JP4969941B2 - Polyimide composition, flexible wiring board and method for producing flexible wiring board - Google Patents
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- Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
Description
本発明は、ポリイミド組成物及びそのポリイミド組成物により形成されたポリイミド層を有するフレキシブル配線板に関するものであり、そのフレキシブル配線板を製造する方法に関する。 The present invention relates to a polyimide composition and a flexible wiring board having a polyimide layer formed of the polyimide composition, and relates to a method of manufacturing the flexible wiring board.
一般にポリイミド樹脂は、無水ピロメリット酸二無水物などの芳香族テトラカルボン酸二無水物とジアミノジフェニルエーテル等の芳香族ジアミンとをジメチルアセトアミド等の非プロトン性極性溶媒中で等モル反応させ容易に得られる高重合度のポリイミド前駆体を成膜し、加熱又は化学イミド化して得られる。 Generally, a polyimide resin is easily obtained by reacting an aromatic tetracarboxylic dianhydride such as pyromellitic dianhydride and an aromatic diamine such as diaminodiphenyl ether in an aprotic polar solvent such as dimethylacetamide. It is obtained by film-forming a polyimide precursor having a high polymerization degree and heating or chemical imidization.
そして、このポリイミド樹脂は、耐薬品性、耐放射線性、電気絶縁性、機械的性質などの性質を併せ持つことから、銅箔等の導体上に形成され、フレキシブル配線板などの種々の電子デバイスに広く利用されている。 And since this polyimide resin has properties such as chemical resistance, radiation resistance, electrical insulation, and mechanical properties, it is formed on conductors such as copper foil and is used in various electronic devices such as flexible wiring boards. Widely used.
フレキシブル配線板等の電子デバイスに用いられるポリイミド樹脂を形成するポリイミド組成物としては、フッ素化された末端アミンオリゴマーにポリマレイミドを含有させてなる組成物がある(例えば特許文献1参照)。 As a polyimide composition for forming a polyimide resin used for an electronic device such as a flexible wiring board, there is a composition in which a polymaleimide is contained in a fluorinated terminal amine oligomer (see, for example, Patent Document 1).
一般に、ポリイミド樹脂をフレキシブル配線板等の電子デバイスに用いる際、導体上への成膜が必要となるため、導体上への成膜前にプレポリマー化する必要がある。特許文献1に示されるポリイミド樹脂では、フッ素化された末端アミンオリゴマーだけでは成膜できないため、ポリマレイミドを含有させて加熱し、末端アミンオリゴマーをプレポリマー化することで成膜性の改善を図っている。また、このポリマレイミドは、架橋剤となり、耐熱性を向上させる。 Generally, when a polyimide resin is used for an electronic device such as a flexible wiring board, it is necessary to form a polymer on a conductor. Therefore, it is necessary to prepolymerize the film before forming a film on a conductor. The polyimide resin disclosed in Patent Document 1 cannot be formed with only a fluorinated terminal amine oligomer. Therefore, polymaleimide is contained and heated to improve the film forming property by prepolymerizing the terminal amine oligomer. ing. Moreover, this polymaleimide becomes a crosslinking agent and improves heat resistance.
このようなポリイミド樹脂を形成するポリイミド組成物は、導体上で所定の形状となるようにアルカリ現像によるパターン形成が行われる。例えば、水酸化ナトリウムや水酸化カリウムといったアルカリ溶液で所定の箇所を除去して、パターンを形成することができる。 The polyimide composition forming such a polyimide resin is subjected to pattern formation by alkali development so as to have a predetermined shape on the conductor. For example, a pattern can be formed by removing a predetermined portion with an alkaline solution such as sodium hydroxide or potassium hydroxide.
しかしながら、上記のような耐熱性を向上させるこのポリマレイミドを組成物に含有させてしまうと、添加物であるポリマレイミドが光吸収するため、感光剤を効率よく感光させることができないことが考えられる。したがって、特許文献1のような組成物では、耐熱性を向上させると架橋剤の影響でアルカリ現像性が低下し、アルカリ現像性を向上させると耐熱性が低下してしまう。 However, if the polymaleimide that improves the heat resistance as described above is contained in the composition, the additive polymaleimide absorbs light, so that the photosensitive agent cannot be efficiently exposed. . Therefore, in a composition like patent document 1, when heat resistance is improved, alkali developability will fall under the influence of a crosslinking agent, and when alkali developability is improved, heat resistance will fall.
そこで、本発明は、耐熱性を有するとともにアルカリ現像性に影響を与えない、即ち耐熱性とアルカリ現像性とを両立させたポリイミド組成物を提供することを目的とし、そのポリイミド組成物を用いたフレキシブル配線板及びその製造方法を提供することを特徴とする。 Therefore, the present invention aims to provide a polyimide composition that has heat resistance and does not affect alkali developability, that is, has both heat resistance and alkali developability, and uses the polyimide composition. A flexible wiring board and a manufacturing method thereof are provided.
本発明のポリイミド組成物は、3,3’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物を有する酸二無水物モノマーと、ヒドロキシル基を有する第1のジアミン、及び、分子内にアルキレン構造を有する第2のジアミンを有するジアミンモノマーとの重合により合成され、末端にアミノ基を有するイミドオリゴマーと、複数のマレイミド基を有する架橋剤と、感光剤とを含有することを特徴とする。 The polyimide composition of the present invention includes an acid dianhydride monomer having 3,3′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, a first diamine having a hydroxyl group, and a second having an alkylene structure in the molecule. It is synthesized by polymerization with a diamine monomer having a diamine, and contains an imide oligomer having an amino group at a terminal, a crosslinking agent having a plurality of maleimide groups, and a photosensitizer.
本発明のポリイミド組成物は、感光剤を有することで、感光性を付与し、アルカリ現像を可能とする。そして、3,3’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物を有する酸二無水物モノマーとヒドロキシル基を有する第1のジアミン、及び、分子内にアルキレン構造を有する第2のジアミンを有するジアミンモノマーとを用いることで、合成されるイミドオリゴマーのアルカリ溶解性が向上する。そのため、複数のマレイミド基を有する架橋剤を添加しても、アルカリ現像性に影響を与えることがなく、耐熱性を付与することができる。 The polyimide composition of the present invention has photosensitizer, imparts photosensitivity, and enables alkali development. And an acid dianhydride monomer having 3,3′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, a first diamine having a hydroxyl group, and a diamine monomer having a second diamine having an alkylene structure in the molecule; By using, the alkali solubility of the synthesized imide oligomer is improved. Therefore, even when a crosslinking agent having a plurality of maleimide groups is added, the alkali developability is not affected and heat resistance can be imparted.
本発明のフレキシブル配線板は、導体と、前記導体上に、3,3’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物を有する酸二無水物モノマーと、ヒドロキシル基を有する第1のジアミン、及び、分子内にアルキレン構造を有する第2のジアミンを有するジアミンモノマーとの重合により合成され、末端にアミノ基を有するイミドオリゴマーと、複数のマレイミド基を有する架橋剤と、感光剤とを含有するポリイミド組成物からなるポリイミド層とを有することを特徴とする。 The flexible wiring board of the present invention includes a conductor, an acid dianhydride monomer having 3,3′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride on the conductor, a first diamine having a hydroxyl group, and a molecule. Polyimide composition synthesized by polymerization with a diamine monomer having a second diamine having an alkylene structure therein, and containing an imide oligomer having an amino group at a terminal, a crosslinking agent having a plurality of maleimide groups, and a photosensitizer And a polyimide layer.
本発明のフレキシブル配線板は、感光剤によって感光性を付与し、架橋剤によって耐熱性を向上させたポリイミド組成物からなるポリイミド層を有している。そして、このポリイミド層は、3,3’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物を有する酸二無水物モノマーとヒドロキシル基を有する第1のジアミン、及び、分子内にアルキレン構造を有する第2のジアミンを有するジアミンモノマーとが使用されることで、アルカリ溶液に溶解しやすい。したがって、本発明のフレキシブル配線板は、耐熱性の向上のための架橋剤が添加されていても、露光及びアルカリ溶液によるアルカリ現像によって、所定のパターンを形成することができる。 The flexible wiring board of the present invention has a polyimide layer made of a polyimide composition imparted with photosensitivity by a photosensitizer and improved in heat resistance by a crosslinking agent. The polyimide layer includes an acid dianhydride monomer having 3,3′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, a first diamine having a hydroxyl group, and a second diamine having an alkylene structure in the molecule. It is easy to dissolve in an alkaline solution by using a diamine monomer having. Therefore, the flexible wiring board of the present invention can form a predetermined pattern by exposure and alkali development with an alkaline solution even when a crosslinking agent for improving heat resistance is added.
本発明のフレキシブル配線板の製造方法は、3,3’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物を有する酸二無水物モノマーと、ヒドロキシル基を有する第1のジアミン、及び、分子内にアルキレン構造を有する第2のジアミンを有するジアミンモノマーとが重合し、末端にアミノ基を有するイミドオリゴマーを合成する工程と、前記イミドオリゴマーに、感光剤及び架橋剤を添加してポリイミド組成物を形成する工程と、前記ポリイミド組成物を導体に塗布してポリイミド層を形成する工程と、前記ポリイミド層を有する導体を露光後、前記アルカリ溶液に浸漬し、所定のパターンを形成する工程とを有することを特徴とする。 The method for producing a flexible wiring board of the present invention includes an acid dianhydride monomer having 3,3′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, a first diamine having a hydroxyl group, and an alkylene structure in the molecule. And a step of synthesizing an imide oligomer having an amino group at a terminal by polymerization with a diamine monomer having a second diamine, and a step of forming a polyimide composition by adding a photosensitizer and a crosslinking agent to the imide oligomer. The polyimide composition is applied to a conductor to form a polyimide layer, and the conductor having the polyimide layer is exposed to light and then immersed in the alkaline solution to form a predetermined pattern. To do.
本発明のフレキシブル配線板の製造方法によれば、感光剤によって感光性を付与し、架橋剤によって耐熱性を向上させたポリイミド組成物からなるポリイミド層を形成する。そして、このポリイミド層は、3,3’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物を有する酸二無水物モノマーとヒドロキシル基を有する第1のジアミン、及び、分子内にアルキレン構造を有する第2のジアミンを有するジアミンモノマーとを用いることで、合成されるイミドオリゴマーがアルカリ溶液に溶解しやすくなり、架橋剤が添加されていても、露光及びアルカリ溶液によるアルカリ現像によって、所定のパターンを形成することができる。したがって、アルカリ現像性と耐熱性を有するフレキシブル配線板を製造することができる。 According to the method for producing a flexible wiring board of the present invention, a polyimide layer made of a polyimide composition that is imparted with photosensitivity by a photosensitizer and improved in heat resistance by a crosslinking agent is formed. The polyimide layer includes an acid dianhydride monomer having 3,3′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, a first diamine having a hydroxyl group, and a second diamine having an alkylene structure in the molecule. The imide oligomer to be synthesized can be easily dissolved in an alkali solution by using a diamine monomer having a diamine monomer, and a predetermined pattern can be formed by exposure and alkali development with an alkali solution even when a crosslinking agent is added. it can. Therefore, a flexible wiring board having alkali developability and heat resistance can be produced.
本発明は、感光剤を有することで、感光性を付与し、アルカリ現像を可能とする。そして、3,3’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物を有する酸二無水物モノマーとヒドロキシル基を有する第1のジアミン、及び、分子内にアルキレン構造を有する第2のジアミンを有するジアミンモノマーとを用いることで、形成されるイミドオリゴマーのアルカリ溶解性が向上する。そのため、複数のマレイミド基を有する架橋剤を添加しても、アルカリ現像性に影響を与えることがなく、耐熱性を付与することができる。したがって、このポリイミド組成物を用いることで、アルカリ現像性と耐熱性を有するフレキシブル配線板となる。 By having a photosensitizer, the present invention imparts photosensitivity and enables alkali development. And an acid dianhydride monomer having 3,3′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, a first diamine having a hydroxyl group, and a diamine monomer having a second diamine having an alkylene structure in the molecule; By using, the alkali solubility of the imide oligomer formed is improved. Therefore, even when a crosslinking agent having a plurality of maleimide groups is added, the alkali developability is not affected and heat resistance can be imparted. Therefore, by using this polyimide composition, a flexible wiring board having alkali developability and heat resistance is obtained.
以下、本発明のポリイミド組成物及びポリイミド組成物の製造方法について説明する。なお、本発明は、以下の説明に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。 Hereinafter, the polyimide composition of this invention and the manufacturing method of a polyimide composition are demonstrated. Note that the present invention is not limited to the following description, and can be appropriately changed without departing from the spirit of the present invention.
本発明のポリイミド組成物は、耐熱性とアルカリ現像性を両立するポリイミド組成物である。このポリイミド組成物は、イミドオリゴマーと、感光剤と、複数のマレイミド基を有する架橋剤とを含有してなるものである。 The polyimide composition of the present invention is a polyimide composition having both heat resistance and alkali developability. This polyimide composition contains an imide oligomer, a photosensitive agent, and a crosslinking agent having a plurality of maleimide groups.
本発明のポリイミド組成物を構成するイミドオリゴマーは、酸二無水物モノマーとジアミンモノマーとを重合させて合成することができる。このイミドオリゴマーの合成には、酸二無水物モノマーとして、3,3’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物(DSDA)が用いられる。 The imide oligomer constituting the polyimide composition of the present invention can be synthesized by polymerizing an acid dianhydride monomer and a diamine monomer. In the synthesis of the imide oligomer, 3,3′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride (DSDA) is used as the acid dianhydride monomer.
このDSDAは、合成されるイミドオリゴマーのアルカリ溶解性を向上させることができる。このDSDAは、電気陰性度が大きい硫黄原子、酸素原子を有しており、これら原子が共役を介してイミドカルボニル炭素までおよび、塩基の求核攻撃を受けやすくなるため、アルカリ溶解性が向上するものであると考えられる。 This DSDA can improve the alkali solubility of the imide oligomer synthesized. This DSDA has sulfur and oxygen atoms with high electronegativity, and these atoms reach the imide carbonyl carbon through conjugation and are susceptible to base nucleophilic attack, so that alkali solubility is improved. It is thought to be a thing.
このDSDAは、下記のジアミンモノマーとの反応によって末端にアミノ基を有するイミドオリゴマーが合成できるように、ジアミンモノマーの使用量よりも少ない使用量であれば特に限定するものではない。 The DSDA is not particularly limited as long as it is used in an amount less than the amount of the diamine monomer so that an imide oligomer having an amino group at the terminal can be synthesized by reaction with the following diamine monomer.
DSDAと重合し、イミドオリゴマーを合成させるジアミンモノマーには、第1のジアミンとして分子中にヒドロキシル基を有する任意のものが用いられる。例えば、ジアミンの一例として、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(BIS−AP−AF)が挙げられる。 As the diamine monomer that is polymerized with DSDA to synthesize an imide oligomer, an arbitrary diamine monomer having a hydroxyl group in the molecule is used. For example, 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane (BIS-AP-AF) is an example of a diamine.
このBIS−AP−AFは、ヒドロキシル基を有することで、アルカリ溶解性が高くなり、アルカリ現像が容易となる。また、このBIS−AP−AFは、屈曲性の高いジアミンで、分子中にトリフルオロメチル基を有する。トリフルオロメチル基は、分子鎖間の相互作用を弱める嵩高い置換基である。したがって、高い屈曲性とトリフルオロメチル基によって溶媒への溶解性が向上する。これにより、本発明のポリイミド組成物をフレキシブル配線板に利用する際に、取り扱いが容易となり、導体に均一なポリイミドの膜を形成することができる。 Since this BIS-AP-AF has a hydroxyl group, alkali solubility becomes high and alkali development becomes easy. This BIS-AP-AF is a highly flexible diamine and has a trifluoromethyl group in the molecule. A trifluoromethyl group is a bulky substituent that weakens the interaction between molecular chains. Therefore, the high flexibility and the trifluoromethyl group improve the solubility in a solvent. Thereby, when using the polyimide composition of this invention for a flexible wiring board, handling becomes easy and it can form the film | membrane of a uniform polyimide on a conductor.
ジアミンモノマー中のBIS−AP−AFの量としては、ジアミンモノマー中に少なくとも1モル%以上であることが好ましい。BIS−AP−AFの量が1モル%以下である場合、溶媒及びアルカリ溶解性を十分に付与できない。 The amount of BIS-AP-AF in the diamine monomer is preferably at least 1 mol% in the diamine monomer. When the amount of BIS-AP-AF is 1 mol% or less, sufficient solvent and alkali solubility cannot be imparted.
この第1のジアミンは、BIS−AP−AFの他に、4,4’−ジアミノ−3,3’−ビフェニルジオール(HAB)、9,9−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン(BAHF)、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルホン(BS−DA)等も適用できる。 In addition to BIS-AP-AF, this first diamine is 4,4′-diamino-3,3′-biphenyldiol (HAB), 9,9-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) fluorene. (BAHF), 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenylsulfone (BS-DA) and the like can also be applied.
そして、第1のジアミンであるBIS−AP−AFとともに酸二無水物モノマーに反応させるジアミンモノマーは、第2のジアミンとして炭素数4以上のアルキレン構造を分子内に有する第2のジアミンが挙げられる。アルキレン構造を有することで、ジアミンの屈曲性が高くなり、低い弾性率を有する膜が形成される。 And as for the diamine monomer made to react with an acid dianhydride monomer with BIS-AP-AF which is 1st diamine, the 2nd diamine which has a C4 or more alkylene structure in a molecule | numerator as 2nd diamine is mentioned. . By having an alkylene structure, the flexibility of diamine increases and a film having a low elastic modulus is formed.
この第2のジアミンとしては、下記一般式(1)又は下記一般式(2)で示されるジアミンを用いることが好ましい。 As this 2nd diamine, it is preferable to use the diamine shown by the following general formula (1) or the following general formula (2).
一般式(1)に示される第2のジアミンとしては、上記一般式(1)中のnが4以上の整数であることが好ましい。一般式(1)において、メチレンユニットが4以上すなわちnが4以上であることで、このジアミンの屈曲性が高くなり、低い弾性率を有するポリイミドを形成することができる。低い弾性率を有するポリイミドが形成できることで、例えばフレキシブル配線板等で導体上にポリイミド層を形成した場合、導体とポリイミドとの熱線膨張係数の違い等により発生する反りを改善することができる。すなわち、反りの少ないフレキシブル配線板を提供できる。 As a 2nd diamine shown by General formula (1), it is preferable that n in the said General formula (1) is an integer greater than or equal to 4. In General Formula (1), when the methylene unit is 4 or more, that is, n is 4 or more, the flexibility of the diamine is increased, and a polyimide having a low elastic modulus can be formed. Since a polyimide having a low elastic modulus can be formed, for example, when a polyimide layer is formed on a conductor with a flexible wiring board or the like, it is possible to improve the warpage caused by the difference in the coefficient of thermal expansion between the conductor and polyimide. That is, a flexible wiring board with less warping can be provided.
そして、一般式(1)において、メチレンユニットが40以上すなわち、nが40以上であることがさらに好ましい。これにより、モノマーの分子量が1000近くに達しているため、オリゴマーのような低い重合度(計算重合度20程度)であっても、平均分子量としては1万を超え、成膜が可能となる。また、合成されるイミドオリゴマーのアルカリ溶液へのアルカリ溶解性は非常に良好となる。 And in general formula (1), it is still more preferable that a methylene unit is 40 or more, ie, n is 40 or more. Thereby, since the molecular weight of the monomer has reached nearly 1000, even if the degree of polymerization is as low as that of an oligomer (calculated degree of polymerization is about 20), the average molecular weight exceeds 10,000 and film formation becomes possible. Further, the alkali solubility of the synthesized imide oligomer in the alkali solution is very good.
また、一般式(2)に示される第2のジアミンとしては、上記一般式(2)中のmが10以上の整数であることが好ましい。一般式(2)において、テトラメチレンオキシドユニットが10以上すなわち、mが10以上であることで、上記の一般式(1)におけるnが40以上である場合と同様の効果を得ることができ、好適である。このようなジアミンとしては、例えばエラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000が挙げられる。 Moreover, as a 2nd diamine shown by General formula (2), it is preferable that m in the said General formula (2) is an integer greater than or equal to 10. In the general formula (2), when the tetramethylene oxide unit is 10 or more, that is, m is 10 or more, the same effect as when n in the general formula (1) is 40 or more can be obtained, Is preferred. An example of such a diamine is Elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000.
この第2のジアミンは、酸二無水物モノマーおよびジアミンモノマーとを合わせた全モノマーの重量に対して、30wt%以上含まれるようにすることが好ましい。30wt%以上の第2のジアミンを使用することで、導体等への成膜が良好になる。 The second diamine is preferably contained in an amount of 30 wt% or more based on the weight of the total monomer including the acid dianhydride monomer and the diamine monomer. By using 30 wt% or more of the second diamine, film formation on a conductor or the like is improved.
そして、この第2のジアミンは、酸二無水物モノマーおよびジアミンモノマーとを合わせた全モノマーの重量に対して、45wt%以上含まれるようにすることがさらに好ましい。45wt%以上の第2のジアミンを使用することで、アルカリ溶液への溶解性の向上と、低い弾性率とを有するポリイミドを形成することができる。したがって、反りがなく、アルカリ現像性が良好なフレキシブル配線板となる。 The second diamine is more preferably contained in an amount of 45 wt% or more based on the weight of all monomers including the acid dianhydride monomer and the diamine monomer. By using 45 wt% or more of the second diamine, a polyimide having improved solubility in an alkaline solution and a low elastic modulus can be formed. Therefore, it becomes a flexible wiring board with no warp and good alkali developability.
イミドオリゴマーは、酸二無水物モノマーとしてDSDAと、ジアミンモノマーとして上記の第1のジアミンおよび第2のジアミンとを重合させることで合成される。酸二無水物モノマーとジアミンモノマーとを反応させ、アミック酸(イミド前駆体)成分を生成させた後、加熱し、溶液中にてイミド化を進めることでアミック酸成分が閉環し、イミドオリゴマーを合成することができる(溶液イミド化)。溶液イミド化の手段としては、環化脱水反応が行える条件であればよく、例えば、溶液中での加熱イミド化や脱水剤による化学イミド化が挙げられる。例えば、加熱イミド化は、イミド前駆体中にトルエン、キシレン等の共沸剤を添加し、180℃以上に加熱撹拌することで、アミック酸成分の脱水反応を行い、閉環したイミド成分を形成することができる。このとき、必要に応じてトリエチルアミン等の3級アミン、芳香族系イソキノリン、ピリジン等の塩基性触媒や、安息香酸、パラヒドロキシ安息香酸等の酸触媒をイミド化の触媒として添加してもよい。また、例えば、脱水環化試薬である無水酢酸/ピリジン系やジシクロヘキシルカルボジイミド等の化学イミド化剤によってもアミック酸を閉環することができる。ジアミンモノマーと酸二無水物モノマーの使用量は、ジアミンモノマーの方を過剰とするのが好ましい。これにより、末端にアミノ基を有するイミドオリゴマーが合成される。末端をアミノ基とすることで、このアミノ基が下記の架橋剤のマレイミド基と反応し、ポリイミドの耐熱性を向上させることができる。 The imide oligomer is synthesized by polymerizing DSDA as an acid dianhydride monomer and the above-mentioned first diamine and second diamine as a diamine monomer. After reacting an acid dianhydride monomer and a diamine monomer to produce an amic acid (imide precursor) component, heating and advancing imidization in the solution cause the amic acid component to ring-close, It can be synthesized (solution imidization). The solution imidization means may be any conditions as long as the cyclization dehydration reaction can be performed, and examples thereof include heating imidization in a solution and chemical imidization with a dehydrating agent. For example, in heat imidization, an azeotropic agent such as toluene and xylene is added to an imide precursor, and the mixture is heated and stirred at 180 ° C. or higher to perform a dehydration reaction of an amic acid component to form a ring-closed imide component. be able to. At this time, a tertiary catalyst such as triethylamine, a basic catalyst such as aromatic isoquinoline and pyridine, and an acid catalyst such as benzoic acid and parahydroxybenzoic acid may be added as a catalyst for imidization, if necessary. Further, for example, the amic acid can also be closed by a chemical imidizing agent such as acetic anhydride / pyridine or dicyclohexylcarbodiimide which is a dehydrating cyclization reagent. As for the usage-amount of a diamine monomer and an acid dianhydride monomer, it is preferable to make the diamine monomer excess. Thereby, the imide oligomer which has an amino group at the terminal is synthesized. By making the terminal an amino group, this amino group reacts with the maleimide group of the following crosslinking agent, and the heat resistance of the polyimide can be improved.
そして、酸二無水物モノマーとジアミンモノマーとの重合により合成されるイミドオリゴマーは、オリゴマーであれば特に限定するものではないが、酸二無水物モノマーの量とジアミンモノマーの量とを調整してイミドオリゴマーの計算重合度が例えば20程度とする。例えば、酸二無水物モノマーを90mol%、ジアミンモノマーを100mol%とすることで、計算重合度が19になる。この程度の計算重合度にすると、モノマーとして比較的分子量の大きい第2のジアミンを使用することで、数平均分子量が1万を越える。これにより、オリゴマーであっても導体等への成膜が可能となる。逆に、このようにオリゴマーであっても成膜可能な必要最低限の数平均分子量が存在する。この必要最低限の数平均分子量を把握し、この数平均分子量を満たす計算重合度となるような酸二無水物モノマーの量とジアミンモノマーの量とを調整しても良い。 The imide oligomer synthesized by polymerization of the acid dianhydride monomer and the diamine monomer is not particularly limited as long as it is an oligomer, but the amount of the acid dianhydride monomer and the amount of the diamine monomer are adjusted. The calculated degree of polymerization of the imide oligomer is, for example, about 20. For example, when the acid dianhydride monomer is 90 mol% and the diamine monomer is 100 mol%, the calculated polymerization degree becomes 19. With this calculated degree of polymerization, the number average molecular weight exceeds 10,000 when the second diamine having a relatively large molecular weight is used as the monomer. Thereby, even an oligomer can be formed on a conductor or the like. On the contrary, there is a necessary minimum number average molecular weight capable of forming a film even with an oligomer. You may grasp | ascertain this minimum required number average molecular weight, and may adjust the quantity of the acid dianhydride monomer and the quantity of a diamine monomer which become the calculation polymerization degree which satisfy | fills this number average molecular weight.
このイミドオリゴマーは、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)等の溶媒に上記のような酸二無水物モノマーとジアミンモノマーとを溶解させて溶媒中の酸二無水物とジアミンとを付加重合させることで合成する。ここで、使用される溶媒としては、例えば、NMP、N,N−ジメチルアセトアミド等の非プロトン性アミド溶媒、クレゾール等のフェノール系溶媒が使用可能であるが、安全性の点からNMPの使用が好ましい。又、キシレン、トルエン、エチレングリコールモノエチルエーテル等も混合して使用することができる。 This imide oligomer dissolves the acid dianhydride monomer and the diamine monomer as described above in a solvent such as N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) and performs addition polymerization of the acid dianhydride and the diamine in the solvent. To synthesize. Here, as a solvent to be used, for example, an aprotic amide solvent such as NMP and N, N-dimethylacetamide, and a phenolic solvent such as cresol can be used. preferable. Also, xylene, toluene, ethylene glycol monoethyl ether, etc. can be mixed and used.
ポリイミド組成物には、感光剤が含有される。この感光剤の含有により、形成されるポリイミド組成物に感光性を付与することができる。その感光剤としては、例えば、ジアゾナフトキノン化合物が挙げられる。上記ジアゾナフトキノン化合物を含有したポリイミド組成物は、露光によりアルカリ溶解性が変化する。露光する前は、アルカリ溶液への溶解性が低い。一方、露光された後は、ジアゾナフトキノン化合物の分子構造が変化してケテンが生じ、アルカリ溶液と反応してカルボン酸が生じる。そして、生成したカルボン酸が水とさらに反応して溶解する。したがって、光照射することで、アルカリ溶液への溶解性が高くなる。 The polyimide composition contains a photosensitizer. By containing this photosensitizer, photosensitivity can be imparted to the formed polyimide composition. Examples of the photosensitizer include a diazonaphthoquinone compound. The polyimide composition containing the diazonaphthoquinone compound changes in alkali solubility upon exposure. Before exposure, the solubility in an alkaline solution is low. On the other hand, after exposure, the molecular structure of the diazonaphthoquinone compound changes to produce ketene, which reacts with an alkaline solution to produce carboxylic acid. The produced carboxylic acid is further reacted with water and dissolved. Therefore, the solubility to an alkaline solution becomes high by irradiating light.
感光剤であるジアゾナフトキノン化合物を含有することにより、ヒドロキシル基を有することでアルカリ溶解性が比較的高いイミドオリゴマーは、このヒドロキシル基とジアゾナフトキノン化合物が水素結合する。これにより、アルカリに溶解し易いヒドロキシル基が保護され、アルカリ溶解性が低下する。この状態のポリイミド化合物に露光を行うと、ジアゾナフトキノン化合物の分子構造が変化し、アルカリ溶解性が発現する。したがって、感光剤としてジアゾナフトキノン化合物を含有させることで、フレキシブル配線板への露光後、水酸化ナトリウム(NaOH)、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)等のアルカリ水溶液によってパターンを形成することができる。 By containing the diazonaphthoquinone compound that is a photosensitizer, the hydroxyl group and the diazonaphthoquinone compound hydrogen bond in the imide oligomer having a hydroxyl group and relatively high alkali solubility. Thereby, the hydroxyl group which is easily dissolved in alkali is protected, and the alkali solubility is lowered. When the polyimide compound in this state is exposed to light, the molecular structure of the diazonaphthoquinone compound changes and alkali solubility is exhibited. Therefore, by containing a diazonaphthoquinone compound as a photosensitizer, sodium hydroxide (NaOH), potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium bicarbonate, tetramethylammonium hydroxide (TMAH), etc. after exposure to the flexible wiring board. The pattern can be formed with an alkaline aqueous solution.
感光剤のジアゾナフトキノン化合物としては、ジアゾナフトキノン骨格を有する化合物であれば特に限定されるものではないが、例えば、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノンo−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノンo−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノンo−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル等が挙げられる。 The diazonaphthoquinone compound of the photosensitizer is not particularly limited as long as it is a compound having a diazonaphthoquinone skeleton. For example, 2,3,4-trihydroxybenzophenone o-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2 3,4-trihydroxybenzophenone o-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,3,4-trihydroxybenzophenone o-benzoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, and the like.
ポリイミド組成物には、複数のマレイミド基を有する架橋剤が含有される。この複数のマレイミド基を有する架橋剤は、マレイミド基中の二重結合同士の付加重合と、ジアミンモノマーを過剰にして合成されたイミドオリゴマーの末端のアミノ基へのマイケル付加反応とを起こす。これにより、架橋剤は、イミドオリゴマーを架橋することができる。このマレイミド基を有する架橋剤は、約200℃といった比較的低い温度で付加反応を起こすため、フレキシブル配線板に用いられても他の部材への加熱による影響を少なくすることができる。 The polyimide composition contains a crosslinking agent having a plurality of maleimide groups. The cross-linking agent having a plurality of maleimide groups causes an addition polymerization of double bonds in the maleimide group and a Michael addition reaction to the terminal amino group of an imide oligomer synthesized with excess diamine monomer. Thereby, the crosslinking agent can bridge | crosslink an imide oligomer. Since this crosslinking agent having a maleimide group causes an addition reaction at a relatively low temperature of about 200 ° C., even if it is used for a flexible wiring board, the influence of heating on other members can be reduced.
ポリイミド組成物にこの架橋剤を含有させる量としては、イミドオリゴマー100重量部に対して、50重量部以下であることが好ましい。この架橋剤は、耐熱性を向上させることができるが、50重量部より多い量を含有させると、感光性が低下してしまうため、アルカリ現像が難しくなる。 As a quantity which makes this polyimide composition contain this crosslinking agent, it is preferable that it is 50 weight part or less with respect to 100 weight part of imide oligomers. Although this crosslinking agent can improve heat resistance, when it contains more than 50 weight part, since photosensitivity will fall, alkali development becomes difficult.
この架橋剤の含有量としてさらに好ましくは、10重量部以上30重量部以下の範囲とすることが好ましい。10重量部よりも少ない量の架橋剤をポリイミド組成物に含有させると、十分な耐熱性を得ることができない。また、30重量部よりも多い量の架橋剤をポリイミド組成物に含有すると、弾性率が高くなりフレキシブル配線板に用いられた際に反りの原因となる。 The content of the crosslinking agent is more preferably in the range of 10 parts by weight to 30 parts by weight. If the polyimide composition contains an amount of crosslinking agent less than 10 parts by weight, sufficient heat resistance cannot be obtained. Moreover, when a crosslinking agent in an amount larger than 30 parts by weight is contained in the polyimide composition, the elastic modulus increases and causes warping when used in a flexible wiring board.
マレイミド基を有する架橋剤は、形成されるポリイミド組成物に対して相溶性がよいものであれば特に限定するものではないが、例えば下記のような化合物を挙げることができる。架橋剤としては、例えば4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミド、ポリフェニルメタンマレイミド、m−フェニレンビスマレイミド、ビスフェノールAジフェニルエーテルビスマレイミド、3,3’−ジメチル−5,5’−ジエチル−4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミド、4−メチル−1,3−フェニレンビスマレイミド等が挙げられる。 The cross-linking agent having a maleimide group is not particularly limited as long as it has good compatibility with the polyimide composition to be formed, and examples thereof include the following compounds. Examples of the crosslinking agent include 4,4′-diphenylmethane bismaleimide, polyphenylmethane maleimide, m-phenylene bismaleimide, bisphenol A diphenyl ether bismaleimide, 3,3′-dimethyl-5,5′-diethyl-4,4 ′. -Diphenylmethane bismaleimide, 4-methyl-1,3-phenylene bismaleimide, etc. are mentioned.
本発明のポリイミド組成物は、上記の酸二無水物モノマーとジアミンモノマーとにより合成されたイミドオリゴマーがNMP等に溶解した溶液に、感光剤と架橋剤を添加することで、イミドオリゴマーと感光剤と架橋剤とを含有するポリイミド組成物を形成することができる。 The polyimide composition of the present invention is obtained by adding a photosensitizer and a crosslinking agent to a solution in which an imide oligomer synthesized from the above acid dianhydride monomer and a diamine monomer is dissolved in NMP or the like. And a polyimide composition containing a crosslinking agent can be formed.
このポリイミド組成物は、導体などの上に塗布され、乾燥等により成膜された後に、露光することで、ポリイミド組成物中の感光剤の構造を変化させ、露光を行った箇所のアルカリ溶解性を高める。そして、アルカリ溶液に浸漬させることで、露光を行った箇所を除去し、所定のパターン(ポジパターン)を形成することができる。ポジパターンが形成された後、残されたポリイミド組成物を約200℃以上で加熱することで、マレイミド基を有する架橋剤がイミドオリゴマーを架橋し、耐熱性を有するポリイミドを形成することができる。すなわち、本発明のポリイミド組成物は、屈曲性のある低い弾性率を有するポリイミドを形成し、アルカリ現像性と耐熱性とを有している。 This polyimide composition is coated on a conductor, etc., and formed into a film by drying or the like, and then exposed to light to change the structure of the photosensitive agent in the polyimide composition, and the alkali solubility of the exposed portion To increase. Then, by immersing in an alkaline solution, the exposed portion can be removed and a predetermined pattern (positive pattern) can be formed. After the positive pattern is formed, the remaining polyimide composition is heated at about 200 ° C. or higher, so that the crosslinking agent having a maleimide group can crosslink the imide oligomer and form a heat-resistant polyimide. That is, the polyimide composition of the present invention forms a flexible and low-elasticity polyimide, and has alkali developability and heat resistance.
このポリイミド組成物は、図1のように、フレキシブル配線板に使用することができる。この場合、銅箔1などの導体に公知のコーティング法でポリイミド組成物を塗布する。そして、ポリイミド組成物を乾燥させて、銅箔2上にポリイミド層3を形成する。このフレキシブル配線板1に対して、ポリイミド層3にマスク層を備えて露光し、その後アルカリ溶液に浸漬してアルカリ現像を行うことで、銅箔2上のポリイミド層3に所定のポジパターンを形成することができる。 This polyimide composition can be used for a flexible wiring board as shown in FIG. In this case, a polyimide composition is applied to a conductor such as the copper foil 1 by a known coating method. Then, the polyimide composition is dried to form the polyimide layer 3 on the copper foil 2. The flexible wiring board 1 is exposed with a polyimide layer 3 provided with a mask layer, and then immersed in an alkaline solution and subjected to alkali development to form a predetermined positive pattern on the polyimide layer 3 on the copper foil 2. can do.
ポジパターンが形成されたポリイミド層3を有する銅箔2は、例えば約200℃で加熱され、架橋剤でイミドオリゴマーを架橋して、耐熱性を有するポリイミド層3を有するフレキシブル配線板1を製造する。 The copper foil 2 having the polyimide layer 3 on which the positive pattern is formed is heated at, for example, about 200 ° C., and the imide oligomer is crosslinked with a crosslinking agent to produce the flexible wiring board 1 having the heat-resistant polyimide layer 3. .
このような方法で製造されたフレキシブル配線板は、上記のポリイミド組成物からなるポリイミド層が銅箔等の導体上に形成される。このポリイミド層は、感光剤によって感光性が付与され、架橋剤によって高い耐熱性を有している。そして、このポリイミド層は、3,3’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物を有する酸二無水物モノマーに上記一般式(1)又は一般式(2)に記載される第2のジアミンを用いることで、アルカリ溶液に溶解しやすく、架橋剤が添加されていても、アルカリ現像によって、所定のパターンを形成することができる。したがって、アルカリ現像性と耐熱性を有するフレキシブル配線板を製造することができる。 In the flexible wiring board manufactured by such a method, a polyimide layer made of the above polyimide composition is formed on a conductor such as a copper foil. This polyimide layer is given photosensitivity by a photosensitizer and has high heat resistance by a crosslinking agent. And this polyimide layer uses the 2nd diamine described in the said General formula (1) or General formula (2) for the acid dianhydride monomer which has a 3,3'- diphenyl sulfone tetracarboxylic dianhydride. Thus, even if a crosslinking agent is easily added to the alkali solution, a predetermined pattern can be formed by alkali development. Therefore, a flexible wiring board having alkali developability and heat resistance can be produced.
本発明を適用したポリイミド組成物の具体的な実施例について、実験結果を基に説明する。本実施例は、実施例1乃至5及び比較例1乃至17において、表1乃至表4に示される組成で試験片を作成し、以下の項目で評価した。表中の成膜性は、銅箔への成膜性に関する評価で、○は成膜が可能であった場合、△は成膜は可能であったが、良好な膜にはならなかった場合、×は成膜できなかった場合を示す。また、表中の反りは、試験片の反りに関する評価で、○は試験片が反らなかった場合、×は試験片が反った場合、−は試験を行っていない場合を示す。さらに、現像性は、試験片のアルカリ現像性に関する評価で、○は所定のパターンが形成された場合、×は所定のパターンが形成できなかった場合、−は試験を行っていない場合を示す。またさらに、表中の耐熱性は、耐熱性の試験としての耐プレッシャークッカー試験(PCT)121℃×2気圧×24時間×飽和水蒸気条件下でのポリイミド層の外観に関する評価で、○はポリイミド層に外観異常が見られず、耐熱性がある場合、△はポリイミド層に多少の外観異常が見られたものの耐熱性がある場合、×はポリイミド層の外観異常が見られ耐熱性がない場合を示す。 Specific examples of the polyimide composition to which the present invention is applied will be described based on experimental results. In this example, test pieces were prepared with the compositions shown in Tables 1 to 4 in Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 17, and evaluated according to the following items. The film formability in the table is an evaluation of the film formability on the copper foil. ○ indicates that the film could be formed, △ indicates that the film could be formed, but the film did not form a good film , X indicates a case where the film could not be formed. The warpage in the table is an evaluation related to the warpage of the test piece. The circle indicates that the test piece did not warp, the cross indicates that the test piece has warped, and − indicates that the test is not performed. Further, the developability is an evaluation regarding the alkali developability of the test piece, where ◯ indicates that a predetermined pattern is formed, × indicates that the predetermined pattern cannot be formed, and − indicates that the test is not performed. Furthermore, the heat resistance in the table is an evaluation of the appearance of the polyimide layer under a pressure cooker test (PCT) 121 ° C. × 2 atm × 24 hours × saturated water vapor condition as a heat resistance test. If there is no appearance abnormality and heat resistance, △ indicates that the polyimide layer has some appearance abnormality but heat resistance, × indicates that the polyimide layer has appearance abnormality and there is no heat resistance. Show.
実施例1では、7.63gのBIS−AP−AF(純度99.00%)と、60.0gのエラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000を500mlの四つ口セパラブルフラスコへ秤量し、窒素雰囲気下、210gの脱水NMPにて完全に溶解させた。その後、DSDA(純度100%)22.32gを秤量し、徐々に加えていった。その後、2時間、80℃にて撹拌し、ディーン・スターク・トラップ(Dean−Stark−Trap)をセットしてトルエンを50cc添加し、反応液を180℃まで昇温した。トルエンを180℃にて還流させ、イミド化時に生じる縮合水を系外に除去した。4時間後、トラップからトルエンを回収し、更に1時間撹拌し、その後反応容器を減圧にして残留トルエンを完全に除去し、イミドオリゴマーを合成した。このときのイミドオリゴマーの計算重合度は19である。 In Example 1, 7.63 g of BIS-AP-AF (purity 99.00%) and 60.0 g of elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000 were weighed into a 500 ml four-necked separable flask. In a nitrogen atmosphere, it was completely dissolved with 210 g of dehydrated NMP. Thereafter, 22.32 g of DSDA (100% purity) was weighed and gradually added. Then, it stirred at 80 degreeC for 2 hours, the Dean-Stark trap (Dean-Stark-Trap) was set, 50 cc of toluene was added, and the reaction liquid was heated up to 180 degreeC. Toluene was refluxed at 180 ° C., and condensed water generated during imidization was removed out of the system. After 4 hours, toluene was recovered from the trap, and further stirred for 1 hour. Thereafter, the reaction vessel was reduced in pressure to completely remove residual toluene, thereby synthesizing an imide oligomer. The calculated degree of polymerization of the imide oligomer at this time is 19.
合成したイミドオリゴマー100重量部に対して、感光剤として20重量部のジアゾナフトキノン(NT−200)と、架橋剤として20重量部のビスフェノールAジフェニルエーテルビスマレイミド(BMI4000:大和化成工業製)を添加し、ポリイミド組成物とした。 To 100 parts by weight of the synthesized imide oligomer, 20 parts by weight of diazonaphthoquinone (NT-200) as a photosensitizer and 20 parts by weight of bisphenol A diphenyl ether bismaleimide (BMI4000: manufactured by Daiwa Kasei Kogyo) as a crosslinking agent are added. A polyimide composition was obtained.
そして、乾燥後のポリイミド層が厚さ12μmとなるように銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布した。これにより、銅箔上にポリイミド組成物からなるポリイミド層が成膜できたことを確認した。100℃で10分間乾燥し、銅箔上にポリイミド層を有する試験片としてのフレキシブル配線板を形成した。このとき、ポリイミド層形成後の試験片の反りは確認できなかった。 And this polyimide composition was apply | coated on copper foil so that the polyimide layer after drying might be set to 12 micrometers. This confirmed that the polyimide layer which consists of a polyimide composition was able to be formed into a film on copper foil. It dried for 10 minutes at 100 degreeC, and formed the flexible wiring board as a test piece which has a polyimide layer on copper foil. At this time, the curvature of the test piece after polyimide layer formation was not able to be confirmed.
試験片のポリイミド層に対して、ポジイメージのマスクを介し、高圧水銀ランプ50mW/cm2、700mJ/cm2で光照射(露光)した。その後、銅箔上のポリイミド層は、1wt%の水酸化ナトリウム水溶液に浸漬し、90秒以内でポリイミド層にポジパターンが形成できるか否かを確認した。その結果、90秒以内でポジパターンが形成された。 The polyimide layer of the test piece was irradiated (exposed) with a high-pressure mercury lamp at 50 mW / cm 2 and 700 mJ / cm 2 through a positive image mask. Then, the polyimide layer on copper foil was immersed in 1 wt% sodium hydroxide aqueous solution, and it was confirmed whether a positive pattern could be formed in a polyimide layer within 90 second. As a result, a positive pattern was formed within 90 seconds.
ポジパターン形成後、ポリイミド層を有する試験片を、窒素雰囲気下、200℃で1時間加熱し、イミドオリゴマーを架橋した。架橋後、PCT機を使用してこの試験片の耐熱性の試験を行った。試験片をPCT機(試験機)に投入し、24時間後、試験機から取り出した。良好な結果ではないものの、PCT前後の試験片のポリイミド層の外観異常はあまり見られず、耐熱性が有ることを確認した。 After forming the positive pattern, the test piece having the polyimide layer was heated at 200 ° C. for 1 hour in a nitrogen atmosphere to crosslink the imide oligomer. After crosslinking, the test piece was tested for heat resistance using a PCT machine. The test piece was put into a PCT machine (test machine), and taken out from the test machine after 24 hours. Although it was not a favorable result, the appearance abnormality of the polyimide layer of the test piece before and after PCT was not so much, and it confirmed that it had heat resistance.
実施例2では、実施例1と同じ組成のイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤の量を20重量部に増加させて実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りは確認できなかった。 In Example 2, an imide oligomer having the same composition as in Example 1 was synthesized. And the quantity of the crosslinking agent was increased to 20 weight part, and the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1. FIG. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, the warp of the test piece could not be confirmed.
形成された試験片に対して、実施例1と同様のアルカリ現像を行った。その結果、このアルカリ現像によって90秒以内でポジパターンが形成された。ポジパターン形成後、ポリイミド層を有する試験片に対して、耐熱性の試験を行った。その結果、PCT前後の試験片のポリイミド層の外観異常が見られず、耐熱性が有ることを確認した。 The alkali development similar to Example 1 was performed with respect to the formed test piece. As a result, a positive pattern was formed within 90 seconds by this alkali development. After the positive pattern was formed, a heat resistance test was performed on the test piece having the polyimide layer. As a result, the appearance abnormality of the polyimide layer of the test piece before and after the PCT was not observed, and it was confirmed that the test piece had heat resistance.
実施例3では、実施例1と同じ組成のイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤の量を30重量部に増加させて実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りは確認できなかった。 In Example 3, an imide oligomer having the same composition as in Example 1 was synthesized. And the quantity of the crosslinking agent was increased to 30 weight part, and the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1. FIG. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, the warp of the test piece could not be confirmed.
形成された試験片に対して、実施例1と同様のアルカリ現像を行った。その結果、このアルカリ現像によって90秒以内でポジパターンが形成された。ポジパターン形成後、ポリイミド層を有する試験片に対して、耐熱性の試験を行った。その結果、PCT前後の試験片のポリイミド層の外観異常が見られず、耐熱性が有ることを確認した。 The alkali development similar to Example 1 was performed with respect to the formed test piece. As a result, a positive pattern was formed within 90 seconds by this alkali development. After the positive pattern was formed, a heat resistance test was performed on the test piece having the polyimide layer. As a result, the appearance abnormality of the polyimide layer of the test piece before and after the PCT was not observed, and it was confirmed that the test piece had heat resistance.
実施例4では、実施例1と同じ組成のイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤の量を40重量部に増加させて実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布することで、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りが確認された。 In Example 4, an imide oligomer having the same composition as in Example 1 was synthesized. And the quantity of the crosslinking agent was increased to 40 weight part, and the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1. FIG. It was confirmed that a polyimide layer can be formed by applying this polyimide composition on a copper foil. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, warpage of the test piece was confirmed.
試験片の反りが確認されたものの、形成された試験片に対して、実施例1と同様のアルカリ現像を行った。その結果、このアルカリ現像によって90秒以内でポジパターンが形成された。ポジパターン形成後、ポリイミド層を有する試験片に対して、耐熱性の試験を行った。その結果、PCT前後の試験片のポリイミド層の外観異常が見られず、耐熱性が有ることを確認した。 Although the warpage of the test piece was confirmed, the same alkali development as in Example 1 was performed on the formed test piece. As a result, a positive pattern was formed within 90 seconds by this alkali development. After the positive pattern was formed, a heat resistance test was performed on the test piece having the polyimide layer. As a result, the appearance abnormality of the polyimide layer of the test piece before and after the PCT was not observed, and it was confirmed that the test piece had heat resistance.
実施例5では、実施例1と同じ組成のイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤の量を50重量部に増加させて実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布することで、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りが確認された。 In Example 5, an imide oligomer having the same composition as in Example 1 was synthesized. And the quantity of the crosslinking agent was increased to 50 weight part, and the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1. FIG. It was confirmed that a polyimide layer can be formed by applying this polyimide composition on a copper foil. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, warpage of the test piece was confirmed.
試験片の反りが確認されたものの、形成された試験片に対して、実施例1と同様のアルカリ現像を行った。その結果、このアルカリ現像によって90秒以内でポジパターンが形成された。ポジパターン形成後、ポリイミド層を有する試験片に対して、耐熱性の試験を行った。その結果、PCT前後の試験片のポリイミド層の外観異常が見られず、耐熱性が有ることを確認した。 Although the warpage of the test piece was confirmed, the same alkali development as in Example 1 was performed on the formed test piece. As a result, a positive pattern was formed within 90 seconds by this alkali development. After the positive pattern was formed, a heat resistance test was performed on the test piece having the polyimide layer. As a result, the appearance abnormality of the polyimide layer of the test piece before and after the PCT was not observed, and it was confirmed that the test piece had heat resistance.
比較例1では、酸二無水物モノマーとして3,4,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)と、ジアミンモノマーとしてBIS−AP−AF及びエラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000とを表1の組成比で使用してポリイミド化合物を合成した。そして、架橋剤を使用せずに実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りは確認できなかった。形成された試験片に対して、実施例1と同様のアルカリ現像を行った。その結果、このアルカリ現像によってポジパターンが形成できなかった。 In Comparative Example 1, 3,4,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) was used as the acid dianhydride monomer, and BIS-AP-AF and Elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industries) as the diamine monomer. Co., Ltd.) 1000 was used at a composition ratio in Table 1 to synthesize a polyimide compound. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 without using a crosslinking agent. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, the warp of the test piece could not be confirmed. The alkali development similar to Example 1 was performed with respect to the formed test piece. As a result, a positive pattern could not be formed by this alkali development.
比較例2では、酸二無水物モノマーとしてBPDAと、ジアミンモノマーとしてBIS−AP−AF及びトリメチレンビス(4−アミノベンゾアート)(CUA−4)とを表1の組成比で使用して実施例1と同様にポリイミド化合物を合成した。そして、架橋剤と感光剤を使用せずに実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りが確認された。 Comparative Example 2 was carried out using BPDA as the acid dianhydride monomer and BIS-AP-AF and trimethylenebis (4-aminobenzoate) (CUA-4) as the diamine monomer in the composition ratios shown in Table 1. A polyimide compound was synthesized in the same manner as in Example 1. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 without using a crosslinking agent and a photosensitizer. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, warpage of the test piece was confirmed.
比較例3では、酸二無水物モノマーとしてBPDAと、ジアミンモノマーとしてBIS−AP−AF及びエラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000とを表1の組成比で使用して実施例1と同様にイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤を使用せずに実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、比較例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りは確認できなかった。形成された試験片に対して、比較例1と同様のアルカリ現像を行った。その結果、このアルカリ現像によってポジパターンが形成できなかった。 In Comparative Example 3, Example 1 was performed using BPDA as the acid dianhydride monomer and BIS-AP-AF and Elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000 as the diamine monomer in the composition ratio of Table 1. Similarly, an imide oligomer was synthesized. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 without using a crosslinking agent. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed. After film formation, it was dried in the same manner as in Comparative Example 1 to obtain a test piece. At this time, the warp of the test piece could not be confirmed. The alkali development similar to the comparative example 1 was performed with respect to the formed test piece. As a result, a positive pattern could not be formed by this alkali development.
比較例4では、酸二無水物モノマーとしてBPDA及びDSDAと、ジアミンモノマーとしてBIS−AP−AF及びエラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000とを表1の組成比で使用して実施例1と同様にイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤を使用せずに実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りは確認できなかった。形成された試験片に対して、実施例1と同様のアルカリ現像を行った。その結果、このアルカリ現像によってポジパターンが形成できなかった。 In Comparative Example 4, BPDA and DSDA were used as acid dianhydride monomers, and BIS-AP-AF and Elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000 were used as diamine monomers in the composition ratios shown in Table 1. In the same manner as in Example 1, an imide oligomer was synthesized. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 without using a crosslinking agent. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, the warp of the test piece could not be confirmed. The alkali development similar to Example 1 was performed with respect to the formed test piece. As a result, a positive pattern could not be formed by this alkali development.
比較例5では、酸二無水物モノマーとしてDSDAと、ジアミンモノマーとしてBIS−AP−AFとを表1の組成比で使用して実施例1と同様にイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤を使用せずに実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜ができなかったことを確認した。 In Comparative Example 5, an imide oligomer was synthesized in the same manner as in Example 1 using DSDA as the acid dianhydride monomer and BIS-AP-AF as the diamine monomer in the composition ratio of Table 1. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 without using a crosslinking agent. This polyimide composition was applied onto a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could not be formed.
比較例6では、酸二無水物モノマーとしてDSDAと、ジアミンモノマーとしてエラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000とを表1の組成比で使用して実施例1と同様にイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤を使用せずに実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りは確認できなかった。形成された試験片に対して、実施例1と同様のアルカリ現像を行った。その結果、このアルカリ現像によってポジパターンが形成できなかった。 In Comparative Example 6, an imide oligomer was synthesized in the same manner as in Example 1 using DSDA as the acid dianhydride monomer and Elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000 as the diamine monomer in the composition ratio of Table 1. did. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 without using a crosslinking agent. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, the warp of the test piece could not be confirmed. The alkali development similar to Example 1 was performed with respect to the formed test piece. As a result, a positive pattern could not be formed by this alkali development.
比較例7では、酸二無水物モノマーとしてDSDAと、ジアミンモノマーとしてBIS−AP−AF及びエラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000とを表2の組成比で使用して、実施例1と同様にイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤と感光剤を使用せずに実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜ができなかったことを確認した。 In Comparative Example 7, Example 1 was performed using DSDA as the acid dianhydride monomer and BIS-AP-AF and Elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000 as the diamine monomer in the composition ratio of Table 2. In the same manner as above, an imide oligomer was synthesized. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 without using a crosslinking agent and a photosensitizer. This polyimide composition was applied onto a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could not be formed.
比較例8では、酸二無水物モノマーとしてDSDAと、ジアミンモノマーとしてBIS−AP−AF及びエラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000とを表2の組成比で使用して、実施例1と同様にイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤と感光剤を使用せずに実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、良好なポリイミド層ではなかったもののポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りが確認された。 Comparative Example 8 uses DSDA as the acid dianhydride monomer and BIS-AP-AF and Elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000 as the diamine monomer in the composition ratio of Table 2. In the same manner as above, an imide oligomer was synthesized. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 without using a crosslinking agent and a photosensitizer. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed although it was not a good polyimide layer. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, warpage of the test piece was confirmed.
比較例9では、酸二無水物モノマーとしてDSDAと、ジアミンモノマーとしてBIS−AP−AF及びエラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000とを表2の組成比で使用して、実施例1と同様にイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤を使用せずに実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りが確認された。 In comparative example 9, DSDA was used as the acid dianhydride monomer, and BIS-AP-AF and Elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000 were used as the diamine monomer in the composition ratios shown in Table 2. In the same manner as above, an imide oligomer was synthesized. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 without using a crosslinking agent. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, warpage of the test piece was confirmed.
比較例10では、酸二無水物モノマーとしてDSDAと、ジアミンモノマーとしてBIS−AP−AF及びエラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000とを表2の組成比で使用して、実施例1と同様にイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤を使用せずに実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りが確認された。 In Comparative Example 10, DSDA was used as the acid dianhydride monomer, and BIS-AP-AF and Elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000 were used as the diamine monomer in the composition ratios shown in Table 2. In the same manner as above, an imide oligomer was synthesized. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 without using a crosslinking agent. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, warpage of the test piece was confirmed.
比較例11では、酸二無水物モノマーとしてDSDAと、ジアミンモノマーとしてBIS−AP−AF及びエラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000とを表2の組成比で使用して、実施例1と同様にイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤を使用せずに実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りは確認できなかった。 In Comparative Example 11, DSDA was used as the acid dianhydride monomer, and BIS-AP-AF and Elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000 were used as the diamine monomer in the composition ratios shown in Table 2. In the same manner as above, an imide oligomer was synthesized. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 without using a crosslinking agent. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, the warp of the test piece could not be confirmed.
形成された試験片に対して、実施例1と同様のアルカリ現像を行った。その結果、このアルカリ現像によって90秒以内でポジパターンが形成された。ポジパターン形成後、ポリイミド層を有する試験片に対して、耐熱性の試験を行った。その結果、PCT前後の試験片のポリイミド層の外観異常が確認され、耐熱性が無いことを確認した。 The alkali development similar to Example 1 was performed with respect to the formed test piece. As a result, a positive pattern was formed within 90 seconds by this alkali development. After the positive pattern was formed, a heat resistance test was performed on the test piece having the polyimide layer. As a result, the appearance abnormality of the polyimide layer of the test piece before and after the PCT was confirmed, and it was confirmed that there was no heat resistance.
比較例12では、酸二無水物モノマーとしてDSDAと、ジアミンモノマーとしてBIS−AP−AF及びエラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000とを表2の組成比で使用して、実施例1と同様にイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤を使用せずに実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りは確認できなかった。 In Comparative Example 12, Example 1 was performed using DSDA as the acid dianhydride monomer and BIS-AP-AF and Elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000 as the diamine monomer in the composition ratio of Table 2. In the same manner as above, an imide oligomer was synthesized. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 without using a crosslinking agent. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, the warp of the test piece could not be confirmed.
形成された試験片に対して、実施例1と同様のアルカリ現像を行った。その結果、このアルカリ現像によって90秒以内でポジパターンが形成された。ポジパターン形成後、ポリイミド層を有する試験片に対して、耐熱性の試験を行った。その結果、PCT前後の試験片のポリイミド層の外観異常が確認され、耐熱性が無いことを確認した。 The alkali development similar to Example 1 was performed with respect to the formed test piece. As a result, a positive pattern was formed within 90 seconds by this alkali development. After the positive pattern was formed, a heat resistance test was performed on the test piece having the polyimide layer. As a result, the appearance abnormality of the polyimide layer of the test piece before and after the PCT was confirmed, and it was confirmed that there was no heat resistance.
比較例13では、酸二無水物モノマーとしてDSDAと、ジアミンモノマーとしてBIS−AP−AF及びエラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000とを表3の組成比で使用して、実施例1と同様にイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤を使用せずに実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りは確認できなかった。 In Comparative Example 13, Example 1 was performed using DSDA as the acid dianhydride monomer and BIS-AP-AF and Elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000 as the diamine monomer in the composition ratio of Table 3. In the same manner as above, an imide oligomer was synthesized. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 without using a crosslinking agent. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, the warp of the test piece could not be confirmed.
形成された試験片に対して、実施例1と同様のアルカリ現像を行った。その結果、このアルカリ現像によって90秒以内でポジパターンが形成された。ポジパターン形成後、ポリイミド層を有する試験片に対して、耐熱性の試験を行った。その結果、PCT前後の試験片のポリイミド層の外観異常が確認され、耐熱性が無いことを確認した。 The alkali development similar to Example 1 was performed with respect to the formed test piece. As a result, a positive pattern was formed within 90 seconds by this alkali development. After the positive pattern was formed, a heat resistance test was performed on the test piece having the polyimide layer. As a result, the appearance abnormality of the polyimide layer of the test piece before and after the PCT was confirmed, and it was confirmed that there was no heat resistance.
比較例14では、酸二無水物モノマーとしてDSDAと、ジアミンモノマーとしてBIS−AP−AF、エラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000及び1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)とを表4の組成比で使用して、実施例1と同様にイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤を使用せずに実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りが確認された。 In Comparative Example 14, DSDA as the acid dianhydride monomer, BIS-AP-AF as the diamine monomer, Elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000 and 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene (APB) ) Were used in the composition ratios shown in Table 4 to synthesize imide oligomers as in Example 1. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 without using a crosslinking agent. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, warpage of the test piece was confirmed.
比較例15では、酸二無水物モノマーとしてDSDAと、ジアミンモノマーとしてBIS−AP−AF、エラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000及びビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン(BAPS−M)とを表4の組成比で使用して、実施例1と同様にイミドオリゴマーを合成した。そして、架橋剤を使用せずに実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りが確認された。 In Comparative Example 15, DSDA as the acid dianhydride monomer, BIS-AP-AF as the diamine monomer, Elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000 and bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone ( An imide oligomer was synthesized in the same manner as in Example 1 using BAPS-M) at the composition ratio shown in Table 4. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 without using a crosslinking agent. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, warpage of the test piece was confirmed.
比較例16では、酸二無水物モノマーとしてBPDA及びピロメリット酸二無水物(PMDA)と、ジアミンモノマーとしてBIS−AP−AF及び2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル(TFMB)とを表4の組成比で使用して、実施例1と同様にポリイミド化合物を合成した。そして、架橋剤を使用せずに実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りは確認できなかった。形成された試験片に対して、3wt%の水酸化ナトリウム水溶液(3% NaOH aq.)を使用してアルカリ現像を行ったところ、150秒でポジパターンが形成できた。 In Comparative Example 16, BPDA and pyromellitic dianhydride (PMDA) were used as the acid dianhydride monomer, and BIS-AP-AF and 2,2′-bis (trifluoromethyl) -4,4′- were used as the diamine monomer. A polyimide compound was synthesized in the same manner as in Example 1 using diaminobiphenyl (TFMB) at the composition ratio shown in Table 4. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 without using a crosslinking agent. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, the warp of the test piece could not be confirmed. When alkali development was performed on the formed test piece using a 3 wt% aqueous sodium hydroxide solution (3% NaOH aq.), A positive pattern was formed in 150 seconds.
比較例17では、酸二無水物モノマーとしてBPDA及びPMDAと、ジアミンモノマーとしてBIS−AP−AF及びTFMBとを表4の組成比で使用して、実施例1と同様にポリイミド化合物を合成した。そして、10重量部の架橋剤を使用して実施例1と同様の方法でポリイミド組成物を形成した。銅箔上にこのポリイミド組成物を塗布し、ポリイミド層の成膜が可能であることを確認した。成膜後、実施例1と同様に乾燥させて試験片とした。このとき、試験片の反りは確認できなかった。形成された試験片に対して、3wt%の水酸化ナトリウム水溶液(3% NaOH aq.)を使用してアルカリ現像を行ったところ、200秒でポジパターンが形成できた。 In Comparative Example 17, a polyimide compound was synthesized in the same manner as in Example 1 using BPDA and PMDA as acid dianhydride monomers and BIS-AP-AF and TFMB as diamine monomers in the composition ratios shown in Table 4. And the polyimide composition was formed by the method similar to Example 1 using 10 weight part of crosslinking agents. This polyimide composition was applied on a copper foil, and it was confirmed that a polyimide layer could be formed. After film formation, it was dried in the same manner as in Example 1 to obtain a test piece. At this time, the warp of the test piece could not be confirmed. When the developed test piece was alkali-developed using a 3 wt% aqueous sodium hydroxide solution (3% NaOH aq.), A positive pattern could be formed in 200 seconds.
まず、比較例16及び比較例17のように、ポリイミド組成物に架橋剤が添加されることで、アルカリ現像に必要とする時間が長くなる。このことから、耐熱性を向上させるために架橋剤を加えると、一般にアルカリ現像性が低下してしまうことがわかる。本発明においては、実施例1乃至5のように、比較例16及び比較例17で使用したアルカリ溶液よりも低濃度のアルカリ溶液を使用し、より短時間でのアルカリ現像が可能でることがわかり、PCTにより耐熱性を有していることがわかった。すなわち、本発明のポリイミド組成物は、耐熱性とアルカリ現像性を両立していることがわかった。 First, as in Comparative Example 16 and Comparative Example 17, the time required for alkali development is increased by adding a crosslinking agent to the polyimide composition. From this, it can be seen that when a crosslinking agent is added to improve heat resistance, alkali developability generally decreases. In the present invention, as in Examples 1 to 5, it is understood that an alkali solution having a concentration lower than that of the alkali solutions used in Comparative Examples 16 and 17 is used, and alkali development can be performed in a shorter time. PCT was found to have heat resistance. That is, it was found that the polyimide composition of the present invention has both heat resistance and alkali developability.
比較例13乃至比較例15を比較すると、ジアミンモノマーとして、フェニレンユニットを有するジアミンであるAPBやBAPS−Mとエラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000を併用すると、試験片の反りが確認されることがわかった。これにより、試験片の反りを改善するためには、アルキレン構造を有するジアミンが好適であることがわかる。さらに、比較例2のように、3つのメチレンユニットを有するCUA−4であっても、試験片の反りが確認されたため、4つ以上の比較的長鎖メチレンユニットを有するジアミンが好適であることがわかった。 When Comparative Examples 13 to 15 are compared, when APB or BAPS-M, which is a diamine having a phenylene unit, and Elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000 are used in combination as the diamine monomer, the warpage of the test piece is confirmed. I found out that Thereby, in order to improve the curvature of a test piece, it turns out that the diamine which has an alkylene structure is suitable. Further, even in the case of CUA-4 having three methylene units as in Comparative Example 2, since the warpage of the test piece was confirmed, a diamine having four or more relatively long chain methylene units should be suitable. I understood.
比較例8及び比較例9のように、酸二無水物モノマーとジアミンモノマーとを合わせた全モノマー重量に対して、第2のジアミンであるエラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000を30重量%より少ない量を使用すると、銅箔への成膜性が低下することがわかった。そのため、第2のジアミンを30重量%以上使用することで、良好な成膜性を得ることができる。 As in Comparative Example 8 and Comparative Example 9, 30 elastomers (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000 as the second diamine are used with respect to the total monomer weight of the acid dianhydride monomer and the diamine monomer. It has been found that when an amount less than% by weight is used, the film formability on the copper foil is lowered. Therefore, good film formability can be obtained by using the second diamine in an amount of 30% by weight or more.
比較例10及び比較例11のように、酸二無水物モノマーとジアミンモノマーとを合わせた全モノマー重量に対して、第2のジアミンであるエラスマー(登録商標:イハラケミカル工業株式会社)1000を45重量%より少ない量を使用すると、形成される試験片の反りが確認される。そのため、第2のジアミンを45重量%以上使用することで、反りのないフレキシブル配線板を提供できる。 As in Comparative Example 10 and Comparative Example 11, 45% of elastomer (registered trademark: Ihara Chemical Industry Co., Ltd.) 1000, which is the second diamine, was added to the total monomer weight of the acid dianhydride monomer and the diamine monomer. If an amount less than% by weight is used, warping of the formed specimen is confirmed. Therefore, a flexible wiring board without warping can be provided by using 45% by weight or more of the second diamine.
実施例1乃至実施例5のように、イミドオリゴマー100重量部に対して、50重量部以下の量の架橋剤を含有させることで、良好な耐熱性とアルカリ現像性が得られる。また、10重量部以上30重量部以下の範囲の量の架橋剤をポリイミド組成物に含有させることで、試験片の反りが確認されなかった。すなわち、反りのないフレキシブル配線板を提供でき、より好適である。 Like Example 1 thru | or Example 5, favorable heat resistance and alkali developability are obtained by containing the crosslinking agent of the quantity of 50 weight part or less with respect to 100 weight part of imide oligomers. Moreover, the curvature of the test piece was not confirmed by making the polyimide composition contain the amount of the crosslinking agent in the range of 10 parts by weight or more and 30 parts by weight or less. That is, a flexible wiring board without warping can be provided, which is more preferable.
1 フレキシブル配線板
2 導体
3 ポリイミド層
1 Flexible wiring board 2 Conductor 3 Polyimide layer
Claims (9)
複数のマレイミド基を有する架橋剤と、
感光剤とを含有することを特徴とするポリイミド組成物。 An acid dianhydride monomer having 3,3′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, a first diamine having a hydroxyl group, and a second diamine having an alkylene structure having 4 or more carbon atoms in the molecule An imide oligomer synthesized by polymerization with a diamine monomer having an amino group at the terminal;
A cross-linking agent having a plurality of maleimide groups;
A polyimide composition comprising a photosensitizer.
前記導体上に、3,3'−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物を有する酸二無水物モノマーと、ヒドロキシル基を有する第1のジアミン、及び、分子内にアルキレン構造を有する第2のジアミンを有するジアミンモノマーとの重合により合成され、末端にアミノ基を有するイミドオリゴマーと、複数のマレイミド基を有する架橋剤と、感光剤とを含有するポリイミド組成物からなるポリイミド層とを有することを特徴とするフレキシブル配線板。 Conductors,
On the conductor, an acid dianhydride monomer having 3,3′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, a first diamine having a hydroxyl group, and a second diamine having an alkylene structure in the molecule It is synthesized by polymerization with a diamine monomer having an imide oligomer having an amino group at a terminal, a cross-linking agent having a plurality of maleimide groups, and a polyimide layer made of a polyimide composition containing a photosensitizer. Flexible wiring board.
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