JP5015184B2 - Information recording medium glass blank, information recording medium substrate manufacturing method, and information recording medium manufacturing method - Google Patents
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Description
本発明は、情報記録媒体用ガラスブランク、情報記録媒体用基板の製造方法、および、情報記録媒体の製造方法に関するものである。 The present invention relates to an information recording medium glass blank, information recording method of manufacturing a medium substrate, and to a method of manufacturing an information recording medium.
磁気ディスクなどの情報記録媒体用基板の代表的な製造法としては、溶融ガラスを成形型によりプレスして作製されたガラス半製品(いわゆるガラスブランク)を作製し(ダイレクトプレス法)、このガラスブランクに対して研削・研磨等の後加工を行う方法が知られている。 As a typical method for producing a substrate for an information recording medium such as a magnetic disk, a glass semi-product (so-called glass blank) produced by pressing molten glass with a mold is produced (direct press method), and this glass blank. A method of performing post-processing such as grinding / polishing is known.
しかし、磁気ディスクなどの情報記録媒体用基板に用いられるガラスブランクには、後工程での研削・研磨代を小さくするために、より薄肉にすることが求められる。さらに、平坦性や平滑性、平行性も重要である。これらの要求を満たすために、中央部に厚肉部分を設けたガラスブランクが提案されている(特許文献1参照)。この技術では、ガラスゴブ総量が形成される所要時間に、低温の下型面との接触で粘性流動困難な温度域まで冷却されたガラスゴブの一部については、ガラスブランクを基板に加工する際に中心穴開け加工により除去されプレス時に製品として必要な肉厚へ延伸する必要が無いため、中央部を肉厚とすることで、製品として必要な平面サイズのガラス塊の延伸が不十分となるのを抑制できる。このため、より薄肉化が可能となる。 However, a glass blank used for an information recording medium substrate such as a magnetic disk is required to be thinner in order to reduce a grinding / polishing allowance in a subsequent process. Furthermore, flatness, smoothness, and parallelism are also important. In order to satisfy these requirements, a glass blank having a thick portion at the center has been proposed (see Patent Document 1). In this technique, a part of the glass gob that has been cooled to a temperature range in which viscous flow is difficult due to contact with the lower mold surface during the time required to form the total amount of glass gob is mainly used when processing a glass blank into a substrate. Since it is not necessary to stretch to the thickness required as a product at the time of pressing after being removed by drilling, it is not enough to stretch the glass lump of the planar size required as a product by making the center part thick. Can be suppressed. For this reason, the thickness can be further reduced.
また、中心穴加工の生産性向上や低コスト化を目的する場合にも、中央部に厚肉部分を設けたガラスブランクが用いられることが提案されている(特許文献2参照)。この技術では、高温に加熱したガラスブランクを急冷することで、厚肉部分と肉薄部分との段差部に沿って亀裂を発生させることで中心穴を形成する。 In addition, it has been proposed that a glass blank having a thick portion at the center is used also for the purpose of improving productivity and reducing the cost of center hole processing (see Patent Document 2). In this technique, a glass blank heated to a high temperature is rapidly cooled to form a center hole by generating a crack along a stepped portion between a thick portion and a thin portion.
一方、上述したような中心部に厚肉部を設けたガラスブランクとして、外径の大きさに比べ肉厚のより薄いガラスブランク、すなわち、外径をRとし肉厚をTとしたとき、R/Tが大きくなるガラスブランクを作製した場合、プレス後速やかにガラスブランク中央部近傍の肉厚が変化する部分に、中心穴加工を目的とする意図的な急冷処理を行わなくてもクラックが発生してしまう場合がある。 On the other hand, as a glass blank having a thick portion at the center as described above, a glass blank having a thinner thickness than the outer diameter, that is, when the outer diameter is R and the thickness is T, R When a glass blank with a large / T is produced, cracks are generated in the part where the wall thickness near the center of the glass blank changes immediately after pressing without intentional quenching for the purpose of center hole processing. May end up.
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、中心部に厚肉部を設けた場合でも、厚肉部以外の部分の薄肉化が容易で、且つ、プレス後にクラックが発生するのを抑制することができる情報記録媒体用ガラスブランク(以下、単にガラスブランクと略す場合がある)、並びに、当該ガラスブランクを用いた情報記録媒体用基板の製造方法および情報記録媒体の製造方法を提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and even when a thick portion is provided at the center, it is easy to reduce the thickness of portions other than the thick portion, and cracks are generated after pressing. glass blank for an information recording medium capable of suppressing provided (hereinafter, sometimes simply referred to as glass blank), in parallel beauty, a manufacturing method of the production method and the information recording medium of the information recording medium substrate using the glass blank The task is to do.
上記課題は以下の本発明により達成される。すなわち、
本発明のガラスブランクは、円板状の厚肉部と、その厚肉部の周囲を囲むように設けられたリング状で、厚肉部より肉厚が薄い薄肉部と、を有し、厚肉部が、薄肉部の一方の面に対してのみ凸を成すように設けられると共に、他方の面は全て面一を成すガラスブランクにおいて、薄肉部と厚肉部とが段差を成すように形成された側の面において、薄肉部の平面部分から厚肉部の最頂部へと続く傾斜面が、平面部分と連続する面を成す曲面を有することを特徴とする。
The above-mentioned subject is achieved by the following present invention. That is,
The glass blank of the present invention has a disk-like thick part, and a ring-like part provided so as to surround the thick part, and a thin part having a smaller thickness than the thick part. meat portion, Rutotomoni provided so as to form a convex only for hand side of the thin portion, the glass blank forming the other side are all flush, so that a thin portion and a thick portion forming a step The inclined surface that continues from the flat surface portion of the thin-walled portion to the topmost portion of the thick-walled portion has a curved surface that forms a surface continuous with the flat surface portion.
本発明のガラスブランクの一実施態様は、曲面は、その断面の輪郭線が、真円状の曲線、楕円状の曲線、放物線および双曲線から選択されるいずれか1つの曲線の一部であり、平面部分は曲線の接線となり、かつ、平面部分と曲面との境界が、接線の接点であることが好ましい。 In one embodiment of the glass blank of the present invention, the curved surface is a part of any one of the curves whose cross-sectional outline is selected from a perfect circular curve, an elliptical curve, a parabola and a hyperbola, It is preferable that the plane portion is a tangent line of the curve, and the boundary between the plane portion and the curved surface is a contact point of the tangent line.
本発明のガラスブランクの一実施態様は、曲面は、その断面の輪郭線が、真円状の曲線の一部であり、曲面の曲率半径が、下式(1)を満たすことが好ましい。
・式(1) 0.5×Rb≦R≦Rb
〔式(1)中、Rは、曲面の曲率半径を表す。また、Rbは、ガラスブランクを直径方向に切断した断面において、厚肉部の最頂部の最外周側の第1の点、および、薄肉部の平面部分と一致する面における厚肉部の最外周側の第2の点、を結ぶ直線を2等分するように直交する第1の直線と、第2の点を通り、且つ、平面部分に対して直交する第2の直線との交点から、第2の点までの最短距離を意味する。〕
In one embodiment of the glass blank of the present invention, it is preferable that the curved surface has a cross-sectional outline part of a perfect circular curve, and the curvature radius of the curved surface satisfies the following formula (1).
Formula (1) 0.5 × Rb ≦ R ≦ Rb
[In Formula (1), R represents the curvature radius of a curved surface. Also, Rb is the outermost circumference of the thick portion on the surface that coincides with the first point on the outermost circumference of the thickest portion and the flat portion of the thin portion in the cross section of the glass blank cut in the diameter direction. From the intersection of the first straight line orthogonal to bisect the straight line connecting the second point on the side and the second straight line passing through the second point and orthogonal to the plane portion, It means the shortest distance to the second point. ]
本発明のガラスブランクの一実施態様は、厚肉部が、薄肉部の一方の面に対してのみ凸を成すように、薄肉部の中心部に設けられていることが好ましい。 In one embodiment of the glass blank of the present invention, it is preferable that the thick portion is provided at the central portion of the thin portion so as to be convex only with respect to one surface of the thin portion.
本発明のガラスブランクの製造方法は、上型および下型のいずれか一方の型として、プレス成形時に軟化状態のガラスと接触し、中央部に略円形状の凹部を有するプレス面を備え、少なくとも凹部外側の平面部分から凹部の底部へと続く傾斜面が、平面部分と連続する面を成す曲面を有する型を用い、軟化状態のガラスを下型の上に供給した後、上型と下型との間で軟化状態のガラスをプレス成形するプレス工程を少なくとも経て、ガラスブランクを作製することを特徴とする。 Method for producing a glass blank of the present invention, as one of the types of the upper and lower molds in contact with the glass softened at the time of press forming, comprising a pressing surface having a substantially circular recess in the central portion, at least After using a mold having a curved surface in which the inclined surface extending from the flat portion outside the concave portion to the bottom of the concave portion forms a surface continuous with the flat portion, and supplying softened glass onto the lower die, the upper die and the lower die A glass blank is produced through at least a pressing step of press-molding a softened glass between the two.
本発明の情報記録媒体用基板の製造方法は、本発明のガラスブランクの中心部に設けられた厚肉部を含むように、ガラスブランクの中央部を切断して中心穴を形成する中心穴形成工程を少なくとも経て、情報記録媒体用基板を作製することを特徴とする。 The method of manufacturing a substrate for an information recording medium of the present invention to include a thick portion provided at the center portion of the glass blank of the present invention, the center hole to form a center hole by cutting the central portion of the glass blank A substrate for an information recording medium is manufactured through at least a forming step.
本発明の情報記録媒体の製造方法は、本発明のガラスブランクの中心部に設けられた厚肉部を含むように、ガラスブランクの中央部を切断して中心穴を形成する中心穴形成工程を少なくとも経て、情報記録媒体用基板を作製した後、当該情報記録媒体用基板の少なくとも片面に情報記録層を形成する情報記録層形成工程を少なくとも経て、情報記録媒体を製造することを特徴とする。 The manufacturing method of the information recording medium of the present invention includes a center hole forming step of forming a central hole by cutting the central part of the glass blank so as to include a thick part provided at the central part of the glass blank of the present invention. An information recording medium is manufactured through at least an information recording layer forming step of forming an information recording layer on at least one side of the information recording medium substrate after the information recording medium substrate is manufactured at least.
本発明によれば、中心部に肉厚の厚い厚肉部を設けた場合でも、厚肉部以外の部分の薄肉化が容易で、かつ、プレス後にクラックが発生するのを抑制することができるガラスブランク、並びに、当該ガラスブランクを用いた情報記録媒体用基板の製造方法および情報記録媒体の製造方法を提供することができる。
According to the present invention, even when a thick part having a large thickness is provided at the center, it is easy to reduce the thickness of the part other than the thick part, and it is possible to suppress the occurrence of cracks after pressing. glass blank, in parallel beauty, it is possible to provide a manufacturing method of the production method and the information recording medium of the substrate for an information recording medium using the glass blank.
(ガラスブランクおよびその製造方法)
−ガラスブランク−
本実施形態のガラスブランクは、円板状の厚肉部と、その厚肉部の周囲を囲むように設けられたリング状で、厚肉部より肉厚が薄い薄肉部と、を有し、厚肉部が、薄肉部の少なくとも一方の面に対して凸を成すように設けられたガラスブランクにおいて、薄肉部と厚肉部とが段差を成すように形成された側の面において、薄肉部の平面部分から厚肉部の最頂部へと続く傾斜面が、平面部分と連続する面を成す曲面を有することを特徴とする。したがって、本実施形態のガラスブランクは、中心部に肉厚が厚い厚肉部を有していても、厚肉部以外の部分の薄肉化が容易で、かつ、プレス後にクラックが発生するのを抑制することができる。
(Glass blank and its manufacturing method)
-Glass blank-
The glass blank of the present embodiment has a disk-shaped thick part, and a ring-shaped part provided so as to surround the periphery of the thick part, and a thin part that is thinner than the thick part, In the glass blank provided so that the thick wall portion is convex with respect to at least one surface of the thin wall portion, the thin wall portion is formed on the side surface formed so that the thin wall portion and the thick wall portion form a step. The inclined surface that continues from the flat portion to the top of the thick portion has a curved surface that forms a surface that is continuous with the flat portion. Therefore, even if the glass blank of this embodiment has a thick part with a thick wall at the center, it is easy to reduce the thickness of the part other than the thick part, and cracks are generated after pressing. Can be suppressed.
なお、本実施形態のガラスブランクにおいて、上述した効果が得られる理由は以下の通りである。まず、ガラスブランクを作製する場合、プレス直後の高温状態のガラスブランクが冷却される過程で、薄肉部の熱収縮量よりも厚肉部の熱収縮量が大きくなることは避けられない。このような熱収縮量のアンバランスによってガラスブランク内部に生じた引張り応力は、薄肉部と厚肉部とが段差を有する側の面であって、薄肉部から厚肉部へと肉厚が変化する領域近傍(薄肉部の平面部分の最内周側と、厚肉部の最外周側との境界部分近傍)に集中し易い。そしてこのような応力集中は、プレス後に、ガラスブランクのクラックを引き起こすことになると考えられる。 In addition, in the glass blank of this embodiment, the reason that the effect mentioned above is acquired is as follows. First, when producing a glass blank, it is inevitable that the amount of heat shrinkage of the thick portion is larger than the amount of heat shrinkage of the thin portion in the process of cooling the glass blank in a high temperature state immediately after pressing. The tensile stress generated inside the glass blank due to such imbalance of heat shrinkage is the surface where the thin and thick parts have a step, and the thickness changes from the thin part to the thick part. region near to concentrate on (and innermost periphery of the planar portion of the thin portion, the boundary vicinity of the outermost periphery of the thick portion) easily. Such stress concentration is considered to cause cracking of the glass blank after pressing.
このようなメカニズムを考慮すれば、クラック発生の抜本的な解決策は、肉厚の変化そのものを無くすことである。すなわち、ガラスブランクに肉厚が厚くなる厚肉部を設けないことである。しかし、ガラスブランクに厚肉部を設けなければ、プレス前に、下型表面と接することで熱が奪われて粘性流動の低下が著しくなっているガラスゴブの一部分が薄肉化の大きな妨げになる。そして、結果的に薄肉のガラスブランクが得られなくなる。 Considering such a mechanism, the fundamental solution for cracking is to eliminate the wall thickness change itself. That is, it is not providing the thick part which becomes thick in a glass blank. However, if the glass blank is not provided with a thick wall portion, a portion of the glass gob where heat is lost due to contact with the surface of the lower mold before pressing and the viscosity flow is significantly reduced significantly hinders thinning. As a result, a thin glass blank cannot be obtained.
これらの点を考慮すれば、(1)薄肉部から厚肉部へと肉厚が変化する領域近傍の応力集中を緩和すると共に、(2)厚肉部の面積と厚みも十分に確保できることが必要であると考えられる。ここで、(1)応力集中を緩和する方法としては、薄肉部の平面部分から厚肉部の最頂部へと続く傾斜面の傾斜角をより小さくすることが挙げられる。しかし、この方法では、応力集中の緩和度合いが傾斜角に依存することになる。すなわち、クラックの発生を抑制しようとして傾斜角をより小さくすると、中心穴開け加工範囲内で確保できる厚肉部の厚みを十分に取ろうとすると厚肉部頂上の直径が厚みに比例して小さくなることになる。したがって、プレス前に下型面と長時間接触し冷却された接触面の影響を排除しきれず薄肉のガラスブランクが得られにくくなる。 Considering these points, (1) the stress concentration near the region where the thickness changes from the thin portion to the thick portion can be relaxed, and (2) the area and thickness of the thick portion can be sufficiently secured. It is considered necessary. Here, (1) As a method of relieving stress concentration, there is a method of further reducing the inclination angle of the inclined surface that continues from the flat portion of the thin portion to the topmost portion of the thick portion. However, in this method, the degree of relaxation of stress concentration depends on the inclination angle. That is, if the inclination angle is made smaller in order to suppress the occurrence of cracks, the diameter of the top of the thick-walled portion becomes smaller in proportion to the thickness if sufficient thickness of the thick-walled portion that can be secured within the center drilling range is taken. It will be. Therefore, the influence of the contact surface that has been in contact with the lower mold surface for a long time before pressing and is cooled cannot be excluded, and it becomes difficult to obtain a thin glass blank.
しかし、本実施形態のガラスブランクでは、薄肉部の平面部分から厚肉部の最頂部へと続く傾斜面が、平面部分と連続する面を成す曲面を有する。ここで、「傾斜面が、平面部分と連続する面を成す」とは、より正確には、直径方向の中央部に厚肉部を有する略円盤形状のガラスブランクの中心軸を含むようにガラスブランクを切断した切断面において、薄肉部の平面部分から傾斜面へと続く輪郭線の傾きが、薄肉部の平面部分から傾斜面にかけて連続的に変化することを意味する。このため、平面部分と傾斜面とを各々延長した面同士が交差した部分の成す角度は実質的に0°と考えて良く、平面部分に対して傾斜面を単に斜めにより傾けた変曲点を持つ場合とは、傾斜角度が小さくても効果は大きく異なり、本実施形態のガラスブランクの方が局所的な応力集中をより分散して緩和することができる。このため、クラックの抑制効果は飛躍的に向上する。また、本実施形態のガラスブランクでは、平面部分と傾斜面との境界部分が曲面を成すように連続するため、平面部分に対する傾斜面(平面部分側の曲面となっている領域を除く)の角度は、45°以下の範囲で任意に設定でき、より好ましくは20°以下の範囲で任意に設定することができる。このため、クラック抑制のために限られた中心穴開け加工範囲内での厚肉部の面積を最大限に確保でき、結果として薄肉化も容易である。このように、本実施形態のガラスブランクでは、プレス後のクラック発生の改善効果が非常に大きく、これに加えて厚肉部以外の部分の薄肉化も達成することができる。 However, in the glass blank of this embodiment, the inclined surface that continues from the flat portion of the thin portion to the top of the thick portion has a curved surface that forms a surface that is continuous with the flat portion. Here, “the inclined surface forms a surface that is continuous with the flat surface portion” more precisely means that the glass includes a central axis of a substantially disk-shaped glass blank having a thick portion at the central portion in the diameter direction. In the cut surface which cut | disconnected the blank, it means that the inclination of the outline continuing from the plane part of a thin part to an inclined surface changes continuously from the flat part of a thin part to an inclined surface. For this reason, the angle formed by the intersecting portions of the plane portions and the inclined surfaces that extend from each other may be considered to be substantially 0 °, and an inflection point obtained by simply tilting the inclined surface with respect to the plane portion. The effect is greatly different from the case of having a small inclination angle, and the glass blank of the present embodiment can further disperse and relax the local stress concentration. For this reason, the crack suppression effect is dramatically improved. Moreover, in the glass blank of this embodiment, since the boundary part of a plane part and an inclined surface continues so that a curved surface may comprise, the angle of the inclined surface (except the area | region which becomes the curved surface by the side of a plane part) with respect to a plane part Can be arbitrarily set in a range of 45 ° or less, and more preferably in a range of 20 ° or less. For this reason, the area of the thick portion within the limited center drilling range for crack suppression can be ensured to the maximum, and as a result, thinning is easy. Thus, in the glass blank of this embodiment, the improvement effect of the crack generation after a press is very large, and also in addition to this, thickness reduction of parts other than a thick part can also be achieved.
なお、平面部分から傾斜面へと連続するように設けられる曲面は、その断面の輪郭線が、公知の曲線、たとえば、真円状の曲線、楕円状の曲線、放物線および双曲線から選択されるいずれか1つの曲線の一部であり、平面部分は曲線の接線となり、かつ、平面部分と曲面との境界が、接線の接点であることが好ましい。これらの中でも、曲率変化がより緩やかでクラック抑制効果をより高くできる点からは、曲面の断面の輪郭線は、放物線または双曲線の一部であることが好ましい。なお、本明細書において、「曲面や、曲面を一部に含む傾斜面の断面」とは、略円盤形状のガラスブランクの中心軸を含むように切断した切断面のことを意味する。 The curved surface provided so as to continue from the flat surface portion to the inclined surface has a cross-sectional contour line selected from known curves such as a perfect circular curve, an elliptical curve, a parabola, and a hyperbola. Preferably, the plane portion is a tangent to the curve, and the boundary between the plane portion and the curved surface is a contact point of the tangent. Among these, it is preferable that the contour line of the curved cross section is a part of a parabola or a hyperbola from the viewpoint that the curvature change is more gradual and the crack suppressing effect can be further enhanced. In the present specification, “a cross section of a curved surface or an inclined surface partially including a curved surface” means a cut surface cut to include the central axis of a substantially disk-shaped glass blank.
なお、曲面の断面の輪郭線が、真円状の曲線の一部である場合、曲面の曲率半径は、下式(1)を満たすことが好ましい。
・式(1) 0.5×Rb≦R≦Rb
ここで、式(1)中、Rは、曲面の曲率半径を表す。また、Rbは、ガラスブランクを直径方向に切断した断面において、厚肉部の最頂部の最外周側の第1の点、および、薄肉部の平面部分と一致する面における厚肉部の最外周側の第2の点、を結ぶ直線を2等分するように直交する第1の直線と、第2の点を通り、かつ、平面部分に対して直交する第2の直線との交点から、第2の点までの最短距離を意味する。
In addition, when the outline of the cross section of a curved surface is a part of a perfect circular curve, it is preferable that the curvature radius of the curved surface satisfies the following formula (1).
Formula (1) 0.5 × Rb ≦ R ≦ Rb
Here, in Formula (1), R represents the curvature radius of a curved surface. Also, Rb is the outermost circumference of the thick portion on the surface that coincides with the first point on the outermost circumference of the thickest portion and the flat portion of the thin portion in the cross section of the glass blank cut in the diameter direction. From the intersection of the first straight line orthogonal to bisect the straight line connecting the second point on the side and the second straight line passing through the second point and orthogonal to the plane portion, It means the shortest distance to the second point.
ここで、曲面の曲率半径Rの数値範囲を定義するために用いられるパラメーターRbを、図面により説明する。図1は、曲面の曲率半径Rの数値範囲を定義するために用いられるパラメーターRbを説明するための説明図であり、具体的には、ガラスブランクを直径方向に切断した場合の厚肉部近傍の断面図について示したものである。ここで、図1中、第1の点P1は、厚肉部10の最頂部12の最外周側の点であり、第2の点P2は、薄肉部20の平面部分22と一致する面における厚肉部10の最外周側の点であり、第1の直線L1は、第1の点P1と第2の点P2とを結ぶ直線L3を2等分するように直交する直線であり、第2の直線L2は、第2の点P2を通り、かつ、平面部分22に対して直交する直線であり、交点Cは、第1の直線L1と第2の直線L2とが交差する点である。そして、Rbは、交点Cから第2の点P2までの最短距離を意味する。ここで、厚肉部10が直線L3よりも内側の領域に設けられていると仮定した場合に、交点Cを起点として、半径Rbの範囲内にある厚肉部10を除去することで、平面部分22と連続する曲面14が形成されることになる。
Here, the parameter Rb used to define the numerical range of the curvature radius R of the curved surface will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory diagram for explaining a parameter Rb used to define a numerical range of a curvature radius R of a curved surface. Specifically, in the vicinity of a thick portion when a glass blank is cut in a diameter direction. It shows about sectional drawing. Here, in FIG. 1, the first point P <b> 1 is a point on the outermost peripheral side of the
なお、曲面の曲率半径Rが式(1)を満たす場合、クラック抑制効果と薄肉化とをバランスよく両立させることが容易である。なお、曲率半径Rは、0.7×Rb以上がより好ましく、曲率半径R=Rbが最も好ましい。また、いずれの場合も、曲面14を形成するための真円の中心は第2の直線L2上に位置することとなる。また、第1の点P1と第2の点P2を結ぶ直線L3は、薄肉部20の平面部分22に対し、45°以下の角度を成すように交差することが好ましく、20°以下の角度を成すように交差することがより好ましい。これにより、クラック抑制効果を確実に得ることができる。なお、R=Rbの場合、厚肉部12の傾斜面は曲面14のみからなり、曲面14の断面の輪郭線は真円状の曲線の一部を成す(すなわち、曲率半径Rの円弧を成す)。また、R<Rbの場合は、厚肉部12の傾斜面は、その断面の輪郭線が第2の点P2を含む曲面14と、その断面の輪郭線が第1の点P1を含む平面(図1中、不図示)とから構成される。ここで、当該平面の断面の輪郭線(直線)の傾きは、曲面14と平面とが交差する点(すなわち、第2の点P2をその一端に有する曲率半径Rbの円弧の他端)における接線の傾きと一致する。
In addition, when the curvature radius R of a curved surface satisfy | fills Formula (1), it is easy to make a crack suppression effect and thinning balance compatible. The radius of curvature R is more preferably 0.7 × Rb or more, and the radius of curvature R = Rb is most preferable. In any case, the center of the perfect circle for forming the
また、厚肉部は、薄肉部の両側の面に対して凸を成すように薄肉部の中心部に設けられていてもよいが、薄肉部の一方の面に対してのみ凸を成すように、薄肉部の中心部に設けられる。ガラスブランクの片面側のみに厚肉部が凸を成すように設けることで、クラックに起因する割れの発生をより確実に抑制することができる。 In addition, the thick part may be provided at the central part of the thin part so as to be convex with respect to both surfaces of the thin part, but only with respect to one surface of the thin part. and et provided in the center portion of the thin portion. In Rukoto provided only on one side of the glass blank as the thick portion forms a convex, it is possible to more reliably suppress the occurrence of cracks due to the crack.
本実施形態のガラスブランクの各部の寸法は特に限定されず、ガラスブランクを加工して作製する情報記録媒体用基板の各部の寸法に応じて適宜選択することができる。しかしながら、ガラスブランクを研磨等の後加工することで基板を作製する際の研磨代をより小さくするためには、薄肉部の厚みは、0.9mm以下であることが好ましく、0.8mm以下であることがより好ましい。本実施形態のガラスブランクは、中央部に厚肉部を有するために、薄肉部の厚みを上記範囲内とすることが容易である。 The dimension of each part of the glass blank of this embodiment is not specifically limited, It can select suitably according to the dimension of each part of the board | substrate for information recording media produced by processing a glass blank. However, the thickness of the thin portion is preferably 0.9 mm or less, and 0.8 mm or less in order to further reduce the polishing allowance when producing the substrate by post-processing such as polishing the glass blank. More preferably. Since the glass blank of this embodiment has a thick part in the center part, it is easy to make the thickness of a thin part into the said range.
なお、ガラスブランクを用いて最終的に作製する基板の直径を考慮すると、いわゆる2.5インチ基板(直径=65mm)用のガラスブランクでは、薄肉部の厚みは、0.9mm以下が好ましく、0.8mm以下がより好ましい。1.8インチ基板(直径=48mm)用のガラスブランクでは、薄肉部の厚みは、0.77 mm以下が好ましく、0.67mm以下がより好ましい。1.0インチ基板(直径=27.4mm)用のガラスブランクでは、薄肉部の厚みは、0.65mm以下が好ましく、0.55mm以下がより好ましい。0.85インチ基板(直径=21.6mm)用のガラスブランクでは、薄肉部の厚みは、0.65mm以下が好ましく、0.55mm以下がより好ましい。なお、薄肉部の厚みの下限は、目的とする基板のサイズに係わらず特に限定されるものではないが、実用上は0.55mm以上とすることが好適である。 In consideration of the diameter of the substrate finally produced using the glass blank, the glass blank for a so-called 2.5 inch substrate (diameter = 65 mm) preferably has a thickness of 0.9 mm or less, and 0 .8 mm or less is more preferable. In a glass blank for a 1.8 inch substrate (diameter = 48 mm), the thickness of the thin portion is preferably 0.77 mm or less, and more preferably 0.67 mm or less. In a glass blank for a 1.0 inch substrate (diameter = 27.4 mm), the thickness of the thin portion is preferably 0.65 mm or less, and more preferably 0.55 mm or less. In a glass blank for a 0.85-inch substrate (diameter = 21.6 mm), the thickness of the thin portion is preferably 0.65 mm or less, and more preferably 0.55 mm or less. The lower limit of the thickness of the thin portion is not particularly limited regardless of the size of the target substrate, but is practically 0.55 mm or more.
また、厚肉部は、溶融ガラスゴブが下型面に接触してから、プレスが行われるまでの時間が長ければ長いほど、低温の下型に接触して高粘度化したガラス層が厚くなる。このため、厚肉部の厚みをある程度確保する必要がある。しかし、厚肉部の厚みが増加すると、薄肉部に比べて厚肉部の冷却が遅れることにもなる。このため、厚肉部を過剰に厚くすると、冷却時の内部応力の増大を招く可能性もある。従って、厚肉部の厚みはこれらの点を考慮して適宜調整される。 Further, in the thick part, the longer the time from when the molten glass gob contacts the lower mold surface to when the pressing is performed, the thicker the glass layer that is brought into contact with the lower mold at a lower temperature to increase the viscosity. For this reason, it is necessary to ensure the thickness of a thick part to some extent. However, when the thickness of the thick portion increases, the cooling of the thick portion is delayed as compared with the thin portion. For this reason, when the thick portion is excessively thick, there is a possibility that an increase in internal stress during cooling is caused. Therefore, the thickness of the thick portion is appropriately adjusted in consideration of these points.
厚肉部を、薄肉部の平面部分と同じ面で切断したと仮定した断面における直径(以下、「厚肉部の基底部の直径」と略す場合がある)は、ガラスブランクを用いて最終的に作製する基板に設けられる中心穴の直径と同一またはこれよりも小さければ特に限定されない。しかし、ガラスブランクの中心部に中心穴を形成する場合に、スクライビングにより切断加工することを考慮すると、カッターの厚みを考慮する必要がある。この場合、厚肉部の基底部の直径は、基板に設けられる中心穴の直径−2mm以下であることが好ましく、基板に設けられる中心穴の直径−3mm以下であることがより好ましい。たとえば、2.5インチ基板(中心穴の直径=20.0mm)用のガラスブランクであれば、厚肉部の基底部の直径は、18mm以下とすることが好ましいと言える。なお、厚肉部の基底部の直径の下限値は特に限定されないが、溶融ガラスゴブが下型面に接触して粘性流動困難な温度域になっている範囲の面積が確保できる程度の直径を有する必要がある。 The diameter in the cross section assuming that the thick part was cut along the same plane as the flat part of the thin part (hereinafter, may be abbreviated as “the diameter of the base part of the thick part”) is finally determined using a glass blank. There is no particular limitation as long as it is the same as or smaller than the diameter of the center hole provided in the substrate to be manufactured. However, when the center hole is formed in the center portion of the glass blank, it is necessary to consider the thickness of the cutter in consideration of cutting by scribing. In this case, the diameter of the base portion of the thick portion is preferably 2 mm or less in the diameter of the center hole provided in the substrate, and more preferably 3 mm or less in the diameter of the center hole provided in the substrate. For example, in the case of a glass blank for a 2.5-inch substrate (center hole diameter = 20.0 mm), it can be said that the diameter of the base portion of the thick portion is preferably 18 mm or less. In addition, the lower limit value of the diameter of the base portion of the thick-walled portion is not particularly limited, but has a diameter that can secure an area in a range where the molten glass gob is in a temperature range where the viscous flow is difficult due to contact with the lower mold surface. There is a need.
−ガラスブランクの具体例−
次に本実施形態のガラスブランクの具体例について図面により説明する。図2は、本実施形態のガラスブランクの一例を示す模式断面図であり、具体的には、ガラスブランクを、その直径方向で切断した際の断面図である。なお、図2に示す断面図は、ガラスブランク1のどの方向の直径で切断しても同じものとなる。図2に示すガラスブランク1は、円板状の厚肉部10と、厚肉部10の周囲を囲むリング状(円輪状)の薄肉部20と、を有している。厚肉部10は薄肉部20より肉厚が厚くされ、薄肉部20の中心部に、薄肉部20の一方の面に対して凸を成すように設けられている。なお、他方の面は、全て面一となっている。そして、薄肉部20の平面部分22から厚肉部10の最頂部12へと続く傾斜面が、平面部分22と連続する面を成す曲面14を有している。なお、平面部分22から厚肉部10の最頂部12へと続く傾斜面は、図3(A)に示すように全面が曲面14のみから構成されていてもよいが、図3(B)に示すように、平面部分22側のみが曲面16Aから構成され、厚肉部10の最頂部12側は平面16Bから構成されていてもよい。
-Specific examples of glass blanks-
Next, specific examples of the glass blank of this embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an example of the glass blank of the present embodiment, specifically, a cross-sectional view when the glass blank is cut in the diameter direction. Note that the cross-sectional view shown in FIG. The
なお、本実施形態のガラスブランクは、ガラスブランク1の中央部に厚肉部10が設けられるが、周縁部に沿って第二の厚肉部を設けてもよい。これにより、ガラスブランクをプレスにより作製する際に、プレスにより延伸する軟化状態のガラス塊の延伸先端部の熱容量を十分に確保できるため、軟化状態のガラス塊をより薄くプレスすることが容易となる。この場合、図4に示すように、薄肉部20の平面部分22から第二の厚肉部30の最頂部32へと続く傾斜面も、平面部分22と連続する面を成す曲面34を有するものとすることが好ましい。これにより、ガラスブランクの周縁部に沿って第二の厚肉部を設けても、クラックの発生を抑制できる。
In addition, although the
−ガラスブランクの製造方法−
上述した本実施形態のガラスブランクは、上型および下型のいずれか一方の型として、プレス成形時に軟化状態のガラスと接触し、中央部に略円形状の凹部を有するプレス面を備え、少なくとも凹部外側の平面部分から凹部の底部へと続く傾斜面が、平面部分と連続する面を成す曲面を有する型を用い、軟化状態のガラスを下型の上に供給した後、上型と下型との間で軟化状態のガラスをプレス成形するプレス工程を少なくとも経て、作製することができる。
-Manufacturing method of glass blank-
Glass blank of the present embodiment described above, as one type of upper and lower molds in contact with the glass softened at the time of press forming, comprising a pressing surface having a substantially circular recess in the central portion, at least After using a mold having a curved surface in which the inclined surface extending from the flat portion outside the concave portion to the bottom of the concave portion forms a surface continuous with the flat portion, and supplying softened glass onto the lower die, the upper die and the lower die The glass can be produced through at least a pressing step of press-molding a softened glass.
なお、ダイレクトプレス法では、プレス工程に用いられる成形型として、ガラスブランクの両面を形成するために用いる上型および下型の他に、プレス時に軟化状態のガラス塊のプレス面方向への延伸を規制するために胴型を組み合わせて用いる場合がある。本実施形態のガラスブランクの作製においても、軟化状態のガラス塊のプレス面方向への自由な延伸を規制する胴型等の規制部材を用いたプレス方式(非サイドフリープレス方式)を採用することも可能であるが、胴型等の規制部材を用いないプレス方式(サイドフリープレス方式)を採用することがより好ましい。この理由は、サイドフリープレス方式では、プレス時に軟化状態のガラス塊のプレス面方向への自由な延伸が規制されないためである。それゆえ、下型のプレス面上に供給される軟化状態のガラス塊の容量が多少変動したとしても、プレス時に上型および下型のプレス面間の距離を一定に保ちつつ、ガラス塊の容量変動を、ガラスブランクの外径変動として吸収させることができる。したがって、サイドフリープレス方式を採用した場合、非サイドフリープレス方式を採用した場合よりもガラスブランク間の厚みのばらつきを小さくすることができ、結果として後工程である研磨工程の負荷をより小さくすることができる。 In the direct press method, as the mold used in the pressing process, in addition to the upper mold and the lower mold used to form both sides of the glass blank, the glass lump in the softened state at the time of pressing is stretched in the press surface direction. In some cases, a body mold is used in combination for regulation. Also in the production of the glass blank of the present embodiment, a press method (non-side free press method) using a restricting member such as a barrel shape that restricts free stretching of the softened glass lump in the press surface direction is adopted. However, it is more preferable to employ a press method (side free press method) that does not use a regulating member such as a body mold. The reason for this is that in the side free press method, free stretching of the softened glass lump in the press surface direction during pressing is not regulated. Therefore, even if the volume of the softened glass lump supplied onto the lower mold press surface slightly varies, the volume of the glass lump is maintained while keeping the distance between the upper and lower press surfaces constant during pressing. Variations can be absorbed as variations in the outer diameter of the glass blank. Therefore, when the side free press method is adopted, the thickness variation between the glass blanks can be made smaller than when the non-side free press method is adopted, and as a result, the load of the polishing process, which is a subsequent process, is further reduced. be able to.
次に、プレス工程も含めた本実施形態のガラスブランクの製造方法の典型例について以下に説明する。まず、溶解、清澄、攪拌均一化されたこれらガラス材料からなる溶融ガラスを、流出ノズルから一定の流出速度で連続して排出させ、この溶融ガラス流をシアと呼ばれる切断機によって、常に一定質量の軟化状態のガラス塊が得られるように周期的に切断する。切断された軟化状態のガラス塊は流出ノズル直下で待機している下型のプレス面上に供給(キャスト)される。流出ノズルから排出される溶融ガラスは、軟化した状態であり、その粘度は0.3〜100Pa・s程度である。なお、下型の温度はガラス塊の温度よりも低温ではあるが、ガラス塊の温度が急降下してプレス不能とならない温度に調温される。なお、下型のプレス面には、キャストされる溶融ガラスのプレス面に対する潤滑性を向上させるために、必要に応じて予め窒化ホウ素(BN)粉末などの固体潤滑剤を付着させておいてもよい。 Next, the typical example of the manufacturing method of the glass blank of this embodiment including a press process is demonstrated below. First, molten glass made of these glass materials that has been melted, clarified, and stirred and homogenized is continuously discharged from the outflow nozzle at a constant outflow speed, and this molten glass flow is always kept at a constant mass by a cutting machine called shear. Periodically cut to obtain a softened glass lump. The softened glass lump that has been cut is supplied (cast) onto the press surface of the lower mold waiting just under the outflow nozzle. The molten glass discharged from the outflow nozzle is in a softened state and has a viscosity of about 0.3 to 100 Pa · s. Although the temperature of the lower mold is lower than the temperature of the glass lump, the temperature of the lower mold is adjusted to a temperature at which the temperature of the glass lump suddenly drops and is not pressable. In addition, in order to improve the lubricity with respect to the press surface of the molten glass to be cast, a solid lubricant such as boron nitride (BN) powder may be attached to the lower mold press surface in advance. Good.
上記キャストが終わって軟化状態のガラスをそのプレス面上に載置した下型は、上型が待機しているプレス位置に移送されて、上型及び下型によりプレス成形される。この際の上型および下型の温度、プレス圧力、プレス時間は、ガラス転移温度等のガラスの熱物性や、作製するガラスブランクの直径・厚み、サイドフリープレス方式か否か等を考慮して適宜設定する。たとえば、上型の温度を250〜400℃、下型の温度を420〜470℃に設定することができる。プレス時の推力については3〜7トン程度を目安にできるが、特にこの範囲に限定されるものではなく、適宜調整することができる。 The lower mold in which the cast is finished and the softened glass is placed on the press surface is transferred to a press position where the upper mold is waiting, and is pressed by the upper mold and the lower mold. At this time, the temperature of the upper and lower molds, the pressing pressure, and the pressing time take into consideration the thermal properties of the glass such as the glass transition temperature, the diameter and thickness of the glass blank to be produced, and whether or not the side free press method is used. Set as appropriate. For example, the upper mold temperature can be set to 250 to 400 ° C., and the lower mold temperature can be set to 420 to 470 ° C. The thrust during pressing can be about 3 to 7 tons, but is not particularly limited to this range, and can be adjusted as appropriate.
プレス成形を終えると、成形品上面が上型から離型され、成形品を載置した下型はテイクアウトを行う位置に移送される。なお、プレス位置とテイクアウト位置との間で下型を停留させて、下型上の成形品の上面を押し型で押圧し、成形品の反りを修正してからテイクアウト位置に下型ごとを移送してもよい。成形品はテイクアウト位置に移送されるまでの間にガラス転移温度付近あるいはガラス転移温度より低い温度にまで冷却される。これはテイクアウトの際に加わる力によって、成形品が変形してしまうのを防ぐためである。テイクアウトは成形品の上面を吸着手段で吸着保持して行われる。テイクアウトされた成形品は、大気中で急冷されたのち、除歪するためにアニール炉に入れられてアニールされる。そして、このような一連の工程を経ることで本実施形態のガラスブランクを得ることができる。 When press molding is finished, the upper surface of the molded product is released from the upper mold, and the lower mold on which the molded product is placed is transferred to a take-out position. In addition, the lower mold is stopped between the press position and the take-out position, the upper surface of the molded product on the lower mold is pressed with the pressing mold, the warpage of the molded product is corrected, and each lower mold is transferred to the take-out position. May be. The molded product is cooled to near the glass transition temperature or lower than the glass transition temperature before being transferred to the take-out position. This is to prevent the molded product from being deformed by the force applied during take-out. Take-out is performed by adsorbing and holding the upper surface of the molded product with an adsorption means. The take-out molded product is rapidly cooled in the atmosphere, and then placed in an annealing furnace and annealed for strain removal. And the glass blank of this embodiment can be obtained through such a series of processes.
−ガラス組成−
本実施形態のガラスブランクのガラス組成としては、これを用いて作製される基板や情報記録媒体に応じて適宜選択できるが、たとえば、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ソーダアルミノケイ酸ガラス、アルミノボロシリケートガラス、ボロシリケートガラス、石英ガラス、チェーンシリケートガラスなどを挙げることができる。また、これらのガラスは加熱処理により結晶化する結晶化ガラスであってもよい。
-Glass composition-
The glass composition of the glass blank of the present embodiment can be appropriately selected according to the substrate and information recording medium produced using the glass blank. For example, aluminosilicate glass, soda lime glass, soda aluminosilicate glass, aluminoborosilicate Glass, borosilicate glass, quartz glass, chain silicate glass, and the like can be given. These glasses may be crystallized glass that crystallizes by heat treatment.
なお、アルミノシリケートガラスとしては、SiO2が58質量%以上75質量%以下、Al2O3が5質量%以上23質量%以下、Li2Oが3質量%以上10質量%以下、Na2Oが4質量%以上13質量%以下を主成分として含有するアルミノシリケートガラス(ただし、リン酸化物を含まないアルミノシリケートガラス)を用いてよい。たとえば、SiO2が62質量%以上75質量%以下、Al2O3が5質量%以上15質量%以下、Li2Oが4質量%以上10質量%以下、Na2Oが4質量%以上12質量%以下、ZrO2が5.5質量%以上15質量%以下を主成分として含有するとともに、Na2O/ZrO2の質量比が0.5以上2.0以下、Al2O3/ZrO2の質量比が0.4以上2.5以下であるリン酸化物を含まないアモルファスのアルミノシリケートガラスとしてよい。なお、CaOやMgOといったアルカリ土類金属酸化物を含まないガラスであることが望ましい。このようなガラスとしては、HOYA株式会社製のN5ガラス(商品名)を挙げることができる。 As the aluminosilicate glass, SiO 2 is 58% by mass to 75% by mass, Al 2 O 3 is 5% by mass to 23% by mass, Li 2 O is 3% by mass to 10% by mass, Na 2 O. May be an aluminosilicate glass containing 4 mass% or more and 13 mass% or less as a main component (however, an aluminosilicate glass not containing a phosphorus oxide). For example, SiO 2 is 62% by mass to 75% by mass, Al 2 O 3 is 5% by mass to 15% by mass, Li 2 O is 4% by mass to 10% by mass, and Na 2 O is 4% by mass to 12% by mass. Mass% or less, ZrO 2 contains 5.5 mass% or more and 15 mass% or less as a main component, and the mass ratio of Na 2 O / ZrO 2 is 0.5 or more and 2.0 or less, Al 2 O 3 / ZrO. It is good also as an amorphous aluminosilicate glass which does not contain the phosphorus oxide whose mass ratio of 2 is 0.4-2.5. In addition, it is desirable that the glass does not contain an alkaline earth metal oxide such as CaO or MgO. Examples of such glass include N5 glass (trade name) manufactured by HOYA Corporation.
(情報記録媒体用基板の製造方法)
上述した工程を経て得られたガラスブランクを、その中心部に設けられた厚肉部を含むように、ガラスブランクの中央部を切断して中心穴を形成する中心穴形成工程(以下、「コアリング」と称す場合がある)を少なくとも経て、情報記録媒体用基板を作製することができる。なお、厚肉部は、ダイヤモンドカッタを用いて切断することができる。なお、通常は、中心穴形成工程の他に、端面加工等の形状加工や両面の研磨加工等の後工程を実施することにより情報記録媒体用基板を得ることができる。情報記録媒体用基板は、具体的には、たとえば、(1)第1ラッピング工程、(2)切り出し工程(コアリング、フォーミング)、(3)端面研削工程、(4)第2ラッピング工程、(5)端面研磨工程、(6)主表面研磨工程、(7)化学強化工程および冷却工程、(8)精密洗浄工程、をこの順に実施することできる。以下、これら8つの工程についてより具体的に説明する。なお、基板の直径よりも十分大きな直径を有する円盤状ガラスをプレス成形し、スクライビング加工により円盤状ガラスから同心円状の円盤状ガラスを取り出し、取り出した円盤状ガラスを上記(1)から(8)に至る工程によって情報記録媒体用基板を作製することもできる。
(Method for manufacturing substrate for information recording medium)
A center hole forming step (hereinafter referred to as “core”) in which the glass blank obtained through the above-described steps is formed by cutting the central portion of the glass blank so as to include a thick portion provided in the central portion. An information recording medium substrate can be manufactured through at least a “ring”. The thick part can be cut using a diamond cutter. Usually, in addition to the center hole forming step, a substrate for an information recording medium can be obtained by performing post-processing such as shape processing such as end face processing and double-side polishing processing. Specifically, the information recording medium substrate includes, for example, (1) a first lapping step, (2) a cutting step (coring, forming), (3) an end surface grinding step, (4) a second lapping step, ( 5) End face polishing step, (6) Main surface polishing step, (7) Chemical strengthening step and cooling step, (8) Precision cleaning step can be performed in this order. Hereinafter, these eight steps will be described more specifically. The disk-shaped glass having a diameter sufficiently larger than the diameter of the substrate is press-molded, the concentric disk-shaped glass is taken out from the disk-shaped glass by scribing, and the taken-out disk-shaped glass is removed from the above (1) to (8) The substrate for the information recording medium can also be manufactured by the processes leading to.
(1)第1ラッピング工程
第1ラッピング工程では、厚肉部を切断された後のガラスブランクの両主表面をラッピング加工することで、ディスク状のガラス素板を得る。このラッピング加工は、遊星歯車機構を利用した両面ラッピング装置により、アルミナ系遊離砥粒を用いて行うことができる。具体的には、ガラス素板の両面に上下からラップ定盤を押圧させ、遊離砥粒を含む研削液をガラス素板の主表面上に供給し、これらを相対的に移動させてラッピング加工を行うことができる。このラッピング加工により、平坦な主表面を有するガラス素板が得られる。
(1) 1st lapping process In a 1st lapping process, a disk-shaped glass base plate is obtained by lapping the both main surfaces of the glass blank after cut | disconnecting a thick part. This lapping process can be performed using alumina free abrasive grains with a double-sided lapping apparatus using a planetary gear mechanism. Specifically, the lapping platen is pressed on both sides of the glass base plate from above and below, and a grinding liquid containing free abrasive grains is supplied onto the main surface of the glass base plate, and these are moved relatively to perform lapping processing. It can be carried out. By this lapping process, a glass base plate having a flat main surface is obtained.
(2)切り出し工程(コアリング、フォーミング)
次に、ダイヤモンドカッタを用いてガラス素板を切断し、このガラス素板から、円盤状のガラス基板を切り出す。次に、円筒状のダイヤモンドドリルを用いて、このガラス基板の中心部に円孔を形成し、ドーナツ状のガラス基板を得る(コアリング)。
(2) Cutting process (coring, forming)
Next, the glass base plate is cut using a diamond cutter, and a disk-shaped glass substrate is cut out from the glass base plate. Next, using a cylindrical diamond drill, a circular hole is formed in the center of the glass substrate to obtain a donut-shaped glass substrate (coring).
(3)端面研削工程
そして内周端面および外周端面をダイヤモンド砥石によって研削し、所定の面取り加工を施す(フォーミング)。
(3) End surface grinding process And an inner peripheral end surface and an outer peripheral end surface are ground with a diamond grindstone, and a predetermined chamfering process is performed (forming).
(4)第2ラッピング工程
次に、得られたガラス基板の両主表面について、第1ラッピング工程と同様に、第2ラッピング加工を行う。この第2ラッピング工程を行うことにより、前工程である切り出し工程や端面研磨工程において主表面に形成された微細な凹凸形状を予め除去しておくことができ、後続の主表面に対する研磨工程を短時間で完了させることができる。
(4) Second Lapping Step Next, a second lapping process is performed on both main surfaces of the obtained glass substrate in the same manner as in the first lapping step. By performing this second lapping step, it is possible to remove in advance the fine unevenness formed on the main surface in the cutting step and end surface polishing step, which are the previous steps, and shorten the subsequent polishing step on the main surface. Can be completed in time.
(5)端面研磨工程
次に、ガラス基板の端面について、ブラシ研磨方法により、鏡面研磨を行う。このとき、研磨砥粒としては、酸化セリウム砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いることができる。この端面研磨工程により、ガラス基板の端面から、パーティクル等の発塵を防止できる。
(5) End surface polishing step Next, the end surface of the glass substrate is mirror-polished by a brush polishing method. At this time, as the abrasive grains, a slurry (free abrasive grains) containing cerium oxide abrasive grains can be used. By this end surface polishing step, generation of particles and the like from the end surface of the glass substrate can be prevented.
(6)主表面研磨工程
主表面研磨工程として、まず第1研磨工程を実施する。この第1研磨工程は、前述のラッピング工程において主表面に残留したキズや歪みの除去を主たる目的とする。この第1研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、硬質樹脂ポリッシャを用いて、主表面の研磨を行う。研磨液としては、たとえば、酸化セリウム砥粒を用いることができる。そして、この第1研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、純水、IPA(イソプロピルアルコール)の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄する。
(6) Main surface polishing step As the main surface polishing step, first, a first polishing step is performed. This first polishing process is mainly intended to remove scratches and distortions remaining on the main surface in the lapping process described above. In the first polishing step, the main surface is polished using a hard resin polisher by a double-side polishing apparatus having a planetary gear mechanism. For example, cerium oxide abrasive grains can be used as the polishing liquid. And the glass substrate which finished this 1st grinding | polishing process is immersed in each washing tank of a neutral detergent, a pure water, and IPA (isopropyl alcohol) sequentially, and is wash | cleaned.
次に、主表面研磨工程の一部として、第2研磨工程を実施する。この第2研磨工程は、主表面を鏡面状に仕上げることを目的とする。この第2研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、軟質発泡樹脂ポリッシャを用いて、主表面の鏡面研磨を行う。研磨液としては、第1研磨工程で用いた酸化セリウム砥粒よりも微細な酸化セリウム砥粒を用いることができる。この第2研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、純水、IPA(イソプロピルアルコール)の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄する。なお、各洗浄槽には、超音波を印加する。 Next, a second polishing step is performed as part of the main surface polishing step. The purpose of this second polishing step is to finish the main surface into a mirror surface. In the second polishing step, mirror polishing of the main surface is performed using a soft foamed resin polisher by a double-side polishing apparatus having a planetary gear mechanism. As the polishing liquid, cerium oxide abrasive grains finer than the cerium oxide abrasive grains used in the first polishing step can be used. The glass substrate that has finished the second polishing step is sequentially immersed in each cleaning bath of neutral detergent, pure water, and IPA (isopropyl alcohol) to be cleaned. An ultrasonic wave is applied to each cleaning tank.
(7)化学強化工程および冷却工程
情報記録媒体用基板の作製に用いるガラスブランクが、リチウムやナトリウムなどのアルカリ金属を含むガラスからなる場合は、前述のラッピング工程及び研磨工程を終えたガラス基板に、化学強化を施すのが好ましい。化学強化工程を行うことにより、情報記録媒体用基板の表層部に高い圧縮応力を生じさせることができる。このため、情報記録媒体用基板の表面の耐衝撃性を向上させることができる。このような化学強化処理は、情報を記録再生するヘッドが、機械的に情報記録媒体表面に接触する可能性のある磁気記録媒体を作製する上で非常に好適である。
(7) Chemical strengthening step and cooling step When the glass blank used for the production of the information recording medium substrate is made of glass containing an alkali metal such as lithium or sodium, the glass substrate that has been subjected to the lapping step and polishing step described above is used. It is preferable to apply chemical strengthening. By performing the chemical strengthening step, a high compressive stress can be generated in the surface layer portion of the information recording medium substrate. For this reason, the impact resistance of the surface of the information recording medium substrate can be improved. Such chemical strengthening treatment is very suitable for producing a magnetic recording medium in which a head for recording / reproducing information may mechanically come into contact with the surface of the information recording medium.
化学強化は、硝酸カリウムと硝酸ナトリウムを混合した化学強化溶液を準備し、この化学強化溶液を加熱しておくとともに、洗浄済みのガラス基板を予熱し、化学強化溶液中に浸漬することによって行う。このように、化学強化溶液に浸漬処理することによって、ガラス基板の表層のリチウムイオン及びナトリウムイオンが、化学強化溶液中のナトリウムイオン及びカリウムイオンにそれぞれ置換され、ガラス基板が強化される。 The chemical strengthening is performed by preparing a chemical strengthening solution in which potassium nitrate and sodium nitrate are mixed, heating the chemical strengthening solution, preheating the cleaned glass substrate, and immersing it in the chemical strengthening solution. Thus, by immersing in a chemical strengthening solution, the lithium ion and sodium ion of the surface layer of a glass substrate are each substituted by the sodium ion and potassium ion in a chemical strengthening solution, and a glass substrate is strengthened.
続いて、化学強化工程を終えたガラス基板を、水槽に浸漬して冷却し、しばらくの間維持する。そして、冷却を終えたガラス基板を、加熱した濃硫酸に浸漬して洗浄を行う。さらに、硫酸洗浄を終えたガラス基板を、純水、IPA(イソプロピルアルコール)の各洗浄槽に順次浸漬して洗浄する。なお、各洗浄槽には超音波を印加する。 Then, the glass substrate which finished the chemical strengthening process is immersed in a water bath, cooled, and maintained for a while. Then, the cooled glass substrate is cleaned by immersing it in heated concentrated sulfuric acid. Further, the glass substrate after the sulfuric acid cleaning is cleaned by immersing in a cleaning bath of pure water and IPA (isopropyl alcohol) sequentially. In addition, an ultrasonic wave is applied to each washing tank.
(8)精密洗浄工程
次に、研磨剤残渣や外来の鉄系コンタミなどを除去し、ガラス基板の表面をより平滑かつ清浄にするために、精密洗浄工程を実施するのが好ましい。このような精密洗浄工程の実施は、情報を記録再生するヘッドが、機械的に情報記録媒体表面に接触する可能性のある磁気記録媒体を作製する上で非常に好適である。精密洗浄の実施によりヘッドクラッシュやサーマルアスペリティの発生を抑制できるためである。なお、精密洗浄工程としては、アルカリ性水溶液による洗浄の後に、水リンス洗浄、IPA洗浄工程を行うようにしてもよい。
(8) Precision cleaning step Next, it is preferable to carry out a precision cleaning step in order to remove abrasive residues and foreign iron-based contaminants, and to make the surface of the glass substrate smoother and cleaner. Such a precision cleaning process is very suitable for producing a magnetic recording medium in which a head for recording / reproducing information may mechanically contact the surface of the information recording medium. This is because the occurrence of head crashes and thermal asperities can be suppressed by carrying out precision cleaning. In addition, as a precision washing | cleaning process, you may make it perform a water rinse washing | cleaning and an IPA washing | cleaning process after washing | cleaning by alkaline aqueous solution.
これらの一連の工程を経て作製された情報記録媒体の表面粗さは、Raでサブナノメーターのオーダーとすることができる。なお、表面粗さは、主表面研磨条件や洗浄条件を選択することにより適宜調整することができる。なお、以上、8つの工程を経て得られた情報記録媒体用基板は、公知の磁気記録、光記録、光磁気記録等の公知の各種記録方式を採用した情報記録媒体の作製に用いることができるが、特に磁気記録媒体の作製に用いることが好適である。また、磁気記録媒体用基板ほどに、情報記録媒体用基板表面の清浄性、平滑性、耐衝撃性が要求されない用途の情報記録媒体用基板の場合は、必要に応じて上記8つの工程の一部を実施しなくてもよいし、また、各工程をより簡略化したり、よりラフな条件で実施してもよい。 The surface roughness of the information recording medium produced through these series of steps can be on the order of sub-nanometers with Ra. The surface roughness can be appropriately adjusted by selecting main surface polishing conditions and cleaning conditions. The information recording medium substrate obtained through the above-described eight steps can be used for production of an information recording medium employing various known recording methods such as known magnetic recording, optical recording, and magneto-optical recording. However, it is particularly suitable for use in producing a magnetic recording medium. Further, in the case of an information recording medium substrate that is not required to have cleanness, smoothness, and impact resistance on the surface of the information recording medium substrate as much as the magnetic recording medium substrate, one of the above eight steps is performed as necessary. The steps may not be performed, and each process may be simplified or performed under rougher conditions.
(情報記録媒体の製造方法)
このようにして得られた情報記録媒体用基板の少なくとも片面に、情報記録層を形成する情報記録層形成工程を少なくとも経ることで、情報記録媒体を製造することができる。なお、磁気記録媒体を作製する場合は、情報記録層として磁気記録層が設けられる。この磁気記録媒体は、水平磁気記録方式および垂直磁気記録方式のいずれであってもよいが、垂直磁気記録方式であることが好ましい。垂直磁気記録方式の磁気記録媒体を作製する場合は、たとえば、情報記録媒体用基板の両面に、Cr合金からなる付着層、FeCoCrB合金からなる軟磁性層、Ruからなる下地層、CoCrPt−TiO2合金からなる垂直磁気記録層、水素化炭素からなる保護層、パーフルオロポリエーテルからなる潤滑層を、この順に順次成膜することができる。なお、付着層、軟磁性層、下地層、垂直磁気記録層は、スパッタリング法により成膜することができ、保護層は、スパッタリング法やCVD法(Chemical Vapor Deposition法)により成膜することができ、潤滑層は浸漬塗布法により成膜することができる。また、付着層から保護層までの成膜は、各層の連続成膜が可能なインライン型または枚葉型のスパッタリング装置を用いることができ、潤滑層の成膜は浸漬塗布装置を用いることができる。
(Method of manufacturing information recording medium)
The information recording medium can be manufactured by performing at least an information recording layer forming step of forming an information recording layer on at least one surface of the information recording medium substrate thus obtained. When a magnetic recording medium is manufactured, a magnetic recording layer is provided as an information recording layer. The magnetic recording medium may be either a horizontal magnetic recording system or a perpendicular magnetic recording system, but is preferably a perpendicular magnetic recording system. When a perpendicular magnetic recording type magnetic recording medium is manufactured, for example, an adhesion layer made of Cr alloy, a soft magnetic layer made of FeCoCrB alloy, an underlayer made of Ru, and CoCrPt—TiO 2 on both surfaces of an information recording medium substrate. A perpendicular magnetic recording layer made of an alloy, a protective layer made of hydrogenated carbon, and a lubricating layer made of perfluoropolyether can be sequentially formed in this order. The adhesion layer, the soft magnetic layer, the underlayer, and the perpendicular magnetic recording layer can be formed by a sputtering method, and the protective layer can be formed by a sputtering method or a CVD method (Chemical Vapor Deposition method). The lubricating layer can be formed by a dip coating method. Further, in-line type or single-wafer type sputtering apparatus capable of continuous film formation of each layer can be used for film formation from the adhesion layer to the protective layer, and immersion coating apparatus can be used for film formation of the lubricating layer. .
以下に、本発明を実施例を挙げてより詳細に説明するが、本発明は以下の実施例にのみ限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.
(実施例1)
アルミノシリケートガラスを溶融した溶融ガラスを、下型のプレス面上に供給した後、上型と下型とによりサイドフリー方式でプレスすることにより断面形状が図2に示す形状を有するガラスブランクを1000枚作製した。得られたガラスブランクの各部の寸法を表1に示す。なお、このガラスブランクの作製に際しては、下型として、プレス面の中央部に、表1に示すガラスブランクの厚肉部の寸法形状に対応する形状を有する凹部を備えた下型を用いた。ガラスブランクを作製する際の主要な製造条件は以下の通りである。
・ガラス転移温度Tg:485℃
・ガラスの平均線膨張係数:95×10−7/K(100〜300℃)、98×10−7/K(300〜Tg℃)、37×10−6/K(Tg〜530℃)、
・溶融ガラスを下型のプレス面上に供給する際のプレス面の温度:500℃
・プレス時の上型プレス面の温度:450℃
・下型上に投入される溶融ガラスの粘度:40Pa・s
・プレス時間(ガラスに圧力を加える時間):1秒ないしそれ以下
・上型および下型のプレス面を構成する材料:鋳鉄
・下型からガラスブランクをテイクアウトする際のガラスブランクの温度:約520℃
・テイクアウト後のガラスブランクの放置環境:歪点温度前後に保持した徐冷炉に投入し、所定時間温度保持した後に室温まで徐冷
Example 1
After supplying the molten glass obtained by melting the aluminosilicate glass onto the press surface of the lower mold, the glass blank having the shape shown in FIG. 2 is obtained by pressing the upper mold and the lower mold in a side-free manner. A sheet was produced. The dimensions of each part of the obtained glass blank are shown in Table 1. In the production of this glass blank, a lower mold having a concave portion having a shape corresponding to the dimensional shape of the thick portion of the glass blank shown in Table 1 at the center of the press surface was used as the lower mold. The main production conditions for producing a glass blank are as follows.
Glass transition temperature Tg: 485 ° C
-Average linear expansion coefficient of glass: 95 × 10 −7 / K (100 to 300 ° C.), 98 × 10 −7 / K (300 to Tg ° C.), 37 × 10 −6 / K (Tg to 530 ° C.),
・ Pressing surface temperature when supplying molten glass onto the pressing surface of the lower mold: 500 ° C.
・ Temperature of upper die press surface during pressing: 450 ℃
・ Viscosity of molten glass put on the lower mold: 40 Pa · s
・ Pressing time (time for applying pressure to glass): 1 second or less ・ Material constituting upper and lower pressing surfaces: cast iron ・ Glass blank temperature when taking out glass blank from lower die: about 520 ℃
・ Glass blank leaving environment after take-out: Put into a slow cooling furnace held around the strain point temperature, hold the temperature for a predetermined time and then slowly cool to room temperature
(比較例1)
厚肉部と薄肉部との段差部分の傾斜面を、曲面ではなく実質的に平面とした以外は、図2と同様の寸法形状を有するガラスブランクを作製した。具体的には、表1に示す寸法形状のガラスブランクが得られるようにプレス面中央部に凹部を設けた下型を用い、プレス時の圧力を実施例1のガラスブランクの薄肉部と同じ厚みのガラスブランクが得られるように調整した以外は、実施例1と同様にしてガラスブランクを200枚作製した。なお、本明細書において、「傾斜面が実質的に平面」とは、曲率半径Rが∞を意味する。
(Comparative Example 1)
A glass blank having the same dimensional shape as that of FIG. 2 was prepared except that the inclined surface of the step portion between the thick portion and the thin portion was not a curved surface but a substantially flat surface. Specifically, using a lower mold having a recess in the center of the press surface so that a glass blank having the dimensions shown in Table 1 is obtained, the pressure during pressing is the same thickness as the thin portion of the glass blank of Example 1. 200 glass blanks were produced in the same manner as in Example 1 except that the glass blank was adjusted so as to be obtained. In the present specification, “the inclined surface is substantially flat” means that the radius of curvature R is ∞ .
(比較例2)
表1に示すように傾斜角θを変えた以外は比較例1と同様にしてガラスブランクを200枚作製した。
(Comparative Example 2)
As shown in Table 1, 200 glass blanks were produced in the same manner as in Comparative Example 1 except that the inclination angle θ was changed.
<評価>
各実施例、比較例において、各々200枚のガラスブランクを作製した際のクラック発生枚数(クラックにより割れが生じたものも含む)を評価した結果を表1に示す。また、これらの結果と共に、実施例1においてプレスする際のプレス推力を100とした際の比較例1および比較例2における相対的なプレス推力も示す。
<Evaluation>
In each Example and Comparative Example, Table 1 shows the results of evaluating the number of cracks generated (including those in which cracking occurred due to cracks) when 200 glass blanks were produced. In addition to these results, the relative pressing thrust in Comparative Example 1 and Comparative Example 2 when the pressing thrust during pressing in Example 1 is set to 100 is also shown.
1 ガラスブランク
10 厚肉部
12 最頂部
14 曲面
16A 曲面
16B 平面
20 薄肉部
22 平面部分
30 第二の厚肉部
32 最頂部
34 曲面
DESCRIPTION OF
Claims (6)
該厚肉部の周囲を囲むように設けられたリング状で、上記厚肉部より肉厚が薄い薄肉部と、を有し、
上記厚肉部が、上記薄肉部の一方の面に対してのみ凸を成すように設けられると共に、他方の面は全て面一を成す情報記録媒体用ガラスブランクにおいて、
上記薄肉部と上記厚肉部とが段差を成すように形成された側の面において、上記薄肉部の平面部分から上記厚肉部の最頂部へと続く傾斜面が、上記平面部分と連続する面を成す曲面を有することを特徴とする情報記録媒体用ガラスブランク。 A disk-shaped thick part,
A ring-like shape provided so as to surround the thick-walled portion, and a thin-walled portion having a smaller thickness than the thick-walled portion,
In the glass blank for information recording medium in which the thick part is provided so as to be convex only with respect to one surface of the thin part, and the other surface is all flush.
In the surface on which the thin portion and the thick portion are formed to form a step, an inclined surface that continues from the flat portion of the thin portion to the topmost portion of the thick portion is continuous with the flat portion. A glass blank for an information recording medium, characterized by having a curved surface forming a surface.
前記平面部分は上記曲線の接線となり、且つ、
前記平面部分と前記曲面との境界が、上記接線の接点であることを特徴とする請求項1に記載の情報記録媒体用ガラスブランク。 The curved surface is a part of any one of the curved lines whose cross-sectional contour line is selected from a perfect circular curve, an elliptical curve, a parabola and a hyperbola,
The planar portion is tangent to the curve, and
The glass blank for an information recording medium according to claim 1, wherein a boundary between the flat portion and the curved surface is a contact point of the tangent line.
前記曲面の曲率半径が、下式(1)を満たすことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の情報記録媒体用ガラスブランク。
・式(1) 0.5×Rb≦R≦Rb
〔式(1)中、Rは、前記曲面の曲率半径を表す。また、Rbは、ガラスブランクを直径方向に切断した断面において、前記厚肉部の最頂部の最外周側の第1の点、および、前記薄肉部の平面部分と一致する面における前記厚肉部の最外周側の第2の点、を結ぶ直線を2等分するように直交する第1の直線と、上記第2の点を通り、かつ、前記平面部分に対して直交する第2の直線との交点から、上記第2の点までの最短距離を意味する。〕 In the curved surface, the outline of the cross section is a part of a perfect circular curve,
The glass blank for an information recording medium according to claim 1 or 2, wherein a radius of curvature of the curved surface satisfies the following formula (1).
Formula (1) 0.5 × Rb ≦ R ≦ Rb
[In Formula (1), R represents the curvature radius of the said curved surface. In addition, Rb is the cross section obtained by cutting the glass blank in the diameter direction, the first point on the outermost peripheral side of the topmost part of the thick part, and the thick part on the surface that coincides with the flat part of the thin part. A first straight line orthogonal to bisect a straight line connecting the second point on the outermost peripheral side of the second straight line, and a second straight line passing through the second point and orthogonal to the plane portion Means the shortest distance from the intersection point to the second point. ]
当該情報記録媒体用基板の少なくとも片面に情報記録層を形成する情報記録層形成工程を少なくとも経て、情報記録媒体を製造することを特徴とする情報記録媒体の製造方法。 The center part of the said glass blank is cut | disconnected so that the thick part provided in the center part of the glass blank selected from the glass blank for information recording media as described in any one of Claims 1-4 may be included. After producing the substrate for information recording medium through at least the center hole forming step of forming the center hole,
An information recording medium manufacturing method comprising manufacturing an information recording medium through at least an information recording layer forming step of forming an information recording layer on at least one side of the information recording medium substrate.
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