JP5255763B2 - Optical inspection method and apparatus - Google Patents
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Description
この発明は光学検査方法および装置に関する。 The present invention relates to an optical inspection method and apparatus.
レンズやミラー等の光学素子や、液晶ガラスやホトマスク等に対して非破壊で、キズやムラ等の欠陥を検査する検査装置として光学検査装置が知られている。光学検査装置は一般に検査対象である被検体に光を照射し、被検体を透過した検査光あるいは被検体に反射された検査光をスクリーン等の投射面上に投射する。
投射面上の光強度分布は、欠陥による検査光の散乱や屈折、遮蔽に応じたものであるので、この光強度分布から被検体における欠陥を知ることができる。
An optical inspection apparatus is known as an inspection apparatus that inspects defects such as scratches and unevenness with respect to optical elements such as lenses and mirrors, liquid crystal glass, photomasks, and the like. In general, an optical inspection apparatus irradiates a subject to be inspected with light, and projects the inspection light transmitted through the subject or the inspection light reflected by the subject onto a projection surface such as a screen.
Since the light intensity distribution on the projection surface corresponds to the scattering, refraction, and shielding of the inspection light due to the defect, the defect in the subject can be known from this light intensity distribution.
例えば、特許文献1には「透明帯状体に存在する欠陥部を光学的に検査する方法および装置」が開示されている。
一般の光学検査装置において投射面に投射されるのは、言ってみれば「被検体の影絵」である。影絵を生成する場合、検査光が放射される光源の大きさが大きいと所謂「半影」により影のパターンの周辺部がぼやけて検査精度が劣化し、欠陥が小さい場合には、欠陥の存在を検出できなくなる。
For example, Patent Document 1 discloses a “method and apparatus for optically inspecting a defective portion existing in a transparent belt-like body”.
In other words, what is projected onto the projection surface in a general optical inspection apparatus is a “shadow of the subject”. When creating a shadow picture, if the size of the light source from which the inspection light is emitted is large, the so-called “half-shadow” blurs the periphery of the shadow pattern and degrades the inspection accuracy. Cannot be detected.
このような「半影」の影響を少なくするためには、光源は点光源であることが理想であり、特許文献1記載の光学検査装置においても、ハロゲンランプ等の発光源からの光を絞りにより絞ることにより「点光源」を実現している。しかしながら、絞りにより点光源を実現する場合、発光源が放射する光の大部分は絞りにより遮光されてしまうため、光の利用効率が著しく悪く、発光源にも極めて大きな発光強度が必要とされる。 In order to reduce the influence of such “half shadows”, it is ideal that the light source is a point light source. In the optical inspection apparatus described in Patent Document 1, light from a light source such as a halogen lamp is limited. The “point light source” is realized by focusing with However, when a point light source is realized by a diaphragm, most of the light emitted from the light source is shielded by the diaphragm, so that the light use efficiency is extremely poor, and the light source also requires extremely high light emission intensity. .
この発明は、光利用効率よく、かつ、精度の高い光学検査を行いうる光学検査方法および装置の実現を課題とする。 An object of the present invention is to realize an optical inspection method and apparatus capable of performing optical inspection with high light efficiency and high accuracy.
この発明の光学検査装置は「被検体の検査面積領域の全領域に検査光を照射し、被検体を透過した検査光もしくは被検体に反射された検査光を投射面に投射し、投射面上の光強度分布の目視により被検体における欠陥を検査する装置」であって、被検体保持手段と、光源手段と、スクリーンとを有する(請求項1)。 The optical inspection apparatus according to the present invention is configured to irradiate the entire area of the inspection area of the subject with the inspection light and project the inspection light transmitted through the subject or the inspection light reflected by the subject onto the projection surface. The apparatus for inspecting a defect in a subject by visual observation of the light intensity distribution of the subject includes a subject holding means, a light source means, and a screen .
「被検体保持手段」は、光学検査の対象となる被検体を「検査態位に保持」する手段である。
「光源手段」は、検査光を放射する手段である。
「スクリーン」は、被検体を透過した検査光もしくは被検体に反射された検査光を投射される。
The “subject holding means” is means for “holding in a test state” a subject to be optically examined.
The “light source means” is means for emitting inspection light.
The “ screen ” is projected with the inspection light transmitted through the subject or the inspection light reflected by the subject .
光源手段は「光源部」と「光拡散部材」と「変位手段」とを少なくとも有する。
「光源部」は、微小な光放射部から発散性のレーザ光を放射させる。
「光拡散部材」は、光源部の微小な光放射部に極く近接もしくは合致して配置され、光放射部から放射される発散性のレーザ光束を透過させ、レーザ光束のコヒーレント性を低減させて検査光とするとともに、微小な光放射部から放射される発散性のレーザ光束の主光線に直交する面内で、レーザ光束に対して変位する。
The light source means has at least a “light source part”, a “light diffusion member”, and a “displacement means”.
The “light source unit” emits divergent laser light from a minute light emitting unit.
"Light diffusion member" is disposed in close proximity or meet the minute light emission portion of the light source unit, is transmitted through the laser light flux of divergent emitted from the light emitting unit, reduce the coherence of the laser beam The inspection light is displaced with respect to the laser beam in a plane orthogonal to the principal ray of the divergent laser beam emitted from the minute light emitting portion.
「変位手段」は、光拡散部材を変位させる手段であり、投射面におけるスペックルノイズを解消させるように「光拡散部材のレーザ光束に対する変位」を行う。
即ち、変位手段は、スクリーンにおけるスペックルノイズの変化が視認できないような速さで、レーザ光束に対する変位を行う。
請求項1記載の光学検査装置において、光源手段における光源としては、半導体レーザ、ファイバレーザ、ガスレーザ、固体レーザの何れかの「レーザ光源」を用いることができる(請求項2)。
The “displacement means” is a means for displacing the light diffusing member, and performs “displacement of the light diffusing member with respect to the laser beam” so as to eliminate speckle noise on the projection surface.
That is, the displacement means performs displacement with respect to the laser beam at such a speed that a change in speckle noise on the screen cannot be visually recognized.
In the optical inspection apparatus according to claim 1, any one of a “laser light source” of a semiconductor laser, a fiber laser, a gas laser, and a solid-state laser can be used as the light source in the light source means (claim 2).
請求項1記載の光学検査装置において、光源手段は、1以上のレーザ光源、例えば1以上の半導体レーザからのレーザ光を、1本の光ファイバにカップリングして光ファイバの射出端から射出させるようにしたファイバ出力型レーザを光源部として用い、上記光ファイバの射出端が「光源部の微小な光放射部」となる。光ファイバの射出端は光ファイバの射出端面における「コア部」である。 2. The optical inspection apparatus according to claim 1, wherein the light source means couples laser light from one or more laser light sources, for example, one or more semiconductor lasers, into one optical fiber and emits the light from an emission end of the optical fiber. The fiber output type laser as described above is used as a light source part , and the exit end of the optical fiber becomes a “micro light emitting part of the light source part” . The exit end of the optical fiber is a “core part” on the exit end face of the optical fiber.
請求項1記載の光学検査装置において、上記光拡散部材は、その拡散面を光源側に向け、拡散面を上記光ファイバの射出端面から0.3mmの位置に近接させて配置される。2. The optical inspection apparatus according to claim 1, wherein the light diffusing member is disposed such that a diffusing surface thereof faces the light source and the diffusing surface is brought close to a position of 0.3 mm from the emission end surface of the optical fiber.
請求項1記載の光学検査装置において、上記変位手段は、上記スクリーンにおけるスペックルノイズの変化が視認できないような速さで、上記光拡散部材を回転させる。
回転的な変位を行わせるには、変位手段として適宜のモータを用いればよい。
2. The optical inspection apparatus according to claim 1, wherein the displacement means rotates the light diffusing member at such a speed that a change in speckle noise on the screen cannot be visually recognized.
In order to perform the rotational displacement, an appropriate motor may be used as the displacement means.
請求項1または2記載の光学検査装置は「光拡散部材からの検査光が、レンズ系を介して被検体に照射される」構成とすることができる(請求項3)。この場合、光拡散部材からの検査光が「レンズ系とアパーチャとを介して被検体に照射される」構成とすることができる(請求項4)。 The optical inspection apparatus according to claim 1 or 2 may be configured such that “the inspection light from the light diffusing member is irradiated to the subject through the lens system” ( claim 3 ). In this case, the configuration may be such that the inspection light from the light diffusing member is “irradiated to the subject through the lens system and the aperture” ( claim 4 ).
レンズ系は、正のパワーを持つものでもよいし負のパワーを持つものでもよい。
拡散手段を介した検査光は発散性であるので、正のパワーを持つレンズ系を介して被検体に照射するようにすると、被検体に照射される検査光の発散性が抑制され、被検体に利用効率よく照射することができる。また、負のパワーを持つレンズ系を介して被検体に照射するようにすると、検査光の発散性が強くなるので、比較的大きな被検体を拡散手段の近傍に配置しても、被検体の被検査領域(検査面積領域の全領域)を良好に照射できる。
The lens system may have positive power or negative power.
Since the inspection light passing through the diffusing means is divergent, if the subject is irradiated through a lens system having a positive power, the divergence of the inspection light applied to the subject is suppressed, and the subject Can be used efficiently. In addition, if the subject is irradiated through a lens system having a negative power, the divergence of the inspection light becomes strong. Therefore, even if a relatively large subject is placed in the vicinity of the diffusing means, It is possible to satisfactorily irradiate the region to be inspected (all regions of the inspection area) .
また、アパーチャを用いて、検査光の周辺部を制限することにより、被検体の被検査領域に適した大きさの光束径をもつ検査光を実現できる。 Further, by limiting the peripheral portion of the inspection light using the aperture, it is possible to realize inspection light having a light beam diameter having a size suitable for the inspection region of the subject.
請求項3におけるレンズ系や請求項4におけるアパーチャは「光源手段」の一部を構成するが、必ずしも光源手段の必須の構成要件であるわけではなく、上に説明したように、光源手段に最低限必要な構成要素は「光源部」と「光拡散部材」と「変位手段」である。 The lens system according to claim 3 and the aperture according to claim 4 constitute a part of the “light source means”, but are not necessarily essential constituent elements of the light source means. The necessary constituent elements are “light source part”, “light diffusion member”, and “displacement means” .
従って、これらレンズ系やアパーチャが光源手段に含まれない場合には、微小な光放射部から放射される「発散性のレーザ光」が光拡散部材で拡散されて発散性の検査光となるが、上記レンズ系を有する場合には、レンズ系の作用により発散性が強められあるいは抑制された検査光が得られるし、アパーチャを有する場合には、アパーチャにより光束径を調整された検査光が得られる。 Therefore, when these lens systems and apertures are not included in the light source means, the “divergent laser light” emitted from the minute light emitting portion is diffused by the light diffusing member and becomes divergent inspection light. In the case of having the above lens system, inspection light whose divergence is enhanced or suppressed by the action of the lens system can be obtained, and in the case of having an aperture, inspection light whose beam diameter is adjusted by the aperture is obtained. It is done.
スクリーン上に投射された検査光の光強度分布から「目視」で被検体の欠陥を観察できるが、その際に、スペックルノイズの変化は視認できない。 From the light intensity distribution of the inspection light projected on the screen, the defect of the subject can be observed “visually”, but at that time, the change in speckle noise cannot be visually recognized.
なお、投射面手段として用いられるスクリーンは「蛍光シート」が好適である。蛍光シート上に検査光(被検体を透過したもの、または被検体に反射されたもの)を投射すると、光強度分布におけるコントラストが高くなり、目視による観察が容易になる。また、これに限らず、白紙等、光強度分布におけるコントラストを視認できるものであれば、スクリーンとして適宜に利用できる。 The screen used as the projection surface means is preferably a “fluorescent sheet”. When the inspection light (one transmitted through the subject or reflected by the subject) is projected onto the fluorescent sheet, the contrast in the light intensity distribution becomes high, and visual observation becomes easy. Further, the present invention is not limited to this, and can be appropriately used as a screen as long as it can visually recognize the contrast in the light intensity distribution, such as white paper.
撮像素子は、エリアセンサのように2次元的な受光面を持つものでもよいし、CCDラインセンサのように「1次元の受光面を持つものを受光面の長さ方向に直交する方向へ走査する方式のもの」でもよい。 The image sensor may have a two-dimensional light receiving surface such as an area sensor, or “scans one having a one-dimensional light receiving surface in a direction perpendicular to the length direction of the light receiving surface, such as a CCD line sensor. It is also possible to use “the method of doing”.
この発明の光学検査方法は「被検体の検査面積領域の全領域に検査光を照射し、被検体を透過した検査光もしくは被検体に反射された検査光をスクリーンに投射し、スクリーン上の光強度分布の目視により被検体における欠陥を検査する方法」であって、上記請求項1〜4の任意の1に記載の光学検査装置を用いて実施する検査方法である(請求項5)。 According to the optical inspection method of the present invention, “the entire area of the inspection area of the subject is irradiated with the inspection light, the inspection light transmitted through the subject or the inspection light reflected by the subject is projected onto the screen, and the light on the screen A method for inspecting a defect in a subject by visual observation of an intensity distribution ”, which is an inspection method performed using the optical inspection apparatus according to any one of claims 1 to 4 ( claim 5 ).
補足すると、この発明の光学検査方法では、検査光の光源としてレーザ光源が用いられる。レーザ光源から放射されるレーザ光は、1本の光ファイバにカップリングして光ファイバの射出端から射出させたり、レーザ光をレンズ系により微小な集光部に集光させたりすることにより、点光源に近い「微小な光放射部」を容易に実現でき、しかもこのとき、レーザ光源から放射されるレーザ光の実質的に全てを「微小な光放射部」から放射させて検査光とすることができる。 Supplementally, in the optical inspection method of the present invention, a laser light source is used as a light source of inspection light. The laser light emitted from the laser light source is coupled to one optical fiber and emitted from the exit end of the optical fiber, or the laser light is condensed on a minute condensing part by a lens system, A “micro light emitting part” close to a point light source can be easily realized, and at this time, substantially all of the laser light emitted from the laser light source is emitted from the “micro light emitting part” and used as inspection light. be able to.
また、光ファイバの射出端による微小な光放射部は、絞りやピンホールにより実現される「点光源」よりも「さらに微小な光放射部」として実現でき、「半影」の生成を極めて有効に防止できる。 In addition, the minute light emitting part at the exit end of the optical fiber can be realized as a "smaller light emitting part" than the "point light source" realized by an aperture or a pinhole , and the generation of "half shadow" is extremely effective Can be prevented.
しかし反面、レーザ光は、コヒーレント性が高いので、微小な光放射部から放射されるレーザ光をそのまま検査光とした場合には、投射面上に投射された光のパターンに「レーザ光のコヒーレント性によるスペックルノイズ」が現れるため、目視による検査に支障が生じる。 However, laser light is highly coherent. Therefore, when the laser light emitted from a minute light emitting part is used as inspection light as it is, the pattern of light projected on the projection surface is changed to “coherent laser light”. "Speckle noise due to the nature" appears, which hinders visual inspection .
この発明の光学検査装置では、このスペックルノイズの問題を解消するために、微小な光放射部に極く近接させて光拡散部材を配置し、この光拡散部材による「レーザ光」の拡散により、レーザ光のコヒーレント性を低下させる。すなわち光拡散部材は「ランダム位相板」の機能を有する。光拡散部材は、上記「微小な光放射部」から離して設置すると、光拡散部材によるレーザ光束の滲みにより、検査光の持つべき「点光源光束(点光源から放射される光束)」の性質が損なわれて、実質的な光源の大きさが拡大するため、光拡散部材は、その拡散面が微小な光放射部に合致することが理想であるが、この発明においては、拡散面を微小な光放射部にできるだけ近接させて配置するのである。
即ち、この発明では、実質的な点光源である光ファイバの射出端面から0.3mmの位置に近接させて拡散面を配置する。
In the optical inspection apparatus of the present invention, in order to solve the problem of speckle noise, a light diffusing member is arranged in close proximity to a minute light emitting portion, and by diffusion of “laser light” by the light diffusing member. , Reducing the coherency of the laser beam. That is, the light diffusing member functions as a “random phase plate”. When the light diffusing member is placed away from the above-mentioned “small light emitting part”, the property of “point light source light beam (light beam emitted from the point light source)” that inspection light should have due to the bleeding of the laser light beam by the light diffusing member In the present invention, it is ideal that the light diffusing member matches the minute light emitting portion. It is arranged as close as possible to the light emitting part .
That is, in the present invention, the diffusing surface is arranged close to a position of 0.3 mm from the exit end face of the optical fiber that is a substantial point light source.
光拡散部材によりコヒーレント性を低下させることによりスペックルノイズは軽減されるが、コヒーレント性を低下させすぎると検査光の点光源光束としての性質が弱まり、半影が生じて照射面上の影絵周辺部の輪郭を「ぼやけさせる」副作用を生じる。このような「ぼやけによる検査精度の低下を抑える程度」にコヒーレント性を低下させた場合にはスペックルノイズを完全に除去することはできない。 Speckle noise is reduced by reducing the coherency with the light diffusing member. However, if the coherency is reduced too much, the property of the inspection light as a point light source beam is weakened, and a penumbra is created to create a shadow around the illuminated surface. This produces the side effect of “blurring” the outline of the part. Speckle noise cannot be completely removed when the coherency is lowered to such an extent that “decrease in inspection accuracy due to blurring is suppressed”.
そこで、この発明においては、微小な光放射部から放射されるレーザ光のコヒーレント性の低下により、スペックルノイズをある程度低減しつつ点光源光束としての性質(半影の発生が有効に抑えられる)を保持し、除去しきれないスペックルノイズを「光拡散部材のレーザ光束に対する変位」により解消するのである。
即ち、光拡散部材による拡散は、光拡散部材の位置(レーザ光を透過させる位置)ごとに全くランダムであるので、光拡散部材をレーザ光束に対して変位させると、投射面上に現れるスペックルノイズのパターンは、光拡散部材の変位に応じて変化するので、「スペックルノイズの変化が視認できないような速さ」となるように光拡散部材を変位させればよい。
このようにして「投射面におけるスペックルノイズ」は、光拡散部材により「半影による検査精度の低下が許容される程度」にコヒーレント性を低下させ、残存するスペックルノイズを光拡散部材の変位により解消するのである。
Therefore, in the present invention, the characteristic as a point light source light flux is effectively suppressed while the speckle noise is reduced to some extent by the reduction of the coherency of the laser light emitted from the minute light emitting portion (the occurrence of penumbra can be effectively suppressed). Thus, speckle noise that cannot be removed is eliminated by “displacement of the light diffusing member relative to the laser beam”.
That is, the diffusion by the light diffusing member is completely random for each position of the light diffusing member (the position where the laser light is transmitted), so that when the light diffusing member is displaced with respect to the laser beam, speckles appearing on the projection surface are displayed. noise pattern varies in accordance with the displacement of the light diffusing member, it is sufficient to displace the light diffusing member to be "speckle noise changes can not such fast viewing of".
In this way, “speckle noise on the projection surface” is reduced in coherency by the light diffusing member to the extent “accurate reduction in inspection accuracy due to penumbra” is allowed, and the remaining speckle noise is displaced by the light diffusing member. It is solved by.
以上に説明したように、この発明によれば、新規な光学検査方法および装置を実現できる。この発明の光学検査方法および装置によれば、極めて高い光利用効率で、精度良く、被検体の光学検査を行うことができる。 As described above, according to the present invention, a novel optical inspection method and apparatus can be realized. According to the optical inspection method and apparatus of the present invention, an optical inspection of a subject can be performed with a very high light use efficiency and with high accuracy.
以下、実施の形態を説明する。
図1は光学検査装置の実施の1形態を説明図的に示している。
この光学検査装置は、光学レンズを被検体として、その欠陥であるレンズ面のキズ、異物付着、成形時のヒケ、ウェルドライン、面われ等を目視で検査する装置である。
Hereinafter, embodiments will be described.
FIG. 1 is an explanatory view showing an embodiment of an optical inspection apparatus.
This optical inspection apparatus is an apparatus that uses an optical lens as a subject to visually inspect defects such as scratches on the lens surface, adhesion of foreign matter, sink marks during molding, weld lines, and surface defects.
図中、符号Obは「被検体」である被検レンズ、符号HLは被検体保持手段、符号10は光ファイバ、符号12は光拡散部材、符号14は「変位手段」であるモータ、符号16はレンズ系、符号18はアパーチャ、符号20は「スクリーン」を示している。
In the figure, reference numeral Ob is a test lens that is “subject”, reference numeral HL is a subject holding means,
光ファイバ10は光源手段の光源部の一部をなす。
即ち、光源部は、図示されていない複数の半導体レーザと、これら複数の半導体レーザからのレーザ光を合成して、光ファイバ10の入射端に入射させて光ファイバ10にカップリングするカップリング手段と光ファイバ10とを有している。光ファイバ10は適宜の長さを有し、その可撓性により自在に曲げられるので、上記半導体レーザやカップリング手段の側を適宜の位置に配置することができる。カップリング手段としては、公知の適宜のものを用いることができる。
The
That is, the light source unit combines a plurality of semiconductor lasers (not shown) and laser light from the plurality of semiconductor lasers so as to be incident on the incident end of the
光ファイバ10にカップリングしたレーザ光は光ファイバ10中を伝搬し、光ファイバ10の射出端(図において光ファイバ10の右側端面のコア部であり「微小な光放射部」である。)から発散性のレーザ光として検査光を射出する。
The laser beam coupled to the
光ファイバ10の上記射出端に極く近接して光拡散部材12が配置されている。光拡散部材12は「円板状の拡散板」であり、中心をモータ14の回転軸に軸支され、光ファイバ10の射出端から放射される発散性のレーザ光線の「主光線に直交する面内」で、回転によりレーザ光束に対して変位するようになっている。この実施の形態において光拡散部材12は「フロスト拡散板」である。
The
発散性の検査光は光拡散部材により拡散されたのち、正のパワーを持つレンズ系16に入射して発散性を抑えられ、アパーチャ18により光束周辺部を遮断されて、被検レンズObの検査面積領域の全領域に入射する。この実施の形態において、被検レンズObは、負のパワーを持つメニスカスレンズであり、検査光は、被検レンズObの負のパワーにより発散性を強められてスクリーン20に投射される。
The divergent inspection light is diffused by the light diffusing member, and then enters the
このとき、検査光は「実質的に点光源と看做しうる微小な光放射部から射出したレーザ光が光拡散部材12により拡散されてコヒーレント性を低下された」ものであり、コヒーレント性の低下の程度は「半影は発生するもののその影響が許容できる範囲」のものであり、被検レンズObにおける欠陥の存在が「明確な輪郭」をもってスクリーン20上に投射される。コヒーレント性の低下の程度は「半影の影響を許容できる」程度であるため、前述の如く、照射面上にはスペックルノイズも発生する。
At this time, the inspection light is “the laser light emitted from the minute light emitting portion that can be regarded as a point light source is diffused by the
検査を行うときには、光拡散部材12を回転させることにより、レーザ光束に対して変位させ、前述した「スペックルノイズの解消」を行い、スペックルノイズが目視では観察できないようにする。
When performing the inspection, the
このようにして、目視での観察がスペックルノイズに影響されない状況で、欠陥の有無を観察できる。検査光は、被県レンズの検査面積領域の全領域に照射されるので、検査面積の全領域における欠陥の有無を一度に観察できる。
例えば、被検レンズObの表面にキズや異物の付着などの欠陥があると、この欠陥部分では検査光が散乱されるので、スクリーン20上の光強度分布では、欠陥に対応する部分の光強度が図示の如くに小さくなるので、このような部分を目視で観察することにより、欠陥の有無を容易に判別することができる。
In this way, the presence or absence of defects can be observed in a situation where visual observation is not affected by speckle noise. Since the inspection light is irradiated to the entire area of the inspection area of the lens to be prefectured, the presence or absence of defects in the entire area of the inspection area can be observed at a time.
For example, if there is a defect such as a flaw or adhesion of foreign matter on the surface of the lens Ob, the inspection light is scattered at the defective portion. Therefore, in the light intensity distribution on the
欠陥部の存在はまた、スクリーン20上に「他の部分よりも光強度の高い部分」となって現れることもある。いずれにせよ、光強度分布における光強度が他の部分よりも高い部分・低い部分の有無を観察することにより、欠陥の存在を検査することができる。
The presence of the defect portion may also appear on the
図2には、参考例の形態を示す。繁雑を避けるため、混同の虞が無いと思われるものについては、図1におけると同一の符号を付した。図1におけると同一の符号を付したものは、図1におけると同じものであり、これらについての説明は図1の説明を援用する。 FIG. 2 shows a form of a reference example . In order to avoid complications, the same reference numerals as those in FIG. Those given the same reference numerals as in FIG. 1 are the same as those in FIG. 1, and the description of FIG.
図2において、符号11は半導体レーザ、符号13はレンズ系を示す。レンズ系13は正のパワーを持ち、半導体レーザ11からの発散性のレーザ光を集光させる。レーザ光の集光部Pは「微小な光放射部」となり発散性のレーザ光を放射することになる。 In FIG. 2, reference numeral 11 denotes a semiconductor laser, and reference numeral 13 denotes a lens system. The lens system 13 has a positive power and focuses the divergent laser light from the semiconductor laser 11. The condensing part P of the laser light becomes a “minute light emitting part” and emits a divergent laser light.
モータ14により中心部を軸支された光拡散部材12は、拡散面を集光部Pに合致させモータ14により回転され「レーザ光線の主光線に直交する面内でレーザ光束に対して変位」する。即ち、この実施の形態においては、微小な光放射部には「機械的な実体」が存在しないので、光拡散部材12の拡散面を「微小な光放射部」である集光部Pに合致させることができるのである。光拡散部材12を透過した後の検査光の振る舞いは、図1の実施の形態と同じであり、図1の実施の形態の説明を援用する。
The
図3に示す実施の形態は、凸面鏡Obmを被検体として欠陥検査を行うように、図1に示す実施の形態を変形したものである。図1におけると同一の符号を付したものは、図1におけると同じものであり、これらについての説明は図1の説明を援用する。 The embodiment shown in FIG. 3 is a modification of the embodiment shown in FIG. 1 so that the defect inspection is performed using the convex mirror Obm as a subject. Those given the same reference numerals as in FIG. 1 are the same as those in FIG. 1, and the description of FIG.
この実施の形態では、欠陥の有無を検査する被検体は凸面鏡Obmであり、アパーチャ18から射出する検査光は凸面鏡Obmの鏡面の検査面積領域の全領域を照射し、鏡面に反射される。そして、反射された検査光は発散しつつスクリーン20に照射され、鏡面の欠陥に応じた光強度分布を持つ影絵を形成する。従って、光強度分布において光強度が「他の部分より大きい」部分や「他の部分より小さい」部分の有無を目視で観察することにより、欠陥の有無を容易に判定できる。
In this embodiment, the object to be inspected for defects is a convex mirror Obm, and the inspection light emitted from the
上に図1、図3に即して説明した実施の形態では、被検体を透過した検査光や被検体に反射された検査光は何れも「発散性の光束」となるので、スクリーン上には欠陥が拡大した状態で照射されることになり、従って、極めて小さい傷のような欠陥の有無も、目視で判別することができる。 In the embodiment described above with reference to FIG. 1 and FIG. 3 , the inspection light transmitted through the subject and the inspection light reflected by the subject are both “divergent light fluxes”. Is irradiated in a state where the defect is enlarged. Therefore, the presence or absence of a defect such as an extremely small scratch can be visually determined.
「被検体」は、上記の如き「負のパワーのレンズや凸面鏡」に限らない。例えば、平板状の透明体や凸レンズ、平面鏡や凹面鏡を被検体とすることもできる。 The “subject” is not limited to the “negative power lens or convex mirror” as described above. For example, a flat transparent body, a convex lens, a plane mirror, or a concave mirror can be used as the subject.
これらの被検体の場合、被検体を透過した検査光や被検体に反射された検査光は、照射された状態と同じ状態であるか、あるいは、発散性が抑制されたり、さらには収束性の光束となったりするが、このような場合でも、上記の透過検査光や反射された検査光の光束形態を、例えば凹レンズを用いて発散光束に変換することができるし、被検体を透過した検査光や被検体に反射された検査光が収束光束である場合には、一旦、光束を収束させた後の発散光束をスクリーンに拡大状態で照射することができる。 In the case of these subjects, the examination light transmitted through the subject or the examination light reflected by the subject is in the same state as the irradiated state, or the divergence is suppressed or the convergence is further improved. Even in such a case, the light beam form of the above-described transmitted inspection light or reflected inspection light can be converted into a divergent light beam using, for example, a concave lens, or an inspection that has passed through the subject. When the inspection light reflected by the light or the subject is a convergent light beam, the divergent light beam after the light beam is once converged can be irradiated on the screen in an enlarged state.
また、スクリーンを用いずに、投射面を受光面とするエリアセンサ等の撮像素子を用いる場合には、図1〜図3のような被検体の場合、被検体を透過した検査光や被検体に反射された検査光を、収束光束に変換して撮像素子の受光面に照射する必要があるが、スクリーンを用いるこの発明の場合には、このような操作は不要であり、スクリーン上の光強度分布を直接目視して、欠陥の有無を視認できる。 In addition , when an imaging element such as an area sensor having a projection surface as a light receiving surface is used without using a screen, in the case of the subject as shown in FIGS. However, in the case of the present invention using a screen, such an operation is not necessary, and the light on the screen is not necessary. The presence or absence of defects can be visually recognized by directly viewing the intensity distribution.
上に図1および図3に即して説明した実施の形態は、被検体Ob(Obm)の検査面積領域の全領域に検査光を照射し、被検体Obを透過した検査光もしくは被検体Obmに反射された検査光をスクリーン20に投射し、スクリーン20上の光強度分布により被検体における欠陥を検査する装置であって、被検体Ob(Obm)を検査態位に保持する被検体保持手段HLと、検査光を放射する光源手段と、被検体を透過した検査光もしくは上記被検体に反射された検査光を投射されるスクリーン20とを有し、光源手段は、複数のレーザ光源からのレーザ光を、1本の光ファイバ10にカップリングして光ファイバの射出端から射出させるようにしたファイバ出力型レーザで、光ファイバの射出端が微小な光放射部であり、光放射部に極く近接して配置され、光放射部から放射される発散性のレーザ光束を透過させ、レーザ光束のコヒーレント性を低減させて検査光とするとともに、レーザ光線の主光線に直交する面内でレーザ光束に対して変位する光拡散部材12と、この光拡散部材を変位させる変位手段14とを少なくとも有し、変位手段14は、スクリーン20におけるスペックルノイズを解消させるように、光拡散部材12のレーザ光束に対する変位を行う光学検査装置である。
The embodiment described above with reference to FIGS. 1 and 3 irradiates the inspection light to the entire area of the inspection area of the object Ob (Obm) and transmits the inspection light or the object Obm that has passed through the object Ob. Is a device that projects the inspection light reflected on the
また、これら図1、図3の実施の形態では、光源手段におけるレーザ光源として半導体レーザ11が用いられ、1以上のレーザ光源からのレーザ光を、1本の光ファイバ10にカップリングして光ファイバ10の射出端から射出させるようにしたファイバ出力型レーザを光源部として用い、光ファイバの出力端(コア部)が微小な光放射部である。
1 and 3, a semiconductor laser 11 is used as a laser light source in the light source means , and laser light from one or more laser light sources is coupled to one
変位手段14による光拡散板12の回転は、スクリーンにおけるスペックルノイズの変化が視認できないような速さで行われる。The rotation of the
また、光拡散部材12がフロスト型拡散板であり、この光拡散部材を変位手段14により回転的に変位させる。また、光拡散部材12からの検査光は、レンズ系16を介して被検体Ob(Obm)に照射される。
The
また、光拡散部材12からの検査光が、レンズ系16とアパーチャ18とを介して被検体Ob(Obm)に照射される。
Further, the inspection light from the
上に図1に即して説明した実施の形態の具体的な実施例を示す。
レーザ光源としては発光波長:405nmの半導体レーザを8個用い、これらの半導体レーザからのレーザ光をカップリング手段により1本の光ファイバ10にカップリングさせた。光ファイバ10はファイバコア径:φ=100μmのものである。従って、微小な光放射部は直径:100μmの円形状であり極めて小さい。
A specific example of the embodiment described above with reference to FIG. 1 is shown.
As the laser light source, eight semiconductor lasers having an emission wavelength of 405 nm were used, and laser light from these semiconductor lasers was coupled to one
光拡散部材12は「砂番:No.1500のフロスト型拡散板」を用い、その拡散面を光源側に向け、拡散面と光ファイバ10の射出端面から0.3mmの位置に近接させて配置した。
The
また、光拡散部材12は半径:20mmの円板状であり、中心をモータ14の回転軸に固定し、モータ14による回転中心から18mmはなれた部分が、光ファイバ10の射出端面に近接対向するようにした。モータ14により光拡散板12を毎分100回転(100rpm)で回転させ、光拡散部材12が、レーザ光に対して188mm/秒で変位するようにした。
The
レンズ系16は正のパワーを持ち、検査光の発散性を抑制する。
The
被検体である被検レンズObは、有効径:14mm、焦点距離:−18mmの負のパワーのガラスモールドレンズであり、ホルダHLにより保持され、光ファイバ10から射出するレーザ光の主光線とレンズ光軸が合致するようにセットされる。
The subject lens Ob, which is the subject, is a glass mold lens having a negative power with an effective diameter of 14 mm and a focal length of -18 mm, and is held by the holder HL and emitted from the
光拡散部材12からのコヒーレント性を低減されたレーザ光束をレンズ系16により弱い発散性の光束に変換し、アパーチャ18により光束周辺部を遮断して検査光となし、被検レンズの有効径:14mmの範囲内のレンズ面(即ち「検査面積領域の全領域」)に照射した。このとき、レンズ面上における照度は35ルックスであり、照射面内での光強度の最大・最小の差は5%であり、レンズ面は略均一に照射された。なお、照射部の照度は、説明中の実施例において最大4000ルックスまで増大させることができる。
The laser beam with reduced coherency from the
被検レンズObは負のパワーを持つので、検査光は被検レンズObを透過すると発散性を増し、発散しつつ蛍光シートによるスクリーン20を照射する。被検レンズObとスクリーン20との間隔を400mmに設定し、被検レンズObに照射する検査光の発散状態をレンズ系16により調整し、スクリーン20上に直径:略140mmの円形状のスポットが形成されるようにした。即ち、スクリーン20を照射するスポットは、被検レンズObの有効径の10倍である。
Since the test lens Ob has negative power, the inspection light increases its divergence when it passes through the test lens Ob, and irradiates the
その結果、被検レンズObにおける幅:10μm、深さ:0.03μm程度のキズが、スクリーン20上では10μm程度に拡大されるとともに、周囲に対する光強度が小さくなり、目視により観察することができた。このとき、スクリーン20上のスペックルノイズは目視では全く認められなかった。
As a result, a scratch of about 10 μm in width and about 0.03 μm in depth on the lens to be examined Ob is enlarged to about 10 μm on the
モータ14による光拡散部材12の回転速度を100mm/秒程度まで低下させると、スクリーン20上の検査光のスポットにスペックルノイズが目視で認められたが、160mm/秒程度の変位速さ以上では、スペックルノイズは殆ど認められなかった。
When the rotational speed of the
なお、光拡散部材における拡散性が小さくなる(拡散面における凹凸が大きくなる)と、光拡散部材による「レーザ光のコヒーレント性低減」の効果は少なくなり、投射面上の検査光スポットにスペックルノイズが現れやすくなるが、このような場合にも、光拡散部材のレーザ光に対する変位速さを十分に大きく設定することにより、スペックルノイズを検査に影響できないように解消することができる。 If the diffusibility of the light diffusing member becomes small (the unevenness on the diffusing surface becomes large), the effect of “reducing the coherency of laser light” by the light diffusing member is reduced, and the speckle in the inspection light spot on the projection surface is reduced. Although noise is likely to appear, in such a case as well, speckle noise can be eliminated so as not to affect the inspection by setting the displacement speed of the light diffusing member with respect to the laser light sufficiently large.
上に説明した実施の形態・実施例は、スクリーン20上に検査光が形成するスポットを目視で観察する光検査装置であるが、これに限らず、スクリーン20上の検査光のスポットを外部カメラで撮像し、これを画像処理して欠陥の有無を検出したり、あるいは撮影された像をモニタ上で観察したりしても良いことは勿論である。
The embodiments and examples described above are optical inspection apparatuses that visually observe spots formed by inspection light on the
また、上記実施の形態・実施例の光学検査装置を用いることにより、請求項5記載の光学検査方法を実施できる。 Moreover, the optical inspection method according to claim 5 can be carried out by using the optical inspection apparatus according to the above-described embodiments and examples.
Ob 被検レンズ(被検体)
10 光ファイバ
12 光拡散部材
14 モータ(変位手段)
Ob Test lens (subject)
DESCRIPTION OF
Claims (5)
被検体を検査態位に保持する被検体保持手段と、
検査光を放射する光源手段と、
上記被検体を透過した検査光もしくは上記被検体に反射された検査光を投射されるスクリーンと、を有し、
上記光源手段は、微小な光放射部から発散性のレーザ光を放射させる1以上のレーザ光源部と、上記光放射部に極く近接して配置され、上記光放射部から放射される発散性のレーザ光束を透過させ、上記レーザ光束のコヒーレント性を低減させて検査光とするとともに、上記レーザ光線の主光線に直交する面内で上記レーザ光束に対して変位する光拡散部材と、
この光拡散部材を、上記スクリーンにおけるスペックルノイズの変化が視認できないような速さで、上記レーザ光束に対する変位を行う変位手段と、を少なくとも有し、
上記光源部は、1以上のレーザ光源からのレーザ光を、1本の光ファイバにカップリングして上記光ファイバの射出端から射出させるようにしたファイバ出力型レーザで、上記光ファイバの射出端が微小な光放射部であり、
上記光拡散部材は、その拡散面を光源側に向け、拡散面を上記光ファイバの射出端面から0.3mmの位置に近接させて配置され、
上記変位手段は、上記スクリーンにおけるスペックルノイズの変化が視認できないような速さで、上記光拡散部材を回転させることを特徴とする光学検査装置。 By irradiating the entire area of the inspection area of the subject with the inspection light, projecting the inspection light transmitted through the subject or the inspection light reflected by the subject, and visually observing the light intensity distribution on the screen. An apparatus for inspecting a defect in the subject,
A subject holding means for holding the subject in an examination state;
Light source means for emitting inspection light;
It has a screen that is projected to the inspection light reflected on the inspection light or the subject has transmitted through the subject, and
The light source means is arranged in close proximity to the one or more laser light source units that emit divergent laser light from a minute light emitting unit, and the divergent property emitted from the light emitting unit. And a light diffusing member that is displaced with respect to the laser beam in a plane orthogonal to the principal beam of the laser beam,
The light diffusing member has at least displacement means for displacing the laser beam at a speed at which the change in speckle noise on the screen cannot be visually recognized ,
The light source unit is a fiber output laser in which laser light from one or more laser light sources is coupled to one optical fiber and emitted from the emission end of the optical fiber. Is a small light emitting part,
The light diffusing member is disposed with its diffusing surface facing the light source side, with the diffusing surface being close to a position of 0.3 mm from the emission end surface of the optical fiber,
The optical inspection apparatus characterized in that the displacement means rotates the light diffusion member at such a speed that a change in speckle noise on the screen cannot be visually recognized .
光源手段における光源として半導体レーザ、ファイバレーザ、ガスレーザ、固体レーザの何れかのレーザ光源が用いられることを特徴とする光学検査装置。 The optical inspection apparatus according to claim 1,
An optical inspection apparatus using a laser light source of any one of a semiconductor laser, a fiber laser, a gas laser, and a solid-state laser as a light source in the light source means.
光拡散部材からの検査光が、レンズ系を介して被検体に照射されることを特徴とする光学検査装置。 An optical inspection apparatus characterized in that inspection light from a light diffusing member is irradiated onto a subject through a lens system.
光拡散部材からの検査光が、レンズ系とアパーチャとを介して被検体に照射されることを特徴とする光学検査装置。 An optical inspection apparatus, wherein inspection light from a light diffusing member is irradiated to a subject through a lens system and an aperture.
請求項1〜4の任意の1に記載の光学検査装置を用いて実施することを特徴とする光学検査方法。 It implements using the optical inspection apparatus of any 1 of Claims 1-4, The optical inspection method characterized by the above-mentioned.
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Families Citing this family (2)
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JPS6153511A (en) * | 1984-08-23 | 1986-03-17 | Tokyo Optical Co Ltd | Apparatus for inspecting flaw |
JPH0812152B2 (en) * | 1986-11-18 | 1996-02-07 | 旭エンジニアリング株式会社 | Reflected light flaw detector |
JPH0814546B2 (en) * | 1987-05-07 | 1996-02-14 | 富士通株式会社 | Optical shape inspection device |
JPH05322783A (en) * | 1992-05-25 | 1993-12-07 | Olympus Optical Co Ltd | Substrate observing device |
JPH06258058A (en) * | 1993-03-10 | 1994-09-16 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Method and system for evaluating quality of polished glass |
JP2747646B2 (en) * | 1993-12-24 | 1998-05-06 | 東芝硝子株式会社 | Glass striae inspection system |
JPH1078668A (en) * | 1996-09-04 | 1998-03-24 | Toshiba Corp | Inspection device |
JP4196031B2 (en) * | 1998-05-21 | 2008-12-17 | 株式会社ニコン | Laser microscope |
JP2000019120A (en) * | 1998-06-30 | 2000-01-21 | Central Glass Co Ltd | Transparent plate body defect detecting method and device therefor |
JP4258058B2 (en) * | 1999-03-23 | 2009-04-30 | ソニー株式会社 | Inspection apparatus and inspection method for disk-shaped recording medium |
JP2001100104A (en) * | 1999-09-28 | 2001-04-13 | Toshiba Corp | Uniform illumination optical unit, uniform illumination optical system, pattern inspecting device and microscope |
JP3978307B2 (en) * | 2000-02-09 | 2007-09-19 | 株式会社日立製作所 | Ultraviolet laser beam generator, defect inspection apparatus and method thereof |
JP2002162655A (en) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Sony Corp | Optical apparatus |
JP2003014578A (en) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Canon Inc | Lens inspection device |
JP2004138603A (en) * | 2002-09-24 | 2004-05-13 | Topcon Corp | Laser light source device and surface inspection device using the same |
JP2005241692A (en) * | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Nano Photon Kk | Optical device, imaging apparatus and inspection device |
JP4521660B2 (en) * | 2004-05-20 | 2010-08-11 | 株式会社ニコン | LIGHTING ASSISTANCE DEVICE AND INSPECTION DEVICE USING THE LIGHTING ASSISTANCE DEVICE |
-
2006
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109814270A (en) * | 2019-03-25 | 2019-05-28 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | Laser output light spatial coherence inhibits device |
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