JP5025638B2 - Signal output device, test device, and program - Google Patents
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Description
本発明は、信号出力装置、信号検出装置、試験装置、電子デバイスおよびプログラムに関する。特に本発明は、パターン信号を出力する信号出力装置、入力されるパターン信号を検出する信号検出装置、被試験デバイスを試験する試験装置、電子デバイスおよびプログラムに関する。本出願は、下記の日本出願に関連する。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。
1.特願2006−116204 出願日 2006年4月19日The present invention relates to a signal output apparatus, a signal detection apparatus, a test apparatus, an electronic device, and a program. In particular, the present invention relates to a signal output apparatus that outputs a pattern signal, a signal detection apparatus that detects an input pattern signal, a test apparatus that tests a device under test, an electronic device, and a program. This application is related to the following Japanese application. For designated countries where incorporation by reference of documents is permitted, the contents described in the following application are incorporated into this application by reference and made a part of this application.
1. Japanese Patent Application No. 2006-116204 Filing Date April 19, 2006
半導体デバイスを試験する試験装置は、ソケット、ケーブルおよびパフォーマンスボード等により形成された伝送線路を介して試験信号を半導体デバイスに供給し、当該伝送線路を介して半導体デバイスから出力された出力信号を入力する(例えば、特許文献1参照。)。
図1は、伝送線路を通過した試験信号または出力信号を示す。図2は、伝送線路を通過した試験信号または出力信号のパルス幅に対する位相を示す。 FIG. 1 shows a test signal or output signal that has passed through a transmission line. FIG. 2 shows the phase with respect to the pulse width of the test signal or output signal that has passed through the transmission line.
伝送線路の受信端における試験信号および出力信号は、伝送線路を通過することによって高周波成分がカットされるので、図1に示すように、エッジの傾きがなまる。エッジの傾きがなまることにより、比較的に短いパルス幅のパターンは、セットリングしなくなる。すなわち、比較的に短いパルス幅のパターンは、前エッジにおける変化によって到達すべきレベルに達する前に、後エッジにおける変化が開始されてしまう。 Since the test signal and the output signal at the receiving end of the transmission line are cut off from the high frequency component by passing through the transmission line, the inclination of the edge is reduced as shown in FIG. A pattern having a relatively short pulse width is not set due to the slant of the edge. In other words, a pattern with a relatively short pulse width starts a change at the trailing edge before reaching the level to be reached by a change at the leading edge.
このようなセットリングせずに後エッジにおける変化が開始されたパターンを所定の閾値で2値化して論理値信号を生成した場合、当該論理値信号は、論理値の遷移タイミングの位相が、本来のパターンを2値化した場合の位相よりも早くなる。すなわち、比較的に短いパルス幅のパターンは、伝送線路を通過することによりジッタが生じ、パルス幅が本来の幅よりも短くなってしまう。このようなジッタのことを「パターン依存ジッタ」と称する。このパターン依存ジッタは、図2に示すように、パルス幅がより短いほど大きくなる。 When a logic value signal is generated by binarizing a pattern in which a change in the trailing edge is started without performing such settling with a predetermined threshold, the phase of the transition timing of the logic value is the original value of the logic value signal. This is faster than the phase when the pattern is binarized. That is, a relatively short pulse width pattern causes jitter by passing through the transmission line, and the pulse width becomes shorter than the original width. Such jitter is referred to as “pattern-dependent jitter”. As shown in FIG. 2, the pattern-dependent jitter increases as the pulse width becomes shorter.
ここで、試験信号にパターン依存ジッタが生じる場合、試験装置は、指定されたタイミングで当該試験信号を半導体デバイスに供給できず、この結果、半導体デバイスに期待していない動作をさせてしまう可能性がある。また、出力信号にパターン依存ジッタが生じた場合、試験装置は、取得すべきタイミングで出力信号を検出できず、この結果、半導体デバイスが期待した出力信号を出力したにもかかわらず、不良と判定してしまう可能性がある。 Here, when pattern-dependent jitter occurs in the test signal, the test apparatus cannot supply the test signal to the semiconductor device at the designated timing, and as a result, the semiconductor device may cause an unexpected operation. There is. Also, if pattern-dependent jitter occurs in the output signal, the test equipment cannot detect the output signal at the timing to be acquired, and as a result, the semiconductor device determines that it is defective despite outputting the expected output signal. There is a possibility that.
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる信号出力装置、信号検出装置、試験装置、電子デバイスおよびプログラムを提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a signal output device, a signal detection device, a test device, an electronic device, and a program that can solve the above-described problems. This object is achieved by a combination of features described in the independent claims. The dependent claims define further advantageous specific examples of the present invention.
本発明の第1の形態によると、パターン信号を出力する信号出力装置であって、生成すべきパターン信号の波形データを生成するパターン発生部と、パターン信号が有するべきパターン周期に応じてタイミング信号を生成するタイミング発生部と、パターン発生部が出力する波形データを受け取り、波形データに基づいて、タイミング発生部が出力するタイミング信号の出力タイミングを制御するタイミング制御部と、タイミング発生部が出力するタイミング信号に応じて、パターン発生部が出力する波形データのデータ値に応じたパターン信号を生成する波形成形部とを備え、タイミング制御部は、波形データにおいてデータ値が遷移する第1遷移データと、第2遷移データとの間隔が予め定められた間隔より小さい場合に、第2遷移データに対応するタイミング信号の出力タイミングを、パターン周期により定まる出力タイミングより遅くする信号出力装置を提供する。 According to the first aspect of the present invention, there is provided a signal output device that outputs a pattern signal, a pattern generation unit that generates waveform data of a pattern signal to be generated, and a timing signal according to a pattern period that the pattern signal should have A timing generation unit that generates a signal, waveform data output from the pattern generation unit, a timing control unit that controls output timing of a timing signal output from the timing generation unit based on the waveform data, and a timing generation unit that outputs A waveform shaping unit that generates a pattern signal corresponding to the data value of the waveform data output from the pattern generation unit in response to the timing signal, and the timing control unit includes first transition data in which the data value transitions in the waveform data; When the interval between the second transition data and the second transition data is smaller than the predetermined interval, The output timing of the corresponding timing signals, to provide a signal output device to delay the output timing determined by the pattern period.
タイミング発生部は、与えられる周期信号を遅延してタイミング信号を生成し、タイミング制御部は、それぞれのタイミング信号の遅延量を制御してよい。 Timing generation unit, and delaying the periodic signal provided to generate a timing signal, the timing control unit may control the delay amount of each of the timing signals.
タイミング制御部は、パターン信号が所定の伝送経路を伝送する場合において、パターン信号のエッジが近接した場合に生じるパターン依存ジッタ量が予め与えられるジッタ量格納部と、波形データのそれぞれの遷移データについて、直前の遷移データとの間隔が予め定められた間隔より小さいか否かを判定する近接判定部と、近接判定部において、直前の遷移データとの間隔が予め定められた間隔より小さいと判定された遷移データに対応するタイミング信号の、タイミング発生部における遅延量を、パターン依存ジッタ量に応じて減じる遅延量制御部とを有してよい。 The timing control unit includes a jitter amount storage unit in which a pattern-dependent jitter amount generated when edges of pattern signals approach each other when the pattern signal is transmitted through a predetermined transmission path, and each transition data of the waveform data. The proximity determining unit that determines whether or not the interval with the immediately preceding transition data is smaller than a predetermined interval, and the proximity determining unit determines that the interval with the immediately preceding transition data is smaller than the predetermined interval. A delay amount control unit that reduces a delay amount of the timing signal corresponding to the transition data in the timing generation unit according to the pattern dependent jitter amount.
パターン発生部は、生成すべきパターン信号の立ち上がりエッジのパターンを規定するセットパターンデータと、生成すべきパターン信号の立ち下がりエッジのパターンを規定するリセットパターンデータとを、波形データとして生成し、タイミング発生部は、セットパターンデータに対応するセットタイミング信号と、リセットパターンデータに対応するリセットタイミング信号とを、タイミング信号として生成し、波形成形部は、セットパターンデータに応じた立ち上がりエッジを、セットタイミング信号に応じたタイミングで有し、リセットパターンデータに応じた立ち下がりエッジを、リセットタイミング信号に応じたタイミングで有するパターン信号を生成し、タイミング制御部は、セットパターンデータ及びリセットパターンデータに基づいて、波形データのそれぞれの遷移データ間隔を検出してよい。タイミング制御部は、波形データにおいてデータ値が遷移する頻度に応じて、タイミング信号の出力タイミングを制御してよい。 The pattern generator generates, as waveform data, set pattern data that defines the pattern of the rising edge of the pattern signal to be generated and reset pattern data that defines the pattern of the falling edge of the pattern signal to be generated. The generation unit generates a set timing signal corresponding to the set pattern data and a reset timing signal corresponding to the reset pattern data as a timing signal, and the waveform shaping unit generates a rising edge corresponding to the set pattern data as the set timing. A pattern signal having a timing corresponding to the signal and having a falling edge corresponding to the reset pattern data at a timing corresponding to the reset timing signal is generated, and the timing control unit sets the set pattern data and reset pattern data. Based on the data, it may detect each transition data interval of the waveform data. The timing control unit may control the output timing of the timing signal according to the frequency at which the data value transitions in the waveform data.
本発明の第2の形態によると、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスにパターン信号を入力する信号発生装置と、被試験デバイスが出力する出力信号を検出する信号検出装置と、信号検出装置が検出した出力信号に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備え、信号発生装置は、生成すべきパターン信号の波形データを生成するパターン発生部と、パターン信号が有するべきパターン周期に応じてタイミング信号を生成するタイミング発生部と、パターン発生部が出力する波形データを受け取り、波形データに基づいて、タイミング発生部が出力するタイミング信号の出力タイミングを制御するタイミング制御部と、タイミング発生部が出力するタイミング信号に応じて、パターン発生部が出力する波形データのデータ値に応じたパターン信号を生成する波形成形部とを有し、タイミング制御部は、波形データにおいてデータ値が遷移する第1遷移データと、第2遷移データとの間隔が予め定められた間隔より小さい場合に、第2遷移データに対応するタイミング信号の出力タイミングを、パターン周期により定まる出力タイミングより遅くする試験装置を提供する。 According to the second embodiment of the present invention, a test apparatus for testing a device under test, a signal generator for inputting a pattern signal to the device under test, and a signal detection apparatus for detecting an output signal output from the device under test And a determination unit that determines the quality of the device under test based on the output signal detected by the signal detection device. The signal generation device generates a waveform data of a pattern signal to be generated, and a pattern A timing generator that generates a timing signal according to a pattern cycle that the signal should have, and waveform data output by the pattern generator, and controls the output timing of the timing signal output by the timing generator based on the waveform data Waves output by the pattern generator in response to timing signals output from the timing controller and the timing generator Have a waveform shaping section for generating a pattern signal corresponding to the data value of the data, the timing controller includes a first transition data data value transits in the waveform data, the distance between the second transition data predetermined And a test apparatus that delays the output timing of the timing signal corresponding to the second transition data from the output timing determined by the pattern period .
タイミング発生部は、与えられる周期信号を遅延してタイミング信号を生成し、タイミング制御部は、信号発生装置から信号検出装置までの伝送経路において、パターン信号のエッジが近接した場合に生じるパターン依存ジッタ量が予め与えられるジッタ量格納部と、波形データのそれぞれの遷移データについて、直前の遷移データとの間隔が予め定められた間隔より小さいか否かを判定する近接判定部と、近接判定部において、直前の遷移データとの間隔が予め定められた間隔より小さいと判定された遷移データに対応するタイミング信号の、タイミング発生部における遅延量を、パターン依存ジッタ量に応じて減じる遅延量制御部とを有してよい。 The timing generation unit generates a timing signal by delaying a given periodic signal, and the timing control unit generates pattern-dependent jitter that occurs when the edges of the pattern signal come close to each other in the transmission path from the signal generation device to the signal detection device. A proximity determination unit that determines whether or not the interval between the immediately preceding transition data is smaller than a predetermined interval with respect to each transition data of the waveform data and a jitter amount storage unit to which the amount is given in advance, and a proximity determination unit A delay amount control unit for reducing the delay amount in the timing generation unit of the timing signal corresponding to the transition data determined to be smaller than a predetermined interval from the immediately preceding transition data according to the pattern-dependent jitter amount; May be included.
タイミング制御部は、それぞれのタイミング信号の遅延量を制御してよい。The timing control unit may control the delay amount of each timing signal.
パターン発生部は、生成すべきパターン信号の立ち上がりエッジのパターンを規定するセットパターンデータと、生成すべきパターン信号の立ち下がりエッジのパターンを規定するリセットパターンデータとを、波形データとして生成し、タイミング発生部は、セットパターンデータに対応するセットタイミング信号と、リセットパターンデータに対応するリセットタイミング信号とを、タイミング信号として生成し、波形成形部は、セットパターンデータに応じた立ち上がりエッジを、セットタイミング信号に応じたタイミングで有し、リセットパターンデータに応じた立ち下がりエッジを、リセットタイミング信号に応じたタイミングで有するパターン信号を生成し、タイミング制御部は、セットパターンデータ及びリセットパターンデータに基づいて、波形データのそれぞれの遷移データ間隔を検出してよい。The pattern generator generates, as waveform data, set pattern data that defines the pattern of the rising edge of the pattern signal to be generated and reset pattern data that defines the pattern of the falling edge of the pattern signal to be generated. The generation unit generates a set timing signal corresponding to the set pattern data and a reset timing signal corresponding to the reset pattern data as a timing signal, and the waveform shaping unit generates a rising edge corresponding to the set pattern data as the set timing. A pattern signal having a timing corresponding to the signal and having a falling edge corresponding to the reset pattern data at a timing corresponding to the reset timing signal is generated, and the timing control unit sets the set pattern data and reset pattern data. Based on the data, it may detect each transition data interval of the waveform data.
タイミング制御部は、波形データにおいてデータ値が遷移する頻度に応じて、タイミング信号の出力タイミングを制御してよい。The timing control unit may control the output timing of the timing signal according to the frequency at which the data value transitions in the waveform data.
本発明の第1の形態による信号出力装置として、情報処理装置を機能させるプログラムを提供する。 As the signal output device according to a first embodiment of the present invention, there is provided a program causing an information processing apparatus to function.
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。 The above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention, and sub-combinations of these feature groups can also be the invention.
10 試験装置
12 信号発生装置
14 信号検出装置
16 判定部
20 パターン発生部
22 周期発生部
24 信号発生用タイミング発生部
26 タイミング制御部
28 波形成形部
30 ドライバ
32 ジッタ量格納部
34 近接判定部
36 遅延量制御部
42 セットタイミング発生部
44 リセットタイミング発生部
52−1 第1遅延設定部
54−1 第1加算部
56−1 第1粗遅延部
58−1 第1微小遅延部
52−2 第2遅延設定部
54−2 第2加算部
56−2 第2粗遅延部
58−2 第2微小遅延部
60 SRラッチ
62 第1比較部
64 第2比較部
66 選択制御部
68 選択部
70 信号検出用タイミング発生部
72 遅延回路
74 近接判定部
76 制御部
80 中央検出用タイミング発生部
82 第3比較部
100 被試験デバイス
1900 コンピュータ
2000 CPU
2010 ROM
2020 RAM
2030 通信インターフェイス
2040 ハードディスクドライブ
2050 フレキシブルディスク・ドライブ
2060 CD−ROMドライブ
2070 入出力チップ
2075 グラフィック・コントローラ
2080 表示装置
2082 ホスト・コントローラ
2084 入出力コントローラ
2090 フレキシブルディスク
2095 CD−ROMDESCRIPTION OF
2010 ROM
2020 RAM
2030
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。 Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention. However, the following embodiments do not limit the claimed invention, and all combinations of features described in the embodiments are invented. It is not always essential to the solution.
図3は、本実施形態に係る試験装置10の構成を被試験デバイス100とともに示す。試験装置10は、被試験デバイス100を試験する。試験装置10は、信号発生装置12と、信号検出装置14と、判定部16とを備える。信号発生装置12は、被試験デバイス100にパターン信号を入力する。信号検出装置14は、被試験デバイス100が出力する出力信号を検出する。判定部16は、信号検出装置14が検出した出力信号に基づいて、被試験デバイス100の良否を判定する。
FIG. 3 shows the configuration of the
図4は、本実施形態に係る信号発生装置12の構成を被試験デバイス100とともに示す。信号発生装置12は、被試験デバイス100に対して、パターン信号を試験信号として出力する。信号発生装置12は、パターン発生部20と、周期発生部22と、信号発生用タイミング発生部24と、タイミング制御部26と、波形成形部28と、ドライバ30とを有する。パターン発生部20は、生成すべきパターン信号の波形データを生成する。パターン発生部20は、一例として、パターン信号の立ち上がりエッジのタイミングおよび立ち下りエッジのタイミングを示す波形データを、テストサイクル周期毎に生成してよい。
FIG. 4 shows the configuration of the
周期発生部22は、周期信号を発生する。周期発生部22は、一例として、テストサイクル周期の開始タイミングを示す周期信号を発生してよい。信号発生用タイミング発生部24は、パターン信号が有するべきパターン周期に応じてタイミング信号を生成する。信号発生用タイミング発生部24は、一例として、パターン発生部20が出力する波形データに応じて、周期発生部22から与えられる周期信号を遅延してタイミング信号を生成してよい。
The
タイミング制御部26は、パターン発生部20が出力する波形データを受け取り、波形データに基づいて、信号発生用タイミング発生部24が出力するタイミング信号の出力タイミングを制御する。タイミング制御部26は、一例として、波形データにおいてデータ値が遷移する第1遷移データと、第1遷移データの直後にデータ値が遷移する第2遷移データとの間隔が予め定められた間隔より小さい場合に、第2遷移データに対応するタイミング信号の出力タイミングを、パターン周期により定まる出力タイミングより遅くしてよい。
The
また、タイミング制御部26は、信号発生用タイミング発生部24が周期信号を遅延することによってタイミング信号を生成する場合、一例として、それぞれのタイミング信号の遅延量を制御してよい。さらに、遅延量を制御する場合において、タイミング制御部26は、一例として、ジッタ量格納部32と、近接判定部34と、遅延量制御部36とを含んでよい。ジッタ量格納部32は、パターン信号が所定の伝送経路を伝送する場合において、パターン信号のエッジが近接した場合に生じるパターン依存ジッタ量が予め与えられる。すなわち、ジッタ量格納部32は、比較的に短いパルス幅のパターンが伝送線路を通過した場合に、当該パターンに生じる位相のずれ量を格納する。ジッタ量格納部32は、一例として、波形成形部28の出力端から被試験デバイス100の入力端までの伝送経路を、比較的に短いパルス幅のパターンが通過した場合におけるパターン依存ジッタ量を格納してよい。
In addition, when the signal
近接判定部34は、波形データのそれぞれの遷移データについて、直前の遷移データとの間隔が予め定められた間隔より小さいか否かを判定する。遅延量制御部36は、近接判定部34において、直前の遷移データとの間隔が予め定められた間隔より小さいと判定された遷移データに対応するタイミング信号の、信号発生用タイミング発生部24における遅延量を、パターン依存ジッタ量に応じて減じる。このようなタイミング制御部26によれば、第1遷移データと第2遷移データとの間隔が小さいためにパターン依存ジッタが生じるパターンを出力する場合、第2遷移データに対応するタイミング信号の出力タイミングを、パターン周期による定まる本来の出力タイミングよりも遅く出力させることができる。
The
波形成形部28は、信号発生用タイミング発生部24が出力するタイミング信号に応じて、パターン発生部20が出力する波形データのデータ値に応じたパターン信号を生成する。波形成形部28は、一例として、タイミング信号に応じて立ち上るまたは立ち下がるパターン信号を生成してよい。ドライバ30は、波形成形部28により出力されたパターン信号を被試験デバイス100に供給する。ドライバ30は、一例として、パターン信号を伝送線路を介して被試験デバイス100に供給する。
The
このような信号発生装置12によれば、比較的に短いパルス幅のパターンを伝送経路を介して伝送する場合、当該パターンに生じるパターン依存ジッタを予め補償したパターン信号を出力することができる。従って、信号発生装置12によれば、伝送線路によってパターン依存ジッタが生じる場合であっても、指定されたタイミングで、受信先である被試験デバイス100にパターン信号を入力させることができる。
According to such a
図5は、本実施形態の一例に係る信号発生用タイミング発生部24および波形成形部28の構成を、パターン発生部20およびタイミング制御部26とともに示す。信号発生装置12は、立ち上がりエッジのタイミングおよび立ち下りエッジのタイミングを示す波形データを発生して、これらの波形データに示されたタイミングに基づきパターン信号を生成してよい。本例に係るパターン発生部20は、生成すべきパターン信号の立ち上がりエッジのパターンを規定するセットパターンデータと、生成すべきパターン信号の立ち下がりエッジのパターンを規定するリセットパターンデータとを、波形データとして生成する。
FIG. 5 shows the configuration of the signal generation
本例に係る信号発生用タイミング発生部24は、セットパターンデータに対応するセットタイミング信号と、リセットパターンデータに対応するリセットタイミング信号とを、タイミング信号として生成する。信号発生用タイミング発生部24は、一例として、セットパターンデータに基づき周期信号を遅延してセットタイミング信号を生成するセットタイミング発生部42と、リセットパターンデータに基づき周期信号を遅延してリセットタイミング信号を生成するリセットタイミング発生部44とを有してよい。
The signal
セットタイミング発生部42は、一例として、第1遅延設定部52−1と、第1加算部54−1と、第1粗遅延部56−1と、第1微小遅延部58−1とを含んでよい。第1遅延設定部52−1は、セットパターンデータに基づき、テストサイクルの開始タイミングからのパターン信号の立ち上がりエッジのタイミングまでの時間を示すセット遅延量をテストサイクル毎に発生する。第1加算部54−1は、セット遅延量とタイミング制御部26により出力されたセット側パターン依存ジッタ量とを加算して、補償後遅延量として出力する。第1粗遅延部56−1は、周期発生部22により発生されたテストパターン周期を示す周期信号を、補正後遅延量に示された時間分、基準クロック周期単位で遅延する。第1微小遅延部58−1は、第1粗遅延部56−1により遅延された周期信号を、補正後遅延量における基準クロック周期未満の時間分、遅延して、セットタイミング信号として出力する。
As an example, the set
リセットタイミング発生部44は、一例として、第2遅延設定部52−2と、第2加算部54−2と、第2粗遅延部56−2と、第2微小遅延部58−2とを含んでよい。第2遅延設定部52−2は、リセットパターンデータに基づき、テストサイクルの開始タイミングからのパターン信号の立ち下がりエッジのタイミングまでの時間を示すリセット遅延量をテストサイクル毎に発生する。第2加算部54−2は、リセット遅延量とタイミング制御部26により出力されたリセット側パターン依存ジッタ量とを加算して、補償後遅延量として出力する。第2粗遅延部56−2は、周期発生部22により発生されたテストパターン周期を示す周期信号を、補正後遅延量に示された時間分、基準クロック周期単位で遅延する。第2微小遅延部58−2は、第2粗遅延部56−2により遅延された周期信号を、補正後遅延量における基準クロック周期未満の時間分、遅延して、リセットタイミング信号として出力する。
As an example, the reset
タイミング制御部26は、セットパターンデータ及びリセットパターンデータに基づいて、波形データのそれぞれの遷移データ間隔を検出する。そして、タイミング制御部26は、セットタイミング信号の出力タイミングを本来より遅く出力するべく制御する場合には、セット側パターン依存ジッタ量を出力し、リセットタイミング信号の出力タイミングを本来より遅く出力するべく制御する場合には、リセット側パターン依存ジッタ量を出力する。
The
波形成形部28は、セットパターンデータに応じた立ち上がりエッジを、セットタイミング信号に応じたタイミングで有し、リセットパターンデータに応じた立ち下がりエッジを、リセットタイミング信号に応じたタイミングで有するパターン信号を生成する。波形成形部28は、一例として、SRラッチ60を含んでよい。SRラッチ60は、セットタイミング信号のタイミングでパターン信号を立ち上げ、リセットタイミング信号のタイミングでパターン信号を立ち下げる。
The waveform shaping unit has a pattern signal having a rising edge corresponding to the set pattern data at a timing corresponding to the set timing signal and a falling edge corresponding to the reset pattern data at a timing corresponding to the reset timing signal. Generate. The
図6は、図5に示す信号発生用タイミング発生部24に入力する波形データ、セットタイミング信号およびリセットタイミング信号の一例を示す。タイミング制御部26は、図6中のAに示すような、立ち上がってから立ち下がるパターンにおけるセットタイミングからリセットタイミングまでの時間間隔が、予め定められた間隔よりも小さい場合、リセット側パターン依存ジッタ量を出力する。セットタイミング発生部42は、タイミング制御部26からリセット側パターン依存ジッタ量を受けると、立ち上がってから立ち下がるパターンにおけるリセットタイミング信号の出力タイミングを、リセット側パターン依存ジッタ量分だけ遅く出力する。
FIG. 6 shows an example of waveform data, a set timing signal, and a reset timing signal input to the signal
また、タイミング制御部26は、図6中のBに示すような、立ち下がってから立ち上がるパターンにおけるリセットタイミングからセットタイミングまでの時間間隔が、予め定められた間隔よりも小さい場合、セット側パターン依存ジッタ量を出力する。セットタイミング発生部42は、セット側パターン依存ジッタ量を受けると、立ち上がってから立ち下がるパターンにおけるセットタイミング信号の出力タイミングを、セット側パターン依存ジッタ量分だけ遅く出力する。
Further, the
以上のような信号発生装置12によれば、セットタイミング信号およびリセットタイミング信号に基づきパターン信号を生成する場合であっても、比較的に短いパルス幅のパターンに生じるパターン依存ジッタを、予め補償したパターン信号を出力することができる。従って、信号発生装置12によれば、伝送線路によってパターン依存ジッタが生じる場合であっても、指定されたタイミングで、受信先である被試験デバイス100にパターン信号を入力させることができる。
According to the
なお、タイミング制御部26は、一例として、セットタイミング信号の出力タイミングを変化させる変化量とは異なる変化量で、リセットタイミング信号の出力タイミングを変化させてよい。これにより、信号発生装置12によれば、ドライバ30における信号立ち上げ特性と信号立ち下げ特性との間に違いがある場合であっても、立ち上がりエッジおよび立ち下りエッジともに、指定されたタイミングで被試験デバイス100に供給することができる。
For example, the
また、タイミング制御部26は、波形データにおいてデータ値が遷移する頻度に応じて、タイミング信号の出力タイミングを制御してよい。タイミング制御部26は、一例として、データ値が遷移する頻度が予め定められた頻度よりも高い場合、タイミング信号の出力タイミングを、当該パターン周期により定まるパターン信号の出力タイミングを早くしてよい。これにより、信号発生装置12によれば、頻度によって生じる消費電力差、例えば、信号発生用タイミング発生部24、波形成形部28やドライバ30の電源電圧の降下や温度上昇によりジッタが発生する場合であっても、当該ジッタを予め補償したパターン信号を出力することができる。
Further, the
図7は、本実施形態に係る信号検出装置14の構成を被試験デバイス100とともに示す。信号検出装置14は、信号発生装置12から供給されたパターン信号に応じて被試験デバイス100が出力する出力信号を、パターン信号として入力する。そして、信号検出装置14は、入力されるパターン信号の論理値を検出する。
FIG. 7 shows the configuration of the
信号検出装置14は、第1比較部62と、第2比較部64と、選択制御部66と、選択部68と、信号検出用タイミング発生部70と、遅延回路72とを有する。第1比較部62は、所定の周期で与えられる第1タイミング信号に応じてパターン信号の論理値を検出する。第1比較部62は、一例として、パターン信号と閾値とを第1タイミング信号のタイミングで比較することにより、パターン信号の論理値をサイクル毎に検出する。第2比較部64は、第1タイミング信号とは異なる位相で与えられる第2タイミング信号に応じてパターン信号の論理値を検出する。第2比較部64は、一例として、パターン信号と閾値とを第2タイミング信号のタイミングで比較することにより、パターン信号の論理値をサイクル毎に検出する。
The
選択制御部66は、第1比較部62又は第2比較部64のいずれかが検出したパターン信号の論理値に基づいてパターン信号の波形パターンを検出し、波形パターンに基づいてパターン信号のそれぞれのサイクルにおけるデータ値として、第1比較部62が検出した論理値、又は第2比較部64が検出した論理値のいずれを選択すべきかを判定する。
The
選択制御部66は、一例として、近接判定部74と、制御部76とを含んでよい。近接判定部74は、第1比較部62又は第2比較部のいずれかが検出したパターン信号の論理値のそれぞれの遷移データについて、直前の遷移データとの間隔が予め定められた間隔より小さいか否かを判定する。制御部76は、近接判定部74において、遷移データ間隔が予め定められた間隔より小さいと判定された遷移データに対応するサイクルに対しては、第2比較部64が出力する論理値を選択部68に選択させ、他のサイクルに対しては、第1比較部62が出力する論理値を選択部68に選択させてよい。選択部68は、パターン信号のそれぞれのサイクル毎に、第1比較部62が出力する論理値、又は第2比較部64が出力する論理値のいずれかを、選択制御部66における判定結果に基づいて選択して出力する。
As an example, the
信号検出用タイミング発生部70は、第2比較部64による比較タイミングを示す所定周期の第2タイミング信号を生成する。信号検出用タイミング発生部70は、一例として、パターン信号のサイクルと略同一の周期の第2タイミング信号を生成する。遅延回路72は、第2タイミング信号を遅延させ、第2比較部64による比較タイミングを示す所定周期の第1タイミング信号を生成する。遅延回路72は、一例として、パターン信号が所定の伝送経路を伝送する場合において、パターン信号のエッジが近接した場合に生じるパターン依存ジッタ量に応じた遅延量を有してよい。この結果、信号検出用タイミング発生部70は、第1タイミング信号よりパターン依存ジッタ量分位相が進み、第1タイミング信号と同一の周期の第2タイミング信号を発生する。従って、第2比較部64は、第1比較部62による比較タイミングよりも、パターン依存ジッタ量分早いタイミングで、入力されたパターン信号を比較することができる。
The signal detection
図8は、被試験デバイス100から出力されたパターン信号(出力信号)、第1タイミング信号および第2タイミング信号の一例を示す。選択制御部66は、一例として、L論理からH論理に遷移してから次にH論理からL論理に遷移するまでの波形パターン(例えば図8のCの波形)、および、H論理からL論理に遷移してから次にL論理からH論理に遷移するまでの波形パターン(例えば図8のDの波形)を検出する。選択制御部66は、波形パターンの幅が予め定められた幅より小さい場合には、当該波形パターンを含むサイクルに対しては、第2比較部64が出力する論理値を選択部68に選択させる。また、選択制御部66は、波形パターンの幅が予め定められた幅以上の場合には、当該波形パターンを含むサイクルに対しては、第1比較部62が出力する論理値を選択部68に選択させる。
FIG. 8 shows an example of a pattern signal (output signal), a first timing signal, and a second timing signal output from the device under
このような信号検出装置14によれば、入力されたパターン信号の論理値を、異なる2つの位相で検出して、波形パターンに応じていずれか一方を選択して出力することができる。例えば、信号検出装置14は、予め定められた幅より小さい幅の波形パターンの論理値を、他の波形パターンの論理値の検出のタイミングよりも、パターン依存ジッタ量早いタイミングで検出する。これにより、信号検出装置14によれば、比較的に短い周期のパターン信号の論理値を、当該比較的短い周期のパターン信号に生じるパターン依存ジッタを補償したタイミングで、検出することができる。従って、信号検出装置14によれば、被試験デバイス100から出力されたパターン信号から、送信元である被試験デバイス100により指定されたタイミングで論理値を検出することができる。
According to such a
図9は、本実施形態の変形例に係る信号検出装置14の構成を被試験デバイス100とともに示す。本実施形態の変形例に係る信号検出装置14は、図7に示す信号検出装置14と略同一の構成および機能を有するので、以下、相違点を除き説明を省略する。
FIG. 9 shows the configuration of the
信号検出装置14は、中央検出用タイミング発生部80と、第3比較部82とを更に備える。中央検出用タイミング発生部80は、パターン信号の各サイクルの略中央のタイミングを生成する。第3比較部82は、中央検出用タイミング発生部80により生成されたパターン信号の各サイクルの略中央のタイミングで、パターン信号の論理値を検出する。選択制御部66は、第3比較部82が検出した論理値に基づいて、パターン信号の波形パターンを検出し、波形パターンに基づいて、パターン信号のそれぞれのサイクルにおけるデータ値として、第1比較部62が検出した論理値、又は第2比較部64が検出した論理値のいずれを選択すべきかを判定する。
The
このような本変形例に係る信号検出装置14によれば、パターン信号の各サイクルの略中央のタイミングで検出した論理値に基づき波形パターンの幅を判定するので、第1タイミング信号または第2タイミング信号がパターン信号の遷移点の近傍のタイミングとなっている場合であっても、波形パターンの幅を正確に判定することができる。これにより、本変形例に係る信号検出装置14によれば、パターン依存ジッタが生じる波形パターンを正確に判定することができるので、パターン依存ジッタの補償をするか否かを正確に判断することができる。
According to such a
また、試験装置10は、試験対象となる被試験回路と共に同一の電子デバイスに設けられた試験回路であってもよい。当該試験回路は、電子デバイスのBIST回路等として実現され、被試験回路を試験することにより電子デバイスの診断等を行う。これにより、当該試験回路は、被試験回路となる回路が、電子デバイスが本来目的とする通常動作を行うことができるかどうかをチェックすることができる。
Further, the
また、試験装置10は、試験対象となる被試験回路と同一のボード又は同一の装置内に設けられた試験回路であってもよい。このような試験回路も、上述したように被試験回路が本来目的とする通常動作を行うことができるかどうかをチェックすることができる。
The
図10は、本実施形態に係るコンピュータ1900のハードウェア構成の一例を示す。本実施形態に係るコンピュータ1900は、ホスト・コントローラ2082により相互に接続されるCPU2000、RAM2020、グラフィック・コントローラ2075、及び表示装置2080を有するCPU周辺部と、入出力コントローラ2084によりホスト・コントローラ2082に接続される通信インターフェイス2030、ハードディスクドライブ2040、及びCD−ROMドライブ2060を有する入出力部と、入出力コントローラ2084に接続されるROM2010、フレキシブルディスク・ドライブ2050、及び入出力チップ2070を有するレガシー入出力部とを備える。
FIG. 10 shows an example of a hardware configuration of a
ホスト・コントローラ2082は、RAM2020と、高い転送レートでRAM2020をアクセスするCPU2000及びグラフィック・コントローラ2075とを接続する。CPU2000は、ROM2010及びRAM2020に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。グラフィック・コントローラ2075は、CPU2000等がRAM2020内に設けたフレーム・バッファ上に生成する画像データを取得し、表示装置2080上に表示させる。これに代えて、グラフィック・コントローラ2075は、CPU2000等が生成する画像データを格納するフレーム・バッファを、内部に含んでもよい。
The
入出力コントローラ2084は、ホスト・コントローラ2082と、比較的高速な入出力装置である通信インターフェイス2030、ハードディスクドライブ2040、CD−ROMドライブ2060を接続する。通信インターフェイス2030は、ネットワークを介して他の装置と通信する。ハードディスクドライブ2040は、コンピュータ1900内のCPU2000が使用するプログラム及びデータを格納する。CD−ROMドライブ2060は、CD−ROM2095からプログラム又はデータを読み取り、RAM2020を介してハードディスクドライブ2040に提供する。
The input /
また、入出力コントローラ2084には、ROM2010と、フレキシブルディスク・ドライブ2050、及び入出力チップ2070の比較的低速な入出力装置とが接続される。ROM2010は、コンピュータ1900が起動時に実行するブート・プログラムや、コンピュータ1900のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。フレキシブルディスク・ドライブ2050は、フレキシブルディスク2090からプログラム又はデータを読み取り、RAM2020を介してハードディスクドライブ2040に提供する。入出力チップ2070は、フレキシブルディスク・ドライブ2050や、例えばパラレル・ポート、シリアル・ポート、キーボード・ポート、マウス・ポート等を介して各種の入出力装置を接続する。
The input /
RAM2020を介してハードディスクドライブ2040に提供されるプログラムは、フレキシブルディスク2090、CD−ROM2095、又はICカード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。プログラムは、記録媒体から読み出され、RAM2020を介してコンピュータ1900内のハードディスクドライブ2040にインストールされ、CPU2000において実行される。
A program provided to the
コンピュータ1900にインストールされ、コンピュータ1900を試験装置10として機能させるプログラムは、信号発生モジュールと、信号検出モジュールと、判定モジュールとを有する。これらのプログラム又はモジュールは、CPU2000等に働きかけて、コンピュータ1900を、信号発生装置12、信号検出装置14および判定部16としてそれぞれ機能させる。
A program that is installed in the
また、コンピュータ1900にインストールされ、コンピュータ1900を信号発生装置12として機能させるプログラムは、パターン発生モジュールと、周期発生モジュールと、信号発生用タイミング発生モジュールと、タイミング制御モジュールと、波形成形モジュールと、ドライバモジュールとを有する。これらのプログラム又はモジュールは、CPU2000等に働きかけて、コンピュータ1900を、パターン発生部20、周期発生部22、信号発生用タイミング発生部24、タイミング制御部26、波形成形部28、ドライバ30としてそれぞれ機能させる。
A program installed in the
また、コンピュータ1900にインストールされ、コンピュータ1900を信号検出装置14として機能させるプログラムは、第1比較モジュールと、第2比較モジュールと、選択制御モジュールと、選択モジュールと、信号検出用タイミング発生モジュールと、遅延モジュールとを有する。これらのプログラム又はモジュールは、CPU2000等に働きかけて、コンピュータ1900を、第1比較部62、第2比較部64、選択制御部66、選択部68、信号検出用タイミング発生部70、および遅延回路としてそれぞれ機能させる。
A program installed in the
以上に示したプログラム又はモジュールは、外部の記憶媒体に格納されてもよい。記憶媒体としては、フレキシブルディスク2090、CD−ROM2095の他に、DVDやCD等の光学記録媒体、MO等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ICカード等の半導体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワークやインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はRAM等の記憶装置を記録媒体として使用し、ネットワークを介してプログラムをコンピュータ1900に提供してもよい。
The program or module shown above may be stored in an external storage medium. As the storage medium, in addition to the
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。 As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.
Claims (11)
生成すべき前記パターン信号の波形データを生成するパターン発生部と、
前記パターン信号が有するべきパターン周期に応じてタイミング信号を生成するタイミング発生部と、
前記パターン発生部が出力する前記波形データを受け取り、前記波形データに基づいて、前記タイミング発生部が出力する前記タイミング信号の出力タイミングを制御するタイミング制御部と、
前記タイミング発生部が出力するタイミング信号に応じて、前記パターン発生部が出力する前記波形データのデータ値に応じた前記パターン信号を生成する波形成形部と
を備え、
前記タイミング制御部は、前記波形データにおいてデータ値が遷移する第1遷移データと、第2遷移データとの間隔が予め定められた間隔より小さい場合に、前記第2遷移データに対応する前記タイミング信号の前記出力タイミングを、前記パターン周期により定まる前記出力タイミングより遅くする信号出力装置。A signal output device that outputs a pattern signal,
A pattern generator for generating waveform data of the pattern signal to be generated;
A timing generator that generates a timing signal according to a pattern period that the pattern signal should have;
A timing control unit that receives the waveform data output by the pattern generation unit and controls an output timing of the timing signal output by the timing generation unit based on the waveform data;
A waveform shaping unit that generates the pattern signal according to the data value of the waveform data output by the pattern generator according to the timing signal output by the timing generator;
The timing control unit is configured to output the timing signal corresponding to the second transition data when the interval between the first transition data and the second transition data in which the data value transitions in the waveform data is smaller than a predetermined interval. A signal output device that delays the output timing from the output timing determined by the pattern period .
前記タイミング制御部は、それぞれの前記タイミング信号の遅延量を制御する
請求項1に記載の信号出力装置。The timing generator generates the timing signal by delaying a given periodic signal,
The signal output device according to claim 1, wherein the timing control unit controls a delay amount of each of the timing signals.
前記パターン信号が所定の伝送経路を伝送する場合において、前記パターン信号のエッジが近接した場合に生じるパターン依存ジッタ量が予め与えられるジッタ量格納部と、
前記波形データのそれぞれの遷移データについて、直前の前記遷移データとの間隔が前記予め定められた間隔より小さいか否かを判定する近接判定部と、
前記近接判定部において、直前の前記遷移データとの間隔が前記予め定められた間隔より小さいと判定された前記遷移データに対応する前記タイミング信号の、前記タイミング発生部における遅延量を、前記パターン依存ジッタ量に応じて減じる遅延量制御部と
を有する
請求項1または2に記載の信号出力装置。The timing controller is
In the case where the pattern signal is transmitted through a predetermined transmission path, a jitter amount storage unit in which a pattern dependent jitter amount generated when edges of the pattern signal are close to each other is given in advance,
For each transition data of the waveform data, a proximity determination unit that determines whether an interval with the immediately preceding transition data is smaller than the predetermined interval;
In the proximity determination unit, the delay amount in the timing generation unit of the timing signal corresponding to the transition data determined that the interval with the immediately preceding transition data is smaller than the predetermined interval is determined as the pattern dependence. A delay amount controller that reduces the amount of jitter according to the amount of jitter
The signal output device according to claim 1 or 2 .
前記タイミング発生部は、前記セットパターンデータに対応するセットタイミング信号と、前記リセットパターンデータに対応するリセットタイミング信号とを、前記タイミング信号として生成し、
前記波形成形部は、前記セットパターンデータに応じた立ち上がりエッジを、前記セットタイミング信号に応じたタイミングで有し、前記リセットパターンデータに応じた立ち下がりエッジを、前記リセットタイミング信号に応じたタイミングで有する前記パターン信号を生成し、
前記タイミング制御部は、前記セットパターンデータ及び前記リセットパターンデータに基づいて、前記波形データのそれぞれの遷移データ間隔を検出する
請求項1から3のいずれか1項に記載の信号出力装置。The pattern generation unit uses, as the waveform data, set pattern data that defines a rising edge pattern of the pattern signal to be generated and reset pattern data that defines a falling edge pattern of the pattern signal to be generated. Generate
The timing generator generates a set timing signal corresponding to the set pattern data and a reset timing signal corresponding to the reset pattern data as the timing signal;
The waveform shaping unit has a rising edge according to the set pattern data at a timing according to the set timing signal, and a falling edge according to the reset pattern data at a timing according to the reset timing signal. Generating the pattern signal comprising:
The timing control unit detects each transition data interval of the waveform data based on the set pattern data and the reset pattern data.
The signal output device according to any one of claims 1 to 3 .
請求項1から4のいずれか1項に記載の信号出力装置。The timing control unit controls the output timing of the timing signal in accordance with the frequency of data value transition in the waveform data.
The signal output device according to claim 1 .
前記被試験デバイスにパターン信号を入力する信号発生装置と、
前記被試験デバイスが出力する出力信号を検出する信号検出装置と、
前記信号検出装置が検出した前記出力信号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備え、
前記信号発生装置は、
生成すべき前記パターン信号の波形データを生成するパターン発生部と、
前記パターン信号が有するべきパターン周期に応じてタイミング信号を生成するタイミング発生部と、
前記パターン発生部が出力する前記波形データを受け取り、前記波形データに基づいて、前記タイミング発生部が出力する前記タイミング信号の出力タイミングを制御するタイミング制御部と、
前記タイミング発生部が出力するタイミング信号に応じて、前記パターン発生部が出力する前記波形データのデータ値に応じた前記パターン信号を生成する波形成形部と
を有し、
前記タイミング制御部は、前記波形データにおいてデータ値が遷移する第1遷移データと、第2遷移データとの間隔が予め定められた間隔より小さい場合に、前記第2遷移データに対応する前記タイミング信号の前記出力タイミングを、前記パターン周期により定まる前記出力タイミングより遅くする試験装置。A test apparatus for testing a device under test,
A signal generator for inputting a pattern signal to the device under test;
A signal detection device for detecting an output signal output from the device under test;
Based on the output signal detected by the signal detection device, a determination unit that determines the quality of the device under test,
The signal generator is
A pattern generator for generating waveform data of the pattern signal to be generated;
A timing generator that generates a timing signal according to a pattern period that the pattern signal should have;
A timing control unit that receives the waveform data output by the pattern generation unit and controls an output timing of the timing signal output by the timing generation unit based on the waveform data;
Depending on the timing signal the timing generator outputs, have a waveform shaping unit for generating the pattern signal corresponding to the data value of the waveform data in which the pattern generating unit outputs,
The timing control unit is configured to output the timing signal corresponding to the second transition data when the interval between the first transition data and the second transition data in which the data value transitions in the waveform data is smaller than a predetermined interval. The test apparatus which makes the said output timing later than the said output timing defined by the said pattern period .
前記タイミング制御部は、
前記信号発生装置から前記信号検出装置までの伝送経路において、前記パターン信号のエッジが近接した場合に生じるパターン依存ジッタ量が予め与えられるジッタ量格納部と、
前記波形データのそれぞれの遷移データについて、直前の前記遷移データとの間隔が前記予め定められた間隔より小さいか否かを判定する近接判定部と、
前記近接判定部において、直前の前記遷移データとの間隔が前記予め定められた間隔より小さいと判定された前記遷移データに対応する前記タイミング信号の、前記タイミング発生部における遅延量を、前記パターン依存ジッタ量に応じて減じる遅延量制御部と
を有する
請求項7に記載の試験装置。The timing generator generates the timing signal by delaying a given periodic signal,
The timing controller is
In a transmission path from the signal generation device to the signal detection device, a jitter amount storage unit that is given in advance a pattern dependent jitter amount generated when edges of the pattern signal are close to each other;
For each transition data of the waveform data, a proximity determination unit that determines whether an interval with the immediately preceding transition data is smaller than the predetermined interval;
In the proximity determination unit, the delay amount in the timing generation unit of the timing signal corresponding to the transition data determined that the interval with the immediately preceding transition data is smaller than the predetermined interval is determined as the pattern dependence. A delay amount controller that reduces the amount of jitter according to the amount of jitter
The test apparatus according to claim 7 .
請求項7または8に記載の試験装置。The timing control unit controls a delay amount of each timing signal.
The test apparatus according to claim 7 or 8 .
前記タイミング発生部は、前記セットパターンデータに対応するセットタイミング信号と、前記リセットパターンデータに対応するリセットタイミング信号とを、前記タイミング信号として生成し、
前記波形成形部は、前記セットパターンデータに応じた立ち上がりエッジを、前記セットタイミング信号に応じたタイミングで有し、前記リセットパターンデータに応じた立ち下がりエッジを、前記リセットタイミング信号に応じたタイミングで有する前記パターン信号を生成し、
前記タイミング制御部は、前記セットパターンデータ及び前記リセットパターンデータに基づいて、前記波形データのそれぞれの遷移データ間隔を検出する
請求項7から9のいずれか1項に記載の試験装置。The pattern generation unit uses, as the waveform data, set pattern data that defines a rising edge pattern of the pattern signal to be generated and reset pattern data that defines a falling edge pattern of the pattern signal to be generated. Generate
The timing generator generates a set timing signal corresponding to the set pattern data and a reset timing signal corresponding to the reset pattern data as the timing signal;
The waveform shaping unit has a rising edge according to the set pattern data at a timing according to the set timing signal, and a falling edge according to the reset pattern data at a timing according to the reset timing signal. Generating the pattern signal comprising:
The timing control unit detects each transition data interval of the waveform data based on the set pattern data and the reset pattern data.
The test apparatus according to any one of claims 7 to 9 .
請求項7から10のいずれか1項に記載の試験装置。The timing control unit controls the output timing of the timing signal in accordance with the frequency of data value transition in the waveform data.
The test apparatus according to claim 7 .
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