) * 2007-12-28 2013-06-19 鹿島建設株式会社 Method for oscillating elastic wave and ground exploration method

Also Published As

Publication number Publication date
JP2010182804A (en) 2010-08-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101964185B (en) An Ultra-Wideband Underwater Acoustic Transducer
US20160252105A1 (en) Cantilever fan
JP5387293B2 (en) Acoustic transducer
JP2006020018A (en) Transmitter receiver
JP5445323B2 (en) Acoustic transducer
AU2011220346A1 (en) Multi degree-of-freedom piezoelectric micro-actuator with an energy efficient isolation structure
US8183743B2 (en) Tubular linear piezoelectric motor
JP5281427B2 (en) Oscillator
JP5545204B2 (en) Acoustic transducer
JP2009044838A (en) Ultrasonic actuator and method for manufacturing piezoelectric displacement portion
EP0400497B1 (en) Device in acoustic transmitters
JP5050652B2 (en) Transmitter and driving method thereof
CN100591430C (en) A piston transducer
CN212441930U (en) A displacement amplifying magnetostrictive transducer
JP4765782B2 (en) Underwater transmitter and underwater transmission method
JP2002218774A (en) Ultrasonic motor
JP4979017B2 (en) Ultrasonic motor and ultrasonic vibrator used therefor
KR100661311B1 (en) Piezoelectric ultrasonic motor
RU2376696C1 (en) Deepwater low-frequency hydroacoustic emitter for acoustic tomography systems
JP2003290719A (en) Large capacity ultrasonic wave composite vibrator
JP2004222453A (en) Actuator
JP4929791B2 (en) Underwater acoustic transmitter
JP4632898B2 (en) Electroacoustic transducer and vibrator thereof
JP2009159574A (en) Planar vibrator
JP2010141440A (en) Acoustic transducer

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110316

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20120518

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20120523

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130314

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130319

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130416

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130514

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130524

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 5281427

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250