JP4894987B2

JP4894987B2 - 表示用パネルの製造方法

Info

Publication number: JP4894987B2
Application number: JP2001198925A
Authority: JP
Inventors: 英樹松岡
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 2001-06-29
Filing date: 2001-06-29
Publication date: 2012-03-14
Anticipated expiration: 2021-06-29
Also published as: CN1184520C; TW587398B; KR100510003B1; US7135086B2; US20030006003A1; CN1395133A; JP2003015538A; KR20030003076A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、文字や画像などを表示する表示装置に使用される表示用パネルの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置や液晶表示装置に用いられる表示用パネルは、発光素子や液晶、あるいはそれらを駆動する駆動素子などの表示用素子が設けられた表示基板を有して構成される。また、この表示基板は通常、その機能や品質などを維持するために、適宜の封止部材によって封止されることが多い。こうした用途に使用される封止部材には、金属製のカン（メタルカン）やガラスなどがあり、上記表示基板は接着剤によってそれらと貼り合わされて封止される。そして、この表示用パネルにおける表示基板の封止品質は、ひいては表示装置としての品質や寿命を決定づける重要な要素となっている。
【０００３】
図９は、表示基板が封止部材によって封止される態様を模式的に示した図である。
図９（ａ）および（ｂ）に示すように、表示基板３３の一構成であるガラス基板３１の一方面には、薄膜形成プロセスによって表示領域となる素子層３２が形成されている。なおこの例では、複数の（１２個の）表示用パネルを一括製造するために、１枚のガラス基板３１に複数の（１２個の）素子層３２を一括形成し、表示基板３３についてもこれを同時に複数個（１２個）生成する場合について示している。上記ガラス基板３１は、素子層３２に対向して配置されている封止部材である封止用ガラス３４の位置合わせマーク３９を認識する画像処理装置などによって同封止用ガラス３４との相対位置が決められたのち、図９（ａ）に示すＺ方向に移動されて同ガラス３４に貼り合わされる。この封止用ガラス３４には、表示基板３３（厳密にはその素子層３２）を封止する形状に沿ってあらかじめ接着剤３５が上記表示領域を囲繞する態様で塗布されている。また、封止用ガラス３４の表示基板３３との対向面は、上記素子層３２の形状および配置に対応してエッチング等によって掘削されている。この封止用ガラス３４の掘削部３６は、封止される表示基板３３の特性を維持するための吸湿剤などを塗布するために設けられている。なお、図９（ｂ）においては、ガラス基板３１の図示を割愛した。
【０００４】
また、図１０は、上記ガラス基板３１が封止用ガラス３４と貼り合わされるときの断面状態を模式的に示したものである。図１０に示されるように、ガラス基板３１は支持部材３７に真空吸着されており、この真空吸着されたガラス基板３１が、台（図示略）上に配置されている封止用ガラス３４上に降下して貼り合わせが行われる。このとき、ガラス基板３１と封止用ガラス３４とのギャップＧが所定の値となるように、ガラス基板３１が支持部材３７によって適宜加圧される。こうしてギャップＧが所定の値とされたのちに接着剤３５の硬化処理が行われて、表示基板３３が封止用ガラス３４によって封止される。なお、この封止に際して、ガラス基板３１および封止用ガラス３４が接着剤３５と当接する幅、すなわちシール線幅Ｗは、接着剤３５の量と粘度、およびギャップＧや上記加圧圧力、加圧時間などによって決定される。また、接着剤３５には所定の径を有するたとえば円筒状もしくは球状のスペーサ３８が混入されており（図１０中に模式的に図示）、このスペーサ３８をストッパとして上記加圧を行うことにより上記ギャップＧとして所定の値が得られるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記接着剤３５としては、通常、樹脂製の接着剤が使用される。そして、その場合の樹脂の材質は、表示基板３３の種類や封止の目的などに合わせて適切なものが選定される。また、これら樹脂の中には、粘度が調整できないものもある。
【０００６】
たとえば、ＥＬ表示装置の表示用パネルに用いられる表示基板、すなわち上記素子層３２にＥＬ素子が形成された表示基板３３などにおいては、ＥＬ素子の特性として耐熱性が低く、また水分による劣化が顕著であるため、水分の透過性が低く、しかも硬化時に加熱を要しない紫外線硬化性エポキシ樹脂が上記接着剤３５として使用される。この紫外線硬化性エポキシ樹脂は、溶剤による希釈がなされないため一般に粘度が高く、したがって希釈によって使用しやすい粘度に調整することもできない。また、この紫外線硬化性エポキシ樹脂の成分を変更してその粘度を調整すると、水分の透過性が低いという同樹脂の特性を維持することが困難になる。
【０００７】
こうした粘度の高い樹脂を接着剤３５として使用する場合には、前述のようにガラス基板３１を封止用ガラス３４に貼り合わせる際に、両者の貼り合わせ面により大きな圧力を加えてギャップＧを所望の値に到達させ、かつシール線幅Ｗを確保する必要がある。しかし、この加圧圧力を急激に増大させると、粘度の高い接着剤３５がその加圧圧力の変化に追従して形状変化することができず、封止用ガラス３４の平面図である図１１に破線部として示すような貼り合わせ不良が発生することがある。
【０００８】
すなわち、ギャップＧが均一に所望の値に到達しない場合、図１１に付記したＡ〜Ｃに対応して、
（Ａ）封止される内部空間に残留する気体が抜け出すためのシールパスができる、
（Ｂ）安定したシール線幅Ｗが得られない、
（Ｃ）接着剤３５が所定の封止位置からずれる、
などの不都合が発生することがある。これらの貼り合わせ不良は、形状不良となるばかりでなく、場合によっては封止不良を起こす、また加圧された気体が内部に残留する、あるいは水分の透過性を上昇させるなど、ＥＬ表示装置の表示用パネルとして、その品質や寿命に少なからず悪影響を及ぼすことになる。
【０００９】
なお、上記ＥＬ素子が形成された表示基板に限らず、たとえば液晶表示基板やプラズマ表示基板などであっても、それら基板が適宜の封止部材および粘度の高い樹脂接着剤によって封止される表示用パネルにあっては、それら封止に際しての上記実情もおおむね共通したものとなっている。
【００１０】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、接着剤としてたとえ粘度の高いものが用いられる場合であれ、封止部材および接着剤による表示基板の封止を迅速かつ的確に行うことのできる表示用パネルの製造方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、表示領域に表示用素子が形成された表示基板の素子面と該素子面に対向して配置した封止部材とを前記表示領域を囲繞する態様で塗布した接着剤を介して貼り合わせたのち、この貼り合わせ面に圧力を加えるとともに前記接着剤を硬化させる表示用パネルの製造方法であって、前記封止部材と表示基板との貼り合わせ面に印加する圧力をそれら封止部材と表示基板とのギャップが前記目標値に到達するまで段階的に変化させることをその要旨とする。
【００１２】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の表示用パネルの製造方法において、前記封止部材と表示基板との貼り合わせ面に印加する圧力の段階的な変化が、同印加する圧力を連続的に変化せしめる圧力変更期間と、この増大した圧力を一定に保持する圧力保持期間との複数回の繰り返しとして行われることをその要旨とする。
【００１３】
また、請求項３記載の発明は、請求項２記載の表示用パネルの製造方法において、前記各圧力保持期間は、相互に独立に設定されることをその要旨とする。
また、請求項４記載の発明は、請求項２または３記載の表示用パネルの製造方法において、前記圧力変更期間での圧力変化量が、それら各圧力変更期間ごとに独立に設定されることをその要旨とする。
【００１４】
また、請求項５記載の発明は、請求項４記載の表示用パネルの製造方法において、前記各圧力変更期間での圧力変化量のうち、最後の圧力変更期間での圧力変化量を他の圧力変更期間での圧力変化量よりも小さくすることをその要旨とする。
【００１５】
また、請求項６記載の発明は、請求項２〜５のいずれかに記載の表示用パネルの製造方法において、前記圧力変更期間の少なくとも一期間において、その圧力変化速度が可変とされることをその要旨とする。
【００１６】
また、請求項７記載の発明は、請求項２〜６のいずれかに記載の表示用パネルの製造方法において、前記封止部材と表示基板との貼り合わせ面に印加する圧力の段階的な変化が、前記圧力変更期間と前記圧力保持期間との各３回の繰り返しとして行われることをその要旨とする。
【００１７】
また、請求項８記載の発明は、請求項１〜７のいずれかに記載の表示用パネルの製造方法において、前記接着剤が、カチオン重合により硬化する紫外線硬化性エポキシ樹脂であり、同接着剤の硬化を紫外線照射によって行うことをその要旨とする。
【００１８】
また、請求項９記載の発明は、請求項８記載の表示用パネルの製造方法において、前記接着剤に対する温度制御を併用することをその要旨とする。
また、請求項１０記載の発明は、請求項９記載の表示用パネルの製造方法において、前記温度制御として、少なくとも前記封止部材と表示基板との貼り合わせ面に対する圧力の印加前に、前記接着剤を所定の温度に加熱する処理を行うことをその要旨とする。
【００１９】
また、請求項１１記載の発明は、請求項９記載の表示用パネルの製造方法において、前記温度制御として、前記接着剤を所定の温度に加熱しつつ、前記封止部材と表示基板との貼り合わせ面に対する圧力の印加を行うことをその要旨とする。
【００２０】
また、請求項１２記載の発明は、請求項１０または１１記載の表示用パネルの製造方法において、前記表示基板が、前記表示用素子としてエレクトロルミネッセンス素子を有して形成され、前記所定の温度が、前記エレクトロルミネッセンス素子としての素子特性に影響を及ぼさない温度に設定されることをその要旨とする。
【００２１】
また、請求項１３記載の発明は、請求項９記載の表示用パネルの製造方法において、前記温度制御として、前記封止部材と表示基板との貼り合わせ面に対する圧力の印加した状態に応じて前記接着剤に付与する温度を可変とする制御を行うことをその要旨とする。
【００２２】
そして、請求項１４記載の発明は、請求項１３記載の表示用パネルの製造方法において、前記表示基板が、前記表示用素子としてエレクトロルミネッセンス素子を有して形成され、前記可変とされる前記接着剤に付与する温度が、前記エレクトロルミネッセンス素子としての素子特性に影響を及ぼさない温度の範囲で設定されることをその要旨とする。
【００２３】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
以下、本発明にかかる表示用パネルの製造方法を、前記表示用素子として有機ＥＬ素子を有して構成される表示基板を備える表示用パネルの製造方法に適用した第１の実施の形態について、図１〜図３を使って説明する。なお、この第１の実施の形態においても、基本的には先の図９および図１０に例示したように、ガラス基板上に素子層が形成されてなる上記表示基板を封止用ガラスにて封止するに、それら封止用ガラスと表示基板との貼り合わせ面に同表示基板の表示領域を囲繞する態様であらかじめ接着剤を塗布しておく。そして、それら封止用ガラスと表示基板とを貼り合わせたのち、それら合わせ面に圧力を加えて両者のギャップを目標値に到達させたうえで、上記接着剤を硬化させる。
【００２４】
図１は、この第１の実施の形態にかかる製造方法によって表示用パネルを製造する装置の構成例を示す模式図である。
図１に示すように、表示基板３の一構成であるガラス基板１の一方面には、薄膜形成プロセスによって有機ＥＬ素子等からなる素子層２が形成されている。なおここでも、複数の表示用パネルを一括製造するために、たとえば前述の図９に示したように１枚のガラス基板１に複数の素子層２を一括形成し、表示基板３についてもこれを同時に複数個生成する。そして、上記ガラス基板１は、素子層２に対向して配置されている封止部材である封止用ガラス４に貼り合わされる。この封止用ガラス４には、表示基板３を囲繞するかたちで、すなわち上記素子層２を封止する形状に沿って接着剤５が塗布されている。なお、この接着剤５は、粘度の高い紫外線硬化性樹脂、たとえばカチオン系紫外線硬化性エポキシ樹脂からなる。このカチオン系紫外線硬化性エポキシ樹脂は、硬化時の収縮率が小さく、かつ水分透過性が低い特性を有しており、有機ＥＬ素子等を封止する用途に適している。また、封止用ガラス４においてその表示基板３との対向面は、同表示基板３（厳密にはその素子層２）の形状および配置に対応してエッチング等によって掘削されている。この封止用ガラス４の掘削部６は、封止される表示基板３の特性を維持する吸湿剤などを塗布するために設けられている。
【００２５】
上記各部材はチャンバ２０内に配設されており、そのチャンバ２０内部は外部につながったガス導入口２１ａおよびガス排出口２１ｂにより給排気される窒素ガス（Ｎ₂）で充満されている。この窒素ガスは、有機ＥＬ素子が雰囲気中に存在する水分によって劣化しないようにその水分含有率を５ｐｐｍ以下のものを使用している。
【００２６】
上記チャンバ２０内において、ガラス基板１は、チャンバ２０内部に設けられて位置制御および加圧制御される支持部材７に真空吸着されている。なお図１において、このガラス基板１を真空吸着するための装置の図示は割愛してある。他方、封止用ガラス４は、チャンバ２０の底面に固定された石英ガラス１１上に配置されている。そして、支持部材７を位置制御する装置２４は、チャンバ２０内部に備えられたＣＣＤカメラ２２によって撮影される位置合わせマーク（図示略）などの画像に基づき支持部材７ともどもガラス基板１をその水平方向に移動させて、対向する封止用ガラス４との相対位置を決定する。この位置決めが完了すると、支持部材７を加圧制御する装置２５は、この支持部材７ともどもガラス基板１を封止用ガラス４上に矢印方向に押圧し、両者の貼り合わせ面に圧力を印加する。なお、この加圧制御する装置２５は、上記押圧に際して、その加圧圧力をモニタする機能も有しており、同圧力をモニタしつつ、その加圧圧力を任意に制御可能となっている。また、この図１に示す製造装置において、符号２３は、石英ガラス１１および封止用ガラス４を介して上記カチオン系紫外線硬化性エポキシ樹脂からなる接着剤５に紫外線を照射することによりこれを硬化させる紫外線光源である。
【００２７】
次に、このような装置を用いてＥＬ表示装置の表示用パネルを製造する本実施の形態の製造方法について詳述する。
図２は、上記支持部材７を加圧制御する装置２５による圧力の印加パターン例を示したタイムチャートである。
【００２８】
この第１の実施の形態では、上記支持部材７を位置制御する装置２４を通じてガラス基板１と封止用ガラス４との相対位置を決定したのち、この図２に示される圧力印加パターンにしたがって、それらガラス基板１と封止用ガラス４との貼り合わせ面に圧力を印加する。
【００２９】
この圧力印加パターンでは、基本的に次の（イ）〜（ハ）に示す態様での圧力印加が行われる。
（イ）一定の速さで圧力を変化（増大）させる圧力変更期間（図２の期間Ｔ１、Ｔ３、およびＴ５）と、それら変化（増大）させた圧力を一定の圧力に保持する圧力保持期間（図２の期間Ｔ２、Ｔ４、およびＴ６）とを繰り返して、目標とする圧力および目標とするギャップに到達させる。
【００３０】
（ロ）上記各圧力保持期間Ｔ２、Ｔ４、およびＴ６は、時間的にあとの期間の方が長くなるように期間設定される。すなわち、それら期間Ｔ２、Ｔ４、およびＴ６には以下の関係が成立している。
Ｔ２＜Ｔ４＜Ｔ６
（ハ）最後の圧力変更期間Ｔ５における圧力の変化量（増大量）δＰ５は、それ以前の圧力変更期間Ｔ１およびＴ３におけるそれぞれの圧力の変化量（増大量）δＰ１およびδＰ３よりも小さく設定される。すなわち、それら圧力変化量δＰ１、δＰ３、およびδＰ５には以下の関係が成立している。
δＰ１＞ δＰ５
δＰ３＞ δＰ５
こうして、ガラス基板１と封止用ガラス４との貼り合わせ面に所定のパターンの圧力が印加されることで、少なくとも上記圧力保持期間Ｔ６には、接着剤５に混入されているスペーサ（図１０参照）がストッパとなってギャップＧが目標値に到達する。このときのギャップＧの値は約５μｍである。封止部分における水分の透過を抑制するためにも、このギャップＧの値は５μｍ±１μｍとすることが望ましい。さらに、５μｍ±０．３μｍとすることがより望ましい。そして、その後の期間Ｔ７においてもその圧力を継続して印加しつつ、時刻ｔ６に上記紫外線光源２３を点灯して紫外線を上記貼り合わせ面に照射する。この紫外線の照射は、実際には図示しない赤外線カットフィルタを通して、上記期間Ｔ７にわたって、すなわち時刻ｔ７まで行われる。
【００３１】
なお、上記塗布される接着剤５の吐出口の断面形状が直径約３００μｍの半円状であり、またガラス基板１の寸法が３００ｍｍ×４００ｍｍであって、上記封止後はそれを切断して９枚〜９６枚の表示基板３を得ようとする場合、上記圧力保持期間Ｔ２、Ｔ４、およびＴ６において貼り合わせ面に印加されている圧力は、図２に示されるように、それぞれ０．２ｋｇｗ／ｃｍ²、０．４ｋｇｗ／ｃｍ²、および０．５ｋｇｗ／ｃｍ²である。また、上記圧力印加パターンの各期間は、期間Ｔ１から期間Ｔ６まで順に５秒、５秒、１０秒、１０秒、５秒、および１５秒に設定されている。すなわち、圧力保持期間Ｔ２、Ｔ４、およびＴ６の比は１：２：３に設定されている。そして、接着剤５による封止部分のギャップＧと上記シール線幅Ｗ（図１０参照）とを均一にしてその封止品質を確保するためには、上記各圧力の値に対しては±２０％以内の範囲、また上記各期間に対しては±５０％以内の範囲でそれら各値を設定することが望ましいことが発明者等によって確認されている。また、紫外線の照射期間Ｔ７については、たとえば紫外線照度約１００ｍＷ／ｃｍ²の場合、これを６０秒に設定することで、接着剤５の十分な硬化が得られることが確認されている。
【００３２】
また便宜上、上記各圧力についてはこれを１ｃｍ²あたりに印加される力を重量ｋｇで表した値、すなわち［ｋｇｗ／ｃｍ²］にて表記したが、これらは各値に定数９８０６６．５を乗じることによりＳＩ単位系に基づく圧力単位であるパスカル［Ｐａ］に変換される。たとえば、０．２ｋｇｗ／ｃｍ²は１９．６ｋＰａに、０．４ｋｇｗ／ｃｍ²は３９．２ｋＰａに、また０．５ｋｇｗ／ｃｍ²は４９．０ｋＰａに変換される。
【００３３】
この第１の実施の形態においてはこのように、ガラス基板１および封止用ガラス４間に段階的に圧力を印加したのち接着剤５を硬化させるため、同接着剤５によるガラス基板１および封止用ガラス４の封止部分において、より均一なギャップＧおよびシール線幅Ｗが得られるようになる。
【００３４】
ここで参考までに、上記封止部分においてこうした均一なギャップＧおよびシール線幅Ｗが得られる理由を、図３を参照して説明する。図３は、封止部分において接着剤５がガラス基板１および封止用ガラス４により押圧される状況を模式的に示したものである。図３に示されるように、塗布直後の断面形状が略半円状をなす接着剤５は、初期の段階では当接する上方のガラス面との接触面積が小さい。このため、ガラス基板１に印加される圧力が小さくてもこの接着剤５を容易に変形させることができる（図２の期間Ｔ１参照）。しかし、この封止部分が押圧されるにつれてギャップＧが小さくなると、上方のガラス面との接触面積が大きくなり、より大きな圧力が必要とされるようになる（図２の期間Ｔ３、Ｔ５参照）。他方、粘度が高く弾力性を有する接着剤５は、上記印加される圧力に対して一定の時間遅れをもってゆっくりと変形する。そこで、印加する圧力を増大させたのちに、その増大させた圧力を所定期間保持することによって、接着剤５がその圧力変化に応じて変形する時間を確保することができるようになる（図２の期間Ｔ２、Ｔ４参照）。そののちに、次の段階の圧力に増大されるため、接着剤５の形状変化はきわめて円滑なものとなり、おのずとギャップＧとシール線幅Ｗとが均一になるようになる。
【００３５】
また通常、封止空間内部は気体が存在し、これがギャップＧの縮小にともなって加圧され、外部に排出されようとする。そしてこのことが、先の図１１に例示した封止不良（Ａ）を引き起こす要因ともなっている。しかし上記方法の場合、圧力保持期間（図２の期間Ｔ２、Ｔ４、Ｔ６）を通じてこの内部に存在する気体が外部に排出される時間が確保されるため、封止完了時には封止空間内部は加圧された気体が残留することがない。すなわち、上記封止不良（Ａ）の発生等も好適に回避される。
【００３６】
なお、図３においては、封止用ガラス４上に塗布された接着剤５の断面形状が、塗布直後、略半円状であるとしたが、この断面形状が円形など他の形状であっても、基本的には同様のことがいえる。
【００３７】
また、単に封止品質を確保するうえでは、上記圧力保持期間をもつことなく、ゆっくりと連続的に印加圧力を増大させて所定の圧力に到達させることも可能ではあるが、この場合には表示用パネルの製造にきわめて長い時間を要することになる。
【００３８】
なお参考までに、上述の有機ＥＬ表示パネルとして利用される表示基板３に形成される素子層２の構成例を、以下に説明する。
図１２は、表示装置の表示単位（画素）となるＥＬ素子おのおのに対して、能動素子である薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を付加したアクティブマトリクス型のＥＬ表示パネルの構成について、その画素１つの周辺部を拡大して示す平面図である。
【００３９】
ＥＬ表示パネルは、ＥＬ素子が電界の印加により発光する性質を利用した表示装置であり、表示基板にはスイッチング用ＴＦＴを駆動するためのゲート信号線と各画素を表示させるための信号線とが縦横のマトリクス状に形成される。
【００４０】
図１２に示したように、このＥＬ表示パネルにおいては、上記信号線としてゲート信号線５１とドレイン信号線５２とが形成されている。そして、それらの交差部に対応して画素となる有機ＥＬ素子６０が形成されている。なお、このＥＬ表示パネルにおいては、フルカラー表示を実現するために発光色の異なる３種の有機ＥＬ素子６０Ｒ、６０Ｇ、および６０Ｂが１つの繰り返し単位として形成されている。そして、これら３つが１組となって任意の色を発色するフルカラー表示装置としての１つの表示単位をなしている。
【００４１】
両信号線の交差部付近にはゲート信号線５１によりスイッチングを行うＴＦＴ７０が形成されており、ＴＦＴ７０が「オン」になるとドレイン信号線５２の信号がソース７１Ｓに接続されて容量電極５５に印加される。この容量電極５５は、ＥＬ素子駆動用のＴＦＴ８０のゲート８１に接続されている。また、ＴＦＴ８０のソース８３Ｓは有機ＥＬ素子６０の陽極６１に接続され、ドレイン８３Ｄは有機ＥＬ素子６０に電流を供給する電流源となる駆動電源線５３に接続されている。
【００４２】
また、これらＴＦＴ７０および８０に対応して、ゲート信号線５１と平行に保持容量電極線５４が形成されている。この保持容量電極線５４はクロム（Ｃｒ）等の金属からなり、絶縁膜を介して上記容量電極５５との間で電荷を蓄積して容量素子を構成している。この保持容量は、ＴＦＴ８０のゲート電極８１に印加される電圧を保持するために設けられる。
【００４３】
図１３は、図１２に示した画素周辺の断面を示すものであり、図１３（ａ）はＤ−Ｄ線に沿った断面図、図１３（ｂ）はＥ−Ｅ線に沿った断面図である。
図１３に示したように、上記有機ＥＬ表示パネルにおける表示基板の素子層は、ガラスや合成樹脂、または導体あるいは半導体基板等の基板９０上に、ＴＦＴおよび有機ＥＬ素子６０を順次積層して形成される。
【００４４】
まず、容量電極５５の充電を制御するＴＦＴ７０の形成について説明する。
図１３（ａ）に示したように、石英ガラス、無アルカリガラス等からなる絶縁性基板９０上に、非晶質シリコン膜にレーザを照射して多結晶化した多結晶シリコン膜からなる能動層７３を形成する。この能動層７３にはいわゆるＬＤＤ（Lightly Doped Drain ）構造が設けられている。すなわち、チャネルの両側に低濃度領域７３ＬＤとその外側に高濃度領域のソース７３Ｓおよびドレイン７３Ｄが設けられている。その上にゲート絶縁膜９２、Ｃｒ、およびモリブデン（Ｍｏ）などの高融点金属からなるゲート信号線５１の一部をなすゲート電極７１を形成する。このとき同時に、保持容量電極５４を形成する。続いて、ゲート絶縁膜９２上の全面にシリコン酸化膜（ＳｉＯ₂膜）およびシリコン窒化膜（ＳｉＮ膜）の順に積層された層間絶縁膜９５を設け、ドレイン７３Ｄに対応して設けたコンタクトホールにアルミニウム（Ａｌ）等の金属を充填するとともに、ドレイン信号線５２とその一部であるドレイン電極９６を設ける。さらにこの膜面の上に、たとえば有機樹脂からなり、表面を平坦にする平坦化絶縁膜９７を設ける。
【００４５】
次に、有機ＥＬ素子６０を発光駆動するＴＦＴ８０の形成について説明する。
図１３（ｂ）に示したように、石英ガラス、無アルカリガラス等からなる絶縁性基板９０上に、先のＴＦＴ７０の能動層７３の形成と同時に、多結晶シリコン膜からなる能動層８３を形成する。その能動層８３には、ゲート電極８１下方に真性または実質的に真性であるチャネル８３Ｃと、このチャネル８３Ｃの両側にｐ型不純物のイオンドーピングを施してソース８３Ｓおよびドレイン８３Ｄを設けて、ｐ型チャネルＴＦＴを構成する。その能動層８３の上にゲート絶縁膜９２、およびＣｒ、Ｍｏなどの高融点金属からなるゲート電極８１を設ける。このゲート電極８１は、上述のようにＴＦＴ７０のソース７３Ｓに接続される。そして、ゲート絶縁膜９２およびゲート電極８１上の全面には、ＳｉＯ₂膜、ＳｉＮ膜、およびＳｉＯ₂膜の順に積層された層間絶縁膜９５を形成し、ドレイン８３Ｄに対応して設けたコンタクトホールにＡｌ等の金属を充填するとともに、駆動電源線５３を形成する。さらにこの膜面の上に、たとえば有機樹脂からなり、表面を平坦にする平坦化絶縁膜９７を形成する。そして、この平坦化絶縁膜９７にソース８３Ｓと接続するためのコンタクトホールを形成し、このコンタクトホールを介してソース８３Ｓと接続される透明電極６１を平坦化絶縁膜９７上に形成する。この透明電極６１は、有機ＥＬ素子６０の陽極をなすものであり、この上に積層される有機ＥＬ素子６０から放出される光を基板９０側へ透過させる。この透明電極としては、インジウムとスズとの酸化物である「ＩＴＯ」（Indium Tin Oxide）などが用いられる。
【００４６】
有機ＥＬ素子６０は、上記陽極６１の上層に発光素子層６６とＡｌからなる陰極６７とがこの順に積層形成されて構成されている。そして、発光素子層６６はさらに4層構造をなしており、各層は陽極６１の上層に、以下に示す順に積層形成されている。
【００４７】
（１）ホール輸送層６２：「ＮＰＢ」。
（２）発光層６３：各発光色に対応して次の材料を使用。
赤色…ホスト材料「Ａｌｑ₃」に「ＤＣＪＴＢ」をドープしたもの。
【００４８】
緑色…ホスト材料「Ａｌｑ₃」に「Ｃｏｕｍａｒｉｎ６」をドープしたもの。
青色…ホスト材料「ＢＡｌｑ」に「Ｐｅｒｙｌｅｎｅ」をドープしたもの。
【００４９】
（３）電子輸送層６４：「Ａｌｑ₃」。
（４）電子注入層６５：フッ化リチウム（ＬｉＦ）。
ここで、上記に略称にて記載した材料の正式名称は以下のとおりである。
【００５０】
・「ＮＰＢ」…N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine。
・「Ａｌｑ₃」…Tris(8-hydroxyquinolinato)aluminum。
・「ＤＣＪＴＢ」…(2-(1,1-Dimethylethyl)-6-(2-(2,3,6,7-tetrahydro-1,1,7,7-tetramethyl-1H,5H-benzo[ij]quinolizin-9-yl)ethenyl)-4H-pyran-4-ylidene)propanedinitrile。
【００５１】
・「Ｃｏｕｍａｒｉｎ６」…3-(2-Benzothiazolyl)-7-(diethylamino)coumarin。
・「ＢＡｌｑ」…(1,1'-Bisphenyl-4-Olato)bis(2-methyl-8-quinolinplate-N1,08)Aluminum。
【００５２】
これらホール輸送層６２、電子輸送層６４、電子注入層６５、および陰極６７は、図１２に示した各画素に対応する有機ＥＬ素子６０に共通に形成されている。発光層６３は、陽極６１に対応して島状に形成されている。また、陽極６１の周辺には絶縁膜６８（破線で示す領域の外側）を形成する。これは、陽極６１の厚みによる段差に起因した発光層６３の断切れによって生じる陰極６７と陽極６１との短絡を防止するために設けられる。
【００５３】
こうして形成された有機ＥＬ素子６０の画素は、上記ＴＦＴ７０および８０により駆動されると、陽極６１から注入されたホールと陰極６７から注入された電子とが発光層６６の内部で再結合して発光する。
【００５４】
なお、有機ＥＬ素子６０を構成する各層として上記材料を採用した場合、それら各層に特性劣化を与えることなく素子層２に印加できる温度は９５℃以下とするのが望ましい。
【００５５】
以上説明したように、この第１の実施の形態にかかる表示用パネルの製造方法によれば、以下のような効果を得ることができるようになる。
（１）ガラス基板１と封止用ガラス４とを接着剤５により貼り合わせる際に、両者の貼り合わせ面を押圧する圧力の印加パターンを、圧力変更期間とそれに続く圧力保持期間との繰り返しパターンとして設定した。これにより、粘度の高い接着剤５が押圧された圧力に追従して変形する時間を好適に確保することができ、ひいてはより短い時間でその封止部分のギャップＧおよびシール線幅Ｗを均一なものとすることができるようになる。
【００５６】
（２）また、上記貼り合わせ面の加圧に際して、封止される空間内に存在する気体が外部に排出される時間を上記圧力保持時間に確保することができる。このため、封止空間内部に加圧された気体が残留することがなくなる。
【００５７】
（３）こうして得られるギャップＧおよびシール線幅Ｗの均一な封止部分は信頼性の高いものであり、表示用パネルとしての所定の特性を長期にわたり維持することができるようにもなる。
【００５８】
（４）さらに、上記封止を水分含有率の低い窒素ガス雰囲気中で行うことにより、上記封止空間内部に残留する水分を最小限に抑制することができるようになる。
【００５９】
（第２の実施の形態）
次に、本発明にかかる表示用パネルの製造方法を、同じく有機ＥＬ素子を有して構成される表示基板を備える表示用パネルの製造方法に適用した第２の実施の形態について、上記第１の実施の形態と異なる部分を中心に図４〜図６を使って説明する。
【００６０】
この第２の実施の形態においても、前記封止に際しては先の第１の実施の形態に示した接着剤と同じものが用いられる。そしてその粘度は、図４に示されるように温度の上昇とともに急激に低下することが確認されている。通常この封止が行われるクリーンルームの標準的な温度は約２５℃であり、そのときの接着剤の粘度は、同図４からも明らかなように１０００００ｍＰａ・秒を超える高い値となっている。そしてこのことが、前記表示基板の封止を迅速かつ的確に行ううえでの障害の１つとなっている。
【００６１】
そこで、この第２の実施の形態においては、この封止を前記窒素ガスの適切な温度制御のもとに行う。その設定温度としては、高く設定しすぎると前記表示基板３に形成されている有機ＥＬ素子の特性劣化を招くばかりでなく、前記接着剤５の粘度が低くなりすぎてこれが貼り合わせ面から流出してしまう懸念がある。このため、表示基板３を所望の態様で封止するためには、前記印加する圧力との関係を考慮して、チャンバ２０内の温度、すなわち窒素ガスの温度を適切な温度範囲に設定することが望ましい。
【００６２】
図５は、このような第２の実施の形態にかかる製造方法によって表示用パネルを製造する装置についてその構成例を示す模式図である。
図５に示されるように、この第２の実施の形態においては、表示基板３の封止を行う際に、チャンバ２０に充満させる窒素ガスの温度を温度調節器２４によってさらに制御できるようにしている。これにより接着剤５の温度も併せて制御することが可能となる。
【００６３】
図６は、上記チャンバ２０内部に充満させる窒素ガスの温度を３５℃に設定して、チャンバ２０内部の接着剤５を含む各部材が同温度に到達したのちに、ガラス基板１を封止用ガラス４に貼り合わせるときの、貼り合わせ面への圧力の印加パターン例を示したものである。なお、この窒素ガスの温度は、貼り合わせ面の押圧に適した接着剤５の粘度に基づいて決定したものである。
【００６４】
図６に示されるように、この第２の実施の形態においては、上記貼り合わせ面に対する圧力印加パターンが、先の（イ）〜（ハ）に対応して、それぞれ次のようになっている。
【００６５】
（イ’）一定の速さで圧力を変化（増大）させる圧力変更期間（図５の期間Ｔ１’、Ｔ３’、およびＴ５’）と、それら変化（増大）させた圧力を一定の圧力に保持する圧力保持期間（図５の期間Ｔ２’、Ｔ４’、およびＴ６’）とを繰り返して、目標とする圧力および目標とするギャップに到達させる。
【００６６】
（ロ’）上記各圧力保持期間Ｔ２’、Ｔ４’、およびＴ６’は、すべて等しく設定される。すなわち、それら期間Ｔ２’、Ｔ４’、およびＴ６’には以下の関係が成立している。
Ｔ２’ ＝Ｔ４’ ＝Ｔ６’
（ハ’）最後の圧力変更期間Ｔ５’における圧力の変化量（増大量）δＰ５’は、それ以前の圧力変更期間Ｔ１’およびＴ３’におけるそれぞれの圧力の変化量（増大量）δＰ１’およびδＰ３’よりも小さく設定される。すなわち、それら圧力変化量δＰ１’、δＰ３’、δＰ５’には以下の関係が成立している。
δＰ１’ ＞ δＰ５’
δＰ３’ ＞ δＰ５’
こうして、ガラス基板１と封止用ガラス４との貼り合わせ面に所定のパターンの圧力が印加されることで、少なくとも上記圧力保持期間Ｔ６’には、接着剤５に混入されているスペーサ（図１０参照）がストッパとなってギャップＧが目標値に到達する。このときのギャップＧの値は、先の第１の実施の形態に示した値と同じであり、約５μｍである。そして、その後の期間Ｔ７’においてもその圧力を継続して印加しつつ、時刻ｔ６’に上記紫外線光源２３を点灯して紫外線を上記貼り合わせ面に照射する。この紫外線の照射も、先の第１の実施の形態にて説明したように、実際には図示しない赤外線カットフィルタを通して、上記期間Ｔ７’にわたって、すなわち時刻ｔ７’まで行われる。
【００６７】
なお、ここでも上記塗布される接着剤５の吐出口の断面形状が直径約３００μｍの半円状であり、またガラス基板１の寸法が３００ｍｍ×４００ｍｍであって、上記封止後はそれを切断して９枚〜９６枚の表示基板３を得ようとする場合、上記圧力保持期間Ｔ２’、Ｔ４’、およびＴ６’において貼り合わせ面に印加されている圧力は、図６に示されるように、それぞれ０．２ｋｇｗ／ｃｍ²、０．４ｋｇｗ／ｃｍ²、および０．５ｋｇｗ／ｃｍ²である。これら圧力の各設定値を、先の第１の実施の形態にて示した値と等しくしているのは、ギャップＧが目標値に到達するのをより確実にするためである。また、上記圧力印加パターンの各期間は、期間Ｔ１’から期間Ｔ６’まで順に５秒、５秒、１０秒、１０秒、５秒、および１５秒に設定されている。すなわち、圧力保持期間Ｔ２’、Ｔ４’、およびＴ６’の比は１：１：１に設定されている。そしてこの場合も、接着剤５による封止部分のギャップＧと上記シール線幅Ｗ（図１０参照）とを均一にしてその封止品質を確保するためには、上記各圧力の値に対しては±２０％以内の範囲、また上記各期間に対しては±５０％以内の範囲でそれら各値を設定することが望ましいことが発明者等によって確認されている。また、紫外線の照射期間Ｔ７’についても、先の第１の実施の形態と同様に紫外線照度約１００ｍＷ／ｃｍ²の場合、これを６０秒に設定することで、接着剤５の十分な硬化が得られることが確認されている。これらも、先の第１の実施の形態において説明したとおりである。
【００６８】
なお、上記圧力も、先の第１の実施の形態に説明した方法でＳＩ単位系の圧力単位であるパスカル［Ｐａ］への変換を行うことができる。
また、この第２の実施の形態においても、先の第１の実施の形態において説明した構成の有機ＥＬ素子層を表示基板に形成し、これにより有機ＥＬ表示パネルを構成することができる。
【００６９】
以上説明したように、この第２の実施の形態にかかる表示用パネルの製造方法によれば、先の第１の実施の形態によって得られる効果に加えてさらに以下の効果が得られるようになる。
【００７０】
（５）表示用パネルの表示基板３を接着剤５にて封止用ガラス４に封止する際に、温度制御を通じて同接着剤５の粘度を適切に制御することができるため、上記圧力保持期間の関係を
Ｔ２’ ＜Ｔ４’ ＜Ｔ６’
とする必要がなくなる。したがって、先の第１の実施の形態よりもさらに短時間で上記表示基板３の封止を完了することができるようになる。
【００７１】
（６）上記制御する温度を３５℃としたことで、表示基板３に形成されている有機ＥＬ素子の特性劣化を招くことがない。
（その他の実施の形態）
なお、上記各実施の形態は以下のように変更して実施してもよい。
【００７２】
・上記各実施の形態においては、最後の圧力保持期間Ｔ６、Ｔ６’をガラス基板１と封止用ガラス４との貼り合わせ面間のギャップＧが所定の値（目標値）に到達するまでの時間として設定したが、必ずしもこれに限定されるものではない。たとえば、ギャップＧを監視するセンサ等をさらに備えて、そのセンサ等からのギャップＧのフィードバック値に基づいて接着剤５の硬化処理を開始してもよい。これにより、ギャップＧが目標値になったのちにただちに接着剤５を硬化させることができるため、上記封止にかかる時間をさらに短縮することができるようになる。そしてさらには、接着剤５を硬化させる処理は、必ずしもギャップＧが目標値に到達したのちでなくてもよく、硬化処理中にギャップＧが目標値に到達することを見越した設定としてもよい。
【００７３】
・上記各実施の形態においては、ガラス基板１と封止用ガラス４との貼り合わせ面に印加する圧力の印加パターンについてそれぞれその一例を示したが、必ずしもそれらパターンに限定されるものではない。たとえば、第１の実施の形態においても上記圧力保持期間を等しく定めたり、逆に第２の実施の形態においても圧力保持期間を１：２：３などのように独立に設定したり、あるいは上記圧力変更期間と圧力保持期間とを２回、または４回以上繰り返すなどの圧力印加パターンとしてもよい。また、最後の圧力変更期間での圧力変化量（増大量）についても、これを必ずしもそれ以前の圧力変更期間での圧力変化量（増大量）よりも小さくする必要はない。また、上記圧力変更期間における圧力変化速度を一定にする必要もない。すなわち、圧力変更期間の少なくとも一期間において、その圧力変化速度を積極的に可変としてもよい。さらに、上記印加圧力を目標値に到達させる際に、必ずしも同圧力を単調に増大させる必要はなく、場合によっては同圧力を減少させる期間が存在してもよい。要は、ガラス基板１と封止用ガラス４との貼り合わせ面を押圧する圧力の段階的な印加に基づいて同ガラス基板１と封止用ガラス４とのギャップＧおよびシール線幅Ｗが均一かつ安定的に得られさえすればよい。
【００７４】
・上記各実施の形態においては、圧力保持期間を設けることで接着剤５が押圧圧力に追従して変形する期間を確保したが、必ずしもこれに限定されるものではない。接着剤５が変形する期間、ガラス基板１（支持部材７）の移動を停止するようにしてもよい。
【００７５】
・上記各実施の形態においては、ガラス基板１と封止用ガラス４との貼り合わせに使用する接着剤５は紫外線硬化性の樹脂としたが、必ずしもこれに限定されるものではない。接着剤５としては、たとえば熱硬化性の樹脂でも、また他の手段により硬化される接着剤であってもよい。上記貼り合わせ面を確実に貼り合わせて表示基板３を的確に封止することができさえすれば、どのような接着剤であってもよい。
【００７６】
・上記各実施の形態においては、チャンバ２０の内部に充満させる気体として窒素ガスを用いる場合について例示したが、必ずしもこれに限定されるものではない。水分の含有率が低く表示基板３に対して悪影響を及ぼすことのない不活性の気体であれば、どのような気体をもこの窒素ガスに代わる気体として用いることができる。
【００７７】
・上記各実施の形態においては、有機ＥＬ素子が形成された表示基板３を封止する場合について例示したが、必ずしもこれに限定されるものではない。発光用素子として無機ＥＬ素子が形成された表示基板であってもよいし、また、たとえば液晶表示基板やプラズマ表示基板であっても、その封止に本発明を適用することはできる。また、表示用素子の形成面となる基板の材質は、上記各実施の形態において例示したガラス基板１のように、ガラスに限らず、たとえば紫外線等を透過する適宜の透明な樹脂基板であってもよい。
【００７８】
・上記各実施の形態においては、表示基板３を封止する封止部材として封止用ガラス４を用いる場合について例示したが、必ずしもこれに限定されるものではない。たとえば、金属のケース（メタルカン）などで表示基板３を封止してもよい。その場合でも、それら封止部材に合った適切な接着剤を選択するようにすればよい。
【００７９】
・上記各実施の形態においては、表示基板３に形成する素子層２の構成について例示したが、必ずしもこの構成に限定されるものではなく、どのような構成にて素子層を形成してもよい。
【００８０】
・上記第２の実施の形態においては、上記封止を行う温度を３５℃に設定する場合について例示したが、必ずしもこの温度に限定されるものではない。上記封止を行う温度としては、表示基板３に形成されている有機ＥＬ素子に特性劣化を与えず、かつ接着剤５が適度な粘度となる２７℃〜５５℃の範囲に設定すればよく、また２９℃〜４０℃の範囲に設定するのがより好ましい。さらに、封止部分におけるギャップＧおよびシール線幅Ｗが均一にかつ安定的に得られ、またこの封止を完了させる時間の短縮を図るためには、上記設定温度は３２℃〜３８℃の範囲に設定するのがもっとも好ましい。なお、上記第１の実施の形態にて示した物質を採用してこの第２の実施の形態の有機ＥＬ素子６０を構成する場合には、それら各層に特性劣化を与えることなく設定可能な上記封止温度は９５℃以下とするのが望ましい。
【００８１】
・上記第２の実施の形態において、接着剤５の粘度を低くするための温度制御は、チャンバ２０内に充満させる窒素ガスの温度を制御することによって行う例にて説明したが、必ずしもこれに限定されるものではない。たとえば、図７および図８にそれぞれ示すように、ヒータや赤外線などを利用して接着剤５を局所的に加熱するようにしてもよい。これにより、有機ＥＬ素子を加熱することによる特性劣化を最小限に抑制することができるようになる。ちなみに、図７の例においては、封止用ガラス４上において接着剤５が塗布されている部位下方の石英ガラス１１ａ内にヒータ２７を埋設するようにしている。この場合、石英ガラス１１ａ内部に埋設するのは上記ヒータ２７に代えてヒートパイプなど他の熱源であってもよい。また、図８の例においては、赤外線光源２８から照射された赤外線が赤外線照射マスク２９を通って接着剤５のみに照射されるようにしている。こうした製造方法によれば、いずれも接着剤５を局所的に加熱することができるため、有機ＥＬ素子の温度上昇を最小限に抑制して有機ＥＬ表示装置としての品質を確保しつつ、その表示用パネルの製造時間を短縮することができるようになる。
【００８２】
・さらに上記第２の実施の形態においては、上記封止を行う温度を一定値に制御する場合について例示したが、必ずしもこの制御方法に限定されるものではない。同封止に用いられる接着剤５の粘度が、その封止のために適したものとなるようにその温度を積極的に変化させても、上記第２の実施の形態において得られる効果と同等の効果を得ることができるようになる。この場合であれ、たとえばＥＬ素子などの表示用素子の特性に影響を及ぼさない範囲内で温度を制御することが望ましい。
【００８３】
【発明の効果】
請求項１記載の表示用パネルの製造方法によれば、前記印加する圧力の段階的変化に応じて前記ギャップに塗布される前記接着剤の形状も段階的に変化するようになる。これにより、前記封止部材と表示基板とにより封止される内部空間に存在する気体が排出される期間が確保され、上記接着剤が粘度の高いものであっても上記圧力を円滑に印加することができるようになる。したがって、上記ギャップ距離、ひいては上記貼り合わせ面を封止する接着剤の当接幅を均一なものとすることができ、確実で信頼性の高い表示基板の封止を迅速に行えるようになる。
【００８４】
また、請求項２記載の表示用パネルの製造方法によれば、上記貼り合わせ面に印加する圧力の段階的変化として、圧力を変化させる圧力変更期間とそれに続いて一定の圧力を保持する圧力保持期間とが交互に繰り返されるため、貼り合わせ面の加圧にともなって接着剤がより円滑に追従して変形できるようになる。これにより、上記表示基板の封止をより迅速かつ確実に行えるようになる。
【００８５】
また、請求項３記載の表示用パネルの製造方法によれば、上記各圧力保持期間が相互に独立に設定されるため、上記印加される圧力が増大するにつれて上記接着剤が追従して変形する期間を長くするなど、接着材の変形に適したかたちで自由度高く圧力の印加パターンを設定することができるようになる。
【００８６】
また、請求項４記載の表示用パネルの製造方法によれば、上記圧力変更期間での圧力変化量がそれぞれ独立に設定されるため、より自由度の高い圧力の印加パターンを設定することができ、用いられる接着剤に応じてより的確な圧力を印加することができるようになる。
【００８７】
また、請求項５記載の表示用パネルの製造方法によれば、最後の圧力変更期間での圧力変化量を他の圧力変更期間での圧力変化量よりも小さくするため、それに対応した接着剤の形状変化量も小さくすることができる。したがって、貼り合わせ面への印加圧力が目標値に到達したときには、そのギャップ距離は目標値にきわめて近い値で安定したものとなる。
【００８８】
また、請求項６記載の表示用パネルの製造方法によれば、上記圧力変更期間の少なくとも一期間においてその圧力変化速度が可変とされるため、より自由度の高い圧力の印加パターンを設定することができ、用いられる接着剤に応じてより的確な圧力を印加することができるようになる。
【００８９】
また、請求項７記載の表示用パネルの製造方法によれば、上記圧力変更期間と圧力保持期間とを交互に３回繰り返すことにより、貼り合わせ面に簡素な圧力の印加パターンにより上記貼り合わせ面への印加圧力を迅速に目標値に到達させることができるようになる。
【００９０】
また、請求項８記載の表示用パネルの製造方法によれば、上記接着剤を紫外線照射によるカチオン重合を利用して硬化させるため、上記表示基板を加熱することなく、また水分を発生させることなく封止することができる。そのため、その表示基板が耐熱性の低い表示用素子を有して構成されていても、また水分によって劣化が促進される特性をもつ表示用素子を有して構成されていても、これを劣化させることなく好適に封止することができるようになる。
【００９１】
また、請求項９記載の表示用パネルの製造方法によれば、貼り合わせ面に印加する圧力の印加パターンに加えて、そのときの接着剤の温度も併せて調整される。このため、温度により粘度が大きく変化する接着剤にあっては、その温度を適切に制御することにより、上記表示基板を封止する際に同接着剤を適切な粘度において塗布することができるようになる。これにより、上記表示基板の封止をより短時間で行うことができるようになる。
【００９２】
また、請求項１０記載の表示用パネルの製造方法によれば、少なくとも上記貼り合わせ面に対する圧力の印加前に上記接着剤を所定の温度に加熱するため、上記表示基板の封止をさらに短時間で行うことができるようになる。
【００９３】
また、請求項１１記載の表示用パネルの製造方法によれば、上記接着剤の温度を所定の温度に制御しつつ、上記貼り合わせ面に対する圧力の印加を行うため、より迅速かつ円滑に上記表示基板の封止を行うことができるようになる。
【００９４】
また、請求項１２記載の表示用パネルの製造方法によれば、上記表示用素子としてＥＬ素子を有して形成され、上記所定の温度が同ＥＬ素子としての素子特性に影響を及ぼさない温度に設定される。このため、耐熱性の低いＥＬ素子を利用した表示用パネルにあっても、上記表示基板の封止を高温にすることなく好適に行うことができるようになる。
【００９５】
また、請求項１３記載の表示用パネルの製造方法によれば、上記貼り合わせ面に対する圧力の印加態様に応じて上記接着剤に付与する温度を可変とするため、上記封止に用いられる接着剤に対応してより自由度の高い温度制御を行うことができるようになる。
【００９６】
そして、請求項１４記載の表示用パネルの製造方法によれば、表示用素子としてＥＬ素子を有して形成され、上記接着剤に付与する温度が同ＥＬ素子としての素子特性に影響を及ぼさない温度に設定される。このため、耐熱性の低いＥＬ素子を利用した表示用パネルにあっても、上記表示基板の封止を高温にすることなく好適に行うことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる表示用パネルの製造方法の第１の実施の形態についてこれを実施するための装置構成例を示す説明図。
【図２】同第１の実施の形態について表示基板と封止用ガラスとの貼り合わせ面を押圧する圧力の印加パターン例を示すタイムチャート。
【図３】接着剤の変形態様を説明するための略図断面図。
【図４】接着剤として用いられるカチオン系紫外線硬化性エポキシ樹脂の粘度と温度との関係を示すグラフ。
【図５】本発明にかかる表示用パネルの製造方法の第２の実施の形態についてこれを実施するための装置構成例を示す説明図。
【図６】同第２の実施の形態について表示基板と封止用ガラスとの貼り合わせ面を押圧する圧力の印加パターン例を示すタイムチャート。
【図７】同第２の実施の形態の変形例についてこれを実施するための装置構成例を示す説明図。
【図８】同第２の実施の形態の変形例についてこれを実施するための装置構成例を示す説明図。
【図９】一般の表示用パネルの製造方法としてガラス基板上に形成された複数の表示基板の封止用ガラスによる封止態様を示す説明図。
【図１０】上記ガラス基板と封止用ガラスとを貼り合わせたときの断面状態を模式的に拡大して示す断面図。
【図１１】従来の表示用パネルの製造方法による封止不良の例を示す平面図。
【図１２】有機ＥＬ表示用パネルの素子層の構成例を示す平面図。
【図１３】有機ＥＬ表示用パネルの素子層の構成例を示す断面図。
【符号の説明】
１…ガラス基板、２…素子面、３…表示基板、４…封止用ガラス、５…接着剤、６…掘削部、７…支持部材、１１、１１ａ…石英ガラス、２０…チャンバ、２１ａ…ガス導入口、２１ｂ…ガス排出口、２２…ＣＣＤカメラ、２３…紫外線光源、２４…温度調節器、２５…赤外線光源、２６…赤外線照射マスク、２７…ヒータ、３８…スペーサ、３９…位置合わせマーク。

Claims

表示領域に表示用素子が形成された表示基板の素子面と該素子面に対向して配置した封止部材とを前記表示領域を囲繞する態様で塗布した接着剤を介して貼り合わせたのち、この貼り合わせ面に圧力を加えるとともに前記接着剤を硬化させる表示用パネルの製造方法であって、
前記封止部材と表示基板との貼り合わせ面に印加する圧力をそれら封止部材と表示基板とのギャップが目標値に到達するまで段階的に変化させ、
前記封止部材と表示基板との貼り合わせ面に印加する圧力の段階的な変化は、印加する圧力を連続的に変化せしめる圧力変更期間と、この増大した圧力を一定に保持する圧力保持期間とを含み、
前記圧力の段階的変化が、前記圧力変更期間と前記圧力保持期間との少なくとも各３回の繰り返しとして行われ、
前記各圧力変更期間での圧力変化量のうち、最後の圧力変更期間での圧力変化量を他の圧力変更期間での圧力変化量よりも小さくする
ことを特徴とする表示用パネルの製造方法。
前記各圧力保持期間は、相互に独立に設定される
ことを特徴とする請求項１記載の表示用パネルの製造方法。
前記圧力変更期間の少なくとも一期間において、その圧力変化速度が可変とされることを特徴とする請求項１〜２のいずれかに記載の表示用パネルの製造方法。
前記接着剤が、カチオン重合により硬化する紫外線硬化性エポキシ樹脂であり、同接着剤の硬化を紫外線照射によって行う
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の表示用パネルの製造方法。
前記接着剤に対する温度制御を併用する
ことを特徴とする請求項４記載の表示用パネルの製造方法。
前記温度制御として、少なくとも前記封止部材と表示基板との貼り合わせ面に対する圧力の印加前に、前記接着剤を所定の温度に加熱する処理を行う
ことを特徴とする請求項５記載の表示用パネルの製造方法。
前記温度制御として、前記接着剤を所定の温度に加熱しつつ、前記封止部材と表示基板との貼り合わせ面に対する圧力の印加を行う
ことを特徴とする請求項５記載の表示用パネルの製造方法。
前記表示基板が、前記表示用素子としてエレクトロルミネッセンス素子を有して形成され、前記所定の温度が、前記エレクトロルミネッセンス素子としての素子特性に影響を及ぼさない温度に設定される
ことを特徴とする請求項６または７記載の表示用パネルの製造方法。
前記温度制御として、前記封止部材と表示基板との貼り合わせ面に対する圧力の印加した状態に応じて前記接着剤に付与する温度を可変とする制御を行う
ことを特徴とする請求項５記載の表示用パネルの製造方法。
前記表示基板が、前記表示用素子としてエレクトロルミネッセンス素子を有して形成され、前記可変とされる前記接着剤に付与する温度が、前記エレクトロルミネッセンス素子としての素子特性に影響を及ぼさない温度の範囲で設定される
ことを特徴とする請求項９記載の表示用パネルの製造方法。