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JP5235449B2 - Cutting tools - Google Patents

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JP5235449B2
JP5235449B2 JP2008045857A JP2008045857A JP5235449B2 JP 5235449 B2 JP5235449 B2 JP 5235449B2 JP 2008045857 A JP2008045857 A JP 2008045857A JP 2008045857 A JP2008045857 A JP 2008045857A JP 5235449 B2 JP5235449 B2 JP 5235449B2
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Description

本発明は、母材上に被覆膜が形成された切削工具に関する。   The present invention relates to a cutting tool in which a coating film is formed on a base material.

従来から、超硬合金やサーメット、セラミックス等の母材上に、炭化チタン層、窒化チタン層、炭窒化チタン層、酸化アルミニウム層及び窒化チタンアルミ層等が単数又は複数形成された切削工具が知られている。   Conventionally, there has been known a cutting tool in which a single or plural titanium carbide layer, titanium nitride layer, titanium carbonitride layer, aluminum oxide layer, and titanium nitride aluminum layer are formed on a base material such as cemented carbide, cermet, or ceramic. It has been.

このような切削工具は、最近の切削加工の高能率化に従って、大きな衝撃が切刃にかかる重断続切削等に用いられる機会が増えており、係る過酷な切削条件においては、被覆膜にかかる大きな衝撃によるチッピングや被覆膜の剥離を抑制するため、耐欠損性・耐摩耗性の向上が求められている。   Such cutting tools are increasingly used for heavy interrupted cutting where a large impact is applied to the cutting edge as the efficiency of recent cutting increases, and the coating film is applied under such severe cutting conditions. In order to suppress chipping and peeling of the coating film due to a large impact, improvements in fracture resistance and wear resistance are required.

上記切削工具において耐欠損性を向上させる技術として、酸化アルミニウム層の粒径と層厚を適正化すると共に、(012)面における組織化係数(Texture Coefficient:配向係数)を1.3以上とすることにより、緻密で耐欠損性の高い酸化アルミニウム層を形成することができる技術(特許文献1参照)や、酸化アルミニウム層の(012)面における組織化係数を2.5以上とすることで、酸化アルミニウム層における残留応力が解放されやすくすることにより、酸化アルミニウム層の耐欠損性を向上させることができる技術(特許文献2参照)が開示されている。   As a technique for improving the fracture resistance in the cutting tool, the grain size and the layer thickness of the aluminum oxide layer are optimized, and the texture coefficient on the (012) plane is set to 1.3 or more. By this, a technique (see Patent Document 1) that can form a dense and highly fracture-resistant aluminum oxide layer, and an organization coefficient on the (012) plane of the aluminum oxide layer is 2.5 or more, A technique (see Patent Document 2) that can improve the fracture resistance of an aluminum oxide layer by facilitating the release of residual stress in the aluminum oxide layer is disclosed.

また、上記切削工具において耐摩耗性を向上させる技術として、中間層の直上に位置する酸化アルミニウム層が、異なるX線回折パターンを示す2層以上の単位層を積層してなるように形成されることにより、被膜の強度及び靭性を向上させることができる技術(特許文献3参照)が開示されている。
特許平6−316758号公報 特開2003−025114号公報 特開平10−204639号公報
Further, as a technique for improving wear resistance in the cutting tool, an aluminum oxide layer located immediately above the intermediate layer is formed by laminating two or more unit layers showing different X-ray diffraction patterns. Thus, a technique (see Patent Document 3) that can improve the strength and toughness of the coating is disclosed.
Japanese Patent No. 6-316758 JP 2003-025114 A JP 10-204639 A

上記切削工具において、すくい面では強度、靭性及び中間層に対する密着性を備える被覆膜が求められているのに対し、逃げ面では硬度を備える被覆膜が求められている。しかし、すくい面側及び逃げ面側の表面に別々の被覆膜を成膜するのは技術面及びコスト面の双方で難しく、このため、すくい面側及び逃げ面側で求められている性能を兼ね備えた被覆膜が必要とされている。   In the cutting tool described above, a coating film having strength, toughness, and adhesion to the intermediate layer is required on the rake face, whereas a coating film having hardness is required on the flank face. However, it is difficult to form separate coatings on the rake face side and the flank face surface both on the technical side and on the cost side, so that the performance required on the rake face side and the flank face side is not achieved. There is a need for a combined coating.

上記特許文献1及び特許文献2に記載されている方法では、突発欠損やチッピング等が生じやすいすくい面における工具損傷は抑えられるが、逃げ面では逆に酸化アルミニウム層の硬度低下によって被削材との接触によるこすれ摩耗が進行しやすくなってしまうという問題があった。   In the methods described in Patent Document 1 and Patent Document 2, tool damage on the rake face that is prone to sudden chipping or chipping can be suppressed, but on the flank face, conversely, by reducing the hardness of the aluminum oxide layer, There has been a problem that rubbing wear due to contact of the metal tends to progress.

一方、特許文献3に記載されている方法では、酸化アルミニウム層の強度や靭性といった特性は向上するが、酸化アルミニウム層の中間層に対する密着力が不十分であるため、刃先に強い衝撃がかかった場合に膜剥離やチッピング等の工具損傷が発生してしまうという問題があった。   On the other hand, in the method described in Patent Document 3, the properties such as strength and toughness of the aluminum oxide layer are improved. However, since the adhesion force of the aluminum oxide layer to the intermediate layer is insufficient, a strong impact is applied to the cutting edge. In some cases, there is a problem that tool damage such as film peeling and chipping occurs.

そこで、本発明は、上記課題に鑑み、被覆膜の特性バランスを最適化させることにより、逃げ面における耐摩耗性、すくい面における耐欠損性及び中間層に対する酸化アルミニウム層の密着性に優れた長寿命な切削工具を提供することを目的とする。   Therefore, in view of the above problems, the present invention is excellent in wear resistance on the flank, chipping resistance on the rake face, and adhesion of the aluminum oxide layer to the intermediate layer by optimizing the balance of the characteristics of the coating film. The object is to provide a long-life cutting tool.

本発明者は、上記課題に対し、切削工具の酸化アルミニウム層における母材側と表層側の結晶配向を適正化することで、逃げ面における耐摩耗性、すくい面における耐欠損性及び中間層に対する酸化アルミニウム層の密着性に優れた性能を発揮することができることを知見した。   In response to the above-mentioned problems, the present inventor has optimized the crystal orientation of the base metal side and the surface layer side in the aluminum oxide layer of the cutting tool so that the wear resistance on the flank face, the fracture resistance on the rake face, and the intermediate layer It has been found that the aluminum oxide layer can exhibit excellent performance in adhesion.

本発明のうち、請求項1に係る発明は、母材上に複数の層を積層してなる被覆膜が形成された切削工具において、前記被覆膜は、前記母材側から順に、少なくともチタン及び酸素を含む中間層と、該中間層に接する第一面及び該第一面よりも表面側に位置する第二面を備えるα型結晶構造の酸化アルミニウム層と、を有し、前記酸化アルミニウム層におけ
るX線回折分析により検出された(104)面におけるピーク強度I(104)と(012)面におけるピーク強度I(012)とのピーク強度比I(104)/I(012)は、前記第一面側よりも、前記第二面側が大きいとともに、前記酸化アルミニウム層におけるX線回折分析により検出されたピーク強度のうち、前記(104)面におけるピーク強度I(104)が最大であることを特徴とする。
Of the present invention, the invention according to claim 1 is a cutting tool in which a coating film formed by laminating a plurality of layers on a base material is formed, wherein the coating film is at least in order from the base material side. An aluminum oxide layer having an α-type crystal structure having an intermediate layer containing titanium and oxygen, a first surface in contact with the intermediate layer, and a second surface located on the surface side of the first surface; The peak intensity ratio I (104) / I (012) between the peak intensity I (104) on the (104) plane and the peak intensity I (012) on the (012) plane detected by X-ray diffraction analysis in the aluminum layer is The second surface side is larger than the first surface side , and among the peak intensities detected by X-ray diffraction analysis in the aluminum oxide layer, the peak intensity I (104) on the (104) plane is the maximum. This The features.

また、上記発明において、前記ピーク強度比I(104)/I(012)は、1を超えて15以下の範囲内にあることが好ましい。 In the above invention, the peak intensity ratio I (104) / I (012) is preferably in the range of more than 1 to 15 or less .

本発明によれば、1)切削工具の逃げ面における耐摩耗性の向上、2)切削工具のすくい面における耐欠損性の向上、3)切削工具の中間層に対する酸化アルミニウム層の密着性の向上という複数の効果を兼ね備えることができる。   According to the present invention, 1) improved wear resistance on the flank of the cutting tool, 2) improved fracture resistance on the rake face of the cutting tool, and 3) improved adhesion of the aluminum oxide layer to the intermediate layer of the cutting tool. A plurality of effects can be combined.

従って、本発明の切削工具によれば、被削材に対して長期にわたり安定した切削加工を施すことが可能になる。   Therefore, according to the cutting tool of the present invention, it becomes possible to perform stable cutting over a long period of time on the work material.

以下、本発明に係る切削工具(以下、単に工具と略す)の一実施例について説明する。   Hereinafter, an embodiment of a cutting tool according to the present invention (hereinafter simply referred to as a tool) will be described.

図1は、本発明の一実施例の概略斜視図である。図2は、図1の工具の概略断面図である。   FIG. 1 is a schematic perspective view of an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the tool of FIG.

図1に示すように、工具1の主面にすくい面2が、側面に逃げ面3が、それぞれ形成されており、すくい面2と逃げ面3とのなす交差稜線部に切刃4が形成されている。   As shown in FIG. 1, a rake face 2 is formed on the main surface of the tool 1, and a flank face 3 is formed on the side face, and a cutting edge 4 is formed on the intersecting ridge line portion between the rake face 2 and the flank face 3. Has been.

また、図2に示すように、工具1は、母材5と、この母材5の表面に形成された被覆膜6を備えている。被覆膜6は、母材5側から順に、下層7、炭窒化チタン層8、少なくともチタン及び酸素を含む中間層9、α型結晶構造の酸化アルミニウム層(以下、単に酸化アルミニウム層と略す)10、表層11から形成されている。下層7及び表層11は、窒化チタンにより構成されている。中間層9は、酸化アルミニウム層10における母材5側の面(以下、第一面10aとする)の直下に形成されている。表層11は、酸化アルミニウム層10における第一面10aよりも表面側に位置する第二面10bの直上に形成されている。なお、本発明に係る工具の他の実施例では、表層として、窒化チタンの代わりに窒化ジルコニウム、チタンの酸化物、炭酸窒化物あるいは炭化物炭窒化物でもよく、また、表層を備えないものであっても良い。   As shown in FIG. 2, the tool 1 includes a base material 5 and a coating film 6 formed on the surface of the base material 5. The coating film 6 includes, in order from the base material 5 side, a lower layer 7, a titanium carbonitride layer 8, an intermediate layer 9 containing at least titanium and oxygen, and an aluminum oxide layer having an α-type crystal structure (hereinafter simply referred to as an aluminum oxide layer). 10, formed from the surface layer 11. The lower layer 7 and the surface layer 11 are made of titanium nitride. The intermediate layer 9 is formed immediately below the surface of the aluminum oxide layer 10 on the base material 5 side (hereinafter referred to as the first surface 10a). The surface layer 11 is formed immediately above the second surface 10b located on the surface side of the aluminum oxide layer 10 relative to the first surface 10a. In another embodiment of the tool according to the present invention, instead of titanium nitride, zirconium nitride, titanium oxide, carbonitride or carbide carbonitride may be used as the surface layer, and the surface layer is not provided. May be.

本実施例において、酸化アルミニウム層10におけるX線回折分析により検出されたピーク強度のうち、(104)面におけるピーク強度I(104)と(012)面におけるピーク強度I(012)とのピーク強度比I(104)/I(012)は、第一面10a側よりも、第二面10b側で大きくなっている。   In this example, among the peak intensities detected by X-ray diffraction analysis in the aluminum oxide layer 10, the peak intensity I (104) on the (104) plane and the peak intensity I (012) on the (012) plane The ratio I (104) / I (012) is larger on the second surface 10b side than on the first surface 10a side.

(012)面におけるピーク強度I(012)の強い酸化アルミニウム層10を成膜した場合、酸化アルミニウム層10の結晶粒子間の結合強度が弱くなり、靭性が向上して、工具1のすくい面2において衝撃に対する強度が高まる。そのため、酸化アルミニウム層10の第一面10a側、つまり母材5側において、(012)面におけるピーク強度I(012)を強くすることにより、中間層9に対する酸化アルミニウム層10の密着性を向上させ、切削加工時の衝撃による被覆膜6の剥離及び破壊に起因する突発欠損や、異常摩耗による工具寿命の低下を抑制することができる。   When the aluminum oxide layer 10 having a strong peak intensity I (012) on the (012) plane is formed, the bond strength between crystal grains of the aluminum oxide layer 10 is weakened, the toughness is improved, and the rake face 2 of the tool 1 is increased. The strength against impact increases. Therefore, the adhesion of the aluminum oxide layer 10 to the intermediate layer 9 is improved by increasing the peak intensity I (012) on the (012) plane on the first surface 10a side of the aluminum oxide layer 10, that is, on the base material 5 side. Thus, it is possible to suppress a sudden defect due to peeling and destruction of the coating film 6 due to an impact at the time of cutting and a decrease in tool life due to abnormal wear.

一方、(104)面におけるピーク強度I(104)の強い酸化アルミニウム層10を成膜した場合、酸化アルミニウム層10の結晶を柱状とすることができる。これにより、クラックの直線的な進展を抑制し耐チッピング性が向上すると共に、硬度も向上するため耐摩耗性も向上する。そのため、酸化アルミニウム層10の第二面10b側、つまり表層11側において、(104)面におけるピーク強度I(104)を強くすることにより、被削材との接触による逃げ面3のこすれ摩耗を低減し、工具寿命の低下を抑制することができる。   On the other hand, when the aluminum oxide layer 10 having a strong peak intensity I (104) on the (104) plane is formed, the crystal of the aluminum oxide layer 10 can be formed into a columnar shape. Thereby, the linear progress of the crack is suppressed and the chipping resistance is improved, and the hardness is also improved, so that the wear resistance is also improved. Therefore, on the second surface 10b side of the aluminum oxide layer 10, that is, on the surface layer 11 side, by increasing the peak intensity I (104) on the (104) plane, rubbing wear on the flank 3 due to contact with the work material is prevented. It is possible to reduce the reduction of the tool life.

すなわち、上記構成とすることにより、すくい面2における耐欠損性及び逃げ面3における耐摩耗性を向上させることができると共に、切削加工時におけるチッピング及び被覆膜6の剥離等の損傷を抑制することができる。   That is, by adopting the above-described configuration, it is possible to improve the chipping resistance on the rake face 2 and the wear resistance on the flank face 3, and suppress damage such as chipping and peeling of the coating film 6 during cutting. be able to.

次に、酸化アルミニウム層10におけるピーク強度の測定方法について説明する。なお、ピーク強度を測定する方法としては、一般的なCuKα線を用いたX線回折分析の装置を用いて測定する。なお、酸化アルミニウム層10における各結晶面のピーク強度を求めるにあたり、JCPDSカードのNo.10−173に記載された各結晶面のピーク強度が現れる2θの値を利用した。   Next, a method for measuring the peak intensity in the aluminum oxide layer 10 will be described. In addition, as a method of measuring peak intensity, it measures using the apparatus of the X-ray diffraction analysis using a general CuK alpha ray. In determining the peak intensity of each crystal plane in the aluminum oxide layer 10, the JCPDS card No. The value of 2θ where the peak intensity of each crystal plane described in 10-173 appears was used.

まず、第二面10b側のピーク強度を測定する。具体的には、表層11に研磨等を施した状態あるいは表層11に対して研磨等を施さない状態で、被覆膜6に対してX線回折分析を行う。なお、表層11に対して研磨等を施さない状態でX線回折分析を行った場合であっても、酸化アルミニウム層10の(012)面におけるピーク強度I(012)及び(104)面におけるピーク強度I(104)を測定できれば良い。   First, the peak intensity on the second surface 10b side is measured. Specifically, the X-ray diffraction analysis is performed on the coating film 6 in a state where the surface layer 11 is polished or the surface layer 11 is not polished. Even when X-ray diffraction analysis is performed without polishing or the like on the surface layer 11, the peak intensity I (012) on the (012) plane of the aluminum oxide layer 10 and the peak on the (104) plane. It is sufficient if the intensity I (104) can be measured.

次に、第一面10a側のピーク強度を測定する。具体的には、まず、被覆膜6の一部を研磨する。研磨は、ダイヤモンド砥粒を用いたブラシ加工や弾性砥石による加工、又はブラスト加工等で行う。なお、研磨は、酸化アルミニウム層10の膜厚が、研磨前の四分の1程度になるまで行うことが好ましい。その後、被覆膜6の研磨された部分に対して、第二面10b側を測定したときと同条件でX線回折分析を行い、(012)面におけるピーク強度I(012)及び(104)面におけるピーク強度I(104)を測定する。   Next, the peak intensity on the first surface 10a side is measured. Specifically, first, a part of the coating film 6 is polished. Polishing is performed by brush processing using diamond abrasive grains, processing by an elastic grindstone, or blast processing. In addition, it is preferable to perform grinding | polishing until the film thickness of the aluminum oxide layer 10 becomes about one quarter before grinding | polishing. Thereafter, the polished portion of the coating film 6 is subjected to X-ray diffraction analysis under the same conditions as when the second surface 10b side is measured, and peak intensities I (012) and (104) on the (012) plane are measured. The peak intensity I (104) at the surface is measured.

以上の方法で測定した第一面10a側のX線回折分析結果と、第二面10b側のX線回折分析結果について、それぞれ(104)面におけるピーク強度I(104)と(012)面におけるピーク強度I(012)との比であるピーク強度比I(104)/I(012)を計算する。これにより、ピーク強度比I(104)/I(012)を、母材5側と表層11側で比較することができる。   With respect to the X-ray diffraction analysis result on the first surface 10a side and the X-ray diffraction analysis result on the second surface 10b side measured by the above method, the peak intensity I (104) on the (104) plane and the (012) plane, respectively. A peak intensity ratio I (104) / I (012), which is a ratio with the peak intensity I (012), is calculated. Thereby, the peak intensity ratio I (104) / I (012) can be compared between the base material 5 side and the surface layer 11 side.

また、ピーク強度比I(104)/I(012)は、母材5側及び表層11側共に0.5≦I(104)/I(012)≦15となっている。これにより、切削加工に十分な耐摩耗性及び耐欠損性を得ることができる。   The peak intensity ratio I (104) / I (012) is 0.5 ≦ I (104) / I (012) ≦ 15 on both the base material 5 side and the surface layer 11 side. Thereby, sufficient wear resistance and chipping resistance for cutting can be obtained.

すなわち、ピーク強度比I(104)/I(012)を0.5以上とすることで、(012)面におけるI(012)に関与する粒径の大きい粒子が過剰に増加するのを抑制し、粒子の脱落によるチッピング等の工具損傷を抑制することができる。一方、ピーク強度比I(104)/I(012)を15以下とすることで、(104)面におけるピーク強度I(104)に関与する粒子が過剰に増加するのを抑制し、酸化アルミニウム層10の強度及び耐欠損性が低下するのを抑制することができる。   That is, by setting the peak intensity ratio I (104) / I (012) to 0.5 or more, excessive increase of particles having a large particle size related to I (012) on the (012) plane is suppressed. In addition, it is possible to suppress tool damage such as chipping due to dropout of particles. On the other hand, by setting the peak intensity ratio I (104) / I (012) to 15 or less, it is possible to suppress an excessive increase in the particles involved in the peak intensity I (104) on the (104) plane, and the aluminum oxide layer It can suppress that the intensity | strength of 10 and a fracture resistance fall.

特に、表層11側におけるピーク強度比I(104)/I(012)は3〜10、母材5側におけるピーク強度比I(104)/I(012)は0.8〜3とすることが好ましい。これにより、母材5側及び表層11側で必要な性能を、より適正化することができる。   In particular, the peak intensity ratio I (104) / I (012) on the surface layer 11 side is 3 to 10, and the peak intensity ratio I (104) / I (012) on the base material 5 side is 0.8 to 3. preferable. Thereby, performance required on the base material 5 side and the surface layer 11 side can be made more appropriate.

また、酸化アルミニウム層10におけるX線回折分析により検出されたピーク強度のうち、表層11側及び母材5側において、(104)面におけるピーク強度I(104)が最大である。これにより、表層11側ではより高い硬度を得ることができるため耐摩耗性がさらに向上する。また、母材5側では、柱状結晶が存在するため耐摩耗性、耐欠損性及び耐チッピング性が向上すると共に、柱状結晶と粒状結晶とが適度に混在するため粒径の大きい粒子が過剰に増加するのを抑制し、膜剥離を抑制することができる。   Of the peak intensities detected by the X-ray diffraction analysis in the aluminum oxide layer 10, the peak intensity I (104) on the (104) plane is the maximum on the surface layer 11 side and the base material 5 side. Thereby, since higher hardness can be obtained on the surface layer 11 side, the wear resistance is further improved. Further, on the base material 5 side, columnar crystals are present, so that wear resistance, chipping resistance and chipping resistance are improved, and columnar crystals and granular crystals are mixed appropriately, so that excessively large particles are present. The increase can be suppressed and film peeling can be suppressed.

次に、本発明に係る工具の製造方法において説明する。   Next, the tool manufacturing method according to the present invention will be described.

(母材の作製)
まず、工具の母材を焼成する。具体的には、金属の炭化物、窒化物、炭窒化物、酸化物等の無機物粉末に、金属粉末、カーボン粉末等を適宜添加、混合し、プレス成形、鋳込成形、押出成形、冷間静水圧プレス成形等の公知の成形方法によって所定の工具形状に成形した後、真空中又は非酸化性雰囲気中にて焼成する。
(Preparation of base material)
First, the base material of the tool is fired. Specifically, metal powder, carbon powder, etc. are appropriately added to and mixed with inorganic powder such as metal carbide, nitride, carbonitride, oxide, etc., press molding, casting molding, extrusion molding, cold static After forming into a predetermined tool shape by a known forming method such as hydraulic press forming, it is fired in a vacuum or in a non-oxidizing atmosphere.

(下層の成膜)
本実施例では、化学気相蒸着(CVD)法により母材5の上に被覆層6を成膜する。
(Lower layer deposition)
In the present embodiment, the coating layer 6 is formed on the base material 5 by chemical vapor deposition (CVD).

まず、作製された母材5の表面に下層7である窒化チタン層を成膜するには、反応ガス組成として四塩化チタンガスが0.1〜10体積%、窒素ガスが1〜60体積%、残りが水素ガスからなる混合ガスを順次調整して反応チャンバ内に導入する。そして、チャンバ内を800〜1100℃、5〜85kPaに設定し、窒化チタン層7を成膜する。   First, in order to form a titanium nitride layer as the lower layer 7 on the surface of the produced base material 5, the reaction gas composition is 0.1 to 10% by volume of titanium tetrachloride gas and 1 to 60% by volume of nitrogen gas. Then, the mixed gas consisting of the remaining hydrogen gas is sequentially adjusted and introduced into the reaction chamber. And the inside of a chamber is set to 800-1100 degreeC and 5-85 kPa, and the titanium nitride layer 7 is formed into a film.

また、下層7として窒化チタン層の代わりに炭化チタン層を成膜するには、反応ガス組成として四塩化チタンガスを0.1〜30体積%、メタンガスを0.1〜20体積%、残りが水素ガスからなる混合ガスを順次調整して反応チャンバ内に導入する。そして、チャンバ内を800〜1100℃、5〜85kPaに設定し、炭化チタン層を成膜する。   Further, in order to form a titanium carbide layer instead of the titanium nitride layer as the lower layer 7, the reaction gas composition is 0.1 to 30% by volume of titanium tetrachloride gas, 0.1 to 20% by volume of methane gas, and the rest A mixed gas composed of hydrogen gas is sequentially adjusted and introduced into the reaction chamber. And the inside of a chamber is set to 800-1100 degreeC and 5-85 kPa, and a titanium carbide layer is formed into a film.

(炭窒化チタン層の成膜)
そして、下層7の直上に炭窒化チタン層8を成膜するには、反応ガス組成として、体積%で四塩化チタンガスが0.1〜10体積%、窒素ガスが0〜60体積%、メタンガスが0〜0.1体積%、アセトニトリルガスが0.1〜3体積%、残りが水素ガスからなる混合ガスを調整して反応チャンバ内に導入する。そして、チャンバ内を800〜1100℃、5〜85kPaに設定し、炭窒化チタン層8を成膜する。
(Deposition of titanium carbonitride layer)
In order to form the titanium carbonitride layer 8 immediately above the lower layer 7, the reaction gas composition is 0.1% to 10% by volume of titanium tetrachloride gas, 0% to 60% by volume of nitrogen gas, and methane gas. 0 to 0.1% by volume, acetonitrile gas is 0.1 to 3% by volume, and the remainder is hydrogen gas, which is adjusted and introduced into the reaction chamber. And the inside of a chamber is set to 800-1100 degreeC and 5-85 kPa, and the titanium carbonitride layer 8 is formed into a film.

(中間層の成膜)
次に、炭窒化チタン層8の直上に中間層9を成膜する。酸化アルミニウム層を形成する前工程として、本発明に係る工具の製造方法は、チタン、アルミニウム及び酸素を含み、かつ炭素と窒素の少なくとも一方を含む層を成膜する工程Cと、チタン及び酸素と、炭素と窒素の少なくとも一方を含み、かつ、アルミニウムを含まない層を成膜する工程Dと、前記チタン及び酸素を含み、かつ炭素と窒素の少なくとも一方を含む層に対して二酸化炭素ガスをフローする工程Eと、を順次備えることが好ましい。これにより、酸化アルミニウム層が(012)配向及び(104)配向で成膜されやすくなるため好ましい。以下、上記工程C乃至Eを具体的に説明する。
(Interlayer deposition)
Next, the intermediate layer 9 is formed immediately above the titanium carbonitride layer 8. As a pre-process for forming the aluminum oxide layer, the method for manufacturing a tool according to the present invention includes a process C for forming a layer containing titanium, aluminum and oxygen and containing at least one of carbon and nitrogen, and titanium and oxygen. Step D for forming a layer containing at least one of carbon and nitrogen and not containing aluminum, and flowing carbon dioxide gas to the layer containing titanium and oxygen and containing at least one of carbon and nitrogen It is preferable that the step E is sequentially provided. This is preferable because the aluminum oxide layer can be easily formed in the (012) orientation and the (104) orientation. Hereinafter, the steps C to E will be specifically described.

まず、工程Cでは、四塩化チタンガスが0.5〜10体積%、塩化アルミニウムガスが0.5〜7体積%、一酸化炭素ガスが0.1〜5体積%、メタンガスが0〜10体積%、窒素ガスが0〜40体積%、残りが水素ガスからなる混合ガスを調整して反応チャンバ内に導入する。その後、チャンバ内を950〜1050℃、5〜50kPaに設定し、成膜時間は2〜20分としてチタン、アルミニウム及び酸素を含み、かつ炭素と窒素の少なくとも一方を含む層を成膜する。   First, in Step C, titanium tetrachloride gas is 0.5 to 10% by volume, aluminum chloride gas is 0.5 to 7% by volume, carbon monoxide gas is 0.1 to 5% by volume, and methane gas is 0 to 10% by volume. %, Nitrogen gas is 0 to 40% by volume, and the remainder is hydrogen gas, which is adjusted and introduced into the reaction chamber. Thereafter, the inside of the chamber is set to 950 to 1050 ° C. and 5 to 50 kPa, the film formation time is 2 to 20 minutes, and a layer containing titanium, aluminum and oxygen and containing at least one of carbon and nitrogen is formed.

次に、工程Dでは、四塩化チタンガスが0.5〜10体積%、一酸化炭素ガスが0.1〜5体積%、メタンガスが0〜10体積%、窒素ガスが0〜40体積%、残りが水素ガスからなる混合ガスを調整して反応チャンバ内に導入する。その後、チャンバ内を950〜1050℃、5〜50kPaに設定し、成膜時間は2〜15分としてチタン及び酸素と、炭素と窒素の少なくとも一方を含み、かつ、アルミニウムを含まない層を成膜する。   Next, in Step D, titanium tetrachloride gas is 0.5 to 10% by volume, carbon monoxide gas is 0.1 to 5% by volume, methane gas is 0 to 10% by volume, nitrogen gas is 0 to 40% by volume, A mixed gas consisting of the remaining hydrogen gas is prepared and introduced into the reaction chamber. Thereafter, the inside of the chamber is set to 950 to 1050 ° C. and 5 to 50 kPa, and the film formation time is 2 to 15 minutes, and a layer containing at least one of titanium, oxygen, carbon and nitrogen and not containing aluminum is formed To do.

そして、工程Eでは、二酸化炭素ガスのみをチャンバ内に100体積%でフローし、反応時間は5〜30分として、工程C及び工程Dで形成された二つの層の表面を酸化させる。   In step E, only carbon dioxide gas is flowed into the chamber at 100% by volume, the reaction time is 5 to 30 minutes, and the surfaces of the two layers formed in step C and step D are oxidized.

(酸化アルミニウム層の成膜)
次に、中間層9の直上に酸化アルミニウム層10を成膜する。本発明に係る工具の製造方法は、塩化アルミニウムガス及び二酸化炭素ガスをそれぞれ所定の体積比で含む第一混合ガスの雰囲気下において酸化アルミニウム層を成膜する工程Aと、この第一混合ガスに比して、塩化アルミニウムガス及び二酸化炭素ガスの体積比をそれぞれ1.2倍以上に増加した第二混合ガスの雰囲気下において酸化アルミニウム層を成膜する工程Bと、を順次備えている。工程Aにより成膜された母材5側の酸化アルミニウム層は、(012)配向が強く、また、工程Bにより成膜された表面側の酸化アルミニウム層は、母材5側の酸化アルミニウム層に比べて(104)配向が強い。このため、上記工程A及び工程Bにより、(104)面におけるピーク強度I(104)と(012)面におけるピーク強度I(012)とのピーク強度比I(104)/I(012)が、前記母材5側よりも、表面側で大きい酸化アルミニウム層を成膜することができる。以下、上記工程A及び工程Bを、具体的に説明する。
(Formation of aluminum oxide layer)
Next, an aluminum oxide layer 10 is formed immediately above the intermediate layer 9. The method of manufacturing a tool according to the present invention includes a step A for forming an aluminum oxide layer in an atmosphere of a first mixed gas containing aluminum chloride gas and carbon dioxide gas in a predetermined volume ratio, and the first mixed gas. In comparison, a step B of sequentially forming an aluminum oxide layer in an atmosphere of a second mixed gas in which the volume ratio of the aluminum chloride gas and the carbon dioxide gas is increased to 1.2 times or more is sequentially provided. The aluminum oxide layer on the base material 5 side formed in the step A has a strong (012) orientation, and the aluminum oxide layer on the surface side formed in the step B becomes an aluminum oxide layer on the base material 5 side. Compared to (104) orientation is stronger. For this reason, the peak intensity ratio I (104) / I (012) between the peak intensity I (104) on the (104) plane and the peak intensity I (012) on the (012) plane is obtained by the above steps A and B. A larger aluminum oxide layer can be formed on the surface side than on the base material 5 side. Hereafter, the said process A and the process B are demonstrated concretely.

まず、工程Aでは、塩化アルミニウムガスが1.7〜10体積%、塩化水素ガスが0.5〜3.5体積%、二酸化炭素ガスが0.8〜4.0体積%、硫化水素ガスが0〜0.4体積%、残りが水素ガスからなる混合ガスを反応チャンバ内に導入する。そして、950〜1050℃、5〜30kPaに設定し、酸化アルミニウム層を成膜する。   First, in step A, aluminum chloride gas is 1.7 to 10% by volume, hydrogen chloride gas is 0.5 to 3.5% by volume, carbon dioxide gas is 0.8 to 4.0% by volume, and hydrogen sulfide gas is A mixed gas consisting of 0 to 0.4% by volume and the remainder consisting of hydrogen gas is introduced into the reaction chamber. And it sets to 950-1050 degreeC and 5-30 kPa, and forms an aluminum oxide layer into a film.

次に、工程Bでは、塩化アルミニウムガスが2.5〜15体積%、塩化水素ガスが0.5〜3.5体積%、二酸化炭素ガスが1.2〜6.0体積%、硫化水素ガスが0.03〜2体積%、残りが水素ガスからなる混合ガスを反応チャンバ内に導入する。その後、950〜1050℃、5〜30kPaに設定し、酸化アルミニウム層を成膜する。なお、工程Bに用いられる混合ガスは、硫化水素ガスを含んでおり、この工程Bに用いられる混合ガスに含まれる硫化水素ガスの体積比は、工程Aに用いられる混合ガスに含まれる硫化水素ガスの体積比よりも大きくなっていることが好ましい。これにより、工程Bにおける酸化アルミニウム層の成膜スピードを、工程Aにおける酸化アルミニウム層の成膜スピードに比して高めることができる。   Next, in step B, aluminum chloride gas is 2.5 to 15% by volume, hydrogen chloride gas is 0.5 to 3.5% by volume, carbon dioxide gas is 1.2 to 6.0% by volume, hydrogen sulfide gas. Is introduced into the reaction chamber with a gas mixture of 0.03 to 2% by volume and the remainder consisting of hydrogen gas. Then, it sets to 950-1050 degreeC and 5-30 kPa, and forms an aluminum oxide layer into a film. Note that the mixed gas used in the process B includes hydrogen sulfide gas, and the volume ratio of the hydrogen sulfide gas included in the mixed gas used in the process B is hydrogen sulfide included in the mixed gas used in the process A. It is preferable that it is larger than the gas volume ratio. Thereby, the film-forming speed of the aluminum oxide layer in the process B can be increased as compared with the film-forming speed of the aluminum oxide layer in the process A.

また、上記工程Aと工程Bは、混合ガスの割合を時間と共に連続的に変化させる1つの工程であっても良い。この場合、成膜される酸化アルミニウム層は一つの傾斜層によって形成される。これにより、工程Aで成膜された酸化アルミニウム層と工程Bで成膜された酸化アルミニウム層との界面がなくなり、酸化アルミニウム層内における密着性を向上させることができる。   Moreover, the said process A and the process B may be one process which changes the ratio of mixed gas continuously with time. In this case, the aluminum oxide layer to be formed is formed by one inclined layer. As a result, the interface between the aluminum oxide layer formed in step A and the aluminum oxide layer formed in step B is eliminated, and adhesion within the aluminum oxide layer can be improved.

(表層の成膜)
次に、酸化アルミニウム層10の直上に表層11である窒化チタン層を成膜するには、反応ガス組成として四塩化チタンガスが0.1〜10体積%、窒素ガスが1〜60体積%、残りが水素ガスからなる混合ガスを順次調整して反応チャンバ内に導入する。そして、チャンバ内を800〜1100℃、5〜85kPaに設定し、窒化チタン層を成膜する。
(Surface layer deposition)
Next, in order to form a titanium nitride layer as the surface layer 11 immediately above the aluminum oxide layer 10, the reaction gas composition is 0.1 to 10% by volume of titanium tetrachloride gas, 1 to 60% by volume of nitrogen gas, The remaining mixed gas consisting of hydrogen gas is sequentially adjusted and introduced into the reaction chamber. And the inside of a chamber is set to 800-1100 degreeC and 5-85 kPa, and a titanium nitride layer is formed into a film.

なお、これらの層は、物理気相蒸着(PVD)法等のその他の成膜方法にて成膜されたものであってもよい。   These layers may be formed by other film forming methods such as physical vapor deposition (PVD).

続いて、上記製造方法を用いて製造された工具について説明する。   Then, the tool manufactured using the said manufacturing method is demonstrated.

(実施例)
まず、平均粒径1.5μmのタングステンカーバイト粉末に対して、平均粒径1.2μmの金属コバルト粉末を6質量%、平均粒径2.0μmの炭化チタン粉末を0.5質量%、炭化タンタル粉末を5質量%の割合で添加、混合し、プレス成形により工具形状(CNMA120412)に成形する。その後、脱バインダ処理を施し、1500℃、0.01Paの真空中において、1時間焼成して超硬合金からなる母材を作製した。その後、作製した母材にブラシ加工をし、切刃となる部分にRホーニングを施した。
(Example)
First, 6% by mass of metallic cobalt powder having an average particle size of 1.2 μm and 0.5% by mass of titanium carbide powder having an average particle size of 2.0 μm with respect to tungsten carbide powder having an average particle size of 1.5 μm. Tantalum powder is added and mixed at a ratio of 5% by mass, and formed into a tool shape (CNMA 12020412) by press molding. Then, the binder removal process was performed and it fired for 1 hour in the vacuum of 1500 degreeC and 0.01 Pa, and produced the base material which consists of a cemented carbide. Thereafter, the fabricated base material was subjected to brush processing, and R honing was applied to the portion to be the cutting edge.

次に、上記超硬合金の母材に対して、化学気相蒸着(CVD)法により被覆膜を成膜し、本発明に係る工具No.1〜5と、比較例である工具No.6〜8とを作製した。   Next, a coating film was formed on the base material of the cemented carbide by a chemical vapor deposition (CVD) method. 1 to 5 and a tool No. as a comparative example. 6-8 were produced.

上記工具No.1〜8について、まず、被覆膜に対して研磨等を施さない状態でCuKα線によるX線回折分析を行い、すくい面と逃げ面の平坦面において、それぞれ任意3箇所で(104)面におけるピーク強度I(104)及び(012)面におけるピーク強度I(012)を測定した。その際に、ピーク強度が最強となる結晶面についても測定した。次に、酸化アルミニウム層の層厚の四分の一程度の厚みまで研磨し、同様にX線回折分析によって、(104)面におけるピーク強度I(104)及び(012)面におけるピーク強度I(012)を測定した。また、ピーク強度が最強となる結晶面についても測定した。   The above tool No. 1 to 8, first, X-ray diffraction analysis using CuKα rays is performed in a state in which the coating film is not polished, and the rake face and the flat face of the flank face are each at three arbitrary locations on the (104) plane. Peak intensity I (104) and peak intensity I (012) in the (012) plane were measured. At that time, the crystal plane having the strongest peak intensity was also measured. Next, the aluminum oxide layer is polished to a thickness of about a quarter of the thickness of the aluminum oxide layer. Similarly, by X-ray diffraction analysis, the peak intensity I (104) in the (104) plane and the peak intensity I ((012) in the plane (012) 012) was measured. Further, the crystal plane where the peak intensity was the strongest was also measured.

また、上記工具No.1〜8の破断面において、母材と被覆膜との界面を走査型電子顕微鏡(SEM)にて5000倍で観察し、酸化アルミニウム層の厚み及び中間層の厚みについて、それぞれ測定した。   In addition, the tool No. In the fracture surface of 1-8, the interface of a base material and a coating film was observed 5000 times with the scanning electron microscope (SEM), and the thickness of the aluminum oxide layer and the thickness of the intermediate | middle layer were measured, respectively.

以上の測定によって得られたピーク強度比I(104)/I(012)、酸化アルミニウム層の厚み及び中間層の厚みについて、表2に示した。また、表2に記載された各層の成膜条件を、表1に示した。なお、表2に記載の「薄膜」とは、厚みが0.02μm〜0.5μm程度のものをいう。   Table 2 shows the peak intensity ratio I (104) / I (012), the thickness of the aluminum oxide layer, and the thickness of the intermediate layer obtained by the above measurement. In addition, Table 1 shows the film forming conditions of each layer described in Table 2. In addition, the “thin film” described in Table 2 refers to a film having a thickness of about 0.02 μm to 0.5 μm.

次に、下記の条件において、本発明に係る工具No.1〜5と、比較例である工具No.6〜8を用いて連続切削試験及び断続切削試験を行い、耐摩耗性及び耐欠損性を評価した。   Next, under the following conditions, the tool no. 1 to 5 and a tool No. as a comparative example. A continuous cutting test and an intermittent cutting test were performed using 6 to 8 to evaluate wear resistance and fracture resistance.

(連続切削条件)
被削材 :ダクタイル鋳鉄4本溝付スリーブ材(FCD700)
工具形状:CNMA120412
切削速度:250m/分
送り速度:0.4mm/rev
切り込み:2mm
切削時間:20分
その他 :水溶性切削液使用
評価項目:走査型電子顕微鏡にて刃先ホーニング部分を観察し、実際に摩耗している部分において、すくい面に対し垂直な方向におけるフランク摩耗量を測定
(Continuous cutting conditions)
Work material: Ductile cast iron 4-slot sleeve material (FCD700)
Tool shape: CNMA120204
Cutting speed: 250 m / min Feed speed: 0.4 mm / rev
Cutting depth: 2mm
Cutting time: 20 minutes Others: Use of water-soluble cutting fluid Evaluation item: Observe the honing part of the cutting edge with a scanning electron microscope and measure the amount of flank wear in the direction perpendicular to the rake face at the part that is actually worn.

(断続切削条件)
被削材 :ダクタイル鋳鉄4本溝付スリーブ材(FCD700)
工具形状:CNMA120412
切削速度:250m/分
送り速度:0.3〜0.5mm/rev(送り量変動)
切り込み:2mm
その他 :水溶性切削液使用
評価項目:欠損に至る衝撃回数
衝撃回数1000回時点で走査型電子顕微鏡にて切刃の被覆膜の剥離状態を観察
(Intermittent cutting conditions)
Work material: Ductile cast iron 4-slot sleeve material (FCD700)
Tool shape: CNMA120204
Cutting speed: 250 m / min Feed speed: 0.3 to 0.5 mm / rev (feed amount fluctuation)
Cutting depth: 2mm
Other: Use of water-soluble cutting fluid Evaluation item: Number of impacts leading to breakage
Observe peeling state of coating film on cutting edge with scanning electron microscope at 1000 impacts

表2の結果によれば、ピーク強度比I(104)/I(012)が母材側よりも表層側のほうが大きい構成となっていない比較例である工具No.6〜8では、膜剥離が発生するなどの工具損傷が発生すると共に、耐摩耗性及び耐欠損性に関しても不十分な結果となった。   According to the results in Table 2, a tool No. which is a comparative example in which the peak intensity ratio I (104) / I (012) is not configured to be larger on the surface layer side than on the base material side. In Nos. 6 to 8, tool damage such as film peeling occurred, and the abrasion resistance and fracture resistance were insufficient.

一方、本発明に係る工具No.1〜5においては、膜剥離もほとんど発生せず、特に、酸化アルミニウム層の厚みが5〜7μmである工具No.1〜3に関しては、より好ましい結果となった。酸化アルミニウム層の表層側で(104)面におけるピーク強度I(104)が最強となる工具No.2〜4に関しては、工具No.1、5〜8に比べてフランク摩耗が少なく、耐摩耗性について特に優れていることが明らかとなった。   On the other hand, the tool no. In Nos. 1 to 5, film peeling hardly occurred, and in particular, the tool No. 1 in which the thickness of the aluminum oxide layer was 5 to 7 μm. Regarding 1 to 3, more preferable results were obtained. Tool No. with the highest peak intensity I (104) in the (104) plane on the surface side of the aluminum oxide layer. 2 to 4, tool no. It was revealed that the flank wear was less than those of 1, 5 and 8, and the wear resistance was particularly excellent.

本発明に係る切削工具の一実施例の概略斜視図である。It is a schematic perspective view of one Example of the cutting tool which concerns on this invention. 図1の切削工具の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the cutting tool of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1・・・切削工具
2・・・すくい面
3・・・逃げ面
4・・・切刃
5・・・母材
6・・・被覆膜
7・・・下層
8・・・炭窒化チタン層
9・・・中間層
10・・・酸化アルミニウム層
10a・・・第一面
10b・・・第二面
11・・・表層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Cutting tool 2 ... Rake face 3 ... Flank 4 ... Cutting blade 5 ... Base material 6 ... Coating film 7 ... Lower layer 8 ... Titanium carbonitride layer 9 ... Intermediate layer 10 ... Aluminum oxide layer 10a ... First surface 10b ... Second surface 11 ... Surface layer

Claims (2)

母材上に複数の層を積層してなる被覆膜が形成された切削工具において、
前記被覆膜は、前記母材側から順に、
少なくともチタン及び酸素を含む中間層と、
該中間層に接する第一面及び該第一面よりも表面側に位置する第二面を備えるα型結晶構造の酸化アルミニウム層と、
を有し、
前記酸化アルミニウム層におけるX線回折分析により検出された(104)面におけるピーク強度I(104)と(012)面におけるピーク強度I(012)とのピーク強度比I(104)/I(012)は、前記第一面側よりも、前記第二面側が大きいとともに、前記酸化アルミニウム層におけるX線回折分析により検出されたピーク強度のうち、前記(104)面におけるピーク強度I(104)が最大であることを特徴とする切削工具。
In a cutting tool in which a coating film formed by laminating a plurality of layers on a base material is formed,
The coating film, in order from the base material side,
An intermediate layer comprising at least titanium and oxygen;
An α-type crystal structure aluminum oxide layer comprising a first surface in contact with the intermediate layer and a second surface located on the surface side of the first surface;
Have
The peak intensity ratio I (104) / I (012) between the peak intensity I (104) on the (104) plane and the peak intensity I (012) on the (012) plane detected by X-ray diffraction analysis in the aluminum oxide layer Is larger on the second surface side than on the first surface side, and the peak intensity I (104) on the (104) plane is the largest among the peak intensities detected by X-ray diffraction analysis on the aluminum oxide layer. The cutting tool characterized by being.
前記ピーク強度比I(104)/I(012)は、1を超えて15以下の範囲内にあることを特徴とする請求項1に記載の切削工具。 2. The cutting tool according to claim 1, wherein the peak intensity ratio I (104) / I (012) is in a range of more than 1 and 15 or less .
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