JP4956929B2 - アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及びアクチュエータ製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ノズルからインク滴を吐出して記録媒体に印字を行うインクジェット記録ヘッド等に用いられるアクチュエータ、このアクチュエータの製造方法、前記アクチュエータを用いた液滴吐出ヘッド、及び、液滴吐出装置に関する。

近年、アクチュエータとして、様々な態様の変位制御素子が用いられている。例えば、特許文献１には、セラミック基体２の上に長方形板状の圧電／電歪体４を立設し、その両面に一対の電極１８、１９を形成した圧電／電歪デバイスが開示されている。特許文献１に記載の圧電／電歪デバイスでは、変位量を大きくするために、圧電／電歪体４を長手方向をセラミック基体２と直交させて立設させているが、個々の圧電／電歪体４は板状であるため、倒れやすく不安定であるという問題がある。

一方、特許文献２には、直方体形状の圧電素材１０９に溝１１１を設け、圧電素材１０９の高さ方向の中間部に複数の中間電極１１７を形成し、溝１１１に共通電極を形成した圧電素子が開示されている。特許文献２に記載の圧電素材１０９は直方体形状であるため、板状のものより安定性はよいが、中間電極１１７を直方体形状の部材の高さ方向の中間部に複数形成されているため、その引き出しが難しい。
特開２００４−２４７７０３号公報 特許２８５０７６２号

本発明は上記事実を考慮してなされたものであり、大きな変位量が得られ、電極形成の容易なアクチュエータ、このアクチュエータの製造方法、前記アクチュエータを用いた液滴吐出ヘッド、及び、液滴吐出装置を提供することを課題とする。

上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明のアクチュエータは、筒状とされ、筒の中空に面した内側壁と筒の外側に構成される外側壁とを有する圧電体と、前記圧電体の内側壁に形成された第１電極と、前記圧電体の外側壁に形成された第２電極と、前記圧電体の筒の一端が固定され、前記圧電体の中空に対応する位置に貫通口が形成され、前記貫通口を介して前記第１電極が前記圧電体が固定されていない側に引き出されている基体と、を備え、前記第１電極と前記第２電極との間の電位差により前記圧電体を変位させるものである。

請求項１のアクチュエータは、筒状の圧電体を備えている。ここで、筒状とは、円筒状に限定されず、あらゆる柱状体の中央部分に中空の構成された形状を含み、さらには、筒の側壁部分の一部に切欠きが形成されて中空部分が側壁部分で外部と連通されている形状も含む。

圧電体の中空に面した内側壁には第１電極が形成され、圧電体の外側に構成される外側壁には第２電極が形成されている。そして、圧電体は、第１電極と第２電極との間の電位差により変位する。

上記構成によれば、圧電体の形状が筒状とされているので、筒を高さ方向に高くすることにより、大きな変位量を得ることができる。

また、筒の内側壁と外側壁とに電極を形成するので、容易に電極を形成できると共に、１つの圧電体に一対の電極であるため、各電極を容易に引き出すことができる。

また、請求項１に記載の発明のアクチュエータは、前記圧電体の筒の一端が固定される基体を有すること、を特徴としている。

この基体は、圧電体と同一部材で一体的に構成されていても、別部材で構成されていてもよい。

請求項２に記載の発明のアクチュエータは、請求項１のアクチュエータにおいて、前記基体上に前記圧電体が複数配置され、前記第１電極は前記圧電体の各々の個別電極とされ、前記第２電極は少なくとも２以上の前記圧電体に共通の共通電極とされていること、を特徴としている。

請求項２のアクチュエータでは、筒状の圧電体の内側の第１電極が各圧電体の個別電極とされ、筒状の圧電体の外側の第２電極が複数の圧電体に共通の共通電極とされている。このように個別電極と共通電極とを構成することにより、容易に各電極を構成することができる。

請求項４に記載の発明のアクチュエータは、請求項１−３のいずれか１項に記載のアクチュエータにおいて、前記基体上に前記圧電体がマトリクス状に配置されていること、を特徴とするものである。

請求項４に記載の構成であれば、各圧電体、及び、個別電極、共通電極を容易にマトリクス状に配置することができる。

請求項１に記載の発明のアクチュエータは、前記第１電極が、前記基体の前記圧電体が固定されていない側に引き出されていること、を特徴としている。

第１電極を基体の圧電体が固定されていない側に引き出すことにより、容易に共通電極と別の配線に接続することができる。

請求項３に記載の発明のアクチュエータは、請求項２に記載のアクチュエータにおいて、前記個別電極と前記共通電極とが同一材質で構成されていること、を特徴とすることができる。

請求項１に記載の発明のアクチュエータは、請求項２乃至請求項６のいずれか１項に記載のアクチュエータにおいて、前記基体の前記圧電体の中空に対応する位置に、貫通口が形成されていること、を特徴としている。

このように、貫通口を形成することにより、貫通口を経て第１電極を基体の逆側に引き出したり、貫通口を用いて圧電体側の液体などを通過させたりすることができる。

請求項５に記載の液滴吐出ヘッドは、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のアクチュエータを備えたものである。

上記液滴吐出ヘッドによれば、請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載のアクチュエータにより、大きな変位量を得ることができるとともに、電極の引き出しも容易におこなうことができる。

請求項６に記載の液滴吐出ヘッドは、請求項５に記載のアクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドであって、前記基体の前記圧電体が固定されていない側に配置された電気配線基板と、筒状とされ、筒の内側空間に面した内側壁と筒の外側に構成される外側壁とを有し、前記基体の前記圧電体と同一側に一端が固定された共通電極接続用圧電体と、前記共通電極接続用圧電体の内側壁に形成された内側電極と、前記共通電極接続用圧電体の外側壁に形成された外側電極と、前記共通電極接続用圧電体の先端面に形成され、前記内側電極と前記外側電極とを電気接続する先端面電極と、前記内側電極と前記電気配線基板の配線端子とを電気接続する共通電極接続部材と、を備え、前記共通電極接続用圧電体の先端面が、前記圧電体の先端面よりも前記基体に近い位置に配置されていること、を特徴としている。

上記構成の液滴吐出ヘッドによれば、アクチュエータとして用いる圧電体と同一工程で共通電極接続用圧電体を形成することができ、アクチュエータとして用いる圧電体の第１電極及び第２電極と同一工程で、外側電極、内側電極、及び先端面電極を形成することができる。そして、共通電極接続用圧電体は、アクチュエータとして用いる圧電体の先端面よりも基体側に配置されている（共通電極接続用圧電体の高さが、アクチュエータとして用いる圧電体の高さよりも低い）ので、第１電極と第２電極とを切り離すために圧電体の先端部の電極を研磨などによって除去する場合でも、共通電極接続用圧電体の先端面電極は残すことができる。

請求項７に記載の液滴吐出ヘッドは、請求項１−４のいずれか１項に記載のアクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドであって、前記基体の前記圧電体が固定されていない側に、電気配線基板が配置され、前記電気配線基板の配線端子が前記貫通口に露出されて配置されていること、を特徴とするものである。

請求項１−４に記載のアクチュエータは、圧電体の中空に対応する位置に貫通口が形成されているので、電気配線基板の配線端子をこの貫通口に露出させて配置することにより、第１電極と前記配線端子とを連続形成された電極膜で電気接続することができる。

請求項８に記載の液滴吐出装置は、請求項５−請求項７のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドを備えたものである。

請求項９に記載のアクチュエータ製造方法は、請求項１−請求項４のいずれか１項に記載のアクチュエータを製造する圧電素子製造方法であって、前記圧電体の内側壁、外側壁、及び先端面に１工程で電極を形成する電極形成工程と、前記先端面に形成された電極を除去して、前記第１電極と前記第２電極とに分離する分離工程と、を有することを特徴としている。

このように、電極形成工程で圧電体の片側全面に電極を形成し、分離工程で圧電体の先端面の電極を除去して第１電極と前記第２電極とに分離することにより、簡単に電極を形成することができる。

請求項１０に記載のアクチュエータ製造方法は、請求項９のアクチュエータ製造方法において、前記電極形成工程が、スパッタリング、または、蒸着により電極膜を形成するものであること、を特徴としている。

このように、スパッタリングや蒸着により、圧電体に電極を形成することができる。

本発明のアクチュエータは上記構成としたので、大きな変位量が得られ、電極形成も容易に行うことができる。

以下、図面を参照して本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置について説明する。

（第１の実施形態）
まず、図１を用いてインクジェット記録装置１００の概要を説明する。なお、記録媒体は記録紙Ｐとして説明する。また図１では、インクジェット記録装置１００における記録紙Ｐの搬送方向を副走査方向として矢印Ｓで表し、その搬送方向と直交する方向を主走査方向として矢印Ｍで表す。

図１に示されるように、本実施形態のインクジェット記録装置１００は、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各インクジェット記録ユニット１３０（インクジェット記録ヘッド１０）を搭載するキャリッジ１１２を備えている。キャリッジ１１２は、記録紙Ｐの搬送方向上流側に一対のブラケット１１４が突設されており（図では片側のブラケット１１４のみを示している）、この一対のブラケット１１４にそれぞれ形成された円形孔には、主走査方向に架設されたシャフト１２０が挿通されている。

キャリッジ１１２に対し主走査方向の両端側には、主走査機構１１６を構成する駆動プーリー（図示省略）と従動プーリー（図示省略）が配設されている。これらの駆動プーリーと従動プーリーとに巻回されて、主走査方向に走行するタイミングベルト１２２の一部がキャリッジ１１２に固定されている。これにより、キャリッジ１１２は、駆動プーリーの回転駆動によってタイミングベルト１２２が主走査方向に走行すると、一対のブラケット１１４がシャフト１２０にガイドされて主走査方向に往復移動する。

インクジェット記録装置１００の前側下部には、画像印刷前の記録紙Ｐを束状にして収納しておく給紙トレイ１２６が設けられている。この給紙トレイ１２６の上方には、上記各色のインクジェット記録ユニット１３０によって画像が印刷された記録紙Ｐが排出される排紙トレイ１２８が設けられている。また、キャリッジ１１２及びシャフト１２０の下方には、給紙トレイ１２６から１枚ずつ給紙された記録紙Ｐを所定のピッチで副走査方向へ搬送する搬送ローラー及び排出ローラーからなる副走査機構１１８が設けられている。

その他、このインクジェット記録装置１００には、印刷時において各種設定を行うコントロールパネル１２４や、メンテナンスステーション（図示省略）等が設けられている。メンテナンスステーションは、キャップ部材、吸引ポンプ、ダミージェット受け、クリーニング機構等を含んで構成されており、吸引回復動作、ダミージェット動作、クリーニング動作等のメンテナンス動作を行うようになっている。

また、各色のインクジェット記録ユニット１３０は、図２に示されるインクジェット記録ヘッド１０と、それにインクを供給するインクタンク（図示省略）とが一体に構成されたものであり、インクジェット記録ヘッド１０の下面（インク吐出面）に形成された複数のノズル１２Ａが、記録紙Ｐと対向するようにキャリッジ１１２上に搭載されている。これにより、インクジェット記録ヘッド１０が主走査機構１１６によって主走査方向に移動しながら、記録紙Ｐに対してノズル１２Ａから選択的にインク滴を吐出することにより、所定のバンド領域に対して画像データに基づく画像の一部が記録される。

そして、主走査方向への１回の移動が終了すると、記録紙Ｐは、副走査機構１１８によって副走査方向に所定ピッチ搬送され、再びインクジェット記録ヘッド１０（インクジェット記録ユニット１３０）が主走査方向（前述とは反対方向）に移動しながら、次のバンド領域に対して画像データに基づく画像の一部が記録されるようになっており、このような動作を複数回繰り返すことによって、記録紙Ｐに画像データに基づく全体画像がフルカラーで記録される。

インクジェット記録装置１００は以上の構成とされており、次に、このインクジェット記録装置１００に搭載されたインクジェット記録ヘッド１０について詳細に説明する。

図２（Ａ）に示される本実施形態のインクジェット記録ヘッド１０は、図の下側からノズルプレート１２、インクプールプレート１４、流路プレート１６、１８、圧力室プレート２０、振動板２１、アクチュエータ２４、及び、電気配線基板３４が順に積層され、各部材が互いに接合されて構成されている。

ノズルプレート１２には、円形貫通孔からなる複数のノズル１２Ａがマトリクス状に配置されている。ノズルプレート１２により、後述するインクプール１４Ａの下側が構成されている。

図２（Ｂ）にも示すように、ノズルプレート１２のインク吐出側と逆側に、インクプールプレート１４が接合されている。インクプールプレート１４には、インクを貯留するインクプール１４Ａ、及び、ノズル１２Ａと連通する連通口１４Ｂが形成されている。インクプール１４Ａへは、図示しないインクタンクからインクが供給される。

流路プレート１６は、インクプールプレート１４に接合され、流路プレート１６によりインクプール１４Ａの上側が構成されている。流路プレート１６には、インクプール１４Ａと後述する圧力室２０Ａとを連通させる流路１６Ａ、及び、圧力室２０Ａとノズル１２Ａとを連通させる連通口１６Ｂが形成されている。

流路プレート１８は、流路プレート１６に接合され、流路プレート１８により圧力室２０Ａの下側が構成されている。流路プレート１８には、インクプール１４Ａと圧力室２０Ａとを連通させる流路１８Ａ、及び、圧力室２０Ａとノズル１２Ａとを連通させる連通口１８Ｂが形成されている。

圧力室プレート２０は流路プレート１８に接合され、圧力室プレート２０には振動板２１により加圧されるインクが充填される圧力室２０Ａが形成されている。圧力室２０Ａは、ノズル１２Ａ毎に形成されている。インクプール１４Ａに貯留されたインクは、流路１６Ａ、１８Ａを経て圧力室２０Ａに至り、圧力室２０Ａから連通口１８Ｂ、１６Ｂ、ノズル１２Ａを経て吐出される。

振動板２１は、圧力室基板２０の上側に配置されている。振動板２１は、圧力室２０Ａが形成されている部分では、圧力室２０Ａに露出されて圧力室２０Ａの一部を構成している。振動板２１の圧力室２０Ａに対抗していない部分の厚みＵ１は、圧力室２０Ａに対抗している部分の厚みＵ２よりも薄く構成され、低剛性とされている。

図３に示すように、アクチュエータ２４は、長方形板状の基体２５、及び、円筒状の圧電体２６を備えている。圧電体２６は、各ノズル１２Ａに対応するように、マトリクス状に配置され、一端が基体２５側に配置されるように基体２５と一体的に形成されている。基体２５の周縁部には、内側よりも厚みの厚い枠部２５Ａが構成されている。

図４にも示すように、圧電体２６には、厚み方向に貫通した中空Ｒが形成され、中空Ｒには圧電体２６の内側壁２６Ａが面している。また、圧電体２６の外周面には、外側壁２６Ｂが形成され、圧電体２６の先端には、先端面２６Ｃが形成されている。アクチュエータ２４は、先端面２６Ｃを振動板２１上に配置して、振動板２１上に積層されている。

アクチュエータ２４の内側壁２６Ａ、及び、中空Ｒに露出した基体２５の上部（以下「基体中空対応部２５Ｒ」という）には、内側壁２６Ａ及び基体中空対応部２５Ｒの全面を被覆するように、第１電極３０が形成されている。各基体中空対応部２５Ｒの中央部分から基体２５の裏面側（圧電体２６が配置されていない側）にかけて、ビア２４Ｂが形成されており、第１電極３０は、ビア２４Ｂを介して基体２５の裏面側に引き出されている。

アクチュエータ２４の外側壁２６Ｂには、外側壁２６Ｂの全面を被覆するように第２電極３２が形成されている。基体２５の上面で、圧電体２６が配置されていない部分には、上面電極２８が形成されている。各アクチュエータ２４の第２電極３２は、上面電極２８と連続して形成されており、互いに電気的に接続されている。したがって、各アクチュエータ２４の第２電極３２は、基体２５上に配置された各アクチュエータ２４に共通の電極とされている。

最外側に配置された圧電体２６と枠部２５Ａとの間には、基体２５を厚み方向に貫通するビア２５Ｂが形成されている。ビア２５Ｂは第２電極３２及び上面電極２８を、基体２５の裏面側に引き出している。

基体２５の裏面側には、電気配線基板３４が配置されている。各圧電体２６の第１電極３０及び第２電極３２は、ビア２４Ｂ及びビア２５Ｂを介して電気配線基板３４の対応する端子に半田３６で接合されている。電気配線基板３４の各配線は、図示しない駆動ＩＣ等に接続されており、第１電極３０と第２電極３２との間に電位差が発生するように、電気信号を送信する。

各圧電体２６は、第１電極３０と第２電極３２との間に電位差が発生すると、分極方向が圧電体２６の内外方向となるように構成されている。また、この圧電体２６は、分極方向の側面（外側壁２６Ｂ）が基体２５に繋がれた構造であることにより、所謂Ｗａｌｌ型の圧電素子として構成されている。これにより、図示しない駆動ＩＣからの電気信号により、圧電体２６は、アクチュエータ２４の厚み方向である矢印Ｆ方向に変位する。

次に、上述した本実施形態のインクジェット記録ヘッド１０による印字（インク吐出）動作及び作用について説明する。

インクジェット記録ヘッド１０による印字では、まず、インクプール１４Ａに貯留されたインクが、流路１６Ａ、１８Ａを経て圧力室２０Ａに供給され、さらに、圧力室２０Ａから連通口１８Ｂ、１６Ｂを経てノズル１２Ａへ充填される。このとき、ノズル１２Ａの先端（吐出口）には、インクメニスカスが形成されている。

この状態で、駆動ＩＣから第１電極３０へ、図５に示す駆動波形の電気信号を送信する。まず、Ｔ０〜Ｔ１で第１電極３０へ電圧を印加し、Ｔ２までこの電圧を継続させる。これにより、第１電極３０と第２電極３２との間に電位差が発生し、図６（Ａ）に示すように、圧電体２６が矢印Ｆ方向に変位して圧力室２０Ａが減圧され、ノズル１２Ａのインクメニスカスが圧力室２０Ａ側に凹状に引き込まれる。

次に、Ｔ２〜Ｔ３で印加電圧を下げる。これにより、第１電極３０と第２電極３２との間に電位差が小さくなって、圧電体２６は前述の変位状態から矢印Ｆと逆方向に変位する。この変位により、圧力室２０Ａに貯留されたインクが加圧され、図６（Ｂ）に示すように、ノズル１２Ａからインク滴が吐出される（いわゆる引き打ち駆動）。

本実施形態のアクチュエータ２４は、筒状の圧電体２６とされているので、高さを高くすることにより、板状の圧電体を平置きした場合と比較して大きな変位を得ることができる。また、板状の圧電体を立てて変位させる場合と比較して、圧電体が倒れにくく安定性を確保することができる。また、第１電極３０と第２電極３２とが筒の内側と外側とに分離されているので、板状の圧電体を積層する場合と比較して、各電極を容易に引き出すことができる。

次に、本実施形態の、アクチュエータ２４の製造方法について説明する。

まず、図７（Ａ）に示すように、焼成された長方形板状の圧電体板４０に、所定の深さの穴（圧電体２６の中空Ｒとなる部分）をマトリクス状に形成し、さらに前記穴（中空Ｒ）の底部にビア２４Ｂを形成する。なお、中空Ｒ及びビア２４Ｂは、圧電体板４０の焼成前に形成してもよい。

次に、図７（Ｂ）に示すように、圧電体板４０を、個々の圧電体２６に分離すると共に、枠部２５Ａを形成する。そして、端部の圧電体２６と枠部２５Ａとの間に、ビア２５Ｂを形成する。

次に、図７（Ｃ）に示すように、ビア２４Ｂ、２５Ｂへ接続用ペーストを注入し、図７（Ｄ）圧電体板４０の圧電体２６側の全面に電極膜Ｄを形成する。この電極膜Ｄは、蒸着、スパッタリング等により形成することができる。これにより、ビア２４Ｂは、中空Ｒに対応する基体中空対応部２５Ｒに形成された電極膜Ｄと、ビア２５Ｂは、圧電体２６の外側に形成されている電極膜Ｄに、各々接続される。

そして、図７（Ｅ）に示すように、圧電体２６の先端面２６Ｃに形成された電極膜Ｄを、除去する。電極膜の除去は、ＣＭＰなどの片側研磨により行うことができる。これにより、電極膜は圧電体２６の内側壁２６Ａに形成された第１電極３０と、圧電体２６の外側壁２６Ｂに形成された第２電極３２とに分離される。

上記のアクチュエータ製造方法によれば、１工程で電極膜を形成し、その後圧電体２６の先端面２６Ｃ部分の電極膜を除去することにより、容易に第１電極３０と第２電極３２とを形成することができる。また、ビア２４Ｂ、２５Ｂとの接続も電極膜形成の工程で行うことができる。

（第２の実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態では、第１実施形態と同様の部分について同一の符号を付して、詳細な説明については省略する。

本実施形態では、インクジェット記録装置の全体構成については、第１実施形態と同様であるため、その詳細な説明は省略する。

このインクジェット記録装置に搭載された、本実施形態のインクジェット記録ヘッド５０は、図８〜図１０に示すように、図の下側からノズルプレート５２、プリント配線基板５４、アクチュエータ５６、供給路プレート５８、及びインクプールプレート６０の順に積層され、各部材が互いに接合されて構成されている。

図９に示されるように、ノズルプレート５２には円形貫通孔からなる複数のノズル６２が所定の間隔でマトリクス状に配置されている。

プリント配線基板５４には、ノズルプレート５２の各ノズル６２と対応する位置に、ノズル径よりも少し大径の円形貫通孔からなる連通路６４がそれぞれ形成されている（図９（Ｂ）及び図１１（Ｂ）参照）。プリント配線基板５４の上面には、各連通路６４と対応する位置に、円環状のコンタクト電極６６がそれぞれ形成されており、各コンタクト電極６６は、プリント配線基板５４の上面に形成された配線パターン６８を介して、駆動ＩＣ７０と電気的に接続されている。また、この駆動ＩＣ７０へは、外部（ヘッド制御部）から制御信号（印字命令）が入力され、その制御信号に基づいて、以下に説明するアクチュエータ５６の各圧電体７２に電気信号（駆動信号）を送信し、各圧電体７２をそれぞれ所定のタイミングで駆動させる。

プリント配線基板５４の上面の、連通路６４が形成されていない端部には、共通接続用電極６７が一列に形成されている。共通接続用電極６７は、プリント配線基板５４の上面に形成された配線パターン６９を介して、ＧＮＤ電位に接続されている。

図８に示すように、アクチュエータ５６は、長方形板状の基体７５、上記の駆動ＩＣ３０によって個別に駆動される複数の圧電体７２、及び、共通電極接続用圧電体７３を備えている。基体７５及び圧電体７６の形状は、第１実施形態とほぼ同様であるが、圧電体７２の中空Ｒ部分は、基体７５の裏面側まで貫通されている。中空Ｒの内径は連通路６４よりも少し大径とされている（図９（Ｂ）及び図１１（Ｂ）参照）。また、各圧電体７２は、上記の各ノズル６２及び各連通路６４に対応してマトリクス状に配置されている。

共通電極接続用圧電体７３は、圧電体７２と略同一形状とされ、共通接続用電極６７に対応する位置に形成されている。共通電極接続用圧電体７３の高さは、圧電体７２の高さよりも低く（少なくとも後述する第１電極７８、第２電極７４の厚み分低く）構成されている。

図１１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、圧電体７２、及び共通電極接続用圧電体７３の外周面には、第２電極７４が外周面全面を被覆するよう形成されている。各圧電体７２、及び共通電極接続用圧電体７３の第２電極７４は、基体７５の上面に形成された上面電極７６を介して互いに電気的に接続されている。また、圧電体７２、共通電極接続用圧電体７３の内周面には、第１電極７８が内周面全面を被覆するよう形成されている。各圧電体７２の第１電極７８は、下端部をプリント配線基板５４上の各コンタクト電極６６に接触させて電気的に接続されている。

共通電極接続用圧電体７３の先端面には、先端面電極７３Ｃが形成されている。したがって、共通電極接続用圧電体７３では、第１電極７８、及び、先端面電極７３Ｃは、第２電極７４と接続されており、共通電極接続用圧電体７３に設けられた中空Ｒ部分から、各圧電体７２に共通の第２電極７４が引き出され、配線パターン６９を介してＧＮＤ電位に接続されている。

このように、筒状の圧電体７２では、第２電極７４を外周面に、第１電極７８を内周面に設けていることにより、分極方向が圧電体７２の内外方向となるよう、詳細には、圧電体７２の外側から内側へ向かう方向となるよう構成されている。また、この圧電体７２は、分極方向の側面（外側壁）が基体７５に繋がれた構造であることにより、所謂Ｗａｌｌ型の圧電素子として構成されている。これにより、駆動ＩＣからの電気信号が第１電極７８、第２電極７４間に配置された圧電体７２に印加されると、圧電体７２は後述する所定の変形動作を行う。

供給路プレート５８には、アクチュエータ５６の各圧電体７２と対応する位置に、圧電体７２の内径よりも少し小径の円形貫通孔からなる供給路８０がそれぞれ形成されている（図９（Ｂ）及び図１１（Ｂ）参照）。供給路プレート５８の下面における各圧電体７２との対応位置には、供給路８０を中心として圧電体７２の外径と略同径の円形状に突出された突出部（厚肉部）８２がそれぞれ設けられ、これらの突出部８２は各圧電体７２に強固に接合されている。また、各突出部８２はそれぞれ繋がれてその繋ぎ部（突出部８２の周囲）は供給路プレート５８本体及び突出部８２よりも薄肉とされており、この繋ぎ部によって低剛性のダンパ部８４が形成されている。

供給路プレート５８をアクチュエータ５６に積層すると、図１１（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、筒状の圧電体７２の中空Ｒ部分に圧力室８６が形成されるこの圧力室８６は、上壁面８６Ａが突出部８２の下面（可動内壁面）によって形成され、周面状とされた内側壁面８６Ｂが、第１電極７８が被覆形成された圧電体７２の内周面（変形部）によって形成されている。

図９（Ａ）及び図１１（Ａ）に示されるように、インクプールプレート６０は、下面側に空洞部が形成されており、上面には、空洞部に連通されたインクインレット（インク供給路）８８が設けられている。このインクプールプレート６０を供給路プレート５８に積層すると、上記の空洞部によって供給路プレート５８との間にインクプール９０が形成される。また、供給路プレート５８のダンパ部８４は、インクプール９０の内壁の一部を構成する構成部位となっており、このインクプール９０には、外部（インクタンク）からインクインレット８８を通しインクが供給されて貯留される。

本実施形態のインクジェット記録ヘッド５０は以上の構成とされており、このインクジェット記録ヘッド５０では、上述したように、ノズル６２からインクプール９０までの各部（ノズル６２、連通路６４、圧力室８６（圧電体７２）、供給路８０、及びインクプール９０）が、各構成部材によって層状に配置されている。

次に、上述した本実施形態のインクジェット記録ヘッド５０による印字（インク吐出）動作及び作用について説明する。

インクジェット記録ヘッド５０による印字では、まず、インクプール９０に貯留されたインクが供給路８０を通して圧力室８６に供給され、さらに、圧力室８６から連通路６４を通してノズル６２まで充填される。

ここで、圧電体７２は、第１電極７８、第２電極７４間に電気信号が加えられないと、図１２（Ａ）に示されるように、円筒状のまま形状が保たれる。印字命令によって第１電極７８、第２電極７４間に電気信号が加えられると、圧電体７２は、図１２（Ｂ）に示されるように、軸方向断面で見ると樽状に膨張するよう変形する。

本実施形態の圧電体７２では、図１２（Ｃ）に示されるように、分極方向に電気信号を加え、それと平行方向に歪みを生じさせる圧電縦効果（ｄ３３）により、矢印ｄ３３で示した径方向に膨張変形し、さらに、分極方向に電気信号を加え、それと垂直方向に歪みを生じさせる圧電横効果（ｄ３１）により、矢印ｄ３１（ａ）で示した軸方向に圧縮変形し、矢印ｄ３１（ｂ）で示した周方向に収縮変形する。このように、この円筒状の圧電体７２は、圧電縦効果による径方向、圧電横効果による軸方向及び周方向の３方向に変形する。

ここで、圧電体７２の圧電横効果による軸方向への圧縮変形により、圧電体７２の上端面に接合された供給路プレート５８の突出部８２、すなわち圧力室８６の上壁面８６Ａがノズル６２側へ移動し（図１２（Ｂ）の矢印Ａ）、圧力室８６内のインクを加圧し圧縮する。さらに、圧電体７２の圧電縦効果による径方向への膨張変形と、圧電横効果による周方向への収縮変形とが合わされて、圧電体７２の内周面（変形部）、すなわち圧力室８６の内側壁８６Ｂが内方へ膨出し（図１２（Ｂ）の矢印Ｂ）、圧力室８６内のインクを加圧し圧縮する。そして、これらの２つの変形動作による圧力室８６の２方向への変形によって加圧された圧力室８６内のインクは、連通路６４を介しノズル６２からインク滴として吐出される。

続いて、第１電極７８、第２電極７４への電気信号の印加を停止し、圧電体７２に蓄積された電荷を放電すると、圧電体７２は、図１２（Ｂ）の状態から図１２（Ａ）に示される元の円筒形状に戻る。そしてこれに伴い、ノズル６２内に形成されたメニスカスの復帰力によって、吐出された分のインクがインクプール９０から供給路８０を通して圧力室８６内に補充される。

このインク吐出動作を繰り返すことにより、インクジェット記録ヘッド５０のノズル６２からインク滴が連続的に吐出されて、用紙等に印字される。

以上説明したように、本実施形態のインクジェット記録ヘッド５０では、インクプール９０から供給路８０を介して圧力室８６に供給されたインクを、ノズル６２からインク滴として吐出させるため、圧電体７２の変形によって圧力室８６を変形させ、圧力室８６内のインクに圧力を加える構成であるが、この圧電体７２は圧電縦効果及び圧電横効果の変形によって圧力室８６を２方向へ変形させるため、例えば圧電縦効果のみ、又は、圧電横効果のみの変形によって圧力室を変形させる場合に比べ、圧力の発生効率が向上する。

また、本実施形態では、圧力室８６の内側壁８６Ｂを形成する圧電体７２の変形部である内周面が、圧力室８６内のインクを直接的に加圧するため、インクに加えられる圧力の損失が小さくされ、圧電体７２の変形によって発生された圧力がインクに効率よく伝達される。

また、本実施形態では、圧電体７２の変形に伴って圧力室８６の上壁面８６Ａが移動し、圧力室８６内のインクを吐出方向（ノズル６２側）へ加圧／減圧する構成であり、これにより、圧力室８６のインク吐出方向への変形が可能となり、圧力の発生効率を向上することができている。また、この可動構造とした圧力室８６の上壁面８６Ａ（可動内壁面）を供給路プレート５８（突出部８２）によって形成していることにより、このような可動内壁面を形成するために専用のプレート等を設ける場合に比べて、インクジェット記録ヘッド５０を小型に構成できる。

また、本実施形態では、圧電体７２を円筒状に形成してその内部に圧力室８６を設けていることにより、圧力室８６内のインクが、圧電体７２の内周面全面（圧力室８６の内側壁面８６Ｂ）によって加圧されるようになり、圧力の発生効率を向上することができている。さらに、このような円筒状の圧電体７２であれば、圧電体７２（圧力室８６）及びノズル６２を高密度に配置することができるため、印字画像の高解像度化を実現できる。

また、本実施形態では、上述したインク吐出動作で圧電体７２が高速駆動されるが、この高速駆動に伴い圧電体７２及び圧力室８６の上壁面８６Ａ（突出部８２）が振動する際に、突出部８２同士を繋いで給路プレート本体よりも低剛性とされたダンパ部８４によってその振動が減衰される。これにより、隣接する圧電体７２間での駆動動作の影響（クロストーク）を低減することができる。

また、このダンパ部８４はインクプール９０の内壁の一部を構成する構成部位であるため、インク滴を吐出するために圧力室８６で発生された圧力はダンパ部８４によって吸収される。これにより、インク滴吐出時に特定の圧力室８６で発生した圧力が供給路８０からインクプール９０へ伝わり、隣接する圧力室８６での圧力発生に及ぼす悪影響を改善することができる。したがって、インク吐出性能が安定する。

また、本実施形態では、インクジェット記録ヘッド５０に設ける各部（ノズル６２、連通路６４、圧力室８６（圧電体７２）、供給路８０、及びインクプール９０）を異なる層に配置していることにより、それらの各部を複数の構成部材に振り分けて形成し、各構成部材を積層することでインクジェット記録ヘッド５０を製造することができる。これにより、インクジェット記録ヘッド５０の製造性が向上する。

また、本実施形態のインクジェット記録装置では、上記のインクジェット記録ヘッド５０を備えることで低消費電力化が図られる。

次に、本実施形態のインクジェット記録ヘッド５０の製造方法について説明する。

まず、アクチュエータ５６の基体７５、圧電体７２、及び共通電極接続用圧電体７３の製造について説明する。図１３（Ａ）に示すように、焼成された長方形板状の圧電体板４０に、貫通口（圧電体７２及び共通電極接続用圧電体７３の中空Ｒとなる部分）をマトリクス状に形成する。なお、貫通口（中空Ｒ）は、圧電体板４０の焼成前に形成してもよい。貫通口（中空Ｒ）の形成は、サンドブラスト、焼成前であればパンチ等により行うことができる。

次に、図１３（Ｂ）に示すように、共通電極接続用圧電体７３が配置される部分（Ｋ）を直線上に所定の深さ分除去する。ここでの除去は、ダイシング加工等によりおこなうことができる。

次に、図１３（Ｃ）に示すように、圧電体７２及び共通電極接続用圧電体７３に対応する部分をマトリクス状に分離する。ここでの分離は、ワイヤー加工、ダイシング加工等により行うことができる。

上記のようにして、電極形成前のアクチュエータ５６が製造される。

次に、プリント配線基板５４と電極形成前のアクチュエータ５６を接合する。プリント配線基板５４には、圧電体７２の貫通口（中空Ｒ）に対応する位置に連通路６４が形成されている。連通路６４は、貫通口（中空Ｒ）よりも小径とされている。

プリント配線基板５４と電極形成前のアクチュエータ５６の接合は、図１４（Ａ）に示すように、アクチュエータ５６の基体７５側とプリント配線基板５４の配線面とを対抗させ、プリント配線基板５４上面のコンタクト電極６６が圧電体７２の貫通口（中空Ｒ）へ露出されるように、また、共通接続用電極６７が共通電極接続用圧電体７３の貫通口（中空Ｒ）へ露出されるようにして接合する。

次に、図１４（Ｂ）に示すように、アクチュエータ５６側の全面、及び、プリント配線基板５４の連通路６４の内壁に、電極膜Ｄを形成する。電極膜Ｄの形成は、Ｃｕの蒸着、スパッタリング等により行うことができる。これにより、電極膜Ｄとプリント配線基板５４のコンタクト電極６６、共通接続用電極６７も接続される。

そして、図１４（Ｃ）に示すように、圧電体７２の先端面７２Ｃに形成された電極膜Ｄを、除去する。電極膜Ｄの除去は、ＣＭＰなどの片側研磨により行うことができる。これにより、電極膜Ｄは圧電体７２の内側壁７２Ａに形成された第１電極７８と、圧電体７２の外側壁７２Ｂに形成された第２電極７４とに分離される。

次に、図１４（Ｄ）に示すように、ノズルプレート６２をプリント配線基板５４の下側に接合し、供給路プレート５８をアクチュエータ５６の上側に接合する。このとき、ノズル６２と連通路６４とが連通されるように、また、中空Ｒと供給路８０とが連通されるように位置合わせを行って接合する。

そして、供給路プレート５８の上部にインクプールプレート６０を接合して、インクジェット記録ヘッド５０が製造される。

上記製造方法によれば、１工程で電極膜Ｄを形成し、その後圧電体７２の先端面７２Ｃ部分の電極膜Ｄを除去することにより、容易に第１電極７８と第２電極７４とを形成することができる。また、コンタクト電極６６、共通接続用電極６７と電極膜との接続も電極膜形成の工程で行うことができる。

さらに、共通電極接続用圧電体７３を圧電体７２よりも低くしているので、圧電体７２の先端面７２Ｃ部分の電極膜Ｄを除去する際に、共通電極接続用圧電体７３の先端面７３Ａの電極膜は研磨により除去されず、中空Ｒを経由させて共通の電極を容易にプリント配線基板５４側に引き出すことができる。

（第３の実施形態）
第３実施形態は、上述したインクジェット記録ヘッド５０に使用するアクチュエータの変形例である。

図１５（Ａ）に示されるように、本実施形態のアクチュエータ９１では、複数設けられた圧電体９２が四角筒状に形成されている。この圧電体９２も、第２実施形態と同様に、ノズルプレート５２の各ノズル６２に対応してマトリックス状に配置されるとともに、下端部が薄肉の基体９５に繋がれて一体化されている。また、図１５（Ｂ）に示されるように、圧電体９２の外周面には、第２電極９４が外周面全面を被覆するよう形成されており、内周面には、第１電極９８が内周面全面を被覆するよう形成されて、分極方向が圧電体９２の内外方向（外側から内側へ向かう方向）となるよう構成されている。

そしてこの圧電体９２も、第２電極９４、第１電極９８間に電気信号が加えられると、図１５（Ｂ）に示されるように、圧電縦効果（ｄ３３）により、矢印ｄ３３で示した内外方向に膨張変形し、さらに、圧電横効果（ｄ３１）により、矢印ｄ３１（ａ）で示した軸方向に圧縮変形し、矢印ｄ３１（ｂ）で示した辺方向に収縮変形して、軸方向断面で見ると、図７（Ｂ）に示した矢印Ａ、Ｂ方向に変形する。

したがって、このような四角筒状の圧電体９２の場合でも、圧電縦効果及び圧電横効果の各変形が合わせられ、圧力の発生効率を向上することができる。

次に、本実施形態のアクチュエータ９１の製造方法について説明する。

図１６（Ａ）に示すように、焼成された長方形板状の圧電体板４０に、貫通口（中空Ｒ）をマトリクス状に形成する。なお、貫通口（中空Ｒ）は、圧電体板４０の焼成前に形成してもよい。貫通口（中空Ｒ）の形成は、サンドブラスト、焼成前であればパンチ等により行うことができる。

次に、図１６（Ｂ）に示すように、共通電極接続用圧電体７３が配置される部分（Ｋ）を直線上に所定の深さ分除去する。ここでの除去は、ダイシング加工等によりおこなうことができる。

次に、図１６（Ｃ）示すように、圧電体９２及び共通電極接続用圧電体９３に対応する部分の前述したＫ部分と平行な溝を形成する。

そして、図１６（Ｄ）示すように、圧電体９２及び共通電極接続用圧電体９３に対応する部分の前述したＫ部分と直交する溝を形成して、圧電体９２及び共通電極接続用圧電体９３に分離する。ここでの分離は、ワイヤー加工、ダイシング加工等により行うことができる。

上記のようにして、電極形成前のアクチュエータ９１が製造される。電極膜の形成については、第２実施形態と同様に行う。

本実施形態のような四角筒状の場合、エッチング加工等を用いて一枚の基板に複数の圧電素子を配列形成する際に、円筒状等に比べて個々の圧電素子の形成が容易であり、且つ、より狭い間隔で配置することができる。これにより、第１及び第２の実施形態のように、複数の圧電素子をマトリックス状に配置した場合に、円筒状よりも四角筒状の圧電素子の方が無駄なスペースを生じさせることなくより高密度に配置することができ、更なるノズルの高密度化が可能となる。

なお、本実施形態では、中空Ｒが円柱形状であったが、図１７に示すように、中空Ｒを四角柱状としてもよい。

（第４の実施形態）
第４の実施形態は、第２の実施形態で説明したインクジェット記録ヘッド５０において、プリント配線基板の構成を変更した変形例である。

図１８に示されるように、本実施形態のインクジェット記録ヘッド７０は、第２実施形態と同様に、ノズルプレート５２、プリント配線基板１０４、アクチュエータ５６、供給路プレート５８、及びインクプールプレート６０が積層されて構成されている。

ここで、本実施形態のプリント配線基板１０４の上面には、図１９に示されるように、圧電体７２を駆動するための電気信号を送信する複数の駆動素子（ＩＣチップ）１０６が形成されている。これらの駆動素子１０６は、プリント配線基板１０４の製造プロセスにおいて、配線パターン等とともに形成されたものであり、ノズルプレート５２の各ノズル６２に対応させた形成した各連通路６４の近傍に、すなわち各ノズル６２の近傍にそれぞれ配置されるとともに、基板上に形成された配線パターンを介して各コンタクト電極６６と電気的に接続されている。また、これらの駆動素子１０６も、プリント配線基板１０４の上面端部に形成されたコンタクト部１０５を通して外部から制御信号が入力されると、その制御信号に基づいて、アクチュエータ５６の各圧電体７２に電気信号を出力し、各圧電体７２が駆動する。

本実施形態のインクジェット記録ヘッド１０１は以上の構成とされており、このインクジェット記録ヘッド１０１では、第２実施形態で説明したような駆動ＩＣ３０をプリント配線基板上に実装する工程が不要となるため、製造性が向上する。また、圧電体７２の駆動に伴って発熱する駆動素子１０６が、ノズル６２から吐出されるインクの流れで冷却されるため、温度上昇による駆動素子１０６の誤作動やインクジェット記録ヘッド１０１の加熱（熱ストレス）を抑えることができる。さらに、プリント配線基板１０４上における圧電体７２に覆われていない部分（露出部）では、配線パターン（電気配線）を低密度で配線することができるため、第２実施形態の構成に比べ、電気的な信頼性を向上させることができる。

以上、本発明を上述した第１〜第４の実施形態により詳細に説明したが、本発明はそれらの実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の形態が実施可能である。

例えば、上述した実施形態の形態では、ノズルプレート１２と、プリント配線基板とを別体としているが、これらを一体化することも可能である。その場合には、ノズルプレートとプリント配線基板の接合工程を省くことができてインクジェット記録ヘッドの製造性が向上する。

また、本発明は、上述したインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置に限らず、半導体等のパターン形成のために液滴を吐出するパターン形成装置等に使用される他の液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置にも適用することができる。

本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録装置の外観を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。 本発明の第１実施形態に係るアクチュエータの外観を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係るアクチュエータの一部の拡大斜視図である。 本発明の第１実施形態に係るアクチュエータを駆動させる駆動波形の一例である。 本発明の第１実施形態に係るアクチュエータの（Ａ）はインク引き込み時における動作を、（Ｂ）はインク吐出時における動作を示す断面図である 本発明の第１実施形態に係るアクチュエータの製造方法を説明する図である。 本発明の第２実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの分解状態を示す分解斜視図である。 本発明の第２実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの（Ａ）は断面を示し、（Ｂ）は図９（Ａ）の９Ｂ部を拡大した断面図である。 本発明の第２実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの外観を示す斜視図である。 本発明の第２実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの（Ａ）は断面を示し、（Ｂ）は（Ａ）の１１Ｂ部を拡大した断面図である。 （Ａ）は本発明の第１実施形態に係る圧電素子及び圧力室の未変形状態を示す断面図、（Ｂ）は変形状態を示す断面図、（Ｃ）は圧電素子の変形方向を示す拡大斜視図である。 本発明の第２実施形態に係るアクチュエータの製造方法を説明する図である。 本発明の第２実施形態に係るアクチュエータの製造方法（Ａ）〜（Ｃ）を説明する図である。 本発明の第２実施形態に係るアクチュエータの製造方法（Ｄ）を説明する図である。 （Ａ）は本発明の第３実施形態に係るアクチュエータの外観を示す斜視図、（Ｂ）は圧電体の変形方向を示す拡大斜視図である。 本発明の第３実施形態に係るアクチュエータの製造方法を説明する図である。 （Ａ）は本発明の第３実施形態に係るアクチュエータの変形例の外観を示す斜視図、（Ｂ）は同じく変形例の圧電体の変形方向を示す拡大斜視図である。 本発明の第４実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの外観を示す斜視図である。 本発明の第４実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの分解状態を示す分解斜視図である。

符号の説明

１０ インクジェット記録ヘッド
１８ 電極
２０Ａ 圧力室
２１ 振動板
２４ アクチュエータ
２４Ｂ ビア
２５Ｂ ビア
２５ 基体
２６ 圧電体
２６Ｂ 外側壁
２６Ａ 内側壁
２８ 上面電極
３０ 第１電極
３２ 第２電極
３４ 電気配線基板
３６ 半田
５０ インクジェット記録ヘッド
５４ プリント配線基板
５６ アクチュエータ
６４ 連通路
６６ コンタクト電極
６７ 共通接続用電極
６８ 配線パターン
６９ 配線パターン
７０ インクジェット記録ヘッド
７２ 圧電体
７２Ｂ 外側壁
７２Ｃ 先端面
７２Ａ 内側壁
７３ 共通電極接続用圧電体
７３Ａ 先端面
７３Ｃ 先端面電極
７４ 第２電極
７５ 基体
７６ 圧電体
７６ 上面電極
７８ 第１電極
８６ 圧力室
８６Ａ 上壁面
８６Ｂ 内側壁
８６Ｂ 内側壁面
８８ インクインレット
９０ インクプール
９１ アクチュエータ
９２ 圧電体
９３ 共通電極接続用圧電体
９４ 第２電極
９５ 基体
９８ 第１電極
１０１ インクジェット記録ヘッド
１００ インクジェット記録装置
１０４ プリント配線基板
１０５ コンタクト部
１０６ 駆動素子
１０９ 圧電素材
Ｒ 中空

Claims (10)

1. 筒状とされ、筒の中空に面した内側壁と筒の外側に構成される外側壁とを有する圧電体と、
   前記圧電体の内側壁に形成された第１電極と、
   前記圧電体の外側壁に形成された第２電極と、
   前記圧電体の筒の一端が固定され、前記圧電体の中空に対応する位置に貫通口が形成され、前記貫通口を介して前記第１電極が前記圧電体が固定されていない側に引き出されている基体と、
   を備え、
   前記第１電極と前記第２電極との間の電位差により前記圧電体を変位させる、アクチュエータ。
2. 前記基体上に前記圧電体が複数配置され、
   前記第１電極は前記圧電体の各々の個別電極とされ、前記第２電極は少なくとも２以上の前記圧電体に共通の共通電極とされていること、を特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記個別電極と前記共通電極とが同一材質で構成されていること、を特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記基体上に前記圧電体がマトリクス状に配置されていること、を特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のアクチュエータ。
5. 請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のアクチュエータを備えた液滴吐出ヘッド。
6. 請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のアクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドであって、
   前記基体の前記圧電体が固定されていない側に配置された電気配線基板と、
   筒状とされ、筒の内側空間に面した内側壁と筒の外側に構成される外側壁とを有し、前記基体の前記圧電体と同一側に一端が固定された共通電極接続用圧電体と、
   前記共通電極接続用圧電体の内側壁に形成された内側電極と、
   前記共通電極接続用圧電体の外側壁に形成された外側電極と、
   前記共通電極接続用圧電体の先端面に形成され、前記内側電極と前記外側電極とを電気接続する先端面電極と、
   前記内側電極と前記電気配線基板の配線端子とを電気接続する共通電極接続部材と、
   を備え、
   前記共通電極接続用圧電体の先端面が、前記圧電体の先端面よりも前記基体に近い位置に配置されていること、を特徴とする液滴吐出ヘッド。
7. 請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のアクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドであって、
   前記基体の前記圧電体が固定されていない側に、電気配線基板が配置され、
   前記電気配線基板の配線端子が前記貫通口に露出されて配置されていること、を特徴とする液滴吐出ヘッド。
8. 請求項６または請求項７に記載の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置。
9. 請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のアクチュエータを製造する圧電素子製造方法であって、
   前記圧電体の内側壁、外側壁、及び先端面に１工程で電極を形成する電極形成工程と、
   前記先端面に形成された電極を除去して、前記第１電極と前記第２電極とに分離する分離工程と、
   を有することを特徴とするアクチュエータ製造方法。
10. 前記電極形成工程は、スパッタリング、または、蒸着により電極膜を形成するものであること、を特徴とする請求項９に記載のアクチュエータ製造方法。

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