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JP5175694B2 - 多層板の製造方法および多層プリント配線板の製造方法 - Google Patents

多層板の製造方法および多層プリント配線板の製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、多層板の製造方法および多層プリント配線板の製造方法に関するものである。
従来、多層プリント配線板を製造するための多層板は、回路が形成された複数枚の内層材をプリプレグを介して重ね合わせ、その最外層に銅箔等の金属箔を重ね合わせたものを加熱加圧して成型することにより製造されている。
このように複数枚の内層材を積層して成型する場合、それぞれの内層材はその回路同士を位置合わせした状態で積層一体化する必要がある。多層プリント配線板の製造に高い精度が要求される近年においては、内層材間の位置ずれを例えば100μm以下に抑える必要がある。
そこで従来では、多層板の成型に先立ち予め、複数枚の内層材を位置合わせした状態でプリプレグを介して重ね合わせて積層体とし、この積層体における内層材の周縁部近傍の複数箇所において、当該箇所の表面を一定時間加熱加圧することにより、プリプレグのBステージの樹脂を当該箇所において部分的に溶融、硬化させている。そしてこの溶融、硬化したプリプレグの樹脂により積層体における複数枚の内層材を溶着固定し、この溶着固定した積層体を用いて多層板を成型することが行われている(特許文献1参照)。
特開2001−121565号公報
しかしながら、この従来の溶着による固定方法では、溶着部においてプリプレグの樹脂が盛り上がることや、あるいは溶着時に余分な樹脂流れが起こることに起因して、多層板の外層金属箔面にシワや溶着用部材の打痕等の不良が発生するという問題点があった。
本発明は、以上の通りの事情に鑑みてなされたものであり、溶着部の樹脂の盛り上がりや溶着時の樹脂流れに起因する外層金属箔面の不良を抑制することができ、成型による内層材間の位置ずれも抑制することができる多層板の製造方法および多層プリント配線板の製造方法を提供することを課題としている。
本発明は、上記の課題を解決するために、以下のことを特徴としている。
第1:回路が形成された2枚の内層材のそれぞれに貫通孔を設ける工程と、2枚の内層材をそれぞれの貫通孔の位置を合わせてプリプレグを挟んで重ね合わせ、積層体とする工程と、積層体における内層材の貫通孔の周囲を、多層板の成型後における積層体の当該貫通孔の周囲の厚みの1.0〜1.5倍の厚みとなるように加圧して押さえた状態で当該貫通孔の部分を加熱しプリプレグの樹脂を溶融させることにより、内層材の貫通孔にプリプレグの樹脂を充填して溶着し、これにより2枚の内層材およびプリプレグを互いに固定する工程とを含むことを特徴とする多層板の製造方法。
第2:回路が形成された2枚の内層材のそれぞれに貫通孔を設ける工程と、2枚の内層材をそれぞれの貫通孔の位置を合わせてプリプレグを挟んで重ね合わせ、積層体とする工程と、積層体における内層材の貫通孔から1〜30mmの間隔を置いた貫通孔の周囲を加圧して押さえた状態で当該貫通孔の部分を加熱しプリプレグの樹脂を溶融させることにより、内層材の貫通孔にプリプレグの樹脂を充填して溶着し、これにより2枚の内層材およびプリプレグを互いに固定する工程とを含むことを特徴とする多層板の製造方法。
第3:積層体における内層材の貫通孔の周囲を、多層板の成型後における積層体の当該貫通孔の周囲の厚みの1.0〜1.5倍の厚みとなるように加圧して押さえた状態で当該貫通孔の部分を加熱することを特徴とする上記第2の多層板の製造方法。
第4:積層体における内層材の貫通孔の部分を250〜350℃で10〜90秒加熱することを特徴とする上記第1ないし第3のいずれかの多層板の製造方法。
第5:積層体における内層材の貫通孔の部分を金属棒部材、レーザ照射、または超音波により加熱することを特徴とする上記第1ないし第4のいずれかの多層板の製造方法。
第6:上記第1ないし第5のいずれかの方法により製造された多層板を少なくとも1枚用いて多層プリント配線板を得ることを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
上記第1ないし第3の発明によれば、回路が形成された2枚の内層材のそれぞれに貫通孔を設け、2枚の内層材およびプリプレグの積層体における貫通孔の部分を加熱しプリプレグの樹脂を溶融させて溶着している。そのため、内層材の貫通孔にプリプレグの樹脂が入り込んで溶着されるので、溶着部の樹脂の盛り上がりや溶着時の樹脂流れに起因する凹凸の発生が抑制される。従って、多層板の外層金属箔面におけるシワや溶着用部材の打痕等の不良を抑制することができる。さらに、内層材の貫通孔にプリプレグの樹脂を充填することにより溶着強度が向上し、成型による内層材間の位置ずれも抑制することができる。
特に、上記第1および第3の発明によれば、積層体における内層材の貫通孔の周囲を、上記の特定範囲内の厚みとなるように加圧して押さえた状態で当該貫通孔の部分を加熱しているので、溶融したプリプレグの樹脂が内層材の貫通孔に適切に充填されて溶着強度が特に向上し、成型による内層材間の位置ずれをさらに抑制することができると共に、外層金属箔面のシワ等の不良もさらに抑制することができる。
また、上記第2の発明によれば、積層体における内層材の貫通孔から上記の特定範囲内の間隔を置いた貫通孔の周囲を加圧して押さえた状態で当該貫通孔の部分を加熱しているので、溶融したプリプレグの樹脂が内層材の貫通孔に適切に充填されて溶着強度が特に向上し、成型による内層材間の位置ずれをさらに抑制することができると共に、外層金属箔面のシワ等の不良もさらに抑制することができる。
上記第4の発明によれば、積層体における内層材の貫通孔の部分を上記の特定範囲内の温度および時間で加熱することにより、樹脂の炭化等を生じることなくプリプレグの樹脂が溶融して内層材の貫通孔にプリプレグの樹脂が適切に充填される。従って、上記第1の発明の効果に加え、溶着強度が特に向上し、成型による内層材間の位置ずれをさらに抑制することができる。
上記第5の発明によれば、積層体における内層材の貫通孔の部分を金属棒部材、レーザ照射、または超音波により加熱することで、プリプレグの樹脂が部分的に溶融して内層材の貫通孔にプリプレグの樹脂が適切に充填される。従って、上記第1および第2の発明の効果に加え、溶着強度が特に向上し、成型による内層材間の位置ずれをさらに抑制することができる。
上記第6の発明によれば、上記第1ないし第5のいずれかの方法により製造された多層板を少なくとも1枚用いて多層プリント配線板を得ているので、品質の良い多層プリント配線板を歩留まり良く得ることができる。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
図1および図2は、本発明の多層板の製造方法の実施形態を工程順に説明する断面図、図3は、2枚の内層材をプリプレグを挟んで重ね合わせた積層体を押さえ治具により押さえた図1(b)の状態の上面図、図4は、図3の内層材の貫通孔の周囲を押さえ治具により押さえた部分の拡大図である。
本実施形態における多層板の製造方法では、最初の工程として、図1(a)に示すように、回路11が形成された2枚の内層材10a、10bのそれぞれにおけるプリプレグ20との溶着部に貫通孔12を設ける。
内層材10a、10bとしては、例えば、樹脂積層板の片面または両面に、金属箔のエッチング加工等により回路を形成したものを用いることができる。
貫通孔12は、例えば金型を用いた打ち抜き加工、ドリル加工等により設けることができる。本実施形態では、図3に示すように内層材10a、10bの4隅の位置に貫通孔12を設けている。貫通孔12は、2枚の内層材10a、10bを適切に固定するために内層材10a、10bの複数箇所に設けることが必要であるが、その数や位置は成型による内層材10a、10b間の位置ずれを抑制するために必要な溶着強度を得ること等を考慮して適宜に設定することができる。貫通孔12は、好ましくは内層材10a、10bの周縁部近傍の位置、すなわち隅や辺の位置に設けられる。
貫通孔12の横断面の面積は、溶着部の樹脂の盛り上がりや溶着時の樹脂流れに起因する外層金属箔面の不良を抑制し、成型による内層材間の位置ずれも抑制する点からは、好ましくは、1箇所当たり7〜100mm2である。
貫通孔12の横断面形状は、特に制限はなく、例えば円、四角形等の多角形等であってよい。また、図5に示すように、複数孔の集合体として貫通孔12とすることもできる。また、内層材10a、10bの回路11を形成するための銅箔等の金属箔が貫通孔12の位置にあっても構わない。
次の工程として、図1(b)に示すように、2枚の内層材10a、10bをそれぞれの貫通孔12の位置を合わせてプリプレグ20を挟んで重ね合わせ、2枚の内層材10a、10bおよびプリプレグ20からなる積層体30とする。
プリプレグ20は、ガラスクロス等の基材にエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸、乾燥して熱硬化性樹脂をBステージに半硬化させたものを用いることができる。また、プリプレグ20は、複数枚のプリプレグを重ね合わせたものであってもよい。
そして図1(b)、図3、および図4に示すように、積層体30における内層材10a、10bの貫通孔12の周囲を押さえ治具50で加圧して押さえる。
押さえ治具50としては、中央部を開孔したリング板形状のものを用いることができ、ステンレスプレート等の剛性の材料からなるものを用いることができる。押さえ治具50の開孔形状は、図4に示すような四角形状の他、図6に示すような円形状等であってもよい。
押さえ治具50は、内層材10aの貫通孔12の周囲と、その反対側の内層材10bの貫通孔12の周囲とのそれぞれに配置され、これらの押さえ治具50を積層体30の両面側から加圧して押さえる。
このとき、図1(b)に示すように、積層体30における内層材10a、10bの貫通孔12の周囲を、図2(b)に示す多層板42の成型後における積層体30の貫通孔12の周囲の厚みt2の1.0〜1.5倍の厚みt1となるように加圧して押さえることが好ましい。厚みt1が厚みt2より小さ過ぎると、成型による内層材間の位置ずれが生じたり、外層金属箔面のシワ等の不良が発生したりする場合がある。厚みt1が厚みt2より大き過ぎると、溶着による固定ができない場合がある。
また、図4に示すように、積層体30における内層材10a、10bの貫通孔12から1〜30mmの間隔dを置いた貫通孔12の周囲を加圧して押さえた状態で次の工程における貫通孔12の部分の加熱を行うことが好ましい。間隔dが狭過ぎると、外層金属箔面のシワ等の不良が発生したり、溶着時に押さえ治具50にプリプレグ20の樹脂21が付着して多層板42の製造ができなくなったりする場合がある。間隔dが広過ぎると、成型による内層材間の位置ずれが生じたり、外層金属箔面のシワ等の不良が発生したりする場合がある。
次の工程として、貫通孔12の周囲を押さえ治具50により加圧して押さえた状態で、図1(c)に示すように、積層体30における内層材10a、10bの貫通孔12の部分を加熱しプリプレグ20の樹脂21を溶融、硬化させる。これにより、内層材10a、10bの貫通孔12にプリプレグ20の樹脂21が充填されて溶着し、これにより2枚の内層材10a、10bおよびプリプレグ20が互いに固定される。
このとき、積層体30における内層材10a、10bの貫通孔12の部分を250〜350℃で10〜90秒加熱することが好ましい。加熱温度が低過ぎるかまたは加熱時間が短過ぎると、プリプレグ20の樹脂21が十分に溶融せず、溶着による固定ができない場合がある。加熱温度が高過ぎるかまたは加熱時間が長過ぎると、プリプレグ20の樹脂21が炭化して多層板42の製造ができなくなる場合がある。
積層体30における内層材10a、10bの貫通孔12の部分は、好ましくは、金属棒部材、レーザ照射、または超音波により加熱される。これらにより加熱を行うことで、プリプレグ20の樹脂21が部分的に溶融して内層材10a、10bの貫通孔12にプリプレグ20の樹脂21が適切に充填され、溶着強度が特に向上し、成型による内層材10a、10b間の位置ずれをさらに抑制することができる。
以上の工程を経て、2枚の内層材10a、10bおよびプリプレグ20を固定した後、図2(a)に示すように、積層体30の両面側に外層プリプレグ40、および銅箔等の外層金属箔41を積層配置し、これを成型することにより、図2(b)に示すように多層板42が製造される。成型は、例えば、一般に多層板の製造において適用されている条件に従って加熱加圧することで行うことができる。
そして、この多層板42の外層金属箔41をエッチング等により回路形成してプリント配線板を製造することができる。あるいは、多層板42の外層金属箔41をエッチング等により回路形成し、これを新たな内層材として用いて上記したような手順でプリント配線板を製造することができる。
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。
<実施例1>
次の仕様の多層板を製造した。両面銅張積層板(R1766、パナソニック電工(株)製、樹脂厚み0.1mm、銅箔厚み35μm/35μm)の銅箔に回路形成した2枚の内層材のそれぞれの溶着部に貫通孔を設けた。すなわち、2枚の内層材のそれぞれの4隅と、対向する2辺の中央部の合計6箇所にφ5の貫通孔を穿孔した。
2枚の内層材を、それぞれの貫通孔の位置を合わせて、プリプレグ(R1661GG、パナソニック電工(株)製、厚み0.2mm)を3枚重ねたものを挟んで重ね合わせ、積層体とした。
積層体における2枚の内層材の貫通孔の周囲に、厚み5mmのステンレスプレートの中央部を円形に開孔した押さえ治具を配置して上下から加圧して押さえ、この状態で、加熱したφ4.5の金属棒部材を貫通孔の部分に押し当てて貫通孔の部分を加熱した。
これにより、積層体における内層材の貫通孔の部分のプリプレグの樹脂を溶融させ、内層材の貫通孔にプリプレグの樹脂を充填して溶着し、これにより2枚の内層材およびプリプレグを互いに固定した。
次に、溶着後の積層体を用いて多層板を成型した。外層プリプレグ(R1661GD、パナソニック電工(株)製、厚み0.06mm)、および厚み12μmの外層銅箔を積層体の両面側に重ね合わせ、積層成型を行った。温度は、プレス開始から常温より2.0℃/分で160℃まで昇温し、50分間保持した。圧力は、1.0MPaで10分間保持し、次いで1.0MPaから2.9MPaまで10分で昇圧し、その後プレス終了まで2.9MPaに保持した。また、プレス開始から70分間13.3kPa以下の真空に保持した。
このようにして510×510mmの多層板(製造枚数:10枚/段×2)を得た。
得られた多層板について、外層銅箔におけるシワの発生数および内層材間の位置ずれを評価した。シワの発生の有無は目視にて確認した。内層材間の位置ずれは、100μm以下を合格、100μm超を不合格と判定した。
押さえ治具の円径、溶着時の加熱時間および加熱温度、積層体加圧時の貫通孔の周囲の厚み、および、シワの発生数量と内層材間の位置ずれの評価結果を表1に示す。
<実施例2〜8、参考例1〜8>
押さえ治具の円径、溶着時の加熱時間および加熱温度、および積層体加圧時の貫通孔の周囲の厚みを表1に示すように変更し、それ以外は実施例1と同様にして積層板の溶着と多層板の製造を試みた。多層板製造の可否および、多層板が製造できたものについてはシワの発生数量と内層材間の位置ずれの評価結果を表1および表2に示す。
<比較例1>
実施例1において、内層材に貫通孔を設けないものを用いて、実施例1の貫通孔の箇所と同じ位置の合計6箇所に、加熱したφ6の金属棒部材を押し当てて、加熱温度300℃、圧力0.5MPa、時間20秒の条件で、2枚の内層材およびプリプレグからなる積層体を溶着固定した。
この積層体を用いて実施例1と同様にして多層板を成型した。得られた多層板について、シワの発生数量と内層材間の位置ずれを評価した。その結果を表2に示す。
なお、実施例1〜8、参考例1〜8、および比較例1において、成型後における貫通孔の周囲の厚みは1.035mmとなるようにした。
Figure 0005175694
Figure 0005175694
表1より、積層体における内層材の貫通孔から1〜30mmの間隔を置いた貫通孔の周囲を加圧して押さえた状態で当該貫通孔の部分を加熱し、積層体における内層材の貫通孔の部分を250〜350℃で10〜90秒加熱し、積層体における内層材の貫通孔の周囲を、多層板の成型後における積層体の当該貫通孔の周囲の厚みの1.0〜1.5倍の厚みとなるように加圧して押さえた状態で当該貫通孔の部分を加熱した実施例1〜8では、外層銅箔にシワが発生せず、内層材間の位置ずれも発生しなかった。
一方、表2より、比較例1では、多くの多層板サンプルにおいて外層銅箔にシワが発生した。
また、積層体における内層材の貫通孔から1mm未満の間隔を置いた貫通孔の周囲を加圧して押さえた状態で当該貫通孔の部分を加熱した参考例1では、押さえ治具に樹脂が付着し続く工程を行うことができない場合があり、外層銅箔のシワの発生もみられた。
積層体における内層材の貫通孔から30mmを超える間隔を置いた貫通孔の周囲を加圧して押さえた状態で当該貫通孔の部分を加熱した参考例2では、外層銅箔にシワが発生し、内層材間の位置ずれも発生した。
積層体における内層材の貫通孔の部分を10秒未満加熱した参考例3では、積層体を溶着固定することができなかった。
積層体における内層材の貫通孔の部分を90秒を超えて加熱した参考例4では、プリプレグの樹脂が炭化して多層板の製造ができなかった。
積層体における内層材の貫通孔の部分を250℃未満で加熱した参考例5では、積層体を溶着固定することができなかった。
積層体における内層材の貫通孔の部分を350℃を超える温度で加熱した参考例6では、プリプレグの樹脂が炭化して多層板の製造ができなかった。
積層体における内層材の貫通孔の周囲を、多層板の成型後における積層体の当該貫通孔の周囲の厚みの1.0倍未満の厚みとなるように加圧して押さえた状態で当該貫通孔の部分を加熱した参考例7では、外層銅箔にシワが発生し、内層材間の位置ずれも発生した。
積層体における内層材の貫通孔の周囲を、多層板の成型後における積層体の貫通孔の周囲の厚みの1.5倍を超える厚みとなるように加圧して押さえた状態で当該貫通孔の部分を加熱した参考例8では、プリプレグの表面のみ溶融し、積層体を溶着固定することができなかった。
(a)、(b)、(c)は、本発明の多層板の製造方法の実施形態を工程順に説明する断面図である。 (a)、(b)は、本発明の多層板の製造方法の実施形態を工程順に説明する断面図である。 2枚の内層材をプリプレグを挟んで重ね合わせた積層体を押さえ治具により押さえた図1(b)の状態の上面図である。 図3の内層材の貫通孔の周囲を押さえ治具により押さえた部分の拡大図である。 内層材に設ける貫通孔の変形例を示した図である。 押さえ治具の開孔形状の変形例を示した図である。
符号の説明
10a 内層材
10b 内層材
11 回路
12 貫通孔
20 プリプレグ
21 樹脂
30 積層体
42 多層板
1 貫通孔の周囲の厚み
2 貫通孔の周囲の厚み
d 間隔

Claims (6)

  1. 回路が形成された2枚の内層材のそれぞれに貫通孔を設ける工程と、2枚の内層材をそれぞれの貫通孔の位置を合わせてプリプレグを挟んで重ね合わせ、積層体とする工程と、積層体における内層材の貫通孔の周囲を、多層板の成型後における積層体の当該貫通孔の周囲の厚みの1.0〜1.5倍の厚みとなるように加圧して押さえた状態で当該貫通孔の部分を加熱しプリプレグの樹脂を溶融させることにより、内層材の貫通孔にプリプレグの樹脂を充填して溶着し、これにより2枚の内層材およびプリプレグを互いに固定する工程とを含むことを特徴とする多層板の製造方法。
  2. 回路が形成された2枚の内層材のそれぞれに貫通孔を設ける工程と、2枚の内層材をそれぞれの貫通孔の位置を合わせてプリプレグを挟んで重ね合わせ、積層体とする工程と、積層体における内層材の貫通孔から1〜30mmの間隔を置いた貫通孔の周囲を加圧して押さえた状態で当該貫通孔の部分を加熱しプリプレグの樹脂を溶融させることにより、内層材の貫通孔にプリプレグの樹脂を充填して溶着し、これにより2枚の内層材およびプリプレグを互いに固定する工程とを含むことを特徴とする多層板の製造方法。
  3. 積層体における内層材の貫通孔の周囲を、多層板の成型後における積層体の当該貫通孔の周囲の厚みの1.0〜1.5倍の厚みとなるように加圧して押さえた状態で当該貫通孔の部分を加熱することを特徴とする請求項2に記載の多層板の製造方法。
  4. 積層体における内層材の貫通孔の部分を250〜350℃で10〜90秒加熱することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の多層板の製造方法。
  5. 積層体における内層材の貫通孔の部分を金属棒部材、レーザ照射、または超音波により加熱することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の多層板の製造方法。
  6. 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の方法により製造された多層板を少なくとも1枚用いて多層プリント配線板を得ることを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN202374556U (zh) * 2011-12-15 2012-08-08 北大方正集团有限公司 一种多层印刷电路板
JP2019079856A (ja) 2017-10-20 2019-05-23 トヨタ自動車株式会社 多層基板の製造方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2890625B2 (ja) * 1990-03-02 1999-05-17 松下電工株式会社 多層配線基板の製造方法
JPH0415994A (ja) * 1990-05-09 1992-01-21 Dia Denshi Kk 多層プリント配線基板の製造法
JP2000216541A (ja) * 1999-01-20 2000-08-04 Asahi Seisakusho:Kk 積層基板製造方法および積層基板製造装置
JP3700495B2 (ja) * 1999-10-26 2005-09-28 松下電工株式会社 溶着ヘッド
JP2005051029A (ja) * 2003-07-28 2005-02-24 Matsushita Electric Works Ltd 多層配線板の製造方法

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