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JP5089557B2 - Method for forming electromagnetic wave shielding wiring circuit and electromagnetic wave shielding sheet - Google Patents

Method for forming electromagnetic wave shielding wiring circuit and electromagnetic wave shielding sheet Download PDF

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JP5089557B2
JP5089557B2 JP2008282791A JP2008282791A JP5089557B2 JP 5089557 B2 JP5089557 B2 JP 5089557B2 JP 2008282791 A JP2008282791 A JP 2008282791A JP 2008282791 A JP2008282791 A JP 2008282791A JP 5089557 B2 JP5089557 B2 JP 5089557B2
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悠介 山田
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Description

本発明は、銅微粒子分散液を用いた電磁波遮蔽用配線回路の形成方法及び電磁波遮蔽用シートに関する。   The present invention relates to a method for forming an electromagnetic shielding wiring circuit using a copper fine particle dispersion and an electromagnetic shielding sheet.

プラズマディスプレイパネル(以下、PDPという)は、ブラウン管や液晶ディスプレイに比べて、発光の際にパネル前面から放射される電磁波の量が多く、パネル表面に電磁波遮蔽用フィルタを装着する必要がある。
従来の電磁波遮蔽用フィルタとしては、プラスチック基板の表面に金属薄膜をメッシュ状の配線パターンに形成したものが知られている。このような電磁波遮蔽用フィルタの配線は、外光からの反射を防ぎ、且つ、表示の色調に影響を及ぼさないといった観点から、黒色系に着色された金属線、表面が黒色化処理された金属、あるいは、表面に黒色層を有する金属線であることが望ましい。
A plasma display panel (hereinafter referred to as PDP) has a larger amount of electromagnetic waves radiated from the front of the panel when emitting light than a cathode ray tube or a liquid crystal display, and it is necessary to mount an electromagnetic shielding filter on the panel surface.
As a conventional electromagnetic wave shielding filter, a filter in which a metal thin film is formed in a mesh-like wiring pattern on the surface of a plastic substrate is known. From the viewpoints of preventing reflection from outside light and not affecting the color tone of the display, the wiring of such an electromagnetic wave shielding filter is a metal wire colored black, or a metal whose surface is blackened Alternatively, a metal wire having a black layer on the surface is desirable.

メッシュ状の配線パターンを形成する方法としては、基板上への銅箔貼り付けや銀スパッタリングによる金属膜の形成、レジスト塗布、露光、現像、エッチング等の一連の工程を行うフォトリソグラフィー技術が利用されている。しかしながら、この方法は工程数が極めて多く、製造コストが高いという問題がある。   As a method for forming a mesh-like wiring pattern, a photolithography technique is used in which a series of processes such as attaching a copper foil on a substrate, forming a metal film by silver sputtering, applying a resist, exposing, developing, and etching are performed. ing. However, this method has a problem that the number of steps is extremely large and the manufacturing cost is high.

そこで、特許文献1では、平均粒子径が100nm以下である金属微粒子と、平均粒子径が300nm以下である黒色の無機微粒子とを含有する金属微粒子分散液を、基板上にインクジェット法などによって印刷した後、加熱処理するか、またはレーザー照射して焼き付けることによって配線を形成する方法が提案されており、このような配線の形成方法を、PDPや液晶表示パネル等のアドレス電極やバス電極等の配線の形成に利用することが記載されている。   Therefore, in Patent Document 1, a metal fine particle dispersion containing metal fine particles having an average particle diameter of 100 nm or less and black inorganic fine particles having an average particle diameter of 300 nm or less is printed on a substrate by an inkjet method or the like. After that, a method of forming a wiring by heat treatment or baking by laser irradiation has been proposed. Such a wiring forming method is applied to a wiring of an address electrode or a bus electrode of a PDP or a liquid crystal display panel. It is described that it is used for the formation of.

しかしながら、上記の金属微粒子分散液は、分散媒中の金属微粒子が凝集しやすく、微粒子の分散性に劣るため、インクジェット用インクとして使用する場合の保存安定性や吐出安定性に劣るという問題がある。そこで、表面を分散剤で保護する方法が考えられるが、顔料である無機微粒子と共に分散されているため、配合する無機粒子によっては、金属微粒子の分散剤が無機粒子に優先的に配位し、分散剤として作用せず、金属微粒子と無機微粒子の粗大化した複合粒子によって吐出安定性は著しく低下することが起こる。   However, the above-mentioned metal fine particle dispersion has a problem that the metal fine particles in the dispersion medium are likely to aggregate, and the dispersibility of the fine particles is inferior, so that the storage stability and ejection stability when used as an inkjet ink are inferior. . Then, although the method of protecting the surface with a dispersing agent is considered, since it is dispersed together with inorganic fine particles that are pigments, depending on the inorganic particles to be blended, the dispersing agent of the metal fine particles is preferentially coordinated with the inorganic particles, It does not act as a dispersant, and the discharge stability is significantly lowered by the coarsened composite particles of metal fine particles and inorganic fine particles.

このような問題に対しては、分散性及び吐出安定性を向上させた金属微粒子分散液として、高分子化合物で表面が被覆された金属微粒子を分散媒に分散させた分散液が種々提案されている。例えば、特許文献2には、金属ナノ粒子の表面が有機化合物で被覆され、有機溶媒中に安定に分散した金属微粒子分散液を用いて、回路パターンを形成することが提案されている。
特開2006−169592号公報 特開2002−299833号公報
For such problems, various dispersions in which metal fine particles whose surfaces are coated with a polymer compound are dispersed in a dispersion medium have been proposed as metal fine particle dispersions with improved dispersibility and ejection stability. Yes. For example, Patent Document 2 proposes forming a circuit pattern using a metal fine particle dispersion in which the surface of metal nanoparticles is coated with an organic compound and stably dispersed in an organic solvent.
JP 2006-169592 A JP 2002-299833 A

PDP用電磁波遮蔽用配線回路として使用する金属微粒子としては、金属材料自体が金、銀、及びニッケル等に比較して格段に安価であり、且つ、銀を使用するときのようなエレクトロマイグレーションに起因する配線間の短絡を回避する観点から、銅を利用することが望まれる。   As metal fine particles used as an electromagnetic shielding wiring circuit for PDP, the metal material itself is much cheaper than gold, silver, nickel, etc., and is caused by electromigration like when using silver. From the viewpoint of avoiding a short circuit between wirings, it is desirable to use copper.

しかしながら、銅、銅合金、又は銅化合物の微粒子(以下、単に銅微粒子という)の分散液を使用する場合、酸化雰囲気中で加熱すると銅が酸化して導電性が低下するため、不活性ガス雰囲気あるいは水素ガス等の還元性ガス雰囲気中で加熱する必要がある。このため、銅微粒子の表面が厚い高分子化合物層で被覆されているような場合には、耐熱性の高い高分子は、酸素の存在しない不活性ガス又は還元性ガス雰囲気中では分解され難く、銅微粒子同士の焼結が阻害されて、最終的に得られる焼結配線の導電性が不十分となってしまう。   However, when using a dispersion of fine particles of copper, copper alloy, or copper compound (hereinafter simply referred to as copper fine particles), the copper is oxidized and reduced in conductivity when heated in an oxidizing atmosphere, so that the inert gas atmosphere Or it is necessary to heat in reducing gas atmosphere, such as hydrogen gas. For this reason, when the surface of the copper fine particles is covered with a thick polymer compound layer, the high heat-resistant polymer is difficult to be decomposed in an inert gas or reducing gas atmosphere in which oxygen is not present. Sintering between the copper fine particles is hindered, and the finally obtained sintered wiring has insufficient conductivity.

導電性を向上させるためには、高分子化合物を昇華させるような高温で焼成することが考えられるが、そのような高温で焼成を行う場合、分散液を塗布する基板として耐熱温度の低いプラスチック基板を使用することができず、PDP用電磁波遮蔽用配線回路への適用が困難であるという問題がある。
特許文献2では、金属ナノ粒子として銀を用いた場合について、250℃以下の焼成温度で回路パターンを形成できることが記載されているが、金属ナノ粒子として銅を使用する場合の問題点については何ら考慮されていない。すなわち、銅微粒子を使用する場合には、酸化されにくい銀を使用する場合と異なり、不活性ガス雰囲気あるいは水素ガス等の還元性ガス雰囲気中で加熱する必要があること、それにより銅微粒子を被覆する高分子が低温焼結では分解され難く、焼結配線の導電性が不十分になることについて考慮されてなく、耐熱温度の低いプラスチック基板へ適用することはできない。
In order to improve the electrical conductivity, it is conceivable that the polymer compound is baked at a high temperature that sublimates the polymer compound. When baking at such a high temperature, a plastic substrate having a low heat resistance temperature is used as a substrate on which the dispersion is applied. Cannot be used, and it is difficult to apply to the electromagnetic wave shielding wiring circuit for PDP.
In Patent Document 2, it is described that a circuit pattern can be formed at a firing temperature of 250 ° C. or lower when silver is used as the metal nanoparticle. However, there is no problem with using copper as the metal nanoparticle. Not considered. That is, when using copper fine particles, it is necessary to heat in an inert gas atmosphere or a reducing gas atmosphere such as hydrogen gas unlike when using silver that is not easily oxidized, thereby covering the copper fine particles. It is difficult for the polymer to be decomposed by low-temperature sintering, and it is not considered that the conductivity of the sintered wiring becomes insufficient, and it cannot be applied to a plastic substrate having a low heat-resistant temperature.

そこで、本発明の目的は、安価で且つエレクトロマイグレーションの生じない銅を使用した電磁波遮蔽用配線回路を実現可能な、電磁波遮蔽用配線回路の形成方法、及び電磁波遮蔽用シートを提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an electromagnetic wave shielding wiring circuit forming method and an electromagnetic wave shielding sheet capable of realizing an electromagnetic wave shielding wiring circuit using copper that is inexpensive and does not cause electromigration. .

本発明の第1の態様は、 銅微粒子を、
(i)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)5〜90体積%と、常圧における沸点が20℃以上で、かつ、ドナー数が17以上の有機溶媒(B)5〜45体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)5〜90体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(A)〜(C)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S1)、
(ii)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)20〜95体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)5〜80体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(A)、(C)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S2)
iv)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)24〜64体積%と、常圧における沸点が20〜100℃である低沸点の有機溶媒(B)5〜39体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)30〜70体積%と、アミン系化合物を有する有機溶媒(E)1〜40体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(A)〜(C)、(E)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S4)、
(v)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)30〜94体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)30〜94体積%,アミン系化合物を有する有機溶媒(E)1〜40 体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(A)、(C)、(E)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S5)、及び
(vi)常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)80〜90体積%と、アミン系化合物を有する有機溶媒(E)10〜20体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(C)、(E)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S6)
から選択される分散媒(S)に分散させて銅微粒子分散液を調整する工程と、
前記銅微粒子分散液を、基板上又は前記基板上に形成された黒色層上に塗布又は印刷して、該銅微粒子分散液の液膜からなる配線パターンを形成する工程と、
前記銅微粒子分散液の液膜を焼成して焼結配線層を形成する工程と
を有することを特徴とする電磁波遮蔽用配線回路の形成方法である。
なお、ドナー数は、カロリメトリーにて測定する1,2-ジクロロエタン中におけるSbC15と(電子対供与性)溶媒分子の1:1錯体生成平衡の生成エンタルピー -ΔH(kcal/mol)で定義される。
In the first aspect of the present invention, copper fine particles are
(I) 5 to 90% by volume of an organic solvent (A) having an amide compound, 5 to 45% by volume of an organic solvent (B) having a boiling point of 20 ° C. or higher at normal pressure and 17 or more donors, A dispersion medium having an organic solvent (C) of 5 to 90% by volume having a boiling point at normal pressure exceeding 100 ° C. and comprising alcohol and / or polyhydric alcohol, from the organic solvents (A) to (C) A dispersion medium (S1) containing 90% by volume or more of
(Ii) 20 to 95% by volume of an organic solvent (A) having an amide-based compound, 5 to 80% by volume of an organic solvent (C) having a boiling point exceeding 100 ° C. at normal pressure and comprising alcohol and / or a polyhydric alcohol A dispersion medium containing 90% by volume or more of the component consisting of the organic solvents (A) and (C) (S2) ,
( Iv) 24 to 64% by volume of an organic solvent (A) having an amide compound, 5 to 39% by volume of a low-boiling organic solvent (B) having a boiling point of 20 to 100 ° C. at normal pressure, and a boiling point at normal pressure There exceed 100 ° C., and met dispersion medium containing an alcohol and / or a polyhydric organic solvent (C) 30 to 70% by volume composed of an alcohol and an organic solvent (E) 1 to 40 vol% with an amine compound A dispersion medium (S4) containing 90% by volume or more of the component consisting of the organic solvents (A) to (C) and (E ),
(V) 30 to 94% by volume of an organic solvent (A) having an amide-based compound, and 30 to 94% by volume of an organic solvent (C) having a boiling point exceeding 100 ° C. at normal pressure and comprising an alcohol and / or a polyhydric alcohol. , A dispersion medium containing 1 to 40% by volume of an organic solvent (E) having an amine compound , wherein the component comprising the organic solvents (A), (C) and (E) is contained by 90% by volume or more. dispersion media are (S5), and (vi) a boiling point of greater than 100 ° C. at normal pressure, and alcohol and / or organic solvent (C) and 80 to 90 volume percent composed of polyhydric alcohols, organic solvents having an amine compound (E) Dispersion medium containing 10 to 20% by volume , wherein the dispersion medium (S6) contains 90% by volume or more of the organic solvent (C) and (E ).
A step of adjusting the copper fine particle dispersion by dispersing in a dispersion medium (S) selected from:
Applying or printing the copper fine particle dispersion on a substrate or a black layer formed on the substrate to form a wiring pattern comprising a liquid film of the copper fine particle dispersion; and
And forming a sintered wiring layer by baking a liquid film of the copper fine particle dispersion.
The number of donors is defined by the formation enthalpy of the 1: 1 complex formation equilibrium of SbC15 and (electron-donating) solvent molecules in 1,2-dichloroethane measured by calorimetry -ΔH (kcal / mol).

本発明の第2の態様は、前記第1の態様に係る電磁波遮蔽用配線回路の形成方法において、前記焼結配線層上に黒色層を形成する工程をさらに有することを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the method for forming an electromagnetic wave shielding wiring circuit according to the first aspect, the method further includes a step of forming a black layer on the sintered wiring layer.

本発明の第3の態様は、前記第2の態様に係る電磁波遮蔽用配線回路の形成方法において、前記黒色層は、黒色無機顔料を含む顔料分散液を、前記焼結配線層上に重ねて塗布又は印刷することで形成されることを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the method for forming an electromagnetic wave shielding wiring circuit according to the second aspect, the black layer is formed by overlaying a pigment dispersion containing a black inorganic pigment on the sintered wiring layer. It is formed by coating or printing.

本発明の第4の態様は、前記第1から3のいずれかの態様に係る電磁波遮蔽用配線回路の形成方法において、前記塗布又は印刷は、インクジェット法又はスクリーン印刷法により行われることを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the method for forming an electromagnetic shielding wiring circuit according to any one of the first to third aspects, the coating or printing is performed by an ink jet method or a screen printing method. To do.

本発明の第5の態様は、 銅微粒子を、
(i)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)5〜90体積%と、常圧における沸点が20℃以上で、かつ、ドナー数が17以上の有機溶媒(B)5〜45体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)5〜90体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(A)〜(C)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S1)、
(ii)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)20〜95体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)5〜80体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(A)、(C)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S2)
iv)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)24〜64体積%と、常圧における沸点が20〜100℃である低沸点の有機溶媒(B)5〜39体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)30〜70体積%と、アミン系化合物を有する有機溶媒(E)1〜40体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(A)〜(C)、(E)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S4)、
(v)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)30〜94体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)30〜94体積%,アミン系化合物を有する有機溶媒(E)1〜40 体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(A)、(C)、(E)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S5)、及び
(vi)常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)80〜90体積%と、アミン系化合物を有する有機溶媒(E)10〜20体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(C)、(E)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S6)
から選択される分散媒(S)に分散させて銅微粒子分散液を調整する工程と、
前記銅微粒子分散液を、基板上に塗布又は印刷して、該銅微粒子分散液の液膜からなる配線パターンを形成する工程(a)と、
黒色無機顔料を含む顔料分散液を、前記銅微粒子分散液の液膜上に重ねて塗布又は印刷する工程(b)と、
前記銅微粒子分散液の液膜及び顔料分散液を焼成して、銅焼結層及び黒色層からなる2層構造の焼結配線を形成する工程と
を有することを特徴とする電磁波遮蔽用配線回路の形成方法である。
In a fifth aspect of the present invention, copper fine particles are
(I) 5 to 90% by volume of an organic solvent (A) having an amide compound, 5 to 45% by volume of an organic solvent (B) having a boiling point of 20 ° C. or higher at normal pressure and 17 or more donors, A dispersion medium having an organic solvent (C) of 5 to 90% by volume having a boiling point at normal pressure exceeding 100 ° C. and comprising alcohol and / or polyhydric alcohol, from the organic solvents (A) to (C) A dispersion medium (S1) containing 90% by volume or more of
(Ii) 20 to 95% by volume of an organic solvent (A) having an amide-based compound, 5 to 80% by volume of an organic solvent (C) having a boiling point exceeding 100 ° C. at normal pressure and comprising alcohol and / or a polyhydric alcohol A dispersion medium containing 90% by volume or more of the component consisting of the organic solvents (A) and (C) (S2) ,
( Iv) 24 to 64% by volume of an organic solvent (A) having an amide compound, 5 to 39% by volume of a low-boiling organic solvent (B) having a boiling point of 20 to 100 ° C. at normal pressure, and a boiling point at normal pressure There exceed 100 ° C., and met dispersion medium containing an alcohol and / or a polyhydric organic solvent (C) 30 to 70% by volume composed of an alcohol and an organic solvent (E) 1 to 40 vol% with an amine compound A dispersion medium (S4) containing 90% by volume or more of the component consisting of the organic solvents (A) to (C) and (E ),
(V) 30 to 94% by volume of an organic solvent (A) having an amide-based compound, and 30 to 94% by volume of an organic solvent (C) having a boiling point exceeding 100 ° C. at normal pressure and comprising an alcohol and / or a polyhydric alcohol. , A dispersion medium containing 1 to 40% by volume of an organic solvent (E) having an amine compound , wherein the component comprising the organic solvents (A), (C) and (E) is contained by 90% by volume or more. dispersion media are (S5), and (vi) a boiling point of greater than 100 ° C. at normal pressure, and alcohol and / or organic solvent (C) and 80 to 90 volume percent composed of polyhydric alcohols, organic solvents having an amine compound (E) Dispersion medium containing 10 to 20% by volume , wherein the dispersion medium (S6) contains 90% by volume or more of the organic solvent (C) and (E ).
A step of adjusting the copper fine particle dispersion by dispersing in a dispersion medium (S) selected from:
Applying or printing the copper fine particle dispersion on a substrate to form a wiring pattern comprising a liquid film of the copper fine particle dispersion; and
A step (b) of applying or printing a pigment dispersion containing a black inorganic pigment on the liquid film of the copper fine particle dispersion;
A wiring circuit for shielding electromagnetic waves, comprising: baking a liquid film of the copper fine particle dispersion and a pigment dispersion to form a sintered wiring having a two-layer structure including a copper sintered layer and a black layer. It is the formation method.

本発明の第6の態様は、前記第5の態様に係る電磁波遮蔽用配線回路の形成方法において、前記工程(a)の後に前記工程(b)を行うことを特徴とする請求項5に記載の電磁波遮蔽用配線回路の形成方法。   According to a sixth aspect of the present invention, in the method for forming an electromagnetic wave shielding wiring circuit according to the fifth aspect, the step (b) is performed after the step (a). Of forming a wiring circuit for shielding electromagnetic waves.

本発明の第7の態様は、前記第5または第6の態様に係る電磁波遮蔽用配線回路の形成方法において、前記塗布又は印刷は、インクジェット法又はスクリーン印刷法により行われることを特徴とする。   According to a seventh aspect of the present invention, in the method for forming an electromagnetic wave shielding wiring circuit according to the fifth or sixth aspect, the coating or printing is performed by an ink jet method or a screen printing method.

本発明の第8の態様は、前記第1から第7のいずれかの態様に係る電磁波遮蔽用配線回路の形成方法により形成された配線回路と、前記配線回路の上下面両方に設けられた保護フィルムとを有することを特徴とする電磁波遮蔽用シートである。   According to an eighth aspect of the present invention, there is provided a protection provided on both the wiring circuit formed by the electromagnetic shielding wiring circuit forming method according to any one of the first to seventh aspects and the upper and lower surfaces of the wiring circuit. An electromagnetic wave shielding sheet comprising a film.

本発明の電磁波遮蔽用配線回路の形成方法では、銅微粒子を、アミド系化合物を有する有機溶媒(A)と、常圧における沸点が20℃以上で、かつ、ドナー数が17以上の有機溶媒(B)と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)と、アミン系化合物を有する有機溶媒(E)とを特定の割合で含む分散媒(S)に分散させた銅微粒子分散液を使用して、電磁波遮蔽用配線回路を形成する。銅微粒子をこのような特定の有機溶媒を含む分散媒に分散させることで、銅微粒子の表面を高分子化合物で被覆することなく、あるいは、比較的少量の高分子化合物で被覆するのみで、微粒子の分散性を高めることができ、基板への塗布又は印刷を安定して行うことができる。そして、高分子化合物で表面が被覆されていない、あるいは比較的少量の高分子化合物で被覆された銅微粒子の分散液を使用することで、銅微粒子同士の焼結の阻害要因を排除又は低減することができ、低温焼成が可能となる。これより、耐熱温度の低いプラスチック基板への適用が可能となり、安価で且つエレクトロマイグレーションの生じない銅を使用した電磁波遮蔽用配線回路を実現することができる。本発明の電磁波遮蔽用配線回路の形成方法によって形成された電磁波遮蔽用配線回路は、低温焼成であっても導電性に優れ、良好なシールド性能を発揮することができる。また、本発明の電磁波遮蔽用配線回路の形成方法を適用することで、電磁波遮蔽用シートの製造コストを低減することができ、これを搭載するプラズマディスプレイパネル等の電子機器の低価格化に寄与することが可能となる。   In the method for forming an electromagnetic wave shielding wiring circuit of the present invention, copper fine particles are mixed with an organic solvent (A) having an amide compound and an organic solvent having a boiling point of 20 ° C. or higher at normal pressure and a donor number of 17 or higher. A dispersion medium containing B), an organic solvent (C) having a boiling point of more than 100 ° C. at normal pressure, and an alcohol and / or a polyhydric alcohol, and an organic solvent (E) having an amine compound in a specific ratio. Using the copper fine particle dispersion liquid dispersed in (S), an electromagnetic wave shielding wiring circuit is formed. By dispersing copper fine particles in a dispersion medium containing such a specific organic solvent, the fine particles can be obtained without coating the surface of the copper fine particles with a polymer compound or only with a relatively small amount of the polymer compound. The dispersibility of the resin can be improved, and coating or printing on the substrate can be performed stably. Then, by using a dispersion of copper fine particles that are not coated with a high molecular compound or coated with a relatively small amount of the high molecular compound, the inhibition factor of sintering between the copper fine particles is eliminated or reduced. And low temperature firing is possible. As a result, it can be applied to a plastic substrate having a low heat-resistant temperature, and an electromagnetic shielding wiring circuit using copper that is inexpensive and does not cause electromigration can be realized. The electromagnetic wave shielding wiring circuit formed by the method for forming an electromagnetic wave shielding wiring circuit of the present invention is excellent in conductivity even when fired at a low temperature, and can exhibit good shielding performance. In addition, by applying the method for forming an electromagnetic wave shielding wiring circuit according to the present invention, the manufacturing cost of the electromagnetic wave shielding sheet can be reduced, which contributes to lowering the cost of electronic equipment such as a plasma display panel on which the sheet is mounted. It becomes possible to do.

(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態に係る電磁波遮蔽用配線回路の形成方法は、
銅微粒子を、
(i)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)と、常圧における沸点が20℃以上で、かつ、ドナー数が17以上の有機溶媒(B)と、常圧における沸点が100℃を超え、且つ分子中に1又は2以上の水酸基を有するアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)とを含む分散媒(S1)、
(ii)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)と、常圧における沸点が100℃を超え、且つ分子中に1又は2以上の水酸基を有するアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)とを含む分散媒(S2)、
(iii)常圧における沸点が100℃を超え、且つ分子中に1又は2以上の水酸基を有するアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)を含む分散媒(S3)、
(iv)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)24〜64体積%と、常圧における沸点が20〜100℃である低沸点の有機溶媒(B)5〜39体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)30〜70体積%と、アミン系化合物を有する有機溶媒(E)1〜40体積%とを含む分散媒(S4)、
(v)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)30〜94体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)30〜94体積%,アミン系化合物を有する有機溶媒(E)1〜40 体積%とを含む分散媒(S5)、及び
(vi)常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)60〜99体積%と、アミン系化合物を有する有機溶媒(E)1〜40体積%とを含む分散媒(S6)
から選択される分散媒(S)に分散させて銅微粒子分散液を調整する工程と、
前記銅微粒子分散液を、基板上又は前記基板上に形成された黒色層上に塗布又は印刷して、該銅微粒子分散液の液膜からなる配線パターンを形成する工程と、
前記銅微粒子分散液の液膜を焼成して焼結配線層を形成する工程と
を必須の工程として含み、
さらに、必要に応じて、前記基板又は前記焼結配線層上に黒色層を形成する工程を含む。
以下に、本発明の第1の実施形態に係る電磁波遮蔽用配線回路の形成方法について説明する。
(First embodiment)
An electromagnetic shielding wiring circuit forming method according to the first embodiment of the present invention includes:
Copper fine particles
(I) an organic solvent (A) having an amide compound, an organic solvent (B) having a boiling point of 20 ° C. or higher at normal pressure and a donor number of 17 or higher, and a boiling point of 100 ° C. or higher at normal pressure; And a dispersion medium (S1) containing an organic solvent (C) composed of an alcohol having 1 or 2 or more hydroxyl groups in the molecule and / or a polyhydric alcohol,
(Ii) an organic solvent (C) having an amide compound and an organic solvent (C) having an alcohol and / or a polyhydric alcohol having a boiling point exceeding 100 ° C. and having one or more hydroxyl groups in the molecule. A dispersion medium (S2) containing
(Iii) Dispersion medium (S3) containing an organic solvent (C) consisting of an alcohol and / or a polyhydric alcohol having a boiling point at normal pressure exceeding 100 ° C. and having one or more hydroxyl groups in the molecule,
(Iv) 24 to 64% by volume of an organic solvent (A) having an amide compound, 5 to 39% by volume of a low boiling point organic solvent (B) having a boiling point of 20 to 100 ° C. at normal pressure, and a boiling point at normal pressure Is a dispersion medium (S4) containing 30 to 70% by volume of an organic solvent (C) composed of alcohol and / or polyhydric alcohol and 1 to 40% by volume of an organic solvent (E) having an amine compound. ),
(V) 30 to 94% by volume of an organic solvent (A) having an amide-based compound, and 30 to 94% by volume of an organic solvent (C) having a boiling point exceeding 100 ° C. at normal pressure and comprising an alcohol and / or a polyhydric alcohol. , A dispersion medium (S5) containing 1 to 40% by volume of an organic solvent (E) having an amine compound, and (vi) an organic solvent composed of an alcohol and / or a polyhydric alcohol having a boiling point exceeding 100 ° C. at normal pressure Dispersion medium (S6) containing 60 to 99% by volume of solvent (C) and 1 to 40% by volume of organic solvent (E) having an amine compound
A step of adjusting the copper fine particle dispersion by dispersing in a dispersion medium (S) selected from:
Applying or printing the copper fine particle dispersion on a substrate or a black layer formed on the substrate to form a wiring pattern comprising a liquid film of the copper fine particle dispersion; and
Including a step of firing the copper fine particle dispersion liquid film to form a sintered wiring layer as an essential step,
Furthermore, it includes a step of forming a black layer on the substrate or the sintered wiring layer as necessary.
Below, the formation method of the wiring circuit for electromagnetic wave shielding which concerns on the 1st Embodiment of this invention is demonstrated.

(銅微粒子分散液)
まず、本発明の銅微粒子分散液の各構成成分について説明する。
−銅微粒子−
本発明の銅微粒子は、銅、銅合金、及び銅化合物の微粒子を含み、銅化合物は、銅及び銅合金の酸化物を含む。遷移金属粒子である銅微粒子は、酸化物がまったく含まれないものは少なく、この場合の酸化レベルは微粒子生成時および保管時の雰囲気、温度、保持時間によりさまざまであるが、微粒子の最表面だけ薄く酸化されて内側は金属のままの場合、微粒子が殆ど酸化されている場合もある。本発明でいう銅化合物はこのようなさまざまな酸化状態の粒子をすべて含有する。
(Copper fine particle dispersion)
First, each component of the copper fine particle dispersion of the present invention will be described.
-Copper fine particles-
The copper fine particles of the present invention include fine particles of copper, a copper alloy, and a copper compound, and the copper compound contains an oxide of copper and a copper alloy. Copper particles that are transition metal particles do not contain any oxides at all, and the oxidation level in this case varies depending on the atmosphere, temperature, and holding time during particle generation and storage, but only the outermost surface of the particles. If it is thinly oxidized and the inside remains metal, the fine particles may be mostly oxidized. The copper compound referred to in the present invention contains all such particles in various oxidation states.

−有機溶媒(A)−
前記有機溶媒(A)は、アミド基(−CONH−)を有するアミド系化合物、又は、アミド系化合物を含む有機溶媒であり、分散媒中で分散性と保存安定性を向上し、更に銅微粒子を含有している状態で基板上に焼成した場合に基板密着性を向上する作用を有する。
-Organic solvent (A)-
The organic solvent (A) is an amide compound having an amide group (—CONH—) or an organic solvent containing an amide compound, which improves dispersibility and storage stability in a dispersion medium, and further provides copper fine particles. It has the effect | action which improves board | substrate adhesiveness, when it bakes on a board | substrate in the state containing this.

アミド系化合物は、特に比誘電率が高いものが好ましい。アミド系化合物として、N−メチルアセトアミド(191.3 at 32℃)、N−メチルホルムアミド(182.4 at 20℃)、N−メチルプロパンアミド(172.2 at 25℃)、ホルムアミド(111.0 at 20℃)、N,N−ジメチルアセトアミド(37.78 at 25℃)、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン(37.6 at 25℃)、N,N−ジメチルホルムアミド(36.7 at 25℃)、1−メチル−2−ピロリドン(32.58 at 25℃)、ヘキサメチルホスホリックトリアミド(29.0 at 0℃)、2−ピロリジノン、ε−カプロラクタム、アセトアミド等が挙げられ、これらを混合して使用することもできる。尚、上記アミド系化合物名の後の括弧中の数字は各溶媒の測定温度における比誘電率を示す。これらの中でも比誘電率が100以上である、N−メチルアセトアミド、N−メチルホルムアミド、ホルムアミド、アセトアミドなどが好適に使用できる。尚、N−メチルアセトアミド(融点:26〜28℃)のように常温で固体の場合には他の溶媒と混合して作業温度で液状として使用することができる。   As the amide compound, one having a particularly high relative dielectric constant is preferable. As amide compounds, N-methylacetamide (191.3 at 32 ° C), N-methylformamide (182.4 at 20 ° C), N-methylpropanamide (172.2 at 25 ° C), formamide (111.0 at 20 ° C), N, N -Dimethylacetamide (37.78 at 25 ° C), 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone (37.6 at 25 ° C), N, N-dimethylformamide (36.7 at 25 ° C), 1-methyl-2-pyrrolidone (32.58) at 25 ° C.), hexamethylphosphoric triamide (29.0 at 0 ° C.), 2-pyrrolidinone, ε-caprolactam, acetamide, and the like. The number in parentheses after the amide compound name indicates the relative dielectric constant at the measurement temperature of each solvent. Among these, N-methylacetamide, N-methylformamide, formamide, acetamide and the like having a relative dielectric constant of 100 or more can be preferably used. In addition, when it is solid at normal temperature like N-methylacetamide (melting point: 26-28 degreeC), it can mix with another solvent and can be used as a liquid state at working temperature.

−有機溶媒(B)−
有機溶媒(B)は、常圧における沸点が20℃以上で、かつ、ドナー数が17以上である有機化合物である。常圧における沸点が20℃未満であると、有機溶媒(B)を含む微粒子分散液を常温で保存した際、容易に有機溶媒(B)の成分が揮発し、分散液中の溶媒組成が変化してしまうおそれがある。また常圧における沸点は低い場合に、該溶媒添加による溶媒分子間の相互引力を低下させ、微粒子の分散性を更に向上させる効果が有効に発揮されることが期待できる。ドナー数が17よりも小さいと水よりも電子対供与性が低くなり、不純物として、水が混入した場合、銅粒子と水の相互作用の影響強くなり、粒子酸
化がおこりやすくなるので好ましくない。
-Organic solvent (B)-
The organic solvent (B) is an organic compound having a boiling point of 20 ° C. or higher at normal pressure and a donor number of 17 or higher. When the fine particle dispersion containing the organic solvent (B) is stored at room temperature when the boiling point at normal pressure is less than 20 ° C., the components of the organic solvent (B) easily volatilize and the solvent composition in the dispersion changes. There is a risk of it. In addition, when the boiling point at normal pressure is low, it can be expected that the effect of further reducing the dispersibility of the fine particles by reducing the mutual attractive force between solvent molecules due to the addition of the solvent can be expected. When the number of donors is less than 17, the electron pair donating property is lower than that of water, and when water is mixed as an impurity, the influence of the interaction between the copper particles and water becomes strong, and particle oxidation is liable to occur.

なお、常圧における沸点が200℃以下の場合に、該溶媒添加による溶媒分子間の相互引力を低下させ、微粒子の分散性を更に向上させる効果が有効に発揮されることが期待できる。   In addition, when the boiling point in a normal pressure is 200 degrees C or less, it can be anticipated that the effect of reducing the mutual attractive force between solvent molecules by adding the solvent and further improving the dispersibility of the fine particles can be expected.

また、電子供与性が高い場合には、銅粒子ならびにその周囲に配位した分子に電子を供与し、銅粒子の負の帯電性を拡大し、粒子間の静電反発力を大きくする効果を有する。有機溶媒(B)の中でも特にエーテル系化合物(B1)が、沸点、ドナー数のバランスがよく、その溶媒分子間の相互作用を低減し、電子供与する効果が大きいことから好ましい。   In addition, when the electron donating property is high, the electrons are donated to the copper particles and molecules coordinated around the copper particles, and the negative chargeability of the copper particles is expanded, and the electrostatic repulsive force between the particles is increased. Have. Among the organic solvents (B), the ether compound (B1) is particularly preferable because it has a good balance between the boiling point and the number of donors, reduces the interaction between the solvent molecules, and has a large effect of donating electrons.

また、有機溶媒(B)を使用すると、超音波等の照射により微粒子分散液を調製する際に撹拌時間を著しく短縮する、例えば1/2程度に短縮することが可能である。また、混合有機溶媒中に有機溶媒(B)が存在していると一旦、微粒子が凝集状態になってもより容易に再分散させることが可能である。   Further, when the organic solvent (B) is used, it is possible to remarkably shorten the stirring time when preparing the fine particle dispersion by irradiation with ultrasonic waves, for example, to about 1/2. Further, when the organic solvent (B) is present in the mixed organic solvent, it can be easily redispersed even if the fine particles once become an aggregated state.

有機溶媒(B)として、一般式R1−O−R2(R1、R2は、それぞれ独立にアルキル基で、炭素原子数は1〜4である。)で表されるエーテル系化合物(B1)、一般式R3−OH(R3は、アルキル基で、炭素原子数は1〜4である。)で表されるアルコール(B2)、一般式R4−C(=O)−R5(R4、R5は、それぞれ独立にアルキル基で、炭素原子数は1〜2である。)で表されるケトン系化合物(B3)、及び一般式R6−(N-R7)−R8(R6、R7、R8は、それぞれ独立にアルキル基、又は水素原子で、炭素原子数は0〜2である。)で表されるアミン系化合物(B4)が例示できる。以下に上記有機溶媒(B)を例示するが、化合物名の後のカッコ内の数字は常圧における沸点を示す。   As the organic solvent (B), an ether compound (B1) represented by the general formula R1-O-R2 (R1 and R2 each independently represents an alkyl group and has 1 to 4 carbon atoms), Alcohol (B2) represented by formula R3-OH (R3 is an alkyl group and has 1 to 4 carbon atoms), general formula R4-C (= O) -R5 (R4 and R5 are respectively And a ketone compound (B3) represented by an alkyl group independently having 1 to 2 carbon atoms) and a general formula R6- (N-R7) -R8 (R6, R7, R8 are each independently And an amine group compound (B4) represented by an alkyl group or a hydrogen atom and having 0 to 2 carbon atoms. Examples of the organic solvent (B) are shown below, but the number in parentheses after the compound name indicates the boiling point at normal pressure.

前記エーテル系化合物(B1)としては、ジエチルエーテル(35℃)、メチルプロピルエーテル(31℃)、ジプロピルエーテル(89℃)、ジイソプロピルエーテル(68℃)、メチル-t-ブチルエーテル(55.3℃)、t-アミルメチルエーテル(85℃)、ジビニルエーテル(28.5℃)、エチルビニルエーテル(36℃)、アリルエーテル(94℃)等が例示出来る。   Examples of the ether compound (B1) include diethyl ether (35 ° C.), methyl propyl ether (31 ° C.), dipropyl ether (89 ° C.), diisopropyl ether (68 ° C.), methyl t-butyl ether (55.3 ° C.). ), T-amyl methyl ether (85 ° C.), divinyl ether (28.5 ° C.), ethyl vinyl ether (36 ° C.), allyl ether (94 ° C.) and the like.

前記アルコール(B2)としては、メタノール(64.7℃)、エタノール(78.0℃)、1−プロパノール(97.15℃)、2−プロパノール(82.4℃)、2−ブタノール(100℃)、2−メチル2−プロパノール(83℃)等が例示できる。   As said alcohol (B2), methanol (64.7 degreeC), ethanol (78.0 degreeC), 1-propanol (97.15 degreeC), 2-propanol (82.4 degreeC), 2-butanol (100 degreeC) ), 2-methyl 2-propanol (83 ° C.) and the like.

前記ケトン系化合物(B3)としては、アセトン(56.5℃)、メチルエチルケトン(79.5℃)、ジエチルケトン(100℃)等が例示できる。
また、前記アミン系化合物(B4)としては、トリエチルアミン(89.7℃)、ジエチルアミン(55.5℃)等が例示できる。
Examples of the ketone compound (B3) include acetone (56.5 ° C.), methyl ethyl ketone (79.5 ° C.), diethyl ketone (100 ° C.) and the like.
Examples of the amine compound (B4) include triethylamine (89.7 ° C.) and diethylamine (55.5 ° C.).

−有機溶媒(C)−
有機溶媒(C)は、常圧における沸点が100℃を超える、分子中に1又は2以上の水酸基を有するアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機化合物であるが、この場合、アルコールと多価アルコールは共に常圧における沸点が100℃を超えるものである。また、炭素数が5以上のアルコール、及び炭素数が2以上の多価アルコールが好ましく、常温で液状であり、比誘電率が高いもの、例えば10以上のものが好ましい。
-Organic solvent (C)-
The organic solvent (C) is an organic compound composed of an alcohol and / or a polyhydric alcohol having a boiling point exceeding 100 ° C. and having one or two or more hydroxyl groups in the molecule. Both alcohols have boiling points exceeding 100 ° C. at normal pressure. Further, alcohols having 5 or more carbon atoms and polyhydric alcohols having 2 or more carbon atoms are preferable, and those having a high relative dielectric constant, such as those having 10 or more, are liquid at room temperature.

有機溶媒(A)と有機溶媒(B)とを含有する混合有機溶媒は、撹拌により優れた分散性を有するが、一般的に有機溶媒において時間の経過により微粒子同士が凝着する傾向がある。有機溶媒(C)を混合有機溶媒中に存在させるとこのような接合をより効果的に抑制して、銅微粒子の分散性の向上、及び、分散液の長期安定性化を図ることが可能になるとともに、最終的に得られる焼結配線の均一性を向上させることができる。また、有機溶媒(C)は、加熱分解時に還元性物質を発生し、銅微粒子の酸化被膜を還元することができるので、後述する焼成工程において、還元性ガス雰囲気を必要としないという利点を有する。   The mixed organic solvent containing the organic solvent (A) and the organic solvent (B) has excellent dispersibility by stirring, but generally the fine particles tend to adhere to each other over time in the organic solvent. When the organic solvent (C) is present in the mixed organic solvent, it is possible to suppress such bonding more effectively, thereby improving the dispersibility of the copper fine particles and improving the long-term stability of the dispersion. In addition, the uniformity of the finally obtained sintered wiring can be improved. In addition, the organic solvent (C) has an advantage that a reducing gas atmosphere is not required in the firing step described later because a reducing substance can be generated at the time of thermal decomposition and the oxide film of the copper fine particles can be reduced. .

有機溶媒(C)の具体例として、エチレングリコ−ル、ジエチレングリコ−ル、1,2−プロパンジオ−ル、1,3−プロパンジオ−ル、1,2−ブタンジオ−ル、1,3−ブタンジオ−ル、1,4−ブタンジオ−ル、2−ブテン−1,4−ジオール、2,3−ブタンジオ−ル、ペンタンジオ−ル、ヘキサンジオ−ル、オクタンジオ−ル、グリセロール、1,1,1−トリスヒドロキシメチルエタン、2−エチル−2−ヒドロキシメチル−1,3−プロパンジオール、1,2,6−ヘキサントリオール、1,2,3−ヘキサントリオール、1,2,4−ブタントリオール等が例示できる。   Specific examples of the organic solvent (C) include ethylene glycol, diethylene glycol, 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, 1,2-butanediol, 1,3-butanediol. -L, 1,4-butanediol, 2-butene-1,4-diol, 2,3-butanediol, pentanediol, hexanediol, octanediol, glycerol, 1,1,1-tris Examples include hydroxymethylethane, 2-ethyl-2-hydroxymethyl-1,3-propanediol, 1,2,6-hexanetriol, 1,2,3-hexanetriol, 1,2,4-butanetriol and the like. .

また、トレイトール(D-Threitol)、エリトリト−ル(Erythritol)、ペンタエリスリト−ル(Pentaerythritol)、ペンチト−ル(Pentitol)、ヘキシト−ル(Hexitol)等の糖アルコ−ル類も使用可能であり、ペンチトールには、キシリトール(Xylitol)、リビトール(Ribitol)、アラビトール(Arabitol)が含まれる。前記ヘキシトールには、マンニトール(Mannitol)、ソルビトール(Sorbitol)、ズルシトール(Dulcitol)等が含まれる。更に、グリセリンアルデヒド(Glyceric aldehyde)、ジオキシアセトン(Dioxy-acetone)、トレオース(threose)、エリトルロース(Erythrulose)、エリトロース(Erythrose)、アラビノース(Arabinose)、リボース(Ribose)、リブロース(Ribulose)、キシロース(Xylose)、キシルロース(Xylulose)、リキソース(Lyxose)、グルコ−ス(Glucose)、フルクト−ス(Fructose)、マンノース(Mannose)、イドース(Idose)、ソルボース(Sorbose)、グロース(Gulose)、タロース(Talose)、タガトース(Tagatose)、ガラクトース(Galactose)、アロース(Allose)、アルトロース(Altrose)、ラクト−ス(Lactose)、キシロ−ス(Xylose)、アラビノ−ス(Arabinose)、イソマルト−ス(Isomaltose)、グルコヘプト−ス(Gluco-heptose)、ヘプト−ス(Heptose)、マルトトリオース(Maltotriose)、ラクツロース(Lactulose)、トレハロース(Trehalose)、等の糖類も使用可能である。   Sugar alcohols such as D-Threitol, Erythritol, Pentaerythritol, Pentitol and Hexitol can also be used. Yes, pentitol includes xylitol, ribitol, and arabitol. Examples of hexitol include mannitol, sorbitol, dulcitol and the like. Furthermore, glyceraldehyde (Glyceric aldehyde), dioxyacetone (Dioxy-acetone), threose (threose), erythrulose (Erythrulose), erythrose (Erythrose), arabinose (Arabinose), ribose (Ribose), ribulose (Ribulose), xylose ( Xylose, Xylulose, Lyxose, Glucose, Fructose, Mannose, Idose, Sorbose, Gulose, Talose ), Tagatose, Galactose, Allose, Altrose, Lactose, Xylose, Arabinose, Isomaltose Sugars such as Gluco-heptose, Heptose, Maltotriose, Lactulose, and Trehalose can also be used.

上記アルコール類のなかでは、分子中に2個以上のヒドロキシル基を有する多価アルコールがより好ましく、エチレングリコール(Ethylene glycol)及びグリセリン(Glycerin)が特に好ましい。   Among the alcohols, polyhydric alcohols having two or more hydroxyl groups in the molecule are more preferable, and ethylene glycol (Ethylene glycol) and glycerin (Glycerin) are particularly preferable.

−有機溶媒(E)−
有機溶媒(E)は、常圧における沸点が20℃以上である、脂肪族第一アミン、脂肪族第二アミン、脂肪族第三アミン、脂肪族不飽和アミン、脂環式アミン、芳香族アミン及びアルカノールアミンの中から選択される1種又は2種以上のアミン系化合物、又は、これらアミン系化合物を含む有機溶媒である。
-Organic solvent (E)-
The organic solvent (E) is an aliphatic primary amine, aliphatic secondary amine, aliphatic tertiary amine, aliphatic unsaturated amine, alicyclic amine, aromatic amine having a boiling point of 20 ° C. or higher at normal pressure. And one or more amine compounds selected from alkanolamines, or an organic solvent containing these amine compounds.

アミン系化合物としては、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、n-プロピルアミン、n-ブチルアミン、t-プロピルアミン、t-ブチルアミン、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、テトラメチレンジアミン、テトラメチルプロピレンジアミン、ペンタメチルジエチレントリアミン、モノ−nオクチルアミン、モノ−2エチルヘキシルアミン、ジ−nオクチルアミン、ジ−2エチルヘキシルアミン、トリ−nオクチルアミン、トリ−2エチルヘキシルアミン、トリイソブチルアミン、トリヘキシルアミン、トリイソオクチルアミン、トリイソノニルアミン、トリフェニルアミン、ジメチルココナットアミン、ジメチルオクチルアミン、ジメチルデシルアミン、ジメチルラウリルアミン、ジメチルミリスチルアミン、ジメチルパルミチルアミン、ジメチルステアリルアミン、ジメチルベヘニルアミン、ジラウリルモノメチルアミン、ジイソプロピルエチルアミン、メタノールアミン、ジメタノールアミン、トリメタノールアミン、エタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、プロパノールアミン、イソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、ブタノールアミン、N−メチルエタノールアミン、N−メチルジエタノールアミン、N,N−ジメチルエタノールアミン、N−エチルエタノールアミン、N−エチルジエタノールアミン、N,N−ジエチルエタノールアミン、N−n−ブチルエタノールアミン、N−n−ブチルジエタノールアミン、および2−(2−アミノエトキシ)エタノール等が例示できる。
アミン系化合物が常温で気体又は固体の場合には、他の溶媒に溶解して作業温度で液体として使用することができる。
As amine compounds, methylamine, dimethylamine, trimethylamine, ethylamine, diethylamine, triethylamine, n-propylamine, n-butylamine, t-propylamine, t-butylamine, ethylenediamine, propylenediamine, tetramethylenediamine, tetramethylpropylene Diamine, pentamethyldiethylenetriamine, mono-n octylamine, mono-2ethylhexylamine, di-noctylamine, di-2ethylhexylamine, tri-noctylamine, tri-2ethylhexylamine, triisobutylamine, trihexylamine, Triisooctylamine, triisononylamine, triphenylamine, dimethyl coconutamine, dimethyloctylamine, dimethyldecylamine, dimethyllaur Ruamine, dimethylmyristylamine, dimethylpalmitylamine, dimethylstearylamine, dimethylbehenylamine, dilaurylmonomethylamine, diisopropylethylamine, methanolamine, dimethanolamine, trimethanolamine, ethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, propanolamine, Isopropanolamine, diisopropanolamine, triisopropanolamine, butanolamine, N-methylethanolamine, N-methyldiethanolamine, N, N-dimethylethanolamine, N-ethylethanolamine, N-ethyldiethanolamine, N, N-diethylethanol Amines, Nn-butylethanolamine, Nn-butyldiethanolamine, and 2- (2-a Examples include minoethoxy) ethanol and the like.
When the amine compound is a gas or a solid at room temperature, it can be dissolved in another solvent and used as a liquid at the working temperature.

―分散媒(S)−
分散媒(S)は、以下の分散媒(S1)〜(S2)のいずれかから選択される。
-Dispersion medium (S)-
The dispersion medium (S) is selected from any of the following dispersion media (S1) to (S2).

−分散媒(S1)−
分散媒(S1)は、上記有機溶媒(A)と、上記有機溶媒(B)と、上記有機溶媒(C)とを含む混合有機溶媒である。分散媒(S1)中の各有機溶媒の配合量は、有機溶媒(A)が5〜90体積%、有機溶媒(B)が5〜45体積%、有機溶媒(C)が5〜90体積%であることが好ましい。
-Dispersion medium (S1)-
The dispersion medium (S1) is a mixed organic solvent containing the organic solvent (A), the organic solvent (B), and the organic solvent (C). The amount of each organic solvent in the dispersion medium (S1) is 5 to 90% by volume for the organic solvent (A), 5 to 45% by volume for the organic solvent (B), and 5 to 90% by volume for the organic solvent (C). It is preferable that

有機溶媒(A)、有機溶媒(B)、及び有機溶媒(C)から前記配合割合で100体積%となるように配合されていてもよく、また前記配合割合の範囲内で、更に本発明の効果を損なわない範囲で他の有機溶媒成分を配合してもよいが、この場合、有機溶媒(A)、有機溶媒(B)、及び有機溶媒(C)からなる成分が90体積%以上含まれていることが好ましく、95体積%以上がより好ましい。   The organic solvent (A), the organic solvent (B), and the organic solvent (C) may be blended so that the blending ratio is 100% by volume, and further within the range of the blending ratio, Other organic solvent components may be blended within a range that does not impair the effect. In this case, 90% by volume or more of the component consisting of the organic solvent (A), the organic solvent (B), and the organic solvent (C) is included. It is preferable that it is 95 volume% or more.

上記以外の他の有機溶媒成分を配合する場合には、テトラヒドロフラン、ジグライム、エチレンカルボナート、プロピレンカルボナート、スルホラン、ジメチルスルホキシド等の極性有機溶媒を使用することが好ましい。   When other organic solvent components other than the above are blended, it is preferable to use polar organic solvents such as tetrahydrofuran, diglyme, ethylene carbonate, propylene carbonate, sulfolane, dimethyl sulfoxide and the like.

銅微粒子を、このような特定の有機溶媒(A)、有機溶媒(B)、及び有機溶媒(C)を含む分散媒(S1)に分散させることで、表面に高分子化合物が実質的に存在しないか、又は、高分子分散剤(D)と銅微粒子(P)との重量比(D/P)が0<D/P<0.01の範囲で、表面に高分子分散剤(D)が付着している銅微粒子であっても、微粒子の分散性を高めることができる。このような、表面に高分子化合物が実質的に存在しないか、又は、ごく少量の高分子化合物が付着した銅微粒子の分散液を使用することで、銅微粒子同士の焼結の阻害要因を排除又は低減することができるので、後述する焼成工程において、低温焼成が可能となる。そして、分散媒(S1)を用いた銅微粒子分散液を、被塗布体上に塗布、焼成することにより、低温焼成であっても導電性が高く、且つ、被塗布体に対する密着性に優れた焼結体を得ることができる。   By dispersing the copper fine particles in the dispersion medium (S1) containing such a specific organic solvent (A), organic solvent (B), and organic solvent (C), a polymer compound is substantially present on the surface. Or the weight ratio (D / P) of the polymer dispersant (D) to the copper fine particles (P) is in the range of 0 <D / P <0.01, and the polymer dispersant (D) on the surface Even if the copper fine particles are attached, the dispersibility of the fine particles can be improved. By using a dispersion of copper fine particles that are substantially free of polymer compounds on the surface or that have a very small amount of high-molecular compound attached thereto, the factors that inhibit sintering of copper fine particles are eliminated. Alternatively, since it can be reduced, low-temperature firing is possible in the firing step described later. And, by applying and baking the copper fine particle dispersion using the dispersion medium (S1) on the object to be coated, the electroconductivity is high even in low-temperature firing and excellent adhesion to the object to be coated. A sintered body can be obtained.

このような特徴を効果的に発揮するには、分散媒(S1)中の有機溶媒(A)の配合量は、50〜90体積%がより好ましく、60〜80体積%が更に好ましい、有機溶媒(B)の配合量は、5〜40体積%がより好ましく、10〜30体積%が更に好ましく、また、有機溶媒(C)の配合量は、5〜45体積%がより好ましく、10〜30体積%が更に好ましい。   In order to effectively exhibit such characteristics, the amount of the organic solvent (A) in the dispersion medium (S1) is more preferably 50 to 90% by volume, and further preferably 60 to 80% by volume. The blending amount of (B) is more preferably 5 to 40% by volume, still more preferably 10 to 30% by volume, and the blending amount of the organic solvent (C) is more preferably 5 to 45% by volume, and 10 to 30%. Volume% is more preferable.

−分散媒(S2)−
分散媒(S2)は、上記有機溶媒(A)と、上記有機溶媒(C)とを含む混合有機溶媒である。分散媒(S2)中の各有機溶媒の配合量は、有機溶媒(A)が5〜95体積%、有機溶媒(C)が5〜95体積%であることが好ましい。
-Dispersion medium (S2)-
The dispersion medium (S2) is a mixed organic solvent containing the organic solvent (A) and the organic solvent (C). The blending amount of each organic solvent in the dispersion medium (S2) is preferably 5 to 95% by volume for the organic solvent (A) and 5 to 95% by volume for the organic solvent (C).

分散媒(S2)中で、有機溶媒(A)及び有機溶媒(C)が前記配合割合で100体積%となるように配合されていてもよく、また前記配合割合の範囲内で更に、本発明の効果を損なわない範囲で他の有機溶媒成分を配合してもよい。この場合、有機溶媒(A)及び有機溶媒(C)からなる成分が90体積%以上含まれることが好ましく、95体積%以上がより好ましい。   In the dispersion medium (S2), the organic solvent (A) and the organic solvent (C) may be blended so that the blending ratio is 100% by volume, and further within the range of the blending ratio, the present invention. You may mix | blend another organic solvent component in the range which does not impair the effect of this. In this case, it is preferable that the component which consists of an organic solvent (A) and an organic solvent (C) is 90 volume% or more, and 95 volume% or more is more preferable.

上記以外の他の有機溶媒成分を配合する場合には、テトラヒドロフラン、ジグライム、エチレンカルボナート、プロピレンカルボナート、スルホラン、ジメチルスルホキシド、等の極性有機溶媒が使用できる。   When other organic solvent components other than the above are blended, polar organic solvents such as tetrahydrofuran, diglyme, ethylene carbonate, propylene carbonate, sulfolane and dimethyl sulfoxide can be used.

銅微粒子を、このような特定の有機溶媒(A)及び有機溶媒(C)を含む分散媒(S2)に分散させることで、上記分散媒(S1)と同様に、微粒子の分散性を高めることができ、後述する焼成工程において、低温焼成が可能である。さらに、低温焼成であっても導電性が高く、且つ、被塗布体に対する密着性に優れた焼結体を得ることができる。   By dispersing the copper fine particles in the dispersion medium (S2) containing such a specific organic solvent (A) and organic solvent (C), the dispersibility of the fine particles can be improved in the same manner as the dispersion medium (S1). In the firing step described later, low temperature firing is possible. Furthermore, even if it is low-temperature baking, the electroconductivity and the sintered compact which was excellent in the adhesiveness with respect to a to-be-coated body can be obtained.

このような特徴を効果的に発揮するには、分散媒(S2)中の有機溶媒(A)の配合量は、50〜90体積%がより好ましく、60〜80体積%が更に好ましい、また、有機溶媒(C)の配合量は、10〜50体積%がより好ましく、20〜40体積%が更に好ましい。   In order to effectively exhibit such characteristics, the blending amount of the organic solvent (A) in the dispersion medium (S2) is more preferably 50 to 90% by volume, and further preferably 60 to 80% by volume. 10-50 volume% is more preferable, and, as for the compounding quantity of an organic solvent (C), 20-40 volume% is still more preferable.

−分散媒(S3)−
分散媒(S3)は、上記有機溶媒(C)を含む有機溶媒である。分散媒(S3)は、前記有機溶媒(S1)と有機溶媒(S2)と比較して、分散性に多少劣るものの、後述する焼成工程において、低温焼成が可能であり、低温焼成であっても導電性の高い焼結体を得ることができる。
-Dispersion medium (S3)-
The dispersion medium (S3) is an organic solvent containing the organic solvent (C). Although the dispersion medium (S3) is somewhat inferior in dispersibility as compared with the organic solvent (S1) and the organic solvent (S2), the dispersion medium (S3) can be fired at a low temperature in the firing step described later. A highly conductive sintered body can be obtained.

−分散媒(S4)−
分散媒(S4)は、上記有機溶媒(A)24〜64体積%と、上記有機溶媒(B)5〜39体積%と、上記有機溶媒(C)30〜70体積%及び上記有機溶媒(E)1〜40体積%とを含む混合有機溶媒である。
-Dispersion medium (S4)-
The dispersion medium (S4) comprises 24 to 64% by volume of the organic solvent (A), 5 to 39% by volume of the organic solvent (B), 30 to 70% by volume of the organic solvent (C), and the organic solvent (E ) A mixed organic solvent containing 1 to 40% by volume.

有機溶媒(A)、有機溶媒(B)、有機溶媒(C)及び有機溶媒(E)から前記配合割合で100体積%となるように配合されていてもよく、また前記配合割合の範囲内で、更に本発明の効果を損なわない範囲で他の有機溶媒成分を配合してもよい。この場合、有機溶媒(A)、有機溶媒(B)、有機溶媒(C)及び有機溶媒(E)からなる成分が90体積%以上含まれていることが好ましく、95体積%以上がより好ましい。
上記以外の他の有機溶媒成分を配合する場合には、テトラヒドロフラン、ジグライム、エチレンカルボナート、プロピレンカルボナート、スルホラン、ジメチルスルホキシド等の極性有機溶媒を使用することが好ましい。
The organic solvent (A), the organic solvent (B), the organic solvent (C), and the organic solvent (E) may be blended so that the blending ratio is 100% by volume, and within the blending ratio range. Furthermore, you may mix | blend another organic solvent component in the range which does not impair the effect of this invention. In this case, it is preferable that the component which consists of an organic solvent (A), an organic solvent (B), an organic solvent (C), and an organic solvent (E) is contained 90 volume% or more, and 95 volume% or more is more preferable.
When other organic solvent components other than the above are blended, it is preferable to use polar organic solvents such as tetrahydrofuran, diglyme, ethylene carbonate, propylene carbonate, sulfolane, dimethyl sulfoxide and the like.

−分散媒(S5)−
分散媒(S5)は、上記有機溶媒(A)30〜94体積%と、上記有機溶媒(C)30〜94体積%及び,上記有機溶媒(E)1〜40 体積%とを含む混合有機溶媒である。有機溶媒(A)が30体積%未満では、極性有機溶媒における金属等の微粒子(P)の分散性と保存安定性が不十分になるおそれがある。
-Dispersion medium (S5)-
The dispersion medium (S5) is a mixed organic solvent containing 30 to 94% by volume of the organic solvent (A), 30 to 94% by volume of the organic solvent (C), and 1 to 40% by volume of the organic solvent (E). It is. If the organic solvent (A) is less than 30% by volume, the dispersibility and storage stability of the fine particles (P) such as metals in the polar organic solvent may be insufficient.

有機溶媒(C)は、分散媒(S5)中に30体積%以上含まれていることが必要である。有機溶媒(C)をこのような配合割合とすることにより、分散媒(S5)において、長期間保存しても銅微粒子(P)が凝集するのを抑制して分散安定性がより向上し、またその微粒子分散液を焼結した際に得られる焼成膜の緻密性および導電性もより向上する。   The organic solvent (C) needs to be contained in the dispersion medium (S5) in an amount of 30% by volume or more. By setting the organic solvent (C) to such a blending ratio, the dispersion medium (S5) suppresses aggregation of the copper fine particles (P) even when stored for a long period of time, and the dispersion stability is further improved. Further, the denseness and conductivity of the fired film obtained when the fine particle dispersion is sintered are further improved.

有機溶媒(E)は、分散媒(S5)中に1〜40体積%含まれていることが必要である。有機溶媒(E)をこのような配合割合とすることにより、分散媒(S5)において、分散粒子の溶媒に対する親和性が向上するため、長期間保存しても銅微粒子(P)が凝集するのを抑制して分散安定性がより向上する。   The organic solvent (E) needs to be contained in 1 to 40% by volume in the dispersion medium (S5). By setting the organic solvent (E) to such a blending ratio, the affinity of the dispersed particles for the solvent is improved in the dispersion medium (S5), so that the copper fine particles (P) aggregate even if stored for a long period of time. And the dispersion stability is further improved.

なお、分散媒(S5)では、有機溶媒(C)および(E)を共存させるため、有機溶媒(C)および(E)のそれぞれの一部が、分散媒(S5)中で銅微粒子(P)表面を覆うようにして存在していると考えられる。よって、有機溶媒(C)が分散媒(S5)において、その微粒子分散液を焼結した際に得られる焼成膜の緻密性および導電性をより向上する作用を発揮するには、有機溶媒(C)を30体積%以上配合することが必要であり、よって、上述したような効果を発するためには、有機溶媒(A)を30〜94体積%とする必要がある。   In the dispersion medium (S5), since the organic solvents (C) and (E) coexist, a part of each of the organic solvents (C) and (E) is made of copper fine particles (P ) It is considered to exist so as to cover the surface. Therefore, in order for the organic solvent (C) to exhibit the effect of further improving the denseness and conductivity of the fired film obtained when the fine particle dispersion is sintered in the dispersion medium (S5), the organic solvent (C ) In an amount of 30% by volume or more. Therefore, in order to produce the above-described effects, the organic solvent (A) needs to be 30 to 94% by volume.

有機溶媒(A)、有機溶媒(C)及び有機溶媒(E)から前記配合割合で100体積%となるように配合されていてもよく、また前記配合割合の範囲内で、更に本発明の効果を損なわない範囲で他の有機溶媒成分を配合してもよい。この場合、有機溶媒(A)、有機溶媒(C)及び有機溶媒(E)からなる成分が90体積%以上含まれていることが好ましく、95体積%以上がより好ましい。
上記以外の他の有機溶媒成分を配合する場合には、テトラヒドロフラン、ジグライム、エチレンカルボナート、プロピレンカルボナート、スルホラン、ジメチルスルホキシド等の極性有機溶媒を使用することが好ましい。
The organic solvent (A), the organic solvent (C), and the organic solvent (E) may be blended so that the blending ratio is 100% by volume, and further within the range of the blending ratio, the effect of the present invention is further achieved. You may mix | blend another organic solvent component in the range which does not impair. In this case, it is preferable that the component which consists of an organic solvent (A), an organic solvent (C), and an organic solvent (E) is contained 90 volume% or more, and 95 volume% or more is more preferable.
When other organic solvent components other than the above are blended, it is preferable to use polar organic solvents such as tetrahydrofuran, diglyme, ethylene carbonate, propylene carbonate, sulfolane, dimethyl sulfoxide and the like.

−分散媒(S6)−
分散媒(S6)は、上記有機溶媒(C)60〜99体積%及び上記有機溶媒(E)1〜40体積%を含む混合有機溶媒である。
-Dispersion medium (S6)-
The dispersion medium (S6) is a mixed organic solvent containing 60 to 99% by volume of the organic solvent (C) and 1 to 40% by volume of the organic solvent (E).

有機溶媒(C)及び有機溶媒(E)(D)から前記配合割合で100体積%となるように配合されていてもよく、また前記配合割合の範囲内で、更に本発明の効果を損なわない範囲で他の有機溶媒成分を配合してもよい。この場合、有機溶媒(C)及び有機溶媒(E)からなる成分が90体積%以上含まれていることが好ましく、95体積%以上がより好ましい。   It may be blended from the organic solvent (C) and the organic solvent (E) (D) so that the blending ratio is 100% by volume, and the effect of the present invention is not further impaired within the blending ratio. You may mix | blend another organic-solvent component in the range. In this case, it is preferable that the component which consists of an organic solvent (C) and an organic solvent (E) is 90 volume% or more, and 95 volume% or more is more preferable.

有機溶媒(C)は、分散媒(S6)中に60体積%以上含まれていることが必要である。有機溶媒(C)をこのような配合割合とすることにより、分散媒(S6)において、長期間保存しても銅微粒子(P)が凝集するのを抑制して分散安定性がより向上し、またその微粒子分散液を焼結した際に得られる焼成膜の緻密性および導電性もより向上する。   The organic solvent (C) needs to be contained in the dispersion medium (S6) in an amount of 60% by volume or more. By setting the organic solvent (C) to such a blending ratio, in the dispersion medium (S6), the dispersion of the copper fine particles (P) is suppressed even when stored for a long period of time, and the dispersion stability is further improved. Further, the denseness and conductivity of the fired film obtained when the fine particle dispersion is sintered are further improved.

有機溶媒(E)は、分散媒(S6)中に1〜40体積%含まれていることが必要である。有機溶媒(D)をこのような配合割合とすることにより、分散媒(S6)において、分散粒子の溶媒に対する親和性が向上するため、長期間保存しても銅微粒子(P)が凝集するのを抑制して分散安定性がより向上する。   The organic solvent (E) needs to be contained in 1 to 40% by volume in the dispersion medium (S6). By setting the organic solvent (D) to such a mixing ratio, the affinity of the dispersed particles for the solvent is improved in the dispersion medium (S6), so that the copper fine particles (P) are aggregated even if stored for a long period of time. And the dispersion stability is further improved.

分散媒(S1)〜(S6)は、有機溶媒(C)を含むことで、加熱分解時に還元性物質を発生し、銅微粒子の酸化被膜を還元することができるので、焼成工程において、還元性ガス雰囲気を必要としないという効果を奏する。そして、有機溶媒(C)を含む銅微粒子分散液を、被塗布体に塗布、焼成した際には、有機溶媒(C)の有する高い分散能及び還元促進能により、焼結体の均一性及び導電性を向上させることができる。
また、有機溶媒(A)と有機溶媒(B)とを含有する混合有機溶媒は、撹拌により優れた分散性を有するが、一般に有機溶媒において時間の経過により微粒子同士が接合する傾向にある。有機溶媒(C)を分散媒中に存在させると、このような接合をより効果的に抑制して、銅微粒子の分散性の向上及び、分散液の長期安定性化を図ることが可能になる。
Since the dispersion media (S1) to (S6) contain the organic solvent (C), a reducing substance can be generated at the time of thermal decomposition and the oxide film of the copper fine particles can be reduced. There is an effect that a gas atmosphere is not required. And, when the copper fine particle dispersion containing the organic solvent (C) is applied to the object to be coated and fired, the uniformity of the sintered body and the high dispersibility and reduction promoting ability of the organic solvent (C) The conductivity can be improved.
Moreover, the mixed organic solvent containing the organic solvent (A) and the organic solvent (B) has excellent dispersibility by stirring, but generally the fine particles tend to be joined to each other over time in the organic solvent. When the organic solvent (C) is present in the dispersion medium, it is possible to more effectively suppress such bonding, thereby improving the dispersibility of the copper fine particles and improving the long-term stability of the dispersion. .

本発明で使用する分散媒(S1)及び(S2)においては、実用的には、有機溶媒(C)濃度を20〜90体積%程度とするのがより好ましい。分散媒(S4)、(S5)においては、有機溶媒(A)及び有機溶媒(E)が共存し、かつ、得られる焼成膜の緻密性および導電性をより向上する作用を発揮するには、有機溶媒(C)を30〜60体積%以上配合することが必要である。また、分散媒(S6)においては、有機溶媒(E)との共存により、実用的には、有機溶媒(C)濃度を70〜90体積%程度とするのがより好ましい。   In the dispersion media (S1) and (S2) used in the present invention, it is more preferable that the concentration of the organic solvent (C) is practically about 20 to 90% by volume. In the dispersion media (S4) and (S5), the organic solvent (A) and the organic solvent (E) coexist, and in order to exhibit the effect of further improving the denseness and conductivity of the obtained fired film, It is necessary to blend 30 to 60% by volume or more of the organic solvent (C). Further, in the dispersion medium (S6), it is more preferable that the concentration of the organic solvent (C) is practically about 70 to 90% by volume due to the coexistence with the organic solvent (E).

(銅分散液の調整工程)
次に、銅微粒子分散液の調整工程について説明する。
銅微粒子分散液は、上記分散媒(S1)〜(S6)から選択される分散媒に分散させることで調整される。
(Copper dispersion adjustment process)
Next, the adjustment process of the copper fine particle dispersion will be described.
The copper fine particle dispersion is adjusted by being dispersed in a dispersion medium selected from the above dispersion media (S1) to (S6).

具体的には、例えば、水溶液中で、高分子分散剤(D)の存在下に銅イオンの液相還元反応、又は公知の還元反応によりにより得られた銅微粒子(Pc)から、高分子分散剤(D)を含む不純物を除去し、高分子分散剤(D)で表面が被覆されていない、あるいは比較的少量の高分子分散剤(D)で被覆された銅微粒子(P)を、上記分散媒(S)に再分散することで調整することができる。
前記銅イオンの形成には、塩化銅、硝酸銅、亜硝酸銅、硫酸銅、酢酸銅等を使用することができる。
Specifically, for example, polymer dispersion from copper fine particles (Pc) obtained by a liquid phase reduction reaction of copper ions or a known reduction reaction in the presence of a polymer dispersant (D) in an aqueous solution. The copper fine particles (P) whose surface is not covered with the polymer dispersant (D) or whose surface is coated with the polymer dispersant (D) are removed by removing impurities including the agent (D). It can be adjusted by redispersing in the dispersion medium (S).
For the formation of the copper ions, copper chloride, copper nitrate, copper nitrite, copper sulfate, copper acetate, or the like can be used.

高分子分散剤(D)の除去方法としては、還元反応終了後に水溶液中に凝集促進剤を添加して、銅微粒子を凝集又は沈殿させた後、水溶液から該凝集又は沈殿した微粒子をろ過等の操作により分離する方法を採用することができる。
銅微粒子(P)を分散媒(S)へ再分散させる方法としては、公知の撹拌方法を採用することができるが、超音波照射方法を採用するのが好ましい。
As a method for removing the polymer dispersant (D), an aggregation accelerator is added to the aqueous solution after completion of the reduction reaction to aggregate or precipitate the copper fine particles, and then the aggregated or precipitated fine particles are filtered from the aqueous solution. A method of separating by operation can be employed.
As a method for redispersing the copper fine particles (P) in the dispersion medium (S), a known stirring method can be employed, but an ultrasonic irradiation method is preferably employed.

還元により生成される微粒子(Pc)の一次粒子の平均粒径は、1〜150nmであり、実用上は1〜100nmが好ましい。ここで、一次粒径とは、二次粒子を構成する個々の金属等微粒子の一次粒子の直径を意味する。該一次粒径は、透過電子型顕微鏡を用いて測定することができる。また、平均粒径とは、金属等微粒子の数平均粒径を意味する。なお、二次粒子は、分散媒中において一次粒子が集合して形成されたものを指す。   The average particle diameter of the primary particles of the fine particles (Pc) produced by the reduction is 1 to 150 nm, and practically 1 to 100 nm is preferable. Here, the primary particle diameter means the diameter of primary particles of fine particles such as individual metals constituting the secondary particles. The primary particle size can be measured using a transmission electron microscope. The average particle size means the number average particle size of fine particles such as metals. The secondary particles refer to those formed by aggregating primary particles in a dispersion medium.

銅微粒子(P)は、有機溶媒中で一次粒径1〜150nmの微粒子同士が再分散可能な弱い力で引き合っている軟凝集体である二次凝集体を形成するが、その二次凝集サイズを、動的光散乱型粒度分布測定装置により測定することができる。銅微粒子(P)を、有機溶媒(S)、有機溶媒(S)、及び有機溶媒(C)を含む分散媒(S)に分散させることで、粒子分散性の高い(二次凝集サイズの小さい)微粒子分散液を得ることができるので、銅微粒子(P)からなる二次凝集粒子の平均二次凝集サイズを500nm以下、好ましくは300nm以下とすることは容易に可能である。   Copper fine particles (P) form secondary agglomerates which are soft agglomerates in which fine particles having a primary particle diameter of 1 to 150 nm are attracted with a weak force capable of redispersion in an organic solvent. Can be measured by a dynamic light scattering type particle size distribution measuring apparatus. By dispersing the copper fine particles (P) in the dispersion medium (S) containing the organic solvent (S), the organic solvent (S), and the organic solvent (C), the particle dispersibility is high (the secondary aggregation size is small). ) Since a fine particle dispersion can be obtained, it is possible to easily make the average secondary aggregate size of the secondary aggregate particles composed of the copper fine particles (P) 500 nm or less, preferably 300 nm or less.

尚、銅微粒子(P)の一次粒子の平均粒径の制御は、銅イオン、高分子分散剤(D)、還元剤の種類と配合濃度の調整、及び銅イオンを還元反応させる際の、攪拌速度、温度、時間、pH等の調整により行うことが可能である。具体的には、例えば、無電解の液相還元の場合には、水溶液中で、ポリビニルピロリドン(PVP、数平均分子量約3500)の存在下に銅イオン(酢酸第二銅等)を水素化ホウ素ナトリウムで還元する際に、還元温度が80℃程度であれば、一次粒子の平均粒径が100nmの銅微粒子を得ることが可能である。   In addition, the control of the average particle diameter of the primary particles of the copper fine particles (P) is performed by adjusting the types and mixing concentrations of the copper ions, the polymer dispersant (D), the reducing agent, and the reduction reaction of the copper ions. It can be carried out by adjusting the speed, temperature, time, pH and the like. Specifically, for example, in the case of electroless liquid phase reduction, copper ions (cupric acetate, etc.) are borohydride in the presence of polyvinylpyrrolidone (PVP, number average molecular weight of about 3500) in an aqueous solution. When reducing with sodium, if the reduction temperature is about 80 ° C., it is possible to obtain copper fine particles having an average primary particle diameter of 100 nm.

−高分子分散剤(D)−
高分子分散剤(D)は、水に対して溶解性を有していると共に、溶媒中で金属等からなる微粒子の表面を覆うように存在して、銅微粒子の凝集を抑制して分散性を良好に維持する作用を有する。
-Polymer dispersant (D)-
The polymer dispersant (D) has solubility in water and is present in the solvent so as to cover the surface of the fine particles made of metal or the like, and suppresses the aggregation of the copper fine particles and is dispersible. Has the effect of maintaining good.

本発明の高分子分散剤(D)は、例えば、銅微粒子(P)が水溶液中で銅イオンを電解還元又は還元剤を使用した無電解還元等の液相還元により製造される場合には、該水溶液中に水溶性の高分子分散剤(D)を溶解させておいて、還元反応により析出する銅微粒子(P)の凝集を抑制して、銅微粒子(P)を効率良く形成することができる。   The polymer dispersant (D) of the present invention is produced, for example, when the copper fine particles (P) are produced by liquid phase reduction such as electroless reduction of copper ions or electroless reduction using a reducing agent in an aqueous solution. It is possible to efficiently form the copper fine particles (P) by dissolving the water-soluble polymer dispersant (D) in the aqueous solution and suppressing aggregation of the copper fine particles (P) precipitated by the reduction reaction. it can.

本発明の高分子分散剤(D)は、水溶性であると共に、反応系中で析出した銅微粒子(P)の表面を覆うように存在している場合には、銅微粒子(P)の凝集を抑制して分散性を良好に維持する作用を有する。   When the polymer dispersant (D) of the present invention is water-soluble and is present so as to cover the surface of the copper fine particles (P) deposited in the reaction system, the copper fine particles (P) are aggregated. Has the effect of suppressing dispersibility and maintaining good dispersibility.

高分子分散剤(D)存在下の液相還元により、銅微粒子(P)を水溶液中で形成する場合には、これらの高分子分散剤(D)は、水に対して溶解性を有すると共に、析出した銅微粒子(P)の表面を覆うように存在して、金属等の微粒子(P)の凝集を抑制し、分散を維持する働きをする。   When the copper fine particles (P) are formed in an aqueous solution by liquid phase reduction in the presence of the polymer dispersant (D), these polymer dispersants (D) have solubility in water. It exists so as to cover the surface of the deposited copper fine particles (P), and functions to suppress the aggregation of fine particles (P) such as metals and maintain dispersion.

前記高分子分散剤(D)としては、その化学構造にもよるが分子量が100〜100,000程度の、水に対して溶解性を有し、かつ水溶液で金属イオンから還元反応で析出した金属等微粒子を良好に分散させることが可能なものであればいずれも使用可能である。   The polymer dispersant (D) is a metal having a molecular weight of about 100 to 100,000, which is soluble in water, depending on its chemical structure, and deposited from a metal ion in a reduction reaction in an aqueous solution. Any material can be used as long as the fine particles can be dispersed well.

高分子分散剤(D)として好ましいのは、ポリビニルピロリドン、ポリエチレンイミン等のアミン系の高分子;ポリアクリル酸、カルボキシメチルセルロース等のカルボン酸基を有する炭化水素系高分子;ポリアクリルアミド等のアクリルアミド;ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキシド、更にはデンプン、及びゼラチンの中から選択される1種又は2種以上である。   Preferred as the polymer dispersant (D) are amine polymers such as polyvinylpyrrolidone and polyethyleneimine; hydrocarbon polymers having a carboxylic acid group such as polyacrylic acid and carboxymethylcellulose; acrylamides such as polyacrylamide; One or more selected from polyvinyl alcohol, polyethylene oxide, starch, and gelatin.

上記例示した高分子分散剤(D)化合物の分子量の具体例として、ポリビニルピロリドン(分子量:1000〜500,000)、ポリエチレンイミン(分子量:100〜100,000)、カルボキシメチルセルロース(アルカリセルロースのヒドロキシル基Na塩のカルボキシメチル基への置換度:0.4以上、分子量:1000〜100,000)、ポリアクリルアミド(分子量:100〜6,000,000)、ポリビニルアルコール(分子量:1000〜100,000)、ポリエチレングリコール(分子量:100〜50,000)、ポリエチレンオキシド(分子量:50,000〜900,000)、ゼラチン(平均分子量:61,000〜67,000)、水溶性のデンプン等が挙げられる。   Specific examples of the molecular weight of the exemplified polymer dispersant (D) compound include polyvinylpyrrolidone (molecular weight: 1000 to 500,000), polyethyleneimine (molecular weight: 100 to 100,000), carboxymethylcellulose (hydroxyl group of alkali cellulose). Degree of substitution of carboxymethyl group of Na salt: 0.4 or more, molecular weight: 1000 to 100,000, polyacrylamide (molecular weight: 100 to 6,000,000), polyvinyl alcohol (molecular weight: 1000 to 100,000) Polyethylene glycol (molecular weight: 100 to 50,000), polyethylene oxide (molecular weight: 50,000 to 900,000), gelatin (average molecular weight: 61,000 to 67,000), water-soluble starch, and the like.

上記かっこ内にそれぞれの高分子分散剤(D)の数平均分子量を示すが、このような分子量範囲にあるものは水溶性を有するので、本発明において好適に使用できる。尚、これらの2種以上を混合して使用することもできる。
その他、チオール、カルボン酸、アミド、カルボニトリル、エステル類が挙げられる。また、極性基を有するポリマーとしてポリメチルビニルエーテル等を例示できる。
The number average molecular weights of the respective polymer dispersants (D) are shown in the parentheses, and those having such a molecular weight range are water-soluble and can be used preferably in the present invention. In addition, these 2 or more types can also be mixed and used.
Other examples include thiols, carboxylic acids, amides, carbonitriles, and esters. Moreover, polymethyl vinyl ether etc. can be illustrated as a polymer which has a polar group.

前記凝集剤としては、常温又は操作温度で液状又は気体上であり、還元反応後に水溶液に添加することにより、微粒子を凝集又は沈殿させ、かつ高分子分散剤(D)を析出させないものであればとくに限定されるものではないが、好適な例として、ハロゲン系炭化水素等を挙げることができる。該ハロゲン系炭化水素としては、炭素原子数1〜4の塩素化合物、臭素化合物、等のハロゲン化合物、塩素系、臭素系統のハロゲン系芳香族化合物が好ましい。   The flocculant is liquid or gas at normal temperature or operating temperature, and is added to the aqueous solution after the reduction reaction to aggregate or precipitate the fine particles and not to precipitate the polymer dispersant (D). Although not particularly limited, a preferred example is a halogen-based hydrocarbon. The halogen-based hydrocarbon is preferably a halogen compound such as a chlorine compound or bromine compound having 1 to 4 carbon atoms, or a chlorine-based or bromine-based halogen-based aromatic compound.

以上のようにして、分散性に優れた、表面が高分子分散剤(D)で被覆されていない、または、高分子分散剤(D)と銅微粒子(P)の重量比(D/P)が0.001未満であるごく少量の高分子剤(D)で被覆された銅微粒子、あるいは、高分子分散剤(D)と銅微粒子(P)の重量比(D/P)が0.001〜0.01の範囲である比較的少量の高分子分散剤(D)で被覆された銅微粒子の分散液を得ることができる。   As described above, the dispersibility is excellent and the surface is not coated with the polymer dispersant (D), or the weight ratio (D / P) between the polymer dispersant (D) and the copper fine particles (P). The copper fine particles coated with a very small amount of the polymer agent (D) having a ratio of less than 0.001, or the weight ratio (D / P) of the polymer dispersant (D) and the copper fine particles (P) is 0.001. A dispersion of copper fine particles coated with a relatively small amount of the polymer dispersant (D) in the range of -0.01 can be obtained.

微粒子分散液中の、銅微粒子(P)表面を覆っている高分子分散剤(D)と銅微粒子(P)との重量比(D/P)の確認は、例えば、下記(i)又は(ii)の方法により行うことができる。   The confirmation of the weight ratio (D / P) of the polymer dispersant (D) and the copper fine particles (P) covering the surface of the copper fine particles (P) in the fine particle dispersion is, for example, the following (i) or ( It can be carried out by the method ii).

(i)微粒子分散液を採取して、遠心分離等の操作により、微粒子分散液から銅微粒子(P)を分離し、酸化性の溶液中で、高分子分散剤(D)が反応しない条件下で銅粒子を溶解した溶液を調製し、該溶液を液体クロマトグラフィー(Liquid Chromatography)等により定量分析して、重量比(D/P)を測定する。尚、該分析法による高分子分散剤(D)の検出限界は、0.02重量%程度とすることが可能である。 (I) Collecting the fine particle dispersion, separating the copper fine particles (P) from the fine particle dispersion by an operation such as centrifugation, and the condition that the polymer dispersant (D) does not react in the oxidizing solution. Then, a solution in which copper particles are dissolved is prepared, and the solution is quantitatively analyzed by liquid chromatography or the like to measure the weight ratio (D / P). The detection limit of the polymer dispersant (D) by the analysis method can be about 0.02% by weight.

(ii)微粒子分散液を採取して、遠心分離等の操作により、微粒子分散液から微粒子(P)を分離し、溶剤抽出等の操作により、微粒子(P)から高分子分散剤(D)を溶剤中に抽出した後に、必要がある場合には蒸発等の濃縮操作を行い、液体クロマトグラフィー、又は高分子分散剤(D)中の特定の元素(窒素、イオウ等)をX線光電子分光(XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy))、オージェ電子分光分析(AES(Auger Electron Spectroscopy))等の分析により行うことが可能である。 (Ii) Collecting the fine particle dispersion, separating the fine particles (P) from the fine particle dispersion by an operation such as centrifugal separation, and removing the polymer dispersant (D) from the fine particles (P) by an operation such as solvent extraction. After extraction into a solvent, if necessary, concentration operation such as evaporation is performed, and liquid chromatography or specific elements (nitrogen, sulfur, etc.) in the polymer dispersant (D) are subjected to X-ray photoelectron spectroscopy ( It can be performed by analysis such as XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy) and Auger Electron Spectroscopy (AES).

(配線パターンの形成工程)
次に、上記工程により得られた銅微粒子分散液を、基板上に塗布又は印刷して、該銅微粒子分散液の液膜からなる配線パターンを形成する。
塗布又は印刷方法としては、従来公知の種々の方法を採用することができるが、インクジェット法、又はスクリーン印刷法であることが好ましい。
(Wiring pattern formation process)
Next, the copper fine particle dispersion obtained by the above process is applied or printed on a substrate to form a wiring pattern made of a liquid film of the copper fine particle dispersion.
As a coating or printing method, various conventionally known methods can be adopted, but an inkjet method or a screen printing method is preferable.

上記基板としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリカーボネート(PC)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等の透明プラスチック材料を使用することができる。   As the substrate, a transparent plastic material such as polyethylene terephthalate (PET), triacetyl cellulose (TAC), polycarbonate (PC), polymethyl methacrylate (PMMA) can be used.

(焼成工程)
次に、銅微粒子分散液の液膜を乾燥及び焼成して銅微粒子の焼結配線層を形成する。
このとき、銅微粒子は、表面が高分子分散剤(D)で被覆されていない、あるいは、比較的少量の高分子分散剤(D)で被覆された状態であるので、従来の高分子化合物層で厚く被覆された銅微粒子のように銅微粒子同士の焼結が阻害されることがなく、190℃程度の比較的低温での焼成が可能となる。
(Baking process)
Next, the liquid film of the copper fine particle dispersion is dried and fired to form a sintered wiring layer of copper fine particles.
At this time, since the surface of the copper fine particles is not coated with the polymer dispersant (D) or is coated with a relatively small amount of the polymer dispersant (D), the conventional polymer compound layer Sintering between the copper fine particles is not hindered as in the case of the copper fine particles coated thickly, and firing at a relatively low temperature of about 190 ° C. is possible.

具体的には、乾燥条件は、使用する溶媒にもよるが例えば100〜200℃で15〜30分程度であり、焼成条件は、塗布厚みにもよるが例えば190〜250℃で20〜40分間程度、好ましくは190〜220℃で20〜40分間程度である。
乾燥及び焼成は、水素ガス等の還元ガスを使用することなく、アルゴン等の不活性ガス雰囲気下で行うことができる。
Specifically, although drying conditions depend on the solvent to be used, it is, for example, about 100 to 200 ° C. for about 15 to 30 minutes, and the firing conditions depend on the coating thickness, for example, for example, 190 to 250 ° C. for 20 to 40 minutes. Degree, preferably at 190 to 220 ° C. for about 20 to 40 minutes.
Drying and firing can be performed in an inert gas atmosphere such as argon without using a reducing gas such as hydrogen gas.

(黒色層の形成工程)
次に、銅微粒子の焼結配線上に黒色層を形成する。黒色層は、黒色無機顔料を含む顔料分散液を、焼結配線上に重ねて塗布又は印刷することで形成することができる。塗布又は印刷方法としては、インクジェット法、又はスクリーン印刷法であることが好ましい。
(Black layer formation process)
Next, a black layer is formed on the sintered wiring of copper fine particles. The black layer can be formed by applying or printing a pigment dispersion containing a black inorganic pigment on the sintered wiring. The coating or printing method is preferably an ink jet method or a screen printing method.

また、上述した形成方法のほかに、基板上に直接黒色層を形成し、その上に銅微粒子分散液を塗布又は印刷して、該銅微粒子分散液の液膜からなる配線パターンを形成し、該液膜を焼成して焼結配線層を形成してもよい。また、該焼結配線層の上に更に第2の黒色層を形成してもよい。   In addition to the above-described forming method, a black layer is directly formed on a substrate, and a copper fine particle dispersion is applied or printed thereon to form a wiring pattern composed of a liquid film of the copper fine particle dispersion. The liquid film may be fired to form a sintered wiring layer. Further, a second black layer may be further formed on the sintered wiring layer.

黒色無機顔料としては、黒色を呈する種々の無機材料からなる微粒子を使用することができ、例えば、銅、コバルト、クロム、マンガン、鉄、ルテニウム、及びチタンからなる群から選択される少なくとも一種の金属の酸化物又は炭化物の微粒子が挙げられる。また、黒色の着色剤として一般に使用されている各種カーボンブラックを使用することができる。   As the black inorganic pigment, fine particles made of various inorganic materials exhibiting black can be used. For example, at least one metal selected from the group consisting of copper, cobalt, chromium, manganese, iron, ruthenium, and titanium. And oxide fine particles or carbide fine particles. Moreover, various carbon blacks generally used as a black colorant can be used.

黒色無機顔料を分散させる分散媒としては、特に限定されないが、微粒子の分散安定性、インクジェット法への適用のし易さの点では、水、アルコール類、炭化水素類、エーテル類が好ましく、特に水、又は炭化水素類が好ましい。これらはそれぞれ単独で使用しても、2種以上を併用してもよい。   The dispersion medium for dispersing the black inorganic pigment is not particularly limited, but water, alcohols, hydrocarbons, and ethers are preferable from the viewpoint of dispersion stability of fine particles and ease of application to the ink jet method. Water or hydrocarbons are preferred. These may be used alone or in combination of two or more.

アルコール類としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等を例示することができる。
炭化水素類としては、n−ヘプタン、n−オクタン、デカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼン等を例示することができる。
Examples of alcohols include methanol, ethanol, propanol, butanol and the like.
Examples of hydrocarbons include n-heptane, n-octane, decane, toluene, xylene, cymene, durene, indene, dipentene, tetrahydronaphthalene, cyclohexylbenzene, and the like.

エーテル類としては、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、1,2−ジメトキシエタン、ビス(2−メトキシエチル)エーテル、p−ジオキサン等を例示することができる。   Examples of ethers include ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, 1,2-dimethoxyethane, bis (2-methoxyethyl) ether, p- A dioxane etc. can be illustrated.

基板上に塗布又は印刷された顔料分散液は、その後、乾燥、加熱処理を施され、これにより、焼結配線層と黒色層とからなる2層構造の焼結配線が形成される。
このように、焼結配線層と黒色層とからなる2層構造の焼結配線を形成することで、例えば、銅微粒子と黒色無機顔料とを含有する分散液を基板上に塗布、焼成することによって黒色系に着色された1層の焼結配線を形成する場合と比較して、導電性に優れた配線を得ることができる。この結果、配線幅をより小さく形成することができるので、より微細な配線パターンへの適用が可能となる。
The pigment dispersion applied or printed on the substrate is then dried and heat-treated, whereby a two-layered sintered wiring composed of a sintered wiring layer and a black layer is formed.
In this way, by forming a sintered wiring having a two-layer structure composed of a sintered wiring layer and a black layer, for example, a dispersion containing copper fine particles and a black inorganic pigment is applied onto a substrate and fired. Compared with the case of forming a single-layer sintered wiring colored in black, a wiring excellent in conductivity can be obtained. As a result, the wiring width can be made smaller, so that it can be applied to a finer wiring pattern.

以上の工程により、金属材料自体が金、銀、及びニッケル等に比較して格段に安価であり、且つ、銀を使用するときのようなエレクトロマイグレーションに起因する配線間の短絡が生じない、銅を使用した電磁波遮蔽用配線回路が形成される。
得られた電磁波遮蔽用配線回路は、低温焼成であっても導電性に優れ、その電気抵抗値は、1×10−4Ωcm以下を達成することが可能であり、良好なシールド性能を発揮することができる。また、本発明における焼結配線層は、基板密着性にも優れることから、上述した形成方法のうち、特に、基板上に焼結配線層が形成されることが好ましい。
By the above process, the metal material itself is much cheaper than gold, silver, nickel, etc., and copper is not short-circuited due to electromigration as in the case of using silver. An electromagnetic wave shielding wiring circuit using is formed.
The obtained electromagnetic shielding wiring circuit is excellent in electrical conductivity even when fired at a low temperature, and its electrical resistance value can achieve 1 × 10 −4 Ωcm or less, and exhibits good shielding performance. be able to. Moreover, since the sintered wiring layer in this invention is excellent also in board | substrate adhesiveness, it is preferable that a sintered wiring layer is especially formed on a board | substrate among the formation methods mentioned above.

さらに、本発明の電磁波遮蔽用配線回路の形成方法を適用することで、電磁波遮蔽用シートの製造コストを低減することができ、これを搭載するプラズマディスプレイパネル等の電子機器の低価格化に寄与することができる。   Furthermore, by applying the method for forming an electromagnetic wave shielding wiring circuit of the present invention, it is possible to reduce the manufacturing cost of the electromagnetic wave shielding sheet and contribute to lowering the price of electronic equipment such as a plasma display panel on which the electromagnetic wave shielding sheet is mounted. can do.

(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態に係る電磁波遮蔽用配線回路の形成方法について説明する。
(Second Embodiment)
Next, a method for forming an electromagnetic wave shielding wiring circuit according to the second embodiment of the present invention will be described.

(銅微粒子分散液の調整工程)
まず、銅微粒子分散液の調整工程を実施する。銅微粒子分散液の各構成成分及び調整方法は、前記第1の実施形態と同様である。
(Process for adjusting copper fine particle dispersion)
First, the adjustment process of a copper fine particle dispersion liquid is implemented. Each component and adjustment method of the copper fine particle dispersion are the same as those in the first embodiment.

(配線パターンの形成工程)
次に、前記第1の実施形態と同様にして、銅微粒子分散液を、基板上に塗布又は印刷して、銅微粒子分散液の液膜からなる配線パターンを形成する。
(Wiring pattern formation process)
Next, similarly to the first embodiment, the copper fine particle dispersion is applied or printed on the substrate to form a wiring pattern made of a liquid film of the copper fine particle dispersion.

(顔料分散液の塗布又は印刷工程)
次に、黒色無機顔料を含む顔料分散液を、銅微粒子分散液の液膜上に重ねて塗布又は印刷する。塗布又は印刷方法としては、インクジェット法、又はスクリーン印刷法を使用することができる。
(Pigment dispersion application or printing process)
Next, a pigment dispersion containing a black inorganic pigment is applied or printed on the liquid film of the copper fine particle dispersion. As the coating or printing method, an inkjet method or a screen printing method can be used.

例えば、インクジェット法を利用する場合には、2本のインクジェットノズルを用いて、第1のインクジェットノズルで顔料分散液を塗布した後、連続して第2のインクジェットノズルで銅微粒子分散液を吐出する。このとき、顔料分散液を塗布した後に乾燥過程を入れてから、銅微粒子分散液を吐出してもよい。   For example, when the inkjet method is used, the pigment dispersion liquid is applied by the first inkjet nozzle using two inkjet nozzles, and then the copper fine particle dispersion is continuously discharged by the second inkjet nozzle. . At this time, after applying the pigment dispersion, a drying process may be performed, and then the copper fine particle dispersion may be discharged.

また、反対に、第1のインクジェットノズルで銅微粒子分散液を吐出した後、連続して第2のインクジェットノズルで顔料分散液を吐出してもよい。最初に吐出された銅微粒子分散液は、吐出後すぐにある程度乾燥して銅微粒子の液膜となるので、該銅微粒子の液膜上に、顔料分散液を重ねて塗布することができるが、銅微粒子分散液を吐出した後に乾燥過程を入れてから顔料分散液を重ねて塗布してもよい。   On the contrary, after the copper fine particle dispersion is discharged from the first inkjet nozzle, the pigment dispersion may be continuously discharged from the second inkjet nozzle. The copper fine particle dispersion discharged first is dried to some extent immediately after discharge to form a liquid film of copper fine particles, so that the pigment dispersion can be applied over the liquid film of the copper fine particles, After the copper fine particle dispersion is discharged, the pigment dispersion may be applied after a drying process.

(焼成工程)
次に、銅微粒子分散液の液膜及び顔料分散液を乾燥、焼成して、銅焼結層及び黒色層からなる2層構造の焼結配線を形成する。焼成温度は190℃〜300℃が好ましい。
(Baking process)
Next, the liquid film of the copper fine particle dispersion and the pigment dispersion are dried and fired to form a sintered wiring having a two-layer structure including a copper sintered layer and a black layer. The firing temperature is preferably 190 ° C to 300 ° C.

このとき、前記第1の実施形態と同様、190℃程度の比較的低温での焼成が可能であり、また、乾燥及び焼成は、水素ガス等の還元ガスを使用することなく、アルゴン等の不活性ガス雰囲気下で行うことができる。   At this time, as in the first embodiment, firing at a relatively low temperature of about 190 ° C. is possible, and drying and firing can be performed without using a reducing gas such as hydrogen gas and without using argon or the like. It can be performed under an active gas atmosphere.

なお、第1の実施形態に係る配線の形成方法と同様に、本発明における焼結配線層は、基板密着性にも優れることから、上述した形成方法のうち、特に、基板上に焼結配線層が形成されることが好ましい。   As in the wiring forming method according to the first embodiment, the sintered wiring layer in the present invention is also excellent in substrate adhesion. Preferably a layer is formed.

このように、銅焼結層と黒色層とを同時に形成することで、銅微粒子の焼結配線と黒色層とを別々に形成する第1の実施形態に係る配線の形成方法よりも、製造工程を簡略化することができる。   Thus, a manufacturing process rather than the wiring forming method according to the first embodiment in which the sintered wiring of copper fine particles and the black layer are separately formed by simultaneously forming the copper sintered layer and the black layer. Can be simplified.

第2の実施形態によっても、前記第1の実施形態と同様に、安価で且つエレクトロマイグレーションの生じない銅を使用したPDP用配線を実現することができる。また、得られたPDP用配線は、低温焼成であっても導電性に優れ、電磁波シールド配線として使用する場合には、良好なシールド性能を発揮することができる。また、焼結配線層は、基板密着性にも優れる。さらに、プラズマディスプレイパネルの製造コストを低減することができ、プラズマディスプレイパネルの低価格化に寄与することができる。   According to the second embodiment, similarly to the first embodiment, it is possible to realize a PDP wiring using copper which is inexpensive and does not cause electromigration. In addition, the obtained PDP wiring is excellent in conductivity even when fired at a low temperature, and when used as an electromagnetic wave shielding wiring, it can exhibit good shielding performance. The sintered wiring layer is also excellent in substrate adhesion. Furthermore, the manufacturing cost of the plasma display panel can be reduced, which can contribute to the price reduction of the plasma display panel.

図1に、第1および第2の実施形態によって得られた電磁波遮蔽用配線回路を含む電磁波遮蔽用シートの例を示す。図1(a)に示すように、電磁波遮蔽用シート1は、透明基材フィルム14と、その上に形成された、メッシュ状の黒色層12と、焼結配線層11とが積層された積層体10を有し、さらに積層体10の両面に設けられた保護フィルム20および保護フィルム30を有する。保護フィルム20は、基材21とその上に形成された粘着剤層22とを有し、保護フィルム30は、基材31とその上に形成された粘着剤層32とを有する。この例では、焼結配線層11には透明基材フィルム14側に黒色層12が積層されているが、透明基材フィルム14側に焼結配線層11が配されてもよい。   FIG. 1 shows an example of an electromagnetic wave shielding sheet including the electromagnetic wave shielding wiring circuit obtained by the first and second embodiments. As shown in FIG. 1A, the electromagnetic wave shielding sheet 1 is a laminate in which a transparent base film 14, a mesh-like black layer 12 formed thereon, and a sintered wiring layer 11 are laminated. It has a body 10 and further has a protective film 20 and a protective film 30 provided on both surfaces of the laminate 10. The protective film 20 has a base material 21 and a pressure-sensitive adhesive layer 22 formed thereon, and the protective film 30 has a base material 31 and a pressure-sensitive adhesive layer 32 formed thereon. In this example, although the black layer 12 is laminated | stacked on the transparent base film 14 side in the sintered wiring layer 11, the sintered wiring layer 11 may be distribute | arranged on the transparent base film 14 side.

また、図1(b)に示すように、電磁波遮蔽用シート1において、焼結配線層11は、開孔部11aが密に配列してメッシュ状とされている。開孔部11aは、図1(c)に示すように、線の幅wが5μm〜20μmと狭いものであり、縦横それぞれのピッチa、bは同じでも違っていてもよいが、いずれも、50μm〜500μm程度である。ただし、単位面積当りの開孔率は90%〜95%程度であることが好ましい。また、線は水平方向(観察時の水平方向である。)に対し、適宜な角度θの傾きを有していてもよい。なお、メッシュ状とは、図1(b)に示すような格子状のものに限らず、開孔部11aが四角形以外の形状、例えば、6角形のハニカム状のものや、円形、もしくは楕円形等のものであってもよく、いずれもメッシュ状の範囲に含めるものとする。   Moreover, as shown in FIG.1 (b), in the electromagnetic wave shielding sheet 1, the sintered wiring layer 11 is made into a mesh shape with the apertures 11a arranged closely. As shown in FIG. 1 (c), the opening 11 a has a narrow line width w of 5 μm to 20 μm, and the pitches a and b in the vertical and horizontal directions may be the same or different. It is about 50 μm to 500 μm. However, the open area ratio per unit area is preferably about 90% to 95%. Further, the line may have an appropriate angle θ with respect to the horizontal direction (the horizontal direction during observation). The mesh shape is not limited to a lattice shape as shown in FIG. 1B, and the opening 11a has a shape other than a quadrangle, for example, a hexagonal honeycomb shape, a circular shape, or an elliptical shape. These may be included in the mesh range.

更に、この電磁波遮蔽用シート1は、積層体10に対して、赤外線カットフィルター層を介する等によって、基板上に積層した積層体10の表裏に、さらに、最表面の強化、反射防止性の付与、防汚性の付与等の効果を有するシートを積層して使うものである。したがって、上記の保護フィルム20は、このようなさらなる積層の際には剥離する必要があり、このため、保護フィルム20の焼結配線層11側への積層は、いわゆる剥離可能に行なうことが望ましい。   Furthermore, the electromagnetic wave shielding sheet 1 is provided on the front and back of the laminate 10 laminated on the substrate, for example, through an infrared cut filter layer, etc. with respect to the laminate 10, further strengthening the outermost surface and imparting antireflection properties. In addition, sheets having effects such as imparting antifouling property are laminated and used. Therefore, it is necessary to peel off the protective film 20 in the case of such further lamination. For this reason, it is desirable that the lamination of the protective film 20 on the sintered wiring layer 11 side is performed in a so-called peelable manner. .

また、保護フィルム20は焼結配線層11上に積層した際の剥離強度は5mN/25mm幅〜5N/25mm幅であることが好ましく、より好ましくは10mN/25mm幅〜100mN/25mm幅である。下限未満では、剥離が容易過ぎ、取扱い中や不用意な接触により保護フィルム20が剥離する恐れがあり、好ましくない。一方、上限を超えると、剥離のために大きな力を要する上、剥離の際に、メッシュ状の焼結配線層11が透明基材フィルム14から剥離する恐れがあり、好ましくない。   Further, the peel strength when the protective film 20 is laminated on the sintered wiring layer 11 is preferably 5 mN / 25 mm width to 5 N / 25 mm width, more preferably 10 mN / 25 mm width to 100 mN / 25 mm width. If it is less than the lower limit, peeling is too easy, and the protective film 20 may be peeled off during handling or inadvertent contact, which is not preferable. On the other hand, if the upper limit is exceeded, a large force is required for peeling, and the mesh-like sintered wiring layer 11 may be peeled off from the transparent substrate film 14 at the time of peeling.

図2は、本発明の電磁波遮蔽用シートを用いた電磁波遮蔽用パネルの概略を示す図である。図2の上側が観察側であり、下側が背面側である。この電磁波遮蔽用パネル40は、図示しないPDP等のディスプレイの観察側に配置される。電磁波遮蔽用パネル40は、透明基材フィルム14と、フィルム14上(即ち観察側)に形成された黒色層12と、黒色層12上に形成されたメッシュ状の焼結配線層11とが積層された積層体10を有し、さらに、焼結配線層11側に積層体10側から、粘着剤層53、フィルム52、ハードコート層、反射防止層、および防汚層等が順に積層された多重層51が積層された観察側用(=前面用)フィルム50を有する。なお、図2において、各積層体50、10、60、70、および50’の間隔は、実際には、あけずに積層されている。   FIG. 2 is a diagram showing an outline of an electromagnetic wave shielding panel using the electromagnetic wave shielding sheet of the present invention. The upper side in FIG. 2 is the observation side, and the lower side is the back side. The electromagnetic wave shielding panel 40 is disposed on the observation side of a display such as a PDP (not shown). The electromagnetic wave shielding panel 40 includes a transparent base film 14, a black layer 12 formed on the film 14 (that is, an observation side), and a mesh-like sintered wiring layer 11 formed on the black layer 12. Furthermore, the adhesive layer 53, the film 52, the hard coat layer, the antireflection layer, the antifouling layer, and the like were sequentially laminated on the sintered wiring layer 11 side from the laminated body 10 side. It has an observation-side (= front-side) film 50 on which multiple layers 51 are laminated. In FIG. 2, the intervals between the stacked bodies 50, 10, 60, 70, and 50 ′ are actually stacked without being opened.

積層体10の透明基材フィルム14側には、近赤外吸収フィルム60、ガラス基板70、および背面用(=裏面用)フィルム50’が順に積層されている。近赤外吸収フィルム60は、積層体10側から、粘着剤層61、近赤外吸収層62、フィルム63、および粘着剤層64が順に積層されたものである。ガラス基板70は、電磁波遮蔽用パネル40全体の機械的強度、自立性、もしくは平面性を保つためのものである。裏面用(=背面用)フィルム50’は、ガラス基板70側から、粘着剤層53’、フィルム52’、ハードコート層、反射防止層、および防汚層等が順に積層された多重層51’が積層されたものであり、このケースでは、裏面用フィルム50’は、観察側用フィルム50と同じものを使用している。   On the transparent substrate film 14 side of the laminate 10, a near-infrared absorbing film 60, a glass substrate 70, and a back surface (= back surface) film 50 'are sequentially stacked. The near-infrared absorbing film 60 is obtained by sequentially laminating a pressure-sensitive adhesive layer 61, a near-infrared absorbing layer 62, a film 63, and a pressure-sensitive adhesive layer 64 from the laminate 10 side. The glass substrate 70 is for maintaining the mechanical strength, self-supporting property, or flatness of the entire electromagnetic wave shielding panel 40. The back surface (= back surface) film 50 ′ is a multi-layer 51 ′ in which an adhesive layer 53 ′, a film 52 ′, a hard coat layer, an antireflection layer, an antifouling layer and the like are sequentially laminated from the glass substrate 70 side. In this case, the back film 50 ′ is the same as the observation-side film 50.

なお、図2を引用して説明した電磁波遮蔽用パネル40は、一例であって、上記のような各積層体が積層されていることが好ましいが、必要に応じて、いずれかを省略したり、各層の機能を併せて持つ積層体を準備したりして使用する等、改変が可能である。   In addition, the electromagnetic wave shielding panel 40 described with reference to FIG. 2 is an example, and it is preferable that each of the laminated bodies as described above is laminated. However, if necessary, any of them may be omitted. Modifications such as preparing and using a laminate having the functions of the respective layers are possible.

次に、本発明の実施例について説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。   Next, examples of the present invention will be described, but the present invention is not limited to the following examples.

まず、以下の実施例、比較例における評価方法を以下に記載する。
(1)配線の電気抵抗
配線の電気抵抗値は、直流四端子法(使用測定機:Keithley社製、デジタルマルチメータDMM2000型(四端子電気抵抗測定モード))を用いて測定した。電気抵抗値の評価は下記の方法によった。
○:1×10-4[Ω・cm]未満
△:1×10-2[Ω・cm]未満、10×10-4[Ω・cm]以上
×:1×10-2[Ω・cm]以上
First, evaluation methods in the following examples and comparative examples are described below.
(1) Electrical Resistance of Wiring The electrical resistance value of the wiring was measured using a DC four-terminal method (use measuring machine: Digital Multimeter DMM2000 type (four-terminal electric resistance measurement mode)) manufactured by Keithley. The electrical resistance value was evaluated by the following method.
○: Less than 1 × 10 −4 [Ω · cm] Δ: Less than 1 × 10 −2 [Ω · cm], 10 × 10 −4 [Ω · cm] or more ×: 1 × 10 −2 [Ω · cm] that's all

(2)焼成膜の基板密着性
JIS D0202−1988に準拠して焼成膜のテープ剥離試験を行った。評価試料の焼成膜を1mmずつ、計10マス区切り、セロハンテープ(「CT24」,ニチバン(株)製)を用い、フィルムに密着させた後剥離した。判定は10マスの内、剥離しないマス目の数から以下の規準により表した。
○:剥離したマス目が1マス以下
△:剥離したマス目が4〜2マス
×:5マス以上剥離した
(2) Substrate adhesion of the fired film A tape peel test of the fired film was performed in accordance with JIS D0202-1988. The fired film of the evaluation sample was separated by 10 mm in total, divided into a total of 10 cells, and adhered using a cellophane tape (“CT24”, manufactured by Nichiban Co., Ltd.), and then peeled off. Judgment was expressed according to the following criteria from the number of squares not peeled out of 10 squares.
○: The peeled square is 1 square or less Δ: The peeled square is 4 to 2 squares x: 5 squares or more are peeled

以下の手順にて、電磁波遮蔽用配線回路を形成した。
1.銅微粒子分散液の調整
高分子分散剤で覆われた銅微粒子を下記方法で調製した。
銅微粒子の原料として酢酸銅((CHCOO)2Cu・1HO)0.2gを蒸留水10mlに溶解させた酢酸銅水溶液10mlと、金属イオンの還元剤として水素化ホウ素ナトリウムを5.0mol/リットル(l)の濃度となるように蒸留水に溶解して、水素化ホウ素ナトリウム水溶液100mlを調製した。その後、上記水素化ホウ素ナトリウム水溶液に、更に高分子分散剤としてポリビニルピロリドン(PVP、数平均分子量約3500)0.5gを添加して、攪拌溶解させた。
The electromagnetic shielding wiring circuit was formed by the following procedure.
1. Preparation of Copper Fine Particle Dispersion Liquid copper fine particles covered with a polymer dispersant were prepared by the following method.
10 ml of an aqueous copper acetate solution in which 0.2 g of copper acetate ((CH 3 COO) 2 Cu · 1H 2 O) was dissolved in 10 ml of distilled water as a raw material for copper fine particles, and 5.0 mol of sodium borohydride as a metal ion reducing agent 100 ml of an aqueous sodium borohydride solution was prepared by dissolving in distilled water to a concentration of 1 liter / liter. Thereafter, 0.5 g of polyvinyl pyrrolidone (PVP, number average molecular weight of about 3500) as a polymer dispersant was further added to the aqueous sodium borohydride solution, and dissolved by stirring.

窒素ガス雰囲気中で、前記還元剤と高分子分散剤とが溶解している水溶液に、上記酢酸銅水溶液10mlを滴下した。この還元反応液を約60分間よく攪拌しながら反応させた結果、一次粒子の平均粒径5〜10nmの銅微粒子が水溶液中に分散した微粒子分散液が得られた。   In a nitrogen gas atmosphere, 10 ml of the aqueous copper acetate solution was dropped into an aqueous solution in which the reducing agent and the polymer dispersant were dissolved. As a result of reacting this reduction reaction liquid with sufficient stirring for about 60 minutes, a fine particle dispersion in which copper fine particles having an average primary particle diameter of 5 to 10 nm were dispersed in an aqueous solution was obtained.

次に、上記方法で得られた銅微粒子が分散した分散液100mlに、凝集促進剤としてクロロホルムを5ml添加してよく攪拌した。数分間攪拌した後、静置して反応液である水相を遠心分離機に供給し、銅微粒子を分離、回収した。その後、得られた銅微粒子と30mlの蒸留水とを試験管に入れ、超音波ホモジナイザーを用いてよく攪拌した後、遠心分離機で粒子成分を回収する水洗浄を3回、続いて、同じく試験管中で、得られた銅微粒子と30mlの1−ブタノールとを入れよく攪拌した後、遠心分離機で銅微粒子を回収するアルコール洗浄を3回行った。以上の工程により、最終分散溶媒に分散させる銅微粒子が得られた。   Next, 5 ml of chloroform as an aggregation accelerator was added to 100 ml of the dispersion liquid in which the copper fine particles obtained by the above method were dispersed, and stirred well. After stirring for several minutes, the mixture was allowed to stand, and the aqueous phase as a reaction solution was supplied to a centrifuge to separate and collect copper fine particles. After that, the obtained copper fine particles and 30 ml of distilled water are put in a test tube, stirred well using an ultrasonic homogenizer, and then washed three times with a centrifuge to recover the particle components, followed by the same test. In the tube, the obtained copper fine particles and 30 ml of 1-butanol were put and stirred well, and then alcohol washing for recovering the copper fine particles with a centrifuge was performed three times. Through the above steps, copper fine particles to be dispersed in the final dispersion solvent were obtained.

別途、本発明の混合有機溶媒の一例として、有機媒(A)としてN-メチルアセトアミドを、有機溶媒(B)としてジエチルエーテルを、有機溶媒(C)としてエチレングリコールを、有機溶媒(E)としてトリエチルアミンを用い、これらを表1及び表2に示す溶媒混合比にて混合し、実施例1−1〜1−25の混合有機溶媒をそれぞれ調整した。   Separately, as an example of the mixed organic solvent of the present invention, N-methylacetamide as the organic medium (A), diethyl ether as the organic solvent (B), ethylene glycol as the organic solvent (C), and organic solvent (E) as the organic solvent (E) Using triethylamine, these were mixed at the solvent mixing ratio shown in Table 1 and Table 2, and the mixed organic solvents of Examples 1-1 to 1-25 were respectively adjusted.

上記の方法によって得られた銅微粒子を、上記実施例1−1〜1−25の有機混合溶媒10mlに分散させ、超音波ホモジナイザーを用いて分散液中に1時間超音波振動を与えることで、実施例1−1〜1−25の銅微粒子分散液を調整した。   By dispersing the copper fine particles obtained by the above method in 10 ml of the organic mixed solvent of Examples 1-1 to 1-25 and applying ultrasonic vibration to the dispersion for 1 hour using an ultrasonic homogenizer, The copper fine particle dispersions of Examples 1-1 to 1-25 were prepared.

次に、銅微粒子の表面を覆っている高分子分散剤の分析を行った。まず、上記工程で得られた銅微粒子に、0.2M硝酸水溶液、0.2M塩酸水溶液、メタノールを1:1:2で混合することで調製した溶離液を入れ、銅粒子成分を溶解させた。得られた溶液を適量の水酸化ナトリウム水溶液で中和した後、昭和電工(株)製、ゲル濾過クロマトグラム(GPC、ディテクター:Shodex RI SE−61、カラム:Tosoh TSKgel G3000PWXL)を用いて高分子分散剤成分の含有量を調べた。その結果、使用した高分子分散剤成分(ポリビニルピロリドン)はまったく検出されなかった。尚、該測定装置の検出限界は、0.02重量%である。
この実験結果と測定装置の検出感度から、本製法により得られた銅微粒子に付着した高分子分散剤量(D)は、微粒子量(P)との重量比(D/P)として、少なくとも0.001未満であることが確認された。
Next, the polymer dispersant covering the surface of the copper fine particles was analyzed. First, an eluent prepared by mixing a 0.2 M nitric acid aqueous solution, a 0.2 M hydrochloric acid aqueous solution, and methanol in a 1: 1: 2 ratio was added to the copper fine particles obtained in the above step to dissolve the copper particle components. . The resulting solution was neutralized with an appropriate amount of aqueous sodium hydroxide solution, and then polymerized using a gel filtration chromatogram (GPC, detector: Shodex RI SE-61, column: Tosoh TSKgel G3000PWXL) manufactured by Showa Denko K.K. The content of the dispersant component was examined. As a result, the used polymer dispersant component (polyvinylpyrrolidone) was not detected at all. The detection limit of the measuring device is 0.02% by weight.
From this experimental result and the detection sensitivity of the measuring device, the amount (D) of the polymer dispersant adhering to the copper fine particles obtained by this production method is at least 0 as the weight ratio (D / P) to the fine particle amount (P). It was confirmed to be less than 0.001.

2.配線パターンを形成する工程
黒色無機顔料の導電性カーボンブラック(ケッチェンブラック(登録商標))をTHF(テトラヒドロフラン)中に3wt%分散させたインク(黒色無機顔料インク)と、1.で示した方法で調製した銅微粒子分散液(実施例1−1〜1−25)、並びに比較例1として、(株)アルバック (ULVAC, Inc.) 製、銅ナノ粒子分散液(商品名:Cuナノメタルインク「Cu1T」)、比較例2として、蒸留水に上記の方法によって得られた銅微粒子を分散させた銅粒子分散液、比較例3−1〜3−7として、表3に示す混合比の溶媒に、上記の方法によって得られた銅微粒子を分散させた銅粒子分散液を、それぞれ第1および第2のインクジェット用ヘッド(メクト社製:MICROJET(登録商標) Model MJ−040)に入れ、幅が700mm、厚みが100μmの透明なポリエチレンテレフタレート樹脂(=PET)フィルム(東洋紡(株)製、品番;A4300)上に黒色無機顔料インクでパターンを形成した後、アルゴンガス雰囲気中において、約150℃で30分間保持して形成したパターンを乾燥し、その上部にさらに銅微粒子分散液(A)でパターンを形成した。このときのパターンは、図1(c)に示すように、開孔部11aの線の幅wが10μmであり、縦横それぞれのピッチa、bが250μmとなるように形成した。
2. Step of forming a wiring pattern Ink (black inorganic pigment ink) in which conductive carbon black of black inorganic pigment (Ketjen Black (registered trademark)) is dispersed in 3 wt% in THF (tetrahydrofuran); Copper fine particle dispersions (Examples 1-1 to 1-25) prepared by the method shown in FIG. 1 and Comparative Example 1 were manufactured by ULVAC, Inc., copper nanoparticle dispersions (trade names: Cu nanometal ink "Cu1T"), as Comparative Example 2, a copper particle dispersion obtained by dispersing the copper fine particles obtained by the above method in distilled water, and as shown in Table 3 as Comparative Examples 3-1 to 3-7 The copper particle dispersions obtained by dispersing the copper fine particles obtained by the above-described method in the solvent of the above ratio were respectively applied to the first and second ink jet heads (Mect: MICROJET (registered trademark) Model MJ-040). After forming a pattern with a black inorganic pigment ink on a transparent polyethylene terephthalate resin (= PET) film (Toyobo Co., Ltd., product number: A4300) having a width of 700 mm and a thickness of 100 μm In an argon gas atmosphere, drying the pattern formed by holding at about 0.99 ° C. 30 minutes to form a pattern with more copper particulate dispersion thereon (A). As shown in FIG. 1C, the pattern at this time was formed such that the line width w of the aperture 11a was 10 μm, and the vertical and horizontal pitches a and b were 250 μm.

3.焼結配線層を形成する工程
2.で形成した配線パターンを、アルゴンガス雰囲気中において、約150℃で30分間保持して塗膜を乾燥させた後、さらに窒素雰囲気中、180℃、190℃、210℃、250℃、300℃でそれぞれ1時間熱処理を行った。その後熱処理炉中でゆっくりと室温まで炉冷した。
以上により、本実施例および比較例における電磁波遮蔽用配線回路を形成した。
3. 1. Step of forming a sintered wiring layer The wiring pattern formed in (1) was held in an argon gas atmosphere at about 150 ° C. for 30 minutes to dry the coating film, and further in a nitrogen atmosphere at 180 ° C., 190 ° C., 210 ° C., 250 ° C., 300 ° C. Each was heat-treated for 1 hour. Thereafter, the furnace was slowly cooled to room temperature in a heat treatment furnace.
Thus, the electromagnetic wave shielding wiring circuit in this example and the comparative example was formed.

(導電性評価)
実施例および比較例にて得られた焼結後の配線の電気抵抗を測定した結果を表1〜3に示す。
(Conductivity evaluation)
The result of having measured the electrical resistance of the wiring after sintering obtained in the Example and the comparative example is shown to Tables 1-3.

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表1及び表2から明らかなように、実施例1−1〜1−25の銅微粒子分散液は、窒素雰囲気中210℃以上の温度での熱処理により導電性の良い配線とすることができた。特に、有機溶媒(C)が95体積%以上のような場合(実施例1−7、1−13、1−23)には、焼結温度が180℃の低温でも電気抵抗がよく、有機溶媒(C)が20体積%未満の場合には、焼結温度180℃、190℃の低温側で電気抵抗があまりよくないことがわかった。
一方、表3から明らかなように、比較例において得られた焼成膜は、250℃以上の温度で熱処理を行っても抵抗が高いままであった。
As is apparent from Tables 1 and 2, the copper fine particle dispersions of Examples 1-1 to 1-25 were able to form wiring with good conductivity by heat treatment at a temperature of 210 ° C. or higher in a nitrogen atmosphere. . In particular, when the organic solvent (C) is 95% by volume or more (Examples 1-7, 1-13, 1-23), the electrical resistance is good even at a low sintering temperature of 180 ° C., and the organic solvent When (C) was less than 20% by volume, it was found that the electrical resistance was not so good on the low temperature side of sintering temperatures of 180 ° C. and 190 ° C.
On the other hand, as is apparent from Table 3, the fired film obtained in the comparative example remained high in resistance even when heat-treated at a temperature of 250 ° C. or higher.

(密着性評価)
以下の手順にて、焼成膜を形成した。
電磁波遮蔽用配線回路を形成した際と同様に、銅微粒子分散液の調整を行い、表1〜3に示す実施例1−1〜1−25、並びに比較例1、2、3−1〜3−7の銅微粒子分散液を、2cm×2cm、厚みが100μmの透明なポリエチレンテレフタレート樹脂(=PET)フィルム(東洋紡(株)製、品番;A4300)上に塗布した。その後、アルゴンガス雰囲気中において、約150℃で30分間保持して塗膜を乾燥させた後、さらに窒素雰囲気中、210℃で1時間熱処理を行った。その後熱処理炉中でゆっくりと室温まで炉冷した。
上記の方法により、得られた焼成膜について、テープ剥離試験を行った。
(Adhesion evaluation)
A fired film was formed by the following procedure.
The copper fine particle dispersion was adjusted in the same manner as when the electromagnetic wave shielding wiring circuit was formed, and Examples 1-1 to 1-25 and Comparative Examples 1, 2, and 3-1 to 3 shown in Tables 1 to 3 were prepared. The copper fine particle dispersion of −7 was applied onto a transparent polyethylene terephthalate resin (= PET) film (product number: A4300, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a thickness of 2 cm × 2 cm and a thickness of 100 μm. Thereafter, the coating film was dried at about 150 ° C. for 30 minutes in an argon gas atmosphere, and then further heat-treated at 210 ° C. for 1 hour in a nitrogen atmosphere. Thereafter, the furnace was slowly cooled to room temperature in a heat treatment furnace.
The tape peeling test was done about the obtained fired film by said method.

試験結果を表1から表3に示す。表1及び表2から明らかなように、実施例1−1〜1−25の銅微粒子分散液から得られた焼成膜は、密着性に優れていた。ただし、導電性評価において、焼結温度が180℃の低温でも電気抵抗がよかった、有機溶媒(C)が95体積%以上のような場合(実施例1−7、1−13、1−23)では、密着性があまり優れているとはいえないことがわかった。
一方、表3から明らかなように、比較例の銅微粒子分散液から得られた焼成膜は、密着性に乏しかった。
The test results are shown in Tables 1 to 3. As is clear from Table 1 and Table 2, the fired films obtained from the copper fine particle dispersions of Examples 1-1 to 1-25 were excellent in adhesion. However, in the electrical conductivity evaluation, the electrical resistance was good even at a low sintering temperature of 180 ° C., and the organic solvent (C) was 95% by volume or more (Examples 1-7, 1-13, 1-23) Then, it turned out that it cannot be said that adhesiveness is very excellent.
On the other hand, as is apparent from Table 3, the fired film obtained from the copper fine particle dispersion of the comparative example had poor adhesion.

以上から明らかなように、有機溶媒(A)〜(E)を所定の割合の範囲内で配合を行った分散媒を用いることで、導電性および密着性を両立した導電材を形成することができた。   As is clear from the above, by using a dispersion medium in which the organic solvents (A) to (E) are blended within a predetermined ratio range, a conductive material having both conductivity and adhesion can be formed. did it.

(インクの安定性評価)
次に、実施例で使用した銅微粒子分散液の保管安定性を評価した結果について説明する。
銅微粒子分散液を、35℃、密封状態にて1ヶ月保管することで、保管安定性を評価した。その結果、銅微粒子分散液において沈殿物は見られなかった。
(Ink stability evaluation)
Next, the results of evaluating the storage stability of the copper fine particle dispersion used in the examples will be described.
Storage stability was evaluated by storing the copper fine particle dispersion in a sealed state at 35 ° C. for one month. As a result, no precipitate was observed in the copper fine particle dispersion.

また、銅微粒子分散液に黒色無機顔料の導電性カーボンブラック(ケッチェンブラック(登録商標))を添加したものに関しては、35℃、密封状態にて1ヶ月保管することにより保管安定性を評価した。その結果、銅微粒子分散液(A)に黒色無機顔料(導電性カーボンブラック)インクを添加したものには、沈殿物が生じた。また、銅微粒子分散液(B)に関しても同様に沈殿物が生じた。   In addition, with respect to the copper fine particle dispersion added with conductive carbon black (Ketjen Black (registered trademark)) as a black inorganic pigment, storage stability was evaluated by storing it at 35 ° C. for one month in a sealed state. . As a result, a precipitate was formed in the case where the black inorganic pigment (conductive carbon black) ink was added to the copper fine particle dispersion (A). Further, a precipitate was similarly generated in the copper fine particle dispersion (B).

沈殿物をエネルギー分散型X線分光EDS(energy-dispersive X-ray spectroscopy)を用いて分析したところ、強いCとCuのピークが確認された。黒色無機顔料インクの導電性カーボンブラックと銅粒子が凝集を起こし沈殿したものと考えられる。   When the precipitate was analyzed using energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS), strong C and Cu peaks were confirmed. It is considered that the conductive carbon black and the copper particles of the black inorganic pigment ink are aggregated and precipitated.

なお、このように沈殿物が生じた銅微粒子分散液はインクジェットヘッドに入れた場合に、ノズル詰まりが生じてしまい配線形成を行うことができず、更にはヘッド交換が必要となり、実質的には使用することができない。   In addition, when the copper fine particle dispersion in which the precipitate is generated in this manner is put in the ink jet head, nozzle clogging occurs and wiring formation cannot be performed, and further, the head needs to be replaced. Cannot be used.

したがって、インクジェットヘッドのノズル詰まり無しに導電性が良好な電磁波遮蔽用シートを形成するためには、本実施例のように黒色無機顔料インクと銅微粒子分散液を別のインクジェットヘッドに入れて配線形成することが有効であることがわかる。   Therefore, in order to form an electromagnetic wave shielding sheet having good conductivity without clogging the nozzles of the inkjet head, the wiring is formed by putting the black inorganic pigment ink and the copper fine particle dispersion into different inkjet heads as in this embodiment. It turns out that it is effective.

(電磁波遮蔽用シート)
実施例の銅微粒子分散液と黒色無機顔料インクとを用いて、図1に示すように、透明基材フィルム(PETフィルム)14上に黒色層12と焼結配線層11を形成し、電磁波遮蔽用配線回路10を得た。得られた焼結配線層11の層厚は、特に限定されるものではないが、一般に0.5〜100μmの範囲である。この導電層の厚さは、薄過ぎると電磁波シールド性が低下するので好ましくなく、厚過ぎると得られる電磁波シールド性光透過窓材自体の厚さに影響を及ぼすと共に、視野角を狭くしてしまうことから、0.5〜100μmの範囲にするのが好ましい。また、導電層の線幅が、5〜20μmであることが好ましく、特に5〜15μmであることが好ましい。線幅を小さくすることにより、ディスプレイの画素に対してモアレの発生を抑えることができ、透明性を向上させる開口率も大きくすることができる。
(Electromagnetic wave shielding sheet)
Using the copper fine particle dispersion of the example and the black inorganic pigment ink, as shown in FIG. 1, a black layer 12 and a sintered wiring layer 11 are formed on a transparent substrate film (PET film) 14 to shield the electromagnetic wave. A wiring circuit 10 was obtained. The layer thickness of the obtained sintered wiring layer 11 is not particularly limited, but is generally in the range of 0.5 to 100 μm. If the thickness of the conductive layer is too thin, the electromagnetic shielding property is deteriorated, which is not preferable. If the thickness is too thick, the thickness of the obtained electromagnetic shielding light transmitting window material itself is affected and the viewing angle is narrowed. For this reason, it is preferable that the thickness is in the range of 0.5 to 100 μm. Moreover, it is preferable that the line | wire width of a conductive layer is 5-20 micrometers, and it is especially preferable that it is 5-15 micrometers. By reducing the line width, it is possible to suppress the occurrence of moiré with respect to the pixels of the display and to increase the aperture ratio for improving transparency.

次に、電磁波遮蔽用配線回路10のPETフィルム14の黒色層12と焼結配線層11が形成されていない側に、PETフィルム31にアクリル系粘着剤層32を積層し、PETフィルムの粘着剤層が積層されてない側にコロナ放電処理を施した、総厚みが28μmの保護フィルム30(パナック工業(株)製、品番;HT−25)をラミネーターローラを用いて貼り合せを行なった。これにより、保護フィルム30/PETフィルム14/黒色層12/焼結配線層(銅メッシュ)11の構成の積層体とした。得られた積層体の焼結配線層11側に、ポリエチレンフィルム21にアクリル系粘着剤層22を積層した、総厚みが65μmの保護フィルム20((株)サンエー化研製、品名;サニテクトY−26F)をラミネーターローラを用いて貼り合せを行なった。以上により、図1に示すような、保護フィルム30/PETフィルム14/黒色層12/焼結配線層(銅メッシュ)11/保護フィルム20の構成の電磁波遮蔽用シート1を得た。   Next, an acrylic pressure-sensitive adhesive layer 32 is laminated on the PET film 31 on the side where the black layer 12 and the sintered wiring layer 11 of the PET film 14 of the electromagnetic wave shielding wiring circuit 10 are not formed. A protective film 30 (manufactured by Panac Industry Co., Ltd., product number: HT-25) having a total thickness of 28 μm, which had been subjected to corona discharge treatment on the side where the layers were not laminated, was bonded using a laminator roller. Thereby, it was set as the laminated body of the structure of the protective film 30 / PET film 14 / black layer 12 / sintered wiring layer (copper mesh) 11. FIG. Protective film 20 having a total thickness of 65 μm obtained by laminating an acrylic pressure-sensitive adhesive layer 22 on polyethylene film 21 on the sintered wiring layer 11 side of the obtained laminate (product name: Sanitect Y-26F, manufactured by Sanei Kaken Co., Ltd.) ) Was laminated using a laminator roller. Thus, an electromagnetic wave shielding sheet 1 having a configuration of protective film 30 / PET film 14 / black layer 12 / sintered wiring layer (copper mesh) 11 / protective film 20 as shown in FIG. 1 was obtained.

以上のように、本発明の電磁波遮蔽用シートは、電磁波遮蔽性に優れ、モアレの発生がほとんどなく、また開口率も高いことから透明性にも優れている。このため、本発明の電磁波遮蔽用シートは、PDPの前面フィルムとして好適であり、また病院や大学の研究機関等の電磁波遮蔽性を必要とされる環境への適用(貼着用フィルム等)において、有利に使用することができる。   As described above, the electromagnetic wave shielding sheet of the present invention is excellent in electromagnetic wave shielding properties, hardly causes moiré, and has a high aperture ratio, and thus is excellent in transparency. For this reason, the electromagnetic wave shielding sheet of the present invention is suitable as a front film for PDP, and in an application to an environment where electromagnetic shielding properties such as a research institution of a hospital or a university are required (such as a sticking film), It can be used advantageously.

本発明の電磁波遮蔽用配線回路を有する電磁波遮蔽用シートの例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of the sheet | seat for electromagnetic wave shielding which has the wiring circuit for electromagnetic wave shielding of this invention. 本発明の電磁波遮蔽用配線回路を有する電磁波遮蔽用パネルの例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of the electromagnetic wave shielding panel which has the wiring circuit for electromagnetic wave shielding of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 電磁波遮蔽用シート
10 積層体
11 焼結配線層
11a 開孔部
12 黒色層
14 透明基材フィルム
20 保護フィルム
30 保護フィルム
40 電磁波遮蔽用パネル
50 観察側用フィルム
50’ 背面用フィルム
60 近赤外吸収フィルム
70 ガラス基板

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electromagnetic wave shielding sheet 10 Laminate body 11 Sintered wiring layer 11a Opening part 12 Black layer 14 Transparent base film 20 Protective film 30 Protective film 40 Electromagnetic wave shielding panel 50 Observation side film 50 ′ Rear film 60 Near infrared Absorption film 70 Glass substrate

Claims (8)

銅微粒子(P)を、
(i)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)5〜90体積%と、常圧における沸点が20℃以上で、かつ、ドナー数が17以上の有機溶媒(B)5〜45体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)5〜90体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(A)〜(C)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S1)、
(ii)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)20〜95体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)5〜80体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(A)、(C)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S2)
iv)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)24〜64体積%と、常圧における沸点が20〜100℃である低沸点の有機溶媒(B)5〜39体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)30〜70体積%と、アミン系化合物を有する有機溶媒(E)1〜40体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(A)〜(C)、(E)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S4)、
(v)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)30〜94体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)30〜94体積%,アミン系化合物を有する有機溶媒(E)1〜40 体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(A)、(C)、(E)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S5)、及び
(vi)常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)80〜90体積%と、アミン系化合物を有する有機溶媒(E)10〜20体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(C)、(E)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S6)
から選択される分散媒(S)に分散させて銅微粒子分散液を調整する工程と、
前記銅微粒子分散液を、基板上又は前記基板上に形成された黒色層上に塗布又は印刷して、該銅微粒子分散液の液膜からなる配線パターンを形成する工程と、
前記銅微粒子分散液の液膜を焼成して焼結配線層を形成する工程と
を有することを特徴とする電磁波遮蔽用配線回路の形成方法。
Copper fine particles (P)
(I) 5 to 90% by volume of an organic solvent (A) having an amide compound, 5 to 45% by volume of an organic solvent (B) having a boiling point of 20 ° C. or higher at normal pressure and 17 or more donors, A dispersion medium having an organic solvent (C) of 5 to 90% by volume having a boiling point at normal pressure exceeding 100 ° C. and comprising alcohol and / or polyhydric alcohol, from the organic solvents (A) to (C) A dispersion medium (S1) containing 90% by volume or more of
(Ii) 20 to 95% by volume of an organic solvent (A) having an amide-based compound, 5 to 80% by volume of an organic solvent (C) having a boiling point exceeding 100 ° C. at normal pressure and comprising alcohol and / or a polyhydric alcohol A dispersion medium containing 90% by volume or more of the component consisting of the organic solvents (A) and (C) (S2) ,
( Iv) 24 to 64% by volume of an organic solvent (A) having an amide compound, 5 to 39% by volume of a low-boiling organic solvent (B) having a boiling point of 20 to 100 ° C. at normal pressure, and a boiling point at normal pressure There exceed 100 ° C., and met dispersion medium containing an alcohol and / or a polyhydric organic solvent (C) 30 to 70% by volume composed of an alcohol and an organic solvent (E) 1 to 40 vol% with an amine compound A dispersion medium (S4) containing 90% by volume or more of the component consisting of the organic solvents (A) to (C) and (E ),
(V) 30 to 94% by volume of an organic solvent (A) having an amide-based compound, and 30 to 94% by volume of an organic solvent (C) having a boiling point exceeding 100 ° C. at normal pressure and comprising an alcohol and / or a polyhydric alcohol. , A dispersion medium containing 1 to 40% by volume of an organic solvent (E) having an amine compound , wherein the component comprising the organic solvents (A), (C) and (E) is contained by 90% by volume or more. dispersion media are (S5), and (vi) a boiling point of greater than 100 ° C. at normal pressure, and alcohol and / or organic solvent (C) and 80 to 90 volume percent composed of polyhydric alcohols, organic solvents having an amine compound (E) Dispersion medium containing 10 to 20% by volume , wherein the dispersion medium (S6) contains 90% by volume or more of the organic solvent (C) and (E ).
A step of adjusting the copper fine particle dispersion by dispersing in a dispersion medium (S) selected from:
Applying or printing the copper fine particle dispersion on a substrate or a black layer formed on the substrate to form a wiring pattern comprising a liquid film of the copper fine particle dispersion; and
Forming a sintered wiring layer by firing a liquid film of the copper fine particle dispersion, and forming a wiring circuit for shielding electromagnetic waves.
前記焼結配線層上に黒色層を形成する工程をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の電磁波遮蔽用配線回路の形成方法。   The method for forming an electromagnetic shielding wiring circuit according to claim 1, further comprising a step of forming a black layer on the sintered wiring layer. 前記黒色層は、黒色無機顔料を含む顔料分散液を、前記基板又は前記焼結配線層上に重ねて塗布又は印刷することで形成されることを特徴とする請求項2に記載の電磁波遮蔽用配線回路の形成方法。   The electromagnetic wave shielding device according to claim 2, wherein the black layer is formed by applying or printing a pigment dispersion containing a black inorganic pigment on the substrate or the sintered wiring layer. A method of forming a wiring circuit. 前記塗布又は印刷は、インクジェット法又はスクリーン印刷法により行われることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の電磁波遮蔽用配線回路の形成方法。   The method for forming an electromagnetic shielding wiring circuit according to claim 1, wherein the coating or printing is performed by an inkjet method or a screen printing method. 銅微粒子(P)を、
(i)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)5〜90体積%と、常圧における沸点が20℃以上で、かつ、ドナー数が17以上の有機溶媒(B)5〜45体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)5〜90体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(A)〜(C)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S1)、
(ii)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)20〜95体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)5〜80体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(A)、(C)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S2)
iv)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)24〜64体積%と、常圧における沸点が20〜100℃である低沸点の有機溶媒(B)5〜39体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)30〜70体積%と、アミン系化合物を有する有機溶媒(E)1〜40体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(A)〜(C)、(E)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S4)、
(v)アミド系化合物を有する有機溶媒(A)30〜94体積%と、常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)30〜94体積%,アミン系化合物を有する有機溶媒(E)1〜40 体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(A)、(C)、(E)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S5)、及び
(vi)常圧における沸点が100℃を超え、且つアルコール及び/又は多価アルコールからなる有機溶媒(C)80〜90体積%と、アミン系化合物を有する有機溶媒(E)10〜20体積%とを含む分散媒であって、前記有機溶媒(C)、(E)からなる成分が90体積%以上含まれている分散媒(S6)
から選択される分散媒(S)に分散させて銅微粒子分散液を調整する工程と、
前記銅微粒子分散液を、基板上に塗布又は印刷して、該銅微粒子分散液の液膜からなる配線パターンを形成する工程(a)と、
黒色無機顔料を含む顔料分散液を、前記銅微粒子分散液の液膜上に重ねて塗布又は印刷する工程(b)と、
前記銅微粒子分散液の液膜及び顔料分散液を焼成して、銅焼結層及び黒色層からなる2層構造の焼結配線を形成する工程と
を有することを特徴とする電磁波遮蔽用配線回路の形成方法。
Copper fine particles (P)
(I) 5 to 90% by volume of an organic solvent (A) having an amide compound, 5 to 45% by volume of an organic solvent (B) having a boiling point of 20 ° C. or higher at normal pressure and 17 or more donors, A dispersion medium having an organic solvent (C) of 5 to 90% by volume having a boiling point at normal pressure exceeding 100 ° C. and comprising alcohol and / or polyhydric alcohol, from the organic solvents (A) to (C) A dispersion medium (S1) containing 90% by volume or more of
(Ii) 20 to 95% by volume of an organic solvent (A) having an amide-based compound, 5 to 80% by volume of an organic solvent (C) having a boiling point exceeding 100 ° C. at normal pressure and comprising alcohol and / or a polyhydric alcohol A dispersion medium containing 90% by volume or more of the component consisting of the organic solvents (A) and (C) (S2) ,
( Iv) 24 to 64% by volume of an organic solvent (A) having an amide compound, 5 to 39% by volume of a low-boiling organic solvent (B) having a boiling point of 20 to 100 ° C. at normal pressure, and a boiling point at normal pressure There exceed 100 ° C., and met dispersion medium containing an alcohol and / or a polyhydric organic solvent (C) 30 to 70% by volume composed of an alcohol and an organic solvent (E) 1 to 40 vol% with an amine compound A dispersion medium (S4) containing 90% by volume or more of the component consisting of the organic solvents (A) to (C) and (E ),
(V) 30 to 94% by volume of an organic solvent (A) having an amide-based compound, and 30 to 94% by volume of an organic solvent (C) having a boiling point exceeding 100 ° C. at normal pressure and comprising an alcohol and / or a polyhydric alcohol. , A dispersion medium containing 1 to 40% by volume of an organic solvent (E) having an amine compound , wherein the component comprising the organic solvents (A), (C) and (E) is contained by 90% by volume or more. dispersion media are (S5), and (vi) a boiling point of greater than 100 ° C. at normal pressure, and alcohol and / or organic solvent (C) and 80 to 90 volume percent composed of polyhydric alcohols, organic solvents having an amine compound (E) Dispersion medium containing 10 to 20% by volume , wherein the dispersion medium (S6) contains 90% by volume or more of the organic solvent (C) and (E ).
A step of adjusting the copper fine particle dispersion by dispersing in a dispersion medium (S) selected from:
Applying or printing the copper fine particle dispersion on a substrate to form a wiring pattern comprising a liquid film of the copper fine particle dispersion; and
A step (b) of applying or printing a pigment dispersion containing a black inorganic pigment on the liquid film of the copper fine particle dispersion;
A wiring circuit for shielding electromagnetic waves, comprising: baking a liquid film of the copper fine particle dispersion and a pigment dispersion to form a sintered wiring having a two-layer structure including a copper sintered layer and a black layer. Forming method.
前記工程(a)の後に前記工程(b)を行うことを特徴とする請求項5に記載の電磁波遮蔽用配線回路の形成方法。   6. The method for forming an electromagnetic shielding wiring circuit according to claim 5, wherein the step (b) is performed after the step (a). 前記塗布又は印刷は、インクジェット法又はスクリーン印刷法により行われることを特徴とする請求項5または6に記載の電磁波遮蔽用配線回路の形成方法。   The method for forming an electromagnetic shielding wiring circuit according to claim 5 or 6, wherein the coating or printing is performed by an ink jet method or a screen printing method. 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の電磁波遮蔽用配線回路の形成方法により形成された配線回路と、
前記配線回路の上下面両方に設けられた保護フィルムと
を有することを特徴とする電磁波遮蔽用シート。
A wiring circuit formed by the method for forming an electromagnetic shielding wiring circuit according to any one of claims 1 to 7,
An electromagnetic wave shielding sheet comprising protective films provided on both upper and lower surfaces of the wiring circuit.
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