JP5157242B2 - Semiconductor integrated circuit - Google Patents
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Description
本発明は、CMOS構造を含む半導体集積回路に関する。 The present invention relates to a semiconductor integrated circuit including a CMOS structure.
特許文献1は、CMOS構造の出力バッファ回路において、コンデンサをソース−ゲート間に設けることにより、電源投入直後の如く電源電圧が通常使用条件の範囲より低い場合において出力端子を確実にハイ・インピーダンス状態にすることのできる技術を開示している。
電源投入直後等の場合に限られず、半導体集積回路(ICとも称する)の設計においては、通常の使用条件と異なる場合を想定しなければならない。これは、電源端子や外部信号端子がICの外部に露出し、人の操作ミスにより逆電圧が印加される危険があることに起因する。例えば、図1に示されるCMOS構造の出力バッファ回路において、通常動作時とは異なって、電源端子VSSを0[V]とし、出力端子OUTを開放すなわちオープンとし且つ電源端子VDDに例えば−16[V]の負電位が印加されたとする。この場合、pMOSトランジスタ3及びnMOSトランジスタ4を支持する基板内に形成される寄生バイポーラトランジスタを介して電流が流れ、リード断線もしくは熱破壊を起こすことになる。
The design of the semiconductor integrated circuit (also referred to as an IC) is not limited to the case immediately after the power is turned on, and must be assumed to be different from normal use conditions. This is because the power supply terminal and the external signal terminal are exposed to the outside of the IC, and there is a danger that a reverse voltage is applied due to a human operation error. For example, in the output buffer circuit having the CMOS structure shown in FIG. 1, unlike the normal operation, the power supply terminal VSS is set to 0 [V], the output terminal OUT is opened or opened, and the power supply terminal VDD is set to, for example, −16 [ Suppose that a negative potential of V] is applied. In this case, current flows through the parasitic bipolar transistor formed in the substrate that supports the
特に、車載用途のICが用いられる自動車においては、修理、点検あるいは整備時にバッテリーを間違って逆に接続する危険が高いと想定され、かかる事態にも破壊することないICが求められている。そのため、従来の車載用途のICでは+12Vの電源が逆に接続された場合に対応するため、電源ユニットの電源回路とICの電源端子の間にダイオードを直列に挿入したりIC単体内にかかるダイオードを搭載したりすることでICの異常電流の対策をしていた。
しかしながら、ダイオードを用いる構成では、通常動作時にダイオードの順方向電圧降下により、ICからの出力電圧が供給される電源電圧よりも低い電圧しか出力されない欠点がある。特に、リニアホールICのように電源電圧をリファレンス電圧として用いることが必要な場合には、かかる電圧降下は望ましくないという問題がある。 However, the configuration using a diode has a drawback in that only a voltage lower than the power supply voltage to which the output voltage from the IC is supplied is output due to a forward voltage drop of the diode during normal operation. In particular, when a power supply voltage needs to be used as a reference voltage as in a linear Hall IC, there is a problem that such a voltage drop is undesirable.
本発明の目的は、通常動作時の悪影響を最小限にしつつ、異常電圧が電源端子や外部信号端子に印加された場合の破壊防止をなし得る半導体集積回路を提供することである。 An object of the present invention is to provide a semiconductor integrated circuit capable of preventing destruction when an abnormal voltage is applied to a power supply terminal or an external signal terminal while minimizing adverse effects during normal operation.
本発明による半導体集積回路は、半導体基板内に設けられたウエル内に各々形成されて互いに出力端子を介して直列接続されてCMOS構造をなす少なくとも一対のMOSトランジスタと、該MOSトランジスタのソース端子またはドレイン端子に各々が接続されている一対の電源供給端子と、該一対の電源供給端子に各々接続されて該半導体基板及び該ウエルに電源電位を各々与える少なくとも1対のガードコンタクトと、を含む半導体集積回路であり、該基板内に設けられ、該ガードコンタクトと該電源供給端子との間の電流路の何れかに挿入された電流制限抵抗と、該半導体基板内に設けられ、該出力端子への印加電圧に応じて導通して、該一対のMOSトランジスタのうちの何れか一方を遮断する少なくとも1つの他のMOSトランジスタと、を含み、該他のMOSトランジスタのドレイン端子は該一方のMOSトランジスタのドレイン端子とに接続され、該他のMOSトランジスタのソース端子は該一方のMOSトランジスタのゲート端子に接続され、該他のMOSトランジスタのゲート端子は該一対の電源供給端子の一方に接続されていることを特徴とする。 A semiconductor integrated circuit according to the present invention includes at least a pair of MOS transistors each formed in a well provided in a semiconductor substrate and connected in series via output terminals to form a CMOS structure, and a source terminal of the MOS transistor or A semiconductor including a pair of power supply terminals each connected to a drain terminal, and at least one pair of guard contacts each connected to the pair of power supply terminals and respectively providing a power supply potential to the semiconductor substrate and the well A current limiting resistor provided in the substrate and inserted in one of a current path between the guard contact and the power supply terminal; and provided in the semiconductor substrate and connected to the output terminal. At least one other MOS transistor that conducts in accordance with the applied voltage of the transistor and shuts off one of the pair of MOS transistors. A drain terminal of the other MOS transistor is connected to a drain terminal of the one MOS transistor, a source terminal of the other MOS transistor is connected to a gate terminal of the one MOS transistor, and The gate terminals of the other MOS transistors are connected to one of the pair of power supply terminals .
本発明による半導体集積回路によれば、CMOS構造をなす一対のCMOSトランジスタを取り囲むガードコンタクトと電源供給端子との間に電源制限抵抗が挿入される構成が与えられる。これにより、通常動作時の悪影響を最小限にしつつ、異常電圧が電源端子や外部信号端子に印加された場合の破壊防止をなし得る。 The semiconductor integrated circuit according to the present invention provides a configuration in which a power supply limiting resistor is inserted between a guard contact surrounding a pair of CMOS transistors having a CMOS structure and a power supply terminal. As a result, it is possible to prevent destruction when an abnormal voltage is applied to the power supply terminal or the external signal terminal while minimizing adverse effects during normal operation.
本発明の実施例について添付の図面を参照しつつ詳細に説明する。
<第1の実施例>
図2は、第1の実施例を示し、本発明による半導体集積回路を含む全体の回路構成を示している。本発明による半導体集積回路10は、複数の論理演算回路U1〜U7からなる出力イネーブル回路80と、nMOSトランジスタ30及びpMOSトランジスタ40とからなる出力バッファ回路90とからなる。半導体集積回路10は、出力イネーブル回路80と出力バッファ回路90との構成により、入力信号を入力端子INを取り込むと共にイネーブル信号端子OEに供給されるイネーブル信号に従って出力信号を外部に向けた出力端子OUTに出力する機能を備える。出力イネーブル回路80の構成における複数の論理演算回路U1〜U7の接続関係は、通常の出力イネーブル回路構成であることからここでは説明を省略する。
Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
<First embodiment>
FIG. 2 shows the first embodiment, and shows the entire circuit configuration including the semiconductor integrated circuit according to the present invention. The semiconductor integrated
出力バッファ回路90について参照すると、出力イネーブル回路80から信号CがpMOSトランジスタ40のゲートに供給され、出力イネーブル回路80から信号GがnMOSトランジスタ30のゲートに供給されるように接続されている。通常では正電位を供給する電源端子VDDがpMOSトランジスタ40のドレインに接続され、pMOSトランジスタ40のソースは出力端子OUTに接続されると共にnMOSトランジスタ30のドレインに接続され、nMOSトランジスタ30のソースは通常では負電位を供給する電源端子VSSに接続されている。さらに、nMOSトランジスタ30を支持する半導体基板であるP型基板11と電源端子VSSとの間の電流路に抵抗R1が挿入されている。P型基板11の電位Jは、論理演算回路U1〜U7等の内部に造作されるnMOSトランジスタ(図示せず)に電源電位を提供する。
Referring to the
図3は、図示に示された回路構成の上面配置例を示している。半導体集積回路10は、図示されるように例えば4000μm四方のチップとして形成される。半導体集積回路10のチップ上面には、出力イネーブル回路80と出力バッファ回路90とが配置され、その余の領域には任意の回路が形成され得る。出力バッファ回路90には、ガードコンタクトであるN型コンタクト22に囲まれたpMOSトランジスタ40と、ガードコンタクトであるP型コンタクト12に囲まれたnMOSトランジスタ30と、出力端子OUTとが配置されている。
FIG. 3 shows an example of the upper surface arrangement of the circuit configuration shown in the drawing. As shown in the figure, the semiconductor integrated
また、半導体集積回路10のチップ上面には、電源端子VDD及び電源端子VSSが配置され、電源端子VSSの近傍には抵抗R1が配置されている。抵抗R1は、電流制限抵抗として働き、ポリ抵抗等の材料により形成される。ポリ抵抗はポリシリコンに燐等の不純物を打ち込むことより形成され得る。R1の抵抗値は、典型的には400Ωに選択され、最大480Ω程度に選択される。具体的には、P型基板とNウエルとの間の接合電位差を0.5Vとした場合には、15.5V/50mA=310Ω(min)となるように選択される。
Further, the power supply terminal VDD and the power supply terminal VSS are arranged on the upper surface of the chip of the semiconductor integrated
図4は、図2に示された出力バッファ回路の部分断面を示している。ここで、nMOSトランジスタ30がP型基板11に形成され、これに近接してpMOSトランジスタ40がP型基板11に形成されたNウエル21に形成されている。
FIG. 4 shows a partial cross section of the output buffer circuit shown in FIG. Here, the
nMOSトランジスタ30は、信号G(図2参照)が供給されるゲート31とN型領域であるソース32及びドレイン33とを含んでいる。ソース32は電源端子VSSに接続されドレイン33は出力端子OUTに接続されている。nMOSトランジスタ30の両側にはP型コンタクト12及びP型コンタクト13がP型基板11上に形成されて電源端子VSSの電源電位を電流路を介して与えている。P型コンタクト12及びP型コンタクト13は、通常、nMOSトランジスタ30を取り囲むようにして連続して形成される。
The
nMOSトランジスタ30の下方のP型基板11の内部には寄生トランジスタQ4及びQ5が寄生的に形成される。寄生トランジスタQ4は、ソース32をN領域としP型基板11をP領域としドレイン33をN領域とすることでNPN型のトランジスタをなしている。寄生トランジスタQ5は、ソース32をN領域としP型基板11をP領域としNウエル21をN領域とすることでNPN型のトランジスタをなしている。
Parasitic transistors Q4 and Q5 are formed parasitically inside the P-
pMOSトランジスタ40は、信号C(図2参照)が供給されるゲート41とP型領域であるソース42及びドレイン43とを含んでいる。ソース42は出力端子OUTに接続されドレイン43は電源端子VDDに接続されている。pMOSトランジスタ40の両側にはN型コンタクト22及びN型コンタクト23がNウエル21上に形成されて電源端子VDDの電源電位を電流路を介して与えている。N型コンタクト22及びN型コンタクト23は、通常、pMOSトランジスタ40を取り囲むようにして連続して形成される。
The
pMOSトランジスタ40の下方のNウエル21の内部には複数の寄生トランジスタQ1〜Q3及び寄生ダイオードD1が寄生的に形成される。寄生トランジスタQ1は、P型基板11をP領域としNウエル21をN領域としドレイン43をP領域とすることでPNP型のトランジスタをなしている。寄生トランジスタQ2は、P型基板11をP領域としNウエル21をN領域としソース42をP領域とすることでPNP型のトランジスタをなしている。寄生トランジスタQ3は、ソース42をP領域としNウエル21をN領域としドレイン43をP領域とすることでPNP型のトランジスタをなしている。さらに、寄生ダイオードD1は、ドレイン43をP領域としN型コンタクト23をN領域とすることでPN型のダイオードをなしている。
A plurality of parasitic transistors Q1 to Q3 and a parasitic diode D1 are parasitically formed in the N well 21 below the
さらに、nMOSトランジスタ30とNウエル21との距離、好ましくはnMOSトランジスタ30のドレイン33とN型コンタクト22との距離が例えば10μm以上に広げられている。
Further, the distance between the
図4を参照して、第1の実施例における半導体集積回路の電源異常時の動作について説明する。ここで、基準電位として電源端子VSSを0[V]に固定し、出力端子OUTを開放すなわちオープンとし、電源端子VDDに想定逆電圧として負電位(例えば−16[V])が印加されたとする。 With reference to FIG. 4, the operation of the semiconductor integrated circuit in the first embodiment when the power supply is abnormal will be described. Here, it is assumed that the power supply terminal VSS is fixed to 0 [V] as a reference potential, the output terminal OUT is opened or opened, and a negative potential (for example, −16 [V]) is applied to the power supply terminal VDD as an assumed reverse voltage. .
寄生トランジスタQ1のベース電流が流れるが、抵抗R1の電圧降下によりP型コンタクト13と電源端子VDD間の電位差が低下し、寄生トランジスタQ1のベース電流は制限される。寄生トランジスタQ1のベース電流制限に伴い、寄生トランジスタQ1〜Q5のコレクタ電流も低下する。
Although the base current of the parasitic transistor Q1 flows, the potential difference between the P-
以上の第1実施例においては、本発明による半導体集積回路を適用することにより、寄生トランジスタQ1のベース電流とコレクタ電流が制限され、そして寄生トランジスタQ2のコレクタ電流が制限され、デバイス破壊が防止される。一方、通常動作時は、nMOSトランジスタ30のソース及びドレインに対し直列に電流制限用の抵抗が入らないため、電流能力等の回路特性に影響を与えることがない。
In the first embodiment described above, by applying the semiconductor integrated circuit according to the present invention, the base current and the collector current of the parasitic transistor Q1 are limited, and the collector current of the parasitic transistor Q2 is limited to prevent device destruction. The On the other hand, during normal operation, no current limiting resistor is inserted in series with the source and drain of the
また、nMOSトランジスタ30とNウエル21と対向する部分にP型コンタクト13とN型コンタクト22が挿入されている。これにより、寄生トランジスタQ1と寄生トランジスタQ5で構成されるサイリスタ構造をP型コンタクト13で分離し、サイリスタによるnMOSトランジスタ30のソースからpMOSトランジスタ40のソースに至る経路で大電流が流れるのを防止している。
Further, a P-
さらに、nMOSトランジスタ30のドレインとN型コンタクト22との距離が広げられている(例えば10μm以上)。これにより、寄生トランジスタQ1への基板抵抗が高められ、寄生トランジスタQ1のコレクタ電流が低減される。また、一般にベース幅が広くなるとバイポーラトランジスタの電流増幅率は低下することから、寄生トランジスタQ5のベース幅を広げることで寄生トランジスタQ5の電流増幅率も低減されて大電流を阻止している。
Further, the distance between the drain of the
尚、抵抗R1が電源端子VSSとP型コンタクトとの間の電流路に接続される形態に替えて、抵抗R1が電源端子VDDとN型コンタクトとの間の電流路に接続される形態も可能である。 Note that, instead of the form in which the resistor R1 is connected to the current path between the power supply terminal VSS and the P-type contact, a form in which the resistor R1 is connected to the current path between the power supply terminal VDD and the N-type contact is also possible. It is.
<第2の実施例>
図5は、第2の実施例を示し、本発明による半導体集積回路を含む全体の回路構成を示している。本発明による半導体集積回路10は、第1の実施例とほぼ同様にして、論理演算回路U1〜U7からなる出力イネーブル回路と、nMOSトランジスタ30及びpMOSトランジスタ40とからなる出力バッファ回路とからなる。
<Second embodiment>
FIG. 5 shows a second embodiment and shows the entire circuit configuration including the semiconductor integrated circuit according to the present invention. The semiconductor integrated
本第2の実施例においては、さらに、出力端子OUTとnMOSトランジスタ30のドレインの間の電流路に抵抗R2が接続され、nMOSトランジスタ30のドレインとnMOSトランジスタ30のゲートの間にnMOSトランジスタ50が接続され、nMOSトランジスタ30のドレインと論理反転回路(INV)である論理演算回路U7の入力との間にnMOSトランジスタ70が接続されている。nMOSトランジスタ50及びnMOSトランジスタ70双方のゲートは電源端子VSSに接続されている。
In the second embodiment, a resistor R2 is further connected to the current path between the output terminal OUT and the drain of the
図6は、図5に示された回路構成の上面配置例を示している。半導体集積回路10は、第1の実施例と同様に、例えば4000μm四方のチップとして形成され、そのチップ上面には出力バッファ回路90が配置されている。出力バッファ回路90には、N型コンタクト22に囲まれたpMOSトランジスタ40と、P型コンタクト12に囲まれたnMOSトランジスタ30と、出力端子OUTとが配置されている。さらに、P型コンタクト12に囲まれたnMOSトランジスタ30に隣接して2つのnMOSトランジスタ50及び70が配置されている。
FIG. 6 shows an example of the top surface arrangement of the circuit configuration shown in FIG. As in the first embodiment, the semiconductor integrated
また、nMOSトランジスタ30の近傍に抵抗R2が配置されている。抵抗R2は電流制限抵抗として働き、ポリ抵抗等の材料により形成される。ポリ抵抗はポリシリコンに燐等の不純物を打ち込むことより形成され得る。R2の抵抗値は、典型的には112Ωであり、最大値としては134Ωである。具体的には、nMOSトランジスタ30のソース、ドレイン間電位差を0.5Vとした場合、最小値として4.5V/50mA=90Ωに選択される必要がある。
A resistor R2 is disposed in the vicinity of the
図7は、図5に示された出力バッファ回路の部分断面を示している。ここで、nMOSトランジスタ30がP型基板11に形成され、これに近接してpMOSトランジスタ40がP型基板11に形成されたNウエル21に形成されている。nMOSトランジスタ30及びpMOSトランジスタ40と電源端子VSS及び電源端子VDDとの接続関係は基本的に第1の実施例の場合と同様であるが、nMOSトランジスタ30のドレイン33と出力端子OUTとの間の電流路に抵抗R2が挿入されている。また、寄生トランジスタQ1〜Q5や寄生ダイオードD1が寄生的に形成されるのも第1の実施例の場合と同様である。
FIG. 7 shows a partial cross section of the output buffer circuit shown in FIG. Here, the
図7を参照して、第2の実施例における半導体集積回路の電源異常時の動作について説明する。ここで、基準電位として電源端子VSSを0[V]に固定し、電源端子VDDを開放すなわちオープンとし、出力端子OUTに想定逆電圧として負電位(例では−5[V])が印加されたとする。 With reference to FIG. 7, the operation of the semiconductor integrated circuit in the second embodiment when the power supply is abnormal will be described. Here, it is assumed that the power supply terminal VSS is fixed to 0 [V] as a reference potential, the power supply terminal VDD is opened or opened, and a negative potential (−5 [V] in the example) is applied to the output terminal OUT as an assumed reverse voltage. To do.
寄生トランジスタQ4のベース電流が流れるが、抵抗R1の電圧降下によりP型コンタクト13と出力端子OUT間の電位差が低下し、寄生トランジスタQ4のベース電流は制限される。寄生トランジスタQ4のベース電流制限に伴い、寄生トランジスタQ4のコレクタ電流は低下する。抵抗R2の追加によりnMOSトランジスタ30のドレインと電源端子VSSとの間の電位差は低下し、寄生トランジスタQ4のコレクタ電流はさらに低下する。
Although the base current of the parasitic transistor Q4 flows, the potential difference between the P-
出力端子OUTに負電位が印加されると、nMOSトランジスタ50及びnMOSトランジスタ70はゲート電位よりソース電位が低くなり、nMOSトランジスタ50とnMOSトランジスタ70がオンし、論理演算回路U7の入力信号F及びnMOSトランジスタ30のゲート入力信号GとnMOSトランジスタ30のドレインとが同電位になり、nMOSトランジスタ30は確実にオフする。論理演算回路U7内のnMOSトランジスタがオフしていないとnMOSトランジスタ30のゲート信号GはnMOSトランジスタ50との分圧になりnMOSトランジスタ30が確実にオフしないおそれがあったが、本実施例の構成によりかかる事態を回避している。
When a negative potential is applied to the output terminal OUT, the source potential of the
以上の第2実施例において、本発明による半導体集積回路を適用することにより、nMOSトランジスタ30のドレインと出力端子OUTの間に抵抗R2が挿入されている。これにより、nMOSトランジスタ30及び寄生トランジスタQ4の電流を制限し、デバイスの熱破壊が防止される。
In the second embodiment described above, by applying the semiconductor integrated circuit according to the present invention, the resistor R2 is inserted between the drain of the
また、nMOSトランジスタ30のゲートとドレインの間に、nMOSトランジスタ50が追加されている。これにより、出力端子OUTに異常電圧が印加された場合にもnMOSトランジスタ50が導通することで、nMOSトランジスタ30のゲート電位とドレイン電位が同じにされ、nMOSトランジスタ30のオン電流が遮断される。これにより、リード断線もしくは熱破壊をさらに防止することができる。
An
さらに、論理演算回路U7の入力とnMOSトランジスタ30のドレインの間に、nMOSトランジスタ70が追加されている。これにより、出力端子OUTに異常電圧が印加された場合にもnMOSトランジスタ70が導通することで、論理演算回路U7内のnMOSトランジスタはオフし、確実にnMOSトランジスタ30のゲート電位とドレイン電位とを同じにしてnMOSトランジスタ30のオン電流を遮断することができる。
Further, an nMOS transistor 70 is added between the input of the logic operation circuit U7 and the drain of the
本発明による半導体集積回路は、デジタル出力回路を例として説明されたが、ボルテージフォロア・アンプ等のアナログ出力回路にも適用可能である。 The semiconductor integrated circuit according to the present invention has been described by taking a digital output circuit as an example, but can also be applied to an analog output circuit such as a voltage follower amplifier.
10 半導体集積回路
11 P型基板
12、13 P型コンタクト
22、23 N型コンタクト
21 Nウエル
31、41 ゲート
30、50、70 nMOSトランジスタ
32、42 ソース
33、43 ドレイン
40 pMOSトランジスタ
80 出力イネーブル回路
90 出力バッファ回路
D1 寄生ダイオード
OUT 出力端子
Q1〜Q5 寄生トランジスタ
R1、R2 抵抗
U1〜U7 論理演算回路
VDD、VSS 電源端子
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記半導体基板内に設けられ、前記ガードコンタクトと前記電源供給端子との間の電流路の何れかに挿入された電流制限抵抗と、
前記半導体基板内に設けられ、前記出力端子への印加電圧に応じて導通して、前記一対のMOSトランジスタのうちの何れか一方を遮断する少なくとも1つの他のMOSトランジスタと、を含み、
前記他のMOSトランジスタのドレイン端子は当該一方のMOSトランジスタのドレイン端子とに接続され、前記他のMOSトランジスタのソース端子は前記一方のMOSトランジスタのゲート端子に接続され、前記他のMOSトランジスタのゲート端子は前記一対の電源供給端子の一方に接続されていることを特徴とする半導体集積回路。 At least a pair of MOS transistors each formed in a well provided in a semiconductor substrate and connected in series with each other via an output terminal to form a CMOS structure, and each source terminal or drain terminal of the MOS transistor are connected to each other. A pair of power supply terminals, and at least one pair of guard contacts respectively connected to the pair of power supply terminals and supplying a power potential to the semiconductor substrate and the well,
A current limiting resistor provided in the semiconductor substrate and inserted in one of the current paths between the guard contact and the power supply terminal ;
And at least one other MOS transistor provided in the semiconductor substrate and conducting in response to a voltage applied to the output terminal and blocking any one of the pair of MOS transistors,
The drain terminal of the other MOS transistor is connected to the drain terminal of the one MOS transistor, the source terminal of the other MOS transistor is connected to the gate terminal of the one MOS transistor, and the gate of the other MOS transistor. A terminal is connected to one of the pair of power supply terminals .
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