JP4946420B2 - 真空ラミネート装置および真空ラミネート方法 - Google Patents

Description

本発明は真空ラミネート装置および真空ラミネート方法に関し、特に、太陽電池モジュールの真空ラミネート方法に適用して好適なものである。

大気汚染や二酸化炭素の増大による地球温暖化の対策として、石油などの化石燃料に代わるエネルギー源として太陽電池が注目されている。ここで、太陽電池を屋根などに設置して使用する場合、量産性やコストなどの点から、アモルファスシリコン太陽電池が有望視されている。
そして、アモルファスシリコン太陽電池を屋根などに設置して使用する場合、耐水性や耐候性を持たせるために、アモルファスシリコン太陽電池の表面を透明な保護フィルムでラミネートすることが行われている。

また、例えば、特許文献１には、流れ作業により一貫した生産ラインで連続的に被ラミネート体をラミネートするとともに、被ラミネート体を簡単に効率よく大量に生産することができ、スループットの高い製造ラインを構築できるようにするために、ダイアフラムによって被ラミネート体を加熱圧着するラミネート装置を、ラミネート工程中に搬送手段によって移動する方法が開示されている。
特開平１１−２２７１４５号公報

しかしながら、被ラミネート体をラミネートするためには、真空ラミネート装置を真空引きする必要があり、真空ラミネート装置を真空ポンプに接続するための位置合わせに手間がかかるという問題があった。
そこで、本発明の目的は、真空ラミネート装置と真空ポンプとの位置合わせずれを緩和しつつ、真空ラミネート装置を真空ポンプに接続することが可能な真空ラミネート装置および真空ラミネート方法を提供することである。

上述した課題を解決するために、請求項１記載の真空ラミネート装置によれば、保護フィルムを介してシート状の光起電力素子が配置される底板と、前記保護フィルム下に配置され、凹凸形状が表面に設けられたシート状部材と、前記光起電力素子が配置された底板上を覆う封止用シートと、前記底板の周囲に配置され、前記封止用シートと前記底板との間を排気する通気口が設けられた枠体と、前記通気口に接続され、先端が球面状の排気口とを備えることを特徴とする。

また、請求項２記載の真空ラミネート装置によれば、保護フィルムを介してシート状の光起電力素子が配置される底板と、前記光起電力素子が配置された底板上を覆う封止用シートと、前記底板の周囲に配置され、前記封止用シートと前記底板との間を排気する通気口が設けられた枠体と、前記保護フィルム下に配置されるようにして前記底板上に固定された金属メッシュと、前記通気口に接続され、先端が球面状の排気口とを備えることを特徴とする。

また、請求項３記載の真空ラミネート装置によれば、前記排気口に接続する受け部材を備え、前記排気口の球面状の前記先端を受ける前記受け部材の受け面を漏斗状に形成するとともに、前記受け部材を支持する支持部材と、前記受け部材及び前記支持部材に遊びを設けて係合し、前記排気口に向けて延在する軸部材と、この軸部材に外挿され、前記受け部材の漏斗状の前記受け面が前記排気口の球面状の前記先端に押し当たるように前記受け部材を前記排気口の先端側に向けてスライド自在に保持するとともに、任意の方向に傾くことができるように保持するバネとを備えていることを特徴とする。

また、請求項４記載の真空ラミネート装置によれば、被ラミネート体を真空ラミネート装置の底板上に配置する工程と、前記被ラミネート体を覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を介して前記封止用シートと前記底板との間を排気する工程と、前記封止用シートと前記底板との間が排気された状態で熱処理を行うことにより、前記被ラミネート体を一体化する工程とを備えることを特徴とする。
また、請求項５記載の真空ラミネート方法によれば、凹凸形状が表面に設けられたシート状部材を真空ラミネート装置の底板上に配置する工程と、第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを、前記光起電力素子の光入射面が前記シート状部材側に向くようにして、前記シート状部材上に順次配置する工程と、前記底板上に順次配置された第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を介して前記封止用シートと前記底板との間を排気する工程と、前記封止用シートと前記底板との間が排気された状態で熱処理を行うことにより、前記第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを一体化するとともに、前記シート状部材の凹凸を前記第１の保護フィルムの表面に転写する工程とを備えることを特徴とする。

また、請求項６記載の真空ラミネート方法によれば、凹凸形状が表面に設けられたシート状部材を真空ラミネート装置の底板上に配置する工程と、第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを、前記光起電力素子の光入射面が前記シート状部材側に向くようにして、前記シート状部材上に順次配置する工程と、前記底板上に順次配置された第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、前記封止用シートにて底板上が覆われた真空ラミネート装置を排気槽に搬送する工程と、前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を真空ポンプに接続することにより、前記封止用シートと前記底板との間を前記排気槽内で排気する工程と、前記封止用シートと前記底板との間が排気された後に前記排気口から前記真空ポンプを切り離し、前記封止用シートと前記底板との間が排気された真空ラミネート装置を加熱槽に搬送する工程と、前記封止用シートと前記底板との間が排気された真空ラミネート装置を前記加熱槽内で熱処理することにより、前記第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを一体化するとともに、前記シート状部材の凹凸を前記第１の保護フィルムの表面に転写する工程とを備えることを特徴とする。

また、請求項７記載の真空ラミネート方法によれば、金属メッシュが表面に固定された真空ラミネート装置の底板上に、保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび鋼板を順次配置する工程と、前記底板上に順次配置された保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび鋼板を覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を介して前記封止用シートと前記底板との間を排気する工程と、前記封止用シートと前記底板との間の排気状態を前記逆止弁にて維持しながら、前記真空ラミネート装置の底板上に配置された第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを搬送する工程と、前記搬送された保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび鋼板を熱処理にて一体化するとともに、前記金属メッシュの凹凸を前記保護フィルムの表面に転写する工程とを備えることを特徴とする。

以上説明したように、本発明によれば、真空ラミネート装置の排気口の先端を球面状にすることにより、真空ラミネート装置と真空ポンプとの位置がずれている場合においても、漏斗状に形成された受け側に排気口を挿入することができ、真空ラミネート装置を真空ポンプに接続するための位置合わせにかかる手間を軽減することが可能となることから、真空ラミネート体の生産効率を向上させることができる。

以下、本発明の実施形態に係る真空ラミネート装置について図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る真空ラミネート装置の概略構成を示す斜視図、図２は、本発明の一実施形態に係る太陽電池モジュールの真空ラミネート方法を示す断面図である。
図１および図２において、真空ラミネート装置には底板１が設けられ、底板１の周囲には、通気口１ｃが形成された枠体１ａが設けられている。そして、枠体１ａには、通気口１ｃに接続された排気口１ｂが形成されている。なお、底板１および枠体１ａの材質としては、耐熱性や剛性などの点からステンレスや鉄やアルミニウムなどの金属を使用することが好ましく、特に、成形性、溶接性および耐蝕性の点からステンレスを用いるのがよい。また、底板１および枠体１ａの厚みは、必要最小限の剛性を確保した上で低熱容量化や軽量化などの点を考慮すると、例えば、０．８〜２．０ｍｍの範囲内に設定するのがよい。

ここで、枠体１ａは、金属板を矩形状に折り曲げることにより形成することができ、底板１との間で枠体１ａの内周側に隙間が空くようにして、枠体１ａの外周側を電気抵抗溶接などの方法にて底板１に接合することにより、通気口１ｃが形成された枠体１ａを底板１に固定することができる。さらに、接合部をシリコンシーラントなどで封止することにより、枠体１ａの周囲に排気室を構成することができる。また、排気口１ｂには、排気口１ｂを介して通気口１ｃに空気が流れ込むのを防止する逆止弁１ｄが取り付けられ、排気口１ｂの先端は球面状に構成されている。

そして、底板１上には、凹凸形状が表面に設けられたシート状部材２が配置されている。なお、シート状部材２としては、例えば、金属製メッシュやエンボスシートなどを用いることができる。
ここで、シート状部材２として金属製メッシュを用いた場合、枠体１ａの内周部と底板１との間に端部が挟み込まれるようにして底板１上に配置することができる。そして、金属製メッシュは、位置ずれが発生しないように底板１に固定することができ、金属製メッシュを底板１に固定する方法としては、電気抵抗溶接の他、粘着テープやネジ止めなどの方法を用いるようにしてもよい。

なお、金属製メッシュは、その表面の凹凸のピッチが０．３〜０．８ｍｍ、高低差が０．２〜０．６ｍｍの範囲となるように構成することが好ましい。また、金属製メッシュの材質としては、成形性、溶接性および耐蝕性の点からステンレスを用いるのがよく、特に、底板１と同じ材質を用いることが好ましい。
そして、太陽電池モジュールの真空ラミネート法にて製造する場合、図２（ａ）に示すように、シート状部材２が配置された真空ラミネート装置の底板１上に、保護フィルム１５、接着シート１４、シート状の光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１を順次配置する。ここで、光起電力素子１３の光入射側表面が保護フィルム１５にて完全に覆われるようにするとともに、接着シート１２、１４がシート状部材２上にはみ出さないようにするために、光起電力素子１３の外形のサイズは接着シート１２、１４の外形のサイズよりも小さくするとともに、保護フィルム１５の外形のサイズは接着シート１２、１４の外形のサイズよりも大きくすることが好ましい。また、保護フィルム１５としては、透明性、耐候性、接着性、耐熱性および耐衝撃性などの点から、ＥＴＦＥ（エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体）フィルム、接着シート１２、１４としては、ＥＶＡ（エチレン−酢酸ビニル共重合体）フィルムを用いることが好ましい。また、保護フィルム１５の厚みは、機械的強度およびコストなどの点から、２０〜２００μｍの範囲内に設定することが好ましい。

また、光起電力素子１３は、背面電極層２１が裏面に形成されたフィルム基板２２上に、裏面電極層２３、反射防止層２４、光電変換層２５および透明電極層２６を順次積層して構成することができる。なお、背面電極層２１および裏面電極層２３としては、例えば、Ａｇ／Ａｌ積層構造、フィルム基板２２としては、例えば、ポリイミドやポリエチレンなどの樹脂フィルム、反射防止層２４としては、例えば、ＺｎＯ、光電変換層２５としては、例えば、アモルファスシリコンからなるｐｉｎ構造、透明電極層２６としては、例えば、ＩＴＯを用いることができる。また、光電変換層２５の厚みは、例えば、１μｍ程度、フィルム基板２２の厚みは、例えば、５０μｍ程度とすることができる。

そして、底板１上に順次配置された保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１が完全に覆われるようにして封止用シート４を底板１上に配置する。なお、封止用シート４の材質としては、耐熱性、柔軟性および気密性などの点からシリコン樹脂を用いることが好ましい。また、封止用シート４を底板１上に配置する場合、封止用シート４と鋼板１１との間にエンボスシート３を介在させるようにしてもよい。また、封止用シート４を底板１上に配置する場合、枠体１ａの内側に封止用シート４が収まるように配置することが好ましい。

そして、封止用シート４が底板１上に配置された真空ラミネート装置を恒温槽に設置し、排気口１ｂに真空ポンプを接続することにより、排気口１ｂを介して通気口１ｃを排気する。ここで、真空ラミネート装置の排気口１ｂの先端を球面状にすることにより、真空ラミネート装置と真空ポンプとの位置がずれている場合においても、漏斗状に形成された受け側に排気口１ｂを挿入することができ、真空ラミネート装置を真空ポンプに接続するための位置合わせにかかる手間を軽減することが可能となることから、太陽電池モジュールの生産効率を向上させることができる。

そして、通気口１ｃが排気されると、底板１と枠体１ａの内周側との間の隙間を介して、封止用シート４と底板１との間が排気され、封止用シート４が底板１側に押し付けられることで、図２（ｂ）に示すように、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１が密着する。ここで、底板１上にシート状部材２を配置することで、封止用シート４が底板１側に押し付けられた場合においても、真空ラミネート装置の底板１上に脱気を促すような通気層を確保することができ、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１の間に存在する気泡を排出することができる。

そして、封止用シート４と底板１との間が排気されると、排気口１ｂから真空ポンプを切り離すことができる。ここで、真空ラミネート装置の排気口１ｂに逆止弁１ｄを設けることにより、封止用シート４と底板１との間を排気した後に排気口１ｂを真空ポンプから切り離した場合においても、封止用シート４と底板１との間の排気状態を維持することが可能となり、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１の密着状態を維持することができる。

そして、排気口１ｂから真空ポンプを切り離すと、接着シート１２、１４が硬化する温度（例えば、１５０℃）まで昇温させ、接着シート１２、１４の硬化処理（例えば、３０分間）を行うことにより、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１を一体化し、太陽電池モジュールを製造することができる。
ここで、真空ラミネート装置の底板１上にシート状部材２を配置した状態で、封止用シート４と底板１との間を排気しながら熱処理を行うことにより、保護フィルム１５、接着シート１４、シート状の光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１を一体化するとともに、シート状部材２の凹凸を保護フィルム１５の表面に転写することができる。

このため、光起電力素子の光入射側表面を真空ラミネート装置の底板１側に向けた場合においても、真空ラミネート装置の底板１の表面に凹凸を直接形成することなく、真空ラミネート装置の底板１上に脱気を促すような通気層を確保した上で、保護フィルム１５の表面に凹凸を形成することが可能となる。
この結果、太陽電池モジュールを大面積化した場合においても、真空ラミネート装置のコストアップを抑制しつつ、太陽電池モジュールを構成する積層部材の間に気泡が残存するのを防止することが可能となるとともに、保護フィルム１５の表面に凹凸を形成することが可能となることから、製造工程の煩雑化を抑制しつつ、光起電力素子の変換効率を向上させることが可能となるとともに、太陽電池モジュールの耐水性や耐候性を確保することができる。

図３は、本発明の一実施形態に係る太陽電池モジュールの真空ラミネート工程を示す断面図である。
図３において、封止用シート４が底板１上に配置された真空ラミネート装置を、ローダ３１にて排気槽３２に搬送する。そして、真空ラミネート装置が排気槽３２に搬送されると、その真空ラミネート装置の排気口１ｂに真空ポンプを接続し、排気口１ｂを介して通気口１ｃを排気することで、封止用シート４と底板１との間を排気し、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１を密着させる。

そして、封止用シート４と底板１との間が排気されると、排気口１ｂから真空ポンプを切り離し、その真空ラミネート装置を排気槽３２から加熱槽３３に搬送する。そして、排気された真空ラミネート装置が加熱槽３３に搬送されると、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１の熱処理を行うことにより、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１を一体化する。ここで、真空ラミネート装置の排気口１ｂに逆止弁１ｄを設けることにより、排気口１ｂを真空ポンプから切り離した場合においても、封止用シート４と底板１との間の排気状態を維持することが可能となり、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１を密着させながら、熱処理を行うことができる。

そして、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１の熱処理が完了すると、その真空ラミネート装置を加熱槽３３から冷却槽３４に搬送する。そして、熱処理後の真空ラミネート装置が冷却槽３４に搬送されると、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１の冷却を行う。ここで、真空ラミネート装置の排気口１ｂに逆止弁１ｄを設けることにより、排気口１ｂを真空ポンプから切り離した場合においても、封止用シート４と底板１との間の排気状態を維持することが可能となり、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１を密着させながら、冷却処理を行うことができる。
なお、排気槽３２、加熱槽３３およびは複数段に渡って真空ラミネート装置をそれぞれ配置することができ、複数の太陽電池モジュールの真空ラミネート処理を一括して行うことができる。

図４は、本発明の一実施形態に係る真空ポンプの受け側の概略構成を示す断面図である。
図４において、真空ポンプの受け側には、真空ラミネート装置の排気口１ｂを接続する受け部材４２が設けられ、受け部材４２の先端には排気口１ｂを受ける受け面４５が形成されている。ここで、排気口１ｂの先端１ｅが受け面４５の中心からずれた場合にも、排気口１ｂを受けることができるように漏斗状に構成されるとともに、シール性を確保するために、ゴムなどの弾性部材で構成することができる。

そして、受け部材４２は、バネ４３に挿入された軸部材４４を介して支持部材４１にて支持されている。ここで、軸部材４４には、支持部材４１および受け部材４２に対して遊びが設けられ、受け部材４２は前後にスライド可能に保持されるとともに、任意の方向に傾くことができるように保持されている。
そして、排気口１ｂの先端１ｅを受け部材４２の受け面４５に押し当てることにより、真空ラミネート装置の排気口１ｂを真空ポンプに接続することができる。ここで、真空ラミネート装置の排気口１ｂの先端１ｅを球面状にすることにより、真空ラミネート装置と真空ポンプとの位置がずれている場合においても、受け部材４２の受け面４５に排気口１ｂを挿入することができ、真空ラミネート装置を真空ポンプに接続するための位置合わせにかかる手間を軽減することが可能となる。

図５（ａ）は、本発明の一実施形態に係る真空ラミネート装置にて製造された太陽電池モジュールの概略構成を示す斜視図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＢ−Ｂ´線で切断した太陽電池モジュールの概略構成を示す断面図である。
図５において、鋼板１１上には、接着シート１２を介して光起電力素子１３が接着され、光起電力素子１３上には、接着シート１４を介して保護フィルム１５が接着されている。そして、保護フィルム１５の表面には、光起電力素子１３に入射する太陽光を乱反射させる凹凸部１６が形成されている。

これにより、表面に凹凸が形成された保護フィルム１５にて光起電力素子１３の光入射側表面を覆うことが可能となり、光起電力素子１３の光入射側で全反射が起こることを防止して、太陽電池の変換効率を向上させることが可能となるとともに、太陽電池モジュールの耐水性や耐候性を確保することができる。また、光起電力素子１３を鋼板１１上に一体化することにより、フィルム上の光起電力素子１３を屋根などに強固に設置することが可能となり、風雨などによって光起電力素子１３が破損したり脱落したりすることを防止することができる。

本発明の一実施形態に係る真空ラミネート装置の概略構成を示す斜視図である。 本発明の一実施形態に係る太陽電池モジュールの真空ラミネート方法を示す断面図である。 本発明の一実施形態に係る太陽電池モジュールの真空ラミネート工程を示す断面図である。 本発明の一実施形態に係る真空ポンプの受け側の概略構成を示す断面図である。 図５（ａ）は、本発明の一実施形態に係る真空ラミネート装置にて製造された太陽電池モジュールの概略構成を示す斜視図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＢ−Ｂ´線で切断した太陽電池モジュールの概略構成を示す断面図である。

符号の説明

１ 底板
１ａ 枠体
１ｂ 排気口
１ｃ 通気口
１ｄ 逆止弁
１ｅ 先端
２ シート状部材
３ エンボスシート
４ 封止用シート
１１ 鋼板
１２、１４ 接着シート
１３ 光起電力素子
１５ 保護フィルム
１６ 凹凸部
２１ 背面電極層
２２ フィルム基板
２３ 裏面電極層
２４ 反射防止層
２５ 光電変換層
２６ 透明電極層
３１ ローダ
３２ 排気槽
３３ 加熱槽
３４ 冷却槽
３５ アンローダ
４１ 支持部材
４２ 受け部材
４３ バネ
４４ 軸部材
４５ 受け面

Claims (7)

1. 保護フィルムを介してシート状の光起電力素子が配置される底板と、
   前記保護フィルム下に配置され、凹凸形状が表面に設けられたシート状部材と、
   前記光起電力素子が配置された底板上を覆う封止用シートと、
   前記底板の周囲に配置され、前記封止用シートと前記底板との間を排気する通気口が設けられた枠体と、
   前記通気口に接続され、先端が球面状の排気口とを備えることを特徴とする真空ラミネート装置。
2. 保護フィルムを介してシート状の光起電力素子が配置される底板と、
   前記光起電力素子が配置された底板上を覆う封止用シートと、
   前記底板の周囲に配置され、前記封止用シートと前記底板との間を排気する通気口が設けられた枠体と、
   前記保護フィルム下に配置されるようにして前記底板上に固定された金属メッシュと、
   前記通気口に接続され、先端が球面状の排気口とを備えることを特徴とする真空ラミネート装置。
3. 前記排気口に接続する受け部材を備え、前記排気口の球面状の前記先端を受ける前記受け部材の受け面を漏斗状に形成するとともに、
   前記受け部材を支持する支持部材と、
   前記受け部材及び前記支持部材に遊びを設けて係合し、前記排気口に向けて延在する軸部材と、
   この軸部材に外挿され、前記受け部材の漏斗状の前記受け面が前記排気口の球面状の前記先端に押し当たるように前記受け部材を前記排気口の先端側に向けてスライド自在に保持するとともに、任意の方向に傾くことができるように保持するバネとを備えていることを特徴とする請求項１又は２記載の真空ラミネート装置。
4. 被ラミネート体を真空ラミネート装置の底板上に配置する工程と、
   前記被ラミネート体を覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、
   前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を介して前記封止用シートと前記底板との間を排気する工程と、
   前記封止用シートと前記底板との間が排気された状態で熱処理を行うことにより、前記被ラミネート体を一体化する工程とを備えることを特徴とする真空ラミネート方法。
5. 凹凸形状が表面に設けられたシート状部材を真空ラミネート装置の底板上に配置する工程と、
   第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを、前記光起電力素子の光入射面が前記シート状部材側に向くようにして、前記シート状部材上に順次配置する工程と、
   前記底板上に順次配置された第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、
   前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を介して前記封止用シートと前記底板との間を排気する工程と、
   前記封止用シートと前記底板との間が排気された状態で熱処理を行うことにより、前記第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを一体化するとともに、前記シート状部材の凹凸を前記第１の保護フィルムの表面に転写する工程とを備えることを特徴とする真空ラミネート方法。
6. 凹凸形状が表面に設けられたシート状部材を真空ラミネート装置の底板上に配置する工程と、
   第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを、前記光起電力素子の光入射面が前記シート状部材側に向くようにして、前記シート状部材上に順次配置する工程と、
   前記底板上に順次配置された第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、
   前記封止用シートにて底板上が覆われた真空ラミネート装置を排気槽に搬送する工程と、
   前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を真空ポンプに接続することにより、前記封止用シートと前記底板との間を前記排気槽内で排気する工程と、
   前記封止用シートと前記底板との間が排気された後に前記排気口から前記真空ポンプを切り離し、前記封止用シートと前記底板との間が排気された真空ラミネート装置を加熱槽に搬送する工程と、
   前記封止用シートと前記底板との間が排気された真空ラミネート装置を前記加熱槽内で熱処理することにより、前記第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを一体化するとともに、前記シート状部材の凹凸を前記第１の保護フィルムの表面に転写する工程とを備えることを特徴とする真空ラミネート方法。
7. 金属メッシュが表面に固定された真空ラミネート装置の底板上に、保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび鋼板を順次配置する工程と、
   前記底板上に順次配置された保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび鋼板を覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、
   前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を介して前記封止用シートと前記底板との間を排気する工程と、
   前記封止用シートと前記底板との間の排気状態を前記逆止弁にて維持しながら、前記真空ラミネート装置の底板上に配置された第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを搬送する工程と、
   前記搬送された保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび鋼板を熱処理にて一体化するとともに、前記金属メッシュの凹凸を前記保護フィルムの表面に転写する工程とを備えることを特徴とする真空ラミネート方法。

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