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JP5198326B2 - Resistance measuring device - Google Patents

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JP5198326B2 JP2009045836A JP2009045836A JP5198326B2 JP 5198326 B2 JP5198326 B2 JP 5198326B2 JP 2009045836 A JP2009045836 A JP 2009045836A JP 2009045836 A JP2009045836 A JP 2009045836A JP 5198326 B2 JP5198326 B2 JP 5198326B2
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  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Description

本発明は、測定対象回路の抵抗値を測定する抵抗測定装置に関するものである。   The present invention relates to a resistance measuring device that measures a resistance value of a circuit to be measured.

この種の抵抗測定装置として、下記の特許文献1に開示された抵抗測定装置が知られている。この抵抗測定装置は、測定回路網の接続導線をクリップして測定回路網(測定対象)に流れる第1周波数の電流と弁別し得る第2周波数の電流を測定回路網に注入する注入用変成器と、測定回路網に流れている上記の2種類の電流を接続導線にクリップして検出する検出用変成器と、検出用変成器の出力のうち第2周波数の成分を取り出す周波数選択増幅回路と、周波数選択増幅回路から出力される信号を整流して増幅する整流増幅回路と、整流増幅回路から出力される信号で駆動される指示計を具備し、さらに、注入用変成器は、発振器の出力電圧が与えられて第2周波数の電流を測定回路網に注入する注入コイル、および帰還コイルを有し、帰還コイルに誘起する電圧が一定値に制御されるように注入コイルに供給される電圧を可変するようにした帰還ループを備えて構成されている。この抵抗測定装置では、帰還コイルに誘起する電圧を測定回路網の接続導線数(クリップされる本数。1本)に対する帰還コイルの巻線数の比で除算して得られる注入電圧についても一定値に制御されるため、検出用変成器に流れる電流に起因してこの検出用変成器に接続された抵抗に発生する電圧を検出することにより、この検出用変成器に接続された抵抗の抵抗値、この抵抗に発生する電圧、帰還コイルに発生する電圧、注入用変成器の巻数および検出用変成器の巻数に基づいて、測定回路網に接続された抵抗素子の値(被測定抵抗)を測定することが可能となっている。   As this type of resistance measuring apparatus, a resistance measuring apparatus disclosed in Patent Document 1 below is known. This resistance measuring device is a transformer for injection that clips a connection conductor of a measurement circuit network and injects into the measurement circuit a current of a second frequency that can be distinguished from the current of the first frequency flowing in the measurement circuit network (measurement object). And a detection transformer for detecting the two kinds of currents flowing through the measurement circuit network by clipping them to the connecting conductor, and a frequency selective amplifier circuit for extracting a second frequency component from the output of the detection transformer, A rectifying and amplifying circuit for rectifying and amplifying the signal output from the frequency selective amplifier circuit, and an indicator driven by the signal output from the rectifying and amplifying circuit, and the injection transformer is an output of the oscillator A voltage supplied to the injection coil so that the voltage induced in the feedback coil is controlled to a constant value. Variable It is configured to include a Unishi was feedback loop. In this resistance measuring apparatus, the injection voltage obtained by dividing the voltage induced in the feedback coil by the ratio of the number of windings of the feedback coil to the number of connection wires (number of clips, one) of the measurement network is also a constant value. Therefore, the resistance value of the resistor connected to the detection transformer is detected by detecting the voltage generated in the resistor connected to the detection transformer due to the current flowing in the detection transformer. Based on the voltage generated in this resistor, the voltage generated in the feedback coil, the number of turns of the injection transformer and the number of turns of the detection transformer, the value of the resistance element connected to the measurement network (measured resistance) is measured. It is possible to do.

特公平2−7031号公報(第1−4頁、第2図)Japanese Examined Patent Publication No. 2-7031 (page 1-4, Fig. 2)

ところが、上記の抵抗測定装置には、以下の問題点が存在する。すなわち、この種の抵抗測定装置では、指示計に供給される信号を生成する整流増幅回路は、通常直流増幅回路に構成されて、周波数選択増幅回路から出力される信号(測定回路網の抵抗値に比例した直流成分を含む信号)を直流増幅して指示計に供給する。しかしながら、直流増幅を採用する構成では、ダイナミックリザーブが悪化して、ノイズ耐性が低下するという課題が発生する。また、整流増幅回路を構成するための演算増幅器として、オフセットの小さなものを使用する必要があるが、このような演算増幅器は高価であるため、装置コストの上昇を招来するという課題も発生する。   However, the above resistance measuring apparatus has the following problems. That is, in this type of resistance measuring device, the rectifying and amplifying circuit that generates the signal supplied to the indicator is usually configured as a DC amplifying circuit, and the signal output from the frequency selective amplifier circuit (the resistance value of the measuring circuit network). (A signal containing a DC component proportional to) is DC amplified and supplied to the indicator. However, in the configuration employing DC amplification, there arises a problem that the dynamic reserve is deteriorated and noise resistance is lowered. In addition, it is necessary to use an operational amplifier having a small offset as an operational amplifier for constituting the rectifying and amplifying circuit. However, since such an operational amplifier is expensive, there is a problem that the apparatus cost is increased.

本発明は、かかる問題点を解決すべくなされたものであり、ダイナミックリザーブの悪化および装置コストの上昇を回避し得る抵抗測定装置を提供することを主目的とする。   The present invention has been made to solve such problems, and a main object of the present invention is to provide a resistance measuring device that can avoid deterioration of dynamic reserve and increase in device cost.

上記目的を達成すべく請求項1記載の抵抗測定装置は、注入コイルに交流電圧を印加することによって測定対象回路に検査用交流信号を注入する電圧注入部と、前記検査用交流信号の注入に起因して前記測定対象回路に流れる交流電流を検出コイルで検出して測定する電流測定部と、前記注入された検査用交流信号の電圧値および前記測定された交流電流の電流値に基づいて前記測定対象回路の抵抗値を算出する処理部とを備えた抵抗測定装置であって、前記電圧注入部は、前記交流電圧の印加を間欠的に実行し、当該印加される交流電圧に同期した二値化信号を生成して基準信号として出力する基準信号生成部を備え、前記電流測定部は、前記検査用交流信号の注入に起因して前記検出コイルに流れる電流を電圧信号に変換する電流電圧変換回路、当該電圧信号を前記基準信号を用いて同期検波する同期検波回路、当該同期検波回路から出力される検波出力信号を積分すると共に直流成分を除去して交流成分を出力する直流除去回路、および当該交流成分を増幅する交流増幅回路を備えて前記交流電流の前記電流値を測定する。   In order to achieve the above object, a resistance measuring apparatus according to claim 1, wherein a voltage injection unit for injecting an inspection AC signal into a circuit to be measured by applying an AC voltage to an injection coil, and injection of the inspection AC signal Based on the voltage value of the injected alternating current signal for inspection and the measured current value of the alternating current, the current measuring unit that detects and measures the alternating current flowing through the circuit to be measured due to the detection coil A resistance measuring device including a processing unit for calculating a resistance value of a circuit to be measured, wherein the voltage injection unit intermittently executes the application of the AC voltage and is synchronized with the applied AC voltage. A reference signal generation unit configured to generate a quantified signal and output the signal as a reference signal, wherein the current measurement unit converts a current flowing in the detection coil due to the injection of the inspection AC signal into a voltage signal; Strange A synchronous detection circuit that synchronously detects the voltage signal using the reference signal, a DC removal circuit that integrates a detection output signal output from the synchronous detection circuit and removes a DC component to output an AC component; and An AC amplifier circuit for amplifying the AC component is provided to measure the current value of the AC current.

また、請求項2記載の抵抗測定装置は、請求項1記載の抵抗測定装置において、前記基準信号生成部は、前記印加される交流電圧に基づいて前記二値化信号を生成するコンパレータを有している。   The resistance measurement device according to claim 2 is the resistance measurement device according to claim 1, wherein the reference signal generation unit includes a comparator that generates the binarized signal based on the applied AC voltage. ing.

請求項1記載の抵抗測定装置では、電圧注入部が、交流電圧の注入コイルへの印加を間欠的に実行することにより、検査用交流信号を測定対象回路内に生成させる。また、基準信号生成部が、この印加される交流電圧に同期した二値化信号を生成して基準信号として出力する。また、電流測定部では、電流電圧変換回路が、検査用交流信号の注入に起因して検出コイルに流れる電流を電圧信号に変換し、同期検波回路が、この電圧信号を基準信号を用いて同期検波し、直流除去回路が、同期検波回路から出力される検波出力信号に含まれる直流成分を除去して交流成分を出力し、交流増幅回路がこの交流成分を増幅して出力する。   In the resistance measuring device according to the first aspect, the voltage injection unit intermittently executes the application of the AC voltage to the injection coil, thereby generating the AC signal for inspection in the circuit to be measured. Further, the reference signal generation unit generates a binarized signal synchronized with the applied AC voltage and outputs it as a reference signal. In the current measurement unit, the current-voltage conversion circuit converts the current flowing in the detection coil due to the injection of the AC signal for inspection into a voltage signal, and the synchronous detection circuit synchronizes the voltage signal with the reference signal. The DC removal circuit detects the DC component included in the detection output signal output from the synchronous detection circuit and outputs an AC component, and the AC amplifier circuit amplifies and outputs the AC component.

したがって、この抵抗測定装置によれば、測定対象回路に流れる検出電流の測定に際して必要となる電圧信号を交流信号として交流増幅部で交流増幅することにより、直流増幅を採用する構成とは異なり、ダイナミックリザーブの悪化を回避することができると共に、ノイズ耐性の低下についても回避することができる。また、交流増幅部を構成するに際して、直流増幅のように演算増幅器にオフセットの小さな高価なものを使用する必要がないため、電流測定部、ひいては抵抗測定装置のコストを低減することができる。   Therefore, according to this resistance measuring apparatus, unlike the configuration employing DC amplification, the voltage signal necessary for measurement of the detected current flowing in the circuit to be measured is AC-amplified as an AC signal by the AC amplification unit. The deterioration of the reserve can be avoided, and the decrease in noise resistance can also be avoided. Further, when configuring the AC amplifying unit, it is not necessary to use an expensive operational amplifier with a small offset as in the case of DC amplification, so that the cost of the current measuring unit and thus the resistance measuring device can be reduced.

また、請求項2記載の抵抗測定装置によれば、交流電圧に基づいて二値化信号を生成するコンパレータを有して基準信号生成部を構成したことにより、簡易な構成で交流電圧から二値化信号を確実に生成することができる。   Further, according to the resistance measuring apparatus of the second aspect, since the reference signal generating unit is configured by including the comparator that generates the binarized signal based on the AC voltage, the binary value can be obtained from the AC voltage with a simple configuration. Can be generated reliably.

抵抗測定装置1の構成を示す構成図である。1 is a configuration diagram showing a configuration of a resistance measuring device 1. FIG. LPF68、HPF69、交流増幅部70およびA/D変換部71を除く電流測定部42の回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram of a current measurement unit 42 excluding an LPF 68, an HPF 69, an AC amplification unit 70, and an A / D conversion unit 71. 電流測定部42の動作を説明するための波形図である。FIG. 6 is a waveform diagram for explaining the operation of a current measuring unit 42. 抵抗測定装置1による抵抗測定処理を説明するためのフローチャートである。4 is a flowchart for explaining resistance measurement processing by the resistance measuring apparatus 1;

以下、本発明に係る抵抗測定装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。   Embodiments of a resistance measuring device according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

最初に、本発明に係る抵抗測定装置1の構成について、図面を参照して説明する。   First, the configuration of the resistance measuring apparatus 1 according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図1に示す抵抗測定装置1は、クランプ部2、およびクランプ部2とケーブル3を介して接続された装置本体部4を備え、測定対象回路5の抵抗(ループ抵抗)の抵抗値Rxを測定可能に構成されている。   A resistance measuring device 1 shown in FIG. 1 includes a clamp portion 2 and a device main body portion 4 connected to the clamp portion 2 via a cable 3 and measures a resistance value Rx of a resistance (loop resistance) of a measurement target circuit 5. It is configured to be possible.

クランプ部2は、図1に示すように、注入クランプ部11、検出クランプ部21およびハウジング31を備えて構成されている。一例として、本例では、注入クランプ部11は、2つに分割された第1環状コア12、および第1環状コア12に巻回された注入コイルとしての第1巻線13(既知のターン数:N1)を有している。また、検出クランプ部21は、2つに分割された第2環状コア22、および第2環状コア22に巻回された第2巻線23(本発明における検出コイル(既知のターン数:N2))を有している。また、注入クランプ部11および検出クランプ部21は、先端が開閉自在なクランプ型の樹脂製のハウジング31に共に収容されて、このハウジング31の開閉動作に伴い、それぞれの第1環状コア12および第2環状コア22が同時に開閉するように構成されている。この構成により、ハウジング31を開状態としてその内側に測定対象回路5の一部を構成する配線5aを導入することで、開状態となった第1環状コア12および第2環状コア22のそれぞれの内側にも配線5aが導入され、この状態においてハウジング31を閉状態とすることで、閉状態となった第1環状コア12および第2環状コア22によって配線5aが同時にクランプされた状態、すなわちクランプ部2によって配線5aがクランプされた状態となる。この場合、配線5aは、第1環状コア12および第2環状コア22において1ターンの巻線として機能する。   As shown in FIG. 1, the clamp unit 2 includes an injection clamp unit 11, a detection clamp unit 21, and a housing 31. As an example, in this example, the injection clamp unit 11 includes a first annular core 12 divided into two parts, and a first winding 13 (known number of turns) as an injection coil wound around the first annular core 12. : N1). The detection clamp unit 21 includes a second annular core 22 divided into two parts, and a second winding 23 wound around the second annular core 22 (detection coil (known number of turns: N2) in the present invention). )have. The injection clamp part 11 and the detection clamp part 21 are housed together in a clamp-type resin housing 31 whose tip can be freely opened and closed. The two annular cores 22 are configured to open and close simultaneously. With this configuration, each of the first annular core 12 and the second annular core 22 that are in the open state can be obtained by introducing the wiring 5a that constitutes a part of the circuit to be measured 5 inside the housing 31 in the open state. The wiring 5a is also introduced inside, and in this state, the housing 31 is closed, so that the wiring 5a is simultaneously clamped by the closed first annular core 12 and the second annular core 22, that is, the clamp The wiring 2a is clamped by the part 2. In this case, the wiring 5 a functions as a one-turn winding in the first annular core 12 and the second annular core 22.

装置本体部4は、図1に示すように、電圧注入部41、電流測定部42、処理部43、出力部44および基準信号生成部45を備えている。電圧注入部41は、三角波生成部51、ローパスフィルタ(以下、「LPF」ともいう)52、電力増幅部53および注入クランプ部11を備えて構成されている。この場合、三角波生成部51は、一例としてD/A変換器を備えて構成されて、処理部43から一定の時間間隔T1を空けて一定時間T2ずつ出力される三角波生成用データDsに基づいて図1に示すように三角波信号Ss(階段波)を間欠的に(他の表現によれば、断続的に)に生成して出力する。LPF52は、三角波信号Ssを入力してその基本周波数成分(周波数f。本例では約100Hz)を主として通過させ、例えば3倍以上の高調波成分についてはレベルを減衰させることにより、図3に示す交流電圧(擬似正弦波信号)Vaに変換して出力する。   As shown in FIG. 1, the apparatus body 4 includes a voltage injection unit 41, a current measurement unit 42, a processing unit 43, an output unit 44, and a reference signal generation unit 45. The voltage injection unit 41 includes a triangular wave generation unit 51, a low-pass filter (hereinafter also referred to as “LPF”) 52, a power amplification unit 53, and an injection clamp unit 11. In this case, the triangular wave generation unit 51 is configured to include a D / A converter as an example, and is based on the triangular wave generation data Ds output from the processing unit 43 at regular time intervals T2 with a constant time interval T1. As shown in FIG. 1, a triangular wave signal Ss (step wave) is generated intermittently (according to other expressions, intermittently) and output. The LPF 52 receives the triangular wave signal Ss and mainly passes its fundamental frequency component (frequency f, about 100 Hz in this example), and attenuates the level of, for example, three times or more harmonic components, as shown in FIG. An alternating voltage (pseudo sine wave signal) Va is converted and output.

電力増幅部53は、本例では一例としてD級アンプとして構成されて、この交流電圧Vaを所定の増幅率で増幅して予め規定された電圧値(本例では電圧実効値)の交流電圧V1を生成すると共に、生成した交流電圧V1を注入クランプ部11の第1巻線13に印加する。この場合、三角波信号Ssは上記したように間欠的に生成される信号であるため、電力増幅部53も交流電圧V1を間欠的に生成して、第1巻線13に印加する。   In this example, the power amplifying unit 53 is configured as a class D amplifier, for example, and amplifies the AC voltage Va with a predetermined amplification factor, and an AC voltage V1 having a predetermined voltage value (voltage effective value in this example). And the generated AC voltage V1 is applied to the first winding 13 of the injection clamp unit 11. In this case, since the triangular wave signal Ss is a signal generated intermittently as described above, the power amplifier 53 also generates the AC voltage V1 intermittently and applies it to the first winding 13.

また、電力増幅部53は、一例として、一定周波数の鋸歯状信号を生成する信号発生回路と、この鋸歯状信号と交流電圧Vaとを比較して、交流電圧Vaの振幅に比例してパルス幅(デューティ比)が変化する所定周期のパルス信号(PWM信号)を生成するPWM信号生成回路と、このPWM信号を電力増幅するD級電力増幅回路と、D級電力増幅回路からの出力信号に対してフィルタリング処理することで交流電圧V1を生成するローパスフィルタ回路とで構成されている。これにより、注入クランプ部11を介して測定対象回路5に所定の周波数fで、かつ所定の電圧実効値の検査用交流信号Vxが注入される。この場合、上記したように配線5aが第1環状コア12において1ターンの巻線として機能するため、測定対象回路5に注入される検査用交流信号Vxは、その電圧値が交流電圧V1をターン数N1で除算して得られる電圧値(Vx=V1/N1)となる。検出クランプ部21は、第2環状コア22において配線5aが1ターンの巻線として機能するため、測定対象回路5に流れる交流電流Ixを検出して、その第2巻線23に検出電流(本発明における検出コイルに流れる電流)I1(=Ix/N2)を出力する。   For example, the power amplifying unit 53 compares the sawtooth signal and the AC voltage Va with a signal generation circuit that generates a sawtooth signal having a constant frequency, and compares the sawtooth signal with the AC voltage Va to obtain a pulse width proportional to the amplitude of the AC voltage Va. A PWM signal generation circuit that generates a pulse signal (PWM signal) having a predetermined period in which (duty ratio) changes, a class D power amplification circuit that amplifies the power of the PWM signal, and an output signal from the class D power amplification circuit And a low-pass filter circuit that generates an AC voltage V1 by performing a filtering process. As a result, a test AC signal Vx having a predetermined frequency f and a predetermined voltage effective value is injected into the measurement target circuit 5 via the injection clamp unit 11. In this case, since the wiring 5a functions as a one-turn winding in the first annular core 12 as described above, the voltage value of the test AC signal Vx injected into the circuit to be measured 5 turns the AC voltage V1. A voltage value (Vx = V1 / N1) obtained by dividing by the number N1 is obtained. Since the wiring 5a functions as a one-turn winding in the second annular core 22, the detection clamp unit 21 detects the alternating current Ix flowing through the circuit to be measured 5, and the detection current (the main current is supplied to the second winding 23). In the present invention, the current I1 (= Ix / N2) flowing through the detection coil is output.

電流測定部42は、検出クランプ部21、第1増幅部61、第1バンドパスフィルタ(以下、「第1BPF」ともいう)62、第1切替部63、第2増幅部64、第2バンドパスフィルタ(以下、「第2BPF」ともいう)65、第2切替部66、第3増幅部67、ローパスフィルタ(以下、「LPF」ともいう)68、ハイパスフィルタ(以下、「HPF」ともいう)69、交流増幅部70およびA/D変換部71を備え、検出クランプ部21で交流電流Ixを検出して、その電流値を測定可能に構成されている。   The current measurement unit 42 includes a detection clamp unit 21, a first amplification unit 61, a first bandpass filter (hereinafter also referred to as “first BPF”) 62, a first switching unit 63, a second amplification unit 64, and a second bandpass. Filter (hereinafter also referred to as “second BPF”) 65, second switching unit 66, third amplification unit 67, low-pass filter (hereinafter also referred to as “LPF”) 68, high-pass filter (hereinafter also referred to as “HPF”) 69 The AC amplifying unit 70 and the A / D converting unit 71 are configured so that the detection clamp unit 21 can detect the AC current Ix and measure the current value.

この場合、第1増幅部61は、本発明における電流電圧変換回路として機能して、第2巻線23の一端に接続されて、この一端に発生する検出電流I1を第1電圧信号Vb1に変換して出力する。また、第1増幅部61は、一例として、図2に示すように、第1演算増幅器61a、抵抗61b,61c,61dおよび第1コンデンサ61eを備えて構成されている。この場合、第1演算増幅器61aは、その反転入力端子が第2巻線23の一端に直接接続され、反転入力端子と出力端子との間に抵抗61bが帰還抵抗として接続され、非反転入力端子が抵抗61cを介して接地されて(基準電圧(グランド)が入力される一例)、入力した検出電流I1を電圧信号Vb(振幅が検出電流I1の電流値に比例して変化する信号)に変換して出力する。第1コンデンサ61eは、第1演算増幅器61aの後段に配設されて(本例では、その一端が第1演算増幅器61aの出力端子に直接接続されて)、電圧信号Vbに含まれる直流成分を除去する。また、第1コンデンサ61eは、その他端が抵抗61dを介して接地されている。これにより、第1コンデンサ61eにおいて直流成分が除去された電圧信号Vbは、その直流レベルが接地電位(ゼロボルト)に規定されて、ゼロボルトを中心として変化する交流信号である第1電圧信号Vb1として第1増幅部61から出力される。   In this case, the first amplifying unit 61 functions as a current-voltage conversion circuit in the present invention, is connected to one end of the second winding 23, and converts the detection current I1 generated at this one end into the first voltage signal Vb1. And output. For example, as shown in FIG. 2, the first amplifying unit 61 includes a first operational amplifier 61a, resistors 61b, 61c, 61d, and a first capacitor 61e. In this case, the first operational amplifier 61a has an inverting input terminal directly connected to one end of the second winding 23, a resistor 61b connected as a feedback resistor between the inverting input terminal and the output terminal, and a non-inverting input terminal. Is grounded through the resistor 61c (an example in which a reference voltage (ground) is input), and the input detection current I1 is converted into a voltage signal Vb (a signal whose amplitude changes in proportion to the current value of the detection current I1). And output. The first capacitor 61e is disposed downstream of the first operational amplifier 61a (in this example, one end thereof is directly connected to the output terminal of the first operational amplifier 61a), and the DC component contained in the voltage signal Vb is reduced. Remove. The other end of the first capacitor 61e is grounded via a resistor 61d. As a result, the voltage signal Vb from which the DC component is removed in the first capacitor 61e is defined as the first voltage signal Vb1, which is an AC signal whose DC level is regulated to the ground potential (zero volts) and changes around zero volts. 1 is output from the amplifying unit 61.

第1BPF62は、入力した第1電圧信号Vb1に含まれている交流電圧Vaの高調波成分を除去して(フィルタリング処理して)、第1電圧信号Vb2として出力する。具体的には、第1BPF62は、第1電圧信号Vb1に含まれている交流電圧Vaの基本周波数成分(周波数fの成分。検査用交流信号Vxの基本周波数成分でもある)を選択的に(主として)通過させることで、第1電圧信号Vb2を出力する。第1切替部63は、例えばアナログスイッチで構成されて本発明における同期検波回路として機能して、基準信号生成部45から出力される基準信号Sr(交流電圧Vaに同期し(同位相で)、かつデューティ比が0.5のパルス信号)に同期して、図3に示すように、第1電圧信号Vb2と第2BPF65から出力される後述の第2電圧信号Vc2とを半周期ずつ切り替えて出力する(同期検波動作する)。これにより、第1切替部63は、第1電圧信号Vb2の正側波形および第2電圧信号Vc2の正側波形で構成される脈流信号である正極性信号(同期検波信号)Vdを生成して出力する。   The first BPF 62 removes (filters) the harmonic component of the AC voltage Va included in the input first voltage signal Vb1, and outputs the first voltage signal Vb2. Specifically, the first BPF 62 selectively (mainly, the fundamental frequency component of the AC voltage Va included in the first voltage signal Vb1 (the component of the frequency f, which is also the fundamental frequency component of the test AC signal Vx)). ) The first voltage signal Vb2 is output by passing it through. The first switching unit 63 is composed of, for example, an analog switch, and functions as a synchronous detection circuit in the present invention. The first switching unit 63 is synchronized with the reference voltage Sr output from the reference signal generation unit 45 (in synchronization with the AC voltage Va (in phase)) As shown in FIG. 3, the first voltage signal Vb2 and a second voltage signal Vc2 (described later) output from the second BPF 65 are switched by half a cycle and output in synchronization with the pulse signal having a duty ratio of 0.5. (Synchronous detection is performed). Thus, the first switching unit 63 generates a positive polarity signal (synchronous detection signal) Vd that is a pulsating signal composed of the positive side waveform of the first voltage signal Vb2 and the positive side waveform of the second voltage signal Vc2. Output.

第2増幅部64は、本発明における電流電圧変換回路として機能して、第2巻線23の他端に接続されて、この他端に発生する検出電流I1を第2電圧信号Vc1に変換して出力する。また、第2増幅部64は、一例として図2に示すように、第2演算増幅器64a、抵抗64b,64c,64dおよび第2コンデンサ64eを備えて、第1増幅部61と同一に構成されている。この場合、第2演算増幅器64aは、その反転入力端子が第2巻線23の他端に直接接続され、反転入力端子と出力端子との間に抵抗64bが帰還抵抗として接続され、非反転入力端子が抵抗64cを介して接地されて(基準電圧(グランド)が入力される一例)、入力した検出電流I1を電圧信号Vc(振幅が検出電流I1の電流値に比例して変化し、かつ電圧信号Vbと逆極性の信号)に変換して出力する。第2コンデンサ64eは、第2演算増幅器64aの後段に配設されて(本例では、その一端が第2演算増幅器64aの出力端子に直接接続されて)、電圧信号Vcに含まれる直流成分を除去する。また、第2コンデンサ64eは、その他端が抵抗64dを介して接地されている。これにより、第2コンデンサ64eにおいて直流成分が除去された電圧信号Vcは、その直流レベルが接地電位(ゼロボルト)に規定されて、ゼロボルトを中心として変化する交流信号である第2電圧信号Vc1として第2増幅部64から出力される。ここで、第2巻線23の他端に発生する検出電流I1は、一端に発生する検出電流I1と位相が反転したものとなる。このため、第2演算増幅器64aは、入力した検出電流I1を電圧信号Vbと位相が反転した電圧信号Vcに変換して出力する。これにより、第2増幅部64は、ゼロボルトを中心として変化し、かつ第1電圧信号Vb1と位相が反転した交流信号である第2電圧信号Vc1を生成して出力する。   The second amplifying unit 64 functions as a current-voltage conversion circuit in the present invention, is connected to the other end of the second winding 23, and converts the detection current I1 generated at the other end into the second voltage signal Vc1. Output. Further, as shown in FIG. 2 as an example, the second amplifying unit 64 includes a second operational amplifier 64a, resistors 64b, 64c, 64d, and a second capacitor 64e, and is configured in the same manner as the first amplifying unit 61. Yes. In this case, the second operational amplifier 64a has an inverting input terminal directly connected to the other end of the second winding 23, a resistor 64b connected as a feedback resistor between the inverting input terminal and the output terminal, and a non-inverting input. The terminal is grounded via the resistor 64c (an example in which a reference voltage (ground) is input), and the input detection current I1 is changed to a voltage signal Vc (the amplitude changes in proportion to the current value of the detection current I1 and the voltage Converted to a signal having a polarity opposite to that of the signal Vb). The second capacitor 64e is disposed after the second operational amplifier 64a (in this example, one end thereof is directly connected to the output terminal of the second operational amplifier 64a), and the DC component contained in the voltage signal Vc is reduced. Remove. The other end of the second capacitor 64e is grounded via a resistor 64d. As a result, the voltage signal Vc from which the DC component is removed in the second capacitor 64e is defined as the second voltage signal Vc1 which is an AC signal whose center level is zero volts with the DC level defined as the ground potential (zero volts). 2 is output from the amplifying unit 64. Here, the detection current I1 generated at the other end of the second winding 23 has a phase inverted from that of the detection current I1 generated at one end. Therefore, the second operational amplifier 64a converts the input detection current I1 into a voltage signal Vc whose phase is inverted from that of the voltage signal Vb and outputs the voltage signal Vc. As a result, the second amplifying unit 64 generates and outputs the second voltage signal Vc1, which is an AC signal that changes around zero volts and whose phase is inverted from that of the first voltage signal Vb1.

第2BPF65は、第1BPF62と同様のバンドパスフィルタに構成されて、入力した第2電圧信号Vc1に含まれている交流電圧Vaの高調波成分を除去して(フィルタリング処理して)、第2電圧信号Vc2として出力する。第2切替部66は、第1切替部63と同一の構成を備えて本発明における同期検波回路として機能して、基準信号Srに同期して、図3に示すように、第1電圧信号Vb2と第2電圧信号Vc2とを半周期ずつ切り替えて出力する(同期検波する)ことにより、第1電圧信号Vb2の負側波形および第2電圧信号Vc2の負側波形で構成される脈流信号である負極性信号(同期検波信号)Veを生成して出力する。   The second BPF 65 is configured as a band-pass filter similar to the first BPF 62, and removes the harmonic component of the AC voltage Va included in the input second voltage signal Vc1 (filtering process) to obtain the second voltage. Output as signal Vc2. The second switching unit 66 has the same configuration as the first switching unit 63, functions as a synchronous detection circuit in the present invention, and synchronizes with the reference signal Sr, and as shown in FIG. 3, the first voltage signal Vb2 And the second voltage signal Vc2 are switched by half a cycle and output (synchronous detection), thereby generating a pulsating signal composed of a negative waveform of the first voltage signal Vb2 and a negative waveform of the second voltage signal Vc2. A certain negative polarity signal (synchronous detection signal) Ve is generated and output.

第3増幅部67は、各切替部63,66と共に本発明における同期検波回路として機能して、正極性信号Vdおよび負極性信号Veを入力して、これらの信号Vd,Veの差分を最終的な同期検波信号(本発明における検波出力信号)Vfとして出力する。本例では、第3増幅部67は、一例として、図2に示すように、演算増幅器67a、第1切替部63と演算増幅器67aの非反転入力端子との間に接続された抵抗67b、第2切替部66と演算増幅器67aの反転入力端子との間に接続された抵抗67c、演算増幅器67aの反転入力端子と出力端子との間に接続された抵抗67d、および演算増幅器67aの非反転入力端子と基準電圧(この例ではグランド)との間に接続された抵抗67eとを備えて、差動増幅部として構成されている。この構成により、第3増幅部67は、図3に示すように、正極性信号Vdおよび負極性信号Veに同期し、かつ正側波形で構成される脈流信号である差分信号を、信号Vd,Veの差分を演算して生成して、同期検波信号Vfとして出力する。この同期検波信号Vfは、振幅が検出電流I1の電流値にそれぞれ比例する電圧信号Vb,Vcに基づいて上記のように生成されるため、この同期検波信号Vf自体の振幅も検出電流I1の電流値に比例したものとなっている。   The third amplifying unit 67 functions as a synchronous detection circuit in the present invention together with the switching units 63 and 66, and inputs the positive signal Vd and the negative signal Ve, and finally calculates the difference between these signals Vd and Ve. Output as a synchronous detection signal (detection output signal in the present invention) Vf. In this example, as shown in FIG. 2, for example, the third amplifying unit 67 includes an operational amplifier 67a, a resistor 67b connected between the first switching unit 63 and the non-inverting input terminal of the operational amplifier 67a, 2 a resistor 67c connected between the switching unit 66 and the inverting input terminal of the operational amplifier 67a, a resistor 67d connected between the inverting input terminal and the output terminal of the operational amplifier 67a, and a non-inverting input of the operational amplifier 67a. A resistor 67e connected between the terminal and a reference voltage (ground in this example) is provided to constitute a differential amplifier. With this configuration, as shown in FIG. 3, the third amplifying unit 67 generates a differential signal that is a pulsating flow signal having a positive waveform in synchronization with the positive signal Vd and the negative signal Ve, as shown in FIG. , Ve is calculated and generated and output as a synchronous detection signal Vf. Since the synchronous detection signal Vf is generated as described above based on the voltage signals Vb and Vc whose amplitude is proportional to the current value of the detection current I1, the amplitude of the synchronous detection signal Vf itself is the current of the detection current I1. It is proportional to the value.

LPF68は、カットオフ周波数fc1が1/(T1+T2)よりも若干高い周波数に設定されたローパスフィルタで構成されている。本例では一例として、T1,T2ともに0.5sec(秒)に規定されているため、カットオフ周波数fc1は、1Hzよりも若干高い10Hzに規定されている。このため、LPF68は、交流電圧Vaの周波数f(本例では100Hz)の2倍の周波数の同期検波信号Vfに対して積分器として機能して、図3に示すように、同期検波信号Vfの包絡線に近似する電圧信号Vgを生成して出力する。HPF69は、カットオフ周波数fc2が1/(T1+T2)よりも十分に低い周波数に設定されたハイパスフィルタで構成されている。本例では一例として、カットオフ周波数fc2は、1Hzよりも十分に低い0.1Hzに規定されている。このため、HPF69は、図3に示すように、電圧信号Vgに含まれる直流成分を除去して、その交流成分を電圧信号Vhとして出力する。以上の構成により、LPF68およびHPF69は、本発明における直流除去回路として機能して、同期検波信号Vfに対する積分と直流成分除去とを実行する。交流増幅部70は、演算増幅器を備えて本発明における交流増幅回路として構成されて、電圧信号Vhを入力して所定の増幅率で増幅して、電圧信号Viとして出力する。A/D変換部71は、この電圧信号Viをデジタルデータに変換して電流データDiとして出力する。この場合、電流データDiで示される電圧信号Viの振幅(後述するVmax−Vmin)は、検出電流I1の振幅を表すデータとなる。測定対象回路5に流れる交流電流Ixの振幅は、検出電流I1の振幅と検出クランプ部21の仕様とに基づいて一義的に決定される。このため、電流測定部42は、検出電流I1の測定と共に、測定対象回路5に流れる交流電流Ixの測定をも実行するといえる。   The LPF 68 includes a low-pass filter in which the cutoff frequency fc1 is set to a frequency slightly higher than 1 / (T1 + T2). In this example, as an example, both T1 and T2 are defined as 0.5 sec (seconds), and therefore the cutoff frequency fc1 is defined as 10 Hz that is slightly higher than 1 Hz. For this reason, the LPF 68 functions as an integrator with respect to the synchronous detection signal Vf having a frequency twice the frequency f (100 Hz in this example) of the AC voltage Va, and as shown in FIG. A voltage signal Vg approximating the envelope is generated and output. The HPF 69 includes a high-pass filter in which the cutoff frequency fc2 is set to a frequency sufficiently lower than 1 / (T1 + T2). In this example, as an example, the cut-off frequency fc2 is defined as 0.1 Hz which is sufficiently lower than 1 Hz. For this reason, as shown in FIG. 3, the HPF 69 removes the DC component included in the voltage signal Vg and outputs the AC component as the voltage signal Vh. With the above configuration, the LPF 68 and the HPF 69 function as a DC removal circuit in the present invention, and execute integration and DC component removal for the synchronous detection signal Vf. The AC amplifier 70 includes an operational amplifier and is configured as an AC amplifier circuit according to the present invention. The AC amplifier 70 receives the voltage signal Vh, amplifies it with a predetermined amplification factor, and outputs the voltage signal Vi. The A / D converter 71 converts the voltage signal Vi into digital data and outputs it as current data Di. In this case, the amplitude (Vmax−Vmin described later) of the voltage signal Vi indicated by the current data Di is data representing the amplitude of the detection current I1. The amplitude of the alternating current Ix flowing through the measurement target circuit 5 is uniquely determined based on the amplitude of the detection current I1 and the specification of the detection clamp unit 21. For this reason, it can be said that the current measurement unit 42 also executes the measurement of the alternating current Ix flowing through the measurement target circuit 5 together with the measurement of the detection current I1.

基準信号生成部45は、コンパレータ81およびD型フリップフロップ(以下、「DFF」ともいう)82を備え、全体として本発明におけるコンパレータとして機能して、交流電圧V1に基づいて基準信号(本発明における二値化信号)Srを生成して出力する。具体的には、コンパレータ81は、比較用電圧値Vrefがゼロボルトに規定されると共に、本例では、一例としてヒステリシス型に構成されている。この構成により、コンパレータ81は、擬似正弦波信号である交流電圧V1と、比較用電圧値Vrefとを比較することにより、交流電圧V1のゼロクロスで極性が反転し、かつデューティ比が0.5のパルス信号を一次二値化信号Sr0(最終的な二値化信号としての基準信号Srの前段で交流電圧V1が二値化されて生成される信号。以下、単に「二値化信号Sr0」ともいう)として生成して出力する。また、コンパレータ81がヒステリシス型のため、交流電圧V1の電圧値が比較用電圧値Vrefを超えたときには、比較用電圧値Vrefがゼロボルトよりも低下することで、交流電圧V1に重畳しているノイズによって二値化信号Sr0の極性の不要な反転を回避することができる結果、ノイズの影響を低減して抵抗値Rxの測定精度がより向上されている。DFF82は、D入力端子に入力される二値化信号Sr0をクロック端子CKに入力される基準クロックCLKに同期させて(二値化信号Sr0の立ち上がりおよび立ち下がりを基準クロックCLKの立ち上がり(または立ち下がり)に一致させて)、最終的な二値化信号としての基準信号Srを出力する。なお、交流電圧V1に対する検出電流I1の位相ずれが少ないときには、基準信号Srに代えて二値化信号Sr0を最終的な二値化信号として各切替部63,66に供給して作動させることもできるため、DFF82を省いた構成を採用してもよい。   The reference signal generation unit 45 includes a comparator 81 and a D-type flip-flop (hereinafter also referred to as “DFF”) 82, and functions as a comparator according to the present invention as a whole. Based on the AC voltage V 1, the reference signal (in the present invention) A binary signal Sr is generated and output. Specifically, the comparator 81 is configured as a hysteresis type as an example in the present example while the comparison voltage value Vref is defined as zero volts. With this configuration, the comparator 81 compares the alternating voltage V1 that is a pseudo sine wave signal with the comparison voltage value Vref, so that the polarity is inverted at the zero cross of the alternating voltage V1 and the duty ratio is 0.5. The pulse signal is converted into a primary binarized signal Sr0 (a signal generated by binarizing the AC voltage V1 before the reference signal Sr as the final binarized signal. Hereinafter, simply referred to as “binarized signal Sr0”. Generated) and output. Further, since the comparator 81 is a hysteresis type, when the voltage value of the AC voltage V1 exceeds the comparison voltage value Vref, the comparison voltage value Vref is lower than zero volts, so that noise superimposed on the AC voltage V1. As a result, unnecessary inversion of the polarity of the binarized signal Sr0 can be avoided. As a result, the influence of noise is reduced and the measurement accuracy of the resistance value Rx is further improved. The DFF 82 synchronizes the binarized signal Sr0 input to the D input terminal with the reference clock CLK input to the clock terminal CK (the rising and falling edges of the binarized signal Sr0 are the rising (or rising) of the reference clock CLK. The reference signal Sr as the final binarized signal is output. When the phase shift of the detection current I1 with respect to the AC voltage V1 is small, the binarized signal Sr0 may be supplied to the switching units 63 and 66 as the final binarized signal instead of the reference signal Sr for operation. Therefore, a configuration in which the DFF 82 is omitted may be employed.

処理部43は、CPUおよびメモリ(いずれも図示せず)を備えて構成されて、抵抗測定処理を実行する。出力部44は、一例としてモニタ装置などで構成されて、抵抗測定処理の結果を表示する。   The processing unit 43 includes a CPU and a memory (both not shown), and executes a resistance measurement process. The output unit 44 includes a monitor device as an example, and displays the result of the resistance measurement process.

次に、抵抗測定装置1による抵抗測定処理100について、図4を参照して説明する。   Next, the resistance measurement process 100 by the resistance measurement apparatus 1 will be described with reference to FIG.

この抵抗測定処理100では、処理部43は、まず、所定の周波数fの検査用交流信号Vxを測定対象回路5に注入する注入処理を実行する(ステップ101)。具体的には、この注入処理において、処理部43は、電圧注入部41に対して交流電圧Vaの生成を開始させるため、基準クロックCLKよりも十分に高い内部クロック(基準クロックCLKはこの内部クロックに同期している)に同期して、三角波信号Ss生成用の三角波生成用データDsの電圧注入部41への出力を開始する。これにより、電圧注入部41では、三角波生成部51が、基準クロックCLKに同期した三角波信号Ssの生成、および生成した三角波信号Ssの出力を開始し、LPF52が三角波信号Ssを交流電圧Vaに変換する。電力増幅部53は、D級増幅動作を行って、入力した交流電圧Vaを所定の増幅率で増幅して予め規定された電圧実効値の交流電圧V1を生成すると共に、生成した交流電圧V1を注入クランプ部11の第1巻線13に印加する。これにより、注入クランプ部11から測定対象回路5に検査用交流信号Vx(周波数f)が注入される。このため、測定対象回路5には、検査用交流信号Vxの注入に起因して、周波数fの交流電流Ixが流れる。   In the resistance measurement process 100, the processing unit 43 first executes an injection process for injecting an inspection AC signal Vx having a predetermined frequency f into the measurement target circuit 5 (step 101). Specifically, in this injection process, the processing unit 43 causes the voltage injection unit 41 to start generating the AC voltage Va, and therefore an internal clock that is sufficiently higher than the reference clock CLK (the reference clock CLK is the internal clock). The output of the triangular wave generation data Ds for generating the triangular wave signal Ss to the voltage injecting unit 41 is started in synchronization with. As a result, in the voltage injection unit 41, the triangular wave generation unit 51 starts generating the triangular wave signal Ss synchronized with the reference clock CLK, and outputs the generated triangular wave signal Ss, and the LPF 52 converts the triangular wave signal Ss into the AC voltage Va. To do. The power amplifying unit 53 performs a class D amplification operation, amplifies the input AC voltage Va with a predetermined amplification factor to generate an AC voltage V1 having a predetermined voltage effective value, and generates the generated AC voltage V1. Apply to the first winding 13 of the injection clamp unit 11. As a result, the inspection AC signal Vx (frequency f) is injected from the injection clamp unit 11 into the measurement target circuit 5. For this reason, the alternating current Ix of the frequency f flows through the measurement target circuit 5 due to the injection of the inspection alternating signal Vx.

また、処理部43は、三角波生成用データDsの電圧注入部41への出力の開始に伴い、基準クロックCLKの基準信号生成部45への出力を開始する。基準信号生成部45では、コンパレータ81が、交流電圧V1と比較用電圧値Vrefとを比較することにより、交流電圧V1のゼロクロスで極性が反転し、かつデューティ比が0.5の二値化信号Sr0の生成を開始する。また、DFF82が、この二値化信号Sr0を基準クロックCLKに同期させて基準信号Srとして出力する処理を開始する。これにより、基準信号生成部45から電流測定部42の各切替部63,66に対して、基準信号Sr(図2参照)の供給が開始される。   Further, the processing unit 43 starts outputting the reference clock CLK to the reference signal generating unit 45 as the output of the triangular wave generating data Ds to the voltage injecting unit 41 is started. In the reference signal generation unit 45, the comparator 81 compares the AC voltage V1 with the comparison voltage value Vref, thereby reversing the polarity at the zero cross of the AC voltage V1 and having a duty ratio of 0.5. The generation of Sr0 is started. Further, the DFF 82 starts a process of outputting the binarized signal Sr0 as the reference signal Sr in synchronization with the reference clock CLK. Accordingly, the supply of the reference signal Sr (see FIG. 2) is started from the reference signal generation unit 45 to the switching units 63 and 66 of the current measurement unit 42.

この周波数fの検査用交流信号Vxが測定対象回路5へ間欠的に注入されている状態において、電流測定部42は、間欠的に発生する交流電流Ixを検出して電流データDiを生成する処理を実行する。具体的には、電流測定部42では、検出クランプ部21が、測定対象回路5に間欠的に流れる交流電流Ixを検出して、その第2巻線23から検出電流I1を出力し、第1および第2増幅部61,64が、この検出電流I1を第1および第2電圧信号Vb1,Vc1に変換して出力する。この場合、この電流測定部42では、従来の構成(検出コイルとしての第2巻線23をシングルエンドで使用し、電流検出のための抵抗を直列に接続する構成)とは異なり、第2巻線23の各端部を演算増幅器61a,64aの反転入力端子に接続する構成としたことにより、ゲインの低下や周波数特性の劣化を招くおそれのある電流検出用の抵抗(シャント抵抗)を不要とすることができ、十分な検出ゲインを維持しつつ良好な周波数特性が確保されている。   In a state where the inspection AC signal Vx having the frequency f is intermittently injected into the measurement target circuit 5, the current measurement unit 42 detects the alternating current Ix generated intermittently and generates current data Di. Execute. Specifically, in the current measurement unit 42, the detection clamp unit 21 detects the alternating current Ix that flows intermittently in the measurement target circuit 5, and outputs the detection current I 1 from the second winding 23. The second amplifying units 61 and 64 convert the detected current I1 into first and second voltage signals Vb1 and Vc1 and output them. In this case, the current measuring unit 42 is different from the conventional configuration (the configuration in which the second winding 23 as a detection coil is used at a single end and a resistor for current detection is connected in series). Since each end of the line 23 is connected to the inverting input terminals of the operational amplifiers 61a and 64a, there is no need for a current detection resistor (shunt resistor) that may cause a decrease in gain or a deterioration in frequency characteristics. Therefore, good frequency characteristics are ensured while maintaining a sufficient detection gain.

次いで、第1および第2BPF62,65が、対応する電圧信号Vb1,Vc1に含まれている高調波成分を除去して、第1および第2電圧信号Vb2,Vc2として出力し、各切替部63,66が、この第1および第2電圧信号Vb2,Vc2を基準信号Srに同期して切り替えることにより、正極性信号Vdおよび負極性信号Veを生成して出力する。この場合、基準信号Srは、基準信号生成部45のDFF82を介して出力される。このため、交流電圧V1の基準クロックCLKに対する位相が温度や湿度の変化に起因して変化した場合であっても、その変化量が基準クロックCLKの1周期以内であれば、基準信号Srは、その立ち上がりおよび立ち下がりが基準クロックCLKの立ち上がり(または立ち下がり)にDFF82によって強制的に同期させられる。したがって、温度や湿度の変化に起因した基準信号Srの基準クロックCLKに対する位相のずれが大幅に低減される、つまり基準信号Srのデューティ比のゆらぎが大幅に低減される。このため、各切替部63,66がこの基準信号Srに基づいて第1および第2電圧信号Vb2,Vc2を安定して切り替えることができる結果、各切替部63,66による正極性信号Vdおよび負極性信号Veの生成の精度が高められている。また、ノーマルモードノイズが検出電流I1に含まれていたとしても、各切替部63,66による基準信号Srに同期した各信号Vb2,Vc2に対する上記の切替動作により、このノーマルモードノイズが除去される。   Next, the first and second BPFs 62 and 65 remove the harmonic components contained in the corresponding voltage signals Vb1 and Vc1, and output them as the first and second voltage signals Vb2 and Vc2, respectively. 66 generates and outputs a positive polarity signal Vd and a negative polarity signal Ve by switching the first and second voltage signals Vb2 and Vc2 in synchronization with the reference signal Sr. In this case, the reference signal Sr is output via the DFF 82 of the reference signal generation unit 45. For this reason, even if the phase of the AC voltage V1 with respect to the reference clock CLK changes due to changes in temperature or humidity, if the amount of change is within one cycle of the reference clock CLK, the reference signal Sr is The rise and fall are forcibly synchronized by the DFF 82 with the rise (or fall) of the reference clock CLK. Therefore, the phase shift of the reference signal Sr with respect to the reference clock CLK due to changes in temperature and humidity is greatly reduced, that is, the fluctuation of the duty ratio of the reference signal Sr is greatly reduced. Therefore, each switching unit 63, 66 can stably switch the first and second voltage signals Vb2, Vc2 based on the reference signal Sr. As a result, the positive polarity signal Vd and the negative polarity by each switching unit 63, 66 The accuracy of the generation of the sex signal Ve is increased. Even if the normal mode noise is included in the detection current I1, the normal mode noise is removed by the switching operation for the signals Vb2 and Vc2 synchronized with the reference signal Sr by the switching units 63 and 66. .

続いて、第3増幅部67が、この正極性信号Vdおよび負極性信号Veの差分を演算して同期検波信号Vfを生成し、LPF68が同期検波信号Vfを積分して電圧信号Vgを出力し、さらにHPF69が電圧信号Vgから直流成分を除去して電圧信号Vhとして出力する。この場合、第2巻線23の各端部に接続された第1増幅部61と第2増幅部64とが、それぞれが接続された第2巻線23の端部に発生する検出電流I1に基づいて、互いの位相が反転する第1電圧信号Vb1と第2電圧信号Vc1とを出力し、第3増幅部67が、これらの信号Vb1,Vc1(本例では各BPF62,65でフィルタリング処理された信号Vb2,Vc2)に基づいて各切替部63,66で生成される正極性信号Vdおよび負極性信号Veの差分を演算して同期検波信号Vfを生成する。このため、検出電流I1にコモンモードノイズが重畳していたとしても、第3増幅部67が差分演算を行うことにより、このノイズがキャンセルされる。   Subsequently, the third amplifying unit 67 calculates the difference between the positive polarity signal Vd and the negative polarity signal Ve to generate a synchronous detection signal Vf, and the LPF 68 integrates the synchronous detection signal Vf and outputs a voltage signal Vg. Further, the HPF 69 removes the DC component from the voltage signal Vg and outputs it as the voltage signal Vh. In this case, the first amplifying unit 61 and the second amplifying unit 64 connected to each end of the second winding 23 are connected to the detection current I1 generated at the end of the second winding 23 to which each is connected. Based on this, the first voltage signal Vb1 and the second voltage signal Vc1 whose phases are inverted are output, and the third amplifying unit 67 performs filtering processing on these signals Vb1 and Vc1 (in this example, the BPFs 62 and 65). The synchronous detection signal Vf is generated by calculating the difference between the positive signal Vd and the negative signal Ve generated by the switching units 63 and 66 based on the signals Vb2 and Vc2). For this reason, even if common mode noise is superimposed on the detection current I1, the noise is canceled by the third amplifying unit 67 performing the difference calculation.

次いで、交流増幅部70がこの電圧信号VhをA/D変換部71の入力定格に見合う振幅まで増幅して、電圧信号Viとして出力する。この場合、電圧信号Viの生成に際して、電圧信号Vhを交流信号とし、かつ交流増幅部70で交流増幅する構成としたことにより、直流増幅を採用する構成とは異なり、ダイナミックリザーブの悪化が回避され、またノイズ耐性の低下も回避されている。さらに、直流増幅のように演算増幅器にオフセットの小さな高価なものを使用する必要がないため、電流測定部42、ひいては抵抗測定装置1のコストの上昇が回避されている。続いて、A/D変換部71が、電圧信号Viをデジタルデータに変換して電流データDiとして処理部43に出力する。   Next, the AC amplification unit 70 amplifies the voltage signal Vh to an amplitude corresponding to the input rating of the A / D conversion unit 71, and outputs it as a voltage signal Vi. In this case, when the voltage signal Vi is generated, the voltage signal Vh is an AC signal and the AC amplification unit 70 is configured to amplify the AC signal, so that the dynamic reserve is prevented from deteriorating unlike the configuration employing DC amplification. Also, a reduction in noise resistance is avoided. Furthermore, since it is not necessary to use an expensive operational amplifier with a small offset as in the case of direct current amplification, an increase in the cost of the current measuring unit 42 and thus the resistance measuring apparatus 1 is avoided. Subsequently, the A / D conversion unit 71 converts the voltage signal Vi into digital data and outputs the digital data to the processing unit 43 as current data Di.

次いで、処理部43は、周波数がfのときの測定対象回路5の抵抗値Rxを算出する算出処理を実行する(ステップ102)。具体的には、この算出処理において、処理部43は、まず、電流データDiに基づいて検出電流I1の振幅を算出する。この場合、電流データDiは図3における電圧信号Viの波形データであるため、処理部43は、この電流データDiの最小値Vminをゼロレベルとして認識して、波形データの最大値Vmaxと最小値Vminとの差分(Vmax−Vmin)が検出電流I1の振幅に相当する値であるとして、検出電流I1の振幅を算出する。また、処理部43は、算出したこの振幅と、注入クランプ部11の第1巻線13に印加された交流電圧V1が擬似正弦波信号であるということとから、検出電流I1の電流実効値を算出する。次いで、交流電圧V1の電圧実効値および第1巻線13のターン数(N1)に基づいて検査用交流信号Vxの電圧実効値を算出すると共に、算出した検出電流I1の電流実効値および第2巻線23のターン数(N2)に基づいて交流電流Ixの電流値(本例では電流実効値)を算出する。続いて、処理部43は、算出した検査用交流信号Vxおよび交流電流Ixの各実効値に基づいて、検査用交流信号Vxの周波数がfのときの測定対象回路5の抵抗値Rxを算出すると共に、算出した抵抗値Rxを周波数fに対応させてメモリに記憶する。本例では一例として、処理部43は、この抵抗値Rxの算出に際して、抵抗値Rxを複数回算出すると共に、これらの平均(一例として移動平均)を算出して、最終的な抵抗値Rxとする。これにより、抵抗値Rxの算出処理が完了する。最後に、処理部43は、算出した抵抗値Rxを出力部44に出力させる(ステップ103)。これにより、抵抗測定処理が完了する。   Next, the processing unit 43 executes a calculation process for calculating the resistance value Rx of the measurement target circuit 5 when the frequency is f (step 102). Specifically, in this calculation process, the processing unit 43 first calculates the amplitude of the detected current I1 based on the current data Di. In this case, since the current data Di is the waveform data of the voltage signal Vi in FIG. 3, the processing unit 43 recognizes the minimum value Vmin of the current data Di as a zero level, and the maximum value Vmax and the minimum value of the waveform data. The amplitude of the detection current I1 is calculated on the assumption that the difference (Vmax−Vmin) from Vmin is a value corresponding to the amplitude of the detection current I1. Further, the processing unit 43 calculates the current effective value of the detection current I1 from the calculated amplitude and the fact that the AC voltage V1 applied to the first winding 13 of the injection clamp unit 11 is a pseudo sine wave signal. calculate. Next, the effective voltage value of the inspection AC signal Vx is calculated based on the effective voltage value of the AC voltage V1 and the number of turns (N1) of the first winding 13, and the calculated effective current value of the detected current I1 and the second Based on the number of turns (N2) of the winding 23, the current value of the alternating current Ix (current effective value in this example) is calculated. Subsequently, the processing unit 43 calculates the resistance value Rx of the measurement target circuit 5 when the frequency of the test AC signal Vx is f based on the calculated effective values of the test AC signal Vx and the AC current Ix. At the same time, the calculated resistance value Rx is stored in the memory in correspondence with the frequency f. In this example, as an example, when calculating the resistance value Rx, the processing unit 43 calculates the resistance value Rx a plurality of times, calculates an average of these values (moving average as an example), and calculates the final resistance value Rx. To do. Thereby, the calculation process of the resistance value Rx is completed. Finally, the processing unit 43 causes the output unit 44 to output the calculated resistance value Rx (step 103). Thereby, the resistance measurement process is completed.

このように、この抵抗測定装置1では、電圧注入部41が、交流電圧V1の第1巻線13への印加を間欠的に実行することにより、検査用交流信号Vxを測定対象回路5内に生成させる。また、コンパレータ81を含む基準信号生成部45が交流電圧V1に同期した二値化信号を生成して基準信号Srとして出力する。また、電流測定部42が、検査用交流信号Vxの注入に起因して第2巻線23に流れる検出電流I1を各電圧信号Vb2,Vc2に変換すると共に各電圧信号Vb2,Vc2を基準信号Srを用いて同期検波して同期検波信号Vfを生成し、この同期検波信号Vfを積分すると共に直流成分を除去して交流成分である電圧信号Vhを出力し、さらにこの電圧信号Vhを増幅することにより、検出電流I1(すなわち、検出電流I1に比例する交流電流Ix)を測定する。   As described above, in the resistance measuring apparatus 1, the voltage injection unit 41 intermittently executes the application of the AC voltage V <b> 1 to the first winding 13, whereby the test AC signal Vx is input into the measurement target circuit 5. Generate. The reference signal generation unit 45 including the comparator 81 generates a binarized signal synchronized with the AC voltage V1 and outputs it as the reference signal Sr. Further, the current measuring unit 42 converts the detection current I1 flowing in the second winding 23 due to the injection of the inspection AC signal Vx into the voltage signals Vb2 and Vc2, and converts the voltage signals Vb2 and Vc2 into the reference signal Sr. Is used to generate a synchronous detection signal Vf, integrate the synchronous detection signal Vf, remove the DC component, output an AC component voltage signal Vh, and further amplify the voltage signal Vh. Thus, the detection current I1 (that is, the alternating current Ix proportional to the detection current I1) is measured.

したがって、この抵抗測定装置1によれば、検出電流I1の測定(すなわち、交流電流Ixの測定)に際して必要となる電圧信号Vhを交流信号として交流増幅部70で交流増幅することにより、直流増幅を採用する構成とは異なり、ダイナミックリザーブの悪化を回避することができると共に、ノイズ耐性の低下についても回避することができる。また、交流増幅部70を構成するに際して、直流増幅のように演算増幅器にオフセットの小さな高価なものを使用する必要がないため、電流測定部42、ひいては抵抗測定装置1のコストを低減することができる。   Therefore, according to this resistance measuring apparatus 1, the DC amplification is performed by AC-amplifying the voltage signal Vh required for measurement of the detection current I1 (that is, measurement of the AC current Ix) as an AC signal by the AC amplifier 70. Unlike the configuration employed, it is possible to avoid the deterioration of the dynamic reserve, and it is also possible to avoid the decrease in noise resistance. Further, when the AC amplifying unit 70 is configured, it is not necessary to use an expensive operational amplifier having a small offset as in the case of DC amplifying, so that the cost of the current measuring unit 42 and thus the resistance measuring apparatus 1 can be reduced. it can.

また、この抵抗測定装置1によれば、コンパレータ81を含んで基準信号生成部45を構成したことにより、簡易な構成で交流電圧から二値化信号を確実に生成することができる。   Moreover, according to this resistance measuring apparatus 1, since the reference signal generation unit 45 is configured including the comparator 81, the binarized signal can be reliably generated from the AC voltage with a simple configuration.

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、上記の構成では、各演算増幅器61a,64aの後段にコンデンサ61e,64eをそれぞれ配設しているが、各演算増幅器61a,64aのオフセット電圧が極めて少ないときには、コンデンサ61e,64eを配設しない構成とすることもできる。この構成では、各抵抗61d,64dについても不要とすることができる。また、抵抗値Rxの測定精度の向上のために第1および第2PF62,65を使用する構成について上記したが、必要とされる測定精度が確保できるときには、第1および第2BPF62,65を配設しない構成を採用することもできる。また、電力増幅部53をD級アンプに代えて、A級やAB級のアンプで構成することもできる。また、基準信号生成部45において、二値化信号Sr0の基準クロックCLKへの同期に際してDFF82を使用しているが、DFF以外の各種デジタル回路を用いて同期させることもできる。また、ヒステリシス型のコンパレータ81を用いているが、ヒステリシスを有しないコンパレータを用いることもできる。   In addition, this invention is not limited to said structure. For example, in the above configuration, the capacitors 61e and 64e are respectively arranged at the subsequent stage of the operational amplifiers 61a and 64a. However, when the offset voltages of the operational amplifiers 61a and 64a are extremely small, the capacitors 61e and 64e are disposed. It can also be set as the structure which does not. In this configuration, the resistors 61d and 64d can be made unnecessary. In addition, the configuration using the first and second PFs 62 and 65 for improving the measurement accuracy of the resistance value Rx has been described above. However, when the required measurement accuracy can be ensured, the first and second BPFs 62 and 65 are disposed. It is also possible to adopt a configuration that does not. Further, the power amplifying unit 53 can be configured by a class A or class AB amplifier instead of the class D amplifier. In the reference signal generation unit 45, the DFF 82 is used when synchronizing the binarized signal Sr0 with the reference clock CLK. However, it can be synchronized using various digital circuits other than the DFF. Further, although the hysteresis type comparator 81 is used, a comparator having no hysteresis can also be used.

また、第1電圧信号Vb2および第2電圧信号Vc2を基準信号Srでそれぞれ同期検波する構成の一例として、各切替部63,66を使用した構成について上記したが、乗算器を使用して同期検波する構成を採用することもできる。また、検査用交流信号Vxの電圧値としての電圧実効値と交流電流Ixの電流値としての電流実効値とに基づいて抵抗値Rxを算出する例について上記したが、電圧値は電圧実効値に限定されるものではなく、また電流値も電流実効値に限定されるものではない。具体的には、検査用交流信号Vxの電圧値としての電圧平均値と交流電流Ixの電流値としての電流平均値とに基づいて抵抗値Rxを算出する構成や、検査用交流信号Vxの電圧値としてのピークtoピーク値(電圧振幅)と交流電流Ixの電流値としてのピークtoピーク値(電流振幅)とに基づいて抵抗値Rxを算出する構成や、検査用交流信号Vxの電圧値としての電圧ピーク値と交流電流Ixの電流値としての電流ピーク値とに基づいて抵抗値Rxを算出する構成を採用することもできる。   Further, as an example of the configuration in which the first voltage signal Vb2 and the second voltage signal Vc2 are synchronously detected by the reference signal Sr, the configuration using the switching units 63 and 66 has been described above, but the synchronous detection using a multiplier is described above. It is also possible to adopt a configuration that does this. In addition, the example in which the resistance value Rx is calculated based on the voltage effective value as the voltage value of the test AC signal Vx and the current effective value as the current value of the AC current Ix has been described above. The current value is not limited to the effective current value. Specifically, a configuration in which the resistance value Rx is calculated based on the voltage average value as the voltage value of the AC signal Vx for inspection and the current average value as the current value of the AC current Ix, or the voltage of the AC signal Vx for inspection A configuration for calculating the resistance value Rx based on the peak-to-peak value (voltage amplitude) as the value and the peak-to-peak value (current amplitude) as the current value of the alternating current Ix, and the voltage value of the inspection AC signal Vx It is also possible to adopt a configuration in which the resistance value Rx is calculated on the basis of the voltage peak value and the current peak value as the current value of the alternating current Ix.

また、電力増幅部53から出力される交流電圧V1に基づき、コンパレータ81とDFF82とを有する基準信号生成部45で基準信号Srを生成する構成について上記したが、三角波生成部51から出力される三角波信号SsおよびLPF52から出力される交流電圧(擬似正弦波信号)Vaのうちのいずれかに基づき、基準信号生成部45が基準信号Srを生成する構成を採用することもできる。また、基準信号Srを生成する基準信号生成部45をコンパレータ81を用いて構成することにより、簡易な構成で交流電圧V1から二値化信号Sr0を確実に生成し得るようにした例について上記したが、入力値(交流電圧v1の電圧値)をしきい値(比較用電圧値Vref)と比較して、その比較結果(二値化信号Sr0)を出力するものであれば、コンパレータ81に限定されず、種々の回路を採用することができる。また、DFF72に代えて、JKフリップフロップや、RSフリップフロップなどを使用する構成を採用することもできる。   In addition, the configuration in which the reference signal generation unit 45 including the comparator 81 and the DFF 82 generates the reference signal Sr based on the AC voltage V1 output from the power amplification unit 53 has been described above. However, the triangular wave output from the triangular wave generation unit 51 A configuration in which the reference signal generation unit 45 generates the reference signal Sr based on either the signal Ss or the AC voltage (pseudo sine wave signal) Va output from the LPF 52 may be employed. Further, the reference signal generation unit 45 that generates the reference signal Sr is configured by using the comparator 81 so that the binarized signal Sr0 can be reliably generated from the AC voltage V1 with a simple configuration. Is limited to the comparator 81 as long as the input value (voltage value of the alternating voltage v1) is compared with the threshold value (comparison voltage value Vref) and the comparison result (binarized signal Sr0) is output. Instead, various circuits can be employed. Further, instead of the DFF 72, a configuration using a JK flip-flop, an RS flip-flop, or the like can be adopted.

また、一例としてD/A変換器を備えて三角波生成部51を構成し、処理部43から一定の時間間隔T1を空けて一定時間T2ずつ出力される三角波生成用データDsに基づいて図1に示すように三角波信号Ssを間欠的に(つまり、断続的に)生成して出力する構成について上記したが、D/A変換器と共に、基準クロックCLKに同期してカウンタ値をカウントアップさせるカウンタを備えて三角波生成部51を構成し、このカウンタを間欠的に作動させてそのカウンタ値をD/A変換器がアナログ信号に変換することで、三角波信号Ssを生成する構成を採用することもできる。さらに、三角波生成部51にDDS(Direct Digital Synthesizer。図示せず)を使用して、三角波信号Ssを生成する構成を採用することもできる。   In addition, as an example, a triangular wave generation unit 51 is provided with a D / A converter, and the triangular wave generation data Ds output from the processing unit 43 at a predetermined time interval T1 with a predetermined time interval T2 is shown in FIG. As described above, the configuration for generating and outputting the triangular wave signal Ss intermittently (that is, intermittently) has been described above, but a counter that counts up the counter value in synchronization with the reference clock CLK together with the D / A converter. It is also possible to adopt a configuration in which the triangular wave generation unit 51 is configured, this counter is operated intermittently, and the D / A converter converts the counter value into an analog signal, thereby generating the triangular wave signal Ss. . Furthermore, it is possible to employ a configuration in which a triangular wave signal Ss is generated by using a DDS (Direct Digital Synthesizer, not shown) for the triangular wave generator 51.

また、処理部43とは別個に、三角波生成部51および基準信号生成部45を設ける構成について上記したが、CPU、A/DコンバータおよびD/Aコンバータを少なくとも含むDSP(Digital Signal Processor)で処理部43を構成することにより、三角波生成部51および基準信号生成部45の少なくとも1つの生成部を処理部43に含める構成を採用することもできる。この構成において、CPUに対して、基準クロックCLKに同期したアップカウント動作、ダウンカウント動作、およびアップダウンカウント動作のいずれかのカウント動作を繰り返させ、そのカウント値をD/Aコンバータに出力させることにより、三角波生成部51を構成することができる。また、DSP内または外部に設けたメモリに波形用データを記憶させて、この波形用データをCPUが読み出してD/Aコンバータに出力することによっても構成することができる。また、基準信号生成部45については、CPUが、上記のカウント動作におけるスタート値とエンド値との中間値を基準として、この中間値をカウント値が横切るタイミングを検出し、検出されたタイミングに同期して立ち上がりと立ち下がりとが交互に繰り返す信号を、基準信号Srとして生成することにより構成することができる。   In addition, the configuration in which the triangular wave generation unit 51 and the reference signal generation unit 45 are provided separately from the processing unit 43 has been described above, but the processing is performed by a DSP (Digital Signal Processor) including at least a CPU, an A / D converter, and a D / A converter. By configuring the unit 43, a configuration in which at least one generation unit of the triangular wave generation unit 51 and the reference signal generation unit 45 is included in the processing unit 43 may be employed. In this configuration, the CPU repeats the counting operation of the up-counting operation, the down-counting operation, and the up-down-counting operation synchronized with the reference clock CLK, and outputs the count value to the D / A converter. Thus, the triangular wave generation unit 51 can be configured. Alternatively, the waveform data can be stored in a memory provided inside or outside the DSP, and the waveform data can be read out by the CPU and output to the D / A converter. For the reference signal generation unit 45, the CPU detects the timing at which the count value crosses the intermediate value with reference to the intermediate value between the start value and the end value in the counting operation, and synchronizes with the detected timing. Thus, a signal that repeats rising and falling alternately can be generated as the reference signal Sr.

1 抵抗測定装置
5 測定対象回路
13 第1巻線(注入コイル)
23 第2巻線(検出コイル)
41 電圧注入部
42 電流測定部
43 処理部
45 基準信号生成部
61 第1増幅部
63 第1切替部
64 第2増幅部
66 第2切替部
67 第3増幅部
68 LPF
69 HPF
70 交流増幅部
81 コンパレータ
82 DFF
I1 検出電流
Ix 交流電流
Rx 抵抗
Sr 基準信号
Sr0 二値化信号
Ss 三角波信号
V1 交流電圧
Vx 検査用交流信号
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Resistance measuring device 5 Measurement object circuit 13 1st winding (injection coil)
23 Second winding (detection coil)
41 voltage injection unit 42 current measurement unit 43 processing unit 45 reference signal generation unit 61 first amplification unit 63 first switching unit 64 second amplification unit 66 second switching unit 67 third amplification unit 68 LPF
69 HPF
70 AC Amplifier 81 Comparator 82 DFF
I1 Detection current Ix AC current Rx Resistance Sr Reference signal Sr0 Binary signal Ss Triangular wave signal V1 AC voltage Vx Inspection AC signal

Claims (2)

注入コイルに交流電圧を印加することによって測定対象回路に検査用交流信号を注入する電圧注入部と、前記検査用交流信号の注入に起因して前記測定対象回路に流れる交流電流を検出コイルで検出して測定する電流測定部と、前記注入された検査用交流信号の電圧値および前記測定された交流電流の電流値に基づいて前記測定対象回路の抵抗値を算出する処理部とを備えた抵抗測定装置であって、
前記電圧注入部は、前記交流電圧の印加を間欠的に実行し、
当該印加される交流電圧に同期した二値化信号を生成して基準信号として出力する基準信号生成部を備え、
前記電流測定部は、前記検査用交流信号の注入に起因して前記検出コイルに流れる電流を電圧信号に変換する電流電圧変換回路、当該電圧信号を前記基準信号を用いて同期検波する同期検波回路、当該同期検波回路から出力される検波出力信号を積分すると共に直流成分を除去して交流成分を出力する直流除去回路、および当該交流成分を増幅する交流増幅回路を備えて前記交流電流の前記電流値を測定する抵抗測定装置。
A voltage injection unit that injects an inspection AC signal into the measurement target circuit by applying an AC voltage to the injection coil, and an AC current that flows through the measurement target circuit due to the injection of the inspection AC signal is detected by the detection coil A current measuring unit that measures the current value of the circuit to be measured and a processing unit that calculates a resistance value of the circuit to be measured based on the voltage value of the injected alternating current signal for inspection and the measured current value of the alternating current A measuring device,
The voltage injection unit intermittently executes the application of the AC voltage,
A reference signal generating unit that generates a binarized signal synchronized with the applied AC voltage and outputs it as a reference signal,
The current measurement unit includes a current-voltage conversion circuit that converts a current flowing in the detection coil due to injection of the inspection AC signal into a voltage signal, and a synchronous detection circuit that synchronously detects the voltage signal using the reference signal A DC removal circuit that integrates the detection output signal output from the synchronous detection circuit and removes the direct current component to output an alternating current component, and an alternating current amplification circuit that amplifies the alternating current component, and the current of the alternating current A resistance measuring device that measures values.
前記基準信号生成部は、前記印加される交流電圧に基づいて前記二値化信号を生成するコンパレータを有している請求項1記載の抵抗測定装置。   The resistance measurement apparatus according to claim 1, wherein the reference signal generation unit includes a comparator that generates the binarized signal based on the applied AC voltage.
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