JP5202456B2 - Test apparatus and test method - Google Patents
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Description
本発明は、試験装置に関し、特にソースシンクロナス伝送を行う被試験デバイスの試験装置に関する。 The present invention relates to a test apparatus, and more particularly to a test apparatus for a device under test that performs source-synchronous transmission.
近年、差動クロック(CK、CK#と表記する)を利用したDDR SDRAMが広く普及している。DDR SDRAMは、2相の差動クロックCK、CK#を用い、それぞれの立ち上がりエッジ(以下、ポジティブエッジともいう)を利用してデータ転送を行う。そのため、差動クロックではなく1相クロックCKを利用するSDR(Single-Data-Rate) SDRAMに比べると、見かけ上、1相クロックCKの立ち上がりエッジと立ち下がりエッジ(以下、ネガティブエッジともいう)の両エッジを使用していることになり、実質的なデータ転送レートは2倍となる。 In recent years, DDR SDRAM using differential clocks (denoted as CK and CK #) has become widespread. The DDR SDRAM uses two-phase differential clocks CK and CK #, and performs data transfer using respective rising edges (hereinafter also referred to as positive edges). For this reason, compared with a single-data-rate (SDR) SDRAM that uses a single-phase clock CK instead of a differential clock, the rising edge and falling edge (hereinafter also referred to as negative edge) of the single-phase clock CK are apparently seen. Since both edges are used, the actual data transfer rate is doubled.
DDR SDRAMは、SDR SDRAMに比べて2倍の速度でデータ転送を行うため、差動クロックCK、CK#をそのまま利用する場合、それらにダイナミックなジッタが重畳されると、データの正確な転送が困難となる。そこでDDR SDRAMには、データ信号DQの転送に際して両エッジを利用可能なデータストローブ信号DQSが追加される。 Since DDR SDRAM transfers data twice as fast as SDR SDRAM, when using differential clocks CK and CK # as they are, if dynamic jitter is superimposed on them, accurate data transfer is possible. It becomes difficult. Therefore, a data strobe signal DQS that can use both edges when transferring the data signal DQ is added to the DDR SDRAM.
データストローブ信号DQSは、ドライバからメモリに対する書き込みサイクルでは、ちょうどデータ信号の中心点に来るようなタイミングでレベルが遷移する。反対に、ドライバに対するメモリからのデータの読み出しサイクルでは、データ信号DQと同一のタイミングでレベルが遷移する。DDR SDRAMは、基準クロックに替えてデータストローブ信号DQSを用いてデータ信号DQを取り込むことにより、高速な動作クロックでも安定したデータ転送を可能としている。つまり、DDR SDRAMでは、データストローブ信号DQSと、データ信号DQのタイミングが重要となる。 The level of the data strobe signal DQS transitions at a timing just like the center point of the data signal in the write cycle from the driver to the memory. On the contrary, in the data read cycle from the memory to the driver, the level transitions at the same timing as the data signal DQ. The DDR SDRAM takes in the data signal DQ using the data strobe signal DQS instead of the reference clock, thereby enabling stable data transfer even with a high-speed operation clock. That is, in the DDR SDRAM, the timing of the data strobe signal DQS and the data signal DQ is important.
たとえば特許文献1にはマルチストローブ信号を用いた試験方法が開示されている。この試験方法では、以下の処理が行われる。
1. 基準クロックを遅延させて、所定の間隔ごとにエッジを有するマルチストローブ信号を発生する。
2. マルチストローブ信号の各エッジのタイミングで、データ信号DQとデータストローブ信号DQSそれぞれの値を判定し、データ信号DQの変化点(エッジの位置、以下第1変化点)とデータストローブ信号DQSの変化点(以下、第2変化点)の位置を取得する。
3.第1変化点と第2変化点の位相差を算出する。位相差を算出することにより、データ信号DQとデータストローブ信号DQSに対して同様に付帯しているコモンモードジッタの影響を除去する。
4.算出した位相差が、所定のスペックに含まれているかを判定する。
For example,
1. The reference clock is delayed to generate a multi-strobe signal having edges at predetermined intervals.
2. The values of the data signal DQ and the data strobe signal DQS are determined at the timing of each edge of the multi-strobe signal, the change point of the data signal DQ (edge position, hereinafter referred to as the first change point) and the change point of the data strobe signal DQS. The position of (hereinafter, the second change point) is acquired.
3. The phase difference between the first change point and the second change point is calculated. By calculating the phase difference, the influence of common mode jitter that is similarly attached to the data signal DQ and the data strobe signal DQS is removed.
4). It is determined whether the calculated phase difference is included in a predetermined specification.
特許文献1に記載の技術では、マルチストローブ信号の位相カバー範囲を、被試験デバイスからの出力ジッタ量より広くとる必要がある。たとえば1GHzのDDRデータ、サイクル(ユニットインターバル)500ps幅を検出する場合を考える。データストローブ信号DQSのジッタが400ps p−pとすると、データストローブ信号DQSに対して、少なくとも400psの位相範囲をカバーする必要がある。データ信号DQに対しては、ユニットインターバル500psにデータストローブ信号DQSのジッタ量400psを加えた位相範囲をカバーする必要がある。つまり、非常に広い位相範囲をカバーするように、マルチストローブ信号を発生する必要がある。このことはマルチストローブ信号を発生するハードウェアにおいて、回路規模、消費電力の増大といった問題を引き起こす。こうした問題は、DDR SDRAMに限定されず、同様の伝送方式を採用する種々のデバイスにおいても発生しうる。
In the technique described in
本発明は係る状況に鑑みてなされたものであり、そのある態様の例示的な目的のひとつは、回路規模や消費電力の増大を抑えつつ、データ信号とデータストローブ信号の位相差を評価可能な試験装置の提供にある。 The present invention has been made in view of such a situation, and one of the exemplary purposes of an aspect thereof is to be able to evaluate a phase difference between a data signal and a data strobe signal while suppressing an increase in circuit scale and power consumption. Providing test equipment.
本発明のある態様は、ソースシンクロナス伝送を行う被試験デバイスを試験するための試験装置に関する。この試験装置は、前記被試験デバイスから出力されるデータストローブ信号に対して多段遅延を与えることにより、当該データストローブ信号を基準として所定の時間間隔で複数のエッジを有するマルチストローブ信号を生成するマルチストローブ信号発生部と、前記マルチストローブ信号の複数のエッジのタイミングごとにデータ信号の値を判定し、その値が変化するタイミングを示すタイミングデータを生成するタイミング比較部と、前記タイミングデータが所定の条件を満たすかを判定する論理比較部と、を備える。 One embodiment of the present invention relates to a test apparatus for testing a device under test that performs source-synchronous transmission. The test apparatus generates a multi-strobe signal having a plurality of edges at predetermined time intervals based on the data strobe signal by giving a multistage delay to the data strobe signal output from the device under test. A strobe signal generation unit; a timing comparison unit that determines a value of a data signal at each of a plurality of edge timings of the multi-strobe signal; and generates timing data indicating a timing at which the value changes; and A logical comparison unit that determines whether the condition is satisfied.
この態様によれば、データストローブ信号DQSを基準としてマルチストローブ信号MSTRBを発生するため、データ信号DQとデータストローブ信号DQSの位相差を直接測定することができる。つまり、ジッタが大きい場合であっても、回路規模、消費電力の増大を抑制できる。 According to this aspect, since the multi-strobe signal MSTRB is generated based on the data strobe signal DQS, the phase difference between the data signal DQ and the data strobe signal DQS can be directly measured. That is, even when the jitter is large, an increase in circuit scale and power consumption can be suppressed.
被試験デバイスは、DDR SDRAM(Double-Data-Rate Synchronous Dynamic Random Access Memory)であってもよい。 The device under test may be a DDR SDRAM (Double-Data-Rate Synchronous Dynamic Random Access Memory).
ある態様の試験装置は、基準となるストローブ信号を発生するストローブ信号発生部と、前記データストローブ信号および前記ストローブ信号を受け、制御信号に応じて一方を選択するセレクタと、をさらに備えてもよい。マルチストローブ信号発生部は、前記セレクタにより選択された一方を基準として、前記マルチストローブ信号を生成してもよい。
この態様では、試験装置内部で生成したストローブ信号としたマルチストローブ試験を行うモードに切りかえることができ、試験装置内の絶対的な時間軸で、データ信号DSとデータストローブ信号DQSの変化タイミングを測定できる。
The test apparatus according to an aspect may further include a strobe signal generation unit that generates a reference strobe signal, and a selector that receives the data strobe signal and the strobe signal and selects one in accordance with a control signal. . The multi-strobe signal generation unit may generate the multi-strobe signal with reference to one selected by the selector.
In this mode, it is possible to switch to a mode in which a multi-strobe test is performed using a strobe signal generated inside the test apparatus, and the change timing of the data signal DS and the data strobe signal DQS is measured on the absolute time axis in the test apparatus. it can.
なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや本発明の構成要素や表現を、方法、装置などの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。 Note that any combination of the above-described constituent elements and the constituent elements and expressions of the present invention replaced with each other between methods and apparatuses are also effective as an aspect of the present invention.
本発明に係る試験装置によれば、ジッタが大きなデバイスを、回路規模、消費電力の増大を抑えつつ測定できる。 The test apparatus according to the present invention can measure a device having a large jitter while suppressing an increase in circuit scale and power consumption.
以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。 The present invention will be described below based on preferred embodiments with reference to the drawings. The same or equivalent components, members, and processes shown in the drawings are denoted by the same reference numerals, and repeated descriptions are omitted as appropriate. The embodiments do not limit the invention but are exemplifications, and all features and combinations thereof described in the embodiments are not necessarily essential to the invention.
図1は、実施の形態に係る試験装置2の構成を示すブロック図である。DDR SRAMであるDUT1は、mビット(mは自然数)のデータ信号DQ1〜DQmおよびデータストローブ信号DQSを出力する。試験装置2は、データ信号DQ1〜DQmおよびデータストローブ信号DQSを受け、これらのタイミングにもとづいて、セットアップタイム、ホールドタイムなどの規格を満たすかを判定し、DUT1の良否を判定する。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a
図1の試験装置2は、第1モードと、第2モードがモード制御信号MODEに応じて切りかえ可能となっている。ここでは、MODE=1のとき第1モード、MODE=0のとき第2モードとする。
The
試験装置2は、それぞれがデータ信号DQごとに設けられた複数の判定回路10と、データ信号DQおよびデータストローブ信号DQSに対応して設けられたレベルコンパレータ11a、11bと、位相調整部20と、ストローブ信号発生部30と、論理比較制御部40と、を備える。ここでは図示しないが、データストローブ信号DQSに対しても、同様の判定回路10が設けられてもよい。
The
ハイサイド用のレベルコンパレータ11aは、データ信号DQを所定の上側しきい値電圧VOHと比較する。レベルコンパレータ11aの出力信号DQ_SHは、DQ>VOHのときハイレベル(1)、DQ<VOHのときローレベル(0)となる。
同様にレベルコンパレータ11bは、データストローブ信号DQSを所定の上側しきい値電圧VOHと比較する。レベルコンパレータ11bの出力信号DQS_SHは、DQ>VOHのときハイレベル(1)、DQ<VOHのときローレベル(0)となる。
The high-
Similarly, the
また試験装置2はさらに、データ信号DQおよびデータストローブ信号DQSをそれぞれ、下側しきい値電圧VOLと比較するローサイド用のレベルコンパレータ(不図示)を備える。ローサイド側において、データ信号DQに対するレベルコンパレータの出力信号DQ_SLは、DQ<VOLのときハイレベル(1)、DQ>VOLのときローレベル(0)である。同様にデータストローブ信号DQSに対するレベルコンパレータの出力信号
ローサイド用レベルコンパレータの出力信号(DQ_SL、DQS_SL)に対しても、判定回路10(不図示)が設けられる。
The
位相調整部20は、レベルコンパレータ11の後段に設けられる。位相調整部20は、データ信号DQに応じた出力信号DQ_SHとデータストローブ信号DQSに応じた出力信号DQS_SHの少なくとも一方に遅延を与えることにより、データ信号DQとデータストローブ信号DQSの相対的な位相差を調整する。位相調整部20を設けることにより、DUT1から試験装置2に至る経路での、データ信号DQの伝搬長とデータストローブ信号DQSの伝搬長の差をキャリブレーションできる。位相調整部20をレベルコンパレータ11の前段に設けてもよい。
The
ストローブ信号発生部30は、ストローブ信号STRBを発生する。このストローブ信号STRBは、試験装置2を基準として生成される基準パルスであり、テストレートと同期した周波数を有する。ストローブ信号発生部30により生成されるストローブ信号STRBは、後述する第2モードで使用される。
The
判定回路10_1〜10_m(以下、判定回路10と総称する)は、同一の構成のASIC(Application Programmable IC)である。判定回路10_1〜10_mはそれぞれ、対応するデータ信号DQ(DQ_SH/SL)の変化タイミングとデータストローブ信号DQS(DQS_SH/SL)の変化タイミングにもとづいて、DUT1の良否の判定、不良箇所の特定、エラーレートの測定等を行う。
Determination circuits 10_1 to 10_m (hereinafter collectively referred to as determination circuit 10) are ASICs (Application Programmable ICs) having the same configuration. Each of the determination circuits 10_1 to 10_m determines whether the
以下、判定回路10_1を例に、その構成を説明する。判定回路10は、マルチストローブ信号発生部12、タイミング比較部14、位相データ変換部16、論理比較部18、セレクタ32を備える。
Hereinafter, the configuration of the determination circuit 10_1 will be described as an example. The
セレクタ32は、第1モードと第2モードを切りかえるために設けられる。セレクタ32の第1端子(1)には、位相調整部20によりスキュー調整されたデータストローブ信号DQSが入力される。またセレクタ32の第2端子(0)には、ストローブ信号発生部30により生成されたストローブ信号STRBが入力される。セレクタ32は、モード制御信号MODEが1のとき、第1端子(1)のデータストローブ信号DQSを選択し、0のとき第2端子(0)のストローブ信号STRBを選択する。
つまり第1モードではデータストローブ信号DQS_SHが、第2モードではストローブ信号STRB_SHが、マルチストローブ信号発生部12へと供給される。
The
That is, the data strobe signal DQS_SH is supplied to the
以下では、理解を容易とするために、第1モードに固定して説明をする。
マルチストローブ信号発生部12は、セレクタ32により選択されたデータストローブ信号DQSに対して多段遅延を与えることにより、データストローブ信号DQS_SHを基準として所定の時間間隔ΔTで複数(n+1個)のエッジを有するマルチストローブ信号MSTRB0〜MSTRBn(必要に応じて単にMSTRBと総称する)を生成する。
Hereinafter, in order to facilitate understanding, the description will be made with the first mode fixed.
The
マルチストローブ信号発生部12は、たとえばカスケード接続された複数の遅延素子D1〜Dnを備える。隣接する遅延素子の間にはタップが設けられている。個々の遅延素子は、入力された信号に対して所定時間ΔTの遅延を与える。各タップからは、異なる遅延時間が与えられたマルチストローブ信号MRSTRB[0:n]が出力される。具体的には、i段目の遅延素子Diの出力信号は、第i相のマルチストローブ信号MSTRBiである。初段の遅延素子D1の入力信号は、第0相のマルチストローブ信号MSTRB0である。
The multi-strobe
タイミング比較部14は、位相調整部20によりスキュー調整されたデータ信号DQ_SHと(n+1)相のマルチストローブ信号MSTRBを受ける。
タイミング比較部14は、マルチストローブ信号MSTRBの複数のエッジのタイミングごとにデータ信号DQ_SHの値を判定し、その値が変化するタイミングを示すタイミングデータTDを生成する。
The
The
たとえばタイミング比較部14は、n+1相のマルチストローブ信号MSTRBそれぞれに割り当てられたn+1個のラッチ(フリップフロップ)L0〜Lnを備える。
第i番目(0≦i≦n)のラッチLiは、第i相のマルチストローブ信号MSTRBのエッジのタイミングで、データ信号DQ_SHの値をラッチし、タイミングデータTDの第iビットTD[i]を出力する。
For example, the
The i-th (0 ≦ i ≦ n) latch Li latches the value of the data signal DQ_SH at the edge timing of the i-phase multi-strobe signal MSTRB, and sets the i-th bit TD [i] of the timing data TD. Output.
たとえば、データ信号DQが0(ローレベル)から1(ハイレベル)に変化する場合を考える。この場合、タイミングデータTD[0:n]の第0ビット〜第Kビットが0、第K+1ビット〜第nビットが1となった場合、タイミングデータTDの値が変化するビット位置(この場合、K)が、変化点を示すことになる。タイミングデータTDのように、あるビット位置を境界として値1、0が変化するデータは、サーモメータコードとも称される。 For example, consider a case where the data signal DQ changes from 0 (low level) to 1 (high level). In this case, when the 0th bit to the Kth bit of the timing data TD [0: n] are 0, and the K + 1th bit to the nth bit are 1, the bit position where the value of the timing data TD changes (in this case, K) indicates the changing point. Data in which values 1 and 0 change with a certain bit position as a boundary, such as timing data TD, is also referred to as a thermometer code.
位相データ変換部16は、タイミングデータTDを受け、これをバイナリデータをはじめとする、後段の信号処理に適したデータ形式に変換する。たとえば位相データ変換部16は、サーモメータコードをバイナリコードに変換するプライオリティエンコーダであってもよい。位相データ変換部16からは、バイナリ形式のタイミングデータTDbが出力される。
The
論理比較部18は、タイミングデータTDbが所定の条件を満たすか否かを判定する。たとえば論理比較部18には、タイミングデータTDbが許容される範囲を示す条件データ(たとえば上限値と下限値)が入力される。条件データは、論理比較制御部40によって生成される。
The
以上が試験装置2の構成である。続いて試験装置2の動作を説明する。
The above is the configuration of the
(第1モード)
図2は、図1の試験装置2の第1モードにおける動作例を示すタイムチャートである。
(First mode)
FIG. 2 is a time chart showing an operation example in the first mode of the
試験時において、DUT1から既知のパターンのデータ信号DQならびに、それと同期したデータストローブ信号DQSが出力される。ジッタが存在しない理想的な状況において、データストローブ信号DQSのエッジはデータ信号DQのアイ開口のほぼセンターに位置する。しかしながら現実的には、データ信号DQ、データストローブ信号DQSそれぞれに対してジッタが重畳される。このジッタの影響により、データ信号DQおよびデータストローブ信号DQSの変化点のタイミングが相対的に変化し、セットアップ条件、ホールド条件が満たされない状況が生じうる。
During the test, a data signal DQ having a known pattern and a data strobe signal DQS synchronized therewith are output from the
試験装置2は、データ信号DQの変化タイミングt1と、データストローブ信号DQSの変化タイミングt2の差を検出し、所定の関係を満たしているかを判定する。
The
マルチストローブ信号発生部12は、データストローブ信号DQSのエッジを基準として、データ信号DQの1サイクル(ユニットインターバルUI)に渡って、(n+1)相のマルチストローブ信号MSTRB0〜MSTRBnを生成する。図2では、n=8相の場合が示される。期間Tにおいて、データ信号DQが0から1に遷移するケースを考えると、タイミングデータTD[0]〜TD[4]は0、タイミングデータTD[5]〜TD[8]は1となる。
The
タイミングデータTDの値が変化するビット位置(K=5)は、データストローブ信号DQSとデータ信号DQの相対的な位相差を示す。論理比較部18は、タイミングデータTDbの値Kが所定の範囲に含まれているか否かを判定する。図2のタイムチャートの例では、K=5付近のとき、データストローブ信号DQSがデータ信号DQのセンターに位置することが保証される。反対に、Kが5から離れて小さすぎる場合、あるいは大きすぎる場合には、セットアップ条件、ホールド条件が満たされず、データ信号DQの値を判定できない。論理比較制御部40には、セットアップ条件、ホールド条件にもとづいて定められた上限値UL、下限値LLが設定されており、論理比較部18は、
LL<K<UL
を満たすか否かを判定する。試験装置2は論理比較部18による判定結果にもとづいて、DUT1を評価できる。
The bit position (K = 5) where the value of the timing data TD changes indicates the relative phase difference between the data strobe signal DQS and the data signal DQ. The
LL <K <UL
It is determined whether or not the above is satisfied. The
(第2モード)
続いて、第2モードについて説明する。第2モードは、従来の試験装置2との互換性を保つためのモードである。図3は、図1の試験装置2の第2モードにおける動作例を示すタイムチャートである。
(Second mode)
Next, the second mode will be described. The second mode is a mode for maintaining compatibility with the
第2モードでは、セレクタ32がストローブ信号STRBを選択する。つまりマルチストローブ信号MSTRBは、ストローブ信号STRBを基準として生成される。
In the second mode, the
データ信号DQに対応する判定回路10によって、マルチストローブ信号MSTRBを利用してデータ信号DQの変化タイミングが評価される。この変化タイミングt1は、先頭のストローブ信号STRBを基準(0)とした絶対時間であり、図3のタイムチャートでは、第8相にデータ信号DQの変化点が発生していることがわかる。つまりタイミングデータTDb=8となる。
The
また図示しないデータストローブ信号DQS用の判定部によって、データストローブ信号DQSの変化タイミングt2が評価される。図3のタイムチャートでは、第4相にデータ信号DQSの変化点が発生していることがわかる。つまりタイミングデータTDb=4となる。 Further, the change timing t2 of the data strobe signal DQS is evaluated by a determination unit for the data strobe signal DQS (not shown). In the time chart of FIG. 3, it can be seen that a change point of the data signal DQS occurs in the fourth phase. That is, the timing data TDb = 4.
第2モードにおいて、試験装置2は、図示しない演算回路によって、データ信号DQのタイミングデータTDbとデータストローブ信号DQSのタイミングデータTDbの差分を演算する。この演算処理は、データストローブ信号DQSとデータ信号DQに対して、同じ方向に同じ量、重畳されるコモンモードジッタの影響を除外するために行われ、第2モードでは不可避な処理となる。
試験装置2は、差分が、所定の範囲に含まれているかを判定する。
In the second mode, the
The
以上が第2モードの動作である。 The above is the operation in the second mode.
続いて、図1の試験装置2の、特に第1モードにおける利点を説明する。第1モードの利点は、第2モードとの比較によってさらに明らかとなる。
第2モードでは、コモンモードジッタの影響を除去し、データ信号DQとデータストローブ信号DQSの相対的な位相変動(ジッタ)を評価するために、減算処理が必要である。これに対して、第1モードにおいては、減算処理が不要となるため、回路の消費電力を低減できる。
Next, advantages of the
In the second mode, a subtraction process is required to remove the influence of the common mode jitter and evaluate the relative phase fluctuation (jitter) between the data signal DQ and the data strobe signal DQS. On the other hand, in the first mode, subtraction processing is not necessary, so that power consumption of the circuit can be reduced.
また、図3のタイムチャートに示されるように、第2モードではデータ信号DQおよびデータストローブ信号DQSそれぞれの1サイクル(ユニットインターバル)に渡ってマルチストローブ信号MSTRBを発生させる必要があるため、1.5UIの範囲で、12相のマルチストローブ信号MSTRBが必要となる。このことはマルチストローブ信号発生部12の消費電力が増大することを意味する。これに対して、第1モードでは、1Uの範囲でマルチストローブ信号MSTRBを発生させれば足りるため、消費電力を低減することができる。
As shown in the time chart of FIG. 3, in the second mode, it is necessary to generate the multi-strobe signal MSTRB over one cycle (unit interval) of each of the data signal DQ and the data strobe signal DQS. A 12-phase multi-strobe signal MSTRB is required in the range of 5 UI. This means that the power consumption of the
また、図1の試験装置2において、従来のマルチストローブ測定との互換性を必要としない場合には、第1モードのみで動作するように試験装置2を設計してもよい。この場合、マルチストローブ信号発生部12において1UIの範囲でマルチストローブ信号MSTRBを発生させればよいため、回路規模を削減できるというさらなる効果がある。
Moreover, in the
また第1モードのみであれば、減算処理が不要であるため、演算処理を行う回路ユニットが不要となるため、回路規模をさらに削減できる。 Further, if only the first mode is used, the subtraction process is unnecessary, so that the circuit unit for performing the arithmetic process becomes unnecessary, so that the circuit scale can be further reduced.
実施の形態にもとづき、本発明を説明したが、実施の形態は、本発明の原理、応用を示しているにすぎず、実施の形態には、請求の範囲に規定された本発明の思想を逸脱しない範囲において、多くの変形例や配置の変更が可能である。 Although the present invention has been described based on the embodiments, the embodiments merely illustrate the principle and application of the present invention, and the embodiments are intended to include the idea of the present invention defined in the claims. Many modifications and arrangement changes are possible without departing from the scope.
DQ…データ信号、DQS…データストローブ信号、STRB…ストローブ信号、MSTRB…マルチストローブ信号、1…DUT、2…試験装置、10…判定部、11…レベルコンパレータ、12…マルチストローブ信号発生部、14…タイミング比較部、16…位相データ変換部、18…論理比較部、20…位相調整部、30…ストローブ信号発生部、32…セレクタ、40…論理比較制御部。 DQ ... data signal, DQS ... data strobe signal, STRB ... strobe signal, MSTRB ... multi-strobe signal, 1 ... DUT, 2 ... test device, 10 ... determination unit, 11 ... level comparator, 12 ... multi-strobe signal generation unit, 14 ... timing comparison unit, 16 ... phase data conversion unit, 18 ... logic comparison unit, 20 ... phase adjustment unit, 30 ... strobe signal generation unit, 32 ... selector, 40 ... logic comparison control unit.
Claims (6)
前記被試験デバイスから出力されるデータストローブ信号に対して多段遅延を与えることにより、当該データストローブ信号を基準として所定の時間間隔で複数のエッジを有するマルチストローブ信号を生成するマルチストローブ信号発生部と、
前記マルチストローブ信号の複数のエッジのタイミングごとにデータ信号の値を判定し、その値が変化するタイミングを示すタイミングデータを生成するタイミング比較部と、
前記タイミングデータが所定の条件を満たすかを判定する論理比較部と、
を備えることを特徴とする試験装置。 A test apparatus for testing a device under test that performs source-synchronous transmission,
A multi-strobe signal generator for generating a multi-strobe signal having a plurality of edges at predetermined time intervals with reference to the data strobe signal by giving a multistage delay to the data strobe signal output from the device under test; ,
A timing comparison unit that determines a value of a data signal for each timing of a plurality of edges of the multi-strobe signal and generates timing data indicating a timing at which the value changes;
A logical comparison unit for determining whether the timing data satisfies a predetermined condition;
A test apparatus comprising:
前記データストローブ信号および前記ストローブ信号を受け、制御信号に応じて一方を選択するセレクタと、
をさらに備え、
前記マルチストローブ信号発生部は、前記セレクタにより選択された一方を基準として、前記マルチストローブ信号を生成することを特徴とする請求項1に記載の試験装置。 A strobe signal generator for generating a reference strobe signal;
A selector that receives the data strobe signal and the strobe signal and selects one in accordance with a control signal;
Further comprising
The test apparatus according to claim 1, wherein the multi-strobe signal generation unit generates the multi-strobe signal with reference to one selected by the selector.
前記被試験デバイスから出力されるデータストローブ信号に対して多段遅延を与えることにより、当該データストローブ信号を基準として所定の時間間隔で複数のエッジを有するマルチストローブ信号を生成するステップと、
前記マルチストローブ信号の複数のエッジのタイミングごとにデータ信号の値を判定し、その値が変化するタイミングを示すタイミングデータを生成するステップと、
前記タイミングデータが所定の条件を満たすかを判定するステップと、
を備えることを特徴とする方法。 A method for testing a device under test that performs source-synchronous transmission,
Generating a multi-strobe signal having a plurality of edges at predetermined time intervals based on the data strobe signal by giving a multistage delay to the data strobe signal output from the device under test;
Determining a value of a data signal for each of a plurality of edge timings of the multi-strobe signal, and generating timing data indicating a timing at which the value changes;
Determining whether the timing data satisfies a predetermined condition;
A method comprising the steps of:
前記データストローブ信号および前記ストローブ信号のうち、制御信号に応じた一方を選択するステップと、
をさらに備え、
選択された一方の信号を基準として前記マルチストローブ信号を生成することを特徴とする請求項4に記載の方法。 Generating a reference strobe signal;
Selecting one of the data strobe signal and the strobe signal according to a control signal;
Further comprising
5. The method of claim 4, wherein the multi-strobe signal is generated based on one selected signal.
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