JP4962898B2 - フラットパネルディスプレイ用ガラス基板 - Google Patents

Description

本発明は、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板、特にプラズマディスプレイ用ガラス基板に関するものである。

プラズマディスプレイ装置は、次のようにして作製される。まず、前面ガラス基板表面にＩＴＯ膜やネサ膜等からなる透明電極を成膜し、その上に誘電体材料を塗布して５００〜６００℃程度の温度で焼成し誘電体層を形成する。また、Ａｌ、Ａｇ、Ｎｉ等からなる電極が形成された背面ガラス基板に、背面誘電体材料を塗布して５００〜６００℃程度の温度で焼成して誘電体層を形成し、その上に隔壁材料を塗布して５００〜６００℃程度の温度で焼成して隔壁を形成することにより回路を形成する。その後、前面ガラス基板と背面ガラス基板を対向させて電極等の位置合わせを行って、周囲を５００〜６００℃程度の温度でフリットシールすることにより作製される。

尚、ガラス基板の材質としては、熱膨張係数が約８４×１０^-7／℃のソーダ石灰ガラスが使用されてきたが、ソーダ石灰ガラスの場合、歪点が５００℃程度と低いため、熱処理時に、熱変形や熱収縮が起こり易く、前面ガラス基板と背面ガラス基板を対向させる際、電極の位置合わせを精度よく実現することが難しいという問題がある。そのため、ソーダ石灰ガラスと同等の熱膨張係数を有し、ソーダ石灰ガラスよりも歪点を高めた高歪点ガラスがガラス基板として使用されている。（特許文献１〜３参照）

また、ガラス基板は、ガラス溶融炉で溶融したガラス融液を、フロート法、スロットダウンドロー法、オーバーフローダウンドロー法、リドロー法等によって２．８ｍｍの肉厚に引き延ばし、成形されたものが用いられている。
特開平８−２９０９３８号公報 特開平８−２９０９３９号公報 特開平１０−７２２３５号公報

近年、ディスプレイの軽量化の目的で、ガラス基板の肉厚を薄くすることが検討されている。

肉厚の薄いガラス基板を得るには、ガラス溶融炉で溶融したガラス融液を成形工程で薄く引き伸ばせばよいが、ガラス融液（ガラスリボン）の肉厚が薄くなると、熱線が吸収され難くなりヒーターで加熱してもガラス融液に適切な温度分布を付け難くなる。また、熱は発散しやすくなりガラス融液が急冷されやすくなる。その結果、得られるガラス基板は反ったり、板厚がばらつくという問題が生じる。

本発明の目的は、ガラス基板の肉厚が薄くても、反りの発生や板厚偏差を抑えることが可能なフラットパネルディスプレイ用ガラス基板を提供することである。

本発明者等は種々検討した結果、波長７００〜１５００ｎｍにおけるガラスの透過率を低くすることで、ガラス基板の肉厚が薄くても、ガラス基板の反りや板厚偏差を小さくできることを見いだし、本発明を提案するに至った。

即ち、本発明のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板は、ガラスの肉厚が０．５〜２．４ｍｍであるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板において、７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率が７０〜８７％未満であることを特徴とする。

本発明のガラス基板は、赤外線の吸収率が高く、成型装置に設置しているヒーターの熱を吸収することができるため、ガラス基板の肉厚が薄くても、適切な温度分布を付けやすく、ガラス基板の反りや板厚偏差を抑えることができる。それ故、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板として好適である。

本発明のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板は、ガラスの肉厚が０．５〜２．４ｍｍであるガラス基板において、波長７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率を８７％未満と低くしている。これにより、ガラスは熱線を吸収しやすくなり、成型装置に供給されたガラス融液を薄く引き延ばしても、ガラス融液（ガラスリボン）に適切な温度分布を付けることができ、反りや板厚偏差の小さいガラス基板を得ることができる。但し、波長７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率が７０％より低くなると、可視域の分光透過率も低くなるため、高い輝度を有するディスプレイが得難くなる。分光透過率の好ましい範囲は７３〜８６．５％であり、より好ましい範囲は７５〜８６％である。

尚、ガラスの肉厚が０．５〜２．４ｍｍであるガラス基板において、ガラス基板の波長７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率を７０〜８７％未満にするには、ガラス中の全鉄酸化物の含有量をＦｅ₂Ｏ₃に換算して、０．０９５〜０．６質量％にすればよい。Ｆｅ₂Ｏ₃の含有量が多くなりすぎると、７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率が低くなると共に、可視域の分光透過率も低下する傾向にあり、高い輝度を有するディスプレイが得難くなる。一方、Ｆｅ₂Ｏ₃の含有量が少なくなりすぎると、７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率を低下させる効果が得難くなり、結果としてガラス融液（ガラスリボン）に適切な温度分布を付け難くなり、反りや板厚偏差の小さいガラス基板が得難くなる。Ｆｅ₂Ｏ₃の好ましい範囲は０．１０５〜０．５５％であり、より好ましい範囲は０．１１５〜０．５％である。

また、ガラス基板の可視域の分光透過率をあまり低下させずに、波長７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率を低下させるには、ガラス原料中に、酸化鉄原料と共に、カーボン、金属アルミニウム、金属シリコン等の還元剤を添加したり、溶融時や成形時の雰囲気を還元雰囲気にして、ガラス中の二価の鉄の酸化物の含有量をＦｅＯに換算して、０．０２５〜０．１７質量％にすればよい。ＦｅＯの含有量が多くなりすぎると、７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率が低くなると共に、可視域の分光透過率も低下する傾向にあり、高い輝度を有するディスプレイが得難くなる。一方、ＦｅＯの含有量が少なくなりすぎると、７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率を低下させる効果が得難くなり、結果としてガラス融液（ガラスリボン）に適切な温度分布を付け難くなり、反りや板厚偏差の小さいガラス基板が得難くなる。ＦｅＯの好ましい範囲は０．０３〜０．１６％であり、より好ましい範囲は０．０３５〜０．１５％である。

本発明のガラス基板において、ガラスの肉厚が厚くなりすぎると、７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率が低くなると共に、可視域の分光透過率も低下する傾向にあり、高い輝度を有するディスプレイが得難くなる。また、ディスプレイの軽量化が難しくなる。一方、ガラスの肉厚が薄くなりすぎると、７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率が高くなりやすく、ガラス融液（ガラスリボン）に適切な温度分布を付け難くなり、反りや板厚偏差の小さいガラス基板が得難くなる。また、ガラス基板の機械的強度が低下する傾向にあり、ディスプレイの強度を維持し難くなる。そのため、ガラス基板の肉厚は０．５〜２．４ｍｍにすることが重要である。ガラス基板の肉厚の好ましい範囲は０．７〜２．１ｍｍであり、より好ましい範囲は１．１〜１．９ｍｍである。

尚、本発明のガラス基板は、ディスプレイの画像表示側の基板（前面基板）として用いられるが、画像表示の反対側の基板（背面基板）として用いることもできる。

また、本発明のガラス基板において、ディスプレイ装置を製造する際の熱工程におけるガラス基板の熱変形や熱収縮の発生を抑えるには、ガラスの歪点を５７０℃以上にすればよく、好ましくは５７５℃以上、より好ましくは５８０℃以上である。

また、絶縁材料、フリットシール材料といった周辺材料の熱膨張係数との整合性を取ることができ、しかも、急冷しても割れ難い耐熱衝撃性に優れたガラス基板を得るには、３０〜３８０℃におけるガラスの熱膨張係数を６０〜９０×１０^-7／℃にすればよく、好ましくは６０〜８５×１０^-7／℃、より好ましくは６５〜８５×１０^-7／℃である。

また、７０〜８７％未満の分光透過率、５７０℃以上の歪点及び６０〜９０×１０^-7／℃の熱膨張係数を有するガラス基板を得るには、質量百分率で、ＳｉＯ₂ ５０〜７５％、Ａｌ₂Ｏ₃ ０．１〜１５％、ＭｇＯ ０〜１５％、ＣａＯ ０〜１５％、ＳｒＯ ０〜１５％、ＢａＯ ０〜１５％、ＲＯ（ＲはＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａを表わす） １〜３０％、ＺｎＯ ０〜５％、Ｌｉ₂Ｏ ０〜５％、Ｎａ₂Ｏ １〜１０％、Ｋ₂Ｏ １〜１５％、Ｒ’₂Ｏ（Ｒ’はＬｉ、Ｎａ、Ｋを表わす） ２．５〜２４％、ＺｒＯ₂ ０〜１０％、Ｆｅ₂Ｏ₃ ０．０９５〜０．６％、ＦｅＯ ０．０２５〜０．１７％を含有するガラスを使用することが好ましい。尚、上記組成を有するガラスであれば、比較的安価に大型のガラス基板を得やすいフロート法による成形が可能となる。また、この組成系において、歪点を上げるには、特に、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、ＺｎＯ、ＺｒＯ₂の含有量を多くしたり、Ｒ’₂Ｏの含有量を少なくすればよく、また、熱膨張係数を下げるには、特に、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃の含有量を多くしたり、Ｒ’₂Ｏの含有量を少なくすればよい。上記のように組成範囲を決定した理由は以下の通りである。

ＳｉＯ₂はガラスのネットワークフォーマーを形成する成分であり、その含有量は５０〜７５％である。ＳｉＯ₂の含有量が多くなると溶融性が悪化しやすくなる。一方、含有量が少なくなるとガラスの歪点が低下し、ディスプレイを製造する際の熱処理工程で、熱変形や熱収縮が起こりやすくなる。ＳｉＯ₂の好ましい範囲は５０〜７２％であり、より好ましい範囲は５３〜７０％である。尚、歪点をより高くしたり、熱膨張係数をより低くしたい場合、ＳｉＯ₂の含有量を６０％以上にすることが好ましい。

Ａｌ₂Ｏ₃はガラスの歪点を高める成分であり、その含有量は０．１〜１５％である。Ａｌ₂Ｏ₃の含有量が多くなると高温粘度が高くなって、ガラスの成形が難しくなる。一方、含有量が少なくなるとガラスの歪点が低下し、ディスプレイを製造する際の熱処理工程で、熱変形や熱収縮が起こりやすくなる。Ａｌ₂Ｏ₃の好ましい範囲は０．１〜１２％であり、より好ましい範囲は０．５〜１１％である。尚、歪点をより高くしたり、熱膨張係数をより低くしたい場合、Ａｌ₂Ｏ₃の含有量を１．５％以上にすることが好ましい。

ＭｇＯはガラスの高温粘度を低下させてガラスの成形性や溶融性を高める成分であり、その含有量は０〜１５％である。ＭｇＯの含有量が多くなると失透しやすくなる。ＭｇＯの好ましい範囲は０〜１３％であり、より好ましい範囲は０．１〜１０％である。

ＣａＯは、ＭｇＯと同様にガラスの高温粘度を低下させてガラスの成形性や溶融性を高める成分であり、その含有量は０〜１５％である。ＣａＯの含有量が多くなると失透しやすくなる。ＣａＯの好ましい範囲は０〜１３％であり、より好ましい範囲は０．５〜１２％である。

ＳｒＯは、ガラスの高温粘度を低下させてガラスの成形性や溶融性を高める成分であり、その含有量は０〜２０％である。ＳｒＯの含有量が多くなると失透しやすくなる。ＳｒＯの好ましい範囲は０〜１５％であり、より好ましい範囲は０．５〜１３％である。

ＢａＯは、ＳｒＯと同様、ガラスの高温粘度を低下させてガラスの成形性や溶融性を高めたり、ガラスの歪点を高めたりする成分であり、その含有量は０〜１５％である。ＢａＯが多くなると失透しやすくなる。ＢａＯの好ましい範囲は０〜１０％であり、より好ましい範囲は０〜９％である。尚、ＢａＯは環境負荷物質であるため、特性を損なわない範囲で、できる限り少なくすることが望ましい。

尚、ガラスを失透させることなく、ガラスの高温粘度を低くして、成形性や溶融性を向上させるためには、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの合量であるＲＯを、１〜３０％にすることが好ましい。ＲＯの含有量が多くなると、ガラスが失透しやすくなる。一方、ＲＯの含有量が少なくなると、ガラスの高温粘度が上昇し、溶融、成形が難しくなる。ＲＯのより好ましい範囲は５〜３０％であり、さらに好ましい範囲は１０〜２８％である。

ＺｎＯは、ガラスの歪点を高める成分であり、その含有量は０〜５％である。ＺｎＯの含有量が多くなると、高温粘度が高くなって、ガラスの成形が難しくなる。ＺｎＯの好ましい範囲は０〜４％であり、より好ましい範囲は０〜３％である。尚、歪点をより高くしたい場合、ＺｎＯの含有量を０．５％以上にすることが好ましい。

Ｌｉ₂Ｏはガラスの熱膨張係数を制御したり、ガラスの溶融性を高める成分であり、その含有量は０〜１０％である。Ｌｉ₂Ｏの含有量が多くなるとガラスの歪点が著しく低下し、また、熱膨張係数が大きくなり、周辺材料の熱膨張係数との整合性が取りにくくなったり、耐熱衝撃性が低下しやすくなる。Ｌｉ₂Ｏの好ましい範囲は０〜５％であり、より好ましい範囲は０〜３％である。尚、歪点をより高めたり、熱膨張係数を低くしたい場合、Ｌｉ₂Ｏを含有しないことが好ましい。

Ｎａ₂Ｏはガラスの熱膨張係数を制御したり、ガラスの溶融性を高める成分であり、その含有量は１〜１０％である。Ｎａ₂Ｏの含有量が多くなると、ガラスの歪点が低下し、ディスプレイを製造する際の熱処理工程で、熱変形や熱収縮が起こりやすくなる。また、熱膨張係数が大きくなり、周辺材料の熱膨張係数との整合性が取り難くなったり、耐熱衝撃性が低下する傾向にある。一方、含有量が少なくなると、ガラスの溶融性を高める効果が得難くなる。Ｎａ₂Ｏの好ましい範囲は１〜８％であり、より好ましい範囲は１〜６％である。尚、歪点をより高めたり、熱膨張係数を低くしたい場合、Ｎａ₂Ｏの含有量を５％以下にすることが好ましい。

Ｋ₂Ｏは、Ｎａ₂Ｏと同様、ガラスの熱膨張係数を制御したり、ガラスの溶融性を高める成分であり、その含有量は１〜１５％である。Ｋ₂Ｏの含有量が多くなるとガラスの歪点が低下し、ディスプレイを製造する際の熱処理工程で、熱変形や熱収縮が起こりやすくなる。また、熱膨張係数が大きくなり、周辺材料の熱膨張係数との整合性が取り難くなったり、耐熱衝撃性が低下する傾向にある。一方、Ｋ₂Ｏの含有量が少なくなると、ガラスの溶融性を高める効果が得難くなる。Ｋ₂Ｏの好ましい範囲は１〜１２％であり、より好ましい範囲は１〜１０％である。尚、熱膨張係数を低くしたい場合、Ｋ₂Ｏの含有量を８％以下にすることが好ましい。

尚、ガラスの歪点を著しく低下させることなく、溶融性を向上させるためには、Ｌｉ₂Ｏ、Ｎａ₂Ｏ及びＫ₂Ｏの合量であるＲ’₂Ｏを、２．５〜２４％にすることが好ましい。Ｒ’₂Ｏの含有量が多くなると、ガラスの歪点が低下する傾向にある。一方、Ｒ’₂Ｏの含有量が少なくなると、ガラスの溶融性を高める効果が得難くなる。Ｒ’₂Ｏのより好ましい範囲は３〜２２％であり、さらに好ましい範囲は５〜２０％である。

ＺｒＯ₂は、ガラスの歪点を高める成分であり、その含有量は０〜１０％である。ＺｒＯ₂の含有量が多くなるとガラスの密度が著しく上昇したり、ＺｒＯ₂に起因する失透物が析出する傾向がある。ＺｒＯ₂の好ましい範囲は０〜７％であり、より好ましい範囲は０〜５％である。尚、歪点をより高くしたい場合、ＺｒＯ₂の含有量を０．５％以上にすることが好ましい。

Ｆｅ₂Ｏ₃（ガラス中の全鉄酸化物）は、波長７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率を低下させ、熱線を吸収させる成分であり、その含有量は０．０９５〜０．６％である。Ｆｅ₂Ｏ₃の含有量が多くなりすぎると、７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率が低くなると共に、可視域の分光透過率も低下する傾向にあり、高い輝度を有するディスプレイが得難くなる。一方、Ｆｅ₂Ｏ₃の含有量が少なくなりすぎると、７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率を低下させる効果が得難くなり、結果としてガラス融液（ガラスリボン）に適切な温度分布を付け難くなり、反りや板厚偏差の小さいガラス基板が得難くなる。Ｆｅ₂Ｏ₃の好ましい範囲は０．１０５〜０．５５％であり、より好ましい範囲は０．１１５〜０．５％である。

ＦｅＯ（二価の鉄酸化物）は、ガラス基板の可視域の分光透過率をあまり低下させずに、波長７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率を低下させる成分であり、ガラス原料中に酸化鉄原料と共に還元剤を添加したり、溶融時や成形時の雰囲気を還元雰囲気することで、ガラス中のＦｅＯの量を調整することができる。ＦｅＯの含有量は０．０２５〜０．１７％である。ＦｅＯの含有量が多くなりすぎると、７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率が低くなると共に、可視域の分光透過率も低下する傾向にあり、高い輝度を有するディスプレイが得難くなる。一方、ＦｅＯの含有量が少なくなりすぎると、７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率を低下させる効果が得難くなり、結果としてガラス融液（ガラスリボン）に適切な温度分布を付け難くなり、反りや板厚偏差の小さいガラス基板が得難くなる。ＦｅＯの好ましい範囲は０．０３〜０．１６％であり、より好ましい範囲は０．０３５〜０．１５％である。

尚、本発明において、上記成分以外にも、例えば、還元剤としてカーボン、金属アルミニウム、金属シリコン等を合量で１％まで、紫外線着色を防止するためにＴｉＯ₂を５％まで、耐クラック性を向上させるためにＰ₂Ｏ₅を４％まで、液相温度を低下させて成形性を向上させるためにＹ₂Ｏ₃、Ｌａ₂Ｏ₃、Ｎｂ₂Ｏ₃を各３％まで、清澄剤としてＡｓ₂Ｏ₃、Ｓｂ₂Ｏ₃、ＳｎＯ₂、ＳＯ₃、Ｆ、Ｃｌ等を合量で１％まで添加することが可能である。但し、フロート法で成形する場合、Ａｓ₂Ｏ₃、Ｓｂ₂Ｏ₃はフロートバス中で還元されて金属異物となるため、導入は避けるべきである。

次に、本発明のフラットパネルディスプレイ装置用ガラス基板を製造する方法を説明する。

まず、上記のガラス組成範囲となるようにガラス原料を調合する。続いて、調合したガラス原料を連続溶融炉に投入して加熱溶融し、脱泡した後、成形装置に供給して板状に成形し、成形装置に設置しているヒーターでガラスリボンに適切な温度分布を付けることで反りや肉厚偏差の小さいガラス基板を得ることができる。

尚、ガラス基板の成形方法としては、フロート法、スロットダウンドロー法、オーバーフローダウンドロー法、リドロー法等の様々な成形方法があるが、フロート法で板状に成形することが好ましい。その理由は、フロート法の場合、比較的安価に大型のガラス基板を得やすいためである。

以下、本発明のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板を実施例に基づいて詳細に説明する。

表１及び表２は本発明の実施例（試料Ｎｏ．１〜１２）を、表３は比較例（試料Ｎｏ．１３、１４）をそれぞれ示している。

表中の各試料は、次のようにして作製した。

まず、表中のガラス組成となるようにガラス原料を調合し、連続溶融炉で溶融する。続いて、フロート法で、表中の肉厚になるように成形し、２１００ｍｍ×１０００ｍｍのサイズに切断することで試料ガラスとした。

このようして得られた各試料について、歪点、熱膨張係数、分光透過率、板厚偏差及び反り量を測定した。その結果を表に示す。

表から明らかなように、実施例である試料Ｎｏ．１〜１２の各試料は、波長７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率が７０．０〜８６．９％であり、板厚偏差が２５μｍ以下と小さく、ガラス基板の反り量も６２μｍ以下と小さかった。また、歪点は５８０℃以上と高く、熱膨張係数も６９．０〜８４．０×１０^-7／℃であり、周辺材料と良好に整合する熱膨張係数を有していた。

これに対して、比較例である試料Ｎｏ．１３は、波長７００ｎｍにおける分光透過率が８８．６％と高いため、板厚偏差が５０μｍと大きく、ガラス基板の反り量も１７０μｍと大きかった。また、試料Ｎｏ．１４は、波長１０００〜１２００ｎｍにおける分光透過率が６８．８％以下と低いため、高い輝度を有するディスプレイが得難いことが予想される。

尚、ガラス中の全鉄酸化物（Ｆｅ₂Ｏ₃）については、蛍光Ｘ線分析装置にてガラス中に含まれるＦｅ量を測定し、Ｆｅ₂Ｏ₃に換算した値を示した。

ガラス中の二価の鉄酸化物（ＦｅＯ）については、化学分析にてガラス中に含まれるＦｅ量を測定し、ＦｅＯに換算した値を示した。

歪点については、ＡＳＴＭ Ｃ３３６−７１に基づいて測定した。

熱膨張係数については、直径５．０ｍｍ、長さ２０ｍｍの円柱状の試料を作製し、ディラトメーターで３０〜３８０℃における平均熱膨張係数を測定した。

分光透過率については、分光光度計にて波長７００〜１５００ｎｍにおける透過率を測定し、１００ｎｍ毎における透過率を示した。

板厚偏差については、レーザー式厚み計を用いて、ガラス基板の幅方向（フロートの幅方向）の板厚を測定し、最大板厚と最小板厚との板厚差を求め板厚偏差とした。

反り量については、ガラス基板を９００ｍｍ×７００ｍｍの大きさに切断して、定盤上に載置し、定盤と板面との隙間を隙間ゲージで測定した。

本発明のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板は、プラズマディスプレイ用途に限られるものではなく、例えば、電界放射型ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ用途のガラス基板として用いることも可能である。

Claims (6)

1. ガラスの肉厚が０．５〜２．４ｍｍであるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板において、７００〜１５００ｎｍにおける分光透過率が７０〜８７％未満であることを特徴とするフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。
2. 二価の鉄の酸化物の含有量がＦｅＯに換算して、０．０２５〜０．１７質量％であるガラスからなることを特徴とする請求項１記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。
3. 全鉄酸化物の含有量がＦｅ₂Ｏ₃に換算して、０．０９５〜０．６質量％であるガラスからなることを特徴とする請求項１または２に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。
4. 質量百分率で、ＳｉＯ₂ ５０〜７５％、Ａｌ₂Ｏ₃ ０．１〜１５％、ＭｇＯ ０〜１５％、ＣａＯ ０〜１５％、ＳｒＯ ０〜１５％、ＢａＯ ０〜１５％、ＲＯ（ＲはＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａを表わす） １〜３０％、ＺｎＯ ０〜５％、Ｌｉ₂Ｏ ０〜５％、Ｎａ₂Ｏ １〜１０％、Ｋ₂Ｏ １〜１５％、Ｒ’₂Ｏ（Ｒ’はＬｉ、Ｎａ、Ｋを表わす） ２．５〜２４％、ＺｒＯ₂ ０〜１０％を含有するガラスからなることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。
5. 歪点が５７０℃以上であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。
6. ３０〜３８０℃における熱膨張係数が６０〜９０×１０^-7／℃であることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。